(57)【要約】【課題】高真空環境下での使用を容易に可能にした、経済的に有利で、かつ任意長に加工できる汎用性に富む耐真空複合ケーブルの製造方法および耐真空複合ケーブルを提供することを課題とする。【解決手段】任意の布線長に加工（切断）した複合ケーブル１０からマンドレル１１を引き抜くことによって、網組シールド１３内に於いてケーブル１２，１２，…間隙が生じる。この状態で、各ケーブル１２，１２，…の巻き付けに伴う撚りを戻し、各ケーブル１２，１２，…をそれぞれ引き伸ばした後に、ベーキングを行う。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ素系樹脂により導体被膜を施した複数本のケーブルをマンドレルの周囲に巻き付け、外皮で覆って製造した複合ケーブルを任意の布線長に加工した後、前記マンドレルを前記外皮から引き抜き、前記ケーブルの前記巻き付けに伴う撚りを戻してベーキングすることを特徴とする耐真空複合ケーブルの製造方法。
【請求項２】
前記ケーブルの導体は銀メッキ銅線である請求項１記載の耐真空複合ケーブルの製造方法。
【請求項３】
前記外皮は編組シールドである請求項１または２記載の耐真空複合ケーブルの製造方法。
【請求項４】
前記マンドレルにフッ素系樹脂を用いた請求項１乃至３のいずれか１項に記載の耐真空複合ケーブルの製造方法。
【請求項５】
フッ素系樹脂により導体被膜を施した複数本のケーブルをマンドレルの周囲に巻き付けて外皮で覆ったことを特徴とする耐真空複合ケーブル。
【請求項６】
前記マンドレルを前記外皮から引き抜いてベーキングしたことを特徴とする請求項５記載の耐真空複合ケーブル。
【請求項７】
前記ケーブルの導体は銀メッキ銅線である請求項５または６記載の耐真空複合ケーブルの製造方法。
【請求項８】
前記外皮は編組シールドである請求項５乃至７のいずれか１項に記載の耐真空複合ケーブルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高真空環境下で複数の回路配線を必要とする場合に用いて好適な耐真空複合ケーブルの製造方法および耐真空複合ケーブルに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空雰囲気中で使用されるケーブルに対しては、ケーブルの被覆材や構造等に起因して発生し残留するガスを極力抑制することが要求される。
【特許文献１】特開２００４−６３３７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
従来、高真空環境下で複数の回路配線を必要とする場合、例えばカブトンチューブ（カブトンは登録商標）に銀メッキ銅線を通した構造のケーブルを各配線毎に個別に用意して用いていた。しかしながら、この種、耐真空用ケーブルは、経済性の面で問題があるとともに、ケーブルの長さが規定され、可撓性に難があることから汎用性に乏しいという問題があった。
【０００４】
本発明は上記実情に鑑みなされたもので、高真空環境下での使用を容易に可能にした、経済的に有利で、かつ任意長に加工できる汎用性に富む耐真空複合ケーブルの製造方法および耐真空複合ケーブルを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、耐真空複合ケーブルの製造方法であって、フッ素系樹脂により導体被膜を施した複数本のケーブルをマンドレルの周囲に巻き付け、外皮で覆って製造した複合ケーブルを任意の布線長に加工した後、前記マンドレルを前記外皮から引き抜き、前記ケーブルの前記巻き付けに伴う撚りを戻してベーキングすることを特徴とする。
【０００６】
また、本発明は、耐真空複合ケーブルであって、フッ素系樹脂により導体被膜を施した複数本のケーブルをマンドレルの周囲に巻き付けて外皮で覆ったことを特徴とする。  
また、本発明は、前記耐真空複合ケーブルに於いて、前記マンドレルを前記外皮から引き抜いてベーキングしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
