(57)【要約】【課題】渦検出器の相対的な位置決めを精度よく行なうことができること。【解決手段】検出ユニット３０における出力端子板１８Ａ、１８Ｂに固定される圧電素子２０Ａ，２０Ｂは、嵌合部１８ａａおよび１８ｂａが渦発生体１２の溝１２ｎに嵌合することにより、検出ユニット収容部１２ｒに対する相対的な位置決めがなされるもの。【選択図】図６
2007163325.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路内に配される渦発生部を一体に有する渦発生体の検出ユニット収容部に、耐熱性を有する封止材を充填する工程と、
前記封止材中に、渦発生部を介して伝達される渦の周波数を検出する検出ユニットの圧電素子を配置するとともに、該圧電素子に固定される出力端子板の位置決め用嵌合部を前記検出ユニット収容部の開口端周縁に形成される被嵌合部に嵌合させる工程と、
前記封止材を溶融し冷却した後、前記位置決め用嵌合部を切断する工程と、
を含んでなる渦流量計の製造方法。
【請求項２】
流路内に配される渦発生部を一体に有する渦発生体に形成される検出ユニット収容部と、
前記検出ユニット収容部に配され、前記渦発生部を介して伝達される渦の周波数を検出し検出出力を送出する検出ユニットと、
耐熱性を有し、前記検出ユニットの圧電素子および出力端子板を封止する第１の封止材と、
耐熱性を有し、前記検出ユニットの圧電素子の出力信号を取り出すために圧電素子に貼り合わされた出力端子板の配線部を封止する第２の封止材と、
を具備して構成される渦流量計。
【請求項３】
前記渦発生体の検出ユニット収容部の開口端の周縁には、前記検出ユニットが配置される場合、前記検出ユニットの出力端子板に形成される位置決め用嵌合部が嵌合される溝が形成されることを特徴とする請求項２記載の渦流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦流量計の製造方法、および渦流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
流路内の流体の流量を計測する流量計として渦流量計が、一般に実用に供されている。渦流量計は、流体の流速に比例する流路内に形成されるカルマン渦の周波数を検出することにより、流速および流量を計測するものとされる。そのカルマン渦の周波数を検出する渦検出器は、例えば、特許文献１にも示されるように、流路内に配される振動管における凹部に配され振動管の振動を検出する圧電素子と、その圧電素子に一端が接続されるシールド線とを含んで構成されている。そのような渦検出器は、例えば、樹脂製の絶縁部材により圧電素子が振動管における凹部内に所定の隙間をもって保持されている。その際、圧電素子と凹部を形成する周囲の壁面との距離は、圧電素子からの信号の減衰に影響するのでＳ／Ｎ比等の検出精度または検出感度に影響を及ぼすことが知られている。この理由から圧電素子と凹部を形成する周囲の壁面との距離は、均等であり、かつ、圧電素子の中心位置は、凹部における中心軸線上に一致することが要望される。また、圧電素子の端部と凹部の底部との距離は、検出精度を良好とするために接触することなく、ばらつくことなくできるだけ短い距離が要望される。従って、渦検出器を振動管における凹部に組み付ける場合、渦検出器の振動管における凹部に対する位置決めが重要となる。
【０００３】
渦検出器を振動管における凹部に組み付けるにあたり、例えば、特許文献１にも示されるように、凹部内に注入された絶縁材料の中にスペーサが付着された圧電素子が挿入され、そのスペーサが圧縮された状態で所定位置に位置決めされ絶縁材料が硬化することにより、圧電素子を位置決めする方法が提案されている。
【０００４】
また、比較的高い温度の流体の流速を測定するための渦検出器においては、例えば、特許文献２にも示されるように、圧電センサを振動管における凹部に位置決めする場合、凹部を形成する底部に絶縁材料として底板ガラスが予め載置されるとともに、圧電センサの端部が挿入される孔を有する円環状ガラスが底板ガラス上に配置されることにより圧電センサの位置決めを行なうものが提案されている。このような方法においては、その後、低融点ガラス粉末が凹部と圧電センサとの隙間に注入され、溶融されることにより、圧電センサが振動管における凹部に密封され固着されることとなる。
