(57)【要約】【課題】切断時のウエハ同士の貼り付きを防止し、精度よく切断することができると共に、切断時のウエハの割れの発生を防止し、効率よくウエハを枚葉分離してウエハの洗浄性を高めることができるワイヤソーによる切断方法を提供する。【解決手段】ワークローラ１０間に巻回したワイヤ列のワイヤＡを高速で往復動又は一方走行させ、このワイヤ列にワークＢを押し当てて多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーによる切断方法において、前記ワークＢを切断するワイヤ列の直下位置に、多数の支持ワイヤ３４を前記ワイヤ列のワイヤと同じピッチで設けたカセット式の受け部材２７を配置し、ワイヤＡによってワークＢから切り出されてきたウエハｂを受け部材２７の各支持ワイヤ３４間に枚葉分離状態で収納する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも二本のワークローラにワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワークを押し当ててこのワークを多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーによる切断方法において、前記ワークを切断するワイヤ列の直下位置に、多数の仕切り部材を前記ワイヤ列のワイヤと同じピッチで設けた受け部材を配置し、ワイヤによってワークから切り出されてきた切断ワークを受け部材の各仕切り部材間に分離収納することを特徴とするワイヤソーによる切断方法。
【請求項２】
上記ワークをワイヤ列に押し当てるため、このワークを取付けるワーク固定テーブルに対するワークの取付けを、ワーク固定テーブルに固定したダミー部材と、ワークに固定したダミー部材を互に密着させ、両ダミー部材をワークの範囲外で接着固定して行うことを特徴とする請求項１に記載のワイヤソーによる切断方法。
【請求項３】
少なくとも二本のワークローラにワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワークを押し当ててこのワークを多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーに対して、前記ワークを切断するワイヤ列の直下位置に配置され、ワイヤによってワークから切り出されてきた切断ワークを分離収納する受け部材であり、この受け部材が、底板上に設けた複数の溝ローラ間に、支持ワイヤをワイヤソーのワイヤ列におけるワイヤと同じ数及び同じピッチで巻回して形成され、この受け部材を、ワークを切断するワイヤ列の下部位置に、前記各支持ワイヤがワイヤ列のワイヤの直下に位置させて配置するようにしたワイヤソーの切断ワーク受け部材。
【請求項４】
上記複数の溝ローラが、底板上に三本が横向き三角形の配置で設けられ、この三本の溝ローラ間の周囲に巻回した支持ワイヤの上下に位置する部分が逆傾斜になっている請求項３に記載のワイヤソーの切断ワーク受け部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、ワイヤソーによる切断方法とワイヤソーの切断ワーク受け部材、更に詳しくは、ワイヤソーによるワーク切断時に切断ワークを枚葉分離するための方法と、切断ワークを好適に枚葉分離状態で受ける受け部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤソーにおいて、供給側リールから引き出したワイヤは、トラバーサとガイドプーリを介してテンション機構と張力を測るロードセルに導かれた後、少なくとも二本のワークローラに多数回巻回してワイヤ列を形成し、その後回収側リールに巻き取られることになる。
【０００３】
上記したワークローラ間のワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、そのワイヤ列にＳｉＣ、ダイヤモンド等の硬質砥粒を含有するスラリー液、又は洗浄を容易にするため水溶性のスラリー液を供給しながら、前記ワイヤ列にワークを押し当ててこのワークを同時に多数枚のウエハ状に切り出すものである。なお、ダイヤモンド粒を樹脂等で固定したワイヤを使用することも行われている。
