(57)【要約】【課題】広い作業スペースを必要とせず大型基板を出し入れでき、その表面を汚すことなく搬送可能な基板搬送ケースを提案すること。【解決手段】マスクブランク搬送ケース１は、密閉型の収納箱２に、マスクブランク８が保持されているキャスタ付きの基板保持具４が前側から出し入れ可能である。基板保持具４を入れると、その支持台４１が、Ｏリング５９を挟み、収納箱側の仕切り用枠板３１、３２に下側から押し付けられ、基板収納部２３が上下に二分される。マスクブランク８の側に、キャスタ側から埃などの異物が回り込み、その表面を汚してしまうことを防止できる。また、前方からキャスタ付きの基板保持具４を出し入れするので作業スペースが少なくて済む。【選択図】図３
2007250688.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を縦置き状態で保持可能な基板保持具と、
当該基板保持具を側方から出し入れ可能な状態で収納するための密閉型の収納箱と、
当該収納箱の内部を、当該収納箱に収納された前記基板保持具の一部を利用して上側部分および下側部分に仕切ることの可能な仕切り機構とを有し、
前記基板保持具は、基板を縦置き状態で保持するための基板保持部と、この基板保持部を支持している支持台と、この支持台の裏面に取り付けた転動体とを備えており、
前記収納箱に前記基板保持具が収納された状態では、前記支持台より上側の前記基板保持部が前記上側部分に位置し、前記支持台より下側の前記転動体が前記下側部分に位置することを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項２】
請求項１において、
前記仕切り機構は、前記基板保持具の前記支持台と、前記収納箱の内部における前記上側部分および前記下側部分を連通している開口部とを備えており、
前記基板保持具を前記収納部に収納すると、前記支持台によって前記開口部が封鎖可能となっていることを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項３】
請求項２において、
前記仕切り機構は、前記支持台と前記開口部の内周縁部分の間に挟み込まれるシール材を備えていることを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項４】
請求項１において、
前記収納箱は、前記基板保持具が収納された状態において、前記基板保持部に保持されている基板を弾性力によって当該基板保持部に押し付け可能な弾性押し付け部材を備えていることを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項５】
請求項１において、
前記収納箱は、収納された前記基板保持具を振動吸収材を介して支持する支持機構を備えていることを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項６】
請求項１において、
前記基板保持具は、少なくとも一つの位置決め用の保持具側係合部を備えており、
前記収納箱は、前記保持具側係合部に係合可能な位置決め用の箱側係合部を備えていることを特徴とする基板搬送ケース。
【請求項７】
請求項１ないし６のうちのいずれかの項において、
前記基板は、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランク、または、ガラス基板の表面にパターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴とする基板搬送ケース。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層された構成のマスクブランク、パターニングされている遮光膜が形成されている転写マスクなどの基板を搬送するために用いる基板搬送ケースに関するものである。特に、本発明は、一辺が例えば７００ｍｍ以上の大型サイズのマスクブランク、転写マスクを搬送するのに適した基板搬送ケースに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
マスクブランク、転写マスクなどの基板は一般に機械的に脆弱であり、その用途上、微細な塵などが表面に付着しないように管理する必要がある。また、大型大画面の液晶ディスプレイパネル、プラズマディスプレイパネルなどのディスプレイ製品の出現によって、そのような製品の製造工程に用いられる転写マスクなどの基板も大型化している。例えば、縦横の寸法が、850mm×1400mm、1200mm×1400mm、さらには1400mm×1600mmの大型のマスクブランク、転写マスクなどが用いられるようになってきている。
