(57)【要約】【課題】描画データを格納する記憶手段の容量を節約してコストダウンを図るとともに、所望のフレームデータを生成して描画処理を行うことのできる描画装置及び描画方法を提供する。【解決手段】ラスタ画像データを重複領域を有する複数の領域Ａ＋ＡＢ、ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ、ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ、ＣＤ＋Ｄに分割し、それぞれを圧縮した分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）をメモリ８４に記憶させた後、分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）を解凍してラスタ画像データを復元し、ラスタ画像データからミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）を生成し、ミラーデータＭ（Ａ）の全て及びミラーデータＭ（ＡＢ）の一部を用いてフレームデータを生成した後、次の分割圧縮データＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）からフレームデータを生成する処理を繰り返す。【選択図】図９
2007101617.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画素子が配列されてなる描画点形成部を前記描画面の所定の走査方向に相対移動させるとともに、前記描画素子の配置に対応した複数の描画データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次供給し、前記描画点群を時系列的に形成することで前記描画面に二次元画像を形成する描画装置であって、
前記二次元画像を前記走査方向に対する複数の領域に分割し、隣接する少なくとも二組の分割領域の画像を形成する分割描画データを記憶する分割描画データ記憶手段と、
前記分割描画データ記憶手段に記憶された隣接する二組の前記分割領域の画像を形成する前記分割描画データの中、前記走査方向の上流側の前記分割領域に係る一方の前記分割描画データを用いて前記フレームデータを生成するとともに、前記一方の分割描画データと、前記走査方向の下流側の前記分割領域に係る他方の前記分割描画データとを用いて前記フレームデータを生成するフレームデータ生成手段と、
を備えることを特徴とする描画装置。
【請求項２】
請求項１記載の装置において、
複数の前記描画素子は、二次元状に配列されることを特徴とする描画装置。
【請求項３】
請求項１記載の装置において、
複数の前記描画素子は、前記走査方向に傾斜して配列されることを特徴とする描画装置。
【請求項４】
請求項１記載の装置において、
前記分割描画データ記憶手段は、圧縮された状態で前記分割描画データを記憶することを特徴とする描画装置。
【請求項５】
請求項１記載の装置において、
前記下流側の前記分割領域は、さらに下流側の分割領域との重複領域からなることを特徴とする描画装置。
【請求項６】
複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画素子が配列されてなる描画点形成部を前記描画面の所定の走査方向に相対移動させるとともに、前記描画素子の配置に対応した複数の描画データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次供給し、前記描画点群を時系列的に形成することで前記描画面に二次元画像を形成する描画方法であって、
前記二次元画像を前記走査方向に対する複数の領域に分割し、隣接する少なくとも二組の分割領域の画像を形成する分割描画データの中、前記走査方向の上流側の前記分割領域に係る一方の前記分割描画データを用いて前記フレームデータを生成するとともに、前記一方の分割描画データと、前記走査方向の下流側の前記分割領域に係る他方の前記分割描画データとを用いて前記フレームデータを生成することを特徴とする描画方法。
【請求項７】
請求項６記載の方法において、
前記分割描画データは、圧縮データからなることを特徴とする描画方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画素子が配列されてなる描画点形成部を前記描画面の所定の走査方向に相対移動させるとともに、前記描画素子の配置に対応した複数の描画データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次供給し、前記描画点群を時系列的に形成することで前記描画面に二次元画像を形成する描画装置及び描画方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、描画データに基づき、所望の二次元画像を描画面上に形成する描画装置が種々知られている。
【０００３】
このような描画装置として、例えば、デジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）等の空間光変調素子を利用し、描画データに応じて前記空間光変調素子により光ビームを変調して露光を行う露光装置が種々提案されている。
