(57)【要約】【課題】  大きな発熱箇所であるスイッチング素子が配置される発熱構造において、素子の温度が限界を超えないように冷却できる電力変換装置を提供する。【解決手段】  スイッチング動作を行う複数個のスイッチング素子７と、スイッチング素子を冷却する冷却媒体が流れるスイッチング素子冷却部と、スイッチング素子冷却部の冷却媒体の流路５内に位置し、支軸１４まわりに回転可能な少なくとも１つの回転体１１とを備える。【選択図】        図２
2007250673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スイッチング動作を行う複数個のスイッチング素子と、
前記スイッチング素子を冷却する冷却媒体が流れるスイッチング素子冷却部と、
前記スイッチング素子冷却部の冷却媒体の流路内に位置し、支軸まわりに回転可能な少なくとも１つの回転体とを備えることを特徴とする、電力変換装置。
【請求項２】
前記回転体は前記スイッチング素子の対応領域ごとに配置されることを特徴とする、請求項１に記載の電力変換装置。
【請求項３】
前記回転体が、前記支軸から放射状に延び出る翼部分を有することを特徴とする、請求項１または２に記載の電力変換装置。
【請求項４】
前記翼部分の面は、前記スイッチング素子が配置される面と斜めに交差する斜め交差面部分を有することを特徴とする、請求項３に記載の電力変換装置。
【請求項５】
前記回転体が水車構造を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の電力変換装置。
【請求項６】
前記回転体が、樹脂材料で形成されていることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の電力変換装置。
【請求項７】
前記回転体が、ＤＬＣ(Diamond Like Carbon)コーティング処理を施した樹脂材料で形成されていることを特徴とする、請求項６に記載の電力変換装置。
【請求項８】
前記冷却媒体の流路の、前記スイッチング素子の対向側の外面に、他の素子をさらに備えることを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の電力変換装置。
【請求項９】
被冷却部品を冷却する冷却媒体が流れる冷却部と、
前記冷却部の冷却媒体の流路内に位置し、支軸まわりに回転可能な少なくとも１つの回転体とを備えることを特徴とする、冷却構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電力変換装置および冷却構造に関し、とくに自動車のモータの電力変換装置および冷却構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
自動車にはエンジンが圧倒的に多く用いられてきたが、化石燃料の高騰や、地球温暖化防止のためのＣＯ2排出量の抑制などを背景に、電気自動車やハイブリッド自動車が注目を集め、とくにハイブリッド自動車はエンジン車に比べて単位燃料当りの走行距離が高いために飛躍的にその台数を増やしている。ハイブリッド車等の自動車のモータには大きな電力が供給されるので、電力変換装置も大きな電力を扱うことになり、電力変換装置自体の電力損失を減らし、効率のよい電力変換を行う必要がある。このため電力変換装置には、電力のオン・オフを繰り返すスイッチとして動作する半導体デバイス、すなわちスイッチング素子が用いられる。スイッチング素子は、オン状態で電圧ゼロ、またオフ状態で電流ゼロなので、オン・オフの電圧・電流のタイムラグが生じなければ消費電力はゼロである。しかし、実際はタイムラグが生じるため、スイッチング素子の電力の消費はゼロではなく、ロスとして熱が発生する。上記のハイブリッド自動車、燃料電池自動車などの電気自動車に搭載されるモータ駆動および電力回生用の電力変換装置では、バッテリーの大容量化、高速スイッチング化に伴い、上記の熱問題が深刻化している。
【０００３】
