(57)【要約】【課題】電動又は油圧の何れを用いても可動ロッドを動作させることができる、冗長性を備えたアクチュエータを提供する。【解決手段】シリンダ２１と、このシリンダ２１内に配置されるとともに、当該シリンダ２１への作動油の給排により移動するピストン２２と、このピストン２２に連結される可動ロッド２３と、この可動ロッド２３の内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸２９と、このネジ軸２９に螺合され、前記ピストン２２と一体的に移動可能なナット３０と、前記ネジ軸２９を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータ１３と、を備える。【選択図】図２
2007155075.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダと、
このシリンダ内に配置されるとともに、当該シリンダへの作動流体の給排により移動するピストンと、
このピストンに連結される可動ロッドと、
この可動ロッドの内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸と、
このネジ軸に螺合され、前記ピストンと一体的に移動可能なナットと、
前記ネジ軸を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータと、
を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１に記載のアクチュエータであって、前記電動モータの出力回転を歯車機構を介して前記ネジ軸に伝達して当該ネジ軸を駆動するように構成することを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のアクチュエータであって、前記シリンダに対する作動流体の給排を切り換える切換弁を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３に記載のアクチュエータであって、
前記シリンダは復動シリンダに構成されるとともに、
前記シリンダの一側のポートと他側のポートとを連通しない第１の位置と、両ポートを互いに連通する第２の位置と、の少なくとも２つの位置に切換可能な第２切換弁を備えることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項４に記載のアクチュエータであって、
前記第２切換弁を前記第２の位置に切り換える方向に付勢する付勢バネを備えるとともに、
作動流体圧によって前記第２切換弁を前記付勢バネに抗して前記第１の位置に保持できるように構成したことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のアクチュエータであって、前記第２切換弁は、前記第２の位置において、前記シリンダの一側のポートと他側のポートとを絞りを介して連通可能に構成されていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１から６までの何れか一項に記載のアクチュエータであって、前記可動ロッドが航空機の舵面に連結されていることを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体圧及び電動の何れによっても可動ロッドを駆動することが可能なアクチュエータの構成に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は位置決めシリンダ装置を開示し、このシリンダ装置は、シリンダのピストンロッド内にボールネジ及びナットを配置した構成としている。この構成において、前記ピストンの直線運動をボールネジを介して回転運動に変換し、この回転運動をエンコーダで位置信号に変換して、この信号に基づいて切換弁をフィードバックさせてピストンの位置決めを行う構成になっている。
【０００３】
特許文献１は、この構成により、ピストンロッドの行程端の位置を容易に変更することができるとする。なお特許文献１では、油圧の方向切換弁のみならずモータによってピストンロッドを駆動する例についても言及している。
【特許文献１】特開平１１−２７２３３２号公報（図１、図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１の図１の構成では油圧が失われた場合、ピストンを駆動させることができなくなり、例えば航空機の舵面を駆動するアクチュエータとして必要な冗長性を有するものではない。同様に、特許文献１の図３の構成では、電圧が失われると最早ピストンを駆動させることができなくなってしまう。
【０００５】
