(57)【要約】【課題】  紫外線の有効照射量を測定できる紫外線照度測定装置を提供する。【解決手段】  紫外線の照度を測定する紫外線照度測定装置１７であり、一方の端部で支持され、他方の端部側に紫外線を受光する受光面を有する受光部２７を備え、この受光部２７の受光面は、球面状であるか、または、少なくとも円柱の周面からなり、平行で同心円上に配置された直管状の複数の紫外線ランプ５に対して、複数の紫外線ランプ５が配置された同心円の中心軸Ａに対応する位置に配設される構成とする。【選択図】        図１
2007155546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
紫外線の照度を測定する紫外線照度測定装置であり、一方の端部で支持され、他方の端部側に紫外線を受光する受光面を有する受光部を備え、該受光部の受光面は、球面状であるか、または、少なくとも円柱の周面からなることを特徴とする紫外線照度測定装置。
【請求項２】
前記受光部の受光面は、平行に、同心円上に配置された直管状の複数の紫外線ランプに対して、複数の紫外線ランプが配置された同心円の中心軸に対応する位置に配設されることを特徴とする請求項１に記載の紫外線照度測定装置。
【請求項３】
前記受光部は、紫外線透過性を有する筒状の容器に挿入されており、該容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、該容器の開口された端部を閉塞する閉塞部材に脱着可能に取り付けられていることを特徴とする請求項１または２に記載の紫外線照度測定装置。
【請求項４】
紫外線ランプと、該紫外線ランプを内包し、紫外線を照射する流体を収容する紫外線照射室と、該紫外線照射室内の照度を測定する紫外線照度測定装置とを備えた紫外線照射装置であり、
前記紫外線照度測定装置が請求項１乃至３のいずれか１項に記載の紫外線照度測定装置であることを特徴とする紫外線照射装置。
【請求項５】
前記紫外線照射室は、複数の直管状の前記紫外線ランプを内包し、該複数の紫外線ランプは、前記紫外線照射室内に設定した軸に平行で、該軸に対して同心円上に配置され、前記紫外線照度測定装置の受光部の受光面は、前記紫外線照射室内に設定した軸上に位置することを特徴とする請求項４に記載の紫外線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、紫外線の照度を測定する紫外線照度測定装置、及びその紫外線照度測定装置を備えた紫外線照射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
紫外線を流体に照射する紫外線照射装置では、流体に紫外線を照射しているときの照度が必要な照射量になっている否かを監視するため、流体を収容し、その収容した流体に紫外線を照射するための紫外線照射室内に紫外線照度測定装置が設置されている。このような紫外線照射装置に取り付けられる紫外線照度測定装置では、受光部には、一般的に受光素子であるシリコンフォトダイオードなどが用いられ、また、紫外線波長域の光を可視光に変換する波長変換素子を用いることなども提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
ところで、紫外線を流体に照射する場合、紫外線の有効照射量は、紫外線を照射する流体の透過率や紫外線ランプの出力によって異なり、変化するため、紫外線の有効照射量と、紫外線照度測定装置で測定した紫外線の照度とが相関せず、紫外線照度測定装置だけでは、紫外線の有効照射量を監視できない場合がある。このため、紫外線の有効照射量を監視する場合には、紫外線照度測定装置の他に、紫外線透過率計を設けることで、有効照射量を測定、監視することが提案されている（例えば、非特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２１４１３号公報（第２−４頁、第１、２図）
【非特許文献１】ＥＰＡ  紫外線殺菌ガイダンスマニュアル、２００３年、紫外線殺菌の概観、第２章−１３頁、図２.１０（ＥＰＡ  Ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ  Ｄｉｓｉｎｆｅｃｔｉｏｎ  Ｇｕｉｄａｎｃｅ  Ｍａｎｕａｌ，  ２００３，  Ｏｖｅｒｖｉｅｗ  ｏｆ  ＵＶ  Ｄｉｓｉｎｆｅｃｔｉｏｎ、  ２−１３，  図２.１０）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、紫外線照度測定装置の他に、紫外線透過率計を設ける場合、紫外線照射装置の構成が複雑化し、コストの増大や、制御や演算の複雑化などという問題が生じる。このため、紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できる技術が求められている。
【０００６】
本発明の課題は、紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の紫外線照度測定装置は、紫外線の照度を測定する紫外線照度測定装置であり、一方の端部で支持され、他方の端部側に紫外線を受光する受光面を有する受光部を備え、この受光部の受光面は、球面状であるか、または、少なくとも円柱の周面からなる構成とすることにより上記課題を解決する。
【０００８】
本発明者らは、種々の検討を行った結果、このような構成とすることによって、紫外線照度測定装置で計測した照度と有効照射量とが相関し、紫外線照度測定装置で計測した値によって有効照射量を測定できることを見いだした。したがって、上記のような構成とすることにより、紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できる。
【０００９】
また、受光部の受光面は、平行に、同心円上に配置された直管状の複数の紫外線ランプに対して、複数の紫外線ランプが配置された同心円の中心軸に対応する位置に配設される構成とする。このような構成とすれば、紫外線照射室に複数の直管状の紫外線ランプを設置した紫外線照射装置の場合、より確実に紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できるようになる。
【００１０】
