(57)【要約】【課題】プラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供する。  【解決手段】ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、多数の電極材料４６が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシート７１と、前記誘電体グリーンシート７１の少なくとも一面に付着される保護フィルム４７と、を含んでグリーンシートを構成する。【選択図】図６
2007141850.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、
多数の電極材料が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシートと、
前記誘電体グリーンシートの少なくとも一面に付着される保護フィルムと、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート。
【請求項２】
前記電極材料と誘電体グリーンシートは、
前記誘電体グリーンシートに前記電極材料が埋め込まれて互いに結合されることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシート。
【請求項３】
前記電極は、プラズマディスプレイパネルのバス電極であることを特徴とする請求項１に記載のグリーンシート。
【請求項４】
電極グリーンシートと、
前記電極グリーンシート上に位置する感光性有機物層と、
前記電極グリーンシートまたは感光性有機物層を保護する保護フィルムと、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート。
【請求項５】
前記感光性有機物層は、ＰＲ（ｐｈｏｔｏｒｅｓｉｓｔ）感光性有機物からなることを特徴とする請求項４に記載のグリーンシート。
【請求項６】
前記電極グリーンシートは、
電極パウダーと、
前記電極パウダーと混合され、現像工程時に現像液によって除去される有機物と、を含んで構成されることを特徴とする請求項４に記載のグリーンシート。
【請求項７】
前記電極グリーンシートは、
フォイル形態の電極と、
前記フォイル形態の電極と混合され、現像工程時に現像液によって除去される有機物と、を含んで構成されることを特徴とする請求項４に記載のグリーンシート。
【請求項８】
請求項４に記載のグリーンシートを用いたプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
上部基板に感光性ブラックマトリックスグリーンシートを塗布し、ブラックマトリックス用マスクを用いて露光させる段階と、
前記塗布されたブラックマトリックス上部に電極グリーンシートを塗布し、電極用マスクを用いて露光させる段階と、
前記露光されたブラックマトリックスグリーンシート及び電極グリーンシートを現像する段階と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項９】
前記ブラックマトリックスグリーンシートは、実際に映像が表示されるアクティブ領域以外のパッド領域で、全体が露光されることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１０】
前記現像段階で、前記電極グリーンシートは、前記感光性有機物層の露光部分によってパターニングされ、前記パターニングされて感光性有機物層が除去された部分は、現像液によって除去されることを特徴とする請求項８に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項１１】
第１保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する段階と、
前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階と、を含んで構成されることを特徴とするグリーンシート製造方法。
【請求項１２】
前記電極材料は、第２保護フィルムに付着された状態で前記誘電体グリーンシートに結合されることを特徴とする請求項１１に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項１３】
前記電極材料は、
インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法によって前記第２保護フィルム上に形成されることを特徴とする請求項１２に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項１４】
前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階では、
前記誘電体グリーンシートと電極材料とが一対のローラによって結合されることを特徴とする請求項１１に記載のグリーンシート製造方法。
【請求項１５】
第１保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する一対の第１ローラと、
第２保護フィルム上に所定パターンの電極材料を形成する電極材料供給部と、
前記誘電体グリーンシートに、前記電極材料供給部で形成された所定パターンの電極材料を結合する一対の第２ローラと、から構成されることを特徴とするグリーンシート製造装置。
