(57)【要約】【課題】  温度変化等による環境下の影響を受けることなく耐久性に優れたプローブ装置及び基板検査装置の提供。【解決手段】  被検査基板Ｔの検査面の配線パターン上に設定された複数の所定の検査点ＴＰに順次接触させて、検査点ＴＰの電気信号を受信するプローブ装置であって、揺動可能な片持ち梁状に一端が取付部３５に取り付けられ、弾性力により常時は中立位置を占める支持体３３と、支持体３３の自由端に取り付けられ、線状の接触子２を保持する保持体３１と、保持体３１又は支持体３３の揺動に反発する付勢手段５を備えたことを特徴とする。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板の検査面の配線パターン上に設定された複数の所定の検査点に順次接触させて、該検査点の電気信号を受信するプローブ装置であって、
揺動可能な片持ち梁状に一端が取付部に取り付けられ、弾性力により常時は中立位置を占める支持体と、
前記支持体の自由端に取り付けられ、線状の接触子を保持する保持体と、
前記保持体又は前記支持体の揺動に反発する付勢手段を備えたことを特徴とするプローブ装置。
【請求項２】
前記プローブ装置は、前記支持体を収容するプローブ収容体を有し、
前記プローブ収容体は、前記取付部を固定する側面部と前記支持体の上方に配置される天井部を有し、
前記付勢手段の一端は前記天井部に固着され、該付勢手段の他端は前記支持体の上面に当接されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置。
【請求項３】
前記付勢手段が、
板状に形成され、
前記支持体に当接する支持体当接部と、
前記支持体当接部から、所定角度を形成して直線状又は湾曲状に延設される中央部と、
前記中央部から延設されるとともに前記天井部へ固定される天井固定部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ装置。
【請求項４】
前記付勢手段が、バネ又は伸縮自在なゴム樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ装置。
【請求項５】
前記保持体は第一節部を介して前記支持体と接続され、該支持体は第二節部を介して前記取付部に接続されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載のプローブ装置。
【請求項６】
前記支持体が、複数の長さの相違する長尺部材からなることを特徴とする請求項５記載のプローブ装置。
【請求項７】
被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置であって、
請求項１乃至６いずれかに記載されるプローブ装置と、
前記プローブ装置を介して前記被検査基板の検査面の配線パターン上に設定された所定の検査点との間で検査信号を伝送して、前記被検査基板の電気的特性を検査する検査制御手段を備えることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プローブ装置及び基板検査装置に関し、特に、予め定められたプログラムに従って移動する移動式プローブのプローブ構造及びそのような構造を有する移動式プローブを有する基板検査装置に関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
回路基板上の配線パターンは、その回路基板に搭載されるＩＣ等の半導体や抵抗器等の電気部品に電気信号を正確に伝達する必要があるため、従来、半導体や電気部品を実装する前のプリント配線基板、液晶パネルやプラズマディスプレイパネルに配線パターンが形成された回路配線基板、あるいは半導体ウェハ等の基板に形成された配線パターンに対して、検査対象となる配線パターンに設けられた検査点間の抵抗値等を測定してその良否が検査されている。
【０００３】
ここで、配線パターンの断線及び短絡等の検査には、検査対象となる配線パターンの２箇所に設けられた検査点に、それぞれ、３軸方向に移動可能な検査用の接触子を圧接して、その検査用接触子間に所定レベルの測定用電流を流すことによりその検査用接触子間に生じる電圧レベルを測定して、測定された電圧レベルと閾値とを対比することによって良否の判定を行うものがある。
