(57)【要約】【課題】所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入することができるようにする。【解決手段】Ｌ字型のＬ字アーム１２を回動させて一方側の回動アーム１３の先端でウエハ２を押し上げ、押し上げられたウエハ２を所望の溝部３へのウエハの挿入の基準とすることで、所望の溝部３にウエハ２を確実に挿入する。【選択図】図１
2007273643.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウエハが積層状態に複数枚収容されるウエハカセットであり、ウエハの周縁が溝部に案内されて挿入される収容部が積層状態に複数備えられ、所望の収容部に対してウエハを挿入させる位置決め手段を備えたことを特徴とするウエハカセット。
【請求項２】
請求項１に記載のウエハカセットにおいて、
所望の収容部に隣接する収容部に挿入されているウエハを反挿入方向に移動させるウエハ移動手段を備え、ウエハ移動手段により移動された状態にあるウエハが所望の収容部に対する挿入の基準にされることで位置決め手段が構成されることを特徴とするウエハカセット。
【請求項３】
請求項２に記載のウエハカセットにおいて、
ウエハ移動手段は、Ｌ字型のＬ字アームが回動自在に支持され、Ｌ字アームの回動により一方側の回動アーム先端がウエハを押すことでウエハを移動させることを特徴とするウエハカセット。
【請求項４】
請求項２に記載のウエハカセットにおいて、
ウエハ移動手段は、挿入方向に沿った方向にアームが往復移動自在に支持され、アームの反挿入方向への移動によりアームがウエハを押すことでウエハを移動させることを特徴とするウエハカセット。
【請求項５】
請求項２〜請求項４のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、
ウエハ移動手段が収容部の積層方向に往復移動自在に支持されていることを特徴とするウエハカセット。
【請求項６】
請求項２〜請求項５のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、
ウエハ移動手段が動作されていない時にウエハの抜け外れを阻止するストッパを備えたことを特徴とするウエハカセット。
【請求項７】
請求項１に記載のウエハカセットにおいて、
位置決め手段は、収容部の積層方向に移動自在に収容部の入口側に備えられ、所望の収容部に隣接する収容部の入口を塞ぐ状態に移動させることで所望の収容部に対するウエハの挿入の基準とされるガイドを備えたことを特徴とするウエハカセット。
【請求項８】
請求項１に記載のウエハカセットにおいて、
収容部はそれぞれ独立したケースで構成され、各ケースはウエハの挿入方向に対して移動自在に支持され、移動状態にされたケースが所望の収容部とされることで位置決め手段が構成されることを特徴とするウエハカセット。
【請求項９】
請求項１〜請求項８のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、
収容部の本体にはスロット番号が付され、本体の下地に対してスロット番号の色を異ならせたことを特徴とするウエハカセット。
【請求項１０】
請求項１〜請求項８のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、
収容部の本体にはスロット番号が付され、スロット番号が本体の下地に対して凹凸状態で標記されていることを特徴とするウエハカセット。
【請求項１１】
ウエハを個別に収容する複数の収容部が積層状態に配されたウエハカセットにウエハを挿入するに際し、所望の収容部に隣接した位置で所望の収容部を特定してウエハを所望の収容部に挿入することを特徴とするウエハ収容方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造工程でウエハを収容するウエハカセット及びウエハカセットへのウエハ収容方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体等の製造においては、複数枚のウエハはウエハカセットに収容された状態で搬送され、必要な処理が施されるようになっている。ウエハカセットは、複数の溝が形成された一対の側板が底部で連結された形状とされ、溝部が積層状態に配された構造が従来から知られている（特許文献１、特許文献２等参照）。従来から知られているウエハカセットでは、対向する溝の間にウエハが挿入されることにより、複数のウエハが積層状態で保持される。
