(57)【要約】      （修正有）【課題】  電極パターンを、その面積、形状を安定させつつベース上に位置精度良く形成可能な電極パターン形成方法及び面積、形状が安定しベース上に位置精度良く形成された電極を提供する。【解決手段】  ベース上の電極を設けたい領域の幅方向の一部又は全部に吐出ノズルから液体電極材料を吐出させるステップと、液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するステップとを有する。【選択図】図１
2007141939.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース上の電極を設けたい領域の幅方向の一部又は全部に吐出ノズルから液体電極材料を吐出させるステップと、
液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するステップと
を有することを特徴とする電極パターン形成方法。
【請求項２】
ベース上の電極を設けたい領域の幅方向の一部に吐出ノズルから液体電極材料を吐出させるステップと、
液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するステップと、
すでに液体電極材料により描画された電極パターンの領域以外の領域かつ前記電極を設けたいベース上の領域内で吐出ノズルから液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画することを一回又は複数回行うステップと
を有することを特徴とする電極パターン形成方法。
【請求項３】
前記吐出させた液体電極材料中に液体電極材料を吐出させずに前記吐出ノズル又はそれ相当のものの少なくとも先端が挿入された状態で、前記吐出ノズル又はそれ相当のものを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズル又はそれ相当のものを移動させるか、あるいは前記ベースと前記吐出ノズル又はそれ相当のものとを共に移動させるステップを
さらに有することを特徴とする請求項１また２記載の電極パターン形成方法。
【請求項４】
前記電極を設けたいベース上の領域は該ベース上の凸部の上端面上であることを特徴とする請求項１ないし３のうちのいずれか１項記載の電極パターン形成方法。
【請求項５】
前記液体電極材料の吐出を終了する際に、前記吐出ノズル内の液体電極材料を吸引することを特徴とする請求項１ないし４のうちのいずれか１項記載の電極パターン形成方法。
【請求項６】
前記電極を設けたいベース上の領域は閉じた形状であることを特徴とする請求項１ないし５のうちのいずれか１項記載の電極パターン形成方法。
【請求項７】
液体電極材料を用いて形成され、かつベース上の凸部の上端面上に設けられていることを特徴とする電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液体電極材料を用いて形成する電極パターンの形成方法及び液体電極材料を用いて設ける電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液体電極材料（例えば導電インク）を用いて電極パターンを形成する場合は、スクリーン印刷、パッド印刷等が用いられていた。
【０００３】
例えば、特許文献１には、基材上に複数の印刷図形に応じた電極をスクリーン印刷する方法であって、基材上に複数の印刷図形がスキージ走行方向に沿って配置されたスクリーン印刷版を載置する工程と、前記スクリーン印刷版上においてスキージを前記スキージ走行方向に沿って、かつ複数の印刷図形のうち少なくとも１つの印刷図形において残りの印刷図形を通過する際と異なる走行速度でスキージを走行させてスクリーン印刷を行う工程とを備えることを特徴とする、スクリーン印刷方法が記載されている（特許文献１の請求の範囲参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−２７３８５１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、スクリーン印刷で電極パターンを形成する場合、次の問題点がある。第一の問題点は、電極パターンを形成するたびにスキージによって加圧されるスクリーン印刷版が徐々に伸びてしまうことがある点である。第二の問題点は、印刷する際に導電インクが板膜のない部分（印刷パターン部分）から、電極を設けたいベースとスクリーン印刷版との間に入り込んでしまうことがある点である。
【０００６】
このため、スクリーン印刷により電極パターンを形成する場合、電極パターンをベース上に位置精度良く形成することが出来なかったり、形成する電極パターンの面積及び形状が変化してしまうという不都合な点がある。
【０００７】
また、パッド印刷で電極パターンを形成する場合、次の問題点がある。第一の問題点は、パッドで捺印する際のパッドと電極パターンを形成するベースとの位置合わせが困難な点である。第二の問題点は、パッドが柔軟性を有するため、捺印する際パッドが変形してしまうという点である。第三の問題点は、捺印後のパッド引き離し時に導電インクが垂れたり、飛び散ってしまい、ベース上の電極を設けたい領域以外の部分に導電インクが付着してしまうという点である。
【０００８】
このため、パッド印刷により電極パターンを形成する場合、電極パターンをベース上に位置精度良く形成することが出来なかったり、形成する電極パターンの面積及び形状が変化してしまうという不都合な点がある。
【０００９】
