(57)【要約】【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ローダーカセットから送り出されたガラス材料製のハードディスクを搬送する第１ウォーターベアリング、第１検出間隙をあけて該第１ウォーターベアリングに連接された第２ウォーターベアリング、上記第１検出間隙を通過するハードディスクを横方向から検出し上記ローダーカセットのローダーエレベータ側に信号を出力する第１センサー、上記第２ウォーターベアリングで洗浄部に送られてきたハードディスクの前進端に当接し該ハードディスクを回転させる傾斜面を有するテーパー状のドライブローラ、該ドライブローラで回転されているハードディスクの表面にブラシを接触させてスクラブ洗浄する洗浄手段、スクラブ洗浄されたハードディスクを搬出する第３ウォーターベアリング、第２検出間隙をあけて該第３ウォーターベアリングに連接されハードディスクをアンローダーカセットへ送る第４ウォーターベアリング、該第２検出間隙を通過するハードディスクを横方向から検出し上記アンローダーカセットのアンローダーエレベータ側に信号を出力する第２センサーを具備するガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項２】
上記第３ウォーターベアリングの上方には、該第３ウォーターベアリングで搬出されるハードディスクの上面をリンスするようシャワーノズルが設けられている請求項１に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項３】
上記洗浄手段は、ベルト状のブラシでスクラブ洗浄する回転ベルトブラシを上下に近接して設けたベルト式洗浄部を含み、上方の回転ベルトブラシと下方の回転ベルトブラシの間にハードディスクを反転して下方の回転ベルトブラシへ移送する反転機構を設けた請求項１に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項４】
上記回転ベルトブラシの上方には、該回転ベルトブラシ上で回転するハードディスクに高圧水を噴射する噴出ノズルが設けられている請求項３に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項５】
上記反転機構は、斜め下方に向けてハードディスクを傾斜させるブラシやウォーターベアリング及び下方の回転ベルトブラシ上に落下するハードディスクの下面に流体を噴出する反転ノズルを含む請求項３に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項６】
上記洗浄手段は、ハードディスクの上下を挟着してスクラブ洗浄する上ブラシ及び下ブラシを含む請求項１に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【請求項７】
上記アンローダーカセットは、ハードディスクを収納した後に傾斜される請求項１に記載のガラスハードディスクの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクは、メモリー容量を多くすることができ、画像が鮮明で音楽や動画等のメモリーとして好適に使用され、携帯電話、ビデオカメラ、パソコン等種々の用途が開発されている。このハードディスクは、アルミニウム材料やガラス材料で作られ、ディスクサイズとしては例えば、０．８５インチは外径２２ｍｍ×内径６ｍｍ、１．０インチは外径２７．４ｍｍ×内径７ｍｍ、１．８インチは外径４８ｍｍ×内径１２ｍｍ、２．５インチは外径６５ｍｍ×内径２０ｍｍというように中央孔を有する円盤状に作られ、メモリー容量に応じて大口径のものが使用されている。
【０００３】
上記ガラス材料製のハードディスクを製造するには、板ガラスからディスクサイズに抜き、内外径をグラインダーにより研磨加工して仕上げている。この仕上げは、両面ポリッシュして仕上げられるが（例えば、特許文献１参照）、高い洗浄レベルで効率よく製造するためにはディスクを乾燥させずに時間当り１０００〜１５００枚程度物理的に全面洗浄しなければならず、従来提案されているような方法ではそのような高効率で洗浄することがむずかしい。ウエーハの洗浄のようにハードディスクを水平方向に移送しながら洗浄すれば、効率よくすることが可能であるが、上述したようにハードディスクは種々のサイズがあるので、洗浄部でサイズの異なるハードディスクを回転させるのが面倒である。また、ガラス材料製のハードディスクは、水に濡れていると透明状になるので、上方からセンサーで簡単に検知しにくく、そのため洗浄ラインを制御するための制御信号を得にくかった。
