(57)【要約】【課題】  電極を確実に当接させることにより安定して通電が行われ、またメンテナンスが容易に行える成膜装置を提供する。【解決手段】  チャンバ３の内部に配設されたターンテーブル１と、ターンテーブル１に設けられたボート２と、ボート２に膜材料を供給する膜材料供給機構Ｂと、ターンテーブル１の中心軸１０１を中心とする円周上に設けられた一対の上部電極８と、ターンテーブル１が所定位置に位置するときの一対の上部電極８の下方に位置するように配置された一対の下部電極９と、一対の下部電極９の少なくとも一方を実質的に鉛直方向に保持する可動体１２と、可動体１２を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持する弾性封止体１１と、所定位置に位置する一対の上部電極８が、一対の下部電極９から離隔した位置と一対の下部電極９との間を上下するようターンテーブル１を駆動するエアシリンダ５とを備えている、成膜装置。【選択図】  図５
2007070676.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部を減圧可能なチャンバと、
前記チャンバの内部に配設され鉛直な回転駆動軸の周りに回転可能な回転体と、
前記回転体に設けられ、基材上に成膜される膜材料を収容しかつ該膜材料をその通電により加熱して蒸発させる１以上の膜材料収容体と、
前記膜材料収容体に前記膜材料を供給する膜材料供給機構と、
前記回転駆動軸を中心とする円周上に位置するように前記回転体に前記膜材料収容体毎に設けられ前記膜材料収容体に前記通電のための電流を供給する一対の上部電極と、
前記回転体がその回転方向における所定位置に位置するときの前記一対の上部電極の下方に位置するようにチャンバの底壁に気密的に配置された一対の下部電極と、
下方から視て、前記チャンバの底壁に設けられた開口を覆うように配置され、前記一対の下部電極の少なくとも一方を実質的に鉛直方向に保持する可動体と、
前記可動体を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持しかつ前記開口に対し前記可動体とともに前記チャンバを気密に保つよう前記可動体を前記チャンバの底壁に接続する弾性封止体と、
前記所定位置に位置する前記一対の上部電極が、前記一対の下部電極から離隔した位置と前記一対の下部電極と少なくとも前記一方を押し下げるようにして当接する位置との間を上下するよう前記回転体を駆動する回転体駆動機構と、を備えた、成膜装置。
【請求項２】
前記回転体駆動機構の作用部が鉛直方向に往復移動することによって、前記回転体が前記回転駆動軸を支点として傾動及び復元するようにして前記回転体の駆動が行われる請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記回転体駆動機構が、前記回転駆動軸に対し、前記一対の下部電極と反対側に設けられている請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記回転体が、前記一対の上部電極の外側に前記回転体駆動機構と接触する回転体接触部を有し、前記回転体駆動機構の作用部と前記回転体接触部とが接離することにより、前記回転体が傾動及び復元する請求項２に記載の成膜装置。
【請求項５】
前記鉛直方向に移動可能な一方の下部電極におけるチャンバの底壁から突出した部分が、他方の下部電極の突出した部分よりも、高くなるように配置されている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項６】
下方から視て、前記チャンバの底壁に設けられた他の開口を覆うように配置され、前記一対の下部電極の他方を実質的に鉛直方向に保持する他の可動体と、
前記他の可動体を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持しかつ前記他の開口に対し前記他の可動体とともに前記チャンバを気密に保つよう前記他の可動体を前記チャンバの底壁に接続する他の弾性封止体と、
前記所定位置に位置する前記一対の上部電極が、前記一対の下部電極から離隔した位置と前記一対の下部電極の双方を押し下げるようにして当接する位置との間を上下するよう前記回転体を駆動する回転体駆動機構と、を備えた請求項１に記載の成膜装置。
【請求項７】
前記弾性封止体が、ベローズである請求項１に記載の成膜装置。
