(57)【要約】【課題】反射防止特性の異なる反射防止膜が施された場合における基材を簡易な方法により観察することができる基材観察システム、および該基材観察システムを利用して選択された基材に基づき光学部材を加工する加工方法を提供すること。【解決手段】基材観察システムは、透過性ある基材が一つ載置されるテーブルと、テーブルに載置された基材表面を所定の波長域の光により照明する主照明手段と、基材を観察するための観察光学系と、を有し、主照明手段は、前記基材表面に成膜可能な反射防止膜の分光反射率に対応して前記所定の波長域を変更自在に構成されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透過性ある基材が一つ載置されるテーブルと、
前記テーブルに載置された前記基材表面を所定の波長域の光により照明する主照明手段と、
前記基材を観察するための観察光学系と、を有し、
前記主照明手段は、前記基材表面に成膜可能な反射防止膜の分光反射光色に対応して前記所定の波長域を変更自在に構成されていることを特徴とする基材観察システム。
【請求項２】
請求項１に記載の基材観察システムにおいて、
前記主照明手段は、白色光を照射する主光源と、前記主光源から照射された白色光から前記所定の波長域の成分のみを抽出する抽出手段と、を有し、
前記抽出手段は、前記基材表面に成膜可能な反射防止膜からの反射光に対応して前記所定の波長域を変更自在に構成されていることを特徴とする基材観察システム。
【請求項３】
請求項２に記載の基材観察システムにおいて、
前記抽出手段は、前記基材表面に成膜可能な反射防止膜と同数あって、かつそれぞれが各反射防止膜の分光反射光色と略等しい分光透過光色を有する光学フィルタを有しており、複数ある前記光学フィルタのうち所定の光学フィルタを、前記主光源から照射された白色光の光路中に挿入することにより、前記所定の波長域の成分のみを抽出することを特徴とする基材観察システム。
【請求項４】
請求項３に記載の基材観察システムにおいて、
複数の前記光学フィルタは、着脱自在に構成されていることを特徴とする基材観察システム。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の基材観察システムにおいて、
前記抽出手段は、前記所定の光学フィルタを特定するための操作部を有し、前記操作部により特定された光学フィルタを自動的に前記主光源から照射された白色光の光路中に挿入することを特徴とする基材観察システム。
【請求項６】
請求項２から請求項５のいずれかに記載の基材観察システムにおいて、
前記主照明手段は、さらに、前記主光源から照射された白色光を平行光に変換するコリメートレンズを有することを特徴とする基材観察システム。
【請求項７】
請求項２から請求項６のいずれかに記載の基材観察システムにおいて、
前記主照明手段は、さらに、開口制限素子を有することを特徴とする基材観察システム。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれかに記載の基材観察システムにおいて、
前記基材全域を照明する光を照射する補助光源を有する補助照明手段をさらに有することを特徴とする基材観察システム。
【請求項９】
請求項８に記載の基材観察システムにおいて、
前記補助光源は白色光を照射することを特徴とする基材観察システム。
【請求項１０】
請求項８または請求項９に記載の基材観察システムにおいて、
前記補助照明手段は、前記補助光源と前記基材の間に配設される拡散板を有することを特徴とする基材観察システム。
【請求項１１】
請求項８から請求項１０のいずれかに記載の基材観察システムにおいて、
前記補助照明手段は、前記テーブルを挟んで前記基材の反対側に配設され、前記テーブルを介して前記基材全域を照明することを特徴とする基材観察システム。
【請求項１２】
請求項１に記載の基材観察システムにおいて、
前記基材は、染色レンズであることを特徴とする基材観察システム。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれかに記載の基材観察システムを用いた観察結果に基づき得られる、少なくとも前記基材への反射防止膜の塗布の有無と、前記反射防止膜の種類と、に関する情報を含む加工データを入手するデータ生成工程と、
