(57)【要約】【課題】摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得ることができる磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを簡便な方法で得ることのできる製造方法を提供する。【解決手段】走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜２を表面に有する磁気コア半体３と、巻線溝４ａを有する磁気コア半体４とが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝４ａに導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッド１０において、磁気コア半体３は、金属磁性膜２形成面とは反対面側に開口し前記記録媒体走行方向の開口長さとして金属磁性膜２形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる溝を有するとともに、該溝に硬質非磁性材料が充填され融着して形状支持部７ｂを形成しており、前記硬質非磁性材料の熱膨張係数が、磁気コア半体３を構成する材料の熱膨張係数よりも小さい。【選択図】図１
2007141368.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドにおいて、
前記磁気コア半体Ａは、前記金属磁性膜形成面とは反対面側に開口し前記記録媒体走行方向の開口長さとして該金属磁性膜形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる溝を有するとともに、該溝に硬質非磁性材料が充填され融着しており、
前記硬質非磁性材料の熱膨張係数が、磁気コア半体Ａを構成する材料の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記金属磁性膜は、漏れ磁束の発生源となるギャップ部を有しており、
前記溝の２つの傾斜面は前記ギャップ部の中心線に対して線対称となるよう配置されていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記記録媒体との摺動面の形状が、前記磁気記録媒体の走行方向において凸形状となっていることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
前記凸形状の高さが、５〜８０ｎｍであることを特徴とする請求項３に記載の磁気ヘッド。
【請求項５】
走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドの製造方法において、
複数の磁気コア半体Ａの原板である磁気コア基板Ａの一方の主面に第１の溝を形成し、該第１の溝に硬質非磁性材料Ａを充填し融着させベースガラスとする工程と、
前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面上に金属磁性膜を形成する工程と、
前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面とは反対の主面に記録媒体走行方向の開口長さとして前記ベースガラス形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる第２の溝を形成する工程と、
前記第２の溝に磁気コア基板Ａを構成する材料よりも熱膨張係数が小さい硬質非磁性材料Ｂを充填し融着させ形状支持部とする工程と、
前記磁気コア基板Ａと、複数の磁気コア半体Ｂの原板で一方の主面に巻線溝が形成された磁気コア基板Ｂとを、前記磁気コア基板Ａの形状支持部形成面と前記磁気コア基板Ｂの巻線溝形成面とが接するように接合する工程と、
前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとが接合されたものを磁気コアブロックごとに切断して磁気コアを得る工程と
を備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記硬質非磁性材料Ａと前記磁気コア基板Ａの構成材料の熱膨張係数がほぼ同じであることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記金属磁性膜は、漏れ磁束の発生源となるギャップ部を有しており、
前記第２の溝の２つの傾斜面は前記ギャップ部の中心線に対して線対称となるように形成されていることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとの接合は、前記磁気コア基板Ａの形状支持部形成面に設けられた金属層と前記磁気コア基板Ｂの巻線溝形成面に設けられた金属層とを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合するものであることを特徴とする請求項５に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むための磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、コンピューター用バックアップ装置など、記録媒体（磁気テープ）に記録するデータの容量と転送レートが益々高くなると、記録再生ヘッドは定められたトラックを高速に、そして正確にトレースしなければならない。また、記録再生ヘッドはトラック間を高速に移動し、特定のトラックの特定の位置に瞬時に移動する必要がある。
