(57)【要約】【課題】表示パネル基板の幅よりも長い軸長を有する粘着ローラにより、表示パネル基板に付着している異物を除去する際の粘着ローラの偏摩耗を防止する。【解決手段】粘着ローラ２により表示パネル基板Ｐの表面を清掃するにあたって、表示パネル基板Ｐの一端側の原点位置ＰＹ１で粘着ローラ２を表示パネル基板Ｐに所定の圧力で押し付け他端ＰＹ２側に向けて移動させたのち、粘着ローラ２を表示パネル基板上Ｐから上昇させて原点位置ＰＹ１に戻し、再度粘着ローラ２を表示パネル基板Ｐに押し付ける前に、粘着ローラ２を軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させて粘着ローラ２の清掃に供される粘着面をずらす。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークとしての表示パネル基板が所定位置に位置決めされた状態で載置されるワークテーブルと、上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けられた状態で移動して上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する粘着ローラとを含み、上記粘着ローラの軸長Ｌが、上記粘着ローラの移動方向と直交する方向の上記表示パネル基板の幅Ｗよりも大きく、上記粘着ローラの移動により、上記表示パネル基板の表面を清掃する表示パネル基板の異物除去方法において、
上記表示パネル基板の一端側の原点位置で上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付け他端側に向けて移動させたのち、上記表示パネル基板の他端側で上記粘着ローラを上記表示パネル基板上から上昇させて上記原点位置に戻し、再度上記粘着ローラを上記表示パネル基板に押し付ける前に、上記粘着ローラを軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させて、上記粘着ローラの清掃に供される粘着面をずらすことを特徴とする表示パネル基板の異物除去方法。
【請求項２】
ワークとしての表示パネル基板が所定位置に位置決めされた状態で載置されるワークテーブルと、上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けられた状態で移動して上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する粘着ローラとを含み、上記粘着ローラの軸長Ｌが、上記粘着ローラの移動方向と直交する方向の上記表示パネル基板の幅Ｗよりも大きく、上記粘着ローラの移動により、上記表示パネル基板の表面が清掃される表示パネル基板の異物除去装置において、
上記表示パネル基板の一端側の原点位置で上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付け他端側に向けて移動させる清掃工程，上記表示パネル基板の他端側で上記粘着ローラを上記表示パネル基板上から上昇させる上昇工程，上記上昇工程後に上記粘着ローラを上記原点位置に戻す後退工程の各工程をこの順序で実行する上記粘着ローラの往復移動手段と、
上記清掃工程に入る前に上記粘着ローラを軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させ、少なくとも上記清掃工程中上記粘着ローラを移動後の位置に保持する上記粘着ローラの軸方向移動手段とを備えていることを特徴とする表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項３】
（上記粘着ローラの軸長Ｌ−上記表示パネル基板の幅Ｗ）／Ｎなる式（Ｎは整数）により、上記所定距離ΔＸが求められることを特徴とする請求項２に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項４】
上記粘着ローラの往復移動手段には、上記粘着ローラを回転可能に支持する可動フレームを往復させる往復機構と、上記往復機構を介して上記可動フレームを上昇・下降させる昇降機構とが含まれ、上記粘着ローラの軸方向移動手段は、上記昇降機構および上記往復機構を介して上記可動フレームを上記粘着ローラの軸方向に移動させることを特徴とする請求項２または３に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項５】
