(57)【要約】【課題】  構成の複雑化、装置の大型化、コストの上昇を来たすことなく、固定子の位置決め作業を容易化させて作業効率の向上を図ることが可能なリニアモータを採用したアクチュエータを提供すること。【解決手段】  複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、を備えたアクチュエータにおいて、上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造によって直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したもの。【選択図】  図２
2007185054.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、
上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、
を備えたアクチュエータにおいて、
上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部側に直接又は間接に設けられた雌ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雌ねじ部に螺合される雄ねじ部材と、から構成されていて、上記雄ねじ部材を上記雌ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部に直接又は間接に設けられた雄ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雄ねじ部に螺合される雌ねじ部材と、から構成されていて、上記雌ねじ部材を上記雄ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項２又は請求項３に記載のアクチュエータにおいて、
上記支持部材には固定ねじ部材が螺合されていて、上記固定子を移動させてその位置が調整・設定された後に固定ねじ部材を螺合させて上記固定子を固定させるように構成したことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１記載のアクチュエータにおいて、
上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えるとともに移動可能であって任意の位置に固定可能に設けられた支持部材と、支持部材を挟んで上記固定子の反対側に設置されたブラケットと、上記ブラケットを介して上記支持部材に螺合された螺合部材と、から構成されていて、上記螺合部材を適宜の方向に螺合させることにより支持部材ひいては固定子を移動させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、精密位置決めシステムに用いるリニアモータを使用したアクチュエータに係り、特に、固定子の位置決め機構の構成を改良することにより、固定子の位置決め作業の容易化を図ることができるように工夫したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
非接触駆動が可能なリニアモータは、例えば、精密位置決め装置の駆動機構として好適である。従来のリニアモータ及びそのようなリニアモータを使用したアクチュエータは、例えば、図２２及び図２３に示すような構成になっている。
【０００３】
図２２はリニアモータ７０１の構成を示す断面図であり、リニアモータ７０１は、固定子７０３と可動子７０５とから構成されている。上記固定子７０３は、非磁性センター軸７０７と、この非磁性センター軸７０７の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石７０９と、上記複数個の永久磁石７０９の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ７１１と、上記複数個の永久磁石７０９の両側位置において上記非磁性センター軸７０７に螺合されると共に上記非磁性薄肉パイプ７１１内にその一部が挿入・配置された一対のエンドキャップ７１３、７１３とから構成されている。
【０００４】
又、上記可動子７０５であるが、コイルケース７１５と、このコイルケース７１５内に収容・配置されたコイル部７１７とから構成されている。
【０００５】
上記固定子７０３は、図２３に示すように、その両端を支持部材７１９、７１９によって支持されている。又、上記可動子７０５は直動ガイド機構７２１によってガイドされた状態で、図中左右方向（矢印ａ方向）に移動するものである。上記直動ガイド機構７２１は、一対のガイドレール７２３、７２３（図２３では片側のみ示す）と夫々のガイドレール７２３、７２３に移動可能に係合するガイド部材７２５、７２５（図２３では片側の２個のみ示す）とから構成されている。
尚、ガイドレール１本で構成する場合もある。
【０００６】
尚、同種のリニアモータの構成を開示するものとして、例えば、特許文献１等がある。
【０００７】
【特許文献１】特開平１０−３１３５６６号公報
【０００８】
ところで、この種のリニアモータ７０１を用いたアクチュエータの場合には、リニアモータ７０１の固定子７０３の原点位置を調整・設定する必要がある。つまり、リニアモータ７０１の固定子７０３をアクチュエータの軸方向の所定の位置に調整・設定する必要がある。
【０００９】
