(57)【要約】  【解決課題】  被処理空気中の有機溶剤の濃度の急激な変動に対応可能な、有機溶剤含有空気の処理方法を提供すること、すなわち、有機溶剤の濃度が急激に変動しても、浄化空気（大気中へ放出される処理後の空気）中の有機溶剤の含有量が増えることがない、有機溶剤含有空気の処理方法を提供することにある。  【解決手段】  吸着除去工程、再生工程及び燃焼工程を同時に行う、有機溶剤含有空気の処理方法であって、該吸着除去工程により生じる吸着処理空気と、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスとを混合して、混合空気を得、次いで、該混合空気中の該有機溶剤を酸化分解することを特徴とする有機溶剤含有空気の処理方法。【選択図】図１
2007237040.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤を含有する被処理空気を、吸着部材に通気させて、該被処理空気中の該有機溶剤を吸着除去する吸着除去工程、再生空気を、該有機溶剤を吸着した該吸着部材に通気させて該吸着部材を再生する再生工程、及び該再生工程で生じる濃縮空気を、燃焼炉に供給して、該濃縮空気中の該有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を有し、該吸着除去工程、該再生工程及び該燃焼工程を同時に行う、有機溶剤含有空気の処理方法であって、該吸着除去工程により生じる吸着処理空気と、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスとを混合して、混合空気を得、次いで、該混合空気中の該有機溶剤を酸化分解することを特徴とする有機溶剤含有空気の処理方法。
【請求項２】
外気を前記燃焼炉排気ガスに流入させ、該外気及び前記燃焼炉排気ガスを混合すると同時に、前記燃焼炉排気ガスの一部を抜き出し、前記再生空気として返送することを特徴とする請求項１記載の有機溶剤含有空気の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機溶剤を含有する被処理空気の処理を連続的に行う、有機溶剤含有空気の処理方法に関し、より具体的には、ゼオライト等の吸着剤が担持されている吸着部材により、被処理空気中の有機溶剤を吸着除去する吸着除去工程と、有機溶剤を吸着した該吸着部材の再生を行う再生工程、及び該吸着部材の再生により生じる、高濃度の有機溶剤を含有する空気中の有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を、同時に且つ連続的に行う、有機溶剤含有空気の処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶、半導体、ＬＥＤ、プラズマディスプレイ、樹脂又は塗料等の生産工程、あるいは、印刷、塗装又はクリーニング等の設備からは、例えば、ハロゲン化炭化水素、トルエン、酢酸エチル等の有機溶剤を含有する空気（以下、有機溶剤含有空気とも記載する。）が排出される。該有機溶剤は有害であるので、該生産工程、あるいは、印刷、塗装又はクリーニング等の設備の排出空気中の有機溶剤を、適切な方法で除去する必要がある。
【０００３】
そこで、従来より、ゼオライト等の吸着剤が担持されている吸着部材を備える吸着装置、及び酸化触媒が充填されている燃焼炉を有する有機溶剤含有空気の処理システムを用いて、有機溶剤を含有する被処理空気を、吸着部材に通気させて、該被処理空気中の該有機溶剤を吸着除去する吸着除去工程、再生空気を、該有機溶剤を吸着した該吸着部材に通気させて該吸着部材を再生する再生工程、及び該再生工程で生じる濃縮空気を、燃焼炉に供給して、該濃縮空気中の該有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を、同時に且つ連続的に行う、有機溶剤含有空気の処理方法が行われてきた。
【０００４】