上記粘着ローラの軸方向移動手段として、ステッピングモータにより駆動される送りねじ軸が用いられることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルなどの表示パネル基板に付着している異物を粘着ローラにより取り除く表示パネル基板の異物除去方法およびその装置に関し、さらに詳しく言えば、粘着ローラの偏摩耗を防止する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、一方の面に透明電極が形成された２枚の電極基板をそれらの間にシール材を挟んで透明電極同士を対向させて貼り合わせ、その空セル内に液晶を封入することにより構成されるが、これに至るまでには、例えば配向膜の形成やラビング処理などの各工程が実施される。また、例えばＴＮ型やＳＴＮ型の液晶パネルの場合には、その表面に偏光板を貼り付ける工程が加わる。
【０００３】
このような液晶パネルの製造工程では、ガラス基板の表面に配線や電極などを形成する前処理として、配線や電極間が短絡したり、配線や電極が電触しないように、ガラス基板の表面に付着した埃や塵などの異物を除去する必要がある。なお、この種の異物には人体から分泌される皮脂なども含まれることがある。
【０００４】
また、ラビング処理を施した後のガラス基板の表面には、その処理時に発生する静電気より塵埃が多数付着しており、ラビング処理後には、ガラス基板の表面に付着した塵埃などを除去する必要もある。
【０００５】
さらに、液晶パネルが組み立てられた後にも、液晶パネルの表面には塵や埃それに皮脂などの異物が付着しているため、液晶パネルに偏光板を貼付する前にも、偏光板の光学特性を損なうことのないよう、液晶パネルの表面に付着した異物を除去する必要がある。
【０００６】
本明細書では、ガラス基板（電極基板）の状態と、液晶パネル，有機ＥＬパネルおよびプラズマディスプレイパネルなどの表示パネルとされた状態とを含めて表示パネル基板というが、このように表示パネル基板に付着した異物の除去方法としては、例えばオゾン水などに基板を浸漬させて洗浄するウェット処理法，紫外線（ＵＶ）を放射して有機物を分解除去するドライ処理法，粘着テープや粘着ローラを用いて異物を除去する粘着処理法などが知られている。特許文献１には、粘着処理法のうちの粘着テープによる処理法の一例が開示されおり、また、特許文献２には、粘着ローラによる処理法の一例が開示されている。
【０００７】
上記異物の除去方法のうち、オゾン水などにより表示パネル基板を洗浄する方法では、基板表面に付着した有機物が十分に分解されるための反応時間を長く必要とするばかりでなく、洗浄処理後に行う乾燥時間が必要であり生産性の面で問題がある。
【０００８】
また、紫外線によるドライ洗浄を行う方法では、水分除去などの乾燥が必要でない分、時間を短縮することができるが、紫外線光源の発熱により表示パネル基板がうねるのを防止するため、紫外線光源と基板表面との間隔を大きくとる必要があり、そうすると基板表面における紫外線強度が低下し、十分な洗浄効果が得られないといった問題がある。
【０００９】
これに対して、粘着処理法は、オゾン水を用いたウェット処理法に比べて処理効率が高く、また、紫外線によるドライ洗浄に比べて塵埃などの除去効率が高いという利点がある。さらに、粘着処理法は、ウェット処理法やドライ処理法などに比べて大がかりな設備を必要とせず、コストの点でも有利である。
【００１０】
図４および図５により、粘着処理法のうちの粘着ローラによる処理法の従来例について説明する。図４は従来の表示パネル基板の異物除去装置を示す模式的な正面図、図５はその平面図である。なお、ここでの説明では、表示パネル基板を偏光板が貼着される前の液晶パネルとしている。
【００１１】
これらの図に示すように、この異物除去装置は、液晶パネルＰが載置されるワークテーブル１と、液晶パネルＰの表面上を回転移動して液晶パネルＰの表面に付着した塵埃などの異物を除去する粘着ローラ２とを備えている。
【００１２】
ワークテーブル１のテーブル面１１には、液晶パネルＰの隣接する２つの側面Ｐ１，Ｐ２と当接する第１および第２のストッパー１２，１３が突設されている。この例において、第１ストッパー１２は、液晶パネルＰの長辺側の側面Ｐ１と面接触可能な角柱板からなるのに対し、第２ストッパー１３は、液晶パネルＰの短辺側の側面Ｐ２と線接触可能な円柱体であり、これら２つのストッパー１２，１３により、液晶パネルＰをワークテーブル１の所定位置に位置決めするようにしている。
