(57)【要約】【課題】  可動レンズ枠の位置検出手段を備える機器のさらなる小形化及び低コスト化を実現し得るレンズ駆動モジュールを提供する。【解決手段】  駆動手段により光軸方向に移動可能に形成した複数の可動レンズ枠と、前記光軸方向に沿い基準面側に前記各可動レンズ枠から突出しているロッド状の複数の被検出部材と、各被検出部材に対応させて前記基準面に配設した複数の検出部とを有し、前記各可動レンズ枠の前記基準面側への移動に伴い前記各被検出部材の先端が前記各検出部に当接したことで電気的な閉回路が形成されることを利用して前記各可動レンズ枠が各基準位置にそれぞれ占位したことを検出する。【選択図】  図１
2007155775.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動手段により光軸方向に移動可能に形成した複数の可動レンズ枠と、
各可動レンズ枠にそれぞれ固着されて前記可動レンズ枠と一体的に光軸方向に移動する複数の可動レンズを含む光学系と、
前記光軸方向に沿い基準面側に前記各可動レンズ枠から突出しているロッド状の複数の被検出部材及び各被検出部材に対応させて前記基準面に配設した複数の検出部を有し、前記各可動レンズ枠の前記基準面側への移動に伴い前記各被検出部材の先端が前記各検出部に当接乃至近接したことを検出することにより前記各可動レンズ枠が各基準位置にそれぞれ占位したことを検出する位置検出手段と、
この位置検出手段が前記当接乃至近接を検出したとき前記駆動手段を介して前記各可動レンズ枠の移動を停止するように制御する制御手段とを有することを特徴とするレンズ駆動モジュール。
【請求項２】
請求項１に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記可動レンズ枠のうち最も基準面側にある可動レンズ枠以外の可動レンズ枠から突出している被検出部材は他の可動レンズ枠に設けた貫通孔を貫通して前記基準面側に突出することにより貫通した可動レンズ枠のガイドシャフトを兼用するように構成したことを特徴とするレンズ駆動モジュール。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記各可動レンズ枠は導電性を有するように構成したものであり、
前記位置検出手段は、各被検出部材が導電性を有するとともに前記各検出部も導電性を有する電極として構成してあり、前記各可動レンズ枠の移動に伴い前記各検出部の先端が前記各検出部に当接して前記各電極間が前記各被検出部及び前記各可動レンズ枠で電気的に短絡されることによる電位の変化を検出することにより前記各可動レンズ枠が前記各基準位置に占位したことを検出するものであることを特徴とするレンズ駆動モジュール。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記位置検出手段は、各被検出部材が磁性を有するとともに前記各検出部が磁気を検出する磁気センサとして構成してあり、前記各可動レンズ枠の移動に伴い前記各検出部の先端が前記各検出部に近接乃至当接することによる磁界の変化を検出することにより前記各可動レンズ枠が各基準位置に占位したことを検出するものであることを特徴とするレンズ駆動モジュール。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４の何れか一つに記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記位置検出手段の各検出部は、基準面となる回路基板の表面に配設してあることを特徴とするレンズ駆動モジュール。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５の何れか一つに記載するレンズ駆動モジュールに撮像素子を組み合わせるとともに、この撮像素子も前記回路基板の表面に配設したことを特徴とするカメラモジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレンズ駆動モジュール及びこれを有するカメラモジュール関し、特に携帯電話のカメラ、ＰＣのカメラ等、限られたスペースに設置することが要求される用途に適用して有用なものである。
【背景技術】
【０００２】
