(57)【要約】【課題】比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることができる除振装置を提供する。【解決手段】本発明の除振装置１が備える制御装置３６は、定盤２上でのステージ４５の水平方向の位置を検出するための位置センサ４６が出力する位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算して得られるフィードフォワード制御信号と、定盤２の振動及び位置を各々検出する加速度センサ４９及び位置センサ２５〜２８の出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算してサーボ弁４８に出力し、定盤２の傾きをなくすように空気ばね式アクチュエータ１１〜１４の吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向に移動し得る除振対象物が搭載される定盤と、
前記除振対象物が搭載された前記定盤の振動を検出する複数の加速度センサと、
前記定盤の位置を検出する複数の位置センサと、
前記加速度センサ及び前記位置センサの出力をフィードバック制御し、振動と位置の偏差を制御するために設けられた、前記定盤の複数個所をそれぞれ支持する複数の空気ばね式アクチュエータと、
前記空気ばね式アクチュエータが備える空気ばねの給排気を行うサーボ弁と、
前記定盤上での前記除振対象物の水平方向の位置を検出し、その検出された位置に対応する位置信号を出力する位置信号出力部と、
前記位置信号出力部より出力される前記位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算した合計値から得られるフィードフォワード制御信号と、前記加速度センサ及び前記位置センサの出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算して前記サーボ弁に出力し、前記定盤の傾きをなくすように前記複数の空気ばね式アクチュエータの吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する制御部と、
を具備することを特徴とすることを特徴とする除振装置。
【請求項２】
前記定盤上での前記除振対象物の水平方向の加速度を検出し、その検出された加速度に対応する加速度信号を出力する加速度信号出力部をさらに備え、
前記制御部は、前記フィードフォワード制御信号と前記フィードバック制御信号とを加算した信号に対し、前記加速度信号出力部により出力される前記加速度信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値をさらに加算して得られる信号に基づいて、前記複数の空気ばね式アクチュエータの給排気動作を個別にフィードフォワード制御することを特徴とする請求項１記載の除振装置。
【請求項３】
前記制御部は、ローパスフィルタ及び／又はノッチフィルタを通過した少なくとも前記フィードフォワード制御信号及び前記フィードバック制御信号に基づいて、前記複数の空気ばね式アクチュエータの給排気動作を個別にフィードフォワード制御することを特徴とする請求項１又は２記載の除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、除振装置に係り、特に、定盤上で水平方向に移動し得る除振対象物を効果的に除振することの可能な除振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置や液晶製造装置、高精度工作機械などの高精度なスペックが要求される精密機器では、機器側に伝わり得る外来振動の絶縁とともに、搭載するステージ等、移動物の発生する振動の低減を目的として、その精密機器の設置に例えばアクティブ型の除振装置などが利用されている。このアクティブ型の除振装置は、減衰させるべき振動の方向と逆方向の振動を積極的に付与するものである。
【０００３】
この種の装置では、外来振動により変位する定盤の位置を検出する複数の位置センサと定盤の加速度を検出する加速度センサとを備え、これらのセンサから出力される信号をコントローラに入力し、さらに、フィードバック制御後、制御信号をサーボ弁に出力し空気ばね式アクチュエータを駆動制御するタイプの除振装置などが実用化されている。
【０００４】
