(57)【要約】【課題】液体噴射ヘッドから吐出される液滴の液量を可及的に設計液量に合わせると共に、液体貯留部材の液体を無駄なく使用することが可能な液体噴射装置、及び、その制御方法を提供する。【解決手段】記録ヘッド３のノズル開口４７から吐出されたインク滴が着弾可能な液滴受部としてのキャップ部材１４を記録ヘッドのノズル開口面（ノズル基板４３）に対して非接触状態で対向配置すると共にノズル基板とキャップ部材内に配設された電極部材７８との間に電界を付与し、ノズル開口からキャップ部材１４に向けてインク滴を吐出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力するインク滴センサ７を備え、このインク滴センサ７からの検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスの駆動電圧値を補正する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を貯留する液体貯留部材と、該液体貯留部材に貯留されている液体を圧力室に導入し、圧力発生源を駆動させることにより圧力室内に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドと、圧力発生源を駆動して液滴を吐出させるための吐出パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を有する液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴が着弾可能な液滴受部を液体噴射ヘッドのノズル開口面に対して非接触状態で対向配置すると共にこれらのノズル開口面と液滴受部との間に電界を付与し、ノズル開口から液滴受部に向けて液滴を吐出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力する液滴検出部と、
前記液滴検出部から出力された検出信号の振幅を取得する振幅取得部と、を備え、
前記駆動信号発生部は、前記振幅取得部によって取得された検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする液体噴射装置。
【請求項２】
前記液体貯留部材内の液体の消費量を算出する液体消費量算出部を有することを特徴とする請求項１に記載の液体噴射装置。
【請求項３】
前記液体貯留部材を、液体噴射装置本体側に配置して、供給チューブを通じて前記液体噴射ヘッドと接続し、
前記液体貯留部材と液体噴射ヘッドのノズル開口面との水頭差によって液体貯留部材内の液体を液体噴射ヘッド側に供給するように構成したことを特徴とする請求項２に記載の液体噴射装置。
【請求項４】
前記液体消費量算出部での計算上の液体消費量に基づく液体残量が規定量以下であって、且つ、検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率が電圧補正閾値以下となった場合に、前記吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする請求項２又は請求項３に記載の液体噴射装置。
【請求項５】
液体噴射ヘッドは、複数のノズル開口を列設してなるノズル列を有し、
前記液体消費量算出部は、ノズル列を構成する各ノズル開口に対応する検出信号の振幅の平均値についての基準振幅に対する変化率が前記電圧補正閾値以下となった場合に、前記吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする請求項４に記載の液体噴射装置。
【請求項６】
前記液体消費量算出部は、前記振幅取得部によって取得された検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率がエンド判定閾値以下となった場合に、液体貯留部材内の液体が無くなったエンド状態と判定することを特徴とする請求項２または請求項３に記載の液体噴射装置
【請求項７】
前記液体消費量算出部は、計算上の液体消費量に基づく液体残量が規定量以下であって、且つ、検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率が前記エンド判定閾値以下となった場合に、エンド状態と判定することを特徴とする請求項６に記載の液体噴射装置。
【請求項８】
液体噴射ヘッドは、複数のノズル開口を列設してなるノズル列を有し、
前記液体消費量算出部は、ノズル列を構成する各ノズル開口に対応する検出信号の振幅の平均値についての基準振幅に対する変化率が前記エンド判定閾値以下となった場合に、エンド状態と判定することを特徴とする請求項７に記載の液体噴射装置。
【請求項９】
液体を貯留する液体貯留部材と、該液体貯留部材に貯留されている液体を圧力室に導入し、圧力発生源を駆動させることにより圧力室内に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドと、圧力発生源を駆動して液滴を吐出させるための吐出パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を有する液体噴射装置の制御方法であって、
前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴が着弾可能な液滴受部を液体噴射ヘッドのノズル開口面に対して非接触状態で対向配置し、
ノズル開口面と液滴受部との間に電界を付与し、
ノズル開口から液滴受部に向けて液滴を吐出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力し、
出力された検出信号の振幅を取得し、
取得された検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット式プリンタ等の液体噴射装置、及び、その制御方法に関するものであり、特に、駆動信号を供給して圧力発生源を作動させることによりノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッドを備える液体噴射装置、及び、その制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射装置は、液体を液滴として吐出可能な液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を吐出する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドのノズル開口から液体状のインクをインク滴として記録紙等の吐出対象物に対して吐出・着弾させてドットを形成することで記録を行うインクジェット式プリンタ等の画像記録装置を挙げることができる。また、近年においては、この画像記録装置に限らず、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造装置等、各種の製造装置にも液体噴射装置が応用されている。
