(57)【要約】【課題】１つの窓部と窓部を挟んで両側に連設された２つのＸ線遮蔽部とを一組とするＸ線シャッタ板を往復動させることにより、Ｘ線源の照射口を開閉してＸ線の照射の有無や照射時間を簡便に制御することができ、可動部が小型、軽量で省スペース性に優れるＸ線撮影用シャッタ機構の提供。【解決手段】（ａ）窓部と、窓部を挟んで両側に連設された二つのＸ線遮蔽部と、を有するＸ線シャッタ板と、（ｂ）Ｘ線シャッタ板に連設されＸ線シャッタ板を往復動させＸ線源の照射口を開閉するシャッタ開閉機構と、を有し、照射口を開放する速度と照射口を閉塞する速度が等しい構成を備えている。【選択図】図１
2007101259.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）窓部と、前記窓部を挟んで両側に連設された二つのＸ線遮蔽部と、を有するＸ線シャッタ板と、（ｂ）前記Ｘ線シャッタ板に連設され前記Ｘ線シャッタ板を往復動させＸ線源の照射口を開閉するＸ線シャッタ開閉部と、を有し、前記照射口を開放する速度と前記照射口を閉塞する速度が等しいことを特徴とするＸ線シャッタ機構。
【請求項２】
前記Ｘ線シャッタ開閉部が、カム又はクランクの回転運動を往復直線運動に変換する回転直線変換機構であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線シャッタ機構。
【請求項３】
前記Ｘ線シャッタ開閉部が、駆動モータと、前記駆動モータに配設された円板クランクと、一端が前記Ｘ線シャッタ板の一端部に揺動自在に配設され他端が前記円板クランクに回動自在に配設されたリンク軸と、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のＸ線シャッタ機構。
【請求項４】
Ｘ線源と、前記Ｘ線源の照射口に対向配置された請求項１乃至３の内いずれか１項に記載のＸ線シャッタ機構と、前記Ｘ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板を挟んで前記Ｘ線源に対向配置され被検体の透過画像を検出するイメージセンサと、を有することを特徴とするＸ線撮影装置。
【請求項５】
請求項１乃至３の内いずれか１項に記載のＸ線シャッタ機構により請求項４に記載のＸ線撮影装置のＸ線源の照射口を開閉するシャッタ開閉工程と、前記Ｘ線シャッタ板の前記窓部と前記Ｘ線源の照射口が重なる位置で前記被検体にＸ線を照射して前記イメージセンサで透過画像を撮影する透過画像撮影工程と、を有することを特徴とするＸ線撮影方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非破壊検査などで被検体の内部構造や内部欠陥等を観察、検査する際に、被検体の透過画像を撮影するためのＸ線シャッタ機構とそれを備えたＸ線撮影装置及びそのＸ線撮影方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、非破壊検査において、被検体の内部構造の観察や内部欠陥等を検出する方法としては、Ｘ線透視装置が用いられている。透過画像を撮影することにより、例えば基板等に実装された各種電子部品の半田部の電気接続不良等を検出し、不良品の投入を未然に防いでいた。
このようなＸ線を用いた透過画像の撮影に用いられるＸ線シャッタ機構について、様々な検討がなされている。
例えば、（特許文献１）には「回転軸に垂直な方向にＸ線が通過する開口部を有する回転ドラムを所定の速度で回転させて一定周期毎に所定のある短い時間だけＸ線を通過させて間欠放射光を得るＸ線シャッタ機構を有する回転ドラム式Ｘ線ビーム開閉装置を備え、前記回転ドラムのＸ線通過開口部が回転軸からの輻射線で規定される末広がり状の開口を有することを特徴とするＸ線照射制御装置。」が開示されている。
（特許文献２）には「Ｘ線焦点とＸ線照射野との間に配設された開閉動作可能な少なくとも２枚の遮蔽板と、該遮蔽板の近傍にそれぞれ対向配置された２個の回転部材と、該２個の回転部材を同時回転させる連結部材と、前記それぞれの回転部材に連結され、回転部材の回転運動を平行運動に変換して前記遮蔽板を開閉する動力伝達部材と、前記回転部材の回転運動を行う駆動源とを具備することを特徴とするＸ線間欠曝射装置。」が開示されている。
【特許文献１】特許第３３３４７４７号
【特許文献２】特開昭５６−７６２００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら上記従来の技術では、以下のような課題を有していた。
（１）（特許文献１）のＸ線照射制御装置で用いられるＸ線シャッタ機構は、回転軸に垂直な方向にＸ線が通過する開口部を有する回転ドラムを所定の速度で回転させるものであるため、Ｘ線シャッタ機構自体が大型化してしまい、Ｘ線源と被検体との距離が離れるので、画像の拡大率が低下し易く、小型の被検体を検査する工業用途には不向きであるという課題を有していた。
また、開口部を有する回転ドラムはＸ線遮蔽材料で形成しなければならないが、加工が複雑で生産性に欠け、重量の増加に伴って振動も大きくなり、画像品質が低下し易くなって、観察対象が微小な工業用途においては、微細な欠陥等の検出性能の信頼性に欠けるという課題を有していた。
さらに、回転ドラムを配置することにより、Ｘ線源の焦点周囲に自由な空間が無くなるため、被検体に対するＸ線の照射に障害が生じ易く、取扱い性、汎用性に欠けるという課題を有していた。
（２）（特許文献２）のＸ線間欠曝射装置では、１つの方形孔を２枚の遮蔽板で開閉する構造であるため、２枚の遮蔽板が完全に同期しなければ確実に方形孔を閉塞することができず動作安定性に欠けると共に、２枚の遮蔽板を隙間なく当接させることが困難で、Ｘ線を完全に遮蔽することができず信頼性に欠けるという課題を有していた。
また、１つの方形孔を２枚の遮蔽板で開閉する構造の場合、方形孔を開放するときは中央部から開放され、方形孔を閉塞するときは両端部から閉塞されるので、中央部の曝射時間が長く、両端部の曝射時間が短くなってしまい、照射野に対して均一にＸ線を曝射することができず、画像品質が低下し易くなるという課題を有していた。
【０００４】
