(57)【要約】【課題】点灯検査（短絡検査）時に異物付着による誤判別を防止する。【解決手段】液晶シャッタ１０を、互いに対向する第１及び第２電極付き透明基板１４、１６と、両透明基板１４，１６間に封入された液晶とから構成する。第１透明基板１４の内面に、第１個別電極３８と第２個別電極４０とを交互に並べた個別電極群２６を設ける。点灯検査（短絡検査）時には、電極配列方向に延びた電圧印加用プローブを各第１個別電極３８の第１突出部３８ｄに接触させて、各第１個別電極３８に同時に検査電圧を印加する。この検査電圧印加時に、電極配列方向に延びた接地用プローブを各第２個別電極３８の第２突出部４０ｄに接触させて、各第２個別電極４０を同時に接地させる。この接地により、両個別電極３８，４０間に異物が存在していたとしても、両者が容量結合しにくくなる。これにより、短絡検査時に異物付着による誤判別を防止することができる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスの点灯検査方法において、
前記複数の個別電極を１つおきに第１個別電極と第２個別電極とに分け、前記第１個別電極に検査電圧を印加しつつ、前記第２個別電極を接地して、前記第２個別電極上の前記電気光学材料が光学的変化を起こすか否かに基づき、互いに隣接する第１及び第２個別電極間の短絡検査を行うことを特徴とする点灯検査方法。
【請求項２】
前記第１個別電極は、電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有しており、
前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた電圧印加用プローブを全ての前記第１個別電極の前記第１突出部のみに接触させて、全ての前記第１個別電極に検査電圧を同時に印加することを特徴とする請求項１記載の点灯検査方法。
【請求項３】
前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有しており、
前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた接地用プローブを全ての前記第２個別電極の前記第２突出部のみに接触させて、全ての前記第２個別電極を接地することを特徴とする請求項２記載の点灯検査方法。
【請求項４】
全ての第１及び第２個別電極に前記検査電圧を印加しつつ、前記第２個別電極の接地を解除して、第１及び第２個別電極に対向する前記電気光学材料が光学的変化を起こすか否かに基づき、前記第１及び第２個別電極の断線検査を行うことを特徴とする請求項１ないし３いずれか１項記載の点灯検査方法。
【請求項５】
前記電気光学材料は液晶であり、
前記電気光学デバイスは、前記第１及び第２個別電極が設けられた前記一方の基板と、前記第１及び第２個別電極に対向する共通電極が設けられた前記他方の基板との間に前記液晶が封入された液晶パネルであることを特徴とする請求項１ないし４いずれか１項記載の点灯検査方法。
【請求項６】
前記液晶パネルは、前記第１または前記第２個別電極と、前記共通電極とが互いに対向する領域に設けられる液晶セルが列に並べて配置された液晶シャッタであることを特徴とする請求項５記載の点灯検査方法。
【請求項７】
互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスにおいて、
前記複数の個別電極が１つおきに第１個別電極と第２個別電極とに分けられ、前記第１個別電極は、電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有するとともに、前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有していることを特徴とする電気光学デバイス。
【請求項８】
前記一方の基板は、前記他方の基板よりも前記第１の方向に突き出た第１延設部と、前記第２の方向に突き出た第２延設部とを有しており、
前記第１個別電極の前記第１突出部は、前記第１延設部上に設けられているとともに、前記第２個別電極の前記第２突出部は、前記第２延設部上に設けられていることを特徴とする請求項７記載の電気光学デバイス。
【請求項９】
互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスを請求項１ないし６いずれか１項記載の点灯検査方法を用いて点灯検査する点灯検査装置において、
前記短絡検査時に、第１個別電極に検査電圧を印加する電圧印加手段と、
前記短絡検査時に、前記第２個別電極を接地させる接地手段とを備えることを特徴とする点灯検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対の基板の間に電気光学材料が挟持されている液晶パネル等の電気光学デバイス、並びにこの電気光学デバイスを点灯検査する点灯検査方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、プリンタや露光装置の露光ヘッドとして、液晶シャッタ（シャッタアレイ）を備えたものがよく知られている。液晶シャッタは、一対の透明基板間にネマティック液晶等の各種液晶が封入された液晶パネルである。液晶シャッタは、両透明基板の互いに対向する対向面の一方に１列に並べて形成された複数の個別電極（セグメント電極）、他方に形成された共通電極（コモン電極）等を備えている。つまり、液晶シャッタには、個別電極と共通電極とが互いに対向する領域に設けられる液晶セル（液晶シャッタ素子）が１列に並べて配置されている。各液晶セルは、両電極間に印加される駆動電圧のオン・オフで光を遮光する遮光状態、及び光を透過する光透過状態に個々に切り替えられる。
