(57)【要約】【課題】  外部から受ける入力電位に基づいて行なう処理に影響を与えることなく静電耐圧を向上させる半導体装置、そのような半導体装置を複数備えるモジュール、およびそのようなモジュールを備える電子機器を提供する。【解決手段】  スイッチＳＷ２に含まれるＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすることにより端子Ｔ２の電位と接地電位（あるいは電源電位）との間の耐圧が向上する。これにより端子Ｔ２にサージが印加された場合にもスイッチＳＷ１等が保護される。また、スイッチＳＷ２に含まれるＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすることにより、スイッチＳＷ１のサイズを大きくしなくてもよいので、スイッチＳＷ１が導通状態から非導通状態に変化したときのノードＮ３での電位の変動を抑えることができる。【選択図】        図３
2007035726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力電位を受ける入力端子と、
第１の信号を受けてシフトさせ、前記入力電位を基準とする第２の信号を出力する変換回路とを備え、
前記変換回路は、
前記第１の信号が入力される第１のノードと前記第２の信号を出力する第２のノードとの間に接続されるコンデンサと、
前記第２のノードと中間ノードとの間に設けられる第１のスイッチと、
前記中間ノードと前記入力端子との間に設けられ、前記第１のスイッチとともに導通する第２のスイッチとを含む、半導体装置。
【請求項２】
前記変換回路は、前記第２の信号の基準を前記入力電位に固定する、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項３】
入射した光を電気信号に変換し、前記第１の信号を出力する光電変換部をさらに備える、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項４】
前記第１のスイッチは、
前記他端部と前記中間ノードとの間に接続される第１のＭＯＳトランジスタを有し、
前記第２のスイッチは、
前記入力端子と前記中間ノードとの間に接続され、バックゲートに定電位が与えられる第２のＭＯＳトランジスタを有し、
前記第２のＭＯＳトランジスタのゲート幅は、前記第１のＭＯＳトランジスタのゲート幅よりも大きい、請求項１に記載の半導体装置。
【請求項５】
前記半導体装置は、
前記第１および第２のＭＯＳトランジスタを制御する制御回路をさらに備え、
前記制御回路は、前記第１のＭＯＳトランジスタを非導通状態に切換えた後に前記第２のＭＯＳトランジスタを非導通状態に切換える、請求項４に記載の半導体装置。
【請求項６】
前記制御回路は、前記第２のＭＯＳトランジスタを導通状態に設定した後に前記第１のＭＯＳトランジスタを導通状態に設定する、請求項５に記載の半導体装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の半導体装置を複数備える、モジュール。
【請求項８】
請求項７に記載のモジュールを備える、電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置、半導体装置を複数備えるモジュール、およびそのようなモジュールを備える電子機器に関する。より特定的には、本発明は原稿読み取りや画像入力等に用いられるイメージセンサＩＣ（Integrated Circuit）、複数のイメージセンサＩＣを備えるイメージセンサ装置、およびこのイメージセンサ装置を備える電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、イメージセンサＩＣを線上に複数個配置して原稿に記載された文字や画像などの情報を直接読み取るイメージセンサ装置がファクシミリやコピー機、スキャナ等の電子機器（以下、「画像入力機器」と称する）に広く用いられる。
【０００３】
図９は、イメージセンサＩＣの基本的な構成を示す概略図である。図９を参照して、イメージセンサＩＣ１１１は受けた光を電気信号に変換する光電変換部１１２と、クランプ回路１１４とを備える。電位ＶＲＥＦは定電位であり、端子Ｔ１０２を介して外部から入力される。
【０００４】
光電変換部１１２では、複数個の画素（図示せず）が直線上に配列される。各画素は受けた光の強度に応じて電気信号を生成する。各画素からの電気信号は光電変換部１１２の内部の増幅回路（図示せず）で増幅される。光電変換部１１２から出力される信号にはこの増幅回路の出力オフセット電圧が重畳されることにより、信号の基準となる電位が電位ＶＲＥＦからずれる。オフセット電圧はたとえば数１０〜数１００ｍＶ程度になる。
【０００５】
クランプ回路１１４はノードＮＡの電位を電位ＶＲＥＦに設定するためのスイッチＳＷ１０１と、光電変換部１１２の出力端子とノードＮＡとの間に接続されるコンデンサＣ１００とを含む。スイッチＳＷ１０１は、たとえばＮチャネルＭＯＳトランジスタやトランスミッションゲート等により構成される。
