(57)【要約】  【課題】  ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無い半導体装置を提供する。  【解決手段】  半導体基板１０の表面に層間膜４が形成され、前記層間膜４を貫通し前記半導体基板１０の表面又は内部に至るコンタクトホール１１内にバリアメタル３を介して埋め込まれたコンタクト電極２を有し、前記コンタクト電極２の上部で表面電極１と接続された半導体装置において、前記層間膜４の表面に凹部１２が形成され、前記凹部１２内で前記層間膜４と前記表面電極１が直接接している。【選択図】  図１
2007227556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体基板の表面に層間膜が形成され、前記層間膜を貫通し前記半導体基板の表面又は内部に至るコンタクトホール内にバリアメタルを介して埋め込まれたコンタクト電極を有し、前記コンタクト電極の上部で表面電極と接続された半導体装置において、前記層間膜の表面に凹部が形成され、前記凹部内で前記層間膜と前記表面電極が直接接していることを特徴とする半導体装置。
【請求項２】
半導体基板の表面に層間膜が形成され、前記層間膜を貫通し前記半導体基板の表面又は内部に至るコンタクトホール内にバリアメタルを介して埋め込まれたコンタクト電極を有し、前記コンタクト電極の上部で表面電極と接続された半導体装置において、前記層間膜の表面に凹部が形成され、前記凹部内に前記表面電極より硬度の高い材料が埋め込まれていることを特徴とする半導体装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、縦型コンタクト構造を有する半導体装置の表面電極と層間膜の密着強度を改善する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体基板の表面から局部的に電極の引き出しを行う場合、特に高集積化が必要な半導体装置においては、半導体基板の表面に層間膜を形成し、その層間膜を貫通し半導体基板に至るコンタクトホール内にバリアメタルを介して導電材料を埋め込み、半導体基板の導電領域と表面電極とを接続する縦型コンタクト構造が用いられている。
【０００３】
一般的な縦型コンタクト構造は図１３に示すように、半導体基板１０上に層間膜４を形成し、層間膜４にその底部に半導体基板１０が露出するコンタクトホールを形成した後、層間膜４の表面及びコンタクトホールの内面にＴｉＮ３ｂ及びＴｉ３ａからなるバリアメタル３を形成し、加熱下のスパッタによってＡｌ合金膜１ａを成膜することによって得られる。このときコンタクトホールへのＡｌ合金の充填性を良くする為、加熱によってＡｌ合金に流動性を持たせているが、成膜後のＡｌ合金膜１ａの表面は図１３に示すように、凹凸の大きい形状となりやすい。この問題を解決し平坦なＡｌ合金膜１ａを得る方法として、図１４に示すように、コンタクトホールの周辺に凹部を設け、余分なＡｌ合金を凹部に収納する方法が開示されている。
【特許文献１】特開平１０−８４０４１号公報（第４〜５頁、第８図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
前述の図１３及び図１４を用いて説明した縦型コンタクトの形成方法は、例えば層間膜の厚さが０．８μｍの場合コンタクトホールの開口径が１．０μｍ以下になるとＡｌ合金の充填性が悪化し、コンタクトホール内のＡｌ合金に「す」が入り信頼性が悪化するという問題があり、パターンの微細化に対応できなかった。
【０００５】
このため、より微細化が必要な場合には、図１５に示すように、Ｗ（タングステン）のように充填性の良い材料をコンタクト電極２の材料としてバリアメタル３を介して層間膜４上及びコンタクトホール内にスパッタし、エッチバックした後、表面電極１を形成する方法がとられている。
【０００６】
しかしながら、前述の図１５を用いて説明した縦型コンタクト構造には、残された課題があった。すなわち、層間膜とバリアメタルの密着強度が低いため、図１６に示すように、ワイヤボンディング工程で紙面横方向の超音波振動Ｂが加えられると、表面電極１を介してバリアメタル３に紙面横方向の力が働き、バリアメタル３と層間膜４の間に剥がれが生じ、表面電極１がバリアメタル３ごと剥がれる場合があった。図中、Ｃは剥離面、１５はボンディングワイヤを示している。
