(57)【要約】【課題】  従来の外観検査装置では困難であった表面欠陥を効率よく検出し、かつ検出欠陥の種類別を判定することができる外観検査装を提供する。【解決手段】  照明・撮像系２は、被検査物である銅張積層板に光を斜め照射し、画像を撮像する。画像処理装置３は、照明・撮像系２から送られた画像を処理する。複合処理装置４は、画像処理装置３により処理された画像に対して複合処理を施して表面の欠陥を検知し、さらに表面の欠陥の種類を判定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査物の表面上に発生する欠陥を自動的に検査する外観検査装置において、
前記被検査物の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で前記被検査物の表面に正反射光のため及び乱反射光のためにそれぞれ光を照射する二つの照明源と、
前記二つの照明源から前記被検査物の表面に照射されたそれぞれの光の前記被検査物の表面からの正反射光及び乱反射光を検出する、前記被検査物の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ二つの受光手段と、
前記二つの受光手段によって検出された検出出力に画像処理を施してそれぞれ２値化データを生成する画像処理手段と、
前記画像処理手段によって生成された各２値化データ結果を複合処理し、反射光の違いにより被検査物の表面の欠陥を検知する複合処理手段と
を備えることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
前記複合処理手段は、欠陥と光点とを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、重心座標間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記複合処理手段は、凹欠陥と擦りキズを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）と、同じ乱反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出し、明検出結果の重心座標の任意距離に暗検出結果の重心座標があるか、又は暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標があるかを判定し、明（暗）検出結果の重心座標の任意距離に暗（明）検出結果の重心座標が有れば凹欠陥と判定し、無ければ擦りキズ欠陥と判定することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記複合処理手段は、変色欠陥を検出するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、また乱反射画像の暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標が有るか否かを判定してから、前記乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と前記正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、変色欠陥と判定することを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記二つの照明源は、被検査物の全ての欠陥を顕在化できる２本のライン照明源であり、被検査物に対して斜光照明を行うことを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記二つの受光手段は、ラインセンサ方式の２台のカメラを正反射光による画像撮像用カメラ及び乱反射光による画像撮像用カメラとして用いていることを特徴とする請求項１記載の外観検査装置。
【請求項７】
被検査物の表面上に発生する欠陥を自動的に検査するための外観検査方法において、
前記被検査物の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で前記被検査物の表面に正反射光のため及び乱反射光のために二つの照明源からそれぞれ光を照射する照明ステップと、
前記照明ステップにより二つの照明源から前記被検査物の表面に照射されたそれぞれの光の前記被検査物の表面からの正反射光及び乱反射光を、前記被検査物の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ二つの受光手段により受光する受光ステップと、
前記受光ステップにて二つの受光手段によって検出された検出出力に画像処理を施してそれぞれ２値化データを生成する画像処理ステップと、
前記画像処理ステップによって生成された各２値化データ結果を複合処理し、反射光の違いにより被検査物の表面の欠陥を検知する複合処理ステップと
を備えることを特徴とする外観検査方法。
【請求項８】
前記複合処理ステップは、欠陥と光点とを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、重心座標間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定することを特徴とする請求項７記載の外観検査方法。
【請求項９】
前記複合処理ステップは、凹欠陥と擦りキズを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）と、同じ乱反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出し、明検出結果の重心座標の任意距離に暗検出結果の重心座標があるか、又は暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標があるかを判定し、明（暗）検出結果の重心座標の任意距離に暗（明）検出結果の重心座標が有れば凹欠陥と判定し、無ければ擦りキズ欠陥と判定することを特徴とする請求項７記載の外観検査方法。
