(57)【要約】【課題】  Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供する。【解決手段】  Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置１であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部６２とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部６１とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面２を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部３４を備える。【選択図】図１
2007132772.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置であって、
実行する演算の種類を入力する演算子入力部とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
【請求項２】
項入力部へＸ線画像を入力する際に、選択可能なＸ線画像のサムネイル画像一覧を表示するＸ線画像選択画面を表示することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項３】
項入力部へ入力するＸ線画像が選択されると、そのＸ線画像のサムネイル画像が対応する項入力部に表示されることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【請求項４】
演算入力画面表示制御部は、表示される演算式中の最後部に演算実行の指示を行うための演算実行部を表示することを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工業製品などの透視検査またはＣＴ検査などを行うためのＸ線検査装置に関し、さらに詳細には、撮影したＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置に関する。
ここで、算術演算の画像処理とは、演算対象となる複数のＸ線画像どうしの間で、各画像の対応する画素どうしのピクセル値の算術演算（加算、減算、乗算、除算）を行うことをいう。また論理演算の画像処理とは、少なくとも１つのＸ線画像に対し画素のピクセル値を論理演算（論理積、論理和、排他的論理和、排他的論理積、論理否定）を行う画像処理をいう。
【背景技術】
【０００２】
工業製品などの透視検査を行うＸ線検査装置では、Ｘ線発生装置のＸ線源に対向するようにして、イメージインテンシファイア（以下、ＩＩと略す）とＣＣＤカメラとを組み合わせたＸ線検出器を配置し、さらにＸ線源とＸ線検出器との間に移動可能なステージを配置して、ステージ上に被測定物を載置するようにしてある。そして、ステージを移動して測定視野内（Ｘ線通過領域）に被測定物の測定部位を移動し、Ｘ線測定を行う。最近はＩＩ、ＣＣＤカメラからなるＸ線検出器に代えて、フラットパネルＸ線検出器を使用したＸ線検査装置も利用されている。
Ｘ線検査装置で撮影されたＸ線画像は、一旦メモリに蓄積され、メモリから読み出して種々の画像処理を施すことができるようにしてある。
【０００３】
Ｘ線検査装置では、撮影した１枚または複数枚のＸ線画像に対する画像処理として、算術演算または論理演算が有効な場合がある。
例えば、図８（ａ）に示す正常な観察対象のＸ線画像と、図８（ｂ）に示す異常を含む観察対象のＸ線画像との間で減算の算術演算を行うことにより、演算結果である合成画像には図８（ｃ）に示すような両者の差分が抽出され、結果として異常部分のみが強調された画像が出力される。このような差分演算を利用したＸ線異物検査装置については既に開示されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
また、Ｘ線画像の特定部位のみを残してマスクをかけるマスク処理を施したい場合は、その特定部位についてＸ線を透過しその他の部位でＸ線が吸収されるマスク部材についてＸ線画像（マスク画像）を撮影して記憶しておき、マスク画像と観察対象のＸ線画像との間で加算や減算の算術演算を行うことで、マスク処理を施した画像が出力される。
【０００５】
一般に、Ｘ線画像に対する算術演算や論理演算では、「論理否定（ＮＯＴ）」を除いては複数枚のＸ線画像を対象としている。その場合、Ｘ線画像をメモリに記憶しておくことが必要であり、ファイル名等でそのＸ線画像を指定した上で演算を行っている。
