(57)【要約】【課題】  ガラス管の外径を全長にわたり安定させることができるガラス部材の製造方法および製造装置を提供する。【課題手段】  内圧調整用ガス４を流入させる工程において、ガラス管２の端部領域２１，２２では、ガラス管の内圧Ｐinが基準内圧設定値Ｐin*になるように内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整する圧力制御ＣＰを行い、ガラス管２の中間領域２３では、ガラス管２の外径Ｄが基準外径設定値Ｄ*になるように内圧調整用ガス４の流量を調整する外径制御ＣＤを行い、かつ、圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤが、一方から他方に切り換わる瞬間または内圧調整用ガス４の流量が変化しないように圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤを行う。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス管にガラス原料含有ガスを流しつつ前記ガラス管に沿って相対的に移動する熱源により前記ガラス管を加熱し、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成する工程と、当該工程に併せて前記ガラス管に内圧調整用ガスを流入させる工程とを有するガラス部材の製造方法であって、
前記内圧調整用ガスを流入させる工程において、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域では、前記ガラス管の内圧が基準内圧設定値になるように前記内圧調整用ガスの流量を調整する圧力制御を行い、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域では、前記ガラス管の外径が基準外径設定値になるように前記内圧調整用ガスの流量を調整する外径制御を行い、かつ、
前記圧力制御および前記外径制御が、一方から他方に切り換わる瞬間に前記内圧調整用ガスの流量が変化しないように前記圧力制御および前記外径制御を行う、
ことを特徴とするガラス部材の製造方法。
【請求項２】
ガラス原料含有ガス供給装置と、熱源と、熱源相対移動装置とを備え、前記ガラス原料含有ガス供給装置により前記ガラス管にガラス原料含有ガスを流しつつ前記熱源相対移動装置により前記熱源を前記ガラス管に沿って相対的に移動させて前記ガラス管を加熱し、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するガラス部材の製造装置であって、
前記ガラス管内に内圧調整用ガスを供給する内圧調整用ガス供給装置と、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域の前記熱源の位置における前記ガラス管の内圧を測定するガラス管内圧センサと、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域の前記熱源の位置における前記ガラス管の外径を測定するガラス管外径センサと、
前記熱源が前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域にあるときは前記ガラス管内圧センサによる測定値に基づき前記ガラス管の内圧が基準内圧設定値になるように、前記熱源の位置の前記ガラス管の内圧の測定値と前記基準内圧設定値との偏差に基づいて前記内圧調整用ガスの流量を調整する圧力制御を行い、
前記熱源が前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域にあるときは前記ガラス管外径センサによる測定値に基づき前記ガラス管の外径が基準外径設定値になるように前記熱源の位置の前記ガラス管の外径の測定値と前記基準外径設定値との偏差に基づいて前記内圧調整用ガスの流量を調整する外径制御を行い、かつ、
前記圧力制御および前記外径制御が、一方から他方に切り換わる瞬間に、前記内圧調整用ガスの流量が変化しないように前記圧力制御および前記外径制御を行う、
制御装置と、
を備えたことを特徴とするガラス部材の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するに際し、ガラス管の外径を全長にわたり安定させることができるガラス部材の製造方法および製造装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
管形状のガラス部材、たとえば光ファイバ母材の製造方法として、内付けＣＶＤ（ＭＣＶＤ：Ｍｏｄｉｆｉｅｄ  Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法によりガラス管内面にガラス層を形成する技術が知られている（たとえば、特許文献１等参照）。
