(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドに供給する液状体の安定供給を図り、液滴からなるパターンの生産性を向上させた液滴吐出装置を提供する。【解決手段】水頭差圧を利用して液状体Ｆを供給する液状体タンクと、同液状体タンクから供給される液状体Ｆの供給圧力を制御する自己封止弁３３の双方を、吐出ヘッドとともにスカラロボットに搭載し、これらを走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に沿って走査させるようにした。そして、自己封止弁３３の弁体４１の軸部４１ｂを、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間の連通孔３７ａに挿通し、弁体４１を上下方向にのみ移動可能にするとともに、弁体４１を変位させる加速度の方向が、ヘッドユニットの加速度の方向と垂直になるように自己封止弁３３を配置した。【選択図】図６
2007160926.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物に液滴を吐出する液滴吐出ユニットと、
前記液滴吐出ユニットを搭載し、前記液滴吐出ユニットを前記対象物の上方で２次元方向に移動させる多関節ロボットと、を備えた液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ユニットは、
前記液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッド内の液状体よりも上方に液状体を収容する液状体タンクと、
前記液滴吐出ヘッドと前記液状体タンクとの間に配設されて、前記液滴吐出ヘッドに供給する液状体の圧力を所定の圧力に制御する自己封止弁と、を備え、
前記自己封止弁は、
前記液滴吐出ヘッド側の液状体の圧力と前記液状体タンク側の液状体の圧力との間の差圧に応じて閉弁位置と開弁位置との間を移動する弁体を有し、
前記閉弁位置の前記弁体を前記開弁位置に移動させる加速度の方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる位置に前記弁体を配設したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記閉弁位置から前記開弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項２に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記閉弁位置から前記開弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と略垂直であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記弁体の重心の移動する方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる方向であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項４に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記弁体の重心の移動する方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と略垂直であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項１に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記液状体タンクと前記液滴吐出ヘッドとを連結する連結空間に設けられて、前記液状体タンクと前記連結空間との間を遮断する第１閉弁位置と、前記液滴吐出ヘッドと前記連結空間との間を遮断する第２閉弁位置と、前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置との間であって前記液状体タンクと前記吐出ヘッドとの間を連通させる開弁位置と、の間を移動する弁体を有し、
前記弁体は、
前記液滴吐出ヘッド側の液状体の圧力と前記液状体タンク側の液状体の圧力との間の差圧に応じて前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置のいずれか一方と前記開弁位置との間を移動し、かつ、前記液滴吐出ユニットの加速又は減速に応じて前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置のいずれか一方から他方に移動することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項６に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記第１閉弁位置から前記第２閉弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度方向と異なる方向であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記第１閉弁位置から前記第２閉弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度方向と略垂直であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の液滴吐出装置であって、
前記自己封止弁は、
前記弁体を前記閉弁位置に付勢する付勢手段を有し、
前記付勢手段の付勢する方向が前記液滴吐出ユニットの加速度方向と略垂直であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか１つに記載の液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ユニットは、前記対象物に着弾した前記液滴にレーザ光を照射するレーザ照射手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置等の表示装置には、画像を表示するための基板が備えられている。この種の基板には、品質管理や製造管理を目的として、その製造元や製品番号等の製造情報をコード化した識別コード（例えば、２次元コード）が形成されている。識別コードは、配列された多数のパターン形成領域（データセル）の一部に、パターンとしてのコードパターン（例えば、有色の薄膜や凹部等のドット）を備え、そのコードパターンの有無によって製造情報を再現可能にしている。
【０００３】
識別コードの形成方法には、金属箔にレーザ光を照射してコードパターンをスパッタ成膜するレーザスパッタ法や、研磨材を含んだ水を基板等に噴射してコードパターンを刻印するウォータージェット法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００４】
上記レーザスパッタ法は、所望するサイズのコードパターンを得るために、金属箔と基板の間隙を、数μｍ〜数十μｍに調整しなければならない。つまり、基板と金属箔の表面に対して非常に高い平坦性が要求され、しかも、これらの間隙をμｍオーダの精度で調整しなければならない。その結果、識別コードを形成できる対象基板が制限されて、その汎用性を損なう問題を招いていた。また、ウォータージェット法は、基板の刻印時に、水や塵埃、研磨剤等を飛散させるため、同基板を汚染させる問題があった。
【０００５】
そこで、こうした生産上の問題を解消する識別コードの形成方法として、インクジェット法が注目されている。インクジェット法は、金属微粒子を含む液滴を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出し、その液滴を乾燥させることによってコードパターンを形成する。そのため、識別コードを形成する基板の対象範囲を拡大することができ、同基板の汚染等を回避して識別コードを形成することができる。
【０００６】