【０００３】
大型のマスクブランク、転写マスクなどを搬送するために用いる基板搬送ケースとしては、樹脂性の容器本体を金属製の補強部材によって補強した構成のものが知られている。特許文献１には、このような大型サイズの基板を収納するための大型容器が開示されている。ここに開示の大型容器では、樹脂板からなる蓋体部と、同じく樹脂板からなる本体部とを、バックル錠で互いに密閉状態で係合させることにより密閉容器を形成し、その内部に収容・保持されている大型サイズの基板は、その周縁部が蓋体部の保持部材間に保持され、両面が実質的に容器内の他の部材と非接触な状態とされている。また、蓋体部と本体部の外側面にはアルミニウム・アングルが補強のために取り付けられている。
【０００４】
一方、特許文献２には、フォトマスクをキャスタ付きの密閉型のマスクケースに縦置き状態で収納し、このマスクケースを、同じくキャスタ付きの密閉型の輸送用ケースに収納する構成が開示されている。フォトマスク基板用輸送ケースの扉用正面板を開けて、その中に収納されているキャスタ付きのマスクケースを引き出し、当該マスクケースを所定の場所に移動して、その中に収納されているフォトマスクを取り出すことができる。この構成によれば、大きなフォトマスク基板用輸送ケースを左右に開く必要がないので、作業スペースが少なくて済む。また、キャスタ付きのマスクケースをクリーンルームなどに移動してフォトマスクの出し入れ作業を行うことができるので、フォトマスク表面に埃などが付着する危険性も少ない。
【特許文献１】特開２００５−１７０５０７号公報
【特許文献２】実用新案登録第３１１７３６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されている構成の大型容器では、左右に開閉して基板を出し入れする構成となっている。基板の出し入れ作業は、一般に縦横寸法の大きな偏平な容器を横に倒した状態で行われる。このため、基板の出し入れ作業に際しては容器を左右に開くことができるように広い作業スペースが必要である。また、基板の出し入れ時に埃などが膜表面に付かないように、膜が形成されている面が下向きの状態で基板が取り扱われる。しかしながら、収納容器を左右に開いた状態では、基板の両面が開放状態になるので、表面に埃が付着するおそれが高い。さらに、左右に開いた収納容器の部分、収納容器から取り外した固定具、あるいは、固定具を緩めるための治具などが基板表面に当たり、基板を傷つける危険性もある。
【０００６】
特許文献２に開示の構成では、密閉型のキャスタ付きの輸送用ケースに密閉型のキャスタ付きのマスクケースが収納された二重の密閉構造となっているので、埃などの異物がフォトマスク表面に付着することを確実に防止できる。しかしながら、大型のフォトマスクを収納する場合には二重の密閉構造となっているので、ケース寸法が大幅に増加してしまうという課題がある。
【０００７】
本発明の課題は、このような点に鑑みて、大型のマスクブランクおよび転写マスクを、その表面に埃などが付着することなく搬送することができ、それらの出し入れ作業も効率良く埃などが付着することなく行うことができ、また、寸法増加を抑制可能な構成を備えた基板搬送ケースを提案することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明の基板搬送ケースは、
基板を縦置き状態で保持可能な基板保持具と、
当該基板保持具を側方から出し入れ可能な状態で収納するための密閉型の収納箱と、
当該収納箱の内部を、当該収納箱に収納された前記基板保持具の一部を利用して上側部分および下側部分に仕切ることの可能な仕切り機構とを有し、
前記基板保持具は、基板を縦置き状態で保持するための基板保持部と、この基板保持部を支持している支持台と、この支持台の裏面に取り付けた転動体とを備えており、
前記収納箱に前記基板保持具が収納された状態では、前記支持台より上側の前記基板保持部が前記上側部分に位置し、前記支持台より下側の前記転動体が前記下側部分に位置することを特徴としている。
【０００９】
本発明の基板搬送ケースでは、密閉型の収納箱の中に、転動体、例えばキャスタを備えた基板保持具が収納されている。したがって、収納箱の側方から基板保持具を収納箱内に入れることができ、また、収納箱内から側方に引き出すことができる。よって、収納箱を左右に開く必要が無いので広い作業スペースを要しない。
