(57)【要約】【課題】ファンフィルターユニット本体内の風の流れを対称にしフィルターから吹き出す空気の風速分布を均一にするとともに、本体を駆動させる制御部の冷却にチャンバー内を流れる風を利用することを目的としている。【解決手段】ファンモータユニット５の間に、ファンモータ３を駆動させるための制御部を有した駆動箱８が配置し、２つの小型ターボファン１から放射状に吹き出される風は、駆動箱８により、互いに衝突や干渉することなく、駆動箱８の側面に沿って移動し、風速を乱すことなく、チャンバー６内に均一に広がり、フィルターに流入する風速を均一化することができる。また、駆動箱の内部に設けられた制御部に風が流入し、この流入した風によって、制御部の電子部品を冷却するために、駆動箱８の少なくとも一箇所に通風孔を備えたものである。【選択図】図３
2007101119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを中心で支える支持具と、前記ファンモータと前記支持具からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを少なくとも２台収納する箱形状のチャンバーと、このチャンバーに隣接する空気を清浄化するフィルターと、前記ファンモータを駆動させるための制御部を搭載した駆動箱を有し、
前記駆動箱は、前記ファンモータユニット間に立設することを特徴とするファンフィルターユニット。
【請求項２】
前記駆動箱の側面または底面に通風孔を設けたことを特徴とする請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項３】
前記駆動箱の形状は直方体であり、長手方向を前記ファンモータユニットに正対するように立設する請求項１または請求項２に記載のファンフィルターユニット。
【請求項４】
駆動箱の片側の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けた請求項３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項５】
駆動箱の両側の長手方向の側面にスリット状に通風孔を設けた請求項３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項６】
駆動箱の両側の短手方向の側面にスリット状に通風孔を設けた請求項３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項７】
駆動箱の両側の長手方向の側面の端部のみに通風孔を設けた請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項８】
駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設けた請求項７記載のファンフィルターユニット。
【請求項９】
駆動箱のひとつの側面の端部に通風孔を設けた請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項１０】
駆動箱のひとつの側面の両端部に通風孔を設けた請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項１１】
駆動箱の両側面の端部に通風孔設け、駆動箱底面にも通風孔を設けた請求項８記載のファンフィルターユニット。
【請求項１２】
駆動箱のひとつの側面の端部と駆動箱底面に通風孔を設けた請求項３記載のファンフィルターユニット。
【請求項１３】
送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設けた請求項１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１４】
送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設けた請求項２または請求項３に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１５】
送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設けた請求項８または請求項１１に記載のファンフィルターユニット。
【請求項１６】
送風方向をファンフィルターユニット本体の中心部に誘導するように、駆動箱の両側面を滑らかな局面形状とした、請求項１から請求項１５いずれかに記載のファンフィルターユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体、液晶などの製造工程において清浄な空気を必要とする環境下で使用され、複数のファンを搭載したファンフィルターユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のファンフィルターユニットは、チャンバー内に簡単な部品を設けることにより、フィルターから吹き出される風速分布の均一化を図ったものが知られている（例えば特許文献１参照）。
【０００３】
以下、そのファンフィルターユニットについて図１７を参照しながら説明する。
【０００４】
図に示すように、チャンバー１０１内は、仕切板１０２により対称に分割されているが、ファン１０３ａ、ファン１０３ｂと接続する端子台ベース１０４が設けられており、この端子台ベースと同形状のバランス用部品１０５を対称位置に設けることで、チャンバー１０１内の空気の流れを対称とし、フィルターから吹き出される風速分布の均一化を図っている。
【特許文献１】実開平７−１３４１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような従来のファンフィルターユニットでは、まず仕切板によりそれぞれのファンから吹き出される風の衝突を防ぎ、次に空気の流れを対称にするために、空気の流れが異なる領域にバランス用部品を新たに追加しなければいけないという課題があり、容易にチャンバー内の風の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化することが要求されている。