【０００３】
図５に示すように、この種のガラス管内面にガラス層を形成する装置９では、ガラス管９１をダミー管９２１，９２２を介してガラス管旋盤９３（ガラス管保持部９３１，９３２）に取り付け、これらの一体管の一方端側（上流側）から他方端側（下流側）に、ガラス原料含有ガス供給装置９０からガラス原料含有ガス９４１を流しつつ、熱源９５をガラス管９１に沿って初期位置ａからトラバースターン位置ｂまで相対的に移動させてガラス管９１を加熱し、その内面にガラス微粒子層（たとえば、エルビウム添加光ファイバ：ＥＤＦを作る場合）またはガラス層９６を形成する。ガラス原料含有ガス９４１が流されるガラス管には製品として有効な部分と有効でない部分がある。図５では、ガラス管９１が製品として有効な部分（通常、ガラス微粒子層またはガラス層９６が長さ方向に均一に形成される部分）であり、ダミー管９２１，９２２が有効でない部分である。
【０００４】
特許文献１には、ガラス管９１の内圧を調製してガラス管の外径を一定とすることが開示されている。この場合には、ガラス管９１内にはガラス原料含有ガス９４１の他、内圧調整用ガス供給装置９８から内圧調整用ガス９４２が供給される。
【特許文献１】特開２００４−９９３４２
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ガラス管９１の端部領域９７１，９７２は、ガラス管の加熱を開始または終了する部分であるので、端部以外の部分（９７３）よりも温度が低くなる。このため、外径が変動しない。なお、図５では、端部領域９７１，９７２は、ガラス管９１の端部およびダミー管９２１，９２２の各端部を含む接合部分近傍の領域である。
【０００６】
ガラス管９１の端部領域９７１，９７２では、外径を検出することが不可能な場合もある。
これらの場合に、端部で外径が所定の径となっていてもその内圧は端部以外においては大きすぎることや小さすぎることがある。このため熱源の移動の開始点から少し移動した点では急に外径が大きくなる（内圧が大きすぎる場合）ことや急に外径が小さくなる（内圧が小さすぎる場合）ことがある。この場合、外径を一定にするために内圧を調整する制御が働くが、急に変動した外径が落ち着くまでにはしばらくの時間を要し、その間に外径が大きくなりすぎることと小さくなりすぎることを繰り返すハンチングが生じることがある。
【０００７】
また、外径を一定とするための制御が働くことでガラス管の内圧がハンチングするとガラス管内の気流が乱れてガラス原料含有ガス９４１が逆流してガラス微粒子層またはガラス層９６がガラス管９１の内面に形成されることが乱されるおそれもある。
【０００８】
本発明の目的は、ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するに際し、ガラス管の外径を全長にわたり安定させることにある。
本発明の他の目的は、ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するに際し、ガラス管の外径を全長にわたり安定させ、かつガラス管の内面のガラス微粒子層またはガラス層厚を所望の値とすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のガラス部材の製造方法は、ガラス管にガラス原料含有ガスを流しつつ前記ガラス管に沿って相対的に移動する熱源により前記ガラス管を加熱し、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成する工程と、当該工程に併せて前記ガラス管に内圧調整用ガスを流入させる工程とを有するものであって、
前記内圧調整用ガスを流入させる工程において、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域では、前記ガラス管の内圧が基準内圧設定値になるように前記内圧調整用ガスの流量を調整する圧力制御を行い、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域では、前記ガラス管の外径が基準外径設定値になるように前記内圧調整用ガスの流量を調整する外径制御を行い、かつ、
前記圧力制御および前記外径制御が、一方から他方に切り換わる瞬間に前記内圧調整用ガスの流量が変化しないように前記圧力制御および前記外径制御を行う、
ことを特徴とする
【００１０】
本発明のガラス部材の製造方法では、前記圧力制御においては、前記熱源の位置の前記ガラス管の内圧の測定値と前記内圧設定値との偏差に基づき前記内圧調整用ガスの流量を調整し、前記外径制御においては、前記熱源の位置の前記ガラス管の外径の測定値と前記基準外径設定値との偏差に基づき前記内圧調整用ガスの流量を調整することができる。
