(57)【要約】【課題】搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供する。【解決手段】搬送制御システムは、複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように搬送装置を制御する制御装置とを備えている。【選択図】      図２４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、
前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する制御装置とを備えている搬送制御システム。
【請求項２】
前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が終了する前に予め前記搬送装置を前記搬送媒体の処理が行われている前記製造装置付近に待機させるように制御する請求項１に記載の搬送制御システム。
【請求項３】
ストッカを備え、
前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、この製造装置に前記搬送媒体の処理を継続させるように制御するとともにこの製造装置に搬送予定の前記搬送媒体を前記ストッカに搬送させるように制御する請求項１に記載の搬送制御システム。
【請求項４】
前記制御装置は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、これら製造装置への前記搬送媒体の新規搬送を見送るように制御する請求項３に記載の搬送制御システム。
【請求項５】
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、制御装置とを備えた搬送制御システムの制御方法において、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、
前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する搬送制御システムの制御方法。
【請求項６】
前記搬送装置の搬送を行う際は、前記製造装置での前記搬送媒体の処理が終了する前に予め前記搬送装置を前記搬送媒体の処理が行われている前記製造装置付近に待機させる請求項５に記載の搬送制御システムの制御方法。
【請求項７】
前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、この製造装置に前記搬送媒体の処理を継続させるように制御するとともにこの製造装置に搬送予定の前記搬送媒体をストッカに搬送させるように制御する請求項５に記載の搬送制御システムの制御方法。
【請求項８】
前記製造装置での前記搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、これら製造装置への前記搬送媒体の新規搬送を見送るように制御する請求項７に記載の搬送制御システムの制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示パネル等の工業製品を多数製造する場合、搬送制御システムが用いられている。例えば、液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムは、液晶表示パネルを形成する複数の搬送媒体が収容されるカセットと、搬入される複数の搬送媒体を加工する複数の製造装置と、これら複数の製造装置間で複数の搬送媒体が収容されたカセットを自動で搬送する搬送装置とを有している（例えば、特許文献１参照）。  
製造装置間でのカセットの搬送は、製造装置からの要求により行われる。
【特許文献１】特開２００４−２７７１６７号広報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、カセット搬送の要求が同時に複数の製造装置からあった場合、搬送を要求してから完了するまでに時間がかかり、製造装置の稼働率に影響を与えてしまう可能性がある。また、搬送時間短縮のために搬送装置を増やした場合、搬送装置による搬送が滞ってしまう可能性があり、搬送装置を増やすことにも限界がある。  
この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するため、本発明の態様に係る搬送制御システムは、
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、
前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、かつ、前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御する制御装置とを備えている。
【０００５】
また、本発明の他の態様に係る搬送制御システムの制御方法は、
複数の搬送媒体が搬入されるとともにこれら搬入された搬送媒体を処理して搬出する複数の製造装置と、前記複数の製造装置間で前記複数の搬送媒体を搬送する搬送装置と、制御装置とを備えた搬送制御システムの制御方法において、
前記複数の製造装置の稼動を制御し、
前記複数の製造装置間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように前記搬送装置を制御している。
【発明の効果】
【０００６】
この発明によれば、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照しながらこの発明に係る搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に適用した実施の形態について詳細に説明する。始めに、搬送制御システムを用いて製造された液晶表示パネルの構成について説明する。
【０００８】
図１に示すように、液晶表示パネル１００は、アレイ基板１１０と、対向基板１２０と、液晶層１３０と、シール材１４０と、アレイ基板または対向基板に設けられた図示しないカラーフィルタとを備えている。アレイ基板１１０は、透明な絶縁基板としてガラス基板１１１と、このガラス基板上に形成されたアレイパターン１１２と、アレイパターン上に形成されたスペーサとして複数本の柱状スペーサ１１３と、アレイパターン上全面に形成された配向膜１１４と、を有している。
【０００９】
アレイパターン１１２は、複数の走査線と、これら走査線に交差した複数の信号線と、これら走査線および信号線の各交差部近傍に位置したスイッチング素子としての薄膜トランジスタと、この薄膜トランジスタに接続された画素電極と等で形成されている。
【００１０】
対向基板１２０は、透明な絶縁基板としてガラス基板１２１と、このガラス基板上に形成された共通電極１２２と、この共通電極上に形成された配向膜１２３とを有している。配向膜１１４、１２３にはそれぞれ配向処理（ラビング）が施されている。
