(57)【要約】【課題】寸法精度を保持したり寸法的な余裕を付与しなくても必要な位置精度が得られるようにした搬送システムとそれを可能にした電動機駆動制御装置を提供すること。【解決手段】マッピングセンサ４をウエハ７の積載方向に移動させるマッピング装置５と、その電動機２を制御する電動機制御部１５を備え、電動機制御部１５は予めその内部に持っているラック８の基準位置と、実際にマッピングセンサ４により測定したラック８の基準位置の偏差量を演算し、搬送ロボットによるウエハ７の搬出と搬入に対するティーチングデータの補正が与えられるようにしたもの。【選択図】図２
2007148778.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
位置情報を管理可能なモータ駆動用の電動機駆動装置により任意のタイミングでモータの現在位置データを内部のメモリに格納でき、また、格納した任意のデータ及びそれよって得られる演算結果を任意のタイミングで他の制御装置に通信することが可能な電動機駆動装置。
【請求項２】
内部のメモリに格納されている被測定物の任意の基準位置データをその被測定物と相対的に普遍な任意の基準位置を測定することにより自動的に被測定物の基準位置の補正が可能な電動機駆動装置。
【請求項３】
請求項２の位置の補正データを任意のタイミングで他の制御装置に通信が可能な電動機駆動装置。
【請求項４】
薄板状の加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送して搬送ロボットにより搬出と搬入を行い、加工後に当該加工部から後の工程に移送する方式の搬送システムにおいて、
前記搬送台車が前記各加工部の搬送ロボットの近傍に停止したとき、前記加工対象物の位置を、当該加工対象物が前記ラックに搭載されたままの状態で検出するマッピング手段を設け、
前記搬送ロボットによる搬出動作と搬入動作のための当該搬送ロボットの制御データが、前記マッピング手段による検出結果に基づいて補正されるように構成したことを特徴とする搬送システム。
【請求項５】
請求項４に記載の搬送システムにおいて、
前記マッピング手段が前記搬送ロボットで構成されていることを特徴とする搬送システム。
【請求項６】
請求項４に記載の搬送システムにおいて、
前記マッピング手段が前記搬送ロボットとは別に構成されていることを特徴とする搬送システム。
【請求項７】
請求項４に記載の搬送システムにおいて、
前記マッピング手段と前記搬送ロボットが上位制御手段を備え、
前記検出結果に基づいて補正した制御データが前記マッピング手段と前記搬送ロボットの何れか一方から前記上位制御手段に供給されることを特徴とする搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、薄板状部材を対象とした製造ラインにおける搬送システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体ウェハや液晶基板などの薄板状部材を対象とした製造ラインでは、半導体ウェハや液晶基板などの加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送し、加工後に当該加工部から後の工程に移送するという搬送システムが採用される場合がある。
【０００３】
このような搬送システムの場合、搬送台車は各加工部の近傍に順次移動して加工対象物の加工が終わるのを待ち、次の加工部の近傍に移動してゆくようになっている。
【０００４】
そこで、各加工部に加工対象物移送用の搬送ロボットを設け、搬送台車が停止されたら、そのラックのスロットに収容されている加工対象物を、搬送ロボットが１単位づつスロットから取り出して加工位置に移し、加工後、ラックに戻すようにしている。
【０００５】
ところで、このときの搬送ロボットには、いわゆるティーチングプレイバック方式のロボットを使用するのが一般的であり、この場合、搬送台車のラックに搭載されている加工対象物の位置が問題になり、予め定められている許容範囲内に加工対象物が位置してないと、ロボットのハンドによる把持動作に支障が生じてしまう。