【０００４】
ＤＭＤは、シリコン等の半導体基板上に二次元状に配列される多数のメモリセル（ＳＲＡＭ）のそれぞれに、微小なマイクロミラーを配置して構成されたものであり、描画データに従って各メモリセルに蓄積される電荷の静電気力によりマイクロミラーを傾斜させて反射面の角度を変化させ、この反射面の角度変化により描画面上の所望の位置に描画点を形成して画像を形成することができる。
【０００５】
上記のＤＭＤを用いた露光装置としては、例えば、ＤＭＤを露光面に対して所定の走査方向に相対移動させるとともに、その相対移動に応じてＤＭＤの複数のメモリセルに描画データを供給し、描画データに基づく各マイクロミラーの傾斜に対応した描画点群を露光面に時系列的に形成することにより所望の画像を描画する露光装置が提案されている（特許文献１）。
【０００６】
この露光装置では、ＤＭＤを走査方向に対して所定の角度だけ傾け、走査方向と直交する方向に対する露光面上でのマイクロミラーの間隔が狭くなるように設定することで、走査方向と直行する方向の画像の解像度を高くすることができる。また、走査方向に対する画像の解像度は、露光ヘッドの移動速度又は描画データによる各マイクロミラーの変調速度によって調整することができる。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−５６１００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、ＤＭＤを構成する複数のマイクロミラーは、二次元状に配列されており、各マイクロミラーに対して描画データを設定するためには、マイクロミラーの配置及び解像度を考慮したデータ処理が必要である。この場合、露光面積が大きく、あるいは、露光する画像の解像度が高いと、露光に必要な描画データの量も膨大となるため、データ処理のために描画データを格納する記憶手段の容量を十分に確保しておかなければならない。
【０００９】
本発明は、前記の課題に鑑みてなされたものであり、描画データの量が多い場合であっても、描画データを格納する記憶手段の容量を節約してコストダウンを図ることができるとともに、記憶手段に記憶された描画データから描画点形成部に供給されるフレームデータを生成して描画処理を行うことのできる描画装置及び描画方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に係る描画装置は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画素子が配列されてなる描画点形成部を前記描画面の所定の走査方向に相対移動させるとともに、前記描画素子の配置に対応した複数の描画データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次供給し、前記描画点群を時系列的に形成することで前記描画面に二次元画像を形成する描画装置であって、
前記二次元画像を前記走査方向に対する複数の領域に分割し、隣接する少なくとも二組の分割領域の画像を形成する分割描画データを記憶する分割描画データ記憶手段と、
前記分割描画データ記憶手段に記憶された隣接する二組の前記分割領域の画像を形成する前記分割描画データの中、前記走査方向の上流側の前記分割領域に係る一方の前記分割描画データを用いて前記フレームデータを生成するとともに、前記一方の分割描画データと、前記走査方向の下流側の前記分割領域に係る他方の前記分割描画データとを用いて前記フレームデータを生成するフレームデータ生成手段と、
を備えることを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る描画方法は、複数の描画点からなる描画点群を描画面上に形成する複数の描画素子が配列されてなる描画点形成部を前記描画面の所定の走査方向に相対移動させるとともに、前記描画素子の配置に対応した複数の描画データからなるフレームデータを前記描画点形成部に順次供給し、前記描画点群を時系列的に形成することで前記描画面に二次元画像を形成する描画方法であって、
前記二次元画像を前記走査方向に対する複数の領域に分割し、隣接する少なくとも二組の分割領域の画像を形成する分割描画データの中、前記走査方向の上流側の前記分割領域に係る一方の前記分割描画データを用いて前記フレームデータを生成するとともに、前記一方の分割描画データと、前記走査方向の下流側の前記分割領域に係る他方の前記分割描画データとを用いて前記フレームデータを生成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、描画する二次元画像を描画点形成部の走査方向に対する複数の領域に分割し、隣接する二組の分割領域の画像を形成する分割描画データを記憶手段に記憶させてデータ処理を行うことでフレームデータを生成することができる。この場合、二次元画像を形成する全ての描画データを記憶手段に記憶させることなくフレームデータを生成することができるため、記憶手段の容量を節約してコストダウンを図ることができる。