【０００３】
このような液晶シャッタの液晶セル、つまり、個別電極の形成には、高度な薄膜形成技術と微細加工技術とが用いられるが、隣接する個別電極間の短絡（ショート）や各個別電極の断線等の発生を完全に抑えるのは困難である。従って、液晶シャッタの製造工程では、各液晶セルを駆動するドライバＩＣを液晶シャッタに実装する前の段階において、液晶シャッタの点灯検査が行われる。
【０００４】
液晶シャッタの点灯検査は、液晶シャッタの背面から検査光を照射しつつ、各個別電極に検査電圧を印加することにより行われる。この点灯検査には、互いに隣接する個別電極間の短絡をチェックする短絡検査と、各個別電極の断線をチェックする断線検査とが含まれている。短絡検査では、個別電極の１本おきに検査電圧を印加する。例えば、液晶シャッタがノーマリホワイトの場合には、奇数番目の個別電極に検査電圧を印加して、偶数番目の液晶セルで点灯しないものがあれば短絡有りと判定する。これに対して、断線検査では、全ての個別電極に検査電圧を印加して、点灯しているものがあれば、断線有りと判定する。
【０００５】
このような短絡検査及び断線検査を、従来ではプローブピンを各個別電極に接触させて行っていた。このプローブピンの駆動方式には、プローブピンを移動させるフライング方式と、多数のプローブピンをピンボードに植設して一度に全ての個別電極にプローブピンを接触させるピンボード方式とが良く知られている。この際に、フライング方式は、全ての液晶セルの検査を終えるまでに時間がかかるという問題があり、ピンボード方式は、ピンボードの作成費用が高いという問題があった。
【０００６】
そこで、液晶シャッタの例えば奇数番目の個別電極を、隣接する偶数目の個別電極よりも電極配列方向に直交する方向に長く形成する。これにより、短絡検査時には、電極配列方向に延びた電圧印加用プローブを奇数番目の個別電極のみに接触させることができる（特許文献１参照）。その結果、奇数番目の個別電極のみに検査電圧を同時に印加することができる。また、断線検査時には、電圧印加プローブを全ての個別電極に接触させることで、全ての個別電極に検査電圧を同時に印加することができる。これにより、従来のように各個別電極にプローブピンを接触させて検査を行う必要が無くなるので、点灯検査を短時間で行うことができる。さらに、電圧印加用プローブとしては、例えばフレキシブル基板にベタパターンよりなる接触電極を形成した安価なプローブを用いることができる。その結果、高価なプローブピンを用いる従来の方法よりも安価に点灯検査を行うことができる。
【特許文献１】特開２００３−３２２８７２号公報（第３頁、第１図参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、特許文献１記載の方法を用いて短絡検査を行う際に、検査電圧が印加される奇数番目の個別電極と、検査電圧が印加されない偶数番目の個別電極との間に異物が存在している場合がある。この場合には、互いに隣接する個別電極間が短絡していなくても、両個別電極が異物を介して容量結合することで、検査電圧が印加されていない液晶セルが駆動されてしまうおそれがある。このため、個別電極間が短絡していると誤判別してしまうおそれがある。特に、検査時には不良品の流出を防ぐため、検査電圧を実装時の駆動電圧よりも高くしているので、容量結合が発生し易いという問題がある。その結果、液晶シャッタ製造工程の歩留まりが下がってしまう。
【０００８】
これを防止するために、例えば各個別電極上を絶縁膜で覆う方法が考えられるが、この場合でも、高湿環境下では容量結合が発生して隣接する液晶セルが駆動されてしまうおそれがある。
【０００９】
本発明は上記問題を解決するためのものであり、点灯検査（短絡検査）を行う際に異物付着による誤判別の発生を防止可能な液晶パネル等の電気光学デバイス、並びに点灯検査方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスの点灯検査方法において、前記複数の個別電極を１つおきに第１個別電極と第２個別電極とに分け、前記第１個別電極に検査電圧を印加しつつ、前記第２個別電極を接地して、前記第２個別電極上の前記電気光学材料が光学的変化を起こすか否かに基づき、互いに隣接する第１及び第２個別電極間の短絡検査を行うことを特徴とする。
【００１１】
前記第１個別電極は、電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有しており、前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた電圧印加用プローブを全ての前記第１個別電極の前記第１突出部のみに接触させて、全ての前記第１個別電極に検査電圧を同時に印加することが好ましい。また、前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有しており、前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた接地用プローブを全ての前記第２個別電極の前記第２突出部のみに接触させて、全ての前記第２個別電極を接地することが好ましい。
【００１２】