本発明は以上の事情に鑑みてされたものであり、その目的は、電動又は流体圧の何れを用いても可動ロッドを動作させることができる、冗長性を備えたアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段及び効果】
【０００６】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段とその効果を説明する。
【０００７】
本発明の観点によれば、以下の構成のアクチュエータが提供される。即ち、シリンダと、このシリンダ内に配置されるとともに、当該シリンダへの作動流体の給排により移動するピストンと、このピストンに連結される可動ロッドと、この可動ロッドの内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸と、このネジ軸に螺合され、前記ピストンと一体的に移動可能なナットと、前記ネジ軸を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータと、を備える。
【０００８】
この構成により、電動又は流体圧の何れを用いても可動ロッドを駆動することができ、冗長性を備えたアクチュエータを提供できる。
【０００９】
前記のアクチュエータにおいては、前記電動モータの出力回転を歯車機構を介して前記ネジ軸に伝達して当該ネジ軸を駆動するように構成することが好ましい。
【００１０】
この構成により、電動モータの出力回転を歯車機構を介してネジ軸に確実に伝達することができる。また、電動モータのレイアウトの自由度が高くなり、全体的にコンパクトなアクチュエータを提供できる。
【００１１】
前記のアクチュエータにおいては、前記シリンダに対する作動流体の給排を切り換える切換弁を備えることが好ましい。
【００１２】
この構成により、切換弁を切り換える簡素な操作によって可動ロッドを確実に流体圧駆動することができる。
【００１３】
前記のアクチュエータにおいては、以下のように構成することが好ましい。前記シリンダは復動シリンダに構成される。前記シリンダの一側のポートと他側のポートとを連通しない第１の位置と、両ポートを互いに連通する第２の位置と、の少なくとも２つの位置に切換可能な第２切換弁を備える。
【００１４】
この構成により、電動モータで可動ロッドを駆動するときに第２切換弁を第２の位置へ切り換えて両ポートを連通させることで、ピストンの流体圧ロックを回避し、可動ロッドをスムーズに電動駆動することができる。
【００１５】
前記のアクチュエータにおいては、以下のように構成することが好ましい。前記第２切換弁を前記第２の位置に切り換える方向に付勢する付勢バネを備える。作動流体圧によって前記第２切換弁を前記付勢バネに抗して前記第１の位置に保持できるように構成した。
【００１６】
この構成により、作動流体圧が消失したときには、自動的に第２切換弁が付勢バネによって第２の位置に切り換わってシリンダの両ポートが連通するので、ピストンの流体圧ロックを回避し、可動ロッドの電動駆動に適した状態にすることができる。
【００１７】
前記のアクチュエータにおいては、前記第２切換弁は、前記第２の位置において、前記シリンダの一側のポートと他側のポートとを絞りを介して連通可能に構成されていることが好ましい。
【００１８】
この構成により、駆動対象部材の過剰な振動を流体圧ダンピング効果により減衰することができる。
【００１９】
前記のアクチュエータにおいては、前記可動ロッドが航空機の舵面に連結されていることが好ましい。
【００２０】
即ち、上記のアクチュエータは、駆動機構に冗長性が必要とされる航空機に特に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
次に、発明の実施の形態を説明する。図１は本発明の一実施形態に係るアクチュエータで舵面を駆動する構成を示す模式斜視図、図２は各アクチュエータの構成を示す断面図及び油圧回路図である。
【００２２】
図１に示すアクチュエータ１は、航空機に備えられた舵面２を駆動するためのものであって、２つ１組で設けられている。図２にはそれぞれのアクチュエータ１の構成が示され、このアクチュエータ１は、シリンダ機構１１と、このシリンダ機構１１を駆動するための油圧回路１２と、同じくシリンダ機構１１を駆動するための電動モータ１３と、を主要な構成として備えている。
【００２３】
シリンダ機構１１は、円筒状に形成したシリンダ２１と、このシリンダ２１の内部に配置されたピストン２２と、を備えている。ピストン２２はシリンダ２１に油密的に嵌合するとともに、シリンダ２１の軸方向に往復移動可能に構成されている。このピストン２２は、前記シリンダ２１の内部空間を２つに区画するように設けられており、当該区画された２つの空間は、後述するポート３１，３２にそれぞれ連通されている。
【００２４】
前記ピストン２２には、可動ロッド２３の一端が一体的に連結されている。この可動ロッド２３の他端は、シリンダ２１から突出されるとともに、航空機の舵面２に連結されている。
