(57)【要約】【課題】ｍ×ｎ個取りで作製するカラー液晶表示パネルの製造工程での欠陥の発生原因を迅速に把握すること。【解決手段】ＴＦＴ識別子１０１をマザーＴＦＴ基板製造工程６１０の投入前のマザーＴＦＴ基板３に付与して各処理及び欠陥検査６１１を行い、ＣＦ識別子１０２をマザーＣＦ（カラーフィルター）基板製造工程６２０の投入前のマザーＣＦ基板４に付与して各処理及び欠陥検査６２１を行う。そして、両マザー基板３，４を張り合わせた後、分割する前にマザー液晶表示パネル５の状態で、個々の液晶表示パネル５ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）にＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２とパネル位置番号ｉｊからなるパネル識別子１０３を付与して液晶表示パネル組立工程６３０及び最終検査となる点灯検査６３１を行い、識別子１０１，１０２，１０３をキーとして欠陥の発生原因を把握できるようにした。【選択図】図１
2007108590.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数個取りのマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルター基板を、張り合わせた後分割して作製する液晶表示パネルにおいて、
前記マザーＴＦＴ基板の製造工程における第１の識別子と、
前記マザーカラーフィルター基板の製造工程における第２の識別子と、
前記マザーＴＦＴ基板と前記マザーカラーフィルター基板とを張り合わせてマザー液晶表示パネルとした後で、分割前の前記マザー液晶表示パネルの前記液晶表示パネルの個々の領域に第３の識別子を付与した
ことを特徴とした液晶表示パネル。
【請求項２】
請求項１記載の液晶表示パネルにおいて、
前記液晶表示パネルに設けられる前記第３の識別子に、分割前のマザー液晶表示パネルにおける前記液晶表示パネルの位置の情報をもたせた
ことを特徴とした液晶表示パネル。
【請求項３】
液晶表示パネルの製造工程の情報と関連付けられた識別子を付与する液晶表示パネルの工程識別子付与方法において、
多数個取りのマザーＴＦＴ基板の製造工程で付与される第１の識別子と、
多数個取りのマザーカラーフィルター基板の製造工程で付与される第２の識別子と、
前記マザーＴＦＴ基板と前記マザーカラーフィルター基板とを張り合わせてマザー液晶表示パネルとした後で、分割前の前記マザー液晶表示パネルにおける前記液晶表示パネルの個々の領域に第３の識別子とを付与し、
前記第３の識別子を前記第１及び第２の識別子に関連付けた
ことを特徴とした液晶表示パネルの工程識別子の付与方法。
【請求項４】
請求項３記載の液晶表示パネルの工程識別子の付与方法において、
前記第３の識別子の付与を前記液晶表示パネルに光もしくは電子のエネルギにより行う
ことを特徴とした液晶表示パネルの工程識別子の付与方法。
【請求項５】
請求項３記載の液晶表示パネルの工程識別子の付与方法において、
前記第１の識別子を前記マザーＴＦＴ基板の製造工程における第１の欠陥検査データと関連付け、
前記第２の識別子を前記マザーカラーフィルター基板の製造工程における第２の欠陥検査データと関連付け、
分割後の前記液晶表示パネルの個別に行われる点灯検査で前記第３の識別子を読み出し、
前記点灯検査の検査結果データと前記第１及び／又は第２の欠陥検査データとを関連付けした
ことを特徴とした液晶表示パネルの工程識別子の付与方法。
【請求項６】
多数個取りのマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルター基板を、張り合わせた後分割して作製された液晶表示パネルの欠陥特定方法において、
前記マザーＴＦＴ基板の製造工程で付与され、該製造工程での第１の欠陥検査データと関連付けられる第１の識別子と、
前記マザーカラーフィルター基板の製造工程で付与され、該製造工程での第２の欠陥検査データと関連付けられる第２の識別子と、
前記マザーＴＦＴ基板と前記マザーカラーフィルター基板とを張り合わせてマザー液晶表示パネルとした後で、分割前の前記マザー液晶表示パネルにおける前記液晶表示パネルの個々の領域に、前記第１及び第２の識別子に関連付けられた第３の識別子とを設け、
点灯検査で欠陥ありとされた前記液晶表示パネルの第３の識別子から、前記マザーＴＦＴ基板の製造工程、前記マザーカラーフィルター基板の製造工程、前記液晶表示パネルの組立工程における、少なくとも欠陥を発生させた工程と製造装置と製造条件とを特定できるようにした
ことを特徴とする液晶表示パネルの欠陥特定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、多数個取りのマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルター基板を、張り合わせた後個別に分割して作製する液晶表示パネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造は、通常ＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスター）プロセスと呼ばれるＴＦＴ基板の製造工程と、カラーフィルタープロセスと呼ばれるカラーフィルター基板の製造工程と、ＴＦＴ基板とカラーフィルター基板を張り合わせた後、個々の液晶表示パネルを組み立てて点灯検査などにより動作を確認するまでの組立工程とに分けられる。
ＴＦＴプロセスとカラーフィルタープロセスは、マザー基板と呼ばれる通常は長方形ガラス上での加工工程であり、マザー基板は、例えば７２０ｍｍ×６００ｍｍサイズが用いられ、１枚のマザー基板上に数個〜数百個の液晶表示パネルを同時に製作する方式で生産されている。
ＴＦＴプロセスとカラーフィルタープロセスを終了した２枚のマザー基板は、組立工程において両者が張り付けられた後で液晶表示パネルに切断され、ＴＦＴ基板から電気的接続用の導体部を取り出し、液晶表示パネルに液晶を封入して樹脂で封止する。
【０００３】
ところで、上述の工程で製作される液晶表示パネルに、製造工程での履歴情報を付与しておくと品質管理や生産管理などに役立てることができる。従来の液晶表示パネルの工程管理に関しては特許文献１及び特許文献２に開示されているものが知られている。
この特許文献１には液晶表示パネルの工程管理システムに関するものが記載されている。この液晶表示パネルの工程管理システムは、液晶表示パネルの製造工程における工程管理システムにおいて、液晶ガラス面を直接加工することによりワーク識別情報を液晶パネル面上に付加し、この液晶パネル面上に付加されたワーク識別情報を直接読み取ることにより液晶パネルを識別するものである。
そして、ワーク識別情報を、液晶パネルの直接加工した面上に付加し、液晶製造工程における製造状態に影響を及ぼさないパネル情報の貼付けが可能となり、ワークと識別情報の一体流動を可能としている。
【０００４】
