(57)【要約】【課題】  複数の被検査ディスクのグライド検査と、その検査用ヘッドの浮上量の調整を並行処理することにより、グライド検査の並行処理による効率的な処理と共にヘッドの浮上量調整のための装置の稼動率の向上を可能とするグライド検査装置を提供する。【解決手段】  円周上に一定間隔で設けられた複数のヘッド１０１を複数のスピンドル１０２ａ〜１０２ｆに対して相対的に回転移動させてそれらの個々の対応関係を切り替え可能な回転機構１０５と、スピンドル１０２ａ〜１０２ｅを回転し、対応するヘッドを用いて複数の被検査ディスク１０３に対してグライド検査を行なうと共に、各ヘッド１０１の調整時期を判別するグライド検査制御手段と、グライド検査制御手段により調整時期を判別されたヘッドが基準ディスク１０４に対応するように回転機構１０５を用いてヘッドとスピンドルとの対応関係を切り替えるヘッド調整制御手段とを備える。【選択図】        図１
2007035201.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円周上に一定間隔で設けられた複数のグライド検査用ヘッドと、
前記各ヘッドに対応する被検査ディスク又は基準ディスクを回転するために設けられた複数のスピンドルと、
前記複数のヘッドを前記複数のスピンドルに対して相対的に回転移動させてそれらの個々の対応関係を切り替え可能な回転機構と、
前記複数のスピンドルのうちの少なくとも１つに装着された基準ディスクと、
前記複数のスピンドルのうちの前記基準ディスクが装着された残りの複数のスピンドルに被検査ディスクの取り付け・取り外しを行なうディスク搬送機構と、
前記ディスク搬送機構を用いて被検査ディスクを装着したスピンドルを回転し、対応するヘッドを用いて複数の被検査ディスクに対してグライド検査を並行して行なうと共に、各ヘッドの調整時期を判別するグライド検査制御手段と、
前記グライド検査制御手段により調整時期を判別されたヘッドが前記基準ディスクに対応するように前記回転機構を用いて前記ヘッドとスピンドルとの対応関係を切り替えると共に、当該基準ディスクを装着したスピンドルを回転して対応するヘッドの浮上量の調整を前記複数の被検査ディスクのグライド検査と並行して行なうヘッド調整制御手段とを備えることを特徴とするグライド検査装置。
【請求項２】
前記回転機構は、前記複数のグライド検査用ヘッドが回転可能な円盤台座の周上に一定間隔で取り付けられ、その台座の周囲に前記複数のスピンドルが設けられてなることを特徴とする請求項１に記載のグライド検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置に搭載する磁気ディスクのヘッド浮上量を保証するためのグライド検査に用いて好適なグライド検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報処理技術の高度化に伴い、磁気記憶装置に対する記憶容量の増大化が求められ、ハードディスク装置に搭載される磁気ディスクにおいては高記録密度化が求められている。
記録密度向上の手法の１つとして、データの書き込み及び読み出しを行なう磁気ヘッドと磁気ディスクの間の距離（磁気スペーシング）を小さくすることが挙げられ、磁気ヘッドの浮上量を小さくする必要がある。磁気ヘッドの浮上量を小さくすることで、磁気ディスク表面の微小突起が問題となってくる。
このため、磁気ディスク製造工程の最後に、ディスク表面の平滑性を保証するための検査が行われる。その一例として、磁気ディスクの全数についてグライド検査が行われている。
【０００３】
グライド検査とは、磁気ディスクの表面の突起、すなわちヘッドクラッシュの原因となる突起を欠陥として検出する検査である。ヘッドクラッシュとは、ハードディスク装置においてデータの書き込み・読み出しを行なう磁気ヘッドが、磁気ディスク表面の突起に接触し、磁気ヘッドの浮上面に、磁気ディスク表面の損傷により発生したダストや潤滑剤が付着することで、磁気ヘッドの浮上安定性が損なわれ、読み出しエラーとなったり、さらには磁気ヘッドが浮上できなくなって磁気ディスク表面を擦り続け、磁気情報を破壊してしまったりする現象である。
従来のグライド検査装置は、図３に示すように、１つの検査用ヘッド１０１と１つのスピンドル１０２がセットになったユニット３００で、搬送系３０７により搬送される被検査ディスク１０３を１枚ずつ処理して行くものが一般的であるが、グライド検査は、検査用ヘッド１０１が被検査ディスク１０３の表面の突起に接触したことを検知して欠陥を検出する検査であるから、処理枚数が増えれば増えるほどヘッド１０１が突起に接触した回数も増え、接触によって発生する微細なダストやディスク１０３表面の潤滑剤がヘッド１０１の浮上面に付着する。