【００２５】
前記シリンダ２１には作動油（作動流体）を給排可能な２つのポート３１，３２が形成されており、前記シリンダ機構１１はいわゆる復動式の油圧シリンダに構成されている。以下、この２つのポート３１，３２に圧油を給排して前記ピストン２２を駆動するための油圧回路１２を説明すると、この油圧回路１２は、圧油を供給するプレッシャーライン４１と、圧油を戻すタンクライン４２と、切換弁５１と、第２切換弁（モードセレクタバルブ）５２と、手動モード切換弁５３と、を主要な構成として備えている。
【００２６】
切換弁５１は３位置切換型とされ、Ｐ，Ｔ，Ａ，Ｂの４つのポートを備えている。また、手動モード切換弁５３は２位置切換型とされ、Ｐ，Ｔ，Ａの３つのポートを備えている。そして、前記プレッシャーライン４１は２つに分岐され、一方が切換弁５１のＰポートに、他方が手動モード切換弁５３のＰポートに、それぞれ接続される。また、切換弁５１のＴポート及び手動モード切換弁５３のＴポートは、いずれも前記タンクライン４２に接続される。
【００２７】
切換弁５１は、Ｐ，Ｔ，Ａ，Ｂの全ポートをブロックする位置と、ＰとＡ、ＴとＢをそれぞれ連通する位置と、ＰとＢ、ＴとＡをそれぞれ連通する位置と、の３つの位置に、ソレノイドによって切換可能とされている。この構成により、シリンダ２１の各ポート３１，３２への作動油の供給が切り換えられて、ピストン２２及び可動ロッド２３を所望の方向に油圧駆動することができる。
【００２８】
第２切換弁５２は前記切換弁５１とシリンダ２１との間に配置されており、油圧駆動モードと電動モードとを切換可能に構成している。具体的には、この第２切換弁５２は、切換弁５１のＡ，Ｂのポートをシリンダ２１のポート３１，３２へそれぞれ連通させる第１の位置と、上記Ａ，Ｂのポートをそれぞれブロックするとともにシリンダ２１のポート３１，３２間を連通する第２の位置と、に切換可能とされている。なお、この第２の位置において、ポート３１，３２は、作動油の流量を制限する絞り４０を介して連通されるようになっている。
【００２９】
この第２切換弁５２には、弁体を前記第２の位置へ切り換えるように付勢する付勢バネ３５が取り付けられている。一方、手動モード切換弁５３は電磁弁に構成しており、図略の操作具の操作に連動して、ＰＡ接続の位置と、ＴＡ接続の位置と、に切換可能とされている。そして、前記手動モード切換弁５３のＡポートの作動油が導かれて、第２切換弁５２の弁体を前記付勢バネ３５に抗して押動できるようになっている。
【００３０】
プレッシャーライン４１には、作動油をろ過するためのフィルタ３６や、逆流防止のためのチェック弁３７が設置されている。また、タンクライン４２には、当該タンクライン４２の圧力を適宜に保つための圧力保持機構３８が備えられている。
【００３１】
また、前記油圧回路１２には、シリンダ２１の２つのポート３１，３２間の差圧を検出する差圧センサ３９や、両ポート３１，３２にチェック弁４５を介して接続される、回路全体の油圧の規制のためのリリーフバルブ４６や、シリンダ２１のポート３１，３２の圧力が低下した場合に自開してタンクライン４２側の作動油を供給するためのチェック弁４７等が備えられている。
【００３２】
次に、電動モータ１３からピストン２２に至る駆動伝達経路を説明する。前記シリンダ２１の脇の位置には電動モータ１３が取り付けられ、その出力軸２４は、前記シリンダ２１と一体形成されたハウジング２５内部に突出されている。出力軸２４の先端には出力ギア２６が固着されている。
【００３３】
前記ハウジング２５には伝達軸２７が回転自在に支持されている。この伝達軸２７は、前記シリンダ２１の軸線と同心させて設けられている。この伝達軸２７の一端には大径ギア２８が固定されて、この大径ギア２８が前記出力ギア２６と噛合している。前記出力ギア２６及び大径ギア２８は何れも平歯車とされている。
【００３４】
伝達軸２７の他端は前記シリンダ２１の内部空間に延出され、その延出部分の外周面にはネジ部が刻設され、ネジ軸２９とされている。
【００３５】
前記ピストン２２及び可動ロッド２３には挿入穴３３が形成され、可動ロッド２３は中空筒状に構成されている。そして、この挿入穴３３に前記ネジ軸２９の一部が挿入されている。また、前記ピストン２２の部分にはナット３０が固着されており、このナット３０が前記ネジ軸２９に螺合している。
【００３６】
以上の構成で、図１には、手動モード切換弁５３がＰＡ接続の位置に切り換わっており、この結果、第２切換弁５２が付勢バネ３５に抗する向きに油圧によって押されて前記第１の位置に切り換わっている状態が示されている。この位置が油圧駆動モードに対応しており、この状態では、シリンダ２１のポート３１が切換弁５１のＡポートに、ポート３２が切換弁５１のＢポートに、それぞれ接続される（シリンダ２１の両ポート３１，３２間は連通されない）。この状態で切換弁５１を切り換えることにより、プレッシャーライン４１の作動油をポート３１，３２の何れかに供給してピストン２２を油圧駆動し、このピストン２２に可動ロッド２３を介して連結されている舵面２を所望の向きに傾動させることができる。