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、電極パターンを、その面積、形状を安定させつつベース上に位置精度良く形成可能な電極パターン形成方法及び面積、形状が安定しベース上に位置精度良く形成された電極を提供することにある。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【００１０】
（１）上記課題を解決するため本発明に係る電極パターン形成方法は、ベース上の電極を設けたい領域の幅方向の一部又は全部に吐出ノズルから液体電極材料を吐出させるステップと、液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するステップとを有することを特徴とする。
【００１１】
液体電極材料を吐出ノズルから吐出させながら電極パターンを描画するので、吐出させる液体電極材料の吐出量を細かくコントロール出来、電極パターンの面積及び形状を安定させて電極パターンを形成できる。また、液体電極材料を吐出させながら、吐出ノズルを固定してベースを移動させるか、ベースを固定して吐出ノズルを移動させるか、あるいはベース及び吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するので、ベース上に電極パターンを直接描画出来、位置精度良く電極パターンを形成できる。
【００１２】
（２）また、本発明に係る電極パターン形成方法は、ベース上の電極を設けたい領域の幅方向の一部に吐出ノズルから液体電極材料を吐出させるステップと、液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するステップと、すでに液体電極材料により描画された電極パターンの領域以外の領域かつ前記電極を設けたいベース上の領域内で吐出ノズルから液体電極材料を吐出させながら、前記吐出ノズルを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズルを移動させるか、あるいは前記ベース及び前記吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画することを一回又は複数回行うステップとを有することを特徴とする。
【００１３】
液体電極材料を吐出ノズルから吐出させながら電極パターンを描画するので、吐出させる液体電極材料の吐出量を細かくコントロール出来、電極パターンの面積及び形状を安定させて電極パターンを形成できる。また、液体電極材料を吐出させながら、吐出ノズルを固定してベースを移動させるか、ベースを固定して吐出ノズルを移動させるか、あるいはベース及び吐出ノズルを共に移動させて電極パターンを描画するので、ベース上に電極パターンを直接描画出来、位置精度良く電極パターンを形成できる。さらに、例えばベース上の電極を設けたい領域の幅が吐出ノズルの口径と比べて相対的に大きい場合（例えば通常よりも小さな口径の吐出ノズルから液体電極材料を吐出させて電極パターンを描画する場合又は電極を設けたい領域の幅が通常の吐出ノズルの口径と比べて大きい場合）、吐出されたベース上の液体電極材料はその表面張力によりあまり広がらないことがあり、一回でベース上の電極を設けたい領域の幅方向の端部まで埋めるように所望の電極パターンを描画することが困難となる。この様な場合であっても、電極パターンの描画を複数回行うことで、ベース上の電極を設けたい領域すべてを埋めるように所望の電極パターンを容易に描画できる。
【００１４】
（３）また、本発明に係る電極パターン形成方法は、前記吐出させた液体電極材料中に液体電極材料を吐出させずに前記吐出ノズル又はそれ相当のものの少なくとも先端が挿入された状態で、前記吐出ノズル又はそれ相当のものを固定して前記ベースを移動させるか、前記ベースを固定して前記吐出ノズル又はそれ相当のものを移動させるか、あるいは前記ベースと前記吐出ノズル又はそれ相当のものとを共に移動させるステップをさらに有することを特徴とする
【００１５】
例えば描画された電極パターンをなぞるように、吐出させた液体電極材料中に液体電極材料を吐出させずに吐出ノズル又はそれ相当のものの少なくとも先端が挿入された状態で、吐出ノズル又はそれ相当のものを固定してベースを移動させるか、ベースを固定して吐出ノズル又はそれ相当のものを移動させるか、あるいはベースと吐出ノズル又はそれ相当のものとを共に移動させることで、吐出させた電極液体電極材料を、電極を設けたい領域の幅方向に広げることができる。吐出させた電極液体電極材料を、電極を設けたい領域の幅方向に広げることにより、吐出した液体電極材料の表面張力による盛り上がりを少なくすることができる。
【００１６】
（４）また、本発明に係る電極パターン形成方法は、前記電極を設けたいベース上の領域は該ベース上の凸部の上端面上であることを特徴とする。
【００１７】
凸部上の上端面上に吐出された液体電極材料は、その表面張力により凸部上の上端面の端部より外に流れ出さない。これにより、液体電極材料は凸部上の上端面上に留まることになり、電極パターンの面積及び形状をより安定させて電極パターンを形成できる。さらに、吐出ノズルから電極を設けたいベース上の領域の幅方向の一部に液体電極材料を吐出させる場合において、吐出させる場所がベース上の領域の幅方向の中心からずれたとしても、凸部上の上端面上に吐出された液体電極材料は、表面張力により、凸部上の上端面の端部から外に流れ出さないため、液体電極材料は凸部上の上端面上に留まることになり、より位置精度良く電極パターンを形成できる。
【００１８】
（５）また、本発明に係る電極パターン形成方法は、前記液体電極材料の吐出を終了する際に、前記吐出ノズル内の液体電極材料を吸引することを特徴とする。
【００１９】
液体電極材料の吐出を終了する際に、吐出ノズル内の液体電極材料を吸引することにより、液体電極材料の吐出を終了するときの液体電極材料の液垂れを防ぐことが出来る。
【００２０】
