(57)【要約】【課題】  高速で移動するレーザ加工ヘッドおよびその移動機構を囲むボックスに形成され、レーザ加工ヘッドの先端部を突出させる開口部のシールを確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできるレーザ加工機を提供する。【解決手段】  Ｘ軸およびＹ軸方向に移動可能に設けられた高速カットボックス３内に、レーザ加工ヘッド２がＸ軸およびＹ軸とそれぞれ平行なＵ軸およびＶ軸方向に沿って高速カットボックス３と独立して移動可能となるように、かつ先端部をボックスから突出させて設けられており、ボックス３の外面壁３ａに、レーザ加工ヘッド２の先端部を突出させる開口部１０が形成され、レーザ加工ヘッド２には、前記開口部１０を前記外面壁３ａとの間に所定の隙間Ｓを隔てて覆うフランジ部２０が設けられ、前記隙間Ｓに、エアーを供給して外側に放出させるエアー供給手段２１が設けられている。【選択図】  図３
2007030016.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザ加工ヘッドからワークにレーザビームを照射することによって、前記ワークの加工を行うレーザ加工機において、
内部が中空なボックスがＸ軸およびＹ軸方向に移動可能に設けられ、
このボックス内に、前記レーザ加工ヘッドが前記Ｘ軸およびＹ軸とそれぞれ平行なＵ軸およびＶ軸方向に沿って前記ボックスと独立して移動可能となるように、かつ先端部をボックスから突出させて設けられており、
前記ボックスの外面壁には、前記レーザ加工ヘッドの先端部を突出させるとともに、前記レーザ加工ヘッドのＵ軸およびＶ軸方向への移動を許容する開口部が形成され、
前記レーザ加工ヘッドには、前記開口部を前記外面壁との間に所定の隙間を隔てて覆うフランジ部が設けられており、
前記ボックスには、前記フランジ部と前記外面壁との間の前記隙間に、エアーを供給して外側に放出させるエアー供給手段が設けられていることを特徴とするレーザ加工機。
【請求項２】
前記開口部が形成された外面壁は、２枚の板が平行離間した構成となっており、
この２枚の板間に、前記フランジ部が該２枚の板と所定の間隔をもって挿入されていることを特徴とする請求項１に記載のレーザ加工機。
【請求項３】
前記フランジ部と前記外面壁との間の隙間にエアーを供給する供給口は、前記ボックスの外面壁に、前記開口部より外側において形成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のレーザ加工機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ加工機に係り、特にレーザ加工ヘッドを高速にした場合のシーリングに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
周知のように、板状のワークのレーザ加工を行うレーザ加工機には、例えば、ワークをワークテーブル上に固定し、レーザ加工ヘッドをＸ軸およびＹ軸へ移動位置決めしてレーザ加工を行う形式のレーザ加工機がある。しかし、このようなレーザ加工機では、ワーク寸法が大きい場合に、高速、高精度の加工は困難とされている。
そこで、このような場合でも、高速、高精度の加工を可能とするレーザ加工機の一例として特許文献１に記載のレーザ加工機が知られている。
【０００３】
このレーザ加工機は、加工すべきワークを支持するワークテーブルに隣接して配置した基台に、上記ワークテーブルの上方へ大きく突出したＸ軸キャリッジをＸ軸方向へ移動自在に支持して設け、上記Ｘ軸キャリッジにＹ軸方向へ移動自在に支持されたＹ軸キャリッジにＹ軸スライダをＹ軸方向へ移動自在に装着して設け、前記ワークにレーザ加工を行うためのレーザ加工ヘッドを備えたＸ軸スライダを、前記Ｙ軸スライダにＸ軸方向へ移動自在に装着して設け、前記Ｘ軸キャリッジのＸ軸方向への位置決めおよび前記Ｙ軸キャリッジのＹ軸方向の位置決め毎に前記レーザ加工ヘッドをＸ軸およびＹ軸方向へ移動してレーザ加工可能に構成したものである。このようなレーザ加工機では、寸法が大きいワークでも、全体として高速、高精度のレーザ加工が可能となる。
【０００４】
