(57)【要約】【課題】紫外光に反応する蛍光物質を混入させたシール材を使用して、紫外光をシール部に照射することによって検査する場合には、基板上に形成されたＴＦＴ素子の特性に悪影響を及ぼす。【解決手段】１対の基板（１１、１２）に紫外光を照射する紫外光照射器１５と、紫外光照射器１５により紫外光が照射されている１対の基板（１１、１２）の画像を取得するＵＶカメラ１６と、紫外光照射器１５により１対の基板（１１、１２）に紫外光を照射されるための照射時間を計時する計時部と、画像を用いてシール部１３のシール状態を検査する制御装置１９とを備え、ＵＶカメラ１６は、計時部により計時される時間が、１対の基板（１１、１２）に紫外光を照射するための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器１５により紫外光が照射されている１対の基板（１１、１２）の画像を取得する。【選択図】図１
2007108561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わせている１対の基板のシール材を硬化させて、前記１対の基板のシール部のシール状態を検査するシール検査装置において、
前記１対の基板を保持する基板保持部と、
該基板保持部により保持されている前記１対の基板に紫外光を照射する紫外光照射器と、
該紫外光照射器により紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を取得する画像取得部と、
前記紫外光照射器により前記１対の基板に紫外光を照射されるための照射時間を計時する計時部と、  
前記画像取得部により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いて前記シール部のシール状態を検査する検査部とを備え、
前記画像取得部は、前記計時部により計時される時間が、前記シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、前記紫外光照射器により紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を取得することを特徴とするシール検査装置。
【請求項２】
前記１対の基板を搬入するとともに、該１対の基盤を搬出する基板搬送部と、
前記基板保持部は、前記基板搬送部により搬入された前記１対の基板を保持することを特徴とする請求項１に記載のシール検査装置。
【請求項３】
紫外光を照射すると硬化するシール材を用いて第１の基板と第２の基板からなる１対の基板を貼り合わせ、その貼り合わせた後の前記１対の基板のシール部のシール状態を検査するシール検査装置において、
前記第1の基板および前記第２の基板を個別に搬入するとともに、該第１の基板と第２の基板からなる１対の基盤を搬出する基板搬送部と、
該基板搬送部により搬入された前記基板を保持する基板保持部と、
該基板保持部により保持されている前記第１の基板上にシール材を塗布するシール材塗布部と、
前記基板搬送部は、前記第２の基板を搬入し、シール材が塗布された前記第１の基板上に前記第２の基板を貼り合わせ、
前記基板保持部により保持されている前記１対の基板に紫外光を照射する紫外光照射器と、
該紫外光照射器により紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を取得する画像取得部と、
前記紫外光照射器により前記１対の基板に紫外光を照射されるための照射時間を計時する計時部と、
前記画像取得部により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いて前記シール部のシール状態を検査する検査部とを備え、
前記画像取得部は、前記計時部により計時される時間が、前記シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、前記紫外光照射器により紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を取得することを特徴とするシール検査装置。
【請求項４】
前記シール材は、加熱すると硬化し、
前記基板保持部により保持されている前記１対の基板を加熱する加熱部を、さらに備え
、
前記加熱部は、少なくとも前記シール部を加熱することが可能である請求項１から請求項３のいずれかに記載のシール検査装置。
【請求項５】
前記紫外光照射器により照射される紫外光を遮断するマスクを、さらに備え、
該マスクは、前記紫外光照射器から照射される紫外光が前記１対の基板の前記シール部のみに照射されるように、前記紫外光照射器から照射される紫外光を遮断することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載のシール検査装置。
【請求項６】
紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わせている１対の基板の前記シール材を硬化させて、前記１対の基板のシール部のシール状態を検査するシール検査方法において、
前記１対の基板に紫外光を照射し、前記シール部を硬化させるシール部硬化工程と、
紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を撮像器を用いて取得する画像取得工程と、
該画像取得工程により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いて前記シール部のシール状態を検査する検査工程とを備え、
前記画像取得工程は、前記シール部硬化工程により前記１対の基板に紫外光が照射された時間が、前記シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、前記紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を撮像器を用いて取得することを特徴とするシール検査方法。
【請求項７】
紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わせている第１の基板と第２の基板からなる１対の基板のシール部のシール状態を検査するシール検査方法において、
前記第１の基板上にシール材を塗布するシール材塗布工程と、
前記シール材が塗布された前記第１の基板上に前記第２の基板を貼り合せる貼り合わせ工程と、
前記１対の基板に紫外光を照射し、前記シール部を硬化させるシール部硬化工程と、
紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を撮像器を用いて取得する画像取得工程と、
該画像取得工程により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いて前記シール部のシール状態を検査する検査工程とを備え、
前記画像取得工程は、前記シール部硬化工程により前記１対の基板に紫外光が照射された時間が、前記シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光が照射されている前記１対の基板の画像を撮像器を用いて取得することを特徴とするシール検査方法。
【請求項８】
前記シール部を硬化させるための全照射時間は、あらかじめ定まった時間であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のシール検査装置。
【請求項９】
前記シール部を硬化させるための全照射時間は、あらかじめ定まった時間であることを特徴とする請求項６または請求項７に記載のシール検査方法。
【請求項１０】