また、特許文献２には、液晶表示パネルなどに使われる液晶基板の生産ライン上における、液晶基板を管理する液晶基板管理装置に関するものが開示されている。
この液晶基板管理装置は、液晶検査装置から取得される欠陥情報と、液晶リペア装置から取得される画像情報及び欠陥を修復したリペア情報を記録するデータベースを有するデータ管理手段を備え、このデータ管理手段は、データベースに記録される欠陥情報、画像情報及びリペア情報に基づいて、欠陥再同定、及び／又は、パネル及び／又は基板の再判定を行うものである。
【０００５】
そして、欠陥の再同定、パネルや基板の再判定を行い、基板における判定精度を向上させ、欠陥のトレンド情報を管理することができるようにしている。
【特許文献１】特開平５−３０９５５２号公報（第２頁，図１）
【特許文献１】特開２００４−２５７８２４号公報（第２頁，図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に開示されている液晶パネルの工程管理システムでは、１個取りの液晶パネルについてはワーク（液晶パネル）の流動をきめ細かくかつ正確に補足することはできるものの、多数個取りのマザー液晶パネルでは分割により得られる複数のワークについては十分補足することができないおそれがあった。
また、特許文献２に開示されている液晶基板管理装置では、液晶基板やこの液晶基板上に設けられる複数のパネルでの欠陥判定の精度を向上させることはできるものの、液晶表示パネルとして組み立てられた後の点灯検査で見出される欠陥との対応は不十分となるおそれがあった。
【０００７】
本発明はかかる点に鑑み、多数個取りのマザー液晶表示パネルを個別に分割して作製する液晶表示パネルの製造工程での欠陥の発生原因を迅速に把握することができる液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明は多数個取りのマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルター基板を、張り合わせた後分割して作製する液晶表示パネルにおいて、マザーＴＦＴ基板の製造工程における第１の識別子と、マザーカラーフィルター基板の製造工程における第２の識別子と、マザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルター基板とを張り合わせてマザー液晶表示パネルとした後で、分割前のマザー液晶表示パネルの液晶表示パネルの個々の領域に第３の識別子を付与し、例えば、この第３の識別子に、分割前のマザー液晶表示パネルにおける液晶表示パネルの位置の情報をもたせたものである。
【０００９】
このように構成した本発明液晶表示パネルによれば、マザーＴＦＴ基板に付与された第１の識別子と関連付けられたマザーＴＦＴ基板製造工程での第１の欠陥情報と、マザーカラーフィルター基板に付与された第２の識別子と関連付けられたマザーカラーフィルター基板製造工程での第２の欠陥情報と、液晶表示パネルの個々に付与された第３の識別子と関連付けられた点灯検査での第３の欠陥情報とから、第１及び第３の欠陥情報からマザーＴＦＴ基板で発生した欠陥の同定、第２及び第３の欠陥情報からマザーカラーフィルター基板で発生した欠陥の同定を行い、マザーＴＦＴ基板製造工程とマザーカラーフィルター基板製造工程と組立工程との何れの工程で発生した欠陥であるのかを把握することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法によれば、マザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルター基板の製造工程での欠陥検査で得られた欠陥情報と、液晶表示パネルの点灯検査で得られた欠陥情報から、欠陥原因の究明を短期間で効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明の一実施の形態の例を、図１〜図１４を参照して説明する。
【００１２】
先ず、図４Ａ，Ｂ及び図６を参照して本例の液晶表示パネルの製造工程の概要を説明する。
本例の液晶表示パネルは、多数個取りのマザーＴＦＴ基板及びマザーカラーフィルター基板を張り合わせた後、分割して作製されるものである。
なお、以下では、マザーＴＦＴ基板とマザーカラーフィルター基板とが張り合わされた状態をマザー液晶表示パネルといい、個々に分割された後の状態を液晶表示パネルといって区別する。
【００１３】
図４は、液晶表示パネル用のパターンが横に６個（ｍ＝６），縦に５個（ｎ＝５）配列された、多数個取り透明ガラス基板（以下、「マザー基板」という）の例を示す説明図であり、図４Ａは画素単位でスイッチング動作を行なうＴＦＴアレイが形成されるマザーＴＦＴ基板３、図４Ｂは光の三原色であるＲ（赤色），Ｇ（緑色），Ｂ（青色）などのカラーフィルターが形成されるマザーカラーフィルター基板（以下では、カラーフィルター基板を「ＣＦ基板」という）４を示している。
【００１４】
そして、液晶表示パネルは、図６に示すように、ガラス基板の上にＴＦＴアレイと駆動回路とをマザーＴＦＴ基板３に形成するマザーＴＦＴ基板製造工程６１０と、カラーフィルターをマザーＣＦ基板４に形成するマザーＣＦ基板製造工程６２０と、これらマザーＴＦＴ基板３及びマザーＣＦ基板４を張り合わせマザー液晶表示パネル５とした後分割して個々の液晶表示パネルにする液晶表示パネル組立工程６３０を経て作製される。
なお、以下でｍ×ｎ個の配列のうちｉ×ｊ（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）の位置にある液晶表示パネルを５ijで示し、また後述するようにこの液晶表示パネルを５ijを構成するＴＦＴ基板を３-ij、ＣＦ基板を４-ijで示すことにする。
【００１５】
マザーＴＦＴ基板製造工程６１０は、上述のようにスイッチング動作を行うＴＦＴ素子と駆動回路をマザーＴＦＴ基板３に形成するため、導体膜を成膜後フォトリソグラフィー技術により導体膜を所定のパターン形状にする処理を複数回繰り返す。そして、例えば図６に示すように、マザーＴＦＴ基板３の表面を成膜後，露光後，エッチング後及び配向膜印刷後のそれぞれの時点で欠陥検査装置により欠陥検査６１１を行う。
ここで、欠陥検査６１１では、マザーＴＦＴ基板３の表面における突起、異物付着などの欠陥の有無が、欠陥の位置とともに欠陥情報として取得される。
【００１６】
一方、マザーＣＦ基板製造工程６２０は、マザー基板に形成したカラーフィルターを覆うように保護膜と透明導電膜を形成しマザーＣＦ基板４とするため、保護膜や導体膜を成膜後フォトリソグラフィー技術によりこれらの膜を所定のパターン形状にする処理を所定数繰り返す。そして、例えば図６に示すように、マザーＣＦ基板４の表面に成膜した後，露光した後，エッチングした後及び配向膜印刷後のそれぞれの時点で欠陥検査装置により欠陥検査６２１を行う。
ここで、欠陥検査６２１では、マザーＣＦ基板４の表面における突起、異物付着などの欠陥の有無が、欠陥の位置とともに欠陥情報として取得される。
