(57)【要約】      （修正有）【課題】  ワークディスタンスの範囲に対応して変倍範囲を大きく設定でき、ワークディスタンスの変化に適切に変倍対応できる鏡筒及び撮像装置を提供すること。【解決手段】  筒状部３を有するマウントユニット１と、この筒状部３の外周部分に粗動調整機構（３ａ，１１ａ）を介して係合された第１の鏡筒ユニット１０と、このユニット１０の内周部分に微動調整機構（１２ａ，２２ａ）を介して係合された第２の鏡筒ユニット２０と、このユニット２０の内部に配置されたレンズユニット３０とを有し、第１，第２の鏡筒ユニットの粗動，微動調整機構を利用してレンズユニット３０を光軸方向に適宜に移動させて所望の倍率に調整できるように構成した。【選択図】図１
2007322964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより倍率を変倍調整することを特徴とする鏡筒。
【請求項２】
一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットと、マウントユニットの、マウント部とレンズユニットとの間の所望部分に、光軸に対してほぼ直角方向に照明光を導入するための光源を保持するために設けられた光源保持部と、光源保持部に対応するマウントユニット内部に配置され、光源保持部から導入される照明光を光軸方向に反射させると共に被写体からの反射光を直進させるように構成されたビームスプリットユニットとを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより倍率を変倍調整することを特徴とする鏡筒。
【請求項３】
一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に配置された第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具備し、前記第１の鏡筒ユニットを、長さの異なる複数の鏡筒ユニットにて交換可能に構成し、第１の鏡筒ユニットの交換及び第２の鏡筒ユニットの微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより所望の倍率に調整することを特徴とする鏡筒。
【請求項４】
前記第２の鏡筒ユニットに対して焦点距離の異なるレンズユニットを着脱可能に構成したことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の鏡筒。
【請求項５】
前記粗動調整機構を直進的に移動可能なるように構成し、第１の鏡筒ユニットを光軸方向に直進的に移動させることを特徴とする請求項１又は２に記載の鏡筒。
【請求項６】
前記粗動調整機構及び微動調整機構をネジ，ヘリコイドなどの回転構造にて構成し、粗動調整機構では移動ピッチが粗く、微動調整機構では移動ピッチが細かくなるように設定したことを特徴とする請求項１又は２に記載の鏡筒。
【請求項７】
前記第１の鏡筒ユニットをマウントユニットに対し、第２の鏡筒ユニットを第１の鏡筒ユニットに対し、それぞれ着脱可能に構成したことを特徴とする請求項１又は２に記載の鏡筒。
【請求項８】
一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具えた鏡筒と、鏡筒におけるマウントユニットのマウント部に結合された光学センサを含むカメラ部とを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることによりカメラ部における光学センサでの撮像倍率を変倍可能にしたことを特徴とする撮像装置。
【請求項９】
前記鏡筒におけるマウントユニットに光源保持部を配置すると共に、光源保持部に対応するマウントユニット内部にビームスプリットユニットを配置してなり、光源保持部から導入される照明光をビームスプリットユニットにてレンズユニットの光軸方向に反射させると共にレンズユニットを介した被写体からの反射光がビームスプリットユニットを透過してカメラ部の光学センサに入射させることを特徴とする請求項８に記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は変倍機能を有する鏡筒及び撮像装置に関し、特に画像処理により被検査部品の表面状態などを検査する検査システムに適用される鏡筒及び撮像装置の変倍機能性の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種検査システムは、被検査部品に光を照射し、その反射光を光学センサとしてのＣＣＤ（電荷結合素子）を含むカメラなどにより撮像し、正常な部品の撮像データと比較することによって被検査部品の良否を判定するように構成されている。
【０００３】