前記撮像器は、紫外光領域にのみ感度を有することを特徴とする請求項６または請求項７に記載のシール検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シール検査に関し、特に、紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わされている貼り合わせ基板のシール材を硬化させて、貼り合わせ基板のシール部のシール状態を検査するシール検査装置、シール検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の液晶パネルの製造方法としては、カラーフィルタ基板かＴＦＴ基板のどちらか一方にシール材を塗布し、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とをシール材を介して貼り合わせ、シール材を硬化させた後に、前記２枚の基板とシール材とで囲まれる領域に液晶を注入する手法が用いられていた。
【０００３】
また、最近の液晶パネル製造方法としては、カラーフィルタ基板かＴＦＴ基板のどちらか一方にシール材を塗布した後に、まずシール材で囲まれる領域に液晶を滴下し、その後にカラーフィルタ基板とＴＦＴ基板とを貼り合わせ、シール材の硬化を行なう手法がある。
【０００４】
前記のいずれの製造方法においてもシール材としては、低温での硬化が可能な紫外線硬化樹脂や紫外線熱硬化樹脂などが使用されている。
【０００５】
シールに関する欠陥の一つとしては、シール部の途切れによる液晶材料の洩れがある。
また他のシール欠陥として、貼り合わせ後のシール部の線幅が不均一な場合には、カラーフィルタ基板とＴＦＴ基板との間隔が不均一になり、これが結果として表示斑などの欠陥につながる。
【０００６】
さらに考えられるシール欠陥としては、貼り合わせ後のシール部の線幅が太り過ぎた時に生じる。シール部はブラックマトリックス（ＢＭ）部の外周に隣接しており、シール部が太り過ぎるとカラーフィルタ基板のＢＭ部と重なる。ＢＭ部は一般的に紫外線を透過しないため、紫外線硬化時にＢＭ部と重なったシール部の硬化が不完全になる。硬化が不完全なシール部と液晶材料が接触すると液晶材料が汚染され、液晶中に不純物が生成されるため、結果として表示斑などが生ずることとなる。
【０００７】
上記のようなシール欠陥を検出するためのシール検査方法として、たとえば、貼り合わせ前であるシール材の塗布直後の状態をカメラで撮像し、画像処理によってシール部の途切れを検出するものがあった（特許文献２）。
【０００８】
しかし、貼り合わせ前の検査であるため、当然ではあるが貼り合わせ後のシール部の線幅状態を検査することは不可能であった。よって、貼り合わせ前よりも貼り合わせ後にシール検査を行なう方が適切である。
【０００９】
また、貼り合わせ後のシール検査方法としては、たとえば、一方の基板の内表面に目盛りを形成し、前記目盛りを利用して線幅を計測するものがあった（特許文献３）。
【００１０】
しかし、目盛りがある部分の線幅のみしか計測することができないということと、このシール検査方法は、ルーペ等を用いた検査員による検査を想定したものであった。
【００１１】
ここで、形成した目盛りを利用して画像処理によって検査する方法が考えられる。この検査方法では、貼り合わせ後の基板に可視光を照射し、可視光カメラで基板を撮像する。そして、撮像した画像に対する画像処理によってシール部の領域を抽出する。
【００１２】
しかし、貼り合わせ後のシール部は基板上の配線パターンと重なっており、前記配線パターンは場所によって異なるために、画像処理によってシール部のみを抽出することが困難である。
【００１３】
そこで、シール材中に蛍光物質を含有させ、照明によって発色させることでシール部のみを抽出可能な技術があった（特許文献１）。
【００１４】
これは、可視光照明と可視光に対する蛍光物質とを用いた場合と、紫外光と紫外光に対する蛍光物質を用いた場合とに関する発明であり、蛍光物質を用いることでシール部を容易に検出できるというものである。
【特許文献１】特開２００１−２９６５３２号公報
【特許文献２】特開２００２−３５０８７６号公報
【特許文献３】特開平８−１０６１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら特許文献１に記載の発明においても、紫外光に反応する蛍光物質を混入させたシール材を使用して、紫外光をシール部に照射することによって検査機または目視で検査する場合には、ＴＦＴ基板に紫外光を過度に照射すると、基板上に形成されたＴＦＴ素子の特性が劣化し、表示に斑が生じるなどの悪影響を及ぼすという問題が生じる。つまり、検査のために紫外光を照射することは製品の品質低下につながる。
【００１６】
また、特許文献１に記載の発明においては、蛍光物質をシール材に混入させているが、紫外線硬化型樹脂または紫外線熱硬化型樹脂に紫外光を照射して硬化が進行したシール材は、紫外光をシール部に照射して、紫外光（ＵＶ）カメラでシール部を撮像すると、その画像は、シール部が周辺領域よりも明るく撮像されるため、蛍光物質をシール材に混入させることなく、シール部のみを抽出ことが可能である。よって、蛍光物質にかける費用が無駄となっている。
【００１７】
そこで、本発明は、製品の品質低下を極力防止し、かつ作業工程の単純化・短時間化を図ることができるシール検査装置、シール検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は上記課題を解決するために、１対の基板（たとえば、貼り合せ基板１０１）を保持する基板保持部と、該基板保持部により保持されている１対の基板に紫外光を照射する紫外光照射器と、該紫外光照射器により紫外光が照射されている１対の基板の画像を取得する画像取得部（たとえば、ＵＶカメラ１６）と、紫外光照射器により１対の基板に紫外光を照射されるための照射時間を計時する計時部と、画像取得部により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いてシール部のシール状態を検査する検査部（たとえば、制御装置１９）とを備え、画像取得部は、計時部により計時される時間が、シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器により紫外光が照射されている１対の基板の画像を取得するものである。
【００１９】
さらに、１対の基板を搬入および１対の基板を搬出する基板搬送部と、基板保持部は、基板搬送部により搬入された１対の基板を保持するものである。
【００２０】
また、第1の基板（たとえば、ＴＦＴ基板１１）および第２の基板（たとえば、カラーフィルタ基板１２）を搬入および１対の基板を搬出する基板搬送部と、該基板搬送部により搬入された基板を保持する基板保持部と、該基板保持部により保持されている第１の基板上にシール材を塗布するシール材塗布部と、基板搬送部は、第２の基板を搬入し、シール材が塗布された第１の基板上に第２の基板を貼り合わせ、基板保持部により保持されている１対の基板（たとえば、貼り合せ基板１０１）に紫外光を照射する紫外光照射器と、該紫外光照射器により紫外光が照射されている１対の基板の画像を取得する画像取得部（たとえば、ＵＶカメラ１６）と、紫外光照射器により１対の基板に紫外光を照射されるための照射時間を計時する計時部と、画像取得部により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いてシール部のシール状態を検査する検査部（たとえば、制御装置１９）とを備え、画像取得部は、計時部により計時される時間が、シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器により紫外光が照射されている１対の基板の画像を取得するものである。
【００２１】
さらに、シール材は、加熱すると硬化し、基板保持部により保持されている１対の基板を加熱する加熱部を、さらに備え、加熱部は、少なくともシール部を加熱するものである。
【００２２】
