(57)【要約】【課題】摺動面がより平坦となった磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを簡便な方法で得ることのできる製造方法を提供する。【解決手段】走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜２を表面に有する磁気コア半体３と、巻線溝４ａを有する磁気コア半体４とが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッド１０において、磁気コア半体３と磁気コア半体４とは、厚さ４０〜６００ｎｍの金属薄膜（接合部６）を介して接合されている。【選択図】図１
2007141396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドにおいて、
前記磁気コア半体Ａと磁気コア半体Ｂとは、厚さ４０〜６００ｎｍの金属薄膜を介して接合されていることを特徴とする磁気ヘッド。
【請求項２】
前記金属薄膜は、磁気コア半体Ａ、磁気コア半体Ｂそれぞれの接合面に設けられた金属膜同士が相互拡散してなる金属拡散接合膜を含むことを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項３】
前記摺動面の反りが２０ｎｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド。
【請求項４】
走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドの製造方法において、
複数の磁気コア半体Ａの原板である磁気コア基板Ａの一方の主面に溝を形成し、該溝に硬質非磁性材料を充填し融着させてベースガラスとする工程と、
前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面上に金属磁性膜を形成する工程と、
前記磁気コア基板Ａの該金属磁性膜形成面とは反対面側に接合面を設け、該接合面に第１の金属膜、第２の金属膜を積層形成する工程と、
複数の磁気コア半体Ｂの原板で一方の主面に巻線溝が形成された磁気コア基板Ｂの該巻線溝形成面側に接合面を設け、該接合面に第１の金属膜、第２の金属膜を積層形成する工程と、
前記磁気コア基板Ａの接合面と磁気コア基板Ｂと接合面とを向かい合わせて前記第２の金属膜同士を当接し、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で加熱して前記第２の金属膜同士を拡散接合する工程と、
前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとが接合されたものを磁気コアブロックごとに切断して磁気コアを得る工程と
を備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記第２の金属膜は、Ａｕであることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記第２の金属膜の厚さは、１０〜２００ｎｍであることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記磁気コア基板Ａの接合面及び金属磁性膜形成面、前記磁気コア基板Ｂの接合面及び該接合面とは反対の主面それぞれの前記記録媒体幅方向に対応する平坦度は、１００ｎｍ以下であることを特徴とする請求項４に記載の磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むための磁気ヘッド及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、コンピューター用バックアップ装置など、記録媒体（磁気テープ）に記録するデータの容量と転送レートが益々高くなると、記録再生ヘッドは定められたトラックを高速に、そして正確にトレースしなければならない。また、記録再生ヘッドはトラック間を高速に移動し、特定のトラックの特定の位置に瞬時に移動する必要がある。
【０００３】
