(57)【要約】【課題】電子部品の吸着保持状態判定を正確に効率よく行うことができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。【解決手段】吸着ノズルを備えた搭載ヘッドによって部品供給部から電子部品を真空吸着により取り出して基板に実装する電子部品実装において、搭載ヘッドによって電子部品を部品供給部から取り出した後の吸着状態の検査を、吸着ノズルから真空吸引する吸気路内の真空圧に基づく吸着状態判定と、吸着ノズルに保持された状態の電子部品を撮像する部品認識による保持状態判定のいずれによって行うかの検査方法判定を、データライブラリに予め記憶させたデータに基づいて行い、対象とする電子部品および吸着ノズルの適性に応じてこれらを使い分ける。これにより電子部品の吸着保持状態判定を正確に効率よく行うことができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸着ノズルを備えた搭載ヘッドによって部品供給部から電子部品を真空吸着により取り出して基板に実装する電子部品実装装置であって、
前記吸着ノズルを真空吸引する吸気路内の真空圧を検出することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の吸着状態を判定する吸着状態判定手段と、
前記搭載ヘッドによって保持された状態の電子部品を光学的に認識することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の保持状態を判定する保持状態判定手段と、
前記電子部品についての部品データおよび吸着ノズルについてのノズルデータをそれぞれ複数種類記憶するデータライブラリと、
前記吸着ノズルによって電子部品を部品供給部から取り出した後の部品吸着保持状態の正否判断を前記吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれによって行うかを、前記部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定する検査方法判定部とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項２】
前記検査方法判定部は、前記部品データとノズルデータとの組み合わせについて判定される部品吸着状態の検出難易度に基づいて前記決定を行うことを特徴とする電子部品実装装置。
【請求項３】
部品供給部から電子部品を吸着ノズルによって真空吸着して取り出して基板に移送搭載する搭載ヘッドと、前記吸着ノズルを真空吸引する吸気路内の真空圧を検出することにより電子部品の吸着状態を判定する吸着状態判定手段と、前記搭載ヘッドによって保持された状態の電子部品を光学的に認識することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の保持状態を判定する保持状態判定手段と、前記電子部品についての部品データおよび吸着ノズルについてのノズルデータをそれぞれ複数種類記憶するデータライブラリとを備えた電子部品実装装置によって電子部品を基板異実装する電子部品実装方法であって、
前記吸着ノズルによって電子部品を部品供給部から取り出した後の部品吸着保持状態の正否判断を前記吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれで行うかを、前記部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定することを特徴とする電子部品実装方法。
【請求項４】
前記部品データとノズルデータとの組み合わせについて判定される部品吸着状態の検出難易度に基づいて前記決定を行うことを特徴とする請求項１記載の電子部品実装方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、部品供給部から搭載ヘッドによって電子部品を取り出して基板に実装する電子部品実装装置および電子部品実装方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