【０００６】
また、この種の複数のファンを搭載した従来よりも大きさの異なるファンフィルターユニットにおいては、チャンバー内の仕切板やバランス用部品の形状を再度検討した後にチャンバー内に配置しなければいけないという課題があり、容易にチャンバー内の風の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化することが要求されている。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、バランス用の部品等をチャンバー内に追加することなく、仕切板の代わりにファンモータを駆動させるための制御部を搭載した駆動箱を用いて、チャンバー内の風の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるというファンフィルターユニットを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のファンフィルターユニットは、上記の目的を達成するために、ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを中心で支える支持具と、前記ファンモータと前期支持具からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを少なくとも２台収納する箱形状のチャンバーと、このチャンバーに隣接する空気を清浄化するフィルターと、前記ファンモータを駆動させるための制御部を搭載した駆動箱と、前記駆動箱は、前記ファンモータユニット間に正対するように立設させたことを特徴としたものである。
【０００９】
この手段により、それぞれのファンから吹き出される風の衝突を駆動箱で防ぎ、駆動箱の形状によりチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１０】
また、他の手段は、駆動箱の形状を直方体形状とし、長手方向をファンモータユニットに正対するように立設させたことを特徴としたものである。
【００１１】
この手段により、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１２】
また、他の手段は、駆動箱の片側の長手方向の側面のみスリット状に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００１３】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、ファンから吹き出される風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１４】
また、他の手段は、駆動箱の両側の長手方向の側面にスリット上に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００１５】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、ファンから吹き出される風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１６】
また、他の手段は、駆動箱の両側の短手方向の側面にスリット状に通風孔を設けたことを特徴したものである。
【００１７】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、チャンバー内を流れる風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００１８】
また、他の手段は、駆動箱の両側の長手方向の側面の端部のみに通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００１９】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２０】
また、他の手段は、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００２１】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２２】
また、他の手段は、駆動箱のひとつの側面の端部に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００２３】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、チャンバー内を流れる風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２４】
また、他の手段は駆動箱のひとつの側面の両端部に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００２５】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、チャンバー内を流れる風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２６】
また、他の手段は、駆動箱の両側面の端部に通風孔を設け、駆動箱底面にも通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００２７】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱底面の通風孔により駆動箱底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００２８】
また、他の手段は、駆動箱のひとつの側面の端部と駆動箱底面に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００２９】
