(57)【要約】【課題】ガス供給装置における圧力制御に関する性能判断を効率良く早期に行える圧力調整弁の性能試験方法を提供する。【解決手段】第１のステップで、ガス容器２の交換後に、ガス容器２から仕切り弁５までに至るガス供給ライン１にパージガスを封入した後、所定時間放置し、その経路内に設置されている第１の圧力センサ９及び温度センサ１１からの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する。続く第２のステップで、第１のステップで封入されているパージガスをガス容器２からガス供給弁７までに至るガス供給ライン１に封入した後、所定時間放置し、その経路内のうちの圧力調整弁６の下流に設置されている第２の圧力センサ１０及び温度センサ１１からの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する。【選択図】図２
2007108026.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一端にガス消費装置が接続されるとともに他端にガス容器が接続され、ガス容器側からガス消費装置側へ向けて順に、仕切り弁、圧力調整弁、及びガス供給弁が設けられたガス供給ラインと、
ガス供給ラインにおけるガス容器と仕切り弁の間に接続され、ガス供給ラインにパージガスを導入するパージガス導入ラインと、
ガス供給ラインにおける圧力調整弁とガス供給弁の間から分岐し、ガス供給ラインを排気する排気ラインと、を備えたガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法であって、
ガス供給ラインには、ガス容器と仕切り弁の間、圧力調整弁とガス供給弁の間に、それぞれ、内部の圧力を検出する第１の圧力センサ、第２の圧力センサが設置されており、
ガス容器の交換後に、ガス容器から仕切り弁までに至るガス供給ラインにパージガスを封入した後、所定時間放置し、第１の圧力センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する第１のステップと、
第１のステップで封入されているパージガスをガス容器からガス供給弁までに至るガス供給ラインに封入した後、所定時間放置し、第２の圧力センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する第２のステップと、を含むことを特徴とするガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法。
【請求項２】
前記ガス供給ラインには、前記ガス容器と前記仕切り弁の間に、内部の温度を検出する温度センサが設置されており、
前記第１のステップでの前記圧力変化量は、前記第１の圧力センサ及び前記温度センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出され、
前記第２のステップでの前記圧力変化量は、前記第２の圧力センサ及び前記温度センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出されることを特徴とする請求項１に記載のガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法。
【請求項３】
前記第２のステップでの前記規定値は、１〜１０［ｋＰａ］の範囲より設定されることを特徴とする請求項１又は２に記載のガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス供給装置における供給ガスの圧力制御を担う圧力調整弁の性能試験方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や液晶パネル製造装置といったような種々の装置では、様々なガスが使用されており、そのガス消費装置に所望のガスを供給するためのガス供給装置は欠かせない。
【０００３】
ガス供給装置は、ガス消費装置に一端が接続されたガス供給ラインを備え、このガス供給ラインの他端にはガス容器（ガスボンベ）が接続されている。ガス容器には、ガス消費装置に供給されるべきガスが高圧に液化した状態で充填されており、そのガスはガス供給ラインを通じてガス消費装置に供給される。ガス容器は、内部のガスが無くなる度にガス容器ごと交換される。
【０００４】
