(57)【要約】【課題】ガス吸着速度が大きいとともに、総吸着容量が大きく寿命が長いケミカルフィルタが必要とされている。【解決手段】三次元網目状骨格基材４に粒状活性炭１が保持されており、前記三次元網目状骨格基材４と前記粒状活性炭１の表面にも粉末状活性炭２が担持されていることを特徴としている。三次元網目状骨格基材４に粒状活性炭１が保持されているため、吸着容量が大きく長寿命であり、またその表面にも粉末状活性炭２が担持されているため、ガス状不純物成分５との接触面積が大きく初期性能にも優れるケミカルフィルタを提供することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
三次元網目状骨格基材に粒状活性炭が保持されており、前記三次元網目状骨格基材と前記粒状活性炭の表面に粉末状活性炭が担持されていることを特徴とするケミカルフィルタ。
【請求項２】
粒状活性炭および粉末状活性炭が通気性を有するバインダによって担持されていることを特徴とする請求項１に記載のケミカルフィルタ。
【請求項３】
三次元網目状骨格基材を、バインダ溶液中に粒状活性炭と粉末状活性炭を分散させたスラリーに含浸させた後、乾燥させて得る請求項１または２に記載のケミカルフィルタ。
【請求項４】
スラリーにホットメルト樹脂粉末を添加したことを特徴とする請求項３に記載のケミカルフィルタ。
【請求項５】
スラリーに吸着反応剤を添加したことを特徴とする請求項３または４に記載のケミカルフィルタ。
【請求項６】
通気方向の片側もしくは両側に、通気性と吸着能を有するシートを通気部分全体にわたり設けることを特徴とする請求項１ないし５いずれかに記載のケミカルフィルタ。
【請求項７】
通気性と吸着能を有するシートの空隙の大きさが、粉末状活性炭よりも小さいことを特徴とする請求項１ないし６いずれかに記載のケミカルフィルタ。
【請求項８】
通気性と吸着能を有するシートの下流側に、それよりも目の細かいシートを設けることを特徴とする請求項１ないし７いずれかに記載のケミカルフィルタ。
【請求項９】
通気性と吸着能を有するシートの下流側および上流側に、それよりも目の細かいシートを設けることを特徴とする請求項１ないし７いずれかに記載のケミカルフィルタ。
【請求項１０】
プリーツ状に形成されることを特徴とする請求項１ないし９いずれかに記載のケミカルフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス状不純物成分を除去する空気清浄用のケミカルフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造工場や精密電子製造工場のクリーンルームおよびクリーンルーム内で使用する装置において問題となる極微量のガス状不純物成分を除去する空気清浄用のケミカルフィルタには、細孔を持たせて表面積を増大させた活性炭を基材に保持させたものが従来から用いられている。活性炭としては粒状活性炭と粉末状活性炭の二種類が使用され、基材の種類や加工形状よって使い分けられてきた。これまでに、通気性のある収納ケースに粒状活性炭を充填したものが使用されているが、粒状活性炭の充填量によっては圧力損失が大きくなってしまうため、通気性を保ったまま活性炭をいかに多くフィルタに担持させるかが重要な課題となっていた。これまでに、この課題の解決のために以下のような方法が提案されている。
【０００３】
例えば粉末状活性炭を吸着剤として用いたものとしては、空隙率が大きなセラミック繊維に粉末状活性炭を担持したハニカム形状のケミカルフィルタが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この方法では、セラミック繊維間に活性炭がバインダによって固定されているため粉落ちが少なく、また、ハニカム形状であるため通気性に優れ圧力損失が低いという特長がある。
【０００４】
また、粒状活性炭を吸着剤として用いたものとしては、捲縮繊維を有する不織布等に粒状活性炭を挟み込み、接着剤で固定したシートをプリーツ加工したものが提案されている（例えば、特許文献２参照）。この方法では、捲縮繊維に吸着容量の大きな粒状活性炭を担持しているので寿命が長く、シートをプリーツ加工しているのでガス状不純物成分との接触面積が大きく、吸着効率が大きいという特長がある。
【特許文献１】特開２００１−３１０１０９号公報
