(57)【要約】【課題】搬送部からガラス基板が外れた場合においてもガラス基板の破損を防止可能な基板搬送装置を提供する。【解決手段】矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路２と、浮上したガラス基板１の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側１ｂ又は両側１ｂ、１ｃを保持して、搬送路２上を強制搬送可能とする搬送部３とを備える基板搬送装置Ａにおいて、搬送路２には、強制搬送時のガラス基板１と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の搬送部３からガラス基板１が外れた時にガラス基板１を搬送路２内に止める脱落防止手段４が、搬送方向に沿って設けられ、脱落防止手段４は、ガラス基板１の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構５を備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路と、浮上した前記ガラス基板の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側又は両側を保持して、前記搬送路上を強制搬送可能とする搬送部とを備える基板搬送装置において、
前記搬送路には、強制搬送時の前記ガラス基板と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の前記搬送部から前記ガラス基板が外れた時に該ガラス基板を前記搬送路内に止める脱落防止手段が、搬送方向に沿って設けられ、該脱落防止手段は、前記基板の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
請求項１記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、少なくとも略円柱形状の回転自在な複数のローラを有するとともに、該ローラの軸線が前記搬送路の前記ガラス基板側の上面に交差するように設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２記載の基板搬送装置において、
前記ガラス基板の前記一側の外方に設けられた前記脱落防止手段の隣り合う前記ローラの間隔に対して、他側の外方に設けられた前記脱落防止手段の隣り合う前記ローラの間隔が小とされていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載の基板搬送装置において、
隣り合う前記ローラは、該ローラの軸線に直交し搬送方向に直交する中心線を基準として搬送方向上流側に向けた４５°範囲の外周面に、強制搬送時に前記搬送部から外れた前記ガラス基板の搬送方向下流側の角部が接触される間隔で設置されていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項２記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、前記ガラス基板の搬送方向に沿う少なくとも２つの前記ローラに巻き回され、該ローラによって回転自在に支持された無端状のベルトを備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項２乃至請求項４のいずれかに記載の基板搬送装置において、
前記ガラス基板の前記一側の外方に設けられた前記ローラの前記ガラス基板側の前記外周面と、強制搬送時の前記ガラス基板の前記一側との搬送方向に直交する離間距離、および他側の外方に設けられた前記ローラの前記ガラス基板側の前記外周面と、強制搬送時の前記ガラス基板の前記他側との搬送方向に直交する離間距離が、１ｃｍから３ｃｍとされていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項５記載の基板搬送装置において、
前記脱落防止手段は、前記ガラス基板の前記一側と他側の両外方に設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の製造ラインや、ガラス基板の検査を行う外観検査装置などにおいて、例えばガラス基板を支持する搬送路からガラス基板の下面に向けて圧力気体が吐出され、この圧力気体によりガラス基板を浮上させつつ支持する、いわゆる浮上搬送路、浮上ステージと称されるものが使用されている。この浮上搬送路や浮上ステージ（以下、搬送路という）を備える製造ラインや外観検査装置などでは、浮上されたガラス基板の端部側が、例えばガラス基板を把持する把持機構やガラス基板の下面を真空吸引により吸着保持する吸着機構などを有する搬送部に保持され、この搬送部が搬送路に沿って移動することで、ガラス基板を浮上させつつ強制的に搬送している（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２−１８１７１４号公報