また、ガス供給ラインの経路中には、上流から下流へ向けて順に、すなわちガス容器側からガス消費装置側へ向けて順に、仕切り弁、圧力調整弁、及びガス供給弁が設けられている。このガス供給ラインには、圧力調整弁の上流にあたるガス容器と仕切り弁の間、圧力調整弁の下流にあたる圧力調整弁とガス供給弁の間に、それぞれ、その内部の圧力を検出する圧力センサが設置されている。これらの圧力センサからの出力は、本質的には、ガス消費装置へのガスの供給圧や、ガス容器内の圧力の監視に用いられる。
【０００５】
ガス供給ラインには、更に、仕切り弁の上流にあたるガス容器と仕切り弁の間にパージガス導入ラインが接続され、圧力調整弁の下流にあたる圧力調整弁とガス供給弁の間から排気ラインが分岐している。これらのパージガス導入ラインと排気ラインは、ガス容器を交換する際に活用される。
【０００６】
パージガス導入ラインには、ガス供給ラインに接続された端とは反対の端からパージガスが導入されるようになっており、その経路中には、パージガス導入弁が設けられている。他方の排気ラインには、ガス供給ラインから分岐した端とは反対の端にバキュームジェネレータや真空ポンプ等が接続されており、その経路中には、排気弁が設けられている。
【０００７】
ここで、このような構成のガス供給装置では、手作業によってガス容器の交換が行われるため、交換後に、ガス容器とガス供給ラインとの接続部の接続状態が不十分となることも当然に起こり得る。その接続状態が不十分であると、実際の運転中にそこからガスが漏れ出してしまい、特に安全上で甚大な問題である。そこで、ガス容器を交換した後には、通常、ガス容器とガス供給ラインとの接続部の接続状態を検証するための気密試験を行っている（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００８】
その気密試験の手法としては、加圧放置法が一般的である。加圧放置法では、ガス容器から仕切り弁までに至るガス供給ラインにパージガスを封入してその経路内を高圧状態にした後、所定時間放置し、その経路中に設置されている圧力センサから放置開始時点と放置終了時点での出力をそれぞれ受けて圧力降下量を算出する。そして、その圧力降下量が規定値以下であるか否かを判定することにより、ガス容器とガス供給ラインとの接続部の接続状態を検証している。
【特許文献１】特開平１−２２５３２０号公報
【特許文献２】特開２００３−１９４６５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで、ガス供給装置に求められる本質的な機能は、安定した所定の圧力でガスをガス消費装置に供給することにあり、その機能は主に圧力調整弁が担う。ガス容器からの高圧のガスが、圧力調整弁を通じることより、所定の圧力に減圧され、この圧力制御されたガスがガス消費装置に供給されるからである。
【００１０】
その一方で、ガスが長期的に圧力調整弁を流通すると、次第に圧力調整弁の性能が低下し、圧力調整弁による圧力制御が不安定になっていくことは否めない。例えば、ダイヤフラム式の圧力調整弁の場合、ガスの流通を制限するための樹脂製のパッキンがガスを次第に含んで膨潤し、その結果、圧力制御に関する性能が低下していく。
【００１１】
そこで従来からは、圧力調整弁の下流に設置されている圧力センサからの運転中の出力を随時監視することにより、圧力調整弁の圧力制御に関する性能を判断していた。しかし、このような手法では、圧力調整弁の性能判断が運転中に行われるため、異常が発生すると、予定しない停機を迫られることになる。
【００１２】
そこで本発明は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、ガス供給装置における圧力制御に関する性能判断を効率良く早期に行える圧力調整弁の性能試験方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するため、本発明によるガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法は、一端にガス消費装置が接続されるとともに他端にガス容器が接続され、ガス容器側からガス消費装置側へ向けて順に、仕切り弁、圧力調整弁、及びガス供給弁が設けられたガス供給ラインと、ガス供給ラインにおけるガス容器と仕切り弁の間に接続され、ガス供給ラインにパージガスを導入するパージガス導入ラインと、ガス供給ラインにおける圧力調整弁とガス供給弁の間から分岐し、ガス供給ラインを排気する排気ラインと、を備えたガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法であって、ガス供給ラインには、ガス容器と仕切り弁の間、圧力調整弁とガス供給弁の間に、それぞれ、内部の圧力を検出する第１の圧力センサ、第２の圧力センサが設置されており、以下の第１、第２のステップを含む。