(57)【要約】【課題】帯電防止層と離型層とを別々に設けることなく離型用フィルムの剥離帯電および摩擦帯電を抑制でき、しかも高性能化されたセラミックコンデンサーを成型するためのキャリアーシートとして使用しても剥離性に優れた離型用フィルムを提供すること。【解決手段】一方の面（Ａ）の表面中心線平均粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以上２０ｎｍ以下で、高さが１μｍ以上の突起数が１個／ｍ２以下であり、かつ、フィルム表裏間の摩擦係数が０．５以下であるポリエステルフィルムの面（Ａ）に、離型層表面の表面固有抵抗値が１×１０４Ω／□以上、１×１０１３Ω／□未満となるように導電性物質を含有させた離型層を設ける。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の面（Ａ）の表面中心線平均粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以上２０ｎｍ以下で、高さが１μｍ以上の突起数が１個／ｍ２以下であり、かつ、フィルム表裏間の摩擦係数が０．５以下であるポリエステルフィルムを基材フィルムとし、その面（Ａ）に離型層表面の表面固有抵抗値が１×１０４Ω／□以上、１×１０１３Ω／□未満である、導電性物質を含有する離型層が設けられていることを特徴とする離型用フィルム。
【請求項２】
導電性物質がカーボンナノチューブまたはカーボンナノファイバーである請求項１に記載の離型用フィルム。
【請求項３】
離型層が、白金触媒を用いて架橋反応させた熱硬化シリコーン層である請求項１または２に記載の離型用フィルム。
【請求項４】
離型層中に、アミン化合物、リン化合物、イオウ化合物、鉛化合物およびイオン性化合物を含有しない請求項３記載の離型用フィルム。
【請求項５】
離型層が、シランカップリング剤から形成されたアンカー層を介してポリエステルフィルム表面に積層されている請求項１〜４のいずれか１項に記載の離型用フィルム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、剥離帯電および摩擦帯電が抑制された離型用フィルムに関するものである。さらに詳しくは、帯電防止性と離型性とを兼備する離型層を有し、高性能化されたセラミックコンデンサー、すなわち、グリーンシートを成型するときのキャリアーシートとして使用するのに好適な離型用フィルムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、離型用フィルムとして、シリコーン樹脂を塗布したポリエステルフィルムが、コスト、強度、弾性率、耐薬品性などの優れた性質を持つことから、例えば樹脂シートの成形用、粘着剤離型用、医療用、電気・電子部品製造用の用途に使用されている。
【０００３】
離型用フィルムは、通常、ポリエステルフィルムに離型性のある樹脂の層、例えばシリコーン樹脂の層を設けることにより製造される。ここで用いられるポリエステルフィルム中には、加工適性、例えば滑り性、巻き特性などを改善するために通常粒子が配合されている。一般に、粒子を添加すれば、フィルムのハンドリング性が改善される反面、フィルムの表面が粗くなる。これを避けて、平坦な表面性を作るために粒子の配合をやめると、得られるフィルムは滑り性やエアー抜け性が極端に悪くなり、加工中にシワが入ったり、ロール状に巻けないものとなる。
【０００４】
従来、離型用フィルムから成形される成形体または成形シートは、その表面特性への要求があまり厳しいものではなく、ある程度の粗面状態であっても品質上問題となることがなかった。しかしながら、近年では、成形シートの表面特性への要求は非常に厳しくなってきた。例えば、塩化ビニル樹脂やウレタン樹脂のシートでは、これらの樹脂の溶液を離型用フィルム上に流延して成形されるが、特にその成形面に高い光沢性が要求される。また、粘着テープ用の離型用フィルムでは、離型用フィルム表面の凹凸が粘着テープの粘着剤層の表面に形状転写されるため、例えばガラス面に粘着テープを貼るときに形状転写した凹部に空気が入り、きれいな外観を得ることができなくなる。そのため、表面の平坦性が要求される。
【０００５】