【特許文献１】特許第３１２６２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上記のようなレーザ加工機においては、レーザ加工ヘッドおよびその移動機構が加工中にスパッタ、ヒュウム等の塵の影響を受けるため、レーザ加工ヘッドおよび移動機構を塵から保護する必要がある。
その場合、例えば、レーザ加工ヘッドおよび移動機構をボックスで囲むとともに、このボックスに開口部を形成して、この開口部からレーザ加工ヘッドの先端部を突出させることが考えられる。前記開口部はレーザ加工ヘッドの移動を許容するに十分な大きさが必要であるため、この開口部とレーザ加工ヘッドとの間には隙間が生じる。したがって、この隙間をレーザ加工ヘッドの移動を許容しつつ気密にシールする必要があり、そのため例えば、レーザ加工ヘッドと開口部との間にベローズを取り付け、このベローズによって前記隙間をシールすることが考えられていた。
【０００６】
しかし、レーザ加工ヘッドが高速で移動し、かつ５G程度の大きな加速度を受けるため、このような加速度下でベローズの使用を継続するには、耐久性等が不十分であり、また、加工部分直近では、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生する可能性がある。
【０００７】
一方、例えば、特開２０００−６１６８１号公報や特開２００１−３１７６０６号公報には、ボールネジ等の駆動系の防塵装置について記載されている。この防塵装置では、ボールネジ駆動系をシールボックスによって周囲と遮断して密閉包含しているが、何れもシールボックスに弾性部材を摺接させることでシールしているので、前記ベローズの場合と同様に、耐久性等が不十分であり、また、加工部分直近では、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生する可能性がある。
【０００８】
さらに、特開平６−２７７８６８号公報および特開平１０−５２７８５公報には、レーザ加工装置の防塵技術について記載されている。この技術では、レーザ加工ヘッドおよび移動機構を包含するカバーにファスナ機構を設けたり、あるいはカバーに弾性部材を取り付け、この弾性部材をレーザ加工ヘッドの先端部に弾性的に摺接している。したがって、これらの場合も、耐久性等が不十分であり、また、加工部分直近では、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生する可能性がある。
【０００９】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、高速で移動するレーザ加工ヘッドおよびその移動機構を囲むボックスに形成され、レーザ加工ヘッドの先端部を突出させる開口部のシールを確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできるレーザ加工機を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、例えば図１〜図４に示すように、レーザ加工ヘッド２からワークにレーザビームを照射することによって、前記ワークの加工を行うレーザ加工機において、
内部が中空なボックス３がＸ軸およびＹ軸方向に移動可能に設けられ、
このボックス３内に、前記レーザ加工ヘッド２が前記Ｘ軸およびＹ軸とそれぞれ平行なＵ軸およびＶ軸方向に沿って前記ボックス３と独立して移動可能となるように、かつ先端部をボックスから突出させて設けられており、
前記ボックス３の外面壁３ａには、前記レーザ加工ヘッド２の先端部を突出させるとともに、前記レーザ加工ヘッド２のＵ軸およびＶ軸方向への移動を許容する開口部１０が形成され、
前記レーザ加工ヘッド２には、前記開口部１０を前記外面壁３ａとの間に所定の隙間Ｓを隔てて覆うフランジ部２０が設けられており、
前記ボックス３には、前記フランジ部２０と前記外面壁３ａとの間の前記隙間Ｓに、エアーを供給して外側に放出させるエアー供給手段２１が設けられていることを特徴とする。
【００１１】