電子部品を基板に搭載する電子部品実装装置においては、部品供給部から電子部品を搭載ヘッドによって取り出して基板に移送搭載する部品搭載動作が反復して実行される。搭載ヘッドによって電子部品を保持する方法としては、真空吸着による方法が多用される。この方法は、下端部に吸着孔が設けられた吸着ノズルを電子部品の上面に当接させた状態で吸着孔から真空吸引することにより発生する負圧を利用して電子部品を保持するものであり、真空吸引をオンオフすることのみによって保持状態を制御できるという利点がある反面、真空吸引状態は種々の要因によって変化することから吸着保持状態は必ずしも安定せず、確実な電子部品の保持・保持解除が保証されないという欠点がある。
【０００３】
このため、真空吸引によって電子部品を保持する吸着ノズルを用いた電子部品実装装置では、実装動作の所定のタイミング、例えば吸着ノズルを部品供給部で上下動させて電子部品を取り出すピックアップ動作後において、正常に電子部品が吸着保持されたか否かの確認が行われる。この電子部品の吸着保持状態の検査方法として従来は、真空吸引回路の真空度を検出する方法や（例えば特許文献１参照）、吸着ノズルの下端部における電子部品の有無を、光センサによる物体検出やカメラを用いた画像認識によって判定する方法（例えば特許文献２参照）が用いられていた。
【特許文献１】特開昭６４−８６０８８号公報
【特許文献２】特開昭６２−１９９３２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上記方法による電子部品の吸着保持状態の判定には、次のような難点がある。まず、吸着ノズル内の真空度を検出する方法では、微小部品を対象とする場合には吸着孔径が小さい細径ノズルを用いることに起因して、吸着状態の判定が困難になっている。すなわち、細径ノズルでは真空吸引時の圧力損失が大きいため、チップを吸着した状態での吸着ノズル内の真空度と、チップが吸着されていない場合の真空度との間に大きな差が生じない。吸着ノズルを真空吸引する吸引手段の吸引容量との対比においては、電子部品がない状態で細径の吸着孔から吸引される吸引空気量と、電子部品が吸着保持された状態で電子部品と吸着ノズルとの間のリークによって吸引される吸引空気量との間に大きな差が存在しないからである。
【０００５】
また画像認識を利用した電子部品有無検出による吸着保持状態判定を行おうとすれば、検査の都度吸着ノズルをカメラによる撮像位置まで移動させなければならず、搭載ヘッドの移動時間が増大して動作効率向上の要請に反することとなる。このように、従来の電子部品実装装置における電子部品の吸着保持状態判定には、正確な判定を効率よく行うことが困難であるという問題点があった。
【０００６】
そこで本発明は、電子部品の吸着保持状態判定を正確に効率よく行うことができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の電子部品実装装置は、吸着ノズルを備えた搭載ヘッドによって部品供給部から
電子部品を真空吸着により取り出して基板に実装する電子部品実装装置であって、前記吸着ノズルを真空吸引する吸気路内の真空圧を検出することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の吸着状態を判定する吸着状態判定手段と、
【０００８】
前記搭載ヘッドによって保持された状態の電子部品を光学的に認識することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の保持状態を判定する保持状態判定手段と、前記電子部品についての部品データおよび吸着ノズルについてのノズルデータをそれぞれ複数種類記憶するデータライブラリと、前記吸着ノズルによって電子部品を部品供給部から取り出した後の部品吸着保持状態の正否判断を前記吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれによって行うかを、前記部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定する検査方法判定部とを備えた。
【０００９】