しかしながら、このような除振装置では、定盤の変位及び加速度を検出できるのは、定盤の傾きが実際に発生した後であり、得に、定盤に搭載される除振対象物が、例えば水平方向に移動する移動体である場合などでは、アクティブ制御を行っていても定盤に傾きが残り、このため、上記したフィードバック制御には限界がある。
【０００５】
そこで、いわゆるＳＦＦ制御（ステージ・フィード・フォワード制御）を適用し定盤の振動を減少させるようにした除振装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第３２２４４８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した空気ばね式アクチュエータでは、給排気の制御信号を受けてから空気ばねの給排気が実際に完了するまでには時間的な遅れが生じるため、空気ばねの給排気を行うサーボ弁に、圧力フィードバック制御（マイナー制御ループ）を設け、サーボ弁の応答性の向上を図らないとＳＦＦ制御が効果的に機能しないという課題がある。
【０００７】
ここで、圧力フィードバックを行う場合、アクチュエータに圧力センサを配置し、コントローラ内に圧力フィードバック回路を設ける必要があるため、部品点数の増加によるコストの上昇や、また設計的自由度の低下などを招くことになる。
【０００８】
そこで本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることができる除振装置の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明に係る除振装置は、水平方向に移動し得る除振対象物が搭載される定盤と、前記除振対象物が搭載された前記定盤の振動を検出する複数の加速度センサと、前記定盤の位置を検出する複数の位置センサと、前記加速度センサ及び前記位置センサの出力をフィードバック制御し、振動と位置の偏差を制御するために設けられた、前記定盤の複数個所をそれぞれ支持する複数の空気ばね式アクチュエータと、前記空気ばね式アクチュエータが備える空気ばねの給排気を行うサーボ弁と、前記定盤上での前記除振対象物の水平方向の位置を検出し、その検出された位置に対応する位置信号を出力する位置信号出力部と、前記位置信号出力部より出力される前記位置信号の比例値とこの位置信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値とを加算した合計値から得られるフィードフォワード制御信号と、前記加速度センサ及び前記位置センサの出力を基に生成したフィードバック制御信号と、を加算して前記サーボ弁に出力し、前記定盤の傾きをなくすように前記複数の空気ばね式アクチュエータの吸排気動作を個別にフィードフォワード制御する制御部と、を具備することを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の除振装置は、前記定盤上での前記除振対象物の水平方向の加速度を検出し、その検出された加速度に対応する加速度信号を出力する加速度信号出力部をさらに備え、前記制御部が、前記フィードフォワード制御信号と前記フィードバック制御信号とを加算した信号に対し、前記加速度信号出力部により出力される前記加速度信号の擬似微分値に所定のゲインを掛けた値をさらに加算して得られる信号に基づいて、前記複数の空気ばね式アクチュエータの給排気動作を個別にフィードフォワード制御することを特徴とする。
【００１１】
さらに、本発明の除振装置は、前記制御部が、ローパスフィルタ及び／又はノッチフィルタを通過した少なくとも前記フィードフォワード制御信号及び前記フィードバック制御信号に基づいて、前記複数の空気ばね式アクチュエータの給排気動作を個別にフィードフォワード制御することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
このように、本発明によれば、比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることが可能な除振装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施形態に係る除振装置を示す斜視図、図２は、この除振装置が複数備えるアクチュエータとセンサとがユニット化された制振機構を示す断面図、図３は、この除振装置の主要部の構成を機能的に示す図である。なお、図１においては、除振装置の構造を視覚的に把握し易くするために、本除振装置が備える定盤とこの定盤に搭載される除振対象物としてのステージとを二点鎖線で示している。