【０００３】
この動作を安定させる方法として、予め磁気テープにサーボ信号を書き込み、そのサーボ信号を読み込んだサーボ専用再生ヘッドの信号を基に磁気テープ上の位置を検出し、記録再生ヘッドを安定して走行させる方法がある。また、このようにサーボ信号をテープに予め書き込んだ方式は、異なる記録再生装置間での互換性に有利であり、今後の更なる高密度化に対応することができる。
【０００４】
サーボ信号を書き込む磁気ヘッドは、一般に、高透磁率である磁性材料によって形成された磁気コアに対して、コイルが巻回されることによって構成されている（例えば、特許文献１参照。）。このような磁気ヘッドは、磁気コアとコイルとの電磁誘導を利用して磁気記録媒体に対する記録を行うことから、電磁誘導型（インダクティブ型）の磁気ヘッドと称されている。
【０００５】
磁気ヘッドにおいて、磁気コアは、記録時にはコイルから磁気記録媒体へ、再生時には磁気記録媒体からコイルへといった具合に、磁束を伝達するための通路としての働きをする。また、磁気コアには、磁気記録媒体と対向する部位に、微小な間隙、すなわち磁気ギャップが形成されている。磁気ヘッドは、磁気ギャップに生じる漏れ磁界を磁気記録媒体に印加することによって、この磁気記録媒体に対して磁気信号の記録を行う。
【０００６】
ところで、近年、磁気記録の分野においては、磁気記録媒体の小型化及び大容量化のために、磁気信号の高記録密度化がより一層進められており、微細な磁気信号を正確に記録再生することが要求されている。そのため、例えば、磁気信号を記録する磁性層に用いる磁性粉としての強磁性金属粉末を塗料化してベースフィルム上に塗布したメタルテープや、強磁性金属材料をベースフィルム上に直接蒸着させた蒸着テープなどのような高抗磁力を示す磁気記録媒体が広く利用されるようになってきている。
【０００７】
そして、これらの高抗磁力を示す磁気記録媒体に記録することを可能とするために、例えば、Ｆｅ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金等のような高透磁率を示すとともに、高い飽和磁束密度を示す金属磁性材料を例えばフェライト材と組み合わせた磁気ヘッドが提案されている。
【０００８】
また、サーボ信号を書き込む磁気ヘッドには、複数の傾きが異なる空隙（以下Ｇａｐと言う）が所定の間隔を持って配置されている。Ｇａｐ材は非磁性材料からなるもので構成されている。また、非磁性材を覆うように金属膜を各種法によって付着させるとＧａｐ部の強度が高くなる事も周知の事実である。このＧａｐを製作する工程には、古くから使われている一般的な写真印刷法を使用する事で達成する事が出来る。このＧａｐ部をテープと隙間無く接触させる事で記録する信号を効率良く強く書き込む事が出来ることから、その磁気テープと摺動する磁気ヘッドの面（以下摺動面と言う）は、レンズ研摩装置等を使用して平坦な鏡面仕上げを施している。
【０００９】
【特許文献１】特開２００２−１７０２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、平坦かつ鏡面状態に加工された理想的な摺動面をもつ磁気ヘッドは装置への取り付けの際に高精度の調整が必要とされていた。全てのＧａｐ部で磁気テープと均一に接触する必要があるが、磁気ヘッドを装置に取り付ける際の位置ズレや傾き、テープの幅方向の湾曲のバラツキ等によって常に理想的なテープコンタクトを全てのＧａｐ部で行われているわけではない。
【００１１】
また、テープとサーボヘッドの間に空隙が生じると、Ｇａｐ部から漏れた磁束がテープ媒体を効率よく磁化することが出来ず、記録されたサーボパターンの磁化強度が弱くなり結果記録出力の低下が起きる。このようになると空隙による記録のロスを回避する事を目的としてサーボヘッドとテープの面圧を上げるためにヘッドの突出しを上げる事になり、ヘッドの摩耗を促進する事になってしまう。また、テープとヘッド摺動面の密着が不均一になるために偏摩耗が起こり、ヘッドの長寿命化の妨げとなっていた。
【００１２】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得ることができる磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを簡便な方法で得ることのできる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記課題を解決するために提供する本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドにおいて、前記磁気コア半体Ａは、前記金属磁性膜形成面とは反対面側に開口し前記記録媒体走行方向の開口長さとして該金属磁性膜形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる溝を有するとともに、該溝に硬質非磁性材料が充填され融着しており、前記硬質非磁性材料の熱膨張係数が、磁気コア半体Ａを構成する材料の熱膨張係数よりも小さいことを特徴とする磁気ヘッドである（請求項１）。
