(57)【要約】【課題】高屈折率材料からなる基板に最適な、薄くて、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる反射防止膜を提供する。【解決手段】反射防止膜１００は、基板１１０と、基板１１０上に積層された第１層１０１と、第１層１０１上に積層された第２層１０２と、第２層１０２上に積層された第３層１０３と、による３層構成になっている。基板１１０は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる。第１層１０１は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約１．６５である材料からなる。第２層１０２は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約２．１０である材料からなる。第３層１０３は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約１．３８である材料からなる。【選択図】図１
2007148037.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い約１．６５である第１層と、
前記第１層上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の約２．１０である第２層と、
前記第２層上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層より低い約１．３８である第３層と、
により構成されていることを特徴とする反射防止膜。
【請求項２】
設計中心波長をλ0とするとき、
前記第１層の光学的膜厚が約０．０２７λ0〜約０．０５５λ0に、前記第２層の光学的膜厚が約０．０４１λ0〜約０．０７７λ0に、前記第３層の光学的膜厚が約０．１８９λ0〜約０．２０１λ0になるように設定したことを特徴とする請求項１に記載の反射防止膜。
【請求項３】
設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に積層された、光学的膜厚が約０．０２７λ0〜約０．０５５λ0（λ0は設計中心波長）であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い中屈折率材料からなる第１層と、
前記第１層上に積層された、光学的膜厚が約０．０４１λ0〜約０．０７７λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の高屈折率材料からなる第２層と、
前記第２層上に積層された、光学的膜厚が約０．１８９λ0〜約０．２０１λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層の屈折率より低い低屈折率材料からなる第３層と、
により構成されていることを特徴とする反射防止膜。
【請求項４】
前記第１層の設計中心波長における屈折率が約１．６５、前記第２層の設計中心波長における屈折率が約２．１０、前記第３層の設計中心波長における屈折率が約１．３８であることを特徴とする請求項３に記載の反射防止膜。
【請求項５】
前記基板は高屈折率ガラス材またはセラミック材からなり、前記第１層はＡｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）からなり、前記第２層はＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）とＴｉＯ2（酸化チタン）とが６：１の割合で混合された混合物からなり、前記第３層はＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）からなっていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一つに記載の反射防止膜。
【請求項６】
設計中心波長における屈折率が２．２０である高屈折率セラミック材からなる基板上に積層された、光学的膜厚が０．０３９λ0（λ0は設計中心波長）であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い１．６５であるＡｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）からなる第１層と、
前記第１層上に積層された、光学的膜厚が０．０５８λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の２．１０である、ＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）とＴｉＯ2（酸化チタン）とが６：１の割合で混合された材料からなる第２層と、
前記第２層上に積層された、光学的膜厚が０．１９２λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層の屈折率より低い１．３８であるＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）からなる第３層と、
により構成されていることを特徴とする反射防止膜。
【請求項７】
設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い約１．６５である第１層を積層する第１層積層工程と、
前記第１層上に、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率と同等の約２．１０である第２層を積層する第２層積層工程と、
前記第２層上に、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層より低い約１．３８である第３層を積層する第３層積層工程と、