【００１７】
液晶表示パネル組立工程６３０は、マザーＴＦＴ基板３及びマザーＣＦ基板４を張り合わせた後分割して個々の液晶表示パネルとするものである。
マザーＴＦＴ基板製造工程６１０で得られたマザーＴＦＴ基板３と、マザーＣＦ基板製造工程６２０で得られたマザーＣＦ基板４とをＴＦＴアレイ形成面とカラーフィルター形成面の側を向かい合わせて張り合わせ、その後個々の液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）の境界部分で分割する。このとき、液晶表示パネルのＴＦＴ基板の側に形成される接続端子が露呈するようになされる。
【００１８】
そして、個々の液晶表示パネル５-ijに設けられる注入口から液晶を注入した後ＵＶ樹脂などで封止した後、ＴＦＴ基板側の接続端子にＴＡＢ（Tape Automated Bonding）方式などにより外部接続ケーブルが接合される。
そして、液晶表示パネルの最終検査として点灯検査６３１が行われ、輝点（画素が常時点灯）、滅点（画素が常時消灯）などの欠陥の有無と良品／欠陥品の判定結果が、欠陥の位置とともに欠陥情報として取得される。
そして、液晶表示パネルの図６に示す製造工程で得られたマザーＴＦＴ基板製造工程での欠陥情報と、マザーＣＦ基板製造工程での欠陥情報と、最終の点灯検査６３１で見出された検査結果情報とから、点灯検査での欠陥が発生した工程を知ることができるようにする。
【００１９】
このように点灯検査６３１は、個々に分離され液晶が封入された状態での液晶表示パネル５-ijについて実施できるものであるため、液晶表示パネル５-ijの点灯検査６３１での欠陥情報と、図４Ａに示すマザーＴＦＴ基板３と図４Ｂに示すマザーＣＦ基板４における個々のパターンの略中央の矩形領域３０６，４０６での欠陥情報と、を関連付けておく必要がある。
【００２０】
次に、本例の液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法を図１〜図８を参照し、マザーＴＦＴ基板３又はマザーＣＦ基板４と、液晶表示パネルとの関連付けを中心に説明する。
図１は、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０への投入前にマザーＴＦＴ基板３に付与される第１の識別子であるＴＦＴ識別子１０１、マザーＣＦ基板製造工程６２０への投入前にマザーＣＦ基板４に付与される第２の識別子であるＣＦ識別子１０２、マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４とが張り付けられた後で個別の液晶表示パネルに分離する前のマザー液晶表示パネルの状態に付与される第３の識別子であるパネル識別子１０３を説明するものである。
【００２１】
ここでＴＦＴ識別子１０１は、マザーＴＦＴ基板３毎に異なる識別子とされて他のマザーＴＦＴ基板と区別され、ＣＦ識別子１０２も、マザーＣＦ基板４毎に異なる識別子とされて他のマザーＣＦ基板と区別される。
また、パネル識別子１０３はマザー液晶表示パネル５の状態でこの中の個々の液晶表示パネル５-ijに設けられ、液晶表示パネル５-ij毎に異なる識別子とされて他の液晶表示パネルと区別される。
そして、ＴＦＴ識別子１０１でマザーＴＦＴ基板製造工程６１０での処理情報を、ＣＦ識別子１０２でマザーＣＦ基板製造工程６２０での処理情報を、さらにパネル識別子１０３で液晶表示パネル組立工程６３０での処理情報を管理することができるようにされる。
【００２２】
つまり、これら識別子１０１，１０２，１０３は、マザーＴＦＴ基板３，マザーＣＦ基板４，液晶表示パネル５-ijの所定位置に、例えば矩形の１辺の大きさが０．１ｍｍ以下の２次元コードなどとして付与するようにし、液晶表示パネル５-ijを製造するときの生産管理、進捗度管理のためや、品質管理、欠陥特定などのため各工程での作業履歴などを後から遡って知ることができるようにしている。
ここで、ＴＦＴ識別子１０１は、例えば図４Ａに示すマザーＴＦＴ基板３表面のｍ×ｎ個の液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）形成領域以外の周辺部分３０３に設けられ、ＣＦ識別子１０２も、例えば図４Ｂに示すマザーＣＦ基板４表面の液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）形成領域以外の周辺部分４０３に設けられる。さらに、パネル識別子１０３は、分離後で液晶表示パネル５-ijの点灯領域以外の側面部５０１を含む周辺部分の適宜の位置に設けられる（図５Ｂ）。
【００２３】
ＴＦＴ識別子１０１は、図１に示すように、例えば英数字１０文字からなるＴＦＴロット番号、数字２文字からなるＴＦＴ基板番号から構成される。そして、図４Ａに示すように、マザーＴＦＴ基板３の周辺部分３０３にＴＦＴ識別子１０１を刻む。
ここで、ＴＦＴ識別子１０１のＴＦＴロット番号は、例えば製造ラインに投入される液晶表示パネルの型式や処理の単位である１ロット当りのマザーＴＦＴ基板３の枚数やロット投入時期と関連付けられた番号である。
【００２４】
また、図１に示すＴＦＴ基板番号は、１ロットを構成する複数のマザーＴＦＴ基板３，３…のそれぞれに、基板枚数までの連続する番号のうちの１つが当該マザーＴＦＴ基板３に付与される。このＴＦＴ基板番号は、例えば図２に示すように、１つの搬送キャリア２０１に格納された複数のマザーＴＦＴ基板３，３…を１ロットとして、この搬送キャリア２０１の下から何番目に格納されたマザーＴＦＴ基板３であるかを表すものである。
そして、マザーＴＦＴ基板３に設けられるＴＦＴ識別子１０１は、製造ラインで当該マザーＴＦＴ基板３に対して唯一無二のものとして付与される。
なお、図２に示す２０２は、搬送キャリア２０１の最下の基板、２０３は最上の基板を示す。
【００２５】
ＣＦ識別子１０２は、図１に示すように、例えば英数字１０文字からなるカラーフィルターロット番号、数字２文字からなるカラーフィルター基板番号から構成される。そして、図４Ｂに示すように、マザーＣＦ基板４の周辺部分４０３にＣＦ識別子１０２を刻む。
ここで、ＣＦ識別子１０２のカラーフィルターロット番号は、例えば製造ラインに投入される液晶表示パネルの型式や処理の単位である１ロット当りのマザーＣＦ基板４の枚数やロット投入時期と関連付けられた番号である。
【００２６】
また、カラーフィルター基板番号は１ロットを構成する複数のマザーＣＦ基板４，４…のそれぞれに、基板枚数までの連続する番号のうちの１つが当該マザーＣＦ基板４に付与される。このカラーフィルター基板番号は、例えば図２に示すように、１つの搬送キャリア２０１に格納された複数のマザーＣＦ基板４，４…を１ロットとして、この搬送キャリア２０１の下から何番目に格納されたマザーＣＦ基板４であるかを表すものである。
そして、マザーＣＦ基板４に設けられるＣＦ識別子１０２は、製造ラインで当該マザーＣＦ基板４に対して唯一無二のものとして付与される。
【００２７】