【０００３】
上記インクジェット式プリンタ（以下、単にプリンタという）では、例えば、インクカートリッジ（液体貯留部材）に貯留されたインクを記録ヘッドの圧力室内に導入し、駆動信号を圧力発生源（例えば、圧電振動子）に印加してこれを駆動することにより、圧力室内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動を制御することでノズル開口からインク滴を吐出する。この記録ヘッドは、圧力発生源に供給する駆動信号の駆動電圧（最低電圧から最高電圧までの電位差）や、その波形に応じて、ノズル開口から吐出されるインク滴の液量（重量・体積）が増減するようになっている。そのため、記録ヘッドの製造時においては、目標となる液量（設計液量）が得られるように駆動信号の電圧値や波形が設定されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、この種のプリンタでは、インクカートリッジ内のインクの残量が少なくなった場合には、使用者がインクカートリッジの交換のタイミングを把握することができるように、インクカートリッジ内のインクの残量を使用者に報知する構成を採用している。例えば、記録ヘッドによるインク滴の吐出回数を計数し、この計数値に設計液量を乗ずることによりインク消費量を算出し、このインク消費量に基づいてインクカートリッジ内のインク残量を使用者に報知するものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。これにより、液体貯留部材内の液体の残量を検出するセンサ等を別途設ける必要がなく、簡単な構成で液体の残量を得ることができる。
【０００５】
【特許文献１】特開平１１−５８７２９号公報
【特許文献２】特開平５−８８５５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記のプリンタの中には、プリンタ本体側にインクパック内蔵型のインクカートリッジを配置すると共にこのインクカートリッジと記録ヘッドをインク供給チューブで接続し、インクカートリッジ内のインクを、記録ヘッドのノズル形成面との水頭差によって記録ヘッド側に供給するように構成されたものがある。具体的には、インクカートリッジと記録ヘッドの重力方向の相対的な位置関係を、ノズル開口に露出したインク表面（メニスカス）に対して極く僅かに負圧がかかるような状態に設定し、圧力発生源の駆動による圧力変化でインクの供給と吐出を行う。
【０００７】
しかしながら、上記構成のプリンタでは、インクが消費されるのに伴ってインクカートリッジのインクパックが縮むと、このインクパック側（インク供給側）の負圧が大きくなる。このインク供給側の負圧化が進行すると、記録ヘッドへのインクの供給量が不足し、これにより、記録ヘッドから吐出されるインク滴の液量が設計液量より減少する。吐出液量が設計液量から大幅に変わってしまうと、インク滴の飛翔速度や、形成されるドットの大きさ等が変化し、その結果、記録画像の画質に影響を及ぼす虞がある。このような問題を考慮して、従来では、インクの供給量の不足が生じる前にインクカートリッジの交換がなされるように、インクが残っているにも拘らずインクエンドと判定するようにしていた。この場合、その分のインクが無駄となってしまう。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体噴射ヘッドから吐出される液滴の液量を可及的に設計液量に合わせると共に、液体貯留部材の液体を無駄なく使用することが可能な液体噴射装置、及び、その制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の液体噴射装置は、上記目的を達成するために提案されたものであり、液体を貯留する液体貯留部材と、該液体貯留部材に貯留されている液体を圧力室に導入し、圧力発生源を駆動させることにより圧力室内に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドと、圧力発生源を駆動して液滴を吐出させるための吐出パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を有する液体噴射装置であって、
前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴が着弾可能な液滴受部を液体噴射ヘッドのノズル開口面に対して非接触状態で対向配置すると共にこれらのノズル開口面と液滴受部との間に電界を付与し、ノズル開口から液滴受部に向けて液滴を吐出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力する液滴検出部と、
前記液滴検出部から出力された検出信号の振幅を取得する振幅取得部と、
を備え、
前記駆動信号発生部は、前記振幅取得部によって取得された検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする。
なお、「基準振幅」とは、設計上の基準値（設計液量）に相当する液量の液滴を吐出したときに得られる検出信号の振幅を意味する。
【００１０】
この構成によれば、液滴検出部からの検出信号の振幅を取得し、取得した振幅の基準振幅に対する変化率に基づき吐出パルスの駆動電圧値を補正するので、液体噴射ヘッドから吐出される液滴の液量が変化した場合においても、駆動電圧値の補正後には、吐出される液滴の液量を設計液量に可及的に揃えることができる。これにより、規定量の液滴を吐出対象物における規定の位置に精度良く着弾させることができる。
【００１１】
上記構成において、前記液体貯留部材内の液体の消費量を算出する液体消費量算出部を有することが望ましい。
【００１２】
また、上記構成において、前記液体貯留部材を、液体噴射装置本体側に配置して、供給チューブを通じて前記液体噴射ヘッドと接続し、
前記液体貯留部材と液体噴射ヘッドのノズル開口面との水頭差によって液体貯留部材内の液体を液体噴射ヘッド側に供給する構成を採用することができる。
【００１３】