【０００６】
そこで、従来技術では、搬送台車が走行移動する床面(搬送ライン)や搬送台車自体の寸法精度を上げて対応したり、ラックの位置変化を考慮して、ラックの各スロットの間隔に寸法的な余裕を持たせたりして対応していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来技術は、寸法精度の保持がコストに依存し、寸法的な余裕の付与が大型化をもたらす点に配慮がされておらず、製造ラインの低コスト化と小型化に問題があった。すなわち、従来技術では、搬送台車が走行移動する床面や搬送台車自体の寸法精度を上げる必要があるので、コストアップになり、ラックの各スロット間隔に寸法的な余裕を持たせなければならないので、大型化してしまうのである。
【０００８】
また、ウェハや液晶基板などの搬送システムの場合、ラックの高さや各スロット間隔の変更及び設備を新規に立ち上げる際には、各スロットの基準位置を機械図面から導き出して上位制御装置に数値データとして入力したり、ロボットのティーチングを行う必要があるが、従来技術では、このときの対応について配慮がされておらず、装置の立上げ時間の短縮化やシステムの簡易化が困難であった。
【０００９】
本発明の目的は、寸法精度を保持したり寸法的な余裕を付与しなくても必要な位置精度が得られるようにした搬送システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的は、薄板状の加工対象物を搬送台車のラックに搭載し、製造ライン内にある各加工部に移送して搬送ロボットにより搬出と搬入を行い、加工後に当該加工部から後の工程に移送する方式の搬送システムにおいて、前記搬送台車が前記各加工部の搬送ロボットの近傍に停止したとき、前記加工対象物の位置を、当該加工対象物が前記ラックに搭載されたままの状態で検出するマッピング手段を設け、前記搬送ロボットによる搬出動作と搬入動作における制御データが、前記マッピング手段による検出結果に基づいて補正されるようにして達成される。
【００１１】
このとき、前記マッピング手段が前記搬送ロボットで構成されているようにしても良く、前記マッピング手段が前記搬送ロボットとは別に構成されているようにしても良い。更に、このとき前記マッピング手段と前記搬送ロボットが上位制御手段を備え、前記検出結果に基づいて補正した制御データが前記マッピング手段と前記搬送ロボットの何れか一方から前記上位制御手段に供給されるようにしても良い。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、半導体ウェハや液晶基板などの加工対象物を任意の枚数ごとにラックに収容して搬送する場合、ラックの絶対位置が変化しても自動的に各スロットの基準位置が補正されるので、製造ラインに適用して、システムの低コスト化と小型化を図ることができる。
【００１３】
また、本発明によれば、ラックのスロットの段数や間隔、基準位置の変更がティーティグ操作だけで自動的に得られるので、システムの立ち上げ工数の低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明による搬送システムについて、図示の実施の形態により詳細に説明する。ここで、まず、図１は、本発明による搬送システムを、例えば半導体ウェハや液晶基板などの製造ラインに適用した場合の本発明の一実施形態である。
【００１５】
そして、この図１において、符号１は床面を表わしている。そして、この床面１は可及的平らな面になるように作られ、この床面１に、図示してないが、製造ラインの中で各製造工程を受け持っている各々の加工部が配置されていることになる。
【００１６】
このとき各々の加工部の近傍には、搬送ロボット１０が床面１に設置してあり、加工対象物であるウエハ７を収容したラック８の搬送台車９が移動してきて所定の位置、すなわち搬送ロボット１０のハンドによる適切な取り扱いが得られるものとして予め設定してある位置に停止し、ここで搬送ロボット１０による操作の対象になる。このため複数枚のウェハ７は、１枚ずつラック８のスロットに収容され、搬送台車９により各加工部の間を搬送される。
