(57)【要約】【課題】リードフレームなどの長尺状材料の洗浄において、その形状に左右されることなく安定した洗浄ができ、さらに少ない洗浄水量で高い洗浄効果を得られる洗浄装置並びに洗浄方法を提供する。【解決手段】洗浄装置の内部に形成した長尺状材料が通過する溝に、長尺状材料を連続的に通過させ、当該溝の内壁に、当該溝を複数回にわたって横断するように形成したジグザグ形状の洗浄水流通経路に洗浄水を流通させて長尺状材料を洗浄する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺状材料を洗浄するための洗浄装置であって、
互いに対向する一対の内壁面を有し、かつ、前記長尺状材料の両方面の各々と前記内壁面の各々とが対向するように前記長尺状材料を挿通自在な第１の貫通孔と、その軸中心が前記第１の貫通孔の軸中心と少なくとも一回交差し、かつ、前記内壁面と平行に延びる第２の貫通孔とが形成されるノズル部材を備える、洗浄装置。
【請求項２】
前記ノズル部材は、
平面部と、前記平面部から第１の深さにまで形成される第１の溝と、前記第１の溝を少なくとも１回横切るように、前記第１の深さより深い第２の深さにまで形成される第２の溝とを有する第１部材と、
前記第１の溝と前記第２の溝とを覆うように前記平面部に密着状態に取り付けられ、前記第１の溝に対応するように形成される第３の溝と、前記第２の溝に対応するように形成される第４の溝とを有する第２部材とを含み、
前記第１の溝と前記第３の溝とによって、前記第１の貫通孔が形成され、
前記第２の溝と前記第４の溝とによって、前記第２の貫通孔が形成されることを特徴とする、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記第２の溝は、一定ピッチで折れ曲がりながら、前記第１の溝を複数回横切るように形成されることを特徴とする、請求項２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記第１部材と前記第２部材とは、透明な材料によって形成されていることを特徴とする、請求項１から請求項３のいずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
互いに対向する一対の内壁面を有し、かつ、前記長尺状材料の両方面の各々と前記内壁面の各々とが対向するように前記長尺状材料を挿通自在な第１の貫通孔と、その軸中心が前記第１の貫通孔の軸中心と少なくとも一回交差し、かつ、前記内壁面と平行に延びる第２の貫通孔とが形成されるノズル部材を用いて、前記長尺状材料を洗浄する洗浄方法であって、
前記長尺状材料が前記第１の貫通孔を貫通するように、前記長尺状材料を連続的に搬送する工程と、
前記前記第２の貫通孔の一方端に連続的に液体を供給する工程とを備える、洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置及び洗浄方法に関し、より特定的には半導体の製造に用いられる長尺状材料を洗浄するための洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体用のリードフレームやコネクター端子フレームには、半導体素子の実装のしやすさや、半田付けのしやすさを維持するために、金属めっきが施されている。
【０００３】
リードフレームに金属めっきを施すための代表的な方法として、リールＴＯリール方式と呼ばれる金属めっき法が知られている。リールＴＯリール方式とは、リールに巻かれたリードフレームを連続して搬送しながら、リードフレームに前処理、めっき処理、後処理及び洗浄乾燥を施した後、他方のリールに巻き取る方法である。
【０００４】
洗浄工程は、リードフレームに施される各処理毎に設けられている。各処理毎に洗浄工程が設けられる理由は、各工程において発生するリードフレームの表面残留物を除去し、前の処理工程において発生した表面残留物が、次の処理工程の処理槽に持ち込まれるのを防ぐためであり、それ故、洗浄工程は、非常に重要な工程である。
【０００５】