【０００４】
上記のようなワイヤソーによるワークの切断において、最近では、特にワークとして太陽電池用のシリコンインゴット等の切断需要も増大しているが、コストダウン化としてウエハの厚みも２００μｍ以下が求められ、薄厚化への拍車がかかっている。
【０００５】
上記のように、切り上がりの厚みが薄くなるにつれ、切断後のウエハハンドリングが困難となり、次工程の洗浄処理までにウエハの割れ等による歩留まり悪化も問題となっている。
【０００６】
従来、ワイヤソーによるワークの切断方法は、図９（ａ）に示すように、ワーク加工台５１にカーボンやガラスの板を用いたダミー部材５２を介してシリコンやインゴット等のワークＢを接着剤で固定し、このワークＢをワイヤ列のワイヤＡに向けて押付けることにより、図９（ｂ）のようにダミー部材５２まで切断することによりワークＢを短冊状に切断し、ウエハｂを切り出している。
【０００７】
このため、ワイヤソーで切り出されたウエハｂは、切断時に使用したダミー部材５２に接着された短冊状態で予備洗浄してスラリー液（砥液）５３を取り去り、続いてウエハｂとダミー部材５２の接着部分を剥離させるか、手作業で一枚ずつ引き剥がして枚葉分離を行っている。
【０００８】
しかし、ワークを短冊状に切断する方法は、ウエハの間にワイヤの直径、例えば１６０μｍ〜最近は８０μｍに等しい隙間ができ、この隙間にスラリー液が溜まり、このスラリー液の表面張力で隙間が縮小し、１００μｍ程度の厚さに切り出されたウエハは、図９（ｂ）のように、最外部のウエハｂで顕著に曲がる撓みが発生し、スラリー液５３の重みを受けたウエハが少しの振動で折れて落ちるという問題がある。
【０００９】
また、短冊状の切断方法は、切り出されたウエハｂがダミー部材５２に接着されたままであるので、切り終わった後、ワークを上にあげてワイヤＡから抜いて行くようにしなければならないが、この時にウエハの切断面がワイヤと接触し、ウエハの切断面に傷がつくという問題もある。
【００１０】
このような短冊状の切断によって生じる問題を解決するため、ワークを固定するワーク固定テーブルに対しするワークの取付けを、ワーク固定テーブルに固定したダミー部材と、ワークに固定したダミー部材を、対向面間に空間を設けた状態で固定するようにし、ワークと共にワーク側ダミー部材も同時に切断して空間まで切り込むことにより、空間の存在で切断終了と同時にウエハをワーク固定テーブル側のダミー部材から分離させ、切断によって落下するウエハをワーク受けで受けることにより、ウエハを枚葉分離する切断方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−３２６３２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、切断終了と同時にウエハを落下させてウエハをワーク受けで受ける切断方法は、ウエハの切断時に切断が終盤に近づくにつれ、ワイヤがワークの終了端側に位置し、切断開始端側がフリーな状態になっているため、ウエハの切断開始端同士がスラリー液の表面張力で貼り付いた状態になる。
【００１２】
このような状態で切断を進めると、特にワイヤ列の上方からワークを押し当てて切断するダウンカット方式のワイヤソーでは、切断分離されたウエハは、スラリー液の表面張力で落下時に隣のウエハと再付着を起こし、複数枚が貼り付いたウエハは、自重とスラリー液の重みにより、切断中の僅かな振動でウエハに割れが発生し、多数枚のウエハが一斉に落下することでも割れが生じ、歩留まりが大幅に悪化するという問題がある。
【００１３】
また、切断中のウエハ端部の貼り付きにより、切断中にウエハが撓み、切断精度も悪化すると共に、落下したウエハが隣へ倒れこみ、重なったウエハの重みで隣のウエハが割れたり変形するという問題もある。
【００１４】
更に、スラリー液の表面張力で貼り付いたウエハを洗浄するには、表面張力を打破する必要があるが、相当強い洗浄力が要求され、これによってウエハが破損するという問題や、強力な洗浄液を必要とすることで、環境上やコストの面でも問題があり、しかも、ウエハが薄厚化しているので、特に手作業で剥離を行った場合、剥離時にウエハが破損する場合がある。
【００１５】