【請求項１６】
プラズマディスプレイパネルにおいて、
Ａｇ原材料を薄膜化して形成した電極を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項１７】
前記電極の厚さは、５〜１０μｍであることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１８】
前記電極には、Ａｇ原材料の結晶構造が維持されることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１９】
前記電極の材料は、Ａｇ原材料の圧延によって製造することを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２０】
前記電極の材料は、Ａｇ薄膜またはＡｇフォイルであることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２１】
前記電極は、ブラックマトリックス上に位置することを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２２】
前記ブラックマトリックスは、パネルの透明電極上のブラック層に連結形成されることを特徴とする請求項２１に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２３】
前記電極は、パネルの透明電極上に形成されるブラック層上に位置することを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２４】
前記電極は、バス電極またはアドレス電極であることを特徴とする請求項１６に記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項２５】
電極をそれぞれ含む上部パネル及び下部パネルを備えており、前記電極のうち何れか一つ以上がＡｇ原材料の結晶構造を有することを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２６】
上部基板または下部基板上にＡｇ原材料を薄膜化して製造したＡｇ層を転写する転写段階と、
前記Ａｇ層をパターニングして電極を形成するパターニング段階と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項２７】
前記転写段階では、上部基板上に形成されたブラックマトリックスパターン上に前記Ａｇ層を転写することを特徴とする請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項２８】
前記Ａｇ層は、Ａｇフォイル形態であることを特徴とする請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項２９】
前記Ａｇ層の製造段階は、
Ａｇ原材料を圧延して薄膜化する段階と、
前記薄膜化されたＡｇ原材料を軟化する段階と、を含んで構成されることを特徴とする請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項３０】
前記軟化したＡｇ原材料をＤＦＲ（ｄｒｙ  ｆｉｌｍ  ｒｅｓｉｓｔ）にラミネートする段階をさらに含むことを特徴とする請求項２９に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項３１】
前記パターニング段階では、エッチングによってパターニングすることを特徴とする請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項３２】
前記エッチングには、酸（Ａｃｉｄ）を用いることを特徴とする請求項３１に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項３３】
前記転写段階では、下部基板上に形成された下地膜上に前記Ａｇ層を転写することを特徴とする請求項２６に記載のプラズマディスプレイパネルの電極製造方法。
【請求項３４】
基板と、
前記基板上に形成される透明電極と、
前記透明電極上に形成され、Ａｇ原材料が薄膜化されて形成されたバス電極と、
前記透明電極、バス電極及び基板を覆う誘電体層と、
前記誘電体層上に位置する保護膜と、を含んで構成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
【請求項３５】
前記透明電極とバス電極との間には、ブラック層が形成されることを特徴とする請求項３４に記載のプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
【請求項３６】
前記ブラック層は、ブラックマトリックスに連結形成されることを特徴とする請求項３５に記載のプラズマディスプレイパネルの上部パネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、グリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関するもので、特に、製造工程を縮小するとともに、電極の形成形態及び結晶状態を向上できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（ｐｌａｓｍａ  ｄｉｓｐｌａｙ  ｐａｎｅｌ：以下、ＰＤＰという）は、放電現象を用いて画像を表示する発光型素子の一種である。このＰＤＰは、各セルごとにアクティブ素子を装着する必要がないので、製造工程が簡単であり、画面の大型化が容易でかつ、応答速度が速いので、大型画面を有する画像表示装置の表示素子として脚光を浴びている。
