(57)【要約】【課題】電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、該電子放出源を含む電子放出素子、及び前記電子放出源の製造方法を提供する。【解決手段】２０℃ないし２５℃の温度及び０．０１ｌ／ｓないし１００ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が１０，０００Ｐａ／ｓないし５０，０００Ｐａ／ｓであるか、または２０℃ないし２５℃の温度、１Ｐａないし１０Ｐａ及び０．０５Ｈｚないし１００Ｈｚの測定条件下での粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値が２ないし５である電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、電子放出源を含む電子放出素子、及び電子放出源の製造方法。これにより、電子放出源の形成用組成物は、印刷特性及びレベリング特性が優秀であるので、工程安定性が確保されて電子放出素子内の電子放出源の形成に効果的に使われうる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２０℃ないし２５℃の温度及び０．０１ｌ／ｓないし１００ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が１０，０００Ｐａ／ｓないし５０，０００Ｐａ／ｓであるか、または２０℃ないし２５℃の温度、１Ｐａないし１０Ｐａ及び０．０５Ｈｚないし１００Ｈｚの測定条件下での粘弾性値ｔａｎδが２ないし５であって、前記粘弾性値ｔａｎδは粘度係数を保存係数で除算したものである電子放出源の形成用組成物。
【請求項２】
前記電子放出源の形成用組成物は、全体組成物１００重量部に対して０．１重量部ないし３０重量部のカーボン系物質及び７０重量部ないし９９．９重量部のビヒクルを含むことを特徴とする請求項１に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項３】
前記ビヒクルは、ビヒクル１００重量部に対して３重量部ないし２０重量部のポリマー成分及び８０重量部ないし９７重量部の有機溶媒成分を含むことを特徴とする請求項２に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項４】
前記ポリマー成分は、セルロース系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル系樹脂及びその混合物からなる群から選択されたことを特徴とする請求項３に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項５】
前記有機溶媒成分は、ブチルカルビトールアセテート、テルピネオール、トルエン、テキサノール、ブチルカルビトール及びその混合物からなる群から選択されたことを特徴とする請求項３に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項６】
前記組成物は、接着成分、フィラー、感光性樹脂、光開始剤、粘度改善剤、解像度改善剤、分散剤、及び消泡剤からなる群から選択された一つ以上の添加剤をさらに含むことを特徴とする請求項２に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項７】
前記添加剤の含有量は、全体組成物１００重量部に対して０．５重量部ないし３０重量部であることを特徴とする請求項６に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項８】
前記フィラーは、Ａｇ、Ａｌ、Ｐｄ及びＡｌ２Ｏ３からなる群から選択された少なくとも一つの物質であることを特徴とする請求項６に記載の電子放出源の形成用組成物。
【請求項９】
請求項１ないし８のうちいずれか１項に記載の電子放出源の形成用組成物を利用して製造された電子放出源。
【請求項１０】
基板と、
前記基板上に形成されたカソード電極と、
前記基板上に形成されたカソード電極と電気的に連結されるように形成され、請求項６に記載の電子放出源と、を備えた電子放出素子。
【請求項１１】
２０℃ないし２５℃の温度及び０．０１ｌ／ｓないし１００ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が１０，０００Ｐａ／ｓないし５０，０００Ｐａ／ｓであるか、または２０℃ないし２５℃の温度、１Ｐａないし１０Ｐａ及び０．０５Ｈｚないし１００Ｈｚの測定条件下での粘弾性値ｔａｎδが２ないし５である電子放出源の形成用組成物を提供する工程と、
基板上に前記電子放出源の形成用組成物を印刷する工程と、
前記印刷された電子放出源の形成用組成物を焼成する工程と、
