(57)【要約】 【課題】    広幅の基板やフィルムであっても、フィルムと基板を枚葉式で貼り付けることができるようにしたい。  【解決手段】    フィルムロール３ａ，３ｂから繰り出された帯状のフィルム１２ａ，１２ｂを基板１とともに１対の圧着ローラ１７ａ，１７ｂ間を両圧着ローラで加圧しつつ移動させることにより基板上にフィルムを貼り付け、その貼付中にフィルムを基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断し、所望の長さのフィルムを基板に貼り付けるフィルム貼付装置であり、基板に貼り付けるフィルムを基板に向けて搬送する側の圧着ローラ１７ａは圧着ローラより小径のバックアップローラ１８ａを備え、基板に向けて搬送されるフィルムとバックアップローラの間にフィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを保持して基板の長さに合わせて所望の長さに切断するカッタ手段２２を設けた。  【選択図】図１
2007112073.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板とともに１対の圧着ローラ間を両圧着ローラで加圧しつつ移動させることにより基板上にフィルムを貼り付け、その貼付中にフィルムを基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断し、所望の長さのフィルムを基板に貼り付けるフィルム貼付装置において、  
基板に貼り付けるフィルムを基板に向けて搬送する側の圧着ローラは圧着ローラより小径のバックアップローラを備え、基板に向けて搬送されるフィルムと圧着ローラとバックアップローラの空間にフィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板の長さに合わせて所望の長さに切断するためのフィルムの保持部材を設けたことを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項２】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、フィルムの幅方向におけるバックアップローラの長さは圧着ローラの長さより短いものであることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項３】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、圧着ローラはフラットローラで、バックアップローラはクラウンローラであることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項４】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、フィルムの保持部材はカッタを備えていることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項５】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、フィルムの保持部材はフィルムの後端部を保持するものであることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項６】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、フィルムロールは基板の搬送方向に直交する幅方向に複数本並列に設けてあり、各フィルムロールから繰り出された個々の帯状のフィルムは個別に切断されて１対の圧着ローラを並んで通過して基板に同時に貼り付けられるものであることを特徴とするフィルム貼付装置。  
【請求項７】
請求項１に記載のフィルム貼付装置において、圧着ローラの外周部にフィルムの先端部および後端部の少なくとも一方を圧着ローラに静電吸着させる帯電装置を設けてあることを特徴とするフィルム貼付装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板とともに１対の圧着ローラ間を両圧着ローラで加圧しつつ移動させることにより基板上にフィルムを貼り付け、その貼付中にフィルムを基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断し、所望の長さのフィルムを基板に貼り付けるフィルム貼付装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、フィルム貼付装置が使用される表示パネルの製造分野などでは、基板ガラスの寸法が大きくなり、長さ２２００mm,幅１８００mmの第７世代で製造が実施されており、長さ２４００mm,幅２０００mmの第８世代基板ガラスの使用が検討されている。
