(57)【要約】【課題】非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子を提供する。【解決手段】不揮発性半導体メモリ素子において、下部電極と、下部電極上に非晶質合金酸化物を含んで形成された酸化層と、酸化層上に形成された上部電極とを備える非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子である。【選択図】図３
2007227922.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
不揮発性半導体メモリ素子において、
下部電極と、
前記下部電極上に非晶質合金酸化物を含んで形成された酸化層と、
前記酸化層上に形成された上部電極とを備えることを特徴とする非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項２】
前記酸化層は、遷移金属を含む第１金属、及び、前記第１金属と結晶特性が互いに異なる第２金属の合金酸化物から形成されたことを特徴とする請求項１に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項３】
前記第１金属に含まれる遷移金属としては、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｗ、ＣｏまたはＮｂのうち、いずれか一つであることを特徴とする請求項２に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項４】
前記第２金属は、ＡｌまたはＩｎであることを特徴とする請求項２に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項５】
前記下部電極または上部電極は、前記酸化層とショットキー接合構造であることを特徴とする請求項１に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項６】
前記酸化層がｎ型酸化物から形成され、前記下部電極または上部電極のうちいずれか一つは、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｕまたはそれらの酸化物から形成されたことを特徴とする請求項５に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【請求項７】
前記酸化層がｐ型酸化物から形成され、前記下部電極または上部電極のうちいずれか一つは、ＴｉまたはＡｇから形成されたことを特徴とする請求項５に記載の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、不揮発性メモリ素子に係り、さらに詳細には、結晶構造の互いに異なる物質を配合して非晶質薄膜を形成し、高速動作が可能であり、低電力で駆動する非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体メモリ素子は、単位面積当たりメモリセルの数、すなわち、集積度が高く、動作速度が速くて低電力で駆動が可能であることが望ましいが、これについての多くの研究が進められてきた。
【０００３】
一般的な半導体メモリ装置は、回路的に連結された多くのメモリセルを備える。代表的な半導体メモリ装置であるＤＲＡＭ（Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）の場合、単位メモリセルは、１個のスイッチと１個のキャパシタとにより構成されることが一般的である。ＤＲＡＭは、集積度が高くて動作速度が速いという利点がある。しかし、電源がオフになった後には、保存されたデータがいずれも消失されるという短所がある。
【０００４】
不揮発性メモリ素子は、電源がオフになった後にも保存されたデータが保存され、フラッシュメモリをその代表として挙げることができる。フラッシュメモリは、揮発性メモリとは異なり、不揮発性の特性を有しているが、ＤＲＡＭに比べて集積度が低く、動作速度が遅いという短所がある。
【０００５】
現在、多くの研究の進められている不揮発性メモリ素子として、ＭＲＡＭ（Magnetic Random Access Memory）、ＦＲＡＭ（Ferroelectric Random Access Memory）、ＰＲＡＭ（Phase-change Random Access Memory）及びＲＲＡＭ（Resistance Random Access Memory）などがある。
【０００６】
このうちＲＲＡＭは、遷移金属酸化物の電圧による抵抗値が変わる特性（抵抗変換特性）を主に利用したものであり、図１は、一般的な構造の抵抗変換物質を利用したＲＲＡＭ素子の構造を示した図面である。
【０００７】
図１を参照すれば、基板１０上に、下部電極１２、酸化層１４及び上部電極１６が順次に形成されている。下部電極１２及び上部電極１６は、一般的な伝導性物質から形成され、酸化層１４は、抵抗変換（可変抵抗）特性を有した遷移金属酸化物から形成される。具体的に、酸化層１４は、ＺｎＯ、ＴｉＯ２、Ｎｂ２Ｏ５、ＺｒＯ２またはＮｉＯなどを利用して形成することができる。
【０００８】
