(57)【要約】【課題】幅広い運転条件のもとで使用可能で、かつフィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能な熱電子発生装置を提供する。また、フィラメントの寿命を大幅に延長することができる熱電子発生装置及びフィラメント寿命延長方法を提供する。【解決手段】電子線照射装置（熱電子発生装置）として、真空容器と、真空容器内に設置されるフィラメント４ａと、フィラメント４ａに電力を供給する電源装置４ｃと、フィラメント４ａの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、抵抗検出器の出力に基づいてフィラメントの寿命を予測する演算装置１６とを設ける。演算装置１６を、予め求められたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係、及び抵抗検出器の出力に基づいて、フィラメント４ａの寿命を予測する構成とする。【選択図】図２
2007250425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器と、
該真空容器内に設置されるフィラメントと、
該フィラメントに電力を供給する電源装置と、
前記フィラメントの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、
該抵抗検出器の出力に基づいて前記フィラメントの寿命を予測する演算装置とを有しており、
該演算装置が、予め求められた前記フィラメントの電気抵抗と前記フィラメントの残り寿命との関係、及び前記抵抗検出器の出力に基づいて、前記フィラメントの寿命を予測する構成とされている熱電子発生装置。
【請求項２】
前記演算装置による前記フィラメントの寿命の予測結果を通知する寿命通知装置を有している請求項１記載の熱電子発生装置。
【請求項３】
前記演算装置は、前記抵抗検出器の出力が予め定められた抵抗上限値に達したことをもって前記電源装置が前記フィラメントに入力する電力の大きさを初期電力値に戻すとともに、前記抵抗検出器の出力が前記抵抗上限値に達する度に、前記初期電力値及び前記抵抗上限値を漸次増加させていく構成とされている請求項１または２に記載の熱電子発生装置。
【請求項４】
熱電子発生装置に用いられるフィラメントの寿命予測方法であって、
予め求められた前記フィラメントの電気抵抗と前記フィラメントの残り寿命との関係、及び現在の前記フィラメントの電気抵抗に基づいて、前記フィラメントの断線時期を予測するフィラメント寿命予測方法。
【請求項５】
熱電子発生装置に用いられるフィラメントの寿命延長方法であって、
前記フィラメントの電気抵抗が予め定められた抵抗上限値に達したことをもって前記フィラメントに入力する電力の大きさを初期電力値に戻すとともに、前記フィラメントの電気抵抗が前記抵抗上限値に達する度に、前記初期電力値及び前記抵抗上限値を漸次増加させていくフィラメントの寿命延長方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、電子線照射装置、Ｘ線発生装置、電離真空計等、フィラメントを加熱することによって熱電子を発生させる熱電子発生装置や、これらの装置に熱電子発生源として組み込まれる熱電子発生装置、フィラメント寿命予測方法、及びフィラメント寿命延長方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
このような熱電子発生装置では、真空中でフィラメントに電流を流してフィラメントを加熱することで、フィラメントから熱電子を放出させる。
フィラメントは、タングステン等の耐熱性金属によって構成されている。しかし、熱電子を発生させるために、フィラメントは２０００°Ｃ以上の高温にまで加熱される。このため、熱電子発生装置を動作させると、わずかずつではあるがフィラメント表面が蒸発してゆく。また、フィラメントは、自身が放出した熱電子と周辺雰囲気中に残留しているガス成分との反応によって生じたイオンによる侵食を受ける。
このため、熱電子発生装置を長期間動作させると、フィラメントが次第にやせ細ってゆき、最終的にはフィラメントが断線する。
【０００３】
一般的には、熱電子発生装置の運転中に不意にフィラメントが断線してしまうことがないよう、フィラメントは定期的に交換される。フィラメントの交換サイクルは、フィラメントの品質のばらつきを考慮して、フィラメントの平均寿命よりも短く設定されている。
