(57)【要約】【課題】電子写真法による電子装置の新規な印刷方法及び装置を提供する。【解決手段】電子写真法を使用して基体上に電子装置を印刷する方法及び装置が提供される。方法は実質上３つの工程を有する。第１に、その上に電子装置を印刷する基体（例えば紙、プラスチックフィルム等）のような表面が提供される。第２に、連続する一連のＥＰ印刷ステーションを通して表面がルート決めされる。各ＥＰ印刷ステーションは静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体（例えば転写ローラ、プラテン等）の少なくとも一部とを有し、各静電的に帯電可能なドラム又はプレートは帯電された粒子で形成されるポジ画像を画定する。第３に、一連のＥＰ印刷ステーションの静電的に帯電可能なドラム又はプレート上に画定されたポジ画像が表面上に順次転写される。各ポジ画像は電子装置を形成するための画像層を表す。従って、基体上へのポジ画像の連続的な転写は基体上に電子装置を形成する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子写真法（ＥＰ）を使用して基体上に電子装置を印刷する方法において、
表面を提供する工程と；
連続する一連のＥＰ印刷ステーションを通して上記表面をルート決めする工程であって、上記各ＥＰ印刷ステーションが静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有し、上記各静電的に帯電可能なドラム又はプレートが帯電された粒子により形成されるポジ画像を画定するようなルート決め工程と；
上記一連のＥＰ印刷ステーションの上記各静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定された、上記電子装置を形成するための別個の画像の層を各々表す上記ポジ画像を、上記表面上へ順次転写する工程と；
を有することを特徴とする方法。
【請求項２】
帯電された粒子がマイクロ又はナノ的にカプセル化された材料で構成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
上記マイクロ又はナノ的にカプセル化された材料が導電性材料、半導電性材料及び絶縁性材料からなるグループから選択されることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
上記マイクロ又はナノ的にカプセル化された材料がポリマー材料であることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項５】
上記表面がその上に印刷電子装置を形成させる基体であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
上記基体が未被覆の紙、被覆された紙、積層された紙、波形ボード、寸法決めした板材、合板、ガラス、プラスチックフィルム及びセルロースフィルムからなるグループから選択されることを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
上記表面が中間の表面であり、同中間の表面から、各ポジ画像が、印刷電子装置をその上に形成させる基体上に更に転写されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項８】
上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートが光導電体で形成されることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートがフォトリソグラフィーにより形成された誘電的に被覆された表面トポグラフィーを有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法により形成された製品。
【請求項１１】
電子写真法（ＥＰ）を使用して基体上に電子装置を印刷する装置において、
静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを各々有する一連のＥＰ印刷ステーションであって、各静電的に帯電可能なドラム又はプレートが帯電された粒子で形成されるポジ画像を画定し、各ポジ画像が上記電子装置を形成する画像の層を表すような一連のＥＰ印刷ステーションと；
上記一連のＥＰ印刷ステーションの上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートにパワーを供給するための１又はそれ以上のモータと；
上記一連のＥＰ印刷ステーションの上記静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定された上記ポジ画像を表面上へ順次転写するために当該一連のＥＰ印刷ステーションを通して上記表面をルート決めするように、該一連のＥＰ印刷ステーション及び上記１又はそれ以上のモータを制御するＥＰ印刷制御装置と；
を有することを特徴とする装置。
【請求項１２】
上記表面がその上に印刷電子装置を形成させる基体であることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
上記表面が中間の表面であり、同中間の表面から、各ポジ画像が、印刷電子装置をその上に形成させる基体上に更に転写されることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１４】
上記中間の表面が中間ドラム又は中間プレートで構成されることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
上記表面支持構造体が転写ローラ又はプラテンであることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１６】
上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートが光導電体で形成されることを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１７】
上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートが、フォトリソグラフィーにより形成され誘電被覆された表面トポグラフィーを有することを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１８】
上記静電的に帯電可能なドラム又はプレートが、フォトリソグラフィーにより形成され光導電体コーティングを備えた表面トポグラフィーを有することを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１９】
電子写真法（ＥＰ）を使用して複数の印刷層を印刷する方法において、