【００１０】
また、基板保持具を収納箱に収納した状態では、仕切り機構によって、収納箱内が上下に二分され、基板が保持されている基板保持部が、下側のキャスタなどの転動体が位置している下側部分から仕切られた状態になる。キャスタなどの転動体は基板保持具の出し入れの際などに埃などを発生する発生源になる可能性がある。本発明では、キャスタなどの転動体が位置している下側部分が、基板が位置している上側部分と仕切られているので、転動体から発生した埃などの異物が基板表面に付着するという弊害を回避できる。よって、二重の密閉構造とすることなく、基板表面に埃などが付着することを確実に防止できるので、大型の基板を収納する場合におけるケース寸法の増加を抑制できる。
【００１１】
ここで、本発明において、前記仕切り機構としては、前記基板保持具の前記支持台と、前記収納箱の内部における前記上側部分および前記下側部分を連通している開口部とを備え、前記基板保持具を前記収納部に収納すると、前記支持台によって前記開口部が封鎖可能となっている構成を採用できる。
【００１２】
また、上側部分と下側部分を確実に密閉状態で仕切るために、前記仕切り機構は、前記支持台と前記開口部の内周縁部分の間に挟み込まれるＯリングなどのシール材を備えていることが望ましい。
【００１３】
次に、本発明では、前記収納箱は、前記基板保持具が収納された状態において、前記基板保持部に保持されている基板を弾性力によって当該基板保持部に押し付け可能な弾性押し付け部材を備えていることを特徴としている。
【００１４】
基板が弾性力によって基板保持部に押し付けられるので、搬送中などにおいて基板が振動、あるいはガタ付くことがない。よって、基板と基板保持部の摩擦などに起因して埃が発生して基板表面に付着してしまうという弊害を回避できる。
【００１５】
次に、本発明では、前記収納箱は、収納された前記基板保持具を振動吸収材を介して支持する支持機構を備えていることを特徴としている。搬送中などにおいて、収納箱に振動、衝撃などの外力が作用しても、振動吸収材を備えた支持機構によって、このような振動などが吸収あるいは抑制され、内部の基板保持具の側に伝達することが回避あるいは抑制される。よって、基板保持具の振動やガタ付き、あるいは、基板保持具に保持されている基板の振動やガタ付きが防止あるいは抑制される。したがって、このような振動、ガタ付きなどに起因して収納箱内で埃などが発生して基板表面を汚してしまうという弊害を回避できる。
【００１６】
次に、本発明では、前記基板保持具は、少なくとも一つの位置決め用の保持具側係合部を備えており、前記収納箱は、前記保持具側係合部に係合可能な位置決め用の箱側係合部を備えていることを特徴としている。
【００１７】
基板保持具は、係合部間の係合によって位置決めされた状態で、収納箱内に収納される。したがって、基板保持具が収納箱内でガタ付くことがない。この結果、このようなガタ付きに起因して収納箱内で埃などが発生して基板表面を汚してしまうという弊害を回避できる。
【００１８】
ここで、本発明の基板搬送ケースは、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランク、または、ガラス基板の表面にパターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクの搬送ケースとして用いることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の基板搬送ケースでは、基板を縦置き状態で保持している基板保持具を、密閉型の収納箱に対して側方から出し入れできるようになっている。また、基板保持具を収納箱に入れた状態では、収納箱の内部が、基板側の上側部分と、キャスタなどの転動体側の下側部分とに仕切られる。よって、収納箱を左右に開いて基板の出し入れを行う場合に比べて、収納箱からの基板の出し入れ作業が容易であり、そのための作業スペースも少なくて済む。また、基板保持具は密閉型のマスクケースなどに比べて簡単かつ小型の構成とすることができるので、大型基板を収納する場合における基板搬送ケースの大型化を抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、図面を参照して、本発明を適用した基板搬送ケースの実施の形態を説明する。
【００２１】
