(57)【要約】【課題】小型化が可能で大きな静電容量を確保できると共に、耐折性（耐折り曲げ性）にさらに優れたコンデンサ用電極シート及びその製造方法等を提供する。【解決手段】Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とする芯材３の少なくとも片面に、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとの金属間化合物を含有してなる多孔質層４が電気的に接合されたシートからなる。多孔質層４は、前記金属間化合物の微粒子７が、Ａｌに前記バルブメタルの１種または２種以上が固溶してなる固溶体により結着されて構成され、多孔質層４における体積充填率が９０％以下である。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とする芯材の少なくとも片面に、
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物を含有してなる多孔質層が、電気的に接合されたシートからなり、
前記多孔質層は、前記金属間化合物の微粒子が、Ａｌに前記バルブメタルの１種または２種以上が固溶してなる固溶体により結着されて構成され、
前記多孔質層における体積充填率が９０％以下であることを特徴とするコンデンサ用電極シート。
【請求項２】
前記多孔質層の組成が、Ａｌ−１０〜５０質量％Ｘ（ＸはＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｔａの総和）である請求項１に記載のコンデンサ用電極シート。
【請求項３】
前記芯材がＡｌ基合金であり、Ｓｃの含有量が０．００５質量％以上０．０８質量％以下、Ｚｒの含有量が０．００８質量％以上０．０８質量％以下である請求項１または請求項２に記載のコンデンサ用電極シート。
【請求項４】
前記芯材がＡｌ基合金であり、Ｓｃの含有量が０．０１質量％以上０．０６質量％以下、Ｚｒの含有量が０．０１質量％以上０．０６質量％以下である請求項１または請求項２に記載のコンデンサ用電極シート。
【請求項５】
芯材に含有される微量元素が、Ｓｉ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下、Ｆｅ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下、Ｃｕ；０．０００５質量％以上０．０１５質量％以下、Ｍｎ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｍｇ；０．００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｚｎ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｔｉ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｃｒ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｎｉ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｇａ；０．００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｂ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｖ；０．０００１質量％以上０．０３質量％以下である請求項１〜請求項４のいずれかに記載のコンデンサ用電極シート。
【請求項６】
Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとからなる合金溶湯を霧状にする工程と、
前記霧状の合金を、Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とする芯材の少なくとも片面に付着させて積層シートを得る積層工程と、
前記積層シートを総厚で２％以上６０％以下の圧下率にて圧延する工程とを包含することを特徴とするコンデンサ用電極シートの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載の製造方法により得られた電極シートをエッチングすることを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
【請求項８】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の電極シートをエッチングすることを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
【請求項９】
請求項６に記載の製造方法により得られた電極シートをエッチングした後、さらに化成処理を行って表面に誘電体皮膜を形成せしめることを特徴とする電解コンデンサ用陽極材の製造方法。
【請求項１０】
請求項１〜請求項５のいずれか１項に記載の電極シートをエッチングした後、さらに化成処理を行って表面に誘電体皮膜を形成せしめることを特徴とする電解コンデンサ用陽極材の製造方法。
【請求項１１】
請求項９または請求項１０に記載の製造方法により製造された電解コンデンサ用陽極材。
【請求項１２】
請求項１１に記載の陽極材を用いて構成された電解コンデンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、大きな静電容量が得られると共に強度及び耐折性に優れたコンデンサ用電極シートとその製造方法、電解コンデンサ用電極材の製造方法、電解コンデンサ用陽極材の製造方法、電解コンデンサ用陽極材及び電解コンデンサに関する。
【０００２】
なお、この明細書において、「アルミニウム」の語は、アルミニウム及びその合金を含む意味で用いる。また、この明細書において、「Ａｌ」の表記は、アルミニウム（金属単体）を意味する。
【背景技術】
【０００３】
近年、電気機器のデジタル化が進むのに伴い、コンデンサとしては小型で大容量かつ高周波領域でのインピーダンスの低いものが求められるようになってきている。とりわけ、パーソナルコンピュータや携帯電話等の通信機器では、搭載されるＣＰＵの演算速度の増大に伴い、コンデンサの静電容量をさらに増大させることが強く求められている。