前記データ生成工程により得られた前記加工データに基づき光学部材を加工する加工工程と、を有することを特徴とする光学部材加工方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の光学部材加工方法において、
前記光学部材は、眼鏡レンズであり、
前記加工データには、前記眼鏡レンズの装用者の処方データが含まれることを特徴とする光学部材加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、基材表面に反射防止膜を施した光学部材からの色刺激を知覚するための観察システム、および該システムを利用した光学部材の加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プラスチックの基材に特定の色成分を吸収するような染料を浸透させる、あるいはインクジェット方式により光学部材表面に塗料を塗布することにより作製される光学部材が知られている。例えば、眼鏡レンズにあっては、以下の非特許文献１等に開示される。
【０００３】
【非特許文献１】“眼鏡プラスチックレンズへの染色加工”、株式会社ニデック、インターネット＜URL：http://www.nidek.co.jp/c2-2se.html＞
【０００４】
上記のような光学部材の場合、ユーザは、光学部材提供者側から提示される複数のサンプルを実際に観察し、自らの好みやニーズ等に応じて種々に染色された光学部材を選択することができる。このようなサンプルとしては以下の非特許文献２に説明されている。
【０００５】
【非特許文献２】“ポラウイングカラーバリエーション”、ボストン眼鏡株式会社、インターネット＜URL：http://www.boston-megane.co.jp/lens/414-2005.htm＞
【０００６】
ところで、上記光学部材、特に眼鏡レンズには、レンズ表面での反射を防止するため、レンズ表面に反射防止膜がコーティングされる。反射防止膜は、一般に複数の誘電体層から構成される干渉膜である。そして、反射防止膜は、特性上、求められる波長領域が単色の場合は反射光の発生を略完全に防ぐ事ができるが、該波長領域が可視域全体といった場合には反射防止性能は完全とはならない。
【０００７】
反射防止膜の膜構成や中心波長を変更することにより、該反射防止膜により微少に反射される光の色刺激が変化する。つまり、反射防止膜が施された光学部材を使用する場合、ユーザは、自らの好みや使用用途等に応じて反射防止膜で反射した光の色刺激を選択することも可能になる。
【０００８】
ここで、反射防止膜で反射した光の色刺激の選択方法として、上記非特許文献２と同様の手法を用いることが考えられる。しかし、現状の光学部材提供者側において、染色された光学部材を希望するユーザに提示されるサンプルは、基材に対して染色可能な色の数だけ既に存在する。該現状に加え、反射防止特性が異なる基材サンプルを提供しようとすると、今まで以上に多数のサンプル数を備えなければならない。そのため提供可能な光学部材に対応する反射防止膜付基材サンプルを全て揃えようとすると、サンプルの保管スペースが徒に大きくなる、あるいはユーザが任意の色に対応するサンプルを見つけることが困難になるといった問題が生じかねない。また、提供可能な光学部材に対応する反射防止膜付基材サンプルのうち、任意に抽出した数点のみ揃えようとすると、ユーザのニーズに十分に応えることができないというおそれもある。
【０００９】
なお、以下の本文において、光学部材とは基材の加工を終了した最終形態としての製品を意味する。例えば、反射防止膜をはじめとする種々の光学膜が施されるものにあっては、各光学膜が施された基材を光学部材という。上記各光学膜が施されないものにあっては、基材そのものを光学部材という。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
そこで本発明は上記の事情に鑑み、反射防止特性の異なる反射防止膜が施された場合における基材を簡易な方法により観察することができる基材観察システム、および該基材観察システムを利用して選択された基材に基づき光学部材を加工する加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明の基材観察システムは、透過性ある基材が一つ載置されるテーブルと、テーブルに載置された基材表面を所定の波長域の光により照明する主照明手段と、基材を観察するための観察光学系と、を有し、主照明手段は、前記基材表面に成膜可能な反射防止膜の分光反射光色に対応して前記所定の波長域を変更自在に構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項２に記載の基材観察システムによれば、主照明手段は、白色光を照射する主光源と、主光源から照射された白色光から所定の波長域の成分のみを抽出する抽出手段と、を有し、抽出手段は、基材表面に成膜可能な反射防止膜からの反射光に対応して所定の波長域を変更自在に構成される。