パネル識別子１０３は、図１に示すように、マザーＴＦＴ基板３のＴＦＴ識別子１０１と、マザーＣＦ基板４のＣＦ識別子１０２と、数字２文字からなるパネル位置番号とから構成される。
以下、図３及び図４Ａ，Ｂを参照してパネル識別子１０３を説明する。
【００２８】
マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４はそれぞれに幅がｘｐ，奥行きがｙｐなる液晶表示パネル用のパターンが横にｍ個、縦にｎ個配設される（図４Ａ，Ｂ参照）。そして、マザーＴＦＴ基板３のＴＦＴアレイ形成面の側とマザーＣＦ基板４のカラーフィルター形成面の側とを対向させ所定の間隙をもつように張り付けられる。このため、本例のマザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４とでは、互いに線対称となるようにパターン形成される。
【００２９】
形成されるパターンを、マザーＴＦＴ基板３を例に説明すると、例えば図３に示すように、横の並びのｘ方向に６個、縦の並びのｙ方向に５個配設される（ｍ＝６，ｎ＝５）。そして、個々のパターンの略中央の矩形領域３０６にはＴＦＴアレイが配設され、枠状の周辺領域３０５の四隅には例えば十字状のアライメントパターン３０１がマザーＴＦＴ基板３を分割しても残る位置に配設される。
以下では、マザーＴＦＴ基板３内でｘ方向にｉ番目（ｉ＝１〜ｍ）、ｙ方向にｊ番目（ｊ＝１〜ｎ）の位置にあるＴＦＴ基板を、−ｉｊなる添え字で表わし、この添え字ｉｊがパネル位置番号ｉｊとして数字２文字のパネル識別子１０３とされる。つまり、マザーＴＦＴ基板３でｉ＝５，ｊ＝４の位置にあるＴＦＴ基板は３-54で表わされ、このＴＦＴ基板３-54のパネル識別子１０３のパネル位置番号は５４となる。
【００３０】
マザーＴＦＴ基板３におけるｘｙ座標軸は、図３に示すように、例えばマザーＴＦＴ基板３での最も左側の縦の並びＴＦＴ基板３-11〜３-15における、ＴＦＴ基板３-11の左下隅に配されるアライメントパターン３０１の十字の交点を原点３００とする。そして、この原点３００を通り、ＴＦＴ基板３-11，３-12，３-13，３-14，３-15のそれぞれの左下隅に配される５つのアライメントパターン３０１の十字の交点との距離（偏差）が最も小さくなるような直線をｙ軸とし、原点３００を通りｙ軸に直交する図３に示す右方向にｘ軸を設定する。
なお、マザーＴＦＴ基板３の左下隅には原点の方向を示す切欠き３０２が設けられる。
図４Ａに、このように設定したマザーＴＦＴ基板３のｘｙ座標系を示した。
【００３１】
そして、マザーＣＦ基板４でも図３に示すと同様にして、図４Ｂに示すように、マザーＴＦＴ基板３のｘｙ座標系に対して線対称となるように、原点４００を定めるとともに図４Ｂに示す左側の方向にｘ’軸を設定し、マザーＣＦ基板４にｘ’ｙ’座標系を定めることができる。なお、マザーＣＦ基板４の右下隅には原点の方向を示す切欠き４０２が設けられる。
そして、個々のパターンの略中央の矩形領域４０６にはカラーフィルターが配設され、枠状の周辺領域４０５の四隅には図示しないアライメントパターンがマザーＣＦ基板４を分割しても残る位置に配設される。
以下では、マザーＣＦ基板４内でｘ’方向にｉ番目、ｙ’方向にｊ番目の位置にあるＣＦ基板を、−ｉｊなる添え字で表わし、この添え字ｉｊがパネル位置番号ｉｊとして数字２文字のパネル識別子１０３とされる。つまり、マザーＣＦ基板４でｉ＝５，ｊ＝４の位置にあるＣＦ基板が４-54で表わされ、このＣＦ基板４-54のパネル識別子１０３のパネル位置番号は５４となる。
【００３２】
このようにすると、マザーＴＦＴ基板３でｊ＝５，ｊ＝４の位置にあるＴＦＴ基板は３-54で、マザーＣＦ基板４でｉ＝５，ｊ＝４の位置にあるＣＦ基板は、４-54で表わすことができる。
そして、マザーＴＦＴ基板３の原点３００と、マザーＣＦ基板４の原点４００とを一致させ、マザーＴＦＴ基板３のｙ軸とマザーＣＦ基板４のｙ’軸とを、またマザーＴＦＴ基板３のｘ軸とマザーＣＦ基板４のｘ’軸とを重ね合わせるようにして張り合わせると、ＴＦＴ基板３-54とＣＦ基板４-54とが重ね合わされて分離前の液晶表示パネル５-54が形成される。
【００３３】
すなわち、マザーＴＦＴ基板３の座標系とマザーＣＦ基板４の座標系を左右対称とすることで、マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４のパターン加工面同士を基板原点３００，４００を基準としｘ，ｘ’軸を合わせ、ｙ，y’軸を合わせて張り合わせたとき、ＴＦＴ基板３-ijとカラーフィルター基板４-ijとは重なり合い、液晶表示パネル５-ijを構成する。そして、液晶表示パネル５-ijに付与されたパネル識別子１０３のパネル位置番号ｉｊから、分離される前のマザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４でのＴＦＴ基板３-ijとＣＦ基板４-ijの配列位置を知ることができる。
【００３４】
パネル位置番号ｉｊとともにパネル識別子１０３を構成するＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２は、マザー液晶表示パネル５として組み合わされたマザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４に付与されたものが使用される。
ここで、パネル識別子１０３として、ＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２を併記するのは、後述するデータベースを参照せずに当該液晶表示パネル５-ijを構成している分割前のマザーＴＦＴ基板３又はマザーＣＦ基板４の来歴などを参照することができるようにするためである。
【００３５】
なお、図５Ａ及びＢは、マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４を張り合わせた後、液晶表示パネル５-ij単位に分割した図である。分離後の液晶表示パネル５-ijでは、図５Cに示すように、四隅に設けられるＴＦＴ基板３-ij上のアライメントパターン３０１を用い、このアライメントパターン３０１のうち図に示す左下隅を原点５００とし、左側の２つでY軸、下側の２つでX軸を設定する。
そして、パネル識別子１０３は、液晶表示パネル５-ijの表示有効領域以外の領域に刻まれる。
つまりパネル識別子１０３は、ＴＦＴ基板３-ijの側の、図３Ａで示す矩形領域３０６以外の周辺領域３０５の面、あるいはＣＦ基板４-ijの側の、図３Ｂで示す矩形領域４０６以外の周辺領域４０５の面、又は液晶表示パネル５-ijの側面部５０１に刻まれる（図５Ｂ）。
【００３６】
なお、パネル識別子１０３は、上述のように、マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４を張り合わせた後、ｍ×ｎ個の液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）に分割する前のマザー液晶表示パネル５の状態で刻むのが望ましい。
