(57)【要約】【課題】  どのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる移動装置を提供する。【解決手段】  予め定める位置にＩＤ番号パターン４が形成された基板５が、Ｘ方向移動台３４に、第１および第２配置状態のいずれかの配置状態で載置される。基板５が第１配置状態で載置されたときに、ＩＤ番号パターン５を読取ることができる位置に第１ＩＤ読取り部３１が設けられる。基板５が第２配置状態で載置されたときに、ＩＤ番号パターン４を読取ることができる位置に第２ＩＤ読取り部３１が設けられる。基板方向判定部１６は、第１および第２ＩＤ読取り部３１，３２のいずれによってＩＤ番号パターン４を読取ったかに基づいて、基板５の配置状態を判定する。ステージ移動制御部２５は、基板５の配置状態に基づいて、ステージ２３を制御して基板５の欠陥部分を、撮像部１２の撮像領域Ａに移動させる。【選択図】      図１
2007035858.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に、前記移動対象物の識別情報が記録され、この移動対象物が載置される載置台が、前記第１の座標系とは異なる第２の座標系に関して移動可能に設けられる移動手段と、
前記載置台に載置された移動対象物の識別情報を読取る識別情報読取り手段と、
前記識別情報読取り手段による識別情報の読取り結果に基づいて、載置台に載置された移動対象物の配置状態を判定する判定手段と、
移動対象物に存在する欠陥の前記第１の座標系における位置を表す欠陥位置情報を、識別情報に対応させて出力する出力手段と、
判定手段の判定結果と、出力手段から出力される識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第２の座標系における目標位置に配置されるように、移動手段を制御して載置台を移動させる制御手段とを含むことを特徴とする移動装置。
【請求項２】
移動対象物の配置状態に基づいて、前記第１の座標系における欠陥位置情報を、前記第２の座標系で表される第２の位置情報に変換する座標変換手段をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の移動装置。
【請求項３】
前記載置台には、移動対象物が複数の配置状態で載置可能であり、
前記識別情報読取り手段は、複数の読取り手段を有し、
各読取り手段は、各配置状態で載置台に載置された移動対象物の識別情報を読取る位置にそれぞれ設けられることを特徴とする請求項１または２記載の移動装置。
【請求項４】
予め定める領域を撮像する撮像手段と、
撮像手段によって撮像された像を可視表示する表示手段とを含み、
前記第２の座標系における目標位置は、撮像手段が撮像する予め定める領域内に設けられることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の移動装置。
【請求項５】
移動可能な載置台に載置された移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に記録された前記移動対象物の識別情報を読取り、
識別情報の読取り結果に基づいて、載置台に載置された移動対象物の配置状態を判定し、
移動対象物に存在する欠陥の前記第１の座標系における位置を表す欠陥位置情報を、識別情報に対応させて出力し、
移動対象物の配置状態と、識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第１の座標系とは異なる第２の座標系における目標位置に配置されるように載置台を移動させることを特徴とする移動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、移動対象物を予め定める目標位置に移動させる移動装置および移動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハなどの基板を載置台の予め定められた位置に載置し、載置台を移動させることによって、載置台に載置された基板を、予め定める位置に移動させる移動装置がある。
【０００３】
半導体部品および液晶ディスプレイなどの製造工程においては、基板毎にそれぞれＩＤ（IDentification）番号を付与し、このＩＤ番号に基づいて、それぞれの基板に関する情報を管理している。これによって、たとえば基板を製造する各工程において基板がそれぞれどのように製造されたかを記録しておくことができ、いわゆるトレーサビリティが実現される。ＩＤ番号は、たとえばレーザ光を基板に照射することによって描画される。ＩＤ番号を読取る読取り装置は、特定の位置に配置され、予め定める領域を撮像し、この撮像領域内にあるＩＤ番号を読取る。
【０００４】
従来の技術では、半導体ウエハ上に表記したドットの集合体で形成されるウエハ識別パターンの読取り方法を改善することによって、ＩＤ番号の高い読取り率を実現している（たとえば特許文献１参照）。これによって、読取りエラーによって生じる工程処理の遅延を防ぐことができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−３０７２５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の技術では、作業者のミスによって、基板を載置台の予め定められた配置状態と異なる配置状態で載置した場合、基板を予め定める位置に正確に移動させることができないという問題が生じる。この場合、作業者が、再度基板を載置台の予め定められた正しい配置状態で載置し直す必要が生じ、作業工程に要する時間が増加するという問題が生じる。また作業者が載置台から基板を取出し、再度載置台に載置する間に、基板に異物が付着することによって基板に不良が生じたり、基板を他の物体にぶつけて基板が欠けたり割れたりする。これによって歩留りが低下するという問題が生じる。
