(57)【要約】【課題】対象物を移動させる際に、重心の移動を少なくし、これによって、圧電／電歪デバイスを固定する部分で発生する反力を小さくする。【解決手段】圧電／電歪デバイス１０Ａは、略直方体の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。回転駆動部１４は、固定部１６と、固定部１６の両側から一方向に延在する第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。回転体１２は、対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部２２ａが、第１振動板１８ａの端部に固定され、他方の面１２ｂにおける第１端部２２ａと対角線上にある第２端部２２ｂが、第２振動板１８ｂの端部に固定されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、固定部と、前記固定部の両側から一方向に延在する第１振動板及び第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２】
請求項１記載の圧電／電歪素子において、
前記第１振動板と前記回転体の前記第１端部との固定部分と、前記第１振動板と前記固定部との境界部分との間の距離をＬ１、
前記第２振動板と前記回転体の前記第２端部との固定部分と、前記第２振動板と前記固定部との境界部分との間の距離をＬ２としたとき、
Ｌ１＝Ｌ２
を満足することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部の片側から一方向に延在する第１振動板と、前記第２固定部の片側から一方向に延在する第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項４】
請求項３記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１振動板は、前記回転体の前記一方の面に対向する面に第１突起を有し、
前記第２振動板は、前記回転体の前記他方の面に対向する面に第２突起を有し、
前記第１突起と前記回転体の前記一方の面とが固定され、
前記第２突起と前記回転体の前記他方の面とが固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項５】
請求項３又は４記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部は、前記回転体と対向する面に第３突起を有し、
前記第２固定部は、前記回転体と対向する面に第４突起を有し、
前記第３突起と前記回転体とが固定され、
前記第２突起と前記回転体とが固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項６】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、第１方向に沿って延びる中央部と、該中央部の第１端部から第２方向に延びる第１アーム部と、前記中央部の第２端部から第２方向とは逆方向の第３方向に延びる第２アーム部と、前記第１アーム部の端部から前記第１方向に沿って延びる第１振動板と、該第１振動板の端部から前記第３方向に延びる第３アーム部と、前記第２アーム部の端部から前記第１方向に沿って延びる第２振動板と、該第２振動板の端部から前記第２方向に延びる第４アーム部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項７】
請求項６記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記中央部が固定部とされ、
前記回転体の主面のうち、第１隅部が前記第３アーム部に固定され、前記第１隅部と対角線上にある第２隅部が、前記第４アーム部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項８】
請求項６記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第３アーム部と前記第４アーム部がそれぞれ固定部とされ、
前記回転体は、前記中央部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項９】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部間に配され、第１方向に沿って延びる中央部と、前記第１固定部の第１端部から前記第２固定部に向かって延びる第１振動板と、前記第２固定部のうち、前記第１端部と対角線上にある第２端部から前記第１固定部に向かって延びる第２振動板と、前記中央部における前記第１振動板と対向する面のうち、前記第１固定部寄りの第３端部と、前記第１振動板の端部との間に接続され、前記第１振動板の変位を前記中央部に伝える第１変位伝達部と、前記中央部における前記第２振動板と対向する面のうち、前記第２固定部寄りの第４端部と、前記第２振動板の端部との間に接続され、前記第２振動板の変位を前記中央部に伝える第２変位伝達部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、前記中央部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１０】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部から前記第２固定部に向かって延びる金属製の第１振動板と、前記第２固定部から前記第１固定部に向かって延びる金属製の第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１１】
請求項１０記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部と前記第２固定部は、枠体によって一体化されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１２】
請求項１０又は１１記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部及び前記第２振動板は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１３】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部から前記第２固定部に向かって延びる金属製の第１振動板と、前記第２固定部から前記第１固定部に向かって延びる金属製の第２振動板と、前記第１振動板の端部と前記第２振動板の端部に固定された回転体固定部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、前記回転体固定部に載置固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１４】
請求項１３記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部と前記第２固定部は、枠体によって一体化されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１５】
請求項１３又は１４記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部、前記第１振動板、第２固定部、前記第２振動板及び前記回転体固定部は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１６】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、固定部と、端部が前記固定部に固定され、一方向に延びる金属製の第１振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第２振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板と離間し、且つ、前記第１振動板とほぼ平行に延びる金属製の第３振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第３振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第４振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第４振動板に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１７】
請求項１６記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記固定部は、枠体にて構成され、
前記第１振動板と前記第２振動板は、前記枠体の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から他方の面に向かって延びる第１アーム部に固定され、
前記第３振動板と前記第４振動板は、前記枠体の前記他方の面から前記一方の面に向かって延びる第２アーム部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１８】
請求項１６記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記固定部は、平面矩形状に形成され、
前記第１振動板と前記第２振動板は、前記固定部の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から上方に向かって延びる第１アーム部に固定され、
前記第３振動板と前記第４振動板は、前記固定部の前記他方の面から上方に向かって延びる第２アーム部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項１９】
請求項１６〜１８のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部及び前記第２振動板は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２０】
請求項１６〜１９のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１振動板〜前記第４振動板のうち、前記圧電／電歪素子が形成されていない振動板がバネで構成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２１】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、固定部と、端部が前記固定部に固定され、一方向に延びる金属製の第１振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第２振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板と離間し、且つ、前記第１振動板とほぼ平行に延びる金属製の第３振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第３振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第４振動板と、前記第１振動板〜前記第４振動板の各端部に固定された回転体固定部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、前記回転体固定部に載置固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２２】
請求項２１記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記固定部は、枠体にて構成され、
前記第１振動板と前記第２振動板は、前記枠体の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から他方の面に向かって延びる第１アーム部に固定され、
前記第３振動板と前記第４振動板は、前記枠体の前記他方の面から前記一方の面に向かって延びる第２アーム部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２３】
請求項２１又は２２記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記固定部は、平面矩形状に形成され、
前記第１振動板と前記第２振動板は、前記固定部の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から上方に向かって延びる第１アーム部に固定され、
前記第３振動板と前記第４振動板は、前記固定部の前記他方の面から上方に向かって延びる第２アーム部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２４】
請求項２１〜２３のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記回転体固定部は、前記第１振動板〜前記第４振動板の各端部に固定された小片にて構成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２５】
請求項２１〜２４のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部、前記第２振動板及び前記回転体固定部は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２６】
請求項２１〜２５のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１振動板〜前記第４振動板のうち、前記圧電／電歪素子が形成されていない振動板がバネで構成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２７】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、固定部と、各一端部が前記固定部に固定され、且つ、所定の角度をもって離間する第１振動板及び第２振動板と、前記第１振動板の他端部と前記第２振動板の他端部との間に接続された可動部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、前記可動部に固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２８】
請求項２７記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記所定の角度が鋭角であることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項２９】
請求項２７記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記所定の角度が鈍角であることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３０】
請求項２７記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記所定の角度が９０度であることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３１】
請求項２７記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記所定の角度が１８０度であることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３２】