従来の有機溶剤含有空気の処理方法について、図４を参照に説明する。図４は、従来の有機溶剤含有空気の処理方法を示すフロー図である。図４中、従来の有機溶剤含有空気処理システム５０は、吸着ゾーン及び再生ゾーンに分割されている吸着部材を備える吸着装置４１、及び酸化触媒が充填されている燃焼炉４２を有する。該吸着装置４１において、該吸着ゾーンに被処理空気Ｉを通気させることにより、被処理空気Ｉ中の有機溶剤の吸着除去を行うと同時に、該再生ゾーンに再生空気Ｊを通気させることにより、有機溶剤を吸着した吸着部材の再生を行う。該吸着部材の再生に用いられた再生空気Ｊは、高濃度の有機溶剤を含有する濃縮空気として該吸着装置４１から排出され、該濃縮空気は、濃縮空気送気管４７により、燃焼炉４２へ供給される。そして、該燃焼炉４２で、該濃縮空気中の有機溶剤を燃焼させて、該濃縮空気中の有機溶剤を除去し、燃焼炉排気ガスＬを該燃焼炉４２から排出させる。
【０００５】
この様に、従来の有機溶剤含有空気の処理方法では、被処理空気Ｉが吸着装置４１で処理されて生じる吸着処理空気Ｋ、及び該燃焼炉排気ガスＬが、大気へと放出される。
【０００６】
該燃焼炉では、有機溶剤が酸化触媒により燃焼するので、極めて大きな発熱が起こり、該酸化触媒は高温に晒されることになる。通常、該酸化触媒としては白金触媒が用いられているので、該酸化触媒の使用温度の上限は、５００℃であり、酸化触媒の温度が５００℃を超えると、該触媒の性能低下（熱劣化）が起こる。そのため、該酸化触媒の温度が５００℃を超えないように、該酸化触媒の温度を管理する必要がある。該酸化触媒の温度は、該燃焼炉の排気ガスの温度を測定し、該排気ガスの温度に応じて、該燃焼炉に供給される空気の温度を調節し、該酸化触媒の温度を制御する。該燃焼炉に供給される空気の温度は、通常２５０〜３００℃である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記従来の有機溶剤の処理方法では、該燃焼炉に供給される空気中の有機溶剤の濃度が高くなり過ぎると、有機溶剤を該燃焼炉で完全に燃焼させることができなくなる。すなわち、該燃焼炉で処理できる空気中の有機溶剤の濃度（含有量）には、上限がある。
【０００８】
該生産工程等から排出される有機溶剤含有空気、すなわち、被処理空気中の有機溶剤の濃度が変動することは当然であり、該被処理空気中の有機溶剤の濃度が高くなると、燃焼炉で処理される空気中の有機溶剤の濃度も高くなる。該燃焼炉に供給される空気中の有機溶剤の濃度上昇が小さい場合は、外気を取り入れて有機溶剤の濃度を下げて、該燃焼炉での処理限界濃度以下にして、対応することができる。しかし、工程トラブルが原因となる濃度変動は、濃度の上昇が著しいので、極めて多くの外気を取り入れて希釈しなければならないが、燃焼炉の処理量には制限があるため、取り入れる外気の量には制限があり、外気を取り入れることによる希釈では対応できない場合があった。
【０００９】
この様な場合、該燃焼炉の処理限界濃度を超える有機溶剤含有空気が、該燃焼炉に供給されるので、該燃焼炉で、有機溶剤を完全に燃焼させることができず、未燃の有機溶剤が、該燃焼炉の排気ガス中に混入することになる。そのため、未燃の有機溶剤を含有する燃焼炉の排気ガスが、大気中へ放出されるという問題があった。
【００１０】
従って、本発明の課題は、被処理空気中の有機溶剤の濃度の急激な変動に対応可能な、有機溶剤含有空気の処理方法を提供すること、すなわち、有機溶剤の濃度が急激に変動しても、大気中へ放出される処理後の空気中の有機溶剤の含有量が増えることがない、有機溶剤含有空気の処理方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明者らは、上記従来技術における課題を解決すべく、鋭意研究を重ねた結果、吸着装置で処理された吸着処理空気及び燃焼炉で処理された燃焼炉排気ガスを混合し、混合空気を得、該混合空気を酸化分解フィルター等を用いて酸化分解を行えば、燃焼炉の排気ガス中の有機溶剤の含有量が急激に変動しても、浄化空気中の有機溶剤の含有量が増えることがなく、安定して処理が行えることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【００１２】