【０００７】
また、いかにＩＤ番号の高い読取り率を実現することができる読取り装置を用いたとしても、ウエハ識別パターンが読取り装置の撮像範囲内に配置されるように基板を載置台に載置しなければ、ＩＤ番号を読取ることができない。たとえば、作業者のミスによって、基板を正しい向きに載置しなかった場合、ウエハ識別パターンが読取り装置の撮像領域内に配置されず、ＩＤ番号の読取りエラーとなる。この場合、作業者が基板を再度正しい向きで載置し直す必要が生じ、前述した問題が生じる。
【０００８】
したがって本発明の目的は、どのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる移動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に、前記移動対象物の識別情報が記録され、この移動対象物が載置される載置台が、前記第１の座標系とは異なる第２の座標系に関して移動可能に設けられる移動手段と、
前記載置台に載置された移動対象物の識別情報を読取る識別情報読取り手段と、
前記識別情報読取り手段による識別情報の読取り結果に基づいて、載置台に載置された移動対象物の配置状態を判定する判定手段と、
移動対象物に存在する欠陥の前記第１の座標系における位置を表す欠陥位置情報を、識別情報に対応させて出力する出力手段と、
判定手段の判定結果と、出力手段から出力される識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第２の座標系における目標位置に配置されるように、移動手段を制御して載置台を移動させる制御手段とを含むことを特徴とする移動装置である。
【００１０】
本発明に従えば、移動対象物の識別情報が、移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に記録されているので、識別情報読取り手段が読取った識別情報の読取り結果に基づいて、判定手段は、移動対象物の配置状態を判定することができる。これによって、移動対象物がどのように載置台に配置されているかが判る。制御手段は、移動手段を制御して、判定手段の判定結果と、出力手段から出力される識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第２の座標系における目標位置に配置されるように載置台を移動させる。これによって、作業者がどのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる。
【００１１】
また本発明は、移動対象物の配置状態に基づいて、前記第１の座標系における欠陥位置情報を、前記第２の座標系で表される第２の位置情報に変換する座標変換手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１２】
本発明に従えば、制御手段は、座標変換手段によって変換された第２の位置情報に基づいて、移動手段を制御し、載置台を移動させる。これによって、作業者がどのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる。
【００１３】
また本発明は、前記載置台には、移動対象物が複数の配置状態で載置可能であり、
前記識別情報読取り手段は、複数の読取り手段を有し、
各読取り手段は、各配置状態で載置台に載置された移動対象物の識別情報を読取る位置にそれぞれ設けられることを特徴とする。
【００１４】
本発明に従えば、移動対象物が、複数の配置状態のうちから１つの配置状態で載置された状態のとき、複数の読取り手段のうちのいずれか１つの読取り手段が、識別情報を読取る。判定手段は、どの読取り手段が識別情報を読取ったかに基づいて、移動対象物の配置状態を判定することができる。
【００１５】
また本発明は、予め定める領域を撮像する撮像手段と、
撮像手段によって撮像された像を可視表示する表示手段とを含み、
前記第２の座標系における目標位置は、撮像手段が撮像する予め定める領域内に設けられることを特徴とする。
【００１６】
本発明に従えば、作業者が、移動対象物をどのような配置状態で載置台に載置したとしても、移動対象物に存在する欠陥部分を、撮像手段が撮像する予め定める領域内に移動させることができる。これによって、作業者が、移動対象物をどのような配置状態で載置台に載置したとしても、移動対象物に存在する欠陥部分を表示手段に表示させることができる。
【００１７】
また本発明は、移動可能な載置台に載置された移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に記録された前記移動対象物の識別情報を読取り、
識別情報の読取り結果に基づいて、載置台に載置された移動対象物の配置状態を判定し、
移動対象物に存在する欠陥の前記第１の座標系における位置を表す欠陥位置情報を、識別情報に対応させて出力し、