上記半導体素子の温度上昇は、自動車モータ用の電力変換装置に限られず、古くから問題とされ、多くの取り組みがなされてきた。たとえば、半導体装置の放熱に用いられる並列状の放熱フィンの放熱性を向上させるために、空気流が直線状に放熱フィン間隙を通過しないように、乱流発生用の邪魔板を取り付けた構造、または千鳥配列の円柱状フィンの構造が開示されている（特許文献１）。この構成によれば、斜めに取り付けた邪魔板または千鳥配列の円柱状フィンにより乱流が発生して放熱効果を高めることができる。
【特許文献１】特開２００１−３４５５８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、自動車モータの電力変換装置に用いられるスイッチング素子は、年々性能が向上するにつれ小型化されるとともに、その小型化された素子に大電流が集中するため、発熱も局所的に突出して大きな形態をとる。このため、上記のような従来の冷却構造では、適切な対応をとることができない。すなわち、非常に大きな発熱箇所（スイッチング素子）が離散的にかつ局所的に配置される発熱構造において、そのスイッチング素子の温度が限界を超えないように、効果的に冷却する構造となっていない。換言すれば、上位従来の冷却構造は、スイッチング素子の配置箇所と、スイッチング素子が配置されない非配置箇所とを同一視して、隣接するスイッチング素子配置箇所と非配置箇所とを連続的に同様に冷却している。このため、自動車モータの電力変換装置におけるスイッチング素子に特有の発熱形態に対して、冷却技術が未だ十分に対応できていない。
【０００５】
本発明は、非常に大きな発熱箇所であるスイッチング素子が配置される発熱構造において、そのスイッチング素子の温度が限界を超えないように、効率的に冷却することができる電力変換装置、およびそこで用いられる冷却構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の電力変換装置は、スイッチング動作を行う複数個のスイッチング素子と、スイッチング素子を冷却する冷却媒体が流れるスイッチング素子冷却部と、スイッチング素子冷却部の冷却媒体の流路内に位置し、支軸まわりに回転可能な少なくとも１つの回転体とを備えることを特徴とする。
【０００７】
上記構成により、冷却媒体の流速に応じて回転体が回転し、冷却媒体を遠心力で分散させ、また乱流状態を生じさせ、放熱効果を向上させることができる。この結果、スイッチング素子の温度上昇を抑え、スイッチング素子のオン抵抗を低減でき、電力変換装置の損失を低減することができる。
【０００８】
上記の回転体はスイッチング素子の対応領域ごとに配置することができる。ここで、スイッチング素子の対応領域は、スイッチング素子１つを対象とする場合、平面的に見てスイッチング素子と重なる冷却媒体路の領域をさす。しかし、一まとまりの複数のスイッチング素子を対象とする場合には、その一まとまりのスイッチング素子が配置されている箇所に対応する領域をさす。上記構成により、スイッチング素子対応領域ごとに回転体が配置されるため、スイッチング素子に狙いを定めて、回転体により、上記冷却媒体の分散および渦流の発生（乱流状態の発生）を起し、離散的に配置された個々のスイッチング素子の温度上昇を効率よく抑えることができる。
【０００９】
上記の回転体が、支軸から放射状に延び出る翼部分を有することができる。この構成により、冷却媒体の流れエネルギーを感度よく受けて、冷却媒体の分散および渦流発生を、効率よく行うことができる。
【００１０】
上記の翼部分の面は、スイッチング素子が配置される面と斜めに交差する斜め交差面部分を有することができる。この構成により、回転帯の斜め交差面部分は、冷却媒体に、スイッチング素子が配置される素子側壁面に向かう交差方向、または遠ざける交差方向（素子対向側壁面に向かう方向）の速度成分を、付与することができる。冷却媒体は、この交差方向の速度成分を得て、冷却媒体路の素子側壁面における層流（熱伝達が低い）の形成を妨げて、渦流を発生しやすくする。渦流は、スイッチング素子側の壁面での発生および離脱を頻繁に生じるため、熱伝達性に優れ、スイッチング素子の温度上昇を効果的に抑制できる。なお、上記の斜め交差面部分は、素子側壁面に交差する方向の速度成分を冷却媒体に与えることができれば、どのような面でもよく、たとえば平面でも曲面（凹面、凸面など）でもよい。
【００１１】