【特許文献２】特開２００３−３４２８６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のケミカルフィルタでは、粉末状活性炭はガス状不純物成分との接触面積が大きく吸着速度に優れる反面、基材の空隙に粉末状活性炭を保持しているため、基材の容量分だけ活性炭量のロスを生じ、活性炭量が粒状活性炭ほど多くならず、総吸着容量では粒状活性炭と比較して劣るため寿命が短いという課題がある。
【０００６】
そして、特許文献２では、粒状活性炭は吸着容量が大きい反面、ガス状不純物成分との接触面積が小さいため吸着速度が小さく、その結果初期性能が低かったり、吸着容量に余裕があっても吸着性能の低下が始まってしまったりするという課題がある。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題を解決するものであり、ガス状不純物成分の総吸着容量が大きく寿命が長いことに加え、吸着速度が大きく初期性能に優れるケミカルフィルタを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために本発明のケミカルフィルタは、三次元網目状骨格基材に粒状活性炭が保持されており、三次元網目状骨格基材と粒状活性炭の表面に粉末状活性炭が担持されていることを特徴としている。
【０００９】
また、請求項２に記載のケミカルフィルタは、請求項１に記載のケミカルフィルタにおいて、粒状活性炭および粉末状活性炭が通気性を有するバインダによって担持されていることを特徴とするものである。
【００１０】
また、請求項３に記載のケミカルフィルタは、請求項１もしくは２いずれかに記載のケミカルフィルタにおいて、三次元網目状骨格基材を、バインダ溶液中に粒状活性炭と粉末状活性炭を分散させたスラリーに含浸させた後、乾燥させて得ることを特徴とするものである。
【００１１】
また、請求項４に記載のケミカルフィルタは、請求項３に記載のケミカルフィルタにおいて、スラリーにホットメルト樹脂粉末を添加したことを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項５に記載のケミカルフィルタは、請求項３または４に記載のケミカルフィルタにおいて、スラリーに吸着反応剤を添加したことを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項６に記載のケミカルフィルタは、請求項１ないし５いずれかに記載のケミカルフィルタにおいて、通気方向の片側もしくは両側に、通気性と吸着能を有するシートを通気部分全体にわたり設けることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項７に記載のケミカルフィルタは、請求項１ないし６いずれかに記載のケミカルフィルタにおいて、通気性と吸着能を有するシートの空隙の大きさが、粉末状活性炭よりも小さいことを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項８に記載のケミカルフィルタは、請求項１ないし７に記載のケミカルフィルタにおいて、通気性と吸着能を有するシートの下流側に、それよりも目の細かいシートを設けることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項９に記載のケミカルフィルタは、請求項１ないし７いずれかに記載のケミカルフィルタにおいて、通気性と吸着能を有するシートの下流側および上流側に、それよりも目の細かいシートを設けることを特徴とするものである。
【００１７】
また、請求項１０に記載のケミカルフィルタは、請求項１ないし９いずれかに記載のケミカルフィルタにおいて、プリーツ状に形成されることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、三次元網目状骨格基材に粒状活性炭が保持されているため、吸着容量が大きく長寿命であり、また三次元網目状骨格基材と粒状活性炭の表面に表面にも粉末状活性炭が担持されているため、ガス状不純物成分との接触面積が大きく初期性能に優れるという効果の得られるケミカルフィルタを提供することができる。
【００１９】
