(57)【要約】【課題】高価な設備を用いることなく、短時間で高精度な２次元スケールを製造する。【解決手段】第１の位置合わせ用格子３４ａ，３４ｂと第２の位置合わせ用格子３４ａ’，３４ｂ’とによるモアレ縞を、例えば目視などにより観察しつつ、第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂとを重ね合わせる。これにより、第１パターンと第２パターンとを所望の関係に設定することができるので、従来のような高価な設備を用いることなく、短時間で高精度な２次元スケールを製造する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２次元スケールを製造する製造方法であって、
第１パターンと、該第１パターンと所定の位置関係となる位置に配置された第１の位置合わせ用格子とを有する透明な第１の板状部材を用意する工程と；
第２パターンと、該第２パターンと所定の位置関係となる位置に配置された第２の位置合わせ用格子とを有する第２の板状部材を用意する工程と；
前記第１の位置合わせ用格子と、前記第２の位置合わせ用格子とによるモアレ縞に基づいて、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材とを重ね合わせる工程とを含む製造方法。
【請求項２】
前記第１の位置合わせ用格子と前記第２の位置合わせ用格子とは、同一方向に沿って配列された複数の直線状の刻線を有することを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記第１の位置合わせ用格子と前記第２の位置合わせ用格子とは、刻線の配列ピッチが同一であり、
前記重ね合わせる工程では、前記モアレ縞が発生しない状態となるように前記第１の板状部材と前記第２の板状部材とを重ね合わせることを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記第１の位置合わせ用格子と前記第２の位置合わせ用格子とは、刻線の配列ピッチが異なり、
前記重ね合わせる工程では、前記モアレ縞の配列方向が前記刻線の配列方向と同一の状態となるように前記第１の板状部材と前記第２の板状部材とを重ね合わせることを特徴とする請求項２に記載の製造方法。
【請求項５】
前記第１パターンと前記第２パターンとは、複数の直線状のパターンを有し、
前記重ね合わせる工程で前記第１、第２の板状部材が重ね合わされた状態では、前記第１パターンと前記第２パターンを構成する直線状のパターン同士が互いに直交することを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項６】
前記重ね合わせる工程では、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材との間にスペーサ部材を介した状態で前記第１、第２の板状部材を重ね合わせることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項７】
前記スペーサ部材は、前記第１の板状部材及び前記第２の板状部材の少なくとも一方に形成されていることを特徴とする請求項６に記載の製造方法。
【請求項８】
パターンが形成されたスケールに光を照射し、前記スケールを介した光を受光することにより、前記スケールの位置を計測するエンコーダであって、
前記スケールとして、請求項１〜７のいずれか一項に記載の製造方法により製造された２次元スケールを備えるエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２次元スケールの製造方法及びエンコーダに係り、更に詳しくは、光学式エンコーダに好適な２次元スケールを製造する製造方法及び該製造方法により製造された２次元スケールを備えるエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、位相回折格子のような周期的な構造を有する光学的スケールに、検出ヘッドから光ビームを照射し、その反射光を処理することにより、検出ヘッドと光学的スケールとの相対的な位置関係及び両者の相対的な運動方向を測定する方法は、周知技術であり、一般的に使用されている。
【０００３】
最近において、最も一般的に用いられている方法は、互いに９０°位相が異なる周期的反射信号が得られるような２つの光ビームを光学的スケールに照射し、２つの反射信号の振幅と位相との関係から、検出ヘッドと光学的スケールとの相対位置関係及び両者の相対的な運動方向を測定するものである。
【０００４】
