(57)【要約】【課題】  成膜用の反応液の消費量を抑制すると共に、成膜時における成膜面上の洗浄を適切に行うことの可能な成膜用リアクタ、成膜用装置、及び、成膜方法を提供する。【解決手段】  リアクタ２０は、長尺で、底部側が開放された流路部材２２を有する。流路部材２２は、保持部材４８によって誘電体ブロック１２に取り付けられた状態で、金属面１４との間に金属面１４に沿った流路１８を構成する。洗浄液は、供給口２６から流路１８内へ流入すると共に、金属面１４に沿って排出口２８側へ流れ、排出口２８から排出される。【選択図】  図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜面との間に前記成膜面に沿った流路を構成する流路部材と、
前記流路部材の前記成膜面と対向する位置に穿孔され前記流路へ成膜用液を注入可能な注入孔と、
前記注入孔に嵌入する嵌入部を有し、前記流路部材に着脱可能とされた蓋部材と、
前記流路部材に設けられ前記流路の一端から洗浄液を流入させる供給口と、
前記流路部材に設けられ前記流路の他端から前記流入された洗浄液を流出させる排出口と、
を備えた成膜用リアクタ。
【請求項２】
前記注入孔は、前記流路に沿って複数穿孔されていること、を特徴とする請求項１に記載の成膜用リアクタ。
【請求項３】
前記流路部材に、前記流路内部に突出するリブが形成されていること、を特徴とする請求項１または請求項２に記載の成膜用リアクタ。
【請求項４】
一部材で一体成型されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の成膜用リアクタ。
【請求項５】
前記一部材がゴムであることを特徴とする請求項４に記載の成膜用リアクタ。
【請求項６】
前記ゴムが、シリコーン系ゴム、ブタジエンゴム、パーフロロ系ゴム、のいずれか１つであること、を特徴とする請求項５に記載の成膜用リアクタ。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の成膜用リアクタと、
前記成膜用リアクタを前記成膜面上に保持する保持部材と、
前記成膜用リアクタの前記注入孔にアクセスして前記流路へ成膜用液を注入するピペット部と、
前記成膜用リアクタの前記供給孔口と接続され、前記供給口から洗浄液を流入させる洗浄液供給手段と、
前記成膜用リアクタの前記排出口と接続され、前記排出口から洗浄液を流出させる洗浄液排出手段と、
を備えた成膜用装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の成膜用リアクタを前記成膜面上に保持し、
前記供給口から前記流路へ洗浄液を流入させると共に、前記排出口から前記流入された洗浄液を排出させ、
前記注入孔から前記成膜用液を注入して、
前記成膜面に所定の膜を形成する、成膜方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜用リアクタ、成膜用装置、及び、成膜方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
バイオセンサーなどで測定対象とされるタンパクなどをプレートに固定するために、測定対象の物質を固定化するための固定化膜がプレート面に形成されることがある。例えば、特許文献１では、金属膜の上にデキストラン層が形成されており、このデキストラン層上に測定対象となるリガンドが固定される。
【０００３】
一般的に、上記のような固定化膜を形成する場合、複数の反応液が用いられるため、反応液を変える毎に、処理面上を洗浄する必要がある。この洗浄については、コンタミネーションを防止するため十分に行う必要がある一方で、処理面上に供給する反応液の消費は、なるべく抑えたいという要請がある。
【特許文献１】特許第３２９４６０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は上記事実を考慮してなされたものであり、成膜用の反応液の消費量を抑制すると共に、成膜時における成膜面上の洗浄を適切に行うことの可能な成膜用リアクタ、成膜用装置、及び、成膜方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明の第１の態様の成膜用リアクタは、成膜面との間に前記成膜面に沿った流路を構成する流路部材と、前記流路部材の前記成膜面と対向する位置に穿孔され前記流路へ成膜用液を注入可能な注入孔と、前記注入孔に嵌入する嵌入部を有し、前記流路部材に着脱可能とされた蓋部材と、前記流路部材に設けられ前記流路の一端から洗浄液を流入させる供給口と、前記流路部材に設けられ前記流路の他端から前記流入された洗浄液を流出させる排出口と、を備えている。