上記インクジェット法で利用する液滴吐出装置には、インクを貯留するインクタンクと液滴吐出ヘッドとの間に、インクの差圧によって開閉する弁機構が設けられている。弁機構は、液滴吐出ヘッドのインクの消費によって発生する負圧に応じて開弁し、液滴吐出ヘッドに安定した圧力でインクを供給する（例えば、特許文献３〜特許文献７）。これによって、液滴吐出装置は、インクの漏洩を回避させるとともに、液滴のサイズや着弾位置を安定させて、高い位置精度の下でコードパターンを形成させることができる。
【特許文献１】特開平１１−７７３４０号公報
【特許文献２】特開２００３−１２７５３７号公報
【特許文献３】特開平８−１７４８６０号公報
【特許文献４】特開平９−２９０５１４号公報
【特許文献５】特開２００１−２２５４７９号公報
【特許文献６】特開２００２−３６５８３号公報
【特許文献７】再公表特許公報ＷＯ２０００／０３８７７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、上記表示装置の製造工程では、その生産性を向上させるために、１枚のマザー基板に複数の識別コードを形成する。そして、各識別コードに対応する基板の領域をそれぞれ切出し、１枚のマザー基板から複数の基板を製造させる。そのため、上記インクジ
ェット法では、マザー基板上に点在する識別コード上でのみ液滴吐出ヘッドに液滴吐出動作を実行させる。この結果、上記インクジェット法では、識別コードの形成に要する工程時間の大半を、識別コード間で移動する液滴吐出ヘッドの移動時間に費やしていた。
【０００８】
そこで、上記インクジェット法では、識別コードの生産性を向上させるために、液滴吐出ヘッドを多関節ロボットに搭載して、液滴吐出ヘッドを２次元方向に高速移動させることが望まれていた。
【０００９】
特許文献７は、コイルスプリングと、コイルスプリングにより弁座に常時弾接される可動膜とを有し、液滴吐出ヘッドの移動に起因するインクの揺動をコイルスプリングにより受け止めて液滴吐出ヘッドの圧力状態を安定させる。これにより、特許文献７では、液滴吐出ヘッドの加速度とインクの質量との相互作用で発現する力をコイルばねによって受け止められる。
【００１０】
しかしながら、特許文献７では、液滴吐出ヘッドの加速度と弁体の質量との相互作用で発現する力に関して何ら検討がなされていない。その結果、弁体の質量が大きくなる場合、又は液滴吐出ヘッドの加速度が大きくなる場合、上記弁機構に設けられた弁体が加速度方向に力を受けて弁機構を誤動作させる虞があった。
【００１１】
また、液滴吐出ヘッドを多関節ロボット等に搭載すると、液状体タンクと液滴吐出ヘッドとの間を連結する液状体の供給チューブが多関節ロボットのアーム等に絡まって、液状体の安定供給に支障を来たす虞があった。
【００１２】
したがって、液滴吐出ヘッドを多関節ロボットに搭載した液滴吐出装置は、その液滴吐出動作の安定性を確保し難いものであった。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出ヘッドに供給する液状体の安定供給を図り、液滴からなるパターンの生産性を向上させた液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の液滴吐出装置は、対象物に液滴を吐出する液滴吐出ユニットと、前記液滴吐出ユニットを搭載し、前記液滴吐出ユニットを前記対象物の上方で２次元方向に移動させる多関節ロボットと、を備えた液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ユニットは、前記対象物に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドと、前記液滴吐出ヘッド内の液状体よりも上方に液状体を収容する液状体タンクと、前記液滴吐出ヘッドと前記液状体タンクとの間に配設されて、前記液滴吐出ヘッドに供給する液状体の圧力を所定の圧力に制御する自己封止弁と、を備え、前記自己封止弁は、前記液滴吐出ヘッド側の液状体の圧力と前記液状体タンク側の液状体の圧力との間の差圧に応じて閉弁位置と開弁位置との間を移動する弁体を有し、前記閉弁位置の前記弁体を前記開弁位置に移動させる加速度の方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる位置に前記弁体を配設した。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドの液状体と液状体タンクの液状体との間の水頭差圧によって、液滴吐出ヘッドに液状体を供給することができ、同液状体の供給圧力を制御させることができる。そして、これら液滴吐出ヘッドと液状体タンクの双方を、２次元方向に移動させることができる。従って、液滴吐出ヘッドと液状体タンクとの間に要する液状体の供給ラインの長さを最小限に抑えることができ、供給ラインの屈曲等による液状体の供給不良を抑制させることができる。その結果、液状体の安定供給を図ることができ、吐出した液滴によって形成するパターンの生産性を向上させることができる。
【００１５】
また、液滴吐出ユニットの加速度の方向が、自己封止弁を開弁又は閉弁させる加速度の
方向と異なるため、液滴吐出ユニットの移動に起因した自己封止弁の開閉動作を抑制させることができる。従って、液状体の供給を、より安定化させることができる。
【００１６】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記閉弁位置から前記開弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる方向であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度によって弁体に付与される応力の方向を、自己封止弁の開閉方向と異なる方向にすることができる。従って、液滴吐出ユニットの移動に起因した自己封止弁の開閉動作を、より安定化させることができる。
【００１７】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記閉弁位置から前記開弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と略垂直であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度によって弁体に付与される応力の方向を、自己封止弁の開閉方向と略垂直な方向にすることができる。そのため、弁体の配置位置を液滴吐出ヘッドと液状体タンクの圧力のみによって制御させることができ、液状体の供給を、さらに安定化させることができる。
【００１８】
この液滴吐出装置において、前記弁体の重心の移動する方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と異なる方向であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度によって弁体に付与される応力の方向を、開閉する弁体の重心が移動する方向と異なる方向にすることができる。従って、液滴吐出ユニットの加速度による弁体の移動を抑制することができ、液状体の安定供給を図ることができる。
【００１９】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記弁体の重心の移動する方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度の方向と略垂直であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度によって弁体に付与される応力の方向を、開閉する弁体の重心が移動する方向と略垂直な方向にすることができる。従って液滴吐出ユニットの移動に関わらず、弁体の重心、すなわち弁体の配置位置を保持させることができる。その結果、液滴吐出ユニットの加速度に関わらず、液状体の供給を、さらに安定化させることができる。
