(57)【要約】【課題】垂直記録媒体に記録される情報の再生波形の品質を向上させつつ、垂直記録媒体のトラック密度を高めることが可能な磁気転写用マスタ及び垂直記録媒体を製造する方法を提供することを目的とする。【解決手段】サーボ情報に対応する凹凸を表面に有し、軟磁性体で構成される基板２と、その基板２の凹部内に設けられ、垂直記録媒体の磁化の方向を反転させる外部磁界より大きな保磁力を有し、かつ、その外部磁界の方向と反対方向の磁化を有する強磁性体３とを備えて磁気転写用マスタ１を構成する。【選択図】図１
2007273061.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
垂直記録媒体へ所定情報を磁気転写する磁気転写用マスタであって、
前記所定情報に対応する凹凸を表面に有し、前記凹凸のうち少なくとも凸部が軟磁性体で構成される基板と、
前記基板の凹部内に設けられ、前記垂直記録媒体の磁化の方向を反転させる前記外部磁界より大きな保磁力を有し、かつ、前記外部磁界の方向と反対方向の磁化を有する強磁性体と、
を備えることを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項２】
請求項１に記載の磁気転写用マスタであって、
前記基板の凸部を構成する軟磁性体は、前記基板の凸部以外の部分を構成する軟磁性体よりも透磁率が高い、
ことを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項３】
請求項１に記載の磁気転写用マスタであって、
前記基板の凸部以外の部分は、樹脂により構成されている、
ことを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項４】
請求項１に記載の磁気転写用マスタであって、
前記基板と前記強磁性体との間にシード層を備える、
ことを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項５】
請求項１〜４の何れか１項に記載の磁気転写用マスタであって、
前記強磁性体は、希土類遷移金属アモルファス合金である、
ことを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の磁気転写用マスタであって、
当該磁気転写用マスタが前記垂直記録媒体の両面にそれぞれ前記所定情報を磁気転写することが可能なように２つ使用される場合、それぞれの磁気転写用マスタの基板に有する凹凸は、互いに形状が反転するように形成されている、  
ことを特徴とする磁気転写用マスタ。
【請求項７】
磁気転写用マスタから垂直記録媒体へ所定情報を磁気転写する工程を有してなる垂直記録媒体の製造方法であって、前記磁気転写工程は、
前記垂直記録媒体の磁化の方向を前記外部磁界の方向と反対方向にし、
前記所定情報に対応する凹凸を表面に有し、前記凹凸のうち少なくとも凸部が軟磁性体で構成される基板と、前記基板の凹部内に設けられ、前記外部磁界より大きな保磁力を有し、かつ、前記外部磁界と反対方向の磁化を有する強磁性体とを備える前記磁気転写用マスタに前記垂直記録媒体を密着または近接させ、
前記垂直記録媒体の保磁力よりも大きい前記外部磁界を前記垂直記録媒体に印加する、
ことを特徴とする垂直記録媒体の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の垂直記録媒体の製造方法であって、
前記磁気転写用マスタに前記垂直記録媒体を密着または近接する際、２つの前記磁気転写用マスタを前記垂直記録媒体の表面と裏面にそれぞれ密着または近接させる、
ことを特徴とする垂直記録媒体の製造方法。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載の方法により製造される垂直記録媒体を備える磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気転写用マスタから垂直記録媒体へ所定情報を一括で磁気転写し、垂直記録媒体を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来では、垂直記録媒体に所定情報を一括で磁気転写して、垂直記録媒体を製造する方法として、例えば、図２１や図２２に示すように、所定情報に対応する凹凸を表面に有するＮｉ基板２１０と、そのＮｉ基板２１０の凹凸上に設けられる軟磁性体２１１とを備える磁気転写用マスタ２１２に垂直記録媒体２１３を密着させ、その垂直記録媒体２１３の記録面に対して垂直方向の磁界を外部から印加することにより所定情報を垂直記録媒体２１３に一括で磁気転写する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このような垂直記録媒体の製造方法において良好な記録性能を得るためには、凸部の軟磁性体２１１に磁束を収束させて、凸部の軟磁性体２１１の表面近傍の磁界を十分に大きくする必要がある。
【０００４】