【０００６】
上記構成の成膜用リアクタでは、流路部材により成膜面に沿って流路が構成されると共に、成膜用液を注入するための注入孔が穿孔されている。成膜面を洗浄する際には、注入孔に蓋部材の嵌入部を嵌入して注入孔を塞いでおく。そして流路の一端に設けられた供給口から洗浄液を流入する。流入された洗浄液は、流路内を成膜面に沿って一端側から排出口の設けられた他端側へ向かって流れる。この流れにより、成膜面の洗浄を適切に行うことができる。
【０００７】
また、成膜面へ成膜用液を供給する際には、蓋部材を流路部材から取り外して注入孔を開放し、この注入孔から成膜用液を注入する。成膜面と対向する位置に穿孔された注入孔から成膜用液を供給することにより、成膜面へ効率よく成膜用液を供給することができ、成膜用液の消費量を抑制することができる。
【０００８】
また、注入孔から成膜用液をピペットなどを用いて吸い出すことにより、洗浄液に混入される成膜用液の量を少なくすることができる。
【０００９】
なお、前記成膜用リアクタの注入孔は、前記流路に沿って複数穿孔されていること、と特徴とすることができる。
【００１０】
このように、流路に沿って複数穿孔されていれば、成膜面の全体へ短時間で成膜用液を供給することができる。
【００１１】
また、前記成膜用リアクタは、流路部材に、前記流路内部に突出するリブが形成されていること、を特徴とすることもできる。
【００１２】
このようにリブを形成することにより、流路部材の強度を上げることができる。
【００１３】
また、前記成膜用リアクタは、一部材で一体成型されていることを特徴とすることができる。
【００１４】
一部材で一体的に構成することにより、容易に製造することができる。
【００１５】
また、前記成膜用リアクタは、前記一部材がゴムであることが好ましく、ゴムとしてシリコーン系ゴム、ブタジエンゴム、パーフロロ系ゴムが用いられることが好ましい。
【００１６】
本発明の第２の形態の成膜用装置は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の成膜用リアクタと、前記成膜用リアクタを前記成膜面上に保持する保持部材と、前記成膜用リアクタの前記注入孔にアクセスして前記流路へ成膜用液を注入するピペット部と、前記成膜用リアクタの前記供給口と接続され、前記供給口から洗浄液を流入させる洗浄液供給手段と、前記成膜用リアクタの前記排出口と接続され、前記排出口から洗浄液を流出させる洗浄液排出手段と、を備えている。
【００１７】
本発明の成膜用装置では、保持部材により成膜用リアクタが成膜面上に保持され、洗浄液供給手段によって洗浄液が供給されると共に、洗浄液排出手段によって洗浄液が排出される。また、ピペット部が注入孔へアクセスして成膜用液が供給される。
【００１８】
この成膜用装置によれば、成膜時における成膜面上の洗浄を適切に行うことができると共に、成膜用の反応液の消費量を抑制することの可能な成膜用リアクタが用いられているので、成膜面に良好な成膜を行うことができる。
【００１９】
本発明の第３の態様の成膜方法は、請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載の成膜用リアクタを前記成膜面上に保持し、前記供給口から前記流路へ洗浄液を流入させると共に、前記排出口から前記流入された洗浄液を排出させ、前記注入孔から前記成膜用液を注入して、前記成膜面に所定の膜を形成するものである。
【００２０】
この成膜方法によれば、成膜時における成膜面上の洗浄を適切に行うことができると共に、成膜用の反応液の消費量を抑制することの可能な成膜用リアクタが用いられているので、成膜面に良好な成膜を行うことができる。
【発明の効果】
【００２１】
本発明は上記構成としたので、成膜時における成膜面上の洗浄を適切に行うことができると共に、成膜用の反応液の消費量を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