【００２０】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記液状体タンクと前記液滴吐出ヘッドとを連結する連結空間に設けられて、前記液状体タンクと前記連結空間との間を遮断する第１閉弁位置と、前記液滴吐出ヘッドと前記連結空間との間を遮断する第２閉弁位置と、前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置との間であって前記液状体タンクと前記吐出ヘッドとの間を連通させる開弁位置と、の間を移動する弁体を有し、前記弁体は、前記液滴吐出ヘッド側の液状体の圧力と前記液状体タンク側の液状体の圧力との間の差圧に応じて前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置のいずれか一方と前記開弁位置との間を移動し、かつ、前記液滴吐出ユニットの加速又は減速による応力に応じて前記第１閉弁位置と前記第２閉弁位置のいずれか一方から他方に移動する構成であってもよい。
【００２１】
この液滴吐出装置によれば、弁体は、液滴吐出ユニットの加速又は減速によって付与される応力により第１閉弁位置と前記第２閉弁位置のいずれか一方から他方に移動する。従って、液滴吐出ユニットの加速又は減速に関わらず、自己封止弁の閉弁状態を維持させることができる。
【００２２】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記第１閉弁位置から前記第２閉弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度方向と異なる方向であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度方向が、自己封止弁を開弁又は閉弁させる加速度方向と異なるため、液滴吐出ユニットの加速度に起因した自己封止弁の
開閉動作を抑制させることができ、自己封止弁の制御性を向上させることができる。従って、液状体の供給を、より安定化させることができる。
【００２３】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記第１閉弁位置から前記第２閉弁位置に向かう方向が、前記液滴吐出ユニットの加速度方向と略垂直であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速度によって弁体に付与される応力の方向を、自己封止弁の開閉方向と略垂直にすることができる。従って、液滴吐出ユニットの加速度に起因した自己封止弁の開閉動作を、より確実に抑制させることができる。従って、液状体の供給を、さらに安定化させることができる。
【００２４】
この液滴吐出装置において、前記自己封止弁は、前記弁体を前記閉弁位置に付勢する付勢手段を有して、前記付勢手段の付勢する方向が前記液滴吐出ユニットの加速度方向と略垂直であってもよい。
【００２５】
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ユニットの加速又は減速によって弁体に付与される応力を、付勢手段の付勢する方向と略垂直にさせることができる。従って、液滴吐出ユニットの加速又は減速に関わらず、付勢手段の付勢力に基づいて、自己封止弁の開閉動作規定させることができる。
【００２６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ユニットは、前記対称物に着弾した前記液滴にレーザ光を照射するレーザ照射手段を備えてもよい。
この液滴吐出装置によれば、レーザ照射手段を備えた液滴吐出ユニットに、液状体を安定供給させることができる。その結果、レーザ光を照射して形成するパターンの生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
（第１実施形態）
以下、本発明を具体化した第１実施形態を図１〜図８に従って説明する。まず、本発明の液滴吐出装置を利用して形成した識別コードを有する液晶表示装置１について説明する。
【００２８】
図１において、基板２の一側面（被吐出面としての表面２ａ）には、その略中央位置に液晶分子を封入した四角形状の表示部３が形成され、その表示部３の外側には、走査線駆動回路４及びデータ線駆動回路５が形成されている。液晶表示装置１は、これら走査線駆動回路４が供給する走査信号と、データ線駆動回路５が供給するデータ信号に基づいて、前記表示部３内の液晶分子の配向状態を制御する。そして、液晶表示装置１は、図示しない照明装置からの平面光を液晶分子の配向状態によって変調して、表示部３の領域に所望の画像を表示する。
【００２９】
表面２ａの左側下隅には、一辺が約１ｍｍの正方形からなるコード領域Ｓが区画形成されて、そのコード領域Ｓ内には、１６行×１６列のデータセルＣが仮想分割されている。そのコード領域Ｓの選択されたデータセルＣの領域には、それぞれパターンとしてのドットＤが形成されて、これら複数のドットＤによって、液晶表示装置１の識別コード１０が構成されている。
【００３０】
本実施形態では、ドットＤの形成されたデータセルＣの中心位置を「目標吐出位置Ｐ」とし、各データセルＣの一辺の長さをセル幅Ｗという。
各ドットＤは、その外径がデータセルＣの一辺の長さ（前記セル幅Ｗ）で形成された半球状のパターンである。このドットＤは、金属微粒子（例えば、ニッケル微粒子やマンガン微粒子）を分散媒に分散させた液状体Ｆ（図４参照）を液滴ＦｂにしてデータセルＣに
吐出し、データセルＣに着弾した液滴Ｆｂを乾燥及び焼成させることによって形成されている。着弾した液滴Ｆｂの乾燥・焼成は、レーザ光Ｂ（図４参照）を照射することによって行われる。尚、本実施形態では、液滴Ｆｂを乾燥・焼成することによってドットＤを形成するが、これに限らず、例えばレーザ光Ｂの乾燥のみによって形成してもよい。
【００３１】
識別コード１０は、各データセルＣ内のドットＤの有無によって、液晶表示装置１の製品番号やロット番号等を再現可能にする。本実施形態では、上記基板２の長手方向をＸ矢印方向とし、Ｘ矢印方向と直交する方向をＹ矢印方向という。
【００３２】
次に、前記識別コード１０を形成するための液滴吐出装置２０について説明する。尚、本実施形態では、複数の前記基板２を切出し可能にした対象物としてのマザー基板２Ｍに、点在する複数の前記識別コード１０を形成する場合について説明する。
【００３３】
図２において、液滴吐出装置２０には、略直方体形状に形成された装置本体を構成する基台２１が備えられて、その基台２１の一側（Ｘ矢印方向側）には、複数のマザー基板２Ｍを収容する基板ストッカ２２が配設されている。基板ストッカ２２は、図２における上下方向（Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向）に移動して、収容する各マザー基板２Ｍをそれぞれ基台２１上に搬出し、基台２１上のマザー基板２Ｍを対応するスロットに搬入する。
【００３４】
基台２１の上面２１ａであって、その基板ストッカ２２側（反Ｘ矢印方向側）には、Ｙ矢印方向に延びる走行装置２３が配設されている。走行装置２３は、その内部に走行モータＭＳ（図８参照）を有し、走行モータＭＳの出力軸に駆動連結される搬送装置２４をＹ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に走行させる。搬送装置２４は、マザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂを吸着把持可能にした搬送アーム２４ａを有する水平多関節ロボットである。搬送装置２４は、その内部に搬送モータＭＴ（図８参照）を有し、搬送モータＭＴの出力軸に駆動連結される搬送アーム２４ａをＸＹ平面上で伸縮自在に回動して上下方向に移動する。
【００３５】
基台２１の上面２１ａであって、そのＹ矢印方向両側には、表面２Ｍａを上側にしてマザー基板２Ｍを載置する一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌが併設されている。一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌは、それぞれ載置するマザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂ側に、前記搬送アーム２４ａを抜き差しする空間（凹部２５ａ）を有している。搬送アーム２４ａは、凹部２５ａの内部で上動あるいは下動してマザー基板２Ｍを搬送及び載置する。
【００３６】
