(57)【要約】【課題】長時間連続吸引しても吸引ノズルの詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に且つ安定して吸引することができる。【解決手段】連続走行するウエブ１４に塗布液１８を塗布した後、厚塗り部分１８Ａの塗布液を吸引ノズル１２により吸引する塗布液の吸引方法において、吸引ノズル１２のノズル先端部に低蒸気圧の洗浄液を供給して、吸引ノズル１２内に吸引された塗布液に混合することにより、塗布液の溶媒蒸気圧を低下させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続走行するウエブに塗布液を塗布した後、厚塗り部分の塗布液を吸引ノズルにより吸引する塗布液の吸引方法において、
前記吸引ノズルのノズル先端部に低蒸気圧の洗浄液を供給して、前記吸引ノズル内に吸引された塗布液に混合することにより、前記塗布液の溶媒蒸気圧を低下させることを特徴とする塗布液の吸引方法。
【請求項２】
前記洗浄液は、２５℃における蒸気圧が８０ｍｍＨｇ以下であることを特徴とする請求項１の塗布液の吸引方法。
【請求項３】
前記洗浄液は、２５℃における蒸気圧が１５ｍｍＨｇ以下の溶剤を２０体積％以上含むことを特徴とする請求項１の塗布液の吸引方法。
【請求項４】
前記洗浄液は、前記塗布液の溶媒と混合することにより調製されることを特徴とする請求項１又は２の塗布液の吸引方法。
【請求項５】
前記洗浄液の温度を、前記塗布液の塗布温度よりも５〜１０℃高くすることを特徴とする請求項１〜４の何れか１の塗布液の吸引方法。
【請求項６】
連続走行するウエブに塗布液を塗布した後、厚塗り部分の塗布液を吸引ノズルにより吸引する塗布液の吸引装置において、
前記吸引ノズルのノズル先端部に、前記塗布液の溶媒蒸気圧よりも低い低蒸気圧の洗浄液を供給する洗浄液供給ラインを設けたことを特徴とする塗布液の吸引装置。
【請求項７】
前記吸引ノズルで吸引した塗布液、及び前記吸引ノズルに供給した洗浄液を前記洗浄液供給ラインに戻す戻しラインを設けたことを特徴とする請求項６の塗布液の吸引装置。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗布液の吸引方法及び装置に係り、特に、揮発し易い高蒸気圧の溶剤系塗布液を用いて支持体に塗布したときに支持体端部に形成される塗布液厚塗り部を吸引する塗布液の吸引方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
走行する帯状物であるウエブに塗布液を転移させる塗布方法としては、例えばロール塗布法、ディップ塗布法、ファウンテン塗布法等がある。また、転移させた塗布液を所定の膜厚に制御する方法として、エアナイブ塗布法、ブレード塗布法、バー塗布法等が知られている。これらの塗布法において、ウエブに塗布された塗布液は表面張力によりウエブ幅方向に片寄るためにウエブ端部が中央部に比べて厚塗りになり易い。ウエブ端部が厚塗りになると、塗布後の塗布膜の乾燥工程において乾燥の不均一を生じ易く、ウエブ端部の未乾燥部分が乾燥工程の搬送ローラ等を汚す原因になる。更には、ウエブ端部の厚塗り部分は製品にならないので、後工程で裁断しなくてはならず、製品得率が低下するという問題もある。特に、バー塗布法やロール塗布法は、簡単な装置で高速塗布が可能であることから、各種の塗布分野で採用されているが、他の塗布法に比べてウエブ端部に厚塗りが形成され易く、厚塗り部分の塗布液の除去がバー塗布やロール塗布を採用する上で重要になる。
【０００３】
かかるウエブ端部の厚塗り部分を除去する方法としては、例えばブレードで掻き落とす方法や、エアを厚塗り部分にエア吹き付けて除去する方法等があるが、吸引ノズルで吸引する方法が通常実施されている。