【０００４】
従来、コンピュータや携帯電話等の通信機器では、小型化の要求に応えるために、プラスチックコンデンサ、マイカコンデンサ、積層セラミックコンデンサ等が広く用いられてきた。しかしながら、これらのコンデンサで前記静電容量の大容量化の要求に応えることは到底できなかった。即ち、これらのコンデンサで大容量化を図ろうとすると容積が顕著に増大するので、小型かつ大容量化の要求に対応することはできなかった。
【０００５】
そこで、近年、低インピーダンスで低い等価直列抵抗値（ＥＳＲ値）を有し、かつ大きな静電容量を有すると共に十分に小型化できるコンデンサとして、アルミニウム固体電解コンデンサが開発されている。例えば、アルミニウム等の弁（バルブ）金属表面に誘電体酸化皮膜を形成し、該酸化皮膜上に導電性高分子膜（固体電解質）を形成した構成の固体電解コンデンサが公知である（特許文献１〜４参照）。
【０００６】
このような固体電解コンデンサでは、一般に、前記弁金属表面の一部に端子をカシメや超音波溶接で接合して陽極リード端子とした後、残りの部分に導電性高分子（固体電解質）を積層し、さらにカーボンペースト、銀ペースト等の陰極層を形成せしめ、前記陽極リード端子を陽極リードフレームに接合する一方、前記陰極層を陰極リードフレームに接合し、これらを外装樹脂でモールドした構成が採用されている。
【０００７】
しかるに、前記弁金属（陽極箔）表面の一部に端子をカシメや超音波溶接で接合して陽極リード端子とし、さらに該端子を陽極リードフレームに接合するこれら一連の工程において、弁金属の陽極箔が延性に乏しくて耐折性（耐折り曲げ性）に劣っているために接合不良を生じやすいという問題があった。従って、小型化、高静電容量化等の要求に対応しつつ、陽極箔の耐折性を向上させることが急務となっていた。
【０００８】
一方、捲回型のアルミニウム電解コンデンサにおいても、小型化、高静電容量化、低インピーダンス化、低ＥＳＲ値化を図った上で、さらに捲回構造にしても電極箔に亀裂等が生じない耐折性（耐折り曲げ性）に優れたものの開発が、やはり不可欠となっていた。
【０００９】
Ａｌと弁金属とからなる電解コンデンサ用電極材の製造方法としては、単ロール法によって製造された箔をクラッド（積層）する方法（特許文献５〜７）、アルミニウム合金粉末を溶射または散布し、その後不活性ガス雰囲気中で焼結する方法（特許文献８）等があるが、延性に乏しく耐折性に著しく劣る。また、樹枝状形態を有する金属間化合物粉末（例えばＡｌ3Ｚｒ）を相接して多孔状に成形、焼結する方法（特許文献９）や、アルミニウム箔の少なくとも片面にアルミニウム又はその合金を蒸着して多孔質膜を形成させる方法（特許文献１０、１１）が公知であるが、多孔質膜を非常に薄くしか形成できず十分な静電容量を確保できないばかりか、耐折性も不十分であった。
【００１０】
このような状況下において、小型化が可能で大きな静電容量を確保できると共に、耐折性（耐折り曲げ性）に優れたコンデンサ用電極シートとして、本出願人は先に、Ａｌ、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種の金属を主成分とする芯材の少なくとも片面に、Ａｌと弁金属とからなる金属間化合物をＡ１基合金でバインドした多孔質層を形成したものを提案した（特許文献１２）。
【特許文献１】特開平３-２７６６１９号公報
【特許文献２】特開平３-２７６６２０号公報
【特許文献３】特開平８-１３０１６３号公報
【特許文献４】特開平９-２６６１４１等の公報
【特許文献５】特開平５-２７５２８７号公報
【特許文献６】特開平５-１４８５６３号公報
【特許文献７】特開平１-２９０２１７号公報
【特許文献８】特開平２-９１９１８号公報
【特許文献９】特開平６-２６７８０３号公報
【特許文献１０】特開平３-２０２４６２号公報
【特許文献１１】特開平３-１９６５１０号公報
【特許文献１２】特開２００５-７２４６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、上記特許文献１２で提案されたコンデンサ用電極シートは、所期する目的を達成しうるものではあったが、芯材の強度に限界があるため耐折性にいささか劣るという懸念があった。
【００１２】
この発明は、かかる技術的背景に鑑みてなされたものであって、小型化が可能で大きな静電容量を確保できると共に、耐折性（耐折り曲げ性）にさらに優れたコンデンサ用電極シート及びその製造方法、電解コンデンサ用電極材の製造方法、電解コンデンサ用陽極材の製造方法、電解コンデンサ用陽極材並びに小型でかつ大容量の電解コンデンサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
【００１４】
［１］Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とする芯材の少なくとも片面に、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物を含有してなる多孔質層が、電気的に接合されたシートからなり、前記多孔質層は、前記金属間化合物の微粒子が、Ａｌに前記バルブメタルの１種または２種以上が固溶してなる固溶体により結着されて構成され、前記多孔質層における体積充填率が９０％以下であることを特徴とするコンデンサ用電極シート。
【００１５】
［２］前記多孔質層の組成が、Ａｌ−１０〜５０質量％Ｘ（ＸはＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ、Ｔａの総和）である前項１に記載のコンデンサ用電極シート。
【００１６】
［３］前記芯材がＡｌ基合金であり、Ｓｃの含有量が０．００５質量％以上０．０８質量％以下、Ｚｒの含有量が０．００８質量％以上０．０８質量％以下である前項１または前項２に記載のコンデンサ用電極シート。
【００１７】
［４］前記芯材がＡｌ基合金であり、Ｓｃの含有量が０．０１質量％以上０．０６質量％以下、Ｚｒの含有量が０．０１質量％以上０．０６質量％以下である前項１または前項２に記載のコンデンサ用電極シート。
【００１８】