第１のステップでは、ガス容器の交換後に、ガス容器から仕切り弁までに至るガス供給ラインにパージガスを封入した後、所定時間放置し、第１の圧力センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する。第２のステップでは、第１のステップで封入されているパージガスをガス容器からガス供給弁までに至るガス供給ラインに封入した後、所定時間放置し、第２の圧力センサからの放置開始時点と放置終了時点での出力に基づいて算出された圧力変化量が規定値以下であるか否かを判定する。
【００１４】
このようにすれば、ガス容器の交換後に、第１のステップにより、ガス容器とガス供給ラインとの接続部の接続状態についての気密試験を行え、これに引き続いて、第２のステップにより、実質的に圧力調整弁の性能試験を行える。つまり、ガス容器の交換後に、気密試験と合わせてガス供給装置における圧力制御に関する性能判断を行える。従って、ガス供給装置における圧力制御に関しての異常を効率良く早期に発見できる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ガス供給装置における圧力制御に関しての異常を効率良く早期に発見できるため、ガス供給装置の運転中に突然異常が発生する状況はなく、安全に安定して運転できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施形態について図面を参照しながら詳述する。図１は本発明の一実施形態であるガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法が適用されるガス供給装置の一例を示す系統図、図２はガス容器交換後に行うその性能試験を含む一連の試験の手順を示すフローチャート、図３はその一連の試験のうちの気密試験の状況を示す系統図、図４はその気密試験に続いて行う圧力調整弁の性能試験の状況を示す系統図である。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態でのガス供給装置は、ガス消費装置に一端が接続されたガス供給ライン１を備え、このガス供給ライン１の他端には、ガス消費装置に供給されるべきガスが高圧に液化した状態で充填されたガス容器２が接続されている。そのガスとしては、ＨＣｌ（塩化水素）、ＨＢｒ（臭化水素）、Ｃｌ2（塩素）、ＮＨ3（アンモニア）、ＣＯ2（二酸化炭素）、Ｎ2Ｏ（亜酸化窒素）、ＳｉＨ4（シラン）等が例示され、毒性や可燃性を有するものも含まれる。ここでのガス供給ライン１は、その他端の近傍に螺旋状の連結管３を介在して成り、ガス容器２との接続は、ガス容器２の交換すなわち着脱を可能にする継手４によってなされている。その連結管３は、不用意な振動を吸収する役割を果たす。
【００１８】
また、ガス供給ライン１の経路中には、上流から下流へ向けて順に、すなわち連結管３側からガス消費装置側へ向けて順に、仕切り弁５、圧力調整弁６、及びガス供給弁７が設けられている。その仕切り弁５は、開かれることで経路を開通し、閉じられることで経路を遮断する。圧力調整弁６は、流通するガスを圧力制御するためのものであって、上流から受け入れた高圧のガスを所定の圧力に減圧して下流へ放出する。ガス供給弁７は、開かれることで経路を開通し、閉じられることで経路を遮断する。更に、ガス供給ライン１の経路中には、圧力調整弁６の上流にあたる連結管３と仕切り弁５の間に、フィルタ８が設けられている。そのフィルタ８は、流通するガス中の異物や液化成分を捕捉する役割を果たす。
【００１９】
このガス供給ライン１には、圧力調整弁６の上流にあたる連結管３（ここではフィルタ８）と仕切り弁５の間、圧力調整弁６の下流にあたる圧力調整弁６とガス供給弁７の間に、それぞれ、その内部の圧力を検出する第１の圧力センサ９、第２の圧力センサ１０が設置されている。これらの圧力センサ９、１０からの出力は、ガス消費装置へのガスの供給圧や、ガス容器２内の圧力の監視に用いられる他、詳細は後述する試験に用いられる。
【００２０】