【請求項８】
前記弾性封止体が、ベローズ及びばねである請求項１に記載の成膜装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置、特に複数の蒸発部を有する回転台が設けられたインライン式成膜装置の構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
インライン式成膜装置は、チャンバ内の真空雰囲気を維持した状態で、膜材料及び基板がチャンバ内にそれぞれ供給され、順次供給される基板を連続して成膜する装置である。このようなインライン式成膜装置として、真空チャンバ内に複数の蒸発部を有する回転台を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。かかる成膜装置は、回転台を回転させることにより、所定の位置にある蒸発部に膜材料を順次供給し、膜材料の供給位置とは異なる位置で、供給された膜材料を順次蒸発させるものである。
【０００３】
インライン式の成膜装置における膜材料の加熱方法として、抵抗発熱体に電流を通電することにより、膜材料を加熱、蒸発させる抵抗加熱方式が多くの成膜装置に採用されている。
【０００４】
この従来のインライン式の成膜装置では、抵抗発熱体は回転台上に設置されている。そして、抵抗発熱体への通電は、電極棒と電極ブラシの摺動接触を通じて行われている。
【特許文献１】特開２００３−７３８１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、かかる摺動接触においては、電極ブラシの磨耗により接触不良を生じやすい。電極ブラシが磨耗した場合、成膜作業を停止して電極ブラシを交換し、再度真空雰囲気にして、成膜作業を再開しなければならないため、作業効率が悪いという問題があった。また、電極ブラシ交換時に電極ブラシを正確に設置されなければ、電極棒と電極ブラシと接触されない。このため、再度電極ブラシを設置し直さなければならず、メンテナンスの作業時間がかかるという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、回転台を有するインライン式成膜装置において、電極を確実に接触させることにより安定して通電が行われ、またメンテナンスが容易に行える成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために本発明に係る成膜装置は、内部を減圧可能なチャンバと、前記チャンバの内部に配設され鉛直な回転駆動軸の周りに回転可能な回転体と、前記回転体に設けられ、基材上に成膜される膜材料を収容しかつ該膜材料をその通電により加熱して蒸発させる１以上の膜材料収容体と、前記膜材料収容体に前記膜材料を供給する膜材料供給機構と、前記回転駆動軸を中心とする円周上に位置するように前記回転体に前記膜材料収容体毎に設けられ前記膜材料収容体に前記通電のための電流を供給する一対の上部電極と、前記回転体がその回転方向における所定位置に位置するときの前記一対の上部電極の下方に位置するようにチャンバの底壁に気密的に配置された一対の下部電極と、下方から視て、前記チャンバの底壁に設けられた開口を覆うように配置され、前記一対の下部電極の少なくとも一方を実質的に鉛直方向に保持する可動体と、前記可動体を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持しかつ前記開口に対し前記可動体とともに前記チャンバを気密に保つよう前記可動体を前記チャンバの底壁に接続する弾性封止体と、前記所定位置に位置する前記一対の上部電極が、前記一対の下部電極から離隔した位置と前記一対の下部電極と少なくとも前記一方を押し下げるようにして当接する位置との間を上下するよう前記回転体を駆動する回転体駆動機構と、を備えている。
【０００８】
かかる構成とすると、対になっている電極が確実に当接されるので、安定した通電が可能となり、また、電極の設置についても精密に設置する必要がないためメンテナンスにかかる作業時間が大幅に短縮することが可能となる。
【０００９】
前記回転体駆動機構の作用部が鉛直方向に往復移動することによって、前記回転体が前記回転駆動軸を支点として傾動及び復元するようにして前記回転体の駆動が行われることが好ましい。
【００１０】
前記回転体駆動機構が、前記回転駆動軸に対し、前記一対の下部電極と反対側に設けられていることが好ましい。