図７は従来技術に係るレンズ駆動モジュールを備えたカメラモジュールの全体構成を示す断面図である。同図に示すように、当該カメラモジュールのベース１には第２の固定レンズ２が設けられ、第２の固定レンズ２の後面（図中下側）には撮像素子（ＣＣＤカメラ等）３が設けられている。カバー４は第２の固定レンズ２の上方を覆うようにベース１に取り付けられている。第１の固定レンズ５は第２の固定レンズ２を挟んで撮像素子３と対向する位置でカバー４に取り付けられている。
【０００３】
リードスクリュウである第１の送りねじ軸６及び第２の送りねじ軸７は、第１の固定レンズ５及び第２の固定レンズ２の光路開口の両外側におけるカバー４の内部で、レンズ群の光軸方向（図中上下方向）に延びて軸回りに回転自在に支持されている。ここで、第１の送りねじ軸６のねじ部８には第１の可動レンズ枠９が螺合し、第２の送りねじ軸７のねじ部１０には第２の可動レンズ枠１１が螺合している。
【０００４】
第１の可動レンズ枠９は第１の可動レンズ１２を保持するとともに、第２の可動レンズ枠１１は第２の可動レンズ１３を保持している。すなわち、第１の送りねじ軸６及び第２の送りねじ軸７が回転することにより、第１の可動レンズ枠９及び第２の可動レンズ枠１１がそれぞれ独立して上下方向に往復移動し、第１の可動レンズ１２及び第２の可動レンズ１３を、第１の固定レンズ５及び第２の固定レンズ２の間で独立して任意の位置に占位させることができる。これにより、ズーミングとフォーカシングとを独立して行うことができる。
【０００５】
ここで、図７のＩ−Ｉ線矢視図である図８及びそのＩＩ−ＩＩ線矢視図である図９を追加してさらに詳細に説明する。両図に示すように、第１のガイドシャフト１５及び第２のガイドシャフト１６はベース１からカバー４（後述するモータ押え板）に亘り設けてある。一方、第１の可動レンズ枠９には水平方向に突出するガイド板１７，１８が一体的に設けてあり、第２の可動レンズ枠１１には同様に水平方向に突出するガイド板１９，２０が一体的に設けてある。ここで、第１のガイドシャフト１５はガイド板１７，１９に設けた貫通孔をそれぞれ貫通するとともに、第２のガイドシャフト１６はガイド板１８，２０に設けた貫通孔をそれぞれ貫通するように構成してある。かくして、第１及び第２の可動レンズ枠９，１１は、第１及び第２のガイドシャフト１５，１６とガイド板１７乃至２０により光軸回りの回動が規制されて第１及び第２のガイドシャフト１５，１６の上下方向にのみ直線的に往復移動する。
【０００６】
第１のモータ２３は、第１の送りねじ軸６の駆動回転、すなわち第１の可動レンズ１２の往復移動を行う駆動源であり、第１の送りねじ軸６の側部におけるベース１とカバー４との間に、モータ押え板２１及びモータ固定板２２を介して取り付けてある。同様に、第２のモータ２４は、第２の送りねじ軸７の駆動回転、すなわち第２の可動レンズ１３の往復移動を行う駆動源であり、第２の送りねじ軸７の側部におけるベース１とカバー４との間に、モータ押え板２１及びモータ固定板２２を介して取り付けてある。ここで、第１のモータ２３の駆動力は、歯車２５，２９，２７を介して第１の送りねじ軸６に伝達され、同様に第２のモータ２４の駆動力は、歯車２６，３０，２８を介して第２の送りねじ軸７に伝達される。ここで、第１及び第２のモータ２３，２４には、通常ステッピングモータが用いられる。
【０００７】
かくして、第１のモータ２３の駆動により第１の送りねじ軸６が回転することにより第１の可動レンズ枠９が第１及び第２のガイドシャフト１５，１６に沿って往復移動して第１の可動レンズ１２を所定の位置に移動する。また、第２のモータ２４の駆動により第２の送りねじ軸７が回転することにより第２の可動レンズ枠１１が第１及び第２のガイドシャフト１５，１６に沿って往復移動して第２の可動レンズ１３を所定の位置に移動する。
【０００８】
第１の可動レンズ枠９が基準位置（例えば、原点位置）に占位したことを検出する位置検出機構は、第１の可動レンズ枠９に取り付けられている第１の遮蔽部３５及びベース１側（カバー４側）に配設してある第１の検知部（フォトインタラプタ）３６を有しており、第１の検知部３６の位置で第１の遮蔽部３５を検知することで、第１の可動レンズ枠９が基準位置に占位したことを検出する。同様に、第２の可動レンズ枠１１が基準位置（例えば、原点位置）に占位したことを検出する位置検出機構は、第２の可動レンズ枠１１に取り付けられている第２の遮蔽部３７及びベース１側（カバー４側）に配設してある第２の検知部（フォトインタラプタ）３８からなり、第２の検知部３８の位置で第２の遮蔽部３７を検知することで、第２の可動レンズ枠１１が基準位置（例えば、原点位置）に占位したことを検出する。
