(57)【要約】【課題】  操作性を向上することができる干渉縞解析方法、干渉縞解析プログラム、および記録媒体を提供する。【解決手段】  干渉縞の縞本数が、所定の許容範囲である目標縞本数範囲内となるようにアライメントを行うため、干渉縞の縞本数を検出する処理を含むアライメント処理が行われる（ステップＳ２０１）。続いて、検出した縞本数が許容範囲（目標縞本数範囲Ａ）内であるか否かが判定される（ステップＳ２０２）。縞本数が目標縞本数範囲Ａ内であった場合には、自動的にアライメント処理から縞解析処理に移行し、干渉縞を解析して被検体の収差が数値化される（ステップＳ２０３）。【選択図】    図２
2007101386.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉縞を解析して被検体の収差を数値化する処理を行う干渉縞解析方法において、
前記干渉縞の縞本数が許容範囲内となるようにアライメントを行うため、前記干渉縞の縞本数を検出する処理を行うアライメント処理と、
前記干渉縞を解析し、前記被検体の収差を数値化する処理を行う縞解析処理と、
を有し、前記アライメント処理において、前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲内となった場合に、前記縞解析処理に移行することを特徴とする干渉縞解析方法。
【請求項２】
前記縞解析処理において、前記干渉縞の縞本数を再度検出し、検出した前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲から外れた場合に、前記アライメント処理に移行することを特徴とする請求項１に記載の干渉縞解析方法。
【請求項３】
前記アライメント処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲と、前記縞解析処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲とが異なることを特徴とする請求項２に記載の干渉縞解析方法。
【請求項４】
前記干渉縞を形成するための光源の波長に応じて、前記干渉縞の縞本数の許容範囲を可変に設定することを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかの項に記載の干渉縞解析方法。
【請求項５】
干渉縞を解析して被検体の収差を数値化する処理をコンピュータに実行させるための干渉縞解析プログラムにおいて、
前記干渉縞の縞本数が許容範囲内となるようにアライメントを行うため、前記干渉縞の縞本数を検出する処理を行うアライメント処理と、
前記干渉縞を解析し、前記被検体の収差を数値化する処理を行う縞解析処理と、
をコンピュータに実行させ、前記アライメント処理において、前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲内となった場合に、前記縞解析処理に移行する処理をコンピュータに実行させることを特徴とする干渉縞解析プログラム。
【請求項６】
前記縞解析処理において、前記干渉縞の縞本数を再度検出し、検出した前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲から外れた場合に、前記アライメント処理に移行する処理をコンピュータに実行させることを特徴とする請求項５に記載の干渉縞解析プログラム。
【請求項７】
前記アライメント処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲と、前記縞解析処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲とが異なることを特徴とする請求項６に記載の干渉縞解析プログラム。
【請求項８】
前記干渉縞を形成するための光源の波長に応じて、前記干渉縞の縞本数の許容範囲をコンピュータに可変に設定することを特徴とする請求項５〜請求項７のいずれかの項に記載の干渉縞解析プログラム。
【請求項９】
請求項５〜請求項８のいずれかの項に記載の干渉縞解析プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、干渉縞を解析して光学部品や半導体ウェハ等の被検体の面形状に応じた収差を数値化する干渉縞解析方法に関する。また、本発明は、この干渉縞解析方法に従った処理をコンピュータに実行させる干渉縞解析プログラムにも関し、この干渉縞解析プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体にも関する。
【背景技術】
【０００２】
