(57)【要約】 【課題】  搬送用容器からの移し替え作業を必要とせず、搬送用容器から供給先装置に流体を供給することができるようにするための接続装置および供給装置を提供する。【解決手段】  搬送用容器２２の開口部４２に着脱可能な基台４０に、基台接続片４５ａ〜４７ａが固定されている。各基台接続片４５ａ〜４７ａに対して接続および接続解除可能な管路接続片４５ｂ〜４７ｂが、管路２８，３７に固定されている。これによって管路２８，３７を搬送容器２２に接続し、貯留タンクなどへの移し替え作業を必要とすることなく、搬送用容器２２から研磨装置に研磨用スラリーを供給することができる。このようにして、研磨用スラリーの補給作業の手間を少なくし、補給作業を容易にすることができるとともに、移し替え作業中に、研磨用スラリーに異物が混入してしまうことを防ぐことができる。【選択図】      図１
2007237318.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体が収容される搬送用容器に、供給先装置に接続される流体供給用管路を含む管路を接続する接続装置であって、
搬送用容器の開口部に着脱可能に装着される基台と、
相互に接続および接続解除可能な対を成す基台接続片および管路接続片を有し、基台接続片は基台に固定され、管路接続片は管路に固定される接続手段とを備えることを特徴とする接続装置。
【請求項２】
接続手段は、複数対の基台接続片および管路接続片を有し、
各基台接続片は、互いに形状および寸法の少なくともいずれか一方が異なることを特徴とする請求項１に記載の接続装置。
【請求項３】
一端部が、搬送用容器から流体を送出す基台接続片に接続されて搬送用容器内に挿入され、他端部が、搬送用容器の底部付近に配置され、他端部に、孔または切欠きが形成された送出補助管路を、さらに備えることを特徴とする請求項１または２に記載の接続装置。
【請求項４】
基台接続片に着脱可能に装着される蓋片を備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の接続装置。
【請求項５】
接続手段は、不活性ガス源に接続される不活性ガス管路を接続するための基台接続片および管路接続片を有することを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の接続装置。
【請求項６】
流体が貯留される搬送用容器から供給先装置に、流体を供給するための流体供給用管路と、
請求項１〜５のいずれか１つに記載の接続装置とを備えることを特徴とする流体供給装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体が貯留される搬送用容器に、供給先装置に接続される流体供給用管路を含む管路を接続する接続装置およびそれを備える流体供給装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図１５は、従来の技術の流体供給装置１を示す回路図である。流体供給装置１は、供給先装置である複数の研磨装置２，３に、流体である研磨用スラリーを供給する装置であり、研磨用スラリーを貯留する貯留タンク４を備えている。貯留タンク４には、循環管路５が接続され、循環管路５から分岐する供給管路６，７に、各研磨装置２，３がそれぞれ接続されている。循環管路５には、循環供給ポンプ８が介在されており、研磨用スラリーが、貯留タンク４から汲上げられ、再び貯留タンク４に戻るように循環管路５を循環されながら、枝管路６，７を経て、各研磨装置２，３に供給される。各研磨装置２，３では、供給される研磨用スラリーを用いて、半導体ウェハを研磨している。このように貯留タンクの研磨用スラリーを循環させながら研磨装置２，３に供給する装置は、たとえば特許文献１および２に開示されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１７２５６２号公報
【特許文献２】特開２００２−２３３９５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従来の技術の流体供給装置では、貯留タンク４は、据置きされる構成であり、循環管路５は、貯留タンク４に対して接続解除されるように構成されていない。したがってこのような液体供給装置では、貯留タンク４における研磨用スラリーの貯留量が少なくなると、搬送用容器１０に収容されて搬入される研磨用スラリーを、搬送用容器１０から貯留タンク４に移し替えるようにして、補給している。したがって研磨用スラリーの補給に手間を要するうえ、移し替え作業中に、貯留タンク４内にコンタミネーションなどと呼ばれる異物が混入してしまうおそれがある。
【０００５】
