(57)【要約】【課題】  １つの液体吐出ヘッドで、微量吐出から大量吐出まで制御性が良く、広範囲な吐出液滴量を可能とする。また吐出口が円筒形状ではなく、分解洗浄が容易なため、常に清浄で長寿命な安定吐出を可能とする液体吐出方法を提供する。【解決手段】  ２つ以上の接近した液滴保持面を有する液滴保持部先端に液体を接触させ、毛管現象により、該保持面間に液滴を保持した後、該保持部を液滴吐出方向に前進させ、急停止または急後退させることにより、液滴に慣性力を持たせて液滴を吐出することを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つ以上の接近した液滴保持面を有する液滴保持部先端に液体を接触させ、毛管現象により、該保持面間に液滴を保持した後、該保持部を液滴吐出方向に前進させ、急停止または急後退させることにより、液滴に慣性力を持たせて液滴を吐出することを特徴とする液体吐出方法。
【請求項２】
液体の溶媒雰囲気中で液滴を吐出することを特徴とする請求項１液体吐出方法。
【請求項３】
２つ以上の液滴保持部からなる該保持面の間隔を、調節機構により設定することにより、所定の吐出液滴量を吐出することが可能なことを特徴とする液体吐出方法。
【請求項４】
２つ以上の液滴保持部と、該保持部を駆動する駆動手段と、液体タンクと、液体タンクと連結した液体供給容器とからなることを特徴とする液体吐出装置。
【請求項５】
液滴保持面の表面エネルギー値が非保持面の表面エネルギー値より大きいことを特徴とする請求項３の液体吐出装置。
【請求項６】
液滴の非保持面が撥液性であることを特徴とする請求項３の液体吐出装置。
【請求項７】
２つ以上の液滴保持部からなる該保持面の間隔を調節できる調節機構を有することを特徴とした請求項３の液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
微少量の試薬、薬液などの液体を吐出する方法および吐出装置に関する。また工業用液体塗布分野における微細な液体パターン塗布技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、機能材料の微細なパターン膜を形成する方法として、その膜材料の溶液または分散液を直接的にパターン塗布することが可能であるインクジェット技術が利用されるケースが増加しつつある。
【０００３】
しかしながら従来のインクジェット技術では、液体の吐出口が円筒形状であるため、吐出口付近の液体が乾燥した際に、液体中に含まれる固形分等が、吐出口内部および周辺部に残存し、吐出口が目詰まりし易かった。
【０００４】
また吐出口が円筒形状であるため、目詰まりした吐出口を、清浄に洗浄することが困難であった。従って目詰まりしたインクジェットヘッドは、廃棄せざるを得なかった。
【０００５】
また従来は円筒内の液体を、１滴毎に押し出すと同時に吐出口より飛び出した液体柱を引きちぎって吐出する方式であるため、１種類の吐出口形状を用いて、駆動条件のみにより、吐出量を増減させる制御性には限界があった。
【０００６】
上記を解決するために、従来の円筒形状の吐出口全体を、吐出方向に前進後退させて慣性力を利用して液滴を吐出させる技術があった。
【０００７】
すなわち特開2002-116205では、吐出口を外部大気に面する開口部と、該開口部よりも断面積の小さい微小孔を持って構成し、しかも液体保持部材を吐出方向に沿って進退移動させる例があった。この技術によると、大気に面する径が大きいいため吐出口が目詰まりし難い、また慣性力を利用しているため微小吐出が可能というメリットがあった。
【０００８】
また特開平8-309976では、従来のピエゾ駆動によるインクジェット方式に加えて、吐出口全体を前進後退させて慣性力を利用して、吐出体積を大きくする提案があった。この技術によれば吐出量を増大することは可能であった。
【特許文献１】特開２００２−１１６２０５号公報
【特許文献２】特開平８−３０９９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら特開2002-116205では、一旦、目詰まりが発生すると、吐出口が円筒形状であるため、洗浄が困難であった。また慣性力のみの、液体ちぎり方式だけでは、吐出量の制御性には限界があった。