【００１３】
なお、図示はしていないが、ワークテーブル１には負圧吸着手段が設けられており、これにより、液晶パネルＰを第１および第２のストッパー１２，１３で位置決めした後、テーブル面１１上に確実に固定するようにしている。
【００１４】
粘着ローラ２は、図６（ａ）に示すように、シリコーンゴムなどの弾性材料からなるロール体２１の表面に粘着面２２が形成された円筒体からなり、図示しない可動フレームに支持されて、図５に示すテーブル面１１の長さ方向１１ａに沿って回転移動する。
【００１５】
汎用性を持たせてサイズの異なる液晶パネルＰに対応可能とするため、テーブル面１１は処理する液晶パネルＰのもっとも大きなサイズよりも大きな面積を有し、また、粘着ローラ２はその軸長がテーブル面１１の幅方向１１ｂの長さとほぼ同じに形成され、これにより、ワークテーブル１上に載置される各種の液晶パネルＰの外形寸法に対応できるようにしている。
【００１６】
なお、上記したように、粘着ローラ２は図示しない可動フレームによりテーブル面１１と平行となるように支持されており、例えばシリンダなどの駆動手段にてワークテーブル１のテーブル面１１に対する垂直方向・水平方向の移動が可能となっている。
【００１７】
この異物除去装置によれば、液晶パネルＰをテーブル面１１に位置決め固定した後、上記可動フレームを介して粘着ローラ２を液晶パネルＰの一端側から他端側に向けて転動させることにより、液晶パネルＰの表面に付着している異物を粘着ローラ２の粘着面２２によって除去することができる。
【００１８】
【特許文献１】特開平１０−１９７８５３号公報
【特許文献２】特開２００２−４５８１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
ところで、上記した粘着ローラ２による異物除去装置では、液晶パネルＰに付着している異物を確実に除去するには、粘着ローラ２を十分な押圧力で液晶パネルＰの表面に押し付ける必要がある。
【００２０】
しかしながら、上述したように、汎用性を考慮してサイズの異なる各種の液晶パネルＰに対応可能とするため、テーブル面１１の面積を処理する液晶パネルＰのもっとも大きなサイズよりも大きなものとし、また、粘着ローラ２をテーブル面１１の幅方向１１ｂの長さとほぼ同じとしている。
【００２１】
そのため、小さなサイズの液晶パネルＰの異物を除去するときは、図４に示すように、粘着ローラ２の粘着面２２には、液晶パネルＰに接触する部分と接触しない部分とが生じることになるが、粘着ローラ２はショア硬度が４０度前後で柔らかいものであるのに対し、液晶パネルＰは通常では硬質のガラス材からなる。
【００２２】
したがって、粘着ローラ２を液晶パネルＰの表面に対して異物を除去するのに十分な押圧力をもって転動させると、液晶パネルＰの特にエッジに接触する部分の粘着面に大きな負荷がかかり、図４に示すように、その部分が押し込まれた状態で粘着ローラ２が転動することになる。
【００２３】
このように、粘着ローラ２の一部分が液晶パネルＰの表面側に押し込まれた状態で転動することから、何度も使用するうちに接触頻度の多い部分が変形し、図６（ｂ）に誇張して示すように、粘着ローラ２が部分的に鼓状に偏摩耗（一部分の変形消耗）してしまうことがある。
【００２４】
このような偏摩耗が発生すると、特に処理する液晶パネルＰが小判サイズから大判サイズのものに機種変更された場合、粘着ローラ２と液晶パネルＰとの間に隙間が生じ、その隙間部分で異物残りが生ずることがある。
【００２５】
また、粘着ローラ２が削られることにより発生する削りカスが、液晶パネルＰの表面やテーブル面１１上に付着してしまうこともある。さらには、粘着ローラ２の平行度にも徐々に狂いが生じることにより、被清掃面に対する押圧力が均一ではなくなり、異物除去にむらが出てしまうこともある。
【００２６】