【０００４】
しかし、吸引ノズルにより厚塗り部分の塗布液を吸引する場合、吸引ノズルの吸引口や吸引通路に塗布液が固着し、吸引不足や吸引ムラが発生し易く、最終的には詰まりにより吸引できなくなることもある。この結果、ウエブ端部に厚塗り部分が残ったり、厚塗りムラが発生したりしてしまう。
【０００５】
従って、吸引ノズルにより厚塗り部分の塗布液を吸引する場合には、吸引ノズルにより連続吸引しても、吸引した塗布液による吸引ノズルの詰まりが発生しない対策をとることが重要になる。かかる対策を検討した先行技術として次のようなものがある。
【０００６】
例えば、特許文献１には、二重管構造の吸引ノズルの中央部から液体を厚塗り部分に噴出させて、噴出した液体と厚塗り部分の塗布液とを一緒に吸引ノズルに吸引することが開示されている。また、特許文献２には、先端部に洗浄液の噴出口と塗布液の吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにおいて、噴出口を二重管の軸芯から外れた位置に、該軸芯と３０度〜８５度の角度を有して設けると共に、吸引口は該二重管の軸芯部に設けることが開示されている。また、特許文献３には、洗浄液の噴出口と塗布液の吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにおいて、加温した洗浄液により吸引ノズルの内壁を洗浄するようにすることが開示されている。また、特許文献４には、先端部に洗浄液の噴出口と塗布液の吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにおいて、二重管の中心軸部に設けられた洗浄液の噴出管の噴出口が噴出管の先端部及び管壁より吸引ノズル内壁に向けて複数設けたことが開示されている。また、特許文献５には、先端部に洗浄液の噴出口と塗布液の吸引口とを設けた二重管構造の吸引ノズルにおいて、吸引ノズルとウエブとを相対移動させながら厚塗り部の塗布液を吸引すると共に、吸引ノズルの塗布面との対向部が塗布面から見て相対移動の下流側に向かうに従って次第に離間するようにしたことが開示されている。
【特許文献１】特開昭５６−７３５７９号公報
【特許文献２】実開昭６０−４９９４９号公報
【特許文献３】特開平２―９９１６６号公報
【特許文献４】特開平７−２９９４１０号公報
【特許文献５】特開２００２−６６４３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１〜５の吸引方法によって厚塗り部分の塗布液を吸引し続けると、いずれの場合にも吸引ノズルの吸引口や吸引通路に塗布液の固着が発生し、吸引ノズルが詰まってしまうという問題があり、吸引ノズルの詰まり解消対策としては不十分であることが分かった。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、長時間連続吸引しても吸引ノズルの詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に且つ安定して吸引することができる塗布液の吸引方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、吸引ノズルの吸引口や吸引通路における塗布液の固着による目詰まりが、水系塗布液よりも溶剤系塗布液の場合に発生し易く、特に溶剤系塗布液の中でも揮発し易い高蒸気圧の溶媒（揮発性の高い溶媒）を使用した場合に発生し易いことに着目した。即ち、塗布液の固着の原因として、吸引ノズルによる吸引時の減圧により塗布液中の溶媒蒸発が促進され、塗布液濃度が濃くなったり、蒸発の際に奪われる気化熱により吸引口や吸引通路が冷えたりすることで、塗布液が固着し易くなるとの知見を得た。従って、塗布液を溶解する溶媒として揮発しにくい低蒸気圧の溶媒を使用すればよいが、溶媒の種類は塗布液の種類によって決まってしまうケースが多く、任意に変えることはできない。本発明は係る知見に基づいてなされたものである。
