(57)【要約】    【課題】  密閉構造とした基板保管輸送容器に於いて、確実に非反応性ガスを封入でき、而も安定に封入状態が維持でき、外部から外気の浸入を防止する。    【解決手段】  基板を収納する密閉式の容器１と、該容器を開閉可能な蓋２と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作する。    【選択図】          図１
2007227800.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作することを特徴とする基板保管輸送容器。
【請求項２】
前記給気ポートの弁体と、前記排気ポートの弁体は、前記給気ポートが開状態で前記排気ポートが開閉される様、開閉タイミングが異なる様に構成された請求項１の基板保管輸送容器。
【請求項３】
基板保管輸送容器が容器載置台に載置されることで、前記基板保管輸送容器内部が非反応性ガスでパージされる基板保管輸送容器パージシステムに於いて、前記基板保管輸送容器が、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、容器側給気ポートと、容器側排気ポートとを具備し、前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、前記容器載置台がパージガス供給系に接続された台側給気ポートと、台側排気ポートとを具備し、前記基板保管輸送容器の前記容器載置台への載置、前記容器載置台からの取外しにより、前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートに連結解除可能であり、前記基板保管輸送容器が前記容器載置台に載置された状態では前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポート、或は前記台側給気ポート、前記台側排気ポートの少なくとも一方から突出するロッドを介して前記弁体が開放される様構成されたことを特徴とする基板保管輸送容器パージシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は半導体装置を製造する過程に於いて、シリコンウェーハ、ガラス基板等の基板を輸送する為に使用される基板保管輸送容器及び基板保管輸送容器パージシステムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基板、例えばウェーハの、半導体製造過程に於ける保管、輸送は、所要枚数が基板保管輸送容器に収納された状態で行われる。又、基板保管輸送容器の１つに密閉式の基板保管輸送容器があり、該基板保管輸送容器では保管中、輸送中に基板がパーティクルに汚染されない様に、或は大気中の水、酸素による自然酸化等を防止する為、窒素ガス等の非反応性ガスが封入される。
【０００３】
又、基板保管輸送容器は圧力容器ではなく、大きな内外圧差には耐えられないので、パーティクル除去用のフィルタを介して容器の内外が連通され、大きな内外圧差が生じない様になっている。この為、窒素ガス等の非反応性ガスを充填しても、基板保管輸送容器内部を非反応性ガス雰囲気に維持することができない。
【０００４】
連通箇所にはフィルタが設けられているので、パーティクルの浸入が抑止され、パーティクルによる汚染は防止できるが、空気中の水分、酸素、或は有機物等のガス状物質の浸入は抑止できない。この為、基板の自然酸化、有機物汚染による絶縁特性の低下等は防止できなかった。
【０００５】
これに対し、容器内の非反応性ガス雰囲気を維持する基板保管輸送容器として、容器の連通部に内外圧差に対して反対の作動をする２つの逆止弁を設け、一方の逆止弁から基板保管輸送容器内部に所定圧以上の非反応性ガスの供給を行い、基板保管輸送容器内部に非反応性ガスを所定の内圧で封入する構造の基板保管輸送容器がある。斯かる基板保管輸送容器に於いて、他方の逆止弁は基板保管輸送容器の内圧が外圧より高くなった場合に、内圧を逃し、又外圧が内圧より高くなった場合は、前記一方の逆止弁から外気が浸入して内外圧差を解消する様になっている。
【０００６】
一般に、逆止弁はテーパ面の弁座に弁体である鋼球をバネにより押圧し、栓封するものであり、所要のシール性能を有するには弁座、弁体間に所定の面圧が必要である。従って、確実なシール性能を得る為にはバネ力は大きくなければならないが、所定の内外圧差を維持する様に設けられた場合、バネ力は設定圧を維持できる程度となり、又基板保管輸送容器の内圧が面圧に大きく影響し、内圧が設定圧近傍となると面圧は低下し、栓封状態は不安定となり、シール性能は低下する。この為、搬送時等動的な外力が作用する環境では、外部から外気が浸入してしまう可能性がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平８−２０３９９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は斯かる実情に鑑み、密閉構造とした基板保管輸送容器に於いて、確実に非反応性ガスを封入でき、而も安定に封入状態が維持でき、外部から外気の浸入を防止する基板保管輸送容器、及び基板保管輸送容器パージシステムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作する基板保管輸送容器に係り、又前記給気ポートの弁体と、前記排気ポートの弁体は、前記給気ポートが開状態で前記排気ポートが開閉される様、開閉タイミングが異なる様に構成された基板保管輸送容器に係るものである。