この構成によれば、液体が消費されるのに伴って液体貯留部材の負圧が大きくなることにより液体噴射ヘッドから吐出される液滴の液量が変化した場合においても、駆動電圧値の補正後には、吐出される液滴の液量を液体貯留部材の満タン時の吐出量に合わせることができるので好適である。
【００１４】
上記構成において、前記液体消費量算出部での計算上の液体消費量に基づく液体残量が規定量以下であって、且つ、検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率が電圧補正閾値以下となった場合に、前記吐出パルスの駆動電圧値を補正することが望ましい。
【００１５】
また、液体噴射ヘッドが、複数のノズル開口を列設してなるノズル列を有し、
前記液体消費量算出部は、ノズル列を構成する各ノズル開口に対応する検出信号の振幅の平均値についての基準振幅に対する変化率が前記電圧補正閾値以下となった場合に、前記吐出パルスの駆動電圧値を補正することが望ましい。
【００１６】
また、前記液体消費量算出部が、前記振幅取得部によって取得された検出信号の振幅がエンド判定閾値以下となった場合に、液体貯留部材内の液体が無くなったエンド状態と判定することが望ましい。
【００１７】
この構成によれば、液体貯留部材内の液体が実質的に無くなった状態をより精度良く検出することができる。このため、使用者が認識する液体貯留部材の交換のタイミングを、本来望ましい交換タイミングに揃えることができる。その結果、液体貯留部材内の液体を無駄なく使用することができる。
【００１８】
前記液体消費量算出部が、計算上の液体消費量に基づく液体残量が規定量以下であって、且つ、検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率が前記エンド判定閾値以下となった場合に、エンド状態と判定することが望ましい。
【００１９】
液体噴射ヘッドは、複数のノズル開口を列設してなるノズル列を有し、
前記液体消費量算出部は、ノズル列を構成する各ノズル開口に対応する検出信号の振幅の平均値についての基準振幅に対する変化率が前記エンド判定閾値以下となった場合に、エンド状態と判定することが望ましい。
【００２０】
また、本発明の液体噴射装置の制御方法は、液体を貯留する液体貯留部材と、該液体貯留部材に貯留されている液体を圧力室に導入し、圧力発生源を駆動させることにより圧力室内に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出可能な液体噴射ヘッドと、圧力発生源を駆動して液滴を吐出させるための吐出パルスを含む駆動信号を発生する駆動信号発生部と、を有する液体噴射装置の制御方法であって、
前記液体噴射ヘッドのノズル開口から吐出された液滴が着弾可能な液滴受部を液体噴射ヘッドのノズル開口面に対して非接触状態で対向配置し、
ノズル開口面と液滴受部との間に電界を付与し、
ノズル開口から液滴受部に向けて液滴を吐出したときの静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力し、
出力された検出信号の振幅を取得し、
取得された検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスの駆動電圧値を補正することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下においては、本発明の液体噴射装置として、図１に示すインクジェット式プリンタ（以下、プリンタと略記する）を例示する。
【００２２】
図１のプリンタ１は、サブタンク２及び記録ヘッド３（液体噴射ヘッドの一種）を搭載したキャリッジ４とプリンタ本体５とから概略構成され、プリンタ本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構６５（図５参照）と、記録紙（図示せず）を搬送する紙送り機構６６（図５参照）と、記録ヘッド３の増粘インクをノズル開口から吸引するクリーニング動作等に用いられるキャッピング機構と、記録ヘッド３に供給するインク（本発明における液体の一種）を貯留したインクカートリッジ６（液体貯留部材の一種）とが設けられている。また、プリンタ１は、記録ヘッド３から吐出されるインク滴を検出可能なインク滴センサ７（図４，５参照）を備えている。このインク滴センサ７（本発明における液滴検出部に相当）は、記録ヘッド３から吐出されるインク滴（液滴の一種）を帯電させ、この帯電したインク滴が飛翔する際の静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力するように構成されたものである。このインク滴センサ７の詳細については、後述する。
【００２３】
キャリッジ移動機構６５は、プリンタ本体５の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモータ９と、パルスモータ９の回転軸に接続されてこのパルスモータ９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、この駆動プーリー１０とはプリンタ本体５における反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に掛け渡され、キャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２とから構成されている。そして、パルスモータ９を駆動することで、キャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するように構成されている。また、紙送り機構は、紙送りモータや、この紙送りモータによって回転駆動される紙送りローラ（何れも図示せず）等から構成され、図示しない記録紙を記録動作に連動させてプラテン１３の上に順次送り出す。
【００２４】
キャッピング機構は、キャップ部材１４、図示しない吸引ポンプ等から構成されている。キャップ部材１４は、ゴム等の弾性材をトレー形状に成型した部材によって構成してあり、ホームポジションに配設されている。このホームポジションは、キャリッジ４の移動範囲内であって記録領域よりも外側の端部領域に設定され、電源オフ時や長時間に亘って記録が行われなかった場合にキャリッジ４が位置する。ホームポジションにキャリッジ４が位置すると、キャップ部材１４が記録ヘッド３のノズル基板４３（図３参照）の表面（即ち、ノズル開口面）に当接して封止する。この封止状態で吸引ポンプを作動させると、キャップ部材の内部（封止空部）が減圧されて、記録ヘッド３内のインクがノズル開口から排出される。また、このキャップ部材１４は、記録ヘッド３による記録動作中において、増粘したインクや気泡等を排出すべく強制的にインク滴を吐出させるフラッシング動作時に吐出インク滴を受ける。さらに、このキャップ部材１４は、後述するインク滴センサ７を用いた吐出検査時に、記録ヘッド３から吐出されたインク滴を受ける液滴受部としても機能する。
