(57)【要約】【課題】連結部における接着力を強固にすることにより、連結部の破損を防止し、十分な強度が確保でき、接着部品の一体化により駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させる駆動装置、それに用いられる電気機械変換素子、撮像装置、及びを提供する。【解決手段】駆動装置１は、電気信号の入力により伸縮可能な圧電素子３と、この圧電素子３の伸縮方向における一端部に接着剤９により連結された駆動部材４と、駆動部材４に摩擦係合された被駆動部材６と、を備え、被駆動部材６を駆動部材４に沿って移動させる。この駆動装置１では、圧電素子３における接着剤９による接着面３ａに、当該接着面３ａを除く他の面３ｂの表面粗さより粗い領域が設けられ、接着面３ａが洗浄されて、駆動部材４の一端が当該接着面３ａに接着されているため、圧電素子３と駆動部材４との接着力が強固にされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端側に設けられ前記電気機械変換素子の伸縮に応じて動く駆動部材と、前記駆動部材に摩擦係合された被駆動部材と、を備え、前記被駆動部材を前記駆動部材に沿って移動させる駆動装置において、
前記電気機械変換素子と前記駆動部材とは、接着剤により連結され、
前記電気機械変換素子及び前記駆動部材の少なくとも一方における前記接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
電気機械変換素子と、前記電気機械変換素子の一端側に設けられ前記電気機械変換素子の伸縮に応じて動く駆動部材と、前記電気機械変換素子の他端側に設けられた錘部材と、前記駆動部材に摩擦係合された被駆動部材と、を備え、前記被駆動部材を前記駆動部材に沿って移動させる駆動装置において、
前記電気機械変換素子と前記錘部材とは、接着剤により連結され、
前記電気機械変換素子及び前記錘部材の少なくとも一方における前記接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されていることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
前記接着力を強固にするための処理は洗浄処理又は機械的処理により施されることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
【請求項４】
前記機械的処理はサンディング加工であることを特徴とする請求項３に記載の駆動装置。
【請求項５】
前記サンディング加工は、番手８００番のサンドペーパーの粒度よりも粗い砥粒を用いて施されることを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
【請求項６】
前記電気機械変換素子、前記駆動部材又は前記錘部材の少なくとも一方における前記接着剤による前記接着面は、その表面粗さがＲａ１μｍ以上である領域が少なくとも設けられていることを特徴とする請求項３〜５の何れか一項に記載の駆動装置。
【請求項７】
前記電気機械変換素子、前記駆動部材又は前記錘部材の少なくとも一方における前記接着剤による前記接着面には、当該接着面を除く他の面の表面粗さより粗い領域が少なくとも設けられていることを特徴とする請求項３〜６の何れか一項に記載の駆動装置。
【請求項８】
請求項３〜７の何れか一項に記載の駆動装置の前記電気機械変換素子であり、
前記電気機械変換素子は電極を挟んで複数の圧電体を積層した積層型であって、前記圧電体を積層する積層工程と、前記圧電体を所定の寸法に切断する切断工程と、前記圧電体の積層方向の少なくとも一端面に接着力を強固にするための処理として表面粗さが粗い領域を設ける面粗し工程と、により製造され、
前記面粗し工程は、前記積層工程と前記切断工程との間で行われることを特徴とする電気機械変換素子。
【請求項９】
請求項１〜７の何れか一項に記載の駆動装置の前記被駆動部材に光学部材を連結してなる撮像装置。
【請求項１０】
請求項１〜７の何れか一項に記載の駆動装置、請求項８に記載の電気機械変換素子、又は請求項９に記載の撮像装置を搭載したことを特徴とする携帯電話。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動装置、この駆動装置に用いられる電気機械変換素子、駆動装置に光学部材を連結した例えば小型デジタルカメラやウェブカメラ等の撮像装置、駆動装置や電気機械変換素子や撮像装置を搭載した携帯電話に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばデジタルカメラやカメラ付き携帯電話等のレンズの駆動装置として、電気機械変換素子を用いたものが注目されている。このような駆動装置としては、電気機械変換素子の伸縮方向一端に駆動部材を固定すると共に、この駆動部材を固定部材（静止部材）に軸線方向に移動可能に支持し、さらに電気機械変換素子の伸縮方向他端を固定部材に固定し、電気機械変換素子に適宜波形の駆動電圧を印加することで、電気機械変換素子が伸縮し、この伸縮に応じて、駆動部材に摩擦係合する移動部材が、電気機械変換素子の伸縮方向に移動する駆動装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３１４１７１４号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記装置にあっては、例えば落下等により衝撃力が作用すると、電気機械変換素子と駆動部材との連結部を始めとした種々の連結部が破損し易いという問題があった。
【０００４】
本発明は、このような課題を解決するためになされたものであり、連結部の破損を防止して十分な強度を確保することができる駆動装置、それに用いられる電気機械変換素子、撮像装置、及び携帯電話を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を達成するために、本発明に係る駆動装置は、電気機械変換素子と、電気機械変換素子の一端側に設けられ電気機械変換素子の伸縮に応じて動く駆動部材と、駆動部材に摩擦係合された被駆動部材と、を備え、被駆動部材を駆動部材に沿って移動させる駆動装置において、電気機械変換素子と駆動部材とは、接着剤により連結され、電気機械変換素子及び駆動部材の少なくとも一方における接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されていることを特徴とする。