これは、図５Ｂに示す分割後の液晶表示パネル５-11〜５-mnの個々にパネル識別子１０３を刻む必要があるが、分割後ではパネルの順番がバラバラになるおそれがあり、液晶表示パネル５-ijのＴＦＴ基板３-ijのＴＦＴ識別子１０１や、ＣＦ基板４-ijのＣＦ識別子１０２や、パネル番号ｉｊからなるパネル識別子１０３を適切に刻むことができないことが生じるからである。
そして、刻印された識別子１０１，１０２，１０３は、各プロセスの製造装置や検査装置で読み込まれ、生産管理、進捗度管理、品質管理、欠陥特定などに用いられることとなる。
【００３７】
次に、識別子１０１，１０２，１０３の付与方法について説明する。
これら識別子１０１，１０２，１０３は、マザーＴＦＴ基板３やマザーＣＦ基板４やマザー液晶表示パネル５の表面にレーザや電子ビームなどを用いて刻印されたり、液晶表示パネル５-ij内に設けられた専用記憶領域内に必要に応じて他の情報とともに電気的に書き込まれる。
【００３８】
レーザによるマーキングでは、例えば炭酸ガスレーザやＹＡＧ（Yttrium Aluminum Garnet）レーザなどを用いることができ、刻印形式は、英数字で構成された識別子１０１，１０２，１０３を直接刻印しても、バーコードや２次元コードに変換して刻印してもよい。なお、刻印領域を小さくするには２次元コードに変換して刻印したほうがよりよい。
また、フォトリソグラフィーによっても識別子１０１，１０２，１０３を刻印することができ、このとき露光装置のパターン形成用マスクとして例えばドット構成の液晶マスクを用いることにより、特にマザー液晶表示パネル５の個々のパネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）に対して異なるパネル識別子１０３の形成が容易に行うことができる。
【００３９】
また、識別子などの情報を電気的に記憶させるとき、ＴＦＴ基板３-ijの略中央に配される矩形領域３０６のＴＦＴアレイ以外の周辺領域３０５、つまり有効画素領域以外の部分にＥＥＰＲＯＭ（Electric Erasable Read Only Memory ）などによる専用メモリを形成して情報を記憶させる。この方法では、専用メモリに識別子以外の必要な情報も保持させることができる。
【００４０】
例えば、ｍ×ｎ個の液晶表示パネル５-11〜５-mnの電気的特性を検査した後、この検査結果を含めて識別子の情報とともに識別子の専用記憶領域に書き込むができる。また、液晶表示パネル５-ij出荷前における最終の電気特性検査のとき、この電気的な検査と同時に専用記憶領域に識別子の情報とともに最終の電気特性検査の情報などを書き込むこともできる。
なお、電気的に情報を記憶させたとき、書き込まれた情報は、予め設けられた読み出しピンを用い、液晶表示パネル５-ij自体の動作に関与しない読み出し命令により読み出されるようにする。
【００４１】
次に、識別子を用いた欠陥分類システムについて図６〜図１４を参照して説明する。
図６は本例の識別子を用いた液晶表示パネルの欠陥分類システムの概略フロー図である。
上述したように液晶表示パネルの製造工程は、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０とマザーＣＦ基板製造工程６２０と液晶表示パネル組立工程６３０と、大きく３つに分けられる。
ここで、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０で完成したマザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板製造工程６２０で完成したマザーＣＦ基板４とを、張り合わせてから点灯検査６３１する工程までを液晶表示パネル組立工程６３０とする。
【００４２】
マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１の検査結果と、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１の検査結果は、図６に示すように、欠陥解析データベース６４０の欠陥検査データベース６４１の領域に格納される。また、液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１の検査結果は、欠陥解析データベース６４０の点灯検査データベース６４２の領域に格納される。
【００４３】
次に、図７を参照してディレクトリ構成とされた欠陥解析データベースについて説明する。
図７に示すツリー構造で四角で示すブロックは、情報を格納する記憶領域であり、複数ある同種の記憶領域の一部を代表して示している。
【００４４】
先ず、図７に示す欠陥解析データベース６４０の欠陥検査データベース６４１を説明する。
欠陥検査データベース６４１は、図７に示すように、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１の検査結果が格納されるＴＦＴプロセス情報と、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１の検査結果が格納されるカラーフィルタープロセス情報とで構成されている。
【００４５】
ＴＦＴプロセス情報は、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１で検査された全マザーＴＦＴ基板のロット番号、つまり図１に示すＴＦＴ識別子１０１のＴＦＴロット番号が格納されている。
また、カラーフィルタープロセス情報は、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１で検査された全マザーＣＦ基板のロット番号、つまりＣＦ識別子１０２のカラーフィルターロット番号が格納されている。
【００４６】
各ＴＦＴロット番号には、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１で検査した全工程名が格納されている。各工程名には、欠陥検査６１１で検査されたＴＦＴ識別子１０１のＴＦＴ基板番号が格納されている。
各ＴＦＴ基板番号には、その基板で検出された欠陥数と、１から欠陥数までの連番とされた欠陥番号が格納されている。各欠陥番号は、欠陥検査６１１で検出された欠陥位置を示す座標X， 座標Y、その欠陥の面積、欠陥モード、欠陥画像ファイル名で構成されている。ここで欠陥画像ファイル名は、欠陥検査６１１において、例えばCCDカメラなどの撮像装置で画像取得した欠陥画像のデータファイル名である。
欠陥座標X と欠陥座標Yは、それぞれマザーＴＦＴ基板３に設定した図４Ａに示すｘｙ座標系の原点３００からのｘ軸方向の距離、ｙ軸方向の距離である。
【００４７】