［５］芯材に含有される微量元素が、Ｓｉ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下、Ｆｅ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下、Ｃｕ；０．０００５質量％以上０．０１５質量％以下、Ｍｎ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｍｇ；０．００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｚｎ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｔｉ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｃｒ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｎｉ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｇａ；０．００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｂ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｖ；０．０００１質量％以上０．０３質量％以下である前項１〜前項４のいずれかに記載のコンデンサ用電極シート。
【００１９】
［６］Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとからなる合金溶湯を霧状にする工程と、前記霧状の合金を、Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とする芯材の少なくとも片面に付着させて積層シートを得る積層工程と、前記積層シートを総厚で２％以上６０％以下の圧下率にて圧延する工程とを包含することを特徴とするコンデンサ用電極シートの製造方法。
【００２０】
［７］前項６に記載の製造方法により得られた電極シートをエッチングすることを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
【００２１】
［８］前項１〜前項５のいずれか１項に記載の電極シートをエッチングすることを特徴とする電解コンデンサ用電極材の製造方法。
【００２２】
［９］前項６に記載の製造方法により得られた電極シートをエッチングした後、さらに化成処理を行って表面に誘電体皮膜を形成せしめることを特徴とする電解コンデンサ用陽極材の製造方法。
【００２３】
［１０］前項１〜前項５のいずれか１項に記載の電極シートをエッチングした後、さらに化成処理を行って表面に誘電体皮膜を形成せしめることを特徴とする電解コンデンサ用陽極材の製造方法。
【００２４】
［１１］前項９または前項１０に記載の製造方法により製造された電解コンデンサ用陽極材。
【００２５】
［１２］前項１１に記載の陽極材を用いて構成された電解コンデンサ。
【発明の効果】
【００２６】
前項［１］に記載の発明によれば、多孔質層は、前記特定のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物を含有してなり、これを化成処理して形成される酸化皮膜は誘電率が非常に大きいので、大きな静電容量を確保できる。しかもこの多孔質層の体積充填率が９０％以下であるので電解質との接触表面積が大きくなり、これによりさらに大きな静電容量を確保できる。更に、多孔質層は、前記金属間化合物の微粒子が、Ａｌに前記バルブメタルが固溶してなる固溶体により結着されて構成されているから、十分な延性が得られて耐折性（耐折り曲げ性）及び耐カシメ性に優れたものとなる。しかも、芯材として、Ａｌ、Ｓｃ、Ｚｒを主成分とするものが用いられているから、芯材の強度を向上でき、ひいては電極シート全体の強度及び耐折性をより一層優れたものとなしうる。従って、この発明の電極シートを用いれば、例えば捲回型の電解コンデンサの提供も十分に可能となる。また、本電極シートを用いて電解コンデンサを構成すれば、等価直列抵抗（ＥＳＲ値）を小さく抑えることができる。
【００２７】
前項［２］に記載の発明によれば、多孔質層に表面積拡大効果を付与できると共に、誘電率の高い誘電体皮膜の形成が可能となり、静電容量をさらに増大することができる。
【００２８】
前項［３］に記載の発明によれば、芯材の強度をさらに高めることができ、電極シートの耐折性を向上できる。
【００２９】
前項［４］に記載の発明によれば、芯材の高強度を確実に確保でき、ひいては電極シートに優れた耐折性を確実に付与することができる。
【００３０】
前項［５］に記載の発明によれば、漏れ電流が少なくコストの安価なコンデンサを製造できる電極シートとなしうる。
【００３１】
前項［６］に記載の発明によれば、芯材に多孔質層が積層一体化されたシートが得られるが、この多孔質層は、前記特定のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物の微粒子が、Ａｌに前記バルブメタルが固溶してなる固溶体により結着された構成になるので、大きな静電容量を有するとともに耐折性（耐折り曲げ性）に優れた電極シートを製造することができる。しかも、圧下率２〜６０％で圧延するので、大きな静電容量を有しつつシート強度をさらに向上した電極シートを製造することができる。
【００３２】
前項［７］に記載の発明によれば、エッチングにより多孔質層の表面積を増大させることができ、大きな静電容量を実現できる。
【００３３】
前項［８］に記載の発明によれば、エッチングにより多孔質層の表面積を増大させることができ、大きな静電容量を実現できる。
【００３４】
前項［９］に記載の発明によれば、エッチングにより多孔質層の表面積を増大させることができ、大きな静電容量を実現できるとともに、化成処理によって誘電率の大きい酸化皮膜を形成できるので、容量をさらに向上させた電解コンデンサの提供が可能となる。
【００３５】
前項［１０］に記載の発明によれば、エッチングにより多孔質層の表面積を増大させることができ、大きな静電容量を実現できるとともに、化成処理によって誘電率の大きい酸化皮膜を形成できるので、容量をさらに向上させた電解コンデンサの提供が可能となる。
【００３６】
前項［１１］に記載の発明に係る陽極材は、大きな静電容量を確保できると共に耐折性（耐折り曲げ性）に優れるから、この陽極材を用いれば、例えば小型でかつ大容量の捲回型の電解コンデンサの提供が十分に可能となる。
【００３７】