さらに、電子部品の工程材料に用いられる離型用フィルムでは、特に表面平坦性への要求が高くなっている。例えば、セラミックスコンデンサーの小型化かつ高容量化といった高性能化のため、セラミックコンデンサーを製造する際に用いる工程材料のグリーンシートの薄膜化が進められている。セラミックコンデンサーの薄層シートを作成する場合、離型用フィルムの上に、セラミック粉体とバインダー剤を液状媒体に分散させたセラミックススラリを塗布し、３μｍ以下あるいは２μｍ以下の非常に薄いグリーンシートを作成する。グリーンシートが薄層化すればするほど、グリーンシートの基材となる離型用フィルムの表面凹凸が、グリーシートの不良率増加や品質特性を大きく左右することになる。また、グリーンシートが薄くなるにしたがい、離型用フィルムのさらなる軽剥離性が必要となってきている。
【０００６】
一方シリコーン樹脂塗膜は、そのシリコーン主鎖結合ならびに側鎖構造から分かるように電荷の漏洩がなく、非常に帯電しやすい欠点がある。そのため、例えば離型用フィルム表面が帯電した場合、離型層表面に塗工される樹脂に塗布斑が発生しやすくなり、また、離型用フィルムの剥離放電により剥離特性が悪化することもある。特に上述の用にフィルム表面は平坦化傾向にあるため、剥離や摩擦の帯電が問題となってきている。
【０００７】
このような帯電の問題に対して、従来の離型層中に帯電防止剤を含有させる方法では、満足できる帯電防止性を得ようとすると、特に白金触媒を用いた付加反応型のシリコーン樹脂の場合には硬化が不十分となるため、フィルム上に帯電防止層と離型層を別々に形成して帯電防止性と離型性とを発現させていた。しかしながら、このような構成は加工工程が増加するためコストアップとなり、市場では十分な競争力があるものではなかった。
【０００８】
【特許文献１】特開２００２−７９５７５号公報
【特許文献２】特開平１０−１６１６３号公報
【特許文献３】特開２００４−１４２１７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明は、上記従来の離型用フィルムの有する問題点を解決するためになされたもので、その目的とするところは、帯電防止層と離型層とを別々に設けることなく離型用フィルムの剥離帯電および摩擦帯電を抑制し、しかも高性能化されたセラミックコンデンサーを成型するときのキャリアーシートとして使用しても剥離性に優れた離型用フィルムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者の研究によれば、上記課題は「一方の面（Ａ）の表面中心線平均粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以上２０ｎｍ以下で、高さが１μｍ以上の突起数が１個／ｍ２以下であり、かつ、フィルム表裏間の摩擦係数が０．５以下であるポリエステルフィルムを基材フィルムとし、その面（Ａ）に離型層表面の表面固有抵抗値が１×１０４Ω／□以上、１×１０１３Ω／□未満である、導電性物質を含有する離型層が設けられていることを特徴とする離型用フィルム。」により達成できることが見出された。
【発明の効果】
【００１１】
本発明の離型用フィルムは、用いられるポリエステルフィルムの離型層塗布面の粗大突起数が規定されているので、薄いセラミックシートの成型に用いても良好な剥離性を有している。しかも、離型層は導電性物質を有しているので、優れた帯電防止性および長期間安定した離型性能を有しており、安定した剥離力を維持できるともに剥離帯電や摩擦帯電による種々のトラブルも抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の構成について詳細に説明する。
［ポリエステルフィルム］
先ず、本発明で用いられるポリエステルフィルムを構成するポリエステルは、芳香族ジカルボン酸を主たる酸成分とし、脂肪族グリコールを主たるグリコール成分とするポリエステルを主たる対象とする。このポリエステルは実質的に線状であり、フィルム形成性で、特に溶融成形によるフィルム形成性を有するものであればよく、芳香族ジカルボン酸としては、例えばテレフタル酸、２，６−ナフタレンジカルボン酸、イソフタル酸、ジフェノキシエタンジカルボン酸、ジフェニルジカルボン酸、ジフェニルエーテルジカルボン酸、ジフェニルスルホンジカルボン酸、ジフェニルケトンジカルボン酸、アンスラセンジカルボン酸等を挙げることができ、脂肪族グリコールとしては、例えばエチレングリコール、ジエチレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ペンタメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、デカメチレングリコール等の如き炭素数２〜１０のポリメチレングリコールあるいは１，４−シクロヘキサンジメタノールの如き脂環族ジオール等を挙げることができる。