【０００３】
フィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板とともに１対の圧着ローラ間を両フラットな圧着ローラで加圧しつつ移動させることにより基板上にフィルムを貼り付ける場合、帯状のフィルムが広幅であると、圧着ローラがフィルムの幅方向両端部で軸支され、軸支箇所で加圧力が与えられるので、圧着ローラがフィルムを基板に押し付ける加圧力は幅方向中央で低く、両側で高くなる。
【０００４】
このような加圧力の不均一性を解消するために、従来は下記特許文献１に示されるように、圧着ローラにバックアップローラを設けて、圧着ローラとバックアップローラのすくなくとも一方にクラウンローラを用いている。
【０００５】
また、均一な厚さの広幅フィルムを製作することが困難になってきており、基板もフィルムを貼り付けた後で切断し、１枚の基板から複数の表示パネルを得ることも行なっていることから、下記特許文献２に示されるように、狭幅のフィルムを複数本併設し、複数のフィルムを広幅基板に並列に同時に貼り付けることも提案されている。
【０００６】
この場合、基板に同じ条件でフィルムを貼り付けたいので、フィルムを分けても、圧着ロールは広幅基板の幅に対応した長さとしている。
【０００７】
【特許文献１】特開２０００−３３４８３６号公報
【特許文献２】特開２００５−１５３４２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記両従来技術は、一定間隔を持って搬送されてくる複数の基板をフィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを各基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断することなく１対の圧着ローラ間をフィルムとともに通過させ、このときに圧着ローラで加圧してフィルムを各基板に貼り付け、フィルムで繋がった各基板は基板間のフィルムを切断することにより各基板を分離する連続式フィルム貼付装置に関するもので、枚葉式フィルム貼付装置については説明されていない。
【０００９】
枚葉式フィルム貼付装置はフィルムを基板に貼り付ける場合、フィルムは圧着ローラを通過する前に各基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断するもので、圧着ローラを通過した各基板はフィルムで繋がっておらず独立している。
【００１０】
上記したような巨大な基板では処理中に基板が破損すると歩留まりが低下するし、連続式ではフィルムの無駄が多いので、枚葉式で基板を処理することが好ましいが、枚葉式フィルム貼付装置では、カッタで切断されたフィルムの後端部を基板に自由落下させると、フィルムにしわができたり基板とフィルムの間に気泡ができたりする恐れがあるので、カッタは圧着ローラに近づけて設け、さらにカッタで切断するフィルムの保持部材を設ける必要があり、バックアップローラを設けると、フィルムの保持部材などを設けることが困難であった。
【００１１】
それゆえ本発明の目的は、広幅の基板やフィルムであっても、フィルムと基板を枚葉式で貼り付けることができるフィルム貼付装置を提供することにある。
【００１２】
さらに本発明の目的は、狭幅の複数のフィルムを広幅の基板に並列に枚葉式で貼り付けることができるフィルム貼付装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成する本発明フィルム貼付装置の特徴とするところは、フィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板とともに１対の圧着ローラ間を両圧着ローラで加圧しつつ移動させることにより基板上にフィルムを貼り付け、その貼付中にフィルムを基板の長さに合わせてカッタで所望の長さに切断し、所望の長さのフィルムを基板に貼り付けるフィルム貼付装置において、基板に貼り付けるフィルムを基板に向けて搬送する側の圧着ローラは圧着ローラより小径のバックアップローラを備え、基板に向けて搬送されるフィルムと圧着ローラとバックアップローラの空間にフィルムロールから繰り出された帯状のフィルムを基板の長さに合わせて所望の長さに切断するためのフィルムの保持部材を設けたことにある。
【発明の効果】
【００１４】