【０００９】
一般に、可動レンズを備えてズーム機能やオートフォーカス機能を実現したカメラモジュールにおける前記可動レンズの位置検出には、フォトインタラプタが使用されることが多い。ここで、可動レンズが複数ある場合には、フォトインタラプタも複数設置することが必要になる。この結果、上述の如き従来技術においては、位置検出機構の大型化を招き、コストアップにもつながってしまう。
【００１０】
そこで、１個のフォトインタラプタで複数の可動レンズの位置検出を行うことにより小形化、低コスト化を図る技術も提案されている（特許文献１及び特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２−３４１２２６号公報
【特許文献２】特開平８−４３７１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところが、フォトインタラプタを用いた位置検出機構は、それが１個であってもフォトインタラプタを設置するエリアの他に、フォトインタラプタを通過する遮蔽板が必要である。この結果、両部品で大きなスペースが必要となって小形化が阻害され、設計の自由度も低下するばかりでなく、コストが高騰する原因ともなる。
【００１２】
また、１個のフォトインタラプタで複数の可動レンズ枠の位置検出を行う場合には、一方の可動レンズ枠を検出した状態で他方の可動レンズ枠を検出することができないため、先に検出した前記一方の可動レンズ枠を一旦退避させる必要があり、このための制御が複雑になるという問題もある。
【００１３】
本発明は、上記従来技術に鑑み、可動レンズ枠の位置検出手段を備える機器のさらなる小形化及び低コスト化を実現し得るレンズ駆動モジュール及びこれを有するカメラモジュールを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成する本発明の第１の態様は、
駆動手段により光軸方向に移動可能に形成した複数の可動レンズ枠と、
各可動レンズ枠にそれぞれ固着されて前記可動レンズ枠と一体的に光軸方向に移動する複数の可動レンズを含む光学系と、
前記光軸方向に沿い基準面側に前記各可動レンズ枠から突出しているロッド状の複数の被検出部材及び各被検出部材に対応させて前記基準面に配設した複数の検出部を有し、前記各可動レンズ枠の前記基準面側への移動に伴い前記各被検出部材の先端が前記各検出部に当接乃至近接したことを検出することにより前記各可動レンズ枠が各基準位置にそれぞれ占位したことを検出する位置検出手段と、
この位置検出手段が前記当接乃至近接を検出したとき前記駆動手段を介して前記各可動レンズ枠の移動を停止するように制御する制御手段とを有することを特徴とするレンズ駆動モジュールである。
【００１５】
本態様によれば、平面的な検出部と各可動レンズ枠から突出させたロッド状の被検出部材との組み合わせにより、各可動レンズ枠が所定の基準位置に占位したことを検出することができる。この結果、位置検出手段の設置スペースを縮小することができるばかりでなく、取り付け位置に関する制約もなくなる。
【００１６】
また、複数の可動レンズ枠を同時に移動させてそれぞれの基準位置決めを行うこともできる。
【００１７】
本発明の第２の態様は、
上記第１の態様に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記可動レンズ枠のうち最も基準面側にある可動レンズ枠以外の可動レンズ枠から突出している被検出部材は他の可動レンズ枠に設けた貫通孔を貫通して前記基準面側に突出することにより貫通した可動レンズ枠のガイドシャフトを兼用するように構成したことを特徴とするレンズ駆動モジュールである。
【００１８】
本態様によれば、被検出部材とガイドシャフトとを兼用することでその分部品点数を削減できコストの低廉化に資することができる。
【００１９】
本発明の第３の態様は、
上記第１又は第２の態様に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記各可動レンズ枠は導電性を有するように構成したものであり、