【００１３】
これらのポリエステルの中、ポリアルキレンテレフタレート、ポリアルキレン−２，６−ナフタレート、特にポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン−２，６−ナフタレートが好ましく、これらには全酸成分を基準として２０モル%以下の共重合成分を含有していても構わない。例えば全ジカルボン酸成分の８０モル％以上がテレフタル酸および／または２，６−ナフタレンジカルボン酸であり、全グリコール成分の８０モル％以上がエチレングリコールである共重合体であっても構わない。その際全酸成分の２０モル％以下はテレフタル酸および／または２，６−ナフタレンジカルボン酸以外の上記芳香族ジカルボン酸であることができ、また例えばアジピン酸、セバチン酸等の如き脂肪族ジカルボン酸；シクロヘキサン−１，４−ジカルボン酸の如き脂環族ジカルボン酸等であることができる。また全グリコール成分の２０モル％以下はエチレングリコール以外の上記グリコールであることができ、また例えばハイドロキノン、レゾルシン、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパン等の如き芳香族ジオール；１，４−ビス（ヒドロキシメチル）ベンゼンの如き芳香環を有する脂肪族ジオール；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリテトラメチレングリコール等の如きポリアルキレングリコール（ポリオキシアルキレングリコール）等であることもできる。
【００１４】
また、例えばヒドロキシ安息香酸の如き芳香族オキシ酸、ω−ヒドロキシカプロン酸の如き脂肪族オキシ酸等のオキシカルボン酸に由来する成分を、ジカルボン酸成分およびオキシカルボン酸成分の総量に対し２０モル％以下で共重合しても構わない。
【００１５】
さらに、上記ポリエステルには、実質的に線状である範囲の量、例えば全酸成分に対し２モル％以下の量で、３官能以上のポリカルボン酸またはポリヒドロキシ化合物、例えばトリメリット酸、ペンタエリスリトール等を共重合したものも包含される。
【００１６】
上記ポリエステルは、それ自体公知であり、かつそれ自体公知の方法で製造することができる。ポリエステルとしては、ｏ−クロロフェノール中の溶液として３５℃で測定して求めた固有粘度が０．４〜０．９のものが好ましく、０．５〜０．７のものがさらに好ましく、０．５５〜０．６５のものが特に好ましい。
【００１７】
上記ポリエステルからなるフィルムには、フィルムの滑り性を良好なものとするため、不活性微粒子を含有させることができる。含有させる不活性微粒子は、その平均粒径が１μｍ未満、特に０．０１μｍ以上１μｍ未満の範囲にあることが好ましい。また配合割合は、０．００５〜２重量％、好ましくは０．０５〜０．５重量％の範囲が適当である。
【００１８】
この不活性微粒子は有機粒子、無機粒子のいずれであってもよく、有機粒子と無機粒子の混合粒子でもよい。不活性微粒子は、２成分以上で形成されてもよい。各成分の不活性微粒子の長径と短径の比（長径／短径）が１．０〜１．２であることが好ましい。これらの不活性微粒子を配合することにより、フイルム表面に非常に微細な凹凸を形成することができる。かかる不活性微粒子の具体例としては、炭酸カルシウム，カオリン，酸化ケイ素，硫酸バリウム，酸化チタン，酸化アルミナ等の無機粒子；架橋ポリスチレン樹脂粒子，架橋シリコーン樹脂粒子，架橋アクリル樹脂粒子，架橋ポリスチレン樹脂粒子等の有機樹脂粒子を挙げることができ、無機素材と有機素材がシェルコア構造の形態をとる粒子でもよい。さらに、ポリエステルの合成反応に使用した触媒残査から微粒子を析出させることにより、フィルム表面に微細な凹凸を形成させ、フィルムの滑り性を良好なものとしてもよい。
【００１９】
本発明においては、これらの微粒子は、ポリエステルへ添加する前に、精製プロセスを用いて、粒径調整、粗大粒子除去を行うことが好ましい。精製プロセスの工業的手段としては、例えば乾式もしくは湿式遠心分離法や風力分級法等が挙げられる。なお、これらの手段は２種類以上を併用し、段階的に精製することが特に好ましい。
【００２０】
本発明で用いられる上記ポリエステルからなるフィルムは、その一方の面（Ａ）の表面中心線平均粗さ（Ｒａ）が１ｎｍ以上２０ｎｍ未満、好ましくは５ｎｍ以上１８ｎｍ未満であることが必要である。Ｒａが２０ｎｍ以上である場合には、得られた離型用シートを薄層成型用のキャリヤーシートとして用いるにはその表面の平滑性が不十分となり、一方、Ｒａが１ｎｍ未満の場合には、フィルムの加工適正が悪くなる。