本発明においては、バックアップローラと圧着ローラとフィルムの間に空間を持つことができ、この空間にフィルムの保持部材を設置するので、広幅の基板やフィルムであっても、均一な加圧力を付加してフィルムと基板を枚葉式で貼り付けることができる。
【００１５】
バックアップローラを狭幅のものとし剛性を高くすると、加圧力は一層均一化するだけでなく、バックアップローラと圧着ローラとフィルムの間に広い空間を持つことができ、カッタの設置が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の各実施形態を図に基づいて説明する。各実施形態において、説明の重複を避けるため、同一物や相当物には同一符号を付けている。
【実施例１】
【００１７】
図１，図２は、本発明の第一の実施形態になるフィルム貼付装置を示しており、図１はフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図、図２はフィルム貼付装置の圧着ロール部を前側から見た概略図である。
【００１８】
１は複数のローラ２を並べて形成された搬送路を図において左から右の方向に搬送されるガラス製の基板である。この基板を搬送する基板の搬送方向で基板の長手方向に対し直交する方向、つまり、図１の紙面に垂直な方向を幅方向とする。フィルムロール３ａ，３ｂは基板１の幅方向に並列に配置される構成でフィルム巻出軸４ａ，４ｂに装着してあり、フィルム巻出軸４ａ，４ｂはサーボモータ５ａ，５ｂによって個別に独立して駆動制御される。
【００１９】
フィルムロール３ａ，３ｂはレジストフィルム７ａ，７ｂの表裏をカバーフィルム６ａ，６ｂとベースフィルム８ａ，８ｂで覆ってある３層構造のフィルム９ａ，９ｂを巻回したもので、フィルム巻出軸４ａ，４ｂ側がカバーフィルム６ａ，６ｂで外周側がベースフィルム８ａ，８ｂとなっている。なお、カバーフィルム６ａ，６ｂとベースフィルム８ａ，８ｂはレジストフィルム７ａ，７ｂの粘着力で一体になっている。
【００２０】
フィルムロール３ａ，３ｂから繰り出したフィルム９ａ，９ｂはフリーローラ１０ａ，１０ｂを経てカバーフィルム剥離ローラ１１においてカバーフィルム６ａ，６ｂを剥離し、２層のフィルム１２ａ，１２ｂとなり、剥離されたカバーフィルム６ａ，６ｂはカバーフィルム巻取ロール１３ａ，１３ｂで巻き取っている。
【００２１】
２層のフィルム１２ａ，１２ｂの先端は、基板１の幅方向に沿って延びた先端仮付部材１６に吸着される。先端仮付部材１６は複数のローラ２を並べて形成された基板１の搬送路の方向に移動し、吸着したフィルム１２ａ，１２ｂの先端を搬送路上の基板１に仮付けして吸着を解除し、その後、元の位置に復帰する。先端仮付部材１６の搬送路側下端部にはフィルム１２ａ，１２ｂを予熱しフィルム１２ａ，１２ｂの先端を基板１へ仮付けし易くするためのヒータを内蔵している。先端仮付部材１６の移動経路はフィルム１２ａ，１２ｂの移動経路であり、フィルム１２ａ，１２ｂの移動経路に面した先端仮付部材１６の表面には複数の吸引孔を設けてあり、吸引することでフィルム１２ａ，１２ｂを吸着し、吸引を止めることでフィルム１２ａ，１２ｂの吸着を解除しフィルム１２ａ，１２ｂを開放する。
【００２２】
カバーフィルム剥離ローラ１１と先端仮付部材１６の間に張力調整用ローラ１４を設けてあり、ローラ１４に掛かるフィルム１２ａ，１２ｂの張力を圧力センサ１５で検出し、ローラ１４の軸位置を調整して、フィルム１２ａ，１２ｂの張力が常に一定になるようにしている。
【００２３】
先端仮付部材１６の移動方向に当たる搬送路に１対の圧着ローラ１７ａ，１７ｂをその軸方向を基板１の幅方向に一致させて上下に設置してあり、１対の圧着ローラ１７ａ，１７ｂの間を基板１が通過していく。
【００２４】
各圧着ローラ１７ａ，１７ｂは内部に電熱ヒータを内蔵し、円筒状の外周面には樹脂製の誘電体膜をコーテイングしてあり、駆動軸は接地してある。電熱ヒータは外部からの電力供給を調整することにより、温度制御をすることができるようになっている。圧着ローラ１７ａはフィルム１２ａ，１２ｂを加熱し、圧着ローラ１７ｂは基板１を加熱して、フィルム１２ａ，１２ｂが基板１に容易に貼り付くようにしている。
【００２５】
各圧着ローラ１７ａ，１７ｂにはバックアップローラ１８ａ，１８ｂを配設してある。各圧着ローラ１７ａ，１７ｂはフラットローラ、各バックアップローラ１８ａ，１８ｂはクラウンローラであり、上側の圧着ローラ１７ａに対するバックアップローラ１８ａの径は圧着ローラ１７ａより小さい径で、バックアップローラ１８ａの最大径部が圧着ローラ１７ａの径の約半分としてある。下側の圧着ローラ１７ｂとそのバックアップローラ１８ｂの径は、ほぼ等しいものを用いた。
【００２６】
