(57)【要約】【課題】被着体に対する十分な粘着力を有し、空気存在下で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することが可能なバックグラインド用粘着性樹脂組成物を提供する。【解決手段】  （ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含み、下記条件（１）により粘着剤層としたものを紫外線硬化した後の、所定条件により測定した前記粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前の前記粘着剤層に対して１／３以下となる、バックグラインド用粘着性樹脂組成物。  条件（１）：ポリエチレンテレフタレートからなる基材の片面にバックグラインド用粘着性樹脂組成物を膜状に成形して粘着剤層とし、空気が存在する状態で、高圧水銀ランプによる紫外線を積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2照射する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含み、
下記条件（１）により粘着剤層としたものを紫外線硬化した後の、下記条件（２）により測定した前記粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前に対して１／３以下となる、バックグラインド用粘着性樹脂組成物。
条件（１）：ポリエチレンテレフタレートからなる基材の片面にバックグラインド用粘着性樹脂組成物を膜状に成形して粘着剤層とし、空気が存在する状態で、高圧水銀ランプによる紫外線を積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2照射する。
条件（２）：被着体をシリコンウエハーとしたＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した１８０°剥離力試験法にて測定。
【請求項２】
前記（ａ）ポリマーが、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物、極性基含有のスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、および、極性基含有のスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物からなる群より選択される少なくとも一種を含む請求項１に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【請求項３】
前記（ｂ）モノマーが、３つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものである請求項１または２に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【請求項４】
さらに、少なくとも一種の（ｅ）溶剤を含む請求項１〜３のいずれか１項に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【請求項５】
膜厚２０〜３０μｍの前記粘着剤層とした場合における、前記条件（２）にて測定した紫外線硬化前の粘着力が、１〜２０（Ｎ／２５ｍｍ）である請求項１〜４のいずれか１項に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【請求項６】
空気が存在する状態で前記粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在する状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）と、空気が存在しない状態で前記粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在しない状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）との差が、±３％以内である請求項１〜５のいずれか１項に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【請求項７】
基材と、前記基材の少なくとも片面に配設された粘着剤層とを備えたバックグラインド用粘着シートであって、前記粘着剤層が、請求項１に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物を含有するバックグラインド用粘着シート。
【請求項８】
前記基材は、粘着剤層側の面にエンボス加工が施されている請求項７に記載のバックグラインド用粘着シート。
【請求項９】
基材の少なくとも片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、得られた前記樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、前記基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを得る、バックグラインド用粘着シートの製造方法。
【請求項１０】
前記基材が、前記粘着剤層を形成する側の面にエンボス加工が施されたものである請求項９に記載のバックグラインド用粘着シートの製造方法。
【請求項１１】
離型基材の片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、
得られた前記樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、
得られた前記粘着剤層を粘着シート用の基材の片面に転写して、前記基材の少なくとも片面に前記粘着剤層が形成された粘着シートを得る、バックグラインド用粘着シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バックグラインド用粘着性樹脂組成物、並びにバックグラインド用粘着シートおよびその製造方法に関する。さらに詳しくは、紫外線硬化前には被着体に対する十分な粘着力を発現し、空気の存在下で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することが可能なバックグラインド用粘着性樹脂組成物、並びにバックグラインド用粘着シートおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造工程において、略円板形状である半導体ウエハーの表面にＩＣ、ＬＳＩなどの回路を格子状に多数形成し、該回路が形成された各領域を所定の切断ラインに沿ってダイシングすることにより、個々の半導体素子が製造されている。このようにして半導体素子を製造するに際し、半導体素子の放熱性を良好にするとともに、携帯電話などのモバイル機器の小型化および低コスト化を実現するために、半導体素子の厚さをできるだけ薄く形成することが望まれている。そのため、半導体ウエハーを個々の素子に分割する前に、その裏面を研削して（バックグラインドして）所定の厚さに加工するバックグラインド工程が行われている。このバックグラインド工程においては、半導体素子は研削機における支持体に、仮止め接着剤にて堅固に固定されている必要があるが、研削終了後は支持体から剥離する必要がある。
【０００３】
従来、このようなバックグラインド用の仮止め接着剤として粘着性樹脂組成物が使用されている。バックグラインド用粘着性樹脂組成物としては、一般的に、粘着性、取り扱い易さ、環境の変化に対する安定度などにおいて優れた紫外線（ＵＶ）硬化性を有する粘着性樹脂組成物が用いられている。このようなバックグラインド用粘着性樹脂組成物は、例えば、シート状の基材に粘着剤層として配設されバックグラインド用粘着シートとして供給されている。そして、シリコンウエハーをバックグラインドする場合には、このバックグラインド用粘着シートをシリコンウエハーに貼り付け、そのシリコンウエハーを、バックグラインド用粘着シート側が吸着テーブルに接するようにして、研削機の吸着テーブルに吸着させて、グラインダーによりバックグラインドする。
【０００４】
このように、シリコンウエハーをバックグラインドした後には、シリコンウエハーからバックグラインド用粘着シートを剥離する必要がある。このため、バックグラインド用粘着シートの粘着剤層を構成するバックグラインド用粘着性樹脂組成物としては、必要な期間、例えば、バックグラインド行程の操作が実行されている期間においては強固な粘着性を有する一方で、上記の操作が終了した後には、容易にかつ完全に被着体から剥離することができることが望まれている。
【０００５】
近年、半導体装置の需要増大に伴い、半導体装置の製造プロセスにおいて、省エネルギー化や生産性の向上に対する要望が強くなっている。このようなことから、現在、上述した粘着シートに用いられる粘着性樹脂組成物として、例えば、特定の光重合開始剤を含有する紫外線硬化型粘着剤組成物が、紫外線の照射による硬化を低照度強度でまた短時間で行うことができる技術として開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００６】
再剥離を重視した粘着剤組成物として、例えば、親水性アクリル系粘着剤、活性エネルギー線硬化性化合物、光重合開始剤、架橋剤からなる再剥離型粘着剤組成物が開示されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２４０８４２号公報
【特許文献２】特開２０００−３４５１３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した紫外線硬化型粘着剤組成物や再剥離型粘着剤組成物を用いた従来の粘着シートは、未だ粘着力が高すぎるため、剥離する際に被着体を破損してしまったり、被着体に糊残りが多く被着体を汚染してしまうという問題があった。特に、シリコンウエハーを１００μｍ以下に極薄化する場合には、破損、反り等の問題があった。
【０００８】
また、従来の粘着シートは、製造プロセスにおける省エネルギー化や生産性の向上に対する要望に対し、十分な改良効果を発現することは困難であった。
【０００９】
本発明は、このような従来技術の有する問題点に鑑みてなされたものであり、被着体に対する十分な粘着力を発現し、空気の存在下で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することが可能なバックグラインド用粘着性樹脂組成物、並びにバックグラインド用粘着シートおよびその製造方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明により、以下に示すバックグラインド用粘着性樹脂組成物、並びにバックグラインド用粘着シートおよびその製造方法が提供される。
【００１１】
［１］  （ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含み、下記条件（１）により粘着剤層としたものを紫外線硬化した後の、下記条件（２）により測定した前記粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前に対して１／３以下となる、バックグラインド用粘着性樹脂組成物。
条件（１）：ポリエチレンテレフタレートからなる基材の片面にバックグラインド用粘着性樹脂組成物を膜状に成形して粘着剤層とし、空気が存在する状態で、高圧水銀ランプによる紫外線を積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2照射する。