この動作を安定させる方法として、予め磁気テープにサーボ信号を書き込み、そのサーボ信号を読み込んだサーボ専用再生ヘッドの信号を基に磁気テープ上の位置を検出し、記録再生ヘッドを安定して走行させる方法がある。また、このようにサーボ信号をテープに予め書き込んだ方式は、異なる記録再生装置間での互換性に有利であり、今後の更なる高密度化に対応することができる。
【０００４】
サーボ信号を書き込む磁気ヘッドは、一般に、高透磁率である磁性材料によって形成された磁気コアに対して、コイルが巻回されることによって構成されている（例えば、特許文献１参照。）。このような磁気ヘッドは、磁気コアとコイルとの電磁誘導を利用して磁気記録媒体に対する記録を行うことから、電磁誘導型（インダクティブ型）の磁気ヘッドと称されている。
【０００５】
磁気ヘッドにおいて、磁気コアは、記録時にはコイルから磁気記録媒体へ、再生時には磁気記録媒体からコイルへといった具合に、磁束を伝達するための通路としての働きをする。また、磁気コアには、磁気記録媒体と対向する部位に、微小な間隙、すなわち磁気ギャップが形成されている。磁気ヘッドは、磁気ギャップに生じる漏れ磁界を磁気記録媒体に印加することによって、この磁気記録媒体に対して磁気信号の記録を行う。
【０００６】
ところで、近年、磁気記録の分野においては、磁気記録媒体の小型化及び大容量化のために、磁気信号の高記録密度化がより一層進められており、微細な磁気信号を正確に記録再生することが要求されている。そのため、例えば、磁気信号を記録する磁性層に用いる磁性粉としての強磁性金属粉末を塗料化してベースフィルム上に塗布したメタルテープや、強磁性金属材料をベースフィルム上に直接蒸着させた蒸着テープなどのような高抗磁力を示す磁気記録媒体が広く利用されるようになってきている。
【０００７】
そして、これらの高抗磁力を示す磁気記録媒体に記録することを可能とするために、例えば、Ｆｅ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金等のような高透磁率を示すとともに、高い飽和磁束密度を示す金属磁性材料を例えばフェライト材と組み合わせた磁気ヘッドが提案されている。
【０００８】
また、サーボ信号を書き込む磁気ヘッドには、複数の傾きが異なる空隙（以下Ｇａｐと言う）が所定の間隔を持って配置されている。Ｇａｐ材は非磁性材料からなるもので構成されている。また、非磁性材を覆うように金属膜を各種法によって付着させるとＧａｐ部の強度が高くなる事も周知の事実である。このＧａｐ部は、古くから使われている一般的な写真印刷法を使用することで作製することができる。
【０００９】
従来の磁気ヘッドの製造方法としては、前記Ｇａｐ部を有する磁気コア半体と、前記コイルを形成するための巻線溝を有する磁気コア半体とを、瞬間接着剤やエポキシ樹脂接着剤を使用して接合して磁気コアを作製していた。具体的には、複数の磁気コア半体の原板であるフェライト基板同士、あるいは、フェライト基板からヘッド寸法に切り出したブロック状態にしたもの同士、あるいはフェライト基板とブロック状態にしたものとの間で接合していた。ついで、前記Ｇａｐ部をテープと隙間無く接触させる事で記録する信号を効率良く強く書き込む事が出来ることから、その磁気テープと摺動する磁気ヘッドの面（以下摺動面と言う）は、レンズ研摩装置等を使用してできるだけ平坦な鏡面仕上げを施していた。
【００１０】
【特許文献１】特開２００２−１７０２０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、磁気コア半体同士の接合に瞬間接着剤あるいはエポキシ樹脂接着剤を使用して接着すると、それぞれの磁気コア半体の持つ反りの影響を受け、接着後でもテープ摺動面が複雑な形状に反ることが分かった。また、磁気コア半体間の塗布した接着剤の厚みを均一に制御することは困難であり、フェライト基板から切り出される複数のブロック状態のもののヘッド摺動面の凹凸のバラツキは大きかった。それらの結果、例えば完成した磁気ヘッドのテープ摺動面ではテープが走行する方向で１５０ｎｍ〜２５０ｎｍの凹形状となる反り、テープ幅方向では１５０ｎｍ〜５００ｎｍの凸形状となる反りが確認されている。
【００１２】
