(57)【要約】【課題】複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供すること。【解決手段】流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に集積して一体化する流体機器ユニット構造において、ベース部材１０が、流体機器類を設置する複数の設置面１１と、該設置面１１間をベース部材内部で連結する傾斜流路１２とを備えている。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、
前記ベース部材が、前記流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をベース部材内部で連結する傾斜流路とを備えていることを特徴とする流体機器ユニット構造。
【請求項２】
前記設置面の高さが異なることを特徴とする請求項１に記載の流体機器ユニット構造。
【請求項３】
流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、
前記ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたことを特徴とする流体機器ユニット構造。
【請求項４】
前記流路を流れる流体が前記弁体収納部の下端部を通過することを特徴とする請求項３に記載の流体機器ユニット構造。
【請求項５】
前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側部材に、前記接合方向へ貫通する雌ねじ部を形成するとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部に両側から各々異なるボルトをねじ込んで締め付けることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の流体機器ユニット構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バルブや圧力スイッチ等の流体機器類を一体化した流体機器ユニット構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、薬品等の流体を取り扱う装置においては、構成要素となる各種の流体機器類（バルブ類、レギュレータ、圧力センサ等の各種センサ類及び圧力スイッチ等の各種スイッチ類など）を配管で接続して一体化した構成とされる。
また、たとえば半導体製造装置のように複数の薬液用流体機器を使用する場合、配管を用いることなく薬液用流体機器どうしの連結を可能とする構造が提案されており、配管が不要になるため装置全体のコンパクト化が可能になるとされる。（たとえば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開２０００−１２０９０３号公報（図１参照）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、近年においては、部品取付スペースが小さくなって装置の小型化に有効なフットプリント（平面視の投影面積）の低減、装置の信頼性やメンテナンスの簡略化に有効なリークポイントの低減、及び流体の有効使用を可能にするデッドボリュームの低減等を目的とし、複数の流体機器類を集積させて一体化した流体機器ユニット構造の開発が望まれている。
しかし、上述した特許文献１の連結構造は、薬液用流体機器の流路を直線的に接続するインラインタイプか、あるいは、マニホールドベースを用いて複数のバルブを並列に接続するものであるから、フットプリントの低減には限界があった。すなわち、一方のインラインタイプは、直線的に長くなる構造であるから集積化に不向きであり、他方のマニホールドベースを使用するタイプは、マニホールドベースがフットプリントを増す要因となるため好ましくない。
【０００４】
また、従来の逆止弁はインラインタイプであるため全長が長くなり、フットプリントを低減する集積化には不向きである。
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、複数の流体機器類を集積させて一体化し、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供することにある。
さらに、流体機器類を集積させて一体化するのに適した逆止弁を開発し、流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記の課題を解決するため、下記の手段を採用した。