【０００３】
半導体の製造工程においては、熱処理や洗浄処理、成膜処理、エッチング処理等、様々な雰囲気でウエハに対して処理を行うため、ウエハカセットを所望の場所に搬送した後には、ロボットアーム等を用いて処理装置等にウエハをセットしている。このため、ウエハが挿入される溝幅はウエハの厚さに対して余裕がある状態に設定され、ロボットアーム等が挿入されやすい構造となっている。
【０００４】
従来から知られているウエハカセットは溝幅に余裕がある形状に設定されているため、人間の手作業により対向する溝の間にウエハを挿入する際にずれた溝に挿入する虞があった。特に、ウエハは一般的に円盤状をなしているため、半分以上挿入しないと対向する溝に外周の縁部が挿入されないため、ずれた溝同士に挿入されやすいことが考えられる。ウエハの挿入を容易にするため、溝の部分にスロット番号が付されているウエハカセットも知られている。しかし、スロット番号は本体側の色と同じ色で付されて見にくいものであるため、対向する溝同士にウエハを確実に挿入する手段とは言えないのが現状であった。
【０００５】
【特許文献１】特開平５−１７５３２０号公報
【特許文献２】特開２００２−５７２０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は上記状況に鑑みてなされたもので、ウエハを所望の収容部に確実に挿入することができるウエハカセット及びウエハ収容方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するための請求項１に係る本発明のウエハカセットは、ウエハが積層状態に複数枚収容されるウエハカセットであり、ウエハの周縁が溝部に案内されて挿入される収容部が積層状態に複数備えられ、所望の収容部に対してウエハを挿入させる位置決め手段を備えたことを特徴とする。
【０００８】
請求項１に係る本発明では、位置決め手段により所望の収容部にウエハを案内してウエハを所望の収容部に確実に挿入することができる。
【０００９】
そして、請求項２に係る本発明のウエハカセットは、請求項１に記載のウエハカセットにおいて、所望の収容部に隣接する収容部に挿入されているウエハを反挿入方向に移動させるウエハ移動手段を備え、ウエハ移動手段により移動された状態にあるウエハが所望の収容部に対する挿入の基準にされることで位置決め手段が構成されることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る本発明では、隣接する収容部に挿入されているウエハをウエハ移動手段により移動させることにより、移動された状態にあるウエハが所望の収容部に対するウエハの挿入の基準に案内され、所望の収容部に確実にウエハを挿入することができる。
【００１１】
また、請求項３に係る本発明のウエハカセットは、請求項２に記載のウエハカセットにおいて、ウエハ移動手段は、Ｌ字型のＬ字アームが回動自在に支持され、Ｌ字アームの回動により一方側の回動アーム先端がウエハを押すことでウエハを移動させることを特徴とする。
【００１２】
請求項３に係る本発明では、Ｌ字アームを回動させることによりウエハを簡単に移動させることができる。
【００１３】
また、請求項４に係る本発明のウエハカセットは、請求項２に記載のウエハカセットにおいて、ウエハ移動手段は、挿入方向に沿った方向にアームが往復移動自在に支持され、アームの反挿入方向への移動によりアームがウエハを押すことでウエハを移動させることを特徴とする。
【００１４】
請求項４に係る本発明では、アームを往復移動させることによりウエハを簡単に移動させることができる。
【００１５】
また、請求項５に係る本発明のウエハカセットは、請求項２〜請求項４のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、ウエハ移動手段が収容部の積層方向に往復移動自在に支持されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項５に係る本発明では、収容部の積層方向にウエハ移動手段が移動自在となっているので、任意の位置に収容されたウエハを移動させることができる。