上記の回転体が水車構造を有するものであってもよい。この構成により、冷却媒体の流れエネルギーを効率よく利用して、スイッチング素子対応領域における冷却媒体を分散させ、渦流発生すなわち乱流状態を促進することができる。ここで、水車構造には、ベルトン水車、フランシス水車、斜流（デリア）水車、プロペラ（カプラン）水車、チューブラ（バルブ）水車など任意の水車構造を用いることができる。
【００１２】
また、上記の回転体を樹脂材料で形成することができる。これにより、回転体を軽量化して冷却媒体の流れにより容易に回転させることができ、その結果、冷却媒体の分散および渦流発生促進を確保することができる。また金属製の場合に比して、耐食性を向上させることができる。樹脂材料は、どのようなものでもよいが、軽量樹脂がより好ましい。
【００１３】
また、上記の回転体を、ＤＬＣ(Diamond Like Carbon)コーティング処理を施した樹脂材料で形成してもよい。これにより、耐摩耗性を向上でき、さらに摩擦係数を小さくでき、その結果、圧力損失を小さくすることができる。
【００１４】
また、上記の冷却媒体の流路の、スイッチング素子の対向側の外面に、他の素子をさらに備えることができる。この構成により、上記他の素子を上記素子対向側の外面に配置して、冷却することができ、空間利用効率を高めることができる。上記他の素子がスイッチング作用を有する素子であってもよい。
【００１５】
本発明の冷却構造は、被冷却部品を冷却する冷却媒体が流れる冷却部と、冷却部の冷却媒体の流路内に位置し、支軸まわりに回転可能な少なくとも１つの回転体とを備えることを特徴とする。
【００１６】
上記構成により、冷却媒体の流速に応じて回転体が回転し、冷却媒体を遠心力で分散させ、また乱流状態を生じさせ、放熱効果を向上させることができる。この結果、被冷却部品の温度上昇を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１は、本発明の実施の形態における電力交換装置を説明するための図である。この電力変換装置１０は、ハイブリッド自動車のモータ用の端子であるＵ相端子、Ｖ相端子およびＷ相端子を有し、また発電機用の端子である＋端子および−端子を有する。スイッチング素子７は、モータ用のスイッチング素子７ａ，７ｂと、発電機用のスイッチング素子７ｃとが配置される。モータ用スイッチング素子はＩＧＢＴ(Insulated Gate Bipolar Transistor)７ａと、還流ダイオード７ｂとがある。還流ダイオードはインダクタンスを含む図示しない負荷と並列に配置されるダイオードであり、負荷電流を平準化するために用いられる。本発明の実施の形態の説明において、厳密にはスイッチング素子ではないが、スイッチング素子とともに同じ回路に用いられる半導体素子もスイッチング素子と呼ぶこととする。これらスイッチング素子７ａ，７ｂ，７ｃは、図示を省略した実装基板上に実装され、その実装基板の下に放熱板３が配置される。上記のスイッチング素子７、実装基板等は、筐体３１に収納される。上記筐体３１内には、スイッチング素子７の上に絶縁板を介在させて、上記スイッチング素子のゲート信号を制御する半導体素子等が実装された、図示しない制御信号用実装基板が配置される。上記放熱板３の下にその放熱板に接するように、冷却媒体が流れる冷却媒体路（流路）５が設けられる。冷却媒体路５は、スイッチング素子モジュールの筐体３１の一部として形成されていてもよい。冷却媒体には、不凍液であるエチレングリコール水溶液などを用いることができる。
【００１８】
（実施の形態１）
図２は、本発明の実施の形態における電力変換装置の冷却構造を説明するための模式図（スイッチング素子を裏側から見た裏面図）である。図２において、入口３７から出口３８に向かって冷却媒体が流れ、中央流Ｆｏが形成される。回転体１１は、スイッチング素子７の真下に配置されている。回転体１１において、翼固定部１３に固定された、放射状に延び出る翼部分１２は、中央流Ｆｏの付勢力を得て、支軸１４のまわりに回転する。
【００１９】
この回転により、冷却媒体は、冷却媒体路の壁面に平行なＨ流成分を主に生じるが、翼部分の幅端部（エッヂ）ではＨ流成分に交差する成分（後で説明するＮ流成分およびＳ流成分）を有する流れも生じる。上記Ｈ流成分の流れは、中央流部だけでなく、端部Ｅにも十分に生じ、スイッチング素子全体を冷却することができる。端部Ｅでは、冷却媒体は、回転体１１の駆動により中央流Ｆｏの流れ方向と逆方向に流れる箇所も出てくる。翼部分１２は、冷却媒体路５の厚み全体をカバーするほどの幅（高さ範囲）を有してもよいし、たとえば支軸１４が冷却媒体路の素子側壁面に固定される場合、スイッチング素子側に近い冷却媒体路をカバーするだけでもよい。
