(57)【要約】【課題】本発明は、感圧体、受圧体およびリード線がロウ材等で接合されてなる圧力検出素子において、リード線の接合の信頼性が高く、低コストで製造可能な圧力検出素子およびその製造方法を提供することを第１の目的としている。【解決手段】本発明の圧力検出素子は、セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体と，該感圧体の受圧面に接合された電気絶縁性を有する受圧体と、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部に接合されたリード線を備えている。かかる構造の圧力検出素子によれば、受圧体と感圧体との接合面に設けられた凹部にリード線が接合されているのでリード線の接合部は外部に露出することがない。したがって、リード線に外力が作用しても圧力検出素子から接合部は外れ難い。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体と，該感圧体の受圧面に接合された電気絶縁性を有する受圧体と、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部に接合されたリード線を備えた圧力検出素子。
【請求項２】
前記感圧体と受圧体との間に接合された電極体を備え、前記リード線は感圧体または受圧体と電極体との接合面もしくは電極体に設けられた凹部に接合されている請求項１に記載の圧力検出素子。
【請求項３】
セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体の受圧面に電気絶縁性の受圧体をロウ付けで接合するとともに、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部にリード線をロウ付けで接合する圧力検出素子の製造方法。
【請求項４】
前記感圧体と受圧体の間に電極体をロウ付けで接合するとともに、感圧体または受圧体と電極体との接合面もしくは電極体に設けられた凹部にリード線をロウ付けで接合する請求項３に記載の圧力検出素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧力を印加すると電気抵抗率が変化する圧力検出素子及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力または荷重などの力学量を測定する場合には、圧力抵抗効果を有する材料から構成された感圧体を備えた圧力検出素子が一般に使用されている。ここで、圧力抵抗効果とは、圧縮応力、引張応力など各種の力学量が材料に作用して生じた歪により電気抵抗率が変化する効果のことである。圧力抵抗効果を奏する材料として単結晶Ｓｉ、Ｇｅ、ＳｉＣ又はＬａＳｒＭｎＯ３などの材料が知られており、感圧体を構成する材料として使用されている。
【０００３】
上記感圧体を圧力検出素子に組み込む場合には、圧力が作用する受圧面に電気的な絶縁性を付与する必要があり、従来、受圧面に電気的絶縁膜を形成したり、電気的絶縁性を有する受圧体を介し受圧面に圧力を作用させる構成の圧力検出素子が使用されてきた。しかしながら、前者では、圧力により絶縁膜が破れ易く電気的絶縁性の確実な保証が難しいという問題があり、また後者では、感圧体及び受圧体という複数の部材で構成されているので、圧力検出素子としての構造が複雑になりおよび高い圧力を測定する場合に感圧体へ均一に圧力が伝達され難く圧力の精密な測定をすることが難しいという問題があった。
【０００４】
この問題を解決する技術の一例が下記特許文献１に開示されている。特許文献１の圧力検出素子は、セラミックス（ＺｒＯ２）中に圧力抵抗効果を有する材料（ＬａＳｒＭｎＯ３）が分散してなる感圧体と、該感圧体の受圧面に一体に焼結された又は接着剤等を密着された電気絶縁性セラミックス（ＺｒＯ２）からなる受圧体で構成されている。
【特許文献１】特開２００２-３２３３８７号公報
【０００５】