しかしながら、図２１に示す磁気転写用マスタ２１２では、軟磁性体２１１内部に磁束の方向と反対方向の反磁界が生じるため、この反磁界により軟磁性体２１１表面近傍において所定情報の記録に寄与する十分な大きさの漏れ磁束すなわち垂直方向の磁界を得ることができない。また、図２１に示す磁気転写用マスタ２１２では、Ｎｉ基板２１０の凹凸の壁にも軟磁性体２１１が設けられているため、図２２に示すように、Ｎｉ基板２１０の凸部のエッジ部分に磁束が集中し易く、凸部の軟磁性体２１１のエッジ部分の磁界を大きくさせてしまう。そのため、この磁気転写用マスタ２１２により所定情報を記録した垂直記録媒体２１３の再生波形は、図２２に示す再生波形２１４のように、Ｎｉ基板２１０の凹凸形状に対応するきれいな矩形波にならない。
【０００５】
そこで、少なくとも軟磁性体２１１表面近傍において所定情報の記録に寄与する十分な大きさの垂直方向の磁界を得るために外部磁界を大きくすることが考えられるが、外部磁界を大きくすると、例えば、図２３に示すように、磁束の範囲がＮｉ基板２１０の凹部にまで拡がり、垂直記録媒体２１３の磁壁（垂直記録媒体２１３内部に分布する磁界が反転するときの境界）の位置がＮｉ基板２１０の凹凸のエッジ部分の位置と一致しなくなり、垂直記録媒体２１３の再生波形がＮｉ基板２１０の凹凸形状に対応する矩形波にならない。
【０００６】
このように垂直記録媒体２１３の再生波形がＮｉ基板２１０の凹凸に対応する矩形波にならないと、例えば、垂直記録媒体２１３に記録されるアドレスのデコードやサーボ情報の復調精度を悪化させてしまうという問題がある。
【０００７】
そこで、この問題を解決するための垂直記録媒体の製造方法として、例えば、図２４に示すように、所定情報に対応する凹凸を表面に有する基板２１５と、その基板２１５の凹凸の凹部内に設けられる強磁性体２１６とを備える磁気転写用マスタ２１７に垂直記録媒体２１３を密着させ、その垂直記録媒体２１３の記録面に対して水平方向の磁界（矢印）を外部から印加することにより所定情報を垂直記録媒体２１３に一括で磁気転写する方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
この垂直記録媒体の製造方法では、図２４に示すように、強磁性体２１６のエッジ部分で垂直記録媒体２１３に分布する磁界強度２１８が最大になり、強磁性体２１６の中央付近や強磁性体２１６間近傍で垂直記録媒体２１３に分布する磁界強度２１８がほぼゼロになる。これにより、たとえ外部磁界が変動しても、図２４に示すように、垂直記録媒体２１３の再生波形２１９が最大になる位置と基板２１５の凹凸のエッジ部分の位置とを一致させることができる。また、上記垂直記録媒体の製造方法は、水平方向に外部磁界を印加する構成であるため、強磁性体２１６内部に生じる反磁界の影響が垂直記録媒体２１３に及ばない。
【０００９】
ところで、このサーボ情報を上述のような水平方向に外部磁界を印加する垂直記録媒体の製造方法で磁気ディスクに記録することにより、サーボ情報の再生波形の品質を向上させることができ、磁気ディスク装置の信頼性を高めることができる。
【特許文献１】特開平１０−４０５４４号公報
【特許文献２】特開２００１−２９７４３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
また、近年では、磁気ディスクのトラック密度の向上に伴い、サーボ情報の再生精度をさらに高めるため、磁気ディスクにサーボ情報を記録した後、サーボ情報の誤差を補正するための偏芯補正情報を記録するものがあるが、この偏芯補正情報は、通常、磁気ヘッドにより磁気ディスクに記録する構成であるため、その偏芯補正情報が記録される磁気ディスクの再生波形は、図２５に示すように、矩形波になる。そのため、サーボ情報の再生波形の品質を向上させつつ、磁気ディスクのトラック密度を高めようと、上述のような水平方向に外部磁界を印加する垂直記録媒体の製造方法でサーボ情報を磁気ディスクに記録した後、磁気ヘッドにより偏芯補正情報を磁気ディスクに記録する場合では、サーボ情報を読むためのリードチャネルと偏芯補正情報を読むためのリードチャネルの２種類のリードチャネルを取り扱う必要があり、２種類のリードチャネルを取り扱おうとすると、磁気ディスク装置の構成が複雑になってしまうという問題がある。
【００１１】
そこで、本発明では、垂直記録媒体に記録される情報の再生波形の品質を向上させつつ、垂直記録媒体のトラック密度を高めることが可能な磁気転写用マスタ及び垂直記録媒体を製造する方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために本発明では、以下のような方法を採用した。
すなわち、本発明の垂直記録媒体の製造方法は、垂直記録媒体の磁化の方向を、磁気転写用マスタから垂直記録媒体へ所定情報を磁気転写する際に垂直記録媒体に印加される外部磁界の方向と反対方向にし、所定情報に対応する凹凸を表面に有し、その凹凸のうち少なくとも凸部が軟磁性体で構成される基板と、その基板の凹部内に設けられ、上記外部磁界より大きな保磁力を有し、かつ、上記外部磁界と反対方向の磁化を有する強磁性体とを備える磁気転写用マスタに垂直記録媒体を密着または近接させ、その垂直記録媒体の保磁力よりも大きい外部磁界を垂直記録媒体に印加する。
【００１３】