このように、テープ摺動面の形状（平坦性）が悪くなると、磁気テープと磁気ヘッドの間に空隙が生じてしまい、Ｇａｐ部から漏れた磁束が磁気テープを効率よく磁化することができず、記録されたサーボパターンの磁化強度が弱くなり、結果記録出力の低下が起きていた。このような記録のロスを回避するために、磁気ヘッドの突出し量を増加させて磁気ヘッドと磁気テープの面圧を上げる必要があるが、そうすると磁気ヘッドの摩耗を促進させることになる。
また、磁気テープと磁気ヘッドの摺動面の密着が不均一になるために偏摩耗が起こり易くなり、磁気ヘッドの長寿命化の妨げとなっていた。
【００１３】
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、摺動面がより平坦となった磁気ヘッド及び該磁気ヘッドを簡便な方法で得ることのできる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前記課題を解決するために提供する本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドにおいて、前記磁気コア半体Ａと磁気コア半体Ｂとは、厚さ４０〜６００ｎｍの金属薄膜を介して接合されていることを特徴とする磁気ヘッドである（請求項１）。
【００１５】
ここで、前記金属薄膜は、磁気コア半体Ａ、磁気コア半体Ｂそれぞれの接合面に設けられた金属膜同士が相互拡散してなる金属拡散接合膜を含むことが好ましい。
また、前記摺動面の反りが２０ｎｍ以下であることが好適である。
【００１６】
前記課題を解決するために提供する本発明は、走行する記録媒体にサーボ信号を書き込むためのものであり、前記記録媒体との摺動面となる金属磁性膜を表面に有する磁気コア半体Ａと、巻線溝を有する磁気コア半体Ｂとが接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝に導線が巻かれてなる励磁コイルとを備える磁気ヘッドの製造方法において、複数の磁気コア半体Ａの原板である磁気コア基板Ａの一方の主面に溝を形成し、該溝に硬質非磁性材料を充填し融着させてベースガラスとする工程と、前記磁気コア基板Ａのベースガラス形成面上に金属磁性膜を形成する工程と、前記磁気コア基板Ａの該金属磁性膜形成面とは反対面側に接合面を設け、該接合面に第１の金属膜、第２の金属膜を積層形成する工程と、複数の磁気コア半体Ｂの原板で一方の主面に巻線溝が形成された磁気コア基板Ｂの該巻線溝形成面側に接合面を設け、該接合面に第１の金属膜、第２の金属膜を積層形成する工程と、前記磁気コア基板Ａの接合面と磁気コア基板Ｂと接合面とを向かい合わせて前記第２の金属膜同士を当接し、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で加熱して前記第２の金属膜同士を拡散接合する工程と、前記磁気コア基板Ａと磁気コア基板Ｂとが接合されたものを磁気コアブロックごとに切断して磁気コアを得る工程とを備えることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法である（請求項４）。
【００１７】
ここで、前記第２の金属膜は、Ａｕであることが好ましく、前記第２の金属膜の厚さは、１０〜２００ｎｍであるとよい。
【００１８】
また、前記磁気コア基板Ａの接合面及び金属磁性膜形成面、前記磁気コア基板Ｂの接合面及び該接合面とは反対の主面それぞれの前記記録媒体幅方向に対応する平坦度は、１００ｎｍ以下であることが好適である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の磁気ヘッドによれば、摺動面の平坦性がよくなり良好なテープコンタクトを得ることができる。また、これにより、磁気ヘッドの長寿命化を図ることができる。
本発明の磁気ヘッドの製造方法によれば、簡便な方法により、磁気ヘッドの摺動面の平坦性を改善することができ、該摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得るようにすることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下に、本発明に係る磁気ヘッドの構成について説明する。
図１は、本発明に係る磁気ヘッドの構成を示す概略図である。
