(57)【要約】【課題】  １秒未満のエネルギーレベル間切換時間を実現するオンザフライのアナログスイッチング方法およびシステムとレーザ衝撃ピーニング用のレーザヘッドを提供する。【解決手段】  アナログスイッチを、１秒未満の切換時間を実現する可変抵抗装置とともに用いる。本発明の優位性の１つは、エネルギーおよび時間効率の良いシステムをもたらす１秒未満の切換時間が、実現されることである。本レーザ衝撃ピーニング加工では、処理される線形領域間の標準休止中に切換が起きるので、切換目的用の遅延を起こさない。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ衝撃ピーニング加工に用いるレーザ装置（１）のレーザヘッド（９０）のパワーレベルを制御するシステムであって、
第１のインピーダンス（７０）を有し、レーザ装置（１）の第１の出力パワーレベルを発生させるように構成された第１の回路と、
第２のインピーダンス（６８）を有する第２の回路と、
第１の回路と第２の回路とを接続あるいは切り離すように構成されて配置された切換装置とを備え、
切換装置は、第２の回路を第１の回路に１秒未満で接続し、かつ第２の回路を第１の回路から１秒未満で切り離し、
第２の回路を第１の回路に接続することにより、レーザ装置（１）から第２の出力パワーレベルを発生させることを特徴とするシステム。
【請求項２】
切換装置は、第１の回路と直列に、第２の回路を接続するように構成されることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
切換装置は、第２のインピーダンス（６８）と直列に接続される第１の制御リレー（７６）と、第２のインピーダンス（６８）と並列に接続される第２の制御リレー（７８）とを備えることを特徴とする請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
第１の制御リレー（７６）は常時開制御リレーであり、第２の制御リレー（７８）は常時閉制御リレーであることを特徴とする請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
切換装置は、第１の回路と並列に、第２の回路を接続するように構成されたことを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
切換装置は、第２のインピーダンス（６８）と直列に接続される第１の制御リレー（７６）を備えることを特徴とする請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
第１の制御リレーは、常時閉制御リレーであることを特徴とする請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
第１のインピーダンス（７０）は第１の抵抗であり、第２のインピーダンス（６８）は第２の抵抗であることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【請求項９】
第１の出力パワーレベルは、第１の回路と直列に接続される第２の回路に応答する第２の出力パワーレベルより大きく、
第１の出力パワーレベルは、第１の回路と並列に接続される第２の回路に応答する第２の出力パワーレベルより小さいことを特徴とする請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
付加インピーダンスを有する少なくとも１つの付加回路をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般にレーザ衝撃ピーニングに関し、詳細には、レーザ衝撃ピーニング加工の際に、レーザエネルギーレベルをその場で切り替えるためのオンザフライアナログスイッチングを行う方法及びシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ衝撃ピーニング（あるいはレーザショック加工とも呼ばれる）は、物品の表面領域に深い圧縮残留応力の領域を発生させる方法である。典型的に、レーザ衝撃ピーニングは、高エネルギーからの１以上の放射パルス、即ち、１〜５０ジュール以上のエネルギーのパルスレーザ光を用いて、物品の表面で強烈な衝撃波を発生させる。ＬＳＰの典型的な方法は、「材料特性を変化させること」と題された米国特許第３，８５０，６９８号、「レーザ衝撃加工」と題された米国特許第４，４０１，４７７号、および「材料特性」と題された米国特許第５，１３１，９５７号に開示されている。また、ＬＳＰの低エネルギーのレーザ光を使用することは、「低エネルギーレーザを用いるレーザ衝撃ピーニング」と題された米国特許第５，９３２，１２０号に開示されている。当該分野で理解されかつここで用いるレーザ衝撃ピーニングは、レーザ光の衝突点で爆発的な力を発生させて、その表面の薄い層またはプラズマを形成するその表面のコーティング（テープや塗料など）を瞬間的に除去または蒸発させることにより、レーザ光源からのパルスレーザ光を利用して表面の部分に強力な局所圧縮力を発生させることを意味する。