これにより、垂直記録媒体において強磁性体に密着または近接する部分の磁化の方向を強磁性体の磁化により強磁性体の磁化の方向と同じ方向にし、垂直記録媒体において強磁性体に密着または近接しない部分の磁化の方向を外部磁界の強さにより強磁性体の磁化の方向と反対方向にすることができる。このように、垂直記録媒体に分布する磁界のコントラストを磁気転写用マスタの基板の凹凸形状に一致させることができるので、垂直記録媒体に磁気転写される所定情報の再生波形を矩形波にすることができる。
【００１４】
また、本発明の垂直記録媒体の製造方法では、使用される磁気転写用マスタの基板の凹部内に強磁性体が設けられる構成であるため、基板の凸部のエッジ部分に外部磁界の磁束が集中しない。また、垂直記録媒体において強磁性体に密着または近接しない部分の磁化の方向を外部磁界により反転させる構成であるため、強磁性体内部に発生する反磁界が垂直記録媒体に分布する磁界に影響を及ぼさない。また、強磁性体の保磁力は、外部磁界の強さよりも大きいため、外部磁界の強さが変動しても垂直記録媒体の磁壁の位置が磁気転写用マスタの基板の凸部のエッジ部分の位置からずれない。従って、垂直記録媒体の再生波形を磁気転写用マスタの基板の凹凸形状に対応する矩形波にすることができるので、再生波形の品質を高めることができる。
【００１５】
また、本発明の垂直記録媒体の製造方法により垂直記録媒体に記録される所定情報の再生波形を矩形波にすることができるので、本発明の製造方法によりサーボ情報を垂直記録媒体に記録した後、その垂直記録媒体に磁気ヘッドにより偏芯補正情報を記録して、その垂直記録媒体のトラック密度を向上させることができる。また、サーボ情報及び偏芯補正情報を読む際の磁気ヘッドのリードチャネルを１種類にすることができるので、その垂直記録媒体を備える磁気ディスク装置の構成が複雑になることを防止することができる。
【００１６】
また、本発明の垂直記録媒体の製造方法は、磁気転写用マスタに垂直記録媒体を密着または近接する際、２つの磁気転写用マスタを垂直記録媒体の表面と裏面にそれぞれ密着または近接させるようにしてもよい。
【００１７】
また、本発明の範囲は、本発明の垂直記録媒体の製造方法で使用される磁気転写用マスタ、その製造方法により磁気転写される垂直記録媒体、及びその製造方法により磁気転写される垂直記録媒体を備える磁気ディスク装置にまで及ぶ。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、垂直記録媒体に記録される情報の再生波形の品質を向上させつつ、垂直記録媒体のトラック密度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。
図１は、本発明の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。
図１に示す磁気転写用マスタ１は、軟磁性体で構成され、サーボ情報に対応する凹凸を表面に有する基板２と、基板２の凹部内に設けられ、垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際の外部磁界の方向と反対方向の磁化を有する強磁性体３とを備えて構成されている。なお、図１に示す矢印は、強磁性体３が有する磁化の方向を示している。
【００２０】
図２は、磁気転写用マスタ１を使用した垂直記録媒体の製造方法のフローチャートを示す図である。
まず、垂直記録媒体に磁界を印加するなどして、垂直記録媒体の磁化の方向を、垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際の外部磁界と反対方向に初期化する（ステップＳ１）。例えば、図３に示すように、垂直記録媒体４の磁化の方向を、矢印が示す方向に初期化する。
【００２１】
次に、磁気転写用マスタ１を備える外部磁界印加装置の所定の場所に垂直記録媒体をセットする（ステップＳ２）。
次に、磁気転写用マスタ１の強磁性体３と垂直記録媒体４の記録面とが対向するように、磁気転写用マスタ１と垂直記録媒体とを密着させる（ステップＳ３）。例えば、図４に示すように、磁気転写用マスタ１と垂直記録媒体４とを密着させる。なお、このとき、磁気転写用マスタ１と垂直記録媒体４とを近接させるようにしてもよい。
【００２２】
次に、垂直記録媒体の記録面に対して初期化方向と反対方向の外部磁界を磁気転写用マスタ１及び垂直記録媒体へ印加し垂直記録媒体を着磁させる（ステップＳ４）。例えば、図４に示すように、上記外部磁界印加装置が備えるＮ極マグネット５及びＳ極マグネット６により磁気転写用マスタ１の強磁性体３の磁化の方向や垂直記録媒体４の磁化の方向と反対方向の外部磁界（破線矢印）を磁気転写用マスタ１及び垂直記録媒体４へ印加する。なお、その外部磁界の強さＨは、垂直記録媒体４の保磁力をＨｃｂ、磁気転写用マスタ１の強磁性体３の保磁力をＨｃｍとする場合、Ｈｃｂ＜Ｈ＜Ｈｃｍとなるように設定する。
【００２３】
そして、外部磁界印加装置から垂直記録媒体を取り出し、垂直記録媒体へのサーボ情報の磁気転写を終了する（ステップＳ５）。
図５は、磁気転写終了後の垂直記録媒体の磁化の方向とその垂直記録媒体に記録される情報の再生波形を示す図である。なお、図５に示す再生波形は、本実施形態の垂直記録媒体の製造方法によりサーボ情報を磁気転写した垂直記録媒体４をスピンスタンドにセットし波形を観測したものである。