【００１７】
そして、各製造工程では、搬送ロボット１０を動作させ、ハンド１１を前後方向(Ｘ軸とＹ軸)と上下方向(Ｚ軸)に動かして搬出作業と搬入作業を行ない、ラック８に収容されているウェハ７を次の作業工程に搬送する働きをする。このため、搬送ロボット１０には、図示してないが、Ｘ軸とＹ軸の駆動機構及びＺ軸駆動用ボールねじ１３とＺ軸駆動用の電動機１４とを備えている。このとき、ハンド１１には、後述するマッピング装置５と同様、マッピングセンサ１２を取り付けておくことができるが、このことについては、後で詳述する。
【００１８】
このとき各加工部の近傍には、更にマッピング装置５が床面１に設けられている。そして、このマッピング装置５は、搬送台車９に備えられているラック８の高さと、このラック８に搭載されているウエハ７の状態を検出する働きをするもので、搬送台車９は、このマッピング装置５の近傍に停止されるようになっている。
【００１９】
このため、マッピング装置５には、電動機２と、この電動機２により回転駆動されるボールねじ３と、このボールねじ３により上下に直線移動されるマッピングセンサ４が備えられている。ここで、これらボールねじ３と電動機２に代えてリニアモータを用いるようにしても良いが、この場合はリニアセンサも必要になる。
【００２０】
このときラック８には、予め基準位置検出用の指標６が設けてあり、ボールねじ３により、マッピングセンサ４をウェハ７の積み厚方向に直線移動させることにより、指標６とラック８の中にあるウェハ７をマッピングセンサ４で検出し、これによりラック８の床面１からの高さを基準位置として取り込むことができ、ラック８の中にあるウェハ７の状態を知ることができる。
【００２１】
このため、マッピングセンサ４には、発光部と受光部を向い合せに所定の距離に配置した光透過形の物体検出器が用いられ、間に指標６が入ったとき基準位置が与えられ、ウエハ７が入ったら、このときの位置にウエハ７が存在していることが与えられるようになっている。なお、反射光検出形の物体検出器を用いるようにしてもよい。
【００２２】
次に、図２は、この第１の実施形態におけるマッピング装置５の制御系を示したもので、この場合、制御系は電動機制御部１５と上位制御装置２８に大別されている。そこで、まず、電動機制御部１５について説明すると、これは、図示のように、マッピング装置５の電動機２を制御するもので、このため、図示のように、位置制御演算装置１６と電力変換装置１７を備えている。
【００２３】
そして、位置制御演算装置１６は、入力された位置指令に応じて電動機２によるマッピングセンサ４の移動量と移動速度を演算し、電力変換装置１７は、入力されたマッピングセンサ４の移動量と移動速度に応じて電動機２の駆動に必要な電力を発生する。
【００２４】
このとき、マッピング装置５の電動機２は、図示していない動力伝達機構を介してボールねじ３を駆動するようになっている。そこで、この電動機２の回転軸にエンコーダ又はレゾルバからなる位置検出センサ１９を設け、ボールねじ３の回転角度を検出し、これからマッピングセンサ４の位置を知ることができるようにしてある。
【００２５】
従って、このマッピング装置５は、搬送台車９が前記の各加工部の搬送ロボット１０の近傍に停止したとき、加工対象物であるウエハ７の位置を、当該加工対象物がラック８に搭載されたままの状態で検出する働きをする。
【００２６】
ここで、上述のように、マッピング装置５のボールねじ３と電動機２は、マッピングセンサ４をウェハ７の積み厚方向に移動させることを目的にした直動システムであり、しかも、このマッピング装置５は、搬送ロボット１０と共に床面１の上に固定されているので、停止しているときは、これらの位置は絶対座標系にある。
【００２７】
