(57)【要約】【課題】チップ形電子部品などにおける複数の検査項目を、１台の検査用カメラで検査できる電子部品の外観検査方法を提供することを目的とするものである。【解決手段】電子部品の被検査体３に対して、第１の照明系１１を点灯し検査用カメラ１から検査用の撮影画像をメモリ３１に取込む第１ステップと、第１の照明系１１を消灯し、第１の照明系１１による検査項目以外を検査する第２の照明系１２を点灯して検査用カメラ１から検査用の撮影画像をメモリ３１に取込む第２ステップと、メモリ３１に蓄積された検査用の撮影画像における画像処理および演算判定を画像処理演算判定部３３で行う第３ステップとからなる電子部品の外観検査方法である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子部品の被検査体における設定検査項目中の所定項目を検査するために第１の照明系を点灯し検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第１ステップと、前記第１の照明系を消灯し、前記設定検査項目中における前記以外の所定項目を検査するために第２の照明系を点灯して前記検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第２ステップと、前記メモリに蓄積された前記撮影画像を画像処理および演算判定を行う第３ステップとからなる電子部品の外観検査方法。
【請求項２】
第１および第２の照明系とは異なり、被検査体の外形輪郭を検査する第３の照明系を点灯し検査用カメラから撮影画像をメモリに取込み、前記メモリに蓄積された前記撮影画像を画像処理および演算判定を行う請求項１に記載の電子部品の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種の構成部材やチップ形電子部品などにおける電子部品の外観検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の電子部品の外観検査方法は、照明系を切替えて各々の被検査画像を検査用のカメラで取込み、それらの撮影画像の相違を比較判断して、外観検査に不要な部分（情報）を除去し、要求される外観検査を行っていた。
【０００３】
なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
【特許文献１】特開２０００−２９８７２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら前記従来の電子部品の外観検査方法では、複数の画像の相違から１つの画像を作成して検査するものであり、複数のそれぞれにおける画像の特長を利用し、１台の検査用カメラで多くの検査を行うことが出来ず、また、画像を取込む光学系を工夫することで、これら多くの外観検査に１度の画像の取込みで対応するという方法も考えられるが、取込んだ撮影画像の階調度の関係上、取出せる画像の特長の量には限界があるという課題を有していた。
【０００５】
本発明は、前記課題を解決しようとするものであり、チップ形電子部品などにおける複数の外観検査項目を、１台の検査用カメラで検査できる電子部品の外観検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。
【０００７】
本発明の請求項１に記載の発明は、電子部品の被検査体における設定検査項目中の所定項目を検査するために第１の照明系を点灯し、検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第１ステップと、前記第１の照明系を消灯し、前記設定検査項目中における前記以外の所定項目を検査するための第２の照明系を点灯して前記検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第２ステップと、前記メモリに蓄積された前記撮影画像を画像処理および演算判定を行う第３ステップとからなる構成であり、これにより、単一の検査用カメラのみで構成や操作が簡素であり、所定検査項目を確実に検査できるという作用効果を有する。
【０００８】
本発明の請求項２に記載の発明は、特に、第１および第２の照明系とは異なり、被検査体の外形輪郭を検査する第３の照明系を点灯し検査用カメラから撮影画像をメモリに取込み、前記メモリに蓄積された前記撮影画像を画像処理および演算判定を行うようにした構成であり、これにより、請求項１の作用効果に加えて、被検査体の複雑な曲線を有する外観輪郭などを明確に検査できるという作用効果を有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の電子部品の外観検査方法は、被検査体の電子部品に対して、第１の照明系を点灯し検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第１ステップと、第１の照明系を消灯し、第１の照明系による検査項目以外を検査する第２の照明系を点灯して前記検査用カメラから撮影画像をメモリに取込む第２ステップと、メモリに蓄積された撮影画像を画像処理および演算判定を行う第３ステップでなる構成であり、単一の検査用カメラのみで構成や操作が簡素であり、複数の検査項目を１台の検査用カメラで容易かつ確実にできるという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、実施の形態を用いて、本発明の特に請求項１、２に記載の発明について図面を参照しながら説明する。
【００１１】