したがって、本発明の課題は、表示パネル基板の付着している異物を粘着ローラにより除去するにあたって、粘着ローラが表示パネル基板の幅よりも大きく、したがって粘着ローラの一部分にて表示パネル基板に付着している異物を除去する場合においても、粘着ローラの偏摩耗を確実に防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明には、方法の発明と装置の発明とが含まれ、上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明（方法の発明）は、ワークとしての表示パネル基板が所定位置に位置決めされた状態で載置されるワークテーブルと、上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けられた状態で移動して上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する粘着ローラとを含み、上記粘着ローラの軸長Ｌが、上記粘着ローラの移動方向と直交する方向の上記表示パネル基板の幅Ｗよりも大きく、上記粘着ローラの移動により、上記表示パネル基板の表面を清掃する表示パネル基板の異物除去方法において、上記表示パネル基板の一端側の原点位置で上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付け他端側に向けて移動させたのち、上記表示パネル基板の他端側で上記粘着ローラを上記表示パネル基板上から上昇させて上記原点位置に戻し、再度上記粘着ローラを上記表示パネル基板に押し付ける前に、上記粘着ローラを軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させて、上記粘着ローラの清掃に供される粘着面をずらすことを特徴としている。
【００２８】
また、上記課題を解決するため、請求項２に記載の発明（装置の発明）は、ワークとしての表示パネル基板が所定位置に位置決めされた状態で載置されるワークテーブルと、上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けられた状態で移動して上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する粘着ローラとを含み、上記粘着ローラの軸長Ｌが、上記粘着ローラの移動方向と直交する方向の上記表示パネル基板の幅Ｗよりも大きく、上記粘着ローラの移動により、上記表示パネル基板の表面が清掃される表示パネル基板の異物除去装置において、上記表示パネル基板の一端側の原点位置で上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付け他端側に向けて移動させる清掃工程，上記表示パネル基板の他端側で上記粘着ローラを上記表示パネル基板上から上昇させる上昇工程，上記上昇工程後に上記粘着ローラを上記原点位置に戻す後退工程の各工程をこの順序で実行する上記粘着ローラの往復移動手段と、上記清掃工程に入る前に上記粘着ローラを軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させ、少なくとも上記清掃工程中上記粘着ローラを移動後の位置に保持する上記粘着ローラの軸方向移動手段とを備えていることを特徴としている。
【００２９】
請求項３に記載の発明は、上記請求項２において、（上記粘着ローラの軸長Ｌ−上記表示パネル基板の幅Ｗ）／Ｎなる式（Ｎは整数）により、上記所定距離ΔＸが求められることを特徴としている。
【００３０】
請求項４に記載の発明は、上記請求項２または３において、上記粘着ローラの往復移動手段には、上記粘着ローラを回転可能に支持する可動フレームを往復させる往復機構と、上記往復機構を介して上記可動フレームを上昇・下降させる昇降機構とが含まれ、上記粘着ローラの軸方向移動手段は、上記昇降機構および上記往復機構を介して上記可動フレームを上記粘着ローラの軸方向に移動させることを特徴としている。
【００３１】
請求項５に記載の発明は、上記請求項２ないし４のいずれか１項において、上記粘着ローラの軸方向移動手段として、ステッピングモータにより駆動される送りねじ軸が用いられることを特徴としている。
【発明の効果】
【００３２】
