(57)【要約】【課題】  異常放電の原因となる先尖り状の部分のない電極の形成方法を提供する。【解決手段】  電極材５を透過させるメッシュ３を備えたスクリーン印刷マスク４の下に、外部電極２の形成幅Ｂを規制するための開口８を有するマスキング部材７を配設し、電極材５をメッシュ３上を摺動させると共に、ガラス管１をマスキング部材７の下面に沿って回転させつつ電極材５と同方向に移動させることによって、ガラス管１の表面にメッシュ３を介して電極材５を塗布し、その後焼成する。【選択図】  図１
2007273345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管の両端に外部電極を被着形成するための電極形成方法であって、
電極材を透過させるメッシュを備えたスクリーン印刷マスクの下に、前記外部電極の形成幅を規制するための開口を有するマスキング部材を配設し、電極材を前記メッシュ上を摺動させると共に、ガラス管を前記マスキング部材の下面に沿って回転させつつ前記電極材と同方向に移動させることによって、前記ガラス管の表面にメッシュを介して前記電極材を塗布し、その後焼成することを特徴とする電極形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の電極形成方法によって形成されることを特徴とする外部電極。
【請求項３】
ガラス管の両端に外部電極を被着形成するための電極形成装置であって、
電極材を透過させるメッシュを備えたスクリーン印刷マスクと、
電極材を前記メッシュ上で摺動させるためのスキージと、
前記スクリーン印刷マスクと、回転しつつ移動される前記ガラス管の間に配設されるマスキング部材と、を備え、
前記マスキング部材は、前記外部電極の形成幅を規制するために前記メッシュに対応する開口を有することを特徴とする電極形成装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電極形成装置によって形成されることを特徴とする外部電極。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、中空状に封止されたガラス管の両端に外部電極を形成する電極形成方法、電極形成装置及び外部電極に関する。
【背景技術】
【０００２】
最近では、例えば、液晶ディスプレイのバックライト用等としてＥＥＦＬ（外部電極）を備えた誘電体バリヤ放電ランプが用いられるようになった。このランプは、図２（ａ）に示すように、内部を中空状に封止されたガラス管１の両端に外部電極２としての薄い貴金属被膜を形成したものでありＣＣＦＬ（内部電極）よりも寿命が長いという特徴がある。このような貴金属被膜を形成する方法として、例えば、図２（ｂ）に示すようなスクリーン印刷法がある。
【０００３】
これは、所定のメッシュ３を備えたスクリーン印刷マスク４の上に電極材５としての電極ペースト材料をスキージ６で摺動させつつ、その下を回転しながら移動するガラス管１の表面にメッシュ３を介して電極材５を塗布し、その後焼成するように行われる。なお、導電性ペーストなどを印刷するスクリーン印刷版およびその製造方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−２９７２２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のようなスクリーン印刷法は、比較的に薄い被膜を形成するのに適しており、図２（ａ）に示すような照明用の外部電極２を形成する場合には、電極ペースト材料５を厚膜形成し、その始端と終端を重ね合せなければならない。そうすると、その重なり部がメッシュ３以外のマスク４面によって押しつぶされて、図２（ｃ）（ｄ）に示すように、両側に尖り、はみ出し部分２ａ，２ａができる。このような状態で焼成して外部電極２が形成されると、その尖り部分２ａ，２ａが異常放電の原因となるため好ましくない。
【０００５】
本発明は、このような実状に鑑みてなされ、異常放電の原因となる先尖り状の部分がなく曲面への厚膜電極の形成、電極形成装置及び外部電極を提供することを目的とする。
（※スクリーン印刷による曲面へのメタルマスク印刷に相当する厚膜印刷が出来るマスク開発）
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するための手段を、以下のように構成している。
（１）本発明の電極形成方法は、ガラス管の両端に外部電極を被着形成するための電極形成方法であって、
電極材を透過させるメッシュを備えたスクリーン印刷マスクの下に、前記外部電極の形成幅を規制するための開口部を有するマスキング部材を配設し、電極材を前記メッシュ上を摺動させると共に、ガラス管を前記マスキング部材の下面に沿って回転させつつ前記電極材と同方向に移動させることによって、前記ガラス管の表面にメッシュを介して前記電極材を塗布し、その後焼成することを特徴とする。
【０００７】
このような方法によれば、マスキング部材の開口部によってガラス管の表面に塗布される電極材の幅が規制されるため、電極材を厚膜形成しても重なり部に尖り部分が発生しなくなる。また、マスキング部材の厚みを適切に選択することで、ガラス管の表面とスクリーン印刷マスクのメッシュとの間の間隔を適切に保持することができるため、電極材を満遍なく塗布することができ良好な成膜状態が得られる利点もある。これにより、安定した放電特性を備えた品質の高い誘電体バリヤ放電ランプを得ることができる。
（２）本発明の外部電極は、前記（１）項に記載の電極形成方法によって形成されることを特徴とする。このような外部電極は、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しないので、良好な放電特性を備えている。また、電極材が満遍なく塗布されるため、成膜状態が良好で安定した製品品質を備えている。
（３）本発明の電極形成装置は、ガラス管の両端に外部電極を被着形成するための電極形成装置であって、
電極材を透過させるメッシュを備えたスクリーン印刷マスクと、電極材を前記メッシュ上で摺動させるためのスキージと、  前記スクリーン印刷マスクと、回転しつつ移動される前記ガラス管の間に配設されるマスキング部材と、を備え、前記マスキング部材は、前記外部電極の形成幅を規制するために前記メッシュに対応する開口部を有することを特徴とする。