一般的に、ペロブスカイトＲＲＡＭの場合には、スイッチング物質群としてペロブスカイト酸化物を利用し、代表的にＰＣＭＯ（ＰｒＣａＭｎＯ３）またはＣｒ−ＳＴＯ（ＳｒＴｉＯ３）のような物質を酸化層として利用し、ショットキー障壁変形の原理を利用し、メモリノードに加えられる極性によってメモリ特性を具現化した例がある。
【０００９】
遷移金属酸化物（ＴＭＯ：Ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ Ｍｅｔａｌ Ｏｘｉｄｅ）を利用したＲＲＡＭ素子の場合にも、メモリ素子として使用可能であるスイッチング特性を有している。しかし、遷移金属酸化物の場合、結晶化された薄膜状態でメモリ素子として利用する場合、ノード微細化に限界がある。
【００１０】
図２Ａは、Ｓｉ基板上に遷移金属酸化物であるＺｎＯを形成した後、Ｘ線回折（ＸＲＤ：Ｘ−Ｒａｙ Ｄｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ）でその結晶性を測定したグラフである。
【００１１】
図２Ａを参照すれば、Ｓｉ（１００）ピーク、ＺｎＯ（０００２）ピーク及びＺｎＯ（１０１２）ピークが観察され、結晶化が進んでいるということを確認することができる。
【００１２】
図２Ｂは、ＺｎＯ表面について示したＳＥＭ（Scanning Electron Microscopy）写真であり、このように、ＲＲＡＭの酸化層の結晶化が進んだ場合には、粒子サイズが大きいので、均一特性のメモリ素子の具現化が困難になるという問題点がある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明では、前記従来技術の問題点を解決するために、結晶性薄膜を抵抗性メモリ素子に利用する場合、発生しうるノード微細化の限界を克服するために、遷移金属酸化物を含む酸化層を非晶質化した非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明では、前記目的を達成するために、不揮発性半導体メモリ素子において、下部電極と、前記下部電極上に非晶質合金酸化物を含んで形成された酸化層と、前記酸化層上に形成された上部電極とを備える非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子を提供する。
【００１５】
本発明において、前記酸化層は、遷移金属を含む第１金属、及び、前記第１金属と結晶特性が互いに異なる第２金属の合金酸化物から形成されたことを特徴とする。
本発明において、前記第１金属に含まれる遷移金属としては、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｗ、ＣｏまたはＮｂのうち、いずれか一つであることを特徴とする。
【００１６】
本発明において、前記第２金属は、ＡｌまたはＩｎであることを特徴とする。
本発明において、前記下部電極または上部電極は、前記酸化層とショットキー接合構造であることを特徴とする。
【００１７】
本発明において、前記酸化層がｎ型酸化物から形成され、前記下部電極または上部電極のうちいずれか一つは、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｕまたはそれらの酸化物から形成されたことを特徴とする。
本発明において、前記酸化層がｐ型酸化物から形成され、前記下部電極または上部電極のうちいずれか一つは、ＴｉまたはＡｇから形成されたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、次のような長所を有している。
第一に、不揮発性メモリの構造が全体的に非常に簡単なので、これをアレイ構造により形成する場合、従来の一般的なＤＲＡＭ製造工程など、一般的に周知の半導体製造工程を利用して容易に形成することができる。
【００１９】
第二に、メモリノードが非晶質遷移金属酸化物から形成され、その大きさをかなり小さくして高密度に形成することができ、印加電圧に対する安定した電流値変化（抵抗変化）を示すので、信頼性あるメモリ素子としての具現化が可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子について詳細に説明する。ここで、図面に図示された層や領域などの厚さ及び幅は、説明のために誇張して図示したものであるということを明記する必要がある。
【００２１】
図３は、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子の構造を示した図面である。
図３を参照すれば、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子は、基板３０上に順次に形成された下部電極３２、非晶質酸化物から形成された酸化層３４及び上部電極３６を備える。
【００２２】
ここで、基板３０は、選択的に設けられ、一般的な半導体素子の基板として使われうる物質ならば、制限なく適用可能であり、一般的にＳｉ、ＳｉＯ２、ＳｉＣなどで形成することができる。