【００１４】
また、前記金属磁性膜は、漏れ磁束の発生源となるギャップ部を有しており、前記溝の２つの傾斜面は前記ギャップ部の中心線に対して線対称となるよう配置されていることが好ましい。
【００１５】
さらに、前記記録媒体との摺動面の形状が、前記磁気記録媒体の走行方向において凸形状となっているとよい。このとき、前記凸形状の高さが、５〜８０ｎｍであることが好適である。
【００１６】
前記課題を解決するために提供する本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドの製造方法において、複数の磁気コア半体Ａの原板である磁気コア基板Ａの一方の主面に第１の溝を形成し、該第１の溝に硬質非磁性材料Ａを充填し融着させベースガラスとする工程と、前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面上に金属磁性膜を形成する工程と、前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面とは反対の主面に記録媒体走行方向の開口長さとして前記ベースガラス形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる第２の溝を形成する工程と、前記第２の溝に磁気コア基板Ａを構成する材料よりも熱膨張係数が小さい硬質非磁性材料Ｂを充填し融着させ形状支持部とする工程と、前記磁気コア基板Ａと、複数の磁気コア半体Ｂの原板で一方の主面に巻線溝が形成された磁気コア基板Ｂとを、前記磁気コア基板Ａの形状支持部形成面と前記磁気コア基板Ｂの巻線溝形成面とが接するように接合する工程と、前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとが接合されたものを磁気コアブロックごとに切断して磁気コアを得る工程とを備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である（請求項５）。
【００１７】
ここで、前記硬質非磁性材料Ａと前記磁気コア基板Ａの構成材料の熱膨張係数がほぼ同じであることが好ましい。
【００１８】
また、前記金属磁性膜は、漏れ磁束の発生源となるギャップ部を有しており、前記第２の溝の２つの傾斜面は前記ギャップ部の中心線に対して線対称となるように形成されていることが好ましい。
【００１９】
また、前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとの接合は、前記磁気コア基板Ａの形状支持部形成面に設けられた金属層と前記磁気コア基板Ｂの巻線溝形成面に設けられた金属層とを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合するものであることが好適である。
【発明の効果】
【００２０】
本発明の磁気ヘッドによれば、摺動面が表面のうねりがなく適度な凸形状となることにより、摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得ることができる。また、これにより、磁気ヘッドの長寿命化を図ることができる。
本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、簡便な方法により、磁気ヘッドの摺動面を表面のうねりがなく適度な凸形状とすることができ、該摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得るようにすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に、本発明に係る磁気ヘッドの構成について説明する。
図１は、本発明に係る磁気ヘッドの構成を示す概略図である。
本発明の磁気ヘッド１０は、複数の傾きが異なるギャップ部をもち走行する記録媒体にサーボ信号を同時に書き込むために用いるバルク薄膜ヘッドの構成例であり、前記記録媒体との摺動面となり磁路を構成する金属磁性膜２を表面に有する磁気コア半体３と、巻線溝４ａを有する磁気コア半体４とが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイル（図示せず）とを備える。
【００２２】
ここで、磁気コア半体３，４を構成する材料は、従来公知の磁性材料であり、単結晶フェライト、多結晶フェライトのいずれでもよい。例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００２３】
図２に、磁気ヘッド１０の磁気コア３の部分を拡大して示す。
磁気コア半体３は、金属磁性膜２のギャップ部２ｇ直下に磁気記録媒体幅方向Ｗに延びる第１の溝３ａを有し、さらに該第１の溝３ａに硬質非磁性材料Ａが充填され融着されてなるベースガラス７ａを有している。
【００２４】
なお、金属磁性膜２は、Ｆｅ系微結晶膜、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金からなる膜が数μｍの厚さで成膜されたものである。また、ギャップ部２ｇは、ベースガラス７ａ上に形成され金属磁性膜２を分断するように記録媒体摺動面まで達する高さを有する非磁性材からなる書き込みパターン（空隙）である。記録媒体への記録に際しては、励磁コイルに電流が流されて発生する磁束をギャップ部２ｇが妨げることにより、走行する記録媒体にそのギャップパターンを記録することができる。
