(57)【要約】【課題】ガス処理部内における状態の変動に応じて、スイッチング素子のゲート幅を制御することができる。【解決手段】本発明の放電式ガス処理装置３１においては、温度測定部３２は、放電部１３の内部に設置され、放電部１３の内部の温度を常時測定し、測定された温度を示す温度測定信号を生成し、生成された温度測定信号を放電電源１４内の制御部３３に信号線３４を介して供給する。制御部３３は、温度測定部３２から信号線３４を介して供給された温度測定信号に基づいて、放電電源１４内において高電圧パルスを切り出すスイッチ２５のタイミング（ゲート幅）を制御する。すなわち、充電回路の共振周期終了時点で、スイッチ２５を開くように制御する。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電電極の静電容量と昇圧トランスの漏れインダクタンスの共振により、放電電極間に高周波電圧を発生させ、発生された高周波電圧をスイッチング素子により所定のゲート幅で切り出す放電電源を備える放電式ガス処理装置において、
前記ガス処理部内の状態を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記ガス処理部内の状態に応じて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御する制御部とを備えることを特徴とする放電式ガス処理装置。
【請求項２】
前記制御部は、前記測定部により測定された前記ガス処理部内の状態により決定される共振周期に基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする請求項１に記載の放電式ガス処理装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記測定部により測定された前記ガス処理部内の状態により決定される前記ガス処理部内の回路のインピーダンスに基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする請求項１に記載の放電式ガス処理装置。
【請求項４】
放電電極の静電容量と昇圧トランスの漏れインダクタンスの共振により、放電電極間に高周波電圧を発生させ、発生された高周波電圧をスイッチング素子により所定のゲート幅で切り出す放電電源を備える放電式ガス処理装置の放電型ガス処理方法において、
前記ガス処理部内の状態を測定し、
測定された前記ガス処理部内の状態に応じて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする放電型ガス処理方法。
【請求項５】
放電電極の静電容量と昇圧トランスの漏れインダクタンスの共振により、放電電極間に高周波電圧を発生させ、発生された高周波電圧をスイッチング素子により所定のゲート幅で切り出す放電電源を備える放電式ガス処理装置において、
前記ガス処理部に供給される前記被処理ガスにおける状態を測定する測定部と、
前記測定部により測定された前記被処理ガスにおける状態に応じて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御する制御部をと備えることを特徴とする放電式ガス処理装置。
【請求項６】
放電電極の静電容量と昇圧トランスの漏れインダクタンスの共振により、放電電極間に高周波電圧を発生させ、発生された高周波電圧をスイッチング素子により所定のゲート幅で切り出す放電電源を備える放電式ガス処理装置の放電型ガス処理方法において、
前記ガス処理部に供給される前記被処理ガスにおける状態を測定し、
前記測定部により測定された前記被処理ガスにおける状態に応じて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする放電型ガス処理方法。
【請求項７】
前記制御部は、電流波形の電流値または電圧波形の電圧値がほぼ０となるタイミングをモニタし、モニタされたタイミングに基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする請求項１、２、３、および５のいずれかに記載の放電式ガス処理装置。
【請求項８】
前記制御部は、放電電極への印加電圧が一定となるような制御を施した場合における放電入力の上昇分に基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御することを特徴とする請求項１、２、３、および５のいずれかに記載の放電式ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は放電式ガス処理装置およびそのガス処理方法に係り、特に、放電プラズマの作用により被処理ガス中の有害物質などを浄化することができるようにした放電式ガス処理装置およびそのガス処理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、水処理施設、家畜飼育施設、工場などから排出される悪臭や有害物質などによる環境破壊が指摘されてきており、これらの悪臭や有害物質などの排ガスを如何に処理して除去するかということが技術開発において重要な課題となっている。