【００１０】
すなわち円筒内の液体を、１滴毎に押し出すと同時に引きちぎって吐出する方式のため、液切れしにくい状態であった。このため吐出口から液体を微小に分断させて、微小液滴を吐出させるための制御性には限界があった。
【００１１】
逆に大量に吐出して、引きちぎる事も制御するには限界があった。
【００１２】
すなわち１種の吐出口径を有するインクジェットヘッドでは吐出量の可変範囲が狭く、吐出口径の異なるインクジェットヘッドを所望の吐出量毎に用意しなければならなかった。
【００１３】
また特開平8-309976でも、同様に吐出量を増大することは限界があり、さらに増大させるには、吐出口形状が大きな別のインクジェットヘッドを用意しなければならないという問題があった。
【００１４】
また当然、吐出口付近の液体が乾燥した際に、液体中に含まれる固形分等が、吐出口内部および周辺部に残存し、吐出口が目詰まりし易かった。また吐出口が円筒形状であるため、目詰まりした吐出口を、清浄に洗浄することが困難であった。
【００１５】
本発明に係わる第１の発明の目的は、微小吐出から大量吐出まで制御性の良い吐出を可能とする液体吐出方法及び装置を提供する。
【００１６】
また吐出口が円筒形状ではなく、分解洗浄が容易な吐出口であるため、常に清浄で長寿命な安定吐出を可能とする液体吐出方法を提供する。
【００１７】
本発明に係わる第２の発明の目的は、第１の発明に加えて、吐出動作中における液滴の乾燥を防止できるため、より安定な液体吐出方法を提供する。
【００１８】
本発明に係わる第３の発明の目的は、１つの吐出口により広範囲な吐出液滴量を吐出することが可能な液体吐出方法を提供する。
【００１９】
本発明に係わる第４の発明の目的は、前記の液体吐出を自動連続的に行なうことができる装置を提供する。
【００２０】
本発明に係わる第５の発明の目的は、液体保持面のみにより正確な量の液体を保持し、吐出することを可能にする液体吐出装置を提供する。
【００２１】
本発明に係わる第６の発明の目的は、慣性力によって、液体を吐出する際に、より液切れ性を良好にする液体吐出装置を提供する。
【００２２】
本発明に係わる第７の発明の目的は、１つの吐出口により広範囲な吐出液滴量を吐出することが可能な液体吐出装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
上記目的を達成するため、本出願に係わる第１の発明は、２つ以上の接近した液滴保持面を有する液滴保持部先端に液体を接触させ、毛管現象により、該保持面間に液滴を保持した後、該保持部を液滴吐出方向に前進させ、急停止または急後退させることにより、液滴に慣性力を持たせて液滴を吐出することを特徴とする。
【００２４】
上記構成において、たとえば液体保持面が２つである場合、保持面間距離は、あらかじめ液体の毛管現象が成り立つ距離範囲に設定しておく。次に液滴保持部先端を、液体に接触させたとき、毛管現象により、保持面間に液滴が保持される。保持面の表面エネルギーと保持面間距離が決まると、自ずと保持される液適量が一定に決まる。次に保持部全体を吐出方向に前進させ、急停止または急後退させると、慣性力により、保持された液体が、保持面間から吐出方向に飛び出し吐出する。このときの液滴の吐出速度は前進速度が大きく、前進距離がある程度長ければ、大きくなる。また液滴の吐出速度は、保持面表面エネルギー、保持面積、液滴量等によっても変動を受ける。そのため所望の液適量、吐出速度を得るために、適宜、前進速度、前進距離、保持面表面エネルギー、保持面積、保持面間距離を決めておく必要がある。
【００２５】
たとえば２つの保持面が30×30μｍで保持面間距離30μｍの場合には、保持液適量は約27ｐｌとなる。また２つの保持面が10×10μｍで保持面間距離10μｍの場合には、保持液適量は約1ｐｌとなる。
【００２６】
例えば液体保持部材を高度の高い鋼材等で作成しておくことにより、先端部が液体の残渣で汚染された場合には、保持部材を分解して、ブラシ洗浄や超音波洗浄することが可能である。
【００２７】
また液体保持部材の材質は、金属、プラスチック、セラミックス等いかなるものでも良いが、先端の形状精度が良くなる様な加工性に優れ、かつ液体に対して化学的耐性があるものが好ましい。たとえばステンレス材、エンジニアリングプラスチック、易加工性セラミックス等が挙げられる。