さらに、受光部は、紫外線透過性を有する筒状の容器に挿入されており、この容器は、一方の端部が閉塞され、他方の端部が開口された形状であり、この容器の開口された端部を閉塞する閉塞部材に脱着可能に取り付けられている構成とする。このような構成とすることにより、受光部を外し、容器内に光感受性化合物を予め設定した量入れて閉塞部材に取り付け、紫外線を照射したときの、この光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となる。したがって、空間照度の絶対値を測定できるようになり、空間照度の測定精度が向上するとともに、有効照射量の測定精度も向上する。
【００１１】
また、受光部は、受光面で受光した紫外線を可視光に変換する波長変換素子で形成されており、検出部は、受光部からの可視光に基づいて紫外線の照度または照度に対応する値を検出し、受光部の可視光伝達側の端部と光学的に接続されて受光部からの可視光を検出部に伝達する光ファイバーを備え、受光部の可視光伝達側の端部は、容器の開口された端部側に位置しており、この容器の開口された端部は、光ファイバーの一方の端部が着脱可能に取り付けられた閉塞部材によって閉塞されており、波長変換素子もこの閉塞部材に着脱可能に取り付けられている構成とする。このような構成とすることにより、紫外線照度測定装置の容器や受光部などの着脱が可能となり、校正が可能となる。
【００１２】
さらに、本発明の空間照度の校正方法は、上記のような構成の紫外線照度測定装置を囲んだ状態で複数の校正用の紫外線ランプを設置して、これら複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する照度または照度に対応する数値を検出部で検出し、さらに、受光部及び光ファイバーを取り外した状態の閉塞部材を容器に取り付けた状態で、容器内に光感受性化合物を予め設定した量を入れ、複数の校正用の紫外線ランプを予め設定した異なる電力で点灯させたときの各電力に対応する紫外線吸収による光感受性化合物の壊変量に基づいて各電力に対応する照度の値を検出し、検出部で検出した数値と光感受性化合物の壊変量に基づいて検出した照度の値との関係を求める校正方法とする。これにより、空間照度の校正が可能となるため、空間照度の絶対値を測定でき、空間照度の測定精度、有効照射量も測定精度を向上できる。
【００１３】
また、本発明の紫外線照射装置は、紫外線ランプと、この紫外線ランプを内包し、紫外線を照射する流体を収容する紫外線照射室と、この紫外線照射室内の照度を測定する紫外線照度測定装置とを備えた紫外線照射装置であり、紫外線照度測定装置が上記のいずれかの構成の紫外線照度測定装置である構成とすることにより、上記課題を解決する。
【００１４】
さらに、紫外線照射室は、複数の直管状の前記紫外線ランプを内包し、これら複数の紫外線ランプは、紫外線照射室内に設定した軸に平行で、この軸に対して同心円上に配置され、紫外線照度測定装置の受光部の受光面は、紫外線照射室内に設定した軸上に位置する構成とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、紫外線照度測定装置で有効照射量も測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態について図１乃至図４を参照して説明する。図１は、本発明を適用してなる紫外線照射装置及び紫外線照度測定装置の概略構成を示す断面図である。図２は、本発明を適用してなる紫外線照射装置の概略構成を、カバーを外した状態で示す上面図である。図３は、本発明を適用してなる紫外線照度測定装置の概略構成を示す断面図である。図４は、本発明を適用してなる紫外線照度測定装置で測定した紫外線の照度の測定値と有効照射量との関係を示す図である。
【００１７】
本実施形態では、水中の微生物の殺滅や有機物質の酸化処理などを行うの紫外線照射装置を一例として説明を行う。本実施形態の紫外線照射装置１は、図１及び図２に示すように、紫外線を照射する対象となる流体である被処理水が通流する円筒状の縦型の処理槽３中に、処理槽３の延在方向に沿って、つまり、縦方向に直管状の紫外線ランプ５が複数設置されている。紫外線ランプ５は、円筒状のランプ保護管７内に挿入された状態で設置されている。ランプ保護管７は、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやポリテトラフルオロエチレン樹脂などで形成されている。
【００１８】
処理槽３は、防食性の材料、例えばステンレスやアルミニウムなどの金属などで形成され、両端部にフランジを有する略円筒状の胴部３ａ内が、紫外線ランプ５が設置された紫外線照射室３ｂとなる。処理槽３の胴部３ａの上部開口及び底部開口は、円盤状の天板３ｃ及び底板３ｄをフランジにボルト９などによって固定することで閉塞された状態となっている。
【００１９】
天板３ｃ及び底板３ｄには、各々の対応する位置に、胴部３ａ、天板３ｃ、そして、底板３ｄの中心軸Ａを囲む２重の同心円を描く位置に等間隔で複数の円筒状のニップル１１が、天板３ｃ及び底板３ｄを貫通し、天板３ｃ及び底板３ｄから外側に突出した状態で設置されている。天板３ｃ及び底板３ｄの対応する位置にある各々のニップル１１内にランプ保護管７の端部が挿入され、ニップル１１及びランプ保護管７の端部の面にＯリング１３を押しつけた状態で、ニップル１１の天板３ｃ及び底板３ｄから外側に突出した端部に、シールナット１５が被せてある。これにより、ランプ保護管７内は、湿気などの進入を防ぐように気密に密閉された状態になっている。なお、ランプ保護管７に挿入された紫外線ランプ５は、シールナット１５内の空間に設置された図示していないソケットなどに口金が接続されることで、ランプ保護管７内に支持されている。
【００２０】
一方、天板３ｃ及び底板３ｄの中心軸Ａに対応する位置にも、各々、円筒状のニップル１１が、天板３ｃ及び底板３ｄを貫通し、天板３ｃ及び底板３ｄから外側に突出した状態で設置されている。この天板３ｃ及び底板３ｄの中心軸Ａの位置に設置されたニップル１１内には、紫外線照度測定装置１７用の保護管１９の端部が挿入されている。天板３ｃに設けられた保護管１９用のニップル１１では、ニップル１１の端面及び保護管１９のニップル１１から突出した端部の部分の外周面にＯリング１３を押しつけた状態で、このニップル１１の天板３ｃから外側に突出した端部に、円筒状の保護管スリーブシールナツト２１が取り付けられている。
【００２１】