本発明の請求項１は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、前記ベース部材が、前記流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をベース部材内部で連結する傾斜流路とを備えていることを特徴とするものである。
【０００６】
このような流体機器ユニット構造によれば、ベース部材が、流体機器類を設置する複数の設置面と、該設置面間をベース部材内部で連結する傾斜流路とを備えているので、設置面に設置された流体機器類が配管を使用しないベース部材内で連結されるため、シール対象となるリークポイントが減少し、さらに、隣接する流体機器類間の連結が傾斜流路で連結可能となるため、機器間隔を小さくしてフットプリントの低減が可能となる。
また、上記の発明においては、設置面の高さが異なるものが好ましく、これにより、ドリル等の工具を使用して大きな傾斜角度の傾斜流路を容易に加工することができるので、機器間隔を最小にすることができる。
【０００７】
本発明の請求項３は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材に集積して一体化する流体機器ユニット構造であって、前記ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたことを特徴とするものである。
【０００８】
このような流体機器ユニット構造によれば、ベース部材に逆止弁の弁体収納部を形成し、該弁体収納部に連通する流体入口及び流体出口を所望の角度に交差させて設けたので、流体入口及び流体出口に所望の角度を付けた逆止弁の設置が可能となる。
この場合、前記流路を流れる流体は、前記弁体収納部の下端部を通過して流れることが好ましく、これにより、流体が弁体収納部内に滞留することを防止できる。
【０００９】
上記の流体機器ユニット構造においては、前記流体機器類のケーシング部材を前記ベース部材との接合方向へ複数に分割し、前記ベース部材と密着する位置に配置される前記ケーシング部材のベース側部材に、前記接合方向へ貫通する雌ねじ部を形成するとともに、前記ベース側部材を挟持して前記雌ねじ部に両側から各々異なるボルトをねじ込んで締め付けることが好ましく、これにより、締付力の調整が容易になるため、各シール部を均等に締め付けることができる。
【発明の効果】
【００１０】
上述した本発明の流体機器ユニット構造によれば、ベース部材に複数の流体機器類を集積させて一体化し、特に、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造を提供することができる。
また、流体機器類を集積させて一体化するのに適した逆止弁を得ることができるので、上述した流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図４及び図５に示す流体機器ユニット１の構造は、流路を介して接続される複数の流体機器類をベース部材１０に集積して一体化したものである。図示の構成例では、流体機器ユニット１の主要部が耐薬品性のフッ素樹脂製とされ、流体機器類として三つの空気圧操作弁２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ、圧力センサ３０及び逆止弁４０を使用し、これらの流体機器類をベース部材１０に集積して一体化したものである。なお、図中の符号５はベース固定板、６はユニット基板である。
また、図６は流体機器ユニット１の流路（回路）構成を示しており、この流路構成例では、薬液流路２に第１の空気圧操作弁２０Ａ及び圧力センサ３０が設けられ、第１の空気圧操作弁２０Ａの上流側から分岐する薬液リターン流路３には第２の空気圧操作弁２０Ｂが設けられ、第１の空気圧操作弁２０Ａの下流側に合流する純水流路４には第３の空気圧操作弁２０Ｃ及び逆止弁４０が設けられている。なお、図中の符号２ａは薬液入口、２ｂは薬液出口、３ａは薬液リターン出口、４ａは純水入口である。
【００１２】
ベース部材１０は、たとえば図７から図１１に示すように、上述した流体機器類を設置するために設けた高さの異なる複数の設置面１１と、これら複数の設置面間をベース部材１０の内部で連結する傾斜流路１２とを備えている。
この場合、ベース部材１０は略直方体形状とされ、その上面には上述した流体機器類を設置するため、各中心位置が矩形を描くように配置された４つの設置面１１が設けられている。なお、以下の説明では、第１の空気圧操作弁２０Ａを設置する設置面を第１設置面１１Ａとし、第２の空気圧操作弁２０Ｂを設置する設置面を第２設置面１１Ｂ、第３の空気圧操作弁２０Ｃを設置する設置面を第３設置面１１Ｃ、さらに、圧力センサ３０を設置する設置面を第４設置面１１Ｄとする。