本発明は上記従来の課題を解決するもので、１つの窓部と窓部を挟んで両側に連設された２つのＸ線遮蔽部とを一組とするＸ線シャッタ板を往復動させることにより、Ｘ線源の照射口を開閉してＸ線の照射の有無や照射時間を簡便に制御することができ、可動部が小型、軽量で省スペース性に優れるＸ線シャッタ機構の提供、それを備えた照射口の開放速度と閉塞速度が等しくなるようにすることにより被検体に対して均一なＸ線量での照射が可能で高品質な透過画像を得ることができ信頼性に優れるＸ線撮影装置の提供、及び短時間で連続的に複数の透過画像を撮影することができ実用性、機能性に優れるＸ線撮影方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために本発明のＸ線シャッタ機構とそれを備えたＸ線撮影装置及びそのＸ線撮影方法は、以下の構成を有している。
本発明の請求項１に記載のＸ線シャッタ機構は、（ａ）窓部と、前記窓部を挟んで両側に連設された二つのＸ線遮蔽部と、を有するＸ線シャッタ板と、（ｂ）前記Ｘ線シャッタ板に連設され前記Ｘ線シャッタ板を往復動させＸ線源の照射口を開閉するＸ線シャッタ開閉部と、を有し、前記照射口を開放する速度と前記照射口を閉塞する速度が等しい構成を有している。
この構成により、以下のような作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ板が、窓部と、窓部を挟んで両側に連設された２つのＸ線遮蔽部と、を有するので、Ｘ線シャッタ開閉部でＸ線シャッタ板を往復動させることにより、片道で１回の撮影、往復で２回の撮影を行うことができＸ線シャッタ開閉部の動作に無駄がなく、短時間で複数回の撮影が可能で実用性に優れる。
（２）Ｘ線シャッタ板に連設されたＸ線シャッタ開閉部により、Ｘ線シャッタ板を往復動させてＸ線源の照射口を開閉することができるので、撮影時以外には確実に照射口を閉塞してＸ線が照射されるのを防止でき、撮影に必要なパルスＸ線を得ることができる。
（３）Ｘ線シャッタ板の二つのＸ線遮蔽部の間に窓部が設けられ、照射口を開放する速度と照射口を閉塞する速度が等しく設定されていることにより、被検体に対するＸ線の照射量が均一となり、高精度な画像解析を行える高画質な透過画像を得ることができる。
【０００６】
ここで、Ｘ線シャッタ板の少なくとも二つのＸ線遮蔽部は、タングステンや鉛等のＸ線遮蔽材料で形成する必要がある。Ｘ線源の照射口を閉塞する際にＸ線が照射される領域がＸ線遮蔽部であるが、その周辺も含めたＸ線シャッタ板全体をＸ線遮蔽材料で形成してもよい。尚、Ｘ線遮蔽材料で形成する領域を少なくした方がＸ線シャッタ板を軽量化してＸ線シャッタ板の駆動に必要な動力及び駆動時に発生する振動を低減することができ、省エネルギー性、信頼性に優れる。
窓部はＸ線源の照射口より大きく形成するが、少なくとも二つのＸ線遮蔽部との境目の形状は、Ｘ線シャッタ板の動作方向と直交する直線状に形成することが好ましい。これにより、Ｘ線シャッタ板がＸ線源の照射口を横切る際に、一様な速度で開閉が行われ、均一なＸ線照射を行って高品質な透過画像を得ることができる。
また、窓部をＸ線源の照射口より大きく形成することにより、照射口が完全に開放された状態でＸ線シャッタ板を停止し、Ｘ線の照射時間を長くして撮影することもできる。照射口を開放する速度と閉塞する速度が等しければ、照射口の開放状態におけるＸ線シャッタ板の停止時間は任意に設定できる。
照射口が数ｍｍと小さい、マクロフォーカスＸ線源においては、Ｘ線シャッタ板を１ｃｍ幅以下の細長い板状に形成することが出来るため、小型で軽量な構成を実現でき、装置の小型化が容易で取扱い性、省スペース性に優れる。
【０００７】
Ｘ線シャッタ開閉部は、Ｘ線シャッタ板を二つのＸ線遮蔽部の間で直線的に往復動させることができればよく、駆動部自体の運動は、どのような運動でも構わない。例えば、Ｘ線シャッタ板を直接的に直線駆動するものとしては、ピストンシリンダ等の伸縮自在な駆動部の先端部にＸ線シャッタ板の一端部を接続し、駆動部を直線的に伸縮させてＸ線シャッタ板を往復動させるもの、リニアモータやソレノイド等の往復動自在な駆動部にＸ線シャッタ板の一端部を接続し、駆動部と共にＸ線シャッタ板を往復動させるもの等が好適に用いられる。また、駆動部の回転運動を直線運動に変換してＸ線シャッタ板を往復動させるものとしては、クランク軸や円板クランク等のクランク部とＸ線シャッタ板の一端部をリンクさせてクランク部の回転によってＸ線シャッタ板を往復動させるスライダクランク機構、Ｘ線シャッタ板の一端側にラックを形設し、ラックに歯合させたピニオンを正逆回転させることによりＸ線シャッタ板を往復動させるもの、Ｘ線シャッタ板の両端部に位相をずらしてインボリュートカムやハートカム等のカムを配設し、各々のカムを回転させることによりＸ線シャッタ板を往復動させるもの、Ｘ線シャッタ板の一端部に連設されたリンク部を円柱カムの外周に形成された一条の溝で案内し、円柱カムを回転させることにより円柱カムの軸方向にＸ線シャッタ板を往復動させるもの等が好適に用いられる。
【０００８】
また、Ｘ線シャッタ機構にはＸ線シャッタ板の往復動作方向と平行にＸ線シャッタ板を摺動自在に保持するガイド部を設けることが好ましい。これにより、Ｘ線シャッタ板を照射口に対して略平行に保持することができると共に、Ｘ線シャッタ板を確実に往復動作させることができる。尚、Ｘ線シャッタ板の両側部にベアリング等を配設した場合、Ｘ線シャッタ板とガイド部との間の抵抗を低減でき、往復動作の安定性に優れる。ガイド部はＸ線シャッタ板を往復動作可能に保持することができるものであればよく、Ｘ線シャッタ板の上面や底面、或いはＸ線シャッタ板に連設されたリンク部などを摺動自在に保持するものでもよい。
尚、Ｘ線シャッタ板の往復運動のストロークを長く取ることができる場合には、長尺板状のＸ線シャッタ板に、複数の窓部とＸ線遮蔽部を交互に形成してもよい。一回の動作で連続的に複数の透過画像を撮影することができ、撮影時間を大幅に短縮することができる。
Ｘ線シャッタ開閉部で回転運動を直線運動に変換する場合、回転運動の駆動源としては、ステッピングモータ（パルスモータ）、ＡＣモータやＤＣモータ、各種サーボモータ等が好適に用いられる。ステッピングモータを用いた場合、入力パルスの数及び周波数に比例して回転角度及び回転速度が変化するので、Ｘ線シャッタ板の移動量及び移動速度を容易に制御することができる。また、ステッピングモータ等の回転方向を自由に制御できるものについては、回転方向を正逆に反転させても同様の機能を実現できる。特に、Ｘ線シャッタ開閉部としてラックピニオン機構等を適用する場合には好適に用いられる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のＸ線シャッタ機構であって、前記Ｘ線シャッタ開閉部が、カム又はクランクの回転運動を往復直線運動に変換する回転直線変換機構である構成を有している。