具体的には、図２４及び図２５に示すような手順で位置決めを行っていた。まず、図２４に示すように、固定子７０３の端部を支持部材７１９の貫通孔７１９ａ内に挿入する。これは左右両側において同様に行われる。次に、可動子７０５のコイル部７１７に電流を流す。それによって、可動子７０５が移動して任意の位置に停止する。その位置を目安にして固定子７０３の原点を調整・設定する。具体的には、作業員が手作業によって固定子７０３を左右方向に移動させることにより所望の位置に位置させる。固定子７０３の位置が調整・設定されたら、図２５に示すように、固定ねじ部材７３１を支持部材７１９に設けられている雌ねじ部７３３に螺合させて固定する。
【００１０】
又、図２６及び図２７に示すような構成もある。この場合には、支持部材７１９に割り７３５を設けたものであり、その他の構成は図２４及び図２５に示したものと同じである。又、既に述べた手順と同様の手順によって固定子７０３の位置を調整・設定するものである。  
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上記従来の構成によると次のような問題があった。
すなわち、従来の場合には、固定子７０３を作業員が手作業によって直接移動させながらその位置を調整・設定する必要があり、煩雑な作業を余儀なくされているとともに作業に長時間を要していて作業効率が悪いという問題があった。
このような問題に対しては、例えば、磁極検出機能付のモータドライバを使用することが考えられ、それによって、アクチュエータの軸方向所定位置に決まった磁極を配置する必要がなくなり、それにより任意の位置を原点とすることが可能である。しかしながらそのための制御が複雑化してしまうという問題があった。又、上記磁極検出機能付のモータドライバも決して安価なものではなかった。
又、上記磁極検出機能付のモータドライバを使用した場合には、電源投入後最初の動作で磁極検出動作（いわゆるポールセンス）を行なう必要があり、よって、電源投入後直ぐに使用することができないという問題があった。
又、上記磁極検出機能付モータドライバを使用する以外にも、例えば、リニアアブソリュートエンコーダを使用する方法もある。この場合には、リニアアブソリュートエンコーダによって位置検出を行ない、それによって、磁極位置を割り出すというものである。しかしながらこの場合にも制御が複雑化してしまうとともにリニアアブソリュートエンコーダが非常に高価なものであるという問題があった。
【００１２】
本発明はこのような点に基づいてなされたものでその目的とするところは、構成の複雑化、装置の大型化、コストの上昇を来たすことなく、固定子の位置決め作業を容易化させて作業効率の向上を図ることが可能なリニアモータを採用したアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記従来の課題を解決するべく本願発明の請求項１によるアクチュエータは、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、を備えたアクチュエータにおいて、上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したことを特徴とするものである。
又、請求項２によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部側に直接又は間接に設けられた雌ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雌ねじ部に螺合される雄ねじ部材と、から構成されていて、上記雄ねじ部材を上記雌ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項３によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えた支持部材と、上記固定子の端部に直接又は間接に設けられた雄ねじ部と、上記支持部材を挟んで上記固定子の反対側から上記雄ねじ部に螺合される雌ねじ部材と、から構成されていて、上記雌ねじ部材を上記雄ねじ部に螺合させることにより固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。
又、請求項４によるアクチュエータは、請求項２又は請求項３に記載のアクチュエータにおいて、上記支持部材には固定ねじ部材が螺合されていて、上記固定子を移動させてその位置が調整・設定された後に固定ねじ部材を螺合させて上記固定子を固定させるように構成したことを特徴とするものである。
又、請求項５によるアクチュエータは、請求項１記載のアクチュエータにおいて、上記固定子支持部は、上記固定子の端部が挿入・配置される貫通孔を備えるとともに移動可能であって任意の位置に固定可能に設けられた支持部材と、支持部材を挟んで上記固定子の反対側に設置されたブラケットと、上記ブラケットを介して上記支持部材に螺合された螺合部材と、から構成されていて、上記螺合部材を適宜の方向に螺合させることにより支持部材ひいては固定子を移動させるようにしたことを特徴とするものである。  
【発明の効果】
【００１４】
以上述べたように本願発明によるアクチュエータによると、複数個の永久磁石を積層・配置してなるとともにシャフト状に延長された固定子と、上記固定子の外周側に移動可能に設置されコイルを備えた可動子とを具備してなるリニアモータと、上記固定子の両端を夫々支持する一対の固定子支持部と、を備えたアクチュエータにおいて、上記一対の固定子支持部の少なくとも一方において螺合構造を利用して直接的に又は間接的に固定子を移動可能に支持するとともに任意の位置にて固定可能に構成したので、構成の複雑化、コストの上昇を来たすことなく固定子の位置決め作業を容易化して作業効率の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図１乃至図５を参照して本発明の第１の実施の形態を説明する。図１は本実施の形態によるアクチュエータの構成を示す側断面図である。まず、リニアモータ１があり、このリニアモータ１は固定子３と可動子５とから構成されている。上記固定子３は、非磁性センター軸７と、この非磁性センター軸７の外周に積層・配置されたリング状の複数個の永久磁石９と、上記複数個の永久磁石９の外周側に設置された非磁性薄肉パイプ１１と、上記複数個の永久磁石９の両側位置において上記非磁性センター軸７に螺合されるとともに上記非磁性薄肉パイプ１１内にその一部が挿入・配置された一対のエンドキャップ１３、１３とから構成されている。
