(57)【要約】【課題】微細気泡をムラなく被洗浄物に衝突させることができる洗浄装置を提供する。【解決手段】洗浄装置は、液体２中に気泡を発生させる気泡発生機構と、気泡および液体２を含む気液混合体を被洗浄物７に向けて放出する放出部４とを備えている。気泡発生機構は、放出部４から放出される気液混合体中に、相対的に小さな微細気泡３と相対的に大きな大気泡１とを混在させる。大気泡１と微細気泡３が混入された液体２を用いることによって、微細気泡３を被洗浄物７の表面で破裂させることができる。そのため、微細気泡３のマイクロジェット効果を十分に発揮させることが可能になる。【選択図】図１
2007160175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体中に気泡を発生させる気泡発生機構と、
前記気泡および前記液体を含む気液混合体を被洗浄物に向けて放出する放出部とを備え、
前記気泡発生機構は、前記気液混合体中に、相対的に小さな微細気泡と相対的に大きな大気泡とを混在させる、洗浄装置。
【請求項２】
前記微細気泡の気泡径が６０μｍ以下であり、前記大気泡の気泡径が３００μｍ以上である、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記気泡発生機構は、ベンチュリー型気泡発生機構であって、
液体中において気泡を発生させる気泡発生部と、
前記気泡発生部へ液体を導く液体導入部と、
前記気泡発生部を通過した液体が流れる液体導出部とを有する、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記気泡発生部またはその近傍の前記液体導入部に気体を導くように、前記気泡発生部またはその近傍の前記液体導入部に接続された気体導入部と、
前記気体導入部に設けられ、前記気体の流量を調節する弁と、
前記弁を制御する制御ユニットとを備え、
前記制御ユニットは、前記弁を制御して前記気体の流量を調節することによって、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項３に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記制御ユニットは、前記弁の開放量を変化させて、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項６】
前記制御ユニットは、前記弁の開放時間を変化させて、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項４に記載の洗浄装置。
【請求項７】
前記気泡発生機構は、第１ベンチュリー型気泡発生機構と、第２ベンチュリー型気泡発生機構とを含み、
前記第１ベンチュリー型気泡発生機構は、
第１液体中において前記微細気泡を発生させる第１気泡発生部と、
前記第１気泡発生部へ第１液体を導く第１液体導入部と、
前記第１気泡発生部を通過した第１液体が流れる第１液体導出部とを有し、
前記第２ベンチュリー型気泡発生機構は、
第２液体中において前記大気泡を発生させる第２気泡発生部と、
前記第２気泡発生部へ第２液体を導く第２液体導入部と、
前記第２気泡発生部を通過した第２液体が流れる第２液体導出部とを有し
前記洗浄装置は、前記第１液体および前記微細気泡を含む第１気液混合体と前記第２液体および前記大気泡を含む第２気液混合体とが合流させる合流部をさらに備え、
前記合流部においては、前記大気泡と前記微細気泡とが混在した前記気液混合体が生成され、
前記気液混合体は前記合流部から前記放出部へ導かれる、請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項８】
前記第１ベンチュリー型気泡発生機構は、前記第１気体導入部に設けられ、前記気体の流量を調節する第１弁をさらに含み、
前記第２ベンチュリー型気泡発生機構は、前記第２気体導入部に設けられ、前記気体の流量を調節する第２弁をさらに含み、
前記洗浄装置は、前記第１弁および前記第２弁を制御する制御ユニットをさらに備え、
前記制御ユニットは、前記第１弁および前記第２弁のそれぞれを通過する気体の流量を調節する制御を実行し、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項７に記載の洗浄装置。
【請求項９】
前記制御ユニットは、前記第１弁の開放量と前記第２弁の開放量とを異ならせることによって、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項８に記載の洗浄装置。
【請求項１０】
