(57)【要約】【課題】  ガラス基板の洗浄工程で用いられるジェット洗浄において、洗浄後の洗浄液の滞留による洗浄効果の低下を解消する洗浄液排出機構を有した基板洗浄装置を提供する。【解決手段】  高圧の洗浄液５、又は洗浄液５と気体との混合物を、ガラス基板４に噴射して洗浄するジェットノズル３と、ガラス基板４をジェットノズル３の直下を通過させて搬送する搬送部６と、洗浄液５の飛散を防止し、且つ先端が折り曲げられて洗浄液５を排出する流路を形成する折り曲げ部２を有する洗浄液飛散防止排出カバー１とを具備する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の洗浄工程に用いられる基板洗浄装置であって、
洗浄液を使った洗浄部で、
前記ガラス基板を、前記洗浄部を通過させて搬送する搬送部と、
前記洗浄液の飛散を防止し、且つ先端が折り曲げられて前記洗浄液を排出する流路を形成する折り曲げ部を有する洗浄液飛散防止排出カバーとを具備することを特徴とする基板洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記折り曲げ部に取り付けられ、前記ガラス基板との距離を調整可能0な接触調整部を備えた洗浄液取り込みツバを有することを特徴とする請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
前記洗浄液取り込みツバが、楔形、櫛形あるいはブラシ形をした樹脂材から成ることを特徴とする請求項２に記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの両端に対して中央部が最も高く形成され、前記洗浄液が、前記洗浄液飛散防止排出カバーの両端に向かって排出されることを特徴とする請求項１又は２のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの中央部から両端に向かって次第に広く形成され、前記洗浄液が、前記両端に向かう途中で溢れ出すことがないことを特徴とする請求項１、２又は４のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項６】
前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記折り曲げ部は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの中央部から両端に向かって次第に高く形成され、取り込まれた前記洗浄液が、前記両端に向かう途中で零れないことを特徴とする請求項１、２又は４、５のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路の両端部は、前記洗浄液を強制排出可能な管路を有し、前記洗浄液が、前記流路から溢れ出すことがないことを特徴とする請求項１、２又は４乃至６のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【請求項８】
前記洗浄部は、高圧の洗浄液又は前記洗浄液と気体との混合物を前記ガラス基板に噴射して洗浄するノズルを有し、前記ノズルは、前記搬送部により搬送される前記ガラス基板の進行方向とは逆方向に角度付けされて設置され、前記洗浄液が、前記ガラス基板の進行方向とは逆方向に噴射されることを特徴とする請求項１、２又は４乃至７のいずれかに記載の基板洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ（ＬＣＤ、ＰＤＰ、ＬＴＰＳ−ＴＦＴ等）用ガラス基板の洗浄工程で用いられる基板洗浄装置に係り、詳しくは、ジェット洗浄効果を低下させることのない洗浄液排出機構を有する基板洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）は、近年家庭用大型ＴＶにも使われ、ガラス基板は益々大型化の趨勢にある。このＦＰＤに用いられる大型ガラス基板の洗浄は、ガラス基板をコンベアで搬送し、各種洗浄剤や水を用いて、ブラシやノズルからのジェット噴射により洗浄を行うのが一般的である。高圧のジェット洗浄は、高圧の液体、又は気体と液体の混合物をノズルによりガラス基板に噴射し、その衝撃力によって基板上の異物を取り除く洗浄方法である。この高圧ジェット洗浄は、一連の洗浄装置の中にその一部として組み込まれ、その前後には全く別の方法による洗浄部が接続されていて、ガラス基板はコンベアで搬送されてこれらの洗浄工程を順番に通過するようになっている。
【０００３】
図３は、従来の基板洗浄装置に組み込まれた、高圧ジェット洗浄部の構成を示す構成図である。高圧ジェット洗浄部は、ジェットノズル３と飛散防止カバー９とから成り、コンベアで搬送されてきたガラス基板４がその下を通過する。ガラス基板４は、ジェットノズル２から洗浄液５と気体の混合物が噴射されて、洗浄される。高圧ジェット洗浄においては、ガラス基板４に噴射された洗浄液５が飛沫状に巻き上がる。飛沫が過度であると、洗浄チャンバ（図示せず）内に付着してガラス基板４上に滴下し、基板の洗浄品質を低下させることになる。このため、飛散防止カバー９がジェットノズル２に取り付けられ、飛沫が洗浄チャンバ内に飛び散る前に受け止めて滴下させ、洗浄液５と共に排出していた。
【０００４】
