(57)【要約】【課題】加工したいワークを強固に固定すると共に、加工後にワークを容易に取り外す。【解決手段】母体としてのＰＥＴシート１１と、そのＰＥＴシート１１に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワークを固定するワーク固定剤１２と、を有するワーク固定シート１０であって、ワーク固定剤１２の融解開始温度と融解終了温度との温度差が５℃以下である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
母体（１１）と、
前記母体に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（４０）を固定するワーク固定剤（１２）と、を有するワーク固定治具であって、
前記ワーク固定剤の融解開始温度と融解終了温度との温度差が５℃以下であることを特徴とするワーク固定治具。
【請求項２】
前記ワーク固定剤の前記融解開始温度と前記融解終了温度は、１８℃〜１００℃の範囲内にあることを特徴とする請求項１に記載のワーク固定治具。
【請求項３】
前記ワーク固定剤は、パラフィンもしくはポリエチレングリコールを主成分としたものからなることを特徴とする請求項１または２に記載のワーク固定治具。
【請求項４】
前記母体はプラスチックで構成されるシート状のものであり、前記ワーク固定剤は前記シートの片面もしくは両面に塗布されていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載のワーク固定治具。
【請求項５】
前記シート状の母体に溝（１１ａ）が設けられており、前記溝を埋めるように前記シート状の母体に前記ワーク固定剤が塗布されていることを特徴とする請求項４に記載のワーク固定治具。
【請求項６】
前記シート状の母体と前記ワーク固定剤との間に粘着剤（１３）が設けられていることを特徴とする請求項４または５に記載のワーク固定治具。
【請求項７】
前記シート状の母体と前記ワーク固定剤との間にホットメルト材が設けられていることを特徴とする請求項４または５に記載のワーク固定治具。
【請求項８】
前記ワーク固定剤上に当該ワーク固定剤よりも融解開始温度が低い他のワーク固定剤（１４）が設けられていることを特徴とする請求項６または７に記載のワーク固定治具。
【請求項９】
母体（１１）と、
前記母体に塗布されると共に、温度に応じて融解および凝固することによりワーク（４０）を固定するワーク固定剤（１２）と、を有し、
前記ワーク固定剤の融解開始温度と融解終了温度との温度差が５℃以下であるワーク固定治具（１０）を用いた加工方法であって、
前記ワーク固定治具上に前記ワークを載せ、前記ワーク固定治具を前記融解終了温度まで加熱して前記ワーク固定剤を融解する工程と、
前記ワーク固定治具の温度を前記融解開始温度よりも下げて、前記ワーク固定剤を凝固する工程と、
前記ワークを加工する工程と、
前記ワーク固定治具を前記融解終了温度まで加熱して、前記ワーク固定治具から前記ワークを取り外す工程と、を含んでいることを特徴とする加工方法。
【請求項１０】
前記ワーク固定剤として、前記融解開始温度と前記融解終了温度が１８℃〜１００℃の範囲内にあるものを用いることを特徴とする請求項９に記載の加工方法。
【請求項１１】
前記ワーク固定剤として、パラフィンもしくはポリエチレングリコールを主成分としたものを用いることを特徴とする請求項９または１０に記載の加工方法。
【請求項１２】
前記母体として、プラスチックで構成されるシート状のものを用いると共に、前記ワーク固定剤が前記シートの片面もしくは両面に塗布されているものを用いることを特徴とする請求項９ないし１１のいずれか１つに記載の加工方法。
【請求項１３】
前記シート状の母体として、当該シート状の母体に溝（１１ａ）が設けられたものを用いると共に、前記溝を埋めるように前記シート状の母体に前記ワーク固定剤が塗布されたものを用いることを特徴とする請求項１２に記載の加工方法。
【請求項１４】
前記ワーク固定治具として、前記シート状の母体と前記ワーク固定剤との間に粘着剤（１３）が設けられたものを用いることを特徴とする請求項１２または１３に記載の加工方法。
【請求項１５】
前記ワーク固定治具として、前記シート状の母体と前記ワーク固定剤との間にホットメルト材が設けられたものを用いることを特徴とする請求項１２または１３に記載の加工方法。
【請求項１６】
前記ワーク固定治具として、前記ワーク固定剤上に当該ワーク固定剤よりも融解開始温度が低い他のワーク固定剤（１４）が設けられたものを用いることを特徴とする請求項１４または１５に記載の加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加工したい被加工物を強固に固定すると共に、加工後に容易に取り外すことができるワーク固定治具およびそれを用いた加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、セラミックス、粘土、ガラス、金属等で構成される板状、３次元異形状、薄板状等の被加工物（以下、ワークという）を加工する際、粘着テープにワークを貼り付けて固定して加工することが行われている。
【０００３】
このようにワークを固定する粘着テープとして、ワークを熱によって取り外すことができる熱剥離シートがある。このような熱剥離シートは、例えばポリエチルテトラートで構成され、熱で発泡する発泡材が粘着剤に混入されている。粘着材に混入された発泡剤は、例えば９０℃、１２０℃、１５０℃で発泡するようになっているため、ワークを加工した後に熱剥離シートを上記温度で加熱することにより、発泡剤が膨らんでシートからワークを取り外すことができるようになっている。
【０００４】
また、上記熱剥離シートの他に、固定したワークを紫外線によって取り外すことができるＰＥＴシートがある。このようなＰＥＴシートに塗布された粘着剤には、紫外線の照射によって粘着力を劣化させる成分が混入されている。このため、ワークを加工した後にＰＥＴシートに紫外線を照射することにより、粘着剤の粘着力が低下してシートからワークを取り外すことができるようになっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、粘着テープからワークを取り外す際、粘着剤の粘着力によってワークに粘着剤が付着してしまい、粘着テープからワークを取り外したとしても、ワークから粘着剤が完全に除去されない可能性もある。このような場合、粘着テープに塗布された粘着剤は有機材料であるので、例えばアルコール、アセトン、ベンゼン、トルエン等の有機溶剤でワークを洗浄することによりワークに付着したままの粘着剤を除去することが要求される。しかしながら、ワークがセラミックシート等の有機溶剤に弱いものである場合、ワークが有機溶剤によって洗浄されることで壊れてしまう可能性がある。このように、有機溶剤を用いて粘着剤を取り除く場合では、有機溶剤の取り扱いや廃棄処理等が煩雑になると共に、コストの増大を招くこととなる。
【０００６】
なお、粘着シートからワークを剥がす際、ワークが例えば１ｍｍ以下の薄さであるとすると、粘着剤の粘着力によってワークが変形したり、ダメージを受ける可能性もある。
【０００７】
また、ワークを固定する部材である粘着剤でワークを固定できていても、ＰＥＴシートと粘着剤との密着力が弱いと、加工中にＰＥＴシートから粘着剤が剥がれてしまい、加工ができなくなってしまう可能性がある。
【０００８】
本発明は、上記点に鑑み、ワークを固定して加工した後に、ワークを容易に取り外すことができるワーク固定治具およびそれを用いた加工方法を提供することを第１の目的とする。また、ＰＥＴシートとワークを固定する部材との密着度を向上させることを第２の目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明の第１の特徴では、母体（１１）に塗布するワーク固定剤の融解開始温度と融解終了温度との温度差が５℃以下であること特徴とする。
【００１０】
