(57)【要約】【課題】厚み精度が高く、かつ切断面の平面精度の高いウエハを切り出す。【解決手段】ワイヤソーは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ等に巻回されたワイヤＷにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群を駆動する駆動モータ等と、ワーク２８を切断送りするワーク送り装置３０と、ワイヤＷにスラリを供給するスラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂとを有する。また、ワイヤＷの撓み量を検出する撓みセンサ３８と、ワーク２８をワイヤ群に対して相対的に切断送りの方向と逆方向に一旦戻して再度切断送りするワーク戻し動作を実行すべくワーク送り装置３０を制御するコントローラと、撓みセンサ３８による検出値から予め設定された安全値を減算することによりワーク戻し動作におけるワークの戻し量を求める戻し量演算手段とを備え、コントローラは、ワーク戻し動作において戻し量演算手段により求められる戻し量だけワーク２８を戻す。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のガイドローラに巻回された切断用ワイヤにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群をワイヤ軸方向に駆動する駆動手段と、前記ワイヤ群に対して相対的に移動することにより前記ワイヤ群に対してワークを切断送りするワーク送り手段と、を備えたワイヤソーにおいて、
前記ワークの切断送りに伴う前記ワイヤの撓み量を検出する撓み量検出手段と、
ワーク切断作業中に、前記ワークを前記ワイヤ群に対して相対的に切断送りの方向と逆方向に一旦戻して再度切断送りする所定のワーク戻し動作を実行すべく前記ワーク送り手段を制御する制御手段と、を備え、
この制御手段は、前記撓み量検出手段による検出撓み量に基づき、前記ワイヤの撓み量が当該検出撓み量よりも小さい値となるように前記ワーク戻し動作においてワークを前記逆方向に戻すことを特徴とするワイヤソー。
【請求項２】
請求項１に記載のワイヤソーにおいて、
前記ワーク戻し動作においてワークを前記逆方向に戻したときのワイヤの撓み量が予め設定された基準撓み量となるように、前記撓み量検出手段による検出撓み量に基づきワーク戻し動作におけるワークの戻し量を求める戻し量演算手段をさらに備え、
前記制御手段は、ワーク戻し動作において、前記戻し量演算手段により求められる戻し量だけワークを前記逆方向に戻すことを特徴とするワイヤソー。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のワイヤソーにおいて、
前記ワーク送り手段によるワークの送り位置を検出する送り位置検出手段をさらに備え、
前記制御手段は、予め設定されたワーク送り位置、又は一定のワーク送り量毎に前記ワーク戻し動作を実行すべく前記送り位置検出手段による検出位置に基づきワーク送り手段を制御することを特徴とするワイヤソー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、切断用ワイヤにより構成されたワイヤ群に対して半導体インゴット等のワークを切り込み送りすることにより当該ワークをウエハ状に切断するワイヤソーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークをウエハ状に切り出す手段としてワイヤソーが知られている。ワイヤソーは、複数のガイドローラ間に切断用ワイヤが巻き掛けられることにより該ワイヤが多数本並んだ状態で張設され、このワイヤ群をその軸方向に高速駆動しながら該ワイヤ群に遊離砥粒を含むスラリを供給し、この状態で、ワーク保持部に保持されたワークを切断用ワイヤの軸方向と直交する方向に、前記ワイヤ群に対して切断送りすることにより、ワークをウエハ状に多数枚同時に切り出すように構成されている。
【０００３】
この種のワイヤソーでは、ワイヤの駆動に伴いワイヤと共にこれに付着したスラリがワーク内（切断溝）に持ち込まれることによりワークの切断作業が進められるが、この場合、スラリの多くはワークの切り込み側（ワークのうちワイヤ駆動方向の上流側）の部分で消費され、切り抜き側（ワークのうちワイヤ駆動方向の下流側）での寄与度が低くなるため、ウエハ厚みが切り込み側から切り抜き側に向かって厚くなる傾向があった。
【０００４】
そこで、最近では、切断作業中に、ワイヤをワークに対して接近、離脱させて切断溝内のワークとワイヤとの間に隙間を形成することによりスラリの持ち込み量を補うワーク戻し動作を周期的に行い、これにより切り抜き側でのスラリの寄与度を高め得るようにしたワイヤソーが提案されている（例えば特許文献１）。
【特許文献１】特開２００４−３２２２９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記特許文献１のようなワイヤソーは、スラリの持ち込み量を効果的に補うことが可能となるため厚み精度の高いウエハを切り出す上で有効と考えられる。
【０００６】
しかし、ワーク戻し動作において、ワイヤをワークに対して離脱させるものであるため次のような問題がある。すなわち、高速駆動されているワイヤをワーク（切断溝の溝底）から離脱させると、切断溝内でワイヤが振れて切断面に衝突するなどしてウエハの平面精度に影響を与えるおそれがある。従って、この点を改善する必要がある。