【００２５】
図２は、記録ヘッド３の構成を説明する断面図、図３は、記録ヘッド３の要部断面図である。本実施形態における記録ヘッド３は、導入針ユニット１７、ヘッドケース１８、流路ユニット１９、及び、アクチュエータユニット２０を主な構成要素としている。導入針ユニット１７の上面にはフィルタ２１を介在させた状態で２本のインク導入針２２（液体導入針）が横並びで取り付けられている。これらのインク導入針２２には、サブタンク２がそれぞれ装着される。また、導入針ユニット１７の内部には、各インク導入針２２に対応したインク導入路２３が形成されている。このインク導入路２３の上端はフィルタ２１を介してインク導入針２２に連通し、下端はパッキン２４を介してヘッドケース１８内部に形成されたケース流路２５と連通する。
なお、本実施形態は、２種類のインクを使用する構成であるため、サブタンク２を２つ配設しているが、本発明は３種類以上のインクを使用する構成にも当然に適用されるものである。
【００２６】
サブタンク２は、ポリプロピレン等の樹脂製材料によって成型されている。このサブタンク２には、インク室２７となる凹部が形成され、この凹部の開口面に透明な弾性シート２６を貼設してインク室２７が区画されている。また、サブタンク２の下部にはインク導入針２２が挿入される針接続部２８が下方に向けて突設されている。サブタンク２におけるインク室２７は、底の浅いすり鉢形状をしており、その側面における上下中央よりも少し下の位置には、針接続部２８との間を連通する接続流路２９の上流側開口が臨んでおり、この上流側開口にはインクを濾過するタンク部フィルタ３０が取り付けられている。針接続部２８の内部空間にはインク導入針２２が液密に嵌入されるシール部材３１が嵌め込まれている。このサブタンク２には、図４に示すように、インク室２７に連通する連通溝部３２′を有する延出部３２が形成されており、この延出部３２の上面にはインク流入口３３が突設されている。インク流入口３３には、インクカートリッジ６に貯留されたインクを供給するインク供給チューブ３４が接続される。従って、インク供給チューブ３４を通ってきたインクは、このインク流入口３３から連通溝部３２′を通ってインク室２７に流入する。上記の弾性シート２６は、インク室２７を収縮させる方向と膨張させる方向とに変形可能である。そして、この弾性シート２６の変形によるダンパー機能によって、インクの圧力変動が吸収される。すなわち、弾性シート２６の作用によってサブタンク２が圧力ダンパとして機能する。従って、インクは、サブタンク２内で圧力変動が吸収された状態で記録ヘッド３側に供給される。
【００２７】
ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、下端面に流路ユニット１９を接合し、内部に形成された収容空部３７内にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面にパッキン２４を介在した状態で導入針ユニット１７を取り付けるようになっている。このヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は、パッキン２４を介して導入針ユニット１７のインク導入路２３と連通するようになっている。また、ケース流路２５の下端は、流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入針２２から導入されたインクは、インク導入路２３及びケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給される。
【００２８】
ヘッドケース１８の収容空部３７内に収容されるアクチュエータユニット２０は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３８（圧力発生源の一種）と、この圧電振動子３８が接合される固定板３９と、プリンタ本体側からの駆動信号を圧電振動子３８に供給する配線部材としてのフレキシブルケーブル４０とから構成される。各圧電振動子３８は、固定端部側が固定板３９上に接合され、自由端部側が固定板３９の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子３８は、所謂片持ち梁の状態で固定板３９上に取り付けられている。また、各圧電振動子３８を支持する固定板３９は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。そして、アクチュエータユニット２０は、固定板３９の背面を、収容空部３７を区画するケース内壁面に接着することで収容空部３７内に収納・固定されている。
【００２９】
流路ユニット１９は、振動板（封止板）４１、流路基板４２、及びノズル基板４３からなる流路ユニット構成部材を積層した状態で接着剤で接合して一体化することにより作製されており、共通インク室４４（共通液体室）からインク供給口４５及び圧力室４６を通りノズル開口４７に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成する部材である。圧力室４６は、ノズル開口４７の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。また、共通インク室４４は、ケース流路２５と連通し、インク導入針２２側からのインクが導入される室である。そして、この共通インク室４４に導入されたインクは、インク供給口４５を通じて各圧力室４６に分配供給される。
【００３０】