【請求項１０】
前記複合処理ステップは、変色欠陥を検出するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、さらに乱反射画像の暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標が有るか否かを判定してから、前記乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と前記正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、変色欠陥と判定することを特徴とする請求項７記載の外観検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば銅張積層板の表面上に発生する欠陥を自動的に検出するための外観検査装置及び外観検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のプリント配線板の高密度、高精度、高多層化に伴い、多層用ガラス布エポキシ銅張積層板（ＭＣＬ）のような銅張積層板は、外観レベルの高い製品が強く要求されるようになった。
【０００３】
従来、銅張積層板の外観検査は、人間の目視による方法が行われていた。しかし、人間の目視検査では、個人差があり、また同一人であっても検査対象の全面にわたって同一レベルで検査することは事実上不可能であり、欠陥の検出にムラが生じる。また、欠陥の見逃しも発生してしまう。
【０００４】
そこで、下記特許文献１、特許文献２によって開示されているように、外観検査装置を利用する方法も多く提案されている。例えば、モノクロラインセンサカメラと単一照明とを用いて検査対象物表面で反射される光の輝度変化を検出して表面の欠陥を検知する外観検査装置による外観検査方法等がある。
【特許文献１】特開平１０−９８３８号公報
【特許文献２】特開平１１−１８３３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、モノクロラインセンサカメラと単一照明を組み合わせた検査方法では、コントラストが明確な欠陥でないと検出できず、撮像角度によっては、変色などの低コントラストの欠陥検出は困難である。また、各欠陥のコントラスト差が少なく検出欠陥の種類まで判別することは不可能である。
【０００６】
また、従来の外観検査装置では、所定レベル（閾値）以上の輝度変化の有無で欠陥を判定するので、非欠陥であっても輝度変化が生じる場合、欠陥と非欠陥（光点）を判別できないという問題がある。ここでいう光点とは、銅張積層板を製造時に発生する鏡面状の点のことである。
【０００７】
また、被検査物の表面欠陥は種々であるが、従来の外観検査装置では異なった種々の欠陥が同じような変化として捕らえることが多く、正確な欠陥の種類判別は困難である。
【０００８】
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、従来の外観検査装置では困難であった表面欠陥を効率よく検出し、かつ検出欠陥の種類別を判定することができる外観検査装置及び外観検査方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る外観検査装置は、前記課題を解決するために、被検査物の表面上に発生する欠陥を自動的に検査する外観検査装置において、前記被検査物の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で前記被検査物の表面に正反射光のため及び乱反射光のためにそれぞれ光を照射する二つの照明源と、前記二つの照明源から前記被検査物の表面に照射されたそれぞれの光の前記被検査物の表面からの正反射光及び乱反射光を検出する、前記被検査物の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ二つの受光手段と、前記二つの受光手段によって検出された検出出力に画像処理を施してそれぞれ２値化データを生成する画像処理手段と、前記画像処理手段によって生成された各２値化データ結果を複合処理し、反射光の違いにより被検査物の表面の欠陥を検知する複合処理手段とを備える。
【００１０】
また、この外観検査装置にあって、複合処理手段は、欠陥と光点とを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、重心座標間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、この重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定する。
【００１１】
また、複合処理手段は、凹欠陥と擦りキズを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）と、同じ乱反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出し、明検出結果の重心座標の任意距離に暗検出結果の重心座標があるか、又は暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標があるかを判定し、明（暗）検出結果の重心座標の任意距離に暗（明）検出結果の重心座標が有れば凹欠陥と判定し、無ければ擦りキズ欠陥と判定する。