このため、ほとんどの場合、フィラメントの寿命がまだ残っているのにも関わらずフィラメントの交換を行うことになり、不経済である。また、このようにフィラメントの交換サイクルが短めに設定されることで、フィラメントの交換頻度が多くなって熱電子発生装置の休止期間が長くなるので、熱電子発生装置の稼働率が低下してしまい、不経済である。
このような不経済をなくすため、フィラメントの断線時期を高精度に予測する技術が求められている。
【０００４】
フィラメントの断線を予測する熱電子発生装置としては、例えば後記の特許文献１に記載の電子線照射装置が知られている。
この電子線照射装置は、交流をフィラメントに通電する通電手段と、このフィラメントで発生する単位時間当たりの電子量が一定となるように交流の周波数を調整する調整手段と、周波数の変化を測定する測定手段とを備え、測定手段による測定結果からフィラメントの寿命を予測する構成とされている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００１−２４２２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、この電子線照射装置では、フィラメントの寿命を予測するためには、フィラメントで発生する単位時間当たりの電子量を一定としなければならない。このため、この電子線照射装置は、運転条件が限定されてしまう。
また、この電子線照射装置においても、フィラメントの寿命事態を延長することはできない。
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、幅広い運転条件のもとで使用可能で、フィラメント交換にかかるコストを大幅に低減可能な熱電子発生装置及びフィラメント断線予測方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、フィラメントの寿命を大幅に延長することができる熱電子発生装置及びフィラメント寿命延長方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明以下の手段を採用する。
すなわち、本発明は、真空容器と、該真空容器内に設置されるフィラメントと、該フィラメントに電力を供給する電源装置と、前記フィラメントの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、該抵抗検出器の出力に基づいて前記フィラメントの寿命を予測する演算装置とを有しており、該演算装置は、予め求められた前記フィラメントの電気抵抗と前記フィラメントの残り寿命との関係、及び前記抵抗検出器の出力に基づいて、前記フィラメントの寿命を予測する構成とされている熱電子発生装置を提供する。
【０００９】
フィラメントの電気抵抗は、フィラメントの断面積（太さ）と相関関係にある。具体的には、フィラメントがやせ細ってその断面積が減少すると、フィラメントの電気抵抗が増加する。また、フィラメントの電気抵抗は、フィラメントにおいて最も細い部分の断面積によって規定される。そして、フィラメントの電気抵抗の大きさとフィラメントの残り寿命との関係は、実験的に求めることができる。
【００１０】
本発明に係る熱電子発生装置は、演算装置が、予め求めておいたフィラメントの電気抵抗とフィラメントの残り寿命との関係、及び抵抗検出器の出力に基づいて、フィラメントの寿命（例えば残り寿命やフィラメントの断線時期）を予測する。
これにより、この熱電子発生装置では、フィラメントの品質のばらつき（形状精度のばらつき）によらず、フィラメントの寿命を高精度に予測することができる。
【００１１】
そして、異なる運転条件下でのフィラメントの電気抵抗の大きさとフィラメントの残り寿命との関係を予め求めておくことで、幅広い運転条件下で、フィラメントの寿命を高精度に予測することができる。
なお、ここでいうフィラメントの残り寿命とは、フィラメントが実際に断線する時期までの残り時間であってもよく、また、フィラメントが実際に断線する時期までの残り時間に任意の安全率を持たせた残り時間であってもよい。
【００１２】
ここで、フィラメントを流れる電流の大きさは、フィラメントの断面積の変動にほとんど影響されないので、フィラメントを流れる電流の大きさは定数とみなすことができる。