前記制御ユニットは、前記第１弁の開放時間と前記第２弁の開放時間とを異ならせることによって、前記大気泡と前記微細気泡とを混在させる、請求項８に記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、微細気泡が混入された液体を用いて被洗浄物を洗浄する洗浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
特開平１１−３１５５７３号公報には、従来技術の洗浄装置が開示されている。従来の洗浄装置によれば、気泡径等の物理量が所定値に維持された状態で被洗浄物に液体が衝突する。それにより、所望の洗浄性能が得られる。
【特許文献１】特開平１１−３１５５７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前述のような洗浄装置によれば、被洗浄物に衝突した液体の表面に沿って境界層が形成される。そのため、気泡径が小さい微細気泡(６０μｍ以下)が液体に混入されている場合には、気泡が破裂せずに境界層とともに流されてしまう。その結果、微細気泡によるマイクロジェット効果が十分に発揮されない。
【０００４】
また、２つのノズルから異なった径の２種類の気泡が吐出される場合には、ノズルの構造が複雑になる。また、２つのノズルが並行して設置されるため、大気泡を含む液体と微細気泡を含む液体とが混ざり合わない。その結果、微細気泡が被洗浄物の表面に衝突する位置に偏りが生じる。したがって、洗浄ムラが生じてしまう。
【０００５】
本発明は、上述の問題に鑑みなされたものであり、その目的は、微細気泡をムラなく被洗浄物に衝突させることができる洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の洗浄装置は、液体中に気泡を発生させる気泡発生機構と、気泡および液体を含む気液混合体を被洗浄物に向けて放出する放出部とを備えている。また、気泡発生機構は、気液混合体中に、相対的に小さな微細気泡と相対的に大きな大気泡とを混在させる。
【０００７】
上記本発明の洗浄装置によれば、微細気泡を被洗浄物の表面上で破裂させることが可能になる。そのため、被洗浄物の表面上で破裂する微細気泡の分布に偏りが生じることを抑制することができる。その結果、被洗浄物の表面上で洗浄ムラが生じることが防止される。
【０００８】
また、微細気泡の気泡径が６０μｍ以下であり、大気泡の気泡径が３００μｍ以上であることが望ましい。これによれば、気泡径が３００μｍ以上である大気泡の急激な膨張によって、液体に大きな加速度が与えられる。したがって、気泡径が６０μｍ以下である微細気泡が被洗浄物に衝突して破裂し易くなる。
【０００９】
また、気泡発生機構は、ベンチュリー型気泡発生機構であって、液体中において気泡を発生させる気泡発生部と、気泡発生部へ液体を導く液体導入部と、気泡発生部を通過した液体が流れる液体導出部とを有していることが望ましい。これによれば、旋回流型気泡発生機構との比較において、被洗浄物の表面上で気泡を効率的に破裂させることができる。したがって、洗浄効果が向上する。
【００１０】
また、洗浄装置は、気泡発生部またはその近傍の液体導入部に気体を導くように、気泡発生部またはその近傍の液体導入部に接続された気体導入部と、気体導入部に設けられ、気体の流量を調節する弁と、弁を制御する制御ユニットとを備えていることが望ましい。制御ユニットは、弁を制御して気体の流量を調節することによって、大気泡と微細気泡とを混在させてもよい。
【００１１】
これによれば、大気泡と微細気泡とを含む気液混合体を容易に生成することができる。また、制御ユニットは、弁の開放量を変化させて、大気泡と微細気泡とを混在させてもよいが、弁の開放時間を変化させて、大気泡と微細気泡とを混在させてもよい。
【００１２】
また、洗浄装置の気泡発生機構は、第１ベンチュリー型気泡発生機構と、第２ベンチュリー型気泡発生機構とを含んでいてもよい。この場合、第１ベンチュリー型気泡発生機構は、第１液体中において微細気泡を発生させる第１気泡発生部と、第１気泡発生部へ第１液体を導く第１液体導入部と、第１気泡発生部を通過した第１液体が流れる第１液体導出部とを有していることが望ましい。また、第２ベンチュリー型気泡発生機構は、第２液体中において大気泡を発生させる第２気泡発生部と、第２気泡発生部へ第２液体を導く第２液体導入部と、第２気泡発生部を通過した第２液体が流れる第２液体導出部とを有していることが望ましい。この場合、洗浄装置は、第１液体および微細気泡を含む第１気液混合体と第２液体および大気泡を含む第２気液混合体とが合流させる合流部をさらに備えていることが望ましい。この合流部においては、大気泡と微細気泡とが混在した気液混合体が生成される。さらに、気液混合体は合流部から放出部へ導かれる。これによれば、弁の制御等を行なうことなく、微細気泡と大気泡とが混在した気液混合体を生成することができる。