（ａ）帯電された粒子で形成された第１のポジ画像を画定する第１の静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有する第１のＥＰ印刷ステーションに対して、表面をルート決めする工程と；
（ｂ）上記第１のＥＰ印刷ステーションの上記第１の静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定された上記第１のポジ画像を上記表面上へ転写する工程と；
（ｃ）帯電された粒子で形成された第２のポジ画像を画定する第２の静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有する第２のＥＰ印刷ステーションに対して、上記表面をルート決めする工程と；
（ｄ）上記第２のＥＰ印刷ステーションの上記第２の静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定された上記第２のポジ画像を上記表面上へ転写する工程と；
を有することを特徴とする方法。
【請求項２０】
上記表面がその上に上記第１のポジ画像を転写させる基体であり、上記第２のポジ画像が上記基体上の当該第１のポジ画像の少なくとも一部上に転写されることを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【請求項２１】
（ａ）帯電された粒子で形成された第３のポジ画像を画定する第３の静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有する第３のＥＰ印刷ステーションに対して、上記表面をルート決めする工程と；
（ｂ）上記第３のＥＰ印刷ステーションの上記第３の静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定された上記第３のポジ画像を上記表面上へ転写する工程と；
を更に有することを特徴とする請求項１９に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般に電子回路の印刷に関し、特に、電子写真法（又はゼログラフィー）を使用しての印刷電子回路の製造に関する。
【背景技術】
【０００２】
印刷された電子機器（印刷電子機器）は周知の印刷回路盤技術の延長とみなすことができる。印刷回路盤は配線のための導電性金属経路を備えた基板を有する。すべての他の電子素子は別個に作られ、印刷回路盤の基板に溶接又はクランプされる。つい最近の開発においては、大半の電子回路機能を遂行するために半導体集積回路が製造されている。しかし、集積回路の製造は特殊化した半導体基板の使用を必要とし、高価であり、低価格の電子装置の製造に対しては実践的ではない。例えば、典型的には、集積回路のコストは大幅には下がらず、集積回路を極めて大量に製造しない限り、比較的低レベルのコストさえ達成できない。
【０００３】
印刷電子機器は、層毎に像を印刷することにより、即ち、１又はそれ以上の材料の層を、未被覆の又は被覆された紙、積層された紙製品、ポリエチレン又はポリナフタレン等のような種々のプラスチックフィルム等を含む種々の基体上に蒸着／堆積することにより、形成される。印刷電子機器技術により、電子回路のマイクロ電気素子を製造することができる。製造できるマイクロ電子素子の例は、トランジスタ、コンデンサ、抵抗、ダイオード及び発光ダイオードであるが、完成した回路の例はＲＦＤＩタグ、センサ、フレキシブルディスプレイ等である。例として、コンデンサは導電性領域を蒸着／堆積し、続いて、一層大きな絶縁層を蒸着／堆積し、次いで別の導電性領域を蒸着／堆積することにより構成することができる。この工程は一層大きなキャパシタンスを得るために繰り返すことができる。別の例として、トランジスタはソース及びドレン電極を形成する導体層、半導体層、誘電層及びゲート電極を形成する別の導体層を蒸着／堆積することにより形成することができる。
【０００４】
特に有機ポリマーのような低コストの導電性及び半導電性の材料を蒸着／堆積すべき材料として使用した場合、完成した機能回路（例えばＲＦＤＩタグ）を形成する印刷電子機器は、類似する集積回路の製造コストの約１／１０程度の極めて低いコストで製造することができる。このような低コストの印刷電子機器はケイ素基礎の集積回路と直接競合させることが期待できない。むしろ、印刷電子機器回路は、ケイ素基礎の集積回路に比べて、一層低いコストで一層低い性能（例えば、一層低い周波数、一層小さなパワー又は一層短い寿命）を与えるものとしてしか製造できない。
【０００５】
印刷電子機器素子は典型的には５ないし７つの異なる材料である一組の材料を使用して作られる。これらの材料は普通、溶解した及び（又は）懸濁されたポリマーを伴う液体、ポリマー前駆物質、無機材料及び有機又は無機添加剤であり、湿式印刷工程で蒸着／堆積される。特に、これらの材料は所望の順序で基体上に蒸着／堆積され、しばしば熱サイクリング及び（又は）湿度処理により硬化又は活性化される。典型的な湿式印刷方法は活版印刷、スクリーン印刷及びインクジェット印刷である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は印刷電子回路を作るための「乾式」印刷プロセスを使用する装置及び方法を提供することを目指す。現在、本出願の発明者が知っている限り、当業界では、印刷電子機器を製造するのに適した乾式印刷プロセスは知られていない。  
【課題を解決するための手段】
【０００７】
概略においては、以下の詳細な説明で更に述べる簡単な形の本発明の概念の選択を紹介する。ただし、この概略は、特許請求の範囲の要旨の重要な特徴を特定する意図のものでもなく、特許請求の範囲の要旨の範囲を決定するための補助として使用する意図のものでもない。
【０００８】
本発明の１つの実施の形態によれば、電子写真法（ＥＰ）を使用して基体上に電子装置を印刷する方法が提供される。この方法は一般に３つの工程を有する。第１に、表面が提供される。例えば、表面はその上に電子装置を印刷できる基体（例えば、紙、プラスチックフィルム等）とすることができる。第２に、表面（例えば基体）は連続する一連のＥＰ印刷ステーションを通してルート決めされる。各ＥＰ印刷ステーションは一般に静電的にチャージ（帯電）可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体（例えば、転写ローラ、プラテン等）の少なくとも一部とを含み、各静電的に帯電可能なドラム又はプレートは帯電された粒子で形成される陽画（ポジ）画像を画定する。第３に、一連のＥＰ印刷ステーションの静電的に帯電可能なドラム又はプレート上で画定されたポジ画像は表面上へ順次転写される。各ポジ画像は電子装置を形成するための画像の層を表す。従って、基体上へのポジ画像の連続的な転写は基体上に電子装置を形成させる。
【０００９】