【特許文献２】特開２０００−９６６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、把持機構や吸着機構などを備える搬送部によりガラス基板を強制搬送する場合、例えば、吸着パッドのリークによる保持力不足や、予期せぬ停電などによる保持力消失、予期せぬ真空吸引設備の破損による保持力消失などによって、搬送中に、搬送部からガラス基板が外れることがある。このような場合には、浮上したガラス基板と搬送面との間の摩擦抵抗が非常に小さいため、保持を失ったガラス基板は慣性力により搬送路上を自由に移動して搬送路から脱落したり、搬送路から飛び出して破損してしまうという問題が生じる。
【０００４】
このような問題を解消するために、搬送路の側部に搬送方向に沿う壁を設け、搬送部からガラス基板が外れた際に搬送路外に脱落しない対策を講じることが考えられる。このような対策を施したとしても、液晶ディスプレイ等に用いられる矩形板状のガラス基板は、大型で重く、その厚さが０．７ｍｍ程度と非常に薄いものもあるため、ガラス基板が壁に衝突した際の衝撃力により破損されるという問題が生ずる。また、搬送部からガラス基板が外れる際に回転力が付与されると、ガラス基板が回転しながらガラス基板の角部が壁に衝突するため、ガラス基板の全重量が角部に集中して破損されやすくなる。
【０００５】
ガラス基板は、特にレジストの塗布やパターンの現像など製造工程が進むに従い破損による経済損失が大きくなり、また、特に搬送路で破損が生じた場合には、ガラス片を完全に取り除くための清掃が容易でないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記事情を鑑み、搬送部からガラス基板が外れた場合においてもガラス基板の破損を防止可能な基板搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【０００８】
本発明の基板搬送装置は、矩形薄板状に形成されたガラス基板を浮上させつつ支持する搬送路と、浮上した前記ガラス基板の搬送方向を基準とした左右側のうちどちらか一側又は両側を保持して、前記搬送路上を強制搬送可能とする搬送部とを備える基板搬送装置において、前記搬送路には、強制搬送時の前記ガラス基板と非接触状態とされ、且つ強制搬送時の前記搬送部から前記ガラス基板が外れた時に該ガラス基板を前記搬送路内に止める脱落防止手段が、搬送方向に沿って設けられ、該脱落防止手段は、前記基板の接触により搬送方向に向けて回転する回転機構を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この発明に係る基板搬送装置においては、少なくともガラス基板の搬送部と対向する他側の外方に、搬送方向に沿って脱落防止手段が設けられていることにより、片軸状態で強制搬送する搬送部からガラス基板が外れた場合においても、ガラス基板を脱落防止手段で搬送路内に止めることができ、ガラス基板が搬送路外に脱落することを防止できる。また、脱落防止手段がガラス基板の接触により搬送方向に回転し、ガラス基板が脱落防止手段に接触した際の衝撃力を低減させることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の基板搬送装置によれば、脱落防止手段が設けられていることで、搬送部から外れたガラス基板が搬送路外に脱落することを防止でき、かつガラス基板が脱落防止手段に接触した際の衝撃力を低減させることができるため、ガラス基板の破損を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図１から図４を参照し、本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置について説明する。
【００１２】
本発明の第１実施形態は、図１に示すような、例えば液晶ディスプレイ等に使用されるガラス基板１（以下、基板という）の製造ライン内に設置される基板搬送装置Ａに関するものである。この基板搬送装置Ａは、搬送される基板１の下面１ａと対向する上面２ａが平坦面とされた搬送路２と、基板１の搬送方向Ｘに沿う右辺１ｂ側を保持して、搬送路２上を片軸状態で強制搬送可能とする搬送部３と、基板１の右辺（一側）１ｂ側及び対向する左辺（他側）１ｃ側の搬送路２の両外方に配置された脱落防止手段４とから構成されている。
