(57)【要約】【課題】絶縁性流体中に混入した導電性流体を検出することが可能な導電性流体検出装置を提供する。【解決手段】冷媒３０に混入した水分を検出するための導電性流体検出装置１０は、冷媒３０が流通可能な管状部材２１１、ステンレス等から構成されたメッシュ部材１２２、１２４、及び、冷媒３０を通過可能であるが水分を保持可能な濾紙１２３、を有し、メッシュ部材１２２、１２４及び濾紙１２３は管状部材１２１の内部に積層して設けられ、濾紙１２３はメッシュ部材１２２、１２４の間に介装されているフィルタユニット１２と、メッシュ部材１２２、１２４間の抵抗値を測定する抵抗値測定回路１６と、メッシュ部材１２２、１２４間の抵抗値が低下したらポンプ１４への電力供給を停止させるリレー１７と、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁性流体に混入した導電性流体を検出するための導電性流体検出装置に用いられるフィルタユニットであって、
導電性材料から構成され、前記絶縁性流体及び前記導電性流体が通過することが可能な２以上の導電性部材を備えたフィルタユニット。
【請求項２】
前記絶縁性流体が上流側から下流側へと流通する管状部材と、
前記絶縁性流体が通過することが可能であり、前記導電性流体を保持することが可能な保持部材と、を備えており、
前記２以上の導電性部材及び前記保持部材は、前記管状部材の内部に積層されて設けられ、前記保持部材は前記導電性部材の間に介装されている請求項１記載のフィルタユニット。
【請求項３】
前記導電性部材はステンレスから構成される網状部材である請求項２記載のフィルタユニット。
【請求項４】
前記保持部材は濾紙である請求項１〜３記載のフィルタユニット。
【請求項５】
前記導電性流体を吸着することが可能な吸着部材をさらに備え、
前記吸着部材は、前記管状部材の内部において前記保持手段よりも下流側に設けられている請求項１〜４の何れかに記載のフィルタユニット。
【請求項６】
前記吸着部材にはゼオライト又はシリカゲルを含む請求項５記載のフィルタユニット。
【請求項７】
前記２以上の導電性部材は、前記絶縁性流体が収容されたタンク内において当該タンクの出口に向かう前記絶縁性流体が通過するように設けられている請求項１記載のフィルタユニット。
【請求項８】
前記２以上の導電性部材は、前記出口の周囲を囲うように設けられている請求項７記載のフィルタユニット。
【請求項９】
前記２以上の導電性部材は、前記出口の周囲を囲うような筒状体を構成しており、
前記筒状体の最上端は、前記タンク内に収容されている前記絶縁性流体の液面の上限よりも高く設定されている請求項８記載のフィルタユニット。
【請求項１０】
前記２以上の導電性部材は、高さ方向に沿って延在している第１の導電性部材及び第２の導電性部材を含み、
前記第１の導電性部材及び前記第２の導電性部材は、周方向に沿って交互に配置されている請求項９記載のフィルタユニット。
【請求項１１】
前記筒状体は、周方向に沿って延在している絶縁性部材を有し、
前記絶縁性部材は、前記第１の導電性部材及び前記第２の導電性部材を周方向に沿って連結している請求項１０記載のフィルタユニット。
【請求項１２】
前記絶縁性流体にはフッ素系不活性液体を含む請求項１〜１１の何れかに記載のフィルタユニット。
【請求項１３】
前記導電性流体には水を含む請求項１〜１２の何れかに記載のフィルタユニット。
【請求項１４】
絶縁性流体に混入した導電性流体を検出するための導電性流体検出装置であって、
請求項１〜１３の何れかに記載のフィルタユニットと、
前記導電性部材同士が導通した場合に、前記絶縁性流体に前記導電性流体が混入していると判断する判断手段と、を備えた導電性流体検出装置。
【請求項１５】
前記判断手段は、前記導電性部材間の抵抗値に基づいて、前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を判断する請求項１４記載の導電性流体検出装置。
【請求項１６】
前記絶縁性流体を前記フィルタユニットに供給するための供給手段をさらに備え、
前記判断手段は、前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を検出したら、前記供給手段による前記絶縁性流体の供給を停止させる請求項１４又は１５記載の導電性流体検出装置。