回転体と、
前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、
前記回転駆動部は、固定部と、前記固定部の両側から一方向に延在する第１振動板及び第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、
前記回転体は、前記第１振動板を臨む第１部分から前記第１振動板にかけて延在し、且つ、前記第１部分と前記第１振動板とを接続する第１接続部と、前記第２振動板を臨む第２部分から前記第２振動板にかけて延在し、且つ、前記第２部分と前記第２振動板とを接続する第２接続部とを有することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３３】
請求項３２記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記回転体は、くびれ部を有し、
前記第１部分は、前記くびれ部のうち、前記第１振動板と対向する位置に存在し、
前記第２部分は、前記くびれ部のうち、前記第２振動板と対向する位置に存在することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３４】
請求項３３記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１接続部は、前記くびれ部から前記第１振動板にかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有し、
前記第２接続部は、前記くびれ部から前記第２振動板にかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３５】
請求項３３記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１接続部は、前記くびれ部から前記第１振動板にかけて断面積が徐々に変化する形状を有し、
前記第２接続部は、前記くびれ部から前記第２振動板にかけて断面積が徐々に変化する形状を有することを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３６】
請求項３２〜３５のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１接続部と前記第１振動板は接着剤にて固定され、
前記第２接続部と前記第２振動板は接着剤にて固定されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３７】
請求項３２〜３５のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１接続部及び前記第２接続部は、金属板の打ち抜き加工及び折り曲げ加工によって、前記回転体、前記第１振動板、及び前記第２振動板と共に形成されていることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３８】
請求項３２〜３７のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記第１接続部と前記第１振動板との第１接続位置と、前記第２接続部と前記第２振動板との第２接続位置とがほぼ対向した位置関係にあることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【請求項３９】
請求項３２〜３８のいずれか１項に記載の圧電／電歪デバイスにおいて、
前記回転体の前記第１部分と前記第１接続部との第３接続位置と、前記回転体の前記第２部分と前記第２接続部との第４接続位置とが、前記回転体の重心位置を中心として点対称の位置関係にあることを特徴とする圧電／電歪デバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電／電歪素子の変位動作に基づいて回転動作する回転体を備えた圧電／電歪デバイス、もしくは回転体の回転変位を圧電／電歪素子により検出できる圧電／電歪デバイスに関し、例えばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の位置制御用のアクチュエータ、微小反射鏡の角度制御、アンテナの回転制御、ＸＹステージのθ軸の制御、マニュピュレータの回転制御等に用いて好適な圧電／電歪デバイスに関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、光学や磁気記録、精密加工等の分野において、サブミクロンオーダーで光路長や位置を調整可能な変位素子が必要とされており、圧電／電歪材料（例えば強誘電体等）に電圧を印加したときに惹起される逆圧電効果や電歪効果による変位を利用した変位素子の開発が進められている。
【０００３】
しかし、従来の圧電アクチュエータにおいては、圧電／電歪材料の伸縮方向の変位をそのまま可動部に伝達していたため、可動部の作動量が小さいという問題があった。
【０００４】
そこで、デバイスの長寿命化、デバイスのハンドリング性並びに可動部への部品の取付性又はデバイスの固定性を向上させることができ、これにより、相対的に低電圧で可動部を大きく変位することができると共に、デバイス、特に、可動部の変位動作の高速化（高共振周波数化）を達成させることができ、しかも、有害な振動の影響を受け難く、高速応答が可能で、機械的強度が高く、ハンドリング性、耐衝撃性、耐湿性に優れた変位素子、並びに可動部の振動を精度よく検出することが可能なセンサ素子を得ることができる圧電／電歪デバイスが提案されている（例えば特許文献１）。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−２６４１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、圧電／電歪デバイスを例えばＨＤＤの磁気ヘッドを位置決めするための２段アクチュエータとして用いる場合、スライダの重心とアクチュエータ駆動の回転軸が一致していると慣性モーメントが小さくなり、高精度に制御することができる。
【０００７】
ＨＤＤは、ボイスコイルモータ等の駆動部より駆動されるヘッド・スタック組立体の軸線方向とトラックの接線方向とが近似している形式のものを採用しているのがほとんどである。この形式のＨＤＤにおいて、ヘッド・スタック組立体の先端部にあるスライダの位置がトラックの半径方向に移動すると、それに伴ってトラックの接線方向に対するヘッド・スタック組立体の軸線方向の角度（ｓｋｅｗ角）が変化する。すなわち、接線方向と軸線方向とがずれてくる。
【０００８】
スライダには、記録再生を行うヘッドエレメントが搭載されており、スライダは、ヘッド・スタック組立体のバネ力により、磁気ディスクの表面に押し付けられている。磁気ディスクが回転すると、その回転による空気流によってスライダに浮上力が生じ、スライダの押付け圧力とバランスして磁気ディスクの表面との間に微小な間隙を保つようになっている。
【０００９】
ところが、上述のヘッド・スタック組立体の軸線方向が、トラックの接線方向からずれてくると、風速ベクトルが大きく変化するので、磁気ヘッドの浮上特性の変化が大きくなり、浮上間隔が不安定になって、磁気ディスク自体の電磁変換特性を安定的に利用することが困難になってくる。
【００１０】
そこで、スライダ表面のＡＢＳ形状を工夫して浮上特性を安定化させることが考えられるが、スライダを回転変位させることで、ｓｋｅｗ角を抑えれば、上述した問題は生じないため、浮上特性が安定化し、信頼性を高くすることができる。
【００１１】
特に、垂直磁気記録では、主磁極形状に依存したサイドライトの問題が発生する。垂直磁気記録を採用したＨＤＤでは、書き込みヘッドの主磁極においては、ｓｋｅｗ角が大きい場合、サイドライト／サイドイレーズと呼ばれる問題がある。
【００１２】
また、記録時に主磁極のトラックに平行な面がトラック接線方向からずれてはみ出すことで、そのはみ出した部分の主磁極から出る磁束が媒体の隣接トラックに干渉し、隣接トラック部に不要な信号を書き込むことで、隣接トラックの信号の磁界を弱めたり、読み取り信号を弱めて、読み取りエラー発生の原因となる問題がある。
【００１３】
この問題の対策のためには、主磁極の幅に関してトレーリング側が広く、リーディング側が狭い形状、すなわち、逆台形状にすることが提案されている。また、媒体では、トラックとトラックの間に、非磁性を配置するディスクリート媒体も対策として提案されている。
【００１４】
磁気ヘッドの主磁極を逆台形状に安定的に作ることや、逆台形の角度を精度よく作ることは非常に困難である。ディスクリート媒体も製造コストがかかり、課題が多い。
【００１５】
本発明はこのような課題を考慮してなされたものであり、対象物を回転変位させることができ、しかも、回転変位させる際に、重心の移動を少なくし、これによって、圧電／電歪デバイスを固定する部分で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になり、駆動周波数を高くすること（応答速度を速くすること）ができる圧電／電歪デバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
第１の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、固定部と、前記固定部の両側から一方向に延在する第１振動板及び第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする。
【００１７】
そして、第１の本発明において、前記第１振動板と前記回転体の前記第１端部との固定部分と、前記第１振動板と前記固定部との境界部分との間の距離をＬ１、前記第２振動板と前記回転体の前記第２端部との固定部分と、前記第２振動板と前記固定部との境界部分との間の距離をＬ２としたとき、
Ｌ１＝Ｌ２
を満足するようにしてもよい。
【００１８】
次に、第２の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部の片側から一方向に延在する第１振動板と、前記第２固定部の片側から一方向に延在する第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする。
【００１９】
そして、第２の本発明において、前記第１振動板は、前記回転体の前記一方の面に対向する面に第１突起を有し、前記第２振動板は、前記回転体の前記他方の面に対向する面に第２突起を有し、前記第１突起と前記回転体の前記一方の面とが固定され、前記第２突起と前記回転体の前記他方の面とが固定されていてもよい。
【００２０】
また、第２の本発明において、前記第１固定部は、前記回転体と対向する面に第３突起を有し、前記第２固定部は、前記回転体と対向する面に第４突起を有し、前記第３突起と前記回転体とが固定され、前記第２突起と前記回転体とが固定されていてもよい。
【００２１】
次に、第３の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、第１方向に沿って延びる中央部と、該中央部の第１端部から第２方向に延びる第１アーム部と、前記中央部の第２端部から第２方向とは逆方向の第３方向に延びる第２アーム部と、前記第１アーム部の端部から前記第１方向に沿って延びる第１振動板と、該第１振動板の端部から前記第３方向に延びる第３アーム部と、前記第２アーム部の端部から前記第１方向に沿って延びる第２振動板と、該第２振動板の端部から前記第２方向に延びる第４アーム部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有することを特徴とする。
【００２２】
そして、第３の本発明において、前記中央部が固定部とされ、前記回転体の主面のうち、第１隅部が前記第３アーム部に固定され、前記第１隅部と対角線上にある第２隅部が、前記第４アーム部に固定されていてもよい。
【００２３】
また、第３の本発明において、前記第３アーム部と前記第４アーム部がそれぞれ固定部とされ、前記回転体は、前記中央部に固定されていてもよい。
【００２４】
次に、第４の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部と前記第２固定部間に配され、第１方向に沿って延びる中央部と、前記第１固定部の第１端部から前記第２固定部に向かって延びる第１振動板と、前記第２固定部のうち、前記第１端部と対角線上にある第２端部から前記第１固定部に向かって延びる第２振動板と、前記中央部における前記第１振動板と対向する面のうち、前記第１固定部寄りの第３端部と、前記第１振動板の端部との間に接続され、前記第１振動板の変位を前記中央部に伝える第１変位伝達部と、前記中央部における前記第２振動板と対向する面のうち、前記第２固定部寄りの第４端部と、前記第２振動板の端部との間に接続され、前記第２振動板の変位を前記中央部に伝える第２変位伝達部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、前記中央部に固定されていることを特徴とする。
【００２５】
次に、第５の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部から前記第２固定部に向かって延びる金属製の第１振動板と、前記第２固定部から前記第１固定部に向かって延びる金属製の第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第２振動板に固定されていることを特徴とする。
【００２６】
そして、第５の本発明において、前記第１固定部と前記第２固定部は、枠体によって一体化されていてもよい。
【００２７】
また、第５の本発明において、前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部及び前記第２振動板は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていてもよい。
【００２８】
次に、第６の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、互いに離間して設定された第１固定部と第２固定部と、前記第１固定部から前記第２固定部に向かって延びる金属製の第１振動板と、前記第２固定部から前記第１固定部に向かって延びる金属製の第２振動板と、前記第１振動板の端部と前記第２振動板の端部に固定された回転体固定部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、前記回転体固定部に載置固定されていることを特徴とする。
【００２９】
そして、第６の本発明において、前記第１固定部と前記第２固定部は、枠体によって一体化されていてもよい。
【００３０】
また、第６の本発明において、前記第１固定部、前記第１振動板、第２固定部、前記第２振動板及び前記回転体固定部は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていてもよい。
【００３１】
次に、第７の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、固定部と、端部が前記固定部に固定され、一方向に延びる金属製の第１振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第２振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板と離間し、且つ、前記第１振動板とほぼ平行に延びる金属製の第３振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第３振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第４振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、対向する一対の面のうち、一方の面の第１端部が、前記第１振動板に固定され、前記一対の面のうち、他方の面における前記第１端部と対角線上にある第２端部が、前記第４振動板に固定されていることを特徴とする。