【００１０】
本発明の請求項１は、前記目的を達成するために、連続走行するウエブに塗布液を塗布した後、厚塗り部分の塗布液を吸引ノズルにより吸引する塗布液の吸引方法において、前記吸引ノズルのノズル先端部に低蒸気圧の洗浄液を供給して、前記吸引ノズル内に吸引された塗布液に混合することにより、前記塗布液の溶媒蒸気圧を低下させることを特徴とする塗布液の吸引方法を提供する。
【００１１】
請求項１の発明によれば、吸引ノズルのノズル先端部に低蒸気圧の洗浄液を供給して吸引された塗布液に混合することにより、塗布液の溶媒蒸気圧を低下させるようにしたので、吸引時の減圧により塗布液中の溶媒が蒸発しにくくなる。これにより、塗布液濃度が濃くなったり、蒸発の気化熱により吸引口や吸引通路が冷えにくくなったりするので、塗布液の固着が抑制される。従って、長時間連続吸引しても吸引ノズルの詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に且つ安定して除去することができる。
【００１２】
尚、塗布液の厚塗り部分は、通常、ウエブ端部に形成されるが、本発明はウエブ端部の厚塗りの吸引に限定するものではなく、例えばウエブ中央部に厚塗りがある場合にも適用できる。
【００１３】
請求項２は請求項１において、前記洗浄液は、２５℃における蒸気圧が８０ｍｍＨｇ以下であることを特徴とする。
【００１４】
請求項２は、吸引ノズルの目詰まりが発生しないための洗浄液の蒸気圧を規定したものである。即ち、２５℃における蒸気圧が８０ｍｍＨｇ以下の低蒸気圧の洗浄液をノズル先端部に供給して吸引ノズル内に吸引された塗布液に混ぜることにより、目詰まりを抑制できる。２５℃における洗浄液の更に好ましい蒸気圧は６２ｍｍＨｇ以下である。この場合、吸引ノズルの吸引圧力としては１０〜７０ｋＰａの範囲が好ましく、洗浄液の流量としては、１００〜５００ｃｃ／分の範囲が好ましい。
【００１５】
請求項３は請求項１において、前記洗浄液は、２５℃における蒸気圧が１５ｍｍＨｇ以下の溶剤を２０体積％以上含むことを特徴とする。
【００１６】
請求項３は、吸引ノズルの目詰まりが発生しないための洗浄液を溶剤で調製する場合に、どの程度の蒸気圧の溶剤をどの程度配合すればよいかを示したものである。即ち、２５℃における蒸気圧が１５ｍｍＨｇ以下の溶剤を２０体積％以上含むように調製した洗浄液を、ノズル先端部に供給して吸引される塗布液に混ぜることにより、目詰まりを抑制できる。更に好ましい洗浄液は、２５℃における蒸気圧が１５ｍｍＨｇ以下の溶剤を４０体積％以上含むように調製したものである。この場合、吸引ノズルの吸引圧力としては１０〜７０ｋＰａの範囲が好ましく、洗浄液の流量としては、１００〜５００ｃｃ／分の範囲が好ましい。
【００１７】
請求項４は請求項１又は２において、前記洗浄液は、前記塗布液の溶媒と混合することにより調製されることを特徴とする。
【００１８】
洗浄液は低蒸気圧であることが必要であるが、塗布液に対する溶解性が低過ぎると、洗浄液と吸引された塗布液とが混合した際に、塗布液中の溶質が析出してしまい目詰まりの要因になる。従って、洗浄液は塗布液に対する溶解性も有することが必要である。
【００１９】
請求項４によれば、塗布液の溶媒と混合することにより洗浄液を調製するようにしたので、ノズル先端部において洗浄液が塗布液に混ざった際に、塗布液の溶質が析出することがない。
【００２０】
請求項５は請求項１〜４の何れか１において、前記洗浄液の温度を、前記塗布液の塗布温度よりも５〜１０℃高くすることを特徴とする。
【００２１】