【００１３】
第１設置面１１Ａは、図９に示すように、ベース部材１０の上面を掘り下げるようにして形成された低い段の設置面である。また、第１設置面１１Ａの下方には、たとえば図２に示すように、空気圧操作弁２０Ａの弁体２１を収納する円柱状空間１３が形成され、さらに、円柱状空間１３の下方には、収納部ベース部材１０の内部を水平方向に貫通するトンネル状の薬液流路２と連通するように、垂直流路部１４が形成されている。
また、図中の符号１５はリング状凹部であり、空気圧操作弁２０ＡのダイヤフラムＤｆに形成された凸部をリング状凹部１５に挿入することで、ベース部材１０と空気圧操作弁２０Ａとの連結部シール構造が形成されている。なお、ダイヤフラムＤｆの上方には、空気圧により弁を開閉するためのアクチュエータＡｃが設置されている。
このように形成されたベース部材１０の第１設置面１１Ａに対し、空気圧操作弁２０Ａを上方から差し込むように挿入して取り付け、たとえば図２に想像線で示すように、貫通ボルト５０とナット５１とにより締め付けることで、リング状凹部１５とダイヤフラムＤｆとの嵌合による連結部シール構造が強固に保持されている。なお、ここで採用した貫通ボルト５０及びナット５１については、後述する分割ボルト構造を採用してもよい。
【００１４】
第３設置面１１Ｃは、図９に示すように、ベース部材１０の上面と略一致するように形成された高い段の設置面である。すなわち、第３設置面１１Ｃは、上述した第１設置面１１Ａより高い位置にある。また、第３設置面１１Ｃの下方には、たとえば図２に示すように、逆止弁４０の弁体４１を収納設置するため、流路空間１６の下方に円柱状とした弁体収納部４２の空間が形成されている。なお、図中の符号１５はリング状凹部であり、流体機器取付時には必要に応じて流体機器側の底部に設けたリング状凸部を圧入し、連結部のシール構造を形成するものである。
このように形成されたベース部材１０の第３設置面１１Ｃに対し、ばね４３を介在させた弁体４１を上部から弁体収納部４２に組み込んだ後、空気圧操作弁２０Ｃを上方から差し込むように挿入して取り付け、後述する分割ボルト構造のボルト１７で固定する。この場合の連結部は、リング状凸部２２とリング状凹部１５との嵌合によりシールされる。
【００１５】
図示の逆止弁４０は、上部に設けた流体入口４４から流入した流体が、弁体収納部４２の側面に開口する流体出口４５から斜め下方へ向かう傾斜流路１２に流出するように構成されている。すなわち、上述したベース部材１０に流体機器類を集積して一体化する流体機器ユニット１において、ベース部材１０に逆止弁４０の弁体収納部４２を形成し、この弁体収納部４２に連通する流体入口４４及び流体出口４５は、たとえば上部から流入して水平方向へ流出するなど、所望の角度に交差して設けられている。
このような逆止弁４０を流体機器ユニット１に採用すれば、弁体収納部４２に連通する流体入口４４及び流体出口４５を所望の角度に交差させて設けることができるので、ユニット全体の小型化に有効である。すなわち、従来のインラインタイプと異なり、流体入口４４及び流体出口４５が所望の角度を有しているので、特に、平面視の設置面積を小さくすることが可能になる。
【００１６】
上述した構成の弁体収納部４２は、流体出口４５の開口部より低い位置にもばね４３を収納する空間が存在している。このため、弁体収納部４２に流入した流体は、流体出口４５より低い空間においてほとんど置換されることなく滞留する。従って、この空間が流体のデッドボリュームとなり、さらに、長期間にわたる滞留により変質した流体が混入することで純度に悪影響を及ぼすことも懸念される。
そこで、弁体収納部４２を通過して流れる流体の出入口について、流路を流れる流体が弁体収納部４２の下端部を通過して流れるような配置となる変形例を図１４及び図１５に示して説明する。なお、上述した実施形態と同様の部材には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
【００１７】
図１４に示す第１変形例において、ベース部材１０に形成された弁体収納部４２Ａは、ばね４３より下方に延長した連結用空間４６を備えている。この連結空間４６は、底面が弁体収納部４２Ａの最下端部となるので、流体出口４５Ａが底面近傍の側面に開口して設けられている。
流体出口４５Ａと空気圧操作弁２０Ａの弁体２１を収納する円柱状空間１３との間は、ベース部材１０内に形成された傾斜流路１２Ａにより連結されている。この場合の傾斜流路１２Ａは、連結空間４６から円柱状空間１３へ上向きに傾斜している。
【００１８】