【００１７】
また、請求項６に係る本発明のウエハカセットは、請求項２〜請求項５のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、ウエハ移動手段が動作されていない時にウエハの抜け外れを阻止するストッパを備えたことを特徴とする。
【００１８】
請求項６に係る本発明では、ウエハ移動手段が動作されていないウエハの収容時にはストッパによりウエハの抜け外れが阻止されてウエハを確実に収容させることができる。
【００１９】
また、請求項７に係る本発明のウエハカセットは、請求項１に記載のウエハカセットにおいて、位置決め手段は、収容部の積層方向に移動自在に収容部の入口側に備えられ、所望の収容部に隣接する収容部の入口を塞ぐ状態に移動させることで所望の収容部に対するウエハの挿入の基準とされるガイドを備えたことを特徴とする。
【００２０】
請求項７に係る本発明では、所望の収容部に隣接する収容部の入口がガイドにより塞がれてウエハが所望の収容部に案内され、所望の収容部に確実にウエハを挿入することができる。
【００２１】
また、請求項８に係る本発明のウエハカセットは、請求項１に記載のウエハカセットにおいて、収容部はそれぞれ独立したケースで構成され、各ケースはウエハの挿入方向に対して移動自在に支持され、移動状態にされたケースが所望の収容部とされることで位置決め手段が構成されることを特徴とする。
【００２２】
請求項８に係る本発明では、独立したケースを移動させることで、移動させたケースが所望の収容部となり、所望の収容部に確実にウエハを挿入することができる。
【００２３】
また、請求項９に係る本発明のウエハカセットは、請求項１〜請求項８のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、収容部の本体にはスロット番号が付され、本体の下地に対してスロット番号の色を異ならせたことを特徴とする。
【００２４】
請求項９に係る本発明では、下地に対して色が異なるスロット番号により、ウエハの収容位置を容易に認識することができる。
【００２５】
また、請求項１０に係る本発明のウエハカセットは、請求項１〜請求項８のいずれかに記載のウエハカセットにおいて、収容部の本体にはスロット番号が付され、スロット番号が本体の下地に対して凹凸状態で標記されていることを特徴とする。
【００２６】
請求項１０に係る本発明では、下地に対して凹凸状態で標記されたスロット番号により、ウエハの収容位置を容易に認識することができる。
【００２７】
上記目的を達成するための請求項１１に係る本発明のウエハ収容方法は、ウエハを個別に収容する複数の収容部が積層状態に配されたウエハカセットにウエハを挿入するに際し、所望の収容部に隣接した位置で所望の収容部を特定してウエハを所望の収容部に挿入することを特徴とする。
【００２８】
請求項１１に係る本発明では、所望の収容部に隣接した位置で所望の収容部を特定してウエハを案内することができ、ウエハを所望の収容部に確実に挿入することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明のウエハカセット及びウエハ収容方法は、ウエハを所望の収容部に確実に挿入することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
本発明の第１実施形態例を説明する。
【００３１】
図１には本発明の第１実施形態例に係るウエハカセットの概略状況、図２にはウエハカセットの平面視、図３には図２中の要部詳細状況、図４にはウエハが収容された状態の断面、図５にはウエハが移動している状態の断面を示してある。また、図６、図７には位置決め手段の他の実施形態例を示してある。
【００３２】
図１、図２に示すように、ウエハカセット１１は、箱型のカセット本体１を備えている。カセット本体１は上面及び両端面が開放された状態に形成され、カセット本体１の側壁５の内側にはウエハ２が収容される収容部としての溝部３が対向して設けられている。溝部３は上面に対して直交する状態に設けられ、ウエハ２の周縁が溝部３に案内されて上面からウエハ２が挿入される。溝部３はウエハ２が積層状態に収容されるように多数積層して設けられ、溝部３にウエハ２が収容されることにより両端面に平行な状態に多数のウエハ２がウエハカセット１１に積層される。
