(57)【要約】【課題】  微小部品の研磨治具を改良して、微小部品保持片を支承しているリーフスプリングのバネ定数を低くすることにより、研磨圧力の制御精度を向上させる。【解決手段】  被研磨部品６を貼着される微小部品保持片２はリーフスプリングを介して研磨治具本体３に取り付けられている。上記のリーフスプリング９を、その中間部で２回折り曲げ、折り返して、中央部付近を折り重ねた形に成形する。これにより、該２回折り返し形リーフスプリング９の全体的形状の長さに比してリーフスプリングとしての実効長さが著しく長くなり、バネ定数が低くなる。その結果、研磨圧力を高精度に制御して研磨品質を向上させることができる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、
ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品を貼着される微小部品保持片と、
上記微小部品保持片からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
上記のリーフスプリングが途中の２カ所で折り返されて、その中央部付近が折り重ねられた形状をなし、該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体に取り付けられていることを特徴とする微小部品の研磨治具。
【請求項２】
ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、
ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品を貼着される微小部品保持片と、
上記微小部品保持片からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
上記のリーフスプリングが中央部付近で折り返されてＵ字状をなし、
該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体に取り付けられていることを特徴とする微小部品の研磨治具。
【請求項３】
ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、
ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品を貼着される微小部品保持片と、
上記微小部品保持片からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
上記リーフスプリング中央部付近、もしくは、両端部を除く大半の部分が、上下に屈曲する波形をなしており、
該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体に取り付けられていることを特徴とする微小部品の研磨治具。
【請求項４】
多数の微小部品保持片が水平方向に配列されており。
かつ、それぞれの微小部品保持片の頂面に対向せしめてエアシリンダが配置されていて、微小部品保持片ごとに下向きの研磨圧力が付勢されていることを特徴とする、請求項１ないし請求項３の何れかに記載した微小部品の研磨治具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば磁気ディスク用スライダのようにミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するために用いられる治具に関するものであって、特に、被研磨部品を浮動的に支持し得るように改良したものである。
【背景技術】
【０００２】
図２は従来例の微小部品研磨治具１を示し、（Ａ）は部分的な外観斜視図、（Ｂ）は垂直断面図である。これらの図は、通常使用される状態の姿勢で描いてある。
説明の便宜上、この状態を基準にして上下を呼称する。
なお、本願の添付図面は、構造機能を理解し易いように模式化して描いてあるので、写実的な投影図ではない（微細な部分を拡大してある）。
【０００３】
図２（Ａ）に示すように多数の微小部品保持片２が、その長手方向を垂直ならしめて、
研磨治具本体３に取り付けられている。
後に図２（Ｂ）を参照して詳述するように、それぞれの微小部品保持片２はリーフスプリングによって研磨治具本体３に取り付けられていて、これらの微小部品保持片２それぞれの下面に被研磨部品が貼着される（この図では隠れている）。
【０００４】
（図２（Ｂ）参照）微小部品保持片２から研磨治具本体３に向けて水平に延出する形に
２枚のリーフスプリング４が固着されている。
上記のリーフスプリング４は、取付溝５内に位置して、その一端を溝底に固着されるとともに、その他端を微小部品保持片２に固着されている。
上述の構造によって、微小部品保持片２は研磨治具本体３い対して浮動的に支承されている。これら多数の微小部品保持片２それぞれの下面に、被研磨部品６が粘着性ウレタンシートで貼着される。
符号７を付して示したのは、微小部品保持片２の上下動のストロークを制限している構成部分である。
【０００５】
研磨治具本体３を保持すると、微小部品保持片２の下面に貼着された被研磨部品６が浮動的に支承される。
この状態で、微小部品保持片２の上方に設けられたエアシリンダ８により、付記矢印のように下向きの力を付勢して、被研磨部品６に対して研磨圧力を与える。