また、基板の一方の面の配線パターンの検査点に移動式接触子を圧接し、他方の面の検査点には多針式接触子を圧接して上記の判定を行うものや、移動式接触子が圧接された配線パターンとベタ導体との間の静電容量を測定するものなど、移動式接触子を用いた様々な基板検査装置が知られている。
【０００４】
このような移動式接触子を用いた基板検査装置における検査精度の向上のためには、検査点への位置決めを正確に行う必要がある。例えば、図７に示す接触子を備えたプローブ装置にリンク機構を用いることによりプローブの位置決めを正確に行う装置が提案されている（特許文献１参照）。
図７は、このプローブ装置の説明図であって、（ａ）は、基板Ｔに形成された配線パターン上の検査点ＴＰに圧接される前の状態であって、（ｂ）は、検査点ＴＰに圧接されている状態である。この図７に示すように、このプローブ装置９は、図略の駆動機構によって基板の検査面と垂直な方向（図の上下方向）に移動される支持部材９２（構成部材９２３）と、基端が支持部材９２に固定され先端が検査点ＴＰに圧接される接触子９１とを備えている。
【０００５】
また、支持部材９２は、４つの構成部材９２１〜９２４がプラスチック等の非導電性弾性材料からなり、それぞれ、弾性変形部９３１〜９３４を介して固定部９２３に連結されており、いわゆるリンク機構を構成している。そして、このリンク機構を備えるため、接触子９１の先端が検査点ＴＰに接触した後、支持部材９２の構成部材９２３が駆動機構によって基板３側に更に移動されたときには、支持部材９２を構成する弾性変形部９３１〜９３４の弾性変形によって移動方向とは逆向き方向へ接触子９１が接触面に対して垂直な方向に移動し、位置決めが正確に行われる。
【０００６】
しかしながら、このようなリンク機構を有するプローブ装置は、繰り返し利用されることによって、リンク機構が疲労し劣化してしまい、十分な機能を有さなくなる問題を有していた。このため、連続的に長時間使用する場合には、プローブ装置のリンク機構が劣化する前に、新しいリンク機構を有するプローブ装置と交換する必要があった。
また、このようなリンク機構の耐久性は、プローブ装置を使用する環境条件に大きな影響を受ける問題を有していた。即ち、高温環境下、低温環境下又は高温低温が繰り返されるような急激な温度変化のある環境下において使用される場合には、このようなリンク機構の耐久性は低下してしまい、連続的な長時間使用には適していないのが現状であった。
しかしながら、昨今に至り、基板の配線パターンが複雑化されて検査点の数が増加するとともに、上記の如き環境下で基板の電気的特性を検査する必要性が生じ、耐久性の高いプローブ装置の出現が要望されていた。
【０００７】
【特許文献１】特開平１１−３０４８３５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は上記課題に鑑みてなされたもので、高温／低温環境下、又は急激な温度変化のある環境下における影響を受けることなく、連続的に長時間の利用に適した耐久性の高いプローブ装置及びそのようなプローブ装置を用いた基板検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１記載の発明は、被検査基板の検査面の配線パターン上に設定された複数の所定の検査点に順次接触させて、該検査点の電気信号を受信するプローブ装置であって、揺動可能な片持ち梁状に一端が取付部に取り付けられ、弾性力により常時は中立位置を占める支持体と、前記支持体の自由端に取り付けられ、線状の接触子を保持する保持体と、前記保持体又は前記支持体の揺動に反発する付勢手段を備えたプローブ装置を提供する。
【００１０】
請求項２記載の発明は、前記プローブ装置は、前記支持体を収容するプローブ収容体を有し、前記プローブ収容体は、前記取付部を固定する側面部と前記支持体の上方に配置される天井部を有し、前記付勢手段の一端は前記天井部に固着され、該付勢手段の他端は前記支持体の上面に当接されていることを特徴とする請求項１に記載のプローブ装置を提供する。
【００１１】
請求項３記載の発明は、前記付勢手段が、板状に形成され、前記支持体に当接する支持体当接部と、前記支持体当接部から、所定角度を形成して直線状又は湾曲状に延設される中央部と、前記中央部から延設されるとともに前記天井部へ固定される天井固定部を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ装置を提供する。