（６）また、本発明に係る電極パターン形成方法は、前記電極を設けたいベース上の領域は閉じた形状であることを特徴とする。
【００２１】
前記電極パターンを閉じた形状とすることにより、例えば形成した電極を静電容量等の変化を検知するための電極として利用することが可能となる。
【００２２】
（７）また、本発明に係る電極は、液体電極材料を用いて形成され、かつベース上の凸部の上端面上に設けられていることを特徴とする。
【００２３】
凸部上の上端面上の液体電極材料は、表面張力により、凸部上の上端面の端部から外に流れ出さない。これにより、液体電極材料は凸部上の上端面上に留まることになり、電極はその面積及び形状が安定しベース上に位置精度良く形成されることになる。
【００２４】
本発明において、「ベースを移動させる」とは、ベースを特定の方向へ直線的又は曲線的に移動させることだけではなく、その場で回転させることをも含む表現である。
【００２５】
本発明において、「閉じた形状」とは、多角形（線分の少なくとも一部が曲線になったものも含む。）、円、楕円等及びこれらの外形線により構成される環形が該当する。
【００２６】
本発明において、「それ相当のもの」は、基本的には吐出ノズルの形状に近いものをいうが形状を限定するわけではない。
【００２７】
吐出させた電極液体電極材料を、電極を設けたい領域の幅方向に広げる場合、吐出ノズル又はそれ相当のものの少なくとも先端が挿入された状態で、吐出ノズル又はそれ相当のものを固定してベースを移動させるか、ベースを固定して吐出ノズル又はそれ相当のものを移動させるか、あるいはベースと吐出ノズル又はそれ相当のものとを共に移動させて、吐出させた電極液体電極材料を電極パターンの幅方向に広げることができることができれば、「それ相当のもの」の形状は問わない。
【００２８】
本発明において、「吐出ノズル内の液体電極材料を吸引する」とは、吐出ノズル内の液体電極材料の一部又は全部を液体電極材料の供給源（供給用のタンクなど）の方に吸引することをいう。
【００２９】
本発明において、「ベース上の凸部」は、電極パターンを描画する際にのみベース上に設けられてもよい。例えば、弾性を有するベースを治具に取り付けて、電極パターンを描画する際にのみベース上に凸部を設け、描画後、ベースを治具から外した後はベース上に凸部が無くても良い。また、「ベース上の凸部」は、凸部の上端面とその周囲との間に段差が出来ていれば良い。すなわち、ベース上において凸部上端面より高く位置する領域が他にあってもよい。さらに、凸部の側面は凸部の上端面と垂直でなくても良く、傾斜があっても良い。
【００３０】
本発明において、「液体電極材料」は、導電インク（又は導電ペースト）等の液体の電極材料により実現される。導電インクとしては、カーボンを含有するもの、銀を含有するものなどがある。また、液体電極材料は、導電インク（又は導電ペースト）等を適した溶剤、例えばシリコーンオイル等で薄めたものによっても実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、同じ部分又は対応する部分については同じ符号を付して説明する。
【００３２】
本発明に係る電極パターン形成方法は、例えばディスペンサ（液体吐出装置）を用いることにより実現される。特に限定するわけではないが、当該ディスペンサは液体を吐出する吐出ヘッド部分（シリンジ、吐出ノズルを含む部分）の１軸方向ないし３軸方向への直接的又は相対的な移動が制御部によって精密に制御されるものが望ましい。また、本発明に係る電極パターン形成方法により描画される電極パターンを用いて形成される電極は、例えば静電容量の変化によって操作方向を検知する、所謂力センサを用いた方向検知スイッチの可動電極に用いられる。
【００３３】
ディスペンサは、例えば吐出される液体の吐出量をエア圧力により制御するものと、吐出される液体の吐出量をポンプの圧力により制御するものがある。どちらも用いることができるが、エア圧力により吐出される液体の吐出量を制御するものの方が制御しやすい。
【００３４】
図１は電極パターンを描画する第一の方法を示す概略図である。
【００３５】
ディスペンサ１０Ａは回転部（ターンテーブル）５、台６、支柱７、支持部８及びシリンジ９を備える。治具４は回転部５上に、シリンジ９の後述するノズル９ａと特定の位置関係となるように着脱自在に取り付けられるようになっており、回転部５と連動する。そして、回転部５により治具４が矢印１１の方向に回転する。また、電極パターンを描画したいベース１は治具４に着脱自在に取り付けられている。治具４が回転すると、ベース１も回転することになる。
【００３６】
なお、ベース１は、例えば、携帯電話機等の携帯端末装置の操作部に使用される、所謂カーソルキーのベース（キーパッド）であり、その大きさ、形状（外形など）は限定されない。また、ベース１は、カーソルキー部分のみ独立して設けられているものに限定されず、例えば携帯電話機のいわゆるテンキー等の他のキーの部分のベースと一体化されているものでも良い。
【００３７】
支持部８は支柱７に取り付けられており、シリンジ９は支持部８に取り付けられている。支持部８は支柱７に矢印１２の方向に移動可能に取り付けられても良いし、シリンジ９は支持部８に矢印１２の方向に移動可能に取り付けられても良い。また、その両者でも良い。これにより、シリンジ９は矢印１２の方向に移動可能となる。
【００３８】
シリンジ９には吐出ノズル９ａが設けられている。また、シリンジ９には、図示しない液体電極材料供給手段により、図示しない液体電極材料の供給源（供給用のタンクなど）から液体電極材料がシリンジ９に供給される。シリンジ９に供給された液体電極材料は、吐出ノズル９ａから吐出される。
【００３９】