【０００３】
上記のようなＰＤＰは、図１に示すように、上部パネル１０と下部パネル２０とを対向させて重ね合わせた構造となっている。前記上部パネル１０には、上部基板１１上に多数対の維持電極が配列されるが、通常、この維持電極は、それぞれ透明電極１２及びバス電極１３からなる。
【０００４】
前記維持電極は、ＡＣ駆動のための誘電体層１４によって被覆され、この誘電体層１４の表面には、保護膜１５が形成される。
【０００５】
一方、前記下部パネル２０の内面には、下部基板２１上にアドレス電極２２が配列され、その上に誘電体層２３が形成され、この誘電体層２３上には、放電セル空間を分離するためのストライプまたはウェルタイプの隔壁２４が形成される。この隔壁２４によって区画されるセルには、カラー表示のための赤色、青色及び緑色の蛍光体層２６が塗布されることで、サブピクセルが構成される。
【０００６】
前記隔壁２４によって放電セル２５がサブピクセルごとに区画され、この放電セル２５には放電ガスが封入され、一つのピクセルは、前記３個のサブピクセルからなる。
【０００７】
前記電極のうち、銀（Ａｇ）を含むバス電極１３を形成する方法としては、通常、電極ペーストを用いる方法と、グリーンシートを用いるドライフィルム法が挙げられる。
【０００８】
前記電極ペーストを用いる方法では、まず、ブラックマトリックス（Ｂｌａｃｋ  Ｍａｔｒｉｘ；ＢＭ）ペーストを、印刷によって上部基板の全面に塗布してから乾燥する。
【０００９】
前記乾燥過程後、ブラックマトリックス用マスクを用いてブラックマトリックスパターンで露光を実施し、露光されたブラックマトリックス部分を現像液を用いてエッチングし、ブラックマトリックスパターンを形成する。
【００１０】
前記ブラックマトリックスは、通常、透明電極１２対の間の非放電領域に形成されるが、コントラストを高めるために、透明電極１２対の間にブラック層が形成されることもある。
【００１１】
前記ブラックマトリックスパターンが形成された基板上に、前記ブラックマトリックス層形成過程と同様に、バス電極１３用電極ペーストを印刷によって塗布してから乾燥する。
【００１２】
前記乾燥過程後、バス電極１３上に電極用マスクを用いてパターン露光を実施し、この露光が終了すると、現像液を用いてパターンを形成し、その後、焼成過程を経てバス電極１３を形成する。
【００１３】
上記のような従来のペーストを用いる方法及びドライフィルム法によって電極を形成する際、印刷及び乾燥工程のために印刷機及び印刷用マスクなどの装備が必要となり、乾燥工程のために時間的・空間的な消耗が大きくなる。
【００１４】
また、上記のように、前記ペーストには電極に含まれるＡｇが粒子状態で存在し、このＡｇ粒子を有機バインダーなどのビヒクルと一緒に用いてパターンを形成した後、焼結して結晶状態に作る方法を用いている。
【００１５】
すなわち、図２に示すように、Ａｇ粒子２７は、塗布された状態では、ペーストまたはグリーンシートに存在するが、焼成過程を経ると、図３に示すように、各粒子が互いに焼結して結晶状態の電極２８をなす。
【００１６】
上記のようなＡｇ電極２８の結晶状態では、Ａｇ原材料（バルク）より低下した特性を有し、電極２８の抵抗及びその他の電気的特性に影響を及ぼすようになる。
【００１７】
これは、図３の点線で示すように、Ａｇ粒子を焼成してなる結晶は、多くの界面２９を有しており、この界面２９によって、Ａｇの特性がバルク状態の原材料の特性より低下してしまう。特に、この界面２９では、電気抵抗が大きくなる。
【００１８】
さらに、上記のような従来のＡｇ電極の形成方法は、パネルの電極を高精細に形成することを妨害している。
【００１９】
したがって、Ａｇ電極を形成するにおいて、粒子の大きさ及び結晶化度を高める方向に改善する必要がある。
【００２０】
また、前記バス電極及び誘電体層が互いに異なる工程によって形成されるので、製造工程が複雑であり、バス電極を形成する際に露光現像工程が用いられるので、バス電極以外の領域に塗布された感光性電極ペーストの材料が損失されることもある。
【００２１】
一方、上記の過程を通して形成されたＰＤＰ構造では、実際に画像を表示するアクティブ領域及びこのアクティブ領域以外のパッド領域においてブラックマトリックスの構造が異なるので、このブラックマトリックス上に形成される電極構造に損傷が発生しうる。
【００２２】
すなわち、図４と、図４の各部分（ａ、ｂ及びｃ）の断面図である図５Ａ〜図５Ｃに示すように、ブラックマトリックス１６は、アクティブ領域（ａ）においては、上部基板１１の一部領域に形成された透明電極１２上の一部領域と、二つの透明電極１２の間に露出された上部基板１１上に形成され、パッド領域（ｂ、ｃ）においては、上部基板１１上のバス電極１３が形成される領域のみに形成される。
【００２３】
上述したＰＤＰの製造過程から分かるように、従来のＰＤＰは、ブラックマトリックス１６及びバス電極１３を形成するために、ブラックマトリックス用ペースト及びバス電極用ペーストをスクリーンプリンティングによって塗布してから乾燥すべきであって、スクリーンプリンティングのための装備が必要であり、乾燥工程を経るべきである。
【００２４】