さらに、紫外光照射器により照射される紫外光を遮断するマスクを、さらに備え、該マスクは、紫外光照射器から照射される紫外光が１対の基板のシール部のみに照射されるように、紫外光照射器から照射される紫外光を遮断するものである。
【００２３】
また、前記１対の基板に紫外光を照射し、シール部を硬化させるシール部硬化工程と、紫外光が照射されている１対の基板の画像を撮像器（たとえば、ＵＶカメラ１６）を用いて取得する画像取得工程と、該画像取得工程により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いてシール部のシール状態を検査する検査工程とを備え、画像取得工程は、シール部硬化工程により１対の基板に紫外光が照射された時間が、シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光が照射されている１対の基板の画像を撮像器を用いて取得するものである。
【００２４】
また、第１の基板上にシール材を塗布するシール材塗布工程と、シール材が塗布された第１の基板上に第２の基板を貼り合せる貼り合わせ工程と、１対の基板に紫外光を照射し、シール部を硬化させるシール部硬化工程と、紫外光が照射されている１対の基板の画像を撮像器を用いて取得する画像取得工程と、該画像取得工程により取得された画像を受信し、その受信した画像を用いてシール部のシール状態を検査する検査工程とを備え、画像取得工程は、シール部硬化工程により１対の基板に紫外光が照射された時間が、シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光が照射されている１対の基板の画像を撮像器（たとえば、ＵＶカメラ１６）を用いて取得するものである。
【００２５】
また、シール部を硬化させるための全照射時間は、あらかじめ定まった時間であり、また、撮像器は、紫外光領域にのみ感度を有するものである。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、画像取得部により、計時手段（図示略）により計時される時間が、シール部を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器により紫外光が照射されている１対の基板の画像を取得するので、過度の紫外光の照射によって、基板の特性に悪影響を及ぼすことはなく、検査のための別途行なう紫外光の照射による製品の品質低下を防止することができる。
【００２７】
さらに、紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わせている１対の基板の画像を、紫外光照射器により紫外光が照射して取得すれば、あえて蛍光物質を混入することなく、１対の基板のシール部が周辺領域より明るく撮像されるため、検査に要するコストの低減を図ることができるとともに、検査工程の単純化・短時間化を図ることができる。  
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
＜実施の形態１＞
以下、本発明の第１の実施形態におけるシール検査装置およびそれを用いたシール検査方法について、図面を参照しながら説明する。
【００２９】
図１は、本発明の第１の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
このシール検査装置１００は、ステージ１０、マスク１４、紫外光照射器１５、ＵＶカメラ１６、基板搬送部１７、基板保持部１８、制御装置１９から構成されている。  
【００３０】
ステージ１０は、シール検査装置１００の土台となるものであり、通常シール検査装置１００の最下部に配置されている。
【００３１】
基板保持部１８は、ＴＦＴ基板１１を保持するものである。この基板保持部１８は、ステージ１０の上部に配置され、ＴＦＴ基板１１を保持している。
【００３２】
なお、基板保持部１８は、ＴＦＴ基板１１とシール部１３を介し、カラーフィルタ基板１２をも保持している。
【００３３】
基板搬送部１７は、ＴＦＴ基板１１とカラーフィルタ１２からなる貼り合わせ基板１０１をシール検査装置１００に搬入・搬出するものである。この基板搬送部１７は、図示しない駆動部により動力が与えられ基板を搬送する。
【００３４】
紫外光照射器１５は、カラーフィルタ基板１２の上部から紫外光を照射するものである。シール部１３を構成するシール材は、後述するように紫外光を照射すると硬化する性質を有しているため、この紫外光照射器１５から紫外光が照射されることにより硬化する。
【００３５】
この紫外光照射器１５は、図示しない紫外光照射器保持部によって保持されており、シール検査装置１００に備えられている紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、紫外光照射器１５から貼り合わせ基板１０１に紫外光が照射される。
【００３６】
この貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射する時間（照射時間）は、あらかじめ定まっており、紫外光照射器１５からの紫外光の照射は、紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されて照射が開始し、シール部１３を硬化させるための全照射時間が経過することにより終了する。
【００３７】
なお、紫外光照射開始ボタン（図示略）は、上記ではシール検査装置１００に備えられていると説明したが、それに限らず、シール検査装置１００外に備えられているものでもよい。
【００３８】
紫外光照射器１５により紫外光を照射されるための照射時間の計時は、計時手段（図示略）により行なわれ、紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されることにより、計時手段（図示略）により照射時間がカウントされる。この照射時間のカウント方法は、０からカウントし、全照射時間になれば貼り合わせ基板１０１への照射を終了するようにしてもよいし、また逆に、シール部を硬化させるための全照射時間からマイナスして、０になれば照射を終了するようにしてもよい。
【００３９】
この照射時間は、表示手段（図示略）に表示される。表示手段（図示略）により表示される照射時間は、紫外光を照射させる全照射時間を表示してもよいし、上述したような計時手段（図示略）の計時値（カウント値）を表示してもよい。
【００４０】
この照射時間は、図示しないが手動または自動的に変更することができるようになっている。変更は変更手段（図示略）により行なわれる。
【００４１】
なお、紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、計時手段（図示略）の照射時間がカウントされると説明したが、必ずしも紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することによって、計時手段（図示略）の計時時間のカウントが開始されるものに限るものではなく、たとえば、ＯＮ、ＯＦＦ切換え式の紫外光照射開始スイッチをＯＮにすることにより、計時手段（図示略）の計時時間のカウントが開始されるようにしてもよい。
【００４２】
マスク１４は、紫外光照射器１５からの紫外光が照射される領域を限定するために、紫外光照射器１５により照射される紫外光を遮断するものである。このマスク１４により、紫外光が照射することが必要でない領域には紫外光が照射されなくなる。
【００４３】
ＵＶカメラ１６は、紫外光が照射されている基板（カラーフィルタ基板１２とＴＦＴ基板１１からなる貼り合せ基板１０１）を撮像するカメラであり、紫外光が照射されている領域（紫外領域）のみに感度を有する。このＵＶカメラ１６は、図示しないＵＶカメラ保持部により保持されている。
【００４４】
