(57)【要約】  【課題】  コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供する。  【解決手段】  左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。【選択図】  図１
2007035682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空雰囲気中に設けられる位置決め装置であって、
ハウジングと、
ワークを支持し、前記ハウジングに対して一軸方向に移動可能な移動部材と、
前記ハウジングに設けられ、前記移動部材の第１のスライダ部を、前記移動部材の移動方向中間部で支持する第１の静圧軸受と、
前記ハウジングに設けられ、前記移動部材の第２のスライダ部を、前記移動部材の移動方向中間部で支持する第２の静圧軸受と、
前記移動部材を前記ハウジングに対して駆動する駆動装置と、を有し、
前記第１の静圧軸受と前記第２の静圧軸受は、前記移動部材の移動方向に交差する方向に並べて配置され、前記駆動装置は、前記第１のスライダ部と前記第２のスライダ部との間に配置されていることを特徴とする位置決め装置。
【請求項２】
前記第１の静圧軸受及び前記第２の静圧軸受の周囲には、差動排気シールが配置されていることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
【請求項３】
前記第１のスライダ部と前記第２のスライダ部とは移動方向両端で連結されてなり、前記駆動装置が、前記移動部材と前記ハウジングとにより画成され、且つ前記真空雰囲気と隔絶された空間内に配されてなることを特徴とする請求項１または２に記載の位置決め装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、たとえば外部環境から隔離されたプロセス室内に配される移動体を駆動する位置決め装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置などにおいては、高真空環境や特殊ガス雰囲気に維持したプロセス室内で、ワークを旋回、回転、あるいは移動させて加工処理することが行われている。ここで、プロセス室内におけるアウトガスや発塵や発熱を回避すべく、その発生源となりうるモータ等のアクチュエータをプロセス室外におく場合がある。例えば、ワークを回転、旋回、あるいは移動させる場合、これらの駆動のための軸体の一端はプロセス室内に配され、軸体の他端はプロセス室外でアクチュエータに連結されるため、プロセス室の環境を損なわないように、プロセス室を覆う筐体と回転軸との間をシールする構成が必要となる。
【０００３】
ここで、特許文献１には、静圧軸受と差動排気シールとを備えた位置決め装置が開示されている。かかる従来技術によれば、筐体内のプロセス室における高真空環境下で処理すべきワークを、テーブルに載置した状態で移動自在に位置決めできるようになっている。
【特許文献１】特開２００２−３４３８４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、プロセス室内でワークを高精度に処理するためには、かかるワークを高精度に位置決めする必要がある。高精度の位置決めのためには、位置決め装置自体の剛性、及びワークを保持するテーブルの支持剛性を高める必要がある。ところが、特許文献１に開示された位置決め装置の場合、構成の制約上、全体としてのコンパクト性と、テーブルの移動距離の確保とを両立しようとすると、テーブルを含めた移動部分が細長くなり、高剛性の確保が困難となる。又、このような条件では、静圧軸受の面積が比較的小さくなるため、比較的支持剛性が低いという問題がある。又、外部に駆動源を有するので、装置構成が大型化するという問題もある。
【０００５】
そこで本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み、コンパクトな構成を有しながらも、剛性を高めることができる位置決め装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するために、本発明の位置決め装置は、
