(57)【要約】【課題】  小型熱交換器を高性能化、薄型化、軽量化、安価、対薬品性向上、量産化を図ることを目的とする。【解決手段】  熱交換作用を高率化させる為に冷媒を流通させる冷媒流路が複数形成された扁平プラスチック樹脂製の軽量で薄肉の連結した中空孔で構成されたチューブ外面は柱状膜を備えてチューブ外面の表面積を増加して放熱効果を高めて熱交換を行い、熱伝達率の大きい熱交換器を形成した。【選択図】  図1
2007132546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
細管流路がプラスチックで複数形成されて冷媒を流通させる扁平形チューブ断面の厚みを０．５ｍｍ以下として、細管流路幅をチューブ断面の厚みと相似した扁平形チューブ両端に冷媒を分配させるタンクを備えてなる熱交換器において、該扁平形チューブ長さ方向の両端はフランジを設けて、略長方形板の長手方向に長孔を複数配した対向するヘッダー部を設け、前記ヘッダー部の複数の長孔と該扁平形チューブの複数の中空孔は連通されて、前記フランジと前記ヘッダー部は熱溶着により一体化されて、対向するタンク間に配置された複数の該扁平形チューブの間隔を平衡に保つ複数の櫛歯状部材を備えたプラスチック製熱交換器。
【請求項２】
請求項１による扁平形チューブの両端に接続されるフランジは前記扁平形チューブを挿入して、フランジ内面と前記扁平形チューブ外面方向において一体化する構成、または、扁平形チューブとして形成すると共にフランジは一体成型される構造としたプラスチック製熱交換器。
【請求項３】
扁平形チューブの内壁はガスバリア層として金属膜やガスバリア性に優れた合成樹脂で単層又は複層に被覆されて、扁平形チューブの外面は柱状膜を備えて該扁平形チューブ外面の表面積としたことを特徴とするプラスチック製熱交換器。
【請求項４】
扁平形チューブ部材の樹脂素材は押出成形法、シート加圧成形法、射出成形法のいずれか又は併用により扁平形プラスックチューブを形成してなるプラスチック製熱交換器の製造方法。
【請求項５】
少なくとも請求項１および請求項２と請求項４に記載される熱交換器を備えるプラスチック製熱交換器および製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、熱交換器を備えた装置で例えば燃料電池や電子機器のような小型の発熱体の冷却に好ましく用いることができる熱交換器に関し薄型化、軽量化、安価を図るに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチック製熱交換器としては、図１１に示すように、冷媒を流通させる複数の流路を備えた伝熱プレート１０２と、これら伝熱プレート１０２に冷媒を分配させるタンク１０７と、各伝熱プレート１０２間で構成されたプラスチック製熱交換器１００が知られている。
【０００３】
例えば、コア部１０１と、コア部１０１の両端にタンク１０７を接合して成るプラスチック製熱交換器１００において、コア部１０１は、内部流体の流れる内部流路を持つ伝熱プレート１０２を複数枚、それぞれの間に隙間１０５を形成して積層した形で成形されると共に、各伝熱プレート１０２を所定間隔で保持する保持部を一体に成形した特許文献１のようなプラスチック製熱交換器１００が開示されている。
【０００４】
図１２に示すように前記プラスチック製熱交換器１００は各伝熱プレート１０２の幅方向（空気流れ方向Ａ）において、複数の突出部１０３は互いに隣接する各伝熱プレート１０２の突出部１０３と形成位置がずれており、これにより、各突出部１０３を隣接する各伝熱プレート１０２の基板部により形成される凹面部１０４に位置している。
【０００５】
その結果、各突出部１０３の凸面側の頂部と、隣接する伝熱プレートの基板部の凹面部１０４との間に隙間１０５が形成されて、この隙間１０５より、伝熱プレート１０２幅方向（空気流れ方向Ａ）の全長にわたって矢印Ａ’の如く波状に蛇行した空気通路が形成されている。
【０００６】
また、コア部１０１とタンク１０７の挿入部を、例えばエポキシ樹脂による接着材を塗布する等で接合して、蒸発器の組み立てを行なっている。
【０００７】
また、冷媒通路としている樹脂製の流路壁の板厚はｔ＝０．１〜０．４ｍｍ程度としている。
