(57)【要約】【課題】磁性部の下地となるコイル絶縁層に突起等の形状異常が発生しない薄膜磁気ヘッドを提供すること。【解決手段】主磁極２０を囲み、主磁極２０上のギャップ層の上に、対向面からハイト方向に所定距離離してトラック幅方向に延びるスロートハイト決め層２８が形成され、該スロートハイト決め層２８よりもハイト方向の絶縁層の上面に第２コイル層２５が形成され、スロートハイト決め層２８および第２コイル層２５の上に、主磁極２０のハイト方向側の端部を露出させてコイル絶縁層２６が形成され、該コイル絶縁層２６および露出した主磁極２０の上にリターンヨーク層２７が形成される薄膜磁気ヘッドであって、コイル絶縁層２６に、記録媒体対向面１０ａ側に、対向面１０ａに沿った主磁極２０の両側付近から対向面１０ａからの距離が長くなるハイト方向に傾斜する傾斜部２６ｂを形成した。【選択図】図２
2007141337.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面に主磁極を有する第１の磁性部と第２の磁性部とが上下方向に間隔を空けて形成され、前記第１の磁性部と第２の磁性部の間にコイル層が形成される磁気ヘッドであって、
前記第１の磁性部上のギャップ層の上に、前記対向面からハイト方向に所定距離離して前記トラック幅方向に延びるスロートハイト決め層が形成され、
該スロートハイト決め層よりもハイト方向の前記ギャップ層の上面にコイル層が形成され、
前記スロートハイト決め層および前記コイル層の上に、前記第１の磁性部のハイト方向側の端部を露出させてコイル絶縁層が形成され、
該コイル絶縁層および前記露出した第１の磁性部の上に第２の磁性部が形成されていて、
前記コイル絶縁層は、前記対向面側に、該対向面に沿った第１の磁性部の両側付近から該対向面からの距離が長くなるハイト方向に傾斜した傾斜部が形成されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
【請求項２】
前記スロートハイト決め層は、前記対向面に沿った長さが、前記主磁極のトラック幅方向長よりも長くかつ前記第２の磁性部のトラック幅方向長よりも短く形成され、前記コイル絶縁層は、前記スロートハイト決め層上の部分が該スロートハイト決め層に沿って延びた対向部となり、該スロートハイト決め層の両端部から前記傾斜部となっている請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項３】
前記コイル絶縁層は、前記第１の磁性部のハイト方向に延びる縁部に沿った側部と前記傾斜部とが鈍角で繋がっている請求項１または２記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項４】
前記コイル絶縁層は、前記第１の磁性部のハイト方向に延びる縁部に沿った側部と前記傾斜部とが曲面部で繋がっている請求項１記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項５】
前記コイル絶縁層は、前記傾斜部が外方に凸となる曲面形状である請求項１乃至４のいずれか一項記載の薄膜磁気ヘッド。
【請求項６】
記録媒体との対向面にトラック幅で形成された主磁極を有する第１の磁性部と、トラック幅よりも広い幅寸法で形成された第２の磁性部とが上下方向に間隔を空けて形成され、前記第１の磁性部を挟んで、第１コイル層と第１の磁性部と第２の磁性部の間に位置する第２コイル層が形成され、前記第１コイル層と前記第２コイル層とが電気的に接続されて、前記第１の磁性部の周囲にソレノイド状に巻回されたソレノイドコイル層が形成される磁気ヘッドであって、前記コイル層は、前記第２コイル層である請求項１乃至５のいずれか一項記載の薄膜磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直記録に適した薄膜磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
薄膜磁気ヘッドとして、記録媒体に垂直磁界を与え、記録媒体のハード膜を垂直方向に磁化させる、いわゆる垂直記録磁気ヘッドが知られている（特許文献１、特許文献２）。従来の垂直磁気ヘッドの断面の模式図を図５に示した。
【０００３】