このように、融解と凝固とを５℃以下の温度変化で完了できるワーク固定剤を母体に塗布したものでワーク固定治具を構成する。これにより、温度を変化させるだけでワーク固定治具にワークを容易に固定することができると共に、ワーク固定治具からワークを容易に剥離することができる。このようにワークを固定する際、粘着物を用いていないため、ワークを容易に取り外すことができる。
【００１１】
なお、ワーク固定剤が溶融してワークの表面に万遍なく密着して凝固することにより、ワークをワーク固定治具に確実に固定することができる。このため、加工の際に、ワークが母体から動いてしまうことを防止でき、ワークに対して高精度の加工を行うようにすることができる。
【００１２】
この場合、ワーク固定剤の融解開始温度と融解終了温度を、１８℃〜１００℃の範囲内にすることができる。
【００１３】
このような温度範囲を設けることにより、加工したいワークの材質等に合わせたワークの固定を行うことができる。このような融解開始温度または融解終了温度の範囲を実現するため、パラフィンもしくはポリエチレングリコールに、例えばアルミナ、カーボン、鉄、ＳＵＳ、ＳｉＣ、Ｓｉ、窒化珪素などの粉末材料を混入することが好ましい。
【００１４】
また、ワーク固定剤を、パラフィンもしくはポリエチレングリコールを主成分としたもので構成できる。
【００１５】
このように、ワーク固定剤としてパラフィンもしくはポリエチレングリコールを主成分としたものを用いる。これら、パラフィンもしくはポリエチレングリコールの純度を上げることにより、融解開始温度と融解終了温度との温度差を小さくすることができ、上記のように５℃以下を実現できる。
【００１６】
さらに、パラフィンとしては、以下（１）〜（５）に示すノルマルパラフィンと非ノルマルパラフィンとを組み合わせたパラフィンも使用できる。なお、組成割合の%はすべて重量%である。また、パラフィンの融解開始温度と融解終了温度との温度差は上述したように５℃以下であることが好ましいが、さらに小さい温度差であることが好ましい。以下では、その温度差が小さいものについて示す。
【００１７】
（１）ノルマルパラフィンの成分合計８８．９９%、残部非ノルマルパラフィンからなるパラフィン
『ノルマルパラフィンの組成』
炭素数１８のノルマルパラフィン：０．０８%
炭素数１９のノルマルパラフィン：０．４１%
炭素数２０のノルマルパラフィン：１．７６%
炭素数２１のノルマルパラフィン：５．６１%
炭素数２２のノルマルパラフィン：１０．６６%
炭素数２３のノルマルパラフィン：１４．７６%
炭素数２４のノルマルパラフィン：１４．５０%
炭素数２５のノルマルパラフィン：１２．４２%
炭素数２６のノルマルパラフィン：９．０８%
炭素数２７のノルマルパラフィン：６．５８%
炭素数２８のノルマルパラフィン：４．０４%
炭素数２９のノルマルパラフィン：２．８８%
炭素数３０のノルマルパラフィン：２．０９%
炭素数３１のノルマルパラフィン：１．５０%
炭素数３２のノルマルパラフィン：１．０２%
炭素数３３のノルマルパラフィン：０．７２%
炭素数３４のノルマルパラフィン：０．３７%
炭素数３５のノルマルパラフィン：０．２４%
炭素数３６のノルマルパラフィン：０．１４%
炭素数３７のノルマルパラフィン：０．０８%
炭素数３８のノルマルパラフィン：０．０５%
以上ノルマルパラフィンの成分合計は８８．９９%であり、残部が非ノルマルパラフィンである。
【００１８】
このような組成（１）からなるパラフィンの平均炭素数は２４．７４であり、分子量分布の標準偏差は２．８６であり、この標準偏差が小さいほどシャープな分子量分布を示す。また、この組成（１）のパラフィンの最大分子量は５３４、最小分子量は２５４である。従って、分子量分布幅は２８０となる。
【００１９】
このような組成（１）のパラフィンの融解開始温度：５０．４℃、融解終了温度：５１．７℃である。従って、融解開始温度と融解終了温度の温度差は１．３℃と僅少値に設定できる。
【００２０】
（２）ノルマルパラフィンの成分合計８８．６４%、残部非ノルマルパラフィンからなるパラフィン
『ノルマルパラフィンの組成』
炭素数１８のノルマルパラフィン：０．０７%
炭素数１９のノルマルパラフィン：０．２８%
炭素数２０のノルマルパラフィン：１．１０%
炭素数２１のノルマルパラフィン：３．３８%
炭素数２２のノルマルパラフィン：６．９２%
炭素数２３のノルマルパラフィン：１０．８６%
炭素数２４のノルマルパラフィン：１２．６７%
炭素数２５のノルマルパラフィン：１２．７４%
炭素数２６のノルマルパラフィン：１１．１７%
炭素数２７のノルマルパラフィン：９．１８%
炭素数２８のノルマルパラフィン：６．４３%
炭素数２９のノルマルパラフィン：４．７３%
炭素数３０のノルマルパラフィン：３．０１%
炭素数３１のノルマルパラフィン：２．１６%
炭素数３２のノルマルパラフィン：１．４２%
炭素数３３のノルマルパラフィン：０．９８%
炭素数３４のノルマルパラフィン：０．５５%
炭素数３５のノルマルパラフィン：０．３６%
炭素数３６のノルマルパラフィン：０．２２%
炭素数３７のノルマルパラフィン：０．１５%
炭素数３８のノルマルパラフィン：０．１１%
炭素数３９のノルマルパラフィン：０．０９%
炭素数４０のノルマルパラフィン：０．０６%
以上ノルマルパラフィン成分合計は８８．６４%、残部が非ノルマルパラフィンである。
【００２１】
このような組成（２）からなるパラフィンの平均炭素数は２５．６１、分子量分布の標準偏差は３．０５、最大分子量は５６２、最小分子量は２５４である。従って、分子量分布幅３６６となる。この組成（２）のパラフィンの融解開始温度：５２．５℃、融解終了温度：５３．７℃である。従って、融解開始温度と融解終了温度の温度差は1．２℃と僅少値に設定できる。
【００２２】
（３）ノルマルパラフィンの成分合計８９．５７%、残部非ノルマルパラフィンからなるパラフィン
『ノルマルパラフィンの組成』
炭素数１９のノルマルパラフィン：０．０９%
炭素数２０のノルマルパラフィン：０．３４%
炭素数２１のノルマルパラフィン：１．３１%
炭素数２２のノルマルパラフィン：３．５０%
炭素数２３のノルマルパラフィン：７．０９%
炭素数２４のノルマルパラフィン：１０．３６%
炭素数２５のノルマルパラフィン：１２．５７%
炭素数２６のノルマルパラフィン：１２．６８%
炭素数２７のノルマルパラフィン：１１．７５%
炭素数２８のノルマルパラフィン：８．８０%
炭素数２９のノルマルパラフィン：６．９９%
炭素数３０のノルマルパラフィン：４．７４%
炭素数３１のノルマルパラフィン：３．４１%
炭素数３２のノルマルパラフィン：２．４２%
炭素数３３のノルマルパラフィン：１．７０%
炭素数３４のノルマルパラフィン：０．９３%
炭素数３５のノルマルパラフィン：０．５４%
炭素数３６のノルマルパラフィン：０．２５%
炭素数３７のノルマルパラフィン：０．１０%
以上ノルマルパラフィンの成分合計は８９．５７%、残部が非ノルマルパラフィンである。
【００２３】
このような組成（３）からなるパラフィンの平均炭素数は２６．５６、分子量分布の標準偏差は２．９４、最大分子量は５２０、最小分子量は２６８である。従って、分子量分布幅は２５２となる。この組成（３）のパラフィンの融解開始温度：５４．６℃、融解終了温度：５５．６  ℃である。従って、融解開始温度と融解終了温度の温度差は1．０℃と僅少値に設定できる。
【００２４】
（４）ノルマルパラフィンの成分合計７１．１１%、残部非ノルマルパラフィンからなるパラフィン
『ノルマルパラフィンの組成』
炭素数２３のノルマルパラフィン：０．０８%
炭素数２４のノルマルパラフィン：０．１６%
炭素数２５のノルマルパラフィン：０．３９%
炭素数２６のノルマルパラフィン：０．８７%
炭素数２７のノルマルパラフィン：１．５２%
炭素数２８のノルマルパラフィン：１．９９%
炭素数２９のノルマルパラフィン：２．６８%
炭素数３０のノルマルパラフィン：３．１４%
炭素数３１のノルマルパラフィン：３．７１%
炭素数３２のノルマルパラフィン：３．９４%
炭素数３３のノルマルパラフィン：４．０７%
炭素数３４のノルマルパラフィン：４．３７%
炭素数３５のノルマルパラフィン：４．９４%
炭素数３６のノルマルパラフィン：５．４９%
