(57)【要約】【課題】導通不良が起こることなく、かつ高周波信号の電力が損失しないようにすることができるマイクロマシンスイッチを用いた高周波回路およびそれを用いた無線通信装置を提供する。【解決手段】マイクロマシンスイッチ１１は、オン状態とオフ状態とを切替えることによって、入力端子１６から入力された高周波信号を出力端子１７へ出力するか否かを切替える。直流電圧源１４は、マイクロマシンスイッチ１１の接点間に直流電圧を印加し、マイクロマシンスイッチ１１がオン状態のときに、マイクロマシンスイッチ１１の接点間に直流電流を流す。高周波阻止回路１３ａは、入力された高周波信号の直流電圧源１４への流入を阻止する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波信号の通過または遮断を行なう高周波回路であって、
オン状態とオフ状態とを切替えることによって、入力端子から入力された高周波信号を出力端子へ出力するか否かを切替えるマイクロマシンスイッチと、
前記マイクロマシンスイッチの接点間に直流電圧を印加し、前記マイクロマシンスイッチがオン状態のときに、前記マイクロマシンスイッチの接点間に直流電流を流す直流電圧源と、
前記入力された高周波信号の前記直流電圧源への流入を阻止する高周波阻止回路とを備えた高周波回路。
【請求項２】
前記高周波回路は、さらに、
前記直流電圧源から出力された直流電流が前記入力端子および前記出力端子を通じて外部に流出するのを阻止する直流阻止回路を備えた、請求項１記載の高周波回路。
【請求項３】
前記高周波回路は、さらに、
前記直流電圧源によって前記マイクロマシンスイッチへ送られる直流電流の大きさを調整するための電流制限抵抗を備え、
前記高周波阻止回路は、前記入力された高周波信号の前記電流制限抵抗への流入を阻止する、請求項１記載の高周波回路。
【請求項４】
前記マイクロマシンスイッチの両接点が前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ配線に接続され、
前記マイクロマシンスイッチがオン状態のときのみ、前記入力端子から入力された高周波信号が前記マイクロマシンスイッチの接点間を流れて前記出力端子に出力される、請求項１記載の高周波回路。
【請求項５】
前記マイクロマシンスイッチの一方の接点が前記入力端子と前記出力端子とを結ぶ配線に接続され、
前記マイクロマシンスイッチの他方の接点が接地導体に接続され、
前記マイクロマシンスイッチがオフ状態のときに、前記入力端子から入力された高周波信号が前記出力端子に出力され、前記マイクロマシンスイッチがオン状態のときに、前記入力端子から出力された高周波信号が前記マイクロマシンスイッチの接点間を流れて前記接地導体に出力される、請求項１記載の高周波回路。
【請求項６】
前記高周波回路は、さらに、
前記マイクロマシンスイッチへ印加される直流電圧を制御する制御回路を備え、
前記制御回路は、前記マイクロマシンスイッチがオン状態の期間のうちの一部の期間に、前記直流電圧源による直流電圧を印加させ、
前記マイクロマシンスイッチがオン状態とオフ状態とを切替える時点において、前記直流電圧源による直流電圧を印加させない、請求項１記載の高周波回路。
【請求項７】
送信および受信が切替可能な無線通信装置であって、
それぞれがオン状態とオフ状態とを切替えることによって、受信時にアンテナから入力された高周波信号を受信回路へ出力し、送信時に送信回路から入力された高周波信号を前記アンテナへ出力する第１のマイクロマシンスイッチおよび第２のマイクロマシンスイッチと、
前記第１のマイクロマシンスイッチおよび前記第２のマイクロマシンスイッチの接点間に直流電圧を印加し、前記第１のマイクロマシンスイッチがオンのときに、前記第１のマイクロマシンスイッチの接点間に直流電流を流し、前記第２のマイクロマシンスイッチがオンのときに、前記第２のマイクロマシンスイッチの接点間に直流電流を流す直流電圧源と、
受信時に前記アンテナから入力された高周波信号の前記直流電圧源への流入を阻止し、送信時に前記送信回路から入力された高周波信号の前記直流電圧源への流入を阻止する高周波阻止回路とを備えた無線通信装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、高周波回路およびそれを用いた無線通信装置に関し、特にマイクロマシンスイッチを用いた高周波回路およびそれを用いた無線通信装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