条件（２）：被着体をシリコンウエハーとしたＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した１８０°剥離力試験法にて測定。
【００１２】
［２］  前記（ａ）ポリマーが、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物、極性基含有のスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、および、極性基含有のスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物からなる群より選択される少なくとも一種を含む［１］に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【００１３】
［３］  前記（ｂ）モノマーが、３つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものである［１］または［２］に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【００１４】
［４］  さらに、少なくとも一種の（ｅ）溶剤を含む［１］〜［３］のいずれかに記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【００１５】
［５］  膜厚２０〜３０μｍの前記粘着剤層とした場合における、前記条件（２）にて測定した紫外線硬化前の粘着力が、１〜２０（Ｎ／２５ｍｍ）である［１］〜［４］のいずれか１項に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【００１６】
［６］  空気が存在する状態で前記粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在する状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）と、空気が存在しない状態で前記粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在しない状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）との差が、±３％以内である［１］〜［５］のいずれかに記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物。
【００１７】
［７］  基材と、前記基材の少なくとも片面に配設された粘着剤層とを備えたバックグラインド用粘着シートであって、前記粘着剤層が、［１］に記載のバックグラインド用粘着性樹脂組成物を含有するバックグラインド用粘着シート。
【００１８】
［８］  前記基材は、粘着剤層側の面にエンボス加工が施されている［７］に記載のバックグラインド用粘着シート。
【００１９】
［９］  基材の少なくとも片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、得られた前記樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、前記基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを得る、バックグラインド用粘着シートの製造方法（第１の態様）。
【００２０】
［１０］  前記基材が、前記粘着剤層を形成する側の面にエンボス加工が施されたものである［９］に記載のバックグラインド用粘着シートの製造方法。
【００２１】
［１１］  離型基材の片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、得られた前記樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、得られた前記粘着剤層を粘着シート用の基材の片面に転写して、前記基材の少なくとも片面に前記粘着剤層が形成された粘着シートを得る、バックグラインド用粘着シートの製造方法（第２の態様）。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物は、紫外線硬化前には被着体に対する十分な粘着力を発現し、空気が存在する状態で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することができる。
【００２３】
また、本発明のバックグラインド用粘着シートは、基材と、上述したバックグラインド用粘着性樹脂組成物と同様に構成された粘着性樹脂組成物からなる粘着剤層と、を備えたものである。このため、本発明のバックグラインド用粘着シートは、通常時、即ち紫外線硬化前には、被着体に対する十分な粘着力を有し、被着体から剥離する際には、空気が存在する状態で紫外線硬化することにより粘着剤層の粘着力を低下させて容易に剥離することができる。
【００２４】
さらに、本発明のバックグラインド用粘着シートの製造方法は、上述した本発明のバックグラインド用粘着シートを簡便かつ低コストに製造することが可能なバックグラインド用粘着シートの製造方法である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
次に、本発明を実施するための最良の形態（以下、「実施の形態」という。）を詳細に説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、以下の実施の形態に対し適宜変更、改良等が加えられたものも本発明の範囲に入ることが理解されるべきである。
【００２６】
（バックグラインド用粘着性樹脂組成物）
まず、本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物（以下、単に「粘着性樹脂組成物」ということがある。）の一の実施の形態について説明する。本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含み、下記条件（１）により粘着剤層としたものを紫外線硬化した後の、下記条件（２）により測定した前記粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前に対して１／３以下となる、粘着性樹脂組成物。
条件（１）：ポリエチレンテレフタレートからなる基材の片面に前記粘着性樹脂組成物を膜状に成形して前記粘着剤層とし、空気が存在する状態で、高圧水銀ランプによる紫外線を積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2照射する。
条件（２）：被着体をシリコンウエハーとしたＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した１８０°剥離力試験法にて測定。
【００２７】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、バックグラインド用粘着シートの粘着剤層として好適に用いることが可能な粘着性樹脂組成物である。
【００２８】
なお、本明細書において「重量平均分子量」というときは、ＧＰＣ法（Ｇｅｌ  Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ  Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈｙ法）で測定されたポリスチレン換算の重量平均分子量を意味するものとする。
【００２９】
また、粘着剤層の粘着力は、上述したようにＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した試験方法（１８０°ピール試験）にて測定することのできる１８０°剥離力として求めることができる。具体的には、ポリエチレンテレフタレートからなるシート状の基材の片面に粘着性樹脂組成物を膜状に成形して、膜厚２０〜３０μｍの粘着剤層とし、被着体としてのシリコンウエハーに粘着剤層を粘着させ、この粘着剤層とシリコンウエハーとの間の１８０°剥離力として求めることができる。
【００３０】
上述したように構成された、（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、（ｃ）オリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む、本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、紫外線硬化前には被着体に対する十分な粘着力を発現する。一方で、この粘着性樹脂組成物は、空気の存在下で紫外線硬化することにより、紫外線硬化後の粘着力が紫外線硬化前の粘着力に対して１／３以下となるものである。このため、空気存在下で紫外線硬化することにより、粘着性樹脂組成物をシリコンウエハー等の被着体から容易に剥離することができる。特に、従来の粘着性樹脂組成物においては、粘着後に一定期間放置した場合には、粘着力が高まり剥離が困難であったが、本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、粘着後に一定期間放置した場合であっても、空気存在下で紫外線硬化することにより粘着力が良好に低下するため、粘着性樹脂組成物を被着体から容易に剥離することができる。このため、従来、粘着性樹脂組成物を被着体から剥離する際に発生していた、被着体の破損や糊残りによる汚染を有効に防止することができる。
【００３１】
また、シリコンウエハーをバックグラインドする場合には、シリコンウエハーの凹凸を有する回路面に粘着性樹脂組成物を貼り付けるため、シリコンウエハーと粘着性樹脂組成物との間に空気が残留することがあるため、本発明のように空気存在下で紫外線硬化させる粘着性樹脂組成物は、粘着剤として非常に有効に機能するものである。さらに、シリコンウエハーをバックグラインドする工程の後は、通常、バックグラインドした面を洗浄することができないため、本発明の粘着性樹脂組成物のように被着体から容易に剥離し、糊残りの少ない粘着剤はバックグラインド用として非常に適したものである。
【００３２】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物においては、さらに、（ｅ）溶剤を含むものであることが好ましい。このように本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、溶剤系の粘着性樹脂組成物として好適に用いることができ、最適な塗布膜厚が得られるように溶剤の量を調節して、その粘度を簡便に調整することができる。
【００３３】
また、本実施の形態の粘着性樹脂組成物においては、膜厚２０〜３０μｍの粘着剤層とした場合における、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した試験方法にて測定した紫外線硬化前の粘着力が、１〜２０（Ｎ／２５ｍｍ）であることが好ましく、１〜１５（Ｎ／２５ｍｍ）であることが更に好ましく、１〜１０（Ｎ／２５ｍｍ）であることが特に好ましい。粘着剤層の粘着力が１（Ｎ／２５ｍｍ）未満であると、粘着剤層としての粘着力が低すぎて、バックグラインドを行う場合に被着体に対する十分な粘着力を得られないことがある。また、粘着剤層の粘着力が２０（Ｎ／２５ｍｍ）を超えると、バックグラインドの後に紫外線硬化して粘着力を低下させたとしても、被着体を容易に剥離できる程度までには到らないことがある。
【００３４】