【０００６】
クランプ回路１１４では、まずスイッチＳＷ１０１が導通することにより、ノードＮＡの電位が電位ＶＲＥＦになる。次にスイッチＳＷ１０１が非導通状態になり、その後にコンデンサＣ１００を介して光電変換部１１２から信号が送られる。光電変換部１１２から送られる信号に応じ、ノードＮＡにおける電位は電位ＶＲＥＦを基準に変化する。このように、コンデンサＣ１００は光電変換部１１２から出力される信号の直流成分を遮断する役割を果たす。
【０００７】
複数個のイメージセンサＩＣの各々から出力される信号の基準電位レベルが揃っていないと、制御部（図示せず）で設定する信号のダイナミックレンジが小さくなってしまう。この場合、元の画像の階調を再現できなくなり、再現後の画像の解像度が低下するという問題が生じる。各ＩＣに含まれるクランプ回路が信号の基準電位を電位ＶＲＥＦに固定することによって、このような問題を解決できる。
【０００８】
なお、クランプ回路１１４と端子Ｔ１０１との間には差動増幅回路Ａ１０２が設けられる。差動増幅回路Ａ１０２の非反転入力端子がノードＮＡに接続され、反転入力端子および出力端子が端子Ｔ１０１に接続されることで差動増幅回路Ａ１０２はインピーダンス変換を行なう。また、ダイオードＤ１０１，Ｄ１０２は出力保護回路として機能し、ダイオードＤ１０３，Ｄ１０４は入力保護回路として機能する。
【０００９】
従来、イメージセンサＩＣ１１１を改良した様々なイメージセンサＩＣが提案されている。たとえば特開２００２−１０１２６４号公報（特許文献１）では、基準電位入力端子と信号出力端子との間に抵抗を設けることによって、クランプ容量の両端の電位差変動を抑えるイメージセンサＩＣ（イメージセンサチップ）が開示される。
【００１０】
図１０は、特開２００２−１０１２６４号公報（特許文献１）に開示されるイメージセンサＩＣの構成を概略的に示す図である。図１０を参照して、イメージセンサＩＣ１１１Ａは端子Ｔ１０２とクランプ回路１１４との間に接続される抵抗Ｒ１００をさらに備える点で図９に示すイメージセンサＩＣ１１１と異なるが、他の部分の構成は同様であるので以後の説明は繰り返さない。
【００１１】
イメージセンサＩＣ１１１ＡではコンデンサＣ１００と抵抗Ｒ１００とによってハイパスフィルタが構成される。仮に光電変換部１１２とクランプ回路１１４との間にランダムノイズが生じたとしても、このハイパスフィルタがノイズを除去することにより、コンデンサＣ１００の両端の電位差変動が抑えられる。よって、イメージセンサＩＣごとにクランプレベルの変動を抑えることができ、高品質な画像信号を得ることが可能になる。
【特許文献１】特開２００２−１０１２６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
多くの画像入力機器においてイメージセンサ装置は可動であり、固定された回路基板とフレキシブルケーブルにより接続される。フレキシブルケーブルはアンテナ作用を有し、仮に画像入力機器の内部でノイズが生じると、そのノイズを受信する可能性がある。
【００１３】
半導体装置において端子に接続される回路は、端子を介して外部と直接接続されるため、ノイズの影響を受けやすい。ノイズの中でもトランジスタを破壊するレベルのものは、サージと呼ばれる。このサージにより、ＭＯＳトランジスタのゲート絶縁膜の破壊などが生じる。したがって、ＭＯＳトランジスタにはサージに対する必要な程度の耐圧（静電耐圧）が要求される。
【００１４】
画像入力機器の動作が高速化されるにつれ、画像入力機器内部の電子部品からノイズが生じる可能性が高くなり、フレキシブルケーブルがノイズを受信する可能性が高くなっている。イメージセンサＩＣ１１１の場合、端子Ｔ１０１，Ｔ１０２はこのフレキシブルケーブルに接続される。各端子にサージ保護のためのダイオードＤ１０１〜Ｄ１０４が設けられていても、端子に接続される金属配線を介し、内部回路にサージの影響が及ぶ可能性がある。
【００１５】
特に入力端子である端子Ｔ１０２から入力されるサージの影響が大きいので、イメージセンサＩＣ１１１ではスイッチＳＷ１０１をサージから保護する必要がある。スイッチＳＷ１０１のサイズを大きくすることによりスイッチＳＷ１０１の静電耐圧を高くできる。具体的にはスイッチＳＷ１０１を構成するＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすればよい。
【００１６】
しかしながらスイッチＳＷ１０１のサイズが大きくなると、スイッチＳＷ１０１に入力される制御電位に応じて出力側（ノードＮＡ側）の電位が変化する。ノードＮＡの電位の変動幅を以後「フィードスルー」（feed through）と称する。以下、スイッチＳＷ１０１のサイズとフィードスルーとの関係について説明する。
【００１７】
