(57)【要約】【課題】  小形コンパクトであり、ＸＹθテーブルを小ストロークで正確に移動させることのできるＸＹθテーブル駆動機構。【解決手段】  テーブル１をＸＹ平面のＸ方向とＹ方向に移動可能およびＸＹ平面で回転可能に保持するスラスト軸受構造のテーブルガイド１０と、テーブル側面をＸ方向に押圧するＸ軸押圧体３０ａおよびＸ軸押圧体３０ａをＸ方向に往復駆動させるＸ軸駆動ユニット４０ａと、テーブル側面をＹ方向に押圧するＹ軸押圧体３０ｂおよびＹ軸押圧体３０ｂをＹ方向に往復駆動させるＹ軸駆動ユニット４０ｂと、テーブル側面をＹ方向に押圧してＸ軸駆動ユニット４０ａとＹ軸駆動ユニット４０ｂとの協働でテーブル１をＸＹ平面で回転させるθ軸押圧体３０ｃおよびθ軸押圧体３０ｃをＹ方向に往復駆動させるθ軸駆動ユニット４０ｃとで構成する。【選択図】図１
2007108130.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブルを略水平なＸＹ平面のＸ方向とＹ方向に移動可能およびＸＹ平面で回転可能に保持するテーブルガイドと、
前記テーブル側面のＹ方向に延在するＹ方向側面をＸ方向に押圧するＸ軸押圧体およびこのＸ軸押圧体をＸ方向に往復駆動させるＸ軸駆動ユニットと、
前記テーブル側面のＸ方向に延在するＸ方向側面をＹ方向に押圧するＹ軸押圧体とこのＹ軸押圧体をＹ方向に往復駆動させるＹ軸駆動ユニットと、
前記テーブル側面の前記Ｘ方向側面と異なる位置のＸ方向側面をＹ方向に押圧し、前記Ｘ軸駆動ユニットとＹ軸駆動ユニットとの協働でテーブルをＸＹ平面で回転させるθ軸押圧体とこのθ軸押圧体をＹ方向に往復駆動させるθ軸駆動ユニットと、
を具備したことを特徴とするＸＹθテーブル駆動機構。
【請求項２】
前記Ｘ軸駆動ユニットは前記Ｘ軸押圧体をＸ方向に往復動させるＸ軸カムとこのＸ軸カムを回転させるＸ軸モータを備え、前記Ｙ軸駆動ユニットは前記Ｙ軸押圧体をＹ方向に往復動させるＹ軸カムとこのＹ軸カムを回転させるＹ軸モータを備え、前記θ軸駆動ユニットは前記θ軸押圧体をＹ方向に往復動させるθ軸カムとこのθ軸カムを回転させるθ軸モータを備え、前記Ｘ軸カムとＹ軸カムとθ軸カムを同一平面上に配置したことを特徴とする請求項１に記載のＸＹθテーブル駆動機構。
【請求項３】
前記Ｘ軸押圧体とＹ軸押圧体とθ軸押圧体のそれぞれは、１本の連結軸の両端部に、対応する前記テーブル側面と前記カムのそれぞれに当接する一対のローラを回転自在に有することを特徴とする請求項２に記載のＸＹθテーブル駆動機構。
【請求項４】
前記テーブルと略平行なベースのテーブル側と反対の片面側に前記Ｘ軸モータ、Ｙ軸モータ、θ軸モータを設置し、前記ベースの他の片面側にテーブルを前記テーブルガイドを介して設置したことを特徴とする請求項２または３に記載のＸＹθテーブル駆動機構。
【請求項５】
前記テーブルガイドは、前記テーブルとベースの間に設置された平面座形スラスト軸受部と、前記テーブルに一体に突設されて前記スラスト軸受部の内周に当接することで前記ベースに対するテーブルのＸ方向とＹ方向の移動量を許容範囲内に規制するストッパー部とを有することを特徴とする請求項４に記載のＸＹθテーブル駆動機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造設備などに使用されるＸＹθテーブルを、略水平なＸＹ平面で直交二方向のＸ方向とＹ方向に往復移動させ、θ方向に正逆回転させるテーブル駆動機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