前記位置検出手段は、各被検出部材が導電性を有するとともに前記各検出部も導電性を有する電極として構成してあり、前記各可動レンズ枠の移動に伴い前記各検出部の先端が前記各検出部に当接して前記各電極間が前記各被検出部及び前記各可動レンズ枠で電気的に短絡されることによる電位の変化を検出することにより前記各可動レンズ枠が各基準位置に占位したことを検出するものであることを特徴とするレンズ駆動モジュールである。
【００２０】
本態様によれば可動レンズ枠を位置検出手段の一部として用いることができる。
【００２１】
本発明の第４の態様は、
上記第１又は第２の態様に記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記位置検出手段は、各被検出部材が磁性を有するとともに前記各検出部が磁気を検出する磁気センサとして構成してあり、前記各可動レンズ枠の移動に伴い前記各検出部の先端が前記各検出部に近接乃至当接することによる磁界の変化を検出することにより前記各可動レンズ枠が各基準位置に占位したことを検出するものであることを特徴とするレンズ駆動モジュールである。
【００２２】
本態様によれば磁界を利用して所定の基準位置検出を行うことができる。
【００２３】
本発明の第５の態様は、
上記第１乃至第４の態様の何れか一つに記載するレンズ駆動モジュールにおいて、
前記位置検出手段の各検出部は、基準面となる回路基板の表面に配設してあることを特徴とするレンズ駆動モジュールである。
【００２４】
本態様によれば、各検出部と回路基板との間の配線を可及的に短くすることができる。
【００２５】
本発明の第６の態様は、
上記第１乃至第５の態様の何れか一つに記載するレンズ駆動モジュールに撮像素子を組み合わせるとともに、この撮像素子も前記回路基板の表面に配設したことを特徴とするカメラモジュールである。
【００２６】
本態様によれば、小型で低コストのカメラモジュールを提供できる。
【発明の効果】
【００２７】
上記構成の本発明によれば平面的な検出部と各可動レンズ枠から突出させたロッド状の被検出部材との組み合わせにより、各可動レンズ枠が所定の基準位置に占位したことを検出することができるので、位置検出手段を構成する部品の設置スペースをフォトインタラプタ等を設置する場合に較べて飛躍的に小さくすることができる。この結果、前記位置検出手段を組み込むレンズ駆動モジュール乃至カメラモジュールのさらなる小形化を実現するとともに、低コスト化も実現し得る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は本発明の実施の形態に係るレンズ駆動モジュールを有するカメラモジュールを概念的に示す構成図である。同図における各部は、図７に示す従来技術に係るカメラモジュールと対比した形で示している。そこで、図７と同一部分には同一番号を付し、重複する説明は省略する。
【００２９】
図１に示すように、可動レンズ枠９，１１は、それぞれに固着された可動レンズ１２，１３（図７参照）と一体的に、駆動手段であるモータ２３，２４（図７参照）により光軸方向に移動するように構成してある。すなわち、可動レンズ枠９には第１の送りねじ軸６を、また可動レンズ枠１１には第２の送りねじ軸７を螺合させてあり、これら第１及び第２の送りねじ軸６，７を前記モータ２３，２４で回転することにより可動レンズ枠９，１１を移動可能に構成してある。
【００３０】
位置検出手段の一構成要素である被検出部材４１，４２は、各基端部が可動レンズ枠９，１１にそれぞれ固着されて前記光軸方向に沿い基準面Ｐ側に突出しているロッド状の部材であり、本形態では導電性を有する部材で形成してある。位置検出手段の他の構成要素である検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）は、各被検出部材４１，４２に対応させて前記基準面Ｐに配設してあり、本形態ではそれぞれ導電性を有するとともに、相互に絶縁された二対の電極として構成してある。かくして、可動レンズ枠９，１１の基準面Ｐ側への移動に伴い各被検出部材４１，４２の先端が各検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）に当接した時点で各検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）間は被検出部材４１，４２で短絡される。そこで、かかる短絡により、例えば検出部４３ｂ，４４ｂの電位が変化するように構成することで被検出部材４１，４２の先端が各検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）に当接したことを検出し、このときの各可動レンズ枠９，１１の位置をそれぞれの基準位置（原点位置）とすることができる。かかる検出原理は後に詳説する。