【非特許文献１】特開平２００４−１２５２７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、この種のプラスチック製熱交換器１００では、接着剤等による接合方法は経年変化等により信頼性の低下を招く。
【０００９】
そして、各伝熱プレートの突出部と凹面部を配置して、突出部と凹面部間を空気通路としているが、通風抵抗が増加する。
【００１０】
また、プラスチック製の流路壁は０．１ｍｍを超えた場合に熱伝導性が低く冷媒から流路壁を通じて空気側への熱伝達率が小さく熱抵抗が大きい。
【００１１】
本発明は、前記の課題を解消する手段と、高効率、安価、コンパクト、量産化が可能なプラスチック製熱交換器および製造方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
請求項１による記載の発明は細管流路がプラスチックで複数形成されて冷媒を流通させる扁平形チューブ断面の厚みを０．５ｍｍ以下として、細管流路幅をチューブ断面の厚みと相似した扁平形チューブ両端に冷媒を分配させるタンクを備えてなる熱交換器において、該扁平形チューブ長さ方向の両端はフランジを設けて、略長方形板の長手方向に長孔を複数配した対向するヘッダー部を設け、前記ヘッダー部の複数の長孔と該扁平形チューブの複数の中空孔は連通されて、前記フランジと前記ヘッダー部は熱溶着により一体化されて、対向するタンク間に配置された複数の該扁平形チューブの間隔を平衡に保つ複数の櫛歯状部材を備えたことを特長とする。
【００１３】
請求項２による記載の発明は、扁平形チューブの両端に接続されるフランジは前記扁平形チューブを挿入して、フランジ内面と前記扁平形チューブ外面方向において一体化、または扁平形チューブとして形成すると共にフランジは一体成型加工される構成としたことを特長とする。
【００１４】
請求項３による記載の発明は、扁平形チューブの内壁はガスバリア層として金属膜やガスバリア性に優れた合成樹脂で単層又は複層に被覆されて、扁平形チューブの外面は柱状膜を備えて該扁平形チューブ外面の表面積としたことを特長とする
【００１５】
請求項４による記載の発明は、扁平形チューブ部材の樹脂素材は押出成形法、シート加圧成形法、射出成形法のいずれか又は併用により扁平形プラスックチューブを形成したことを特長とする。
【００１６】
請求項５による記載の発明は、少なくとも請求項１および請求項２と請求項４に記載される熱交換器を備えたことを特長とする。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１に記載のプラスチック製熱交換器によれば冷媒を流通させる複数の流路とした扁平形チューブ断面の厚みを０．５ｍｍ以下として肉厚を０．１ｍｍ以下、流路幅をチューブ厚みと相似させた該扁平形チューブをプラスチック部材で構成する事により、チューブ内壁は腐食防止処理などを不要として、高い熱交換効率を発揮させることができる。
【００１８】
また、複数の流路幅をチューブ厚みと相似させた事により、扁平形チューブは高耐圧性が確保されて、軽量化、小型化にすぐれる。
【００１９】
請求項１に記載のプラスチック製熱交換器によれば、従来はヘッダーに貫通孔を設けて複数の該扁平チューブを挿入して溶着としていたが、複数の該扁平チューブを冶具などに並列させてフランジ上面とヘッダーの下面の熱溶着により、一体化が可能となり、大幅な組立時間の短縮が可能となり、該扁平形チューブとヘッダーの組立てが行なえると共に、該扁平チューブを並列させた時に生じる反りを防止する櫛歯を備えた。
【００２０】
請求項２に記載のプラスチック製熱交換器によれば扁平形チューブの薄肉で構成された複数の微細流路を維持してフランジと一体化を可能としたことにより、接着剤などを使用しないチューブユニットとすることを可能とした。
【００２１】
請求項３に記載のプラスチック製熱交換器によれば、扁平形チューブの内壁はガスバリア層で被覆されて水分や揮発性物質の拡散を抑制することにより、冷媒の蒸発による減少を防止することが出来る。
【００２２】
請求項３に記載のプラスチック製熱交換器によれば、フィンは有しておらず、該扁平形チューブ面状部外面は柱状膜で被覆することにより、放熱面積を増加させと共に、通風抵抗を減少させて放熱効率を高め一層の高性能化を図ることが出来る。