【００２５】
硬質非磁性材料Ａは、磁気コア半体３に融着してある程度の強度を確保することができる非磁性の材料であればよい。例えば、シリカガラスなどが挙げられる。また、硬質非磁性材料Ａは硬質非磁性材料Ｂと同一であってもよいが、後述するように１００〜５００℃の温度領域における熱膨張係数が磁気コア半体３の熱膨張係数とほぼ同じであることが好ましい。なお、熱膨張係数がほぼ同じとは、両者の差が±１×１０−７以内であることをいう。
【００２６】
また、磁気コア半体３は、金属磁性膜２形成面とは反対面側に開口し記録媒体走行方向Ｌの開口長さとして金属磁性膜形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる第２の溝３ｂを有し、さらに該第２の溝３ｂに硬質非磁性材料Ｂが充填され融着されてなる形状支持部７ｂを有している。
【００２７】
ここで、硬質非磁性材料Ｂは、磁気コア半体３に融着して磁気コアとしての形状を保持することができる程度の剛性を有する非磁性の材料であり、その熱膨張係数αＧは磁気コア半体３を構成する材料の熱膨張係数αＣよりも小さい。詳しくは、この硬質非磁性材料Ｂと磁気コア半体３の構成材料の熱膨張係数の関係としては、温度領域１００〜５００℃においてつぎの関係式となることが好ましい。
０＜αＣ−αＧ≦１０×１０−７
【００２８】
また、第２の溝３ｂの２つの傾斜面はギャップ部２ｇの中心線ＣＬに対して線対称となるよう配置されていることが好ましい。ギャップ部２ｇの中心線ＣＬとは、複数のギャップ部２ｇすべての平均的な中心位置における金属磁性膜２表面に対する法線である。
【００２９】
また、磁気コア半体３と磁気コア半体４との接合部６は、瞬間接着剤やエポキシ樹脂接着剤を使用した接着接合によってもよいが、後述の低温金属拡散接合法によりなることが好ましい。これにより、磁気コアとしての平坦性、寸法安定性が向上し、本発明の効果に寄与する。
【００３０】
図３に、磁気コア半体３と磁気コア半体４との接合部６の詳細を示す。
磁気コア半体３と磁気コア半体４との接合部６は、磁気コア半体３の接合面と磁気コア半体４の接合面と間に金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂ／金属膜６ａが密着性よく積層された構造となっている。また、磁気コア半体３と金属膜６ａ、磁気コア半体４と金属膜６ａもそれぞれ密着しており、磁気コア半体３と磁気コア半体４とは強固に接合されている。
【００３１】
金属膜６ａは、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。
拡散金属膜６ｂは、もともと磁気コア半体３の金属膜６ａ、磁気コア半体４の金属膜６ａそれぞれの上に形成されたＡｕなどの蒸着膜が接合時の相互拡散により１つの層となったものであり、２０〜４００ｎｍの範囲で均一な厚さとなっている。
【００３２】
以上の構成により、本発明の磁気ヘッド１０は、記録媒体との摺動面の形状として、表面のうねりがなく（平坦性がよく）前記磁気記録媒体の走行方向Ｌにおいて適度な凸形状となることにより、摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得ることができる（図４）。また、これにより、磁気ヘッドの長寿命化を図ることができる。なお、前記凸形状の高さは５〜８０ｎｍであることが好ましい。
【００３３】
つぎに、本発明の磁気ヘッドの製造方法について説明する。
本発明は、前述の磁気ヘッド１０を製造するための方法である。以下、図５〜図１１を参照しながら、工程別に本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明する。
【００３４】
（Ｓ１１）複数の磁気コア半体３の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に磁気コア半体３に対応させた第１の溝３ａを形成する（図５（ａ））。
【００３５】
（Ｓ１２）ついで、第１の溝３ａに硬質非磁性材料Ａ（７Ｌ）を充填し融着させ（図５（ｂ））、このときはみ出した硬質非磁性材料Ａを研磨してベースガラス７ａを形成するとともにベースガラス７ａ形成面が平坦になるようにする。このとき、硬質非磁性材料Ａとして磁気コア基板１３の構成材料の熱膨張係数とほぼ同じとなる材料を用いると、融着時点に夫々の材料が体積収縮するバランスがとれて磁気コア基板１３ひいては磁気コア半体３として研磨により平坦性を確保することが容易となり好ましい。なお、本発明では、当該面の研磨後の平坦度（凹凸のうねり）を記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下とすることができる。
【００３６】
（Ｓ１３）磁気コア基板１３のベースガラス形成面上に金属磁性膜２を形成する（図６）。