【０００３】
悪臭や有害物質などの排ガス処理方法として、従来から、吸着材や触媒を用いる排ガス処理方法、薬剤を溶かした水溶液に溶解吸着させて行う排ガス処理方法、放電プラズマによる排ガス処理方法など様々な方法が提案されている。特に、放電プラズマによる排ガス処理方法を用いると、被処理物質を含む廃材の量をより少なくすることが可能である。
【０００４】
図１は、従来の放電式ガス処理装置１の構成を表している。
【０００５】
図１に示されるように、従来の放電式ガス処理装置１は、被処理ガスＸを供給して処理後のガスＸ´を排出する配管１１上に設けられ、配管１１により供給された被処理ガスＸにガス処理を施すガス処理部１２と、ガス処理部１２内に設けられた放電プラズマを発生する放電部１３に電力を供給する放電電源１４とからなる。放電電源１４は、自励発振型の高周波電源であり、リード線１５を介して接続される。
【０００６】
ガス処理部１２内の放電部１３は、図２に示されるように、板状の導体電極１６−aと対向電極１６−bとがほぼ並行に対向配置されて構成される。対向電極１６−bの導体電極１６−a側は板状の誘電体１７により覆われており、導体電極１６−aと対向電極１６−bとが誘電体１７を介して対向しており、２つの電極が直接対向しないように構成される。なお、放電部１３においては、誘電体１７と導体電極１６−aとで挟まれることにより、放電プラズマ空間Ｓ（図２のドット部分）が形成される。
【０００７】
放電部１３の導体電極１６−aと対向電極１６−bは、それぞれリード線１５を介して放電電源１４と接続されており、放電電源１４から導体電極１６−aと対向電極１６−bとの間に所要の電圧を印加して放電を行うことができる。
【０００８】
図３は、図１の従来の放電式ガス処理装置１の回路構成を表している。
【０００９】
まず、図４［Ａ］に示されるように時刻Ｔ１０に放電電源１４のスイッチ（スイッチング素子）２２が閉じられると、直流電源２１、コンデンサ２３、および充電抵抗２４からなる１次側のＲＣ回路が形成され、その後、直流電源２１から流れる電流により、コンデンサ２３が充電される。充電が終了（時刻Ｔ１１）すると、スイッチ２２は開となる。
【００１０】
次に、図４［Ｂ］に示されるように時刻Ｔ１２にスイッチ（スイッチング素子）２５が閉じられると、トランス２６を介して２次側の放電電極へ電流が流れる。このとき、等価的な放電部１３の静電容量は、電源内部のコンデンサ２３の容量よりはるかに小さい値なので、放電部１３がもつ静電容量とトランス２６の漏れインダクタンスとの直列共振によって、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの間には、高周波電圧が発生する。図４［Ｂ］に示されるように放電部１３の充放電が終了する時刻Ｔ１３にスイッチ２５を開き、その後、スイッチ２２により周期的に１次側のＲＣ回路内のコンデンサ２３の充電を行い、同様の処理を繰り返すと、図４［Ｃ］に示されるような高電圧パルス列の電圧波形αを切り出すことができる。また、放電部１３には、図４［Ｄ］に示されるような充電電流波形βの電流が流れる。
【００１１】
なお、トランス２６の１次側をプッシュプル回路やブリッジ回路を組むことにより、放電部１３に印加される電圧波形αを両極性のパルス列の電圧波形にすることができる。また、図４［Ｄ］に示される周期ｔ１はスイッチ２５の開閉により制御され、図４［Ｄ］に示される周期ｔ２は、トランス２６の漏れインダクタンスと放電部１３の静電容量で決まるものであり、スイッチ２５の開閉によって、１パルスを切り出している。
【００１２】
次に、図５のフローチャートを参照して、図１の従来の放電式ガス処理装置１における放電ガス処理について説明する。
【００１３】
ステップＳ１において、浄化対象となる被処理ガスＸは、配管１１内の上流側から下流側に向けて流れ、ガス処理部１２内の放電部１３に供給される。ステップＳ２において、放電部１３には放電電源１４から所要の電圧が印加され、放電部１３において放電プラズマが生成される。
【００１４】
ここで、放電部１３の対向電極１６−bは誘電体１７により覆われていることから、誘電体１７と導体電極１６−aとで挟まれることにより形成される放電プラズマ空間Ｓにおいて放電が起こる。そのため、放電プラズマ空間Ｓにおける放電は、アーク放電とならずに安定して維持することが可能な誘電体バリア放電となる。