【請求項１７】
前記判断手段が前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を検出したら、その旨を報知する報知手段をさらに備えた請求項１４〜１６の何れかに記載の導電性流体検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、絶縁性流体（たとえばフッ素系不活性液体など）に混入した導電性流体（たとえば水分など）を検出する導電性流体検出装置に用いられるフィルタユニット、及び、そのフィルタユニットを用いた導電性流体検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は従来のチラーへの冷媒の補充方法を示す概略斜視図である。
【０００３】
半導体デバイスの製造工程においては、最終的に製造されたＩＣチップなどの電子部品を試験する電子部品試験装置１が必要となる。この種の電子部品の試験は、試験環境を常温、高温または低温といった温度環境にした状態で、ＩＣチップにテストパターンを入力して動作させ、その応答パターンを検査する。ＩＣチップの特性として、常温または高温もしくは低温でも良好に動作することの保証が必要とされるからである。
【０００４】
一般的な電子部品試験装置１は、テストパターンを送出するとともに応答パターンを検査するためのプログラムが格納されたテスタ２と、このテスタと被試験電子部品（ＤＵＴ）とを電気的に接続するためのコンタクト端子を備えたテストヘッド５と、多数の被試験電子部品をテストヘッドのコンタクト端子へ順次搬送し、テストを終了した被試験電子部品をテスト結果に応じて物理的に分類するハンドラ（不図示）と、で構成されている。そして、被試験電子部品をハンドラにセットしてテストヘッド５上へ搬送し、そこで被試験電子部品をテストヘッド５のコンタクト端子に押圧して電気的に接続することで目的とする動作試験が行われる。
【０００５】
このような電子部品試験装置のテストヘッド５は、図６に示すように、電子部品の入出力端子に対するインターフェースとして使用されるピンエレクトロニクスカード６を多数備えており、各ピンエレクトロニクスカード６には測定用ＬＳＩ等の各種デバイスが多数実装されている。なお、説明の便宜のため、図６はテストヘッド５に備えられたピンエレクトロニクスカード６のうちの一枚を引き上げた状態で示されている。
【０００６】
ピンエレクトロニクスカード６に実装された各種デバイスは、電子部品の試験時に自己発熱により高温になるため、同図に示すように、ピンエレクトロニクスカード６表面がウォータジャケット７に覆われている。そして、チラー３により冷却されたフッ素系不活性液体等の冷媒をウォータジャケット７内に流通させ、発熱デバイスに直接接触させることにより、自己発熱しているデバイスを冷却する。
【０００７】
ところで、この冷媒のチラー３への補充は、手動或いは電動のポンプ８を用いて容器９からチラー３のタンク４に注入することにより行われているが、この補充の際に、誤って容器４を間違え、冷媒ではなく蒸留水をタンク４に注入してしまったり、冷媒に水分が混入してしまう場合がある。ピンエレクトロニクスカード６を覆うウェータジャケット７内に水分が入り込むと、当該カード６上の発熱デバイスに電食が発生し、もはや修理では対応することができずカード６自体を交換しなければならない。特にテストヘッド５が備える各カード６のウォータジャケット７は、一つの冷却経路として繋がっているので、この冷却経路に一度水分が入り込むと全てのカード６を交換する事態となり、甚大な被害が発生する。
【発明の開示】
【０００８】
本発明は、絶縁性流体中に混入した導電性流体を検出することが可能な導電性流体検出装置に用いられるフィルタユニット、及び、それを用いた導電性流体検出装置を提供することを目的とする。
【０００９】
上記目的を達成するために、本発明によれば、絶縁性流体に混入した導電性流体を検出するための導電性流体検出装置に用いられるフィルタユニットであって、導電性材料から構成され、前記絶縁性流体及び前記導電性流体が通過することが可能な２以上の導電性部材を備えたフィルタユニットが提供される（請求項１参照）。
【００１０】
本発明では、絶縁性流体に混入した導電性流体が２以上の導電性部材の間を通過すると、当該導電性流体により導電性部材同士が導通するので、この導通に基づいて導電性流体の混入を検出することができる。