【００３２】
そして、第７の本発明において、前記固定部は、枠体にて構成され、前記第１振動板と前記第２振動板は、前記枠体の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から他方の面に向かって延びる第１アーム部に固定され、前記第３振動板と前記第４振動板は、前記枠体の前記他方の面から前記一方の面に向かって延びる第２アーム部に固定されていてもよい。
【００３３】
また、第７の本発明において、前記固定部は、平面矩形状に形成され、前記第１振動板と前記第２振動板は、前記固定部の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から上方に向かって延びる第１アーム部に固定され、前記第３振動板と前記第４振動板は、前記固定部の前記他方の面から上方に向かって延びる第２アーム部に固定されていてもよい。
【００３４】
また、第７の本発明において、前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部及び前記第２振動板は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていてもよい。
【００３５】
また、第７の本発明において、前記第１振動板〜前記第４振動板のうち、前記圧電／電歪素子が形成されていない振動板がバネで構成されていてもよい。
【００３６】
次に、第８の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、固定部と、端部が前記固定部に固定され、一方向に延びる金属製の第１振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第２振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第１振動板と離間し、且つ、前記第１振動板とほぼ平行に延びる金属製の第３振動板と、端部が前記固定部に固定され、前記第３振動板の延長線上に沿って延びる金属製の第４振動板と、前記第１振動板〜前記第４振動板の各端部に固定された回転体固定部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、前記回転体固定部に載置固定されていることを特徴とする。
【００３７】
そして、第８の本発明において、前記固定部は、枠体にて構成され、前記第１振動板と前記第２振動板は、前記枠体の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から他方の面に向かって延びる第１アーム部に固定され、前記第３振動板と前記第４振動板は、前記枠体の前記他方の面から前記一方の面に向かって延びる第２アーム部に固定されていてもよい。
【００３８】
また、第８の本発明において、前記固定部は、平面矩形状に形成され、前記第１振動板と前記第２振動板は、前記固定部の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から上方に向かって延びる第１アーム部に固定され、前記第３振動板と前記第４振動板は、前記固定部の前記他方の面から上方に向かって延びる第２アーム部に固定されていてもよい。
【００３９】
また、第８の本発明において、前記回転体固定部は、前記第１振動板〜前記第４振動板の各端部に固定された小片にて構成されていてもよい。
【００４０】
また、第８の本発明において、前記第１固定部、前記第１振動板、前記第２固定部、前記第２振動板及び前記回転体固定部は、１枚の金属板を打ち抜き、折り曲げ加工することによって形成されていてもよい。
【００４１】
また、第８の本発明において、前記第１振動板〜前記第４振動板のうち、前記圧電／電歪素子が形成されていない振動板がバネで構成されていてもよい。
【００４２】
次に、第９の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、固定部と、各一端部が前記固定部に固定され、且つ、所定の角度をもって離間する第１振動板及び第２振動板と、前記第１振動板の他端部と前記第２振動板の他端部との間に接続された可動部と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、前記可動部に固定されていることを特徴とする。
【００４３】
そして、第９の本発明において、前記所定の角度が鋭角であってもよいし、前記所定の角度が鈍角であってもよい。また、前記所定の角度が９０度であってもよいし、前記所定の角度が１８０度であってもよい。
【００４４】
次に、第１０の本発明に係る圧電／電歪デバイスは、回転体と、前記回転体を回転変位させる回転駆動部とを有し、前記回転駆動部は、固定部と、前記固定部の両側から一方向に延在する第１振動板及び第２振動板と、少なくとも１つの振動板に形成され、該振動板を駆動する圧電／電歪素子とを有し、前記回転体は、前記第１振動板を臨む第１部分から前記第１振動板にかけて延在し、且つ、前記第１部分と前記第１振動板とを接続する第１接続部と、前記第２振動板を臨む第２部分から前記第２振動板にかけて延在し、且つ、前記第２部分と前記第２振動板とを接続する第２接続部とを有することを特徴とする。
【００４５】
そして、第１０の本発明において、前記回転体は、くびれ部を有し、前記第１部分は、前記くびれ部のうち、前記第１振動板と対向する位置に存在し、前記第２部分は、前記くびれ部のうち、前記第２振動板と対向する位置に存在するようにしてもよい。
【００４６】
また、第１０の本発明において、前記第１接続部は、前記くびれ部から前記第１振動板にかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有し、前記第２接続部は、前記くびれ部から前記第２振動板にかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有するようにしてもよい。
【００４７】
また、第１０の本発明において、前記第１接続部は、前記くびれ部から前記第１振動板にかけて断面積が徐々に変化する形状を有し、前記第２接続部は、前記くびれ部から前記第２振動板にかけて断面積が徐々に変化する形状を有するようにしてもよい。
【００４８】
また、第１０の本発明において、前記第１接続部と前記第１振動板は接着剤にて固定され、前記第２接続部と前記第２振動板は接着剤にて固定されていてもよい。
【００４９】
また、第１０の本発明において、前記第１接続部及び前記第２接続部は、金属板の打ち抜き加工及び折り曲げ加工によって、前記回転体、前記第１振動板、及び前記第２振動板と共に形成されていてもよい。
【００５０】
また、第１０の本発明において、前記第１接続部と前記第１振動板との第１接続位置と、前記第２接続部と前記第２振動板との第２接続位置とがほぼ対向した位置関係にあってもよい。
【００５１】
また、第１０の本発明において、前記回転体の前記第１部分と前記第１接続部との第３接続位置と、前記回転体の前記第２部分と前記第２接続部との第４接続位置とが、前記回転体の重心位置を中心として点対称の位置関係にあってもよい。
【００５２】
これら第１〜第１０の本発明は、複数の振動板で挟持された回転体、あるいは振動板が固定された回転体固定部に載置固定された回転体、あるいは振動板が固定された可動部に固定された回転体を、振動板を圧電／電歪素子で駆動することによって、回転体を回転変位させるというものである。この場合、回転体が回転変位しても回転体の重心の移動はほとんどない。
【００５３】
従って、回転体あるいは回転体に固定された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイスを固定する部分で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【００５４】
これにより、回転体の回転駆動において高精度な制御を行わせることができ、例えばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の位置制御用のアクチュエータ、微小反射鏡の角度制御、アンテナの回転制御、ＸＹステージのθ軸の制御、マニュピュレータの回転制御等に用いて好適となる。
【００５５】
特に、圧電／電歪デバイスを、ＨＤＤの磁気ヘッドを位置決めするためのアクチュエータに利用した場合、スライダを高精度に回転変位することができ、ｓｋｅｗ角を０にする、あるいはｓｋｅｗ角を低く抑えることが可能となる。そのため、ヘッドのポールの形状制約が緩和できるため、より設計の自由度が向上する。また、隣接トラックへの干渉が避けられるため、干渉を配慮した余裕（ギャップ）等が不要になるため、トラック密度を高くすることが可能となる。また、サイドシールドや逆台形作成が容易もしくは不要になるため、コストの低廉化に有利である。
【００５６】
また、ｓｋｅｗ角を一定に保ったまま、平行移動できるようになるため、トラック位置合わせ機能と、ｓｋｅｗ角位置合わせ機能が１つのアクチュエータで実現させることができ、ＨＤＤの高性能化及びサイズの小型化をさらに促進させることができる。
【発明の効果】
【００５７】
以上説明したように、本発明に係る圧電／電歪デバイスによれば、対象物を回転変位させることができ、しかも、回転変位させる際に、重心の移動を少なくし、これによって、圧電／電歪デバイスを固定する部分で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になり、駆動周波数を高くすること（応答速度を速くすること）ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下、本発明に係る圧電／電歪デバイスの実施の形態例を図１〜図４７を参照しながら説明する。
【００５９】
本発明に係る圧電／電歪デバイスは、圧電／電歪素子により電気的エネルギと機械的エネルギとを相互に変換する素子を包含する概念である。従って、各種アクチュエータや振動子等の能動素子、特に、逆圧電効果や電歪効果による変位を利用した変位素子として最も好適に用いられるほか、加速度センサ素子や衝撃センサ素子等の受動素子としても好適に使用され得る。
【００６０】
まず、第１の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと記す）は、図１に示すように、略直方体の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。回転体１２は、その上にスライダー、センサ、ステージ等を載置してもよく、また回転体１２自身がスライダー、ステージ等であってもよい。
【００６１】
回転駆動部１４は、固定部１６と、固定部１６の両側から一方向に延在する第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの側面から固定部にかけて形成され、該第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面から固定部１６かけて形成され、該第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。
【００６２】
回転体１２は、対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部２２ａが、第１振動板１８ａの端部に例えば接着剤２４にて固定され、一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、他方の面１２ｂにおける第１端部２２ａと対角線上にある第２端部２２ｂが、第２振動板１８ｂの端部に例えば接着剤２４にて固定されている。従って、第２振動板１８ｂの長さは、第１振動板１８ａの長さよりも短くされている。接着剤２４としては、例えば紫外線硬化型樹脂やエポキシ樹脂等を使用することができる。
【００６３】
さらに、固定部１６と第１振動板１８ａとの間には、位置合わせのための第１板部材２６ａが介在され、固定部１６と第２振動板１８ｂとの間には、同じく位置合わせのための第２板部材２６ｂ及び第３板部材２６ｃが介在されている。
【００６４】
従って、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ（第１振動板１８ａの端部を第２振動板１８ｂの端部から離間する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせる（第２振動板１８ｂの端部を第１振動板１８ａの端部から離間する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図１上、時計回りに回転変位することとなる。
【００６５】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ（第１振動板１８ａの端部を第２振動板１８ｂの端部に接近する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせる（第２振動板１８ｂの端部を第１振動板１８ａの端部に接近する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図１上、反時計回りに回転変位することとなる。
【００６６】
特に、第１振動板１８ａと回転体１２の第１端部２２ａとの固定部分と、第１振動板１８ａと固定部１６との境界部分との間の距離をＬ１、第２振動板１８ｂと回転体１２の第２端部２２ｂとの固定部分と、第２振動板１８ｂと固定部１６との境界部分との間の距離をＬ２としたとき、Ｌ１＝Ｌ２を満足するようにすれば、回転体１２の回転変位量を大きくすることができる。
【００６７】
もちろん、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図１上、右方向に平行移動変位し、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図１上、左方向に平行移動変位することとなる。
【００６８】
回転駆動部１４を構成する固定部１６、第１振動板１８ａ、第２振動板１８ｂ、第１板部材２６ａ〜第３板部材２６ｃをセラミックグリーンシートの積層体を一体焼成することによって構成することができる。この場合、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂは、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの各側面に例えばスクリーン印刷にて形成することができる。もちろん、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを金属にて構成してもよい。この場合、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂは、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの各側面に例えば接着剤にて固定される。
【００６９】
このように、第１圧電／電歪デバイス１０Ａにおいては、第１振動板１８ａと第２振動板１８ｂとで回転体１２を挟持し、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂをそれぞれ圧電／電歪素子（第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂ）で駆動することによって、回転体１２を回転動作させるというものである。