【００１３】
また、分割描画データを圧縮して保持するとともに、一度に全ての描画データを解凍することなくデータ処理することができるため、記憶手段の容量をさらに節約することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、本実施形態の露光記録システム４の構成を示す。
【００１５】
露光記録システム４は、露光する二次元画像をベクトルデータとして出力するＣＡＤ装置６と、ＣＡＤ装置６から送信されたベクトルデータをビットマップデータであるラスタ画像データに変換した後、ラスタ画像データを二次元画像の複数の領域に対応させて分割し、分割された各領域のラスタ画像データを、例えば、ランレングス符号化処理し、分割圧縮データとして出力するラスタイメージプロセッササーバ（ＲＩＰサーバ）８と、ＲＩＰサーバ８から送信された各分割圧縮データを順次解凍してラスタ画像データを復元し、復元したラスタ画像データから後述するマイクロミラー（描画素子）毎の時系列データであるミラーデータを生成した後、ミラーデータを描画点形成部を構成する複数のマイクロミラーに対するフレームデータに変換し、このフレームデータに基づき、基板（記録媒体）の描画面に画像を露光記録（形成）する露光記録装置１０と、ＣＡＤ装置６、ＲＩＰサーバ８及び露光記録装置１０の管理制御を行うシステム管理サーバ１１とから基本的に構成される。
【００１６】
ここで、露光記録装置１０は、描画データに基づいて積層プリント配線基板等の露光処理を行う装置であり、図２に示すように構成される。
【００１７】
すなわち、露光記録装置１０は、複数の脚部１２によって支持された変形の極めて小さい定盤１４を備え、この定盤１４上には、２本のガイドレール１６を介して露光ステージ１８が矢印方向に往復移動可能に設置される。露光ステージ１８には、感光材料が塗布された長方形状の基板Ｆが吸着保持される。基板Ｆの感光材料塗布面が描画面である。
【００１８】
定盤１４の中央部には、ガイドレール１６を跨ぐようにして門型のコラム２０が設置される。このコラム２０の一方の側部には、露光ステージ１８に対する基板Ｆの設定位置のずれ、変形等のアラインメント情報を取得するＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂが固定され、コラム２０の他方の側部には、基板Ｆに対して画像を露光記録する複数の露光ヘッド２４ａ〜２４ｊが位置決め保持されたスキャナ２６が固定される。
【００１９】
露光ヘッド２４ａ〜２４ｊは、基板Ｆの移動方向（矢印方向）と直交する方向に２列で千鳥状（略マトリクス状）に配列される。
【００２０】
図３は、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊの構成を示す。露光ヘッド２４ａ〜２４ｊには、例えば、光源ユニット２８を構成する複数の半導体レーザから出力されたレーザビームＬが合波され光ファイバ３０を介して導入される。レーザビームＬが導入された光ファイバ３０の出射端には、ロッドレンズ３２、反射ミラー３４及び描画点形成部としてのデジタル・マイクロミラー・デバイス（ＤＭＤ）３６が順に配列される。
【００２１】
ここで、ＤＭＤ３６は、図４に示すように、ＳＲＡＭアレイ３８の上に格子状に配列された多数のマイクロミラー４０（描画素子）を揺動可能な状態で配置したものであり、各マイクロミラー４０の表面には、アルミニウム等の反射率の高い材料が蒸着されている。ＳＲＡＭアレイ３８にＤＭＤコントローラ４２からフレームデータに従ったデジタル信号が書き込まれると、その信号に応じて各マイクロミラー４０が所定方向に傾斜し、その傾斜状態に従ってレーザビームＬのオンオフ状態が実現される。
【００２２】
各マイクロミラー４０のオンオフ状態が制御されたＤＭＤ３６によって反射されたレーザビームＬの射出方向には、拡大光学系である第１結像光学レンズ４４、４６、ＤＭＤ３６の各マイクロミラー４０に対応して多数のレンズを配設したマイクロレンズアレー４８、ズーム光学系である第２結像光学レンズ５０、５２が順に配列される。なお、マイクロレンズアレー４８の前後には、迷光を除去するとともに、レーザビームＬを所定の径に調整するためのマイクロアパーチャアレー５４、５６が配置される。
【００２３】
各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊに組み込まれるＤＭＤ３６は、図５及び図６に示すように、高い解像度を実現すべく、基板Ｆの移動方向（矢印Ｙ方向）に対して所定角度傾斜した状態に設定される。すなわち、ＤＭＤ３６を基板Ｆの移動方向に対して傾斜させることにより、ＤＭＤ３６を構成するマイクロミラー４０の矢印Ｙ方向と直交する方向（矢印Ｘ方向）に対するマイクロミラー４０の間隔ΔＸを狭くし、これによって、矢印Ｘ方向に記録される画像の解像度を高くすることができる。矢印Ｙ方向の解像度は、基板Ｆの矢印Ｙ方向に対する移動速度及び／又は各マイクロミラー４０の変調速度によって調整することができる。なお、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊにより一度に露光される範囲である露光エリア５８ａ〜５８ｊは、画像に露光ヘッド２４ａ〜２４ｊ間の継ぎ目が生じることのないよう、矢印Ｘ方向に重畳して設定される。