本発明の電子部品実装方法は、部品供給部から電子部品を吸着ノズルによって真空吸着して取り出して基板に移送搭載する搭載ヘッドと、前記吸着ノズルを真空吸引する吸気路内の真空圧を検出することにより電子部品の吸着状態を判定する吸着状態判定手段と、前記搭載ヘッドによって保持された状態の電子部品を光学的に認識することにより前記吸着ノズルにおける電子部品の保持状態を判定する保持状態判定手段と、前記電子部品についての部品データおよび吸着ノズルについてのノズルデータをそれぞれ複数種類記憶するデータライブラリとを備えた電子部品実装装置によって電子部品を基板異実装する電子部品実装方法であって、前記吸着ノズルによって電子部品を部品供給部から取り出した後の部品吸着保持状態の正否判断を前記吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれで行うかを、前記部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、搭載ヘッドによって電子部品を部品供給部から取り出した後の吸着保持状態の正否判定を、真空圧に基づく吸着状態判定手段と部品認識による保持状態判定手段のいずれによって行うかを部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定し、対象とする電子部品および吸着ノズルの適性に応じてこれらを使い分けることにより、電子部品の吸着保持状態判定を正確に効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における搭載ヘッドの構成および保持状態判定の機能説明図、図３は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置における単位搭載ヘッドの構成および吸着状態判定の機能説明図、図４は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図、図５は本発明の一実施の形態の電子部品実装装置におけるデータライブラリの説明図、図６は本発明の一実施の形態の電子部品実装方法を示すフロー図である。
【００１２】
まず図１、図２，図３を参照して、電子部品実装装置の構成を説明する。図１において基台１の中央にはＸ方向（基板搬送方向）に搬送路２が配設されている。搬送路２は上流側から搬入された基板３を搬送し実装ステージに位置決めする。搬送路２の両側方には、部品供給部４が配置されており、それぞれの部品供給部４には複数のテープフィーダ５が並設されている。テープフィーダ５は、電子部品（以下、単に「部品」と略記する。）を保持したキャリアテープをピッチ送りすることにより、以下に説明する搭載ヘッドの吸着ノズルによる部品吸着位置に部品を供給する。
【００１３】
基台１上面の両端部上にはＹ軸テーブル６Ａ，６Ｂが配設されており、Ｙ軸テーブル６Ａ、６Ｂ上には２台のＸ軸テーブル７Ａ，７Ｂが架設されている。Ｙ軸テーブル６Ａを駆動することにより、Ｘ軸テーブル７ＡがＹ方向に水平移動し、Ｙ軸テーブル６Ｂを駆動す
ることにより、Ｘ軸テーブル７ＢがＹ方向に水平移動する。Ｘ軸テーブル７Ａ，７Ｂには、それぞれ搭載ヘッド８および搭載ヘッド８と一体的に移動する基板認識カメラ９が装着されている。
【００１４】
Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂをそれぞれ組み合わせて駆動することにより搭載ヘッド８は水平移動する。これにより、搭載ヘッド８はそれぞれの部品供給部４から部品を取り出し、この部品を搬送路２に位置決めされた基板３上に移送搭載して実装する。Ｙ軸テーブル６Ａ，Ｘ軸テーブル７Ａ，Ｙ軸テーブル６Ｂ，Ｘ軸テーブル７Ｂは、搭載ヘッド８を移動させるヘッド移動機構となっている。そしてヘッド移動機構によって搭載ヘッド８とともに基板３上に移動した基板認識カメラ９は、基板３を撮像して認識する。
【００１５】
図２（ａ）に示すように、搭載ヘッド８は複数の単位搭載ヘッド８ａを備えた多連型ヘッドであり、各単位搭載ヘッド８ａには部品１３を真空吸着して保持する吸着ノズル１２が装着されている。単位搭載ヘッド８ａはそれぞれ吸着ノズル１２を昇降させるノズル昇降機構、吸着ノズル１２を軸廻りに回転させるノズル回転機構を備えている。
【００１６】