リードフレームなどの基板上にマウントされたＩＣチップの電極に検査用プローブを当接させて特性検査する製造設備や、基板上にＩＣチップなどをマウントする製造設備にＸＹテーブルまたはＸＹθテーブルが使用される。ＩＣチップの特性検査設備の場合、例えばＸＹテーブル側またはＸＹθテーブル側に複数のＩＣチップを位置決めして、テーブルでＩＣチップを対応する固定式のプローブの位置に移動させることで行われる。ＸＹθテーブルは、ＩＣチップを略水平なＸ方向とＹ方向の直交二方向と回転のθ方向に移動させることで、ＸＹテーブルよりも微調整ができ、より小形のＩＣチップの特性検査などに有効利用される。
【０００３】
上記ＸＹテーブルは、Ｘ方向に往復移動するＸテーブルと、Ｙ方向に往復移動するＸテーブルとを上下二段に組み合わせたテーブル二段構造が一般的である。このＸＹテーブルにおいては、単一のテーブルをクロスガイドローラなどでＸ方向とＹ方向に移動可能に保持して、テーブルを直交する二側面から揺動レバーなどでＹ方向とＸ方向にそれぞれ押圧して往復移動させるテーブル一段構造のものが公知である（例えば、特許文献１参照）。また、ＸＹθテーブルは、ＸＹテーブルのＸテーブルとＹテーブルのいずれかに回転するθテーブルを組み合わせたテーブル三段構造が一般的である（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００３−０９２３３７号公報（図２）
【特許文献２】特開２００４−２５１６６８号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
近年のますますの電子機器の小型軽量化の要望に伴い、ＩＣチップはますます小形化され、基板に高密度実装されている。このような小形のＩＣチップの特性検査は、ＸＹテーブルより微調整が容易なテーブル三段構造のＸＹθテーブルが有効利用される。テーブル三段構造のＸＹθテーブルは、三段のテーブルそれぞれを独立したカムやモータの駆動ユニットで駆動させるために、テーブルのＸ方向、Ｙ方向、θ方向のそれぞれを数ｍｍを超えるストロークで正確に移動させることができる。しかし、三段のテーブルそれぞれ独立して駆動させる独立した三段の駆動ユニットのために、テーブル駆動機構全体が厚みのある嵩高い大形なものとなる。また、上記特許文献１のテーブル一段構造のＸＹテーブルにθテーブルを追加してテーブル二段構造のＸＹθテーブルとした場合、テーブル三段構造のものより厚みを小さくすることができるが、嵩高く大形になることは避けがたい。
【０００５】
また、ＩＣチップの小形化で、基板上に複数のＩＣチップを高密度実装して、この複数のＩＣチップを同時に特性検査するためのＸＹθテーブルの開発が要望されている。しかし、テーブルをＸＹθ三方向それぞれに駆動させる独立した三ユニットの駆動ユニットから成るＸＹθテーブル駆動機構が上記理由で小形コンパクト化が難しいことから、複数のＩＣチップに対応させた複数のＸＹθテーブルを同一平面上に高密度で配置することが難しくて、上記要望を満たすことが難しい。さらに、ＩＣチップのますますの小形化で特性検査のための移動ストロークはますます縮小化され、１〜２ｍｍのストロークで微調整できるＸＹθテーブルの要求が増えているが、この要求を上記ＸＹθテーブルの駆動機構で満たすことが難しい。
【０００６】