【００２４】
露光記録装置１０の制御回路は、図１に示すように、ＲＩＰサーバ８から供給された分割圧縮データを解凍して分割されたラスタ画像データを復元し、ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂを用いて取得した基板Ｆの設定位置のずれ、変形等のアラインメント情報及び各マイクロミラー４０の描画面に対するミラー配置情報に基づき、基板Ｆに対するレーザビームＬのビーム軌跡情報を生成し、このビーム軌跡情報に従い、各マイクロミラー４０によって基板Ｆに時系列的に記録されるミラー単位の描画データであるミラーデータをラスタ画像データから生成するデータ処理部７０と、データ処理部７０より供給されたミラーデータから、各ＤＭＤ３６の露光エリア５８ａ〜５８ｊ毎のフレームデータを生成し、各ＤＭＤ３６のマイクロミラー４０を駆動して基板Ｆに画像を露光記録する露光部７２とを備える。
【００２５】
データ処理部７０は、分割圧縮データの解凍処理、ビーム軌跡情報の生成処理、及び、ミラーデータの生成処理を行うＣＰＵ７４を有する。ＣＰＵ７４には、ＲＩＰサーバ８から送信された分割圧縮データを受信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）７６と、ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂを用いて基板Ｆのアライメント情報を受信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）７８と、受信した分割圧縮データをハードディスクドライブ（ＨＤＤ）８０を介して記憶するハードディスク（ＨＤ）８２と、主記憶装置であって、ＨＤ８２から読み出した分割圧縮データ、基板Ｆのアラインメント情報、各マイクロミラー４０の基板Ｆに対するミラー配置情報、アラインメント情報及びミラー配置情報から生成されるビーム軌跡情報、分割圧縮データを解凍して復元されるラスタ画像データ、及び、ラスタ画像データをビーム軌跡情報に基づいて処理して得られるミラーデータを記憶するメモリ８４（分割描画データ記憶手段）と、生成されたミラーデータを露光部７２に送信するインタフェース（Ｉ／Ｆ）８６とがバス８８を介して接続される。
【００２６】
露光部７２は、データ処理部７０のＩ／Ｆ８６から送信されたミラーデータを一時記憶するメモリであるバッファ９０と、バッファ９０に記憶されたミラーデータを、各ＤＭＤ３６を構成する複数のマイクロミラー４０の配列に従ったフレームデータに変換するフレームデータ生成部９２と、フレームデータを一時記憶するメモリであるバッファ９４と、バッファ９４に記憶されたフレームデータに基づき、ＤＭＤ３６を構成するマイクロミラー４０を制御し、基板Ｆに画像を露光記録するＤＭＤコントローラ４２とを備える。フレームデータ生成部９２は、バッファ９０に記憶されたミラーデータに対して転置処理を行い、ＤＭＤ３６を構成する複数のマイクロミラー４０の配列に従ったフレームデータを生成する。
【００２７】
本実施形態に係る露光記録システム４は、基本的には以上のように構成されるものであり、次に、その動作並びに作用効果について、図７に示すフローチャートに基づいて説明する。
【００２８】
先ず、ＣＡＤ装置６を用いて、基板Ｆに露光記録する二次元画像をベクトルデータとして作成する（ステップＳ１）。ＣＡＤ装置６で作成されたベクトルデータは、ＲＩＰサーバ８に送信され、ラスタ画像データに変換される（ステップＳ２）。この場合、ラスタ画像データは、基板Ｆに露光記録する二次元画像を１又は０のビットマップデータとして表したものであり、図８に示すように、基板Ｆの移動方向（図５の矢印Ｙ方向）と相対的なＤＭＤ３６の移動方向がアドレス連続方向となるように作成される。
【００２９】
ＲＩＰサーバ８は、図９に示すように、二次元画像の全体を形成するラスタ画像データをアドレス連続方向の複数の領域Ａ、ＡＢ、Ｂ、ＢＣ、Ｃ、ＣＤ、Ｄ（分割領域）に分割する（ステップＳ３）。そして、領域ＡＢ、ＢＣ、ＣＤを重複領域とし、各領域Ａ＋ＡＢ、ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ、ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ、ＣＤ＋Ｄのラスタ画像データを、例えば、ランレングス符号化処理によりアドレス連続方向に圧縮し、分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）を生成する（ステップＳ４）。
【００３０】
なお、分割されたラスタ画像データの重複領域である各領域ＡＢ、ＢＣ、ＣＤは、図６に示すように、ＤＭＤ３６を構成する左上のマイクロミラーｍ（１１）に供給される各領域Ａ、Ｂ、Ｃの最後のミラーデータと、マイクロミラーｍ（１２）〜ｍ（ｊｋ）のマイクロミラー４０に供給されるミラーデータとによって後述する１フレームのフレームデータを構成することのできる矢印Ｙ方向の範囲ｙ以上となるように設定する。なお、ｊ×ｋは、描画に寄与するマイクロミラー４０の枚数である。