【００７０】
特に、回転体１２を第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂで挟持する場合に、回転体１２の一方の面１２ａの第１端部２２ａを第１振動板１８ａの端部に固定し、他方の面１２ｂにおける第２端部２２ｂ（第１端部２２ａと対角線上にある第２端部）を第２振動板１８ｂの端部に固定するようにしているため、回転体１２が回転変位しても回転体１２の重心の移動はほとんどない。
【００７１】
従って、第１圧電／電歪デバイス１０Ａにおいては、回転体１２あるいは回転体１２が固定される対象物を回転変位させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ａを固定する部分（固定部１６）で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【００７２】
これにより、回転体１２の回転変位において高精度な制御を行わせることができ、例えばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の位置制御用のアクチュエータ、微小反射鏡の角度制御、アンテナの回転制御、ＸＹステージのθ軸の制御、マニュピュレータの回転制御等に用いて好適となる。
【００７３】
次に、第２の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第２圧電／電歪デバイス１０Ｂと記す）について図２を参照しながら説明する。
【００７４】
第２圧電／電歪デバイス１０Ｂは、図２に示すように、略直方体の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【００７５】
回転駆動部１４は、互いに離間して設定された第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂと、第１固定部１６Ａの片側から一方向に延在する第１振動板１８ａと、第２固定部１６Ｂの片側から一方向に延在する第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの側面から第１固定部１６Ａにかけて形成され、該第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面から第２固定部１６Ｂにかけて形成され、該第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。
【００７６】
回転体１２は、対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部２２ａが、第１振動板１８ａに例えば接着剤２４によって固定され、一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、他方の面１２ｂにおける第１端部２２ａと対角線上にある第２端部２２ｂが、第２振動板１８ｂに例えば接着剤２４によって固定されている。
【００７７】
従って、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図２上、反時計回りに回転変位することとなる。
【００７８】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図２上、時計回りに回転変位することとなる。
【００７９】
この第２圧電／電歪デバイス１０Ｂにおいても、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと同様に、回転体１２並びに回転体１２に接続された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ｂを固定する部分（第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂ）で発生する反力を小さくすることができ、回転体１２並びに対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【００８０】
図２の例では、回転体１２に対する回転駆動部１４の固定箇所を２箇所としたが、その他、図３に示す変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｂａのように、第１振動板１８ａのうち、回転体１２の一方の面１２ａに対向する面の長さ方向中央部分に第１突起２８ａを設け、第２振動板１８ｂのうち、回転体１２の他方の面１２ｂに対向する面の長さ方向中央部分に第２突起２８ｂを設け、第１突起２８ａと回転体１２の一方の面１２ａとを接着剤２４によって固定し、第２突起２８ｂと回転体１２の他方の面１２ｂとを接着剤２４にて固定するようにしてもよい。
【００８１】
また、第１固定部１６Ａのうち、回転体１２と対向する面の長さ方向中央部分に第３突起２８ｃを設け、第２固定部１６Ｂのうち、回転体１２と対向する面の長さ方向中央部分に第４突起２８ｄを設け、第３突起２８ｃと回転体１２とを接着剤２４によって固定し、第４突起２８ｄと回転体１２とを接着剤２４によって固定するようにしてもよい。
【００８２】
これによって、回転体１２のねじれ方向の変位や横方向の変位を抑えることができ、回転体１２に回転変位のみを生じさせることができる。
【００８３】
次に、第３の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第３圧電／電歪デバイス１０Ｃと記す）について図４を参照しながら説明する。
【００８４】
この第３圧電／電歪デバイス１０Ｃは、図４に示すように、略直方体状の回転体１２（図示せず）と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【００８５】
回転駆動部１４は、第１方向に沿って延びる中央部３０と、該中央部３０の第１端部３０ａから第２方向に延びる第１アーム部３２ａと、中央部３０の第２端部３０ｂから第２方向とは逆方向の第３方向に延びる第２アーム部３２ｂと、第１アーム部３２ａの端部から第１方向に沿って延びる第１振動板１８ａと、該第１振動板１８ａの端部から前記第３方向に延びる第３アーム部３２ｃと、第２アーム部３２ｂの端部から第１方向に沿って延びる第２振動板１８ｂと、該第２振動板１８ｂの端部から第２方向に延びる第４アーム部３２ｄと、少なくとも第１振動板１８ａの側面に形成され、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、少なくとも第２振動板１８ｂの側面に形成され、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。
【００８６】
そして、この圧電／電歪デバイス１０Ｃを使用する場合は、少なくとも２つの方式がある。
【００８７】
第１の方式は、図５に示すように、中央部３０を固定部とし、回転体１２の主面のうち、第１隅部１２ｃを第３アーム部３２ｃに例えば接着剤にて固定し、回転体１２の主面のうち、第１隅部１２ｃと対角線上にある第２隅部１２ｄを第４アーム部３２ｄに例えば接着剤にて固定する。さらに、第１圧電／電歪素子２０ａを第１振動板１８ａの側面から第１アーム部３２ａにかけて形成し、第２圧電／電歪素子２０ｂを第２振動板１８ｂの側面から第２アーム部３２ｂにかけて形成する。
【００８８】
これにより、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ（第３アーム部３２ｃの端部を中央部３０から離間する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせる（第４アーム部３２ｄの端部を中央部３０から離間する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図５上、反時計回りに回転変位することとなる。
【００８９】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ（第３アーム部３２ｃの端部を中央部３０に接近する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせる（第４アーム部３２ｄの端部を中央部３０に接近する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図５上、時計回りに回転変位することとなる。
【００９０】
一方、第２の方式は、図６に示すように、第３アーム部３２ｃと第４アーム部３２ｄをそれぞれ固定部とし、回転体１２を中央部３０に例えば接着剤にて固定する。さらに、第１圧電／電歪素子２０ａを第１振動板１８ａの側面から第３アーム部３２ｃにかけて形成し、第２圧電／電歪素子２０ｂを第２振動板１８ｂの側面から第４アーム部３２ｄにかけて形成する。
【００９１】
これにより、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ（第１アーム部３２ａを第４アーム部３２ｄから離間する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせる（第２アーム部３２ｂを第３アーム部３２ｃから離間する方向に反らせる）ことによって、回転体は、図６上、時計回りに回転変位することとなる。
【００９２】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ（第１アーム部３２ａを第４アーム部３２ｄに接近する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせる（第２アーム部３２ｂを第３アーム部３２ｃに接近する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図６上、反時計回りに回転変位することとなる。
【００９３】
この第３圧電／電歪デバイス１０Ｃにおいても、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと同様に、回転体１２並びに回転体１２に接続された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ｃを固定する部分（中央部３０又は第３アーム部３２ｃ及び第４アーム部３２ｄ）で発生する反力を小さくすることができ、回転体１２並びに対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【００９４】
次に、第４の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第４圧電／電歪デバイス１０Ｄと記す）について図７を参照しながら説明する。
【００９５】
この第４圧電／電歪デバイス１０Ｄは、図７に示すように、略直方体状の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【００９６】
回転駆動部１４は、互いに離間して設定された第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂと、第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂ間に配され、第１方向に沿って延びる中央部３０と、第１固定部１６Ａの第１端部３４ａから第２固定部１６Ｂに向かって延びる第１振動板１８ａと、第２固定部１６Ｂのうち、第１端部３４ａと対角線上にある第２端部３４ｂから第１固定部１６Ａに向かって延びる第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの主面に形成され、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの主面に形成され、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂと、第１変位伝達部３６ａと、第２変位伝達部３６ｂとを有する。回転体１２は、中央部３０に例えば接着剤にて固定されている。
【００９７】
第１変位伝達部３６ａは、中央部３０における第１振動板１８ａと対向する面のうち、第１固定部１６Ａ寄りの第３端部３８ａと、第１振動板１８ａの端部との間に接続され、第１振動板１８ａの変位を中央部３０に伝える部材である。
【００９８】
この第１変位伝達部３６ａは、長方形状で幅の広い第１平板４０ａと、長方形状で幅の狭い第２平板４０ｂとを有する。
【００９９】
第１平板４０ａは、一方の長辺が中央部３０の一方の側面と対向するように配され、第３端部３８ａに形成された第１ヒンジ部４２ａを介して中央部３０に接続されている。
【０１００】
第２平板４０ｂは、一方の長辺が第１平板４０ａの一方の短辺と対向し、且つ、一方の短辺が中央部３０の一方の側面と対向するように配されている。この第２平板４０ｂは、一方の長辺の中央部３０寄りと第１平板４０ａにおける一方の短辺の中央部３０寄りとの間に形成された第２ヒンジ部４２ｂを介して第１平板４０ａに接続されている。また、第２平板４０ｂは、他方の長辺と第２固定部１６Ｂとが第３ヒンジ部４２ｃを介して接続されている。
【０１０１】
第２変位伝達部３６ｂは、中央部３０における第２振動板１８ｂと対向する面のうち、第２固定部１６Ｂ寄りの第４端部３８ｂと、第２振動板１８ｂの端部との間に接続され、第２振動板１８ｂの変位を中央部３０に伝える部材である。
【０１０２】
この第２変位伝達部３６ｂは、長方形状で幅の広い第３平板４０ｃと、長方形状で幅の狭い第４平板４０ｄとを有する。
【０１０３】
第３平板４０ｃは、一方の長辺が中央部３０の他方の側面と対向するように配され、第４端部３８ｂに形成された第４ヒンジ部４２ｄを介して中央部３０に接続されている。
【０１０４】
第４平板４０ｄは、一方の長辺が第３平板４０ｃの一方の短辺と対向し、且つ、一方の短辺が中央部３０の他方の側面と対向するように配されている。この第４平板４０ｄは、一方の長辺の中央部３０寄りと第３平板４０ｃにおける一方の短辺の中央部３０寄りとの間に形成された第５ヒンジ部４２ｅを介して第３平板４０ｃに接続されている。また、第４平板４０ｄは、他方の長辺と第１固定部１６Ａとが第６ヒンジ部４２ｆを介して接続されている。
【０１０５】
これにより、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに圧縮歪を発生させ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂに圧縮歪を発生させることによって、回転体１２は、図７上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１０６】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに引張歪を発生させ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂに引張歪を発生させることによって、回転体１２は、図７上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１０７】
この第４圧電／電歪デバイス１０Ｄにおいても、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと同様に、回転体１２並びに回転体１２に接続された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ｄを固定する部分（第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂ）で発生する反力を小さくすることができ、回転体１２並びに対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【０１０８】