全ての第１及び第２個別電極に前記検査電圧を印加しつつ、前記第２個別電極の接地を解除して、第１及び第２個別電極に対向する前記電気光学材料が光学的変化を起こすか否かに基づき、前記第１及び第２個別電極の断線検査を行うことが好ましい。また、前記電気光学材料は液晶であり、前記電気光学デバイスは、前記第１及び第２個別電極が設けられた前記一方の基板と、前記第１及び第２個別電極に対向する共通電極が設けられた前記他方の基板との間に前記液晶が封入された液晶パネルであることが好ましい。また、前記液晶パネルは、前記第１または前記第２個別電極と、前記共通電極とが互いに対向する領域に設けられる液晶セルが列に並べて配置された液晶シャッタであることが好ましい。
【００１３】
また、本発明は、互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスにおいて、前記複数の個別電極が１つおきに第１個別電極と第２個別電極とに分けられ、前記第１個別電極は、前記電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有するとともに、前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有していることを特徴とする。
【００１４】
前記一方の基板は、前記他方の基板よりも前記第１の方向に突き出た第１延設部と、前記第２の方向に突き出た第２延設部とを有しており、前記第１個別電極の前記第１突出部は、前記第１延設部上に設けられているとともに、前記第２個別電極の前記第２突出部は、前記第２延設部上に設けられていることが好ましい。
【００１５】
また、本発明は、互いに対向する一対の基板の間に電圧印加により光学的変化を起こす電気光学材料が挟持され、一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスを請求項１ないし６いずれか１項記載の点灯検査方法を用いて点灯検査する点灯検査装置において、前記短絡検査時に、第１個別電極に検査電圧を印加する電圧印加手段と、前記短絡検査時に、前記第２個別電極を接地させる接地手段とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の点灯検査方法は、一対の基板間に電気光学材料が挟持され、且つ一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスの短絡検査を行う際に、前記複数の個別電極を１つおきに第１個別電極と第２個別電極とに分け、前記第１個別電極に検査電圧を印加しつつ、前記第２個別電極を接地するようにしたので、検査電圧が印加されない第２個別電極を電位的に安定させ、且つそのインピーダンスを下げることができる。このため、第１個別電極と第２個別電極との間に異物が存在していたとしても、両者が容量結合しにくくなる。その結果、異物等を介した両個別電極の容量結合を防止できる。これにより、両個別電極間の短絡の有無を検査する際の誤判別を防止できるので、誤判別により電気光学デバイス製造工程の歩留まりが低下することが防止される。
【００１７】
また、前記第１個別電極は、電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有している。このため、前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた電圧印加用プローブを、全ての前記第１個別電極の前記第１突出部のみに接触させることができる。また、前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有している。このため、前記短絡検査時には、前記電極配列方向に延びた接地用プローブを、全ての前記第２個別電極の前記第２突出部のみに接触させることができる。その結果、前記短絡検査時には、従来のように高価なプローブピンを各個別電極に一本ずつ接触させる必要が無くなる。このため、短絡検査（点灯検査）に要する時間を短縮することができる。さらに、電圧印加用プローブや接地用プローブとして安価な導電ゴムを用いることができるので、従来よりも安価に短絡検査（点灯検査）を行うことができる。
【００１８】
本発明の電気光学デバイスは、一対の基板間に電気光学材料が挟持され、且つ一方の基板の他方の基板に対向する対向面に第１個別電極と第２個別電極とが交互に並べて設けられており、さらに、前記第１個別電極は、電極配列方向に直交し且つ前記対向面に沿う第１の方向に前記第２個別電極よりも突出した第１突出部を有するとともに、前記第２個別電極は、前記第１の方向とは反対側の第２の方向に前記第１個別電極よりも突出した第２突出部を有しているので、前記電極配列方向に延びた電圧印加用プローブ及び接地用プローブを用いて、各第１個別電極への検査電圧の印加と、各第２個別電極の接地とを行うことができる。その結果、従来よりも短時間且つ安価に短絡検査（点灯検査）を行うことができる。
【００１９】
