(57)【要約】【課題】Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金の透磁率を高くすることにより、ノイズ抑制効果の高いシートを作製する。【解決手段】Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、ビッカーズ硬度が４００〜８００であるノイズ抑制用軟磁性金属粉末。また本発明は、Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、ビッカーズ硬度が４００〜８００であるノイズ抑制用軟磁性金属粉末と、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末を結合する結合剤と、を備えることを特徴とするノイズ抑制用シートを提供する。【選択図】図６
2007273732.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、
重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、
ビッカーズ硬度が４００〜８００であることを特徴とするノイズ抑制用軟磁性金属粉末。
【請求項２】
Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、
重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、
ビッカーズ硬度が４００〜８００であるノイズ抑制用軟磁性金属粉末と、
前記ノイズ抑制用軟磁性金属粉末を結合する結合剤と、
を備えることを特徴とするノイズ抑制用シート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、デジタル機器から発生されるノイズを抑制するシートに関し、特に樹脂と複合化されて用いられるＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金粉末の透磁率の向上に関する。
【背景技術】
【０００２】
パーソナルコンピュータ、携帯電話機等の電子機器の高速動作処理化、デジタル化の発展に従って、電磁波障害（ＥＭＩ：Electromagnetic Interference）が増加している。特に、デジタル機器はノイズにより誤動作を起こすこともあることから、デジタル機器から発生するノイズの低減が重要である。
従来、ノイズ対策の１つの手段として磁性材料で構成したノイズフィルタによりノイズを吸収することが行われている。ノイズフィルタを構成する代表的な磁性材料としてスピネル型の結晶構造をもつフェライト材料がある。高周波帯域では電気抵抗の大きい材料ほど渦電流損失が小さくなりノイズ吸収に有利となるから高周波帯域に関してはフェライト材料の中でも電気抵抗の大きいＮｉ系フェライト材料が用いられてきた。しかし、ノイズがギガヘルツの帯域となると、「Snoekの限界」が問題となる。つまり、フェライト材料のノイズ吸収帯域の上限は１ＧＨｚであり、近時の高周波ノイズに対応することは難しい。しかもフェライト材料は脆性材料であることから、落下、衝撃等で破壊されることがあった。
【０００３】
以上に対して、軟磁性金属粉末を樹脂、ゴム中に分散させたノイズ抑制シートが提案されている。例えば、扁平状のＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ軟磁性金属粉末をゴム、樹脂中に配向・配列した複合磁性材料が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特許第２５２３３８８号公報
【０００５】
この複合磁性材料は、ベースが可撓性のあるゴム、樹脂から構成されているため、フェライト材料のような落下、衝撃による破損の心配はない。すなわち、ノイズ抑制シートは、軟磁性金属粉末をゴム、プラスチック等の絶縁体マトリックスに混合分散させ、プレス成形・押出成形およびカレンダーロール成形等により作製される。マトリックスおよび加工法を選択することにより、０．１ｍｍ程度から数ｍｍ程度のシート状あるいはブロック状等種々の形態の部材を作製することができる。また、マトリックスを選択し、かつ厚さを制御することにより、可撓性を付与したり、逆に剛性を高めたりすることもできる。また、マトリックスを選択することにより、２５０℃程度の高温での使用も可能である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ノイズ抑制シートのノイズ抑制効果は、その透磁率に依存する。近時、ノイズの強度が増していることに伴って、さらにノイズ抑制効果の向上が望まれている。