【０００３】
レーザ衝撃ピーニングは、ガスタービンエンジン分野での種々の用途について開発が行われており、その中には以下のようなものが含まれる。すなわち、「オンザフライレーザ衝撃ピーニング」と題された米国特許第５，７５６，９６５号、「レーザ衝撃ピーニング加工したガスタービンエンジンファンブレードエッジ」と題された米国特許第５，５９１，００９号、「レーザ衝撃ピーニング加工したガスタービンエンジンコンプレッサブレードエッジ用のひずみ制御」と題された米国特許第５，５３１，５７０号、「ターボ機構部分用のレーザ衝撃ピーニング加工したロータ部品」と題された米国特許第５，４９２，４４７号、「粘着テープで覆われたレーザ衝撃ピーニング」と題された米国特許第５，６７４，３２９号、および「乾燥テープで覆われたレーザ衝撃ピーニング」と題された米国特許第５，６７４，３２８号などである。
【０００４】
「レーザピーニングシステムおよび方法」と題する米国特許第４，９３７，４２１号に開示されるように、レーザ衝撃ピーニングは、疲労破壊に対する物品の抵抗を著しく増加させることが公知である、物品の外側表面に圧縮応力を加えた保護層を作るために用いられている。これらの方法は典型的に、物品全体に流れる水のカーテンを用い、またその他の方法のいくつかではプラズマ閉じ込め媒体を形成する。この媒体により、プラズマは、塑性変形を引き起こす衝撃波圧力と、レーザ衝撃ピーニング効果を成す関連する残留応力パターンとを急速に実現することが可能となる。レーザ衝撃ピーニング加工する部品の材料の大半に衝撃波を発生させる加工を閉じ込めて再指向させ、有益な圧縮残留応力を発生させるために、水のカーテンは閉じ込め媒体を形成する。
【０００５】
急速に拡大するプラズマからの圧力パルスは、移動する衝撃波を部品に与える。レーザパルスにより起きるこの圧縮衝撃波は、部品の深くに塑性圧縮ひずみを引き起こす。これらの塑性ひずみは、材料の動的弾性率と一致する残留応力を発生させる。レーザ衝撃ピーニング加工した工業部品中の残留圧縮応力については多くの有益な利点が実証され、また特許化されている。これらの包括的な圧縮応力は、部品中の残留引張応力と平衡を保っている。追加された残留引張応力は、部品の疲労に対する能力を局所的に低下させるため、部品の疲労に対する能力は低下および／または最低になる。
【０００６】
レーザ衝撃ピーニングは、特定の課題を解決するために、部品上の選択的な場所で行う。平衡を保っている引張応力は、レーザ衝撃ピーニング加工した領域の端で通常発生する。引張応力の小さくて狭いバンドや線は、パッチの端に沿って、レーザ衝撃ピーニング加工したパッチ領域に最隣接する領域に集中する。広範な有限要素解析が行われて、これらの引張応力がどこに存在するかが究明され、また引張バンドが物品や部品の不活性な部分で終わるように（即ち、曲げ、ねじり、あるいはその他の振動モードの１つにおいて高応力線上ではないように）、ＬＳＰパッチが設計されかつ寸法が入れられた。レーザ衝撃ピーニング加工した領域とレーザ衝撃ピーニング加工していない領域との間の遷移領域において、これらの引張応力レベルを減少させることが望ましい。
【０００７】
レーザピーニング加工の際には、レーザヘッドが、直線運動で、処理する領域全体を移動する。各直線空間の間の時間遅延は、約１秒である。レーザ衝撃ピーニングを用いるほとんどの用途では、レーザ衝撃ピーニング加工する選択領域用に、種々のエネルギーレベルおよびレーザヘッドが必要である。あるエネルギーレベルをいくつかの直線領域に用い、その後、次の直線領域用の別のエネルギーレベルあるいは別のレーザヘッドに切換える。直線領域間の遅延時間は約１秒であるので、レーザヘッド間またはエネルギーレベル間の切換をその１秒の遅延以内に行い、最適なエネルギー使用と最も効率的なシステムを確保すべきである。過去には、切換を容易にするためにデジタルスイッチを用いたが、これらのデジタルスイッチに対する時間調節は１秒よりも長く、そのため、エネルギーレベルおよびレーザヘッド切換に対する切換遅延の際に、エネルギー及び時間の損失が発生した。
【特許文献１】米国特許第６，７１１，１８９Ｂ１号公報
