(57)【要約】【課題】基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出する検査装置は、教示プログラム作成が不要である上に最高速検査を実現できるというメリットがあるが、高輝度低彩色箇所検査における過検出と低輝度彩色部品検査における不検出が発生し易いという課題があった。【解決手段】基板全面カラー画素について、赤、緑、青の三原色輝度値のそれぞれを三原色輝度値の和により除算し、量子化係数を乗算する色度演算を行うようにしたので、上記課題が解決し信頼性の高い自動検査が実現する。【選択図】図１
2007101415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出するプリント基板の検査装置であって、
カラーラインセンサにより基準基板あるいは検体基板の全面カラー画像を獲得する撮像手段と、
基準基板全面のカラー画像と検体基板全面のカラー画像の各画素について、赤、緑、青の三原色輝度値のそれぞれを三原色輝度値の和により除算し、量子化係数を乗算する色度演算を行い、基準基板の色度画像と検体基板の色度画像を得る色度画像作成手段と、
色度画像の差画像処理における三原色色度閾値の設定手段と、
基準基板の色度画像と検体基板の色度画像の差分処理を行い、設定した三原色色度閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出する色度画像処理手段と
より成る検査装置。
【請求項２】
基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出するプリント基板の検査装置であって、
基板全面に亘ってカラーエリアセンサカメラにより基準基板あるいは検体基板のカラー視野画像を獲得する撮像手段と、
基準基板視野のカラー画像と検体基板視野のカラー画像の各画素について、赤、緑、青の三原色輝度値のそれぞれを三原色輝度値の和により除算し、量子化係数を乗算する色度演算を行い、基準基板視野の色度画像と検体基板視野の色度画像を得る色度画像作成手段と、
色度画像の差画像処理における三原色色度閾値の設定手段と、
基準基板視野色度画像と検体基板視野色度画像の差分処理を行い、設定した三原色色度閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出する色度画像処理手段と
より成る検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトロニクス工場等において、カラーカメラによりプリント基板を撮像して外観検査を行う検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の基板自動検査機は、検査する基板の種類ごとに検査プログラムを作成する、いわゆる教示の問題を抱えていた。この教示プログラミング作業では、個々の部品の検査領域を教示した上に、検査領域ごとに検査アルゴリズムを教示する。更に、実際の基板でテスト検査を繰り返し行い、不良の見逃しがなくかつ過検出虚報が最も少ないプログラムにまで調整・仕上げをしなければならない。プログラミングはユーザ作業であるため、ユーザによってプログラムの出来がまちまちで、不良の見逃しや良品見過ぎが発生して、自動検査が信頼できる水準に維持できないという場合も多かった。又、パート作業者には教示作業が難し過ぎること、教示作業中は検査機が稼動せず、自動検査が休業になること、多機種少量生産では教示時間が取れないので目視検査に頼らざるを得ないこと等、検査機の教示プログラミングには多くの問題があった。
【０００３】
これらの諸問題を解決する技術として、本出願人は、プリント基板の全面を撮像し、その画像をもとにして外観検査を行うことにより、従来の教示作業を必要としない技術を考案し、既に開示（特許文献１〜３参照）あるいは特許出願（特許文献４〜８参照）をしている。
【特許文献１】特開２００３−０３７３４２
【特許文献２】特開２００４−２９６５６４
【特許文献３】特開２００４−３５４２６５
【特許文献４】特願２００３−３２０５９０
【特許文献５】特願２００３−３７６４２０
【特許文献６】特願２００４−０７５４９４
【特許文献７】特願２００４−１３７０４７
【特許文献８】特願２００５−６１８４９
【０００４】
又他にも一見して本出願に関連するかと見られる開示（特許文献９参照）があるが、本出願内容は特許文献９の開示と基本的に相違するところがある。
【特許文献９】特開２００４−３０１５７４