【００１２】
請求項４記載の発明は、前記付勢手段が、バネ又は伸縮自在なゴム樹脂であることを特徴とする請求項１又は２に記載のプローブ装置を提供する。
【００１３】
請求項５記載の発明は、前記保持体は第一節部を介して前記支持体と接続され、該支持体は第二節部を介して前記取付部に接続されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載のプローブ装置を提供する。
【００１４】
請求項６記載の発明は、前記支持体が、複数の長さの相違する長尺部材からなることを特徴とする請求項５記載のプローブ装置を提供する。
【００１５】
請求項７記載の発明は、被検査基板の電気的特性を検査する基板検査装置であって、請求項１乃至６いずれかに記載されるプローブ装置と、前記プローブ装置を介して前記被検査基板の検査面の配線パターン上に設定された所定の検査点との間で検査信号を伝送して、前記被検査基板の電気的特性を検査する検査制御手段を備えることを特徴とする基板検査装置を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１記載の発明によれば、接触子が保持体に取り付けられ、この保持体が揺動可能な片持ち梁状に配される支持体に取り付けられ、この支持体に揺動方向に対して反発する付勢手段が取り付けられることになるので、支持体の揺動方向に常時反発する付勢手段の反発力が生じることになる。
このため、片持ち梁状の支持体の揺動に追従する復元力が付勢手段より絶えず生じ、連続的な長時間の使用であっても、支持体の上下方向の揺動を補助する。
また、このような付勢手段を有する構造とすることによって、高温環境下、低温環境下、激しい温度変化のある環境下によるプローブ装置の疲労や劣化を低減し、プローブ装置の負担を低減することができるので、プローブ装置の耐久性を向上させる。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、側面部と天井部を有するプローブ収容部を利用することによって、取付部を側面部に固定し、天井部に固定される付勢手段が支持体の上面に当接することになるので、付勢手段が支持体の揺動方向に沿って確実に伸縮し、反発力を支持体に与える。
【００１８】
請求項３記載の発明によれば、付勢手段が板状に形成され、支持体に当接する支持体当接部と、取付部に固定される天井固定部を有し、支持体当接部と天井固定部の間に傾斜角を有する直線状又は湾曲状の中央部を有することになるので、支持体の揺動に追従して、中央部により反発力が生じることになり、支持体に均一な応力（反発力）を負荷することになる。
【００１９】
請求項４記載の発明によれば、付勢手段がバネ又は伸縮自在なゴム樹脂で形成されるので、支持体の揺動方向に反発する付勢手段の反発力が生じることになる。
【００２０】
請求項５記載の発明によれば、第一及び第二節部により保持体や支持体を固定部に接続することになるので、保持体を被検査基板の検査点（検査面）に対して上下方向に直角に移動することを可能にする。このため、プローブ装置の下方への移動によって、接触子が圧接されても、検査点に対して直角上方に移動することになり、検査点からずれることがない。
【００２１】
請求項６記載の発明によれば、支持体が複数の長さの相違する長尺部材からなるので、プローブ装置の下方への移動によって、接触子が圧接されても、検査点に対して直角上方に移動することになり、検査点からずれることがない。
【００２２】
請求項７記載の発明によれば、接触子が保持体に取り付けられ、この保持体が揺動可能な片持ち梁状に配される支持体に取り付けられ、この支持体に揺動方向に対して反発する付勢手段が取り付けられることになるので、支持体の揺動方向に常時反発する付勢手段の反発力が生じることになる。
このため、片持ち梁状の支持体の揺動に追従する復元力が付勢手段より絶えず生じ、連続的な長時間の使用であっても、支持体の上下方向の揺動を補助する。