シリコンまたはガリウムヒ素のなどの基板上に作成でき、μｍサイズの微小な構造体でありながらメカニカルな動作により電気信号のスイッチングを行なう、マイクロマシンスイッチが開発されている。マイクロマシンスイッチは機械的な接点によって信号のオン・オフを切替えるので、半導体スイッチと比べて広帯域にわたり低損失・高アイソレーションの優れた高周波特性を有している。
【０００３】
ところで、一般に機械式接点を有するスイッチを低電力信号の電気回路に適用した場合には、接点材料の表面に酸化膜が生成したり、雰囲気から有機物質または硫化物質による異物が発生する。発生した酸化膜および異物は、接点圧力がｍＮを超えるような場合では、機械的に除去される。しかし、マイクロマシンスイッチでは、接点圧力がμＮ〜ｍＮ程度であり、発生した酸化物および異物が機械的に除去されず、接点の導通不良が起こる。
【０００４】
このような導通不良の問題に対する解決方法が、たとえば特許文献１に開示されている。すなわち、特許文献１のスイッチの腐食防止回路では、直流電源と大電流用スイッチとの間に直列に接続した抵抗と並列にスイッチ手段および電流制限抵抗の直列回路を接続する。大電流用スイッチのオンに応じて制御回路が、所定時間後に所定時間幅のパルスを発生してスイッチング手段をオンさせる。スイッチング手段のオン時に流れる電流を大電流用スイッチに流してそのスイッチ接点に生じた酸化膜を破壊する。
【特許文献１】特開平６−９６６３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１の腐食防止回路には、接点を浄化するための電流と、スイッチング対象の信号の電流を分離する手段が設けられていない。そのため、特許文献１の腐食防止回路を、高周波信号の通過／遮断のスイッチングを行なう高周波回路に適用した場合に、高周波信号が腐食防止回路内の電圧源などに流れ込み、高周波信号の電力が損失し高周波回路の特性が大きく劣化する。また、直流電流が高周波回路に流れ込むと、高周波回路内の半導体スイッチおよびキャパシタが破壊される可能性がある。
【０００６】
それゆえに、本発明の目的は、導通不良が起こることなく、かつ高周波信号の電力が損失しないようにすることができるマイクロマシンスイッチを用いた高周波回路およびそれを用いた無線通信装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明は、高周波信号の通過または遮断を行なう高周波回路であって、オン状態とオフ状態とを切替えることによって、入力端子から入力された高周波信号を出力端子へ出力するか否かを切替えるマイクロマシンスイッチと、マイクロマシンスイッチの接点間に直流電圧を印加し、マイクロマシンスイッチがオン状態のときに、マイクロマシンスイッチの接点間に直流電流を流す直流電圧源と、入力された高周波信号の直流電圧源への流入を阻止する高周波阻止回路とを備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の高周波回路およびそれを用いた無線通信装置によれば、マイクロマシンスイッチの導通不良が起こることなく、かつ高周波信号の電力が損失しないようにすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明に係る実施の形態について図面を参照して説明する。
［第１の実施形態］
（高周波回路の構成）
図１は、本発明の第１の実施形態の高周波回路１の構成を表わす図である。
【００１０】
図１を参照して、この高周波回路１は、入力端子１６と、出力端子１７と、マイクロマシンスイッチ１１と、直流電圧源１４と、電流制限抵抗１５と、高周波阻止回路１３ａ，１３ｂと、直流阻止回路１２ａ，１２ｂとを備える。
【００１１】
入力端子１６には高周波信号が入力され、出力端子１７から高周波信号が出力される。
マイクロマシンスイッチ１１は、入力端子１６から入力された高周波信号を出力端子１７へ出力するか否かを切替える。すなわち、マイクロマシンスイッチ１１は、その両接点が入力端子１６と出力端子１７とを結ぶ配線に接続され、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときのみ、入力端子１６から入力された高周波信号がマイクロマシンスイッチ１１の接点間を流れて出力端子１７に出力される。
【００１２】
マイクロマシンスイッチ１１の接点材料は、低接触抵抗とするためには、Ａｕ（金）、Ｐｄ（パラジウム）、Ｒｕ（ルテニウム）などの貴金属を用いることが望ましく、接点の低付着性の点からは、当該貴金属とＮｉ（ニッケル）、Ｃｏ（コバルト）、Ｗ（タングステン）などとの硬質合金を用いることが望ましい。
【００１３】