【００１１】
アレイ基板１１０および対向基板１２０は、柱状スペーサ１１３により所定の隙間を保持して対向配置され、両基板の周縁部に配置されたシール材１４０により互いに接合されている。液晶層１３０は、アレイ基板１１０および対向基板１２０の間に狭持されている。
【００１２】
次に、搬送制御システムについて説明する。  
図２および図３に示すように、搬送制御システムは、製造装置群１と、搬送装置２と、制御装置３と、ストッカ４と、液晶表示パネルを形成する複数の搬送媒体が収容される図示しないカセット５と、を備えている。この実施の形態において、搬送装置２は、複数の搬送台車として、複数の自走式の自動搬送台車２ａを有している。
【００１３】
製造装置群１は、第１製造装置群１Ａと、第２製造装置群１Ｂと、第３製造装置群１Ｃとを有している。第１製造装置群１Ａは、第１製造装置１０、第２製造装置２０および装置コンピュータを有し、装置コンピュータはそれぞれ第１製造装置および第２製造装置に設けられている。第２製造装置群１Ｂは、第３製造装置３０、第４製造装置４０および装置コンピュータを有し、装置コンピュータはそれぞれ第３製造装置および第４製造装置に設けられている。第３製造装置群１Ｃは、第５製造装置５０および装置コンピュータを有し、装置コンピュータは、第５製造装置に設けられている。
【００１４】
製造装置１０、２０、３０、４０、５０およびストッカ４は自動搬送台車２ａの搬送路６に沿って設けられている。自動搬送台車２ａは、これら複数の製造装置間と、各製造装置およびストッカ４間とで複数の搬送媒体が収容されたカセット５を搬送する。この実施の形態において、複数の製造装置間と、各製造装置およびストッカ４間とにおいて、自動搬送台車２ａが搬送指示を受けてから目的地（製造装置付近およびストッカ付近のいずれか）に到着するまで最大で５分かかる。
【００１５】
図１ないし図３に示すように、搬送制御システムは、例えば、アレイ基板１１０の配向膜１１４および対向基板１２０の配向膜１２３の形成と、これらアレイ基板および対向基板の貼り合せとを行うために用いられる。第１製造装置１０および第２製造装置２０は配向膜１１４、１２３を成膜する装置であり、第３製造装置３０および第４製造装置４０は配向膜に配向処理を施す装置であり、第５製造装置５０はアレイ基板１１０と対向基板１２０とを貼り合せる装置である。
【００１６】
制御装置３は、ホストコンピュータ７と、搬送制御コンピュータ８とを有している。ホストコンピュータ７は、製造装置１０、２０、３０、４０、５０の稼動を制御し、かつ、カセット５の情報を確認する。ホストコンピュータ７はカセット５の進捗管理のみを行う。搬送制御コンピュータ８は、各製造装置からの搬送要求に基づいて搬送装置２に搬送を指示する。
【００１７】
搬送制御コンピュータ８は、複数の製造装置間の搬送パターンと、各製造装置およびストッカ４間の搬送パターンを固定するとともにそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように自動搬送台車２ａを制御する。この実施の形態において、各製造装置およびストッカ４間の搬送パターンは図４に示すように固定されている。なお、自動搬送台車２ａは搬送制御コンピュータ８の制御により自動搬送を行う自動搬送装置として形成されている。
【００１８】
図５に示すように、製造装置１０、２０、３０、４０、５０は、それぞれカセット５を搬入するための複数のポートＰを有している。第１製造装置１０および第２製造装置２０は、ポートＰ１、Ｐ２、Ｐ３、Ｐ４の４つのポートをそれぞれ有している。第３製造装置３０および第４製造装置４０は、ポートＰ１、Ｐ２の２つのポートをそれぞれ有している。第５製造装置５０は、ポートＰ１、Ｐ２、Ｐ３の３つのポートを有している。
【００１９】
この実施の形態において、製造装置には、ポート毎にフラグ番号が設けられ、ポートカウンタが設定されている。製造装置は、ポート毎にそれぞれ設けられた搬送要求フラグおよび異常フラグを有している。
【００２０】
カセット５がポートＰに搬入され、加工処理されてから搬出されるまでの間、ホストコンピュータ７が各製造装置を制御する時間、すなわちリードタイムＴは、第１製造装置群１Ａでそれぞれ６０分、第２製造装置群１Ｂでそれぞれ３０分、第３製造装置群１Ｃで２０分である。
【００２１】
カセット５の複数の搬送媒体の加工処理が終了としてカウントされる処理終了タイマは、第１製造装置群１Ａでそれぞれ５５分、第２製造装置群１Ｂでそれぞれ２５分、第３製造装置群１Ｃで１５分である。このため、各製造装置群の製造装置は、処理終了タイマが経過する前に加工処理を終了させるように形成されている。
【００２２】
第１製造装置群１Ａのタクト（１枚のガラス基板１１１上に配向膜１１４を成膜するためにかかる時間または１枚のガラス基板１２１上に配向膜１２３を成膜するためにかかる時間）は６０秒である。第２製造装置群１Ｂのタクト（１つの配向膜１１４に配向処理を施す時間または１つの配向膜１２３に配向処理を施す時間）は６０秒である。第３製造装置群１Ｃのタクト（１組のアレイ基板１１０および対向基板１２０をシール材１４０で貼り合せる時間）は３０秒である。
【００２３】
カセット５には複数の搬送媒体が収容されているため、各製造装置には、複数の搬送媒体がまとまって搬入される。搬入された複数の搬送媒体は加工処理された後、カセット５に収容され、カセットごと搬出される。  
後述するが、搬送制御コンピュータ８は、カセット５の複数の搬送媒体の加工処理が終了する前に、自動搬送台車２ａに搬送を開始させ、加工処理が終了するカセットが搬入されたポート付近に予め自動搬送台車２ａを待機させている。これにより、加工処理が終了し後に自動搬送台車２ａに搬送指示した場合にかかる搬送時間の分、製造時間を短縮できる。
【００２４】
ここで、上記した搬送制御システムを用いた液晶表示パネルの製造方法の概略を説明する。  
図１ないし図４に示すように、上記した搬送制御システムを用いて液晶表示パネルを製造する場合、まず、ストッカ４には、搬送媒体としてアレイパターン１１２および柱状スペーサ１１３が形成されたガラス基板１１１と、共通電極１２２が形成されたガラス基板１２１とがそれぞれ複数収容されたカセット５が入庫されている。
【００２５】
ストッカ４に入庫されたカセット５は第１製造装置１０または第２製造装置２０に搬送され、配向膜１１４、１２３の成膜が行われる。続いて、カセット５は第３製造装置３０または第４製造装置４０に搬送され、配向膜１１４、１２３に施す配向処理が行われる。次いで、カセット５は第５製造装置５０に搬送され、アレイ基板１１０と対向基板１２０との貼り合せが行われて空状態の表示パネルが形成される。その後、搬送媒体として表示パネルが複数収容されたカセット５がストッカ４に搬送され、入庫される。これにより、搬送制御システムを用いた液晶表示パネルの製造が完了する。