【００１０】
又本発明は、基板保管輸送容器が容器載置台に載置されることで、前記基板保管輸送容器内部が非反応性ガスでパージされる基板保管輸送容器パージシステムに於いて、前記基板保管輸送容器が、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、容器側給気ポートと、容器側排気ポートとを具備し、前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、前記容器載置台がパージガス供給系に接続された台側給気ポートと、台側排気ポートとを具備し、前記基板保管輸送容器の前記容器載置台への載置、前記容器載置台からの取外しにより、前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートに連結解除可能であり、前記基板保管輸送容器が前記容器載置台に載置された状態では前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポート、或は前記台側給気ポート、前記台側排気ポートの少なくとも一方から突出するロッドを介して前記弁体が開放される様構成された基板保管輸送容器パージシステムに係るものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作するので、前記弁体に外力が作用しない限り前記弁口は開放されないので、基板保管輸送容器の気密状態が安定に維持され、非反応性ガスを封入する場合は陽圧状態とすることができ、外気の浸入が防止でき、自然酸化膜の生成が防止できると共に有機ガスによる汚染も防止され、基板に生成される膜質の向上、歩留りの向上が図れる。
【００１２】
又本発明によれば、前記給気ポートの弁体と、前記排気ポートの弁体は、前記給気ポートが開状態で前記排気ポートが開閉される様、開閉タイミングが異なる様に構成されたので、前記給気ポートからパージガスを供給する場合に前記排気ポート側からの外気の巻込みが防止できる。
【００１３】
又本発明によれば、基板保管輸送容器が容器載置台に載置されることで、前記基板保管輸送容器内部が非反応性ガスでパージされる基板保管輸送容器パージシステムに於いて、前記基板保管輸送容器が、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、容器側給気ポートと、容器側排気ポートとを具備し、前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、前記容器載置台がパージガス供給系に接続された台側給気ポートと、台側排気ポートとを具備し、前記基板保管輸送容器の前記容器載置台への載置、前記容器載置台からの取外しにより、前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートに連結解除可能であり、前記基板保管輸送容器が前記容器載置台に載置された状態では前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポート、或は前記台側給気ポート、前記台側排気ポートの少なくとも一方から突出するロッドを介して前記弁体が開放される様構成されたので、前記基板保管輸送容器を前記容器載置台に載置するだけで、前記基板保管輸送容器内のガスパージが行え、又該基板保管輸送容器を前記容器載置台から取外すと、前記弁体に外力が作用しない限り前記弁口は開放されない気密状態となり、前記基板保管輸送容器の気密状態が安定に維持され、非反応性ガスを封入する場合は陽圧状態とすることができ、外気の浸入が防止でき、自然酸化膜の生成が防止できると共に有機ガスによる汚染も防止され、基板に生成される膜質の向上、歩留りの向上が図れる等の優れた効果を発揮する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しつつ本発明を実施する為の最良の形態を説明する。
【００１５】
先ず、図１に於いて、本実施の形態に係る基板保管輸送容器１の概略を説明する。
【００１６】
該基板保管輸送容器１は気密容器となっており、前面の容器蓋２は開閉可能であり、保管、輸送状態では該容器蓋２は気密に前記基板保管輸送容器１を閉塞し、半導体製造装置内に搬入されると、半導体製造装置内部に具備されている開閉装置によって前記容器蓋２が開閉される様になっている。
【００１７】
前記基板保管輸送容器１内部には、基板、例えばウェーハ３が所定枚数、例えば２５枚収納される様になっており、前記基板保管輸送容器１の所要位置、例えば背面に圧縮ガスタンク４を備え、該圧縮ガスタンク４には窒素ガス等の非反応性ガスが圧縮して充填される様になっている。該圧縮ガスタンク４と前記基板保管輸送容器１内部とはガス供給管５によって連通され、又前記基板保管輸送容器１と外部とは排気管６によって連通され、前記ガス供給管５、前記排気管６にはそれぞれ電磁開閉弁７，８が設けられ、又前記基板保管輸送容器１の内圧と該基板保管輸送容器１外部の外圧との差圧が差圧計９によって検出される様になっている。