しかしながら、図３に示すように、特許文献１の圧力検出素子３は、感圧体３１、受圧体３２、感圧体３１の両側面に設けられ感圧体３１の抵抗変化を外部に取り出す電極体３６及び電極体３６に接続されたリード線３５で構成されており、電極体３６及びリード線３５の取付部が外部に露出している。したがって、圧力検出素子をセンサとして組み上げるとき、電極体３６やリード線３５の取付部に外力が作用するとリード線が外れ易いので圧力検出素子のハンドリングが難しいという問題があった。また、感圧体３１および受圧体３５との組立工程、電極体３６およびリード線３５の取付工程とを別工程で行わなければならず、工程数が多くなりコスト高になるといった問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、係る従来の問題に鑑みてなされたもので、感圧体、受圧体およびリード線がロウ材等で接合されてなる圧力検出素子において、リード線の接合の信頼性が高く、低コストで製造可能な圧力検出素子およびその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決する本発明の圧力検出素子は、セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体と，該感圧体の受圧面に接合された電気絶縁性を有する受圧体と、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部に接合されたリード線を備えている。かかる構造の圧力検出素子によれば、受圧体と感圧体との接合面に設けられた凹部にリード線が接合されているのでリード線の接合部は外部に露出することがない。したがって、リード線に外力が作用しても圧力検出素子から接合部は外れ難い。
【０００８】
上記受圧体としては、例えば、窒化珪素セラミックス、サイアロン、窒化アルミニウム、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、コージェライト、アルミニウムチタネートのいずれか一種またはそれらの二種以上を含む化合物を使用することができる。
【０００９】
上記感圧体のセラミックスの母材としては、窒化珪素セラミックス、サイアロン、窒化アルミニウム、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、コージェライト、アルミニウムチタネートのいずれか一種またはそれらの二種以上を含む化合物を使用することができる。また、母材中に分散される圧力抵抗効果を示す材料としては、例えばＳｉ、Ｇｅ、ＳｉＣ、ＬａＳｒＭｎＯ３又はＣなどを使用することができる。
【００１０】
上記圧力検出素子において、前記感圧体と受圧体との間に接合された電極体を備え、前記リード線は感圧体または受圧体と電極体との接合面もしくは電極体に設けられた凹部に接合されていれば好ましい。すなわち、上記圧力検出素子では、感圧体と受圧体の接合面に設けた凹部にリード線を接合しているので、受圧体から直接感圧体へ圧力が伝達される経路とリード線を介して圧力が伝達される経路とが存在し、感圧体に加わる圧力が不均一となる可能性がある。一方、本好ましい態様の圧力検出素子では、感圧体と受圧体の間に電極体が接合されているので、受圧体に作用した圧力は常に電極体を介して一定の経路で感圧体へ伝達され、圧力は感圧体に均一に加わることとなり、より高い精度で圧力を検出することが可能となる。
【００１１】
上記課題を解決する本発明の圧力検出素子の製造方法は、セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体の受圧面に電気絶縁性の受圧体をロウ付けで接合するとともに、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部にリード線をロウ付けで接合するものである。かかる製造方法によれば、上記圧力検出素子を好適に製造することができるとともに、感圧体と受圧体をロウ付けすると同時に、感圧体と受圧体との接合面に設けられた凹部に挿入されたリード線をもロウ付けするので、感圧体、受圧体およびリード線の接合を一度の工程で行うことができる。
【００１２】