このような構成とすれば、流体が逆止弁４０を通過して流れる際には、弁体収納部４２Ａで最も低い位置になる連結空間４６を必ず通過する。このため、逆止弁４０が閉じて連結空間４６内に滞留した流体は、逆止弁４０が開いて流れが生じるたびに連通空間４６から押し出されるように流出して置換される。従って、流体が置換されることなく弁体収納部４２Ａ内に長期間滞留することを防止できるようになり、連結空間４６が流体のデッドボリュームとなることもない。このような第１変形例の構成は、逆止弁４０を設置する部分の高さを増すことなく滞留防止が可能となる。
【００１９】
図１５に示す第２変形例において、ベース部材１０に形成された弁体収納部４２Ｂは、ばね４３の下方をわずかに収納可能な浅いものとされる。この弁体収納部４２Ｂは、ばね４３の下端部付近に形成され、円柱状空間１３側に拡大された連結空間４６Ａを備えている。この連結空間４６Ａは、底面が弁体収納部４２Ｂの最下端部となり、底面近傍の側面には流体出口４５Ｂが開口して設けられている。
流体出口４５Ｂと空気圧操作弁２０Ａの弁体２１を収納する円柱状空間１３との間は、ベース部材１０内に形成された傾斜流路１２Ｂにより連結されている。この場合の傾斜流路１２Ｂは、連結空間４６Ａから円柱状空間１３へ下向きに傾斜している。
【００２０】
このような構成とすれば、流体が逆止弁４０を通過して流れる際には、弁体収納部４２Ｂで最も低い位置になる連結空間４６Ａを必ず通過する。このため、逆止弁４０が閉じて連結空間４６Ａ内に滞留した流体は、逆止弁４０が開いて流れが生じるたびに連通空間４６Ａから押し出されるように流出して置換される。従って、流体が置換されることなく弁体収納部４２Ｂ内に長期間滞留することを防止できるので、連結空間４６Ａが流体のデッドボリュームとなることもない。このような構成は、逆止弁４０を設置した部分の高さが増加するものの、高いところから低いところへ流れる流体の自然の法則に従って流れるため、流体が淀むことなく流れる。
また、傾斜流路１２Ａで流れ方向が上向きになっているため、流体が傾斜流路１２Ａ及び連結用空間４６に留まり、デッドボリュームとなることがまだある。高さに余裕があれば、傾斜流路１２Ｂのようにすることで、デッドボリュームが全くない流路の流れを形成することができる。
【００２１】
ところで、上述した第１設置面１１Ａの円柱状空間１３と第３設置面１１Ｃの流路空間１６との間は、純水流路４の一部となる傾斜流路１２により連結されている。この傾斜流路１２は、高い位置にある第３設置面１１Ｃから流路空間１６にドリル等の工具を挿入して形成するものであり、円柱状空間１３との段差が大きいほど大きな傾斜の傾斜流路１２の加工が可能となる。
すなわち、隣接する設置面１１の段差を大きくすることにより、加工用の穴を設けなくても傾斜角度の大きい傾斜流路１２を容易に形成することができるようになり、従って、この傾斜流路１２により連結可能となる設置面１１間の間隔を狭めることができる。換言すれば、ベース部材１０の隣接する設置面１１間に段差を設けて傾斜流路１２で連結することにより、設置面１１に取り付ける流体機器間の設置間隔を狭めて小さくすることができ、この場合、段差が大きいほど傾斜流路１２の傾斜角度も大きくなるので、設置間隔を狭めることができる。
【００２２】
また、たとえば図１１に示すように、隣接する流体機器間を薬液流路２のような水平流路により連結して流体機器間の設置間隔を狭めることも可能ではあるが、このような水平流路の加工は、ベース部材１０の側面からドリル等の工具を用いて行う必要がある。このため、ベース部材１０の外部と連結する場合は加工用の穴を利用可能となるが、ベース部材１０の内部で流体機器間を連結する場合には、ベース部材１０の側面に形成された加工用の穴を塞いでシールする必要が生じることとなる。
【００２３】
同様に、第２設置面１１Ｂと第４設置面１１Ｄとの間についても、図８に示すように、ベース部材１０の上面と略一致するように形成された高い段の第２設置面１１Ｂ側から、ベース部材１０の上面を掘り下げるようにして形成された低い段の第４設置面１１Ｄ側に向けて、薬液リターン流路３となる傾斜流路１２が形成されている。なお、図中の符号１６は、第４設置面１１Ｄの下方に形成された流路空間である。
第２設置面１１Ｂには、たとえば図１に示すように、空気操作弁２０Ｂが上方から挿入して取り付けられ、第４設置面１１Ｄには、圧力センサ３０が上方から挿入して取り付けられる。なお、空気操作弁２０Ｂの連結部は、リング状凸部２２とリング状凹部１５との嵌合によりシールされ、圧力センサ３０の連結部は、Ｏリング３１を挟持した状態で押圧することによりシールされる。
【００２４】