そして、円筒状の保護管スリーブシールナツト２１に紫外線照度測定装置１７を取り付けるための取り付け部材２３が被せてあり、保護管１９の上側の端部が閉塞された状態となっている。底板３ｄに設けられたニップル１１では、ランプ保護管７の場合と同様に、Ｏリング１３を押しつけた状態でシールナット１５が被せてある。なお、保護管１９は、ランプ保護管７と同様に、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやポリテトラフルオロエチレン樹脂などで形成された円筒状の管であり、本実施形態では、ランプ保護管７と保護管１９とは、同じ形状及び大きさの管状の部材を用いている。取り付け部材２３は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、片方の端部が閉塞された断面が凹字状の円筒状の部材である。
【００２２】
また、紫外線照射装置１は、処理槽３の下端部側と上端部側に、各々、被処理水を処理槽３に流入させるための流入口部３ｅ、被処理水を処理槽３から流出させるための流出口部３ｆを有し、さらに、天板３ｃの上面側つまり外面側を覆うカバー３ｇ、処理槽３を支持する台座部２５、図示していない紫外線ランプ５の点灯の制御部などを有している。
【００２３】
なお、図示していないが、本実施形態の紫外線照射装置１には、ランプ保護管７や紫外線照度測定装置１７の保護管１９の外表面に汚れなどが付くことにより紫外線の照射能力や照度の測定精度が低下するのを防ぐため、処理槽３内を上下動してランプ保護管７及び紫外線照度測定装置１７の保護管１９の外表面の汚れを払拭するワイパーを有するワイパー機構を備えることができる。
【００２４】
ワイパー機構のワイパーは、弾性を有すると共に紫外線耐性や防食性などを有するゴムなどの樹脂や合成樹脂などで、ランプ保護管７及び紫外線照度測定装置１７の保護管１９の外表面に接触する環状に形成する。したがって、本実施形態の紫外線照射装置１のランプ保護管７と保護管１９が同一形状であるため、保護管用の管状の部材を複数種類準備する必要がないだけでなく、ワイパー機構を設置する場合もワイパー機構に用いるワイパーは１種類準備するだけで済む。
【００２５】
本実施形態の紫外線照度測定装置１７は、図３に示すように、紫外線を可視光に変換する波長変換素子で形成された半球状に形成されて球面状の受光面を有する受光部２７、受光部２７を内包する容器２９、受光部２７からの可視光を伝達するための光ファイバー３１、受光部２７と光ファイバー３１とを可視光伝達可能に連結する棒状の可視光伝達部３３、光ファイバー３１の可視光伝達部３３と接続される側の端部に取り付けられた閉塞部材３５などを備えている。さらに、紫外線照度測定装置１７は、光ファイバー３１の受光部２７と接続される側の端部とは反対側の端部が接続され、光ファイバー３１で伝達されてきた可視光を、この可視光の強度に対応する電圧値、つまり、紫外線の照度に対応する電圧値に変換する光電変換アンプ３７などを備えている。
【００２６】
このように光電変換アンプ３７が、本実施形態における紫外線の照度または照度に対応する有効照射量を検出する検出部となる。また、紫外線照度測定装置１７は、図１及び図３に示すように、受光部２７、容器２９、そして、閉塞部材３５などが保護管１９に挿入された状態で紫外線照射室３ｂ内に設置される。したがって、本実施形態の紫外線照射装置１には、図１に示すように、中心軸Ａに対して同心円形状に並び、中心軸Ａと平行に上下方向に延在する複数本の紫外線ランプ５に囲まれた状態で、さらに、中心軸Ａの位置に受光部２５が位置する状態で、紫外線照度測定装置１７が設置されている。
【００２７】
本実施形態の受光部２７となる波長変換素子は、１種または複数の蛍光材料を石英ガラスなどに混合した蛍光ガラスを主材料として形成したものである。受光部２７に含まれている蛍光材料は、紫外線ランプからの紫外線を可視光に変換する、例えば遷移金属蛍光体、希土類蛍光体、芳香族化合物、タングステン酸塩など、具体的には、例えばナフタレン、アントラセン、タングステン酸マグネシウム、硫化亜鉛、イットリウム化合物などの種々の蛍光材料から適宜選択することができる。本実施形態では、受光部２７は、直径が例えば２ｍｍから数ｍｍ程度の半球状に形成されている。
【００２８】
なお、波長変換素子は、蛍光材料をアクリルやポリカーボネートなどの合成樹脂などを混合して形成することもできる。さらに、波長変換素子は、蛍光材料が混合されていない石英ガラス製または合成樹脂製の波長変換素子基材の表層部に蛍光材料が混合された層を形成することや、また、これらの波長変換素子基材の表面に蛍光材料を塗布することなどで形成することもできる。また、受光部２７と可視光伝達部３３は、同じ材料で形成することもできるし、例えば受光部２７は蛍光ガラスで、可視光伝達部３３は光学ガラスでといったように、異なる材料で形成することもできる。
【００２９】
容器２９は、図３に示すように、一方の端部が開口し、他方の端部が閉塞された円筒状の容器であり、紫外線透過性の材料、例えば石英ガラスやポリテトラフルオロエチレン樹脂などで形成されている。また、容器２９の大きさは、少なくとも受光部２７の部分を内包可能な大きさであればよいが、本実施形態では、受光部２７や可視光伝達部３３などを内包可能な大きさになっている。
【００３０】
光ファイバー３１は、透明なガラス製または合成樹脂製であり、光ファイバー３１を保護する保護チューブ３９で覆われて光ファイバーコード４１となっている。保護チューブ３９の一方の端部つまり光ファイバー３１の一方の端部には閉塞部材３５が、保護チューブ３９の他方の端部つまり光ファイバー３１の他方の端部には、光電変換アンプ３７に光学的に接続するための入射フェルール４３が、各々取り付けられている。本実施形態の保護チューブ３９は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、光ファイバーコード４１を形成するための保護チューブは、光ファイバー３１を保護すると共に紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属製チューブまたは合成樹脂製チューブなどを用いることができる。
【００３１】
閉塞部材３５は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円柱状の部分の一方の面の中央部分に２段階に細い径となる円柱状の突起３５ａ、３５ｂが、他方の面に容器２９の開口に対応する形状の円環状の溝３５ｃと、この円環状の溝３５ｃの中央部分に円形の有底穴３５ｄとが、各々円柱状の部分の各面と同軸で形成されている。また、閉塞部材３５の突起３５ｂの端面にも、この端面の中央部分に、有底穴３５ｄに向かう有底穴３５ｅが円柱状の部分の面と同軸で形成されている。さらに、閉塞部材３５の有底穴３５ｄの底と有底穴３５ｅの底となる壁には、棒状の可視光伝達部３３を挿入可能な貫通穴３５ｆが形成されている。さらに、閉塞部材３５の有底穴３５ｄの内周面及び有底穴３５ｅの内周面には、各々、ねじが切られている。