【００１８】
前記電磁開閉弁７，８は前記差圧計９によって検出される差圧が所定値以内となる様に制御部１０によって前記電磁開閉弁７，８の開閉が制御される。即ち、前記基板保管輸送容器１の内圧が、若干外気より高く（陽圧）なる様に設定され、内圧が設定圧より低くなると、前記電磁開閉弁７が開放され、非反応性ガスが前記圧縮ガスタンク４から前記基板保管輸送容器１内に供給され、該基板保管輸送容器１の内圧が所定値より高くなると、前記電磁開閉弁８が開放され、前記基板保管輸送容器１内部の負荷が放出されて、該基板保管輸送容器１内部の圧力が所定の陽圧となる様に制御される。
【００１９】
前記基板保管輸送容器１の内部が、所定陽圧になることから、外気の浸入が防止され、前記基板保管輸送容器１内部は非反応性ガス雰囲気に維持される。
【００２０】
前記基板保管輸送容器１の内部は非反応性ガスによって充填されるが、該基板保管輸送容器１内部を非反応性ガスによって充填する基板保管輸送容器パージシステムについて図２、図３により概略を説明する。
【００２１】
基板保管輸送容器１の搬送経路、或は保管位置近傍には容器載置台１２が設けられており、該容器載置台１２の上面には台側給気ポート１３、台側排気ポート１４が設けられている。前記台側給気ポート１３は、給気配管１５を介して非反応性ガス供給源１６、例えば窒素ガスボンベに接続され、前記給気配管１５には流量制御器１７が設けられると共に、該流量制御器１７の上流、下流側にはそれぞれ開閉弁１８，１９が設けられている。前記給気配管１５、前記非反応性ガス供給源１６、前記流量制御器１７、前記開閉弁１８，１９等はパージガス供給系２０を構成している。
【００２２】
前記台側排気ポート１４には排気配管２１が接続され、該排気配管２１は大気に開放され、或は図示しない排気装置に接続されている。
【００２３】
前記基板保管輸送容器１の下面、前記台側給気ポート１３、前記台側排気ポート１４と対応した位置に容器側給気ポート２２、容器側排気ポート２３が設けられ、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置することで、前記容器側給気ポート２２と前記台側給気ポート１３が連結され、又前記容器側排気ポート２３と前記台側排気ポート１４が連結される様になっている。
【００２４】
前記台側給気ポート１３、前記台側排気ポート１４、前記容器側給気ポート２２、前記容器側排気ポート２３はそれぞれ開閉弁となっているか、或は開閉弁を具備した構造となっており、前記容器側給気ポート２２と前記台側給気ポート１３が連結されることで、或は前記容器側排気ポート２３と前記台側排気ポート１４とが連結されることで、それぞれ弁が開放され、前記給気配管１５を介して前記非反応性ガス供給源１６より非反応性ガスが前記基板保管輸送容器１内部に充填され、該基板保管輸送容器１内の空気は前記排気配管２１を介して排気され、前記基板保管輸送容器１内部が非反応性ガスによってパージされる様になっている。
【００２５】
又、前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２から離反すると、前記容器側給気ポート２２と前記台側給気ポート１３、前記容器側排気ポート２３と前記台側排気ポート１４との連結がそれぞれ解除され、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の各弁は閉塞され、前記基板保管輸送容器１は非反応性ガスが所定の圧力で封入された密閉状態となる。
【００２６】
而して、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に搬送することで、該基板保管輸送容器１内部は所定の圧力に非反応性ガスでガスパージされる。
【００２７】
次に、図４により、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第１の形態について説明する。
【００２８】
尚、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３と前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４とは同一構造であるので、以下は、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３について説明する。
【００２９】
先ず、台側給気ポート１３について説明する。
【００３０】
台側給気ポート１３の上面には、連結用凹部２５が形成され、該連結用凹部２５にはシール部材であるＯリング２６が嵌装されている。又、前記台側給気ポート１３の内部には弁体収納部２７が形成され、該弁体収納部２７と前記給気配管１５（図２参照）とは連通しており、又前記弁体収納部２７と前記連結用凹部２５とは弁口２８によって連通されている。
【００３１】