【００２０】
図３は、図２の電力変換装置の変形例を示す図である。図３の電力変換装置の場合、複数のスイッチング素子７ａ，７ｂに対応して１つの回転体１１が配置されている。スイッチング素子７ａ，７ｂと、回転体１１とは、たとえて言えば結晶における結晶基を形成し、スイッチング素子７ａ，７ｂと回転体１１とは、電力変換装置において繰り返し配列される。スイッチング素子対応領域とは、上記結晶基の領域のように、繰り返される配列における１つの単位模様の領域と考えることができる。
【００２１】
回転体１１の翼部分１２は、樹脂で形成するのがよい。なかでも軽量樹脂で形成するのがよい。冷却媒体の流れのエネルギーで容易に回転するからであり、また圧力損失を軽減することができる。樹脂単体の比重はポリメチルペンテンの０．８３から四フッ化樹脂の２．１の範囲まであるが、発泡材とすると０．０４程度となり、無機質または金属などの重い材料を充填すると３程度にすることができる。これらの樹脂のどれを用いてもよいが、比重は２．０以下とするのが好ましい。また、耐食性および耐熱性（冷却媒体は１５０〜２５０℃となる場合がある）を十分備えた材料とするのがよい。ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルスルフォン樹脂、ポリフェニレンスルフィド樹脂など耐熱性を兼ね備えたものがよいが、さらに強度向上、耐熱性向上のためこれらの樹脂にグラファイト、シリカ等の充填材を充填した樹脂を用いてもよい。その他の、グラファイト、シリカ等の充填材を充填したもの、または非充填の樹脂を用いることができる。
【００２２】
また、冷却媒体の流量は、通常、７〜８リットル／分とするが、それより多くても、また少なくてもよい。また、上記の翼部分は、平面状でも曲面状でもよく、曲面状の場合、流れに向かって凹状に湾曲してもよい。上記の翼部分を鏡面仕上げにすることによっても圧力損失を軽減することができる。
【００２３】
とくに、翼部分の表層がＤＬＣ(Diamond-like-carbon）コーティング処理されていることが好ましい。ＤＬＣコーティング処理により耐食性および耐摩耗性を向上させ、さらに摩擦係数を低減して圧力損失を小さくできるからである。ＤＬＣコーティング処理を行う樹脂の場合は、樹脂は電導性があることが望ましい。ＤＬＣコーティングは、高真空中でのプラズマプロセスであるイオンプレーティング法により成膜される。まず、真空チャンバ内にベンゼンガスまたは他の炭化水素ガスを導入し、直流アーク放電プラズマ中で炭化水素イオンや励起されたラジカルが生成する。炭化水素イオンは、直流の負電圧にバイアスされた被コーティング材（今の場合、翼部分）にバイアス電圧に応じたエネルギーで衝突し固体化し、成膜される。非平衡プラズマを用いるため成膜時の基板温度は、通常、２００℃以下とする。ＤＬＣコーティング膜はアモルファス構造のため結晶粒界を有さず、多結晶構造の硬質薄膜と比べて非常に平滑な表面となる。この結果、冷却媒体との摩擦係数を低減でき、圧力損失を抑えることができる。
【００２４】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２における電力変換装置の冷却構造を説明するための図である。図４（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、図４（ｂ）は平面図である。本実施の形態では、翼部分１２が冷却媒体路の壁面５ａ，５ｂに対して交差するように傾いている点に特徴を有する。すなわち翼部分１２が、スイッチング素子が配置される面と斜めに交差する斜め交差面部分を有する。回転体１１は、支軸根元部１４ｂが素子対向側壁面５ｂに固定され、また翼部分１２は図示していない軸受を含む軸受部１４ａに回転可能に支持されている。翼部分１２の中央流側Ｆｏの翼部分Ｗ１では、前端エッヂａが素子側壁面５ａより遠く、後端エッヂｂが素子側壁面５ａに前端側より近い位置となるような方向に傾いている。また、翼部分Ｗ２は、前端と後端との関係では、翼部分Ｗ１と同じ傾きを有する。