【０００６】
この駆動装置では、電気機械変換素子と駆動部材とは、接着剤により連結され、電気機械変換素子及び駆動部材の少なくとも一方における接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されている。従って、例えば落下等により衝撃力が作用しても、破損し易い電気機械変換素子と駆動部材との連結部の破損を防止でき、十分な強度を確保することが可能となる。加えて、このように電気機械変換素子と駆動部材との接着力を強固にするための処理が施されているため、これらが強固に一体化して駆動し、駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることができる。
【０００７】
また、本発明に係る駆動装置は、電気機械変換素子と、電気機械変換素子の一端側に設けられ電気機械変換素子の伸縮に応じて動く駆動部材と、電気機械変換素子の他端側に設けられた錘部材と、駆動部材に摩擦係合された被駆動部材と、を備え、被駆動部材を駆動部材に沿って移動させる駆動装置において、電気機械変換素子と錘部材とは、接着剤により連結され、電気機械変換素子及び錘部材の少なくとも一方における接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されていることを特徴とする。
【０００８】
この駆動装置では、電気機械変換素子と錘部材とは、接着剤により連結され、電気機械変換素子及び錘部材の少なくとも一方における接着剤による接着面には、接着力を強固にするための処理が施されているため、電気機械変換素子と錘部材との連結部の破損を防止することができ、よって、十分な強度を確保することが可能となる。さらに、このように電気機械変換素子と錘部材との接着力を強固にするための処理が施されているため、これらが強固に一体化して駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることができる。
【０００９】
ここで、接着力を強固にするための処理は洗浄処理又は機械的処理により施されることが好ましい。空気と直接触れる接着面は、酸化や塵埃の付着等により内部とは異なる状態になっている場合が多いため、その表面に酸化成分や塵埃が付着している場合がある。そこで、このように、研磨紙、研磨布、サンダー、サンドブラスティング等を用いて接着面を研削する処理である機械的処理を施すことにより、この酸化成分や塵埃を取り除くことが可能となり、接着面における接着力を強固にすることができる。さらに、このように接着面を研削するため、接着面における実質的な接着面積を増加させ、接着力を一層強固にすることができる。また、接着面に洗浄処理を施すことにより、接着面の汚れやゴミを除去することが可能となり、接着面における接着力を強固にすることができる。
【００１０】
また、機械的処理としては、サンディング加工が挙げられる。
【００１１】
また、サンディング加工は、番手８００番のサンドペーパーの粒度よりも粗い砥粒を用いて施されることが好ましい。
【００１２】
また、電気機械変換素子、駆動部材又は錘部材の少なくとも一方における接着剤による接着面は、その表面粗さがＲａ１μｍ以上である領域が少なくとも設けられていることが好ましい。これにより、接着面における実質的な接着面積を好適に増加させ、接着力を一層強固にすることができる。
【００１３】
また、電気機械変換素子、駆動部材又は錘部材の少なくとも一方における接着剤による接着面には、当該接着面を除く他の面の表面粗さより粗い領域が少なくとも設けられていることが好ましい。これにより、接着面における実質的な接着面積を好適に増加させ、接着力を一層強固にすることができる。
【００１４】
また、本発明に係る電気機械変換素子は、上記の駆動装置の電気機械変換素子であり、電気機械変換素子は電極を挟んで複数の圧電体を積層した積層型であって、圧電体を積層する積層工程と、圧電体を所定の寸法に切断する切断工程と、圧電体の積層方向の少なくとも一端面に接着力を強固にするための処理として表面粗さが粗い領域を設ける面粗し工程と、により製造され、面粗し工程は、積層工程と切断工程との間で行われることを特徴とする。
【００１５】
このように製造された電気機械変換素子を駆動装置に搭載した場合、接着剤により駆動部材又は錘部材が連結される電気機械変換素子の積層方向の少なくとも一端面には、接着力を強固にするための処理として表面粗さが粗い領域が設けられている。よって、この場合、電気機械変換素子と駆動部材又は錘部材との間の実質的な接着面積を増加させ、電気機械変換素子と駆動部材又は錘部材との接着力を強固にすることが可能となり、落下等により衝撃力が作用しても、電気機械変換素子と駆動部材又は錘部材との連結部の破損を防止でき、十分な強度を確保することが可能となる。加えて、この場合、上述のように接着力が強固にされているため、これらが強固に一体化して駆動して駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることができる。
【００１６】
さらに、積層した圧電体の積層方向の少なくとも一端面に接着力を強固にするための処理として表面粗さが粗い領域を設ける面粗し工程が、圧電体を所定の寸法に切断する切断工程の前に行われるため、切断する前に一括して当該一端面に粗い領域を設けることができ、電気機械変換素子の製造を容易にすることが可能である。
【００１７】
また、本発明に係る撮像装置は、上記駆動装置の被駆動部材に光学部材を連結してなる。この場合、光学部材とはレンズのみに限られず、被駆動部材は絞りやシャッター又はＮＤフィルターなどにも用いられる。また、この撮像蔵置は、例えばウェブカメラや小型のデジタルカメラなど比較的小型の撮像装置とすることができる。
【００１８】
