(57)【要約】【課題】被塗物の塗装状態を精度良く検出することが可能な塗装状態検査方法を提供する。【解決手段】塗料が塗布された被塗物２の塗装状態を検査する塗装状態検査方法は、センサ１１の照射部１１１により被塗物２に向かって所定光量の光Ｌ１を照射する照射ステップと、当該照射光を被塗物２が反射して成る反射光Ｌ２ｘ〜Ｌ２ｚの光量をセンサ１１の測定部１１２が測定する測定ステップと、測定ステップで測定された反射光量に基づいて被塗物２の塗装状態が正常であるか否かを判断手段１２が判断する判断ステップと、を備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗料が塗布された被塗物の塗装状態を検査する塗装状態検査方法であって、
前記被塗物に向かって光を照射する照射ステップと、
前記照射光を前記被塗物が反射して成る反射光の光量を測定する測定ステップと、
前記測定ステップで測定された反射光量に基づいて前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する判断ステップと、を備えた塗装状態検査方法。
【請求項２】
前記判断ステップにおいて、
前記測定ステップで測定された反射光量を所定範囲と比較し、前記反射光量が前記所定範囲にある場合に前記被塗物の塗装状態を正常と判断し、前記反射光量が前記所定範囲内にない場合に前記被塗物の塗装状態を異常と判断する請求項１記載の塗装状態検査方法。
【請求項３】
前記被塗物の仕様に関する情報を取得する取得ステップ
前記被塗物の仕様に応じた前記被塗物上の測定位置を記憶する第１の記憶ステップと、
前記取得ステップで取得された仕様情報に基づいて、前記第１の記憶ステップで記憶された測定位置を抽出する第１の抽出ステップと、をさらに備え、
前記照射ステップにおいて、前記第１の抽出ステップで抽出された前記測定位置に向かって照射光を照射し、
前記測定ステップにおいて、前記第１の抽出ステップで抽出された前記測定位置で反射する反射光の光量を測定する請求項１又は２記載の塗装状態検査方法。
【請求項４】
前記第１の測定ステップにおいて、前記測定位置での反射光量を２以上の方向から測定し、
前記判断ステップにおいて、前記測定ステップでの２以上の測定結果の組み合わせに基づいて、前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する請求項１〜３の何れかに記載の塗装状態検査方法。
【請求項５】
前記被塗物の仕様に関する情報を取得する取得ステップと、
前記被塗物の仕様に応じた反射光量の所定範囲を記憶する第２の記憶ステップと、
前記取得ステップで取得された仕様情報に基づいて、前記第２の記憶ステップで記憶された反射光量を抽出する第２の抽出ステップと、をさらに備え、
前記判断ステップにおいて、前記第２の抽出ステップで抽出された反射光量の所定範囲に対して、前記測定ステップで測定された反射光量を比較する請求項１〜４の何れかに記載の塗装状態検査方法。
【請求項６】
前記判断ステップにて反射光量が前記所定範囲内にないと判断された場合に、前記被塗物の塗装状態が異常である旨を喚起する警報ステップをさらに備えた請求項１〜５の何れかに記載の塗装状態検査方法。
【請求項７】
塗料が塗布された被塗物の塗装状態を検査する塗装状態検査装置であって、
前記被塗物に向かって光を照射する照射手段と、
前記照射光を前記被塗物が反射して成る反射光の光量を測定する測定手段と、
前記測定手段により測定された反射光量に基づいて前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する判断手段と、を備えた塗装状態検査装置。
【請求項８】
前記判断手段は、前記測定手段により測定された反射光量を所定範囲と比較し、前記反射光量が前記所定範囲にある場合に前記被塗物の塗装状態を正常と判断し、前記反射光量が前記所定範囲内にない場合に前記被塗物の塗装状態を異常と判断する請求項７記載の塗装状態検査装置。
【請求項９】
前記被塗物の仕様に関する情報を取得する取得手段と、
前記被塗物の仕様に応じた前記被塗物上の測定位置を記憶する第１の記憶手段と、
前記取得手段により取得された仕様に基づいて、前記第１の記憶手段に記憶された前記測定位置を抽出する第１の抽出手段と、