詳しくは、まず磁気コア基板１３のベースガラス形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、ギャップパターンが施されている半導体マスクを用いて光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったギャップ／レジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ギャップ部２ｇを得る。その後、ベースガラス形成面上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を成膜し、ギャップ部２ｇ上に堆積した金属磁性膜をバフ研磨またはレンズ研磨により削り取り、必要に応じてレンズ研磨等の鏡面加工により更に平坦な面に仕上げて金属磁性膜２を完成する。
【００３７】
（Ｓ１４）ついで磁気コア基板１３を反転させベースガラス形成面とは反対の主面に記録媒体走行方向の開口長さとしてベースガラス形成面側よりもその反対面側が長くなるような２つの傾斜面からなる第２の溝３ｂを形成する（図５（ｃ））。このとき、第２の溝３ｂの２つの傾斜面はギャップ部２ｇの中心線ＣＬに対して線対称となるよう配置されていることが好ましい（図２参照。）。
【００３８】
（Ｓ１５）第２の溝３ｂに磁気コア基板１３を構成する材料よりも熱膨張係数が小さい硬質非磁性材料Ｂ（７Ｍ）を充填し融着させる（図７（ｄ））。このとき、両者の熱膨張係数の差により、磁気コア基板１３のブロック（磁気コア半体３）ごとに第２の溝３ｂに沿って形状支持部７ｂ側に磁気コア半体３を引っ張る応力が生じる。これにより、磁気コア半体３とした場合に、記録媒体との摺動面の形状として、磁気記録媒体の走行方向Ｌにおいてギャップ部２ｇを頂点とした適度な凸形状とすることができる。
【００３９】
なお、この硬質非磁性材料Ｂと磁気コア基板１３（磁気コア半体３）の構成材料の熱膨張係数の関係としては、温度領域１００〜５００℃においてつぎの関係式とすることにより、凸形状の高さは５〜８０ｎｍとなり摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトをとる上で好ましい。
０＜αＣ−αＧ≦１０×１０−７
【００４０】
ついで、はみ出した硬質非磁性材料Ｂをレンズ研磨により研磨除去部Ｐを除去して（図８）、形状支持部７ｂを形成するとともに形状支持部７ｂ形成面が平坦になるようにする（図７（ｅ））。なお、後工程で接合用の金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂを形成することから、形状支持部形成面側の接合面３ｃの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）も記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
【００４１】
（Ｓ１６）磁気コア基板１３において、当該基板１３からヘッド寸法の磁気コア半体３を切り出す際の加工に伴うチッピング対策としてガイド溝１３ａを形成する。次に、磁気ヘッドとした場合に、記録媒体（テープ）がスムーズに摺動面に進入できることを目的とした斜度をもつ肩落とし溝１３ｂを形成する（図７（ｆ））。
【００４２】
（Ｓ１７）磁気コア基板１３の接合面３ｃに、金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂの２層構造の蒸着膜を形成する。ここで、金属膜６ａは、磁気コア基板１３と拡散金属膜６ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。また、拡散金属膜６ｂは、硬質非磁性材料Ａ，Ｂのガラス転移点以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば厚さ１０〜２００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍで均一な厚さとなっているＡｕなどの蒸着膜である。
【００４３】
（Ｓ１８）複数の磁気コア半体４の原板である磁気コア基板１４の接合面４ｂとは反対の主面について、当該面の平坦度が記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下となるように研磨し、ついで接合面４ｂに磁気コア半体４に対応させた巻線溝４ａを形成する（図９）。その後、接合面４ｂをレンズ研磨等により平坦に仕上げる。なお、後工程で接合用の金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂを形成することから、接合面４ｂの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度も記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
【００４４】
（Ｓ１９）ついで、磁気コア基板１４の接合面４ｂについて、ステップＳ１７と同様の金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂの２層構造の蒸着膜を形成する。
【００４５】
（Ｓ１ａ）ステップＳ１７後の磁気コア基板１３と、ステップＳ１９後の磁気コア基板１４とを用い、磁気コア基板１３の接合面３ｃ（形状支持部７ｂ形成面）と磁気コア基板１４の接合面４ｂ（巻線溝４ａ形成面）とを向かい合わせてそれぞれの金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂ同士を接触させ、低温金属拡散接合を行う（図１０）。