本発明の目的は、小形コンパクトであり、ＸＹθテーブルを数ｍｍ以下の小ストロークで正確に移動させることのできるＸＹθテーブル駆動機構を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、テーブルを略水平なＸＹ平面のＸ方向とＹ方向に移動可能およびＸＹ平面で回転可能に保持するテーブルガイドと、テーブル側面のＹ方向に延在するＹ方向側面をＸ方向に押圧するＸ軸押圧体およびこのＸ軸押圧体をＸ方向に往復駆動させるＸ軸駆動ユニットと、テーブル側面のＸ方向に延在するＸ方向側面をＹ方向に押圧するＹ軸押圧体とこのＹ軸押圧体をＹ方向に往復駆動させるＹ軸駆動ユニットと、テーブル側面の前記Ｘ方向側面と異なる位置のＸ方向側面をＹ方向に押圧してＸ軸駆動ユニットとＹ軸駆動ユニットとの協働でテーブルをＸＹ平面で回転させるθ軸押圧体とこのθ軸押圧体をＹ方向に往復駆動させるθ軸駆動ユニットとを具備した駆動機構にて、上記目的を達成するものである。
【０００８】
ここで、テーブルガイドは、テーブルを略水平に保持して水平なＸＹ平面の全方向に自由移動させるスラスト軸受（スラスト玉軸受、スラスト円筒ころ軸受など）やエアースライドガイドが適用できる。テーブルの形状は任意で、側面にＸ方向と略平行なＸ方向側面とＹ方向と略平行なＹ方向側面を備える。Ｘ軸押圧体で押圧されるＹ方向側面は一側面でよく、Ｙ軸押圧体とθ軸押圧体で押圧されるＸ方向側面はＹ軸押圧体とθ軸押圧体に対応させて異なる位置に二側面で設ける。Ｘ軸などの各押圧体は、テーブルの対応する側面に従動回転して当接するローラまたは各側面に摩擦係合するピン部材が適用できる。これら押圧体を往復駆動させるＸ軸などの各駆動ユニットは、押圧体に連接したカムとこれを正逆回転させるパルスモータを組み合わせたもの、或いは、押圧体に連結したボールねじとこれを正逆回転させるモータを組み合わせたもの、押圧体に連結した圧電素子とその電圧制御回路を組み合わせたものなどが適用できる。単一のテーブルを単一のテーブルガイドで保持し、独立した三駆動ユニットの協働でＸＹθ方向に移動させることで、テーブル駆動機構全体の薄型、小形コンパクト化が可能となり、三駆動ユニットの協働によるＸＹθテーブルのＸＹθ各方向での小ストローク移動（１〜２ｍｍ程度）が容易になる。
【０００９】
本発明においては、Ｘ軸駆動ユニットはＸ軸押圧体をＸ方向に往復動させるＸ軸カムとこのＸ軸カムを回転させるＸ軸モータを備え、Ｙ軸駆動ユニットはＹ軸押圧体をＹ方向に往復動させるＹ軸カムとこのＹ軸カムを回転させるＹ軸モータを備え、θ軸駆動ユニットはθ軸押圧体をＹ方向に往復動させるθ軸カムとこのθ軸カムを回転させるθ軸モータを備え、Ｘ軸カムとＹ軸カムとθ軸カムを同一平面上に配置した構造とすることができる。
【００１０】
ここでの各駆動ユニットのモータは、パルスモータを適用して、このパルスモータのモータ軸にカムを直結して正逆回転させることができる。各駆動ユニットのカムを同一平面に配置し、各カムから同一側にモータを配備することで、各駆動ユニットを備えたＸＹθテーブル駆動機構が厚さの小さい小形コンパクトなものとなる。
【００１１】
また、本発明においては、Ｘ軸押圧体とＹ軸押圧体とθ軸押圧体のそれぞれは、１本の連結軸の両端部にテーブルの側面とカムのそれぞれに当接する一対のローラを回転自在に有する構造とすることができる。単体の押圧体に一対のローラを装備させ、一方のローラをテーブル側面に当接させ、他方のローラをカムに当接させることで、各ローラが相手側に押圧されて摩擦抵抗少なくして従動回転するため、常に円滑なテーブル駆動ができる。
【００１２】
さらに、本発明においては、テーブルと略平行なベースのテーブル側と反対の片面側にＸ軸モータ、Ｙ軸モータ、θ軸モータを設置し、ベースの他の片面側にテーブルをテーブルガイドを介して設置することができる。また、テーブルガイドは、テーブルとベースの間に設置された平面座形スラスト軸受部と、テーブルに一体に突設されてスラスト軸受部の内周に当接することでベースに対するテーブルのＸ方向とＹ方向の移動量を許容範囲内に規制するストッパー部とを有する構造とすることができる。