また、このような付勢手段を有する構造とすることによって、高温環境下、低温環境下、激しい温度変化のある環境下によるプローブ装置の疲労や劣化を低減し、プローブ装置の負担を低減することができるので、プローブ装置の耐久性を向上させて、基板検査装置の耐久性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明を実施するための最良の形態を説明する。
図１は、本発明の実施例のプローブ装置を示す側面図である。
本発明の実施例のプローブ装置１は、接触子２、長尺部材３（保持体３１、支持体３３と取付部３５）、プローブ収容部４、付勢手段５を有してなる。
このプローブ装置１は、被検査基板に配線パターン上に設定された所定の検査点に対して、接触子２の先端２１をこの検査点に接触させ、この検査点を介して電圧や電流等の電気信号を測定するための電気信号を接受する装置である。
図２は、本発明の実施例の支持体を示す側面図であり、（ａ）は接触子を取り付けた状態を示し、（ｂ）は接触子を取り除いた状態を示している。
【００２４】
接触子２は、検査点に接触するとともにこの検査点の電圧や電流等の電気信号を受信する。この接触子２は、電気信号を受信するため導電性である必要があるとともに微細な検査点を測定するために、金属製の針からなる。この接触子２は保持体３１に対し、取り外し可能に固定されている。
尚、接触子２の一端（先端）は検査点に接触して電子信号を受信し、他端２２は受信した電気信号を基板検査装置（図示せず）の検査制御手段（図示せず）に送信するために導線に接続されている。
【００２５】
長尺部材３は、保持体３１、支持体３３と固定部３５からなり、保持体３１は自由端（Ａ）、固定部３５は固定端（Ｂ）となる。
保持体３１は、板状又は棒状の部材により形成され、接触子２をその自由端（Ａ）において支持する。この保持体３１の自由端（Ａ）では、図２（ａ）で示される如く、接触子２が下方へ突出するように取り付けられている。
保持体３１の反対側である固定端（Ｂ）には、後述する固定部３５が設けられている。この固定部３５は、後述するプローブ収容部４に固定される。このように自由端と固定端が形成されることにより、接触子２が、保持体３１支持体３３固定部３５からなる長尺部材３に取り付けられるとともに、この長尺部材３が固定部３５を軸とする揺動可能に片持ち梁状に配置されることになる。
尚、このような構成を有しているので、保持体３１は、固定位置（固定部３５）を中心として揺動することができるようになり、その動きに追従して接触子２も上下動する。
【００２６】
長尺部材３は、上記の如き片持ち梁状に形成することにより、接触子２を上下動させることができるが、更に好ましくは、接触子２を被検査基板の平面（検査点）に対して直角の上下方向に移動（直動）させる。
このように上下方向に直動させることにより、保持体３１が検査点に圧接されて上方へ移動しても、直角方向に移動するため、接触子２の先端２１と検査点に於ける接触位置を絶えず左右にずれることなく、同じ位置とすることができる。
【００２７】
上記の如く、接触子２が上下方向に直動する場合の長尺部材３の構造について、図２（ｂ）を利用して説明する。
この長尺部材３は、接触子２が取り付けられる保持体３１と、保持体３１から第一節部３２を介して延設される支持体３３と、支持体３３から第二節部３４を介して接続される取付部３５を有している。
この取付部３５は、この取付部３５を後述するプローブ収容部４に固定するために固定用ネジ又は固定用軸を挿入される孔部３６を有している。図２で示されている長尺部材３では、保持体３１の一側面下方に接触子２が突出するように取り付けられている。この保持体３１の他側面には、上下方向に配設された２つの第一節部３２１、３２２が取り付けられ、これらの第一節部３２１，３２２を介して２つの支持体３３１，３３２が取り付けられている。
【００２８】
２つの支持体３３１，３３２は、夫々第二節部３４１，３４２を介して取付部３５に接続されている。取付部３５は、後述するプローブ収容部４に固定されるための固定部３５を有している。この固定部３５には、上記の如く、孔部３６が２つ設けられている。
この上下に配置される２つの支持体３３１，３３２は、異なる長さを有しており、第一節部３２と第二節部３４と長さの相違する２つの支持体３３を利用することによって、図２（ａ）内の矢印で示すように検査面に対して直角な方向に保持体３１が移動するようになっている。