これにより、フィラメントの電気抵抗の大きさは、近似的に、フィラメントに印加される電圧の大きさに所定の係数（この値は実験的に求められる）を乗じたものとみなすことができる。
すなわち、この熱電子発生装置では、抵抗検出器がフィラメントに印加される電圧を検出する電圧計とされ、演算装置が、フィラメントの電気抵抗の代わりに抵抗検出器の出力に基づいてフィラメントの断線時期を予測する構成とされていてもよい。
【００１３】
ここで、本発明の熱電子発生装置は、前記演算装置による前記フィラメントの寿命の予測結果を通知する寿命通知装置を有していてもよい。
この場合には、熱電子発生装置の使用者や熱電子発生装置の製造者が、寿命通知装置の出力に基づいてフィラメントの寿命の予測結果を知ることができる。これにより、使用者や製造者は、フィラメントの交換が必要になる前に予めフィラメント交換のための準備を行ったり、フィラメントの交換時期を考慮した熱電子発生装置の運転計画を構築することができる。
この寿命通知装置は、熱電子発生装置自体に設けられて使用者に直接的に寿命予測を通知する構成とされていてもよく、また、電気通信回線等を通じて遠隔地に寿命予測を通知する構成とされていてもよい。
【００１４】
ここで、本発明者らは、実験等に基づいて、フィラメントの熱電子放出特性と断線のメカニズムについて、以下の知見を得た。
フィラメントが消耗してやせ細ると、フィラメントの表面積が小さくなるため、フィラメントからの輻射熱量が小さくなる。
このため、フィラメントに供給する電力が一定であっても（フィラメント自体の発熱量が一定であっても）、フィラメントの温度が上昇する。
また、フィラメントが発する熱電子の量は、フィラメントの温度が高くなるにつれて増加する。このため、フィラメントがやせ細るにつれて、フィラメントが発する熱電子の量が増加する。そして、フィラメントの断面積の縮小が進むと、フィラメントの温度上昇も進行して、最終的にフィラメントが断線する。
【００１５】
そこで、前記演算装置を、前記抵抗検出器の出力が予め定められた抵抗上限値に達したことをもって前記電源装置が前記フィラメントに入力する電力の大きさを初期電力値に戻すとともに、前記電力が前記抵抗上限値に達する度に、前記初期電力値及び前記抵抗上限値を漸次増加させていく構成としてもよい。
【００１６】
具体的には、演算装置は、フィラメントに入力する電力の大きさを所定の初期電力値に設定し、フィラメントがやせ細ることでフィラメントの抵抗値がある程度大きくなった時点で、フィラメントに供給する電力を先の初期電力値よりもわずかに大きい新たな初期電力値まで低下させる。
すると、フィラメントから放出される熱電子の量が、先の初期電力値でフィラメントに電力の供給を開始した時点よりもわずかに増加する。
すなわち、フィラメントが放出する熱電子の量を維持したままで、フィラメントに供給する電力を低減することができる。
【００１７】
これにより、フィラメントの過熱が防止されて、フィラメントの寿命が延長される。
以降は、演算装置は、フィラメントの抵抗が先の抵抗上限値よりもわずかに大きい新たな抵抗上限値に達する度に上記操作を行うので、フィラメントの寿命を最大限延長することができる。
【００１８】
また、本発明は、熱電子発生装置に用いられるフィラメントの寿命予測方法であって、予め求められた前記フィラメントの電気抵抗と前記フィラメントの残り寿命との関係、及び現在の前記フィラメントの電気抵抗に基づいて、前記フィラメントの断線時期を予測するフィラメント寿命予測方法を提供する。
本発明に係るフィラメント寿命予測方法では、予め求めておいたフィラメントの電気抵抗とフィラメントの残り寿命との関係、及び現在のフィラメントの電気抵抗に基づいて、フィラメントの断線時期を予測する。
これにより、このフィラメント寿命予測方法では、フィラメントの品質のばらつき（形状精度のばらつき）によらず、フィラメントの断線時期を高精度に予測することができる。
【００１９】
そして、異なる運転条件下でのフィラメントの電気抵抗の大きさとフィラメントの残り寿命との関係を予め求めておくことで、幅広い運転条件下で、フィラメントの寿命を高精度に予測することができる。
ここで、フィラメントを流れる電流の大きさは、フィラメントの断面積の変動にほとんど影響されないので、フィラメントを流れる電流の大きさは定数とみなすことができる。
これにより、フィラメントの電気抵抗の大きさは、近似的に、フィラメントに印加される電圧の大きさに所定の係数（この値は実験的に求められる）を乗じたものとみなすことができる。