また、本発明に係る携帯電話は、上記駆動装置、上記電気機械変換素子、又は上記撮像装置を搭載したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、連結部における接着力を強固にして、連結部の破損を防止し、十分な強度が確保でき、加えて、接着部品の一体化により駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下添付図面に従って本発明に係る駆動装置の好ましい実施の形態について詳述する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【００２１】
まず、本発明の第１実施形態に係る駆動装置１について説明する。
【００２２】
図１は本発明の第１実施形態に係る駆動装置を示す断面図である。図１に示すように、本実施形態に係る駆動装置１は、移動レンズ（光学部材）２を移動対象物として移動レンズ２の駆動を行うものであり、本体１０と、圧電素子（電気機械変換素子）３及び駆動部材４を有するアクチュエータ２０と、そのアクチュエータ２０を支持する支持部材５と、被駆動部材６とを備えて構成されている。圧電素子３は、電気信号の入力により伸縮可能な電気機械変換素子であり、所定の方向へ伸長及び収縮可能となっている。この圧電素子３は、制御部７に接続され、その制御部７により電気信号を入力されることにより伸縮する。例えば、圧電素子３には、二つの入力端子８Ａ，８Ｂが設置される。この入力端子８Ａ、８Ｂに印加される電圧を繰り返して増減させることにより、圧電素子３が伸長及び収縮を繰り返すこととなる。
【００２３】
駆動部材４は、圧電素子３の伸縮方向に長手方向を向けて圧電素子３に取り付けられている。具体的には、駆動部材４の一端が圧電素子３に当接され接着剤９を用いて接着されている。ここでは、圧電素子３の駆動部材４側、すなわち接着剤９による接着面３ａの表面粗さが圧電素子３における他の面（ここでは側面）３ｂの表面粗さよりも粗くされ、接着面３ａが例えばアルコール系溶剤により洗浄されて、駆動部材４の一端が当該接着面３ａに接着されている。この駆動部材４は、長尺状の部材であり、例えば円柱状のものが用いられる。駆動部材４の材質は、軽く高剛性のものが適しており、その条件を満たすものとしてはベリリウムが理想的であるが、この材料は稀少金属であるため高価で且つ加工性が悪いという欠点を持っている。そこで本実施形態においては、黒鉛結晶を強固に複合させた黒鉛複合体、例えばカーボングラファイトが用いられる。（ここで、黒鉛複合体とは炭素の六角板状結晶体であるグラファイトとグラファイト以外の物質との複合体を意味し、カーボングラファイトとはグラファイトと無定形炭素からなる物質を意味する。また、グラファイトは黒鉛とも言われる。）この黒鉛複合体であるカーボングラファイトは、ベリリウムと似た特性を有しながら（ベリリウムの比重は約１．８５、カーボングラファイトの比重は約１．８である）、ベリリウムと異なって比較的安価であり加工しやすいという特性を有しているので、アクチュエータ２０のコストを削減することができる。なお、駆動部材４の形状は円柱状に限定されるものではなく、角柱状でもよい。
【００２４】
駆動部材４は、本体１０から内側へ延びる仕切り部１０Ｂ、仕切り部１０Ｃにより長手方向に沿って移動可能に支持されている。仕切り部１０Ｂ、仕切り部１０Ｃは、被駆動部材６の移動領域を仕切るための部材であり、駆動部材４の支持部材としても機能している。
【００２５】
仕切り部１０Ｂ、仕切り部１０Ｃには、駆動部材４を貫通させる貫通孔１０Ａがそれぞれ形成されている。仕切り部１０Ｂは、駆動部材４の圧電素子３取付部分の近傍箇所、すなわち駆動部材４の基端箇所を支持している。仕切り部１０Ｃは、駆動部材４の先端箇所を支持している。本体１０は、アクチュエータ２０を組み付けるための枠体若しくはフレーム部材として機能するものである。駆動部材４は、圧電素子３に取り付けられることにより、圧電素子３の伸長及び収縮の繰り返し動作に応じて、その長手方向に沿って往復移動する。
【００２６】
なお、図１では、駆動部材４を仕切り部１０Ｂ、１０Ｃによりその先端側と基端側の二箇所で支持する場合を示しているが、駆動部材４をその先端側又は基端側の一方で支持する場合もある。例えば、仕切り部１０Ｂの貫通孔１０Ａを駆動部材４の外径より大きく形成することにより、駆動部材４が仕切り部１０Ｃにより先端箇所のみで支持されることとなる。また、仕切り部１０Ｃの貫通孔１０Ａを駆動部材４の外径より大きく形成することにより、駆動部材４が仕切り部１０Ｂにより基端箇所のみで支持されることとなる。また、図１では、駆動部材４を支持する仕切り部１０Ｂ、１０Ｃが本体１０と一体に形成されている場合について示したが、これらの仕切り部１０Ｂ、１０Ｃは本体１０と別体のものを本体１０に取り付けて設けてもよい。別体の場合であっても、一体となっている場合と同様な機能、効果が得られる。
【００２７】
被駆動部材６は、駆動部材４に移動可能に取り付けられている。この被駆動部材６は、駆動部材４に対し摩擦係合されて取り付けられ、その長手方向に沿って移動可能となっている。例えば、被駆動部材６は、駆動部材４に対し所定の摩擦係数で係合しており、一定の押圧力で駆動部材４に押し付けられることによってその移動の際に一定の摩擦力が生ずるように取り付けられている。被駆動部材６にこの摩擦力を超える移動力が付与されることにより、摩擦力に抗して被駆動部材６が駆動部材４に沿って移動する。なお、駆動部材４と被駆動部材６の摺動接触部分には動作を安定させ、且つ繰り返し駆動した時の耐久性を向上させるために潤滑剤が塗布される。この潤滑剤は低温下でも駆動部材４と被駆動部材６の摺動駆動抵抗が増加しないように、温度によって性能が変化し難いものが好ましい。また、光学部品や機構部品に悪影響を与える塵埃を発生させないタイプのものがよい。
【００２８】
アクチュエータ２０は、支持部材５により本体１０に支持されている。支持部材５は、アクチュエータ２０を圧電素子３の伸縮方向と直交する方向から支持するものであり、アクチュエータ２０を収容する本体１０と圧電素子３と間に配設されている。
【００２９】