【０００７】
本発明の課題は、コンタクトホール内にバリアメタルを介して埋め込まれたコンタクト電極を有する半導体装置において、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無い半導体装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の請求項１記載の半導体装置は、半導体基板の表面に層間膜が形成され、前記層間膜を貫通し前記半導体基板の表面又は内部に至るコンタクトホール内にバリアメタルを介して埋め込まれたコンタクト電極を有し、前記コンタクト電極の上部で表面電極と接続された半導体装置において、前記層間膜の表面に凹部が形成され、前記凹部内で前記層間膜と前記表面電極が直接接している。
【０００９】
本発明の請求項２記載の半導体装置は、半導体基板の表面に層間膜が形成され、前記層間膜を貫通し前記半導体基板の表面又は内部に至るコンタクトホール内にバリアメタルを介して埋め込まれたコンタクト電極を有し、前記コンタクト電極の上部で表面電極と接続された半導体装置において、前記層間膜の表面に凹部が形成され、前記凹部内に前記表面電極より硬度の高い材料が埋め込まれている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の請求項１記載の半導体装置によれば、密着強度の低いバリアメタルと層間膜の接触面積が減り代わりに密着強度の高い表面電極と層間膜の接触となること、凹部形成により接触面積が増加すること、凹部内に表面電極が入り込むことによる横ずれ抑制効果が生ずることにより、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無い。
【００１１】
本発明の請求項２記載の半導体装置によれば、バリアメタルと層間膜の接触面積が増加すること、凹部内に前記表面電極より硬度の高い材料が埋め込まれていることによるさらに高い横ずれ抑制効果が生ずることにより、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無いという優れた産業上の効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照し、従来例と同一物には同一の符号を用いて説明する。
【００１３】
本発明の第１の実施形態である半導体装置（請求項１に対応）は、図１に示すトレンチ型ＭＯＳＦＥＴの例のように、半導体基板１０の表面に層間膜４が形成され、前記層間膜４を貫通し前記半導体基板１０の表面又は内部に至るコンタクトホール１１内にバリアメタル３を介して埋め込まれたコンタクト電極２を有し、前記コンタクト電極２の上部で表面電極１と接続された半導体装置において、前記層間膜４の表面に凹部１２が形成され、前記凹部１２内で前記層間膜４と前記表面電極１が直接接している。前記層間膜４の表面に凹部１２が形成され、前記凹部１２内で前記層間膜４と前記表面電極１が直接接している点が、本発明の第１の実施形態である半導体装置の特徴である。
【００１４】
本発明の第１の実施形態である半導体装置の製造方法は、先ず、図２に示すように、表面に向かってドレイン領域９、ベース領域８、ソース領域７が順次形成された半導体基板１０の表面に公知の技術によりトレンチを形成し、トレンチ内にゲート酸化膜６を介してゲート電極５を形成する。その後、半導体基板１０の表面にＢＰＳＧ（Ｂｏｒｏ−Ｐｈｏｓｐｈｏ  Ｓｉｌｉｃａｔｅ  Ｇｌａｓｓ）やＰＳＧ（Ｐｈｏｓｐｈｏ  Ｓｉｌｉｃａｔｅ  Ｇｌａｓｓ）等の層間膜４を成膜する。
【００１５】
次に、図３に示すように、リソグラフィ技術を用いて前記ゲート電極５の間の層間膜４をエッチングした後、Ｓｉエッチングを行い、前記層間膜４、前記ソース領域７を貫通しベース領域８に至るコンタクトホール１１を形成する。次に、図４に示すように、コンタクトホール内を含む層間膜４の表面に、Ｔｉ−ＴｉＮのように遷移金属を含むバリアメタル３をスパッタ技術を用いて成膜する。次に、図５に示すように、前記バリアメタル上にＷ（タングステン）等の電極材料をスパッタした後、エッチバックし、前記コンタクトホール内にコンタクト電極２を形成する。次に、図６に示すように、リソグラフィ技術を用いて前記コンタクト電極２の間のバリアメタル３をエッチングした後、層間膜エッチングを行い、凹部１２を形成する。
【００１６】