【００１５】
ステップＳ３において、誘電体バリア放電により生成される放電プラズマの作用により、放電プラズマ空間Ｓに供給された被処理ガス中に含まれる一酸化窒素などの有害物質が分解される。なお、この際、放電プラズマの作用により被処理ガス中の酸素から副次的にオゾンが生成され、生成されたオゾンによっても被処理ガスが浄化される。
【００１６】
ステップＳ４において、ガス処理部１２の放電部１３において処理が施された処理後のガスＸ´は、配管１１の下流側に供給され、放電式ガス処理装置１の外部（例えば、大気中など）に放出される。
【００１７】
また、近年、このような放電式ガス処理装置として、より低い電圧で放電を開始させることが可能であり、放電継続のために入力すべき電圧の制御が容易な放電式ガス処理装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１８】
特許文献１に提案されている放電ガス処理装置によれば、導体電極に突起を設け、導体電極と誘電体との近接させた電極構造とするようにしたので、放電開始電圧をより低い電圧にすることができる。放電入力を印加電圧によって制御するとき、入力エネルギーに対する電圧の制御幅を大きく取れるので、制御性が向上するという特長を有する。
【００１９】
ところで、従来の放電式ガス処理装置１などでは、一般に、パワートランジスタなどの半導体スイッチング素子が用いられており、これらのスイッチは特に高電圧のサージ電圧（ノイズ）に弱い。従って、これらのスイッチを保護するために、高電圧のサージ電圧を発生させないことが必要である。
【００２０】
ここで、理論上、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量とトランス２６のインダクタンスにより予め決定される共振の周期の終了時点（図４の例の場合、時刻Ｔ１３やＴ２３など）理論上、回路にはほぼ電流が流れていないと考えられる。
【００２１】
そこで、従来の放電式ガス処理装置１などでは、共振の周期の終了時点でスイッチ２５が開かれるように、スイッチ２５のタイミング（ゲート幅ｔ２）が予め設定される。
【特許文献１】特開２００６−２１０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２２】
しかしながら、従来の放電式ガス処理装置１では、実際には、ガス処理部１２内における状態（被処理ガスの温度など）の変動により、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量やバリア材として使用される誘電体１７の誘電率εなどが変動する。具体的には、放電のエネルギーの蓄積や被処理ガスＸ自体の変化で放電部１３内部が高温になると、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量、誘電体１７の誘電率ε、および誘電損失などが増加する。一般に、アルミナ等の誘電体の誘電率εは、高温になるほど大きくなる。また、被処理ガス中に含まれる水蒸気が水滴となって、導電電極１６−ａと対向電極１６−bの表面に付着すると、水の誘電率が大きいので、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−b間の静電容量が乾燥時より大きくなることもある。
【００２３】
これにより、トランス２６の漏れインダクタンスと放電部１３の静電容量により決定される共振の周期は、ガス処理部１２内における状態の変動に伴ってガス処理開始前よりも長くなり、ガス処理前に予め決定される共振の周期の終了時点と、状態の変動に伴い新たに決定される共振の周期の終了時点との間にずれが生じてしまう。
【００２４】
そのため、予め設定されたスイッチ２５のタイミング（ゲート幅ｔ２）でスイッチ２５を開いたとしても、状態の変動に伴い新たに決定される共振の周期の終了時点でスイッチ２５を開くことができず、回路で大きな電流が流れているときにスイッチ２５を開いてしまうという状況が発生する。
【００２５】
このような状況が発生すると、スイッチ２５に高電圧のサージ電圧Ｌ（ｄＩ／ｄｔ）の電圧が発生してしまい、その結果、スイッチ２５に大きな負荷がかかり、スイッチ２５が壊れやすくなってしまうという課題があった。特に、スイッチ２５を開くときに発生するＬ（ｄＩ／ｄｔ）の電圧が所定の基準値を少しでも超えると、たとえ１回であっても、スイッチ２５は破壊されてしまい、それ以降使用することができなくなってしまうという課題があった。
【００２６】