【０００５】
【特許文献１】特許第３４８１２２０号公報
【特許文献２】実公平６−２２１７０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の特許文献１にも開示されるような圧電素子の位置決め方法の場合、スペーサの材質と絶縁材料の材質との相違に起因した検出感度のばらつきの発生、および、スペーサの圧縮度合いのばらつきに起因した圧電素子の端部と凹部の底部との距離がばらつく虞がある。
【０００７】
また、上述の特許文献２にも開示されるような、比較的高い温度の流体の流速を測定するための渦検出器における圧電センサの位置決めの方法においては、上述したような検出精度または検出感度の影響を考慮した場合、円環状ガラスと凹部との同心度、また、円環状ガラスと圧電センサとの同心度が要求されるので円環状ガラスが比較的高精度に加工されることが必要とされ、従って、製造コストが嵩むこととなる。
【０００８】
さらに、円環状ガラスの溶融温度が低融点ガラス粉末の溶融温度よりも高い場合、円環状ガラスが溶融せず、低融点ガラス粉末の注入とともに混入した空気が気泡となって残存し、円環状ガラスと低融点ガラスとの間に形成される場合がある。従って、この気泡の形成により、検出感度が悪化する虞もある。
【０００９】
以上の問題点を考慮し、本発明は、渦流量計の製造方法、および渦流量計であって、渦検出器の相対的な位置決めを精度よく行なうことができる渦流量計の製造方法、および渦流量計を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上述の目的を達成するために、本発明に係る渦流量計の製造方法は、流路内に配される渦発生部を一体に有する渦発生体の検出ユニット収容部に、耐熱性を有する封止材を充填する工程と、封止材中に、渦発生部を介して伝達される渦の周波数を検出する検出ユニットの圧電素子を配置するとともに、圧電素子に固定される出力端子板の位置決め用嵌合部を検出ユニット収容部の開口端周縁に形成される被嵌合部に嵌合させる工程と、封止材を溶融し冷却した後、前記位置決め用嵌合部を切断する工程と、を含んでなる。
【００１１】
また、本発明に係る渦流量計は、流路内に配される渦発生部を一体に有する渦発生体に形成される検出ユニット収容部と、前記検出ユニット収容部に配され、前記渦発生部を介して伝達される渦の周波数を検出し検出出力を送出する検出ユニットと、耐熱性を有し、前記検出ユニットの圧電素子および出力端子板を封止する第１の封止材と、耐熱性を有し、前記検出ユニットの圧電素子の出力信号を取り出すために圧電素子に貼り合わされた出力端子板の配線部を封止する第２の封止材と、を備えて構成される。
【００１２】
さらに、渦発生体の検出ユニット収容部の開口端の周縁には、検出ユニットが配置される場合、検出ユニットの出力端子板に形成される位置決め用嵌合部が嵌合される溝が形成されてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
以上の説明から明らかなように、本発明に係る渦流量計の製造方法によれば、封止材中に、渦発生部を介して伝達される渦の周波数を検出する検出ユニットの圧電素子を配置するとともに、圧電素子に固定される出力端子板の位置決め用嵌合部を検出ユニット収容部の開口端周縁に形成される被嵌合部に嵌合させるので渦検出器の相対的な位置決めを精度よく行なうことができる。また、第１の封止材および第２の封止材により、出力端子板および配線部における適切で、かつ高い信頼性のある固定を確保できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図２は、本発明に係る渦流量計の一例の要部を示す。
図２に示される渦流量計は、例えば、約１８０℃程度とされる比較的高温とされる蒸気が例えば、約１０００〜３５００（ｌ／ｍｉｎ）程度の流量で循環せしめられる蒸気循環通路（不図示）に配置される。
【００１５】