【００１３】
また、第１ベンチュリー型気泡発生機構は、第１気体導入部に設けられ、気体の流量を調節する第１弁をさらに含んでいることが望ましい。また、第２ベンチュリー型気泡発生機構は、第２気体導入部に設けられ、気体の流量を調節する第２弁をさらに含んでいることが望ましい。洗浄装置は、第１弁および第２弁を制御する制御ユニットをさらに備えていることが望ましい。制御ユニットは、第１弁および第２弁のそれぞれを通過する気体の流量を調節する制御を実行し、大気泡と微細気泡とを混在させることが望ましい。これによれば、大気泡および微細気泡のそれぞれの量および気泡径の木目細かな制御が可能になる。
【００１４】
また、制御ユニットは、第１弁の開放量と第２弁の開放量とを異ならせることによって、大気泡と微細気泡とを混在させてもよいが、第１弁の開放時間と第２弁の開放時間とを異ならせることによって、大気泡と微細気泡とを混在させてもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
（実施の形態１）
本実施の形態の洗浄装置は、図１に示すように、液体２中に気泡を発生させる気泡発生機構１００と、気泡および液体２を含む気液混合体を被洗浄物７に向けて放出する放出部４とを備えている。また、気泡発生機構１００は、図１に示すように、放出部４から放出される気液混合体中に、相対的に小さな微細気泡３と相対的に大きな大気泡１とを混在させる。なお、気泡発生機構１００は、図３を用いて後述される。
【００１６】
一般に、気液混合体を被洗浄物に衝突させた場合には、被洗浄物の表面に気液混合体の境界層が形成される。気液混合体に微細気泡が混入されていても、境界層の厚さよりも気泡径が小さいため、微細気泡は、破壊されることなく境界層とともに流れる。
【００１７】
しかしながら、気泡径が境界層よりも大きな大気泡が気液混合体に混入されている場合には、境界層の厚さよりも大気泡の直径が大きいため、大気泡が被洗浄物に衝突して、被洗浄物の表面上で破裂する。大気泡が破裂すると、衝撃波と呼ばれる急激な圧力変化が生じる。この急激な圧力変化は、破裂した大気泡の周囲の液体に伝達され、微細気泡に急激な圧力変化を与える。それにより、微細気泡の動きは急激に加速される。微細気泡が加速されると、微細気泡が加速されていない場合に近づくことができなかった被洗浄物の表面に接触することが可能になる。そのため、微細気泡も破裂する。
【００１８】
前述のように、本実施の形態の洗浄装置によれば、従来の洗浄装置において破裂させることが困難であった微細気泡を被洗浄物の表面上で破裂させることが可能になる。そのため、被洗浄物の表面上で破裂する気泡の分布に偏りが生じることを抑制することができる。その結果、被洗浄物の表面上で洗浄ムラが生じることが防止される。
【００１９】
また、本実施の形態の洗浄装置の放出部４に供給される液体２中においては、微細気泡３の気泡径が６０μｍ以下になり、大気泡１の気泡径が３００μｍ以上になるように、気泡発生機構１００の構造および制御が設定されている。気泡径が６０μｍ以下である微細気泡３と、気泡径が３００μｍ以上である大気泡１とが混合されると、放出部４内の液体の気液混合体の圧力が大気圧よりも高くなる。
【００２０】
そのため、気液混合体は、放出部４から大気圧雰囲気中に放出されると、気泡径が３００μｍ以上である大気泡１および気泡径が６０μｍ以下である微細気泡３の双方とも膨張する。気泡径が６０μｍ以下である微細気泡３の膨張が周囲の液体に与える影響は小さいが、気泡径が３００μｍ以上である大気泡１の膨張が周囲の液体に与える影響は大きい。より具体的には、気泡径が３００μｍ以上である大気泡１の急激な膨張によって、液体に大きな加速度が与えられる。したがって、気泡径が６０μｍ以下である微細気泡３が被洗浄物７に衝突して破裂し易くなる。
【００２１】
より具体的には、大気泡１は、吐出口１２から吐出された後、放出部４の内側と外側との間の圧力差によって急激に膨張する。その結果、吐出口１２の近傍では、大気泡１０が生成される。それにより、大気泡１０は周囲の液体に加速度６を与える。その結果、液体２から微細気泡３へ加速度９が与えられる。このため、微細気泡３を含む液体が被洗浄物７に衝突したときのエネルギーが増加する。これによって、洗浄能力が向上する。
【００２２】