本発明の目的は、搬送用容器からの移し替え作業を必要とせず、搬送用容器から供給先装置に流体を供給することができるようにするための接続装置およびそれを備える供給装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、流体が収容される搬送用容器に、供給先装置に接続される流体供給用管路を含む管路を接続する接続装置であって、
搬送用容器の開口部に着脱可能に装着される基台と、
相互に接続および接続解除可能な対を成す基台接続片および管路接続片を有し、基台接続片は基台に固定され、管路接続片は管路に固定される接続手段とを備えることを特徴とする接続装置である。
【０００７】
本発明に従えば、搬送用容器の開口部に着脱可能な基台に、基台接続片が固定されている。この基台接続片に対して接続および接続解除可能な管路接続片が、管路に固定されている。これによって搬送用容器に基台を装着し、基台に設けられる基台接続片に管路接続片を接続することによって、管路を搬送容器に接続することができる。したがって搬送用容器から貯留タンクなどへの移し替え作業を必要とすることなく、搬送用容器から供給先装置に流体を供給することができる。このように移し替え作業を必要としないので、流体の補給作業の手間を少なくし、補給作業を容易にすることができるとともに、移し替え作業中に、液体に異物が混入してしまうことを防ぐことができる。
【０００８】
また本発明は、接続手段は、複数対の基台接続片および管路接続片を有し、
各基台接続片は、互いに形状および寸法の少なくともいずれか一方が異なることを特徴とする。
【０００９】
本発明に従えば、各基台接続片が互いに形状および寸法の少なくともいずれか一方が異なる構成を有しており、各基台接続片には、これら基台接続片と対を成す管路接続片だけがそれぞれ接続可能である。これによって複数対の基台接続片および管路接続片が設けられても、各基台接続片に、対を成す管路接続片以外の管路接続片が接続されてしまうことがない。したがって各基台接続片と各管路接続片とを接続するにあたって、対を成す基台接続片と管路接続片とがどの組合わせであるか、形状および寸法から目視によって容易に判断することができるとともに、かつ誤接続を確実に防ぐことができ、接続作業を容易にすることができる。
【００１０】
また本発明は、一端部が、搬送用容器から流体を送出す基台接続片に接続されて搬送用容器内に挿入され、他端部が、搬送用容器の底部付近に配置され、他端部に、孔または切欠きが形成された送出補助管路を、さらに備えることを特徴とする。
【００１１】
本発明に従えば、送出補助管路が、一端部で基台接続片に接続されて、搬送用容器内に挿入される。この送出補助管路は、他端部が搬送用容器の底部付近に配置されており、搬送用容器の底部付近から流体を送出して供給することができる。したがって搬送用容器が、空またはほぼ空になるまで、流体を供給することができ、流体の補給作業の繰返し周期をできるだけ長くし、手間を省くことができる。しかも送出補助管路の他端部には、孔または切欠きが形成されており、送出補助管路の他端部が搬送用容器に吸着してしまうことを防止することができる。これによって送出補助管路の他端部が、搬送用容器の底部によって塞がれてしまうことを防ぐことができる。
【００１２】
また本発明は、基台接続片に着脱可能に装着される蓋片を備えることを特徴とする。
本発明に従えば、基台接続片に蓋片を装着することによって、基台接続片を塞ぐことができる。これによって基台を搬送用容器に装着した状態、搬送用容器を用いて流体を搬送しても、搬送用容器の傾斜および振動によって、搬送用容器から流体が不所望に排出されてしまうことを防ぐことができる。また逆に、流体に異物が混入してしまうことを防ぐことができる。このように基台を搬送用容器に装着した状態、搬送用容器を用いて流体を好適に搬送することができる。
【００１３】
また本発明は、接続手段は、不活性ガス源に接続される不活性ガス管路を接続するための基台接続片および管路接続片を有することを特徴とする。
【００１４】
本発明に従えば、搬送用容器に、不活性ガス源に接続される不活性ガス管路を接続することができる。これによって搬送用容器から流体が供給されることによって、搬送用容器における流体の貯留量が少なくなるにつれて、搬送用容器に不活性ガスを注入することができる。これによって搬送用容器内が負圧になることを防ぎ、流体の供給を容易にすることができる。しかも負圧を防ぐために供給するガスは、不活性ガスであり、流体と反応して流体を変質させてしまうことがない。
【００１５】
また本発明は、流体が貯留される搬送用容器から供給先装置に、流体を供給するための流体供給用管路と、
前記接続装置とを備えることを特徴とする流体供給装置である。
【００１６】
本発明に従えば、搬送用容器から供給先装置に流体を供給可能な流体供給装置を実現することができる。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、搬送用容器から貯留タンクなどへの移し替え作業を必要とすることなく、搬送用容器から供給先装置に流体を供給することができるので、補給作業を容易にすることができるとともに、液体に異物が混入してしまうことを防ぐことができる。