２つの反射信号の振幅と位相との関係に基づいて、検出へッドと光学的スケールとの相対位置関係を求めるようにしている。また、この方法における、ノイズの影響による反射信号のＳ／Ｎ比の低下に起因する検出分解能の低下を解消するために、特許文献１に記載の方法を用いることができる。
【０００５】
光学的スケールとしては、２次元方向に関する計測を行うため一軸方向に配列された複数の直線状の格子と前記一軸方向に直交する方向に配列された複数の直線状の格子とを有する２次元スケールを採用することができる。この２次元スケールを製造するためには、一軸方向に配列された複数の直線状の格子を有する第１の板状部材と、一軸方向に直交する方向に配列された複数の直線状の格子を有する第２の板状部材とを重ね合わせて（貼り合わせて）製造するのが一般的である。この場合、格子同士は正確に９０度の角度をなした状態で交差するように設定することが必要である。
【０００６】
従来、格子同士の角度調整（板状部材同士の位置関係の調整）は、格子を顕微鏡等で拡大観察して角度を計測したり、画像認識等を用いて自動位置合わせを行ったり、または手動で合わせ込むなどすることとしていた。しかしながら、自動調整にあっては、顕微鏡や画像認識装置など高価な設備を使用しなければならず、手動調整にあっては、相当の調整時間を要することとなっていた。
【０００７】
【特許文献１】米国特許第６，６３９，６８６号明細書
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上述した事情の下になされたものであり、第１の観点からすると、２次元スケールを製造する製造方法であって、第１パターンと、該第１パターンと所定の位置関係となる位置に配置された第１の位置合わせ用格子とを有する透明な第１の板状部材を用意する工程と；第２パターンと、該第２パターンと所定の位置関係となる位置に配置された第２の位置合わせ用格子とを有する第２の板状部材を用意する工程と；前記第１の位置合わせ用格子と、前記第２の位置合わせ用格子とによるモアレ縞に基づいて、前記第１の板状部材と前記第２の板状部材とを重ね合わせる工程とを含む製造方法である。
【０００９】
これによれば、第１の位置合わせ用格子と第２の位置合わせ用格子とによるモアレ縞に基づいて（例えば目視などにより観察して）、第１の板状部材と第２の板状部材とを重ね合わせることで、第１パターンと第２パターンとを所望の関係に設定することができるので、従来のような高価な設備を用いることなく、短時間で高精度な２次元スケールを製造することができる。
【００１０】
本発明は、第２の観点からすると、パターンが形成されたスケールに光を照射し、前記スケールを介した光を受光することにより、前記スケールの位置を計測するエンコーダであって、前記スケールとして、本発明の製造方法により製造された２次元スケールを備えるエンコーダである。
【００１１】
これによれば、高価な設備を用いることなく、短時間で製造された高精度な２次元スケールを備えているので、高精度な位置計測を実現することができるとともに、安価なエンコーダを実現することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の一実施形態に係る２軸方向を同時に測定可能なエンコーダを、図１〜図４（Ｂ）に基づいて説明する。
【００１３】
図１には、本実施形態のエンコーダ１００の構成が概略的に示されている。この図１からわかるように、エンコーダ１００は、２次元スケール３０と、該２次元スケールに検出光を投射する第１の検出装置１０及び第２の検出装置２０とを備えている。
【００１４】
前記第１の検出装置１０は、第１光源１１と第１コリメータレンズ１２と、第１ビームスプリッタ１３と、第１投射レンズ１４と、第１集光レンズ１５と、第１受光素子１６と、第１ＣＣＤ１８とを含んでいる。また、第２の検出装置２０は、第２光源２１と第２コリメータレンズ２２と、第２ビームスプリッタ２３と、第２投射レンズ２４と、第２集光レンズ２５と、第２受光素子２６と、第２ＣＣＤ２８とを含んでいる。
【００１５】
前記第１光源１１は、例えば、波長８５０ｎｍのレーザ光を出射するレーザ光源であり、第１光源１１にはピエゾ素子１７が固定されている。このピエゾ素子１７により、第１光源１１が例えば、Ｙ軸方向に周期的に振動されるようになっている。
【００１６】
前記第２光源２１も同様のレーザ光源から成り、該第２光源にもピエゾ素子２７が固定されている。このピエゾ素子２７により、第２光源２１が例えば、Ｘ軸方向に周期的に振動されるようになっている。
【００１７】