【００１２】
また、複合処理手段は、変色欠陥を検出するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、また乱反射画像の暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標が有るか否かを判定してから、前記乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と前記正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、変色欠陥と判定する。
【００１３】
また、二つの照明源は、被検査物の全ての欠陥を顕在化できる２本のライン照明源であり、被検査物に対して斜光照明を行う。
【００１４】
また、二つの受光手段は、ラインセンサ方式の２台のカメラを正反射光による画像撮像用カメラ及び乱反射光による画像撮像用カメラとして用いている。
【００１５】
本発明に係る外観検査方法は、前記課題を解決するために、被検査物の表面上に発生する欠陥を自動的に検査するための外観検査方法において、前記被検査物の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で前記被検査物の表面に正反射光のため及び乱反射光のために二つの照明源からそれぞれ光を照射する照明ステップと、前記照明ステップにより二つの照明源から前記被検査物の表面に照射されたそれぞれの光の前記被検査物の表面からの正反射光及び乱反射光を、前記被検査物の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ二つの受光手段により受光する受光ステップと、前記受光ステップにて二つの受光手段によって検出された検出出力に画像処理を施してそれぞれ２値化データを生成する画像処理ステップと、前記画像処理ステップによって生成された各２値化データ結果を複合処理し、反射光の違いにより被検査物の表面の欠陥を検知する複合処理ステップとを備える。
【００１６】
また、複合処理ステップは、欠陥と光点とを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、重心座標間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、この重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定する。
【００１７】
また、前記複合処理ステップは、凹欠陥と擦りキズを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）と、同じ乱反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出し、明検出結果の重心座標の任意距離に暗検出結果の重心座標があるか、又は暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標があるかを判定し、明（暗）検出結果の重心座標の任意距離に暗（明）検出結果の重心座標が有れば凹欠陥と判定し、無ければ擦りキズ欠陥と判定する。
【００１８】
また、複合処理ステップは、変色欠陥を検出するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、さらに乱反射画像の暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標が有るか否かを判定してから、前記乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と前記正反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、変色欠陥と判定する。
【００１９】
以上に説明したように、本発明に係る外観検査装置及び方法は、被検査物である、例えば銅張積層板の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で正反射・乱反射をそれぞれ照射し、銅張積層板の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つラインセンサにより、銅張積層板の検査面反射光を受光走査検知し、受光量に応じたラインセンサからの検知出力を各々２値化し、その結果を複合処理し、反射光の違いにより被検査物の表面の欠陥を検知する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明に係る外観検査装置及び外観検査方法によれば、従来の外観検査装置では困難であった表面欠陥を効率よく検出・種類別判定することができる。また、銅張積層板の品質保証及び種別判定による前ステップへの不良対策を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２２】
図１は、実施の形態の外観検査装置１の全体構成図である。この外観検査装置１は、被検査物として、多層用ガラス布エポキシ銅張積層板（ＭＣＬ）のような銅張積層板の外観を検査する装置であり、本発明の外観検査方法を実行する。
【００２３】
銅張積層板の欠陥の種類としては、大きく区分して、凹欠陥、キズ欠陥、平滑欠陥がある。これらの欠陥は、断線などの原因となる致命欠陥となる虞があり、製品機能に支障を生じさせてしまう。
【００２４】
凹欠陥には、打痕、銅しわ、型キズ、たも割れ、たもしわがある。打痕は、φ0.5mm以上の凹みであり、銅箔と鏡板間の異物によって生じる。銅しわは、銅箔のシワであり、薄い銅箔の寄れが発生原因である。型キズは、深さ0.7μm以上の帯状の凹みであり、銅板のキズによって生じる。たも割れはプリプレグの樹脂突起（たも）部での銅箔の割れであり、たもによる銅箔の重度の寄れにより生じる。また、たもしわは、たも部での銅シワであり、たもによる銅箔の経度の寄れにより生じる。