【００１６】
又、上記可動子５であるが、コイルケース１５と、このコイルケース１５内に収容・配置されたコイル部１７等から構成されている。
【００１７】
上記固定子３はその両端を固定子支持部１９、１９によって夫々支持されている。又、上記可動子５は直動ガイド機構２１によってガイドされた状態で、図１中左右方向（矢印ａ方向）に移動するものである。上記直動ガイド機構２１は、一対のガイドレール２３、２３（図１では片側のみ示す）と夫々のガイドレール２３、２３に移動可能に係合するガイド部材２５、２５（図１では片側の２個のみ示す）とから構成されている。
尚、ガイドレール１本で構成する場合もある。
【００１８】
次に、上記固定子支持部１９の構成を詳細に説明する。図１乃至図５に示すように、固定子支持部１９は支持部材２７を備えていて、この支持部材２７は、図２乃至図４に示すように、逆Ｔ字形状をなしていて底板部２７ａと立設部２７ｂとから構成されている。上記底板部２７ａには取付・固定用の貫通孔２９、２９が穿孔されていて、これら貫通孔２９、２９に図示しない固定ボルトを通して接地部に螺合させることにより固定されるものである。
又、支持部材２７の形状は特に決まりはなく、底板部２７ａには取付・固定用の雌ねじが有り、図示しない固定ボルトを通して接地部に螺合させることにより固定されるものである。
【００１９】
又、上記立設部２７ｂには割り３１、３３が入っていて、これら割り３１、３３を介してブロック部３５が変位可能な状態で設けられている。又、上記立設部２７ｂには、図５に示すように、段付貫通孔３７が形成されている。この段付貫通孔３７は、図５（ｂ）に示すように、大径孔３７ａと小径孔３７ｂとから構成されている。この段付貫通孔３７の大径孔３７ａ内に、固定子３のエンドキャップ１３の部分が挿入・配置されることになる。
【００２０】
又、図２に示すように、上記エンドキャップ１３には雌ねじ部３９が形成されている。一方、上記支持部材２７を挟んで上記固定子３の反対側にはねじ部材４１が配置されている。このねじ部材４１は図示しない六角レンチによって回転されるタイプのものである。上記固定子３のエンドキャップ１３を貫通孔３７の大径孔３７ａ内に挿入・配置し、その状態で反対側からねじ部材４１を差し込んで雌ねじ部３９に螺合させる。そして、ねじ部材４１を螺合させていくことにより固定子３を引っ張ってその位置を移動させて所望の位置に調整・設定するものである。
【００２１】
又、上記支持部材２７のブロック部３５には固定ねじ部材４３が螺合されている。この固定ねじ部材４３は位置の調整が完了した固定子３の位置を固定するためのものである。
尚、既に説明した固定子支持部１９、１９の内一方の固定子支持部１９の構成を説明したが、他方の固定子支持部１９についても同様の構成になっている。
【００２２】
以上の構成を基に固定子３の位置の調整・設定について説明する。
まず、固定子３の両端のエンドキャップ１３、１３を夫々の固定子支持部１９、１９の支持部材２７、２７の貫通孔３７、３７の大径孔３７ａ、３７ａ内に挿入・配置する。その状態を示すのが図１である。
【００２３】
次に、その状態で可動子５のコイル部１７に電流を流す。それによって、可動子５が移動して任意の位置に停止する。その状態から固定子３の原点を検知して固定子３をその原点位置に移動させてセットする作業を行なう。
例えば、図１において、固定子３を図中左側に移動させたい場合には、図２乃至図４に示すように、ねじ部材４１を固定子３の雌ねじ部３９に螺合させる。そして、図３に示すように、ねじ部材４１の頭を支持部材２７の立設部２７ｂに当接させた状態で螺合させていく。それによって、固定子３が図中左側に引っ張られて移動していく。その際、右側はフリーの状態になっている。
【００２４】
逆に、図１において、固定子３を図中右側に移動させたい場合には、右側において、ねじ部材４１を固定子３の雌ねじ部３９に螺合させる。そして、ねじ部材４１の頭を支持部材２７の立設部２７ｂに当接させた状態で螺合させていく。それによって、固定子３が図中右側に引っ張られて移動していく。その際、左はフリーの状態になっている。
【００２５】
このような作業を行なうことにより固定子３を所望の位置に位置決めするものである。固定子３の位置決めが終了した後、左右の固定子支持部１９、１９において、固定ねじ部材４３をそれぞれ螺合させて、固定子３を固定するものである。
【００２６】
以上本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、固定子３の位置決め作業が容易化されたものである。これは従来作業員が手作業によって固定子３を直接把持した状態で移動させていたのに対して、この実施の形態の場合にはねじ部材４１を回転操作することによって行なうことができるように構成したからである。
又、ねじ部材４１を回転させることにより固定子３を移動させるようにしているので微調整が容易になったものであり、それによって、固定子３を所望の位置に容易且つ迅速に位置決めすることが可能になったものである。そして、固定子３の位置決め作業の効率化を図ることができるものである。