真空雰囲気中に設けられる位置決め装置であって、
ハウジングと、
ワークを支持し、前記ハウジングに対して一軸方向に移動可能な移動部材と、
前記ハウジングに設けられ、前記移動部材の第１のスライダ部を、前記移動部材の移動方向中間部で支持する第１の静圧軸受と、
前記ハウジングに設けられ、前記移動部材の第２のスライダ部を、前記移動部材の移動方向中間部で支持する第２の静圧軸受と、
前記移動部材を前記ハウジングに対して駆動する駆動装置と、を有し、
前記第１の静圧軸受と前記第２の静圧軸受は、前記移動部材の移動方向に交差する方向に並べて配置され、前記駆動装置は、前記第１のスライダ部と前記第２のスライダ部との間に配置されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、前記第１の静圧軸受及び前記第２の静圧軸受が各スライダ部を前記移動方向中間部で支持しているので、ワーク位置付近での前記移動部材のたわみを抑制できる。又、前記移動部材の移動方向長さを抑制でき、高剛性化と軽量化の点で有利である。更に、前記第１の静圧軸受と前記第２の静圧軸受が、前記移動部材の移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、前記移動部材にワークを支持するテーブルを取り付けた場合、前記移動部材の移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、前記駆動装置が、前記第１のスライダ部と前記第２のスライダ部との間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。
【０００８】
前記第１の静圧軸受及び前記第２の静圧軸受の周囲には、差動排気シールが配置されていると、前記位置決め装置を、大気環境と異なる環境下で用いる際に、静圧軸受から吐出される流体を差動排気シールで回収できるので、大気環境と異なる環境を損なうことがなく好ましい。
【０００９】
前記第１のスライダ部と前記第２のスライダ部とは移動方向両端で連結されてなり、前記駆動装置が、前記移動部材と前記ハウジングとにより画成され、且つ前記真空雰囲気と隔絶された空間内に配されてなると、前記駆動装置により前記真空雰囲気が汚染されることが抑制される。
【００１０】
本明細書中で用いる差動排気シールとは、例えば対向する２面間の微小な間隙にある気体を前記２面間に設けられた差圧室を介して排気することにより、非接触の状態で、対向面を挟む両側の雰囲気（例えば大気圧と高真空）を一定の状態に保つように機能するものをいう。以下に述べる実施の形態においては、差圧室とそれに隣接する間隙を差動排気シールという。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明の好適な実施の形態について説明する。図１は、第１の実施の形態にかかる位置決め装置１００の上面図である。図２は、図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。位置決め装置１００は、全体が図示しない真空チャンバ内に設置され、位置決め装置１００の外部が真空雰囲気にさらされる。
【００１２】
図２において、下板１１の左上面には、左下パッドＬＬＰが配置されており、下板１１の右上面には、右下パッドＲＬＰが配置されている。下板１１の上方において、それに平行に上板１２Ａ、１２Ｂが、互いに間隔をあけて配置されている。
【００１３】
上板１２Ａの下面には、左上パッドＬＵＰが配置されており、上板１２Ｂの下面には、右上パッドＲＵＰが配置されている。
【００１４】
図２において、下板１１の両端と上板１２Ａ、１２Ｂの端部とは、側板１５，１４により連結されている。側板１５の内側面には、左中パッドＬＣＰが配置されており、側板１４の内側面には、右中パッドＲＣＰが配置されている。各パッドは、不図示の配管を通じて正圧ポンプに接続されている。左下パッドＬＬＰと、左上パッドＬＵＰと、左中パッドＬＣＰとで、第１の静圧軸受を構成し、右下パッドＲＬＰと、右上パッドＲＵＰと、右中パッドＲＣＰとで、第２の静圧軸受を構成している。なお、本実施の形態では、負荷容量に優れた多孔質材を用いた静圧軸受を使用しているが、必要な負荷容量に応じ、他の方式の静圧軸受に代えても良い。