本発明の別の態様によれば、帯電される粒子はマイクロ又はナノ的にカプセル化された粒子である。カプセル化された粒子は導電性材料、半導電性材料及び絶縁材料のいずれかとすることができ、更に、ポリマー又は非ポリマー材料とすることができる。
【００１０】
本発明の更に別の態様によれば、一連のＥＰ印刷ステーションからのポジ画像をその上に連続的に転写させる表面は、中間の表面とすることができ、この中間の表面から、ポジ画像は電子装置をその上に形成すべき基体上に更に連続的に転写される。
【００１１】
本発明の更に別の態様によれば、静電的に帯電可能なドラム又はプレートは光導電体で形成することができる。代わりに、静電的に帯電可能なドラム又はプレートはフォトリソグラフィー法により形成された誘電被覆表面トポグラフィー(topography)により形成することができる。
【００１２】
本発明の別の実施の形態によれば、電子写真法（ＥＰ）を使用して基体上に電子装置を印刷する装置が提供される。この装置は一連のＥＰ印刷ステーションを有し、各ＥＰ印刷ステーションは静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを含む。各静電的に帯電可能なドラム又はプレートは帯電された粒子で形成されるポジ画像を画定し、各ポジ画像は電子装置を形成する画像の層を表す。装置はまた一連のＥＰ印刷ステーションの静電的に帯電可能なドラム又はプレートにパワーを供給するための１又はそれ以上のモータを有する。装置は更に、ＥＰ印刷制御装置を有し、この制御装置は複数のＥＰ印刷ステーション及び１又はそれ以上のモータを制御して、一連のＥＰ印刷ステーションを通して表面（例えば基体）を移動させ、次いで、一連のＥＰ印刷ステーションの静電的に帯電可能なドラム又はプレート上に画定されたポジ画像を表面上に転写する。
【００１３】
本発明の更に別の実施の形態によれば、一般に４つの工程を有する、電子写真法（ＥＰ）を使用して複数の印刷層を印刷する方法が提供される。第１に、表面が第１のＥＰ印刷ステーションに対してルート決めされ、この場合、第１のＥＰ印刷ステーションは第１の静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有し、第１の静電的に帯電可能なドラム又はプレートは帯電された粒子により形成された第１のポジ画像を画定する。第２に、第１のＥＰ印刷ステーションの第１の静電的に帯電可能なドラム又はプレート上に画定された第１のポジ画像が表面上に転写される。第３に、表面が第２のＥＰ印刷ステーションに対してルート決めされ、この場合、第２のＥＰ印刷ステーションは第２の静電的に帯電可能なドラム又はプレートと、１つの表面支持構造体の少なくとも一部とを有し、第２の静電的に帯電可能なドラム又はプレートは帯電された粒子により形成された第２のポジ画像を画定する。第４に、第２のＥＰ印刷ステーションの第２の静電的に帯電可能なドラム又はプレート上に画定された第２のポジ画像が表面上に転写される。
【００１４】
本発明の上述の態様及び多くの付随する利点は添付図面に関連して行う以下の詳細な説明を参照することにより一層容易に認識でき、一層良好に理解できよう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
ここで、添付図面を参照して本発明の実施の形態を説明するが、同様の符号は同様の素子に対応する。以下の説明は電子写真法（ＥＰ）又はゼログラフィーを使用して印刷電子装置を製造する方法及び装置の例を提供する。本発明の方法及び装置はまた、カラーグラフィックの印刷、着色、被覆及び上塗り又は種々の基体に対する他の表面処理にとって適することができる。
【００１６】
長年にわたって、ＥＰ（又はゼログラフィー）は複写機及びレーザープリンタに使用されており、その技術的な原理は当業界で周知である。略述すれば、ＥＰは乾式写真又は写真複写法であり、この場合、電気的に帯電されたプレート（又はドラム）上の帯電された粒子により形成されたポジ画像は紙のような基体へ電気的に転写され、ポジ画像としてその上に定着される。ＥＰは既知であるが、発明者の知識としては、過去において、ＥＰは印刷電子機器の製造に適用されていない。本発明はＥＰを使用して印刷電子機器を作るための種々の方法及び装置を提供する。
【００１７】
次に、第１に、図１−６を参照してＥＰプロセスに実質上必要な６つの工程を述べ、次に、図７−１３を参照して、ＥＰプロセスを使用して印刷電子機器を作る全体の装置及び方法を述べる。
【００１８】
ＥＰプロセスは実質上６つの工程を有する：（１）光導電体を帯電する工程、（２）潜像を形成するために帯電された光導電体を光に曝す工程、（３）トナー粉末を吸引するために潜像の電荷を使用して潜像上でポジ画像を現像する工程、（４）光導電体から基体へポジ画像を転写する工程、（５）基体に対してポジ画像を溶融及び硬化する工程、及び（６）将来の使用のために光導電体をクリーニングする工程。
【００１９】
図１Ａ及び１Ｂを参照すると、ＥＰの第１の工程は光導電性ドラム１０を帯電する工程を含む。光導電性ドラム（又はプレート）１０は光導電性（即ち、光に曝されたときには導電性で、暗闇では絶縁性）の層１１と、導電性の金属接地層１２とを有する。光導電性の層１１は電気コロナ装置１３（図１Ａ）又は帯電ローラ１４（図１Ｂ）により静電的に帯電される。略述すれば、電気コロナ装置１３は一般に高電圧源１５と、コロナ放電装置１６とを有する。コロナ放電装置１６のコロナワイヤは、高電圧を受けたときに、周囲の空気分子をイオン化し、それによって、電荷１７（マイナス又はプラス）を光導電性の層１１上へ駆動する。図１Ｂの帯電ローラ１４は一般にＤＣバイアスＡＣ源１８と、ローラ１９とを有し、ローラはこれまた電荷１７を光導電性の層１１上へ駆動するように形状づけられる。
【００２０】
図２を参照すると、ＥＰの第２の工程は静電潜像を現像するために帯電された光導電性の層１１を光に曝す工程を含む。特に、光導電性の層１１はある所望のパターンで光に曝される。光に曝された光導電性の層１１の部分は中立化（中和）される。その理由は、このような部分内の電荷が光導電性の層１１から接地層１２（図１参照）へ排出されるからである。他方、光に曝されなかった光導電性の層１１の部分は静電的に帯電されたままであり、それによって所望のパターンの静電潜像を形成する。光パターンは種々の方法で光導電性ドラム（又は特に光導電性の層１１）に適用することができる。例えば走査レーザービーム又はＬＥＤ光バーを使用することにより直接、または、最初にパターン画像を生じさせ、次いでパターン画像を光導電性の層１１上に投射することにより間接的に、適用することができる。図２は光パターンを光導電性ドラム１０に直接適用するために走査レーザービームを使用するこの目的のための例示的な副装置を示す。レーザー源２１からのレーザービームはレンズ２２を通してコリメートされ、回転走査ポリゴンミラー２３により反射され、コサイン修正レンズ２４及びミラー２５の組合せを通って伝播し、ある所望のパターンのレーザービーム露光ライン２６を光導電性ドラム１０上に投射する。これは光導電性ドラム１０上に所望の電荷パターンを生じさせるようにレーザービームの強度を変調することにより行われる。レーザースポットの小さな合焦直径のため、高解像度の作像を達成できる。印刷電子機器の製造においては、印刷を行いたい領域（即ち、導電性／半導電性／絶縁性材料を蒸着／堆積すべき領域）は光に対して曝されない状態に保たれ、静電的に帯電される。換言すれば、静電的に帯電された領域からなる潜像は印刷電子機器回路を製造するための回路のレイアウトを生じさせるために使用されるパターンを形成する。