低蒸気圧の洗浄液を吸引された塗布液に混ぜた場合であっても、吸引時の減圧により溶媒が多少は揮発して吸引口や吸引通路を冷やすので、その際の温度低下を見込んで洗浄液の温度を加温しておくことが好ましい。しかし、洗浄液の温度を余り高く加温し過ぎると溶媒が揮発し易くなるので、塗布液の塗布温度よりも５〜１０℃高くなるように加温することが好ましい。
【００２２】
本発明の請求項６は、前記目的を達成するために、連続走行するウエブに塗布液を塗布した後、厚塗り部分の塗布液を吸引ノズルにより吸引する塗布液の吸引装置において、前記吸引ノズルのノズル先端部に、前記塗布液の溶媒蒸気圧よりも低い低蒸気圧の洗浄液を供給する洗浄液供給ラインを設けたことを特徴とする塗布液の吸引装置を提供する。
【００２３】
請求項６は、本発明を装置として構成したものである。
【００２４】
請求項７は請求項６において、前記吸引ノズルで吸引した塗布液、及び前記吸引ノズルに供給した洗浄液を前記洗浄液供給ラインに戻す戻しラインを設けたことを特徴とする。
【００２５】
吸引ノズルで吸引した塗布液、及び吸引ノズルに供給した洗浄液を前記洗浄液供給ラインに戻す戻しラインを設けたので、吸引した塗布液や洗浄液を、洗浄液として再利用することができる。この場合、再利用する洗浄液が、２５℃において８０ｍｍＨｇ以下の蒸気圧になるように、再調整することが好ましい。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明の塗布液の吸引方法及び装置によれば、長時間連続吸引しても吸引ノズルの詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に安定して吸引することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付図面に従って、本発明に係る塗布液の吸引方法及び装置の好ましい実施の形態について説明する。
【００２８】
図１は、吸引ノズル１２を備えた吸引装置１０の全体構成を示した概念図である。また、図２はウエブ１４に塗布された塗布液１８の厚塗り部分１８Ａを吸引ノズル１２で吸引するところを上から見た図であり、図３は吸引ノズル１２の構造を示した断面図である。
【００２９】
図１に示すように、連続走行するウエブ１４に塗布装置１６で塗布液１８を塗布した後、ウエブ１４はパスローラ２０に巻き掛けられて矢印方向に走行する。尚、本実施の形態では、塗布装置１６として、ロール塗布法の装置で示したが、これには限定されない。
【００３０】
ウエブ１４を巻き掛けたパスローラ２０の対向位置には吸引ノズル１２が設けられ、この吸引ノズル１２によりウエブ１４の厚塗り部分の塗布液１８が所定量吸引される。
【００３１】
図２に示されるように、塗布層を形成した塗布液１８の厚塗り部分１８Ａは、通常、ウエブ１４の幅方向端部に形成されるので、吸引ノズル１２はウエブ１４の両端部位置に配置される（尚、図２ではウエブ両端部の一方側のみを示している）。また、吸引ノズル１２による塗布液１８の吸引量は、厚塗り部分１８Ａがウエブ中央部と同等の塗布厚みになるまで吸引され、吸引ノズル１２の吸引圧力、吸引ノズルの先端（吸引口部分）と厚塗り部分１８Ａとの距離、ウエブ１４の走行速度等との関係により設定される。
【００３２】
吸引ノズル１２の先端と厚塗り部分１８Ａとの距離やウエブ端からの距離の調整は、図２のように、吸引ノズル１２の位置決め装置２２によって行われる。即ち、吸引ノズル１２は、ノズル固定ブランケット２４及び架台２６を介してＸ−Ｙテーブル２８に支持され、Ｘ−Ｙテーブル２８が基台２９に支持される。そして、幅が異なるウエブ１４を連続塗布する際、自動的にウエブ端に吸引ノズル１２を移動させるように、基台２９は、図示しないウエブ端検出器に基づいて動作するシリンダによって移動するように構成されている。
