(57)【要約】【課題】レンズ測定装置の異常を容易に検出することができる測定装置検査方法を提供すること。【解決手段】レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置の検査を行う測定装置検査方法であって、レンズ測定装置により測定されるレンズ１と同型の基準レンズを用意しその基準レンズについてレンズ測定装置により光学特性を測定する測定工程と、基準レンズについてレンズ測定装置により光学特性を測定しその測定値を測定工程にて測定された光学特性の測定値と対比しそれらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいてレンズ測定装置の異常を検査する検査工程とを備えている。これにより、基準レンズを用いて装置の異常を容易かつ確実に検出することができる。【選択図】図１
2007322330.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置の検査を行う測定装置検査方法であって、
前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを用意し、その基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定する測定工程と、
前記基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定し、その測定値を前記測定工程にて測定された光学特性の測定値と対比し、それらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいて前記レンズ測定装置の異常を検査する検査工程と、
を含む測定装置検査方法。
【請求項２】
前記測定工程において、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを二個以上用意し、それらの各基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定すること、
を特徴とする請求項１に記載の測定装置検査方法。
【請求項３】
レンズを保持具により保持した状態でその光学特性を測定するレンズ測定装置の検査を行う測定装置検査方法であって、
前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを用意すると共に、前記レンズ測定装置に用いられる保持具と同型の基準保持具を用意し、その基準保持具に前記基準レンズを保持させた状態で前記基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定する測定工程と、
前記基準レンズを前記基準保持具に保持させて前記レンズ測定装置により前記基準レンズの光学特性を測定し、その測定値を前記測定工程にて測定された光学特性の測定値と対比し、それらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいて前記レンズ測定装置の異常を検査する検査工程と、
を含む測定装置検査方法。
【請求項４】
前記測定工程において、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズと前記レンズ測定装置の測定に用いられる保持具と同型の基準保持具を二組以上用意し、それらの基準レンズと基準保持具についてそれぞれ前記レンズ測定装置により光学特性を測定すること、
を特徴とする請求項３に記載の測定装置検査方法。
【請求項５】
前記レンズ測定装置は、前記レンズの光学特性として少なくともＭＴＦを測定するものであることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の測定装置検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置を検査する測定装置検査方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、レンズの光学特性を測定するものとして、例えば、特開２００４−２９４０７６号公報に記載されるように、レンズのＭＴＦ値の測定やＭＴＦ−デフォーカス特性を測定する測定装置が知られている。この装置は、装置内に配置された被検レンズに基準チャートを介してハロゲンランプなどの光を入射し、被検レンズから出射される光像を固体撮像素子で検出して、被検レンズのＭＴＦ値の測定やＭＴＦ−デフォーカス特性などの光学特性を測定しようとするものである。
