(57)【要約】【課題】横幅方向の寸法を小さくすることが可能な断面形状を有するプローブおよびその製造方法を提供する【解決手段】半導体デバイスの検査に用いる横型タイプのプローブカードに装着される片持ち梁型のプローブの断面形状を凸形状および凹形状のいずれかの形状とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスの検査に用いる横型タイプのプローブカードに装着される片持ち梁型のプローブであって、断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状であることを特徴とする片持ち梁型のプローブ。
【請求項２】
半導体デバイスの検査に用いる横型タイプのプローブカードに装着されるプローブの製造方法であって、犠牲台座にプローブの断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状に形成するための溝を複数設け、溝を設けた犠牲台座にプローブ分離用レジスト壁を複数設置し、プローブ分離用レジスト壁を設置した犠牲台座にめっきを堆積することによりプローブを形成することを特徴とする片持ち梁型のプローブの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩチップなどの半導体デバイスの電気的諸特性を測定するプローブカードに装着され、半導体デバイスに接触するプローブに関し、特に横型タイプのプローブカードに用いられる片持ち梁型のプローブおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩチップなどの半導体デバイスの電気的諸特性を測定するプローブカードには、カンチレバー型と呼ばれる横型タイプと、垂直型と呼ばれる縦型タイプとがある。このうち横型タイプのプローブカードには、片持ち梁型のプローブが用いられ、上記プローブを半導体デバイスのパッドに接触させて、電気的諸特性の測定を行う。
【０００３】
上記片持ち梁型プローブは、プローブ自身の弾性力により、被測定物への接触圧が左右される。正確な測定を行うためには、十分な接触圧による安定的な電気的導通が求められる。
【０００４】
上述のような従来のプローブ１０は図１０に示すような矩形の断面形状や円形（図示せず）の断面形状をしたものが用いられている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
横型タイプのプローブカードにおいて、半導体デバイスのパッド間隔の狭ピッチ化に対応するためには、プローブの横幅の寸法を小さくすることにより、隣接するプローブの間隔を狭くして対応する必要がある。そのため、バネ性の劣化や、変形、折損、或いは接触部の磨耗といった問題が生じていた。
【０００６】
また、上述の問題から、プローブがパッドに接触するときの接触圧が不足し、パッドとプローブの電気的導通が不安定になり、正確な測定が行うことができないという問題も生じていた。
【０００７】
従って、本発明の目的は、横幅の寸法を小さくすることが可能な断面形状を有する片持ち梁型のプローブおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の片持ち梁型のプローブは、半導体デバイスの検査に用いる横型タイプのプローブカードに装着される片持ち梁型のプローブであって、断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状であることを特徴とする。
【０００９】
本発明の片持ち梁型のプローブの製造方法は、犠牲台座にプローブの断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状に形成するための溝を複数設け、溝を設けた犠牲台座にプローブ分離用レジスト壁を複数設置し、プローブ分離用レジスト壁を設置した犠牲台座にめっきを堆積することによりプローブを形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の片持ち梁型のプローブは、半導体デバイスの検査に用いる横型タイプのプローブカードに装着される片持ち梁型のプローブであって、断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状であることにより、プローブが被検査物に接触する際のコンタクト動作方向のプローブの強度を大幅にアップさせ、接触圧を大きくすることにより、安定的な電気的導通をもたらし、より正確な測定を可能とする。
【００１１】
本発明の片持ち梁型のプローブの製造方法は、犠牲台座にプローブの断面形状が凸形状および凹形状のいずれかの形状に形成するための溝を複数設け、溝を設けた犠牲台座にプローブ分離用レジスト壁を複数設置し、プローブ分離用レジスト壁を設置した犠牲台座にめっきを堆積することによりプローブを形成することにより、プローブの断面形状を凸形状または凹形状とすることが可能となり、プローブの横幅を狭くしても強度を確保することを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明について図を用いて以下に詳細に説明する。図１は本発明の片持ち梁型のプローブ１の斜視図であり、図２は図1のプローブ１の側面図である。