図２において、渦流量計は、上述の蒸気循環通路に接続され、後述する流体の測定用の渦を発生させる渦発生体１２を収容する本体部１０と、本体部１０の流路１０ａ内に突出する渦発生部１２Ｃを有し、渦発生部１２Ｃを介して伝達される発生渦の周波数を検出する検出ユニット１６を収容する渦発生体１２と、渦発生体１２を介して本体部１０に支持され、検出ユニット１６からの出力ケーブルとしてのリード線を包囲し保護する保護管１４と、保護管１４の上端に支持されリード線からの信号を外部に送出する検出信号出力部（不図示）とを主な要素として含んで構成されている。
【００１６】
本体部１０は、例えば、ステンレス鋼（ＪＩＳ記号：ＳＣＳ１４）で作られ、図２および図３に示されるように、蒸気循環通路に連通し流体が図２において矢印の示す方向に沿って通過する流路１０ａを内部に有している。所定の口径を有する流路１０ａを形成する内周面には、渦発生体１２の渦発生部１２Ｃの基部が嵌合される孔１０ｂが形成されている。孔１０ｂの外方側端部は、本体部１０における渦発生体１２が固定される渦発生体固定部に開口している。渦発生体１２の渦発生部１２Ｃは、流路１０ａに対しその半径方向に交差している。
【００１７】
渦発生体固定部は、孔１０ｂの周縁に形成されパッキン２６が配される溝であるシール部と、シール部の外周縁部に形成され渦発生体１２のフランジ部１２Ａが固定されるフランジ固定部とを含んで構成されている。フランジ固定部には、所定の間隔をもって、後述するボルトＢｏの雄ネジが嵌めあう雌ねじ孔が形成されている。
【００１８】
所謂、振動管としての渦発生体１２は、図４および図５に示されるように、本体部１０の渦発生体固定部に配され検出ユニット収容部１２ｒを内部に有するフランジ部１２Ａと、上述の流路１０ａ内に配され流体の渦を形成する渦発生部１２Ｃと、フランジ部１２Ａと渦発生部１２Ｃとを連結する切欠部１２Ｂとを含んで構成されている。
【００１９】
図５（Ｂ）に示されるように、六角形の横断面を有する渦発生部１２Ｃは、その二つの平行な短辺が矢印が示す流体の流れの方向に沿うように配されている。渦発生部１２Ｃの下端は、流路１０ａの内周面に対して所定の隙間をもって配されている。渦発生部１２Ｃは、その内部に所定の容積を有する有底の孔１２ｄを有している。
【００２０】
孔１２ｄは、図２に示されるように、その長辺における中心軸線の位置よりも左側に所定距離偏倚した位置に中心軸線があるように形成されている。孔１２ｄの一端は、流路１０ａに向かって開口している。孔１２ｄの内容積は、流体の流れにより渦発生部１２Ｃに生じる固有振動数が所定の値となるように設定されている。
【００２１】
渦発生部１２Ｃの開口端における切欠部１２Ｂとの中間部分には、鍔部１２ｆが孔１２ｄの中心軸線に略直交し半径方向に延在するように形成され、また、鍔部１２ｆは、流体の流れに略直交する方向に延びている。鍔部１２ｆの外周部は、図３に示されるように、孔１０ｂに所定の隙間をもって係合されている。
【００２２】
切欠部１２Ｂは、その内部に検出ユニット１６を収容する検出ユニット収容部１２ｒの一部が形成されている。また、切欠部１２Ｂにおける流体の流れに直交する方向の壁は、約１ｍｍ程度の壁であって渦発生部１２Ｃからの応力を受け易い形状となるように比較的薄く形成されている。これは、形成される渦の振動の周波数を精度よく検出するためである。
【００２３】
フランジ部１２Ａは、パッキン２６が配される円環状の段差部１２ｋを切欠部１２Ｂ側の端面に有している。また、フランジ部１２Ａにおける保護管１４が連結される平坦部分には、パッキン２６が配される円環状の溝１２ｇが形成されている。さらに、溝１２ｇの内側には、後述する封止カップの雌ねじがねじ込まれる雄ねじ部１２ｍｓが所定の高さで突出している。円筒状の雄ねじ部１２ｍｓの上端面部には、図４および図５に示されるように、位置決め用の溝１２ｎが一直線状に半径方向に延びるように形成されている。雄ねじ部１２ｍｓの内部には、凹部状の検出ユニット収容部１２ｒが形成されている。
【００２４】
検出ユニット収容部１２ｒは、所定の深さを有する円形断面の有底孔である。検出ユニット収容部１２ｒの底部は、雄ねじ部１２ｍｓの上端面に対し略平行となるように平坦に形成されている。
【００２５】
また、フランジ部１２Ａには、図４に示されるように、固定用のボルトＢｏが挿入される孔１２ｅ１、ｅ２，ｅ３，ｅ４，１２ｈが複数個、所定位置に形成されている。また、孔１２ｅ１と孔１２ｅ２との間の位置には、位置決め用のピンが挿入される孔１２ｊが形成されている。
【００２６】