図３は、従来の洗浄装置の構成を示す図である。図３に示す洗浄装置は、給水管１０１と、洗浄槽１０２と、バッフルプレート１０３とを備えている。
【０００６】
リードフレーム１０４は、洗浄槽１０２の内部を水平方向に連続搬送される。給水管１０１より噴出された洗浄水は、洗浄槽１０２を通過するリードフレーム１０４に吹き付けられ、リードフレーム１０４の下面を洗浄する。
【０００７】
また、給水菅１０１より噴出された洗浄水の一部は、リードフレーム１０４の開口部、すなわち、プレスで抜き取られた部分を通り抜け、直接噴流Ａとしてバッフルプレート１０３に当たる。バッフルプレート１０３によって跳ね返された間接噴流Ｂによって、リードフレーム１０４の上面が洗浄される。
【０００８】
図３に示す洗浄装置は、以上に説明した方法で、リードフレーム１０４の上面と下面とを洗浄することができる。
【特許文献１】特開平７−２５６２１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
従来の洗浄装置は、リードフレーム１０４の開口部を通過した洗浄水によって、リードフレーム１０４の上面を洗浄する。
【００１０】
ここで、例えば、リードフレーム１０４の形状によっては、洗浄水が通過するためのリード隙間が微細な場合がある。リード隙間が微細な場合、十分な量の洗浄水がリードフレームを通過することができない場合がある。この結果、洗浄水によってリードフレーム１０４の上面を十分に洗浄することができない。また、隙間のない板状の金属材料や、フレキシブル基盤に使用される樹脂フィルムのような材料を洗浄する場合も、洗浄水が材料の隙間を通過することができないので、材料を十分に洗浄することができない。
【００１１】
さらに、リードフレーム１０４の形状が、十分な量の洗浄水が通過できる形状を有している場合でも、リードフレーム１０４の上面と下面とは、直接噴流Ａと間接噴流Ｂとによって、１度づつしか洗浄されない。特にリードフレーム１０４の上面は、自由落下した間接噴流Ｂによって洗浄されるため、洗浄効果が小さく、その結果リードフレーム１０４の上面と下面との洗浄が均一にならないという問題もある。
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決する為になされたものであり、リードフレームなどの長尺状材料を、その形状に左右されることなく安定して洗浄することができ、従来技術と比較して、少ない洗浄水で高い洗浄効果を得られる洗浄装置及び洗浄方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記の課題を解決するために、本発明の第１の発明は、長尺状材料を洗浄するための洗浄装置であって、互いに対向する一対の内壁面を有し、かつ、長尺状材料の両方面の各々と内壁面の各々とが対向するように長尺状材料を挿通自在な第１の貫通孔と、その軸中心が第１の貫通孔の軸中心と少なくとも一回交差し、かつ、内壁面と平行に延びる第２の貫通孔とが形成されるノズル部材を備えるものである。
【００１４】
本発明の第２の発明は、第１の発明において、ノズル部材は、平面部と、平面部から第１の深さにまで形成される第１の溝と、第１の溝を少なくとも１回横切るように、第１の深さより深い第２の深さにまで形成される第２の溝とを有する第１部材と、第１の溝と第２の溝とを覆うように平面部に密着状態に取り付けられ、第１の溝に対応するように形成される第３の溝と、第２の溝に対応するように形成される第４の溝とを有する第２の部材とを含み、第１の溝と第３の溝とによって、第１の貫通孔が形成され、第２の溝と第４の溝とによって、第２の貫通孔が形成されることが好ましい。
【００１５】
本発明の第３の発明は、第２の発明において、第２の溝は、一定ピッチで折れ曲がりながら、第１の溝を複数回横切るように形成されることが好ましい。
【００１６】
本発明の第４の発明は、第１から第３のいずれかの発明において、第１部材と第２部材とは、透明な材料によって形成されていることが好ましい。
【００１７】
