(57)【要約】【課題】レンズ素子の配列方向に対して直交する方向の配列状態を簡単な構成で測定できるレンズアレイの配列評価方法及びその配列評価装置を提供する。【解決手段】多数のレンズ素子１６が配列されたレンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａに第１の光源２５からレーザ光を入射し、そのレーザ光を各レンズ素子１６を介してレンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂから透過光として出射させ、その透過光を第１スリット板２６ａに形成した第１のスリットを通して第１の受光素子２６ｂにて受光させる。一方、第１のレンズ面１４ａに第２の光源３１からレーザ光を入射し、そのレーザ光を各レンズ素子１６を介して第２のレンズ面１４ｂから透過光として出射させ、その透過光を、第１のスリットとはレンズ素子１６の配列方向に異なる向きの第２スリット板３４ａに形成した第２のスリットを通して第２の受光素子に受光させる。【選択図】図１
2007101416.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のレンズ素子が規則的に配列されて成るレンズアレイに対し、光源とスリットと受光素子からなる光学系と、レンズアレイの配列方向に相対移動させながら、前記光源から発した平行光を前記第１のレンズ面に平行光を入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した前記スリットを通して前記受光素子で受光させて前記レンズアレイを構成するレンズ素子の配列状態を検知するレンズアレイの配列評価方法において、
前記光源とスリットと受光素子からなる光学系を少なくとも２組設け、
第１、第２の光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１、第２のスリットをそれぞれ通し、第１、第２の受光素子でそれぞれ受光させるに際し、前記第１のスリットに対して前記第２のスリットを傾けて配置し、
前記第１の受光素子の検出値と第２受光素子の検出値に基づいて、前記レンズアレイのレンズ素子の配列方向と直交する方向への配列のズレを検出することを特徴とするレンズアレイの配列評価方法。
【請求項２】
多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイの第１のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第２のレンズ面から第１の透過光として出射させる第１の光源と、
前記第１の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第２のレンズ面から出射した前記第１の透過光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１のスリットを通して受光する第１の受光素子と、
前記第１のレンズ面に平行光を入射し、前記第２のレンズ面から第２の透過光として出射させる第２の光源と、
前記第２の光源と相対向して配置され、前記第２のレンズ面から出射した前記第２の透過光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内で前記第１のスリットに対して傾いて配置した第２のスリットを通して受光する第２の受光素子と、
前記第１及び第２の光源、前記第１及び第２のスリット、前記第１及び第２受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第３の透過光として出射させる第３の光源と、
前記第３の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第１のレンズ面から出射した第３の透過光を前記第１のレンズ面に平行な平面内に配置した第３のスリットを通して受光する第３の受光素子と、
前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの前記第１のレンズ面から第４の透過光として出射させる第４の光源と、
前記第４の光源と相対向して配置され、前記第１のレンズ面から出射した第４の透過光を、前記第１のレンズ面に平行な平面内で前記第３のスリットに対して傾いて配置した第４のスリットを通して受光する第４の受光素子と、
前記第３及び第４の光源、前記第３及び第４のスリット、前記第３及び第４の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第１及び第２のスリットは、レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しないことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項５】
請求項３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第３及び第４のスリットは、レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しないことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズアレイの配列評価方法及びレンズアレイの配列評価装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
レンズ素子を二次元に多数配列してなるレンズアレイは、光学系を小型化に構成できることから、例えば、電子写真方式を用いた画像形成装置の画像露光部や、画像読取装置の画像読取部の結像素子として採用されている。レンズアレイ、例えば、屈折率分布型レンズアレイは、微小なロッド状のレンズ素子（屈折率分布型ロッドレンズ）を多数、一列又は複数列に規則的に配列し、全体で１つの連続した像を形成する。この種のレンズアレイでは、レンズ素子の特性ばらつき（屈折率分布の違いや真円のずれ等）、あるいは、レンズ素子の配列の乱れは、高品質な像を形成する上で問題となる。従って、このレンズ素子の特性ばらつき及び配列の乱れ、即ち、レンズ素子の配列のずれ（配列状態）を事前に評価する必要がある。
【０００３】
屈折率分布型レンズアレイの配列状態を評価する手段としては、レンズ面に平行光を入射させ出射光をスリットで受光するように構成した検出部とを配列長手方向に相対的に移動させ、受光量変化の周期性を配列精度として把握する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
この方法では、レンズアレイを構成するレンズ素子に平行光を入射し、出射光を、レンズアレイのレンズ素子配列長手方向に対して９０°の向きに配置したスリットで走査し、光量変動の周期性の乱れからレンズ素子の配列状態を検出している。
【０００５】
また、その他のレンズ素子配列乱れを検出する方法としては、一次元ＣＣＤをレンズ素子配列方向に対し傾けて用いる方法も提案されている（例えば、特許文献２）。この方法では、ＣＣＤでスキャンすることで、走査面内の二次元光量分布を把握し、周期性の乱れを配列の乱れとして検出する。このとき、一次元ＣＣＤを傾けているので、収集する光量データのサンプル間隔をＣＣＤ画素ピッチ（通常、５マイクロメートル程度）より小さくすることができる。
【特許文献１】特開２００１−２６４２１０
【特許文献２】特開２００５−１５６２９３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記した従来技術においては以下のような問題点があった。