を含むことを特徴とする反射防止膜製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、各種レンズなどの高屈折率の光学素子に最適な反射防止膜およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
カメラ、プロジェクタなどに広く用いられているレンズ、プリズム、フィルタなどの光学素子は、その表面で入射光の数パーセントを反射するため、入射光の利用効率が低下し、画像の劣化を招く。そこで、入射光の利用効率を向上させ、画像の劣化を防止するため、一般に、光学素子表面に光の反射防止膜を形成している。
【０００３】
このような反射防止膜は、異なる屈折率を有する材料からなる層を複数積層することで、形成される。たとえば、Ａｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）、ＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）、ＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）などを用いて、低中高と異なる屈折率を有する層を複数形成し、さらに各層が所定の光学的膜厚になるように構成されている。特に、近年では、各種光学素子の高屈折率化に適する反射防止膜が提案されている（たとえば、下記特許文献１，２を参照。）。
【０００４】
たとえば、特許文献１に記載の反射防止膜は、基板より屈折率の低い高屈折率層である第１層、第３層、第６層と、中屈折率層あるいは低屈折率層である第２層、第４層と、低屈折率層である第６層とからなる６層構成の交互多層膜になっている。そして、各層の光学的膜厚も最適化され、可視光域全域で反射率が約０．５パーセント以下になっている。
【０００５】
また、特許文献２に記載の反射防止膜は、下から順に、中間屈折率層と、高屈折率層と、低屈折率層とが積層されて構成されている。特に、前記中間屈折率層が前記高屈折率層を形成する材料との混合材料で形成され、可視光領域の反射率のピーク値が基板の屈折率の影響を受けず小さく、優れた反射防止特性を備えている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３４７００２号公報
【特許文献２】特開２００３−２０２４０５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１に記載の反射防止膜は、６層構造のため膜厚が厚くなる。加えて、この反射防止膜は多層構造であるため、必要とされる材料が多く、また成膜のための工程も多くなるため、コスト高を招くという問題がある。また、反射防止効果は可視光領域のみでしか発揮しない。高屈折率材料からなる基板に形成した場合の反射防止効果が期待できないという問題もある。
【０００８】
また、上記特許文献２に記載の反射防止膜も、反射防止効果は可視光領域のみでしか発揮しない。特に、近赤外領域（波長１０００ｎｍ）の反射防止効果は何ら考慮されていないため、可視光領域と同等の反射防止効果を近赤外領域ではまったく期待することができない。詳しくは、近赤外領域で入射光の反射率が急激に増加し、近赤外領域の反射率を４パーセント以下に抑えるといったことができないという問題がある。
【０００９】
以上のことから、従来の反射防止膜には、次のような問題点があるといえる。すなわち、（１）反射防止膜を構成する膜層が多いため、多種材料が必要となり、コスト高になる。（２）高屈折率材料で形成されている基板に形成した場合、入射光の反射率を低下させることが困難である。（３）可視光領域の光に対する反射防止効果しか期待できず、近赤外領域の光に対する反射防止効果は得られない。（４）多層構成のため膜厚が厚くなり、製造に手間がかかる。
【００１０】
この発明は、上述した従来技術による問題点を解消するため、可視光領域から近赤外領域にかけての入射光に対して優れた反射防止効果を有し、薄く、高屈折率材料からなる基板に最適な反射防止膜およびその製造方法を提供することを目的とする。また、入射光に対して優れた反射防止効果を有するとともに、製造コストの低減化を図ることができる反射防止膜およびその製造方法を提供することも、この発明の目的である。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上述した課題を解決し、目的を達成するため、請求項１に記載の発明にかかる反射防止膜は、設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い約１．６５である第１層と、前記第１層上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の約２．１０である第２層と、前記第２層上に積層された、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層より低い約１．３８である第３層と、により構成されていることを特徴とする。
【００１２】
この請求項１に記載の発明によれば、薄い３層構造で、設計中心波長における屈折率が約２以上の高屈折率材料からなる基板に形成するのに最適な、可視光領域から近赤外領域にかけての光の反射率を約０．５〜約４．５パーセント以下に抑制できる優れた反射防止効果を備えた反射防止膜を提供できる。また、簡易構成の、安価な反射防止膜を提供することができる。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明にかかる反射防止膜は、請求項１に記載の発明において、設計中心波長をλ0とするとき、前記第１層の光学的膜厚が約０．０２７λ0〜約０．０５５λ0に、前記第２層の光学的膜厚が約０．０４１λ0〜約０．０７７λ0に、前記第３層の光学的膜厚が約０．１８９λ0〜約０．２０１λ0になるように設定したことを特徴とする。