【００１３】
ここでのテーブルガイドの平面座形スラスト軸受部は、互いに対向するテーブル側とベース側の平面座の間に複数の転動体を保持器（リテーナ）で保持してリング状に配置したスラスト玉軸受またはスラスト円筒ころ軸受が適用できる。このスラスト軸受部は構造簡単であり、薄型にできて、テーブル駆動機構全体の小形コンパクト化を実現する。また、ストッパー部は、テーブルに一体に突設した円柱軸をスラスト軸受部の中を貫通させ、さらにベースに設けた円形穴に挿入させた構造とすることができる。この場合、円柱軸がテーブルと共にＸＹθ方向に移動し、ＸＹθの各方向での移動ストロークが許容範囲を超える手前でスラスト軸受部の内周に当接して、それ以上の移動を阻止する。この阻止でベース上にスラスト軸受部を介して保持されたテーブルの許容範囲を超える移動で脱落する虞が無くなり、テーブルの安定したＸＹθ駆動ができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のＸＹθテーブル駆動機構によれば、テーブルガイドでＸＹθの各方向で移動自在に保持されたテーブルの異なる位置にある三側面を対応する押圧体で押圧して、テーブルをＸ方向、Ｙ方向、θ方向に駆動させるので、ＸＹθテーブルがテーブル一段構造となり、駆動ユニットを含めたテーブル駆動機構全体の薄型、小形コンパクト化が容易になり、製作コストの低減が可能となる。また、複数のＸＹθテーブル駆動機構を同一平面に極接近させて高密度配置することが容易にでき、このようにすることで基板上に高密度実装された複数のＩＣチップを同時に特性検査するなどの半導体製造設備に好適なＸＹθテーブル駆動機構が提供できる。
【００１５】
また、テーブルの三側面を対応する押圧体で押圧してＸ方向、Ｙ方向、θ方向それぞれに駆動させるため、Ｘ方向、Ｙ方向、θ方向それぞれの移動ストロークの縮小化が容易となり、１〜２ｍｍの小ストロークで微調整できる高性能なＸＹθテーブル駆動機構が提供できる
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態を添付図面を参照して説明する。
【００１７】
図１および図２に示されるＸＹθテーブル駆動機構は、略水平なＸＹ平面に平行なテーブル１をテーブルガイド１０で直交二方向のＸ方向とＹ方向に移動可能、かつ、ＸＹ平面でθ方向に回転可能に保持する。テーブル１は多角形状の平板で、水平なベース２０上にテーブルガイド１０を介してベース２０と平行に設置される。
【００１８】
テーブル１をＸ方向に往復駆動させるＸ軸押圧体３０ａをＸ方向に揺動可能に保持する揺動レバー３１ａが、ベース２０上に設置される。テーブル１をＹ方向に往復駆動させるためのＹ軸押圧体３０ｂをＹ方向に揺動可能に保持する揺動レバー３１ｂが、ベース２０上に設置される。テーブル１をθ方向に回転させるためのθ軸押圧体３０ｃをＹ方向に往復移動可能に保持する揺動レバー３１ｃが、ベース２０上に設置される。Ｘ軸押圧体３０ａとテーブル１をＸ方向に往復駆動させるＸ軸駆動ユニット４０ａと、Ｙ軸押圧体３０ｂとテーブル１をＹ方向に往復駆動させるためのＹ軸駆動ユニット４０ｂと、θ軸押圧体３０ｃをＹ方向に往復駆動させてテーブル１をθ方向に回転させるためのθ軸駆動ユニット４０ｃが、共通のベース２０に設置される。また、テーブル１の側面に対応する各押圧体３０ａ〜３０ｃが常時当接するように、テーブル１をＸ方向とＹ方向で附勢する一対のばね材５１、５２がベース２０上に設置される。
【００１９】