なお、治具４の回転（すなわち回転部５の回転）、シリンジ９の矢印１２の方向への移動、液体電極材料の供給量、液体電極材料の吐出のタイミング等のディスペンサ１０内の各部の制御については、ディスペンサ１０Ａの備える図示しない制御部により制御される。
【００４０】
電極パターンを描画する際、吐出ノズル９ａの吐出口がベース１から所定の距離になるようにシリンジ９がその初期位置から移動する。そして、ベース１上の電極を設けたい領域２の幅方向の一部に吐出ノズル９ａから液体電極材料が吐出し、ベース１が回転（すなわち移動）する。これにより、円環形状の電極パターンが描画される。
【００４１】
なお、吐出された液体電極材料は、電極を設けたい領域２の幅方向へ広がる。この幅方向への広がりは、液体電極材料の表面張力、液体電極材料の吐出量、ベース１の材質等の条件により左右される。液体電極材料が電極パターンを設けたい領域の幅方向の端部にまで広がるように（所望の電極パターンを描画できるように）前記液体電極材料の種類、前記吐出量、前記ベース１の材質等の条件を決定する必要がある。
【００４２】
所望の形状の電極パターンを描画するためには、例えばベース１の材質、液体電極材料の種類、吐出ノズル９ａの口径、電極パターンの形状、吐出ノズル９ａの先から電極を設けたいベース１上の領域までの距離、吐出の際のエア圧力、サイクルタイム等が決まっているのであれば、液体電極材料の吐出量等の条件を適宜調節すればよい。ベース１の材質、吐出ノズル９ａの口径、電極パターンの形状、吐出ノズル９ａの先から電極を設けたいベース１上の領域までの距離、吐出の際のエア圧力、サイクルタイム等が決まっているのであれば、液体電極材料の種類等を適宜決定すればよい（例えば、液体電極材料に用いられる溶剤の量や種類を調節する）。上記の条件は、所望の形状（大きさ、膜厚を含む）の電極パターンを得るために適宜調節することができる。
【００４３】
また、吐出ノズル９ａの口径は、電極を設けたい領域２の幅よりも通常小さくなるが、所望の電極パターンを描画できるように吐出ノズル９ａの口径を調節してもよい。例えばベース１の材質、液体電極材料の種類、電極パターンの形状、吐出ノズル９ａの先から電極を設けたいベース１上の領域までの距離、吐出の際のエア圧力、サイクルタイム、液体電極材料の吐出量等を決定して、吐出ノズル９ａの口径を決定してもよい。
【００４４】
液体電極材料の表面張力等によって吐出された液体電極材料が電極を設けたい領域２の幅方向へ広がらない場合や、下記で説明する電極を設けたい領域２がベース１上の凸部上端面の場合、ベース１上の電極を設けたい領域２の幅方向の全部に吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させてもよい（この場合、電極を設けたい領域２の幅と吐出ノズル９ａの口径は基本的に同じになる。）。
【００４５】
電極パターンの描画が終わると、シリンジ９は矢印１２の方向の上方に移動し、その初期位置に復帰する。この後、ベース１を治具４に取り付けたまま、回転部５から治具４を取り外し、熱乾燥などの適宜な方法による乾燥工程に送って電極パターンの液体電極材料を乾燥（硬化）させる。
【００４６】
液体電極材料を吐出ノズル９ａから吐出させながら電極パターンを描画することにより、吐出させる液体電極材料の吐出量を細かくコントロール出来、電極パターンの面積及び形状を安定させて電極パターンを形成できる。また、液体電極材料の吐出量を細かくコントロール出来るため、電極パターンの膜厚のコントロールも容易となる。
【００４７】
図１において、電極パターンが描画されている途中であり、３ａは電極パターンの一部である。図１ではベース１を回転させて電極パターンを描画しているが、治具４を水平面上で２軸方向に適宜移動させることにより（例えば、ディスペンサ１０Aに、図2のようなテーブル１４を設けこれに図２における矢印１５の方向及び矢印１６の方向への２軸駆動機構を内蔵させる。）、ベース１上に電極パターンを描画しても良い。
【００４８】
このように、吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させながら吐出ノズル９ａを固定してベース１を移動させて電極パターンを描画することにより、ベース１上に電極パターンを直接描画出来、位置精度良く所望の形状に電極パターンを形成できる。特に治具４とシリンジ９の位置関係は決まっているので、治具４にベース１を取り付けて描画することにより、位置精度を高く保つことができる。
【００４９】
図２は電極パターンを描画する第二の方法を示す概略図である。
【００５０】
この第二の方法と上記第一の方法とはディスペンサが異なる。ディスペンサ１０Ｂは台６、支柱７ａ、支柱７ｂ、シリンジ９、ブリッジ１３、テーブル１４及び可動部１７を備える。テーブル１４は台６に対し移動可能に取り付けられている。テーブル１４には、治具４がテーブル１４若しくは吐出ノズル９ａの移動の初期位置と特定の位置関係となるように着脱自在に取り付けられるようになっており、テーブル１４の移動に連動する。テーブル１４は矢印１６の方向に移動する。これにより、治具４は矢印１６の方向に移動する。
【００５１】
支柱７ａ、支柱７ｂにはブリッジ１３が取り付けられている。ブリッジ１３には可動部１７が矢印１５の方向に移動可能に取り付けられている。シリンジ９は可動部１７に矢印１２の方向に移動可能に取り付けられている。可動部１７の矢印１５方向への移動によりシリンジ９は矢印１５方向への移動が可能となる。
【００５２】
なお、テーブル１４の矢印１６の方向への移動、シリンジ９の矢印１２の方向への移動、可動部１７の矢印１５の方向への移動、液体電極材料の供給量、液体電極材料の吐出のタイミング等のディスペンサ１０内の各部の制御については、ディスペンサ１０Ｂの備える図示しない制御部により制御される。
【００５３】