支持部材５は、所定以上の弾性特性を有する弾性体により形成され、例えばシリコーン樹脂により形成される。支持部材５は、圧電素子３を挿通させる挿通孔５Ａを形成して構成され、その挿通孔５Ａに圧電素子３を挿通させた状態で本体１０に組み付けられている。支持部材５の本体１０への固着は、接着剤１１による接着により行われる。また、支持部材５と圧電素子３の間の固着も、接着剤による接着により行われる。この支持部材５を弾性体によって構成することにより、アクチュエータ２０を圧電素子３の伸縮方向に移動可能に支持することができる。図１において、支持部材５が圧電素子３の両側に二つ図示されているが、この支持部材５，５は一つの連続する支持部材５の断面をとることによって二つに図示されたものである。
【００３０】
なお、支持部材５の本体１０への固着及び圧電素子３への固着は、本体１０と圧電素子３の間に支持部材５を圧入し、支持部材５の押圧によって行ってもよい。例えば、支持部材５を弾性体により構成し、かつ、本体１０と圧電素子３の間より大きく形成して、その間に圧入して設置する。これにより、支持部材５は、本体１０及び圧電素子３に密着して配設される。この場合、圧電素子３は、支持部材５により伸縮方向に直交する方向の両側から押圧される。これによって、アクチュエータ２０が支持される。
【００３１】
また、ここでは支持部材５をシリコーン樹脂で形成する場合について説明したが、支持部材５をバネ部材により構成してもよい。例えば、本体１０と圧電素子３の間にバネ部材を配置し、このバネ部材によってアクチュエータ２０を本体１０に対し支持してもよい。
【００３２】
被駆動部材６には、レンズ枠１２を介して移動レンズ２が取り付けられている。移動レンズ２は、カメラの撮像光学系を構成するものであり、駆動装置の移動対象物となるものである。この移動レンズ２は、被駆動部材６と一体的に結合され、被駆動部材６と共に移動するように設けられている。移動レンズ２の光軸Ｏ上には、図示しない固定レンズなどが配設され、カメラの撮像光学系を構成している。また、光軸Ｏ上には、撮像素子１３が配設されている。撮像素子１３は、撮像光学系により結像された画像を電気信号に変換する撮像手段であり、例えばＣＣＤにより構成される。撮像素子１３は、制御部７と接続されており、画像信号を制御部７に出力する。
【００３３】
圧電素子３の端部には、錘部材１４が接着剤１９により取り付けられている。錘部材１４は、圧電素子３の伸縮力を駆動部材４側へ伝達させるための部材であって、圧電素子３の駆動部材４が取り付けられる端部と反対側の端部に取り付けられている。錘部材１４としては、駆動部材４より重いものが用いられ、これにより、圧電素子３の伸縮を効率よく駆動部材４側に伝えることが可能である。例えば、駆動部材４が８ｍｇ、圧電素子３が３０ｍｇの場合には、２０ｍｇの錘部材１４が用いられる。
【００３４】
また、錘部材１４は、軟性材料によって形成されている。錘部材１４の材質は、圧電素子３及び駆動部材４よりもヤング率の小さい材料のものが用いられる。錘部材１４のヤング率としては、１ＧＰａ以下が好ましく、３００ＭＰａ以下がより好ましい。これにより、アクチュエータ２０における共振周波数を圧電素子３の駆動周波数に対し十分に小さくすることができ、共振の影響を低減できる。
【００３５】
このような錘部材１４は、樹脂と金属粉とを混合して成り、金属粉は、錘としての機能（その質量を重くするという機能）を有する物質であることはもちろんであるが、金属粉そのものが酸化し難い（錆び難い）物質であることが好ましい。酸化し難い物質としては、例えば金、白金、銀、銅、ＳＵＳ、銀、アルミニウム等が知られており、これらの金属を金属粉に用いてもよい。しかし、これらの金属は高価なものであり、金、白金、銀等の貴金属は特に高価である。また、銅及びＳＵＳは、比重が大きいため、錘としての用途に適しているが、絶対に酸化しないというものではない。従って、ここでは、金属粉としてタングステンが、樹脂としてオレフィン系エラストマー樹脂が用いられている。具体的には、タングステンが９０重量％以上、残りがオレフィン系エラストマー樹脂として混合されている。このように、錘部材１４に金属粉を混入させることにより重量を大きくすることができ、弾性変形可能な部材を用いることにより圧電素子３の作動時における不要な共振を減衰させることができる。
【００３６】
また、錘部材１４の比重は、装置の小型化のためにできるだけ高いことが好ましく、例えば８〜１２程度に設定されるものであり、本実施形態での錘部材１４は、ヤング率が６０ＭＰａ程度、比重が１１．７程度である。なお、錘部材１４を出来るだけ小さい体積で設計する場合は、出来るだけ比重が大きく且つヤング率の小さい組み合わせが最適となるが、錘部材１４は駆動部材４の比重より大きく（比重１．８以上）、且つヤング率が１ＧＰａ以下のものであれば利用可能である。すなわち、比重をヤング率で除した数値（比重／ヤング率）が１．８×１０−９  以上であれば錘部材１４として適している。
【００３７】
また、錘部材１４は、本体１０に対し支持固定されない状態で設けられている。すなわち、錘部材１４は、本体１０に対し直接支持されたり固定されておらず、また接着剤や樹脂材を介して本体１０に対し動きを拘束されるように支持されたり固定されていない状態で設けられている。本体１０の前後端（図示左右の端）には、金属板を屈曲させることによってコ状に形成された取付金具１８を有している。取付金具１８は、その両端の屈曲部分が本体１０に嵌合固定される。
【００３８】
駆動装置１には、被駆動部材６の移動位置を検出する検出器１５が設けられている。検出器１５としては、例えば光学式の検出器が用いられ、フォトリフレクタ、フォトインタラプタなどが用いられる。具体的には、検出器１５としてリフレクタ１５Ａ、検出部１５Ｂを備えたものを用いる場合、被駆動部材６と一体に形成されるレンズ枠１２にリフレクタ１５Ａを取り付け、検出部１５Ｂからリフレクタ１５Ａ側へ検出光を出射し、リフレクタ１５Ａ側で反射してくる反射光を検出部１５Ｂで検出することにより被駆動部材６及び移動レンズ２の移動位置を検出する。
【００３９】
検出器１５は、制御部７に接続されている。検出器１５の出力信号は制御部７に入力される。制御部７は、駆動装置全体の制御を行うものであり、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、入力信号回路、出力信号回路などにより構成される。また、制御部７は、圧電素子３を作動させるための駆動回路を備えており、圧電素子３に対し駆動のための電気信号を出力する。
【００４０】
