(57)【要約】【課題】マスクの品種に関わりなくパターン印刷後の版離れ性を向上させて印刷不良の発生を抑制することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。【解決手段】マスク２を裏面から支持するマスク支持手段６と、被印刷体３を保持する保持部２０と、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢をマスク２に対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更する姿勢変更手段３０と、保持部２０を昇降させて被印刷体３の表面をマスク２の裏面に対して接離させる昇降手段とを備え、パターン印刷後に被印刷体３の一端側から他端側に向けて徐々にマスク２と離反させるようにした。これにより、被印刷体３とマスク２の版離れ性が向上して印刷不良の発生が抑制される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷装置であって、
前記マスクを裏面から支持するマスク支持手段と、前記被印刷体を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更する姿勢変更手段と、前記保持手段を昇降させて前記被印刷体の表面を前記マスクの裏面に対して接離させる昇降手段とを備えたことを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記姿勢変更手段が、前記被印刷体の搬送方向における一端側を昇降させることにより前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記姿勢変更手段が、前記被印刷体の搬送方向と水平面内で直交する方向における一端側を昇降させることにより前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更することを特徴とする請求項１記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷方法であって、
前記被印刷体の表面を前記マスクの裏面に当接させる工程と、前記被印刷体の表面にパターン印刷を行う工程と、前記被印刷体を前記マスクから離反させる工程とを含み、
前記被印刷体を前記マスクから離反させる工程において、前記被印刷体を前記マスクに対して傾斜させる工程を含むことを特徴とするスクリーン印刷方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ペースト状にした導電性材料（導電性ペースト、以下、単にペーストという。）をマスクに形成されたパターン孔に滞留させて被印刷体の表面にパターン印刷するスクリーン印刷において、印刷後にマスクと被印刷体の版離れを行う際にペーストがパターン孔に残留してしまい、被印刷体の表面にパターン印刷されたペースト量に不足が生じて印刷不良の原因となることがある。従来、パターン孔からのペーストの抜けを良くするために、マスクと被印刷体とを微速度で版離れさせる方法（特許文献１及び特許文献２参照）や、マスクの一端を他端に対して上方に移動させてマスクの被印刷体に対する版離れ角を一定に保ちながら版離れを行う方法（特許文献３参照）が提案されている。
【特許文献１】特開平５−１８５５８０号公報
【特許文献２】特開平８−２４４２０３号公報
【特許文献３】特開平９−３１４８０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１及び特許文献２に開示された版離れ方法によれば、ペーストの粘着力によりマスクには被印刷体の下降に追随して下方に撓みが発生し、被印刷体の端部から版離れが始まって最後に中央部が版離れするようになるため、マスクに働く上方への弾性復元力により被印刷体の中央部において瞬間的に高速度の版離れが生じてしまいペーストの抜けが悪くなって印刷不良となり易いという問題がある。また、特許文献３に開示された版離れ方法によれば、マスク側に移動機構を付加する必要が生じるとともに剛性が高く変形しにくいメタルマスクを使用する印刷装置においては適用できないという問題がある。
【０００４】
そこで本発明は、マスクの品種に関わりなくパターン印刷後の版離れ性を向上させて印刷不良の発生を抑制することができるスクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の発明は、所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷装置であって、前記マスクを裏面から支持するマスク支持手段と、前記被印刷体を保持する保持手段と、前記保持手段に保持された前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更する姿勢変更手段と、前記保持手段を昇降させて前記被印刷体の表面を前記マスクの裏面に対して接離させる昇降手段とを備えた。
【０００６】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記姿勢変更手段が、前記被印刷体の搬送方向における一端側を昇降させることにより前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更する。
【０００７】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記姿勢変更手段が、前記被印刷体の搬送方向と水平面内で直交する方向における一端側を昇降させることにより前記被印刷体の姿勢を前記マスクに対して平行な姿勢と傾斜した姿勢とに変更する。
【０００８】
