(57)【要約】【課題】フラットパネルを能率よく洗浄すること。【解決手段】フラットパネルを載置する載置台と、フラットパネル表面を洗浄する洗浄部および洗浄されたフラットパネル表面を空拭きする拭き取り部を有するヘッド部と、載置台とヘッド部とを相対移動させる駆動部と、フラットパネルが洗浄された後、空拭きされるようにヘッド部と駆動部を制御する制御部とを備えるフラットパネル洗浄装置。【選択図】図１
2007237071.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フラットディスプレイパネルを載置する載置台と、フラットディスプレイパネルの表面を洗浄する洗浄部および洗浄されたフラットディスプレイパネルの表面を空拭きする拭き取り部を有するヘッド部と、載置台とヘッド部とを相対移動させる駆動部と、フラットディスプレイパネルが洗浄された後、空拭きされるようにヘッド部と駆動部を制御する制御部とを備えるフラットディスプレイパネル洗浄装置。
【請求項２】
ヘッド部は、拭き取り部がヘッド部または載置台の移動方向に配列された第１拭き取り部と第２拭き取り部を備え、洗浄部が第１および第２拭き取り部の間に設置される請求項１記載のフラットパネル洗浄装置。
【請求項３】
洗浄部と第１および第２拭き取り部の各々が、洗浄用布を繰り出す第１ロールと、その布を巻き取る第２ロールと、第１および第２ロールの間の布をフラットパネルに弾性的に押し付ける加圧部とを備え、洗浄部が加圧部の近傍に洗浄液をフラットパネルに供給する洗浄液供給部を備える請求項２記載のフラットパネル洗浄装置。
【請求項４】
洗浄部と第１および第２拭き取り部は、それぞれ加圧部をフラットパネルに離間可能に接触させる昇降部を備える請求項３記載のフラットパネル洗浄装置。
【請求項５】
制御部は、ヘッド部を順方向に移動させフラットパネルを洗浄部によって所定の洗浄幅で洗浄した後、第１拭き取り部によって空拭きする第１工程と、ヘッド部を逆方向に移動させフラットパネルを前記幅で洗浄部によって洗浄した後、第２拭き取り部によって空拭きする第３工程とが、ヘッドを前記移動方向に直交する方向に前記洗浄幅だけ移動する移動工程を挟んで繰り返されるようにヘッド部と駆動部とを制御する請求項２〜４のいずれか１つに記載のフラットパネル洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットディスプレイパネル洗浄装置に関し、とくに、ＰＤＰ装置やＬＣＤ装置用のフラットディスプレイパネルを製造する工程で、フラットディスプレイパネルに付着した異物を除去するフラットディスプレイパネル洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
洗浄用布を繰り出す布繰出ロールと、その布を巻き取る布巻き取りロールとを備え、そのロールの間の洗浄用布を、洗浄液と共にクッション材によって鏡面板に押し付け、鏡面板上を走行させることで、洗浄液を供給しながら洗浄用布によって鏡面版の汚れを液拭きする方法が知られている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特開2002−248436号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、ガラスパネルのようなフラットディスプレイパネル（以下、フラットパネルと略記する）の表面を従来のように洗浄する場合、液拭き後に、空拭きを行わないと液ムラが発生してしまう。従って、従来の装置では、液拭き後に、別途空拭きを行う必要があるため、作業タクトが長くなってしまうという問題点がある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、フラットパネルを載置する載置台と、フラットパネルの表面を洗浄する洗浄部および洗浄されたフラットパネルの表面を空拭きする拭き取り部を有するヘッド部と、載置台とヘッド部とを相対移動させる駆動部と、フラットパネルが洗浄された後、空拭きされるようにヘッド部と駆動部を制御する制御部とを備えるフラットパネル洗浄装置を提供するものである。
【０００５】
ヘッド部は、拭き取り部がヘッド部または載置台の移動方向に配列された第１拭き取り部と第２拭き取り部を備え、洗浄部が第１および第２拭き取り部の間に設置されることが好ましい。