薄膜磁気ヘッド１１０は、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されたスライダ１１１の対向面１１１ａが記録媒体Ｍに対向し、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１１１が記録媒体Ｍの表面から浮上し、記録媒体Ｍから所定間隔に保持される。図５において、スライダ１１１に対する記録媒体Ｍの移動方向はＡ方向である。また、図５に示したように、紙面と直交する方向をＸ軸、Ａ方向と直交し、紙面と平行な方向をＹ軸、Ａ方向と平行な、反対方向をＺ軸とする。また、Ｙ軸方向がハイト方向である。
【０００４】
スライダ１１１のトレーリング側端面、図ではＡ方向と反対方向の端面上には、コイル絶縁下地層１１７を介して、導電性の非磁性金属材料により形成された複数本の導電部からなる第１コイル層１１８が形成されている。第１コイル層１１８の周囲には、Ａｌ2Ｏ3などの無機絶縁材料によりコイル絶縁層１１９が形成されている。
【０００５】
コイル絶縁層１１９の上面１１９ａは平坦化面に形成され、この上面１１９ａの上に、対向面１１０ａにおけるトラック幅方向の幅寸法がトラック幅に設定された主磁極１２０が形成されている。主磁極１２０は、Ｎｉ-Ｆｅ、Ｃｏ-Ｆｅ、Ｎｉ-Ｆｅ-Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で例えばメッキ形成されている。
【０００６】
主磁極１２０の周囲には、絶縁性材料層１２２が設けられている。主磁極１２０の上面１２０ｃと、主磁極１２０の周囲に形成された絶縁性材料層１２２の上面１２２ａとは同一面をなしている。
【０００７】
主磁極１２０およびヨーク部１２１の上と絶縁性材料層１２２の上には、アルミナまたはＳｉＯ2などの非磁性材料によって、ギャップ層１２３が設けられている。
【０００８】
ギャップ層１２３上には、コイル絶縁下地層１２４を介して第２コイル層１２５が形成されている。第２コイル層１２５は第１コイル層１１８と同様に、導電性の非磁性金属材料によって形成された複数本の導電部１２５ａからなる。
【０００９】
第１コイル層１１８と第２コイル層１２５とは、それぞれのトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士がトロイダルコイルを形成するように電気的に接続されており、第１コイル層１１８と第２コイル層１２５とで、主磁極１２０およびヨーク部１２１とを軸にして巻回形成されたトロイダルコイル層が形成されている。
【００１０】
第２コイル層１２５の上には、第２コイル層１２５を覆うように、レジストなどの有機絶縁材料によりコイル絶縁層１２６が形成されている。このコイル絶縁層１２６上からギャップ層１２３上に渡って、パーマロイなどの強磁性材料によって、リターンヨーク層１２７が形成されている。リターンヨーク層１２７の前端面１２７ａは、対向面１１０ａから露出している。また、リターンヨーク層１２７と主磁極１２０とは、対向面１１０ａよりもハイト側で、リターンヨーク層１２７の接続部１２７ｂを介して接続されている。これにより、主磁極１２０からリターンヨーク層１２７を通る磁路が形成される。
【００１１】
リターンヨーク層１２７を形成する前の薄膜磁気ヘッドの平面図を図６に示した。ギャップ層１２３上であって、記録媒体との対向面１００ａからハイト方向に所定距離離れた位置に、無機または有機材料によってスロートハイト決め層１２８が形成されている。対向面１１０ａからスロートハイト決め層１２８の前端縁までの距離で、磁気ヘッドのスロートハイト（ギャップデプス）長が規定される。スロートハイト決め層１２８はトラック幅方向に、第２コイル層１２５およびコイル絶縁層１２６よりも長く形成されている。
【特許文献１】特開２００１‐４３５１１号公報
【特許文献２】特開２００５‐１２２８３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従来は、対向面１１０ａに沿ってスロートハイト決め層１２８を形成し、その上から第２コイル層１２５を形成した後に、これらを覆うように有機絶縁層からなるコイル絶縁層１２６（レジスト）が形成されている。
【００１３】