また、粒状活性炭および粉末状活性炭が通気性を有するバインダによって担持されているため、粒状活性炭と気流が遮断されること無く、すべての活性炭の吸着容量を最大限に生かし、寿命の長いケミカルフィルタを提供することができる。
【００２０】
また、三次元網目状骨格基材を、バインダ溶液中に粒状活性炭と粉末状活性炭を分散させたスラリーに含浸させた後、乾燥させて得るため、基材表面および粒状活性炭の表面に粉末状活性炭を均一に担持されており、活性炭が担持されてある各箇所で吸着能の偏りがなく寿命の長いケミカルフィルタを提供することができる。
【００２１】
また、スラリーにホットメルト樹脂粉末を添加するため、乾燥時に基材、粒状活性炭および粉末状活性炭がより強固に結合し、粉落ちが少ないケミカルフィルタを提供することができる。
【００２２】
また、スラリーに吸着反応剤を添加するため、有機ガスのみでなく酸性ガスやアルカリガスの除去に適したケミカルフィルタを提供することができる。
【００２３】
また、通気方向の片側もしくは両側に、通気性と吸着能を有するシートを通気部分全体にわたり設けているため、より高い吸着速度と吸着容量を備えたケミカルフィルタを提供することができる。
【００２４】
また、通気性と吸着能を有するシートの空隙の大きさが、粉末状活性炭よりも小さいため、ケミカルフィルタからの粉落ちにより下流へ粒子が流出するのを防止する効果を有するケミカルフィルタを提供することができる。
【００２５】
また、通気性と吸着能を有するシートの下流側に、それよりも目の細かいシートを設けているため、通気性と吸着能を有するシートから発生した微粒子を除去することが可能なケミカルフィルタを提供することができる。
【００２６】
また、通気性と吸着能を有するシートの下流側および上流側に、それよりも目の細かいシートを設けているため、フィルタのどちら側から通気しても同じ性能が得られ、通気性と吸着能を有するシートから発生した微粒子を除去する効果が得られるケミカルフィルタを提供することができる。
【００２７】
また、プリーツ状に形成されているため、圧力損失が小さく、ガス状不純物成分との接触面積が大きく、吸着効率が大きいケミカルフィルタを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
本発明は、三次元網目状骨格基材に粒状活性炭が保持されており、三次元網目状骨格基材と粒状活性炭の表面に粉末状活性炭が担持されていることを特徴とする。基材表面には本来吸着能力はなく、吸着剤を保持しているのみであるが、基材表面に活性炭が担持されることにより基材にも吸着性が生じ、総吸着容量が増加する作用を有する。また粒状活性炭は、粒子密度が大きいため吸着容量は大きい反面、粉末状活性炭と比較してガス状不純物成分との接触面積が劣るため、ガス状不純物成分との接触時間が短いと十分な吸着能力が得られないが、表面に粉末状活性炭を担持することにより、粒状活性炭表面における吸着速度を大きくし、短い接触時間でもガス状不純物成分を吸着しやすくなるという作用を有する。この結果、総吸着容量が大きく長寿命であり、かつ吸着速度が大きく初期性能に優れるケミカルフィルタを提供することができる。
【００２９】
また、粒状活性炭および粉末状活性炭が通気性を有するバインダによって担持されていることを特徴とする。粒状活性炭表面を通気性のない樹脂バインダ等でコーティングして被膜を形成してしまうと、ガス状不純物成分の活性炭内部への拡散を抑制するため吸着性能が低下してしまうが、本発明では通気性を有するバインダを使用することにより、活性炭と気流が遮断されること無く活性炭表面で吸着が行われ、活性炭内部までガス状不純物成分の到達が可能となる作用を有する。また、粉末状活性炭に物理吸着されたガス状不純物成分がバインダ間を通って粒状活性炭まで移動することができるため、吸着は吸着速度の速い粉末状活性炭、吸着されたガス状不純物成分の保持は吸着容量の大きな粒状活性炭がそれぞれ行うことで、初期性能が高く寿命に優れるケミカルフィルタを提供することができる。
【００３０】
また、三次元網目状骨格基材を、バインダ溶液中に粒状活性炭と粉末状活性炭を分散させたスラリーに含浸させた後、乾燥させて得ることを特徴とする。粒状活性炭と粉末状活性炭を含むスラリーを使用することで、基材と粒状活性炭、粒状活性炭と粉末状活性炭、基材と粉末活性炭の接着を同時に行うことができる作用を有する。また、スラリーに基材を含浸させることにより、細部まで活性炭を担持することが可能であり、基材表面および粒状活性炭の表面に粉末状活性炭を均一に担持する作用を有する。これにより、フィルタの一部だけが他の部分よりも早く破過してしまうことを防ぐことができる。