【００１１】
かかる構成とすると、回転体の傾動効率が良くなり、これにより作業効率が良くなる。
【００１２】
前記回転体が、前記一対の上部電極の外側に前記回転体駆動機構と接触する回転体接触部を有し、前記回転体駆動機構の作用部と前記回転体接触部とが接離することにより、前記回転体が傾動及び復元することが好ましい。
【００１３】
前記鉛直方向に移動可能な一方の下部電極におけるチャンバの底壁から突出した部分が、他方の下部電極の突出した部分よりも、高くなるように配置されていることが好ましい。
【００１４】
前記成膜装置が、下方から視て、前記チャンバの底壁に設けられた他の開口を覆うように配置され、前記一対の下部電極の他方を実質的に鉛直方向に保持する他の可動体と、前記他の可動体を弾性的に鉛直方向に移動可能に支持しかつ前記他の開口に対し前記他の可動体とともに前記チャンバを気密に保つよう前記他の可動体を前記チャンバの底壁に接続する他の弾性封止体と、前記所定位置に位置する前記一対の上部電極が、前記一対の下部電極から離隔した位置と前記一対の下部電極の双方を押し下げるようにして当接する位置との間を上下するよう前記回転体を駆動する回転体駆動機構とを備えていることが好ましい。
【００１５】
かかる構成とすると、対となる下部電極のチャンバからの突出部分の高さの相対的な差を、弾性封止体が弾性的に吸収できる長さの範囲内とすればよいため、メンテナンスが容易となる。
【００１６】
前記弾性封止体が、ベローズであることが好ましい。
【００１７】
前記弾性封止体が、ベローズ及びばねであることが好ましい。
【００１８】
かかる構成とすることにより、ベローズとばねとで可動体を上方に付勢するので、長期にわたり弾性力が維持することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の成膜装置によれば、電極の当接を確実なものとなるため、安定して通電が可能となり、また、メンテナンス時において電極を精密に設置する必要がないため、メンテナンスが容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好ましい実施の形態を、図面を参照しながら説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態に係る成膜装置の構成を模式的に示す断面図である。
【００２１】
まず、図１を参照しながら、本実施の形態に係る成膜装置の構成について説明する。
【００２２】
成膜装置は、チャンバ３と蒸発機構Ａと膜材料供給機構ＢとキャリアＣと図示されない基板ホルダとを有している。チャンバ３の底部には蒸発機構Ａと膜材料供給機構Ｂとが設けられ、チャンバ３の内部であって蒸発機構Ａと膜材料供給機構Ｂの上方には、図示されていない基板ホルダを装着したキャリアＣが搬送される。
【００２３】
蒸発機構Ａは、回転体であるターンテーブル１と、ターンテーブル１を回転させるための回転駆動部６２と、ターンテーブル１の上面に設けられたボート２と、ボート２を通電するための一対の上部電極８及び一対の下部電極９と、ターンテーブル１を傾動するための回転体駆動機構６１と、を有する。膜材料供給機構Ｂは、チャンバ３の底壁に設けられており、ボート２の膜材料収容部１５に膜材料を供給する。
【００２４】
チャンバ３は、圧力を維持された状態で、キャリアＣによって基板Ｄが装着された基板ホルダを搬入・搬出が可能となるように構成されている。キャリアＣの搬送装置は周知であるので、詳細な説明は省略する。なお、チャンバ３は、図示されていない排気装置によって内部を実質的に真空状態にまで減圧することが可能なように構成されている。
【００２５】
次に、本実施の形態の特徴的構成である蒸発機構Ａについて、図２乃至図４を参照しながら説明する。
【００２６】
図２は、蒸発機構Ａの上面図であり、図３は、図２のＩＩＩ-ＩＩＩ線断面図であり、図４は、図２のＩＶ-ＩＶ線断面図である。
【００２７】
まず、蒸発機構Ａの回転駆動部６２について説明する。
【００２８】
回転駆動部６２は、モータ１６と回転駆動軸４とを有しており、チャンバ３の底壁３ａに配設されている。
【００２９】