一方、搬送台車９は、床面１の上を移動しているので、指標６で表わされるラック８の基準位置は、絶対座標系において、移動毎に変化してしまうのが避けられない。しかし、このときでもラック８の基準位置と各スロットの位置は決まった寸法関係にあるので、このラック８の基準位置の絶対座標系での変化量が測定できれば、それを用いて補正することにより各スロットの絶対座標上での位置が正しく検出できることになる。
【００２８】
上記したように、この実施形態では、図１に示すように、搬送台車９がマッピング装置５の近傍に移動してきて停止したとき、このことを図示してない検知手段が検出し、これも図示してない位置指令部から、図２に示すように、電動機制御部１５に位置指令が入力され、電動機２によりマッピングセンサ４を移動させ、ラック８の指標６の検出と各スロット毎のウエハ７の検出が開始されるようになっている。
【００２９】
一方、このときのマッピングセンサ４の位置は、位置検出センサ１９により常時、検出されていて、絶対座標系の位置として与えられている。そこで、マッピングセンサ４によりラック８の指標６が検出されたタイミングと各スロット毎のウエハ７が検出されたタイミングでスイッチ(現在位置取り込み用半導体高速スイッチ)３０を閉じ、このときのマッピングセンサ４の位置が現在位置記憶メモリ２０に取り込まれ、各々がラック基準位置を表わすデータと、ウエハ７の搭載状態を表わすデータとして記憶されるようにする。
【００３０】
より具体的に説明すると、マッピング装置５では、マッピングセンサ４の初期位置として、ボールねじ３によるマッピングセンサ４の移動範囲(ストローク)の一方の位置、例えば上端(下端でも良い)に設定しておき、この初期位置からマッピングセンサ４を移動させてゆき、指標６と各スロット毎のウエハ７が検出されるようにするのである。
【００３１】
また、この電動機制御部１５は、現在位置記憶メモリ２０の外にも、更に演算処理部(ＣＰＵ)を備えている演算プログラム格納メモリ２１やユーザ設定位置記憶メモリ２２、演算結果出力インターフェース２３、プログラム入力インターフェース２４、それにユーザ設定位置入力インターフェース２５を備えている。
【００３２】
そして、まず、ユーザ設定位置記憶メモリ２２は、ユーザ設定位置入力インターフェイス２５を介してユーザから設定されたデータを格納する働きをし、格納されたデータは演算プログラム格納メモリ２１に供給される。このとき、この演算プログラム格納メモリ２１は、プログラム入力インターフェース２４を介してプログラム入力ソフトの入ったパーソナルコンピュータまたは上位制御装置２８から演算プログラムを取り込み、現在位置記憶メモリ２０から入力したラック基準位置を表わすデータ及びウエハ７の搭載状態を表わすデータと比較し、演算結果を位置制御演算装置１６に位置指令値として供給して位置センサ１９からのフィードバック値と比較演算し、電動機２による位置制御が正しく行えるようにする。
【００３３】
また、このときの演算プログラム格納メモリ２１による演算結果は、演算結果出力インターフェース２３を介して、搬送ロボット１０の動作を管理する上位制御装置２８にも供給され、システム状態入力インターフェイス２６を介して上位コントローラ２８に取り込まれ、システム制御プログラムが格納されている演算処理部(ＣＰＵ)を備えている演算プログラム格納メモリ２７に入力される。
【００３４】
そこで、この演算プログラム格納メモリ２７により搬送ロボット１０の移動目標位置の補正が行われ、補正結果が演算結果出力インターフェイス２９を介して各電動機制御装置１５に出力される。そして、これにより、搬送ロボット１０は、ハンド１１を高精度に制御することができ、目標とするウェハ３の搬出と搬入を支障無く行えるようにする。
【００３５】
次に、この実施形態の動作をフローチャートにより説明すると、まず、図３は、マッピング装置５によりウェハ７のマッピング動作を行うときの本発明の第１の実施形態による処理を示したフローチャートで、このときの処理は、ラック８が搬送台車９によって搬送され、所定の位置に位置決めされたとき、演算プログラムに従って実行される。
【００３６】
