(57)【要約】【課題】  画質向上の問題と視野移動に対する追従性との相反する課題を解決し、使い勝手のよいＸ線検査装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線測定光学系１３のＸ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部３１と、画像バッファメモリ２４に精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて精細画像データを作成する精細画像データ作成部３２と、画像データを表示する表示装置２３と、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部１４、３３と、測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部３４と、視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、視野が一定である判定のときは精細画像データを表示する画像モード切替部３５とを備える。【選択図】図１
2007101529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、
Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部と、
画像バッファメモリに精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて精細画像データを作成する精細画像データ作成部と、
画像データを表示する表示装置と、
被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部と、
測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部と、
視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、視野が一定である判定のときは精細画像データを表示する画像モード切替部とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
精細画像データ作成部は、画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理または平均化処理を実行することにより精細画像データを作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
精細画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変動していると判定されているときは画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データを破棄することを特徴とする請求項２に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
コマ画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変動している判定されているときはビニング処理を実行してコマ画像データを作成し、測定視野が変動していない判定のときはビニング処理を実行しないでコマ画像データを作成することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項５】
被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、
Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて、ビニング処理を実行し、あるいは、ビニング処理を解除して、透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部と、
ビニング処理を実行して作成したコマ画像データをリカーシブフィルタ処理することにより作成された過去の画像データ、または、ビニング処理を実行して作成した少なくとも１つの過去のコマ画像データ、のいずれかを精細画像データ作成用画像データとして画像バッファメモリに蓄積し、蓄積された精細画像データ作成用画像データとビニング処理を実行して作成した最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理、または、平均化処理された精細画像データを作成する精細画像データ作成部と、
ビニング処理を解除して作成したコマ画像データをリカーシブフィルタ処理することにより作成された過去の画像データ、または、ビニング処理を解除して作成した少なくとも１つの過去のコマ画像データ、のいずれかを静止画像データ作成用画像データとして画像バッファメモリに蓄積し、蓄積した静止画像データ作成用画像データとビニング処理を解除して作成した最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理、または、平均化処理された静止画像データを作成する静止画像データ作成部と、
画像データを表示する表示装置と、
被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部と、
測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部と、
静止画像作成の指示信号を発生する静止画像作成指示部と、
静止画像作成の指示信号の有無に基づいてコマ画像データ作成部に対しビニング処理の実行の有無を切り替えるビニング処理制御部と、
静止画像作成の指示信号がない状態でかつ視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、静止画像の指示信号がない状態でかつ視野が一定である判定のときは精細画像データを表示し、静止画像の指示信号がある状態のときは静止画像データを表示する画像モード切替部とを備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項６】
精細画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変動していると判定されているときは画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データを破棄することを特徴とする請求項５に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査などを行うためのＸ線検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器が配置してある。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。
これらのＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線検出器との間に、ステージを配置し、この上に被測定物を載置して透視Ｘ線像を撮影する。
【０００３】
Ｘ線検査装置による検査では、通常、位置合わせや測定倍率調整、測定角度調整のために視野移動を行う。視野移動は、ステージを移動しつつ被測定物の透視Ｘ線動画像を撮影するようにし、これにより被測定物の検査位置を探す。そして、検査位置が見つかると視野移動を停止し、その状態で動画像を観察する。
【０００４】
そして、観察した検査箇所の画像を最終的な検査データとして保存する場合、検査箇所に視野を固定した状態で動画像を撮影し、静止画像として保存する。