本実施形態のＵＶカメラ１６は、計時手段（図示略）により計時される時間が、シール部１３を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間（撮像タイミング）になったときに、紫外光照射器１５により紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１を撮像する。ここで、全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間というのは、紫外光照射器１５により貼り合わせ基板１０１に紫外光が照射される所定の残存時間をたとえばＡとした場合には、撮像タイミングは、全照射時間−Ａの式により求めることができる。この場合のあらかじめ定まった時間は、Ａである。
【００４５】
本実施形態では、残存時間が１秒から５秒のとき（好ましくは１秒のとき）に、ＵＶカメラ１６により、紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１が撮像されるので、この撮像タイミングを求める計算式は、全照射時間−１秒となる（撮像タイミングのときの残存時間が１秒のとき）。
【００４６】
このように計時手段（図示略）により計時される時間が撮像タイミングになった場合には、撮像タイミングになったことが撮像タイミング検知手段（図示略）により検知され、その撮像タイミング検知手段（図示略）からの検知信号を受けて、ＵＶカメラ１６により紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１が撮像される。
【００４７】
制御装置１９は、入出力部２０、演算処理部２１、メモリ２２とを有するものである。
入出力部２０は、ＵＶカメラ１６により撮像された画像を制御装置１９内に入力（受信）するとともに、撮像タイミングになったときにＵＶカメラ１６に対し貼り合わせ基板１０１を撮像する旨の撮像信号を出力（送信）するものである。なお、ＵＶカメラ１６により撮像された画像は、ＵＶカメラ１６から送信（出力）される。
【００４８】
メモリ２２は、ＵＶカメラ１６から送信された画像などを保存するものである。演算処理部２１は、メモリ２２に保存された画像を用いて、シール検査の演算処理を行なうものである。具体的には、後述する処理を行なう。
【００４９】
カラーフィルタ基板１２は、ＲＧＢ（赤、緑、青）を三原色とするカラーフィルタを利用した基板である。ＴＦＴ基板１１は、薄膜状のトランジスタを利用した基板である。
【００５０】
なお、シール部１３は、紫外線硬化型樹脂または紫外線熱硬化型樹脂などを成分とするシール材から構成されている。
【００５１】
図２は、本発明の第１の実施形態における紫外光照射器を用いて、シール部に紫外光を照射する方法を説明する図である。
【００５２】
紫外光照射器１５は、図２に示すようにマスク１４の開口部１０２と略同一形状をしている。紫外光照射器１５からの紫外光は、開口部１０２を介し貼り付け基板１０１に照射される。
【００５３】
この紫外光照射部１５から照射された紫外光は、紫外光を照射することが必要でない部分については、マスク１４により紫外光が遮断され、紫外光を照射することが必要な部分（シール部１３の領域）について、マスク１４の開口部１０２から紫外光が照射される。
【００５４】
このマスク１４は、図２に示すように紫外光が照射することが必要でない領域をマスクし、紫外光が照射されないようにしている。
【００５５】
図３は、本発明の第１の実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。また、見方をかえれば、図３は、本発明の第１の実施形態のシール検査方法を用いた液晶表示素子の製造方法を示す図ということもできる。以下、図３を参照してシール検査方法について説明する。
【００５６】
図３では、あらかじめＴＦＴ基板１１上にシール材を塗布した後に、そのＴＦＴ基板１１上にカラーフィルタ基板１２を位置決めし、貼り合わせている。この貼り合わせた状態のものを本実施形態では、上述したように貼り合わせ基板１０１とよぶ。
【００５７】
ＳＴＥＰ１０１においては、シール硬化前の貼り合わせ基板１０１を、基板搬送部１７で保持し、駆動部の駆動力によって基板搬送部１７を移動させて、基板保持部１８上に搬入する。
【００５８】
なお、この基板保持部１８上に搬入されたシール硬化前の貼り合わせ基板１０１の位置は、マスク１４の開口部１０２がシール部１３と一致するように、すなわち、紫外光照射器１５からの紫外光が、マスク１４の開口部１０２を介し、シール部１３に照射されるように決定する。
【００５９】
ＳＴＥＰ１０３において、紫外光照射器１５によって、シール硬化前の貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射する。具体的には、使用者によって紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されることにより、貼り合わせ基板１０１に紫外光の照射が開始される。
【００６０】
本実施の形態においては、マスク１４の開口部１０２を介して、貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射することにより、必要でない領域への紫外光照射による品質の低下を防いでいる。
【００６１】
ＳＴＥＰ１０５において、ＵＶカメラ１６によって、紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１を撮像する。この貼り合わせ基板１０１を撮像するタイミング（撮像タイミング）は、上述した計時手段（図示略）により計時される時間が、あらかじめ設定された全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったタイミングであり、紫外光照射器１５による紫外光の照射が終了する直前である。たとえば、撮像タイミングは、紫外光の照射が終了する１秒から５秒前であり、本実施形態では１秒前としている。
【００６２】
具体的には、上述した紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、紫外光照射器１５からカラーフィルタ基板１２に紫外光が照射されるとともに、計時手段（図示略）による照射時間の計時が開始される。そして、貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射しつづけ、照射時間の残存時間が撮像タイミングになった場合（本実施形態では、残存時間が１秒になったとき）には、撮像タイミングになったことを撮像タイミング検知手段（図示略）により検知され、その撮像タイミング検知手段（図示略）からの検知信号を受けて、制御装置１９からＵＶカメラ１６に撮像信号が送信され、ＵＶカメラ１６により紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１の撮像が行なわれる。
【００６３】
ＳＴＥＰ１０５により、撮像された画像（画像データ）は、ＵＶカメラ１６から制御装置１９に送信され、制御装置１９の入出力部２０を介して、制御装置１９のメモリ２２に保存される。
【００６４】
なお、この制御装置１９のメモリ２２に保存されている画像として、本実施形態ではモノクロ画像とし、その画像のサイズは横６４０画素、縦４８０画素のＶＧＡサイズのものを用いている。ただし、メモリ２２に保存されている画像として、モノクロ画像に限定するものでなく、また、その画像のサイズもＶＧＡサイズに限定するものでない。
【００６５】
ＳＴＥＰ１０７において、貼り合わせ基板１０１の撮像が終了し、あらかじめ設定された全照射時間が経過することにより、紫外光照射器１５による貼り合わせ基板１０１への紫外光の照射が終了（完了）する。
【００６６】
ＳＴＥＰ１０９において、制御装置１９により、メモリ２２に保存された画像を用いてシール部１３の検査が行なわれる。
【００６７】