しかし基板の大型化に伴い、ジェットノズル３などから噴射され、ガラス基板４の周辺へと押しやられた洗浄液５は、基板の淵に到達して零れ落ちることができず、基板上に滞留する場合が生じる。これは、一度取り除かれた異物が再付着する原因となり、基板の洗浄効果を低下させることになる。またジェットノズル３は、異物と共にガラス基板４上に滞留している液上から噴射されるため、一度取り除かれて滞留したガラス破片が次のジェットノズルの噴射を受けてガラス基板４に傷を付ける、また滞留した洗浄液がジェットノズル２からの噴射の効果を低下させるなどの弊害が発生する。特許文献１には、バブルジェット（登録商標）処理を含む水洗処理を行う搬送式基板処理装置において、バブルジェット（登録商標）処理を行う２流体ノズル列の上流側及び下流側にミスト飛散防止用のシールド板を設けると共に、複数のシールド板のうちの少なくとも最下流側のシールド板の下流側に、基板表面に洗浄水を供給する給水手段を設ける旨の記載がされている。
【特許文献１】ＷＯ２００３−０７１５９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、ガラス基板の洗浄工程で用いられるジェット洗浄において、洗浄後の洗浄液の滞留による洗浄効果の低下を解消する洗浄液排出機構を有した基板洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の基板洗浄装置は、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板の洗浄工程に用いられる基板洗浄装置であって、洗浄液を使った洗浄部で、前記ガラス基板を、前記洗浄部を通過させて搬送する搬送部と、前記洗浄液の飛散を防止し、且つ先端が折り曲げられて前記洗浄液を排出する流路を形成する折り曲げ部を有する洗浄液飛散防止排出カバーとを具備することを特徴とする。
【０００７】
本発明の基板洗浄装置は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記折り曲げ部に取り付けられ、前記ガラス基板と接触又は非接触で距離を保つことが調整可能な接触調整部を備えた洗浄液取り込みツバを有することを特徴とすることを特徴とする。
【０００８】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄液取り込みツバが、楔形、櫛形あるいはブラシ形をした樹脂材から成ることを特徴とすることを特徴とする。
【０００９】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの両端に対して中央部が最も高く形成され、前記洗浄液が、前記洗浄液飛散防止排出カバーの両端に向かって排出されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの中央部から両端に向かって次第に広く形成され、前記洗浄液が、前記両端に向かう途中で溢れ出すことがないことを特徴とすることを特徴とする。
【００１１】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記折り曲げ部は、前記洗浄液飛散防止排出カバーの中央部から両端に向かって次第に高く形成され、取り込まれた前記洗浄液が、前記両端に向かう途中で零れないことを特徴とする。
【００１２】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄液飛散防止排出カバーの前記流路の両端部は、前記洗浄液を強制排出可能な管路を有し、前記洗浄液が、前記流路から溢れ出すことがないことを特徴とする。
【００１３】
本発明の基板洗浄装置の前記洗浄部は、高圧の洗浄液又は前記洗浄液と気体との混合物を前記ガラス基板に噴射して洗浄するノズルを有し、前記ノズルは、前記搬送部により搬送される前記ガラス基板の進行方向とは逆方向に角度付けされて設置され、前記洗浄液が、前記ガラス基板の進行方向とは逆方向に噴射されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の基板洗浄装置によれば、ジェットノズルから噴射された洗浄液を効率よくガラス基板外へ排出できるため、除去した異物が基板に再付着することを防止し、ガラス片や金属片による傷の発生を無くすことができる。また基板上に過剰な液溜まりが発生しなくなるため、ジェット洗浄の効果を十分発揮することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明による洗浄液がガラス基板に対してある角度を持って噴射される場合の実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明の基板洗浄装置に組み込まれた、高圧ジェット洗浄部の構成を示す構成図である。図１において、高圧ジェット洗浄部１０は、折り曲げ部２を有する洗浄液飛散防止排出カバー１と、ジェットノズル３とから構成されている。ガラス基板４は、高圧ジェット洗浄部１０の直下を搬送部６により例えば右から左方向へ搬送される工程で、ジェットノズル３から噴出される洗浄液又は洗浄液と気体の混合物により洗浄される。またガラス基板４は、基板の長さ方向を基板の進行方向と平行に、幅方向を進行方向に対し直角にして搬送部６にセットされ搬送される。ジェットノズル３は、ガラス基板の進行方向とは逆方向に角度付けされて固定されているが、洗浄条件により、この角度付けはされなくても良い。