【００１８】
また本発明によれば、対を成す基台接続片と管路接続片とがどの組合わせであるか、形状および寸法から目視によって容易に判断することができるとともに、かつ誤接続を確実に防ぐことができ、接続作業を容易にすることができる。
【００１９】
また本発明によれば、送出補助管路の搬送用容器への吸着が防がれるので、搬送用容器が、空またはほぼ空になるまで、流体を供給することができ、流体の補給作業の繰返し周期をできるだけ長くし、手間を省くことができる。
【００２０】
また本発明によれば、基台を搬送用容器に接続した状態、搬送用容器を用いて流体を好適に搬送することができる。
【００２１】
また本発明によれば、搬送用容器内が負圧になることを防ぎ、流体の供給を容易にすることができる。
【００２２】
また本発明によれば、搬送用容器から供給先装置に流体を供給可能な流体供給装置を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の実施の一形態の接続装置２０の概略的な構成を示す断面図である。図２は、接続装置２０を備える流体供給装置２１を示す回路図である。図３は、接続装置２０の基台ユニット４０Ｕを分解して示す断面図である。流体供給装置２１は、搬送用容器２２から、供給先装置、本実施の形態では２つの研磨装置２３，２４に、流体として研磨用スラリー（以下単に「スラリー」という）２５を供給するための装置である。流体供給装置２１は、流体供給用管路２７およびポンプ３２を備えている。
【００２４】
流体供給用管路２７は、循環管路２８と、枝管路３０，３１とを含む。循環管路２８は、両端部２８ａ，２８ｂが、搬送用容器２２に接続されている。各枝管路３０，３１は、循環管路２８から分岐して各研磨装置２３，２４にそれぞれ接続されている。循環管路２８には、ポンプ３２が介在されている。このポンプ３２によって、搬送用容器２２からスラリー２５が汲上げられ、一端部２８ａから他端部２８ｂに循環管路２８を流下して、搬送用容器２２に戻される。このように循環管路２８を循環するスラリーが、各枝管路３０，３１を経て、各研磨装置２３，２４に供給される。
【００２５】
また流体供給装置２１は、搬送用容器２２に、不活性ガス、たとえば窒素（Ｎ２）ガスを注入するための窒素ガス注入手段３５を備える。不活性ガス注入手段である窒素ガス注入手段３５は、不活性ガス源である窒素ガス源３６と、不活性ガス管路である窒素ガス管路３７とを有する。窒素ガス源３６は、窒素ガスが貯留されるボンベによって実現される。窒素ガス管路３７は、窒素ガス源３６に接続されるとともに、搬送用容器２２に接続され、窒素ガス３６から窒素ガスを搬送用容器２２に導く。接続装置２０は、流体供給用管路２７および窒素ガス管路３７を含む管路を、搬送用容器２２に接続するために用いられる。以下、流体供給用管路２７および窒素ガス管路３７を不特定に指す場合、管路２７，３７と記す。
【００２６】
接続装置２０は、基台４０と、接続手段４１とを備える。搬送用容器２２には、上部に開口部４２が形成されている。基台４０は、この搬送用容器２２の開口部４２に、この開口部４２における開口を塞ぐように、着脱可能に装着される。接続手段４１は、管継手である１または複数のコネクタ、本実施の形態では３つのコネクタ４５〜４７を有する。各コネクタ４５〜４７は、相互に接続および接続解除可能な対を成す基台接続片４５ａ〜４７ａおよび管路接続片４５ｂ〜４７ｂを、それぞれ有する。各基台接続片４５ａ〜４７ａは、基台３５に固定され、各管路接続片４５ｂ〜４７ｂは、各管路２７，３７に固定される。
【００２７】
第１のコネクタ４５は、循環管路２８の一端部２８ａを搬送用容器２２に接続するためのコネクタであり、第１のコネクタ４５の管路接続片（以下「第１の管路接続片」という）４５ｂには、循環管路２８の一端部２８ａが接続される。第２のコネクタ４６は、循環管路２８の他端部２８ｂを搬送用容器２２に接続するためのコネクタであり、第２のコネクタ４６の管路接続片（以下「第２の管路接続片」という）４６ｂには、循環管路２８の他端部２８ｂが接続される。第３のコネクタ４７は、窒素ガス管路３７を搬送用容器２２に接続するためのコネクタであり、第３のコネクタ４７の管路接続片（以下「第３の管路接続片」という）４７ｂには、窒素ガス管路３７が接続される。
【００２８】
第１のコネクタ４５の基台接続片（以下「第１の基台接続片」という）４５ａは、第１の固定用管部材５５と協働して基台４０を挟むようにして、基台４０に固定される。第２のコネクタ４６の基台接続片（以下「第２の基台接続片」という）４６ａは、第２の固定用管部材５６と協働して基台４０を挟むようにして、基台４０に固定される。第３のコネクタ４５の基台接続片（以下「第３の基台接続片」という）４７ａは、第３の固定用管部材５７と協働して基台４０を挟むようにして、基台４０に固定される。基台４０と各基台接続片４５ａ〜４７ａとの間には、シール部材９０〜９２が設けられ、シールされている。