【０００５】
ところで、透視Ｘ線測定では、Ｘ線発生装置の原理に起因してＸ線のゆらぎが発生するため、ゆらいでいるＸ線を、Ｘ線検出器で検出して撮影した透視Ｘ線像のコマ画像データ（動画像を形成する１つ１つの画像データ）には、ちらつきノイズが含まれている。したがって、１つ１つの透視Ｘ線像のコマ画像を順次表示させた動画像表示にも、ちらつきノイズが観測されることになる。
【０００６】
このちらつきノイズを低減するために、従来は、動画像を形成する複数のコマ画像を、画像バッファメモリに蓄積し、蓄積した画像データと最新のコマ画像データとの平均化処理（各画素の平均をとる）を行って表示することがなされている。平均化処理を行った平均化画像データは、ちらつきの原因となるノイズ成分が平均化されて平坦となる。しかしながら、その一方で、動画像表示中のコマ画像データの表示更新速度が低下することになる。
【０００７】
例えば、図８（ａ）に示すように、Ｘ線検出器からの撮影信号に基づいて、コマ画像データ１〜４が順次作成されるときに、２コマのコマ画像データずつ平均化処理を行うとすると、図８（ｂ）に示すように、２コマのコマ画像データを画像バッファメモリに蓄積し、これらの平均化処理演算を行うことにより１つの平均化画像データを作成し、これを表示するという処理を繰り返す。この場合は、２コマのコマ画像データが作成される時間間隔で平均化画像データの更新が行われることになるので、更新の速度が低下することになる。さらに多くのコマ画像データによる平均化を行うと、それだけ更新速度が低下することとなり、その結果、平均化画像データの連続的な動画像表示ができず、コマ送り的な動画像表示になってしまう。
このことは、Ｘ線検出器としてフラットパネルＸ線検出器を用いた場合に顕著となる。すなわち、ＩＩとＣＣＤカメラとを用いたＸ線検出器に比べて、フラットパネルＸ線検出器はもともとフレームレートが小さいため、どうしてもコマ送り的な表示になりやすい。
【０００８】
また、表示装置の画面への動画像表示のみではなく、検査結果を高精細な静止画像として保存する場合は、一定時間（通常、少なくとも数秒程度）撮影した動画像（すなわち相当数のコマ画像）の平均化処理を行い、その結果得られる平均化画像データを静止画像データとして保存することになる。
このように動画像の平均化処理を行うことによって、精細な静止画像が得ることができるが、高精細な静止画像を得ようとするほど表示の待ち時間を要することになる。
【０００９】
平均化処理による更新速度の低下を改善するための別方法として、リカーシブフィルタ処理を実行することもなされている（例えば特許文献１参照）。リカーシブフィルタ処理は、図８（ｃ）に示すように、最新のコマ画像データに、ある重み付けをした前回の画像データ（前回の画像データ自身もさらにその前回の画像データのリカーシブフィルタ処理を受けている）を加算して補正することにより、ちらつきノイズを低減させる画像処理方法である。これにより、本来のコマ画像データによる動画像表示と同程度の更新速度にすることができるので、更新速度の低下の点については、リカーシブフィルタ処理により改善することができる。
【００１０】
また、透視Ｘ線測定では、できるだけ画素数を多くすることが画質向上の観点からは好ましいが、画素数の増大とともに動画像表示の負荷が増大し、画像データの更新速度は、画素数の増大に応じて遅くなる。
動画像表示の更新速度を改善するために、隣接する複数の画素を１つの画素とみなして画像データの作成を行うビニング処理を実行して、更新速度を高めることもなされている（例えば特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−３１６８３５号公報
【特許文献２】特開２００１−２３１７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したように、コマ画像データに対して、平均化処理を実行することにより、ちらつきノイズを解消することができるが、更新速度低下の問題が新たに発生する。
リカーシブフィルタ処理によれば、ちらつきノイズと更新速度の低下の問題とを解決できるが、視野移動により被測定物の透視Ｘ線像が移動しているときは、表示画面上に被測定物の残像が残り、画像のブレが発生する。被測定物が停止後もしばらく（数秒以上）は、画像のブレが持続し、この間は待ち時間となるので、視野移動に対する追従性が問題となる。
【００１２】
更新速度の低下に対しては、ビニング処理を実行することにより、動画更新速度を向上させることができる。しかしビニング処理により実質的に画素数を減らした分、解像度が低下し、画質が劣化することになる。また、ビニング処理を実行するモード(実行モード)からビニング処理を実行していないモード（解除モード）に切り替えたり、その逆の切り替えを行ったりするには、ハードウェア上の制約によって、場合によっては数秒程度の切替時間を要する。
このように、画質の向上と、視野移動に対する追従性とは相反する課題であり、これら２つの課題を同時に解決することは困難であった。
【００１３】
そこで、本発明は、Ｘ線検査装置において、１つは画質改善、他の１つは視野移動に対する追従性改善という２つの相反する課題を解決し、使い勝手のよいＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【００１４】
また、透視検査やＣＴ検査を行う場合に、通常の作業工程は、既述のように、検査箇所を探す視野移動工程、検査箇所について画面上で動画像を観察する観察工程、そして、必要に応じて高精細な静止画像を撮影する撮影工程を行う。したがって、これら各工程に対応して、表示画質、表示追従性の観点から使い勝手のよいＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために本発明では、画質優先で動画像表示するか、視野移動に対する追従性優先で動画像表示するかを、状況に応じて切り替えるようにしている。
すなわち、本発明のＸ線検査装置は、被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部と、画像バッファメモリに精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて精細画像データを作成する精細画像データ作成部と、画像データを表示する表示装置と、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部と、測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部と、視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、視野が一定である判定のときは精細画像データを表示する画像モード切替部とを備えるようにしている。
【００１６】
ここで、Ｘ線検出器としては、透視Ｘ線像を映像信号として出力することができるものであれば何でもよいが、特に、フレームレートがさほど大きくないフラットパネルＸ線検出器を用いた場合が本発明の有効性が顕著になる。
また、画像バッファメモリに蓄積される「精細画像データ作成用の画像データ」とは、ちらつきノイズを除去する処理に用いる画像データであり、透視Ｘ線像の最新画像データと同一視野の画像データであることが望ましい。具体的には、最新のコマ画像データと同じ視野で過去に撮影したコマ画像データ、あるいは、前回に作成した精細画像データを「精細画像データ作成に用いる画像データ」として蓄積することが好ましい。
また、視野調整部は、被測定物とＸ線測定光学系とのの相対的な位置関係を変動することで視野を調整することができるので、被測定物、Ｘ線発生装置、Ｘ線検出器の少なくともいずれかを移動する機構であればよい。