【０００４】
被検査ディスク１０３の表面に例外的に多数の突起があったり、その大きさが非常に大きい物であったりする場合、ヘッド１０１が安定して浮上できずにディスク１０３の表面を擦り続ける場合もある。これらによって、以降の検査においてヘッド１０１の浮上安定性が維持できなくなったり、ヘッド１０１自体が損傷して使えなくなったりする。
このため、新品ヘッド１０１を取り付けた時や検査が所定枚数進んだ時にはヘッド１０１の浮上性を確認している。
この確認方法については、例えば特許文献１に記載のバンプディスクを用いるものが知られているので、図４を参照しながら説明する。
図４（Ａ）に示すように、目的の浮上量と同じ高さの突起４０４を持った基準ディスクとしてのバンプディスク１０４を回転してそのバンプディスク１０４上に検査用ヘッド１０１を浮上させる（図４（Ｂ））。検査用ヘッド１０１には圧電素子４０１が取り付けられており、突起４０４に接触した際の衝撃により電圧が誘起され、この電圧が信号４０５として出力される（図４（Ｃ），（Ｄ））。
【０００５】
一般に、ヘッドとディスクの相対速度４０２でヘッドの浮上量４０３が決まるため、この相対速度４０２を様々に変えることで、ヘッドとディスクの相対速度４０２と出力信号４０５の強さを調べる。ある相対速度以下ではヘッド１０１が突起４０４に接触することで出力信号４０５が強まり、それを超える速度では接触しないために信号４０５がノイズレベルにまで弱まる。この変化点がヘッドとディスクが接触し始める相対速度とされ、この相対速度を保つように被検査ディスク１０３の回転数が調整される。
こうして設定された回転数で、ある所定枚数のグライド検査を行なった後、再度上記の確認を行なう。その際、初めに設定した相対速度でヘッド１０１の浮上が不安定な場合は、再度同様の調整を行なって検査を続ける。調整してもヘッド１０１が安定浮上しない、または全く浮上しない場合はヘッドを交換する。
【０００６】
そこで、特許文献２では、１つのターンテーブル上に２つの検査用ヘッドを配置し、一方で磁気ディスクの浮上保証試験（グライド検査）を行い、他方で検査用ヘッドの浮上試験（浮上量の調整）を行なう方法が提案されている。
これによれば、一方で検査用ヘッドが被検査ディスクのグライド検査を行なっている間に、他方では検査用ヘッドの調整・交換を行なって待機する。必要に応じてターンテーブルが回転し、調整済みのヘッドがグライド検査側へ、それまでの検査用ヘッドが調整・交換側へ移動することで、装置を止めることなく連続的に検査することができる。
一方で、特許文献３，４のように、１つのターンテーブル上に被検査ディスクを装着する複数個のスピンドル機構を備え、ターンテーブルを回転して複数種類の検査を順次行なうことで多数枚の連続処理を可能とする磁気ディスクの検査装置も知られている。
【特許文献１】特開平７−２５４１４２号公報
【特許文献２】特開平４−３４７１４号公報（第６図等）
【特許文献３】特開平５−３６０６３号公報
【特許文献４】特開昭６１−７４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述の特許文献２の方法では、一度検査用ヘッドの調整・交換を終えてしまえば、その検査用ヘッドの調整が必要となるまで待機していることになり、その間はヘッドの調整・交換側のスピンドル機構やヘッド駆動装置は使われない点で、非効率・不経済であった。
一方、特許文献３，４のものは、複数のスピンドル機構を用いて複数枚の磁気ディスクの検査を同時並列的に行なうものである点で効率的な処理が可能であるが、検査用ヘッドの浮上量の調整については考慮されていない。
本発明は、上述の点に鑑み、複数の被検査ディスクのグライド検査と、その検査用ヘッドの浮上量の調整を並行処理することにより、グライド検査の並行処理による効率的な処理と共にヘッドの浮上量調整のための装置の稼動率の向上を可能とするグライド検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述の課題を解決するため、円周上に一定間隔で設けられた複数のグライド検査用ヘッドと、各ヘッドに対応する被検査ディスク又は基準ディスクを回転するために設けられた複数のスピンドルと、複数のヘッドを複数のスピンドルに対して相対的に回転移動させてそれらの個々の対応関係を切り替え可能な回転機構と、複数のスピンドルのうちの少なくとも１つに装着された基準ディスクと、複数のスピンドルのうちの基準ディスクが装着された残りの複数のスピンドルに被検査ディスクの取り付け・取り外しを行なうディスク搬送機構と、ディスク搬送機構を用いて被検査ディスクを装着したスピンドルを回転し、対応するヘッドを用いて複数の被検査ディスクに対してグライド検査を並行して行なうと共に、各ヘッドの調整時期を判別するグライド検査制御手段と、グライド検査制御手段により調整時期を判別されたヘッドが基準ディスクに対応するように回転機構を用いてヘッドとスピンドルとの対応関係を切り替えると共に、基準ディスクを装着したスピンドルを回転して対応するヘッドの浮上量の調整を複数の被検査ディスクのグライド検査と並行して行なうヘッド調整制御手段とを備えることを特徴とする。