【００３１】
生成された分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）は、ＲＩＰサーバ８から露光記録装置１０のデータ処理部７０に送信され、インタフェース７６及びバス８８を介して、ＨＤＤ８０によりＨＤ８２に格納される（ステップＳ５）。なお、分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）は、データが圧縮されているため、高速でデータ処理部７０に送信することができるとともに、少ないデータ量としてＨＤ８２に記憶させることができる。
【００３２】
次に、露光記録装置１０による処理が開始される。露光ステージ１８の所定位置に基板Ｆを配置した後、露光ステージ１８をＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂ側からスキャナ２６側に移動させ、ＣＣＤカメラ２２ａ、２２ｂによって基板Ｆを撮影することにより、露光ステージ１８に対する基板Ｆの設定位置のずれ、変形等のアラインメント情報を取得する（ステップＳ６）。取得したアラインメント情報は、メモリ８４に格納される。
【００３３】
また、ＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０は、図６に示すように、基板Ｆの矢印Ｘ、Ｙ方向に対して異なる位置に配置されており、いわゆる、オフセットを有している。各マイクロミラー４０のオフセット量は、設計値としてシステム管理サーバ１１に予め設定し、あるいは、各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊを駆動してレーザビームＬを出力し、図示しないセンサを用いて測定することができる。そこで、各マイクロミラー４０の矢印Ｘ、Ｙ方向に対するミラー配置情報を取得し（ステップＳ７）、メモリ８４に格納する。
【００３４】
ＣＰＵ７４は、取得したアラインメント情報及びミラー配置情報を用いて、基板Ｆに導かれるレーザビームＬが基板Ｆを走査する際のビーム軌跡情報を生成する（ステップＳ８）。
【００３５】
一方、ＣＰＵ７４は、ＨＤ８２から分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）を読み出してメモリ８４に格納した後（ステップＳ９）、先ず、分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）をメモリ８４上で解凍し（ステップＳ１０）、領域Ａ及びＡＢの分割されたラスタ画像データを復元してメモリ８４に格納する（ステップＳ１１、図９参照）。
【００３６】
なお、ＨＤ８２から全ての分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）を一度に読み出すのではなく、復元に必要なデータを必要なタイミングで読み出すようにしてもよい。
【００３７】
次いで、ステップＳ８で生成したビーム軌跡情報を考慮して、復元された領域Ａ及びＡＢのラスタ画像データから、領域ＡのミラーデータＭ（Ａ）及び領域ＡＢのミラーデータＭ（ＡＢ）を生成してメモリ８４に格納する（ステップＳ１２、図９参照）。なお、ミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）は、メモリ８４以外の記憶手段に格納してもよい。
【００３８】
ここで、ミラーデータとは、基板Ｆの矢印Ｙ方向への移動に伴い、ＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０に時系列的に供給されるミラー単位の描画データである。例えば、図１０Ａ〜図１０Ｄ及び図１１Ａ〜図１１Ｄにおいて、ＤＭＤ３６を構成する丸１〜丸８で表す８枚のマイクロミラー４０による基板Ｆに対するビーム軌跡情報を矢印で示すものとすると、領域Ａ及びＡＢのラスタ画像データ（図８参照）から生成される各マイクロミラー４０のミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）は、ビーム軌跡情報に従ってラスタ画像データから抽出され、図１２に示すように設定される。なお、図１２において、フレームとは、１つのＤＭＤ３６を構成するマイクロミラー４０に略同時に与えられるミラーデータのデータ群を表し、このデータ群を構成するデータをフレームデータという。白四角と斜線四角のデータはマイクロミラー４０をオフとするミラーデータであり、黒四角のデータはマイクロミラー４０をオンとするミラーデータである。また、斜線四角部分の範囲は、基板Ｆ上に描画される画像の実質的な範囲を示す。
【００３９】
この場合、メモリ８４には、圧縮されたラスタ画像データである分割圧縮データと、分割圧縮データの一部のみが解凍されたラスタ画像データ及びそれから生成されるミラーデータが格納されている。従って、ラスタ画像データ自体が膨大なデータ量であっても、メモリ８４の記憶容量をさほど増加させることなく、ミラーデータの生成処理を行うことができる。