【０００７】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであって、ワーク戻し動作を行うことによりウエハの厚み精度を高めるとともに、切断面の平面精度の高いウエハを切り出すことを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明は、複数のガイドローラに巻回された切断用ワイヤにより形成されるワイヤ群と、このワイヤ群をワイヤ軸方向に駆動する駆動手段と、前記ワイヤ群に対して相対的に移動することにより前記ワイヤ群に対してワークを切断送りするワーク送り手段と、を備えたワイヤソーにおいて、前記ワークの切断送りに伴う前記ワイヤの撓み量を検出する撓み量検出手段と、ワーク切断作業中に、前記ワークを前記ワイヤ群に対して相対的に切断送りの方向と逆方向に一旦戻して再度切断送りする所定のワーク戻し動作を実行すべく前記ワーク送り手段を制御する制御手段と、を備え、この制御手段が、前記撓み量検出手段による検出撓み量に基づき、前記ワイヤの撓み量が当該検出撓み量よりも小さい値となるように前記ワーク戻し動作においてワークを前記逆方向に戻すように構成されているものである。
【０００９】
このワイヤソーによると、ワイヤ群に対して相対的にワークが押し付けられた状態でワークの切断が進められ、このワーク切断作業中、所定のタイミングでワークを一時的に切断送り方向と逆方向に戻すワーク戻し動作が実行される。この動作が実行されることによりワーク（切断溝の溝底）とワイヤとの圧接力が適度に低下してワーク内へのスラリの持ち込みが促進されることとなる。そして、このワーク戻し動作においては、ワイヤの撓み量が検出撓み量よりも小さい値となるようにワークが戻し制御されるので、つまり、ワークが押し付けられてワイヤにテンションが掛かった状態が保たれる範囲内でワークが戻し制御されるので、ワイヤがワーク（切断溝の溝底）から離れて切断溝内で不安定に振れるといった事態に陥ることが確実に防止される。
【００１０】
また、このワイヤソーにおいては、ワーク戻し動作においてワークを前記逆方向に戻したときのワイヤの撓み量が予め設定された基準撓み量となるように、前記撓み量検出手段による検出撓み量に基づきワーク戻し動作におけるワークの戻し量を求める戻し量演算手段をさらに備え、前記制御手段が、ワーク戻し動作において、前記戻し量演算手段により求められる戻し量だけワークを前記逆方向に戻すように構成されるものであってもよい。
【００１１】
この構成によれば、ワーク戻し動作を実行しても、基準撓み量に対応するワイヤテンションが掛かった状態が確保されるので、予めこの基準撓み量を設定しておくことにより、ワーク戻し動作におけるワイヤの不安定な振れを確実に防止することが可能となる。
【００１２】
なお、このワイヤソーにおいては、前記ワーク送り手段によるワークの送り位置を検出する送り位置検出手段をさらに備え、前記制御手段が、予め設定されたワーク送り位置、又は一定のワーク送り量毎に前記ワーク戻し動作を実行すべく前記送り位置検出手段による検出位置に基づきワーク送り手段を制御するものであるのが好適である。
【００１３】
この構成によれば、ワークの切断開始から切断終了までを通じてワークの送り位置に基づき例えば複数回、間欠的にワーク送り動作を実行することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明のワイヤソーによれば、ワーク切断作業中、所定のタイミングでワークを一時的に切断送り方向と逆方向に戻すワーク戻し動作を実行するので、ワーク（切断溝）へのスラリ持ち込み量を効果的に補いながら切断作業を進めることができる。しかも、このワーク戻し動作においては、ワークにワイヤが押し付けられてワイヤにテンションが掛かった状態が確保されるように現在のワイヤ撓み量の検出に基づきワークの戻し量が制御されるので、ワーク戻し動作の際にワーク（切断溝）内でワークが振れるといった事態の発生を確実に回避することができる。従って、厚み精度が高く、かつ切断面の平面精度が高いウエハをより確実に切り出すことができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。
【００１６】
図１は、本発明に係るワイヤソーの全体構成を概略的に示している。この図に示すワイヤソーは、一対のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１２Ａ，１２Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプーリ１６Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂ、ガイドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。
【００１７】
ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ２６Ａが駆動モータ２５によって回転駆動されるようになっている。
【００１８】