図２は、図１のII−II線における被駆動部材６の断面図である。図２に示すように、被駆動部材６は、例えば、本体部６Ａ、押圧部６Ｂ及び摺動部６Ｃを備えて構成される。本体部６Ａは、押圧部６Ｂにより駆動部材４に一定の力で押圧されている。本体部６Ａには、Ｖ字状の溝６Ｄが形成されている。この溝６Ｄの内には、二つの摺動部６Ｃ、６Ｃに挟持された状態で駆動部材４が収容されている。摺動部６Ｃ、６Ｃは、断面Ｖ字状の板体であり、互いに凹部側を向き合わせて配置され、駆動部材４を挟んで設けられている。このようにＶ字状の溝６Ｄ内に駆動部材４を収容することにより、被駆動部材６を安定して駆動部材４に取り付けることができる。
【００４１】
押圧部６Ｂとしては、例えば、断面Ｌ字状の板バネ材が用いられる。押圧部６Ｂの一辺を本体部６Ａに掛止させ、他の一辺を溝６Ｄの対向位置に配することにより、他の一辺により溝６Ｄに収容される駆動部材４を本体部６Ａ及び摺動部６Ｃと共に挟み込むことができる。これにより、本体部６Ａを駆動部材４側へ押圧することができる。
【００４２】
このように、被駆動部材６は、押圧部６Ｂにより本体部６Ａを駆動部材４側に一定の力で押圧して取り付けられることにより、駆動部材４に対し摩擦係合される。すなわち、被駆動部材６は、駆動部材４に対し本体部６Ａ及び押圧部６Ｂが一定の押圧力で押し付けられ、その移動に際し一定の摩擦力が生ずるように取り付けられる。
【００４３】
また、断面Ｖ字状の摺動部６Ｃ、６Ｃにより駆動部材４を挟み込むことにより、被駆動部材６が駆動部材４に４箇所で線接触、すなわち実質的に面接触することになり、駆動部材４に対し安定して摩擦係合させることができる。
【００４４】
図３は、圧電素子３を作動させる駆動回路の回路図である。図３に示すように、駆動回路１６は、制御部７内に配置されて設けられている。この駆動回路１６は、圧電素子３のドライブ回路として機能するものであり、圧電素子３に対し駆動用の電気信号を出力する。駆動回路１６は、制御部７の制御信号生成部（図示なし）から制御信号を入力し、その制御信号を電圧増幅又は電流増幅して圧電素子３の駆動用電気信号を出力する。駆動回路１６は、例えば入力段を論理回路Ｕ１〜Ｕ３により構成し、出力段に電界効果型のトランジスタ（ＦＥＴ）Ｑ１、Ｑ２を備えたものが用いられる。トランジスタＱ１、Ｑ２は、出力信号として、Ｈ出力（高電位出力）、Ｌ出力（低電位出力）及びＯＦＦ出力（オープン出力）を出力可能に構成されている。
【００４５】
図４に駆動回路１６に入力される入力信号、図５に駆動回路１６から出力される出力信号を示す。図４（Ａ）は、被駆動部材６を圧電素子３に接近させる方向（図１において右方向）に移動させる際に入力される入力信号であり、図４（Ｂ）は、被駆動部材６を圧電素子３から離間させる方向（図１において左方向）に移動させる際に入力される入力信号である。また、図５（Ａ）は、被駆動部材６を圧電素子３に接近させる方向（図１において右方向）に移動させる際に出力される出力信号であり、図５（Ｂ）は、被駆動部材６を圧電素子３から離間させる方向（図１において左方向）に移動させる際に出力される出力信号である。
【００４６】
図５（Ａ）、（Ｂ）の出力信号は、図４（Ａ）、（Ｂ）の入力信号と同一タイミングでオンオフするパルス信号となっている。図５（Ａ）、（Ｂ）における二つの信号は、圧電素子３の入力端子８Ａ、８Ｂに入力される。この入力端子８Ａ、８Ｂには、台形波形からなる信号を入力してもよいが、図５に示す矩形状のパルス信号を入力して圧電素子３を作動させることができる。この場合、圧電素子３の駆動信号が矩形状のパルス信号でよいため、信号生成が容易となる。
【００４７】
図５（Ａ）、（Ｂ）の出力信号は、同一周波数となる二つの矩形状のパルス信号により構成されている。この二つのパルス信号は、互いの位相を異ならせることにより、互いの信号の電位差が段階的に大きくなり急激に小さくなる信号又は電位差が急激に大きくなって段階的に小さくなる信号となっている。このような二つの信号を入力することにより、圧電素子３の伸長速度と収縮速度を異ならせることができ、被駆動部材６を移動させることができる。
【００４８】
例えば、図５（Ａ）、（Ｂ）において、一方の信号がＨ（ハイ）となりＬ（ロー）に低下した後に他方の信号がＨとなるように設定されている。それらの信号において、一方の信号がＬになった際に一定のタイムラグｔＯＦＦの経過後、他方の信号がＨとなるように設定される。また、二つの信号が両方ともＬの場合には、出力としてはオフ状態（オープン状態）とされる。
【００４９】
この図５の（Ａ）、（Ｂ）の出力信号、すなわち圧電素子３を作動させる電気信号は、可聴周波数を超える周波数の信号が用いられる。図５（Ａ）、（Ｂ）において、二つの信号の周波数は、可聴周波数を超える周波数信号とされ、例えば、３０〜８０ｋＨｚの周波数信号とされ、より好ましくは４０〜５０ｋＨｚとされる。このようは周波数の信号を用いることにより、圧電素子３の可聴領域における作動音を低減することができる。さらに、駆動周波数が異音として認識される可聴周波数域を避け、且つ電力消費量が少ないことを考慮して選定すれば、例えば２０〜２００ｋＨｚ程度が好ましく、より好ましくは例えば５０〜１００ｋＨｚが用いられる。
【００５０】
ところで、本実施形態の駆動装置１においては、前述したように、圧電素子３における駆動部材４側、すなわち接着剤９による接着面３ａの表面粗さが、圧電素子３における他の面（ここでは側面）３ｂの表面粗さよりも粗くされている。具体的には、圧電素子３において、側面３ｂの表面粗さはＲａ（算術平均粗さ）０．３μｍであるのに対し、接着面３ａの表面粗さは、機械的処理であるサンディング加工が施されてＲａ１μｍ以上とされている。換言すると、サンディング加工によって、接着面３ａには、表面粗さが圧電素子３における他の面３ｂの表面粗さよりも粗いＲａ１μｍ以上である領域が施されている。ここでは、より好ましいとして、圧電素子３の接着面３ａの表面粗さは、Ｒａ５μｍ〜Ｒａ６μｍとしている。
【００５１】