本実施の形態の洗浄装置においては、大気泡１が液体２に混入されており、液体２に加速度を与える。そのため、液体２のエネルギーが増加している。したがって、一般的には、微細気泡３は、径が小さく通常破裂させることは難しいが、微細気泡３が被洗浄物７に衝突して破壊し易くなっている。
【００２３】
また、大気泡１が破裂したときに衝撃波と呼ばれる急激な圧力変化が生じる。これによって、大気泡１は被洗浄物の表面に衝突して破裂する。さらに、大気泡１が破裂したときに、微細気泡３は急激な圧力変化によって圧縮され破壊する場合もある。
【００２４】
また、微細気泡３内の圧力は高い。そのため、微細気泡３が破壊されると、マイクロジェット効果が生じる。その結果、微細気泡３の破裂によって周囲の液体２に衝撃波と呼ばれる急激な圧力上昇が生じる。この衝撃波によって破裂した微細気泡３の周囲に存在する微細気泡３も破裂する。つまり、次々に被洗浄物７の表面で微細気泡３が連鎖的に破裂する。この強力なマイクロジェット効果による連鎖的な衝撃力を用いて被洗浄物７を洗浄する。なお、液体２は、被洗浄物７に衝突した後、境界層８となり、図１に矢印で示すように、被洗浄物７の表面に沿って流れる。
【００２５】
その結果、図示しない汚れ（付着物）が効率的に除去される。このように、大気泡１と微細気泡３が混入された液体２を用いることによって、微細気泡３を被洗浄物７の表面で破裂させることができるため、従来の洗浄装置によっては発揮されていなかった微細気泡３のマイクロジェット効果を十分に発揮させることが可能になる。
【００２６】
図２は、図１中の○で囲んだ領域１３の拡大図であり、マイクロジェットが発生する瞬間の状態を示す図である。図２においては、微細気泡３が矢印９で示す方向に流れた後被洗浄物７に衝突して破裂するときの様子が描かれている。前述のように、微細気泡３が被洗浄物に７に衝突すると、微細気泡３は変形する。それにより、膜３ａが薄くなる。また、膜３ａには表面張力がかかっている。そのため、微細気泡３内の空間においては、微細気泡３の特有の性質および自己加圧によって、数気圧から数千気圧までの範囲で圧力が上昇している。
【００２７】
したがって、この圧力によって、膜３ａが破れる。それにより、微細気泡３の内部のガスが瞬時に噴出する。その結果、液体２が瞬時に微細気泡３内の空間に供給される。そのため、液体２には多大な加速度が与えられる。したがって、マイクロジェットと呼ばれる大きな速度エネルギーを有した噴流が被洗浄物７に衝突する。したがって、被洗浄物７の表面上に存在した付着物が効率的に除去される。
【００２８】
また、図３に示すように、気泡発生機構１００は、ベンチュリー型気泡発生機構であって、液体２中において気泡を発生させる気泡発生部１０４と、気泡発生部１０４へ液体２を導く液体導入部１０３と、気泡発生部を通過した液体が流れる液体導出部１０６とを有している。
【００２９】
本実施の形態の気泡発生機構は、図３に示すように、ベンチュリー型気泡発生機構１００を備えている。ベンチュリー型気泡発生機構１００内には、液体２中において気泡を発生させる気泡発生部１０４、ポンプＰによって液体２が供給され、気泡発生部１０４へ液体２を導く液体導入部１０３、および気泡発生部１０４を通過した液体２が流れる液体導出部１０６が形成されている。気泡発生部１０４の流路の断面積、すなわち、液体２が流れる方向に対して垂直な面における気泡発生部１０４の投影面積は、液体導入部１０３および液体導出部１０６の流路の断面積よりも小さくなっている。
【００３０】
より具体的には、液体導入部１０３の断面積は、気泡発生部１０４に近づくにしたがって除々に小さくなっている。つまり、液体導入部１０３は、円錐状の空間である。また、液体導出部１０６の断面積は、気泡発生部１０４から離れるにしたがって除々に大きくなっている。つまり、液体導出部１０６も、円錐状の空間である。また、気泡発生部１０４は、液体導入部１０３および液体導出部１０６の最も小さい断面に連続する円柱状の空間である。
【００３１】
また、本実施の形態の気泡発生装置は、気泡発生部１０４に気体を導くように、気泡発生部１０４に気体導入部１０７が接続されている。そのため、気泡発生部１０４により多くの気体が効率的に導入されるため、気泡発生部１０４においてより多くの気泡を発生させることが可能になる。
【００３２】
なお、図３において点線で示すように、本実施の形態の気泡発生機構１００は、気泡発生部１０４の近傍の液体導入部１０３に気体を導くように、気泡発生部１０４の近傍の液体導入部１０３に気体導入部１０７が接続されていてもよい。
【００３３】