酸化層３４は、抵抗変換物質から形成され、基本的に結晶特性の異なる二種以上の金属を含む合金酸化物から形成される。そして、金属のうち少なくとも一つは、遷移金属であることが望ましい。遷移金属としては、Ｎｉ、Ｔｉ、Ｈｆ、Ｚｒ、Ｚｎ、Ｗ、ＣｏまたはＮｂを挙げることができ、それらの酸化物は、ＮｉＯ、ＴｉＯ２、ＨｆＯ、ＺｒＯ、ＺｎＯ、ＷＯ３、ＣｏＯまたはＮｂ２Ｏ５の形態となる。そして、付加される金属としては、前記遷移金属と結晶特性が異なるＡｌ（Ａｌ２Ｏ３）またはＩｎ（Ｉｎ２Ｏ３）を挙げることができる。
【００２３】
下部電極３２及び上部電極３６は、基本的に伝導性物質から形成するが、そのうちの一つは、非晶質酸化層３４とショットキー接合とすることが望ましい。例えば、酸化層３４をＩｎＺｎＯｘのようなｎ型酸化物から形成する場合、下部電極３２及び上部電極３６のうち少なくともいずれか一つは、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｒｕまたはそれらの酸化物から形成する。そして、酸化層３４をＮｉＯのようなｐ型酸化物を含んで形成する場合、下部電極３２及び上部電極３６のうち少なくともいずれか一つは、ＴｉまたはＡｇなど、小さい仕事関数を有した物質から形成することが望ましい。
【００２４】
前述のように、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子は、酸化層３４を非晶質合金酸化物から形成することを特徴とする。図４Ａ及び図４Ｂは、酸化層３４をＩｎＺｎＯｘ（０．５＜ｘ＜１．５）から形成した試片に対するものである。図４Ａは、Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ（ＩＺＯ）薄膜に対してＸＲＤでその結晶性を測定したグラフであり、図４Ｂは、前記図４ＡのＩＺＯ薄膜の表面を示したＳＥＭ写真である。
【００２５】
図４Ａを参照すれば、ＩＺＯ薄膜で、結晶化がほとんど進んでいないということを確認することができる。これは、酸化層３４に蒸着されたＩＺＯ薄膜のほぼ全領域が非晶質化していると判断されうるためである。これを確認するために、図４ＢのＳＥＭ写真でその断面及び表面の物質特性を見れば、全体的に非晶質状態であるから、粒子がほとんど形成されていないということが分かる。
【００２６】
参考までに、ＩＺＯ薄膜の場合、ＩｎとＺｎとのあらゆる組成比で非晶質特性を示すのではなく、Ｉｎの組成が約４５ａｔ％ないし８０ａｔ％の範囲で非晶質特性を示すと周知されている。従って、この範囲でのＩＺＯ薄膜が非晶質特性を示す範囲で非晶質遷移金属酸化物として使われうる。
【００２７】
図５は、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子のスイッチング特性を示したグラフである。ここで、下部電極３２はＩｒＯｘ、酸化層３４はＩｎＺｎＯｘ、上部電極３６はＩｒＯｘから形成した試片に対し、−３Ｖから＋３Ｖに順次に電圧を印加し、さらに３Ｖから−３Ｖに電圧を印加する過程を１０回反復し、酸化層３４の電流値（ｍＡ）を測定したグラフである。
【００２８】
図５を参照すれば、−３Ｖから０Ｖまで順次に印加電圧を上昇させる場合、図５の１番曲線に沿って酸化層３４に流れる電流値が増大し、０Ｖから３Ｖに印加電圧を上昇させる場合、２番曲線に沿って酸化層３４に流れる電流値が増大するということが分かる。また、３Ｖから０Ｖに印加電圧を低下させる場合、３番曲線に沿って酸化層３４に流れる電流値が減少し、０Ｖから−３Ｖに印加電圧を順次に減少させる場合、４番曲線に沿って酸化層３４に流れる電流値が減少するということが分かる。
【００２９】
ここで、−２Ｖないし０Ｖの電圧の範囲でで、１番及び４番は、互いに異なる電流値が流れるということを確認することができ、０Ｖないし１Ｖ領域では、２番及び３番は、互いに異なる電流値が酸化層３４に流れるということが分かる。例えば、印加電圧が−１Ｖである場合、酸化層３４は、１番曲線または４番曲線による抵抗状態を有しうる。ここで、１番及び２番は、低い抵抗状態（ＬＲＳ：Ｌｏｗ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｓｔａｔｅ）であり、３番及び４番は、高い抵抗状態（ＨＲＳ：Ｈｉｇｈ Ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ Ｓｔａｔｅ）であるということが分かる。
【００３０】
１０回余りの反復実験でも、一貫した結果を得るということができ、結果的に、メモリ素子として使用できるスイッチング特性が良好であるということが分かる。
図６Ａは、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子の耐久性（ｅｎｄｕｒａｎｃｅ）特性を示したグラフである。ここで使われた試片は、下部電極３２はＩｒＯｘ、酸化層３４はＩｎＺｎＯｘ、上部電極３６はＩｒＯｘから形成したものである。図６Ａの結果は、図５のように測定対象試片に対して−３Ｖないし３Ｖ印加し、さらに３Ｖから−３Ｖに電圧を印加するスウィーピング（ｓｗｅｅｐｉｎｇ）過程を約１００回余り反復した酸化層３４が低い抵抗状態（ＬＲＳ）及び高い抵抗状態（ＨＲＳ）を有する場合、それぞれの抵抗値を測定した結果を示したグラフである。
【００３１】
