(57)【要約】【課題】合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて形成した第１のフィルム片と第２のフィルム片における巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制することができる伸縮自在カーテンを提供する。【解決手段】合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて第１のフィルム片と第２のフィルム片を形成し、両フィルム片を重合して折り曲げた中間部からカールして巻き癖を付けることにより巻取り部を形成するとともに、両端部を取付け部とした伸縮自在カーテンであって、第１のフィルム片および第２のフィルム片に第１のフィルム片および第２のフィルム片の巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制する湾曲抑制手段が設けられている。【選択図】図２
2007132093.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて第１のフィルム片と第２のフィルム片を形成し、該両フィルム片を重合して折り曲げた中間部からカールして巻き癖を付けることにより巻取り部を形成するとともに、両端部を取付け部とした伸縮自在カーテンにおいて、
該第１のフィルム片および該第２のフィルム片に該第１のフィルム片および該第２のフィルム片の巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制する湾曲抑制手段を設けた、
ことを特徴とする伸縮自在カーテン。
【請求項２】
該湾曲抑制手段は、該第１のフィルム片および該第２のフィルム片における巻取り方向に間隔を置いて形成され該巻取り方向と直交する方向に延びる複数の折り曲げ部からなっている、請求項１記載の伸縮自在カーテン。
【請求項３】
該湾曲抑制手段は、該第１のフィルム片および該第２のフィルム片における巻取り方向に間隔を置いて配設され該巻取り方向と直交する方向に延びる複数の補強部材からなっている、請求項１記載の伸縮自在カーテン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、伸縮自在なカーテンに関する。
【背景技術】
【０００２】
伸縮自在なカーテンは種々の設備、機械等に装着されており、例えば、半導体ウエーハの表面を研削する研削装置にも取り付けられている。半導体ウエーハの表面を研削する研削装置は、被加工物としての半導体ウエーハを保持する保持手段と、該保持手段に保持された半導体ウエーハを研削する研削手段とを具備しており、該研削手段は研削ホイールを回転可能に支持するスピンドルユニットと、該スピンドルユニットを支持する移動基台と、静止支持板に配設され該移動基台を昇降可能に支持するガイドレールと、該ガイドレールに沿ってスピンドルユニットを支持する移動基台を昇降せしめるボールネジ式の送り機構とから構成されている。この研削手段は、送り機構によって移動基台を昇降せしめることによりスピンドルユニットに支持された研削ホイールの位置を高精度に制御して、半導体ウエーハを所定の厚さに研削する。
【０００３】
しかるに、半導体ウエーハ等の被加工物を研削することによって多量の研削屑が発生し、この研削屑が飛沫となって上記ガイドレールやボールネジ式の送り機構に付着し、スピンドルユニットに支持された研削ホイールの高精度な昇降動の制御に悪影響を及ぼすという問題がある。また、ガイドレールやボールネジ式の送り機構に用いられている機械油の溶けた飛沫が被加工物に付着して、半導体ウエーハ等の被加工物の品質を低下させるという問題もある。
このような問題は、切削装置に装備される送り機構にも発生する。即ち、切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを切削送り方向に移動せしめる切削送り機構と、該チャックテーブルに保持された被加工物に切削水を供給しつつ切削を施す切削手段と、該切削手段を割り出し送り方向に移動せしめる割り出し送り機構と、切削手段を切り込み方向に移動せしめる切り込み送り手段とを具備している。例えば上記切削送り機構はチャックテーブルの下方に配設されており、切削時に発生する切削屑の飛沫が切削送り機構に浸入し、高精度な切削送りの制御に悪影響を及ぼすという問題がある。
そこで、研削装置には研削屑の飛沫がガイドレールやボールネジ式の送り機構等に付着しないように、上記静止支持板とスピンドルユニットを支持した移動基台との間に伸縮自在な蛇腹カーテンがガイドレールやボールネジ式の送り機構を覆うように装着されている。また、切削装置には切削屑の飛沫が切削送り機構に付着しないようにチャックテーブルの切削送り方向両側に伸縮自在な蛇腹カーテンが装着されている。
しかしながら、蛇腹カーテンは高価であるとともに重量が重くなるという問題がある。
【０００４】
上述した問題を解消するために、図６に示すように合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２を形成し、該両フィルム片を重合して折り曲げた中間部からカールして巻き癖を付けることにより巻取り部２００を形成するとともに、両端部を取付け部２１１、２２１とした伸縮自在カーテン２が提供されている。（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開２００２−２８０７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
而して、上記公報に開示された伸縮自在カーテン２は、図６に示すように第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２における巻取り方向A１、A２と直交する方向に湾曲する習性があり、研削水等の浸入を充分に防止することが困難である。