【００２５】
また、キズ欠陥は、長さ30mm以上または深さ7μm以上のキズであり、機械のトラブルにより生じる。また、平滑欠陥には、変色と付着物変色がある。変色は銅張積層板銅箔の錆及び汚れであり、鏡板の水残りなどによって生ずる。また、付着物変色は、銅張積層板表面に異物が付着することによって生ずる。これは、機械油等の付着が原因である。
【００２６】
なお、銅張積層板には製造時に発生する光点がある。光点とは銅張積層板表面上に発生する平坦な鏡面状の点のことである。光点は断線などの原因となる致命欠陥ではなく、製品機能に支障は生じない。この光点は、虚報の原因となる。そこで上記欠陥とは区別する必要がある。
【００２７】
外観検査装置１は、被検査物である銅張積層板に後述する照射方法に基づいて光を照射し、画像を撮像する照明・撮像系２と、照明・撮像系２から送られた画像を処理し２値化する画像処理装置３と、画像処理装置３により処理された２値化画像に対して複合処理を施して表面の欠陥を検知し、さらに表面の欠陥の種類を判定する複合処理装置４とを備えてなる。
【００２８】
ここで、照明・撮像系２は、後述するように、前記被検査物の移動方向の反対（または移動）方向から平行光線で前記被検査物の表面に正反射光のため及び乱反射光のためにそれぞれ光を照射する二つの照明源２２及び２３と、二つの照明源２２及び２３から前記被検査物２１の表面に照射されたそれぞれの光の前記被検査物の表面からの正反射光及び乱反射光を検出する、前記被検査物の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ二つの受光手段（ラインセンサ方式の画像撮像用カメラ２４及び２５）からなる。
【００２９】
照明・撮像系２は、図１にあって側面を示すように、テーブルに載置されて矢印２０方向に沿って搬送（移動）されてくる銅張積層板２１に対して、全ての欠陥を顕在化できる２本のライン照明源２２及び２３から斜光照明を行っている。ライン照明源２２は、正反射のための斜光照明を行うものであり、高照度出力のメタルハライド照明を用いている。また、ライン照明源２３は乱反射のための斜光照明を行うものであり、同じく高照度出力のメタルハライド照明を用いている。これらの照明光は、平行光とされている。
【００３０】
また、照明・撮像系２は、ラインセンサ方式の２台のカメラを正反射光による画像撮像用受光部（カメラ）２４及び乱反射光による画像撮像用受光部（カメラ）２５として用いている。ラインセンサ方式のカメラは、水平方向に７５００画像と画素数が多く高解像度の画像取り込みができ、走査速度も選定時に比較したエリアセンサ方式のカメラの２倍という特徴を持つ。よって、この外観検査装置１では、高解像度、高速処理という特徴からモノクロラインセンサ用カメラを用いている。このラインセンサ方式の画像撮像用カメラ２４及び２５は、銅張積層板の移動（または移動方向の反対）方向に直交する方向に受光操作方向を持つ。
【００３１】
この２本のライン照明源２２及び２３による正反射及び乱反射のための２系統の斜光照明を銅張積層板２１の表面に照射し、銅張積層板２１の検査面反射光をラインセンサ方式の画像撮像用カメラ２４及び２５により受光する。
【００３２】
図２は、２本のライン照明源２２及び２３による各欠陥の受光量の違いを示す図である。凹欠陥（打痕、しわ）は正反射による受光量により暗検出され、乱反射では明・暗両方で検出される。打痕としわは、通常、横：縦＝Ｘ：Ｙの比で分類できる。また、擦りキズは暗検出され、乱反射では明検出される。また、変色は正反射及び乱反射による受光量によりともに暗検出される。光点は、正反射では明検出、乱反射では暗反射とそれぞれ異なる。なお、ここでは、モノクロ255階調のうち、明検出は131以上、暗検出は129以下、無は130と設定した。この図２に示した結果から、正反射、乱反射による欠陥検出部の受光量の違いにより大幅な欠陥分類が可能であることが判る。つまり、正反射、乱反射の２光学系複合処理により、凹欠陥、平滑欠陥、光点の区別が可能となり、それぞれの判定条件で欠陥を検出することができる。
【００３３】
画像撮像用カメラ２４及び２５による上記反射光の受光量は、画像処理装置３に供給される。画像処理装置３は、受光量に応じたラインセンサ（画像撮像用カメラ２４及び２５）からの検知出力に対して銅張積層板２１の表面上の凹欠陥、キズ欠陥及び平滑欠陥の判定が可能となるような撮像を行った上で、各々の検知出力を２値化する。
【００３４】
画像処理装置３による２値化結果は、複合処理装置４に渡される。複合処理装置４は、前記２値化結果を複合処理し、欠陥種類を判断する複合処理部４０と、前記複合処理結果に基づいて欠陥種類別に設定したパラメータの基準により欠陥を判定する判定部４１と、判定部４１の判定結果を出力する結果出力部４２からなる。
【００３５】
図３は、外観検査装置１にて実行される外観検査方法の処理手順を示すフローチャートである。まず、ステップＳ１にて照明・撮像系２により被検査物である銅張積層板２１を撮像する。具体的には、前記２本のライン照明源２２及び２３による正反射及び乱反射のための２系統の斜光照明を銅張積層板２１の表面に照射し、銅張積層板２１の検査面反射光をラインセンサ方式の画像撮像用カメラ２４及び２５により受光する。これら画像撮像用カメラ２４及び２５は、各受光量を撮像信号に変換して画像処理装置３に供給する。
【００３６】