流路ユニット１９の底部に配置されるノズル基板４３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル開口４７を列状に開設した金属製の薄い板材である。本実施形態のノズル基板４３は、ステンレス鋼の板材によって作製され、本実施形態においてはノズル開口４７の列（即ち、ノズル列）が、各サブタンク２に対応して合計２列並設されている。そして、１つのノズル列は、例えば、１８０個のノズル開口４７によって構成される。ノズル基板４３と振動板４１との間に配置される流路基板４２は、インク流路となる流路部、具体的には、共通インク室４４、インク供給口４５、及び、圧力室４６となる空部が区画形成された板状の部材である。本実施形態において、流路基板４２は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハーを異方性エッチング処理することによって作製されている。振動板４１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４１の圧力室４６に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３８の先端面が接合される島部４８が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板４１は、圧電振動子３８の作動に応じて島部４８の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。また、振動板４１は、流路基板４２の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部４９としても機能する。このコンプライアンス部４９に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。
【００３１】
そして、上記の記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４０を通じて駆動信号が圧電振動子３８に供給されると、この圧電振動子３８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４８が圧力室４６に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室４６の容積が変化し、圧力室４６内のインクに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル開口４７からインク滴が吐出される。
【００３２】
インクカートリッジ６は、図４に示すように、中空箱形状に形成されたケース部材５１と、可塑性材料によって形成されたインクパック５２とから構成されており、ケース部材５１内の収容室にインクパック５２を収容している。このインクカートリッジ６は、インク供給チューブ３４の一端部と連通しており、記録ヘッド３のノズル開口面との水頭差によってインクパック５２内のインクを記録ヘッド３側に供給するように構成されている。具体的には、インクカートリッジ６と記録ヘッド３との重量方向の相対的な位置関係がノズル開口４７のメニスカスに対して極く僅かに負圧がかかるような状態に設定されている。そして、圧電振動子３８を駆動することによる圧力変化によって、圧力室４６へのインクの供給と、この圧力室４６内のインクの吐出を行う。
【００３３】
図５は、プリンタ１の電気的な構成を示すブロック図である。本実施形態におけるプリンタ１は、プリンタコントローラ５５と、プリントエンジン５６と、インク滴センサ７とで概略構成されている。プリンタコントローラ５５は、ホストコンピュータ等の外部装置からの印刷データ等が入力される外部インタフェース（外部Ｉ／Ｆ）５７と、各種データ等を記憶するＲＡＭ５８と、各種制御のための制御プログラム等を記憶したＲＯＭ５９と、ＲＯＭ５９に記憶されている制御プログラムに従って各部の統括的な制御を行う制御部６０（本発明における制御手段に相当）と、クロック信号を発生する発振回路６１と、記録ヘッド３へ供給する駆動信号を発生する駆動信号発生回路６２（駆動信号発生部の一種）と、印刷データをドット毎に展開することで得られた吐出データや駆動信号等を記録ヘッド３に出力するための内部インタフェース（内部Ｉ／Ｆ）６３とを備えている。
【００３４】
プリントエンジン５６は、記録ヘッド３と、キャリッジ移動機構６５と、紙送り機構６６とから構成されている。記録ヘッド３は、吐出データがセットされるシフトレジスタ６７と、シフトレジスタ６７にセットされた吐出データをラッチするラッチ回路６８と、ラッチ回路６８からの吐出データを翻訳してパルス選択データを生成するデコーダ６９と、電圧増幅器として機能するレベルシフタ７０と、圧電振動子３８に対する駆動信号の供給を制御するスイッチ回路７１と、圧電振動子３８とを備えている。
【００３５】
上記制御部６０は、外部装置から送信された印刷データをドットパターンに対応した吐出データに展開して記録ヘッド３に送信する。記録ヘッド３では、受信した吐出データに基づき、インク滴の吐出が行われる。また、制御部６０は、本発明における液体消費量算出部の一種としても機能し、記録ヘッド３によるインク滴の吐出に応じて、インクカートリッジ６のインク消費量（液体消費量に相当）を算出する。具体的には、制御部６０は、吐出回数をカウントし、そのカウント値に吐出したインク滴の設計液量を乗ずることにより、インク消費量を算出するようになっている。例えば、小ドットのインク滴の設計液量が２ｎｇに設定されている場合、当該小ドットの吐出カウント値が１０００である場合には、この吐出カウント値に設計液量である２ｎｇを乗ずることで、インク消費量として２０００ｎｇが得られる。
【００３６】
そして、制御部６０は、インク消費量に基づきインクカートリッジ６内のインク残量（液体残量に相当）を算出し、算出したインク残量を、例えば、プリンタ１の筐体表面に設けられた液晶表示部に数値や模式的なグラフィック等として表示させる。制御部６０により算出されたインク残量の情報は、外部Ｉ／Ｆ５７を介してホストコンピュータ等の外部装置にも出力される。外部装置では、印刷用ドライバソフトの起動時等に、プリンタ１側からのインク残量情報に基づいて各インクカートリッジ６内のインク残量の表示が行われる。また、制御部６０は、インクカートリッジ６内のインクが計算上無くなった（インクエンドとなった）と判定した場合、別途、警告表示等を行う。
【００３７】
駆動信号発生回路６２は、記録ヘッド３の圧電振動子３８に供給する吐出パルスの電圧値の変化量を示すデータと吐出パルスの電圧を変化させるタイミングを規定するタイミング信号とが入力され、これらのデータ及びタイミング信号に基づいて例えば、図６に示すような吐出パルスＤＰを含む駆動信号を発生する。図６に例示した吐出パルスＤＰは、基準電位ＶＭから最高電位ＶＨまで比較的穏やかな勾配で電位を上昇させる第１充電要素ＰＥ１と、最高電位ＶＨを一定の時間維持する第１ホールド要素ＰＥ２と、最高電位ＶＨから最低電位ＶＬまで急峻な勾配で電位を降下させる放電要素ＰＥ３と、最低電位ＶＬを短い時間維持する第２ホールド要素ＰＥ４と、最低電位ＶＬから基準電位ＶＭまで電位を復帰させる第２充電要素ＰＥ５とにより構成されている。そして、この吐出パルスＤＰは、ノズル開口４７から吐出されるインク滴の液量が設計液量に一致するような駆動電圧ＶＤ（最高電位ＶＨと最低電位ＶＬとの電位差）に設定されている。なお、勿論、吐出パルスＤＰは、例示した波形のものには限られず、種々の波形のものを用いることができる。