炭素数３７のノルマルパラフィン：６．００%
炭素数３８のノルマルパラフィン：５．４４%
炭素数３９のノルマルパラフィン：４．５０%
炭素数４０のノルマルパラフィン：３．７１%
炭素数４１のノルマルパラフィン：３．０１%
炭素数４２のノルマルパラフィン：２．５３%
炭素数４３のノルマルパラフィン：１．９４%
炭素数４４のノルマルパラフィン：１．５５%
炭素数４５のノルマルパラフィン：１．０６%
炭素数４６のノルマルパラフィン：０．８４%
炭素数４７のノルマルパラフィン：０．５８%
炭素数４８のノルマルパラフィン：０．４５%
炭素数４９のノルマルパラフィン：０．３３%
炭素数５０のノルマルパラフィン：０．３２%
炭素数５１のノルマルパラフィン：０．２６%
炭素数５２のノルマルパラフィン：０．２１%
炭素数５３のノルマルパラフィン：０．１９%
炭素数５４のノルマルパラフィン：０．１７%
炭素数５５のノルマルパラフィン：０．１５%
炭素数５６のノルマルパラフィン：０．１３%
炭素数５７のノルマルパラフィン：０．１１%
炭素数５８のノルマルパラフィン：０．０９%
炭素数５９のノルマルパラフィン：０．０８%
炭素数６０のノルマルパラフィン：０．０６%
炭素数６１のノルマルパラフィン：０．０５%
以上ノルマルパラフィンの成分合計は７１．１１%であり、残部が非ノルマルパラフィンである。
【００２５】
このような組成（４）からなるパラフィンの平均炭素数は３６．３４、分子量分布の標準偏差は５．７０、最大分子量は８５６、最小分子量は３２４である。従って、分子量分布幅は５３２となる。この組成（４）のパラフィンの融解開始温度：７２．１℃、融解終了温度：７３．４℃である。従って、融解開始温度と融解終了温度の温度差は1．３℃と僅少値に設定できる。
【００２６】
（５）ノルマルパラフィンの成分合計７５．７８%、残部非ノルマルパラフィンからなるパラフィン
『ノルマルパラフィンの組成』
炭素数２９のノルマルパラフィン：０．０８%
炭素数３０のノルマルパラフィン：０．２３%
炭素数３１のノルマルパラフィン：０．６９%
炭素数３２のノルマルパラフィン：１．３６%
炭素数３３のノルマルパラフィン：１．７７%
炭素数３４のノルマルパラフィン：２．０２%
炭素数３５のノルマルパラフィン：２．２１%
炭素数３６のノルマルパラフィン：２．４１%
炭素数３７のノルマルパラフィン：３．０２%
炭素数３８のノルマルパラフィン：３．５８%
炭素数３９のノルマルパラフィン：３．５２%
炭素数４０のノルマルパラフィン：３．９４%
炭素数４１のノルマルパラフィン：４．１３%
炭素数４２のノルマルパラフィン：５．１５%
炭素数４３のノルマルパラフィン：４．９５%
炭素数４４のノルマルパラフィン：５．５４%
炭素数４５のノルマルパラフィン：４．５５%
炭素数４６のノルマルパラフィン：４．７１%
炭素数４７のノルマルパラフィン：３．５３%
炭素数４８のノルマルパラフィン：３．０８%
炭素数４９のノルマルパラフィン：２．３８%
炭素数５０のノルマルパラフィン：２．１６%
炭素数５１のノルマルパラフィン：１．６８%
炭素数５２のノルマルパラフィン：１．３５%
炭素数５３のノルマルパラフィン：１．２１%
炭素数５４のノルマルパラフィン：１．００%
炭素数５５のノルマルパラフィン：０．８５%
炭素数５６のノルマルパラフィン：０．８０%
炭素数５７のノルマルパラフィン：０．６３%
炭素数５８のノルマルパラフィン：０．５９%
炭素数５９のノルマルパラフィン：０．４９%
炭素数６０のノルマルパラフィン：０．４１%
炭素数６１のノルマルパラフィン：０．３４%
炭素数６２のノルマルパラフィン：０．３８%
炭素数６３のノルマルパラフィン：０．３６%
炭素数６４のノルマルパラフィン：０．３０%
炭素数６５のノルマルパラフィン：０．２３%
炭素数６６のノルマルパラフィン：０．１５%
以上ノルマルパラフィンの成分合計は７５．７８%であり、残部が非ノルマルパラフィンである。
【００２７】
このような組成（５）からなるパラフィンの平均炭素数は４３．６９、分子量分布の標準偏差は６．８１、最大分子量は９２６、最小分子量は４０８である。従って、分子量分布幅は５１８となる。この組成（５）のパラフィンの融解開始温度：８６．２℃、  融解終了温度：８７．９℃である。従って、融解開始温度と融解終了温度の温度差は1．７℃と僅少値に設定できる。
【００２８】
また、ポリエチレングリコールとしては次のようなものを使用できる。例えば、平均分子量：１５４０のポリエチレングリコールは、融解開始温度：４６℃、融解終了温度：４７．２℃である。したがって、この融解開始温度と融解終了温度の温度差は１．２℃という僅少値に設定できる。
【００２９】
また、平均分子量４０００のポリエチレングリコールは、その分子量の最大値は５４６４、最小値は１６８９、数平均分子量Ｍｎ：２８６６、重量平均分子量Ｍｗ：２９３５、Ｚ平均分子量Ｍｚ：３００４、分子量分布分散度（１に近いほどシャープな分布を示す）Ｍｗ／Ｍｎ：１．０２３８、Ｍｚ／Ｍｗ：１．０２３７である。この平均分子量４０００のポリエチレングリコールの融解開始温度：５５．１℃、融解終了温度：５６．４℃である。したがって、融解開始温度と融解終了温度の温度差は１．３℃という僅少値に設定できる。
【００３０】
さらに、母体をプラスチックで構成されるシート状のものとすることができ、ワーク固定剤をシートの片面もしくは両面に塗布したものでワーク固定治具を構成することもできる。
【００３１】
このようにすれば、例えば金属箔や壊れやすいセラミックシート等を容易に強固に固定することができて加工できる。また、上述のように、取り外しも容易にできる。
【００３２】
上記シート状の母体として、当該シート状の母体に溝（１１ａ）が設けられたものを用いることができ、この溝を埋めるようにシート状の母体にワーク固定剤が塗布されたものでワーク固定シートを構成することができる。
【００３３】
このように、シート状の母体に溝を設け、この溝を埋めるようにワーク固定剤を塗布することで、シート状の母体とワーク固定剤との密着面積を向上させることができ、シート状の母体とワーク固定剤との密着度を向上させることができる。すなわち、ワーク固定剤がシート状の母体から剥がれてしまうことを防止することができる。
【００３４】
上記シート状の母体の溝は、母体の表面をサンドペーパー（例えば１０番〜１０００番のもの）や刃具等で荒らすことにより形成される。溝形状としては、直線状、曲線状、点状、波状、十文字（格子状）、斜め十文字（斜線状）、３方向の重ね形等の形状とすることができる。
【００３５】
また、シート状の母体とワーク固定剤との間に粘着剤（１３）またはホットメルト材が設けられたものでワーク固定治具を構成することもできる。このように、シート状の母体に粘着剤やホットメルト材を塗布することで、粘着剤やホットメルト材とシート状の母体との密着力を向上させることができ、ワーク固定剤がシート状の母体から剥がれてしまうことを防止できる。ここで、粘着剤の材料として、アクリル系の粘着剤を用い、熱・紫外線などで架橋するとよい。架橋がないと、塗布材料（ワーク固定剤）と、粘着剤が混合し、目的とする機能が得られない可能性がある。
【００３６】
上記のように、シート状の母体とワーク固定剤との間に粘着剤やホットメルト材を設けるものにおいて、ワークの加工後にワークをシート状の母体から取り外す際、ワーク固定剤のみが溶融する温度のお湯を注ぐだけで、ワーク固定治具からワークを容易に取り外すことができる。もちろん、ワーク固定治具を、ワーク固定剤のみが溶融する温度に加熱する方法によってワークを取り外すこともできる。
【００３７】
なお、粘着剤やホットメルト材を含んで構成されるワーク固定治具からワークを取り外す際、被接着剤に塗布材料が混入すると、被接着材料を汚染することがあるので、好ましくない。したがって、ワーク固定剤のみが溶融する温度で加熱することが好ましい。
【００３８】
さらに、ワーク固定治具において、シート状の母体上の粘着剤もしくはホットメルト材上にワーク固定剤を設け、当該ワーク固定剤上に当該ワーク固定剤よりも融解開始温度が低い他のワーク固定剤（１４）を設けたものとすることもできる。すなわち、例えば粘着剤もしくはホットメルト材上のワーク固定剤が高温で融解するタイプ、当該高温で融解するタイプのワーク固定剤上に低温で融解するタイプの他のワーク固定剤を設け、ワーク固定剤を積層したものとすることができる。