台側弁体２９は前記弁体収納部２７に収納され、フランジ部３１と該フランジ部３１から上方に突出するロッド３２から形成され、前記フランジ部３１は前記弁口２８下面の弁座３３にシール部材であるＯリング３４を介して密着可能であり、前記フランジ部３１の下面と前記弁体収納部２７底面間には圧縮スプリング３５が挾設され、該圧縮スプリング３５により前記台側弁体２９は上方に向って付勢されている。
【００３２】
前記容器側給気ポート２２は、下方に突出する連結用突部３６を有し、該連結用突部３６の形状は中空な環突条となっており、下端周囲は面取りされている。該連結用突部３６は前記連結用凹部２５に嵌合可能であり、前記連結用突部３６と前記連結用凹部２５が嵌合した状態、即ち前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２に載置された状態で前記連結用突部３６の下端が前記Ｏリング２６を押圧し、前記連結用突部３６と前記連結用凹部２５とは気密に嵌合する様になっている。
【００３３】
前記容器側給気ポート２２の内部には弁体収納部３７が形成され、前記連結用突部３６を上下に貫通する弁口３８は前記弁体収納部３７に連通し、該弁体収納部３７は前記基板保管輸送容器１の内部、即ちウェーハ３（図３参照）が収納されている空間に連通している。
【００３４】
前記弁体収納部３７に容器側弁体３９が収納され、該容器側弁体３９はフランジ部４１と該フランジ部４１から下方に突出するロッド４２を有し、該ロッド４２は前記ロッド３２と当接する様になっている。
【００３５】
前記フランジ部４１の上面と前記弁体収納部３７の天井面との間には圧縮スプリング４３が挾設され、該圧縮スプリング４３によって前記フランジ部４１が前記弁口３８の上面、即ち弁座４４に押圧される。又、該弁座４４と前記容器側弁体３９間にはシール部材であるＯリング４５が挾設され、前記フランジ部４１は前記圧縮スプリング４３によって押圧されることで、前記弁口３８を気密に閉塞する様になっている。
【００３６】
図５は前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置した状態を示し、前記台側給気ポート１３と前記容器側給気ポート２２とが連結された状態を示している。
【００３７】
前記連結用突部３６が前記連結用凹部２５に嵌入し、前記Ｏリング２６が押潰されることで前記弁口２８と前記弁口３８とは気密に連通する。
【００３８】
前記連結用突部３６が前記連結用凹部２５に完全に嵌入する前に、前記ロッド３２と前記ロッド４２とが当接し、該ロッド４２の下端は前記ロッド３２の上端の窪み４６に係合する。前記ロッド３２と前記ロッド４２間に前記基板保管輸送容器１の重量が作用し、前記圧縮スプリング３５、前記圧縮スプリング４３は前記基板保管輸送容器１の重量が作用することで撓む様に設定されており、前記台側弁体２９、前記容器側弁体３９は相互に押込まれ、前記弁口２８、前記弁口３８はそれぞれ開放され、前記弁体収納部２７と前記弁体収納部３７が連通される。
【００３９】
尚、前記台側弁体２９、前記容器側弁体３９がガイドされ変位し、前記ロッド３２と前記ロッド４２との当接状態が安定している場合は、前記窪み４６は省略できる。
【００４０】
同様にして、台側排気ポート１４と容器側排気ポート２３が連結することで、両ポートの弁（図示せず）が開放され、前記基板保管輸送容器１内部と排気配管２１が連通する。
【００４１】
開閉弁１８，１９を開放し、急激に前記基板保管輸送容器１内に非反応性ガスが流入しない様に流量制御器１７で流入流量を調整し、前記給気配管１５、前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２を介して前記基板保管輸送容器１内に非反応性ガスを供給する。該基板保管輸送容器１内部の空気等の気体は、前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４、前記排気配管２１を介して排出され、前記基板保管輸送容器１内部が非反応性ガスによって陽圧となる様にパージされる。
【００４２】
所定時間経過し、前記基板保管輸送容器１内が非反応性ガスでパージされると、該基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２から取外す。前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２から切離されることで、前記台側給気ポート１３と前記容器側給気ポート２２、前記台側排気ポート１４と前記容器側排気ポート２３との連結が解除される。又、連結の解除により各ポートは気密に閉塞される。
【００４３】
例えば、前記台側給気ポート１３では前記圧縮スプリング３５の復元により前記フランジ部３１が前記弁口２８を気密に閉塞し、又前記容器側給気ポート２２では前記圧縮スプリング４３の復元により前記フランジ部４１が前記弁口３８を気密に閉塞する。
【００４４】