各カラーフィルターロット番号は、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１で検査された全工程名が格納されている。各工程名には、欠陥検査６２１で検査されたＣＦ識別子１０２のカラーフィルター基板番号が格納されている。各カラーフィルター基板番号には、マザーＣＦ基板４で検出された欠陥数と、連番の欠陥番号が格納されている。
各欠陥番号は、欠陥検査６２１で検出された欠陥位置を示す欠陥座標X’，欠陥座標Y’、その欠陥の面積、欠陥モード、欠陥画像ファイル名で構成されている。
欠陥座標X’と欠陥座標Y’は、それぞれマザーＣＦ基板４に設定した図４Ｂに示すｘ’ｙ’座標系の基板原点４００からのｘ’軸方向の距離、ｙ’軸方向の距離である。
【００４８】
次に、図７に示す欠陥解析データベース６４０の点灯検査データベース６４２について説明する。
【００４９】
点灯検査データベース６４２は、液晶表示パネル組立工程６３０における点灯検査６３１で検査された液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）単位の点灯検査結果を、ＴＦＴ基板３-ijでのＴＦＴ基板欠陥情報とＣＦ基板４-ijでのカラーフィルター基板欠陥情報とに分離し、且つマザーＴＦＴ基板３あるいはマザーＣＦ基板４毎に集計して構成されている。
つまり、図１に示すように、液晶表示パネル５-ijに設けられるパネル識別子１０３を構成するＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２及びパネル番号ｉｊとから、同一のＴＦＴ識別子１０１を有するＴＦＴ基板欠陥情報だけが集計され、また同一のＣＦ識別子１０２を有するＣＦ基板欠陥情報だけが集計される。
【００５０】
点灯検査データベース６４２は、図７に示すように、ＴＦＴ基板欠陥情報と、カラーフィルター基板欠陥情報とで構成されている。
ＴＦＴ基板欠陥情報は、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の全マザーＴＦＴ基板のロット番号（パネル識別子１０３のＴＦＴロット番号）が格納される。
【００５１】
各ＴＦＴロット番号は、点灯検査６３１で検査された全ての液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）に設けられたパネル識別子１０３を構成するＴＦＴ基板番号から構成されている（図１参照）。
例えば，マザーＴＦＴ基板の１ロットが２０枚構成のとき、マザーＴＦＴ基板３に設けられるＴＦＴ基板番号は１〜２０となる。そして、各ＴＦＴ基板番号のそれぞれは、点灯検査６３１で検査されたｍ×ｎ個の液晶表示パネル５-11〜５-mnのパネル識別子１０３に含まれるパネル位置番号１１，１２，１３，…２１，２２，２３，…，ｉｊ，…，ｍｎから構成される。
【００５２】
そして、パネル位置番号ｉｊは、ＴＦＴ基板３-ijで検出された欠陥数と点灯検査６３１で分類された点灯欠陥モードで構成されている。各欠陥モードには、モード毎の欠陥数と、連番の欠陥番号が格納されている。
各欠陥番号は、欠陥検査６１１で検出された欠陥位置を示す欠陥座標X, 欠陥座標Y、その欠陥の面積、欠陥モード、欠陥画像ファイル名で構成されている。
欠陥座標Xと欠陥座標Yは、それぞれ液晶表示パネル５-ijの点灯検査原点５００からのＸ軸方向の距離、Y軸方向の距離を、マザーＴＦＴ基板３の原点３００からのｘ軸方向の距離、ｙ軸方向の距離に変換して格納される。
【００５３】
例えば、液晶表示パネル５-54における点灯検査で、図５Ａに示すＸＹ座標系での座標(ｐＸ，ｐＹ)の位置に欠陥５０２が見出されたとき、欠陥５０２の座標(ｐＸ，ｐＹ)を、図４Ａに示すマザーＴＦＴ基板３のｍ=５、ｎ=４のｘｙ座標系での座標(ｋｘ，ｋｙ)への変換例を説明する。
このとき、パネル位置はｉｊ＝５４なので図３で示したマザーＴＦＴ基板３において、液晶表示パネルの大きさがｘｐ×ｙｐであり、液晶表示パネル５-54に対応するのがＴＦＴ基板３-54であることから、  ｋｘ＝ｘｐ×（ｍ−１）＋ｐＸ＝ｘｐ×4＋ｐＸ、ｋｙ＝ｙｐ×(ｎ−１)ｐＹ＝ｙｐ×３＋ｐＹ  で求めることができる。
つまり、点灯検査６３１における欠陥５０２の液晶表示パネル５-ijでの位置（座標）を、マザーＴＦＴ基板３上のｘｙ座標系での欠陥位置として把握することができる。
【００５４】
一方、カラーフィルター基板欠陥情報は、マザーＣＦ基板製造工程６２０の全カラーフィルターロット番号（パネル識別子１０３のカラーフィルターロット番号）が格納されている。各カラーフィルターロット番号は、点灯検査６３１で検査されたパネル識別子１０３の全カラーフィルター基板番号で構成されている（図１参照）。
例えば、マザーＣＦ基板の１ロットが２０枚構成のとき、マザーＣＦ基板４に設けられるカラーフィルター基板番号は１から２０となる。そして、各ＣＦ基板番号のそれぞれは、点灯検査６３１で検査されたｍ×ｎ個の液晶表示パネル５-11〜５-mnのパネル識別子１０３に含まれるパネル位置番号１１，１２，１３，…２１，２２，２３，…，ｉｊ，…，ｍｎから構成される。
【００５５】
そして、パネル位置番号ｉｊは、ＣＦ基板４-ijで検出された欠陥数と点灯検査６３１で分類された点灯欠陥モードで構成されている。各欠陥モードには、モード毎の欠陥数と、連番の欠陥番号が格納されている。
各欠陥番号は、欠陥検査６２１で検出された欠陥位置を示す欠陥座標X’，欠陥座標Y’で構成されている。
欠陥座標X’、欠陥座標Y’は、それぞれ液晶表示パネル５-ijの点灯検査原点５００からのＸ軸方向の距離、Y軸方向の距離を、マザーＣＦ基板４の原点４００からの距離に変換して格納される。
【００５６】
例えば、液晶表示パネル５-54における点灯検査で、図５Ａに示すＸＹ座標系での座標(ｐＸ，ｐＹ)の位置に欠陥５０２が見出されたとき、欠陥５０２の座標(ｐＸ，ｐＹ)を、図４Ｂに示すマザーＣＦ基板４のｍ=５、ｎ=４のｘ’ｙ’座標系での座標(ｋｘ’，ｋｙ’)への変換例を説明する。
このとき、パネル位置はｉｊ＝５４なので上述マザーＴＦＴ基板３にけるとＴ同様に、マザーＣＦ基板４において、液晶表示パネルの大きさがｘｐ×ｙｐであり、液晶表示パネル５-54に対応するのがＣＦ基板４-54であることから、  ｋｘ’＝ｘｐ×（ｍ−１）＋ｐＸ’＝ｘｐ×4＋ｐＸ’、ｋｙ’＝ｙｐ×(ｎ−１)ｐＹ’＝ｙｐ×３＋ｐＹ’  で求めることができる。
つまり、点灯検査６３１における欠陥５０２の液晶表示パネル５-ijでの位置（座標）を、マザーＣＦ基板４上のｘ’ｙ’座標系での欠陥位置として把握することができる。
【００５７】
次に、点灯検査６３１での見出された欠陥を、マザーＴＦＴ基板３における欠陥検査６１１での欠陥情報またはマザーＣＦ基板４での欠陥検査６２１での欠陥情報と照合する仕方について図８及びＢを参照して説明する。
【００５８】
図８は、液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検査された液晶表示パネル５-11〜-mnの結果をマザー液晶表示パネル５として集計し、点灯検査結果と、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１で検査された検査結果を照合することにより、点灯検査結果での欠陥がどのプロセス＆工程で発生したかを特定する仕方を模式的に示したものである。