干渉計を利用した干渉縞の解析方法は、フリンジスキャン方式とフーリエ変換方式とに大きく分けることができる。フリンジスキャン方式では、一般に干渉縞の縞本数がゼロ本（ヌルと呼ぶ）となるようにアライメントを行ってから干渉縞の解析を行うのが普通である。一方、フーリエ変換方式では、その解析方法から、干渉縞の縞本数を数十本程度にする必要がある。よって、干渉縞の縞本数を所定の本数にアライメントする技術は、主にフーリエ変換方式に用いられる技術である。
【０００３】
干渉縞の本数を所定の本数にするためのアライメントに関する従来技術は、例えば特許文献１および特許文献２に開示されている。特許文献１に記載された技術では、イメージセンサで捕らえた干渉縞画像と、基準となる干渉縞画像とを重ね合わせてモアレ縞として表示し、このモアレ縞の周期からアライメント状態を検出している。また、特許文献２に記載された技術では、被検光と参照光をレンズで集光させて、それぞれの集光位置のずれ量から縞本数を検出している。
【特許文献１】特許第２６０８７４４号公報
【特許文献２】特許第３２０６９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述した従来技術においては、アライメント状態が目標に対してどの程度ずれているのかを検出し、アライメントしやすいように工夫されている。しかし、所望のアライメント状態が得られてから、干渉縞を解析して被検体の収差を数値化する縞解析処理に移行する際の具体的方法はいずれの特許文献にも明記されていない。具体的方法としては、所望のアライメント状態が得られたか否かをユーザが判断し、所望のアライメント状態が得られたと判断した場合に、ユーザが装置に指示を入力することによって、縞解析処理に移行することが考えられる。
【０００５】
しかし、この方法では、所望のアライメント状態が得られたか否かをユーザが判断して指示を入力する操作が煩わしいという問題がある。また、解析に適したアライメント状態が得られていないにもかかわらず、所望のアライメント状態が得られたとユーザが誤って判断してしまい、縞解析処理で正確な処理結果を得ることができなくなる可能性もある。
【０００６】
本発明は、上述した問題点に鑑みてなされたものであって、操作性を向上することができる干渉縞解析方法、干渉縞解析プログラム、および記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記の課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、干渉縞を解析して被検体の収差を数値化する処理を行う干渉縞解析方法において、前記干渉縞の縞本数が許容範囲内となるようにアライメントを行うため、前記干渉縞の縞本数を検出する処理を行うアライメント処理と、前記干渉縞を解析し、前記被検体の収差を数値化する処理を行う縞解析処理とを有し、前記アライメント処理において、前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲内となった場合に、前記縞解析処理に移行することを特徴とする干渉縞解析方法である。
【０００８】
また、本発明の干渉縞解析方法では、前記縞解析処理において、前記干渉縞の縞本数を再度検出し、検出した前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲から外れた場合に、前記アライメント処理に移行することを特徴とする。
【０００９】
また、本発明の干渉縞解析方法では、前記アライメント処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲と、前記縞解析処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲とが異なることを特徴とする。
【００１０】
また、本発明の干渉縞解析方法では、前記干渉縞を形成するための光源の波長に応じて、前記干渉縞の縞本数の許容範囲を可変に設定することを特徴とする。
【００１１】
また、本発明は、干渉縞を解析して被検体の収差を数値化する処理をコンピュータに実行させるための干渉縞解析プログラムにおいて、前記干渉縞の縞本数が許容範囲内となるようにアライメントを行うため、前記干渉縞の縞本数を検出する処理を行うアライメント処理と、前記干渉縞を解析し、前記被検体の収差を数値化する処理を行う縞解析処理とをコンピュータに実行させ、前記アライメント処理において、前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲内となった場合に、前記縞解析処理に移行する処理をコンピュータに実行させることを特徴とする干渉縞解析プログラムである。
【００１２】
また、本発明の干渉縞解析プログラムでは、前記縞解析処理において、前記干渉縞の縞本数を再度検出し、検出した前記干渉縞の縞本数が前記許容範囲から外れた場合に、前記アライメント処理に移行する処理をコンピュータに実行させることを特徴とする。