【０００６】
本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて形成した第１のフィルム片と第２のフィルム片における巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制することができる伸縮自在カーテンを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて第１のフィルム片と第２のフィルム片を形成し、該両フィルム片を重合して折り曲げた中間部からカールして巻き癖を付けることにより巻取り部を形成するとともに、両端部を取付け部とした伸縮自在カーテンにおいて、
該第１のフィルム片および該第２のフィルム片に該第１のフィルム片および該第２のフィルム片の巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制する湾曲抑制手段を設けた、
ことを特徴とする伸縮自在カーテンが提供される。
【０００８】
上記湾曲抑制手段は、上記第１のフィルム片および第２のフィルム片における巻取り方向に間隔を置いて形成され該巻取り方向と直交する方向に延びる複数の折り曲げ部からなっている。
また、上記湾曲抑制手段は、上記第１のフィルム片および第２のフィルム片における巻取り方向に間隔を置いて配設され該巻取り方向と直交する方向に延びる複数の補強部材からなっている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明による伸縮自在カーテンは、合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げて形成された第１のフィルム片および第２のフィルム片に第１のフィルム片および第２のフィルム片の巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制する湾曲抑制手段を設けたので、巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明に従って構成された伸縮自在カーテンの好適な実施形態について、添付図面を参照して詳細に説明する。
【００１１】
図１には、本発明に従って構成される伸縮自在カーテンにおける湾曲抑制手段を設け前段階の製作工程が示されている。
図示の実施形態においては、図１（ａ）に示すカーテン素材として、熱によって形状を記憶する形状記憶樹脂フィルム２０が用いられる。なお、熱によって形状を記憶する形状記憶樹脂フィルムとしては、厚さが０．０５ｍｍ程度のポリエステルフィルムが望ましい。この形状記憶樹脂フィルム２０を用意したら、図１（ｂ）に示すようにその中間部２０１で折り曲げて第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２を形成し、該両フィルム片を重合する。次に、重合された第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２を、図１（ｃ）に示すように折り曲げた中間部２０１から直径が約３ｍｍの心棒３に巻き付ける。そして、第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２を心棒３に巻き付けた状態で、図１（ｄ）に示すように加熱炉４または温風ヒータ等の加熱手段を用いて約１４０°Ｃで約２時間加熱し、その後、室温で徐冷することにより、巻き癖が付けられ巻取り部２００が形成される。そして、第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２を巻き付けた心棒３を抜き取ることにより、図１（ｅ）に示すようにカールされ巻き癖が付けられた巻取り部２００と両端部の取付け部２１１および２２１を備えた伸縮自在カーテン２が構成される。なお、第１のフィルム片２１と第２のフィルム片２２の心棒３に巻き付けられていない両端部の取付け部２１１および２２１は、加熱した後も平坦状態が維持される。
【００１２】
以上のように構成された伸縮自在カーテン２は、両端部の取付け部２１１および２２１の両方又は一方を引っ張ることにより、巻き癖が付けられた巻取り部２００が順次巻き戻されて引き出される。一方、取付け部２１１および２２１に作用する引っ張り力を開放すると、巻き癖が付けられた巻取り部２００自身の巻き取り作用により引き出された部分が巻かれる。このように伸縮自在カーテン２は、取付け部２１１および２２１に引っ張り力が作用すると引き出され、取付け部２１１および２２１に作用する引っ張り力が開放されると自身の巻き取り作用により引き出された部分が巻かれるので、取付け部２１１および２２１に作用する力に対応して伸縮自在となる。
【００１３】
しかるに、上述した伸縮自在カーテン２は、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２の取付け部２１１と２２１の両方又は一方を引っ張り、巻き癖が付けられた巻取り部２００が順次巻き戻されて引き出された状態においては、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２には図６に示すように巻取り方向A１、A２と直交する方向に湾曲する習性がある。この湾曲を抑制するために本発明においては、伸縮自在カーテン２を構成する第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２における中間部２０１と取付け部２１１、２２１との間に、湾曲を抑制する湾曲抑制手段を設けた。この湾曲抑制手段について、図２および図３に示す実施形態を参照して説明する。
【００１４】