【特許文献１】特開２００４−２９４０７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述した測定装置において、その装置の動作異常を検査する方法としては、例えばレンズの製造時において、製造したレンズのＭＴＦ値などの測定値に基づいて装置の異常を検出することが考えられる。すなわち、測定値が極度に異常な値となっている場合であってレンズ自体が特に異常品でない場合には、測定装置に異常があると推測することができる。
【０００４】
しかしながら、レンズの測定値が通常の測定値とあまり変わらない値であるが、多少小さい値になったり又は多少大きい値になったりしている場合、レンズ自体の光学特性に問題があるのか、装置の測定系に問題があるのか、判断しにくい状況となる。このような状況になると、適切なレンズ測定を行うことができない。
【０００５】
そこで本発明は、このような技術課題を解決するためになされたものであって、レンズ測定装置の異常を容易に検出することができる測定装置検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
すなわち、本発明に係る測定装置検査方法は、レンズの光学特性を測定するレンズ測定装置の検査を行う測定装置検査方法であって、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを用意し、その基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定する測定工程と、前記基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定し、その測定値を前記測定工程にて測定された光学特性の測定値と対比し、それらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいて前記レンズ測定装置の異常を検査する検査工程とを含んで構成されている。
【０００７】
この発明によれば、予め基準レンズについて光学特性を測定しておき、その後にその基準レンズをレンズ測定装置により測定を行い、それらの測定値の差に基づいて装置の異常を検査することにより、装置の異常を容易かつ確実に検出することができる。
【０００８】
また本発明に係る測定装置検査方法は、前記測定工程において、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを二個以上用意し、それらの各基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定することが好ましい。
【０００９】
この発明によれば、基準レンズを複数用意しておくことにより、一つの基準レンズの破損や紛失などの事態が生じても確実に装置の検査を行うことができる。
【００１０】
また本発明に係る測定装置検査方法は、レンズを保持具により保持した状態でその光学特性を測定するレンズ測定装置の検査を行う測定装置検査方法であって、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズを用意すると共に、前記レンズ測定装置に用いられる保持具と同型の基準保持具を用意し、その基準保持具に前記基準レンズを保持させた状態で前記基準レンズについて前記レンズ測定装置により光学特性を測定する測定工程と、前記基準レンズを前記基準保持具に保持させて前記レンズ測定装置により前記基準レンズの光学特性を測定し、その測定値を前記測定工程にて測定された光学特性の測定値と対比し、それらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいて前記レンズ測定装置の異常を検査する検査工程とを含んで構成されている。
【００１１】
この発明によれば、予め基準レンズについて基準保持具を用いて光学特性を測定しておき、その後にその基準レンズ及び基準保持具を用いてレンズ測定装置により測定を行って装置の異常を検査することにより、保持具の異常を含む装置の異常を容易かつ確実に検出することができる。
【００１２】
また本発明に係る測定装置検査方法は、前記測定工程において、前記レンズ測定装置により測定されるレンズと同型の基準レンズと前記レンズ測定装置の測定に用いられる保持具と同型の基準保持具を二組以上用意し、それらの基準レンズと基準保持具についてそれぞれ前記レンズ測定装置により光学特性を測定することが好ましい。
【００１３】
この発明によれば、基準レンズ及び基準保持具を複数組用意しておくことにより、一つの基準レンズ又は基準保持具について破損や紛失などの事態が生じても、確実に装置の検査を行うことができる。