移動対象物の配置状態と、識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第１の座標系とは異なる第２の座標系における目標位置に配置されるように載置台を移動させることを特徴とする移動方法である。
【００１８】
本発明に従えば、移動対象物の識別情報が、移動対象物に予め設定される第１の座標系上の予め定める記録位置に記録されているので、識別情報の読取り結果に基づいて、移動対象物の配置状態を判定することができる。これによって、移動対象物がどのように載置台に配置されているかが判る。移動対象物の配置状態と、識別情報に対応する欠陥位置情報とに基づいて、識別情報に対応する移動対象物の欠陥の前記第１の座標系における位置が、前記第１の座標系とは異なる第２の座標系における目標位置に配置されるように載置台を移動する。これによって、作業者がどのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、制御手段は、移動手段を制御して、判定手段の判定結果である移動対象物の配置状態に基づいて、移動対象物を移動させるので、作業者がどのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を目標位置に移動させることができる。作業者が移動対象物を載置台にどのように載置しても、移動対象物を目標位置に移動させることができるので、作業者が移動対象物を載置する方向を誤るというようなことが無くなり、移動対象物を載置し直すというような作業を無くすことができる。これによって、作業に要する時間を短縮することができる。また移動対象物を載置し直すという作業を無くすことができるので、移動対象物を載置し直す間に、異物が移動対象物に付着したり、移動対象物を他の物体にぶつけることによって移動対象物が欠けたり割れたりするというようなことを無くすことができる。これによって、歩留りを向上させることができる。
【００２０】
また移動対象物の予め定める記録位置に記録された識別情報を読取ることによって、移動対象物の配置状態を判定するので、識別情報を読取ることによって、識別情報だけでなく、移動対象物の配置状態を表す情報をも得ることができる。これによって、移動対象物の配置状態を判定するための情報を、識別情報に加えてさらに移動対象物に記録しておく必要がなくなる。
【００２１】
また本発明によれば、座標変換手段は、前記第１の座標系における欠陥位置情報を、第２の座標系で表される第２の位置情報に変換する。制御手段は、この第２の位置情報に基づいて、移動手段を制御することによって載置台を移動させ、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる。これによって、前述した効果を達成することができる。
【００２２】
また本発明によれば、移動対象物が、複数の配置状態のうちから１つの配置状態で載置された状態のとき、複数の読取り手段のうちのいずれか１つの読取り手段が、識別情報を読取る。載置可能な配置状態が複数に限定されるので、配置状態の数に等しい数の読取り手段をそれぞれ配置するだけで、確実に識別情報を読取ることができる。また判定手段は、どの読取り手段が識別情報を読取ったかに基づいて、載置台の配置状態を判定することができる。制御手段は、移動対象物の配置状態に基づいて、移動手段を制御して移動対象物を予め定める位置に移動させる。これによって、前述した効果を達成することができる。
【００２３】
また本発明によれば、作業者が、移動対象物をどのような配置状態で載置台に載置したとしても、移動対象物に存在する欠陥部分を、撮像手段が撮像する予め定める領域内に移動させることができ、移動対象物に存在する欠陥部分を表示手段に表示させることができる。したがって、作業者が移動対象物を載置する方向を誤るというようなことが無くなる。こてによって、移動対象物を載置し直すというような作業を無くすことができ、欠陥のレビューに要する時間を短縮することができる。また移動対象物を載置し直すというような作業を無くすことができるので、前述したように、歩留りを向上させることができる。
【００２４】
また本発明によれば、移動対象物の配置状態に基づいて、移動対象物を移動させるので、作業者がどのような配置状態で移動対象物を載置台に載置したとしても、移動対象物を予め定める目標位置に移動させることができる。これによって前述した効果を達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
図１は、本発明の実施の形態の検査装置１の機能的構成を示すブロック図である。検査装置１は、検査の対象となる基板５の検査を行うために用いられる。移動装置である検査装置１は、出力手段である欠陥検査装置２、および欠陥レビュー装置３を含んで構成される。本実施の形態において、検査の対象となる基板５は、具体的には半導体ウエハである。
【００２６】
図２は、検査の対象となる基板５の平面図である。基板５は、板状であり、略直方体形状を有する。基板５の長手方向の幅は、４００ｍｍであり、基板５の短手方向の幅は、３００ｍｍである。第１の座標系である基板座標系は、基板５の予め定める頂点を原点Ｏとし、基板５の短手方向に延びる軸をＸ軸とし、基板５の長手方向に延びる軸をＹ軸とする直交座標系である。原点Ｏは、基板座標系において座標値（０，０）で表される。原点ＯからＸ軸の延びる方向にある頂点は、基板座標系において座標値（Ｘｏ，０）で表される。原点ＯからＹ軸の延びる方向にある頂点は、基板座標系において座標値（０，Ｙｏ）で表される。Ｘｏ，Ｙｏは、それぞれ正の整数である。本実施の形態では、Ｘｏは、３００に選ばれ、Ｙｏは、４００に選ばれる。