【００２８】
本出願に係わる第２の発明は、液体の溶媒雰囲気中で液滴を吐出することを特徴とする。前述の吐出動作を液体の溶媒雰囲気中で行えば、液体が乾燥しにくいため、動作中に液体の量の変動がなくなり、吐出量が安定する。同時に乾燥による保持部材の液体残渣汚染もなくなる。
【００２９】
具体的に溶媒雰囲気中にするためには、たとえば吐出装置全体を覆う囲いを設けて、その中に液体蒸気を噴霧する。あるいは上面が開放された液体容器を設置しておく等の手段を用いればよい。
【００３０】
本出願に係わる第３の発明は、２つ以上の液滴保持部からなる該保持面の間隔を、調節機構により所望の間隔に設定することにより、所望の吐出液滴量を吐出することが可能なことを特徴とする。
【００３１】
液体保持部先端が２つで構成されている場合、片側の液体保持先端部をマイクロメーター等で、保持面方向に可動できるように設置しておく。次に保持面を顕微鏡で観察しながら、マイクロメータを動かして、保持面間距離を顕微鏡モニターで測定しながら、保持面の位置を決めるとよい。
【００３２】
この手段により、毛管現象で入る液体体積が自由に設定できる。すなわち１つの吐出部材で広範囲な吐出量制御が可能となる。
【００３３】
本出願に係わる第４の発明は、２つ以上の液滴保持部と、該保持部を駆動する駆動手段と、液体タンクと、液体タンクと連結した液体供給容器とからなることを特徴とする。
【００３４】
あらかじめ保持面間距離を所望の液滴量を保持できるように設定した保持部材を駆動手段に取り付けておき、駆動手段により下降させ、液体タンクに連結した液体供給容器に満たされた液体面に接触させる。一定時間後、液体保持部先端に液体が保持された、次に保持部材を上昇させる。次に水平移動して、液滴を着弾すべき基板上まで、保持部材を平行移動させる。次に保持部材を基板方向に高速度で下降させ、保持部材を基板面手前で急停止させる。液滴は慣性により、保持部材より吐出され、基板に着弾する。
【００３５】
本出願に係わる第５の発明は、液滴保持面の表面エネルギー値が非保持面の表面エネルギー値より大きいことを特徴とする。
【００３６】
この構成により、保持面間に入る液体は表面エネルギー値の大きい方（より親水性の方）に集まり易くなる。従って、保持面と非保持面の境界がはっきり規定されるため、保持面間に入る液滴の量の定量性が、より正確になる。
【００３７】
本出願に係わる第６の発明は、液滴の非保持面が撥液性であることを特徴とする。
【００３８】
この構成により、慣性力により液滴が保持部先端から離れるときに、非保持面側に液滴がぬれ難くなるため、きれいに液滴が離れ、液切れ状態がよくなる。液残りや液の尾（サテライト状のもの）が少なくなる。
【００３９】
２本出願に係わる第７の発明は、２つ以上の液滴保持部からなる該保持面の間隔を調節できる調節機構を有することを特徴とする。
【００４０】
この機構を備えることにより、１つの吐出部材で広範囲な吐出量制御が可能となる。
【発明の効果】
【００４１】
上記の様に構成された本発明の第１の発明である吐出方法によれば、吐出口が円筒形状でないため、液体の目詰まりがし難い。また吐出口が分解洗浄ができるため、ヘッドを長期に使用することが可能である。
【００４２】
また液滴を吐出する前に分断しているため、吐出量の制御性が優れている。また引きちぎり方式でないため、液体の粘度の制約がなく、高粘度液体でも吐出が可能。さらに分散粒子が含まれている液体でも、メニスカス振動が不安定となるという従来の問題には、まったく左右されずに安定吐出が可能。
【００４３】
本発明の第２の発明である吐出方法によれば、液体の溶剤が揮発するとういう要因を低減できるため、吐出量の変動のないより安定な吐出が可能。
【００４４】
本発明の第３の発明である吐出方法によれば、本発明の１つのインクジェットヘッドで、簡単な調節をするだけで広範囲の吐出量制御が可能となる。
【００４５】
本発明の第４の発明である吐出装置によれば、上述の様な優れた吐出動作を連続的に吐出することが可能となる。
【００４６】
本発明の第５の発明である吐出装置によれば、より吐出量の変動がない高精度な吐出を可能とする。
【００４７】