また、ワーク固定テーブルに対するワークの固定において、ダミー部材間に空間を設けると、ワイヤによる切断時にワークが振動し、精度のよい切断を行うことが困難である。
【００１６】
そこで、この発明の課題は、上記した問題点を解決するため、切断時のウエハ同士の貼り付きを防止し、精度よく切断することができると共に、切断時のウエハの割れの発生を防止し、効率よくウエハを枚葉分離してウエハの洗浄性を高め、洗浄時のコストダウンを図ることができるワイヤソーによる切断方法とワイヤソーの切断ワーク受け部材を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記の課題を解決するため、切断方法の発明は、少なくとも二本のワークローラにワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワークを押し当ててこのワークを多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーによる切断方法において、前記ワークを切断するワイヤ列の直下位置に、多数の仕切り部材を前記ワイヤ列のワイヤと同じピッチで設けた受け部材を配置し、ワイヤによってワークから切り出されてきた切断ワークを受け部材の各仕切り部材間に分離収納する構成を採用したものである。
【００１８】
上記ワークをワイヤ列に押し当てるため、このワークを取付けるワーク固定テーブルに対するワークの取付けを、ワーク固定テーブルに固定したダミー部材と、ワークに固定したダミー部材を互に密着させ、両ダミー部材をワークの範囲外で接着固定して行うようにすることができる。
【００１９】
また、切断ワーク受け部材の発明は、少なくとも二本のワークローラにワイヤを多数回巻回してワイヤ列を形成し、このワイヤ列のワイヤを高速で往復動又は一方走行させ、前記ワイヤ列にワークを押し当ててこのワークを多数枚のウエハ状に切り出すワイヤソーに対して、前記ワークを切断するワイヤ列の直下位置に配置され、ワイヤによってワークから切り出されてきた切断ワークを分離収納する受け部材であり、この受け部材が、底板上に設けた複数の溝ローラ間に、支持ワイヤをワイヤソーのワイヤ列におけるワイヤと同じ数及び同じピッチで巻回して形成され、この受け部材を、ワークを切断するワイヤ列の下部位置に、前記各支持ワイヤがワイヤ列のワイヤの直下に位置させて配置するようにした構成を採用したものである。
【００２０】
上記複数の溝ローラが、底板上に三本が横向き三角形の配置で設けられ、この三本の溝ローラ間の周囲に巻回した支持ワイヤの上下に位置する部分が逆傾斜になっているようにすることができる。
【００２１】
ここで、上記受け部材は、ワイヤソーに対してカセット方式で着脱自在となり、溝ローラ間の周囲に巻回した支持ワイヤは、ワイヤソーのワイヤと同一径のものを用いるようにする。
【００２２】
上記ワイヤソーのワイヤ列で切断されたウエハは、直下に位置する支持ワイヤ間に切断側先端部から収まり、ウエハの撓みによる変形が防止され、隣接するウエハ同士が貼りつくことなく枚葉分離されることになり、切断後のウエハは、受け部材と共にワイヤソーから取出すことができる。
【発明の効果】
【００２３】
この発明によると、ワイヤソーにおけるワークを切断するワイヤ列の直下位置に、多数の仕切り部材を前記ワイヤ列のワイヤと同じピッチで設けた受け部材を配置し、ワイヤによってワークから切り出されてきた切断ワークを受け部材の各仕切り部材間に分離収納するようにしたので、ワイヤ列で切断されたウエハは、直下に位置する各仕切り部材間に切断側先端部から収まり、ウエハの撓みによる変形が防止でき、切断精度が向上し、隣接するウエハ同士がスラリー液によって貼り付くことなく確実に枚葉分離することができる。
【００２４】
また、切断したウエハを一枚ずつ枚葉分離することにより、切断終了時の落下による割れの発生や、収納状態でのウエハの貼り付きの発生がなく、ウエハの洗浄が容易でハンドリングも容易となり、枚葉分離時のウエハの破損もなくなる。
【００２５】