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、ガス処理部内における状態の変動に応じて、スイッチング素子のゲート幅を制御することができる放電式ガス処理装置およびそのガス処理方法ことを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明の放電式ガス処理装置は、上述した課題を解決するために、ガス処理部内の状態を測定する測定部と、測定部により測定されたガス処理部内の状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御する制御部をと備えることを特徴とする。
【００２８】
制御部は、測定部により測定されたガス処理部内の状態により決定される共振周期に基づいて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御するようにすることができる。
【００２９】
制御部は、測定部により測定されたガス処理部内の状態により決定されるガス処理部内の回路のインピーダンスに基づいて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御するようにすることができる。
【００３０】
本発明の放電式ガス処理装置の放電型ガス処理方法は、上述した課題を解決するために、ガス処理部内の状態を測定し、測定されたガス処理部内の状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御することを特徴とする。
【００３１】
本発明の放電式ガス処理装置は、上述した課題を解決するために、ガス処理部に供給される被処理ガスにおける状態を測定する測定部と、測定部により測定された被処理ガスにおける状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【００３２】
本発明の放電式ガス処理装置の放電型ガス処理方法は、上述した課題を解決するために、ガス処理部に供給される被処理ガスにおける状態を測定し、測定部により測定された被処理ガスにおける状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅を制御することを特徴する。
【００３３】
制御部は、電流波形の電流値または電圧波形の電圧値がほぼ０となるタイミングをモニタし、モニタされたタイミングに基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御するようにすることができる。
【００３４】
制御部は、放電電極への印加電圧が一定となるような制御を施した場合における放電入力の上昇分に基づいて、発生された高周波電圧を前記スイッチング素子により切り出す前記所定のゲート幅を制御するようにすることができる。
【００３５】
本発明の放電式ガス処理装置およびその放電型ガス処理方法においては、ガス処理部内の状態が測定され、測定されたガス処理部内の状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅が制御される。
【００３６】
本発明の放電式ガス処理装置およびその放電型ガス処理方法においては、ガス処理部に供給される被処理ガスにおける状態が測定され、測定された被処理ガスにおける状態に応じて、発生された高周波電圧をスイッチング素子により切り出す所定のゲート幅が制御される。
【発明の効果】
【００３７】
本発明によれば、ガス処理部内における状態の変動に応じて、スイッチング素子のゲート幅を制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００３９】
図６は、本発明を適用した放電式ガス処理装置３１の構成を表している。なお、図１の従来の放電式ガス処理装置１の構成と対応するものについては、同一の符号を付してあり、その説明は繰り返しになるので省略する。
【００４０】
温度測定部３２は、例えば熱電対などからなり、例えば放電部１３の内部に設置される。温度測定部３２は、放電部１３の内部の温度を常時測定し、測定された温度を示す温度測定信号を生成し、生成された温度測定信号を放電電源１４内の制御部３３に信号線３４を介して供給する。
【００４１】
制御部３３は、温度測定部３２から信号線３４を介して供給された温度測定信号に基づいて、放電電源１４内において高電圧パルスを切り出すスイッチ２５（スイッチング素子）のタイミング（ゲート幅ｔ２）を制御する。
【００４２】
次に、図７のフローチャートを参照して、図６の放電式ガス処理装置３１における放電ガス処理について説明する。なお、図７のステップＳ１１、ステップＳ１２、ステップＳ１５、およびステップＳ１６の処理は、図５のステップＳ１乃至Ｓ４の処理と基本的には同様であり、その説明は繰り返しになるので省略する。