すなわち、本発明（１）は、有機溶剤を含有する被処理空気を、吸着部材に通気させて、該被処理空気中の該有機溶剤を吸着除去する吸着除去工程、再生空気を、該有機溶剤を吸着した該吸着部材に通気させて該吸着部材を再生する再生工程、及び該再生工程で生じる濃縮空気を、燃焼炉に供給して、該濃縮空気中の該有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を有し、該吸着除去工程、該再生工程及び該燃焼工程を同時に行う、有機溶剤含有空気の処理方法であって、該吸着除去工程により生じる吸着処理空気と、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスとを混合して、混合空気を得、次いで、該混合空気中の該有機溶剤を酸化分解する有機溶剤含有空気の処理方法を提供するものである。
【００１３】
また、本発明（２）は、外気を前記燃焼炉排気ガスに流入させ、該外気及び前記燃焼炉排気ガスを混合すると同時に、前記燃焼炉排気ガスの一部を抜き出し、前記再生空気として返送する前記本発明（１）記載の有機溶剤含有空気の処理方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の有機溶剤含有空気の処理方法によれば、処理空気中の有機溶剤の濃度の急激な変動に対応可能な、有機溶剤含有空気の処理方法、すなわち、有機溶剤の濃度が急激に変動しても、大気中へ放出される処理後の空気中の有機溶剤の含有量が増えることがない、有機溶剤含有空気の処理方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の有機溶剤含有空気の処理方法は、有機溶剤を含有する被処理空気を、吸着部材に通気させて、該被処理空気中の該有機溶剤を吸着除去する吸着除去工程、再生空気を、該有機溶剤を吸着した該吸着部材に通気させて該吸着部材を再生する再生工程、及び該再生工程で生じる濃縮空気を、燃焼炉に供給して、該濃縮空気中の該有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を有し、該吸着除去工程、該再生工程及び該燃焼工程を同時に行う、有機溶剤含有空気の処理方法であって、該吸着除去工程により生じる吸着処理空気と、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスとを混合して、混合空気を得、次いで、該混合空気中の該有機溶剤を酸化分解する有機溶剤含有空気の処理方法である。
【００１６】
該本発明の有機溶剤含有空気の処理方法について、図１を参照に説明する。図１は、本発明の有機溶剤含有空気の処理方法の実施の形態例を示すフロー図である。図１中、有機溶剤含有空気処理システム２０は、被処理空気Ａ中の有機溶剤の吸着除去及び有機溶剤を吸着した吸着部材の再生を同時に行う吸着装置１、酸化触媒が充填されている燃焼炉２、酸化分解フィルター３、該吸着装置１の吸着ゾーンに被処理空気Ａを供給する被処理空気供給管７、該吸着装置１の該吸着ゾーンと該酸化分解フィルター３とを繋ぐ吸着処理空気送気管８、該吸着装置１のパージゾーンに外気Ｄ１を供給するパージ空気供給管１３、該吸着処理空気送気管８から分岐し、該吸着装置１のパージゾーンに繋がるパージ空気排出管１４、該吸着装置１の再生ゾーンに再生空気Ｂを供給する再生空気供給管９、該吸着装置１の再生ゾーンと該燃焼炉２とを繋ぐ濃縮空気送気管１０、該吸着処理空気送気管８から分岐し該燃焼炉２に繋がる燃焼炉排気ガス送気管１１及び該酸化分解フィルタ３から浄化空気Ｃを大気へ放出する浄化空気放出管１２を有する。また、該吸着処理空気送気管８には第一送気ファン４が、該濃縮空気送気管１０には第二送気ファン５が、該燃焼炉排気ガス送気管１１には第三送気ファン６が付設されている。
【００１７】
該吸着装置１の吸着ゾーンに、該第一送気ファン４で吸引して、該被処理空気Ａを供給し、該被処理空気Ａ中の有機溶剤を、該吸着装置１の吸着部材に吸着させることにより、該吸着除去工程を行う。該被処理空気Ａは、該吸着装置１を通過する際に、有機溶剤が除去され、吸着処理空気Ｅとして、該吸着装置１から排出される。そして、該吸着処理空気を、該第一送気ファン４により、該酸化分解フィルタ３へと送気する。該吸着装置１に供給される際の該被処理空気Ａの温度は、通常０〜５０℃、好ましくは２０〜３０℃であり、該吸着処理空気Ｅの温度は、通常２０〜６０℃である。なお、図１に示すように、有機溶剤含有空気処理システム２０では、該吸着装置１の吸着部材にパージゾーンを設け、該パージゾーンに外気Ｄ１を供給して、再生ゾーンで加熱された吸着部材を冷却し、該パージゾーンの排気空気Ｇを、該パージ空気排気管１４より、該吸着処理空気に混合させているが、該パージゾーンを設け、パージ行うことは任意である。