而して、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置、搬出することで前記基板保管輸送容器１内のガスパージが行え、該基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２から取外し切離すと、前記基板保管輸送容器１は密閉状態となり、非反応性ガスを陽圧状態で封入した状態が維持される。前記基板保管輸送容器１内が陽圧となっていることで、外気の気圧変動等に影響されず、前記容器蓋２の開閉時のパーティクルの巻込みを防止できる。
【００４５】
次に、図６により、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第２の形態について説明する。
【００４６】
尚、図６は前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２を示している。
【００４７】
第２の形態では、台側弁体２９のロッド３２の突出量を多くし、容器側弁体３９のロッド４２（図４参照）を省略したものであり、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置することで、前記ロッド３２が前記容器側弁体３９のフランジ部４１に直接当接し、前記台側弁体２９、前記容器側弁体３９が相互に押込まれ、弁口２８、弁口３８を開放する様になっている。
【００４８】
次に、図７は、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第３の形態を示している。
【００４９】
尚、図７は前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２を示している。
【００５０】
第３の形態では、容器側弁体３９のロッド４２の突出量を多くし、台側弁体２９のロッド３２（図４参照）を省略したものであり、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置することで、前記ロッド４２が前記台側弁体２９のフランジ部３１に直接当接し、前記台側弁体２９、前記容器側弁体３９が相互に押込まれ、弁口２８、弁口３８を開放する様になっている。
【００５１】
次に、図８は、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第４の形態を示している。
【００５２】
尚、図８は前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２を示している。
【００５３】
第４の形態では、前記台側給気ポート１３側の弁機構を省略し、弁体収納部２７の底面からロッド３２を弁口２８を貫通して突出させたものである。
【００５４】
前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２に載置されることで、前記ロッド４２がロッド３２に当接して上方に押込まれ、容器側弁体３９を押上げて弁口３８を開放する様になっている。
【００５５】
第４の形態では、前記容器載置台１２側の前記台側給気ポート１３が常時開放した状態となるが、前記給気配管１５（図２参照）に設けられた開閉弁１８，１９の開閉によって、非反応性ガスの供給、停止がなされる。
【００５６】
次に、図９は、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第５の形態を示している。
【００５７】
尚、図９は前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２を示している。
【００５８】
第５の形態では、前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２のいずれか一方の弁をアクチュエータにより開閉する様にし、他方の弁は一方の弁の動きに追従させる様にしたものである。
【００５９】
図９では、前記台側給気ポート１３の弁をアクチュエータにより駆動する様にしたものである。
【００６０】
尚、前記容器側給気ポート２２の弁構造は、図６で示したものと同様であるので、説明を省略する。
【００６１】
前記台側給気ポート１３は、弁口２８を摺動して嵌脱する弁体４７を有し、該弁体４７が前記弁口２８を封止した状態では、シール部材であるＯリング４８によって気密にシールされる。
【００６２】
前記弁体４７は前記アクチュエータ４９、例えばエアシリンダ、電動シリンダに連結され、又前記弁体４７からは上方に延びるロッド３２が突設されている。該ロッド３２は、連結用突部３６が連結用凹部２５に完全に嵌合した状態で、フランジ部４１には当接しない長さとなっている。
【００６３】
前記台側給気ポート１３の上面、或は前記容器載置台１２の上面には、前記基板保管輸送容器１が載置された場合、該基板保管輸送容器１を検知する容器検出センサ５１が設けられ、該容器検出センサ５１は前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２に載置された場合に、検知信号を制御部５２に送出する。該制御部５２は、前記容器検出センサ５１からの信号に基づき所要のタイミングで前記アクチュエータ４９を駆動する様になっている。
【００６４】
尚、前記容器検出センサ５１はマイクロスイッチ、感圧センサ、光センサ、超音波センサ等種々の検知センサの使用が可能である。
【００６５】