【００２１】
また、本発明で用いられるポリエステルフィルムは、その一方の面（Ａ）に高さが１μｍ以上の突起が１個／ｍ２未満であることが必要である。この要件を満たさない場合には、該面に例えばシリコーン樹脂を塗布して離型層を形成する際のシリコーン樹脂塗布抜けの原因となり、グリーンシート成形時に成形不良を引起すので好ましくない。特に高さが０．５μｍ以上の突起が１ｍ２あたり１個以下であることが好ましく、高さが０．２５μｍ以上の突起が１ｍ２あたり１個以下であることがさらに好ましい。
【００２２】
さらに本発明で用いられるポリエステルフイルムは、そのフィルム表裏間の摩擦係数が０．５以下、好ましくは０．４以下であることが必要である。摩擦係数が０．５を越える場合には、シリコーン樹脂などの離型層塗布の搬送工程や後の加工工程でのハンドリング性が悪くなり、搬送系でシワが発生したり、ロール状に巻いた製品にシワや突状の形状が転写するので好ましくない。なお、摩擦係数があまりに小さくなりすぎるとロール状にまいたフィルムロールの形状を保持することが難しくなり、取扱い性が低下しやすいので、０．０７以上であることが好ましい。
【００２３】
なお、上記のポリエステルフイルムは、単層フィルムであっても、積層フィルムであってもよい。積層フィルムである場合には、少なくとも２つの層からなることができ、共押出しにて製造されたものが好ましい。この場合、各層を構成するポリエステルは同じものであっても異なったものであってもよいが、同じものが好ましい。
【００２４】
積層フィルムである場合には、フィルムを構成するポリエステルの種類をＡ、Ｂ、Ｃと表わせば、例えばＡ／Ｂ、Ａ／Ｂ／Ａ、Ａ／Ｂ／Ｃの積層構造をとることができる。なお、積層が多くなりすぎると経済的には好ましくないので、３層以下とするのが望ましい。
【００２５】
ポリエステルフイルムの総厚みは、単層フィルムであっても、積層フィルムであっても、１０〜１００μｍの範囲が好ましく、特に１５〜５０μｍの範囲が好ましい。
【００２６】
本発明のフイルムは、従来知られている方法、あるいは当業界に蓄積されている方法に準じて製造することができる。ただし、フィルム中の粗大粒子カットのため、および、平滑な表面を形成するためには、特に溶融濾過に注意しなければならない。所定の粒子を添加したポリエステルを押出機で溶融押出し、溶融状態のポリエステルに含まれる不純物を濾過して除去する必要がある。本発明においては、上述のフィルムを得るために、絶対濾過精度１〜２０μｍのフィルターを用いることが好ましい。濾過寿命や、粗大突起の発生を抑止するためには、絶対濾過精度３〜１０μｍのフィルターを用いることがさらに好ましい。
【００２７】
本発明にかかるポリエステルフイルムを得るためには、例えば、融点（Ｔｍ：℃）ないし（Ｔｍ＋７０）℃の温度でポリエステルを溶融・濾過・押出し（場合により共押出し）して固有粘度０．４〜０．８ｄｌ／ｇの未延伸フイルム（場合により積層未延伸フィルム）を得る。次いで未延伸フイルムを一軸方向（縦方向または横方向）に（Ｔｇ−１０）〜（Ｔｇ＋７０）℃の温度（ただし、Ｔｇ：ポリエステルのガラス転移温度）で２．５倍以上、好ましくは３倍以上の倍率で延伸し、次いで上記延伸方向と直角方向にＴｇ〜（Ｔｇ＋７０）℃の温度で２．５倍以上、好ましくは３倍以上の倍率で延伸する。さらに必要に応じて縦方向および／または横方向に再度延伸してもよい。このようにして全延伸倍率は、面積延伸倍率として９倍以上が好ましく、１２〜３５倍がさらに好ましく、１５〜２５倍が特に好ましい。さらにまた、二軸配向フイルムは、（Ｔｇ＋７０）℃〜（Ｔｍ−１０）℃の温度（ただし、Ｔｍ：ポリエステルの融点）で熱固定することができ、例えば、１８０〜２５０℃が好ましい。熱固定時間は１〜６０秒が好ましい。
【００２８】
上記のポリエステルフィルには、前記の微粒子以外に着色剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、潤滑剤、触媒などや、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン／プロピレン共重合体、オレフィン系アイオノマーのような他の樹脂などを、本発明の目的を損なわない範囲で任意に含有させることができる。
【００２９】
［離型層］