【００１８】
また、該吸着除去工程と同時に、該吸着装置１の再生ゾーンに、該第二送気ファン５で吸引して、該再生空気Ｂを供給し、該吸着装置１の吸着部材が吸着した有機溶剤を、該再生空気に移動させることにより、該吸着部材を再生する再生工程を行う。該再生空気Ｂは、該吸着装置１を通過する際に、該吸着部材から有機溶剤を受け取り、有機溶剤を含有する濃縮空気Ｆとして、該吸着装置１から排出される。そして、該濃縮空気Ｆを、該第二送気ファン５により、該燃焼炉２へと送気する。該吸着装置１に供給される際の該再生空気の温度は、通常１２０〜３００℃、好ましくは１８０〜２００℃である。
【００１９】
次いで、該濃縮空気Ｆを、該燃焼炉２に供給し、該濃縮空気Ｆ中の有機溶剤を燃焼させる燃焼工程を行う。該燃焼工程を行うことにより、該濃縮空気Ｆ中の有機溶剤が除去される。該燃焼炉２に供給される際の該濃縮空気Ｆの温度は、通常３０〜７０℃であり、該燃焼炉排気ガスＨの温度は、通常３００〜６００℃である。
【００２０】
本発明の有機溶剤含有空気の処理方法では、該吸着除去工程、該再生工程及び該燃焼工程を同時に行い、該燃焼工程により生じる燃焼炉排気ガスＨを、第三送気ファン６により、該吸着処理空気送気管８中に送気し、該吸着処理空気Ｅに混合させ、混合空気を得、そして、該混合空気を、該酸化分解フィルター３で酸化分解し、該混合空気中の有機溶剤を除去する。該酸化分解フィルター３を通過した混合空気は、浄化空気Ｃとなり、該浄化空気放出管１２から、大気中へと放出される。該酸化分解フィルター３に供給される際の該混合空気の温度は、通常１００〜１５０℃である。なお、該吸着処理空気と該燃焼炉排気ガスを混合することにより、該混合空気を所定の温度にすることも、更に外気を混合させて該混合空気の温度を調節することもできる。
【００２１】
本発明の有機溶剤含有空気の処理方法では、有機溶剤の含有量が少ない該吸着処理空気に、該燃焼炉排気ガスを混合するため、工程トラブル等により該燃焼炉排気ガス中の有機溶剤の含有量が急激に高くなっても、該混合空気中の有機溶剤の含有量の変化は少ない。そのため、工程トラブル時でも、該混合空気中の有機溶剤の含有量が、該酸化分解フィルターの処理能力を超えないので、該酸化分解フィルターで適切な処理ができ、該浄化空気中の有機溶剤の含有量が高くならない。従って、本発明の有機溶剤含有空気の処理方法では、大気中へ放出される浄化空気中の有機溶剤の含有量が極めて少なく、且つその変動が少ない。
【００２２】
また、該酸化分解フィルターに供給する際の該混合空気の温度は、通常１００〜１５０℃程度、該吸着処理空気の温度は、通常３０〜５０℃程度、該燃焼炉排気ガスの温度は、通常３００〜６００℃程度であるので、該混合空気を加熱しなくとも、該混合空気を所定の温度にすることができるので、熱効率が高くなる。
【００２３】
また、該吸着処理空気も、該酸化分解フィルターで処理されるので、従来の有機溶剤含有空気処理システムに比べ、浄化空気中の有機溶剤の含有量を少なくすることができる。
【００２４】
該吸着装置１の内部には、図２に示す吸着部材２１が取り付けられている。該吸着部材２１は、被処理空気Ａ、再生空気Ｂ及びパージ用の外気Ｄ１を通過させるための通気空洞を有する。また、該吸着部材２１には、ゼオライト等の吸着剤が担持されている。そして、該吸着部材２１は、被処理空気Ａの供給側の開口面２７ａが、仕切り板２２により、吸着ゾーン２４、再生ゾーン２３及びパージゾーン２８に分割されており、再生空気Ｄ１の供給側の開口面２７ｂもまた、仕切り板により、吸着ゾーン２４、再生ゾーン２３及びパージゾーン２８に分割されている。また、該吸着部材は、モーター２６で回転可能なように、図示しないローター軸により吸着装置１に取り付けられている。
【００２５】