【００１４】
図１〜図３に示すように、この実施形態の除振装置１は、アクティブ型の除振装置であって、床面へ固定された支持台３と、除振対象物としてのステージ４５が搭載される定盤（架台）２と、中空のゴム体で形成された空気ばねを有する空気ばね式のアクチュエータ４１〜４４及び１１〜１４と、位置センサ２１〜２３、位置センサ２５〜２８、及び位置センサ４６と、加速度センサ４９と、アクチュエータ４１〜４４及び１１〜１４の空気ばねの給排気を個別に行うサーボ弁３８、４８と、これらのハードウエアを統括的に制御する記憶部３６ａを備えた制御装置（コントローラ）３６とを主に備える。ここで、上記除振対象物としてのステージ４５は、例えば水平方向（ｘ方向及びｙ方向）に移動する移動体として構成されている。
【００１５】
アクチュエータ４１、１１及びセンサ２５と、アクチュエータ４２、１２及びセンサ２１、２６と、アクチュエータ４３、１３及びセンサ２２、２７と、アクチュエータ４４、１４及びセンサ２３、２８とは、それぞれユニット化された四つの図２に示す制振機構を構成している。これらユニットされた制振機構の底部は、上面が矩形（四角形）状に形成されることの多い支持台３上の四隅に底部プレート１６を介して固定され、これらの制振機構の上部は、上部プレート１５を通じて定盤２を下方から支持するようにこの定盤２の四隅に固定されている。なお、上記した支持台３を除振装置１が必ずしも備える必要はなく、例えば支持台３を除振装置１の構成部品から削除し、上記制振機構の底部プレート１６を床面に直接固定するようにしてもよい。
【００１６】
アクチュエータ４１〜４４は、図１〜図３に示すように、この定盤２を、水平方向（定盤２における除振対象物の搭載面に沿った方向）に移動可能に支持する。また、アクチュエータ４１〜４４は、定盤２の重心に対し鉛直方向からみて点対称の位置（定盤２の重心を水平方向から挟む位置）に二組配置されている。一方、アクチュエータ１１〜１４は、定盤２を、鉛直方向（定盤２における除振対象物の搭載面と直交する方向：Ｚ方向）に移動可能に支持する。位置センサ２１〜２３は、定盤２の水平方向の位置（変位）を検出する。また、位置センサ２５〜２８は、定盤２の鉛直方向の位置（変位）を検出する。加速度センサ４９は、定盤２に生じる加速度を検出する。また、位置センサ４６は、定盤２上で水平方向に移動するステージ４５の位置、すなわち、定盤２の所定位置に対するステージ４５の相対位置（相対的な水平位置）を検出する。
【００１７】
また、四つのアクチュエータ４１〜４４には、上述したサーボ弁３８がそれぞれに設けられており、制御装置３６は、位置センサ２１、２２、２３、加速度センサ４９、及び位置センサ４６の検出結果に基づいて、水平方向において定盤２を所定の位置（水平位置）に定位させるようにアクチュエータ４１〜４４を四つのサーボ弁３８を介して個別に駆動制御を行う。詳細には、制御装置３６は、上記した各センサの検出結果に基づいて、サーボ弁３８の開閉量の制御、つまり各アクチュエータ４１〜４４が備える空気ばねの給排気を個別に行う。
【００１８】
また、四つのアクチュエータ１１〜１４には、上述したサーボ弁４８がそれぞれに設けられており、制御装置３６は、位置センサ２５〜２８、加速度センサ４９、及び位置センサ４６の検出結果に基づいて、水平方向において定盤２を所定の位置（高さ位置）に定位させるようにアクチュエータ４１〜４４を四つのサーボ弁４８を介して個別に駆動制御を行う。詳細には、制御装置３６は、各センサの検出結果に基づいて、サーボ弁４８の開閉量の制御、つまり各アクチュエータ１１〜１４が備える空気ばねの給排気を個別に行う。ここで、上記の加速度センサ４９としては、定盤２に対して水平方向に生じる加速度と、定盤２に対して鉛直方向に生じる加速度とを個別に検出できるように、少なくとも二つ以上の複数個設けられていてもよい。
【００１９】
次に、本実施形態の除振装置１が備える制御装置３６の構成を図４及び図５に基づいて説明する。ここで、図４は、制御装置３６が、ソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図、また、図５は、制御装置３６が行うステージ４５の水平移動に対応する定盤の比例制御を概念的に示す模式図である。なお、ここでは、発明の把握を容易にするために、定盤２の鉛直方向（定盤の傾き方向）の動作制御を例に採りその説明を行う。
