(57)【要約】【課題】磁気ヘッドの製造工程における、トラック幅および摺動幅規制加工時の加工時の負荷により、規制溝部にクラックあるいはチッピングが発生し、加工精度の劣化の要因となり、またクラックあるいはチッピングには至らなくとも、内部応力（歪）が発生することにより、磁気特性劣化の要因となる。また、これを抑制するためには、追加の加工工程あるいは加工効率の劣化ため加工時間の増大等が必要となる。【解決手段】磁気ヘッドの製造工程における、トラック幅および摺動幅規制加工時の砥石先端形状をＶ形状（２５°≦θ≦４５°）にする事により、規制溝にクラックあるいはチッピングの発生がなく、内部応力（歪）の発生がなく、さらには加工効率を劣化させることのない良好な磁気特性を有する磁気ヘッドの製造が可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ギャップを介して、一対の磁気コア半体を突き合わせてなる磁気ヘッドで、少なくとも一方の磁気コア半体に巻線溝を形成し、ギャップ形成面を鏡面に研磨する工程と、磁気ギャップ材を形成する工程と、一対の磁気コア半体のギャップ面を突き合わせた状態で、接合ガラスを熱処理により、磁気コアを接合する工程と、トラック幅規制溝を加工する工程とを有するヘッドの製造において、前記トラック幅を規制する加工する工程において、砥石先端を２５°≦θ≦４５°なるＶ形状に成形した砥石を使用することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記トラック幅規制溝を加工する工程の後に、磁気ヘッドの記録媒体との摺動幅を規制する溝を加工する工程をさらに有することを特徴とする、請求項1に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】
少なくとも一方の磁気コア半体のギャップ対向面に金属磁性膜を形成する工程をさらに有することを特徴とする、請求項１または請求項2に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録媒体に対して多量の磁気情報の記録・再生を行うのに適する磁気ヘッドの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、磁気ヘッドはコイルを巻いたリング状の磁性材料に非常に狭い隙間（磁気ギャップ）を設けたものである。磁気ヘッドの磁気ギャップ部分は、間隙を有する磁性材料と、この間隙に充填された非磁性材料とで構成されている。ビデオテープレコーダー用、フロッピィーディスク用の磁気ヘッドでは、磁性材料として、磁気特性、耐摩耗性、機械加工性等に優れるＭｎ−Ｚｎフェライト等の酸化物材料が主に用いられる。また、磁気ヘッドの高性能化のため、センダスト合金やＣｏ系アモルファス合金等の金属強磁性膜を磁気ギャップ部に配した材料も使われている。
【０００３】
上記のような、磁気ヘッドの製造工程では、まず、一対のフェライトコアに巻線溝およびバックガラス溝を形成する。次にギャップ対向面を研磨した後に金属磁性膜をギャップ対向面上に形成し、その上にギャップ材をスパッタリングで形成する。そして一対のコア半体をギャップ面で突き合わせ、接合ガラスを熱処理により溶融してコアをギャップで接合し、一つの磁気コアブロックを作製する。さらにトラック幅を規制する溝および摺動幅を規制する溝を形成する。この規制溝加工には、一般的な先端がフラットな加工砥石を用いて加工を施している。
なお、これに関連する先行技術として以下のものがある（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平７−１２９９１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら上記のような従来の加工工程においては、加工時の負荷により、規制溝部にクラックあるいはチッピングが発生し、加工精度の劣化の要因となり、またクラックあるいはチッピングには至らなくとも、内部応力（歪）が発生することにより、磁気特性劣化の要因となる。
【０００５】
本発明は上記従来の問題点を解決するもので、磁気ヘッドの磁気特性を劣化させることなく、高い加工精度および加工効率の磁気ヘッドを作製することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明者は砥石先端形状に着目し、鋭意研究の結果、先端形状が２５°≦θ≦４５°なるＶ形状にて、規制溝にクラックあるいはチッピングの発生がなく、従来ヘッドと同等の磁気特性を得られることを見出した。このため、磁気ヘッドの磁気特性を劣化させることなく、加工精度および加工効率の向上が得られる。
【０００７】
