(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドを加熱して行う磁気ヘッドの試験工程を、時間や作業コストを掛けずに迅速かつ安価に行って、製造工程の遅延や手戻りが発生するのを抑えることのできる磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】  ロウバーＲの少なくとも一長手面Ｒｂを、ロウバーＲよりも熱膨張率の低い保持治具２により保持するロウバー保持工程と、ロウバーＲ上の各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の接続端子６ａ，６ｂと、当該接続端子６ａ，６ｂと通電を取って試験を行うための試験端子４ａ，４ａ・・とを、ワイヤ１２，１２・・により接続するワイヤボンディング工程と、ロウバーＲを加熱する加熱工程と、試験端子４ａ，４ａ・・およびワイヤ１２，１２・・を介して、磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の機能特性を試験する機能特性試験工程とを含む。【選択図】          図１
2007250105.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ヘッドを加熱して、磁気ヘッドの機能特性を試験する試験工程を有する磁気ヘッドの製造方法において、
前記試験工程は、
ウエハーから切り出されたロウバーの少なくとも一長手面を、ロウバーよりも熱膨張率の低い保持治具により保持するロウバー保持工程と、
前記ロウバー上の各磁気ヘッドの接続端子と、該接続端子と通電を取って試験を行うための試験端子とを、ワイヤにより接続するワイヤボンディング工程と、
前記ロウバーを加熱する加熱工程と、
前記試験端子および前記ワイヤを介して、前記磁気ヘッドの機能特性を試験する機能特性試験工程とを含むことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記ロウバー保持工程は、前記ロウバーの前記接続端子の形成面が、前記保持治具の一端面側に露出するとともに該一端面とほぼ平行となるよう、保持治具にロウバーを保持し、
前記試験端子は、前記一端面上に設けられていることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記試験端子は、前記保持治具の外面に沿って配設されたフレキシブルプリント板上に設けられていることを特徴とする請求項２記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記保持治具の前記一端面の縁部には、前記ロウバーの外形に合致する切り欠き部が形成され、
前記ロウバー保持工程は、前記切り欠き部内に前記ロウバーを保持することを特徴とする請求項２または３記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記ロウバー保持工程は、前記ロウバーを前記保持治具に接着して保持することを特徴とする請求項１〜４のうちのいずれか一項記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記保持治具は、金属製であることを特徴とする請求項１〜５のうちのいずれか一項記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記加熱工程は、前記ロウバーの前記一長手面の反対面を加熱板に当接させて、加熱板を加熱することにより行うことを特徴とする請求項１〜６のうちのいずれか一項記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記機能特性試験工程において、前記ロウバーに磁界を印加して、各前記磁気ヘッドのＭＲ素子の電磁変換特性を試験することを特徴とする請求項１〜７のうちのいずれか一項記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ヘッドを加熱して、磁気ヘッドの機能特性を試験する試験工程を有する磁気ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置に用いられる磁気ヘッドのＭＲ素子は、経時に伴って電磁変換特性が劣化し、やがては寿命を迎えることが知られている。