【００３３】
Ｘ−Ｙテーブル２８の構造については、公知のものを使用することができ、例えばＹ軸用マイクロメータ付きのＹ軸駆動部２８Ａを駆動することにより、吸引ノズル１２の先端と厚塗り部分１８Ａの距離（図２のＹ−Ｙ軸方向）が調整され、Ｘ軸用マイクロメータ付きのＸ軸駆動部２８Ｂを駆動することにより、ウエブ端からの距離（図２のＸ−Ｘ軸方向）が調整される。尚、位置決め装置２２は、前述のウエブ端検出装置に接続されており、常にウエブ端位置が分かるようになっている。
【００３４】
図３に示すように、吸引ノズル１２は、主として、内部が空洞な円錐形状の先端ブロック３０と、先端ブロック３０に繋がると共に内部に空洞が形成された円柱状の胴体ブロック３２と、内部に吸引路３４が形成された吸引ブロック３６とで構成される。
【００３５】
先端ブロック３０の先端中心には、ウエブ１４に形成された厚塗り部分１８Ａの塗布液１８を吸引する吸引口３８が形成される。吸引口３８の形状は、丸形状でもスリット形状でもよい。先端ブロック３０の空洞部分４０には、円錐形状の駒部材４２が設けられ、駒部材４２の中心軸上には貫通孔４４が形成されると共に、円錐面部分４６には螺旋溝４８が形成される。また、駒部材４２の先端が平坦状になっていることから、先端ブロック３０に形成された吸引口３８と駒部材４２の先端との間には、空間部（以後、混合用空間５０という）が形成される。そして、駒部材４２に形成された螺旋溝４８が混合用空間５０と胴体ブロック３２の空洞部分５２とを連通するように形成される。
【００３６】
また、胴体ブロック３２内の中心軸上に後部壁５４を貫通して吸引管５６が設けられると共に、吸引管５６の先端部は駒部材４２の貫通孔４４に接続され、基端部は吸引ブロック３６の吸引路３４に接続される。この吸引路３４は、吸引管５６側から後端側にいくほどにラッパ管状に拡径しており、後端部が図１に示すように吸引ライン５７に連結される。
【００３７】
吸引ノズル１２の吸引口３８から、混合用空間５０、吸引管５６、及び吸引路３４を含めて吸引通路と称することにする。
【００３８】
また、図３のように、胴体ブロック３２の側面には空洞部分５２に連通する連結管６０が設けられ、この連結管６０が、図１に示すように、吸引ノズル１２によって吸引される塗布液の溶媒蒸気圧よりも低い低蒸気圧の洗浄液を吸引ノズル１２に供給するための洗浄液供給ライン７７に接続される。
【００３９】
図１に示すように、吸引ライン５７は、吸引ノズル１２と真空ポンプ７０とを繋ぐ吸引ライン配管５８上に、気液分離タンク６４、バッファータンク６６、及びフィルタ６８を設けて構成される。そして、気液分離タンク６４では、吸引ノズル１２により吸引された塗布液１８や吸引ノズル１２に供給した洗浄液が同伴する吸引エアと分離される。また、気液分離タンク６４には真空計７２が設けられると共に、気液分離タンク６４とバッファータンク６６とを繋ぐ配管部分には圧力弁７４を有する共に先端が大気に開放された圧力調整配管７６が接続される。そして、真空ポンプ７０の回転数及び／又は圧力弁７４の開度を調整することにより、気液分離タンク６４で分離された液体が真空ポンプ７０側に行かないように調整すると共に、吸引ノズル１２の吸引圧力を所定圧力に調整し且つ変動しないように制御する。
【００４０】