この手段により、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱底面の通風孔により駆動箱底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３０】
また、他の手段は、ファンから吹き出される風の送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設けたことを特徴としたものである。
【００３１】
この手段により、内折り曲げ部により、ファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３２】
また、他の手段は、ファンから吹き出される風の送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設け、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３３】
この手段により、ファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３４】
また、他の手段は、ファンから吹き出される風の送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を駆動箱に設け、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部には通風孔を設け、駆動箱底面に通風孔を設けたことを特徴としたものである。
【００３５】
この手段により、ファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、駆動箱の内部に設けられている制御部を、端部の通風孔より流入するファンから吹き出された風によって冷却し、制御部の放熱を行うことで制御部の長寿命化を図れるとともに、駆動箱底面の通風孔により駆動箱底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００３６】
また、他の手段は、送風方向をファンフィルターユニット本体の中心部に誘導するように、駆動箱の両側面を滑らかな局面形状としたことを特徴としたものである。
【００３７】
この手段により、ファンから吹き出される風を滑らかな駆動箱の側面によって、駆動箱底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内し、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【発明の効果】
【００３８】
本発明によれば、駆動箱により２つのターボファンよりそれぞれ吹き出される風の衝突を抑え、さらに駆動箱の側面を利用して風の流れる方向を規制し、別部品を設けることなく、チャンバー内の風の流れを対称にできるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００３９】
また、駆動箱の側面に設けられたスリット状の通風孔により、駆動箱の内部に設けられた制御部の冷却を行い、制御部の長寿命化を図れる効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００４０】
また、駆動箱の底面に設けられた通風孔により、制御部の冷却を行うとともに、駆動箱の底面で覆われた空気の流れが行き届きにくいフィルター面にも風を案内することができるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００４１】
また、駆動箱に設けられた内折り曲げ部により、チャンバー内にて回転するターボファンの底面で覆われた空気の流れが行き届きにくいフィルター面にも風を案内することができるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【００４２】
また、滑らかな曲面形状とした駆動箱の側面により、駆動箱の底面で覆われた空気の流れが行き届きにくいフィルター面にも風を案内することができるという効果のあるファンフィルターユニットを提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
本発明の請求項１記載の発明は、ファンとモータから構成されるファンモータと、このファンモータを中心で支える支持具と、前記ファンモータと前期支持具からなるファンモータユニットと、前記ファンモータユニットを少なくとも２台収納する箱形状のチャンバーと、このチャンバーに隣接する空気を清浄化するフィルターと、前記ファンモータを駆動させるための制御部を搭載した駆動箱と、前記駆動箱は、前記ファンモータユニット間に立設させたことを特徴としたものであり、駆動箱は個々のターボファンから吹き出される風の衝突や干渉を抑える効果があり、駆動箱の形状によりチャンバー内の風の流れを対称にできるという作用を有する。
【００４４】
本発明の請求項２記載の発明は、駆動箱の側面または底面に風を流入させる通風孔を設けたものであり、チャンバー内を流れる空気が通風孔より流入し、駆動箱内部に設けられた制御部の冷却を行い、制御部の長寿命化を図れることができるという作用を有する。
【００４５】
本発明の請求項３記載の発明は、駆動箱の形状を直方体としたものであり、駆動箱の側面によって個々のターボファンから吹き出される風の衝突や干渉が抑えられるとともに、風の流れを駆動箱を中心にして対称にでき、フィルターから吹き出される空気の風速分布の均一化を図ることができるという作用を有する。
【００４６】
本発明の請求項４記載の発明は、駆動箱の長手方向の片側のみスリット状の通風孔を設けたものであり、通風孔を通過した風が駆動箱内部に設けられた制御部の冷却を行い、もう片側の長手方向の通風孔が設けられていない側面により、ファンから吹き出された風同士の干渉が抑えることができ、チャンバー内の空気の流れを対称にすることができるという作用を有する。