【００３２】
可視光伝達部３３には、閉塞部材３５に取り付けるためのクランプ部材４５が取り付けられている。クランプ部材４５は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、円盤状の部分の両面の中央部に略円柱状の突起４５ａ、４５ｂが、円盤状の部分の各突起４５ａ、４５ｂが形成された面と同軸で形成された形状になっている。クランプ部材４５の突起４５ａの端面から突起４５ｂの端面側にかけての中心軸部分には、貫通穴４５ｃが穿設されている。クランプ部材４５の貫通穴４５ｃは、直径が棒状の可視光伝達部３３と同じになっており、可視光伝達部３３がクランプ部材４５の貫通穴４５ｃに突起４５ｂ側から挿入された状態となっている。棒状の可視光伝達部３３の端部の端面は、クランプ部材４５の突起４５ａから突出している。
【００３３】
クランプ部材４５の突起４５ｂの端面には、貫通穴４５ｃよりも大きな径の有底穴４５ｄが、貫通穴４５ｃと同軸に形成されている。したがって、貫通穴４５ｃの突起４５ｂの端面側は、有底穴４５ｄの底面の中心部分に開口している。クランプ部材４５の突起４５ｂの外周面には、ねじが切られている。そして、クランプ部材４５の突起４５ｂの有底穴４５ｄに、棒状の可視光伝達部３３の外周面に密着するＯリング４７、クランプ部材４５の突起４５ｂに穿設された有底穴４５ｄの底面にＯリング４７を押しつけるための筒状のＯリング押さえ４９を順に挿入した状態で、クランプ部材４５の突起４５ｂの外周面に切られたねじに対応するねじが内周面に切られ、中心軸部分に貫通穴が形成された断面略凹状のクランプシールナット５１が螺合され、取り付けられている。
【００３４】
このように、棒状の可視光伝達部３３は、クランプシールナット５１の貫通穴、Ｏリング押さえ４９の貫通穴、Ｏリング４７の穴、そして、クランプ部材４５の貫通穴４５ｃに挿通された状態でクランプ部材４５に固定されている。一方、クランプ部材４５の突起４５ａは、閉塞部材３５の有底穴３５ｄに対応する形状に形成されており、突起４５ａの外周面には、閉塞部材３５の有底穴３５ｄの内周面に切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、Ｏリング４７、Ｏリング押さえ４９、クランプシールナット５１を組み付けて受光部２７を固定したクランプ部材４５は、クランプ部材４５の突起４５ａを閉塞部材３５の有底穴３５ｄに螺合させることで閉塞部材３５に着脱可能に取り付けられる。このように、受光部２７は、棒状の可視光伝達部３３を片持ち支持することで、閉塞部材３５に着脱可能に取り付けられている。
【００３５】
さらに、このようにクランプ部材４５を閉塞部材３５に取り付けることにより、可視光伝達部３３の端面が閉塞部材３５の貫通穴３５ｆに挿入された状態となる。なお、可視光伝達部３３の端部の端面部分は、クランプ部材４５の突起４５ａから、閉塞部材３５の貫通穴３５ｆの長さの分だけ突出しているため、可視光伝達部３３は、閉塞部材３５の中心軸に沿って延在し、可視光伝達部３３の端面は、閉塞部材３５の有底穴３５ｅの底面と同じ位置に来る。
【００３６】
容器２９は、開口側の端部に、この開口側の端部の外周面を覆う略筒状のシールグラウンド５３が、この外周面に密着した状態で取り付けられている。シールグラウンド５３は、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有する合成樹脂などで形成したもので、容器２９の開口側と反対側に位置する端部が鍔状に張り出した形状になっている。容器２９の開口側の端部の端面は、シールグラウンド５３から突出した状態になっている。閉塞部材３５に形成された容器２９の開口に対応する形状の円環状の溝３５ｃは、容器２９の開口側の端部とシールグラウンド５３を嵌合可能な形状、大きさに形成されている。さらに、シールグラウンド５３の外周面及び閉塞部材３５の溝３５ｃのシールグラウンド５３側の内周面には、互いに対応するねじが切られている。
【００３７】
そして、容器２９は、容器２９の開口側の端部のシールグラウンド５３から突出した部分の大きさに対応するＯリング５５を、この部分の外周面に装着した状態で、シールグラウンド５３の外周面のねじと閉塞部材３５の溝３５ｃの内周面のねじとを螺合させることにより、容器２９の開口側の端部とシールグラウンド５３が閉塞部材３５の円環状の溝３５ｃに嵌合され、片側封じ状態で閉塞部材３５に着脱可能に取り付けられる。このとき、シールグラウンド５３の容器２９の開口側の端面と、閉塞部材３５の溝３５ｃの底面との間にＯリング５５が挟み込まれることにより、容器２９は、閉塞部材３５に気密に取り付けられた状態となる。なお、本実施形態では、容器２９の内部には、乾燥空気又は窒素ガスが満たされた状態になっている。
【００３８】
光ファイバーコード４１の閉塞部材３５側の端部、つまり、光ファイバー３１の閉塞部材３５側の端部には、保護チューブ３９を覆った状態で外周面にねじが切られた筒状のねじ部４１ａが設けられている。そして、光ファイバーコード４１のねじ部４１ａの端面には、光ファイバー３１の端面が位置している。本実施形態の光ファイバーコード４１のねじ部４１ａは、ステンレス鋼や紫外線耐性や防食性などを有するステンレス製である。しかし、ねじ部４１ａは、外周面にねじを切ることができ、紫外線耐性や防食性などを有していれば、様々な金属または合成樹脂などを用いて形成することができる。
【００３９】
閉塞部材３５に穿設された有底穴３５ｅの内周面には、光ファイバーコード４１のねじ部４１ａに切られたねじに対応するねじが切られている。したがって、閉塞部材３５の有底穴３５ｅに光ファイバーコード４１のねじ部４１ａを螺合させることで、光ファイバーコード４１の端部つまり光ファイバー３１の端部に閉塞部材３５を取り付けることができる。このとき、光ファイバーコード４１のねじ部４１ａのねじが切られた外周面にシール材を塗布して閉塞部材３５の有底穴３５ｅに螺合する。これにより、容器２９内へ湿気が侵入しないようシールした状態で光ファイバーコード４１の端部に閉塞部材３５を取り付けることができる。なお、シール材を塗布する代わりにシールテープなどを巻くことなどもできる。
【００４０】