なお、この第４圧電／電歪デバイス１０Ｄの回転駆動部１４を例えばセラミックスにて構成する場合は、図８に示すように、基台となる第１セラミック基板４４ａと、図９に示すように、第１固定部１６Ａ、第２固定部１６Ｂ、中央部３０、第１変位伝達部３６ａ及び第２変位伝達部３６ｂが形成された第２セラミック基板４４ｂと、図１０に示すように、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを有する枠状の第３セラミック基板４４ｃを積層し、特に、これら第１セラミック基板４４ａ〜第３セラミック基板４４ｃのうち、第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂとなる部分のみを接着剤で固定することによって構成することができる。この場合、第３セラミック基板４４ｃに、第３ヒンジ部４２ｃと第６ヒンジ部４２ｆが形成されるように、それぞれ切欠き４６を形成するようにしてもよい。
【０１０９】
次に、第５の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第５圧電／電歪デバイス１０Ｅと記す）について図１１を参照しながら説明する。
【０１１０】
この第５圧電／電歪デバイス１０Ｅは、図１１に示すように、略直方体状の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【０１１１】
回転駆動部１４は、互いに離間して設定された金属製の第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂと、第１固定部１６Ａから第２固定部１６Ｂに向かって延びる金属製の第１振動板１８ａと、第２固定部１６Ｂから第１固定部１６Ａに向かって延びる金属製の第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの側面に形成され、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面に形成され、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。
【０１１２】
回転体１２は、対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部２２ａが、第１振動板１８ａに例えば接着剤２４にて固定され、一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、他方の面１２ｂにおける第１端部２２ａと対角線上にある第２端部２２ｂが、第２振動板１８ｂに例えば接着剤２４にて固定されている。
【０１１３】
すなわち、この第５圧電／電歪デバイス１０Ｅは、図２に示す第２圧電／電歪デバイス１０Ｂを構成する第１固定部１６Ａ、第２固定部１６Ｂ、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを全て金属製にした構成を有する。
【０１１４】
従って、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、図１２に示すように、回転体１２は、図１２上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１１５】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、図１３に示すように、回転体１２は、図１３上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１１６】
この第５圧電／電歪デバイス１０Ｅにおいても、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと同様に、回転体１２並びに回転体１２に接続された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ｅを固定する部分（第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂ）で発生する反力を小さくすることができ、回転体１２並びに対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【０１１７】
上述の例では、第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂをそれぞれ別体に設けた場合を示したが、その他、図１４に示す変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｅａのように、第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂを金属製の枠体４８によって一体化するようにしてもよい。また、第１振動板１８ａの端部と第２振動板１８ｂの端部に回転体固定部５０を設け、この回転体固定部５０に回転体１２を載置固定するようにしてもよい。図１４では回転体１２の図示を省略してある。
【０１１８】
この変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｅａを作製する場合は、例えば図１５に示すように、１枚の金属板５２を用意し、この金属板５２に切り抜き加工を施して、第１切抜部５４及び第２切抜部５６を形成することによって、第１固定部１６Ａ、第２固定部１６Ｂ、第１振動板１８ａ、第２振動板１８ｂ及び回転体固定部５０を形作る。
【０１１９】
その後、第１切抜部５４のうち、第２振動板１８ｂに沿った直線部分５４ａと、第２切抜部５６のうち、第１振動板１８ａに沿った直線部分５６ａを、それぞれ第１折曲線５８ａ及び第２折曲線５８ｂとして折り曲げることによって、図１６に示すように、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを立ち上げる。このとき、金属板による枠体４８が形成される。
【０１２０】
その後、第１振動板１８ａの側面に第１圧電／電歪素子２０ａを例えば接着剤にて固定し、第２振動板１８ｂの側面に第２圧電／電歪素子２０ｂを例えば接着剤にて固定する。
【０１２１】
そして、図１４に示すように、図示しないが回転体固定部５０に回転体１２を載置固定することによって、変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｅａが完成する。
【０１２２】
このように、１枚の金属板５２を切り抜き、折り曲げ加工することによって、簡単に圧電／電歪デバイス１０Ｅａを構成することができるため、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化にも有利になる。
【０１２３】
また、この変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｅａでは、回転駆動部１４の構成部材を全て金属製としたので、以下のような効果をもたらす。
【０１２４】
すなわち、金属製であるため、衝撃性が高い。対向する第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂが曲がることで、回転体１２が回転変位するため、応力が分散する。そのため、金属疲労が起き難く、長寿命、信頼性が向上する。
【０１２５】
セラミックスの一体型では、ヒンジとなる部分に応力が集中し易いが、金属製であれば、そのような現象を回避できるというメリットがある。
【０１２６】
第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂを金属板をベースにしたユニモルフ／バイモルフとした場合、電歪、外力、あるいは衝撃による応力集中が起き難く、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂの耐衝撃性も高く、寿命が長くなるというメリットがある。
【０１２７】
金属製の場合、構造が単純であり、回転駆動部１４全体の重量も、枠体４８で第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂ等を囲む形なので、グリーンシートを積み重ねる形のものと比して体積を低減する設計や、重量を低減する設計において設計の自由度を向上させることができる。
【０１２８】
第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを金属板５２に対して垂直方向に立ち上げる形であるため、特に垂直方向に対する耐衝撃性が高く、比較的弱い力で大きい回転変位を得ることができる。
【０１２９】
次に、第６の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第６圧電／電歪デバイス１０Ｆと記す）について図１７を参照しながら説明する。
【０１３０】
この第６圧電／電歪デバイス１０Ｆは、図１７に示すように、略直方体状の回転体１２（図示せず）と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【０１３１】
回転駆動部１４は、金属製の枠状の固定部１６と、端部が固定部１６に固定され、一方向に延びる金属製の第１振動板１８ａと、端部が固定部１６に固定され、第１振動板１８ａの延長線上に沿って延びる金属製の第２振動板１８ｂと、端部が固定部１６に固定され、第１振動板１８ａと離間し、且つ、第１振動板１８ａとほぼ平行に延びる金属製の第３振動板１８ｃと、端部が固定部１６に固定され、第３振動板１８ｃの延長線上に沿って延びる金属製の第４振動板１８ｄと、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄの各端部に固定された回転体固定部５０と、第１振動板１８ａの側面に形成され、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面に形成され、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂと、第３振動板１８ｃの側面に形成され、第３振動板１８ｃを駆動する第３圧電／電歪素子２０ｃと、第４振動板１８ｄの側面に形成され、第４振動板１８ｄを駆動する第４圧電／電歪素子２０ｄとを有する。回転体１２は、回転体固定部５０に載置固定されている。なお、図１７では回転体１２の図示を省略してある。
【０１３２】
また、固定部１６は、金属製の枠体４８にて構成され、第１振動板１８ａと第２振動板１８ｂは、枠体４８の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から他方の面に向かって延びる第１１アーム部６０ａに固定され、第３振動板１８ｃと第４振動板１８ｄは、枠体４８の他方の面から一方の面に向かって延びる第１２アーム部６０ｂに固定されている。
【０１３３】
従って、図１８に示すように、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂに圧縮歪を発生させ、第３電／電歪素子２０ｃによる駆動によって第３振動板１８ｃに圧縮歪を発生させることによって、回転体１２は、図１７上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１３４】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに圧縮歪を発生させ、第４電／電歪素子２０ｄによる駆動によって第４振動板１８ｄに圧縮歪を発生させることによって、回転体１２は、図１８上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１３５】
この第６圧電／電歪デバイス１０Ｆにおいても、第１圧電／電歪デバイス１０Ａと同様に、回転体１２並びに回転体１２に接続された対象物を移動させる際に、重心の移動が少ないため、圧電／電歪デバイス１０Ｆを固定する部分（固定部１６）で発生する反力を小さくすることができ、回転体１２並びに対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。しかも、第５圧電／電歪デバイス１０Ｅ等と同様に、金属製で構成しているため、金属製特有の効果も具備する。
【０１３６】
また、第１圧電／電歪素子２０ａ〜第４圧電／電歪素子２０ｂの駆動制御によって、回転体１２の平行移動変位と回転変位とを組み合わせた動きを実現させることができる。
【０１３７】
この第６圧電／電歪デバイス１０Ｆを作製する場合は、例えば図１９に示すように、１枚の金属板５２を用意し、この金属板５２に切り抜き加工を施して、第１１切抜部６２ａ〜第１４切抜部６２ｄを形成することによって、固定部１６、第１１アーム部６０ａ、第１２アーム部６０ｂ、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄ及び回転体固定部５０を形作る。
【０１３８】
その後、第１１切抜部６２ａ及び第１２切抜部６２ｂの各一端を結ぶ直線部分と、第１１切抜部６２ａ及び第１２切抜部６２ｂの各他端を結ぶ直線部分を、それぞれ第１１折曲線６４ａ及び第１２折曲線６４ｂとして折り曲げることによって、図２０に示すように、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄを立ち上げる。
【０１３９】
その後、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄの各側面に第１圧電／電歪素子２０ａ〜第４圧電／電歪素子２０ｄを例えば接着剤にて固定する。
【０１４０】
そして、図１７に示すように、図示しないが回転体固定部５０に回転体１２を載置固定することによって、第６圧電／電歪デバイス１０Ｆが完成する。
【０１４１】
このように、１枚の金属板５２を切り抜き、折り曲げ加工することによって、簡単に圧電／電歪デバイス１０Ｆを構成することができるため、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化にも有利になる。
【０１４２】
上述の例では、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄに第１圧電／電歪素子２０ａ〜第４圧電／電歪素子２０ｄをそれぞれ接着剤にて固定するようにしたが、図２１に示す第１変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｆａのように、第１振動板１８ａを第１圧縮バネ部材６６ａとし、第３振動板１８ｃを第２圧縮バネ部材６６ｂとしてもよい。
【０１４３】
これにより、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに圧縮歪を発生させることにより、第１圧縮バネ部材６６ａが伸張することから、回転体１２は、図２１上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１４４】
逆に、第４圧電／電歪素子２０ｄによる駆動によって第４振動板１８ｄに圧縮歪を発生させることにより、第２圧縮バネ部材６６ｂが伸張することから、回転体１２は、図２１上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１４５】
この場合、第１圧縮バネ部材６６ａと第２圧縮バネ部材６６ｂによって、回転体１２の回転変位量を大幅に向上させることができる。
【０１４６】