【００１５】
下板１１と上板１２Ａとの間には、矩形断面の第１スライダ部１３Ａが配置され、下板１１と上板１２Ｂとの間には、矩形断面の第２スライダ部１３Ｂが配置され、第１スライダ部１３Ａと第２スライダ部１３Ｂとは、上板１２Ａ、１２Ｂとの間に配置されたテーブル１３Ｃにより連結されている。第１スライダ部１３Ａ、第２スライダ部１３Ｂ、テーブル１３Ｃにより、移動部材を構成する。又、下板１１、上板１２Ａ、１２Ｂ、側板１５，１４により、ハウジングを構成する。それぞれのスライダ部１３Ａ，１３Ｂと、ハウジングとは微小スキマを介して対向しており、各静圧軸受により非接触状態に保たれる。
【００１６】
第１スライダ部１３Ａと、第２スライダ部１３Ｂとの間には空間が形成されており、かかる空間を利用して駆動装置ＤＲが配置されているため、コンパクトな構成が提供される。駆動装置ＤＲは、各種リニアモータでも良いし、回転軸を回転させるモータとボールねじ機構などとの組み合わせでも良い。
【００１７】
更に、下板１１の上面において、左下パッドＬＬＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ１が配置され、右下パッドＲＬＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ２が配置されている。又、上板１２Ａの下面において、左上パッドＬＵＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ３が配置され、上板１２Ｂの下面において、右上パッドＲＵＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ４が配置されている。更に、側板１５の内側面において、左中パッドＬＣＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ５が配置され、側板１４の内側面において、右中パッドＲＣＰの周囲を取り巻くようにして、差動排気シールＤＳ６が配置されている。各差動排気シールは、不図示の配管を介して外部の負圧ポンプに接続されている。
【００１８】
第１スライダ部１３Ａの上下面は、左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰとから吐出される流体の静圧により支持される。又、第２スライダ部１３Ｂの上下面は、右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰとから吐出される流体の静圧により支持される。更に、第１スライダ部１３Ａの左側面は、左中パッドＬＣＰから吐出される流体の静圧により支持され、第２スライダ部１３Ｂの右側面は、右中パッドＲＣＰから吐出される流体の静圧により支持される。従って、第１スライダ部１３Ａと第２スライダ部１３Ｂに連結されたテーブル１３Ｃは、図２で上下左右方向に剛性が高い状態で支持されるようになっている。かかる状態で、駆動装置ＤＲを駆動すれば、図１の上下方向にテーブル１３Ｃは移動できるので、テーブル１３Ｃ上に載置したワーク（不図示）を処理することができる。
【００１９】
本実施の形態の位置決め装置１００は、内部が高真空状態に維持されるプロセス室などの内部に配置できる。かかる場合、上述したようにパッドの周囲を差動排気シールが取り巻いているので、パッドから吐出した気体が外部に漏れ出す前に、差動排気シールにより気体を回収できるので、プロセス室内の高真空状態を損なうことが抑制される。
【００２０】