気泡発生機構としては、一般に、ベンチュリー型と旋回流型とが存在する。ベンチュリー型気泡発生機構は、液体を被洗浄物に向かって吐出する。そのため、液体の動圧を気泡の加速のために利用することができる。一方、旋回流型気泡発生機構は、液体を被洗浄物に向かって吐出するのではなく、容器内の液体の旋回方向に沿って液体を吐出するため、液体の動圧を気泡の加速のために利用することができない。つまり、ベンチュリー型気泡発生機構は、旋回流型気泡発生機構との比較において、被洗浄物の表面上で気泡を効率的に破裂させることができる。したがって、上記の構成によれば、より洗浄効果が向上する。
【００３４】
また、気体導入部１０７に設けられ、気体の流量を調節する弁１２０と、弁１２０を制御する制御ユニット１０００とを備えている。制御ユニット１０００は、弁１２０を制御して気体の流量を調節することによって、大気泡１と微細気泡３とを混在させる。これによれば、大気泡１と微細気泡３とを含む気液混合体としての液体２を容易に生成することができる。
【００３５】
なお、制御ユニット１０００は、図４に示すように、弁１２０の開放量（所定開度，所定開度の１／４以下）を変化させて、大気泡１と微細気泡３とを混在させてもよい。これによれば、弁１２０の開放量が相対的に大きい期間において、大気泡１が生成され、弁１２０の開放量が相対的に小さい期間において、微細気泡３が生成される。
【００３６】
また、図５に示すように、弁１２０の開放時間（所定時間，所定時間の１／４以下）を変化させて、大気泡１と微細気泡３とを混在させてもよい。これによれば、弁１２０の開放時間が相対的に長い期間において、大気泡１が生成され、弁１２０の開放時間が相対的に短い期間において、微細気泡３が生成される。
【００３７】
なお、図４においては、弁１２０の開放量がある時間ごとに第１の開放量と第１の開放量よりも小さな第２の開放量とに交互に変化しているが、微細気泡３と大気泡１とを混合させることができるのであれば、弁１２０の開放量の変化態様はこれに限定されない。また、図５においては、弁１２０の開放時間が所定のインターバルをおいて第１の開放時間と第１の開放時間よりも短い第２の開放量とに交互に変化しているが、微細気泡３と大気泡１とを混合させることができるのであれば、弁１２０の開放時間の変化態様はこれに限定されない。
【００３８】
また、前述の制御ユニット１０００は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＲＡＭ（Random Access Memory）、およびＲＯＭ（Read Only Memory）を含み、外部センサから送られてきた信号および操作スイッチから送られてきた信号を受信して、ＲＯＭに格納されたプログラムおよびＲＡＭに一時記憶されたデータに基づいて、弁１２０およびポンプＰ等を制御するものである。
【００３９】
（実施の形態２）
本実施の形態の洗浄装置は、放出部４の構造および個々の気泡発生機構の構造においては、実施の形態１の洗浄装置と全く同様である。本実施の形態の洗浄装置は、図６に示すように、気泡発生機構が複数設けられており、それらの気泡発生機構において生成された大気泡および微細気泡が合流部において混合されて放出部へ供給されることが実施の形態１の洗浄装置と異なっている。なお、本実施の形態の洗浄装置においては、２種類の気泡発生機構が設けられているが、３種類以上の気泡発生機構が設けられていてもよい。
【００４０】
また、洗浄装置の気泡発生機構は、図６に示すように、第１ベンチュリー型気泡発生機構１００Ａと、第２ベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂとを含んでいる。この場合、第１ベンチュリー型気泡発生機構１００は、図３に示すように、第１液体２中において微細気泡３を発生させる第１気泡発生部１０４Ａと、ポンプＰによって第１液体２が供給され、第１気泡発生部１０４Ａへ第１液体２を導く第１液体導入部１０３Ａと、第１気泡発生部１０４Ａを通過した第１液体２が流れる第１液体導出部１０６Ａとを有している。
【００４１】
また、第２ベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂは、第２液体２中において大気泡１を発生させる第２気泡発生部１０４Ｂと、ポンプＰによって第２液体２が供給され、第２気泡発生部１０４Ｂへ第２液体２を導く第２液体導入部１０３Ｂと、第２気泡発生部１０４Ｂを通過した第２液体２が流れる第２液体導出部１０６Ｂとを有している。この場合、洗浄装置は、第１液体２および微細気泡３を含む第１気液混合体と第２液体２および大気泡１を含む第２気液混合体とが合流させる合流部５０をさらに備えている。
【００４２】