図２に示す実施形態における湾曲抑制手段５は、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２における巻取り方向A１、A２に間隔を置いて形成され巻取り方向A１、A２と直交する方向に延びる複数の折り曲げ部５１からなっている。この複数の折り曲げ部５１は、図２に示すように上方に突出する山形に折り曲げてもよく、反対に下方に突出する谷形に折り曲げてもよい。なお、複数の折り曲げ部５１の間隔は、１０〜４０mmでよい。また、図示の実施形態においては、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２における取付け部２１１および２２１には、それぞれ２個の取付け穴２１１aおよび２２１aが形成されている。このように、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２に巻取り方向A１、A２に間隔を置いて巻取り方向A１、A２と直交する方向に延びる複数の折り曲げ部５１を形成することにより、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２は巻取り方向A１、A２と直交する方向に補強されるので、湾曲が抑制される。
【００１５】
次に、図３に示す湾曲抑制手段５について説明する。
図３に示す実施形態における湾曲抑制手段５は、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２に巻取り方向A１、A２に間隔を置いて配設され巻取り方向A１、A２と直交する方向に延びる複数の補強部材５２からなっている。この複数の補強部材５２は、図示の実施形態においては直径が０．２mm程度のピアノ線からなり、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２の表面に適宜の接着剤によって固着されている。なお、複数の補強部材５２の間隔は、１０〜４０mmでよい。このように、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２に巻取り方向A１、A２と間隔を置いて巻取り方向A１、A２と直交する方向に延びる複数の補強部材５２を配設することにより、第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２は巻取り方向A１、A２と直交する方向に補強されるので、湾曲が抑制される。
【００１６】
次に、本発明に従って構成された伸縮自在カーテン２を切削装置に使用した例について、図４を参照して説明する。
図４には本発明に従って構成された伸縮自在カーテン２を装備する切削装置の要部斜視図が示されている。
図４に示す切削装置は、基台６を具備している。この基台６上には、被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめるチャックテーブル機構７が配設されている。チャックテーブル機構７は、被加工物を保持する第１のチャックテーブル７１aと第２のチャックテーブル７１bを備えている。この第１のチャックテーブル７１aと第２のチャックテーブル７１bは、それぞれ第１の案内レール７２aと第２の案内レール７２b上に配設され、それぞれ第１の切削送り手段７３aと第２の切削送り手段７３bによって図４において矢印Xで示す切削送り方向に移動せしめられる。
【００１７】
図示の実施形態における切削装置は、上記第１の案内レール７２aと第２の案内レール７２bを跨いで配設された門型の支持フレーム８を備えている。この門型の支持フレーム８は、第１の案内レール７２aの側方に配設された第１の柱部８１と、第２の案内レール７２bの側方に配設された第２の柱部８２と、第１の柱部８１と第２の柱部８２の上端を連結し矢印Xで示す切削送り方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設された支持部８３とからなっている。この門型の支持フレーム８の支持部８３の一方の面には一対の案内レール８３１、８３１が設けられており、この一対の案内レール８３１、８３１に沿って移動可能に第１のアライメント手段９aと第２のアライメント手段９bが配設されている。この第１のアライメント手段９aと第２のアライメント手段９bは、それぞれ移動手段９aおよび９bによって切削送り方向Xと直交する割り出し送り方向Yに選択的に移動せしめる。
【００１８】
上記門型の支持フレーム８を構成する支持部８３の他方の面(上記第１のアライメント手段９aと第２のアライメント手段９bが配設された面と反対側の面)には、第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bが配設されている。第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bについて、図５を参照して説明する。第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bは、それぞれ割り出し移動基台１１と切り込み移動基台１２およびスピンドルユニット１３を具備している。割り出し移動基台１１は、上記支持部８３の他方の面に設けられた図示しない一対の案内レールに沿って図５において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動可能に配設されている。この割り出し移動基台１１は、それぞれ雄ネジロッド１４１と軸受１４２と雄ネジロッド１４１を駆動するパルスモータ１４３からなる割り出し送り手段１４によって図５において矢印Yで示す割り出し送り方向に移動せしめられる。
【００１９】