【００１６】
洗浄液飛散防止排出カバー１は、ガラス基板４に対し、直接接触することなく且つ洗浄液５の回収が十分行える間隔を持ってジェットノズル３に固定されている。また洗浄液飛散防止排出カバー１は、ガラス基板４に噴射された洗浄液５の飛沫が基板洗浄装置内に飛び散るのを防ぐためフード形状をしており、ガラス基板４の幅と同等以上の幅を有する。その先端は、洗浄液５を回収して排出するため、折り曲げられて流路を形成した折り曲げ部２となっている。洗浄液５の十分な回収効果を得るため、ガラス基板面のジェットノズル３の直下と、折り曲げ部２の折り曲げられたエッジとの距離は、回収が十分行えるだけ近接して設定されている。この洗浄液飛散防止排出カバー１は、ジェットノズル３と一体化されて固定されても良い。
【００１７】
ジェットノズル３から噴射された洗浄液５は、ガラス基板４に衝突するとその衝撃で表面の異物を除去し、主にガラス基板４の進行方向とは逆方向へと流れ、一部はガラス基板４と一緒に進行方向に流れる。この左右に流れた洗浄液５は、その流速が衰える前に折り曲げ部２に沿って洗浄液飛散防止排出カバー１に流れ込み、流路に沿って排出される。排出される洗浄液５は、ガラス基板４に衝突した際に異物を除去し、その異物とともに流れてきたものであるから、これを速やかにガラス基板４外へ排出することによって、異物の再付着を防止できる。また洗浄液５が速やかにガラス基板４外へ排出されることによって、洗浄液が基板上に過剰に滞留することがなくなり、洗浄効果の低下を防止できる。
【００１８】
図２は、洗浄液飛散防止排出カバーの構造を示す構造図である。図２ａは、洗浄液飛散防止排出カバーの一部を拡大した斜視図である。洗浄液飛散防止排出カバー１の先端は、洗浄液５を回収するため、内側に折り曲げられて折り曲げ部２を構成し、排出のための流路を形成している。図２ｂは、洗浄液の回収効果を高めるため、洗浄液取り込みツバを折り曲げ部に取り付けた取り付け図である。洗浄液取り込みツバ７は、距離調整部８により折り曲げ部２に固定されるとともに、距離調整部８を調整することでガラス基板４に対し所望の距離に設定できる。この近づけ度合いをきめ細かく調整することにより、ガラス基板４のサイズ、搬送速度及び洗浄液５の噴射速度に応じて最大の洗浄液回収効果を得ることが可能となる。洗浄液取り込みツバ７の材質はナイロン等の樹脂材であり、またその先端は楔形、櫛形或いはブラシ形をしており、基板の材質に応じて傷つけ難い形状を用いることができる。
【００１９】
図２ｃは、洗浄液飛散防止排出カバーの中央部で流路が最も高く、両端に向かって次第に低くなる流路の構造を示すため、洗浄液飛散防止排出カバーを一点差線Ａで切断し、左側から見た断面図である。この傾斜により、洗浄液５はガラス基板４の幅方向の両端へ向かって素早く流れ出して排出されるため、排出の効率を向上させることができる。図２ｄは、洗浄液飛散防止排出カバーの中央部で流路が最も狭く、両端に向かって次第に広くなる流路の構造を示すため、Ａ矢印側から見た矢視図である。流路に取り込まれた洗浄液５は、図２ｃと同様に両端に向かって流れ出す。このとき排出途中で洗浄液５が溢れ出さないよう流路を十分広く設けるか、図２ｄに示すように流路を次第に広くすることで、排出途中の溢れ出しを防止することができる。
【００２０】
図２ｅは、折り曲げ部２が中央から両側へ向けて次第に高くなる形状を示すため、Ｂ矢印側から見た矢視図である。このように折り曲げ部２の高さを調整することにより、中央から両側へ向けて洗浄液５が溢れ出さないように、より多くの液を抱え込めるようにするのが目的であり、図２ｄの場合と同様に、排出途中の溢れ出しを防止することができる。この場合、ガラス基板４の幅方向の両端に向けて洗浄液５が取り込まれ難くなるが、基板の両端から零れ落ちて排出されるため、洗浄効果の低下の要因とはなりにくい。さらに、洗浄液飛散防止排出カバー１の流路の両端に管路を接続し、吸引することにより、強制的に洗浄液５を排出することも可能である。
【００２１】
以上説明したように、本発明の基板洗浄装置によれば、ジェットノズルから噴射された洗浄液を効率よくガラス基板外へ排出できるため、除去した異物が基板に再付着することを防止し、ガラス片や金属片による傷の発生を無くすことができる。また基板上に過剰な液溜まりが発生しなくなるため、ジェット洗浄の効果を十分発揮することが可能となる。さらに各種ブラシ洗浄ユニットに本発明の洗浄液飛散防止排出カバーを設けることにより、ブラシ洗浄によって除去された異物を含んだ洗浄液を効率よく排出し、洗浄性能を向上させることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明による基板洗浄装置に組み込まれた、高圧ジェット洗浄部の構成図。
【図２】本発明による洗浄液飛散防止排出カバーの構造図。
【図３】従来の基板洗浄装置に組み込まれた、高圧ジェット洗浄部の構成図。
【符号の説明】
【００２３】
１  洗浄液飛散防止排出カバー
２  折り曲げ部
３  ジェットノズル
４  ガラス基板
５  洗浄液
６  搬送部
７  洗浄液取り込みツバ
８  距離調整部
９  飛沫防止カバー
１０  高圧ジェット洗浄部
【図１】
2007160283.tif 000003
【図２】
2007160283.tif 000004
【図３】
2007160283.tif 000005