図１１は、図９に示すスイッチＳＷ１０１の構成を示す図である。図１１を参照して、スイッチＳＷ１０１はＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１およびＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２を含む。ノードＮＡにはＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１の一方端と、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２の一方端とが共通に接続される。端子Ｔ１０２にはＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１の他方端と、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２の他方端とが共通に接続される。
【００１８】
スイッチＳＷ１０１の導通時、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１のゲート電位は、たとえば３．３Ｖに設定され、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２のゲート電位は０Ｖに設定される。一方、スイッチＳＷ１０１の非導通時には、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１のゲート電位は０Ｖに設定され、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２のゲート電位は３．３Ｖに設定される。
【００１９】
ＮチャネルＭＯＳトランジスタ１２１のノードＮＡ側の一方端（ドレインまたはソース）とゲートとの間には寄生容量Ｃ１０１が存在する。また、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ１２２のノードＮＡ側の一方端とゲートとの間には寄生容量Ｃ１０２が存在する。寄生容量Ｃ１０１，Ｃ１０２はＭＯＳトランジスタのゲート電極と、ゲート酸化膜を介したゲート電極の下まで拡散するドレイン領域（またはソース領域）との間に生じる容量であり、一般的に「オーバラップ容量」と称される。
【００２０】
オーバラップ容量はＭＯＳトランジスタのゲート幅が大きいほど大きくなる。寄生容量Ｃ１０１，Ｃ１０２が大きいほど、スイッチＳＷ１０１が導通状態から非導通状態に切り換った際にノードＮＡの電位が電位ＶＲＥＦから変化しやすくなる。つまりフィードスルーが大きくなる。なお、ノードＮＡの電位がどちらの方向に変動するかは寄生容量Ｃ１０１，Ｃ１０２に依存する。
【００２１】
以上のようにイメージセンサＩＣ１１１では静電耐圧を上げるためにスイッチＳＷ１０１のサイズを大きくすると、フィードスルーが大きくなる。
【００２２】
図１０のイメージセンサＩＣ１１１Ａの場合、抵抗Ｒ１００の抵抗値をある程度大きな値（たとえば数ｋΩ程度）に設定することで静電耐圧を高くできる。この場合、スイッチＳＷ１０１のサイズを大きくしなくてもよいのでフィードスルーの発生を抑えることができる。
【００２３】
しかしスイッチＳＷ１０１が導通すると、ノードＮＡの電位は（抵抗Ｒ１００の抵抗値とスイッチＳＷ１０１の抵抗値との和）×（コンデンサＣ１００の容量値）により定まる時定数に従って変化する。抵抗Ｒ１００の抵抗値が大きい程、ノードＮＡの電位が電位ＶＲＥＦに達するまでの時間が長くかかる。よって光電変換部１１２から信号を出力するタイミングを遅らせなければならない。
【００２４】
以上のようにイメージセンサＩＣ１１１Ａでは、静電耐圧を高くするほど動作速度が低下する可能性がある。
【００２５】
このように、外部から受ける入力電位に基づいて処理を行なう従来の半導体装置の場合、動作に影響が生じることなく静電耐圧を向上させることが難しい。
【００２６】
本発明の目的は、外部から受ける入力電位に基づいて行なう処理に影響を与えることなく静電耐圧を向上させる半導体装置、そのような半導体装置を複数備えるモジュール、およびそのようなモジュールを備える電子機器を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明は要約すれば、半導体装置であって、入力電位を受ける入力端子と、第１の信号を受けてシフトさせ、入力電位を基準とする第２の信号を出力する変換回路とを備える。変換回路は、第１の信号が入力される第１のノードと第２の信号を出力する第２のノードとの間に接続されるコンデンサと、第２のノードと中間ノードとの間に設けられる第１のスイッチと、中間ノードと入力端子との間に設けられ、第１のスイッチとともに導通する第２のスイッチとを含む。
【００２８】
好ましくは、変換回路は、第２の信号の基準を入力電位に固定する。
好ましくは、半導体装置は、入射した光を電気信号に変換し、第１の信号を出力する光電変換部をさらに備える。
【００２９】
好ましくは、第１のスイッチは、他端部と中間ノードとの間に接続される第１のＭＯＳトランジスタを有し、第２のスイッチは、入力端子と中間ノードとの間に接続され、バックゲートに定電位が与えられる第２のＭＯＳトランジスタを有し、第２のＭＯＳトランジスタのゲート幅は、第１のＭＯＳトランジスタのゲート幅よりも大きい。