前記焼成された結果物を活性化させて電子放出源を得る工程と、を含み、
前記粘弾性値ｔａｎδは粘度係数を保存係数で除算したものである、電子放出源の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、該電子放出源を含む電子放出素子、及び前記電子放出源の製造方法に係り、より具体的には、印刷特性及びレベリング特性に優れて工程安定性が確保されることによって、電子放出素子内の電子放出源の形成に効果的に使われうる電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、該電子放出源を含む電子放出素子、及び前記電子放出源の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電子放出素子は、アノード電極とカソード電極との間に電圧を印加して電界を形成することによって、カソード電極の電子放出源から電子を放出させ、この電子をアノード電極側の蛍光物質に衝突させて発光させるディスプレイ装置である。
【０００３】
電子伝導性に優れた炭素ナノチューブ（Ｃａｒｂｏｎ Ｎａｎｏ Ｔｕｂｅ：ＣＮＴ）を含むカーボン系物質は、伝導性及び電界集中効果が優秀であり、仕事関数が小さくて電界放出特性が優秀で低電圧駆動が容易であり、大面積化できるので電子放出素子の理想的な電子放出源として期待されている。
【０００４】
従来技術による組成物は、カーボンナノチューブ粉末、ポリマー及び有機溶媒を含むビヒクル、無機質系バインダー及びその他の添加剤を含み、例えば、特許文献１には、カーボンナノチューブ粉末、ガラスフリット、アクリレート系樹脂、エチルセルロース、光開始剤及び有機溶媒を含む電子放出表示素子用カーボンナノチューブエミッタペースト組成物が開示されている。
【０００５】
しかし、このような従来技術による組成物において、揺変性及び粘弾性数値が所定範囲内に調節されない場合には、工程上印刷機での連続印刷が困難であり、印刷後基板表面でのレベリング特性がよくないという問題点があった。
【特許文献１】大韓民国特許出願公開第２００３−００８３７９０号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
したがって、本発明は、前述したような従来技術の問題点を解決するためのものであって、電子放出源の形成用組成物の揺変性値及び粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値を最適の範囲内に調節することによって、印刷特性及びレベリング特性を向上させた電子放出源の形成用組成物、これを利用して製造された電子放出源、該電子放出源を含む電子放出素子、及び前記電子放出源の製造方法を提供することを目的とする。なお、本明細書において、粘弾性値ｔａｎδは、粘度係数（損失弾性率：loss modulus）を保存係数（貯蔵弾性率：storage modulus）で除算したものであり、δは位相角である。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を達成するために、本発明はその一具現例で、２０℃ないし２５℃の温度及び０．０１ｌ／ｓないし１００ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が１０，０００Ｐａ／ｓないし５０，０００Ｐａ／ｓであるか、または２０℃ないし２５℃の温度、１Ｐａないし１０Ｐａ及び０．０５Ｈｚないし１００Ｈｚの測定条件下での粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値が２ないし５である電子放出源の形成用組成物を提供する。
【０００８】
本発明は他の具現例で、前記電子放出源の形成用組成物を利用して製造された電子放出源を提供する。
本発明はさらに他の具現例で、基板と、前記基板上に形成されたカソード電極と、
前記基板上に形成されたカソード電極と電気的に連結されるように形成され、前記電子放出源と、を備えた電子放出素子を提供する。
【０００９】
本発明はさらに他の具現例で、前記電子放出源の形成用組成物を提供する工程と、基板上に前記電子放出源の形成用組成物を印刷する工程と、前記印刷された電子放出源の形成用組成物を焼成する工程と、前記焼成された結果物を活性化させて電子放出源を得る工程と、を含む電子放出源の製造方法を提供する。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、電子放出源の形成用組成物は、印刷特性及びレベリング特性に優れた電子放出源の形成用組成物を提供でき、このような電子放出源の形成用組成物を使用して電子放出源を製造する場合、工程安定性が確保できるので、効果的に電子放出素子を製造できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明をさらに詳細に説明する。