【００２６】
次に、上記した搬送制御システムの制御方法について説明する。  
始めに、製造装置１０、２０、３０、４０、５０の各ポートＰに複数のカセット５が一定の時間間隔で順に搬入され、加工処理されてから搬出されるまでの間、ホストコンピュータ７で行われるカセットの処理時間の管理方法を、加工処理終了を予測して自動搬送台車２ａに搬送指示をおこなう搬送制御コンピュータ８の搬送ロジックと併せて説明する。ここでは、製造装置１０、２０、３０、４０、５０の１つに１つのカセット５が搬入された場合について説明する。なお、ホストコンピュータ７は、ポートＰ毎のカセット５の処理時間の管理を行っている。
【００２７】
図６に示すように、製造装置のポートＰにカセット５が搬入され、ポートに搬入されたカセットの処理時間の管理がスタートすると、まず、ステップＳ１ａにおいて、製造装置は、ホストコンピュータ７に搬送媒体の加工処理開始の報告をする。これにより、ステップＳ２ａにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートＰに搬入されたカセット５の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを開始する。処理時間のカウントが開始されるとほぼ同時に、ステップＳ３ａにおいて、ホストコンピュータ７は、加工処理が終了するカセット５が搬入されたポートＰ付近への自動搬送台車２ａの搬送を開始させるまでの時間のカウントを開始する。
【００２８】
次いで、搬送媒体の加工処理が行われる間、ステップＳ４ａにおいて、ホストコンピュータ７は、製造装置からダウン報告があるかどうか判断する。すなわち、製造装置のトラブル等で搬送媒体の加工処理の処理時間が長い等、異常でないかどうか判断する。ダウン報告がない場合、すなわち、搬送媒体の加工処理が正常に行われた場合、ステップＳ９ａにおいて、ホストコンピュータ７は、製造装置による加工処理の終了する処理時間がカウントアップとなったかどうか判断する。すなわち、加工処理の終了する処理時間（処理終了時間）としてカウントされたかどうか判断する。
【００２９】
処理時間がカウントアップとなった場合、すなわち、加工処理が終了し、加工処理の終了する処理時間となると、ポートＰから自動搬送台車２ａへのカセット５の搬送が可能な時間としてカウントされ、ステップＳ１０ａにおいて、ホストコンピュータ７の指示により装置コンピュータは、製造装置のポートＰの搬送要求フラグをＯＮにする。
【００３０】
ここで、処理時間がカウントアップとなる少なくとも５分前、より詳しくは、自動搬送台車２ａの搬送を開始させる時間としてカウントされた際に、ホストコンピュータ７は、加工処理が終了するカセット５が搬入されたポートＰ付近への自動搬送台車２ａの搬送を開始させる。
【００３１】
搬送要求フラグがＯＮになると、搬送制御コンピュータ８の制御により、カセット５をポートＰからこのポート付近の自動搬送台車２ａに搬出させることにより、カセット５の処理時間の管理が終了する。
【００３２】
処理時間がカウントアップしなかった場合（ステップＳ９ａ）、例えば、加工処理の終了する処理時間とならずに加工処理が継続している場合、製造装置からダウン報告があるかどうか判断する（ステップＳ４ａ）。
【００３３】
図６および図７に示すように、ステップＳ４ａにおいて、ダウン報告がある場合、すなわち、搬送媒体の加工処理が異常であった場合、ステップＳ５ａにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを一時停止させる。これにより、搬送媒体の加工処理も一時停止となる。すると、ステップＳ６ａにおいて、ホストコンピュータ７は、製造装置のポートＰの異常フラグをＯＮにする。また、ステップＳ７ａにおいて、ホストコンピュータ７は、搬送媒体の加工処理が正常に行うことができるまで製造装置に復帰待ちをさせる。
【００３４】
その後、ステップＳ８ａにおいて、製造装置が搬送媒体の加工処理を正常に行える状態となった場合、ホストコンピュータ７は、カセット５の複数の搬送媒体の加工処理が終了するまでの処理時間のカウントを再開する。処理時間のカウントを再開すると、ホストコンピュータ７は、製造装置による加工処理の終了する処理時間がカウントアップとなったかどうか判断する（ステップＳ９ａ）。
【００３５】
次に、複数のカセット５をストッカ４から第１製造装置群１Ａに一定の時間間隔Ｉで順に搬送する搬送方法を、図１ないし図５、および図８ないし図１３を参照しながら説明する。この実施の形態において、カセット５は、通常１０分間隔でストッカ４から第１製造装置群１Ａに搬送される。
【００３６】
図８に示すように、ストッカ４に複数のカセット５が入庫されている状態若しくは１０分間隔でストッカ４からカセット５を搬出できる状態において、ストッカから第１製造装置群１Ａへのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップＳ１ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡを１に設定する。次いで、ステップＳ２ｂにおいて、ストッカ４からカセット５の出庫が開始される。これにより、ステップＳ３ｂにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａをストッカ４へ移動させる。
【００３７】
続いて、ステップＳ４ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ７は、カセット５をストッカ４から出庫させて自動搬送台車２ａに移載させる。カセット５のアンロードが完了すると、ステップＳ５ｂにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを移動させ、第１製造装置群１ＡのポートカウンタＡが１の第１製造装置１０のポートＰ１付近へカセットを搬送させる。
【００３８】
その後、ステップＳ６ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のロードを指示する。すなわち、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を自動搬送台車２ａから第１製造装置１０のポートＰ１に搬入させる。これにより、ステップＳ７ｂにおいて、カセット５のロードが完了すると、第１製造装置１０はガラス基板１１１への配向膜１１４の成膜またはガラス基板１２１への配向膜１２３の成膜を開始するとともにホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡの設定を変更しＡ＋１に設定する。ここでは、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡを２に設定する。