【００２１】
図３を参照すると、ＥＰの第３の工程は先の工程で形成された静電潜像に基づくポジ画像を現像する工程を含む。図３に示す特定の現像装置は「トナー」と呼ばれる帯電された（即ち、光導電性ドラム１０上の電荷１７とは反対の符号即ち極性で帯電された）粉末即ちトナー粒子３８と組み合わされた（直径約１００マイクロメートル又はそれ以上の）磁性キャリヤビードの現像剤混合物と一緒に使用するのに適する。このようなトナー粒子はトリボ帯電（摩擦による帯電）により帯電される。図示のように、現像剤ドラム３０、現像剤バイアス源３１及び供給ドラム３２の組み合わせ、及び、キャリヤビード表面とのトナー粒子の相互作用は、トリボ帯電によりトナー粒子を帯電させ、トナー粒子をキャリヤビード表面に付着させるために使用することができる。現像剤ドラム３０の表面が回転すると、図示のように、その交互する磁極が同じ位置に留まる。実質上均一の厚さの（キャリヤビード表面に付着したトナー粒子３８を含む）現像剤混合物が現像剤ドラム３０の半径方向の表面上に提供されるように、過剰な現像剤混合物を除去するために定量供給スクレーパ３６を現像剤ドラム３０に隣接して設けることができる。現像剤ドラム３０及び光導電性ドラム１０が異なる表面速度で反対方向に回転するとき、図示のように、帯電されたトナー３８は光導電性の層１１の静電的に帯電された部分上への吸引により、キャリヤビードから離れるように転写され、光導電性ドラム１０上に所望のパターンのトナー３８´を形成する。キャリヤビードを必要としない代わりの現像方法は、ＥＰ分野で周知のように、粉末雲現像、現像剤副装置内でのトナーの静電搬送及び液体現像を含む。液体現像装置においては、液体現像剤混合物内の固形粒子は、表面（図４参照）へ転写される時までに、実質上乾燥される。現像剤副装置の構成の詳細は選択した現像方法に応じて変わる。
【００２２】
本発明の種々の実施の形態によれば、ポリマー又は非ポリマーとすることができ及び液体又は固体とすることができる任意の導電性、半導電性又は誘電性の材料は、ＥＰプロセスに使用するのに適するトナー粒子を形成するようにマイクロ的にカプセル化又はナノ的にカプセル化することができる。このような印刷電子機器の材料は、これらに限定されないが、金フレーク（鱗）、銀フレーク、ナノ銀又はナノ金のような導電性材料、ＰＥＤＯＴとしても知られるポリチオフェン又は他の適当なアニリン／ピロール共重合体のような半導電性材料、及び、ポリビニルフェノールのような絶縁性材料を含むことができる。カプセル化されたトナー粒子の準備は、既知のカプセル化技術を使用して固形の材料の薄いシェルで印刷電子機器材料の極めて小さな小滴を被覆することを必要とする。カプセル化は印刷プロセス中に印刷電子機器材料（例えばポリマー材料）の早期の乾燥を阻止し、また、その貯蔵を容易にする。このようなトナー粒子にとって好ましい寸法は直径０．３ないし１０ミクロンの範囲である。シェル材料はＥＰ乾式印刷プロセスと両立できる特性を備えるように選択することができる。換言すれば、その表面粗さ、形状、寸法、カプセル化されたトナー粒子の帯電を許容するトリボ帯電特性、並びに、現像及び転写特性がＥＰプロセスでの使用に適する限り、任意の材料をシェル材料として選択することができる。適当なシェル材料は、これらに限定されないが、コーポリカーボネート、ポリエステル、スチレン共重合体、メタクリレート、スチレンアクリレートである。これらは、図５を参照して説明するように、基体に対してポジ画像を溶融及び硬化させるために使用される溶融及び硬化ローラに対する固着を阻止するために、ワックス添加剤のような特殊な特性のための添加剤を含むことができる。
【００２３】
シェル材料はまた、（図５を参照して後に説明する）引き続きの溶融及び硬化工程中に、この材料がシェル材料内でカプセル化されたコアとしての印刷電子機器材料（例えばポリマー）の特性と抵触しない（例えば、この特性を変更しない）ように、選択すべきであることを認識すべきである。これは、シェル材料を注意深く選択し及び（又は）既知の技術を使用してシェルをできる限り薄くすることにより、達成することができる。これを達成する可能な方法の別の例は、シェル材料が溶融及び硬化工程中に極めて小さな粒子として分散されるように、ナノ粒子と１又はそれ以上の結合剤材料との複合材料のシェル（単数又は複数）を作ることである。シェルはまた一層複雑な溶融及び硬化プロセスにおいては機械的な作用により除去することができる。シェルはまたＥＰプロセス中に通常の取り扱い及び温度変化によって破裂してはならない。また、シェルは、溶解した場合に印刷電子機器回路の作動と抵触を生じるようなコアとしての印刷電子機器材料（例えばポリマー）により溶解できるものであってはならない。本発明のある実施の形態においては、このような特性を達成するためには、カプセル化のための２又はそれ以上の層、例えば、所望のＥＰ特性（例えば、表面粗さ、形状、寸法、トリボ帯電特性等）を提供するシェルの外側層及び印刷電子機器材料（例えばポリマー）との両立性及び所望の機械的強度を提供するシェルの内側層を必要とすることがある。
【００２４】
図４を参照すると、ＥＰの第４の工程は、光導電性ドラム１０から、その上に印刷電子回路を形成すべき基体４０のような表面へ、（帯電トナーにより形成された）ポジ画像を転写する工程を含む。基体４０は、ＥＰを使用してその上に印刷電子回路を適切に形成できるような表面を提供する任意の材料とすることができる。このような基体は、これらに限定されないが、未被覆の紙、被覆された紙、積層された紙製品、波形ボード、寸法決めした板材、合板、ガラス、ポリエチレン又はポリナフタレンのような種々のプラスチックフィルム及びセルロースフィルムとすることができる。基体４０は各応用に応じて剛直又は可撓性とすることができる。更に、以下ではウエブの形をした基体を主として述べるが、基体は別個のシート（又は部片）の形のような他の形として提供できることを理解すべきである。図１３を参照して後に詳細に説明する本発明のある実施の形態においては、光導電性ドラム１０からのポジ画像を転写させる表面は「中間の」ドラム又はプレートの表面とすることができ、その表面から、ポジ画像は、その上に印刷電子回路を形成させる基体上に更に転写される。光導電性ドラム１０から（基体又は中間のドラム／プレートの）表面へのポジ画像の転写は表面（例えば図４の基体４０）を転写ローラ７２上に運んで、光導電性ドラム１０上のポジ画像３８´の粉末層に接触させることにより、達成される。通常のＥＰの慣行においては、転写ローラ７２は所望のニップ圧力を提供するように光導電性ドラム１０に対して押圧される半導電性のエラストマーコーティングを有する。この時点で、吸引電場が適用されて、トナー３８´を光導電性ドラム１０から引き離して表面４０上へ運び、それによって、表面４０上にトナー３８´´のポジ画像を形成する。吸引電場がない場合は、大半のトナーは光導電性ドラム１０上に残留する。電場は普通、トナーの電荷の極性とは反対の極性（即ち、元の光導電体の電荷の極性）を有するバイアス電圧源４４によって、基体４０の背後で（ＥＰの実施の形態においては平坦な表面とすることのできる）転写ローラ７２を帯電させることにより、適用される。