また、従来のＰＤＰは、ブラックマトリックス用ペースト露光時に用いられるブラックマトリックス用マスクが、アクティブ領域（ａ）のみに露光され、パッド領域（ｂ、ｃ）には露光されないように製作されるので、焼成前にブラックマトリックス１６の硬化が行われず、パターン現像及び焼成時、パッド領域でパターン崩れ現象が発生する確率が高くなる。その結果、ブラックマトリックス上に形成される電極構造にも、損傷が発生しうる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２５】
本発明は、上記の問題点を解決するためのもので、その目的は、プラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することにある。
【００２６】
また、パッド領域におけるブラックマトリックスと電極との間の整列問題を解決し、パターン現像及び焼成時に発生しうるパターン崩れ現象を除去することで、微細パターンを実現することができ、電極の形成形態及び結晶状態を向上させて電気抵抗を低下することで、パネル全体の効率を向上できるグリーンシート及びその製造方法と製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記のような本発明の目的を達成するための第１観点として、ディスプレイパネルの製造に用いられるグリーンシートにおいて、多数の電極材料が所定間隔をおいて結合される誘電体グリーンシートと、前記誘電体グリーンシートの少なくとも一面に付着される保護フィルムと、を含んで構成されることが好ましい。
【００２８】
上記のような本発明の目的を達成するための第２観点として、電極グリーンシートと、前記電極グリーンシート上に位置する感光性有機物層と、前記電極グリーンシートまたは感光性有機物層を保護する保護フィルムと、を含んで構成されることが好ましい。
【００２９】
上記のような本発明の目的を達成するための第３観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、上部基板に感光性ブラックマトリックスグリーンシートを塗布し、ブラックマトリックス用マスクを用いて露光させる段階と、前記塗布されたブラックマトリックスグリーンシートの上部に電極グリーンシートを塗布し、電極用マスクを用いて露光させる段階と、前記露光されたブラックマトリックスグリーンシート及び電極グリーンシートを現像する段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【００３０】
上記のような本発明の目的を達成するための第４観点として、本発明は、第１保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する段階と、前記誘電体グリーンシートに電極材料を所定間隔をおいて埋め込んで互いに結合する段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【００３１】
上記のような本発明の目的を達成するための第５観点として、本発明は、グリーンシート製造装置において、第１保護フィルム上に誘電体グリーンシートを付着する一対の第１ローラと、第２保護フィルム上に所定パターンの電極材料を形成する電極材料供給部と、前記誘電体グリーンシートに、前記電極材料供給部で形成された所定パターンの電極材料を結合する一対の第２ローラと、から構成されることが好ましい。
【００３２】
上記のような本発明の目的を達成するための第６観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルにおいて、Ａｇ原材料を薄膜化して形成した電極を含んで構成されることが好ましい。
【００３３】
上記のような本発明の目的を達成するための第７観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルにおいて、電極をそれぞれ含む上部パネル及び下部パネルを備えており、前記電極のうち何れか一つ以上がＡｇ原材料の結晶構造を有することが好ましい。
【００３４】
上記のような本発明の目的を達成するための第８観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの製造方法において、上部基板または下部基板上にＡｇ原材料を薄膜化して製造したＡｇ層を転写する転写段階と、前記Ａｇ層をパターニングして電極を形成するパターニング段階と、を含んで構成されることが好ましい。
【００３５】
上記のような本発明の目的を達成するための第９観点として、本発明は、プラズマディスプレイパネルの上部パネルにおいて、基板と、前記基板上に形成される透明電極と、前記透明電極上に形成され、Ａｇ原材料が薄膜化されて形成されたバス電極と、前記透明電極、バス電極及び基板を覆う誘電体層と、前記誘電体層上に位置する保護膜と、を含んで構成されることが好ましい。
【発明の効果】
【００３６】
本発明に係るプラズマディスプレイパネル及びその製造工程において、製造工程を単純化し、電極に用いられる材料の損失を防止し、電極形成時、乾燥工程なしに電極パターンを形成できるという効果がある。
【００３７】