電極パターンを描画する際、吐出ノズル９ａの吐出口がベース１から所定の距離になるようにシリンジ９がその初期位置から移動する。そして、ベース１上の電極を設けたい領域２の幅方向の一部に吐出ノズル９ａから液体電極材料が吐出し、可動部１７が矢印１５の方向に適宜移動し、テーブル１４が矢印１６の方向に適宜移動する。これにより、円環形状の電極パターンが描画される。この後、ベース１を治具４に取り付けたまま、テーブル１４から治具４を取り外し、熱乾燥などの適宜な方法による乾燥工程に送って電極パターンの液体電極材料を乾燥（硬化）させる。
【００５４】
図２において、電極パターンが描画されている途中であり、３ａは電極パターンの一部である。図２では可動部１７を矢印１５の方向に移動させ、テーブル１４を矢印１６の方向に移動させて電極パターンを描画しているが、可動部１７及びテーブル１４を水平面上の任意の方向に動くようにして（例えば、可動部１７を矢印１６の方向に移動させ、テーブル１４を矢印１５の方向に移動させ）、ベース１上に電極パターンを描画しても良い。
【００５５】
このように、吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させながらベース１及び前記吐出ノズル９ａを共に移動させて電極パターンを描画することにより、ベース１上に電極パターンを直接描画出来、位置精度良く電極パターンを形成できる。特に治具４とシリンジ９の位置関係は決まっているので、治具４にベース１を取り付けて描画することにより、位置精度を高く保つことができる。
【００５６】
電極パターンを描画する第二の方法についてのその他の説明については、上記第一の方法に準じるので説明を省略する。
【００５７】
図３は電極パターンを描画する第三の方法を示す概略図である。
【００５８】
この第三の方法と上記第一の方法とはディスペンサが異なる。ディスペンサ１０Ｃは台６、支柱７ａ、支柱７ｂ、シリンジ９、ブリッジ１３、可動部１７及びアーム１９を備える。台６には、治具４が吐出ノズル９ａの移動の初期位置と特定の位置関係となるように着脱自在に取り付けられる。
【００５９】
支柱７ａ、支柱７ｂにはブリッジ１３が取り付けられている。ブリッジ１３には可動部１７が矢印１５の方向に移動可能に取り付けられている。シリンジ９は可動部１７に矢印１２及び矢印１８の方向に移動可能にアーム１９を介して取り付けられている。アーム１９の矢印１８方向への伸縮及び矢印１２方向への移動により、シリンジ９は矢印１２及び矢印１８の方向に移動可能となる。また、可動部１７の矢印１５への移動により、シリンジ９は矢印１５の方向へ移動可能となる。
【００６０】
なお、シリンジ９の矢印１２及び矢印１８の方向への移動、可動部１７の矢印１５の方向への移動、液体電極材料の供給量、液体電極材料の吐出のタイミング等のディスペンサ１０Ｃ内の各部の制御については、ディスペンサ１０Ｃの備える図示しない制御部により制御される。
【００６１】
電極パターンを描画する際、吐出ノズル９ａの吐出口がベース１から所定の距離になるようにシリンジ９がその初期位置から移動する。そして、ベース１上の電極を設けたい領域２の幅方向の一部に吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出しながら、シリンジ９が矢印１５及び矢印１８の方向に適宜移動する。これにより、円環形状の電極パターンが描画される。この後、ベース１を治具４に取り付けたまま、テーブル１４から治具４を取り外し、熱乾燥などの適宜な方法による乾燥工程に送って電極パターンの液体電極材料を乾燥（硬化）させる。
【００６２】
図３において、電極パターンが描画されている途中であり、３ａは電極パターンの一部である。図３では可動部１７を矢印１５の方向に移動させ、シリンジ９を矢印１８の方向に移動させて（すなわちシリンジ９を二軸方向に移動させて）電極パターンを描画しているが、シリンジ９を水平面上の任意の方向に動くようにして、ベース１上に電極パターンを描画しても良い。
【００６３】
このように、吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させながらベース１を固定して吐出ノズル９ａを移動させて電極パターンを描画することにより、ベース１上に電極パターンを直接描画出来、位置精度良く電極パターンを形成できる。特に治具４とシリンジ９の位置関係は決まっているので、治具４にベース１を取り付けて描画することにより、位置精度を高く保つことができる。
【００６４】
電極パターンを描画する第三の方法についてのその他の説明については、上記第一の方法に準じるので説明を省略する。
【００６５】
図４は上記第一ないし第三の方法において電極パターンが描画されるベース１の断面図である。ベース１は、シリコーンゴム等のゴム材又は熱可塑性エラストマー等の弾性材料から成る薄膜又は適宜の膜厚に形成したものにより実現される。ベース１は弾性材料でなくても良く、樹脂フィルム等、電極を設けたいベース１に適宜適する材料により実現される。符号２ａ及び符号２ｂは電極を設けたい領域である。
【００６６】
図５は、図４のベース１を治具４の取り付けた状態での断面図である。また、図５では電極を設けたい領域２ａ上に吐出ノズル９ａから液体電極材料が吐出され、電極パターンの一部３ａが描画されている。
【００６７】
ベース１上の電極を設けたい領域２ａ、２ｂは、ベース１が治具４に取り付けられることにより上方に押し上げられ、治具４の凸部４ａ、４ｂの上端面に位置することになる。
【００６８】
図６（ａ）は、吐出ノズル９ａから液体電極材料が電極を設けたい領域２ａ上に吐出された後の状態を示す拡大断面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【００６９】