この構成により、請求項１の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ開閉部が、カム又はクランクの回転運動を往復直線運動に変換する回転直線変換機構であることにより、駆動部を回転させるだけで、Ｘ線シャッタ板を往復動作させることができ、照射口を開放する速度と閉塞する速度を等しくすることにより、被検体への均一なＸ線照射を行うことができる。
（２）回転運動の速度を変更することにより、容易にシャッタ速度を変更することができ汎用性、実用性に優れる。
【００１０】
ここで、Ｘ線シャッタ開閉部の駆動源としては、前述のステッピングモータ、ＡＣモータやＤＣモータ、各種サーボモータ等が好適に用いられる。
ステッピングモータ等を用いて回転速度の制御を行うことにより、Ｘ線シャッタ板による照射口の開放速度と閉塞速度をほぼ等しくすることができる。回転速度の制御を行わず、回転速度（角速度）が一定状態の場合のシャッタ速度は、Ｘ線シャッタ板の閉塞位置で最も遅く、Ｘ線シャッタ板の開放位置で最も速くなるが、開放状態から閉塞状態或いは閉塞状態から開放状態に移るまでに要する時間は略一定である。したがって、平均的な開放速度と閉塞速度はほぼ等しく、Ｘ線シャッタ板の往復動作において、Ｘ線の照射時間を略一定に保つことができ、被検体に対してほぼ均一なＸ線の照射を行うことができるので、実用上の問題はない。また、Ｘ線シャッタ板の閉塞位置でシャッタ速度が最も遅くなることにより、閉塞位置の位置制御を容易かつ確実に行うことができ安全性に優れる。
【００１１】
カムとしては前述のインボリュートカムやハートカム等のような平板状のカムや円柱カム等を用いることができる。インボリュートカムやハートカム等のように単体でＸ線シャッタ板を往復動させることができないものは、Ｘ線シャッタ板の長手方向の両端にそれぞれ位相をずらして配置し、各々のカムを駆動モータで同期させて回転させればよい。また、Ｘ線シャッタ板の長手方向の一端側のみにカムを配設し、他端側にコイルばね等の弾性部材を配設するようにしてもよい。
また、クランクとしては、前述のクランク軸や円板クランク等を好適に用いることができ、回転直線変換機構として各種のスライダクランク機構を用いることができる。
【００１２】
尚、前述のようにＸ線シャッタ板の往復動作方向と平行にＸ線シャッタ板を保持するガイド部を設けた場合、Ｘ線シャッタ板と照射口とを略平行に保持することができ、Ｘ線シャッタ板を確実に往復動作させることができる。ガイド部はＸ線シャッタ板を往復動作可能に保持することができるものであればどのような構成でも構わないが、断面略コ字型の２本の凹条でＸ線シャッタ板を両側から保持するものが好適に用いられる。特に、凹条のガイド部とＸ線シャッタ板の両側部との間にベアリングを配設した場合、Ｘ線シャッタ板とガイド部との間の抵抗を低減して滑らかに往復動作を行わせることができ、動作の安定性に優れる。また、Ｘ線シャッタ板の両側部に凹条の溝を形成し、両側から凸条のガイド部で保持するようにしてもよい。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のＸ線シャッタ機構であって、前記Ｘ線シャッタ開閉部が、駆動モータと、前記駆動モータに配設された円板クランクと、一端が前記Ｘ線シャッタ板の一端部に揺動自在に配設され他端が前記円板クランクに回動自在に配設されたリンク軸と、を備えている構成を有している。
この構成により、請求項１又は２の作用に加え、以下のような作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ開閉部が、駆動モータに配設された円板クランクと、Ｘ線シャッタ板と円板クランクを連結するリンク軸とを有するので、簡単な構成により円板クランクの回転運動を直線運動に変換してＸ線シャッタ板を往復動させることができ、省スペース性に優れる。
（２）駆動モータで円板クランクを所定の角度だけ回転させることにより、Ｘ線源の照射口の開放と閉塞を容易に切り替えることができ実用性に優れる。
【００１４】
ここで、駆動モータとしては前述と同様のものが好適に用いられる。円板クランクの回転半径と、Ｘ線シャッタ板の窓部から各々のＸ線遮蔽部までのピッチとを略同等とすることにより、円板クランクが略９０度回転する毎に、Ｘ線源の照射口の開閉を切り替えることができる。円板クランクを連続的に回転させ続けた場合、連続して撮影を行うことができる。また、Ｘ線源の照射口を開放した状態で円板クランクの回転を一定時間停止させれば、その間だけＸ線を照射させることができ、Ｘ線の照射時間を任意に設定できる。
円板クランクの回転角度により、Ｘ線シャッタ板の移動量が決まるので、円板クランクの外周部などに切り欠き部を形成し、それをフォトヘッド等の透過型の光学センサで検出することにより、Ｘ線源の照射口が開放状態であるか閉塞状態であるかを容易に判別することができる。また、Ｘ線シャッタ板に切り欠き部或いは突起部を設け、その動き（位置）を直接検出するようにしてもよい。
【００１５】
請求項４に記載のＸ線撮影装置は、Ｘ線源と、前記Ｘ線源の照射口に対向配置された請求項１乃至３の内いずれか１項に記載のＸ線シャッタ機構と、前記Ｘ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板を挟んで前記Ｘ線源に対向配置され被検体の透過画像を検出するイメージセンサと、を備えている構成を有している。
この構成により、以下のような作用を有する。
（１）Ｘ線源の照射口に対向配置されたＸ線シャッタ機構と、Ｘ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板を挟んでＸ線源に対向配置され被検体の透過画像を検出するイメージセンサと、を有するので、透過画像の撮影を行わないときはＸ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板により、Ｘ線源の照射口を閉塞してＸ線の照射を停止し、透過画像の撮影を行うときには照射口を開放してＸ線を照射することができる。