更に、ガス供給ライン１には、圧力調整弁６の上流にあたる連結管３と仕切り弁５（ここではフィルタ８）の間に、その内部の温度を検出する温度センサ１１が設置されている。この温度センサ１１からの出力は、第１、第２の圧力センサ９、１０からの出力と合わせて、詳細は後述する試験に用いられる。なお、温度センサ１１は、ガス供給ライン１内の温度を直接検出するものであってもよいし、ガス供給ライン１の管壁の温度を検出することでその内部の温度を間接的に検出するものであってもよい。
【００２１】
第１、第２の圧力センサ９、１０及び温度センサ１１は、不図示のコントローラに接続されている。ここでのコントローラは、メモリや演算処理部や表示部等を含む。
【００２２】
ガス供給ライン１には、更に、ガス供給ライン１の清浄を確保しながらガス容器２の交換を実現するために、仕切り弁５の上流にあたるガス容器２と仕切り弁５（ここでは連結管３）の間にパージガス導入ライン１２が接続され、圧力調整弁６の下流にあたる圧力調整弁６（ここでは第２の圧力センサ１０）とガス供給弁７の間から排気ライン１３が分岐している。
【００２３】
ここでのパージガス導入ライン１２は、ガス供給ライン１に接続された端の近傍に螺旋状の連結管１４を介在して成る。その連結管１４は、ガス供給ライン１での連結管３と同様に、不用意な振動を吸収する役割を果たす。このパージガス導入ライン１２には、ガス供給ライン１に接続された端とは反対の端からパージガスが導入されるようになっており、その経路中には、パージガス導入弁１５が設けられている。パージガス導入弁１５は、開かれることで経路を開通し、閉じられることで経路を遮断する。更に、パージガス導入ライン１２の経路中には、パージガス導入弁１５と連結管１４の間に、フィルタ１６が設けられている。そのフィルタ１６は、流通するパージガス中の異物や液化成分を捕捉する役割を果たす。パージガスとしては、Ｎ2（窒素）、Ｈｅ（ヘリウム）等の不活性ガスが例示される。
【００２４】
他方の排気ライン１３には、ガス供給ライン１から分岐した端とは反対の端にバキュームジェネレータや真空ポンプ等が接続されており、その経路中には、排気弁１７が設けられている。排気弁１７は、開かれることで経路を開通し、閉じられることで経路を遮断する。
【００２５】
こういった一連の系統が、一般にはシリンダキャビネットと呼ばれる箱内に収納され、ガス供給装置を構成している。なお、このようなガス供給装置は、ガスが供給されるガス消費装置の仕様に合わせて、必要な台数が併設される。その場合、パージガス導入ライン１２に対してのパージガスの導入源や、排気ライン１３に対しての排気の駆動源は、ガス供給装置ごとに個別に設けられても構わないが、共用であっても構わない。
【００２６】
このような構成のガス供給装置では、運転の際、パージガス導入弁１５及び排気弁１７が閉じられた状態、且つ仕切り弁５及びガス供給弁７が開かれた状態で、ガス容器２の容器弁１８を開く。これにより、ガス容器２内の高圧のガスは、ガス容器２とガス供給ライン１との接続部である継手４よりガス供給ライン１に流出し、圧力調整弁６を通じて所定の圧力に減圧された後、ガス消費装置に供給される。
【００２７】
続いて、このような構成のガス供給装置におけるガス容器２の交換手順、及びその後に行う試験手順について、図１〜図４を参照しながら説明する。
【００２８】
先ず、ガス容器２を交換するに際し、運転時の状態から、すなわち、パージガス導入弁１５及び排気弁１７が閉じられた状態、且つ仕切り弁５、ガス供給弁７及び容器弁１８が開かれた状態から、ガス供給弁７及び容器弁１８を閉じ、次いで排気弁１７を開く。これにより、継手４からガス供給弁７までに至るガス供給ライン１内が真空引きされる。もっとも、パージガス導入弁１５からガス供給ライン１との接続部までに至るパージガス導入ライン１２内も真空引きされる。
【００２９】
次いで、パージガス導入弁１５を開く。これにより、パージガスがパージガス導入ライン１２内に導入され、そのままガス供給ライン１内に導入される。こうして、ガス消費装置に供給されるガスが系内から排除される。なお、その際、必要に応じてパージガス導入弁１５の開閉を繰り返してもよい。
【００３０】
次に、パージガス導入弁１５及び排気弁１７が開かれた状態のまま、仕切り弁５を閉じる。これにより、継手４から仕切り弁５までに至るガス供給ライン１内にパージガスが導入された状態におかれる。もっとも、パージガス導入ライン１２内にもパージガスが導入された状態におかれる。
【００３１】