また、本発明に係るグリーンシートとその製造方法及び製造装置、並びにこれを用いたプラズマディスプレイパネル及びその製造方法において、パッド領域におけるブラックマトリックスと電極との間の整列問題を解決し、パターン現像及び焼成時に発生しうるパターン崩れ現象を除去することで、微細パターンを実現することができ、電極の形成形態及び結晶状態を向上させて電気抵抗を低下することで、パネル全体の効率を向上できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下、本発明の好適な実施例について、添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【００３９】
＜第１実施例＞
【００４０】
図６は、本発明に係るＰＤＰの上部パネルを示す平面図で、図示したように、実際に映像が表示されるアクティブ領域に形成されたブラックマトリックス３０の構造と、パッド領域に形成されたブラックマトリックス３０の構造とが異なっている。
【００４１】
図７Ａ〜図７Ｃは、図６に表示された各部分（ａ、ｂ及びｃ）に対する断面図で、図７Ａ〜図７Ｃに示すように、ブラックマトリックス３０は、アクティブ領域（ａ）においては、バス電極４０が形成される領域と、二つの透明電極６０の間に露出された上部基板５０の上部に形成され、パッド領域（ｂ、ｃ）においては、バス電極４０が形成される領域のみならず、それ以外の全領域に形成される。
【００４２】
すなわち、アクティブ領域（ａ）に対する断面図に示すように、ブラックマトリックス３０は、上部基板５０上に形成された透明電極６０の上部一部と、二つの透明電極６０の間に露出された上部基板５０上に形成され、パッド領域（ｂ、ｃ）に対する断面図に示すように、ブラックマトリックス３０は、上部基板５０上の全領域に形成される。
【００４３】
図６に示したブラックマトリックス３０及びバス電極４０は、グリーンシートを用いて形成されるが、図８Ａ及び図８Ｂは、ブラックマトリックスグリーンシート及びバス電極グリーンシートに対する断面構造をそれぞれ示している。
【００４４】
前記ブラックマトリックスグリーンシート３１の上部及び下部には、図８Ａに示すように、前記ブラックマトリックスグリーンシート３１を保護するための保護フィルム３２，３３が付着される。
【００４５】
ここで、前記ブラックマトリックスグリーンシート３１は、ネガティブ感光性有機物及び非伝導性黒色度を有するブラックマトリックス用パウダーを含んで構成されるが、前記ブラックマトリックスグリーンシート３１は、露光時に露光された部分のみが硬化し、現像時に露光部分のみが残るようになる。
【００４６】
また、バス電極グリーンシート４１には、図８Ｂに示すように、その上部に感光性有機物層４２が形成され、この感光性有機物層４２及びバス電極グリーンシート４１を保護するための保護フィルム４３，４４が付着される。
【００４７】
前記感光性有機物層４２は、ネガティブＰＲ感光性有機物によって形成され、バス電極用マスクによる露光時に露光された部分のみが維持される性質を有する。前記バス電極グリーンシート４１は、Ａｇパウダーと、現像時に露光と関係なしに現像液に溶解される有機物と、を含んで構成される。
【００４８】
以下、図８Ａ及び図８Ｂに示したブラックマトリックスグリーンシート３１及びバス電極グリーンシート４１を用いてＰＤＰを製造する過程を、図９Ａ〜図９Ｅに基づいて説明する。
【００４９】
まず、図９Ａに示すように、上部基板５０上にＩＴＯなどの物質を塗布し、透明電極用パターンマスク（図示せず）を用いたパターニングを通して透明電極６０を形成する。
【００５０】
その後、図９Ｂに示すように、前記透明電極６０が形成された上部基板５０の上部に、ブラックマトリックスグリーンシート３１をラミネーターを用いてラミネートさせる。その後、前記構造物の上部にブラックマトリックス用マスク３４を位置させた後、紫外線（ＵＶ）露光を実施し、ブラックマトリックスが形成される部分のブラックマトリックスグリーンシート３１に含まれたネガティブ感光性有機物を硬化させる。
【００５１】
その後、図９Ｃに示すように、前記構造物の上部に、バス電極グリーンシート４１及び感光性有機物層４２をラミネーターを用いてラミネートさせ、前記構造物の上部にバス電極用マスク４５を所定間隔をおいて位置させた後、紫外線露光を実施する。このとき、前記バス電極グリーンシート４１上部にネガティブＰＲによって形成された感光性有機物層４２は、パターン露光された部分のみが硬化される。
【００５２】
その後、図９Ｄに示すように、前記構造物を現像液によって現像するが、前記感光性有機物層４２及びブラックマトリックスグリーンシート３１において硬化した部分のみが残り、硬化していない部分は現像液によって現像される。すなわち、透明電極６０の上部一部及びこの透明電極６０の間に露出された上部基板５０の上部のみに、硬化したブラックマトリックスグリーンシート３１が残り、前記透明電極６０の上部に形成されたブラックマトリックスグリーンシート３１の上部のみに、硬化した感光性有機物層４２及びバス電極グリーンシート４１が残る。
【００５３】
このとき、前記バス電極グリーンシート４１において、感光性有機物層４２がパターニングされて露出された部分は、現像液によって溶解されて除去される。
【００５４】
その後、図９Ｅに示すように、前記構造物を焼成することで、ブラックマトリックス３０及びバス電極４０が形成される。ここで、前記バス電極４０の上部に形成された感光性有機物層４２は、有機物のみからなるので、焼成時に完全に燃焼されて除去される。
【００５５】