また、視野変動判定部は、視野変動を発生させるときに送られる視野調整部からの制御信号に基づいて視野変動を判定してもよいし、視野調整部の変動を検出することができるセンサ（例えばステージの位置センサ）を用いて視野変動を判定してもよい。
【００１７】
この発明によれば、コマ画像データ作成部は、Ｘ線検出器からの映像信号に基づいて、透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ次々と作成する。それぞれのコマ画像データは、ちらつきノイズを含んでいる。精細画像データ作成部は、画像バッファメモリに精細画像データ作成用の画像データを蓄積し、蓄積した画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いて、最新の精細画像データを作成する。この精細画像データは、平均化などにより、ちらつきノイズが消えた画像データになっている。一方、視野調整部により被測定物に対する測定視野が変動され、視野変動判定部が、測定視野変動の有無を判定する。
画像モード切替部は、視野変動している判定がなされているときはコマ画像データを表示する。すなわち、視野の移動中は観察者が観察箇所を特定するのに最低限の画質があれば十分であり、その一方で、移動中の現在の観察箇所を見失わないように視野移動に対する追従性を良くする必要があることから、コマ画像データ作成部が作成したコマ画像データを表示する。
また、画像モード切替部は、視野変動していない判定がなされているときは、精細画像データを表示する。すなわち、視野変動が終了して固定された状態では、視野追従性は不要であるので、画質のよい画像データを表示する。
このように、視野変動中か視野固定中かの状況に応じて、追従性重視の表示（コマ画像表示）、または画質重視の表示（精細画像モード）を行う。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、画質のよい表示と追従性のよい表示とが、状況に応じて自動的に切り替わるので、使い勝手のよいＸ線検査装置となる。
【００１９】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
【００２０】
上記発明において、精細画像データ作成部は、画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データと最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理または平均化処理を実行するようにしてもよい。
ここで、リカーシブフィルタ処理のときは精細画像作成用の画像データとして前回作成した精細画像データを用いるようにし、平均化処理のときはコマ画像データ作成部が作成した直近の複数コマのコマ画像データを精細画像データとして用いるようにするのが好ましい。
これによれば、直前の精細画像データや直近のコマ画像データは、視野調整部により変動されていない限り、視野が同一であり、画像ブレの少ない精細画像データを得ることができる。
【００２１】
このとき、さらに精細画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変動していると判定されているときは画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データを破棄するようにしてもよい。
これによれば、最新のコマ画像データとは測定視野が異なる画像データに基づいて精細画像データを作成することを避けることができるので、画像ブレのない精細画像を作成することができる。
【００２２】
また、上記発明において、コマ画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変化している判定されているときはビニング処理を実行してコマ画像データを作成し、測定視野が変化していない判定のときはビニング処理を実行しないでコマ画像データを作成するようにしてもよい。
これによれば、視野変動中は、ビニング処理によりさらに画像の追従性を高めることができ、視野が固定された後は、通常のコマ画像データにより、精細画像を作成することができる。
【００２３】
また、上記発明を、さらに応用することによりなされた本発明の他のＸ線検査装置は、被測定物に透視用Ｘ線を照射するＸ線発生装置と被測定物の透視Ｘ線像を撮影するＸ線検出器とからなるＸ線測定光学系と、Ｘ線検出器により撮影された映像信号に基づいて、ビニング処理を実行し、あるいは、ビニング処理を解除して、透視Ｘ線像のコマ画像データを１コマずつ繰り返し作成するコマ画像データ作成部と、ビニング処理を実行して作成したコマ画像データをリカーシブフィルタ処理することにより作成された過去の画像データ、または、ビニング処理を実行して作成した少なくとも１つの過去のコマ画像データ、のいずれかを精細画像データ作成用画像データとして画像バッファメモリに蓄積し、蓄積された精細画像データ作成用画像データとビニング処理を実行して作成した最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理、または、平均化処理された精細画像データを作成する精細画像データ作成部と、ビニング処理を解除して作成したコマ画像データをリカーシブフィルタ処理することにより作成された過去の画像データ、または、ビニング処理を解除して作成した少なくとも１つの過去のコマ画像データ、のいずれかを静止画像データ作成用画像データとして画像バッファメモリに蓄積し、蓄積した静止画像データ作成用画像データとビニング処理を解除して作成した最新の透視Ｘ線像のコマ画像データとを用いてリカーシブフィルタ処理、または、平均化処理された静止画像データを作成する静止画像データ作成部と、画像データを表示する表示装置と、被測定物とＸ線測定光学系との位置関係を調整して被測定物に対する測定視野を変動させる視野調整部と、測定視野の変動の有無を判定する視野変動判定部と、静止画像作成の指示信号を発生する静止画像作成指示部と、静止画像作成の指示信号の有無に基づいてコマ画像データ作成部に対しビニング処理の実行の有無を切り替えるビニング処理制御部と、静止画像作成の指示信号がない状態でかつ視野が変動している判定のときはコマ画像データを表示し、静止画像の指示信号がない状態でかつ視野が一定である判定のときは精細画像データを表示し、静止画像の指示信号がある状態のときは静止画像データを表示する画像モード切替部とを備えるようにしている。
【００２４】
ここで、静止画像作成指示部は、静止画像作成の指示信号を発生する。指示信号は、装置の操作者の周知の入力装置による静止画像作成の指示操作があったり、あるいは、自動シーケンスによってあらかじめ設定された検査位置に視野が位置固定されたりしたときに発生するようにすることができる。
【００２５】
この発明によれば、検査箇所を探す視野移動工程、検査箇所について画面上で動画像を観察する観察工程、観察した検査箇所の高精細な静止画像を撮影する撮影工程ごとに分けて、表示する画像の画質と追従性を切り替えるようにしている。
すなわち、静止画像作成指示部が静止画像作成の指示信号を発生していないときは、ビニング処理制御部が、コマ画像データ作成部に対し、ビニング処理を実行したコマ画像データを作成させる制御を行い、静止画像作成指示部が静止画像作成の指示信号を発生したときは、ビニング処理制御部が、コマ画像データ作成部に対し、ビニング処理を解除したコマ画像データを作成させる制御を行う。また、視野変動判定部は、測定視野の変動を判定し、視野移動中か視野固定中かを判定する。