【００２５】
図５を参照すると、ＥＰの第５の工程は基体４０に固定的に付着した溶融及び硬化された画像３９を生じさせるように基体４０に対してトナー３８´´の粉末状のポジ画像を溶融及び硬化する工程を含む。例えば、熱可塑性のトナー粒子が基体４０に対してこれを溶融及び硬化するように溶解されるように、トナー及び基体を加熱することができる。この工程の前に、トナー３８´´のポジ画像は表面（例えば基体４０）に幾分緩く結合され、容易にかき乱すことができるか又はこすり落とすことができる。別の例としては、溶融及び硬化工程は熱及び（又は）圧力を使用して実行することができる。圧力を適用するため、例えば、圧縮バネにより互いに対して負荷される２つのローラ５０、５３を使用することができる。普通のＥＰの慣行においては、ローラ５０、５３は弾性熱抵抗コーティングを有し、ニップ内に適当な溶融及び硬化圧力を提供するために弾性層間に機械的な干渉が存在するように、配列される。次いで、基体４０はローラ５０、５３間を通過させられる。熱を付加的に適用するため、熱ロール圧力溶融及び硬化ローラを使用することができ、この場合、１又はそれ以上のローラはタングステン石英ランプのような熱ランプ５１、５２により内側から加熱される。従来のＥＰプリンタにおける溶融及び硬化はトナー及び基体を約１８０℃に加熱することにより実行される。この高い温度は印刷電子回路を形成するために使用される印刷電子機器材料（例えばポリマー）と両立できないかも知れない。このような場合は、ＥＰ印刷プロセスを印刷電子機器の製造に適応させるために、適当な低温を使用する溶融及び硬化方法を使用すべきである。このような方法の１つの実施の形態は、カプセル化するシェルを破壊し、カプセル化されている材料を基体に機械的に付着させるために圧力を適用する工程（圧力溶融及び硬化）を必要とする。このような方法の別の実施の形態は、目標の基体４０へ転写された後に、カプセル化されたトナーの層に溶剤液体又はガスを適用する工程を必要とする。この溶剤は、基体４０を損傷させることなく及び更にカプセル化された印刷電子機器材料の回路形成特性を損なうことなく、カプセル化シェルを溶解又は軟化するように、選択される。印刷電子機器の好結果の製造のためには、使用される印刷電子機器材料はしばしば温度変化又はサイクリング及び（又は）湿度処理により硬化又は活性化しなければならない。この理由のため、使用されている特定の印刷電子機器材料に応じて、硬化又は活性化プロセスを遂行するために、溶融及び硬化ローラ（図５に示す５０及び５３）を一層複雑な硬化ステーションに交換する必要があることがある。従って、本出願における溶融及び硬化ローラへの言及は、各応用に応じて必要な溶融及び硬化／活性化工程を実行するように形状づけられた種々の「硬化ステーション」を包含するものと解釈すべきである。例えば、硬化ステーションは２又はそれ以上の対の温度制御されたローラ、または、同様に制御される蒸気及び（又は）化学環境を伴って又は伴わずに、その長さに沿って制御された温度を有する、基体を通過させる室又はトンネルからなることができる。例えば、湿度及び酸素又はその不足は制御することができる。
【００２６】
図６を参照すると、ＥＰの第６の工程は、次の画像の印刷のために光導電性ドラム１０を帯電するように、ＥＰの第１の工程（図１Ａ、１Ｂ）に戻る前に、ドラムからいかなる未転写及び未使用のトナーを除去することにより、光導電性ドラム１０をクリーニングする工程を含む。過剰なトナー粒子は、コロナ帯電工程及びまた画像露光工程と干渉するおそれがあるため、除去する必要がある。この目的のため、光導電性ドラム１０からいかなる未転写のトナー６１をも除去し、光導電性ドラム１０に隣接して設けたシールされた容器６２内へそのトナーを収集するために、スクレーパブレード（例えばエラストマーブレード）６０又は回転ブラシ及び真空装置（図示せず）を使用することができる。
【００２７】
図７を参照すると、従来のＥＰプリンタのように、光導電体は回転する光導電性ドラム１０の形として設けることができ、上述の６つの工程はドラムのまわりの各異なる位置で同時に実行することができる。特に、図７においては、帯電である第１の工程、作像である第２の工程、ポジ画像の現像である第３の工程、転写である第４の工程及びクリーニングである第６の工程はすべて、光導電性ドラム１０のまわりで遂行することができる。更に、転写ローラ７２は光導電性ドラム１０に隣接して並列で設けられ、それによってＥＰ印刷ニップ７４を形成し、適当な硬化ステーションローラ５０、５３はＥＰ印刷ニップ７４の下流側に設けられて、溶融及び硬化である第５の工程を遂行する。従って、ＥＰプロセスのすべての６つの工程は実質上光導電性ドラム１０のまわりで同時に実行されて、ＥＰ印刷ニップ７４を通って移動する基体４０上に溶融及び硬化された画像３９を生じさせる。図７においては、全体のＥＰ印刷ステーションは全体的に符号７０で示し、このステーションは、図示の実施の形態では、光導電性ドラム１０、転写ローラ７２及び硬化ステーションローラ５０、５３を含む。
【００２８】
光導電性ドラム１０は普通の形状のものであり、ドラム１０の中心長手軸線を画定する支持シャフト１５と、光導電性の層１１（図１Ａ参照）を受け入れるようになった外周支持表面とを有する。同様に、転写ローラ７２は普通の形状のものであり、転写ローラ７２の中心長手軸線を画定する支持シャフト７３と、所望のニップ圧力及びニップ幅で光導電性ドラム１０に対して表面４０を押圧するための外周弾性半導電性表面層とを有する。硬化ステーションローラ５０、５３はまた普通の形状のものとすることができ、ローラ５０、５３の中心長手軸線をそれぞれ画定する支持シャフト５４ａ、５４ｂを有する。光導電性ドラム１０、転写ローラ７２及び硬化ステーションローラ５０、５３はそれぞれの支持シャフトを介して回転するように適当な軸受に装着され、適当な歯車装置又はベルト及びプーリーを介して１又はそれ以上の適当なモータ（図示せず）により回転駆動される。
【００２９】
ＥＰプロセスの任意の又はすべての種々の工程はまた、図７に示すようなドラムのまわりではなく、平坦な表面（単数又は複数）上で実行できることを認識すべきである。