前項［１２］に記載の発明によれば、前項［１０］または［１１］の陽極材を用いて構成されているから、小型でかつ大容量の電解コンデンサが提供される。この電解コンデンサでは、等価直列抵抗（ＥＳＲ値）を小さく抑えることができる。また、小型でかつ大容量の捲回型の電解コンデンサの提供も可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
この発明に係るコンデンサ用電極シート（１）は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物を含有してなる多孔質層（４）が、芯材（３）の少なくとも片面に電気的に接合された構成である。
【００３９】
この発明に係るコンデンサ用電極シート（１）の一実施形態を図１（イ）に示す。このコンデンサ用電極シート（１）は、箔状の芯材（３）の片面に多孔質層（４）が積層一体化されたシートからなる。この多孔質層（４）は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルとＡｌとの金属間化合物を含有する。
【００４０】
この発明に係るコンデンサ用電極シート（１）の他の実施形態を図１（ロ）に示す。この電極シート（１）は、箔状の芯材（３）の両面に多孔質層（４）（４）が積層一体化された以外は前記実施形態と同様の構成からなる。即ち、これら多孔質層（４）（４）は、いずれも、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとの金属間化合物を含有する。
【００４１】
前記多孔質層（４）は、図１（イ）（ロ）に示すように、前記金属間化合物の微粒子（７）・・・が、Ａｌに前記バルブメタルの１種または２種以上が固溶してなる固溶体（８）により結着されて構成されている。このような固溶体（８）を介して結着されているので、電極シート（１）は十分な延性が得られて耐折性（耐折り曲げ性）に優れたものとなる。前記固溶体（８）は、十分な延性が得られる限り、その内部に第二相粒子を含むことは何ら問題がない。
【００４２】
なお、（３０）は、多孔質層（４）に存在する空隙である。この空隙（３０）は、他の空隙や外と連通しない独立気泡型であっても良いし、他の空隙や外と連通した連通気泡型であっても良く、或いはこれらの混合型であっても良い。
【００４３】
この発明において、前記多孔質層（４）における体積充填率は９０％以下に設定されている必要がある。体積充填率が９０％を超えると、空隙４が少なくなるため表面積が小さくなり過ぎて電極シート（１）として十分な静電容量が得られない。中でも、前記多孔質層（４）における体積充填率は９０〜２５％であるのが好ましく、特に好ましい範囲は６５〜３５％である。
【００４４】
前記金属間化合物としては、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとの金属間化合物が用いられる。具体的には、例えば、Ｔｉ−Ａｌ金属間化合物、Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物、Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物、Ｈｆ−Ａｌ金属間化合物、Ｔａ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物、Ｔｉ−Ｚｒ−Ｎｂ−Ｈｆ−Ａｌ金属間化合物等が挙げられるが、特にこれら例示のものに限定されるものではない。
【００４５】
前記Ｚｒ−Ａｌ金属間化合物としては、特に限定されるものではないが、例えばＺｒ2Ａｌ3、ＺｒＡｌ2 、ＺｒＡｌ3 等を例示できる。また、前記Ｎｂ−Ａｌ金属間化合物としては、特に限定されるものではないが、例えばＮｂ2Ａｌ、ＮｂＡｌ3等を例示できる。
【００４６】
このように、Ｔｉ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｈｆ，ＴａはＡｌと金属間化合物を形成する。そして、その表面に電気化学的な誘電体皮膜を形成させることにより、Ａｌ単体の誘電体皮膜より誘電率の向上が期待できる。このため、同じ表面積であれば、高静電容量が見込める。ここで、多孔質層（４）の組成は、Ａｌ―１０〜５０質量％Ｘ（ただし、ＸはＴｉ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｈｆ，Ｔａの総和）であることが、表面積拡大率と誘電体皮膜形成の面から適している。特に、Ａｌ―２０〜３５質量％Ｘであることが望ましい。
【００４７】
この発明において、前記芯材（３）としては、Ａｌ，Ｓｃ，Ｚｒを主成分とする芯材が用いられる。このような芯材を用いることにより、芯材の強度を向上でき電極シート全体の強度及び耐折性を向上できる。Ａｌ，Ｓｃ，Ｚｒの含有量は特に限定されないが、好ましくはＳｃの含有量が０．００５質量％以上、０．０８質量％以下、Ｚｒの含有量が０．００８質量％以上、０．０８質量％以下であるアルミニウム基合金を用いるのがよい。Ｓｃの含有量が０．００５質量％未満では、強度アップ効果が見込めないおそれがあり、また、０．０８質量％を超えると高価になるおそれがある。また、Ｚｒの含有量が０．００８質量％未満では強度アップ効果が見込めないおそれがあり、０．０８質量％を超えて添加しても、強度アップへの効果が少ない。好適には、Ｓｃの含有量を０．０１質量％以上、０．０６質量％以下、Ｚｒの含有量を０．０１質量％以上、０．０６質量％以下とするのがよい。
【００４８】
また、芯材にはＡｌ，Ｓｃ，Ｚｒ以外の微量元素の含有が許容されるが、これらの微量元素のうち、Ｓｉ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下、Ｆｅ；０．０００５質量％以上０．０３質量％以下とするのがよい。Ｓｉ量が０．０００５質量％未満では、芯材のＡｌ純度が高くなるためコストアップとなり、０．０３質量％を超えると、漏れ電流等の電気的特性が劣化するおそれがある。Ｆｅ量が０．０００５質量％未満では、やはり芯材のＡｌ純度が高くなるためコストアップとなり、０．０３質量％を超えると、やはり漏れ電流等の電気的特性が劣化するおそれがある。
【００４９】