【特許文献１】特開２００１−２７２３５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｘ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を実行する際に、Ｘ線画像の指定は、Ｘ線画像が記憶されている場所（フォルダ）から、該当するファイル名等を見つけ出し、マウスなどのポインティングデバイスによりファイル名を選択したり、キーボードでファイル名を入力したりすることにより、該当するＸ線画像データの選択および指定を行っている。
【０００７】
しかしながら、ファイル名を手掛かりにＸ線画像を選択する場合、ファイル名だけからはどのようなＸ線画像であるのかが把握しにくい。
また、算術演算や論理演算の演算の種類（演算子）は、Ｘ線画像の指定とは別途に選択することになるため、Ｘ線画像と演算子との関係を把握しにくい。
【０００８】
そこで、本発明は、Ｘ線画像、特に複数のＸ線画像を用いた算術演算や論理演算を実行しようとする場合に、直感的に実行する演算内容を把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、演算内容とともに、演算対象となるＸ線画像についても直感的に把握することができる入力画面を表示するようにしたＸ線検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するためになされた本発明のＸ線検査装置は、Ｘ線画像を用いてそのＸ線画像に対する算術演算や論理演算の画像処理を行う機能を備えたＸ線検査装置であって、実行する演算の種類を入力する演算子入力部とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部とが演算式を構成するように表示される演算式入力画面を表示するようにして演算の種類およびＸ線画像の入力を促す演算入力画面表示制御部を備えるようにしている。
【００１０】
本発明によれば、Ｘ線画像を用いた算術演算や論理演算の画像処理の設定入力を行う場合に、演算対象であるＸ線画像を演算式の「項」として扱い、実行する演算を「演算子」として扱う。すなわち、演算入力画面表示制御部は、画面上に、実行する演算の種類を入力する演算子入力部とその演算の対象となるＸ線画像を入力する項入力部とを、演算式のように並べて表示する入力画面を表示する。これにより、操作者に対し、項入力部にはＸ線画像を入力し、演算子入力部には演算子を入力するように促す。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、操作者は、四則演算式と同じような感覚で画像処理しようとするＸ線画像や演算の種類（演算子）を入力することができ、実行しようとする演算を直感的に把握することができる。
【００１２】
（その他の課題を解決するための手段および効果）
上記発明において、項入力部へＸ線画像を入力する際に、選択可能なＸ線画像のサムネイル画像一覧を表示するＸ線画像選択画面を表示するようにしてもよい。
これにより、Ｘ線画像選択画面に表示されるサムネイル画像を見て、Ｘ線画像を選択することができるので、操作者は直感的に対象画像を見つけ出すことができ、また、誤ったファイルを選択してしまうミスも低減することができる。
【００１３】
また、上記発明において、項入力部へ入力するＸ線画像が選択されると、そのＸ線画像のサムネイル画像が対応する項入力部に表示されるようにしてもよい。
これにより、演算式上でＸ線画像と演算子との対応関係を把握することができ、これから実行しようとする演算を明確にすることができ、誤った設定を減らすことができる。
【００１４】
また、上記発明において、演算入力画面表示制御部は、表示される演算式中の最後部に演算実行の指示を行うための演算実行部を表示するようにしてもよい。
これにより、演算式の終わりが明確になる。また、演算実行部から実行指示を行うことができるので、特に演算実行部に等号記号のマークを付しておくことにより、演算式を解くという動作を連想させつつ、演算を実行する処理を実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を用いて説明する。なお、本発明は、以下に説明する実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の態様が含まれることはいうまでもない。
【００１６】
図１は、本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図である。このＸ線検査装置１は、Ｘ線発生装置１１とＸ線検出器１２とで構成されるＸ線測定光学系１３と、被測定物Ｓを載置するステージ１４と、ステージ１４を直交するＸＹＺ方向（ステージ面をＸＹ面とする）に並進駆動およびＺ軸に沿って回転駆動するための駆動機構１６と、装置全体の制御を行う制御系２０とにより構成される。