このような検査システムに適用される撮像装置は、例えば図６に示すように構成されている。同図において、撮像装置Ａは鏡筒Ｂと、鏡筒Ｂに結合された光学センサＳを内蔵するカメラ部Ｃとから構成されている。上述の鏡筒Ｂは、例えばマウントユニット１と、マウントユニット１の内部に配置されたレンズユニット３０とから構成されている。特に、マウントユニット１は、一方に標準規格化されたマウント部２と、他方に筒状部３とを一体的に形成して構成されており、筒状部３の内部には支持部３１にレンズ３２を固定してなるレンズユニット３０が固定的に配置されている。このレンズユニット３０において、レンズ３２は倍率が１倍前後で用いる固定焦点レンズが適用されている。
尚、鏡筒Ｂのマウント部２は、それにカメラ部Ｃを結合した状態において、レンズ３２とカメラ部Ｃの光学センサＳとの距離（バックフォーカス）が一定となるように構成されている。
【０００４】
この撮像装置Ａによる被写体（以下、ワークと呼称する）Ｗの検査は次のように行われる。尚、撮像装置Ａは、ワークＷの撮像倍率が例えば１倍程度となるように、マウントユニット１の先端部とワークＷとの距離（以下、ワークディスタンスと呼称する）がＷＤ１となるように配置されている。
まず、ワークＷがレンズユニット３０の対向部分に移送され、停止すると、ワークＷは、図示しない照明装置によって照明され、レンズ３２を介してカメラ部Ｃの光学センサＳにて撮像される。この撮像データはコンピュータなどに予め記憶されている標準データと比較され、表面状態（形態，傷，欠けなど）が適切に検査される。
【０００５】
ところで、この検査システムにおいて、検査されるワークＷの形態、例えばワーク高さＨ１が一定の場合には、予め、ワークディスタンスＷＤ１の時にのみ光学センサＳでの撮像画像の焦点が合うように設定されているために、何ら問題なく適切に検査を行うことができる。
しかし乍ら、ワーク高さがＨ２のように高いワークＷが移送されると、ワークディスタンスはＷＤ１より小さいＷＤ２となる。このために、光学センサＳによるワークＷの撮像倍率は、レンズユニット３０が固定焦点のレンズであって、バックフォーカスが一定であることから、ワークディスタンスＷＤ１の時に設定された１倍よりも大きくなる。この結果、光学センサＳでの撮像画像は焦点が合わなくなって「ボケた」状態となり、撮像データに基づく検査が不可能ないし信頼性の低い検査しかできなくなる。
従って、ワークディスタンスＷＤ２の時に、適正な撮像画像の得られる新たな鏡筒に変更する必要が生ずるものの、例えば量産工程では作業への悪影響が避けられないという問題がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従って、従来においては、このような問題を解決するために、マウントユニット１とレンズユニット３０との間にネジによる微動調整機構を介在させた鏡筒が提案されている。尚、微動調整機構におけるネジピッチは微調整できるように細かく設定されている。
このために、ワークディスタンスＷＤの変化が極めて小さい場合には、変倍範囲も極めて小さいことから、レンズユニット３０を少しだけ回転させることによって容易に焦点の合った適切な撮像画像が得られるように調整できる。
しかし乍ら、ワークディスタンスＷＤの変化が大きい場合には、変倍範囲も大きくなることから、焦点の合った適切な撮像画像を得るためにはレンズユニット３０を何回も回転させなければならないし、特に、ワークディスタンスＷＤが短くなると、撮像装置Ａ自体を動かすことによって焦点調整しなければならない。従って、調整が極めて面倒であるばかりでなく、調整に多大の時間を要し、ワークディスタンスＷＤの変化が大きい量産工程などへの適用には困難を伴うものである。
【０００７】
又、ワークディスタンスＷＤの変化に適切に対応するためには、レンズユニット３０の回転範囲を小さくしなければならないことから、実際的には変倍範囲を大きく設定することはできない。従って、小さな変倍範囲での利用しかできず、用途が著しく制約されるという問題もある。
それ故に、本発明の目的は、変倍範囲を大きく設定できる上、ワークディスタンスの変化にも適切に変倍対応できる鏡筒及び撮像装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
従って、本発明は上述の目的を達成するために、一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより倍率を変倍調整することを特徴とする。
【０００９】