他の微量元素についても、価格と特性の面から、Ｃｕ；０．０００５質量％以上０．０１５質量％以下、Ｍｎ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｍｇ；０．００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｚｎ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｔｉ；０．００００３質量％以上０．００１質量％以下、Ｃｒ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｎｉ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｇａ；０，００００３質量％以上０．００５質量％以下、Ｂ；０．００００３質量％以上０．００３質量％以下、Ｖ；０．０００１質量％以上０．０３質量％以下であることが望ましい。
【００５０】
前記芯材（３）の厚さは５〜８０μｍであるのが好ましい。５μｍ未満では電極シート（１）として十分な強度が得られなくなるので好ましくないし、８０μｍを超えると軽量化、コンパクト化の要請に対応できなくなるので好ましくない。中でも、前記芯材（３）の厚さは１０〜６０μｍであるのがより好ましい。
【００５１】
前記多孔質層（４）の厚さは５〜３００μｍであるのが好ましい。５μｍ未満では電極シート（１）として十分な静電容量が得られないので好ましくない。一方３００μｍを超えると、軽量化、コンパクト化の要請に対応できなくなるので好ましくない。中でも、前記多孔質層（４）の厚さは１０〜２００μｍであるのが特に好ましい。
【００５２】
前記コンデンサ用電極シートの製造装置の一例について、図３を参照しつつ説明する。図３の製造装置（９）において、（１０）は合金溶湯貯留槽、（１１）は気流発生装置、（１３）は冷却ロール、（１４）は圧延ロール、（１７）は遮蔽板である。これらのうち合金溶湯貯留槽（１０）、気流発生装置（１１）、冷却ロール（１３）及び遮蔽板（１７）は、ボックス（１８）内に配置されている。なお、ボックス（１８）内は不活性ガス雰囲気に設定される。
【００５３】
前記ボックス（１８）の上壁にはシート挿通孔（１８ａ）が穿設される一方、ボックス（１８）の底壁におけるその直下位置にシート挿通孔（１８ｂ）が穿設されている。しかして、供給される箔状のアルミニウム芯材（３）は、ボックス（１８）上壁の上方から挿通孔（１８ａ）を通過して、ボックス（１８）の内部空間を下方に向けて移動した後、底壁の挿通孔（１８ｂ）を通過して外部に導出されるものとなされている。
【００５４】
前記気流発生装置（１１）は略水平方向への気流を発生させる装置である。即ち、この装置（１１）を駆動させることによって略水平方向への不活性ガス気流（１９）を一定の流量で生じせしめることができる。
【００５５】
前記冷却ロール（１３）は、前記気流発生装置（１１）により発生する気流の進行方向に配置されている。即ち、前記気流発生装置（１１）と同等の高さ位置に前記冷却ロール（１３）が配置されている。この冷却ロール（１３）は、霧状の合金（合金溶湯）がアルミニウム芯材（３）に吹き付けられた際に該アルミニウム芯材（３）が図面左方向に押されて移動することのないように該アルミニウム芯材（３）を支持すると共に、該冷却ロール（１３）に接触したアルミニウム芯材（３）を冷却する。この冷却によってアルミニウム芯材（３）に付着した霧状の合金溶湯の冷却固着を促進させることができる。本実施形態では、冷却ロール（１３）として水冷式のものが用いられている。
【００５６】
前記合金溶湯貯留槽（１０）は、前記冷却ロール（１３）と前記気流発生装置（１１）の中間位置における上方位置に配置されている。この合金溶湯貯留槽（１０）の第１底壁（２５）の下面には通気流路（２３）が形成される形態で第２底壁（２４）が設けられている。前記第１底壁（２５）の中央部に開口部（２１）が設けられ、前記第２底壁（２４）の中央部に噴射孔（２２）が設けられている。本実施形態では、前記開口部（２１）の直下位置に前記噴射孔（２２）が設けられている。前記通気流路（２３）には図３矢印方向に向けて噴射用気流（２６）が生じるものとなされている。この噴射用気流（２６）は、図示しない気流発生装置によって付与される。しかして、合金溶湯貯留槽（１０）の開口部（２１）から合金溶湯の細流が吐出されると同時に該細流に対して噴射用気流（２６）が照射されることによって前記合金溶湯が霧状化された後、前記噴射孔（２２）を介して霧状の噴射流（１５）となって下方に向けて噴射される。そして、この下方に向けて噴射された噴射流（１５）に対して、前記気流発生装置（１１）により生じた不活性ガス気流（１９）が略水平方向に入射され、これによって噴射流（１５）から霧状合金の分岐噴射流（１６）が略水平方向に生じる。この分岐噴射流（１６）が、下方に向けて搬送されている前記アルミニウム芯材（３）に吹き付けられる。この吹き付けと同時に前記冷却ロール（１３）によってアルミニウム芯材（３）が冷却されるので、吹き付けにより付着した霧状合金の冷却固化が促進される。こうして積層シート（５）が得られる。
【００５７】
前記遮蔽板（１７）は、前記ボックス（１８）の底壁から上方に向けて垂直状に立設されており、その取付位置は、前記合金溶湯貯留槽（１０）の噴射孔（２２）の直下位置よりも前記冷却ロール（１３）側の位置である。また、前記遮蔽板（１７）の高さは、前記不活性ガス気流（１９）の流れを阻害しない高さに設定されている。しかして、この遮蔽板（１７）の存在によって、前記霧状の噴射流（１５）のうち略水平方向の分岐噴射流（１６）とならずにそのまま落下する噴射流が前記積層シート（５）表面に到達して付着することが阻止される。
【００５８】
前記一対の圧延ロール（１４）（１４）は、前記ボックス（１８）の外部に配置されている。しかして、前記ボックス（１８）の底壁の挿通孔（１８ｂ）を通過して移動してきた積層シート（５）が、この圧延ロール（１４）（１４）間に挿通されて圧延されることによって、この発明の電極シート（１）が製造される。
【００５９】
なお、前記実施形態において、冷却ロール（１３）に代えて、図４に示すように支持板等の支持体（１２）を配置しても良い。該支持体（１２）によって、霧状の合金（合金溶湯）がアルミニウム芯材（３）に吹き付けられた際に該アルミニウム芯材（３）が押されて移動することのないように該アルミニウム芯材（３）を支持することができる。
【００６０】