各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるボビン９Ａ，９Ｂと、これを回転駆動するボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂと、を備えている。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａのボビン９Ａから繰出されたワイヤＷは、ガイドプーリ１２Ａ，１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１８Ａのプーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛けられ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６Ａの外周面のガイド溝（図示省略）に嵌め込まれながらこれらガイドローラの外側に多数回螺旋状に巻回された（巻き掛けられた）後、ガイドプーリ２２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂ，１２Ｂの順に掛けられ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのボビン９Ｂに巻き取られており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８ＢによってワイヤＷに適当な張力が与えられている。そして、駆動モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向と、各ボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂによるボビン９Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがボビン９Ａから繰出されてボビン９Ｂに巻き取られる状態（前進駆動状態）と、ワイヤＷがボビン９Ｂから繰出されてボビン９Ａに巻き取られる状態（後退駆動状態）とにワイヤＷの駆動方向が切換え可能となっている。
【００１９】
すなわち、このワイヤソーにおいては、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互いに平行な状態で張られたワイヤ群を形成しながら、これらワイヤ群がその軸方向に進退駆動可能となっており、後記コントローラによりワイヤ群の駆動が前進駆動と後退駆動とに一定期間毎に交互に切換えられながら作業が進められるようになっている。なお、この実施形態では、駆動モータ２５およびボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂはサーボモータから構成されている。そして、前記ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ等により本発明に係る駆動手段が構成されている。
【００２０】
前記ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０（本発明に係るワーク送り手段に相当する）が設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。ワーク保持部３２は、前記ワーク２８をその結晶軸に基づいて目的の結晶方位が得られる向きに保持するものであり、ワーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組み合わせにより、前記ワーク保持部３２とワーク２８とを一体に昇降させる（すなわち切断送りする）ものである。なお、この実施の形態では、ワーク送りモータ３４は駆動モータ２５等と同様にサーボモータで構成されており、ワーク２８の切断送り位置を検出する本発明に係る送り位置検出手段を兼ねている。
【００２１】
同図および図２に示すように、前記ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤ群のうちワーク２８が切り込み送りされる領域の外側（ワイヤＷの駆動方向外側；同図では左右両外側）の位置において、ワイヤ群の上方には、スラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。これらのスラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動される各ワイヤＷに対し、砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給し、これをワイヤＷ表面に付着させるものである。
【００２２】
従って、このワイヤソーでは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷにスラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂから加工液が供給されながら、これらのワイヤＷに対してワーク２８が下方に切断送りされることにより、このワーク２８から一度に多数枚のウエハ（薄片）が同時に切り出される。
【００２３】
また、前記スラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂのうち一方側（右側）のスラリ供給装置３６Ａとガイドローラ２４Ａとの間において、前記ワイヤ群の上方には撓みセンサ３８（本発明に係る撓み量検出手段に相当する）が配置されている。
【００２４】