図３に示すように、チャンバ３の底壁３ａには、貫通孔が鉛直方向に設けられている。この貫通孔に円筒状の取付部材５１が嵌挿され、適宜な手段によって底壁３ａに気密的に固定されている。取付部材５１の内孔には、回転駆動軸４が挿通されている。回転駆動軸４は、その上端部に他の部分より小径の首部４ｂが設けられている（以下、この首部４ｂより上方の部分を頭部４ａとし、この首部４ｂより下方の部分を本体部４ｃとする）。回転駆動軸４は、図示されない軸受けを介して、取付部材５１に回動自在に取り付けられている。回転駆動軸４と取付部材５１との間隙は図示されないシール部材によってシールされている。取付部材５１には、モータ１６が取り付けられている。回転駆動軸４の下端は、このモータ１６に接続されている。
【００３０】
次に、回転体であるターンテーブル１について説明する。
【００３１】
回転駆動軸４の首部４ｂには、円形のターンテーブル１が取り付けられている。首部４ｂは、正方形の断面を有している。一方、ターンテーブル１の中心には、首部４ｂの断面より少し大きい正方形の貫通孔５２が形成されており、貫通孔５２に回転駆動軸４の首部４ｂが挿通されている（図２参照）。これにより、ターンテーブル１は、貫通孔５２と首部４ｂとの嵌合により、回転駆動軸４の回転に従って回転する。また、貫通孔５２と首部４ｂとに隙間があることにより、ターンテーブル１は自由に傾斜することができる。なお、首部４ｂ及び貫通孔５２の断面は、正方形に限られず、多角形であってもよい。
【００３２】
ターンテーブル１と本体部４ｃとの間には、圧縮ばね２１が介挿されている。ターンテーブル１は、圧縮ばね２１により回転駆動軸４の頭部４ａに付勢されている。これにより、ターンテーブル１は、鉛直方向に外力が作用しない状態では、回転駆動軸４の頭部４ａに付勢されて水平状態に保たれる。一方、ターンテーブル１に鉛直方向に外力が作用すると、ターンテーブル１は、頭部４ａと首部４ｂとの隙間の範囲内で、回転駆動軸４の中心軸１０１（以下、中心軸１０１とする）を中心に外力を受けた方向に傾動する。そして、その外力が作用しなくなると、圧縮ばね２１の付勢力により、ターンテーブル１は水平な状態に戻る。
【００３３】
次に、上部電極８、ボート２及び回転体接触部である接触ピン７について説明する。
【００３４】
上部電極８は、ターンテーブル１上に複数箇所（ここでは、４箇所）に配設されている。
【００３５】
ターンテーブル１には、中心軸１０１を中心とする円周１０２上に鉛直方向に貫通孔が設けられている（図２参照）。この貫通孔に上部電極８が嵌挿され、ナット４１及びワッシャー４２によって、ターンテーブル１に固定されている。上部電極８とナット４１との間には、スペーサ２２及び２３が配設されており、上部電極８とターンテーブル１とは、スペーサ２２及び２３により絶縁されている。また、スペーサ２２及び２３は、断熱部材も兼ねており、これにより、ターンテーブル１は加熱されないような構成となっている。
【００３６】
一対の上部電極８の上端の間には、膜材料収容体であるボート２が架設されており、ボルト４３により固定されている。ボート２には、凹状の膜材料収容部１５が設けられている。これにより、一対の上部電極８及びボート２に電流が流れると、ボート２はその電気抵抗により加熱される。この加熱により膜材料が蒸発する。なお、本実施の形態では、膜材料収容体としてボートを例示しているが、これに限定されるものではなく、例えば坩堝等を使用してもよい。
【００３７】
ターンテーブル１の円周１０２の外側の部分には、鉛直方向に貫通孔が設けられている。この貫通孔には、接触ピン７が嵌挿され、ボルト７２によって固定されている。接触ピン７は、ターンテーブル１の下面であって、押し上げピン６の上方に配置されている。
【００３８】
次に、下部電極９について説明する。
【００３９】
チャンバ３の底壁３ａには、一対の下部電極９が上部電極８の軌道上の下方に位置するように配設されている。一対の下部電極９は、チャンバ３の底壁３ａに固定されている固定下部電極９ｂと、鉛直方向に移動可能な可動下部電極９ａとから構成される。
【００４０】
図４に示すように、固定下部電極９ｂは、チャンバ３の底壁３ａに設けられた貫通孔に挿通され、ワッシャー４５とナット４４によって底壁３ａに固定されている。固定下部電極９ｂとチャンバ３の間には、スペーサ４６及び４７が配設されている。これらのスペーサによって、固定下部電極９ｂとチャンバ３とが絶縁されている。
【００４１】