【００３９】
図９に示すように、続いて、ステップＳ８ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５が投入されてからの時間のカウントを開始する。ここでは、第１製造装置１０のポートＰ１にカセット５が搬入されてからの時間のカウントを開始する。その後、ステップＳ９ｂにおいて、ホストコンピュータ７が上記時間のカウントを開始してから５分が経過すると、ステップＳ１０ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ストッカ４に異常入庫されたカセットがあるかどうか判断する。
【００４０】
より詳しくは、ストッカ４の異常棚にカセット５が入庫されているかどうか判断する。なお、上記判断する際、ホストコンピュータ７は、異常入庫カウンタが０か、１以上か、の情報を基に判断する。ここで、異常入庫カウンタとは、異常棚に入庫されたカセット５の数である。また、ストッカ４の異常棚にカセット５が入庫される場合としては、第２製造装置群１Ｂの異常により第１製造装置群１Ａから入庫される場合や、第５製造装置５０の異常により第２製造装置群１Ｂから入庫される場合等がある。なお、異常棚へのカセット５の入庫については後述する。
【００４１】
ストッカ４に異常入庫されたカセットがない場合（ステップＳ１０ｂ）、ステップＳ１１ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡにカセット５のロード要求があるかどうか判断する。ここでは、ポートカウンタＡは２に設定されているため、第２製造装置２０のポートＰ１へのカセット５搬入の要求があるかどうか判断する。
【００４２】
ポートカウンタＡにカセット５のロード要求がある場合、ステップＳ１２ｂにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａをストッカ４へ移動させる。続いて、ステップＳ１３ｂにおいて、ストッカ４からカセット５の出庫を開始すると、ステップＳ１４ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ７は、カセット５をストッカ４から出庫させて自動搬送台車２ａに移載させる。
【００４３】
カセット５のアンロードが完了すると、ステップＳ１５ｂにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを移動させ、第１製造装置群１ＡのポートカウンタＡが２の第２製造装置２０のポートＰ１付近へカセットを搬送させる。  
図１０に示すように、次いで、ステップＳ１６ｂにおいて、自動搬送台車２ａの移動が完了すると、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを待機させる。
【００４４】
その後、ステップＳ１７ｂにおいて、ホストコンピュータ７が、上記時間のカウント（ここでは、第１製造装置１０のポートＰ１にカセット５が搬入されてからの時間のカウント）を開始してから１０分が経過すると、ステップＳ１８ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を自動搬送台車２ａから第２製造装置２０のポートＰ１に搬入させる。
【００４５】
これにより、ステップＳ１９ｂにおいて、カセット５のロードが完了する。すると、第２製造装置２０はガラス基板１１１への配向膜１１４の成膜またはガラス基板１２１への配向膜１２３の成膜を開始する。
【００４６】
その後、ステップＳ２０ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５の搬送指示があるかどうか判断し、カセット５の搬送指示がない場合、カセット５のストッカ４から第１製造装置群１Ａへの搬送は終了する。  
図１１に示すように、カセット５の搬送指示がある場合（ステップＳ２０ｂ）、ステップＳ２７ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡの設定を変更しＡ＋１に設定する。ここでは、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡを３に設定する。
【００４７】
続いて、ステップＳ２８ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡが８を超えているかどうか判断する。ここでは、第１製造装置群１ＡのポートカウンタＡが１ないし８であるため、上記したように判断する。
【００４８】
ポートカウンタＡが８を超えていない場合（ステップＳ２８ｂ）、ステップＳ８ｂに移行する。ここでは、ポートカウンタＡは３に設定されているため、上記したようにステップＳ８ｂに移行することになる。ポートカウンタＡが８を超えた場合（ステップＳ２８ｂ）、ステップＳ２９ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡを１に設定した後、ステップＳ８ｂに移行する。
【００４９】
図９および図１２に示すように、上記ステップＳ１０ｂにおいて、ストッカ４に異常入庫されたカセット５がある場合、ステップＳ２１ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、異常入庫カウンタを異常入庫カウンタ−１に設定する。
【００５０】
その後、ステップＳ２２ｂにおいて、ホストコンピュータ７が、上記時間のカウント（ここでは、第１製造装置１０のポートＰ１にカセット５が搬入されてからの時間のカウント）を開始してから１０分が経過すると、ステップＳ２３ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、上記時間をリセットし、ステップＳ２７ｂに移行する。
【００５１】
上記したように、ステップＳ２１ｂ、Ｓ２２ｂ、Ｓ２３ｂは、ストッカ４の異常棚にカセット５が入庫されている場合に、カセット５のストッカ４から第１製造装置群１Ａへの搬送を一度見送る工程である。
【００５２】
図９および図１３に示すように、上記ステップＳ１１ｂにおいて、ポートカウンタＡにカセット５のロード要求がない場合、ステップＳ２４ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡの設定を変更しＡ＋１に設定する。ここでは、ホストコンピュータ７は、ポートカウンタＡを３に設定する。
【００５３】
その後、ステップＳ２５ｂにおいて、ホストコンピュータ７が、上記時間のカウント（ここでは、第１製造装置１０のポートＰ１にカセット５が搬入されてからの時間のカウント）を開始してから１０分が経過すると、ステップＳ２６ｂにおいて、ホストコンピュータ７は、上記時間をリセットし、ステップＳ２７ｂに移行する。
【００５４】