【００２５】
図４（ｂ）に示す配置において回転体１１が回転したとき、第１にＨ流成分を生じるが、それに伴って、図４（ａ）に示すように、素子側壁面５ａに向かうＮ流成分が、両方の翼部分Ｗ１，Ｗ２で生じる。このため、素子側壁面５ａにおいて熱伝達の低い層流の形成を防止でき、素子側壁面５ａにおける渦流の生成と離脱とを盛んにすることができ、その結果、熱伝達を向上させてスイッチング素子の温度上昇を抑えることができる。また、図４（ａ)において、素子対向側壁５ｂの外面に他の素子（スイッチング作用をもつ素子でもよい）１７を配置して冷却することができる。その素子１７の温度上昇を抑えながら、空間利用効率を高めることができるからである。なお、上記Ｎ流成分は素子側壁面５ａに向かう速度成分のみを図示しているが、実際は、その他に、回転する翼部分の後ろ側に回り込む流れや、後ろ側の流れから離脱する渦流など非常に複雑な流れが現出するが、そのような複雑な流れを含めた流れを「Ｎ流成分」および「矢印」で代表させている。Ｓ流成分についても同様である。以後の説明に出てくるＮ流成分（Ｓ流成分）は、とくに断らない限り、そのような、実際の複雑な流れを代表しているものとする。
【００２６】
図５は、図４の電力変換装置の冷却構造の変形例を示す図である。図５（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、図５（ｂ）は平面図である。図５に示す回転体１１の翼部分１２のＷ１，Ｗ２はともに、図４に示す翼部分１２に比して、前端と後端との傾きが回転方向に関して逆となっている。このため、翼部分１２の回転によって、翼部分１２のＷ１，Ｗ２両方ともに、Ｈ流成分と、素子対向側壁面５ｂに向かう交差方向の流れ成分（Ｓ流成分）とを生じる。
【００２７】
上記のＳ流成分によっても、素子側壁面５ａに沿う層流の形成は抑えられる。素子側壁面５ａでは、離脱する渦流のあとに次々に渦流を発生し、抜熱が円滑に進行し、スイッチング素子の温度上昇が抑制される。
【００２８】
図６は、図４および図５に示す冷却構造の変形例を示す図である。図６（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、図６（ｂ）は平面図である。図６に示す回転体１１の翼部分１２のＷ１，Ｗ２は、単一の板状翼であり、一体的に形成されている。すなわち傾いた板の中央に支軸が配置されている。このため、翼部分１２のＷ１と、Ｗ２とで、回転方向に関して、前端と後端との傾きが逆になる。このため、図６に示すように、Ｗ１でＮ流成分を生じるとき、Ｗ２ではＳ流成分を生じ、またＷ１でＳ流成分を生じるとき、Ｗ２ではＮ流成分を生じる。
【００２９】
回転体１１の支軸根元部１４ｂや軸受部１４ａは、金属で形成するのが、安価で強度的な耐久性を確保する上で好ましい。また、支軸根元部１４ｂが素子側壁面５ａに固定される場合には、スイッチング素子で発生する熱を伝達することができ、一種のフィンの役目をするので、熱伝導度の高い金属で形成するのがよい。
【００３０】
このため、スイッチング素子７直下の素子側壁面５ａでは、回転体の回転周期内で複雑に変動する流れが発生する。このような複雑な流れにおいて、素子側壁面５ａでは渦流の発生と離脱が頻繁に生じて、これまで説明した場合と同様に、熱伝達性に優れた乱流状態を実現することができる。
【００３１】
（実施の形態３）
図７は、本発明の実施の形態３における電力変換装置の冷却構造を説明するための図である。上記の実施の形態２は、支軸根元部１４ｂが素子対向側壁面５ｂに固定された例であったが、本実施の形態では支軸根元部１４ｂが素子側壁面５ａに固定される点に特徴を有する。翼部分の傾きは、図４の場合と同様であり、回転体１１の回転にともない、両方の翼部分は、Ｈ流成分とともに素子側壁面５ａに向かうＮ流成分を生じる。
【００３２】
図７に示すように、支軸根元部１４ｂが素子側壁面５ａに固定される場合、図４に示す構造におけるＮ流成分の作用のほかに、支持根元部１４ｂによる流れ乱し作用が期待できる。また、支持根元部１４ｂを金属製とした場合、スイッチング素子７からの熱を伝導させ、放散する作用を得ることができる。