前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２に載置され、前記容器検出センサ５１から検知信号が前記制御部５２に入力されると、該制御部５２は前記アクチュエータ４９を駆動し、該アクチュエータ４９は前記弁体４７を上昇させる。該弁体４７の上昇によって、前記弁口２８が開放されると共に前記ロッド３２を介して前記フランジ部４１が押上げられ、前記弁口３８が開放される。
【００６６】
前記容器載置台１２の弁体収納部２７と前記基板保管輸送容器１の弁体収納部３７とが連通され、前記パージガス供給系２０（図２参照）からパージガスが前記基板保管輸送容器１内に供給される。
【００６７】
前記容器載置台１２から前記基板保管輸送容器１が搬出されると、前記弁口３８は圧縮スプリング４３の復元力によって容器側弁体３９で気密に閉塞される。又、前記容器検出センサ５１が前記基板保管輸送容器１の不検知の信号を発し、前記制御部５２は前記容器検出センサ５１からの信号に基づき前記アクチュエータ４９を駆動し、前記弁体４７により前記弁口２８を気密に閉塞する。
【００６８】
尚、前記アクチュエータ４９で前記弁口２８を開閉する場合、前記容器検出センサ５１を省略し、別途操作釦等により、個別に前記アクチュエータ４９を駆動する様にしても良い。
【００６９】
次に、図１０は、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第６の形態を示している。
【００７０】
該第６の形態では、前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２と前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の弁の開閉タイミングをずらせたものである。
【００７１】
図中、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の構造は、図４で示したものと同様であるので、説明を省略し、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３については各符号について添字ａを、又前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４については各符号について添字ｂを付してある。
【００７２】
前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３に於ける容器側弁体３９ａ、台側弁体２９ａのロッド４２ａとロッド３２ａとが当接した場合の連結軸長を、前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４に於ける容器側弁体３９ｂ、台側弁体２９ｂのロッド４２ｂとロッド３２ｂとが当接した場合の連結軸長に対して長くしたものである。
【００７３】
従って、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置する過程で、先ず前記ロッド４２ａと前記ロッド３２ａが当接し、弁口２８ａと弁口３８ａとが開き始める。次に、前記ロッド３２ｂと前記ロッド４２ｂとが当接し、連結軸長の差分だけ遅れて弁口２８ｂと弁口３８ｂが開き始める。又、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２から搬出する場合は、先ず前記ロッド３２ｂと前記ロッド４２ｂとが離反してから、前記ロッド３２ａと前記ロッド４２ａとが離反する。
【００７４】
従って、前記基板保管輸送容器１を前記容器載置台１２に載置する場合は、先ず前記弁口２８ａと前記弁口３８ａが開放され、パージガスが供給され、所定時間遅れて前記弁口２８ｂ、前記弁口３８ｂが開放される。又、前記基板保管輸送容器１が前記容器載置台１２から搬出される場合は、パージガスが供給されている状態で前記弁口２８ｂ、前記弁口３８ｂが閉じられ、次に前記弁口２８ａ、前記弁口３８ａが閉じられる。従って、前記基板保管輸送容器１をパージする状態で、前記台側排気ポート１４、前記容器側排気ポート２３側から外気が浸入することが防止される。
【００７５】
尚、前記台側給気ポート１３と前記容器側給気ポート２２、前記台側排気ポート１４と前記容器側排気ポート２３について、圧縮スプリング３５ａ，３５ｂと圧縮スプリング４３ａ，４３ｂの付勢力に大小をつけることで付勢力の小さい方が先に開放する等することでも弁の開閉タイミングを変えることができる。又給気ポート側と排気ポート側とで、弁の開閉タイミングを変えるだけでなく、、前記容器載置台１２側と前記基板保管輸送容器１側とでも弁の開閉タイミングを変えることができる。
【００７６】
次に、図１１は、前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の第７の形態を示している。
【００７７】
該第７の形態では、第６の形態と同様、前記台側給気ポート１３、前記容器側給気ポート２２と前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の弁の開閉タイミングをずらせたものである。
【００７８】