【００１４】
また本発明に係る測定装置検査方法は、前記レンズ測定装置が前記レンズの光学特性として少なくともＭＴＦを測定するものである場合に適している。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、予め基準レンズについて光学特性を測定しておき、その後にその基準レンズをレンズ測定装置により測定を行いそれらの測定値の差に基づいて装置の異常を検査することにより、装置の異常を容易かつ確実に検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図における部材や部材に形成される部分の構成比率は説明のものと必ずしも一致していない。
【００１７】
まず、本発明の実施形態に係る測定装置検査方法の検査対象となるレンズ測定装置について説明する。
【００１８】
図１は、本発明の実施形態に係る測定装置検査方法の検査対象となるレンズ測定装置の構成概要図である。レンズ測定装置は、レンズ１の光学特性を測定する装置であり、例えばＭＴＦ（Modulation Transfer Function）、焦点距離、偏芯、焦点深度などの測定に用いられる。特に、レンズ１の製造時における光学特性の測定に適している。
【００１９】
レンズ測定装置は、測定部２、解析制御部３、モニタ４、判定部５及び電源部６を備えて構成されている。測定部２は、レンズ１の光学特性を測定する測定手段として機能するものである。測定部２及び電源部６は、装置本体を構成するものであり、例えばそれぞれ別個の筐体２１、６１に各構成部品を収容している。
【００２０】
測定部２は、電源部６上に載置されている。例えば、測定部２は、防振ゴム６２を介して電源部６上に載置され、電源部６の作動により生ずる振動が伝達しないように設けられている。これにより、振動の少ない環境でレンズ１の光学特性が測定できる。
【００２１】
測定対象物であるレンズ１は、トレー７に保持されて測定される。トレー７は、レンズ１を保持する保持具であって、レンズ１に光を透過できるように支持する構造となっている。トレー７は、複数のレンズ１を一度に収容できるものを用いることが好ましい。測定部２には、トレー７を載置するＸＹステージ２２が設けられている。ＸＹステージ２２は、トレー７を載置させ、トレー７をＸ方向である左右方向とＹ方向である前後方向に移動可能に構成され、そのトレー７の移動によって測定対象となるレンズ１を移動させる。ＸＹステージ２２としては、トレー７をＸ方向及びＹ方向に移動可能なものであればいずれのものを用いてもよい。
【００２２】
ＸＹステージ２２には、トレー７に保持されるレンズ１の種類を検出する検出部２２ａが設けられている。検出部２２ａは、トレー７に設けられる識別部７１の情報に基づいてトレー７が保持するレンズ１の種類を検出する。また、検出部２２ａは、トレー７に設けられる識別部７１の情報に基づいてトレー７の識別番号を検出する。トレー７の識別番号は、同じ種類のトレー７を個々に識別するための番号であり、トレー７ごとに異なる識別番号が割り当てられている。このトレー７の識別番号としては、連続したシリアル番号を割り当てることが好ましい。
【００２３】
測定部２には、チャート２３が配置されている。チャート２３は、レンズ１に入力する入力像を形成するものであり、積分球２４とレンズ１との間に配される。この測定部２は、逆投影によりレンズ１の光学特性を測定するものである。すなわち、レンズ１に対し光像を投影するチャート２３がレンズ１の焦点位置に配置される。
【００２４】
チャート２３は、Ｚステージ２５に取り付けられている。Ｚステージ２５は、チャート２３をＺ方向である上下方向に移動可能に構成され、チャート２３をレンズ１に対して任意に接近及び離間させる。これにより、レンズ１に対するチャート２３の位置調整を行うことができる。Ｚステージ２５としては、チャート２３をＺ方向に移動可能なものであればいずれのものを用いてもよい。
【００２５】
測定部２には、積分球２４が設置されている。積分球２４は、チャート２３に向けて入力光を発光する発光源となるものであり、例えばチャート２３の下方位置に取り付けられている。積分球２４は、出力口２４ａを有し、内面に拡散面２４ｂを形成した球体である。積分球２４には、光源部６３で発せられる光がライトガイド６８を通じて入射される。積分球２４に入射された光は、積分球２４の内部で繰り返し反射され、出力孔２４ａから光量ムラのごく少ない光となって出力される。
【００２６】