特許文献１においては、レンズアレイの配列長手方向（Ｘ矢印方向）についての光量変動しか検出していないため、レンズアレイの透過光の出射面に平行であってかつ配列長手方向（Ｘ矢印方向）に対して直交する方向（Ｚ矢印方向）にレンズ素子の配列が乱れていても検出することができなかった。これは、Ｚ矢印方向の光量変化はスリットの長手方向に一致してしまい、検知したデータに差が生じないためである。
【０００７】
特許文献２においては、二次元の光量分布をＣＣＤ画素ピッチよりも小さい間隔で検知・解析するため高精度な評価ができ優れた方法であるが、精度良く評価するためには非常に大きなメモリを必要とし、演算負荷も大きくなる。これは、二次元の光量分布を収集する必要があるため、例えば、Ｘ矢印方向に３００ｍｍ、Ｙ方向の１ｍｍの範囲を、データサンプリングピッチ１マイクロメータで走査しようとすると、３億点（＝３０００００×１０００）を検知する必要がある。レンズアレイの両面からの検査を考えれば、データ点
数は６億点となる。さらに、分解能を２倍にすると、４倍のデータが必要となる。
【０００８】
本発明は、上記問題点を解消するためになされたものであって、その目的は、レンズ素子が多数配列されたレンズアレイにおいてその配列方向に対して直交する方向の配列状態を、簡単に測定することを可能にするレンズアレイの配列評価方法及びその配列評価装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、多数のレンズ素子が規則的に配列されて成るレンズアレイに対し、光源とスリットと受光素子からなる光学系と、レンズアレイの配列方向に相対移動させながら、前記光源から発した平行光を前記第１のレンズ面に平行光を入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した前記スリットを通して前記受光素子で受光させて前記レンズアレイを構成するレンズ素子の配列状態を検知するレンズアレイの配列評価方法において、前記光源とスリットと受光素子からなる光学系を少なくとも２組設け、第１、第２の光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１、第２のスリットをそれぞれ通し、第１、第２の受光素子でそれぞれ受光させるに際し、前記第１のスリットに対して前記第２のスリットを傾けて配置し、前記第１の受光素子の検出値と第２受光素子の検出値に基づいて、前記レンズアレイのレンズ素子の配列方向と直交する方向への配列のズレを検出する。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイの第１のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第２のレンズ面から第１の透過光として出射させる第１の光源と、前記第１の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第２のレンズ面から出射した前記第１の透過光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１のスリットを通して受光する第１の受光素子と、前記第１のレンズ面に平行光を入射し、前記第２のレンズ面から第２の透過光として出射させる第２の光源と、前記第２の光源と相対向して配置され、前記第２のレンズ面から出射した前記第２の透過光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内で前記第１のスリットに対して傾いて配置した第２のスリットを通して受光する第２の受光素子と、前記第１及び第２の光源、前記第１及び第２のスリット、前記第１及び第２受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段とを備えた。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のレンズアレイの配列評価装置において、前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第３の透過光として出射させる第３の光源と、前記第３の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第１のレンズ面から出射した第３の透過光を前記第１のレンズ面に平行な平面内に配置した第３のスリットを通して受光する第３の受光素子と、前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの前記第１のレンズ面から第４の透過光として出射させる第４の光源と、前記第４の光源と相対向して配置され、前記第１のレンズ面から出射した第４の透過光を、前記第１のレンズ面に平行な平面内で前記第３のスリットに対して傾いて配置した第４のスリットを通して受光する第４の受光素子と、前記第３及び第４の光源、前記第３及び第４のスリット、前記第３及び第４の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段とを備えた。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、前記第１及び第２のスリットは、レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しない。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第３及び第４のスリットは、レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しない。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、第２のスリットは第１のスリットに対して傾けて配置した。従って、各レンズ素子が配列方向に対して直交する方向に対してずれがない場合には、第１の受光素子及び第２の受光素子の検出値は、それぞれ周期性のあるピーク値を出力する。これに対して、前記直交方向にずれたレンズ素子がある場合、少なくとも、いずれか一方の受光素子の検出値は、ずれたレンズ素子のところで周期性が崩れる。従って、第１の受光素子の検出値と第２の受光素子の検出値を比較するだけの簡単な方法によって、各レンズ素子の配列方向に対して直交する方向のずれを簡単に検出することができる。
【００１５】
請求項２に記載の発明によれば、第２のスリットは第１のスリットに対して傾けて配置した。その結果、第２のレンズ面において各レンズ素子が配列方向に対して直交する方向に対してずれがない場合には、第１の受光素子及び第２の受光素子の検出値は、それぞれ周期性のあるピーク値を出力する。これに対して、第２のレンズ面において前記直交方向にずれたレンズ素子がある場合、少なくとも、いずれか一方の受光素子の検出値は、ずれたレンズ素子のところで周期性が崩れることになる。従って、第１の受光素子の検出値と第２の受光素子の検出値を比較するだけの簡単な構成によって、レンズアレイの第２のレンズ面における各レンズ素子の配列方向に対して直交する方向のずれを簡単に検出することができる。
【００１６】
請求項３に記載の発明によれば、第４のスリットは第３のスリットに対して傾けて配置した。その結果、第１のレンズ面において各レンズ素子が配列方向に対して直交する方向に対してずれがない場合には、第３の受光素子及び第４の受光素子の検出値は、それぞれ周期性のあるピーク値を出力する。これに対して、第１のレンズ面において前記直交方向にずれたレンズ素子がある場合、少なくとも、いずれか一方の受光素子の検出値は、ずれたレンズ素子のところで周期性が崩れることになる。従って、第３の受光素子の検出値と第４の受光素子の検出値を比較することによって、レンズアレイの第１のレンズ面における各レンズ素子の配列方向に対して直交する方向のずれを検出することができる。