【００３９】
これにより、粘着剤やホットメルト材を高温タイプのワーク固定剤によって被覆することができ、粘着剤やホットメルト材を構成する成分をワークに付着させたり、ワーク内に混入させたりすることを防止することができる。
【００４０】
低温タイプのワーク固定剤として、５３℃で融解するものについては、上記組成（２）のものを用いることができる。この場合、低温タイプのワーク固定剤は５２．５℃で融解を開始し、５３．７℃で融解が終了する。また、５５℃で融解する低温タイプのワーク固定剤については、上記組成（３）のものを用いることができる。この場合、低温タイプのワーク固定剤は５４．６℃で融解が開始し、５５．６℃で融解が終了する。
【００４１】
また、高温タイプのワーク固定剤として、７２℃で融解するものについては、上記組成（４）のものを用いることができる。この場合、高温タイプのワーク固定剤は７２．１℃で融解が開始し、７３．４℃で融解が終了する。また、８６℃で融解する高温タイプのワーク固定剤については、上記組成（５）のものを用いることができる。この場合、高温タイプのワーク固定剤は８６．２℃で融解が開始し、８７．９℃で融解が終了する。
【００４２】
本発明の第２の特徴では、５℃の温度差で融解または凝固するワーク固定剤（１２）が塗布されたワーク固定治具（１０）上にワーク（４０）を載せ、ワーク固定治具を融解終了温度まで加熱してワーク固定剤を融解し、ワーク固定治具の温度を融解開始温度まで下げてワーク固定剤を凝固する。そして、ワークを加工し、ワークの加工終了後、ワーク固定治具を融解終了温度まで加熱して、ワーク固定治具からワークを取り外すことを特徴とする。
【００４３】
このように、融解と凝固とを５℃以下の温度変化で完了できるワーク固定剤にてワークを固定する。これにより、ワーク固定治具、すなわちワーク固定剤の温度を変化させるだけでワークをワーク固定治具に容易に固定することができる。このような状態では、ワークはワーク固定剤に強固に固定されるため、加工の際、ワークが母体から動いてしまうことはない。したがって、高精度にワークを加工することができる。
【００４４】
また、ワーク固定剤が温度に応じて融解・凝固することでワークをワーク固定治具に固定することができるため、壊れやすい材料等で構成されるワークの固定および加工を容易に行うことができる。さらに、ワーク固定治具からワークを取り外す際、ワーク固定剤が融解してワークから完全に取り除かれるため、例えばお湯を注ぐだけでワークからワーク固定剤を容易に剥離することができる。
【００４５】
上記のようにして、ワークを加工するに際し、上述したワーク固定治具を用いることができる。
【００４６】
なお、上記各手段の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４７】
以下、本発明の実施形態について図に基づいて説明する。なお、以下の各実施形態相互において、互いに同一もしくは均等である部分には、図中、同一符号を付してある。
【００４８】
（第１実施形態）
本実施形態で示されるワーク固定シートは、例えばセラミックス、粘土、ガラス、金属（アルミニウム、鉄、銅、真鍮等）、樹脂などの加工したいワークを、温度で融解・凝固する固定剤で固定するものである。
【００４９】
図１は、本発明の第１実施形態に係るワーク固定治具としてのワーク固定シートの平面図である。この図に示されるように、ワーク固定シート１０は、母体としてのＰＥＴシート１１と、ＰＥＴシート１１に塗布されたワーク固定剤１２と、を備えて構成されている。なお、本実施形態では、ワーク固定剤１２はＰＥＴシート１１の片面に塗布されているが、ワーク固定剤１２はＰＥＴシート１１の両面に塗布されていても構わない。
【００５０】
ＰＥＴシート１１は、例えばポリエステル等の樹脂で形成されたシート状のものである。図１に示されるように、本実施形態では、ＰＥＴシート１１は長方形状になっており、その長軸方向の長さは例えば１５ｃｍ、幅は例えば１０ｃｍである。また、ＰＥＴシート１１の厚さは例えば１００μｍである。なお、ＰＥＴシート１１は、ワーク固定剤１２を融解する温度に耐えられるものであることが好ましい。
【００５１】
また、ワーク固定剤１２は、ワークを固定するものであり、パラフィンを主成分とするもので構成されている。そして、図１に示されるように、ワーク固定剤１２は、上記ＰＥＴシート１１上に均一に塗布されて固化した状態になっている。このようなワーク固定剤１２の厚さは自由に設計可能であり、例えば数μｍ〜３ｍｍである。なお、パラフィンを主成分とするものとは、パラフィンのみで構成されるものも含んでいる。
【００５２】
ワークとして例えば生のＰＺＴ（ピエゾ）を切断する場合、パラフィンの含有量が例えば４０〜１００重量％、アルミナ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が例えば０〜６０重量％のワーク固定剤１２が適する。
【００５３】
また、他の場合として導電性シートを切断する場合、パラフィンの含有量が４０〜９９重量％、カーボン粉末（電気伝導性が良いカーボン材料、粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の含有量が１〜６０重量％のワーク固定剤１２が適する。
【００５４】
本実施形態では、ワーク固定剤１２の融解開始温度（融点）は５３℃であり、融解終了温度は５５℃〜５８℃である。すなわち、ワーク固定剤１２は、溶融して凝固する温度幅が２℃〜５℃になっている。このため、ワーク固定剤１２を加熱する温度をわずか２〜５℃変化させるだけでワーク固定剤１２を容易に融解・凝固させることができる。なお、わずかな温度差でワーク固定剤１２を融解・凝固させることが好ましい。このため、溶融開始温度と溶融終了温度との温度差は２℃であることが好ましい。
【００５５】
したがって、ワーク固定剤１２は、室温（例えば２７℃）にてＰＥＴシート１１に凝固して付着した状態になっており、ワーク固定シート１０がワーク固定剤１２の融点以上に加熱されると、融点温度からわずか２℃〜５℃の温度が上昇するだけで溶融し、融点以下の温度になると凝固するのである。
【００５６】
ワークを加工する方法にて詳しく説明するが、本実施形態では、ワーク固定シート１０にワークを固定して加工を行った後、ワーク固定シート１０にお湯（約１００℃）を注いでワーク固定剤１２を溶融させてワーク固定シート１０からワークを取り外すようにする。また、室温（２７℃）ではワーク固定剤１２がＰＥＴシート１１上に凝固した状態になっており、持ち運びや保存ができるようにする。このため、本実施形態におけるワーク固定剤１２の融点は、室温より高く、お湯の温度よりも低い５３℃に設定されている。
【００５７】
また、お湯の中に、パラフィン材料を完全に溶解した状態にする添加剤（湯水中でパラフィンを溶かし、温度が低くなっても、液中に溶解させた状態に保つことができるもの）を入れておくと、ワーク固定剤１２が凝固して、水の上に浮き、水面に膜を張るという現状を避けることができる。
【００５８】
また、上記融解開始温度と融解終了温度との温度差は、ワーク固定剤１２に含まれるパラフィンの分子量分布（換言すると純度）に応じて設定することができる。パラフィン材料はＣｎＨｍの分子式（ｎ、ｍは任意の整数）で記述される。低温で融解する材料ではＣの数（すなわちｎ）が小さく、Ｃの数が大きくなると、融解温度が高くなる。また、Ｃの数が大きいもの、小さいものが混じると、融解する温度に幅ができ、結果的に融解温度に幅ができる。低温で融解するパラフィン材料の純度においては、例えば室温付近で２℃の温度差で融解したい場合、分子量分布幅が約５０〜３０００のものを用いる。また、５０℃付近で融解するパラフィン材料の純度においては、分子量分布幅が１００〜１００００のものを用いる。さらに、９０℃付近で融解するパラフィン材料の純度においては、分子量分布幅が５００〜１０００００の幅が好ましい。
【００５９】