また、チャンバ３の底壁３ａには、鉛直方向に貫通孔２０１が設けられている。この貫通孔２０１を塞ぐように、中央部に開口を有する板状の取付部材２４が底壁３ａに取り付けられている。取付部材２４の開口と貫通孔２０１の中心軸が同軸上になるように配設されている。チャンバ３と取付部材２４との間は、適宜シールされている。また、貫通孔２０１には、中央に開口を有する板状のガイド１０ａが貫通孔２０１の上端部にはめ込まれるようにして、配設されている。取付部材２４の下面には、弾性封止体である筒状のベローズ１１が取り付けられている。ベローズ１１は、取付部材２４の開口の中心軸と同軸上になるように配設されている。ベローズ１１の下端には、可動体１２が配設されている。可動体１２には、可動下部電極９ａが配設されている。可動下部電極９ａは、可動体１２に鉛直方向に貫通するようにはめ込まれており、可動体１２と可動下部電極９ａの間は、適宜シールされている。また、可動下部電極９ａは、ベローズ１１の内孔と取付部材２４とガイド１０ａとを挿通している。このように、ベローズ１１は、可動体１２をその弾性力によって上方に付勢している。可動体１２は、位置決めピン１４によって鉛直方向において位置決めされている。可動下部電極９ａは、ガイド１０ａにより鉛直方向へ移動するように案内されている。このような構成とすることにより、ベローズ１１が、可動下部電極９ａにかかる押付力を弾性的に吸収することができる。
【００４２】
固定下部電極９ｂのチャンバ３の内側に突出した部分は、図４に示したように可動下部電極９ａのチャンバ３の内側に突出した部分よりも低く設置されている。すなわち、チャンバ３の底壁３ａから固定下部電極９ｂの上端までの高さｈ２が、可動下部電極９ａの上端までの高さｈ１よりも低くなっている。なお、図４は高さｈ１と高さｈ２の違いを理解しやすくするため、模式的に示している。これにより、ターンテーブル１の傾動に伴い、まず、可動下部電極９ａがその上方に位置する上部電極８と当接し、ついで固定下部電極９ｂがその上方に位置する上部電極８と当接する。
【００４３】
次に、回転体駆動機構６１を構成するエアシリンダ５について説明する。
【００４４】
エアシリンダ５は、ピストンロッド５ａとシリンダ５ｂとを有しており、チャンバ３の底壁３ａに配設されている。
【００４５】
図３に示すように、チャンバ３の底壁３ａには、接触ピン７の軌道上の下方に位置するように、鉛直方向に貫通孔が設けられている。この貫通孔を塞ぐように、中央部に開口を有する板状の取付部材３１が底壁３ａに取り付けられている。取付部材３１の開口と貫通孔の中心軸が同軸上になるように配設されている。チャンバ３と取付部材３１との間は、適宜シールされている。また、貫通孔には、中央に開口を有する板状のガイド１０ｂが貫通孔の上端部にはめ込まれるようにして、配設されている。取付部材３１の下面には、ベローズ７１が取り付けられている。ベローズ７１は、取付部材３１の開口の中心軸と同軸上になるように配設されている。ベローズ７１の下端には、エアシリンダ５が配設されている。ピストンロッド５ａの上端部には、押し上げピン６（回転体駆動機構作用部）が接続されている。押し上げピン６は、ベローズ７１の内孔に嵌挿されており、取付部材３１と貫通孔とガイド１０ｂとを挿通している。押し上げピン６は、ガイド１０ｂにより鉛直方向へ移動するように案内されている。また、押し上げピン６は、ピストンロッド５ａが伸張していない状態では、接触ピン７と接触しないように構成されている。エアシリンダ５は支持体３０を介して取付部材３１に配設されている。なお、回転駆動体機構として、エアシリンダを例示したが、これに限定されるものではなく、油圧式のシリンダ等であってもよい。また、ロッド５ａと取付部材３１との間をシールするものとしてベローズ７１を例示したが、これに限定されるものではなく、他の適宜な部材によってシールすることができる。
【００４６】
次に、膜材料供給位置と蒸発位置（下部電極９が設置される位置）と回転体駆動機構６１の設置位置について、図２を参照しながら説明する。
【００４７】
図２において、図１の膜材料供給機構Ｂの膜材料供給端は、ボート２の膜材料収容部１５の軌道の上方に設けられる。この膜材料供給機構Ｂの膜材料供給端が設けられた位置の、中心軸１０１の回りの中心角上の位置（以下、角度位置）、すなわち膜材料供給角度位置が符号３０１で示されている。そして、ターンテーブル１のある一対の上部電極に対応するボート２の膜材料収容部１５が膜材料供給機構Ｂの膜材料供給端の下方に位置するときの、ターンテーブル１の角度位置が基準角度位置（所定位置）とされる。そして、ターンテーブル１がこの基準角度位置に位置している状態において、一対の下部電極９及び回転体駆動機構６１の設置位置が決まる。図２に示すように、一対の下部電極９は、中心軸１０１の回りの中心角において９０度回転した角度位置（下部電極設置角度位置）３０２に設置される。回転体駆動機構６１は、蒸発位置に対して中心軸１０１の反対側に位置する接触ピン７の下方に配置される。