【００１３】
また、本発明の干渉縞解析プログラムでは、前記アライメント処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲と、前記縞解析処理における前記干渉縞の縞本数の許容範囲とが異なることを特徴とする。
【００１４】
また、本発明の干渉縞解析プログラムでは、前記干渉縞を形成するための光源の波長に応じて、前記干渉縞の縞本数の許容範囲をコンピュータに可変に設定することを特徴とする。
【００１５】
また、本発明は、上記の干渉縞解析プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、アライメント処理で干渉縞の縞本数を検出し、縞本数が許容範囲内に入ったと判断したら、自動的に縞解析処理に移行するため、アライメント処理から縞解析処理への切り替え指示等をユーザが行うことを不用とし、操作性を向上することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態を説明する。図１は、本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの構成を示している。本実施形態ではフィゾー型干渉計を用いたシステムの構成例を説明するが、これに限定される訳ではない。干渉計１はレーザ光源、レンズ、ハーフミラー、および参照光形成のための参照面等を備えている。干渉計１の結像位置には、干渉縞を撮像するための撮像素子を備えたCCDカメラ２が配置されている。CCDカメラ２は、カメラケーブル３によって干渉縞解析装置４に接続されている。被検体５はXYステージ６上に載置されている。XYステージ６は２次元方向に移動可能に構成されている。
【００１８】
干渉縞解析装置４は、CCDカメラ２によって生成された干渉縞の画像データを処理し、被検体５の面形状に応じた収差を数値化する処理を行う。この干渉縞解析装置４は、例えば汎用のPC（Personal Computer）によって構成され、基本的な演算機能を有するCPU（Central Processing Unit）等からなる制御部、情報記憶機能を有するHDD（Hard Disk Drive）や、SDRAM（Synchronous Random Access Memory）、ROM（Read Only Memory）等の記憶装置、CCDカメラ２と通信を行うための通信部、ユーザが操作するためのマウスやキーボード等の操作部、および情報を表示する表示部等を有している。
【００１９】
本実施形態では、干渉縞の解析に係る動作および機能を実現するためのプログラムをコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記録して、この記録媒体に記録されたプログラムを、コンピュータとしての干渉縞解析装置４に読み込ませ、所望の処理を実行させることにより、所望の機能が実現される。すなわち、プログラムに記述された処理命令に従って干渉縞解析装置４が処理を行うことによって、干渉縞の解析に必要な所望の処理が実行される。干渉縞の解析に必要な所望の処理とは、干渉縞の縞本数が許容範囲内となるようにアライメントを行うため、干渉縞の縞本数を検出する処理を行うアライメント処理や、干渉縞を解析して被検体５の収差を数値化する処理を行う縞解析処理等のことである。
【００２０】
ここで、「コンピュータ」は、ＷＷＷシステムを利用している場合であれば、ホームページ提供環境（あるいは表示環境）も含むものとする。また、「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、フレキシブルディスク、光磁気ディスク、ROM、CD-ROM等の可搬媒体、コンピュータに内蔵されるハードディスク等の記憶装置のことをいう。さらに「コンピュータ読み取り可能な記録媒体」とは、インターネット等のネットワークや電話回線等の通信回線を介してプログラムが送信された場合のサーバやクライアントとなるコンピュータシステム内部の揮発性メモリ（RAM）のように、一定時間プログラムを保持しているものも含むものとする。
【００２１】
また、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータにこのプログラムを伝送してもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク（通信網）や電話回線等の通信回線（通信線）のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。また、上述したプログラムは、所望の機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、所望の機能を、コンピュータに既に記録されているプログラムとの組合せで実現できるもの、いわゆる差分ファイル（差分プログラム）であってもよい。