【００１３】
搬送路２は、図１に示すように、上面２ａに気体を吐出する複数の孔２ｂが分散配置されており、搬送路２のエアタンクを介してコンプレッサーなどの圧力気体吐出手段と接続されている。これらの孔２ｂからは、搬送路２のエアタンクに溜まっているエアが一定圧力で吐出され、搬送路２と基板１との間にエア層が形成されることにより基板１が搬送路２上に浮上する。また、搬送路２の上面２ａには、基板１の右辺１ｂ側に位置する部分に、搬送方向Ｘに沿って延設された凹部２ｃが形成されている。
【００１４】
搬送部３は、図１から図２に示すように、搬送路２に形成された凹部２ｃに沿って移動可能に設置されている。この搬送部３は、凹部２ｃの底面２ｄに搬送方向Ｘに延設された図示せぬ軌道部と、この軌道部上を走行する細長い矩形状に形成された搬送駆動部３ａとからなる。この搬送駆動部３ａの上面には、基板１の下面１ａを吸着保持する吸着パッド３ｂが長手方向に複数配列されている。この搬送部３としては、例えばリニアモータがあり、凹部２ａに敷設されたリニアガイドの上をリニアモータが組み込まれた搬送駆動部３ａが往復移動するようになっている。本実施の形態では、搬送部３を、搬送路２の片側に設け、基板１の右辺１ｂを保持して搬送する一軸片側搬送可能に構成した一例を示したが、搬送路２の両側にそれぞれ設け、基板１の両辺１ｂ、１ｃを保持して搬送する二軸両側搬送可能に構成してもよく、更に搬送路２の両側に交互に設け、基板１の右辺１ｂ側の搬送部３から左辺１ｃ側の搬送部３に交互に受け渡して搬送する二軸片側搬送可能に構成してもよい。基板１を強制搬送するために搬送部３に固定させる手段としては、本実施の形態のような吸着パッド３ｂによる吸着手段以外に、基板１の周縁部をエア等の流体や電気的に制御可能なエアアクチュエータや電磁アクチュエータ等で挟み込むことができる把持手段であってもよい。
【００１５】
脱落防止手段４は、搬送路２の上面２ａに垂直に突設された円柱棒状の回転軸５ａと、回転軸５ａに回転自在に環装されつつ支持された円筒状の円筒部材５ｂとを有しており、回転軸５ａと円筒部材５ｂとを合わせて、ローラ（回転機構）５とされている。回転軸５ａと円筒部材５ｂとをポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂やポリイミド樹脂などの弾性を有する樹脂で形成することにより、基板１の衝突による衝撃を吸収できるので好ましいが、回転軸５ａを剛性の高い金属で形成することも可能である。円筒部材５ｂは、回転軸５ａに対して回転しやすい４フッ化エチレンなどの低摩擦リングやベアリングで形成することができる。また、円筒部材５ｂの外周面５ｃは、基板１に対する衝撃を吸収するアクリル、シリコン、ニトロゴム等の衝撃吸収材料で被覆されている。
このローラ５は、基板１の右辺１ｂ側及び対向する左辺１ｃ側の搬送路２の両外方に位置する搬送路２の上面２ａに搬送方向Ｘに沿って一定間隔で複数配されている。ここで、基板１の右辺１ｂの外方に設けられた脱落防止手段４の隣り合うローラ５の間隔Ｌ１に対して、左辺側１ｃの外方に設けられた脱落防止手段４の隣り合うローラ５の間隔Ｌ２が若干小とされている。ローラ５の間隔は、図３に示すように基板１が最大に回転した際に、基板１の先端の角部１ｅが図４に示すように搬送方向に平行な接線に垂直な回転中心を通る法線に対して矢印で示す４５度の回転範囲内に入る間隔に設定されている。また、ローラ５の円筒部材５ｂの外周面と、基板１の右辺１ｂおよび左辺１ｃとの搬送方向Ｘに直交する離間距離Ｌ３は、基板１が搬送中に接触しない間隔として、例えば１ｃｍから３ｃｍとされている。
【００１６】
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置Ａにおいて基板１を搬送する方法について説明する。
【００１７】
はじめに、図１から図２に示すように、上流側の搬送路２から搬入された基板１は、基板１の右辺１ｂ側の下面１ａが搬送部３の吸着パッド３ｂの上方に位置するように搬送路２の上面２ａに移送される。この基板１の下面１ａが吸着パッド３ｂに当接すると吸引が開始されて、搬送部３に基板１が吸着保持される。このとき、基板１は搬送路２の吐出孔２ｂから吐出する気体により所定の高さに、例えば２ｍｍの高さに浮上される。
【００１８】
ついで、搬送部３の駆動手段を駆動させ、軌道部上を所定の速度で移動させる。基板１は、吐出孔２ｂから吐出される気体により浮上した状態で基板１の右辺１ｂが吸着パッド３ｂによる吸着により搬送部３に保持され、搬送部３により片軸状態で強制搬送される。このとき、ローラ５の円筒部材５ｂの外周面５ｃと、基板１の右辺１ｂおよび左辺１ｃとの搬送方向Ｘに直交する離間距離Ｌ３が１ｃｍから３ｃｍとされているため、強制搬送時に基板１と脱落防止手段４とは非接触状態とされている。