ところで、上述した分割ボルト構造のボルト１７による締め付けは、たとえば図３に示すように、流体機器類のケーシング部材２３をベース部材１０との接合方向へ複数に分割し、ベース部材１０と密着する位置に配置されるケーシング部材２３のベース側部材２３ｃに、接合方向へ貫通する雌ねじ部１８を形成するとともに、ベース側部材１０を挟持して雌ねじ部１８に両側から各々異なるボルト１７，１７をねじ込んで締め付ける。このようなボルト１７の締め付けは、たとえば矩形断面の四隅に分配するなど複数箇所に分散させて均等配置することが好ましい。なお、上述した雌ねじ部１８は、たとえば両端部から中央部へ逆向きの雌ねじが形成された埋込ナット等により形成すればよい。
この結果、各ボルト１７毎に締付力の調整が容易になり、ケーシング部材２３をベース部材１０に密着させる力の調整が可能となるので、複数あるシール部を均等に締め付けて良好なシール性を得ることができる。
【００２５】
以下、上述した分割ボルト構造について、具体例を示した図１２に基づいて詳細に説明する。
上述したボルト１７と雌ねじ部１８による分割ボルト構造では、空気圧操作弁２０Ｂのケーシング部２３をベース部材１０に設置する際、ベース部材１０と密着する位置に配置されるベース側部材（弁座ボディー）２３ｃのベース面に、接合方向へ貫通する雌ねじ部１８を形成するとともに、ベース部材１０を挟持して雌ねじ部１８に両側から各々異なるボルト１７、１７をねじ込んで締め付けられている。本来であれば、図２に示す１本の貫通ボルト５０を用い、空気圧操作弁２０Ｂをベース部材１０に固定する構成を採用すればよいが、空気圧操作弁２０Ｂはアクチュエータが空気圧式の開閉弁であるため、空気圧操作弁２０Ｂを単体で見るとシール部が多数存在しており、従って、全てのシール部を１本の貫通ボルト５０で組み立てると、組立工程の複雑化や検査工程の複雑化を招くこととなり好ましくない。
【００２６】
つまり、空気圧操作弁２０Ｂは、空気圧動作を保障するためのＯリングシール部６０、６１、６２に加えて、空気圧操作弁２０Ｂの内部を流れる液体のシールを保障するシール部６３、弁体が開閉する際のシールを保障するシール部６４より構成されている。これらのシール箇所について、そのシール機能をベース部材１０に設置してから確認することは非常に困難で複雑な工程となる。しかも、まんがいちどこかに漏れがあった際には、全てを分解して対応しなくてはならず、組立工程が複雑化して好ましくない。
また、上述した流体機器ユニット１では、複数の流体機器が集積されているため、空気圧操作弁２０Ｂのように単体として多数のシール部分を有する複数の流体機器がベース部材１０に設置されることとなる。従って、流体機器の集積化が終了した後の完成品には、シール機能を確認しなくてはならないシール部が多数存在しており、各シール部毎の漏れ検査を実施する作業は非常に複雑化した工程となる。
また、まんがいち漏れがあった場合には、全てを分解してから組立をやり直す必要が生じるだけでなく、漏れの箇所を特定することも非常に難しいものとなる。従って、組立工程内で再組み立てのリスク、検査の簡略化なども同様に要求される。
【００２７】
このため、図２に示す貫通ボルト５１により組み立てることをしないで、雌ねじ部１８とボルト１７とによる分割ボルト構造を採用すると、空気圧操作弁２０Ｂは単体として管理することができる。すなわち、雌ねじ部１８とボルト１７とを使用することにより、空気圧操作弁２０Ｂを単体として取り扱う製造工程を組むことができるようになり、また、単体としてそれぞれのシール性を確認してから、ベース部材１０に設置することができるようになる。
【００２８】
最終的には、ベース部材１０の第１設置面１１Ａに空気圧操作弁２０Ｂを設置し、ボルト１７をベースの下より挿入して、雌ねじ部１８にねじ込むことにより、流体機器の集積回路として完成させることができる。なお、流体機器ユニット１のシール検査は、ベース部材１０のシール部分であるリング状凸部２２とリング状凹部１５との嵌合部のみを検査すればよいことになり、従って、ユニット組立ラインの検査が簡略化されるとともに、漏れ検査の際にも原因の特定が容易となる。
【００２９】
また、上述した流体機器ユニット１を納期の面から考えた際にも、空気圧操作弁２０Ｂのような流体機器について、仕様や機能等が異なる類似品を多種類製造して適量を在庫しておけば、顧客の要求に応じて適宜選択したものをベース部材１０に組み込んだ後、リング状凸部２２とリング状凹部１５との嵌合部についてのみ漏れ検査を実施して出荷することが可能となる。
上述した流体機器の類似品は、たとえばノーマルオープン及びノーマルクローズのように開閉モードが異なるもの、流量調整機能の有無が異なるものなど多種多様であり、ここに例示した機器類に限定されることはなく、流体機器単体としてシール部分が多数存在しているものを包含する。なお、図１３は調整機能付きの空気圧操作弁２０Ｂ′を示しており、上部に調整ノブ７０が設けられている。