【００２２】
次に、本実施形態による干渉縞解析システムの動作を説明する。干渉計１から発せられたレーザ光は被検体５の表面で反射されて、干渉計１に戻ってくる。この戻り光が被検光となり、干渉計１の内部の参照面で反射された光、すなわち参照光と干渉し、CCDカメラ２が備える撮像素子の撮像面上に干渉縞を形成する。CCDカメラ２は、この干渉縞を撮像して画像データを生成し、カメラケーブル３を介して干渉縞解析装置４へ出力する。CCDカメラ２によって生成された干渉縞の画像データは、カメラケーブル３を介して随時干渉縞解析装置４に取り込まれる。
【００２３】
この際、干渉計１の光軸と被検体５の間の位置ずれが大きいと干渉縞の縞本数は多くなり、位置ずれが小さいと干渉縞の縞本数は少なくなる。干渉縞の解析は、図２に示される手順（第１の手順）で行われる。まず、干渉縞の縞本数が、所定の許容範囲である目標縞本数範囲内（例えばM本以上N本以下）となるようにアライメントを行うため、干渉縞の縞本数を検出する処理を含むアライメント処理が行われる（ステップＳ２０１）。ステップＳ２０１において干渉縞解析装置４は、入力された画像データを画像処理して干渉縞の縞本数を数値化する。
【００２４】
検出された干渉縞の縞本数は、干渉縞解析装置４の表示部が備える表示画面上に現在の縞本数１００として表示される。また、この表示画面上には目標縞本数範囲１０１も表示される。現在の縞本数１００は十字形であり、目標縞本数１０１は四角形である。また、目標縞本数範囲１０１は、目標とする縞本数範囲の広さに応じて大きさが変化するようになっている。当然、現在の縞本数１００および目標縞本数範囲１０１の表示形態はこれに限定されるものではない。
【００２５】
現在の縞本数１００は、縞本数と縞の方向に応じた位置に表示される。現在の縞本数１００と目標縞本数範囲１０１の表示位置の関係は以下の通りである。X方向の縞本数が目標の縞本数よりも少ない場合には、現在の縞本数１００は目標縞本数範囲１０１の中心位置よりも左側に表示される。X方向の縞本数が目標の縞本数よりも多い場合には、現在の縞本数１００は目標縞本数範囲１０１の中心位置よりも右側に表示される。Y方向の縞本数が目標の縞本数よりも少ない場合には、現在の縞本数１００は目標縞本数範囲１０１の中心位置よりも上側に表示される。Y方向の縞本数が目標の縞本数よりも多い場合には、現在の縞本数１００は目標縞本数範囲１０１の中心位置よりも下側に表示される。
【００２６】
ユーザは現在の縞本数１００および目標縞本数範囲１０１を確認しながらXYステージ６をXY方向に手動で移動させる。現在の縞本数１００および目標縞本数範囲１０１はアライメントの目安となる。本実施形態ではユーザがXYステージ６を手動で移動するようにしているが、XYステージ６を自動で移動させてもよい。この間、定期的または不定期的にCCDカメラ２によって干渉縞が撮像され、画像データが生成される。干渉縞解析装置４は、この画像データに基づいて上記のように干渉縞の現在の縞本数を検出し、さらにこの縞本数が許容範囲（目標縞本数範囲Ａと表記する）内であるか否かを判定する（ステップＳ２０２）。
【００２７】
現在の縞本数が目標縞本数範囲Ａ内でなかった場合には、干渉縞解析装置４は干渉縞の縞本数の検出を継続する。すなわち、処理はステップＳ２０１に戻る。また、現在の縞本数が目標縞本数範囲Ａ内であった場合には、干渉縞解析装置４は自動的にアライメント処理から縞解析処理に移行し、干渉縞を解析して被検体５の収差を数値化する（ステップＳ２０３）。数値化した解析結果は、被検体５の表面形状の２次元または／および３次元の画像と共に、干渉縞解析装置４の表示部が備える表示画面上に表示される。その後、オペレータからの終了指示を検出した場合（ステップＳ２０４）は解析処理を終了し、終了指示がなければステップＳ２０３に戻り、縞解析処理を繰り返す。
【００２８】
上述した干渉縞解析方法によれば、干渉縞を解析するためのプログラムに従って干渉縞解析装置４がアライメント処理で干渉縞の縞本数を検出し、現在の縞本数が許容範囲内に入ったと判断したら、自動的に縞解析処理に移行するため、アライメント処理から縞解析処理への切り替え指示等をユーザが行うことを不要とし、操作性を向上することができる。また、解析に適したアライメント状態が得られていないにもかかわらず縞解析処理に移行し、縞解析処理で正確な処理結果を得ることができなくなるという不具合の発生を防止することができる。
【００２９】