測定部２には、カメラ２６が設置されている。カメラ２６は、レンズ１から出力される出力像を受像する撮像手段である。カメラ２６としては、例えばＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの固体撮像素子を備えたものが用いられる。レンズ１の出力像は、レンズ１に入力されるチャート２３の入力像がレンズ１によってカメラ２６に結像される像である。
【００２７】
カメラ２６としては、レンズ１の異なる箇所の光学特性を検出するために複数のものを用いることが好ましい。このカメラ２６は、例えば９つ設置される。この場合、左右方向及び前後方向に３つずつ配列される。これにより、レンズ１の前後左右の９箇所における光学特性を測定することができる。カメラ２６の受像信号は、解析制御部３に入力される。
【００２８】
電源部６には、光源部６３が設置されている。光源部６３は、積分球２４に入力する光を発光する光源であり、例えばハロゲンランプを備えたものが用いられる。光源部６３から出力された光はライトガイド６８を通じて積分球２４に入力される。また、電源部６には、駆動部６４が設置されている。駆動部６４は、ＸＹステージ２２及びＺステージ２５の駆動制御を行うものである。この駆動部６４は、例えばＸＹステージ２２及びＺステージ２５がパルスモータの駆動により作動する場合、パルスモータコントローラにより構成される。駆動部６４は、解析制御部３から出力される制御信号に従ってＸＹステージ２２及びＺステージ２５に駆動信号を出力する。
【００２９】
また、電源部６には、制御部６５が設置されている。制御部６５は、主に光源部６３の発光制御を行うものである。また、制御部６５は、ＸＹステージ２２の検出部２２ａの検出信号を入力し、その検出信号を解析制御部３へ出力する。また、電源部６には、電源６６が設置されている。電源６６は、光源部６３、駆動部６４及び制御部６５の電力供給源となるものである。また、電源部６には、ファン６７が設置されている。ファン６７は、電源部６内の熱を排出して冷却する冷却手段として機能するものであり、例えば回転羽根を備えたものが用いられる。
【００３０】
解析制御部３は、装置全体の制御を行うものであり、例えばＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含むコンピュータを主体として構成されている。この解析制御部３としては、例えばパーソナルコンピュータの本体部が用いられる。解析制御部３は、測定部２に装着されたトレー７の情報に基づいて測定するレンズ１の種類を認識し、そのレンズ１の種類に応じたレンズ光学特性の測定の設定を行う測定設定手段として機能する。また、解析制御部３は、カメラ２６の受像信号を入力し、その受像信号に基づいてレンズ１のＭＴＦなどの光学特性を解析する解析手段として機能する。
【００３１】
モニタ４は、解析制御部３に接続され、レンズ１の光学特性の測定結果などを表示するものであり、測定された光学特性が基準値を満たさずレンズ１が不良と判断された場合にその不良内容を不良内容ごとに異なる態様で表示する表示手段として機能する。また、モニタ４により、レンズ１を測定する際の測定設定の表示も行われる。
【００３２】
判定部５は、トレー７に保持されたレンズ１の測定結果を判定するものである。判定部５は、トレー７を載置可能に構成され、載置したトレー７を認識する認識部５１、測定結果ＮＧとなったレンズ１を表示する表示部５２を備えている。判定部５は、解析制御部３と接続され、トレー７の検出情報及びレンズ１の測定結果情報を取得可能となっている。
【００３３】
判定部５に測定済みのトレー７を載置すると、認識部５１がトレー７の識別部７１に基づいてトレー７を認識する。そして、このトレー７に保持される各レンズ１の測定結果を解析制御部３から取得して、表示部５２が測定結果ＮＧのレンズ１を特定の色彩で表示する。例えば、表示部５２は、トレー７の各レンズ１の配置位置に対応して複数の発光体が配設されており、ＮＧとなったレンズ１に対応する発光体を赤く発光させる。これにより、装置の操作者は、複数保持されるレンズ１の中から測定結果ＮＧとなったレンズ１を容易に判定でき、そのＮＧのレンズ１をトレー７上から取り除くことができる。
【００３４】
図２にトレー７の平面図を示す。図３は、図２のIII−IIIにおけるトレー７の断面図である。図４は、図２のIV−IVから見たトレー７の側面図である。
【００３５】
図２、３に示すように、トレー７には、複数のレンズ１を保持する保持部７２が形成されている。保持部７２は、例えばトレー７の上面を下方に窪ませてレンズ１を収容可能に構成される。保持部７２には、底部を貫通して形成される貫通孔７３が設けられている。貫通孔７３は、レンズ測定時に入力像を透過させるための孔である。保持部７２は、縦横に配列して形成され、例えば６個×６個に配列され、トレー７上に３６個形成される。