【００４７】
本発明の請求項５記載の発明は、駆動箱の両側の長手方向の側面のみにスリット状の通風孔を設けたものであり、両側の側面より制御部の冷却を行うとともに、チャンバー内に風の流れを広がるように案内できるという作用を有する。
【００４８】
本発明の請求項６記載の発明は、駆動箱の短手方向の側面にスリット状の通風孔を設けたものであり、通風孔より流入したチャンバー内を流れる空気により制御部の冷却を行いうとともに、駆動箱の側面により風同士の衝突や干渉を抑え、フィルターから吹き出される空気の風速分布の均一化を図ることができるという作用を有する。
【００４９】
本発明の請求項７記載の発明は、駆動箱の両側の長手方向の側面の端部のみ通風孔を設けたものであり、端部の通風孔より流入した風が制御部の冷却を行うとともに、駆動箱の通風孔のない側面にて風の流れをチャンバー全体に広がるように案内することで、駆動箱を中心にして風の流れを対称にし、フィルターから吹き出す空気の風速分布の均一化を図ったものである。
【００５０】
本発明の請求項８記載の発明は、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設けたものであり、端部のそれぞれ通風孔より流入した風が制御部の冷却を行うとともに、駆動箱の通風孔のない側面にて風の流れをチャンバー全体に広がるように案内することで、駆動箱を中心にして風の流れを対称にし、フィルターから吹き出す空気の風速分布の均一化を図ったものである。
【００５１】
本発明の請求項９記載の発明は、駆動箱のひとつの側面の端部に通風孔を設けたものであり、通風孔より流入した風がチャンバー内を流れる空気により制御部の冷却を行うとともに、駆動箱の通風孔のない側面により個々のターボファンから吹き出される風の衝突や干渉を抑えるとともに、風の流れを駆動箱を中心にして対称にでき、フィルターから吹き出される空気の風速分布の均一化を図ることができるという作用を有する。
【００５２】
本発明の請求項１０記載の発明は、ひとつの側面の両端部に通風孔を設けたものであり、片方の端部より流入した風が、もうひとつの端部より再びチャンバー内に案内されることで、制御部の冷却を効率よく行い、駆動箱の側面により個々のターボファンから吹き出される風の衝突や干渉を抑えるとともに、風の流れを駆動箱を中心にして対称にでき、フィルターから吹き出される空気の風速分布の均一化を図ることができるという作用を有する。
【００５３】
本発明の請求項１１記載の発明は、駆動箱の両側面の端部に通風孔を設け、駆動箱底面にも通風孔を設けたものであり、制御部の冷却を行うとともに、駆動箱底面の通風孔により、空気の流れが行き届きにくい領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００５４】
本発明の請求項１２記載の発明は、ひとつの側面の端部と駆動箱底面に通風孔を設けたものであり、通風孔より流入した風が制御部を冷却した後、駆動箱底面部の通風孔に案内されることで、空気の流れが行き届きにくい領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００５５】
本発明の請求項１３記載の発明は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を設けたものであり、ターボファンから吹き出された風を駆動箱の両側の長手方向の側面から内折り曲げ部を経由して、ターボファンの底面で覆われたフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、駆動箱の側面部にて風の流れをチャンバー全体に広がるように案内することで、フィルターに対し満遍なく風を送ることができるという作用を有する。
【００５６】
本発明の請求項１４記載の発明は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を設け、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設けたことを特徴としたものであり、ターボファンから吹き出された風を駆動箱の両側の長手方向の側面から内折り曲げ部を経由して、ターボファンの底面直下のフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、制御部の冷却を行い、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００５７】
本発明の請求項１５記載の発明は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部を設け、駆動箱の片側の長手方向の側面の端部と相対する側面の遠い側の端部に通風孔を設け、駆動箱底面にも通風孔を設けたことを特徴としたものであり、ターボファンから吹き出された風を駆動箱の両側の長手方向の側面から内折り曲げ部を経由して、ターボファンの底面直下のフィルター面などの空気の流れが行き届きにくい領域に空気の流れを案内するとともに、制御部の冷却を行った後、駆動箱直下の空気の流れが行き届きにくい領域に空気を案内し、駆動箱を中心にしてチャンバー内の空気の流れを対称にし、フィルターから吹き出される空気の風速分布を均一化できるファンフィルターユニットが得られる。
【００５８】
本発明の請求項１６記載の発明は、駆動箱の両側の長手方向の側面を滑らかな曲面形状としたことを特徴としたものであり、滑らかな局面により、スムーズにチャンバー全体に空気の流れを案内するとともに、駆動箱直下の空気の流れの行き届きにくい領域にもスムーズに風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００５９】
（実施の形態１）
図１及び図２に示すように、小型ターボファン１と駆動用モータ２で構成されるファンモータ３は、支持具４により中心部で支えられ、前記ファンモータ３と支持具４で構成されるファンモータユニット５が、チャンバー６に固定されている。前記ファンモータユニット５間には、ファンモータ３を駆動させるための制御部を有した駆動箱８が配置されている。