部品供給部４から搬送路２に至る経路には、部品撮像部１０およびノズル保持部１１が配設されている。部品撮像部１０は、図２（ｂ）に示すように、照明部１４および部品認識カメラ１５を備えている。ノズル保持部１１は、複数種類の吸着ノズル１２を所定姿勢で収納し、搭載ヘッド８がノズル保持部１１にアクセスしてノズル交換動作を行うことにより、搭載ヘッド８において対象とする部品の種類に応じてノズル交換が行われる。本実施の形態においては、複数種類の部品を対象として部品実装動作を行うことから、ノズル保持部１１にはこれらの部品種類に対応した複数種類の吸着ノズル１２が収納される。
【００１７】
部品供給部４から部品を真空吸着により取り出した搭載ヘッド８が搬送路２の実装ステージに位置決めされた基板３へ移動する際に、吸着ノズル１２に保持された部品１３を部品撮像部１０の上方でＸ方向に移動させることにより、図２（ｂ）に示すように、部品認識カメラ１５は吸着ノズル１２に保持された状態の部品Ｐの画像を取得する。
【００１８】
部品認識カメラ１５は認識処理部１６に接続されており、部品認識カメラ１５によって取得された画像データを認識処理部１６によって認識処理することにより、吸着ノズル１２の下端部における部品の保持状態、すなわちすなわち部品の有無や位置ずれ検出のためのデータを取得することができる。この認識結果は保持状態判定部２４ｃ（図４も参照）に送られ、これにより、吸着ノズル１２における部品の保持状態、すなわち部品の有無や位置ずれ状態が判定される。従って、部品撮像部１０，認識処理部１６および保持状態判定部２４ｃは、搭載ヘッド８によって保持された状態の部品を光学的に認識することにより、吸着ノズル１２における部品の保持状態を判定する保持状態判定手段となっている。
【００１９】
図３に示すように、吸着ノズル１２は単位搭載ヘッド８ａに設けられたノズル装着部８ｂに着脱自在に装着される。ノズル装着部８ｂには吸気路１３が接続されており、吸着ノズル１２を装着した状態では吸気路１３は吸着ノズル１２に設けられた吸引孔と連通する。吸気路１３は吸引オンオフのためのバルブ１８を介して真空ポンプ１９と接続されており、真空ポンプ１９を駆動した状態でバルブ１８を開閉することにより、吸着ノズル１２からの真空吸引のオンオフが制御される。
【００２０】
吸気路１３には真空圧センサ１７が接続されており、真空圧センサ１７は吸気路１３内の真空圧を検出する。検出結果は吸着状態判定部２４ｂ（図４も参照）に伝達され、これにより吸着ノズル１２における吸着状態を判定する。すなわち、吸着ノズル１２が部品を正常に吸着保持した状態では、吸着ノズル１２の吸着孔は部品の吸着保持面によってほぼ
塞がれた状態となっていることから、吸気路１３内の真空圧（負圧の絶対値）は上昇する。
【００２１】
これに対し、吸着ノズル１２に部品が保持されていない状態で真空ポンプ１９を駆動しても、吸着ノズル１２の吸着孔からエアが吸引されることから吸気路１３内の真空圧は低いまま上昇しない。また部品が吸着ノズル１２に保持されていても、大きく位置ずれしていて吸着孔が部分的に外部と連通している状態にあるような場合にも、真空リークにより上述の正しい保持状態における真空圧には到達しない。
【００２２】
このような場合には、部品は吸着ノズルに保持されてはいるもののその保持状態は不安定であり、部品実装動作の途中で大きく位置ずれを生じたり、さらには保持状態が外れて落下するなどの不具合を招くおそれがある。このような不具合を放置したまま実装動作を継続すると、実装ミスやマシントラブルを生じるため、搭載ヘッド８が部品供給部４から部品を取り出した後、できるだけ早いタイミングで吸着ノズル１２による部品吸着状態の正否を判断する必要がある。
【００２３】
本実施の形態においては、吸着ノズル１２が部品供給部４にて部品を吸着保持して取り出すピックアップ動作の直後に、まず吸引路１３内の真空圧を検出することにより、部品吸着状態の正否を判断するようにしている。すなわち前述の正しい吸着保持状態における吸引路１３内の真空圧と、部品が存在しないかあるいは部品が許容範囲を超えて大きく位置ずれしている状態における真空圧とを安定して切り分けられるようなしきい値Ｖｔｈを、吸着ノズル１２のノズル種類毎に予め設定する。そして実際の作業動作時には、真空度センサ１７によって計測された真空圧をこのしきい値ｖｔｈと比較する。