請求項４記載の発明は、所定のパターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷方法であって、前記被印刷体の表面を前記マスクの裏面に当接させる工程と、前記被印刷体の表面にパターン印刷を行う工程と、前記被印刷体を前記マスクから離反させる工程とを含み、前記被印刷体を前記マスクから離反させる工程において、前記被印刷体を前記マスクに対して傾斜させる工程を含む。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、被印刷体の一端側から他端側に向けて徐々にマスクと離反させることにより被印刷体とマスクの版離れ性が向上して印刷不良の発生が抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について図面を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の正面図、図２（ａ）は本発明の実施の形態１における昇降手段を示す平面図、図２（ｂ）（ｃ）は本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図、図３は本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成図、図４は本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作を示すフローチャート、図５は本発明の実施の形態１におけるマスクと被印刷体の版離れの様子を示す説明図、図６は本発明の実施の形態１におけるマスクと被印刷体の版離れの様子を示す説明図である。
【００１１】
まず、スクリーン印刷装置の全体構成について説明する。図１において、スクリーン印刷装置１は、所定のパターン孔２ａが形成されたマスク２に位置合わせされた被印刷体３の表面にペーストをパターン印刷する装置である。スクリーン印刷装置１は、被印刷体３を保持する保持手段４と、保持手段４を昇降させて被印刷体３の表面をマスク２の裏面に接離させる昇降手段５と、マスク２を裏面から支持するマスク支持手段６と、マスク支持手段６を昇降させてマスク支持手段６をマスク２の裏面に接離させる昇降手段７と、保持手段４をマスク２に対して相対的に水平移動させて被印刷体３とマスク２の位置合わせを行う移動手段８と、ペーストをマスク２の表面に塗り拡げて被印刷体３の表面にパターン印刷するスキージユニット９から構成されている。
【００１２】
図１において、移動手段８は、Ｘテーブル８ａとＹテーブル８ｂとθテーブル８ｃを積層して構成されている。昇降手段７は、θテーブル８ｃの上部に配設された平面視矩形のテーブル１０に設けられており、テーブル９の四隅に配設された送り方向が鉛直方向である４本のボールねじ７ａと、この４本のボールねじ７ａと四隅で螺合した状態で水平に支持されたテーブル７ｂから構成されている。４本のボールねじ７ａにはタイミングベルト１１が調帯されており、各ボールねじ７ａの回転を同期させている。各ボールねじ７ａの回転によりテーブル７ｂは水平を保った状態で昇降するようになっている。テーブル７ｂの上方にはマスク支持手段６が配設されており、テーブル７ｂの昇降動作に伴ってマスク支持手段６も昇降してマスク２の裏面に接離するようになっている（図１では、テーブル７ｂが上昇してマスク支持手段６がマスク２の裏面に当接している状態を示している。）。
【００１３】
図１において、昇降手段５は、テーブル７ｂの上部に配設された送り方向が鉛直方向である４本のボールねじ５ａと、この４本のボールねじ５ａと四隅で螺合した状態で水平に支持されたテーブル５ｂから構成されている。４本のボールねじ５ａにはタイミングベルト１２が調帯されており、各ボールねじ５ａの回転を同期させている。各ボールねじ５ａの回転によりテーブル５ｂは水平を保った状態で昇降するようになっている。テーブル５
ｂの上部には保持手段４が配設されており、テーブル５ｂの昇降動作に伴って保持手段４も昇降するようになっている。保持手段４の上部には、スクリーン印刷装置１に搬入された被印刷体３が保持されており、テーブル５ｂの昇降動作により被印刷体３の表面がマスク２の裏面に接離するようになっている（図１では、テーブル５ｂが下降して被印刷体３の表面がマスク２の裏面から離反している状態を示している。）。なお、マスク支持手段６は、マスク２の裏面に被印刷体３の表面が当接した状態で被印刷体３を側方からクランプするクランプ手段と兼用してもよい。
【００１４】
図１において、スキージユニット９は、スキージ９ａと、スキージ９ａを昇降させる昇降手段９ｂから構成されている。スキージユニット９は、被印刷体３の表面にペーストをパターン印刷する機能を有しており、マスク２の裏面に被印刷体３の表面が当接した状態においてスキージ９ａを下降させてマスク２の表面に当接させた状態で水平方向に移動させることにより、マスク２の表面にペーストを塗り拡げてパターン孔２ａにペーストを滞留させ、被印刷体３をマスク２から離反させると被印刷体３の表面にパターン孔２ａに対応したパターンでペーストが印刷された状態となる。また、スキージユニットは、ユニット内部にペーストを貯留して密閉した密閉型スキージとして構成することもできる。
【００１５】
次に、保持手段４について説明する。図２（ｂ）において、保持手段４は昇降手段５のテーブル５ｂの上部に配設されている。保持手段４は、中空の函体である保持部２０により構成されており、保持部２０の一端側を昇降させる昇降手段３０と他端側を枢支する支持部２１によりテーブル５ｂ上に支持されている。
【００１６】