したがって、上述したノイズ抑制シート、換言すればノイズ抑制シートに含まれる軟磁性金属粉末の透磁率を高くすることが必要となってきている。ノイズ抑制効果は、磁気を遮蔽することにより、近接回路基板間の相互干渉を防止する磁気シールド効果と、電磁波ノイズのエネルギーを吸収して熱に変換するノイズ吸収効果に大別される。高周波における透磁率は、実部透磁率μ’と虚部透磁率μ”を用いて複素透磁率μ＝μ’−ｊμ”で表されるが、磁気シールド効果は、実部透磁率μ’の大きさに依存し、ノイズ吸収効果は、虚部透磁率μ”の大きさに依存する。また一般に、実部透磁率μ’が大きいほど虚部透磁率μ”の最大値は大きくなる。そこで本発明では、磁性材料としてＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金を用いた複合磁性材料の実部透磁率μ’を大きくし、ひいてはノイズ抑制効果を向上することを目的とした。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
複合磁性材料の透磁率は、粒径やアスペクト比が大きく、保磁力の小さい軟磁性金属粉末を用いることで大きくなる。軟磁性金属粉末を扁平化する手段に特に制限はなく、所望の扁平化が可能であればどのような手段を用いてもよいが、軟磁性金属粉末に応力を印加して扁平な粉末を得る方法としては、媒体攪拌ミルを用いる方法が知られている。これは、媒体を撹拌させて軟磁性金属粉末との衝突を繰り返すことにより扁平化する方法であるが、衝突による剪断力で粉末が破断してしまうと、所望のアスペクト比、さらには粒径を得ることができなくなる。Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金の場合、その硬度はＳｉ含有量に依存し、その含有量が多くなると硬度が高くなり脆くなる。このようなＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金では、粒径の大きな扁平粉を得ることが難しい。一方、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金の保磁力は磁歪定数が０になるＳｉ＝１２ａｔ％（６．５ｗｔ％）付近で最小になる。しかし、この組成のＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金はビッカーズ硬度が比較的小さいため粒径の大きな扁平粉が得られ易い反面、扁平化処理に伴う歪が大きくなるため、保磁力を小さくすることができない。そこで、本発明者等が硬度と扁平化処理後の粒径及び保磁力の関係を調査した結果、硬度を所定の範囲（Ｈｖ：ビッカーズ硬度＝４００〜８００）に制御することで、扁平粉の粒径を３０μｍ以上と十分に大きくすること、さらには保磁力を低くすることも可能になった。
【０００８】
本発明は以上の知見に基づくものであり、Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、ビッカーズ硬度が４００〜８００であることを特徴とするノイズ抑制用軟磁性金属粉末である。
また本発明は、Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物からなる組成を有し、重量平均粒径Ｄ５０が３０〜１００μｍ、ビッカーズ硬度が４００〜８００であるノイズ抑制用軟磁性金属粉末と、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末を結合する結合剤と、を備えることを特徴とするノイズ抑制用シートも提供する。
【発明の効果】
【０００９】
以上説明したように、本発明によれば、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金の透磁率を高くすることにより、ノイズ抑制効果の高いシートを作製することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下本発明の実施の形態を説明する。
＜合金組成＞
本発明によるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物の組成を有する。
後述する実施例にて示すように、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金の硬さはＳｉ量に依存し、Ｓｉ量が多くなると硬さが高くなる。Ｓｉ量が少なくなると、硬さが低くなって扁平化処理時の歪が多くなることによって、保磁力が大きくなってしまう。一方、Ｓｉ量が多くなりすぎると、飽和磁化Ｍｓが低下すると共に、硬くなるために扁平化処理時に粉末が破断しやすくなる。したがって、粒径の大きな扁平粉末を得ることが難しくなる。以上を考慮して、本発明はＳｉ量を１３〜２８ａｔ％とする。好ましいＳｉ量は１５〜２５ａｔ％、さらに好ましいＳｉ量は１７〜２３ａｔ％である。