【００１３】
また、請求項３に記載の基材観察システムによれば、抽出手段は、基材表面に成膜可能な反射防止膜と同数あって、かつそれぞれが各反射防止膜の分光反射光色と略等しい分光透過光色を有する光学フィルタを有しており、複数ある光学フィルタのうち所定の光学フィルタを、主光源から照射された白色光の光路中に挿入することにより、所定の波長域の成分のみを抽出することができる。
【００１４】
請求項４に記載の基材観察システムによれば、複数の光学フィルタは、着脱自在に構成されていることが望ましい。
【００１５】
請求項５に記載の基材観察システムによれば、抽出手段は、所定の光学フィルタを特定するための操作部を有し、該操作部により特定された光学フィルタを自動的に主光源から照射された白色光の光路中に挿入することが好ましい。
【００１６】
なお、請求項６に記載の基材観察システムによれば、主照明手段は、さらに、主光源から照射された白色光を平行光に変換するコリメートレンズを有することが好ましい。
【００１７】
また、請求項７に記載の基材観察システムによれば、主照明手段は、さらに、開口制限素子を有することが好ましい。
【００１８】
請求項８に記載の基材観察システムによれば、基材全域を照明する光を照射する補助光源を有する補助照明手段をさらに有することができる。該補助光源は、白色光を照射することが好ましい（請求項９）。また、補助照明手段は、補助光源と基材の間に配設される拡散板を有することが好ましい（請求項１０）。
【００１９】
なお、請求項１１に記載の基材観察システムによれば、補助照明手段は、テーブルを挟んで基材の反対側に配設され、テーブルを介して基材全域を照明することができる。
【００２０】
請求項１２に記載の基材観察システムによれば、上記基材として染色レンズを使用することができる。
【００２１】
また、請求項１３に記載の光学部材加工方法は、請求項１から請求項１２のいずれかに記載の基材観察システムを用いた観察結果に基づき得られる、少なくとも、基材への反射防止膜の成膜の有無と、反射防止膜の種類と、に関する情報を含む加工データを入手するデータ生成工程と、データ生成工程により得られた加工データに基づき光学部材を加工する加工工程と、を有することを特徴とする。
【００２２】
請求項１４に記載の光学部材加工方法によれば、光学部材は、眼鏡レンズであり、上記加工データには、眼鏡レンズの装用者の処方データが含まれる。
【発明の効果】
【００２３】
以上のように本発明に係る基材観察システムによれば、反射防止膜で反射した光と同一の色刺激を持つ光を反射防止膜が成膜されていない基材に照射し、該基材を観察する構成にしたことにより、反射防止膜が施された基材からなる光学部材を観察したときに得られるであろう色刺激と略同一の色刺激を実現することができる。従って、ユーザは、完成された、あるいは完全な状態でのサンプルを用いた観察によることなく、所望する色刺激の反射防止膜と略同一の色刺激の反射光を持つ光学部材を簡易かつ迅速に観察することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、この発明にかかる基材観察システムの実施形態を説明する。図１は、基材観察システム１００の概略構成を示す図である。基材観察システム１００は、主光源部１、補助光源部２、観察光学系３、透過性あるテーブル４、基材サンプル５、操作部６、出力部７を有する。
【００２５】
主光源部１は、基材サンプル５に反射防止膜を施した場合に該反射防止膜からの反射光の色を観察するために用いられる。換言すれば、主光源部１から照射され基材サンプル５で反射した光は、反射防止膜が表面に施された基材からなる光学部材の表面で反射した光と同じ色刺激をユーザに与える。
【００２６】