前記照射手段及び前記第測定手段を前記被塗物に対して相対移動させる移動手段と、
前記第１の抽出手段により抽出された前記測定位置に基づいて前記照射手段及び前記測定手段を移動させる指令を前記移動手段に送出する制御手段と、をさらに備え、
前記照射手段は、前記第１の抽出手段により抽出された前記測定位置に向かって照射光を照射し、
前記測定手段は、前記第１の抽出手段により抽出された前記測定位置で反射する反射光の光量を測定する請求項７又は８記載の塗装状態検査装置。
【請求項１０】
前記測定手段は、前記測定位置での反射光量を２以上の方向から測定し、
前記判断手段は、前記２以上の測定結果の組み合わせに基づいて、前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する請求項７〜９の何れかに記載の塗装状態検査装置。
【請求項１１】
前記被塗物の仕様に関する情報を取得する取得手段と、
前記被塗物の仕様に応じた反射光量の所定範囲を記憶する第２の記憶手段と、
前記取得手段により取得された仕様に基づいて、前記第２の記憶手段に記憶された反射光量の所定範囲を抽出する第２の抽出手段と、をさらに備え、
前記判断手段は、前記第２の抽出手段により抽出された反射光量の所定範囲に対して、前記測定手段により測定された反射光量を比較する請求項７〜１０の何れかに記載の塗装状態検査装置。
【請求項１２】
前記判断手段により反射光量が所定範囲内にないと判断された場合に、前記被塗物の塗装状態が異常である旨を喚起する警報手段をさらに備えた請求項７〜１１の何れかに記載の塗装状態検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、塗料が塗布された被塗物の塗装状態を検査する塗装状態検査方法及び塗装状態検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用バンパ等の樹脂部品では、上塗り塗料を静電塗装する前に、素材と上塗塗料との密着性の向上、素材欠陥の隠蔽、上塗隠蔽性の向上、及び、導電性の付与等のために下地塗装としてプライマが塗布されている。このプライマ塗装は、従来は手吹き作業により行われていたため、塗布後に作業者が目視により素材表面におけるプライマの塗装状態を確認していた。
【０００３】
近年、塗装ロボット等の導入によりプライマ塗装の自動化が図られている。この場合には塗装ライン内が無人となるので、従来のように作業者による塗装状態の確認は出来ない。そのため、例えば監視カメラを介した目視等の措置が採られている。しかしながら、このような検査方法では塗装状態の精度良い確認が困難である。そのため、ロボットや塗料供給装置の故障等によりプライマが塗装されなかったり、或いは塗装が不十分となった場合に、その塗装不良が検出されない状態のままで上塗り塗装されてしまう場合がある。
【発明の開示】
【０００４】
本発明は、被塗物の塗装状態を精度良く検出することが可能な塗装状態検査方法及び塗装状態検査装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によれば、塗料が塗布された被塗物の塗装状態を検査する塗装状態検査方法であって、前記被塗物に向かって光を照射する照射ステップと、前記照射光を前記被塗物が反射して成る反射光の光量を測定する測定ステップと、前記測定ステップで測定された反射光量に基づいて前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する判断ステップと、を備えた塗装状態検査方法が提供される。
【０００５】
また、上記目的を達成するために、本発明によれば、塗料が塗布された被塗物の塗装状態を検査する塗装状態検査装置であって、前記被塗物に向かって光を照射する照射手段と、前記照射光を前記被塗物が反射して成る反射光の光量を測定する測定手段と、前記測定手段により測定された反射光量に基づいて前記被塗物の塗装状態が正常であるか否かを判断する判断手段と、を備えた塗装状態検査装置が提供される。
【０００６】
本発明では、塗料が塗布された後の被塗物に向かって光を照射し、この照射光を被塗物の塗装面が反射して成る反射光の光量を測定し、当該反射光量に基づいて被塗物の塗装状態が正常か異常かを判断する。これにより、塗装不良を精度良く検出することが可能となる。