【００２３】
請求項４に記載のプラスチック製熱交換器の製造方法によれば、該扁平形チューブを０．１ｍｍ以下の肉厚と薄肉化することにより、冷媒と冷媒が流通する扁平形チューブの温度は相似るために、樹脂特性に左右されずに耐熱性、耐圧性、対薬品性など使用用途により、樹脂素材が選択可能となり、押出成形法、または、シート加圧成形法、射出成形法などにより、大量生産を可能とした。
【００２４】
請求項５による記載の発明は、少なくとも請求項１および請求項２と請求項４に記載される熱交換器によれば接着剤などを使用せずに組立てが可能とした。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明を適用した具体的な実施の形態について図面を参照しながら詳細に説明する。
【実施例１】
【００２６】
図１は第１の実施の形態のプラスチック製熱交換器１を示す斜視図、図２は図１に示す扁平形プラスチックチューブ２（以下、単にチューブ２という）の断面図、図３は図２に示すチューブ２の要部拡大断面図、図４はチューブ２とフランジ８の斜視図、図５はフランジとヘッダー１０の斜視図、図８はプラスチック製熱交換器１に櫛歯２０を挿入した斜視図、図９は櫛歯２０である。
【００２７】
本実施の形態のプラスチック製熱交換器１は、図１に示すように、複数本のチューブ２と、各チューブ２に冷媒を分配させる一対のタンク６、７を有し、所定間隔を置いて平行に対向配置した一対のタンク６、７に対して、所定のピッチ間隔で各チューブ２の両端部を接合、一体化されている。
【００２８】
このプラスチック製熱交換器１は、各チューブ２間に冷却フィンを有しておらず、冷媒と熱交換する空気側伝熱面を、チューブ２の外面で構成している。
【００２９】
つまり、本実施の形態のプラスチック製熱交換器１では、チューブ２の外表面で空気側との伝熱面を構成している。
【００３０】
図２において、チューブ２は複数本の細管断面形状を中空形状とした長尺状をなすチューブ２で□０．５ｍｍ幅の断面部は、冷媒側伝熱性能を向上させると共に管内の高い冷媒圧力に耐え得る機械的強度を持たせるために、冷媒を流通させる冷媒流路２ａ・・ｎを複数形成しており冷媒流路２ａ・・ｎは、チューブ２の長手方向である上下端に貫通する孔として形成されており、この冷媒流路２ａ・・ｎは、その幅方向に沿って所定のピッチ間隔を置いて複数形成されている。
【００３１】
また、細管断面形状は内径０．３φ以下の中空丸孔１ｂ、または、中空楕円孔１ｃ、または、０．３×０．３ｍｍ以下の中空角孔１ａで形成されて、中空孔は２ａ、２ｂ、２ｃ、・・・、２ｎ（ｎは２以上の整数）によって平面状に形成された面状部を形成して、その一端部は一方の側に設けた給側タンク６からチューブ２を流通して熱交換された後の冷媒を回収する他端部は他方の側に配設された回収側タンク７にそれぞれ連通して接続されてもよい。
【００３２】
これらチューブ２の両端末はヘッダー１０との接続を容易にする構造として超音波溶着などにより、チューブ２とフランジ８は熱溶着されて一体化されている。
【００３３】
また、フランジ８の幅はチューブ２間のピッチ寸法としている。
【００３４】
ヘッダー１０には複数の長孔１１が設けられており、チューブ２の複数の孔と合致する位置に設けられて、チューブ２の複数孔の位置とヘッダー１０の長孔の位置を連通させて、超音波溶着法などの熱溶着により、フランジ８とヘッダー１０は一体化される。
【００３５】
また、両端のヘッダー１０はタンクユニット１３、１４により閉塞されて、超音波溶着等により、一体化されてプラスチック製熱交換器１が構成される。
【００３６】
そして、タンク６には、冷媒をタンク６内に供給するための冷媒導入パイプ（図示は省略する）が取り付けられている。
【００３７】
また、他方のタンク７には、各チューブ２を流れた冷媒を回収する冷媒排出パイプ（図示は省略する）が取り付けられている。
【００３８】
そして、タンク６、７間に配列されたチューブ２間隔を平行に保つために、櫛歯状部材を複数挿入することにより、冷媒流通時のチューブ２の反りを防止することができる。
【００３９】