【００１１】
また、本発明のガラス部材の製造方法では、前記ガラス部材が光ファイバ母材である場合に、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成する工程を複数回行うことができる。
本発明のガラス部材の製造方法によれば、熱源がガラス管の端部に位置するときは前記熱源の位置のガラス管の外径によらず内圧を設定値とする。これにより、所定の内圧でガラス管の加熱およびガラス微粒子層またはガラス層の形成を開始することができる。したがって、ガラス管の温度が所定の温度近くとなったときに、急にガラス管の外径が変動することがない。そして内圧を所定の値としてガラス管の外径が一定となるように内圧を調整する制御に切り換える。切り換え時には流量が変化しないようにするので急な内圧の変動がない。それ以降は、内圧の調整により熱源により加熱されるガラス管の外径が一定となる。終了端では逆の動作を行い、切り換え時の流量を基準にして圧力が設定値になるように流量を下げるまたは上げる。
【００１２】
本発明のガラス部材の製造装置は、
ガラス原料含有ガス供給装置と、熱源と、熱源相対移動装置とを備え、前記ガラス原料含有ガス供給装置により前記ガラス管にガラス原料含有ガスを流しつつ前記熱源相対移動装置により前記熱源を前記ガラス管に沿って相対的に移動させて前記ガラス管を加熱し、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するものであって、
前記ガラス管内に内圧調整用ガスを供給する内圧調整用ガス供給装置と、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域の前記熱源の位置における前記ガラス管の内圧を測定するガラス管内圧センサと、
前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域の前記熱源の位置における前記ガラス管の外径を測定するガラス管外径センサと、
前記熱源が前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域にあるときは前記ガラス管内圧センサによる測定値に基づき前記ガラス管の内圧が基準内圧設定値になるように、前記熱源の位置の前記ガラス管の内圧の測定値と前記基準内圧設定値との偏差に基づいて前記内圧調整用ガスの流量を調整する圧力制御を行い、
前記熱源が前記ガラス管の一方の端部領域または双方の端部領域を除く領域にあるときは前記ガラス管外径センサによる測定値に基づき前記ガラス管の外径が基準外径設定値になるように前記熱源の位置の前記ガラス管の外径の測定値と前記基準外径設定値との偏差に基づいて前記内圧調整用ガスの流量を調整する外径制御を行い、かつ、
前記圧力制御および前記外径制御が、一方から他方に切り換わる瞬間に、前記内圧調整用ガスの流量が変化しないように前記圧力制御および前記外径制御を行う、
制御装置と、
を備えたことを特徴とする。
【００１３】
本発明のガラス部材の製造装置では、前記制御装置は、前記圧力制御においては、前記熱源の位置の前記ガラス管の内圧の測定値と前記内圧設定値との偏差に基づき前記内圧調整用ガス流量を調整し、前記外径制御においては、前記熱源の位置の前記ガラス管の外径の測定値と前記基準外径設定値との偏差に基づき前記内圧調整用ガス流量を調整することができる。
また、本発明のガラス部材の製造装置では、前記ガラス部材が光ファイバ母材である場合に、前記ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成する工程を複数回行うことができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明では、ガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成するに際し、ガラス管の端部領域では内圧測定値に基づく圧力制御を行い、ガラス管の端部領域を除く領域（中間領域）では外径測定値に基づく外径制御を行い、かつ圧力制御ＣＰと外径制御ＣＤとの切り換えの瞬間に、内圧調整用ガスの流量が急激に変化しないような制御を行う。これにより、ガラス管の内圧が急激に変化することはなく（したがって、ガラス原料含有ガスの定常的な流れが維持される）、ガラス管の外径を全長にわたり安定させることができる。
また、ガラス管の内圧も安定し、ガラス原料含有ガスの逆流もなく、ガラス微粒子層またはガラス層の形成が乱れるといった問題も生じない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の一実施形態を、ガラス部材をＭＣＶＤ法により製造する場合を例に説明する。なお、各図における各構成要素の寸法・形状等は実際のものと異なる。