【００３６】
図４に示すように、トレー７には、識別部７１が設けられている。識別部７１は、トレー７の種類及び識別番号を示すものであって、例えば、複数の凹凸部７１ａを組み合わせたものが用いられる。識別部７１は、下方側に対し凹凸するＮ個の凹凸部７１ａを並設して構成され、凹凸部７１ａの凹凸を設定してＮビットの情報を構築することができる。そして、このＮビットの情報に応じてトレー７の種類及びトレー７の識別番号を設定することにより、Ｎビットの情報に基づいてトレー７の種類及びトレー７の識別番号を認識することが可能となる。識別部７１には、例えば七つの凹凸部７１ａが形成され、７ビットの情報を有するものとされる。
【００３７】
トレー７の識別部７１に基づいてトレー７の種類及びトレー７の識別番号を検出する検出部２２ａとしては、例えば凹凸部７１ａの凹凸に応じてオンオフするスイッチを備えたものが用いられる。検出部２２ａは、スイッチのオンオフ状態に応じてトレー７の識別部７１における凹凸部７１ａの凹凸状態を検知し、その凹凸状態に基づいてトレー７の種類、即ちトレー７に保持されるレンズ１の種類及びトレー７の識別番号を検出する。また、判定部５の認識部５１も、検出部２２ａと同様なものが用いて構成すればよい。
【００３８】
なお、この検出部２２ａ及び認識部５１は、トレー７の情報を読み取れるものであれば、上述したもの以外のものでもよく、例えばトレー７にバーコードを付し、そのバーコードを読み取ってトレー７の情報を検出するものであってもよい。
【００３９】
図５は、チャート２３の平面図である。
【００４０】
図５に示すように、チャート２３は、スリット２３ａを形成した部分のみ光の透過を許容し、その他の部分の光の透過を遮断する板体により構成される。スリット２３ａは、例えば中央位置の測定点Ｐ１とその周囲に放射状に配置された複数の測定点Ｐ２〜Ｐ９が十字状に開口するように形成されている。また、測定点Ｐ１〜Ｐ９を縦３つ横３つに配列して形成してもよい。各測定点Ｐ１〜Ｐ９において、スリット２３ａに十字状に形成しておくことが好ましい。このようにスリット２３ａに複数の測定点Ｐ１〜Ｐ９を設けることにより、レンズ１の各部の光学特性を個別に測定することができ、レンズ１の光学特性を精密に測定することができる。
【００４１】
次に、レンズ測定装置の基本動作について説明する。
【００４２】
図６は、レンズ測定装置の基本動作を示すフローチャートである。図６における制御処理は、主に解析制御部３によって実行される。図６のＳ１０に示すように、まず、トレー７が測定部２の測定位置に装着されたか否かが判断される。この判断処理は、例えばＸＹステージ２２の検出部２２ａの検出信号に基づいて行えばよい。Ｓ１０にて、トレー７が測定部２の測定位置に装着されたと判断されたときには、トレー識別情報の読み込み処理が行われる（Ｓ１２）。
【００４３】
このトレー識別情報の読み込み処理は、検出部２２ａの検出信号に基づいて行われる。すなわち、検出部２２ａの検出信号に含まれる７ビットの情報に基づいてトレー７の種類及びトレー７の識別番号が検出され、そのトレー７の種類、そのトレー７に保持されるレンズ１の種類及びトレー７の識別番号がそれぞれ読み込まれる。
【００４４】
そして、Ｓ１４に移行し、測定設定処理が行われる。この測定設定処理は、レンズ１の光学特性の測定に際し、その測定系の設定を行う処理である。例えば、測定設定として、レンズ１の焦点距離に対応してチャート２３の位置設定が行われる。レンズ１の種類に応じて解析制御部３から駆動部６４に駆動制御信号が出力され、駆動部６４の駆動信号を受けてＺステージ２５が作動し、チャート２３のＺ方向の位置設定が行われる。このような測定設定により、装置の操作者がレンズ１の種類に応じて測定設定を行う必要がなく、測定作業が円滑に行える。また、誤って測定設定が行われることを防止できる。
【００４５】
また、測定設定として、トレー７のレンズ１保持位置に対応してＸＹステージ２２の移動設定プログラムの読み込みが行われる。また、測定設定として、レンズ１の種類に応じて積分球２４から出力される光の光量を設定する場合もある。
【００４６】
そして、Ｓ１６に移行し、測定開始ボタンがオンとなったか否かが判断される。図示しない測定開始ボタンを装置の操作者が押下した場合、測定開始ボタンがオンとなったと判断される。測定開始ボタンがオンとなったと判断された場合には、測定処理が行われる（Ｓ１８）。