本実施の形態によれば、第１のスライダ部１３Ａ、第２のスライダ部１３Ｂ及びテーブル１３Ｃで構成される移動部材の移動方向中間部において、第１の静圧軸受及び第２の静圧軸受により支持しているので、ワークに所定の処理を施す位置と、移動部材の支持位置とを接近させることができ、移動部材のたわみを抑制できる。また、移動部材の移動方向の長さを抑制できる。更に、左下パッドＬＬＰと左上パッドＬＵＰ、及び右下パッドＲＬＰと右上パッドＲＵＰが、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向に並べて配置されているので、テーブル１３Ｃの移動方向に交差する方向における傾き剛性を高めることができる。又、駆動装置ＤＲが、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に配置されているので、外部に駆動装置を設ける必要がなく、構成のコンパクト化を図れる。加えて、駆動装置による推力が作用する位置の高さと、移動部材の各静圧軸受による支持位置の高さとを接近させることができるので、前記推力によるモーメントの影響を抑制することもできる。
【００２１】
図３は、第２の実施の形態にかかる位置決め装置２００の上面図である。図４は、図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。図５は、図３の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図である。図６は、図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【００２２】
本実施の形態は、本発明のより具体的な構成例の一つを示すもので、図１，２の実施の形態と異なる点は、移動部材としての第１スライダ部１３Ａ、第２スライダ部１３Ｂ、テーブル１３Ｃが一体で形成されている点である。それ以外の点については、上述した実施の形態と同様であるため、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２３】
本実施の形態において、第１スライダ部１３Ａ、第２スライダ部１３Ｂの間において、下板１１の上面（図６では左面）にモータ支持部１１ａが形成され、ここにモータＭＴが取り付けられている。モータＭＴの回転軸に連結されたねじ軸ＳＳは、テーブル１３Ｃの下面（図６では右面）に設けられたナット支持部１３ａに取り付けられたボールねじ機構のナットＮＴに係合しており、且つねじ軸ＳＳの先端は、軸支持部１１ｂにより回転自在に支持されている。モータＭＴ、ねじ軸ＳＳ、ナットＮＴにより駆動装置を構成する。なお、モータＭＴは真空中での使用が可能なものを用い、ボールねじ機構の潤滑は例えば真空用グリース等、真空中での使用に適したものを使用している。
【００２４】
不図示の電源よりモータＭＴに電力を供給すると、ねじ軸ＳＳが回転し、それによりボールねじ機構のナットＮＴに対して、ねじ軸ＳＳの軸線方向の力が付与されるので、テーブル１３Ｃを駆動できることとなる。
【００２５】
なお、図５に示すように、側板１４に設けられた右中パッドＲＣＰは、第２スライダ１３Ｂ（図３，４）の移動方向に沿って６つ並んで配置されており、この右中パッドＲＣＰの周囲を取り巻くようにして２列のトラック状の溝Ｇ１、Ｇ２が配置されている。差動排気シールＤＳ６を構成する溝Ｇ１，Ｇ２は、不図示の負圧ポンプに接続されており、右中パッドＲＣＰから吐出された気体を捕捉して外部へと排出する機能を有する。同様の２列の溝は、下板１１の左下パッドＬＬＰ及び右下パッドＲＬＰ、上板１２Ａの左上パッドＬＵＰ、上板１２Ｂの右上パッドＲＵＰ、側板１５の左中パッドＬＣＰの周囲にもそれぞれ設けられている。
【００２６】
図７は、第３の実施の形態にかかる位置決め装置３００の上面図である。図８は、図７の構成をVIII-VIII線で切断して矢印方向に見た図である。図９は、図７の構成をIX-IX線で切断して矢印方向に見た図である。図１０は、図９の構成をX-X線で切断して矢印方向に見た図である。図１１は、スライダの斜視図である。
【００２７】
本実施の形態が、図３〜６の実施の形態と異なる主な点は、移動部材の構成及び駆動装置が密閉された空間内に配置されている点である。それ以外の点については、上述した実施の形態と同様であるため、同じ符号を付して説明を省略する。
【００２８】
図１１において、板状のスライダ１３Ｄは、上面に矩形溝１３ｄを形成しており、矩形溝１３ｄの底面の中央には、段部１３ｆが形成され、段部１３ｆの奥には、角柱状の貫通孔１３ｇが形成されている。矩形溝１３ｄに角柱状のテーブル１３Ｃ（図７）が密封的に取り付けられる。ここでは、スライダ１３Ｄの左側部分が第１のスライダ部１３Ａを構成し、スライダ１３Ｄの右側部分が第２のスライダ部１３Ｂを構成し、これらの両端を連結部で連結した形となっている。