【００２０】
すなわち、制御装置３６は、記憶部３６ａ内の記憶内容を参照しつつ、フィード・バック（以下「ＦＢ」と称する）制御部５０ａと、ステージ・フィード・フォワード（以下「ＳＦＦ」と称する）制御部６０ａと、ＦＢ制御部５０ａとＳＦＦ制御部６０ａとからそれぞれ出力される信号を加算する加算器７２とをソフトウエアにより実現する。
【００２１】
ＦＢ制御部（ＦＢ制御ループ）５０ａは、目標設定部５１と、比例微積（proportion・integral・differential）部５２と、比例微積部５３と、加算器７２とから構成される。上述した位置センサ２５〜２８及び加速度センサ４９の出力は、プリアンプを介して制御装置（コントローラ）３６内に入力された後、Ａ／Ｄ変換され、さらにディジタル計算により演算される。目標設定部５１は、位置センサ２５〜２８によって検出された定盤２の四隅の高さ位置の検出結果に基づいて、アクチュエータ１１〜１４で制御すべき定盤２の四隅の目標高さを設定する。比例微積部５２は、目標高さの設定値（目標値）と、位置センサ２５〜２８によって検出された検出値（現在値）との偏差を求め、偏差をゼロにするための制御信号を出力する。比例微積部５３は、定盤２に生じる加速度を打消すように、加速度センサ４９からの入力値とこれを反転した値とを制御信号として出力する。加算器７２は、比例微積部５２側から入力された信号と、比例微積部５３から入力された信号と、を加算した信号をフィードバック制御信号として上記した加算器７２側に出力する。
【００２２】
ＳＦＦ制御部６０ａは、分配器６１と、比例器６２と、疑似微分器６３と、加算器６４とから構成される。上述した位置センサ４６の出力は、プリアンプを介して制御装置３６内に入力された後、Ａ／Ｄ変換され、さらにディジタル計算により演算される。分配器６１は、位置センサ４６から出力され、さらにＡ／Ｄ変換された位置信号Ｌ１を比例器６２及び疑似微分器６３にそれぞれ出力する。比例器６２は、分配器６１側から入力された位置信号の比例値を加算器６４側に出力する。疑似微分器６３は、分配器６１側から入力された位置信号を擬似微分（微分補償）しさらにこの信号に所定のゲイン値を掛けた信号を加算器６４側に出力する。加算器６４は、比例器６２及び疑似微分器６３からそれぞれ出力される信号を加算し、これをフィードフォワード制御信号として上記した加算器７２側に出力する。
【００２３】
すなわち、ＳＦＦ制御部６０ａは、図５に示すように、質量ｍのステージ（重量ｍｇ）４５が定盤２上で水平方向に距離Ｌだけ移動した場合に生じるモーメントｍｇＬを打ち消すように、水平方向にピッチＰを空けてそれぞれ配置されるアクチュエータ１１〜１４の制御を個別に行うために設けられている。詳細には、ＳＦＦ制御部６０ａは、実際に給排気の制御が始動してから空気ばねの所望の給排気が完了するまでの時間的な遅延が生じる積分器的な要素を有する空気ばね式のアクチュエータ１１〜１４の仕様的な欠点を補うために、定盤２上でのステージ４５の変位を検出してこれを定盤２の傾きの制御に反映させることを可能とする。
【００２４】
このようなＳＦＦ制御部６０ａと上述したＦＢ制御部５０ａとからそれぞれ出力される信号は、加算器７２により加算された後、Ｄ／Ａ変換され、サーボ弁４８に出力される。このサーボ弁４８に入力された制御信号（電圧）によって、各アクチュエータ１１〜１４が有する空気ばねの給排気が個別に行われ、これにより、定盤２の目標位置を保持する位置制御と定盤２の振動を打消す加速度制御が実現される。
以上までの説明において、コントローラへの信号伝達にＡ／Ｄ、Ｄ／Ａ変換を使用し、アナログ信号を介して説明したが、コントローラに対しては、シリアル又はパラレルの
ディジタル信号でもよい。
【００２５】
既述したように、本実施形態に係る除振装置１によれば、比較的簡単な構成で外来振動に対する定盤２の動作制御の応答性を改善し良好な除振性能を得ることができる。
【００２６】
（第２の実施の形態）