各圧着ローラ１７ａ，１７ｂと各バックアップローラ１８ａ，１８ｂの軸芯位置は上下に並んでおり、圧着ローラ１７ａとバックアップローラ１８ａの加圧力は基板１の上側の表面に、また圧着ローラ１７ｂとバックアップローラ１８ｂの加圧力は基板１の下側の表面に向けて垂直に向かうようになっている。圧着ローラ１７ａとバックアップローラ１８ａ，圧着ローラ１７ｂとバックアップローラ１８ｂをそれぞれローラユニット１９ａ，１９ｂと呼ぶ。
【００２７】
上側の圧着ローラ１７ａとバックアップローラ１８ａとフィルム１２ａ，１２ｂの移動経路の間に空間を形成でき、その空間部にフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい寸法になるように切断する円盤カッタ２０とフィルム１２ａ，１２ｂ吸着するフィルム保持部材２１を設けている。円盤カッタ２０とフィルム保持部材２１をカッタユニット２２と呼ぶ。
【００２８】
バックアップローラ１８ｂの長さは圧着ローラ１７ｂの長さと同じであるが、バックアップローラ１８ａの長さは圧着ローラ１７ａの長さに対し短いものを用いて、小径のバックアップローラ１８ａの剛性を高めている。バックアップローラ１８ａの両端部では圧着ローラ１７ａの上部に空間ができるので、ローラユニット１９ａの移動機構やカッタユニット２２の固定機構などの設置が容易になる。
【００２９】
フィルム保持部材２１は上下に分かれており、その間にカッタ２０が位置する。フィルム保持部材２１は２本のフィルム１２ａ，１２ｂを同時に吸着し、カッタ２０は両フィルム１２ａ，１２ｂの幅方向に移動してフィルム保持部材２１の吸着保持された両フィルム１２ａ，１２ｂを切断する。
【００３０】
ローラユニット１９ａ，１９ｂは、後述するように基板１へのフィルム貼付に当たり、先端仮付部材１６が基板１に向かって移動するときに前もって基板搬送路から離れ、逆に先端仮付部材１６が基板１から離れると近づくように移動し、その移動に合わせて、カッタユニット２２も一緒に移動するようになっている。
【００３１】
さらに、カッタユニット２２は、カッタ２０が両フィルム１２ａ，１２ｂの前側（下流側）から後側（上流側）に両フィルム１２ａ，１２ｂの厚さを刃先が突出するように移動してから、基板１へのフィルム貼付中に基板１の搬送路上での移動速度（＝圧着ローラ１７ａ，１７ｂの回転速度）と同一速度で基板１に向かって移動し、その間にカッタ２０は幅方向に移動してフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい寸法になるように切断する。
【００３２】
なお、カッタ２０は円盤カッタでなく、円柱の周囲に螺旋状の歯を設けてあるロータリカッタとし、両フィルム１２ａ，１２ｂを挟んで対向する位置に固定歯を設けておいてもよい。ロータリカッタの場合は、カッタユニット２２は、基板１へのフィルム貼付中に基板１に向かって移動することなく、円柱部の回転により螺旋状歯の切断位置が基板１の搬送路上での移動速度（＝圧着ローラ１７ａ，１７ｂの回転速度）と同一速度で幅方向に移動してフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい寸法になるように切断する。さらに、カッタ２０は切り出し小刀状の刃を用いてもよい。
【００３３】
上側の圧着ローラ１７ａの外周部に圧着ローラ１７ａから任意の距離を保って２本のフィルム１２ａ，１２ｂに電荷を付与する帯電装置２３を設けてあり、ローラユニット１９ａ（１９ｂ）とカッタユニット２２が基板搬送路から離れる方向に移動すると、ローラユニット１９ａ，カッタユニット２２と帯電装置２３の間を先端仮付部材１６が２本のフィルム１２ａ，１２ｂの各先端部を吸着して基板搬送路の方向に移動する。帯電装置２３は先端仮付部材１６の移動の邪魔にならぬ位置に設置されている。
【００３４】
帯電装置２３は、電源装置から高電圧を受けて２本のフィルム１２ａ，１２ｂの後端部に電荷を付与するものであり、電荷付与のタイミングは後述する。
【００３５】
２４は基板搬送路上を搬送されてくる基板１の先端を検出する基板先端検出センサで、光透過型あるいは光反射型のセンサを用いている。２５は、基板１を挟持し搬送するニップローラである。
【００３６】