【００１７】
しかも、第１及び第２のレンズ面での各レンズ素子の間隔を検出できるため、各レンズ素子の配列方向の角度ずれ、及び、配列方向に対して直交する方向の角度ずれを求めることができる。
【００１８】
請求項４の発明によれば、第１及び第２の受光素子の各々は、複数のレンズ素子の透過光を同時に受光することがなく精度の高い評価ができる。
請求項５の発明によれば、第３及び第４の受光素子の各々は、それぞれ複数のレンズ素子の透過光を同時に受光することがなく精度の高い評価ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の具体化した第１実施形態を図面に従って説明する。
図１において、レンズアレイ配列評価装置（以下、単に配列評価装置という）１１は、その基台１２を備え、その基台１２の中央部には搬送テーブル１３がＸ方向に移動可能に載置されている。搬送テーブル１３は、基台１２に内蔵された駆動モータＭ１によって、基台１２に対してＸ及び反Ｘ矢印方向に往復移動されるようになっている。搬送テーブル１３には、検査対象となるレンズアレイ１４を載置固定し、レンズアレイ１４をＸ矢印方向に搬送する。
【００２０】
レンズアレイ１４は、１：１等倍結像レンズである。レンズアレイ１４は、図３に示すように、２枚の側板１５ａ，１５ｂを有し、その一対の側板１５ａ，１５ｂの間に、多数のロッド状のレンズ素子１６を一列に配列するとともにその隙間に黒色のシリコーン樹脂を充填して一体化されている。そして、レンズアレイ１４において、一側面（側板１５ａ，１５ｂ間の多数のレンズ素子１６の一端面が露出する面）を第１のレンズ面１４ａ、他側面（多数のレンズ素子１６の他端面が露出する面）を第２のレンズ面１４ｂとしている。尚、各レンズ素子１６は、本実施形態では、微小な屈折率分布型ロッドレンズであって、素線径ｈ（図４参照）が約０．３ｍｍ、開口角度が１２°、レンズ素子長が４．３３５ｍｍである。
【００２１】
レンズアレイ１４は、搬送テーブル１３に載置される際に、一方の側板１５ａがテーブル１３の上面に載置され、その長手方向がＸ矢印方向に平行となるように搬送テーブル１３に載置される。このとき、レンズアレイ１４は、第１のレンズ面１４ａが搬送テーブル１３の左側、第２のレンズ面１４ｂが搬送テーブル１３の右側に向くように配置される。
【００２２】
図１図及び図２に示すように、前記搬送テーブル１３（レンズアレイ１４）を挟んだ基台１２上には、第１、第２、第３及び第４の検知装置２１〜２４が配置されている。
第１の検知装置２１は、基台１２の左側に設置された第１の光源２５と基台１２の右側に設置された第１の受光器２６とから構成されている。第１の光源２５は、ヘリウム・ネオンガスレーザ発振装置であって、図５に示すように、ビーム径φが２ｍｍの第１のレーザ光Ｌ１ａを、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａに照射させるようになっている。従って、第１のレンズ面１４ａに照射されたレーザ光Ｌ１ａは、レンズアレイ１４のレンズ素子１６を透過してレンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂから第１の透過光Ｌ１ｂとして出射するようになっている。
【００２３】
第１の受光器２６は、搬送テーブル１３を挟んで、前記第１の光源２５と相対向して配置されている。第１の受光器２６は、第１スリット板２６ａと第１の受光素子２６ｂとを備えている。第１スリット板２６ａは、搬送テーブル１３に載置されたレンズアレイ１４を挟んで、第１の光源２５と相対向するように配置されている。又、第１スリット板２６ａは、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂからの距離が、レンズ素子１６の焦点距離付近であって、隣接するレンズ素子の透過光を同時に検出しないように、本実施形態では第２のレンズ面１４ｂから０．７５ｍｍとしている。
【００２４】
第１スリット板２６ａには、図５（ｂ）に示すように、光を透過する第１のスリットＬＳ１が形成されている。第１のスリットＬＳ１は、搬送テーブル１３の面に対して垂直方向（Ｚ矢印方向）、すなわち、搬送テーブル１３に載置されたレンズアレイ１４のレンズ素子１６の配列方向（Ｘ矢印方向）に対して直交する方向に形成されている。従って、第２のレンズ面１４ｂから出射する第１の透過光Ｌ１ｂのうち、第１スリット板２６ａにおいて、第１のスリットＬＳ１と相対向する第２のレンズ面１４ｂから出射する第１の透過光Ｌ１ｂが、第１スリット板２６ａ（第１のスリットＬＳ１）を通過する。つまり、第１スリット板２６ａ（第１のスリットＬＳ１）の中心位置と第１の光源２５から出射されるビーム径φが２ｍｍの第１のレーザ光Ｌ１ａの中心が一致するように、第１の光源２５と第１の受光器２６は位置設定されている。
【００２５】
第１スリット板２６ａの裏面には、第１の受光素子２６ｂが配設されている。第１の受光素子２６ｂは、フォトトランジスタよりなり、第１スリット板２６ａ（第１のスリットＬＳ１）を通過した第１の透過光Ｌ１ｂを受光する。従って、第１の受光素子２６ｂは、受光量が多いと高い値の第１検出値Ｐｆを出力する。つまり、第１のスリットＬＳ１が、第２のレンズ面１４ｂに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃと相対向した時が、第１の受光素子２６ｂは最も多くの光を受光し、最も高い第１検出値Ｐｆを出力する。
【００２６】
従って、今、搬送テーブル１３がレンズアレイ１４をＸ印方向に搬送すると、図６（ａ）に示すように、第１の検知装置２１は、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃが、第１のスリットＬＳ１を通過する毎に、大きな値の第１検出値Ｐｆを出力する。
【００２７】
第１の検知装置２１の一側であって予め定められた位置に、第３の検知装置２３が配置されている。第３の検知装置２３は、基台１２の右側に設置された第３の光源２７と基台１２の左側に設置された第３の受光器２８とから構成されている。第３の光源２７と第３の受光器２８は、前記第１の光源２５と第１の受光器２６と同じ構成であって、配置位置が相違する。
【００２８】
つまり、第３の光源２７は、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂに第３のレーザ光Ｌ３ａを照射させるようになっている。従って、第２のレンズ面１４ｂに照射されたレーザ光Ｌ３ａは、レンズアレイ１４のレンズ素子１６を透過してレンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａから第３の透過光Ｌ３ｂとして出射するようになっている。
【００２９】
第３の受光器２８は、第３スリット板２８ａと第３の受光素子２８ｂとを備えている。第３スリット板２８ａは、搬送テーブル１３に載置されたレンズアレイ１４を挟んで、第３の光源２７と相対向するように配置されている。又、第３スリット板２８ａは、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａからの距離が、レンズ素子１６の焦点距離付近であって、隣接するレンズ素子の透過光を同時に検出しないように、本実施形態では第１のレンズ面１４ａから０．７５ｍｍとしている。
【００３０】