干渉縞の解析は、図３に示される手順（第２の手順）で行ってもよい。以下、図３に示される手順による干渉縞解析方法を説明する。ステップＳ３０１およびＳ３０２で行われる処理は図２のステップＳ２０１およびＳ２０２で行われる処理と同様であるので、説明を省略する。ステップＳ３０２において、干渉縞の現在の縞本数が縞本数範囲Ａ内であると判断された場合、第１の手順と同様に、干渉縞解析装置４は処理を縞解析処理に切り替え、干渉縞を解析して被検体５の収差を数値化する（ステップＳ３０３）。数値化した解析結果は、被検体５の表面形状の２次元または／および３次元の画像と共に、干渉縞解析装置４の表示部が備える画面上に表示される。ステップＳ３０３において、干渉縞の解析中にCCDカメラ２から新たな画像データが入力された場合には、干渉縞解析装置４は、その画像データに基づいて干渉縞の現在の縞本数を再度検出する。
【００３０】
続いて、干渉縞解析装置４は、干渉縞の最新の縞本数が許容範囲（目標縞本数範囲Ａ）内であるか否かを判定する（ステップＳ３０４）。この許容範囲は、ステップＳ３０２における判定処理に用いられる許容範囲と同一である。最新の縞本数が目標縞本数範囲Ａ内でなかった場合には、干渉縞解析装置４は自動的に縞解析処理からアライメント処理に移行する。すなわち、処理はステップＳ３０１に戻る。また、最新の縞本数が目標縞本数範囲Ａ内であった場合には、オペレータからの終了指示を検出するまで干渉縞解析装置４は縞解析処理を継続する。すなわち、オペレータからの終了指示を検出した場合（ステップＳ３０５）は縞解析処理を終了し、終了指示がなければステップＳ３０３に戻り縞解析処理を繰り返す。
【００３１】
上述した干渉縞解析方法によれば、ユーザが被検体５の交換を行ったために、干渉縞の縞本数が許容範囲から外れてしまった場合等には、干渉縞解析装置４が縞解析処理からアライメント処理に自動的に移行するため、縞解析処理からアライメント処理への切り替え指示等をユーザが行うことを不要とし、操作性を向上することができる。
【００３２】
干渉縞の解析は、図４に示される手順（第３の手順）で行ってもよい。以下、図４に示される手順による干渉縞解析方法を説明する。図４に示されるステップＳ４０１〜Ｓ４０５における処理の内容は、図３に示されるステップＳ３０１〜Ｓ３０５における処理の内容とほぼ同様である。しかし、本手順のステップＳ４０４で用いられる目標縞本数範囲Ｂは、ステップＳ４０２で用いられる目標縞本数範囲Ａとは異なる（同一ではない）許容範囲である。
【００３３】
目標縞本数範囲Ｂは目標縞本数範囲Ａよりも広めに設定することが望ましい。これによって、干渉縞解析装置４が一旦縞解析処理に移行した後は、振動等による被検体５のわずかな姿勢変化が原因で、干渉縞の縞本数が多少変動して目標縞本数範囲Ａから外れたとしても、目標縞本数範囲Ｂから外れない限り、干渉縞解析装置４はアライメント処理に移行しない。したがって、被検体５のわずかな姿勢変化が原因で、アライメント処理と縞解析処理との間で意図せぬ移行を繰り返すような不具合がなくなり、操作性を向上することができる。
【００３４】
干渉縞の解析は、図５に示される手順（第４の手順）で行ってもよい。以下、図５に示される手順による干渉縞解析方法を説明する。本手順では、光源の波長（測定波長）を変えながら干渉縞の解析が行われる。測定波長を変えながら同一の被検体５の干渉縞を解析する際には、測定波長が変わっても被検体５の基準位置と干渉計１の光軸のずれ量をなるべく同一にして、同一のアライメント状態で解析を行うことが望ましい。被検体５の基準位置と干渉計１の光軸のずれ量を同一にすれば、被検体５で反射された光が干渉計１の内部の常に同じ場所を通るため、同一の条件で測定を行うことができる。
【００３５】
しかし、測定波長が小さくなると干渉縞の縞本数は多くなり、測定波長が大きくなると干渉縞の本数は少なくなるため、測定波長が変わっても、縞本数の許容範囲が一定の場合には、測定波長が変わる毎にXYステージ６を大きく移動させて縞本数を許容範囲内に収める必要がある。したがって、測定波長が変わってもXYステージ６をあまり移動させずに、被検体５の基準位置と干渉計１の光軸のずれ量をなるべく同一にして干渉縞を解析するためには、測定波長に応じて縞本数の許容範囲を可変に設定する必要がある。
【００３６】
本手順においては、測定波長が切り替えられる毎に縞本数の許容範囲が変わるようになっている。アライメント時に干渉縞の縞本数を合わせるべき目標となる目標縞本数と測定波長との間には、目標縞本数＝Ｃ／測定波長という関係がある。ここで、Ｃは被検体５の表面の曲率半径ｒと、被検体５の基準位置（曲面の頂点等）と干渉計１の光軸のずれ量δとの関数として、Ｃ＝ｆ（ｒ，δ）のように表される。
【００３７】
上記のＣの値を適当に定めることにより、各測定波長に対応した目標縞本数を求めることができる。例えば、Ｃ＝32000とした場合、波長405nm時の目標縞本数は32000／405＝約79本となる。同様にして、波長660nm時の目標縞本数は約48.5本、波長780nm時の目標縞本数は約41本と求められる。このように、測定波長が小さい場合には、目標縞本数は大きくなり、測定波長が大きい場合には、目標縞本数は小さくなる。この目標縞本数と、縞本数に対する許容度とを考慮して、縞本数の許容範囲が決定される。