請求項１に記載の発明においては、レーザ加工ヘッドに設けられたフランジ部が、レーザ加工ヘッドの先端部を突出させる開口部を、外面壁との間に所定の隙間を隔てて覆っているので、フランジ部と開口部および外面壁とは無接触状態となる。そして、フランジ部と外面壁との間の隙間に、エアー供給手段からエアーを供給して外側に放出させるので、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間から開口部を通ってボックス内に侵入するのを確実に防止できる。また、前記フランジ部と開口部および外面壁とは無接触状態となるので、レーザ加工ヘッドをスムーズに移動させることができるとともに、従来のベローズ等のカバーと異なり、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生することもない。
したがって、レーザ加工ヘッドの先端部を突出させる開口部を確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできる。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、例えば図５に示すように、請求項１に記載のレーザ加工機において、
前記開口部１０が形成された外面壁３ａは、２枚の板４０，４０が平行離間した構成となっており、
この２枚の板４０，４０間に、前記フランジ部２０が該２枚の板４０，４０と所定の間隔をもって挿入されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項２に記載の発明においては、レーザ加工ヘッドに設けられたフランジ部が２枚の板間に挿入されているので、フランジ部と一方の板との間、フランジ部と他方の板との間にそれぞれ隙間が生じ、一方の隙間から他方の隙間へと回り込むような空気路を形成する。したがって、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間から開口部を通ってボックス内に侵入するのをより確実に防止できる。
【００１４】
請求項３に記載の発明は、請求項１または請求項２に記載のレーザ加工機において、
前記フランジ部２０と前記外面壁３ａとの間の隙間にエアーを供給する供給口２１ｂ，４０ｂは、前記ボックス３の外面壁３ａに、前記開口部１０より外側において形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項３に記載の発明においては、エアーを供給する供給口が、外面壁に開口部より外側において形成されているので、エアー供給手段から供給されたエアーを、隙間から外側に確実に放出することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明のレーザ加工機によれば、レーザ加工ヘッドに設けられたフランジ部が、ボックスの外面壁に形成された開口部を、外面壁との間に所定の隙間を隔てて覆っており、フランジ部と外面壁との間の隙間に、エアー供給手段からエアーを供給して外側に放出させるので、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間から開口部を通ってボックス内に侵入するのを確実に防止できる。また、前記フランジ部と外面壁との間の隙間にエアーが供給され、このエアーによって前記開口部をシールしているので、従来のベローズ等のカバーと異なり、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生することもない。
したがって、レーザ加工ヘッドの先端部を突出させる開口部のシールを確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（第１の実施の形態）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るレーザ加工機を示す概略斜視図である。このレーザ加工機は、レーザ発振器１からのレーザビームを集光レンズによって集光して、レーザ加工ヘッド２からワークに照射してワークの加工を行うもので、レーザ加工ヘッド２は、高速カットボックス（ボックス）３に内蔵されている。
【００１８】
高速カットボックス３は、Ｘ軸およびＹ軸方向に移動可能に設けられている。すなわち、加工テーブル４上には、Ｙ軸キャリッジ５がＹ軸方向に移動可能かつ位置決め可能に設けられている。このＹ軸キャリッジ５は、加工テーブル４上において、Ｘ軸方向に延在しており、このＹ軸キャリッジ５には、Ｘ軸キャリッジ６がＸ軸方向に移動可能かつ位置決め可能に設けられている。さらに、Ｘ軸キャリッジ６は、Ｚ軸方向に移動可能かつ位置決め可能なＺ軸キャリッジ６ａを備えている。