【０００９】
ここで、回転機構は、複数のグライド検査用ヘッドが回転可能な円盤台座の周上に一定間隔で取り付けられ、その台座の周囲に複数のスピンドルが設けられてなるものとすることが省スペースとするうえで好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の被検査ディスクのグライド検査を並行処理し、その際に調整時期に達した検査用ヘッドを回転移動して調整するようにしたので、グライド検査の並行処理による効率的な処理と共にヘッドの浮上量調整のための装置の稼動率の向上が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下に、本発明の実施形態を図面を参照して説明する。
図１に、本発明に係るグライド検査装置の実施形態を真上から見て模式的に示す。この実施形態は、グライド検査用ヘッド及びそれに対応するスピンドルが各６個で、そのうちの１つのスピンドルに基準ディスクを装着する場合のものである。
〔グライド検査装置の基本構成〕
図１に示すように、この実施形態のグライド検査装置は、円盤台座１０５上に６個の検査用ヘッド駆動ユニット１００が同一円周上で等間隔に配設され、各駆動ユニット１００には検査用ヘッド１０１が取り付けられている。また、各ヘッド１０１に対応するようにスピンドル１０２（ａ〜ｆ）が配設される。
ここで、任意の１つのスピンドル１０２ｆには予め基準ディスクとしてのバンプディスク１０４を取り付けておく。ＣＰＵ１０８を介して、当該スピンドル１０２ｆに限っては通常のグライド検査は行なわず、ヘッド浮上量調整およびヘッド交換用の専用スピンドルとして設定しておく。
【００１２】
円盤台座１０５は回転可能で、グライド検査時にいずれかのヘッド１０１がいずれかのスピンドル１０２に対応するよう位置が決められる。予めバンプディスク１０４の取り付けられたスピンドル１０２ｆを除き、残りのスピンドル１０２ａ〜１０２ｅへ被検査ディスク１０３を搬送して取り付け・取り外しを行なうためのディスク搬送機構としての搬送系１０７があり、円盤台座１０５の回転、および搬送系１０７の制御、各ヘッド１０１、スピンドル１０２の制御はＣＰＵ１０８が司る。その制御手順を図２に示す。
〔グライド検査装置の動作〕
以下に、図１に示す実施形態のグライド検査装置の動作について図２のフローチャートを参照して説明する。
（初期設定）
まず、各ヘッド１０１の浮上量を調整することにより装置を稼動状態とする。これは、バンプディスク１０４が取り付けられた調整専用スピンドル１０２ｆのみを使って、ヘッド１０１を１つずつ（１ヘッド終わる毎に円盤台座１０５を回転させて）順番に調整することにより行なうことができる。
【００１３】
また、複数枚のバンプディスク１０４を任意の複数のスピンドル１０２に取り付け、複数のヘッドの調整を同時並行で実施することでもよい。
なお、調整を終えたヘッドによるグライド検査の開始タイミングについては、調整を終えたヘッドから順次グライド検査に入ることができ、また、全てのヘッドの調整を行なった後、グライド検査を始めることでもよく、特に限定されるものではない。
（グライド検査）
次に、通常のグライド検査の手順では、被検査ディスク１０３が収められたカセット１０６から搬送系１０７を用いて被検査ディスク１０３を１枚ずつ取り出し、各スピンドル１０２ａ〜１０２ｅへそれぞれ搬送して把持させる（図２ステップＳ１）。そして、各ヘッド１０１の処理枚数を処理枚数カウンタ（後述）から読み込み、その処理枚数が調整要の所定枚数に達しているヘッドが有るか否かを判別し（ステップＳ２，Ｓ３）、調整要の所定枚数に達していないヘッドに対応する各スピンドル１０２ａ〜１０２ｅに取り付けられた各ディスク１０３を各スピンドル１０２ａ〜１０２ｅによって回転し、その回転により浮上する各ヘッド１０１により各ディスク１０３の表面上を走査することでグライド検査を行なう（ステップＳ４）。
【００１４】