このようにして、多数の被研磨部品６が一緒に研磨される。
【特許文献１】特開２００５−８８１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
微小部品を高精度で研磨するには研磨圧力を与えるための押付け荷重を厳密に制御しなければならない。こにため、リーフスプリングのバネ定数を少なくすることが望まれる。
バネ定数を下げるには、ａ．リーフスプリングの厚さ寸法を薄くすること、ｂ．リーフスプリングの長さ寸法を長くすること、および、ｃ．リーフスプリングの幅寸法を狭くすること、が考えられる。しかし、これらの方法は、いずれも決して容易ではない。
すなわち、ａ．リーフスプリングの厚さ寸法を薄くするには機械的加工の限界が有り、
ｂ．リーフスプリングの長さ寸法を長くすると微小部品研磨治具の全体が大型になり、
ｃ．リーフスプリングの幅寸法を狭くすることは、被研磨部品の寸法との関係で制限される（あまり幅狭にすると線条に近くなり、リーフスプリングとしての特性が失われる）。
【０００７】
本発明は以上に述べた事情に鑑みて為されたものであって、その目的とするところは、
微小部品研磨治具の全体的な形状寸法を増加させることなく、リーフスプリングのバネ定数を低くして、微小部品の研磨精度を向上せしめるにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために創作した本発明の基本的な原理について、その１実施形態に対応する図（Ａ）を参照して略述すると次の通りである。
微小部品研磨治具において微小部品保持片を支承するリーフスプリングは、水平方向に設置され、水平方向の最大寸法を制限される。この制限寸法の範囲内でリーフスプリングの実効長さ寸法を延長してバネ定数を低くするため、本発明のリーフスプリング（９）は、その途中で折り曲げて、中央部付近を折り重ねる。
【０００９】
上述の原理に基づく具体的な構成として請求項１に係る発明治具は、（図１参照）
ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品（６）を貼着される微小部品保持片（２）と、上記微小部品保持片（２）からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
上記のリーフスプリング（５）が途中の２カ所で折り返されて、その中央部付近が折り重ねられた形状をなし、該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片（２）に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体（３）に取り付けられていることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に係る発明治具の構成は、ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、
ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品（６）を貼着される微小部品保持片（２）と、
上記微小部品保持片（２）からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
（図１（Ｃ）参照）上記のリーフスプリング（１０）が中央部付近で折り返されてＵ字状をなし、
該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片（２）に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体（３）に取り付けられていることを特徴とする。    
【００１１】
請求項３に係る発明治具の構成は、ミリメートルオーダーないしマイクロメートルオーダーの微小部品を研磨するための治具であって、
ほぼ垂直に支持され、底面に被研磨部品（６）を貼着される微小部品保持片（２）と、
上記微小部品保持片（２）からほぼ水平方向に延出して該微小部品保持片を支持するリーフスプリングとを具備するものにおいて、
（図１（Ｄ）参照）上記リーフスプリング（１１）の中央部付近、もしくは、両端部を除く大半の部分が、上下に屈曲する波形をなしており、
該リーフスプリングの片方の端が前記微小部品保持片（２）に固着されるとともに、その他方の端が研磨治具本体（３）に取り付けられていることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に係る発明治具の構成は、前記請求項１ないし請求項３の発明治具の構成要件に加えて、
多数の微小部品保持片（２）が水平方向に配列されており。
かつ、それぞれの微小部品保持片の頂面に対向せしめてエアシリンダ（８）が配置されていて、微小部品保持片ごとに下向きの研磨圧力が付勢されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１の発明治具を適用すると、微小部品保持片を支承するリーフスプリングが、中間部の２箇所で折り曲げられて、その中央部付近が折り重ねられているので、全体的形状の長さ寸法に比して、リーフスプリングとしての実効長さが格段に長く、従ってバネ定数が低い。
これにより、研磨圧力を高精度に制御することができる。
【００１４】