ここで、いま、処理が開始されたとすると、まず、電動機２を起動させ、マッピングセンサ４を、初期位置である最上部から下に移動させてゆき、この間に電動機２に内蔵もしくは外付きの位置検出センサ１９からラック８の基準位置６と全部のウェハ７の位置を順次取り込み、現在位置記憶メモリ２０に格納する(Ｓ１)。このときラック８の基準位置については測定値Ｚ０_１とする。
【００３７】
次に、ユーザ設定位置記憶メモリ２２に予め格納してあるラック基準位置を判定値Ｚ０_０とし、Ｓ１で測定したラック基準位置６の測定値Ｚ０_１と比較し、偏差を演算することにより、(1)式に示すように、絶対座標上でのラック基準位置の変化量ΔＸ０を求める(Ｓ２)。
【００３８】
ΔＸ０＝Ｚ０_０−Ｚ０_１……(1)
次いで、スロットｎの設置位置Ｚｎ＿０をＳ２で求めたラック基準位置６の変化量ΔＸ０で補正し、(2)式に示すように、スロットｎの補正後の位置Ｚｎを求める(Ｓ３)。
【００３９】
Ｚｎ＝Ｚｎ_０＋ΔＸ０……(2)
このときのサフィックスｎはスロットの番号で、例えば一番上のスロット番号を１とし、Ｎを最大値とした場合、ｎ＝１、２、……、Ｎとなる。
【００４０】
次に、Ｓ３で求めた各スロットｎの補正後の位置Ｚｎを、ユーザ設定位置記憶メモリ２２に予め格納してあるウエハのデータと比較演算し、ラック８内におけるウェハ７の搭載状態ＳＴｎを判定する(Ｓ４)。このときの搭載状態ＳＴｎとは、“ウエハ有り"、“ウエハ無し"、“ウエハ斜め"、“ウエハ重なり"の４種である。
【００４１】
ここで、これらの判定の中で、“ウエハ有り"と“ウエハ無し"の判定については、マッピングセンサ４の検出信号が単にオン(又はオフ)したか否かで判定することができるが、“ウエハ斜め"と“ウエハ重なり"の判定については、検出されたウエハの厚さを検出し、これをユーザ設定位置記憶メモリ２２に予め格納してあるウエハのデータと比較することにより得ることができる。
【００４２】
このときの厚さの検出は、マッピングセンサ４の検出信号がオン(又はオフ)した後、オフ(又はオン)に反転したときの位置検出センサ１９による位置の検出結果を比較することにより得ることができる。
【００４３】
そして、これらの処理により求まったラック基準位置の変化量ΔＸ０と各スロットのウェハ７の搭載状態ＳＴｎを、演算結果出力インターフェイス２３を介して上位制御装置２８に出力し(Ｓ５)、これにより電動機制御部１５によるマッピング処理を終了する。
【００４４】
そこで、次に上位制御装置２８は、電動機制御部１５から供給されたラックの基準位置の変化量ΔＸ０を、システム状態入力インターフェース２６を介して取り込み、これを用いて、演算プログラム格納メモリ２７により、ラック８から搬出されるウエハ７の目標位置又はラック８に搬入されるウェハ７の目標位置を補正し(Ｓ６)、次いで搬送ロボット１０の各駆動装置に、補正後の目標位置に対する移動指令を出力するのである。
【００４５】
以上の結果、この第１の実施形態によれば、搬送ロボット１０にティーチングされているＺ軸方向の位置が、このとき実際に搬送台車９により移送されてきたラック８の床面１からの高さに応じて、その都度、正しく補正されることになる。
【００４６】
従って、この第１の実施形態によれば、ラック８の絶対位置が変化していても、自動的に各スロットの基準位置が補正されるので、搬送ロボット１０によるウエハ７の搬出と搬入が常時正確に行えるようになり、この結果、製造ラインの低コスト化と小型化に大きく寄与することができる。
【００４７】
また、電動機制御部１６内部だけでマッピング処理が実現できるので、高速で高精度の検出ができる。さらに電動機制御部１６以外に新たにカウンター装置などの制御装置がいらないので、配線数も少なくなり外来ノイズ等の耐環境性も向上する。
【００４８】
ところで、以上に説明した第１の実施形態では、マッピング装置５を用いてラック８の絶対位置を検出するようにしているが、このとき、図１に示されていて、既に説明したように、搬送ロボット１０のハンド１１には、マッピングセンサ１２が設けてある。しかも、搬送ロボット１０には、ハンド１１のＺ軸方向での位置を検出するセンサ(Ｚ軸センサという)を電動機１４が持っている。