【００１１】
本発明のＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金において、Ｃｒは耐食性を付与することができる。しかし、その量が増えると飽和磁化Ｍｓが低下する。高い透磁率を得ることを目的とする本発明においては、Ｃｒ量を１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）とする。好ましいＣｒ量は０．５〜５ａｔ％、さらに好ましいＣｒ量は０．５〜３ａｔ％である。
本発明にかかるＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金は、Ｓｉ及びＣｒの他はＦｅ及び不可避的不純物であるが、種々の添加元素の含有を否定するものではない。
【００１２】
＜重量平均粒径Ｄ５０＞
本発明によるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、重量平均粒径Ｄ５０（以下、単にＤ５０）が３０〜１００μｍである。Ｄ５０が３０μｍよりも小さくなると透磁率が低くなる。一方で、Ｄ５０が大きくなりすぎると、結合材との混合が容易でなくなり、ノイズ抑制シートを作製することが難しくなる。そこで、Ｄ５０の上限を１００μｍとした。ノイズ抑制用軟磁性金属粉末の好ましいＤ５０は３５〜９０μｍであり、より好ましいＤ５０は４０〜５０μｍである。なお、Ｄ５０は、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末を構成する粒子の重量を粒径の小さい方から積算し、この値がノイズ抑制用軟磁性金属粉末全体の重量の５０％に達したときの扁平状軟磁性粒子の粒径（長軸の長さ）である。また、この場合の粒径は、光散乱法を用いて測定することができ、測定対象を例えば循環しながらレーザー光やハロゲンランプ等を光源としてフランホーファ回折あるいはミィ散乱の散乱角を測定し、粒度分布を測定するものである。
【００１３】
本発明のノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、厚さの好ましい範囲を０．１〜２．０μｍ、より好ましい範囲を０．５〜１．５μｍとする。ノイズ抑制用軟磁性金属粉末の厚さを０．１μｍ未満とすることは製造が容易でなく、取り扱いも難しくなる。また、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末の厚さが２．０μｍを超えると、高周波での磁気特性の低下を招くことになるので好ましくない。
また、本発明によるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、アスペクト比（＝粒径／厚さ）の好ましい範囲を１０〜２００、より好ましい範囲を２０〜１００とする。アスペクト比が１０以下になると反磁界が大きくなり、これをノイズ抑制シートにしたときのみかけの透磁率が低下し、２００以上になると充填率（＝ノイズ抑制用軟磁性金属粉末の体積／ノイズ抑制シートの体積）が低下し透磁率が低下する。
【００１４】
＜硬さ＞
本発明によるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）を４００〜８００とする。ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が４００未満では、扁平化処理に伴う歪みが大きくなり、保磁力が大きくなる。また、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が８００を超えると、合金が脆くなり扁平化の際に破断しやすくなり、重量平均粒径Ｄ５０が３０μｍ以上の扁平粉を得ることが難しくなる。本発明において、好ましいビッカーズ硬度（Ｈｖ）は４５０〜７５０、より好ましいビッカーズ硬度（Ｈｖ）は５００〜７００である。
【００１５】
＜原料合金粉末＞