【００３３】
図３に示すように、ウエハカセット１１には、それぞれの溝部３に対応してカセット本体１には、例えば、５、１０、１５、２０・・のように５の倍数の数字が所定位置に表示されるスロット番号４が付され、スロット番号４はカセット本体１の下地に対して色が異なっている。スロット番号４の色を異ならせたことにより、ウエハ２の収容位置を容易に認識することができる。尚、スロット番号４の色を異ならせる場合、異なる色の番号を着色したり、異なる色の番号のシールを貼付することができる。また、スロット番号４を凹凸状態で標記することも可能であり、更に、凹凸状態で標記して色を異ならせることも可能である。
【００３４】
上述したウエハカセット１１には、ウエハ２を所望の溝部３（収容部）に挿入させるための位置決め手段を備えている。本実施形態例の位置決め手段は、所望の収容部に隣接する収容部に収容部されたウエハ２を移動させ（ウエハ移動手段）、移動しているウエハ２が所望の収容部に対する挿入の基準とされる。
【００３５】
即ち、図１、図４、図５に示すように、ウエハカセット１１のカセット本体１の側壁５にはＬ字型のＬ字アーム１２が回動自在に支持され、図５に示すように、Ｌ字アーム１２を回動させることにより一方側の回動アーム１３の先端によりウエハ２が上側に押され、ウエハ２を上側に移動させることができる。Ｌ字アーム１２は回動端部がスライド機構１４によりウエハ２の積層方向に移動自在に支持され、任意の位置、即ち、所望の収容部に隣接する収容部に収容部されているウエハ２の直下に移動自在とされている。Ｌ字アーム１２の回動端部の支持は、潤滑性に優れた樹脂のガイドレール等を用いることで、容易に移動自在とすることができる。
【００３６】
上述したウエハカセット１１は上面が水平横向きに置かれる必要がある場合には、置かれる際にウエハ２が飛び出さない状態の傾斜台に載せられ、置かれた後に傾斜台の傾斜を所定の状態（上面が水平横向きに置かれる状態）に動作させることが好ましい。これにより、ウエハカセット１１を移動させて載置した時に、収容部されているウエハ２が飛び出すことがない。
【００３７】
上述したウエハカセット１１に１枚目のウエハ２を収容させる場合、スロット番号４を確認しながら所望の対向する溝部３にウエハ２の周縁を挿入する。次のウエハ２を収容する際に、Ｌ字アーム１２を既に収容されているウエハ２の直下に移動させ(図４参照)、図５に示すように、Ｌ字アーム１２を回動させる。Ｌ字アーム１２を回動させることにより回動アーム１３の先端によりウエハ２が上側に押され、ウエハ２が上側に移動する。これにより、ウエハ２が上面から突出している状態にされ、ウエハ２が所望の収容部に対する挿入の基準とされて隣接する収容部に対して新たなウエハ２を確実に挿入することができる。
【００３８】
つまり、溝幅に余裕がある形状に設定されていても、また、円盤状で半分以上挿入しないと対向する溝部３に外周の縁部が挿入されないウエハ２であっても、ずれた溝部３にウエハ２を挿入することがなくなり、対向する溝部３同士に円盤状のウエハ２を確実に挿入することができる。
【００３９】
図示は省略したが、カセット本体１の上面側にはストッパが備えられ、収容部に収容されて移動させる必要のないウエハ２の飛び出しが阻止されている。
【００４０】
尚、位置決め手段（ウエハ移動手段）としては、図６、図７に示すように、棒状のアーム１５の一端をウエハ２の挿入方向に沿った方向（図中上下方向）に往復移動自在に支持し、アーム１５の先端部によりウエハ２を上方に押す構成とすることも可能である。この場合、アーム１５の一端は、スライド機構１６により側壁５に支持され、各収容部の位置で上下ガイド１７により上下方向に往復移動自在に支持されている。
【００４１】
また、位置決め手段としては、収容部の入口側である上面部にウエハ２の積層方向に対して移動自在な蓋部材や長尺部材を備え、蓋部材や長尺部材を移動させることで、塞がれた収容部が所望の収容部の隣接部としてウエハ２の挿入の基準とすることも可能である。
【００４２】
本発明の第２実施形態例を説明する。
【００４３】
図８には本発明の第２実施形態例に係るウエハカセットの概略状況、図９にはウエハが収容された状態の断面、図１０にはウエハが移動している状態の断面を示してある。