この状態のままで、ガス容器２を継手４より取り外し、新たなガス容器２を継手４に取り付ける。こうしてガス容器２を交換し、新たなガス容器２がガス供給ライン１に接続される。なお、その際、ガス容器２が取り外された継手４からはパージガスが流出しているため、継手４からガス供給ライン１内への外気の不用意な進入が防止される。
【００３２】
ガス容器２の交換を終えると、続いて行う試験に移行すべく、排気弁１７を閉じ、次いで仕切り弁５を開く。これにより、継手４からガス供給弁７までに至るガス供給ライン１内にはパージガスが引き続き導入される。もっとも、パージガス導入ライン１２内にもパージガスが引き続き導入される。
【００３３】
そして、継手４からガス供給弁７までに至るガス供給ライン１内の圧力が設定の圧力に達すると、パージガス導入弁１５を閉じる。その圧力が設定圧力に達しているか否かの判断は、第１の圧力センサ９や第２の圧力センサ１０からの出力より判断できる。なお、ここでの設定圧力は、ガス消費装置にガスが供給されるときと同等の圧力である。
【００３４】
続いて仕切り弁５閉じ、次いで排気弁１７を開く。これにより、仕切り弁５の上流にあたる継手４を含むガス供給ライン１に、すなわち継手４から仕切り弁５までに至るガス供給ライン１に、パージガスが封入され、その経路内が高圧状態になる（図２でのステップ＃１０、図３参照）。一方、仕切り弁５の下流にあたる圧力調整弁６を含むガス供給ライン１からは、パージガスが排気ライン１３を通じて放出（真空引き）される。なお、図３においては、便宜上、閉じた弁を黒の塗りつぶしで示し、パージガスが封入されている経路を太線で示している。
【００３５】
ここで、ガス容器２とガス供給ライン１との接続部である継手４の接続状態についての気密試験を行う（図２でのステップ＃２０）。具体的には、加圧放置法によるわけであるが、先ず放置開始時点で、コントローラが第１の圧力センサ９から出力を受けて、その実態圧力Ｐ10をメモリに記録する。これと合わせて、温度センサ１１からその放置開始時点での出力を受けて、その実態温度Ｔ10をメモリに記録する。なお、実際には、コントローラによって第１の圧力センサ９及び温度センサ１１からの出力の取得を開始する前に、ガス供給ライン１内の圧力や温度が一応安定する程度の時間、例えば３分程度保持し、ガス供給ライン１内の圧力が設定圧力に達していることを念のために確認することが好ましい。
【００３６】
そして、そのままの状態で所定時間放置する。ここでの放置時間は、継手４の接続状態が不十分であった場合に、継手４からパージガスが漏れ出してガス供給ライン１内の圧力が十分に変化する時間が設定され、例えば３０分程度である。所定時間の放置後、その放置終了時点で、再び、コントローラが第１の圧力センサ９から出力を受けて、その実態圧力Ｐ11をメモリに記録する。これと合わせて、温度センサ１１からその放置終了時点での出力を受けて、その実態温度Ｔ11をメモリに記録する。
【００３７】
次に、コントローラが、メモリに記録されている放置開始時点での実態圧力Ｐ10、実態温度Ｔ10、及び放置終了時点での実態圧力Ｐ11、実態温度Ｔ11を抽出し、これらに基づいて、放置時間中の圧力変化量ΔＰ1を算出する。特に本実施形態では、その圧力変化量ΔＰ1の算出にあたり、放置時間中の実態温度の変化分を補正した次式（１）を用いる。
ΔＰ1＝（Ｔ11／Ｔ10）×Ｐ10−Ｐ11  ・・・（１）
但し、ΔＰ1：圧力変化量、Ｐ10：放置開始時点での実態圧力、Ｔ10：放置開始時点での実態温度、Ｐ11：放置終了時点での実態圧力、Ｔ11：放置終了時点での実態温度である。
【００３８】
ここで、上記の式（１）中の「（Ｔ11／Ｔ10）×Ｐ10」の項は、継手４の接続状態が十分であって継手４からパージガスが一切漏れ出さないときに放置終了時点でなるべき想定圧力であり、次式（２）で示されるボイルシャルルの法則に従う。なお、パージガスが封入されているガス供給ライン１内の体積は一定であることから、その法則における体積は考慮する必要はない。
Ｐ／Ｔ＝一定  ・・・（２）
但し、Ｐ：圧力、Ｔ：温度である。
【００３９】
そして、コントローラが、算出された圧力変化量ΔＰ1と、予めメモリに登録されている規定値とを照合し、その圧力変化量ΔＰ1がその規定値以下であるか否かを判定する。ここでの規定値としては、低圧仕様のガス供給装置の場合は、１〜１０［ｋＰａ］の範囲より設定され、高圧仕様のガス供給装置の場合は、１０〜１００［ｋＰａ］の範囲より設定される。ここでいう低圧仕様のガス供給装置、高圧仕様のガス供給装置は、ガス消費装置にガスが供給されるときの圧力調整弁６の上流でのガス圧が、それぞれ、１［ＭＰａ］以下、１〜２０［ＭＰａ］程度のものである。