走行装置２３及び搬送装置２４は、走行モータＭＳ及び搬送モータＭＴが所定の駆動制御信号を受けるとき、前記基板ストッカ２２内の各マザー基板２Ｍを搬出してマザー基板２Ｍを載置台２５Ｒ，２５Ｌのいずれか一方に載置する。また、走行装置２３及び搬送装置２４は、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置したマザー基板２Ｍを基板ストッカ２２の所定のスロットに搬入して回収する。
【００３７】
尚、本実施形態では、図３に示すように、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置されたマザー基板２Ｍのコード領域Ｓであって、その最もＸ矢印方向側から順に、１行目コード領域Ｓ１、２行目コード領域Ｓ２、・・・、５行目コード領域Ｓ５という。
【００３８】
図２において、基台２１の上面２１ａであって、前記一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌの間には、多関節ロボット（以下単に、スカラロボットという。）２６が配設されている。スカラロボット２６には、基台２１の上面２１ａに固設されて上方（Ｚ矢印方向）に延びる主軸２７が備えられている。主軸２７の上端には、主軸２７に設置された第１モータＭ１（図８参照）の出力軸に駆動連結される第１アーム２８ａが水平方向（ＸＹ平面方向）に回動可能に連結されている。第１アーム２８ａの先端部には、第１アーム２８ａに設置された第２モータＭ２（図８参照）の出力軸に駆動連結される第２アーム２８ｂが水平方向
に回動可能に連結されている。第２アーム２８ｂの先端部には、第２アーム２８ｂに設置された第３モータＭ３（図８参照）の出力軸に駆動連結される円柱状の第３アーム２８ｃがＺ矢印方向に沿う軸心を回動中心にして回動可能に連結されている。第３アーム２８ｃの下端部には、液滴吐出ユニットとしてのヘッドユニット３０が配設されている。
【００３９】
スカラロボット２６は、これら第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３に所定の駆動制御信号を受けるとき、対応する第１、第２及び第３アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃを回動してヘッドユニット３０を上面２１ａ上の所定領域（図３に示す２点鎖線の領域：走査領域Ｅ）内で走査する。
【００４０】
詳述すると、図３の矢印で示すように、スカラロボット２６は、まず、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を１行目コード領域Ｓ１上のＹ矢印方向に沿って走査する。この際、スカラロボット２６は、各コード領域Ｓ上方で一旦減速し、各コード領域Ｓの間で再加速する。
【００４１】
スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を１行目コード領域Ｓ１上に走査すると、第３アーム２８ｃを回動してヘッドユニット３０を１８０度だけ左回りに回転する。そして、スカラロボット２６は、再び第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を２行目コード領域Ｓ２上の反Ｙ矢印方向に沿って走査する。この際、スカラロボット２６は、各コード領域Ｓ上方で一旦減速し、各コード領域Ｓの間で再加速する。以後同様に、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０を、３行目、４行目、５行目コード領域Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の順に、そのＹ矢印方向あるいは反Ｙ矢印方向に沿って走査する。
【００４２】
すなわち、本実施形態のスカラロボット２６は、ヘッドユニット３０の配置方向をヘッドユニット３０の移動する方向（走査方向Ｊ：ＸＹ平面方向）に対応させ、ヘッドユニット３０を各コード領域Ｓからなる九十九折り状の走査経路に沿って走査する。
【００４３】
図４において、ヘッドユニット３０には、箱体状に形成されたケース３１が備えられている。ケース３１の内部には、液状体タンク３２と、同液状体タンク３２の下側に連通する自己封止弁３３と、が配設されている。また、ケース３１の下側には、前記自己封止弁３３の下側に連通する液滴吐出ヘッド（以下単に、「吐出ヘッド」という。）３４が配設されている。
【００４４】
液状体タンク３２は、前記液状体Ｆを導出可能に収容し、液状体Ｆの水頭差圧を利用して、収容する液状体Ｆをその液面ＦＳよりも下方（自己封止弁３３及び吐出ヘッド３４）に向けて導出する。
【００４５】
図５において、自己封止弁３３のバルブ本体３５には、バルブ本体３５の内方に延びる導入路３６が形成されている。導入路３６は、前記液状体タンク３２に連通し、液状体タンク３２からの液状体Ｆをバルブ本体３５の内部に導入する。導入路３６の一側（液状体タンク３２と相対向する反対側：下流側）には、バルブ本体３５に内設された断面四角形状の空間（弁体収容室３７Ｓ）が形成されている。弁体収容室３７Ｓは、導入路３６からの液状体Ｆを収容する。弁体収容室３７Ｓの上側には、Ｚ矢印方向に延びる円形孔（連通孔３７ａ）が形成されて、その連通孔３７ａの上側には、連通孔３７ａに連通してバルブ本体３５の上面３５ａに開口する凹部（受圧凹部３７ｂ）が拡開形成されている。
【００４６】
バルブ本体３５の上面３５ａには、上下方向に撓曲可能な可撓性の受圧シート３８が貼り付けられている。この受圧シート３８が受圧凹部３７ｂを封止することによって、これら受圧凹部３７ｂと受圧シート３８に囲まれてその容積を可変にする空間（受圧室３９Ｓ
）が形成される。受圧室３９Ｓは、連通する弁体収容室３７Ｓからの液状体Ｆを収容する。
【００４７】
受圧シート３８の下側には、上下方向に変位可能な受圧板３８Ｔが貼着されて、その受圧板３８Ｔと受圧凹部３７ｂの底面との間には、コイルばねＳＰ１が配設されている。コイルばねＳＰ１は、受圧板３８Ｔ（受圧シート３８）を上方に付勢して、受圧板３８Ｔ（受圧シート３８）と受圧凹部３７ｂの底面との間を所定の距離（「定常距離Ｈ１」）だけ離間させる。本実施形態では、受圧室３９Ｓの圧力であって、受圧板３８Ｔと受圧凹部３７ｂの底面との間の距離が前記「定常距離Ｈ１」になる圧力を、「定常圧」という。
【００４８】
受圧室３９Ｓの下流側には、反Ｚ矢印方向に延びる導出路４０が形成されている。導出路４０は、受圧室３９Ｓと前記吐出ヘッド３４との間を連通する流路であって、受圧室３９Ｓからの液状体Ｆを吐出ヘッド３４に導出する。
【００４９】
受圧室３９Ｓ内の液状体Ｆが吐出ヘッド３４に導出されるとき、受圧室３９Ｓの圧力は前記「定常圧」よりも低くなり、受圧板３８Ｔ（受圧シート３８）が、コイルばねＳＰ１の付勢力に抗して下動する。
【００５０】
弁体収容室３７Ｓの内部には、コマ状に形成された弁体４１が配設されている。弁体４１は、円板状に形成された鍔部４１ａと、鍔部４１ａの中心位置からＺ矢印方向に延びる軸部４１ｂと、を有し、その重心Ｇが鍔部４１ａの略中心位置になるように形成されている。弁体４１は、その鍔部４１ａが弁体収容室３７Ｓの内部に配置され、かつ、その軸部４１ｂが連通孔３７ａに挿通されている。連通孔３７ａは、弁体４１の上下動のみを許容する。
【００５１】
弁体４１の下側には、弁体４１を上方に付勢する付勢手段としてのコイルばねＳＰ２が配設されている。コイルばねＳＰ２の付勢力は、受圧室３９Ｓの圧力が「定常圧」であるとき、弁体４１の鍔部４１ａを弁体収容室３７Ｓの上面に当接させて、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間の連通を遮断する。
【００５２】
本実施形態では、弁体４１の配置位置であって、弁体４１の鍔部４１ａが弁体収容室３７Ｓの上面に当接し、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間の連通を遮断する位置を、「閉弁位置」という。また、弁体４１の配置位置であって、「閉弁位置」よりも下方に位置して、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間を連通させる位置を、「開弁位置」という。
【００５３】