【００１１】
上記発明においては特に限定されないが、前記絶縁性流体が上流側から下流側へと流通する管状部材と、前記絶縁性流体が通過することが可能であり、前記導電性流体を保持することが可能な保持部材と、を備えており、前記２以上の導電性部材及び前記保持部材は、前記管状部材の内部に積層されて設けられ、前記保持部材は前記導電性部材の間に介装されていることが好ましい（請求項２参照）。
【００１２】
本発明では、絶縁性流体が通過可能な管状部材の中に、絶縁性流体及び導電性流体が通過可能な２以上の導電性部材と、絶縁性流体を通過可能であるが導電性流体を保持することが可能な保持部材と、を設け、２以上の導電性部材の間に保持部材を介装した状態でこれらを積層する。絶縁性流体に混入した導電性流体が保持部材に保持されると、当該保持された導電性流体により導電性部材同士が導通するので、この導通に基づいて導電性流体の混入を検出することができる。
【００１３】
上記発明においては特に限定されないが、前記導電性部材はステンレスから構成される網状部材であることが好ましい（請求項３参照）。導電性部材をステンレスで構成することにより、錆が発生し難くなるので良好な検出精度を維持することができる。
【００１４】
上記発明においては特に限定されないが、前記保持部材は濾紙であることが好ましい（請求項４参照）。
【００１５】
上記発明においては特に限定されないが、前記導電性流体を吸着することが可能な吸着部材をさらに備え、前記吸着部材は、前記管状部材の内部において、前記保持部材よりも下流側に設けられていることが好ましい（請求項５参照）。
【００１６】
保持部材よりも下流側に、導電性流体を吸着可能な吸着部材を設けることにより、万が一、導電性流体が保持部材よりも下流側に流れても、当該導電性流体がチラーのタンク等に流入するのを防止することができる。また、この吸着部材により、保持部材の乾燥を維持することができる。
【００１７】
吸着部材としては例えばゼオライトやシリカゲルを例示することができる（請求項６参照）。
【００１８】
上記発明においては特に限定されないが、前記２以上の導電性部材は、前記絶縁性流体が収容されたタンク内において当該タンクの出口に向かう前記絶縁性流体が通過するように設けられていることが好ましい（請求項７参照）。これにより、絶縁性流体を収容するためのタンク内に混入した導電性流体を検出することが可能となる。
【００１９】
上記発明においては特に限定されないが、前記２以上の導電性部材は、前記出口の周囲を囲うように設けられていることが好ましい（請求項８参照）。
【００２０】
上記発明においては特に限定されないが、前記２以上の導電性部材は、前記出口の周囲を囲うような筒状体を構成しており、前記筒状体の最上端は、前記タンク内に収容されている前記絶縁性流体の液面の上限よりも高く設定されていることが好ましい（請求項９参照）。
【００２１】
上記発明においては特に限定されないが、前記２以上の導電性部材は、高さ方向に沿って延在している第１の導電性部材及び第２の導電性部材を含み、前記第１の導電性部材及び前記第２の導電性部材は、周方向に沿って交互に配置されていることが好ましい（請求項１０参照）。
【００２２】
絶縁性流体としては例えばフッ素系不活性液体を例示することができ（請求項１２参照）、導電性流体としては例えば水を例示することができる（請求項１３参照）。
【００２３】
上記目的を達成するために本発明によれば、絶縁性流体に混入した導電性流体を検出するための導電性流体検出装置であって、上記の何れかのフィルタユニットと、前記導電性部材同士が導通した場合に、前記絶縁性流体に前記導電性流体が混入していると判断する判断手段と、を備えた導電性流体検出装置が提供される（請求項１４参照）。
【００２４】
本発明では、絶縁性流体に混入した導電性流体が保持部材に保持されると、当該保持された導電性流体により導電性部材同士が導通するので、判断手段はこの導通に基づいて絶縁性流体に導電性流体が混入していると判断する。
【００２５】
上記発明においては特に限定されないが、前記判断手段は、前記導電性部材間の抵抗値に基づいて、前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を判断することが好ましい（請求項１５参照）。