主光源部１は、該主光源部１から照射された光がテーブル４に載置された基材サンプル５の表面を照明するような位置に配設されている。主光源部１は、主光源１１、光学フィルタチェンジャ１２、コリメータレンズ群１４、開口制限素子としてのスリット１５を有する。主光源１１は白色光を照射する。光学フィルタチェンジャ１２は、複数の光学フィルタ１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、…、１３ｎを有する。各光学フィルタ１３ａ〜１３ｎは、光学部材を構成する基材表面に成膜される反射防止膜のバリエーション、さらに言えば、該反射防止膜からの反射光の色刺激の種類に対応している。各光学フィルタ１３ａ〜１３ｎは、互いに異なる分光透過率を有している。従って、各光学フィルタを透過した光の波長域はそれぞれ異なる。
【００２７】
光学フィルタチェンジャ１２は、操作部６からの指示信号に対応する光学フィルタを選択し、主光源１１から照射される白色光の光路中に挿入する。例えば、光学フィルタチェンジャ１２内にある各光学フィルタ１３ａ〜１３ｎには各々アドレスが割り振られている。そして、操作部６から指示信号を受信すると、光学フィルタチェンジャ１２は、該指示信号に対応するアドレスが割り振られた光学フィルタを選択し、光路中に挿入する。図１では、一例として光学フィルタ１３ａが光路中に挿入されている状態を示す。
【００２８】
主光源１１から照射された白色光は、コリメータレンズ群２４によって平行光に変換される。そして該平行光は、光学フィルタ１３ａ、スリット１５を介して基材サンプル５に入射する。コリメータレンズ群１４とスリット１５を用いることにより、主光源部１から照射された光の基材サンプル５表面における照明領域は、スリット１５により規定される形状を呈する。これにより、ユーザは、あたかも基材サンプル５表面の一部領域のみに反射防止膜を施したような状態を観察することができる。よって、反射防止膜の有無によって色刺激がどのように変化するかを容易に知覚することができる。ただしコストダウンを図る観点から、コリメータレンズ群２４とスリット２５は必ずしも設けるには及ばない。
【００２９】
なお、光学フィルタチェンジャ１２内にある光学フィルタ１３ａ〜１３ｎは、着脱自在に構成される。
【００３０】
補助光源部２は、主光源部１を用いて基材サンプル５の観察が行われる際に、基材サンプル５近傍の明るさを確保する補助光を照明するために用いられる。補助光源部２は、該補助光源部２から照射された光がテーブル４に載置された基材サンプル５を該テーブルを介して照明するような位置に配設されている。つまり、主光源部１と補助光源部２は、テーブル４を挟んで対峙して配設される。補助光源部２は、補助光源２１、拡散板２２を有する。補助光源２１も主光源１１と同様に、白色光を照射する。
【００３１】
補助光源２１から照射された白色光は、拡散板２２に入射する。拡散板２２は、補助光源２１から射出された白色光の二次的光源として機能する。従って、テーブル４に載置された基材サンプル５は、どの場所にも略均一な光量の光が入射する。なお、図１では、テーブル４と拡散板２２を別個独立に設けているが、拡散板２２をテーブル４の代替として使用し、拡散板２２に基材サンプル５を直接載置することも可能である。
【００３２】
観察光学系３は、テーブル４に載置された基材サンプル５を含む領域を観察できるように構成されている。
【００３３】
本実施形態の基材サンプル５は、有色透明のプラスチック製である。基材サンプル５は、ユーザが製品としての光学部材により近似した状態を観察することができるように、該光学部材と同一形状に形成される。ただし、必ずしも同一形状でなくても良く、光学部材の形状の如何を問わず、平行平板を基材サンプル５として使用しても良い。
【００３４】
操作部６は、各光源部１、２に関する操作を行うために設けられている。各光源部１、２に関する操作としては、例えば、各光源部１、２の発光制御、主光源部１の光学フィルタの指定等がある。なお図１において、説明の便宜上、補助光源部２と操作部６との結線は省略している。
【００３５】
出力部７は、主光源部１の発光状態等をシステム１００外部に出力するために設けられている。出力部７としては、例えば表示部のように主光源部１の発光状態等をシステム１００外部に報知する構成であっても良いし、主光源部１の発光状態等をシステム１００外部の機器（例えばＰＣ等）に出力するための端子部であっても良い。
【００３６】
上記のような基材観察システム１００を用いて行われる基材観察の一例を次に説明する。本例は、所望の色刺激の反射光を持つ反射防止膜が与える効果を、有色透明の基材からなる光学部材（染色レンズ）により観察するための実施例である。