保持部２０の上面には、函体の内側から外側に連通する孔２０ａが略全面に複数形成されている。函体の内側は図示しない真空ポンプと接続されており、真空ポンプを作動させると函体の内側が吸引状態となって孔２０ａが形成された函体の上面に被印刷体３を吸着して保持するようになっている。なお、被印刷体３が可撓性を有するシート状のフレキシブル基板である場合には、キャリア２２に載置された状態で保持部２０に保持される。キャリア２２は多孔質の材質で形成されており、キャリア２２の上面に被印刷体３を吸着して保持するようになっている。
【００１７】
図２（ａ）、（ｂ）において、支持部２１は、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における端部に配設されている。支持部２１は、保持部２０の下面に設けられたブラケット２３とテーブル５ｂの上面に設けられたブラケット２４にそれぞれ形成された孔２３ａ、２４ａを支持棒２５で枢支して構成されている。これにより保持部２０は支持棒２５を支点として回動することができる。
【００１８】
図２（ａ）、（ｂ）において、昇降手段３０は、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側（支持部２１が配設された側と対向する側）に配設されている。昇降手段３０は、図２（ｃ）に示すように、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における他端側を昇降させることにより支持部２１を中心に保持部２０を回動させ、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢をマスク２に対して姿勢変更させる姿勢変更手段としての機能を有している。本実施の形態１における昇降手段３０は、横方向（Ｘ方向）の動きをカム機構により上下方向（Ｚ方向）の動きに変換することにより保持部２０の一端側を昇降させて被印刷体３の姿勢を変更するように構成されており、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）にシャフト３１を進退させるシリンダ３２と、シャフト３１の先端に設けられたカム３３を備えている。カム３３の上面は傾斜面となっており、保持部２０の下面に設けられたカムフォロア３４と対向して保持部２０の一端側を支持している。
【００１９】
シリンダ３２を駆動してシャフト３１を進退させると、カム３３がテーブル５ｂの上面に設けられたガイド３５に案内されてＸ方向に移動し、カムフォロア３４との相対位置を
変更する。図２（ｂ）に示すように、カム３３の上面の傾斜面が高くなっている箇所がカムフォロア３４と対向する位置にあるときは、保持部２０を水平姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して平行な姿勢となる。一方、図２（ｃ）に示すように、カム３３の上面の傾斜面が低くなっている箇所がカムフォロア３４と対向する位置にあるときは、保持部２０を傾斜姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して傾斜した姿勢となる。このように、シリンダ３２の駆動量を調整してカム３３の上面の任意の箇所をカムフォロア３４と対向させることにより、被印刷体３のマスク２に対する傾斜角を調整して被印刷体３の姿勢をマスク２に対して平行な姿勢と傾斜した姿勢に変更することができる。
【００２０】
次に、スクリーン印刷装置１の制御系の構成について説明する。図３において、保持手段４、昇降手段５、昇降手段７、移動手段８、スキージユニット９、昇降手段３０は、制御部４０との間で通信可能になっており、記憶部４１に記憶された制御プログラムに基づいて制御部４０から送信される制御指令を受けて所定の動作を実行するようになっている。記憶部４１には、被印刷体３に関するデータが記憶されており、被印刷体３の品種に対応した印刷動作を実行する制御プログラムが設定されている。これらのデータや制御プログラムは操作・入力部４２により記憶部４１に入力することができるようになっており、さらに操作・入力部４２によりスクリーン印刷装置１における各動作をマニュアルで操作できるようになっている。
【００２１】
次に、スクリーン印刷装置１における印刷動作について説明する。図４において、まず、スクリーン印刷装置１に搬入された被印刷体３を保持部２０の上面に吸着して保持する（ＳＴ１）。次に、保持部２０の一端側を昇降させて被印刷体３の姿勢をマスク２に対して平行な姿勢にする（ＳＴ２）。なお、ＳＴ１において被印刷体３が搬入される段階で保持部２０がマスク２に対して平行な姿勢となるように予め調整しておくことも可能であり、この場合はＳＴ２による動作を省くことができる。
【００２２】
被印刷体３の姿勢がマスク２に対して平行な姿勢になっていることが確認されると、保持部２０を上昇させて被印刷体３の表面をマスク２の裏面に当接させる（ＳＴ３）。次に、スキージユニット９を被印刷体３の搬送方向と直交する方向に移動させてマスク２の表面にペーストを塗り拡げ、パターン孔２ａにペーストを滞留させることによりパターン印刷を行う（ＳＴ４）。ＳＴ２において被印刷体３の姿勢がマスク２に対して平行な姿勢になっているので、印刷の際には被印刷体３の表面とマスク２の裏面の密着性が向上する。これにより、パターン孔２ａに滞留したペーストが被印刷体３の表面とマスク２の裏面の隙間に侵入して印刷精度が悪化することが抑制されて印刷品質が向上する。
【００２３】
パターン印刷が終了すると、保持部２０を下降させて被印刷体３をマスク２から離反させる。離反に際しては、図２（ｃ）に示すように、保持部２０の一端側を下降させることにより、被印刷体３の姿勢をマスク２に対して傾斜した姿勢に変更する（ＳＴ５）。被印刷体３の姿勢を傾斜姿勢に変更する過程において、図５に示すように、被印刷体３の一端側から他端側に向けて徐々にマスク２と離反するので、パターン孔２ａに滞留したペーストＰの抜けが円滑になり、パターン孔２ａに残留するペーストＰの量が低減する。これにより、被印刷体３の表面にパターン印刷されるペースト量に不足が生じることがなくなり印刷不良の発生が抑制されて印刷品質が向上する。