そして、静止画像作成の指示信号が発生してない状態で、かつ、視野が変動している判定のとき（視野移動工程中）は、ビニング処理を実行したコマ画像データ（粗画像データともいう）を表示する。このコマ画像データは、ちらつきノイズを含み、画質はよくないが、高速表示できるので、視野移動中であっても追従性のよい表示ができる。
また、静止画像の指示信号が発生してない状態で、かつ、視野が一定である判定のとき（観察工程）は、精細画像データ作成部が作成した精細画像データ、すなわち、ビニング処理を実行したコマ画像データに対しリカーシブフィルタ処理または平均化処理した画像データである精細画像データを表示する。この精細画像データは、粗画像データよりもちらつきノイズが改善されるが、追従性が悪くなる。しかしながら、視野が固定されているので、追従性はあまり問題とならない。
また、静止画像の指示信号が発生した状態のとき（撮影工程）は、静止画像作成部が作成した静止画像データ、すなわち、ビニング処理を解除したコマ画像データに対しリカーシブフィルタ処理または平均化処理した画像データである静止画像データ（高精細画像データともいう）を表示する。高精細画像データは、粗画像データや精細画像データよりも、画質は一段と改善されるので、検査結果の画像データとして保存するのに適している。
【００２６】
また、操作者は、視野移動工程、観察工程、撮影工程を順に実行する場合に、観察工程を終えて撮影工程に移るときの待ち時間に比べて、視野移動工程から観察工程に移るときの待ち時間は気になるものである。ビニング処理を実行した場合に、ビニング処理の実行状態からビニング処理を解除する切り替えに要する待ち時間が気になることがあるが、本発明では、ビニング処理を解除する処理を、観察工程から撮影工程に移るときに行うことができ、視野移動工程と観察工程との間ではビニング処理を実行した状態を維持しているので、操作者にとって待ち時間がさほど気にならないようにすることができる。
【００２７】
また、上記発明において、精細画像データ作成部は、視野変動判定部によって測定視野が変動していると判定されているときは、画像バッファメモリに蓄積した精細画像作成用の画像データを破棄するようにしてもよい。
これによれば、測定視野が異なる画像データに基づいて精細画像データを作成することを避けることができるので、画像ブレのない精細画像を作成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明するような実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００２９】
（実施形態１）
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物の測定視野を調整する視野調整機構１４と、装置全体の制御を行う制御系１５とにより構成される。
【００３０】
制御系１５は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１、キーボード、マウスなどの入力装置２２、液晶パネルなどの表示装置２３、画像データを蓄積する画像バッファメモリ２４により構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、コマ画像データ作成部３１、精細画像データ作成部３２、視野調整制御部３３、視野変動判定部３４、画像モード切替部３５、蓄積画像データ消去部３６に分けられる。
【００３１】
Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。また、Ｘ線検出器１２には、Ｘ線変換層とＴＦＴ回路付基板とからなるフラットパネルＸ線検出器が用いてあり、Ｘ線変換層で撮影した透視Ｘ線像を、ＴＦＴ回路に形成された画素電極ごとに読み出し、映像信号として出力するようにしてある。
【００３２】
視野調整機構１４は、被測定物Ｓを載置するステージ１６と、ステージ１６をステージ面方向である二次元ＸＹ方向に移動することにより検査位置を調整するとともに、ステージ１６をステージ面に垂直な方向であるＺ方向に移動することにより測定倍率を調整する三次元駆動機構１７とからなり、視野調整制御部３３によって制御される。このステージ１６の移動により被測定物Ｓに対する透視Ｘ線の視野調整が行われる。すなわち、視野調整機構１４と視野調整制御部３３とにより視野調整部として機能することになる。
【００３３】
ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。コマ画像データ作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号に基づいて、次々とデジタル画像化処理を行い、コマ画像データＤｎを作成する制御を行う。具体的には、例えば８コマ／秒でコマ画像データＤｎを作成する。なお、作成された１つ１つのコマ画像Ｄｎにはちらつきノイズが含まれている。
また、コマ画像データ作成部３１は、映像信号のデジタル画像化処理を行う際に、処理速度を向上するため、隣接する複数の画素（例えば２×２画素）を１つの画素とみなして画像処理を行うピニング処理を行うことができるようにしてある。ビニング処理を実行するか否かは、後述する視野変動判定部３４による判定結果に基づいて決定されるようにしてある。
【００３４】
精細画像データ作成部３２は、コマ画像データ作成部３１が透視Ｘ線像の最新のコマ画像データＤｎを作成するごとに、前回の精細画像作成のときに作成し、画像バッファメモリ２４に蓄積した精細画像データＣｎ−１を読み出し、最新のコマ画像データＤｎを、予め設定してある比率で精細画像データＣｎ−１に加算する画像処理を行い、得られた画像データを最新の精細画像データＣｎとして画像バッファメモリ２４に蓄積する処理（リカーシブフィルタ処理）を行う。これにより、精細画像データＣｎは、最新のコマ画像データＤｎが作成されるごとに更新するようにしてある。なお、初めて精細画像データを作成するときは、画像バッファメモリ２４に前回の精細画像データが蓄積されていないので、白紙のコマ画像Ｄ０が形式的に蓄積されているものとして処理する。過渡期間は、しばらくちらつきノイズが残るが次第に鮮明な精細画像データが形成されていく。
【００３５】
視野調整制御部３３は、操作者が入力装置２２によりステージ１６をＸＹ方向、あるいはＺ方向に移動させる指示を行ったときに、三次元駆動機構１７を制御して、ステージ１６を所望の位置に移動する制御を行う。
【００３６】
視野変動判定部３４は、視野調整制御部３３から三次元駆動機構１７に送る駆動信号に基づいて、視野変動の有無を判定する処理を行う。すなわち、駆動信号が送られているときは、ステージ１６が移動することになるので、視野変動中と判定し、駆動信号が送られていないときは視野固定中と判定する。
【００３７】
画像モード切替部３５は、視野変動判定部３４の判定結果に基づいて、視野変動中は表示装置２３の画面にコマ画像データＤｎを表示し、視野固定中は精細画像データＣｎを表示する制御を行う。
蓄積画像データ消去部３６は、視野変動判定部３４の判定結果に基づいて、視野変動中は画像バッファメモリ２４に蓄積していた画像データを消去する制御を行う。
【００３８】
次に、このＸ線検査装置１による測定動作（表示処理動作）について説明する。図２は、測定動作を示すフローチャートである。
被測定物Ｓをステージ１６上に載置して測定を開始する。ステージ１６の制御信号をモニタすることにより、ステージ１６が移動中であるか停止状態であるかを判定する（Ｓ１０１）。
【００３９】
ステージ１６が停止である判定のときは、ビニング処理機能をＯＦＦ状態にし（Ｓ１０２）、コマ画像データＤｎを作成する（Ｓ１０３）。