【００１７】
制御系２０は汎用のコンピュータ装置により構成されるが、そのハードウェアをさらにブロック化して説明すると、ＣＰＵ２１と、入力装置であるキーボード２２およびマウス２３と、液晶パネルなどの表示装置２４と、メモリ２５とにより構成される。
また、ＣＰＵ２１が処理する機能をブロック化して説明すると、Ｘ線画像作成部３１、Ｘ線画像表示制御部３２、駆動信号発生部３３、演算入力画面表示制御部３４、サムネイル画像作成部３５とに分けられる。
また、メモリ２５は、複数のＸ線画像を蓄積するＸ線画像記憶領域５１が設けられている。
【００１８】
Ｘ線測定光学系１３を構成するＸ線発生装置１１は、透視Ｘ線照射用のＸ線管を備えている。Ｘ線検出器１２は、Ｘ線管に対向するように配置されるＩＩと、このＩＩの後側に一体的に取り付けられたＣＣＤカメラとからなり、ＩＩが透視Ｘ線を検出することにより形成した蛍光像をＣＣＤカメラで撮影することにより、透視Ｘ線像の映像信号が出力されるようにしてある。
【００１９】
ステージ１４は、ステージ面内の方向であるＸＹ方向とステージ面に垂直なＺ方向との３次元方向にスライドすることが可能な下部ステージと、下部ステージに対しＺ軸方向の回転軸により回転可能に支持される上部ステージとにより構成され、被測定物Ｓは上部ステージに載置されるようにしてある。
駆動機構１６は、ＸＹＺ方向の３軸方向駆動用モータ、回転駆動用モータが搭載され、ＣＰＵ２１からのステージ駆動のための駆動制御信号に基づいてステージ１４を並進移動したり、回転移動したりする。
【００２０】
次に、ＣＰＵ２１の各機能ブロックについて説明する。
Ｘ線画像作成部３１は、Ｘ線検出器１２から送られてきた透視Ｘ線像の映像信号を、次々とデジタル画像に変換し、コマ画像データを作成する制御を行う。
上記制御によって作成したＸ線画像は、Ｘ線画像記憶領域５１にＸ線画像データＡ、Ｘ線画像データＢ、Ｘ線画像データＣ・・・として蓄積される。蓄積された各Ｘ線画像データは、それぞれ自動あるいは手動でファイル名が付けられ、以後、ファイル名により読み出すことが可能になる。
【００２１】
Ｘ線画像表示制御部３２は、Ｘ線画像作成部３１により作成されたコマ画像データを表示装置２４で表示することにより、Ｘ線画像を表示する制御を行う。このＸ線画像は、通常のＸ線測定（観察）に用いられる画像である。
【００２２】
駆動信号発生部３３は、キーボード２２やマウス２３を用いて、ステージ１４を並進移動したり、回転移動したりするための入力操作が行われたときに、その入力操作に対応する制御量の駆動信号を発生する制御を行う。発生した駆動信号は駆動機構１６に送られ、関係する並進駆動用モータ、回転駆動用モータを作動させて所望の位置にステージ１４を移動することになる。なおティーチング機能による自動測定を行う場合は、予め設定したティーチングプログラムに基づいて駆動制御信号を発生することになる。
【００２３】
演算入力画面表示制御部３４は、算術演算や論理演算の画像処理を実行しようとするときに、表示装置２４のモニタ画面に、項入力部や演算子入力部が演算式を構成するようにして並べられた演算入力画面を表示する制御を行い、これによって操作者に画像処理の対象となるＸ線画像や演算の種類についての入力を促すようにする。
また、演算入力画面表示制御部３４は操作者が項入力部にＸ線画像を入力しようとするときに、選択可能なＸ線画像のサムネイル画像をグラフィック表示する画像選択画面を表示して（このときファイル名も同時に表示してもよい）、入力操作を容易にする。サムネイル画像は、後述するサムネイル画像作成部３５により作成される。
さらに、操作者が演算の種類を入力しようとするときに、選択可能な演算子を表示する演算子選択画面（例えばコンボボックスによる選択画面でもよい）を表示する。
画像選択画面や演算子選択画面の具体例については、後述する。
【００２４】
サムネイル画像作成部３５は、演算入力画面表示制御部３４により要求されたときに、Ｘ線画像記憶領域５１に蓄積されているＸ線画像を縮小したサムネイル画像を作成する制御を行う。
【００２５】
次に、本発明による演算入力画面の画面表示の動作について説明する。
予めＸ線検査装置１のステージ１４に観察対象となる被測定物Ｓを載置するとともに、そのＸ線画像を撮影し、Ｘ線画像データとしてＸ線画像記憶領域５１に蓄積しておく。さらに、実行しようとする演算の種類によっては、必要に応じて、被測定物Ｓと同形状の標準試料を撮影した標準画像データを蓄積したり、マスク処理用のマスク画像データを蓄積したりしておく。
【００２６】
Ｘ線検査装置１に対し、算術演算や論理演算の画像処理を実行する指示を入力すると、演算入力画面が表示装置２４のモニタ画面に表示される。図２は、演算入力画面（画面名称を「画像間演算」という）の一例を示す図である。演算入力画面２には、項入力部である項入力ボタン６１ａ、６１ｂと、演算子入力部である演算子入力ボタン６２と、演算実行部である等号マークが付された演算実行ボタン６３とが、あたかも四則演算式を構成するように並べて表示される。