図１は、本発明の実施の形態における外観検査方法の要部概要構成図である。図１において、１はＣＣＤなどを用いて撮影した画像を電気信号に変換する検査用カメラ、２は検査用カメラ１に装着した光学系のレンズ、３はチップ形の電子部品などからなる被検査体である。
【００１２】
１１は被検査体３に照射するために、発光源、フィルターおよび筐体で構成されたリング状で、可視光線における青単色（例えば波長が４７０ｎｍ）による第１の照明系、１２は第１の照明系１１とは照射形状や大きさ、同一中心直線における照射位置、照射強度あるいは波長（スペクトラム）などは異なるが、同様の構成からなる第２の照明系、そして１３は第１の照明系１１、第２の照明系１２とは照射形状や大きさ、被検査体３に対して照射位置や方向および角度、照射強度あるいは波長（スペクトラム）などが異なるが、同様の構成からなる第３の照明系である。
【００１３】
すなわち、第１の照明系１１は、電子部品である被検査体１における設定検査項目中の所定項目を検査するために最適に設定されており、第２の照明系１２は、前記設定検査項目中における第１の照明系１１による以外の所定項目を検査するために最適に設定されており、そして第３の照明系１３は、前記以外の被検査体１における複雑な曲線などからなる外観輪郭を明確に検査するように最適に設定されているのである。
【００１４】
２１は前記第１の照明系１１、第２の照明系１２そして第３の照明系１３を駆動するための照明駆動部、３１は検査用カメラ１により撮影した画像を記憶し蓄積するメモリ、３２は検査用カメラ１、照明駆動部２１そしてメモリ３１を外観検査のために、最適設定や駆動あるいは画像などの記憶あるいは出力などをコントロールする制御部である。
【００１５】
３３はメモリ３１に記憶し蓄積された画像で外観検査のための画像処理あるいは比較演算判定を行い、判定出力４を出力する画像処理演算判定部である。
【００１６】
そして、判定出力４により被検査体３のＧＯ・ＮＯ駆動や、検査結果処理表示や分析データとするものである。
【００１７】
前記構成の検査装置による外観検査動作について説明する。
【００１８】
まず、第１ステップとして、第１の照明系１１のみを点灯し、検査用カメラ１におけるレンズ２の前面と被検査体３における被検査項目箇所を対向させて配設する。
【００１９】
そして、その検査用カメラ１にて撮影した被検査体３の画像（電気信号）をメモリ３１に取込み蓄積する。
【００２０】
次に第２ステップとして、第１の照明系１１を消灯し、第２の照明系１２を点灯し、検査用カメラ１にて撮影した被検査体３の画像（電気信号）をメモリ３１に取込み蓄積する。
【００２１】
その際、例えば第１の照明系１１による照射では、被検査体３におけるハレーションが発生し外形は確認できないが、構成電極と基板との境界（相違）などは確認でき、そして、第２の照明系１２による照射では、被検査体３におけるハレーションは発生せず外形は確認できるが、構成電極と基板との境界（相違）などは確認できない、発光源、フィルター、照射形状、可視光線、照射位置、照射強度などとする各々の照明系として、所定検査項目をカバーするように設定する。
【００２２】
続いて第３ステップとして、第１および第２ステップにて取込んだ複数の撮影画像を、画像処理演算判定部３３にて処理、すなわち、被検査体３における第１の照明系１１と第２の照明系１２の照射による検査に必要とする項目や事項である撮影画像を、検査用カメラ１から画像（電気信号）をメモリ３１に送達し、それぞれの撮影画像を画像処理演算判定部３３にて画像処理あるいは比較演算判定を行い、被検査体３の検査判定を行い、その結果の判定出力４を所定機構に出力する。
【００２３】
なお、被検査体３が明確な直方体構造でない場合（例えば立方体の辺あるいは面が直線ではなく複雑な曲線の場合など）には、前記の検査において、明確に境界（外形）を確認することが困難である場合がある。
【００２４】
従って、その際には、前記で説明した第２ステップの動作後に、第１の照明系１１あるいは第２の照明系１２とは異なり、被検査体３の境界（外形輪郭）が明確に確認できる発光源、フィルター、照射形状、可視光線、照射位置あるいは角度、照射強度などとする第３の照明系１３を点灯させ、検査用カメラ１にて撮影した被検査体３の画像（電気信号）をメモリ３１に取込み蓄積する。
【００２５】
そして、前記第１の照明系１１および第２の照明系１２による被検査体３の撮影画像（電気信号）に加えて、この第３の照明系１３による被検査体３の撮影画像（電気信号）を加えた複数の撮影画像（電気信号）を、画像処理演算判定部３３にて画像処理あるいは比較演算判定などを行って検査判定し、その結果の被検査体３における判定出力４を別の所定機構に出力するものである。
【産業上の利用可能性】
【００２６】
本発明にかかる電子部品の外観検査方法は、チップ形電子部品などにおける複数の検査項目を１台の検査カメラで容易かつ確実にできるという効果を有し、各種の部材や製品の多項目における外観検査方法などの用途として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の実施の形態における外観検査方法の要部概要構成図
【符号の説明】
【００２８】
１  検査用カメラ
２  レンズ
３  被検査体（電子部品）
４  判定出力
１１  第１の照明系
１２  第２の照明系
１３  第３の照明系
２１  照明駆動部
３１  メモリ
３２  制御部
３３  画像処理演算判定部
【図１】
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