続いてリカーシブフィルタをＯＮ状態にして（Ｓ１０４）、画像バッファメモリ２４に蓄積してある精細画像作成用の画像データ（前回作成した精細画像データＣｎ−１）と最新のコマ画像データＤｎとにより、新たに精細画像データＣｎを作成して画像バッファメモリ２４に蓄積（更新）する（Ｓ１０５）。
そして、作成した最新の精細画像データＣｎを表示装置２３の画面に表示する（Ｓ１０６）。
以後、Ｓ１０１に戻って、処理を繰り返す。
【００４０】
一方、Ｓ１０１で、ステージ１６が移動中である判定のときは、画像ブレの発生を避けるために、画像バッファメモリ２４に蓄積された精細画像作成用の画像データ（前回作成した精細画像データＣｎ−１）を消去する（Ｓ１０７）。すなわち、データ処理上は、白紙の精細画像データＣ０が蓄積されたものとする。
続いて、さらに追従性を優先した処理を実行するため、ビニング処理機能をＯＮ状態にし（Ｓ１０８）、ビニング処理を実行して作成したコマ画像データＤ’ｎを作成する（Ｓ１０９）。
続いて、リカーシブフィルタをＯＦＦ状態にし（Ｓ１１０）、精細画像データＣ’ｎは使用されないため、作成せずにおく。画像バッファメモリ２４にも、精細画像データＣ’ｎは蓄積されない（白紙の精細データＣ０が蓄積されたものとしてある）。
そして、最新のコマ画像データＤ’ｎを表示装置の画面に表示する（Ｓ１１１）。
以後Ｓ１０１に戻って、処理を繰り返す。
【００４１】
図３は、ステージ１６を停止後、図２で説明した表示処理を繰り返し実行したときの各回数ごとのコマ画像データ、画像バッファメモリに蓄積される精細画像データ、表示装置２３の画面に表示される画像データの一例を説明する図であり、図４は、表示装置２３の画面に表示される画像例である。この例では、第７回目表示処理前にステージを移動し、第１０回目表示処理前にステージを停止したものとしている。
【００４２】
ここでは、リカーシブフィルタ処理により、ちらつきノイズが消えた画像が表示されるまでには少なくとも４回のリカーシブフィルタ処理の繰り返しが必要であり、それまではちらつきノイズを含んだ仮の精細画像データが表示され、それ以後は、安定した精細画像データが表示されるものとして説明している。
【００４３】
操作者により、測定動作（表示処理）が開始されると、初回の表示処理により、最初のコマ画像データＤ１が作成され、画像バッファメモリ２４には精細画像データＣ０（白紙精細画像データ）と直前のコマ画像データＤ１とによるリカーシブフィルタ処理により得られた画像データＣ１が蓄積される。ただし、画像データＣ１はちらつきノイズを含んでいるため、仮の精細画像データである。表示装置２３には、仮の精細画像データＣ１が表示される。
同様に、第２回表示処理（第３回表示処理）の表示処理により、コマ画像データＤ２（Ｄ３）が作成され、仮の精細画像データＣ２（Ｃ３）が画像バッファメモリに蓄積されるとともに表示装置２３に表示される。
【００４４】
第４回表示処理により、コマ画像データＤ４が作成される。画像バッファメモリ２４に蓄積されている精細画像データＣ３とによるリカーシブフィルタ処理を実行すると、必要回数のリカーシブフィルタ処理の繰り返しがなされたので、ちらつきノイズのない精細画像データＣ４が得られる。これを画像バッファメモリ２４に蓄積し、表示装置２３の画面に最新の精細画像データＣ４を表示する。図４（ａ）は、このときの画像例を示したものであり、ちらつきノイズのない精細な画像が表示されている。
以後、第５回目表示処理（第６回目表示処理）では、コマ画像データＤ５（Ｄ６）による精細画像データＣ５（Ｃ６）の更新が行われている。
【００４５】
第７回表示処理の前に、ステージ１６が移動すると、変動に対する追従性を高めるためにビニング処理がＯＮ状態になり、ビニング処理によるコマ画像データＤ’７が作成される。このとき、画像バッファメモリ２４に蓄積されていた精細画像データＣ６は消去され、白紙の精細画像データＣ０が形式的に蓄積されている状態になる。また、表示装置２３の画面にはコマ画像データＤ’７が表示される。図４（ｂ）はこのときの画像例を示したものであり、ちらつきノイズを含むとともにビニング処理による粗い画像が表示されている。ステージ移動中であるため、画質はこれでも十分であり、しかも被測定物Ｓの透視Ｘ線像が追従性よく表示できている。
第８回表示処理（第９回表示処理）では、コマ画像データＤ’８（Ｄ’９）が作成され、表示装置の画面に表示する画像の更新が行われている。
【００４６】
第１０回表示処理前に、ステージ移動が停止すると、ビニング処理はＯＦＦ状態になり、通常のコマ画像データＤ１０が作成される。画像バッファメモリ２４には形式的な精細画像データＣ０（白紙精細画像データ）と直前のコマ画像データＤ１０とによるリカーシブフィルタ処理により得られた精細画像データＣ１０が蓄積される。ただし、画像データＣ１０はちらつきノイズを含んでいるため、仮の精細画像データである。表示装置２３には、仮の精細画像データＣ１０が表示される。
同様に、第１１回表示処理（第１２回表示処理）により、コマ画像データＤ１１（Ｄ１２）が作成され、仮の精細画像データＣ１１（Ｃ１２）が画像バッファメモリ２４に蓄積されるとともに表示装置２３に表示される。
さらに、第１３回表示処理により、コマ画像データＤ１３が作成され、必要回数のリカーシブフィルタ処理の繰り返しがなされたので、ちらつきノイズのない精細画像データＣ１３が得られる。図４（ｃ）は、このときの画像例を示したものであり、ちらつきノイズのない精細な画像が表示されている。
【００４７】
以上の処理動作により、ステージ移動により視野が変動している間は、変動に対する追従性がよい動画像表示を行うことができ、ステージが停止状態となり視野が固定されてからは、リカーシブフィルタ処理による精細画像を表示することができるので、状況に応じて最適な表示モードを実現することができ、使い勝手のよいＸ線検査装置にすることができる。
【００４８】
（実施形態２）
上述したＸ線検査装置１では、精細画像データを作成する際に、リカーシブフィルタ処理を実行したが、これに代えて、平均化処理を実行することにより、精細画像データを作成するようにしてもよい。
【００４９】
図５は、平均化処理により精細画像データを作成するＸ線検査装置２の構成を説明するブロック図である。図において、図１と同じものは同符号を付すことにより、説明を省略する。
【００５０】
平均化処理を実行するＸ線検査装置２は、リカーシブフィルタ処理を実行して精細画像データを作成する精細画像データ作成部３２に代えて、平均化処理を実行して精細画像データを作成する精細画像データ作成部３７を備えている。
精細画像データ作成部３７は、コマ画像データ作成部３１が透視Ｘ線像の最新のコマ画像データＤｎを作成するごとに、この最新画像データＤｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積されているコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１（「精細画像データ作成に用いる画像データ」）を用いて平均化処理（各画素について平均値を求める）行い、新しく精細画像データＣｎを作成し、作成した最新の精細画像データＣｎを、最新画像データＤｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積する制御を行う。このとき、画像バッファメモリ２４のメモリ容量を超える量のコマ画像データが蓄積されるときは、古いコマ画像データから破棄される。また、ステージ停止直後のように、画像バッファメモリ２４に、必要数のコマ画像データが蓄積されていないときは、例えば形式的に白紙のコマ画像データＤ０が蓄積されているとして、形式的に平均化処理を実行するようにしてもよい。