【００３８】
上記吐出パルスＤＰを圧電振動子３８に印加すると、次のようにしてインク滴が吐出される。即ち、第１充電要素ＰＥ１が供給されると、圧電振動子３８が収縮して圧力室４６が膨張する。この圧力室４６の膨張状態が極く短い間維持された後、放電要素ＰＥ３が印加されて圧電振動子３８が急激に伸長する。これに伴って、圧力室４６の容積が基準容積（圧電振動子３８に基準電位ＶＥを印加したときの圧力室４６の容積）以下に収縮し、ノズル開口４７に露出したメニスカスが外側に向けて急激に加圧される。これにより、所定の液量のインク滴がノズル開口４７から吐出される。その後、第２ホールド要素ＰＥ４、及び、第２充電要素ＰＥ５が圧電振動子３８に順次供給され、インク滴の吐出に伴うメニスカスの振動を短時間で収束させるべく、圧力室４６が基準容積に復帰する。
【００３９】
ところで、上記構成のインクカートリッジ６では、インクが消費されるのに伴ってインクカートリッジ６のインクパック５２が縮むと、このインクパック５２の内圧が低下する。図７は、インクカートリッジ６のインク残量に対する圧力変化の関係を示すグラフである。同図に示すように、例えば、満タン時にインク量が１５ｇのインクカートリッジ６では、インク残量が５ｇとなるまでは圧力を−５００Ｐａで一定に維持しているのに対し、５ｇを下回ると急激に圧力が低下する。このようにインクカートリッジ６（インク供給側）の負圧化が進行すると、記録ヘッド３へのインクの供給量が不足し、これにより、記録ヘッド３から吐出されるインク滴の液量が、正常時（即ち、インクカートリッジ６の満タン時）の吐出量よりも減少する。
【００４０】
図８は、インクカートリッジ６の圧力変化とインク吐出量の変化率（満タン時の吐出量に対する変化率）との関係を示すグラフである。同図に示すように、圧力変化と吐出量変化率とはほぼ比例関係にあり、インクカートリッジ６の圧力が低下（負圧化）するほど、吐出されるインク滴の液量が低下していく。インク滴の液量が正常時の液量から大幅に変わると、即ち、吐出液量が設計液量からずれてしまうと、インク滴の飛翔速度や、記録紙上に形成されるドットの大きさ等が変化し、その結果、記録画像の画質に悪影響を及ぼす虞がある。このような問題を考慮して、従来では、インクの供給量の不足が生じる前にインクカートリッジの交換がなされるように、インクが残っているにも拘らずインクエンドと判定するようにしていた。この場合、その分のインクが無駄となってしまう。
【００４１】
このため、本発明に係るプリンタ１は、インク滴センサ７の検出信号の振幅とインク滴の吐出量との相関を利用して吐出インク滴の液量の変化を検出し、これに応じて吐出パルスＤＰの駆動電圧を補正し、また、インクカートリッジ６内のインクが無くなった状態のインクエンドを検出するように構成されている。以下、この点について説明する。
【００４２】
インク滴センサ７は、図４に示すように、ホームポジションに配置された液滴受部としてのキャップ部材１４と、このキャップ部材１４の内部に設けられた検査領域７４と、この検査領域７４と記録ヘッド３のノズル基板４３との間に電圧を印加する電圧印加回路７５と、検査領域７４の電圧を検出する電圧検出回路７６とから構成される。キャップ部材１４は、上面が開放されたトレイ状の部材であり、エラストマー等の弾性部材により作製されている。このキャップ部材１４の内部にはインク吸収体７７が配設されている。このインク吸収体７７は、上側吸収体７７ａと下側吸収体７７ｂとによって構成され、これらの吸収体７７ａ，７７ｂの間には、メッシュ状の電極部材７８が配設されている。上側吸収体７７ａは、電極部材７８と同電位となるように導電性を有するスポンジによって作製されている。このスポンジは、着弾したインク滴が速やかに下方に移動可能な透過性の高いものであり、本実施形態ではエステル系ウレタンスポンジが用いられている。検査領域７４は、上側吸収体７７ａの表面に相当する。下側吸収体７７ｂは、上側吸収体７７ａに比べてインクの保持力が高いものであり、フェルトなどの不織布によって作製されている。電極部材７８は、ステンレス鋼等の金属からなる格子状のメッシュとして形成されている。このため、上側吸収体７７ａに一旦吸収されたインクは格子状の電極部材７８の隙間を通って下側吸収体７７ｂに吸収・保持される。
【００４３】
電圧印加回路７５は、電極部材７８が正極、記録ヘッド３のノズル基板４３が負極となるように直流電源（例えば４００Ｖ）と抵抗素子（例えば１ＭΩ）とを介して両者を電気的に接続している。ここで、電極部材７８は、導電性を有する上側吸収体７７ａと接触しているため、上側吸収体７７ａの表面すなわち検査領域７４も電極部材７８と同電位となる。電圧検出回路７６は、電極部材７８の電圧信号を積分して出力する積分回路８０と、この積分回路８０から出力された信号を反転増幅して出力する反転増幅回路８１と、この反転増幅回路８１から出力された信号をＡ／Ｄ変換してプリンタコントローラ５５側へ出力するＡ／Ｄ変換回路８２とを備えている。積分回路８０は、１つのインク滴の飛翔・着弾による電圧変化が小さいことから、複数のインク滴の飛翔・着弾による電圧変化を積分することにより大きな電圧変化として出力するものである。反転増幅回路８１は、電圧変化の正負を反転させると共に所定の増幅率で積分回路から出力された信号を増幅して出力するものである。Ａ／Ｄ変換回路８２は、反転増幅回路８１から出力されたアナログ信号をディジタル信号に変換して検出信号としてプリンタコントローラ５５側に出力する。
【００４４】
以下、図９のフローチャートを参照して、インク滴センサ７を用いた一連の処理について説明する。なお、以下の処理は、液体消費量算出部としての制御部６０による計算上のインク残量が規定量（例えば、満タン時残量の３０％）以下となった場合において、キャップ部材１４に対するフラッシング動作毎に行われる。
【００４５】