本発明による電子放出源の形成用組成物は、揺変性値及び粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値が最適の範囲内に調節されることによって、印刷特性及びレベリング特性が従来技術による電子放出源の形成用組成物に比べて優れてあり、したがって、工程安定性が確保されて電子放出素子内の電子放出源の形成にさらに効果的に使われうる。
【００１２】
本発明では、電子放出源の形成用組成物の揺変性値及び粘弾性（ｔａｎδ、粘度係数／保存係数）値を最適の範囲内に調節することによって、印刷特性及びレベリング特性を向上させようとした。
【００１３】
具体的に、揺変性はせん断力を上昇させてから下降させた時のせん断力の差として算出でき、粘弾性は、周波数を変化させつつ粘性及び弾性を測定することによって得られうる。
【００１４】
揺変性及び粘弾性は、電子放出源の形成用組成物の有機物質、溶媒及び無機物質の組成比によって影響を受けるが、従来技術による電子放出源の形成用組成物はほぼ２００，０００Ｐａ／ｓ以上の揺変性数値及び５以上の粘弾性数値を持ち、このような値を持つ電子放出源の形成用組成物は工程上印刷機での連続印刷が難しく、印刷後の基板表面でのレベリング特性が良好でないという問題点があった。
【００１５】
本発明による一具現例で、電子放出源の形成用組成物はカーボン系物質及びビヒクルを含む。
望ましくは、前記電子放出源の形成用組成物は、全体組成物１００重量部に対して、０．１重量部ないし３０重量部のカーボン系物質及び７０重量部ないし９９．９重量部のビヒクルを含む。
【００１６】
本発明による組成物中、カーボン系物質は、伝導性及び電子放出特性に優れて、電子放出素子の作動時にアノード部の蛍光膜に電子を放出させて蛍光体を励起させる役割を行う。このようなカーボン系物質の非制限的な例には、カーボンナノチューブ、グラファイト、ダイアモンド及びフラーレンなどが含まれる。このうち、カーボンナノチューブが望ましい。
【００１７】
カーボンナノチューブは、グラファイトシートがナノサイズの直径に丸く巻かれてチューブ状をなしているカーボン同素体であって、単一壁ナノチューブ及び多重壁ナノチューブをいずれも使用できる。本発明のカーボンナノチューブは、熱化学気相蒸着法（Ｃｈｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ：以下、“ＣＶＤ法”ともいう）、ＤＣプラズマＣＶＤ法、ＲＦプラズマＣＶＤ法、マイクロ波プラズマＣＶＤ法のようなＣＶＤ法を利用して製造されたものでありうる。
【００１８】
本発明による組成物のうち、ビヒクルは、電子放出源の形成用組成物の粘度及び印刷性を調節する役割を行うものであって、これはポリマー成分及び有機溶媒成分を含む。
ビヒクル内に含まれるポリマー成分についての非制限的な例には、エチルセルロース、ニトロセルロースのようなセルロース系樹脂；ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート及びウレタンアクリレートのようなアクリル系樹脂；及びビニル系樹脂などがあり、その含有量はビヒクル１００重量部に対して３重量部ないし２０重量部でありうる。
【００１９】
ビヒクル内に含まれる有機溶媒成分についての非制限的な例には、ブチルカルビトールアセテート（ＢＣＡ）、テルピネオール（ＴＰ）、トルエン、テキサノール及びブチルカルビトール（ＢＣ）などがあり、その含有量は、ビヒクル１００重量部に対して８０重量部ないし９７重量部でありうる。
【００２０】
前記電子放出源の形成用組成物は、カーボン系物質及びビヒクル以外にも、添加剤をさらに含むことができ、このような添加剤は、カーボンナノチューブと基板との接着力を向上させる役割を行う接着成分として、無機接着成分、有機接着成分、及び低融点金属からなる群から１種以上選択されたものを含むことができ、それ以外にも、フィラー、感光性樹脂、粘度改善剤、解像度改善剤、光開始剤、分散剤、消泡剤などをさらに含むことができ、前記添加剤の含有量は全体組成物１００重量部に対して０．５重量部ないし３０重量部でありうる。
【００２１】
前記フィラーは、基板と十分に接着されていないカーボンナノチューブの伝導性を向上させ、電子放出源の形成用組成物の揺変性及びその他の物性を調節するためのものであり、このようなフィラーの具体的な例には、これらに制限されるものではないが、Ａｇ、Ａｌ、Ｐｄ、Ａｌ２Ｏ３などが使われうる。
【００２２】
本発明は他の具現例で、前記電子放出源の形成用組成物を利用して製造された電子放出源を提供する。
本発明の電子放出源は、本発明による電子放出源の形成用組成物を利用したペースト法によって形成できる。