【００４７】
測定処理は、測定すべきレンズ１がチャート２３の真上に来るようにＸＹステージ２２を動作させ、積分球２４から光を出力させ、レンズ１から出力される光像を撮像したカメラ２６の撮像画像に基づいてレンズ１の光学特性を解析して行われる。積分球２４から出射された光は、チャート２３のスリット２３ａを透過してレンズ１に入射される。そして、レンズ１から出力されるスリット２３ａの光像は、カメラ２６に撮像される。その際、スリット２３ａの測定点Ｐ１〜Ｐ９に対しそれぞれ割り当てられたカメラ２６がそれらの測定点Ｐ１〜Ｐ９における光像を撮像する。
【００４８】
レンズ１の光学特性としては、ＭＴＦが測定される。ＭＴＦは、例えばスリット２３ａの光像画像の線像強度分布を求め、それをフーリエ変換して算出される。このＭＴＦは、測定点Ｐ１〜Ｐ９ごとに算出される。また、図７に示すような空間周波数に対するＭＴＦの光学特性や図８に示すようなデフォーカスに対するＭＴＦの光学特性が算出される。また、レンズ１の光学特性としては、レンズ１の焦点距離、焦点深度、偏芯状態などが測定される。これらの光学特性は、ＭＴＦと同様に、測定点Ｐ１〜Ｐ９ごとに測定することが好ましい。
【００４９】
そして、図６のＳ２０に移行し、測定結果判断処理が行われる。この測定結果判断処理は、測定したレンズ１の光学特性が予め設定される許容範囲内の特性になっているか否かを判断する処理である。例えばレンズ１のＭＴＦ値が許容範囲内の値になっているか否かが判断される。レンズ１のＭＴＦ値が許容範囲内の値になっていない場合には、そのレンズ１はＮＧレンズとして処理される。
【００５０】
そして、Ｓ２２に移行し、測定したレンズ１の光学特性がＮＧであるか否かが判断される。測定したレンズ１の光学特性が許容範囲内にない場合には、レンズ１がＮＧであると判断され、ＮＧカウントアップ処理が行われる（Ｓ２４）。ＮＧカウントアップ処理は、ＮＧとなったレンズ１のトレー７上のレンズ保持位置（保持部７２）に対するカウント値がインクリメントされる。このカウント値は、トレー７ごとのレンズ保持位置に対しそれぞれ設定され、それぞれのレンズ保持位置におけるＮＧ回数を示している。
【００５１】
そして、Ｓ２６に移行し、結果表示処理が行われる。結果表示処理は、測定したレンズ１がＮＧであることをモニタ４に表示し、そのＮＧの内容をＮＧ内容ごとに異なる態様で表示する処理である。例えば、図９に示すように、ＮＧ表示４１が画像表示される。この表示を操作者が見ることにより、トレー７上のレンズ１のいずれかが光学特性の基準値を満たさないものがあることを容易に知ることができる。
【００５２】
また、その際、レンズ１がどのようなＮＧ内容であったかをＮＧ内容ごとに異なる色彩で表示される。例えば、図９に示すように、トレー７のレンズ保持位置（保持部７２の形成位置）に対応したトレー表示４２が表示され、縦Ａ〜Ｆ、横１〜６としてＡ１、Ｂ２というように座標値でレンズ保持位置が特定できるように表示される。このトレー表示４２において、例えば、ＭＴＦが許容範囲外でＮＧの場合にはそのＮＧのレンズ１の位置が赤色に表示され、焦点距離（ＦＦＬ）がＮＧの場合には茶色に表示され、偏芯がＮＧの場合にはオンレジ色に表示され、焦点深度がＮＧの場合にはピンク色に表示される。
【００５３】
このようにＮＧ内容ごとに異なる色彩で表示することにより、モニタ４の画面を見ればレンズ１の光学特性がどの項目のＮＧであるのか容易に認識することができる。また、ＮＧの色彩を他の者に知らせることにより、レンズ１のＮＧ内容の情報を容易に伝達することができる。特に装置の操作者が使用言語の異なる者にＮＧ内容を伝える場合に、そのＮＧ内容を容易に伝えることができる。
【００５４】
また、結果表示処理において、レンズ１のＮＧ内容をＮＧ内容ごとに異なる態様で表示する場合、異なる色彩で表示するものの他、ＮＧ表示の点滅時間間隔を異ならせてもよいし、ＮＧ表示の大きさを異ならせてもよい。
【００５５】
一方、図６のＳ２２にて、測定したレンズ１の光学特性がＮＧでないと判断された場合には、測定結果処理が行われる（Ｓ２８）。この結果表示処理は、測定したレンズ１がＮＧでなくＯＫであることをモニタ４に表示する処理である。例えば、図１０に示すように、ＯＫ表示４３が画像表示される。この表示を操作者が見ることにより、トレー７上のレンズ１の全てが光学特性の基準値を満たしていることを容易に知ることができる。なお、測定したレンズ１がＮＧでなく、かつＯＫでもなく、判断保留の場合には、「保留」を表示する場合もある。
【００５６】