【００３０】
より好ましくは、半導体装置は、第１および第２のＭＯＳトランジスタを制御する制御回路をさらに備える。制御回路は、第１のＭＯＳトランジスタを非導通状態に切換えた後に第２のＭＯＳトランジスタを非導通状態に切換える。
【００３１】
さらに好ましくは、制御回路は、第２のＭＯＳトランジスタを導通状態に設定した後に第１のＭＯＳトランジスタを導通状態に設定する。
【００３２】
さらに好ましくは、モジュールは上述のいずれかの半導体装置を複数備える。
さらに好ましくは、電子機器は、上述のモジュールを備える。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の半導体装置によれば、信号の基準が外部から入力される入力電位になるように信号をシフトさせる変換回路と、その入力電位が与えられる入力端子との間に接続されるスイッチを備えることにより、変換回路の動作に影響を与えることなく静電耐圧を向上することができる。
【００３４】
また、本発明のモジュールおよび電子機器によれば、上述の半導体装置を複数備えることにより、安定した動作を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
【００３６】
図１は、本発明の電子機器の一例を示す図である。図１を参照して、本発明の電子機器の一例としてスキャナ１００が示される。スキャナ１００はイメージセンサヘッド１と、イメージセンサヘッド１に接続されるフレキシブルケーブル２と、フレキシブルケーブル２を介してイメージセンサヘッド１に接続される制御部３と、文字や画像などの情報が描かれた原稿を置くガラス４とを備える。
【００３７】
イメージセンサヘッド１は本発明のモジュールに相当する。イメージセンサヘッド１は可動であり、ガラス４を介して原稿から文字や画像を読み取り、制御部３に画像信号を送る。制御部３は画像信号に応じて画像を再現する。
【００３８】
スキャナ１００はフラットベッドタイプのスキャナであるが、シートフィードスキャナであってもよい。シートフィードスキャナとはイメージセンサヘッドを固定し、一定速度で回転するローラーで原稿を送りながら、原稿上のイメージを読み取るスキャナである。また、本発明の電子機器は、スキャナに限定されず、たとえばファクシミリやコピー機等であってもよい。
【００３９】
図２は、図１のイメージセンサヘッド１の構成例を示す図である。図２を参照して、イメージセンサヘッド１は１次元に配置されたｍ個（ｍは自然数）のイメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍを含む。イメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍの各々は本発明の半導体装置に相当する。イメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍは回路基板１１に設けられた配線（図示せず）を介してフレキシブルケーブル２に接続され、電源電位や基準電位等が与えられる。
【００４０】
フレキシブルケーブル２を介してイメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍに基準電位等を与える理由は以下のとおりである。まず、ノイズの影響を防ぐために回路基板１１に電源回路や基準電位発生回路等を設けた場合には、回路基板１１が大きくなるとともに重くなる。よって、回路基板１１を動かそうとすれば消費電力が大きくなる。
【００４１】
また、別の理由として、イメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍの各々に基準電位発生回路を内蔵させた場合には、特性のばらつきに起因して各ＩＣから出力される信号の基準レベルが異なることが考えられるためである。
【００４２】
イメージセンサＩＣ１０１〜１０ｍは基準電位（入力電位）を受ける端子に印加されるサージから内部回路を保護する構成を有するため、フレキシブルケーブル２によるノイズの影響を受けにくくなる。よって、イメージセンサヘッド１およびスキャナ１００の動作を安定させることができる。
【００４３】
図３は、図２のイメージセンサＩＣ１０１の構成例を示す図である。図３を参照して、イメージセンサＩＣ１０１は、光電変換部１２、クランプ回路１４、および端子Ｔ１、Ｔ２を備える。
【００４４】
光電変換部１２は入射した光を電気信号に変換し、信号Ｓ１を出力する。光電変換部１２は、ｎ個（ｎは自然数）の画素Ｐ１〜Ｐｎ、および、画素Ｐ１〜Ｐｎのそれぞれに対して設けられるスイッチＲＤＳＷ１〜ＲＤＳＷｎを含む。スイッチＲＤＳＷ１〜ＲＤＳＷｎを順次動作させることにより、画素Ｐ１〜Ｐｎから電気信号が順次出力される。
【００４５】
光電変換部１２は、さらに、スイッチＳＷ０、差動増幅回路Ａ１、および抵抗Ｒ１，Ｒ２を含む。スイッチＳＷ０はノードＮ１と端子Ｔ２との間に接続される。端子Ｔ２は電位ＶＲＥＦ（入力電位）を受ける。なお電位ＶＲＥＦは一定の電位である。
【００４６】