本発明の離型用フィルムは、上記のポリエステルフィルムの前記表面粗さおよび突起数を満足する表面（Ａ）に、導電性物質を含有する離型層が設けられたものである必要がある。ここでいう離型層は、硬化型シリコーン樹脂により形成されたシリコーン離型層を対象とし、該硬化型シリコーン樹脂としては、一般に離型剤として知られたものを用いることができ、例えば「シリコーン材料ハンドブック」（東レダウコーニング編、１９９３．８）等に記載の公知なものの中から選んで使用することができる。例えば、信越シリコーン（株）製ＫＳ−８４７（Ｈ）、ＫＳ−７７８、東芝シリコーン（株）製ＴＰＲ−６７００等を挙げることができる。これらの硬化方式としては熱または放射線硬化型が一般的である。例えば、分子鎖両末端あるいは両末端および側鎖にビニル基を有するメチルビニルポリシロキサンと、メチルハイドロジェンポリシロキサンとを白金系触媒の存在下で反応させる熱硬化反応を例示することができる。
【００３０】
すなわち、例えば下記式（Ａ）で表わされるビニル基を有するポリジメチルシロキサン、下記式（Ｂ）で表わされるメチルハイドロジェンポリシロキサンおよびＰｔ系化合物を含む塗液をフィルムに塗布し、加熱して乾燥および硬化反応させることにより形成することができる。この加熱の条件は、例えば温度８０〜１６０℃下で１０〜１２０秒間、特に温度１００〜１５０℃下で１５〜６０秒間とすることが、乾燥および硬化反応を十分なものとするために好ましい。
【００３１】
【化１】
2007237497.tif 000002
【００３２】
上記式（Ａ）中、ｍおよびｎは１以上の数であるが、ｍが１〜１００、ｎが２０〜５０００、ｍ＋ｎが３０〜５０００の範囲であると架橋反応が好適に進み、耐久性のある層となるため好ましい。
【００３３】
また、上記式（Ｂ）中、ａおよびｂは１以上の数であるが、ａが３〜２００、ｂが１〜２０、５≦ａ＋ｂ≦２００の範囲であると、架橋反応が好適に進み、耐久性のある層となるので好ましい。
【００３４】
なお、上記式（Ａ）および（Ｂ）における繰返し単位数ｍ、ｎ、ａ、ｂはブロック結合を意味しているのではなく、これらは単にそれぞれの単位の和がｍ、ｎあるいはａ、ｂであることを示しているにすぎないと解すべきである。したがって、上記式（Ａ）および（Ｂ）における各単位はランダム結合していても、またブロック結合していてもよい。
【００３５】
また上記の硬化型シリコーン樹脂は、下記式で表わされるシラン化合物を添加されていることが好ましい。
（Ｒ１）３−Ｓｉ−Ｒ３
（Ｒ１−Ｏ）３−Ｓｉ−Ｒ３
（Ｒ１−０−Ｒ２）３−Ｓｉ−Ｒ３
（ただし、Ｒ１およびＲ２はそれぞれ炭素数１〜５の鎖状アルキル基、Ｒ３はビニル基またはフェニル基である。）
かかるシラン化合物の添加量としては、シリコーン樹脂量１００重量部に対し１〜５重量部の範囲が好ましい。
【００３６】
本発明の離型用フィルムは、上記のシリコーン離型層中に導電性物質が含有され、その離型層表面の表面抵抗値が１×１０４Ω／□以上、１×１０１３Ω／□未満、好ましくは１×１０８Ω／□以上、１×１０１２Ω／□以下である必要がある。表面抵抗値が１×１０１３Ω／□以上の場合には帯電防止効果が不十分となり本発明の目的を達成することができない。一方、１×１０４Ω／□未満の場合には、導電性物質の含有量を増大させる必要があり、離型用フィルムの透明性が不十分となるので好ましくない。
【００３７】
さらに本発明の離型用フィルムは、初期残留接着率が８０％以上、特に８５％以上であり、かつ、温度６０℃湿度９０％下で３ヶ月保持した後の経時残留接着率が８０％以上、特に８５％以上であることが好ましい。初期残留接着率および温度６０℃湿度９０％下で３ヶ月保持した後の経時残留接着率が８０％未満の場合には、例えば粘着剤保護の離型用フィルムとして、あるいは樹脂皮膜やセラミックシートの成型用キャリヤーシートとして用いると離型層の一部が、粘着剤表面に転移したり、樹脂皮膜やセラミックシートの表面に転移しやすくなる。
【００３８】
従来、シリコーン離型層に帯電防止機能を付与するためには帯電防止剤を添加することが検討されていた。しかしながら、カチオンまたはアニオン界面活性剤タイプの帯電防止剤にはイオン成分が存在し、このイオン成分がシリコーン樹脂の前記架橋反応で使用される白金触媒の触媒毒となるためシリコーン樹脂の硬化反応が不十分となり、前記残留接着率が不十分なものとなっていた。したがって、本発明では、シリコーン樹脂の硬化反応を阻害しない導電性物質を用いること、すなわち、硬化反応阻害を及ぼすアミン、リン、イオウ、鉛、イオン性物質等を含有しない導電性物質を用いるとともに、離型層中にはこれらの触媒毒が存在しないことが望ましい。
【００３９】