【００３１】
また、スラリーにホットメルト樹脂粉末を添加することを特徴とする。ホットメルト樹脂は常温で固体であり加熱すると溶融するため、バインダ中に均一に分散されたホットメルト樹脂がケミカルフィルタ乾燥時に溶融してバインダや活性炭に密着し、常温に戻したときには固化して基材、粒状活性炭および粉末状活性炭がより強固に結合する作用を有する。これにより、基材からの粒状活性炭の脱落や粉末状活性炭の粉落ちを防止することができる。
【００３２】
また、スラリーに吸着反応剤を添加することを特徴とする。活性炭自身は細孔中に有機ガスを物理吸着させる能力は高いが、極性ガスに対する吸着能は低いことが知られている。スラリーに酸性やアルカリ性の反応吸着剤を添加して、活性炭の細孔に吸着反応剤を添着することにより、活性炭に有機ガスのみでなく酸性ガスやアルカリガスを化学吸着により除去する能力を持たせる作用を有する。また、予め薬剤が添着された活性炭を使用した場合、スラリー中に溶出してしまい薬剤の量が変化してしまうが、スラリー中に予め所定量の薬剤を添加しておけば、薬剤の添着量の調整が容易である。
【００３３】
また、通気方向の片側もしくは両側に、通気性と吸着能を有するシートを通気部分全体にわたり設けていることを特徴とする。ケミカルフィルタでは、低濃度のガス状不純物成分により徐々に性能が低下し、フィルタで除去し切れなかったガス状不純物成分が僅かながら下流に排出される。フィルタの両側に吸着能を有するシートを設けることにより、基材に担持した活性炭で除去し切れなかったごく僅かなガス状不純物成分を除去して、高い初期性能を長く維持する作用を有する。
【００３４】
また、通気性と吸着能を有するシートの空隙の大きさが、粉末状活性炭よりも小さいことを特徴とする。粉末状活性炭は表面に担持されているため高風速や振動のある条件によっては粉落ちする可能性があるが、通気性と吸着能を有するシートの空隙の大きさが、粉末状活性炭よりも小さいことにより、ガス状不純物成分を除去するだけでなくケミカルフィルタからの粉末状活性炭の粉落ちにより下流へ粒子が流出するのを防止する作用を有する。
【００３５】
また、通気性と吸着能を有するシートの下流側に、それよりも目の細かいシートを設けていることを特徴とする。通気性と吸着能を有するシートに活性炭混抄紙等を用いた場合、高風速や振動の条件それ自身から粉落ちや発塵が発生する可能性があるが、より下流にそれよりも目の細かいシートを設けることにより、吸着剤粒子や微細な繊維が発生した場合、これらを除去する作用を有する。
【００３６】
また、通気性と吸着能を有するシートの下流側および上流側に、それよりも目の細かいシートを設けていることを特徴とする。ケミカルフィルタを設置する際、どちらの面を上流にするかは設置時まで判断できないが、下流側および上流側の両側にシートを設けることにより、フィルタのどちら側から通気しても、通気性と吸着能を有するシートから発生した微粒子を除去する作用を有する。
【００３７】
また、プリーツ状に形成されていることを特徴とする。プリーツ状に形成することにより、濾過面積が増大して流速が小さくなり、吸着効率を増大させるとともに圧力損失を低減させる作用を有する。
【００３８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００３９】
（実施の形態１）
三次元網目状骨格基材に粒状活性炭が保持されており、そのいずれの表面にも粉末状活性炭が担持されているケミカルフィルタの基材表面を図１に示す。また、図１に示された粒状活性炭の表面を図２に示す。
【００４０】