請求項１および請求項２に記載の発明によれば、ワークとしての表示パネル基板が所定位置に位置決めされた状態で載置されるワークテーブルと、上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けられた状態で移動して上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する粘着ローラとを含み、上記粘着ローラの軸長Ｌが、上記粘着ローラの移動方向と直交する方向の上記表示パネル基板の幅Ｗよりも大きく、上記粘着ローラの移動により、上記表示パネル基板の表面を清掃するにあたって、上記表示パネル基板の一端側の原点位置で上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付け他端側に向けて移動させたのち、上記表示パネル基板の他端側で上記粘着ローラを上記表示パネル基板上から上昇させて上記原点位置に戻し、再度上記粘着ローラを上記表示パネル基板に押し付ける前に、上記粘着ローラを軸方向に所定距離ΔＸだけ移動させて、上記粘着ローラの清掃に供される粘着面をずらすようにしたことにより、粘着ローラの同一箇所の一部分のみが繰り返して使用されることがないため、粘着ローラの偏摩耗（一部分の変形消耗）を防止することができる。したがって、粘着ローラの削りカスなどによる異物の再付着や、粘着ローラのテーブル面に対する平行度の狂いによる異物除去むらなどもほとんど発生することがない。また、粘着ローラの使用寿命が延ばされるため、コストダウンにもなる。
【００３３】
請求項３に記載の発明によれば、（上記粘着ローラの軸長Ｌ−上記表示パネル基板の幅Ｗ）／Ｎなる式（Ｎは整数）にて粘着ローラの軸方向の移動距離ΔＸを求めるようにしたことにより、表示パネル基板に対する粘着ローラの接触度合いがほぼ平均化され、粘着ローラの偏摩耗をより効果的に防止することができる。
【００３４】
請求項４に記載の発明によれば、上記粘着ローラの往復移動手段には、上記粘着ローラを回転可能に支持する可動フレームを往復させる往復機構と、上記往復機構を介して上記可動フレームを上昇・下降させる昇降機構とが含まれ、上記粘着ローラの軸方向移動手段にて上記昇降機構および上記往復機構を介して上記可動フレームを上記粘着ローラの軸方向に移動させるようにしたことにより、粘着ローラのサイクリック的な往復移動系と、粘着ローラの軸方向移動系とを個別的に制御することができる。
【００３５】
請求項５に記載の発明によれば、上記粘着ローラの軸方向移動手段として、ステッピングモータにより駆動される送りねじ軸を用いることにより、粘着ローラの軸方向移動距離ΔＸを高精度に制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
次に、図１ないし図３により、本発明の実施形態について説明する。図１は本発明による異物除去方法を説明するための模式的な平面図，図２は本発明による異物除去装置を示す一部に断面を含む模式的な正面図，図３は図２の模式的な左側面図である。なお、この実施形態の説明において、先に説明した従来例と変更を要しない構成要素には同じ参照符号を付している。
【００３７】
まず、図１を参照して本発明の異物除去方法について説明する。本発明においても、先に説明した従来例と同じく、ワーク（被清掃物）である表示パネル基板が載置されるワークテーブル１と、ワークテーブル１上で表示パネル基板に付着している塵埃などの異物を除去する粘着ローラ２とを用いる。この例において、被清掃物である表示パネル基板を液晶パネルＰとしている。
【００３８】
ワークテーブル１のテーブル面１１は、サイズの異なる液晶パネルＰにも対応できるようにするため、すなわち汎用性を持たせるため、清掃が予定される最大サイズの液晶パネルＰよりも大きな面積を有していることが好ましい。
【００３９】
テーブル面１１には、液晶パネルＰの位置決め手段として、液晶パネルＰの隣接する２つの側面Ｐ１，Ｐ２に当接するように突設された第１および第２のストッパー１２，１３が設けられている。この場合、小判サイズから大判サイズの液晶パネルＰまでを載置可能とするため、第１および第２のストッパー１２，１３は、テーブル面１１の片隅（この例では、図１の右上隅）に配置される。
【００４０】
第１のストッパー１２は液晶パネルＰの長辺側の側面Ｐ１と面接触するように突設された角柱板で、第２のストッパー１３は液晶パネルＰの短辺側の側面Ｐ２と接触するように突設された円柱体であってよく、液晶パネルＰをこれらのストッパー１２，１３に突き当てることにより、その位置決めを行うことができる。
【００４１】
また、ワークテーブル１には、図示しない負圧吸着手段が備えられており、第１および第２のストッパー１２，１３により液晶パネルＰを位置決めした後に、その負圧吸着手段により液晶パネルＰを確実に固定することができる。
【００４２】