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この基板全面画像による検査技術は、上述の諸問題を解決し得る有望な技術であるが、基準画像と検体画像の差画像処理を基本としているために、下記の課題があった。
（１）ハイライト過検出の課題：はんだや電極等の金属部分は、反射率が高いために輝度値が最大のハイライトになり、差分処理において大きな差分値を生じ易かった。
（２）不良不検出の課題：多層基板など暗色の基板上に黒色等の暗色の部品が搭載された場合、双方とも輝度値が最小に近いので、差分処理において小さな差分値しか得られず、全面均等の差分閾値を適用すると、部品欠品の検出が困難であった。
【０００６】
そこで本発明は、カラーカメラによりプリント基板を撮像して外観検査を行う検査方法において、基板全面の基準基板色度画像と検体基板色度画像を作成して均一の三原色色度閾値で差分比較処理し、高輝度値箇所の過検出と、低輝度値部品の不検出を同時に解決する検査技術を実現しようとしている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明になる検査装置は、基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出するプリント基板の検査装置であって、カラーラインセンサにより基準基板あるいは検体基板の全面カラー画像を獲得する撮像手段と、基準基板全面のカラー画像と検体基板の全面カラー画像の各画素について、赤、緑、青の三原色輝度値のそれぞれを三原色輝度値の和により除算し、量子化係数を乗算する色度演算を行い、基準基板の色度画像と検体基板の色度画像を得る色度画像作成手段と、色度画像の差画像処理における三原色色度閾値の設定手段と、基準基板の色度画像と検体基板の色度画像の差分処理を行い、設定した三原色色度閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出する色度画像処理手段とより成る。
【０００８】
また、本発明になるその他の検査装置は、基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出するプリント基板の検査装置であって、基板全面に亘ってカラーエリアセンサカメラにより基準基板あるいは検体基板のカラー視野画像を獲得する撮像手段と、基準基板視野のカラー画像と検体基板視野のカラー画像の各画素について、赤、緑、青の三原色輝度値のそれぞれを三原色輝度値の和により除算し、量子化係数を乗算する色度演算を行い、基準基板視野の色度画像と検体基板視野の色度画像を得る色度画像作成手段と、色度画像の差画像処理における三原色色度閾値の設定手段と、基準基板視野の色度画像と検体基板視野の色度画像の差分処理を行い、設定した三原色色度閾値を超える差分のある画素を異同画素として検出する色度画像処理手段とより成る。
【発明の効果】
【０００９】
本発明になる検査装置によれば、基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出するプリント基板の検査装置において、基準基板カラー画像から全画素輝度値の色度演算によって得た基準色度画像と、検体基板カラー画像から全画素輝度値の色度演算によって得た検体色度画像との差分処理を行い、設定した均一の三原色色度閾値以上の差分のある画素を異同画素として検出するので、明度成分による検出妨害（高輝度箇所の過検出と低輝度箇所の不検出）が防止でき、均一のカラー画像差分処理方式の問題であったはんだや電極等の金属部分のハイライト箇所検査の過検出がなくなり、更に暗色部品検査の欠品不検出も解消した、信頼性の高い自動検査が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
検査領域の教示が不要なプリント基板全面検査装置において、全面均一の差画像処理閾値で不良の不検出がなく過検出も最少とするという目的を、基準基板カラー画像と検体基板カラー画像のそれぞれに色度演算を施して基準基板色度画像と検体基板色度画像とし、両者を均一の三原色色度閾値で差画像処理することにより、実現した。
【実施例１】
【００１１】
図１は、本発明装置の実施例１の全体構成図である。
【００１２】
図１において、基板１上には電子部品２が搭載され、基板１は、Ｙテーブル３に保持されている。
【００１３】