高真空環境下での使用を可能にした、経済的に有利で、かつ任意長に加工できる汎用性に富んだ耐真空複合ケーブルが提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下図面を参照して本発明の実施形態を説明する。
【０００９】
本発明の実施形態に於ける耐真空複合ケーブルの構造例を図１に示す。本発明の実施形態に係る耐真空複合ケーブル１０は、フッ素系樹脂により導体被膜を施した複数本のケーブル１２，１２，…をマンドレル１１の周囲に巻き付けて外皮（シース）１３で覆った構造としている。
【００１０】
マンドレル１１は、例えばＰＴＦＥ若しくはＰＦＡ等のフッ素系樹脂により構成され、外皮１３の略中心に位置する。このマンドレル１１の周囲に複数本のケーブル１２，１２，…が巻き付けられる。
【００１１】
マンドレル１１を中心に、その周囲に設けられる複数本のケーブル１２，１２，…は、それぞれ、導体（芯線）に銀メッキ銅線を用い、この導体（芯線）を、ＰＴＦＥ若しくはＰＦＡ等のフッ素系樹脂で被覆している。ここでは、フッ素系樹脂の中でも不純物の少ないＰＴＦＥを選定して、このＰＴＦＥにより銀メッキ銅線を電気的に絶縁被覆している。また、ここでは複数本のケーブル１２，１２，…のうち、ケーブル内に示す符号１〜６はそれぞれシングル線、７〜１５はそれぞれ同軸線である。
【００１２】
これら複数本のケーブル１２，１２，…を被覆する外皮１３は、網組シールドにより構成される。以降、この外皮を網組シールドと呼ぶ。
【００１３】
図２は上記した本発明の実施形態に係る耐真空複合ケーブルを耐真空用に加工する際のベーキングに至るまでの工程を説明するためのもので、ここでは、マンドレル１１を中心に、その周囲に設けられる複数本のケーブル１２，１２，…を簡略化して示している。
【００１４】
この図２に示す工程では、先ず、同図（ａ）に示すように、長尺の複合ケーブル１０を任意の布線長に加工（切断）する。
【００１５】
つぎに、任意の布線長に加工（切断）した複合ケーブル１０から、図２（ｂ）に示すように、マンドレル１１を引き抜く。この際、マンドレル１１の周囲に設けられる複数本のケーブル１２，１２，…は、それぞれＰＴＦＥを被覆材としており、ＰＴＦＥは、周知の通り、滑沢性を有し、極めて低い摩擦係数を示す樹脂であることから、また、マンドレル１１も同様の樹脂であることから、マンドレル１１の引き抜き作業を抵抗なく極めて簡単に行うことができる。
【００１６】
複合ケーブル１０からマンドレル１１を引き抜くことによって、網組シールド１３内に於いてケーブル１２，１２，…間隙が生じる。
【００１７】
この状態で、図２（ｃ）に示すように、網組シールド１３内の各ケーブル１２，１２，…に於ける、巻き付けに伴う撚りを戻し、各ケーブル１２，１２，…をそれぞれ引き伸ばして伸張状態にする。
【００１８】
このような加工を施した後、ベーキング工程に入り、複合ケーブル１０を加熱処理して、複合ケーブル１０の各要素から吸着ガスを脱離させる。この際、各ケーブル１２，１２，…は、網組シールド１３内で、かつ互いに間隙を有した状態にあることから、網組シールド１３内にはケーブル相互の間を含んで空気溜まりは発生せず、従ってガス抜き効果の高いベーキングが行える。また、上記各ケーブル１２，１２，…の導体に、銀メッキ銅線を用いていることから、ケーブルからのガス放出を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る耐真空複合ケーブルの加工前に於ける構造を示す断面図。
【図２】上記実施形態に係る耐真空複合ケーブルの加工工程を説明するための図。
【符号の説明】
【００２０】
１０…耐真空複合ケーブル、１１…マンドレル、１２…ケーブル、１３…外皮（シース）。
【図１】
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【図２】
2007035454.tif 000004