このサンディング加工は、例えば番手８００番以上の粒度のサンドペーパーを用いて施され、ここでは、より好ましいとして、番手４００番のサンドペーパー（研磨紙）を用いて施されている。そして、サンディング加工を施した後、接着剤９により駆動部材４と圧電素子３とが接着され連結されている。なお、サンディング加工とは、例えばサンドペーパーで表面を擦る等して、その表面を磨いたり逆に細かい凹凸を付けたりし、当該表面を所望の表面粗さとする加工である。ちなみに、サンドペーパーの番手は、サンドペーパーにおける粒子の粗さ（大きさ）である粒度の分類を表示するものであり、番手の数字が小さいほど粗く（すなわち、粒度が大きく）なり、加工された表面の表面粗さが粗くなる。
【００５２】
このように圧電素子３における接着面３ａの表面粗さが、粗くされているため、圧電素子３と駆動部材４との間の実質的な接着面積が増加している。このため、圧電素子３と駆動部材４との接着力が向上され、すなわち圧電素子３と駆動部材４との接着力が強固なものになり、これらが強固に連結されている。
【００５３】
そして、前述したように、サンディング加工が施された後に、接着面３ａが例えばアルコール系溶剤により洗浄されて、駆動部材４の一端が接着面３ａに接着剤９により接着されている。すなわち、接着面３ａに洗浄処理が施されて、当該接着面３ａに駆動部材４の一端が接着されている。なお、洗浄剤としては、アルコール等に代表されるアルコール系溶剤の他に種々の溶剤が用いられ、また、純水などの水を用いても良い。洗浄の方法としては、拭き上げ、浸漬、噴霧が挙げられ、超音波振動により洗浄してもよい。これにより、接着面３ａの汚れ、ゴミが除去され、圧電素子３と駆動部材４との接着力が一層強固なものになり、これらが一層強固に連結されている。
【００５４】
ここで、駆動部材４は、例えば長手方向に長い素材を所定の寸法になるように切断して形成される。従って、駆動部材４における接着剤９側の面、すなわち駆動部材４における接着剤９による接着面にサンディング加工を施す場合には、切断毎に、接着面となる切断面にサンディング加工を施す必要がある。一方、圧電素子は、例えば圧電体を積層し、この積層した圧電体を所定の寸法になるように積層方向に切断、いわゆるダイシングして形成される。
【００５５】
従って、本実施形態のように、圧電素子３における圧電体の積層方向の少なくとも一端面である接着面３ａにサンディング加工を施す場合、圧電体を積層した後、この圧電体を所定の寸法に切断する前にサンディング加工を行うことができ、すなわちダイシング前に接着面３ａにサンディング加工を一括して施すことが可能となり、駆動装置１の製造を容易にすることが可能である。
【００５６】
次に、本実施形態に係る駆動装置の動作について説明する。
【００５７】
図１において、圧電素子３に電気信号が入力され、その電気信号の入力により圧電素子３が伸長及び収縮を繰り返す。この伸長及び収縮に応じて駆動部材４が往復運動する。このとき、圧電素子３の伸長速度と収縮速度を異ならせることにより、駆動部材４が一定の方向へ移動する速度とその逆方向へ移動する速度が異なることとなる。これにより、被駆動部材６及び移動レンズ２を所望の方向へ移動させることができる。
【００５８】
このとき、圧電素子３における接着面３ａの表面粗さが粗くされ、接着面３ａが洗浄されて、圧電素子３と駆動部材４との接着力が強固にされているため、よって、これらが強固に一体化して駆動される。従って、駆動部材４は、より速い速度・応答で駆動でき、被駆動部材６及び移動レンズ２の駆動速度を格段に上昇させることが可能となる。その結果、入力される電気信号が同じでも、駆動装置１の配置の仕方により駆動方向が上下にあったり左右であったりするために速度が変化してしまうという影響が駆動速度に占める割合が小さくなる、換言すると、姿勢差による速度変化の影響が低減される。
【００５９】
また、圧電素子３が伸縮する際に、その伸縮による振動が生ずるが、圧電素子３を含むアクチュエータ２０が支持部材５によってその伸縮方向と直交する方向から支持されているため、圧電素子３の伸縮により生ずる振動がアクチュエータ２０の外部へ伝達されにくい。このため、アクチュエータ２０が本体１０などの外部の部材と共振することが抑制され、その共振の影響を低減することができる。従って、被駆動部材６及び移動レンズ２を正確に移動させることができる。
【００６０】
さらにまた、錘部材１４により、アクチュエータ２０自体の共振周波数が低くされ、共振によって駆動部材４が圧電素子３の伸縮方向以外に振れることが防止されている。これにより、圧電素子３の伸縮による駆動力が被駆動部材６に正確に、且つ安定して伝わるため、被駆動部材６を圧電素子３の伸縮方向に正確に、且つ安定して駆動制御することができる。
【００６１】
以上、本実施形態の駆動装置１によれば、圧電素子３と駆動部材４とは、接着剤９により連結され、圧電素子３における接着剤９による接着面３ａには、当該接着面３ａを除く他の面である側面３ｂの表面粗さより粗いＲａ１μｍ以上の領域が少なくとも設けられている。そのため、圧電素子３と駆動部材４との間の実質的な接着面積を増加させ、圧電素子３と駆動部材４との接着力を強固にすることが可能となる。従って、例えば落下等により衝撃力が作用しても、圧電素子３と駆動部材４との連結部の破損を防止でき、十分な強度を確保することが可能となる。
【００６２】
また、駆動装置１において、圧電素子３と駆動部材４との連結部は、応力が集中し最も破損し易い部位であるため、連結部の破損を防止して十分な強度を確保するという上述の効果が顕著に得られる。
【００６３】
さらに、このように圧電素子３と駆動部材４との接着力が強固にされているため、これらが強固に一体化して駆動し、駆動装置１の駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることができる。
【００６４】
なお、本実施形態では、上述のように圧電素子３の接着面３ａに表面粗さが粗い領域が設けられているが、これに加えて、駆動部材４の接着剤９による接着面に、当該接着面を除く他の面の表面粗さより表面粗さが粗い領域が少なくとも設けられていてもよく、又はこれらの何れか一方としてもよい。また、圧電素子３の接着面３ａが洗浄されているが、これに加えて、駆動部材４の接着剤９による接着面が洗浄されていてもよく、又はこれらの何れか一方としてもよい。
【００６５】
ちなみに、接着面における接着力を強固にするための処理としては、一般的には、上述の機械的処理及び洗浄処理の他に、接着面に下塗り剤を塗布するプライマー処理、薬剤を用いて表面を処理する化学的処理、紫外線照射等の物理的処理、がある。