基板１の上方には、１次元カラーイメージセンサカメラ４が配置されている。１次元カラーイメージセンサカメラ４はラインカラーＣＣＤカメラであって、ピクセル配列が基板１のＸ軸に沿うように設置されている。そこで、基板１のＹ方向移動で、基板１の全景を撮像するようにしている。ここで逆に、１次元カラーイメージセンサカメラ４をＹ方向移動し、基板１を固定しておいても、同じ画像が得られることは言うまでもない。
【００１４】
１次元カラーイメージセンサカメラ４は、制御装置５に接続され、制御装置５は、1次元カラーセンサ撮像ユニット６、基板全面カラー画像保存ユニット７、基板全面色度画像処理演算ユニット８、システム全体を制御する統合システム制御ユニット９、及び基板全面色度画像作成ユニット１０を有し、各ユニット６、７，８，９、及び１０は、バス１５を通じてデータの交換を行う。
【００１５】
また、制御装置５には、入力ユニット１１と、出力ユニット１２と、通信ユニット１３と、表示ユニット１４が接続されている。
【００１６】
次に、図２のフロー図に沿って、この実施例の検査装置の教示ステップと検査ステップを説明する。図２の（Ａ）は、教示ステップであって、まず基準基板１をテーブル３に装填し（ＳＴ１）、１次元カラーイメージセンサカメラ４で基板全面をカラー撮像し（ＳＴ２）、必要によりその画像を保存する（ＳＴ３）。（画像保存するしないは、検査工程にとって必ずしも本質的ではなく、直ちに次のＳＴ４に進んでもよい。）
【００１７】
次に、基準基板全面のすべてのカラー画素について、三原色輝度値について三原色色度演算を行う（ＳＴ４）。三原色色度演算は、画素の三原色成分値のそれぞれについて、数式１に示す演算式に従って行われる。量子化係数は、三原色成分の和Ｗでそれぞれの色成分値を除算した値に乗ずる係数であって、便宜上、元来の三原色成分の量子化レベルに合うようにしている。この演算により、カラー画素値は色味のみに対応する色度値となり、明度成分が消去される。
【００１８】
【数１】
2007101415.tif 000003
【００１９】
明度成分の消去は、基板全面を均一の画像処理条件で差画像処理する検査において極めて重要な役割を果たし、この発明の本質的部分を形成するので、その理由につき以下説明する。
【００２０】
（１）基板全面差画像処理検査法において過検出の原因を除去する効果
出願人の基礎実験によれば、部品電極やはんだ部など金属部分は、図５（Ａ）に示したように白色照明光に対して高い輝度値のハイライト反射をするので、電極が少し酸化していたり、はんだ形状が少し違ったりすると、同図（Ｂ）のように基準画像と検体画像との差分も大きく、全面検査の均一閾値（Ｔ）をしばしば超える。従って、白色ハイライトの正常箇所に輝度値の相違があると、容易に異常箇所として検出されてしまう。これを防ぐために均一閾値のレベルを緩和すると、散乱反射をする一般部品の不良を見逃すので、自動検査機として必須の「不良の見逃しゼロ」条件を満足しない。
そこで本発明は、数式１の色度演算を施すことによって、この高輝度過検出の課題を解決している。前述の高輝度白色ハイライト反射部分は明度は高いが色味が０に近いので三原色輝度はほぼ同じ値をとり、数式１の色度演算により、三原色色度がそれぞれ理論上ほぼ三分の一の値をとる（図５（Ｃ）参照）。そこで、基準画像と検体画像のハイライト部の差分色度は０近辺の値となる。このことにより、全面均一の閾値を用いても、差分が閾値以下となって過検出の発生を防ぐことができる（図５（Ｄ）参照）。
（２）基板全面差画像処理検査法において良品不検出の原因を除去する効果
同じく出願人の基礎実験によれば、黒色部品等の暗色部品は逆に、多層基板等の暗色背景との輝度値の差が小さく、均一閾値で差画像処理をすると差分が閾値以下であるため欠品等の不良の検出ができない（図５（Ａ），（Ｂ）参照）。
そこで本発明は、数式１の色度演算を施すことによって、この低輝度不検出の課題を解決している。一般に基板は着色されたレジスト塗料で保護されていて、低輝度ながら暗色（例えば黒色）部品との色の差は歴然とある（図５（Ｃ）参照）。この色の違いは、数式１の色度演算により大きな色度差として算出される（図５（Ｄ）参照）。即ち、色味が高ければ、数式１の除算の結果が１に近い値をとるので、色度レベルが高い値をとる。このように基板カラー画像に色度演算を施せば、均一閾値を使用する全面検査においても、黒色部品の欠品等を精度良く検出することができる。
（３）以上、均一閾値を用いた全面検査法の課題であった、高輝度白色部分の過検出の課題と低輝度部品の不良不検出の課題を両者共、差画像処理に基準基板と検体基板の色度画像を用いることによって、同時に解決できる理由を説明した。
【００２１】