【００２４】
すなわち図３（ｂ）に示すように、真空圧センサ１７の計測結果が、予め定められたしきい値Ｖｔｈを超えていれば、吸着ノズル１２に部品が正常な状態で吸着保持されており、しきい値Ｖｔｈに満たなければ吸着ノズル１２に部品が保持されていないか、あるいは大きな位置ずれなど不正常な状態で保持されていると判定することができる。このしきい値Ｖｔｈに基づく判定処理は、吸着状態判定部２４ｂによって行われる。従って、真空圧センサ１７および吸着状態判定部２４ｂは、吸着ノズル１２を真空吸引する吸気路内の真空圧を検出することにより吸着ノズル１２における部品の吸着状態を判定する吸着状態判定手段となっている。本実施の形態においては、吸着ノズルによるピックアップ動作の直後に判定可能なこの方法を優先的に適用するようにしている。
【００２５】
次に図４を参照して、部品実装装置の制御系の構成を説明する。制御部２０は、以下に説明する各部を全体制御する。記憶部２１は部品実装装置の各部の動作制御に必要なプログラムや、各種のデータを記憶する。これらのデータには、パーツライブラリ２１ａ、ノズルライブラリ２１ｂ、組み合わせライブラリ２１ｃが含まれる。
【００２６】
パーツライブラリ２１ａは、この部品実装装置において作業対象となる部品、例えば図５（ａ）に示す部品Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３など複数種類の部品について、部品番号、形状種類、サイズ、使用可能なノズル種類などのデータをデータライブラリとして編集したものである。部品Ｐ１は、ＢＧＡなど下面側に接続用のバンプ２２ａを有し比較的大きなサイズＤ１の部品である。部品Ｐ２は、微小サイズＤ２の矩形形の小型チップ部品であり、吸着保持面２２ｂは完全な平面ではなく吸着ノズル１２によって吸着保持する場合には、真空リークを生じやすいという特性を有している。また第３の部品Ｐ３は、コネクタなど大型で外形に溝２２ｃなどの凹部が設けられた異形部品であり、同様に吸着ノズル１２によって吸着する際に不可避的に真空リークを生じる。
【００２７】
ノズルライブラリ２１ｂは、この部品実装装置の単位搭載ヘッド８ａに使用可能な吸着
ノズル１２、例えば図５（ｂ）に示す吸着ノズル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃなどについて、ノズル番号、形状種類、吸着保持可能な部品の種類などのデータを、ライブラリ形式で編集したものである。吸着ノズル１２Ａは吸着保持面が小さい微小部品（例えば部品Ｐ２など）に対応した小さな径ｄ１を有する細径ノズルであり、吸着ノズル１２Ｂは吸着保持面が比較的大きい通常サイズの部品を対象として、ｄ１よりも大きい径ｄ２を有する標準径ノズルである。また吸着ノズル１２Ｃは、大型部品を広い吸着保持面で保持できるよう、ブロック状の吸着部２３を備えたものである。
【００２８】
組み合わせライブラリ２１ｃには、図５（ｃ）に示すように、部品−ノズル組み合わせデータが記憶されている。部品−ノズル組み合わせデータは、パーツライブラリ２２ａに示す部品をノズルライブラリ２２ｂに示す吸着ノズル１２によって保持する場合の、吸着状態検出の難易度に基づいて予め選択された吸着保持検査方法の区分を示すデータを集約・編集したものである。
【００２９】
従って、記憶部２１は、実装対象の部品についての部品データおよび吸着ノズルについてのノズルデータをそれぞれ複数種類記憶し、さらに上述の組み合わせライブラリデータを記憶するデータライブラリとなっている。同一の電子部品実装装置によって複数種類の部品を対象として実装作業を行う場合に、このような構成のデータライブラリを参照することにより、各部品な吸着ノズルに対応した適正な吸着状態の検出方法を選択することができる。
【００３０】
すなわち、部品Ｐ１を対象とする場合には、適合ノズルとして大きな吸着面を有する吸着ノズル１２Ｃが選定され、この場合には区分Ｖ（真空圧に基づく吸着状態検出）が予め設定されている。これに対し、部品Ｐ２を対象とする場合、このタイプに適合した吸着ノズル１２Ａによって吸着保持する場合でも、前述のように部品Ｐ２は吸着保持面と吸着ノズルの吸着面との間で真空リークが生じやすく、吸着ノズル１２に部品が正常に吸着保持されている状態と、部品が存在しない場合とで真空圧に大きな差が生じず、計測された真空圧に基づく吸着保持状態の判定が難しい。