第３スリット板２８ａには、図５（ａ）に示すように、光を透過する第３のスリットＬＳ３が形成されている。第３のスリットＬＳ３は、前記第１のスリットＬＳ１と同様にＺ矢印方向に形成されている。従って、第１のレンズ面１４ａから出射する第３の透過光Ｌ３ｂのうち、第３スリット板２８ａにおいて、第３のスリットＬＳ３と相対向する第１のレンズ面１４ａから出射する第３の透過光Ｌ３ｂが、第３スリット板２８ａ（第３のスリットＬＳ３）を通過する。つまり、第３スリット板２８ａ（第３のスリットＬＳ３）の中心位置と第３の光源２７から出射される第３のレーザ光Ｌ３ａの中心が一致するように、第３の光源２７と第３の受光器２８は位置設定されている。
【００３１】
第３スリット板２８ａの裏面には、第３の受光素子２８ｂが配設されている。第３の受光素子２８ｂは、第３スリット板２８ａ（第３のスリットＬＳ３）を通過した第３の透過光Ｌ３ｂを受光する。つまり、第１の受光器２６と同様に、第３の受光器２８は、第３のスリットＬＳ３が第１のレンズ面１４ａに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃと相対向した時が、第３の受光素子２８ｂは最も多くの光を受光し、最も高い第３検出値Ｐｒを出力する。
【００３２】
従って、今、搬送テーブル１３がレンズアレイ１４をＸ矢印方向に搬送すると、第３の検知装置２３は、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃが、第３のスリットＬＳ３を通過する毎に、図６（ｂ）に示すように、大きな値の第３検出値Ｐｒを出力する。
【００３３】
第３の検知装置２３の一側であって予め定められた位置に、第２の検知装置２２が配置されている。第２の検知装置２２は、基台１２の左側に設置された第２の光源３１と基台１２の右側に設置された第２の受光器３２とから構成されている。第２の光源３１は、第１の光源２５と同じヘリウム・ネオンガスレーザ発振装置であって、ビーム径φが２ｍｍの第２のレーザ光Ｌ２ａを、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａに照射させるよう
になっている。従って、第１のレンズ面１４ａに照射された第２のレーザ光Ｌ２ａは、レンズアレイ１４のレンズ素子１６を透過してレンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂから第２の透過光Ｌ２ｂとして出射されるようになっている。
【００３４】
第２の受光器３２は、搬送テーブル１３を挟んで、第２の光源３１と相対向して配置されている。第２の受光器３２は、第２スリット板３２ａと第２の受光素子３２ｂとを備えている。第２スリット板３２ａは、搬送テーブル１３に載置されたレンズアレイ１４を挟んで、第２の光源３１と相対向するように配置されている。又、第２スリット板３２ａは、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂからの距離が、レンズ素子１６の焦点距離付近であって、隣接するレンズ素子の透過光を同時に検出しないように、本実施形態では第２のレンズ面１４ｂから０．７５ｍｍとしている。
【００３５】
第２スリット板３２ａには、光を透過する第２のスリットＬＳ２が形成されている。第２のスリットＬＳ２は、Ｚ矢印方向に対して配列方向（Ｘ矢印方向）に４５°傾けて形成されている。従って、第２のレンズ面１４ｂから出射する第２の透過光Ｌ２ｂのうち、第２スリット板３２ａにおいて、第２のスリットＬＳ２と相対向する第２のレンズ面１４ｂから出射する第２の透過光Ｌ２ｂが、第２スリット板３２ａ（第２のスリットＬＳ２）を通過する。つまり、第２スリット板３２ａ（第２のスリットＬＳ２）の中心位置と第２の光源３１から出射される第２のレーザ光Ｌ２ａの中心が一致するように、第２の光源３１と第２の受光器３２は位置設定されている。
【００３６】
第２スリット板３２ａの裏面には、第２の受光素子３２ｂが配設されている。第２の受光素子３２ｂは、フォトトランジスタよりなり、第２スリット板３２ａ（第２のスリットＬＳ２）を通過した第２の透過光Ｌ２ｂを受光する。従って、第２の受光素子３２ｂは、受光量が多いと高い値の第２検出値Ｓｆを出力する。つまり、第２のスリットＬＳ２が、第２のレンズ面１４ｂに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃと相対向した時が、第２の受光素子３２ｂは最も多くの光を受光し、最も高い第２検出値Ｓｆを出力する。
【００３７】
従って、今、搬送テーブル１３がレンズアレイ１４をＸ印方向に搬送すると、図７（ａ）に示すように、第２の検知装置２２は、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃが、第２のスリットＬＳ２を通過する毎に、大きな値の第２検出値Ｓｆを出力する。
【００３８】
第２の検知装置２２の一側で予め定められた位置に、第４の検知装置２４が配置されている。第４の検知装置２４は、基台１２の右側に設置された第４の光源３３と基台１２の左側に設置された第４の受光器３４とから構成されている。第４の光源３３と第４の受光器３４は、前記第２の光源３１と第２の受光器３２と同じ構成であって、配置位置が相違する。
【００３９】
つまり、第４の光源３３は、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂに第４のレーザ光Ｌ４ａを照射させるようになっている。従って、第２のレンズ面１４ｂに照射されたレーザ光Ｌ４ａは、レンズアレイ１４のレンズ素子１６を透過してレンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａら第４の透過光Ｌ４ｂとして出射するようになっている。
【００４０】
第４の受光器３４は、第４スリット板３４ａと第４の受光素子３４ｂとを備えている。第４スリット板３４ａは、搬送テーブル１３に載置されたレンズアレイ１４を挟んで、第４の光源３３と相対向するように配置されている。又、第４スリット板３４ａは、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａからの距離が、レンズ素子１６の焦点距離付近であって、隣接するレンズ素子の透過光を同時に検出しないように、本実施形態では第１のレンズ面１４ａから０．７５ｍｍとしている。
【００４１】
第４スリット板３４ａには、図５（ａ）に示すように、光を透過する第４のスリットＬＳ４が形成されている。第４のスリットＬＳ４は、第２のスリットＬＳ２と同じ、Ｚ矢印方向に対して配列方向（Ｘ矢印方向）に４５°傾けて形成されている。従って、第１のレンズ面１４ａから出射する第４の透過光Ｌ４ｂのうち、第４スリット板３４ａにおいて、第４のスリットＬＳ４と相対向する第１のレンズ面１４ａから出射する第４の透過光Ｌ４ｂが、第４スリット板３４ａ（第４のスリットＬＳ４）を通過する。つまり、第４スリット板３４ａ（第４のスリットＬＳ４）の中心位置と第４の光源３３から出射される第４のレーザ光Ｌ４ａの中心が一致するように、第４の光源３３と第４の受光器３４は位置設定されている。
【００４２】
第４スリット板３４ａの裏面には、第４の受光素子３４ｂが配設されている。第４の受光素子３４ｂは、第４スリット板３４ａ（第４スリットＬＳ４）を通過した第４の透過光Ｌ４ｂを受光する。つまり、第２の受光器３２と同様に、第４の受光器３４は、第４のスリットＬＳ４が第１のレンズ面１４ａに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃと相対向した時が、第４の受光素子３４ｂは最も多くの光を受光し、最も高い第４検出値Ｓｒを出力する。
【００４３】
従って、今、搬送テーブル１３がレンズアレイ１４をＸ矢印方向に搬送すると、第４の検知装置２４は、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａに配列されたレンズ素子１６の光軸Ｃが、第４のスリットＬＳ４を通過する毎に、図７（ｂ）に示すように、大きな値の第４検出値Ｓｒを出力する。