すなわち、この熱電子発生装置では、抵抗検出器がフィラメントに印加される電圧を検出する電圧計とされ、演算装置が、フィラメントの電気抵抗の代わりに抵抗検出器の出力に基づいてフィラメントの断線時期を予測する構成とされていてもよい。
【００２０】
また、本発明は、熱電子発生装置に用いられるフィラメントの寿命延長方法であって、前記フィラメントの電気抵抗が予め定められた抵抗上限値に達したことをもって前記フィラメントに入力する電力の大きさを初期電力値に戻すとともに、前記フィラメントの電気抵抗が前記抵抗上限値に達する度に、前記初期電力値及び前記抵抗上限値を漸次増加させていくフィラメントの寿命延長方法を提供する。
【００２１】
このフィラメントの寿命延長方法では、フィラメントに入力する電力の大きさを所定の初期電力値に設定し、フィラメントがやせ細ることでフィラメントの抵抗値がある程度大きくなった時点で、フィラメントに供給する電力を先の初期電力値よりもわずかに大きい新たな初期電力値まで低下させる。
すると、フィラメントから放出される熱電子の量が、先の初期電力値でフィラメントに電力の供給を開始した時点よりもわずかに増加する。
すなわち、フィラメントが放出する熱電子の量を維持したままで、フィラメントに供給する電力を低減することができる。
これにより、フィラメントの過熱が防止されて、フィラメントの寿命が延長される。
以降は、フィラメントの抵抗が先の抵抗上限値よりもわずかに大きい新たな抵抗上限値に達する度に上記操作を行うことで、フィラメントの寿命を最大限延長することができる。
【発明の効果】
【００２２】
このように構成される熱電子発生装置及びフィラメントの寿命予測方法によれば、幅広い運転条件のもとで、フィラメントの断線時期を高精度に予測することができるので、フィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能である。
また、本発明に係る熱電子発生装置及びフィラメントの寿命延長方法によれば、フィラメントの寿命を大幅に延長することができるので、フィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下に、本発明の一実施形態について、図面を参照して説明する。本実施形態では、本発明を、電子線照射装置に適用した例について説明する。電子線照射装置は、ワークに電子線を照射することで、ワーク表面に改質や殺菌、焼入れや溶接等の各種処理を施すものである。
図１に示すように、本実施形態に係る電子線照射装置１は、電子線射出部２が設けられた真空チャンバー３（真空容器）と、真空チャンバー３内から電子線射出部２を通じて真空チャンバー３外のワークＷに向けて電子線ＥＢを射出する電子線発生装置４とを有している。
本実施形態では、真空チャンバー３は、略円筒形状をなす金属容器とされており、その外周面には、軸線方向に沿って電子線射出部２を構成する開口部が設けられている。この開口部は、チタン膜によって覆われており、これによって真空チャンバー３内が外部と隔離されて、真空チャンバー３内の真空状態が保たれている。
【００２４】
電子線発生装置４は、真空チャンバー３内に真空チャンバー３の軸線に沿って設けられる複数のフィラメント４ａと、フィラメント４ａの周囲を囲む網状のグリッド電極４ｂと、フィラメント４ａとグリッド電極４ｂ及び真空チャンバー３の電子線射出部２近傍部分に接続される電源装置４ｃとを有している。
フィラメント４ａは、タングステン等の耐熱性金属によって構成されるものであって、電源装置４ｃから電流を入力されることで発熱して周囲に電子を放出させる。
電源装置４ｃは、フィラメント４ａとグリッド電極４ｂとの間、及びフィラメント４ａと真空チャンバー３の電子線射出部２近傍部分との間にそれぞれ電位差を生じさせることで、フィラメント４ａが発した電子を加速して、電子線射出部２に向う電子線ＥＢを形成する。ここで、この電子線発生装置４では、フィラメント４ａとグリッド電極４ｂとの間の電位差を調整することで、電子線ＥＢを構成する電子の量を調整する構成とされている。
【００２５】
図２に示すように、電子線発生装置４は、フィラメント４ａに供給される電流を検出する電流計１１と、フィラメント４ａに引加される電圧を検出する電圧計１２とを有している。これら電流計１１及び電圧計１２としては、電源装置４ｃにおいて出力制御に用いられているものを利用することができる。