【００２３】
本発明の成膜用装置１０は、誘電体ブロック１２の金属膜１４へリンカー膜１５を形成するためのものであり、金属膜１４との間に流路１８を構成するためにリアクタ２０が用いられる。
【００２４】
図１に示すように、誘電体ブロック１２は、光ビームに対して透明な透明樹脂等で構成されており、断面が台形の棒状とされている。誘電体ブロック１２の互いに平行な２面の内の広い上面には、金属膜１４が形成されている。誘電体ブロック１２は、いわゆるプリズムとして機能し、バイオセンサーでの測定の際には、対向する互いに平行でない２つの側面の内の一方から光ビームが入射され、他方から金属膜１４との界面で全反射された光ビームが出射される。
【００２５】
図３に示すように、リアクタ２０は、ゴムで一体成型されており、長尺で、底部側が開放された空間Ｒを構成する流路部材２２を有する。流路部材２２は、図４に示すように、保持部材４８によって誘電体ブロック１２に取り付けられた状態で、金属膜１４との間に金属膜１４に沿った流路１８を構成する。
【００２６】
なお、ゴムとしては、シリコーン系ゴム、ブタジエンゴム、パーフロロ系ゴム、などを用いることができる。
【００２７】
流路部材２２の上面には、後述するピペットチップＣＰを差し込み可能な注入孔２４が長尺方向に複数（本実施形態では１２個）穿孔されている。
【００２８】
また、流路部材２２の一端には、空間Ｒと連通された供給口２６が設けられ、流路部材２２の他端には、空間Ｒと連通された排出口２８が設けられている。供給口２６には、洗浄液を供給するための洗浄液供給用チューブ６０が接続され、排出口２８には、洗浄液を排出するための洗浄液排出用チューブ６６が接続される（図８参照）。
【００２９】
流路部材２２の内側には、流路部材２２の上部から空間Ｒへ突出するリブ２３が、長尺方向に沿って等間隔で形成されている。リブ２３により、流路部材２２の強度が補強されている。また、流路部材の側面の下側は、上側よりも水平方向に突出された凸枠２２Ａを備えている。
【００３０】
図２に示すように、リアクタ２０は、保持部材４８により誘電体ブロック１２上に固定される。保持部材４８は、図１に示すように、押さえ板４８Ａ、及び、載置板４８Ｂを備えている。載置板４８Ｂは、皿状とされ、８本の誘電体ブロック１２を載置可能なサイズとされている。載置板４８Ｂの周縁部には、押さえ板４８Ａとの接合用柱４８Ｃが角部、及び、各端辺の中央部に設けられている。
【００３１】
押さえ板４８Ａには、８本のリアクタ２０に対応する位置に、リアクタ２０に沿った長尺の開口４９が構成されている。開口４９からは、図２に示すように、流路部材２２の上側が突出される。また、押さえ板４８Ａの側面には、リアクタ２０の供給口２６及び排出口２８を差し込み可能な連通孔５１が構成されている。図４に示すように、押さえ板４８Ａは、流路部材２２の凸枠２２Ａ上に当接して、リアクタ２０を誘電体ブロック１２の金属膜１４上に密着させる。図１に示すように、載置板４８Ｂ上に誘電体ブロック１２を載置し、その上へリアクタ２０を被せ、その上から押さえ板４８Ａを被せて連通孔５１へ供給口２６及び排出口２８を差し込む。押さえ板４８Ｂは、押さえ板４８Ａ側から接合用柱４８Ｃへ押さえ板４８Ａがねじ止めされることにより、載置板４８Ｂに取り付けられる。これにより、リアクタ２０は誘電体ブロック１２上に保持され、図５に示すように、金属膜１４と流路部材２２との間に流路１８が構成される。
【００３２】
図６、図７に示すように、成膜用装置１０は、インキュベーター部４０、蓋開閉部４１、洗浄部４２、試薬ストック部４３、分注ヘッド部４４、ピペットチップ供給部４５、ピペットチップ廃棄部４６、制御部４７、及びアーム５３を備えている。
【００３３】
インキュベーター部４０は、所定の温度・湿度に保たれた複数の空間に分割されており、各々の空間にサンプルプレートＳＰが保管されている。また、成膜処理前の反応プレートＲＰがストックされている。インキュベーター部４０、蓋開閉部４１、洗浄部４２、試薬ストック部４３、分注ヘッド部４４、ピペットチップ供給部４５、及び、ピペットチップ廃棄部４６は、一列に並んで配置され、各部を横断するように１本のベルトコンベア５２が配置されている。