直流電圧源１４は、マイクロマシンスイッチ１１の接点間に直流電圧を印加し、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときに、マイクロマシンスイッチ１１の接点間に直流電流を流す。直流電圧源１４の一端は接地導体１０に接続されている。
【００１４】
電流制限抵抗１５は、直流電圧源１４によってマイクロマシンスイッチ１１へ送られる直流電流の大きさを制御するためのものである。電流制限抵抗１５の一端は接地導体１０に接続されている。
【００１５】
高周波阻止回路１３ａは、マイクロマシンスイッチ１１および直流電圧源１４に接続され、入力された高周波信号が直流電圧源１４に流入するのを阻止する。また、高周波阻止回路１３ｂは、マイクロマシンスイッチ１１および電流制限抵抗１５に接続され、入力された高周波信号が電流制限抵抗１５に流入するのを阻止する。
【００１６】
高周波阻止回路１３ａ，１３ｂは、高周波信号の流入を十分に阻止することができるように、高インピーダンスのインダクタまたは抵抗器で構成されることが望ましい。
【００１７】
直流阻止回路１２ａは、入力端子１６およびマイクロマシンスイッチ１１に接続され、直流電圧源１４から出力された直流電流が入力端子１６を通じて高周波回路１の外部に流出するのを阻止する。また、直流阻止回路１２ｂは、出力端子１７およびマイクロマシンスイッチ１１に接続され、直流電圧源１４から出力された直流電流が出力端子１７を通じて高周波回路１の外部に流出するのを阻止する。
【００１８】
直流阻止回路１２ａ，１２ｂは、高周波信号の損失要因とならないように、低インピーダンスのキャパシタなどで構成されることが望ましい。
【００１９】
（直流電圧源１４の作用）
次に、直流電圧源１４によるマイクロマシンスイッチ１１への作用ついて説明する。
【００２０】
直流電圧源１４がＶ（Ｖ）の直流電圧を発生するとする。
マイクロマシンスイッチ１１がオフのときには、マイクロマシンスイッチ１１の接点間にＶ（Ｖ）の電位差が発生する。この電位差は、低すぎると導通不良による故障を回避する効果が少なく、高すぎると接点が固着化する要因となる。電位差としては、おおよそ０．１（Ｖ）から２０（Ｖ）程度が望ましい。
【００２１】
一方、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときには、マイクロマシンスイッチ１１の接点間に直流電圧源１４から直流電圧が印加され、マイクロマシンスイッチ１１へ直流電流が流れる。これによって、接点に形成された酸化膜および異物が除去あるいは絶縁破壊され、接触抵抗の増加を防止することができる。マイクロマシンスイッチ１１の接触抵抗値をｘ（Ω）とし、電流制限抵抗１５の抵抗値をｙ（ｋΩ）としたときに、マイクロマシンスイッチ１１へ流れる直流電流の大きさは、Ｖ／（ｘ＋１０００×ｙ）で表わされる。この直流電流が大きすぎると、ジュール熱によって接点の付着または溶着を促すので、おおよそ０．５（Ａ）以下となるように電流制限抵抗１５の抵抗値ｙ（ｋΩ）を調整するのが望ましい。たとえば、直流電圧源１４が発生する直流電圧Ｖが５（Ｖ）で、マイクロマシンスイッチ１１の接触抵抗値ｘが１（Ω）のときに、１０（ｋΩ）の抵抗値の電流制限抵抗１５を用いることで、マイクロマシンスイッチ１１へ流れる直流電流の大きさを０．５（ｍＡ）とすることができる。
【００２２】
（比較実験の結果）
図２は、マイクロマシンスイッチ１１の動作サイクル回数と接触抵抗との関係の実験結果を表わす図である。
【００２３】
ここで、動作サイクル回数とは、マイクロマシンスイッチ１１がオンとなってから次にオンとなるまでを１回としたときの、マイクロマシンスイッチ１１のスイッチング回数をいう。接触抵抗とは、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときの両接点間に生じる抵抗値をいう。
【００２４】
図２を参照して、曲線Ａは、直流電圧源１４、高周波阻止回路１３ａ，１３ｂ、直流阻止回路１２ａ，１２ｂ、および電流制限抵抗１５を有さず、マイクロマシンスイッチ１１のみからなる従来の高周波回路の接触抵抗を表わす。従来の高周波回路では、動作サイクル回数が増加すると接触抵抗が増加する。
【００２５】
曲線Ｂは、本発明の実施形態の高周波回路１の接触抵抗を表わす。本発明の実施形態の高周波回路１では、動作サイクル回数が増加しても接触抵抗が増加しない。したがって、本発明の実施形態の高周波回路１では、従来のような導通不良が起こらない。
【００２６】