ＵＶカメラ１６により撮像した画像は、貼り合わせ基板１０１のシール部１３が貼り合わせ基板１０１のシール部１３の周辺の領域（シール部周辺領域）よりも明るく撮像されている。
【００６８】
本実施形態のシール部１３の検査では、貼り合わせ基板１０１のシール部１３がシール部周辺領域よりも明るく撮像されている性質を利用し、１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３のみを抽出することによって、シール部１３の途切れやシール部１３の幅を計測している。
【００６９】
しかし、ＵＶカメラ１６により撮像された画像のシール部１３の明るさの程度（輝度値）は、シール部１３と重なっているＴＦＴ基板１１上の配線パターンとの関係で大きく変化（依存）するので、上述した１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３のみ（すべてのシール部１３について）を抽出することが困難な場合がある。この場合は、撮像された画像中のシール部１３（シール部領域）を複数の領域に分割し、その分割されたシール部１３の領域ごとに、それぞれ適した２値化閾値を用いて２値化することによりシール部１３を抽出する。
【００７０】
シール部１３のそれぞれの領域に適した２値化閾値は、画像処理において公知の技術である判別分析法を用いて決定する。
【００７１】
なお、本実施形態では、シール部１３のそれぞれの領域に適した２値化閾値の決定方法として、判別分析法を用いたが、これに限定するものではなく、貼り合わせ基板１０１の位置決め情報より、領域ごとにあらかじめ設定されている２値化閾値を用いて２値化してもよい。
【００７２】
このように、ＵＶカメラ１６により撮像された画像の貼り合わせ基板１０１のシール部１３のみを抽出することにより、シール部１３の途切れやシール部１３の幅を計測することができる。
【００７３】
ここで、上記のような１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３をすべて抽出することが可能かどうかの判断は、あらかじめ検査員により行なわれる。そして、その検査員が判断した結果であるシール部１３をすべて抽出することが可能かどうかの情報は、制御装置１９のメモリ２２に保存される。そして、可能であれば、１つの２値化閾値を用いて２値化され、不可能であれば、撮像された画像中のシール部領域を複数の領域に分割し、その分割されたシール部１３の領域ごとに、それぞれ適した２値化閾値を用いて２値化され、演算処理部２１によりシール部１３の検査が実施される。
【００７４】
シール検査においては、シール部１３とブラックマトリックス（ＢＭ）部とが重なっていないかどうかも検査する必要がある。そのためには、ＢＭ部もＵＶカメラ１６により撮像された画像から抽出する必要がある。ＵＶカメラ１６により撮像された画像からＢＭ部を抽出する方法としては、前述した貼り合わせ基板１０１の位置決め情報からＵＶカメラ１６により撮像された画像のＢＭ部の領域（ＢＭ領域）を算出することができる。
【００７５】
また、ＢＭ部を抽出する他の方法としては、一般的にＢＭ部は紫外光を吸収するためにＵＶカメラ１６による撮像された画像中で最も輝度値が低くなる部分を抽出し、その抽出された輝度値を用いて、その輝度値があらかじめ設定された閾値よりも暗い（輝度値が低い）領域をＢＭ部として抽出することができる。
【００７６】
このように、シール部１３とＢＭ部とを抽出することによって、シール部１３とＢＭ部とが重なっていないかどうかを検査することができる。
【００７７】
ＳＴＥＰ１１１において、シール硬化後の貼り合わせ基板１０１を基板搬送部１７によって、シール検査装置１００から搬出し、シール検査が終了する。
【００７８】
本実施の形態において、紫外光照射器１５からの紫外光が照射される領域を限定するためにマスク１４を用いて説明したが、これに限らずマスク１４を使用しなくてもシール検査を行なうことができる。
【００７９】
また、本実施形態では、撮像器として、ＵＶカメラ１６を用いて説明したが、必ずしもＵＶカメラ１６を用いる必要はなく、紫外領域以外にも感度を有するカメラとＵＶ領域のみを透過させるフィルタとの併用したものを用いてもよい。
【００８０】
＜実施の形態２＞
以下、本発明の第２の実施形態におけるシール検査装置およびそれを用いたシール検査方法について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態では、公知の液晶パネル製造技術である液晶滴下方法を用いて、液晶パネルを製造する場合について説明する。
【００８１】
図４は、本発明の第２の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
このシール検査装置１２０は、ステージ１０、マスク１４、紫外光照射器１５、ＵＶカメラ１６、基板搬送部１７、基板保持部１８、制御装置１９、液晶滴下部２３、シール材塗布部２４から構成されている。  
【００８２】
ステージ１０は、シール検査装置１２０の土台となるものであり、通常シール検査装置１２０の最下部に配置されている。
【００８３】
基板保持部１８は、ＴＦＴ基板１１を保持するものである。この基板保持部１８は、ステージ１０の上部に配置され、ＴＦＴ基板１１を保持している。
【００８４】
なお、基板保持部１８は、ＴＦＴ基板１１とシール部１３を介し、カラーフィルタ基板１２をも保持している。
【００８５】
基板搬送部１７は、ＴＦＴ基板１１とカラーフィルタ１２をシール検査装置１２０に搬入するとともに、ＴＦＴ基板１１とカラーフィルタ１２からなる貼り付け基板１０１をシール検査装置１２０から搬出するものである。この基板搬送部１７は、図示しない駆動部により動力が与えられ基板を搬送する。
【００８６】
紫外光照射器１５は、カラーフィルタ基板１２の上部から紫外光を照射するものである。シール部１３を構成するシール材は、後述するように紫外光を照射すると硬化する性質を有しているため、この紫外光照射器１５から紫外光が照射されることにより硬化する。
【００８７】
この紫外光照射器１５は、図示しない紫外光照射器保持部によって保持されており、シール検査装置１２０に備えられている紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、紫外光照射器１５から貼り合わせ基板１０１に紫外光が照射される。
【００８８】
この貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射する時間（照射時間）は、あらかじめ定まっており、紫外光照射器１５からの紫外光の照射は、紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されて照射が開始し、シール部１３を硬化させるための全照射時間が経過することにより終了する。
【００８９】
なお、紫外光照射開始ボタン（図示略）は、上記ではシール検査装置１００に備えられていると説明したが、それに限らず、シール検査装置１００外に備えられているものでもよい。
【００９０】
紫外光照射器１５により紫外光を照射されるための照射時間の計時は、計時手段（図示略）により行なわれ、紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されることにより、計時手段（図示略）により照射時間がカウントされる。この照射時間のカウント方法は、０からカウントし、全照射時間になれば貼り合わせ基板１０１への照射を終了するようにしてもよいし、また逆に、シール部を硬化させるための全照射時間からマイナスして、０になれば照射を終了するようにしてもよい。
【００９１】
この照射時間は、表示手段（図示略）に表示される。表示手段（図示略）により表示される照射時間は、紫外光を照射させる全照射時間を表示してもよいし、上述したような計時手段（図示略）の計時値（カウント値）を表示してもよい。