【００２７】
各基板５には、それぞれに固有のＩＤ（IDentification）番号が割り振られている。各基板５のＩＤ番号を表すドット状のＩＤ番号パターン４は、基板５の厚み方向一表面部６の、基板５の長手方向の原点Ｏ寄り、かつ基板５の原点Ｏから短手方向一方に離反する記録位置に形成される。より具体的には、ＩＤ番号パターン４は、基板座標系において、座標値（２１６，１８）で表される位置付近に形成される。ＩＤ番号パターン４は、たとえばＹＡＧ（Yttrium Aluminium Garnet）レーザ光を基板５に照射することによって形成される。ＩＤ番号パターン４は、２次元バーコードを構成する。
【００２８】
欠陥検査装置２は、基板５の厚み方向一表面部６に形成された傷などの欠陥を検査し、検査結果を欠陥レビュー装置３に与える。具体的には、欠陥検査装置２は、発見した欠陥の位置および欠陥の大きさと、基板５のＩＤ番号とを対応させて欠陥レビュー装置３に与える。欠陥の位置は、基板座標系における座標値によって表される。欠陥の大きさは、４段階に分類され、４種類の記号によって表される。具体的には、欠陥の大きさは、欠陥が小さい順に、記号「Ｓ」、「Ｍ」、「Ｌ」、「Ｏ」によってそれぞれ表される。より具体的には、発見された欠陥の大きさが、一辺が５ｍｍの正方形の大きさ未満であれば、欠陥サイズを「Ｓ」とし、欠陥サイズが「Ｓ」以上で、かつ一辺の長さが１０ｍｍの正方形の大きさ未満であれば、欠陥サイズを「Ｍ」とし、欠陥サイズが「Ｍ」以上で、かつ一辺の長さが２０ｍｍの正方形の大きさ未満であれば、欠陥サイズを「Ｌ」とし、欠陥サイズが「Ｌ」以上であれば、欠陥サイズを「Ｏ」とする。たとえば基板ＩＤ番号が「ＡＢＣ０１２３４５６」の基板５の、基板座標系における座標値（１００，９０）で表される位置に、欠陥サイズが記号「Ｏ」で表される大きさの欠陥を発見したとすると、欠陥検査装置２は、基板ＩＤ番号「ＡＢＣ０１２３４５６」、座標値（１００，９０）、および欠陥サイズ「Ｏ」を関連付けて欠陥レビュー装置３に欠陥情報として与える。
【００２９】
図３は、欠陥情報を示す図である。欠陥情報は、後述する表示部７に表示される。欠陥情報は、基板５のＩＤ番号と、発見された欠陥を数字によって表す欠陥番号と、欠陥番号に対応する欠陥のサイズと、欠陥番号に対応する欠陥の基板座標系における位置と、欠陥番号に対応する欠陥を修正することができるか否かを表す情報とを含む。
【００３０】
欠陥レビュー装置３は、表示部７、画像処理部１１、撮像部１２、制御部１３、記憶部１４、基板方向判定部１６、座標変換部１７、入力部２１、識別情報読取り手段であるＩＤ読取り部２２およびステージ２３を含んで構成される。欠陥レビュー装置３は、欠陥検査装置２から与えられる検査結果に基づいて、基板５の欠陥部分を表示部７に表示させる。作業者は、表示部７に表示される基板５の欠陥部分を再度検査する。これによって作業者は、欠陥検査装置２によって検査された基板５の欠陥のレビューを行い、欠陥の修正を行うことが可能な基板５であるのか、廃棄すべき基板５であるのかを判断する。
【００３１】
制御部１３は、中央処理装置（Central Processing Unit：略称ＣＰＵ）およびＲＯＭ（Read Only Memory）を含んで実現される。ＲＯＭには、制御プログラムが記録されている。中央処理装置は、ＲＯＭに記録された制御プログラムを実行することによって、演算処理を行い、表示部７、画像処理部１１、記憶部１４、基板方向判定部１６、座標変換部１７、入力部２１、ＩＤ読取り部２２およびステージ２３を含む各部を制御する。制御部１３は、ＣＰＵが制御プログラムを実行することによって実現されるＩＤ読取り制御部２４、移動手段を制御して載置台を移動させるステージ移動制御部２５、および記憶制御部２６を含む。
【００３２】
記憶制御部２６は、記憶部１４を制御して、欠陥検査装置２から与えられる欠陥情報を記憶させたり、欠陥レビューを行うことによって更新される欠陥情報を記憶させたり、記憶部１４に記憶された欠陥情報を読み出す。記憶部１４は、データの読み書き可能な不揮発性メモリによって実現される。
【００３３】
ＩＤ読取り制御部２４は、ＩＤ読取り部２２を制御して、基板５に形成されたＩＤ番号パターン４からＩＤ番号を読取らせる。ＩＤ読取り部２２は、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２を含んで構成される。第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２は、ＩＤ番号パターン４に照射する光を発生させる照射用ＬＥＤ（Light
Emitting Diode）、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）エリアイメージセンサ、およびレンズを含んで実現される。
【００３４】
図４は、移動手段であるステージ２３とステージ２３に載置された基板５との平面図である。ステージ２３は、固定台３３、基板５を載置する載置台であるＸ方向移動台３４、Ｙ方向移動台３５、第１ステッピングモータ、および第２ステッピングモータを含んで実現される。
【００３５】
作業者は、欠陥レビューを行うときに、基板５をＸ方向移動台３４の厚み方向一表面３６上に載置する。