【００２９】
本実施の形態においては、図９に示すように、テーブル１３Ｃの下面（図９で右面）に、モータ支持部１３ｂと、軸支持部１３ｃが設けられている。一方、下板１１の上面（図９で左面）には、ナット支持部１１ｂが形成されている。テーブル１３Ｃをスライダ１３Ｄに組み付けたとき、第１スライダ部１３Ａ、第２スライダ部１３Ｂの間において、段部１３ｆによる空間が生じるが、かかる空間内に、駆動装置が配置されている。より具体的には、モータ支持部１３ｂにモータＭＴが取り付けられている。モータＭＴの回転軸に連結されたねじ軸ＳＳは、下板１１から貫通孔１３ｇを介して段部１３ｆ内の空間まで延在するナット支持部１１ｂに取り付けられたボールねじ機構のナットＮＴに係合しており、且つねじ軸ＳＳの先端は、軸支持部１３ｃにより回転自在に支持されている。モータＭＴ、ねじ軸ＳＳ、ナットＮＴにより駆動装置を構成する。
【００３０】
図１０に示すように、下板１１の上面に設けられた左下パッドＬＬＰは、第１のスライダ１３Ａ（図８）の移動方向に沿って６つ並んで配置されており、この左下パッドＬＬＰの周囲を取り巻くようにして１列のトラック状の溝Ｇ３が配置されている。更に、下板１１の上面に設けられた右下パッドＲＬＰは、第２のスライダ１３Ｂ（図８）の移動方向に沿って６つ並んで配置されており、この右下パッドＲＬＰの周囲を取り巻くようにして１列のトラック状の溝Ｇ４が配置されている。更に、２つの溝Ｇ３，Ｇ４を取り巻くようにして、トラック状の溝Ｇ５が形成されている。
【００３１】
差動排気シールＤＳ１，ＤＳ２をそれぞれ構成する溝Ｇ３、Ｇ４は、不図示の負圧ポンプにそれぞれ接続されており、左下パッドＬＬＰ、右下パッドＲＬＰから吐出された気体を捕捉して外部へと排出する機能を有する。一方、差動排気シールＤＳ７を構成する溝Ｇ５は、不図示の負圧ポンプにそれぞれ接続されており、下板１１とスライダ１３Ｄとの間を密封する機能を有する。なお、差動排気シールの代わりに、溝Ｇ５内にＯ−リングなどのシール手段を配置しても良い。
【００３２】
不図示の電源よりモータＭＴに電力を供給すると、ねじ軸ＳＳが回転し、それによりボールねじ機構のナットＮＴに対して、ねじ軸ＳＳの軸線方向の力が付与されるので、ナット支持部１１ｂを介して下板１１に対して相対推力を与えることで、スライダ１３Ｄと一体でテーブル１３Ｃを駆動できることとなる。本実施の形態によれば、差動排気シールＤＳ７が、下板１１とスライダ１３Ｄとの間を密封しているので、かかる位置決め装置３００を高真空環境下で使用しても、駆動装置が発生する恐れのある塵埃やアウトガスにより、高真空環境を損なうことが抑制される。このため、例えば、ボールねじ機構の潤滑剤やモータＭＴとして真空中での使用に適した特殊なものを用いる必要がなくなるので、容易に優れた潤滑性能や駆動性能を得ることができる。
【００３３】
図１２は、第４の実施の形態にかかる位置決め装置４００の上面図である。図１３は、図１２の構成をXIII-XIII線で切断して矢印方向に見た図である。図１４は、図１２の構成をXIV-XIV線で切断して矢印方向に見た図である。
【００３４】
本実施の形態が、図７〜１１の実施の形態と異なる点は、駆動装置として超音波モータを用いた点である。それ以外の点については、上述した実施の形態と同様であるため、同じ符号を付して説明を省略する。
【００３５】
図１３，１４において、板状のスライダ１３Ｄは、上面中央に段部１３ｆを形成しており、更に段部１３ｆの奥に、角柱状の貫通孔１３ｇを形成している。本実施の形態においては、段部１３ｆに角柱状のテーブル１３Ｃが、不図示のシール装置を介して気密的にはめ込まれる。図１３において、スライダ１３Ｄの左側部分が第１のスライダ部１３Ａを構成し、スライダ１３Ｄの右側部分が第２のスライダ部１３Ｂを構成し、これらの両端を連結部で連結した形となっている。
【００３６】
本実施の形態において、図１３，１４に示すように、第１のスライダ部１３Ａと第２のスライダ部１３Ｂとの間に位置する貫通孔１３ｇには、超音波モータＵＭが取り付けられている。駆動装置を構成する超音波モータＵＭの振動子ＵＭｖは、下板１１の上面に接触している。