【００３４】
蓋開閉部４１は、蓋部材５０を保持し、蓋部材５０をリアクタ２０へ着脱する。蓋部材５０は、図４に示すように、リアクタ２０の注入孔２４に嵌入して注入孔２４を塞ぐ嵌入部５０Ａを備えている。蓋部材５０は、嵌入部５０Ａが注入孔２４へ嵌入されることにより流路部材２２に取り付けられ、嵌入部５０Ａを注入孔２４から抜き出すことにより流路部材２２から取り外される。また、蓋開閉部４１は、図１４に示す、栓２７の着脱も行う。栓２７は供給口２６及び排出口２８へ嵌入されることにより取り付けられ、抜き出されることにより取り外される。
【００３５】
洗浄部４２は、図８に示すように、洗浄液供給用チューブ６０、切換バルブ６２、洗浄液貯留部６４、洗浄液排出用チューブ６６、ペリスタポンプ６８、及び、廃液ボトル６９を備えている。
【００３６】
洗浄液供給用チューブ６０、及び、洗浄液排出用チューブ６６は、リアクタ２０の供給口２６及び排出口２８へ、各々接続される。洗浄液貯留部６４は、複数の洗浄液タンクを備え、切換バルブ６２は、バルブの切換により洗浄液供給用チューブ６０と連通される洗浄液タンクを切り換える。
【００３７】
ペリスタポンプ６８は、洗浄液排出用チューブ６６と接続され、吸引により洗浄液貯留部６０の洗浄液を供給口２６から流路１８へ流入させ、流入した洗浄液を排出口２８から流出させて廃液ボトル６９へ排出させる。
【００３８】
試薬ストック部４３には、プレート毎に異なる各種の試薬が保管された複数の試薬プレートＴＰ、及び、試薬混合用の混合プレートＫＰがストックされている。
【００３９】
分注ヘッド部４４は、上下動の可能なヘッド部４４Ａ、及び、ピペットチップ取り付け部４４Ｂを含んで構成されている。ピペットチップ取り付け部４４Ｂには、ピペットチップＣＰが取り付けられる。
【００４０】
ピペットチップ供給部４５には、交換用のピペットチップＣＰがチップラック上に並べてストックされている。
【００４１】
ピペットチップ廃棄部４６は、箱状とされ、使用済のピペットチップＣＰがストックされたチップラックが、廃棄される。
【００４２】
制御部４７は、図９に示すように、インキュベーター部４０、蓋開閉部４１、洗浄部４２、分注ヘッド部４４、アーム５３、ベルトコンベア５２を駆動させるコンベア駆動部５４、及び、入力部５６と接続されており、成膜用装置１０の全体制御を行う。
【００４３】
次に、本実施形態の成膜用装置１０での成膜手順について説明する。
【００４４】
まず、８本のリアクタ２０を８本の誘電体ブロック１２に被せ、その上から押さえ板４８Ａを被せる。そして、押さえ板４８Ａ側から接合用柱４８Ｃへ押さえ板４８Ａをねじ止めして、載置板４８Ｂに取り付ける。これにより、８本のリアクタ２０は保持部材４８によって誘電体ブロック１２上に保持され、金属膜１４と流路部材２２との間に流路１８が構成される。以下、保持部材４８により保持された誘電体ブロック１２とリアクタ２０とのセットを「反応プレートＲＰ」という。上記の反応プレートＲＰをインキュベーター部４０にストックしておく。
【００４５】
ユーザーは、入力部５６から、混合用の試薬、洗浄液の種類、インキュベーター部４０の格納位置、反応時間、などを入力する。制御部４７では、入力された条件を図示しないメモリに記憶し、図１０に示す成膜処理を開始する。
【００４６】
まず、ステップＳ１０で、ストックされている反応プレートＲＰをベルトコンベア５２上へ載置し、ステップＳ１２で、反応液生成処理を行う。反応液生成処理は、図１１に示すように、ステップＳ１２−１で、メモリに記憶されている試薬を読み出す。ステップＳ１２−２で、ピペットチップ供給部４５にストックされているチップラックのうちの１つをベルトコンベア５２上に取り出し、ステップＳ１０−３で、分注ヘッド４４のピペット取り付け部４４ＢへピペットチップＣＰを取り付ける。
【００４７】
次に、ステップＳ１２−４で、１枚の混合プレートＫＰをベルトコンベア５２上に取り出し、ステップＳ１２−５で、入力された試薬のストックされた試薬プレートＴＰをベルトコンベア５２上に取り出す。ステップＳ１２−６で、分注ヘッド部４４を駆動させて、分注ヘッド部４４に取り付けられた各ピペットチップＣＰで、試薬プレートＴＰの試薬を吸引し、ステップＳ１２−７で、分注ヘッド部４４を混合プレートＫＰ上に移動させて、ピペットチップＣＰ中の試薬を、混合プレートＫＰへ注入する。