【００３６】
固定台３３、Ｘ方向移動台３４およびＹ方向移動台３５は、板状であり、略直方体形状を有する。またＸ方向移動台３４およびＹ方向移動台３５の厚み方向一表面は、平面である。
【００３７】
固定台３３は、作業場に固定して設けられる。第２の座標系であるステージ座標系は、固定台３３の厚み方向一方から見て、固定台３３の対角線の交わる点を原点Ｏｓとし、固定台３３の短手方向に延びる軸をＸ軸とし、固定台３３の長手方向に延びる軸をＹ軸とする直交座標系である。ステージ座標系におけるＸ軸をＸｓ軸と記載し、ステージ座標系におけるＹ軸をＹｓ軸と記載する。
【００３８】
Ｙ方向移動台３５は、固定台３３の厚み方向一方側に設けられる。第１ステッピングモータは、歯車などによって実現される連結部を介してＹ方向移動台３５に連結される。ステージ移動制御部２５が、第１ステッピングモータを制御することによって、Ｙ方向移動台３５は、Ｙ方向の一方から他方または他方から一方に水平に移動する。
【００３９】
Ｘ方向移動台３４は、Ｙ方向移動台３５の厚み方向一方側に設けられる。第２ステッピングモータは、歯車などによって実現される連結部を介してＸ方向移動台３４に連結される。ステージ移動制御部２５が、第２ステッピングモータを制御することによって、Ｘ方向移動台３４は、Ｙ方向移動台３５に対して相対的にＸ方向の一方から他方または他方から一方に水平に移動する。
【００４０】
Ｘ方向移動台３４の一表面部には、基板５を予め定める特定の位置に載置させるための基板位置決め部材が設けられている。作業者は、基板５の短手方向とＸ方向移動台３４の短手方向とが一致する向きに、基板５をＸ方向移動台３４に載置する。したがって、基板５が載置される向きは、２方向存在する。基板座標系のＸの値が増加する方向と、ステージ座標系のＸの値が増加する方向とが一致する向きで基板５が載置されている状態を、第１配置状態と記載する。第１配置状態から、基板５の中心を通り、基板５の厚み方向に延びる軸線周りに基板５を１８０°回転させた状態を第２配置状態と記載する。作業者は、第１配置状態および第２配置状態のうち、いずれか一方の配置状態で、基板５をＸ方向移動台３４に載置する。
【００４１】
ステージ移動制御部２５は、第１および第２ステッピングモータの回転角度および回転方向を制御することによって、Ｘ方向移動台３４およびＹ方向移動台３５を移動させ、Ｘ方向移動台３４に載置された基板５の所定の位置を、ステージ座標系の原点に移動させる。Ｘ方向移動台３４は、Ｘｓ方向に３００ｍｍ以上、水平に移動可能である。またＹ方向移動台３５は、Ｙｓ方向に４００ｍｍ以上、水平に移動可能である。
【００４２】
入力部２１は、キーボードおよびマウスを含んで実現される。作業者が入力部２１を操作することによって、作業者の操作に対応した指令を制御部１３に与える。作業者が入力部２１を操作することによって、基板５に存在する欠陥が修正可能か否かなどの情報を欠陥情報として入力することができる。
【００４３】
基板方向判定部１６は、ＩＤ読取り部２２の読取り結果に基づいて、基板５が載置された方向を判定し、第１配置状態であるのか第２配置状態であるのかを判定する。
【００４４】
図５は、第１配置状態の基板５の平面図である。図６は、第２配置状態の基板５の平面図である。図５は、基板座標系の原点Ｏとステージ座標系の原点Ｏｓとが一致して、第１配置状態で基板５がＸ方向移動台３４に載置されている状態を表す。図６は、基板座標系の座標値（３００，４００）で表される基板５の頂点とステージ座標系の原点Ｏｓとが一致して、第２配置状態で基板５がＸ方向載置台３４に載置されている状態を表す。
【００４５】
ＩＤ読取り部２２は、前述したように、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２とを含んで構成される。第１ＩＤ読取り部３１は、図５で示されるように、基板座標系の原点Ｏとステージ座標系の原点Ｏｓとが一致して、第１配置状態で基板５がＸ方向移動台３４に載置されている状態のときに、ＩＤ番号パターン４を読取ることができる位置に設けられる。具体的には、第１ＩＤ読取り部３１は、ステージ座標系において、座標値（２１６，１８）付近に、Ｘ方向移動台３４の厚み方向一表面３６から厚み方向一方に予め定める距離離間して設けられる。これによって、第１ＩＤ読取り部３１は、基板５が第１配置状態のときに、ＩＤ番号パターン４が位置する範囲を撮像し、ＩＤ番号パターン４を読取ることができる。逆に、第１ＩＤ読取り部３１は、基板５が第２配置状態のときには、ＩＤ番号パターン４を読取ることができない。
【００４６】
第２ＩＤ読取り部３２は、図６で示されるように、基板座標系の座標値（３００，４００）で表される基板５の頂点とステージ座標系の原点Ｏｓとが一致して、第２配置状態で基板５がＸ方向載置台３４に載置されている状態のときに、ＩＤ番号パターン４を読取ることができる位置に設けられる。具体的には、第２ＩＤ読取り部３２は、ステージ座標系において、座標値（８４，３８２）付近に、Ｘ方向移動台３４の厚み方向一表面３６から厚み方向一方に予め定める距離離間して設けられる。これによって、第２ＩＤ読取り部３２は、基板５が第２配置状態のとき、ＩＤ番号パターン４が位置する範囲を撮像し、ＩＤ番号パターン４を読取ることができる。逆に、第２ＩＤ読取り装置３２は、基板５が第１配置状態のときには、ＩＤ番号パターン４を読取ることができない。