【００１４】
この請求項２に記載の発明によれば、請求項１に記載の発明の効果を、さらに薄く形成された膜により実現できる。
【００１５】
また、請求項３に記載の発明にかかる反射防止膜は、設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に積層された、光学的膜厚が約０．０２７λ0〜約０．０５５λ0（λ0は設計中心波長）であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い中屈折率材料からなる第１層と、前記第１層上に積層された、光学的膜厚が約０．０４１λ0〜約０．０７７λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の高屈折率材料からなる第２層と、前記第２層上に積層された、光学的膜厚が約０．１８９λ0〜約０．２０１λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層の屈折率より低い低屈折率材料からなる第３層と、により構成されていることを特徴とする。
【００１６】
この請求項３に記載の発明によれば、薄い３層構造で、設計中心波長における屈折率が約２以上の高屈折率材料からなる基板に形成するのに最適な、可視光領域から近赤外領域にかけての光の反射率を約０．５〜約４．５パーセント以下に抑制できる優れた反射防止効果を備えた反射防止膜を提供できる。
【００１７】
また、請求項４に記載の発明にかかる反射防止膜は、請求項３に記載の発明において、前記第１層の設計中心波長における屈折率が約１．６５、前記第２層の設計中心波長における屈折率が約２．１０、前記第３層の設計中心波長における屈折率が約１．３８であることを特徴とする。
【００１８】
この請求項４に記載の発明によれば、薄い３層構造で、設計中心波長における屈折率が約２以上の高屈折率材料からなる基板に形成するのに最適な、可視光領域から近赤外領域にかけての光の反射率を約０．５〜約４．５パーセント以下に抑制できる優れた反射防止効果を備えた反射防止膜を提供できる。
【００１９】
また、請求項５に記載の発明にかかる反射防止膜は、請求項１〜４のいずれか一つに記載の発明において、前記基板が高屈折率ガラス材またはセラミック材からなり、前記第１層がＡｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）からなり、前記第２層がＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）とＴｉＯ2（酸化チタン）とが６：１の割合で混合された混合物からなり、前記第３層がＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）からなっていることを特徴とする。
【００２０】
この請求項５に記載の発明によれば、請求項１〜４のいずれか一つに記載の反射防止膜を安価な材料で構成することができる。
【００２１】
また、請求項６に記載の発明にかかる反射防止膜は、設計中心波長における屈折率が２．２０である高屈折率セラミック材からなる基板上に積層された、光学的膜厚が０．０３９λ0（λ0は設計中心波長）であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い１．６５であるＡｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）からなる第１層と、前記第１層上に積層された、光学的膜厚が０．０５８λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の２．１０である、ＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）とＴｉＯ2（酸化チタン）とが６：１の割合で混合された材料からなる第２層と、前記第２層上に積層された、光学的膜厚が０．１９２λ0であり、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層の屈折率より低い１．３８であるＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）からなる第３層と、により構成されていることを特徴とする。
【００２２】
この請求項６に記載の発明によれば、薄い３層構造で、設計中心波長における屈折率が約２以上の高屈折率材料からなる基板に形成するのに最適な、可視光領域から近赤外領域にかけての光の反射率を約０．５〜約４．５パーセント以下に抑制できる優れた反射防止効果を備えた反射防止膜を提供できる。また、その反射防止膜を安価な材料で構成することができる。
【００２３】
また、請求項７に記載の発明にかかる反射防止膜製造方法は、設計中心波長における屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板上に、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率より低い約１．６５である第１層を積層する第１層積層工程と、前記第１層上に、設計中心波長における屈折率が前記基板の屈折率とほぼ同等の約２．１０である第２層を積層する第２層積層工程と、前記第２層上に、設計中心波長における屈折率が前記基板、前記第１層および前記第２層より低い約１．３８である第３層を積層する第３層積層工程と、を含むことを特徴とする。
【００２４】
この請求項７に記載の発明によれば、薄い３層構造で、設計中心波長における屈折率が約２以上の高屈折率材料からなる基板に成膜するのに最適な、可視光領域から近赤外領域にかけての光の反射率を約０．５〜約４．５パーセント以下に抑制できる優れた反射防止効果を備えた反射防止膜を提供できる。また、簡易な工程で製造可能な、安価な反射防止膜を提供することができる。