図１は本発明を適用したマスクブランク搬送ケースを示す図であり、(ａ)はその斜視図であり、(ｂ)はその基板保持具を示す斜視図である。これらの図に示すように、マスクブランク搬送ケース１は、偏平な直方体形状をした密閉型の収納箱２と、この収納箱２の内部に前方から出し入れ可能な基板保持具４とを有しており、基板保持具４によって縦置き状態で長方形の大型のマスクブランク８が保持される。
【００２２】
収納箱２には、その前端面に開閉扉２１が取り付けられている。開閉扉２１を開けて、開放状態となった収納箱２の前端開口部２２から基板保持具４を収納箱２の内部に入れることができる。また、収納箱２に収納されている基板保持具４を当該前端開口部２２から側方に引き出すことができる。収納箱２の底面には前後にそれぞれ一対の前輪９ａ、９ｂおよび後輪１０ａ、１０ｂが取り付けられている。
【００２３】
図２は基板保持具４を示す図であり、(ａ)はその側面図であり、(ｂ)はそのｂ−ｂ線で切断した部分を示す断面図であり、(ｃ)は平面図である。また、(ｄ)および(ｅ)は基板保持部分を拡大して示す説明図である。図１および図２を参照して説明すると、基板保持具４は、水平な前後に長い長方形の支持台４１を備えている。この支持台４１の裏面４１ｂには、前後一対ずつのキャスタ４２ａ、４２ｂおよび４３ａ、４３ｂ(転動体)が取り付けられている。
【００２４】
支持台４１の上面４１ａの側にはマスクブランク保持用の基板保持部４４が配置されている。基板保持部４４は次のように構成されている。支持台上面４１ａの中央には前後方向に延びる水平枠板４５が取り付けられ、この水平枠板４５の後端からは後側垂直枠板４６が垂直に起立している。水平枠板４５の前端には取り外し可能な状態で前側垂直枠板４７が垂直に起立している。水平枠板４５の上面には前後一対の基板支持ロール４８、４９が取り付けられており、垂直枠板４６、４７の対向する側面にも上下一対の基板支持ロール５０、５１および５２、５３が取り付けられている。
【００２５】
各基板支持ロール４８〜５３は、図２(ｄ)および(ｅ)に示すように、左右の大径の円盤状フランジ５４、５５が小径の円形断面の連結軸５６で連結された構成となっている。これらの基板支持ロール４８〜５３は、例えば、アルミニウム製であり、その表面にアルマイト処理が施されている。さらに、各基板支持ロール４８〜５３の表面は柔軟性のあるプラスチック被膜５７によって覆われている。左右の円盤状フランジ５４、５５の間の溝５８は、マスクブランク８の厚さよりも僅かに狭い間隔に設定されている。マスクブランク８の外周縁部分を当該溝５８に差し込むと、プラスチック被膜５７が押し潰された状態になり、ガタ付きの無い状態でマスクブランク８の外周縁部分が溝５８に保持されるようになっている。
【００２６】
ここで、支持台４１の上面４１ａには、水平枠板４５を取り囲むように、Ｏリング５９が取り付けられている。また、後側垂直枠板４６の背面４６ｂには一定の幅および長さの位置決め用の係合板６０(保持具側係合部)が取り付けられている。係合板６０は、背面４６ａの中央において、当該背面４６ａから後方に直角に突出した状態で、当該背面４６ａに沿って垂直に所定の長さだけ延びている。
【００２７】
基板保持部４４には、上側からマスクブランク８を差し込むことができる。また、前側の垂直枠板４７を外せば、上方および前方が開放状態となるので、前方からマスクブランク８を差し込み、しかる後に前側の垂直枠板４７を取り付けると、マスクブランク８が基板保持部４４に保持された状態を形成できる。
【００２８】
次に、図３はマスクブランク搬送ケース１の内部構造を示す図であり、(ａ)はその縦断面図、(ｂ)はｂ−ｂ線で切断した部分を示す横断面図、(ｃ)はｃ−ｃ線で切断した部分を示す断面図である。図１および図３を参照して収納箱２の構成を説明する。収納箱２は、偏平な直方体形状をした縦置き型の密閉容器であり、その前端に取り付けられている開閉扉２１を開くと前端開口部２２が露出し、ここから、マスクブランク８を保持した基板保持具４を収納箱内部に入れることができる。
【００２９】
収納箱内部は基板収納部２３とされており、その底面２４には、振動吸収材としての偏平なエアーチューブ２５が配置されている。エアーチューブ２５は可撓性、あるいは伸縮性のあるゴム素材などから形成されており、所定量の空気などの気体が封入されている。このエアーチューブ２５の上には昇降可能な状態で受け板２６が載っている。エアーチューブ２５および受け板２６によって基板保持具の支持機構が構成されており、基板保持具４は、この受け板２６の上に載せた状態で収納箱内に収納されるようになっている。
【００３０】