【００２６】
上記発明においては特に限定されないが、前記絶縁性流体を前記フィルタユニットに供給するための供給手段をさらに備え、前記判断手段は、前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を検出したら、前記供給手段による前記絶縁性流体の供給を停止させることが好ましい（請求項１６参照）。
【００２７】
導電性流体に絶縁性流体が混入している場合に判断手段が供給手段を停止させることにより、絶縁性流体に混入した導電性流体がチラーのタンク等に流入するのを防止することができる。また、絶縁性流体を収容するためのタンク内に導電性流体が混入した場合にも、タンク内から循環系内に導電性流体が流出するのを防止することができる。
【００２８】
上記発明においては特に限定されないが、前記判断手段が前記絶縁性流体への前記導電性流体の混入を検出したら、その旨を報知する報知手段をさらに備えていることが好ましい（請求項１７参照）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００３０】
＜第１実施形態＞
図１は本発明の第１実施形態に係る導電性流体検出装置の全体構成を示す概念図、図２は図１に示す導電性流体検出装置による検出方法を説明するための要部断面図である。
【００３１】
本発明の第１実施形態に係る導電性流体検出装置１０は、図１に示すように、容器９に収容された冷媒３０をチラー３のタンク４に補充する際に当該冷媒３０に混入した水分を検出するための装置であり、第１の配管１１、フィルタユニット１２、第２の配管１３、ポンプ１４及び第３の配管１５から成る冷媒注入系と、抵抗値測定回路１６、リレー１７及び報知装置１８から成る制御系と、を備えている。
【００３２】
この検出装置１０は、ポンプ１５が駆動することにより、第１の配管１１を介して容器９から冷媒３０をフィルタユニット１２内に供給し、フィルタユニット１２において水分混入の検査を行った後に、第２及び第３の配管１３、１５を経由して、チラー３のタンク４に冷媒を供給するようになっている。本実施形態に係る検出装置１０によりチラー３のタンク４に注入される冷媒３０としては、例えばスリーエム社製フロリナート（Ｆｌｕｏｒｉｎｅｒｔ）（登録商標）等のフッ素系不活性液体を挙げることができる。
【００３３】
本実施形態におけるフィルタユニット１２は、管状部材２１、２枚のメッシュ部材１２２、１２４及び濾紙１２３を備えている。
【００３４】
上流側メッシュ部材１２２は、冷媒３０及び水分が通過可能な網状部材である。この上流側メッシュ部材１２２は、導電性を有する導電性材料から構成されている。上流側メッシュ部材１２２を構成する導電性材料としては金属材料を挙げることができ、その中でも錆の発生を抑制する観点から例えばステンレスやチタン等が好ましい。
【００３５】
下流側メッシュ部材１２４も同様に、冷媒３０及び水分が通過可能な孔が多数形成された網状部材から構成されている。この下流側メッシュ部材１２４は、導電性を有する導電性材料から構成されている。下流側メッシュ部材１２４を構成する導電性材料としては金属材料を挙げることができ、その中でも錆の発生を抑制する観点から例えばステンレスやチタン等が好ましい。なお、本実施形態では、補充源である容器９側を上流と称し、補充先であるチラー３のタンク４側を下流と称する。
【００３６】
これらメッシュ部材１２２、１２４は、積層された状態で管状部材２１の内部に設けられている。これらメッシュ部材１２２、１２４は、管状部材２１の軸方向（冷媒３０の流通方向）に実質的に直交するような姿勢で管状部材２１内に設けられており、管状部材２１内を上流側から下流側に向かって通過する全ての冷媒３０がメッシュ部材１２２、１２４を必然的に通過するようになっている。
【００３７】
濾紙１２３は、冷媒３０に混入した水分を保持することが可能となっており、上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４との間に密着するように挟まれている。そして、この濾紙１２３が水分を保持することによりメッシュ部材１２２、１２４が導通するようになっている。
【００３８】
なお、メッシュ部材１２２、１２４の間に挟まれる部材は、電気絶縁性を有すると共に水分を保持することが可能であれば特に濾紙に限定されず、例えば布などを保持手段としてメッシュ部材１２２、１２４の間に挟んでも良い。