【００４７】
基板５が第１配置状態のときには、第１ＩＤ読取り部３１がＩＤ番号パターンを読取り、基板５が第２配置状態のときには、第２ＩＤ読取り部３２がＩＤ番号パターンを読取るので、どちらの読取り装置がＩＤ番号パターン４を読取ったかによって、基板５が第１配置状態であるのか、第２配置状態であるのかが判る。基板方向判定部１６は、どちらのＩＤ読取り部２２がＩＤ番号パターン４を読取ったかによって、第１配置状態であるのか、第２配置状態であるのかを判定する。具体的には、第１ＩＤ読取り部３１がＩＤ番号を読取った場合には、基板方向判定部１６は、第１配置状態であると判定し、第２ＩＤ読取り装置がＩＤ番号を読取った場合には、第２配置状態であると判定する。
【００４８】
座標変換部１７は、基板方向判定部１６が判定した基板５の配置状態に基づいて、基板５の欠陥の位置を表す基板座標系での座標値を、第２の位置情報であるステージ座標系における座標値に変換する。具体的には、第１配置状態のときには、座標変換部１７は、基板座標系において欠陥の位置を表す座標値を、恒等変換する。すなわち、基板座標系における座標値（Ｘａ，Ｙａ）を、そのままの座標値（Ｘａ，Ｙａ）とする。たとえば座標値（１００，９０）を、座標値（１００，９０）に変換する。第２配置状態のときには、座標変換部１７は、基板座標系において欠陥の位置を表す座標値のＸ成分を、３００からＸ成分の値を減算した値とし、座標値のＹ成分を、４００からＹ成分の値を減算した値に変換する。具体的には、変換前の座標値（Ｘａ，Ｙａ）を座標値（３００−Ｘａ，４００−Ｙａ）に変換する。たとえば座標値（１００，９０）を座標値（２００，３１０）に変換する。
【００４９】
撮像部１２は、ステージ座標系において、原点Ｏｓ付近に、Ｘ方向移動台３４の厚み方向一表面３６から厚み方向一方に予め定める距離離間して設けられる。撮像部１２は、ステージ座標系において、原点Ｏｓ付近の領域Ａを撮像する。撮像部１２が撮像する撮像領域Ａの範囲は、作業者が入力部２１を操作することによって設定することができる。図４〜図６に、撮像部１２が撮像する撮像領域Ａを２点鎖線によって示す。撮像部１２は、撮像領域Ａに存在する被写体の光学像を、アナログの電気信号に変換し、変換したアナログの電気信号をさらにデジタルの電気信号に変換して画像処理部１１に与える。撮像部１２は、ＣＣＤ（Charge Coupled Devices）エリアイメージセンサおよびレンズを含んで実現される。
【００５０】
画像処理部１１は、撮像部１２から与えられたデジタル値の電気信号を、所定の画像処理を行うことによって画像情報に変換し、表示部７に与える。表示部７は、画像処理部１１から与えられる画像情報、および欠陥情報などを可視表示する。表示部７は、液晶表示パネルによって実現される。
【００５１】
ステージ移動制御部２５は、座標変換部１７によって変換された欠陥の位置を表す座標値に基づいてステージ２３を移動させ、基板５の欠陥部分を、目標位置であるステージ座標系における原点Ｏｓに移動させる。つまり、基板５の欠陥部分が、撮像部１２が撮像する撮像領域Ａ内に移動する。これによって、作業者が第１配置状態および第２配置状態のいずれの配置状態で基板５を載置したとしても、基板座標系において表される基板５の予め定める位置を、ステージ座標系において表される予め定める目標位置に移動させることができる。また撮像部１２は、撮像領域Ａ内に移動した基板５の欠陥部分を撮像するので、表示部７には、基板５の欠陥部分が表示される。これによって、作業者が、第１配置状態および第２配置状態のうち、どちらの状態で基板５を載置したとしても、基板５の欠陥部分を表示部７に確実に表示させることができる。
【００５２】
図７は、作業者が欠陥レビューを行うときの、欠陥レビュー装置３が行う処理を表すフローチャートである。作業者が、Ｘ方向移動台３４に第１配置状態および第２配置状態のいずれか一方の配置状態で基板５を載置し、入力部２１を操作することによって、欠陥レビューを開始する処理を行うと、ステップｓ０からステップｓ１に移る。
【００５３】
ステップｓ１では、ＩＤ読取り制御部２４は、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２を制御して、基板５のＩＤ番号パターン４を読取らせる。第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２のうちの、ＩＤ番号パターン４を読取った一方は、読取った基板５のＩＤ番号を制御部１３に与えて、ステップｓ２に移る。
【００５４】
ステップｓ２では、制御部１３は、第１ＩＤ読取り部３１が基板５のＩＤ番号を読取ることに成功したか否かを判断し、第１ＩＤ読取り部３１がＩＤ番号を読取ることに成功したと判断した場合には、ステップｓ３に移り、第１ＩＤ読取り部３１がＩＤ番号を読取ることができなかったと判断した場合には、ステップｓ４に移る。
【００５５】
ステップｓ４では、制御部１３は、第２ＩＤ読取り部３２が基板５のＩＤ番号を読取ることに成功したか否かを判断し、第２ＩＤ読取り部３２が基板５のＩＤ番号を読取ることに成功したと判断した場合には、ステップｓ３に移る。
【００５６】
ステップｓ３では、基板方向判定部１６は、ＩＤ読取り部２２のＩＤ番号の読取り結果に基づいて、基板５の方向を判定する。具体的には、第１ＩＤ読取り部３１がＩＤ番号を読取った場合には、第１配置状態であると判断し、第２ＩＤ読取り装置がＩＤ番号を読取った場合には、第２配置状態であると判断する。次に、ステップｓ５に移る。