更に、ワーク固定テーブルに対するワークの固定を、ワーク固定テーブルに固定したダミー部材とワークに固定したダミー部材を互に密着させ、両ダミー部材をワークの範囲外で接着固定するようにしたので、ワーク切断時にワークに振動が発生せず、ワークを精度よく切断でき、ワーク切断時にワークに固定したダミー部材まで切断することにより、ウエハを切断と同時に枚葉分離させることができる。
【００２６】
また、切断ワーク受け部材の溝ローラが、底板上に三本が横向き三角形の配置で設けられ、この三本の溝ローラ間の周囲に巻回した支持ワイヤの上下に位置する部分が逆傾斜になっているので、切断されたウエハの先端側から支持ワイヤで順次案内して受け部材内へ導くことができ、確実に枚葉分離して収納できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、この発明の実施の形態を図示例に基づいて説明する。
【００２８】
図１は、ワイヤソーの全体構造を示し、供給側リール１から引き出したワイヤＡは、モータ２によって駆動される供給側トラバーサ３と、複数のガイドプーリ４を介してエンコーダ５とテンションアーム６からなるテンション機構７と、ワイヤＡの張力を測るロードセル８と、複数のガイドプーリ９に導かれた後、所定の間隔で両側に平行する二本のワークローラ１０に多数回巻回してワイヤ列を形成し、その後、複数のガイドプーリ１１と、ワイヤＡの張力を測るロードセル１２と、エンコーダ１３とテンションアーム１４からなるテンション機構１５と、複数のガイドプーリ１６と、モータ１７によって駆動される回収側トラバーサ１８を通って回収側リール１９に巻き取られるようになっている。
【００２９】
上記ワークローラ１０間に巻回した上部ワイヤ列の直上に、ワーク固定テーブル２０が図示しない適宜駆動手段により上下動するように配置され、このワーク固定テーブル２０の下面に取付けたワークＢをワイヤ列に向けて押し下げるようになっている。
【００３０】
上記したワークローラ１０間のワイヤ列のワイヤＡは、ワークローラ１０の図示しない適宜の駆動手段による回転駆動によって高速で往復動又は一方走行させ、そのワイヤ列に砥液ノズル２１でＳｉＣ、ダイヤモンド等の硬質砥粒を含有するスラリー液、又は洗浄を容易にするため水溶性のスラリー液を供給しながら、前記ワイヤ列にワークＢを押し当ててこのワークＢを同時に多数枚のウエハ状に切り出すようになっている。なお、上記ワイヤＡにダイヤモンド粒を樹脂等で固定したワイヤを使用することもある。この場合、スラリー液に代え、冷却水、潤滑液等を使用できる。
【００３１】
上記ワークＢを取付けるワーク固定テーブル２０に対しするワークＢの取付けは、図２と図７のように、ワーク固定テーブル２０の下部に加工台２２を位置調整可能に設け、この加工台２２の下面にカーボンやガラスの板を用いたダミー部材２３と、ワークＢの上面に同様のダミー部材２４をそれぞれ接着剤２５を用いて固定し、両ダミー部材２３、２４の上下面を互に密着させ、両ダミー部材２３、２４をワークＢの範囲外で接着剤２５により固定するようにしている。
【００３２】
このようなワークＢの取り付けにすると、加工台２２と両ダミー部材２３、２４の三者が密着し、ワーク切断時におけるワークＢの振動発生を有効に防ぐことができる。なお、図７では理解が容易なように誇張して図示している。
【００３３】
なお、図示例では、ワーク固定テーブル２０の下部に二台の加工台２２を並べて設け、各加工台２２の下部にワークＢを取付けることにより、二個のワークＢを同時に切断する場合を示したが、加工台２２を一つにして一個のワークＢを切断するものであってもよい。
【００３４】
上記のようなワイヤソーにおいて、両ワークローラ１０間で上下に位置するワイヤ列間の下部の位置に水平部分を有した固定枠２６を設け、この固定枠２６上で、ワークＢを切断する上部ワイヤ列の下部位置に、ワイヤＡによってワークＢから切り出されて枚葉分離された切断ワークｂ（以下ウエハという）を分離収納する受け部材２７が取出し可能なカセット方式によって配置されている。
【００３５】
図示のように、二個のワークＢを同時に切断するワイヤソーの場合、受け部材２７は、各ワークＢの直下に位置するように、ワイヤ列の下部に二台を配置することになる。
【００３６】