【００３１】
また部品Ｐ３に吸着ノズル１２Ｃを用いる場合においても、部品３の吸着保持面に溝２２ｃが存在することによる真空リークのため、同様の問題が生じる。したがって、このような真空圧に基づく吸着状態検出の難易度が高い組み合わせを採用する場合には、区分Ｒ（部品認識による保持状態検出）を適用する。これにより部品吸着保持状態の正否判断において安定した判断結果を得ることができる。すなわちこの区分Ｒが適用される場合には、真空圧に基づく吸着状態判定を行うことなく、部品認識時に部品の保持状態の判定を併せて行う。
【００３２】
なお、本実施の形態においては、パーツライブラリ２１ａ、ノズルライブラリ２１ｂに加えて、予め図５（ｃ）に示す部品−ノズル組み合わせデータを予め作成して、記憶部２１に組み合わせライブラリ２１ｃとして記憶させる構成例を示しているが、パーツライブラリ２１ａ、ノズルライブラリ２１ｂのみを記憶させておき、以下に説明する吸着保持正否判断部２４の機能によって、吸着保持正否判断に用いられる方法の区分を決定するようにしてもよい。また適用対象のノズル種類や部品種が限定されている場合には、各部品毎あるいはノズル種類毎に予め上述の区分Ｒ／Ｖを固定して割り付けておくようにしてもよい。
【００３３】
吸着保持正否判断部２４は、部品供給部４から部品を取り出した搭載ヘッド８の各吸着ノズル１２における部品の吸着保持状態の正否を判断する機能を有しており、検査方法判定部２４ａ、吸着状態判定部２４ｂ、保持状態判定部２４ｃより構成される。検査方法判定部２４ａは上述の吸着保持状態の正否判断を、以下に説明する吸着状態判定部２４ｂ、
保持状態判定部２４ｃのいずれによって行うかを判定する機能を有している。
【００３４】
この検査方法判定は、前述のように記憶部２１に記憶されたパーツライブラリ２１ａ、ノズルライブラリ２１ｂのいずれか、もしくはこれらのデータを組み合わせて判断される吸着状態検出の難易度に基づいて決定される。すなわち、検査方法判定部２４ａは、吸着ノズル１２によって部品を部品供給部４から取り出した後の部品の吸着保持状態の正否判断を、吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれによって行うかを、記憶部２１に記憶された部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定する。そしてこの決定は、部品データとノズルデータとの組み合わせについて判定される部品吸着状態検出の難易度に基づいて行われる。
【００３５】
認識処理部１６は、部品認識カメラ１５の撮像結果を認識処理する機能を有しており、保持状態判定部２４ｃはこの認識結果に基づいて吸着ノズル１２における部品保持状態、すなわち部品の有無および位置ずれの程度が許容される範囲内であるかどうかを判定する。ヘッド移動機構２５は、搭載ヘッド８を移動させるＹ軸テーブル６Ａ，６Ｂ、Ｘ軸テーブル７Ａ，７Ｂであり、制御部２０によって動作制御される。Ｚ軸駆動部２６、Θ軸駆動部２７は、それぞれ搭載ヘッド８に備えられた各単位搭載ヘッド８ａのノズル昇降機構、ノズル回転機構を駆動し、同様に制御部２０によって各動作の制御が行われる。
【００３６】
次に図６を参照して、この電子部品実装装置を用いて行われる電子部品実装方法について説明する。部品実装作業が開始されると、まず搭載ヘッド８が部品供給部４の部品吸着位置へ移動する（ＳＴ１）。次いで搭載ヘッド８による部品吸着を行う（ＳＴ２）。すなわち、搭載ヘッド８の各単位搭載ヘッド８ａに装着された吸着ノズル１２を、順次実装対象の部品を収納したパーツフィーダ５に対して位置合わせし、吸着ノズル１２を下降させて部品を真空吸着により保持して取り出すピックアップ動作を行う。
【００３７】