好ましく用いられる導電性物質としては、フラーレン、単層カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン、多層カーボンナノチューブ、カーボンナノファイバーなどのカーボンナノ材料を例示することができ、これらはアーク放電法、レーザー蒸発法、ＣＶＤ、気相合成法などにより製造される。なかでも、比較的絡み易いので接触部分を増やすことができ、優れた導電性能が得やすいためにカーボンナノチューブまたはカーボンナノファイバー、例えば直径が１０〜１００ｎｍ、好ましくは１５〜５０ｎｍ、さらに好ましくは２０〜３０ｎｍで、長さが１００〜１０００ｎｍ、好ましくは３００〜８００ｎｍである構造のものが好ましい。かかる導電性物質を用いることにより、剥離帯電および摩擦帯電を抑制できる帯電防止機能を有し、かつ剥離性や塗膜耐久性にも優れた離型用フィルムを得ることができる。
【００４０】
なお、上記カーボンナノ材料の含有量は、シリコーン樹脂成分１００重量部あたり０．２〜５０重量部の範囲、特に０．８〜３０重量部の範囲が適当である。この含有量が０．２重量部未満の場合には表面抵抗値が１０１３Ω／□を超えるようになりやすく、逆に５０重量部を超える場合には離型用フィルムの透過率が５０％未満となって透明性が低下しやすい。
【００４１】
なお、シリコーン離型層を設けるための塗液の塗布方法としては、公知の任意の塗工方法を採用することができる。例えばロールコーター法、ブレードコーター法等を挙げることができ、また両面塗布においては、同時あるいは片面ずつの塗工であってもよく、これらの方法に限定されるものではない。また、塗液は有機溶剤を用いた塗液であっても、水性塗液であってもよいが、ポリジメチルシロキサンやハイドロジェンポリシロキサン系化合物を溶解した溶液であることが好ましく、例えばトルエン等の有機溶剤を用いた塗液であることが好ましい。
【００４２】
離型層の厚みは、３０ｎｍ以上３００ｎｍ以下、特に５０ｎｍ以上２００ｎｍ以下であることが好ましい。離型層厚みが３０ｎｍ未満である場合には剥離特性が安定化せず、剥離が重くなる場合があり、逆に３００ｎｍを越える場合にはブロッキングを起こしやすくなる傾向がある。
【００４３】
本発明の離型層中には、微細な不活性粒子を含有させてもよい。微細な不活性粒子は、平坦な離型層面に多く微細凹凸を付与するが、非常に微細なためその形状は成型シートへ転写しても不具合を生じるレベルではなく、離型層の背面への転写（ブロッキング）や工程適正が改善されるので好ましい。このような要件を満たすためには、不活性粒子の平均粒径は３〜８０ｎｍの範囲であることが好ましく、特に３〜５０ｎｍの範囲であることが好ましい。
【００４４】
この不活性粒子は有機粒子、無機粒子のいずれも用いることができ、有機粒子と無機粒子の混合粒子でもよい。かかる不活性粒子の具体例としては、炭酸カルシウム，カオリン，酸化ケイ素，硫酸バリウム，酸化チタン，酸化アルミナ、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム等の無機粒子；架橋ポリスチレン樹脂粒子，架橋シリコーン樹脂粒子，架橋アクリル樹脂粒子，架橋ポリスチレン樹脂粒子等の有機樹脂粒子を挙げることができ、無機素材と有機素材がシェルコア構造の形態をとる粒子でもよい。特に微細粒子の場合は無機粒子が好ましく、不活性粒子の長径と短径の比（長径／短径）が１．０〜１．２であることが好ましい。これらの不活性粒子を配合することにより、離型層表面に非常に微細な凹凸を形成することができる。
【００４５】
不活性粒子の添加量は、離型層の重量に対して、好ましくは０．０５〜２５重量％、さらに好ましくは０．１〜５％の範囲である。添加量が０．０５重量％未満である場合には、滑り性が低下したり離型層のブロッキングが起こり、離型層の剥離特性が安定しなくなる。一方２５重量％を超える場合には、透明性が落ちるだけでなく、凝集が起こりやすくなあて粗大凝集物が発生するようになる。
【００４６】
なお離型層には、本発明の目的を妨げない範囲で公知の各種添加剤を配合することができる。この添加剤としては、例えば紫外線吸収剤、顔料、消泡剤、滑剤（タルク、クレー、アルミナ等）等を挙げることができる。また、離型層とは別に、このような添加剤と樹脂とを組み合わせて別の塗膜層を塗設してもよい。
【００４７】
［アンカーコート層］
本発明の離型用フィルムにおいては、ポリエステルフィルムと離型層との間の接着性を向上させるため、ポリエステルフィルムとシリコーン離型層との間にアンカーコート層を設けてもよい。アンカーコート層を設けることにより、シリコーン離型層のシリコーン転写を抑制することができる。
【００４８】