また、上述の例では、固定部１６を枠体４８にて構成する場合を示したが、図２２に示す第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｆｂのように、固定部１６を平面矩形状に形成し、第１振動板１８ａと第２振動板１８ｂを、固定部１６の互いに対向する２つの面のうち、一方の面から上方に向かって延びる第２１アーム部６８ａに固定し、第３振動板１８ｃと第４振動板１８ｄを、固定部１６の他方の面から上方に向かって延びる第２２アーム部６８ｂに固定するようにしてもよい。また、この場合、回転体固定部５０を、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄの各端部に固定された第１小片７０ａ〜第４小片７０ｄにて構成するようにしてもよい。図２３に第１小片７０ａ〜第４小片７０ｄ上に回転体１２を載置固定した状態を示す。
【０１４７】
そして、この第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｆｂを作製する場合は、例えば図２４に示すように、１枚の金属板に切り抜き加工を施して、固定部１６、第２１アーム部６８ａ、第２２アーム部６８ｂ、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄ並びに第１小片７０ａ〜第４小片７０ｄを有する原板７２を形成する。
【０１４８】
その後、第１振動板１８ａの端部近傍の第２１折曲線７４ａ、第２振動板１８ｂの端部近傍の第２２折曲線７４ｂ、第３振動板１８ｃの端部近傍の第２３折曲線７４ｃ、第４振動板１８ｄの端部近傍の第２４折曲線７４ｄにて第１振動板１８ａの端部、第２振動板１８ｂの端部、第３振動板１８ｃの端部、第４振動板１８ｄの端部をそれぞれ折り曲げ、さらに、第１振動板１８ａと第１小片７０ａとの第１境界線７６ａ、第２振動板１８ｂと第２小片７０ｂとの第２境界線７６ｂ、第３振動板１８ｃと第３小片７０ｃとの第３境界線７６ｃ、第４振動板１８ｄと第４小片７０ｄとの第４境界線７６ｄにて折り曲げ、加えて、第２１アーム部６８ａの固定部１６近傍の第２５折曲線７８ａ及び第２２アーム部６８ｂの固定部１６近傍の第２６折曲線７８ｂにて折り曲げることによって、図２５に示すように、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄを立ち上げると共に、第１小片７０ａ〜第４小片７０ｄを水平にする。
【０１４９】
その後、第１振動板１８ａ〜第４振動板１８ｄの各側面に第１圧電／電歪素子２０ａ〜第４圧電／電歪素子２０ｄを例えば接着剤にて固定する。
【０１５０】
そして、水平とされた第１小片７０ａ〜第４小片７０ｄに回転体１２を載置固定することによって、図２３に示すように、第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｆｂが完成する。
【０１５１】
このように、１枚の金属板を切り抜き、折り曲げ加工することによって、簡単に圧電／電歪デバイス１０Ｆｂを構成することができるため、製造工程の簡略化並びに製造コストの低廉化にも有利になる。
【０１５２】
次に、第７の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第７圧電／電歪デバイス１０Ｇと記す）について図２６を参照しながら説明する。
【０１５３】
この第７圧電／電歪デバイス１０Ｇは、図２６に示すように、略直方体状の回転体１２（図示せず）と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【０１５４】
回転駆動部１４は、金属製の固定部１６と、各一端部が固定部１６に固定され、且つ、所定の角度θをもって離間する金属製の第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの他端部と第２振動板１８ｂの他端部との間に接続された金属製の可動部８０と、第１振動板１８ａの側面に形成され、第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面に形成され、第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。回転体１２は、図示しないが、可動部８０の例えば下面に接着剤等を用いて固定される。
【０１５５】
固定部１６、第１振動板１８ａ、第２振動板１８ｂ及び可動部８０は、例えば１枚の金属板を切り抜き、折り曲げ加工することによって簡単に作製することができる。
【０１５６】
そして、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに圧縮歪を発生させ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂに引張歪を発生させることによって、回転体１２は、図２６上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１５７】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａに引張歪を発生させ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂに圧縮歪を発生させることによって、回転体１２は、図２６上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１５８】
この場合、回転駆動部１４の回転中心が、第１振動板１８ａの延長線と第２振動板１８ｂの延長線の交点付近になるため、可動部８０に回転体１２を固定する場合、回転体１２の重心の位置と回転中心の位置とが一致するように固定することが好ましい。
【０１５９】
所定の角度θは、図２７に示す第１の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇａのように、鋭角にしてもよいし、図２８に示す第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｂのように、鈍角にしてもよい。もちろん、所定の角度θを９０度にしてもよいし、図２９に示す第３の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｃのように、１８０度にしてもよい。これら第１〜第３の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇａ〜１０Ｇｃにおいて、可動部８０の一方の側面と第１振動板１８ａの端部とを第３１アーム部８２ａにて一体的に接続し、可動部８０の他方の側面と第２振動板１８ｂの端部とを第３２アーム部８２ｂにて一体的に接続するようにしてもよい。
【０１６０】
また、図３０に示す第４の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｄのように、所定の角度θを１８０度にした場合において、可動部８０のうち、固定部１６と対向する面の中央部分と第１振動板１８ａの端部とをＬ字状の第４１アーム部８４ａにて一体的に接続し、可動部８０の前記面の中央部分と第２振動板１８ｂの端部とをＬ字状の第４２アーム部８４ｂにて一体的に接続するようにしてもよい。
【０１６１】
あるいは、図３１に示す第５の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｅのように、所定の角度θを１８０度にした場合において、可動部８０のうち、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと対向する面の中央部分と第１振動板１８ａの端部とを、前記面に向かって幅が徐々に小とされた第５１アーム部８６ａにて一体的に接続し、可動部８０の前記面の中央部分と第２振動板１８ｂの端部とを、前記面に向かって幅が徐々に小とされた第５２アーム部８６ｂにて一体的に接続するようにしてもよい。
【０１６２】
第４及び第５の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｄ及び１０Ｇｅによれば、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと可動部８０との連結部分が回転中心に近くなるため、可動部８０の回転変位量を効率的に大きくすることができる。
【０１６３】
次に、第８の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第８圧電／電歪デバイス１０Ｈと記す）について図３２を参照しながら説明する。
【０１６４】
この第８圧電／電歪デバイス１０Ｈは、図３２に示すように、略直方体状の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。
【０１６５】
回転駆動部１４は、上述した第７の実施の形態の第４の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｇｄとほぼ同様の構成を有するが、複数のセラミックグリーンシートを積層し、焼成一体化して構成した点で異なる。
【０１６６】
すなわち、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを構成する例えば第１１グリーンシート８８ａ上に、固定部１６並びに第４１アーム部８４ａ及び第４２アーム部８４ｂの一部を構成する第１２グリーンシート８８ｂと、第４１アーム部８４ａ及び第４２アーム部８４ｂの一部を構成する第１３グリーンシート８８ｃ〜第１５グリーンシート８８ｅと、回転体１２が載置固定される可動部８０を構成する第１６グリーンシート８８ｆとを積層し、焼成一体化して構成されている。なお、第１１グリーンシート８８ａ〜第１６グリーンシート８８ｆは、それぞれ１枚あるいは複数枚のグリーンシートにて構成される。
【０１６７】
第１圧電／電歪素子２０ａは第１振動板１８ａに例えばスクリーン印刷法にて形成され、第２圧電／電歪素子２０ｂは第２振動板１８ｂに例えばスクリーン印刷法にて形成される。
【０１６８】
そして、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂを駆動して第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂにて発生する圧縮歪及び引張歪を組み合わせることで、回転体１２の平行移動変位と回転変位を制御することができる。
【０１６９】
上述の例では、回転体１２の一方の面に対向して回転駆動部１４を配置した例を示したが、その他、図３３に示す第１の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｈａのように、回転体１２の一方の面に対向して第１回転駆動部１４Ａを配置し、回転体１２の他方の面に対向して第２回転駆動部１４Ｂを配置するようにしてもよい。第１回転駆動部１４Ａと第２回転駆動部１４Ｂは、それぞれ図３２に示す第８圧電／電歪デバイス１０Ｈにおける回転駆動部１４と同じ構成を有する。
【０１７０】
この場合、４つの圧電／電歪素子（２つの第１圧電／電歪素子２０ａ及び２つの第２圧電／電歪素子２０ｂ）を駆動制御することで、回転体１２の平行移動変位と回転変位を制御することができる。
【０１７１】
また、図３４に示す第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｈｂのように、上述した第１回転駆動部１４Ａと第２回転駆動部１４Ｂとを一体化させた構成にしてもよい。この場合、第１回転駆動部１４Ａの第１５グリーンシート８８ｅの上に、第１回転駆動部１４Ａの可動部８０の一部並びに第４１アーム部８４ａ及び第４２アーム部８４ｂの一部を構成する第１６グリーンシート８８ｆと、可動部８０の一部を構成する第１７グリーンシート８８ｇを積層し、さらに、第２回転駆動部１４Ｂを構成する第１６グリーンシート８８ｆ、第１５グリーンシート８８ｅ、第１４グリーンシート８８ｄ、第１３グリーンシート８８ｃ、第１２グリーンシート８８ｂ及び第１１グリーンシート８８ａを順番に積層し、焼成一体化して構成される。
【０１７２】
回転体１２は、２つの第１６グリーンシート８８ｆと第１７グリーンシート８８ｇにて構成される可動部８０の主面に例えば接着剤にて固定されることとなる。
【０１７３】
次に、第９の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉと記す）は、図３５に示すように、略直方体の回転体１２と、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４とを有する。回転体１２には、第１圧電／電歪デバイス１０Ａの場合と同様に、スライダー、センサ、ステージ等を固定してもよく、また回転体１２自身がスライダー、ステージ等であってもよい。
【０１７４】
回転駆動部１４は、固定部１６と、固定部１６の両側から一方向に延在する第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂと、第１振動板１８ａの側面から固定部にかけて形成され、該第１振動板１８ａを駆動する第１圧電／電歪素子２０ａと、第２振動板１８ｂの側面から固定部１６かけて形成され、該第２振動板１８ｂを駆動する第２圧電／電歪素子２０ｂとを有する。
【０１７５】
第１振動板１８ａは、固定部１６の下端１６ａに対応する位置から一方向に延在して配置され、その先端部のうち、第２振動板１８ｂと対向する部分に、第１肉厚部９０ａが形成されている。第２振動板１８ｂも同様に、固定部１６の下端１６ａに対応する位置から一方向に延在して配置され、その先端部のうち、第１振動板１８ａと対向する部分に、第２肉厚部９０ｂが形成されている。
【０１７６】
回転体１２の互いに対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部２２ａと、第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａとがほぼＺ字状に形成された第１接続部９２ａによって接続されている。この接続は図示しない接着剤にて行うことができる。また、回転体１２の他方の面１２ｂの第２端部２２ｂと、第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂとがほぼＺ字状に形成された第２接続部９２ｂによって接続されている。この接続も図示しない接着剤にて行うことができる。なお、接着剤としては、例えば紫外線硬化型樹脂やエポキシ樹脂等を使用することができる。
【０１７７】
さらに、この第９圧電／電歪デバイス１０Ｉにおいては、第１接続部９２ａと第１振動板１８ａとの第１接続位置９４ａと、第２接続部９２ｂと第２振動板１８ｂとの第２接続位置９４ｂとがほぼ対向した位置関係にあり、ここでは、第１接続位置９４ａと第２接続位置９４ｂとが、回転体１２の重心位置（図３５において「＋」で示す位置）を含む１つの延長線９６上に存在している。
【０１７８】
また、回転体１２と第１接続部９２ａとの接続位置である第１端部２２ａと、回転体１２と第２接続部９２ｂとの接続位置である第２端部２２ｂとが、回転体１２の重心位置を中心として点対称の位置関係にある。
【０１７９】
なお、固定部１６と第１振動板１８ａとの間には、位置合わせのための第１板部材２６ａが介在され、固定部１６と第２振動板１８ｂとの間には、同じく位置合わせのための第２板部材２６ｂが介在されている。
【０１８０】