以上述べた基板全面検査法に用いる全面カラー画像データ量は膨大なものである。例えば、７５００画素のカラーラインＣＣＤで３００ｍｍ×２５０ｍｍサイズの基板の短辺を電子スキャンし、長辺をテーブル３で機械的スキャンする場合、長辺の走査線は１００００を超える。即ち、基板全面カラー画像データは、７５００×１００００×３（三原色）×５１２（量子化レベルの１例）という膨大なデータである。このデータに対して数式１の色度演算を行うと、除算・乗算のために長大な計算時間を要し、とても実用的な自動検査機とはならない。従ってこの実施例では、図１の基板全面色度画像作成ユニット１０として特に専用の色度演算用基板を起こし（ハード化）、全画素演算の高速化を実現している。この場合、ＦＰＧＡ（フィールドプログラマブルゲートアレー）を効果的に利用することができる。
【００２２】
次に、従来の一部外観検査装置においても色度演算を行う例はあったので、本発明になる実施例検査装置の色度演算との相違点について説明する。
（１）色度演算対象の相違：従来検査装置は、基板上に教示し検査領域（いわゆるウィンドウ）のみを自動検査するが、本発明になる実施例検査装置は基板全面を検査対象としている。従来検査装置の検査領域は通常数ミリ×数ミリ以下が大多数であるため、その画像データ量は１視野内全ウィンドウの総和でも本発明になる検査装置で扱う基板全面の画像データ量（上述）に比べて数千分の一以下である。（例えば、１．６ｍｍ×０．８ｍｍ（部品サイズ）×１０（１視野内の個数）×３（三原色）×５１２（量子化レベル）。）従って色度演算計算量もはるかに少ないので、本発明実施例のような大計算量を高速で処理するための専用の基板全面色度画像作成ユニットを必要とするものではなかった。
（２）色度演算効果の相違：色度演算は従来から光量変動による画像の輝度変動をキャンセルするために利用される例があり、従来検査装置においてもウィンドウ内画像の輝度変動をキャンセルするために用いられていた。これに反して本発明の実施例では、上述のように、基板全面の画像に亘って均一の差画像処理閾値を適用して自動検査する場合に、白色ハイライト部分で起きる可能性が高い過検出と、低輝度部品で起きやすい不良の不検出（見逃し）とを同時に防止し得る方法として色度演算を利用している。このように、期待する色度演算効果が、従来検査装置の場合と、本発明実施例とではまったく異なるものである。全面検査法において、白色ハイライト部分で起きる可能性が高い過検出の防止と低輝度部品で起きやすい不良の不検出の抑制を同時に実行できる演算としての色度演算の利用は、出願人が基礎実験により初めて見出し、本出願に初めて記載するものである。
【００２３】
このように本発明になる色度演算は、基板全面検査における高輝度過検出と低輝度不検出の課題とを一挙に解決する効果があり、従来検査装置の単なる小領域検査とは基本的に異なる、全面検査特有の技術課題を解決している。
【００２４】
次に、図２のフロー図（Ａ）に戻り、以降の教示ステップを説明する。ＳＴ４の色度演算の後、基準基板の色度画像を基板全面カラー画像保存ユニット７に保存し（ＳＴ５）、基準基板を除去する（ＳＴ６）。
【００２５】
次に、テスト基板をテーブル３に装填し（ＳＴ７）、１次元カラーイメージセンサカメラ４で基板全面をカラー撮像し（ＳＴ８）、基板全面色度画像作成ユニット１０によってテスト基板画像全画素の三原色輝度値から三原色色度演算を行う（ＳＴ９）。
そこで、ＳＴ５で保存した基準基板色度画像とテスト基板色度画像との差画像処理を、基板全面色度画像処理ユニット８によって行う（ＳＴ１０）。このステップは、「テスト検査」と言い、この基板の検査に最適の閾値を見出すステップである。
第一回のテスト検査は、あらかじめ検査装置に設定してある三原色閾値（いわゆるデフォルト値）で行われ、オペレータは、テスト基板上の不良箇所が適正に検出されたかどうかを確認する。
不良箇所が検出できない場合には検査閾値を下げて厳しくし、また過検出が多発する場合には検査閾値を上げて緩和して、テスト検査を繰返し、閾値の調整を行う（ＳＴ１１）。
最適と思われる閾値が見出されたらその値を教示し、テスト基板をテーブル３から除去する（ＳＴ１２）。
【００２６】
次に、この実施例の検査装置における自動検査の動作を、図２（Ｂ）のフロー図に沿って説明する。
【００２７】
まず、図１において検体基板１をＹテーブル３に装填し（ＳＴ１３）、検体基板種のＩＤデータを入力するか又は読取ると（ＳＴ１４）、制御装置５の指令で検体基板１をＹ軸移動し、１次元カラーセンサ撮像ユニット６の制御によって１次元カラーイメージセンサカメラ４が検体基板１の全面を撮像し（ＳＴ１５）、全面カラー画像を基板全面カラー画像保存ユニット７に保存する（ＳＴ１６）。（画像保存するしないは、検査工程にとって必ずしも本質的ではなく、直ちに次のＳＴ１７に進んでもよい。）