分子量分布幅を狭める方法は、材料の精製による。精製を精度良く行うと、分子量分布幅は小さくなる。しかし、分子量分布幅を小さくすると、精製後得られる材料は、少量になり、結果的に、歩留まりが悪く、コストが高くなる。
【００６０】
分子量分布幅が狭いと純度が高くなると共に、融解温度の幅が小さくなり、狭い温度範囲で融解・凝固を起こすことができる。
【００６１】
また、パラフィンにアルミナ、カーボン、鉄、ＳＵＳ、ＳｉＣ、Ｓｉ、窒化珪素などの粉末材料を混入することにより、ワーク固定剤１２の融点を例えば１８〜１００℃の間で設定することができる。このようにパラフィンに添加する材料は、固定したいワークの材質に応じて設定することができる。
【００６２】
例えば、ＰＺＴの生シートを固定する場合、前記した様にパラフィンの含有量が４０〜１００重量％、アルミナ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜６０重量％のものが適する。
【００６３】
硬度を要求する場合、パラフィンの含有量が４０〜１００重量％、ＳｉＣ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜６０重量％のものが適する。
【００６４】
金属材料を固定する場合、パラフィンの含有量が０〜１００重量％、ＳＵＳ（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜６０重量％のものが適する。
【００６５】
ガラスを固定する場合、パラフィンの含有量が４０〜１００重量％、ガラス（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜６０重量％のものが適する。
【００６６】
セラミック焼成材料を固定する場合、パラフィンの含有量が４０〜１００重量％、固定材料と同じ材料（粒子径：ナノ粒子〜数ｍｍ）の粉末の含有量が０〜６０重量％のものが適する。
【００６７】
紙などを固定する場合、パラフィンの含有量は１００重量％のものが適する。
【００６８】
上記のようなワーク固定剤１２として、カタメルチャック（商品名、登録商標、Ｔｈｅｒｍｏｆｉｘ、米国登録商標）を用いることができる。以上が、本実施形態に係るワーク固定シート１０の構成である。
【００６９】
次に、上記ワーク固定シート１０の製造方法について図を参照して説明する。図２は、ワーク固定シート１０を製造する様子を示した図である。
【００７０】
まず、ワーク固定シート１０を製造する塗布装置２０について説明する。図２に示されるように塗布装置２０は、送り出し用ロール２１および巻き取り用ロール２２と、各ロール２１、２２を駆動する図示しないロール駆動装置と、ＰＥＴシート１１に溶融したワーク固定剤１２を塗布するノズル２３と、そのノズル２３を駆動する図示しないノズル駆動装置と、ノズル２３から噴射された溶融したワーク固定剤１２をせき止めると共に、ワーク固定剤１２の厚さを調整するための堤部材２４と、その堤部材２４の高さ調整を行う図示しない高さ調整装置と、を備えて構成されている。
【００７１】
そして、厚さが例えば１００μｍのＰＥＴシート１１を用意し、このＰＥＴシート１１を送り出し用ロール２１に巻き付けたものを用意する。この送り出し用ロール２１を塗布装置２０に設置し、図２に示されるように、ＰＥＴシート１１を巻き取り用ロール２２に巻き付ける。また、ＰＥＴシート１１の表面と堤部材２４の先端との隙間がワーク固定剤１２の厚さとなるため、堤部材２４の高さがＰＥＴシート１１から一定の高さとなるように調整する。この堤部材２４の高さを調整することで、数μｍ〜３ｍｍの厚さのワーク固定剤１２を形成することができる。
【００７２】
そして、溶融したワーク固定剤１２を塗布するＰＥＴシート１１の表面温度を融点以上に加熱しておく。なお、送り出し用ロール２１を例えばワーク固定剤１２の融点より高い温度（本実施形態では５３℃以上）に加熱しておいても良い。また、溶融したワーク固定剤１２を凝固させて巻き取り用ロール２２にてＰＥＴシート１１を巻き取るようにするため、巻き取り用ロール２２側をワーク固定剤１２の融点より低くなるようにしておくことが好ましい。
【００７３】
この後、各ロール２１、２２を駆動すると、ＰＥＴシート１１が送り出し用ロール２１から送り出されると共に、巻き取り用ロール２２に巻き取られてゆく。このような状態で、ワーク固定剤１２を融点以上に加熱し、ワーク固定剤１２をノズル２３からＰＥＴシート１１上に噴射する。ＰＥＴシート１１上に噴射された溶融したワーク固定剤１２は、送り出されるＰＥＴシート１１と共に移動する。このとき、ワーク固定剤１２は堤部材２４でせき止められるため、ＰＥＴシート１１と堤部材２４の先端との間の厚さでＰＥＴシート１１と共に移動してゆく。このようにして、ワーク固定剤１２をＰＥＴシート１１上に塗布する。
【００７４】
そして、溶融したワーク固定剤１２は、ＰＥＴシート１１上において、巻き取り用ロール２２に巻き取られる前に融点以下に冷やされて凝固し、ＰＥＴシート１１と共に巻き取り用ロール２２に巻き取られる。上述のように、ワーク固定剤１２は、わずか２℃〜５℃の範囲で融解・凝固の状態がシャープに変化するため、溶融したワーク固定剤１２を冷却して固化させる装置を必要とせず、ＰＥＴシート１１を巻き取る過程で融点以下になり凝固する。すなわち、ワーク固定剤１２を噴射する側のみ（ノズル２３側のみ）をワーク固定剤１２の融点以上に加熱しておくだけで良いのである。また、凝固したワーク固定剤１２はＰＥＴシート１１に強固に固定されるため、巻き取り用ロール２２にてＰＥＴシート１１と共に巻き取られたとしても、ＰＥＴシート１１から剥離することはない。さらに、ワーク固定剤１２には粘着性はないので、巻き取り用ロール２２にワーク固定シート１０を巻いたとしても、ワーク固定剤１２がＰＥＴシート１１に張り付いてしまうことはない。
【００７５】
続いて、巻き取り用ロール２２に巻かれたＰＥＴシート１１を一定間隔で切断することにより、図１に示されるワーク固定シート１０が完成する。
【００７６】
次に、上記のようにして製造したワーク固定シート１０を用いて、ワークを固定する方法および加工方法について図を参照して説明する。図３は、ワーク固定シート１０にワークを固定すると共に、ワークを加工する様子を示した図である。
【００７７】
まず、ワーク固定シート１０を土台３０の上に設置し、ワーク固定シート１０上にワーク４０を置く。被加工物であるワーク４０として、例えば、セラミックス、粘土、ガラス、金属（アルミニウム、鉄、銅、真鍮等）、樹脂などがある。また、ワーク４０の形状としては、板状、シート状、３次元異形物等、加工したいものであって、ワーク固定シート１０上に設置できるものであれば構わない。なお、シート状のものとして、セラミックスの生シート、ガラスの生シート、ピエゾの生シート、コンデンサの生シート等があり、それぞれを積層したものなどもある。
【００７８】
そして、土台３０を図示しないヒータ等で加熱する。本実施形態では、土台３０の加熱温度は、ワーク固定剤１２の融解終了温度である５５℃〜５８℃が好ましい。このようにして土台３０を介してワーク固定シート１０を加熱すると、ワーク固定剤１２が溶融するため、ワーク４０の表面に溶融したワーク固定剤１２が密着する。
【００７９】
この後、土台３０の温度を融点以下に下げると、ワーク固定剤１２が凝固してワーク４０がワーク固定シート１０上に固定される。ワーク固定剤１２の接着強度は、ワーク固定剤１２の厚さが例えば５μｍの場合、７ｋｇｆ／ｃｍ２〜２０ｋｇｆ／ｃｍ２であるので、ワーク４０を強固に固定することができる。
【００８０】
また、ワーク４０の表面に凹凸がある３次元的な異形状のものにおいても、強固に固定することができる。すなわち、ワーク固定剤１２が固形状のときは、ワーク４０の凹凸のうち凸の部分のみがワーク固定剤１２に接触しているだけであるが、ワーク固定剤１２を融解することによって、ワーク４０の凹の部分にも染み込ませることができる。これにより、ワーク固定剤１２を固化させたときに、固定したいワーク４０の表面にワーク固定剤１２を万遍に接触させることができ、強い固定力を得ることができるのである。つまり、ワーク４０の表面形状に関わらず、ワーク４０を強固に固定することができる。