【００９２】
この照射時間は、図示しないが手動または自動的に変更することができるようになっている。変更は変更手段（図示略）により行なわれる。
【００９３】
なお、本実施形態では、紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、計時手段（図示略）の照射時間がカウントされると説明したが、必ずしも紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することによって、計時手段（図示略）の計時時間のカウントが開始されるものに限るものではなく、たとえば、ＯＮ、ＯＦＦ切換え式の紫外光照射開始スイッチをＯＮにすることにより、計時手段（図示略）の計時時間のカウントが開始されるようにしてもよい。
【００９４】
マスク１４は、紫外光照射器１５からの紫外光が照射される領域を限定するために、紫外光照射器１５により照射される紫外光を遮断するものである。このマスク１４により、紫外光が照射することが必要でない領域には紫外光が照射されなくなる。
【００９５】
ＵＶカメラ１６は、紫外光が照射されている基板（カラーフィルタ基板１２とＴＦＴ基板１１からなる貼り合せ基板１０１）を撮像するカメラであり、紫外光が照射されている領域（紫外領域）のみに感度を有する。このＵＶカメラ１６は、図示しないＵＶカメラ保持部により保持されている。
【００９６】
本実施形態のＵＶカメラ１６は、計時手段（図示略）により計時される時間が、シール部１３を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間（撮像タイミング）になったときに、紫外光照射器１５により紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１を撮像する。ここで、全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間というのは、紫外光照射器１５により貼り合わせ基板１０１に紫外光が照射される所定の残存時間をたとえばＡとした場合には、撮像タイミングは、全照射時間−Ａの式により求めることができる。この場合のあらかじめ定まった時間は、Ａである。
【００９７】
本実施形態では、残存時間が１秒から５秒のとき（好ましくは１秒のとき）に、ＵＶカメラ１６により、紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１が撮像されるので、この撮像タイミングを求める計算式は、全照射時間−１秒となる（撮像タイミングのときの残存時間が１秒のとき）。
【００９８】
このように計時手段（図示略）により計時される時間が撮像タイミングになった場合には、撮像タイミングになったことが撮像タイミング検知手段（図示略）により検知され、その撮像タイミング検知手段（図示略）からの検知信号を受けて、ＵＶカメラ１６により紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１が撮像される。
【００９９】
制御装置１９は、入出力部２０、演算処理部２１、メモリ２２とを有するものである。
入出力部２０は、ＵＶカメラ１６により撮像された画像を制御装置１９内に入力（受信）するとともに、撮像タイミングになったときにＵＶカメラ１６に対し貼り合わせ基板１０１を撮像する旨の撮像信号を出力（送信）するものである。なお、ＵＶカメラ１６により撮像された画像は、ＵＶカメラ１６から送信（出力）される。
【０１００】
メモリ２２は、ＵＶカメラ１６から送信された画像などを保存するものである。演算処理部２１は、メモリ２２に保存された画像を用いて、シール検査の演算処理を行なうものである。具体的には、後述する処理を行なう。
【０１０１】
液晶滴下部２３は、ＴＦＴ基板１１上のシール部１３の内部に液晶を滴下するものである。この液晶滴下部２３は、図示しない駆動部により動力が与えられ作動する。
【０１０２】
シール材塗布部２４は、ＴＦＴ基板１１上にシール材を塗布するものである。このシール材塗布部２４は、図示しない駆動部により動力が与えられ作動する。
【０１０３】
カラーフィルタ基板１２は、ＲＧＢ（赤、緑、青）を三原色とするカラーフィルタを利用した基板である。ＴＦＴ基板１１は、薄膜状のトランジスタを利用した基板である。
【０１０４】
なお、シール部１３は、紫外線硬化型樹脂または紫外線熱硬化型樹脂などを成分とするシール材から構成されている。
【０１０５】
図５は、本発明の第２の実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。なお、見方をかえれば、図５は、本発明の第２の実施形態のシール検査方法を用いた液晶表示素子の製造方法を示す図ということもできる。以下、図５を参照してシール検査方法について説明する。
【０１０６】
ＳＴＥＰ２０１において、ＴＦＴ基板１１をシール検査装置１２０内に搬入する。具体的には、基板搬送部１７でＴＦＴ基板１１を保持し、図示しない駆動部の駆動力によって基板搬送部１７を移動させて、基板保持部１８上の所定の位置にＴＦＴ基板１１を搬入する。
【０１０７】
ＳＴＥＰ２０３において、図示しない駆動部の駆動力によってシール材塗布部２４を移動させて、ＴＦＴ基板１１上にシール材１３を塗布する。シール材１３の塗布位置は、あらかじめ定められてあり、制御装置１９により、シール材塗布部２４を所定の軌道に沿って移動させて、ＴＦＴ基板１１上のあらかじめ定められた位置にシール材１３を塗布する。
【０１０８】
ＳＴＥＰ２０５において、図示しない駆動部の駆動力によって液晶滴下部２３を移動させて、ＴＦＴ基板１１上のシール部１３の内部に液晶を滴下する。液晶の滴下量は、制御装置１９が所定の滴下量になるように制御する。
【０１０９】
ＳＴＥＰ２０７において、シール材が塗布されたＴＦＴ基板１１上にカラーフィルタ基板１２を搬入して、ＴＦＴ基板１１とカラーフィルタ基板１２とを貼り付ける。具体的には、基板搬送部１７でカラーフィルタ基板１２を保持し、図示しない駆動部の駆動力によって基板搬送部１７を移動させて、ＴＦＴ基板１１上の所定の位置に搬入して、ＴＦＴ基板１１とカラーフィルタ基板１２とを貼り付ける。
【０１１０】
ＳＴＥＰ２０９において、紫外光照射器１５によって、シール硬化前の貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射する。具体的には、使用者によって紫外光照射開始ボタン（図示略）が押圧されることにより、貼り合わせ基板１０１に紫外光の照射が開始される。
【０１１１】
本実施の形態においては、マスク１４の開口部１０２を介して、貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射することにより、必要でない領域への紫外光照射による品質の低下を防いでいる。
【０１１２】
ＳＴＥＰ２１１において、ＵＶカメラ１６によって、紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１を撮像する。この貼り合わせ基板１０１を撮像するタイミング（撮像タイミング）は、上述した計時手段（図示略）により計時される時間が、あらかじめ設定された全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったタイミングであり、紫外光照射器１５による紫外光の照射が終了する直前である。たとえば、撮像タイミングは、紫外光の照射が終了する１秒から５秒前であり、本実施形態では１秒前としている。
【０１１３】