上記したように、ステップＳ２４ｂ、Ｓ２５ｂ、Ｓ２６ｂは、第１製造装置群１ＡのポートカウンタＡのポートＰに異常が生じ、カセットを異常が生じたポートＰに搬送できない場合に、カセット５のストッカ４から第１製造装置群１Ａへの搬送を一度見送る工程である。  
以後、カセット５搬送の指示がある限り、上記説明した工程（ステップＳ８ｂないしステップＳ２９ｂ）が繰り返し行われる。これにより、図２４に示すように、通常、カセット５は、１０分間隔でストッカ４から第１製造装置群１Ａに搬送されることになる。
【００５５】
次に、カセット５を製造装置群Ｘから製造装置群Ｙに一定の時間間隔で順に搬送する搬送方法を図１ないし図５、および図１４ないし図１９を参照しながら説明する。製造装置群Ｘから製造装置群Ｙへの搬送としては、第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂへの搬送と、第２製造装置群１Ｂから第３製造装置群１Ｃへの搬送とを含んでいる。ここでは、カセット５を第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂへ搬送する搬送方法を例に説明する。この実施の形態において、カセット５は、通常１０分間隔で第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂに搬送される。
【００５６】
図１４に示すように、第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂへのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップＳ１ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマのカウントを開始する。続いて、ステップＳ２ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａのカセット搬送要求フラグがＯＮになっているかどうか確認し、ステップＳ３ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａの搬送要求フラグがＯＮになっているポートがあるかどうか判断する。搬送要求ＯＮポートがある場合はステップＳ４ｃへ、搬送要求ＯＮポートがない場合はステップＳ１３ｃへ移行する（図１７）。
【００５７】
ここで、図２６に示すように、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂへ搬送するための第２プログラムの起動（ステップＳ３ｅ）を、カセット５をストッカ４から第１製造装置群１Ａへ搬送するための第１プログラムを起動（ステップＳ１ｅ）してから５分経過後（ステップＳ２ｅ）に行っている。
【００５８】
この実施の形態において、第２プログラム起動時に、第１製造装置群１Ａに搬送要求フラグがＯＮになっているポートはないが、その後、第１製造装置１０のポートＰ１で搬送要求フラグが最初にＯＮになる。上記したことから、第１製造装置１０のポートＰ１の処理終了タイマがカウントアップとなるとほぼ同時に第１製造装置１０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＮになり、かつ、上記第１製造装置１０のポートＰ１のカセット移動タイマのカウントが開始される。以下、第１製造装置１０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＮになったとして説明する。
【００５９】
第１製造装置群１Ａに搬送要求フラグがＯＮになっているポートがある場合、ステップＳ４ｃにおいて、搬送要求フラグがＯＮになっているポートが複数あるか確認し、複数ある場合は条件の確認を行って１つのポートを選択する。
【００６０】
図１９に示すように、条件を確認する際は、まず、異常フラグＯＮポートより異常フラグＯＦＦポートを優先して１つのポートを選択する。これでも１つのポートを選択できない場合は処理終了タイマ値が大きいポートを優先して１つのポートを選択する。ここでは、第１製造装置群１Ａの搬送要求フラグＯＮポートは１つのみであり、続いて、ステップＳ５ｃに移行する。
【００６１】
ステップＳ５ｃにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップＳ６ｃにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第１製造装置１０のポートＰ１付近への自動搬送台車２ａの移動が完了する。
【００６２】
図１５に示すように、次いで、ステップＳ７ｃにおいて、製造装置の装置コンピュータより搬送要求があると、ステップＳ８ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のアンロードを指示する。その後、ステップＳ９ｃにおいて、カセット５のアンロードが完了すると、ステップＳ１０ｃにおいて、ホストコンピュータ７の指示により装置コンピュータは搬送要求フラグをＯＦＦにするとともに処理終了タイマをＯＦＦにする。これにより、第１製造装置１０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＦＦになるとともに処理終了タイマもＯＦＦになる。
【００６３】
その後、ステップＳ１１ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第２製造装置群１Ｂにロード要求のポートＰがあるかどうか判断する。ロード要求のポートＰがある場合はステップＳ１２ｃへ、ロード要求のポートがない場合はステップＳ２７ｃへそれぞれ移行する（図１８）。ここでは、第２製造装置群１Ｂの全てのポートＰでロード要求しているため、ステップＳ１２ｃへ移行する。
【００６４】
ステップＳ１２ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第２製造装置群１Ｂにロード要求のポートＰが複数あるか確認し、複数ある場合にはポートカウンタＢの若い番号を選択する。ここでは、第３製造装置３０のポートＰ１でポートカウンタＢが１であるため、第３製造装置３０のポートＰ１がロード要求ポートとして選択される。
【００６５】
図１６に示すように、続いて、ステップＳ２０ｃにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップＳ２１ｃにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第３製造装置３０のポートＰ１付近への自動搬送台車２ａの移動が完了し、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを待機させる。
【００６６】