本発明の磁気ヘッド１０は、複数の傾きが異なるギャップ部をもち走行する記録媒体にサーボ信号を同時に書き込むために用いるバルク薄膜ヘッドの構成例であり、前記記録媒体との摺動面となり磁路を構成する金属磁性膜２を表面に有する磁気コア半体３と、巻線溝４ａを有する磁気コア半体４とが接合部６で接合されてなる磁気コアと、該磁気コアの巻線溝４ａに導線が巻かれてなる励磁コイル（図示せず）とを備える。
【００２１】
ここで、金属磁性膜２は、Ｆｅ系微結晶膜、あるいはＮｉＦｅ等これに類似した高飽和磁束密度を有する他の軟磁性合金からなる膜が数μｍの厚さで成膜されたものである。また、ギャップ部２ｇは、ベースガラス７上に形成され金属磁性膜２を分断するように記録媒体摺動面まで達する高さを有する非磁性材からなる書き込みパターン（空隙）である。記録媒体への記録に際しては、励磁コイルに電流が流されて発生する磁束をギャップ部２ｇが妨げることにより、走行する記録媒体にそのギャップパターンを記録することができる。
【００２２】
磁気コア半体３，４を構成する材料は、従来公知の磁性材料であり、単結晶フェライト、多結晶フェライトのいずれでもよい。例えばＭｎ−Ｚｎ系フェライトなどが挙げられる。
【００２３】
磁気コア半体３は、金属磁性膜２のギャップ部２ｇ直下に磁気記録媒体幅方向Ｗに延びる溝を有し、さらに該溝に硬質非磁性材料が充填され融着されてなるベースガラス７を有している。この硬質非磁性材料は、磁気コア半体３に融着してある程度の強度を確保することができる非磁性の材料であればよい。例えば、金属磁性膜の熱処理温度を考慮してガラス転移温度が５５０℃以上の高融点ガラスを用いるのが好ましい。あるいはセラミックス系の非磁性材料でもよい。
また、磁気コア半体３は、金属磁性膜２形成面とは反対面側に開口する巻線溝３ａを有している。
【００２４】
図２に、磁気コア半体３と磁気コア半体４との接合部６の詳細を示す。
磁気コア半体３と磁気コア半体４との接合部６は、後述の低温金属拡散接合法によりなる厚さ４０〜６００ｎｍの金属薄膜であり、磁気コア半体３の接合面と磁気コア半体４の接合面と間に第１の金属膜６ａ／金属拡散接合膜６ｃ／第１の金属膜６ａが密着性よく積層された３層構造となっている。また、磁気コア半体３と第１の金属膜６ａ、磁気コア半体４と第１の金属膜６ａもそれぞれ密着しており、磁気コア半体３と磁気コア半体４とは強固に接合されている。この接合部６の構造により、磁気コアとしての平坦性、寸法安定性が向上し、本発明の効果に寄与している。
【００２５】
第１の金属膜６ａは、ＣｒまたはＴｉからなる薄膜であり、その厚さは１０〜１００ｎｍであることが好ましく、例えば５０ｎｍとすればよい。
また、拡散金属膜６ｃは、もともと磁気コア半体３の第１の金属膜６ａ、磁気コア半体４の第１の金属膜６ａそれぞれの上に形成されたＡｕなどの蒸着膜（第２の金属膜６ｂ）が接合時の相互拡散により１つの層となったものであり、２０〜４００ｎｍの範囲で均一な厚さとなっている。
【００２６】
以上の構成により、本発明の磁気ヘッド１０は、記録媒体との摺動面の形状として、表面のうねりがなく、平坦性がよい。これにより、摺動面のギャップ部全面において良好なテープコンタクトを得ることができる（図３）。また、これにより、磁気ヘッドの長寿命化を図ることができる。なお、本発明によれば、磁気ヘッド１０の摺動面の反りを２０ｎｍ以下とすることができる。
【００２７】
ここで、反りとは、磁気ヘッド１０の摺動面の記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗにおいて一様に凸形状となった反り、あるいは一様に凹形状となった反りである。
【００２８】
つぎに、本発明の磁気ヘッドの製造方法について説明する。
本発明は、前述の磁気ヘッド１０を製造するための方法である。以下、図４〜図１１を参照しながら、工程別に本発明の磁気ヘッドの製造方法を説明する。
【００２９】
（Ｓ１１）複数の磁気コア半体３の原板である磁気コア基板１３の一方の主面に磁気コア半体３に対応させた溝を形成し、該溝に前記硬質非磁性材料を充填し融着させ、このときはみ出した硬質非磁性材料を研磨してベースガラス７を形成する（図４）。また同時にベースガラス７形成面が平坦になるように研磨する。
【００３０】
（Ｓ１２）ついで、磁気コア基板１３のベースガラス形成面上に金属磁性膜２を形成する（図５）。