前記２次元スケール３０は、下面側に第１スケールが設けられた第１の板状部材３２Ａと、上面側に第２スケールが設けられた第２の板状部材３２Ｂと、両板状部材３２Ａ，３２Ｂの＋Ｘ側端部近傍、−Ｘ側端部近傍で、両板状部材３２Ａ，３２Ｂ間に挟まれた状態で設けられる一対のスペーサ部材３８と、を備えている。
【００１８】
第１の板状部材３２Ａは、例えば３０ｍｍ角のガラス部材から構成され、その裏面（−Ｚ側の面）には、図２（Ａ）に示されるように複数本の２５ｍｍ程度の長さを有する刻線を含む反射型の位相回折格子から成る第１パターン３６が形成されている。複数本の刻線は、それぞれＹ軸方向に延び、Ｙ軸に直交するＸ軸方向に沿って、例えば１〜４μｍピッチ程度の間隔で配列されており、第１パターン３６全体として２５ｍｍ角程度の大きさに設定されている。
【００１９】
そして、第１パターン３６の＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれには、一対の位置合わせパターン３４ａ，３４ｂが形成されている。位置合わせパターン３４ａ，３４ｂのそれぞれは、Ｘ軸方向に延びる複数本の刻線を含み、各刻線がＹ軸方向に沿って例えば１０μｍ程度のピッチで配列された状態となっている。これらの第１パターン３６及び位置合わせパターン３４ａ，３４ｂのそれぞれは、半導体露光装置（ステッパ等）を用いて、ガラス部材上に転写形成される。
【００２０】
第２の板状部材３２Ｂは、例えば３０ｍｍ角のガラス部材から構成され、その表面（＋Ｚ側の面）には、図２（Ｂ）に示されるように複数本の２５ｍｍ程度の長さを有する刻線を含む反射型の位相回折格子から成る第２パターン３６’が形成されている。複数本の刻線は、それぞれＸ軸方向に延び、Ｘ軸に直交するＹ軸方向に沿って、例えば１〜４μｍピッチ程度の間隔で配列されており、第２パターン３６’全体として２５ｍｍ角程度の大きさに設定されている。
【００２１】
そして、第２パターン３６’の＋Ｙ側及び−Ｙ側のそれぞれには、一対の位置合わせパターン３４ａ’，３４ｂ’が形成されている。位置合わせパターン３４ａ’，３４ｂ’と第２パターン３６’との位置関係は、第１パターン３６と位置合わせパターン３４ａ，３４ｂとの位置関係と同一となるように設定されている。すなわち、第１パターン３６の中心（パターンを矩形の図形とみなしたときの重心）と、位置合わせパターン３４ａ，３４ｂの中心（パターンを矩形の図形とみなしたときの重心）との位置関係が、第２パターン３６’の中心（パターンを矩形の図形とみなしたときの重心）と、位置合わせパターン３４ａ’，３４ｂ’の中心（パターンを矩形の図形とみなしたときの重心）との位置関係と一致するように設定されている。
【００２２】
位置合わせパターン３４ａ’，３４ｂ’のそれぞれは、Ｘ軸方向に延びる複数本の刻線を含み、各刻線がＹ軸方向に沿って配列された状態となっている。なお、各位置合わせパターン３４ａ’，３４ｂ’は、前述した第１の板状部材３２Ａに設けられた位置合わせパターン３４ａ，３４ｂと同一の長さの刻線により構成され、各刻線のピッチも位置合わせパターン３４ａ，３４ｂと同一に設定されている。
【００２３】
これらの第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂを、図３に示されるように、一対のスペーサ部材３８を介した状態で接着するときには、以下のようにして行う。
【００２４】
すなわち、第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂとをスペーサ部材３８を介して接近させた後、作業者が位置合わせパターン３４ａと位置合わせパターン３４ａ’を＋Ｚ側から目視するとともに、位置合わせパターン３４ｂと位置合わせパターン３４ｂ’を＋Ｚ側から目視することにより、第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂとの位置関係を調整する。
【００２５】
ここで、図４（Ａ）に示されるように、２枚の板状部材３２Ａ，３２Ｂの角度関係が理想的である場合、すなわち、第１パターン３６を構成する刻線と第２パターン３６’を構成する刻線とが直交している場合には、位置合わせパターン３４ａと位置合わせパターン３４ａ’とによってモアレ縞は発生せず、また、位置合わせパターン３４ｂと位置合わせパターン３４ｂ’とによってもモアレ縞は発生しない。
【００２６】
その一方で、角度関係が理想的でない場合、すなわち、第１パターン３６を構成する刻線と第２パターン３６’を構成する刻線が直交していない場合には、図４（Ｂ）に示されるように、位置合わせパターン３４ａと位置合わせパターン３４ａ’とによってモアレ縞が発生し、位置合わせパターン３４ｂと位置合わせパターン３４ｂ’とによってもモアレ縞が発生する。