【００４４】
尚、第１〜第４の検知装置２１〜２４に設けたスリット板２６ａ，３２ａ，２８ａ，３４ａの各スリットＬＳ１〜ＬＳ４は、厚過ぎると、レンズ素子１６の透過光がスリットＬＳ１〜ＬＳ４の厚さ方向の内側面で反射して正確な配列評価を行うことができなくなる。そこで、本実施形態では、各スリットＬＳ１〜ＬＳ４を薄くするために、蒸着法にる蒸着膜又はスパッタによるスパッタ膜で作製した。
【００４５】
次に、上記のように構成した配列評価装置１１の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、配列評価装置１１は制御装置４０を備え、制御装置４０は中央処理装置（ＣＰＵ）４１、ＲＡＭ４２、ＲＯＭ４３、ハードディスク等の外部記憶装置４４、入出力インターフェース４５等を備えている。ＣＰＵ４１は、ＲＯＭ４３に記憶された配列評価プログラムに従って前記駆動モータＭ１、第１〜第４の検知装置２１〜２４を駆動制御する。
【００４６】
ＣＰＵ４１は、入出力インターフェース４５を介して駆動モータＭ１に接続されている。ＣＰＵ４１は、駆動モータＭ１を駆動制御して搬送テーブル１３をＸ矢印方向に移動させレンズアレイ１４を第１〜第４の検知装置２１〜２４を横切る方向に搬送させる。
【００４７】
また、ＣＰＵ４１は、入出力インターフェース４５を介して第１〜第４の検知装置２１〜２４に接続されている。ＣＰＵ４１は、レンズアレイ１４をＸ矢印方向に搬送しているとき、第１〜第４の検知装置２１〜２４の各第１〜第４の光源２５，３１，２７，３３を駆動させる。また、ＣＰＵ４１は、第１〜第４の検知装置２１〜２４の第１〜第４の受光器２６，３２，２８，３４からの第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒを取得するようになっている。ＣＰＵ４１は、レンズアレイ１４が２マイクロメートル移動する毎に、第１〜第４の受光器２６，３２，２８，３４からその時の第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒを入出力インターフェース４５に取込む。このとき、ＣＰＵ４１はその取り込んだ第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒを同入出力インターフェース４５にてアナログ値からデジタル値（例えば、１２ビットのデジタル値）に変換させた後に入力する。
ＣＰＵ４１はその時々に取得した第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒ（１２ビットの値）一時ＲＡＭ４２に記憶する。そして、ＣＰＵ４１は、レンズアレイ１４が、第１〜第４の検知装置２１〜２４を完全に通過した後、ＲＡＭ４２に一時記憶した第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒを外部記憶装置４４に記憶する。そして、ＣＰＵ４１は、配列評価プログラムに従って、外部記憶装置４４に記憶された第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒ（デジタル値）を使ってレンズアレイ１４の配列評価を行うようになっている。
【００４８】
ここで、配列評価のための配列乱れを算出する方法を説明する。
今、レンズアレイ１４に配列された各レンズ素子１６のＸ及びＺ矢印方向に配列ずれがなかった場合、図６（ａ）に示すように、第１の受光器２６にて検出されるべき各スポット間隔Ｐｂｎ（Ｐｂ１，Ｐｂ２，Ｐｂ３…）は等しくなる（Ｐｂｎ＝Ｐｂ）。又、図６（ｂ）に示すように、第３の受光器２８にて検出されるべき各スポット間隔Ｐａｎ（Ｐａ１，Ｐａ２，Ｐａ３…）は等しくなる（Ｐａｎ＝Ｐａ）。
【００４９】
さらに、図７（ａ）に示すように、第２の受光器３２にて検出されるべき各スポット間隔Ｓｂｎ（Ｓｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ３…）は、等しくなる（Ｓｂｎ＝Ｓｂ）。さらにまた、図７（ｂ）に示すように、第４の受光器３４にて検出されるべき各スポット間隔Ｓａｎ（Ｓａ１，Ｓａ２，Ｓａ３…）は等しくなる（Ｓａｎ＝Ｓａ）。
【００５０】
第２のレンズ面１４ｂにおいて、図９に示すように、２点鎖線で示した配置されるべきｎ番目のレンズ素子１６が実線で示すＸ及びＺ矢印方向に配列のずれΔＸｂn、ΔＺｂnがあるとする。この時、第１の受光器２６で求められたｎ番目のレンズ素子１６とｎ−１番目のレンズ素子１６との間隔をＰｂn、第２の受光器３２に求められたｎ番目のレンズ素
子１６とｎ−１番目のレンズ素子１６との間隔をＳｂnとすると、
ΔＸｂｎ＝Ｐｂn−Ｐｂ  ……………（１）
ΔＳｂｎ＝Ｓｂn−Ｓｂ  ……………（２）
であらわされる。
【００５１】
このとき、ｎ番目のレンズ素子１６のＸ矢印方向の配列のずれΔＸｂnは、
ΔＸｂn＝Ｐｂn−Ｐｂ
となる。
【００５２】
一方、ｎ番目のレンズ素子１６のＺ矢印方向の配列のずれΔＺｂnは、
ΔＺｂn＝ΔＸｂn−ΔＳｂn  ……………（３）
となる。
【００５３】
従って、レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｐｂ，Ｓｂと、第１の検知装置２１にて求めた各スポット間隔Ｐｂｎと、第２の検知装置２２にて求めた各スポット間隔Ｓｂｎとが求まれば、第２のレンズ面１４ｂにおける各レンズ素子１６のＸ矢印方向の配列のずれΔＸｂnと、Ｚ矢印方向の配列のずれΔＺｂnとが求められる。
【００５４】
因みに、第１にレンズ面１４ａにおいて、ｎ番目のレンズ素子１６がＸ及びＺ矢印方向に配列のずれΔＸａｎ、ΔＺａｎがあると、
ΔＸａn＝Ｐａn−Ｐａ
ΔＳａn＝Ｓａn−Ｓａ
ΔＸａｎ＝Ｐａn−Ｐａ
ΔＺａｎ＝ΔＸａｎ−ΔＳａｎ
となる。
【００５５】
従って、この場合にも、レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｐａと、第３の検知装置２３にて求めた各スポット間隔Ｐａｎと、第４の検知装置２４にて求めた各スポット間隔Ｓａｎとが求まれば、第１のレンズ面１４ａにおける各レンズ素子１６のＸ矢印方向に配列のずれΔＸａnと、Ｚ矢印方向に配列のずれΔＺａnとが求められる。
【００５６】
次に、上記のように構成した配列評価装置の作用について説明する。
今、レンズアレイ１４を搬送テーブル１３に載置した状態から、制御装置４０が駆動モータＭ１を駆動させると、ホームポジション位置から搬送テーブル１３がレンズアレイ１４を一定の速度でＸ方向への搬送を開始する。つまり、レンズアレイ１４の先端が第１〜第４の検知装置２１〜２４を通過する方向に進む。
【００５７】
そして、以後、レンズアレイ１４の後端が第４の検知装置２４を通過するまで、制御装置４０は、レンズアレイ１４がＸ矢印方向に２マイクロメートル移動する毎に、第１〜第４の検知装置２１〜２４からその時の第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒを取得する。
【００５８】
このとき、レンズアレイ１４の各レンズ素子１６が、第１及び第２のレンズ面１４ａ、１４ｂにおいて規則正しく配列されている場合には、第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒは、図６（ａ）（ｂ）及び図７（ａ）（ｂ）に示す波形となる。第１〜第４検出値Ｐｆ，Ｓｆ，Ｐｒ，Ｓｒのピーク値が得られた時は、それぞれ、各レンズ素子１６の光軸Ｃが第１〜第４スリットＬＳ１〜ＬＳ４を通過した時である。