このＤｎ−１は、直前（前回）に作成したコマ画像データであり、Ｄｎ−２はＤｎ−１の１つ前、Ｄｎ−３はＤｎ−２の１つ前、Ｄｎ−４はＤｎ−３の１つ前に作成したコマ画像データである。ここでは、便宜上、最新画像データＤｎと、蓄積された４コマのコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１との平均化処理を行っているが、蓄積したコマ画像データ数を増やすほど、ちらつきノイズを減らすことができる。ただし、それだけメモリ容量を必要になるので、求める画質に応じて、適切なメモリ容量にしておく。
【００５１】
図６は、Ｘ線検査装置２による測定動作を示すフローチャートである。図２と異なる部分は、Ｓ２０４（図２ではＳ１０４）とＳ２１０（図２ではＳ１１０）であり、要するにリカーシブフィルタ処理を平均化処理に置換したものであり、処理の流れは同様である。
【００５２】
図７は、図３と同様に、ステージ１６を停止後、図６で示したフローチャートの表示処理を繰り返し実行したときの各回数ごとのコマ画像データ、画像バッファメモリ２４に蓄積される精細画像データ、表示装置２３の画面に表示される画像データの一例を説明する図である。
平均化処理では、画像バッファメモリ２４に蓄積される画像データとして、精細画像データＣｎとともに、複数コマの直近のコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１が含まれる点が異なるが、基本的に、それ以外は図３と同じである。
このように、平均化処理の場合も、リカーシブフィルタ処理の例と同様に、ステージ移動により視野が変動している間は、変動に対する追従性がよい動画像表示を行うことができ、ステージが停止状態となり視野が固定されてからは、リカーシブフィルタ処理による精細画像を表示することができるので、状況に応じて最適な表示モードを実現することができ、使い勝手のよいＸ線検査装置にすることができる。
【００５３】
なお、上記２つの実施形態による説明では、いずれもフラットパネルＸ線検出器を用いたが、ＩＩとＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器などを用いた場合にも適用できる。又、上記実施形態ではＸ線透視装置を説明したが、この発明はＸ線ＣＴ装置にも適用することができる。
（実施形態３）
【００５４】
上述した実施形態では、視野移動中（視野移動工程）と視野固定中（観察工程）との間での使い勝手を改善するようにしているが、以下に説明する実施形態では、さらに観察した箇所の高精細な静止画像を撮影する撮影工程も含めて使い勝手を改善するようにするようにしている。
【００５５】
図９は、本発明の他の一実施形態であるＸ線検査装置３の構成を説明するブロック図である。図において、図１、図５と同じものは同符号を付すことにより、一部説明を省略する。
このＸ線検査装置３は、Ｘ線測定光学系１３と、視野調整機構１４とについては、図１、図５のものと同じである。
【００５６】
制御系１５は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１、キーボード、マウスなどの入力装置２２、液晶パネルなどの表示装置２３、画像データを蓄積する画像バッファメモリ２４により構成される。
ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、コマ画像データ作成部４１、精細画像データ作成部４２、静止画像データ作成部４３、静止画像作成指示部４４、ビニング処理制御部４５、視野調整制御部３３、視野変動判定部３４、画像モード切替部４６、蓄積画像データ消去部３６に分けられる。
【００５７】
ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。コマ画像データ作成部４１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号に基づいて、次々とデジタル画像化処理を行い、ビニング処理を実行したコマ画像データＤ’ｎ、または、ビニング処理を解除したコマ画像データＤｎを作成する制御を行う。すなわち、ビニング処理を解除したときは、例えば８コマ／秒でコマ画像データＤｎを作成するが、ビニング処理を実行したときは、それよりも高速で粗いコマ画像データＤ’ｎを作成する。なお、作成された１つ１つのコマ画像Ｄｎ、Ｄ’ｎにはちらつきノイズが含まれている。ビニング処理を実行するか否かの切り替えは、後述するビニング処理制御部４５による制御信号に基づいて行われる。
【００５８】
精細画像データ作成部４２は、コマ画像データ作成部４１がビニング処理を実行しつつ、透視Ｘ線像の最新のコマ画像データＤ’ｎを作成するごとに、この最新画像データＤ’ｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積されているコマ画像データＤ’ｎ−４、Ｄ’ｎ−３、Ｄ’ｎ−２、Ｄ’ｎ−１（「精細画像データ作成用画像データ」）を用いて平均化処理（各画素について平均値を求める）を行い、新しく精細画像データＣ’ｎを作成し、作成した最新の精細画像データＣ’ｎを、最新画像データＤ‘ｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積する制御を行う。このとき、画像バッファメモリ２４のメモリ容量を超える量のコマ画像データが蓄積されるときは、古いコマ画像データから破棄される。また、ステージ停止直後のように、画像バッファメモリ２４に、必要数のコマ画像データが蓄積されていないときは、例えば形式的に白紙のコマ画像データＤ’０が蓄積されているとして、形式的に平均化処理を実行するようにしてもよい。
なお、Ｄ’ｎ−１は、直前（前回）に作成したコマ画像データであり、Ｄ’ｎ−２はＤ’ｎ−１の１つ前、Ｄ’ｎ−３はＤ’ｎ−２の１つ前、Ｄ’ｎ−４はＤ’ｎ−３の１つ前に作成したコマ画像データである。ここでは、便宜上、最新画像データＤ’ｎと、蓄積された４コマのコマ画像データＤ’ｎ−４、Ｄ’ｎ−３、Ｄ’ｎ−２、Ｄ’ｎ−１との平均化処理を行っているが、蓄積したコマ画像データ数を増やすほど、ちらつきノイズを減らすことができる。ただし、それだけメモリ容量を必要になるので、求める画質に応じて、適切なメモリ容量にしておく。
これにより、精細画像データＣ’ｎは、最新のコマ画像データＤ’ｎが作成されるごとに更新するようにしてある。なお、初めて精細画像データを作成するときは、画像バッファメモリ２４に前回の精細画像データが蓄積されていないので、白紙のコマ画像Ｄ’０が形式的に蓄積されているものとして処理する。過渡期間は、しばらくちらつきノイズが残るが次第に鮮明な精細画像データが形成されていく。
【００５９】
静止画像データ作成部４３は、コマ画像データ作成部４１がビニング処理を解除した状態で、透視Ｘ線像の最新のコマ画像データＤｎを作成するごとに、この最新画像データＤｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積されているコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１（「静止画像データ作成用画像データ」）を用いて平均化処理を行い、新しく静止画像データＣｎを作成し、作成した最新の精細画像データＣｎを、最新画像データＤｎとともに、画像バッファメモリ２４に蓄積する制御を行う。このとき、画像バッファメモリ２４のメモリ容量を超える量のコマ画像データが蓄積されるときは、古いコマ画像データから破棄される。また、ステージ停止直後のように、画像バッファメモリ２４に、必要数のコマ画像データが蓄積されていないときは、例えば形式的に白紙のコマ画像データＤ０が蓄積されているとして、形式的に平均化処理を実行するようにしてもよい。