上記切り込み移動基台１２は、上下方向に延びる被支持部１２１と、該被支持部１２１の下端から直角に水平に延びる装着部１２２とからなっている。この切り込み移動基台１２は、上記割り出し移動基台１１に設けられた図示しない一対の案内レールに沿って図５において矢印Z示す切り込み送り方向に移動可能に配設されている。そして、切り込み移動基台１２は、切り込み送り手段１５によって図５において矢印Zで示す切り込み送り方向に移動せしめられる。
【００２０】
上記スピンドルユニット１３は、第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２を形成する装着部１２２の下面にそれぞれ装着されている。このスピンドルユニット１３は、それぞれ図５に示すようにスピンドルハウジング１３１と、該スピンドルハウジング１３１に回転可能に支持された回転スピンドル１３２と、該回転スピンドル１３２の一端に装着された切削ブレード１３３と、切削水を供給する切削水ノズル１３４を具備しており、回転スピンドル１３２の軸線方向が矢印Yで示す割り出し送り方向に沿って配設されている。なお、第１の切削手段１０aの切削ブレード１３３と第２の切削手段１０bの切削ブレード１３３は、互いに対向して配設されている。
【００２１】
以上のように構成された第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２、１２を形成する装着部１２２、１２２の間には、上述した伸縮自在カーテン２が配設される。即ち、伸縮自在カーテン２を構成する第２のフィルム片２２の取付け部２２１を第１の切削手段１０aの切り込み移動基台１２を形成する装着部１２２の上面に装着し、第１のフィルム片２１の取付け部２１１を第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２を形成する装着部１２２の上面に装着する。なお、第１のフィルム片２１の取付け部２１１および第２のフィルム片２２の取付け部２２１の装着部１２２、１２２への装着は、それぞれ取付け部２１１および２２１に形成された取付け穴２１１aおよび２２１aにボルト１６を挿通し、装着部１２２、１２２に形成された図示しない雌ネジ穴に螺合することによって取付けることができる。このようにして、第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２、１２を形成する装着部１２２、１２２間に伸縮自在カーテン２が配設されることにより、第１の切削手段１０aおよび第２の切削手段１０bの割り出し送り手段１４を構成する雄ネジロッド１４１および軸受１４２は、第１の切削手段１０aの切削ブレード１３３および第２の切削手段１０bの切削ブレード１３３側から遮蔽されることになる。
【００２２】
上述したように第１の切削手段１０aと第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２、１２を形成する装着部１２２、１２２の間に配設された伸縮自在カーテン２は、第１の切削手段１０aの切り込み移動基台１２と第２の切削手段１０bの切り込み移動基台１２がそれぞれ矢印Yで示す割り出し送り方向に移動して両者間の間隔が小さくなると第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２が巻かれ、両移動基台の間隔が大きくなると第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２が引き出されることにより、両移動基台の間隔の変化に追随することができる。なお、伸縮自在カーテン２を構成する第１のフィルム片２１および第２のフィルム片２２は、上述したように湾曲を抑制する湾曲抑制手段５が設けられ巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲が抑制されているので、第１の切削手段１０aの切削ブレード１３３および第２の切削手段１０bの切削ブレード１３３の回転によって飛散せしめられた切削屑を効果的に遮蔽することができる。
【００２３】
本発明に係る伸縮自在カーテンは以上のように構成され、合成樹脂フィルムを中間部で折り曲げた第１のフィルム片と第２のフィルム片からなり、巻き癖が付けられた巻取り部自身の巻き取り機能を備えているので、安価に製造することができるとともに、軽量なカーテンを得ることができる。そして、第１のフィルム片および第２のフィルム片には第１のフィルム片および第２のフィルム片の巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲を抑制する湾曲抑制手段が設けられているので、巻取り方向と直交する方向に発生する湾曲が抑制される。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明に従って構成される伸縮自在カーテンにおける湾曲抑制手段を設け前段階の製作工程を示す説明図。
【図２】本発明に従って構成された伸縮自在カーテンの一実施形態を示す斜視図。
【図３】本発明に従って構成された伸縮自在カーテンの他の実施形態を示す斜視図。
【図４】本発明に従って構成された伸縮自在カーテンを装備する切削装置の斜視図。
【図５】図４に示す切削装置を構成する切削手段に本発明に従って構成された伸縮自在カーテンを装着した状態を示す斜視図。
【図６】従来の伸縮自在カーテンの斜視図。
【符号の説明】
【００２５】
２：伸縮自在カーテン
２０：形状記憶樹脂フィルム
２００：巻取り部
２０１：中間部 
２１：第１のフィルム片
２１１：取付け部
２２：第２のフィルム片
２２１：取付け部
３：心棒
４：加熱炉
５：湾曲抑制手段
５１：折り曲げ部
５２：補強部材
【図１】
2007132093.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007132093.tif 000007
【図６】
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