【００８１】
このとき、ワーク固定剤１２は完全に固化するため、ワーク４０がワーク固定シート１０に対して動かないようにすることができ、ワーク４０を確実に固定することができる。したがって、微細な間隔（例えば０．１ｍｍなどの間隔）でワーク４０を切断しても、ワーク４０が動かないという特徴がある。
【００８２】
上記のようにして、ワーク固定シート１０にワーク４０を固定した後、ワーク４０を加工する。本実施形態では、２７００ｒｐｍの回転数で回転する厚さ０．３ｍｍのダイヤモンド砥石５０を用いてワーク４０を切断加工する。このとき、ワーク４０と共に、ワーク固定剤１２も切断する。本実施形態では、ダイヤモンド砥石５０でワーク４０を切断する際、ＰＥＴシート１１を完全に切断してしまわずに表面のみを切断しているが、ＰＥＴシート１１もワーク４０と共に完全に切断してしまっても構わない。
【００８３】
なお、上記切断加工の他に、ワーク４０に対する加工として、例えば、研削加工、研磨加工、ドリルでの穴あけ加工、ナイフでの切削加工等がある。
【００８４】
ワーク４０を加工した後、ワーク固定シート１０からワーク４０を取り除く。具体的には、ワーク固定剤１２は温度によって融解、凝固が起こるので、ワーク固定剤１２の溶融終了温度（５５℃〜５８℃）よりも高い温度のお湯をワーク４０に注ぐことにより、ワーク４０に密着したワーク固定剤１２を剥離する。なお、お湯の中にワーク４０を浸漬させても良い。この場合、お湯の中に界面活性剤を導入しておくとワーク固定剤１２を水溶液中に溶解することができる。
【００８５】
このようにしてワーク固定剤１２を剥離する際、ワーク固定剤１２の比重は水よりも小さい（例えば０．８〜０．９）ため、ワーク固定剤１２は水（お湯）に浮く。このため、ワーク４０を容易に洗浄することができる。なお、より洗浄効果を促進する方法として、超音波洗浄や超微細気泡洗浄の他、上記のように洗浄剤を導入する方法等がある。
【００８６】
以上のようにして、ワーク４０の加工が終了する。そして、ワーク４０から除去したワーク固定剤１２を回収し、リサイクルまたはリユースすることにより、ワーク固定剤１２を何度でも利用することができる。なお、図３に示される切断加工ではＰＥＴシート１１の表面がダイヤモンド砥石５０で削られるためＰＥＴシート１１を再利用することはできないが、ワーク４０およびＰＥＴシート１１に付着しているワーク固定剤１２においては、溶融して回収することにより、リサイクルおよびリユースが可能となる。また、ワーク固定剤１２を厚く形成しておくことで、ワーク４０と共にワーク固定剤１２を切断し、ＰＥＴシート１１を切断しないようにすることで、ＰＥＴシート１１を再利用するようにしても構わない。
【００８７】
以上説明したように、本実施形態では、融解と凝固とを５℃以下の温度変化で完了できるワーク固定剤１２を母体であるＰＥＴシート１１に塗布したものでワーク固定治具としてのワーク固定シート１０を構成する。これにより、ワーク固定シート１０の温度を少なくとも５℃変化させるだけでワーク固定シート１０にワーク４０を容易に固定することができる。同様に、ワーク固定シート１０の温度を少なくとも５℃変化させることで、ワーク固定シート１０からワーク４０を容易に剥離することができる。このように剥離する場合では、上述のように、お湯を注ぐだけでワーク４０からワーク固定剤１２を容易に取り除くことができる。なお、お湯の中に分散剤を入れると、パラフィンを液中に分散させることができる。分散剤を入れないと、液が融解温度以下になったとき、液面上に浮遊し固化し、膜を張るので、注意を要する。
【００８８】
また、従来では、例えば熱剥離シートやＰＥＴシートに塗布される粘着剤にて加工したいものを固定していたが、粘着剤は完全に固化しないため、例えば回転する砥石等でワークを加工する際、砥石の刃先がワークに当たるとワークが動いてしまう可能性があった。特に、ワークの切断幅を小さくするほど、砥石の刃先がワークに当たったときにワークが大きく動いてしまう。これにより、ワークを精度良く加工することができない可能性があった。しかしながら、本実施形態のように、ワーク固定剤１２が溶融してワーク４０の表面に万遍なく密着して凝固することにより、ワーク４０をワーク固定シート１０に強固に固定することができる。これにより、加工の際、ワーク４０がワーク固定シート１０から動いてしまうことを防止でき、ワーク４０に対して高精度の加工を行うことができる。
【００８９】
さらに、上記のように、本実施形態では、従来のように粘着性のあるものでワーク４０を固定するのではなく、わずかな温度差（２℃〜５℃）で融解・凝固を繰り返すワーク固定剤１２を用いるようにしている。このため、粘着テープのように粘着剤を塗布した母体となるシート（本実施形態ではＰＥＴシート１１）の材質が限定されることはない。
【００９０】
（第２実施形態）
本実施形態では、上記第１実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、ワーク固定シート１０においてＰＥＴシート１１に塗布するワーク固定剤１２の塗布模様がストライプ状になっていることが特徴である。
【００９１】
図４は、本発明の第２実施形態に係るワーク固定シートの平面図である。この図に示されるように、本実施形態におけるワーク固定シート１０において、ワーク固定剤１１は、上記ＰＥＴシート１１上にストライプ状に塗布されて固化した状態になっている。このようなワーク固定剤１１のストライプの幅は自由に設計可能であり、例えば、幅が０．０５ｍｍ〜数十ｍｍ、間隔が０．１ｍｍ〜数ｍｍの縦方向または横方向で塗布することが好ましい。
【００９２】
図５は、図４に示されるワーク固定シート１０を製造する様子を示した図である。本実施形態では、塗布装置２０において堤部材２４の高さ調整を行う図示しない高さ調整装置が堤部材２４を駆動することにより、例えば一定周期で堤部材２４の先端をＰＥＴシート１１に接触させたり遠ざけたりする。これにより、図５に示されるように、ＰＥＴシート１１上には、ワーク固定剤１２が塗布された部分と塗布されない部分とが設けられる。したがって、図４に示されるストライプ状のワーク固定剤１２が形成されることとなる。
【００９３】
以上のようにしてＰＥＴシート１１状にストライプ状のワーク固定剤１２を形成することにより、ＰＥＴシート１１を折り曲げたり、巻き取ったりしたときにワーク固定剤１２にかかるストレスによってワーク固定剤１２がＰＥＴシート１１から剥離してしまうことを防止できる。このように、ワーク固定剤１２のレイアウトを自由に変更することができる。
【００９４】
（第３実施形態）
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、ワーク固定シート１０を構成するＰＥＴシート１１に溝を形成することが特徴となっている。
【００９５】
図６は、第３実施形態に係るＰＥＴシート１１の平面図である。また、図７は、図６（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【００９６】
図６（ａ）に示されるＰＥＴシート１１には、当該ＰＥＴシート１１の長手方向および長手方向に垂直な方向に傷が形成されることで、格子状の溝１１ａが形成されている。本実施形態では、溝１１ａは、図７に示されるようにＰＥＴシート１１の一面側に形成されており、溝１１ａの深さは例えば１μｍ〜５００μｍである。
【００９７】
このような溝１１ａは、例えばサンドペーパー（例えば１０番〜１０００番）でＰＥＴシート１１の一面側を荒らすことにより形成する。すなわち、ＰＥＴシート１１の一面側を長手方向および長手方向に垂直な方向にサンドペーパーで擦ることで、図６（ａ）に示される格子状の溝１１ａを形成する。
【００９８】
また、図６（ｂ）に示されるＰＥＴシート１１には、当該ＰＥＴシート１１の長手方向に波状の溝１１ａが形成されている。さらに、図６（ｃ）に示されるＰＥＴシート１１には、当該ＰＥＴシート１１の長手方向に対して例えば４５°の方向に溝１１ａが斜線状に形成されている。
【００９９】