洗浄部と第１および第２拭き取り部の各々が、洗浄用布を繰り出す第１ロールと、その布を巻き取る第２ロールと、第１および第２ロールの間の布をフラットパネルに弾性的に押し付ける加圧部とを備え、洗浄部が加圧部の近傍に洗浄液をフラットパネルに供給する洗浄液供給部を備えてもよい。
【０００６】
洗浄部と第１および第２拭き取り部は、それぞれ加圧部をフラットパネルに離間可能に接触させる昇降部を備えてもよい。
制御部は、ヘッド部を順方向に移動させフラットパネルを洗浄部によって所定の洗浄幅で洗浄した後、第１拭き取り部によって空拭きする第１工程と、ヘッド部を逆方向に移動させフラットパネルを前記幅で洗浄部によって洗浄した後、第２拭き取り部によって空拭きする第３工程とが、ヘッドを前記移動方向に直交する方向に前記洗浄幅だけ移動する移動工程を挟んで繰り返されるようにしてもよい。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、フラットパネルに対し、洗浄部による洗浄と、拭き取り部による空拭きが同じ装置で行われるので、フラットパネルの洗浄拭き取り作業を効率よく行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面に示す実施形態を用いてこの発明を詳述する。図１に示すフラットパネル洗浄装置のヘッド部２は、洗浄すべきフラットパネル１に対向するように設けられる。ヘッド部２は、支持台１００にフラットパネル１の表面を洗浄する洗浄部５とその両側にフラットパネル１の表面を空拭きする拭き取り部３，４を備えている。
【０００９】
拭き取り部３，４および洗浄部５は、洗浄用布７，７ａ，７ｂをフラットパネル１と接触する位置にそれぞれ供給する布繰出ロール９，９ａ，９ｂと、その布を巻き取る布巻取ロール８，８ａ，８ｂと、布繰出ロール９，９ａ，９ｂの軸に連結されたブレーキ１１，１１ａ，１１ｂと、布巻取ロール８，８ａ，８ｂの軸に連結された巻取りモータ１０，１０ａ，１０ｂを備えている。
【００１０】
ここで用いられる洗浄用布７，７ａ，７ｂは、フラットパネル１の表面の汚れを拭い取ることができるシート状のものであれば、その構造、材質等は任意である。それには、パネル表面を傷つけず、また自己発塵性が低く、繊維が細かい布（例えば、帝人株式会社製の商品名「Ｇ８９００１ミクロスター」）が好適である。
【００１１】
拭き取り部３，４および洗浄部５は、加圧ロール１２，１２ａ，１２ｂと、それらをフラットパネル１の方へ下降させて洗浄用布７，７ａ，７ｂをフラットパネル１へ弾性的に加圧するエアシリンダ１３，１３ａ，１３ｂを備える。
【００１２】
また、拭き取り部３，４および洗浄部５は、洗浄用布７，７ａ，７ｂをゆるみのないよう支持するための支持ロール１４，１５と１４ａ，１５ａと１４ｂ，１５ｂを備える。
さらに、洗浄部５は、洗浄用布７ｂに洗浄液を供給するための洗浄液供給部１６を加圧ロール１２ｂの近傍に備える。
【００１３】
図２および図３は、それぞれフラットパネル洗浄装置を示す平面図および正面図である。
これらの図において、フラットパネル１を載置するための載置台５１には、フラットパネル１の位置決め用ピン（図示しない）が立設すると共に、フラットパネル１を吸着して固定するための吸着装置（図示しない）が設けられている。
【００１４】
載置台５１の両側には一対のＹ軸方向搬送装置（以下、Ｙ軸ロボットという）５２，５３が設けられる。Ｘ軸方向搬送装置（以下、Ｘ軸ロボットという）５４がＹ軸ロボット５２，５３に矢印Ｙ−Ｙ'方向に移動可能に搭載される。そして、Ｘ軸移動ベース６３がＸ軸ロボット５４に矢印Ｘ−Ｘ'方向に移動可能に搭載されている。そして、Ｘ軸移動ベース６３に、ヘッド部２が搭載されている。
【００１５】
Ｙ軸ロボット５２，５３ではＹ軸用モータ５２ａ，５３ａによってＸ軸ロボット５４を搬送する。Ｘ軸ロボット５４では、Ｘ軸用モータ５４ａによってＸ軸移動ベース６３を搬送する。
【００１６】
図４は図２，図３に示す洗浄装置の制御系を示すブロック図である。
図４において、制御部８０は、ＣＰＵ，ＲＯＭおよびＲＡＭからなるマイクロコンピュータを内蔵する。制御部８０は、キーボード８１，Ｘ軸用エンコーダ８５およびＹ軸用エンコーダ８６の出力を受ける。
【００１７】
その出力に基づいて制御部８０は、Ｘ軸用モータ５４ａ，Ｙ軸用モータ５２ａ，５３ａ，エアシリンダ１３用電磁弁５５，エアシリンダ１３ａ用電磁弁５５ａ，エアシリンダ１３ｂ用電磁弁５５ｂ、巻取りモータ１１，１１ａ，１１ｂを駆動制御する。