次に、本発明の第２の実施形態を図６及び図７、図８ａ〜図８ｃ、並びに図９ａ及び図９ｂに基づき説明する。ここで、図６は、この実施形態の除振装置に設けられた制御装置８６がソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図、図７は、制御装置８６によって行われる、ステージ４５に生じる加速度に対応した定盤の制御を概念的に示す模式図である。また、図８ａは、位置センサ４６の出力波形を示す図、図８ｂは、参考図として示すステージ４５の移動速度に対応する波形図、図８ｃは、加速度センサ４７の出力波形を示す図である。さらに、図９ａは、この実施形態の制御装置８６による定盤２の傾き方向の変位に対応する応答性を示す図、図９ｂは、この実施形態の制御装置８６による定盤２の傾き方向の加速度に対応する応答性を示す図である。なお、これらの図において、第１の実施形態で説明した構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付与してその説明を省略する。
【００２７】
すなわち、この実施形態の除振装置は、第１の実施形態の除振装置１に設けられていた制御装置３６に代えて、制御装置８６を備えているとともに、加速度センサ４７をさらに有する。加速度センサにより直接加速度を測定しても良く、速度センサの微分値（疑似微分値）を使用したり、前述位置センサの二階微分（疑似微分値）を使用してもよい。
また、上記の制御装置８６は、制御装置３６のＳＦＦ制御部６０ａに代えて、ＳＦＦ制御部６０ｂを備えるとともに、加算器７３をさらに有する。
【００２８】
ＳＦＦ制御部６０ｂは、ＳＦＦ制御部６０ａの構成に加え、疑似微分器６５をさらに備える。加速度センサ４７は、定盤２上で水平方向に移動するステージ４５の加速度を検出する。図８ａに例示する位置センサ４６の出力とは個別に、図８ｃに例示する加速度センサ４７の出力は、プリアンプを介して制御装置３６内に入力された後、Ａ／Ｄ変換され、これが、加速度信号α1として疑似微分器６５に入力される。疑似微分器６５は、この加速度信号α1を擬似微分（微分補償）しさらにこの信号に所定のゲイン値を掛けた信号を加算器７３側に出力する。
【００２９】
すなわち、ＳＦＦ制御部６０ｂは、図７に示すように、質量ｍのステージ４５が定盤２上で水平方向に加速度αで移動した場合に、その反力によって定盤２が傾く方向に生じるモーメントｍαｈ（ここで、ｈは、鉛直方向におけるステージ４５の重心位置と定盤２の重心位置との間の離間距離）を打ち消すように、アクチュエータ１１〜１４の制御を個別に行うために設けられている。
【００３０】
つまり、この実施形態の除振装置に係る制御装置８６では、ＦＢ制御部５０ａとＳＦＦ制御部６０ｂの加算器６４からそれぞれ出力される信号は、加算器７２により加算され、この加算された信号と、ＳＦＦ制御部６０ｂの疑似微分器６５から出力された信号とが、さらに加算器７３によって加算された後、Ｄ／Ａ変換されてサーボ弁４８に出力される。このサーボ弁４８に入力された制御信号（電圧）によって、各アクチュエータ１１〜１４が有する空気ばねの給排気が個別に行われ、これにより、定盤２の目標位置を保持する位置制御と定盤２の振動を打消す加速度制御が実現される。
【００３１】
ここで、上記した図９ａ及び図９ｂは、ＦＢ制御部（ＦＢ制御ループ）５０ａのみを用いた場合と、ＦＢ制御部５０ａにＳＦＦ制御部６０ｂを加えた場合との、定盤回転変位（定盤２の傾き方向の変位）の応答性、及び定盤回転加速度（定盤２の傾き方向の加速度）の応答性を測定したデータである。すなわち、ＦＢ制御のみの場合には、定盤回転変位（定盤の傾き）が生じてから、ＦＢ制御が始まるため、定盤２に大きな傾きが生じてしまうが、ＳＦＦ制御を併用することで、回転変位が約１／１０に低減されていることがわかる。また、図９ｂでは、ＳＦＦ制御を併用することで、定盤２の傾き方向の加速度が約１／２に低減されていることがわかる。
【００３２】
したがって、本実施形態に係る除振装置によれば、第１の実施形態の除振装置に対しさらに定盤２の動作制御の応答性がより改善され、除振性能のさらなる向上を図ることができる。
【００３３】
（第３の実施の形態）
次に、本発明の第３の実施形態を図１０に基づき説明する。ここで、図１０は、この実施形態の除振装置に設けられた制御装置９６がソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図である。なお、図１０において、第１及び第２の実施形態で説明した構成要素と同一の構成要素については、同一の符号を付与してその説明を省略する。
【００３４】