その後、コンタクト電極２と凹部１２を含むバリアメタル３上に表面電極１としてＡｌＳｉＣｕ、ＡｌＳｉ、ＡｌＣｕ等のＡｌ合金をスパッタすることで、図１を用いて説明した半導体装置が得られる。
【００１７】
本発明の請求項１記載の半導体装置によれば、密着強度の低いバリアメタル３と層間膜４の接触面積が減り代わりに密着強度の高い表面電極１と層間膜４の接触となることにより、表面電極１と層間膜４の密着強度が向上する。また、凹部１２の形成により接触面積が増加することによっても、表面電極１と層間膜４の密着強度が向上する。さらにまた、凹部１２内に表面電極１が入り込むことにより、ボンディング時の表面電極１の横ずれが抑えられる横ずれ抑制効果が生ずることによっても、表面電極１と層間膜４の密着強度が向上する。これら３つの効果によって、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無いという優れた産業上の効果が得られる。
【００１８】
ところで、一般的なコンタクトホール１１とゲートトレンチ１３の平面的な配置は図７（ａ）乃至（ｄ）に示すように、繰り返し単位として正方形のユニットセル１４が格子状に配置されたもの（ａ）、正方形のユニットセル１４が１／２ピッチずれて配置されたもの（ｂ）、正六角形のユニットセル１４が１／２ピッチずれて配置されたもの（ｃ）、ストライプ状のユニットセル１４が配置されたもの（ｄ）が用いられている。ここで、Ａ−Ａ’で示した切断箇所が、図１５を用いて説明した断面に相当している。
【００１９】
本発明の前記凹部１２の平面的な配置を最も一般的な正方形のユニットセル１４が格子状に配置された例を用いて説明すると、図８（ａ）乃至（ｃ）のハッチング部で示すように、島状の凹部１２が格子状に配置されたもの（ａ）、線状の凹部１２が配置されたもの（ｂ）、線状の凹部１２が格子状に配置されたもの（ｃ）のように、コンタクトホール１１を除く領域に適宜配置することができる。
【００２０】
また、前記凹部の代表的な寸法は開口部が０．２μｍ以上０．６μｍ以下であり、深さが０．１μｍ以上０．５μｍ以下である。
【００２１】
また、本実施形態では、凹部及びコンタクト電極が形成された領域以外の層間膜表面にバリアメタルが形成された例で説明したが、凹部及びコンタクト電極が形成された領域以外の層間膜表面にバリアメタルが形成されていなくても良い。
【００２２】
本発明の第２の実施形態である半導体装置（請求項２に対応）は、図９に示すトレンチ型ＭＯＳＦＥＴの例のように、半導体基板１０の表面に層間膜４が形成され、前記層間膜４を貫通し前記半導体基板１０の表面又は内部に至るコンタクトホール１１内にバリアメタル３を介して埋め込まれたコンタクト電極２を有し、前記コンタクト電極２の上部で表面電極１と接続された半導体装置において、前記層間膜４の表面に凹部１２が形成され、前記凹部１２内に前記表面電極１より硬度の高い材料が埋め込まれている。前記層間膜４の表面に凹部１２が形成され、前記凹部１２内に前記表面電極１より硬度の高い材料が埋め込まれている点が、本発明の第２の実施形態である半導体装置の特徴である。
【００２３】
本発明の第２の実施形態である半導体装置の製造方法は、途中までは図２及び図３を用いて説明した第１の実施形態である半導体装置の製造方法と同一であるので、説明を省略する。
【００２４】
図３を用いて説明したコンタクトホール１１の形成後、図１０に示すように、リソグラフィ技術を用いてコンタクトホール１１の間の層間膜４をエッチングし、凹部１２を形成する。次に、図１１に示すように、前記凹部及び前記コンタクトホール内を含む層間膜４の表面に、Ｔｉ−ＴｉＮのように遷移金属を含むバリアメタル３をスパッタ技術を用いて成膜する。次に、図１２に示すように、前記バリアメタル上にＷ（タングステン）等の電極材料をスパッタした後、エッチバックし、前記凹部及び前記コンタクトホール内にコンタクト電極２を形成する。
【００２５】
その後、コンタクト電極２と凹部１２を含むバリアメタル３上に表面電極１としてＡｌＳｉＣｕ、ＡｌＳｉ、ＡｌＣｕ等のＡｌ合金をスパッタすることで、図９を用いて説明した半導体装置が得られる。
【００２６】