【００３７】
不図示の電源より超音波モータＵＭに電力を供給すると、振動子ＵＭｖが円運動を行いつつ下板１１に対して接触と離隔とを繰り返すように振動するので、振動子ＵＭｖと下板１１との間に繰り返し発生する摩擦力により、スライダ１３Ｄと一体でテーブル１３Ｃを駆動できることとなる。本実施の形態によれば、差動排気シールＤＳ７が、下板１１とスライダ１３Ｄとの間を密封し、且つ段部１３ｆをテーブル１３Ｃが塞いでいるため、かかる位置決め装置４００を高真空環境下で使用しても、超音波モータＵＭが発生する恐れのある塵埃やアウトガスにより、高真空環境を損なうことが抑制される。又、貫通孔１３ｇ内を大気圧環境とすることで、例えば空冷などの方法で、超音波モータＵＭの冷却を容易に行うことができる。又、超音波モータＵＭを用いることにより、駆動装置、ひいては位置決め装置全体としての小型化を図ることができる。
【００３８】
図１５は、第５の実施の形態にかかる位置決め装置５００の上面図である。図１６は、図１５の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。図１７は、図１６の構成をXVII-XVII線で切断して矢印方向に見た図である。
【００３９】
本実施の形態が、図１２〜１４の実施の形態と異なる点は、下板１１の左下パッドＬＬＰと右下パッドＲＬＰの面積を大きくして、重量のあるワークを支持できるよう支持剛性を高めたことである。なお、左下パッドＬＬＰと右下パッドＲＬＰの面積を大きくする代わりに、その数を増加させても良い。それ以外の点については、上述した実施の形態と同様であるため、同じ符号を付して説明を省略する。
【００４０】
図１８は、第６の実施の形態にかかる位置決め装置６００を筐体内に組み込んだ状態で示す断面図である。図１９は、図１８の構成をXIX-XIX線で切断して矢印方向に見た図である。図２０は、図１９の構成をXX-XX線で切断して矢印方向に見た図である。本実施の形態にかかる位置決め装置６００は、真空雰囲気に維持されたプロセス室内で処理するワークを位置決め可能となっている。
【００４１】
本実施の形態においては、図１，２に示す位置決め装置１００をそのまま利用している。より具体的に説明すると、内部にプロセス室Ｐを有する筐体６０１は、２つの開口６０１ａを有している。プロセス室Ｐ内には、位置決め装置１００を載置したテーブル６０２が配置されている。位置決め装置１００のテーブル１３Ｃは、図１８で左右方向に移動するのに対し、テーブル６０２は、後述するように図１８で紙面垂直方向に移動可能となっている。
【００４２】
テーブル６０２は、その下面に一対の支持脚６０３Ａ、６０３Ｂを取り付けている。支持脚６０３Ａ，６０３Ｂは、それぞれ開口６０１ａを介して筐体６０１の外部へと延在しており、下端に板状のスライダ部６０４Ａ、６０４Ｂをそれぞれ取り付けている。
【００４３】
スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂは、その上面側を上方支持部６０５Ａ、６０５Ｂに対して支持され、その下面側を下方支持部６０６Ａ、６０６Ｂに対して支持されている。なお、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂ、上方支持部６０５Ａ、６０５Ｂ、下方支持部６０６Ａ、６０６Ｂの構成は、それぞれ互いに同一であるので、以下、スライダ部６０４Ａ、上方支持部６０５Ａ、下方支持部６０６Ａの構成についてのみ説明し、スライダ部６０４Ｂ、上方支持部６０５Ｂ、下方支持部６０６Ｂの構成については説明を省略する。
【００４４】
上方支持部６０５Ａは、筐体６０１の下面に密着して取り付けられており、支持脚６０３Ａを貫通させる長穴状の開口６０５ａを有している。スライダ部６０４Ａに対向する上方支持部６０５Ａの下面には、開口６０５ａを取り巻くようにして、２列のトラック状の溝Ｇ１０，Ｇ１１が形成されている。差動排気シールを構成するトラック状の溝Ｇ１０，Ｇ１１は、不図示の配管を介して外部の負圧ポンプに接続されている。更に、上方支持部６０５Ａの下面には、溝Ｇ１０，Ｇ１１の外部側において、静圧パッド５Ｐが複数個配置されている。静圧軸受を構成する静圧パッド５Ｐは、不図示の配管を介して外部の正圧ポンプに接続されている。なお、溝Ｇ１０，Ｇ１１及び静圧パッド５Ｐの位置、数、寸法は、これに限定されることはない。