以上のように、本発明の第１の実施形態の高周波回路１によれば、直流電圧源１４の直流電圧がマイクロマシンスイッチ１１の接点間に印加されて、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときに接点間に直流電流が流れるので、接点に形成された酸化膜および異物が破壊され、導通不良が起こらないようにすることができる。また、高周波阻止回路１３ａ，１３ｂによって、高周波信号が直流電圧源１４および電流制限抵抗１５に流入しないようにするので、高周波信号の電力の損失を防止することができる。また、直流阻止回路１２ａ，１２ｂによって、直流電流が入力端子１６および出力端子１７を通じて高周波回路１の外部に流出しないようにすることで、高周波回路１の性能および信頼性を維持できる。また、電流制限抵抗１５によって、マイクロマシンスイッチ１１に流れる直流電流の大きさを適切な値に調整することができる。
【００２７】
［第２の実施形態］
（高周波回路の構成）
図３は、本発明の第２の実施形態の高周波回路２の構成を表わす図である。
【００２８】
図３を参照して、図３の高周波回路２が図１の高周波回路１と相違する点は、マイクロマシンスイッチ１１および直流電圧源１４の配置と、高周波阻止回路１３ｂである。
【００２９】
図３の高周波回路２では、マイクロマシンスイッチ１１がシャント型スイッチとして機能する。すなわち、マイクロマシンスイッチ１１は、その一方の接点が、入力端子１６と出力端子１７とを結ぶ配線に接続され、その他方の接点が、接地導体１０に接続される。マイクロマシンスイッチ１１がオフのときに、入力端子１６から入力された高周波信号が出力端子１７に出力され、マイクロマシンスイッチ１１がオンのときに、入力端子１６から出力された高周波信号がマイクロマシンスイッチ１１の接点間を流れて接地導体１０に出力される。
【００３０】
また、図３の高周波回路２では、直流電圧源１４が、電流制限抵抗１５と接地導体１０との間に配置されている。
【００３１】
また、図３の高周波回路２では、１個の高周波阻止回路１３ｂのみが、直流阻止回路１２ｂと電流制限抵抗１５との間に配置されている。
【００３２】
以上のような本発明の第２の実施形態の高周波回路２は、第１の実施形態の高周波回路１に比べて以下のような利点を有する。
【００３３】
図１に示す第１の実施形態の高周波回路１では、入力された高周波信号が出力端子１７から出力されるときには、マイクロマシンスイッチ１１を通過するので、マイクロマシンスイッチ１１の接触抵抗によって高周波信号が損失した。これに対して、図３の高周波回路２では、入力された高周波信号が出力端子１７から出力されるときには、マイクロマシンスイッチ１１を通過しないので、マイクロマシンスイッチ１１の接触抵抗によって高周波信号が損失することがない。
【００３４】
［第３の実施形態］
（高周波回路の構成）
図４は、本発明の第３の実施形態の高周波回路３の構成を表わす図である。
【００３５】
図４の高周波回路３が図１に示す高周波回路１と相違する点は、制御回路１８が追加された点である。
【００３６】
制御回路１８は、マイクロマシンスイッチ１１へ印加される直流電圧の電圧値およびその時間変化を制御する。すなわち、制御回路１８は、マイクロマシンスイッチ１１がオンしている期間のうちの一部の期間に、直流電圧源１４による直流電圧をマイクロマシンスイッチ１１に印加させる。また、制御回路１８は、マイクロマシンスイッチ１１がオンとオフを切替える時点において、直流電圧源１４による直流電圧を印加させない。
【００３７】
図５は、制御回路１８によって制御された、マイクロマシンスイッチ１１へ印加される直流電圧の波形図である。
【００３８】
図５を参照して、マイクロマシンスイッチ１１のスイッチングサイクルは、１００μｓｅｃである。マイクロマシンスイッチ１１がオンの期間の一部である１０μｓｅｃの期間に直流電圧源１４の電圧Ｖ（Ｖ）がマイクロマシンスイッチ１１に与えられる。また、マイクロマシンスイッチ１１がオン／オフのスイッチングが行なわれる時点で、マイクロマシンスイッチ１１に印加される直流電圧は０（Ｖ）である。
【００３９】
このように、マイクロマシンスイッチ１１がオンとオフとを切替える時点で、印加される直流電圧を０（Ｖ）とすることによって、マイクロマシンスイッチ１１の接点間の放電およびマイグレーションを制御して、マイクロマシンスイッチ１１の信頼性を向上させることができる。
【００４０】
［第４の実施形態］
（無線通信装置の構成）
図６は、本発明の第４の実施形態の無線通信装置４の構成を表わす図である。
【００４１】
図６を参照して、無線通信装置４は、アンテナ２０と、送受信切り替え回路１９と、受信回路２１と、送信回路２２とを備える。
【００４２】
アンテナ２０は、別の無線通信装置から出力された無線信号、すなわち高周波信号の受信を行なうとともに、無線信号、すなわち高周波信号を別の無線通信装置へ送信する。
【００４３】