また、図９は同様に、液晶表示パネル５-11〜-mnの点灯検査結果をマザー液晶表示パネル５として集計し、点灯検査結果と、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１で検査された検査結果を照合することにより、点灯検査結果での欠陥がどのプロセス＆工程で発生したかを特定する仕方を模式的に示したものである。
【００５９】
図８は液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検査された液晶表示パネル５-11〜-mnの点灯検査結果からマザーＴＦＴ基板３におけるＴＦＴ基板欠陥情報を分離し、且つマザー液晶表示パネル５として集計した点灯検査の結果８１０と、成膜工程後の欠陥検査６１１の検査結果８３０と露光工程後の欠陥検査６１１の検査結果８２０の照合例を示したものである。
点灯検査６３１での欠陥８１２は、成膜工程後の欠陥検査６１１の検査結果８３０の欠陥８３１と位置が対応するので成膜工程起因であることが分かる。また、欠陥８１３は、露光工程後の欠陥検査６１１の検査結果８２０の欠陥８２１と対応するので露光工程起因であることが分かる。
【００６０】
そして、点灯検査６３１での欠陥８１４，８１５は、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０の欠陥検査６１１での成膜工程後の結果８２０と露光工程後の検査結果８３０に対応する欠陥が見出されていないことがわかる。
また、成膜工程後の検査結果８３０での欠陥８３２と、露光工程後の検査結果８２０での欠陥８２２とは、欠陥検査６１１では欠陥として検出されたが、最終的に行われる点灯検査６３１では欠陥とならなかった欠陥であることが分かる。なお、点灯検査６３１で同じ図形で示す欠陥８１３と欠陥８１４は同一の欠陥モードである。
【００６１】
図９は、液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検査された液晶表示パネル５-11〜-mnの点灯検査結果からマザーＣＦ基板４におけるカラーフィルター基板欠陥情報を分離し、且つマザー液晶表示パネル５として集計した点灯検査の結果８４０と、エッチング工程後の欠陥検査６２１の検査結果８５０の照合例を示したものである。点灯検査での欠陥８１５は、エッチング工程後の欠陥検査６２１の検査結果８５０の欠陥８５２と位置が対応しているのでエッチング工程起因であることが分かる。
【００６２】
点灯検査６３１での図９に示す欠陥８１２，８１３，８１４は、マザーＣＦ基板製造工程６２０の欠陥検査６２１では、対応する欠陥が見出されていないことから検出されなかったことが分かる。
また、欠陥８５１は、欠陥検査６２１では欠陥として検出されたが、最終的に行われる点灯検査６３１では欠陥とならなかった欠陥であることが分かる。
なお、図９に示す模式説明図では、マザー液晶表示パネル５の点灯検査結果８４０の欠陥位置を、図８に示す点灯検査結果８１０の欠陥位置と対応させて示したので、これに伴い原点４００としｘ’ｙ’座標系を有するマザーＣＦ基板４での検査結果８５０を、図４Ｂに示す図に対して、ｙ’軸に対し反転して示している。
【００６３】
このように、最終的に行われる液晶表示パネル５-11〜-mnの点灯検査６３１の結果８１０と、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０での欠陥検査６１１での欠陥情報と、及びマザーＣＦ基板製造工程６２０での欠陥検査６２１での欠陥情報とから、点灯検査の結果８１０での欠陥がどの工程起因によるものであるかを、識別子１０１，１０２，１０３をキーとして照合することにより知ることができる。
【００６４】
次に、本システムを使用した欠陥の表示例を、図６，図１０〜図１４を参照して説明する。図６に示す欠陥解析データベース６４０の操作端末６５０に、図１０に示す表示画面９００が表示される。表示画面９００は、データ選択メニュー９１０、グラフ表示メニュー９２０、マップ表示メニュー９３０、画像表示メニュー９４０、終了メニュー９５０で構成されている。
【００６５】
データ選択メニュー９１０を選択すると表示領域９０１に、データの範囲を選択するためのロット指定９１１、基板指定９１２、工程指定９１３、装置指定９１４が表示される。
先ず、欠陥を特定したいロット範囲をロット指定９１１で選択する。次に特定したい基板を基板指定９１２で選択する。次に特定したい工程や装置を工程指定９１３、装置指定９１４で選択する。ここで装置指定９１４は、同一工程で複数の欠陥検査装置により並列的に検査されるときに装置指定するものである。
データ選択メニュー９１０でデータを選択したら、グラフ表示メニュー９２０、マップ表示メニュー９３０、画像表示メニュー９４０で所望の表示を選択する。グラフ表示メニュー９２０を選択すると図１１のようなグラフが表示される。
【００６６】
図１１Ａは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥モード毎の欠陥数を示すものである。このグラフにより欠陥モード毎の異常値管理が可能となる。図１１Ｂは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥の工程毎の欠陥数を示したものである。このグラフにより工程毎の異常値管理が可能となる。
また、グラフ表示メニュー９２０により、図１２Ａ及びＢに示すような円グラフも表示することができる。図１２Ａは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥モード毎の欠陥数の比率を示したものである。図１２Ｂは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥の工程毎の欠陥数の比率を示したものである。
【００６７】
マップ表示メニュー９３０を選択すると、図１３に示すようなマップを表示することができる。図１３Ａは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥モード毎の欠陥位置を示したものである。このグラフにより欠陥モードに欠陥位置依存性があるかどうかを把握することができる。
図１３Ｂは、指定されたロットに対する液晶表示パネル組立工程６３０の点灯検査６３１で検出された欠陥の工程毎の欠陥位置を示したものである。このグラフにより工程毎の欠陥位置依存性があるかどうかが分かる。
【００６８】
また図１３Ａ及びＢに示す表示領域９０１上の欠陥、たとえば欠陥１２０１をクリックすると、図１４に示すように、その欠陥位置の欠陥画像が表示されるようになされる。
なお、画像表示メニュー９４０を選択すると、表示されているグラフやマップの全画像一覧を表示することができ、一覧から指定画像をクリックすると、図１４のような画像に拡大することができる。