次いで、ステップＳ２２ｃにおいて、ホストコンピュータ７が、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマのカウントを開始してから１０分が経過すると、ステップＳ２３ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を自動搬送台車２ａから第３製造装置３０のポートＰ１に搬入させる。これにより、ステップＳ２４ｃにおいて、カセット５のロードが完了する。すると、第３製造装置３０は、配向膜１１４への配向処理または配向膜１２３への配向処理を開始する。
【００６７】
その後、ステップＳ２５ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５の搬送指示があるかどうか判断し、カセット５の搬送指示がない場合、カセット５の第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂへの搬送は終了する。
【００６８】
カセット５の搬送指示がある場合（ステップＳ２５ｃ）、ステップＳ２６ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマをリセットし、ステップＳ１ｃに移行する（図１４）。
【００６９】
図１５および図１８に示すように、上記ステップＳ１１ｃにおいて、ロード要求のポートがない場合、ステップＳ２７ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、異常入庫カウンタを異常入庫カウンタ＋１に設定する。
【００７０】
続いて、ステップＳ２８ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のストッカ４への移動を指示する。これにより、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａをストッカ４へ移動させ、ステップＳ２９ｃにおいて、カセット５をストッカ４へ入庫させる。その後、ステップＳ３０ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマをリセットし、ステップＳ１ｃに移行する（図１４）。
【００７１】
上記したように、ステップＳ２７ｃ、Ｓ２８ｃ、Ｓ２９ｃ、Ｓ３０ｃは、第２製造装置群１Ｂがダウンして、この第２製造装置群１Ｂにカセット５を搬送できない場合に、カセット５を第１製造装置群１Ａからストッカ４へ搬送する工程である。
【００７２】
図１４および図１７に示すように、上記ステップＳ３ｃにおいて、搬送要求ＯＮポートがない場合、ステップＳ１３ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、ストッカ４の異常棚に入庫された第２製造装置群１Ｂ処理待ちのカセット５があるかどうか判断する。処理待ちのカセット５がある場合はステップＳ１４ｃへ、処理待ちのカセット５がない場合はステップＳ１８ｃへそれぞれ移行する。
【００７３】
処理待ちのカセット５がある場合（ステップＳ１３ｃ）、ステップＳ１４ｃにおいて、ホストコンピュータ７が、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマのカウントを開始してから５分が経過すると、ステップＳ１５ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第２製造装置群１Ｂにロード要求のポートＰがあるかどうか判断する。ロード要求のポートＰがある場合はステップＳ１６ｃへ、ロード要求のポートがない場合はステップＳ１８ｃへそれぞれ移行する。
【００７４】
ロード要求のポートＰがある場合（ステップＳ１５ｃ）、ステップＳ１６ｃにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａをストッカ４へ移動させる。続いて、ステップＳ１７ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のアンロードを開始させる。すなわち、ホストコンピュータ７は、カセット５をストッカ４の異常棚から出庫させて自動搬送台車２ａに移載させる。カセット５のアンロードが完了すると、ステップＳ２０ｃに移行する（図１６）。
【００７５】
処理待ちのカセット５がない場合（ステップＳ１３ｃ）およびロード要求のポートＰがない場合（ステップＳ１５ｃ）、ステップＳ１８ｃにおいて、ホストコンピュータ７が、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマのカウントを開始してから１０分が経過すると、ステップＳ１９ｃにおいて、ホストコンピュータ７は、第１製造装置群１Ａのカセット移動タイマをリセットし、ステップＳ１ｃに移行する（図１４）。
【００７６】
上記したように、ステップＳ１３ｃ、Ｓ１４ｃ、Ｓ１５ｃ、Ｓ１６ｃ、Ｓ１７ｃは、ストッカ４の異常棚にカセット５が入庫されている場合に、カセット５をストッカ４の異常棚から出庫させる工程である。また、ステップＳ１８ｃ、Ｓ１９ｃは、第１製造装置群１Ａに搬送要求フラグがＯＮになっているポートがなく、さらにストッカ４の異常棚にカセット５が入庫されていない場合に、第１製造装置群１Ａ及びストッカ４から第２製造装置群１Ｂへのカセット５の搬送を一度見送る工程である。
【００７７】
以後、カセット５の搬送指示がある限り、上記説明した工程（ステップＳ１ｃないしステップＳ３０ｃ）が繰り返し行われる。これにより、図２４に示すように、カセット５は、通常、１０分間隔で第１製造装置群１Ａから第２製造装置群１Ｂに搬送されることになる。なお、第２製造装置群１Ｂから第３製造装置群１Ｃへの搬送においても、通常、１０分間隔でカセット５が搬送されることになる。
【００７８】
次に、複数のカセット５を第３製造装置群１Ｃからストッカ４に一定の時間間隔で順に搬送する方法を、図１ないし図５、および図２０ないし図２３を参照しながら説明する。この実施の形態において、カセット５は、通常１０分間隔で第３製造装置群１Ｃからストッカ４に搬送される。
【００７９】
図２０に示すように、第３製造装置群１Ｃからストッカ４へのカセットの搬送がスタートすると、まず、ステップＳ１ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、第３製造装置群１Ｃのカセットの移動タイマのカウントを開始する。
【００８０】
続いて、ステップＳ２ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、第３製造装置群１Ｃのカセット搬送要求フラグがＯＮになっているかどうか確認し、ステップＳ３ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、第３製造装置群１Ｃの搬送要求フラグがＯＮになっているポートがあるかどうか判断する。搬送要求ＯＮポートがある場合はステップＳ６ｄ（図２１）へ、搬送要求ＯＮポートがない場合はステップＳ４ｄへ移行する。