【００３０】
図８は本発明のある態様に係る印刷電子回路を製造するのに適した、全体を符号８０で表す１つの例示的なＥＰ印刷装置を示す概略図である。一般的に述べれば、ＥＰ印刷装置８０は基体上に印刷電子機器材料の溶融及び硬化された画像を別個の層として形成するようにＥＰプロセスを各々実行するための図７のＥＰ印刷ステーション７０のような１又はそれ以上のＥＰ印刷ステーション７０Ａ、７０Ｂ、７０Ｃを有する。ＥＰ印刷装置８０は更に１又はそれ以上の駆動モータ８２と、基体ウエブ前進構造体８４と、全体のＥＰ印刷プロセスを制御するためのＥＰ印刷制御装置８６とを有する。一般に、印刷制御装置８６はオペレータ制御子、温度のためのプロセスセンサ、運動のためのプロセスセンサ、レーザービーム検出器等から入力を受け取り、例えばバイアス電圧及びヒータ電流のような全体のＥＰ印刷プロセスのための調整可能なプロセスパラメータを制御するための指令を送る。ＥＰ印刷制御装置８０はまた各ＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃを駆動するためにＥＰ制御信号を送り、また、ＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃ及び基体ウエブ前進構造体８４内に含まれる種々の機構（ドラム、シリンダ、プレート等）を作動（例えば回転）させるように１又はそれ以上のモータ８２の作動を制御する。
【００３１】
図９は図８のＥＰ印刷装置の１つの実施の形態８０´を概略的に示す。ＥＰ印刷装置８０´は複数のＥＰ印刷ステーション７０を有する。図９においては、３つのＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃが示され、各応用に応じて、破線で示すＥＰ印刷ステーション７０Ｄのような更なるＥＰ印刷ステーションを追加することができる。各ＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃは（露光、現像、クリーニング等のための関連する素子と共に）光導電性ドラム１０と、転写ローラ７２Ａ−７２Ｃと、硬化ステーションローラ５０、５３とを有する。
【００３２】
印刷装置８０´は図面を簡素化するために図示しない他の素子を含むことができることを認識されたい。例えば、印刷装置は、それに作業素子を機能的に接続するフレームを有する。フレームは種々の素子を保持、支持する等のために一緒に組立てられる任意の種々の構造部材を有することができ、一般に一緒に溶接され、リベット止めされ、ボルト止めされ又は他の方法で接続されたスチールフレーム部材で構成することができる。また、基体４０のための湾曲又は円形の経路を提供するＥＰ印刷装置のような、印刷装置のための他の物理的な形状が可能であり、望ましいことがあることを認識されたい。
【００３３】
１つの実施の形態においては、ＥＰ印刷ステーション７−Ａ−７０Ｃは基体４０上に溶融及び硬化された図１０Ａ−１０Ｃの画像１１０、１１２、１１４をそれぞれ生じさせるように形状づけることができる。特に、ＥＰプロセスの第２の工程（図２参照）中、印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃは、その上に帯電されたトナー粒子を付着又は蒸着／堆積させる１１０、１１２、１１４の形状をそれぞれ有する静電的に帯電された領域を形成する。次いで、１１０、１１２、１１４の形状に蒸着／堆積された帯電された粒子が続いて転写され、ＥＰプロセスにより各々個別に形成された添加物層として基体４０に対して溶融及び硬化されて、コンデンサを構成する。
【００３４】
特に、基体４０のウエブは、印刷装置８０´即ち印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃを通して光導電性ドラム１０と転写ローラ７２との間へ送られ、次いで各印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃにおいて溶融及び硬化（又は硬化ステーション）ローラ５０、５３間へ送られ、巻き取りスプールのような基体ウエブ前進構造体８４（図８参照）に結合される。ＥＰ印刷制御装置８６が所望の印刷電子装置（例えばコンデンサ）を印刷する準備が整ったとき、ＥＰ印刷制御装置８６はＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃに及び光導電性ドラム１０、転写ローラ７２Ａ−７２Ｃ及びＥＰ印刷ステーション７０Ａ−７０Ｃの硬化ステーションローラ５０、５３を回転させるための１又はそれ以上のモータ８２に適当な信号を送る。１又はそれ以上のモータ８２はまた第１のＥＰ印刷ステーション７０Ａの第１のＥＰ印刷ニップ７４Ａを通して基体４０を前進させるための基体ウエブ前進構造体８４にパワーを供給するために使用される。基体４０が光導電性ドラム１０と転写ローラ７２Ａとの間で第１の印刷ニップ７４Ａを通して前進させられ、次いで第１の印刷ステーション７０Ａの硬化ステーションローラ５０、５３間で前進させられると、図１０Ａにおける１１０の形状を有する溶融及び硬化された画像が基体４０上に形成される。１つの実施の形態においては、溶融及び硬化された画像１１０は金のような導電性材料で作られたトナーを使用して形成され、ほぼ５０ナノメートルの厚さを有する。従って、第１のＥＰ印刷ステーション７０Ａは、図１１Ａに示すように、基体４０上にＥＰ印刷画像層１１６を生じさせる。先に説明したように、印刷されている特定の印刷電子機器材料に応じて硬化又は活性化プロセスを実行するために、図５に示したような溶融及び硬化ローラを一層複雑な硬化ステーションに交換する必要があることがある。
【００３５】
このときその上に第１のＥＰ印刷画像層１１６を有する基体４０の区分は第２のＥＰ印刷ステーション７０Ｂへ前進させられ、この第２のステーションにおいては、図１１Ｂに示すように、第２のＥＰ印刷層１１８が第１のＥＰ印刷層１１６上に形成される。第２のＥＰ印刷ステーション７０Ｂは、ＥＰ印刷制御装置８６からの適正な信号に基づき、基体４０が第２のＥＰ印刷ニップ７４Ｂを通過するときに、図１０Ｂにおける１１２の第２の溶融及び硬化された画像が第１のＥＰ印刷画像層１１６上に適用され、それによって第２のＥＰ印刷層１１８を形成するように、第１のＥＰ印刷ステーション７０Ａと実質上同じ方法で作動することを認識されたい。１つの実施の形態においては、第２の溶融及び硬化された画像１１２はポリビニルフェノールのような絶縁材料で作られたトナーを使用して形成され、ほぼ２００ナノメートルの厚さを有する。
【００３６】