【００１８】
なお、Ｘ軸用およびＹ軸用エンコーダ８５，８６は、それぞれＸ軸用およびＹ軸用モータ５４ａ，５２ａに結合され、Ｘ軸移動ベース６３のフラットパネル１（図２）に対するＸ座標とＹ座標を検出するようになっている。
【００１９】
次に、上記構成の洗浄装置による洗浄動作を説明する。洗浄ヘッドの幅よりもフラットパネルの幅が広いフラットパネル１に対して洗浄を行う場合を、図１と図５を用いて説明する。フラットパネル１の洗浄は、洗浄（１）→洗浄（２）→洗浄（３）の順番で行う。
【００２０】
まず洗浄（１）を行う前に、洗浄液供給部１６（図１）が適量の洗浄液を加圧ロール１２ｂの近傍の洗浄布７ｂに供給し、洗浄液を洗浄布７ｂに含浸させる。次に、図１に示すエアシリンダ１３，１３ｂが作動し、加圧ロール１２，１２ｂが下降し（加圧ロール１２ａは下降しない）、洗浄用布７と７ｂをフラットパネル１に押し付ける。この時の加圧ロール１２の加圧力は、フラットパネル１の良好な拭き取りを行うことができるように、加圧ローラ１２６の加圧力よりも大きく設定しておく。
【００２１】
図５の洗浄（１）で示すように、ヘッド部２が矢印Ｘ方向に移動し、それによってフラットパネル１の表面に対する洗浄拭き取り（液拭き）と空拭きとを同時（但し、最初と最後は個別）に行う。洗浄用布７ｂには洗浄液が供給されている。そのため、フラットパネル１の落ちにくい汚れも洗浄液の作用で除去することができ、一層良好にフラットパネル１の表面を洗浄できる。洗浄用布７は洗浄液で洗浄されたパネル表面を空拭きするので液ムラの発生を防止できる。
【００２２】
この洗浄動作を、予め設定して設定した距離（本例ではパネル１枚分の距離）だけ継続した後、ヘッド部２をＹ方向に加圧ロール１２ｂの幅（又は加圧ロールの幅より僅かに短い距離）だけ移動させる。次に洗浄（２）を行うが、洗浄（２）の場合では、加圧ロール１２ａ、１２ｂが下降し(加圧ロール１２は下降しない)、洗浄用布７ａ，７ｂをフラットパネル１に押し付け洗浄（１）と同様の動作を行う。
【００２３】
この動作を、フラットパネル全面を拭き終わるまで繰り返し続ける。フラットパネル全面が拭き終わり次第、巻取りモータ１０，１０ａ，１０ｂが布巻取ロール８，８ａ，８ｂを回転させて、洗浄用布７，７ａ，７ｂを予め設定した量だけ巻き取る。
【００２４】
これにより、洗浄用布７，７ａ，７ｂのフラットパネル１に接触して汚れた部分が移動し、新たな部分がフラットパネル１に接触する位置に繰り出される。布巻取ロール８，８ａ，８ｂの巻取り長さやタイミングについてはフラットパネル１の面積や汚れ具合によって変化する。ここで、洗浄液には、アルコールとシンナーの混合液が好適である。
【００２５】
なお、上記実施形態では、停止状態のフラットパネル１に対してヘッド部２を移動させる構成としているが、これに限らず、ヘッド部２を停止させておき、フラットパネル１を移動させる構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】本発明の実施形態の要部を示す説明図である。
【図２】本発明の実施形態を示す平面図である。
【図３】本発明の実施形態の正面図である。
【図４】本発明の実施形態の制御系を示すブロック図である。
【図５】本発明の実施形態の動作説明図である。
【符号の説明】
【００２７】
１    フラットパネル
２    ヘッド部
３    拭き取り部
４    拭き取り部
５    洗浄部
７，７ａ，７ｂ  洗浄用布
８，８ａ，８ｂ  布巻取ロール
９，９ａ，９ｂ  布繰出ロール
１０，１０ａ，１０ｂ  モータ
１１，１１ａ，１１ｂ  ブレーキ
１２，１２ａ，１２ｂ  加圧ロール
１３，１３ａ，１３ｂ  エアシリンダ
１４，１４ａ，１４ｂ  支持ロール
１５，１５ａ，１５ｂ  支持ロール
１６  洗浄液供給部
５１  載置台
５２  Ｙ軸ロボット
５３  Ｙ軸ロボット
５４  Ｘ軸ロボット
５２ａ  Ｙ軸用モータ
５３ａ  Ｙ軸用モータ
５４ａ  Ｘ軸用モータ
６３  Ｘ軸移動ベース
１００  支持台
【図１】
2007237071.tif 000003
【図２】
2007237071.tif 000004
【図３】
2007237071.tif 000005
【図４】
2007237071.tif 000006
【図５】
2007237071.tif 000007