【００８１】
ここで、図２６に示すように、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を第３製造装置群１Ｃからストッカ４へ搬送するための第２プログラムの起動（ステップＳ３ｅ）を、カセット５を第２製造装置群１Ｂから第３製造装置群１Ｃへ搬送するための第１プログラムを起動（ステップＳ１ｅ）してから５分経過後（ステップＳ２ｅ）に行っている。
【００８２】
この実施の形態において、第２プログラム起動時に、第３製造装置群１Ｃに搬送要求フラグがＯＮになっているポートはない。この場合、ステップＳ４ｄにおいて、ホストコンピュータ７が、第３製造装置群１Ｃのカセット移動タイマのカウントを開始してから１０分が経過すると、ステップＳ５ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、第３製造装置群１Ｃのカセット移動タイマをリセットし、ステップＳ１ｄに移行する。
【００８３】
上記したように、ステップＳ４ｄ、Ｓ５ｄは第３製造装置群１Ｃに搬送要求フラグがＯＮになっているポートがない場合に、第３製造装置群１Ｃからストッカ４へのカセット５の搬送を一度見送る工程である。
【００８４】
その後、第５製造装置５０のポートＰ１で搬送要求フラグが最初にＯＮになる。第２プログラムの起動が第１プログラムを起動してから５分経過後に行われることからも、第５製造装置５０のポートＰ１の処理終了タイマがカウントアップとなるとほぼ同時に第５製造装置５０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＮになり、かつ、上記第５製造装置５０のポートＰ１のカセット移動タイマのカウントが開始される。以下、第５製造装置５０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＮになったとして説明する。
【００８５】
図２１に示すように、第５製造装置５０に搬送要求フラグがＯＮになっているポートがある場合、ステップＳ６ｄにおいて、搬送要求フラグがＯＮになっているポートが複数あるか確認し、複数ある場合は条件の確認を行って１つのポートを選択する。
【００８６】
図２３に示すように、条件を確認する際は、まず、異常フラグＯＮポートより異常フラグＯＦＦポートを優先して１つのポートを選択する。これでも１つのポートを選択できない場合は処理終了タイマ値が大きいポートを優先して１つのポートを選択する。ここでは、第３製造装置群１Ｃの搬送要求フラグＯＮポートは、第５製造装置５０のポートＰ１のみのであり、続いて、ステップＳ７ｄに移行する。
【００８７】
ステップＳ７ｄにおいて、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａを搬送要求があるポートへ移動させ、ステップＳ８ｄにおいて、目的地への自動搬送台車の移動が完了する。これにより、第５製造装置５０のポートＰ１付近への自動搬送台車２ａの移動が完了する。
【００８８】
次いで、ステップＳ９ｄにおいて、第５製造装置５０の装置コンピュータより搬送要求があると、ステップＳ１０ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のアンロードを指示する。その後、ステップＳ１１ｄにおいて、カセット５のアンロードが完了すると、ステップＳ１２ｄにおいて、ホストコンピュータ７の指示により装置コンピュータは搬送要求フラグをＯＦＦにするとともに処理終了タイマをＯＦＦにする。これにより、第５製造装置５０のポートＰ１の搬送要求フラグがＯＦＦになるとともに処理終了タイマもＯＦＦになる。
【００８９】
図２２に示すように、次いで、ステップＳ１３ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のストッカ４への搬送を指示する。これにより、搬送制御コンピュータ８は、自動搬送台車２ａをストッカ４へ移動させ、ステップＳ１４ｄにおいて、自動搬送台車２ａはストッカ４へ到着する。
【００９０】
続いて、ステップＳ１５ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５のロードを指示する。このため、搬送制御コンピュータ８は、カセット５を自動搬送台車２ａからストッカ４に入庫させる。これにより、カセット５のロードが完了する。
【００９１】
その後、ステップＳ１６ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、カセット５の搬送指示があるかどうか判断し、カセット５の搬送指示がない場合、カセット５の第５製造装置５０からストッカ４への搬送は終了する。
【００９２】
カセット５の搬送指示がある場合（ステップＳ１６ｄ）、ステップＳ１７ｄにおいて、ホストコンピュータ７は、第３製造装置群１Ｃのカセット移動タイマをリセットし、ステップＳ１ｄに移行する（図２０）。
【００９３】
以後、カセット５の搬送指示がある限り、上記説明した工程（ステップＳ１ｄないしステップＳ１８ｄ）が繰り返し行われる。これにより、図２４に示すように、通常、カセット５は、１０分間隔で第５製造装置５０からストッカ４に搬送されることになる。
【００９４】
次に、製造装置の加工処理に異常があった場合のカセット５の搬送方法について説明する。ここでは、ストッカ４から１０番目に出庫されたカセット５の加工処理に異常があった場合について説明する。
【００９５】
図２５に示すように、第４製造装置４０のポートＰ１で行われる１０番目のカセット５の加工処理に異常があり、加工処理が正常に終了しなかった場合、ホストコンピュータ７は、この第４製造装置４０にカセット５の搬送媒体の加工処理を継続させるように制御するとともにこの第４製造装置４０のポートＰ１に搬送予定の１４番目のカセット５をストッカに搬送させるように制御する。
【００９６】
また、ホストコンピュータ７は、第４製造装置４０でのカセット５の搬送媒体の処理が正常に終了しなかった場合に、ストッカ４から第１製造装置群１Ａへのカセット５の新規搬送を一度見送るように制御する。
【００９７】
上記したことから、カセット５の一定の時間間隔での搬送が可能となり、ストッカ４の異常棚に入庫されるカセット５の数を低減することができ、ひいては異常棚の棚数を低減することができる。
【００９８】
また、第４製造装置４０でのカセット５の搬送媒体の処理が終了した後、カセット５は、ストッカ４にではなく、第５製造装置５０のポートＰ２に直接搬送される。これによっても、異常棚の棚数を低減することができる