詳しくは、まず磁気コア基板１３のベースガラス形成面上ほぼ全面に二酸化珪素等の非磁性硬質膜をスパッタリング法により形成する。ついで、該非磁性硬質膜上にレジスト材料を均一の厚さでムラ無く塗り、ギャップパターンが施されている半導体マスクを用いて光を当て露光する。そして、この磁気コア基板１３を現像液に所定の時間浸し、前記マスクに従った不必要なレジストは溶解除去し必要な形状のみレジストを残す。ついで、リアクティブイオンエッチングあるいは、イオンエッチング法を使用して残存レジストから露出した不必要な非磁性硬質膜を除去し、ついで残ったギャップ／レジストの柱についてレジストを溶剤にて洗い流すことにより、ギャップ部２ｇを得る。その後、ベースガラス形成面上にスパッタリング法、蒸着法、プラズマＣＶＤ法のいずれかにより高飽和磁束密度を有する金属磁性膜を成膜する。
【００３１】
その後、磁気コア基板１３に熱処理を施こすことにより金属磁性膜２について良好な軟磁性特性を得る。この熱処理によりガラスが収縮し磁気コア半体３のテープ摺動面においてフェライト部とベースガラス７で段差が生じるが、前記硬質非磁性材料にガラス転移温度（軟化点）が５５０℃程度の高融点ガラスを使用し、熱処理温度を４５０〜５００℃とすることで、その段差を１００ｎｍ以下に抑えることができる。
【００３２】
（Ｓ１３）ついで、磁気コア基板１３において、当該基板１３からヘッド寸法の磁気コア半体３を切り出す際の加工に伴うチッピング対策としてガイド溝１３ａを形成する。次に、磁気ヘッドとした場合に、記録媒体（テープ）がスムーズに摺動面に進入できることを目的とした斜度をもつ肩落とし溝１３ｂを形成する。
【００３３】
また、ステップＳ１２で形成した金属磁性膜は、磁気コア基板１３の表面形状に沿った形で成膜しているので、当該基板１３全体でみると、ギャップ部２ｇ直上だけが該ギャップ部２ｇの高さ分だけ金属磁性膜が突起した状態となっている。この突起は全体の面積からすると極僅かな面積が突出した状態であるので、バフ研摩あるいはレンズ研摩により表面を全体に均一に削ることができる。また、ステップＳ１２の金属磁性膜の熱処理で発生した１００ｎｍ以下の段差は、このバフ研摩あるいはレンズ研摩等の鏡面工程によって平坦な面に修正することができる。以上の処理により、金属磁性膜形成面（テープ摺動面）は１００ｎｍ以下の平坦度となり、金属磁性膜２が完成する。
【００３４】
ついで、磁気コア基板１３を反転させ金属磁性膜形成面（テープ摺動面）とは反対の主面に巻線溝３ａを形成し、その後当該主面の巻線溝３ａ以外の領域である接合面３ｂをレンズ研磨する（図６）。なお、後工程で接合用の第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂを形成することから、接合面３ｂの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度（凹凸のうねり）も記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗの一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。ここで、平坦度とは、対象となる面の周波数が表面粗さよりも大きなうねりの平均高さを示すものである。具体的には、表面形状測定装置(日本真空技術株式会社製；DEKTAK3030 ST型）を用いて測定して得られた値である。
【００３５】
（Ｓ１４）磁気コア基板１３の接合面３ｂに、第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂの２層構造の蒸着膜を形成する（図７）。ここで、第１の金属膜６ａは、磁気コア基板１３と第２の金属膜６ｂとの密着性を確保するためのものであり、例えば厚さ５０ｎｍ程度のＣｒまたはＴｉからなる薄膜である。また、第２の金属膜６ｂは、前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で拡散接合可能な金属薄膜であり、例えば厚さ１０〜２００ｎｍ、好ましくは１０〜１００ｎｍで均一な厚さとなっているＡｕなどの蒸着膜である。
【００３６】