このように保持体３１が上下方向に直角に移動するので、保持体３１に取り付けられる接触子２の先端２１も上下方向に直角に移動し、検査点に対して左右方向にずれることなく常に同じ位置で接触することになる。
この長尺部材３は、弾性力を有するために、可撓性を有する素材で形成される。また、この長尺部材３は、温度や温度変化の影響が少ない素材が適宜選択されて使用されるが、可撓性を有し且つ耐熱性に優れたピーク（PEEK  ポリエーテルエーテルケトン）材を使用することが好ましい。
尚、第一及び第二節部３２，３４は、支持体３３と保持体３１又は取付部３５の連結部分に一対の円弧状の切欠きにより形成され、この部分を中心として保持体３１や支持体３３が揺動する。
【００２９】
この長尺部材３は、上記の如き弾性力を有する可撓性の素材で形成されることになるので、後述するプローブ収容部４に取り付けられる場合には、取り付けられた位置が基準位置となり、保持体３１又は支持体３３がその基準位置（中立位置）より上方又は下方に移動した際には、この基準位置に保持体３１及び支持体３３を戻そうとする復元力が働くことになる。
【００３０】
プローブ収容部４は、長尺部材３の固定端である固定部３５を、孔部３６を介して固定され、保持体３１と支持体３３を固定部３５に対して揺動可能に且つ片持ち梁状に連結されている。図３は本発明の実施例のプローブ収容部を示しており、（ａ）はその側面図を示し、（ｂ）はその正面図を示している。尚、長尺部材３、接続部４１と付勢手段５は、その位置関係を把握することができるように点線で示している。
このプローブ収容部４は、接続部４１と固着部４２を有してなる。
この接続部４１は、基板検査装置（図示せず）に脱着自在に取り付けることができる機構で、接触子２からの電気信号を受信し、装置側へ送信する機能を有している。
固着部４２は、切欠き部４３の空間内に長尺部材３と付勢手段５が収容される。
【００３１】
この固着部４２は、長尺部材３の固定端となる固定部３５を固着する側面部４２１と、長尺部材３の上方に配置される天井部４２２を有している。
側面部４２１は、保持体３と並列して配設され、固定部３５の孔部３６を用いて軸着又は螺着されている。このように構成することにより、この固定部３５が揺動する基準軸となる。
天井部４２２は、長尺部材３の上方に配置される。この天井部４２２は、後述する付勢手段５が固定されることになる。
尚、図３（ｂ）では、プローブ収容部４の切欠き部４３内に長尺部材３と後述する付勢手段５が収容されている。また、図３（ｂ）では、固着部４２が正面視に於いて下向きＬ字状に形成され、その切欠き部４３に長尺部材３が収容されている。
【００３２】
図１には、側面部４２１から表面上へ突出する突出部６が設けられ、２つの支持体３３の間に配設されることにより、支持体３３（又は保持体３１）の上下方向の動きを制限する。
この突出部６は、２つの支持体３３１，３３２の内側に配されるとともに側面部４２１から表面へ突出し、上側の支持体３３１の近傍に配置される。
この突出部６により、支持体３３が上方に移動する場合には、下側の支持体３３２がこの突出部６に接触するまでしか上昇せず、また、支持体３が下方に移動する場合には、上側の支持体３３１がこの突出部６に接触するまでしか下降しないことになる。
【００３３】
付勢手段５は、図１で示す如く、プローブ収容部４と支持体３３に挟持され、支持体３３の揺動に追従して伸縮する。
この付勢手段５はプローブ収容部４の天井部４２２と支持体３３に挟持されることになるため、保持体３１（又は支持体３３）が上方に移動すると、支持体３３とプローブ収容部４の天井部４２２により形成される空間が狭くなり、付勢手段５を圧縮することになる。また一方で、保持体３１が下方に移動すると、支持体３３とプローブ収容部４の天井部４２２により形成される空間が広くなり、付勢手段５を伸長することになる。
このように付勢手段５は、圧縮及び伸長される力が負荷されると、これらの力に反発するように反発力が働き、付勢手段５が圧縮されると伸長しようとする力が生じ、付勢手段５が伸長されると収縮しようとする力が生じることになる。
したがって、保持体３１が上下方向に移動された場合に、支持体３３自体が元の位置に戻ろうとする力が働くと同時に、この付勢手段５によっても支持体３３を元の位置に戻そうとする力が働くことになり、支持体３３を補助することになる。