図６（ａ）、（ｂ）に示すように、電極を設けたい領域２ａは凸部の上端面になる。図６（ｂ）に示すように、吐出された液体電極材料２０ａは電極を設けたい領域２ａの幅方向に広がる。しかし、電極を設けたい領域２ａは凸部の上端面であり、液体電極材料の有する表面張力により、凸部の上端面の端部２１ｃ、２１ｄで液体電極材料２０ａの広がりが止まる（図６（ｂ）の２０ｂ参照、２０ｂは上記電極パターンの一部３ａに対応する）。すなわち、液体電極材料２０ａは、凸部上の上端面の端部２１ｃ、２１ｄより外に流れ出さない。
【００７０】
これにより、吐出された液体電極材料は凸部の上端面（すなわち、電極を設けたい領域２ａ）上に留まることになり、電極パターンの面積及び形状が安定し、電極パターンは、ベース１上に位置精度がより良く形成されることになる。特に吐出ノズル９ａが左右にずれても（図６（ａ）、（ｂ）においては、吐出ノズル９ａが左右にずれても）、吐出された液体電極材料は凸部上の上端面上に留まることになり、この後に液体電極材料を乾燥又は硬化させれば、電極パターンの面積及び形状が安定しベース１上に位置精度良く電極が形成されることになる。
【００７１】
なお、図６（ａ）、（ｂ）において、凸部の側面２１ａ、２１ｂは、凸部の上端面（すなわち、電極を設けたい領域２ａ）と直角だが、直角に限らず凸部の側面２１ａ、２１ｂは傾斜があっても良い。
【００７２】
ベース１は、治具４に取り付けられることにより凸部が一時的に形成されているが、これに限らず、電極を設けたい領域２ａ、２ｂが凸部の上端面に位置するように、ベース１を最初から形成してもよい。
【００７３】
また、ベース１を治具４に取り付けて描画する際、電極を設けたい領域２ａ、２ｂが位置する凸部上端面より高い位置の領域が他にあってもよい。
【００７４】
凹凸を有するベース１に電極パターンを形成したい場合、上記のようなスクリーン印刷、パット印刷等では、電極パターンを形成するのが困難となる。液体電極材料を吐出ノズル９ａから吐出させながら電極パターンを描画する場合、ベース１が凹凸を有していても描画が容易となる。さらに、液体電極材料を吐出ノズル９ａから吐出させながら電極パターンを描画する場合、スクリーン印刷、パット印刷等に比べて液体電極材料の消費量を抑えることができる。また、吐出前の液体電極材料の乾燥も防げる。
【００７５】
さらに、電極を設けたい領域２ａ、２ｂが曲面である場合、上記のようなスクリーン印刷、パット印刷等では、電極パターンを形成するのが困難となる。液体電極材料を吐出ノズル９ａから吐出させながら電極パターンを描画する場合、ベース１上の電極を設けたい領域２ａ、２ｂ（凸部上端面に該当する場合も含む）が曲面を有していても描画が容易となる。
【００７６】
図７（ａ）は、液体電極材料吐出終了直後の吐出ノズル９ａの拡大断面図である。図７（ｂ）は、吐出ノズル９ａ内の液体電極材料を吸引した際の吐出ノズル９ａの拡大断面図である。
【００７７】
図７（ａ）、（ｂ）に示すように、液体電極材料の吐出を終了する際に、必要に応じて吐出ノズル９ａ内の液体電極材料を吸引する。吸引の仕方は例えばディスペンサ１０の備える図示しないバキューム等により吸引する。バキューム等はディスペンサ１０の備える図示しない上記制御部により制御される。
【００７８】
液体電極材料の吐出を終了する際に、吐出ノズル９ａ内の液体電極材料を吸引することにより、液体電極材料の吐出を終了する際（特に吐出ノズル９ａが初期位置に戻る際）の液体電極材料の垂れを防ぐことが出来る。これにより、電極を設けたいベース上の領域以外の部分又は描画した電極パターン上における余計な液体電極材料の付着防止が可能になる。
【００７９】
ところで、吐出された液体電極材料２０ａは電極を設けたい領域２ａの幅方向に広がるが、特に電極を設けたい領域２ａの幅方向の長さと液体電極材料の吐出量との関係で、吐出された液体電極材料２０ａの表面張力等により、領域２ａの端部にまで広がらない場合がある。このため、必要に応じて液体電極材料２０ａを領域２ａの端部にまで広げる必要がある。
【００８０】
これについて、図８を参照して説明する。図８（ａ）は、電極パターン描画後の液体電極材料の状態を示す拡大断面図である。図８（ｂ）は、吐出された液体電極材料２０ａに吐出ノズル９ａを挿入した際の状態を示す拡大断面図である。図８（ｃ）は、吐出された液体電極材料２０ａに吐出ノズル９ａを挿入した後の状態を示す拡大断面図である。
【００８１】
図８（ａ）のように吐出された液体電極材料２０ａに吐出ノズル９ａを挿入する。そして液体電極材料２０ａに挿入した状態（図８（ｂ）参照）で、吐出ノズル９ａを固定してベース１を移動させるか、ベース１を固定して吐出ノズル９ａを移動させるか、あるいはベース１と吐出ノズル９ａとを共に移動させる。
【００８２】
例えば、電極パターン描画後、吐出ノズル９ａ（シリンジ９）を所定の長さだけ、下に移動させた状態かつ描画後の液体電極材料２０ａに挿入させた状態で、吐出ノズル９ａが描画された電極パターンをなぞるように、吐出ノズル９ａを固定してベース１を移動させるか、ベース１を固定して吐出ノズル９ａを移動させるか、あるいはベース１と吐出ノズル９ａとを共に移動させる。つまり、電極パターンが円環形状等の場合、一周目で描画し、そのまま吐出ノズル９ａを所定の長さだけ下に移動させて、そのまま二週目（以降）で液体電極材料２０ａを、電極を設けたい領域の幅方向に広げる。
【００８３】
これにより、図８（ｃ）に示すように吐出された液体電極材料２０ａは、電極を設けたい領域２ａの幅方向に広がる。前記吐出させた電極液体電極材料を、電極を設けたい領域の幅方向に広げることにより、吐出した液体電極材料の表面張力による盛り上がりを少なくすることができる。これにより、膜厚が電極の幅方向で略均一な電極を形成することができる。また、電極の膜厚を薄く出来、さらに液体電極材料の使用量も少なくできる。