なお、前記Ｙ軸キャリッジ５、Ｘ軸キャリッジ６、Ｚ軸キャリッジ６ａをそれぞれ移動、位置決めする場合、周知のボールネジ、ナット、サーボモータ、ガイドレール等を備えた移動機構によって行うが、この移動機構は周知であるので、その説明や図示を省略する。
【００１９】
前記高速カットボックス３は、Ｘ軸キャリッジ６に設けられたＺ軸キャリッジ６ａに取り付けられており、このＸ軸キャリッジ６とともに移動するようになっている。すなわち、Ｘ軸キャリッジ６がＸ軸方向に移動することによって、高速カットボックス３がＸ軸方向に移動し、Ｙ軸キャリッジ５がＹ軸方向に移動することによって、高速カットボックス３がＸ軸キャリッジ６とともにＸ軸方向に移動するようになっている。また、高速カットボックス３はＺ軸キャリッジ６ａがＺ軸方向に移動することによって、Ｚ軸方向に移動するようになっている。
【００２０】
なお、図１において、符号７は、レーザ発振器１からのレーザビームの通り道をクリーンな状態に保つための蛇腹装置であり、蛇腹７ａはＸ軸方向に伸縮可能であり、蛇腹７ｂはＹ軸方向に伸縮可能であり、蛇腹７ｃはＺ軸方向に伸縮可能である。蛇腹７ｂの途中には、蛇腹７ａが接続されており、この蛇腹７ａの先端部に蛇腹７ｃが接続されている。蛇腹どうしの接続部にはミラー８ａ，８ｂが設けられている。そして、レーザ発振器１から照射されたレーザビームは、蛇腹７ｂ内を通り、ミラー８ａによって横方向に直角に反射して蛇腹７ａ内を通り、ミラー８ｂによって下方に直角に反射して蛇腹７ｃ内を通って、高速カットボックス３内に導かれるようになっている。
【００２１】
前記高速カットボックス３内には、前記レーザ加工ヘッド２がＸ軸およびＹ軸とそれぞれ平行なＵ軸およびＶ軸方向に沿って高速カットボックス３と独立して移動可能となるように設けられている。
図２は、高速カットボックス３の内部を示す斜視図である。高速カットボックス３は直方体状の内部が中空のボックスであり、図２においては、高速カットボックス３の６つの外面壁のうち、下面を構成する外面壁３ａのみを示し、他の外面壁は図示を省略してある。
図２に示すように、高速カットボックス３内には、レーザ加工ヘッド２がその軸を上下に向けて配置されており、該レーザ加工ヘッド２の先端部（下端部）は、下面を構成する外面壁３ａに形成された正方形の開口部１０を介して下方に突出している。
【００２２】
また、高速カットボックス３内には、Ｘ軸方向と平行なＵ軸方向に延在するＵ軸ボールネジ１１が前記開口部１０を横切るようにして配置されており、このＵ軸ボールネジ１１はレーザ加工ヘッド２に設けられた図示しないナットに螺合されている。また、Ｕ軸ボールネジ１１の両端部は、スライダ１１ａ，１１ａによって軸回りに回転自在に支持されており、これらスライダ１１ａ，１１ａは、Ｙ軸方向と平行なＶ軸方向に延在するガイドレール１２，１２にＶ軸方向に移動自在に設けられている。また、一方のスライダ１１ａには、Ｕ軸サーボモータ１１ｂが取り付けられており、このＵ軸サーボモータ１１ｂの回転軸はＵ軸ボールネジ１１に連結されている。
【００２３】
また、高速カットボックス３内には、Ｙ軸方向と平行なＶ軸方向に延在するＶ軸ボールネジ１３が前記開口部１０を横切るようにして配置されており、このＶ軸ボールネジ１３はレーザ加工ヘッド２に設けられたナット１４に螺合されている。また、Ｖ軸ボールネジ１３の両端部は、スライダ１３ａ，１３ａによって軸回りに回転自在に支持されており、これらスライダ１３ａ，１３ａは、Ｕ軸方向に延在するガイドレール１５，１５にＵ軸方向に移動自在に設けられている。また、一方のスライダ１３ａには、Ｖ軸サーボモータ１３ｂが取り付けられており、このＶ軸サーボモータ１３ｂの回転軸はＶ軸ボールネジ１３に連結されている。
なお、図２において、符号１６，１７は、高速カットボックス３内に導かれたレーザビームを反射してレーザ加工ヘッド２に導くためのミラーである。
【００２４】