かかるアンカーコート層としては、シランカップリング剤を好ましく用いることができる。シランカップリング剤としては、一般式Ｙ−Ｓｉ−Ｘ３で示されるものを挙げることができる。ここで、Ｙはアミノ基、エポキシ基、ビニル基、メタクリル基またはメルカプト基等で代表される官能基を有する有機基で、Ｘはアルコキシ基で代表される加水分解性の官能基を示す。アンカーコート層の厚みは、０．００５〜０．２μｍ、特に０．０１〜０．１μｍの範囲が適当である。
【００４９】
かかるアンカーコート層を形成するにあたっては、ポリエステルフィルムを二軸延伸する製膜工程中の二軸延伸する前の段階でフィルム面に塗布し、ついで乾燥・熱処理と同時に二軸延伸を完了させるのが好ましい。
【実施例】
【００５０】
以下、実施例をあげて本発明をさらに具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。なお、実施例中の「部」は「重量部」を意味する。また、本発明における物性値および特性値は、下記の方法にて測定した。
【００５１】
（１）粗大突起
突起の高さは、ポリエステルフィルムの上下に偏光フィルムを設け、クロスニコル法にてポリエステルフィルムを目視観察する。輝点となる異物箇所をサンプリングし、ＷＹＫＯ  ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ  ＮＴ−２０００の非接触式表面粗さ計を用いて高さを測定する。測定条件は以下のとおりである。高さが１μｍ以上の突起を粗大突起として、１ｍ２あたりの粗大突起の数を数える。
測定エリア：４６２μｍ×６０７μｍ
測定倍率：  １０倍
【００５２】
（２）表面中心線平均粗さ（表面粗さ）
ＪＩＳＢ０６０１に準拠し、小坂研究所製触針式三次元表面粗さ計にて、表面粗さを測定する。測定条件は次のとおりである。
触針先端径：  ２μ
荷重：        １０ｍｇ
カットオフ値：０．２５
【００５３】
（３）摩擦係数
ＡＳＴＭ  Ｄ１８９４に準拠し、ポリエステルフィルムの表裏を重ね合わせたときの摩擦係数を測定する。
【００５４】
（４）剥離強度（剥離力）
ポリエステルフィルムの離形層面に、ポリエステル粘着テープ（ニットー３１Ｂ）を貼合わせ、５ｋｇの圧着ローラーで圧着し２０時間放置後、離形層と粘着テープとの剥離力を引張り試験機にて測定する。
【００５５】
（５）加工適性
加工適正は、離型用フィルム加工工程におけるフィルムのハンドリング性として、搬送ロール上でのシワやフィルム巻き取り時のシワ、ズレを目視観察し、定性的判定を行なう。
○：非常に良好
△：フィルム巻き取り時にシワが入る
×：搬送時のシワ、巻き取り時のシワ、ズレが起こる
【００５６】
（６）表面抵抗値
株式会社アドバンテスト社製（Ｒ８３４０／Ｒ１２７０４）測定器にて表面抵抗値を測定した。測定環境は、温度２３℃、湿度５５％の雰囲気下に２４時間エージングした試料フィルムを上記装置にて測定した。表面抵抗値は下記の基準で評価した。
×：１０１３Ω／□以上
○：１０４Ω／□以上、１０１３Ω／□未満
【００５７】
（７）セラミックシート成型性
下記組成のセラミック粉体分散スラリーを調整する。
(a)セラミックスラリー粉体（チタン酸バリウム）：７重量部
(b)ポリビニルブチラール：３重量部
(c)ジブチルフタレート：１重量部
(d)トルエン／エタノール：２０重量部／２０重量部
セラミック粉体分散スラリーの調整はボールミルにて、ヘッグマングラインドゲージで７以上の分散状態となるようにして行なう。次いで、このセラミック粉体分散スラリーを１ｍｉｌの間隙を有するストレートエッジアプリケーターを用いて離型用フィルム面に塗工し、１１０℃にて２分間乾燥後する。次いで、離型用フィルムとセラミックシートを０．５ｍ／秒の速度で剥離し、セラミックシートの破れを観察する。
○：剥離時、セラミックシートが破れない。
×：剥離時、セラミックシートが破れる。
【００５８】
［実施例１］
滑剤の不活性微粒子として酸化ケイ素粒子（平均粒子径０．３μｍ）を０．１５重量％含有する、固有粘度が０．６２（ｏ−クロロフェノール溶媒、３５℃測定）のポリエチレンテレフタレートペレットを１７０℃で３時間乾燥後、溶融温度２８０〜３００℃で溶融し、濾過精度が３μｍのフィルターで濾過し、押出ダイを用いて、表面仕上げ０．３ｓ、表面温度２０℃の回転冷却ドラム上に押出し、厚み５４０μｍの未延伸フィルムを得た。
【００５９】