【００２８】
次に、基板全面色度画像作成ユニット１０によって検体基板画像全画素の三原色輝度値から三原色色度演算を行う（ＳＴ１７）。三原色色度演算は、画素の三原色成分値のそれぞれについて、数式１に示す演算式に従って行われる。
そこで、ＳＴ５で保存した基準基板色度画像と検体基板色度画像との差画像処理を、基板全面色度画像処理ユニット８によって行う（ＳＴ１８）。
【００２９】
差画像処理によって基準基板と異なる画像が検出された箇所を検査結果として報告し（ＳＴ１９）、検体基板をテーブル３から除去する（ＳＴ２０）。
【００３０】
この実施例の検査装置を使用すれば、カラーラインセンサにより基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出する際、以上のように基板全面カラー画像の各画素について色度演算をすることによって、高輝度低彩色箇所検査における過検出と低輝度彩色部品検査における不検出の課題を解決した自動検査が実現する。
【実施例２】
【００３１】
本発明装置の実施例２の全体構成を図３に示す。
【００３２】
図３において、基板１上には電子部品２が搭載され、基板１は、まずＸＹテーブル３に装填される。
【００３３】
基板１の上方には、２次元イメージセンサカメラ４が配置されている。２次元イメージセンサカメラ４はエリアＣＣＤカメラである。
【００３４】
２次元イメージセンサカメラ４は、制御装置５に接続され、制御装置５は、２次元カラーセンサ撮像ユニット６、視野カラー画像保存ユニット７、視野色度画像処理演算ユニット８、システム全体を制御する統合システム制御ユニット９、及び視野色度画像作成ユニット１０を有し、各ユニット６、７，８、９、及び１０は、バス１５を通じてデータの交換を行う。
【００３５】
また、制御装置５には、入力ユニット１１と、出力ユニット１２と、通信ユニット１３と、表示ユニット１４が接続されている。
【００３６】
次に、図４のフロー図に沿って、実施例２の検査装置の教示ステップと検査ステップを説明する。図４の（Ａ）は、教示ステップであって、まず基準基板１をＸＹテーブル３に装填し（ＳＴ２１）、検査視野を教示する（ＳＴ２２）。
【００３７】
次に、基準基板をＸＹ移動して教示された視野ｐ（ｐ＝１，２，・・・，ｎ）を順次２次元カラーイメージセンサカメラ４で撮像し（ＳＴ２３）、必要によりその画像を保存する（ＳＴ２４）。（画像保存するしないは、検査工程にとって必ずしも本質的ではなく、直ちに次のＳＴ２５に進んでもよい。）
【００３８】
次に、視野ｐ全面のすべてのカラー画素について、三原色輝度値から三原色色度演算を行う（ＳＴ２５）。三原色色度演算は、画素の三原色成分値のそれぞれについて、数式１に示す演算式に従って行われる。量子化係数は、三原色成分の和Ｗでそれぞれの色成分値を除算した値に乗ずる係数であって、便宜上、元来の三原色成分の量子化レベルに合うようにしている。この演算により、カラー画素値は色味のみに対応する色度値となり、明度成分が消去される。
【００３９】
このように実施例２でも視野内カラー画素の三原色色度演算を行っている。この演算の目的および効果は、基板全面画像の色度演算の場合とまったく同じであって、実施例１で説明したとおりであるので、再度の説明を割愛する。
【００４０】
実施例２はカメラの個別視野画像を対象として色度演算を行うので、実施例１に比べると色度演算対象の画像データが十分の一（例えば数百万画素の画像センサの場合）から数十分の一（例えば百万画素の画像センサの場合）と少ない。従って、色度演算の計算量も比例して少ないことになるが、それでも１視野あたり１０〜２０個程度の数ｍｍの検査領域（ウィンドウ）内を検査する従来検査方式に比べれば大量の情報処理であることに変りは無く、演算プログラムのハード化などの特別の工夫によって、初めて実用的な検査装置として成立することにおいて、実施例１と同様である。
【００４１】
次に、ＳＴ２５の色度演算の後、視野ｐの色度画像を視野カラー画像保存ユニット７に保存し（ＳＴ２６）、すべての教示視野の色度画像保存が終了したら、基準基板をＸＹテーブル３から除去する（ＳＴ２７）。
【００４２】
次に、テスト基板をＸＹテーブル３に装填し（ＳＴ２８）、基準基板をＸＹ移動して教示された視野ｐを順次２次元カラーイメージセンサカメラ４で基板全面をカラー撮像し（ＳＴ２９）、視野色度画像作成ユニット１０によってテスト基板視野のすべてのカラー画素について、三原色輝度値から三原色色度演算を行う（ＳＴ３０）。
