(57)【要約】【課題】第一積層フォトスペーサーと、高さが低い第二積層フォトスペーサーが形成された廉価な液晶表示装置用カラーフィルタ、及び廉価な製造方法を提供する。【解決手段】第一積層フォトスペーサーＰｓ−１と第二積層フォトスペーサーＰｓ−２は同時に形成され、第二積層フォトスペーサーの中間層の数が、第一積層フォトスペーサーの中間層Ｐ１〜Ｐ３の数より少ないこと。第一積層フォトスペーサーと第二積層フォトスペーサーを同時に形成し、第二積層フォトスペーサーの中間層の数を、第一積層フォトスペーサーの中間層の数より少なく形成すること。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも配向制御突起及び積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーは第一積層フォトスペーサーと、該第一積層フォトスペーサーと同時に形成された第二積層フォトスペーサーからなり、該第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数が、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少ないことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタ。
【請求項２】
少なくとも配向制御突起と、第一積層フォトスペーサーと、該第一積層フォトスペーサーより高さの低い第二積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、該第一積層フォトスペーサーと該第二積層フォトスペーサーを同時に形成し、該第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数を、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少なく形成することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用カラーフィルタに関するものであり、特に、積層フォトスペーサーを有するカラーフィルタにおいて、２種の積層フォトスペーサーが設けられていても、廉価な液晶表示装置用カラーフィルタに関する。
【背景技術】
【０００２】
図４は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。また、図５は、図４に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
図４、及び図５に示すように、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ（４）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成されたものである。
図４、及び図５はカラーフィルタを模式的に示したもので、着色画素（４２）は１２個表されているが、実際のカラーフィルタにおいては、例えば、対角１７インチの画面に数百μｍ程度の着色画素が多数個配列されている。
【０００３】
液晶表示装置の多くに用いられている、上記構造のカラーフィルタの製造方法としては、先ず、ガラス基板上にブラックマトリックスを形成してブラックマトリックス基板とし、次に、このブラックマトリックス基板上のブラックマトリックスのパターンに位置合わせして着色画素を形成し、更に透明導電膜を位置合わせして形成するといった方法が広く用いられている。
ブラックマトリックス（４１）は、遮光性を有するマトリックス状のものであり、着色画素（４２）は、例えば、赤色、緑色、青色のフィルタ機能を有するものであり、透明導電膜（４３）は、透明な電極として設けられたものである。
【０００４】
ブラックマトリックス（４１）は、着色画素（４２）間のマトリックス部（４１Ａ）と、着色画素（４２）が形成された領域（表示部）の周辺部を囲む額縁部（４１Ｂ）とで構成されている。
ブラックマトリックスは、カラーフィルタの着色画素の位置を定め、大きさを均一なものとし、また、表示装置に用いられた際に、好ましくない光を遮蔽し、表示装置の画像をムラのない均一な、且つコントラストを向上させた画像にする機能を有している。
【０００５】
このブラックマトリックス基板の製造には、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックスの材料としてのクロム（Ｃｒ）、酸化クロム（ＣｒＯX ）などの金属、もしくは金属化合物を薄膜状に成膜し、成膜された薄膜上に、例えば、ポジ型のフォトレジストを用いてエッチングレジストパターンを形成し、次に、成膜された金属薄膜の露出部分のエッチング及びエッチングレジストパターンの剥膜を行い、Ｃｒ、ＣｒＯX などの金属薄膜からなるブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
或いは、ガラス基板（４０）上に、ブラックマトリックス形成用の黒色感光性樹脂を用いてフォトリソグラフィ法によってブラックマトリックス（４１）を形成するといった方法がとられている。
【０００６】
また、着色画素（４２）の形成は、このブラックマトリックス基板上に、例えば、顔料などの色素を分散させたネガ型のフォトレジストを用いて塗布膜を設け、この塗布膜への露光、現像によって着色画素を形成するといった方法がとられている。
また、透明導電膜（４３）の形成は、着色画素が形成されたブラックマトリックス基板上に、例えば、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を用いスパッタ法によって透明導電膜を形成するといった方法がとられている。
【０００７】
図４、及び図５に示すカラーフィルタ（４）は、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタとして基本的な機能を備えたものである。液晶表示装置は、このようなカラーフィルタを内蔵することにより、フルカラー表示が実現し、その応用範囲が飛躍的に広がり、液晶カラーＴＶ、ノート型ＰＣなど液晶表示装置を用いた多くの商品が創出された。
多様な液晶表示装置の開発、実用に伴い、液晶表示装置に用いられるカラーフィルタには、上記基本的な機能に付随して下記のような、種々な機能が付加されるようになった。
【０００８】
例えば、配向分割機能。従来の液晶表示装置に於いては、液晶分子を一様に配向させるために、液晶を挟持する両基板に設けられた透明導電膜上に、予めポリイミドを塗布し、その表面に一様なラビング処理をしておく。