得られた未延伸フィルムを７５℃に予熱し、次いで低速、高速のロール間で１５ｍｍ上方より９００℃の表面温度のＩＲヒーターにて加熱して縦方向に３．６倍に延伸し、急冷し、続いて横延伸機に供給し、温度１０５℃にて横方向に３．９倍に延伸した。得られた二軸配向フィルムを２０５℃の温度で５秒間熱固定し、厚み３８μｍの熱固定二軸配向ポリエステルフィルムを得た。なお、上記製膜工程において、縦延伸が終了した一軸延伸フィルムが横延伸に入る直前の位置で、ポリエステルフィルムの片面に、離型層のアンカーコート層として、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシランの３重量％水溶液（界面活性剤を含有）を５ｇ／ｍ２（ｗｅｔ）の量塗布し乾燥した。
【００６０】
アンカーコート層が塗布された方のポリエステルフィルム表面に、ビニル基を有するメチルビニルポリシロキサンとメチルハイドロジェンポリシロキサンの混合溶液に白金触媒（シリコーン樹脂１００重量部に対し３重量部）を加えて付加反応させるタイプの硬化型シリコーン樹脂（信越化学社製ＫＳ７７８）を、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトンおよびトルエンの混合溶剤中に溶解させたシリコーン樹脂塗液を塗布し、温度１４０℃で６０秒間乾燥して離型層厚みが０．１μｍの離型用フィルムを得た。なお、該塗液には、導電性物質として、気相触媒合成法によって得られたカーボンナノファイバー（以下ＣＮＦという。平均直径２０ｎｍ、長さ０．１〜１０μｍ）をシリコン樹脂１００重量部に対して２０重量部の割合で添加した。
得られた離型用フィルムの評価結果を表１に示す。
【００６１】
［実施例２］
滑剤の不活性微粒子として酸化ケイ素粒子（平均粒子径０．０９μｍ）を０．２５重量％含有する、固有粘度が０．６２（ｏ−クロロフェノール溶媒、３５℃測定）のポリエチレンテレフタレートペレットＡを得た。また、滑剤の不活性微粒子として平均粒子径０．６μｍの酸化ケイ素粒子を０．０６重量％と平均粒子径０．３μｍの酸化ケイ素粒子を０．４重量％含有する、固有粘度が０．６２（ｏ−クロロフェノール溶媒、３５℃測定）のポリエチレンテレフタレートペレットＢを得た。得られたポリエチレンテレフタレートペレットＡおよびポリエチレンテレフタレートペレットＢを、それぞれ１７０℃で３時間乾燥後、２台の押出機ホッパーに供給して溶融温度２８０〜３００℃で溶融し、濾過精度が３μｍのフィルターで濾過し、２層押出ダイを用いて、表面仕上げ０．３ｓ、表面温度２０℃の回転冷却ドラム上に押出し、厚み５４０μｍの未延伸フィルムを得た。ＡとＢの厚みの比率はＡ／Ｂ＝１／９である。
【００６２】
このようにして得られた未延伸積層フィルムを用い、実施例１と同様の方法でポリエチレンテレフタレートＡ側にアンカーコート層を設けた二軸延伸積層フィルムおよび離型用フィルムを作成した。この離型用フィルムの特性を表１に示す。
【００６３】
［実施例３］
実施例２において、ポリエチレンテレフタレートＢに代えて、滑剤の不活性粒子として平均粒子径１．２μｍの酸化ケイ素粒子を０．０１重量％と平均粒子径０．６μｍの炭酸カルシウム粒子を０．２重量％含有する、固有粘度が０．６２（ｏ−クロロフェノール溶媒、３５℃測定）のポリエチレンテレフタレートＣを用いる以外は、実施例２と同様の方法にて未延伸積層フィルム、二軸延伸積層フィルムおよび離型用フィルムを作成した。この離型用フィルムの特性を表１に示す。
【００６４】
［比較例１］
実施例１において、滑剤を使用しない以外は実施例１と同様の方法にて未延伸フィルム、二軸延伸フィルムおよび離型用フィルムを作成した。この離型用フィルムの特性を表１に示す。
【００６５】
［比較例２］
実施例１において、滑剤の不活性粒子として平均粒子径１μｍのカオリナイトを０．１重量％含有させる以外は実施例１と同様の方法にて未延伸フィルム、二軸延伸フィルムおよび離型用フィルムを作成した。この離型用フィルムの特性を表１に示す。
【００６６】
［比較例３］
実施例１において、離型層にカーボンナノファイバーを添加しない以外は実施例１と同様にして離型用フィルムを作成した。この離型用フィルムの特性を表１に示す。
【００６７】
【表１】
2007237497.tif 000003
【産業上の利用可能性】
【００６８】
以上に説明した本発明の離型用フィルムは、表面中心線平均粗さおよび粗大突起数が特定された側のフィルム表面に、導電性物質を含有する離型層が設けられているので、剥離帯電および摩擦帯電が抑制されていると共に、例えば高性能化されたセラミックコンデンサーを成型するためのキャリアーシートとして使用する際の剥離性も良好で、優れた品質の成型品を生産性よく製造することができる。