上記のような過程を通して、ＰＤＰにおいて実際に映像を表示するアクティブ領域の上板構造物が形成される。そして、パッド領域に形成される上板構造物におけるブラックマトリックス形成過程は、前記アクティブ領域に形成される上板構造物におけるブラックマトリックス形成過程と異なる。もちろん、パッド領域には透明電極が形成されない。
【００５６】
すなわち、ブラックマトリックスグリーンシートをラミネートさせた後、紫外線を露光するとき、パッド領域にラミネートされたブラックマトリックスグリーンシートは、パターニングされず、全体が露光される。その結果、パッド領域にラミネートされたブラックマトリックスグリーンシートの全体が硬化されることで、現像時に現像される部分なしにパッド領域で上部基板の全面にブラックマトリックスが形成される。
【００５７】
本発明によると、前記パッド領域のブラックマトリックスがバス電極領域のみならず、全領域に形成されるので、ブラックマトリックスが露光されずにパターン崩れ現象が発生することを防止できる。その結果、アライン問題が解決されることで、微細パターンを形成可能になる。
【００５８】
＜第２実施例＞
【００５９】
以下、本発明に係るグリーンシート製造装置を、図１０に基づいて説明する。
【００６０】
まず、一対の第１ローラ７３，７４は、製造された誘電体グリーンシート７１と第１保護フィルム７２とを付着させ、電極材料供給部８０は、第２保護フィルム４７に電極材料４６を形成する。
【００６１】
また、一対の第２ローラ７５，７６は、前記第１保護フィルム７２が付着された誘電体グリーンシート７１と、前記電極材料４６が形成された第２保護フィルム４７とを付着させる。
【００６２】
本発明の実施例に係るグリーンシート製造装置においては、第１保護フィルム７２上に誘電体グリーンシート７１を塗布し、塗布された誘電体グリーンシート７１上に電極材料４６が結合される。
【００６３】
前記グリーンシート製造装置は、誘電体グリーンシート７１及び第１保護フィルム７２を一対の第１ローラ７３，７４の間に通過させることで誘電体部材を完成し、電極材料４６が形成された保護フィルム４７及び前記誘電体部材を、一対の第２ローラ７５，７６の間に通過させることで、電極材料４６が結合された誘電体グリーンシート７１を製造する。
【００６４】
このとき、前記電極材料４６は、図示したように、保護フィルム４７上に所定間隔をおいて配置され、この電極材料４６は、プラズマディスプレイパネルのバス電極として用いられる。
【００６５】
また、前記電極材料４６は、誘電体グリーンシート７１との結合過程で誘電体グリーンシート７１に埋め込まれ、プラズマディスプレイパネルの製造に用いられる。
【００６６】
前記第２保護フィルム４７上の電極材料４６は、インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法によって形成される。また、前記誘電体グリーンシート７１の代りに、誘電体ペーストがスクリーン印刷法によって誘電体材料として用いられる。
【００６７】
以下、前記グリーンシート製造装置を用いた前記グリーンシートの製造工程を説明すると、まず、誘電体グリーンシート７１は、誘電体グリーンシートのための組成物をキャリアフィルム上に塗布した後、乾燥させてフィルム化することで製造される。
【００６８】
その後、製造された誘電体グリーンシート７１及び第１保護フィルム７２は、一対の第１ローラ７３，７４に供給され、これら第１ローラ７３，７４の間を通過して互いに付着される。
【００６９】
前記第１保護フィルム７２には、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリエチレンフィルムなどのプラスチックフィルムが用いられ、このプラスチックフィルムの一面には、シリコン樹脂などの剥離剤が塗布される。
【００７０】
前記誘電体グリーンシート７１と第１保護フィルム７２とが付着されたグリーンシート部材を製造すると同時に、電極材料４６が付着された第２保護フィルム４７を製造する。
【００７１】
上述したように、前記第２保護フィルム４７上に電極材料４６を形成する方法には、インクジェット方法、ディスペンシング方法またはオフセット方法が挙げられる。
【００７２】
例えば、オフセット方法では、陰極板にバス電極用Ａｇ組成物を注入し、陰極板に形成されたＡｇ組成物をブランケットの円筒に接着し、ブランケットに接着されたＡｇ組成物を保護フィルムの間に印刷する。
【００７３】
前記Ａｇ組成物は、保護フィルム４７上に印刷されてバス電極としての役割をする。また、インクジェット方法またはディスペンシング方法では、バス電極用Ａｇ組成物を混合したインクを保護フィルム４７に噴射することで電極材料を形成する。
【００７４】
その後、製造された誘電体部材と、電極材料４６が形成された第２保護フィルム４７は、第２ローラ７５，７６に供給され、これら一対のローラ７５，７６の間を通過して互いに付着される。
【００７５】
上記のような付着は、前記誘電体部材の表面に前記電極材料４６が埋め込まれてなり、第２保護フィルム４７と付着された前記電極材料４６の面と、前記誘電体グリーンシート７１の表面とが平坦になる。
【００７６】
すなわち、一面のみが露出された前記電極材料４６と、前記電極材料４６が埋め込まれた前記誘電体グリーンシート７１を所定の構造物に適用する場合、前記電極材料４６の電気的連結性及び誘電体グリーンシート７１の保護性の全てを満足させられる。
【００７７】