【００８４】
また、吐出ノズル９ａに替えて、吐出ノズル９ａそれ相当のものを採用しても良い。「それ相当のもの」を採用する場合、例えばディスペンサ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃにこれを設ける。さらに、電極パターン描画後に吐出ノズル９ａを「それ相当のもの」に代替するための手段をディスペンサ１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｃに設ける。
【００８５】
なお、図８においては、電極を設けたい領域２ａは凸部の上端面であり、液体電極材料の有する表面張力により、凸部の上端面の端部２１ｃ、２１ｄで液体電極材料２０ａの広がりが止まる（図８（ｃ）２０ｂ参照）。すなわち、液体電極材料２０ａは、凸部上の上端面の端部２１ｃ、２１ｄより外に流れ出さない。
【００８６】
これにより、吐出された液体電極材料は凸部の上端面（すなわち、電極を設けたい領域２ａ）上に留まることになり、電極パターンの面積及び形状が安定しベース１上に位置精度良く形成されることになる。
【００８７】
電極パターンの描画は複数回行っても良い。これについて、図９及び図１０を参照して説明する。
【００８８】
図９（ａ）は、最初の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。図９（ｂ）は、２回目の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。図９（ｃ）は、図９（ｂ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【００８９】
図１０（ａ）は、最初の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。図１０（ｂ）は、３回目の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【００９０】
最初の電極パターンの描画は上記第一ないし第三の方法における電極パターンの描画に準じる。これにより、図９（ａ）、図１０（ａ）の示す状態となる。
【００９１】
次に、すでに液体電極材料により描画された電極パターンの領域（図９（ａ）、図１０（ａ）では液体電極材料２０ａが存在する領域）以外の領域かつ前記電極を設けたいベース１上の領域２ａ内で吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させながら、吐出ノズル９ａを固定しベース１を移動させるか、ベース１を固定して吐出ノズル９ａを移動させるか、あるいはベース１及び吐出ノズル９ａを共に移動させて電極パターンを描画する。これにより、図９（ｂ）の示す状態となる。また、この電極パターンの描画を２回繰り返すことにより、図１０（ｂ）の示す状態となる。
【００９２】
その後、複数回で描画された電極パターンの液体電極材料はその表面張力により、互いに一体となる。これにより、図９（ｃ）、図１０（ｃ）の示す状態となる。また、図９、１０においては、電極を設けたい領域２ａは凸部の上端面であり、液体電極材料の有する表面張力により、凸部の上端面の端部２１ｃ、２１ｄで液体電極材料２０ａの広がりが止まる（図９（ｃ）、図１０（ｃ）２０ｂ参照）。すなわち、液体電極材料２０ａは、凸部上の上端面の端部２１ｃ、２１ｄより外に流れ出さない。
【００９３】
上記電極パターンの描画は三回以上行っても良い。電極パターンの描画を複数回行うことにより、例えばベース上の電極を設けたい領域の幅が吐出ノズルの口径と比べて相対的に大きい場合（例えば通常よりも小さな口径の吐出ノズルから液体電極材料を吐出させて電極パターンを描画する場合又は電極を設けたい領域の幅が通常の吐出ノズルの口径と比べて大きい場合）、吐出されたベース上の液体電極材料はその表面張力によりあまり広がらないことがあり、一回でベース上の電極を設けたい領域の幅方向の端部まで埋めるように所望の電極パターンを描画することが困難となる。この様な場合であっても、電極パターンの描画を複数回に行うことで、ベース上の電極を設けたい領域すべてを埋めるように所望の電極パターンを容易に描画できる。また、電極パターンの膜厚を均一化できる。
【００９４】
特に、液体電極材料の吐出量をさらに細かくコントロールし、より薄く均一な膜圧の電極パターンを得るため、例えば通常よりも小さな口径の吐出ノズルから液体電極材料を吐出させて電極パターンを描画することがある。この場合、ベース上の電極を設けたい領域の幅が吐出ノズルの口径と比べて相対的に大きくなるので、吐出されたベース上の液体電極材料はその表面張力によりあまり広がらないことがあり、一回でベース上の電極を設けたい領域の幅方向の端部まで埋めるように所望の電極パターンを描画することが困難となる。この様な場合であっても、電極パターンの描画を複数回行うことで、より薄く均一な膜厚化が図れ、かつベース上の電極を設けたい領域すべてを埋めるように、所望の電極パターンを容易に描画できる。
【００９５】
なお、液体電極材料により描画された電極パターンの領域以外の領域かつ前記電極を設けたいベース上の領域内で吐出ノズルから液体電極材料を吐出させる場合、例えば図１乃至３に示すディスペンサ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃにおいては、シリンジ９（吐出ノズル９ａ）を所望の位置に移動可能となるようにディスペンサ１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃを構成する必要がある。
【００９６】