図６に示すように、受圧板３８Ｔは、受圧室３９Ｓの内部の液状体Ｆが吐出ヘッド３４に導出されて、受圧室３９Ｓの圧力が「定常圧」よりも低くなるとき、コイルばねＳＰ１の付勢力に抗して下動し、弁体４１（「重心Ｇ」）を「閉弁位置」から「開弁位置」に下動させる。弁体収容室３７Ｓは、弁体４１が「開弁位置」に下動するとき、連通孔３７ａを介して受圧室３９Ｓと連通し、弁体収容室３７Ｓの液状体Ｆを受圧室３９Ｓの中に導入し、受圧室３９Ｓの圧力低下を補償する。弁体４１は、受圧室３９Ｓの圧力が再び「定常圧」に戻るとき、コイルばねＳＰ１の付勢力によって再び「閉弁位置」に上動し、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間の連通を遮断する。すなわち、弁体４１は、弁体収容室３７Ｓからの液状体Ｆの導入を遮断し、受圧室３９Ｓの圧力を「定常圧」に保持する。これによって、自己封止弁３３は、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を「定常圧」に維持させる。
【００５４】
この際、本実施形態の自己封止弁３３は、その開閉方向（「閉弁位置」から「開弁位置」に向かう方向に沿う方向）が、上下方向、すなわち走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に対す
る垂直方向である。つまり、「重心Ｇ」の移動する方向が、自己封止弁３３の開閉方向である。そのため、本実施形態の自己封止弁３３は、弁体４１の加速度の方向が上下方向にならない限り、受圧室３９Ｓの圧力のみによって開閉し、液状体Ｆの供給圧を「定常圧」に維持させる。
【００５５】
自己封止弁３３（弁体４１）は、ヘッドユニット３０が走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に加速あるいは減速するとき、ヘッドユニット３０の加速度に応じてＸＹ平面方向の応力（加重）を受ける。一方、ＸＹ平面方向の応力は、自己封止弁３３が開閉するとき、弁体４１の「重心Ｇ」の移動する方向と垂直に作用する。このため、自己封止弁３３は、ヘッドユニット３０の加速あるいは減速によって開閉せず、受圧室３９Ｓの圧力によってのみ開閉する。この結果、自己封止弁３３は、ヘッドユニット３０の加速あるいは減速に関わらず、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を「定常圧」に維持させることができる。
【００５６】
図７において、吐出ヘッド３４の下側には、ノズルプレート４２が備えられて、そのノズルプレート４２の下面（ノズル形成面４２ａ）には、Ｚ矢印方向に沿う複数の円形孔（ノズルＮ）が貫通形成されている。各ノズルＮは、ヘッドユニット３０の走査方向Ｊと直交する方向（図７において紙面に垂直な方向）に沿って配列形成されて、その形成ピッチが前記セル幅Ｗと同じサイズで形成されている。
【００５７】
本実施形態では、マザー基板２Ｍの表面２Ｍａ上であって、各ノズルＮの直下（反Ｚ矢印方向）の位置を、それぞれ「着弾位置ＰＦ」という。
図７において、各ノズルＮの上側には、前記自己封止弁３３（導出路４０）に連通するキャビティ４３が形成されて、液状体タンク３２の導出する液状体Ｆをそれぞれ対応するノズルＮの内部に供給する。各キャビティ４３の上側には、上下方向に振動可能な振動板４４が貼り付けられて、キャビティ４３内の容積を拡大・縮小する。
【００５８】
振動板４４の上側には、各ノズルＮに対応する複数の圧電素子ＰＺが配設されている。各圧電素子ＰＺは、圧電素子ＰＺを駆動するための信号（圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１：図８参照）を受けるとき、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１に応じた駆動量で上下方向に収縮・伸張する。振動板４４は、圧電素子ＰＺが収縮・伸張するとき、上下方向に振動してノズルＮ内の液状体Ｆの界面（メニスカスＫ）を上下方向に振動させる。
【００５９】
各圧電素子ＰＺは、それぞれ対応する「着弾位置ＰＦ」がコード領域Ｓの「目標吐出位置Ｐ」に位置するとき、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を受ける。圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を受けた圧電素子ＰＺは、メニスカスＫを振動させて、所定容量の液滴Ｆｂを対応するノズルＮから吐出させる。ノズルＮから吐出された液滴Ｆｂは、自己封止弁３３による液状体Ｆの安定供給によって所定容量に制御され、反Ｚ矢印方向に沿って安定飛行し、対応する「着弾位置ＰＦ」（「目標吐出位置Ｐ」）に着弾する。「着弾位置ＰＦ」に着弾した液滴Ｆｂは、表面２Ｍａに沿って濡れ広がって、その外径をセル幅Ｗにする。
【００６０】
本実施形態では、液滴Ｆｂの吐出動作の開始時から、吐出した液滴Ｆｂの外径がセル幅Ｗになるまでの時間を、「照射待機時間」とする。ヘッドユニット３０は、この「照射待機時間」の間にセル幅Ｗだけ走査される。
【００６１】
図４において、前記吐出ヘッド３４の走査方向Ｊの反対側には、レーザヘッド４５が配設されている。レーザヘッド４５の内部には、各ノズルＮに対応する複数のレーザ照射手段（複数の半導体レーザＬＤ）がノズルＮの配列方向（図４において紙面に垂直な方向）に沿って配列されている。各半導体レーザＬＤは、それぞれ半導体レーザＬＤを駆動するための信号（レーザ駆動電圧ＣＯＭ２：図８参照）を受けるとき、液滴Ｆｂの吸収波長に対応した波長領域のレーザ光Ｂをその直下（反Ｚ矢印方向）に出射する。
【００６２】
半導体レーザＬＤの直下には、各半導体レーザＬＤに対応する光学系（複数の反射ミラーＭ）が前記ノズルＮの配列方向に沿って配列されている。反射ミラーＭは、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂを「着弾位置ＰＦ」側に向けて全反射し、全反射したレーザ光Ｂを対応する「着弾位置ＰＦ」の走査方向Ｊの反対側の位置（「照射位置ＰＴ」）に導く。
【００６３】
尚、図７に示すように、本実施形態における「着弾位置ＰＦ」と「照射位置ＰＴ」との間の距離は、ヘッドユニット３０が「照射待機時間」の間に移動する距離、すなわちセル幅Ｗに設定されている。
【００６４】
各半導体レーザＬＤは、それぞれ対応する「照射位置ＰＴ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するとき、レーザ駆動電圧ＣＯＭ２を受ける。レーザ駆動電圧ＣＯＭ２を受けた半導体レーザＬＤは、出射するレーザ光Ｂを反射ミラーＭに全反射させ、レーザ光Ｂを「照射位置ＰＴ」の液滴Ｆｂの領域に照射する。液滴Ｆｂの領域を照射するレーザ光Ｂは、液滴Ｆｂの溶媒あるいは分散媒等を蒸発（乾燥）して、液滴Ｆｂの金属微粒子を焼成する。これによって、「目標吐出位置Ｐ」には、データセルＣに対応して、セル幅Ｗの外径からなるドットＤが形成される。
【００６５】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置２０の電気的構成を図８に従って説明する。
図８において、制御装置５１は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備え、ＲＯＭ等に格納された各種データと各種制御プログラムに従って、走行装置２３、搬送装置２４及びスカラロボット２６を駆動し、吐出ヘッド３４及びレーザヘッド４５を駆動させる。
【００６６】
制御装置５１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入力装置５２が接続されて、識別コード１０の画像が既定形式の描画データＩａとして入力される。制御装置５１は、入力装置５２からの描画データＩａを受けて、ビットマップデータＢＭＤ、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１及びレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を生成する。
【００６７】
ビットマップデータＢＭＤは、各ビットの値（０あるいは１）に応じて、圧電素子ＰＺのオンあるいはオフを規定するものであり、二次元描画平面（マザー基板２Ｍの表面２Ｍａ）上における各データセルＣに液滴Ｆｂを吐出するか否かを規定するデータである。
【００６８】