本発明の請求項２記載の半導体装置によれば、バリアメタル３と層間膜４の接触面積が増加することにより、表面電極１と層間膜４の密着強度が向上する。また、前記凹部１２内に表面電極１より硬度の高い材料が埋め込まれていることによりボンディング時の表面電極１の横ずれが抑えられる横ずれ抑制効果が、凹部１２内に表面電極１を埋め込んだ場合よりさらに大きくなることによっても、表面電極１と層間膜４の密着強度が向上する。これら２つの効果によって、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無いという優れた産業上の効果が得られる。
【００２７】
上記例では、前記コンタクトホール１１内と前記凹部１２内に、同一のコンタクト電極材料を埋め込む構造及び方法で説明したが、異なる材料を用いても良い。
【００２８】
また、本発明の第１の実施形態である半導体装置で、図８（ａ）乃至（ｃ）を用いて説明したように、前記凹部１２はコンタクトホール１１を除く領域に適宜配置することができる。また、前記凹部の代表的な寸法も本発明の第１の実施形態である半導体装置で説明した値と同様である。
【００２９】
また、本実施形態では、凹部及びコンタクト電極が形成された領域以外の層間膜表面にバリアメタルが形成された例で説明したが、凹部及びコンタクト電極が形成された領域以外の層間膜表面にバリアメタルが形成されていなくても良い。さらにまた、本実施形態では、凹部内にバリアメタルが形成された例で説明したが、凹部内にバリアメタルが形成されていなくても良く、この場合工程は複雑になるが、表面電極と層間膜の密着強度はさらに向上する。
【００３０】
以上のように、本発明の半導体装置によれば、ボンディング工程で印加される超音波振動によって表面電極が剥離することが無いという優れた産業上の効果が得られる。
【００３１】
尚、本発明の半導体装置は、上記の実施例に限定されるものではなく、同様の縦型コンタクト構造を有する半導体装置への適用等、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得る。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１の実施形態の半導体装置を示す断面図。
【図２】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図３】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図４】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図５】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図６】本発明の第１の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図７】従来のコンタクトホールとゲートトレンチの配置を説明する平面図。
【図８】本発明の第１の実施形態の半導体装置の凹部の配置例を説明する平面図。
【図９】本発明の第２の実施形態の半導体装置を示す断面図。
【図１０】本発明の第２の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図１１】本発明の第２の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図１２】本発明の第２の実施形態の半導体装置の製造方法を説明する断面図。
【図１３】従来の半導体装置の縦型コンタクト構造を説明する断面図。
【図１４】従来の別の半導体装置の縦型コンタクト構造を説明する断面図。
【図１５】従来のさらに別の半導体装置の縦型コンタクト構造を説明する断面図。
【図１６】従来のさらに別の半導体装置の問題点を説明する断面図。
【符号の説明】
【００３３】
１  表面電極（ソース電極）
１ａ  Ａｌ合金膜
２  コンタクト電極
３  バリアメタル
３ａ  Ｔｉ
３ｂ  ＴｉＮ
４  層間膜
５  ゲート電極
６  ゲート酸化膜
７  ソース領域
８  ベース領域
９  ドレイン領域
１０  半導体基板
１１  コンタクトホール
１２  凹部
１３  ゲートトレンチ
１４  ユニットセル
１５  ボンディングワイヤ
Ａ、Ａ’  切断箇所
Ｂ  超音波振動
Ｃ  剥離面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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