光ファイバーコード４１の端部に閉塞部材３５を取り付けたとき、光ファイバーコード４１の端面つまりねじ部４１ａの端面は、閉塞部材３５の有底穴３５ｅの底面に当接し、これにより、光ファイバー３１の端面は、閉塞部材３５の貫通穴３５ｆに対応する位置で、閉塞部材３５の有底穴３５ｅの底面と同じ位置に来る。このように、閉塞部材３５の有底穴３５ｅに光ファイバーコード４１のねじ部４１ａを螺合し、閉塞部材３５の有底穴３５ｄにクランプ部材４５の突起４５ａを螺合することで、光ファイバー３１の軸芯と可視光伝達部３３の軸芯とを一致させて当接させ、光ファイバー３１と可視光伝達部３３とを光学的に接続することができる。
【００４１】
さらに、光ファイバーコード４１のねじ部４１ａは、シール剤の塗布などにより閉塞部材３５の有底穴３５ｅにシールされた状態で取り付けられ、容器２９は、Ｏリング５５などにより閉塞部材３５の円環状の溝３５ｃにシールされた状態で取り付けられている。このため、容器２９内へ湿気が侵入するのを防ぐことができ、容器２９内への湿気の侵入による照度の測定精度の低下を抑制している。
【００４２】
閉塞部材３５は、支持部材となる閉塞部材支持ロッド５７に支持されている。閉塞部材３５の突起３５ｂの外周面にねじが切られており、閉塞部材支持ロッド５７は、直管状で、塞部材３５の突起３５ｂの外周面に切られたねじに対応するねじが一方の端部の内周面に切られている。閉塞部材支持ロッド５７の内径は、閉塞部材３５の突起３５ｂの外径に対応する径になっており、閉塞部材支持ロッド５７の内周面のねじに閉塞部材３５の突起３５ｂの外周面のねじを螺合させることで、閉塞部材３５は、閉塞部材支持ロッド５７の一方の端部に取り付けられている。閉塞部材支持ロッド５７は、紫外線耐性や防食性などを有するステンレスなどの金属や合成樹脂などで形成したもので、閉塞部材３５が取り付けられたとき、閉塞部材支持ロッド５７の一方の端部の端面は、閉塞部材３５の突起３５ａの突起３５ｂ周囲の端面に当接する。なお、光ファイバーコード４１は、直管状の閉塞部材支持ロッド５７内に挿通されている。
【００４３】
ところで、本実施形態の紫外線照度測定装置１７は、図１及び図３に示すように、光ファイバーコード４１の光ファイバー３１で伝達されてきた可視光を対応する電圧値に変換する光電変換アンプ３７や、受光部２７や可視光伝達部３３など、光ファイバーコード４１、そして、閉塞部材支持ロッド５７などを挿入した状態で設置される保護管１９も備えている。受光部２７、容器２９、そして、閉塞部材３５などは、直管状の保護管１９の天板３ｃ側の端部内つまり上端部内に位置しており、紫外線照度測定装置１７の受光部２７は、本実施形態では、天板３ｃの内面から２０ｍｍ程度に位置している。また、閉塞部材支持ロッド５７は、保護管１９に同軸に挿入されているため、光ファイバー３１、閉塞部材３５、クランプ部材４５などの中心軸は、処理槽３の中心軸Ａに一致した状態となっている。したがって、受光部２７は、半球状の受光面を処理槽３の中央部方向つまり下方に向けた状態で、複数の紫外線ランプ５に対する中心軸Ａ上の位置した状態となっている。
【００４４】
閉塞部材支持ロッド５７の他方の端部は、保護管１９の光電変換アンプ３７が設置された側の端部に設けられた取り付け部材２３に固定されている。そして、閉塞部材支持ロッド５７の取り付け部材２３に固定されている側の端部の開口は栓５９で気密に閉塞されている。閉塞部材支持ロッド５７は、端部が取り付け部材２３の端部を閉塞する円形の壁の面の中心部に形成された貫通穴に挿入され、この円形の壁の面に対して垂直に延在する状態で固定されている。これにより、取り付け部材２３に閉塞部材支持ロッド５７を介して固定された受光部２７や可視光伝達部３３などは、受光部２７などの着脱を繰り返しても、受光部２７に入射する光量が一定になるようになっている。
【００４５】
本実施形態の検出部となる光電変換アンプ３７は、取り付け部材２３の円形の壁の外面側にボルト６１で固定された固定リブ６３を介して固定されている。光ファイバーコード４１の受光部２７側と反対側の端部には、光ファイバー３１を光電変換アンプ３７に光学的に接続するための入射フェルール４３が設けられている。入射フェルール４３は、閉塞部材支持ロッド５７の受光部２７側と反対側の端部の開口を閉塞している栓５９を気密に貫通した状態で取り付け部材２３の内側から外側に突出しいる。そして、入射フェルール４３は、光電変換アンプ３７に接続され、光電変換アンプ３７内に設置されている図示していない可視光受光素子、例えば可視光用シリコンフォトダイオードや光電管などとに光学的に接続されている。
【００４６】
光電変換アンプ３７は、前述のように、図示していない可視光受光素子や、この可視光受光素子で発生した電気信号を増幅する図示していない増幅回路、光電変換アンプ３７に電力を供給するための電源ケーブルや紫外線ランプの照度や有効照射量または紫外線ランプの照度や有効照射量に対応する電圧値などを表示するための図示していない表示器などに電気信号を出力するための出力ケーブルなどをまとめたケーブル６５などを有している。
【００４７】
紫外線照射装置１の紫外線ランプ５から照射される紫外線は、紫外線照度測定装置１７の保護管１９そして容器２９を透過し、容器２９内の受光部２７に入射する。受光部２７は、含有する蛍光材料の紫外線励起により発光し、入射してきた紫外線は、その紫外線の照度に応じた照度の可視光に変換される。受光部２７で発生した可視光は、可視光伝達部３３を介して光ファイバーコード４１の光ファイバー３１へ伝達され、この光ファイバー３１を通って光電変換アンプ３７へ伝達される。光電変換アンプ３７に伝達された可視光は、図示していない可視光受光素子によって可視光の照度、すなわち紫外線の照度に応じた電気信号として、図示していない紫外線照度指示計にケーブル６５などを介して出力される。
【００４８】
本実施形態の光電変換アンプ３７は、紫外線照射装置１が有する紫外線ランプ５の紫外線照射による紫外線の空間照度に応じた値の電圧を電気信号として出力するが、この空間照度は、紫外線の有効照射量に１対１に相関しているため、この電気信号は、紫外線の有効照射量に応じた値でもある。なお、本実施形態の紫外線照度測定装置１７は校正が行われているため、紫外線照度測定装置１７が出力する電圧値は、紫外線の空間照度の絶対値に対応するものである。
【００４９】
ここで、紫外線殺菌装置や促進酸化装置などの紫外線照射装置における紫外線の照射量は、例えば紫外線照射装置１の場合、処理槽３内の体積平均照度（Ｗ／ｍ２）＊照射時間（秒）により算出される。体積平均照度は、空間照度を処理槽３内の全体積で平均したものであるため、体積平均照度を求めるには、空間照度の絶対値を測定する必要がある。そして、空間照度の絶対値を測定するため、またできるだけ精度の高い紫外線の有効照射量の値を得るためには、空間照度測定装置を校正する必要がある。空間照度は、微小球体の表面積をｄＳとし、この表面積ｄＳに入射する紫外線光束をｄΦとすれば、空間照度＝ｄΦ／ｄＳで表されるため、空間照度測定装置を校正するには、微小球体へ入射する光量を測定する必要がある。