図２乃至図６のように、固定枠２６は、ワークローラ１０に駆動力を伝える軸１０ａを支持する垂直の機台２８とワークローラ１０の先端を軸支した部分をカバー２９で覆った支持板３０にワークローラ１０の軸方向に沿う両端を固定して配置され、上記受け部材２７は、固定枠２６上に載置するカセット底板３１の両端に起立するカセット側板３２を設け、両カセット側板３２間にワークローラ１０と平行する複数本の溝ローラ３３を架設し、この溝ローラ３３群の外周に仕切り部材となる支持ワイヤ３４が巻回されている。
【００３７】
上記受け部材２７は、固定枠２６の上面で一端側に基準となる位置を決めるために設けた基準板３５に一端側を当接させ、その他端側と固定枠２６の他端部に嵌め込んだ位置決め部材３６により、固定枠２６の上面に正確に位置決め固定されており、位置決め部材３６を外すことにより、受け部材２７を固定枠２６から取外すことができるカセット方式になっている。
【００３８】
上記溝ローラ３３は三本を用い、横向きの二等辺三角形の配置となるようカセット側板３２間に架設され、この溝ローラ３３群の外周に巻回した支持ワイヤ３４は、ワイヤソーの上部ワイヤ列におけるワイヤＡと同じ数及び同じピッチで巻回され、この受け部材２７は、固定枠２６に位置決め固定した状態で、ワークＢを切断するワイヤ列の下部位置に、前記各支持ワイヤ３４がワイヤ列のワイヤＡの直下に位置する配置となる。
【００３９】
上記支持ワイヤ３４は、ワイヤソーのワイヤＡと同一径のものを用いるようにすると共に、溝ローラ３３群の外周に対する支持ワイヤ３４の巻回しは、溝ローラ３３の外周に上記ワイヤ列と同じ数及び同じピッチの溝を形成しておき、適宜巻線機を使用し、前記溝に沿って支持ワイヤ３４を巻付けるようにすればよい。
【００４０】
上記受け部材２７において、支持ワイヤ３４を横向きの二等辺三角形の配置とすることにより、支持ワイヤ３４は逆傾斜で上下に位置することになり、切断されたウエハｂを先端側から支持ワイヤ３４で順次案内しながら受け部材２７内へ導き、確実に枚葉分離して収納できる。
【００４１】
また、二個のワークＢを同時に切断するワイヤソーの場合、両側の受け部材２７は、図２のように、支持ワイヤ３４の横向き二等辺三角形の頂点が互に相手側に向くように配置するのが好ましく、このような配置にすると、支持ワイヤ３４の上部が互に中央へ傾斜することで、ワーク切断作業時にワイヤＡが下方に撓んだ際、干渉が生じないようにすることができる。
【００４２】
上記したカセット底板３１には、ウエハｂを支持する範囲が孔３７になり、この孔３７にスラリー液が抜けやすいようにメッシュ部材３８が張設され、その上面に線状の緩衝部材３９を配置することにより、落下してきたウエハｂを弾力的に受けて衝撃を緩衝し、ウエハｂの破損発生を防ぐようにしている。
【００４３】
なお、受け部材２７における支持部材は、図示のような横向き二等辺三角形の支持ワイヤ３４に限るものではなく、例えば、上下において一本の斜めや水平のワイヤを用いたり、カセット底板３１上に、ワイヤＡの直径に等しい板厚の三角板をワイヤ列と同じピッチで立設するようにした構造とすることができる。
【００４４】
次に、この発明のワイヤソーによるワークの切断方法を説明する。
【００４５】
図７（ａ）のように、上昇位置にあるワーク固定テーブル２０の加工台２２にダミー部材２３と２４を介してワークＢを接着剤２５を用いて固定し、ワークローラ１０間の上部ワイヤ列の下部の固定枠２６上に受け部材２７を位置決め固定した状態で、ワークローラ１０間のワイヤ列のワイヤＡを高速で往復動又は一方走行させ、ワーク固定テーブル２０を下降させてワークＡをワイヤ列に押付けていくと、図７（ｂ）のように、ワークＢはワイヤ列のワイヤＡによって切断され、多数枚のウエハｂが同時に切り出される。
【００４６】
切り出されたウエハｂは、直下に位置する上部の支持ワイヤ３４間に切断側先端から進入し、各ウエハｂは支持ワイヤ３４により分離された状態で下方に誘導され、切断の進行と共に切断側先端は下部の支持ワイヤ３４間に進入し、これにより、ウエハｂは仕切られた状態に姿勢が保持され、スラリー液の表面張力によるウエハｂ同士の貼り付きの発生もなく、精度よく切断されていくとともに、切断の終了に近づくと加工台２２のダミー部材２３まで切り込むようにする。
【００４７】