さて、磁気ヘッドの製造品質のばらつき等により、経時に伴う前記電磁変換特性の劣化の速さにも、磁気ヘッドまたは磁気ヘッドの製造ロットごとにばらつきがある。
そこで、各磁気ヘッド（各製造ロット）ごとの前記電磁変換特性を把握したり、前記寿命の長さに関して所定の基準を満たさないと判定された磁気ヘッドを不良品として出荷する製品から除外したりするために、従来から、磁気ヘッドのサンプリング試験が行われている。
【０００３】
例えば、磁気ヘッドの各製造ロットから、所定数の磁気ヘッドをサンプルとして抜き出し、それらに対してＭＲ素子の前記劣化を促進させるような操作を行って、当該劣化が所定の基準よりも早く進んで寿命を迎えてしまうような磁気ヘッド（不良の磁気ヘッド）があるかどうかを試験する。その結果、不良の磁気ヘッドが特定され、その不良の原因が、その磁気ヘッドの属する製造ロットに共通する問題である場合には、例えば、その製造ロットに属する磁気ヘッドの全てを不良品として破棄する等の処置が行われる。
【０００４】
特許文献１には、磁気ヘッドのＭＲ素子の前記劣化を促進するために磁気ヘッドを加熱するとともに、磁気ヘッドに磁界を印加して、磁気ヘッドのＭＲ素子の電磁変換特性を試験する方法が記載されている。
特許文献１記載の技術では、磁気ヘッドを恒温槽内にセットして恒温槽内を加熱するとともに、磁気ヘッドに交番磁界を印加して、磁気ヘッドのＭＲ素子の磁気抵抗特性や電気抵抗等の電磁変換特性を試験する。
【０００５】
また、従来、特許文献１記載の技術のように恒温槽等を介して磁気ヘッドを加熱する方法の他に、図４に示すように、磁気ヘッド９２をＨＧＡ（ヘッドジンバルアセンブリ）９０に組み込み、ＨＧＡ９０の磁気ヘッド９２部分を、サスペンション９４の弾性力により加熱板９６に押圧させて、加熱板９６を加熱することによって、磁気ヘッド９２を加熱する方法もある。そして、加熱板９６を挟んで配置された電磁石の極９８ａ，９８ｂにより磁気ヘッド９２に磁界を印加して、ＨＧＡ９０上の配線パターンを介して磁気ヘッド９２のＭＲ素子の電磁変換特性を試験する。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−１４６２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載の磁気ヘッドの試験工程では、高温に耐え得る恒温槽を設けるとともに、磁気ヘッドを電気的導通をとるための配線等も高温に耐え得るよう構成する必要があるなど、設備コストが嵩むという課題がある。
また、磁気ヘッドが高温により変形しやすいため、磁気ヘッドの接続端子に接触する接触式のプローブ等によって電気的導通を取ると、磁気ヘッドの変形に伴って接触不良が発生しやすいという課題がある。
【０００８】
他方、磁気ヘッドをＨＧＡに組んでから前記試験を行う方法では、恒温槽等の設備が不要なため、比較的、設備コストが低く済むとともに、磁気ヘッドが金属製のサスペンションに接着されているために加熱に伴う磁気ヘッドの変形が小さく抑えられるというメリットがある。
しかしながら、磁気ヘッドをＨＧＡまでに組み込む分だけ工程が多く、時間や作業コストが掛かってしまうという課題がある。特に、試験に時間が掛かると、その磁気ヘッドの属する製造ロットを良品または不良品と判断するのが遅くなるため、製造工程に遅延や手戻りが発生しやすくなり、製造効率が悪化するという課題がある。
【０００９】