【００３０】
上述したように、本発明の流体機器ユニット構造によれば、ベース部材１０に段差を設けて流体機器の設置面１１を複数形成し、ベース部材内部の傾斜流路１２で連結する構成としたので、隣接する流体機器間の間隔を狭めて流体機器類を集積させた一体化が可能となり、特に、フットプリントの低減に有効な流体機器ユニット構造となる。また、薬品等を取り扱う装置類においては、一般にフットプリントを小さくして設置スペースを低減することが強く求められる反面、上部空間には比較的余裕がある。従って、流体機器ユニット１が上下方向に設置面の段差程度大きくなっても比較的容易に対応可能であるから、この結果得られるフットプリントの低減効果は大きなものとなる。
【００３１】
また、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器間の連結に必要となる配管や継手類が少なくなるので、リークポイントが少なくなって信頼性が向上するとともに、メンテナンスが容易になるという利点を有している。
また、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器間が密着した配置となるので、流体が溜まり込むデッドスペースの容積が減少し、特に、高価な薬液等を取り扱う場合には無駄の少ない使用が可能となる。
さらに、上述した流体機器ユニット構造は、流体機器類を集積させて一体化するのに適した逆止弁が得られるので、流体機器ユニット構造のフットプリントをより一層低減することができる。特に、逆止弁を設けた流体機器ユニット構造においては、逆止弁を通過して流れる流体が弁体収納部の下端部を通過することにより、流体が弁体収納部内に滞留するという問題が解消される。
【００３２】
ところで、上述した実施形態においては、４つの設置面１１を設けたベース部材１０としたが、設置面１１の数や配置等については特に限定されることはなく、ユニット化する流体機器の数に応じて適宜変更可能である。また、設置面１１と流体機器との連結構造を雌ねじ部１８を使用する分割ボルト構造としておけば、流体機器の類似品を在庫しておくことにより、ベース部材１０を共用して種々の組合せとした流体機器類の設置も可能になる。また、流体機器を在庫しておくことにより、ゼロから全て組み立てを開始する場合と比較して、迅速な納期対応が可能となる。
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す要部断面図（図５のＡ−Ａ断面）である。
【図２】本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す要部断面図（図５のＢ−Ｂ断面）である。
【図３】本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す要部断面図（図５のＣ−Ｃ断面）である。
【図４】本発明に係る流体機器ユニット構造の一実施形態を示す外観斜視図である。
【図５】図４の平面図である。
【図６】図４に示す流体機器ユニットの流路構成例を示す系統図である。
【図７】ベース部材の構成例を示す平面図である。
【図８】図７のＤ−Ｄ断面図である。
【図９】図７のＥ−Ｅ断面図である。
【図１０】図７のＦ−Ｆ断面図である。
【図１１】図７のＧ−Ｇ断面図である。
【図１２】分割ボルト構造の具体例を示す断面図である。
【図１３】分割ボルト構造の他の具体例を示す断面図である。
【図１４】図２の弁体収納部に係る第１変形例を示す要部断面図である。
【図１５】図２の弁体収納部に係る第２変形例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１    流体機器ユニット
１０    ベース部材
１１    設置面
１１Ａ    第１設置面
１１Ｂ    第２設置面
１１Ｃ    第３設置面
１１Ｄ    第４設置面
１２，１２Ａ，１２Ｂ    傾斜流路
２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ    （第１〜第３の）空気圧操作弁
３０    圧力センサ
４０    逆止弁
４２，４２Ａ，４２Ｂ    弁体収納部
４５，４５Ａ，４５Ｂ    流体出口
４６，４６Ａ    連結用空間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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