【００２４】
図５に示すように、垂直記録媒体４において強磁性体３に密着する部分の磁化の方向が強磁性体３の磁化により強磁性体３の磁化の方向と同じ方向になり、垂直記録媒体４において強磁性体３に密着しない部分の磁化の方向が外部磁界の強さＨにより強磁性体３の磁化の方向と反対方向になっている。このように、垂直記録媒体４に分布する磁界のコントラストを磁気転写用マスタ１の基板２の凹凸形状に一致させることができるので、垂直記録媒体４に磁気転写されるサーボ情報の再生波形を図５に示すような矩形波にすることができる。
【００２５】
また、本実施形態の垂直記録媒体の製造方法では、磁気転写用マスタ１の基板２の凹部内に強磁性体３が設けられる構成であるため、基板２の凸部のエッジ部分に外部磁界の磁束が集中しない。また、垂直記録媒体４において強磁性体３に密着しない部分の磁化の方向を外部磁界により反転させる構成であるため、強磁性体３内部に発生する反磁界が垂直記録媒体４に分布する磁界に影響を及ぼさない。また、強磁性体３の保磁力Ｈｃｍは、外部磁界の強さＨよりも大きいため、外部磁界の強さＨが変動しても垂直記録媒体４の磁壁の位置が磁気転写用マスタ１の基板２の凸部のエッジ部分の位置からずれない。従って、図５に示すように、垂直記録媒体４の再生波形を磁気転写用マスタ１の基板２の凹凸形状に対応する矩形波にすることができるので、再生波形の品質を高めることができる。
【００２６】
また、本実施形態の垂直記録媒体の製造方法により垂直記録媒体４に記録されるサーボ情報の再生波形を矩形波にすることができるので、本実施形態の製造方法によりサーボ情報を垂直記録媒体４に記録した後、その垂直記録媒体４に磁気ヘッドにより偏芯補正情報を記録して、その垂直記録媒体４のトラック密度を向上させることができる。また、サーボ情報及び偏芯補正情報を読む際の磁気ヘッドのリードチャネルを１種類にすることができるので、その垂直記録媒体４を備える磁気ディスク装置（例えば、ハードディスク装置）の構成が複雑になることを防止することができる。
【００２７】
図６は、本実施形態の垂直記録媒体の製造方法によりサーボ情報を垂直記録媒体に記録する場合であって、その垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されていないときのサーボ情報のＲＲＯ（Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ  Ｒｕｎ  Ｏｕｔ）を示す図であり、図７は、その垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されているときのサーボ情報のＲＲＯを示す図である。なお、図６及び図７において、ｘ軸−ｙ軸により構成される平面は、垂直記録媒体の平面に一致するものとする。また、ＮＲＲＯ（Ｎｏｎ−Ｒｅｐｅａｔａｂｌｅ  Ｒｕｎ  Ｏｕｔ）を除去するために６４周平均してサーボ誤差信号を測定している。また、図６及び図７に示すＲＲＯは何れも３シリンダの軌跡を示している。また、偏芯補正情報は、垂直記録媒体のサーボセクタの最後の部分にコード化されて記録されるものとする。また、各トラックの偏芯補正情報は、それぞれ、１つ前のトラックの偏芯補正情報と相似になるように生成してもよいし、個々に生成してもよい。
【００２８】
図６に示すように、垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されていない場合、ＲＲＯは非常に大きく、垂直記録媒体のトラックの高密度化に問題がある。
一方、図７に示すように、垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されている場合、ＲＲＯは、図６に示す軌跡に比べて高次偏芯が除去されて小さくになっている。実際には、偏芯補正情報を記録しない場合の隣接トラック間誤差は１５ｎｍであったのに対して偏芯補正情報を記録した場合の隣接トラック間誤差は８ｎｍであった。すなわち、垂直記録媒体のトラック密度を２倍近く高めることができた。
【００２９】
次に、磁気転写用マスタ１により垂直記録媒体の両面にサーボ情報を一括で記録する場合の垂直記録媒体の製造方法を図８〜図１１を用いて説明する。
まず、図８に示すように、表と裏用の一対の磁気転写用マスタ１を用意する。なお、一方の磁気転写用マスタ１により垂直記録媒体の表面にサーボ情報を磁気転写し、他方の磁気転写用マスタ１により垂直記録媒体の裏面に別のサーボ情報を磁気転写するものとする。また、各磁気転写用マスタ１のそれぞれの強磁性体３の磁化の方向（矢印）は、各磁気転写用マスタ１のそれぞれの強磁性体３が互いに向かい合う状態のとき、垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際の外部磁界の方向と反対方向になるように初期化されているものとする。また、各磁気転写用マスタ１のそれぞれの強磁性体３の保磁力は、例えば、８ｋＯｅとする。
【００３０】