一方、洗浄液供給ライン７７は、吸引ノズル１２の連結管６０と洗浄液調製タンク８２とを繋ぐ供給配管６２上に、流量計７８及び流量調整バルブ８０を設けて構成される。洗浄液調製タンク８２には、低蒸気圧溶媒を供給する第１の配管８４と、塗布液１８を溶解したと同じ組成か同等の組成の塗布液溶媒を供給する第２の配管８６とが接続され、第１及び第２の配管から供給する低蒸気圧溶媒と塗布液溶媒との供給比率を変えることにより、洗浄液調整タンク８２内に２５℃における蒸気圧が８０ｍｍＨｇ以下（より好ましくは６２ｍｍＨｇ以下）の洗浄液を調製する。第１の配管８４から洗浄液調製タンク８２に供給する低蒸気圧溶媒としては、塗布液に対する溶解性を有し、且つ揮発性が低いことが必要である。従って、塗布液の種類によって適宜選択されることが好ましいが、例えばガンマブチロラクトン、ジメチルスルホキシド（ＤＭＳＯ）、乳酸メチル（ＭＬ）等を好適に使用できる。また、第２の配管８６から洗浄液調製タンク８２に供給する塗布液溶媒としては、塗布液を調製する際に使用した溶媒を好適に使用できる。これにより、低蒸気圧溶媒の塗布液溶解性が多少悪くても、塗布液溶媒でカバーすることができるからである。
【００４１】
また、洗浄液供給ライン７７の供給配管６２や洗浄液調製タンク８２には、加温手段（図示せず）を設け、吸引ノズル１２に供給される洗浄液の温度を、塗布液の塗布温度よりも５〜１０℃高くすることが好ましい。これは、低蒸気圧の洗浄液を吸引された塗布液に混ぜた場合であっても、吸引時の減圧により溶媒が多少は揮発して吸引口や吸引通路を冷やすので、その際の温度低下を見込んで洗浄液の温度を加温しておくことが好ましいからである。加温手段としては、リボンヒータや温水を流すジャケット等を使用できる。
【００４２】
また、吸引ライン５７と洗浄液供給ライン７７とは戻しライン８７を介して接続される。即ち、洗浄液調製タンク８２は、戻し配管８８により、フィルタ９０及び耐真空用の送液ポンプ９２を介して前記した気液分離タンク６４の底部に接続される。これにより、気液分離タンク６４で分離された液体（塗布液及び洗浄液）が洗浄液調製タンク８２に戻されて再利用される。尚、気液分離タンク６４で分離された液体を再利用しない場合には、戻し配管８８等を設ける必要はないが、気液分離タンク６４で分離された液体は、定期的にタンク外に排出する必要がある。
【００４３】
次に上記の如く構成された吸引装置１０の吸引ノズル１２によりウエブ１４に塗布された厚塗り部分１８Ａの塗布液１８を吸引する方法を説明する。厚塗り部分１８Ａがウエブ１４の両端部に形成された場合で説明する。
【００４４】
先ず、ウエブ１４の両端部位置に、位置決め装置２２により吸引ノズル１２を位置決めする。次に、真空ポンプ７０を稼働して吸引ノズル１２の吸引通路に吸引力を発生させる。この吸引力により、ウエブ１４の両端部に形成された厚塗り部分１８Ａの塗布液１８が吸引口３８から吸引通路に吸引されると共に、洗浄液調製タンク８２内の洗浄液が供給配管６２及び連結管６０を介して吸引ノズル１２内の空洞部分５２に吸引される。空洞部分５２に吸引された洗浄液は、駒部材４２の螺旋溝４８を流れて混合用空間５０に至り、ここで吸引された塗布液１８と混合される。この洗浄液と塗布液１８との混合操作により、吸引時の減圧により塗布液中の溶媒が蒸発しにくくなる。これにより、塗布液濃度が濃くなったり、蒸発の気化熱により吸引口３８や吸引通路が冷えにくくなったりするので、塗布液の固着が抑制される。従って、長時間連続吸引しても吸引ノズル１２の詰まりが発生しないので、厚塗り部分の塗布液を確実に且つ安定して除去することができる。このときの吸引条件としては、吸引ノズル１２の吸引圧力が１０〜７０ｋＰａの範囲、洗浄液の流量が１００〜５００ｃｃ／分の範囲が好ましい。
【００４５】
また、図４に示すように、吸引ノズル１２の吸引口３８と厚塗り部分１８Ａとの距離（Ｌ１）は０．２〜２ｍｍの範囲が好ましい。また、水平方向における吸引口３８の位置は、ウエブ１４の端部から吸引口３８の中心位置までの水平方向距離が、ウエブ端部の外側への距離（Ｌ２）が２ｍｍ、ウエブ端部から内側への距離（Ｌ３）が５ｍｍの範囲内に入るようにすることが好ましい。
【実施例】
【００４６】