該吸着ゾーン２４に、該開口面２７ａ側から、該被処理空気Ａを通気することにより、該被処理空気Ａ中の有機溶剤が、該吸着部材２１に担持されている吸着剤に吸着され、有機溶剤が吸着除去された吸着処理空気Ｅが開口面２７ｂから排出される。次いで、該吸着部材２１を、モーター２６により回転させることにより、該吸着ゾーン２４で有機溶剤を吸着した吸着剤は、該再生ゾーン２３に移動する。そして、加熱された該再生空気Ｂを、該開口面２７ｂ側から、該再生ゾーン２３に通気することにより、有機溶剤が、該吸着剤から該再生空気Ｂに移動し、該吸着剤は再生され、有機溶剤を含有する濃縮空気Ｆが該開口面２７ａから排出される。次いで、該吸着部材２１を、モーター２６により回転させ、再生された吸着剤は、パージゾーン２８へ移動し、外気Ｄ１により冷却される。次いで、冷却された該吸着部材は、再び該吸着ゾーン２４に移動する。
【００２６】
該吸着部材２１としては、特に制限されず、例えば、セラミック繊維、ガラス繊維等の繊維の織布又は不織布をコルゲート状ハニカム構造に成形して得られる、多孔質の繊維質担体に、吸着剤が担持されている吸着部材、あるいは、アルミ箔等の金属箔をコルゲート状ハニカム構造に成形して得られる、金属ハニカム担体に、吸着剤が担持されている吸着部材等が挙げられる。また、該吸着剤としては、特に制限されず、例えば、ゼオライト、活性炭、シリカゲル、活性アルミナ等が挙げられる。
【００２７】
該燃焼炉２に充填される酸化触媒としては、特に制限されず、例えば、コージェライト担体に、白金、パラジウム、マンガン、鉄等が担持されている触媒が挙げられる。
【００２８】
また、図１に示す有機溶剤含有空気処理システム２０では、該混合空気中の有機溶剤の酸化分解に、酸化フィルターが用いられているが、該酸化フィルターとしては、アルミナ、シリカ等の多孔質セラミック、カーボンファイバー、カーボンペーパーなどの担体に、金属触媒として、白金等の貴金属、又はパラジウム、マンガン、ニッケル等の遷移金属を、単独又は組み合わせて担持したものが挙げられるが、それに限定されるものではなく、他には、活性炭、ゼオライト、シリカゲル、活性アルミナ等が挙げられる。
【００２９】
該再生空気Ｂの供給量に対する該被処理空気Ａの供給量の比（被処理空気Ａ／再生空気Ｂ）は、好ましくは３〜１５、特に好ましくは５〜１０である。該再生空気Ｂの供給量に対する該被処理空気Ａの供給量の比が、上記範囲にあることにより、被処理空気中の有機溶剤の含有量が変動しても、浄化空気中の有機溶剤の含有量の変化が少ないという本発明の効果が高まる。
【００３０】
また、本発明の有機溶剤含有空気の処理方法では、図３に示すように、外気を該燃焼炉排気ガスに流入させ、該外気及び該燃焼炉排気ガスを混合すると同時に、該燃焼炉排気ガスの一部を抜き出し、該再生空気として返送することができる。図３は、本発明の有機溶剤含有空気の処理方法において、燃焼炉排気ガスを再生空気として返送する場合の形態例を示すフロー図である。有機溶剤含有空気処理システム４０は、該燃焼炉２の後段で、燃焼炉排気ガス送気管１１から分岐する外気供給管３３と、該外気供給管３３の分岐点より後段で、該燃焼炉排気ガス送気１１から分岐し、吸着装置１の再生ゾーンに繋がる燃焼炉排気ガス返送管３１とを有する以外は、前記有機溶剤含有空気処理システム２０と同様である。なお、該外気供給管３３には第一バルブ３４が、該燃焼炉排気ガス返送管３１には第二バルブ３２が付設されている。
【００３１】
そして、該第二バルブ３２を調節して、該燃焼炉排気ガスの一部（以下、返送燃焼炉排気ガスＢ２とも記載する。）を、該燃焼炉排気ガス送気管１１から抜き出し、該燃焼炉排気ガス返送管３１により、再生空気として、該吸着装置１の再生ゾーンに返送し、該吸着除去工程、該再生工程、該燃焼工程及び該酸化フィルター３での混合空気の酸化分解を行う。また、該燃焼炉排気ガスの返送と同時に、該第一バルブ３４を調節して、該燃焼炉排気ガスの返送量と同程度の量の外気Ｄ２を、該外気供給管３３から取り込み、該燃焼炉排気ガスに混合させる。
【００３２】
工程トラブル等で、該被処理空気中の有機溶剤の濃度が急激に高くなると、該燃焼炉排気ガス中の有機溶剤の濃度も高くなってしまうが、その時の該燃焼炉排気ガス中の有機溶剤の濃度は、該吸着部材の該再生空気としては、問題がない程度の濃度であるので、該燃焼炉排気ガス（該返送燃焼炉排気ガスＢ２）を該再生空気として用いることができる。
【００３３】