【発明の効果】
【００２５】
この発明によれば、高屈折率材料からなる基板に最適な、薄くて、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる反射防止膜を提供することができるという効果を奏する。加えて、簡易構成の、安価な反射防止膜を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付図面を参照して、この発明にかかる反射防止膜およびその製造方法の好適な実施の形態を詳細に説明する。
【００２７】
（反射防止膜の構成）
図１は、この発明の実施の形態にかかる反射防止膜の構成を示す断面図である。この反射防止膜１００は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約２．０〜約２．４である高屈折率材料からなる基板１１０上に積層された、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約１．６５である第１層（中屈折率層）１０１と、第１層１０１上に積層された、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約２．１０である第２層（高屈折率層）１０２と、第２層１０２上に積層された、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が約１．３８である第３層（低屈折率層）１０３と、による３層で形成される。また、設計中心波長をλ0とするとき、第１層１０１の光学的膜厚が約０．０２７λ0〜約０．０５５λ0に、第２層１０２の光学的膜厚が約０．０４１λ0〜約０．０７７λ0に、第３層１０３の光学的膜厚が約０．１８９λ0〜約０．２０１λ0になるように設定している。なお、基板１１０は、カメラ、プロジェクタなどに広く用いられているレンズ、プリズム、フィルタなどの光学素子を想定している。
【００２８】
また、この反射防止膜１００は、基板１１０上に、まず、第１層１０１を積層し、さらにこの第１層１０１上に第２層１０２を積層し、最後にこの第２層１０２上に第３層１０３を積層することで、構成される。
【００２９】
この実施の形態にかかる反射防止膜１００は、上記のように３層構造で、可視光領域から右近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる。詳しくは、波長４００〜７００ｎｍの可視光領域の入射光に対する反射率を約１パーセント以下、特に波長４２０〜６５０ｎｍの入射光に対する反射率を約０．５パーセント以下に抑制することができる。また、波長８００〜１０００ｎｍの近赤外領域の入射光に対する反射率を約２．５〜約４．５パーセント以下に抑制することができる。
【実施例】
【００３０】
以下、この発明にかかる反射防止膜の実施例を示す。
【００３１】
（実施例１）
まず、実施例１にかかる反射防止膜の詳細構成を説明する。この実施例１の反射防止膜１００は、基板１１０上に積層された第１層１０１と、第１層１０１上に積層された第２層１０２と、第２層１０２上に積層された第３層１０３と、による３層で構成される。
【００３２】
基板１１０は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が２．００〜２．４０であるガラスまたはセラミックの材質で形成する。第１層１０１は、基板１１０の屈折率より低く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が１．６５）なるように、Ａｌ2Ｏ3（酸化アルミニウム）で形成する。そして、第１層１０１の光学的膜厚を、０．０２７λ0〜０．０５５λ0（λ0は設計中心波長５１０ｎｍ）に設定する。第２層１０２は、基板１１０や第３層１０３の屈折率より高く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が２．１０）なるように、ＺｒＯ2（酸化ジリコニウム）とＴｉＯ2（酸化チタン）の混合材で形成する。このときのＺｒＯ2とＴｉＯ2との混合比率は、６：１である。そして、第２層１０２の光学的膜厚を、０．０４１λ0〜０．０７７λ0に設定する。第３層１０３は、各層の中で最も屈折率が低く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が１．３８）なるように、ＭｇＦ2（フッ化マグネシウム）で形成する。そして、第３層１０３の光学的膜厚を、０．１８９λ0〜０．２０１λ0に設定する。
【００３３】
次に、この実施例１にかかる反射防止膜の特性を示す。まず、表１に、この反射防止膜１００の特徴を示す。表１には、基板１１０、第１層１０１、第２層１０２、および第３層１０３の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率、光学的膜厚、材料を示している。表１中、基板１１０の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率をｎ、第１層１０１の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率をｎ1、光学的膜厚をｎ1ｄ1、第２層１０２の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率をｎ2、光学的膜厚をｎ2ｄ2、第３層１０３の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率をｎ3、光学的膜厚をｎ3ｄ3、設計中心波長５１０ｎｍをλ0で示している。なお、表１に示された各数値は、当該数値の近傍値であれば、実施例１で期待される効果は得られる。
【００３４】
【表１】
2007148037.tif 000003
【００３５】