なお、この紫外線硬化前の粘着剤層の粘着力は、上述したように、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した試験方法にて測定された値のことであり、具体的には、ポリエチレンテレフタレートからなるシート状の基材の片面に粘着性樹脂組成物を膜状に成形して、膜厚２０〜３０μｍの粘着剤層とし、被着体としてのシリコンウエハーに粘着剤層を粘着させ、この粘着剤層とシリコンウエハーとの間の１８０°剥離力として求めることができる。
【００３５】
また、本実施の形態の粘着性樹脂組成物においては、空気が存在する状態で粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在する状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）と、空気が存在しない状態で粘着剤層を紫外線硬化した場合における粘着力の低下率（空気が存在しない状態での紫外線硬化後の粘着力／紫外線硬化前の粘着力）との差（空気の有無による粘着力の低下率の差）が、±３％以内であることが好ましく、±１％以内であることが更に好ましい。
【００３６】
このように、空気の有無による粘着力の低下率の差が、±３％以内であることにより、空気が存在する状態であっても、また、空気が存在しない状態であっても、本実施の形態の粘着性樹脂組成物からなる粘着剤層を紫外線硬化することにより、被着物からの剥離が容易になる程度まで粘着力を低下させることが可能となる。
【００３７】
また、本実施の形態の粘着性樹脂組成物は、この粘着性樹脂組成物からなる粘着剤層を紫外線硬化することにより、紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前の粘着剤層の粘着力に対して１／３以下となるものであるが、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が、１／１０以下になるものであることが好ましく、１／３０以下になるものであることが更に好ましい。
【００３８】
（ａ）ポリマー：
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ａ）ポリマーは、例えば、粘着シートの粘着剤層として用いる場合の、粘着性樹脂組成物の粘着力と、紫外線硬化後の糊残り性発現の役目を果たすものである。この（ａ）ポリマーは、重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃である。
【００３９】
（ａ）ポリマーの重量平均分子量が、１万未満では、例えば、粘着シートの粘着剤層として用いた場合に、紫外線硬化前の粘着力が発現できない。一方、２００万を超えると、粘度が高くなりすぎ使用が困難となる。（ａ）ポリマーの重量平均分子量は、好ましくは５万〜１８０万であり、さらに好ましくは１０万〜１５０万である。
【００４０】
また、（ａ）ポリマーのガラス転移温度が−１００℃未満では、紫外線硬化後の糊残り性が発現せず、硬化した粘着剤が被着体に残存してしまう。一方、１００℃を超えると、粘着力が十分発現しない。
【００４１】
上述した（ａ）ポリマーのガラス転移温度は、好ましくは−８０℃〜８０℃である。なお、上記のガラス転移温度は、（ａ）ポリマーを構成するモノマーを選択することによって容易に調整することができる。
【００４２】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物におけるガラス転移温度は、以下に示す方法によって測定した値を意味するものとする。まず、（ａ）ポリマーを含む溶液をガラス板に薄く引き伸ばし、２５℃で７日間乾燥させることによって、乾燥フィルムを得る。得られた乾燥フィルムについて、示差走査熱量分析計（ＤＳＣ）、例えば、理学電気社製のＤＳＣ、を使用し、昇温速度＝２０℃／分、チッ素雰囲気下、サンプル量＝２０ｍｇの条件で測定する。
【００４３】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ａ）ポリマーとしては、（メタ）アクリル系ポリマー、または、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物、極性基含有のスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、および、極性基含有のスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物からなる群より選択される少なくとも一種を含むポリマー等を挙げることができる。ここで、上述した（メタ）アクリル系ポリマーとは、官能基を有するモノマー、（メタ）アクリル酸エステル系モノマー、およびその他共重合可能なモノマー共重合体である。
【００４４】
上記の（メタ）アクリル系ポリマーの構成成分として挙げた（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば、アルキル基の炭素数が１〜１５である（メタ）アクリル酸アルキルエステルなどを挙げることができる。この（メタ）アクリル酸エステルの具体例としては、後記（ｂ）モノマーとして用いられる単官能性の（メタ）アクリル酸エステル系モノマーを挙げることができる。
【００４５】
また、上記の（メタ）アクリル系ポリマーの構成成分として挙げた官能基を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタアクリル酸などのカルボキシル基含有モノマー、アクリル酸２−ヒドロキシエチル、メタクリル酸２−ヒドロキシエチル、アクリル酸４−ヒドロキブチル、メタクリル酸４−ヒドロキシブチルなどのヒドロキシル基含有モノマー、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジルなどのエポキシ基含有モノマー、アクリル酸イソシアネートエチル、メタクリル酸イソシアネートエチルなどのイソシアネート基含有モノマー、アクリル酸アミノエチル、メタアクリル酸アミノエチルなどのアミノ基含有モノマーなどを挙げることができる。
【００４６】
また、上記の（メタ）アクリル系ポリマー構成成分として挙げたその他共重合可能なモノマーとしては、酢酸ビニル、スチレン、アクリロニトリル、Ｎ−ビニルピロリドンおよび塩化ビニルなどを挙げることができる。
【００４７】
なお、（ａ）ポリマーは、重合性の炭素−炭素二重結合を有していてもよい。このようなポリマーは、例えば、分子内に官能基を持った（メタ）アクリル系ポリマーを予め合成し、これに分子内に上記の官能基と反応する官能基と重合性の炭素−炭素二重結合とを有する化合物（以下、官能基含有不飽和化合物という）を反応させることにより得ることができる。官能基を含有する（メタ）アクリル系ポリマーとしては、一般の（メタ）アクリル系ポリマーの場合と同様に、アルキル基の炭素数が、通常、１〜１５の範囲にある（メタ）アクリル酸アルキルエステルを主モノマーとし、これと官能基を有するモノマーとさらに必要に応じてこれらと共重合可能な他の改質用モノマーとを常法によって共重合することにより得られる。
【００４８】
このような官能基を有する（メタ）アクリル系ポリマーに反応させる官能基含有不飽和化合物としては、上記ポリマーの官能基に応じて、上述した官能基を有するモノマーと同様のものを使用することができる。例えば、上記ポリマーの官能基がカルボキシル基の場合はエポキシ基含有モノマーやイソシアネート基含有モノマーが、同官能基がヒドロキシル基の場合はイソシアネート基含有モノマーが、同官能基がエポキシ基の場合はカルボキシル基含有モノマーやアミノ基含有モノマーが、同官能基がアミノ基の場合はエポキシ基含有モノマーが、それぞれ用いられる。
【００４９】
（ａ）ポリマー中の重合性の炭素−炭素二重結合の割合は、繰返し構造体中に、通常、０．０００５ミリ当量／ｇ以上、３．０ミリ当量／ｇ以下である。好ましくは０．０００５ミリ当量／ｇ以上、２．０ミリ当量／ｇ以下である。３．０ミリ当量／ｇを超えると、過度に架橋が掛かり被着体との粘着性が低下し好ましくない。
【００５０】
（ａ）ポリマーの配合割合は、（ａ）ポリマーと（ｂ）モノマーと（ｃ）オリゴマーとの合計（ａ＋ｂ＋ｃ）１００質量部に対して、１〜８０質量部、好ましくは１０〜７５質量部、さらに好ましくは２０〜７０質量部である。
【００５１】
（ａ）ポリマーの配合割合が１質量部未満であると、紫外線硬化後の糊残り性が発現せず、硬化した粘着剤が被着体に残存することがある。一方、８０質量部を超えると、紫外線硬化前の粘着力が十分でないので好ましくない。
【００５２】
または、本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ａ）ポリマーとしては、スチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物、極性基含有のスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、および、極性基含有のスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物からなる群より選択される少なくとも一種を含むポリマーを挙げることができる。これらポリマーの製造方法の具体例としては、特開平７−２６８１７４号公報等を例示できる。これらの市販品としては、ＤＹＮＡＲＯＮ４６００Ｐ、６２００Ｐ（ジェイエスアール社製）、クレイトンＧ１６５０（シェル社製）などを例示できる。また、ここでいう極性基とは、カルボン酸基、スルホン酸基、リン酸基等の官能基を挙げることができる。
【００５３】
上述したスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、スチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物、極性基含有のスチレン・ブタジエン・スチレンブロック共重合体の水添物、および、極性基含有のスチレン・イソプレン・スチレンブロック共重合体の水添物からなる群より選択される少なくとも一種を含むポリマーの配合割合は、（ａ）ポリマーの１００質量部に対して、５〜５０質量部の割合で配合されていることがさらに好ましい。
【００５４】
（ｂ）モノマー：
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ｂ）モノマーは、重合性の炭素−炭素二重結合を有するものであり、その二重結合の数は、１個であってもよいし２個以上であってもよい。重合性の炭素−炭素二重結合を持つことによって紫外線照射、または加熱によって重合することができ、強い粘着力、および糊残り性を発現することができる。
【００５５】
このようなモノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸や、重合性の炭素−炭素二重結合を１個もしくは２個以上有する（メタ）アクリル酸エステル系モノマーなどを挙げることができる。
【００５６】