制御装置５１には、走行装置駆動回路５３が接続されて、走行装置駆動回路５３に対応する駆動制御信号を出力する。走行装置駆動回路５３には、走行モータＭＳと走行モータ回転検出器ＭＳＥが接続されている。走行装置駆動回路５３は、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して走行モータＭＳを正転または逆転させるとともに、走行モータ回転検出器ＭＳＥからの検出信号に基づいて、搬送装置２４の移動方向及び移動量を演算する。
【００６９】
制御装置５１には、搬送装置駆動回路５４が接続されて、搬送装置駆動回路５４に対応する駆動制御信号を出力する。搬送装置駆動回路５４には、搬送モータＭＴと搬送モータ回転検出器ＭＴＥが接続されている。搬送装置駆動回路５４は、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して搬送モータＭＴを正転または逆転させるとともに、搬送モータ回転検出器ＭＴＥからの検出信号に基づいて、搬送アーム２４ａの移動方向及び移動量を演算する。
【００７０】
制御装置５１には、スカラロボット駆動回路５５が接続されて、スカラロボット駆動回路５５に対応する駆動制御信号を出力する。スカラロボット駆動回路５５には、第１モータＭ１、第２モータＭ２及び第３モータＭ３が接続されて、制御装置５１からの駆動制御信号に応答して第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を正転または逆転させる。ス
カラロボット駆動回路５５には、第１モータ回転検出器Ｍ１Ｅ、第２モータ回転検出器Ｍ２Ｅ及び第３モータ回転検出器Ｍ３Ｅが接続されて、第１、第２及び第３モータ回転検出器Ｍ１Ｅ，Ｍ２Ｅ，Ｍ３Ｅからの検出信号に基づいて、ヘッドユニット３０の移動方向及び移動量を演算する。
【００７１】
制御装置５１は、スカラロボット駆動回路５５を介して、ヘッドユニット３０を走査方向Ｊに沿って九十九折り状に走査するとともに、スカラロボット駆動回路５５からの演算結果に基づいて各種制御信号を出力する。
【００７２】
制御装置５１には、吐出ヘッド駆動回路５６が接続されている。制御装置５１は、所定のクロック信号に同期した吐出タイミング信号ＬＰを吐出ヘッド駆動回路５６に出力する。制御装置５１は、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を所定のクロック信号に同期させて吐出ヘッド駆動回路５６に出力する。制御装置５１は、ビットマップデータＢＭＤに基づいて所定の基準クロック信号に同期した吐出制御信号ＳＩを生成し、その吐出制御信号ＳＩを吐出ヘッド駆動回路５６にシリアル転送する。吐出ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの吐出制御信号ＳＩを、各圧電素子ＰＺに対応させて順次シリアル／パラレル変換する。
【００７３】
吐出ヘッド駆動回路５６は、制御装置５１からの吐出タイミング信号ＬＰを受けるとき、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩに基づいて選択される圧電素子ＰＺにそれぞれ圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給する。すなわち、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路５６を介し、各「着弾位置ＰＦ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、吐出制御信号ＳＩ（ビットマップデータＢＭＤ）に基づいて選択されたノズルＮから液滴Ｆｂを吐出し、吐出した液滴Ｆｂを「目標吐出位置Ｐ」に着弾させる。制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路５６を介し、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路５７に出力する。
【００７４】
制御装置５１には、レーザヘッド駆動回路５７が接続されて、所定の基準クロック信号に同期させたレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を出力する。レーザヘッド駆動回路５７は、吐出ヘッド駆動回路５６からの吐出制御信号ＳＩを受けるとき、所定の時間（前記「照射待機時間」）だけ待機し、吐出制御信号ＳＩに対応した各半導体レーザＬＤにそれぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給する。すなわち、制御装置５１は、レーザヘッド駆動回路５７を介し、ヘッドユニット３０を「照射待機時間」だけ走査し、「照射位置ＰＴ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで「目標吐出位置Ｐ」の液滴Ｆｂの領域に向けてレーザ光Ｂを照射する。
【００７５】
次に、液滴吐出装置２０を使って識別コード１０を形成する方法について説明する。
まず、入力装置５２を操作して描画データＩａを制御装置５１に入力する。すると、制御装置５１は、走行装置駆動回路５３及び搬送装置駆動回路５４を介して、走行装置２３及び搬送装置２４を駆動制御し、基板ストッカ２２のマザー基板２Ｍを載置台２５Ｒ（載置台２５Ｌ）に搬送して載置する。
【００７６】
また、制御装置５１は、描画データＩａに基づくビットマップデータＢＭＤを生成して格納するとともに、圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１及びレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を生成する。圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１及びレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を生成すると、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路５５を介してスカラロボット２６を駆動制御し、ヘッドユニット３０の走査を開始する。そして、制御装置５１は、スカラロボット駆動回路５５からの演算結果に基づいて、「着弾位置ＰＦ」が１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印方向側に位置するデータセルＣ（「目標吐出位置Ｐ」）に到達したか否かを判断する。
【００７７】
この間、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路５６に吐出制御信号ＳＩを出力するとともに、吐出ヘッド駆動回路５６及びレーザヘッド駆動回路５７に、それぞれ圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１及びレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を出力する。
【００７８】
やがて、各ノズルＮの走査とともに移動する「着弾位置ＰＦ」が、１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印側に位置するデータセルＣ（「目標吐出位置Ｐ」）に到達する。すると、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路５６に吐出タイミング信号ＬＰを出力し、同吐出制御信号ＳＩに基づいて選択された圧電素子ＰＺにそれぞれ圧電素子駆動電圧ＣＯＭ１を供給し、選択されたノズルＮから一斉に液滴Ｆｂを吐出する。
【００７９】
この際、各ノズルＮには、自己封止弁３３による圧力制御によって、安定した供給圧の液状体Ｆが供給され続ける。そのため、吐出される液滴Ｆｂは、容量や飛行方向を安定させて、対応する「目標吐出位置Ｐ」に着弾する。そして、「目標吐出位置Ｐ」に着弾した液滴Ｆｂは、時間の経過とともに濡れ広がり、吐出動作の開始から「照射待機時間」だけ経過すると、その外径をセル幅Ｗにする。
【００８０】