【００４８】
なお、これらの設置位置は上記の位置に限定されるものではなく、膜材料供給位置と下部電極９の設置位置と回転体駆動機構６１の設置位置とが、それぞれ異なる位置にあればよい。
【００４９】
次に、以上のように構成された成膜装置の動作の一例について、図３乃至図６を参照にしながら説明する。図３は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図であり、上部電極と下部電極とが当接していない状態を示す模式図である。図４は、図２のＩＶ−ＩＶ断面図であり、上部電極と下部電極とが当接していない状態を示す模式図である。図５は、図２のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図であり、上部電極と下部電極とが当接した状態を示す模式図である。図６は、図２のＩＶ−ＩＶ断面図であり、上部電極と下部電極とが当接した状態を示す模式図である。
【００５０】
まず、膜材料の供給の動作について説明する。
【００５１】
モータ１６によって、回転駆動軸４が回転し、それに伴ってターンテーブル１が回転する。ターンテーブル１は、ボート２が上述した所定の膜材料供給位置に位置すると、回転を停止する。ボート２の膜材料収容部１５に膜材料供給機構Ｂから膜材料が、フィーダ方式によって供給される。膜材料が供給されると、ターンテーブル１が９０度回転する。かかる回転により、膜材料を供給されたボート２は、下部電極９が配設された位置まで移動する。
【００５２】
次に、成膜の動作について説明する。
【００５３】
エアシリンダ５の作動により、ピストンロッド５ａが伸張し、これに接続された押し上げピン６が上昇する。押し上げピン６は、接触ピン７と接触し、接触ピン７を押し上げる。これにより、ターンテーブル１が回転駆動軸４の首部４ｂを支点として傾動する。この傾動により、一対の上部電極８が一対の下部電極９に当接する。このとき、まず、固定下部電極９ｂよりもわずかに高く配設された可動下部電極９ａとその上方にある上部電極８とが当接する。ついで、固定下部電極９ｂは、その上方にある上部電極８と当接する。固定下部電極９ｂと上部電極８とが当接するとき、可動下部電極９ａは、さらに押し下げられるが、ベローズ１１により、この押し付け力は弾性的に吸収される（図５及び図６参照）。上部電極８と下部電極９とが当接し、通電されると、ボート２に電流が流れ、ボート２が抵抗加熱により加熱され、膜材料が蒸発して、基板Ｄに成膜される。
【００５４】
成膜が完了すると、通電が停止し、エアシリンダ５が作動し、ピストンロッド５ａが縮小する。これに伴って押し上げピン６が下降する。傾動していたターンテーブル１は、圧縮ばね２１の復元力によって、水平状態に戻り、一対の上部電極８と一対の下部電極９とが離れる。このようにして、対となっている上部電極と下部電極が確実に当接するので、安定した通電が行われる。
【００５５】
このように、本実施の形態では、電極の当接が確実なものとなるため、安定した通電が可能となり、また、メンテナンス時において電極を精密に設置する必要がないため、メンテナンスが容易になる。
【００５６】
次に、本実施の形態の変形例について説明する。
【００５７】
[変形例]
図７は、実施の形態１の蒸発機構Ａの変形例を模式的に示す側面図である。
【００５８】
図７に示すように、本変形例では、対となっている下部電極９の両方を可動構造とする。この可動構造は、上述の実施の形態１の可動下部電極９ａと基本的に同じ構成であるが、以下の点が実施の形態１と相違する。本変形例では、取付部材２４が一体化されている。また、対となっている下部電極のチャンバからの突出部分の高さの差をベローズ１１が弾性的に吸収できる長さの範囲内に設定されている。なお、他の構成については、上述の実施の形態１と同じなので、その詳細な説明は省略する。
【００５９】
以上のように構成された成膜装置では、エアシリンダ５の作動により、ターンテーブル１が傾動する。かかる傾動により、まず、対となっている可動下部電極９ａのうち、チャンバ３ａ内の突出部分が高い方の可動下部電極９ａと、その上方側にある上部電極８とが当接する。ついで、他方の可動下部電極９ａも上部電極８と当接する。このようにして、対となっている上部電極８と下部電極９とが確実に当接し、通電が行われる。