【００２３】
ペースト法を利用して電子放出源を形成する場合、本発明の電子放出源は、接着成分及び接着成分の焼成結果物のうち一つ以上を含むことができる。前記接着成分は、カーボンナノチューブと基板との接着力を向上させる役割を行うものであって、無機接着成分の具体的な例には、ガラスフリット、シラン、水ガラスなどが含まれ、有機接着成分の具体的な例には、エチルセルロース、ニトロセルロースのようなセルロース系樹脂；ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート及びウレタンアクリレートのようなアクリル系樹脂；ビニル系樹脂などが含まれ、低融点金属も前記接着成分として利用できる。
【００２４】
本発明はさらに他の具現例で、基板と、前記基板上に形成されたカソード電極と、前記基板上に形成されたカソード電極と電気的に連結されるように形成された前記電子放出源と、を備えた電子放出素子を提供する。
【００２５】
図１は、本発明による電子放出素子の部分断面図であって、代表的に３極管構造の電子放出素子を図示した。
図示したように、電子放出素子２００は、上板２０１と下板２０２とを備え、前記上板は上面基板１９０、前記上面基板の下面１９０ａに配置されたアノード電極１８０、前記アノード電極の下面１８０ａに配置された蛍光体層１７０を備える。
【００２６】
前記下板２０２は、内部空間を形成するように所定の間隔をおいて前記上面基板１９０と対向して平行に配置される下面基板１１０、前記下面基板１１０上にストライプ状に配置されたカソード電極１２０、前記カソード電極１２０と交差するようにストライプ状に配置されたゲート電極１４０、前記ゲート電極１４０と前記カソード電極１２０との間に配置された絶縁体層１３０、前記絶縁体層１３０と前記ゲート電極１４０との一部に形成された電子放出源ホール１６９、前記電子放出源ホール１６９内に配置されて前記カソード電極１２０と通電され、前記ゲート電極１４０より低く配置される電子放出源１６０を備える。
【００２７】
前記上板２０１と下板２０２とは、大気圧より低い圧力の真空に維持され、前記真空により発生する前記上板と下板との圧力を支持し、発光空間２１０を区画するようにスペーサ１９２が前記上板と下板との間に配置される。
【００２８】
前記アノード電極１８０は、前記電子放出源１６０から放出された電子の加速に必要な高電圧を印加して、前記電子が前記蛍光体層１７０に高速で衝突可能にする。前記蛍光体層は、前記電子により励起されて高エネルギーレベルから低エネルギーレベルに落ちつつ可視光を放出する。カラー電子放出素子の場合には、単位画素をなす複数の前記発光空間２１０それぞれに赤色発光、緑色発光、青色発光の蛍光体層が前記アノード電極の下面１８０ａに配置される。
【００２９】
前記ゲート電極１４０は、前記電子放出源１６０から電子を容易に放出させる機能を担い、前記絶縁体層１３０は、前記電子放出源ホール１６９を区画し、前記電子放出源１６０と前記ゲート電極１４０とを絶縁する機能を担う。
電界形成により電子を放出する前記電子放出源１６０は、本発明による電子放出源の形成用組成物を利用して製造された電子放出源１６０である。
【００３０】
本発明はさらに他の具現例で、前記電子放出源の形成用組成物を提供する工程と、基板上に前記電子放出源の形成用組成物を印刷する工程と、前記印刷された電子放出源の形成用組成物を焼成する工程と、前記焼成された結果物を活性化させて電子放出源を得る工程と、を含む電子放出源の製造方法を提供する。
【００３１】
本発明による電子放出素子の製造方法の一具現例は、次の通りである。
まず、電子放出源の形成用組成物を準備する。電子放出源の形成用組成物はカーボンナノチューブ及びビヒクルを含み、これは前述した方法によって製造できる。
【００３２】
次いで、準備された電子放出源の形成用組成物を基板に印刷する。前記“基板”とは、電子放出源が形成される基板であって、当業界で通常的に使われる基板を使用できる。
印刷方式は、電子放出源の形成用組成物が感光性樹脂を含む場合と感光性樹脂を含まない場合とによって異なる。電子放出源の形成用組成物が感光性樹脂を含む場合には、別途のフォトレジストパターンが不要である。すなわち、基板上に感光性樹脂を含む電子放出源の形成用組成物を印刷でコーティングし、これを所望の電子放出源の形成領域に沿って露光及び現像する。一方、電子放出源の形成用組成物が感光性樹脂を含まない場合には、別途のフォトレジスト膜パターンを利用したフォトリソグラフィ工程が必要である。すなわち、フォトレジスト膜を利用してフォトレジスト膜パターンをまず形成した後、前記フォトレジスト膜パターンを利用して電子放出源の形成用組成物を印刷で供給する。
【００３３】