そして、上記のようなレーザ加工ヘッド２の移動機構では、Ｕ軸サーボモータ１１ｂによってＵ軸ボールネジ１１を回転させることによって、レーザ加工ヘッド２がＵ軸方向に移動するとともに、Ｖ軸ボールネジ１３がスライダ１３ａ，１３ａとガイドレール１５によってＵ軸方向に移動する。また、Ｖ軸サーボモータ１３ｂによってＶ軸ボールネジ１３を回転させることによって、レーザ加工ヘッド２がＶ軸方向に移動するとともに、Ｕ軸ボールネジ１１がスライダ１１ａ，１１ａとガイドレール１２によってＶ軸方向に移動する。つまり、レーザ加工ヘッド２が、Ｕ軸およびＶ軸方向に沿って高速カットボックス３と独立して移動するようになっている。
【００２５】
また、前記レーザ加工ヘッド２は、図２および図３に示すように、高速カットボックス３の下面を構成する外面壁３ａに形成された前記開口部１０を通して下方に突出している。この開口部１０は正方形状に形成されており、レーザ加工ヘッド２をＵ軸およびＶ軸方向に移動させるに十分な大きさである。
【００２６】
レーザ加工ヘッド２の先端部（下端部）には、図３および図４に示すように、前記開口部１０を外面壁３ａとの間に所定の隙間Ｓを隔てて覆うフランジ部２０が外面壁３ａと平行に設けられている。このフランジ部２０は４隅部が面取りされた正方形板状に形成されており、その縦横（Ｕ軸方向およびＶ軸方向）の寸法は前記開口部１０の縦横の寸法より長くなっている。
【００２７】
つまり、フランジ部２０のＵ軸およびＶ軸方向の長さは、レーザ加工ヘッド２がＵ軸およびＶ軸方向に移動して開口部１０の縁に接した場合に、フランジ部２０のＶ軸およびＵ軸方向に沿う縁が開口部２０より外側に位置するような、長さに設定されている。図３で説明すると、レーザ加工ヘッド２が開口部１０の中央部に位置している場合において、その両側に移動可能な距離（ストローク）をそれぞれＬとすると、フランジ部２０の一辺の長さは、レーザ加工ヘッド２の直径に２Ｌを加えた長さより長くなっている。これによって、前記フランジ部２０はレーザ加工ヘッド２が開口部１０の内側でＵ軸およびＶ軸方向に移動しても、常に前記開口部１０を覆うように構成されている。
【００２８】
また、前記高速カットボックス３には、フランジ部２０と前記外面壁３ａとの間の隙間Ｓに、エアーを供給して外側に放出させるエアー供給手段２１が設けられている。すなわち、前記外面壁３ａの裏面には、エアー流通路２１ａが開口部１０の四周縁部に沿って設略四角環状に設けられており、このエアー流通路２１ａは、外面壁３ａに形成された供給口２１ｂに連通している。この供給口２１ｂは、フランジ部２０と外面壁３ａとの間に隙間Ｓにエアーを供給するものであり、前記外面壁３ａに開口部１０より外側において形成されている。また、供給口２１ｂはエアー流通路２１ａに沿って形成されており、これによって前記隙間Ｓには、開口部１０の外側全周からエアーが供給されるようになっている。
また、前記エアー流通路２１ａには、接続管２１ｃが連結されており、この接続管２１ｃはポンプ等のエアー供給源２１ｄに接続されている。
【００２９】
なお、前記高速カットボックス３には、上述したように、レーザビームを高速カットボックス３内に導く蛇腹７ｃが接続されているが、この蛇腹７ｃは、高速カットボックス３の内部を与圧するための清浄なパージエアーも高速カットボックス３内に導くようになっている。
【００３０】
上記のような構成のレーザ加工機では、Ｘ軸キャリッジ６がＸ軸方向に移動することによって、高速カットボックス３がＸ軸方向に移動し、Ｙ軸キャリッジ５がＹ軸方向に移動することによって、レーザ加工ヘッド２が内蔵された高速カットボックス３がＸ軸キャリッジ６とともにＸ軸方向に移動する。
そして、高速カットボックス３内においては、Ｕ軸サーボモータ１１ｂによってＵ軸ボールネジ１１を回転させることによって、レーザ加工ヘッド２がＵ軸方向に移動し、Ｖ軸サーボモータ１３ｂによってＶ軸ボールネジ１３を回転させることによって、レーザ加工ヘッド２がＶ軸方向に移動する。つまり、レーザ加工ヘッド２が、Ｕ軸およびＶ軸方向に沿って高速カットボックス３と独立して移動するので、高速かつ高精度にレーザ加工ヘッド２を移動させることができる。
【００３１】
このような高速に移動するレーザ加工ヘッド２には、フランジ部２０が設けられているので、このフランジ部２０が、レーザ加工ヘッド２の先端部を突出させる高速カットボックス３の外面壁３ａに形成された開口部１０を、外面壁３ａとの間に所定の隙間Ｓを隔てて覆っているので、フランジ部２０と開口部１０および外面壁３ａとは無接触状態となる。そして、フランジ部２０と外面壁３ａとの間の隙間Ｓに、エアー供給手段２１の供給口２１ｂからエアーを供給して外側に放出させるので、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間Ｓから開口部１０を通って高速カットボックス３内に侵入するのを確実に防止できる。