しかし、ＴＮ型液晶においては、原理的に広い視野角を得ることは困難であり、コントラストが低下し表示品質が悪化する。コントラストが良好な視野角は狭いといった問題を有していた。
【０００９】
このような問題を解決する一技術として、一画素内での液晶分子の配向方向が一方向でなく、複数の方向になるように制御し、視野角の広い、配向分割垂直配向型液晶表示装置（ＭＶＡ（Ｍｕｌｔｉ−ｄｏｍａｉｎ  Ｖｅｒｔｉｃａｌ  Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ）−ＬＣＤが開発された。
【００１０】
図８は、このようなＭＶＡ−ＬＣＤの断面を模式的に示した説明図である。図８に示すように、ＭＶＡ−ＬＣＤ（８０）は、液晶分子（２１）を介して配向制御突起（２２ａ）、（２２ｂ）が設けられたＴＦＴ側基板（２０）と、配向制御突起（２３）が設けられたカラーフィルタ（８）とを配置した構造であるが、配向制御突起（２２ａ）、（２２ｂ）及び配向制御突起（２３）は一画素内で互い違いの位置に設けられている。
【００１１】
図８に白太矢印で示すように、電圧印加時の状態では、一画素内で配向制御突起（２２ａ）〜配向制御突起（２３）間の液晶分子は、図中左斜めに傾斜し、配向制御突起（２３）〜配向制御突起（２２ｂ）間の液晶分子は、右斜めに傾斜する。すなわち、ラビング処理に代わり、突起を設けることにより液晶分子の配向を制御するものである。
【００１２】
図９（ａ）、（ｂ）は、ＭＶＡ−ＬＣＤに用いられるカラーフィルタの一例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。この例では、配向制御突起（８３）は、一画素内で９０°屈曲させてある。
また、図１０（ａ）、（ｂ）は、別な例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、この別な例は、平面形状が円形の配向制御突起（９３）が形成されたカラーフィルタ（９）である。
このようなカラーフィルタを用いた液晶表示装置は、一画素内で液晶分子の傾斜方向が多方向となる。
【００１３】
また、例えば、スペーサー機能。従来の液晶表示装置に於いては、基板間にギャップを形成するために、スペーサーと呼ばれるガラス又は合成樹脂の透明球状体粒子（ビーズ）を散布している。
このスペーサーは透明な粒子であることから、画素内に液晶と一諸にスペーサーが入っていると、黒色表示時にスペーサーを介して光がもれてしまい、また、液晶材料が封入されている基板間にスペーサーが存在することによって、スペーサー近傍の液晶分子の配列が乱され、この部分で光もれを生じ、コントラストが低下し表示品質に悪影響を及ぼす、などの問題を有していた。
【００１４】
このような問題を解決する技術として、感光性樹脂を用い、フォトリソグラフィ法によ
り、例えば、画素間のブラックマトリックスの位置にスペーサー機能を有するフォトスペーサー（突起部）を形成する方法が開発された。
図７は、このような液晶表示装置用カラーフィルタの部分断面図である。図７に示すように、液晶表示装置用カラーフィルタ（７）は、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（４１）、着色画素（４２）、及び透明導電膜（４３）が順次に形成され、ブラックマトリックス（４１）上方の透明導電膜（４３）上にスペーサー機能を有する突起部としてのフォトスペーサー（４４）が形成されている。このような液晶表示装置用カラーフィルタ（７）を用いた液晶表示装置には、フォトスペーサー（４４）が画素内を避けた位置に形成されているので、上記コントラストの改善がみられる。
【００１５】
液晶表示装置用カラーフィルタと対向基板を貼り合わせてパネルとするパネル組み立て工程では、周辺部にシール部を設け、液晶表示装置用カラーフィルタと対向基板のギャップを平行にして、上下定盤間に荷重を加えシール部及びフォトスペーサーを圧着し貼り合わせるが、この際に加わる荷重によってフォトスペーサーが変形するので、変形した状態で基板間のギャップが設定されることになる。この際、局部的に過剰な荷重を受けると、基板間のギャップが縮小して色ムラを発生させることがある。
【００１６】
このような局部的に過剰な荷重に対応して、２種のフォトスペーサーを有する液晶表示装置用カラーフィルタが提案されている。
図３は、２種のフォトスペーサーが設けた液晶表示装置用カラーフィルタを模式的に示した断面図である。図３に示すように、この液晶表示装置用カラーフィルタ（３）は、遮光層、着色画素、透明導電膜（いずれも図示せず）が形成された透明基板（３１）上にフォトスペーサー（３４）が形成されているものである。
【００１７】
フォトスペーサー（３４）は、第一フォトスペーサー（３２）と第二フォトスペーサー（３３）で構成されている。第一フォトスペーサー（３２）は、パネル組み立て時の荷重による変形に対応したフォトスペーサーである。
また、第二フォトスペーサー（３３）は、局部的に過剰な荷重を受けた時に基板間のギャップを保つフォトスペーサーである。
尚、上記は、第一フォトスペーサー（３２）と第二フォトスペーサー（３３）の役割の一例であり、これに限ったものではない。
【００１８】
前記図４に示すカラーフィルタ（４）に追加される機能としては、上記配向分割機能、スペーサー機能の他に、高信頼性機能、透過・反射併用機能、分光特性調整機能、光路差調整機能、光散乱機能などがあげられる。これら諸機能の内、そのカラーフィルタの用途、仕様にもとづき１機能或いは複数の機能が図４に示すカラーフィルタ（４）に追加される。
従って、例えば、図４に示すカラーフィルタ（４）に配向分割機能及びスペーサー機能が追加された仕様のカラーフィルタを製造する際には、図４に示すカラーフィルタ（４）を作製した後に、例えば、図１０に示す配向制御突起（９３）を形成し、続いて図７に示すフォトスペーサー（４４）を形成する。
【００１９】
すなわち、配向制御突起を形成する工程と、フォトスペーサーを形成する工程の２工程が追加され、或いは、配向制御突起を形成する工程と、第一フォトスペーサー（３２）を形成する工程と、第二フォトスペーサー（３３）を形成する工程の３工程が追加され、所望する仕様のカラーフィルタを製造することになる。
【００２０】
一方、図６は、基本となるカラーフィルタに配向制御突起とフォトスペーサーを具備させたカラーフィルタの一例の部分断面図であるが、このカラーフィルタは、そのフォトスペーサーが積層構造となっている。フォトスペーサーを構成する複数の中間層を着色画素
の形成と同時に形成し、また、フォトスペーサーを構成する上部パターンを配向制御突起の形成と同時に形成することによって、フォトスペーサーを形成するための上記追加する工程を低減させたものである。
【００２１】