（２）Ｘ線シャッタ機構により、Ｘ線シャッタ板の開閉速度やＸ線源の照射口の開放時間などを容易に変更することができ、様々な条件での撮影を短時間で行うことができ汎用性、実用性に優れる。
（３）Ｘ線シャッタ機構によりＸ線源の照射口の開閉を切替えることができるので、パルス状にＸ線を照射するＸ線源以外に、連続してＸ線を照射するＸ線源を用いることができるので、安定したＸ線出力を維持することができ信頼性に優れる。
【００１６】
ここで、イメージセンサとしては、ＣＣＤ型やＣＭＯＳ型のものが好適に用いられる。特に、平面状に形成されたイメージセンサは、撮影した画像に歪が発生し難く、装置の小型化が容易で微小物を対象とした観察に好適に用いることができる。Ｘ線シャッタ機構と組合せることにより、被検体の全面において、高精度に均一なＸ線の照射を行うことができ、高精度な画像解析が可能で信頼性に優れる。尚、Ｘ線シャッタ機構はイメージインテンシファイア（画像増倍管）等の従来型のイメージセンサへの適用も可能である。
Ｘ線撮影装置に、撮影した透過画像を表示するための表示器を備えることにより、撮影した画像を即座に確認することができ、撮影の向きや倍率等を変更しながら効率的に撮影を行うことができる。また、Ｘ線透視装置に、被検体を保持してＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能な被検体保持テーブルを備えた場合、被検体の観察位置や観察深度を任意に設定することができる。また、被検体保持テーブルがＸ，Ｙ，Ｚの各軸の周りに回転可能な場合、被検体の向きや観察角度を任意に設定することができ、観察作業性に優れる。さらに、パーソナルコンピュータ等の制御部を備えることにより、被検体保持テーブルやＸ線シャッタ機構などの動作を同期させて制御することができ、短時間で様々な条件での撮影を行うことができ、観察作業の効率性、実用性に優れる。
【００１７】
尚、撮影した透過画像のデータは制御部に配設したハードディスクやＭＯ，ＣＤ，ＤＶＤ等の各種記憶媒体に保存することができる。これにより、保存したデータの管理を容易に行うことができ、適宜、データを取出して表示器での表示を行ったり、画像処理ソフトウェア等による画像の加工等を行ったりできる。また、表示器がステレオ表示機能を有する場合、撮影した透過画像の中から角度の異なる二種類の透過画像を選択して表示器でステレオ表示することができ、短時間で正確に被検体の内部構造や内部欠陥の状態や位置を三次元的に観察できる。ステレオ表示機能を有する表示器としては、赤青メガネを利用したアナグリフ立体表示を行うもの、裸眼立体視による交差法立体表示や平行法立体表示を行うもの、単独で立体表示可能な液晶ディスプレイや立体視メガネ、或いは画面切替えが可能なディスプレイと液晶シャッターメガネを組合せたもの等が好適に用いられる。
また、これらのデータを基に、被検体内部の構造や欠陥などの状態を解析し、良否判別等を行うソフトを搭載することにより、検査装置等としても好適に用いることができる。
【００１８】
請求項５に記載のＸ線撮影方法は、請求項１乃至３の内いずれか１項に記載のＸ線シャッタ機構により請求項４に記載のＸ線撮影装置のＸ線源の照射口を開閉するシャッタ開閉工程と、前記Ｘ線シャッタ板の前記窓部と前記Ｘ線源の照射口が重なる位置で前記被検体にＸ線を照射して前記イメージセンサで透過画像を撮影する透過画像撮影工程と、を備えている構成を有している。
この構成により、以下のような作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ機構によりＸ線源の照射口を開閉するシャッタ開閉工程を有するので、Ｘ線源で連続的に発生するＸ線を照射口においてパルスＸ線に変換することができ、透過画像撮影工程において、Ｘ線シャッタ板の窓部とＸ線撮影装置のＸ線源の照射口が重なる位置で、必要な量だけのＸ線を被検体に確実に照射してイメージセンサによる透過画像の撮影を行うことができる。
（２）被検体の撮影角度や撮影深度を変化させながら、シャッタ開閉工程と透過画像撮影工程を繰り返すことにより、短時間で連続的な撮影を行うことができ、撮影した画像を時系列で切り替えて表示することにより、簡易的な動画表示が可能で観察作業の汎用性、効率性に優れる。
【００１９】
ここで、Ｘ線シャッタ機構とイメージセンサを制御部で制御することで、Ｘ線シャッタ板による照射口の開閉タイミングとイメージセンサによる画像の取り込みのタイミングを同期させることができ、短時間で確実に透過画像の撮影を行うことができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明のＸ線シャッタ機構とそれを備えたＸ線撮影装置及びそのＸ線撮影方法によれば、以下のような有利な効果が得られる。
請求項１に記載の発明によれば、以下のような効果を有する。
（１）窓部を挟んで両側に二つのＸ線遮蔽部が連設されたＸ線シャッタ板をＸ線シャッタ開閉部で往復動させることにより、片道で１回の撮影、往復で２回の撮影を行うことができ、Ｘ線シャッタ開閉部の動作に無駄がなく、短時間で複数回の撮影が可能で実用性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
（２）Ｘ線シャッタ板に連設されたＸ線シャッタ開閉部により、Ｘ線シャッタ板を往復動させてＸ線源の照射口を開閉することができるので、撮影時以外には確実に照射口を閉塞してＸ線が照射されるのを防止でき、撮影に必要なパルスＸ線を得ることができる実用性、信頼性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
（３）Ｘ線シャッタ板の二つのＸ線遮蔽部の間に窓部が設けられ、照射口を開放する速度と照射口を閉塞する速度が等しく設定されていることにより、被検体に対するＸ線の照射量が均一で、高画質な透過画像による高精度な画像解析を行うことが可能な観察作業性、信頼性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
（４）高精度で均一な再現性の良いＸ線照射により、高精度な画像解析を行うことができ、自動検査等が容易で、Ｘ線透視が必要な現場への更なる適用の拡大を実現することができる実用性、信頼性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