従って、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ（第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａを第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂから離間する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせる（第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂを第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａから離間する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図３５上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１８１】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ（第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａを第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂに接近する方向に反らせる）、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせる（第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂを第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａに接近する方向に反らせる）ことによって、回転体１２は、図３５上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１８２】
もちろん、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図３５上、右方向に平行移動変位し、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図３５上、左方向に平行移動変位することとなる。
【０１８３】
回転駆動部１４を構成する固定部１６、第１振動板１８ａ、第１肉厚部９０ａ、第２振動板１８ｂ、第２肉厚部９０ｂ、第１板部材２６ａ及び第２板部材２６ｂをセラミックグリーンシートの積層体を一体焼成することによって構成することができる。この場合、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂは、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの各側面に例えばスクリーン印刷にて形成することができる。もちろん、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂを金属にて構成してもよい。この場合、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂは、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの各側面に例えば接着剤にて固定される。
【０１８４】
このように、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉは、第１振動板１８ａと第２振動板１８ｂとで第１接続部９２ａ及び第２接続部９２ｂを介して回転体１２を挟持し、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂをそれぞれ圧電／電歪素子（第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂ）で駆動することによって、回転体１２を回転動作させるというものである。
【０１８５】
特に、第１接続部９２ａと第１振動板１８ａとの第１接続位置９４ａと、第２接続部９２ｂと第２振動板１８ｂとの第２接続位置９４ｂとがほぼ対向した位置関係とし、さらに、回転体１２の第１端部２２ａと、回転体１２の第２端部２２ｂとが、回転体１２の重心位置（回転中心）を中心として点対称の位置関係にしたので、回転体１２が回転変位しても回転体１２の重心の移動はほとんどない。
【０１８６】
従って、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉにおいては、回転体１２あるいは回転体１２が固定される対象物を回転変位させる際に、重心の移動が少ないため、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉを固定する部分（固定部１６）で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【０１８７】
これにより、回転体１２の回転変位において高精度な制御を行わせることができ、例えばハードディスクドライブ（ＨＤＤ）の位置制御用のアクチュエータ、微小反射鏡の角度制御、アンテナの回転制御、ＸＹステージのθ軸の制御、マニュピュレータの回転制御等に用いて好適となる。
【０１８８】
次に、第１０の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊと記す）は、図３６に示すように、上述した第９圧電／電歪デバイス１０Ｉとほぼ同様の構成を有するが、回転体１２の構成が以下の点で異なる。
【０１８９】
すなわち、回転体１２は、長さ方向（第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの長手方向に沿った方向）中央部分にくびれ部９８を有する。つまり、くびれ部９８を中心として、その一方の側（固定部１６を臨む部分）に第１幅広部１００ａが形成され、他方の側（固定部１６から最も離れた部分）に第２幅広部１００ｂが形成された形態となっている。この回転体１２には、第１圧電／電歪デバイス１０Ａの場合と同様に、スライダー、センサ、ステージ等が固定されることになるが、これらスライダー、センサ、ステージ等を回転体１２に固定する際に、第１幅広部１００ａ及び第２幅広部１００ｂに接着剤２４を塗布して、これらスライダー、センサ、ステージ等を固定することができる。
【０１９０】
また、回転体１２は、くびれ部９８のうち、第１振動板１８ａと対向する第１部分９８ａ（第２幅広部１００ｂ寄りの位置）から第１振動板１８ａにかけて延在し、且つ、第１部分９８ａと少なくとも第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａとを接続する第１接続部９２ａと、くびれ部９８のうち、第２振動板１８ｂと対向する第２部分９８ｂ（第１幅広部１００ａ寄りの位置）から第２振動板１８ｂにかけて延在し、且つ、第２部分９８ｂと少なくとも第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂとを接続する第２接続部９２ｂとを有する。
【０１９１】
第１接続部９２ａは、くびれ部９８から第１振動板１８ａにかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有し、回転体１２のくびれ部９８と一体化されてもよいし、図示しない接着剤によってくびれ部９８に固定されてもよい。また、第１接続部９２ａは、第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａと一体化されてもよいし、図示しない接着剤によって第１肉厚部９０ａに固定されてもよい。
【０１９２】
第２接続部９２ｂは、くびれ部９８から第２振動板１８ｂにかけて断面積がほぼ均等とされた形状を有し、回転体１２のくびれ部９８と一体化されてもよいし、図示しない接着剤によってくびれ部９８に固定されてもよい。また、第２接続部９２ｂは、第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂと一体化されてもよいし、図示しない接着剤によって第２肉厚部９０ｂに固定されてもよい。
【０１９３】
さらに、この第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊにおいては、第１接続部９２ａと第１振動板１８ａとの第１接続位置９４ａと、第２接続部９２ｂと第２振動板１８ｂとの第２接続位置９４ｂとがほぼ対向した位置関係にあり、ここでは、第１接続位置９４ａと第２接続位置９４ｂとが回転体１２の重心位置（図３６において「＋」で示す位置）を含む１つの延長線９６上に存在している。
【０１９４】
また、くびれ部９８の第１部分９８ａと第１接続部９２ａとの第３接続位置９４ｃと、くびれ部９８の第２部分９８ｂと第２接続部９２ｂとの第４接続位置９４ｄとが、回転体１２の重心位置を中心として点対称の位置関係にある。
【０１９５】
従って、この第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊにおいても、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉと同様に、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図３６上、時計回りに回転変位することとなる。
【０１９６】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図３６上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０１９７】
もちろん、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図３６上、右方向に平行移動変位し、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図３６上、左方向に平行移動変位することとなる。
【０１９８】
このように、第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊにおいても、第９圧電／電歪デバイス１０Ｉと同様に、回転体１２あるいは回転体１２が固定される対象物を回転変位させる際に、重心の移動が少ないため、第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊを固定する部分（固定部１６）で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【０１９９】
図３６の例では、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂの各一方の端面１０２ａ及び１０２ｂの位置を固定部１６の端面（下端１６ａ）の位置とほぼ同じにし、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂの各他方の端面１０４ａ及び１０４ｂの位置を第１肉厚部９０ａ及び第２肉厚部９０ｂよりも固定部１６寄りの位置にしたが、その他、図３７に示す第１の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊａのように、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第２圧電／電歪素子２０ｂの各他方の端面１０４ａ及び１０４ｂの位置を第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの各先端面１０６ａ及び１０６ｂの位置あるいはその近傍の位置にしてもよい。
【０２００】
この場合、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂの剛性が向上することから、外力（外からの風圧等）による影響（回転体の不要な振動等）を受けにくくすることができる。
【０２０１】
また、図３６の例では、第１接続部９２ａの形状を、くびれ部９８から第１振動板１８ａにかけて断面積がほぼ均等とされた形状とし、第２接続部９２ｂの形状を、くびれ部９８から第２振動板１８ｂにかけて断面積がほぼ均等とされた形状としたが、その他、図３８に示す第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊｂのように、第１接続部９２ａの形状を、くびれ部９８から第１振動板１８ａにかけて断面積が徐々に小さくなる形状とし、第２接続部９２ｂの形状を、くびれ部９８から第２振動板１８ｂにかけて断面積が徐々に小さくなる形状としてもよい。もちろん、図示しないが、第１接続部９２ａの形状を、くびれ部９８から第１振動板１８ａにかけて断面積が徐々に大きくなる形状とし、第２接続部９２ｂの形状を、くびれ部９８から第２振動板１８ｂにかけて断面積が徐々に大きくなる形状としてもよい。
【０２０２】
ここで、上述した第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊｂの２つの製造方法について図３９〜図４４を参照しながら説明する。
【０２０３】
最初に、第１の製造方法は、先ず、例えば図３９に示すように、１枚の金属板１０８を用意し、この金属板１０８に切り抜き加工を施して、第２１切抜部１１０ａ〜第２４切抜部１１０ｄを形成することによって、くびれ部９８、第１幅広部１００ａ、第２幅広部１００ｂ、第１接続部９２ａ、第２接続部９２ｂを有する回転体１２を作製する。この場合、くびれ部９８、第１接続部９２ａ及び第２接続部９２ｂは一体化された形態となる。また、このとき、第１接続部９２ａから外方に延びる第１補強部１１２ａと第２接続部９２ｂから外方に延びる第２補強部１１２ｂを同時に形成してもよい。
【０２０４】
また、その一方で、図４０に示すように、回転体１２を回転変位させる回転駆動部１４を、セラミックグリーンシートの積層体の一体焼成等によって作製する。
【０２０５】
その後、図４１に示すように、第１接続部９２ａの端部（第１接続部９２ａと第１補強部１１２ａの間）及び第２接続部９２ｂの端部（第２接続部９２ｂと第２補強部１１２ｂの間）に接着剤２４（紫外線硬化型樹脂やエポキシ樹脂等）を塗布する。
【０２０６】
その後、図４２に示すように、回転体１２の第１接続部９２ａと回転駆動部１４の第１振動板１８ａとを接着剤２４にて固定し、回転体１２の第２接続部９２ｂと回転駆動部１４の第２振動板１８ｂとを接着剤２４にて固定する。接着剤２４が塗布された第１接続部９２ａの端部と第１肉厚部９０ａの側面（図４２上、例えば背面側に位置する端面）とを接着剤２４にて固定し、同じく接着剤２４が塗布された第２接続部９２ｂの端部と第２肉厚部９０ｂの側面（図４２上、例えば背面側に位置する端面）とを接着剤２４にて固定する。このとき、第１補強部１１２ａを折り曲げ、第１振動板１８ａに接着することで第１振動板１８ａの剛性を向上させるようにしてもよい。同様に、第２補強部１１２ｂを折り曲げ、第２振動板１８ｂに接着することで第２振動板１８ｂの剛性を向上させるようにしてもよい。
【０２０７】
その後、図４３に示すように、回転体１２の第１幅広部１００ａ及び第２幅広部１００ｂに、スライダー、センサ、ステージ等の部品１１４（図４４において二点鎖線で示す）を固定するための接着剤２４を塗布する。
【０２０８】
そして、図４４に示すように、回転体１２の第１幅広部１００ａ及び第２幅広部１００ｂにかけて、部品１１４を接着剤２４を介して固定することにより、第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊｂが完成する。
【０２０９】
次に、第２の製造方法は、図４５に示すように、１枚の金属板１０８を用意し、この金属板１０８に切り抜き加工を施して、第３１切抜部１１６ａ〜第３７切抜部１１６ｇを形成することによって、回転体１２、回転体１２のくびれ部９８、第１幅広部１００ａ、第２幅広部１００ｂ、第１接続部９２ａ、第２接続部９２ｂ、回転駆動部１４の第１振動板１８ａ、第２振動板１８ｂ、固定部１６を形作る。
【０２１０】
その後、第３５切抜部１１６ｅのうち、第１振動板１８ａに沿った直線部分と、第３６切抜部１１６ｆのうち、第２振動板１８ｂに沿った直線部分を、それぞれ第３１折曲線１１８ａ及び第３２折曲線１１８ｂとして折り曲げる。
【０２１１】