図１に示すように粒状活性炭１および粉末状活性炭２はバインダ３によって三次元網目状骨格基材４表面に保持されている。このようにケミカルフィルタにおける表面部はいずれも粉末状活性炭２が存在しており、ガス状不純物成分５の吸着には吸着速度の速い粉末状活性炭２が主に作用するため、高い吸着速度を有している。粒状活性炭１の大きさは特に限定されないが、大きすぎて気体の通路を塞いで圧力損失を上昇させたり、逆に小さすぎてガス状不純物成分５との接触効率を損なったりしない程度、例えば平均粒径１．０ｍｍ以上５．０ｍｍ以下のものが望ましい。粉末状活性炭２の大きさは特に限定されないが、バインダ３によって粒状活性炭１や三次元網目状骨格基材４の表面に固定できる程度の大きさ、例えば平均粒径１０μｍ以上５００μｍ以下であることが望ましい。バインダ３については、粒状活性炭１の表面を完全に覆わない粒子状のもの、例えばコロイダルシリカやコロイダルアルミナ等の無機バインダが望ましいが、ガス状不純物成分が貫通可能な多孔質の膜を形成するアクリル樹脂等でも構わない。三次元網目状骨格基材４については、バインダ３との接着性の良好な材質のもので、網目が粒状活性炭１を保持するのに適した大きさのもの、例えばセルサイズが９個／２５ｍｍ以上１３個／２５ｍｍ以下のポリウレタン発泡体等がよい。また、三次元網目状骨格基材４を構成する材料の空隙率が大きく、三次元網目状骨格基材４の骨格の内部まで粉末状活性炭２やバインダ３が入りやすいもの、例えば繊維質ペーパー等であると、三次元網目状骨格基材４表面だけでなく内部にまで活性炭が担持できて総吸着容量が多くなり良い。
【００４１】
図２に示すように粒状活性炭１表面はバインダ３や粉末状活性炭２に覆われているが、バインダ３や粉末状活性炭２は粒子状であるため、膜によって完全に表面を覆ってしまうことはないので、ガス状不純物成分５はバインダ３の隙間や、粉末状活性炭２の細孔を通って粒状活性炭１まで到達することができる。そのため、総吸着容量は粉末状活性炭２と粒状活性炭１の吸着容量の総和となり、初期性能が高く、かつ長寿命のケミカルフィルタを得ることができる。
【００４２】
上記のようなフィルタを作製するには、三次元網目状骨格基材を、バインダ溶液中に粒状活性炭と粉末状活性炭を分散させたスラリーに含浸させた後、乾燥させて得る方法がある。吸着反応は粉末状活性炭の表面で最も起きることから、バインダ量を調節して粉末状活性炭の量を増加させればいっそう吸着性能が向上する。バインダ量は活性炭の性状にもよるが、乾燥後の固形分比でバインダ重量が１０％以上４０％以下となる量であることが望ましい。スラリーの溶媒は、アルコールやシクロヘキサン等の有機溶剤ではなく水系であることが、活性炭の性能を最大限に発揮させ、また製造時の臭気の発生を無くすという観点から望ましい。また、乾燥前に余剰の粒状活性炭をふるい落とし、基材の網目に膜になっているスラリーをエアブロー等によって除去することが、フィルタの圧力損失を低減するためには望ましい。
【００４３】
（実施の形態２）
実施の形態１と同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。スラリーにホットメルト樹脂粉末を添加して作製したケミカルフィルタを図３に示す。ホットメルト樹脂６は、乾燥前は粉末状活性炭２と同様にバインダ３中に分散しているが、加熱乾燥時に溶融し粒子間を拡散した後、冷却後乾燥してバインダとなる。この結果、それぞれの粒子間はバインダ３のみで接着された場合よりも強固に接着し、粒状活性炭１や粉末状活性炭２の粉落ちを防止することができる。ホットメルト樹脂６用の粉末としては、フィルタの乾燥時に溶融し、常温に戻ったときに固化するもの、例えばポリオレフィン系樹脂、ポリビニル系樹脂あるいはポリアミド系樹脂等を使用すると、接着と乾燥を同時に行えるのでよい。また、ホットメルト樹脂６によって粒子間の空隙が完全にふさがれるとガス状不純物成分５が内部の粒状活性炭１に到達しなくなるので、ホットメルト樹脂の平均粒径は粉末状活性炭よりも小さいこと、好ましくは１０μｍ以上１００μｍ以下であり、添加量は活性炭表面を完全に覆わない程度、好ましくは粉末状活性炭の重量の１％以上１００％以下にすると良い。
【００４４】
（実施の形態３）
実施の形態１または２と同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。スラリーに吸着反応剤を添加して作製したケミカルフィルタの粒状活性炭１の表面を図４に示す。粒状活性炭１や粉末状活性炭２の内部に吸着反応剤７が添着されており、この吸着反応剤７が酸性ガスあるいはアルカリ性ガスと反応して吸着を促進する。活性炭は細孔の壁面を含めてその表面が疎水性であるため、物理吸着によって無極性のガス状不純物成分５を吸着しやすく、吸着反応剤７を担持することにより酸やアルカリといった極性ガスも吸着することができる。また、吸着反応剤７は表面上に存在する粉末状活性炭２だけでなく、粒状活性炭１にも添着されているため、バインダ３や粉末状活性炭２の間隙を通って粒状活性炭１まで到達したガス状不純物成分５に対する吸着能も向上する。吸着反応剤７としては、酸性ガス用としては炭酸カリウム等のアルカリ反応剤、アルカリガス用としてはリン酸等の酸性反応剤を使用する。水溶性の反応剤であると、水系スラリーに溶解して活性炭の細孔内部まで反応剤を添着できるので良い。