【００６０】
このように、本変形例では、対となっている下部電極９の両方が可動構造になっているので、下部電極９の設置を精密に行わなくても、対となっている上部電極８と下部電極９とが当接し、通電が行われる。このため、安定した通電が可能となり、また、メンテナンス時において電極を精密に設置する必要がないため、メンテナンスが容易になる。
【００６１】
（実施の形態２）
図８は、本実施の形態に係る成膜装置の蒸発機構Ａを模式的に示す側面図である。
【００６２】
図８に示すように、本実施の形態では、引っ張りばね１３の上端は取付部材２４と接続され、一方、引っ張りばね１３の下端は可動体１２と接続されるようにして、引っ張りばね１３が介設されている。なお、本実施の形態の他の構成については、実施の形態１と同様であるので、その詳細な説明は省略する。
【００６３】
このような構成とすることにより、ベローズ１１と引っ張りばね１３とで可動体１２を上方に付勢するので、長期にわたり弾性力が維持される。なお、上記構成において引っ張りばね１３に変えて、圧縮ばねを用い、この圧縮ばねにより可動体１２を上方に付勢されるような構成とすることもできる。
【００６４】
本実施の形態の作用については、実施の形態１と同様であるので、その詳細な説明については省略する。
【００６５】
なお、本発明の詳細な説明として、インライン式の成膜装置について説明してきたが、これに限定されるものではなく、通常の成膜装置についても実施することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００６６】
本発明に係る成膜装置は、電極を確実に当接させることにより安定して通電が行われ、またメンテナンスが容易に行える成膜装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態１に係る成膜装置の構成を模式的に示す断面図である。
【図２】図１に示した成膜装置における蒸発機構の構成を模式的に示す上面図である。
【図３】図１に示した成膜装置における蒸発機構の構成を模式的に示す断面図である。
【図４】図１に示した成膜装置における蒸発機構の構成を模式的に示す側面図である。
【図５】本発明の実施の形態に係る成膜装置の蒸発機構における上部電極と下部電極とが当接した状態を模式的に示す断面図である。
【図６】本発明の実施の形態に係る成膜装置の蒸発機構における上部電極と下部電極とが当接した状態を模式的に示す側面図である。
【図７】本発明の実施の形態に係る成膜装置の変形例における蒸発機構を模式的に示す側面図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る成膜装置の構成を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
【００６８】
１  回転体
２  膜材料収容体
３  チャンバ
３ａ  底壁
４  回転駆動軸
４ａ  回転駆動軸頭部
４ｂ  回転駆動軸首部
４ｃ  回転駆動軸本体部
５  エアシリンダ
５ａ  ピストンロッド
５ｂ  シリンダ
６  押し上げピン（回転体駆動機構作用部）
７  接触ピン（回転体接触部）
８  上部電極
９  下部電極
９ａ  可動下部電極
９ｂ  固定下部電極
１０ａ  ガイド
１０ｂ  ガイド
１１  ベローズ（弾性封止体）
１２  可動体
１３  引っ張りばね（弾性封止体）
１４  位置決めピン
１５  膜材料収容部
１６  モータ
２１  圧縮ばね
２２  スペーサ
２３  スペーサ
２４  取付部材
３０  支持体
３１  取付部材
４１  ナット
４２  ワッシャー
４３  ボルト
４４  ナット
４５  ワッシャー
４６  スペーサ
４７  スペーサ
５１  取付部材
５２  貫通孔
６１  回転体駆動機構
６２  回転駆動部
７１  ベローズ
７２  ボルト
１０１  中心軸
１０２  円周
２０１  貫通孔
３０１  膜材料供給角度位置
３０２  下部電極設置角度位置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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