【００５７】
ステップｓ５では、記憶制御部２６は、記憶部１４を制御して、記憶部１４に記憶された欠陥情報のうち、ステップｓ１において読取った基板５のＩＤ番号に対応する欠陥情報を読込み、ステップｓ６に移る。
【００５８】
ステップｓ６では、制御部１３は、記憶部１４から読込んだ基板５の欠陥情報を、表示部７に可視表示させる。たとえば基板５のＩＤ番号が「ＡＢＣ０１２３４５６」であれば、表示部７は、図３に示す欠陥情報を表示する。次に、ステップｓ７に移る。
【００５９】
ステップｓ７では、座標変換部１７は、欠陥情報から、前回取得した欠陥番号に１加算した欠陥番号と、この欠陥番号に対応する欠陥の位置を表す座標値とを取得する。初めて欠陥番号と座標値とを取得する場合には、欠陥番号として１を取得し、欠陥番号が１に対応する欠陥の座標値を取得する。たとえばＩＤ番号が「ＡＢＣ０１２３４５６」の基板５の欠陥レビューを行う場合には、まず欠陥番号として「１」を取得し、この欠陥番号「１」に対応する欠陥の座標値（１０，１０）を取得する。次にステップｓ８に移る。
【００６０】
ステップｓ８では、座標変換部１７は、欠陥番号に対応する座標値を、第１配置状態であるのか、第２配置状態であるのかに基づいて座標変換し、ステップｓ９に移る。
【００６１】
ステップｓ９では、ステージ移動制御部２５は、ステップｓ８において変換した座標値に基づいて、欠陥番号に対応する欠陥の位置がステージ座標系の原点Ｏｓに一致するように、Ｘ方向移動台３４およびＹ方向移動台３５を移動させ、ステップｓ１０に移る。
【００６２】
ステップｓ１０では、表示部７は、撮像部１２によって撮像され、画像処理部１１によって処理された画像情報を可視表示する。すなわち、表示部７は、ステージ座標系の原点Ｏｓを含む撮像領域Ａ内に移動した基板５の欠陥部分を可視表示し、ステップｓ１１に移る。
【００６３】
作業者は、表示部７に表示される基板５の欠陥部分に基づいて、この欠陥を修正することが可能か否かを判断する。作業者が、修正することが可能な欠陥できると判断した場合には、入力部２１を操作することによって、欠陥を修正可能ということを表す情報を入力する。作業者が、修正することは不可能な欠陥なのでこの基板５を廃棄すべきと判断した場合には、入力部２１を操作することによって、基板５を廃棄すべきことを表す情報を入力する。
【００６４】
ステップｓ１１では、記憶制御部２６は、作業者が入力部２１を操作することによって入力される、修正可能な欠陥か否かの情報に基づいて、欠陥情報を更新し、更新した欠陥情報を記憶部１４に記憶させる。具体的には、記憶部１４は、修正可能な欠陥と判断された場合には、修正可能という情報である、「ＯＫ」を表す情報を欠陥情報として記憶し、修正不能な欠陥と判断された場合には、修正不能という情報である、「ＮＧ」を表す情報を欠陥情報として記憶する。次にステップｓ１２に移る。
【００６５】
ステップｓ１２では、制御部１３は、全ての欠陥番号に対応する欠陥部分を、表示部７に表示させたか否かを判断する。具体的には、ステップｓ７において座標値を取得した欠陥の欠陥番号が、欠陥情報に含まれる欠陥の数と同じであるか否かを判断する。ステップｓ７において座標値を取得した欠陥の欠陥番号が、欠陥情報に含まれる欠陥の数よりも小さい場合には、まだ表示していない欠陥があると判断し、ステップｓ７に移る。制御部１３が、ステップｓ７において座標値を取得した欠陥の欠陥番号が、欠陥情報に含まれる欠陥の数と同じ場合には、全ての欠陥を表示したと判断し、ステップｓ１３に移る。ステップｓ１３では、欠陥レビューの処理を終了する。ステップｓ１３の処理が終了すると、作業者は、Ｘ方向移動台３４から基板５を搬出し、欠陥レビューの工程を終了する。
【００６６】
ステップｓ４において、第２ＩＤ読取り部３２によって基板５のＩＤ番号を読取ることができなかったと判断した場合には、ステップｓ１４に移る。
【００６７】
ステップｓ１４では、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２のいずれもが基板５のＩＤ番号を読取ることができなかったので、制御部１３は、作業者を呼び出すオペレータコールの処理を行う。具体的には、制御部１３は、ＩＤ番号を読取ることができなかったことを表す情報を、表示部７に表示させる。次にステップｓ１３に移る。ステップｓ１３では、欠陥レビューの処理を終了する。基板５のＩＤ番号を読取ることができなかったので、ステップｓ１３が終了すると、作業者は、Ｘ方向移動台３４から基板５を搬出する。
【００６８】
以上述べたように、基板５の欠陥レビューを行うときに、作業者が第１配置状態および第２配置状態のうち、どちらの配置状態で基板５をＸ方向移動台３４に配置したとしても、欠陥レビュー装置３は、確実に基板５のＩＤ番号を読取ることができ、かつ基板５の欠陥部分を表示部７に表示させることができる。これによって、作業者が第１配置状態および第２配置状態のうち、どちらの配置状態で基板５をＸ方向移動台３４に配置したとしても、確実に欠陥レビューを行うことができる。
【００６９】