【００３７】
次に、図略の油圧ポンプの故障等の何らかの事情で、プレッシャーライン４１の油圧が失われた場合を考える。この場合、第２切換弁５２の弁体を押していた油圧力が消失するので、第２切換弁５２は付勢バネ３５のバネ力によって第２の位置に自動的に切り換わる。この状態が電動モードであり、電動モータ１３を正逆回転することで、出力軸２４の出力回転が出力ギア２６及び大径ギア２８からなる歯車機構を介して減速・トルク増強されて伝達軸２７及びネジ軸２９を回転させ、この回転運動がナット３０の直線運動に変換される。なお、上記の電動モードにおいては第２切換弁５２は第２の位置とされているので、ポート３１とポート３２とは相互に連通され、ピストン２２の移動がシリンダ２１内の油圧力によってロックされないようになっている。このようにしてピストン２２及び可動ロッド２３をネジ駆動し、舵面２を所望の向きに旋回させることができる。
【００３８】
なお、前記第２切換弁５２には絞り４０が形成されており、この第２切換弁５２が第２の位置に切り換えられたとき（電動モード時）には、シリンダ２１のポート３１，３２同士がこの絞り４０を介して接続されるようになっている。これにより、ピストン２２及び可動ロッド２３の移動に適度の抵抗を付与し（ダンピング効果）、航空機の高速飛行時に舵面２が共振して細かく振動する現象（いわゆるフラッタリング）を抑制することができる。
【００３９】
なお、上記ではプレッシャーライン４１の圧力が消失したことを契機として自動的に電動モードに切り換わる場合を説明したが、電磁弁である手動モード切換弁５３をＴＡ接続位置に切り換えることで、第２切換弁５２を第２の位置に切り換えて（いわば強制的に）電動モードとすることも可能である。
【００４０】
以上に示すように、本実施形態のアクチュエータ１は、シリンダ２１と、このシリンダ２１内に配置されるとともに前記ポート３１，３２への作動油の給排により移動するピストン２２と、このピストン２２に連結される可動ロッド２３と、この可動ロッド２３の内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸２９と、このネジ軸２９に螺合され、前記ピストン２２と一体的に移動可能なナット３０と、前記ネジ軸２９を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータ１３と、を備える。これにより、電動又は油圧の何れを用いても可動ロッド２３を駆動することができ、冗長性を備えたアクチュエータを提供できる。
【００４１】
また、本実施形態のアクチュエータ１は、前記電動モータ１３の出力回転を出力ギア２６及び大径ギア２８からなる歯車機構を介して前記ネジ軸２９に伝達して当該ネジ軸２９を駆動するように構成している。これにより、電動モータ１３の出力回転を歯車機構を介してネジ軸２９に確実に伝達することができる。また、例えば電動モータ１３をシリンダ２１から離して配置することも可能になるので、電動モータ１３のレイアウトの自由度に優れ、全体的にコンパクトなアクチュエータ１を提供できる。また、上記実施形態のように、歯車機構に減速機能を持たせたり、逆に増速機能を持たせることも可能である。
【００４２】
また本実施形態のアクチュエータ１は、前記シリンダ２１に対する作動油の給排を切り換える切換弁５１を備えている。これにより、切換弁５１を切り換える簡素な操作によって可動ロッド２３を確実に油圧駆動することができる。
【００４３】
また、本実施形態では前記シリンダ２１は復動シリンダに構成されるとともに、アクチュエータ１は、前記シリンダ２１の一側のポート３１と他側のポート３２とを連通しない第１の位置と、両ポート３１，３２を互いに連通する第２の位置と、の２つの位置に切換可能な第２切換弁５２を備えている。これにより、電動モータ１３で可動ロッド２３を駆動するときに第２切換弁５２を第２の位置へ切り換えて両ポート３１，３２を連通させることで、ピストン２２の油圧ロックを回避し、可動ロッド２３をスムーズに電動駆動することができる。
【００４４】
また、本実施形態のアクチュエータ１は、前記第２切換弁５２を前記第２の位置に切り換える方向に付勢する付勢バネ３５を備えるとともに、作動油圧によって前記第２切換弁５２を前記付勢バネ３５に抗して前記第１の位置に保持できるように構成している。これにより、作動油圧が消失したときには、自動的に第２切換弁５２が付勢バネ３５によって第２の位置に切り換わって両ポート３１，３２が連通するので、ピストン２２の油圧ロックを回避し、直ちに可動ロッド２３の電動駆動に適した状態にすることができる。
【００４５】