そして特に、本実施の形態のプラスチック製熱交換器１においては、前記冷媒と熱交換する伝熱面の材質を、プラスチックとしてチューブ２の外面で構成している。
【００４０】
このように、冷媒と熱交換する伝熱面を薄肉化したチューブ２の外面で構成しているので、通風抵抗の増大、伝熱性能の低下、ゴミ，露，霜による目詰まりといった問題を解消することができる。
【００４１】
また、本実施の形態のプラスチック製熱交換器１は、チューブ２の肉厚を０．１ｍｍ以下と薄肉化したことにより、従来の銅やアルミなどの金属と熱伝導性能において差は少なくプラスチック樹脂で構成する事が可能になる。
【００４２】
また、対向するタンク６、７間に配置する複数のチューブ２間は平行とする為に、複数の櫛歯２０を挿入することにより、冷媒導入時のチューブ２の反りを防ぐことができる。
【００４３】
上記第１の実施の形態におけるチューブ２の肉厚は特に限定されるものではないが、圧力損失を少なくする意味ではできるだけ薄い方が好ましい。
【００４４】
しかし、実際には、管内圧力、耐熱温度、製造技術上の面などから、例えば肉厚約０．１ｍｍ程度のものを好ましく用いることができる。
【実施例２】
【００４５】
図１は第１の実施の形態のプラスチック製熱交換器１を示す斜視図、図４は扁平形プラスチックューブ（以下、単にチューブ２という）とフランジ８の斜視図、図３は図２に示すチューブ２の要部拡大断面図、図５はフランジ２とヘッダー１０の斜視図、図７はチューブ内壁の薄膜形成方法の概略図である。
【００４６】
本実施の形態のプラスチック製熱交換器１は、図１に示すように、複数本のチューブ２と、各チューブ２に冷媒を分配させる一対のタンク６、７を有し、所定間隔を置いて平行に対向配置した一対のタンク６、７に対して、所定のピッチ間隔で各チューブ２の両端部を溶着、一体化されている。
【００４７】
このプラスチック製熱交換器１は、各チューブ２間に冷却フィンを有しておらず、冷媒と熱交換する空気側伝熱面を、チューブ２の外面は柱状膜４で形成されている。
【００４８】
つまり、本実施の形態のプラスチック製熱交換器１では、チューブ２の外表面に形成された柱状膜４で空気側との伝熱面を構成している。
【００４９】
銅やチタン、窒化アルミニウムを主とした材料をスパッタリング法などにより、チューブ外面を直径が数ナノメーター、高さが５ナノメーター〜１００ナノメーターの凹凸の柱状膜をチューブ外面に形成して表面面積を増加してチューブ単独よりも放熱効果を高めている。
【００５０】
また、図３において、チューブ２内壁はスパッタリング装置１５により、ガスバリア層５が形成されており、薄膜形成を行なう手段として、スパッタリング、蒸着、ＣＶＤ、イオンプレーテイングなどがあるが、高融点物質や熱分解しやすい物質の薄膜が作れるという意味で、スパッタリング法が望ましい。
【００５１】
スパッタリング装置内１５にターゲット材として例えばＳｉ、Ａｌ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｚｎ、Ｔｉ、Ｃｕ、Ｃｅ等の金属を含むものを挙げることができ、これらの合金、酸化物、窒化物でも良い。
【００５２】
スパッタリング装置１５外部にチューブユニット９と接続される配管を設けて、外部に設けた真空ポンプ（図示せず）を接続して、真空槽内の圧力を４．６×１０−２Ｐａ以下に保ち、温度を所定値に設定し、スパッタリングを行い、ターゲットとしてＳｉを用い、放電電源としてパルス印加方式のＤＣ電源を用いた。
【００５３】
真空ポンプを起動し、放電ガスとしてＡｒ：７５ｓｃｃｍ、反応ガスとしてＯ２：１７．５ｓｃｃｍ導入した。
【００５４】
真空槽内圧力が安定したところで放電電圧をＯＮにし、放電電圧２ｋＷでＳｉターゲット上にプラズマを発生させ、スパッタリングを行い、外部に接続された真空琲気ポンプ（図示せず）を駆動して、チューブユニット９内の各々のチューブ２の内壁をスパッタリングによる成膜が形成されてガスバリア層５とした。
【００５５】
また、ガスバリア層５は、必要により水分蒸発等を長期にわたり防止する場合は多層構造として、ガスバリア性に優れた合成樹脂などを併用する。
【００５６】
合成樹脂としては、エチレン−ビニルアルコール共重合体（ＥＶＯＨ）等を採用する。
【実施例３】
【００５７】