また、制御装置５１は、吐出ヘッド駆動回路５６を介して、シリアル／パラレル変換した吐出制御信号ＳＩをレーザヘッド駆動回路５７に出力する。そして、吐出動作の開始から「照射待機時間」だけ経過すると、制御装置５１は、各「照射位置ＰＴ」を「目標吐出位置Ｐ」に相対させて、吐出制御信号ＳＩに基づいて選択された半導体レーザＬＤに、それぞれレーザ駆動電圧ＣＯＭ２を供給し、選択された半導体レーザＬＤから一斉にレーザ光Ｂを出射する。
【００８１】
半導体レーザＬＤから出射されたレーザ光Ｂは、反射ミラーＭに全反射されて、「照射位置ＰＴ」（「目標吐出位置Ｐ」）の液滴Ｆｂの領域、すなわちセル幅Ｗからなる液滴Ｆｂの領域に照射される。レーザ光Ｂの照射された液滴Ｆｂは、その溶媒あるいは分散媒の蒸発と金属微粒子の焼成によって、外径がセル幅ＷからなるドットＤとして表面２Ｍａに固着する。これによって、セル幅Ｗに整合したドットＤが形成される。
【００８２】
以後、同様に、制御装置５１は、ヘッドユニット３０を走査経路に沿って走査して、各「着弾位置ＰＦ」が「目標吐出位置Ｐ」に到達する毎に、選択したノズルＮから液滴Ｆｂを吐出し、着弾した液滴Ｆｂがセル幅Ｗになるタイミングで、液滴Ｆｂの領域にレーザ光Ｂを照射する。これによって、マザー基板２Ｍの各コード領域Ｓ内に、全てのドットＤを形成する。
【００８３】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、水頭差圧を利用して液状体Ｆを供給する液状体タンク３２と、液状体タンク３２から供給される液状体Ｆの供給圧力を「定常圧」に制御する自己封止弁３３とを、吐出ヘッド３４とともに、スカラロボット２６に搭載し、これらを走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に沿って走査する。
【００８４】
従って、液状体タンク３２や自己封止弁３３を基台２１に配設する場合に比べて、液状体Ｆの供給ラインを短くさせることができ、供給ラインの屈曲等による液状体Ｆの供給不良を回避させることができる。その結果、２次元方向に加速又は減速する吐出ヘッド３４に対して、液状体Ｆを安定供給させることができ、液滴Ｆｂからなる識別コード１０の生産性を向上させることができる。
【００８５】
（２）上記実施形態によれば、弁体４１の軸部４１ｂを、弁体収容室３７Ｓと受圧室３９Ｓとの間の連通孔３７ａに挿通し、弁体４１を上下方向にのみ移動可能にした。そして、弁体４１を変位させる加速度の方向が、ヘッドユニット３０の加速度の方向（ＸＹ平面
方向）と垂直になる位置に自己封止弁３３を配置した。
【００８６】
従って、ヘッドユニット３０の加速又は減速に関わらず、受圧室３９Ｓの圧力のみによって、弁体４１の配置位置を制御させることができる。その結果、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を安定させることができる。
【００８７】
（３）上記実施形態によれば、自己封止弁３３の開閉方向を走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に対して垂直になるように構成した。従って、自己封止弁３３の開閉動作を、より確実に制御させることができ、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を、より安定させることができる。
【００８８】
（４）上記実施形態によれば、弁体４１の重心Ｇの移動方向を、自己封止弁３３の開閉方向にした。従って、自己封止弁３３の開閉動作を、より安定化させることができ、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆを、より安定供給させることができる。
【００８９】
（５）上記実施形態によれば、コイルばねＳＰ２が、弁体４１を「閉弁位置」に付勢する。従って、コイルばねＳＰ２の付勢力に基づいて、自己封止弁３３の開閉動作を規定させることができ、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を、さらに安定させることができる。
【００９０】
（６）上記実施形態によれば、レーザヘッド４５をヘッドユニット３０に搭載した。従って、レーザ光Ｂで液滴Ｆｂを乾燥させる分だけ、着弾した液滴Ｆｂの形状制御性を向上させることができ、また識別コード１０の生産性を向上させることができる。
【００９１】
（第２実施形態）
以下、本発明を具体化した第２実施形態を図９に従って説明する。尚、第２実施形態は、第１実施形態の自己封止弁３３を変更したものである。そのため、以下では、自己封止弁３３の変更点について詳細に説明する。
【００９２】
図９において、バルブ本体３５には、導入路３６に連通する導入室３７Ｒと、導出路４０に連通する導出室３９Ｒと、導入室３７Ｒと導出室３９Ｒとの間を連通する連通孔３７ａと、が設けられている。導出室３９Ｒには、図９の紙面に垂直な方向に延びる回動軸Ａが設けられ、回動軸Ａを中心に回動可能な断面Ｌ字状の弁体４１が配設されている。
【００９３】
弁体４１は、Ｚ矢印方向に延びる板状の遮断部４１ｃを有し、遮断部４１ｃが導出室３９Ｒの内壁面に当接するとき、連通孔３７ａと導出室３９Ｒとの間の連通を遮断する。また、弁体４１は、遮断部４１ｃが回動軸Ａを中心に右回りに回動するとき、連通孔３７ａと導出室３９Ｒとの間を連通する。すなわち、自己封止弁３３の開閉方向は、回動軸Ａを中心とする円の周方向である。
【００９４】
尚、本実施形態では、弁体４１の配置位置であって、遮断部４１ｃが導出室３９Ｒの内壁面に当接する位置を、「閉弁位置」という。また、弁体４１の配置位置であって、「閉弁位置」の遮断部４１ｃが右回りに回動した位置を、「開弁位置」という。
【００９５】
遮断部４１ｃの下側には、走査方向Ｊに沿って延びる回動部４１ｄが形成されている。回動部４１ｄは、遮断部４１ｃよりも大きい質量を有し、その略中心位置に弁体４１の重心（「重心Ｇ」）を有している。回動部４１ｄは、前記回動軸Ａに回動可能に挿通支持されている。自己封止弁３３では、弁体４１の質量との相互作用により開弁あるいは閉弁する加速度の方向が、「閉弁位置」あるいは「開弁位置」の「重心Ｇ」を開閉方向に移動させる方向、すなわち、略上下方向である。つまり、自己封止弁３３では、弁体４１の質量
との相互作用によって開弁あるいは閉弁する加速度の方向は、走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）と垂直である。
【００９６】
回動部４１ｄと導出室３９Ｒの内側壁との間には、回動部４１ｄを「閉弁位置」側に付勢するコイルばねＳＰ３が配設されている。
回動部４１ｄは、導出室３９Ｒの液状体Ｆが吐出ヘッド３４に導出され、導出室３９Ｒの圧力が所定の圧力（「定常圧」）よりも低くなるとき、コイルばねＳＰ３の付勢力に抗して右回りに回動して「開弁位置」に移動する。導出室３９Ｒの圧力は、弁体４１が「開弁位置」に移動するとき、導入室３７Ｒの液状体Ｆによってその圧力低下が補償される。回動部４１ｄは、導出室３９Ｒの圧力が再び「定常圧」に戻るとき、コイルばねＳＰ３の付勢力によって左周りに回動し、「閉弁位置」に移動して導入室３７Ｒと導出室３９Ｒとの間の連通を遮断する。すなわち、弁体４１は、導入室３７Ｒからの液状体Ｆの導入を遮断して、導出室３９Ｒの圧力を「定常圧」に保持する。これによって、自己封止弁３３は、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を「定常圧」に維持させる。
【００９７】
自己封止弁３３（弁体４１）は、ヘッドユニット３０が走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）に加速あるいは減速するとき、ヘッドユニット３０の加速度に応じてＸＹ平面方向の応力（加重）を受ける。一方、ＸＹ平面方向の応力は、自己封止弁３３が開閉するとき、弁体４１の「重心Ｇ」の移動する方向と垂直に作用する。そのため、自己封止弁３３は、ヘッドユニット３０の加速あるいは減速によって開閉せず、導出室３９Ｒの圧力によってのみ開閉する。つまり、自己封止弁３３は、ヘッドユニット３０の加速又は減速に関わらず、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を「定常圧」に維持させることができる。
【００９８】