【００４８】
次に、ステップＳ１２−８で、ピペットチップＣＰをチップストッカへ返却し、ステップＳ１２−９で、試薬プレートＴＰを試薬ストック部４３へ返却する。そして、ステップＳ１２−１０で、注入した試薬が最後の試薬かどうか、すなわち、入力された試薬がすべて混合プレートＫＰへ注入されたかどうかを判断する。判断が肯定された場合には、反応液生成処理を終了して、次のステップへ進む。判断が否定された場合には、ステップＳ１２−１へ戻って次の試薬を読み出し、上記のステップを繰り返す。
【００４９】
上記反応液生成処理により、混合プレートＫＰに反応液が生成される。
【００５０】
ステップＳ１４で、反応プレートＲＰへの反応液注入処理を行う。反応液注入処理は、図１２に示すように、ステップＳ１４−１で、ピペットチップ供給部４５にストックされているチップラックのうちの１つをベルトコンベア５２上に取り出し、ステップＳ１４−２で、分注ヘッド４４のピペット取り付け部４４ＢへピペットチップＣＰを取り付ける。
【００５１】
次に、ステップＳ１４−３で、分注ヘッド部４４を混合プレートＫＰ上に移動させて、分注ヘッド部４４に取り付けられた各ピペットチップＣＰで、混合プレートＫＰの反応液を吸引する（図１４Ａ）参照）。また、ステップＳ１４−４で、分注ヘッド部４４を反応プレートＲＰ上に移動させて、各ピペットチップＣＰを注入孔２４に挿入し、ピペットチップＣＰ中の反応液を、流路１８へ注入する（図１４Ｂ）参照）。
【００５２】
そして、ステップＳ１４−５で、ピペットチップＣＰをチップストッカへ返却し、ステップＳ１４−６で、混合プレートＫＰを収納して、反応液注入処理を終了する。
【００５３】
上記反応液注入処理により、反応プレートＲＰの流路１８に反応液が供給される。
【００５４】
次に、ステップＳ１５で、反応プレートＲＰに蓋部材５０が取り付けられる。蓋部材５０の取り付けは、反応プレートＲＰがベルトコンベア５２により蓋開閉部４１に対応する位置まで運ばれ、蓋開閉部４１に保持された蓋部材５０の嵌入部５０Ａが、注入孔２４に嵌入され、リアクタ２０に蓋部材５０が取り付けられる。また、ステップＳ１６で、供給口２６及び排出口２８へ栓２７が嵌入されて、栓２７が取り付けられる。
【００５５】
次に、ステップＳ１７で、アーム５３により反応プレートＲＰが振盪され（図１５参照）、ステップＳ１８で、蓋部材５０の取り付けられた状態の反応プレートＲＰは、インキュベーター部４０へ格納され、ステップＳ２０で、所定時間経過するまで待機する。ここでの所定時間は、反応液と金属膜１４との反応に充分な時間をいい、ユーザーによって指示される。
【００５６】
所定時間経過したら、ステップＳ２２で、洗浄処理を行う。洗浄処理は、図１３に示すように、ステップＳ２２−１で、チップラックをベルトコンベア５２上に取り出し、ステップＳ２２−２で、分注ヘッド４４のピペット取り付け部４４ＢへピペットチップＣＰを取り付ける。次にステップＳ２２−３で、ピペットチップＣＰを注入孔２４へ挿入して、流路１８の反応液を吸引し（図１６参照）、ステップＳ２２−４で、前記吸引した反応液を図示しない廃液プレートへ廃棄する。
【００５７】
次に、ステップＳ２２−５で、栓２７を取外し、ステップＳ２２−６で、連通孔５１へ洗浄液供給用チューブ６０、及び、洗浄液排出用チューブ６６を差し込む。ステップＳ２２−７で、切換バルブ６２を入力された洗浄液側に切換え、ステップＳ２２−８で、ペリスタポンプ６８を作動させる。これにより、洗浄液が供給口２６から流路１８へ流入すると共に、流路１８中を金属面１４に沿って流れて排出口２８から流出する。ステップＳ２２−９で、洗浄に必要な所定時間経過するまで待機し、所定時間が経過したら、ステップＳ２２−１０でペリスタポンプ６８を停止させて、洗浄処理を終了する。
【００５８】
次に、ステップＳ２４で、次の反応液の注入があるかどうか、すなわち、入力された反応液のすべての注入処理が終了したかどうかを判断する。判断が否定された場合には、ステップＳ２６で、反応プレートＲＰの蓋部材を取り外して注入孔２４を開放し、ステップＳ１２へ戻って、次の反応液の生成処理を行い、上記の処理を繰り返す。
【００５９】
ステップＳ２４での判断が肯定された場合には、成膜処理を終了する。
【００６０】