【特許文献１】特開２００１−１７９１８８号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の解決課題は、ガラス材料製のハードディスクを水平方向へ移送しながら効率よく高い洗浄レベルで洗浄でき、サイズの異なるハードディスクでも確実に回転させて洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、ローダーカセットから送り出されたガラス材料製のハードディスクを搬送する第１ウォーターベアリング、第１検出間隙をあけて該第１ウォーターベアリングに連接された第２ウォーターベアリング、上記第１検出間隙を通過するハードディスクを横方向から検出し上記ローダーカセットのローダーエレベータ側に信号を出力する第１センサー、上記第２ウォーターベアリングで洗浄部に送られてきたハードディスクの前進端に当接し該ハードディスクを回転させる傾斜面を有するテーパー状のドライブローラ、該ドライブローラで回転されているハードディスクの表面にブラシを接触させてスクラブ洗浄する洗浄手段、スクラブ洗浄されたハードディスクを搬出する第３ウォーターベアリング、第２検出間隙をあけて該第３ウォーターベアリングに連接されハードディスクをアンローダーカセットへ送る第４ウォーターベアリング、該第２検出間隙を通過するハードディスクを横方向から検出し上記アンローダーカセットのアンローダーエレベータ側に信号を出力する第２センサーを具備するガラスハードディスクの洗浄装置が提供され、上記課題が解決される。
【０００６】
また、本発明によれば、上記洗浄装置の洗浄手段として、ベルト状のブラシで洗浄する回転ベルトブラシを上下に近接して設け、ハードディスクを反転させて片面づつ洗浄するようにしたベルト式洗浄部やハードディスクを上下のブラシで挟着して洗浄するブラシ挟着式洗浄部を用いたガラスハードディスクの洗浄装置が提案され、上記課題が解決される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は上記のように構成され、ガラスハードディスクは、第１〜第４のウォーターベアリングで搬送されながら洗浄されるので、該ハードディスクが乾燥しないようにでき、洗浄部まで送られたハードディスクは、テーパー状のドライブローラの傾斜面に前進端が当り、該ドライブローラにより回転されるから、サイズの異なるハードディスクでも確実に回転され、回転ベルトブラシや上下のブラシにより洗浄することができる。
【０００８】
また、上記第１、第２ウォーターベアリング間及び第３、第４ウォーターベアリング間に第１検出間隙と第２検出間隙を形成し、各検出間隙を通過するハードディスクを横方向から検出する第１センサー及び第２センサーを設けたので、ハードディスクが水で濡れていてもディスク上の水滴を確実に検知でき、その検知信号をローダーエレベータ側に出力することにより、ローダーカセットから１枚づつハードディスクを送り出し、またアンローダーエレベーター側に出力することにより洗浄後のハードディスクをアンローダーカセットに自動的に収納することができ、効率よく高い洗浄レベルで洗浄作業をすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１は、本発明の洗浄装置の一実施例を示す説明図、図２はその平面からみた説明図であり、上述のように研磨工程を終了したガラス材料製のハードディスク（１）は、ローダーカセット（２）内に収納され、純水が流入しているオーバーフロー槽（３）に浸漬されている。このローダーカセット（２）は、ローダーエレベータ（４）により１段づつ上昇し、ディスクプッシャー（５）によりハードディスクが送り出される。このローダーエレベータ（４）等の駆動は、後記する第１センサーの出力信号により制御される。
【００１０】
上記オーバーフロー槽（３）に隣接して、上記ハードディスクを受け取って移送する第１ウォーターベアリング（６）があり、該第１ウォーターベアリング（６）に連接して第２ウォーターベアリング（７）が設けられている。この第１ウォーターベアリング（６）と第２ウォーターベアリング（７）の間には、第１検出間隙（８）が形成され、この第１検出間隙（８）を通過するハードディスクを横方向から検出し、上記ローダーエレベータ（４）側へ検知信号を出力するよう第１センサー（９）を設けてある。この第１センサー（９）としては、透過型の光センサー等が好適に使用できる。
【００１１】
上記第２ウォーターベアリング（７）によりハードディスク（１）は、スクラブ洗浄（アルカリスクラブ）するための洗浄部に送られ、その前進端がテーパー状のドライブローラ（１０）の傾斜面（１１）に当り、該ドライブローラ（１０）により回転される。このドライブローラ（１０）は、ハードディスク（１）の前進端に対向して昇降可能に設けられ、図１、図２に示す実施例では対向間隔を変えることによりサイズの異なるハードディスクでも確実に回転させることができるよう構成されている。