【特許文献２】米国特許第６，７００，９１６Ｂ１号公報
【特許文献３】米国特許第６，４７９，７９０Ｂ１号公報
【特許文献４】米国特許第６，４６２，８２５Ｂ１号公報
【特許文献５】米国特許第６，１５１，３４５号公報
【特許文献６】米国特許第５，９８７，０４２号公報
【特許文献７】米国特許第５，９３６，９８６号公報
【特許文献８】米国特許第５，６８９，３３０号公報
【特許文献９】米国特許第４，６０１，０３７号公報
【特許文献１０】米国特許第４，５１７，４３６号公報
【特許文献１１】米国特許第２００５／００９２７２４Ａ１号公報
【特許文献１２】米国特許第２００５／００４５６０７Ａ１号公報
【特許文献１３】米国特許第２００４／０２６２２７７Ａ１号公報
【特許文献１４】米国特許第２００４／０２３８５０９Ａ１号公報
【特許文献１５】国際公開特許第０３／０５８８２７Ａ２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
それゆえ、エネルギーレベル間およびレーザヘッド間の切換を、線形領域間の遅延の際に達成できるように、１秒未満の切換時間を実現する切換機構に対する需要がある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の１つの実施形態は、レーザ衝撃ピーニング工程においてレーザ装置を制御する方法を目的としている。本方法は、レーザ衝撃ピーニング加工を行うように構成されたレーザ装置であって、第１のインピーダンスを持ちかつ第１のエネルギーレベルを実現するように構成された第１の回路を有するレーザ装置を提供する段階からなる。次の段階は、第２のインピーダンスを持ちかつ、第２のインピーダンスを第１の回路に接続して第２のエネルギーレベルを実現するか、あるいは第２のインピーダンスを第１の回路から分離するように構成された切換機構を備える第２の回路を、第１の回路に接続することからなる。次の段階は、切換機構が第２のインピーダンスを１秒未満で分離するように切換機構を制御することからなる。次に、本方法は、切換機構によって第２のインピーダンスが分離されたことに応答して、第１のエネルギーレベルでレーザ装置を作動させ、切換機構が第２のインピーダンスを１秒未満で接続するように切換機構を制御し、さらに第２のインピーダンスが接続されたことに応答して、第２のエネルギーレベルでレーザ装置を作動させる段階からなる。
【００１０】
本発明の別の実施形態は、レーザ衝撃ピーニング加工に用いるレーザ装置のレーザヘッドのパワーレベルを制御するシステムを目的としており、第１のインピーダンスを有する第１の回路であって、レーザ装置の第１の出力パワーレベルを発生させるように構成された第１の回路と、第２のインピーダンスを有する第２の回路と、第１の回路と第２の回路とを接続あるいは切り離すように構成されて配置される切換装置とを備えるシステムにおいて、切換装置は、第２の回路を第１の回路に１秒未満で接続し、かつ第２の回路を第１の回路から１秒未満で切り離し、さらに第２の回路を第１の回路に接続することにより、レーザ装置から第２の出力パワーレベルを発生させる。
【００１１】
本発明のさらに別の実施形態は、レーザ衝撃ピーニング加工に用いるレーザ装置のレーザヘッドのパワーレベルを制御するシステムを目的としており、信号を発生させてレーザヘッドを起動させるように構成されたレーザ制御コンピュータと、トリガー信号をレーザ制御コンピュータから受信し、所定の遅延をトリガー信号中に取り込んで遅延したトリガー信号を発生させるように構成されたデジタル遅延発生器と、遅延したトリガー信号を受信し、レーザヘッドに発射信号を供給してレーザヘッドの作動を開始するように構成されたレーザパルス形成回路網充電器と、所定の遅延をデジタル遅延発生器に供給するように構成された制御機構とを備えるシステムにおいて、所定の遅延は、レーザヘッドの出力パワーレベルを制御するために用いる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の優位性の１つは、アナログスイッチにより実現される切換時間の減少である。アナログスイッチが１秒未満の最大切換時間を実現することにより、レーザ衝撃ピーニング加工の自然休止中に、不要な遅延を起こすことなく、レーザヘッドまたはエネルギーレベルを切り換えることが可能になる。
【００１３】
本発明の別の優位性は、１秒未満の切換時間にために、加工中にエネルギーが節約されることである。システムは、処理される線形領域間で起きる切換を待つ必要がないため、システムは、アイドリング無しに連続的に動作する。
【００１４】