この撓みセンサ３８は、例えば渦電流センサ等の非接触式の距離センサからなり、ワイヤＷの撓みに応じた信号を後記コントローラに出力するようになっている。すなわち、非切断作業時の撓みセンサ３８とワイヤＷとの距離を「０」とし、図３に示すように、切断送りに伴いワーク２８がワイヤ群に押し付けられてワイヤＷがその押し付け方向に変位すると、その変位量（撓み量；同図中に符号δで示す）に対応した信号を出力するようになっている。撓みセンサ３８は、当実施形態では、前記ワイヤ群のうちワイヤＷの並び方向中央に位置するワイヤＷに対向して配置されており、当該ワイヤＷと撓みセンサ３８との距離に応じた信号を出力するようになっている。
【００２５】
なお、上記のようなワイヤソーは、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を有する図４に示すようなコントローラ４０を有している。同図に示すように、コントローラ４０はその機能構成として主制御手段４２、戻し量演算手段４４およびモータ制御手段４６等を含んでいる。
【００２６】
主制御手段４２は、ワイヤソーの駆動を統括的に制御するもので、予めプログラムされた駆動速度および駆動方向でワイヤＷを駆動するとともに、予めプログラムされた切断送り速度でワーク２８を切断送りすべくモータ制御手段４６に制御信号を出力する。特に、切断作業中は、予めプログラムされた切断送り位置で所定のワーク戻し動作、すなわち、ワーク２８を切断送りの方向と逆方向に一旦戻して再度切断送りする動作を実行すべくモータ制御手段４６に制御信号を出力する。なお、同図では便宜上モータはワーク送りモータ３４のみ図示している。
【００２７】
戻し量演算手段４４は、ワーク戻し動作の際にワーク２８を戻す距離（戻し量という）を演算するものである。具体的には、撓みセンサ３８からの信号（検出撓み量）に基づき、当該検出撓み量から予め設定された安全値（本発明に係る基準撓み量に相当）を減算した値を戻し量として求めるもので、主制御手段４２は、ワーク戻し動作の際には、この戻し量演算手段４４により求められた戻し量だけワーク２８を戻すべくモータ制御手段４６に制御信号を出力する。なお、上記安全値とは、切断送りによりワーク２８がワイヤ群に押し付けられているときのワイヤＷの撓み量より小さい値であって、切断溝内でワイヤＷが振れること無く安定的に駆動され得る範囲の最小値として例えば試験的に求められた値である。
【００２８】
次に、このコントローラ４０によるワーク２８の切断動作制御について図３のフローチャートに従ってその作用と共に説明する。
【００２９】
ワーク２８が保持され、ワーク送りモータ３４の駆動によりワーク２８が初期位置、例えば図１に示すようにワイヤＷ（ワイヤ群）から離間した位置にセットされると当フローチャートがスタートする。
【００３０】
コントローラ４０は、まず、駆動モータ２５およびボビン駆動モータ１１Ａ，１１Ｂを低速で駆動するとともに一定の時間間隔でその駆動方向の切替えを行い、これによりワイヤＷを前進駆動させる（ステップＳ２）。
【００３１】
次いで、スラリ供給装置３６Ａ，３６Ｂを駆動してスラリの供給を開始するとともに、ワーク送りモータ３４を駆動して一定速度でワーク２８の切断送りを開始し、これによりワイヤＷに対してワーク２８の切り込みを開始する（ステップＳ４）。また、切断送り位置を特定するためのカウンタ位置に「１」をセットする（ステップＳ６）。
【００３２】
そして、ワイヤＷの駆動速度を所定の切断速度に保った状態でワーク送り装置３０により一定の送り速度でワーク２８を送ることにより切断作業を進めるとともに、一定の期間毎に、ワイヤＷの駆動方向を前進駆動状態と後退駆動状態、つまり上記とは逆に他方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０ＢからワイヤＷを繰り出しながらこのワイヤＷを上記一方側のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａにより巻き取る状態とに交互に切換えながらワーク２８の切断作業を進める。
【００３３】
そして、駆動モータ２５（エンコーダ）からの出力に基づき、ワーク２８が前記カウンタ値に対応して予め記憶されている特定の切断送り位置、当実施形態では、切り込み開始位置から例えば５ｍｍだけ切断送りが進行した位置にワーク２８が到達したと判断すると（ステップＳ８でＹＥＳ）、コントローラ４０はワーク戻し動作を実行する。具体的には、その切断送り位置における撓みセンサ３８からの検出値、つまりワイヤＷの撓み量δ（図３参照）に基づいてワーク２８の戻し量を演算し、ワーク送りモータ３４を反転駆動することによりその戻り量だけワーク２８を切断送り方向とは逆方向に一旦戻した後、再度ワーク送りモータ３４の駆動を切換えてワーク２８を切断送りする（ステップＳ１０〜Ｓ１４）。
【００３４】
このようにワーク２８を切断送り方向と逆方向に一旦戻すと、ワーク２８の各切断溝の溝底に対するワイヤＷの圧接力が適度に低下して前記切断溝内へのスラリの持ち込み量が効果的に増大し、その結果、切断溝内においてその切り抜き側（ワーク２８のうちワイヤ駆動方向の下流側）まで十分にスラリが供給されることとなる。この際、ワーク２８の戻し量は、上記の通り実際のワイヤＷの撓み量δから安全値を減算した値とされるため、ワイヤＷを戻した状態でも、ワイヤＷは、確実に安全値だけ撓むようにワイヤＷ（切断溝の溝底）に押し付けられる。従って、ワイヤＷは、切断溝内でテンションが掛かった状態で安定的に駆動されることとなり、ワーク戻し動作中に切断溝内で不安定に振れるといった事態に陥ることがない。