粘着ローラ２には、先の図６（ａ）に示したように、シリコーンゴムなどの弾性材料からなるロール体２１の表面に粘着面２２が形成された円筒体が用いられてよい。粘着ローラ２は、後述する可動フレームに支持されて液晶パネルＰの長辺側の側面Ｐ１の延在方向（矢印Ｙで示す図１において上下方向）に沿って移動する。なお、粘着ローラ２の移動方向Ｙと直交する粘着ローラ２の軸方向（図１において左右方向）をＸとする。
【００４３】
ここで、粘着ローラ２の軸方向の長さ（軸長）をＬとし、液晶パネルＰの短辺側の側面Ｐ２の幅をＷとすると、粘着ローラ２は液晶パネルＰの幅Ｗよりも大きい軸長Ｌを有している（Ｗ＜Ｌ）。なお、ワークテーブル１の第１のストッパー１２と対向する側面を１ａとして、粘着ローラ２の軸長Ｌは、第１のストッパー１２とワークテーブル１の上記側面１ａとの間の距離に等しいことが好ましい。
【００４４】
液晶パネルＰを清掃するにあたって、粘着ローラ２は、液晶パネルＰの一端ＰＹ１側で下降し、液晶パネルＰに所定の圧力で押し付けられて液晶パネルＰの他端ＰＹ２側に向けて転がりながら移動し、他端ＰＹ２側に至ると液晶パネルＰから上昇し一端ＰＹ１側に後退する一連のサイクリック的な動作を液晶パネルＰごとに繰り返すが、本発明では、次のようにして同じサイズの液晶パネルＰで粘着ローラ２の同一の一部分が繰り返し使用されることによる偏摩耗（一部分の変形消耗）を防止するようにしている。
【００４５】
すなわち、液晶パネルＰを清掃するごとに、粘着ローラ２を軸方向Ｘに所定距離ΔＸだけ移動して、粘着ローラ２の粘着面を満遍なく使用する。粘着ローラ２の軸方向移動距離ΔＸは任意に決められてよいが、次式の
（粘着ローラ２の軸長Ｌ−液晶パネルＰの幅Ｗ）／Ｎ
なる式（Ｎは整数）により、求められることが好ましい。以下に説明する例ではＮを４としている。
【００４６】
説明の便宜上、液晶パネルＰの一端ＰＹ１を粘着ローラ２の移動方向Ｙにおける原点位置ＰＹ１とし、第１のストッパー１２により規制される液晶パネルＰの長辺側の側面Ｐ１を粘着ローラ２の軸方向における原点位置ＰＸ１とする。
【００４７】
なお、１枚の液晶パネルＰに対して清掃（異物除去）が２回行われてもよいが、ここでは１枚の液晶パネルＰに対して１回だけ清掃が行われ、清掃済みの液晶パネルＰは取り去られ、新たな未清掃の液晶パネルＰがワークテーブル１上にセットされるものとする。
【００４８】
まず、１枚目の液晶パネルＰについては、（Ａ）のように、粘着ローラ２の一端を軸方向の原点位置ＰＸ１に合わせて清掃を行う。清掃後、粘着ローラ２が移動方向Ｙの原点位置ＰＹ１に戻され、２枚目の液晶パネルＰを清掃する場合には、（Ｂ）のように、粘着ローラ２を上記距離ΔＸだけ右方向に移動させる。同様に、３枚目，４枚目，５枚目の各液晶パネルＰを清掃するごとに、（Ｃ）→（Ｄ）→（Ｅ）のように、粘着ローラ２を順次上記距離ΔＸだけ右方向に移動させる。
【００４９】
この例では、５枚目の液晶パネルＰを清掃するときの（Ｅ）の状態が粘着ローラ２の最右端位置であるため、６枚目〜１０枚目の各液晶パネルＰについては、それらの清掃ごとに（Ｅ）→（Ｄ）→（Ｃ）→（Ｂ）→（Ａ）のように、今度は粘着ローラ２を順次上記距離ΔＸだけ左方向に移動させる。
【００５０】
なお、最右端位置の（Ｅ）の状態から軸方向Ｘの原点位置ＰＸ１である（Ａ）の状態に一気に戻し、その後上記と同様に（Ａ）→（Ｂ）→（Ｃ）→（Ｄ）→（Ｅ）と移動させてもよい。
【００５１】
いずれにしても、本発明によれば、液晶パネルＰの清掃ごとに、粘着ローラ２を軸方向Ｘに好ましくは上記移動距離ΔＸずつ移動させることにより、液晶パネルＰに対する粘着ローラ２の接触度合いがほぼ平均化され、粘着ローラ２の偏摩耗を効果的に防止することができる。
【００５２】
次に、図２，図３により、本発明の異物除去装置について説明する。この異物除去装置は、ワークテーブル１のテーブル面１１と平行に延びる可動フレーム１１０を備え、可動フレーム１１０の一端側（図３で左端側）に粘着ローラ２が支持される。この例では、粘着ローラ２のほかに粘着ローラ２よりも強粘着の転写ローラ３を備える。
【００５３】
転写ローラ３は、可動フレーム１１０の粘着ローラ軸支部分から上方に延びる支持アーム１１１に粘着ローラ２と接するように支持されており、粘着ローラ２に付着した異物は転写ローラ３側に移される。なお、粘着ローラ２および転写ローラ３の回転方式は、モータによる駆動方式でなくフリー回転方式である。
【００５４】
図３に示すように、可動フレーム１１０は、水平方向支持体１２０によりワークテーブル１のテーブル面１１に対し平行（水平）に支持された状態で往復的に駆動される。水平方向支持体１２０は、可動フレーム１１０が挿通される例えば筒体から構成されてよい。