【００４９】
そこで、このマッピングセンサ１２を備えた搬送ロボット１０に、図２の制御系を適用してやれば、マッピング装置５と同じく、搬送台車９のラック８の高さと、このラック８に搭載されているウエハ７の状態を検出する働きを得ることができ、この場合、マッピング装置は不要になるので、更にコストの低減が可能になる。
【００５０】
そして、このように、搬送ロボット１０にマッピングセンサ１２を備え、搬送ロボット１０の機能を利用してマッピング装置を不要にした場合には、搬送ロボット１０のＺ軸駆動用電動機１４の制御に、図２の電動機制御部１５と上位制御装置２８からなる制御系を適用したものとなる。そこで、このようにした場合の一実施形態を、以下、本発明の第２の実施形態として説明する。
【００５１】
そうすると、この第２の実施形態では、まず、図２の電動機２が搬送ロボット１０のＺ軸駆動用電動機１４に置き換えられ、次に、マッピングセンサ４には、搬送ロボット１０のハンド１１に設けてあるマッピングセンサ１２が置き換わり、更に図２の位置検出センサ１９には、上記した搬送ロボット１０に備えられている電動機１４内に内蔵もしくは外付きのＺ軸センサが代わって用いられることになる。
【００５２】
この結果、図２のボールねじ３は、図１に示した搬送ロボット１０のＺ軸駆動用ボールねじ１３に置き変わり、マッピング装置５はなくなる。このときのＺ軸は、図１において、床面１に垂直な方向の軸で、ウェハ７をラック８で積み重ねている方向に一致している。
【００５３】
しかし、ここで、例えばラック８を横向きにして搬送する場合は、ここでいうＺ軸は、床面１と平行な方向になり、ラック８にウェハ７を縦にして横方向に配列されている方向に一致するものとなる。
【００５４】
そこで、次に、図４のフローチャートにより、この第２の実施形態の動作について説明すると、この場合も、Ｓ１からＳ４までの処理は、図３に示した第１の実施形態の場合と同じである。そして、この図４の場合は、Ｓ４の処理の後、各スロットのウェハ７の搭載状態ＳＴｎを演算結果出力インターフェイス２３から上位制御装置２８に出力する(Ｓ９)。
【００５５】
そこで、上位制御装置２８は、演算プログラム格納メモリ２７により、搬出するスロットの番号と搬入するスロットの番号を指定する。そして、電動機制御部１５は、電動機１４を制御し、搬送ロボット１０のハンド１１が指定されたスロットの補正位置Ｚｎに移動されるようにするのである(Ｓ１０)。
【００５６】
従って、この第２の実施形態でも、自動的に各スロットの基準位置が補正されるので、搬送ロボット１０によるウエハ７の搬出と搬入が常時正確に行えるようになり、この結果、製造ラインの低コスト化と小型化に大きく寄与することができる上、この場合はマッピング装置が不要なので、更に低コスト化と小型化を図ることができる。
【００５７】
ところで、以上の実施形態では、搬送台車９のラック８に収容されているウェハ７の搭載状態を判定するための判定基準位置データを必要とする。このときの判定基準位置データとは、上記した基準位置判定値Ｚ０_０の外にも、例えばラック８のウェハの枚数を表わすスロット段数Ｎｓと、ウェハの間隔を表わすスロットの間隔Ｌｓ、それに各スロットの設定位置Ｚｓなどがある。
【００５８】
そして、ユーザは、予めこれらのデータをユーザ設定位置記憶メモリ２２に記憶しておく必要がある。このとき、これらのデータは、ラック８の全てのスロットに、実際にウェハ７を搭載し、且つ、上記した各加工部の近傍に設定してある所定の位置に搬送台車９が停止されたときに取り込んだデータであるのが望ましい。
【００５９】
そこで、次に、このときのデータの取り込みが自動的に得られるようにした本発明の実施形態について、第３の実施形態として説明する。
【００６０】
ここで、この第３の実施形態では、マッピングセンサ４又はマッピングセンサ１２の出力を用い、マッピング装置５又は搬送ロボット１０にティーチング動作を行なわせ、これにより上記した判定基準位置データをユーザ設定位置記憶メモリ２２に自動的に格納させることができるようにしたものである。