【００１６】
以下の実施形態では、ガラス部材は光ファイバ母材であり、後述するようにガラス管の内面にガラス微粒子層またはガラス層を形成する工程が複数回行われる。
【００１７】
図１は本発明のガラス部材の製造装置１を示す説明図である。図１において、製造装置１は、ガラス原料含有ガス供給装置１１と、ガラス管旋盤１２（ガラス管保持部１２１，１２２）と、熱源１３と、熱源相対移動装置１４と、内圧調整用ガス供給装置１５と、ガラス管内圧センサ１６（１６１，１６２）と、ガラス管外径センサ１７と、制御装置１８とを備えている。
【００１８】
ガラス管旋盤１２には、ガラス管保持部１２１，１２２により、両端にダミー管２０１，２０２が取り付けられたガラス管２が保持されている。
【００１９】
熱源１３は、酸水素バーナ、プラズマバーナ、高周波ヒータ、熱線ヒータ等である。ガラス管２にはガラス原料含有ガス３が流され、熱源１３は熱源移動装置１４によりガラス管２に沿って相対的に移動し、当該ガラス管２を加熱する。これにより、ガラス管２の内面にガラス微粒子層またはガラス層（３１）を形成する。なお、ガラス管２の内面にガラス微粒子層またはガラス層（３１）を形成する工程は、その厚みが所定値になるように複数回行われる。
【００２０】
内圧調整用ガス供給装置１５は、バルブ１５１を有しておりバルブ開度に応じて内圧調整用ガス４をガラス管２内（図１ではガラス管保持部１２２）に注入することができる。
【００２１】
ガラス管内圧センサ１６１，１６２は、ガラス管２の端部領域２１，２２における内圧Ｐin1，Ｐin2を測定することができる。本発明における「ガラス管の端部領域」は、図１ではガラス管２の端部領域２１，２２に相当するが、ガラス管２とダミー管２０１，２０２の接合部近傍（ガラス管２の一部とダミー管２０１，２０２の一部）を本発明における「ガラス管の端部領域」としてもよいし、ガラス管２を含まないダミー管２０１，２０２の一部を本発明における「ガラス管の端部領域」としてもよい。なお、両端にダミー管２０１，２０２が取り付けられていない場合には、ガラス管２の製品とされる部分（有効部Ｅ）の両側を本発明における「ガラス管の端部領域」とすることができる。
【００２２】
端部領域２１，２２の内圧をＰin（ｘ）とし、ガラス管２とダミー管２０１，２０２との全体長がＬであり、ガラス管保持部１２１からの端部２１，２２の位置がｘである場合において、ガラス管内圧センサ１６１，１６２の測定値がＰin1，Ｐin2であるときは、
Ｐin（ｘ）＝Ｐin1＋［（Ｌ−ｘ1）／Ｌ］×（Ｐin2−Ｐin1）
として求めることができる。
ガラス管外径センサ１７は、ガラス管２の端部領域２１，２２を除く領域の熱源１３の位置ｘにおけるガラス管２の外径Ｄ（ｘ）を測定することができる。図１において、ｘはガラス管保持部１２１からの距離である。ガラス管外径センサ１７として、具体的には撮像装置を用いた距離検出装置や、レーザ光源を用いた距離検出装置やＣＣＤを使用することができる。撮像装置を用いた距離検出装置では、ガラス管２を撮影し、撮影画像から画像処理（たとえば、ガラス管２の熱源１３を含む部分の形状認識等）によりガラス管２の太さを求めることができる。また、レーザ光源からガラス管２にレーザ光を照射し、出射光と反射光との位相差を測定することでレーザ光源距離（たとえば、結果的には、ガラス管２の中心軸とガラス管２の表面との距離）を検出することができる。
【００２３】
制御装置１８は、熱源１３がガラス管２の端部領域２１，２２にあるときはガラス管内圧センサ１６による測定値に基づきガラス管２の内圧Ｐin（ｔ）が基準内圧設定値（Ｐin*）になるように内圧調整用ガス４の流量ＦＱ（ＦＰ（ｔ）＝ＦＱ）を調整する圧力制御ＣＰを行う。なお、熱源１３の移動は、時間ｔと位置ｘとに相関があるので、流量ＦＱは時間の関数ＦＰ（ｔ）または距離の関数ＦＰ（ｘ）で表される。ここでは、流量ＦＱはＦＰ（ｔ）で記すものとする。
【００２４】
また、制御装置１８は、熱源１３がガラス管２の端部領域２１，２２を除く領域（中間領域２３）にあるときはガラス管外径センサ１７による測定値に基づき内圧調整用ガス４の流量ＦＱを、ガラス管２の外径Ｄ（ｘ）が基準外径設定値（Ｄ*）になるように内圧調整用ガス４の流量ＦＱ（ＦＰ（ｔ）＝ＦＱ）を調整する外径制御ＣＤを行う。なお、圧力制御ＣＰの場合と同様、この場合にも流量ＦＱは時間の関数ＦＤ（ｔ）または距離の関数ＦＤ（ｘ）で表される。ここでは、流量ＦＱはＦＤ（ｔ）で記すものとする。
【００２５】