検出ユニット収容部１２ｒに収容される検出ユニット１６は、図１に示されるように、
耐熱性を有する封止材としての低融点ガラス３２Ｍを介して収容されている。絶縁材料である低融点ガラス３２Ｍは、例えば、鉛ガラスとされ、検出ユニット１６を所定位置に保持するとともに検出ユニット収容部１２ｒに対して封止する役目を果たすものとされる。
【００２７】
検出ユニット１６は、検出ユニット収容部１２ｒの内周面と所定の隙間、例えば、約２ｍｍ程度の隙間をもって、その中心軸線と同心上に配され、その下端が検出ユニット収容部１２ｒの底部と所定の距離、例えば、約２ｍｍ程度の距離の位置に位置決めされている。なお、上述の隙間、および、検出ユニット１６の下端と検出ユニット収容部１２ｒの底部との距離は、斯かる例に限られることなく、例えば、検出ユニット１６の検出感度、絶縁材料の種類に応じて適宜設定されてもよい。
【００２８】
検出ユニット１６は、検出ユニット収容部１２ｒに組み付けられ配線される以前の段階の未加工の検出ユニット３０（以下、検出ユニット３０ともいう）とは、図６および図７に示されるように、その形状が異なる。即ち、検出ユニット１６は、検出ユニット３０における位置決め用の嵌合部１８ａａおよび１８ｂａである斜線部分ＣＡが切断されたものである。従って、検出ユニット１６は、検出ユニット３０の嵌合部１８ａａおよび１８ｂａを除いたものと同一なので検出ユニット１６の構成を、検出ユニット３０を参照して説明する。
【００２９】
検出ユニット３０は、金属製の出力端子板１８Ａが固定された圧電素子２０Ａと、金属製の出力端子板１８Ｂが固定された圧電素子２０Ｂとを含んで構成されている。
【００３０】
圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂは、それぞれ、ニオブ酸リチウムで略直方体に作られ、互いに同一の構造を有している。圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂの接合面は、互いに銀ペースト２２により接合されている。
【００３１】
なお、圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂは、それぞれ、斯かる例に限られることなく、例えば、タンタル酸リチウムで作られても良い。
【００３２】
圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂにおける接合面に対向する外面に形成される信号出力部には、それぞれ、銀ペーストにより出力端子板１８Ａおよび１８Ｂが相対向して接合されている。その際、出力端子板１８Ａと出力端子板１８Ｂとは、後述する端子部１８ａｃおよび１８ｂｃが互いに向かい合うことがないように配置されている。圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂ、銀ペースト、出力端子板１８Ａ、および出力端子板１８Ｂの各熱膨張係数は、互いにほぼ等しい値とされる。
【００３３】
出力端子板１８Ａおよび１８Ｂは、互いに同一の構造とされるので出力端子板１８Ａについて説明し、出力端子板１８Ｂについての説明を省略する。
【００３４】
出力端子板１８Ａは、例えば、純ニッケルの薄板材料で作られ、圧電素子２０Ａの信号出力部に接合される接合部１８ａｓと、接合部１８ａｓの一端に直交するように略Ｔ字状に形成される配線部とを含んで構成されている。接合部１８ａｓの横幅は、圧電素子２０Ａの横幅と同一に設定されている。
【００３５】
配線部の両端には、それぞれ、組立時に利用される位置決め用の嵌合部１８ａａおよび１８ｂａが、接合部１８ａｓ側に屈曲し、かつ接合部１８ａｓに対し略平行に形成されている。
【００３６】
嵌合部１８ａａおよび１８ｂａにおける接合部１８ａｓに沿った長さは、検出ユニット収容部１２ｒにおいて検出ユニット３０における圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂの下端の位置が組み付け時、上述の所定位置になるように設定されている。
【００３７】
また、配線部における嵌合部１８ｂａ近傍には、後述するリード線２４Ａの一端がスポット溶接で接続される端子部１８ａｃが形成されている。端子部１８ａｃは、嵌合部１８ｂａが延在する方向とは逆方向に突出している。さらに、配線部の中央部には、孔１８ｄが形成されている。