【００３８】
ステップＳ５０１におけるアライメント処理に続いて、干渉縞解析装置４は上記のようにして、測定波長に応じた縞本数の許容範囲（縞本数範囲）を設定する（ステップＳ５０２）。測定波長が干渉縞解析装置４に予め設定された状態で干渉縞の解析が行われるが、測定波長が切り替えられた際には、ユーザが干渉縞解析装置４に波長を入力するようにしてもよいし、切り替わった波長を干渉縞解析装置が自動で検出するようにしてもよい。
【００３９】
続いて、干渉縞解析装置４は、干渉縞の現在の縞本数が、設定した許容範囲（目標縞本数範囲）内であるか否かを判定する（ステップＳ５０３）。現在の縞本数が目標縞本数範囲内でなかった場合には、干渉縞解析装置４は干渉縞の縞本数の検出を継続する。すなわち、処理はステップＳ５０１に戻る。また、現在の縞本数が目標縞本数範囲内であった場合には、干渉縞解析装置４は自動的にアライメント処理から縞解析処理に移行し、干渉縞を解析して被検体５の収差を数値化する（ステップＳ５０４）。ステップＳ５０４においても、干渉縞の解析中にCCDカメラ２から新たな画像データが入力された場合には、干渉縞解析装置４は、その画像データに基づいて干渉縞の現在の縞本数を再度検出する。
【００４０】
続いて、干渉縞解析装置４は、干渉縞の最新の縞本数が、設定した許容範囲（目標縞本数範囲）内であるか否かを判定する（ステップＳ５０５）。この許容範囲は、ステップＳ５０３における判定処理に用いられる許容範囲と同一であってもよいし、異なっていてもよい。最新の縞本数が目標縞本数範囲内でなかった場合には、干渉縞解析装置４は自動的に縞解析処理からアライメント処理に移行する。すなわち、処理はステップＳ５０１に戻る。また、最新の縞本数が目標縞本数範囲内であった場合には、オペレータからの終了指示を検出するまで、干渉縞解析装置４は縞解析処理を継続する。すなわち、オペレータからの終了指示を検出した場合（ステップＳ５０６）は縞解析処理を終了し、終了指示がなければステップＳ５０４に戻り縞解析処理を繰り返す。
【００４１】
上述した干渉縞解析方法によれば、光源の波長に応じて干渉縞の許容範囲が設定されるため、光源の波長が様々に変化しても、アライメント状態を大きく変化させることなく、また、干渉計自体の有する内部収差の影響が同一の条件で干渉縞の解析を行うことができる。
【００４２】
以上、図面を参照して本発明の実施形態について詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。例えば、上記の実施形態ではフィゾー型干渉計を用いているが、シェアリング干渉計や、トワイマン・グリーン型干渉計、マッハ・ツェンダー型干渉計、透過波面型干渉計等を用いてもよい。また、上記の実施形態では、プログラムに記述された処理命令に従ってPC等の汎用コンピュータが処理を行うことによって、干渉縞の解析に必要な所望の処理が実行されるとしたが、各処理を行うための電子回路からなる専用のハードウェアを備えた処理装置が所望の処理を実行してもよい。また、各実施形態では、終了指示はオペレータからの終了指示として説明したが、これに限らず、縞本数が目標本数範囲内になったとき、または目標縞本数範囲になってから所定時間経過後に自動的に終了指示が出されるように設定してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの構成を示す構成図である。
【図２】本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの動作の手順（第１の手順）を示すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの動作の手順（第２の手順）を示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの動作の手順（第３の手順）を示すフローチャートである。
【図５】本発明の一実施形態による干渉縞解析システムの動作の手順（第４の手順）を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４４】
１・・・干渉計、２・・・CCDカメラ、３・・・カメラケーブル、４・・・干渉縞解析装置、５・・・被検体、６・・・XYステージ
【図１】
2007101386.tif 000003
【図２】
2007101386.tif 000004
【図３】
2007101386.tif 000005
【図４】
2007101386.tif 000006
【図５】
2007101386.tif 000007