差動増幅回路Ａ１の非反転入力端子はノードＮ１に接続され、反転入力端子は抵抗Ｒ１の一方端に接続される。抵抗Ｒ１の他方端はノードＮ２に接続される。抵抗Ｒ２は差動増幅回路Ａ１の反転入力端子と端子Ｔ２との間に接続される。
【００４７】
画素から信号が出力される前にスイッチＳＷ０が導通し、ノードＮ１の電位は電位ＶＲＥＦに設定される。差動増幅回路Ａ１は画素から出力される信号を増幅し、ノードＮ２に信号Ｓ１を出力する。ただし、差動増幅回路Ａ１から出力オフセット電圧が発生するので信号Ｓ１の基準電位は電位ＶＲＥＦからずれている。
【００４８】
クランプ回路１４は本発明における「変換回路」に相当する。クランプ回路１４は信号Ｓ１をシフトさせ、電位ＶＲＥＦを基準とする信号Ｓ２を出力する。なお、クランプ回路１４は信号Ｓ２の基準を電位ＶＲＥＦに固定する。
【００４９】
クランプ回路１４は、コンデンサＣ１およびスイッチＳＷ１，ＳＷ２を含む。コンデンサＣ１はノードＮ２に一方端が接続され、信号Ｓ２を出力するノードＮ３に他方端が接続される。スイッチＳＷ１はノードＮ３とノードＮ４（中間ノード）との間に接続される。スイッチＳＷ２はノードＮ４と端子Ｔ２との間に接続される。
【００５０】
スイッチＳＷ１，ＳＷ２の各々は、たとえばトランスミッションゲートにより構成される。なお、スイッチＳＷ１，ＳＷ２の各々は、ＮチャネルＭＯＳトランジスタやＰチャネルＭＯＳトランジスタにより構成されてもよい。あるいはスイッチＳＷ１，ＳＷ２の各々は、バイポーラトランジスタにより構成されてもよい。
【００５１】
スイッチＳＷ２に含まれるＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすることにより端子Ｔ２の電位と接地電位（あるいは電源電位）との間の耐圧が向上する。これにより端子Ｔ２にサージが印加された場合にもスイッチＳＷ１等が保護される。また、スイッチＳＷ２に含まれるＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすることにより、スイッチＳＷ１のサイズを大きくしなくてもよいので、スイッチＳＷ１が導通状態から非導通状態に変化したときのノードＮ３での電位の変動を抑えることができる。
【００５２】
さらに、コンデンサＣ１の容量値およびスイッチＳＷ１，ＳＷ２の抵抗値により定まる時定数が小さくなり、信号Ｓ１の出力を開始するタイミングを遅らせなくてもよくなるので、高速動作への対応が可能になる。
【００５３】
なお、スイッチＳＷ２の導通時の抵抗、すなわちＭＯＳトランジスタのオン抵抗は通常のサージ保護抵抗の抵抗値（数ｋΩ）よりも低く設定される（たとえば数Ω程度）。
【００５４】
イメージセンサＩＣ１０１は、さらに、スイッチＳＷ０〜ＳＷ２，ＲＤＳＷ１〜ＲＤＳＷｎを制御するスイッチ制御回路１５を備える。スイッチ制御回路１５は外部から入力されるクロック信号ＣＬＫに応じ各スイッチの導通および非導通のタイミングを制御する。
【００５５】
スイッチＳＷ２はスイッチＳＷ１とともに導通する。スイッチＳＷ１，ＳＷ２がともに導通するとノードＮ３の電位は電位ＶＲＥＦに変化する。次にスイッチＳＷ１，ＳＷ２がともに非導通状態になりノードＮ３の電位が電位ＶＲＥＦに保たれた状態で差動増幅回路Ａ１から信号Ｓ１が送られる。
【００５６】
コンデンサＣ１は出力される信号の直流成分を遮断する役割を果たす。よって信号Ｓ１に応じ、信号Ｓ２の電位は電位ＶＲＥＦを基準として変化する。
【００５７】
イメージセンサＩＣ１０１は、さらに、インピーダンス変換回路として機能する差動増幅回路Ａ２を備える。差動増幅回路Ａ２の非反転入力端子は信号Ｓ２を受け、反転入力端子および出力端子が端子Ｔ１に接続される。端子Ｔ１から外部に信号ＳＯＵＴが出力される。
【００５８】
イメージセンサＩＣ１０１は、さらに、保護素子として機能するダイオードＤ１〜Ｄ４を備える。ダイオードＤ１はノードＮ０（電源ノード）と端子Ｔ１との間に接続される。ダイオードＤ２は端子Ｔ１と接地ノードとの間に接続される。ダイオードＤ３はノードＮ０と端子Ｔ２との間に接続される。ダイオードＤ４は端子Ｔ２と接地ノードとの間に接続される。
【００５９】
なお、イメージセンサＩＣ１０２〜１０ｍの各々の構成はイメージセンサＩＣ１０１の構成と同様であるので以後の説明は繰り返さない。
【００６０】
図４は、図３のスイッチＳＷ１の構成例を示す図である。図４を参照して、スイッチＳＷ１はＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１とＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２とインバータ２３とを含む。ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１およびＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２はノードＮ３とノードＮ４との間に並列に接続される。ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１のゲートはノードＮ１１に接続され、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２のゲートはノードＮ１２に接続される。インバータ２３はノードＮ１１に入力端子が接続され、ノードＮ１２に出力端子が接続される。