【００２１】
請求項２に記載の発明によれば、請求項１の効果に加え、以下のような効果を有する。（１）Ｘ線シャッタ開閉部が、カム又はクランクの回転運動を往復直線運動に変換する回転直線変換機構であることにより、駆動部を回転させるだけで、Ｘ線シャッタ板を往復動作させることができ、照射口を開放する速度と閉塞する速度を等しくすることにより、被検体への均一なＸ線照射を行うことができる。
（２）回転運動の速度を変更することにより、容易にシャッタ速度を変更することができる汎用性、実用性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
【００２２】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２の効果に加え、以下のような効果を有する。
（１）Ｘ線シャッタ開閉部が、駆動モータに配設された円板クランクと、Ｘ線シャッタ板と円板クランクを連結するリンク軸とを有するので、簡単な構成により円板クランクの回転運動を直線運動に変換してＸ線シャッタ板を往復動させることができる省スペース性、生産性、長寿命性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
（２）駆動モータで円板クランクを所定の角度だけ回転させることにより、Ｘ線源の照射口の開放と閉塞を容易に切り替えることができる取扱い性、実用性、汎用性に優れたＸ線シャッタ機構を提供することができる。
【００２３】
請求項４に記載の発明によれば、以下のような効果を有する。
（１）Ｘ線源の照射口に対向配置されたＸ線シャッタ機構と、Ｘ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板を挟んでＸ線源に対向配置され被検体の透過画像を検出するイメージセンサと、を有するので、透過画像の撮影を行わないときはＸ線シャッタ機構のＸ線シャッタ板により、Ｘ線源の照射口を閉塞してＸ線の照射を停止し、透過画像の撮影を行うときには照射口を開放してＸ線を照射することができる実用性に優れたＸ線撮影装置を提供することができる。
（２）Ｘ線シャッタ機構により、Ｘ線シャッタ板の開閉速度やＸ線源の照射口の開放時間などを容易に変更することができ、様々な条件での撮影を短時間で行うことができる汎用性、実用性に優れたＸ線撮影装置を提供することができる。
（３）Ｘ線シャッタ機構を備えることにより、パルス状にＸ線を照射するＸ線源以外に、連続してＸ線を照射するＸ線源を用いて安定したＸ線出力を維持することができる信頼性、汎用性に優れたＸ線撮影装置を提供することができる。
（４）Ｘ線シャッタ機構により、簡単な構成で均一なＸ線量を照射できるため、特に小型イメージセンサと組合せることで、コンパクトで高精度な実用性に優れたＸ線撮影装置を提供することができる。
【００２４】
請求項５に記載の発明によれば、以下のような効果を有する。
（１）Ｘ線シャッタ機構によりＸ線源の照射口を開閉できるので、Ｘ線源で連続的に発生するＸ線を照射口においてパルスＸ線に変換することができ、透過画像撮影工程において、Ｘ線シャッタ板の窓部とＸ線撮影装置のＸ線源の照射口が重なる位置で、必要な量だけのＸ線を被検体に確実に照射してイメージセンサによる透過画像の撮影を行うことができる信頼性、実用性に優れたＸ線撮影方法を提供することができる。
（２）被検体の撮影角度や撮影深度を変化させながら、シャッタ開閉工程と透過画像撮影工程を繰り返すことにより、短時間で連続的な撮影を行うことができ、撮影した画像を時系列で切り替えて表示することにより、簡易的な動画表示が可能な観察作業の汎用性、効率性に優れたＸ線撮影方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態におけるＸ線シャッタ機構とそれを備えたＸ線撮影装置及びそのＸ線撮影方法について、以下図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構を備えたＸ線撮影装置の構成を示す要部断面模式正面図である。
図１中、１は実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構６を備えたＸ線撮影装置、２はＸ線撮影装置１の装置本体を覆う遮蔽箱、３はＸ線撮影装置１の制御を行うパーソナルコンピュータ等の制御部、４は制御部３に接続され被検体２０の透過画像を表示するＸ線撮影装置１の表示器、５ａは被検体２０にＸ線を照射するＸ線管球５が収容されたＸ線撮影装置１のＸ線源、５ｂはＸ線源５ａの底部に形設された照射口５、６はＸ線源５ａの照射口５ｂに対向配置された実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構、７は長手方向の略中央に形成された窓部８を有するＸ線シャッタ機構６のＸ線シャッタ板、１１はＸ線シャッタ板７に連設されＸ線シャッタ板７を往復動させＸ線源５ａの照射口５ｂを開閉するＸ線シャッタ機構６のＸ線シャッタ開閉部、１６は被検体２０を保持する被検体保持テーブル、１７は被検体保持テーブル１６を挟んでＸ線源５ａに対向配置されＸ線が照射された被検体２０の透過画像を検出するＣＣＤ型やＣＭＯＳ型などのイメージセンサである。
【００２６】
制御部３，表示器４以外を遮蔽箱２で覆うことにより、外部へのＸ線の漏れを防止した。
被検体２０は両面テープで貼着することにより被検体保持テーブル１６上に固定した。被検体２０が比較的大きな場合などは、エアにより吸着したり、被検体２０の外形を挟持したりして固定するようにしてもよい。
被検体保持テーブル１６をＸ，Ｙ，Ｚ方向に移動可能とすることにより、被検体２０を前後、左右、上下に移動させることができ、被検体２０の任意の平面位置や深さを選択して透過画像の撮影を行うことができる。また、被検体保持テーブル１６をＸ，Ｙ，Ｚの各軸の周りに回転可能とすることにより、被検体２０の任意の向きや角度（傾き）を選択することができ、さらに詳細な観察を行うことができる。
イメージセンサ１７としては、任意のものを用いることができるが、特に平面状に形成されたものを使用した場合、画像に歪が発生し難く、微小物を対象とした観察に好適であると共に、Ｘ線撮影装置１全体を小型化することができ、省スペース性に優れる。