また、この電子線照射装置１は、フィラメント４ａの電気抵抗を検出する抵抗検出器と、抵抗検出器の出力に基づいてフィラメント４ａの寿命を予測する演算装置１６とを有している。
【００２６】
演算装置１６は、予め求められたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係をデータとして格納する不揮発性の記憶装置（図示せず）を有している。
演算装置１６は、記憶装置に格納されたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係と、抵抗検出器の出力（電圧計１２の出力）に基づいて、フィラメント４ａの寿命を予測する構成とされている。
【００２７】
また、本実施形態では、電子線照射装置１には、演算装置１６によるフィラメント４ａの寿命の予測結果を通知する寿命通知装置１７が設けられている。
この寿命通知装置１７は、電子線照射装置１自体に設けられて使用者に直接的に寿命予測を通知する構成とされていてもよく、また、電気通信回線等を通じて遠隔地に寿命予測を通知する構成とされていてもよい。また、寿命通知装置１７による寿命の通知方法は任意である。
本実施形態では、寿命通知装置１７は、電子線照射装置１に設けられる第一通信装置１７ａと、電子線照射装置１の制御室や電子線照射装置１の製造メーカ内のメンテナンス管理センターに設置されて、第一通信装置１７ａから電気通信回線等を通じて演算装置１６によるフィラメント４ａの寿命の予測結果を電子メールその他の電子データとして受信する第二通信装置１７ｂとを有している。
【００２８】
以下、本実施形態に係る電子線照射装置１によるフィラメント４ａの寿命予測方法について説明する。
フィラメント４ａの電気抵抗は、フィラメント４ａの断面積（太さ）と相関関係にある。具体的には、フィラメント４ａがやせ細ってその断面積が減少すると、フィラメント４ａの電気抵抗が増加する。また、フィラメント４ａの電気抵抗は、フィラメント４ａにおいて最も細い部分の断面積によって規定される。そして、フィラメント４ａの電気抵抗の大きさとフィラメント４ａの残り寿命との関係は、実験的に求めることができる。
【００２９】
本実施形態に係る電子線照射装置１では、演算装置１６が、予め求めておいたフィラメント４ａの電気抵抗とフィラメント４ａの残り寿命との関係、及び電圧計１２の出力に基づいて、フィラメント４ａの寿命（例えば残り寿命やフィラメント４ａの断線時期）を予測する。
これにより、この電子線照射装置１では、フィラメント４ａの品質のばらつき（形状精度のばらつき）によらず、フィラメント４ａの寿命を高精度に予測することができる。
このように構成される電子線照射装置１によれば、幅広い運転条件のもとで、フィラメント４ａの断線時期を高精度に予測することができるので、フィラメント４ａの交換にかかるコストを大幅に低減することが可能である。
【００３０】
そして、異なる運転条件下でのフィラメント４ａの電気抵抗の大きさとフィラメント４ａの残り寿命との関係を予め求めておくことで、幅広い運転条件下で、フィラメント４ａの寿命を高精度に予測することができる。
なお、ここでいうフィラメント４ａの残り寿命とは、フィラメント４ａが実際に断線する時期までの残り時間であってもよく、また、フィラメント４ａが実際に断線する時期までの残り時間に任意の安全率を持たせた残り時間であってもよい。
【００３１】
ここで、フィラメント４ａを流れる電流の大きさは、フィラメント４ａの断面積の変動にほとんど影響されないので、フィラメント４ａを流れる電流の大きさは定数とみなすことができる。
これにより、フィラメント４ａの電気抵抗の大きさは、近似的に、フィラメント４ａに印加される電圧の大きさに所定の係数（この値は実験的に求められる）を乗じたものとみなすことができる。
すなわち、この電子線照射装置１では、抵抗検出器がフィラメント４ａに印加される電圧を検出する電圧計１２によって構成されており、演算装置１６が、フィラメント４ａの電気抵抗の代わりに電圧計１２の出力に基づいてフィラメントの断線時期を予測する構成とされている。
【００３２】
また、本実施形態では、電子線照射装置１には、演算装置１６によるフィラメント４ａの寿命の予測結果を通知する寿命通知装置１７が設けられている。
これにより、電子線照射装置１の使用者や電子線照射装置１の製造者が、寿命通知装置１７の出力に基づいてフィラメント４ａの寿命の予測結果を知ることができる。