【００４４】
図８に示すように、ウエハカセット２１は、箱型のカセット本体２２を備えている。カセット本体２２は上面及び両端面が開放された状態に形成され、カセット本体２２の側壁２３の内側にはウエハ２５が収容されるケースとしての溝ケース２４が独立して収容されている。溝ケース２４はＵ字状の溝部を備えたケースであり、ウエハ２５が積層状態に収容されるように多数の溝ケース２４が積層して設けられている。そして、各溝ケース２４は個別に上下方向（ウエハ２５の挿入方向）に往復移動自在とされている。各溝ケース２４にウエハ２５が挿入されることにより、両端面に平行な状態で多数のウエハ２５が積層される。
【００４５】
図示は省略したが、第１実施形態例と同様に、ウエハカセット２１には、それぞれの溝ケース２４に対応してスロット番号が付されている。
【００４６】
上述したウエハカセット２１には、ウエハ２５を所望の溝ケース２４（収容部）に挿入させるための位置決め手段を備えている。図８〜図１０に示すように、本実施形態例の位置決め手段は、所望の溝ケース２４を移動させることでウエハ２５が挿入される基準とされる。即ち、各溝ケース２４の側部には側壁２３の溝２６を貫通するレバー２７が固定され、所望の溝ケース２４のレバー２７を側壁２３の溝２６に沿って上下させることで、所望の溝ケース２４だけを上側に移動させることができる。
【００４７】
上述したウエハカセット２１にウエハ２５を収容させる場合、所望の溝ケース２４のレバー２７を溝２６に沿って上に移動させることで、所望の溝ケース２４だけが上側に移動する（図１０参照）。これにより、ウエハ２５を挿入する溝ケース２４だけが上面から突出している状態にされ、挿入の基準とされてウエハ２５を確実に挿入することができる。
【００４８】
つまり、溝幅に余裕がある形状に設定されていても、また、円盤状で半分以上挿入しないと溝ケース２４に外周の縁部が挿入されないウエハ２５であっても、ずれた溝ケース２４にウエハ２５を挿入することがなくなり、一つの溝ケース２４に円盤状のウエハ２５を確実に挿入することができる。
【００４９】
尚、溝ケース２４を移動させる手段としては、底面から溝ケース２４を押し上げる手段を備えることも可能である。この場合、各溝ケース２４に対して押し上げる手段を設けたり、所望の溝ケース２４の底面の位置に適宜移動する手段を設けることが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５０】
本発明は、半導体製造工程でウエハを収容するウエハカセット及びウエハカセットへのウエハ収容方法の産業分野で利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１実施形態例に係るウエハカセットの概略構成図である。
【図２】ウエハカセットの平面図である。
【図３】図２中の要部拡大図である。
【図４】ウエハが収容された状態の断面図である。
【図５】ウエハが移動している状態の断面図である。
【図６】他の実施形態例でウエハが収容された状態の断面図である。
【図７】他の実施形態例でウエハが移動している状態の断面図である。
【図８】本発明の第２実施形態例に係るウエハカセットの概略構成図である。
【図９】ウエハが収容された状態の断面図である。
【図１０】ウエハが移動している状態の断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１、２２  カセット本体
２、２５  ウエハ
３  溝部
４  スロット番号
５、２３  側壁
１１、２１  ウエハカセット
１２  Ｌ字アーム
１３  回動アーム
１４、１６  スライド機構
１５  アーム
１７  上下ガイド
２４  溝ケース
【図１】
2007273643.tif 000003
【図２】
2007273643.tif 000004
【図３】
2007273643.tif 000005
【図４】
2007273643.tif 000006
【図５】
2007273643.tif 000007
【図６】
2007273643.tif 000008
【図７】
2007273643.tif 000009
【図８】
2007273643.tif 000010
【図９】
2007273643.tif 000011
【図１０】
2007273643.tif 000012