このＤｎ−１は、直前（前回）に作成したコマ画像データであり、Ｄｎ−２はＤｎ−１の１つ前、Ｄｎ−３はＤｎ−２の１つ前、Ｄｎ−４はＤｎ−３の１つ前に作成したコマ画像データである。ここでは、便宜上、最新画像データＤｎと、蓄積された４コマのコマ画像データＤｎ−４、Ｄｎ−３、Ｄｎ−２、Ｄｎ−１との平均化処理を行っているが、蓄積したコマ画像データ数を増やすほど、ちらつきノイズを減らすことができる。ただし、それだけメモリ容量を必要になるので、求める画質に応じて、適切なメモリ容量にしておく。
これにより、静止画像データＣｎは、最新のビニング処理が解除されたコマ画像データＤｎが作成されるごとに更新するようにしてある。静止画像データＣｎは、精細画像データＣ’ｎに比べて、画質が改善されているが、更新に時間が必要になる。なお、初めて静止画像データを作成するときは、画像バッファメモリ２４に前回の静止画像データが蓄積されていないので、白紙のコマ画像Ｄ０が形式的に蓄積されているものとして処理する。過渡期間は、しばらくちらつきノイズが残るが次第に高精細な静止画像データが形成されていく。
静止画像データ作成部４３は、次に説明する静止画像作成指示部４４の指示信号の発生により実行が開始される。
【００６０】
静止画像作成指示部４４は、静止画像作成の指示信号を発生する制御を行う。具体的には、操作者が検査箇所を観察し、静止画像を保存しようとしたときに、入力装置２２を操作することによって、これを検出し、静止画像を作成するための指示信号が発生するようにしてある。この場合は、手動操作の検出によるが、自動シーケンスプログラムを作成しておくことによって、自動化してもよい。例えば、検査対象物の形状が一定であり、検査箇所も常に同じ位置である場合には、いわゆる周知のティーチング機能を利用することで、観察する座標位置を記憶させておくことにより、自動的に位置を移動し、該当位置で自動的に観察（例えばあらかじめ記憶させてある標準画像とパターン比較する）を行って確認した上で、静止画像作成の指示信号を発生する制御を行うようにしてもよい。静止画像作成の指示信号は、次に説明するビニング処理制御部４５に送られる。
【００６１】
ビニング処理制御部４５は、静止画像作成の指示信号の発生の有無を監視し、指示信号が発生していないときは、コマ画像データ作成部４１に対し、ビニング処理を実行しつつコマ画像を作成する制御を行い、さらに指示信号が発生したときは、コマ画像データ作成部４１に対し、ビニング処理を解除してコマ画像を作成する制御を行う。
【００６２】
視野調整制御部３３、視野変動判定部３４については、図１、図５で説明したものと同じであり、画像モード切替部３５は、静止画像作成指示部４４による指示信号の発生、および、視野変動判定部３４の判定結果に基づいて、表示画像を切り替える制御を行う。
具体的には、静止画像作成の指示信号がない状態でかつ視野が変動している判定のときは最新のビニング処理を実行したコマ画像データ（粗画像データ）を表示し、静止画像の指示信号がない状態でかつ視野が一定である判定のときは精細画像データを表示し、静止画像の指示信号がある状態のときは静止画像データ（高精細画像データ）を表示するようにしている。
【００６３】
蓄積画像データ消去部３６は、視野変動判定部３４の判定結果に基づいて、視野変動中は画像バッファメモリ２４に蓄積していた画像データを消去する制御を行う。
【００６４】
次に、このＸ線検査装置３による測定動作（表示処理動作）について説明する。図１０は、測定動作を示すフローチャートである。
被測定物Ｓをステージ１６上に載置して測定を開始すると、表示処理が開始される。表示装置２３による画像データの動画表示が可能になり、画像データが送られると順次画面表示するようになる（Ｓ３０１）。
【００６５】
測定開始時は、静止画像作成の指示信号が発生していないので、ビニング処理を実行したコマ画データ像が作成される（Ｓ３０２）。したがってこのとき作成されるコマ画像データは、ちらつきノイズを含んだ粗画像データである
続いて、ステージ１６の制御信号をモニタすることにより、ステージ１６が移動中であるか停止状態であるかを判定する（Ｓ３０３）。ステージが移動中のときはＳ３０４へ進み、ステージが停止中のときはＳ３０８に進む。
【００６６】
ステージ１６が移動状態である判定のときは、メモリ２４に蓄積された画像データを消去し（Ｓ３０４）、ビニング処理を実行したコマ画像データを作成する（Ｓ３０５）。
続いて、平均化処理機能をＯＦＦ状態にしておくことにより平均化処理を行わないようにし（Ｓ３０６）、作成された最新のコマ画像データを表示装置２３に表示して（Ｓ３０７）、再びＳ３０３に戻り、同様の処理を繰り返す。表示される画像は、ちらつきノイズが含まれるが、高速表示が可能であり追従性に優れている。
【００６７】
ステージ１６が停止状態である判定のとき、最新のビニング処理を実行したコマ画データ像を作成する（Ｓ３０８）。したがって作成されるコマ画像データは、粗画像データである。
続いて、平均化処理機能をＯＮ状態にすることにより平均化処理を行い（Ｓ３０９）、画像バッファメモリ２４に蓄積してある精細画像作成用画像データと最新のコマ画像データとを用いて、最新の精細画像データを作成し（Ｓ３１０）、これを表示装置２３に表示する（Ｓ３１１）。
表示された画像は平均化処理によりちらつきノイズが除去された精細画像が表示される。このときの画像は平均化処理に要する時間がかかるため、表示速度が少し遅くなるが、停止状態のため、あまり問題とならない。
【００６８】
続いて、静止画像作成の指示信号が発生したかを判定し（Ｓ３１２）、指示信号が発生していないときはＳ３０３に戻って同様の処理を繰り返し、指示信号が発生するとＳ３１３に進む。
【００６９】
Ｓ３１２において、静止画像作成の指示信号が発生したと判定されると、ビニング処理を解除（ＯＦＦ状態）する（Ｓ３１３）。これにより、以後は、ビニング処理を解除したコマ画像データが作成される。
続いて、ビニング処理を解除したコマ画像データを用いて平均化処理を行い（Ｓ３１４）、静止画像データが作成される（Ｓ３１５）。以後、設定回数になるまで平均化処理と静止画像データ作成とを繰り返し（Ｓ３１６）、設定回数に達すると静止画像の保存処理を行ってメモリに記憶する（Ｓ３１７）。
【００７０】
図１１は、図１０で説明した表示処理を実行したときの各回数ごとのコマ画像データ、画像バッファメモリに蓄積される画像データ、表示装置２３の画面に表示される画像データの一例を説明する図であり、図１２は、表示装置２３の画面に表示される画像例である。この例では、初回目から第３回目までステージを移動し、第４回目から第８回目まではステージを停止して観察し、第９回目前に静止画像撮影の入力操作が行われたものとしている。なお、この例では、初回にステージ移動が開始されるので、初回目以前にステージ停止状態が続いている場合も同じである。
【００７１】
また、ここでは、ステージ移動停止後、平均化処理により、ちらつきノイズが消えた精細画像が表示されるまでには少なくとも４回の平均化処理の繰り返しが必要であり、それまではちらつきノイズを含んだ仮の精細画像データが表示され、それ以後は、安定した精細画像データが表示されるものとして説明している。さらに、静止画像作成の指示信号の発生後、平均化処理により、ちらつきノイズが消え、高精細な静止画像データが表示されるまでに５回の平均化処理の繰り返しが必要であり、それまではちらつきノイズを含んだ仮の高精細画像データが表示されるものとして説明している。
【００７２】