更に、本実施形態のアクチュエータ１は図２に示すように、前記第２切換弁５２は、前記第２の位置において、前記シリンダ２１の一側のポート３１と他側のポート３２とを絞り４０を介して連通可能に構成されている。これにより、油圧ダンピング効果を発揮させることができ、駆動対象部材（舵面２）の過剰な振動を減衰することができる。
【００４６】
また、本実施形態のアクチュエータ１は、その可動ロッド２３を航空機の舵面２に連結させて用いられるので、駆動機構に冗長性が必要とされる航空機に好適な構成とすることができる。
【００４７】
以上に本発明の構成を説明したが、上記は一例であって、例えば以下のように変更することができる。
【００４８】
電動モータ１３にバッテリーを接続し、油圧駆動モードでのピストン２２の駆動に伴う出力軸２４の回転で生じるエネルギーを保存し、電動モードにおいてはその回生エネルギーを用いてネジ軸２９を駆動する構成に変更することができる。
【００４９】
上記の実施形態において、直線駆動機構を構成する前記ネジ軸２９及びナット３０はボールネジに構成されているが、例えば台形ネジに変更することができる。また、油圧のみならず、空気圧など、他の作動流体圧で駆動する構成に変更することができる。
【００５０】
第２切換弁５２は、手動モード切換弁５３からの油圧で切り換わる構成とすることに代えて、例えば電気信号で切り換わる電磁弁に構成することができる。この場合、プレッシャーライン４１の油圧を適宜のセンサで監視して、油圧低下の異常が検知されたら第２切換弁５２を第２の位置へ自動的に切り換える制御を行えば良い。
【００５１】
手動モード切換弁５３を省略し、プレッシャーライン４１の作動油を第２切換弁５２に直接導く構成に変更することができる。
【００５２】
第２切換弁５２の絞り４０は、用途によっては省略しても良い。例えば図１に示すように、２つあるアクチュエータ１のうち１つにおいては、第２切換弁５２の絞り４０が省略されている。この構成でも、舵面２のフラッタリングを、一側のアクチュエータ１の絞り４０によって回避することができる。
【００５３】
あるいは図３の上側のアクチュエータ１に示すように、第２切換弁５２を、シリンダ２１の２つのポート３１，３２同士を互いに連通しない第１の位置と、両ポート３１，３２を互いに絞りなしで連通する第２の位置と、両ポート３１，３２を絞り４０を介して互いに連通する第３の位置と、で切換可能に構成しても良い。この構成では、低速飛行時には第２の位置とする一方、舵面２のフラッタリングが心配される高速飛行時に第３の位置に切り換えるといった制御を行うことができる。
【００５４】
また、図４に示すように、一側（図中上側）のアクチュエータ１は電動モータ１３による駆動のみとし、当該一側のアクチュエータ１のシリンダ２１のポート３１，３２の間をオリフィス弁６１を介在させつつ接続する構成に変更することができる。このオリフィス弁６１は電磁弁に構成しており、その弁体６２の内部に絞り４０が形成されている。そして、他側（図中下側）のアクチュエータ１が油圧駆動モードのときは、前記オリフィス弁６１は開弁してシリンダ２１のポート３１，３２間を連通させる。一方、電動モード（特に高速飛行時）においては、オリフィス弁６１は閉弁してシリンダ２１のポート３１，３２間の流量を弁体６２内部の絞り４０によって制限し、舵面２のフラッタリングを効果的に抑制することができる。
【００５５】
更には、図５に示すように、電動モータ１３と伝達軸２７とを、遊星歯車機構５５を介して連結する構成に変更することができる。この構成では、電動モータ１３の出力軸２４にサンギア５６が固定される一方、当該サンギア５６に噛合するプラネタリギア５７を支持するキャリア５８に小径ギア６０が固定され、この小径ギア６０が伝達軸２７の大径ギア２８に噛合されている。この構成では、電動モータ１３の出力軸２４の出力回転は遊星歯車機構５５、及び小径ギア２６と大径ギア２８からなる歯車機構によって、２段階で減速・トルク増強され、伝達軸２７に伝達されることになる。
【００５６】
また、図５に示すように、前記電動モータ１３の出力軸２４とネジ軸２９との間に、動力を断接可能なクラッチ５９を介在させる構成に変更することができる。このクラッチ５９としては、例えば電磁クラッチを採用できる。この図５の構成において、例えば、油圧駆動モードを通常モードとして、電動モードを非常モードとして用いる場合、油圧駆動モードではクラッチ５９を断となるように制御して、ピストン２２の油圧駆動時に回転するのをネジ軸２９のみとして伝達軸２７や電動モータ１３の出力軸２４を切り離し、慣性による動力損失を回避することができる。なお、プレッシャーライン４１の油圧低下が検知された場合、前記電動モードになると同時にクラッチ５９を接となるように制御するのは勿論である。
【００５７】