図中、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３、及び前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４の構造は、図９で示したものと同様であるので、説明を省略し、前記容器側給気ポート２２、前記台側給気ポート１３については各符号について添字ａを、又前記容器側排気ポート２３、前記台側排気ポート１４については各符号について添字ｂを付してある。
【００７９】
前記台側給気ポート１３、前記台側排気ポート１４を開閉する弁体４７ａ、弁体４７ｂはアクチュエータ４９ａ、アクチュエータ４９ｂによって開閉動がなされ、前記アクチュエータ４９ａ、前記アクチュエータ４９ｂは制御部５２によって駆動が制御される。
【００８０】
該制御部５２は容器検出センサ５１からの前記基板保管輸送容器１の検出信号に基づき前記アクチュエータ４９ａ、前記アクチュエータ４９ｂを駆動する様になっており、又駆動するタイミングをずらせている。
【００８１】
前記容器載置台１２に前記基板保管輸送容器１が載置されると、前記容器検出センサ５１が前記基板保管輸送容器１を検知し、検知信号が前記制御部５２に送出される。
【００８２】
前記容器検出センサ５１が前記基板保管輸送容器１を検出した状態では、連結用突部３６ａが連結用凹部２５ａに嵌合し、又連結用突部３６ｂが連結用凹部２５ｂに嵌合し、前記容器側給気ポート２２と前記台側給気ポート１３及び前記容器側排気ポート２３と前記台側排気ポート１４とはそれぞれ気密に連結した状態となっている。
【００８３】
前記容器検出センサ５１が前記基板保管輸送容器１を検知すると、前記制御部５２は先ず前記アクチュエータ４９ａを駆動させ、前記弁体４７ａを変位させて弁口２８ａを開放し、更にロッド３２ａを介して容器側弁体３９ａが突上げられ、弁口３８ａを開放する。前記弁口２８ａ、前記弁口３８ａの開放によって弁体収納部２７ａと弁体収納部３７ａが連通され、パージガス供給系２０（図２参照）よりパージガスが前記基板保管輸送容器１内部に供給される。
【００８４】
所定時間経過後、前記アクチュエータ４９ｂが駆動され、同様に弁口２８ｂ、弁口３８ｂが開放され、弁体収納部２７ｂと弁体収納部３７ｂとが連通され、前記基板保管輸送容器１内部の空気等のガスが排出され、該基板保管輸送容器１内部がパージされる。
【００８５】
所定時間経過し、前記基板保管輸送容器１内部が非反応性ガスによってガスパージされると前記制御部５２は、先ず前記アクチュエータ４９ｂを駆動して前記弁口３８ｂ、前記弁口２８ｂを閉塞し、次に前記アクチュエータ４９ａを駆動して前記弁口３８ａ、前記弁口２８ａを閉塞する。
【００８６】
而して、前記台側排気ポート１４と前記容器側排気ポート２３との連通、切断は前記台側給気ポート１３と前記容器側給気ポート２２の連通状態、即ち前記基板保管輸送容器１内部に非反応性ガスが供給された状態で行われるので、ガスパージが行われる際に外気の浸入は防止される。
【００８７】
尚、前記アクチュエータ４９ａ、前記アクチュエータ４９ｂを駆動するタイミング差、前記基板保管輸送容器１内部をガスパージする時間については、試験等により得られたデータにより設定する。
【００８８】
（付記）
又、本発明は以下の実施の態様を含む。
【００８９】
（付記１）基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、給気ポートと、排気ポートとを具備し、前記給気ポート、前記排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、該弁体は前記弁口を通して前記弁体に当接する部材を介して外力が作用することで開動作することを特徴とする基板保管輸送容器。
【００９０】
（付記２）前記給気ポートの弁体と、前記排気ポートの弁体は、前記給気ポートが開状態で前記排気ポートが開閉される様、開閉タイミングが異なる様に構成された付記１の基板保管輸送容器。
【００９１】
（付記３）基板保管輸送容器が容器載置台に載置されることで、前記基板保管輸送容器内部が非反応性ガスでパージされる基板保管輸送容器パージシステムに於いて、前記基板保管輸送容器が、基板を収納する密閉式の容器と、該容器を開閉可能な蓋と、容器側給気ポートと、容器側排気ポートとを具備し、前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、前記容器載置台がパージガス供給系に接続された台側給気ポートと、台側排気ポートとを具備し、前記基板保管輸送容器の前記容器載置台への載置、前記容器載置台からの取外しにより、前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポートに連結解除可能であり、前記基板保管輸送容器が前記容器載置台に載置された状態では前記容器側給気ポート、前記容器側排気ポート、或は前記台側給気ポート、前記台側排気ポートの少なくとも一方から突出するロッドを介して前記弁体が開放される様構成されたことを特徴とする基板保管輸送容器パージシステム。
【００９２】