【００３９】
さらに、管状部材１２１の内部においてメッシュ部材１２２、１２４及び濾紙１２３よりも下流側にゼオライト１２５が充填されている。これにより、冷媒３０に混入した水分が濾紙１２３を通過してもゼオライト１２５により吸着されるので、チラー３のタンク４に水分が流入してしまうのを防止することができる。また、通常の使用時においてこのゼオライト１２５により濾紙１２３の乾燥が維持される。なお、ゼオライト１２５の代わりに、化学的に安定し且つ電気的な絶縁性に優れた特性を持つ水分吸着剤を充填しても良い。そのような水分吸着剤として、例えばシリカゲルを挙げることができる。
【００４０】
以上に説明したフィルタユニット１２は、カプラー（不図示）を介して第１及び第２の配管１１、１３にそれぞれ着脱可能に取り付けられている。そして、冷媒３０への水分の混入を一度検出したら、当該フィルタユニット１２はカプラーにより取り外され、新規なフィルタユニット１２と交換される。
【００４１】
抵抗値測定回路１６は、上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４の間に電圧を印加して、メッシュ部材１２２、１２４間に流れる微少電流を検出することにより、上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４の間の抵抗値を測定する回路である。
【００４２】
フィルタユニット１２を通過している冷媒３０に水分が混入していない場合には、上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４の間は濾紙１２３及び冷媒３０により電気的に絶縁されているので、抵抗値測定回路１６は無限大の抵抗値を測定する。
【００４３】
これに対し、冷媒３０に水分が混入している場合には、図２に示すように、その混入した水分が濾紙１２３に保持される。そして、濾紙１２３において水分を捕獲した部分１２３ａを介して、上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４が導通するので、抵抗値測定回路１６は低下した抵抗値Ｒを測定する。
【００４４】
リレー１７は、ポンプ１４への電力供給するための回路を開閉する接点であり、抵抗値測定回路１６が無限大の抵抗値を測定している限りは接点を閉じ、抵抗値測定回路１６が抵抗値Ｒを測定したら接点を閉じるようになっている。従って、冷媒３０に水分が混入していない場合には、ポンプ１４に電力が供給され、冷媒３０に水分が混入している場合には、ポンプ１４への電力供給が停止するようになっている。
【００４５】
報知装置１８は、フィルタユニット１２を通過する冷媒３０に水分が混入している場合にその旨を報知する装置である。この報知装置１８は、抵抗値測定回路１６が抵抗値Ｒを測定したら、例えば、冷媒３０の補充を行っている作業者に対して、冷媒３０に水分が混入している旨を喚起するようになっている。
【００４６】
以下に、本実施形態に係る導電性流体検出装置１０の動作について説明する。
【００４７】
先ず、冷媒３０が収容された容器９に第１の配管１１の先端を挿入すると共に、第３の配管１５の後端をチラー３のタンク４に挿入する。次いで、ポンプ１４を駆動させ、第１の配管１１、フィルタユニット１２、第２の配管１３、ポンプ１４及び第３の配管１５を介して、容器９からチラー３のタンク４へ冷媒３０の注入を開始する。
【００４８】
この注入の際、冷媒３０に水分が混入していると、フィルタユニット１２において、その水分が濾紙１２３に捕獲され、その捕獲された部分１２３ａを介して上流側メッシュ部材１２２と下流側メッシュ部材１２４とが導通し、これらメッシュ部材１２２、１２４間の抵抗値が無限大から抵抗値Ｒに低下する。
【００４９】
抵抗値測定回路１６がこの抵抗値Ｒを測定すると、リレー１７が開いてポンプ１４への電力供給が停止し、チラー３のタンク４への冷媒３０の注入が強制的に中止される。これにより、水分が混入した冷媒３０がチラー３のタンク４に流入するのを防止することができる。また、リレー１７によるポンプ１４の停止と同時に、報知装置１８が作業者に対して、冷媒３０に水分が混入している旨を喚起する。
【００５０】