カバーフィルム剥離ローラ１１は、カッタ２０からローラ１４を経てカバーフィルム剥離ローラ１１までのフィルム１２ａ，１２ｂの長さがフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい寸法になるように、カバーフィルム剥離ローラ１１の軸芯位置をフィルム１２ａ，１２ｂの移動方向に移動できるようにしてある。これは、カッタ２０がフィルム１２ａ，１２ｂを切断しているときにカバーフィルム剥離ローラ１１でのカバーフィルム６ａ，６ｂの剥離が一時的に止まり、その時にレジストフィルム７ａ，７ｂに幅方向にスジが発生し、このスジを含む部分が基板１に貼り付けられると、基板生産上の歩留まり低下の原因になるので、スジが間隔をもって搬送されてくる各基板間に位置するようにするものである。
【００３７】
２８ａ，２８ｂはフィルム９ａ，９ｂを繰り出すことで小径化していくフィルムロール３ａ，３ｂの外径までの距離を計測する非接触式距離センサで、計測結果はフィルムロール３ａ，３ｂの残量を割り出すのに利用する。
【００３８】
以下、フィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい寸法になるように切断しながら貼り付ける概略動作を説明する。
【００３９】
図１において、先ず準備として、フィルムロール３ａ，３ｂからフィルム９ａ，９ｂを繰り出し、フリーローラ１０ａ，１０ｂを経てカバーフィルム剥離ローラ１１においてカバーフィルム６ａ，６ｂを剥離し、剥離したカバーフィルム６ａ，６ｂはカバーフィルム巻取ロール１３ａ，１３ｂに巻き付け、カバーフィルム６ａ，６ｂを剥離し２層となったフィルム１２ａ，１２ｂは、張力調整用ローラ１４，先端仮付部材１６を経てカッタユニット２２に到らしめる。
【００４０】
連続して搬送されてくる複数の基板１の長さが分かっているので、カバーフィルム剥離ローラ１１から円盤カッタ２０によるフィルム切断位置までの長さが基板に貼り付けたい長さ（もしくはその整数倍の長さ）になるようにカバーフィルム剥離ローラ１１の位置を設定する。そして、２層のフィルム１２ａ，１２ｂを先端仮付部材１６とフィルム保持部材２１とで吸着保持し、円盤カッタ２０で２層のフィルム１２ａ，１２ｂを切断し、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部分は廃棄する。その後、フィルム保持部材２１でのフィルム１２ａ，１２ｂの吸着保持を解除し、図示していない空気吹付装置でフィルム１２ａ，１２ｂの先端部を先端仮付部材１６に吹き付け、先端仮付部材１６はフィルム１２ａ，１２ｂの先端部を吸着し保持する。そして内蔵するヒータで保持した先端部を予熱する。これで準備は完了し、基板１の搬送を待つ。
【００４１】
基板先端検出センサ２４が基板１の先頭位置を検出すると、ニップローラ２５は基板１の搬送を停止し、ローラユニット１９ａ，１９ｂとカッタユニット２２は図３（ａ）に示すように、搬送路の下流側に後退するとともに搬送路から離れる。
【００４２】
次に、ニップローラ２５は基板１をフィルム１２ａ，１２ｂの貼付開始位置まで下流側にわずかに搬送して基板１を停止させる。次に、先端仮付部材１６がフィルム１２ａ，１２ｂを保持したまま搬送路側に進み、フィルム１２ａ，１２ｂの先端を基板１に押し付けて、仮付けを行なう。このとき、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は予熱され基板１に粘着しやすくなっている。
【００４３】
先端仮付部材１６はフィルム１２ａ，１２ｂの先端部を基板１に仮付けをすると先端部の吸着を解除して、図３（ｂ）に示すように元の位置に戻り、ローラユニット１９ａ，１９ｂとカッタユニット２２は、搬送路の上流側に前進するとともに搬送路に向かい、基板１とフィルム１２ａ，１２ｂの先端部を挟持する。
【００４４】
その後、図３（ｃ）に示すようにローラユニット１９ａ，１９ｂは回転して、基板１とフィルム１２ａ，１２ｂを圧着させつつ下流側に搬送し、搬送中にカッタユニット２２のカッタ２０がフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい長さに切断する。フィルム１２ａ，１２ｂの繰り出し長さはフィルム巻出軸４ａ，４ｂなど設置したエンコーダにより図示していない制御部で把握しているので、カッタ２０がフィルム１２ａ，１２ｂを切断する位置は簡単に演算により求めることができる。
【００４５】
カッタ２０がフィルム１２ａ，１２ｂを切断すると、切断により所望の長さを持つ枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部はローラユニット１９ａ，１９ｂの回転で引っ張られ、フィルム保持部材２１上を滑っていく。一方、切断されたフィルム１２ａ，１２ｂのカッタ２０より上流側の部分はフィルムロール３ａ，３ｂやカバーフィルム巻取ロール１３ａ，１３ｂの駆動が止まり、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は次の枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの先端部として、先端仮付部材１６とフィルム保持部材２１に吸着保持されている。