又、本発明の第２の発明は、一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットと、マウントユニットの、マウント部とレンズユニットとの間の所望部分に、光軸に対してほぼ直角方向に照明光を導入するための光源を保持するために設けられた光源保持部と、光源保持部に対応するマウントユニット内部に配置され、光源保持部から導入される照明光を光軸方向に反射させると共に被写体からの反射光を直進させるように構成されたビームスプリットユニットとを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより倍率を変倍可能にしたことを特徴とする。
【００１０】
又、本発明の第３の発明は、一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部に配置された第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットに微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具備し、前記第１の鏡筒ユニットを、長さの異なる複数の鏡筒ユニットにて交換可能に構成し、第１の鏡筒ユニットの交換及び第２の鏡筒ユニットの微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることにより所望の倍率に調整することを特徴とする。
【００１１】
又、本発明の第４の発明は、第２の鏡筒ユニットに対して焦点距離の異なるレンズユニットを着脱可能に構成したことを特徴とし、第５の発明は、粗動調整機構を直進的に移動可能なるように構成し、第１の鏡筒ユニットを光軸方向に直進的に移動させることを特徴とし、第６の発明は、粗動調整機構及び微動調整機構をネジ，ヘリコイドなどの回転構造にて構成し、粗動調整機構では移動ピッチが粗く、微動調整機構では移動ピッチが細かくなるように設定したことを特徴とし、第７の発明は、第１の鏡筒ユニットをマウントユニットに対し、第２の鏡筒ユニットを第１の鏡筒ユニットに対し、それぞれ着脱可能に構成したことを特徴とする。
【００１２】
さらに、本発明の第８の発明は、撮像装置であって、一方にマウント部を、他方に筒状部を有するマウントユニットと、マウントユニットの筒状部の外周部分に粗動調整機構を介して係合された筒状の第１の鏡筒ユニットと、第１の鏡筒ユニットの内周部分に微動調整機構を介して係合された筒状の第２の鏡筒ユニットと、第２の鏡筒ユニットの内部に配置されたレンズユニットとを具えた鏡筒と、鏡筒におけるマウントユニットのマウント部に結合された光学センサを含むカメラ部とを具備し、前記第１及び第２の鏡筒ユニットをそれぞれの粗動及び微動調整機構を利用してレンズユニットを光軸方向に適宜に移動させることによりカメラ部における光学センサでの撮像倍率を変倍可能にしたことを特徴とする。
【００１３】
又、本発明の第９の発明は、撮像装置であって、鏡筒におけるマウントユニットに光源保持部を配置すると共に、光源保持部に対応するマウントユニット内部にビームスプリットユニットを配置してなり、光源保持部から導入される照明光をビームスプリットユニットにてレンズユニットの光軸方向に反射させると共にレンズユニットを介した被写体からの反射光がビームスプリットユニットを透過してカメラ部の光学センサに入射させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
このように本発明によれば、鏡筒は粗動調整機構を有する第１の鏡筒ユニットと、微動調整機構を有する第２の鏡筒ユニットとを含んで構成されているために、大きな変倍は第１の鏡筒ユニットにおける粗動調整機構を利用して粗調整し、小さな変倍は第２の鏡筒ユニットにおける微動調整機構を利用して微調整することになる。従って、仮にワークディスタンスが変化してもその変化量に応じて両調整機構を適宜に利用することにより倍率を簡単かつ短時間で所望の倍率に調整でき、焦点調整もできる。
又、第１の鏡筒ユニットに照明光の導入部分及びこの導入部分から導入される照明光をレンズユニットの光軸方向に反射し、戻り光を透過させる機能を有するビームスプリットユニットを配設すれば、被写体の照明をレンズユニットの光軸に沿う状態で、いわゆる同軸落射照明を行うことができるために、被写体の撮像を確実に行うことができるのみならず、検査ユニットに適用した場合には、検査精度の向上が期待できる。
特に、第１の鏡筒ユニットにおける粗動調整機構を直進的に移動可能なるように構成すれば、仮にワークディスタンスが大きく変化し倍率を大きく変倍しなければならなくなっても、第１の鏡筒ユニットを直進的に移動させることによって簡単かつ速やかに所望倍率に近い倍率にまで変更でき、量産工程においても短時間での対応が可能になる。
【００１５】
又、レンズユニットは第２の鏡筒ユニットに対して着脱可能に構成すれば、適宜に焦点距離の異なるレンズユニットに交換することができる。このようにレンズの焦点距離を変えるということはいわゆるズームレンズの機能に類似させるということであり、例えばワークディスタンスは固定しておいて倍率だけを変えたいという要望に応えることができる。