【００１９】
ここで、図３に示すように、搬送部３により片軸状態で保持されつつ強制搬送される基板１が、搬送途中で吸着パッド３ｂから外れる場合がある。本実施形態の基板搬送装置Ａでは、基板１が搬送部３により片軸状態で保持されているため、搬送部３から外れた基板１は、搬送方向Ｘを基準に基板１の上面１ｄからの平面視で反時計回り（矢印ａ方向）に傾斜される。このため、先に基板１の右辺１ｂ側の搬送部３と対向する左辺１ｃ側のローラ５に、搬送部３から外れた直後の大きい速度をもった基板１が接触される。
【００２０】
このとき、ローラ５の外周面５ｃは、樹脂系の緩衝材で形成されているため、基板１が接触される際の衝撃力を緩和可能とされている。また、図３から図４に示すように、隣り合うローラ５の間隔Ｌ１、Ｌ２は、基板１の角部１ｅがローラ５の回転軸線Ｏ１に直交し搬送方向Ｘに直交する中心線Ｏ２を基準として、搬送方向Ｘと反対側の上流側に向けた４５°範囲に接触されるように調整されており、且つローラ５の円筒部材５ｂが回転自在とされているため、基板１の角部１ｅがローラ５に接触されると同時に、ローラ５は基板１を搬送方向Ｘの下流側へ導くように回転される。
【００２１】
ここで、搬送部３から外れた基板１がローラ５の中心線Ｏ２から上流側に向けた４５°範囲に接触されるためには、図３に示すように、搬送部３から外れた基板１が反時計方向に回転して最大に傾斜した場合を想定し、ローラ５の間隔Ｌ２を決める必要がある。本実施形態では、基板１の下流側の角部１ｅがローラ５に接触される際に、このローラ５の搬送方向Ｘ上流側に隣接するローラ５に基板１の左辺１ｃが接触されるように、両ローラ５の間隔Ｌ２を調整している。この間隔Ｌ２は、基板１が傾斜し角部１ｅがローラ５に接触されたとき、この角部１ｅの対称方向に位置する搬送方向Ｘ上流側の角部１ｅ近傍の右辺１ｂが、基板１の右辺１ｂ側の外方に設けられたローラ５に当接され、それ以上基板１が傾斜しないことに基づき決められる。よって、隣り合うローラ５の間隔Ｌ１、Ｌ２は、搬送される基板１の搬送方向Ｘの長さ寸法と、図２に示した基板１の右辺１ｂ側と左辺１ｃ側のローラ５の外周面との離間距離Ｌ３によって決められる。本実施形態では、この離間距離Ｌ３が１ｃｍから３ｃｍとされていることにより基板１の傾斜量を制御するとともに、ローラ５の上流側に隣接するローラ５に基板１の左辺１ｃが接触し、基板１の角部１ｅがローラ５の中心線Ｏ２から上流側に向けた４５°範囲に接触されるようにローラ５の間隔Ｌ２が調整されている。また、基板１の右辺１ｂ側に設けられたローラ５の間隔Ｌ１に対して、左辺１ｃ側に設けられたローラ５の間隔Ｌ２を小さくすることで、搬送部３から外れた直後の移動速度が大きく、ローラ５に対する衝撃力が大きい基板１の角部１ｅは、ローラ５により浅い角度で接触されることとなる。つまり、左辺１ｃ側の間隔Ｌ２が小さいことにより、基板１の角部１ｅが接触されるローラ５の上流側に位置するローラ５によって、この角部１ｅに近い位置の左辺１ｃが接触されるため、基板１の傾斜量の制御が可能となる。
【００２２】
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置Ａによれば、強制搬送時の搬送部３から基板１が外れた時に、ローラ５に接触されることにより搬送路２から基板１が脱落することを防止することができる。また、ローラ５の間隔Ｌ１、Ｌ２を調整することによって、基板１の角部１ｅをローラ５の中心線Ｏ２を基準として上流側の４５°範囲の外周面５ｃに接触させることで、基板１を円滑に搬送方向Ｘの下流側へ導くことができるとともに、ローラ５に基板１が接触される際の衝撃力を小さくすることができ、基板１の破損を防止することができる。
【００２３】
また、上記の構成からなる基板搬送装置Ａによれば、基板１の右辺１ｂ側のローラ５の間隔Ｌ１に対して、左辺１ｃ側のローラ５の間隔Ｌ２が小さいことにより、片軸状態で強制搬送する搬送部３から基板１が外れた際に、基板１の左辺１ｃ側に傾斜して移動する基板１を先に左辺１ｃ側のローラ５に接触させることができる。これにより、移動速度が大きい搬送部３から外れた直後の基板１を、ローラ５の搬送方向Ｘに直交する中心線Ｏ２を基準とした浅い角度で接触させることができるため、ローラ５に接触される際の基板１の衝撃力を小さくすることができ、基板１の破損を防止することができる。
【００２４】