【００４６】
そして、図３（ｄ）に示すように、枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部が圧着ローラ１７ａに対向する位置になると、帯電装置２３から電荷の供給を受けて、枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部は圧着ローラ１７ａに静電吸着される。帯電装置２３がフィルム２６ａ，２６ｂの後端部に電荷を供給するタイミングは、基板先端検出センサ２４による基板１の先頭位置を検出や圧着ローラ１７ａなど設置したエンコーダによる回転量などにより図示していない制御部で把握している。
【００４７】
フィルム２６ａ，２６ｂの後端部が圧着ローラ１７ａに静電吸着されると、帯電装置２３からの電荷供給を止めて、ローラユニット１９ａ，１９ｂがさらに回転し、基板１にフィルム２６ａ，２６ｂを後端部まで貼り付けて、下流に搬送し、図１に示す状態になって、以降以上説明した動作を基板１の搬送が止むまで繰り返す。
【００４８】
下流側に搬送された基板１は図９に示すように枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂが貼り付けられた構成になっている。図１０は図９のＩ−Ｉ切断線に沿った横断面を示している。
【００４９】
図９において、フィルム２６ａ，２６ｂの長さＬが基板１に貼り付けたいフィルムの長さである。基板１は図９，図１０に二点鎖線で示す位置で切断され、個別のパネルとなる。
【００５０】
図４は、図１のローラユニット１９ａ，１９ｂが基板１にフィルム１２ａ，１２ｂ（２６ａ，２６ｂ）を貼り付けるときの加圧力の分布状況を示している。
【００５１】
図４（ａ）は、基板１，フィルム１２ａ，１２ｂ（２６ａ，２６ｂ），ローラユニット１９ａ，１９ｂの配置を上流側から示したもので、云わば、基板１の幅方向の位置を示しており、圧着ローラ１７ａ，１７ｂとバックアップローラ１８ａ，１８ｂは幅方向の中心を一致させている。
【００５２】
図４（ｂ）はバックアップローラ１８ａの加圧力Ｐ１８ａ、図４（ｃ）は圧着ローラ１７ａの加圧力Ｐ１７ａで、合成したローラユニット１９ａの加圧力Ｐ１９ａは図４（ｄ）のようになる。
【００５３】
また、図４（ｅ）は圧着ローラ１７ｂの加圧力Ｐ１７ｂ、図４（ｆ）はバックアップローラ１８ｂの加圧力Ｐ１８ｂで、合成したローラユニット１９ｂの加圧力Ｐ１９ｂは図４（ｇ）のようになる。
【００５４】
バックアップローラ１８ａ，１８ｂにおける加圧力Ｐ１８ａ，Ｐ１８ｂの分布は、バックアップローラ１８ａ，１８ｂの幅方向の長さ，径，軸端部への加圧力で調整が可能で、圧着ローラ１７ａ，１７ｂにおける加圧力Ｐ１７ａ，Ｐ１７ｂとの調整により、バックアップローラ１８ａはバックアップローラ１８ｂに較べて幅方向に短いが、合成加圧力Ｐ１９ａ，１９ｂを平坦なものとすることができる。
【００５５】
バックアップローラ１８ａの幅方向の長さを長くすると、加圧力Ｐ１８ａの変化は緩やかになり、径を大きくすると、加圧力Ｐ１８ａの変化は大きくなる。
【００５６】
圧着ローラ１７ａ，１７ｂをクラウンローラとし、バックアップローラ１８ａ，１８ｂをフラットローラとしても、それらの合成加圧力は図４（ｄ），（ｇ）のように平坦なものとすることができる。
【００５７】
合成加圧力が平坦であることにより、前もって貼り付けたい長さに切断されるフィルム１２ａ，１２ｂは先端部や後端部にしわや気泡を発生することなく幅方向に均一な加圧力で基板１に枚葉で貼り付けられる。
【００５８】
上記実施例では複数のフィルムロールとして２本のフィルムロール３ａ，３ｂを設置しているが、3本以上のフィルムロールを設置してもよい。
【実施例２】
【００５９】
図５は、本発明の第二の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。  
この実施例では、図１の先端仮付部材１６とフィルム保持部材２１に代えて、先端保持部材３１と後端保持部材３２を用い、カッタ３３は基板１の搬送路の上流側に設けてある。
【００６０】
準備する場合、フィルム１２ａ，１２ｂを先端保持部材３１と後端保持部材３２で吸着保持し、後端保持部材３２を受台としてカッタ３３で切断する。切断した先の部分を廃棄すると、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は先端保持部材３１から先の後端保持部材３２上となる。