複数本の細管断面形状を中空形状とした長尺状をなすチューブ２で厚さが約０．５ｍｍの断面は、冷媒側伝熱性能を向上させると共に管内の高い冷媒圧力に耐え得る機械的強度を持たせるために、冷媒を流通させる冷媒流路２ａ・・・、２ｎをチューブ厚みと同等もしくは、近似して複数形成されている。
【００５８】
また、細管断面形状は内径０．５φ以下の中空丸孔１ｂ、または、中空楕円孔１ｃ、または、０．３×０．３ｍｍ以下の中空角孔１ａで形成されて、中空孔は２ａ、２ｂ、２ｃ、・・・、２ｎ（ｎは５以上の整数）によって平面状に形成された面状部を形成して、その一端は一方の側に設けた給側タンク６からチューブ２を流通して熱交換された後の冷媒を回収する他方の側に配設された回収側タンク７にそれぞれ連通して接続されてもよい。
【００５９】
これらチューブ２の両端末はヘッダー１０と接続を容易にする構造としてチューブ２の端末をフランジ８に挿入して超音波溶着などの熱溶着法により、一体化される。
【００６０】
この時、各々の細管の中空部内は金属製の金属針で保護されて、薄肉のチューブ２を溶着可能とすると共に、チューブ２とヘッダー１０の接続部の強度も増加させる事もできる。
【００６１】
そして複数のチューブ２は整列する為の冶具にセットしてフランジ部と直交させたヘッダー１０はチューブ２の複数孔と合致する長孔１１が設けられており、チューブ２の複数孔の位置とヘッダー部の長孔１１の位置は連通されて、超音波溶着などの熱溶着法により、フランジ８とヘッダー１０は一体化されてチューブユニット９とする。
【００６２】
これにより、ヘッダー１０に複数のチューブを貫通させて接続させる方法と比較して大幅に作業は短縮される。
【００６３】
また、チューブ２の両端に設けられたヘッダー１０はタンクユニット１３、１４により閉塞されて、超音波溶着などの熱溶着法等により一体化される。
【００６４】
また、一方のタンク６には、冷媒をタンク６内に供給するための冷媒導入パイプ（図示は省略する）が取り付けられている。
【００６５】
また、他方のタンク７には、各チューブ２を流れた冷媒を回収する冷媒排出パイプ（図示は省略する）が取り付けられている。
【００６６】
このように本実施の形態のプラスチック製熱交換器１は、チューブ２の肉厚を０．１ｍｍ以下と薄肉化することにより、銅やアルミなどの金属と比較して熱伝導性能は無視出来る程度となり、樹脂で構成する事が可能になると共に、接着剤などの他成分を含まないで一体化が可能となる。
【００６７】
これにより、軽量、小型化が困難であった携帯型機器や医療、半導体関連装置などに応用が可能になる。
【実施例４】
【００６８】
本発明に使用されるポリカーボネート樹脂とは、種々のジヒドロキシジアリール化合物とホスゲンとを反応させるホスゲン法、またはジヒドロキシジアリール化合物とジフェニルカーボネートなどの炭酸エステルとを反応させるエステル交換法によって得られる重合体であり、代表的なものとしては、２，２−ビス（４―ヒドロキシフェニル）プロパン（通称ビスフェノールＡ）から製造されたポリカーボネート樹脂で芳香族ポリカーボネート樹脂の粘度平均分子量（Ｍｖ）が、１８，０００以上を溶融して得られる樹脂組成物を押出成形される。
【００６９】
また、本発明に使用されるチューブはポリカーボネート樹脂に限定される事なく、ＰＯＭ、ＡＢＳ、ナイロン、ＰＰ、ＰＥ、ＡＢＳ、ＰＭＭＡ、ＰＥＴ等の汎用プラスチックはもちろん、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリフェニレンサルファィド系樹脂、ポリフェニレンエーテル系樹脂、ＰＥＥＫ、ポリフェニレンエーテル系樹脂−スチレン系樹脂−ポリアミド系樹脂混合樹脂、フッ素系樹脂および、ポリカーボネート系樹脂から成る群から選ばれる少なくとも１種の樹脂で溶融して得られる樹脂組成物を押出成形される。
【００７０】