本発明は、上記課題を解決すべくなされ、その主たる目的は、磁気ヘッドを加熱して行う磁気ヘッドの試験工程を、時間や作業コストを掛けずに迅速かつ安価に行って、製造工程の遅延や手戻りが発生するのを抑えることのできる磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。また、さらには、加熱によっても磁気ヘッドの変形を小さく抑えられるとともに、磁気ヘッドの接続端子との電気的導通を安定的に取ることのできる試験工程を有する磁気ヘッドの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、上記課題を解決するために、次の構成を備える。
すなわち、磁気ヘッドを加熱して、磁気ヘッドの機能特性を試験する試験工程を有する磁気ヘッドの製造方法において、前記試験工程は、ウエハーから切り出されたロウバーの少なくとも一長手面を、ロウバーよりも熱膨張率の低い保持治具により保持するロウバー保持工程と、前記ロウバー上の各磁気ヘッドの接続端子と、該接続端子と通電を取って試験を行うための試験端子とを、ワイヤにより接続するワイヤボンディング工程と、前記ロウバーを加熱する加熱工程と、前記試験端子および前記ワイヤを介して、前記磁気ヘッドの機能特性を試験する機能特性試験工程とを含むことを特徴とする。
これによれば、ウエハーから切り出されたロウバーの状態で、前記加熱工程および前記機能特性試験工程を行うから、磁気ヘッドをＨＧＡにまで組んで試験を行う方法に比較し、試験の時間や作業コストを低く抑えることができる。さらに、ロウバーの少なくとも一長手面を熱膨張率の低い保持治具により保持するから、加熱によってもロウバー（磁気ヘッド）が変形しにくく、なおかつ、磁気ヘッドの接続端子との電気的な導通は、ワイヤによりとるから、磁気ヘッドが加熱により変形したとしても、ワイヤがその変形に追随して変形するため接触不良等の問題が発生しない。
【００１１】
さらに、前記ロウバー保持工程は、前記ロウバーの前記接続端子の形成面が、前記保持治具の一端面側に露出するとともに該一端面とほぼ平行となるよう、保持治具にロウバーを保持し、前記試験端子は、前記一端面上に設けられていることを特徴とする。
これによれば、ロウバー（磁気ヘッド）の接続端子の形成面が、試験端子が設けられた保持治具の一端面とほぼ平行に露出するから、ワイヤボンディング工程におけるワイヤの接続を、ほぼ平行な面内で容易に行うことができる。
【００１２】
さらに、前記試験端子は、前記保持治具の外面に沿って配設されたフレキシブルプリント板上に設けられていることを特徴とする。
これによれば、保持治具上に好適に試験端子を配設でき、さらに、フレキシブルプリント板を交換することで、容易に試験端子の交換や、磁気ヘッド（ロウバー）の仕様に応じた配置の変更を行うことができる。
【００１３】
また、前記保持治具の前記一端面の縁部には、前記ロウバーの外形に合致する切り欠き部が形成され、前記ロウバー保持工程は、前記切り欠き部内に前記ロウバーを保持することを特徴とする。
これによれば、ロウバーを位置ずれしないよう、よりしっかりと保持できる。
【００１４】
また、前記ロウバー保持工程は、前記ロウバーを前記保持治具に接着して保持することを特徴とする。
これによれば、ロウバーを位置ずれしないよう、よりしっかりと保持できる。
【００１５】
また、前記保持治具は、金属製であることを特徴とする。
これによれば、保持治具が加熱によって変形しにくいために、ロウバーの変形をより好適に抑えることができ、また、保持治具の耐久性を高くすることができる。
【００１６】
また、前記加熱工程は、前記ロウバーの前記一長手面の反対面を加熱板に当接させて、加熱板を加熱することにより行うことを特徴とする。
これによれば、恒温槽等を設ける方法に比較して、設備コストを抑えられるとともに、試験工程を簡単に行うことができる。また、ロウバーを保持治具と加熱板との間で挟持するから、ロウバーの加熱による変形をより好適に抑えることができる。
【００１７】
また、前記機能特性試験工程において、前記ロウバーに磁界を印加して、各前記磁気ヘッドのＭＲ素子の電磁変換特性を試験することを特徴とする。