また作業者が第１配置状態および第２配置状態のうち、どちらの配置状態で基板５をＸ方向移動台３４に配置したとしても、欠陥レビューを行うことができるので、基板５を配置する方向を誤るということが無くなる。したがって、作業者が基板５を配置する方向を誤った場合に基板５を再度正しい配置状態に載置し直すという作業が無くなる。これによって、欠陥レビューを行う作業に要する時間を短縮することができる。また基板５を再度正しい配置状態に載置し直すという作業が無くなるので、基板５を載置し直す間に、基板５に異物が付着したり、基板５をステージ２３などにぶつけることによって基板５が欠けたり割れたりするようなことが無くなり、歩留りを向上させることができる。
【００７０】
また第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２のうちのいずれか一方がＩＤ番号パターン４を読取ることによって、基板５の配置状態を判定するので、基板５の配置状態を判定するための情報を、ＩＤ番号パターン４に加えてさらに基板５に予め記録させておく必要がなくなる。
【００７１】
また基板５の配置状態は、第１配置状態または第２配置状態の２つしかないので、ＩＤ読取り部２２も、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２の２つだけでよく、余分なＩＤ読取り装置を要しない。
【００７２】
本実施の形態では、欠陥番号が小さい順に、欠陥番号に対応する欠陥を表示部７に表示させるとしたけれども、表示部７に表示される欠陥情報に基づいて、作業者が入力部２１を操作することによって欠陥番号を指定し、指定された欠陥番号に対応する欠陥を表示部７に表示させて、欠陥レビューを行ってもよい。たとえば、欠陥のサイズが「Ｏ」で表される大きな欠陥を重点的にレビューするようにしてもよい。
【００７３】
また本実施の形態では、ＩＤ番号パターン４は、２次元バーコードを構成するとしたけれども、ＩＤ番号パターン４は、１次元バーコードおよび英数字を用いた文字列などであってもよい。
【００７４】
また本実施の形態では、ステージ２３を移動させることによって、基板５の欠陥部分を、撮像部１２の撮像領域Ａ内に移動させるとしたけれども、撮像部１２を移動させることによって、基板５の欠陥部分に撮像領域Ａを移動させ、基板５の欠陥部分を表示部７に表示させてもよい。
【００７５】
また本実施の形態では、基板５の配置状態は、第１配置状態または第２配置状態の２つであるとしたけれども、配置状態は、２つに限らず、３つ以上であってもよい。配置状態が３つ以上ある場合には、配置状態と同数のＩＤ読取り装置を、各配置状態のときにＩＤ番号パターン４を読取ることができる位置にそれぞれ配置し、どのＩＤ読取装置がＩＤ番号パターン４を読取ったかに基づいて、基板５の配置状態を判断するようにしてもよい。
【００７６】
また本実施の形態では、ＩＤ読取り部２２は、第１ＩＤ読取り部３１と第２ＩＤ読取り部３２とによって構成されるとしたけれども、ＩＤ読取り部２２は、１つでもよい。たとえば、基板５の厚み方向一方の表面の全領域を撮像することができるＩＤ読取り部２２を用いれば、ＩＤ番号パターン４が形成されている位置を特定することができる。特定したＩＤ番号パターン４が形成されている位置に基づいて、基板５の配置状態を特定することができる。
【００７７】
また本実施の形態では、検査の対象となる基板５は、半導体ウエハとしたけれども、検査の対象となる基板５は、半導体ウエハに限らず、ＩＤ番号パターンを形成することができる物であればよく、たとえば液晶表示パネル用の基板およびプリント配線基板などであってもよい。
【００７８】
また本実施の形態では、欠陥レビュー装置３は、基板５の欠陥のレビューを行うために用いるとしたけれども、基板５の配置状態に基づいて、ステージを移動させることによって基板５を予め定める位置に移動させる移動装置として用いてもよい。たとえば、プリント配線基板の配置状態に基づいて、ステージを移動させることによってプリント配線基板を予め定める位置に移動させ、プリント配線基板の予め定める位置に電子部品を取り付ける装置として用いてもよい。
【００７９】
また本実施の他の形態では、第１ＩＤ読取り部３１および第２ＩＤ読取り部３２のいずれのＩＤ読取り装置によってもＩＤ番号パターン４を読取ることができなかった場合には、ステップｓ１を複数回実行するようにしてもよい。これによって、ＩＤ番号パターン４をより確実に読取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】本発明の実施の形態の検査装置１の機能的構成を示すブロック図である。
【図２】検査の対象となる基板５の平面図である。
【図３】欠陥情報を示す図である。
【図４】移動手段であるステージ２３とステージ２３に載置された基板５との平面図である。
【図５】第１配置状態の基板５の平面図である。
【図６】第２配置状態の基板５の平面図である。
【図７】作業者が欠陥レビューを行うときの、欠陥レビュー装置３が行う処理を表すフローチャートである。
【符号の説明】
【００８１】
１  検査装置
２  欠陥検査装置
３  欠陥レビュー装置
４  ＩＤ番号パターン
５  基板
７  表示部
１１  画像処理部
１２  撮像部
１３  制御部
１４  記憶部
１６  基板方向判定部
１７  座標変換部
２２  ＩＤ読取り部
２３  ステージ
２４  ＩＤ読取り制御部
２５  ステージ移動制御部
３１  第１ＩＤ読取り部
３２  第２ＩＤ読取り部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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