【００５９】
図６（ａ）において、第１検出値Ｐｆの各ピーク値の間隔Ｐｂｎ（Ｐｂ１，Ｐｂ２，Ｐｂ３……）は、第２のレンズ面１４ｂにおけるＸ矢印方向の各レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔を示す。そして、ＣＰＵ４１は、第１検出値Ｐｆに基づいて各ピーク値の間隔Ｐｂｎ（Ｐｂ１，Ｐｂ２，Ｐｂ３……）を求めた後、各ピーク値の間隔Ｐｂｎの平均値を算出する。そして、本実施形態では、ＣＰＵ４１は、この平均値を第１の検知装置２１によるレンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｐｂとする。
【００６０】
同様に、図７（ａ）において、第２検出値Ｓｆの各ピーク値の間隔Ｓｂｎ（Ｓｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ３……）は、第２のレンズ面１４ｂにおけるＸ矢印方向の各レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔を示す。そして、ＣＰＵ４１は、第２検出値Ｓｆに基づいて各ピーク値の間隔Ｓｂｎ（Ｓｂ１，Ｓｂ２，Ｓｂ３……）を求めた後、各ピーク値の間隔Ｓｂｎの平均値を算出する。そして、本実施形態では、ＣＰＵ４１は、この平均値を第２の検知装置２２によるレンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｓｂとする。
【００６１】
ＣＰＵ４１は、平均値（間隔Ｐｂ，Ｓｂ）を求めると、式（１）（２）を使って、各レンズ素子１６毎に間隔Ｐｂ，Ｓｂに対する偏差（ずれΔＸｂｎ，ΔＳｂｎ）を算出する。この時、式（１）を使った求めた偏差を各レンズ素子１６のＸ矢印方向における配列ずれΔＸｂｎとなる。次に、ＣＰＵ４１は、式（３）を使って、各レンズ素子１６毎にＺ矢印方向の配列ずれΔＺｂｎを算出する。そして、算出した、第２のレンズ面１４ｂにおける各レンズ素子１６のＸ矢印方向及びＺ矢印方向の配列ずれΔＸｂｎ，ΔＺｂｎをＲＡＭ４２に一時記憶する。
【００６２】
続いて、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａにおける各レンズ素子１６のＸ矢印方向及びＺ矢印方向の配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎを、前記と同様な方法で算出する。
つまり、ＣＰＵ４１は、第３検出値Ｐｒに基づいて各ピーク値の間隔Ｐａｎ（Ｐａ１，Ｐａ２，Ｐｂａ……）を求めた後、前記と同様に各ピーク値の間隔Ｐｂｎの平均値を算出する。続いて、ＣＰＵ４１は、第４検出値Ｓｒに基づいて各ピーク値の間隔Ｓａｎ（Ｓａ１，Ｓａ２，Ｓａ３……）を求めた後、前記と同様に各ピーク値の間隔Ｓａｎの平均値を
算出する。
【００６３】
平均値（間隔Ｐａ，Ｓａ）を求めると、ＣＰＵ４１は式（１）（２）を使って、各レンズ素子１６毎に間隔Ｐａ，Ｓａに対する偏差（ずれΔＸａｎ，ΔＳａｎ）を算出する。この時、式（１）を使った求めた偏差を各レンズ素子１６のＸ矢印方向における配列ずれΔＸａｎとなる。次に、ＣＰＵ４１は、式（３）を使って、各レンズ素子１６毎にＺ矢印方向の配列ずれΔＺａｎを算出する。そして、算出した、第１のレンズ面１４ａにおける各レンズ素子１６のＸ矢印方向及びＺ矢印方向の配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎをＲＡＭ４２に一時記憶する。
【００６４】
次に、ＣＰＵ４１は、レンズアレイ１４の第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂにおける各レンズ素子１６の配列状態を評価する。本実施形態では、予め定めたＸ矢印方向のずれ許容値及びＺ矢印方向のずれ許容値を使って、ＣＰＵ４１は、第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂ毎に、前記求めた各レンズ素子１６の配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎ，ΔＸｂｎ，ΔＺｂｎと比較する。そして、ＣＰＵ４１は、配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎ，ΔＸｂｎ，ΔＺｂｎが許容値以内のずれならば合格、許容値を超えるずれならば不合格と評価し、その結果を、各レンズ素子１６のＸ矢印方向及びＺ矢印方向の配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎ，ΔＸｂｎ，ΔＺｂｎと、評価を外部記憶装置４４に記憶する。
【００６５】
上記実施形態によれば以下のような効果を得ることができる。
（１）本実施形態では、第１及び第３の検知装置２１，２３を設けたので、レンズアレイ１４の第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂにおけるＸ矢印方向の各レンズ素子１６の配列ずれΔＸａｎ，ΔＸｂｎを同時に検出することができる。
【００６６】
しかも、第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂでの各レンズ素子１６の間隔を検出できるため、各レンズ素子１６の配列方向の角度ずれを求めることができる。
（２）本実施形態では、第１及び第２の検知装置２１，２２を設けたので、レンズアレイ１４の第２のレンズ面１４ｂにおけるＺ矢印方向の各レンズ素子１６の配列ずれΔＺｂｎを検出することができる。
【００６７】
（３）本実施形態では、第３及び第４の検知装置２３，２４を設けたので、レンズアレイ１４の第１のレンズ面１４ａにおけるＺ矢印方向の各レンズ素子１６の配列ずれΔＺａｎを検出することができる。
【００６８】
しかも、前記第１及び第２の検知装置２１，２２との協働で、第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂでの各レンズ素子１６の間隔を検出できるため、各レンズ素子１６の配列方向に対して直交する方向の角度ずれを求めることができる。
【００６９】
（４）本実施形態では、第１〜第４の検知装置２１〜２４を設けただけの簡単な構成で、同時に、レンズアレイ１４の第１及び第２のレンズ面１４ａ，１４ｂにおける各レンズ素子１６のＸ及びＺ矢印方向の配列ずれΔＸａｎ，ΔＺａｎ，ΔＸｂｎ，ΔＺｂｎを検出することができる。その結果、レンズアレイ１４の各レンズ素子１６の配列状態の検出ができ、しかも、短時間に行うことができる。詳述すると、本実施形態では、レンズアレイ１４の各レンズ素子１６が少しずつ扇形に拡がる配列状態や、捻れて行く配列状態を検出し評価することができる。
【００７０】
（５）本実施形態では、各ピーク値の間隔Ｐａｎ，Ｐｂｎ、Ｓａｎ，Ｓｂｎの平均値をレンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｐａ，Ｐｂ，Ｓａ，Ｓｂとし、式（１）（２）のそれぞれ配列ずれΔＸａn，ΔＳａn，ΔＸｂn，ΔＳｂnを求めた。従って、レンズ素子１６の配列が製造ロッド毎に微妙に異なっても、平均値を用いれば製造ロッド毎の微妙な誤差をキ
ャンセルできる。又、レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔、即ち、レンズ素子１６の直径を事前に実測して求める必要がないことから、レンズアレイ１４の各レンズ素子１６の配列状態の評価をさらに短時間に行うことができる。
【００７１】
（６）本実施形態では、レンズアレイ１４が２マイクロメートル移動する毎に、第１〜第４の検知装置２１〜２４が測定したデータを記憶するだけなので、メモリ容量や演算負荷、データ保存領域をいたずらに増やすことなく、安価で高速な評価が可能となる。