また、前記フランジ部２０と開口部１０および外面壁３ａとは無接触状態となるので、レーザ加工ヘッド２をスムーズに移動させることができるとともに、従来のベローズ等のカバーと異なり、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生することもない。
したがって、レーザ加工ヘッド２の先端部を突出させる開口部１０を確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできる。
【００３２】
また、フランジ部２０と外面壁３ａとの間の隙間Ｓにエアーを供給する供給口２１ｂが、高速カットボックス３の外面壁３ａに、前記開口部１０より外側において形成されているので、エアー供給手段２１から供給されたエアーを、隙間Ｓから外側に確実に放出することができる。
さらに、高速カットボックス３内にはパージエアーが供給されるので、このパージエアーによって高速カットボックス３内が外気より高圧になり、前記開口部１０から前記隙間Ｓを通って外部に放出される。したがって、この点においてもスパッタ、ヒュウム等の塵が隙間Ｓから開口部１０を通って高速カットボックス３内に侵入するのを確実に防止できる。
【００３３】
（第２の実施の形態）
図５は、本発明の第２の実施の形態に係るレーザ加工機を示す図である。この図に示すレーザ加工機が前記第１図〜第４図に示すものと異なる点は、高速カットボックス３の下面を構成する外面壁の構成と、高速カットボックス３内でレーザ加工ヘッド２を移動させる移動機構であるので、以下ではこの点について説明し、前記第１図〜第４図に示すレーザ加工機と共通部分には、同一符号を付してその説明を簡略化ないし省略する。
【００３４】
レーザ加工ヘッド２は、取付プレート３１の下面に取り付けられており、この取付プレート３１の上面にはスライダ３２が取り付けられている。このスライダ３２はガイドレール３３に沿って左右方向に移動可能であり、ガイドレール３３は移動プレート３４の下面に取り付けられている。取付プレート３１と後述する移動プレート３４とにはリニアモータ３５が取り付けられており、このリニアモータ３５によって、取付プレート３１がレール３３に沿って左右方向（Ｕ軸方向）に移動されるようになっている。
【００３５】
また、前記移動プレート３４の上面には、ガイドレール３６が取り付けられており、このガイドレール３６にはスライダ３７が紙面と直交する方向に移動可能となっている。スライダ３７は高速カットボックス３の上部内面に固定された固定プレート３８に取り付けられている。また、固定プレート３８と移動プレート３４とにはリニアモータ３９が取り付けられており、このリニアモータ３９によって、移動プレート３４がレール３６に沿って紙面と直交する方向（Ｖ軸方向）に移動されるようになっている。
【００３６】
したがって、このような移動機構では、取付プレート３１が左右に移動することによってレーザ加工ヘッド２が左右方向つまりＵ軸方向に移動し、移動プレート３４が紙面と直交する方向に移動することによって、レーザ加工ヘッド２が紙面と直交する方向つまりＶ軸方向に取付プレート３１とともに移動するようになっている。なお、レーザ加工ヘッド２には、その側面側からレーザビームが導入されるようになっている。
【００３７】
また、高速カットボックス３の下面を構成する外面壁３ａは、上下一対の板４０，４０が平行離間した構成となっており、これら２枚の板４０，４０間に、前記フランジ部２０が該２枚の板４０，４０と所定の間隔をもって挿入されている。また、下方の板４０の下面には、エアー流通路４１が開口部１０の四周縁部に沿って設略四角環状に設けられており、このエアー流通路４１は、板４０に形成された供給口４０ｂに連通している。この供給口４０ｂは、フランジ部２０と板４０との間の隙間Ｓにエアーを供給するものであり、前記板４０に開口部１０より外側において形成されている。また、供給口４０ｂはエアー流通路４１に沿って形成されており、これによって前記隙間Ｓには、開口部１０の外側全周からエアーが供給されるようになっている。