上記加工台２２に対してワークＢの取付けが、加工台２２に固定したダミー部材２３とワークＢに接着したダミー部材２４を互に密着させ、両ダミー部材２３と２４をワークＢの切断範囲外で接着固定しているので、加工台２２のダミー部材２３まで切り込むと、図７（ｃ）のように、ワークＢに固定したダミー部材２４の切断部分は、加工台２２に固定したダミー部材２３接着されていないので、切断されたウエハｂとダミー部材２４が支持ワイヤ３４で誘導されながら自重で落下し、受け部材２７の緩衝部材３９で下部が支持される。
【００４８】
上記したワークＢの切断終了の手前において、ワークＢに接着したダミー部材２４は、加工台２２に固定したダミー部材２３に密着しているので、切断中にワークＢに振動が発生するのを防止することができ、精度のよい切断が行えることになる。
【００４９】
上記のように、切断の完了により、ワークＢはウエハｂに枚葉分離され、受け部材２７の支持ワイヤ３４によって起立状に仕切られて保持され、撓みによる変形の発生が防止されると共に、分離されたウエハｂが隣のウエハｂと再付着するようなこともない。
【００５０】
このようにウエハｂの切断が完了すると、ワーク固定テーブル２０を上昇位置に戻し、停止させたワイヤソーの上下ワイヤ列間から固定枠２６上の受け部材２７を外部に取出し、そのまま次の洗浄工程に持っていく。なお、必要に応じ装置内で適宜機構により粗洗浄を行っても良い。
【００５１】
図８は、上記洗浄工程に際してウエハｂを洗浄用カセット４０に移載する方法を示し、ウエハｂを枚葉分離状態に支持した受け部材２７を、ウエハｂが上下に位置するように起立配置し、吸着ハンド４１で上部のウエハｂから順に一枚ずつ取出し、取出したウエハｂはロボットハンド４２で受け取り、このウエハｂを洗浄用カセット４０内に挿入し、ウエハｂの上下間隔を広くすることで洗浄が確実に行えるようにする。
【００５２】
上記ウエハｂは、受け部材２７の支持ワイヤ３４によってそれぞれ分離支持されているので、受け部材２７に支持されたままの状態で粗洗浄が行えると共に、受け部材２７からウエハｂを取出すときのハンドリング作業が容易に行える。
【００５３】
なお、ウエハｂに接着されているダミー部材２４は、後行程において、溶剤や温湯を用いて接着剤２５を除去して剥がすようにする。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】ワイヤソーの全体構造を示す正面図
【図２】ワイヤソーの要部を拡大した縦断正面図
【図３】ワイヤソーの要部を拡大した図２のIII−III矢視平面図
【図４】受け部材の配置状態を示す拡大した図２のIV−IV矢視側面図
【図５】受け部材の配置状態を示す拡大した縦断正面図
【図６】（ａ）はワーク切断途中の状態を示す斜視図、（ｂ）は同切断完了状態の斜視図
【図７】（ａ）乃至（ｃ）はワーク切断工程の順番を示す図２のVII−VII矢視側面図
【図８】切断ウエハの洗浄工程を示す斜視図
【図９】従来のワーク切断方法を示す正面図
【符号の説明】
【００５５】
Ａ  ワイヤ
Ｂ  ワーク
ｂ  ウエハ
１  供給側リール
２  モータ
３  供給側トラバーサ
４  ガイドプーリ
５  エンコーダ
６  テンションアーム
７  テンション機構
８  ロードセル
９  ガイドプーリ
１０  ワークローラ
１０ａ  軸
１１  ガイドプーリ
１２  ロードセル
１３  エンコーダ
１４  テンションアーム
１５  テンション機構
１６  ガイドプーリ
１７  モータ
１８  回収側トラバーサ
１９  回収側リール
２０  ワーク固定テーブル
２１  砥液ノズル
２２  加工台
２３  ダミー部材
２４  ダミー部材
２５  接着剤
２６  固定枠
２７  受け部材
２８  機台
２９  カバー
３０  支持板
３１  カセット底板
３２  カセット側板
３３  溝ローラ
３４  支持ワイヤ
３５  基準板
３６  位置決め部材
３７  孔
３８  メッシュ部材
３９  緩衝部材
４０  洗浄用カセット
４１  吸着ハンド
４２  ロボットハンド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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