このうち、重合性の炭素−炭素二重結合を１個有する（メタ）アクリル酸エステル系モノマーとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、アミル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、イソアミル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、ヘプチル（メタ）アクリレート、オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノニル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、イソデシル（メタ）アクリレート、ウンデシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、オクタデシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、イソステアリル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、メトキシエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、エトキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシポリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシポリプロピレングリコール（メタ）アクリレート、ジシクロペンタジエニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート、７−アミノ−３，７−ジメチルオクチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリロイルモルホリン、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルテトラヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシプロピルヘキサヒドロフタル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルコハク酸、トリフルオロエチル（メタ）アクリレート、テトラフルオロプロピル（メタ）アクリレート、ヘキサフルオロプロピル（メタ）アクリレート、オクタフルオロペンチル（メタ）アクリレート、ヘプタデカフルオロデシル（メタ）アクリレート、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ジフェニルホスフェート、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレートなどのヒドロキシＣ１−Ｃ６アルキル（メタ）アクリレートなどを挙げることができる。
【００５７】
これらの市販品としては、アロニックス  Ｍ１０１、Ｍ１０２、Ｍ１１０、Ｍ１１１、Ｍ１１３、Ｍ１１４、Ｍ１１７、Ｍ１２０、Ｍ１５２、Ｍ１５４、Ｍ５３００、Ｍ５４００、Ｍ５５００、Ｍ５６００（以上、東亞合成社製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＴＣ−１１０Ｓ、Ｒ−１２８Ｈ、Ｒ６２９、Ｒ６４４（以上、日本化薬社製）、ＩＰＡＡ、ＡＩＢ、ＳＢＡＡ、ＴＢＡ、ＩＡＡＡ、ＨＥＸＡ、ＣＨＡ、ＮＯＡＡ、ＩＯＡＡ、ＩＮＡＡ、ＬＡ、ＴＤＡ、ＭＳＡＡ、ＣＡＡ、ＨＤＡＡ、ＬＴＡ、ＳＴＡ、ＩＳＡＡ−１、ＯＤＡＡ、ＮＤＡＡ、ＩＢＸＡ、ＡＤＡＡ、ＴＣＤＡ、２−ＭＴＡ、ＤＭＡ、ビスコート  ＃１５０、＃１５０Ｄ、＃１５５、＃１５８、＃１６０、＃１９０、＃１９０Ｄ、＃１９２、＃１９３、＃２２０、＃３２０、＃２３１１ＨＰ、＃２０００、＃２１００、＃２１５０、＃２１８０、ＭＴＧ、ＨＥＡ、ＨＰＡ、４ＨＢＡ（以上、大阪有機化学工業社製）、ＮＫエステル  Ｍ−２０Ｇ、Ｍ−４０Ｇ、Ｍ−９０Ｇ、Ｍ−２３０Ｇ、ＣＢ−１、ＳＡ、Ｓ、ＡＭＰ−１０Ｇ、ＡＭＰ−２０Ｇ、ＡＭＰ−６０Ｇ、ＡＭＰ−９０Ｇ、Ａ−ＳＡ、ＮＬＡ（以上、新中村化学工業社製）、ＡＣＭＯ（興人社製）、ライトアクリレート  ＩＡ−Ａ、Ｌ−Ａ、Ｓ−Ａ、ＢＯ−Ａ、ＥＣ−Ａ、ＭＴＧ−Ａ、ＤＰＭ−Ａ、ＰＯ−Ａ、Ｐ−２００Ａ、ＴＨＦ−Ａ、ＩＢ−ＸＡ、ＨＯＡ−ＭＳ、ＨＯＡ−ＭＰＬ、ＨＯＡ−ＭＰＥ、ＨＯＡ−ＨＨ、ＩＯ−Ａ、ＢＺ−Ａ、ＮＰ−ＥＡ、ＮＰ−１０ＥＡ、ＨＯＢ−Ａ、ＦＡ−１０８、Ｐ−１Ａ、エポキシエステルＭ−６００Ａ、ライトエステルＨＯＡ、ライトエステルＨＯＰ−Ａ、ライトエステルＨＯＰ、ライトエステルＨＯＢ、ライトエステルＰ−１Ｍ（以上、共栄社化学社製）、ＦＡ−５１１、ＦＡ−５１２Ａ、ＦＡ−５１３Ａ（以上、日立化成工業社製）、ＡＲ−１００、ＭＲ−１００、ＭＲ−２００、ＭＲ−６０（以上、大八化学工業社製）、ＪＡＭＰ−１００、ＪＡＭＰ−５１４、ＪＰＡ−５１４（以上、城北化学社製）などを挙げることができる。
【００５８】
また、重合性の炭素−炭素二重結合を２個以上有する（メタ）アクリル酸エステル系モノマーとしては、例えば、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリオキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンポリオキシエチル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリオキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンポリオキシエチル（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートジ（メタ）アクリレート、トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド付加ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド付加ビスフェノールＦジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡジエポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＦジエポキシジ（メタ）アクリレート、ビス〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、ビス〔２−（メタ）アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、トリス〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェートなどを挙げることができる。
【００５９】
これらの市販品としては、ＳＡ−１００２、ＳＡ−２００６、ＳＡ−２００７、ＳＡ−４１００、ＳＡ−５００１、ＳＡ−６０００、ＳＡ−７６００、ＳＡ−８０００、ＳＡ−９０００（以上、三菱化学社製）、ビスコート  ＃１９５、＃１９５Ｄ、＃２１４ＨＰ、＃２１５、＃２１５Ｄ、＃２３０、＃２３０Ｄ、＃２６０、＃２９５、＃２９５Ｄ、＃３００、＃３１０ＨＰ、＃３１０ＨＧ、＃３１２、＃３３５ＨＰ、＃３３５Ｄ、＃３６０、ＧＰＴ、＃４００、Ｖ＃５４０、＃７００、ＧＰＴ、ビスコート３ＰＡ（以上、大阪有機化学工業社製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＭＡＮＤＡ、Ｒ−５２６、ＮＰＧＤＡ、ＰＥＧ４００ＤＡ、Ｒ−１６７、ＨＸ−２２０、ＨＸ−６２０、Ｒ−５５１、Ｒ−７１２、Ｒ−６０４、Ｒ−６８４、ＧＰＯ−３０３、ＴＭＰＴＡ、ＴＨＥ−３３０、ＴＰＡ−３２０、ＴＰＡ−３３０、ＰＥＴ−３０、ＲＰ−１０４０、Ｔ−１４２０、ＤＰＨＡ、Ｄ−３１０、Ｄ−３３０、ＤＰＣＡ−２０、ＤＰＣＡ−３０、ＤＰＣＡ−６０、ＤＰＣＡ−１２０（以上、日本化薬社製）、アロニックス  Ｍ−２１０、Ｍ−２０８、Ｍ−２１５、Ｍ−２２０、Ｍ−２２５、Ｍ−２３３、Ｍ−２４０、Ｍ−２４５、Ｍ−２６０、Ｍ−２７０、Ｍ−３０５、Ｍ−３０９、Ｍ−３１０、Ｍ−３１５、Ｍ−３２０、Ｍ−３５０、Ｍ−３６０、Ｍ−４００、Ｍ−４０８、Ｍ−４５０（以上、東亞合成社製）、ＳＲ−２１２、ＳＲ−２１３、ＳＲ−３５５（以上、サートマー社製）、リポキシＳＰ−１５０７（以上、昭和高分子社製）、ライトエステルＰ−２Ｍ、Ｐ−２Ａ（以上、共栄社化学社製）、ＥＢ−１６９、ＥＢ−１７９、ＥＢ−３６０３、Ｒ−ＤＸ６３１８２（以上、ダイセル・ユーシービー社製）、ブレンマーＰＤＥ１５０、ＰＤＥ２００、ＡＤＥ２００（以上、日本油脂社製）などを挙げることができる。
【００６０】
なお、本実施の形態の粘着性樹脂組成物においては、特に限定されることはないが、（ｂ）モノマーが、３つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものであることが好ましく、４つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものであることが更に好ましく、５つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものであることが特に好ましく。６つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種含むものであることが最も好ましい。３つの官能基を有するモノマー（３官能モノマー）としては、例えば、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレートを好適例として挙げることができる。４つの官能基を有するモノマー（４官能モノマー）としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレートを好適例として挙げることができる。５つの官能基を有するモノマー（５官能モノマー）としては、例えば、ジペンタエリスリトールヒドロキシペンタアクリレートを好適例として挙げることができる。６つの官能基を有するモノマー（６官能モノマー）としては、例えば、ジペンタエリスルトールヘキサアクリレートを好適例として挙げることができる。
【００６１】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ｂ）モノマーの配合割合は、（ａ）ポリマーと（ｂ）モノマーと（ｃ）オリゴマーとの合計（ａ＋ｂ＋ｃ）１００質量部に対して、１〜７０質量部含まれるのが好ましい。１質量部未満では糊残り性が発現しない。一方、７０質量部を超えると、硬化後の粘着力が発現しなくなり、好ましくない。さらに好ましくは、５〜６０質量部である。
【００６２】
（ｃ）オリゴマー：
本発明の粘着性樹脂組成物に用いられる（ｃ）オリゴマーは、重合性の炭素−炭素二重結合を有するものであって、重量平均分子量が、好ましくは、５００〜２０，０００、更に好ましくは５００〜１０，０００の化合物である。特に好ましくは、１０００〜８，０００の化合物である。
【００６３】
このような（ｃ）オリゴマーとしては、ポリウレタン（メタ）アクリレート、エポキシ（メタ）アクリレート、ポリエステル（メタ）アクリレート、ポリエーテル（メタ）アクリレート、シリコーン系アクリレートを挙げることができる。これは、一種または二種以上を併用してもよい。
【００６４】
ポリウレタン（メタ）アクリレートの市販品としては、ＮＫオリゴＵＡ−３４０Ｐ、ＵＡ−５１１、ＵＡ−４２００、ＵＡ−５１２、ＵＡ−１２２Ｐ、Ｕ−４ＨＡ、Ｕ−６ＨＡ、Ｕ−６ＬＰＡ、Ｕ−３２４Ａ、Ｕ−１５ＨＡ、Ｕ−１０８Ａ、Ｕ−２００ＡＸ、ＵＡ−５２０１Ａ、ＵＡ−４１００、ＵＡ−４４００（以上、新中村化学工業社製）、ライトタックＰＳＡ−７０５、ＰＳＡ−８０５、ＰＳＡ−９０１、ＰＳＡ−９０３（以上、共栄社製）オレスターＲＡ１５００、ＲＡ１５７４、ＲＡ１５７３、ＲＡ１３５３（以上、三井化学社製）、ＫＡＹＡＲＡＤ  ＵＸ−２２０１、ＵＸ−２３０１、ＵＸ−３２０４、ＵＸ−６１０１、ＭＵ−２１００（以上、日本化薬社製）、ＣＮ−９６２、ＣＮ−９６４、ＣＮ−９６５、ＣＮ−９６８、ＣＮ−９８０、ＣＮ−９８１、ＣＮ−９８３、ＣＮ−９７２、ＣＮ−９７５、ＣＮ−９７８（以上、サートマー社製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ２３０、２７０、８４０２、８８０４、８８０７、９２６０、８２１０、２１０、４８２７、６７００、２２０（ダイセル・ユーシービー社製）などを挙げることができる。