【００６１】
スイッチＳＷ１は、さらに、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４とＰチャネルＭＯＳトランジスタ２５とを含む。ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１とＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２との各々のゲート幅を小さくすることでフィードスルーの発生を抑えることができるが、さらにフィードスルーを抑えるため、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４とＰチャネルＭＯＳトランジスタ２５とが補助的に設けられる。
【００６２】
ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４の一方端はノードＮ３に接続され、他方端は開放され、ゲートはノードＮ１２に接続される。ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４のサイズはＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１と同じである。
【００６３】
ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２５の一方端はノードＮ３に接続され、他方端は開放され、ゲートはノードＮ１１に接続される。ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２５のサイズはＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２と同じである。
【００６４】
以下、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１，２４を例にフィードスルーを抑える作用について説明するが、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２，２５についても同様の作用が生じる。
【００６５】
ノードＮ１１の電位がたとえば３．３Ｖから０Ｖに変化すると、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１の寄生容量（ノードＮ１１とノードＮ３との間の容量）はノードＮ３の電位を電位ＶＲＥＦよりも低下させようとする。しかし、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４のゲートの電位が０Ｖから３．３Ｖに変化するので、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２４の寄生容量（ノードＮ１２とノードＮ３との間の容量）はノードＮ３の電位を電位ＶＲＥＦよりも上昇させようとする。各ＮチャネルＭＯＳトランジスタの容量値が等しいため、これらの電位変化が相殺されることでノードＮ３での電位は電位ＶＲＥＦに保たれる。
【００６６】
図５は、図３のスイッチＳＷ２の構成例を示す図である。図５を参照して、スイッチＳＷ２は、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１とＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２とインバータ３３とを含む。
【００６７】
ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１はノードＮ４と端子Ｔ２との間に接続される。ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１のゲートはノードＮ２１に接続され、バックゲートは電源電位（定電位）を与えるノードＮ０に接続される。
【００６８】
ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２はノードＮ４と端子Ｔ２との間に接続される。ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２のゲートはノードＮ２２に接続され、バックゲートは接地電位（定電位）を与える接地ノードに接続される。
【００６９】
インバータ３３の入力端子はノードＮ２１に接続され、インバータ３３の出力端子はノードＮ２２に接続される。
【００７０】
ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１のゲート幅はＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２のゲート幅よりも大きい。また、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２のゲート幅はＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１のゲート幅よりも大きい。たとえばＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１，２２のゲート幅はそれぞれ約１７０μｍ、約９μｍである。また、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２，２１のゲート幅はそれぞれ約５３μｍ、約２．５μｍである。このように、スイッチＳＷ２に含まれるＭＯＳトランジスタのゲート幅を大きくすることによって静電耐圧を向上することができる。
【００７１】
図６は、図５のＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２の断面を模式的に示す図である。図６を参照して、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２はＰ型の半導体基板４１に形成される。半導体基板４１にはＮ型の拡散層４２〜４４が形成される。半導体基板４１は接地電位に設定され、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２のバックゲートとなる。また、拡散層４２は他の拡散層よりも広く形成される。
【００７２】
拡散層４２と拡散層４３との間、および拡散層４３と拡散層４４との間はチャネル領域である。各チャネル領域上にゲート酸化膜４５が形成され、ゲート酸化膜４５上にはスイッチ制御回路１５に接続されるゲート電極４６が形成される。
【００７３】
拡散層４２〜４４の上部にはシリサイド４７が形成される。拡散層４２上のシリサイド４７はゲート電極から離れた位置に設けられ、金属配線を介して端子Ｔ２に接続される。拡散層４４上のシリサイド４７はノードＮ４に接続される。なお、拡散層４３上のシリサイド４７はフローティング状態になっている。
【００７４】
端子Ｔ２にサージが印加された場合、拡散層４２が抵抗の役割を果たしているのでゲート酸化膜４５の破壊を防ぐことができる。また、拡散層４２と半導体基板４１とはダイオードを構成する。接地電位に対する端子Ｔ２の電圧がある過電圧レベル（たとえば２００〜４００Ｖ）を超えると、端子Ｔ２から拡散層４２と半導体基板４１とを通り、接地ノードに向けてサージ電流が流れる。ゲート電極４６の幅を大きくすることにより、ダイオードに流れるサージ電流を大きくすることができる。
【００７５】
図７は、図５のＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１の断面を模式的に示す図である。図７を参照して、ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１は、半導体基板４１にＮ型の拡散層５１が形成され、拡散層５１内にＰ型の拡散層４２〜４４が形成される点で図６のＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２と異なるが他の点は同様であるので以後の説明は繰り返さない。拡散層５１はＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１のバックゲートとなり、ノードＮ０から電源電位が与えられる。拡散層５１と拡散層４２とはダイオードを構成する。端子Ｔ２に正方向のサージが印加された場合、端子Ｔ２から拡散層４２および拡散層５１を通り、ノードＮ０に向けてサージ電流が流れる。
【００７６】
図８は、図２のイメージセンサＩＣ１０１の動作を説明するタイミングチャートである。図８を参照して、まず時刻ｔ１においてクロック信号ＣＬＫの立ち上がりに応じ、スイッチＳＷ０およびスイッチＳＷ２がともに導通状態（ＯＮ状態）に変化する。よってノードＮ１，Ｎ４の電位が電位ＶＲＥＦに変化する。図８において電位ＶＲＥＦは１Ｖである。
【００７７】
電位ＶＡ，ＶＢは図３の信号Ｓ１，Ｓ２の電位をそれぞれ示す。電位ＶＡは時刻ｔ１以前は不定であるが、時刻ｔ１において１．０５Ｖに変化する。電位ＶＡと電位ＶＲＥＦとの電位差（０．０５Ｖ）は差動増幅回路Ａ１から生じる出力オフセット電圧である。
【００７８】
時刻ｔ２におけるクロック信号の立ち上がりに応じ、スイッチＳＷ１が導通状態に変化する。ノードＮ３の電位は時刻ｔ２以前は不定であるが、時刻ｔ２において電位ＶＲＥＦ（１Ｖ）に変化する。
【００７９】
このようにスイッチ制御回路１５はスイッチＳＷ２（ＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２）を導通状態に設定した後にスイッチＳＷ１（ＰチャネルＭＯＳトランジスタ２２、ＮチャネルＭＯＳトランジスタ２１）を導通状態に設定する。これによりノードＮ４の電位が電位ＶＲＥＦに達した状態でスイッチＳＷ１が導通状態に設定されるので、ノードＮ３の電位が電位ＶＲＥＦに達する時間を短くすることができる。