本発明の点灯検査装置は、一対の基板間に電気光学材料が挟持され、且つ一方の基板の他方の基板に対向する対向面に複数の個別電極が列に並べて設けられている電気光学デバイスを請求項１ないし６いずれか１項記載の点灯検査方法を用いて点灯検査するものであり、前記短絡検査時に、第１個別電極に検査電圧を印加する電圧印加手段と、前記第２個別電極を電位が接地電位になるように接地させる接地手段とを備えるようにしたので、同様に、異物等を介した両個別電極の容量結合を防止でき、両個別電極間の短絡の有無を検査する際の誤判別を防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の電気光学デバイスに相当する液晶シャッタ１０の外観斜視図である。液晶シャッタ１０は、例えばプリンタや各種露光装置の露光ヘッドに用いられるものであり、光源（図示せず）より照射される光を透過する光透過状態、及び光を遮光する遮光状態に個々に切替可能な液晶セル１２が一列に並べて配置された液晶パネルである。この液晶シャッタ１０は、略長方形状に形成されており、本説明ではその長軸方向（液晶セル配列方向）をＸ軸方向と定義し、その短軸方向をＹ軸方向と定義する。
【００２１】
液晶シャッタ１０は、大別して、互いに対向する第１及び第２電極付き透明基板（以下、単に透明基板という）１４、１６と、両透明基板１４，１６間に封入された液晶１８（図３参照）とから構成される。液晶１８としては、ネマティック液晶、強誘電性液晶、反強誘電性液晶等の各種液晶を用いることができるが、本実施形態ではネマティック液晶を用いる。
【００２２】
図２は、第１透明基板１４の上面図であり、図３は、図２の液晶シャッタ１０のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。第１透明基板１４は、そのＹ軸方向両端部が第２透明基板１６よりも突き出た第１及び第２延設部１４ａ，１４ｂとなっている。第１透明基板１４には、遮光マスク２０と、第１偏光板２２と、絶縁膜２４と、個別電極群２６と、個別電極用電源引き出しプリントパターン（以下、単に個別電極用引き出し線という）２８と、共通電極用引き出し線３０と、第１配向膜３２とが設けられている。なお、図２中では、図面の煩雑化を防止するために、絶縁膜２４及び第１配向膜３２の図示は省略している。
【００２３】
遮光マスク２０は、例えばＣｒ（クロム）やＡｕ（金）等からなり、第１透明基板１４の内面上に形成される。この遮光マスク２０は、図中Ｘ軸方向に１列に並べて形成された開口窓３４を複数有しており、開口窓３４以外の領域からの光漏れを防止する。各開口窓３４により各液晶セル１２の開口部の大きさが決定される。また、第１偏光板２２は、第１透明基板１４の外面に貼り付けられている。
【００２４】
絶縁膜２４は、遮光マスク２０上に形成される。この絶縁膜２４は、第１透明基板１４のほぼ全面を覆うように形成されている。絶縁膜１４は、例えばＳｉＯ２  等から形成される。この絶縁膜１４は、遮光マスク２０と、後述する個別電極群２６とのショートを防止する。
【００２５】
絶縁膜２４上には、個別電極群２６と、個別電極用引き出し線２８と、共通電極用引き出し線３０とが形成される。これらは、ＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）からなる薄膜状の透明電極膜であり、例えばスパッタリング法等を用いた成膜工程と、フォトリソグラフィ法等を用いたパターンニング工程とを経て形成される。
【００２６】
個別電極群２６は、本発明の複数の個別電極に相当するものであり、第１個別電極３８と第２個別電極４０とが各開口窓３４に対向する位置に交互に並べて１列に形成されている。第１個別電極３８は、開口窓３４に対向する位置に形成された電極本体３８ａと、電極本体３８ａから第１延出部１４ａに向かう方向（以下、Ｙ軸マイナス方向という）に延びた第１電極リード３８ｂと、電極本体３８ｃから第２延出部１４ｂに向かう方向（以下、Ｙ軸プラス方向という）に延びた第２電極リード３８ｃとから構成される。また、第２個別電極４０も同様に、電極本体４０ａと、第１電極リード４０ｂと、第２電極リード４０ｃとから構成される。
【００２７】
個別電極用引き出し線２８は、第１延設部１４ａに形成されている。この個別電極用引き出し線２８は、その一端が図示しないコネクタ、ケーブル等を介してプリンタや露光装置等の電源部（図示せず）の出力端子に接続されている。また、個別電極用引き出し線２８の他端は、個別電極群２６の第１電極リード３８ｂ，４０ｂの近傍まで延びている。
【００２８】
共通電極用引き出し線３０は、個別電極用引き出し線２８の近傍に形成されている。この共通電極用引き出し線３０は、その一端部が図示しないコネクタ、ケーブル等を介して上述の電源部（図示せず）の接地端子に電気的に接続される。また、共通電極用引き出し線３０の他端部は、第２透明基板１６（共通電極４４）と対向する位置に形成されている。
【００２９】
個別電極群２６上には、第１配向膜３２が形成されている。第１配向膜３２は、第２透明基板１６に対向するエリア内に形成されている。第１配向膜３２は、例えばポリイミド等から形成される。この第１配向膜３２には、液晶１８を配向させるために、ラビング処理、光配向処理等の各種の配向処理が施される。
【００３０】
第２透明基板１６には、共通電極４４と、第２偏光板４６と、第２配向膜４８とが設けられている。共通電極４４は、ＩＴＯからなる薄膜状の透明電極膜であり、個別電極群２６に対向するように略長方形状に形成されている。また、第２透明基板１６の外面には、第２偏光板４６が貼り付けられている。この第２偏光板４６の偏光軸と、第１偏光板２８の偏光軸とは互いに直交した直交ニコル状態になっている。
【００３１】
共通電極４４上には第２配向膜４８が形成される。第２配向膜４８は、第１配向膜３２に対向するエリアに形成されている。第２配向膜４８も第１配向膜３２と同様にポリイミド等から形成されており、ラビング処理や光配向処理等の各種の配向処理が施される。
【００３２】