【００６０】
また、図２に示すように、空気を清浄化するフィルター７が、チャンバー６の下部に取り付けられており、２つの小型ターボファン１から放射状に吹き出される風は、駆動箱８により、互いに衝突や干渉することなく、チャンバー６全体に広がっていき、フィルター７に流入する構成となっている。
【００６１】
さらに、駆動箱８の形状を直方体形状とすることで、個々の小型ターボファン１から吹き出された風は、互いに干渉することなく駆動箱８の側面に沿って移動し、風速を乱すことなく、チャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化することができる。
【００６２】
（実施の形態２）
図３に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８の形状は直方体形状とし、片側の長手方向の側面にスリット状の通風孔１０Ａを設けたものである。
【００６３】
上記の構成において、小型ターボファン１から吹き出された風は、スリット状の通風孔１０Ａを経由して、駆動箱８の内部に設けられた制御部に流入する。この流入した風は、制御部の電子部品を冷却し、もう片側の駆動箱８の側面により、再び通風孔１０Ａを経由して、チャンバー６内に行き届き、風速を乱すことなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化することができる。
【００６４】
（実施の形態３）
図４に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、両側の長手方向の側面にスリット状の通風孔１０Ａを設けたものである。
【００６５】
上記の構成において、小型ターボファン１から吹き出された風は、スリット状の通風孔１０Ａを経由して、駆動箱８の内部に設けられた制御部に流入し、この流入した風が制御部の電子部品を冷却する。駆動箱８の両側の各々のスリットは、相対する側面に対し交互に設けることで、流入した風同士の干渉を軽減し、制御部の細部にわたり冷却効果をもたらすことができる。
【００６６】
（実施の形態４）
図５に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、両側の短手方向の側面にスリット上に通風孔１０Ａを設けたものである。
【００６７】
上記の構成において、チャンバー６内を流れる空気の一部が駆動箱８の短手方向の側面に設けられたスリット状の通風孔１０Ａより流入し、制御部の冷却を行う。さらに、小型ターボファン１より吹き出された風は、駆動箱８の長手方向の側面に沿って移動し、風速を乱すことなく、チャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化することができる。
【００６８】
（実施の形態５）
図６及び図７に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、片側あるいは両側の長手方向の端部に通風孔１０Ａを設けたものである。
【００６９】
上記の構成において、小型ターボファン１から吹き出された風の一部は、長手方向の端部に設けられた通風孔１０Ａを経由して、駆動箱８の内部に設けられた制御部に流入する。流入した風により、制御部の電子部品を冷却する。端部より風が流入するため、細部にわたり制御部の冷却効果をもたらすことができる。
【００７０】
（実施の形態６）
図８及び図９に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、ひとつの側面の端部あるいは両端部に通風孔１０Ａを設けたものである。
【００７１】
上記の構成において、小型ターボファン１から吹き出された風の一部は、長手方向の端部に設けられた通風孔１０Ａを経由して、駆動箱８の内部に設けられた制御部に流入する。流入した風により、制御部の電子部品を冷却する。また、通風孔１０Ａのない長手方向の側面により、吹き出された風は、互いに干渉することなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化することができる。
【００７２】
（実施の形態７）
図１０に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、両側面の端部に通風孔１０Ａを設け、駆動箱８底面にも通風孔１０Ｂを設けたものである。
【００７３】
上記の構成において、通風孔１０Ａより流入した風は、駆動箱８の内部に設けられた制御部を冷却するとともに、駆動箱８底面に設けられた通風孔１０Ｂにより、駆動箱８底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター７の領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【００７４】
（実施の形態８）
図１１に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、ひとつの側面の端部に通風孔１０Ａを設け、駆動箱８底面にも通風孔１０Ｂを設けたものである。
【００７５】
上記の構成において、通風孔１０Ａより流入した風は、駆動箱８の内部に設けられた制御部を冷却するとともに、駆動箱８底面に設けられた通風孔１０Ｂにより、駆動箱８底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター７の領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。さらに、通風孔１０Ａのない長手方向の側面により、吹き出された風は、互いに干渉することなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化することができる。
【００７６】
（実施の形態９）