テーブル１はθ方向に回転しない原点位置の姿勢において、Ｙ方向に平行なＹ方向側面２ａと、Ｘ方向に平行な第１のＸ方向側面２ｂと第２のＸ方向側面２ｃを有する。図１のテーブル１の図１で左上の角部をＬ形に切り欠いてＹ方向側面２ａを形成し、このＹ方向側面２ａにＸ軸押圧体３０ａをＸ方向から当接させる。テーブル１の図１で右側上部に第１のＸ方向側面２ｂを形成し、このＸ方向側面２ｂにＹ軸押圧体３０ｂをＹ方向から当接させる。テーブル１の図１で右側下部に第２のＸ方向側面２ｃを形成し、このＸ方向側面２ｃにθ軸押圧体３０ｃをＹ方向から当接させる。
【００２０】
図２と図３に、θ軸押圧体３０ｃの構造例を示す。θ軸押圧体３０ｃは、対応するθ軸揺動レバー３１ｃの先端部をＸＹ平面に直交するＺ方向から貫通する連結軸３２と、揺動レバー３１ｃの先端部上面から突出する連結軸３２の上端部に回転可能に装着された円筒状のローラ３３と、揺動レバー３１ｃの先端部下面から突出する連結軸３２の下端部に回転可能に装着された円筒状のローラ３４を備える。揺動レバー３１ｃの後端部がベース２０に枢軸３５で回転自在に連結される。上段のローラ３３がθ軸駆動ユニット４０ｃで常時テーブル１側のＹ方向に押されて、テーブル１の第２のＸ方向側面２ｃに当接する。この当接は、ばね材５２のＹ方向附勢で常に安定して保持される。
【００２１】
図２に示すθ軸駆動ユニット４０ｃは、略円形のカム４１とこれを正逆回転させるモータのパルスモータ４２を備える。パルスモータ４２の本体がベース２０の下面に固定され、モータ軸４３がベース２０の開口部を貫通してベース２０の上面に突出し、この突出部に直交させてカム４１が固定される。カム４１の外周にθ軸押圧体３０ｃの下段のローラ３４が常時当接する。カム４１の回転で、カム外周に当接したままローラ３４が従動回転する。カム４１の外周の最大半径部所と最小半径部所の半径差が、テーブル１のθ方向の最大移動ストロークに対応させて設定される。テーブル１のθ方向最大移動ストロークが１〜２ｍｍ程度の小ストローク量とすると、カム４１は最大と最小の半径差が１〜２ｍｍ程度の真円に近い円形カムとなり、パルスモータ４２による回転角制御でテーブル１を正確かつ高精度にθ回転移動させることができる。パルスモータ４２でカム４１を３６０°回転させると、θ軸押圧体３０ｃの下段のローラ３４が従動回転しながらＹ方向に最大移動ストロークの範囲で往復移動し、この往復移動と一体的に上段のローラ３３が往復移動する。上段のローラ３３は、テーブル１の第２のＸ方向側面２ｃに常時当接して従動回転しながら、Ｙ方向に最大移動ストロークの範囲で往復移動し、テーブル１を後述するようにＸ軸駆動ユニット４０ａ、Ｙ軸駆動ユニット４０ｂとの協働でθ方向に回転させる。上下のローラ３３、３４が対応するテーブル側面とカム外周面に摩擦抵抗少なく接触して従動回転することで、テーブル１のθ駆動が正確かつ円滑に行われる。このことは後述するＸ軸押圧体３０ａとＸ軸駆動ユニット４０ａ、および、ｙ軸押圧体３０ｂとＹ軸駆動ユニット４０ｂにおいても同様である。
【００２２】
Ｘ軸押圧体３０ａとその揺動レバー３１ａは、θ軸押圧体３０ｃとその揺動レバー３１ｃと同様な構造でよく、θ軸押圧体３０ｃと揺動レバー３１ｃと同一部分に同一符号を付して、特に詳細に図示しての説明は省略する。Ｘ軸押圧体３０ａとその揺動レバー３１ａは、θ軸押圧体３０ｃとその揺動レバー３１ｃのテーブル１に対する設置場所が異なる。また、Ｙ軸押圧体３０ｂとその揺動レバー３１ｂも、θ軸押圧体３０ｃとその揺動レバー３１ｃと同様な構造でよく、同一部分に同一符号を付して特に詳細に図示しての説明は省略する。Ｙ軸押圧体３０ｂとその揺動レバー３１ｂも、θ軸押圧体３０ｃとその揺動レバー３１ｃのテーブル１に対する設置場所が異なる。
【００２３】