収納箱２の基板収納部２３における後側の内側端面２７には、基板保持具４の支持台４１の後端部４１ｃ(保持具側係合部)を差し込み可能な位置決め用の水平係合溝２８(箱側係合部)が形成されている。また、内側端面２７における水平係合溝２８より上方の部位にも、上下方向に延びる一定深さの位置決め用の垂直係合溝２９(箱側係合部)が形成されている。この垂直係合溝２９には、基板保持具４の係合板６０を差し込み可能である。
【００３１】
基板保持具４を収納箱２の前端開口部２２から基板収納部２３に入れて、その支持台４１の後端部４１ｃおよび係合板６０を、それぞれ、水平係合溝２８および垂直係合溝２９に差し込むことにより、基板保持具４を基板収納部２３内において位置決めすることができる。すなわち、基板保持具４の支持台４１の後端部４１ｃを水平係合溝２８に差し込むことにより、基板保持具４の前後方向の位置が決まる。また、基板保持具４の係合板６０を垂直係合溝２９に差し込むことにより、基板保持具４の左右方向(幅方向)の位置が決まる。基板保持具４の上下方向の位置決めは次に述べる仕切り用枠板に、基板保持具４の支持台４１が下側から押し付けられることにより行われるようになっている。
【００３２】
次に、収納箱２の基板収納部２３における水平係合溝２８の真上の高さ位置には、その両側および後側の三方の内周面に沿って一定幅の仕切り用枠板３１が水平に取り付けられている。また、前側の開閉扉２１の内側面にも同一高さ位置に仕切り用枠板３２が取り付けられている。これらの仕切り用枠板３１、３２の内周縁によって囲まれる前後方向に細長い開口部３３は、基板保持具４の支持台４１よりも一回り小さく、これらの仕切り用枠板３１、３２の内周縁部分に下側から基板保持具４の支持台４１の外周縁部分を、そこに取り付けてあるＯリング５９を挟み、全周に亘って当接可能となっている。仕切り用枠板３１、３２に下側から基板保持具４の支持台４１を押し付けると、当該支持台４１によって、開口部３３が封鎖される。この結果、収納箱２の内部の基板収納部２３が、上側部分２３ａと下側部分２３ｂに気密状態で仕切られた状態が形成される。このように、本例では、基板保持具４の一部である支持台４１を利用して、基板収納部２３を上下に仕切ることのできる仕切り機構が構成されている。
【００３３】
ここで、基板保持具４は、エアーチューブによって支持されている受け板の上に載せた状態で収納箱２の内部に収納される。したがって、仕切り用枠板３１、３２の高さ位置、および基板保持具４の支持台４１の高さ位置を適切に設定しておけば、エアーチューブの弾性力によって、基板保持具４の支持台４１の上面４１ａが仕切り用枠板３１、３２に下側からＯリング５９を挟み押し付けられた状態が形成される。これにより、収納箱内部の基板収納部２３が上下に仕切られると同時に、基板保持具４の上下方向の位置決めがなされた状態になる。
【００３４】
次に、収納箱２の基板収納部２３の天面３５には、その前後方向に沿って、空気などの気体が充填された構成のエアーパッキン３６(弾性押し付け部材)が取り付けられている。本例では、基板保持具４に保持されたマスクブランク８の上端面８ａが基板保持部４４よりも上方に突出した状態となるように設定されている。したがって、天面３５の高さなどを適切に設定しておくことにより、収納箱２に収納された基板保持具４に保持されているマスクブランク８の上端面８ａが下側からエアーパッキン３６に押し付けられた状態を形成できる。このようにすれば、エアーパッキン３６の弾性力によってマスクブランク８が基板保持部４４に押し付けられ、ガタ付きなく保持された状態が形成される。
【００３５】
このように構成した本例のマスクブランク搬送ケース１では、図１(ｂ)に示すように、収納箱２の前端から出した基板保持具４に上側からマスクブランク８を装着する。マスクブランク８の寸法が大きい場合には、前側の垂直枠板４７を外して、前方からマスクブランク８を装着して、垂直枠板４７を取り付ければ、上方に十分なスペースを確保できない場合であっても大型のマスクブランク８を基板保持具４に装着できる。
【００３６】
この後は、基板保持具４を収納箱２の前端開口部２２から内部に入れる。基板保持具４はキャスタ付きであるので、収納箱２に入れる作業を簡単に行うことができる。基板保持具４は、収納箱２の内部の受け板２６の上に載せて押し込み、その支持台４１の後端部４１ｃ、および垂直係合板６０を、それぞれ、収納箱側の水平係合溝２８および垂直係合溝２９に差し込む。この結果、基板保持具４の前後方向および幅方向の位置決めが行われる。また、基板保持具４はエアーチューブ２５によって持ち上げられ、その支持台４１の上面４１ａが、Ｏリング５９を挟み、収納箱側の仕切り用枠板３１、３２に下側から押し付けられる。これにより、基板保持具４の上下方向の位置決めがなされる。