【００４０】
圧力変化量ΔＰ1が規定値以下であれば、継手４の接続状態が十分で合格と判断し、表示部に合格の表示をする。一方、圧力変化量ΔＰ1が規定値を超えていれば、継手４の接続状態が不十分で不合格と判断し、表示部に不合格の表示をしたり警報を鳴らしたりする。不合格の場合は、継手４の取付け状態を確認して、例えば増し締めしたり、場合によっては、上記したガス容器２の交換手順を踏んで継手４への着脱を行ったりした後、再度、上記した手順で気密試験を行う。合格するまでこれを繰り返す。
【００４１】
気密試験を合格すると、引き続き、圧力調整弁６の圧力制御に関する性能判断を行うための性能試験である内通試験に移行すべく、排気弁１７を閉じ、次いで仕切り弁５を開く（図２でのステップ＃３０）。これにより、継手４から仕切り弁５までに至るガス供給ライン１に封入されたままとなっている残留のパージガスが、仕切り弁５、圧力調整弁６を通じてその下流に流入する。その結果、圧力調整弁６を含むガス供給ライン１に、すなわち継手４からガス供給弁７までに至るガス供給ライン１に、パージガスが封入された状態になる（図２でのステップ＃４０、図４参照）。この状態での圧力調整弁６の下流は、ガス消費装置にガスが供給されるときと同等のガス圧に減圧されている。なお、図４においても図３と同様に、便宜上、閉じた弁を黒の塗りつぶしで示し、パージガスが封入されている経路を太線で示している。
【００４２】
ここで、圧力調整弁６についての性能試験である内通試験を行う（図２でのステップ＃５０）。具体的には、上記した気密試験とほぼ同様の加圧放置法によるわけであるが、先ず放置開始時点で、コントローラが第２の圧力センサ１０から出力を受けて、その実態圧力Ｐ20をメモリに記録する。これと合わせて、温度センサ１１からその放置開始時点での出力を受けて、その実態温度Ｔ20をメモリに記録する。なお、ここでも実際には、コントローラによって第２の圧力センサ１０及び温度センサ１１からの出力の取得を開始する前に、ガス供給ライン１内の圧力や温度が一応安定する程度の時間、例えば３分程度保持することが好ましい。
【００４３】
そして、そのままの状態で所定時間放置する。ここでの放置時間は、圧力調整弁６の性能に異常があった場合に、圧力調整弁６の上流から下流へパージガスが流出してガス供給ライン１内の圧力が十分に変化する時間が設定され、例えば６０分程度である。所定時間の放置後、その放置終了時点で、再び、コントローラが第２の圧力センサ１０から出力を受けて、その実態圧力Ｐ21をメモリに記録する。これと合わせて、温度センサ１１からその放置終了時点での出力を受けて、その実態温度Ｔ21をメモリに記録する。
【００４４】
次に、コントローラが、メモリに記録されている放置開始時点での実態圧力Ｐ20、実態温度Ｔ20、及び放置終了時点での実態圧力Ｐ21、実態温度Ｔ21を抽出し、これらに基づいて、放置時間中の圧力変化量ΔＰ2を算出する。特に本実施形態では、その圧力変化量ΔＰ2の算出にあたり、放置時間中の実態温度の変化分を補正した次式（３）を用いる。
ΔＰ2＝Ｐ21−（Ｔ21／Ｔ20）×Ｐ20  ・・・（３）
但し、ΔＰ2：圧力変化量、Ｐ20：放置開始時点での実態圧力、Ｔ20：放置開始時点での実態温度、Ｐ21：放置終了時点での実態圧力、Ｔ21：放置終了時点での実態温度である。
【００４５】
ここで、上記の式（３）中の「（Ｔ21／Ｔ20）×Ｐ20」の項は、圧力調整弁６の性能が正常であって圧力調整弁６の上流から下流へパージガスが一切流出しないときに放置終了時点でなるべき想定圧力であり、上記の式（２）で示されるボイルシャルルの法則に従う。
【００４６】
そして、コントローラが、算出された圧力変化量ΔＰ2と、予めメモリに登録されている規定値とを照合し、その圧力変化量ΔＰ2がその規定値以下であるか否かを判定する。ここでの規定値としては、１〜１０［ｋＰａ］の範囲より設定される。ガス消費装置にガスが供給されるときの圧力調整弁６の下流でのガス圧が、一般には概ね１［ＭＰａ］以下であるため、その範囲の規定値で十分に足りる。
【００４７】
圧力変化量ΔＰ2が規定値以下であれば、圧力調整弁６の性能が正常で合格と判断し、表示部に合格の表示をする。一方、圧力変化量ΔＰ2が規定値を超えていれば、圧力調整弁６の性能が異常で不合格と判断し、表示部に不合格の表示をしたり警報を鳴らしたりする。不合格の場合は、圧力調整弁６を調整したり、場合によっては、圧力調整弁６を交換したりした後、再度、上記した手順で気密試験及び内通試験を行う。合格するまでこれを繰り返す。