【００７２】
（７）本実施形態では、第１及び第３の検知装置２１，２３に設けたスリット板２６ａ，２８ａの各スリットＬＳ１，ＬＳ３の角度を９０°にした。また、第２及び第４の検知装置２２，２４に設けたスリット板３２ａ，３４ａの各スリットＬＳ２、ＬＳ４の角度を４５°にした。従って、各スリットＬＳ１〜ＬＳ４の各々は、同時に複数のレンズ素子１６の透過光に対峙することはない。その結果、第１〜第４の受光素子２６ｂ，３２ｂ，２８ｂ，３４ｂの各々は、隣接するレンズ素子１６の透過光を同時に受光することがなく精度の高い検出ができる。
【００７３】
なお、上記実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、レンズ素子１６の光軸Ｃ間の間隔Ｐａ，Ｐｂ，Ｓａ，Ｓｂを、第１〜第４の検知装置２１〜２４が検出した各ピーク値の間隔の平均値を使用したが、レンズアレイの製法によっては設計値をそのまま使用して実施してもよい。
【００７４】
この場合、光量変化をサンプリングする際に、ピーク値を求めるための基準位置を決めておき、そのピーク値が検出されるべき位置と、実際に検出されたピーク値の位置との間隔の累積値の差をもって評価するようにしてもよい。
【００７５】
・上記実施形態では、第１〜第４の検知装置２１〜２４に設けたスリット板２６ａ，３２ａ，２８ａ，３４ａの各ＬＳ１〜ＬＳ４の角度を、同時に複数のレンズ素子１６の透過光に対峙することはないように、９０°、４５°にした。各ＬＳ１〜ＬＳ４の角度を、それ以外であって隣接するレンズ素子１６の影響を受けない角度であれば、互いに異なる角度に変更して実施してもよい。例えば、互いに直交する４５°のスリットとすれば、Ｘ矢印方向の配列ズレ量は、両者の検出したズレ量の和の半分、Ｚ矢印方向のズレ量は差の半分となる。
【００７６】
・上記実施形態では、第１〜第４の検知装置２１〜２４が検出した各ピーク値を用いて、レンズ素子１６の配列ずれを検出したが、第１〜第４の検知装置２１〜２４（各ＬＳ１〜ＬＳ４）が検出した光量分布を基準となる分布と比較することで、レンズ素子１６のカケ、オレ等の損傷を検出するように利用してもよい。
【００７７】
・上記実施形他では、レンズアレイ１４は、一対の側板１５ａ，１５ｂの間に、レンズ素子１６をＸ矢印方向に一列に配列したものであったが、これに限定されるものではなく、図１０及び図１１に示すようにレンズ素子１６をＸ矢印方向に複数列に配列したレンズアレイの配列ずれの評価に応用してもよい。この場合、同時に、各列のレンズ素子１６のＸ及びＺ矢印方向の配列ずれを検出することができる。
【００７８】
因みに、図１０は、側板１５ａ，１５ｂの間に、レンズ素子１６を俵積みしてＸ矢印方向に２列に配列したレンズアレイ１４であり、図１１は側板１５ａ，１５ｂの間に、レンズ素子１６を俵積みしてＸ矢印方向に４列に配列したレンズアレイ１４である。このいずれの場合も、第１〜第４の検知装置２１〜２４に設けたスリット板２６ａ，３２ａ，２８ａ，３４ａの各ＬＳ１〜ＬＳ４の角度は、各列のレンズ素子１６の影響を受けない角度に設定する必要がある。
【産業上の利用可能性】
【００７９】
本発明は主に、画像形成装置の画像露光部や、画像読取装置の画像読取部の結像素子として採用されるレンズアレイについて、そのレンズ素子の配列状態の評価を、演算負荷をかけることなく、高速で測定評価することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】レンズアレイ配列評価装置の構成を説明するための全体斜視図。
【図２】第１〜第４の検知装置とレンズアレイの配置関係を説明するための平面図。
【図３】レンズアレイを説明するための正面図。
【図４】レンズアレイを説明するための要部拡大正面図。
【図５】第１〜第４の検知装置を説明する説明図であって、（ａ）は基台の左側に配置された第１〜第４の検知装置を説明する説明図であり、（ｂ）は基台の右側に配置された第１〜第４の検知装置を説明する説明図。
【図６】レンズ素子が規則正しく配列されている場合の第１及び第３検出値の波形であって、（ａ）は第１検出値の波形、（ｂ）は第３検出値の波形である。
【図７】レンズ素子が規則正しく配列されている場合の第２及び第４検出値の波形であって、（ａ）は第２検出値の波形、（ｂ）は第４検出値の波形である。
【図８】配列評価装置１１の電気的構成を示すブロック回路図。
【図９】レンズ素子のＸ及びＺ矢印方向にずれの算出方法を説明するための説明図。
【図１０】レンズ素子を２列に配列したレンズアレイを説明するための要部説明図。
【図１１】レンズ素子を４列に配列したレンズアレイを説明するための要部説明図。
【符号の説明】
【００８１】
１１…レンズアレイ配列評価装置、１４…レンズアレイ、１４ａ…第１のレンズ面、１４ｂ…第２のレンズ面、１６…レンズ素子、２１…第１の検知装置、２２…第２の検知装置、２３…第３の検知装置、２４…第４の検知装置、２５…第１の光源、２６…第１の受光器、２６ａ…第１スリット板、２６ｂ…第１の受光素子、２７…第３の光源、２８…第３の受光器、２８ａ…第３スリット板、２８ｂ…第３の受光素子、３１…第２の光源、３２…第２の受光器、３２ａ…第２スリット板、３２ｂ…第２の受光素子、３３…第４の光源、３４…第４の受光器、３４ａ…第４スリット板、３４ｂ…第４の受光素子、ＬＳ１…第１のスリット、ＬＳ２…第２のスリット、ＬＳ３…第３のスリット、ＬＳ４…第４のスリット、Ｌ１ａ…第１のレーザ光、Ｌ２ａ…第２のレーザ光、Ｌ３ａ…第３のレーザ光、Ｌ４ａ…第４のレーザ光、Ｌ１ｂ…第１の透過光、Ｌ２ｂ…第２の透過光、Ｌ３ｂ…第３の透過光、Ｌ４ｂ…第４の透過光、Ｃ…光軸、Ｐｆ…第１検出値、Ｐｒ…第３検出値、Ｓｆ…第２検出値、Ｓｒ…第４検出値、Ｐａｎ，Ｓａｎ，Ｐｂｎ，Ｓｂｎ…間隔。
【図１】
2007101416.tif 000003
【図２】
2007101416.tif 000004
【図３】
2007101416.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007101416.tif 000007
【図６】
2007101416.tif 000008
【図７】
2007101416.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007101416.tif 000011
【図１０】
2007101416.tif 000012
【図１１】
2007101416.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月30日(2005.11.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のレンズ素子が規則的に配列されて成るレンズアレイに対し、光源とスリットと受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイの配列方向に相対移動させながら、前記光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した前記スリットを通して前記受光素子で受光させて前記レンズアレイを構成するレンズ素子の配列状態を検知するレンズアレイの配列評価方法において、
前記光源とスリットと受光素子からなる光学系を少なくとも２組設け、
第１、第２の光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１、第２のスリットをそれぞれ通し、第１、第２の受光素子でそれぞれ受光させるに際し、前記第１のスリットに対して前記第２のスリットを傾けて配置し、