これに対し、冷媒３０に水分が混入していない場合には、抵抗値測定回路１６は無限大の抵抗値を検出しているので、ポンプ１４は常時駆動しており、容器９からチラー３のタンク４へ冷媒３０の注入が継続される。
【００５１】
以上のように、本実施形態では、冷媒３０に混入した水分が濾紙１２３に保持され、メッシュ部材１２２、１２４同士が導通したら、この導通に基づいて冷媒３０に水分が混入していると判断し、ポンプ１４を停止させることにより、冷媒３０に混入した水分がチラー３のタンク４等に流入するのを防止する。
【００５２】
なお、以上の実施形態では、冷媒３０に水分が混入していた場合について説明したが、誤って容器を間違え、冷媒３０ではなく蒸留水等の水分自体をチラー３のタンク４に注入してしまった場合にも適用することができる。この場合にも、水分によりメッシュ部材１２２、１２４同士が導通し、その導通に基づいてポンプ１４が停止するので、水分がチラー３のタンク４に流入するのを防止することができる。
【００５３】
＜第２実施形態＞
図３は本発明の第２実施形態における電子部品試験装置の冷媒循環路を示す概略斜視図、図４は本発明の第２実施形態に係るフィルタユニットを示す斜視図、図５は図４のV部の拡大正面図及び本発明の第２実施形態に係る導電性流体検出装置の全体構成を示す概念図である。
【００５４】
チラー３には、図３に示すように、タンク４→供給側配管３ｂ→ウォータジャケット７→返送側配管３ｃ→タンク４の経路で冷媒３０を循環させるためのポンプ３ａが設けられている。このポンプ３ａが駆動すると、タンク４内に収容された冷媒３０がタンク４の出口４ａに吸い寄せられ、上記の経路を経た後に入口４ｂからタンク４内に戻るようになっている。なお、特に図示していないが、タンク４からウォータジャケット７に至る供給側配管３ｂは、冷媒３０を所望の温度に冷却するための熱交換器内を通過している。
【００５５】
本発明の第２実施形態に係る導電性流体検出装置２０は、ポンプ３の駆動により冷媒３０がタンク４の出口４ａに吸い寄せられる際に、チラー３のタンク４内に収容された冷媒３０に混入している水分を検出するための装置であり、図３〜図５に示すように、フィルタユニット２１、抵抗値測定回路２７、リレー２８及び報知装置２９を備えている。本実施形態においてチラー３のタンク４に収容されている冷媒３０としては、例えばスリーエム社製フロリナート（Ｆｌｕｏｒｉｎｅｒｔ）（登録商標）等のフッ素系不活性液体を挙げることができる。
【００５６】
本実施形態におけるフィルタユニット２１は、図４に示すように、円筒状の筒状体２１と、円盤状の台座２６と、から構成されている。
【００５７】
筒状体２２は、複数の第１の導電性線材２３、複数の第２の導電性線材２４及び複数の絶縁性線材２５を編み込んだメッシュ部材により構成されている。
【００５８】
複数の第１の導電性線材２３は、同図に示すように、筒状体２２の高さ方向に沿って延在した姿勢で、当該筒状体２２の周方向に沿って実質的に等間隔に配置されている。そして、各第１の導電性線材２３は、上端で環状の第１の接続部材２３ａにそれぞれ電気的に接続されている。
【００５９】
複数の第２の導電性線材２４も、同図に示すように、筒状体２２の高さ方向に沿って延在した姿勢で、当該筒状体２２の周方向に沿って実質的に等間隔に配置されており、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４が、筒状体２２の周方向に沿って交互に配置されている。各第２の導電性線材２４は、上端で環状の第２の接続部材２４ａにそれぞれ電気的に接続されている。
【００６０】
なお、同図に示すように、第２の導電性線材２４は、筒状体２２の高さ方向に沿って第１の導電性線材２３よりも短くなっている。また、例えば第２の導電性線材２４との接合点以外の第２の接続部材２４ａの外周が被覆されていることにより、第２の接続部材２４ａは第１の導電性線材２３に対して電気的に絶縁されている。
【００６１】
絶縁性線材２５は、例えば合成樹脂材料等の電気絶縁性に優れた材料から構成される環状の線材であり、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４の電気絶縁性を維持した状態でこれらを周方向に沿って機械的に連結している。
【００６２】