【００６６】
プライマー処理は、例えば不揮発分の少ない低粘度液体であるプライマー（下塗り剤）を接着面に塗布し、その接着面における接着力を強固にするものである。化学的処理は、薬剤を用いて、接着面の改質又は耐久接着を実現するものである。この化学的処理には、薬剤を用いて表面粗さを粗くする処理も含まれる。なお、化学的処理については、例えば、ＪＩＳＫ６８４８にその具体的な処理方法が記載されている。
【００６７】
物理的処理は、接着面の接着性、濡れ性、密着性を向上させるものである。この物理的処理としては、紫外線照射処理、コロナ放電処理、又はプラズマ処理等が挙げられる。
【００６８】
本実施形態では、接着面の接着力を強固にする処理として、圧電素子の接着面をサンディング処理によって粗し、且つ、接着工程の前にゴミや汚れを除去するために接着面のアルコール系溶剤による洗浄を行っているが、上述の何れの処理であっても、またこれらの処理を適宜組み合わせてもよく、この場合であっても上記と同様な効果を奏する。なお、この接着面の接着力を強固にする処理については、後述の実施形態でも同様である。
【００６９】
次に、本発明の第２実施形態に係る駆動装置３０について説明する。
【００７０】
図６は、本発明の第２実施形態に係る駆動装置を示す断面図である。この第２実施形態の駆動装置３０が上記第１実施形態の駆動装置１と異なる点は、図１に示した圧電素子３に代えて、図６に示した圧電素子３３を備えた点である。
【００７１】
圧電素子３３は、その錘部材１４側の面３３ｃ、すなわち接着剤１９による接着面３３ｃの表面粗さが、圧電素子３３における他の面（ここでは側面）３３ｂの表面粗さよりも粗くなっている。具体的には、圧電素子３３において、側面３３ｂの表面粗さは、Ｒａ０．３μｍであるのに対し、接着面３３ｃの表面粗さはＲａ１μｍ以上とされている。ここでは、より好ましいとして、例えば番手４００番のサンドペーパーによりサンディング加工を施してＲａ５μｍ〜Ｒａ６μｍとしている。そして、サンディング加工を施した後、例えばアルコール系溶剤により接着面３３ｃを洗浄して、接着剤１９により錘部材１４と圧電素子３３とが接着され連結されている。
【００７２】
このように駆動装置３０では、圧電素子３３と錘部材１４とは、接着剤１９により連結され、圧電素子３３における接着面３３ｃには、当該接着面３３ａを除く他の面である側面３３ｂの表面粗さより粗い領域が少なくとも設けられているため、圧電素子３３と錘部材１４との間の実質的な接着面積が増加し、圧電素子３３と錘部材１４との接着力が強固にされている。従って、圧電素子３３と駆動部材４との連結部の破損を防止でき、十分な強度を確保するという上記効果と同様な効果が得られる。さらに、このように圧電素子３３と錘部材１４との接着力が向上されるため、これらが強固に一体化して駆動し、駆動装置３０の駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させるという上記効果と同様な効果を奏する。
【００７３】
なお、本実施形態では、上述のように圧電素子３３の接着面３３ｃに表面粗さが粗い領域が設けられているが、これに加えて、錘部材１４の接着剤１９による接着面に、当該接着面を除く他の面の表面粗さより粗い領域が少なくとも設けられていてもよく、又はこれらの何れか一方としてもよい。また、圧電素子３３の接着面３３ｃが洗浄されているが、これに加えて、駆動部材１４の接着剤１９による接着面が洗浄されていてもよく、又はこれらの何れか一方としてもよい。
【００７４】
次に、本発明の第３実施形態に係る駆動装置４０について説明する。
【００７５】
図７は、本発明の第３実施形態に係る駆動装置を示す断面図である。この第３実施形態の駆動装置４０が上記第１実施形態の駆動装置１と異なる点は、図１に示した圧電素子３に代えて、図７に示した圧電素子４３を備えた点である。
【００７６】
圧電素子４３は、例えば多孔質セラミックを焼成してなるものである。この多孔質セラミックは、無数の微細な孔や隙間を有し、表面積が大きいセラミックである。よって、多孔質セラミックの外表面の表面粗さは実質的に粗いものとなり、圧電素子４３の外表面の表面粗さはＲａ１μｍ以上となっている。すなわち、圧電素子４３において、接着剤９側の接着面４３ａ及び接着剤１９側の接着面４３ｃの表面粗さがＲａ１μｍ以上とされている。そして、接着面４３ａ，４３ｃが例えばアルコール系溶剤により洗浄され、接着面４３ａ，４３ｃの汚れ、ゴミが除去されている。
【００７７】
このように駆動装置４０では、圧電素子４３と駆動部材４とは接着剤９により連結され、圧電素子４３における接着面４３ａには表面粗さがＲａ１μｍ以上の領域が少なくとも設けられていると共に、圧電素子４３と錘部材１４とは接着剤１９により連結され、圧電素子４３における接着面４３ｃには表面粗さがＲａ１μｍ以上の領域が設けられている。そのため、圧電素子４３と駆動部材４との間及び圧電素子４３錘部材１４との間の実質的な接触面積を増加させ、圧電素子４３と駆動部材４との接着力及び圧電素子４３と錘部材４との接着力を強固にすることが可能となる。
【００７８】
また、圧電素子４３は、駆動部材４及び錘部材１４と接着する前に、その接着面４３ａ，４３ｃが例えばアルコール系溶剤により洗浄され、接着面４３ａ，４３ｃの汚れ、ゴミが除去されるため、これらの接着力を一層強固にすることができる。
【００７９】
従って、例えば落下等により衝撃力が作用しても、圧電素子４３と駆動部材４との連結部及び圧電素子４３錘部材１４との連結部の破損を防止でき、十分な強度を確保することが可能となる。さらに、このように連結部の接着力が強固にされるため、これらが強固に一体化して駆動し、駆動装置４０の駆動速度を上昇させる、すなわち駆動特性を向上させることができる。
【００８０】
なお、本実施形態では、上述のように圧電素子４３の接着面４３ａ，４３ｃが洗浄されているが、これらの何れか一方の接着面が洗浄されることとしてもよい。
【００８１】
上述した各実施形態は本発明に係る駆動装置の一例を示すものである。本発明に係る駆動装置は、これらの実施形態に係る駆動装置に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、実施形態に係る駆動装置を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。