【００３４】
この付勢手段５は、付勢手段５の一端５１が天井部４２２に固着され、付勢手段５の他端５２が保持体３の上面３３１１に当接し、支持体３３とプローブ収容部４に挟持される。
付勢手段５の一端５１が天井部４２２に固着されているため、この固着部を基点として付勢手段５がバネ変形することになる。また、付勢手段５の他端５２は、支持体３３の上面３３１１に当接されているため、支持体３３の揺動に応じて支持体３３上を摺動することができ、保持体３１の上下方向の検査面に対する直角移動を妨げることがない。
【００３５】
この付勢手段５としては、例えば、金属性の板バネを用いることができる。図４では、本発明の実施例の付勢手段を示し、（ａ）はその平面図を示し、（ｂ）はその側面図を示している。
この付勢手段５は、一端５１に当たる支持体３３１の上面３３１１に当接する支持体当接部５２と、支持体当接部５２と所定角度αをなして直線状に延びる中央部５３と、中央部５３から延設されるとともに天井部４２２へ固定される天井固定部５１を有する。
支持体当接部５２は、図４（ａ）で示される如く、円弧状の切欠き部５２１が設けられている。支持体当接部５２と中央部５３がなす所定角度αや、中央部５３と天井固定部５１がなす所定角度βは、その角度に応じて付勢手段５の弾性力を変化させることができ、適宜設定される。これらの角度α、βは、例えば、夫々１３０〜１６０度に形成される。
天井固定部５１には、孔部５１１が設けられており、この孔部５１１を介して天井部４２２にこの付勢手段５を螺着することができる。
また、天井固定部５１、支持体当接部５２、中央部５３の平面視に於ける長さや幅は、長尺部材３の幅や長さに応じて適宜設定される。
尚、この付勢手段５は、長尺部材３の素材に応じて適宜生じる荷重を変化させることができるが、例えば、長尺部材３が基準位置に位置されている場合に、５〜１０ｇの荷重が負荷され、支持体３３が基準位置から上又は下方向に所定量移動して付勢手段５が圧縮又は伸長した場合には、１３〜１７ｇの荷重が生じるように適宜設定される。
【００３６】
図５は、本発明の他の実施例の付勢手段を示し、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は側面図を示し、（ｃ）は底面図を示している。
他の実施例である付勢手段５’は、上記第一実施例の付勢手段５と同様の天井固定部５１と支持体当接部５２を有しており、中央部５３’が上記第一実施例の中央部５３と相違している。
この中央部５３’は、図５（ｂ）で示す如く、略く字状に湾曲されている。このようにく字状に中央部５３’が形成されることにより、上記の第一実施例の付勢手段５と同様の効果を得ることができる。
この第二実施例の場合も上記第一実施例の場合と同様、支持体３３に適度な負荷がかかるように、長さや幅、又は湾曲度が適宜設定される。
【００３７】
付勢手段の更に他の実施例として、上記板バネに代えて、コイルスプリング又は伸縮自在なゴム樹脂を、支持体３３と天井部４２２に挟持するようにすることができる。この場合も、上記の説明と同様、支持体３３の揺動方向と同じ方向に伸縮（又は伸長）するように、収容部４２の天井部４２２に付勢手段の一端が固定される。
尚、バネやゴム樹脂を利用する場合も、上記実施例の場合と同様、支持体３３に適度な負荷がかかるように適宜設定される。
【００３８】
次に、このプローブ装置１の動作を説明する。
図６は、本発明の第一実施例の動作を示す図である。この図６では、プローブ装置１の接触子２が基板Ｔの検査点ＴＰに接触した状態を示している。
プローブ装置１は、基板Ｔの上方を基板Ｔと平行な方向に移動して、所定の検査点ＴＰの上方に位置された後に、検査点ＴＰに接触するように下方に移動する。このとき、接触子２が検査点ＴＰに接触するまでプローブ装置１は下降し、更に、接触子２を所望の接触圧で確実に検査点ＴＰに接触させるために、プローブ収容部４が更に下降し、保持体３１と支持体３３がプローブ収容部４に対して相対的な上方へ移動する（図６の白矢印方向）。保持体３１が上方に移動することによって、接触子２は支持体３３の復元力により確実に検査点ＴＰに圧接することになる。