さらに、上記の構成からなる基板搬送装置Ａによれば、基板１の右辺１ｂ側に設けられたローラ５と、強制搬送時の基板１の右辺１ｂとの離間距離Ｌ３、および基板１の左辺１ｃ側に設けられたローラ５と、基板１の左辺１ｃとの離間距離Ｌ３を１ｃｍから３ｃｍにすることによって、強制搬送時には、ローラ５と基板１とを非接触状態することができる。また、搬送部３から基板１が外れ、移動速度が大きい状態で左辺１ｃ側のローラ５に接触される基板１に対して、傾斜量の制御を行うことができるため、ローラ５への衝撃力を小さくすることができる。よって、基板１が破損することを防止することができる。
【００２５】
なお、本発明は上記の第１実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ローラ５は、円柱棒状であるものとしたが、図５に示すように、逆テーパー形状のものや、逆テーパー形状の上部と円柱棒状の下部とを併せ持つものとされてもよく、この場合には、ローラ５に搬送部３から外れた基板１が接触される際に、基板１が上方へ飛び上がり、搬送路２から脱落することを防止することができる。また、ローラ５は、回転軸５ａに円筒部材５ｂを回転自在に環装されるものとしたが、搬送部３から外れた基板１が接触したと同時に回転される構造であれば、その形状や構成が限定されるものではない。さらに、ローラ５は、外周面５ｃに形成された緩衝材も含め、樹脂により形成されるものとしたが、特に材質が限定されるものではなく、接触された基板１がその衝撃によって破損されなければ金属などで形成されてもよいものである。また、ローラ５は、搬送路２の上面２ａに垂直に突設されるものとしたが、搬送路２の上面２ａに対して軸線Ｏ１が交差されればよいものである。さらに、搬送部３から外れた基板１が接触されるとともに回転されるものとしたが、例えばモータなどの駆動手段と接続され、あらかじめ回転されていてもよいものである。この場合には、基板１が通過する少し前にローラ５が回転されるようにしてもよいものである。さらに、搬送部３から基板１が外れたことを感知する例えばセンサーによって、基板１が外れると同時に、回転駆動されてもよいものである。また、基板１の右辺１ｂ側に配置されるローラ５の間隔Ｌ１に対して、左辺１ｃ側に配置されるローラ５の間隔Ｌ２を小とする構成としたが、これに限定されるものではなく、全て等しい間隔で設置したり、右辺１ｂ側にローラ５を設けない構成とされてもよいものである。
【００２６】
また、本発明の第１実施形態では、基板１を搬送する搬送部３が基板１の下面１ａを吸着保持するものとされているが、必ずしもこれに限定されるものではなく、例えば基板１を把持することにより保持する構成とされてもよく、本発明は、基板１を浮上することにより搬送させるものであれば、特に基板１の保持機構の構成が限定されるものではない。
【００２７】
さらに、搬送路２において、基板１を浮上させる手段として圧力気体を吐出孔から吐出させる構成を用いているが、これに限定されるものではなく、例えば超音波などを利用して基板１を浮上させる構成とされてもよく、特に基板１を浮上させる手段が限定されるものではない。
【００２８】
また、本発明の第１実施形態では、本発明の基板搬送装置Ａが製造ライン内にて使用されるものとして説明したが、本発明は、例えば基板１の外観検査装置の浮上ステージに適用されてもよく、基板１を浮上させて搬送するものに適用されればよいものである。
【００２９】
ついで、図６を参照し、本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置について説明する。
【００３０】
本発明の第２実施形態は、図１から図５に示した第１実施形態と同様、例えば液晶ディスプレイ等に用いられるガラス基板の搬送装置に関するものである。ここで、第１実施形態に係る基板搬送装置Ａと同様の構成については、同一符号を付し詳細な説明を省略するものとする。
【００３１】
図６に示す基板検査装置Ｂは、第１実施形態と異なり、基板１の搬送方向Ｘに沿う基板１の右辺１ｂ側の脱落防止手段４と、左辺１ｃ側の脱落防止手段４とが、それぞれ複数、例えば５つのローラ５を内部６ａに配して回転自在に支持された無端状のベルト６が巻き回されて構成されている。このベルト６は、例えば基板１の角部１ｅが接触した場合においても損傷を受けない金属製のベルトであるとともに、基板１が接触した際に衝撃を緩和する緩衝機能を与えるよう、多少の張力を持たせつつローラ５に巻き回されている。また、ローラ５の円筒部材５ｂの外周面５ｃは、ベルト６の内面６ｂに対して適度な相対摩擦係数を有するものとされ、ベルト６の変位量に相当した回転量で回転するものとされている。
【００３２】