このときその上に第１及び第２のＥＰ印刷画像層１１６、１１８を有する基体４０の区分は第３のＥＰ印刷ステーション７０Ｃへ前進させられ、この第３のステーションにおいては、図１１Ｃに示すように、図１０Ｃの第３の溶融及び硬化された画像１１４を形成するようにＥＰプロセスが適用されて、第２のＥＰ印刷画像層１１８上に第３のＥＰ印刷画像層１２０が形成される。１つの実施の形態においては、第３の溶融及び硬化された画像１１４は銀のような導電性材料で作られたトナーを使用して形成され、ほぼ１００ナノメートルの厚さを有する。図１１Ｃに明示するように、この図示の例において出来上がった製品は、２つの導電性の層１１６、１２０間に挟まれた絶縁層１１８を含む、基体４０上に形成されたコンデンサである。
【００３７】
４つ以上の層を有する電子装置を製造したい場合は、集団の層上に適当な材料及び所望の画像（単数又は複数）を印刷するための任意の数の付加的なＥＰ印刷ステーション７０を追加することができる。
【００３８】
印刷装置８０´は図面に明白に示すもの以外の付加的なプロセスを実行するように形状づけできることを認識されたい。例えば、任意のＥＰ印刷ステーションの硬化ステーションは、湿気、外部材料等から層（単数又は複数）を保護するために、基体上に形成される層（単数又は複数）をカプセル化するプロセスを付加的に遂行することができる。ある応用においては、層の選択された部分（単数又は複数）のみがカプセル化され、他の部分は露出されたままで、例えばリードに結合できるか又は隣接する層に接続できるように、各層は選択的にカプセル化することができる。代わりに又はこれに加えて、ＥＰ印刷ステーションにより完成されたような印刷電子機器装置のためのカプセル化工程を実行するように、独立のカプセル化ステーション（図示せず）をすべてのＥＰ印刷ステーションの下流側に設けることができる。
【００３９】
ここではコンデンサの製造を図示し説明したが、ここで述べた方法及び装置を使用して他の電子装置を製造することができる。例えば、蒸着／堆積すべき材料、各ＥＰ印刷ステーションで形成される画像、ＥＰ印刷画像層の連続する順番及びＥＰ印刷ステーションの数を選択することにより、任意の数の電子装置を製造できることを認識されたい。電子装置又はこのような電子装置を含む可能な回路の例は、これらに限定されないが、抵抗、コンデンサ、誘導子、トランジスタ、ダイオード、整流子、オッシレータ、メモリー、化学的センサ、電気的センサ、温度センサ、湿度センサ、圧力センサ、運動センサ、ｐＨセンサ、ディスプレイ、スピーカー、Ｉ／Ｏパネル、時計、電光灯、太陽電池、赤外電池、ラジオ等である。
【００４０】
１つの非限定的な実施の形態においては、トランジスタは、それぞれ４つのＥＰ連続層：（１）導体（例えば金）、（２）半導体（例えばＰＥＤＯＴ）、（３）絶縁体又は誘電体（例えばポリビニルフェノール）及び（４）導体（例えば銀）を形成するための４つのＥＰ印刷ステーションを有する印刷装置により形成することができる。
【００４１】
印刷電子機器の多くの応用においては、ＥＰ基礎の方法及び装置は極めて多数の同一の回路を形成するために使用できる。このような応用に対しては、更に修正されたＥＰプロセスを使用することができる。例えば、図１２を参照すると、静電的に帯電可能な表面として、光導電性ドラム（又はプレート）の代わりに、その上に誘電コーティング１２２を適用したフォトリソグラフィー的に形成された表面トポグラフィー１２１を含む光導電性ではないドラム又はプレートを使用できる。フォトリソグラフィーにおいては、光抵抗性のプレート材料を作像するために普通の１ミクロンの直径のレーザービームを使用することができ、非画像領域を化学的にエッチングするために普通の減色プロセスを使用することができ、それによって、高精度な表面トポグラフィーを作る。次いで、フォトリソグラフィーにより形成された上昇した区分即ちメサ(mesas) の頂表面は誘電絶縁材料で被覆される。このような頂表面はＥＰ印刷すべき画像を画定する。特に、次いで、図１Ａ、１Ｂを参照して上述したＥＰプロセスの第１の工程に類似する工程を使用して、誘電被覆された領域１２２が帯電され、図３−６を参照して説明したＥＰプロセスの第３ないし第６の工程を遂行して、誘電被覆された頂表面１２２により画定される画像をＥＰ印刷する。頂表面１２２以外の領域は誘電被覆されず、従って帯電されない。この実施の形態においては、潜像を形成するために帯電された光導電体を光に曝すようになった普通のＥＰプロセスの第２の工程は省略することができ、それによって一層簡単な印刷機構を提供することに留意されたい。その理由は、ＥＰ印刷すべき画像領域がドラム又はプレートの誘電被覆された頂表面により明白に画定されるからである。また、この実施の形態は、高精度の表面トポグラフィーが通常のＥＰプロセスよりも一層高い精度で印刷領域の縁部を決定するという利点を提供する。
【００４２】
他の応用においては、誘電被覆の代わりに、光導電性コーティングをフォトリソグラフィーにより形成された上昇した区分即ちメサの頂表面に適用できる。次いで、このような光導電体で被覆された領域１２２はＥＰ印刷すべき画像を画定する。特に、光導電体で被覆された領域１２２は上述のＥＰプロセスの第１の工程を使用して帯電され、上述のＥＰプロセスの第３ないし第６の工程を遂行して、光導電体で被覆された領域１２２により画定された画像をＥＰ印刷する。これまた、このような応用においては、潜像を形成するために帯電された光導電体を光に曝すようになった普通のＥＰプロセスの第２の工程は省略することができる。
【００４３】
更に他の応用においては、印刷すべき電子回路装置の部分を光導電性ドラム又はプレートを使用して形成することができ、一方、同じ装置の他の部分をフォトリソグラフィー的に形成されたトポグラフィーを使用して形成できるように、光導電性ドラム又はプレートの使用及び（誘電体又は光導電体で被覆された）フォトリソグラフィー的に形成されたトポグラフィーの使用を組み合わせることができる。例えば、印刷電子機器回路の選択された部分は、回路のオプション又は変形例を生じさせるように（図２のようなＥＰプロセスの第２の工程における）光導電体の露光のコンピュータ制御の下で、動的に修正することができ、一方、回路パターンの他の所望の部分（例えばコア）は表面トポグラフィーにより高精度の縁部を伴って画定することができる。このようにして、両方の方法の利点を組み合わせることができる；すなわち、プレート無しの動的作像を許容する光導電体基礎の方法の利点と、高解像度及び高精度の作像を許容するトポグラフィー基礎の方法の利点とを組み合わせることができる。
【００４４】