まず、インク滴センサ７を利用して吐出検査工程（ステップＳ１）が行われる。この吐出検査工程では、記録ヘッド３がキャップ部材１４の上方に位置付けられると共に、キャップ部材１４は、記録ヘッド３から吐出されるインク滴が検査領域７４に着弾可能な位置まで図示しない昇降機構によって上昇して、検査領域７４を記録ヘッド３のノズル開口面に非接触状態で対向させる。そして、電圧印加回路７５によってノズル基板４３と電極部材７８との間に電圧を印加した状態で、上記の吐出パルスＤＰを用いて圧電振動子３８を駆動することによりノズル開口４７からインク滴が吐出される。この際、ノズル基板４３は負極となっているため、図１０（ａ）に示すように、ノズル基板４３の一部の負電荷がインク滴に移動し、吐出されたインク滴は負に帯電する。このインク滴がキャップ部材１４の検査領域７４に向けて近づくに連れ、静電誘導によって検査領域７４（上側吸収体７７ａの表面）では正電荷が増加する。これにより、ノズル基板４３と電極部材７８との間の電圧は、静電誘導によって生じる誘導電圧により、インク滴を吐出しない状態における当初の電圧値よりも高くなる。その後、図１０（ｂ）に示すように、インク滴が上側吸収体７７ａに着弾すると、インク滴の負電荷により上側吸収体７７ａの正電荷が中和される。この結果、ノズル基板４３と電極部材７８との間の電圧は当初の電圧値を下回る。その後、ノズル基板４３と電極部材７８との間の電圧は当初の電圧値に戻る。
【００４６】
図１１は、インク滴センサ７の電圧検出回路７６から出力される検出信号の波形の一例を示す図である。本実施形態では、１ショット分のインク滴による検出信号の振幅が極めて小さいことから、検査時における１つのノズル開口４７についてのインク滴の吐出数は、複数ショット、例えば２４ショットに設定されている。これにより、検出信号は、積分回路８０によって２４ショット分のインク滴による積分値となり、さらに反復増幅回路８１によって反転増幅されるため、検査に十分大きな出力波形となる。なお、電圧検出回路７６から出力される信号は、反転増幅回路８１を経由することから振幅の向きが逆転する。
【００４７】
インク滴センサ７から出力される検出信号の振幅は、記録ヘッド３のノズル開口４７から上側吸収体７７ａ（検査領域７４）までの距離に依存するほか、飛翔するインク滴の有無や数、その液量（吐出量）にも依存する。したがって、インクカートリッジ６の圧力低下に伴い吐出量が低下した場合の検出信号は、正常時、即ち、インクカートリッジ６の満タン時の検出信号（図１１において実線で示す波形）に比べて振幅が小さくなるため（図１１における破線や一点鎖線等で示す波形）、この検出信号の振幅に基づいて吐出量の変化を検出することができる。
【００４８】
このようにして、ノズル列を構成する各ノズル開口４７について吐出検査が順次行われ、インク滴センサ７からの検査結果としての検出信号は、プリンタコントローラ５５側に蓄積されていく。次に、振幅取得工程（ステップＳ２）において、プリンタコントローラ５５の制御部６０は、本発明における振幅取得部として機能し、受信した検出信号の振幅を取得する。具体的には、検出信号の極大値と極小値を検出し、これらの電位差（図１１におけてＡで示す電位差）を当該検出信号の振幅として取得する。また、制御部６０は、検査対象のノズル列における全ノズル開口４７について得られた検出信号の振幅の平均値を算出し、この平均値を当該ノズル列の検出信号の振幅とする。これは、ノズル列を構成するノズル開口全体の吐出量の変化を検査対象としているためである。このため、本実施形態では、一部ノズル開口４７の吐出不良（ドット抜け）の検出は対象としていない。
【００４９】
図１２は、振幅取得工程で取得した検出信号の振幅（センサ検出値（Ｖ））と、インク滴の吐出量（ｐｌ）との関係を示すグラフである。同図に示すように、検出信号の振幅と吐出量には、ほぼ比例関係が成立する。即ち、例えば、正常時（満タン時）の振幅に対し、検出信号の振幅が１０％低下した場合には、吐出量も１０％低下する。したがって、正常時の検出信号の振幅を基準振幅とし、今回取得した検出信号の振幅の基準振幅に対する変化率に基づけば、インク滴の吐出量（液量）が正常時の吐出量からどの程度変化したかが分かる。
【００５０】
振幅取得工程において検出信号の振幅を取得したならば、次に、制御部６０は、取得した振幅の基準振幅に対する変化率（振幅変化率Ｒａ）が、予め定められた電圧補正閾値Ｔｖ以下であるか否かを判定する（ステップＳ３）。本実施形態においては、電圧補正閾値Ｔｖは−１０％に設定されている。つまり、吐出量の変化率が正常時の吐出量に対して−１０％以下であるか否かが判定される。なお、この電圧補正閾値Ｔｖは、任意に設定することができる。
【００５１】
上記ステップＳ３において、振幅変化率Ｒａが電圧補正閾値Ｔｖ以下となっていないと判定された場合（Ｎｏ）、本実施形態においては、この時点での振幅変化率Ｒａ（吐出量の変化率）については許容し、処理を終了する。一方、ステップＳ３において、振幅変化率Ｒａが電圧補正閾値Ｔｖ以下であると判定された場合（Ｙｅｓ）、続いて、累積変化率Ｃｒに今回の振幅変化率Ｒａを加算する（ステップＳ４）。この累積変化率Ｃｒは、同一のインクカートリッジ６を使用している期間にどの程度累積的に検出信号の振幅（吐出量）が変化したかを認識するために設けられた変数であり、例えば、図示しない不揮発性記憶素子に記憶されている。
【００５２】
次に、振幅変化率Ｒａ又は累積変化率Ｃｒが、予め定められたエンド判定閾値Ｔｅ以下であるか否かを判定する（ステップＳ５）。本実施形態においては、エンド判定閾値として−３０％が設定されている。なお、累積変化率Ｃｒを判定対象としたのは、後述する駆動電圧値の補正によって吐出量が正常時の吐出量と合わせられた場合にも、インクエンドを判定することができるようにするためである。なお、このエンド判定閾値Ｔｅについても、電圧補正閾値Ｔｖと同様に任意の値に設定することができる。ステップＳ５において、振幅変化率Ｒａ又は累積変化率Ｃｒがエンド判定閾値Ｔｅ以下となっていないと判定された場合（Ｎｏ）、ステップＳ６に進み、吐出パルスＤＰの駆動電圧値の補正が行われる。
【００５３】
ステップＳ６では、吐出パルスＤＰの駆動電圧値ＶＤを振幅変化率Ｒａに基づいて補正する。ここで、図１３は、吐出パルスＤＰの駆動電圧値（ヘッド駆動電圧（Ｖ））とインク滴の吐出量（ｐｌ）との関係を示すグラフである。同図に示すように、駆動電圧値と吐出量とはほぼ比例関係にあり、例えば、９ｐｌの吐出量を１０ｐｌに増加させるには、駆動電圧値を約１Ｖ上昇させれば良いことが分かる。換言すると、正常時の吐出量１０ｐｌに対して、吐出量が−１０％低下した場合には駆動電圧値を１Ｖ上昇させ、吐出量が−２０％低下した場合には駆動電圧値を２Ｖ上昇させれば良い。したがって、本実施形態においては、図１４に示すグラフのように駆動電圧値の補正量を定めている。即ち、−５．０％の振幅変化率Ｒａにつき、吐出パルスＤＰの駆動電圧値を０．５Ｖ上昇させる。例えば、振幅変化率Ｒａが−１０％の場合、吐出パルスＤＰの駆動電圧値を１Ｖ上昇させる。これにより、この吐出パルスＤＰを用いて吐出されるインク滴の液量を、インクカートリッジ６の満タン時の吐出量に合わせることができる。即ち、吐出量を可及的に設計液量に揃えることができる。ステップＳ６において吐出パルスＤＰの駆動電圧値ＶＤを補正したならば、本処理を終了する。