【００６１】
基板先端検出センサ２４が基板１の先頭位置を検出すると、ニップローラ２５は基板１の搬送を停止し、後端保持部材３２はフィルム１２ａ，１２ｂの先端部に対する吸着保持を解除し、ローラユニット１９ａ，１９ｂと後端保持部材３２は図６（ａ）に点線で示すように、搬送路の下流側に後退するとともに搬送路から離れる。
【００６２】
そして、先端保持部材３１はフィルム１２ａ，１２ｂを吸着保持したまま搬送路側に前進し、先端部が圧着ローラ１７ａに対向するようにする。
【００６３】
その後、ローラユニット１９ａ，１９ｂが図６（ａ）に実線で示すように前進し、圧着ローラ１７ａをフィルム１２ａ，１２ｂの先端部と対向させる。フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は圧着ローラ１７ａと帯電装置２３の間にあり、帯電装置２３からフィルム１２ａ，１２ｂの先端部に電荷を供給すると、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は圧着ローラ１７ａの外周面に静電吸着する。このとき圧着ローラ１７ａを回転させていると吸着部にしわや気泡が発生しない。一方、ニップローラ２５は基板１をフィルム１２ａ，１２ｂの貼付開始位置まで下流側にわずかに搬送して基板１を停止させる。
【００６４】
次に、図６（ｂ）のように先端保持部材３１におけるフィルム１２ａ，１２ｂの吸着保持を解除して元の位置に戻り、後端保持部材３２は前進して元の位置に戻る。  
さらに圧着ローラ１７ａは回転してフィルム１２ａ，１２ｂの先端を基板１と貼合開始位置に持って行き、基板１側に移動して基板１とフィルム１２ａ，１２ｂの先端部を挟持し先端部を基板１に貼り付ける。
【００６５】
そして、ローラユニット１９ａ，１９ｂは回転し、図６（ｃ）のように基板１にフィルム１２ａ，１２ｂを貼り付けていき、カッタ０と同様にカッタ３３がフィルム１２ａ，１２ｂを基板１に貼り付けたい長さに切断する。この場合、先端保持部材３１と後端保持部材３２はフィルム１２ａ，１２ｂを吸着保持し、フィルム１２ａ，１２ｂの移動に合わせて移動する。
【００６６】
カッタ３３がフィルム１２ａ，１２ｂを切断すると、切断により所望の長さを持つ枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部はローラユニット１９ａ，１９ｂの回転で引っ張られ、後端保持部材３２上を滑っていく。一方、切断されたフィルム１２ａ，１２ｂのカッタ３３より上流側の部分はフィルムロール３ａ，３ｂやカバーフィルム巻取ロール１３ａ，１３ｂの駆動が止まり、フィルム１２ａ，１２ｂの先端部は次の枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの先端部として、先端仮付部材３１と後端保持部材３２に吸着保持されている。
【００６７】
図６（ｄ）に示すように、枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部が圧着ローラ１７ａに対向する位置になると、再び帯電装置２３から電荷の供給を受けて、枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂの後端部は圧着ローラ１７ａに静電吸着される。
【００６８】
フィルム２６ａ，２６ｂの後端部が圧着ローラ１７ａに静電吸着されると、帯電装置２３からの電荷供給を止めて、ローラユニット１９ａ，１９ｂがさらに回転し、基板１にフィルム２６ａ，２６ｂを後端部まで貼り付けて、下流に搬送し、図５に示す状態になって、以降以上説明した動作を基板１の搬送が止むまで繰り返す。
【００６９】
この実施例では、フィルムの先端と後端を圧着ローラ１７ａで静電吸着し、基板１に貼り付けているので、基板１には異なる部材で貼り付けを行なうことによる段差の発生やしわあるいは気泡が発生することがない。
【００７０】
図５の実施例によっても、図９，図１０のように基板１に枚葉のフィルム２６ａ，２６ｂを貼り付けることができる。
【００７１】
図１あるいは図５に示す実施例で、基板１の搬送に合わせて基板１の中間においてフィルム１２ａ，１２ｂの切断を行ない、先端部と後端部の貼り付けを繰り返すと、図１１に示すように田形に枚葉でフィルム２６ａ〜２６ｄを貼り付け、二点鎖線で示す位置で十字に基板１を切断すると４枚のパネルを得ることができる。さらに、基板１の中間でフィルム１２ａ，１２ｂの２回の切断と３回の貼り付けを行えば、６枚のパネルを得ることができる。
【実施例３】
【００７２】