そこで、ＳＴ２６で保存した基準基板の視野ｐ色度画像とテスト基板の同一視野ｐ色度画像との差画像処理を、視野色度画像処理ユニット８によって行う（ＳＴ３１）。このステップは、「テスト検査」と言い、この基板の検査に最適の閾値を見出すステップである。
第一回のテスト検査は、あらかじめ検査装置に設定してある三原色閾値（いわゆるデフォルト値）で行われ、オペレータは、テスト基板上の不良箇所が適正に検出されたかどうかを確認する。
不良箇所が検出できない場合には検査閾値を下げて厳しくし、また過検出が多発する場合には検査閾値を上げて緩和して、テスト検査を繰返し、閾値の調整を行う（ＳＴ３２）。
最適と思われる閾値が見出されたらその値を教示し、テスト基板をＸＹテーブル３から除去する（ＳＴ３３）。
【００４３】
次に、この実施例の検査装置における自動検査の動作を、図４（Ｂ）のフロー図に沿って説明する。
【００４４】
まず、図３において検体基板１をＸＹテーブル３に装填し（ＳＴ３４）、検体基板種のＩＤデータを入力するか又は読取ると（ＳＴ３５）、制御装置５の指令で検体基板１をＸＹ移動し、２次元カラーセンサ撮像ユニット６の制御によって２次元カラーイメージセンサカメラ４が検体基板１の教示視野ｐ（ｐ＝１，２，・・・，ｎ）を撮像し（ＳＴ３６）、視野ｐカラー画像を視野カラー画像保存ユニット７に保存する（ＳＴ３７）。（画像保存するしないは、検査工程にとって必ずしも本質的ではなく、直ちに次のＳＴ３８に進んでもよい。）
【００４５】
次に、視野色度画像作成ユニット１０によって検体基板画像全画素の三原色輝度値から三原色色度演算を行う（ＳＴ３８）。三原色色度演算は、画素の三原色成分値のそれぞれについて、数式１に示す演算式に従って行われる。
そこで、ＳＴ２６で保存した基準基板の視野ｐ色度画像と検体基板の視野ｐ色度画像との差画像処理を、視野色度画像処理ユニット８によって行う（ＳＴ３９）。
【００４６】
差画像処理によって基準基板と異なる画像が検出された箇所を検査結果として報告し（ＳＴ４０）、検体基板をＸＹテーブル３から除去する（ＳＴ４１）。
【００４７】
この実施例の検査装置を使用すれば、カラーエリアセンサカメラにより基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像に対する検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出する際、以上のように基板全面に亘って視野カラー画像の各画素について色度演算をすることによって、高輝度低彩色対象における過検出と低輝度彩色対象における不検出を解決した自動検査が実現する。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
基板全面に亘って均一の条件で基準基板画像と検体基板画像の差分画像処理をして不良を検出する検査装置において、基板全面のカラー画素について色度演算を行うようにしたので、高輝度低彩色箇所検査における過検出と低輝度彩色部品検査における不検出の課題が解決し、高い検査精度が求められる電子製品の組立てラインに適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】検査装置の全体構成と基板を示す図である。（実施例１）
【図２】検査装置における教示と自動検査の動作を示すフロー図である。（実施例１）
【図３】検査装置の全体構成と基板を示す図である。（実施例２）
【図４】検査装置における教示と自動検査の動作を示すフロー図である。（実施例２）
【図５】検査装置におけるカラー画素輝度の色度演算と閾値との関係を説明する図である。（各実施例共通）
【符号の説明】
【００５０】
１    基板
２    電子部品
３    Ｙテーブル
４    １次元カラーイメージセンサカメラ
５    制御装置
６    1次元カラーセンサ撮像ユニット
７    基板全面カラー画像保存ユニット
８    基板全面色度画像処理演算ユニット
９    統合システム制御ユニット
１０  基板全面色度画像作成ユニット
１１  入力ユニット
１２  出力ユニット
１３  通信ユニット
１４  表示ユニット
１５  データバス
【図１】
2007101415.tif 000004
【図２】
2007101415.tif 000005
【図３】
2007101415.tif 000006
【図４】
2007101415.tif 000007
【図５】
2007101415.tif 000008