第１及び第２透明基板１４，１６は、熱硬化性エポキシ樹脂等からなるシール材５０によって貼り合わされる。そして、これら両基板１４，１６、及びシール材５０により形成される空間に液晶１８が既知の充填方法で充填され、封入される。この際に、液晶１８の層厚は、両基板１４，１６の間に配置された図示しないスペーサによって調整される。また、両基板１４，１６が貼り合わされる際には、シール材５０で囲われる液晶封入エリアの外側で、共通電極用引き出し線３０と共通電極４４とが銀接点５２（図２参照）を介して電気的に接続される。そして、液晶１８には、個別電極群２６と共通電極４４との間でのみ電圧を印加することできる。つまり、個別電極群２６と共通電極４４とが互いに対向する領域が上述の液晶セル１２（液晶シャッタ素子）になる。
【００３３】
個別電極群２６及び共通電極４４間に駆動電圧が印加されていない時（駆動電圧ＯＦＦ時）に、液晶（ネマティック液晶）１８は、周知のように所定のねじれ角度（ツイスト角度）でツイスト配向される。このため、両配向膜３２，４８に施す配向処理の方向を調整することで、液晶シャッタ１０の各液晶セル１２に入射した光をそのまま透過させることができる。
【００３４】
個別電極群２６及び共通電極４４間に駆動電圧が印加された時（駆動電圧ＯＮ時）は、個別電極群２６上にある液晶１８の液晶分子が電圧印加方向に配向（垂直配向）される。上述したように、第１偏光板１８と第２偏光板４６とは直交ニコル状態になっているので、液晶シャッタ１０の各液晶セル１２に入射した光は第２偏光板４６により遮光される。
【００３５】
上述のように、個別電極群２６と共通電極４４との間に印加される駆動電圧のＯＮ・ＯＦＦを制御することで、各液晶セル１２に入射する光の遮断・透過を制御することができる。つまり、各液晶セル１２を個々に遮光状態と光透過状態とに切り替えることができる。個々の各液晶セル１２の切替制御は、ドライバＩＣ５６によって行われる。
【００３６】
ドライバＩＣ５６は、第１延設部１４ａ上に実装される。このドライバＩＣ５６は、個別電極群２６（第１及び第２個別電極３８，４０）と、個別電極用引き出し線２８とに電気的に接続される接点部（図示せず）を有している。ドライバＩＣ５６は、各第１及び第２個別電極３８，４０に印加される駆動電圧のオン・オフを制御することで、各液晶セル１２を個々に遮光状態と光透過状態とに切替制御する。
【００３７】
上述のドライバＩＣ５６の実装は、液晶シャッタ１０の点灯検査工程が終了した後に行われる。これは、欠陥がある液晶シャッタ１０にドライバＩＣ５６を実装してしまうことを防止するためである。上述したように、個別電極群２６形成時に高度な薄膜形成技術と微細加工技術とを用いたとしても、個別電極群２６の各電極間の短絡や、各電極の断線の発生を完全に抑えるのは困難である。従って、ドライバＩＣ５６の実装前には、必ず液晶シャッタ１０の点灯検査が行われる。
【００３８】
液晶シャッタ１０の点灯検査では、個別電極群２６の各電極間の短絡を検査する短絡検査と、個別電極群２６の各電極の断線を検査する断線検査とが行われる。短絡検査は、第１個別電極３８及び第２個別電極４０のいずれか一方、本実施形態では第１個別電極３８に検査電圧を印加して、隣接する第２個別電極４０に対応する液晶セル１２が駆動されるか否かで、両個別電極３８，４０間の短絡の有無を判定する。また、断線検査は、個別電極群２６の全てに検査電圧を印加して、駆動されない液晶セル１２があるか否かで、個々の個別電極３８，４０の断線の有無を判定する。
【００３９】
両検査のうち短絡検査を行う際に、両個別電極３８，４０間に異物が存在していると、上述したように両個別電極３８，４０が異物を介して容量結合し、実際に短絡していなくても第２個別電極４０に対応する液晶セル１２が駆動されてしまう場合がある。そこで、本発明では短絡検査時に検査電圧が印加されない第２個別電極４０を接地させることで、両個別電極３８，４０の容量結合を防止する。以下、本発明の点灯検査方法（短絡検査方法）について具体的に説明を行う。
【００４０】
本実施形態では、点灯検査を短時間及び安価に行うために、短絡検査時には、第１個別電極３８に１本ずつプローブピンを接触させるのではなく、Ｘ軸方向に延びた１本の電圧印加用プローブを全ての第１個別電極３８に接触させて同時に検査電圧を印加する。また、同様に、Ｘ軸方向に延びた１本の接地用プローブを全ての第２個別電極４０に接触させて同時に接地させる。このため、本実施形態では第１個別電極３８と第２個別電極４０との形状を異ならせている。
【００４１】
具体的に、第２個別電極４０の第１電極リード４０ｂは、第１延設部１４ａ上のドライバＩＣ５６が実装される実装エリアまでしか延びていないのに対して、第１個別電極３８の第１電極リード３８ｂは、第１延設部１４ａの端部まで延びている。つまり、第１電極リード３８ｂは、第１電極リード４０ｂよりも本発明の第１の方向に相当するＹ軸マイナス方向に突出した第１突出部３８ｄを有している。これにより、電圧印加用プローブを第１突出部３８ｄ（第１個別電極３８）のみに接触させることができる。
【００４２】
逆に、第１個別電極３８の第２電極リード３８ｃは、第２延出部１４ｂまで延びていないのに対して、第２個別電極４０の第２電極リード４０ｃは、第２延出部１４ｂの端部まで延びている。つまり、第２電極リード４０ｃは、第２電極リード３８ｃよりも本発明の第２の方向に相当するＹ軸プラス方向に突出した第２突出部４０ｄを有している。これにより、接地用プローブを第２突出部４０ｄ（第２個別電極４０）のみに接触させることができる。