しかしながら、コイル絶縁層１２６は、平面形状が長方形、全体として外形が直方体になるように形成されていたので、コイル絶縁層１２６をベーク処理する際に有機絶縁層が収縮して、長方形の角部が尖って角状突起部１２６ａを形成することがあった（図７）。特に、コイル絶縁層１２６の対向面１１０ａ側の両角部にこのような角状突起１２６ａが形成されると、この角状突起１２６ａが、コイル絶縁層１２６上に形成されるリターンヨーク層１２７に転写されて、リターンヨーク層１２７の上面の角部にも突起１２７ｃが形成されてしまう（図８）。対向面１１０ａ近傍のリターンヨーク層１２７の角部にこのような突起１２７ｃが形成されると、主磁極１２０からリターンヨーク層１２７に戻ってくる磁束に乱れや異常を生じてしまうという問題があった。
【００１４】
本発明は、かかる従来の薄膜磁気ヘッドの課題を解決するものであり、コイル絶縁層に突起等の形状異常が発生しない薄膜磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記従来の課題を解決する本発明の薄膜磁気ヘッドは、記録媒体との対向面に主磁極を有する第１の磁性部と第２の磁性部とが上下方向に間隔を空けて形成され、前記第１の磁性部と第２の磁性部の間にコイル層が形成される磁気ヘッドであって、前記第１の磁性部上のギャップ層の上に、前記対向面からハイト方向に所定距離離して前記トラック幅方向に延びるスロートハイト決め層が形成され、該スロートハイト決め層よりもハイト方向の前記ギャップ層の上面にコイル層が形成され、前記スロートハイト決め層および前記コイル層の上に、前記第１の磁性部のハイト方向側の端部を露出させてコイル絶縁層が形成され、該コイル絶縁層および前記露出した第１の磁性部の上に第２の磁性部が形成されていて、前記コイル絶縁層は、前記対向面側に、該対向面に沿った第１の磁性部の両側付近から該対向面からの距離が長くなるハイト方向に傾斜した傾斜部が形成されていることに特徴を有する。
【００１６】
前記スロートハイト決め層は、前記対向面に沿った長さが、前記主磁極のトラック幅方向長よりも長くかつ前記第２の磁性部のトラック幅方向長よりも短く形成され、前記コイル絶縁層は、前記スロートハイト決め層上の部分が該スロートハイト決め層に沿って延びた対向部となり、該スロートハイト決め層の両端部から前記傾斜部となっていることが好ましい。
【００１７】
実施形態の一つでは、前記コイル絶縁層は、前記第１の磁性部のハイト方向に延びる縁部に沿った側部と前記傾斜部とが鈍角で繋がっている。
【００１８】
他の実施形態では、前記コイル絶縁層は、前記第１の磁性部のハイト方向に延びる縁部に沿った側部と前記傾斜部とが曲面部で繋がっている。そうして前記コイル絶縁層は、前記傾斜部を外方に凸となる曲面形状としてもよい。
【００１９】
実際的には、記録媒体との対向面にトラック幅で形成された主磁極を有する第１の磁性部と、トラック幅よりも広い幅寸法で形成された第２の磁性部とが上下方向に間隔を空けて形成され、前記第１の磁性部を挟んで、第１コイル層と第１の磁性部と第２の磁性部の間に位置する第２コイル層が形成され、前記第１コイル層と前記第２コイル層とが電気的に接続されて、前記第１の磁性部の周囲にソレノイド状に巻回されたソレノイドコイル層が形成される磁気ヘッドであって、前記コイル層は、前記第２コイル層とする。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、コイル絶縁部の対向面側がハイト方向に傾斜する傾斜部となっているので、傾斜部に続いてハイト方向に延びる側部が鈍角で繋がり、コイル絶縁部をベーク処理してもコイル絶縁部の角部に角状突起等が生じ難くなった。したがって、コイル絶縁部の表面形状が転写される第２の磁性部も突起等が発生しなくなり、磁束の乱れを発生することがなくなった。
【００２１】
好ましい実施形態では、スロートハイト決め層を、前記主磁極のトラック幅よりも長く、かつ前記第２の磁性部のトラック幅よりも短く形成し、スロートハイト決め層の両端部から前記傾斜部となっているので、主磁極から出た磁束が第２の磁性部に戻る効率が高くなった。
【００２２】