【００２７】
制御部３では、Ｘ線シャッタ機構６、被検体保持テーブル１６、イメージセンサ１７などの動作を同期させて制御することができるので、短時間で様々な条件での撮影を行うことができ、観察作業の効率性、実用性に優れる。
また、透過画像や観察条件等のデータは制御部３に配設したハードディスクやＭＯ，ＣＤ，ＤＶＤ等の各種記憶媒体に保存することができる。これにより、保存したデータの管理を容易に行うことができ、適宜、データを取出して表示器４での表示を行ったり、画像処理ソフトウェア等による画像の加工等を行ったりできる。特に、表示器４がステレオ表示機能を有する場合、撮影した透過画像の中から撮影角度の異なる二種類の透過画像を選択して表示器４でステレオ表示することができ、短時間で正確に被検体２０の内部構造や内部欠陥の状態や位置を三次元的に観察できる。
【００２８】
次に、本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構の構成について詳細に説明する。
図２（ａ）は本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図であり、図２（ｂ）は本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構の要部断面正面図であり、図２（ｃ）は図２（ｂ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。
図２中、９ａ，９ｂは略矩形状に形成された窓部８を挟んで両側に連設されたＸ線シャッタ板７の二つのＸ線遮蔽部、１０は断面略コ字型の凹条に形成されＸ線シャッタ板７の往復動作方向（長手方向）と平行にＸ線源５ａの底部に連設されてＸ線シャッタ板７を摺動自在に保持するＸ線シャッタ機構６の２本のガイド部、１０ａはＸ線シャッタ板７の両側の長手方向に複数配設されガイド部１０に案内されるベアリング、１２はステッピングモータを用いたＸ線シャッタ開閉部１１の駆動モータ、１２ａは駆動モータ１２の駆動軸、１３は駆動軸１２ａを介して駆動モータ１２に配設されたＸ線シャッタ開閉部１１の円板クランク、１３ａは円板クランク１３の外周部に略９０度置きに４箇所形成された切り欠き部、１４は一端が揺動固定部１４ａによりＸ線シャッタ板７の一端部に揺動自在に配設され他端が回動固定部１４ｂにより円板クランク１３に回動自在に配設されたＸ線シャッタ開閉部１１のリンク軸、１５は円板クランク１３を挟むように配設され切り欠き部１３ａを検出するフォトヘッド等の透過型の光学センサである。
【００２９】
Ｘ線シャッタ板７の少なくとも二つのＸ線遮蔽部９ａ，９ｂは、タングステンや鉛等のＸ線遮蔽材料で形成した。Ｘ線源５ａの照射口５ｂを閉塞する際にＸ線が照射される領域がＸ線遮蔽部９ａ，９ｂであるが、その周辺も含めたＸ線シャッタ板７全体をＸ線遮蔽材料で形成してもよい。尚、Ｘ線遮蔽材料で形成する領域を少なくした方がＸ線シャッタ板７を軽量化してＸ線シャッタ板７の駆動に必要な動力及び駆動時に発生する振動を低減することができ、省エネルギー性、信頼性に優れる。
窓部８はＸ線源５ａの照射口５ｂより大きな略矩形状に形成した。これにより、Ｘ線シャッタ板７のＸ線遮蔽部９ａ，９ｂがＸ線源５ａの照射口５ｂを横切る際に、Ｘ線シャッタ板７の幅方向（図２（ａ）の上下方向）に一様な開閉が行われ、均一なＸ線照射を行って高品質な透過画像を得ることができる。尚、窓部８の形状はこれに限定されるものではなく、少なくとも二つのＸ線遮蔽部９ａ，９ｂとの境目の形状が、Ｘ線シャッタ板７の動作方向と直交する直線状に形成されていればよい。
【００３０】
Ｘ線シャッタ機構６がＸ線シャッタ板７の往復動作方向と平行にＸ線シャッタ板７を保持するガイド部１０を有することにより、Ｘ線シャッタ板７と照射口５ｂとを略平行に保持することができ、Ｘ線シャッタ板を確実に往復動作させることができる。また、Ｘ線シャッタ板７の両側部にベアリング１０ａを配設することにより、Ｘ線シャッタ板７とガイド部１０との間の抵抗を低減でき、往復動作の安定性に優れる。尚、ガイド部１０はＸ線シャッタ板７を往復動作可能に保持することができるものであればよく、Ｘ線シャッタ板７の上面や底面、或いはリンク軸１４の揺動固定部１４ａを摺動自在に保持するものでもよい。
本実施の形態では、Ｘ線シャッタ開閉部１１として、円板クランク１３とリンク軸１４の組合せを用いたが、これに限定されるものではなく、Ｘ線シャッタ板７を二つのＸ線遮蔽部９ａ，９ｂの間で直線的に往復動させることができるものであればよい。例えば、ピストンシリンダ等の駆動部が直線的に伸縮してＸ線シャッタ板７を往復動させるもの、円板クランク１３とリンク軸１４の組合せ以外のスライダクランク機構，ラックとピニオンの組合せ，Ｘ線シャッタ板７の長手方向の一端側にインボリュートカムやハートカム等のカムを配設し他端側に同様のカムを位相を９０度ずらして配設するか或いはコイルばね等の弾性部材を配設したもの，等を用いて回転運動を直線運動に変換するもの、リニアモータや、ソレノイド等によりＸ線シャッタ板７を直接的に直線駆動するもの等が好適に用いられる。
【００３１】
駆動モータ１２としてステッピングモータを用いることにより、入力パルスの数及び周波数に比例して円板クランク１３の回転角度及び回転速度が変化するので、Ｘ線シャッタ板７の移動量及び移動速度を容易に制御することができる。
円板クランク１３の回転半径と、Ｘ線シャッタ板７の窓部８から各々のＸ線遮蔽部９ａ，９ｂまでのピッチは略同等に形成した。これにより、円板クランク１３が略９０度回転する毎に、Ｘ線源５ａの照射口５ｂの開閉を切り替えることができる。円板クランク１３を連続的に回転させ続けた場合、連続的にＸ線シャッタ板７を往復動させて撮影を行うことができる。また、Ｘ線源５ａの照射口５ｂを開放した状態で円板クランク１３の回転を一定時間停止させれば、その間だけＸ線を照射させることができ、Ｘ線の照射時間を任意に設定できる。
円板クランク１３の回転角度により、Ｘ線シャッタ板７の移動量が決まるので、円板クランク１３に形成した切り欠き部１３ａを光学センサ１５で検出し、Ｘ線源５の照射口５ｂの完全開放状態及び完全閉塞状態を確実に検出することができる。