【００４６】
ここで、低温金属拡散接合とは、磁気コア基板１３の接合面３ｃに設けられた拡散金属膜６ｂと磁気コア基板１４の接合面４ｂに設けられた拡散金属膜６ｂとを硬質非磁性材料Ａ，Ｂのガラス転移点以下の温度で拡散接合するものである。具体的には、Ａｕからなる拡散金属膜６ｂの場合、１０〜２０ＭＰａ程度の圧力で両拡散金属膜６ｂを突き合わせた状態で加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間の熱処理により接合が可能である。
【００４７】
（Ｓ１ｂ）最後に、磁気コア基板１３と磁気コア基板１４とが接合された合体基板１６を切断箇所ａ−ａ´にて切断し、磁気コアを構成する１列ずつの磁気コアブロック１７を得る（図１１）。
その後、得られた磁気コアの巻線溝５ａに導線を巻いて励磁コイルを形成し、磁気ヘッド１０を完成する。
【００４８】
以上の本発明の製造方法により、記録媒体との摺動面の形状として、表面のうねりがなく（平坦性がよく）前記磁気記録媒体の走行方向Ｌにおいて適度な凸形状となり、摺動面のギャップ部全面においてテープコンタクトが良好な磁気ヘッド１０を簡便な方法で得ることができる。
【実施例】
【００４９】
以下、本発明の磁気ヘッドを実際に作製した例を説明する。
（実施例１）
前述した磁気ヘッドの製造方法に従い、以下の条件で１／２インチ幅の磁気テープ対応磁気ヘッド１０を作製した。
（１）磁気コア３，４；フェライト基板（寸法３０×３０ｍｍ）、熱膨張係数（１００〜５００℃）：１０５×１０−７
（２）硬質非磁性材料Ａ；熱膨張係数（１００〜５００℃）：１０５×１０−７
（３）硬質非磁性材料Ｂ；熱膨張係数（１００〜５００℃）：９５×１０−７
（４）金属膜６ａ／拡散金属膜６ｂ；Ｃｒ（厚さ５０ｎｍ）／Ａｕ（厚さ１００ｎｍ）
（５）ステップＳ１ａの低温金属拡散接合条件；加圧：２０ＭＰａ、加熱温度：２９０℃、処理時間：１．５時間
【００５０】
以上の結果、得られた磁気ヘッドの記録媒体との摺動面の形状として、平坦性がよく磁気記録媒体の走行方向Ｌにおいて凸形状となった。図１２に、磁気ヘッドの記録媒体との摺動面（磁気記録媒体の走行方向Ｌ）の形状を測定した結果を示す。また、その凸形状の高さは８〜８０ｎｍであった。この磁気ヘッドをサーボ信号書き込み装置に用いたところ、すべてのギャップ部で高い書き込み能力をもつことができ、磁気テープに対する当該磁気ヘッドの突き出し量を変えることなく磁気テープ送り速度を従来の２倍に上げても記録出力の低下が起きないことが確認された。
【００５１】
（比較例１）
実施例１において、硬質非磁性材料Ｂの熱膨張係数（１００〜５００℃）を９５×１０−７より小とし、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。この場合、形状支持部７ｂの収縮が過剰となり、ベースガラス７ａに亀裂が入り、製品歩留りを著しく低下させる結果となった。
【００５２】
（比較例２）
実施例１において、硬質非磁性材料Ｂの熱膨張係数（１００〜５００℃）を１０５×１０−７とし、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。この場合、磁気ヘッドの摺動面が最大高さで４０ｎｍのうねりをもち平坦性が悪くなった。
【００５３】
（比較例３）
実施例１において、硬質非磁性材料Ｂの熱膨張係数（１００〜５００℃）を１０５×１０−７より大とし、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。この場合、磁気ヘッドの摺動面の形状として、磁気記録媒体の走行方向Ｌにおいて凹形状となり、テープコンタクトとして不利な形状となった。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの構成を示す概略図である。
【図２】本発明の磁気ヘッドに使用する摺動面側の磁気コアの拡大断面図である。
【図３】本発明の磁気ヘッドにおける磁気コア同士の接合部の拡大断面図である。
【図４】本発明の磁気ヘッドの記録媒体との摺動状態を示す図である。
【図５】本発明に係る磁気ヘッドの製造工程図（１）である。
【図６】本発明の金属磁性膜形成時の磁気コアの断面図である。
【図７】本発明に係る磁気ヘッドの製造工程図（１）である。
【図８】本発明の形状支持部形成段階の磁気コアの断面図である。
【図９】本発明の磁気ヘッドに使用する巻線溝を有する磁気コア基板の概略図である。
【図１０】本発明の磁気コア同士の接合状態を示す図である。
【図１１】本発明の合体基板の切断状態を示す図である。
【図１２】実施例１の磁気ヘッドの記録媒体との摺動面（磁気記録媒体の走行方向Ｌ）のプロファイルデータである。
【符号の説明】
【００５５】
２…金属磁性膜、２ｇ…ギャップ部、３，４…磁気コア半体、３ａ…第１の溝、３ｂ…第２の溝、３ｃ，４ｂ…接合面、４ａ…巻線溝、６…接合部、６ａ…金属膜、６ｂ…拡散金属膜、７ａ…ベースガラス、７ｂ…形状支持部、７Ｌ，７Ｍ…硬質非磁性材料、１０…磁気ヘッド、１３，１４…磁気コア基板、１６…合体基板、１７…磁気コアブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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