又、この実施の形態の場合には、左右の固定子支持部１９、１９において同様の位置調整機構としているので、例えば、左側の位置調整機構を使用して固定子３を図中左側に移動させ過ぎた場合には、右側の位置調整機構を使用して右側に戻せばよく、位置の調整・設定作業がより容易になっているものである。
尚、
左右何れか一方にのみ位置調整機構を設ける構成も考えられる。
【００２７】
次に、図６乃至図８を参照して本発明の第２の実施の形態を説明する。
この第２の実施の形態の場合には、固定子３のエンドキャップ１３に雄ねじ部１０１を設け、一方、支持部材２７を挟んで固定子３の反対側に雌ねじ部材としてのナット１０３を配置し、ナット１０３を雄ねじ部１０１に螺合させることにより固定子３を移動させるようにしたものである。
その他の構成は前記第１の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第１の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
【００２８】
次に、図９乃至図１１を参照して本発明の第３の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、支持部材２７の立設部２７ａの貫通孔３７の小径孔３７ｂに雌ねじ部２０１が設けられている。そこにボルト４１を螺合させていくことにより、固定子３を押し出すように構成されている。すなわち、前記第１、第２の実施の形態の場合には固定子３を引っ張ることによりその位置を調整するように構成していたが、この第３の実施の形態の場合にはこれを押すことによりその位置を調整するようにしたものである。
その他の構成は前記第１、第２の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第１、第２の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
【００２９】
次に、図１２乃至図１４を参照して本発明の第４の実施の形態を説明する。この場合には、支持部材２７と固定子３との間に
固定子位置調整用部材３０１を配置させている。この固定子位置調整用部材３０１には穴３０３が形成されていて、この穴３０３内に固定子３のエンドキャップ１３を挿入・配置させ、それを固定ねじ部材３０５をねじ込むことにより固定する。上記固定子位置調整用部材３０１には雄ねじ部３０７が突出・配置されている。又、上記固定子位置調整用部材３０１には割り３０９、３１１が形成されていて、これら割り３０９、３１１を介してブロック部３１３が設けられている。
【００３０】
一方、支持部材２７を挟んで上記固定子位置調整用部材３０１の反対側には雌ねじ部材としてのナット３１５が配置されている。又、支持部材２７の貫通孔３７の大径孔３７ａには上記固定子位置調整用部材３０１が挿入・配置される程度の大きさに構成されている。
その他前記各実施の形態の構成と同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
【００３１】
以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、固定子３を固定子位置調整部材３０１に挿入・固定する。すなわち、固定子３のエンドキャップ１３を穴３０３内に挿入・配置させ、固定ねじ部材３０５を螺合させることにより固定するものである。
次に、固定子位置調整部材３０１を支持部材２７の貫通孔３７の大径孔３７ａ内に挿入する。後は、ナット３１５を雄ねじ部３０７に螺合させることにより、固定子位置調整部材３０１ひいては固定子３を引っ張ってその位置の調整・設定を行なう。
【００３２】
よって、前記第１〜第３の実施の形態の場合と同様の効果を奏することができる。
【００３３】
次に、図１５乃至図１８を参照して本発明の第５の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、前記第４の実施の形態において、固定子位置調整部材３０１側に雌ねじ部４０１を設け、支持部材２７を挟んで反対側にねじ部材４０３を配置し、ねじ部材４０３を雌ねじ部４０１に螺合させることにより、固定子位置調整部材３０１ひいては固定子３を引っ張ってその位置を調整するようにしたものである。
その他の構成は前記第４の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記第４の実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
【００３４】
次に、図１９乃至図２１を参照して本発明の第６の実施の形態を説明する。この実施の形態の場合には、固定子支持部１９の支持部材２７を移動可能に構成し、その外側に別のブラケット５０１を設置・固定している。このブラケット５０１に貫通孔５０３を穿孔し、又、上記支持部材２７側に雌ねじ部５０５を設けている。そして、ねじ部材５０７を上記貫通孔５０３を通して上記雌ねじ部５０５に螺合させることにより支持部材２７ひいては固定子３を引っ張ってその位置を調整・設定するものである。
その他の構成は前記第１〜第５の実施の形態の場合と同じであり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
よって、前記各実施の形態の場合と同様の作用・効果を奏することができる。
【００３５】