【００２９】
第１の基台接続片４５ａには、第１の固定用管部材５５を介して、送出補助管路５０が接続されている。第２の基台接続片４６ａには、第２の固定用管部材５６を介して、戻り補助管路５１が接続されている。基台４０と、各基台接続片４５ａ〜４７ａとを少なくとも含み、さらに各固定用管部材５５〜５７と、送出補助管路５０と、戻り補助管路５１とを含んで、基台ユニット４０Ｕが構成される。
【００３０】
また接続装置２０は、各基台接続片４５ａ〜４７ａに着脱可能に装着される蓋片４５ｃ〜４７ｃを備えている。第１の基台接続片４５ａには、第１の管路接続片４５ｂおよび第１の蓋片４５ｃを選択的に接続可能であり、第１の蓋片４５ｃが接続される状態で、第１の基台接続片４５ａは塞がれる。第２の基台接続片４５ｂには、第２の管路接続片４６ｂおよび第２の蓋片４６ｃを選択的に接続可能であり、第２の蓋片４６ｃが接続される状態で、第２の基台接続片４６ａは塞がれる。第３の基台接続片４７ａには、第３の管路接続片４７ｂおよび第３の蓋片４７ｃを選択的に接続可能であり、第３の蓋片４７ｃが接続される状態で、第３の基台接続片４７ａは塞がれる。
【００３１】
図４は、搬送用容器２２に装着された状態で基台ユニット４０Ｕを示す斜視図である。図５は、基台ユニット４０Ｕを示す平面図である。基台４０は、大略的に短円筒状の周壁６０と、周壁の軸線方向一端部を塞ぐ底壁６１とを有している。各基台接続片４５ａ〜４７ａは、基台４０の底壁６１に、周方向に関して１２０度毎に配置されている。これによって基台４０の強度をできるだけ高く保つことができる。
【００３２】
図６は、図５の切断面線Ｓ６−Ｓ６から見て示す断面図である。図７は、図５の切断面線Ｓ７−Ｓ７から見て示す断面図である。搬送容器２２の開口部４２は、短円筒状に形成されており、外ねじが刻設されている。基台４０の周壁６０には、内ねじが刻設されている。基台４０は、周壁６０が開口部４２に螺着され、搬送容器２２に装着される。基台４０には、底壁６１の外周部に、周壁６０から半径方向内方に間隔を開けて、短円筒状の隔壁６２が形成されている。周壁６０と隔壁６２との間の溝には、環状の基台シール部材６３が設けられており、基台４０と開口部４２との間がシールされる。また図３に示すように基台４０の周壁６０に、軸線方向に延びる凸条６３を形成しておいて、基台４０の開口部４２への着脱作業を容易にすることができる。
【００３３】
基台４０の底壁６１には、３つの透孔６５〜６７が、周方向に関して１２０毎の位置に形成されている。各基台接続片４５ａ〜４７ａは、軸線方向の一端部側の部分に、各管路接続片４５ｂ〜４７ｂに接続される接続部７０〜７２をそれぞれ有し、軸線方向の他端部側の部分に、固定部７５〜７７をそれぞれ有している。各基台接続片４５ａ〜４７ａの固定部７５〜７７には、内ねじが刻設されている。各固定用管部材５５〜７７は、軸線方向中間部に外向きフランジ８０〜８２を有し、各外向きフランジ８０〜８２よりも軸線方向の一端部側の部分に、固定部８５〜８７をそれぞれ有している。各固定用管部材５０〜５２の固定部８５〜８７には、外ねじが刻設されている。
【００３４】
第１の固定用管部材５５は、その固定部８５が、基台４０の裏側から表側に第１の透孔６５を挿通する状態で設けられる。この第１の固定用管部材５５の固定部８５には、基台４０の表側に配置される第１の基台接続片４５ａの固定部７５が螺着される。これによって第１の基台接続片４５ａの他端部と、第１の固定用管部材５５の外向きフランジ８０とによって基台４０の底壁６１が挟持される。このようにして第１の基台接続片４５ａが、基台４０に固定される。第１の基台接続片４５ａの他端部と、基台４０の底壁６１との間には、環状状の第１のシール部材９０が介在され、シールされている。基台４０の表側は、基台４０が搬送容器２２に装着された状態で、搬送容器２２の外方側となる側であり、基台４０の裏側は、基台４０が搬送容器２２に装着された状態で、搬送容器２２の内方側となる側である。
【００３５】
第２の固定用管部材５６は、その固定部８６が、基台４０の裏側から表側に第２の透孔６６を挿通する状態で設けられる。この第２の固定用管部材５６の固定部８６には、基台４０の表側に配置される第２の基台接続片４６ａの固定部７６が螺着される。これによって第２の基台接続片４６ａの他端部と、第２の固定用管部材５６の外向きフランジ８１とによって基台４０の底壁６１が挟持される。このようにして第２の基台接続片４６ａが、基台４０に固定される。第２の基台接続片４６ａの他端部と、基台４０の底壁６１との間には、環状状の第２のシール部材９１が介在され、シールされている。
【００３６】