さらに傾斜部と側部とを繋ぐ部分を曲面部とした実施形態によれば、角状突起がより生じ難くなった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の実施の形態の磁気ヘッドを示す縦断面図である。この磁気ヘッド１０は、対向面１０ａに設けられた書き込みヘッド部ＨＷによって記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜を垂直方向に磁化させる、いわゆる垂直記録磁気ヘッドと呼ばれるものである。
【００２４】
この垂直磁気ヘッド１０は、Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されたスライダ１１を有しており、スライダ１１の対向面１１ａが記録媒体Ｍに対向し、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ１１が記録媒体Ｍの表面から浮上し、記録媒体Ｍ表面から所定間隔に保持される。図１において、スライダ１１に対する記録媒体Ｍの移動方向は矢印Ａ方向である。また、図１に示したように、紙面と直交する方向をＸ軸、Ａ方向と直交し、紙面と平行な方向をＹ軸、Ａ方向と平行で反対方向をＺ軸とする。Ｙ軸方向がハイト方向である。
【００２５】
この垂直磁気ヘッド１０は、図１において、スライダ１１のトレーリング側端面１１ｂ上に、図のＺ軸方向（矢印Ａとは反対方向）に各部材が形成される。スライダ１１のトレーリング側端面１１ｂには、Ａｌ2Ｏ3またはＳｉＯ2などの無機材料による非磁性絶縁層１２が形成され、この非磁性絶縁層１２の上に読み取りヘッド部ＨＲが形成されている。読み取りヘッド部ＨＲは、下部シールド層１３および上部シールド層１６と、下部シールド層１３と上部シールド層１６との間の無機絶縁層（ギャップ絶縁層）１５内に位置する読み取り素子１４とを有している。なお、読み取り素子１４は、ＡＭＲ、ＧＭＲ、ＴＭＲなどの磁気抵抗効果素子である。この読み取りヘッド部ＨＲの上部シールド層１６上に、垂直記録の書き込みヘッド部ＨＷが形成されている。
【００２６】
上部シールド層１６の上には、コイル絶縁下地層１７を介して、導電性材料によって形成された複数本の導電部１８ａを有する第１コイル層１８が形成されている。第１コイル層１８は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈから選ばれる１種、または２種以上の非磁性金属材料からなる単層、あるいはこれら非磁性金属材料が積層された積層構造からなる。
【００２７】
第１コイル層１８の周囲には、Ａｌ2Ｏ3などの無機絶縁材料やレジストなどの有機絶縁材料によりコイル絶縁層１９が形成されている。コイル絶縁層１９の上面１９ａは平坦化面に形成され、この上面１９ａの上に主磁極２０が形成されている。主磁極２０は、対向面１０ａに露出した端面２０ａのトラック幅方向の幅寸法がトラック幅となるように形成され、さらに対向面１０ａからハイト（奥行き）方向に、トラック幅方向に広がるテーパ状に形成されている。主磁極２０は、Ｎｉ-Ｆｅ、Ｃｏ-Ｆｅ、Ｎｉ-Ｆｅ-Ｃｏなどの飽和磁束密度の高い強磁性材料で例えばメッキ形成されている。また、主磁極２０は、テーパ部の幅広部分からハイト方向に延びる長方形部分がヨーク部２１を形成している。この主磁極２０とヨーク部２１とで第１の磁性部が形成されている。
【００２８】
コイル絶縁層１９の上面１９ａには、主磁極２０を囲むように絶縁性材料層２２が設けられている。絶縁性材料層２２の上面２２ａは、主磁極２０の上面２０ｃと同一面をなしている。絶縁性材料層２２は、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ＳｉＯ2、Ａｌ-Ｓｉ-Ｏ、Ｔｉ、Ｗ、Ｃｒのいずれか１種または２種以上で形成することができる。
【００２９】
主磁極２０、ヨーク部２１および絶縁性材料層２２の上には、アルミナまたはＳｉＯ2、Ａｕ、Ｒｕなどの非磁性材料によって、ギャップ層２３が設けられている。
【００３０】