この後、印刷された電子放出源の形成用組成物を焼成させる。前記焼成工程を通じてカーボンナノチューブと基板との接着力が向上し、一部以上の接着成分の溶融及び固形化によって耐久性も向上し、ガス抜け（ｏｕｔｇａｓｉｎｇ）も最小化できる。焼成温度は、電子放出源の形成用組成物に含まれたビヒクルの揮発及び接着成分の焼結可能温度及び時間を考慮して決定されねばならない。通常的な焼成温度は、３５０℃ないし５００℃、望ましくは４５０℃である。焼成温度が３５０℃未満ならばビヒクルなどの揮発が十分になされないという問題点が発生し、焼成温度が５００℃を超過すればカーボンナノチューブ損傷の問題点が発生しうるためである。
【００３４】
この後、焼成結果物を活性化して電子放出源を得る。前記活性化工程は、例えば、熱処理工程を通じてフィルム形態に硬化されうるポリイミド系高分子を含む電子放出源の表面処理剤を前記焼成結果物上に塗布した後、これを熱処理した後、前記熱処理で形成されたフィルムを剥離することによって行われうる。また、前記活性化工程は、所定の駆動源で駆動されるローラ表面に接着力を持つ接着部を形成して、前記焼成結果物の表面に所定の圧力で加圧することによって行われてもよい。このような活性化工程を通じて電子放出源の表面にカーボンナノチューブが露出されるか、カーボンナノチューブの垂直配向状態が調節できる。
【００３５】
以下、本発明の望ましい実施例及び比較例を記載する。下記の実施例は本発明をさらに明確に表現するための目的で記載されるものであるだけで、本発明の内容が下記の実施例に限定されるものではない。
【００３６】
＜カーボンナノチューブの製造＞
電気放電法によって本発明によるカーボンナノチューブを製造し、図２には、このような電気放電法を実行する電気放電装置の構造図を簡略に示した。前記方法では、二つのグラファイトや金属棒を負極４１と正極４２とし、両電極間に直流電源を印加して電極間に放電を起こした。
【００３７】
このような放電により発生した多量の電子は正極に移動して正極棒４１に衝突し、この時、電子の衝突によって正極として使われたグラファイト棒から落ちた炭素クラストは、低温で冷却されている負極４２のグラファイト棒の表面に凝縮されてカーボンナノチューブが製造される。
【００３８】
＜電子放出源の形成用組成物の製造＞
［実施例１］
前記方法によって製造されたカーボンナノチューブ２ｇ、ガラスフリット２０ｇ、エチルセルロース６ｇ、メチルアクリル酸１２ｇ、ブチルカルビトールアセテート６０ｇ及びＡｇ５ｇを混合して、２２．５℃の温度及び１０ｌ／ｓの測定条件下での揺変性値が２３，５００Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００３９】
［実施例２］
Ａｇの添加量を１０ｇとしたという点を除いては、実施例１と同じ方法によって揺変性値が１１，０００Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００４０】
［実施例３］
Ａｇの添加量を２０ｇとしたという点を除いては、実施例１と同じ方法によって揺変性値が２３、３６０Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００４１】
［実施例４］
Ａｇ５ｇの代わりにＡｌ２Ｏ３ ５ｇを添加したという点を除いては、実施例１と同じ方法によって揺変性値が２０，９６０Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００４２】
［実施例５］
Ａｌ２Ｏ３の添加量を１０ｇとしたという点を除いては、実施例４と同じ方法によって揺変性値が１４，８５０Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００４３】
［実施例６］
Ａｌ２Ｏ３の添加量を２０ｇとしたという点を除いては、実施例４と同じ方法によって揺変性値が２３，５００Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
【００４４】
［比較例］
Ａｇを添加していないという点を除いては、実施例１と同じ方法によって揺変性値が７，６７０Ｐａ／ｓである電子放出源の形成用組成物を製造した。
図３には、実施例１ないし３及び比較例による電子放出源の形成用組成物の揺変性値を、図４には、実施例４ないし６による電子放出源の形成用組成物の揺変性値を示すためのグラフが図示されており、図面で揺変性値は、閉曲線グラフの面積を計算することによって得られうる。
【００４５】
＜電子放出源の製造＞
実施例１ないし６及び比較例によって製造された電子放出源の形成用組成物を基板上にコーティングした後、パターンマスクを利用して２０００ｍＪ／ｃｍ２の露光エネルギーで平行露光器を利用して照射した。露光後にスプレーして現像し、４５０℃の温度で焼成して電子放出源を得た。
【００４６】