図６に示すように、このカラーフィルタは、ガラス基板（４０）上にブラックマトリックス（図示せず）と同時に形成された画素内遮光部（４１Ｐ）、着色画素（４２）、配向制御突起（Ｍｖ）、積層フォトスペーサー（Ｐｓ）が形成されたものである。
この一例として示す積層フォトスペーサー（Ｐｓ）は、画素内遮光部（４１Ｐ）上の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と、第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）と、第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）と、上部パターン（Ｐ４）を積層した構成である。積層フォトスペーサー（Ｐｓ）の高さは、第一色目の着色画素（４２）の上面から積層フォトスペーサーの上部パターン（Ｐ４）の上面までの高さ（Ｈ）である。
【００２２】
第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）は、第一色目の着色画素（４２）を延長したものである。第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）は、第二色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。また、第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）は、第三色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。また、積層フォトスペーサーの上部パターン（Ｐ４）は、配向制御突起（Ｍｖ）の形成と同時に形成されたものである。従って、フォトスペーサーを形成するための前記追加工程は不要なものとなる。
尚、図６において、着色画素（４２）上に設けられる透明導電膜は省略してある。
【特許文献１】特開２００５−３８５４号公報
【特許文献２】特開平１１−３４４７００号公報
【特許文献３】特開２００１−５１２６６号公報
【特許文献４】特開２００２−２３６３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は、配向制御突起と、パネル組み立て時の荷重による変形に対応した第一積層フォトスペーサーと、第一積層フォトスペーサーより高さが低く、局部的に過剰な荷重を受けた時に基板間のギャップを保つ第二積層フォトスペーサーの２種の積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、第二積層フォトスペーサーを形成するための工程を追加することなく製造した、すなわち、廉価な液晶表示装置用カラーフィルタを提供することを課題とするものである。
また、本発明は、上記第二積層フォトスペーサーを形成するための工程を追加することなく製造する廉価な液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
本発明は、少なくとも配向制御突起及び積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタにおいて、前記積層フォトスペーサーは第一積層フォトスペーサーと、該第一積層フォトスペーサーと同時に形成された第二積層フォトスペーサーからなり、該第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数が、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少ないことを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタである。
【００２５】
また、本発明は、少なくとも配向制御突起と、第一積層フォトスペーサーと、該第一積
層フォトスペーサーより高さの低い第二積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、該第一積層フォトスペーサーと該第二積層フォトスペーサーを同時に形成し、該第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数を、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少なく形成することを特徴とする液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法である。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、積層フォトスペーサーが第一積層フォトスペーサーと、該第一積層フォトスペーサーと同時に形成された第二積層フォトスペーサーからなり、該第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数が、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少ないので、パネル組み立て時の荷重による変形に対応した第一積層フォトスペーサーと、第一積層フォトスペーサーより高さが低く、局部的に過剰な荷重を受けた時に基板間のギャップを保つ第二積層フォトスペーサーの２種の積層フォトスペーサーが形成された、廉価な液晶表示装置用カラーフィルタとなる。
【００２７】
また、本発明は、第一積層フォトスペーサーと、該第一積層フォトスペーサーより高さの低い第二積層フォトスペーサーを有する液晶表示装置用カラーフィルタを製造する際に、前記第二積層フォトスペーサーを構成する中間層の数を、第一積層フォトスペーサーを構成する中間層の数より少なく形成するので、第二積層フォトスペーサーを形成するための工程を追加することなく、パネル組み立て時の荷重による変形に対応した第一積層フォトスペーサーと、第一積層フォトスペーサーより高さが低く、局部的に過剰な荷重を受けた時に基板間のギャップを保つ第二積層フォトスペーサーの２種の積層フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタを廉価に製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図１は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの一実施例を説明する部分断面図である。本発明による液晶表示装置用カラーフィルタは、ガラス基板上に少なくともブラックマトリックス及び画素内遮光部（４１Ｐ）、着色画素（４２）、配向制御突起及（Ｍｖ）及び積層フォトスペーサーが順次に形成されたものである。積層フォトスペーサーは、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）と、該第一積層フォトスペーサーより高さの低い第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）で構成されている。第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）と第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）は、着色画素内に設けられた画素内遮光部上に形成されている。