その上、鏡筒における粗動調整機構及び微動調整機構をネジ，ヘリコイドなどの回転構造にて構成し、粗動調整機構では移動ピッチを粗く、微動調整機構では移動ピッチを細かくなるように設定すれば、仮にワークディスタンスが大きく変化し倍率を大きく変倍しなければならなくなっても、第１の鏡筒ユニットを粗く回転させることで簡単に大きな倍率に変更でき、その上で微動調整機構による微細な回転調整により適正な倍率に調整できる。その際に、焦点調整も同時に行うことができる。
特に、広い変倍範囲を必要としない場合には、第２の鏡筒ユニットにおいて、変倍範囲の異なる複数の鏡筒ユニットを交換可能に構成すれば、例えば変倍範囲が０．５〜０．７５の鏡筒ユニットを、例えば変倍範囲が０．７５〜１．０の鏡筒ユニットに交換することで連続変倍と同じ効果を期待できる。
【００１６】
本発明における撮像装置は、粗動調整機構及び微動調整機構を有する鏡筒に光学センサを含むカメラ部を結合して構成されているために、この撮像装置を量産工程におけるワークの検査システムに適用すれば、仮にワークディスタンスが変化してもその変化量に応じてそれぞれの調整機構を適切に利用することによって簡単かつ迅速に変倍操作をすることができる。従って、量産工程での作業への悪影響を最小限に止めることができる。
さらに、この装置に同軸落射照明機能を付加すれば、被写体をほぼ均一に照明できるために、検査精度，検査の信頼性を向上させることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
次に、本発明の第１の実施例について図１を参照して説明する。同図において、Ａは撮像装置であって、例えば鏡筒Ｂと、鏡筒Ｂに結合されたカメラ部Ｃとから構成されている。上述の鏡筒Ｂは、例えばマウントユニット１と、粗動調整機構を有する第１の鏡筒ユニット１０と、微動調整機構を有する第２の鏡筒ユニット２０と、第２の鏡筒ユニット２０の内部に配置されたレンズユニット３０と、マウントユニット１に配置された光源保持部４０と、光源保持部４０に対応するマウントユニット内部に配置されたビームスプリットユニット５０とから構成されている。カメラ部Ｃは、電荷結合素子ＣＣＤなどの光学センサＳを含んで構成されている。
【００１８】
上述の鏡筒Ｂにおけるマウントユニット１は、例えば一方にマウント部２を、他方に筒状部３を有しており、それぞれを一体的に形成して全体的にほぼ筒状に構成されている。マウント部２の外周部分にはカメラ部Ｃを結合するためのネジ２ａが形成されている。又、筒状部３の外周部分には粗動調整機構の一部を構成する、例えば軸方向に直線的に延びる溝３ａが形成されている。
又、鏡筒Ｂにおける第１の鏡筒ユニット１０は、例えばマウントユニット１の筒状部３の外周部分に重ね合わされる第１の筒状部１１と、第１の筒状部１１に一体的に形成され、第１の筒状部１１より小さな内径を有する第２の筒状部１２と、第２の筒状部１２を後述する第２の鏡筒ユニット２０に固定するための止めネジ１３とから構成されている。特に、第１の筒状部１１の内周部分にはマウントユニット１の筒状部３に形成された溝３ａに係合する突起１１ａが形成されており、この溝３ａと突起１１ａとによって粗動調整機構を構成している。さらに、第２の筒状部１２の内周部分にはピッチの微細なネジ１２ａが形成されており、微動調整機構の一部を構成している。
【００１９】
又、鏡筒Ｂにおける第２の鏡筒ユニット２０は、例えば第１の筒状部２１と、第１の筒状部２１に一体的に形成され、第１の筒状部２１より大きな内径を有する第２の筒状部２２と、第１の筒状部２１と第２の筒状部２２との境界部分に形成された段差２３と、第２の筒状部２２の先端部分に一体的に形成された微動調整するための操作用のフランジ部２４とから構成されている。特に、少なくとも第２の筒状部２２の外周部分にはピッチの微細なネジ２２ａが形成されており、第１の鏡筒ユニット１０における第２の筒状部１２のネジ１２ａとの係合により微動調整機構を構成している。尚、それぞれのネジ１２ａ，２２ａのピッチは同一に形成されている。又、ネジ２２ａは必要に応じて第１の筒状部２１の外周部分にまで延在して形成することもできる。
【００２０】
又、鏡筒Ｂにおけるレンズユニット３０は、例えば支持部３１と、支持部３１に固定されたレンズ３２とから構成されており、第２の鏡筒ユニット２０の内部に支持部３１の後端が段差２３に当たるように位置決めして配置されている。レンズユニット３０は第２の鏡筒ユニット２０における第２の筒状部２２の内周部分に固定的に配置することもできるが、第２の筒状部２２と支持部３１との当接部分にそれぞれネジを形成して着脱可能なるように構成することもできる。尚、このネジには、適宜に微動調整機能を付与することもできる。又、レンズ３２は単体もしくは複数の異なるレンズで構成されている。