【０００７】
また、本発明では、被塗物の塗装状態を非接触で検査するので、塗布状態を検査する際に塗装面にゴミや埃が付着したり、接触によるキズの発生を防止することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。  
図１は本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置の構成を示すブロック図、図２は本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置のセンサ全体を示す概略斜視図、図３は本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置の移動機構の一例を示す斜視図、図４は本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置のセンサのＺ方向測定部を示す概略斜視図である。
【０００９】
本実施形態に係る塗装状態検査方法及び装置は、プライマ塗装を行った自動車の樹脂製バンパ２等の樹脂部品に適用して好ましく、例えばプライマ塗装工程と静電塗装工程との間に設けられている。ちなみに、図１に示すように、搭載台車３に載置された状態でプライマ塗装を経た被塗物２は、後工程である静電塗装に際して塗装面のアース性を確保するために、被塗物２の一部と搭載台車３との間にアース線４が接続されている。そして、搭載台車３はコンベアＣを介して接地されている。
【００１０】
本実施形態に係る塗装状態検査装置１０は、図１に示すように、被塗物２の塗装面に対して光を照射すると共に、被塗物２からの反射光を受光してその光量を測定するセンサ１１と、センサ１１により測定された反射光量に基づいて被塗物２の塗装状態が正常か否かを判断する判断装置１２と、を有している。
【００１１】
センサ１１は、ＬＥＤ等により所定光量の光Ｌ１を投光可能な光源装置１１０と、この光源装置１１０より光ファイバ１１０ａを介して供給された光Ｌ１を被塗物２に照射可能な照射部１１１と、照射光Ｌ１を被塗物２が反射して成る反射光を受光して反射光量を測定する測定部１１２と、を有している。さらに、測定部１１２は、図１及び図２に示すように、被塗物２がＸ方向に反射する反射光Ｌ２ｘを受光してその反射光量を測定するＸ方向測定部１１２ｘと、被塗物２がＹ方向に反射する反射光Ｌ２ｙを受光してその反射光量を測定するＹ方向測定部１１２ｙと、被塗物２がＺ方向に反射する反射光Ｌ２ｚを受光してその反射光量を測定するＺ方向測定部１１２ｚと、から構成されている。
【００１２】
本実施形態では、このセンサ１１により測定されたＸ、Ｙ及びＺ方向の反射光量のそれぞれの値は、判断装置１２に送出される。そして、判断装置１２では、センサ１１により測定された反射光量の値が、予め定められた範囲内にあるか否か比較を行う。ところで、被塗物２に所定光量の照射を行うと、その反射光の光量は、塗色毎にほぼ一義的に決定される。本実施形態では、この理論に基づいて、被塗物２の塗色を含めた仕様に対応して一義的に決定される反射光の光量の範囲に対して、センサ１１により測定された反射光量を比較する。なお、上記の理論に基づいて、判断装置１２が被塗物２の塗装状態に加えてその塗色を判別しても良い。
【００１３】
この判断装置１２における比較のために、本実施形態に係る塗装状態検査装置１０は、生産管理システム（不図示）からラインに流れる被塗物２の仕様情報を取得する被塗物情報取得装置１３と、被塗物２の仕様に応じた反射光量の所定範囲を予め記憶しておく範囲記憶装置１４と、被塗物情報取得装置１３により取得された被塗物２の仕様に基づいて、範囲記憶装置１４に記憶された反射光量の所定範囲を抽出する範囲抽出装置１５と、を有する。範囲記憶装置１４には、反射光量の所定範囲として、プライマが適切に塗装された被塗物２に向かって所定光量の光を照射した場合のＸ、Ｙ及びＺ方向における反射光量の所定範囲が、被塗物２の形状やプライマの塗色等の仕様毎に記憶されている。当然のことながら、この反射光量の所定範囲には、後述する測定位置に対する照射部１１１及び測定部１１２の距離等の相対位置関係も考慮されている。