具体的には、紫外光照射開始ボタン（図示略）を押圧することにより、紫外光照射器１５からカラーフィルタ基板１２に紫外光が照射されるとともに、計時手段（図示略）による照射時間の計時が開始される。そして、貼り合わせ基板１０１に紫外光を照射しつづけ、照射時間の残存時間が撮像タイミングになった場合（本実施形態では、残存時間が１秒になったとき）には、撮像タイミングになったことを撮像タイミング検知手段（図示略）により検知され、その撮像タイミング検知手段（図示略）からの検知信号を受けて、制御装置１９からＵＶカメラ１６に撮像信号が送信され、ＵＶカメラ１６により紫外光が照射されている状態の貼り合わせ基板１０１の撮像が行なわれる。
【０１１４】
ＳＴＥＰ２１１により、撮像された画像（画像データ）は、ＵＶカメラ１６から制御装置１９に送信され、制御装置１９の入出力部２０を介して、制御装置１９のメモリ２２に保存される。
【０１１５】
なお、この制御装置１９のメモリ２２に保存されている画像として、本実施形態ではモノクロ画像とし、その画像のサイズは横６４０画素、縦４８０画素のＶＧＡサイズのものを用いている。ただし、メモリ２２に保存されている画像として、モノクロ画像に限定するものでなく、また、その画像のサイズもＶＧＡサイズに限定するものでない。
【０１１６】
ＳＴＥＰ２１３において、貼り合わせ基板１０１の撮像が終了し、あらかじめ設定された全照射時間が経過することにより、紫外光照射器１５による貼り合わせ基板１０１への紫外光の照射が終了（完了）する。
【０１１７】
ＳＴＥＰ２１５において、制御装置１９により、メモリ２２に保存された画像を用いてシール部１３の検査が行なわれる。
【０１１８】
ＵＶカメラ１６により撮像した画像は、貼り合わせ基板１０１のシール部１３が貼り合わせ基板１０１のシール部１３の周辺の領域（シール部周辺領域）よりも明るく撮像されている。
【０１１９】
本実施形態のシール部１３の検査では、貼り合わせ基板１０１のシール部１３がシール部周辺領域よりも明るく撮像されている性質を利用し、１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３のみを抽出することによって、シール部１３の途切れやシール部１３の幅を計測している。
【０１２０】
しかし、ＵＶカメラ１６により撮像された画像のシール部１３の明るさの程度（輝度値）は、シール部１３と重なっているＴＦＴ基板１１上の配線パターンとの関係で大きく変化（依存）するので、上述した１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３のみ（すべてのシール部１３について）を抽出することが困難な場合がある。この場合は、撮像された画像中のシール部１３（シール部領域）を複数の領域に分割し、その分割されたシール部１３の領域ごとに、それぞれ適した２値化閾値を用いて２値化することによりシール部１３を抽出する。
【０１２１】
シール部１３のそれぞれの領域に適した２値化閾値は、画像処理において公知の技術である判別分析法を用いて決定する。
【０１２２】
なお、本実施形態では、シール部１３のそれぞれの領域に適した２値化閾値の決定方法として、判別分析法を用いたが、これに限定するものではなく、貼り合わせ基板１０１の位置決め情報より、領域ごとにあらかじめ設定されている２値化閾値を用いて２値化してもよい。
【０１２３】
このように、ＵＶカメラ１６により撮像された画像の貼り合わせ基板１０１のシール部１３のみを抽出することにより、シール部１３の途切れやシール部１３の幅を計測することができる。
【０１２４】
ここで、上記のような１つの２値化閾値で、撮像した画像を２値化してシール部１３をすべて抽出することが可能かどうかの判断は、あらかじめ検査員により行なわれる。そして、その検査員が判断した結果であるシール部１３をすべて抽出することが可能かどうかの情報は、制御装置１９のメモリ２２に保存される。そして、可能であれば、１つの２値化閾値を用いて２値化され、不可能であれば、撮像された画像中のシール部領域を複数の領域に分割し、その分割されたシール部１３の領域ごとに、それぞれ適した２値化閾値を用いて２値化され、演算処理部２１によりシール部１３の検査が実施される。
【０１２５】
シール検査においては、シール部１３とブラックマトリックス（ＢＭ）部とが重なっていないかどうかも検査する必要がある。そのためには、ＢＭ部もＵＶカメラ１６により撮像された画像から抽出する必要がある。ＵＶカメラ１６により撮像された画像からＢＭ部を抽出する方法としては、前述した貼り合わせ基板１０１の位置決め情報からＵＶカメラ１６により撮像された画像のＢＭ部の領域（ＢＭ領域）を算出することができる。
【０１２６】
また、ＢＭ部を抽出する他の方法としては、一般的にＢＭ部は紫外光を吸収するためにＵＶカメラ１６による撮像された画像中で最も輝度値が低くなる部分を抽出し、その抽出された輝度値を用いて、その輝度値があらかじめ設定された閾値よりも暗い（輝度値が低い）領域をＢＭ部として抽出することができる。
【０１２７】
このように、シール部１３とＢＭ部とを抽出することによって、シール部１３とＢＭ部とが重なっていないかどうかを検査することができる。
【０１２８】
ＳＴＥＰ１１１において、シール硬化後の貼り合わせ基板１０１を基板搬送部１７によって、シール検査装置１００から搬出し、シール検査が終了する。
【０１２９】
本実施の形態において、紫外光照射器１５からの紫外光が照射される領域を限定するためにマスク１４を用いて説明したが、これに限らずマスク１４を使用しなくてもシール検査を行なうことができる。
【０１３０】
また、本実施形態では、撮像器として、ＵＶカメラ１６を用いて説明したが、必ずしもＵＶカメラ１６を用いる必要はなく、紫外領域以外にも感度を有するカメラとＵＶ領域のみを透過させるフィルタとの併用したものを用いてもよい。
【０１３１】
＜実施の形態３＞
以下、本発明の第３の実施形態におけるシール検査装置およびそれを用いたシール検査方法について、図面を参照しながら説明する。なお、本実施形態において、第２の実施形態と同一の符号のものについては、同一構成を有し、かつ同一の作用効果を奏するものとし、説明は省略する。本実施形態において使用するシール材は、紫外光を照射することによって硬化すると同時に、加熱処理によっても硬化する特性を有するものを使用する。
【０１３２】
図６は、本発明の第３の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
ここで、第３の実施形態におけるシール検査装置１３０と第２の実施の形態におけるシール検査装置１２０の相違点は、第２の実施形態に設けられていた基板保持部１８の代わりに、加熱部２５を設けた点である。
【０１３３】
シール検査装置１３０は、ステージ１０、マスク１４、紫外光照射器１５、ＵＶカメラ１６、基板搬送部１７、制御装置１９、液晶滴下部２３、シール材塗布部２４、加熱部２５から構成される。
【０１３４】
加熱部２５は、シール部１３を加熱するとともに基板を保持する。すなわち、本実施形態の加熱部２５は、シール部１３を加熱する機能を有するとともに、第１の実施形態および第２の実施形態で説明した基板保持部１８の機能をも有するものである。
【０１３５】
なお、本実施形態では、基板保持部１８の代わりに加熱部２５を設けるようにしたが、これに限らず、基板保持部１８を設け、さらに別途加熱部を設けるようにしてもよい。この場合の加熱部２５は、シール部１３を加熱する機能のみ有することとなる。
【０１３６】
なお、本実施形態では、加熱部２５はシール部１３（またはシール部１３付近）のみを加熱（局部加熱）することとしたが、これに限らず、貼り合わせ基板１０１全体（全体加熱）、またはシール部１３を含む貼り合わせ基板１０１の一部を加熱（一部加熱）するようにしてもよい。また、局部加熱、全体加熱、部分加熱の個々を併用してもよい。
【０１３７】
図７は、本発明の第３の実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。なお、見方をかえれば、図７は、本発明の第３の実施形態のシール検査方法を用いた液晶表示素子の製造方法を示す図ということもできる。
【０１３８】