これら図６（ｂ）、（ｃ）に示される各ＰＥＴシート１１の各溝１１ａは、上記サンドペーパーを用いる方法と同様に、サンドペーパーでＰＥＴシート１１の表面を波状または斜線状に擦ることで形成する。
【０１００】
具体的には、サンドペーパーをロールに巻き付け、このロールを回転させてＰＥＴシート１１の表面に擦り付けることでＰＥＴシート１１の一面側に溝１１ａを形成する。
【０１０１】
すなわち、サンドペーパーを巻き付けたロールを回転させ、ＰＥＴシート１１の長手方向および長手方向に垂直な方向にそれぞれ擦り付けることにより、ＰＥＴシート１１に図６（ａ）に示される格子状の溝１１ａを形成することができる。
【０１０２】
また、サンドペーパーを巻き付けたロールをロールの回転軸方向に駆動すると共にロールを回転させ、サンドペーパーをＰＥＴシート１１に擦り付けることにより、ＰＥＴシート１１に図６（ｂ）に示される波状の溝１１ａを形成することができる。
【０１０３】
さらに、サンドペーパーを巻き付けたロールの回転軸の方向とＰＥＴシート１１の長手方向とが鋭角または鈍角の関係となるようにロールを回転させ、サンドペーパーをＰＥＴシート１１に擦り付けることにより、ＰＥＴシート１１に図６（ｃ）に示される斜線状の溝１１ａを形成することができる。
【０１０４】
なお、ロールにサンドペーパーを巻き付けずに、サンドペーパーでＰＥＴシート１１を直接荒らすようにしても良い。
【０１０５】
このようにしてＰＥＴシート１１に溝１１ａを形成した後、図２や図５に示される方法により、ＰＥＴシート１１上に溶融したワーク固定剤１２を塗布することで、図１や図４に示されるワーク固定シート１０を形成する。
【０１０６】
以上説明したように、ＰＥＴシート１１に溝１１ａを設けることで、ＰＥＴシート１１の一面側の表面積を確保する。そして、この溝１１ａを埋めるようにＰＥＴシート１１にワーク固定剤１２を塗布することにより、ＰＥＴシート１１の一面側とワーク固定剤１２との接触面積を確保でき、ＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２との密着力を向上する。これにより、ＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２との固定力を向上させることができ、ワーク固定剤１２がＰＥＴシート１１から剥がれてしまうことを防止することができる。
【０１０７】
（第４実施形態）
本実施形態では、上記各実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、ＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２との密着力を向上させるため、ＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２との間に粘着剤１３を設けたことが特徴である。
【０１０８】
図８は、第４実施形態に係るワーク固定シート１０を示した図であり、（ａ）はワーク固定シート１０の平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【０１０９】
図８（ｂ）に示されるように、本実施形態に係るワーク固定シート１０は、ＰＥＴシート１１と、ＰＥＴシート１１上に塗布された粘着剤１３と、粘着剤１３上に塗布されたワーク固定剤１２と、を備えて構成されている。
【０１１０】
この粘着剤１３は、ワーク固定剤１２をＰＥＴシート１１に強固に固定するためのものである。本実施形態では、粘着剤１３として、アクリル系の糊、セルロース系の糊、エポキシ系の糊等の糊を採用し、ＰＥＴシート１１に厚さが例えば１μｍ〜２００μｍに均一に塗布されている。
【０１１１】
そして、上記粘着剤１３は、図８（ａ）に示されるように図示されないＰＥＴシート１１の一面側に塗布されており、この粘着剤１３上に例えば厚さが１μｍ〜１ｍｍのワーク固定剤１２が塗布されている。ここでアクリル系の粘着剤１３の場合、熱・紫外線などで架橋するとよい。架橋がないと、塗布材料（ワーク固定剤１３）と、粘着剤１３が混合し、目的とする機能が得られない。架橋することによって、塗布材料（ワーク固定剤１３）を強固に固定でき目的とする機能を発揮することができる。
【０１１２】
このような構成を有するワーク固定シート１０において、Ｔ剥離の剥離強度を調べた。Ｔ剥離とは、上記ワーク固定シート１０のワーク固定剤１２を加熱溶融してワーク固定シート１０を固定台に貼り付けた後、ワーク固定シート１０を端部から剥がしていくことであり、Ｔ剥離の剥離強度とは、ワーク固定シート１０を固定台から剥がすために必要な力である。
【０１１３】
このようなＴ剥離の強度を、粘着剤１３を設けていないワーク固定シート１０と粘着剤１３を設けたワーク固定シート１０とでそれぞれ調べた。その結果、粘着剤１３を設けていないワーク固定シート１０のＴ剥離の剥離強度が０．１Ｎであったのに対し、粘着剤１３を設けたワーク固定シート１０のＴ剥離の剥離強度は０．２Ｎ〜１０Ｎであった。このような実験結果からも、粘着剤１３がＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２とを強固に密着させていることがわかる。
【０１１４】
本実施形態に示されるように、ＰＥＴシート１１とワーク固定剤１２との間に粘着剤１３を設けたワーク固定シート１０を用いる場合、ワーク固定剤１２にワークを固定する際、ワーク固定剤１２のみが溶融する温度で加熱し、ワーク固定剤１２からワークを剥離する際、ワーク固定剤１２のみが溶融する温度のお湯をワークおよびワーク固定剤１２に注ぐことで、ワークをワーク固定シート１０から剥離する。なお、ワーク固定剤１２のみが溶融する温度に加熱することによってもワークを取り外すことができる。
【０１１５】
以上説明したように、ＰＥＴシート１１の一面側に粘着剤１３を塗布し、この粘着剤１３上にワーク固定剤１２を塗布する。これにより、ＰＥＴシート１１と粘着剤１３との密着力を向上することができ、ワーク固定剤１２がＰＥＴシート１１から剥がれてしまうことを防止できる。
【０１１６】
（第５実施形態）
本実施形態では、第４実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、第４実施形態で用いられた粘着剤１３の代わりにホットメルト材を用いることが特徴となっている。
【０１１７】
すなわち、図８（ａ）、（ｂ）に示される粘着剤１３の代わりに、ホットメルト材を採用する。このホットメルト材は、粘着剤１３と同様の機能を有するものである。本実施形態では、ホットメルト材として、ロジンやエポキシ系樹脂を採用する。
【０１１８】
そして、上記ホットメルト材は、加熱されて溶融した後、ＰＥＴシート１１に塗布され、冷やされると固まる。この後、ホットメルト材上にワーク固定剤１２が塗布される。こうして、図８（ａ）、（ｂ）に示されるものと同様のワーク固定シート１０を形成する。
【０１１９】
なお、本実施形態においても第４実施形態と同様のＴ剥離の剥離強度を調べたところ、第４実施形態と同様の剥離強度を得ることができた。
【０１２０】
また、本実施形態においても、ワーク固定剤１２にワークを固定する際、ワーク固定剤１２のみが溶融する温度で加熱し、ワーク固定剤１２からワークを剥離する際、ワーク固定剤１２のみが溶融する温度のお湯をワークおよびワーク固定剤１２に注ぐことで、ワークをワーク固定シート１０から剥離する。
【０１２１】
以上説明したように、ワーク固定剤１２をＰＥＴシート１１に強固に固定するものとして、ホットメルト材を用いるようにすることもできる。
【０１２２】
（第６実施形態）
本実施形態では、第４、第５実施形態と異なる部分についてのみ説明する。本実施形態では、ワーク固定シート１０において、ＰＥＴシート１１上に融解開始温度が異なるワーク固定剤１２を複数積層することが特徴となっている。すなわち、ＰＥＴシート１０上の粘着剤１３もしくはホットメルト材上にワーク固定剤１２を設け、当該ワーク固定剤１２上にさらに他のワーク固定剤を設けることが特徴となっている。なお、以下では、ＰＥＴシート１１上に粘着剤１３が設けられたものを例に説明する。
【０１２３】