第３の固定用管部材５７は、その固定部８７が、基台４０の裏側から表側に第３の透孔６７を挿通する状態で設けられる。この第３の固定用管部材５７の固定部８７には、基台４０の表側に配置される第３の基台接続片４７ａの固定部７７が螺着される。これによって第３の基台接続片４７ａの他端部と、第３の固定用管部材５７の外向きフランジ８０とによって基台４０の底壁６１が挟持される。このようにして第３の基台接続片４７ａが、基台４０に固定される。第３の基台接続片４７ａの他端部と、基台４０の底壁６１との間には、環状のシール部材９２が介在され、シールされている。
【００３７】
第１の固定用管部材５５には、軸線方向の他端部側の部分に、送出補助管路５０の一端部５０ａが挿入されて接続されている。送出補助管路５０は、他端部５０ｂが、搬送用容器２２の底部４４付近に配置されように、延びている。送出補助管路５０の他端部５０ｂには、搬送用容器２０に対する吸着を防止する傾斜状切欠き１００が形成されている。本実施の形態では、傾斜状切欠き１００は、全周にわたって、送出補助管路５０の軸線に対して角度θを成す面で傾斜して切断される切欠きである。角度θは、たとえば６０度である。
【００３８】
第２の固定用管部材５６には、軸線方向の他端部側の部分に、戻り補助管路５１の一端部５１ａが挿入されて接続されている。送出補助管路５０は、他端部５１ｂが、搬送用容器２２の底部４４から予め定める間隔ΔＬをあけた位置に配置されように、延びている。間隔ΔＬは、たとえば５０ｍｍである。
【００３９】
また基台４０に設けられる３つの基台接続片４５ａ〜４７ｃは、互いに形状および寸法の少なくともいずれか一方が異なる。本実施の形態では、第１の基台接続片４５ａと、第２の基台接続片４６ａとは、互いに形状が異なり、第２の基台接続片４６ａと、第３の基台接続片４７ａとは、互いに寸法が異なり、第１の基台接続片４５ａと、第３の基台接続片４７ａとは、互いに形状および寸法が異なる。したがって第１の基台接続片４５ａには、各管路接続片４５ｂ〜４７ｂのうち第１の管路接続片４５ｂだけが接続可能な構成である。また第２の基台接続片４５ｂには、各管路接続片４５ｂ〜４７ｂのうち第２の管路接続片４６ｂだけが接続可能な構成である。また第３の基台接続片４７ａには、各管路接続片４５ｂ〜４７ｂのうち第３の管路接続片４７ｂだけが接続可能な構成である。
【００４０】
第１の基台接続片４５ａと、第２の基台接続片４６ａとは、相互に接続可能な雌雄関係にある。つまり第１の基台接続片４５ａに接続される第１の管路接続片４５ｂは、第２の基台接続片４６ａと同一の構成であり、第２の基台接続片４６ａに接続される第２の管路接続片４６ｂは、第１の基台接続片４５ａと同一の構成である。第１のコネクタ４５と第２のコネクタ４６とは、形状および寸法が同一の構成であり、基台４０に固定される接続片が雌雄の異なる側に選択されている。第３のコネクタ４７は、第２のコネクタ４６と形状が同一で寸法が異なる構成を有する。
【００４１】
したがって各コネクタ４５〜４７は、雄側の接続片と、雌側の接続片とをそれぞれ有する構成である。第１のコネクタ４５では、基台接続片４５ａに雄側の接続片が用いられ、管路接続片４５ｂに雌側の接続片が用いられる。第１および第２のコネクタ４６，４７では、基台接続片４６ａ，４７ａに雌側の接続片が用いられ、管路接続片４５ｂ，４７に雄側の接続片が用いられる。
【００４２】
各管路接続片４５ｂ〜４７ｂは、軸線方向の一端部側の部分に、各基台接続片４５ａ〜４７ａに接続される接続部１０５〜１０７をそれぞれ有し、軸線方向の他端部側の部分に、固定部１１０〜１１２をそれぞれ有している。各管路接続片４５ｂ〜４７ｂの固定部１１０〜１１２に、各管路２８，３７が固定される。各管路接続片４５ｂ〜４７ｂと各管路２８，３７との接続は、たとえば各管路接続片４５ｂ〜４７ｂの固定部１１０〜１１２に内ねじが刻設され、各管路２８，３７に直接外ねじが刻設されかまたは外ねじが刻設される部材が設けられて、互いに螺着される構成によって達成される。
【００４３】
このような本実施の形態によれば、搬送用容器２２の開口部４２に着脱可能な１つの基台４０に、各基台接続片４５ａ〜４７ａが固定されている。この基台接続片４５ａ〜４７ａに対して接続および接続解除可能な管路接続片４５ｂ〜４７ｂが、管路２８，３７に固定されている。これによって搬送用容器２２に基台４０を装着し、基台４０に設けられる基台接続片４５ａ〜４７ａに管路接続片４５ｂ〜４７ｂを接続することによって、管路２８，３７を搬送用容器２２に接続することができる。したがって搬送用容器２２から貯留タンクなどへの移し替え作業を必要とすることなく、搬送用容器２２をそのまま利用して、各研磨装置２３，２４に研磨用スラリー２５を供給することができる。
【００４４】