該吸着装置１の吸着部材を再生するための再生空気は、通常１８０〜３００℃であるため、外気を該再生空気として用いる場合は、該吸着装置１に供給する前に、該外気を加熱する必要がある。ところが、該燃焼炉排気ガスを返送して、再生空気として用いる場合は、３００〜６００℃の該燃焼炉排気ガスを、外気で温度を下げ、温度調節して用いるので、加熱する必要がない。従って、該燃焼炉排気ガスの一部を該再生空気として返送することが、熱効率が高い点で好ましい。
【００３４】
次に、実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明するが、これは単に例示であって、本発明を制限するものではない。
【実施例】
【００３５】
（実施例１）
図３に示す有機溶剤含有空気処理システムを用いて、表１に示す条件で、有機溶剤含有空気の処理を行った。その結果を表２に示す。
・吸着装置１
担体；シリカアルミナ繊維製の紙（厚さ０．２ｍｍ、空隙率９０％）からなる、直径４００ｍｍ、通気方向長さ４００ｍｍのローター形状のハニカム構造担体を用意した。
担持されている吸着剤；ＺＳＭ−５型ゼオライト（組成Ａｌ０．６４Ｓｉ９５．３６Ｏ１９２）
吸着ゾーン、再生ゾーン及びパージゾーンの比率；３：１：１
・燃焼炉２
充填触媒；コージェライト担持白金触媒
充填層；直径０．５ｍ×長さ１ｍ
・酸化分解フィルター３
ニッケル担持多孔質セラミック
直径０．５ｍ、厚み１００ｍｍ
【００３６】
【表１】
2007237040.tif 000003
１）含有している有機溶剤：トルエン、イソプロピルアミン、メチルエチルケトン及び酢酸エチル
【００３７】
【表２】
2007237040.tif 000004
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の有機溶剤含有空気の処理方法の実施の形態例を示すフロー図である。
【図２】吸着装置の内部に設置されている吸着部材を示す模式図である。
【図３】本発明の有機溶剤含有空気の処理方法において、燃焼炉排気ガスを再生空気として返送する場合の形態例を示すフロー図である。
【図４】従来の有機溶剤含有空気の処理方法を示すフロー図である。
【符号の説明】
【００３９】
１、４１          吸着装置
２、４２          燃焼炉
３                酸化分解フィルター
４                第一送気ファン
５                第二送気ファン
６                第三送気ファン
７                被処理空気供給管
８                吸着処理空気送気管
９                再生空気供給管
１０、４７        濃縮空気送気管
１１              燃焼炉排気ガス送気管
１２              浄化空気放出管
１３              パージ空気供給管
１４              パージ空気排出管
２０、４０、５０  有機溶剤含有空気処理システム
２１              吸着部材
２２              仕切り板
２３              再生ゾーン
２４              吸着ゾーン
２６              モーター
２７ａ、２７ｂ    開口面
２８              パージゾーン
３１              燃焼炉排気ガス返送管
３２              第二バルブ
３３              外気供給管
３４              第一バルブ
Ａ、Ｉ            被処理空気
Ｂ、Ｊ            再生空気
Ｃ                浄化空気
Ｄ１、Ｄ２        外気
Ｅ、Ｋ            吸着処理空気
Ｆ                濃縮空気
Ｇ                パージゾーンの排出空気
Ｈ、Ｌ            燃焼炉排気ガス
【図１】
2007237040.tif 000005
【図２】
2007237040.tif 000006
【図３】
2007237040.tif 000007
【図４】
2007237040.tif 000008