受信回路２１は、アンテナ２０から送られた高周波信号に基づいて受信処理を行なう。
送信回路２２は、送信処理を行なってアンテナ２０へ送る高周波信号を生成する。
【００４４】
送受信切り替え回路１９は、送信時にアンテナ２０と送信回路２２とを接続し、受信時にアンテナ２０と受信回路２１とを接続する。
【００４５】
図７は、送受信切り替え回路１９の構成を表わす図である。
図７を参照して、送受信切り替え回路１９は、いわゆる単極双投スイッチであり、入力端子１６と、出力端子１７と、入出力端子２３と、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａと、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂと、直流電圧源１４と、電流制限抵抗１５ａ，１５ｂと、高周波阻止回路１３ａ，１３ｂ，１３ｃと、直流阻止回路１２ａ，１２ｂ，１２ｃとを備える。
【００４６】
入出力端子２３は、アンテナ２０に接続され、入力端子１６は、送信回路２２に接続され、出力端子１７は受信回路２１に接続される。
【００４７】
第１のマイクロマシンスイッチ１１ａは、その両接点が入出力端子２３と出力端子１７とを結ぶ配線に接続される。第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂは、その両接点が入力端子１６と入出力端子２３とを結ぶ配線に接続される。受信時には、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａがオンとなり、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂがオフとなり、アンテナ２０から入出力端子２３を通じて入力された高周波信号が第１のマイクロマシンスイッチ１１ａの接点間を流れて出力端子１７を通じて受信回路２１へ出力される。送信時には、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａがオフとなり、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂがオンとなり、送信回路２２から入力端子１６を通じて入力された高周波信号が第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂの接点間を流れて入出力端子２３を通じてアンテナ２０へ出力される。
【００４８】
直流電圧源１４は、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａおよび第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂの接点間に直流電圧を印加し、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａがオンのときに、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａの接点間に直流電流を流し、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂがオンのときに、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂの接点間に直流電流を流す。直流電圧源１４の一端は接地導体に接続されている。
【００４９】
電流制限抵抗１５ａは、直流電圧源１４によって第１のマイクロマシンスイッチ１１ａへ送られる直流電流の大きさを制御するためのものである。電流制限抵抗１５ａの一端は接地導体１０に接続されている。また、電流制限抵抗１５ｂは、直流電圧源１４によって第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂへ送られる直流電流の大きさを制御するためのものである。電流制限抵抗１５ｂの一端は接地導体１０に接続されている。
【００５０】
高周波阻止回路１３ａは、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａ、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂおよび直流電圧源１４に接続され、受信時に入出力端子２３から入力された高周波信号の直流電圧源１４への流入を阻止し、送信時に入力端子１６から入力された高周波信号の直流電圧源１４への流入を阻止する。また、高周波阻止回路１３ｂは、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａおよび電流制限抵抗１５ａに接続され、受信時に入出力端子２３から入力された高周波信号の電流制限抵抗１５ａへの流入を阻止する。また、高周波阻止回路１３ｃは、第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂおよび電流制限抵抗１５ｂに接続され、送信時に入力端子１６から入力された高周波信号の電流制限抵抗１５ｂへの流入を阻止する。