本発明の第５の発明は、互いに対向する一対の内壁面を有し、かつ、長尺状材料の両方面の各々と内壁面の各々とが対向するように長尺状材料を挿通自在な第１の貫通孔と、その軸中心が第１の貫通孔の軸中心と少なくとも一回交差し、かつ、内壁面と平行に延びる第２の貫通孔とが形成されるノズル部材を用いて、長尺状材料を洗浄する洗浄方法であって、長尺状材料が第１の貫通孔を貫通するように、長尺状材料を連続的に搬送する工程と、第２の貫通孔の一方端に連続的に液体を供給する工程とを備える。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る洗浄装置は、洗浄水流通経路が、洗浄装置内を通過するリードフレームなどの長尺状材料を少なくとも１度横切る構造である。リードフレームなどの長尺状材料が、本発明に係る洗浄装置を通過すると、洗浄水が長尺状材料の幅方向を少なくとも１度横切る。
【００１９】
したがって、本発明によれば、リードフレームなどの長尺状材料を、その形状に左右されることなく安定して洗浄することができ、少ない洗浄水で高い洗浄効果を得られる洗浄装置及び洗浄方法を実現することができる。また、本発明によれば、洗浄品質を向上することができ、使用する洗浄水の量を削減できるので、生産性を大きく高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
（第１の実施形態）
図１Ａは、本発明に係る洗浄装置１２の正面図である。図１Ｂは、洗浄装置１２の右側面図である。図１Ｃは、洗浄装置１２の上面図である。図１Ｄは、図１Ａに示すＡ−Ａ線における断面図である。図２は洗浄装置１２の分解斜視図である。
【００２１】
本実施形態に係る洗浄装置１２は、透明な材料によって形成されたノズル本体１と、透明な材料によって形成され、ボルト５によってノズル本体１に密着状態に締結されたノズル蓋２とを備える。ノズル本体１及びノズル蓋２の接合部分には、長尺状材料であるリードフレーム６を挿通自在な貫通孔８と、洗浄水流通経路７とが形成されている。
【００２２】
貫通孔８は、互いに対向する一対の内壁面１４ａ及び１４ｂを有し、リードフレーム６の両方面の各々と内壁面１４ａ及び１４ｂの各々とが対向する状態で、リードフレーム６が挿通自在となるように形成されている。また、洗浄水流通経路７は、その軸中心が貫通孔８の軸中心と少なくとも１回交差し、かつ、その軸中心が内壁面１４ａ及び１４ｂの各々と平行に延びるように形成されている。
【００２３】
尚、ノズル本体１に形成された洗浄水流通経路７の一方端部には、洗浄水を供給するために、継手３及びホース４が接続されている。
【００２４】
図２は、本発明の第１の実施形態に係る洗浄装置の分解斜視図である。ノズル本体１は、平面部１５と、平面部１５から所定の第１の深さにまで形成された溝１３ａと、溝１３ａを複数回横切るように、第１の深さより深い第２の深さにまで形成された溝１４ａとを有する。一方、ノズル蓋２は、溝１３ａと対応するように形成される溝１３ｂと、溝１４ａと対応するように形成される溝１４ｂとを有する。
【００２５】
ノズル本体１とノズル蓋２とがボルト５を介して締結されると、溝１３ａ及び１３ｂによって、貫通孔８が形成され、溝１４ａ及び１４ｂによって、洗浄水流通経路７が形成される。
【００２６】
洗浄水流通経路７の溝１４ａ及び１４ｂの断面寸法は、幅及び深さとも１０ｍｍ程度であることが望ましい。また、貫通孔８の深さは、リードフレーム６の厚さが０．１ｍｍ〜０．５ｍｍである場合、５ｍｍ程度であることが望ましい。さらに、貫通孔８の幅寸法は、リードフレーム６の幅に約１０ｍｍを加算した程度であることが望ましい。
【００２７】
以下に洗浄装置１２を使用して、リードフレーム６を洗浄する方法を説明する。まず、リードフレーム６は、挿入部１１から洗浄装置１２へ挿入される。ホース４から洗浄水を注入すると、注入された洗浄水は、波状の形状の洗浄水流通経路７によって貫通孔８を複数回横切るように誘導され、排出口９から排出される。
【００２８】