【００３１】
ここで、被検出部材４１は可動レンズ枠１１に形成した貫通孔１１ａを貫通して基準面Ｐ側へ突出している。この結果、被検出部材４１は可動レンズ枠１１のガイドシャフトとしても機能する。すなわち、図７に示す従来技術において第２のガイドシャフト１６と対をなす第１のガイドシャフト１５を省略することができ、このことにより部品の錯綜を回避して空間の有効利用を図ることができる。
【００３２】
基準面Ｐは各可動レンズ枠９，１１の各基準位置（原点位置）を規定するための基準となる面であり、本形態では回路基板４５の表面としている。このことにより電極として機能する検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）に対する電気配線を可及的に短縮することができ、その分全体の小形化を図ることができる。また、撮像素子３も前記回路基板４５の表面に配設してある。
【００３３】
図２は図１に示すレンズ駆動モジュールの位置検出手段の検出回路を示す回路図である。同図において、スイッチＳＷ１が被検出部材４１と検出部４３ａ，４３ｂで形成してあり、スイッチＳＷ２が被検出部材４２と検出部４４ａ，４４ｂで形成してある。すなわち、スイッチＳＷ１は被検出部材４１と検出部４３ａ，４３ｂとが離れているとき開放されており、被検出部材４１が検出部４３ａ，４３ｂに当接して両者間を短絡したとき閉成される。同様に、スイッチＳＷ２は被検出部材４２と検出部４４ａ，４４ｂとが離れているとき開放されており、被検出部材４２が検出部４４ａ，４４ｂに当接して両者間を短絡したとき閉成される。ここで、検出部４３ａ，４４ａには電源電圧ＶＤＤが印加してあり、検出部４３ｂ、４４ｂは抵抗Ｒ１，Ｒ２を介して接地してある。当該位置検出手段の出力信号としては検出部４３ｂ，４４ｂと抵抗Ｒ１，Ｒ２間の電位を利用している。ちなみに、図２に示すように、スイッチＳＷ１，ＳＷ２が開放されているときに出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２は何れも接地電位ＧＮＤとなる。一方、スイッチＳＷ１，ＳＷ２が閉成されているときに出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２は何れも電源電圧ＶＤＤとなる。したがって、出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２の電位を検出することで被検出部材４１，４２が検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）に当接したこと、換言すれば可動レンズ枠９，１１が基準位置に占位したことを検出することができる。この検出は、出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２を入力する制御部（図示せず。）で行う。この制御部は、出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２の状態で可動レンズ枠９，１１が基準位置に達したことを検出した時点でモータ２３，２４（図７参照。）の駆動を停止するよう制御する。
【００３４】
図３乃至図５は本形態に係るレンズ駆動モジュールにおける位置決め時の各態様である第１乃至第３の態様を概念的に示す説明図である。これらのうち図３は可動レンズ枠１１，９が何れも基準位置に占位していない状態を示している。このとき出力信号Ｖｏｕｔ１，Ｖｏｕｔ２は何れも接地電位ＧＮＤである。
【００３５】
図４は可動レンズ枠１１が図中一点鎖線の位置から図中下方に移動して被検出部材４２が検出部４４ａ，４４ｂ間を短絡した状態を示している。この状態で可動レンズ枠１１は基準位置に占位する。また、出力信号Ｖｏｕｔ１は接地電位ＧＮＤのままであるが、出力信号Ｖｏｕｔ２は接地電位ＧＮＤから電源電圧ＶＤＤに変化する。
【００３６】
