(57)【要約】【課題】  洗浄ブラシを有する洗浄装置におけるブラシ回転駆動軸に用いる、エアバッファを有するブラシ回転駆動軸用ハウジングを提供する。【解決手段】  洗浄ブラシのブラシ回転駆動軸のハウジングは、エアバッファを有するエアパージ部１と、エアパイプ２と、エア供給部３とから成り、エア供給部３は、エアパイプ２を介して圧縮エアをエアパージ部１へ供給し、エアパージ部１は、圧縮エアをエアバッファからブラシ回転駆動軸５に沿って放出する。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄装置に組み込まれる、洗浄ブラシのブラシ回転駆動軸用ハウジングであって、
前記ハウジングは、エアバッファを有するエアパージ部と、エアパイプと、エア供給部とから成り、
前記エア供給部は、前記エアパイプを介して圧縮エアを前記エアパージ部へ供給し、
前記エアパージ部は、前記圧縮エアを前記エアバッファから前記ブラシ回転駆動軸に沿って放出することを特徴とするブラシ回転駆動軸用ハウジング。
【請求項２】
請求項１に記載のブラシ回転駆動軸用ハウジングにおいて、前記エアパージ部が、軸受け用ハウジングに近接して取り付けられることを特徴とするブラシ回転駆動軸用ハウジング。
【請求項３】
請求項２に記載のブラシ回転駆動軸用ハウジングにおいて、前記エアパージ部が、軸受け用ハウジングに、嵌合により取り付けられることを特徴とするブラシ回転駆動軸用ハウジング。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄ブラシを有する洗浄装置のブラシ回転駆動軸に用いるハウジングに関し、詳しくは、エアバッファを有するブラシ回転駆動軸用ハウジングに関する。
【背景技術】
【０００２】
図３は、従来の洗浄ブラシを有する洗浄装置の構成を示す構成図である。図３において、洗浄装置１００の回転ブラシ４は、ブラシ回転駆動軸５に接続されている。ブラシ回転駆動軸５は、ベアリング７を有する軸受け用ハウジング６に取り付けられている。軸受け用ハウジング６は、槽外の固定アーム１１に取り付けられて、固定されている。ブラシ回転駆動軸５は、モータ１２に接続されて駆動トルクを得ている。また、軸受け用ハウジング６は、洗浄装置の筐体１０により、槽内と槽外とを切り離して密封されている。
【０００３】
軸受け用ハウジング６と回転ブラシ４との間のブラシ回転駆動軸５の部分には、液切板８が装着されている。さらにパネル９が、２枚の液切板８の間に挟まる形で挿入されている。洗浄装置１００は、上下に２本の回転ブラシ４を設け、洗浄対象物を挟み込んで洗浄するように構成されているが、回転ブラシ４が１本による構成であっても良い。図４は、軸受け用ハウジング部分の拡大図である。
【０００４】
回転ブラシ４がモータ１２から回転駆動力を得て回転し、洗浄液が噴射されている状態で、洗浄対象物が搬送機構により回転ブラシ４に送り込まれると、洗浄対象物の洗浄が始まる。回転ブラシ４は５００ｒｐｍ程度の回転速度で回転しているため、遠心力により洗浄液が回転ブラシ４から液滴となって、周囲に飛ばされる。また洗浄対象物に向かって噴射された洗浄液の一部は、ミスト状態となる。これら洗浄液の液滴とミストは、洗浄装置１００の筐体１０内に飛散し、装置の部材表面に付着する。ダストの侵入を防ぐため、筐体１０内は槽外に対して陽圧となっているため、その一部は、軸受け用ハウジング６のベアリング７を通ってハウジング内に侵入し、さらに槽外へ漏れ出していた。
【０００５】
飛散した液滴やミストが軸受け用ハウジング６に直接付着するのを避けるため、液切板８とパネル９とが設けられている。図５は、液切板とパネルとが取り付けられている部分の拡大図である。飛散した液滴やミストは、矢印で示されるようにパネル９に付着し、パネル面を伝って下側に流れ落ちるため、軸受け用ハウジング６に直接付着することが防止される。
【０００６】
ところが洗浄条件によっては、使用洗浄液が大量であったり、回転速度がより高速であると、液滴やミストが大量に発生する要因となる。図６は、洗浄液が軸受け用ハウジング内に侵入する侵入経路図である。大量に発生した液滴やミストはパネル９により捕らえられ、洗浄液の一部は液切板８に流れ落ちる。この洗浄液の量が大量であると、液切板８の回転送度により再び液滴が飛散する。
【０００７】
この液滴は、パネル９の裏側、液切板８と軸受け用ハウジング６との間のブラシ回転駆動軸５の部分、及び軸受け用ハウジング６の表面に付着する。付着した洗浄液の一部は、軸受け用ハウジング６のベアリング７を通って、矢印方向に沿ってハウジング内に侵入し、槽外へ漏れて出る。このため耐食性の高い軸受けを必要とすると共に、ドレインの追加等、槽外の液漏れ対策が必要であった。特許文献１は、半導体ウエハ洗浄装置の加熱ランプが洗浄液により汚染されるのを防止するための汚染防止板について記載されている。
【特許文献１】特開２００２−２３１６７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、その目的は、洗浄ブラシを有する洗浄装置のブラシ回転駆動軸に用いられる、エアバッファを有するブラシ回転駆動軸用ハウジングを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングは、洗浄装置に組み込まれる、洗浄ブラシのブラシ回転駆動軸用ハウジングであって、