図４にテーブルガイド１０の具体例を示す。同図のテーブルガイド１０は、テーブル１とベース２０の間に設置した平面座形スラスト軸受部１１と、テーブル１の下面に一体に突設されたストッパー部１２を有する。スラスト軸受部１１は、テーブル下面のリング状の平面座１３とベース上面のリング状平面座１４との間に複数の転動体１５を保持器１６で保持して配置したスラスト玉軸受である。ストッパー部１２は、テーブル１の下面に一体に突設した円柱軸で、ベース２０に上下面を貫通させて形成した円形穴１７を真下に貫通する。円形穴１７の内周は、リング状スラスト軸受部１１の固定された内周を構成する。円柱軸のストッパー部１２はスラスト軸受部１１内から円形穴１７を貫通して、ストッパー部１２の外周と円形穴１７の内周の間に所望のリング状隙間Ｇを形成する。また、ストッパー部１２のベース２０を下面より突出する下端部に固定したワッシャ１８と、ベース２０の下面との間に、上記スラスト軸受部１１と同様な平面座形スラスト軸受部１１’を形成して、テーブル１の保持性をより安定させている。
【００２４】
上下二段構造のスラスト軸受部１１、１１’は、ベース２０に対してテーブル１をＸＹθ方向に自由移動可能に保持する。テーブル１がＸ方向とＹ方向およびθ方向に自由移動するときのそれぞれの方向での最大移動ストロークが決められる。この最大移動ストロークを超えてテーブル１が自由移動しようとすると、最大移動ストロークを超える直前にストッパー部１２の外周一部が円形穴１７の内周に当接して、それ以上移動しないように隙間Ｇが決められる。このストッパー部１２と円形穴１７の当接で、テーブル１がＸＹθの全方向で許容範囲内の移動ストロークで自由移動し、最大移動ストローク以上に移動してベース２０から脱落するのが防止される。
【００２５】
次に、上記した実施の形態によるテーブル１のＸＹθ方向の駆動例を説明する。
【００２６】
図１の状態において、例えばＸ軸駆動ユニット４０ａのＸ軸モータ４２を作動させてＸ軸カム４１を時計方向に回転させると、図５に示すようにＸ軸カム４１の外周でＸ軸押圧体３０ａが図５でＸ方向下方に押圧され、Ｘ軸押圧体３０ａがテーブル１のＹ方向側面２ａを押圧してテーブル１が図５でＸ方向下方に平行移動する。この平行移動時にＹ軸押圧体３０ｂとθ軸押圧体３０ｃはテーブル１の対応するＸ方向側面２ｂ、２ｃを転動してテーブル１のＸ方向下方の平行移動を邪魔しない。図５のＸ軸カム４１を時計方向から反時計方向に逆回転させると、テーブル１は図５でＸ方向上方に平行移動する。
【００２７】
図１の状態において、テーブル１をＹ方向に平行移動させる場合は、Ｙ軸駆動ユニット４０ｂのＹ軸モータ４２を作動させてＹ軸カム４１を回転させ、Ｙ軸押圧体３０ｂをＹ方向に押圧してテーブル１の第１のＸ方向側面２ｂをＹ方向に押圧すると同時に、θ軸駆動ユニット４０ｃを作動させる。つまり、図１の状態においてテーブル１をＹ方向に平行移動させる場合、Ｘ軸駆動ユニット４０ａは静止状態にしておいてよいが、θ軸押圧体がテーブル１の第２のＸ方向側面２ｃに当接した状態を維持するためにθ軸駆動ユニット４０ｃを作動させる。このθ軸駆動ユニット４０ｃによるθ軸押圧体３０ｃの移動量は、Ｙ軸押圧体３０ｂの移動量から演算することで正確に求められる。
【００２８】
図１の状態において、テーブル１をθ方向に回転させる場合は、図６に示すように、θ軸駆動ユニット４０ｃを作動させてθ軸押圧体３０ｃでテーブル１の第２のＸ方向側面２ｃをＹ方向に押圧すると共に、Ｘ軸駆動ユニット４０ａとＹ軸駆動ユニット４０ｂを同時に作動させる。各駆動ユニット４０ａ〜４０ｃを同時に作動させて三体の各押圧体３０ａ〜３０ｃでテーブル１の異なる場所の三側面２ａ〜２ｃをそれぞれ押圧することで、テーブル１が回転する。このテーブル１の回転角は、各押圧体３０ａ〜３０ｃの押圧移動量により決められる。