従って、本実施形態の構成によっても、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。
（第３実施形態）
以下、本発明を具体化した第３実施形態を図１０に従って説明する。尚、第３実施形態は、第２実施形態の自己封止弁３３を変更したものである。そのため、以下では、自己封止弁３３の変更点について詳細に説明する。
【００９９】
図１０において、導入室３７Ｒと導出室３９Ｒとの間には、導入室３７Ｒと導出室３９Ｒとを連通させ、球体状に形成された弁体４１を移動可能に収容する連結空間としての弁体収容室４１Ｒが内設されている。
【０１００】
弁体収容室４１Ｒの導入室３７Ｒ側には、弁体収容室４１Ｒと導入室３７Ｒとの間を連通させる円錐孔（連通孔３７ｈ）が形成されている。連通孔３７ｈは、図１０の実線で示すように、弁体４１が連通孔３７ｈと当接するとき、弁体収容室４１Ｒと導入室３７Ｒとの間を連通不能にする。また、連通孔３７ｈは、弁体４１が連通孔３７ｈと当接するとき、弁体４１の上下方向の移動のみを許容する。
【０１０１】
弁体収容室４１Ｒの導出室３９Ｒ側には、連通孔３７ｈと相対する円形孔（連通孔３９ｈ）が形成されている。連通孔３９ｈは、図１０の２点鎖線で示すように、弁体４１が連通孔３９ｈと当接するとき、弁体収容室４１Ｒと導出室３９Ｒとの間を連通不能にする。
【０１０２】
本実施形態では、弁体４１の配置位置であって、弁体４１が連通孔３７ｈと当接する位置（図１０の実線位置）を、「第１閉弁位置」とし、弁体４１が連通孔３９ｈと当接する位置（図１０の２点鎖線位置）を、「第２閉弁位置」という。また、弁体４１の配置位置であって、「第１閉弁位置」と「第２閉弁位置」との間の位置、すなわち導入室３７Ｒと導出室３９Ｒとを連通させる位置を、「開弁位置」という。
【０１０３】
本実施形態の自己封止弁３３は、その開閉方向が、上下方向に設定され、走査方向Ｊ（ＸＹ平面方向）と垂直である。しかも、自己封止弁３３は、「開弁位置」の上下両方向に閉弁位置を有する。
【０１０４】
弁体４１の左右両側には、弁体４１を「第１閉弁位置」側に付勢する一対のコイルばねＳＰ４が配設されている。コイルばねＳＰ４は、導出室３９Ｒの圧力が所定の圧力（「定常圧」）にあるとき、その付勢力によって弁体４１を「第１閉弁位置」に配置させる。また、コイルばねＳＰ４は、導出室３９Ｒの圧力が「定常圧」よりも小さくなるとき、弁体４１を「開弁位置」に配置させる。また、コイルばねＳＰ４は、「第１閉弁位置」に位置する弁体４１が上方の加速度を受けるときに、その加速度と弁体４１の質量との相互作用による力（加重）によって、弁体４１を「第２閉弁位置」に当接させる。
【０１０５】
従って、自己封止弁３３（弁体４１）は、第１及び第２実施形成と同様に、ヘッドユニット３０の走査による加速あるいは減速によって開閉せず、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を「定常圧」に維持させる。しかも、自己封止弁３３は、ヘッドユニット３０が不測の振動等を受けて上下方向の加速度を受ける場合であっても、弁体４１の「第１閉弁位置」と「第２閉弁位置」との間の移動によって、その閉弁状態を維持させることができる。
【０１０６】
従って、本実施形態の構成によれば、第１及び第２実施形態の効果に加えて、閉弁状態の自己封止弁３３に対し、その制御性を向上させることができる。その結果、吐出ヘッド３４に供給する液状体Ｆの圧力を、さらに安定化させることができる。
【０１０７】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記第一実施形態では、自己封止弁３３の開閉方向、及び「重心Ｇ」の移動方向を、それぞれヘッドユニット３０の走査方向Ｊ（加速度方向：ＸＹ平面方向）と垂直に構成した。これに限らず、自己封止弁３３の開閉方向及びその「重心Ｇ」の移動方向は、それぞれＸＹ平面方向に対して傾斜する方向、すなわちヘッドユニット３０の加速度方向と異なる方向であってもよい。これによれば、自己封止弁３３の配置位置の自由度を拡張させることができる。
【０１０８】
・上記第一実施形態では、自己封止弁３３の開閉方向が、弁体４１の「重心Ｇ」の移動方向と同一方向になるように構成した。これに限らず、例えば、「重心Ｇ」を中心にして回動する弁体４１を設け、同弁体４１の回動方向を自己封止弁３３の開閉方向にする構成であってもよい。すなわち、自己封止弁３３の開閉方向が「重心Ｇ」の移動方向と異なる構成であってもよい。
【０１０９】
・上記実施形態では、ヘッドユニット３０にレーザヘッド４５を搭載する構成にしたが、これに限らず、レーザヘッド４５を搭載しない構成であってもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド３４の移動速度を、より高速で制御させることができ、識別コード１０の生産性を向上させことができる。
【０１１０】
・上記実施形態では、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって、液滴Ｆｂを乾燥・焼成する構成にした。これに限らず、例えば、照射するレーザ光Ｂのエネルギーによって、液滴Ｆｂを所望の方向に流動させる構成にしてもよく、あるいは液滴Ｆｂの外縁のみにレーザ光Ｂを照射し、液滴Ｆｂをピニングさせる構成にしてもよい。すなわち、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって液滴Ｆｂからなるパターンを形成する構成であればよい。
【０１１１】
・上記実施形態では、液滴Ｆｂによって半円球状のドットＤを形成する構成にしたが、
これに限らず、例えば、楕円形状のドットや線状のパターンを形成する構成であってもよい。
【０１１２】
・上記実施形態では、吐出した液滴Ｆｂによって識別コード１０のドットＤを形成する構成にした。これに限らず、例えば、液晶表示装置１に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタ等を形成する構成であってもよい。あるいは、蛍光物質を発光させる平面状の電子放出素子を備えた電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）に設けられる各種薄膜や金属配線等を形成する構成にしてもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する構成であればよい。
【０１１３】
・上記実施形態では、対象物を液晶表示装置１の基板２に具体化した。これに限らず、例えば、対象物をシリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板等に具体化してもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成するものであればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１１４】
【図１】本実施形態における液晶表示装置を示す平面図。
【図２】同じく、液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図３】同じく、液適吐出装置を示す概略平面図。
【図４】同じく、ヘッドユニットを説明する図。
【図５】同じく、自己封止弁を説明する図。
【図６】同じく、自己封止弁を説明する図。
【図７】同じく、ヘッドユニットを説明する図。
【図８】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【図９】第２実施形態の自己封止弁を説明する図。
【図１０】第３実施形態の自己封止弁を説明する図。
【符号の説明】
【０１１５】
２…対象物としての基板、２０…液滴吐出装置、２６…多関節ロボット、３０…液滴吐出ユニットとしてのヘッドユニット、３２…液状体タンク、３３…自己封止弁、３４…液滴吐出ヘッド、４１…弁体、４５…レーザ照射手段としてのレーザヘッド、Ｂ…レーザ光、Ｆ…液状体、Ｆｂ…液滴、Ｇ…重心、ＳＰ２…付勢手段としてのコイルばね。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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