なお、上記凹部は、受圧体と感圧体の接合面にあれば、受圧体側または感圧体側若しくは両側に跨るように設けても良い。また、受圧体、感圧体およびリード線を接合するロウ材は特に限定されるものではないが、特に圧力検出素子が高温下で使用される場合には、ＡｇＣｕＳｎ系の低温Ａｇロウ（融点：５００℃）、Ａｇ/Ｃｕ系のＡｇロウ（融点：８５０℃）、ＡｇＣｕＩｎＴｉ系の活性Ａｇロウ（融点：７１０℃）またはＡｇ/Ｃｕ/Ｔｉ系の活性Ａｇロウ（融点：９００℃）、等を使用すれば好ましい。これらをロウ材として使用することにより、高温下においても信頼性高く使用可能な圧力検出素子を得ることができる。
【００１３】
上記製造方法において、前記感圧体と受圧体の間に電極体をロウ付けで接合するとともに、感圧体または受圧体と電極体との接合面もしくは電極体に設けられた凹部にリード線をロウ付けで接合することが好ましい。かかる製造方法によれば、上記好ましい態様の圧力検出素子を好適に製造でき、感圧体、受圧体、電極体およびリード線の接合を一度の工程で行うことができる。
【００１４】
ここで、上記凹部は、感圧体又は受圧体と電極体との接合面にあれば、受圧体側、感圧体側または電極体側若しくは両側に跨るように設けても良く、接合面を含まないよう電極体のみに設けてもよい。また、受圧体、感圧体、電極体およびリード線を接合するロウ材は特に限定されるものではないが、特に圧力検出素子が高温下で使用される場合には、ＡｇＣｕＳｎ系の低温Ａｇロウ（融点：５００℃）、Ａｇ/Ｃｕ系のＡｇロウ（融点：８５０℃）、ＡｇＣｕＩｎＴｉ系の活性Ａｇロウ（融点：７１０℃）またはＡｇ/Ｃｕ/Ｔｉ系の活性Ａｇロウ（融点：９００℃）、等を使用すれば好ましい。これらをロウ材として使用することにより、高温下においても信頼性高く使用可能な圧力検出素子を得ることができる。
【発明の効果】
【００１５】
上記説明のように本発明の圧力検出素子は、リード線の接合部が外部に露出していないため外力により接合部が外れ難く、もって接合部の信頼性が高い圧力検出素子を提供することができる。また、感圧体、受圧体およびリーの接合を一度の工程で同時に行うので製造工数を削減でき、低コストな圧力検出素子の製造方法を提供することができる。さらに、感圧体、受圧体およびリード線を融点が５００℃以上のロウ材で接合されているので、５００℃の高温下においても信頼性高く使用可能な圧力検出素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について、その実施態様について図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の第１態様の圧力検出素子の断面図及び感圧体の斜視図、図２は本発明の第２態様の圧力検出素子の断面図、電極体の斜視図及び平面図である。なお、図１，２において同一の構成要素については同一符号を付しており、重複した説明を省略する。
【００１７】
[第１態様]
本発明に係る第１態様の圧力検出素子１は、図１（ａ）に示すように、セラミックス中に圧力抵抗効果を有する材料が分散してなる感圧体１１と，該感圧体の受圧面に接合された電気絶縁性の受圧体１２と、感圧体１１と受圧体１２の接合面１３に設けられた凹部１４に接合されたリード線１５を備えている。
【００１８】
感圧体１１は、窒化珪素セラミックス、サイアロン、窒化アルミニウム、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、コージェライト、アルミニウムチタネートのいずれか一種またはそれらの二種以上を含む化合物を母材とし、その母材中にＳｉ、Ｇｅ、ＳｉＣ、ＬａＳｒＭｎＯ３又はＣなどの圧力抵抗効果を有する材料を分散させたものであり、これらを適宜な方法で混合・成形・焼結・加工することにより得ることができる。図１（ｂ）に示すように、本態様において受圧体１２との接合面１３である感圧体１１の上下面（受圧面）には、リード線１５の先端部が挿入可能な凹部１４が形成されており、該凹部１４にロウ材が塗布された後にリード線１５が挿入され凹部１４に接合される。なお、本態様では、凹部１４は感圧体１１の側に設けているが、リード線１５が感圧体１１に接触するのであれば受圧体１２の側に設けてもよく、また感圧体１１と受圧体１２に跨るように設けてもよい。さらに、凹部１４は、感圧体１１の上面に相対して２箇所設けるようにしてもよい。
【００１９】