さらに、制御装置１８は、圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤが、一方から他方に切り換わる瞬間（内圧制御から外径制御ＣＤに切り換わる瞬間ｔ＝ｔch1，外径制御ＣＤから内圧制御に切り換わる瞬間ｔ＝ｔch2）に、内圧調整用ガス４の流量ＦＱが変化しないように圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤを行う（ＦＰ（ｔch1）＝ＦＤ（ｔch1）、ＦＰ（ｔch2）＝ＦＤ（ｔch2））。この切り換えの瞬間は、温度または移動距離によって決まる。温度が上がってガラス管が柔らかくなって制御が効く状態となった時を切り換え時とすることができる。そのために必要な時間または熱源１３の移動距離を予め求め、その時間が経過したときまたは熱源１３が移動したときとすることもできる。
【００２６】
これにより、ガラス管４の内圧が急激に変化することはなく、したがって、ガラス原料含有ガスの定常的な流れが維持される、ガラス管の外径を全長にわたり安定させることができる。また、ガラス原料含有ガスの流れが乱れず、ガラス微粒子層またはガラス層３１の形成が乱れることはない。
【００２７】
図２に制御装置１８の具体例を示す。制御装置１８は、圧力制御系１８１と、外径制御系１８２と、操作量出力部１８３とからなる。
【００２８】
圧力制御ＣＰ系１８１は、差分器１８１１と圧力制御ＣＰコントローラ１８１２と加算器１８１３とからなる。差分器１８１１は、ガラス管端部センサ１６による測定値Ｐin（ｔ）と基準内圧設定値（Ｐin*）との偏差ΔＰinを圧力制御ＣＰコントローラ１８１２に送出する。圧力制御ＣＰコントローラ１８１２では、制御量ＣＰ（ΔＰin，ｔ）を算出して、加算器１８１３に送出する。加算器１８１３は、圧力制御ＣＰ用基準流量ＦＰｂと、制御量ＣＰ（ΔＰin，ｔ）とを加算し、これをガス流量ＦＰ（ｔ）として操作量出力部１８３に送出する。
【００２９】
一方、外径制御ＣＤ系１８２は、差分器１８２１と外径制御ＣＤコントローラ１８２２と加算器１８２３とからなる。差分器１８２１は、ガラス管外径センサ１７による測定値Ｄin（ｔ）と基準外径設定値（Ｄ*）との偏差ΔＤを外径制御ＣＤコントローラ１８２２に送出する。外径制御ＣＤコントローラ１８２２では、制御量ＣＤ（ΔＤ，ｔ）を算出して、加算器１８２３に送出する。加算器１８２３は、外径制御ＣＤ用基準流量ＦＤｂと、制御量ＣＤ（ΔＤ，ｔ）とを加算し、これをガス流量ＦＤ（ｔ）として操作量出力部１８３に送出する。
【００３０】
操作量出力部１８３は、連動スイッチ１８３１を備えており、加算器１８１３，加算器１８２３の何れかからのガス流量値を選択し、これを内圧調整用ガス４の流量設定値として内圧調整用ガス供給装置１５に送出する。
【００３１】
制御装置１８は、熱源１３がガラス管２の端部領域２１から中間領域２３に移行する瞬間（ｔ＝ｔch1）において、ＦＰ（ｔch1）＝ＦＤ（ｔch1）とし、熱源１３がガラス管２の中間領域２３から端部領域２２に移行する瞬間（ｔ＝ｔch2）において、ＦＤ（ｔch2）＝ＦＰ（ｔch2）とする。
【００３２】
圧力制御ＣＰにおいて、ガラス管２の端部２１，２２におけるガラス管内圧Ｐinの測定値が内圧設定値Ｐin*に一致するように、内圧調整用ガス供給装置１５を制御して内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整する。ガラス管内圧Ｐinは、ガラス管内圧センサ１６１，１６２の測定値の差分から、ガラス管２の端部２１，２２の圧力を測定することができる。
【００３３】
また、制御装置１８は、外径制御ＣＤにおいて、熱源１３の位置ｘのガラス管２の外径Ｄ（ｘ）の測定値が基準外径設定値Ｄ*に一致するように、内圧調整用ガス供給装置１５を制御して内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整する。
【００３４】
すなわち、制御装置１８は、圧力制御ＣＰと外径制御ＣＤとの切り換えに際し、内圧調整用ガス４の流量ＦＱが切り換えの前と後とで変化しないように、内圧調整用ガス供給装置１５を制御して、内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整している。
【００３５】
図３（Ａ）に、本実施形態による処理を行った場合の、圧力制御ＣＰから外径制御ＣＤに切り換わるときの内圧調整用ガス４の流量ＦＱを示す。図３（Ａ）では、圧力制御ＣＰから外径制御ＣＤに切り換われる時刻ｔch1および外径制御ＣＤから圧力制御ＣＰに切り換われる瞬間に内圧調整用ガス４の流量ＦＱが変化しないような制御が行われている様子が示されている。なお、図３（Ｂ）に本実施形態による処理を行わない場合の、内圧調整用ガス４の流量ＦＱを参考に示す。
【００３６】