図５ないし図１１には、実施例１ないし６及び比較例による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真（図５Ａないし図１１Ａ）及び複数の電子放出源の配列の平面写真（図５Ｂないし図１１Ｂ）を表した。
【００４７】
＜電子放出素子の製造＞
下面基板を準備し、前記下面基板上にＩＴＯ物質からなる透明な複数のカソード電極をストライプ状に形成した。以後、前記カソード電極が覆われるようにポリイミド絶縁物質をスクリーン印刷して絶縁体層を形成し、前記絶縁体層の上面に導電性に優れた銀（Ａｇ）または銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）などの導体を含むペーストをスクリーン印刷してゲート電極を形成した。その後、ゲート電極と絶縁体層とをエッチングして、前記カソード電極の表面が露出されるように電子放出源ホールを形成し、前記ゲート電極をフォトリソグラフィ工程でパターニングして前記カソード電極と交差するようにストライプ状に形成した。
【００４８】
次いで、前記電子放出源ホールに前記のように電子放出源の形成用組成物を塗布して電子放出源を形成し、焼成及び活性化工程を経て電子放出素子を製造した。
【産業上の利用可能性】
【００４９】
本発明は、電子放出関連の技術分野に好適に用いられる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明による電子放出素子の一実施形態を示す図面である。
【図２】カーボンナノチューブを製造するために電気放電法を実行する電気放電装置の構造図を略的に示す図面である。
【図３】実施例１ないし３及び比較例による電子放出源の形成用組成物の揺変性値を示すためのグラフである。
【図４】実施例４ないし６による電子放出源の形成用組成物の揺変性値を示すためのグラフである。
【図５Ａ】実施例１による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図５Ｂ】実施例１による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図６Ａ】実施例２による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図６Ｂ】実施例２による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図７Ａ】実施例３による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図７Ｂ】実施例３による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図８Ａ】実施例４による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図８Ｂ】実施例４による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図９Ａ】実施例５による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図９Ｂ】実施例５による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図１０Ａ】実施例６による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図１０Ｂ】実施例６による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【図１１Ａ】比較例による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち１つの電子放出源の断面写真である。
【図１１Ｂ】比較例による電子放出源の形成用組成物を使用して製造された電子放出源のうち複数の電子放出源の配列の平面写真である。
【符号の説明】
【００５１】
４１  負極
４２  正極
１１０  下面基板
１２０  カソード電極
１３０  絶縁体層
１４０  ゲート電極
１６０  電子放出源
２００  電子放出素子
２０１  上板
２０２  下板
【図１】
2007227351.tif 000003
【図２】
2007227351.tif 000004
【図３】
2007227351.tif 000005
【図４】
2007227351.tif 000006
【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１Ａ】
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【図１１Ｂ】
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