【００８２】
例えば、上記実施形態では、アクチュエータを圧電素子の伸縮方向と交差する方向から支持し、圧電素子の端部を自由端としたが、例えば特許文献１に示されている構成のように、アクチュエータの端部を本体に固定したものであってもよい。この場合、圧電素子の端部には錘部材を設ける必要がないため装置の小型化が図れる。
【００８３】
また、本発明に係る駆動装置の用途としてはフォーカスレンズやズームレンズ等の移動レンズを移動する用途に限定されず、ＣＣＤを移動する用途等の撮像装置に用いても良く、また、携帯電話に使用するのも有効である。
【００８４】
また、上記実施形態では、特に好ましいとして番手４００番のサンドペーパーを用いて接着面の表面粗さを粗くしたが、これより番手の大きい例えば８００番手のサンドペーパーを用いて表面粗さを粗くしてもよく、サンドペーパーでなくても、例えばサンドブラストやショットブラスト等でもよい。この場合、番手８００番のサンドペーパーの粒度よりも粗い砥粒（砥石としての機能を発揮する高硬度の粒状又は粉末の物）を用いることにより、接着面に少なくとも設けられた表面粗さがＲａ１μｍ以上の領域を施すことができる。
【実施例】
【００８５】
以下、実施例及び比較例を説明する。
【００８６】
（実施例１）
圧電素子における駆動部材が連結される面を番手４００番のサンドペーパーにより粗し、その面をアルコール系溶剤により洗浄した後、圧電素子と駆動部材とを接着剤により連結して駆動装置を得た。
【００８７】
（比較例１）
面を粗さない以外は実施例１と同様とした。
【００８８】
（連続落下試験）
実施例１と比較例１とを用い、連続落下試験を行い、落下強度を評価した。この連続落下試験では、具体的には、所定の落下高さから駆動装置を３０回連続で落下させた後、圧電素子に電気信号を入力した。そして、この電気信号の入力により移動レンズの駆動特性が所定の基準を満足した場合を○、移動レンズの駆動特性が所定の基準を満たさない場合を×として評価した。
【００８９】
この結果、図８（Ａ）に示すように、実施例１では、基準を満足した試験が２２回のうち全部であり、その確率が１００%であることに対し、図８（Ｂ）に示すように、比較例１では、基準を満足した試験が６回のうち１回であり、その確率が１３%であった。さらに、実施例１では、落下高さを一層高くして、大きい衝撃力を作用させた場合でも、駆動特性が所定の基準を満足した。従って、落下により衝撃力が作用しても、圧電素子と駆動部材との連結部の破損を防止し、十分な強度を確保するという効果を確認することができた。
【００９０】
（実施例２）
圧電素子の伸縮方向の一端面を番手４００番のサンドペーパーにより粗し、一端面をアルコール系溶剤により洗浄した後、この一端面に長さ３．６ｍｍの駆動部材を接着剤により連結して得た。
【００９１】
（実施例３）
圧電素子の伸縮方向の一端面を番手８００番のサンドペーパーにより粗した以外は実施例２と同様とした。
【００９２】
（比較例２）
面を粗さない以外は実施例２と同様とした。
【００９３】
（接着力比較試験）
実施例２と実施例３と比較例２とを用い、接着力比較試験を行い、その接着力を評価した。なお、接着剤の硬化条件は、６５分間×２とした。この接着力比較試験では、具体的には、圧電素子を固定した後、駆動部材の先端で当該駆動部材に対し直角方向にフォースゲージで力を加えて破断したときの破断力を測定した。
【００９４】
この結果、図９に示すように、実施例２では、平均の破断力が６６０ｇｆ、最大の破断力が７６０ｇｆ、最小の破断力が６００ｇｆであり、実施例３では、平均の破断力が６４０ｇｆ、最大の破断力が７６０ｇｆ、最小の破断力が５３０ｇｆであった。これに対し、比較例２では、平均の破断力が２８０ｇｆ、最大の破断力が３５０ｇｆ、最小の破断力が１６０ｇｆであった。従って、接着され連結された面の表面粗さを粗くすることにより接着力を強固にし、強固に一体化させるという効果を確認することができた。
【００９５】
（実施例４）
圧電素子の伸縮方向の一端面に長さ３．６ｍｍの駆動部材を接着剤により連結した実施例４において、圧電素子と駆動部材との接着力をいろいろと変化させて、駆動部材の接着力と駆動速度特性との相関を評価した。なお、ここでの接着力は、圧電素子を固定し、駆動部材の先端に当該駆動部材に対し直角方向にフォースゲージで力を加えて破断したときの破断力とした。また、駆動速度特性は、駆動部材が一定方向に移動する駆動速度Ｖ１と、一定方向とは反対方向である逆方向に移動する駆動速度Ｖ２との２つの駆動速度とした。
【００９６】
この結果、図１０に示すように、接着力が大きくなるにつれ、駆動部材の一方向に移動する駆動速度Ｖ１及び駆動部材の他方向に移動する駆動速度Ｖ２も格段に大きくなることが判り、接着力が強固にされることにより、駆動速度が上昇するという作用効果を確認することができた。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】本発明の第１実施形態に係る駆動装置を示す平面図である。
【図２】図１のII−II線に沿う断面図である。
【図３】図１のアクチュエータに対する駆動回路を示す回路図である。
【図４】図３の駆動回路に入力される入力信号の波形図である。
【図５】図３の駆動回路から出力される出力信号の波形図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る駆動装置の断面図である。
【図７】本発明の第３実施形態に係る駆動装置の断面図である。
【図８】連続落下試験の結果を示す図表である。
【図９】接着力比較試験の結果を示す図表である。
【図１０】接着力−駆動速度特性試験の結果を示す図表である。
【符号の説明】
【００９８】
１，３０，４０…駆動部材、２…移動レンズ（光学部材）、３，３３，４３…圧電素子（電気機械変換素子）、４…駆動部材、６…被駆動部材、１４…錘部材、９…接着剤、１９…接着剤。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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