本発明のさらに別の優位性は、システムの効率性である。切換時間が１秒未満であるため、システムは、無駄な時間やエネルギーを費やすことなく連続的に動作し、それにより最適に効率的なシステムを創り出す。
【００１５】
本発明のその他の特徴及び優位性は、本発明の原理を例として示す添付図面とともに、次の好適な実施形態のより詳細な説明から、明らかになるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
可能な限り、同じまたは類似の部品には、全ての図面において、同じ参照番号を用いる。
【００１７】
図１を参照すると、レーザ衝撃ピーニングは、２つの高エネルギーレーザ光２を発射すること含む。各高エネルギーレーザ光２は、塗料の層５５および水の層６０に覆われた表面５４の先端（ＬＥ）の両側で、表面５４に関して±数ミル焦点をぼかしている。図２に示すように、塗料層５５は吸収層として働き、水の層６０は閉じ込め媒体として働く透明層である。レーザ光２からのレーザパルスが塗料層５５と水の層６０の薄い吸収オーバーレイと干渉すると、表面プラズマが生じる。プラズマが広がるにつれて、衝撃波が表面５４中に励振される。水の透明層６０は、レーザ放射に対して透明であるため、衝撃波の強度を著しく増加させる。再び図１を参照すると、レーザ光２は、通常大きさがギガワット／ｃｍ２のオーダーのピークパワー密度を有し、好適に流水２１のカーテンである水の透明層６０を通して発射される。塗料は除去されてプラズマを発生させることにより、材料の表面５４上に衝撃波が起きる。これらの衝撃波は、流水２１のカーテンにより、塗装された表面５４に再び向かい、塗料層５５の下の材料表面５４中に移動する衝撃波（圧力波）を発生させる。これらの衝撃波の振幅と量は、表面材料３７中の圧縮応力の深さと強度とを決める。
【００１８】
図１は、本発明の１つの実施形態による、表面材料５４を連続的に移動および位置決めしてレーザ衝撃ピーニングを「オンザフライ（on the fly）」で実現するために用いる従来のロボットアーム２７に取付けた、処理すべき表面材料５４を有する装置１を示す。先端（ＬＥ）のレーザ衝撃ピーニング加工した表面５４は、除去できる塗料層５５で塗装されている。次に、表面材料５４を、表面５４上の流水２１のカーテンを通して 固定されたレーザ光２を連続的に発射しながら、連続的に移動させて、重なり合うレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８を形成する。流水２１のカーテンは、従来の給水管１９の終端で従来の水ノズル２３により供給されるように例示されている。レーザ衝撃ピーニング装置１は、発振器、プリアンプ、前記増幅されたレーザ光２を２つのビーム光学透過回路中に供給するビームスプリッタを有する従来の発生器３１を備える。ビーム光学透過回路は、それぞれ、レーザ衝撃ピーニング加工した表面５４上のレーザ光２を制御により透過させかつ焦点合わせを行う光学素子を含む、第１および第２の増幅器と光学素子３５を備える。除去された塗料材料は、流水２１のカーテンにより洗い流される。
【００１９】
図３を参照すると、レーザは、順次、あるいは「オンザフライ」で、急速に発射されるので、レーザ衝撃ピーニング加工した表面５４は、表面を塗装する２つ以上の連続操作で、レーザ衝撃ピーニング加工される。その後、隣接するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８が異なる連続操作で打ち込まれるように、表面５４上でレーザ光２を連続的に発射しながら、表面材料５４を連続的に移動させる。レーザ衝撃ピーニング加工した表面は、レーザ光２により処理される先端（ＬＥ）を有する。図３と４は、そのような４つの連続操作Ｓ１〜Ｓ４のレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８（円により示す）のパターンを示す。図４において、点線で示すその他の連続操作の円とは対照的に、Ｓ１連続操作は実線の円で示され、横列の中心線６２に沿ったそれらの対応する中心Ｘを有するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８は、隣接する円形スポット５８が無いという特徴が示されている。連続操作のパターンは、レーザ衝撃ピーニング加工した表面５４を完全に覆っている。重なり合うレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８の横列６４中において、レーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８は、直径Ｄを有する。