【００１４】
そして、範囲抽出装置１５により抽出された反射光量所定範囲は判断装置１２に送出され、判断装置１２は、センサ１１により測定された各反射光量の値が、当該反射光量所定範囲にあるか否かの比較し、この比較の結果に基づいて被塗物２の塗装状態が正常であるか否かを判断する。このような被塗物情報取得装置１３、範囲記憶装置１４及び範囲抽出装置１５を設けることで、多種多様な被塗物２が流れる多品種混合ラインであっても、被塗物２の塗装状態を的確に検査することが可能となっている。
【００１５】
そして、判断装置１２により塗装状態が異常であると判断された場合には、その旨の指令信号を警報機１６に送出し、警報を鳴らしたり画面上に表示することで聴覚或いは視覚的に異常の発生を喚起する。また、必要に応じてラインを停止させたり、静電塗装ラインを回送させても良い。
【００１６】
本実施形態におけるセンサ１１は、三次元移動が可能とされた移動機構１７に設けられ、被塗物２の仕様に応じて適切な位置に移動する。この移動機構１７の一例を図３に示す。
【００１７】
同図に示す移動機構１７は、被塗物２を搬送するコンベアＣ（図１参照）のサイドに固定されたスタンド１７１と、このスタンド１７１に設けられた第１のレール１７１ａに沿って図示するＺ軸方向に第１の基台１７２を往復移動させる第１の駆動部１７３と、第１の基台１７２に設けられた第２のレール１７２ａに沿って図示するＸ軸方向に第２の基台１７４を往復移動させる第２の駆動部１７５と、第２の基台１７４に設けられロッドの先端に固定されたセンサ１１を図示するＹ軸方向に往復移動させる第３の駆動部１７６と、を有している。各駆動部１７３、１７５及び１７６には、位置決め機能付きの電気サーボモータや油圧モータ、エアモータ、エアシリンダ等を用いることが出来る。
【００１８】
センサ１１は、照射部１１１及び各測定部１１２ｘ〜１１２ｚを支持する支持部材１１３を有している。この支持部材１１３は、同図に示すように、各測定部１１２ｘ〜１１２ｚのそれぞれの光軸が特定の一点に対してＸ、Ｙ及びＺ方向に沿って向くように、各測定部１１２ｘ〜１１２ｚを支持している。また、この支持部材１１３は、照射部１１１の光軸が前記特定の一点に対してＺ方向に沿って向くように、照射部１１１を支持している。本実施形態では、図４に示すように、Ｚ方向測定部１１２ｚに照射部１１１が一体化されている。
【００１９】
そして、図１に示す制御装置１８からの指令信号により各駆動部１７３、１７５及び１７６を駆動させ、被塗物２の塗装面に対してセンサ１１の位置を調整する。こうした移動機構１７を設けることで、形状が異なる被塗物２が流れる多種混合ラインであっても、センサ１１を適切な位置に設定することが出来る。
【００２０】
なお、図３に示す移動機構１７は本発明の移動手段の一例であってこれに限定される趣旨ではない。例えば、被塗物２の形状によっては二次元移動又は一次元移動の移動機構としても良く、さらに同じ形状の被塗物２しか流れないラインにあっては移動機構１７そのものを省略しても良い。
【００２１】
図１に戻り、上述した移動機構１７を制御する制御装置１８は、塗装ラインの生産管理システム（不図示）からの情報を取得することで、移動機構１７によりセンサ１１を適切な位置に設定する。このため、被塗物情報取得装置１３に加えて、被塗物の仕様に応じた被塗物２上の測定位置を予め記憶しておく位置記憶装置１９と、被塗物情報取得装置１３により取得された仕様に基づいて、位置記憶装置１９に記憶された測定位置を抽出する位置抽出装置２０と、を有している。なお、位置記憶装置１９には、測定位置として、照射部１１１により照射光が照射されると共に、測定部１１２ｘ〜１１２ｚにより反射光が受光される被塗物２上の位置が、被塗物２の形状仕様毎に記憶されている。
【００２２】
そして、図１に示す制御装置１８からの指令信号により、測定位置に基づいてセンサ１１を移動させるように、移動機構１７の各駆動部１７３、１７５及び１７６を駆動させる。被塗物情報取得装置１３に加えて、位置記憶装置１９及び位置抽出装置２０を設けることで、多種多様な被塗物２が流れる多品種混合ラインであっても、被塗物２の塗装状態を的確に検査することが可能となっている。
【００２３】
次に本発明の実施形態に係る塗装状態検査方法について説明する。