上述のマウントユニット１には、マウント部２とレンズユニット３０との間の任意部分に窓孔を形成し、この窓孔に光源保持部４０がネジなどにより配置されている。この光源保持部４０は、例えばほぼ筒状に形成され、内部に後述する落射照明ユニットを収納する収納部４１と、取り付け時にマウントユニットの外周面に当接されるフランジ部４２とから構成されている。
さらに、光源保持部４０の取り付け部分に対応するマウントユニット１の内部にはビームスプリットユニット５０が配置されている。このビームスプリットユニット５０は、例えばマウントユニット１の内部に固定される支持部５１と、支持部５１に４５°の傾斜角度で固定されたハーフミラー５２とから構成されている。このハーフミラー５２は、光源保持部４０から導入される照明光Ｐを４５°反射させ、レンズユニット３０を介して図示しない被写体（ワーク）を照明し、ワークからの反射光を再びレンズユニット３０を介してハーフミラー５２を透過させる機能を有するものである。尚、ワークを、鏡筒Ｂを利用した同軸落射照明以外の方法で照明する場合には、光源保持部４０及びビームスプリットユニット５０は不要となり、省略できる。
【００２１】
次に、上述の撮像装置Ａの動作について図１〜図３を参照して説明する。尚、この撮像装置Ａは水平に配置されているが、検査対象のワークの配置姿勢に応じて垂直，斜めなど適宜の姿勢で配置することができる。
まず、図１に示すように、光源保持部４０から導入される照明光Ｐは、ビームスプリットユニット５０のハーフミラー５２で光軸方向に４５°反射され、レンズユニット３０を介して鏡筒Ｂの前方に位置するワーク（図示せず）を照明する。ワークからの反射光は再びレンズユニット３０を介してハーフミラー５２を透過してカメラ部Ｃの光学センサＳに入射され、ワークが初期設定された倍率で撮像される。この撮像データは、予めコンピュータなどに記憶された標準データと比較され、表面状態の適否が判定される。
【００２２】
ところで、ワークに対して撮像倍率を変更したい場合やワークが変わりそれに伴うワークディスタンスが変わる場合には、光学センサＳに結像する像は焦点がボケた状態になり、撮像データの信頼性が損なわれるのみならず、コンピュータに記憶された標準データとの比較・判断ができなくなる。このために、光学センサＳに望ましい状態の像が結像するように倍率及び焦点を適正に修正しなければならない。従って、図２に示すように、第１の鏡筒ユニット１０を図示の点線位置から実線位置まで移動（Ｌ１）させることにより大まかな倍率にまで簡単かつ迅速に変倍調整される。具体的には、第１の鏡筒ユニット１０における第１の筒状部１１及び／又は第２の筒状部１２を手によって光軸方向に対して平行な方向に直進的に移動させる。この動作は、マウントユニット１における筒状部３の外周部分に形成された溝３ａに第１の筒状部１１の内周部分に形成された突起１１ａが係合されることによって構成された粗動調整機構に利用して行われ、この際に、突起１１ａは溝３ａによってガイドされ、第１の筒状部１１及び／又は第２の筒状部１２を直進的に移動させることができる。尚、粗動調整が終了した段階において、第１の鏡筒ユニット１０における第１の筒状部１１をマウントユニット１における筒状部３に何らかの手段（例えばネジなど）にてロックすることが望ましい。
【００２３】
次に、図３に示すように、第２の鏡筒ユニット２０を利用して、最終的にベストな状態になるように微動調整される。具体的には、操作用のフランジ部２４を適宜に回転させることにより、第２の鏡筒ユニット２０は図示の点線位置から実線位置まで移動（Ｌ２）して微動調整され、所望の倍率に調整され、焦点調整される。この微動調整は、第２の筒状部２２の外周部分に形成されたネジ部２２ａと第１の鏡筒ユニット１０における第２の筒状部１２に形成されたネジ部１２ａとから構成された微動調整機構によって行われ、例えば図示しないモニターに映し出されたワーク画像を見ながら、フランジ部２４を微細に回転操作しながら所望の倍率に調整されると共に、焦点調整も行われる。調整後は、ネジ１３の締め付けにより第１の鏡筒ユニット１０における第２の筒状部１２と第２の鏡筒ユニット２０における第２の鏡筒ユニット２０における第２の筒状部２２とがロックされる。尚、焦点調整は、例えば装置全体を所望する倍率に対応する全長（ワーク〜光センサＳまでの距離）に概略調整し、図示しないモニターを見ながら微動調整して焦点を合わせることもできる。
以上の操作によって変倍調整及び焦点調整が完了することにより、カメラ部Ｃにおける光学センサＳには鮮明な画像が結像されるために、この画像データに基づくワークの表面状態の検査を精度よく確実に行うことができる。
【００２４】
次に、本発明の第２の実施例について図４を参照して説明する。この実施例の基本的な構成は図１に示す実施例と同じであり、異なる点は、光源保持部４０に同軸落射照明ユニット６０を取り付けたことである。