前記電極材料４６と誘電体グリーンシート７１との間の接合力を高めるために、接着層をさらに形成できるが、この接着層は、接着特性を有する誘電体ペーストを誘電体部材上にスクリーンプリンティング法によって一回印刷することで形成される。
【００７８】
前記電極材料４６は、所定間隔をおいて形成されるので、誘電体グリーンシート７１と電極材料４６が形成された第２保護フィルム４７とが付着されるとき、孔隙によって気泡が発生しうる。この気泡は、電極材料４６によって形成される電極に損傷を及ぼす恐れがあるので、気泡の発生を抑制すべきである。
【００７９】
上記のような気泡の発生を抑制するために、図１１に示すように、誘電体グリーンシート７１の進行方向Ａに沿って形成された電極材料４６のパターンが接着層の流動性と結合し、第２ローラ７５，７６の圧着力が適用される。
【００８０】
図示したように、誘電体グリーンシート７１に形成された前記電極材料４６、または、この電極材料４６によって形成された電極パターンは、両端部の電極幅が中央部の電極幅より広い。
【００８１】
両端部の電極は、外部の連結線に連結されるので電極幅が広く、中央部の電極は、画素セルの行または列を区分するので、画素セルのピッチ間隔に対応する電極幅を有する。このとき、電極材料４６のパターンは、誘電体グリーンシート７１の進行方向Ａに沿って形成されるので、誘電体グリーンシート７１と電極材料４６との孔隙による気泡の発生を最小化できる。
【００８２】
また、前記第２ローラ７５，７６の圧着力により、接着層の誘電体ペーストがエンボスされて前記電極材料４６の間に整列される。このとき、第２ローラ７５，７６を加熱することで、接着層と電極材料４６との接合力を高められる。
【００８３】
図１２に示すように、前記電極材料４６を含む誘電体グリーンシート７１が基板５０にラミネートされ、基板５０上に電極４０及び誘電体層７０が同時に形成される。その後、焼成工程によって上板または下板が製造される。
【００８４】
したがって、前記上板または下板を製造するために、グリーンシートを用いたラミネーティング工程及び焼成工程のみが実施されるので、製造工程を単純化でき、バス電極などの電極を材料の損失なしに形成できる。
【００８５】
＜第３実施例＞
【００８６】
図１３に示すように、プラズマディスプレイパネルの電極は、バルク状態のＡｇ原材料４８を薄膜化した電極材料４９によってＰＤＰの電極を形成できる。
【００８７】
前記薄膜化された電極材料４９は、通常、Ａｇ薄膜またはＡｇフォイルなどの形態である。
【００８８】
前記電極材料４９は、図１３に示すように、バルク状態のＡｇ原材料４８を一対のローラ７７によってフォイル状態に作った後、再び他の一対のローラ７８によってＰＤＰで使用可能な適当な厚さで電極材料４９を製造する。
【００８９】
もちろん、前記Ａｇ原材料４８を一対のローラ７７によって１回圧延した後、直ちに適当な厚さの電極材料４９を形成することもできる。
【００９０】
前記適当な厚さで製作された電極材料４９は、再び軟化過程を経て硬度及び軟性が調節される。
【００９１】
前記電極材料４９は、グリーンシートなどのＤＦＲ（ｄｒｙ  ｆｉｌｍ  ｒｅｓｉｓｔ）にラミネートすることで、電極転写及びパターニングが容易になる。
【００９２】
上述したように、前記電極材料４９は、圧延及び軟化過程を経て製造されるので、原材料の結晶構造を維持できる。
【００９３】
すなわち、従来のＡｇ粒子を用いる方法では、Ａｇ原材料が粒子に分化されることで、結晶構造が互いに断絶された多結晶をなすが、前記電極材料４９は、圧延及び軟化過程で結晶間の距離が縮小されることで、結晶の密度が高くなるが、結晶構造は維持できる。
【００９４】
このとき、前記薄膜化された電極材料４９によって形成するＰＤＰの電極は、従来のＡｇ粒子が含まれた電極ペーストまたはグリーンシートによって形成する電極より界面が相対的に少ないので、電気抵抗の減少が発生しなくなる。
【００９５】
上記のように、前記電極材料４９は、優れた電気的性質を有するので、従来の厚さより薄く形成することも可能である。
【００９６】
通常、従来のＡｇ粒子によって形成する電極の厚さは、焼成後４〜５μｍになるが、前記電極材料４９は、５〜１０μｍに形成することが好ましい。
【００９７】
前記電極材料４９によってＰＤＰの上部パネルにバス電極を形成し、下部パネルにアドレス電極を形成することもできる。
【００９８】
以下、前記電極材料４９によってＰＤＰのバス電極を形成する過程を説明する。
【００９９】
まず、基板５０に透明電極６０を形成した後、この透明電極６０上にブラックマトリックス層３１を形成する。
【０１００】
その後、図１４に示すように、前記ブラックマトリックス層３１上に前記電極材料４９を転写する。
【０１０１】
一方、前記透明電極６０上に形成されるブラックマトリックス層３１は、パネルのコントラストを高めるために、透明電極６０対の間の非放電領域にも形成可能である。この場合、非放電領域におけるブラックマトリックス（ブラック層）に絶縁性を持たせる。
【０１０２】
その後、図１５に示すように、開口部３５が形成されたマスク３６を用いてエッチングし、前記電極材料４９を電極パターンにパターニングすることで、図１６に示すように、電極４０が形成される。
【０１０３】
ここで、前記電極材料４９がＡｇからなるので、エッチングの際は、酸（Ａｃｉｄ）を用いてエッチングすることが好ましい。
【０１０４】