【００２４】
搭載台車３に搭載された被塗物２に塗装ロボットが導電性プライマを塗布し、この被塗物２を静電塗装工程の前に設けられた本実施形態に係る塗装状態検査工程にコンベアＣが搬送する。このとき、被塗物情報取得装置１３によってその被塗物２の仕様を取り込む。ここでいう仕様とは、被塗物２の部品名（バンパ、フロントグリル、トランク・ストレージリッド等）や品番等の被塗物２上の測定位置が変化する要因となるワークの形状等の仕様に加えて、塗布されるプライマの塗色等を含めた仕様をいう。
【００２５】
被塗物情報取得装置１３がその被塗物２の仕様を取得したら、これを範囲抽出装置１５に送出し、範囲抽出装置１５では、被塗物情報取得装置１３により取得された仕様に対応した反射光量の所定範囲を範囲記憶装置１４から抽出して、これを判断装置１２に送出する。
【００２６】
これと同時に、被塗物情報取得装置１３は取得した被塗物２の仕様を位置抽出装置２０に送出し、位置抽出装置２０では、被塗物情報取得装置１３により取得された仕様に最適な被塗物２上の測定位置を位置記憶装置１９から抽出し、これを判断手段１２に送出する。
【００２７】
制御装置１８は、被塗物２がコンベアＣにより塗装状態検査工程に搬送されたら、移動機構１７の各駆動部１７３、１７５及び１７６を駆動させる。その結果として、測定位置Ｐに対してＸ方向測定部１１２ｘがＸ方向側に所定距離離れて位置し、Ｙ方向測定部１１２ｙがＹ方向側に所定距離離れて位置し、照射部１１１及びＺ方向測定部１１２ｚがＺ方向側に所定距離離れて位置するように、被塗物２に対してセンサ１１が相対移動する。
【００２８】
次いで、先ず、センサ１１の照射部１１１から被塗物２上の測定位置Ｐに向かって図２に示すＺ方向に沿って照射光Ｌ１を照射する。次いで、この照射光Ｌ１を被塗物２が同図に示すＸ方向に沿って反射して成る反射光Ｌ２ｘをＸ方向測定部１１２ｘが受光し、当該反射光Ｌ２ｘの光量を測定する。Ｘ方向測定部１１２ｘにより測定されたＸ方向反射光量の値は判断装置１２に送出される。
【００２９】
これと同時に、照射光Ｌ１を被塗物２が同図に示すＹ方向に沿って反射して成る反射光Ｌ２ｙをＹ方向測定部１１２ｙが受光し、当該反射光Ｌ２ｙの光量を測定する。Ｙ方向測定部１１２ｙにより測定されたＹ方向反射光量の値は判断装置１２に送出される。
【００３０】
また、照射光Ｌ１を被塗物２が同図に示すＺ方向に沿って反射して成る反射光Ｌ２ｚをＺ方向測定部１１２ｚが受光し、当該反射光Ｌ２ｚの光量を測定する。Ｚ方向測定部１１２ｚにより測定されたＺ方向反射光量の値は判断装置１２に送出される。
【００３１】
なお、塗装状態検査に際して、コンベアＣを一旦停止させて塗装状態の検査を行っても良く、或いは、上述の移動機構１７をコンベアＣと所定距離だけ同時に移動可能とすることにより、コンベアＣを停止させずに塗装状態の検査を行っても良い。また、塗装状態を検査しない被塗物２が通過する場合には、塗装状態検査装置１０は、コンベアＣにより搬送される被塗物２に干渉しない位置で待機している。
【００３２】
次いで、判断装置１２は、センサ１１の測定部１１２から送出されたＸ方向反射光量、Ｙ方向反射光量及びＺ方向反射光量の値を、範囲抽出装置１５により抽出された反射光量所定範囲にそれぞれ比較し、その比較結果の組み合わせに基づいて、被塗物２の塗装状態が正常か否かを判断する。
【００３３】
具体的には、先ず、判断装置１２は、判断のための所定時間内にＸ方向反射光量が所定範囲内にあったか否かを判断する。同様に、Ｙ方向反射光量及びＺ方向反射光量についてもそれぞれ所定範囲内にあったか否かを判定する。次いで、判断装置１２は、表１に示すように、Ｙ方向反射光量が所定範囲内にあり、且つ、Ｘ方向反射光量又はＺ方向反射光量の少なくとも一方が所定範囲内にあった場合に、被塗物２の塗装正常と判断する。これに対し、Ｙ方向反射光量が所定範囲内になかった場合、又は、Ｘ方向反射光量及びＺ方向反射光量の何れもが所定範囲内になかった場合には、被塗物２の塗装状態は異常と判断する。なお、上記判断においてＹ方向の判断結果を重視しているのは、３方向のうちでＹ方向における受光量が最も大きくなるためである。
【表１】
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【００３４】