また、図６に示すように、前記電動モータ１３の出力軸２４と前記ネジ軸２９とを同心配置して直接連結する構成に変更することができる。この構成によれば、歯車機構を省略でき、構成を簡素化できる。また、この電動モータ１３とネジ軸２９とを直接結合する構成は、例えば第２切換弁５２を３位置切換型とする図３の変形例と組み合わせたり（図７）、オリフィス弁６１を備える図４の変形例と組み合わせたり（図８）することができる。
【００５８】
また、以上の実施形態及びその変形例から、少なくとも以下の技術思想及び効果を把握することができる。
【００５９】
（１）前記第２切換弁が、復動シリンダの２つのポート間を連通しない第１の位置と、両ポートを互いに絞りなしで連通する第２の位置と、両ポートを絞りを介して連通する第３の位置と、の少なくとも３つの位置に切換可能に構成されていることを特徴とするアクチュエータ（図３や図７の上側に図示するアクチュエータ）。
【００６０】
以上の構成では、電動駆動時に第２切換弁を第２の位置とすることで、可動ロッド２３をスムーズに電動駆動することができる。また、駆動対象部材の過剰な振動（舵面２のフラッタリング）が心配されるときには第３の位置とすることで、当該振動を油圧ダンピング効果により良好に抑制することができる。
【００６１】
（２）シリンダと、
このシリンダ内に移動可能に配置され、当該シリンダの内部空間を区画するピストンと、
このピストンに連結される可動ロッドと、
この可動ロッドの内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸と、
このネジ軸に螺合され、前記ピストンと一体的に移動可能なナットと、
前記ネジ軸を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータと、
を備え、
前記区画された内部空間同士を弁（オリフィス弁６１）を介して接続し、
この弁は、両内部空間を絞りを介さないで互いに連通する第１の位置（開弁位置）と、両内部空間を絞りを介して互いに連通する第２の位置（閉弁位置）と、の少なくとも２つの位置に切換可能であることを特徴とするアクチュエータ（図４や図８の上側に図示するアクチュエータ）。
【００６２】
以上の構成では、上記の弁を第１の位置とすることで可動ロッドをスムーズに電動駆動できる。また、駆動対象部材の過剰な振動（舵面２のフラッタリング）が心配されるときには弁を第２の位置とすることで、当該振動を油圧ダンピング効果により良好に抑制することができる。
【００６３】
（３）複数のアクチュエータを用いて駆動対象部材を駆動するアクチュエータ機構であって、
各アクチュエータは、
シリンダと、
このシリンダ内に移動可能に配置され、当該シリンダの内部空間を区画するピストンと、
このピストンに連結される可動ロッドと、
この可動ロッドの内部に少なくとも一部が挿入されるネジ軸と、
このネジ軸に螺合され、前記ピストンと一体的に移動可能なナットと、
前記ネジ軸を正逆いずれにも回転駆動することが可能な電動モータと、
を備えており、
当該複数のアクチュエータには、
前記区画された内部空間同士を絞りを介して接続可能に構成されているアクチュエータと、
前記内部空間同士を接続する接続経路に絞りを配置していないアクチュエータと、
が少なくとも含まれていることを特徴とするアクチュエータ機構（図１、図３、図４、図７、図８に図示）。
【００６４】
即ち、複数のアクチュエータで１つの駆動対象部材を駆動する場合、絞りは複数のアクチュエータのうち一部のアクチュエータにだけ設けられていれば、駆動対象部材の過剰な振動を抑制可能であり、また、このように構成することで簡素な構成を実現できる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の一実施形態に係るアクチュエータで舵面を駆動する構成を示す模式斜視図。
【図２】各アクチュエータの構成を示す断面図及び油圧回路図。
【図３】アクチュエータの第１変形例を示す模式斜視図。
【図４】アクチュエータの第２変形例を示す模式斜視図。
【図５】アクチュエータの第３変形例を示す模式斜視図。
【図６】アクチュエータの第４変形例を示す模式斜視図。
【図７】アクチュエータの第５変形例を示す模式斜視図。
【図８】アクチュエータの第６変形例を示す模式斜視図。
【符号の説明】
【００６６】
１  アクチュエータ
２  航空機の舵面
１３  電動モータ
２１  シリンダ
２２  ピストン
２３  可動ロッド
２６  出力ギア（歯車機構の一部）
２８  大径ギア（歯車機構の一部）
２９  ネジ軸
３０  ナット
３１，３２  ポート
３５  付勢バネ
４０  絞り
５１  切換弁
５２  第２切換弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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