【００５４】
一方、ステップＳ５において、振幅変化率Ｒａ又は累積変化率Ｃｒがエンド判定閾値Ｔｅ以下となったと判定された場合（Ｙｅｓ）、ステップＳ７において、液体消費量算出部としての制御部６０は、インクカートリッジ６内のインクが実質的に無くなったエンド状態（インクエンド）であると判定する。本実施形態において、インクエンドの判定条件としてエンド判定閾値Ｔｅを−３０％としたのは、図８に示すように、振幅変化率Ｒａ、即ち、インク滴の吐出量の変化率が−３０％の場合は、インクカートリッジ６の圧力は−３０００Ｐａとなっており、この圧力となっているときは、図７に示すように、インクカートリッジ６のインク残量はほぼ０の状態となっているからである。このように、振幅変化率Ｒａ又は累積変化率Ｃｒがエンド判定閾値Ｔｅ以下となった場合に、インクエンドと判定することにより、インクカートリッジ６内のインクが実質的に無くなった状態をより精度良く検出することができる。
【００５５】
インクエンドが検出されると、制御部６０は、例えば、プリンタ１の外表面に設けられた液晶表示部等に、インクカートリッジ６内のインクが無くなった旨を表示して使用者に対して警告を行う。これにより、使用者がインクカートリッジ６の交換タイミングを容易に把握することができる。
【００５６】
以上のように、上記プリンタ１では、インク滴センサ７から検出信号の振幅を取得し、取得した振幅の基準振幅に対する変化率に基づき、吐出パルスＤＰの駆動電圧値ＶＤを補正するので、インクが消費されるのに伴ってインクカートリッジ６の負圧が大きくなることにより記録ヘッド３から吐出されるインク滴の液量が変化した場合においても、駆動電圧値の補正後には、インク滴の液量をインクカートリッジ６の満タン時の吐出量に合わせることができる。即ち、吐出量を可及的に設計液量に揃えることができる。これにより、規定量のインク滴を規定の位置に精度良く着弾させることができ、その結果、記録画像の画質の低下を防止することが可能となる。
【００５７】
また、振幅変化率Ｒａ（累積変化率Ｃｒ）がエンド判定閾値Ｔｅ以下となった場合に、インクエンドと判定することにより、インクカートリッジ６内のインクが実質的に無くなった状態をより精度良く検出することができる。このため、使用者が認識するインクカートリッジの交換のタイミングを、本来望ましい交換タイミングに揃えることができる。その結果、インクカートリッジ内のインクを無駄なく使用することができる。
【００５８】
なお、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
例えば、上記実施形態では、振幅変化率Ｒａが電圧補正閾値Ｔｖ以下となったことを条件として吐出パルスＤＰの駆動電圧値を補正する構成を例示したが、これには限られない。例えば、吐出検査を行う毎に、振幅変化率Ｒａに基づいて駆動電圧値を補正する構成を採用することも可能である。
【００５９】
また、上記実施形態では、本発明における液滴受部として、キャッピング機構のキャップ部材１４を用いる構成を例示したが、これには限らず、吐出検査専用に独立した液滴受部を設けるようにしても良い。
さらに、上記実施形態では、電極部材７８が正極、記録ヘッド３のノズル基板４３が負極となるように両者を電気的に接続した例を示したが、両者の正負を逆転させる構成とすることも可能である。
【００６０】
また、上記実施形態では、本発明における圧力発生源として所謂縦振動モードの圧電振動子３８を例示したが、これに限定されるものではない。例えば、電界方向（圧電体と内部電極との積層方向）に振動可能な圧電振動子であってもよい。また、ノズル列毎にユニット化されているものに限らず、所謂撓み振動モードの圧電振動子のように、圧力室４６毎に設けられるものであってもよい。さらに、圧電振動子に限らず、発熱素子等の他の圧力発生素子を用いることもできる。
【００６１】
また、本発明は、上記プリンタ以外の液体噴射装置にも適用できる。例えば、ディスプレー製造装置、電極製造装置、チップ製造装置等にも本発明を適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】プリンタの構成を説明する斜視図である。
【図２】記録ヘッドの構成を説明する断面図である。
【図３】記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。
【図４】記録ヘッド、インクカートリッジ、インク滴センサの構成を説明する模式図である。
【図５】プリンタの電気的構成を説明するブロック図である。
【図６】吐出パルスの構成を説明する図である。
【図７】インク残量に対するインクカートリッジの圧力変化の関係を示すグラフである。
【図８】インクカートリッジの圧力変化とインク吐出量の変化率との関係を示すグラフである。
【図９】プリンタにおける一連の処理について説明するフローチャートである。
【図１０】静電誘導によって誘導電圧が生じる原理を説明する模式図であり、（ａ）はインク滴が吐出された直後の状態を示す図、（ｂ）はインク滴がキャップ部材の検査領域に着弾した状態を示す図である。
【図１１】インク滴センサから出力される検出信号の波形の一例を示す図である。
【図１２】振幅取得工程で取得した検出信号の振幅と、インク滴の吐出量との関係を示すグラフである。
【図１３】吐出パルスの駆動電圧値とインク滴の吐出量との関係を示すグラフである。
【図１４】検出信号の振幅と駆動電圧値の補正量の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６３】
１…プリンタ，３…記録ヘッド，６…インクカートリッジ，７…インク滴センサ，３８…圧電振動子，４３…ノズル基板，４７…ノズル開口，６０…制御部，６２…駆動信号発生回路，７４…検査領域，７５…電圧印加回路，７６…電圧検出回路，７７…インク吸収体，７８…電極部材，８０…積分回路，８１…反転増幅回路，８２…Ａ／Ｄ変換回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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