【００５０】
また、紫外線照度測定装置１７の受光部２７の形成に用いたような蛍光ガラスは、紫外線を吸収して可視光を発するが、その総合変換率は、受光部２７や可視光伝達部３３などの構造や形態、さらに、受光部２７と光ファイバー３１、光ファイバー３１と光電変換アンプ３７などの接続損失のばらつきにより個体差が生じる。こような、個体差が存在しても、信頼がおける空間照度の絶対値や紫外線の有効照射量を測定できるようにするためにも、校正の必要がある。
【００５１】
本実施形態の紫外線照度測定装置１７では校正が可能であるが、その校正は以下のような方法で行われる。紫外線照射装置１の構成と同様の複数本の校正用の紫外線ランプ、望ましくは４本以上の紫外線ランプを設置した校正用紫外線照射槽を準備する。この校正用紫外線照射槽に、紫外線照射装置１への紫外線照度測定装置１７の設置方法と同様に、保護管１９に受光部２７や可視光伝達部３３などを挿入した紫外線照度測定装置１７の容器２９を、受光部２７が複数本の紫外線ランプに囲まれ、同心円上に並ぶ複数本の紫外線ランプの中心軸Ａに位置した状態になるように設置する。そして、紫外線ランプの電力を４段階、例えば７２Ｗ、５７Ｗ、５０Ｗ、４２Ｗといったように変化させ、各電力に対応する紫外線照度測定装置１７の光電変換アンプ３７での電圧値を測定する。
【００５２】
続いて、紫外線照度測定装置１７の取り付け部材２３を取り外して保護管１９から受光部２７や可視光伝達部３３などを取り出し、受光部２７や可視光伝達部３３、光ファイバーコード４１などを閉塞部材３５から取り外し、容器２９内に紫外線の照射により壊変する光感受性化合物、例えばウリジン又はロ−ズベンガルなどを予め設定した量張り込んだものを、再び保護管１９に挿入して設置する。このとき、閉塞部材支持ロッド５７を介して取り付け部材２３に連結された容器２９は、受光部２７や光ファイバーコード４１のあるなしに関わらず、保護管１９内の同じ位置つまり校正用紫外線照射槽内の同じ位置に来る。なお、ウリジン又はロ−ズベンガルなどの光感受性化合物を容器２９内に張り込む量は、入射角７１度以下の紫外線が全量入射できる量として設定されたものである。
【００５３】
この状態で、紫外線照度測定装置１７の受光部２７と光ファイバーコード４１を閉塞部材３５に取り付けていたときと同様に、校正用紫外線照射槽に設置した紫外線ランプを、４段階の電力、例えば７２Ｗ、５７Ｗ、５０Ｗ、４２Ｗと変化させて点灯し、各電力における照射時間を変化させて光感受性化合物の壊変量を測定する。そして、光感受性化合物がウリジンであるとすると、照射時間をｔ、照射時間ｔ＝０秒におけるウリジン濃度をＣ０、照射時間ｔ秒後のウリジン濃度をＣｔとしたとき、照射時間ｔを横軸に、ｌｏｇ（Ｃｔ／Ｃ０）を縦軸にプロットすると直線が得られるので、その勾配を求め、次式（１）により紫外線照度測定装置１７の容器２９表面での空間照度を算出する。
−ｌｏｇ（Ｃｔ／Ｃ０）＝φｕ・εｕ＊Ｉａｖ＊ｔ  ・・・（１）
なお、φｕは、ウリジンの量子収率（４.０３４＊１０−８ｍｏｌウリジン／Ｊ）、εｕは、ウリジンのモル吸光係数（８４１ｍ２／ｍｏｌウリジン）、Ｉａｖは、容器２９に占めるウリジン溶液内の空間照度の平均値である。
【００５４】
容器２９ヘの表面照度をＩ０、吸収されずに容器２９を透過する照度をＩとすると、Ｉａｖは、Ｉ０とＩの対数平均照度として次式（２）より求めることができる。
Ｉａｖ＝（Ｉ０−Ｉ）／２.３０３ｌｏｇ（Ｉ０／Ｉ）  ・・・（２）
【００５５】
さらに、Ｂｅｅｒ−Ｌａｍｂｅｒｔの法則より、Ｉ／Ｉ０＝１０−αｄ、Ｉ０−Ｉ＝Ｉ０（１−１０−αｄ）を式（２）に代入して、次式（３）が得られ、容器２９ヘの表面照度Ｉ０を求めることができる。
Ｉ０／Ｉａｖ＝２.３０２αｄ／（１−１０−αｄ）  ・・・（３）
【００５６】
本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、このような校正方法によって、図３のような容器２９の表面照度と光電変換アンプ３７で検出した電圧のような検出部で検出した数値との関係が得られるため、光電変換アンプ３７のような検出部によって検出した数値から得られる空間照度の値を校正できる。
【００５７】
ところで、本実施形態の紫外線照射装置１において、各紫外線ランプ５から放射された紫外線は、紫外線照度測定装置１７の受光部２７や容器２９が挿入された保護管１９に入射する。このとき、紫外線の一部は、保護管１９で反射され、残りの紫外線が受光部２７に入射し吸収される。このような紫外線の反射は、ランプ保護管７などにおいても起こるため、紫外線照度測定装置１７の受光部２７に吸収される紫外線の有効照射量は、紫外線ランプ５から放射される紫外線の出力に次式（４）で表される係数Ψを乗じた値となる。
Ψ＝（１−ランプ保護管７の反射率）＊（１−保護管１９の反射率）＊（１−容器２９での反射損失）＊（１−受光部２７の受光面の反射率）  ・・・（４）
【００５８】
さらに、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、上記のように校正された空間照度の値と紫外線の有効照射量の値とが１対１に相関するため、その相関関係を求め、上式（４）で求めた係数Ψを考慮することで、紫外線の有効照射量の値を得ることができる。
【００５９】
このような本発明を適用してなる紫外線照度測定装置と、従来の紫外線照度測定装置とを用いて、各紫外線照度測定装置での測定値と、紫外線の有効照射量との関係を測定した結果の一例について説明する。ここでは、紫外線ランプの出力をパラメータとし、被処理液にインスタントコーヒーを溶かして透過率を変化させたときの各紫外線照度測定装置での測定値と、これら各紫外線照度測定装置での測定値に対する紫外線の有効照射量の測定値との関係を調べた。このとき、紫外線の有効照射量の測定値は、枯草菌芽胞体を用いる生物学的紫外線量測定法により測定した。
【００６０】
なお、ここでは、本実施形態の紫外線照度測定装置１７と基本的に同じ構成の紫外線照度測定装置を用いているが、球面状の受光面を有する受光部２７に代えて、円柱の周面を受光面とした円柱状の受光部を用いている。円柱状の受光部とする場合、その円柱の直径は、約１ｍｍから数ミリ程度としている。
【００６１】