前記ハウジングは、エアバッファを有するエアパージ部と、エアパイプと、エア供給部とから成り、
前記エア供給部は、前記エアパイプを介して圧縮エアを前記エアパージ部へ供給し、
前記エアパージ部は、前記圧縮エアを前記エアバッファから前記ブラシ回転駆動軸に沿って放出することを特徴とする。
【００１０】
本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングにおいて、前記エアパージ部が、軸受け用ハウジングに近接して取り付けられることを特徴とする。
【００１１】
本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングにおいて、前記エアパージ部が、軸受け用ハウジングに、嵌合により取り付けられることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングによれば、付着した洗浄液の一部が、軸受け用ハウジングのベアリングを通ってハウジング内に侵入し、槽外へ漏れて出ることがなくなる。このため耐食性の高い軸受けを必要とせず、軸受けの寿命が長くなり、交換頻度が少なくなる。また、ドレインの追加等、槽外の液漏れ対策が不要となるため、メンテナンスが容易となる。さらに、ベアリングの軸受けでの発塵による槽内汚染を防ぐことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明による実施の形態について、図を用いて説明する。図１は、本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングの構成を示す構成図である。図１では、エアパージ部１とエアパイプ２とエア供給部３とが図４に新たに加わって、洗浄装置１００が構成されている。図１において、エアパージ部１は、軸受け用ハウジング６に嵌合により取り付けられている。エアパイプ２は、両端をエアパージ部１とエア供給部３とに接続され、エア供給部３から供給される圧縮エアをエアパージ部１へ導いている。
【００１４】
図４の場合と同様に、回転ブラシ４がモータ１２から回転駆動力を得て回転し、洗浄液が噴射されている状態で、洗浄対象物が搬送機構により回転ブラシ４に送り込まれると、洗浄対象物の洗浄が始まる。この洗浄が、図６における状況であれば、大量に発生した液滴やミストはパネル９により捕らえられ、洗浄液の一部は液切板８に流れ落ち、液切板８の回転送度により再び液滴が飛散する。この液滴は、主にパネル９の裏側、液切板８とエアパージ部１との間のブラシ回転駆動軸５の部分、及びエアパージ部１の表面に付着する。
【００１５】
図２は、エアパージ部と、その近接部分を拡大した拡大図である。ブラシ回転駆動軸５の部分に溜まった液滴は一部エアパージ部１の方向へ流れようとする。とかろが、エアパージ部１のエアバッファが、エア供給部３からエアパイプ２を介して送り込まれた圧縮エアで満たされ、エアバッファ内を満たした圧縮エアは、エア供給部３とブラシ回転駆動軸５との間隙から、ブラシ回転駆動軸５の軸に沿って両側に噴き出す。
【００１６】
液切板８の方向へ噴き出した圧縮エアは、エアパージ部１の方向へ流れようとする液滴を阻止する。従って、ベアリング７を通って槽外へ流出するトラブルを解消することができる。さらに、軸受け用ハウジング６のベアリング７の方向へ噴き出した圧縮エアは、ベアリング７の回転による発塵を槽外へ押し出すことにより、槽内汚染を防ぐことが可能となる。
【００１７】
以上説明したように、本発明のブラシ回転駆動軸用ハウジングは、付着した洗浄液の一部が、軸受け用ハウジングのベアリングを通ってハウジング内に侵入し、槽外へ漏れて出ることを防止する。このため耐食性の高い軸受けを必要とせず、軸受けの寿命が長くなり、交換頻度が少なくなる。また、ドレインの追加等、槽外の液漏れ対策が不要となるため、メンテナンスが容易となる。さらに、ベアリングの軸受けでの発塵による槽内汚染を防ぐことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明におけるブラシ回転駆動軸用ハウジングの構成を示す構成図。
【図２】エアパージ部と、その近接部分を拡大した拡大図。
【図３】従来の洗浄ブラシを有する洗浄装置の構成を示す構成図。
【図４】軸受け用ハウジング部分の拡大図。
【図５】液切板とパネルとが取り付けられている部分の拡大図。
【図６】洗浄液が軸受け用ハウジング内に侵入する侵入経路図。
【符号の説明】
【００１９】
１  エアパージ部
２  エアパイプ
３  エア供給部
４  回転ブラシ
５  回転ブラシ駆動軸
６  軸受け用ハウジング
７  ベアリング
８  液切板
９  パネル
１０  洗浄装置の筐体
１１  固定アーム
１２  モータ
１００  洗浄装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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