本実施形態によれば、洗浄時に流路１８の一端から洗浄液が流入されると共に、流路１８の他端から洗浄液が流出されるので、金属面１４上に沿って洗浄液が流れ、より高い洗浄効果を得ることができる。
【００６１】
また、反応液の注入を、金属面１４に対向して形成された複数の注入孔２４から行うので、少量の反応液を効率よく金属面１４上に供給することができる。
【実施例】
【００６２】
次に、成膜反応例について説明する。
【００６３】
前記実施形態の誘電体ブロック１２に膜厚が５００オングストロームになるよう金を蒸着して金属面１４を形成する。この誘電体ブロックをＭｏｄｅｌ−２０８ＵＶ−オゾンクリーニングシステム（ＴＥＣＨＮＯＶＩＳＩＯＮ  ＩＮＣ．）で３０分処理した後、エタノール／水（８０／２０）中１１−ヒドロキシ−１−ウンデカンチオールの５．０ｍＭ溶液を金属膜に接触するように添加し、２５℃で１８時間表面処理を行った。その後、エタノールで５回、エタノール／水混合溶媒で１回、水で５回洗浄を行った。
【００６４】
次に、１１−ヒドロキシ−１−ウンデカンチオールで被覆した表面を１０重量％のエピクロロヒドリン溶液（溶媒：０．４Ｍ水酸化ナトリウム及びジエチレングリコールジメチルエーテルの１：１混合溶液）に接触させ、２５℃の振盪インキュベーター中で４時間反応を進行させた。その後、表面をエタノールで２回、水で５回洗浄した。
【００６５】
次に、２５重量％のデキストラン（Ｔ５００，Ｐｈａｒｍａｃｉａ）水溶液４０．５ｍｌに４．５ｍｌの１Ｍ水酸化ナトリウムを添加し、その溶液をエピクロロヒドリン処理表面上に接触させた。次に振盪インキュベーター中で２５℃、２０時間インキュベートした。そして、表面を５０℃の水で１０回洗浄した。続いて、ブロモ酢酸３．５ｇを２７ｇの２Ｍ水酸化ナトリウム溶液に溶解した混合物を上記デキストラン処理表面に接触させて、２８℃の振盪インキュベーターで１６時間インキュベートした。表面を水で洗浄し、その後上述の手順を１回繰り返した。
【００６６】
上記手順において、リアクタ２０を用いて、反応液の注入を注入孔２４から行い、洗浄液での洗浄を流路１８へ洗浄液を流すことにより行うことにより、金属面１４上に良好なデキストラン膜を成膜することができた。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本実施形態の反応プレートの分解斜視図である。
【図２】本実施形態の反応プレートの斜視図である。
【図３】本実施形態のリアクタの（Ａ）は上面側から見た斜視図であり、（Ｂ）は下面側から見た斜視図である。
【図４】本実施形態のリアクタの横断面図である。
【図５】本実施形態のリアクタの縦断面図である。
【図６】本実施形態の成膜装置の全体構成を示す概略図である。
【図７】本実施形態の成膜装置の全体構成を上側からみた概略図である。
【図８】本実施形態の成膜装置の洗浄部の概略図である。
【図９】本実施形態の制御部とその周辺の概略ブロック図である。
【図１０】本実施形態の成膜処理のフローチャートである。
【図１１】本実施形態の反応液生成処理のフローチャートである。
【図１２】本実施形態の反応液注入処理のフローチャートである。
【図１３】本実施形態の洗浄処理のフローチャートである。
【図１４】本実施形態のピペットチップで、（Ａ）は反応液を吸引している状態を、（Ｂ）は反応液をリアクタ内に注入している状態を示す図である。
【図１５】本実施形態の反応プレートを振盪させている状態を示す図である。
【図１６】本実施形態のピペットチップで、反応液を吸引している状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１０  成膜用装置
１４  金属面
１８  流路
２０  リアクタ
２２  流路部材
２３  リブ
２４  注入孔
２６  供給口
２８  排出口
４１  蓋開閉部
４２  洗浄部
４８  保持部材
５０  蓋部材
５０Ａ      嵌入部
５１  連通孔
６０  洗浄液貯留部
６４  洗浄液貯留部
６８  ペリスタポンプ
ＣＰ  ピペットチップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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