（Ｓ１５）複数の磁気コア半体４の原板である磁気コア基板１４の接合面４ｂとは反対の主面４ｃについて、当該面の平坦度が記録媒体幅方向の一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下となるように研磨し、ついで接合面４ｂに磁気コア半体４に対応させた巻線溝４ａを形成する（図８）。その後、接合面４ｂをレンズ研磨等により平坦に仕上げる。なお、後工程で接合用の第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂを形成することから、接合面４ｂの表面粗さＲａは１０ｎｍ以下であることが望ましい。また、当該面の平坦度も記録媒体走行方向Ｌ及び記録媒体幅方向Ｗの一方の端部から他方の端部までにおいて１００ｎｍ以下であるとよい。
【００３７】
（Ｓ１６）ついで、磁気コア基板１４の接合面４ｂについて、ステップＳ１４と同様の第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂの２層構造の蒸着膜を形成する（図９）。
【００３８】
（Ｓ１７）ステップＳ１４後の磁気コア基板１３と、ステップＳ１６後の磁気コア基板１４とを用い、磁気コア基板１３の接合面３ｂと磁気コア基板１４の接合面４ｂとを向かい合わせ、磁気コア基板１３の巻線溝３ａと磁気コア基板１４の巻線溝４ａとを位置合わせした後に、それぞれの第２の金属膜６ｂ同士を接触させ、低温金属拡散接合を行う（図１０）。
【００３９】
ここで、低温金属拡散接合とは、磁気コア基板１３の接合面３ｂに設けられた第２の金属膜６ｂと磁気コア基板１４の接合面４ｂに設けられた第２の金属膜６ｂとを前記硬質非磁性材料のガラス転移点以下の温度で第２の金属膜６ｂの構成原子を相互拡散させて接合するものである。具体的には、Ａｕからなる第２の金属膜６ｂの場合、１０〜２０ＭＰａ程度の圧力で両第２の金属膜６ｂを突き合わせた状態で加熱温度１５０〜３００℃、処理時間数分〜数時間の熱処理により接合が可能である。これにより、接合部６は、厚さ４０〜６００ｎｍの密着性のよい金属薄膜（第１の金属膜６ａ／金属拡散接合膜６ｃ／第１の金属膜６ａ）となる。
【００４０】
（Ｓ１８）最後に、磁気コア基板１３と磁気コア基板１４とが接合された合体基板１６を切断箇所ａ−ａ´にて切断し、磁気コアを構成する１列ずつの磁気コアブロック１７を得る（図１１）。
その後、得られた磁気コアの巻線溝５ａに導線を巻いて励磁コイルを形成し、磁気ヘッド１０を完成する。
【００４１】
以上の本発明の製造方法により、記録媒体との摺動面の形状として、表面のうねりがなく平坦性がよくなり、摺動面のギャップ部全面においてテープコンタクトが良好な磁気ヘッド１０を簡便な方法で得ることができる。詳しくは、磁気コア半体３、４それぞれの両主面について端から端まで平坦度１００ｎｍ以下の平坦化処理を行い、低温金属拡散接合による磁気コア半体３、４の接合を行うことで、磁気コア半体がもつ反りを解消し、磁気コア半体同士の接合を安定させて行う事が可能となりテープ摺動面が反りの少ない理想的に平坦な磁気ヘッドを製造することができる。
【実施例】
【００４２】
以下、本発明の磁気ヘッドを実際に作製した例を説明する。
（実施例１）
前述した磁気ヘッドの製造方法に従い、以下の条件で１／２インチ幅の磁気テープ対応磁気ヘッド１０（磁気ヘッド１０の摺動面：記録媒体走行方向Ｌ＝約３ｍｍ、記録媒体幅方向Ｗ＝約１３ｍｍ）を作製した。
（１）磁気コア３，４；フェライト基板（寸法３０×３０×ｔ１．５ｍｍ）
（２）硬質非磁性材料；ガラス転移温度５５０℃
（３）金属磁性膜；熱処理温度４８０℃
（４）第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂ；Ｃｒ（厚さ５０ｎｍ）／Ａｕ（厚さ１００ｎｍ）
（５）ステップＳ１７の低温金属拡散接合条件；加圧：２０ＭＰａ、加熱温度：２９０℃、処理時間：１．５時間
【００４３】
以上の結果、接合部６は厚さ３００ｎｍの金属薄膜となっており、得られた磁気ヘッドの記録媒体との摺動面は、反りが記録媒体走行方向Ｌで２０ｎｍ以下、記録媒体幅方向Ｗで２０ｎｍ以下となり、平坦な面となっていた。図１２に、磁気ヘッドの記録媒体との摺動面（磁気記録媒体の走行方向Ｌ、磁気記録媒体幅方向Ｗ）の形状を測定した結果を示す。この磁気ヘッドをサーボ信号書き込み装置に用いたところ、すべてのギャップ部で高い書き込み能力をもつことができ、磁気テープに対する当該磁気ヘッドの突き出し量を変えることなく磁気テープ送り速度を従来の２倍に上げても記録出力の低下が起きないことが確認された。