パターンは、レーザ衝撃ピーニング加工した表面５４上の重なり合うレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８の多数の重なり合う横列６４である。第１の重なりは、所定の横列における隣接するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８間のものであり、隣接するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８の中心Ｘ間の第１のオフセットＯ１により一般に定義され、直径Ｄの約３０％〜５０％あるいはそれ以上外れる。第２の重なりは、隣接する横列における隣接するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８間のものであり、隣接する横列の中心線６２間の第２のオフセットＯ２により一般に定義される。第２の重なりは、用途、およびレーザ光の強度あるいは送りの滑らかさに依存して、直径Ｄの約３０％〜５０％外れる。第３の重なりは、隣接する横列６４における隣接するレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８の中心Ｘ間の線形オフセットＯ３の形をとり、特定の用途に依存して、直径Ｄの約３０％〜５０％外れる。
【００２０】
図４を参照すると、全パターンを覆うためにいくつかの連続操作が必要であり、レーザ衝撃ピーニング加工した表面５４の再塗装がレーザ発射の各連続操作間で行われる。各連続操作用のレーザ発射は、多数のレーザ発射あるいは、しばしば「繰返し」と呼ばれる発射間の期間を伴うパルスを有する。繰返しの際に、次のレーザ衝撃ピーニング加工する円形スポット５８の位置で次のパルスが発生するように、その部分を移動させる。好適には、その部分を、連続的に移動させて、レーザ光のパルスあるいは発射において適切な位置になるようにタイミングを合わせる。各連続操作における１回以上の繰返しにより、各レーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット５８には２回以上の打ち込みが可能となる。材料表面が比較的薄い（例えば、０．０４”以下）場合には、ＬＳＰパッチにより覆われる領域の加工の際に、レーザエネルギーを変化させることが必要である。本発明により、発射の異なる連続操作に対して必要なレーザヘッド間およびエネルギーレベル間で、レーザ２を切換えることが可能となる。レーザヘッド切換の際に、レーザ衝撃ピーニング加工には、１秒未満の遅延がある。
【００２１】
図５を参照すると、本発明の１つの実施形態は、１秒未満でレーザエネルギーレベルを変化させることが可能なアナログ回路である。この短い切換時間は、レーザパルス形成回路網制御手段８０から電圧を受け取り、かつインピーダンス回路を通った後にレーザパルス形成回路網制御手段８０に電圧を戻すように接続されるアナログ回路を備えることにより達成される。レーザ上にある既存のインピーダンスまたは抵抗７０と直列な外部インピーダンスまたは抵抗６８を有することにより、アナログ回路が動作する。さらに、３つ以上のエネルギーレベルがレーザヘッドに必要な場合には、所望のエネルギーレベル用に構成された付加外部インピーダンスまたは抵抗および対応する制御リレーを、外部インピーダンスまたは抵抗６８およびその対応する制御リレーと並列に接続する。好適な実施形態において、異なるエネルギーレベルは、レーザ制御上に位置する電流抵抗器と直列な外部抵抗器を切換えることにより得られる。レーザ制御上に位置する電流抵抗器と直列な抵抗器は、レーザヘッドに達する電圧レベルを変化させることにより、レーザ衝撃ピーニング用途に対するレーザのエネルギーレベルを制御する。各制御リレー７６、７８に対する２つの制御出力７２、７４は、回路中に含まれる。第２のリレー７８が作動してパルス形成回路網（ＰＦＮ）制御が開回路になることを妨げる前に、第１のリレー７６を作動させることが必要である。一時的な開回路の発生により、レーザからのエラーおよびレーザピーニングシステムにおいてエラーが生じる。
【００２２】