使用者や製造者は、このようにして得られたフィラメント４ａの寿命の予測結果に基づいて、フィラメント４ａの交換が必要になる前に予めフィラメント交換のための準備を行ったり、フィラメント４ａの交換時期を考慮した電子線照射装置１の運転計画を構築することができる。このため、フィラメント４ａの交換に伴う電子線照射装置１の休止期間を最小限にして、生産性を向上させることができる。
【００３３】
ここで、本発明者らは、実験等に基づいて、フィラメント４ａの熱電子放出特性と断線のメカニズムについて、以下の知見を得た。
フィラメント４ａが消耗してやせ細ると、フィラメント４ａの表面積が小さくなるため、フィラメント４ａからの輻射熱量が小さくなる。
このため、フィラメント４ａに供給する電力が一定であっても（フィラメント４ａ自体の発熱量が一定であっても）、フィラメント４ａの温度が上昇する。
また、フィラメント４ａが発する熱電子の量は、フィラメント４ａの温度が高くなるにつれて増加する。このため、フィラメント４ａがやせ細るにつれて、フィラメント４ａが発する熱電子の量が増加する。そして、フィラメント４ａの断面積の縮小が進むと、フィラメント４ａの温度上昇も進行して、最終的にフィラメント４ａが断線する。
【００３４】
そこで、本実施形態では、演算装置１６は、電圧計１２の出力が予め定められた電圧上限値Ｖｍａｘ（抵抗上限値に相当）に達したことをもって電源装置４ｃがフィラメント４ａに入力する電圧の大きさを初期電圧値Ｖ０（初期電力値に相当）に戻すとともに、電圧計１２の出力が電圧上限値Ｖｍａｘに達する度に、初期電圧値Ｖ０及び電圧上限値Ｖｍａｘを漸次増加させていく構成とされている。
【００３５】
具体的には、図３のグラフに示すように、演算装置１６は、フィラメント４ａ（初期の直径を３ｍｍとする）に入力する電力の大きさを所定の初期電力値Ｖ００（例えば６Ｖ）に設定し、フィラメント４ａがやせ細ることでフィラメント４ａの抵抗値がある程度大きくなってフィラメント４ａに印加される電圧が所定の電圧上限値Ｖｍａｘ０に達した時点（例えばフィラメント４ａの直径が２．７ｍｍとなったと思われる電圧）で、フィラメント４ａに供給する電力を先の初期電力値Ｖ００よりもわずかに大きい新たな初期電力値Ｖ０１（例えば６．１Ｖ）まで低下させる。
すると、フィラメント４ａから放出される熱電子の量が、先の初期電力値Ｖ００でフィラメント４ａに電力の供給を開始した時点よりもわずかに増加する。
すなわち、フィラメント４ａが放出する熱電子の量を維持したままで、フィラメント４ａに供給する電圧を低減することができる。
【００３６】
これにより、フィラメント４ａの過熱が防止されて、フィラメント４ａの寿命が延長される。
そして、演算装置１６は、フィラメント４ａの抵抗が先の電圧上限値Ｖｍａｘ０よりもわずかに大きい新たな電圧上限値Ｖｍａｘ１に達した時点（例えばフィラメント４ａの直径が２．６ｍｍとなったと思われる電圧）で、フィラメント４ａに供給する電力を先の初期電力値Ｖ０１よりもわずかに大きい新たな初期電力値Ｖ０２（例えば６．２Ｖ）まで低下させる。
以降は、演算装置１６は、上記処理を繰り返すので、フィラメント４ａの寿命が最大限延長される。
このように、本実施形態に係る電子線照射装置１によれば、フィラメント４ａの寿命を大幅に延長することができるので、フィラメント交換にかかるコストを大幅に低減することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る電子線照射装置（熱電子発生装置）の構成を示す縦断面図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る電子線照射装置の構成を概略的に示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係る電子線照射装置におけるフィラメントへの電力供給の制御の様子を示すグラフである。
【符号の説明】
【００３８】
１  電子線照射装置（熱電子発生装置）
３  真空チャンバー（真空容器）
４  電源装置
４ａ  フィラメント
１２  電圧計（抵抗検出器）
１６  演算装置
１７  寿命通知装置
【図１】
2007250425.tif 000003
【図２】
2007250425.tif 000004
【図３】
2007250425.tif 000005