台座２６は、図４に示すように、中央に開口２６ａが形成された円盤状部材であり、例えば、合成樹脂材料等の電気絶縁性に優れた材料から構成されている。この台座２６の開口２６ａと筒状体２２の内孔とが同軸状になるように、この台座２６に筒状体２２が取り付けられている。
【００６３】
以上のような構成のフィルタユニット２１は、図３に示すように、タンク４の出口４ａと台座２６の開口２６ａとが同軸状になるように、タンク４内に設けられており、筒状体２２が出口４ａの周囲を囲っている。これにより、タンク４内において出口４ａに向かう全ての冷媒３０が筒状体２２を通過するようになっている。
【００６４】
同図に示すように、このフィルタユニット２１の高さｈ１は、タンク４内に収容されている冷媒３０の液面の上限ｈ２よりも高く設定されている。これにより、タンク４内の冷媒３０の液面変化に依存せずに水分混入を正確に検出することが可能となる。
【００６５】
抵抗値測定回路２７は、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４の間に電圧を印加して、導電性線材２３、２４間に流れる微小電流を検出することにより、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４の間の抵抗値を測定する回路である。なお、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４の間隔は、微量な水分でも検出できるように、可能な限り隣接していることが好ましい。
【００６６】
タンク４内においてフィルタユニット２１の第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４との間を通過している冷媒３０に水分が混入していない場合には、第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４との間は、冷媒３０により電気的に絶縁されているので、抵抗値測定回路２７は無限大の抵抗値を測定する。
【００６７】
これに対し、冷媒３０に水分が混入している場合には、図５の拡大正面図に示すように、その混入した水分が第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４との間を通過する際に、その水分Ｗを介して第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４が瞬間的に導通するので、抵抗値測定回路２７は非絶縁状態の抵抗値Ｒを検出する。ここで、瞬間的な検出信号でも検出できるように、ラッチ回路を備えることが好ましい。
【００６８】
リレー２８は、ポンプ３ａへの電力供給のための回路を開閉する接点であり、抵抗値測定回路２７が絶縁状態を示す高抵抗値（絶縁抵抗値）を測定している限りは接点を閉じ、抵抗値測定回路２７が所望の抵抗値Ｒ（非絶縁抵抗値）以下を測定したら接点を閉じるようになっている。従って、冷媒３０に水分が混入していない場合には、ポンプ３ａに電力が供給され、冷媒３０に水分が混入している場合には、ポンプ３ａへの電力供給を直ちに遮断するようになっている。なお、本実施形態では図５に示すように直流電源に適用した例について説明しているが、本発明においては特にこれに限定されず、交流電源に適用しても良い。また、ポンプ３ａに対する通常の起動／停止を制御するポンプ起動制御部は特に図示していない。
【００６９】
報知装置２９は、フィルタユニット２１を通過する冷媒３０に水分が混入していることを検出したら、直ちにその旨を、例えば、表示装置若しくは警報装置を用いて、又は、ネットワーク経由で、報知する装置である。この報知装置２９は、抵抗値測定回路２７が抵抗値Ｒを測定したら、例えば、電子部品試験装置１のオペレータに対して、冷媒３０に水分が混入している旨を喚起するようになっている。
【００７０】
以下に、本実施形態に係る導電性流体検出装置２０の動作について説明する。
【００７１】
チラー３の電源（不図示）を入れてポンプ３ａが駆動すると、タンク４内に収容された冷媒３０が出口４ａに吸い寄せられ、供給側配管３ｂ→ウォータジャケット７→返送側配管３ｃ→タンク４に至る循環系に供給される。
【００７２】
ポンプ３ａの駆動により冷媒３０が出口４ａに向かう際、全ての冷媒３０はフィルタユニット２１の筒状体２２の網の目を通過する。
【００７３】