また、本発明の効果を阻害しない限り、使用するプラスチック樹脂に必要に応じて透過部材顔料（フタロシアニン系顔料、ペリレン系顔料、アゾ系顔料、酸化チタン）、光吸収部材顔料（カーボンブラック）、繊維補強材（ガラス繊維、炭素繊維、チタン酸カリウム繊維、セラミック質繊維、アラミド繊維、ボロン繊維等）、粒状強化材（炭酸カルシウム、クレー、タルク、シリカ、マイカ等）、導電性向上材（カーボン、酸化亜鉛、酸化チタン等）、熱伝導性向上剤（粉末状金属酸化物等）、酸化防止剤、熱安定剤、帯電防止剤、紫外線吸収剤、滑材、離型剤、染料、顔料、他の熱可塑性樹脂（ポリアミド系、ポリカーボネート系、ポリアセタール系、ポリエステル系、ポリアリレート系、ポリフェニレンサルファイド系、ポリエーテルサルフォン系、ポリサルフォン系、ポリアリレート系、ポリエーテルイミド系、ポリイミド系、フッ素系、ポリエーテルニトリル系、液晶ポリマー系等）、熱硬化性樹脂（フェノール系、エポキシ系、ポリイミド系、シリコン系、ポリアミドイミド系等）を併用しても良く、添加混合・混錬方法は特に限定されることはなく各種混合・混錬手段が用いられる。
【００７１】
例えば、各々別々に溶融押出し機に供給して混合しても良い、またあらかじめ紛体原料のみをヘンシェルミキサー、ボールミキサー、ブレンダー、タンブラー等の混合機を利用して乾式予備混錬し、さらに溶融可能な熱可塑性樹脂であれば溶融混錬機にて溶融混錬することができる。
【００７２】
また、樹脂粘度が高く押出成形が困難な成形法としては射出成形法により、チューブ断面が凹凸部形状のチューブ形状部（２１）の射出成形を行うと共にシート部（２２）も射出成形を行い、加温部（２３）にチューブ形状部（２１）を収納して樹脂の溶融直前の温度を保持させる定温度制御を行ない、チューブ形状部（２１）の上にシート部（２２）を重ねて、チューブ部（２１）とシート部（２２）に石英ガラスで圧力が加わる構造とする。
【００７３】
さらに、シート部（２２）に石英ガラスを透過する赤外光や近赤外光などを発する光源により、シート部（２２）の面方向より石英ガラスを透過させた熱線をシート部（２２）とチューブ形状部（２１）を短時間加熱させると共に加圧することによりシート部（２２）とチューブ形状部（２１）は一体化されるが、中空部などの変形を防ぐには予めチューブ形状部（２１）に金属製のピンを挿入してシート加圧成形により製造する。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】第一の実施の形態のプラスチック製熱交換器を示す斜視図である。
【図２】図１に示すチューブのｂ−ｂ線断面図である。
【図３】図２に示すチューブの拡大断面図である。
【図４】チューブとフランジの斜視図である。
【図５】フランジとヘッターとの斜視図である。
【図６】タンクユニットの組立て図である。
【図７】チューブ内壁のスパッタリング法の概略図である。
【図８】チューブ間に櫛歯を挿入した斜視図である。
【図９】櫛歯の斜視図である。
【図１０】射出成形法によるチューブ形成の概略図である。
【図１１】従来のプラスチック製熱交換器図である。
【図１２】コア部の斜視図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  熱交換器
１ａ、１ｂ、１ｃ、  チューブ穴断面
２  チューブ
２ａ、２ｂ、２ｃ、…２ｎ  冷媒流路
３  中空孔
４  柱状膜
５  ガスバリア膜
６、７  タンク
８  フランジ
９  チューブユニット
１０  ヘッダー
１１  長孔
１２  フランジ上面
フランジ上面  タンクユニット
１５  スパッタリング装置
１６  導入パイプ
１７  熱交換ユニット
１８  密閉容器
１９  排出ポンプ部
２０  櫛歯
２１  射出成形によるチューブ構成部の斜視図
２２  射出成形によるシート部の斜視図
２３  加温部
２４  石英ガラス
１００  従来の熱交換器
１０１  チューブユニット部
１０２  伝熱プレート
１０３  凸部
１０４  凹部
１０６、１０７  ヘッダー
【図１】
2007132546.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007132546.tif 000007
【図６】
2007132546.tif 000008
【図７】
2007132546.tif 000009
【図８】
2007132546.tif 000010
【図９】
2007132546.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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