本発明の第６の発明である吐出装置によれば、液切れがよくなるため、より吐出量の変動がない高精度な吐出を可能にし、さらにサテライト等の発生が少ない。
【００４８】
本発明の第７の発明である吐出装置によれば、本発明の１つのインクジェットヘッドで、簡単な調節をするだけで広範囲の吐出量制御が可能となる装置が実現できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４９】
以下、本発明の実施例について説明する。
【実施例１】
【００５０】
２ｍｍ角のステンレス棒の１つの側面を切削加工法により先端部のみを残して、図１（ａ）に示すような液体保持先端部１の素材を作成した。次にその先端部をさらに精密な切削加工法により、断面が図１（ｃ）に示すような形状で液体保持面２の形状が５０μｍ角形状を有する本発明の液体保持先端部１を２個作成した。この２個の液体保持先端部１を、液体保持面２を対向させるようにして、不図示の機械的固定制御機構に取り付けて、液体保持面２の間隔を５０μｍになる様に精度良く設定した。
【００５１】
次に図１（ａ）に示す液体供給容器４としてΦ50ｍｍのシャーレを用意し、これに液体３として純水を満たした。このシャーレの上方に液体保持先端部１を設置した。次に不図示の上下移動機構により、図１（ｂ）に示すように液体保持先端部１を、液体３にわずかに接触させた。この時、液体保持面２の間に毛細管現象により、液体３が入った。直ちに図１（ｃ）の様に、液体保持先端部１を上方に引上げた。このとき、図の様に保持液体５が液体保持面２の間に入っていることを確認した。すぐに液体保持先端部１を水平移動させて、図１（ｄ）の基板７として厚さ1.1ｍｍの青板ガラス基板上に移動した。次に液体保持先端部１を上下移動機構により、300ｍｍ/秒の速度で、下方に5ｍｍ移動させ急停止させたところ、吐出液滴６が慣性力により吐出されて、基板７の表面に着弾した。このときの環境雰囲気の湿度は５５％であり、また液体接触から着弾まで、約５秒間の時間を要した。
【００５２】
高速シャッターカメラを装備した顕微鏡観察撮影により、吐出液滴６の形状を写真より計測したところ、吐出後（液滴が液体保持面を離れてから）500μ秒後の形状は球形であり、その直径を計測することにより、吐出量（体積）を換算したところ115ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。
【００５３】
この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±１０.５％であった。
【実施例２】
【００５４】
実施例１の液体保持先端部１を３個作成し、図２（ａ）に示すような３つの液体保持面２が１２０度の角度で対向させるようにして、不図示の機械的固定制御機構に取り付けた。さらに液体保持面２の中心間を結ぶ線からなる正三角形の１辺が５０μｍになる様に精度良く設定した。
【００５５】
実施例１と同様な方法で、液体保持面２の間に保持液体５を保持させ、液滴吐出を行なった。実施例１と同様な方法で、吐出量を換算したところ吐出液滴６の体積は170ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±８.７％であった。
【００５６】
保持面を増やすことにより、液滴の定量精度が向上した。
【実施例３】
【００５７】
実施例１の液体保持先端部１を４個作成し、図２（ｂ）に示すような４つの液体保持面２が９０度の角度で対向させるようにして、不図示の機械的固定制御機構に取り付けた。さらに液体保持面２の中心間を結ぶ線からなる正三角形の１辺が５０μｍになる様に精度良く設定した。
【００５８】
実施例１と同様な方法で、液体保持面２の間に保持液体５を保持させ、液滴吐出を行なった。実施例１と同様な方法で、吐出量を換算したところ吐出液滴６の体積は205ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±８.２％であった。
【００５９】
実施例２と同様に保持面を増やすことにより、液滴の定量精度が向上した。
【実施例４】
【００６０】
実施例１の液体保持先端部１の液体保持面２を、図３（ａ）に示すようにR状に加工したものを２個作成し、実施例１と同様に、液体保持面２の間隔を５０μｍになる様に精度良く設定した。