そしてこのタイミングにて、搭載ヘッド８に装着されている吸着ノズル１２の種類と、当該ピックアップ動作において取り出された部品の種類の組み合わせに基づいて、検査方法判定を検査方法判定部２４ａによって行う（ＳＴ３）。すなわち、吸着ノズル１２によって部品を部品供給部４から取り出した後の吸着状態の正否判断を、前述の吸着状態判定手段と保持状態判定手段のいずれで行うかを、組み合わせライブラリ２１ｃに予め設定された区分データに基づいて、検査方法判定部２４ａによって決定する。
【００３８】
ここで、区分Ｖ、すなわち真空度による吸着状態判定を適用すべきとの判定がなされたならば、真空圧センサ１７によって計測された真空圧に基づき、吸着状態判定部２４ｂによって吸着ノズル１２における部品の吸着状態を判定する（ＳＴ４）。そしてここで吸着状態ＮＧ（部品無しまたは許容範囲以上の位置ずれ有り）と判定されたならば、吸着ノズル１２によるピックアップ動作を再度実行する。すなわち位置ずれ有りの場合には当該位置ずれした部品を投下回収した後に、部品無しの場合には直接に、（ＳＴ２）の部品吸着を再度実行する。（ＳＴ４）にて吸着状態ＯＫ（部品有りで且つ位置ずれが許容範囲未満）との判定がなされた場合には、搭載ヘッド８を部品撮像部１０による認識位置へ移動させて（ＳＴ５）、位置ずれ検出の目的の部品認識を実行する。すなわち部品認識カメラ１５によって取得した部品の画像を認識処理することにより、当該部品の位置ずれを検出する。
【００３９】
これに対し（ＳＴ３）にて区分Ｒ、すなわち部品認識による保持状態判定を適用すべきとの判定がなされた場合には、（ＳＴ４）を実行することなく（ＳＴ５）へ移行し、部品有無の判定と位置ずれ検出を兼ねた目的で、部品認識による保持状態判定を実行する（ＳＴ６）。ここで部品無しと判定されたならば、搭載ヘッド８を部品供給部４の吸着位置へ移動させて、（ＳＴ２）以降の各ステップを再度実行する。また（ＳＴ６）にて部品有り
が判定された場合には、同時に当該部品の位置ずれ検出も実行される。そしてこの後搭載ヘッド８が装着位置へ移動する過程において、（ＳＴ６）にて検出された位置ずれ量に基づいて、位置補正動作を実行し（ＳＴ７）、当該部品を基板３の実装点へ実装する（ＳＴ８）。
【００４０】
上述のように本発明は、搭載ヘッド８によって部品を部品供給部４から取り出した後の吸着保持状態の正否判断を、計測された真空圧に基づく吸着状態判定手段と部品認識による保持状態判定手段のいずれによって行うかを部品データおよびまたはノズルデータに基づいて決定するようにしている。これにより、対象とする部品および吸着ノズルの適性に応じてこれらを使い分けることができ、部品の吸着保持状態判定を正確に効率よく行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明の部品実装装置および部品実装方法は、部品の吸着保持状態を正確に効率よく行うことができるという効果を有し、吸着ノズルを備えた搭載ヘッドによって部品供給部から部品を真空吸着により取り出して基板に移送搭載する用途に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の一実施の形態の部品実装装置の平面図
【図２】本発明の一実施の形態の部品実装装置における搭載ヘッドの構成および保持状態判定の機能説明図
【図３】本発明の一実施の形態の部品実装装置における単位搭載ヘッドの構成および吸着状態判定の機能説明図
【図４】本発明の一実施の形態の部品実装装置の制御系の構成を示すブロック図
【図５】本発明の一実施の形態の部品実装装置におけるデータライブラリの説明図
【図６】本発明の一実施の形態の部品実装方法を示すフロー図
【符号の説明】
【００４３】
３  基板
４  部品供給部
８  搭載ヘッド
８ａ  単位移載ヘッド
１２，１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃ  吸着ノズル
１３  吸気路
１５  部品認識カメラ
１７  真空圧センサ
Ｐ，Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３  部品
【図１】
2007227492.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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