【００３８】
検出ユニット１６の配線部の周囲には、図１に示されるように、第２の封止材としての封止材３６を介して封止カップ３４が配されている。円筒状の封止カップ３４は、その内周部３４ａの下端に形成される雌ネジ部３４ｆｓが雄ネジ部１２ｍｓに嵌め合わされることにより、渦発生体１２のフランジ部１２Ａに固定されている。金属製の封止カップ３４には、第２の封止材としての封止材３６が、検出ユニット１６の配線部全体を覆うように所定量、充填されている。封止材３６は、例えば、耐熱性（例えば、２００℃程度の耐熱性）のある二液硬化形のシリコーン樹脂材（信越シリコーン社製）である。これにより、出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの腐食が防止されるとともに、出力端子板１８Ａおよび１８Ｂに接合されるリード線２４Ａおよび２４Ｂの一端部、ならびにリード線２４Ａおよび２４Ｂの中間部が封止材３６により確実に固定されることとなる。また、封止材３６により、リード線の接続作業のとき、リード線に作用されるであろう操作力が出力端子板１８Ａおよび１８Ｂとの接続部に直接的に作用することが緩和されることとなる。
【００３９】
リード線２４Ａおよび２４Ｂの他端部は、封止カップ３４の開口端、および保護管１４の内部を通じて図示が省略される検出信号回路部に接続されている。リード線２４Ａおよび２４Ｂは、例えば、ガラス電線とされる。そのガラス電線は、セラミックファイバーおよびシリカ系ガラス製のヤーンとからなる被覆層により覆われている。
【００４０】
上述のような渦流量計を製造するにあたり、本発明に係る渦流量計の製造方法の一例においては、先ず、図５に示されるように、第１の封止材としての円筒状の低融点ガラス素材３２が渦発生体１２の検出ユニット収容部１２ｒ内に複数個積み重ねられて挿入される。さらに、空気溜まりを除去するために円板状の低融点ガラス板が、低融点ガラス素材３２と検出ユニット収容部１２ｒ内の底面部との間に設けられてもよい。
【００４１】
低融点ガラス素材３２は、例えば、上述したように鉛ガラスで作られ、約６００℃で焼成される。低融点ガラス素材３２の外周部は、検出ユニット収容部１２ｒの内周部に所定の隙間をもって嵌合するように円形に形成されている。また、低融点ガラス素材３２の内周部は、検出ユニット１６（３０）の下端の外形に対応した矩形状の孔により形成されている。低融点ガラス素材３２の個数は、積み重ねられて最上端に位置する低融点ガラス素材３２の端面が雄ねじ部１２ｍｓの上端面と共通の平面上にあるように設定される。なお、円筒状の低融点ガラス素材３２に限られることなく、粉末またはペースト状の低融点ガラス素材であってもよい。
【００４２】
次に、上述したように予め組み立てられた検出ユニット３０の圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂ、および、出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの接合部１８ａｓが、積み重ねられた各低融点ガラス素材３２の孔に挿入される。その際、検出ユニット３０の出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの嵌合部１８ａａおよび１８ｂａが、図８（Ａ）に示されるように、雄ねじ部１２ｍｓの位置決め用の溝１２ｎに嵌合される。
【００４３】
これにより、検出ユニット３０の圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂの下端の位置、および、検出ユニット収容部１２ｒの内周部に対する相対位置が所定位置に自動的に簡単に精度よく位置決めされることとなる。
【００４４】
なお、出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの嵌合部１８ａａおよび１８ｂａの位置決めを行なうにあたり、図８（Ａ）にニ点鎖線で示されるように、雄ねじ部１２ｍｓの中心軸線と同心の中心軸線を有する円筒状部材ＣＭが雄ねじ部１２ｍｓの外周部に一時的に挿入されてもよい。円筒状部材ＣＭは、出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの嵌合部１８ａａおよび１８ｂａと所定の隙間をもって係合するような内径を有している。