（付記４）給気側の前記部材が前記弁体に当接する時と排気側の前記部材が弁体に当接する時とでタイミングのズレを設けた付記１の基板保管輸送容器。
【００９３】
（付記５）前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ弁口を閉鎖する様に付勢された弁体を有し、前記ロッドは前記台側給気ポートの弁体、前記容器側給気ポートの弁体、又前記台側排気ポートの弁体、前記容器側排気ポートの弁体のそれぞれ少なくとも一方から延出され、前記ロッドを介して給気側、排気側それぞれの弁体に開方向の外力が作用する様構成した付記３の基板保管輸送容器パージシステム。
【００９４】
（付記６）前記ロッドは給気側、排気側で長さが異なり、前記弁体に外力が作用するタイミングが異なる付記３の基板保管輸送容器パージシステム。
【００９５】
（付記７）前記ロッドは前記容器載置台側の弁体、前記基板保管輸送容器側の弁体それぞれから突出し、両弁体のロッドが当接することで、両弁体に開方向の外力が作用する様構成された付記５の基板保管輸送容器パージシステム。
【００９６】
（付記８）両弁体の当接した状態での前記ロッドの連結軸長が給気側と排気側とで異なり、給気側と排気側とで開閉タイミングが異なる付記７の基板保管輸送容器パージシステム。
【００９７】
（付記９）前記台側給気ポート、前記台側排気ポートはそれぞれ弁口を開閉する弁体を有し、該弁体はアクチュエータによって開閉され、前記弁体から前記ロッドが突出され、前記弁体の開閉動により前記ロッドを介して前記容器側給気ポートの弁体、前記容器側排気ポートの弁体に外力が作用される様にした付記５の基板保管輸送容器パージシステム。
【００９８】
（付記１０）前記アクチュエータは制御部によって駆動され、該制御部は給気側ポートと排気側ポートで開閉タイミングをずらせる様にした付記９の基板保管輸送容器パージシステム。
【図面の簡単な説明】
【００９９】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板保管輸送容器の概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る基板保管輸送容器パージシステムの概略構成を示す正面図である。
【図３】同前基板保管輸送容器パージシステムの概略構成を示す側面図である。
【図４】本発明に用いられる台側給気ポート、容器側給気ポートの第１の形態を示す断面図である。
【図５】該第１の形態の連結状態を示す断面図である。
【図６】本発明に用いられる台側給気ポート、容器側給気ポートの第２の形態を示す断面図である。
【図７】本発明に用いられる台側給気ポート、容器側給気ポートの第３の形態を示す断面図である。
【図８】本発明に用いられる台側給気ポート、容器側給気ポートの第４の形態を示す断面図である。
【図９】本発明に用いられる台側給気ポート、容器側給気ポートの第５の形態を示す断面図である。
【図１０】本発明に用いられる容器側給気ポート、台側給気ポート、及び容器側排気ポート、台側排気ポートの第６の形態を示す断面図である。
【図１１】本発明に用いられる容器側給気ポート、台側給気ポート、及び容器側排気ポート、台側排気ポートの第７の形態を示す断面図である。
【符号の説明】
【０１００】
１              基板保管輸送容器
２              容器蓋
３              ウェーハ
４              圧縮ガスタンク
７              電磁開閉弁
８              電磁開閉弁
９              差圧計
１０            制御部
１２            容器載置台
１３            台側給気ポート
１４            台側排気ポート
１６            非反応性ガス供給源
２０            パージガス供給系
２２            容器側給気ポート
２３            容器側排気ポート
２８            弁口
２９            台側弁体
３２            ロッド
３５            圧縮スプリング
３６            連結用突部
３８            弁口
３９            容器側弁体
４２            ロッド
４３            圧縮スプリング
４７            弁体
４９            アクチュエータ
５１            容器検出センサ
５２            制御部
【図１】
2007227800.tif 000003
【図２】
2007227800.tif 000004
【図３】
2007227800.tif 000005
【図４】
2007227800.tif 000006
【図５】
2007227800.tif 000007
【図６】
2007227800.tif 000008
【図７】
2007227800.tif 000009
【図８】
2007227800.tif 000010
【図９】
2007227800.tif 000011
【図１０】
2007227800.tif 000012
【図１１】
2007227800.tif 000013