次に、図９に示すように、垂直記録媒体７の両面それぞれの磁化の方向を、垂直記録媒体７の記録面に対して垂直方向の磁界を印加するなどして、垂直記録媒体７の記録面に対して垂直方向に初期化する。なお、垂直記録媒体７の両面それぞれの磁化の方向は、垂直記録媒体７にサーボ情報を磁気転写する際の外部磁界と反対方向になるように初期化されるものとする。また、例えば、この初期化時の磁界の強さを、１０ｋＯｅとし、磁界印加後の垂直記録媒体７の両面のそれぞれの保磁力を、４ｋＯｅとする。
【００３１】
次に、図１０に示すように、各磁気転写用マスタ１のそれぞれの強磁性体３が垂直記録媒体７のそれぞれの記録面と対向するように、各磁気転写用マスタ１をそれぞれ垂直記録媒体７に密着させる。なお、上述したように、各磁気転写用マスタ１をそれぞれ垂直記録媒体７に近接させてもよい。
【００３２】
次に、図１０に示すように、垂直記録媒体７の記録面に対して垂直方向の外部磁界を各磁気転写用マスタ１及び垂直記録媒体７へ印加する。なお、このときの外部磁界の強さＨは、例えば、４ｋＯｅ＜Ｈ＜８ｋＯｅとなるように設定する。
【００３３】
そして、垂直記録媒体７の両面に記録されたサーボ情報の再生波形は、それぞれ、図１１に示すような矩形波となる。
なお、垂直記録媒体７の両面にそれぞれ同じサーボ情報を記録させる場合は、各磁気転写用マスタ１のそれぞれの基板２の凹凸の形状を互いに反転させる。これにより、垂直記録媒体７の両面に記録される各サーボ情報を同じ極性で読むことができる。
【００３４】
次に、磁気転写用マスタ１の製造方法について説明する。
図１２は、磁気転写用マスタ１の製造方法のフローチャートを示す図である。なお、この磁気転写用マスタ１の製造方法は、例えば、光ディスクのスパンタの製造方法と同様である。
【００３５】
まず、Ｓｉのウエハー上に電子線レジストを塗布する（ステップＳＴ１）。
次に、電子ビーム描画装置などでサーボ情報に対応するパターンを電子線レジストに描画する（ステップＳＴ２）。例えば、図１３や図１４に示すようなサーボ情報８に対応するパターンを描画する。
【００３６】
次に、サーボ情報に対応するパターンを形成するために、そのパターン以外の電子線レジストを除去する（ステップＳＴ３）。すると、図１５Ａに示すように、ウエハー９上にサーボ情報に対応するパターンのレジスト１０が形成される。
【００３７】
次に、ウエハーをエッチングする（ステップＳＴ４）。例えば、１Ｐａ、１５ｃｃ／ｍｉｎのＳＦ６（六フッ化硫黄ガス）の環境下において６０秒間ＲＩＥ（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｉｏｎ  Ｅｔｃｈｉｎｇ）を行い、ウエハーを深さ１００ｎｍまでエッチングする。すると、図１５Ｂに示すように、ウエハー９にサーボ情報に対応する凹凸が形成される。
【００３８】
次に、ウエハー上の電子レジストをアッシング除去する（ステップＳＴ５）。例えば、１０Ｐａ、１００ｃｃ／ｍｉｎの酸素の環境下において３分間アッシングする。
次に、スパッタリングによりウエハーの凹凸上にＮｉの電極層を形成した後、その電極層上に電気メッキによりＮｉをメッキする（ステップＳＴ６）。例えば、電極層上に３００μｍのＮｉを電気メッキする。すると、図１５Ｃに示すように、ウエハー９の凹凸上にＮｉ１１がメッキされる。このＮｉ１１が磁気転写用マスタ１の基板２となる。
【００３９】
次に、Ｎｉからウエハーを剥離した後、そのＮｉを外形加工装置により所定の大きさに加工する（ステップＳＴ７）。例えば、直径８インチのＳｉのウエハー上にメッキされたＮｉを直径２．５インチのＮｉに加工する。
【００４０】
次に、Ｎｉのウエハーが付いていた面上すなわちＮｉの凹凸上に強磁性体膜をスパッタリングにより形成する（ステップＳＴ８）。例えば、強磁性体膜は、ＴｂＦｅＣｏ（希土類遷移金属アモルファス合金）とする。すると、図１５Ｄに示すように、Ｎｉ１１の凹凸上に強磁性体膜１２が形成される。この強磁性体膜１２が磁気転写用マスタ１の強磁性体３となる。
【００４１】
次に、強磁性体膜を隣のＮｉの表面まで研磨し平坦化する（ステップＳＴ９）。例えば、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ）により強磁性体膜を研磨する。すると、図１５Ｅに示すように、Ｎｉ１１及び強磁性体膜１２が平坦化する。
【００４２】
次に、平坦化したＮｉ及び強磁性体膜の上に保護膜を形成する（ステップＳＴ１０）。例えば、厚さ２ｎｍのＹＳｉＯ２の保護膜を形成する。
そして、強磁性体膜の磁化の方向が垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際に垂直記録媒体に印加される外部磁界と反対方向になるように、強磁性体膜を着磁する（ステップＳＴ１１）。例えば、図１５Ｆに示すように、強磁性体膜１２を着磁する。また、１００℃の環境下において強磁性体膜の保磁力を下げた状態で強磁性体膜を着磁する。なお、加熱せずに磁界強度を十分に上げて強磁性体膜を着磁してもよい。
【００４３】
次に、本発明の他の実施形態の磁気転写用マスタについて説明する。
図１６は、本発明の他の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。なお、図１に示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