また、前記エアー流通路４２には、図示しない接続管が連結されており、この接続管は図示しないポンプ等のエアー供給源に接続されている。
【００３８】
このような構成のレーザ加工機では、第１の実施の形態のレーザ加工機と同様に、高速カットボックス３がＸ軸およびＹ軸方向に移動し、この高速カットボックス３内においては、リニアモータ３５，３９によって、レーザ加工ヘッド２が、Ｕ軸およびＶ軸方向に沿って高速カットボックス３と独立して移動するので、高速かつ高精度にレーザ加工ヘッド２を移動させることができる。
【００３９】
そして、このような高速に移動するレーザ加工ヘッド２には、第１の実施の形態の場合と同様に、フランジ部２０が設けられており、このフランジ部２０によって、開口部１０を、外面壁３ａとの間に所定の隙間を隔てて覆っているので、フランジ部２０と開口部１０および外面壁３ａとは無接触状態となる。そして、フランジ部２０と外面壁３ａの下側の板４０との間の隙間Ｓに、供給口４０ｂからエアーを供給して外側に放出させるので、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間Ｓから開口部１０を通って高速カットボックス３内に侵入するのを確実に防止できる。
また、レーザ加工ヘッド２に設けられたフランジ部２０が２枚の板４０，４０間に挿入されているので、フランジ部２０と一方の板４０との間、フランジ部２０と他方の板４０との間にそれぞれ隙間が生じ、一方の隙間から他方の隙間へと回り込むような空気路を形成する。したがって、スパッタ、ヒュウム等の塵が隙間から開口部を通って高速カットボックス３内に侵入するのをより確実に防止できる。
【００４０】
また、前記フランジ部２０と開口部１０および外面壁３ａとは無接触状態となるので、レーザ加工ヘッド２をスムーズに移動させることができるとともに、従来のベローズ等のカバーと異なり、スパッタによる火災、穴明き等の問題が発生することもない。
したがって、レーザ加工ヘッド２の先端部を突出させる開口部１０を確実にかつ十分な耐久性を備えてシールできる。
【００４１】
さらに、フランジ部２０と外面壁３ａの下側の板４０との間の隙間Ｓにエアーを供給する供給口４０ｂが、前記開口部１０より外側において形成されているので、エアー供給手段から供給されたエアーを、隙間Ｓから外側に確実に放出することができる。
さらに、高速カットボックス３内にはパージエアーが供給されるので、このパージエアーによって高速カットボックス３内が外気より高圧になり、前記開口部１０から前記一方の隙間から他方の隙間へと回り込むような空気路を通って外部に放出される。したがって、この点においてもスパッタ、ヒュウム等の塵が空気路から開口部１０を通って高速カットボックス３内に侵入するのを確実に防止できる。
【００４２】
なお、本実施の形態では、高速カットボックス３内でレーザ加工ヘッド２を移動させる移動機構を、リニアモータ３５，３９、ガイドレール３３，３６、スライダ３２，３７等によって構成したが、第１の実施の形態と同様な、ボールネジ１１，１３、ガイドレール１２，１５、スライダ１１ａ，１３ａ等によって構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るレーザ加工機を示す図であって、概略構成を示す斜視図である。
【図２】同、高速カットボックス内のレーザ加工ヘッドの移動機構を示す斜視図である。
【図３】同、高速カットボックス内のレーザ加工ヘッドの移動機構を示す側面図である。
【図４】同、高速カットボックス内のレーザ加工ヘッドの移動機構を示す下面図である。
【図５】本発明の第２の実施の形態に係るレーザ加工機を示す図であって、高速カットボックス内のレーザ加工ヘッドの移動機構を示す側面図である。
【符号の説明】
【００４４】
２  レーザ加工ヘッド
３  高速カットボックス（ボックス）
３ａ  外面壁
１０  開口部
２０  フランジ部
２１  エアー供給手段
２１ｂ，４０ｂ  供給口
４０  板
【図１】
2007030016.tif 000003
【図２】
2007030016.tif 000004
【図３】
2007030016.tif 000005
【図４】
2007030016.tif 000006
【図５】
2007030016.tif 000007