そして、Ｓ３０に移行し、トレー７上の全てのレンズ１の測定が終了した否かが判断される。例えば、トレー７の位置をＸＹステージ２２を作動させることにより移動させて、トレー７上のレンズ１を端から順次測定していく場合、トレー７上の全てのレンズ１が測定し終えたか否かが判断される。トレー７上の全てのレンズ１が測定し終えていない場合には、Ｓ１８に戻る。
【００５７】
一方、Ｓ３０にてトレー７上の全てのレンズ１が測定し終えたと判断された場合には、警告処理が行われる（Ｓ３２）。警告処理は、Ｓ２４にてカウントアップしたＮＧカウンタ値が設定値以上となった場合に、レンズ測定系に異常があるおそれがあることを警告する処理である。例えば、同じ識別番号のトレー７における特定のレンズ保持位置のＮＧが連続してｎ回ＮＧである場合には、トレー７に異常があることが警告される。この場合、ｍ回測定でｎ回ＮＧである場合に警告してもよい。警告の仕方は、モニタ４への画像表示、音声の出力、ランプ等の発光部材の発光などによって行われる。一方、Ｓ２４にてカウントアップしたＮＧカウンタ値が設定値以上となっていない場合には、警告処理においてレンズ測定系の異常を警告する処理は行われない。この警告処理を終えたら、制御処理を終了する。
【００５８】
次に、本実施形態に係る測定装置検査方法について、上述したレンズ測定装置を検査する場合を例に挙げて説明する。
【００５９】
まず、測定装置検査方法として、基準レンズ及び基準トレーを用いた測定工程が行われる。この測定工程は、基準レンズの光学特性を事前に測定する工程であって、基準トレーに基準レンズを保持させてレンズ測定装置に装着し、その基準レンズの光学特性を測定して行われる。基準レンズは、レンズ測定装置により測定されるレンズ１と同型のレンズである。この基準レンズとしては、レンズ１のうち光学特性に偏りの少ない標準的なものを用いることが好ましい。基準トレーは、レンズ測定装置に用いられるトレー７と同型のトレーである。この基準トレーとしては、トレー７のうち変形や異常のないものを用いることが好ましい。
【００６０】
この測定工程においては、例えば基準レンズのＭＴＦ測定が行われ、その測定値が記録される。この測定値は、基準測定値となるものである。その際、基準レンズの測定値は、解析制御部３に基準測定値として記録しておくことが好ましい。このようにレンズ測定装置に記録しておくことにより、装置の異常を確認する際の測定値と基準測定値とを比較してそれらの値の差を容易に対比することができる。
【００６１】
また、測定工程において、基準レンズのＭＴＦ以外の光学特性も測定して基準測定値として記録しておくことが好ましい。この場合、複数の光学特性を基準測定値として記録しておくことにより、より正確に装置の異常を検出することができる。また、測定工程において、基準レンズのＭＴＦ以外の光学特性を測定し、その測定値を基準測定値として記録してもよい。
【００６２】
そして、レンズ測定装置の異常を検査する検査工程が行われる。この検査工程は、レンズ測定装置をレンズ製造に用いる場合などにおいて装置異常と思われる場合に行ってもよいし、一日ごと、一週間ごと又は一ヶ月ごとなど定期的に行ってもよい。
【００６３】
この検査工程は、基準レンズについてレンズ測定装置により光学特性を測定し、その測定値を予め測定しておいた基準測定値と対比し、それらの測定値の差が設定範囲以内にあるか否かに基づいてレンズ測定装置の異常を検査する工程である。
【００６４】
具体的には、基準トレーに基準レンズを保持させてレンズ測定装置に装着し、その基準レンズの光学特性が測定される。そして、測定された測定値と解析制御部３に記録されている基準測定値とが対比され、それらに値の差が算出される。そして、その差が予め解析制御部３に設定されている設定範囲以内であるか否かが判断される。その差が設定範囲以内である場合には、装置が正常であると判定される。一方、その差が設定範囲以内でない場合には、装置が異常であると判定される。
【００６５】
この検査工程は、解析制御部３に検査プログラムを設定し、基準測定値の記録、設定範囲の設定、検査工程における測定値と基準測定値の対比処理及び異常判定処理をレンズ測定装置により実行することが好ましい。この場合、レンズ測定装置に基準レンズを装着することにより、装置が正常か異常かを自動的に検査することができる。従って、検査作業が容易に行える。なお、この場合、レンズ測定装置において、例えば解析制御部３が基準測定値の記録手段、設定範囲の設定手段、検査工程における測定値と基準測定値の対比手段及び装置の異常を判定する異常判定手段として機能する。
【００６６】