【００４８】
このようにして、継手４に対しての気密試験、及び圧力調整弁６に対しての内通試験を合格して終えると、続いて後処理を行う。具体的には、排気弁１７を開いて系内のパージガスを排気する排気操作と、排気弁１７を閉じつつパージガス導入弁１５を開いて系内にパージガスを導入して封入する封入操作とを系内の酸素、水分濃度を考慮した十分な回数交互に繰り返す。これにより、気密試験及び内通試験を含めたガス容器２の交換時に系内に侵入した大気成分を系内から完全に排出し、系内がパージガスに置換される。次に、パージガス導入弁１５及び排気弁１７を開いた状態でパージガスを系内に流通させ、系内の酸素、水分濃度を下げる。このような後処理の後、ガス容器２からのガス供給に切り替える。
【００４９】
このようにすれば、ガス容器２の交換後に、ガス容器２とガス供給ライン１との接続部の接続状態についての気密試験を行え、これに引き続いて、実質的に圧力調整弁６の性能試験（内通試験）を行える。つまり、ガス容器２の交換後に、気密試験と合わせてガス供給装置における圧力制御に関する性能判断を行える。従って、ガス供給装置における圧力制御に関しての異常を効率良く早期に発見できる。そうすると、ガス供給装置の運転中に突然異常が発生する状況はなく、安全に安定して運転できる。
【００５０】
また、本実施形態では、気密試験及び内通試験での合否判定に放置時間中の圧力変化量ΔＰ1、ΔＰ2を用いるわけであるが、その圧力変化量ΔＰ1、ΔＰ2には、放置時間中の実態温度の変化分が加味されているため、実態に則して高精度に合否判定を行える。ガス供給装置の据付け場所とは気温が異なる場所、例えば屋外から持ち込まれたガス容器２に交換した場合、そのガス容器２の熱が継手４を通じてガス供給ライン１に伝わったり、逆にガス供給ライン１の熱が継手４を通じてそのガス容器２に伝わったりするため、試験における放置時間中にガス供給ライン１内の実態温度が変化し、これが実態圧力に影響を及ぼすからである。
【００５１】
その他本発明は上記の実施形態に限定されず、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、種々の変更が可能である。例えば、試験における放置時間中にガス供給ライン１内の実態温度の変化がまったく起こらない状況であれば、敢えて温度センサ１１を設けなくてもよい。この場合、気密試験での圧力変化量ΔＰ1は、単に第１の圧力センサ９から出力に基づいて「Ｐ10−Ｐ11」で算出され、続く内通試験での圧力変化量ΔＰ2は、単に第２の圧力センサ１０から出力に基づいて「Ｐ20−Ｐ21」で算出される。但し、仮に温度センサ１１を設けていても、放置時間中の実態温度の変化がなければ、上記の式（１）、（２）より、算出結果に変わりはない。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明は、半導体製造装置や液晶パネル製造装置といったようなガス消費装置に所望のガスを供給するためのガス供給装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施形態であるガス供給装置における圧力調整弁の性能試験方法が適用されるガス供給装置の一例を示す系統図である。
【図２】圧力調整弁の性能試験を含む一連の試験の手順を示すフローチャートである。
【図３】一連の試験のうちの気密試験の状況を示す系統図である。
【図４】気密試験に続いて行う圧力調整弁の性能試験の状況を示す系統図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    ガス供給ライン
２    ガス容器
３    連結管
４    継手
５    仕切り弁
６    圧力調整弁
７    ガス供給弁
９    第１の圧力センサ
１０    第２の圧力センサ
１１    温度センサ
１２    パージガス導入ライン
１３    排気ライン
１５    パージガス導入弁
１７    排気弁
１８    容器弁
【図１】
2007108026.tif 000003
【図２】
2007108026.tif 000004
【図３】
2007108026.tif 000005
【図４】
2007108026.tif 000006