その後、第１振動板１８ａの側面に第１圧電／電歪素子２０ａを例えば接着剤にて固定し、第２振動板１８ｂの側面に第２圧電／電歪素子２０ｂを例えば接着剤にて固定する。
【０２１２】
そして、図示しないが回転体１２に部品１１４を接着剤を介して固定することによって、第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊｂが完成する。
【０２１３】
次に、第１１の実施の形態に係る圧電／電歪デバイス（以下、第１１圧電／電歪デバイス１０Ｋと記す）は、図４６に示すように、上述した第２の変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｊｂとほぼ同様の構成を有するが、以下の点で異なる。
【０２１４】
すなわち、回転駆動部１４は、第１振動板１８ａ、第２振動板１８ｂ、第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂで枠状に形成されている。
【０２１５】
第１振動板１８ａの内側面（第２振動板１８ｂと対向する面）のうち、長さ方向中央部分に第１肉厚部９０ａが形成され、第２振動板１８ｂの内側面（第１振動板１８ａと対向する面）のうち、長さ方向中央部分に第２肉厚部９０ｂが形成されている。
【０２１６】
また、第１固定部１６Ａと第２固定部１６Ｂは互いに離間して配され、第１固定部１６Ａは、第１振動板１８ａの一方の先端部のうち、第２振動板１８ｂと対向する面と、第２振動板１８ｂの一方の先端部のうち、第１振動板１８ａと対向する面との間に固定され、第２固定部１６Ｂは、第１振動板１８ａの他方の先端部のうち、第２振動板１８ｂと対向する面と、第２振動板１８ｂの他方の先端部のうち、第１振動板１８ａと対向する面との間に固定されている。
【０２１７】
第１固定部１６Ａと第１振動板１８ａとの間、及び第１固定部１６Ａと第２振動板１８ｂとの間には、位置合わせのための第１１板部材１２０ａ及び第１２板部材１２０ｂが介在され、第２固定部１６Ｂと第１振動板１８ａとの間、及び第２固定部１６Ｂと第２振動板１８ｂとの間には、同じく位置合わせのための第１３板部材１２０ｃ及び第１４板部材１２０ｄが介在されている。
【０２１８】
また、第１振動板１８ａの側面のうち、第１固定部１６Ａの端面と対応する位置から第１肉厚部９０ａよりも第１固定部１６Ａ寄りの部分に第１圧電／電歪素子２０ａが形成され、第２振動板１８ｂの側面のうち、第１固定部１６Ａの端面と対応する位置から第２肉厚部９０ｂよりも第１固定部１６Ａ寄りの部分に第２圧電／電歪素子２０ｂが形成されている。
【０２１９】
同様に、、第１振動板１８ａの側面のうち、第２固定部１６Ｂの端面と対応する位置から第１肉厚部９０ａよりも第２固定部１６Ｂ寄りの部分に第３圧電／電歪素子２０ｃが形成され、第２振動板１８ｂの側面のうち、第２固定部１６Ｂの端面と対応する位置から第２肉厚部９０ｂよりも第２固定部１６Ｂ寄りの部分に第４圧電／電歪素子２０ｄが形成されている。
【０２２０】
そして、回転体１２のくびれ部９８のうち、第１振動板１８ａと対向する第１部分９８ａ（第２幅広部１００ｂ寄りの位置）から第１振動板１８ａに向かって延びる第１接続部９２ａの端部が少なくとも第１振動板１８ａの第１肉厚部９０ａに固定され、くびれ部９８のうち、第２振動板１８ｂと対向する第２部分９８ｂ（第１幅広部１００ａ寄りの位置）から第２振動板１８ｂに向かって延びる第２接続部９２ｂの端部が少なくとも第２振動板１８ｂの第２肉厚部９０ｂに固定されている。
【０２２１】
従って、この第１１圧電／電歪デバイス１０Ｋにおいては、例えば第１圧電／電歪素子２０ａ及び第３圧電／電歪素子２０ｃによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂ及び第４圧電／電歪素子２０ｄによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図４６上、時計回りに回転変位することとなる。
【０２２２】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａ及び第３圧電／電歪素子２０ｃによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂ及び第４圧電／電歪素子２０ｄによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図４６上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０２２３】
このように、第１１圧電／電歪デバイス１０Ｋにおいても、第１０圧電／電歪デバイス１０Ｊと同様に、回転体１２あるいは回転体１２が固定される対象物を回転変位させる際に、重心の移動が少ないため、第１１圧電／電歪デバイス１０Ｋを固定する部分（第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂ）で発生する反力を小さくすることができ、対象物を駆動する際の制御が容易になる。また、駆動周波数を高くすることができ、応答速度を速くすることができる。
【０２２４】
上述の第１１圧電／電歪デバイス１０Ｋにおいては、第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂを共に別の部材に固定することが考えられるが、第１振動板１８ａ及び第２振動板１８ｂが第１圧電／電歪素子２０ａ〜第４圧電／電歪素子２０ｄの駆動によって変形すると、第１振動板１８ａの全長及び第２振動板１８ｂの全長も伸縮するため、第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂが別の部材に固定されていると、回転体１２の回転変位を阻害するおそれがある。そこで、第１固定部１６Ａ及び第２固定部１６Ｂのうち、例えば第２固定部１６Ｂのみを別の部材に固定し、第１固定部１６Ａを固定しない方が望ましい。
【０２２５】
上述の例では、第１振動板１８ａに第１圧電／電歪素子２０ａ及び第３圧電／電歪素子２０ｃを形成し、第２振動板１８ｂに第２圧電／電歪素子２０ｂ及び第４圧電／電歪素子２０ｄを形成するようにしたが、その他、図４７に示す変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｋａのように、第１振動板１８ａの側面のうち、その長さ方向中央部に第１圧電／電歪素子２０ａを形成し、第２振動板１８ｂの側面のうち、その長さ方向中央部に第２圧電／電歪素子２０ｂを形成するようにしてもよい。
【０２２６】
第１圧電／電歪素子２０ａの一方の端面１０２ａは、第１振動板１８ａと第１固定部１６Ａとの接続部分に至らない位置に設定され、第１圧電／電歪素子２０ａの他方の端面１０４ａは、第１振動板１８ａと第２固定部１６Ｂとの接続部分に至らない位置に設定されている。
【０２２７】
同様に、第２圧電／電歪素子２０ｂの一方の端面１０２ｂは、第２振動板１８ｂと第１固定部１６Ａとの接続部分に至らない位置に設定され、第２圧電／電歪素子２０ｂの他方の端面１０４ｂは、第２振動板１８ｂと第２固定部１６Ｂとの接続部分に至らない位置に設定されている。
【０２２８】
従って、この変形例に係る圧電／電歪デバイス１０Ｋａにおいても、例えば第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを外方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを外方に反らせることによって、回転体１２は、図４７上、時計回りに回転変位することとなる。
【０２２９】
逆に、第１圧電／電歪素子２０ａによる駆動によって第１振動板１８ａを内方に反らせ、第２圧電／電歪素子２０ｂによる駆動によって第２振動板１８ｂを内方に反らせることによって、回転体１２は、図４７上、反時計回りに回転変位することとなる。
【０２３０】
なお、代表的に、図４７において図示したが、回転体１２の第１幅広部１００ａ、第２幅広部１００ｂ、第１固定部１６Ａ、第２固定部１６Ｂに、接着剤の塗布のほか、組み立てのための基準孔や、ねじ孔、固定用の孔、質量低減のための孔等の孔１２２を形成するようにしてもよい。
【０２３１】
なお、本発明に係る圧電／電歪デバイスは、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０２３２】
【図１】第１圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図２】第２圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図３】第１圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す構成図である。
【図４】第３圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図５】第３圧電／電歪デバイスの第１の方式での動作を示す説明図である。
【図６】第３圧電／電歪デバイスの第２の方式での動作を示す説明図である。
【図７】第４圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図８】第４圧電／電歪デバイスの構成材料である第１セラミック基板を示す平面図である。
【図９】第４圧電／電歪デバイスの構成材料である第２セラミック基板を示す平面図である。
【図１０】第４圧電／電歪デバイスの構成材料である第３セラミック基板を示す平面図である。
【図１１】第５圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図１２】第５圧電／電歪デバイスの第１の動作を示す説明図である。
【図１３】第５圧電／電歪デバイスの第２の動作を示す説明図である。
【図１４】第５圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す斜視図である。
【図１５】第５圧電／電歪デバイスの製造過程（切り抜き加工）を示す説明図である。
【図１６】第５圧電／電歪デバイスの製造過程（折り曲げ加工）を示す説明図である。
【図１７】第６圧電／電歪デバイスを示す斜視図である。
【図１８】第６圧電／電歪デバイスの動作を示す説明図である。
【図１９】第６圧電／電歪デバイスの製造過程（切り抜き加工）を示す説明図である。
【図２０】第６圧電／電歪デバイスの製造過程（折り曲げ加工）を示す説明図である。
【図２１】第６圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す構成図である。
【図２２】第６圧電／電歪デバイスの第２の変形例を示す斜視図である。
【図２３】第６圧電／電歪デバイスの回転駆動部に回転体を固定した状態を示す斜視図である。
【図２４】第６圧電／電歪デバイスにおける第２の変形例の製造過程（切り抜き加工）を示す説明図である。
【図２５】第６圧電／電歪デバイスにおける第２の変形例の製造過程（折り曲げ加工）を示す説明図である。
【図２６】第７圧電／電歪デバイスを示す斜視図である。
【図２７】第７圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す平面図である。
【図２８】第７圧電／電歪デバイスの第２の変形例を示す平面図である。
【図２９】第７圧電／電歪デバイスの第３の変形例を示す平面図である。
【図３０】第７圧電／電歪デバイスの第４の変形例を示す平面図である。
【図３１】第７圧電／電歪デバイスの第５の変形例を示す平面図である。
【図３２】第８圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図３３】第８圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す構成図である。
【図３４】第８圧電／電歪デバイスの第２の変形例を示す構成図である。
【図３５】第９圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図３６】第１０圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図３７】第１０圧電／電歪デバイスの第１の変形例を示す構成図である。
【図３８】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例を示す構成図である。
【図３９】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（切り抜き加工）を示す説明図である。
【図４０】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（回転駆動部作製）を示す説明図である。
【図４１】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（接着剤塗布工程）を示す説明図である。
【図４２】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（組み立て工程）を示す説明図である。
【図４３】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（接着剤塗布工程）を示す説明図である。
【図４４】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の製造過程（部品取付工程）を示す説明図である。
【図４５】第１０圧電／電歪デバイスの第２の変形例の他の製造過程を示す説明図である。
【図４６】第１１圧電／電歪デバイスを示す構成図である。
【図４７】第１１圧電／電歪デバイスの変形例を示す構成図である。
【符号の説明】
【０２３３】
１０Ａ、１０Ｂ、１０Ｂａ、１０Ｃ、１０Ｄ、１０Ｅ、１０Ｅａ、１０Ｆ、１０Ｆａ、１０Ｆｂ、１０Ｇ、１０Ｇａ、１０Ｇｂ、１０Ｇｃ、１０Ｇｄ、１０Ｇｅ、１０Ｈ、１０Ｈａ、１０Ｈｂ、１０Ｉ、１０Ｊ、１０Ｊａ、１０Ｊｂ、１０Ｋ、１０Ｋａ…圧電／電歪デバイス
１２…回転体                            １４、１４Ａ、１４Ｂ…回転駆動部
１６、１６Ａ、１６Ｂ…固定部            １８ａ〜１８ｄ…振動板
２０ａ〜２０ｄ…圧電／電歪素子          ３６ａ、３６ｂ…変位伝達部
４８…枠体                              ５０…回転体固定部
５２…金属板                            ８０…可動部
９２ａ…第１接続部                      ９２ｂ…第２接続部
９４ａ…第１接続位置                    ９４ｂ…第２接続位置
９８…くびれ部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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【図４１】
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【図４２】
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【図４３】
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【図４４】
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【図４５】
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【図４６】
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【図４７】
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