この通過の際、冷媒３０に僅かな水分が混入している場合には、その水分により第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４とが非絶縁状態になる結果、これら導電性線材２３、２４間の抵抗値が無限大から抵抗値Ｒに低下する。
【００７４】
抵抗値測定回路２７がこの抵抗値Ｒを測定すると、リレー２８が開いてポンプ３ａへの電力供給が停止し、チラー３内の冷媒３０の循環が停止する。これにより、水分が混入した冷媒３０がタンク内からチラー３の循環系に流出するのを防止することができる。リレー２８によるポンプ３ａの停止と同時に、報知装置２９がオペレータに対して、タンク４内に収容されている冷媒３０に水分が混入している旨を喚起する。
【００７５】
一方、冷媒３０に水分が混入していない場合には、網の目を構成する第１の導電性線材２３と第２の導電性線材２４との間の電気絶縁性は冷媒３０により維持され、抵抗値測定回路２７はほぼ無限大の抵抗値を検出しているので、ポンプ３ａは常時駆動しており、チラー３内の冷媒３０の循環が継続される。
【００７６】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００７７】
本実施形態におけるフィルタユニット２１は、その上部が開放している構造であったが、本発明においては特にこれに限定されず、例えば、フィルタユニットの上部を絶縁部材で閉塞しても良い。この場合には、冷媒３０の液面の上限ｈ２に依存しない利点がある。
【００７８】
また、本発明における絶縁性流体は、高い絶縁性を有し且つ化学的に安定した性質を有する流体であれば、実施形態にて説明したようなフッ素系不活性液体に限定されない。
【００７９】
また、上述の実施形態ではポンプ１４を電動式のものとして説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、作業者が手動で操作するポンプであっても良い。この場合には、報知装置１８の喚起に基づいて作業者がポンプの操作を停止する。
【００８０】
さらに、水分検出による抵抗値よりも大幅に低い抵抗値（例えば数百Ω）を検出した場合に、フィルタユニット２１の不良として特定し、この不良状態を外部に通報する機能を、抵抗値測定回路２７が備えても良い。これにより、隣接している第１及び第２の導電性線材２３、２４同士のショートによる誤作動を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】図１は、本発明の第１実施形態に係る導電性流体検出装置の全体構成を示す概念図である。
【図２】図２は、図１に示す導電性流体検出装置による検出方法を説明するための要部断面図である。
【図３】図３は、本発明の第２実施形態における電子部品試験装置の冷媒循環路を示す概略斜視図である。
【図４】図４は、本発明の第２実施形態に係るフィルタユニットを示す斜視図である。
【図５】図５は、図４のV部の拡大平面図及び本発明の第２実施形態に係る導電性流体検出装置の全体構成を示す概念図である。
【図６】図６は、従来のチラーへの冷媒の補充方法を示す概略斜視図である。
【符号の説明】
【００８２】
１…電子部品試験装置
２…テスタ
３…チラー
３ａ…ポンプ
３ｂ…供給側配管
３ｃ…返送側配管
４…タンク
４ａ…入口
４ｂ…出口
５…テストヘッド
６…ピンエレクトロニクスカード
７…ウォータジャケット
８…ポンプ
９…容器
１０…導電性流体検出装置
１１…第１の配管
１２…フィルタユニット
１２１…管状部材
１２２…上流側メッシュ部材
１２３…濾紙
１２３ａ…濾紙において水分を捕獲した部分
１２４…下流側メッシュ部材
１２５…ゼオライト
１３…第２の配管
１４…ポンプ
１５…第３の配管
１６…抵抗値検出回路
１７…リレー
１８…報知装置
２０…導電性流体検出装置
２１…フィルタユニット
２２…筒状体
２３…第１の導電性線材
２３ａ…第１の接続部材
２４…第２の導電性線材
２４ａ…第２の接続部材
２５…絶縁性線材
２６…台座
２６ａ…貫通孔
２７…抵抗値検出回路
２８…リレー
２９…報知手段
３０…冷媒  
Ｒ…低下した抵抗値
Ｗ…通過する水分
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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