【００３７】
これと同時に、収納箱内の基板収納部２３が、支持台４１によって、上側部分２３ａと下側部分２３ｂに気密状態で仕切られる。上側部分２３ａには基板保持部４４に保持されたマスクブランク８が位置し、下側部分２３ｂにはキャスタ４２ａ、４２ｂおよび４３ａ、４３ｂが位置している。キャスタの部分は基板保持具４の出し入れ時に摺動して埃などが発生する。また、埃などがキャスタに付着した状態で収納箱内に入れられることがある。かかるキャスタ部分をマスクブランク８の側から完全に仕切ることにより、当該キャスタの部分からマスクブランク８の側に埃などの異物が回り込み、その表面を汚してしまうという弊害を回避できる。
【００３８】
また、基板保持具４が収納箱２に収納された状態では、基板保持具４がエアーチューブ２５を介して収納箱２によって支持されている。搬送時に、振動、衝撃などの外力が収納箱２に作用した場合に、エアーチューブ２５が振動吸収材(ダンパー)として機能する。したがって、基板保持具４に振動、衝撃が伝わることが防止あるいは抑制され、基板保持具４の振動などによって、収納箱内部に埃が発生してマスクブランク８の表面を汚してしまうという弊害も防止あるいは抑制できる。
【００３９】
さらに、基板保持具４の基板保持部４４に保持されているマスクブランク８は上方には移動可能な状態となっている。収納箱２に収納された状態では、マスクブランク８がエアーパッキン３６によって下方に押し付けられて、ガタ付きなく基板保持部４４に固定される。したがって、搬送時などにおいてマスクブランク８がガタ付き、その外周縁部分が基板支持ロール４８〜５３に繰り返し当り、遮光膜、レジスト膜などが剥離して、マスクブランク表面を汚してしまうという弊害も防止あるいは抑制できる。
【００４０】
以上説明したように、本例のマスクブランク搬送ケース１を用いれば、マスクブランク８の出し入れ作業において、それを左右に開く必要がないので、作業スペースが少なくて済む。また、基板保持具４によって収納箱内部が上下に二分され、基板保持具４のキャスタから発生した埃などの異物がマスクブランク８の側に回り込み、その表面を汚してしまうこともない。したがって、気密型のマスクケースを用いる場合と同様に、マスクブランク８の汚れを防止できると共に、気密型のマスクケースを用いる場合に比べてケース寸法の増加を抑制できる。
【００４１】
なお、本例はマスクブランク搬送ケースについてのものであるが、本発明の構成を、ガラス基板表面にパターニングされた遮光膜が形成された構成の転写マスクを収納するための基板搬送ケースとして用いることもできる。勿論、ガラス基板そのものを搬送するための基板搬送ケースとして用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明を適用したマスクブランク搬送ケースを示す図であり、(ａ)はその斜視図であり、(ｂ)はその基板保持具を示す斜視図である。
【図２】基板保持具を示す図であり、(ａ)はその側面図であり、(ｂ)はそのｂ−ｂ線で切断した部分を示す断面図であり、(ｃ)は平面図であり、(ｄ)および(ｅ)は基板保持部分を拡大して示す説明図である。
【図３】マスクブランク搬送ケースの内部構造を示す図であり、(ａ)はその縦断面図、(ｂ)はｂ−ｂ線で切断した部分を示す横断面図、(ｃ)はｃ−ｃ線で切断した部分を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１    マスクブランク搬送ケース
２    収納箱
２１  開閉蓋
２２  前端開口部
２３  基板収納部
２３ａ  上側部分
２３ｂ  下側部分
２４  底面
２５  エアーチューブ
２６  受け板
２７  内側端面
２８  水平係合溝
２９  垂直係合溝
３１、３２  仕切り用枠板
３３  開口部
３５  天面
３６  エアーパッキン
４    基板保持具
４１  支持台
４１ａ  上面
４１ｂ  裏面
４１ｃ  後端部
４２ａ、４２ｂ、４３ａ、４３ｂ  キャスタ
４４  基板保持部
４５  水平枠板
４６、４７  垂直枠板
４８〜５２  基板支持ロール
５９  Ｏリング
６０  垂直係合板
８    マスクブランク
８ａ  上端面
９ａ、９ｂ  前輪
１０ａ、１０ｂ  後輪
【図１】
2007250688.tif 000003
【図２】
2007250688.tif 000004
【図３】
2007250688.tif 000005