これによれば、磁気ヘッドのＭＲ素子の電磁変換特性を好適に試験できる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る磁気ヘッドの製造方法によれば、磁気ヘッドを加熱して行う磁気ヘッドの試験工程を、時間や作業コストを掛けずに迅速かつ安価に行って、製造工程の遅延や手戻りが発生するのを抑えることができる。また、加熱工程および機能特性試験工程において、加熱による磁気ヘッドの変形を小さく抑えられるとともに、磁気ヘッドの接続端子との電気的導通を安定的に取ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法を実施するための最良の形態について説明する。
【００２０】
磁気ヘッドの製造工程において、Al2O3-TiC（アルチック）ウエハー面上に、磁性体を積層して成膜するなどしてそれぞれＭＲ素子を含む磁気ヘッドが何列にもわたって複数並べられて形成される。そして、ウエハー表面に各磁気ヘッドの接続端子が形成された後、磁気ヘッドが列毎に分離されるよう、ウエハーが切断される。ウエハーが切断されてできた、複数の磁気ヘッドが一直線に複数並んだ棒状体を、当業者間では一般にロウバーと呼んでいる。
【００２１】
本実施の形態においては、一つのウエハーから切り出された複数のロウバーのうちの一つ、またはいくつかを、サンプルとして抜き出し、加熱によってＭＲ素子の劣化を促進（加速）させて、機能特性を試験する。そして、その機能特性が所定の基準を満たさないと判定された磁気ヘッドを不良品として出荷する製品から除外する。すなわち、ＭＲ素子の劣化が所定の基準よりも早く進んで寿命を迎えてしまうような磁気ヘッド（不良の磁気ヘッド）があるかどうかを試験する。その結果、不良の磁気ヘッドが特定され、その不良の原因が、その磁気ヘッドの属する製造ロットに共通する問題である場合には、その製造ロットに属する磁気ヘッドの全てを不良品として破棄する等の処置を行う。
【００２２】
さて、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法の実施の形態を、以下に説明する。
【００２３】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法における試験工程では、まず、前記ロウバーを、保持治具に保持させるロウバー保持工程を行う。
図１は、保持治具２にロウバーＲを保持させた状態を示す斜視説明図である。
【００２４】
保持治具２は、ロウバーＲよりも熱膨張率の低い金属（例えば鉄、または鉄合金等）により構成される。保持治具２の一端面２ａの縁部には、ロウバーＲの外形に合致する切り欠き部２ｂが形成されている。図１に示すように、切り欠き部２ｂは、保持治具２の一端面２ａとそれに直行する一面２ｃとの縁部に、その両面に開口するよう設けられ、ロウバーＲ（磁気ヘッドＨ，Ｈ・・）の、サスペンションのジンバル部との接着面（言い換えれば、ＡＢＳ面Ｒｄの反対面）Ｒｂと、ロウバーＲ（磁気ヘッドＨ，Ｈ・・）の接続端子６ａ〜６ｄの形成面Ｒａの反対面Ｒｃとの両者に合致する段差状に形成されている。
なお、図１において、ロウバーＲ上の破線は、ロウバーＲに含まれる各磁気ヘッドＨ，Ｈ間の境目（すなわちロウバーＲから磁気ヘッドＨを切り出す際の切断位置）を表している。
【００２５】
本ロウバー保持工程においては、前記接着面Ｒｂと、接続端子６ａ〜６ｄの形成面Ｒａの前記反対面Ｒｃとを、前記切り欠き部２ｂに合致させた状態で、ロウバーＲを保持治具２に接着して保持させる。すなわち、ロウバーＲは、その二つの長手面Ｒｂ，Ｒｃが、保持治具２の切り欠き部２ｂの表面に接着されて、切り欠き部２ｂ内に保持される。そして、これにより、ロウバーＲの接続端子６ａ〜６ｄの形成面Ｒａは、保持治具２の前記一端面２ａ側に、一端面２ａと平行に露出する。
【００２６】
また、保持治具２の表面には、前記一端面２ａ上から前記一面２ｃの反対面２ｄ上へ延びるフレキシブルプリント板４が設けられる。フレキシブルプリント板４は、ポリイミドの薄板上に銅等から成る導体パターンが設けられて成る。
また、保持治具２の前記一端面２ａと前記一面２ｃとの間の角部２ｅは、フレキシブルプリント板４が滑らかに曲がるよう、連続な曲面に形成される。