受圧体１２は、窒化珪素セラミックス、サイアロン、窒化アルミニウム、アルミナ、ムライト、ジルコニア、マグネシア、コージェライト、アルミニウムチタネートのいずれか一種またはそれらの二種以上を含む化合物で構成されたものであり、これらを適宜な方法で混合・成形・焼結・加工することにより得ることができる。
【００２０】
上記圧力検出素子１は、次のようにして組み立てられる。まず、感圧体１１の凹部１４にロウ材を塗布する。高温下での信頼性の観点から、このロウ材としては、ＡｇＣｕＳｎ系の低温Ａｇロウ（融点：５００℃）、Ａｇ/Ｃｕ系のＡｇロウ（融点：８５０℃）、ＡｇＣｕＩｎＴｉ系の活性Ａｇロウ（融点：７１０℃）またはＡｇ/Ｃｕ/Ｔｉ系の活性Ａｇロウ（融点：９００℃）、等を使用することが好ましい。そして、ロウ材が塗布された凹部１４にリード線１５の先端部を挿入する。
【００２１】
次いで、感圧体１１の受圧面１３に上記と同様なロウ材を塗布する。そして、受圧体１２の一面を受圧面１３に密着させ、感圧体１１、受圧体１２及びリード線１５を一体化する。次いで、使用したロウ材に応じた温度で加熱しつつ圧力をかけて感圧体１１、受圧体１２及びリード線１５をロウ付けにより接合することにより圧力検出素子１が完成する。
【００２２】
[第２態様]
本発明に係る第２態様の圧力検出素子２は、基本的には第１態様の圧力検出素子１と同様に構成されているが、図２（ａ）に示すように感圧体１１と受圧体１２との間に電極体２６を設け、同図（ｂ）に示すようにリード線１５を挿入する凹部２４を電極体２６の接合面２３に設けた点で相違する。かかる構成とすることにより、上記説明のように、受圧体１２に作用した圧力は常に電極体２６を介して一定の経路で感圧体１１へ伝達され、圧力は感圧体１１に均一に加わることとなる。なお、上記凹部２４は、感圧体１１または電極体２６に接触する限り感圧体１１、電極体２６または受圧体１２のいずれに設けられてもよく、それぞれに跨るように形成されてもよい。また、図２（ｃ）に示すように、電極体２６ｂの凹部２４ｂは、リード線１５の先端部を収納可能なよう電極体２６ｂの上下面を貫通した状態で形成することが望ましい。このような電極体２６ｂで構成された第２態様の変形態様である圧力検出素子２ｂ（不図示）によれば、電極体２６ｂの上下面を貫通する凹部２４ｂは簡易に製作することができるので低コストな圧力検出素子２ｂを提供することができる。
【００２３】
上記圧力検出素子２は、次のようにして組み立てられる。まず、電極体２６の凹部２４にロウ材を塗布する。高温下での信頼性の観点から、このロウ材としては、ＡｇＣｕＳｎ系の低温Ａｇロウ（融点：５００℃）、Ａｇ/Ｃｕ系のＡｇロウ（融点：８５０℃）、ＡｇＣｕＩｎＴｉ系の活性Ａｇロウ（融点：７１０℃）またはＡｇ/Ｃｕ/Ｔｉ系の活性Ａｇロウ（融点：９００℃）、等を使用することが好ましい。そして、ロウ材が塗布された凹部２４にリード線１５の先端部を挿入する。
【００２４】
次いで、感圧体１１の受圧面２３に上記と同様なロウ材を塗布する。そして、電極体２６の凹部２４の側の面を受圧面２３に密着させる。次に、電極体２６の他面にロウ材を塗布し、該他面に受圧体１２の一面を密着させ、感圧体１１、受圧体１２、電極体２６及びリード線１５を一体化する。次いで、使用したロウ材に応じた温度で加熱しつつ圧力をかけて感圧体１１、受圧体１２、電極体２６及びリード線１５をロウ付けにより接合することにより圧力検出素子２が完成する。
【００２５】
以下、上記第１態様及び第２態様の圧力検出素子１，２について具体的に実施例により説明する。しかしながら、下記実施例により本発明は限定されず、本発明との同一性の範囲において適宜変形して実施することができる。
【実施例】
【００２６】
＊実施例１
以下に説明するように第１態様の圧力検出素子１を作成した。
感圧体１１は次のようにして作成した。α‐Ｓｉ３Ｎ４粉末（宇部興産製、型番：Ｅ１０、平均粒径０．５μｍ）を３８．０ｇ、Ｃ粉末（高純度化学製、型番：ＣＣＥ０１ＰＡ）を３．０ｇ、焼結助剤としてＡｌ２Ｏ３（高純度化学製、型番：ＡＬＯ０５ＰＡ）を６．０ｇ、Ｙ２Ｏ３（高純度化学製、型番：ＹＹＯ０１ＰＡ）を３．０ｇ秤量し、エタノール中でボールミル混合を行った。スラリーを乾燥後、Φ３６ｍｍの金型を用い、１００ＭＰａの圧力を加えて、Φ３６ｍｍ、厚さ１０ｍｍの成形体を作成し、焼結温度１６５０℃、保持時間２時間、加圧力３０ＭＰａ、窒素雰囲気中で、焼結をホットプレスにて行った。得られた焼結体を□５ｍｍ×１０ｍｍの試験片に加工し、５ｍｍ×１０ｍｍの面の中央部に、図１（ｂ）に示すような□０．３ｍｍ×５ｍｍの凹部１４を直方体の相対する面の２箇所にそれぞれ設け、これを感圧体１１として使用した。