次に、ステップＳ２にて画像処理装置３は、前記各撮像信号に対して陰影化（shading）補正又は輝度補正を行う。シェーディング補正により陰影化あるいは輝度補正された撮像信号は、ステップＳ３にて平滑化された後、ステップＳ４で同じく画像処理装置３内にて２値化データとされ、複合処理装置４に供給される。
【００３７】
複合処理装置４では、ステップＳ５にて、複合処理部４０を用い、反射光の違いを算出し、欠陥の種別を判断する。ステップＳ６にて判定部４１により、複合処理結果に基づいて欠陥の良否を判定し、結果出力部４２から判定結果を出力する。
【００３８】
複合処理装置４は、欠陥と光点とを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）と、２値化された正反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出し、重心座標間の重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜を算出し、この重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定する。
【００３９】
また、複合処理装置４は、凹欠陥と擦りキズを区分するために、２値化された乱反射画像からの暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）と、同じ乱反射画像からの明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出し、明検出結果の重心座標の任意距離に暗検出結果の重心座標があるか、又は暗検出結果の重心座標の任意距離に明検出結果の重心座標があるかを判定し、明（暗）検出結果の重心座標の任意距離に暗（明）検出結果の重心座標が有れば凹欠陥と判定し、無ければ擦りキズ欠陥と判定する。
【００４０】
このため、複合処理装置４の複合処理部４０及び判定部４１では、図２の反射光の違いにより以下に説明する各検出アルゴリズムによって欠陥の区分化を行う。
【００４１】
図４は光点検出アルゴリズムを説明するための図である。また、図５は光点検出のフローチャートである。まず、ステップＳ１１にて乱反射画像からの暗検出結果から重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出する。また、正反射画像からの明検出結果から重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出する。そして、ステップＳ１２にて、これら重心座標間の重心座標差を｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜のように算出する。ステップＳ１３では、この重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば、光点と判定する（ステップＳ１４）。
【００４２】
図６は凹欠陥と擦りキズの区分方法を説明するための図である。図７は凹欠陥と擦りキズの区分フローチャートである。図８は凹欠陥と擦りキズの具体例から前記フローチャートにより欠陥の種別を判定する処理を示す図である。
【００４３】
図６に示すように凹欠陥と擦りキズに対する乱反射画像により、凹欠陥では明・暗の両方が検出され、擦りキズでは明検出される。これは図２に示したとおりである。
【００４４】
図７のステップＳ２１では、凹欠陥及び擦りキズの乱反射画像から２値化結果を得る。ステップＳ２２では、複合処理部４０が暗検出結果及び明検出結果の重心座標を算出する。そして、ステップＳ２３では、複合処理部４０が暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の任意距離に明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）が有るか否かを判定する。明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）の任意距離に暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）が有るか否かを判定してもよい。例えば、暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の任意距離に明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）が有れば（ＹＥＳ）、ステップＳ２４に進んで複合処理部４０は凹欠陥であることを判定する。また、暗検出結果の重心座標（Ｘ１，Ｙ１）の任意距離に明検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）が無ければ（ＮＯ）、ステップＳ２５に進んで複合処理部４０は擦りキズ欠陥であることを判定する。これは、図８に示すように、擦りキズの場合、重心座標算出において明検出の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）しか算出できず、よって重心位置サーチにあっては明検出の重心座標（Ｘ２、Ｙ２）から任意距離には他の重心座標が無いからである。以上により、凹欠陥と擦りキズの区分化が可能である。
【００４５】
そして、判定部４１は、複合処理部４０によるステップＳ２４、ステップＳ２５での判定結果を踏まえ、欠陥の種類別の判定条件により欠陥の可否を判定する。この判定部４１による判定条件は、主に255階調の濃度、欠陥の面積（画素数）に基いている。
【００４６】
図９は変色欠陥検出アルゴリズムを説明するための図である。また、図１０は変色欠陥検出のフローチャートである。まず、ステップＳ３１及びステップＳ３２にて乱反射画像からの暗検出結果から重心座標（Ｘ２，Ｙ２）を検出する。また、正反射画像からの暗検出結果から重心座標（Ｘ１，Ｙ１）を検出する。