【００５１】
直流阻止回路１２ａは、入出力端子２３、第１のマイクロマシンスイッチ１１ａおよび第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂに接続され、直流電圧源１４から出力された直流電流が入出力端子２３を通じて送受信切り替え回路１９の外部に流出するのを阻止する。また、直流阻止回路１２ｂは、出力端子１７および第１のマイクロマシンスイッチ１１ａに接続され、直流電圧源１４から出力された直流電流が出力端子１７を通じて送受信切り替え回路１９の外部に流出するのを阻止する。また、直流阻止回路１２ｃは、入力端子１６および第２のマイクロマシンスイッチ１１ｂに接続され、直流電圧源１４から出力された直流電流が入力端子１６を通じて送受信切り替え回路１９の外部に流出するのを阻止する。
【００５２】
以上のように、本発明の無線通信装置４によれば、第１および第２のマイクロマシンスイッチ１１ａ，１１ｂを用いて送受信の切り替えを行なうことができるので、低損失・高アイソレーション特性によって高周波信号を良好に伝達することができる。また、直流電圧源１４を備えることによって、第１および第２のマイクロマシンスイッチ１１ａ，１１ｂの接点に形成された酸化膜および異物が破壊され、導通不良が起こらないようにすることができ、高周波阻止回路１３ａ，１３ｂ，１３ｃを備えることによって、高周波信号の電力の損失を防止することができ、直流阻止回路１２ａ，１２ｂ，１２ｃを備えることによって、高い性能および信頼性を維持できる。
【００５３】
（変形例）
本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、たとえば以下のような変形例を含む。
【００５４】
（１）  マイクロマシンスイッチの配置
本発明の第３および第４の実施形態では、マイクロマシンスイッチ１１，１１ａ，１１ｂの配置は、図１の第１の実施形態のマイクロマシンスイッチ１１の配置、すなわちマイクロマシンスイッチ１１がオンのときに高周波信号が外部に出力されるような配置としたが、これに限定するものではない。本発明の第３および第４の実施形態でも、マイクロマシンスイッチ１１，１１ａ，１１ｂの配置を図３の第２の実施形態のマイクロマシンスイッチ１１の配置、すなわちマイクロマシンスイッチ１１がオフのときに高周波信号が外部に出力されるような配置にしてもよい。
【００５５】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の第１の実施形態の高周波回路１の構成を表わす図である。
【図２】マイクロマシンスイッチ１１の動作サイクル回数と接触抵抗との関係の実験結果を表わす図である。
【図３】本発明の第２の実施形態の高周波回路２の構成を表わす図である。
【図４】本発明の第３の実施形態の高周波回路３の構成を表わす図である。
【図５】制御回路１８によって制御された、マイクロマシンスイッチ１１へ印加される直流電圧の波形図である。
【図６】本発明の第４の実施形態の無線通信装置４の構成を表わす図である。
【図７】送受信切り替え回路１９の構成を表わす図である。
【符号の説明】
【００５７】
１，２，３  高周波回路、４  無線通信装置、１０  接地導体、１１  マイクロマシンスイッチ、１１ａ  第１のマイクロマシンスイッチ、１１ｂ  第２のマイクロマシンスイッチ、１２，１２ａ，１２ｂ  直流阻止回路、１３，１３ａ，１３ｂ  高周波阻止回路、１４  直流電圧源、１５，１５ａ，１５ｂ  電流制限抵抗、１６  入力端子、１７  出力端子、１８  制御回路、１９  送受信切り替え回路、２０  アンテナ、２１  受信回路、２２  送信回路、２３  入出力端子。
【図１】
2007227097.tif 000003
【図２】
2007227097.tif 000004
【図３】
2007227097.tif 000005
【図４】
2007227097.tif 000006
【図５】
2007227097.tif 000007
【図６】
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【図７】
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