【００４３】
図４は、液晶シャッタ１０の点灯検査（短絡及び断線検査）を行う点灯検査装置６０の一例を示した概略図である。この点灯検査装置６０は、大別して、液晶シャッタ１０がセットされる検査台６２と、検査冶具６４とから構成される。検査台６２には、検査用光源６６が配置される配置穴６２ａが形成されている。そして、液晶シャッタ１０は、配置穴６２ａを跨ぐように検査台６２にセットされる。
【００４４】
検査用光源６６は、液晶シャッタ１０の液晶セル１２（遮光マスク２０の開口窓３４）に対向する位置に配置される。この検査用光源６６としては、各液晶セル１２（各開口窓３４）に向けて均一に検査光を照射できるものであれば、その種類や構成は特に限定されない。
【００４５】
検査冶具６４は、平板状のホルダ６８と、このホルダ６８に保持された電圧印加用導電ゴム７０及び接地用導電ゴム７２とから構成される。ホルダ６８には、両導電ゴム７０，７２の間に観察窓６８ａが形成されており、点灯検査時には検査員がこの観察窓６８ａを通して液晶シャッタ１０の各液晶セル１２が遮光状態或いは光透過状態のいずれの状態にあるかを目視（光学顕微鏡）で検査する。
【００４６】
電圧印加用導電ゴム７０は、本発明の電圧印加用プローブに相当するものであり、接地用導電ゴム７２は、本発明の接地用プローブに相当するものである。両導電ゴム７０，７２は、ゴム中に導電粒子を分散させたり、ゴム中に導電細線を埋め込んだりして形成された導電ゴムである。導電ゴムは安価であるため、高価なプローブピンを１本ずつ個別電極３８，４０に接触させるピンボード方式よりも冶具の製造コストを低くできるという利点がある。
【００４７】
電圧印加用導電ゴム７０及び接地用導電ゴム７２は、Ｘ方向（図４の紙面垂直方向）に個別電極群２６よりも長く形成された平板状に形成されている。そして、両導電ゴム７０，７２は、以下の２つの条件を満たすように間隔をあけてホルダ６８に保持されている。なお、図示は省略するがホルダ６８には、短絡及び断線検査時に共通電極用引き出し線３０（図２参照）と接触可能な形状の共通電極接地用導電ゴムが保持されている。
・  短絡検査時には、電圧印加用導電ゴム７０が各第１個別電極３８の第１突出部３８ｄのみに接触し、接地用導電ゴム７２が各第２個別電極４０の第２突出部４０ｄに接触する。
・  断線検査時には、電圧印加用導電ゴム７０が全ての第１電極リード３８ｂ，４０ｂに接触し、接地用導電ゴム７２は両個別電極３８，４０と接触しない。
【００４８】
電圧印加用導電ゴム７０は、図示しないコネクタ及びケーブルを介して点灯検査装置６０の電源部７８の出力端子に接続されている。また、上述の共通電極接地用導電ゴム（図示せず）は、電源部７８の接地端子に接続されている。そして、接地用導電ゴム７２は、点灯検査装置６０の接地部８０の接地端子に接続されている。
【００４９】
図５は、短絡検査時における液晶シャッタ１０の個別電極群２６の概略図であり、図６は、短絡検査時の液晶シャッタ１０の等価回路図である。短絡検査時には、検査冶具６４（図４参照）を、上述の（１）の条件を満たす短絡検査位置にセットする（図４参照）。なお、検査冶具６４の短絡検査位置、及び後述する断線検査位置へのセットは、検査員が行ってもよいし、図示しない検査冶具移動機構により自動で行うようにしてもよい。
【００５０】
検査冶具６４を短絡検査位置にセットしたら、検査員は、図示しない操作パネルを操作して、検査用光源をＯＮするとともに、電圧印加用導電ゴム７０から各第１個別電極３８への検査電圧の印加を開始する。なお、この検査電圧は、不良品（ショート品）の流出を防ぐために、プリンタ実装時の駆動電圧よりも高電圧である。また、本実施形態では、検査電圧は、人の目には視認できない周波数（数ｍｓｅｃ）のパルス電圧が使用される。
【００５１】
検査電圧が印加されると、第１個別電極３８に対応する液晶セル１２は、遮光状態に切り替わる。また、検査電圧が印加されない第２個別電極４０に対応する液晶セル１２は、光透過状態のままである。このため、互いに隣接する第１及び第２個別電極３８，４０間が短絡していなければ、液晶セル１２は１つおきに検査用光源６６から照射される検査光を透過させる。
【００５２】
両個別電極３８，４０間が短絡している場合には、この第２個別電極４０に対応する液晶セル１２も遮光状態に切り替わるため、検査光を遮光する液晶セル１２が連続して並ぶことになる。また、第２個別電極４０に対応する液晶セル１２の駆動が不安定になって点滅したり、両個別電極３８，４０に対応する液晶セル１２が駆動されずに検査光を透過する液晶セル１２が連続して並んだりする場合もある。このため、検査員は、ホルダ６８の観察窓６８ａを通して各液晶セル１２を目視（光学顕微鏡）で確認して、短絡の有無を検査する。
【００５３】
また、第１個別電極３８が断線している場合には、検査光が透過する液晶セル１２が連続して並ぶことになる。従って、短絡検査においても第１個別電極３８の断線の有無は検査することができる。
【００５４】
短絡検査時には、接地用導電ゴム７２を各第２個別電極４０の第２突出部４０ｄに接触させているので、検査電圧が印加されない第２個別電極４０はその電位が接地電位になるように接地される（図６参照）。このため、各第２個別電極４０は、電位的に安定し、インピーダンスが下がるため、隣接する第１個別電極３８との間に異物が存在していたとしても、隣接する第１個別電極３８と容量結合しにくくなる。従って、異物等を介した両個別電極３８，４０の容量結合を防止できる。そして、両個別電極３８，４０間の短絡が確認されなかったら、引き続き断線検査を行う。