上記のように、ブラックマトリックス層３１上に電極材料４９を転写する際は、ブラックマトリックス層３１に粘性があるので、ブラックマトリックス層３１上に電極材料４９を転写するのに困難さがない。
【０１０５】
しかしながら、ブラックマトリックス層３１を形成せず、透明電極６０上に電極材料４９を直ちに転写する場合、別途の接着剤を用いることもできる。
【０１０６】
その後、図１７に示すように、前記電極６０，４０を覆う誘電体層７０を形成し、この誘電体層７０を覆う保護膜９０を形成することで、上部パネルが完成される。
【０１０７】
一方、下部基板上には、前記電極材料４９によってアドレス電極を形成できるが、この場合、下部基板上に下地膜を形成した後、前記電極材料４９を転写してパターニングすることで、アドレス電極が形成される。
【０１０８】
上述した実施例は、本発明の技術的思想を具体的に説明するための一例であり、本発明は、上述した実施例によって限定されることなく、多様な形態に変形可能である。また、本発明の技術的思想内の多様な実施例は、全て本発明の保護範囲に属することが当然である。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】一般的なプラズマディスプレイパネルの一例を示す斜視図である。
【図２】従来のプラズマディスプレイパネルにおける電極材料の塗布状態を示す拡大図である。
【図３】図２に示した電極材料の焼成状態を示す拡大図である。
【図４】従来のプラズマディスプレイパネルにおける上部パネルの平面図である。
【図５Ａ】図４に表示されたａ領域に対する断面図である。
【図５Ｂ】図４に表示されたｂ領域に対する断面図である。
【図５Ｃ】図４に表示されたｃ領域に対する断面図である。
【図６】本発明のプラズマディスプレイパネルにおける上部パネルの平面図である。
【図７Ａ】図６に表示されたａ領域に対する断面図である。
【図７Ｂ】図６に表示されたｂ領域に対する断面図である。
【図７Ｃ】図６に表示されたｃ領域に対する断面図である。
【図８Ａ】本発明の一実施例に係るグリーンシートの断面図である。
【図８Ｂ】本発明の他の実施例に係るグリーンシートの断面図である。
【図９Ａ】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図９Ｂ】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図９Ｃ】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図９Ｄ】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図９Ｅ】本発明のプラズマディスプレイパネル製造過程の一実施例を示す断面図である。
【図１０】本発明のグリーンシート製造工程の一実施例を示す概略図である。
【図１１】本発明のグリーンシートによるバス電極のパターン形成を説明するための平面図である。
【図１２】本発明のグリーンシートによるＰＤＰ形成を示す断面図である。
【図１３】本発明のプラズマディスプレイパネルにおける電極材料を製造する一実施例を示す概略図である。
【図１４】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図１５】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図１６】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造段階の一実施例を示す断面図である。
【図１７】本発明のプラズマディスプレイパネルの一実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１１０】
３０  ブラックマトリックス
４０  バス電極
５０  上部基板
６０  透明電極
【図１】
2007141850.tif 000003
【図２】
2007141850.tif 000004
【図３】
2007141850.tif 000005
【図４】
2007141850.tif 000006
【図５Ａ】
2007141850.tif 000007
【図５Ｂ】
2007141850.tif 000008
【図５Ｃ】
2007141850.tif 000009
【図６】
2007141850.tif 000010
【図７Ａ】
2007141850.tif 000011
【図７Ｂ】
2007141850.tif 000012
【図７Ｃ】
2007141850.tif 000013
【図８Ａ】
2007141850.tif 000014
【図８Ｂ】
2007141850.tif 000015
【図９Ａ】
2007141850.tif 000016
【図９Ｂ】
2007141850.tif 000017
【図９Ｃ】
2007141850.tif 000018
【図９Ｄ】
2007141850.tif 000019
【図９Ｅ】
2007141850.tif 000020
【図１０】
2007141850.tif 000021
【図１１】
2007141850.tif 000022
【図１２】
2007141850.tif 000023
【図１３】
2007141850.tif 000024
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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