本発明を適用してなる紫外線照度測定装置では、図４に示すように、本発明を適用してなる紫外線照度測定装置での測定値に対して対応する紫外線の有効照射量の測定値をプロットしたものであるが、紫外線照度測定装置での測定値と紫外線の有効照射量の測定値とは１本の直線で表すことができ、１対１で相関していることがわかる。したがって、紫外線照度測定装置での測定値と紫外線の有効照射量の測定値との関係をオンサイトまたはオフサイトで実験的に求めておけば、従来のように紫外線透過率計を設なくても、紫外線照度測定装置での測定値から有効照射量を得ることができる。
【００６２】
一方、従来の紫外線照度測定装置、例えば図５に示すように、紫外線照射装置６７を構成する処理槽３の胴部３ａの側壁に監視窓３ｇを介して取り付けた紫外線照度測定装置６９の場合、図６に示すように、紫外線照度測定装置での測定値と紫外線の有効照射量の測定値とは１本の直線で表すことができず、相関していないことがわかる。したがって、紫外線照度測定装置６９のような従来の紫外線照度測定装置では、その測定値からだけでは有効照射量を得ることができない。なお、紫外線照度測定装置６９は、フォトダイオード７１を備えた構成となっている。
【００６３】
また、従来の紫外線照度測定装置、例えば図７に示すように、紫外線照射装置７３を構成する処理槽３の天板３ｃの中心部に監視窓３ｈを介して取り付けた紫外線照度測定装置７５の場合でも、言い換えれば、複数の紫外線ランプ５を設置した同心円の中心軸Ａに対応する位置に受光部となるフォトダイオード７１を設置した紫外線照度測定装置７５の場合でも、図８に示すように、紫外線照度測定装置での測定値と紫外線の有効照射量の測定値とは１本の直線で表すことができず、相関していないことがわかる。したがって、紫外線照度測定装置７５のような従来の紫外線照度測定装置でも、その測定値からだけでは有効照射量を得ることができない。
【００６４】
このように、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、可視光伝達部３３の一方の端部で支持され、可視光伝達部３３の他方の端部側に紫外線を受光する受光面を有する受光部２７を備えている。そして、この受光部２７の受光面は、球面状になっている。このため、紫外線照度測定装置１７で計測した値と有効照射量とが相関し、紫外線照度測定装置１７で計測した値に基づいて有効照射量を測定できる。したがって、紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できる。
【００６５】
さらに、紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できることにより、装置校正や制御や演算などの複雑化を抑制でき、また、紫外線ランプの出力、被処理流体の透過率、紫外線ランプがランプ保護管などに挿入されている場合は、ランプ保護管などの汚れによる紫外線の出力の低下などの変化などが起こっても、紫外線照度測定装置単独で有効照射量を測定できる。
【００６６】
加えて、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、受光部２７の受光面は、平行で同心円上に配置された直管状の複数の紫外線ランプ５に対して、複数の紫外線ランプ５が配置された同心円の中心軸Ａに対応する位置に配設されている。このため、本実施形態の、紫外線照射室３ｂに複数の直管状の紫外線ランプ５を設置した紫外線照射装置１のような紫外線照射装置において、より確実に紫外線照度測定装置のみで有効照射量を測定できるようになる。
【００６７】
さらに、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、受光部２７を内包し、閉塞部材３５で開口した側の端部が閉塞された容器２９を備えている。さらに、受光部２７や光ファイバー３１は、閉塞部材３５に着脱可能に取り付けられている。このため、上記のような、容器２９内に光感受性化合物６３を予め設定した量入れ、紫外線を照射したときのこの光感受性化合物の壊変量を測定することにより空間照度の校正を行うことが可能となり、空間照度の絶対値を測定できる。したがって、空間照度の絶対値を測定できるようになり、空間照度の測定精度が向上するとともに、有効照射量の測定精度も向上する。
【００６８】
加えて、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、受光部２７を内包する容器２９が、紫外線ランプ５を挿入したランプ保護管７に対応する形状の保護管１９に挿入されている。このため、紫外線ランプ５のランプ保護管７の外表面に付着した汚れを除去するワイパーを有するワイパー機構を利用して、保護管１９の外表面に付着した汚れを除去できる。したがって、保護管１９が容器２９の外表面への汚れ付着を防ぎ、また、保護管１９の外表面に付着した汚れをワイパー機構により除去できる。これにより、空間照度の絶対値の測定精度の低下を抑制でき、有効照射量の測定精度の低下も抑制できる。ただし、紫外線を照射する処理対象が汚れの付着などが起こる物でない場合などは、保護管１９を設けていない構成にすることもできる。
【００６９】
ところで、本発明を適用してなる空間照度測定装置では、本実施形態の紫外線照度測定装置１７のように受光部２７を容器２９内に内包したような構成となる。しかし、この受光部２７を内包する容器２９内が空気の場合、紫外線は密な媒質、例えば石英などで形成された容器２９の壁から粗な媒質である容器２９内の空気に進むことになる。このため、容器２９の壁の面に対する入射角が４９度以上では全反射が起こり、入射角４９度以上の紫外線は、容器２９内に入射しないことになる。このため、受光部２７で受光する紫外線は、実際の紫外線の照射量よりも少なくなり、測定した紫外線の空間照度も実際よりも小さくなる。
【００７０】
このように測定した空間照度が真の空間照度より小さくなるのを防ぐため、受光部２７を内包する容器２９のような容器内に、屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水や石英の粉などを充填する。これにより、紫外線の全反射が抑制され、ほとんどの紫外線が容器内に進入できるようになるため、空間照度の絶対値の測定精度を向上でき、有効照射量の測定精度も向上する。
【００７１】