図６を参照すると、本発明は、第２の概略構成において配置されるアナログ制御器または回路も備える。この回路も、レーザエネルギーレベルを１秒未満で変化させることが可能である。レーザが表面上の次の区画または横列に移動して繰返し間のレーザ衝撃ピーニングを行うとき、この１秒未満の切換は、レーザが既に遅延している期間中に起きる。外部インピーダンスまたは抵抗６８および対応する制御リレーは、レーザ制御装置上に位置する既存のインピーダンスまたは抵抗７０と並列に配置される。レーザ制御上に位置する電流抵抗器と並列な外部抵抗器は、レーザヘッドに達する電圧レベルを変化させることにより、レーザ衝撃ピーニング用途に対するレーザのエネルギーレベルを制御する。このアナログ回路は、システム中で制御される各レーザヘッドに対して同じものが設けられる。さらに、３つ以上のエネルギーレベルがレーザヘッドに必要な場合には、所望のエネルギーレベル用に構成された付加外部インピーダンスまたは抵抗およびその対応する制御リレーを、外部インピーダンスまたは抵抗６８と並列に接続する。この構成の利点は、１つの必要なリレー７６装置において、ＰＦＮ制御手段が開回路になることを妨げるために、１つの制御出力７２だけですむことである。ＣＮＣ制御またはロボット制御をこの回路とともに用いることができ、コンデンサなどのその他の装置は、同様に回路中に接続してもよい（例えば、ＲＣ時定数回路とともに用いる）。
【００２３】
図７を参照すると、本発明は、レーザヘッド９４の出力パワーレベルを制御してレーザのエネルギーレベルを変化させるデジタル制御器も備える。デジタル制御器は、レーザ制御コンピュータ９２と充電／パルス形成回路網８２との間に位置する外部遅延発生器８３のスイッチを入れて作動させる。この回路網は、レーザピーニング加工の作業中にレーザ増幅器ヘッド９４を点滅させる。レーザ制御コンピュータ９２は、信号を発生してレーザヘッド９４を作動させ、レーザを発射させる。デジタル遅延発生器８３は、レーザ制御コンピュータ９２からトリガー信号を受信して、所定の遅延をトリガー信号に取り込むことにより、遅延のあるトリガー信号を形成する。次に、レーザパルス形成回路網８２は、遅延されたトリガー信号を受信し、信号をレーザヘッド９４に供給してレーザの発射を起動する。ロボット制御またはＣＮＣ８４は、設定または変更可能な所定の遅延を、デジタル遅延発生器８３に提供するために用いる。
【００２４】
好適な実施形態を参照して本発明を説明したが、本発明の範囲内において種々の変更が可能であり、かつ等価物により本発明の要素を代替可能であることは、当該分野の技術者には理解できるであろう。さらに、本発明の本質的な範囲内において種々の変形を行い特定の材料または材料を本発明の教示に採用することも可能である。そのため、本発明は、本発明を実施するために考えられた最良の形態として開示された特別な実施形態に限定されるものではなく、本発明は、添付の請求項の範囲内に収まるすべての実施形態を含むことが意図されている。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】本発明で使用可能なレーザ衝撃ピーニングシステムの図である。
【図２】レーザ衝撃ピーニング用の表面上の水の層および塗料層の図である。
【図３】表面に沿ってレーザ衝撃ピーニング加工した表面上のレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポットのパターンの図である。
【図４】所定のシークエンス内において重ならないレーザ衝撃ピーニング加工した円形スポットの４つのシークエンスを有する特定パターンの図である。
【図５】第１のアナログスイッチング方法の概略図である。
【図６】第２のアナログスイッチング方法の概略図である。
【図７】デジタルスイッチング方法の概略図である。
【符号の説明】
【００２６】
１  装置
２  レーザ光
１９  給水管
２１  流水カーテン
２３  水ノズル
２７  ロボットアーム
３１  従来の発生器
３５  光学素子
５４  表面材料
５５  塗料層
５８  レーザ衝撃ピーニング加工した円形スポット
６０  水の層
６２  横列の中心線
６４  横列
６８  外部インピーダンスまたは抵抗
７０  既存のインピーダンスまたは抵抗
７２  第１の出力
７４  第２の出力
７６  第１の制御リレー
７８  第２の制御リレー
８０  回路網制御手段から
８１  回路網制御手段に戻す
８２  充電／パルス形成回路網
８３  外部遅延発生器
８４  ＣＮＣ／ロボット制御
８６  レーザ制御コンピュータ
８８  トリガー線
９０  レーザヘッド
９２  レーザ制御コンピュータ
９４  レーザ増幅器ヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
2007300093.tif 000005
【図４】
2007300093.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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