以上のように構成された搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法によれば、ホストコンピュータ７は、ストッカ４、第１製造装置群１Ａ、第２製造装置群１Ｂおよび第３製造装置群１Ｃ間のそれぞれの搬送パターンを固定している。また、搬送制御コンピュータ８は、ストッカ４、第１製造装置群１Ａ、第２製造装置群１Ｂおよび第３製造装置群１Ｃ間をそれぞれ一定の時間間隔で搬送を行うように制御している。
【００９９】
これにより、搬送効率に優れた搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法を得ることができる。このため、同時に複数の製造装置からカセット搬送の要求があっても、製造装置の稼働率に影響を与えることなくカセットを効率良く搬送することができる。
【０１００】
自動搬送台車２ａの台数を最小限に抑えることができる。このため、自動搬送台車２ａの台数を増やした場合に、自動搬送台車が原因で生じる自動搬送台車の渋滞を回避することができる。また、ストッカ４の異常棚に入庫されるカセット５の数を低減できるため、搬送媒体の在庫を抑えることもできる。
【０１０１】
なお、この発明は、上述した実施の形態に限定されることなく、この発明の範囲内で種々変形可能である。例えば、この発明は、液晶表示パネルの製造に用いる搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法に限定されるものではなく、複数の製造装置間を搬送して製造を行う搬送制御システムおよび搬送制御システムの制御方法であれば適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の実施の形態に係る搬送制御システムによって製造される液晶表示パネルの断面図。
【図２】上記搬送制御システムを示す概略構成図。
【図３】上記搬送制御システムを示す他の概略構成図。
【図４】上記搬送制御システムの搬送パターンを表で示した図。
【図５】上記搬送制御システムの各製造装置のポート番号、フラグ番号、ポートカウンタ、リードタイムおよび処理終了タイマを表で示した図。
【図６】上記搬送制御システムのホストコンピュータで行われるカセットの処理時間の管理方法を示す流れ図。
【図７】図６に続く、上記搬送制御システムのホストコンピュータで行われるカセットの処理時間の管理方法を示す流れ図。
【図８】上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図９】図８に続く、上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１０】図９に続く、上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１１】図１０に続く、上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１２】図９に続く、上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１３】図９に続く、上記搬送制御システムのストッカから第１製造装置群にカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１４】上記搬送制御システムの製造装置群Ｘから製造装置群Ｙにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１５】図１４に続く、上記搬送制御システムの製造装置群Ｘから製造装置群Ｙにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１６】図１５に続く、上記搬送制御システムの製造装置群Ｘから製造装置群Ｙにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１７】図１４に続く、上記搬送制御システムの製造装置群Ｘから製造装置群Ｙにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１８】図１５に続く、上記搬送制御システムの製造装置群Ｘから製造装置群Ｙにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図１９】図１４に示した上記製造装置群Ｘに複数の搬送要求ポートがある場合の搬送するポートの優先順位を表で示した図。
【図２０】上記搬送制御システムの第３製造装置群からストッカにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図２１】図２０に続く、上記搬送制御システムの第３製造装置群からストッカにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図２２】図２１に続く、上記搬送制御システムの第３製造装置群からストッカにカセットを搬送する搬送方法を示す流れ図。
【図２３】図２１に示した上記第３製造装置群に複数の搬送要求ポートがある場合の搬送するポートの優先順位を表で示した図。
【図２４】上記搬送制御システムの各製造装置で行われる製造状況およびこの搬送制御システムで行われる搬送状況をタイミングチャートで示す図。
【図２５】上記搬送制御システムの各製造装置で行われる製造に異常があった場合の製造状況およびこの搬送制御システムで行われる搬送状況をタイミングチャートで示す図。
【図２６】上記搬送制御システムの搬送指示プログラムの起動方法を示す流れ図。
【符号の説明】
【０１０３】
１…製造装置群、１Ａ…第１製造装置群、１Ｂ…第２製造装置群、１Ｃ…第３製造装置群、２…搬送装置、２ａ…自動搬送台車、３…制御装置、４…ストッカ、５…カセット、７…ホストコンピュータ、８…搬送制御コンピュータ、１０，２０，３０，４０，５０…製造装置、１００…液晶表示パネル、Ｘ…製造装置群、Ｙ…製造装置群。
【図１】
2007141942.tif 000003
【図２】
2007141942.tif 000004
【図３】
2007141942.tif 000005
【図４】
2007141942.tif 000006
【図５】
2007141942.tif 000007
【図６】
2007141942.tif 000008
【図７】
2007141942.tif 000009
【図８】
2007141942.tif 000010
【図９】
2007141942.tif 000011
【図１０】
2007141942.tif 000012
【図１１】
2007141942.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
2007141942.tif 000015
【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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