【００６１】
実施例１と同様な方法で、図３（ｂ）に示すように液体保持面２の間に保持液体５を保持させ、液滴吐出を行なった。実施例１と同様な方法で、吐出量を換算したところ吐出液滴６の体積は132ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±９.１％であった。
【００６２】
実施例１に比べて液体保持面２をR加工することにより、液滴の定量精度が向上した。
【実施例５】
【００６３】
液体保持先端部１の形状の側面図形状は図４（ａ）の様なものには限らない。
【００６４】
たとえば図４（ｂ）の形状にすれば、加工がし易い。機械的な切削加工ではなく、フォトリソ加工を用いれば、単純な（ｂ）の様な形状になり、液体保持面２を５〜２０μm程度に精度良く形成にすることも可能である。この方法を利用すれば、液適量を数ｐｌの微小液滴の吐出が可能となる。
【００６５】
また図４（ｃ）の様な形状にすれば、保持液体５が落下し難くなり、多量の液体を保持するときに都合が良い。
【００６６】
また図４（ｄ）の様な形状にすれば、図１（ｂ）の工程で、液体保持先端部１が液体３にわずかに接触させたとき、保持面のみが液体に接触するため、液体保持先端部１の底面に余分な液体が付着するケースが少ない。液体保持不良を減少させることができる。
【００６７】
液体保持先端部１の形状の断面図形状は図４（ｅ）の様なものには限らない。
【００６８】
たとえば図４（ｆ）の形状にすれば、加工がし易い。機械的な切削加工ではなく、フォトリソ加工を用いれば、単純な（ｂ）の様な形状になり、液体保持面２を５〜２０μm程度に精度良く形成にすることも可能である。
【００６９】
また図４（ｇ）の様な形状にすれば、凹部に液体が入り込みやすくなり、図３と同様な効果で、保持液体５の定量性が向上する。
【実施例６】
【００７０】
実施例１とまったく同じ吐出動作を、実施例１の装置を恒湿容器に入れて湿度９５％の環境下で行なった。
【００７１】
高速シャッターカメラを装備した顕微鏡撮影により、吐出液滴６の形状を計測したところ、吐出後500μ秒後の形状は球形であり、その直径を計測することにより、吐出量を換算したところ吐出液滴６の体積は123ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。
【００７２】
この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±７.８％であった。恒湿度環境下で吐出を行なうことにより、保持液体５の乾燥が防止でき、吐出量のばらつきが低減できた。
【実施例７】
【００７３】
実施例１の液体保持先端部１を２個作成し、図５（ａ）に示す様なマイクロメーターにより、液体保持面２の距離を調節できるようにしたを調節手段８を備えた固定制御機構に取り付けた。液体保持面２の間の距離を、図５（ａ）〜（ｂ）のように１５μｍ、３０μｍ、５０μｍ、７０μｍ、９０μｍとそれぞれ設定した後、それぞれの距離において実施例１と同様な方法で、液滴吐出を行なった。
【００７４】
実施例１と同様な方法で、それぞれの吐出量を換算したところ、保持面間距離１５μｍのときは吐出液滴６の体積は36ｐｌ、３０μｍのときは71ｐｌ、５０μｍのときは115ｐｌ、７０μｍのときは163ｐｌ、９０μｍのときは219ｐｌの吐出量であることを確認した。この方法により、１つの液体吐出ヘッドで、36〜216ｐｌまでの吐出量を変化させることが可能であった。
【実施例８】
【００７５】
実施例１の液体保持先端部１を２個作成し、液体保持面２を対向させるようにして、高速な上下移動と水平移動が可能な機構、及び調節手段８を有する図６（ａ）に示す様な装置の駆動手段１０に取り付けて、液体保持面２の間隔を５０μｍになる様に精度良く設定した。
【００７６】
別に図６（ａ）に示す様に液体タンク１１を設け、アルコール溶解性銀コロイドペースト（日本ペイント製）１５部、ポリアクリル酸２部、エチレングリコール５部、水３５部よりなる表面張力が、５１ｄｙｎｅ／ｃｍ、粘度６０ｍＰａ・ｓの銀ペースト・インクを用意し、液体タンク１１に注入した。液体タンク１１から液体供給路１２を経て、不図示の液量調節機構を備えた液体供給容器４に液体である銀インクが常に一定量流れる様にした。また図６（ａ）に示す様に隔壁１３を装置の周辺に設けて、液体供給容器４からの液体溶媒の揮発により、隔壁内の雰囲気が溶媒蒸気の雰囲気になる様に設定した。