この同軸落射照明ユニット６０は、例えば第１の筒状部６１ａと第１の筒状部６１ａより外径の小さな第２の筒状部６１ｂとを有する本体部６１と、第１の筒状部６１ａの内部に配置された発光ダイオード６２と、発光ダイオード６２の前面側に配置されたレンズ６３と、第２の筒状部６１ｂの内部に配置されたガラスなどの透明な材料よりなる導光用のロッド６４とから構成されている。この同軸落射照明ユニット６０は光源保持部４０に、同軸落射照明ユニット６０の第２の筒状部６１ｂを光源保持部４０の収納部４１に収納することによって、取り付けられる。
尚、同軸落射照明ユニット６０からの照明光Ｐは、ビームスプリットユニット５０のハーフミラー５２によって光軸方向に４５°反射され、レンズユニット３０を介してワークを照明し、反射光はレンズユニットを介してハーフミラー５２を透過してカメラ部Ｃの光学センサＳに入射し、ワークの撮影像が結像される。
【００２５】
次に、本発明の第３の実施例について図５を参照して説明する。この実施例の基本的な構成は図１に示す実施例と同じであり、異なる点は、マウントユニット１に対して、変倍範囲（長さ）の異なる複数の第１の鏡筒ユニット１０を選択的に交換可能に構成したことである。
これらの第１の鏡筒ユニット１０は、例えば倍率が０．５〜０．７５倍の範囲で調整可能なユニットと、倍率が０．７５〜１．０の範囲で調整可能なユニットとの複数で構成し、用途に応じて選択的に利用される。
この実施例によれば、広い変倍範囲を必要としない場合や焦点調整を正確に行いたい場合には粗動調整を要せず微動調整のみでも対応できることから、変倍範囲の異なる複数のユニットを必要に応じて適宜に使い分けることにより連続変倍と同様の効果を持たせることが可能になる。
【００２６】
尚、本発明は何ら上記実施例に制約されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内において適宜に変更することが可能である。例えば本発明の鏡筒及び撮像装置は上述の検査装置以外の装置・システムなどに適用することもできる。又、鏡筒において、マウントユニットのマウント部は一体的に構成する他に、別ピースに構成することもできる。第１の鏡筒ユニットはマウントユニットの外周部分に配置する他に、内周部分に配置することもできるし、第２の鏡筒ユニットは第１の鏡筒ユニットの内周部分に配置する他に、外周部分に配置することもできる。粗動調整機構は溝と突起との係合による直進機構やネジ，ヘリコイドなどを利用した回転機構などの他に、マウントユニットの筒状部に対して第１の鏡筒ユニットの筒状部が摩擦係合するように構成することもできる。又、粗動調整及び微動調整は手動で行われているが、ワークディスタンスを検知しステッピングモータなどを利用して自動的に所望の倍率に調整させることもできる。さらには、レンズユニットを第２の鏡筒における筒状部に対して回転可能に構成し、それの回転によって微動調整することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明の第１の実施例を示す要部の側断面図である。
【図２】本発明の第１の実施例における粗動調整状態を示す側断面図である。
【図３】本発明の第１の実施例における微動調整状態を示す側断面図である。
【図４】本発明の第２の実施例を示す要部の側断面図である。
【図５】本発明の第３の実施例を示す要部の側断面図である。
【図６】従来例を示す要部の側断面図である。
【符号の説明】
【００２８】
Ａ      撮像装置
Ｂ      鏡筒
Ｃ      カメラ部
１      マウントユニット
２      マウント部
３      筒状部
３ａ    溝（粗動調整機構）
１０    第１の鏡筒ユニット
１１    第１の筒状部
１１ａ  突起（粗動調整機構）
１２    第２の筒状部
１２ａ  ネジ（微動調整機構）
２０    第２の鏡筒ユニット
２１    第１の筒状部
２２    第２の筒状部
２２ａ  ネジ（微動調整機構）
３０    レンズユニット
３１    支持部
３２    レンズ
４０    光源保持部
５０    ビームスプリットユニット
５２    ハーフミラー
６０    同軸落射照明ユニット
【図１】
2007322964.tif 000003
【図２】
2007322964.tif 000004
【図３】
2007322964.tif 000005
【図４】
2007322964.tif 000006
【図５】
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【図６】
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