【００４０】
以上のようにして生成された領域Ａ及びＡＢのミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）は、メモリ８４より読み出され、インタフェース８６を介して露光部７２のバッファ９０に送信されて一時記憶される（ステップＳ１３）。
【００４１】
露光部７２では、フレームデータ生成部９２がバッファ９０に記憶されたミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）を転置処理し、複数のフレームを構成するフレームデータを生成する（ステップＳ１４）。フレームデータは、１つのＤＭＤ３６を構成する複数のマイクロミラー４０に略同時に設定されるミラーデータによって構成されるデータであり、例えば、図１２に示すように配列されるミラーデータの行及び列を入れ替える、いわゆる、転置処理によって図１３に示すように生成することができる。
【００４２】
ここで、１つのフレームを構成するフレームデータを生成するためには、ＤＭＤ３６を構成する全てのマイクロミラーｍ（１１）〜ｍ（ｊｋ）に略同時に供給することのできるミラーデータがラスタ画像データから予め生成されている必要がある。
【００４３】
本実施形態では、領域Ａの画像を構成するラスタ画像データに加えて、領域ＡＢの画像を構成するラスタ画像データがメモリ８４上で解凍されて生成されている。この場合、ラスタ画像データから生成されるミラーデータＭ（ＡＢ）は、図６に示すように、マイクロミラーｍ（１１）に供給される領域Ａの最後の描画データと、マイクロミラーｍ（１２）〜ｍ（ｊｋ）に供給される描画データとを用いて１つのフレームを構成することのできる範囲ｙ以上のミラーデータを有している。従って、フレームデータ生成部９２は、メモリ８４から読み出してバッファ９０に記憶されたミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）を用いて、領域Ａの全ての二次元画像を形成するフレームデータを生成することができる。また、フレームデータの作成に必要なミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）を分割されたラスタ画像データから生成することができる。
【００４４】
フレームデータ生成部９２によって生成されたフレームデータ（例えば、図１３に示すフレーム１〜１４のフレームデータ）は、バッファ９４に送信されて一時記憶される。露光記録装置１０は、露光ステージ１８を矢印Ｙ方向に移動させ、ＤＭＤコントローラ４２は、バッファ９４に記憶された１〜１４のフレームのフレームデータを各ＤＭＤ３６に順次供給し、基板Ｆに領域Ａの全て及び領域ＡＢの一部の画像を露光記録する（ステップＳ１５）。
【００４５】
具体的には、光源ユニット２８から出力されたレーザビームＬは、光ファイバ３０を介して各露光ヘッド２４ａ〜２４ｊに導入される。導入されたレーザビームＬは、ロッドレンズ３２から反射ミラー３４を介してＤＭＤ３６に入射する。
【００４６】
ＤＭＤコントローラ４２は、バッファ９４からフレームデータを読み出し、このフレームデータの「１」値及び「０」値に従いＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０をオンオフ制御する。ＤＭＤ３６を構成する各マイクロミラー４０により所望の方向に選択的に反射されたレーザビームＬは、第１結像光学レンズ４４、４６によって拡大された後、マイクロアパーチャアレー５４、マイクロレンズアレー４８及びマイクロアパーチャアレー５６を介して所定の径に調整され、次いで、第２結像光学レンズ５０、５２により所定の倍率に調整されて基板Ｆに導かれる。
【００４７】
露光ステージ１８は、定盤１４に沿って移動し、基板Ｆには、露光ステージ１８の移動方向と直交する方向に配列される複数の露光ヘッド２４ａ〜２４ｊを構成するＤＭＤ３６により領域Ａの全て及び領域ＡＢの一部の画像が露光記録される。
【００４８】
一方、メモリ８４からミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）が読み出されて露光部７２に送信されると、次の分割圧縮データＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）がメモリ８４上で解凍され、領域ＡＢ、Ｂ、ＢＣのラスタ画像データが生成され、領域Ａ、ＡＢのラスタ画像データ（図９参照）に上書き記憶される（ステップＳ１１、図１４参照）。そして、ステップＳ１２〜Ｓ１５の処理が同様にして繰り返され、基板Ｆに領域ＡＢ、Ｂの全て及び領域ＢＣの一部の画像が露光記録される。
【００４９】
なお、次の分割圧縮データＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）をメモリ８４上で解凍するタイミングは、ミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）がメモリ８４上に生成された後であればよく、必ずしもミラーデータＭ（Ａ）及びＭ（ＡＢ）の露光部７２への送信が終了した後である必要はない。