この発明に係るコンデンサ用電極シートの製造装置（９）の更に他の実施形態を図５を参照しつつ説明する。なお、前記実施形態と同一の構成部については同一の符号を付してその説明は省略する。この図５に示す製造装置（９）では、図３の製造装置における冷却ロール（１３）を取り除く一方、この後の空間内に、合金溶湯貯留槽（１０）、気流発生装置（１１）及び遮蔽板（１７）を前記実施形態（図３の装置）における右側空間内における配置態様と同様の態様で配置せしめている。但し、図５に示すように、中央のアルミニウム芯材（３）を境にして両者の配置が左右正反対になる態様で配置されている。これ以外の構成は前記実施形態（図３の装置）と同様である。
【００６１】
この装置（９）によれば、左右両側の気流発生装置（１１）（１１）からの不活性ガス気流（１９）（１９）によってアルミニウム芯材（３）に向けて霧状合金の分岐噴射流（１６）が吹き付けられた際に、アルミニウム芯材（３）の同一位置における両面に対してその両側から分岐噴射流（１６）が吹き付けられるものとなるので、特に冷却ロール、支持板等の支持体（１２）を設けなくとも、吹き付けの際のアルミニウム芯材（３）の左右方向への移動を防止できる。また、本装置（９）によれば、アルミニウム芯材（３）の両面の同じ高さ位置に同時に霧状合金を吹き付けることができるので、装置スペースを低減することができるし、アルミニウム芯材（３）の両面に効率良く多孔質層（４）を形成できる。
【００６２】
次に、この発明に係るコンデンサ用電極シートの製造方法について図３を参照しつつ説明する。
【００６３】
まず、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとからなる合金溶湯を合金溶湯貯留槽（１０）内に供給する。また、前記気流発生装置（１１）を駆動し、箔状のアルミニウム芯材（３）をシート挿通孔（１８ａ）を介してボックス（１８）内を下方に向けて搬送せしめると共に、前記合金溶湯貯留槽（１０）の通気流路（２３）に噴射用気流（２６）を図面矢印方向に流すことによって前記開口部（２１）から吐出される合金溶湯の細流に対して噴射用気流（２６）を照射せしめ、これによって前記噴射孔（２２）より霧状の合金（合金溶湯）からなる噴射流（１５）を下方に向けて噴射せしめる。なお、前記ボックス（１８）内は不活性ガス雰囲気に設定しているので、前記噴射用気流（２６）は不活性ガスによる気流である。
【００６４】
この時、この下方に向けて噴射された噴射流（１５）に対して、前記気流発生装置（１１）により生じた不活性ガス気流（１９）が略水平方向に入射され、これによって噴射流（１５）から霧状合金の分岐噴射流（１６）が略水平方向に生じる。この分岐噴射流（１６）が、下方に向けて搬送されている前記アルミニウム芯材（３）の片面に吹き付けられる。前記下方に向けて噴射された噴射流（１５）を構成する霧状合金は、粒径の分布幅を有するが、これらのうち相対的に粒径の小さい霧状合金が不活性ガス気流（１９）によって略水平方向の分岐噴射流（１６）となる一方、相対的に粒径の大きい霧状合金は質量が大きいのでそのまま落下する。従って、このような噴射態様を採用することによって、噴射流（１５）のうち粒径の小さい霧状合金を選択的に前記アルミニウム芯材（３）に吹き付けて付着させることができるので、より表面積の大きい多孔質層（４）をアルミニウム芯材（３）の片面に形成することができる。
【００６５】
また、この実施形態では、前記吹き付けと同時に、アルミニウム芯材（３）の裏面（非付着面、非吹き付け面）に冷却ロール（１３）を接触させて冷却を行って積層シート（５）を得ているので、アルミニウム芯材（３）に付着した霧状の合金溶湯の冷却固着を促進させることができる。
【００６６】
上記のようにして得られた、アルミニウム芯材（３）の片面に霧状合金が付着されてなる積層シート（５）を一対の圧延ロール（１４）（１４）間に挿通して圧延する。こうしてこの発明の電極シート（１）が得られる。即ち、図１（イ）に示すようなアルミニウム芯材（３）の片面に多孔質層（４）が積層された構成の電極シート（１）が得られる。
【００６７】
なお、上記実施形態では、霧状合金がアルミニウム芯材（３）の片面に付着されると同時にこのアルミニウム芯材（３）の裏面に冷却ロール（１３）を接触させるようにしているが、この冷却ロール（１３）による冷却は、霧状合金をアルミニウム芯材（３）に付着した後で行うようにしても良い。
【００６８】
また、上記実施形態では、アルミニウム芯材（３）の片面だけに霧状合金を付着せしめているが、アルミニウム芯材（３）の両面に霧状合金を付着せしめて電極シート（１）を得るようにしても良い。
【００６９】
次に、この発明の別の、コンデンサ用電極シートの製造方法について図５を参照しつつ説明する。
【００７０】
まず、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｈｆ及びＴａからなる群より選ばれる１種または２種以上のバルブメタルと、Ａｌとからなる合金溶湯を左右の合金溶湯貯留槽（１０）（１０）内にそれぞれ供給する。また、前記気流発生装置（１１）（１１）を駆動し、シート状のアルミニウム芯材（３）をシート挿通孔（１８ａ）を介してボックス（１８）内を下方に向けて搬送せしめると共に、前記合金溶湯貯留槽（１０）（１０）の通気流路（２３）（２３）に噴射用気流（２６）（２６）を図面矢印方向に流すことによって前記開口部（２１）（２１）から吐出される合金溶湯の細流に対して噴射用気流（２６）（２６）を照射せしめ、これによって左右の噴射孔（２２）（２２）のそれぞれより霧状の合金（合金溶湯）からなる噴射流（１５）（１５）を下方に向けて噴射せしめる。なお、前記ボックス（１８）内は不活性ガス雰囲気に設定しているので、前記噴射用気流（２６）は不活性ガスによる気流である。
【００７１】
この時、左右いずれの噴射流（１５）（１５）に対しても、前記気流発生装置（１１）（１１）により生じた不活性ガス気流（１９）（１９）が略水平方向に入射され、これによって噴射流（１５）（１５）から霧状合金の分岐噴射流（１６）（１６）が略水平方向に生じる。この分岐噴射流（１６）（１６）が、下方に向けて搬送されている前記アルミニウム芯材（３）の両面に吹き付けられる。前記下方に向けて噴射された噴射流（１５）を構成する霧状合金は、粒径の分布幅を有するが、これらのうち相対的に粒径の小さい霧状合金が不活性ガス気流（１９）によって略水平方向の分岐噴射流（１６）となる一方、相対的に粒径の大きい霧状合金は質量が大きいのでそのまま下方に落下する。従って、このような噴射態様を採用することによって、噴射流（１５）（１５）のうち粒径の小さい霧状合金を選択的に前記アルミニウム芯材（３）に吹き付けることができるので、より表面積の大きい多孔質層（４）（４）をアルミニウム芯材（３）の両面に形成することができる。