つまり研磨用スラリー２５が各研磨装置２３，２４で消費されて無くなると、補給しなければならない。研磨用スラリー２５は、各研磨装置２３，２４が設置される場所とは異なる場所で製造され、搬送用容器２２に収容されて搬送されてくる。この研磨用スラリー２５を用いるにあたって、搬送用容器２２から供給することによって、搬送用容器２２から貯留タンクなどへの移し替えを必要としないので、研磨用スラリー２５の補給作業の手間を少なくし、補給作業を容易にすることができるとともに、移し替え作業中に、研磨用スラリー２５に異物が混入してしまうことを防ぐことができる。
【００４５】
さらに搬送用容器２２から研磨用スラリー２５を供給するにあたっての作業は、搬入される搬送用容器２２の開口部４２に装着されている蓋体を外し、代わりに各コネクタ４５〜４７の基台接続片４５ａ〜４７ａが集約して設けられる基台ユニット４０Ｕを装着し、各管路２８，３７を接続するだけの作業である。したがって作業は、極めて容易である。
【００４６】
しかも各基台接続片４５ａ〜４７ａが互いに形状および寸法の少なくともいずれか一方が異なる構成を有しており、各基台接続片４５ａ〜４７ａには、これら基台接続片４５ａ〜４７ａと対を成す管路接続片４５ｂ〜４７ｂだけがそれぞれ接続可能である。これによって複数対の基台接続片４５ａ〜４７ａおよび管路接続片４５ｂ〜４７ｂが設けられても、各基台接続片４５ａ〜４７ａに、対を成す管路接続片４５ｂ〜４７ｂ以外の管路接続片４５ｂ〜４７ｂが接続されてしまうことがない。したがって各基台接続片４５ａ〜４７ａと各管路接続片４５ｂ〜４７ｂとを接続するにあたって、対を成す基台接続片４５ａ〜４７ａと管路接続片４５ｂ〜４７ｂとがどの組合わせであるか、形状および寸法から目視によって容易に判断することができるとともに、かつ誤接続を確実に防ぐことができ、接続作業を容易にすることができる。
【００４７】
また第１のコネクタ４５と、第２のコネクタ４６とは、同一の構成として、雌雄の互いに異なる側を基台接続片として用いているので、前述のような誤接続を防止したうえで、部品種類を少なくすし、製造を容易にすることができる。またこのように互いに同一の構成とするコネクタ４５，４６は、研磨用スラリー２５を循環させる循環管路２８を接続するコネクタであり、研磨装置２３，２４で研磨用スラー２５が全く消費されない場合でも、研磨用スラリー２５を循環させることが可能であり、好適である。
【００４８】
また第１の基台接続片４５ａに、送出補助管路５０が接続されて、搬送用容器２２内に設けられる。この送出補助管路５０は、他端部５０ｂが搬送用容器２２の底部４４付近に配置されており、搬送用容器２２の底部４４付近から研磨用スラリー２５を送出して供給することができる。したがって搬送用容器２２が、空またはほぼ空になるまで、研磨用スラリー２５を供給することができ、研磨用スラリー２５の補給作業の繰返し周期をできるだけ長くし、手間を省くことができる。
【００４９】
しかも送出補助管路５０の他端部５０ｂには、搬送用容器２２に対する吸着を防止する傾斜状切欠き１００が形成されている。これによって送出補助管路５０の他端部５０ｂが、搬送用容器２２の底部４４によって塞がれてしまうことを防ぐことができる。したがって研磨用スラリー２５を、搬送用容器２２の底部４４付近から円滑に供給することができ、好適である。
【００５０】
また各基台接続片４５ａ〜４７ａに装着可能な蓋片４５ｃ〜４７ｃを備えており、これら蓋片４５ｃ〜４７ｃによって、各基台接続片４５ａ〜４７ａを塞ぐことができる。これによって基台４０を搬送用容器２２に装着した状態、つまり基台ユニット４０Ｕを装着した状態で搬送用容器２２を用いて研磨用スラリー２５を搬送することが可能である。このように蓋体ではなく基台ユニット４０Ｕを装着した状態でも、搬送用容器２２の傾斜および振動によって、搬送用容器２２から研磨用スラリー２５が不所望に排出されてしまうことを防ぐことができる。また逆に、研磨用スラリー２５に異物が混入してしまうことを防ぐことができる。このように基台ユニット４０を搬送用容器２２に装着した状態、搬送用容器２２を用いて研磨用スラリー２５を好適に搬送することができ、利便性を向上することができる。
【００５１】
また搬送用容器２２に、窒素ガス源３６に接続される窒素ガス管路３７を接続することができる。これによって搬送用容器２２から研磨用スラリー２５が供給されることによって、搬送用容器２２における研磨用スラリー２５の貯留量が少なくなるにつれて、搬送用容器２２に窒素ガスを注入することができる。これによって搬送用容器２２内が負圧になることを防ぎ、研磨用スラリー２５の供給を容易にすることができる。しかも負圧を防ぐために供給するガスは、窒素ガスであり、研磨用スラリー２５と反応して研磨用スラリー２５を変質させてしまうことがない。
【００５２】
さらに第２基台接続片４６ａに接続されて戻り補助管路５１が設けられる。これによって循環管路２８を循環して搬送用容器２２に戻される研磨用スラリー２５が、搬送用容器２２内の研磨用スラリー２５の液面に、大きな距離を有する位置から落下して衝突することが防がれる。これによって戻される研磨用スラー２５が、搬送用容器２２内の研磨用スラリー２５の液面に衝突して跳ね上がり、搬送用容器２２の内壁面などに付着して凝集してしまうことが防がれる。これによって搬送用容器２２内の研磨用スラリー２５を好適な状態に保つことができる。