図１２に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部９Ａ、９Ｂを設けたものである。
【００７７】
上記の構成において、小型ターボファン１より吹き出された風は、駆動箱８の長手方向の側面により互いに干渉することなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化するとともに、内折り曲げ部９Ａ、９Ｂにより、小型ターボファン１底面直下の空気の流れが行き届きにくいフィルター７領域に空気の流れを案内することができる。
【００７８】
（実施の形態１０）
図１３に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部９Ａ、９Ｂを設けたものであり、両側面の端部に通風孔１０Ａを設けたものである。
【００７９】
上記の構成において、小型ターボファン１より吹き出された風は通風孔１０Ａより流入し、駆動箱８の内部に設けられた制御部を冷却するとともに、通風孔１０Ａのない駆動箱８の長手方向の側面により、吹き出された風は、互いに干渉することなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化し、内折り曲げ部９Ａ、９Ｂにより、小型ターボファン１底面直下の空気の流れが行き届きにくいフィルター７領域に空気の流れを案内することができる。
【００８０】
（実施の形態１１）
図１４に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、送風方向を内側に規制する内折り曲げ部９Ａ、９Ｂを設けたものであり、両側面の端部と底面に通風孔１０Ａ、１０Ｂを設けたものである。
【００８１】
上記の構成において、小型ターボファン１より吹き出された風は通風孔１０Ａより流入し、駆動箱８の内部に設けられた制御部を冷却するとともに、駆動箱８底面に設けられた通風孔１０Ｂにより、駆動箱８底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター７の領域にも風の流れを案内することができるという作用を有する。また、通風孔１０Ａのない駆動箱８の長手方向の側面により、吹き出された風は、互いに干渉することなくチャンバー６内に均一に広がり、フィルター７に流入する風速を均一化し、内折り曲げ部９Ａ、９Ｂにより、ターボファン１底面直下の空気の流れが行き届きにくいフィルター７の領域に空気の流れを案内することができる。
【００８２】
（実施の形態１２）
図１６に示すように、ファンモータユニット５の間に配置された駆動箱８は、両側面を滑らかな局面形状としたものである。
【００８３】
上記の構成において、滑らかな曲面形状により駆動箱８底面で覆われているため空気の流れが行き届きにくいフィルター７の領域に効率よくも風の流れを案内することができるという作用を有する。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
本発明にかかるファンフィルターユニットは、チャンバー内にバランス用部品等を新たに設置することなく、フィルターから吹き出す空気の風速分布を均一化する効果を有し、また、制御部分の電子部品を風によって冷却することにより、長寿命化を図れるファンフィルターユニットとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の実施の形態１のファンフィルターユニットの下面透視図
【図２】同実施の形態１のファンフィルターユニットの断面図  （（ａ）図１のＡ−Ａ側面断面図、（ｂ）図１のＢ−Ｂ側面断面図）
【図３】同実施の形態２の下面透視図
【図４】同実施の形態３の下面透視図
【図５】同実施の形態４の下面透視図
【図６】同実施の形態５の下面透視図
【図７】同実施の形態５の下面透視図
【図８】同実施の形態６の下面透視図
【図９】同実施の形態６の下面透視図
【図１０】同実施の形態７の下面透視図
【図１１】同実施の形態８の下面透視図
【図１２】同実施の形態９の構成を示す図（（ａ）下面透視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図）
【図１３】同実施の形態１０の下面透視図
【図１４】同実施の形態１１の下面透視図
【図１５】同図１４のＡ−Ａ側面断面図
【図１６】同実施の形態１２の構成を示す図（（ａ）下面透視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図）
【図１７】従来のファンフィルターユニットの下面透視図
【符号の説明】
【００８６】
１      小型ターボファン
２      モータ
３      ファンモータ
４      支持具
５      ファンモータユニット
６      チャンバー
７      フィルター
８      駆動箱
９Ａ    内折り曲げ部
９Ｂ    内折り曲げ部
１０Ａ  通風孔
１０Ｂ  通風孔
【図１】
2007101119.tif 000003
【図２】
2007101119.tif 000004
【図３】
2007101119.tif 000005
【図４】
2007101119.tif 000006
【図５】
2007101119.tif 000007
【図６】
2007101119.tif 000008
【図７】
2007101119.tif 000009
【図８】
2007101119.tif 000010
【図９】
2007101119.tif 000011
【図１０】
2007101119.tif 000012
【図１１】
2007101119.tif 000013
【図１２】
2007101119.tif 000014
【図１３】
2007101119.tif 000015
【図１４】
2007101119.tif 000016
【図１５】
2007101119.tif 000017
【図１６】
2007101119.tif 000018
【図１７】
2007101119.tif 000019