【００３５】
その後、ワーク２８を切断送りしつつ切断作業を進めるとともに、上記カウンタ値が設定値「Ｎ」に達したか否かを判断し（ステップＳ１６）、ここで、ＮＯと判断した場合には、当該カウンタ値を「１」だけインクリメントしてステップＳ８にリターンする（ステップＳ２２）。すなわち、ワイヤＷを一定期間毎に前進駆動状態と後退駆動状態とに切換えながらワーク２８の切断送りを行い、ワーク２８がカウンタ値に対応する特定の切断送り位置、当実施形態では５ｍｍだけ切断送りが進行した位置に達すると上記ワーク戻し動作を実行し、これによって切断溝内へのスラリの持ち込みが促進されるようになっている。
【００３６】
そして、ステップＳ１６でＹＥＳと判断すると、さらにワーク送りモータ３４からの出力信号に基づき、ワーク２８が所定の切断終了位置に到達したか否かを判断し、ここでＹＥＳと判断すると、ワイヤＷの駆動を停止して一連のワーク２８の切断作業を終了する。
【００３７】
以上説明したように、このワイヤソーでは、ワイヤＷを駆動しつつワーク２８を切断送りすることにより当該ワーク２８の切断作業を進めるが、上記のようにその途中で一旦ワーク２８を戻すワーク戻し動作を実行して切断溝内へのスラリの持ち込みを促進させるようになっているので、ワーク２８（切断溝）の切り抜き側（ワークのうちワイヤ駆動方向の下流側）でのスラリ不足を効果的に補うことができ、その結果、一定厚みを有するウエハをより確実に切り出すことができるようになる。特に、上記のワイヤソーでは、ワーク２８の切断送りが一定距離進む毎に定期的にワーク戻し動作を実行するので、上記のようなスラリ不足を効果的に解消することができる。
【００３８】
しかも、ワーク戻し動作においては、上記の通り実際のワイヤＷの撓み量δから予め求めた安全値を減算した戻し量を演算し、この演算値分だけワーク２８を戻すことにより、切断溝内でワイヤＷが安定的に駆動され得る範囲内でワーク２８を戻すようにしているので、ワーク戻し動作中に切断溝内でワイヤが不安定に振れて切断面に衝突するといった事態を確実に回避することができ、その結果、ウエハの平面精度を高く保つことができる。
【００３９】
従って、上記実施形態のワイヤソーによると、厚みが一定で、かつ切断面の平面精度が高いウエハをより確実に切り出すことができるようになるという効果がある。
【００４０】
なお、以上説明したワイヤソーは、本発明に係るワイヤソーの好ましい実施の形態の一例であって、その具体的な構成は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
【００４１】
例えば、第１の実施形態では切断送りが５ｍｍ進行する毎にワーク戻し動作を実行するようにしているが、ワーク戻し動作を実行する位置（切断送りの位置）は、これに限定されるものではなく適宜設定すればよい。また、実施形態のように一定送り量毎にワーク戻し動作を実行する必要は必ずしもなく、予め不規則に設定した切断送り位置においてワーク戻し動作を実行するようにしてもよい。
【００４２】
また、実施形態では、撓みセンサ３８として渦電流センサを適用しているが、撓みセンサ３８の種類、あるいは撓みセンサ３８の配置等、本発明に係る撓み検知手段の具体的な構成は上記実施形態に限定されるものではなく、具体的なワイヤソーの構成に基づきワイヤＷの撓み量を正確に検出できるように適宜選定すればよい。例えば、実施形態では、ワイヤ群のうちその並び方向中央に位置するワイヤＷの撓み量のみを検出するようにしているが、勿論、複数のワイヤＷの撓み量を検出するようにしてもよい。この場合には、各検出撓み量の平均値を求め、当該平均値と上記安全値とに基づいてワーク２８の戻し量を演算するようにしてもよい。
【００４３】
また、実施形態では、撓みセンサ３８による検出撓み量から予め設定した安全値を減算した値をワーク２８の戻し量として決定しているが、戻し量の決定方法はこれに限らない。要は、ワイヤＷの撓みを保ったままでその撓み量が撓みセンサ３８による検出撓み量よりも小さい値となるように戻し量を決定するようにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明に係るワイヤソーの全体構成を示す斜視図である。
【図２】撓みセンサの配置等を説明するワイヤソーの模式図（正面図）である。
【図３】ワイヤの撓み量を説明する模式図である。
【図４】コントローラの構成（本発明に関連する部分）を示すブロック図である。
【図５】コントローラによるワークの切断動作制御の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４５】
Ｗ  ワイヤ
１０Ａ，１０Ｂ  ワイヤ繰出し・巻取り装置
１１Ａ，１１Ｂ  ボビン駆動モータ
２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂ  ガイドローラ
２５  駆動モータ
２８  ワーク
３０  ワーク送り装置
３４  ワーク送りモータ
３６Ａ，３６Ｂ  スラリ供給装置
３８  撓みセンサ
４０  コントローラ
４２  主制御手段
４４  戻し量演算手段
４６  モータ制御手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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