ギャップ層２３の上には、コイル絶縁下地層２４を介して第２コイル層２５が形成されている。第２コイル層２５は第１コイル層１８と同様に、導電性の非磁性金属材料によって形成された複数本の導電部２５ａを含む。第２コイル層２５は、例えばＡｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃｕ，Ｃｒ，Ａｌ，Ｔｉ，ＮｉＰ，Ｍｏ，Ｐｄ，Ｒｈから選ばれる１種、または２種以上の非磁性金属材料からなる。あるいはこれら非磁性金属材料が積層された積層構造であってもよい。絶縁性材料層２２、ギャップ層２３およびコイル絶縁下地層２４が絶縁層である。
【００３１】
第１コイル層１８の導電部１８ａと第２コイル層２５の導電部２５ａとは、図示しないが、それぞれのトラック幅方向（図示Ｘ方向）における端部同士がソレノイドコイルを形成するように電気的に接続されており、第１コイル層１８と第２コイル層２５とで、主磁極２０およびヨーク部２１とを軸にして巻回されたソレノイドコイル層が形成されている。なおこの実施形態では、前記第１コイル層１８のハイト方向（図示Ｙ方向）の幅寸法と、前記第２コイル層２５のハイト方向（図示Ｙ方向）の幅寸法とは、同じ寸法で形成される。
【００３２】
第２コイル層２５の周囲には、レジストなどの有機絶縁材料によりコイル絶縁層２６が形成される。このコイル絶縁層２６上からギャップ層２３上の領域に渡って、パーマロイなどの強磁性材料により、第２の磁性部であるリターンヨーク層２７が形成されている。リターンヨーク層２７の対向部２７ａは、記録媒体との対向面１０ａに露出している。リターンヨーク層２７は、対向面１０ａよりもハイト側で、コイル絶縁層２６から露出した主磁極２０と接続部２７ｂを介して接続されている。これにより、主磁極２０からリターンヨーク層２７を通る磁路が形成される。他の実施例としては、主磁極２０とリターンヨーク層２７とを接続しない、つまり接続部２７ｂを有さない薄膜磁気ヘッドがある。
【００３３】
また、ギャップ層２３上であって、対向面１０ａからハイト方向に所定距離離れた位置に、無機または有機材料によってスロートハイト決め層２８が形成されている。対向面１０ａからスロートハイト決め層２８の前端縁までの距離で、この垂直磁気ヘッド１０のスロートハイト（ギャップデプス）長が規定される。
【００３４】
前記リターンヨーク層２７の前記接続部２７ｂよりもハイト方向（図示Ｙ方向）側には、前記第２コイル層２５から延出されたリード層２９が、コイル絶縁下地層２４上に形成されている。そして、リターンヨーク層２７およびリード層２９が、無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層３０に覆われている。
【００３５】
本発明の実施形態の特徴について、さらに図２、図３および図４を参照して説明する。図２は、コイル絶縁層２６を形成した後、リターンヨーク層２７を形成する前段階における薄膜磁気ヘッドを模式的に示す平面図、図３は同薄膜磁気ヘッドをベーク処理した後の電子顕微鏡写真図、図４はリターンヨーク層２７を形成した後の薄膜磁気ヘッドを模式的に示す平面図である。
【００３６】
スロートハイト決め層２８は、対向面１０ａに沿って、主磁極２０のヨーク部２１と略同一の幅だけ形成してある。つまり、前記主磁極２０のトラック幅方向長よりも長くかつ前記第２の磁性部であるリターンヨーク層２７のトラック幅方向長よりも短く形成してある。そうして、コイル絶縁層２６の外形を、スロートハイト決め層２８上に乗る部分はスロートハイト決め層２８に沿った対向部２６ａとし、スロートハイト決め層２８の両端部近傍に位置する対向部２６ａの両端部からは、対向面１０ａから離反するハイト方向に傾斜して延びる傾斜部２６ｂとしてある。さらにコイル絶縁層２６は、傾斜部２６ｂから丸め部である曲面部２６ｃを介して、対向面１０ａから略直交するハイト方向に延びる側部２６ｄに続いている。
【００３７】
コイル絶縁層２６が形成された垂直磁気ヘッド１０は、有機絶縁層の溶媒を乾燥させるために過熱するベーク処理される（図３）。このコイル絶縁層２６は、傾斜部２６ｂと側部２６ｄとは鈍角をなし、かつ曲面部２６ｃで繋がっているので、コイル絶縁層２６をベーク処理したときに収縮が発生しても、曲面部２６ｃが反り返ったりして角状突起や変形を生じることがない。つまり、コイル絶縁層２６の表面、輪郭は全体的に滑らかに形成される。なお、この実施形態では、コイル絶縁層２６の対向部２６ａ、傾斜部２６ｂ、曲面部２６ｃおよび側部２６ｄとの境界部も丸めてある。
【００３８】