この合流部５０においては、第１ベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂから供給された大気泡１と第２ベンチュリー型気泡発生機構１００Ａから供給された微細気泡３とが混在した気液混合体が生成される。さらに、気液混合体は合流部５０から放出部４へ導かれる。これによれば、弁１２０Ａおよび１２０Ｂの制御等を行なうことなく、微細気泡３と大気泡１とが混在した気液混合体を生成することができる。つまり、ベンチュリー型気泡発生機構１００Ａの形状および大きさ等とベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂの形状および大きさ等とを異ならせることによって、ベンチュリー型気泡発生機構１００Ａに大気泡１を生成させ、ベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂに微細気泡３を生成させることができる。
【００４３】
ただし、第１ベンチュリー型気泡発生機構１００Ａは、第１気体導入部１０７Ａに設けられ、気体の流量を調節する第１弁１２０Ａをさらに含んでいてもよい。また、第２ベンチュリー型気泡発生機構１００Ｂは、第２気体導入部１０７Ｂに設けられ、気体の流量を調節する第２弁１２０Ｂをさらに含んでいてもよい。また、洗浄装置は、第１弁１２０Ａおよび第２弁１２０Ｂを制御する制御ユニット１０００をさらに備えていてもよい。制御ユニット１０００は、実施の形態１と基本的には同様のものであるが、本実施の形態においては、弁１２０Ａおよび弁１２０Ｂのそれぞれを別個に制御することができる。
【００４４】
これによれば、制御ユニット１０００は、ポンプＰの駆動制御を実行するとともに、第１弁１２０Ａおよび第２弁１２０Ｂのそれぞれを通過する気体の流量を調節する制御を実行し、大気泡１と微細気泡３とを混在させれば、大気泡１および微細気泡３のそれぞれの量および気泡径の木目細かな制御が可能になる。
【００４５】
また、制御ユニット１０００は、図７に示すように、第１弁１２０Ａの開放量（所定開度）と第２弁１２０Ｂの開放量（所定開度の１／４以下）とを異ならせることによって、大気泡１と微細気泡３とを混在させることができる。また、制御ユニット１０００は、図８に示すように、第１弁１２０Ａの開放時間（所定時間）と第２弁１２０Ｂの開放時間（所定時間の１／４以下）とを異ならせることによって、大気泡１と微細気泡３とを混在させてもよい。
【００４６】
本実施の形態の洗浄装置によれば、微細気泡３と大気泡１とを同時に生成することができるため、実施の形態１の洗浄装置に比較して、微細気泡３と大気泡１との混合の度合いが良好になる。
【００４７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内のすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】実施の形態１の洗浄装置の放出部から気液混合体が被洗浄物に向かって吐出されている状態を示す図である。
【図２】微細気泡が被洗浄物に衝突する瞬間の状態を示す図である。
【図３】実施の形態１の洗浄装置の気泡発生機構の断面図である。
【図４】実施の形態１の洗浄装置の気泡発生機構の弁の制御態様の一例を示す図である。
【図５】実施の形態１の洗浄装置の気泡発生機構の弁の制御態様の他の例を示す図である。
【図６】実施の形態２の洗浄装置の全体構成を示す図である。
【図７】実施の形態２の洗浄装置の気泡発生機構の弁の制御態様の一例を示す図である。
【図８】実施の形態２の洗浄装置の気泡発生機構の弁の制御態様の他の例を示す図である。
【符号の説明】
【００４９】
１  大気泡、２  液体、３  微細気泡、３ａ  膜、４  放出部、５，６  加速度、７  被洗浄物、８  境界層、９  加速度、１０，１１  大気泡、１２  吐出口、１３  領域、５０  合流部、１００，１００Ａ，１００Ｂ  ベンチュリー型気泡発生機構、１０３，１０３Ａ，１０３Ｂ  液体導入部、１０４，１０４Ａ，１０４Ｂ  気泡発生部、１０６，１０６Ａ，１０６Ｂ  液体導出部、１０７，１０７Ａ，１０７Ｂ  気体導入部、１２０，１２０Ａ，１２０Ｂ  弁、１０００  制御ユニット。
【図１】
2007160175.tif 000003
【図２】
2007160175.tif 000004
【図３】
2007160175.tif 000005
【図４】
2007160175.tif 000006
【図５】
2007160175.tif 000007
【図６】
2007160175.tif 000008
【図７】
2007160175.tif 000009
【図８】
2007160175.tif 000010