【００７７】
装置の下面の開放部にガラス基板７を不図示の移動ステージ上に設置した。次に液体保持先端部１を図６（ａ）の位置から、液体供給容器の液体に接触させ液体保持面２に液体を保持させ、直ちに液体保持先端部１を上昇させてから、図６（ｂ）の位置に水平移動させた。次に液体保持先端部１を下方に200ｍｍ/秒の速度で3ｍｍ移動させ急停止後、すぐに３ｍｍ上昇させた。図６（ｃ）に示す様に吐出液滴６が慣性力により吐出されて、基板７の表面に着弾した。次に図６（ａ）の位置に液体保持先端部１を戻し、１サイクルを約３秒で完了した。
【００７８】
移動ステージ上の基板を移動しながら、前記の１サイクルの液体吐出を繰り返し行なうことにより、連続的な液体吐出が可能であった。また従来のインクジェットでは、不可能であった粘度が６０ｍＰａ・ｓの銀ペースト・インクでも液体吐出が可能であった。
【実施例９】
【００７９】
実施例１の液体保持先端部１を２個作成した。
【００８０】
別に撥水膜形成材料としてフッ素系樹脂であるサイトップ（旭硝子製）を、溶媒としてフッ素系溶剤であるCTソルブ（旭硝子製）に３重量％になるように溶解し、撥水性膜形成溶液を作成した。液体保持先端部１を洗浄後、撥水膜形成溶液に液体保持先端部１を浸漬し、その後引き上げ、乾燥後、１８０℃２分間加熱処理し、液体保持先端部１の表面全面を撥水処理した。別に用意した平面基板面上に、上記の撥水膜を形成し、接触角法により別途、表面エネルギーを測定したところ１８ｄｙｎｅ／ｃｍであった。
【００８１】
次に前記の撥水処理した液体保持先端部１の５０μｍ角の液体保持面２のみを研磨加工することにより、液体保持面２の撥水膜を剥がした。別途、このステンレスの研磨面の表面エネルギーを測定したところ３８ｄｙｎｅ／ｃｍであった。結果的に液体保持面２のステンレス面を露出させ、その他の非液体保持面９は撥水膜を残した状態にすることにより、図７の様な、表面エネルギーの異なる面を有する液体保持先端部１を作成した。
【００８２】
この２個の液体保持先端部１を、実施例１と同様に液体保持面２の間隔を５０μｍになる様に精度良く設定した。実施例１と同様な方法で、液体保持面２の間に保持液体５である純水を保持させ、液滴吐出を行なった。実施例１と同様な方法で、吐出量を換算したところ吐出液滴６の体積は108ｐｌ（ピコリットル）であることを確認した。
【００８３】
この液体吐出動作を２０回行ない、各吐出液量を計測したところ、そのばらつきは±４.３％と精度が向上した。
【００８４】
このように非液体保持面９を撥水加工して表面エネルギーを小さくし、相対的に液体保持面２の表面エネルギーを大きくすることにより、液滴の保持定量精度が向上した。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】本発明の液体吐出方法の１例を示す図
【図２】本発明の液体吐出方法の液体保持先端部の別の形状例を示す図
【図３】本発明の液体吐出方法の液体保持先端部の別の形状例を示す図
【図４】本発明の液体吐出方法の液体保持先端部の別の形状例を示す図
【図５】本発明の液体吐出方法の液体保持先端間隔の調節方法の例を示す図
【図６】本発明の液体吐出装置の１例を示す図
【図７】本発明の液体吐出装置の液体保持先端部の別の例を示す図
【符号の説明】
【００８６】
1  液体保持先端部
2  液体保持面
3  液体
4  液体供給容器
5  保持液体
6  吐出液滴
7  基板
8  調節手段
9  液体非保持面
10  駆動手段
11  液体タンク
12  液体供給路
13  隔壁
【図１】
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【図２】
2007160276.tif 000004
【図３】
2007160276.tif 000005
【図４】
2007160276.tif 000006
【図５】
2007160276.tif 000007
【図６】
2007160276.tif 000008
【図７】
2007160276.tif 000009