リードフレーム６が、貫通孔８を挿入部１１から排出部１０へ向かって通過すると、洗浄水流通経路７によって誘導された洗浄水が、貫通孔８を通過するリードフレーム６を複数回横断する。したがって、洗浄水は、継手３から注入されて、排出口９から排出されるまでの間に、貫通孔８を通過しているリードフレーム６の両面を同時に複数回洗浄する。洗浄されたリードフレーム６は、排出部１０から洗浄装置１２の外部へ排出される。
【００２９】
継手３及びホース４は、洗浄装置１２の排出部１０側に設けられ、排出口９は洗浄装置１２の挿入部１１側に設けられている。したがって、リードフレーム６が、洗浄装置１２を通過して、洗浄装置１２の出口に近づくにつれて、リードフレーム６は不純物の少ない洗浄水によって洗浄される。すなわち、洗浄水流通経路７は、多段水洗の原理を応用した構成を有しているので、効率のよい洗浄を行うことができるという優れた効果を発揮する。
【００３０】
なお、図１〜２に示す洗浄水流通経路７の山及び谷の数は、２山、２谷である。しかし、洗浄水流通経路７の山及び谷の数は、要求される洗浄品質の程度により変更してもよい。また、洗浄水流通経路７の形状は、貫通孔８を少なくとも１度横切ればよい。
【００３１】
特に、本実施形態に係る洗浄装置１２は、透明材料によって形成されている。洗浄装置１２を透明材料で形成することによって、洗浄装置１２の使用者が、洗浄装置１２内部の汚れ具合を確認でき、洗浄装置１２を清掃するタイミングを知ることができる。洗浄装置１２の使用者が、洗浄装置１２を清掃する場合、ノズル本体とノズル蓋２とを締結しているボルト５を取り外して、ノズル本体と、ノズル蓋２とを分離した後、洗浄装置１２を清掃する。なお、本実施形態に係る洗浄装置１２が、透明でない材料で形成されていてもよいことはいうまでもない。
【００３２】
以上説明したように、本実施形態に係る洗浄装置によれば、洗浄水流通経路７を通過する洗浄水は、リードフレーム６の両面にほぼ均等に流れるため、リードフレーム６の両面を、その形状にかかわらず、均等に洗浄することが可能となる。また、貫通孔８の寸法を適宜に設定すれば、少ない洗浄水によって、リードフレーム６の両面を効率的に洗浄することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００３３】
本発明に係る洗浄装置は、長尺状材料を、その形状に左右されることなく安定して洗浄でき、かつ少ない洗浄水で高い洗浄効果を得ることができるので、例えば、半導体装置に用いられるリードフレームなどを洗浄するために利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１Ａ】本発明の第１の実施形態に係る洗浄装置の正面図
【図１Ｂ】本発明の第１の実施形態に係る洗浄装置の右側面図
【図１Ｃ】本発明の第１の実施形態に係る洗浄装置の上面図
【図１Ｄ】図１Ａに示すＡ−Ａ線の断面図
【図２】本発明の第１の実施形態に係る洗浄装置の分解斜視図
【図３】従来の洗浄装置を示す図
【符号の説明】
【００３５】
１    ノズル本体
２    ノズル蓋
３    継手
４    ホース
５    ボルト
６    リードフレーム
７    洗浄水流通経路
８    貫通孔
９    排出口
１０  排出部
１１  挿入部
１２    洗浄装置
１３ａ，ｂ  溝
１４ａ，ｂ  溝
１５  平面部
１０１    給水管
１０２    洗浄槽
１０３    バッフルプレート
１０４    リードフレーム
Ａ    直接噴流
Ｂ    間接噴流
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図１Ｃ】
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【図１Ｄ】
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【図２】
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【図３】
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