請求項２の発明治具を適用すると、微小部品保持片を支承するリーフスプリングが、中央部付近で折り曲げられてＵ字状をなしているので、全体的形状の長さ寸法に比して、リーフスプリングとしての実効長さが格段に長く、従ってバネ定数が低い。
これにより、研磨圧力を高精度に制御することができる。
【００１５】
請求項３の発明治具を適用すると、微小部品保持片を支承するリーフスプリングが、両端部を除いて波形に成形されているので、全体的形状の長さ寸法に比して、リーフスプリングとしての実効長さが格段に長く、従ってバネ定数が低い。
これにより、研磨圧力を高精度に制御することができる。
【００１６】
請求項４の発明を前記請求項１ないし請求項３の何れかの発明治具に適用すると、多数の微小部品保持片のそれぞれがバネ定数の低いリーフスプリングで支承されるとともに、
該多数の微小部品保持片のそれぞれがエアシリンダによって下向きの力を付勢されているので、これら多数の微小部品保持片のそれぞれに対して被研磨部品を貼着固定することにより、多数の被研磨部品を一緒に研磨することができ、高精度高能率の研磨作業が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明に係る微小部品研磨治具の１実施形態を説明する。本実施形態の全体的な外観は、前掲の図１（Ａ）に示した従来例の微小部品研磨治具と同様である。
図１（Ａ）は本発明の１実施形態における模式的な垂直断面図であって、従来例における図２（Ｂ）に対応する。
次に、この図１（Ａ）が図２（Ｂ）に比して異なる点、すなわち本発明を適用して改良した事項を抽出して説明する。
【００１８】
従来例のリーフスプリング４は短冊形と呼ばれる細長い長方形のの部材であった。
本発明のリーフスプリング９は、上記短冊形のリーフスプリング４に比して、幅寸法および厚さ寸法がほぼ同じで、長さ寸法が約２倍半になっており、かつ、その中間部の２箇所で折り曲げ、折り返してある。このため、両端部を除いて三重に折り重ねられている。  この２回折り返し形リーフスプリング９の単品拡大図を図１（Ｂ）に示す。
【００１９】
上記の構成により、本発明における２回折り返し形リーフスプリング９の実効長さは、従来例に比して３倍弱に、少なくとも２倍半以上に構成することができる、リーフスプリングのバネ定数は、長さの３乗に反比例するので、本発明の適用によってバネ定数が著しく減少する。
バネ定数の減少によって研磨圧の制御が高精度になり、微小部品の研磨品質が著しく向上する。
【００２０】
図１（Ａ）および図１（Ｂ）を参照して以上に述べたように、２回折り返し形リーフスプリング９で支承されている微小部品保持片２を、図２（Ａ）のように多数配列するとともに、それぞれの微小部品保持片２に対して図２（Ｂ）に示したエアシリンダ８を配置して下向きの力を付勢すると、多数の被研磨部品６を一緒に高精度で研磨仕上げすることができる。
このような特長により、本発明に係る微小部品研磨治具は、従来例の微小部品研磨治具に対して互換性を有している。
従って、既設の研磨装置に改造を加えることなく、微小部品研磨治具だけを改良品に交換することができて便利であり、かつ経済的である。
【００２１】
図１（Ｃ）は、前掲の図１（Ｂ）に示した実施形態の変形例を描いた模式図であって、折り返し回数を１回にし、ほぼＵ字状に成形してある。この変形例に係る１回折り返し形リーフスプリング１０は、従来例に比してリーフスプリングとしての実効長さの増加は２倍弱であるが、バネ定数が長さの３乗に反比例するので、バネ定数の減少効果はきわめて大きい。
この１回折り返し形リーフスプリング１０は前述の２回折り返し形リーフスプリング９に比して、取付溝５の溝幅が比較的狭くて足り、リーフスプリング自身の慣性力が小さいという利点が有る。
図示を省略するが、リーフスプリングの折り返し回数を４以上にすることも不可能ではない。しかし、バネ定数の減少効果について考察すると、１回折り返し形でも満足することができ、２回折り返し形にすれば充分である。
【００２２】
図１（Ｄ）は、さらなる変形例を示す。本例の波形リーフスプリング１１は、両端部以外の部分が波形に成形されている。本実施形態を適用する場合、どれだけの部分を波形に成形するかは設計的な配慮に属し、どのように設定しても本発明の技術的範囲を回避し得るものではない。
本例のように波形に構成しても、リーフスプリングの全体的な外形の長さに比して実効長さを増加させる事ができ、バネ定数を減少させて研磨圧力を高精度に制御して研磨品質を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明に係る微小部品研磨治具を示し、（Ａ）は１実施形態の模式的な断面図、（Ｂ）は上記の実施形態における２回折り返し形リーフスプリングの単品拡大図、（Ｃ），（Ｄ）はそれぞれ変形例におけるリーフスプリングの単品図
【図２】微小部品研磨治具の従来例を示し、（Ａ）は部分的な外観斜視図、（Ｂ）は垂直断面図
【符号の説明】
【００２４】
１…微小部品研磨治具、２…微小部品保持片、３…研磨治具本体、４…リーフスプリング、５…取付溝、６…被研磨部品、７…ストローク制限部、８…エアシリンダ、９…２回折り返し形リーフスプリング、１０…１回折り返し形リーフスプリング、１１…波形リーフスプリング。
【図１】
2007160429.tif 000003
【図２】
2007160429.tif 000004