【００２７】
フレキシブルプリント板４には、前記一端面２ａ上の、切り欠き部２ｂの付近に位置するよう、試験端子４ａ，４ａ・・が設けられる。試験端子４ａ，４ａ・・は、ロウバーＲに含まれる各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の読み取り信号用接続端子（すなわちＭＲ素子に対応する接続端子）６ａ，６ｂのそれぞれに対応するよう設けられる（接続端子６ｃ，６ｄは、書き込み信号用接続端子である）。なお、本実施の形態においては、ＭＲ素子の電磁変換特性のみを試験するために、試験端子４ａ，４ａ・・は、読み取り信号用接続端子６ａ，６ｂにのみ対応して設けているが、書き込み側の機能特性を試験する場合には、書き込み信号用接続端子６ｃ，６ｄの対応位置にも試験端子を設けるとよい。
【００２８】
また、フレキシブルプリント板４には、各試験端子４ａ，４ａ・・に接続する配線４ｂ，４ｂ・・が設けられる。
試験端子４ａ，４ａ・・および配線４ｂ，４ｂ・・は、前記導体パターンとして設けられている。
配線４ｂ，４ｂの、試験端子４ａ，４ａの他端は、図示しない電磁変換特性の試験回路に接続されている。
【００２９】
上記ロウバー保持工程の後、ロウバーＲ上の各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の、試験を行う読み取り用接続端子６ａ，６ｂと、試験端子４ａ，４ａ・・とを、ワイヤ１２，１２・・により接続するワイヤボンディング工程を行う。
【００３０】
上記ワイヤボンディング工程の後、保持治具２に保持されたロウバーＲを加熱する加熱工程を行う。この加熱によって、前述の通り、ロウバーＲに含まれる磁気ヘッドＨ，Ｈ・・のＭＲ素子の劣化を促進（加速）させる。
加熱工程は、図２に示すように、ロウバーＲのＡＢＳ面Ｒｄ（すなわち、保持治具２に接着された前記接着面Ｒｂの反対面）を加熱板８に当接させて、加熱板８を加熱することにより行う。
【００３１】
また、加熱工程に続いて、試験端子４ａ，４ａ・・およびワイヤ１２，１２・・を介して、各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の機能特性を試験する機能特性試験工程を行う。本実施の形態においては、機能特性試験工程として、ロウバーＲに磁界を印加して、各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・のＭＲ素子の電磁変換特性を試験する。具体的には、図３に示すように、ロウバーＲの接着面Ｒｂ側およびＡＢＳ面Ｒｄ側に一対の電磁石の極１０ａ，１０ｂを配置して、ロウバーＲに磁界を印加する。
そして、各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の接続端子６ａ，６ｂに接続されたワイヤ１２，１２・・、試験端子４ａ，４ａ、および配線４ｂ，４ｂ・・を介して、前記試験回路により、各磁気ヘッドＨ，Ｈ・・のＭＲ素子の電磁変換特性を試験する。例えば、磁界を印加した際のＭＲ素子の電気抵抗の変化を読み取るなどして、ＭＲ素子の電磁変換特性を試験する。
【００３２】
なお、本発明において、前記加熱工程と前記機能特性試験工程とは、それぞれ一回のみ行う構成に限定されるものではない。
例えば、加熱工程を行ってＭＲ素子に所定の擬似的な経時劣化を起こさせ、それから機能特性試験工程を行って当該経時劣化に伴う影響を試験し、さらにその後に加熱工程を行ってＭＲ素子にさらなる前記劣化を起こさせて、再び機能特性試験工程を行ってその影響を試験するなど、加熱工程と機能特性試験工程とを交互に繰り返し行うよう構成してもよい。また、機能特性試験工程は、必ずしも加熱工程の後に行う構成に限定されるものではなく、例えば、まず機能特性試験工程を行って、その後、加熱工程および機能特性試験工程を繰り返すよう構成してもよい。また、加熱工程と機能特性試験工程とを同時に行ってもよい。すなわち、ロウバーを加熱しつつ、ロウバーに磁界を印加してその電磁変換特性を試験するといった構成を採用してもよい。