尚、本発明は前記第１〜第６の実施の形態に限定されるものではない。要は固定子の少なくとも一端を螺合構造によって直接又は間接に支持し、その螺合構造を利用して固定子を移動させてその位置の調整・設定ができるようなものであればよい。
又、前記第１〜第６の実施の形態の場合には、左右の固定子支持部１９、１９を同様の構成としたが、左右何れかのみを位置調整可能な構成としてもよい。
又、その他の構成については図示したものはあくまで一例であってそれに限定されるものではない。
【産業上の利用可能性】
【００３６】
本発明はリニアモータを採用したアクチュエータに係り、特に、固定子の位置決め機構の構成を改良することにより、固定子の位置決め作業の容易化を図ることができるように工夫したものに関し、例えば、精密位置決めにシステムに使用するアクチュエータに好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す図で、アクチュエータの構成を示す側断面図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態を示す図で、図５（ａ）はリニアモータの固定子を支持する支持部材等の構成を示す側面図、図５（ｂ）は図５（ａ）のｂ−ｂ断面図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図８】本発明の第２の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１２】本発明の第４の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１３】本発明の第４の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図１４】本発明の第４の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１５】本発明の第５の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１６】本発明の第５の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図１７】本発明の第５の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１８】本発明の第５の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図１９】本発明の第６の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図２０】本発明の第６の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図２１】本発明の第６の実施の形態を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図２２】従来例を示す図で、リニアモータの構成を示す側断面図である。
【図２３】従来例を示す図で、アクチュエータの構成を示す側断面図である。
【図２４】従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図２５】従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【図２６】従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための分解斜視図である。
【図２７】従来例を示す図で、リニアモータの固定子の位置決め作業を順次説明するための斜視図である。
【符号の説明】
【００３８】
１  リニアモータ
３  固定子
５  可動子
７  非磁性センター軸
９  永久磁石
１１  非磁性薄肉パイプ１１
１３  エンドキャップ
１５  コイルケース
１７  コイル部
１９  固定子支持部
２７  支持部材
３９  雌ねじ部
４１  ねじ部材
４３  固定ねじ部材
【図１】
2007185054.tif 000003
【図２】
2007185054.tif 000004
【図３】
2007185054.tif 000005
【図４】
2007185054.tif 000006
【図５】
2007185054.tif 000007
【図６】
2007185054.tif 000008
【図７】
2007185054.tif 000009
【図８】
2007185054.tif 000010
【図９】
2007185054.tif 000011
【図１０】
2007185054.tif 000012
【図１１】
2007185054.tif 000013
【図１２】
2007185054.tif 000014
【図１３】
2007185054.tif 000015
【図１４】
2007185054.tif 000016
【図１５】
2007185054.tif 000017
【図１６】
2007185054.tif 000018
【図１７】
2007185054.tif 000019
【図１８】
2007185054.tif 000020
【図１９】
2007185054.tif 000021
【図２０】
2007185054.tif 000022
【図２１】
2007185054.tif 000023
【図２２】
2007185054.tif 000024
【図２３】
2007185054.tif 000025
【図２４】
2007185054.tif 000026
【図２５】
2007185054.tif 000027
【図２６】
2007185054.tif 000028
【図２７】
2007185054.tif 000029