【０００８】
このような装置によれば、マスキング部材の開口部によってガラス管の表面に塗布される電極材の幅を規制できるため、電極材を厚膜形成しても重なり部に尖り、はみ出し部分が発生しなくなる。また、マスキング部材の厚みを適切に選択すれば、ガラス管の表面とスクリーン印刷マスクのメッシュとの間の間隔を適切に保持することができるため、電極材を満遍なく塗布することができ良好な成膜状態が得られる利点もある。これにより、安定した放電特性を備えた品質の高い誘電体バリヤ放電ランプを得ることができる。
（４）本発明の外部電極は、前記（３）に記載の電極形成装置によって形成されることを特徴とする。このような外部電極は、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しないので、良好な放電特性を備えている。また、電極材が満遍なく塗布されるため、成膜状態が良好で安定した製品品質を備えている。
【発明の効果】
【０００９】
（１）本発明の電極形成方法によれば、マスキング部材の厚みによる開口部段差によってガラス管の表面に塗布される電極材の幅が規制されるので、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しなくなる。また、マスキング部材の厚みを適切に選択することで、ガラス管の表面とスクリーン印刷マスクのメッシュとの間の間隔を適切に保持することができるため、電極材を満遍なく塗布することができ良好な成膜状態が得られる。
（２）本発明の外部電極は、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しないので安定した良好な放電特性を備えている。また、電極材が満遍なく塗布されるため、成膜状態が良好で優れた製品品質を備えている。
（３）本発明の電極形成装置によれば、マスキング部材の開口部段差によってガラス管の表面に塗布される電極材の幅を規制できるので、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しなくなる。また、マスキング部材の厚みを適切に選択すれば、ガラス管の表面とスクリーン印刷マスクのメッシュとの間の間隔を適切に保持することができるため、電極材を満遍なく塗布することができ良好な成膜状態が得られる。
（４）本発明の外部電極は、電極材を厚膜形成しても重なり部分に尖り、はみ出し部分が発生しないので安定した良好な放電特性を備えている。また、電極材が満遍なく塗布されるため、成膜状態が良好で優れた製品品質を備えている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に、本発明の最良の実施の形態に係る電極形成方法、電極形成装置及び外部電極について図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１１】
図１（ａ）〜（ｄ）は、電極形成方法及び電極形成装置を説明するための図面で、この電極形成装置は、電極材５を透過させるメッシュ３を備えたスクリーン印刷マスク４と、電極材５をメッシュ３上で摺動させるためのスキージ６と、スクリーン印刷マスク４と、そのスクリーン印刷マスク４の下面に沿って回転しつつ移動されるガラス管１の間に配設されるマスキング部材７と、を備え、そのマスキング部材７は、外部電極２の形成幅Ｂを規制するためにメッシュ３に対応する矩形状の開口部８を有している。
【００１２】
このような電極形成装置によれば、スキージ６によって電極材５をメッシュ３上で摺動させると共に、ガラス管１をマスキング部材７の下面に沿って回転させつつ電極材５と同方向に移動させることによって、ガラス管１の表面にメッシュ３を透過した電極材５を塗布することができる。メッシュ３を透過した電極材５は、マスキング部材７の開口部８によって塗布される電極材５の形成幅Ｂが規制されるため、電極材５を多層に積層しても、図１（ｃ）（ｄ）に示すように、重なり部に尖り、はみ出し部分が発生しなくなる。また、マスキング部材７の厚みを適切に選択することで、ガラス管１の表面とスクリーン印刷マスク４のメッシュ３との間の間隔を適切に保持することができるため、電極材５を満遍なく塗布することができ良好な成膜状態が得られる。このような状態で塗布された電極材５を焼成すると、尖り、はみ出し部分がない形成精度の高い外部電極２，２が形成されるため、良好な放電特性を備えた性能品質の高い誘電体バリヤ放電ランプを得ることができる。
【００１３】
なお、本発明は、実施の形態に限定されることなく発明の要旨を逸脱しない限りにおいて、適宜、必要に応じて、設計変更や改良等を行うのは自由であり、マスキング部材７は、金属材からなるメタルマスクであってもよく、その他の素材で形成されていてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００１４】
本発明に係る電極形成方法及び電極形成装置によれば、異常放電の原因となる先尖り状の部分のない電極の形成することができるので、安定した放電特性が求められる液晶ディスプレイのバックライト用のランプの製作に利用することができる。
【００１５】
本発明の外部電極は、良好な放電特性と優れた製品品質を備えているので、例えば、パソコン等の液晶ディスプレイのバックライト用の誘電体バリヤ放電ランプに好適となる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の電極形成方法及び電極形成装置を説明するための図面で、（ａ）は電極形成装置の模式図、（ｂ）はマスキング部材の平面図、（ｃ）は外部電極の端面図、（ｄ）は外部電極の側面図
【図２】従来のスクリーン印刷法を説明するための図面で、（ａ）はランプの側面図、（ｂ）はスクリーン印刷法の説明図、（ｃ）は外部電極の端面図、（ｄ）は外部電極の側面図
【符号の説明】
【００１７】
１  ガラス管
２  外部電極
３  メッシュ
４  スクリーン印刷マスク
５  電極
６  スキージ
７  マスキング部材
８  開口部
【図１】
2007273345.tif 000003
【図２】
2007273345.tif 000004