本発明によるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、上記組成を有する原料合金粉末を作製し、これを扁平化処理して得ることができる。原料合金粉末は、インゴットを粉砕して得たものであっても良いし、水アトマイズ、ガスアトマイズ、ロール急冷法等の溶湯急冷法により得たものであってもよい。原料合金粉末のＤ５０は５〜５０μｍとすることが好ましい。原料合金粉末のＤ５０が５μｍ未満では扁平化処理を行っても３０μｍ以上のＤ５０を得ることが困難である。また、原料合金粉末のＤ５０が５０μｍを超えると、扁平化処理によってＤ５０が１００μｍを容易に超えてしまう。後述する実施例に示されるように、原料合金粉末の重量平均粒径Ｄ５０は、上記範囲の中で大きいほどノイズ抑制シートの透磁率を高くすることができる。したがって、好ましい原料合金粉末の重量平均粒径Ｄ５０は１５〜５０μｍ、より好ましい原料合金粉末の重量平均粒径Ｄ５０は２５〜５０μｍである。
【００１６】
＜扁平化処理＞
原料合金粉末を扁平化処理する。この扁平化する手段に特に制限はなく、所望の扁平化が可能であればどのような手段を用いてもよい。例えば、媒体撹拌ミル、転動ボールミル等を用い扁平化処理を行うことができるが、特に媒体撹拌ミルを用いることが好ましい。媒体撹拌ミルは、ピン型ミル、ビーズミルあるいはアジテーターボールミルとも称される撹拌機である。扁平化処理は、トルエン等の有機溶媒を用い、湿式で行うことが好ましい。このときのノイズ抑制用軟磁性金属粉末の粒度分布は、必ずしもシャープである必要はなく、２山の分布を有していてもよい。
【００１７】
＜熱処理＞
扁平化処理後、熱処理を行う。この熱処理により、扁平状のノイズ抑制用軟磁性金属粉末を乾燥し、さらには、扁平化に伴う歪みを除去する。この熱処理は、大気中で行うこともできるし、一定量（例えば酸素分圧１％以下）の酸素を含んだ不活性ガス（例えば窒素）中で行うこともできる。
熱処理の温度は、安定温度を２７５〜４５０℃、より好ましくは３００〜４００℃とする。またその安定時間は、３０〜１８０分とするのが好ましい。Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金からなるノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、熱処理が上記の温度範囲を外れると、熱処理後に得られるノイズ抑制用軟磁性金属粉末の保磁力Ｈｃが高くなるからである。保磁力Ｈｃが極小値となる温度を含んだ上記温度範囲で熱処理を行うのが好ましい。
【００１８】
上記の安定温度は、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末の組成により、適宜異ならせ、最適な条件とするのが好ましい。例えば、Ｆｅ９８．５−ＸＳｉＸＣｒ１．５合金において、ｘ＝１５のときは、安定温度を３２５〜４５０℃とするのが好ましく、３５０〜４００℃とするのがさらに好ましい。また、ｘ＝２１、２４のときは、安定温度を２７５〜３７５℃とするのが好ましく、３００〜３５０℃とするのがさらに好ましい。Ｘ＝２６、２８のときは、安定温度を３００〜４００℃とするのが好ましく、３２５〜３７５℃とするのがさらに好ましい。
【００１９】
以上のようにして得られたノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、Ｓｉ：１３〜２８ａｔ％、Ｃｒ：１０ａｔ％以下（ただし、０を含まず）、残部：Ｆｅ及び不可避的不純物の組成を有し、Ｄ５０が３０〜１００μｍ、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が４００〜８００の特性を備えている。このノイズ抑制用軟磁性金属粉末を用いてノイズ抑制シートを以下のようにして作製することができる。
【００２０】
例えば、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末と結合材とを混練した後、プレス成形・押出成形によってシート状としたり、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末と結合材とを有機溶媒に分散させ、これをドクターブレード法により所定の厚さに製膜したりした後、乾燥後にカレンダーロールによって圧延してシート状にする。このようにして、厚さ０．０５〜２ｍｍのノイズ抑制シートを得ることができる。
ノイズ抑制シートの厚さを０．０５〜２ｍｍとするのは以下の理由に基づく。すなわち、ノイズ抑制シートの厚さが０．０５ｍｍよりも薄い場合は、十分なインダクタンスが得られない。一方、ノイズ抑制シートの厚さが２ｍｍを超えると、電気機器の筐体内部の狭い空間に収めることが困難になるという制約条件からである。
【００２１】
ノイズ抑制シートにおけるノイズ抑制用軟磁性金属粉末の充填率は、６０〜９５ｗｔ％であることが好ましい。充填率が６０ｗｔ％未満であるとノイズ抑制効果が不足し、９５ｗｔ％を超えるとノイズ抑制用軟磁性金属粉末同士が結合材によって強固に結び付くことができず、ノイズ抑制シートの強度が低下する。充填率は７０〜９０ｗｔ％であることがより好ましい。