【００４４】
図１６に示す磁気転写用マスタ１３は、基板２と、強磁性体３と、基板２と強磁性体３との間及び基板２間に設けられ、基板２の透磁率より高い透磁率をもつ軟磁性体１４とを備えて構成されている。なお、この磁気転写用マスタ１３を使用する垂直記録媒体の製造方法は、上述の垂直記録媒体の製造方法と同様であり、垂直記録媒体のトラック密度を向上させつつ、垂直記録媒体に記録されるサーボ情報の再生波形の品質を向上させることができる。
【００４５】
また、この磁気転写用マスタ１３を使用する垂直記録媒体の製造方法では、基板２と強磁性体３との間及び基板２間に軟磁性体１４が設けられているため、垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際の外部磁界を大きくしても磁気転写用マスタ１３が飽和し難くなり、垂直記録媒体に分布する磁界のコントラストをより高くすることができ、さらに再生波形の品質を向上させることができる。
【００４６】
図１７は、磁気転写用マスタ１３の製造方法を示すフローチャートである。なお、Ｎｉを外形加工する工程（ステップＳＴＰ７）までは、図１２に示すフローチャートのＮｉを外形加工する工程（ステップＳＴ７）までと同じであるため説明を省略する。
【００４７】
次に、Ｎｉの凹凸上に軟磁性体膜をスパッタリングする（ステップＳＴＰ８）。例えば、２ＰａのＡｒガスの環境下において１８０秒間スパッタリングし、厚さ１００ｎｍのＦｅＣｏを形成する。この軟磁性体膜が磁気転写用マスタ１３の軟磁性体１４となる。
【００４８】
次に、軟磁性体膜上に強磁性体膜をスパッタリングにより形成する（ステップＳＴＰ９）。例えば、２ＰａのＡｒガスの環境下において９０秒間スパッタリングし、厚さ１００ｎｍのＴｂＦｅＣｏを形成する。
【００４９】
次に、強磁性体膜を隣の軟磁性体膜の表面まで研磨し平坦化する（ステップＳＴＰ１０）。例えば、ＣＭＰにより強磁性体膜を研磨する。
次に、平坦化した軟磁性体膜及び強磁性体膜の上に保護膜を形成する（ステップＳＴＰ１１）。例えば、厚さ２ｎｍのＳｉＮの保護膜を形成する。
【００５０】
そして、強磁性体膜を着磁する（ステップＳＴＰ１２）。例えば、ＶＳＭ（Ｖｉｂｒａｔｉｎｇ  Ｓａｍｐｌｅ  Ｍａｇｎｅｔｏｍｅｔｅｒ）により２０ｋＯｅの磁界を印加し強磁性体膜を着磁する。
【００５１】
図１８は、磁気転写用マスタ１３の他の製造方法を示すフローチャートである。なお、軟磁性体膜を形成する工程（ステップＳＴＥ８）までは、図１７に示すフローチャートの軟磁性体膜を形成する工程（ステップＳＴＰ８）までと同じであるため説明を省略する。
【００５２】
次に、強磁性体膜の下地膜として軟磁性体膜上にシード層をスパッタリングにより形成する（ステップＳＴＥ９）。このシード層により、磁気転写用マスタ１３の表面の平坦性を向上させ、かつ、強磁性体膜の保磁力も向上させることができる。例えば、３ＰａのＡｒガスの環境下において厚さ７５ｎｍのＲｕのシード層をＤＣマグネトロンスパッタにより軟磁性体膜上に形成する。
次に、シード層上に強磁性体膜をスパッタリングにより形成する（ステップＳＴＥ１０）。例えば、２ＰａのＡｒガスの環境下において厚さ１５ｎｍのＣｏＣｒＰｔ−ＳｉＯ２をＲＦマグネトロンスパッタによりシード層上に形成する。
【００５３】
次に、強磁性体膜を軟磁性体膜の表面まで研磨し平坦化する（ステップＳＴＥ１１）。例えば、ＣＭＰにより強磁性体膜を研磨する。
次に、平坦化した軟磁性体膜及び強磁性体膜の上に保護膜を形成する（ステップＳＴＥ１２）。
【００５４】
そして、強磁性体膜を着磁する（ステップＳＴＥ１３）。例えば、ＶＳＭにより強磁性体膜を着磁する。
次に、本発明のさらに他の実施形態の磁気転写用マスタについて説明する。
【００５５】
図１９は、本発明のさらに他の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。なお、図１６に示す構成と同じ構成には同じ符号を付している。
図１９に示す磁気転写用マスタ１５は、ポリカーボネート（ＰＣ）で構成される基板１６と、サーボ情報に対応する凹凸の凸部として構成される軟磁性体１４と、強磁性体３とを備えて構成されている。なお、この磁気転写用マスタ１５を使用する垂直記録媒体の製造方法は、上述の垂直記録媒体の製造方法と同様であり、垂直記録媒体のトラック密度を向上させつつ、垂直記録媒体に記録されるサーボ情報の再生波形の品質を向上させることができる。また、基板１６は、ポリカーボネート以外の樹脂により構成されてもよい。
【００５６】
また、この磁気転写用マスタ１５を使用する垂直記録媒体の製造方法では、基板１６がポリカーボネートにより構成されているため、垂直記録媒体にサーボ情報を磁気転写する際、垂直記録媒体との密着性が上がり、垂直記録媒体に分布される磁界のコントラストをより高くすることができ、さらに再生波形の品質を向上させることができる。
【００５７】
図２０は、磁気転写用マスタ１５の製造方法を示すフローチャートである。
まず、表面が平坦化された基板１６上に軟磁性体膜を形成する（ステップＳＴＥＰ１）。例えば、軟磁性体膜は、ＦｅＣｏとする。この軟磁性体膜が磁気転写用マスタ１５の軟磁性体１４となる。