【００４５】
続いて、各低融点ガラス素材３２が、図８（Ａ）に示されるように、所定の加熱炉において約６００℃で所定時間、焼成された後、所定の熱処理工程を経て硬化される。これにより、封止材としての低融点ガラス３２Ｍが、検出ユニット３０の圧電素子２０Ａおよび圧電素子２０Ｂを固定し、封止することとなる。
【００４６】
続いて、位置決め作業が完了したので検出ユニット３０の出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの嵌合部１８ａａおよび１８ｂａの斜線部分ＣＡが、図８（Ｂ）に示されるように、切断される。
【００４７】
続いて、図８（Ｃ）に示されるように、検出ユニット３０の出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの端子部１８ａｃおよび１８ｂｃに、それぞれスポット溶接でリード線２４Ａおよび２４Ｂの一端が接続される。
【００４８】
続いて、図８（Ｄ）に示されるように、封止カップ３４が、その雌ネジ部３４ｆｓが雄ネジ部１２ｍｓに嵌め合わされることにより、渦発生体１２のフランジ部１２Ａに固定される。
【００４９】
続いて、図１に示されるように、第２の封止材としての封止材３６が、検出ユニット３０の出力端子板１８Ａおよび１８Ｂの端子部１８ａｃおよび１８ｂｃの全体、ならびに、リード線２４Ａおよび２４Ｂの一部を覆うように所定量、封止カップ３４内に注入され、約１５０℃で所定時間、加熱する熱処理が行なわれる。
【００５０】
これにより、検出ユニット３０の渦発生体１２に対する組み立てが完了することとなる。
【００５１】
そして、組み立てられた渦発生体１２のフランジ部１２Ａが、本体部１０の渦発生体固定部にパッキン２６を介して載置された後、保護管１４のフランジ部１４Ｆがパッキン２６を介してフランジ部１２Ａに載置されるとともに、ボルトＢｏによりフランジ部１４Ｆおよびフランジ部１２Ａが、本体部１０の渦発生体固定部に締結される。これにより、斯かる渦流量計における保護管１４の本体部１０に対する組み立てが完了することとなる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明に係る渦流量計の一例に用いられる検出ユニットの構成を示す断面図である。
【図２】本発明に係る渦流量計の一例の概略構成を示す部分断面図である。
【図３】図２に示される例におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿って示される部分断面図である。
【図４】図２に示される例に用いられる渦発生体の平面図である。
【図５】（Ａ）は図４におけるＶ−Ｖ線に沿って示される断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）における部分断面図である。
【図６】図２に示される例に用いられる検出ユニットを示す正面図である。
【図７】図６における側面図である。
【図８】（Ａ）〜（Ｄ）は、それぞれ、検出ユニットの渦発生体に対する組立工程の説明に供される図である。
【符号の説明】
【００５３】
１０    本体部
１０ａ    流路
１２    渦発生体
１２Ｃ    渦発生部
１２ｒ    検出ユニット収容部
１２ｎ    溝
１６    検出ユニット
３０    未加工の検出ユニット
１８Ａ、１８Ｂ    出力端子板
１８ａａ、１８ｂａ    嵌合部
２０Ａ、２０Ｂ    圧電素子
３２Ｍ    低融点ガラス
３４    封止カップ
３６    封止材
【図１】
2007163325.tif 000003
【図２】
2007163325.tif 000004
【図３】
2007163325.tif 000005
【図４】
2007163325.tif 000006
【図５】
2007163325.tif 000007
【図６】
2007163325.tif 000008
【図７】
2007163325.tif 000009
【図８】
2007163325.tif 000010