【００５０】
分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）の全てがラスタ画像データ及びミラーデータを介してフレームデータに変換され、各ミラーデータから生成されたフレームデータによる露光記録が終了すると（ステップＳ１６）、所望の画像が記録された基板Ｆが露光記録装置１０より排出され、次の現像処理工程に供給される。
【００５１】
以上のように、本実施形態では、二次元画像を構成するラスタ画像データを分割してメモリ８４に記憶させ、アラインメント処理等の必要な処理を行ってミラーデータを生成し、このミラーデータから必要なフレームデータを生成することができるため、二次元画像の全体を構成するラスタデータが膨大なデータ量からなる場合であっても、メモリ容量を必要最小限として、コストダウンを図ることができる。
【００５２】
なお、上記の実施形態では、図６及び図９に示すように、ＤＭＤ３６のサイズに応じた重複する領域ＡＢ、ＢＣ、ＣＤを持たせた分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）を生成してメモリ８４に記憶させている。
【００５３】
これに対して、図１５に示すように、重複する領域ＡＢ、ＢＣ、ＣＤのない分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ）、ＣＯＭＰ（Ｂ）、ＣＯＭＰ（Ｃ）、ＣＯＭＰ（Ｄ）をラスタ画像データから生成してメモリ８４に記憶させてもよい。なお、隣接する各領域Ｂ及びＣのアドレス連続方向に対する範囲は、ＤＭＤ３６を構成するマイクロミラーｍ（１１）〜ｍ（ｊｋ）に供給されるミラーデータによって１つのフレームを構成するフレームデータを生成できる範囲ｙ（図６参照）以上となるように設定する。
【００５４】
そこで、隣接する２つの領域Ａ及びＢの分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ）、ＣＯＭＰ（Ｂ）をメモリ８４上で解凍してラスタ画像データを復元した後、ビーム軌跡情報を用いて、ミラーデータＭ（Ａ）と、ミラーデータＭ（Ｂ）の一部（少なくとも、ミラーデータＭ（Ａ）の最後のデータとミラーデータＭ（Ｂ）とで１フレームのフレームデータを作成できる範囲）とを生成し、メモリ８４に記憶する。そして、メモリ８４からミラーデータＭ（Ａ）及びミラーデータＭ（Ｂ）の一部を読み出してフレームデータを生成し、各フレームを構成するフレームデータに従い、領域Ａの全て及び領域Ｂの一部の画像を基板Ｆに露光記録する。
【００５５】
一方、ミラーデータＭ（Ａ）及びミラーデータＭ（Ｂ）の一部が生成された後、領域Ａのラスタ画像データの上に、次の領域Ｃの分割圧縮データＣＯＭＰ（Ｃ）を解凍してラスタ画像データを復元する。そして、ビーム軌跡情報を用いて、領域Ｂ及びＣのラスタ画像データから、残りのミラーデータＭ（Ｂ）と、ミラーデータＭ（Ｃ）の一部とを生成した後、これらを用いてフレームデータ生成し、領域Ｂの残りの画像及び領域Ｃの一部の画像を基板Ｆに露光記録する。同様にして、領域Ｃの残りの画像及び領域Ｄの画像が基板Ｆに露光記録される。
【００５６】
ここで、メモリ８４上に解凍されたラスタ画像データを読み出してミラーデータを生成する際、ラスタ画像データの読出アドレスは、以下のようにして自動生成することができる。
【００５７】
例えば、メモリ８４に解凍されて記憶される領域Ａ及びＢのラスタ画像データのメモリサイズを、０ｘ０００１００００（０ｘ：１６進数を表す）に固定し、０ｘ００００００００から始まるメモリ８４のアドレスと０ｘ００００ＦＦＦＦとの論理積を求め、この結果をラスタ画像データの読出アドレスとすることにより、領域Ｂの最後のラスタ画像データを読み出した後、領域Ａに上書きされた次の領域Ｃのラスタ画像データの読み出しを、読出アドレス０ｘ００００００００から自動的に開始することができる。
【００５８】
図１６は、他の実施形態におけるデータ処理方法を示す。この実施形態では、ＲＩＰサーバ８において、例えば、ランレングス符号化処理によって圧縮された分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ（ＣＤ＋Ｄ）を、ＬＨＡ等を用いてさらに圧縮処理することで、二次分割圧縮データＣＯＭＰ２（Ａ＋ＡＢ）、ＣＯＭＰ２（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ２（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ２（ＣＤ＋Ｄ）を生成した後、データ処理部７０に送信してメモリ８４に記憶させる。
【００５９】
次いで、メモリ８４上において、二次分割圧縮データＣＯＭＰ２（Ａ＋ＡＢ）を分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）に解凍し、ビーム軌跡情報を考慮して分割圧縮データＣＯＭＰ（Ａ＋ＡＢ）から圧縮ミラーデータＣＯＭＰ−Ｍ（Ａ＋ＡＢ）を生成する。生成された圧縮ミラーデータＣＯＭＰ−Ｍ（Ａ＋ＡＢ）は、露光部７２に送信された後、解凍してミラーデータＭ（Ａ＋ＡＢ）とし、次いで、このミラーデータＭ（Ａ＋ＡＢ）を転置処理することでフレームデータを生成し、露光記録を行う。二次分割圧縮データＣＯＭＰ２（ＡＢ＋Ｂ＋ＢＣ）、ＣＯＭＰ２（ＢＣ＋Ｃ＋ＣＤ）、ＣＯＭＰ２（ＣＤ＋Ｄ）に対する処理も同様にして行う。