グライド検査が終わると、そのヘッドの処理枚数カウンタをカウントアップし（ステップＳ５）、搬送系１０７によって各ディスク１０３をスピンドル１０２ａ〜１０２ｅから取り外し、図示しない収納カセットに搬送して良品と不良品に分別する（ステップＳ６）。
これにより、１枚の被検査ディスクのグライド検査は終了するが、通常はステップＳ１に戻って次の被検査ディスクのグライド検査を行なう。
（ヘッド浮上量調整）
処理枚数が調整要の所定枚数に達しているヘッドが発生した時（ステップＳ３のＹ）には、他のヘッドによるグライド検査とスピンドル１０２ｆを用いたヘッド浮上量調整がすべて終了したタイミングで円盤台座１０５を回転し、ヘッド浮上量の調整が必要なヘッドをバンプディスク１０４が取り付けられたスピンドル１０２ｆの位置へ移動すると共に、スピンドル１０２ｆの位置で調整を終えたヘッドはスピンドル１０２ａ〜１０２ｅのいずれかに対応する位置に移動してグライド検査に復帰させる（ステップＳ７，Ｓ８）。
【００１５】
なお、調整時期に達したヘッドが複数ある場合には、優先順位を付けて順次調整する。また、調整時期の判別基準としては、処理枚数に限られるものではなく、不良判別が異常に多いなどの別に定める基準を用いてもよい。
次に、浮上量調整のため、スピンドル１０２ｆの回転数を変えてヘッドの出力信号を調べ、図４で説明した浮上量となる回転数に自動調整し、その回転数をそのヘッドを用いてグライド検査を行なうためのスピンドルの回転数として設定する（ステップＳ９）。この調整でヘッドの浮上が適切にならない場合は、ヘッドの交換の必要がある旨、アラーム等で知らせる（ステップＳ１０，Ｓ１１）。
作業者はこのアラームに従ってヘッドを交換した後、ステップＳ９に戻して再度調整させる。また、調整が適切になされた場合には、その調整済みヘッドの処理枚数カウンタをリセットする（ステップＳ１２）。
【００１６】
この調整・交換時には、調整専用スピンドル１０２ｆ以外のスピンドル１０２ａ〜１０２ｅの部分ではグライド検査を行なわせる。
そして、次に調整が必要なヘッドが発生した場合には、同様に円盤台座１０５を回転することで該当ヘッドを調整専用スピンドル１０２ｆの位置に移動し、先に調整・交換を済ませたヘッドをグライド検査に復帰させる。
なお、上述の初期設定は、このステップＳ９から実施することでよい。
〔その他の実施形態〕
上述の実施形態では、調整専用のスピンドルが１つの場合について説明したが、調整専用のスピンドルを複数にすることもできる。例えば、６つのスピンドル（１０２ａ〜１０２ｆ）のうちの２つ（１０２ｃ，１０２ｆ）を調整専用とし、残りの４つ（１０２ａ，１０２ｂ，１０２ｄ，１０２ｅ）をグライド検査に用いるものとし、いずれかのヘッドの処理枚数が調整要の所定枚数に達する度に円盤台座１０５を回転し、調整専用の２つのスピンドル１０２ｃ，１０２ｆのうちの１つ（例えば１０２ｆ）を要調整のヘッドの調整に用い、それ以外のスピンドル（例えば１０２ｃ）は処理枚数が調整要の所定枚数に達していないものであっても対応するヘッドの調整に用いるようにすることができる。
【００１７】
この場合、上述の実施形態と比較してヘッドの調整頻度を上げることができ、その結果、検査精度を上げることができるが、調整のための装置の稼働率向上のためには、調整専用スピンドルの個数はグライド検査用スピンドルの個数より少なくする必要があり、複数の調整専用スピンドルは等間隔で設けることが好ましい。
さらに、上述の実施形態では、複数のヘッドを１つの円盤台座に取り付けてヘッド側を回転するようにしているが、複数のスピンドルを１つの台座に取り付けてスピンドル側を回転するようにしてもよい。また、複数のスピンドルを内周側に設け、その外周側に複数のヘッドを設けることでもよい。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明に係るグライド検査装置の実施形態の基本構成を模式的に示す説明図である。
【図２】図１に示す実施形態のグライド検査装置の制御動作を示すフローチャートである。
【図３】従来のグライド検査装置の概略構成を示す斜視図である。
【図４】グライド検査用ヘッドの浮上量調整方法の一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０１    グライド検査用ヘッド
１０２ａ〜ｆ    スピンドル
１０３    被検査ディスク
１０４    基準ディスク
１０５    円盤台座
１０６    ディスク収納ケース
１０７    ディスク搬送系
１０８    ＣＰＵ
【図１】
2007035201.tif 000003
【図２】
2007035201.tif 000004
【図３】
2007035201.tif 000005
【図４】
2007035201.tif 000006