図５は可動レンズ枠９の移動に伴い被検出部材４１も検出部４３ａ，４３ｂ間を短絡した状態を示している。この状態で可動レンズ枠９は基準位置に占位する。また、出力信号Ｖｏｕｔ２が電源電圧ＶＤＤのままで、出力信号Ｖｏｕｔ１が接地電位ＧＮＤから電源電圧ＶＤＤに変化する。
【００３７】
図６は、本形態に係るレンズ駆動モジュールにおける可動レンズ枠９，１１の処理手順を示すフローチャートである。同図に基づき可動レンズ枠９，１１の基準（原点）位置決めの時の態様を説明する。
１）  当該位置決め処理をスタートさせ、可動レンズ枠１１を基準面Ｐ側へ移動する（ステップＳ１，Ｓ２参照）
２）  出力信号Ｖｏｕｔ２の電位が電源電圧ＶＤＤであるか否かを検出するとともに、電源電圧ＶＤＤとなるまで可動レンズ枠１１の基準面Ｐ側への移動を継続する（ステップＳ３参照）。
３）  出力信号Ｖｏｕｔ２＝電源電圧ＶＤＤとなった時点で可動レンズ枠１１の移動を停止する（ステップＳ４参照）。
４）  可動レンズ枠９を基準面Ｐ側へ移動する（ステップＳ５参照）
５）  出力信号Ｖｏｕｔ１の電位が電源電圧ＶＤＤであるか否かを検出するとともに、電源電圧ＶＤＤとなるまで可動レンズ枠９の基準面Ｐ側への移動を継続する（ステップＳ６参照）。
６）  出力信号Ｖｏｕｔ１＝電源電圧ＶＤＤとなった時点で可動レンズ枠９の移動を停止する（ステップＳ７参照）。
７）  一連の位置決め移動処理を終了する（ステップＳ８参照））。
【００３８】
なお、被検出部材４１，４２と検出部（４３ａ，４３ｂ）、（４４ａ，４４ｂ）との組み合わせによる可動レンズ枠９，１１の位置検出は、上記実施の形態の如く、両者の当接を電気的に検出するものに限らない。例えば、磁気を利用しても同様の目的を達成しうる。すなわち、被検出部材を磁性を有する永久磁石で形成するとともに、前記被検出部材の磁気を検出する、例えばホール素子で検出部を形成したものであっても良い。かかる構成でも、各可動レンズ枠９，１１の移動に伴い前記各検出部の先端が前記各検出部に近接乃至当接することによる磁界の変化を検出することにより前記各可動レンズ枠９，１１が各基準位置に占位したことを検出することができる。また、このように磁界の変化を利用した場合には、非接触であっても基準位置を検出することが可能になるので、製品の信頼性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００３９】
本発明はカメラ付携帯電話やカメラ付ＰＣを製造、販売する産業分野で有効に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施の形態に係るレンズ駆動モジュールを有するカメラモジュールを概念的に示す構成図である。
【図２】図１に示すレンズ駆動モジュールの位置検出手段の検出回路を示す回路図である。
【図３】図１に示すレンズ駆動モジュールにおける位置決め時の第１の態様を概念的に示す説明図である。
【図４】図１に示すレンズ駆動モジュールにおける位置決め時の第１の態様を概念的に示す説明図である。
【図５】図１に示すレンズ駆動モジュールにおける位置決め時の第１の態様を概念的に示す説明図である。
【図６】図１に示すレンズ駆動モジュールにおける可動レンズ枠の位置決め時の処理手順を示すフローチャートである。
【図７】従来技術に係るレンズ駆動モジュールを備えたカメラモジュールの全体構成を示す断面図である。
【図８】図７のＩ−Ｉ線矢視図である。
【図９】図７のII−II線矢視図である。
【符号の説明】
【００４１】
６，７        ねじ軸
９，１１      可動レンズ枠
１１ａ          貫通孔
１６            ガイドシャフト
２３，２４      モータ
４１，４２      被検出部材
４３ａ，４３ｂ、４４ａ，４４ｂ      検出部
Ｐ      基準面
【図１】
2007155775.tif 000003
【図２】
2007155775.tif 000004
【図３】
2007155775.tif 000005
【図４】
2007155775.tif 000006
【図５】
2007155775.tif 000007
【図６】
2007155775.tif 000008
【図７】
2007155775.tif 000009
【図８】
2007155775.tif 000010
【図９】
2007155775.tif 000011