同様に、本実施形態の紫外線照度測定装置１７のように受光部２７や可視光伝達部３３などが保護管１９内に挿入されているとき、保護管１９内が空気の場合、紫外線は密な媒質である石英などで形成された保護管１９の壁から粗な媒質である保護管１９内の空気に進む。このため、紫外線の保護管１９の壁の面に対する入射角が４９度以上では全反射が起こり、入射角４９度以上の紫外線は、保護管１９内に入射しないため、容器２９内へも入射しないことになる。これを防ぐためには、保護管内にも屈折率が空気より大きく、かつ、紫外線感受性のない媒質、例えば純水とか石英の粉を充填する。これにより、空間照度の絶対値の測定精度を向上でき、有効照射量の測定精度も向上する。
【００７２】
また、本実施形態では、一方の端部が半球状の受光部２７を用いているが、受光部としては、受光面が球面状であるか、または、少なくとも円柱の周面からなるものであれば、球状や円柱状の受光部など様々な形状のものを用いることができる。さらに、受光部２７を内包する容器２９を閉塞するための閉塞部材の形状や、受光部または可視光伝達部や光ファイバーなどを閉塞部材に取り付けるための構造なども、本実施形態の閉塞部材３５のような形状や構造に限らず、容器の開口を閉塞できれば様々な形状や構造にできる。また、空間照度の絶対値を測定する必要がない場合には、容器２９を備えていない構成にすることもできる。
【００７３】
また、本実施形態の紫外線照度測定装置１７では、受光部２７は、波長変換素子で形成されている。しかし、受光部は、受光面が球面状または少なくとも円柱の周面からなるものであれば、波長変換素子に限らず、例えばマイクロフォトダイオードなどの他の部材などを用いて形成することもできる。例えば、マイクロフォトダイオードを用いる場合、図９に示すように、受光部７９は、複数のマイクロフォトダイオード８１を、受光面が球面状になるようにミラーボール様に配設する。マイクロフォトダイオード８１としては、正電極８３、負電極８５、Ｐ層８７、Ｎ層８９、空乏層９１、絶縁膜９３などで構成された公知のフォトダイオードを用いることができる。
【００７４】
なお、紫外線照度測定装置の受光部をフォトダイオードで形成する場合は、受光した紫外線量に比例した光電流がアンプに入力され、増幅されて、紫外線ランプの照度や有効照射量または紫外線ランプの照度や有効照射量に対応する電流値などを表示するための図示していない表示器などに電気信号を出力する。
【００７５】
また、本実施形態の紫外線照射装置１では、紫外線照度測定装置１７の受光部２７などを、天板３ｃの中心部分から、同心円形状に並ぶ複数の紫外線ランプ５の同心円の中心軸Ａに沿って挿入した状態とすることで、受光部２７の受光面が複数の紫外線ランプ５の同心円の中心軸Ａ上に位置するように設置している。しかし、紫外線照度測定装置１７の受光部２７は、受光面が複数の紫外線ランプ５の同心円の中心軸Ａ上に位置していれば、例えば処理層３の胴部３ａの側壁を貫通させて挿入した状態などで設置することもできる。さらに、天板３ｃの中心部分から、同心円形状に並ぶ複数の紫外線ランプ５の同心円の中心軸Ａに沿って挿入した状態とする場合などにおいて、天板３ｃの内面と受光部２７との間隔などは、用いる紫外線ランプの仕様や形状などに応じて適宜選択できる。
【００７６】
このように、本発明を適用してなる紫外線照度測定装置は、受光部の受光面が球面状であるか、または、少なくとも円柱の周面からなるものであれば、様々な構成にできる。さらに、本発明を適用してなる紫外線照射装置における紫外線照度測定装置の設置位置は、紫外線照射室の中心軸に限らず、同心円上に並んだ複数の直管状の紫外線ランプの中心軸上であれば、紫外線照射室内に設定した任意の軸上の任意の位置に設置できる。加えて、複数の紫外線ランプは、任意に設定した軸を中心軸とする同心円上に位置していれば、同心円形状に並んでいる必要はなく、三角形状、四角形状、その他の多角形状に並んだ状態にできる。また、複数の紫外線ランプが設置される同心円は１重や、２重以上の多重であることもできる。つまり、紫外線照射室に設定した軸上に紫外線照度測定装置の受光部の受光面が位置し、複数の紫外線ランプが、１段または複数段で、この軸から等距離に配置された構成であればよい。
【００７７】
また、本実施形態では、被処理水中の微生物の殺滅や有機物の酸化処理を行う縦型の紫外線照射装置１を一例として説明した。しかし、本発明はこれに限らず、気体中や物品に付着している微生物の殺滅処理、紫外線を光源とする光触媒処理など、様々な用途、様々な構成の紫外線ランプを備えた紫外線照射装置、また、横型の紫外線照射装置といったように様々な構成の紫外線照射装置における紫外線の有効照射量の測定を行う場合に適用できる。例えば、紫外線照射室内に流体を通流させた状態や滞留させた状態で紫外線の照射を行うものや、紫外線照射室内に流体を通流させるものの場合は、紫外線ランプの延在方向が紫外線照射室内の流体の通流方向に交わる状態のものなどにも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明を適用してなる紫外線照射装置及び紫外線照度測定装置の一実施形態の概略構成を示す断面図である。
【図２】本発明を適用してなる紫外線照射装置の一実施形態の概略構成を、カバーを外した状態で示す上面図である。
【図３】本発明を適用してなる紫外線照度測定装置の一実施形態の概略構成を示す断面図である。
【図４】本発明を適用してなる紫外線照度測定装置で測定した測定値と有効照射量との関係を示す図である。
【図５】従来の紫外線照射装置及び紫外線照度測定装置の概略構成を示す断面図である。
【図６】図５に示す従来の紫外線照度測定装置で測定した測定値と有効照射量との関係を示す図である。
【図７】従来の別の紫外線照射装置及び紫外線照度測定装置の概略構成を示す断面図である。
【図８】図７に示す従来の紫外線照度測定装置で測定した測定値と有効照射量との関係を示す図である。
【図９】本発明を適用してなる紫外線照度測定装置の受光部の変形例の概略構成を示す図であり、（ａ）は複数のマイクロフォトダイオードの配置を、（ｂ）はマイクロフォトダイオードの概略構造を示す図である。
【符号の説明】
【００７９】
１  紫外線照射装置
３  処理槽
５  紫外線ランプ
７  ランプ保護管
１７  紫外線照度測定装置  
１９  保護管
２７  受光部
２９  容器
【図１】
2007155546.tif 000003
【図２】
2007155546.tif 000004
【図３】
2007155546.tif 000005
【図４】
2007155546.tif 000006
【図５】
2007155546.tif 000007
【図６】
2007155546.tif 000008
【図７】
2007155546.tif 000009
【図８】
2007155546.tif 000010
【図９】
2007155546.tif 000011