ここで、図７に示す第３の実施形態のシール検査方法と図５に示す第２の実施の形態のシール検査方法の相違点は、図５のＳＴＥＰ２１５の代わりにＳＴＥＰ２１５Ａを設けた点である。
【０１３９】
図７においても、図５に示すＳＴＥＰ番号と同一のＳＴＥＰ番号のＳＴＥＰについては、同一内容の動作が行なわれるものとし、説明は省略する。ここでは、図５と異なるＳＴＥＰ２１５Ａについてのみ説明する。なお、第２の実施形態の基板保持部１８の機能を、第３の実施形態では加熱部２５により行なわれることから、図５の説明における基板保持部１８は加熱部２５と読み替えて適用する。
【０１４０】
ＳＴＥＰ２１５Ａにおいて、加熱部２５によってＴＦＴ基板１１を介してシール部１３を加熱し、シール部１３を硬化させる。これにより、硬化が不十分なシール部１３についても、基板の特性に悪影響を与えることなく硬化させることができる。
【０１４１】
この加熱部２５によりシール部１３が加熱されシール部１３を硬化させている間に、制御装置１９で、ＳＴＥＰ２１１によりメモリ２２に保存された画像を用いてシール部１３の検査が行なわれる。シール部１３の検査については、図５のＳＴＥＰ２１５と同様であり、ここでの説明は省略する。
【０１４２】
以上より、ＵＶカメラ１６により、計時手段（図示略）により計時される時間が、シール部１３を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器１５により紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１の画像を取得するので、過度の紫外光の照射によって、基板の特性に悪影響を及ぼすことはなく、検査のための別途行なう紫外光の照射による製品の品質低下を防止することができる。
【０１４３】
さらに、紫外光を照射すると硬化するシール材を介して貼り合わせている貼り合わせ基板１０１の画像を、紫外光照射器１５により紫外光が照射して取得すれば、あえて蛍光物質を混入することなく、貼り合わせ基板１０１のシール部１３が周辺領域より明るく撮像されるため、検査に要するコストの低減を図ることができるとともに、検査工程の単純化・短時間化を図ることができる。  
【０１４４】
＜変形例＞
（１）  本実施形態では、照射時間をあらかじめ定め、そして照射時間は手動又は自動的に変更することができると説明したが、これに限らず、あらかじめ定まった照射時間が複数準備されており、その準備された照射時間の中から希望する照射時間を選択できるようにしてもよい。この場合においても同様、計時手段（図示略）により計時されている時間が、それぞれの照射時間からあらかじめ定められた時間を差分した時間（撮像タイミング）になったときに、紫外光照射器により紫外光が照射されている貼り合わせ基板１０１の撮像するようにしてもよい。この残存時間は、本実施形態では１秒から５秒（好ましくは１秒）である。
（２）  本実施形態では、基板搬送部１７により貼り合わせ基板１０１を搬入・搬出し、基板保持部１８によって、基板搬送部１７により搬入された貼り合わせ基板１０１を保持することとしたが、これに限らず、貼り合わせ基板１０１を移動させず、基板保持部１８を移動させて、基板保持部１８により貼り合わせ基板１０１を保持させるようにしてもよい。
【０１４５】
また、同様に、本実施形態では、基板搬送部１７によりＴＦＴ基板１１およびカラーフィルタ基板１２を搬入・搬出し、基板保持部１８によって、基板搬送部１７により搬入された基板を保持することとしたが、これに限らず、ＴＦＴ基板１１、カラーフィルタ基板１２を移動させず、基板保持部１８を移動させて、基板保持部１８によりＴＦＴ基板１１、カラーフィルタ基板１２を保持させるようにしてもよい。
（３）  本実施形態では、紫外光照射器１５がマスク１４の開口部１０２と略同一形状をしていると説明したが、これに限らず、図８に示すように開口部１０２の一の辺と平行になるように紫外光照射器１５Ｂを配置しその一の辺で紫外光を照射した後に、その一の辺から他の辺に紫外光照射器１５Ｂを順次移動させ、該他の辺で紫外光を照射させるように構成してもよい。この場合、開口部１０２の位置はあらかじめ記憶手段（図示略）に記憶されているので、制御手段が記憶手段に記憶されている開口部１０２の位置に基づき、紫外光照射器１５Ｂを移動させる。
【０１４６】
なお、上記では開口部１０２の位置があらかじめ記憶手段に記憶されていると説明したが、これに限らず、紫外光照射器１５Ｂにより紫外光が照射される前に、開口部検知手段（図示略）により開口部１０２を検知し、その検知結果を記憶手段に記憶させてもよい。
【０１４７】
また図８では、紫外光照射器１５ＢとＵＶカメラ１６を一体化がさせ、一体化ユ二ットを構成している。このＵＶカメラ１６は、紫外光照射器１５Ｂが移動すると、それにともなって移動する。そして、シール部１３を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器１５Ｂにより照射されている各辺のシール部１３の画像を順次取得する。
【０１４８】
なお、図８では、紫外光照射器１５ＢとＵＶカメラ１６を一体化ユ二ットとして説明したが、これに限らず、紫外光照射器１５ＢとＵＶカメラ１６を別々に構成してもよい。
（４）  また、図９に示すように開口部１０２の一部分のみ照射させる球形状をした紫外光照射器１５Ａを用いてもよい。この紫外光照射器１５Ａを用いる場合は、図９の上部に示す矢印の方向に開口部１０２に沿って紫外光照射器１５Ａを一回りさせて、開口部１０２を介して紫外光をシール部１３に照射させる。
【０１４９】
また図９では、紫外光照射器１５ＡとＵＶカメラ１６を一体化がさせ、一体化ユ二ットを構成している。このＵＶカメラ１６は、紫外光照射器１５Ａが移動すると、それとともなって移動する。そして、シール部１３を硬化させるための全照射時間からあらかじめ定まった時間を差分した時間になったときに、紫外光照射器１５Ａにより照射されている各辺のシール部１３の画像を順次取得する。
【０１５０】
なお、図９では、紫外光照射器１５ＡとＵＶカメラ１６を一体化ユ二ットとして説明したが、これに限らず、紫外光照射器１５ＡとＵＶカメラ１６を別々に構成してもよい。
【０１５１】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【０１５２】
【図１】本発明の第１の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
【図２】本発明の第１の実施形態における紫外光照射器を用いて、シール部に紫外光を照射する方法を説明する図である。
【図３】本発明の第１の実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
【図５】同実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図６】本発明の第３の実施形態におけるシール検査装置を示す図である。
【図７】同実施形態のシール検査方法を説明するためのフローチャートである。
【図８】本発明の変形例における紫外光照射器を用いて、シール部に紫外光を照射する方法を説明する図である。
【図９】本発明の変形例における紫外光照射器を用いて、シール部に紫外光を照射する方法を説明する図である。
【符号の説明】
【０１５３】
１０  ステージ、１１  ＴＦＴ基板、１２  カラーフィルタ基板、１３  シール部、１４  マスク、１５  紫外光照射器、１６  ＵＶカメラ、１７  基板搬送部、１８  基板保持部、１９  制御装置、２０  入出力部、２１  演算処理部、２２  メモリ、２３  液晶滴下部、２４  シール材塗布部、２５  加熱部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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