【００３７】
具体的には、まずユーザは操作部６を介して各光源部１、２を点灯させる。ここで、観察光学系３を介して観察される基材サンプル５近傍が十分な明るさを備えている場合には、補助光源部２を消灯させてもよい。さらにユーザは、操作部６を介して、主光源部１において光路中に挿入される光学フィルタ１３ａ〜１３ｎのいずれか一枚（ここでは１３ａ）を選択する。
【００３８】
ユーザの上記操作により、光学フィルタ１３ａを介した光が、基材サンプル５の表面の一部領域、より具体的にはスリット２５により規定される領域に入射する。これにより、ユーザは、該入射光の反射光を観察することにより、任意の反射防止膜を施した有色透明の基材からなる光学部材と略同一の光学特性を持つものを観察することができる。
【００３９】
次に上記実施形態の基材観察システム１００を使用した光学部材加工方法の一例を説明する。以下に説明する光学部材加工方法においては、該光学部材として眼鏡レンズを想定している。
【００４０】
図２は、本実施形態の光学部材加工方法の処理の流れを示す図である。本実施形態の光学部材加工方法では、まず眼科もしくは眼鏡店でユーザ（ここでは眼鏡装用者）に関する処方検査が行われる（Ｓ１）。処方検査により、度数や乱視軸方向等の処方情報が生成される。
【００４１】
また、特に眼鏡店では、基材の染色バリエーションの選択および上述した基材観察システム１００を用いた反射防止膜の種類の選択がおこなわれる（Ｓ３）。
【００４２】
次いで、Ｓ５において、Ｓ１およびＳ３によって得られた各情報を含む、光学部材を加工するために必要な加工データが生成される。加工データには、Ｓ１によって得られた処方情報、Ｓ３によって得られた基材や反射防止膜の種類に関する情報、さらにはユーザが希望するレンズ厚や屈折率、非球面の有無といったレンズ面形状等に関する情報に基づき生成される。また、本実施形態では光学部材として眼鏡レンズを想定するため、ここでの加工データには、該眼鏡レンズが枠入れされるフレームの種類に関する情報も含まれる。
【００４３】
なお、Ｓ５において、上記基材観察システム１００の出力部７を加工データ生成用のＰＣ等に接続しておくことにより、ユーザの観察結果に基づき直ちに加工データが生成され、効率性を高めることができる。
【００４４】
Ｓ５により生成された加工データは、光学部材の加工を担う製造工場に送信される。該製造工場では、受信した加工データに基づき各製造工程に付与する加工に関する指示データが生成され、各工程に順次送信される（Ｓ７）。
【００４５】
指示データとしては、例えば、レンズ種データ、染色の有無に関するデータ、染色データ、ハードコードデータ、反射防止膜の有無に関するデータ、反射防止膜データ、玉型枠入れの有無に関するデータ、玉型加工データ等がある。なお、図２では、製造工場での各工程は代表的なもののみを示している。従って、指示データも、実際は上記以外にも様々な種類が想定される。
【００４６】
レンズ種データは、レンズの面形状やパワー等を特定するためのデータである。レンズ種データは、主として処方情報や、レンズ厚や屈折率、非球面の有無といったレンズ面形状等に基づいて生成される。染色の有無に関するデータおよび染色データは、眼鏡店に設置された染色サンプル等によりユーザが選択した基材の種類に関する情報等に基づいて生成される。反射防止膜の有無に関するデータおよび反射防止膜データは、上記実施形態の基材観察システム１００によりユーザが選択した基材の種類に関する情報等に基づいて生成される。ハードコートデータは、ユーザもしくは眼鏡店が指定したレンズの種類等に関する情報に基づき生成される。玉型枠入れの有無に関するデータおよび玉型加工データは、ユーザの希望やフレームの種類に関する情報等に基づいて生成される。
【００４７】
Ｓ９に示す研磨工程には、Ｓ７の処理により生成された指示データのうち、レンズ種データが送信される。研磨工程では、該レンズ種データに基づき、予め成型されている半製品に対する研磨等が行われる。
【００４８】
Ｓ９に示す研磨工程が終了すると、半製品はＳ１１に示す第一搬送工程に送られる。第一搬送工程には、Ｓ７の処理により生成された指示データのうち、基材の染色の有無に関するデータが送信される。第一搬送工程では、Ｓ７の処理により送信された指示データに従って、研磨工程を経た半製品を次工程へと搬送する。具体的には、指示データが染色有りという指示データがＳ７の処理により送信された場合、第一搬送工程では、半製品を染色工程に搬送する（Ｓ１３）。