【００５３】
図８は、本発明の実施の他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。図１〜図７の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図８に示す本実施の形態では、送出補助管路５０の他端部５０ｂに、傾斜状切欠き１００に代えて、透孔１００Ａが形成される。透孔１００Ａは、半径方向に貫通する複数の円形状の孔である。この透孔１００Ａもまた、送出補助管路５０の搬送用容器２２に対する吸着用防止効果を達成することができる。
【００５４】
図９は、本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。図１〜図７の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図９に示す本実施の形態では、送出補助管路５０の他端部５０ｂに、傾斜切欠き１００に代えて、鋸羽状切欠き１００Ｂが形成される。鋸羽状切欠き１００Ｂは、送出補助管路５０の端面が鋸歯状に形成されて、周方向に並べて形成される複数の三角形状の切欠きを組合せて構成される切欠きである。この鋸羽状切欠き１００Ｂもまた、送出補助管路５０の搬送用容器２２に対する吸着用防止効果を達成することができる。
【００５５】
図１０は、本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。図１〜図７の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図１０に示す本実施の形態では、送出補助管路５０の他端部５０ｂに、傾斜切欠き１００に代えて、波状切欠き１００Ｃが形成される。波状切欠き１００Ｃは、送出補助管路５０の端面が正弦波形状に形成され、周方向に並べて形成される複数の略三角形状の切欠きを組合せて構成される切欠きである。この波状切欠き１００Ｃもまた、送出補助管路５０の搬送用容器２２に対する吸着用防止効果を達成することができる。
【００５６】
図１１は、本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。図１〜図７の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図１１に示す本実施の形態では、送出補助管路５０の他端部５０ｂに、傾斜切欠き１００に代えて、櫛歯状切欠き１００Ｄが形成される。櫛歯状切欠き１００Ｄは、周方向に間隔をあけて形成される複数の長方形状の切欠きを組合せて構成される切欠きである。この櫛歯状切欠き１００Ｄもまた、送出補助管路５０の搬送用容器２２に対する吸着用防止効果を達成することができる。
【００５７】
図１２は、本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の一部を示す斜視図である。図１〜図１１の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図１２に示す本実施の形態では、送出用補助管路５０には、軸線方向に延びるリブ１４０が設けられて補強されている。これによって送出用補助管路５０が、研磨用スラリー２５の供給時に作用する外力、経年変化などによって変形することを防ぐことができ、送出用補助管路５０を好適な状態に保持することができる。
【００５８】
このようなリブ１４０は、１つでもよいが、複数設けられてもよい。また戻り補助管路５１に設けるようにしても良い。
【００５９】
図１３は、本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０および戻り補助管路５１の一部を示す斜視図である。図１〜図１２の実施の形態と同様の構成と対応する部分には、同一の符号を付し、異なる構成についてだけ説明する。図１３に示す本実施の形態では、送出用補助管路５０と戻り補助管路５１とを連結する連結片１５０が設けられ、送出用補助管路５０および戻り補助管路５１が補強されている。これによって送出用補助管路５０および戻り補助管路５１が、研磨用スラリー２５の供給時に作用する外力、経年変化などによって変形することを防ぐことができ、送出用補助管路５０および戻り補助管路５１を好適な状態に保持することができる。
【００６０】