【００２４】
なお、図６に示すように、被印刷体３との版離れの際に、マスク支持手段６に支持されたマスク２には、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）と直交する方向（Ｙ方向）に下凸の撓みが生じるので、被印刷体３はＹ方向における両端側から中心に向けて徐々にマスク２と離反するようになりＹ方向における版離れ性は良い。従って、上述したように、被印刷体
３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側を昇降してＸ方向における一端側から徐々にマスク２と離反させることによりＸ方向における版離れ性が良くなるようにしている、これにより、被印刷体３の全面においてマスク２からの良好な版離れが実現されて印刷品質を更に向上させることができる。なお、被印刷体３の版離れに際しては、マスク支持手段６上に位置するマスク２の表面にスキージ９ａを当接させ、マスク２をスクージ９ａとマスク支持手段６により挟持して確実に保持することで、より良好な版離れを実現することができる。
【００２５】
被印刷体３の姿勢変更が終了すると保持部２０を下降させ被印刷体３とマスク２を完全に離反させる（ＳＴ６）。このとき、図５に示すように、被印刷体３の他端側におけるパターン孔２ａからはペーストＰが完全に抜けていないので、下降開始直後は速度を微速にして被印刷体３の他端側におけるペーストＰの抜けが円滑になるようにして版離れ性を良くしている。
【００２６】
なお、マスク２には、メタルマスク等の撓みにくいマスクや樹脂マスク等の撓みやすいマスクがあり、版離れの際のマスクの撓み量に差がある。従って、ＳＴ５における姿勢変更とＳＴ６における下降動作は必ずしもこの順序で行う必要はなく、両動作を適宜組み合わせて行うことにより、マスク２の品種を問わず良好な版離れを実現することができる。
【００２７】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について説明する。本発明の実施の形態２は、スクリーン印刷装置１における姿勢変更手段である昇降手段の構成において実施の形態１における昇降手段３０と異なる。以下、実施の形態２における昇降手段５０について説明する。なお、実施の形態１における構成と同様の構成については同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００２８】
図７（ａ）は本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す平面図、図７（ｂ）、（ｃ）は本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図である。図７（ａ）、（ｂ）において、昇降手段５０は、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側に配設されている。昇降手段５０は、図７（ｃ）に示すように、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側を昇降させることにより支持部２１を中心に保持部２０を回動させ、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢をマスク２に対して姿勢変更させる姿勢変更手段としての機能を有している。本実施の形態２における昇降手段５０は、横方向（Ｘ方向）の動きをリンク機構により上下方向（Ｚ方向）の動きに変換することにより保持部２０の一端側を昇降させて被印刷体３の姿勢を変更するように構成されており、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）にシャフト５１を進退させるシリンダ５２と、シャフト５１の先端と保持部２０の下面に設けられたブラケット５３を連結する鉤型部材５４から構成されている。鉤型部材５４は、その一端５４ａがシャフト５１の先端に回動自在に枢着され、他端５４ｂが保持部２０の下面に設けられたブラケット５３に回動自在に枢着されている。
【００２９】
図７（ｂ）に示すように、シャフト５１を延伸させた状態にあるときは、保持部２０を水平姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して平行な姿勢となる。一方、図７（ｃ）に示すように、シャフト５１を収縮させた状態にあるときは、保持部２０を傾斜姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して傾斜した姿勢となる。なお、シャフト５１を収縮させると、鉤型部材５４の一端５４ａと枢着されたシャフト５１の先端が上方に僅かに浮き上がる。そのため、シリンダ５２はテーブル５ｂの上面に設けられたブラケット５５に枢着されてシャフト５１の上下動を許容するようになっている。
【００３０】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について説明する。本発明の実施の形態３は、スクリーン印刷装置１における姿勢変更手段である昇降手段の構成において実施の形態１における昇降手段３０及び実施の形態２における昇降手段５０と異なる。以下、実施の形態３における昇降手段６０について説明する。なお、実施の形態１における構成と同様の構成については同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００３１】