【００１３】
図１に示す実施形態では、プローブ１は片持ち梁型のプローブであって、その断面は従来の矩形や円形ではなく凸形状としている。図２の側面図で網掛けしている部分が突出している部分である。
【００１４】
図３のプローブ１は、一部の断面形状を凸形状としそれ以外の部分は矩形にした場合のプローブ１であり、図３のように特に強度が不足する部分のみに凸形状を用いることも可能である。
【００１５】
本発明のプローブ１の断面形状は凸形状だけでなく、図４に示すような凹形状でもよく、また上に凸または凹あるいは下に凸または凹形状でもよい。
【００１６】
このように、本発明のプローブ１は断面形状を矩形または円形から、凸または凹形状にすることにより、プローブ１が被検査物に接触する際のコンタクト動作方向のプローブの強度を大幅にアップさせ、接触圧を大きくすることが可能となる。これにより、安定的な電気的導通をもたらし、正確な測定を行うことができる。
【００１７】
また、凸または凹形状にすることにより強度が確保できるので、従来のプローブと同じ強度をより幅の狭いプローブで実現できる。これにより、従来のプローブよりも狭ピッチに対応可能となる。
【００１８】
本発明の凸形状のプローブ１の強度が従来の矩形のプローブの強度と比較してどの程度増加しているか実験した結果が図５のグラフである。
【００１９】
図５のグラフは横軸がプローブの変位量で、縦軸がプローブに加えた荷重を示す。実線が本発明の凸形状のプローブ１であり、点線が従来のプローブ１０である。
【００２０】
図５のグラフを見るとわかるように、本発明の凸形状のプローブ１は、従来のプローブ１０の約２倍の荷重で同じ変位量となっている。これは、つまり本発明の凸形状のプローブ１は、従来のプローブ１０の約２倍の強度を有することを示すものである。
【００２１】
このように、本発明のプローブ１の強度は、従来のプローブ１０よりも大幅に増加していることがわかる。
【００２２】
本発明のプローブ１の製造方法について説明する。図６〜８が本発明のプローブ１の製造方法を示す図である。
【００２３】
従来のプローブは犠牲台座にめっきを堆積することにより製造されていたが、本発明のプローブ１を製造するために、犠牲台座２に溝３を設ける。上記溝３は本発明のプローブ１の断面を凸形状にするための溝である。
【００２４】
上記溝３を設けた犠牲台座２に、プローブ分離用レジスト壁４を設置する。レジスト壁４を設置した状態が図７である。上記レジスト壁４は、犠牲台座２上に形成される複数のプローブ１を分離させるために設ける。図７ではプローブ１の製造方法がよくわかるように、一番手前のレジスト壁４‘は点線で示してある。
【００２５】
犠牲台座２にレジスト壁４を設置した後、犠牲台座２上にめっき５を堆積させる。このめっき５が溝３に堆積されることにより凸形状を形成する。このように、めっき５が堆積し、プローブ１が形成された状態が図８である。
【００２６】
犠牲台座２から堆積されためっき５を取出すとプローブ１となる。このように従来使用していた犠牲台座２に所定の溝３をもうけることにより本発明のプローブ１を製造することができる。
【００２７】
図２に示すような一部の断面形状が凸形状となっている場合には、図９に示すような犠牲台座２を使用する。
【００２８】
図９に示す犠牲台座２には１個のプローブに対して２箇所の溝３が設けてある。このように必要な箇所に溝３を設けることによりプローブ１の所定の位置の断面形状を変更することができる。
【００２９】
また、凹形状の断面を有するプローブ１を製造するためには、犠牲台座２に溝３を２本平行に形成することにより、凹形状の断面を形成することができる。
【００３０】
このように、本発明のプローブ１の製造方法は、犠牲台座２に所望の形状の溝３を所定の位置に形成することにより、凸または凹形状の断面を様々な箇所に形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の実施形態であるプローブの斜視図である。
【図２】図１に示す本発明のプローブの側面図である。
【図３】本発明のプローブの別の実施形態を示す側面図である。
【図４】本発明のプローブの断面形状を示す断面斜視図である。
【図５】本発明のプローブと従来のプローブの荷重に対する変位量を示すグラフである。
【図６】本発明のプローブの製造に使用する犠牲台座２の斜視図である。
【図７】本発明のプローブの製造に使用する犠牲台座２にプローブ分離用レジスト壁を設置した状態の斜視図である。
【図８】本発明のプローブの製造に使用する犠牲台座２にめっき５を堆積してプローブ１を形成した状態を示す斜視図である。
【図９】本発明のプローブの製造に使用する別の実施形態の犠牲台座２の斜視図である。
【図１０】従来のプローブ１０の斜視図である。
【符号の説明】
【００３２】
１    プローブ
２    犠牲台座
３    溝
４    プローブ分離用レジスト壁
５    めっき
１０  従来のプローブ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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