このように、本発明において、加熱工程と機能特性試験工程との経時的な関係およびそれぞれの回数は、特に限定されるものではなく、試験内容等に応じて適宜変更してよい。
【００３３】
本実施の形態に係る磁気ヘッドの製造方法における試験工程によれば、ウエハーから切り出されたロウバーＲの状態で、前記加熱工程および前記機能特性試験工程を行うから、磁気ヘッドをＨＧＡにまで組んで試験を行う従来の方法に比較し、試験の時間や作業コストを低く抑えることができる。さらに、ロウバーＲの少なくとも一長手面（二つの長手面Ｒｂ，Ｒｃ）を熱膨張率の低い金属製の保持治具２により保持するから、加熱によってもロウバーＲが変形しにくく、なおかつ、磁気ヘッドＨ，Ｈ・・の接続端子６ａ，６ｂとの電気的な導通は、ワイヤ１２，１２・・によりとるから、ロウバーＲ（磁気ヘッドＨ，Ｈ・・）が加熱により変形したとしても、ワイヤ１２，１２・・がその変形に追随して変形するため接触不良等の問題が発生しない。
【００３４】
特に、加熱工程において、ロウバーＲを加熱板８に当接させて、ロウバーＲを保持治具２と加熱板８との間で挟持するから、ロウバーＲの加熱による変形をより好適に抑えることができる。
また、ロウバーＲを加熱板８に当接させて加熱する構成は、従来の恒温槽等を設ける方法に比較して、設備コストを抑えられる。
【００３５】
また、ロウバーＲ（磁気ヘッドＨ，Ｈ・・）の接続端子６ａ，６ｂ・・の形成面Ｒａが、試験端子４ａ，４ａ・・が設けられた保持治具２の一端面２ａと平行に露出するから、ワイヤボンディング工程におけるワイヤ１２，１２・・の接続を、平行な面内で容易に行うことができる。
【００３６】
また、試験を行うための試験端子４ａ，４ａ・・および配線４ｂ，４ｂ・・が、フレキシブルプリント板４上に設けられているから、保持治具２上に好適に試験端子４ａ，４ａ・・を配設でき、さらに、フレキシブルプリント板４が劣化したり、試験端子４ａ，４ａ・・上にワイヤボンディングを何回も行って、ワイヤ１２，１２・・をボンディングするためのスペースがなくなったりした場合でも、フレキシブルプリント板４を交換することで、容易に試験端子４ａ，４ａ・・の交換を行うことができる。また、磁気ヘッドＨ，Ｈ・・（ロウバーＲ）の仕様に応じて試験端子４ａ，４ａ・・の配置を変更する必要が生じた場合にも、フレキシブルプリント板４を交換することで、容易に対応することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
なお、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、磁気ヘッドを加熱することでＭＲ素子を擬似的に経時劣化させて、ＭＲ素子の電磁変換特性を試験することに限定されるものではなく、磁気ヘッドを加熱して、磁気ヘッドの機能特性を試験する目的であれば、磁気ヘッドのあらゆる試験に適用できることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】保持治具にロウバーを保持させた状態を示す斜視説明図である。
【図２】ロウバーを加熱板に当接させた状態を示す説明図である。
【図３】ロウバーに磁界を印加している状態を示す説明図である。
【図４】従来の磁気ヘッドの試験方法の説明図である。
【符号の説明】
【００３９】
Ｈ  磁気ヘッド
Ｒ  ロウバー
Ｒａ  接続端子の形成面
Ｒｂ  接着面（一長手面）
Ｒｄ  ＡＢＳ面（一長手面の反対面）
２  保持治具
２ａ  一端面
２ｂ  切り欠き部
４  フレキシブルプリント板
４ａ  試験端子
４ｂ  配線
６ａ，６ｂ  接続端子（読み取り信号用接続端子）
６ｃ，６ｄ  接続端子（書き込み信号用接続端子）
８  加熱板
１０ａ，１０ｂ  電磁石の極
１２  ワイヤ
【図１】
2007250105.tif 000003
【図２】
2007250105.tif 000004
【図３】
2007250105.tif 000005
【図４】
2007250105.tif 000006