このように、複数方向における比較結果の組み合わせに基づいて、被塗物２の塗装状態の良否を判断することにより高精度な検査が可能となる。これにより、例えば、素材自体による反射光量と、塗装による反射光量とが近似していても検査することが可能となる。
【００３５】
このような上記の判断装置１２の判断により被塗物２の塗装状態の良否を判断し、塗装状態が正常である場合はその被塗物２をそのまま静電塗装工程へ流す。これに対し、塗装状態が正常でない場合には警報器１６によって警報を発し、その被塗物２の塗装状態が適切でない旨を喚起する。
【００３６】
以上のように、本実施形態に係る塗装状態検査装置１０及び塗装状態検査方法によれば、静電塗装工程に被塗物２が搬入される前に、プライマ塗装工程におけるプライマの塗装不良を精度良く検出することが出来る。
【００３７】
また、本実施形態に係る塗装状態検査装置１０及び塗装状態検査方法によれば、被塗物２の塗装状態を非接触で検査するので、塗布状態の検査において塗装面にゴミや埃が付着したり、接触によるキズの発生を防止することが出来る。
【００３８】
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
【００３９】
例えば、上述の実施形態では、プライマが塗装された被塗物２の塗装状態を検査するように説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、例えば、上塗り塗料が塗装された被塗物の塗装状態を検査しても良い。
【００４０】
また、上述の実施形態では、Ｚ方向側のみに照射部１１１を設けたが、本発明においては特にこれに限定されず、Ｘ、Ｙ及びＺ方向の全ての方向に照射部をそれぞれ設けても良い。この場合には、全ての方向について照射及び測定を同時に行っても良く、各方向についての照射及び測定を順次行っても良い。各方向について順次照射及び測定を行う場合には、移動機構１７の先端部に一組の照射部及び測定部のみを設け、各照射及び測定に際してこれを順次移動させても良い。
【００４１】
また、上述の実施形態では、測定位置Ｐに対してＸ、Ｙ及びＺ方向で反射光量を測定するように説明したが、本発明においては特にこれに限定されず、１方向のみの反射光量を測定しても良く、２又は４方向以上で反射光量を測定しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】図１は、本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置の構成を示すブロック図である。
【図２】図２は、本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置のセンサ全体を示す概略斜視図である。
【図３】図３は、本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置の移動機構の一例を示す斜視図である。
【図４】図４は、本発明の実施形態に係る塗装状態検査装置のセンサのＺ方向測定部を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００４３】
２…被塗物
１０…塗装状態検査装置
１１…センサ
１１０…光源装置
１１０ａ…光ファイバ
１１１…照射部
１１２、１１２ｘ〜１１２ｚ…測定部
１１３…支持部材
１２…判断装置
１３…被塗物情報取得装置
１４…範囲記憶装置
１５…範囲抽出装置
１６…警報器
１７…移動機構
１７１…スタンド
１７１ａ…第１のレール
１７２…第１の基台
１７２ａ…第２のレール
１７３…第１の駆動部
１７４…第２の基台
１７５…第２の駆動部
１７６…第３の駆動部
１８…制御装置
１９…位置記憶装置
２０…位置抽出装置
【図１】
2007014855.tif 000004
【図２】
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【図３】
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【図４】
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