【００５８】
次に、軟磁性体膜上にカップリング剤を塗布する（ステップＳＴＥＰ２）。
次に、カップリング剤上に電子線レジストを塗布する（ステップＳＴＥＰ３）。
次に、電子ビーム描画装置などでサーボ情報に対応するパターンを電子線レジストに描画する（ステップＳＴＥＰ４）。
【００５９】
次に、サーボ情報に対応するパターンを形成するために、そのパターン以外の電子線レジストを除去する（ステップＳＴＥＰ５）。
次に、軟磁性体膜をエッチングする（ステップＳＴＥＰ６）。例えば、Ａｒガスの環境下において軟磁性体膜をエッチングする。
【００６０】
次に、軟磁性体膜上の電子線レジストを除去する（ステップＳＴＥＰ７）。
次に、強磁性体膜をスパッタリングにより形成する（ステップＳＴＥＰ８）。例えば、厚さ１００ｎｍのＤｙＦｅＣｏ（希土類遷移金属アモルファス合金）の強磁性体膜を形成する。
【００６１】
次に、強磁性体膜を隣の軟磁性体膜の表面まで研磨し平坦化する（ステップＳＴＥＰ９）。例えば、ＣＭＰにより強磁性体膜を研磨する。
次に、平坦化した軟磁性体膜及び強磁性体膜の上に保護膜を形成する（ステップＳＴＥＰ１０）。例えば、厚さ２ｎｍのＳｉＮの保護膜を形成する。
【００６２】
そして、強磁性体膜を着磁する（ステップＳＴＥＰ１１）。例えば、ＶＳＭにより強磁性体膜を着磁する。
なお、上記実施形態では、サーボ情報を垂直記録媒体に磁気転写する構成であるが、サーボ情報以外の所定情報（例えば、音声情報や画像情報など）を垂直記録媒体に磁気転写するように構成してもよい。
【００６３】
また、上記実施形態では、所定情報を垂直記録媒体に磁気転写する際の外部磁界をＮ極マグネット５及びＳ極マグネット６により発生させる構成であるが、所定情報を垂直記録媒体に磁気転写する際の外部磁界を電磁石により発生させてもよい。
【００６４】
また、上記実施形態では、電子線レジストを使用してサーボ情報に対応する凹凸を基板に形成する構成であるが、レーザ、電子ビーム、イオンビーム、または機械加工などを使用してサーボ情報に対応する凹凸を基板に形成してもよい。
【００６５】
また、上記軟磁性体膜や上記強磁性体膜の形成方法は、真空蒸着法、イオンプレーティング法、ＣＶＤ（Ｃｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などスパッタリングに限定されない。
【００６６】
また、磁気転写用マスタ１の基板２の材質は、ガラスやＡｌなど、Ｎｉに限定されない。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。
【図２】本実施形態の垂直記録媒体の製造方法のフローチャートを示す図である。
【図３】垂直記録媒体の初期化後の磁化方向を示す図である。
【図４】本実施形態の垂直記録媒体の製造方法の磁気転写の様子を示す図である。
【図５】磁気転写終了後の垂直記録媒体の磁化方向とその垂直記録媒体に記録される情報の再生波形を示す図である。
【図６】垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されていないときのサーボ情報のＲＲＯを示す図である。
【図７】垂直記録媒体に偏芯補正情報が記録されているときのサーボ情報のＲＲＯを示す図である。
【図８】磁気転写用マスタにより垂直記録媒体の両面にサーボ情報を一括で記録する場合の垂直記録媒体の製造方法を説明するための図（その１）である。
【図９】磁気転写用マスタにより垂直記録媒体の両面にサーボ情報を一括で記録する場合の垂直記録媒体の製造方法を説明するための図（その２）である。
【図１０】磁気転写用マスタにより垂直記録媒体の両面にサーボ情報を一括で記録する場合の垂直記録媒体の製造方法を説明するための図（その３）である。
【図１１】磁気転写用マスタにより垂直記録媒体の両面にサーボ情報を一括で記録する場合の垂直記録媒体の製造方法を説明するための図（その４）である。
【図１２】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法のフローチャートを示す図である。
【図１３】サーボ情報のパターンの一例を示す図である。
【図１４】サーボ情報のパターンの他の例を示す図である。
【図１５Ａ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その１）である。
【図１５Ｂ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その２）である。
【図１５Ｃ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その３）である。
【図１５Ｄ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その４）である。
【図１５Ｅ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その５）である。
【図１５Ｆ】本発明の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法を説明するための図（その６）である。