【００２７】
したがって、作業者は、位置合わせパターンによってモアレ縞が発生しているか否かを目視により確認しつつ、モアレ縞が発生しないように、２つの板状部材３２Ａ，３２Ｂの位置関係（角度関係）を調整して、第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂとを一対のスペーサ部材３８を介して貼り合わせることにより、第１パターン３６を構成する刻線と第２パターン３６’を構成する刻線とが垂直に交差した状態の２次元スケールを製造することが可能となっている。
【００２８】
図１に戻り、以上のように構成される、エンコーダでは、以下のようにして、計測が行われる。
【００２９】
まず、第１の検出装置１０では、第１光源１１から放出された光が、コリメータレンズ１２により平行光束に変えられ、第１ビームスプリッタ１３に入射する。第１光源１１はピエゾ素子１７によってＹ軸方向に周期的に振動される。第１ビームスプリッタ１３を透過した光は、第１投射レンズ１４により、２次元スケール３０の第２の板状部材３２Ｂの表面（上面）に集光される。２次元スケール３０の第２の板状部材３２Ｂの表面に形成された反射型の位相回折格子により、２次元スケール３０の位置に応じて周期的（サインカーブ）な振幅を有する反射光を放出するようになっている。
【００３０】
この反射光は第１投射レンズ１４により平行光束に変えられ、第１ビームスプリッタで反射して、第１集光レンズ１５により第１受光素子１６の光電検出面に集光して、電気信号に変えられて処理される。２次元スケール３０のＹ軸方向への移動距離及び移動方向は、第１受光素子１６で検出された２次元スケール３０からの反射光の振幅及び位相と、ピエゾ素子１７で振動される第１光源１１から射出される光の振動（ピエゾ素子１７の振動）の振幅及び位相に基づいて、不図示の制御装置により算出される。
【００３１】
一方、第１コリメートレンズ１２を透過した光のうち、第１ビームスプリッタ１３で反射された光は、不図示の集光レンズを介して、第１ＣＣＤ１８の受光面に集光される。第１光源１１が振動して光ビームの位置が変われば、第１ＣＣＤ１８に入射する光ビームの位置が変化するので、第１ＣＣＤ１８の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように第１光源１１を加振しているピエゾ素子１７に印加する電圧を制御する。このようにして、位置計測の基準となる光ビームの振動中心位置が、第１ＣＣＤ１８に対して常に一定に保たれるので、雰囲気の気温や湿度が変化しても、光ビームの振動中心位置の変動に伴う測定誤差が発生することがなくなり、計測精度の悪化を防止することができる。なお、本実施形態では、ピエゾ素子１７を制御して光ビームの振動中心を一定にしたが、光路中に平行平板などを挿入して、その角度を調整することによって光ビームの振動中心位置を一定にしても良い。
【００３２】
第２の検出装置２０も同様であり、第２光源２１から放出された光は、コリメータレンズ２２により平行光束に変えられ、第２ビームスプリッタ２３に入射する。第２光源２１はピエゾ素子２７によってＸ軸方向に周期的に振動される。第２ビームスプリッタ２３を透過した光は、第２投射レンズ２４により、２次元スケール３０の第１の板状部材３２Ａの裏面（下面）に集光される。２次元スケール３０の第１の板状部材３２Ａの裏面に形成された反射型の位相回折格子により、２次元スケール３０の位置に応じて周期的（サインカーブ）な振幅を有する反射光を放出するようになっている。
【００３３】
この反射光は第２投射レンズ２４により平行光束に変えられ、第２ビームスプリッタ２３で反射して、第２集光レンズ２５により第２受光素子２６の光電検出面に集光して、電気信号に変えられて処理される。２次元スケール３０のＸ軸方向への移動距離及び移動方向は、第２受光素子２６で検出された２次元スケール３０からの反射光の振幅及び位相と、ピエゾ素子２７で振動される第２光源２１から射出される光の振動（ピエゾ素子２７の振動）の振幅及び位相に基づいて、不図示の制御装置により算出される。
【００３４】
一方、第２コリメートレンズ２２を透過した光のうち、第２ビームスプリッタ２３で反射された光は、不図示の集光レンズを介して、第２ＣＣＤ２８の受光面に集光される。第２ＣＣＤ２８によると、第１ＣＣＤ１８と同様、光ビームの振動中心を知ることができる。
【００３５】
以上のように、第１の検出装置１０と第２の検出装置２０とにより、２次元スケール３０のＸ軸方向及びＹ軸方向への移動距離及び移動方向を検出することが可能となっている。
【００３６】