【００６０】
このように、ラスタ画像データを高い圧縮率で圧縮してデータ処理部７０に送信し、且つ、圧縮された状態のミラーデータを露光部７２に送信することにより、少ない記憶容量からなるメモリ８４を用いて大量の描画データを処理することができるとともに、ＲＩＰサーバ８、データ処理部７０及び露光部７２間でのデータの送信処理に要する時間を短縮することができる。
【００６１】
なお、上述した実施形態では、図６に示すように、ＤＭＤ３６をＸ方向に対して所定角度傾斜して設定した場合について説明したが、ＤＭＤ３６が傾斜していない場合にも適用可能である。その場合、重複する領域ＡＢの範囲は、例えば、１列のマイクロミラーｍ（１１）〜ｍ（１ｋ）に供給される領域Ａの最後の描画データと、マイクロミラーｍ（２１）〜ｍ（ｊｋ）に供給される描画データとを用いて１つのフレームを構成することのできる範囲以上となるように設定すればよい。
【００６２】
また、上述した実施形態では、ラスタ画像データを圧縮した状態でＲＩＰサーバ８からデータ処理部７０に送信するようにしているが、圧縮していない状態でラスタ画像データをデータ処理部７０に送信してＨＤ８２に記憶させた後、分割圧縮処理を行ってメモリ８４に記憶させ、必要な分割圧縮データを順次解凍してラスタ画像データを復元した後、ミラーデータを生成し、ミラーデータからフレームデータを生成することも可能である。また、復元されたラスタ画像データから、ミラーデータを介することなく、直接フレームデータ生成するようにしてもよい。
【００６３】
上述した露光記録装置１０は、例えば、多層プリント配線基板（ＰＷＢ：Ｐｒｉｎｔｅｄ  Ｗｉｒｉｎｇ  Ｂｏａｒｄ）の製造工程におけるドライ・フィルム・レジスト（ＤＦＲ：Ｄｒｙ  Ｆｉｌｍ  Ｒｅｓｉｓｔ）の露光、液晶表示装置（ＬＣＤ）の製造工程におけるカラーフィルタの形成、ＴＦＴの製造工程におけるＤＦＲの露光、プラズマ・ディスプレイ・パネル（ＰＤＰ）の製造工程におけるＤＦＲの露光等の用途に好適に用いることができる。また、描画ユニットとしては、ＤＭＤ３６等の空間光変調素子に限らず、インクジェット記録ヘッドを備えた描画装置にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本実施形態の露光記録システムのブロック図である。
【図２】本実施形態の露光記録装置の構成図である。
【図３】本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドの概略構成図である。
【図４】本実施形態の露光ヘッドを構成するＤＭＤの説明図である。
【図５】本実施形態の露光記録装置における露光ヘッドと、基板上の露光エリアとの関係説明図である。
【図６】本実施形態のＤＭＤを構成するマイクロミラーの配置及び領域の重畳範囲の説明図である。
【図７】本実施形態の露光記録システムにおける処理フローチャートである。
【図８】ラスタ画像データの説明図である。
【図９】ラスタ画像データと、分割圧縮データと、メモリ上で復元されるラスタデータと、ミラーデータとの関係説明図である。
【図１０】図１０Ａ〜図１０Ｄは、ビーム軌跡情報に基づいてラスタ画像データから生成されるミラーデータの説明図である。
【図１１】図１１Ａ〜図１１Ｄは、ビーム軌跡情報に基づいてラスタ画像データから生成されるミラーデータの説明図である。
【図１２】ミラーデータの説明図である。
【図１３】ミラーデータから生成されたフレームデータの説明図である。
【図１４】メモリ上において、分割圧縮データからラスタ画像データを復元する処理の説明図である。
【図１５】他の実施形態におけるラスタ画像データと、分割圧縮データと、メモリ上で復元されるラスタ画像データと、ミラーデータとの関係説明図である。
【図１６】さらに他の実施形態における分割圧縮データと、二次分割圧縮データと、メモリ上で復元される分割圧縮データと、分割から生成される圧縮ミラーデータとの関係説明図である。
【符号の説明】
【００６５】
４…露光記録システム                ６…ＣＡＤ装置
８…ＲＩＰサーバ                    １０…露光記録装置
１１…システム管理サーバ            １８…露光ステージ
２４ａ〜２４ｊ…露光ヘッド          ３６…ＤＭＤ
７０…データ処理部                  ７２…露光部
７４…ＣＰＵ                        ８２…ＨＤ
８４…メモリ                        ９２…フレームデータ生成部
Ｆ…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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