【図１６】本発明の他の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。
【図１７】本発明の他の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法のフローチャートを示す図である。
【図１８】本発明の他の実施形態の磁気転写用マスタの他の製造方法のフローチャートを示す図である。
【図１９】本発明のさらに他の実施形態の磁気転写用マスタを示す図である。
【図２０】本発明のさらに他の実施形態の磁気転写用マスタの製造方法のフローチャートを示す図である。
【図２１】従来の磁気転写用マスタを示す図である。
【図２２】従来の磁気転写用マスタにより情報を垂直記録媒体に記録する際に生じる磁束及びその垂直記録媒体の再生波形を示す図である。
【図２３】従来の磁気転写用マスタにより情報を垂直記録媒体に記録する際の外部磁界が大きい場合の磁束を示す図である。
【図２４】従来の垂直記録媒体の製造方法に使用される磁気転写用マスタ及びその磁気転写用マスタにより情報が記録された垂直記録媒体の再生波形を示す図である。
【図２５】磁気ヘッドにより情報が記録される磁気ディスクの再生波形を示す図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  磁気転写用マスタ
２  基板
３  強磁性体
４  垂直記録媒体
５  Ｎ極マグネット
６  Ｓ極マグネット
７  垂直記録媒体
８  サーボ情報
９  ウエハー
１０  レジスト
１１  Ｎｉ
１２  強磁性体膜
１３  磁気転写用マスタ
１４  軟磁性体
１５  磁気転写用マスタ
１６  基板
２１０  基板
２１１  軟磁性体
２１２  磁気転写用マスタ
２１３  垂直記録媒体
２１４  再生波形
２１５  基板
２１６  強磁性体
２１７  磁気転写用マスタ
２１８  磁界強度
２１９  再生波形
【図２】
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【図３】
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【図６】
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【図７】
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【図９】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５Ａ】
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【図１５Ｂ】
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【図１７】
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【図１８】
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【図２０】
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【図２４】
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【図２５】
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【図１】
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【図４】
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【図５】
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【図８】
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【図１０】
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【図１５Ｃ】
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【図１５Ｄ】
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【図１５Ｅ】
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【図１５Ｆ】
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【図１６】
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【図１９】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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