ステージ移動中に，初回の表示処理により、最初のビニング処理を実行したコマ画像データＤ’１が作成される。画像バッファメモリ２４には過去に作成され蓄積されていた画像データが破棄され（画像ブレ防止のため）、仮の精細画像データＣ０（白紙精細画像データ）が蓄積される。そして、表示画面２３には、コマ画像データＤ’１が表示される。画像データＤ’１はちらつきノイズを含んでおり、しかも、ビニング処理された粗画像データであるが、追従性に優れているため、移動中の状態変化を表示することができる。
同様に、第２回表示処理（第３回表示処理）の表示処理により、コマ画像データＤ’２（Ｄ’３）が作成され、ステージ移動中の状態変化が追従性よく表示装置２３に表示される。
図１２（ａ）は、このときの画像例であり、ちらつきノイズが含まれた粗画像が表示されている。そして第三回目表示処理の後に、ステージ１６が停止される。
【００７３】
第４回目表示処理により、ビニング処理を実行したコマ画像データＤ’４が作成される。画像バッファメモリ２４に蓄積されている平均化処理用画像データと最新のコマ画像データＤ’４とによる平均化処理を実行し（ただし第４回目表示処理では平均化処理用画像データが蓄積されていないので形式的に行われる）、仮の精細画像データＣ’４が作成される。
第３回目表示処理から第４回目表示処理に移り変わる際に、ビニング処理自体は、引き続き実行されたまま維持されているので、ビニング処理を解除する際に発生するような待ち時間は生じない。
以後、第５回目表示処理（第６回目表示処理）では、コマ画像データＤ５（Ｄ６）による仮の精細画像データＣ’５（Ｃ’６）の更新が行われている。そして、第７回目表示処理では、必要回数のデータによる平均化処理がなされたので、ちらつきノイズのない精細画像データＣ’７が得られる。これを画像バッファメモリ２４に蓄積し、表示装置２３の画面に最新の精細画像データＣ’７を表示する。図１２（ｂ）は、このときの画像例を示したものであり、ちらつきノイズのない精細画像データが表示されている。
続いて、第８回目表示処理では、コマ画像データＤ’８による更新が行われ、精細画像データＣ’８が表示される。
そして、第８回目の表示処理の後に、静止画像作成の指示信号が発生される。
【００７４】
静止画像作成の指示信号が発生により、ビニング処理が解除される。第９回目表示処理では、画像バッファメモリ２４に過去に蓄積された画像データが破棄され、ビニング処理を解除して新たに作成されたコマ画像データＤ９が作成される。そして、コマ画像データＤ９と平均化処理用画像データとにより平均化処理した仮の高精細画像データＣ９が蓄積される（ただし第９回目表示処理ではビニング処理が解除されたため、以前の平均化処理用画像データが蓄積されていないので形式的に平均化処理が行われる）。そして、表示装置２３の画面に仮の高精細画像データＣ９を表示する。
ビニング処理の解除に伴い、切り替えに数秒の待ち時間が生じる場合があるが、この時点での待ち時間は、上述したように、操作者にとっては第４回目表示処理のときほどは時間が気にならない。
【００７５】
第１０回目表示処理から第１２回目表示処理まで、ビニング処理が解除されたコマ画像データＤ９、Ｄ１０、Ｄ１１、Ｄ１２が作成され、平均化処理を繰り返して、仮の高精細画像データＣ９、Ｃ１０、Ｃ１１、Ｃ１２ととともに蓄積される。第１３回目表示処理によりビニング処理が解除されたコマ画像データＤ１３が作成され、高精細画像データに必要な回数の平均化処理がなされた高精細画像データＣ１３が作成されると、これが表示画面２３に表示される。
図１２（ｃ）は、このときの画像例を示したものであり、ちらつきノイズがなく、高精細な画像が表示されることになる。
【００７６】
以上の処理動作により、ステージ移動により視野が変動している間は、変動に対する追従性がよい動画像表示を行うことができ、ステージが停止状態となり視野が固定されてからは、平均化処理により精細画像を表示することができ、さらに静止画像データを作成する際には、ビニング処理を解除した高精細画像を作成するので、状況に応じて最適な表示を実現することができ、しかも、ビニング処理の切り替えに伴う待ち時間も気にならないようにすることができるので、使い勝手のよいＸ線検査装置にすることができる。
【００７７】
なお、上記実施形態では、ビニング処理を実行しているときの平均化処理の回数を、ビニング処理を解除したときの平均化の回数より増加させているが、平均化処理の回数は、それぞれ観察工程中、静止画像撮影工程中に要求される画質に応じて、適宜設定できるようにしてもよい。
【００７８】
また、上記実施形態では、静止画像作成の指示信号があったときは、ビニング処理を実行した状態から解除するようにしたが、自動シーケンスプログラムによる運転を実施している場合等で、視野の固定時間が十分にとれない場合は、ビニング処理を解除せずにビニング処理を実行したまま静止画像作成を進めるようにしてもよい。
【００７９】
また、上記説明では、平均化処理によりちらつきノイズを消去するようにしたが、これに代えて、実施例１で説明したようなリカーシブフィルタ処理を用いた場合でも同様である。この場合は、図１０におけるＳ３０６、Ｓ３０９、Ｓ３１４の平均化処理をリカーシブフィルタ処理に置換することになる。
【産業上の利用可能性】
【００８０】
本発明は、視野変動中であるか視野固定中であるかの状態に応じて、表示態様を切り替えるＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】図１のＸ線検査装置による測定動作（表示処理動作）のフローチャート。
【図３】図１のＸ線検査装置による表示処理ごとの表示画面および画像バッファメモリの状態を説明する図。
【図４】表示画面に表示される画像例を説明する図。
【図５】本発明の他の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図６】図５のＸ線検査装置による測定動作（表示処理動作）のフローチャート。
【図７】図５のＸ線検査装置による表示処理ごとの表示画面および画像バッファメモリの状態を説明する図。
【図８】従来のＸ線検査装置が実行する平均化処理あるいはリカーシブフィルタ処理を説明する図。
【図９】本発明の他の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図１０】図９のＸ線検査装置による測定動作（表示処理動作）のフローチャート。
【図１１】図９のＸ線検査装置による表示処理ごとの表示画面および画像バッファメモリの状態を説明する図。
【図１２】表示画面に表示される画像例を説明する図。
【符号の説明】
【００８２】
１、２、３：  Ｘ線検査装置
１１：  Ｘ線発生装置
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  視野調整機構
１６：  ステージ
１７：  三次元駆動機構
２２：  入力装置
２３：  表示装置
２４：  画像バッファメモリ
３１：  コマ画像データ作成部
３２：  精細画像データ作成部（リカーシブフィルタ処理用）
３３：  視野調整制御部
３４：  視野変動判定部
３５：  画像モード切替部
３６：  蓄積画像データ消去部
３７：  精細画像データ作成部（平均化処理用）
４１：  コマ画像データ作成部
４２：  精細画像データ作成部
４３：  静止画像データ作成部
４４：  静止画像作成指示部
４５：  ビニング処理制御部
４６：  画像モード切替部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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