【００５５】
この例においては、可動フレーム１１０を往復的に駆動するため、水平方向支持体１２０には、支持アーム１２１を介して図示しないモータにより駆動されるピニオン歯車１２２が設けられ、可動フレーム１１０の他端側（図３で右端側）には、ピニオン歯車１２２とかみ合うラック１１２が形成される。
【００５６】
水平方向支持体１２０は、垂直方向支持体１３０により垂直方向に駆動される。垂直方向支持体１３０は、例えばエアシリンダもしくは油圧シリンダなどのシリンダ室１３１を有し、水平方向支持体１２０は、シリンダ室１３１に嵌合するピストンロッド１２３を備える。これにより、水平方向支持体１２０は、可動フレーム１１０を水平に支持した状態で、垂直方向支持体１３０により垂直方向に駆動される。
【００５７】
また、この異物除去装置は、ワークテーブル１の脇で粘着ローラ２の軸方向Ｘに沿って水平に配置されたガイドレール１４０を備え、このガイドレール１４０の摺動筒１４１に垂直方向支持体１３０が支持される。
【００５８】
また、この異物除去装置は、ガイドレール１４０と平行に配置される例えばボールネジからなる送りねじ軸１５１を備える。この送りねじ軸１５１は、カップリング１５３を介してステッピングモータ１５０と連結される。送りねじ軸１５１の従動体１５２にガイドレール１４０の摺動筒１４１が一体的に連結される。
【００５９】
これにより、可動フレーム１１０に支持されている粘着ローラ２は、水平方向支持体１２０のピニオン歯車１２２とラック１１２によりワークテーブル１のテーブル面１１に対し平行である水平方向に往復的に駆動され、垂直方向支持体１３０により垂直方向（上下方向）に駆動されるとともに、ステッピングモータ１５０の送りねじ軸１５１により粘着ローラ２の軸方向Ｘに沿って移動可能である。
【００６０】
したがって、上記ピニオン歯車１２２，上記垂直方向支持体１３０および上記ステッピングモータ１５０を所定のシーケンス制御に基づいて適宜駆動することにより、図１に示したように、清掃に供される各液晶表示パネルＰごとに粘着ローラ２をその軸方向Ｘに所定距離ΔＸだけ移動させることができる。
【００６１】
なお、上記実施形態の説明では、粘着ローラ２が移動方向Ｙの原点位置ＰＹ１に戻された時点で、粘着ローラ２をその軸方向Ｘに沿って所定距離ΔＸだけ移動させるようにしているが、例えば粘着ローラ２を液晶パネルＰの他端ＰＹ２側で上昇させる時点から移動方向Ｙの原点位置ＰＹ１に戻されるまでの間で、粘着ローラ２をその軸方向Ｘに沿って所定距離ΔＸだけ移動させるようにしてもよい。
【００６２】
また、ステッピングモータ１５０は、入力パルス数により回転角、すなわち送りねじ軸１５１の従動体１５２の移動距離を高精度に制御可能なモータであるため、図示しない操作卓で、ステッピングモータ１５０に対する入力パルス数や、粘着ローラ２の軸長Ｌおよび液晶パネルＰの幅Ｗ、それに除数としての上記整数Ｎを入力することにより、図１で説明した異物除去方法を自動化することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明による異物除去方法を説明するための模式的な平面図。
【図２】本発明による異物除去装置を示す一部に断面を含む模式的な正面図。
【図３】図２の模式的な左側面図。
【図４】従来の表示パネル基板の異物除去装置の一例を示す模式的な正面図。
【図５】上記従来の表示パネル基板の異物除去装置を示す模式的な平面図。
【図６】（ａ）異物除去装置に用いられる粘着ローラ示す模式的な斜視図，（ｂ）偏摩耗した粘着ローラ示す模式的な斜視図。
【符号の説明】
【００６４】
１  ワークテーブル
１１  テーブル面
１２，１３  ストッパー
２  粘着ローラ
２１  ロール体
２２  粘着面
３  転写ローラ
１１０  可動フレーム
１１２  ラック
１２０  水平方向支持体
１２２  ピニオン歯車
１２３  ピストンロッド
１３０  垂直方向支持体
１３１  シリンダ室
１４０  ガイドレール
１４１  摺動筒
１５０  ステッピングモータ
１５１  送りねじ軸
１５２  従動体
Ｐ  液晶パネル（表示パネル基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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