本実施の形態では、切り欠き部１３ａと透過型の光学センサ１５の組合せで、Ｘ線源５ａの照射口５ｂの開閉状態を判別したが、切り欠き部１３ａや光学センサ１５の数、形状、配置等は本実施の形態に限定されるものではない。また、照射口５ｂの開放状態及び閉塞状態を検出する判別手段も本実施の形態に限定されるものではなく、反射型の光学センサを用いてもよいし、円板クランク１３の回転角度を検出する以外に、直接、Ｘ線シャッタ板７の移動量（位置）を検出するようにしてもよい。
【００３２】
以上のように形成された実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構を備えたＸ線撮影装置のＸ線撮影方法をＸ線シャッタ機構の動作に基づいて説明する。
図３（ａ）はＸ線照射前の照射口の閉塞状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図であり、図３（ｂ）はＸ線照射時の照射口の開放状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図であり、図３（ｃ）はＸ線照射後の照射口の閉塞状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図である。
まず、シャッタ開閉工程の初期状態においては、図３（ａ）に示すように、照射口５ｂとＸ線シャッタ板７のＸ線遮蔽部９ａが重なり、照射口５ｂが閉塞されている。図３（ａ）の照射口５ｂの閉塞状態から、駆動モータ１２により円板クランク１３を時計回りに９０度回転させると、Ｘ線シャッタ板７が左方向に移動し、図３（ｂ）に示したように窓部８とＸ線源５ａの照射口５ｂが重なった開放状態となる。このとき、被検体２０にＸ線が照射されイメージセンサ１７で透過画像を撮影する透過画像撮影工程が行われる。
さらに駆動モータ１２により円板クランク１３を時計回りに９０度回転させると、Ｘ線シャッタ板７が左方向に移動し、図３（ｃ）に示したようにＸ線遮蔽部９ｂとＸ線源５ａの照射口５ｂが重なって閉塞状態となり、一回の撮影が終了する。
【００３３】
尚、円板クランク１３の回転速度を制御し、照射口５ｂを開放する速度と閉塞する速度をほぼ等しくすることにより、Ｘ線の照射量を略均一にすることができる。また、回転速度の制御を行わず、回転速度（角速度）が一定状態の場合のシャッタ速度は、Ｘ線シャッタ板７の閉塞位置で最も遅く、Ｘ線シャッタ板７の開放位置で最も速くなるが、開放状態から閉塞状態或いは閉塞状態から開放状態に移るまでに要する時間は略一定である。したがって、照射口５ｂの平均的な開放速度と閉塞速度は等しくなり、Ｘ線シャッタ板７の往復動作において、Ｘ線の照射時間を略一定に保つことができ、被検体２０に対してほぼ均一なＸ線の照射を行うことができ、シャッタ速度の制御が容易で実用性に優れる。
【００３４】
図３（ａ）〜（ｃ）のＸ線シャッタ機構６の一連の動作がシャッタ開閉工程である。次に透過画像の撮影を行う場合には、図３（ｃ）の状態がシャッタ開閉工程の初期状態となり、図３（ｃ）から図２（ａ）の状態に移行して透過画像撮影工程を行った後、図３（ａ）の状態に戻ってシャッタ開閉工程が終了する。
以上のように、円板クランク１３が１８０度回転する毎にＸ線シャッタ板７が右端から左端、或いは左端から右端へと移動してシャッタ開閉工程を行い、その中間地点において透過画像撮影工程を行うことができるので、Ｘ線シャッタ板７の動作に無駄がなく、連続撮影も容易に行うことができる。
【００３５】
以上のように実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構は構成されているので、以下の作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ板７が、窓部８と、窓部８を挟んで両側に連設された二つのＸ線遮蔽部９ａ，９ｂと、を有するので、Ｘ線シャッタ開閉部１１でＸ線シャッタ板７を往復動させることにより、片道で１回の撮影、往復で２回の撮影を行うことができ、Ｘ線シャッタ開閉部１１の動作に無駄がなく、短時間で複数回の撮影が可能で実用性に優れる。
（２）Ｘ線シャッタ板７に連設されたＸ線シャッタ開閉部１１により、Ｘ線シャッタ板７を往復動させてＸ線源５ａの照射口５ｂを開閉することができるので、撮影時以外には確実に照射口５ｂを閉塞してＸ線が照射されるのを防止でき、撮影に必要なパルスＸ線を得ることができる。
（３）Ｘ線シャッタ板７の二つのＸ線遮蔽部９ａ，９ｂの間に窓部８が設けられ、照射口５ｂを開放する速度と照射口５ｂを閉塞する速度が等しく設定されていることにより、被検体２０に対するＸ線の照射量が均一となり、高精度な画像解析を行える高画質な透過画像を得ることができる。
（４）Ｘ線シャッタ開閉部１１が、駆動モータ１２に配設された円板クランク１３と、Ｘ線シャッタ板７と円板クランク１３を連結するリンク軸１４とを有するので、簡単な構成により円板クランク１３の回転運動を直線運動に変換してＸ線シャッタ板７を往復動させることができ、省スペース性に優れる。
（５）駆動モータ１２で円板クランク１３を所定の角度だけ回転させることにより、Ｘ線源５ａの照射口５ｂの開放と閉塞を容易に切り替えることができ実用性に優れる。
【００３６】
実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構を備えたＸ線撮影装置によれば、以下の作用を有する。
（１）Ｘ線源５ａの照射口５ｂに対向配置されたＸ線シャッタ機構６と、Ｘ線シャッタ機構６のＸ線シャッタ板７を挟んでＸ線源５ａに対向配置され被検体２０の透過画像を検出するイメージセンサ１７と、を有するので、透過画像の撮影を行わないときはＸ線シャッタ機構６のＸ線シャッタ板７により、Ｘ線源５ａの照射口５ｂを閉塞してＸ線の照射を停止し、透過画像の撮影を行うときには照射口５ｂを開放してＸ線を照射することができる。
（２）Ｘ線シャッタ機構６により、Ｘ線シャッタ板７の開閉速度やＸ線源５ａの照射口５ｂの開放時間などを容易に変更することができ、様々な条件での撮影を短時間で行うことができ汎用性、実用性に優れる。
（３）Ｘ線シャッタ機構６によりＸ線源５ａの照射口５ｂの開閉を切替えることができるので、パルス状にＸ線を照射するＸ線源５ａ以外に、連続してＸ線を照射するＸ線源５ａを用いることができるので、安定したＸ線出力を維持することができ信頼性に優れる。
【００３７】