【００２９】
この第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）は、画素内遮光部（４１Ｐ）上の第一色目、例えば、赤色の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と、第二色目、例えば、緑色のスペーサーパターン（Ｐ２）と、第三色目、例えば、青色のスペーサーパターン（Ｐ３）と、上部パターン（Ｐ４）を積層した構成である。
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）を構成する中間層は、第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と、第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）と、第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）である。
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の高さは、第一色目の着色画素（４２）の上面から第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の上部パターン（Ｐ４）の上面までの高さ（Ｈ１１）である。
【００３０】
第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）は、画素内遮光部（４１Ｐ）上の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と、第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）と、上部パターン（Ｐ４）を積層した構成である。
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の構成と比較し、第二積層フォトスペーサー（Ｐ
ｓ−２）を構成する中間層には第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）が形成されていない。第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の高さは、第一色目の着色画素（４２）の上面から第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の上部パターン（Ｐ４）の上面までの高さ（Ｈ１２）である。
従って、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の高さ（Ｈ１１）と、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の高さ（Ｈ１２）は、Ｈ１１＞Ｈ１２の関係にある。
【００３１】
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）は、共に第一色目の着色画素（４２）を延長したものである。また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）と、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）は、共に第二色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）は、第三色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。
【００３２】
また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）及び第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の上部パターン（Ｐ４）は、配向制御突起（Ｍｖ）の形成と同時に形成されたものである。
【００３３】
図１に示す液晶表示装置用カラーフィルタの画素内遮光部（４１Ｐ）、着色画素（４２）、配向制御突起及（Ｍｖ）、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）は、いずれもフォトリソグラフィ法によって形成されたものである。
第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の形成に際しては、第三色目の着色画素を形成するフォトマスクとして、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）に対応したパターンが設けられていないフォトマスクを用いる。
これにより、容易に第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）には第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）が形成され、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）には第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）が形成されないものとなる。
【００３４】
上記のように、本発明によれば、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）を形成するための追加工程は必要なく、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の形成と同時に第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）が形成される。
尚、図１において、着色画素（４２）上に設けられる透明導電膜は省略してある。
【００３５】