【００７２】
上記のようにして得られた、アルミニウム芯材（３）の両面に霧状合金が付着されてなる積層シート（５）を一対の圧延ロール（１４）（１４）間に挿通して圧延する。こうしてこの発明の電極シート（１）が得られる。即ち、図１（ロ）に示すようなアルミニウム芯材（３）の両面に多孔質層（４）（４）が積層された構成の電極シート（１）が得られる。
【００７３】
なお、上記実施形態では、いずれにおいても、霧状合金を芯材（３）に対して吹き付ける際のその入射角度（α）は、約９０°に設定されているが、特にこのような入射角度に限定されるものではなく、どのような入射角度で吹き付けても良い。中でも、霧状合金の吹き付けの際の入射角度（α）は１５°〜９０°（１５°、９０°を含む）に設定するのが好ましい。１５°未満では、芯材（３）に付着されることなく飛散する霧状合金の割合が増大するので好ましくない。なお、前記「入射角度（α）」とは、芯材（３）に対する交差角度のうち鋭角のもの（９０°交差を含む）を意味する（鈍角は採用しない）。
【００７４】
なお、前記製造装置（９）の説明および製造方法の説明においては、芯材（３）としてアルミニウム芯材を用いたが、特にこれに限定されるものではなく、Ａｌ，Ｓｃ，Ｚｒを主成分とする芯材であれば、どのようなものでも使用することができる。
【００７５】
上記実施形態では、霧状合金のアルミニウム芯材（３）への付着を吹き付けにより行っているが、特にこのような手法で行うものに限定されるものではない。
【００７６】
上記のような電極シートの製造方法において、アルミニウム芯材（３）に付着させる霧状合金の平均粒径は０．５〜２００μｍに設定するのが好ましい。このような粒径範囲のものを付着させることによって、より表面積の大きい多孔質層（４）を形成させることができる。これにより、一層静電容量の大きい電極シート（１）を製造することができる。中でも、アルミニウム芯材（３）に付着させる霧状合金の平均粒径は１〜１００μｍに設定するのが特に好ましい。
【００７７】
また、不活性ガス気流（１９）の流速は３５０〜１０００ｍ／秒に設定するのが好ましい。３５０ｍ／秒未満では分岐噴射流（１６）が生じ難くなるので好ましくないし、一方１０００ｍ／秒を超えると相対的に粒径の大きい霧状合金が前記分岐噴射流（１６）に含まれる率が高くなるので好ましくない。中でも、不活性ガス気流（１９）の流速は４００〜６００ｍ／秒に設定するのがより好ましく、前記分岐噴射流との関係で特に好ましい範囲は４００〜４８０ｍ／秒である。
【００７８】
また、前記不活性ガスとしては、窒素ガス、アルゴンガス、ヘリウムガス等が用いられる。
【００７９】
また、この発明の製造方法において、圧延する際の圧下率は２〜６０％に設定するのが好ましい。２％未満では十分なシート強度が得られなくなることが懸念されるので好ましくないし、６０％を超えるとシートの延性が著しく低下するので好ましくない。中でも、圧下率は５〜５０％に設定するのがより好ましく、特に好ましい範囲は１０〜３０％である。
【００８０】
この発明の電極シート（１）またはこの発明の製造方法により製造された電極シート（１）をエッチングした後、さらに化成処理を行い電極シート（１）の表面に電気化学的に誘電体皮膜（６）を形成させることによって、電解コンデンサ用陽極材（２）として好適に用いられるシートを製造することができる（図２参照）。なお、図２において、（３５）は、エッチングにより形成されたエッチング孔である。電極シート（１）における多孔質層（４）にはそもそも空隙（３０）…が多数存在する（図１参照）ので、前記エッチング処理によって深くかつ拡がりを持ったエッチング孔（３５）が形成される（図２参照）。即ち、前記エッチング処理の際に、エッチングによる単なる一次侵入孔（３５ａ）が形成されるだけではなく、該一次侵入孔（３５ａ）を核にして空隙（３０）部分にも略放射状に連通してエッチングし得て二次侵入孔（３５ｂ）が形成されるので、深くかつ拡がりを持ったエッチング孔（３５）が形成されるものとなる。従って、表面積を格段に増大させることができて電解質との接触表面積を顕著に増大できるので、コンデンサとしての静電容量を顕著に増大させることができる。なお、図２において、多孔質層（４）のうち、（５１）はエッチングされて形成されたエッチング部であり、（５２）はエッチングされていない未エッチング部である。
【００８１】
前記エッチング処理としては、例えば塩酸水溶液中で直流電流を通電してエッチングする方法等を例示できるが、特にこれに限定されない。
【００８２】
また、前記化成処理としては、特に限定されるものではないが、例えばホウ酸浴、リン酸浴またはアジピン酸浴中での化成処理等が挙げられるが、特にこれらに限定されるものではない。
【００８３】
この発明に係る電解コンデンサは、上記陽極材（２）を用いて構成されたものである。この発明のコンデンサ用電極シート（１）を構成素材にした陽極材（２）を用いているので、小型でかつ大容量の電解コンデンサとなる。
【実施例】
【００８４】
次に、この発明の実施例について説明する。
【００８５】
表１に示す組成のアルミニウム基合金からなる箔状芯材(厚み５０μｍ、長さ３００mm×幅１２０mm)の両面に、表２の組成の多孔質層形成用合金を図５に示したガスアトマイズ法により、片側約８０μｍ厚のエッチング層厚まで形成させた後、ロ一ル径２００mmφ×幅２２０mmの圧延ロールを用い、エタノールを潤滑材として表面に塗布しながら箔厚１７０μｍまで圧延し、表３に示す構成の電解コンデンサ用電極シートを作製した。圧下率は総厚の約２０％であった。
【００８６】
そして、下記エッチング評価方法に示すエッチング条件にてエッチング処理を行ったのち、同じく下記エッチング評価方法に示す化成条件にて誘電体酸化皮膜を形成して、静電容量を測定した。
【００８７】
＜直流エッチング評価方法＞