実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構を備えたＸ線撮影装置のＸ線撮影方法によれば、以下の作用を有する。
（１）Ｘ線シャッタ機構６によりＸ線源５ａの照射口５ｂを開閉するシャッタ開閉工程を有するので、Ｘ線源５ａで連続的にＸ線が発生する場合でも照射口５ｂにおいてパルスＸ線に変換することができ、透過画像撮影工程において、Ｘ線シャッタ板７の窓部８とＸ線撮影装置１のＸ線源５ａの照射口５ｂが重なる位置で、必要な量だけのＸ線を被検体２０に確実に照射してイメージセンサ１７による透過画像の撮影を行うことができる。
（２）被検体保持テーブル１６で被検体２０の撮影角度や撮影深度を変化させながら、シャッタ開閉工程と透過画像撮影工程を繰り返すことにより、短時間で連続的な撮影を行うことができ、撮影した画像を時系列で切り替えて表示器４で表示することにより、簡易的な動画表示が可能で観察作業の汎用性、効率性に優れる。
【００３８】
（実施の形態２）
図４（ａ）は本発明の実施の形態２におけるＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図である。尚、実施の形態１と同様のものは同じ符号を付して説明を省略する。
図４において、実施の形態２におけるＸ線シャッタ機構が実施の形態１と異なるのは、Ｘ線シャッタ開閉部１１ａが、円板クランク１３の代わりに、外周に一条の案内溝２３ａが形成された円柱カム２３を有し、駆動モータ１２で円柱カム２３を回転させることにより、リンク軸１４の先端部に突設されたガイドピン１４ｃを案内溝２３ａに沿って移動させ、円柱カム２３の軸方向にＸ線シャッタ板７を往復動させている点である。
尚、２４はガイド部１０に連設されリンク軸１４を案内するリンク軸案内部である。これにより、リンク軸１４を保持して往復動作を安定させることができる。
【００３９】
円柱カム２３が一回転する間に、Ｘ線シャッタ板７を等速で一往復させることができ、円柱カム２３が９０度回転する毎に、実施の形態１と同様に照射口５ｂの開閉を切替えて透過画像の撮影を行うことができる。
このとき、実施の形態１と同様に駆動モータ１２の回転速度などを制御することにより、Ｘ線シャッタ板７の往復動の速度や照射口５ｂの開放時間を制御できる。また、案内溝２３ａの形状を適宜、選択することにより、駆動モータ１２の回転速度に対応するＸ線シャッタ板７の往復動の速度を変化させることができる。さらに、案内溝２３ａの形状により、駆動モータ１２が回転してもＸ線シャッタ板７が移動しない期間を設けることができ、Ｘ線シャッタ板７の開放位置や閉塞位置においてＸ線シャッタ板７を停止させ、Ｘ線の照射時間や透過画像の撮影間隔を調整することもできる。
【００４０】
以上のように実施の形態２におけるＸ線シャッタ機構によれば、実施の形態１の作用に加え、以下の作用を有する。
（１）円柱カム２３を等速で回転させるだけで、Ｘ線シャッタ板７を等速で往復動作させることができ、被検体２０に対するＸ線の照射量を均一にして、高精度な画像解析を行える高画質な透過画像を得ることができる。
（２）円柱カム２３に形成する案内溝２３ａの形状を選択することにより、Ｘ線シャッタ板７の往復動の速度や停止時間を調整することができ、Ｘ線の照射時間や透過画像の撮影間隔の制御が容易で汎用性、実用性に優れる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明は、非破壊検査などで被検体の内部構造や内部欠陥等を観察、検査する際に、被検体の透過画像を撮影するためのＸ線シャッタ機構とそれを備えたＸ線撮影装置及びそのＸ線撮影方法に関し、１つの窓部と窓部を挟んで両側に連設された２つのＸ線遮蔽部とを一組とするＸ線シャッタ板を往復動させることにより、Ｘ線源の照射口を開閉してＸ線の照射の有無や照射時間を簡便に制御することができ、可動部が小型、軽量で省スペース性に優れるＸ線シャッタ機構の提供、それを備えた照射口の開放速度と閉塞速度が等しく均一なＸ線照射が可能で高品質な透過画像を得ることができ信頼性に優れるＸ線撮影装置の提供、及び短時間で連続的に複数の透過画像を撮影することができ実用性、機能性に優れるＸ線撮影方法の提供を行うものであり、特に観察対象が微小な工業用途に好適に用いることができ、短時間での検査を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構を備えたＸ線撮影装置の構成を示す要部断面模式正面図
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図（ｂ）本発明の実施の形態１におけるＸ線シャッタ機構の要部断面正面図（ｃ）図２（ｂ）のＡ−Ａ線矢視断面図
【図３】（ａ）Ｘ線照射前の照射口の閉塞状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図（ｂ）Ｘ線照射時の照射口の開放状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図（ｃ）Ｘ線照射後の照射口の閉塞状態を示すＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図
【図４】（ａ）本発明の実施の形態２におけるＸ線シャッタ機構の裏面側の要部平面図（ｂ）図４（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図
【符号の説明】
【００４３】
１  Ｘ線撮影装置
２  遮蔽箱
３  制御部
４  表示器
５  Ｘ線管球
５ａ  Ｘ線源
５ｂ    照射口
６  Ｘ線シャッタ機構
７  Ｘ線シャッタ板
８  窓部
９ａ，９ｂ  Ｘ線遮蔽部
１０  ガイド部
１０ａ  ベアリング
１１，１１ａ  Ｘ線シャッタ開閉部
１２  駆動モータ
１２ａ  駆動軸
１３  円板クランク
１３ａ  切り欠き部
１４  リンク軸
１４ａ  揺動固定部
１４ｂ  回動固定部
１４ｃ  ガイドピン
１５  光学センサ
１６  被検体保持テーブル
１７  イメージセンサ
２０  被検体
２３  円柱カム
２３ａ  案内溝
２４  リンク軸案内部
【図１】
2007101259.tif 000003
【図２】
2007101259.tif 000004
【図３】
2007101259.tif 000005
【図４】
2007101259.tif 000006