（１）塗布条件
ウエブ１４として厚み０．３ｍｍ、幅１０００ｍｍの帯状のアルミニウム板を走行させながら、ライン速度（塗布速度）５０ｍ／分で感光層塗布液をロール方式の塗布装置１６により１５ｃｃ／ｍ２〜４０ｃｃ／ｍ２の範囲の一定塗布量になるように塗布した後、塗布層を乾燥して平版印刷版を製造した。感光層塗布液は、溶媒としてメチルエチルケトンとプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合溶媒を使用し、塗布液の粘度が５〜５０Ｐａ・ｓの範囲で一定粘度になるように調製した。そして、塗布運転を連続１０日間行いながらウエブ幅端部の厚塗り部分１８Ａの塗布液１８を吸引ノズル１２により連続吸引した。
【００４７】
（２）吸引条件
吸引ノズル１２による吸引圧力は３５ｋＰａとし、吸引ノズル１２の先端部に供給する洗浄液の流量を１５０ｃｃ／分とし、洗浄液の温度を２５℃とした。また、吸引ノズル１２の吸引口３８と厚塗り部分１８Ａとの距離（Ｌ１）を１ｍｍとし、水平方向距離としてウエブ端部から内側への距離（Ｌ３）が２ｍｍになるようにした。
【００４８】
使用した洗浄液は、上記した塗布液の混合溶媒に、２５℃での蒸気圧が１２．２ｍｍＨｇのガンマブチロラクトンを２０容積％混合して、蒸気圧を７８ｍｍＨｇに調製したもの（実施例１）と、ガンマブチロラクトンを４０容積％混合して、蒸気圧を７８ｍｍＨｇに調製したもの（実施例２）の２試験区について実施した。
【００４９】
比較例の洗浄液として、塗布液を調製したときの溶媒（メチルエチルケトンとプロピレングリコールモノメチルエーテルの混合溶媒…２５℃での蒸気圧９５ｍｍＨｇ）をそのまま使用した。
【００５０】
その結果、比較例では、塗布開始から１日程度経過した頃から吸引ノズル装置の吸引口や吸引配管に塗布液の固着が認められた。これに対して、実施例１は、塗布開始から５日程度経過した頃から塗布液の固着が若干認められた。また、実施例２では塗布開始から１０日後でも塗布液の固着は全く認められなかった。
【００５１】
尚、実施例は有機溶媒系塗布液で実施したが、水系塗布液の場合にも本発明は適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】吸引装置の全体構成を示す概念図
【図２】ウエブに塗布された塗布液の厚塗り部分を吸引ノズルで吸引するところを上から見た図
【図３】吸引ノズルの構造を示す断面図
【図４】吸引ノズルと厚塗り部分との位置関係を示した説明図
【符号の説明】
【００５３】
１０…吸引装置、１２…吸引ノズル、１４…ウエブ、１６…塗布装置、１８…塗布液、１８Ａ…厚塗り部分、２０…パスローラ、２２…位置決め装置、２４…ノズル固定ブランケット、２６…架台、２８…Ｘ−Ｙテーブル、２９…基台、３０…先端ブロック、３２…胴体ブロック、３４…吸引路、３６…吸引ブロック、３８…吸引口、４０…先端ブロックの空洞部分、４２…駒部材、４４…貫通孔、４６…円錐面部分、４８…螺旋溝、５０…混合用空間、５２…胴体ブロックの空洞部分、５４…後部壁、５６…吸引管、５７…吸引ライン、５８…吸引ライン配管、６０…連結管、６２…供給配管、６４…気液分離タンク、６６…バッファータンク、６８…フィルタ、７０…真空ポンプ、７２…真空計、７４…圧力弁、７６…圧力調整配管、７７…洗浄液供給ライン、７８…流量計、８０…流量調整バルブ、８２…洗浄液調製タンク、８４…第１の配管、８６…第２の配管、８７…戻しライン、８８…戻し配管、９０…フィルタ、９２…送液ポンプ
【図１】
2007237039.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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