【００２７】
受圧体１２は次のように作製した。α‐Ｓｉ３Ｎ４粉末（宇部興産製、型番：Ｅ１０、平均粒径０．５μｍ）を４１．０ｇ、焼結助剤としてＡｌ２Ｏ３（高純度化学製、型番：ＡＬＯ０５ＰＡ）を６．０ｇ、Ｙ２Ｏ３（高純度化学製、型番：ＹＹＯ０１ＰＡ）を３．０ｇ秤量し、エタノール中でボールミル混合を行った。スラリーを乾燥後、Φ３６ｍｍの金型を用い、１００ＭＰａの圧力を加えて、Φ３６ｍｍ、厚さ１０ｍｍの成形体を作成し、焼結温度１６５０℃、保持時間２時間、加圧力３０ＭＰａ、窒素雰囲気中で焼結をホットプレスにて行った。得られた焼結体を５ｍｍ×１０ｍｍ×１ｍｍの試験片に加工し、これを受圧体１２として使用した。
【００２８】
上記感圧体１２の凹部１４の２箇所にロウ材を塗布し、Φ０．３ｍｍのＣｕリード線１５をそれぞれ２本はめ込んだ。次いで、リード線１５がはめ込まれた感圧体１１の５×１０ｍｍの相対する面１６、１７にロウ材を塗布して、受圧体１２をそれぞれ１枚ずつ配設し、７６５℃で１５分保持し、真空度１０−１Ｐａ以下、加圧力０.１ＭＰaの条件でロウ付けを行い、圧力検出素子１を得た。また、同様の方法で圧力検出素子１を１０個作製した。なお、上記ロウ材としては、田中貴金属製のＴＫＣ−５９１ペーストを使用した。
【００２９】
＊実施例２
以下に説明するように上記第２態様の圧力検出素子２を作成した。
感圧体１１は、上記実施例１と同様の方法で作成し、得られた焼結体を□５ｍｍ×１０ｍｍの試験片に加工し、これを感圧体１１として使用した。また、受圧体１２も、実施例１と同様の方法で作製した。また、電極体２６としては、５ｍｍ×１０ｍｍ×０．５ｍｍのＣｕ板（高純度化学製、型番：ＣＵＥ０１ＣＡ）を使用し、その５ｍｍ×１０ｍｍの面に幅０．３ｍｍ、長さ３ｍｍ、深さ０．５ｍｍの凹部２４を形成した。
【００３０】
次いで、上記受圧体１２の５ｍｍ×１０ｍｍの面の上に、５ｍｍ×１０ｍｍの相対する２面にロウ材を塗布した電極体２６を凹部２４が感圧体１１の側に接するように重ねて、その上に感圧体１１の５ｍｍ×１０ｍｍの面を乗せた。さらにその上に５ｍｍ×１０ｍｍの相対する２面にロウ材を塗布した電極体２６を凹部２４が感圧体側に接するように重ね、その上に受圧体１２の５ｍｍ×１０ｍｍの面を重ねて、図２(a)に示すように各部材を組んだ。そして、Φ０．３ｍｍのＣｕリード線１５の先端にロウ材を塗布し、各凹部２４にそれぞれ１本ずつ差込み、７６５℃、真空度１０−１Ｐａ以下、加圧力０.１ＭＰaの条件でロウ付けを行い、圧力検出素子２を得た。また、同様の方法で圧力検出素子２を１０個作製した。なお、上記ロウ材としては、田中貴金属製のTKC-591ペーストを使用した。
【００３１】
＊実施例３
以下に説明するように第２態様の変形態様である圧力検出素子２ｂを製作した。
感圧体１１は実施例１と同様の方法で作成し、得られた焼結体を□５ｍｍ×１０ｍｍの試験片に加工したものを使用した。受圧体１２も実施例１と同様の方法で作製した。また、電極体２６ｂとしては、５ｍｍ×１０ｍｍ×０．３ｍｍのＣｕ板（高純度化学製、型番：ＣＵＥ０１ＣＡ）を使用し、その５ｍｍ×１０ｍｍの両面を貫通するように幅０．３ｍｍ、長さ３ｍｍの凹部２４ｂを形成した。そして、上記実施例２と同様にして感圧体１１、受圧体１２、電極体２６ｂ及びリード線１５をロウ材で接合し、圧力検出素子２ｂを得た。また、同様の方法で圧力検出素子２ｂを１０個作製した。なお、上記ロウ材としては、田中貴金属製のTKC-591ペーストを使用した。
【００３２】
＊比較例
以下に説明するように、図３に示す従来の圧力検出素子３を製作した。
Ｌａ２Ｏ３粉末（高純度化学製、型番：ＬＡ００１ＰＡ）、ＳｒＣＯ3粉末（高純度化学製、型番：ＳＲＨ０８ＰＡ）、ＭｎＣＯ３粉末（高純度化学製、型番：ＭＮＨ０６ＰＡ）を、Ｌａ：Ｓｒ：Ｍｎの組成比で、０．８：０．２：１となるように秤量した。それらの粉末を、エタノール中でボールミルを行った。混合粉末を、乾燥後、解砕して、大気中、１３００℃で４時間焼成して、圧力抵抗効果を有するぺロブスカイト型複合酸化物粉末Ｌａ０．８Ｓｒ０．２ＭｎＯ３を合成した。