【００６５】
エポキシ（メタ）アクリレートとしては、リポキシＶＲ−７７、ＶＲ−９０、ＶＲ−６０、ＳＰ−１５０６、ＳＰ−１５０９、ＳＰ−１５１９、ＳＰ−１５６３（以上、昭和高分子社製）、ＣＮ−１０４、ＣＮ−１１６、ＣＮ−１１８、ＣＮ−１１９、ＣＮ−１２０、ＣＮ−１２４（サートマー社製）、ビスコート５４０（大阪有機化学工業社製）、ＥＡ−１０２０、ＥＡ−１０２５、ＥＡ−１０２６、ＥＡ−１０２８（以上、新中村化学工業社製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ６００、２９５８、３７００、３７０１、３７０８、６０４０（以上、ダイセル・ユーシービー社製）、ポリエステル（メタ）アクリレートとしては、Ｅｂｅｃｒｙｌ８４、６５７、８１０（ダイセル・ユーシービー社製）、オレスターＲＡ２００３、ＲＡ１０５０、ＲＡ１３２８、ＲＡ１４９１、ＲＡ１２０５（以上、三井化学社製）、アロニックスＭ−６１００、６２００、６５００、７１００（以上、東亞合成社製）、ポリエーテル（メタ）アクリレートとしては、ブレンマーＰＤＥ４００、ＰＤＥ６００、ＰＤＥ１０００、ＡＤＥ４００、３０ＰＤＣ−９５０ＢＨ、ＰＰ−５００、ＰＰ−８００、５５ＰＥＴ−８００、ＰＭＥ−４０００、ＰＳＥ−１３００（以上、日本油脂社製）、脂肪族（メタ）アクリレートとしては、ＴＥＡＩ−１０００（日本曹達社製）、ＵＣ−１（クラレ社製）、シリコーン系（メタ）アクリレートとしては、Ｘ−２２−１６４Ａ、Ｘ−２２−１６４Ｂ、Ｘ−２２−１６４Ｃ（以上、信越化学工業社製）などを挙げることができる。
【００６６】
（ｃ）オリゴマーの配合割合は、（ａ）ポリマーと（ｂ）モノマーと（ｃ）オリゴマーとの合計（ａ＋ｂ＋ｃ）１００質量部に対して、５〜６０質量部含まれるのが好ましい。５質量部未満では糊残り性が発現しなくなるため好ましくない。一方、６０質量部を超えると粘着性樹脂組成物の粘着力が発現しなくなるので好ましくない。さらに好ましくは、１０〜５５質量部である。
【００６７】
（ｄ）開始剤：
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ｄ）開始剤としては、光重合開始剤であればいかなるものでもよいが、好ましくは、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−プロパン−１−オン、１−ヒドロキシ−シクロヘキシルフェニルケトン、オリゴ［２−ヒドロキシ−２−メチル−１−［４−（１−メチルビニル）フェニル］プロパノン］、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）フェニルホスフィンオキサイドからなる群より選択される少なくとも一種を含む化合物を挙げることができる。なお、本実施の形態の粘着性樹脂組成物においては、この（ｄ）開始剤として、上記群から選択される二種以上を含む化合物であることがさらに好ましい。
【００６８】
（ｄ）開始剤の市販品としては、イルガキュア１８４、５００、６５１、８１９、ダロキュア１１７３、４２６５（以上チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）、ＥｓａｃｕｒｅＫＫ、ＫＩＰ１５０、７５ＬＴ（ラムバーティ社製）などを挙げることができる。
【００６９】
この（ｄ）開始剤としては、上記の開始剤のほか、上記の開始剤と組み合わせて、あるいは、単独で下記の化合物を用いることができる。この化合物としては、例えば、３−メチルアセトフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、キサントン、フルオレノン、ベンズアルデヒド、フルオレン、アントラキノン、トリフェニルアミン、カルバゾール、３−メチルアセトフェノン、ベンゾフェノン、４−クロロベンゾフェノン、４，４′−ジメトキシベンゾフェノン、４，４′−ジアミノベンゾフェノン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ミヒラーズケトン、ベンジルジメチルケタール、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル−（２−ヒドロキシ−２−プロピル）ケトン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノ−プロパン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィネート、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキシド、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１−オン、ビス（２，６−ジメトキシベンゾイル）−２，４，４−トリメチルペンチルホスフィンオキシド、メチルベンゾイルホルメート、チオキサントン、ジエチルチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、２−クロロチオキサントンなどを挙げることができる。これらの化合物は、本実施の形態の粘着性樹脂組成物の硬化速度調整のために適時使用される。
【００７０】
これらの市販品としてはイルガキュア２６１、３６９、３７９、９０７、１７００、１８００、１８５０、２９５９、ＣＧＩ−４０３、ダロキュア９５３、１１１６、１６６４、２２７３（以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）、ルシリンＴＰＯ、ＬＲ８７２８、ＬＲ８８９３（以上、ＢＡＳＦ社製）、エベクリルＰ３６（ダイセル・ユーシービー社製）、ヴァイキュア５５（アクゾ社製）、カヤキュアＣＴＸ、ＤＥＴＸ、ＢＰ−１００、ＢＭＳ、２−ＥＡＱ（以上、日本化薬社製）などを挙げることができる。
【００７１】
（ｄ）開始剤の配合割合は、硬化性の点から、（ａ）ポリマーと（ｂ）モノマーと（ｃ）オリゴマーとの合計（ａ＋ｂ＋ｃ）１００質量部に対して、通常、０．０１〜２０質量部含まれ、０．０５〜１５質量部含まれるのが好ましい。０．０５〜５質量部含まれるのが特に好ましい。０．０１質量部未満では、開始剤としての効果を得られないことがあるので好ましくない。一方、２０質量部を超えると糊残り性が発現しにくくなる傾向ある為、好ましくない。
【００７２】
（ｅ）溶剤：
本実施の形態の粘着性樹脂組成物に用いられる（ｅ）溶剤としては、芳香族系としてトルエン、キシレン、ケトン系としてアセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、２−メチル−５−ヘキサノン、エステル系として酢酸エチル、酢酸ブチル、ハロゲン系として塩化メチル、ジクロロメタン、ジクロロエタン、グリコールエーテル系としてエチレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテートなどを挙げることができる。上記に例示した溶剤に限定されるものではない。（ｅ）溶剤は一種、あるいは二種以上の溶剤を組み合わせて使用できる。特に、二種以上の溶剤を組み合わせて使用することにより、溶剤の蒸散速度を制御することができ、粘着力（紫外線硬化前の粘着力）を向上することができる。
【００７３】
このような（ｅ）溶剤を用いる溶剤系の粘着性樹脂組成物とする場合には、（ｅ）溶剤の配合割合は、（ａ）ポリマーと（ｂ）モノマーと（ｃ）オリゴマーとの合計（ａ＋ｂ＋ｃ）１００質量部に対して、１０〜３００質量部であることが好ましい。（ｅ）溶剤の配合割合が１０質量部未満であると、粘着性樹脂組成物の粘度が高くなり、作業上好ましくなく、一方、３００質量部を超えると塗工に際して最適な塗工膜厚が得られにくくなり、好ましくない。
【００７４】
このように（ｅ）溶剤を用いる溶剤系の粘着性樹脂組成物とする場合においては、粘着性樹脂組成物の、２５℃における粘度は、２００〜２５００ｍＰａ・ｓであることが好ましく、３００〜２３００ｍＰａ・ｓであることがさらに好ましい。このような粘度の粘着性樹脂組成物は、容易に塗工を行うことができ、良好に粘着剤層を形成することができる。
【００７５】
なお、（ｅ）溶剤を含む粘着性樹脂組成物の場合においては、例えば、膜状に成形して粘着剤層として用いる際には、膜状に粘着性樹脂組成物を塗工した後に、この（ｅ）溶剤を蒸散させて粘着剤層を形成する。
【００７６】
また、本実施の形態の粘着性樹脂組成物には、例えば、紫外線吸収剤、光安定剤、老化防止剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、界面活性剤、保存安定剤、熱重合禁止剤、可塑剤、濡れ性改良剤、密着性付与剤、粘着付与剤（タッキファイヤー）、硬化剤などを必要に応じて配合することもできる。
【００７７】
また、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリウレタン、ポリブタジエン、クロロプレン、ポリエーテル、ポリエステル、ペンタジエン誘導体、ＳＢＳ（スチレン／ブタジエン／スチレンブロック共重合体）、ＳＩＳ（スチレン／イソプレン／スチレンブロック共重合体）、石油樹脂、キシレン樹脂、ケトン樹脂、フッ素系オリゴマー、シリコーン系オリゴマー、ポリスルフィド系オリゴマーなどを配合することができる。
【００７８】
紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系、トリアジン系の紫外線吸収剤が挙げられ、市販品としてはＴＩＮＵＶＩＮ  Ｐ、２３４、３２０、３２６、３２７、３２８、２１３、４００（以上、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）、スミソーブ１１０、１３０、１４０、２２０、２５０、３００、３２０、３４０、３５０、４００（以上、住友化学工業社製）などを挙げることができる。
【００７９】
老化防止剤としては、フェノール系老化防止剤、アリルアミン系老化防止剤、ケトンアミン系老化防止剤などを挙げることができ、それらの市販品としてはアンチゲンＷ、Ｓ、Ｐ、３Ｃ、６Ｃ、ＲＤ−Ｇ、ＦＲ、ＡＷ（以上、住友化学工業社製）などを挙げることができる。
【００８０】
消泡剤としては、フローレンＡＣ−２０２、ＡＣ−３００、ＡＣ−３０３、ＡＣ−３２６Ｆ、ＡＣ−９００、ＡＣ−１１９０、ＡＣ−２０００（以上、共栄社化学社製）を例とするＳｉ原子やＦ原子を含まない有機共重合体、フローレンＡＣ−９０１、ＡＣ−９５０、ＡＣ−１１４０、ＡＯ−３、ＡＯ−４ＯＨ（以上、共栄社化学社製）、ＦＳ１２６５、ＳＨ２００、ＳＨ５５００、ＳＣ５５４０、ＳＣ５５７０、Ｆ−１、ＳＤ５５９０（以上、東レ・ダウコーニング社製）などのシリコーン系消泡剤、メガファックＦ−１４２Ｄ、Ｆ−１４４Ｄ、Ｆ−１７８Ｋ、Ｆ−１７９、Ｆ−８１５（以上、大日本インキ化学工業社製）などのフッ素原子含有消泡剤などを挙げることができる。
【００８１】
レベリング剤としては、ポリフローＮｏ．７、Ｎｏ．３８、Ｎｏ．５０Ｅ、Ｓ、７５、Ｎｏ．７５、Ｎｏ．７７、Ｎｏ．９０、Ｎｏ．９５、Ｎｏ．３００、Ｎｏ．４６０、ＡＴＦ、ＫＬ−２４５（以上、共栄社化学社製）などを挙げることができる。
【００８２】