結合材としては、公知の熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、紫外線硬化性樹脂、放射線硬化性樹脂、ゴム系材料等を用いることができる。具体的には、ポリエステル系樹脂、ポリエチレン樹脂、ポリ塩化ビニル系樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、ポリウレタン樹脂、セルロース系樹脂、ＡＢＳ樹脂、二トリル−ブタジエン系ゴム、スチレン−ブタジエン系ゴム、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、アミド系樹脂等である。
【００２２】
なお、ノイズ抑制シートは、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末及び結合剤の他、硬化剤、分散剤、安定剤、カップリング剤等を含有してもよい。また、本発明のノイズ抑制シートを所要の形状に成形あるいは塗布する際に、配向磁界を印加し、あるいは機械的に配向することにより、方向性の高いノイズ抑制シートとすることができる。
【実施例】
【００２３】
初めに、組成を変えたＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金のビッカーズ硬度（Ｈｖ）を調査した。図１は、アーク溶解により合金化したＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金のビッカーズ硬度（Ｈｖ）である。測定は「ビッカーズ硬度試験法（ＪＩＳ Ｚ ２２４４）」に従い、組成毎に５点測定し、最大値と最小値を除いた３点の平均値をプロットした。図１に示すように、Ｆｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金のビッカーズ硬度（Ｈｖ）は、Ｃｒ量によらずＳｉ量によって変動し、Ｓｉ量が少ないほど小さくなることがわかる。
【００２４】
次に、Ｓｉ量の異なるＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金（水アトマイズ粉）を扁平化処理した後に、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末のビッカーズ硬度（Ｈｖ）と、扁平化されやすさ及び保磁力（Ｈｃ）の関係を調査した。
Ｆｅ９８．５−ＸＳｉＸＣｒ１．５（ａｔ％）の組成を有する原料合金粉末を水アトマイズ法により作製した。原料合金粉末の粒径は、Ｄ５０＝１０、２５、４０μｍの３種類とした。この原料合金粉末を溶媒にトルエンを用いた媒体攪拌ミル中で処理時間を０〜８時間の範囲で変えて扁平化した。扁平化処理後に乾燥し、熱処理を施した。熱処理は、保磁力（Ｈｃ）が極小になる温度（３００〜４００℃）で行い、熱処理後に振動試料型磁力計（ＶＳＭ）にて保磁力（Ｈｃ）の測定を行った。ただし、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）は原料合金粉末（水アトマイズ粉末）を樹脂埋め後、鏡面研磨し測定した。
【００２５】
図２は、扁平化処理時間と扁平化処理されたノイズ抑制用軟磁性金属粉末のＤ５０の関係を示している。なお、原料合金粉末の粒径はＤ５０＝１０μｍである。扁平化処理によりＤ５０は大きくなる。ただし、処理時間が長くなると扁平化を超えて粉砕が発生するため、Ｄ５０はある時間でピークを示す。また、同一の処理時間では、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が低いほど扁平化処理されたノイズ抑制用軟磁性金属粉末のＤ５０が大きいことから、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が低いほど扁平化されやすいことがわかる。なお、Ｄ５０は光散乱法を用いたＨＥＬＯＳ ＳＹＳＴＥＭ（日本電子製、乾式法）による５０％粒子径である。
【００２６】
図３は、扁平化処理時間と熱処理後のノイズ抑制用軟磁性金属粉末の保磁力（Ｈｃ）の関係を示している。図３より、原料合金粉末のときの保磁力（Ｈｃ）（扁平化処理時間０ｈ：熱処理前後でほとんど変化なし）が小さくても、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が低いと、扁平化に伴う歪みが大きくなり、扁平化処理後の保磁力（Ｈｃ）が大きくなってしまう。したがって、保磁力（Ｈｃ）の観点からは硬度の高い合金を用いることが好ましいことがわかる。
【００２７】