【００３３】
引き続いて市販のＺｒＯ２粉末（住友大阪セメント（株）、型番：ＯＺＣ−１２ＣＥＢ）と、合成したＬａ０．８Ｓｒ０．２ＭｎＯ３粉末とを、全重量に対するＬａ０．８Ｓｒ０．２ＭｎＯ３の重量割合で２８重量％となるように秤量した。それらの粉末を、エタノール中でボールミルを行った。混合粉末を、乾燥、解砕し、感圧体３１用の粉末を得た。受圧体３２となるＺｒＯ２粉末（住友大阪セメント（株）、型番：ＯＺＣ−１２ＣＥＢ）をΦ３６ｍｍの金型を用いて１００ＭＰａの圧力を加えて成形し、その成形体の上に感圧体３１となる混合粉を成形し、さらにその混合粉の上に受圧体３２となるＺｒＯ２粉をプレスして、受圧体（厚み１．５ｍｍ）／感圧体（厚み７ｍｍ）／受圧体（厚み１．５ｍｍ）の３層構造の成形体（直径３６ｍｍ×厚さ１０．０ｍｍ）を得た。この成形体をＣＩＰ（冷間静水圧プレス）し、１４００℃、４時間で焼結した。得られた焼結体から、幅５ｍｍ×長さ１０ｍｍ×厚み７ｍｍの試料を切り出し、感圧体３１の側面（受圧体が存在しない面）に銀ペースト（住友金属鉱山（株）、型番：Ｓ８７４０）を５５０℃で焼き付けて電極体３６となし、電極体３６にリード線３５をハンダ付け（千住金属製、ソルダーペースト、型番：Ｍ２０）して圧力検出素子３を得た。同様の方法でこれを１０個作製した。
【００３４】
上記実施例１〜３及び比較例の圧力検出素子１、２、２ｂ、３について電気抵抗率変化率ならびに組み付け後及び高温試験後の外観について以下のように確認した。
電気抵抗率変化率は、圧力検出素子１、２、２ｂ、３の上下の受圧体１２、３２の５ｍｍ×１０ｍｍの面に所定の圧力を作用させミリオームメーター（アドバンテスト製、型番：Ｒ８３４０）で測定した。また、温度条件は２５℃、２００℃、６００℃の３水準とした。特に、２００℃及び６００℃においては、マントルヒーターを用いて圧力検出素子１、２、２ｂ、３を加熱するととともに熱電対を圧力検出素子１、２、２ｂ、３に接触させて温度を測定した。
外観検査は、圧力検出素子１、２、２ｂ、３の組み付け後及び上記６００℃での電気抵抗率変化率の測定後に、受圧体１２、感圧体１１及び電極体２６、２６ｂのそれぞれの接合部１３、２３の剥離、ならびにリード線１５の接合部の外れの有無について確認した。
【００３５】
【表１】
2007132891.tif 000003
【００３６】
上記実施例１、２、３によれば、本発明の圧力検出素子１，２，２ｂが、従来の圧力検出素子３に比べ同等以上の電気抵抗率変化率を有することに加えて、リード線１５及び電極体２６，２６ｂが外部に露出していないので接合部の信頼性が高いことが判る。また、適宜な溶融温度のロウ材で感圧体１１、受圧体１２、電極体２６、２６ｂ及びリード線１５を接合することにより、５００℃を超え６００℃まで信頼性高く圧力を測定可能であることが判る。さらに、実施例２、３によれば、受圧体１２と感圧体１１の間に電極体２６を設けることにより電気抵抗率の変化率が向上し、より高い精度で圧力測定ができることが判る。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１態様の圧力検出素子の断面図及び感圧体の斜視図である。
【図２】本発明の第２態様の圧力検出素子の断面図、電極体の斜視図及び平面図である。
【図３】従来の圧力検出素子の断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１（２）      圧力検出素子
１１          感圧体
１２          受圧体
１３（２３）  接合面
１４（２４）  凹部
１５          リード線
１６          ロウ材塗布面
１７          ロウ材塗布面
２６         電極体
３          従来の圧力検出素子
３１        感圧体
３２        受圧体
３５        リード線
３６        電極体
【図１】
2007132891.tif 000004
【図２】
2007132891.tif 000005
【図３】
2007132891.tif 000006