図８（ａ）は本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す平面図、図８（ｂ）、（ｃ）は本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図である。図８（ａ）、（ｂ）において、昇降手段６０は、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側に配設されている。昇降手段６０は、図８（ｃ）に示すように、被印刷体３の搬送方向（Ｘ方向）における一端側を昇降させることにより支持部２１を中心に保持部２０を回動させ、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢をマスク２に対して姿勢変更させる姿勢変更手段としての機能を有している。
【００３２】
本実施の形態３における昇降手段６０は、鉛直方向（Ｚ方向）を中心軸方向として回転する動きを上下方向（Ｚ方向）の動きに変換することにより保持部２０の一端側２０ｂを昇降させて被印刷体３の姿勢を変更するように構成されており、鉛直方向（Ｚ方向）に立設されたボールねじ６１と、ボールねじ６１に螺合するナット部材６２と、ボールねじ６１を回転させる駆動手段としてのモータ６３を備えている。モータ６３の回転軸６３ａに設けられたプーリ６４とボールねじ６１に設けられたプーリ６５との間に調帯されたベルト６６により、モータ６３の回転駆動が伝達されてボールねじ６１が回転し、ナット部材６２が鉛直方向に送られて昇降するようになっている。ナット部材６２の側部にはカム溝６２ａが形成されており、保持部２０の下面に設けられたカムフォロア６７のコロ６７ａがカム溝６２ａに係合している。これにより、ナット部材６２の昇降に伴って保持部２０の一端側２０ｂが昇降するようになっている。
【００３３】
図８（ｂ）に示すように、ナット部材６２をボールねじ６１の上方に送ると、保持部２０を水平姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して平行な姿勢となる。一方、図８（ｃ）に示すように、ナット部材６２をボールねじ６１の下方に送ると、保持部２０を傾斜姿勢にすることができる。これにより、保持部２０に保持された被印刷体３の姿勢がマスク２に対して傾斜した姿勢となる。
【００３４】
上述した実施の形態１、２、３においては、被印刷体を保持する保持手段の一端側を昇降させる昇降手段と他端側を枢支する支持部を被印刷体の搬送方向（Ｘ方向）の端部に配設する形態を示したが、昇降手段と支持部を被印刷体の搬送方向と直交する方向（Ｙ方向）に配設してもよい。この場合においても被印刷体の一端側から他端側に向けて徐々にマスクと離反するので、パターン孔に滞留したペーストＰの抜けが円滑になり、パターン孔に残留するペーストＰの量が低減する。これにより、被印刷体の表面にパターン印刷されるペースト量に不足が生じることがなくなり印刷不良の発生が抑制されて印刷品質が向上する。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法によれば、被印刷体の一端側から他端側に向けて徐々にマスクと離反させることにより被印刷体とマスクの版離れ性が向上して印刷不良の発生が抑制されるという利点を有し、パターン孔が形成されたマスクに位置合わせされた被印刷体の表面にペーストをパターン印刷するスクリーン印刷分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の正面図
【図２】（ａ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す平面図（ｂ）本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図（ｃ）本発明の実施の形態１における昇降手段を示す側面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の制御系の構成図
【図４】本発明の実施の形態１におけるスクリーン印刷装置の印刷動作を示すフローチャート
【図５】本発明の実施の形態１におけるマスクと被印刷体の版離れの様子を示す説明図
【図６】本発明の実施の形態１におけるマスクと被印刷体の版離れの様子を示す説明図
【図７】（ａ）本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す平面図（ｂ）本発明の実施の形態２におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図（ｃ）本発明の実施の形態２における昇降手段を示す側面図
【図８】（ａ）本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す平面図（ｂ）本発明の実施の形態３におけるスクリーン印刷装置の昇降手段を示す側面図（ｃ）本発明の実施の形態３における昇降手段を示す側面図
【符号の説明】
【００３７】
２  マスク
２ａ  パターン孔
３  被印刷体
４  保持手段
５  昇降手段
６  マスク支持手段
３０、５０、６０  姿勢変更手段
Ｐ  ペースト
【図１】
2007160659.tif 000003
【図２】
2007160659.tif 000004
【図３】
2007160659.tif 000005
【図４】
2007160659.tif 000006
【図５】
2007160659.tif 000007
【図６】
2007160659.tif 000008
【図７】
2007160659.tif 000009
【図８】
2007160659.tif 000010