密着性付与剤としては、アルコキシシリル基を有するチオール化合物、あるいはリン酸エステル化合物を挙げることができる。これら化合物は、特に金属表面に対する密着性付与に効果がある。このようなアルコキシシリル基を有するチオール化合物としては、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルモノメトキシシラン、γ−メルカプトプロピルメチルジメトキシシランなどのメルカプトアルキル−モノ、ジまたはトリ−メトキシシランを挙げることができる。
【００８３】
これらの市販品としては、ＳＨ６０６２、ＡＹ４３−０６２（東レ・ダウコーニング社製）、サイラエースＳ８１０（チッソ社製）、ＫＢＭ８０３（信越化学工業社製）などを挙げることができる。リン酸エステル化合物としては、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ジフェニルホスフェート、モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、ビス〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェート、ビス〔２−（メタ）アクリロイルオキシプロピル〕ホスフェート、トリス〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕ホスフェートなどを挙げることができる。これらの市販品としては、ライトエステルＰ−１Ｍ、Ｐ−２Ｍ、ライトアクリレートＰ−１Ａ、Ｐ−２Ａ（以上、共栄社化学社製）、ＫＡＹＡＭＥＲ  ＰＭ−２、ＰＭ−２１（以上、日本化薬社製）などを挙げることができる。
【００８４】
粘着付与剤（タッキファイヤー）としては、脂環族飽和炭化水素樹脂、ロジンエステル系樹脂などが挙げられ、市販品としては、アルコンＰ−７０、Ｐ−９０、Ｐ−１００、Ｍ−９０、Ｍ−１００、Ｍ−１３５、ＳＰ−１０、ＫＲ−１８４０、ＫＲ−１８４２、スーパーエステルＡ−７５、Ａ−１１５（以上、荒川化学工業社製）を挙げることができる。
【００８５】
硬化剤としては、例えば、イソシアネート基を有する化合物などが挙げられ、市販品としてコロネート（日本ポリウレタン工業社製）を挙げることができる。
【００８６】
これらの添加剤の使用量は、本発明の粘着性樹脂組成物の目的を阻害しない範囲で必要に応じて決めることができる。
【００８７】
本実施の形態の粘着性樹脂組成物を調製するには、（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、（ｃ）オリゴマー、および、（ｄ）開始剤、場合により、（ｅ）溶剤を粘度の低い原料から仕込み、０〜８０℃で混合撹拌して配合物（粘着性樹脂組成物）を得るなどの方法を挙げることができる。
【００８８】
（バックグラインド用粘着シート）
次に、本発明のバックグラインド用粘着シート（以下、単に「粘着シート」ということがある。）の一の実施の形態について説明する。本実施の形態の粘着シートは、基材と、この基材の少なくとも片面に配設された粘着剤層とを備えた粘着シートである。本実施の形態の粘着シートにおいては、粘着剤層が、上述した本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態と同様に構成された粘着性樹脂組成物から構成されている。
【００８９】
即ち、本実施の形態の粘着シートは、基材と、基材の少なくとも片面に配設された粘着剤層とを備えた粘着シートであって、粘着剤層が、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含み、下記条件（３）にて、粘着剤層を紫外線硬化したときに、下記条件（４）にて測定した紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前の粘着層の粘着力に対し１／３以下となる、粘着シートである。
条件（３）：ポリエチレンテレフタレートからなる基材を用いて、粘着剤層に、空気が存在する状態で、高圧水銀ランプによる紫外線を積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2照射する。
条件（４）：被着体をシリコンウエハーとしたＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した１８０°剥離力試験法にて測定。
【００９０】
本実施の形態の粘着シートは、粘着剤層として上述した本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態と同様に構成された粘着性樹脂組成物を用いて形成されたものであることから、空気の存在下で紫外線硬化することにより、上記した条件（４）にて測定した紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が、紫外線硬化前の粘着剤層の粘着力に対して１／３以下となるものである。このため、紫外線硬化前には被着体に対する十分な粘着力を発現し、空気の存在下で紫外線硬化することにより、粘着力を低下させて被着体から容易に剥離することができる。特に、本実施の形態の粘着シートは、粘着後に一定期間放置した場合であっても、空気の存在下で紫外線硬化することにより、粘着剤層の粘着力を低下させて被着体から容易に剥離することができる。
【００９１】
また、シリコンウエハーをバックグラインドする場合には、シリコンウエハーの凹凸を有する回路面に粘着シートを貼り付ける場合には、シリコンウエハーと粘着シートのとの間に空気が残留することがあるため、本発明のように空気存在下で紫外線硬化させる粘着性樹脂組成物を粘着剤とする粘着シートは、粘着シートとして非常に有効に機能するものである。さらに、シリコンウエハーをバックグラインドする工程の後は、通常、バックグラインドした面を洗浄することができないため、本発明の粘着シートのように被着体から容易に剥離し、糊残りの少ない粘着シートはバックグラインド用として非常に適したものである。
【００９２】
更に、本発明のバックグラインド用粘着シートは、被着体に対する十分な粘着力を有しているあるため、バックグラインドにより厚さ１００μｍ以下に極薄化されたシリコンウエハーの、破損や反りを防止することが可能となる。
【００９３】
本実施の形態の粘着シートを構成する粘着剤層の粘着力は、上述したようにＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した試験方法（１８０°ピール試験）にて測定することのできる１８０°剥離力として求めることができる。具体的には、ポリエチレンテレフタレートからなるシート状の基材の片面に、膜厚２０〜３０μｍの粘着剤層を形成し、被着体としてのシリコンウエハーに粘着剤層を粘着させ、この粘着剤層とシリコンウエハーとの間の１８０°剥離力として求めることができる。
【００９４】
本実施の形態の粘着シートに用いられる基材としては特に制限はなく、例えば、合成樹脂製のフィルムやシート、ガラス、金属、またはセラミックからなるシート等を挙げることができる。なお、この基材としては、粘着剤層側とは反対側の表面に紫外線照射した際に、基材を透過して紫外線が粘着剤層に照射されるものであることが好ましく、例えば、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシートや透明なガラスからなるシートを好適例として挙げることができる。
【００９５】
本実施の形態の粘着シート構成する基材は、粘着剤層側の面にエンボス加工が施されていてもよい。このように基材の粘着剤層側の面にエンボス加工が施されていると、例えば、半導体ウエハ等の被着体に粘着シートを貼り付けた場合に、粘着シートと被着体との接合面において、基材のエンボス加工によって形成される凹部に空気が残留する。このため、粘着シートと被着体とが粘着した状態において、何ら特別な方法を用いることなく、単に紫外線照射するだけで、凹部に残留した空気が存在する状態で紫外線硬化が行われ、簡便に空気の存在下での紫外線硬化を実現することができる。これにより、空気の存在下での紫外線硬化を施し、粘着剤層の粘着力を良好に低下させることができ、本実施の形態の粘着シートを被着体から容易に剥離することができる。
【００９６】
本明細書において、基材の表面に施すエンボス加工とは、基材の表面に凹凸を形成する加工のことをいう。このエンボス加工によって形成される凹凸の凹部と凸部との形状や、それらの配列については特に制限はなく、規則的な凹部と凸部との繰返しであってもよいし、不規則な凹部と凸部との繰返しであってもよい。また、和紙等の表面に見られる皺模様によって構成される凹部と凸部とであってもよい。なお、本実施の形態の粘着シートに用いられる基材においては、エンボス加工によって形成される凹凸は、規則的な凹部と凸部との繰返しであることが好ましい。
【００９７】
また、特に限定されることはないが、本実施の形態の粘着シートの基材に施されるエンボス加工としては、凹部の深さが３μｍ以上であることが好ましい。エンボス加工によって形成される凹部の深さが３μｍ以上であることにより、粘着シートと被着体との接合面積を低く抑えることが出来るため、粘着シートを被着体から容易に剥離することができる。本実施の形態の粘着シートでは、凹部に残留する空気の存在下での紫外線硬化を実現することができる。
【００９８】
基材の表面の大きさ（面積）については特に制限はなく、例えば、被着体の形状に応じて適宜選択することができる。また、本実施の形態の粘着シートは、所定の形状に切断して用いることもできることから、基材の表面の大きさについては、被着体の形状よりも比較的大きくなるように構成してもよい。
【００９９】
また、基材の厚さについても特に制限はないが、上述したエンボス加工が良好に行われ、かつ、粘着剤層側とは反対側の表面に紫外線照射して紫外線硬化する際に、この基材を透過して紫外線が粘着剤層に照射されるような厚さであることが好ましく、例えば、１０〜５０００μｍであることが好ましく、２０〜１０００μｍであることがさらに好ましく、５０〜５００μｍであることが特に好ましい。
【０１００】
なお、基材に施されるエンボス加工の方法については、従来公知のエンボス加工の方法に準じて行うことができる。例えば、基材の加工面側（粘着剤層側）とは反対側の面側から、複数の突起を備えるエンボスツールを押し当てる方法を挙げることができる。
【０１０１】
また、上述したように本実施の形態の粘着シートに用いられる粘着剤層は、本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態と同様に構成された粘着性樹脂組成物から形成されたものであり、この粘着剤層を構成する（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、および（ｃ）オリゴマー、（ｄ）開始剤についても、本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態において説明した（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、（ｃ）オリゴマー、および（ｄ）開始剤と同様に構成されたものであることが好ましい。例えば、（ｂ）モノマーとしては、３つ以上の官能基を有するモノマーを少なくとも一種の含むものを好適に用いることができる。
【０１０２】
また、本実施の形態の粘着シートに用いられる粘着剤層は、本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態と同様に、紫外線吸収剤や光安定剤などのその他の物質をさらに含んでいてもよい。また、粘着剤層を構成する粘着性樹脂組成物については、（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、（ｃ）オリゴマー、および、（ｄ）開始剤の他に、（ｅ）溶剤をさらに含んたものであってもよい。なお、この（ｅ）溶剤の大半は、粘着性樹脂組成物から粘着剤層を形成する際に蒸散し、粘着剤層中には、ほとんど存在していない。