【００４４】
（実施例２）
実施例１において、第２の金属膜６ｂを厚さ２００ｎｍのＡｕ蒸着膜とし、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。その結果、接合部６は厚さ５００ｎｍの金属薄膜となっており、得られた磁気ヘッドの記録媒体との摺動面は、反りが記録媒体走行方向Ｌで５０ｎｍ以下、記録媒体幅方向Ｗで４０ｎｍ以下となり、平坦な面となっていた。図１３に、磁気ヘッドの記録媒体との摺動面（磁気記録媒体の走行方向Ｌ）の形状を測定した結果を示す。この磁気ヘッドをサーボ信号書き込み装置に用いたところ、すべてのギャップ部で高い書き込み能力をもつことができた。
【００４５】
（比較例１）
実施例１において、第２の金属膜６ｂを厚さ２６０ｎｍのＡｕ蒸着膜とし、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。その結果、接合部６は厚さ６２０ｎｍの金属薄膜となっており、磁気ヘッドの記録媒体との摺動面は、反りが大きくなり、同一の合体基板から得られた各磁気ヘッド間の反りのばらつきも大きくなり、平坦性が悪くなった。この磁気ヘッドをサーボ信号書き込み装置に用いたところ、同一磁気ヘッドのギャップ部間で書き込み能力のばらつきが認められた。
【００４６】
（比較例２）
実施例１において、磁気コア基板１３，１４それぞれで第１の金属膜６ａ／第２の金属膜６ｂを形成せず、エポキシ樹脂接着剤を用いて磁気コア基板１３，１４間の接合を行い、それ以外は実施例１と同じとして磁気ヘッドを作製した。その結果、接合部の厚さは５μｍとなり、得られた磁気ヘッドの記録媒体との摺動面は、反りが記録媒体走行方向Ｌで１５０〜２５０ｎｍ、記録媒体幅方向Ｗで１５０〜３００ｎｍとなり、平坦性が悪くなった。図１４に、磁気ヘッドの記録媒体との摺動面（磁気記録媒体の走行方向Ｌ、磁気記録媒体幅方向Ｗ）の形状を測定した結果を示す。この磁気ヘッドをサーボ信号書き込み装置に用いたところ、同一磁気ヘッドのギャップ部間で書き込み能力のばらつきが認められた。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの構成を示す概略図である。
【図２】本発明の磁気ヘッドにおける磁気コア同士の接合部の拡大断面図である。
【図３】本発明の磁気ヘッドの記録媒体との摺動状態を示す図である。
【図４】本発明の磁気ヘッドの製造方法における磁気コア基板の状態を示す図（１）である。
【図５】本発明の金属磁性膜形成時の磁気コアの断面図である。
【図６】本発明の磁気ヘッドの製造方法における磁気コア基板の状態を示す図（２）である。
【図７】本発明の第１の金属膜及び第２の金属膜形成時の磁気コアの断面図（１）である。
【図８】本発明の磁気ヘッドの製造方法における磁気コア基板の状態を示す図（３）である。
【図９】本発明の第１の金属膜及び第２の金属膜形成時の磁気コアの断面図（２）である。
【図１０】本発明の磁気コア同士の接合状態を示す図である。
【図１１】本発明の合体基板の切断状態を示す図である。
【図１２】実施例１の磁気ヘッドの記録媒体との摺動面のプロファイルデータである。
【図１３】実施例２の磁気ヘッドの記録媒体との摺動面のプロファイルデータである。
【図１４】比較例２の磁気ヘッドの記録媒体との摺動面のプロファイルデータである。
【符号の説明】
【００４８】
２…金属磁性膜、２ｇ…ギャップ部、３，４…磁気コア半体、３ａ…巻線溝、３ｂ，４ｂ…接合面、４ａ…巻線溝、６…接合部、６ａ…第１の金属膜、６ｂ…第２の金属膜、６ｃ…金属拡散接合膜、７…ベースガラス、１０…磁気ヘッド、１３，１４…磁気コア基板、１６…合体基板、１７…磁気コアブロック
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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