【００２９】
また、テーブル１は、Ｘ方向移動と同時に回転移動させること、Ｙ方向移動と同時に回転移動させること、ＸＹ両方向に移動させながら回転移動させることができる。このような様々なテーブル移動は、各駆動ユニット４０ａ〜４０ｃによる三体の押圧体３０ａ〜３０ｃの相対的な移動量を予め演算しプログラム化して自動的に行う。
【００３０】
なお、本発明のＸＹθテーブル駆動機構は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。
【００３１】
例えば、図７に上記実施の形態のＸＹθテーブル駆動機構を４台並べた半導体製造設備を示す。４台のＸＹθテーブル駆動機構は図７のＡ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４で、この４台は共通のベース２０に設置され、４台のテーブル１、…が同一平面上に縦横二列で並ぶ。この４台のテーブル１、…の間には、図２の鎖線で示すカバー５５が設置される。また、隣接するテーブル１、…同士を共通のばね材５３で引っ張り合うようにして、４台のテーブル１、…に使用するばね材の本数を半数にしている。
【００３２】
４台のＸＹθテーブル駆動機構Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４の各々は小形コンパクトにすることができる。そのため、４台をＸＹθテーブル駆動機構Ａ１、Ａ２、Ａ３、Ａ４を共通のベース２０に組み付けても、４台の各テーブル１，…を十分に接近させて配列でき、基板に４個のＩＣチップなどを高密度実装して特性検査するなどの半導体製造設備に好適なものとなる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係るＸＹθテーブル駆動機構の実施の形態を示す平面図である。
【図２】図１テーブル駆動機構の要部の断面図である。
【図３】図１テーブル駆動機構における押圧体の斜視図である。
【図４】図１テーブル駆動機構のテーブルガイドの断面図である。
【図５】図１テーブル駆動機構の動作例を示す要部の平面図である。
【図６】図１テーブル駆動機構の別の動作例を示す要部の平面図である。
【図７】図１テーブル駆動機構を４台配列したテーブル駆動機構の平面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    テーブル
２ａ    Ｙ方向側面
２ｂ    Ｘ方向側面
２ｃ    Ｘ方向側面
１０    テーブルガイド
１１、１１’    スラスト軸受部
１２    ストッパー部
１５    転動体
１６    保持器
１７    円形穴
２０    ベース
３０ａ    Ｘ軸押圧体
３０ｂ    Ｙ軸押圧体
３０ｃ    θ軸押圧体
３１ａ    揺動レバー
３１ｂ    揺動レバー
３１ｃ    揺動レバー
３２    連結軸
３３    ローラ
３４    ローラ
４０ａ    Ｘ軸駆動ユニット
４０ｂ    Ｙ軸駆動ユニット
４０ｃ    θ軸駆動ユニット
４１    カム
４２    モータ、パルスモータ
５１〜５３    ばね材
Ｇ    隙間
【図１】
2007108130.tif 000003
【図２】
2007108130.tif 000004
【図３】
2007108130.tif 000005
【図４】
2007108130.tif 000006
【図５】
2007108130.tif 000007
【図６】
2007108130.tif 000008
【図７】
2007108130.tif 000009