また、このプローブ装置１の長尺部材３は、上記の説明の如く、保持体３１、２つの長さの相違する支持体３３、第一及び第二節部３２，３４を具備することにより、基板Ｔに対して直角方向（図６のＸ軸方向）に上昇移動する。このため、検査点ＴＰに対してプローブ装置１の上下動に応じて、接触子２と検査点ＴＰの接触点が位置ずれすることがない。
【００３９】
また、保持体３１が上方に移動した場合には、付勢手段５がバネ変形（圧縮）されることになる。これにより、付勢手段５はバネ変形（圧縮）される方向とは反対方向（図６の黒矢印方向）に復元力（反発力）が生じることになる。この復元力により支持体３３が押圧され、支持体３３は基の位置（中立位置）に戻ろうとする。
このため、長尺部材３自体が有する復元力（基の位置に戻ろうとする力）を補助することができる。このため、長尺部材３の第一及び第二節部３２，３４の疲労や劣化により、長尺部材３（支持体３３）自体の復元力が低下しても、付勢手段５によりこの復元力を提供することができ、プローブ装置１の負荷を低減させることができ、プローブ装置１の耐久性を向上させることができる。
このような構成は、温度変化に因らないため、高温／低温環境下、や温度変化の激しい環境下においても、耐久性の高いプローブ装置１を提供することができる。
【００４０】
次いで、上記したプローブ装置１を具備する基板検査装置（図示せず）について説明する。
この基板検査装置は、少なくとも２つ以上のプローブ装置１と、検査制御手段（例えば、特開２００５−５５３５９号公報に開示される装置）を有してなる。このプローブ装置１の接触子２が検査点に接触することによって電気信号を受信する。この接触子２は、検査制御手段に電気的に接続されているので、この電気信号は検査制御手段に送られることになる。
検査制御手段は、異なる検査点からの電気信号を受信して、この信号を基に抵抗値を算出したり、電圧を測定したり、所定の演算を行うことにより、検査点の電気的特性を算出する。
尚、この基板検査装置で使用されるプローブ装置１は、２本の接触子２が一つの検査点の電気信号を受信することができるように、２つのプローブ装置１が対称に配置され一体的に組み込まれていることが好ましい。このように一つの検査点を一体型に形成された２つのプローブ装置１にて電気信号を受信することによって、四端子測定法により２つの検査点間の抵抗を算出することができるからである。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の実施例のプローブ装置を示す側面図である。
【図２】本発明の実施例の長尺部材を示す側面図であり、（ａ）は接触子を取り付けた状態を示し、（ｂ）は接触子を取り除いた状態を示している。
【図３】本発明の実施例のプローブ収容部を示しており、（ａ）は側面図を示し、（ｂ）は正面図を示している。尚、長尺部材、接続部と付勢手段は点線で示している。
【図４】本発明の実施例の付勢手段を示し、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は側面図を示している。
【図５】本発明の他の実施例の付勢手段を示し、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は側面図を示し、（ｃ）は底面図を示している。
【図６】本発明の第一実施例の動作を示す図である。
【図７】従来のプローブ装置の説明図である。
【符号の説明】
【００４２】
１・・・・プローブ装置
２・・・・接触子
３・・・・長尺部材
３１・・・保持体
３２・・・第一節部
３３・・・支持体
３４・・・第二節部
３５・・・取付部
３６・・・固定部
４・・・・プローブ収容部
４２１・・側面部
４２２・・天井部
５・・・・付勢手段
５１・・・支持体当接部
５２・・・天井固定部
５３・・・中央部
Ｔ・・・・基板
ＴＰ・・・検査点
α・・・・所定角度
【図１】
2007155688.tif 000003
【図２】
2007155688.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007155688.tif 000006
【図５】
2007155688.tif 000007
【図６】
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【図７】
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