図２は、本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの他の例を示す部分断面図である。図２に示すように、積層フォトスペーサーは、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）と、該第一積層フォトスペーサーより高さの低い第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）で構成されている。第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）と第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）は、着色画素内に設けられた画素内遮光部上に形成されている。
【００３６】
この第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）は、図１に示す第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）と同一のものである。
第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）は、画素内遮光部（４１Ｐ）上の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）と上部パターン（Ｐ４）を積層した構成である。
【００３７】
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の構成と比較し、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）を構成する中間層には第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）と第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）が形成されていない。第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）
の高さは、第一色目の着色画素（４２）の上面から第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の上部パターン（Ｐ４）の上面までの高さ（Ｈ１３）である。
従って、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の高さ（Ｈ１１）と、第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の高さ（Ｈ１３）は、Ｈ１１＞Ｈ１３の関係にある。
【００３８】
第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）及び第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）の第一色目の着色画素の延長パターン（Ｐ１）は、第一色目の着色画素（４２）を延長したものである。また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の第二色目のスペーサーパターン（Ｐ２）は、第二色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）の第三色目のスペーサーパターン（Ｐ３）は、第三色目の着色画素（図示せず）の形成と同時に形成されたものである。
【００３９】
また、第一積層フォトスペーサー（Ｐｓ−１）及び第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）の上部パターン（Ｐ４）は、配向制御突起（Ｍｖ）の形成と同時に形成されたものである。
前記図１に示す第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−２）の高さ（Ｈ１２）と図２に示す第二積層フォトスペーサー（Ｐｓ−３）の高さ（Ｈ１３）は、Ｈ１２＞Ｈ１３の関係にある。
上記のように、本発明においては、第二積層フォトスペーサーの中間層の数を調整することによって、高さの異なる第二積層フォトスペーサーを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明による液晶表示装置用カラーフィルタにおける積層フォトスペーサーの一実施例を説明する部分断面図である。
【図２】本発明による液晶表示装置用カラーフィルタの他の例を示す部分断面図である。
【図３】２種のフォトスペーサーが設けた液晶表示装置用カラーフィルタを模式的に示した断面図である。
【図４】液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を模式的に示した平面図である。
【図５】図４に示すカラーフィルタのＸ−Ｘ’線における断面図である。
【図６】配向制御突起と積層フォトスペーサーを具備させたカラーフィルタの一例の部分断面図である。
【図７】フォトスペーサーが形成された液晶表示装置用カラーフィルタの部分断面図である。
【図８】ＭＶＡ−ＬＣＤの断面を模式的に示した説明図である。
【図９】（ａ）、（ｂ）は、ＭＶＡ−ＬＣＤに用いられるカラーフィルタの一例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。
【図１０】（ａ）、（ｂ）は、ＭＶＡ−ＬＣＤに用いられるカラーフィルタの他例の一画素を拡大して示す平面図、及び断面図である。
【符号の説明】
【００４１】
３、４、７、８、９・・・カラーフィルタ
２１・・・液晶分子
２２ａ、２２ｂ、２３、８３、９３、Ｍｖ・・・配向制御突起
３１・・・透明基板
３２・・・第一フォトスペーサー
３３・・・第二フォトスペーサー
３４、４４・・・フォトスペーサー
４０・・・ガラス基板
４１・・・ブラックマトリックス
４１Ｐ・・・画素内遮光部
４２・・・着色画素
４３・・・透明導電膜
８０・・・ＭＶＡ−ＬＣＤ
Ｈ・・・積層フォトスペーサーの高さ
Ｈ１１・・・第一積層フォトスペーサーの高さ
Ｈ１２、Ｈ１３・・・第二積層フォトスペーサーの高さ
Ｍｖ・・・配向制御突起
Ｐｓ・・・積層フォトスペーサー
Ｐ１・・・第一色目の着色画素の延長パターン
Ｐ２・・・第二色目のスペーサーパターン
Ｐ３・・・第三色目のスペーサーパターン
Ｐ４・・・上部パターン
Ｐｓ−１・・・第一積層フォトスペーサー
Ｐｓ−２・・・第二積層フォトスペーサー
Ｐｓ−３・・・他の例における第二積層フォトスペーサー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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