本発明の請求項１に対応する発明は、磁気ギャップを介して、一対の磁気コア半体を突き合わせてなる磁気ヘッドで、少なくとも一方の磁気コア半体に巻線溝を形成し、ギャップ形成面を鏡面に研磨する工程と、磁気ギャップ材を形成する工程と、一対の磁気コア半体のギャップ面を突き合わせた状態で、接合ガラスを熱処理により、磁気コアを接合する工程と、トラック幅規制溝を加工する工程とを有するヘッドの製造において、前記トラック幅を規制する工程において、砥石先端を２５°≦θ≦４５°なるＶ形状に成形した砥石を使用することを特徴とする。
【０００８】
本発明の請求項２に対応する発明は、請求項1に対応する発明に、さらに、磁気ヘッドの記録媒体との摺動幅を規制する溝を加工する工程とを有することを特徴とする。
【０００９】
請求項３に対応する発明は、請求項１または請求項2に記載の磁気ヘッド製造工程において、少なくとも一方の磁気コア半体のギャップ対向面に金属磁性膜を形成する工程をさらに有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
以上のように本発明の磁気ヘッドの製造方法は、先端形状が２５°≦θ≦４５°なるＶ形状の砥石にて加工することで、磁気ヘッドの磁気特性を劣化させることなく、高い加工精度および加工効率の磁気ヘッドを得られるという効果を奏するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の磁気ヘッドの実施の形態について説明する。本発明はこれらによって制限されるものではない。
【００１２】
（実施の形態）
図１は本発明の磁気ヘッドの製造方法を用いて製造されたフェライト磁気ヘッドの斜視図である。図において、磁気コア半体１，２にＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト磁性材料である。
【００１３】
図２は本発明の磁気ヘッドの製造方法を用いて製造されたＭＩＧ磁気ヘッドの斜視図である。図において、磁気コア半体１，２にＭｎ−Ｚｎ単結晶フェライト磁性材料、金属磁性膜３にＦｅＴａＮ膜である。
【００１４】
以上のように構成された磁気ヘッドの製造方法では、トラック幅および摺動幅を規制する加工する工程において、砥石先端を２５°≦θ≦４５°なるＶ形状に成形した砥石を使用することを特徴とする。まず、本発明者は、この加工工程において、砥石による加工負荷により、磁気特性が劣化するとの仮定の基に研究を進めた。次に、本発明における、Ｖ形状決定理由を以下に示す。本発明者はこの砥石先端の形状（角度）に着目し、鋭意研究の結果、磁気ヘッドの製造工程における規制溝加工工程においては、この角度が砥石先端を２５°≦θ≦４５°で、加工負荷が少なくなることを見出した。このことはすなわち、磁気特性が劣化せず、高精度な加工を得られことを示している。砥石Ｖ形状を検討した結果を表１に示す。
【００１５】
【表１】
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【００１６】
表中のクラック発生率はヘッド製造工程において、２μｍ以上クラックあるいはチッピングの発生率が０〜５％を○、５〜１０％を△、１０％以上を×と、磁気特性は、擬似Ｇａｐが０〜０．５ｄＢの条件を○、０〜０．５ｄＢの条件を△、１ｄＢ以上の条件を×。擬似ＧａｐとはメインＧａｐに対するサブＧａｐの大きさ（比率）を表している。この擬似Ｇａｐがおよそ１ｄＢ以上となると磁気的劣化が生じる
以上のように本実施の形態によれば、磁気ヘッドの磁気特性を劣化させることなく、高い加工精度の磁気ヘッドを得られる。
【００１７】
なお、本発明は上記実施の形態によって制限されるものではない。以上の説明では金属磁性膜３はＦｅＴａＮ膜としたが、金属磁性膜５はＦｅＴａＮ系およびＦｅＴａＣ系、センダスト、ＦｅＧａＳｉＲｕの金属磁性膜や、Ｃｏ系アモルファス膜としても同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００１８】
本発明の製造方法は、セラミック、ガラス及び金属などの各種材料の規制溝加工方法に使用することができる。例えば、各種ＬＣＲ部品、半導体パッケージ、その他の電子部品に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施の形態１の製造方法を示す斜視図
【図２】本発明の実施の形態２の製造方法を示す斜視図
【図３】本発明の実施の形態の砥石先端形状を示す図
【符号の説明】
【００２０】
１    磁気コア半体
２    磁気コア半体
３    金属磁性膜
４    加工砥石
【図１】
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【図２】
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【図３】
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