【００４５】
一方、図１８に示すように、下方支持部６０６Ａは、定盤Ｇの上面に取り付けられている。スライダ部６０４Ａに対向する上方支持部６０６Ａの上面には、上方支持部６０５Ａの溝Ｇ１０，Ｇ１１に対向する位置に、溝Ｇ１２，１３を形成しており、且つ静圧パッド５Ｐに対向する位置に、静圧パッド６Ｐを配置している。差動排気シールを構成するトラック状の溝Ｇ１２，Ｇ１３は、不図示の配管を介して外部の負圧ポンプに接続されている。静圧軸受を構成する静圧パッド６Ｐは、不図示の配管を介して外部の正圧ポンプに接続されている。なお、溝Ｇ１２，Ｇ１３及び静圧パッド６Ｐの位置、数、寸法は、これに限定されることはない。
【００４６】
不図示の駆動装置が、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂに連結されており、これらを一体的に移動させることができるようになっている。駆動装置は、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの間に配置して良いことはいうまでもない。又、本実施の形態においては、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂに対して交差する方向（図１８で左右方向）の案内を行うリニアガイド（不図示）を別個に設けているが、上方支持部６０５Ａ、６０５Ｂと下方支持部６０６Ａ、６０６Ｂとを側板で連結し、かかる側板に静圧軸受を設けて、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂに対して交差する方向の案内を行うようにしても良い。
【００４７】
プロセス室Ｐは、不図示のターボ分子ポンプに接続され、内部が高真空状態にに維持されている。不図示の電源より不図示の駆動装置に電力を供給することで、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂを、テーブル６０２に載置された位置決め装置１００ごと、図１８で紙面垂直方向に移動させることができる。更に、不図示の電源より、位置決め装置１００の駆動装置ＤＲ（図１９）を駆動すれば、図１８の左右方向にテーブル１３Ｃが移動できるので、テーブル１３Ｃ上にワークを載置したときに、プロセス室Ｐ内で、ワークを２次元的に任意の位置に位置決めできる。
【００４８】
なお、位置決め装置１００の溝と、上方支持部６０５Ａ、６０５Ｂ又は下方支持部６０６Ａ、６０６Ｂに設けた溝とは、両方とも内部が負圧に維持されることから、別個に負圧ポンプに連結されるのではなく、図１９の点線で示すように、一方の溝が他方の溝のみに連通され、他方の溝（この図の例ではＧ１０，Ｇ１１）を負圧ポンプで吸引すれば、他方の溝を介して一方の溝内も負圧に維持されることとなる。具体的には、一端が差動排気シールＤＳ１又はＤＳ２の溝に開口する排気通路（不図示）が、下板１１，テーブル６０２，支持脚６０３Ａ、６０３Ｂ及びスライダ部６０４Ａ、６０４Ｂを経由し、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの上面に通じており、他端側の開口は上方支持部６０５Ａ、６０５Ｂの溝Ｇ１０，Ｇ１１に連通するようになっている。
【００４９】
更に、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの上面は、開口６０５ａを介してプロセス室Ｐに連通しているので、その高真空環境に接している。従って、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの下面が大気圧に接するようにすると、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの変形（反り）が生じる恐れがある。そこで、別な例として、下方支持部６０６Ａ、６０６Ｂの上面に、開口６０５ａに対応したくぼみを設け、支持脚６０３Ａ、６０３Ｂ及びスライダ部６０４Ａ、６０４Ｂ内を貫通する孔を介してプロセス室Ｐと連通させることで、くぼみ内が高真空状態となるので、スライダ部６０４Ａ、６０４Ｂの上下面に作用する圧力を釣り合わせることができ、その変形を抑制することができる。或いは、このくぼみをプロセス室Ｐとを連通させる代わりに、くぼみ内を別の負圧ポンプにより排気し、所定の真空状態になるようにしても良い。