【０１０３】
上述したその他の物質については、上述した本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物の実施の形態にて説明した紫外線吸収剤、光安定剤、老化防止剤、消泡剤、レベリング剤、帯電防止剤、界面活性剤、保存安定剤、熱重合禁止剤、可塑剤、濡れ性改良剤、密着性付与剤、粘着付与剤（タッキファイヤー）、硬化剤などを好適例として挙げることができる。
【０１０４】
粘着剤層の厚さについては、紫外線の照射量あるいは、粘着力の違いにより異なるが、例えば、１〜１０００μｍ、好ましくは５〜５００μｍ、さらに好ましくは１０〜１００μｍあることが好ましい。
【０１０５】
また、本実施の形態の粘着シートにおいて、紫外線硬化することにより粘着剤層の粘着力を低下させる際に必要となる紫外線の積算光量については、基材表面の粘着剤層の厚さ等によっても異なるが、例えば、１０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2、好ましくは２０〜８００ｍＪ／ｃｍ2、さらに好ましくは３０〜６００ｍＪ／ｃｍ2であれば、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力を１／３以下にすることができる。
【０１０６】
実際に本実施の形態の粘着シートを使用し、紫外線硬化により粘着剤層の粘着力を低下させる際には、条件（３）に示すうように、光源として高圧水銀ランプを用いて紫外線照射を行うことができるが、紫外線照射を行う光源としてはこれに限定されることはなく、例えば、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、アーク灯、ガリウムランプなどを用いることができる。
【０１０７】
また、本実施の形態の粘着シートは、上記の条件（３）にて、粘着剤層を紫外線硬化することにより、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が１／３以下となるものであるが、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着剤層の粘着力が、１／１０以下になるものであることが好ましく、１／３０以下になるものであることがさらに好ましい。
【０１０８】
次に、本発明のバックグラインド用粘着シートの製造方法の第１の態様の一の実施の形態について説明する。本実施の形態の粘着シートの製造方法は、本発明のバックグラインド用粘着シートの実施の形態を製造する方法である。
【０１０９】
本実施の形態の粘着シートの製造方法は、基材の少なくとも片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、得られた樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを得る、粘着シートの製造方法である。
【０１１０】
以下、本実施の形態の粘着シートの製造方法について、各行程毎にさらに具体的に説明する。
【０１１１】
まず、粘着シートの基材を用意する。本実施の形態の粘着シートの製造方法において用いられる基材としては、上述した本発明のバックグラインド用粘着シートの実施の形態にて説明した粘着シートを構成する基材と同様に構成されたものを好適に用いることができ、例えば、合成樹脂製のフィルムやシート、ガラス、金属、またはセラミックからなるシート等を挙げることができる。特に、この基材を透過して紫外線が粘着剤層に照射可能な、アクリル、オレフィン、ポリカーボネート、塩化ビニル、ＡＢＳ、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ナイロン、ウレタン、ポリイミド等の透明な樹脂からなるシートや透明なガラスからなるシートを好適例として挙げることができる。
【０１１２】
なお、特に限定されることはないが、本実施の形態の粘着シートの製造方法においては、この基材の少なくとも片面にエンボス加工を施してもよい。このようにエンボス加工を施した面に粘着剤層を形成することにより、粘着剤層を被着体に粘着させた場合において、エンボス加工によって形成される凹部に空気が残留し、単に粘着剤層に紫外線照射するだけで、凹部に残留した空気が存在する状態で紫外線硬化を行うことが可能となる。このため、基板にエンボス加工を施した場合は、エンボス加工を施した面に粘着剤層を形成する。本実施の形態においては、粘着シートの製造工程においてエンボス加工を施してもよいが、予めエンボス加工が施された基材を使用してもよい。
【０１１３】
上述した基材の表面に施すエンボス加工の方法については特に制限はなく、例えば、基材の加工面側（粘着剤層側）とは反対側の面側から、複数の突起を備えるエンボスツールを押し当てる方法によって実現することができる。エンボスツールの突起の大きさや形状については、エンボス加工によって形成される凹部と凸部との形状や、それらの配列に応じて適宜選択することができる。
【０１１４】
次に、基材の面上（エンボス加工を施した場合には、エンボス加工を施した側の面上）に樹脂組成物層を塗工するための粘着性樹脂組成物を調製する。粘着性樹脂組成物は、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含むものであり、本発明の粘着性樹脂組成物の実施の形態と同様に構成されたものを用いることができる。粘着性樹脂組成物によって形成される樹脂組成物層は、紫外線照射または加熱による予備処理を施すことにより、樹脂組成物層を構成する粘着性樹脂組成物の一部が高分子量化および架橋されて粘着力が発現する。
【０１１５】
この粘着剤層を形成するための粘着性樹脂組成物を調製する方法については、例えば、上述した（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を混合撹拌して得ることができる。
【０１１６】
また、この粘着剤層としての粘着性樹脂組成物としては、本発明の粘着性樹脂組成物の実施の形態にて説明したように、（ｅ）溶剤やその他の物質をさらに含んだものとしてもよい。例えば、さらに（ｅ）溶剤を含んだ粘着性樹脂組成物を得る場合には、（ａ）ポリマー、（ｂ）モノマー、（ｃ）オリゴマー、および、（ｄ）開始剤に加えて、（ｅ）溶剤を加え、０〜８０℃で混合撹拌して得ることができる。この際、粘着性樹脂組成物の基材への塗工が良好に行えるように（ｅ）溶剤の量を調節し、得られる粘着性樹脂組成物の、２５℃における粘度が３００〜２３００ｍＰａ・ｓとなるように調製することが好ましい。
【０１１７】
次に、このようして得られた粘着性樹脂組成物を、樹脂組成物層として基材の少なくとも片面上に塗工する。基材にエンボス加工を施している場合には、エンボス加工を施した面上に粘着性樹脂組成物を塗工する。塗工方法についても特に制限はなく、従来公知の塗工方法に準じて実現することができる。
【０１１８】
樹脂組成物層の厚さについては特に制限はないが、例えば、この樹脂組成物層に紫外線照射または加熱による予備処理を施して粘着剤層とした場合に、得られる粘着剤層の厚さが、１〜１０００μｍとなるような厚さに塗工することが好ましい。
【０１１９】
次に、得られた樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを得る。
【０１２０】
この、紫外線照射または加熱による予備処理は、樹脂組成物層を、粘着性を有する半固体状の粘着剤層にするための処理であり、樹脂組成物層を構成する粘着性樹脂組成物が高分子量化および架橋されることである。この予備処理における紫外線照射は、例えば、低圧水銀ランプ、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、アーク灯、ガリウムランプなどで容易に行うことができる。好ましい紫外線照射の積算光量は、１０〜３００ｍＪ／ｃｍ2である。１０ｍＪ／ｃｍ2未満では十分架橋せず、凝集力が得られないことがある。一方、３００ｍＪ／ｃｍ2を超えると架橋が進みすぎ、貼り合せ時の密着性が低下するので好ましくない。さらに好ましい積算光量は、３０〜２５０ｍＪ／ｃｍ2である。
【０１２１】
なお、樹脂組成物層を構成する粘着性樹脂組成物が（ｅ）溶剤を含んでいる場合には、紫外線照射による予備処理に変えて、樹脂組成物層を加熱することによって、熱乾燥あるいは熱架橋させ、樹脂組成物層に予備処理を施してもよい。この際、加熱は６０〜２００℃であることが好ましく、６０〜１５０℃で、０．５〜１５分がさらに好ましい。
【０１２２】
このようにして、基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを簡便かつ低コストに製造することができる。本実施の形態の粘着シートの製造方法によって製造される粘着シートは、本発明の粘着シートの実施の形態にて説明した粘着シートであり、上記した条件（３）にて、粘着剤層を紫外線硬化することにより、紫外線硬化前から紫外線硬化後の上記した条件（４）にて測定した粘着剤層の粘着力が１／３以下となる、粘着シートである。
【０１２３】
次に、本発明の粘着シートの製造方法の第２の態様の一の実施の形態について説明する。本実施の形態の粘着シートの製造方法は、本発明の粘着シートの実施の形態を、本発明の粘着シートの製造方法の第１の態様とは別の方法にて製造する粘着シートの製造方法である。
【０１２４】
本実施の形態の粘着シートの製造方法は、離型基材の片面に、（ａ）重量平均分子量が１万〜２００万で、ガラス転移温度が−１００℃〜１００℃であるポリマー、（ｂ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するモノマー、（ｃ）重合性の炭素−炭素二重結合を有するオリゴマー、および、（ｄ）開始剤を含む樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、得られた樹脂組成物層を空気が存在する状態で紫外線照射または加熱する予備処理を施して粘着剤層を形成し、得られた粘着剤層を粘着シート用の基材の片面に転写して、基材の少なくとも片面に粘着剤層が形成された粘着シートを得る、粘着シートの製造方法である。
【０１２５】
このように、本実施の形態の粘着シートの製造方法は、本発明の粘着シートの製造方法の第１の態様の実施の形態のように、基材に直接粘着剤層（樹脂組成物層）を形成するのではなく、別途、離型基材を用意し、まず、この離型基材の片面に、上述した樹脂組成物を塗工して樹脂組成物層を得、この樹脂組成物層を予備処理して粘着剤層を形成した後に、粘着剤層を基板に転写する。これにより、基材の面上に形成される粘着剤層は、離型基材と基材とに挟まれた状態で製造され、この離型基材を粘着シートの離型紙として用いることができ、取り扱い性に優れた粘着シートを製造することができる。
【０１２６】
なお、本実施の形態の粘着シートの製造方法においては、樹脂組成物の調製の方法や塗工方法、また、樹脂組成物層の予備処理の方法については、上述した本発明の粘着シートの製造方法の第１の態様の実施の形態にて説明した方法と同様の方法を用いることができる。
【０１２７】
また、離型基材の片面に形成された粘着剤層を、粘着シート用の基材の片面に転写する方法についても特に制限はなく、例えば、離型基材の片面に形成された粘着剤層に、粘着シート用の基材の片面を貼付した後、ゴムロール等で圧力を加えて転写する方法を挙げることができる。