【００４７】
次に、ステップＳ３３にて、複合処理部４０が乱反射画像の暗検出結果の重心座標（Ｘ２，Ｙ２）の任意距離に明検出結果の重心座標が有るか否かを判定する。この判定により欠陥が凹欠陥では無いことを確認している。このステップＳ３３の処理は、凹欠陥と擦り傷欠陥を区分化したアルゴリズムの一部（図７、図８参照）と同様である。このステップＳ３３の処理にて、凹欠陥である乱反射の暗検出部を除去する。自動的に凹欠陥である正反射の暗検出部も除去する。このステップＳ３３にて、暗検出部の重心座標の任意距離に明検出部の重心座標が無い（ＮＯ）ならば、凹欠陥では無いことを確認したのでステップＳ３４に進む。
【００４８】
ステップＳ３４では、前記ステップＳ３２にて算出した、乱反射画像の暗検出部と正反射画像の暗検出部の２つの重心座標間の重心座標差を｜Ｘ１−Ｘ２｜、｜Ｙ１−Ｙ２｜のように算出する。さらに、この重心座標差｜Ｘ１−Ｘ２｜＜＝任意、｜Ｙ１−Ｙ２｜＜＝任意を判定し、その条件が一致すれば（ＹＥＳ）、ステップＳ３５にて、複合処理部４０は変色欠陥と判定する。つまり、ステップＳ３４における処理が、図９に示したように、乱反射と正反射の暗検出部の重心位置を比較する。
【００４９】
このように図１０に示したフローチャートでは、処理順番として、ステップＳ３３にて凹欠陥であるか否かを検出し、ステップＳ３４にて変色欠陥であるか否かを検出している。つまり、変色欠陥検出アルゴリズムの流れのなかで、凹欠陥でないことを確認しながら、変色欠陥であることを判定できるので効率的な処理を行うことができる。
【００５０】
以上に説明したように、本発明の外観検査方法を実行する外観検査装置１は、従来の外観検査装置では困難であった表面欠陥を効率よく検出し、かつ欠陥の種類別判定をすることができる。
【００５１】
次に、図１１乃至図１３を挙げて、外観検査装置１を含む、銅張積層板２１の検査システム５０について説明する。図１１は検査システム５０の側面図（Ａ）及び上面図（Ｂ）である。図１２は外観検査装置１の要部の斜視図である。図１３は外観検査装置１の上面図である。
【００５２】
検査システム５０は、図１１に示すように、被検査物である銅張積層板をシステムに投入する投入機５１と、２枚検知、板厚検知及び銅箔厚検査を行うＣ／Ｖ５２と、クリーンローラー５３と、第１検査機に移動する前に銅張積層板を整列する整列部５４と、外観検査装置１である第一検査機１と、第１検査機１にて検査の終了した銅張積層板を反転し一方の面から他方の面、例えば裏面から表面に反転する反転機５５と、反転機５５により反転された銅張積層板に刻印をうち整列する刻印整列部５６と、第二検査機５８と、第二検査機５８により検査の終了した銅張積層板を、検査結果に基づいて、良品、再検査が必要な被検査物、欠陥品に分けて載置する載置部５９とを備えてなる。
【００５３】
投入機５１により、検査システム５０に投入された銅張積層板は、Ｃ／Ｖ５２により、２枚検知、板厚検知及び銅箔厚検査が行われる。整列部５４は、Ｃ／Ｖ５２から移動された銅張積層板２１を整列し、例えば裏面検査機として用いられる外観検査装置１の図１２及び図１３に示すテーブル２６に投入する。テーブル２６に載せられた銅張積層板２１は、テーブル２６の矢印方向への移動、すなわち往復移動に伴って、固定されている照明源２２及び２３とカメラ２４及び２５の下部を往復移動する。
【００５４】
この往復移動により、銅張積層板２１は、前述したように、表面（このシステムでは裏面）が検査され、欠陥の検知及び欠陥種類が判定される。第１検査機での検査が終了すると、銅張積層板は排出される。
【００５５】
反転機は第１検査機１にて検査の終了により排出された銅張積層板を反転し一方の面から他方の面、例えば裏面から表面に反転する。刻印整列部５６にて刻印され、整列しなおされた銅張積層板は、第二検査機５８に投入される。
【００５６】
第二検査機５８にて例えば表面検査が行われた銅張積層板は、載置部５９により、両検査結果に基づいて、良品、再検査が必要な被検査物、欠陥品に分けて載置される。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】外観検査装置の構成図である。
【図２】２本のライン照明源２３及び２２による各欠陥の受光量の違いを示す図である。
【図３】外観検査装置にて実行される外観検査方法の処理手順を示すフローチャートである。
【図４】光点検出アルゴリズムを説明するための図である。
【図５】光点検出のフローチャートである。
【図６】凹欠陥と擦りキズの区分方法を説明するための図である。
【図７】凹欠陥と擦りキズの区分フローチャートである。
【図８】凹欠陥と擦りキズの具体例から図７のフローチャートにより欠陥の種別を判定する処理を示す図である。
【図９】変色欠陥検出アルゴリズムを説明するための図である。
【図１０】変色欠陥検出のフローチャートである。
【図１１】外観検査装置を含む検査システムの外観側面図である。
【図１２】外観検査装置の要部の斜視図である。
【図１３】外観検査装置の上面図である。
【符号の説明】
【００５８】
１  外観検査装置、２  照明・撮像系、３  画像処理装置、４  複合処理装置、２１  銅張積層板、２２  ライン照明源（乱反射用）、２３  ライン照明源（正反射用）、２４  乱反射光による画像撮像用カメラ、２５  正反射光による画像撮像用カメラ、４０  複合処理部、４１  判定部、４２  結果出力部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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