【００３３】
（実施の形態４）
図８は、本発明の実施の形態４における電力変換装置の冷却構造を説明するための図である。図８によれば、たとえば、本来、仕切り壁を設けて冷却媒体路（流路）を折り返すのが妥当な場合においても、仕切り壁を設けず、回転体を設けることにより、流路長さを短くして端部Ｅにおける冷却媒体流れを確保することができる。この結果、スイッチング素子の温度上昇を抑え、圧力損失を低減し、冷却媒体の駆動に要する電力を軽減することができる。図８に図示していないが、冷却媒体の流れが、回転体１１に対して十分な回転力を付与できるように、冷却媒体の流れガイドを、とくに入口側に配置することができる。
【００３４】
図９は、冷却媒体路（流路）の幅Ｗを仕切り壁２９で分けたものを示す図である。流路の狭幅化により、流路幅の位置による放熱性の変動を小さくでき、冷却媒体量を少なくすることができる。しかし、流路断面積の縮小および流路長さの増大による圧力損失の増大を生じ、また流路の入口側と出口側との冷却媒体の温度差の増大を招来する可能性がある。
【００３５】
上記において、本発明の実施の形態および実施例について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態および実施例は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の電力変換装置およびそこで用いられる冷却構造では、大きな発熱体であるスイッチング素子に狙いを定めて、その対応領域における放熱性を高めるよう回転体を設けて、渦流発生とその渦流の離脱を促進するので、圧力損失を損なうことなく、そのスイッチング素子の温度上昇を非常に効果的に抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の実施の形態における電力変換装置を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態１における電力変換装置における冷却媒体路を説明する図である。
【図３】図２の電力変換装置の冷却構造の変形例を示す図である。
【図４】本発明の実施の形態２における電力変換装置における冷却媒体路を説明する図であり、（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図５】図４の冷却構造の変形例を示す図であり、（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図６】図４および図５の冷却構造の変形例を示す図であり、（ａ）は中央流側から見た部分断面図であり、（ｂ）は平面図である。
【図７】本発明の実施の形態３における電力変換装置の冷却構造を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態４における電力変換装置の冷却構造を示す図である。
【図９】図８の冷却構造の変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
３  放熱板、５  冷却媒体路（流路）、５ａ  素子側壁面、５ｂ  素子対向側壁面、７  スイッチング素子、７ａ  ＩＧＢＴ（スイッチング素子）、７ｂ  還流ダイオード（スイッチング素子）、７ｃ  スイッチング素子、１１  回転体、１２  翼部分、１３  翼固定部、１４  支軸、１４ａ  軸受部、１４ｂ  支軸根元部、１７  他の素子、２９  仕切り壁、３１  筐体、３７  入口、３８  出口、Ｆ０  中央流、Ｅ  端部、ａ，ｂ  翼部分の幅端部（エッヂ）。
【図１】
2007250673.tif 000003
【図２】
2007250673.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007250673.tif 000006
【図５】
2007250673.tif 000007
【図６】
2007250673.tif 000008
【図７】
2007250673.tif 000009
【図８】
2007250673.tif 000010
【図９】
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