図４は、原料合金粉末の粒径が異なる場合のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制用軟磁性金属粉末のＤ５０の関係を示している。原料合金粉末の粒径が大きいほど扁平化処理後の粒径を大きくすることができるが、ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が高くなると原料合金粉末の粒径を大きくしても、扁平化後の粒径は大きくなりにくいことがわかる。
【００２８】
図５は、原料合金粉末の粒径が異なる場合のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制用軟磁性金属粉末の保磁力（Ｈｃ）の関係を示している。ビッカーズ硬度（Ｈｖ）が高いほど、保磁力（Ｈｃ）が小さくなることがわかる。また、原料合金粉末の粒径が大きいほど、保磁力（Ｈｃ）が小さくなることがわかる。
【００２９】
次に、ノイズ抑制用軟磁性金属粉末を用いてノイズ抑制シートを作製した。
ノイズ抑制シートは、以下の手順で作製した。ノイズ抑制用軟磁性金属粉末（熱処理後）とバインダ１５ｗｔ％とを希釈剤を用いて混合し、得られたスラリをＰＥＴ（Poly Ethylene Terephthalate）フィルム上に塗布した後に、磁場配向した。ノイズ抑制用軟磁性金属粉末は、Ｄ５０が最大となる処理時間で扁平化したものであり、磁場配向は同極を対向させた磁石の間を通過させることで行った。さらに、ロール圧延を行って、厚さが０．２５ｍｍ、密度が３．５Ｍｇ／ｍ３のノイズ抑制シートを得た。このシートから、外径１８ｍｍ、内径１０ｍｍのトロイダル形状の試料を作製し、インピーダンスアナライザ（ヒューレットパッカード社製  ＨＰ４２９１Ａ）を用いて実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”を測定した。用いたノイズ抑制用軟磁性金属粉末のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制シートの実部透磁率μ’の関係を図６に示す。ノイズ抑制用軟磁性金属粉末のビッカーズ硬度（Ｈｖ）が４００〜８００のときに実部透磁率μ’が高くなることがわかる。特に、原料合金粉末のＤ５０が３０μｍ以上のときに６０以上、さらには８０以上の実部透磁率μ’が得られることがわかる。
【００３０】
図７に実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”の周波数特性を示し、また図８に１０ＭＨｚにおける実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”の最大値の関係を示す。実部透磁率μ’が大きくなると虚部透磁率μ”の最大値も大きくなることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】アーク溶解により合金化したＦｅ−Ｓｉ−Ｃｒ合金のＳｉ量とビッカーズ硬度（Ｈｖ）の関係を示すグラフである。
【図２】扁平化処理時間と扁平化処理された軟磁性金属粉末のＤ５０の関係を示すグラフである。
【図３】扁平化処理時間と熱処理後の軟磁性金属粉末の保磁力（Ｈｃ）の関係を示すグラフである。
【図４】原料合金粉末の粒径が異なる場合のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制用軟磁性金属粉末のＤ５０の関係を示すグラフである。
【図５】原料合金粉末の粒径が異なる場合のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制用軟磁性金属粉末の保磁力（Ｈｃ）の関係を示すグラフである。
【図６】ノイズ抑制用軟磁性金属粉末のビッカーズ硬度（Ｈｖ）とノイズ抑制シートの実部透磁率μ’の関係を示すグラフである。
【図７】ノイズ抑制シートの実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”の周波数特性を示すグラフである。
【図８】ノイズ抑制シートの１０ＭＨｚにおける実部透磁率μ’及び虚部透磁率μ”の最大値の関係を示すグラフである。
【図１】
2007273732.tif 000003
【図２】
2007273732.tif 000004
【図３】
2007273732.tif 000005
【図４】
2007273732.tif 000006
【図５】
2007273732.tif 000007
【図６】
2007273732.tif 000008
【図７】
2007273732.tif 000009
【図８】
2007273732.tif 000010