以上詳細に説明したように、本実施形態によると、第１パターン３６を有する透明な第１の板状部材３２Ａと、第２パターン３６’を有する第２の板状部材３２Ｂとを、第１パターン３６と所定の位置関係になる位置に配置された位置合わせパターン３４ａ（及び３４ｂ）と第２パターン３６’と所定の位置関係になる位置に配置された位置合わせパターン３４ａ’（及び３４ｂ’）とによるモアレ縞に基づいて（すなわち、モアレ縞を、例えば目視により観察して）重ね合わせることにより、第１パターン３６と第２パターン３６’とを所望の関係に設定することができる。これにより、従来のような高価な設備を用いることなく、短時間で高精度な２次元スケールを製造することができる。
【００３７】
また、このような２次元スケールを備えた本実施形態のエンコーダでは、高コスト化を招くことなく高精度な位置計測を実現することが可能となる。
【００３８】
なお、上記実施形態では、モアレ縞の発生状態を、作業者が目視にて観察して、第１の板状部材３２Ａと第２の板状部材３２Ｂとを貼り合せる場合について説明したが、これに限らず、モアレ縞の発生状態を画像処理など行うことにより、観察することとしても良い。この場合においても、第１パターン３６と第２パターン３６’との角度関係を検出して調整するよりは、短時間で板状部材３２Ａ，３２Ｂを位置関係が調整された状態で貼り合わせることが可能となる。
【００３９】
なお、上記実施形態では、同一ピッチの位置合わせパターン３４ａ，３４ｂ，３４ａ’，３４ｂ’を用いることにしたが、本発明がこれに限られるものではなく、図５（Ａ）、図５（Ｂ）に示されるような、位置合わせパターン１３４ａ，１３４ｂを有する第１の板状部材１３２Ａ，及び位置合わせパターン１３４ａ’，１３４ｂ’を有する第２の板状部材１３２Ｂを用いることが可能である。
【００４０】
図５（Ａ）の第１の板状部材１３２Ａは、第１の実施形態と同様、第１パターン３６が形成されており、該第１パターン３６と所定の位置関係となる位置には、位置合わせパターン１３４ａ，１３４ｂが形成されている。この位置合わせパターン１３４ａ，１３４ｂは、Ｙ軸方向に伸び、Ｘ軸方向に所定ピッチ（ここでは例えば１０μｍとする）で配置されたる複数の刻線を有している。
【００４１】
図５（Ｂ）の第２の板状部材１３２Ｂは、第１の実施形態と同様、第２パターン３６’が形成されており、該第２パターン３６’と所定の位置関係となる位置には、位置合わせパターン１３４ａ’、１３４ｂ’が形成されている。この位置合わせパターン１３４ａ’，１３４ｂ’は、Ｙ軸方向に伸び、Ｘ軸方向に所定ピッチ（ここでは、例えば９．８μｍとする）で配置された複数の刻線を有している。すなわち、位置合わせパターン１３４ａ，１３４ｂと、位置合わせパターン１３４ａ’，１３４ｂ’とでは、配列ピッチが僅かに異なっている。
【００４２】
このような位置合わせパターンを用いることにより、第１の板状部材１３２Ａと第２の板状部材１３２Ｂを重ね合わせたときの角度関係が理想状態となっているとき（すなわち、第１パターン３６を構成する刻線と第２パターン３６’を構成する刻線とが垂直に交差するとき）には、図６（Ａ）に示されるように、モアレ縞がＸ軸に沿ってグラデーションとなって出現する。
【００４３】
その一方で、第１の板状部材１３２Ａと第２の板状部材１３２Ｂとがずれているとき（すなわち、第１パターン３６を構成する刻線と第２パターン３６’を構成する刻線とが垂直に交差しないとき）には、図６（Ｂ）に示されるように、モアレ縞がＸ軸とＹ軸に対して傾斜する方向に沿って、グラデーションとなって出現する。
【００４４】
したがって、作業者は、この縞の形成状態を見ながら、第１の板状部材１３２Ａと第２の板状部材１３２Ｂとを貼り合わせることにより、第１パターン３６の刻線と第２パターン３６’の刻線とが垂直に交差した状態にすることができる。
【００４５】
なお、例えば、位置合わせパターン１３４ａ，１３４ｂのピッチを１００μｍとしたときには、位置合わせパターン１３４ａ’，１３４ｂ’のピッチを９８μｍや９９．８μｍなどとすることとしても良い。ただし、これらピッチについては、上述した数値に限られるものではなく、モアレ縞が形成されるピッチであれば、任意のピッチを選択することが可能である。
【００４６】
なお、上記実施形態及び変形例では、１枚の板状部材に１種類の位置合わせパターンのみを設ける場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、１枚の板状部材上に２種類の位置合わせパターンを設けることとしても良い。
【００４７】