図６Ａを参照すれば、低い抵抗状態の抵抗値と高い抵抗状態の抵抗値は、スウィーピング過程を反復しても、大きい差を示さずに一貫した値を維持するということを確認することができる。これは、本発明の実施例による非晶質遷移金属酸化物を利用した不揮発性メモリ素子の優秀な再現性を示すということを確認することができる。
【００３２】
図６Ｂは、本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子のリテンション（ｒｅｔｅｎｔｉｏｎ）特性を示したグラフである。ここで使われた試片は、前記図５及び前記図６Ａと同様に、下部電極３２はＩｒＯｘ、酸化層３４はＩｎＺｎＯｘ、上部電極３６はＩｒＯｘから形成したものである。リテンション特性を調べるために、約１００℃で１０時間の間試片のＨＲＳ及びＬＲＳでの抵抗値を測定した。その結果、ＬＲＳの抵抗値は、かなり一定に維持される。そして、ＨＲＳの抵抗値は、微細な偏差があるが、ＬＲＳの抵抗値とは明確に区別され、従ってリテンション特性は、安定的に維持されるということが分かる。
【００３３】
本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子は、基本的に下部電極３２、非晶質合金から形成された酸化層３４及び上部電極３６を備える構造を有し、それは、遷移金属を含む非晶質合金酸化層３４をメモリノードとして利用したＭＩＭ（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ）形態のメモリ素子である。ここで、下部電極３２または上部電極３６のうちいずれか一つは、酸化層３４とショットキー接合をなすということが望ましい。
【００３４】
かかるメモリ構造は、トランジスタ構造体のソースまたはドレインと連結され、１Ｔ（ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）−１Ｒ（ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）構造として、またはダイオード構造体と連結され、１Ｄ（ｄｉｏｄｅ）−１Ｒ（ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）構造として使われ、またクロスポイント（ｃｒｏｓｓ ｐｏｉｎｔ）形態でアレイ構造として使われうる。
本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子の場合、従来の一般的なＤＲＡＭ製造工程など、一般的に周知の半導体製造工程を利用して容易に形成することができる。
【００３５】
前記の説明で多くの事項が具体的に記載されているが、それらは、発明の範囲を限定するものとするより、望ましい実施例の例示として解釈されるべきものである。従って、本発明の範囲は、説明された実施例によって定められるものではなく、特許請求の範囲に記載された技術的思想によってのみ定められるものである。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明の非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子は、例えば、メモリ関連の技術分野に効果的に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】一般的な構造の抵抗変換物質を含むメモリ素子の構造を示した図面である。
【図２Ａ】Ｓｉ基板上に遷移金属酸化物であるＺｎＯを形成した後、ＸＲＤでその結晶性を測定したグラフである。
【図２Ｂ】図２ＡのＺｎＯ表面を示したＳＥＭ写真である。
【図３】本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子を示した図面である。
【図４Ａ】Ｉｎ２Ｏ３−ＺｎＯ（ＩＺＯ）薄膜に対し、ＸＲＤでその結晶性を測定したグラフである。
【図４Ｂ】図４ＡのＩＺＯ薄膜の表面を示したＳＥＭ写真である。
【図５】本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子のスイッチング特性を示したグラフである。
【図６Ａ】本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子の耐久性特性を示したグラフである。
【図６Ｂ】本発明の実施例による非晶質合金酸化層を含む不揮発性メモリ素子のリテンション特性を示したグラフである。
【符号の説明】
【００３８】
１０，３０    基板
１２，３２    下部電極
１４，３４    酸化層
１６，３６    上部電極
【図１】
2007227922.tif 000003
【図２Ａ】
2007227922.tif 000004
【図４Ａ】
2007227922.tif 000005
【図５】
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【図６Ａ】
2007227922.tif 000007
【図６Ｂ】
2007227922.tif 000008
【図２Ｂ】
2007227922.tif 000009
【図３】
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【図４Ｂ】
2007227922.tif 000011