図２は、実施例１にかかる反射防止膜の特性を示すグラフである。このグラフは、設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率ｎが、それぞれ２．０，２．１，２．２，２．３，２．４であるガラスまたはセラミックスの材質からなる基板１１０上に、表１に示した特徴を有する反射防止膜１００を形成した場合の特性を示したものである。このグラフから、屈折率ｎが２．００〜２．４０である基板１１０上に形成された反射防止膜１００は、可視光領域（波長４００〜７００ｎｍ）の光に対する反射率を約０．５パーセント以下に抑制できることがわかる。特に、反射防止膜１００を屈折率２．４の基板１１０上に形成した場合、可視光領域の光に対する反射率をほぼ０．３パーセント以下にすることができ、優れた反射防止効果が得られる。また、反射防止膜１００は、近赤外領域（波長８００〜１０００ｎｍ）の光に対する反射率を約１．５〜約４．０パーセント以下に抑制できることがわかる。
【００３６】
以上のように、この実施例１にかかる反射防止膜によれば、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる。
【００３７】
（実施例２）
次に、実施例２にかかる反射防止膜の詳細構成について説明する。この実施例２の反射防止膜１００も、基板１１０上に積層された第１層１０１と、第１層１０１上に積層された第２層１０２と、第２層１０２上に積層された第３層１０３と、による３層で構成される。
【００３８】
基板１１０は、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が２．２０であるセラミックで形成する。第１層１０１は、基板１１０の屈折率より低く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が１．６５）なるように、Ａｌ2Ｏ3で形成する。そして、第１層１０１の光学的膜厚を、０．０３９λ0（λ0は設計中心波長５１０ｎｍ）に設定する。第２層１０２は、第１層１０１や第３層１０３の屈折率より高く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が２．１０）なるように、ＺｒＯ2とＴｉＯ2の混合材で形成する。このときのＺｒＯ2とＴｉＯ2との混合比率は、６：１である。そして、第２層１０２の光学的膜厚を、０．０５８λ0に設定する。第３層１０３は、各層の中で最も屈折率が低く（設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が１．３８）なるように、ＭｇＦ2で形成する。そして、第３層１０３の光学的膜厚を、０．１９２λ0に設定する。
【００３９】
次に、この実施例２にかかる反射防止膜の特性を示す。まず、表２に、この反射防止膜１００の特徴を示す。表２には、基板１１０、第１層１０１、第２層１０２、および第３層１０３の設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率、光学的膜厚、材料を示している。また、設計中心波長５１０ｎｍをλ0で示している。なお、表２に示された各数値は、当該数値の近傍値であれば、実施例２で期待される効果は得られる。
【００４０】
【表２】
2007148037.tif 000004
【００４１】
図３は、実施例２にかかる反射防止膜の特性を示すグラフである。このグラフは、設計中心波長５１０ｎｍに対する屈折率ｎが２．２０であるセラミックスからなる基板１１０上に、表２に示された特徴を有する反射防止膜１００を形成した場合の特性を示したものである。このグラフから、屈折率ｎが２．２０である基板１１０上に形成された反射防止膜１００が、可視光領域（波長４００〜７００ｎｍ）の光に対する反射率を１パーセント以下、特に波長４２０〜６６０ｎｍの光に対する反射率を０．３パーセント以下に抑制できることがわかる。また、反射防止膜１００は、近赤外領域（波長８００〜１０００ｎｍ）の光に対する反射率を約１．５〜約４．０パーセント以下に抑制できることがわかる。
【００４２】
以上のように、この実施例２にかかる反射防止膜によれば、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる。
【００４３】
以上説明したように、この実施例にかかる反射防止膜によれば、設計中心波長５１０ｎｍにおける屈折率が２．００〜２．４０である高屈折率材料からなる基板に形成した際に、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果が得られる。また、この反射防止膜は、低価格の４種類の材料のみを使用し、しかもわずか３層で構成されるため、材料費の低減化のみならず、製造工程の簡略化、低コスト化も図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
以上のように、この発明にかかる反射防止膜およびその製造方法は、可視光領域から近赤外領域にいたる入射光に対して優れた反射防止効果を得ることができ、特に、高屈折率材料からなる基板に形成する場合に適している。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】この発明の実施の形態にかかる反射防止膜の構成を示す断面図である。
【図２】実施例１にかかる反射防止膜の特性を示すグラフである。
【図３】実施例２にかかる反射防止膜の特性を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４６】
１００  反射防止膜
１０１  第１層
１０２  第２層
１０３  第３層
１１０  基板
【図１】
2007148037.tif 000005
【図２】
2007148037.tif 000006
【図３】
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