【００５５】
図７は、断線検査時における液晶シャッタ１０の個別電極群２６の概略図であり、図８は、断線検査時の液晶シャッタ１０の等価回路図である。短絡検査が終了したら、検査冶具６４（図４参照）を、上述の（２）の条件を満たす断線検査位置にセットする。次いで、図示しない操作部を操作して、検査用光源をＯＮするとともに、電圧印加用導電ゴム７０から各第１及び第２個別電極３８，４０への検査電圧の印加を開始する。
【００５６】
検査電圧が印加されると、各第１及び第２個別電極３８，４０（電極リード３８ｂ，４０ｂ）が断線していなければ、全ての液晶セル１２が遮光状態に切り替わる。そして、断線している個別電極３８，４０があると、その電極３８，４０に対応する液晶セル１２は光透過状態のままであり、検査用光源６６から照射される検査光が透過する。このため、検査員は、観察窓６８ａ（図４参照）を通して検査光が透過する液晶セル１２があるか否かを目視（光学顕微鏡）で確認して、断線の有無を検査する。そして、断線検査が終了し、両個別電極３８，４０の断線が確認されなかったら、次のドライバＩＣ実装工程においてドライバＩＣ５６を液晶シャッタ１０に実装する。
【００５７】
次に、点灯検査装置６０を用いた点灯検査の手順について説明を行う。検査員は、ドライバＩＣ実装前の液晶シャッタ１０を検査台６２にセットする。次いで、検査員は、検査冶具６４を短絡検査位置にセットする。これにより、電圧印加用導電ゴム７０が各第１個別電極３８の第１突出部３８ｄのみに接触され、接地用導電ゴム７２が各第２個別電極４０の第２突出部４０ｄのみに接触される（図５及び図６参照）。
【００５８】
検査冶具６４のセットが完了したら、検査員は図示しない操作部を操作して、検査用光源６６をＯＮさせるとともに、電圧印加用導電ゴム７０からの検査電圧の印加を開始させる。そして、検査員は、ホルダ６８の観察窓６８ａを通して、検査光を遮光する液晶セル１２が連続して並んでいないかを目視（光学顕微鏡）等で確認する。これにより、両個別電極３８，４０間の短絡の有無、或いは第１個別電極３８の断線の有無を判別することができる。
【００５９】
この際に、本実施形態では、検査電圧が印加されない各第２個別電極４０をその電位が接地電位になるように接地させている。このため、上述したように、第１個別電極３８と第２個別電極４０との間に異物が存在していたとしても両個別電極３８，４０が容量結合しにくくなり、異物等を介した両個別電極３８，４０の容量結合を防止できる。これにより、両個別電極３８，４０間が短絡していないのに、第２個別電極４０に対応する液晶セル１２が駆動されてしまうことが防止される。その結果、誤判別により液晶シャッタ製造工程の歩留まりが低下してしまうことが防止される。
【００６０】
また、本実施形態では、液晶シャッタ１０の個別電極群２６を、第１個別電極３８と第２個別電極４０とを交互に並べて形成する。さらに、第１個別電極３８が第２個別電極４０よりもＹ軸マイナス方向に突出した第１突出部３８ｄを有し、且つ第２個別電極４０が第１個別電極３８よりもＹ軸プラス方向に突出した第２突出部４０ｄを有している。このため、短絡検査時には、電圧印加用導電ゴム７０を各第１突出部３８ｄのみに接触させて全ての第１個別電極３８に同時に検査電圧を印加させ、接地用プローブを各第２突出部４０ｄのみに接触させて全ての第２個別電極４０を同時に接地させることができる。従来のように高価なプローブピンを１本ずつ個別電極３８，４０に接触させることなく、安価な導電ゴム製の電圧印加用導電ゴム７０及び接地用導電ゴム７２を用いて点灯検査を行うことができる。これにより、点灯検査を短時間且つ安価に行うことができる。
【００６１】
検査員は、目視検査により両個別電極３８，４０間の短絡が確認されなかったら、検査冶具６４を断線検査位置にセットして断線検査を行う。これにより、電圧印加用導電ゴム７０のみが第１及び第２個別電極３８，４０に接触される（図７及び図８参照）。次いで、検査員は、図示しない操作部を操作して、検査用光源６６をＯＮさせるとともに、電圧印加用導電ゴム７０からの検査電圧の印加を開始させる。そして、検査員は、ホルダ６８の観察窓６８ａを通して、検査光を透過する液晶セル１２があるか否かを目視（光学顕微鏡）等で確認する。これにより、両個別電極３８，４０の断線の有無を判別することができる。
【００６２】
以上で、液晶シャッタ１０の点灯検査が終了する。引き続き、次の液晶シャッタ１０を点灯検査するときは、上述の手順を繰り返せばよい。そして、短絡及び断線が確認さなかった液晶シャッタ１０は、次のドライバＩＣ実装工程に送られて、そこでドライバＩＣ５６が実装される。
【００６３】
なお、上記実施形態では、断線検査時に電圧印加用導電ゴム７０を両個別電極３８，４０の第１電極リード３８ｂ，４０ｂに接触させている。この際に、両個別電極３８，４０を形成するＩＴＯは、電圧印加用導電ゴム７０との接触により腐食する場合がある。このため、ドライバＩＣ５６が実装される実装エリアよりもＹ軸プラス方向の位置で、電圧印加用導電ゴム７０を第１電極リード３８ｂ，４０ｂに接触させると、これら第１電極リード３８ｂ，４０ｂが電極本体３８ａ，４０ａとドライバＩＣ５６との間で腐食するおそれがある。
【００６４】