図１０は、本実施形態に係るワーク固定シート１０の断面図を示したものであり、図８（ａ）のＢ−Ｂ断面に相当する図である。この図に示されるように、ＰＥＴシート１１上にアクリル系の粘着剤１３が塗布され、当該粘着剤１３上に高温タイプ、例えば７２℃または８６℃で融解するワーク固定剤１２が塗布されている。更に当該ワーク固定剤１２上に、例えば５３℃または５５℃で融解するワーク固定剤１４が塗布されている。
【０１２４】
この場合、粘着剤１３は、７２℃または８６℃で融解するワーク固定剤１２を該粘着剤１３上に塗布する際の熱で変質しないものが望ましい。
【０１２５】
なお、低温タイプのワーク固定剤１４を塗布する際には、下地の高温タイプのワーク固定剤１２は変質や、溶解を起こさない。両固定剤１２、１４の融解開始温度差が１５℃以上あれば、低温ワーク固定剤１４を塗布する際に高温ワーク固定剤１２が溶解せず、低温ワーク固定剤１４の塗布を綺麗に行うことができる。
【０１２６】
上記各固定剤１２、１４の性状は次のとおりである。低温ワーク固定剤１４において、５３℃で融解するものについては、課題を解決するための手段の欄で示した組成（２）のものを用いる場合、低温ワーク固定剤１４は５２．５℃で融解を開始し、５３．７℃で融解が終了する。また、５５℃で融解する低温ワーク固定剤１４については、課題を解決するための手段の欄で示した組成（３）のものを用いる場合、５４．６℃で融解が開始し、５５．６℃で融解が終了する。
【０１２７】
また、高温ワーク固定剤１２において、７２℃で融解するものについては、課題を解決するための手段の欄で示した組成（４）のものを用いる場合、７２．１℃で融解が開始し、７３．４℃で融解が終了する。また、８６℃で融解する高温ワーク固定剤１２については、課題を解決するための手段の欄で示した組成（５）のものを用いる場合、８６．２℃で融解が開始し、８７．９℃で融解が終了する。
【０１２８】
上記のように、高温、低温タイプの各ワーク固定剤１２、１４を組み合わせる利点について説明する。
【０１２９】
本実施形態に示されるように、ワークをワーク固定剤１２、１４にて接着し、該ワークを加工した場合を想定すると、ワークの加工後にワークをＰＥＴシート１１から取り外す際、ワーク固定剤１２、１４のみが溶融する温度のお湯を注いでワーク固定剤１２、１４を溶融することでＰＥＴシート１１を取り外すことができるが、状況によっては、粘着剤１３を構成するアクリル樹脂がワークに付着するとか、ワーク内に混入する場合がある。
【０１３０】
これに対して、本実施形態ではワークに密着する側のワーク固定剤１４を低温タイプとし、粘着剤１３に密着する側のワーク固定剤１２を高温タイプとしているから、この低温タイプのワーク固定剤１４が溶融するが高温タイプのワーク固定剤１２は溶融しない温度のお湯を注ぐことで該低温タイプのワーク固定剤１４が溶融し、高温タイプのワーク固定剤１４は溶融しない。
【０１３１】
したがって、粘着剤１３はこの高温タイプのワーク固定剤１４によって被覆された状態とされているため、粘着剤１３を構成する成分、本実施形態ではアクリル系樹脂成分がワークに付着したり、混入したりすることを防止することができる。特に、ワークとして、不純物を極端に嫌うＳｉ半導体、各種センサの場合には、本実施形態のような積層型のワーク固定剤１２、１４を用いたワーク固定治具を使うことが好ましい。
【０１３２】
（他の実施形態）
母体としてＰＥＴシート１１にワーク固定剤１２を塗布したが、ワーク固定剤１２を塗布する母体として、布、紙、麻、不織布、金属箔、金属シート等を、ワーク４０を固定するため治具として用いることができる。
【０１３３】
上記ワーク固定シート１０のサイズは一例であって、どんなサイズのものであっても構わない。すなわち、ＰＥＴシート１１にワーク固定剤１２を塗布した後、加工したいワークのサイズに応じたＰＥＴシート１１のサイズになるようにＰＥＴシート１１を裁断すれば良い。また、ワーク固定シート１０を裁断せずに、例えばロール状になっていても良い。
【０１３４】
上記ワーク固定剤１２は、パラフィンを主成分とするもので構成されているが、ポリエチレングリコールを主成分とするもので構成されていても構わない。
【０１３５】
上記ワーク固定シート１０においてＰＥＴシート１１には片面にのみワーク固定剤１２が塗布されているが、ＰＥＴシート１１の両面にワーク固定剤１２を塗布しても構わない。
【０１３６】
上記第３実施形態では、ＰＥＴシート１１に格子状、波状、斜線状の溝１１ａを設けたものについて説明したが、溝１１ａの形態はこれらに限定されるものではない。例えば、溝１１ａとして、直線状、曲線状、点状、波状、十文字（例えば格子状）、斜め十文字（例えば斜線状）、３方向の重ね形等の形状であっても構わない。また、溝１１ａを形成する場合、上記実施形態で示されたサンドペーパーに限らず、刃具等を用いても良い。
【０１３７】
上記第３実施形態で示された溝１１ａが形成されたＰＥＴシート１１に、第４、第５実施形態で示された粘着剤１３やホットメルト材を塗布するようにしても構わない。すなわち、ＰＥＴシート１１において溝１１ａを埋めるように上記粘着剤１３やホットメルト材を塗布することもできる。
【０１３８】
上記ＰＥＴシート１１にワーク固定剤１２を塗布する場合、ノズル２３から溶融したワーク固定剤１２を噴射していたが、ワーク固定剤１２をＰＥＴシート１１に印刷する方法によってワーク固定シート１０を製造するようにしても構わない。このような場合、図９に示されるように、ＰＥＴシート１１上にドット形状のワーク固定剤１２を塗布することも可能である。また、ドットのサイズや形状は、自由に設計可能である。
【０１３９】
上記ワーク固定剤１２の塗布模様は、上記のようなドットやストライプに限らず、例えば網目模様、斜線模様、波模様等やこれらの組み合わせであっても構わない。また、ワーク固定剤１２の厚さは、ＰＥＴシート１１上においてその厚さが均一でなくても良い。
【０１４０】
上記各実施形態では、各ロール２１、２２にＰＥＴシート１１を巻き付けてワーク固定シート１０を形成していたが、ワーク固定シート１０を製造する際、ロール２１、２２を使わなくても良い。例えば、ＰＥＴシート１１を一定サイズに裁断したものの表面に溶融したワーク固定剤１２を塗布（または印刷）することによりワーク固定シート１０を形成することも可能である。また、母体がＰＥＴシート１１のようにシート状でない場合には、溶融したワーク固定剤１２を母体に直接吹き付ける方法等によりワークを固定するワーク固定治具を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の第１実施形態に係るワーク固定シートの平面図である。
【図２】図１に示されるワーク固定シートを製造する様子を示した図である。
【図３】ワーク固定シートにワークを固定して、ワークを加工する様子を示した図である。
【図４】本発明の第２実施形態に係るワーク固定シートの平面図である。
【図５】図４に示されるワーク固定シートを製造する様子を示した図である。
【図６】第３実施形態に係るＰＥＴシートの平面図であり、（ａ）はＰＥＴシートの表面に格子状の溝を形成した平面図、（ｂ）はＰＥＴシートの表面に波状の溝を形成した平面図、（ｃ）はＰＥＴシートの表面に斜線状の溝を形成した平面図である。
【図７】図６（ａ）のＡ−Ａ断面図である。
【図８】第４実施形態に係るワーク固定シートを示した図であり、（ａ）はワーク固定シートの平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。
【図９】他の実施形態において、ＰＥＴシート上にドット状のワーク固定剤を塗布したワーク固定シートの平面図である。
【図１０】第６実施形態に係るワーク固定シートの断面図である。
【符号の説明】
【０１４２】
１０…ワーク固定シート、１１…ＰＥＴシート、１１ａ…溝、１２、１４…ワーク固定剤、１３…粘着剤、２０…塗布装置、２３…ノズル、４０…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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