【実施例】
【０１２８】
以下、本発明を実施例により詳細に説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【０１２９】
実施例においては、（ａ）ポリマーとして、３種類のポリマー（（ａ−１）ポリマー、（ａ−２）ポリマー、および（ａ―３）ポリマーから少なくとも一種を選択して用いた。
【０１３０】
（ａ−１）ポリマーの合成：
トルエン１５０質量部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１０質量部、メチルメタクリレート３５質量部、２―エチルヘキシルアクリレート５５質量部、アゾビスイソブチロニトイル０．４質量部、を４口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で７０℃６時間、さらに８０℃で１時間反応させ、（ａ−１）ポリマーを１００質量部得た。得られた（ａ−１）ポリマーは、重量平均分子量は１２０，０００であり、ガラス転移温度は−２０℃であった。
【０１３１】
（ａ−２）ポリマーの合成：
トルエン１５０質量部、シクロヘキシルメタクリレート４１質量部、メチルメタクリレート３５質量部、２―エチルヘキシルアクリレート２３質量部、メタクリル酸１質量部、アゾビスイソブチロニトイル０．００１質量部、を４口フラスコに投入し、窒素雰囲気下で５０℃６時間、さらに８０℃で１時間反応させ、（ａ−２）ポリマーを１００質量部得た。得られた（ａ−２）ポリマーは、重量平均分子量は３００，０００であり、ガラス転移温度は４０℃であった。
【０１３２】
（ａ−３）ポリマーの合成：
特許第３３６０４１１号記載の参考例８に準じ、スチレンブタジエン・スチレン共重合体の水添物を製造した。重量平均分子量は２６５，０００であり、ガラス転移温度は−４０℃であった。
【０１３３】
（実施例１）
表１に示すように、（ａ）ポリマーとして、（ａ−１）ポリマー４５質量部、（ｂ）モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬社製）４０質量部、（ｃ）オリゴマーとして、ポリウレタンアクリレート（分子量５０００、商品名：Ｅｂｅｃｒｙｌ  ２３０；ダイセルユーシービー社製）３５質量部、（ｄ）開始剤として、α−ヒドロキシアセトフェノン（商品名：イルガキュア（Ｉｒｇａｃｕｒｅ）１８４；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）２質量部、および、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−ジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名：ルシリン（ＬｕｃｉｒｉｎＴＰＯ）；ＢＡＳＦ社製）１質量部を、（ｅ）溶剤としての、（ａ−１）ポリマーに含まれるトルエン、および別途追加するメチルエチルケトンとともに混合して粘着性樹脂組成物を得た。
【０１３４】
【表１】
2007056210.tif 000002
【０１３５】
本実施例にて使用した（ａ）ポリマーのガラス転移温度は−２０℃であり、重量平均分子量は１２万である。また、（ｃ）オリゴマーの重量平均分子量は、５０００である。また、（ｂ）モノマー、および（ｃ）オリゴマーは、それぞれ重合性の炭素−炭素二重結合を１個もしくは２個以上有するものである。
【０１３６】
本実施例においては、以下の手順に従い、粘着シートを作製した。まず、ポリエチレンテレフタレートからなる市販の離型基材（商品名：ＰＥＴ３８１１；リンテック社製）に、先に得られた粘着性樹脂組成物を、乾燥後膜厚が約２２μｍになるよう、アプリケーターにて塗布し、８０℃で３分間乾燥して粘着剤層を得た。
【０１３７】
次に、粘着シート用の基材として、市販のポリエチレンテレフタレートからなる基材（商品名：コスモシャイン４３００；東洋紡社製）を別途用意し、離型基材と粘着シート用の基材とを、離型基材の面上に形成された粘着剤層を挟持するように積層し、粘着シート用の基材に２ｋｇゴムロールを押しあてて、粘着剤層を粘着シート用の基材に転写した。その後、離型基材を剥がし、基材の片面に粘着剤層が形成された粘着シートを製造した。本実施例においては、このような粘着シートを３個製造し、それぞれ異なる条件で粘着剤層の紫外線硬化を行い、ＪＩＳ  Ｚ０２３７に準拠した試験方法にて粘着剤層の粘着力をピール強度として測定した。それぞれの測定結果を表１に示す。
【０１３８】
紫外線照射前のピール強度（粘着力）：
本実施例の粘着シートを、被着体としてのシリコンウエハー（信越半導体社製）に粘着させて貼り合わせた後、温度２３℃の雰囲気下において、剥離速度を３００ｍｍ／分として、粘着シートと被着体との間の１８０°剥離力を測定し、紫外線照射前のピール強度とした。
【０１３９】
紫外線照射後（空気存在下）のピール強度（粘着力）：
本実施例の粘着シートを、空気の存在下で、粘着シートの粘着剤層に、高圧水銀ランプ（アイグランステージＥＣＳ−４１０ＧＸ、アイグラフィックス社製）による積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、粘着剤層を紫外線硬化させた。
【０１４０】
上記の条件にて粘着シートの粘着剤層を紫外線硬化させた後、被着体としてのシリコンウエハー（信越半導体社製）に粘着させて貼り合わせた。温度２３℃の雰囲気下において、剥離速度を３００ｍｍ／分として、粘着シートと被着体との間の１８０°剥離力を測定し、紫外線照射後（空気存在下）のピール強度とした。
【０１４１】
紫外線照射後（空気存在なし）のピール強度（粘着力）：
本実施例の粘着シートを、被着体としてのシリコンウエハー（信越半導体社製）に粘着させて貼り合わせた後、空気が存在しない状態で、粘着シートの粘着剤層に、高圧水銀ランプ（アイグランステージＥＣＳ−４１０ＧＸ、アイグラフィックス社製）による積算光量２００ｍＪ／ｃｍ2の紫外線照射を行い、粘着剤層を紫外線硬化させた。
【０１４２】
上記の条件にて粘着シートの粘着剤層を紫外線硬化させた後、温度２３℃の雰囲気下において、剥離速度を３００ｍｍ／分として、粘着シートと被着体との間の１８０°剥離力を測定し、紫外線照射後（空気存在なし）のピール強度とした。
【０１４３】
また、上述した三条件（紫外線照射を行う前、空気の存在下で紫外線照射を行った後、および空気が存在しない状態で紫外線照射を行った後）にてピール強度を測定した後、被着体に対する糊残りの状態を光学顕微鏡測定における１μｍ以上の異物が全く確認されなかったものについては○、異物が確認されたものについては×として評価した。結果を表１に示す。
【０１４４】
（実施例２）
（ａ）ポリマーとして、（ａ−２）ポリマー４５質量部、（ｂ）モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬社製）１０質量部、（ｃ）オリゴマーとして、ポリウレタンアクリレート（分子量５０００、商品名：Ｅｂｅｃｒｙｌ  ２３０；ダイセルユーシービー社製）４５質量部、（ｄ）開始剤として、α−ヒドロキシアセトフェノン（商品名：イルガキュア（Ｉｒｇａｃｕｒｅ）１８４；チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）２質量部、および、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）−ジフェニルフォスフィンオキサイド（商品名：ルシリン（ＬｕｃｉｒｉｎＴＰＯ）；ＢＡＳＦ社製）１質量部を、（ｅ）溶剤としての、（ａ−１）ポリマーに含まれるトルエン、および別途追加するメチルエチルケトンとともに混合して粘着性樹脂組成物を得た。実施例１と同様の材料を用いて粘着性樹脂組成物を得、得られた粘着性樹脂組成物を用いて、実施例１と同様の方法にて粘着シートを製造した。
【０１４５】
（実施例３）
（ａ）ポリマーとして、（ａ−１）ポリマー４０質量部および（ａ−３）ポリマー５質量部、を用いた以外は、実施例１と同様の材料を用いて粘着性樹脂組成物を得、得られた粘着性樹脂組成物を用いて、実施例１と同様の方法にて粘着シートを製造した。
【０１４６】
（比較例１）
（ａ）ポリマーを用いず、（ｂ）モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬社製）４０質量部とイソオクチルアクリレート（ＩＯＡ；大阪有機化学社製）４５質量部、を用いた以外は、実施例１と同様の材料を用いて粘着性樹脂組成物を得、得られた粘着性樹脂組成物を用いて、実施例１と同様の方法にて粘着シートを製造した。
【０１４７】
（比較例２）
（ｃ）オリゴマーを用いず、（ｂ）モノマーとして、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ；日本化薬社製）５５質量部、を用いた以外は、実施例１と同様の材料を用いて粘着性樹脂組成物を得、得られた粘着性樹脂組成物を用いて、実施例１と同様の方法にて粘着シートを製造した。
【０１４８】
このようにして得られた実施例２，３、および比較例１，２のそれぞれの粘着シートに対して、紫外線照射を行う前、空気の存在下で紫外線照射を行った後、および空気が存在しない状態で紫外線照射を行った後において、実施例１と同様の方法にて、ピール強度の測定を行い、さらに、ピール強度の測定後、それぞれの粘着シートにおいて、被着体に対する糊残りの状態を光学顕微鏡で評価した。結果を表１に示す。
【０１４９】
表１に示すように、実施例１〜３の粘着シートにおける紫外線硬化前のピール強度については、バックグラインド工程における仮固定に用いるのに十分な強度を有しており、また、空気の存在下で紫外線硬化することにより、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着力が１／３以下に良好に低下しており、空気の存在下で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することができるものであった。
【０１５０】
また、実施例１〜３の粘着シートは、糊残りの評価についても全て良好な結果が得られ、被着体から完全に剥離することが可能であり、被着体の汚染を有効に防止することができるものであった。
【０１５１】
一方、比較例１，２の粘着シートは、紫外線硬化前のピール強度については、バックグラインド工程における仮固定に用いるのに十分な強度を有していたが、空気の存在下で紫外線硬化することにより、紫外線硬化前から紫外線硬化後の粘着力が１／３以下まで低下せず、被着体から剥離する際に大きな応力を必要とするものであった。
【０１５２】
また、比較例１，２の粘着シートは、糊残りの評価についても、比較例２の紫外線硬化前以外は、全て糊残りが光学顕微鏡観察において１ミクロンの異物が確認できるものであり、被着体から完全に剥離することができなかった。
【産業上の利用可能性】
【０１５３】
本発明のバックグラインド用粘着性樹脂組成物は、紫外線硬化前には被着体に対する十分な粘着力を発現し空気の存在下で紫外線硬化することにより被着体から容易に剥離することができることから、半導体ウエハをバックグラインドする行程において、半導体ウエハを固定する粘着シートの粘着剤層として用いることができる。また、本発明の粘着シートは、上述した本発明の粘着性樹脂組成物と同様に構成された粘着性樹脂組成物を含む粘着剤層と、基材とを備えた粘着シートであり、半導体ウエハをバックグラインドする行程において、半導体ウエハを固定する粘着シートとして用いることができる。また、本発明の粘着シートの製造方法は、上述した粘着シートを簡便かつ低コストに製造する製造方法である。