そこで、第１電極リード３８ｂ，４０ｂ及び第１突出部３８ｄをＹ軸マイナス方向に延ばす。これにより、ドライバＩＣ５６が実装される実装エリアよりもＹ軸マイナス方向の位置で、電圧印加用導電ゴム７０を第１電極リード３８ｂ，４０ｂに接触させることができる。その結果、同様にして第１電極リード３８ｂ，４０ｂが電極本体３８ａ，４０ａとドライバＩＣ５６との間で腐食してしまうことが防止される。
【００６５】
また、上記実施形態では、ノーマリホワイトの液晶シャッタ１０（液晶パネル）を例に挙げて説明を行ったが、本発明はこれに限定されるものではない。ノーマリブラックの液晶シャッタ（パネル）は、検査電圧の印加により対応する液晶セルが遮光状態から光透過状態に切り替わるという以外は上述の液晶シャッタ１０と同じであるので、同様に本発明を適用することができる。
【００６６】
なお、上記実施形態では、短絡検査時に各第２個別電極４０を接地用導電ゴム７２により一括して接地できるように、第１透明基板１４のＹ軸プラス方向の端部を第２透明基板１６よりも突き出た第２延設部１４ｂとし、さらに、この第２延設部１４ｂ上に各第２個別電極４０の第２突出部４０ｄを設けている（図２参照）。この際に、第２個別電極４０の第２突出部４０ｄは、短絡検査の終了以降は使用されない。従って、点灯検査が終了したら、第２延設部１４ｂをカットするようにしてもよい。これにより、液晶シャッタ１０の大型化を防止することができる。
【００６７】
また、上記実施形態では、液晶シャッタ１０を１個ずつ点灯検査しているが、本発明はこれに限定されるものではない。液晶シャッタ１０の製造工程では、１枚の貼り合わせパネルに液晶シャッタ１０が複数個面付けして形成されるのが通常である。このため、貼り合わせパネルに面付けされた複数個の液晶シャッタ１０を一括して点灯検査するようにしてもよい。特に、液晶シャッタ１０をＸ方向に並べて面付けすることで、一組の電圧印加用導電ゴム７０及び接地用導電ゴム７２で複数個の液晶シャッタ１０を点灯検査することができる。
【００６８】
また、上記実施形態では、電圧印加用プローブや接地用プローブとして導電ゴムで形成された電圧印加用導電ゴム７０及び接地用導電ゴム７２を用いているが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、Ｘ方向に延びた金属プレートや、Ｘ方向に延びたベタパターンよりなる接触電極が形成されたフレキシブル基板等を、電圧印加用及び接地用プローブとして用いることができる。
【００６９】
なお、上記実施形態では、第１透明基板１４上に遮光マスク２０が形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、遮光マスク２０が第２透明基板１６の共通電極４４上に形成されていてもよい。
【００７０】
また、上記実施形態（図５参照）では、第１透明基板１４上に遮光マスク２０、絶縁膜２４、個別電極群２６、第１配向膜３２が順に形成されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１透明基板１４上に個別電極群２６、絶縁膜２４、遮光マスク２０、第１配向膜３２を順に形成されていてもよい。
【００７１】
なお、上記実施形態では、プリンタや露光装置の露光ヘッドに用いられる液晶シャッタを例に説明を行ったが、液晶ＴＶやデジタルカメラ用の液晶モニタなどの液晶セル（個別電極）が列に並べて設けられている各種液晶パネルの点灯検査に本発明を適用することができる。
【００７２】
また、上記実施形態では、液晶パネル（液晶シャッタ）の点灯検査方法について説明を行ったが、本発明はこれらに限定されるものではない。例えば、液晶の代わりにエレクトロルミネッセンス（ＥＬ）が両透明基板間に設けられているＥＬパネルや、他の電圧印加により光学的変化を起こす各種の電気光学材料が両透明基板間に設けられている電気光学パネルの点灯検査方法にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の液晶シャッタの外観斜視図である。
【図２】液晶シャッタの第１透明基板の上面図である。
【図３】図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。
【図４】点灯検査装置の断面図である。
【図５】短絡検査時における液晶シャッタの個別電極群の概略図である。
【図６】短絡検査時の液晶シャッタの等価回路図である。
【図７】断線検査時における液晶シャッタの個別電極群の概略図である。
【図８】短絡検査時の液晶シャッタの等価回路図である。
【符号の説明】
【００７４】
１０  液晶シャッタ
１２  液晶セル
１４  第１透明基板
１４ａ  第１延設部
１４ｂ  第２延設部
１６  第２透明基板
１８  液晶
３８  第１個別電極
４０  第２個別電極
３８ｂ，４０ｂ  第１電極リード
３８ｃ，４０ｃ  第２電極リード
３８ｄ  第１突出部
４０ｄ  第２突出部
６０  点灯検査装置
６２  検査台
６４  点灯検査冶具
７０  電圧印加用導電ゴム
７２  接地用導電ゴム
【図１】
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【図２】
2007322817.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007322817.tif 000007
【図６】
2007322817.tif 000008
【図７】
2007322817.tif 000009
【図８】
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