各電解コンデンサ用電極シートに対して、１．０ｍｏｌ／１のＨＣ１と３．５ｍｏｌ／１のＨ2Ｓ０4の混合液を用い、液温８０℃で３０ｓｅｃの浸漬処理を施した後、電流密度０．２Ａ／ｃｍ2で１２０ｓｅｃの一次電解処理を施した。更に同組成の液にて、９０℃で９００ｓｅｃのケミカルエッチングを施し、水洗、乾燥してエッチングを完了した。次いで、硼酸浴５００Ｖで化成処理を行い、静電容量を測定した。静電容量は、比較例２を１００として相対的に評価した。その結果を表３に示す。
【００８８】
また、各電極シートにおける多孔質層の体積充填率を同じく表３に示す。この体積充填率の測定方法は次のとおりである。
＜体積充填率測定方法＞
各電極シートの片面を固定用台に接着剤を用いて固着せしめて固定した後、シートの断面にエメリ研磨、バフ研磨を行うことによって該断面を平滑面にする。しかる後、前記断面に厚さ約２０〜５０ｎｍのカーボン蒸着膜を付着せしめ、該断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により組成像観察を実施し、２値化処理のしきい値を（金属間化合物＋固溶体）と空隙との間に設定することによって（金属間化合物＋固溶体）の面積を計測した。観察した断面の総面積に占める（金属間化合物＋固溶体）の面積の割合（％）を体積充填率とした。
【００８９】
また、各電極シートに対して下記耐折性評価法に基づいて耐折性（耐折り曲げ性）を評価した。
＜耐折性評価法＞
Ｍ．Ｉ．Ｔ形試験器（ＪＩＳ Ｐ８１１５）を用いて耐折性の評価を行った。即ち、図６及び図７に示すように、１ｍｍの曲率半径（ｒ）を有する円弧形状の先端曲部（４２）を備えた鋼製の挟着治具（４１）（４１）の間に、幅１０ｍｍの短冊状の電極シートの一端側を挟み込み固定する一方、電極シートの他端側に２５０ｇのばね荷重を掛けて引張り、図６（ａ）に示すような鉛直状態に吊り下げる。次いで、ばね荷重を掛けた状態で、図６（ｂ）に示すように挟着治具（４１）（４１）を左９０度方向に傾斜させた後、再度図６（ｃ）に示すような鉛直状態に戻し、さらに図６（ｄ）に示すように挟着治具（４１）（４１）を右９０度方向に傾斜させた後、再び図６（ａ）に示す鉛直状態に復帰させる。これら一連の工程を１サイクルとする。この段階で電極シートが切断するようなことがなければ、更に（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ａ）の順に第２サイクルの操作を行う。以下順に電極シートが切断するまで同様の操作を繰り返し、切断するまでのサイクル数を求め、これにより電極シートの耐折性を評価した。例えば８サイクル目を操作中に切断した場合には耐折性評価は「７サイクル」となる。なお、サイクルの繰り返し速度は、毎分９０サイクルとした。
【００９０】
更に、上記のようにして得られた各電極シートを用いて後述する構成の電解コンデンサを作製した。
＜コンデンサの作製方法（コンデンサの構成）＞
エッチング・化成処理後の電極シート（１）から５×３．５ｍｍの小片を切り出し、この小片における長さ方向の端部位置から１ｍｍ中に入り込んだ位置から２ｍｍ中に入り込んだ位置にかけて幅１ｍｍ×長さ３．５ｍｍで、その表裏面のいずれにもポリメチルメタクリレート樹脂で分割部を作製した。この分割部で区画された２つの区画のうち大きい面積の区画部（３ｍｍ×３．５ｍｍ）を再度リン酸アンモニウム水溶液によって化成した後、ポリピロール（酸化剤を過硫酸アンモニウム、ドーパントをアンソラキノンスルフォン酸ナトリウムとし、ドーパントの存在下、ピロールと酸化剤との反応を繰り返した）を陰極としてエッチング細孔に充填すると共に、その表面にも析出させた。更に、カーボンペースト、銀ペーストを順に積層した後、別途準備したリードフレームの所定箇所に接続し、エポキシ樹脂で封止することによって、作動電圧１０Ｖのチップ状電解コンデンサを作製した。
【００９１】
上記のようにして得られた各電解コンデンサに対して下記評価を行った。
＜評価＞
ＬＣ値（漏れ電流量）（μＡ／ｃｍ2）を測定した。その結果を表３に示す。なお、測定値は、いずれもコンデンサ５個の測定値の平均値である。
【００９２】
【表１】
2007227479.tif 000003
【００９３】
【表２】
2007227479.tif 000004
【００９４】
【表３】
2007227479.tif 000005
【００９５】
＜評価結果＞
表３から明らかなように、この発明に係る実施例１〜７の電極シートは、静電容量に優れており、また屈曲させても亀裂やひび割れ等が全く生じておらず、耐折性にも優れていた。また、この発明に係る実施例１〜７の電極シートを用いて構成された電解コンデンサは、漏れ電流を非常に少なくできると共に小型で大容量のものとなることを確認した。
【００９６】
これに対して、比較例１の電極シートは耐折性に劣っていたし、比較例２の電極シートの静電容量は、実施例１〜７と比較して小さかった。また、比較例３の電極シートは耐折性に劣り、かつ漏れ電流も大きかった。
【図面の簡単な説明】
【００９７】
【図１】（イ）はこの発明の一実施形態に係る電極シートを示す模式的断面図、（ロ）は他の実施形態に係る電極シートを示す模式的断面図である。
【図２】この発明の一実施形態に係る電解コンデンサ用陽極材を示す模式的断面図である。
【図３】この発明の製造方法（製造装置）の一例を示す概略図である。
【図４】この発明の製造方法（製造装置）の他の例を示す概略図である。
【図５】この発明の製造方法（製造装置）の更に他の例を示す概略図である。
【図６】耐折性評価法の説明図である。
【図７】挟着治具による電極シート挟込み固定箇所の拡大断面図である。
【符号の説明】
【００９８】
１…電極シート
２…陽極材
３…芯材
４…多孔質層
５…積層シート
６…誘電体皮膜
７…金属間化合物微粒子
８…固溶体
９…製造装置
１０…合金溶湯貯留槽
１１…気流発生装置
１２…支持体
１３…冷却ロール
１４…圧延ロール
１５…噴射流
１６…分岐噴射流
１７…遮蔽板
１９…不活性ガス気流
２２…噴射孔
２６…噴射用気流
３０…空隙
３５…エッチング孔
３５ａ…一次侵入孔
３５ｂ…二次侵入孔
【図１】
2007227479.tif 000006
【図２】
2007227479.tif 000007
【図３】
2007227479.tif 000008
【図４】
2007227479.tif 000009
【図５】
2007227479.tif 000010
【図６】
2007227479.tif 000011
【図７】
2007227479.tif 000012