また、画面上部には演算回数を設定する演算回数設定部６４が表示される。演算回数設定部６４は，初期値として「１回」が設定されており、この設定に対応して「１回」の演算を実行するために必要な２つの項入力ボタン６１ａ、６１ｂと１つの演算子入力ボタン６２とが表示されるようになっている。演算回数設定部６４の演算回数の設定値を手動操作で２回、３回と増やすことにより、例えば図３に示すように、表示される項入力部および演算子入力部の数が増加するようになる。
【００２７】
図２の演算入力画面において、演算処理の対象となるＸ線画像を選択するために、項入力ボタン６１ａを押下する。このときモニタ画面には画像選択画面が表示される。図４は、モニタ画面に表示される画像選択画面の一例を示す図である。画像選択画面３上（画面名称を「画像選択」という）」には、選択可能なＸ線画像のサムネイル画像を表示する選択用サムネイル画像領域７１と、入力確定の指示を行うＯＫボタン７２を押下したときに指定されるサムネイル画像を表示する指定画像表示領域７３とが含まれている。選択用サムネイル画像領域７１から所望のＸ線画像をマウス２３によるクリック操作で選択することにより、指定画像表示領域７３にその選択したＸ線画像のサムネイル画像が表示されるので、その状態でＯＫボタン７２を押下することにより。項入力ボタン６１ａに選択したＸ線画像が入力（指定）される。
【００２８】
図５は、項入力ボタンにＸ線画像が入力された状態を示す図である。項入力ボタン６１ａには、選択したサムネイル画像が表示されている。
項入力ボタン６１ｂについても、同様の操作を行ってＸ線画像を指定し、サムネイル画像が表示されるようにする。
【００２９】
続いて、演算子ボタン６２を押下する。このとき表示装置２４のモニタ画面には演算子（画面名称を「演算子の選択」という）選択画面が表示される。図６は演算子選択画面の一例を示す図である。演算子選択画面４には、選択可能な演算子がコンボボックス７５として表示され、表示された演算子の記号の中からいずれかをクリック操作を行って選択し、演算子を確定する。なお、図３で示したように複数回の演算を行う場合は、さらに同様の入力を繰り返す。
図７は、演算子が入力され演算式が完成した状態を示す図である。
【００３０】
以上の操作により、演算式が定まる。図７の画面において、等号マークが表示された演算実行ボタン６３を押下すると、演算が実行され、その結果がモニタ画面上に表示される。
このように、算術演算や論理演算を行うＸ線画像と、演算子とを並べて演算式を構成するように表示しているので、操作者には実行しようとする画像処理の内容が直感的に把握できる。
また、画面に並べて表示してある記号を直接操作して、それぞれの位置に入力を行うようにしているので、直感的な操作が可能となる。
さらに、画像や演算子の入力後の演算実行命令の入力操作も演算式に設けた演算実行ボタン６３の押下で行うので、直感的な操作が可能になる。
さらに、選択したＸ線画像をサムネイル表示しているので、画像選択を誤る操作ミスを低減することができる。
【産業上の利用可能性】
【００３１】
本発明は、複数のＸ線画像に対して、算術演算や論理演算の画像処理を行うようにしたＸ線検査装置に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の一実施形態であるＸ線検査装置の構成を示すブロック図。
【図２】演算入力画面の一例を示す図。
【図３】演算入力画面の他の一例を示す図。
【図４】画像選択画面の一例を示す図。
【図５】演算入力画面でサムネイル画像が表示された状態を示す図。
【図６】演算子選択画面の一例を示す図。
【図７】演算入力画面でＸ線画像および演算子の入力を終えた状態を示す図。
【図８】算術演算のひとつである減算による画像処理を説明する図。
【符号の説明】
【００３３】
１：  Ｘ線検査装置
１１：  Ｘ線発生装置（Ｘ線源）
１２：  Ｘ線検出器
１３：  Ｘ線測定光学系
１４：  ステージ
１６：  駆動機構
２０：  制御系
２１：  ＣＰＵ
２２：  キーボード
２３：  マウス
２４：  表示装置
２５：  メモリ
３１：  Ｘ線画像作成部
３２：  Ｘ線画像表示制御部
３３：  駆動信号発生部
３４：  演算入力画面表示制御部
３５：  サムネイル画像作成部
５１：  Ｘ線画像記憶領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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