【００１２】
上記洗浄部に設ける洗浄手段としては、ハードディスクの表面にブラシを接触させてスクラブ洗浄できる形式の適宜の手段が用いられ、図１、図２に示す装置では、ベルト状のブラシを表面に有する回転ベルトブラシを上下に近接して設けたベルト式洗浄部が用いられている。このベルト式洗浄部を詳述すると、タイミングプーリ（１２）により回転されるタイミングベルト（１３）に、図３に示すように長さ約４ｍｍ程度のブラシ（１４）を植設したブラシパッド（１５）を両面テープ等の接着剤で接着して上方回転ベルトブラシ（１６）と下方回転ベルトブラシ（１７）を設け、該上方回転ベルトブラシ（１６）の上面をハードディスクの搬出側へ向けて正転し、上記下方回転ベルトブラシ（１７）の上面を搬出側、搬入側へ向けて正転、反転可能に設けてあり、各ベルトブラシの両側にはディスクが脱出しないようディスクガイド（１８）を設けてある。
【００１３】
また、上記ドライブローラ（１０）は傾斜面（１１）が下側を向くようにレバー（１９）（図４）の先端に設けられ、該レバー（１９）をエアシリンダその他の適宜の移動手段（２０）で回動させて上記ドライブローラ間の対向間隔を調整し、上記ハードディスク（１）の外周縁に上記傾斜面（１１）を当接させ、該ドライブローラ（１０）を回転することにより、該ハードディスクを回転させている。
【００１４】
上記ハードディスクを回転する際、該ハードディスク（１）の上面には、高圧水が噴射ノズル（２１）から噴射される（図３）。この噴射ノズル（２１）は、ハードディスク（１）の全面に高圧水を噴出できるようフルコーンノズルが好適に使用され、この水圧によりハードディスク（１）の厚さの約半分程度が上記回転ベルトブラシ（１６）、（１７）のブラシ（１４）中に沈むようにしてある。それにより、ハードディスク（１）の外周縁及び内周縁にまでブラシが確実に摺接するので、ハードディスクのエッジまでも充分に洗浄することができる。
【００１５】
上方回転ベルトブラシ（１６）で片面をスクラブ洗浄したハードディスク（１）は、反転して下方回転ベルトブラシ（１７）へ送られるが、この際該回転ベルトブラシ（１６）、（１７）間にはハードディスクを確実に反転させるための反転機構を設けてある。図５は反転機構の一実施例を示し、上方回転ベルトブラシ（１６）の先端に対向して斜め下方に向けて水を噴出する反転用ウォーターベアリング（２２）を設けてあり、該反転用ウォーターベアリング（２２）の下方に水若しくはエア等の流体を噴出する反転ノズル（２３）を設けて下方回転ベルトブラシ上に落下するハードディスクの下面に流体を吹きつけ、確実に反転するようにしてある。なお、反転用ウォーターベアリングの代りに斜め下方に向くブラシを設けることもできる。
【００１６】
上記下方回転ベルトブラシ（１７）上にハードディスクが反転して落下すると、該下方回転ベルトブラシ（１７）は最初に搬入側に少し反転し、非洗浄面を上向きにしたハードディスクを安定状態に載置する。その後、適宜位置に設けたストッパー（図示略）にディスクが当ると、該下方回転ベルトブラシ（１７）は搬出側に向けて正転してハードディスクを上記上方回転ベルトブラシ（１６）部分とほぼ同様に設けたテーパー付のドライブローラ（１０）及び噴射ノズル（２１）を有する洗浄部へ移送し、ハードディスク（１）の他面をスクラブ洗浄する。
【００１７】
上記スクラブ洗浄されたハードディスク（１）を受け取るよう第３ウォーターベアリング（２４）が設けられている。該第３ウォーターベアリング（２４）は、上記下方回転ベルトブラシ（１７）に連設され、図６に示すように  該第３ウォーターベアリング（２４）上を移動するハードディスクの上面に純水等を噴射してリンスできるようシャワーノズル（２５）が上方に適宜数設けられている。なお、ハードディスク（１）の下面側は、上記第３ウォーターベアリング（２４）からの水によりリンスされる。
【００１８】
上記第３ウォーターベアリング（２４）に隣接して第４ウォーターベアリング（２６）が設けられている。該第３、第４ウォーターベアリング（２４）、（２６）間には、第２検出間隙（２７）が形成され、該第２検出間隙（２７）を通過するハードディスクを横方向から検出し、アンローダーエレベータ（２８）側へ検出信号を出力するよう第２センサー（２９）を設けてある。この第２センサー（２９）としては、透過型の光センサー等が好適に使用することができる。なお、上記第２検出間隔（２７）は、第３ウォーターベアリング（２４）上の水が第４ウォーターベアリング（２６）に流れ込まない程度でかつハードディスクを受け渡すことができる間隔に設定される。