すなわち、この実施形態の除振装置は、第２の実施形態の除振装置に設けられていた制御装置８６に代えて、ＦＢ制御部５０ｃ及びＳＦＦ制御部６０ｃを有する制御装置９６を備えて構成されている。詳細には、この制御装置９６は、比例微積部５２と加算器７１との間、比例微積部５３と加算器７１との間、加算器６４と加算器７２との間、及び擬似微分器６５と加算器７３との間の、それぞれに、適切な増幅度と時定数とを有するローパスフィルタやノッチフィルタなどによって実現されるフィルタ（filter）部５４、５５、６６、６７を備える。
【００３５】
これにより、本実施形態に係る除振装置によれば、第１、第２の実施形態の除振装置で得られる効果に加え、ノイズや装置本体の構造的共振現象の除去を目的とした信号処理が実現され、これにより、除振性能のさらなる改善を図ることができる。
【００３６】
以上、本発明を各実施の形態により具体的に説明したが、本発明はこれらの実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。すなわち、上述した各実施形態では、発明の把握を容易にするために、定盤２の鉛直方向（定盤の傾き方向）の動作制御を例に採りその説明を行ったが、これに代えて、上記の図４、図６、図１０で例示した制御を応用して、定盤２の水平方向のＳＦＦ制御を実現することも可能である。
また、本内容の多くの部分をソフトウエアで実現している。システムの柔軟性のためにはソフトウエアで実現することが望ましいが、その一部をハードウエアで代替えしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る除振装置を示す斜視図。
【図２】図１の除振装置が複数備えるアクチュエータとセンサとがユニット化された制振機構を示す断面図。
【図３】図１の除振装置の主要部の構成を機能的に示す図。
【図４】図１の除振装置が備える制御装置が、ソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図。
【図５】図１の除振装置が備える制御装置が行う、ステージの水平移動に対応する定盤の比例制御を概念的に示す模式図。
【図６】本発明の第２の実施形態に係る除振装置に設けられた制御装置が、ソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図。
【図７】図６の制御装置によって行われる、ステージに生じる加速度に対応した定盤の制御を概念的に示す模式図
【図８ａ】図７のステージの位置を検出する位置センサの出力波形を示す図。
【図８ｂ】参考図として例示される、図７のステージの移動速度に対応する波形図。
【図８ｃ】図７のステージの加速度を検出する加速度センサの出力波形を示す図。
【図９ａ】第２の実施形態の制御装置による定盤の傾き方向の変位に対応する応答性を示す図。
【図９ｂ】第２の実施形態の制御装置による定盤の傾き方向の加速度に対応する応答性を示す図。
【図１０】本発明の第３の実施形態の除振装置に設けられた制御装置がソフトウエアにより実現する各部の構成を機能的に示すブロック図。
【符号の説明】
【００３８】
１…除振装置、２…定盤、１１〜１４，４１〜４４…アクチュエータ、２１〜２３，２５〜２８，４６…位置センサ、３６，８６，９６…制御装置、３６ａ…記憶部、３８，４８…サーボ弁、４５…ステージ、４７，４９…加速度センサ、５０ａ，５０ｃ…フィード・バック（ＦＢ）制御部、５１…目標設定部、５２，５３…比例微積部、５４，５５，６６，６７…フィルタ（filter）部、６０ａ，６０ｂ，６０ｃ…ステージ・フィード・フォワード（ＳＦＦ）制御部、６２…比例器、６３，６５…疑似微分器、６４，７１，７２，７３…加算器。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007155038.tif 000007
【図６】
2007155038.tif 000008
【図７】
2007155038.tif 000009
【図８ａ】
2007155038.tif 000010
【図８ｂ】
2007155038.tif 000011
【図８ｃ】
2007155038.tif 000012
【図９ａ】
2007155038.tif 000013
【図９ｂ】
2007155038.tif 000014
【図１０】
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