【００６１】
そして、このため、まず、演算プログラム格納メモリ２１には、図５のフローチャートによる処理に必要な演算プログラムが予めプログラム入力インターフェース２４を介して入力され、格納されている。以下、図５のフローチャートにより、この第３の実施形態の動作について説明する。
【００６２】
ここで、この図５のフローチャートによる処理を実行する際には、まず、ラック８の全てのスロットにウェハ７を正常な状態で搭載し、対象となる加工部の設定位置に搬送台車９を停止させる。そして、この上で処理をスタートさせ、まず処理Ｓ１を実行し、基準位置判定値Ｚ０_０を測定する。続いて処理Ｓ１１と処理Ｓ１２を順次実行し、スロット段数Ｎｓとスロット間隔Ｌｓを測定する。このときの処理Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３は、図３の場合と同じであるから、詳細な説明は割愛する。
【００６３】
そして、この後、順次、スロット段数Ｎｓとスロット間隔Ｌｓを判定基準値としてユーザ設定位置記憶メモリ２２に設定し(Ｓ１３、Ｓ１４)、次いで、これらのスロット段数Ｎｓとスロット間隔Ｌｓからスロットの設定位置Ｚｓｎを演算し、それを判定基準位置として、同じくユーザ設定位置記憶メモリ２２に設定するのである(Ｓ１５)。ここで、Ｚｓｎ＝Ｚ１＋(ｎ−１)×Ｌｓ(ｎ＝１，１，……，Ｎｓ)である。
【００６４】
従って、この第３の実施形態によれば、搬送システムの動作に必要な判定基準位置データの取り込みが自動的に得られるので、システム立ち上げに必要な工数が低減され、この点でもコストの削減が図れ、しかも、このときのデータの取り込みが実際の搬送台車とラックに基づいて機械的に与えられるので、データの精度が手作業の場合に比較してより正確になるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明が適用された搬送システムの一例を示す構成図である
【図２】本発明による搬送システムの一実施形態を示すブロック構成図である。
【図３】本発明の第１の実施形態による処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図４】本発明の第２の実施形態による処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】本発明の第２の実施形態による処理動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６６】
１：床面(移動しない平面)
２：電動機(マッピング装置の電動機)
３：ボールねじ(回転−直線変換機構)
４：マッピングセンサ(マッピング装置のマッピングセンサ)
５：マッピング装置
６：指標(ラックの基準位置検出用の指標)
７：ウェハ(加工対象物)
８：ラック
９：搬送台車
１０：搬送ロボット
１１：ハンド
１２：マッピングセンサ(搬送ロボットのマッピングセンサ)
１３：ボールねじ(搬送ロボットのZ軸駆動用のボールねじ)
１４：電動機(搬送ロボットのＺ軸駆動用の電動機)
１５：電動機制御部
１６：位置制御演算装置
１７：電力変換装置
１９：位置検出センサ
２０：現在位置記憶メモリ
２１：演算プログラム格納メモリ(ＣＰＵを含む)
２２：ユーザ設定位置記憶メモリ
２３：演算結果出力インターフェイス
２４：プログラム入力インターフェイス
２５：ユーザ設定位置入力インターフェイス
２６：システム状態入力インターフェイス
２７：演算プログラム格納メモリ
２８：上位制御装置
２９：演算結果出力インターフェイス
３０：スイッチ(現在位置取り込み用半導体高速スイッチ)
【図１】
2007148778.tif 000003
【図２】
2007148778.tif 000004
【図３】
2007148778.tif 000005
【図４】
2007148778.tif 000006
【図５】
2007148778.tif 000007