【００１９】
また、上記第２検出間隙（２７）には、ストッパーピン（３０）が上下動可能に設けられている。このストッパーピン（３０）は、上下動したときにディスクのエッジを擦らないよう先端がテーパー状に形成され、上記第３ウォーターベアリング（２４）により移送されてきたハードディスク（１）の前進を止め、上記シャワーノズル（２５）で所望時間確実にリンスできるようにしてあり、該ストッパーピン（３０）を降下させるとハードディスク（１）は第４ウォーターベアリング（２６）へ移送される。
【００２０】
上記第４ウォーターベアリング（２６）によりハードディスク（１）はアンローダーカセット（３１）へ送られるが、該カセット内にハードディスク（１）を確実に挿入するために、該第４ウォーターベアリング（２６）上には上下動及び前後動可能なディスクプッシャー（３２）が設けられている。なお、ウォーターベアリング等をアンローダーカセット側へ傾斜して設ければ、ディスクプッシャーを省略することもできる。
【００２１】
上記アンローダーカセット（３１）は、アンローダーエレベータ（２８）により１段づつ降下し、ハードディスクはオーバーフロー槽（３３）に浸漬される。なお、上記ハードディスクをアンローダーカセット（３１）に収納して水中に浸漬する際ハードディスクが収納段から脱出しないよう上記アンローダーカセット（３１）は、ハードディスクを収納後その収納先端が下向きになるように傾斜する。
【００２２】
図７、図８は、洗浄手段として、上ブラシ（３４）及び下ブラシ（３５）を設けてハードディスク（１）を挟着してスクラブ洗浄するブラシ挟着式洗浄部の実施例が示されている。上記上ブラシ（３４）及び下ブラシ（３５）は、ウォーターベアリング（３６）間に回転可能に設けられ、下ブラシ（３５）を固定し、上ブラシ（３４）を上下動可能に設けてある。テーパー付のドライブローラ（３７）は、ウォーターベアリング（３６）に設けた孔（３８）に挿入され、傾斜面（３９）を上にした状態で上下動可能に設けられている。なお、隣接するウォーターベアリング（３６）側にエスケープピン（４０）を上下動可能に設け、上記ドライブローラ（３７）とエスケープピン（４０）でハードディスク（１）の前後端を挟み込むようにしてもよい。
【００２３】
上記の構成によりハードディスク（１）がウォーターベアリングにより洗浄部に搬送されてきたら、上記ドライブローラ（３７）が上昇し、上ブラシ（３４）が降下し、下ブラシ（３５）との間でハードディスク（１）を挟着し、ドライブローラ（３７）の傾斜面でディスクを回転させながらスクラブ洗浄する。第１スクラブ洗浄が終了したら、上記上ブラシ（３４）は回転しながら上昇し、ドライブローラ（３７）は降下し、下ブラシ（３５）によりハードディスク（１）は次のウォーターベアリング（３６）に送られ、続いて設けた洗浄部で第２スクラブ洗浄される。なお、これらのウォーターベアリング（３６）は上記第２、第３ウォーターベアリングで兼用してもよいし、第２、第３ウォーターベアリング間の適所に別に設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の一実施例を示す説明図。
【図２】図１を平面からみた説明図。
【図３】回転ベルトブラシ部分の側面図。
【図４】ベルト式洗浄部の平面図。
【図５】反転機構の説明図。
【図６】第３ウォーターベアリングと第４ウォーターベアリング部分の説明図。
【図７】他の実施例を示し、上下ブラシを有するブラシ挟着式洗浄部の説明図。
【図８】図７を平面からみた説明図。
【符号の説明】
【００２５】
１    ハードディスク
２    ローダーカセット
４    ローダーエレベータ
６    第１ウォーターベアリング
７    第２ウォーターベアリング
８    第１検出間隙
９    第１センサー
１０    ドライブローラ
１１    傾斜面
１６    上方回転ベルトブラシ
１７    下方回転ベルトブラシ
２１    噴射ノズル
２２    反転用ウォーターベアリング
２３    反転ノズル
２４    第３ウォーターベアリング
２５    シャワーノズル
２６    第４ウォーターベアリング
２７    第２検出間隙
２８    アンローダーエレベータ
２９    第２センサー
３１    アンローダーカセット
３４    上ブラシ
３５    下ブラシ
３７    ドライブローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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