なお、上記実施形態では、位置合わせマークによる縞の発生状況に応じて、第１の板状部材と第２の板状部材の位置関係を調整しつつ、両板状部材を貼り合わせる場合について説明したが、本発明がこれに限られるものではなく、縞の発生状態を、貼り合わせた後の、２枚の板状部材の位置関係の把握（第１パターンと第２パターンのなす角の把握）に用いることとしても良い。例えば、２次元スケールを用いた計測を行う前に、第１、第２パターンにより発生するモアレ縞の本数や角度を画像処理装置等を用いて検出し、該検出結果に基づいて第１パターンと第２パターンのなす角を検出することができ、制御装置では、該検出結果を考慮して、２次元スケールを用いた計測結果を補正することとすることができる。
【００４８】
なお、上記実施形態では、第１パターン３６（第２パターン３６’）の＋Ｙ側、−Ｙ側にそれぞれ位置合わせマークを設ける場合について説明したが、これに限らず、いずれか一方にのみ設けることとしても良い。また、＋Ｙ側、−Ｙ側に限られず、＋Ｘ側，−Ｘ側など、設ける位置は問わない。更に、位置合わせマークの配列方向なども問わない。
【００４９】
なお、上記実施形態では、２枚の板状部材の間に配置されるスペーサ部材を２枚の板状部材とは別に用意したが、これに限らず、２枚の板状部材のうち、一方の板状部材の面に、予めスペーサ部材を取り付けておくこととしても良いし、一方の板状部材に段差を形成し、該段差部分にスペーサ部材と同一の機能を持たせることとしても良い。また、２枚の板状部材が対向する面のそれぞれにスペーサ部材を取り付けても良い。
【００５０】
なお、上記実施形態では、第１の検出装置、第２の検出装置として、２次元スケール上に集光ビームを照射する構成の装置を採用した場合について説明したが、これに限らず、光源から射出した光をビームスプリッタや回折光学素子で２つの光に分離し、その分離された光を再び２次元スケール上で重ね合わせる回折干渉方式の検出装置を採用することとしても良い。
【００５１】
なお、上記実施形態のエンコーダでは、計測する２軸方向が、互いに直交するＸ軸及びＹ軸である場合について説明したが、計測軸は、これらに限定されない。例えば、Ｘ軸と、このＸ軸と４５°で交差する軸とを計測軸（計測する２軸）とすることとしても良い。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
以上説明したように、本発明の２次元スケールの製造方法は、２つのパターンを重ね合わせた２次元パターンを有する２次元スケールを製造するのに適している。また、本発明のエンコーダは、スケールの位置計測に適している。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】一実施形態に係るエンコーダを示す概略図である。
【図２】図２（Ａ）は、第１の板状部材を示す平面図であり、図２（Ｂ）は、第２の板状部材を示す平面図である。
【図３】第１の板状部材と第２の板状部材とをスペーサ部材を介して貼り合せる状態を示す斜視図である。
【図４】図４（Ａ）は、第１パターンと第２パターンとが理想状態となっている場合の位置合わせ用マークの状態を示す図であり、図４（Ｂ）は、第１パターンと第２パターンとが理想状態からずれている場合の位置合わせ用マークの状態を示す図である。
【図５】図５（Ａ）は、変形例に係る、第１の板状部材を示す平面図であり、図５（Ｂ）は、変形例に係る、第２の板状部材を示す平面図である。
【図６】図６（Ａ）は、変形例において、第１パターンと第２パターンとが理想状態となっている場合の位置合わせ用マークの状態を示す図であり、図６（Ｂ）は、変形例において、第１パターンと第２パターンとが理想状態からずれている場合の位置合わせ用マークの状態を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
３０…２次元スケール、３２Ａ，１３２Ａ…第１の板状部材、３２Ｂ，１３２Ｂ…第２の板状部材、３４ａ、３４ａ’１３４ａ，１３４ａ’…位置合わせ用マーク（第１の位置合わせ用格子）、３４ｂ，３４ｂ’，１３４ｂ，１３４ｂ’…位置合わせ用マーク（第２の位置合わせ用格子）、３６…第１パターン、３６’…第２パターン、１００…エンコーダ。
【図１】
2007155466.tif 000003
【図２】
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【図３】
2007155466.tif 000005
【図４】
2007155466.tif 000006
【図５】
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【図６】
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