本発明のガラス部材の製造方法の実施形態を、製造装置１を用いた場合を例に、図４のフローチャートを参照して説明する。
制御が開始されると、まず制御装置１８は圧力制御ＣＰを行う（Ｓ１０１）。圧力制御ＣＰでは、ガラス管２の熱源１３の位置ｘにおける内圧Ｐinを測定し、ガラス管２の端部の内圧Ｐinの測定値に基づき前記内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整する。
【００３７】
すなわち、圧力制御ＣＰにおいては、熱源１３の位置ｘ（すなわち、基準時刻からの経過時間ｔ）におけるガラス管１２の端部領域２１におけるガラス管内圧Ｐinの測定値が内圧設定値Ｐin*に一致するように内圧調整用ガス４の流量ＦＱ（＝ＦＰ（ｔ））の調整が行われる。具体的には、熱源１３の位置ｘ（すなわち、基準時刻からの経過時間ｔ）における内圧Ｐinの測定値と内圧設定値Ｐin*との偏差ΔＰinに基づき内圧調整用ガス４の流量ＦＱが決定される。
【００３８】
熱源１３が端部領域２１に存在しているときには上記の制御が継続して行われる（Ｓ１０２の「ＹＥＳ」）が、熱源１３が端部領域２１に存在しなくなったとき（中央領域２３に到達したとき：Ｓ１０２の「ＮＯ」））は、外径制御ＣＤを行う（Ｓ１０３）。圧力制御ＣＰから外径制御ＣＤに切り換わる瞬間（ｔch1）に、内圧調整用ガス４の流量ＦＱが変化しないように圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤを行う（ＦＰ（ｔch1）＝ＦＤ（（ｔch1））。
【００３９】
外径制御ＣＤでは、ガラス管２の熱源１３の位置ｘにおける外径Ｄ（ｘ）を測定し、熱源１３の位置ｘにおけるガラス管２の外径Ｄ（ｘ）の測定値に基づき内圧調整用ガス４の流量ＦＱを調整する。すなわち、外径制御ＣＤにおいては、熱源１３の位置ｘにおけるガラス管２の外径Ｄ（ｘ）の測定値が基準外径設定値Ｄ*に一致するように内圧調整用ガス４の流量ＦＱ（＝ＦＤ（ｔ））の調整が行われる。具体的には、熱源１３の位置ｘ（すなわち、基準時刻からの経過時間ｔ）における外径Ｄの測定値と基準外径設定値Ｄ*との偏差ΔＤに基づき内圧調整用ガス４の流量ＦＱが決定される。
【００４０】
熱源１３が中間領域２３に存在しているときには上記の制御が継続して行われる（Ｓ１０４の「ＹＥＳ」）が、熱源１３が中間領域２３に存在しなくなったとき（端部領域２２に到達したとき：Ｓ１０４の「ＮＯ」））は、圧力制御ＣＤを行う（Ｓ１０５）。外径制御ＣＤから圧力制御ＣＰに切り換わる瞬間（ｔch2）に、内圧調整用ガス４の流量ＦＱが変化しないように圧力制御ＣＰおよび外径制御ＣＤを行う（ＦＰ（ｔch2）＝ＦＤ（（ｔch2））。
【００４１】
この後、トラバースターンを行うかが判断され、トラバースターンを行うとき（Ｓ１０５の「ＹＥＳ」）は、熱源の温度を下げるか、熱源の動作を停止して、ガラス層形成のために移動するときの速度よりも高速で開始点まで熱源を移動させる（この間、ガラス微粒子層またはガラス層は形成されない）。
この後、ステップＳ１０１に処理を戻すが、トラバースターンを行わないとき（Ｓ１０５の「ＮＯ」）は処理を終了する。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明のガラス部材の製造装置の一実施形態を示す説明図である。
【図２】図１の製造装置における制御装置の具体例を示す図である。
【図３】（Ａ）は本実施形態による処理を行った場合の、圧力制御から外径制御に切り換わるときの内圧調整用ガスの流量を示す図、（Ｂ）に本実施形態による処理を行わない場合の、内圧調整用ガスの流量を示す図である。
【図４】本発明のガラス部材の製造方法を示すフローチャートである。
【図５】従来のガラス部材の製造装置を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  製造装置
１１  ガラス原料含有ガス供給装置
１２  ガラス管旋盤
１３  熱源
１４  熱源相対移動装置
１５  内圧調整用ガス供給装置
１６（１６１，１６２）  ガラス管内圧センサ
１７  ガラス管外径センサ
１８  制御装置
３１  ガラス微粒子層またはガラス層
２１，２２  端部領域
２３  中間領域
１２１，１２２  ガラス管保持部
１８１  圧力制御系
１８２  外径制御系
１８３  操作量出力部
２０１，２０２  ダミー管
１８１１, １８２１  差分器
１８１２  圧力制御ＣＰコントローラ
１８１３，１８２３  加算器
１８２２  外径制御ＣＤコントローラ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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