【００８０】
続いて時刻ｔ３におけるクロック信号ＣＬＫの立ち上がりに応じ、スイッチＳＷ１が非導通状態（ＯＦＦ状態）に変化する。ただし電位ＶＢは１Ｖのまま変化しない。さらに時刻ｔ４におけるクロック信号ＣＬＫの立ち上がりに応じ、スイッチＳＷ０，ＳＷ２がともに非導通状態に変化する。
【００８１】
このようにスイッチ制御回路１５はスイッチＳＷ１を非導通状態に切換えた後にスイッチＳＷ２を非導通状態に切換える。これによって、スイッチＳＷ２が非導通状態に変化しても電位ＶＢはスイッチＳＷ２の影響を受けなくなる。
【００８２】
さらに時刻ｔ５におけるクロック信号ＣＬＫの立ち上がりに応じてスイッチＲＤＳＷ１が導通状態に変化すると、画素Ｐ１から出力された信号が差動増幅回路Ａ１により増幅される。電位ＶＡは１．０５Ｖを基準として変化するのに対し、電位ＶＢは１．０Ｖを基準として変化する。続いて時刻ｔ６におけるクロック信号ＣＬＫの立ち上がりに応じてスイッチＲＤＳＷ２が導通状態に変化すると、時刻ｔ５〜時刻ｔ６の期間と同様に電位ＶＡ，ＶＢが変化する。電位ＶＢは１．０Ｖすなわち電位ＶＲＥＦを基準に変化する。このようにクランプ回路１４は信号Ｓ１をシフトさせ、電位ＶＲＥＦを基準とする信号Ｓ２を出力する。また、クランプ回路１４は信号Ｓ２の基準を電位ＶＲＥＦに固定する。
【００８３】
以上のように本発明の実施の形態によれば、外部から受ける入力電位に基づいて処理を行なう半導体装置において、入力電位を受ける入力端子と第１のスイッチとの間に第２のスイッチを設け、第２のスイッチのサイズを大きくすることによって、第２のスイッチがサージを吸収するので静電耐圧を向上させることができる。
【００８４】
また、本発明の実施の形態によれば、第２のスイッチの抵抗値をサージ吸収用の抵抗よりも低くすることによって、クランプ動作への影響を防ぐことができる。
【００８５】
また、本発明の実施の形態によれば、第２のスイッチに用いられるＭＯＳトランジスタのゲート幅を第１のスイッチに用いられるＭＯＳトランジスタのゲート幅よりも大きくすることによってフィードスルーの発生を抑えることができる。
【００８６】
また、本発明の実施の形態によれば、画像入力装置に用いられるイメージセンサヘッドが上述の半導体装置を複数備えることにより、画像入力装置の内部でノイズが発生しても安定した動作を行なうことが可能になる。
【００８７】
なお、本実施の形態では半導体装置の一例としてイメージセンサＩＣを示したが、本発明の半導体装置は、信号をシフトさせ、外部から受ける入力電位を基準とする信号を出力する回路を備える半導体装置に広く適用が可能である。
【００８８】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明の電子機器の一例を示す図である。
【図２】図１のイメージセンサヘッド１の構成例を示す図である。
【図３】図２のイメージセンサＩＣ１０１の構成例を示す図である。
【図４】図３のスイッチＳＷ１の構成例を示す図である。
【図５】図３のスイッチＳＷ２の構成例を示す図である。
【図６】図５のＮチャネルＭＯＳトランジスタ３２の断面を模式的に示す図である。
【図７】図５のＰチャネルＭＯＳトランジスタ３１の断面を模式的に示す図である。
【図８】図２のイメージセンサＩＣ１０１の動作を説明するタイミングチャートである。
【図９】イメージセンサＩＣの基本的な構成を示す概略図である。
【図１０】特開２００２−１０１２６４号公報（特許文献１）に開示されるイメージセンサＩＣの構成を概略的に示す図である。
【図１１】図９に示すスイッチＳＷ１０１の構成を示す図である。
【符号の説明】
【００９０】
１  イメージセンサヘッド、２  フレキシブルケーブル、３  制御部、４  ガラス、１１  回路基板、１２，１１２  光電変換部、１４，１１４  クランプ回路、１５  スイッチ制御回路、２１，２４，３２，１２１  ＮチャネルＭＯＳトランジスタ、２２，２５，３１，１２２  ＰチャネルＭＯＳトランジスタ、２３，３３  インバータ、４１  半導体基板、４２〜４４，５１  拡散層、４５  ゲート酸化膜、４６  ゲート電極、４７  シリサイド、１００  スキャナ、１０１〜１０ｍ，１１１，１１１Ａ  イメージセンサＩＣ、Ａ１，Ａ２，Ａ１０２  差動増幅回路、Ｃ１，Ｃ１００  コンデンサ、Ｃ１０１，Ｃ１０２  寄生容量、Ｄ１〜Ｄ４，Ｄ１０１〜Ｄ１０４  ダイオード、Ｎ０〜Ｎ４，Ｎ１１，Ｎ１２，Ｎ２１，Ｎ２２，ＮＡ  ノード、Ｐ１〜Ｐｎ  画素、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ１０１，Ｔ１０２  端子、Ｒ１，Ｒ２，Ｒ１００  抵抗、ＲＤＳＷ１〜ＲＤＳＷｎ，ＳＷ０〜ＳＷ２，ＳＷ１０１  スイッチ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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