【００５０】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。プロセス室Ｐ内は、真空に限らず、それ以外の大気と異なる環境に維持されていても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】第１の実施の形態にかかる位置決め装置１００の上面図である。
【図２】図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３】第２の実施の形態にかかる位置決め装置２００の上面図である。
【図４】図３の構成をIV-IV線で切断して矢印方向に見た図である。
【図５】図３の構成をV-V線で切断して矢印方向に見た図である。
【図６】図３の構成をVI-VI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図７】第３の実施の形態にかかる位置決め装置３００の上面図である。
【図８】図７の構成をVII-VII線で切断して矢印方向に見た図である。
【図９】図７の構成をIX-IX線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１０】図７の構成をX-X線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１１】スライダの斜視図である。
【図１２】第４の実施の形態にかかる位置決め装置４００の上面図である。
【図１３】図１２の構成をXIII-XIII線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１４】図１２の構成をXIV-XIV線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１５】第５の実施の形態にかかる位置決め装置５００の上面図である。
【図１６】図１５の構成をXVI-XVI線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１７】図１５の構成をXVII-XVII線で切断して矢印方向に見た図である。
【図１８】第６の実施の形態にかかる位置決め装置６００を筐体内に組み込んだ状態で示す断面図である。
【図１９】図１８の構成をXIV-XIV線で切断して矢印方向に見た図である。
【図２０】図１９の構成をXX-XX線で切断して矢印方向に見た図である。
【符号の説明】
【００５２】
５Ｐ 静圧パッド
６Ｐ 静圧パッド
１１ 下板
１１ａ モータ支持部
１１ｂ ナット支持部
１１ｂ 軸支持部
１２Ａ 上板
１２Ｂ 上板
１３Ａ スライダ部
１３Ｂ スライダ部
１３Ｃ テーブル
１３Ｄ スライダ
１３ａ ナット支持部
１３ｂ モータ支持部
１３ｃ 軸支持部
１３ｄ 矩形溝
１３ｆ 段部
１３ｇ 貫通孔
１４ 側板
１５ 側板
１００〜６００ 位置決め装置
６０１ 筐体
６０１ａ 開口
６０２ テーブル
６０３Ａ，６０３Ｂ 支持脚
６０４Ａ、６０４Ｂ スライダ部
６０５Ａ、６０５Ｂ 上方支持部
６０５ａ 開口
６０６Ａ、６０６Ｂ 下方支持部
ＤＲ 駆動装置
ＤＳ１〜ＤＳ７ 差動排気シール
Ｇ 定盤
Ｇ１〜Ｇ５ 溝
Ｇ１０〜Ｇ１３ 溝
ＬＣＰ 左中パッド
ＬＬＰ 左下パッド
ＬＵＰ 左上パッド
ＭＴ モータ
ＮＴ ナット
Ｐ プロセス室
ＲＣＰ 右中パッド
ＲＬＰ 右下パッド
ＲＵＰ 右上パッド
ＳＳ ねじ軸
ＵＭ 超音波モータ
ＵＭｖ 振動子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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