また、必要に応じて図８に示すような、液体電極材料２０ａに挿入した状態で、吐出ノズル９ａ又はそれ相当のものを固定してベース１を移動させるか、ベース１を固定して吐出ノズル９ａ又はそれ相当のものを移動させるか、あるいはベース１と吐出ノズル９ａ又はそれ相当のものとを移動させる。この場合、特に、複数回の電極パターンの描画で、電極を設けたい領域の幅方向を液体電極材料ですべて埋めない場合に、ベース１上の液体電極材料を、電極を設けたい領域の幅方向の端部にまで広げることができる。
【００９７】
本実施形態ではディスペンサを用いた場合について説明したが、本方法においては吐出ノズルを備えるものであって、液体電極材料を吐出ノズルから定量かつ連続して吐出できる装置であれば、ディスペンサに替えて用いることができる。
【００９８】
さらに、電極パターンの描画を終了する際、描画終了時における描画された電極パターンの部分（例えば電極パターンが円環形状の場合、一周目が終わり二周目に入る部分）からその近傍にかけて、吐出ノズル９ａがこの電極パターンに沿って、吐出ノズル９ａから液体電極材料を吐出させた状態又は吐出をやめた状態で、吐出ノズル９ａを固定してベース１を移動させるか、ベース１を固定して吐出ノズル９ａを移動させるか、あるいはベース１と吐出ノズル９ａとを共に移動させるとよい。これにより、描画終了後における描画された電極パターンに部分的に液体電極材料がたまってしまうことを防ぎ、液体電極材料の吐出開始部分と吐出終了部分との繋ぎ目を滑らかに繋がるようにして、より均一の幅及び膜厚の電極パターンを描画できる。また、一回の描画ではなく複数回重ねて電極パターンを描画しても良い。例えば電極パターンが円環形状等の閉じた形状である場合、複数周かけて電極パターンを重ねるようにして描画してもよい。このようにすることで、膜厚をより細かくコントロールし得る。
【００９９】
上述のように電極パターンが描画された後は、熱乾燥などの適宜な方法による乾燥工程に送って電極パターンの液体電極材料を乾燥（又は硬化）させる。そして、図１１のような電極３が完成する。図１１は、電極３が形成されたベース１の平面図である。上記第一ないし第三の方法で円形状の電極パターンを描画した場合、円の形状を有する電極３がベース１上に設けられる。
【０１００】
また、液体電極材料を用いて形成され、かつベース上の凸部の上端面上に設けられている電極の場合、電極パターンが形成される際、凸部上の上端面上の液体電極材料が、表面張力により、凸部上の上端面の端部から外に流れ出さない。このため、液体電極材料が凸部上の上端面上に留まることになり、液体電極材料を用いて形成され、かつベース上の凸部の上端面上に設けられる電極は、面積及び形状が安定しベース上に位置精度良く形成されることになる。
【図面の簡単な説明】
【０１０１】
【図１】電極パターンを描画する第一の方法を示す概略図である。
【図２】電極パターンを描画する第二の方法を示す概略図である。
【図３】電極パターンを描画する第三の方法を示す概略図である。
【図４】第一ないし第三の方法において電極パターンが描画されるベースの断面図である。
【図５】図４のベースを治具の取り付けた状態での断面図である。
【図６】（ａ）は、吐出ノズルから液体電極材料が電極を設けたい領域上に吐出された後の状態を示す拡大断面図である。（ｂ）は、（ａ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【図７】（ａ）は、液体電極材料吐出終了直後の吐出ノズルの拡大断面図である。（ｂ）は、吐出ノズル内の液体電極材料を吸引した際の吐出ノズルの拡大断面図である。
【図８】（ａ）は、電極パターン描画後の液体電極材料の状態を示す拡大断面図である。（ｂ）は、吐出された液体電極材料に吐出ノズルを挿入した際の状態を示す拡大断面図である。（ｃ）は、吐出された液体電極材料に吐出ノズルを挿入した後の状態を示す拡大断面図である。
【図９】（ａ）は、最初の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。（ｂ）は、２回目の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。（ｃ）は、（ｂ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【図１０】（ａ）は、最初の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。（ｂ）は、３回目の電極パターン描画後の状態を示す拡大断面図である。（ｃ）は、（ｂ）のその後の状態を示す拡大断面図である。
【図１１】電極が形成されたベースの平面図である。
【符号の説明】
【０１０２】
１  ベース
２  電極を設けたい領域
３  電極
４  治具
９  シリンジ
９ａ  吐出ノズル
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ  ディスペンサ
２０ａ、２０ｂ  液体電極材料
２１ｃ、２１ｄ  端部
【図１】
2007141939.tif 000003
【図２】
2007141939.tif 000004
【図３】
2007141939.tif 000005
【図４】
2007141939.tif 000006
【図５】
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【図６】
2007141939.tif 000008
【図７】
2007141939.tif 000009
【図８】
2007141939.tif 000010
【図９】
2007141939.tif 000011
【図１０】
2007141939.tif 000012
【図１１】
2007141939.tif 000013