図７は、本発明の第三の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。  
この実施例は図１，図５では２本のフィルムロール３ａ，３ｂを懸架していることに対し、１本のフィルム１２を基板１の全幅方向に貼り付けるものである。  
図５の実施例と同様のものであるので、フィルムの区別を示す添え字は省略した。
【００７３】
フィルム貼付動作は図６と全く同様であり、図１２に示すように枚葉のフィルム２６を貼り付けた基板１を得ることができる。
【実施例４】
【００７４】
図８は、本発明の第四の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。  
この実施例は図７の実施例と同様にフィルム１２Ａ，１２Ｂを基板１の上下各面に全幅方向に貼り付けるものである。
【００７５】
図１の実施例と同様のものを上下に反転した形に設置し、片側２本のフィルムの区別を示す添え字は省略する代わりに、各符号には上下各１本のフィルムを示すように搬送路より上方のものにはＡの添え字、搬送路より下方のものにはＢの添え字を付けた。
【００７６】
この実施例で図１に示すものと異なるところは、カッタユニット２２Ｂを設けてあり、バックアップローラ１８Ｂとして圧着ローラ１７Ｂよりも小径のものを用いていることにある。  
この実施例によれば、図１３のような基板１が得られる。
【００７７】
また、基板１の上下各側について、図１や図５に示す構成とし、上下両面に図９，図１１の形に並列にフィルムを貼り付けるようにしてもよい。
【００７８】
以上の各実施例において、圧着ローラは吸引によりフィルム１２ａ，１２ｂを吸着するものであってもよい。フィルムの保持部材は、吸引により保持する方式のものに代えて、静電吸着により保持するものであってもよい。静電吸着により保持するものは、保持終了後に除電をする手段を設けておくとよい。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の第一の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。
【図２】図１に示すフィルム貼付装置の圧着ロール部を前側から見た概略図である。
【図３】図１に示すフィルム貼付装置におけるフィルム貼付状況を説明する図である。
【図４】図１に示すフィルム貼付装置におけるフィルム貼付時の加圧力の分布状況を説明する図である。
【図５】本発明の第二の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。
【図６】図５に示すフィルム貼付装置におけるフィルム貼付状況を説明する図である。
【図７】本発明の第三の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。
【図８】本発明の第四の実施形態になるフィルム貼付装置の全体構成を示す概略図である。
【図９】図１に示すフィルム貼付装置で基板にフィルムを貼り付けた状況を示す図である。
【図１０】図９のＩ−Ｉ切断線に沿った横断面図である。
【図１１】図１に示すフィルム貼付装置で基板にフィルムを貼り付けた状況を示す図である。
【図１２】図７に示すフィルム貼付装置で基板にフィルムを貼り付けた状況を示す図である。
【図１３】図８に示すフィルム貼付装置で基板にフィルムを貼り付けた状況を示す図である。
【符号の説明】
【００８０】
１‥基板  
２‥ローラ  
３ａ，３ｂ‥フィルムロール  
９ａ，９ｂ‥フィルム（３層）  
１２ａ，１２ｂ‥フィルム（２層）  
１６‥先端仮付部材  
１７ａ，１７ｂ‥圧着ローラ  
１８ａ，１８ｂ‥バックアップローラ  
１９ａ，１９ｂ‥ローラユニット  
２０‥円盤カッタ  
２１‥フィルム保持部材  
２２‥カッタユニット  
２３‥帯電装置
【図１】
2007112073.tif 000003
【図２】
2007112073.tif 000004
【図３】
2007112073.tif 000005
【図４】
2007112073.tif 000006
【図５】
2007112073.tif 000007
【図６】
2007112073.tif 000008
【図７】
2007112073.tif 000009
【図８】
2007112073.tif 000010
【図９】
2007112073.tif 000011
【図１０】
2007112073.tif 000012
【図１１】
2007112073.tif 000013
【図１２】
2007112073.tif 000014
【図１３】
2007112073.tif 000015