【００４５】
（実施の形態４）
実施の形態１乃至３のいずれかと同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。通気性と吸着能を有するシートを下流側および上流側に設けの下流側および上流側に、それよりも目の細かいシートを設けたケミカルフィルタを図５に示す。三次元網目状骨格基材４に粒状活性炭１が保持されておりそのいずれの表面にも粉末状活性炭２が担持されている活性炭担持フィルタ８の両側を、通気性と吸着能を有するシートＢ１０およびシートＣ１１で挟み、さらに目の細かいシートＡ９およびシートＤ１２で挟んである。実際には活性炭担持フィルタ８とシートＡ９、シートＢ１０、シートＣ１１およびシートＤ１２は密着しているが、図５では説明のため離して示してある。吸着能を有しているシートＣ１１により、活性炭担持フィルタ８で吸着し切れなかったガス状不純物成分５を吸着するとともに粉落ちした活性炭を除去する。シートＣ１１より目の細かいシートＤ１２により、シートＣ１１から脱落した吸着剤等がフィルタの下流側に放出されることを防ぐ。これにより、より吸着性能を向上させるとともに、フィルタ自身からの不純物の発生を防ぐことができる。また、通気方向を逆にした場合、吸着能を有しているシートＢ１０がシートＣ１１の役割を果たし、目の細かいシートＡ９がシートＤ１２の役割を果たす。シートＢ１０およびシートＣ１１としては、活性炭等の吸着剤と有機繊維を混抄して得られる吸着剤混抄紙シートや、繊維表面に吸着能を持たせた活性炭素繊維シートおよびイオン交換繊維シート等がある。また、シートＡ９およびシートＤ１２としてはシート自身から発塵したり不純物を発生したりしないもの、例えば抄造法で製造した不織布等である。
【００４６】
（実施の形態５）
実施の形態１乃至４のいずれかと同一部分は同一番号を付し、詳細な説明は省略する。プリーツ状に形成したケミカルフィルタの斜視図を図６に示す。プリーツ状ケミカルフィルタ１３を気体が通過するときに、平面を通過する場合よりも濾過面積が増大して流速が小さくなり、吸着効率を増大させるとともに圧力損失を低減させることができる。ケミカルフィルタをプリーツ状にする場合、プリーツ深さが２０ｍｍ以上５０ｍｍ以下でプリーツ間隔が５ｍｍ以上３０ｍｍ以下あると吸着効率が高く圧力損失が低いので好ましい。また、プリーツ状に折りたたむ前のケミカルフィルタの厚みが０．２ｍｍ以上３．０ｍｍ以下であるとプリーツ状に折りたたむのが容易になり好ましい。
【産業上の利用可能性】
【００４７】
本発明のケミカルフィルタは、吸着速度が大きく、吸着容量も大きいことから、低濃度のガス状不純物成分の除去が長期間にわたって可能なフィルタとして利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の実施の形態１に記載のケミカルフィルタの拡大図
【図２】同記載の粒状活性炭の拡大図
【図３】本発明の実施の形態２に記載のケミカルフィルタの拡大図
【図４】同実施の形態３に記載の粒状活性炭の拡大図
【図５】同実施の形態４に記載のケミカルフィルタの斜視図
【図６】同実施の形態５に記載のケミカルフィルタの斜視図
【符号の説明】
【００４９】
１    粒状活性炭
２    粉末状活性炭
３    バインダ
４    三次元網目状骨格基材
５    ガス状不純物成分
６    ホットメルト樹脂
７    吸着反応剤
８    活性炭担持フィルタ
９    シートＡ
１０  シートＢ
１１  シートＣ
１２  シートＤ
１３  プリーツ状ケミカルフィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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