【００４３】
ステップＳ１３において、温度測定部３２は、放電部１３の内部の温度を常時測定し、測定された温度を示す温度測定信号を生成し、生成された温度測定信号を放電電源１４内の制御部３３に信号線３４を介して供給する。例えば、ガス処理装置１２内の放電部１３内部の温度が３００℃である場合、生成された温度測定信号には、放電部１３内部の温度が３００℃であることを示す情報が含まれる。
【００４４】
ステップＳ１１４において、制御部３３は、温度測定部３２から信号線３４を介して供給された温度測定信号に基づいて、放電電源１４内において高電圧パルスを切り出すスイッチ２５のタイミング（ゲート幅ｔ２）を制御する。以下、具体的な制御方法について説明する。
【００４５】
放電式ガス処理装置３１において放電ガス処理が実行されていると途中に、放電式ガス処理装置３１に流入する被処理ガスＸの温度が上昇すると、ガス処理部１２の放電部１３内の温度は上昇する。これにより、誘電体１７の誘電率εが増加し、それに伴って放電部１３の静電容量も増加する。
【００４６】
その結果、例えば図８［Ａ］に示されるように、トランス２６の漏れインダクタンスと放電部１３の静電容量により決定される（影響を受ける）共振の周期は、放電ガス処理前に予め決定される共振の周期よりも長くなり、共振周期終了時点が時刻ＴＡから時刻ＴＢに移行し、電圧波形αは放電ガス処理前よりも矢印方向に膨らみをもって移行する。また、図８［Ｂ］に示されるように、電流波形βも同様に、放電ガス処理前よりも矢印方向に膨らみをもって移行する。
【００４７】
従って、予め設定されたゲート幅ｔ２でスイッチ２５を開くと、１大きなサージ電圧が発生し、スイッチ２５に大きな負担がかかり、スイッチ２５の破壊が起きてしまう。
【００４８】
そこで、制御部３３は、温度測定部３２から信号線３４を介して供給された温度測定信号に基づいて、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量、誘電体１７の誘電率ε、および誘電損失などの変化量（２次側のＬＣ回路のインピーダンスの変化量）を予測し、予測されたこれらの変化量に基づいてゲート幅ｔ２が幅ｔ´２になるように制御する。すなわち、１次側および２次側のＬＣ回路の現在のインピーダンスにより決定される共振周期終了時点（時刻ＴＢ）で、スイッチ２５を開くように制御する。
【００４９】
ここで、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量、誘電体１７の誘電率ε、および誘電損失などの変化量（２次側のＬＣ回路のインピーダンスの変化量）の予測方法として、例えば、放電部１３の内部の温度変化に伴い、放電部１３の導電電極１６−aと対向電極１６−bの静電容量、誘電体１７の誘電率ε、および誘電損失などがどの程度変化するか否かに関して予め実験を行い、蓄えられた実験データに基づいて好適な算出式を導くようにする。これにより、より正確な変化量に基づいてゲート幅ｔ２を制御することができる。勿論、予め複数の算出式を用意しておき、ガス処理部１２内の状態により、予め用意された複数の算出式からより好適な算出式を用いるようにしてもよい。
【００５０】
これにより、１次側のＬＣ回路にほぼ電流が流れていないときに常にスイッチ２５を開くことができる。従って、ガス処理部１２内における状態が大きく変動したとしても、スイッチ２５にほとんど負荷がかからず、スイッチ２５の破壊を防止することができる。その結果、放電電源のトラブルを抑制しつつ、被処理ガスのガス処理を長期にわたり安全に行うことができる。
【００５１】
その後、処理はステップＳ１５に進み、続いてステップ１５以降の処理が繰り返される。これにより、１次側および２次側のＬＣ回路の現在のインピーダンスにより決定される共振周期終了時点（時刻ＴＢ）で、スイッチ２５を開くように制御することができる。
【００５２】
なお、放電部１３の温度変化に伴って変動する１次側および２次側のＬＣ回路の現在のインピーダンスを直接測定し、測定された１次側および２次側のＬＣ回路の現在のインピーダンスに基づいて、ゲート幅ｔ２を好適に制御するようにしてもよい。また、図８［Ａ］および［Ｂ］に示される電圧波形αまたは電流波形βの電圧値または電流値が０となるタイミングをモニタし、モニタされたタイミングに基づいてスイッチ２５のゲート幅ｔ２を好適に制御するようにしてもよい。さらに、放電部１３の導電電極１６−ａおよび対向電極１６−ｂへの印加電圧が一定となるような制御を施した場合における放電入力の上昇分に基づいて、発生された高周波電圧をスイッチ２５のゲート幅を制御するようにしてもよい。
【００５３】