その後、コイル絶縁層２６を中心として、ギャップ層２３、スロートハイト決め層２８、コイル絶縁層２６、主磁極２０、およびヨーク部２１の上に、リターンヨーク層２７が形成される。このときリターンヨーク層２７は、下層のギャップ層２３、スロートハイト決め層２８、コイル絶縁層２６の表面形状が転写される。特にコイル絶縁層２６の表面形状が滑らかなので（図３参照）、この表面形状が転写されるリターンヨーク層２７の外形も滑らかな形状に形成され、棘、突起が発生するおそれがない。
【００３９】
このように本実施形態では、コイル絶縁層２６の曲面部２６ｃの形状が転写される、リターンヨーク層２７の角部も曲面形状部２７ｃとなり、突起等を生じることがないので、主磁極２０からリターンヨーク層２７に戻ってくる磁束にリターンヨーク層２７の曲面形状部２７ｃが与える影響が小さくなる。しかもスロートハイト決め層２８を主磁極２０のヨーク部２１の幅よりも短く形成したので、主磁極２０からリターンヨーク層２７に戻ってくる磁束がその対向部２７ａ近傍のリターンヨーク層２７に集中することになり、効率が高くなる。
【００４０】
また、この実施形態では、コイル絶縁層２６のハイト方向端部から主磁極２０のヨーク部３１が露出しているので、コイル絶縁層２６に穴を空ける従来技術に比して、コイル絶縁層２６がヨーク部３１に接触するのハイト側面がなだらかになり、リターンヨーク層２７をメッキ形成する際にヨーク部３１にエッチングを生じるおそれが無い。
【００４１】
傾斜部２６ｂがＸ軸方向となす角度αは、５度以上３０度以下が好ましい。つまり側部２６ｄと傾斜部２６ｂとが成す角度は、９０度を超えた鈍角であればよいが、１１０度前後が好ましい。また、傾斜部２６ｂ、曲面部２６ｃおよび側部２６ｄを外方に凸の曲面形状、つまり平面視外方に凸の曲線状に形成しても同様の効果が得られる。曲面部２６ｃは、三次元的な滑らかな凸形状であればよい。
【００４２】
以上、本発明についてソレノイドコイルタイプの垂直磁気ヘッドに適用した実施形態について説明したが、本発明はスパイラルタイプの垂直磁気ヘッドにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態である薄膜磁気ヘッドを模式的に示した縦断面図である。
【図２】同薄膜磁気ヘッドを、コイル絶縁層形成後リターンヨーク層を形成する前の状態で模式的に示した平面図である。
【図３】同薄膜磁気ヘッドを、リターンヨーク層を形成する前の状態で撮影した電子顕微鏡写真図である。
【図４】同薄膜磁気ヘッドにリターンヨーク層を形成した状態を模式的に示した平面図である。
【図５】従来の薄膜磁気ヘッドを模式的に示した縦断面図である。
【図６】同従来の薄膜磁気ヘッドを、コイル絶縁層形成後リターンヨーク層を形成する前の状態で模式的に示した平面図である。
【図７】同従来の薄膜磁気ヘッドを、コイル絶縁層形成後リターンヨーク層を形成する前の状態で撮影した電子顕微鏡写真図である。
【図８】同従来の薄膜磁気ヘッドにリターンヨーク層を形成した状態を模式的に示した平面図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０  磁気ヘッド
１０ａ  対向面
１１  スライダ
１１ａ  対向面
１２  非磁性絶縁層
１３  下部シールド層
１４  読み取り素子
１５  無機絶縁層（ギャップ層）
１６  上部シールド層
１７  コイル絶縁下地層
１８  第１コイル層
１８ａ  導電部
１９  コイル絶縁層
２０  主磁極
２０ａ  端面
２０ｃ  上面
２１  ヨーク部
２２  絶縁性材料層
２２ａ  上面
２３  ギャップ層
２４  コイル絶縁下地層
２５  第２コイル層
２５ａ  導電部
２６  コイル絶縁層
２７  リターンヨーク層
２８  スロートハイト決め層
【図１】
2007141337.tif 000003
【図２】
2007141337.tif 000004
【図５】
2007141337.tif 000005
【図６】
2007141337.tif 000006
【図３】
2007141337.tif 000007
【図４】
2007141337.tif 000008
【図７】
2007141337.tif 000009
【図８】
2007141337.tif 000010