図１３は本発明の付加的な実施の形態を示し、この実施の形態は静電的に帯電可能な表面（例えば光導電性ドラム１０又は誘電被覆された表面トポグラフィー）と転写ローラ７２との間に配置された（図示の実施の形態における中間ドラム１３０により提供される）中間の表面１３０を使用する。この実施の形態においては、現像されたＥＰトナー画像は最初に静電的に帯電可能な表面（例えば光導電性ドラム１０）から中間のドラム即ち表面１３０へ転写される。次いで、転写されたトナー画像３８´´は中間のドラム即ち表面１３０から、図示の実施の形態では転写ローラ７２により支持された最終の目標表面４０へ再度転写される。上述のように、基体４０上の転写されたトナー画像３８´´Ｂは次いで、例えば硬化ステーションローラ５０、５３を使用して、基体４０に対して溶融及び硬化され、それによって、基体４０上に溶融及び硬化された画像３９を形成する。中間の表面１３０の使用は最終の目標表面４０に対するＥＰ光導電体の機械的な不両立性のような種々の機械上の及びＥＰデザイン上の制約からの救済を提供できるか又は光導電体の磨耗を阻止できるか又は目標基体材料によるＥＰプロセスの汚染を阻止することができる。
【００４５】
中間のドラム又は表面１３０はまた、上述のように、フォトリソグラフィーを使用した誘電被覆された表面トポグラフィーを具備することができる。この実施の形態においては、光導電性ドラム（又はプレート）１０又は誘電被覆されたドラム（又はプレート）はカプセル化されたトナー層をその全体の表面にわたって完全に現像する「インク」ドラムとして使用される。フォトリソグラフィーに基づいて製造された中間のドラム（又はプレート）１３０の表面トポグラフィーは次いで印刷パターンを提供する。特に、カプセル化されたトナーは中間の表面１３０の谷部領域に転写されない。その理由は、光導電性の（又は誘電被覆された）ドラムから中間のドラムへのカプセル化されたトナー層の転写中、トナーが中間のドラムのランド部（隆起した領域）にのみ接触するからである。この実施の形態においてはまた、画像のパターン化した露光を含むＥＰプロセスの第２の工程は不必要であり、それによって一層簡単な印刷機構及び印刷パターンのための一層高精度の縁部を提供する。
【００４６】
ＥＰプロセスに精通した当業者なら、ＥＰ印刷のすべての工程は、平坦な光導電体又は（フォトリソグラフィーにより製造された）誘電被覆された表面及び（又は）平坦な中間表面及び（又は）平坦な基体を用いて及び（又は）上述のような回転ドラム（単数又は複数）での同時の工程ではなく別個の工程で、遂行できることを認識すべきである。ＥＰプロセスにおけるこのような平坦な表面の使用は、ある印刷電子回路の製造にとって必要になることのある層毎の極めて高精度の印刷整合を可能にできる。このような高精度の整合は、標準の機械的な方法を使用して及び（又は）高精度の基準マーク及び能動的なフィードバック・ナノ位置決めを用いて達成することができる。
【００４７】
従って、本発明は電子写真法を使用して印刷電子回路を製造するための種々の方法及び装置を提供する。該方法及び装置は、物品又はその容器の内部又は外部に配置すべきＲＦＩＤタグ（即ち、物品レベルのラベル貼り又は札付け）のような、低パワー電子回路を（例えば、類似回路を製造するコストの約１／１０程度の）極めて低いコストで製造するのに特に適する。他の応用は、フレキシブルディスプレイ、「情報処理機能を持つ(smart)」書類、薬剤投与又は感知のための情報処理機能を持つ皮膚パッチ、患者迎合モニター、使い捨て計算機を含む。
【００４８】
例示的な実施の形態を図示説明したが、本発明の精神及び要旨から逸脱することなく、種々の変更が可能であることを認識できよう。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】図１Ａ及び１Ｂは、本発明の１つの実施の形態に係る、光導電体で作られた静電的に帯電可能な表面を帯電する工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第１の工程を示す概略図である。
【図２】本発明の１つの実施の形態に係る、潜像を形成するために帯電された光導電体を光に曝す工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第２の工程を示す概略図である。
【図３】本発明の１つの実施の形態に係る、潜像に基づくポジ画像を現像する工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第３の工程を示す概略図である。
【図４】本発明の１つの実施の形態に係る、光導電体から基体へポジ画像を転写する工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第４の工程を示す概略図である。
【図５】本発明の１つの実施の形態に係る、基体に対してポジ画像を溶融し硬化する工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第５の工程を示す概略図である。
【図６】本発明の１つの実施の形態に係る、将来の使用のために光導電体をクリーニングする工程を含む、電子写真法を使用して印刷電子回路を作る第６の工程を示す概略図である。
【図７】そのまわりで図１−６のすべての６つの工程を異なる位置で同時に実行し、本発明の１つの実施の形態に係る装置に使用するのに適した回転ドラムを示す概略図である。
【図８】本発明に従って形成された例示的な電子写真印刷装置の簡単化した機能ブロック線図である。
【図９】図８の印刷装置の１つの実施の形態の概略図である。
【図１０】図１０Ａ−１０Ｃは図８−９の印刷装置により製造できるコンデンサを形成するのに適する例示的な層画像を示す図である。
【図１１】図１１Ａ−１１Ｃは図８−９の印刷装置により層毎に形成された印刷電子装置（例えばコンデンサ）の側面図である。
【図１２】本発明の１つの実施の形態に係る静電的に帯電可能な表面を提供するのに適した、フォトリソグラフィにより形成される誘電体被覆表面トポグラフィーの側面図である。
【図１３】本発明のある実施の形態に係る、静電的に帯電可能な表面（例えば光導電性ドラム）とその上に電子装置を印刷すべき基体との間に設けられる中間の表面（例えば中間ドラム）の使用を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１０    光導電性ドラム
１４    帯電ローラ
３０    現像剤ドラム
３８    トナー粒子
４０    基体（表面）
７０    ＥＰ印刷ステーション
７２    転写ローラ
【図１】
2007300077.tif 000003
【図２】
2007300077.tif 000004
【図３】
2007300077.tif 000005
【図４】
2007300077.tif 000006
【図５】
2007300077.tif 000007
【図６】
2007300077.tif 000008
【図７】
2007300077.tif 000009
【図８】
2007300077.tif 000010
【図９】
2007300077.tif 000011
【図１０】
2007300077.tif 000012
【図１１】
2007300077.tif 000013
【図１２】
2007300077.tif 000014
【図１３】
2007300077.tif 000015
【外国語明細書】
2007300077000001.pdf