なお、本発明の実施形態においては、温度測定部３４をガス処理部１２の放電部１３内部に設置するようにしたが、このような場合に限らず、放電部１３の内部の温度を測定することができさえすればよい。例えば、放電部１３の対向電極１６−b（すなわち、接地されている電極）の表面またはその電極の内部、放電部１３の誘電体１７の表面またはその内部、放電部１３の筐体の内部や外側表面または筐体を構成する板材の内部、誘電体１７と導体電極１６−aとで挟まれることにより形成される放電プラズマ空間Ｓなどに設置するようにしてもよい。
【００５４】
特に、ガス処理部１２内における状態の温度変動を正確に測定したい場合には、放電部１３の誘電体１７の表面またはその内部に温度測定部３４を設置するようにすることが好ましい。
【００５５】
また、図９に示されるように、配管１１からガス処理部１２に被処理ガスＸが供給される供給口Ｍ（入り口）に温度測定部３２を設置するようにしてもよい。この場合、供給口Ｍで測定される温度に基づいて、放電部１３内部の温度が間接的に予測され、予測された温度に基づいてスイッチ２５のゲート幅ｔ２が制御される。
【００５６】
さらに、本発明の実施形態においては、温度測定装置３２として熱電対を用いるようにしたが、このような場合に限られず、例えば放射温度計などのような非接触の測定器を用いるようにしてもよい。
【００５７】
また、放電電源１４の１次側のＬＣ回路に調整用のインダクタンスと静電容量の少なくとも一方（勿論、両方でもよい）を予め設け、２次側のＬＣ回路のインピーダンスの変化に応じて、調整用のインダクタンスと静電容量を用いて共振周波数を一定に保つようにしてもよい。これにより、ゲート幅ｔ２を制御することなく、１次側のＬＣ回路にほぼ電流が流れていないときに常にスイッチ２５を開くことができる。従って、ガス処理部１２内における状態が大きく変動しても、スイッチ２５にほとんど負荷がかからず、スイッチ２５の破壊を防止することができる。その結果、放電電源のトラブルを抑制しつつ、被処理ガスのガス処理を長期にわたり安全に行うことができる。
【００５８】
さらに、本発明の実施形態においては、ガス処理部１２における状態として、ガス処理部１２内の放電部１３内部の温度を測定し、測定された温度に基づいてゲート幅ｔ２を制御するようにしたが、このような場合に限られず、その他の状態（例えば、圧力など）を測定してゲート幅ｔ２を制御するようにしてもよい。
【００５９】
なお、本発明の実施形態では、フローチャートのステップは、記載された順序に沿って時系列的に行われる処理の例を示したが、必ずしも時系列的に処理されなくとも、並列的あるいは個別に実行される処理をも含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】従来の放電式ガス処理装置の構成を示す図。
【図２】図１の放電部の内部の構成を示す図。
【図３】図１の従来の放電式ガス処理装置の回路構成を示す図。
【図４】図１の放電式ガス処理装置におけるスイッチの開閉に関するタイミングチャートおよび発生される電圧波形と電流波形を説明する説明図。
【図５】図１の従来の放電式ガス処理装置における放電ガス処理を説明するフローチャート。
【図６】本発明を適用した放電式ガス処理装置の構成を示す図。
【図７】図６の放電式ガス処理装置における放電ガス処理を説明するフローチャート。
【図８】図６の放電式ガス処理装置において発生される電圧波形と電流波形を説明する説明図。
【図９】本発明を適用した放電式ガス処理装置の他の構成を示す図。
【符号の説明】
【００６１】
１  従来の放電式ガス処理装置
１１  配管
１２  ガス処理部
１３  放電部
１４  放電電源
１５  リード線
１６−a  導電電極
１６−b  対向電極
１７  誘電体
２１  直流電源
２２  スイッチ
２３  コンデンサ
２４  充電抵抗
２５  スイッチ
２６  トランス
３１  放電式ガス処理装置
３２  温度測定部
３３  制御部
３４  信号線
【図１】
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【図２】
2007326051.tif 000004
【図３】
2007326051.tif 000005
【図４】
2007326051.tif 000006
【図５】
2007326051.tif 000007
【図６】
2007326051.tif 000008
【図７】
2007326051.tif 000009
【図８】
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【図９】
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