図１４は、第１〜第３のコネクタ４５〜４７として用いられるコネクタの一部を示す断面図である。コネクタはあくまで一例であり、第１〜第３のコネクタ４５〜４７の構成が、この構成に限定されるものではない。コネクタは、雌雄一対のコネクタ片１４５ａ，１４５ｂを有する。雄側のコネクタ片１４５ａには、外周部に係止凹溝１２０が形成され、雌側のコネクタ片１４５ｂの係合片１２７が係止凹溝１２０に嵌まり込み、各コネクタ片１４５ａ，１４５ｂが互いに接続される。係合片１２７は、操作レバー１２２によって操作可能であり、係合片１２７を係止凹溝１２０から脱出させることによって、各コネクタ片１４５ａ，１４５ｂの接続を解除可能である。また雌側のコネクタ片１４５ｂには、シール部材１０８が保持され、接続状態でのシールを達成することができる。
【００６１】
たとえば、雄側のコネクタ片１４５ａを、第１および第３の基台接続片４５ａ，４７ａならびに第２の管路接続片４６ｂとして用い、雌側のコネクタ片１４５ｂを、第１および第３の管路接続片４５ｂ，４７ｂならびに第２の基台接続片４６ａとして用いることができる。この場合、第１および第３の基台接続片４５ａ，４７ａを、互いに異なる寸法とし、これに合わせて第１および第３の管路接続片４５ｂ，４７ｂを、異なる寸法にする。
【００６２】
前述の各実施の形態は、本発明の例示に過ぎず、構成を変更することができる。たとえば基台４０は、搬送用容器２２に螺着して装着される構成に代えて、各コネクタ４５〜４７の接続および接続解除のための構成を採用するようにしてもよい。また研磨用スラリー２５の特性を維持し、または調整するための添加剤を注入する管路を接続するためのコネクタを新たに設けるようにしてもよい。また流体は、研磨用スラリー２５に限定されるものではなく、他の流体であってもよい。たとえば飲料などの食料品を、容器に詰めるための装置に供給する設備に実施されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の一形態の接続装置２０の概略的な構成を示す断面図である。
【図２】接続装置２０を備える流体供給装置２１を示す回路図である。
【図３】接続装置２０の基台ユニット４０Ｕを分解して示す断面図である。
【図４】搬送用容器２２に装着された状態で基台ユニット４０Ｕを示す斜視図である。
【図５】基台ユニット４０Ｕを示す平面図である。
【図６】図５の切断面線Ｓ６−Ｓ６から見て示す断面図である。
【図７】図５の切断面線Ｓ７−Ｓ７から見て示す断面図である。
【図８】本発明の実施の他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。
【図９】本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。
【図１０】本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。
【図１１】本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の他端部５０ｂを示す正面図である。
【図１２】本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０の一部を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施のさらに他の形態の接続装置２０に用いられる送出補助管路５０および戻り補助管路５１の一部を示す斜視図である。
【図１４】第１〜第３のコネクタ４５〜４７として用いられるコネクタの一部を示す断面図である。
【図１５】従来の技術の流体供給装置１を示す回路図である。
【符号の説明】
【００６４】
２０  接続装置
２１  流体供給装置
２２  搬送用容器
２８  循環管路
３７  窒素ガス管路
４０  基台
４２  開口部
４４  底部
４５  第１のコネクタ
４５ａ  第１の基台接続片
４５ｂ  第１の管路接続片
４６  第２のコネクタ
４６ａ  第２の基台接続片
４６ｂ  第２の管路接続片
４７  第３のコネクタ
４７ａ  第３の基台接続片
４７ｂ  第３の管路接続片
５０  送出補助管路
５１  戻り補助管路
１００，１００Ｂ〜１００Ｄ  切欠き
１００Ａ  透孔
【図１】
2007237318.tif 000003
【図２】
2007237318.tif 000004
【図３】
2007237318.tif 000005
【図４】
2007237318.tif 000006
【図５】
2007237318.tif 000007
【図６】
2007237318.tif 000008
【図７】
2007237318.tif 000009
【図８】
2007237318.tif 000010
【図９】
2007237318.tif 000011
【図１０】
2007237318.tif 000012
【図１１】
2007237318.tif 000013
【図１２】
2007237318.tif 000014
【図１３】
2007237318.tif 000015
【図１４】
2007237318.tif 000016
【図１５】
2007237318.tif 000017