【００６９】
このように構成した液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法によれば、製造工程の情報を示すＴＦＴ識別子１０１をマザーＴＦＴ基板製造工程６１０の投入前にマザーＴＦＴ基板に付与し、ＣＦ識別子１０２をマザーＣＦ基板製造工程６２０の投入前にマザーＣＦ基板に付与し、ＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２とパネル位置番号とからなるパネル識別子１０３を張り付け後で分離前のマザー液晶表示パネル５の個々の液晶表示パネル５-11〜-mnに付与し、液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）の点灯検査６３１を行う。
【００７０】
そして、点灯検査６３１で欠陥を発生した液晶表示パネル５-ijのパネル識別子１０３から、パネル位置番号ｉｊとＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２とを得て、マザーＴＦＴ基板製造工程６１０、マザーＣＦ基板製造工程６２０、液晶表示パネル組立工程６３０、での作業時期、作業条件、欠陥発生工程、プロセス条件、製造装置、欠陥が発生したパネル位置番号ｉｊなどの情報を順次検索できるようにし、欠陥の原因となった工程、製造装置、製造条件を特定することができる。
【００７１】
そして、個々に分割した液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）にそれぞれのパネル識別子１０３を持たせ、マザーＴＦＴ基板３の欠陥検査の欠陥情報とマザーＣＦ基板４の欠陥検査の欠陥情報とを、個々に分割した液晶表示パネル５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）の点灯検査した結果情報をＴＦＴ識別子１０１とＣＦ識別子１０２とで照合させ、個々に分割した液晶表示パネル５-ijの点灯検査の結果情報を基に、マザーＴＦＴ基板３とマザーＣＦ基板４での欠陥情報を自動分類し、欠陥原因の究明などを、短期間で効率よく行うことができる。
【００７２】
なお、点灯検査６３１から得られた欠陥位置を、マザーＴＦＴ基板３あるいはマザーＣＦ基板４の座標として変換する際の位置精度は、１００μｍ程度で十分である。これは、画素の大きさが６０〜７０μｍ程度であるため位置精度を厳しくしてもあまり大きな実益が得られないこと、最終的には目視により欠陥の照合を行うため、この照合の際の判断情報が得られれば十分であるからである。
【００７３】
本例の液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法によれば、欠陥箇所を迅速に特定し対処することで効率の高い液晶表示パネルの製造を行うことができる。
【００７４】
本発明の液晶表示パネル、液晶表示パネルの工程識別子の付与方法及び液晶表示パネルの欠陥特定方法は、上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成を採り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本発明の一実施の形態の例による液晶表示パネルの識別子の構成を説明する線図である。
【図２】図１例の液晶表示パネルを構成するマザーＴＦＴ基板とマザーＣＦ基板のロット構成を説明する説明図である。
【図３】本発明の一実施の形態の例による液晶表示パネルの識別子付与方法で、この識別子を構成するマザーＴＦＴ基板の座標設定の例を示す説明図である。
【図４】本発明の一実施の形態の例による液晶表示パネルの識別子付与方法で、この識別子を構成する、ＡはマザーＴＦＴ基板と付与位置の例を示し、ＢはマザーＣＦ基板と付与位置の例を示す説明図である。
【図５】本発明の一実施の形態の例による液晶表示パネルの識別子付与方法で、図４Ａ例のマザーＴＦＴ基板と図４Ｂ例のマザーＣＦ基板が張り合わされて個々の液晶表示パネルに分離された状態を示し、Ａは液晶表示パネルの座標設定の例を示し、Ｂはパネル識別子の付与領域の説明図である。
【図６】本発明の一実施の形態の例による液晶表示パネルの欠陥特定方法で、液晶表示パネルの製造工程及び欠陥解析システムの例を示す説明図である。
【図７】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での欠陥解析システムのディレクトリ構成とされた欠陥解析データベースの説明図である。
【図８】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での液晶表示パネルの製造工程での点灯検査での検査結果で見出された欠陥の発生工程をマザーＴＦＴ基板の欠陥と照合する仕方の説明図である。
【図９】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での液晶表示パネルの製造工程での点灯検査での検査結果で見出された欠陥の発生工程をマザーＣＦ基板の欠陥との照合する仕方の説明図である。
【図１０】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での欠陥の表示（メインメニュー）の例を示す説明図である。
【図１１】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での欠陥モード毎の欠陥数の時系列表示の例を示し、Ａは欠陥モードをパラメータとした表示、Ｂは処理工程をパラメータとした表示での説明図である。
【図１２】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での欠陥の集計表示を円グラフとした例を示す説明図である。
【図１３】図６例の液晶表示パネルの欠陥特定方法での欠陥の表示をマザー基板単位で行った例を示し、ＡはマザーＴＦＴ基板上の欠陥として、ＢはマザーＣＦ基板上の欠陥として示した説明図である。
【図１４】図１３例のマザー基板上の欠陥に対応する欠陥画像の表示の例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
３…マザーＴＦＴ基板、４…マザーＣＦ（カラーフィルター）基板、５…マザー液晶表示パネル、５-ij（ｉ＝１〜ｍ，ｊ＝１〜ｎ）…液晶表示パネル、１０１…ＴＦＴ識別子、１０２…ＣＦ（カラーフィルター）識別子、１０３…パネル識別子、６１０…マザーＴＦＴ基板製造工程、６１１…（マザーＴＦＴ基板の）欠陥検査、６２０…マザーＣＦ（カラーフィルター）基板製造工程、６２１…欠陥検査、６３０…液晶表示パネル組立工程、６３１…点灯検査
【図１】
2007108590.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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