以上のように、本実施形態に係る測定装置検査方法によれば、予め基準レンズについて光学特性を測定しておき、その後にその基準レンズをレンズ測定装置により測定を行い、それらの測定値の差に基づいて装置の異常を検査することにより、装置の異常を容易かつ確実に検出することができる。
【００６７】
例えば、基準レンズを用いずレンズ１の測定値の統計などによってレンズ測定装置の異常を検出する場合、レンズ１の測定値が通常の測定値とあまり変わらない値であるが、多少小さい値になったり又は多少大きい値になったりしているときには、レンズ１に問題があるのか、装置の測定系に問題があるのか、判断しにくい状況となる。これに対し、本実施形態に係る測定装置検査方法によれば、基準レンズを測定装置で測定することにより、容易に装置の異常を検出することができる。また、基準レンズの測定結果に応じて装置がどの程度異常であるのかも検出することができる。
ＭＴＦ測定装置の場合は、ブロックゲージのような基準レンズを作るのが難しく、また測定条件が被測定レンズによって変化する。さらに、保治具の摩耗のような変化によっても測定値変化が大きいことから、２次基準（絶対基準ではなく）として同型のものを用いることによって、装置の小さな異常も容易かつ確実に検出することができる。また、測定対象がレンズの場合、パラメータが非常に多いので同型のものを用いる利点が大きく、絶対的検査ではなく、相対的変化を検査することが有効である。
【００６８】
本実施形態に係る測定装置検査方法において、基準レンズを二個以上用意し、それらについてそれぞれ基準測定値を測定しておくことが好ましい。この場合、一つの基準レンズの破損や紛失などの事態が生じても確実に装置の検査を行うことができる。
【００６９】
また、上述した測定装置検査方法において、基準レンズのほか、その基準レンズを保持する基準トレー（基準保持具）を用意し、その基準トレーに基準レンズを保持させて基準測定値を測定することが好ましい。この場合、レンズ測定装置自体の異常のほか、レンズ１を保持するトレー７の異常も検出することができる。
【００７０】
例えば、レンズ測定装置が異常と思われる場合に、基準トレーに基準レンズを保持させて測定を行い、その測定値に異常がないときには、トレー７に基準レンズを保持させて測定を行う。その際、トレー７に基準レンズを保持させた場合の測定値に異常がある場合、トレー７に異常があることを検出することができる。なお、この場合、基準トレーも二個以上用意し、それらを用いて基準測定値を測定しておくことが好ましい。これにより、基準レンズ及び基準トレーを複数組用意しておくことで、一つの基準レンズ又は基準保持具について破損や紛失などの事態が生じても、確実に装置の検査を行うことができる。
【００７１】
なお、上述した実施形態に係る測定装置検査方法は、本発明に係る測定装置検査方法の一例を示すものである。本発明に係る測定装置検査方法は、この実施形態に係る測定装置検査方法に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で、実施形態に係る測定装置検査方法を変形し、又は他のものに適用したものであってもよい。例えば、上述した実施形態では、レンズ１をトレー７に保持させて測定を行うレンズ測定装置を検査する方法について説明したが、トレー７を用いずにレンズ１を測定するレンズ測定装置を検査するものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態に係る測定装置検査方法の検査対象となるレンズ測定装置の構成概要図である。
【図２】図１におけるレンズ測定装置に用いられるトレーの平面図である。
【図３】図２のIII−IIIにおけるトレーの断面図である。
【図４】図２のIV−IVから見たトレーの側面図である。
【図５】図１におけるレンズ測定装置に用いられるチャートの説明図である。
【図６】図１のレンズ測定装置の基本動作を示すフローチャートである。
【図７】図１のレンズ測定装置における測定結果の説明図である。
【図８】図１のレンズ測定装置における測定結果の説明図である。
【図９】図１のレンズ測定装置における測定結果表示の説明図である。
【図１０】図１のレンズ測定装置における測定結果表示の説明図である。
【符号の説明】
【００７３】
１…レンズ、２…測定部、３…解析制御部、４…モニタ、５…判定部、６…電源部、７…トレー、２３…チャート、２４…積分球、２６…カメラ、６２…防振ゴム。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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