前記第１の受光素子の検出値と前記第２の受光素子の検出値に基づいて、前記レンズアレイのレンズ素子の配列方向と直交する方向への配列のズレを検出することを特徴とするレンズアレイの配列評価方法。
【請求項２】
多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイの第１のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第２のレンズ面から第１の透過光として出射させる第１の光源と、
前記第１の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第２のレンズ面から出射した前記第１の透過光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１のスリットを通して受光する第１の受光素子と、
前記第１のレンズ面に平行光を入射し、前記第２のレンズ面から第２の透過光として出射させる第２の光源と、
前記第２の光源と相対向して配置され、前記第２のレンズ面から出射した前記第２の透過光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内で前記第１のスリットに対して傾けて配置した第２のスリットを通して受光する第２の受光素子と、
前記第１及び第２の光源、前記第１及び第２のスリット、前記第１及び第２の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項３】
請求項２に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第３の透過光として出射させる第３の光源と、
前記第３の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第１のレンズ面から出射した前記第３の透過光を前記第１のレンズ面に平行な平面内に配置した第３のスリットを通して受光する第３の受光素子と、
前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第４の透過光として出射させる第４の光源と、
前記第４の光源と相対向して配置され、前記第１のレンズ面から出射した前記第４の透過光を、前記第１のレンズ面に平行な平面内で前記第３のスリットに対して傾けて配置した第４のスリットを通して受光する第４の受光素子と、
前記第３及び第４の光源、前記第３及び第４のスリット、前記第３及び第４の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段と
を備えたことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第１及び第２のスリットは、前記レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しないことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【請求項５】
請求項３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、
前記第３及び第４のスリットは、前記レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しないことを特徴とするレンズアレイの配列評価装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、多数のレンズ素子が規則的に配列されて成るレンズアレイに対し、光源とスリットと受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイの配列方向に相対移動させながら、前記光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した前記スリットを通して前記受光素子で受光させて前記レンズアレイを構成するレンズ素子の配列状態を検知するレンズアレイの配列評価方法において、前記光源とスリットと受光素子からなる光学系を少なくとも２組設け、第１、第２の光源から発した平行光を前記レンズアレイの第１のレンズ面に入射させ、前記レンズアレイの第２のレンズ面からの出射光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内に配置した第１、第２のスリットをそれぞれ通し、第１、第２の受光素子でそれぞれ受光させるに際し、前記第１のスリットに対して前記第２のスリットを傾けて配置し、前記第１の受光素子の検出値と前記第２の受光素子の検出値に基づいて、前記レンズアレイのレンズ素子の配列方向と直交する方向への配列のズレを検出する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項２に記載の発明は、多数のレンズ素子が規則的に配列されたレンズアレイの第１のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第２のレンズ面から第１の透過光として出射させる第１の光源と、前記第１の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第２のレンズ面から出射した前記第１の透過光を前記第２のレンズ面に平行な平面内に配
置した第１のスリットを通して受光する第１の受光素子と、前記第１のレンズ面に平行光を入射し、前記第２のレンズ面から第２の透過光として出射させる第２の光源と、前記第２の光源と相対向して配置され、前記第２のレンズ面から出射した前記第２の透過光を、前記第２のレンズ面に平行な平面内で前記第１のスリットに対して傾けて配置した第２のスリットを通して受光する第２の受光素子と、前記第１及び第２の光源、前記第１及び第２のスリット、前記第１及び第２の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段とを備えた。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のレンズアレイの配列評価装置において、前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第３の透過光として出射させる第３の光源と、前記第３の光源と相対向して配置され、前記レンズアレイの第１のレンズ面から出射した前記第３の透過光を前記第１のレンズ面に平行な平面内に配置した第３のスリットを通して受光する第３の受光素子と、前記第２のレンズ面に平行光を入射し、前記レンズアレイの第１のレンズ面から第４の透過光として出射させる第４の光源と、前記第４の光源と相対向して配置され、前記第１のレンズ面から出射した前記第４の透過光を、前記第１のレンズ面に平行な平面内で前記第３のスリットに対して傾けて配置した第４のスリットを通して受光する第４の受光素子と、前記第３及び第４の光源、前記第３及び第４のスリット、前記第３及び第４の受光素子からなる光学系を、前記レンズアレイに対して配列方向に相対移動させる移動手段とを備えた。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項２又は３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、前記第１及び第２のスリットは、前記レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３に記載のレンズアレイの配列評価装置において、前記第３及び第４のスリットは、前記レンズアレイの複数のレンズ素子の透過光に同時に対峙しない。