【００４９】
Ｓ１３では、Ｓ７の処理により生成された染色データに基づいて研磨工程を経た半製品を染色する。染色データは、例えば、シリアル番号から構成され、該シリアル番号はＳ３でユーザが選択した染色バリエーションの通し番号（例えばカタログナンバ）に対応して付されている。Ｓ１３の染色工程により染色された半製品は次いでハードコート工程（Ｓ１５）に搬送される。Ｓ１１の第一搬送工程において染色無しという指示データを受けた場合も同様である。
【００５０】
Ｓ１５に示すハードコート工程では、ハードコートデータに基づき、前工程から搬送された半製品の表面に所定のハードコートを施す。ハードコートされた半製品は、次いで第二搬送工程に送られる。
【００５１】
Ｓ１７に示す第二搬送工程では、反射防止膜の有無に関するデータに基づき次工程を決定する。Ｓ７の処理により反射防止膜有りというデータが第二搬送工程に送信された場合、第二搬送工程では、次工程を反射防止膜コート工程（Ｓ１９）に決定し、該コート工程に半製品を搬送する。
【００５２】
Ｓ１９に示す反射防止膜コート工程では、反射防止膜データに基づいて半製品表面に反射防止膜をコートする。ここで、反射防止膜データは、例えばシリアル番号から構成されており、該シリアル番号はＳ３でユーザが選択した光学フィルタ１３ａのアドレスナンバに対応して付されている。反射防止膜がコートされた半製品は、次いで第三搬送工程（Ｓ２１）に送られる。Ｓ１７の第二搬送工程において、反射防止膜無しという指示データを受けた場合も同様である。
【００５３】
Ｓ２１に示す第三搬送工程では、玉型枠入れの有無に関するデータに基づき次工程を決定する。Ｓ７の処理により玉型枠入れ有りというデータが第三搬送工程に送信された場合、第三搬送工程では、次工程を玉型枠入れ工程（Ｓ２３）に決定し、該工程に半製品を搬送する。
【００５４】
Ｓ２３に示す玉型枠入れ工程では、玉型加工データに基づいて半製品の形状をフレーム枠に収まるように加工したり、該フレームに枠入れしたりする。Ｓ２３において、玉型加工や枠入れ加工が完了した半製品、またはＳ２１において、玉型枠入れ工程不要とされた半製品はＳ２５の検査工程に搬送される。
【００５５】
Ｓ２５に示す検査工程では、前工程を経た半製品を検査する。検査後、半製品は眼鏡レンズ（または眼鏡）という製品として出荷される（Ｓ２７）。
【００５６】
製造工場から出荷された製品は、眼鏡店において最終調整に供される（Ｓ２９）。最終調整には、フィッティングや検眼だけでなく、製造工場において玉型加工や枠入れ加工を省いた製品に関する玉型加工、枠入れ加工等も含まれる。以上の工程を経て、製品はユーザに納品される（Ｓ３１）。
【００５７】
以上が本発明の実施形態である。本発明に係る基材観察システムは、上述した構成に限定されるものではなく、主旨を逸脱しない範囲で種々の変形が可能である。
【００５８】
例えば、上述した基材観察システム１で使用される基材サンプル５は、有色透明であると説明したが、無色透明基材を使用することもできる。これにより、無色透明の基材表面に反射防止膜を施した光学部材から得られる色刺激と同一の色刺激をユーザに与えることが可能になる。
【００５９】
また、補助光源部２内に波長選択性を持つ光学フィルタを配置し、基材サンプル５全体を照明する光を特定の波長成分にすることにより、無色透明の基材サンプル５を用いつつも染色された基材からなる光学部材の色合いを観察する変形も可能である。該変形において、さらに主光源部１から所定の波長成分を照射することにより、反射防止膜を塗布した場合に基材の透過光および該反射防止膜の反射光を合わせた色刺激をユーザに与えることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の実施形態の基材観察システムの概略構成を表す図である。
【図２】実施形態の光学部材加工方法を説明するための図である。
【符号の説明】
【００６１】
１  補助光源部
２  主光源部
３  観察光学系
４  テーブル
５  基材サンプル
６  操作部
７  出力部
１００  基材観察システム
【図１】
2007155478.tif 000003
【図２】
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