ついで、上記の構成からなる基板搬送装置Ｂにより強制搬送される基板１が搬送部３から外れた際の基板１の脱落防止方法について説明する。
【００３３】
強制搬送時に搬送部３から外れた基板１は、第１実施形態で示した図３と同様に、はじめに反時計回りに傾斜され、基板１の左辺１ｃ側の脱落防止手段４のベルト６に接触される。接触されたベルト６はローラ５の円筒部材５ｂの回転によって回転され、基板１を搬送方向Ｘの下流側へと導く。基板１は、基板１の右辺１ｂ側および左辺１ｃ側に設けられたそれぞれのベルト６に接触され、搬送方向Ｘの下流側へ常に導かれるとともに、次第にその移動速度が低下し搬送路２上に停止することとなる。
【００３４】
したがって、上記の構成からなる基板搬送装置Ｂにおいては、強制搬送時に搬送部３から外れた基板１が脱落防止手段４のローラ５に巻き回されたベルト６によって搬送方向Ｘの下流側に導かれるため、搬送路２から基板１が脱落することを防止することができる。また、ベルト６が巻き回されているローラ５が回転自在とされつつ、その外周面５ｃがベルト６の内面６ａと適度な摩擦抵抗を有しているため、ベルト６に基板１が接触されると同時にベルト６を回転させることができる。これにより、ベルト６に接触された基板１の衝撃力を小さくすることができ、基板１の破損を防止することができる。
【００３５】
なお、本発明は上記の第２実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、ベルト６の内部６ａにローラ５が５つ備えられて脱落防止手段４が構成されるものとしたが、必ずしもこれに限定されるものではなく、少なくとも２つのローラ５にベルト６が巻き回されて支持されればよい。また、ベルト６は、基板１の角部１ｅが接触した場合においても損傷を受けない金属製であるものとしたが、基板１によって損傷されず、且つ細かな塵埃などを発生させない材質であれば、例えば樹脂により形成されてもよく、特に材質が限定されるものではない。さらに、ベルト６は基板１が接触されると同時に回転されるものとしたが、例えばベルト６の内部６ａに配されたローラ５の少なくとも１つに回転駆動手段を接続し、この回転駆動手段の回転によってベルト６が回転されてもよいものである。このとき、ベルトは常に回転されていても、基板１が近傍に移動された段階で回転されてもよいものであり、搬送部３から基板１が外れたことを感知する例えばセンサーによって、駆動制御されてもよいものである。また、ローラ５の外周面５ｃは、ベルト６の内面６ｂに対して適度な相対摩擦係数を有し、この摩擦力によってベルト６と脱落防止手段４が回転するものとしたが、これに限定されるものではなく、例えば脱落防止手段４の外周面５ｃと、ベルト６の内面６ｂとに係合する凹凸部を形成しベルト６を回転させてもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の斜視図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の平面図である。
【図３】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置において搬送部から基板が外れた際の一例を示した図である。
【図４】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の脱落防止手段に基板の角部が当接される模式図である。
【図５】本発明の第１実施形態に係る基板搬送装置の脱落防止手段の形状の例を示す斜視図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る基板搬送装置の平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１    基板
１ｂ  右辺
１ｃ  左辺
１ｅ  角部
２    搬送路
２ａ  上面
３    搬送部
４    脱落防止手段
５    ローラ（回転機構）
５ｃ  外周面
６    ベルト
６ａ  ベルトの内部
Ａ    基板搬送装置
Ｂ    基板搬送装置
Ｌ１  脱落防止手段の間隔
Ｌ２  脱落防止手段の間隔
Ｌ３  離間距離
Ｏ１  軸線
Ｏ２  中心線
Ｘ    搬送方向
【図１】
2007250871.tif 000003
【図２】
2007250871.tif 000004
【図３】
2007250871.tif 000005
【図４】
2007250871.tif 000006
【図５】
2007250871.tif 000007
【図６】
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