(57)【要約】      （修正有）【課題】耐環境性の高い磁気記録媒体の検査方法、その検査方法を有する磁気記録媒体の製造方法を提供する。【解決手段】非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体を表面特性評価を用いて検査する磁気記録媒体の検査方法である。この検査方法は磁気記録媒体に液体潤滑層を形成させた後、該磁気記録媒体を、大気中、５０℃〜１５０℃の温度範囲で、４時間〜２８０時間加熱し、その後、該磁気記録媒体を、表面特性評価を用いて検査する方法である。  磁気記録媒体の製造方法は製造工程中に上記の検査の工程を含むものである。【選択図】図２
2007328828.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体を表面特性評価を用いて検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体に液体潤滑層を形成させた後、該磁気記録媒体を、５０℃〜１５０℃の温度範囲で、４ 時間〜２８０時間加熱し、その後、該磁気記録媒体を、表面特性評価を用いて検査することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項２】
加熱温度をＴ（℃）、加熱時間をｔ（時間）とした場合、下記式の関係を満たす時間より長く加熱することを特徴とする、請求項１に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【化１】
2007328828.tif 000006
【請求項３】
表面特性評価が、磁気記録媒体を磁気抵抗効果素子ヘッドを用いたサーマル・アスペリティを検出する特性評価であることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項４】
液体潤滑剤の厚さが１．５ｎｍ〜２．５ｎｍである請求項1〜３のいずれかに記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項５】
液体潤滑剤層が、パーフルオロポリエーテル化合物であることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の磁気記録媒体の検査方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の磁気記録媒体の検査方法において、磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
【請求項７】
非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体の製造方法において、製造工程中に請求項１〜６のいずれかに記載の検査工程を含む磁気記録媒体の製造方法。
【請求項８】
検査工程において、磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする請求項７に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録再生装置などに用いられる磁気記録媒体の検査方法、および該検査工程を有する磁気記録媒体の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置（ＨＤＤ）は、現在その記録密度が１５０Ｇビット／平方インチにまで到達しおり、さらに今後も年率３０％の記録密度の向上が続くと言われている。このために高記録密度に適した磁気記録媒体の開発が進められている。
磁気記録再生装置に用いられる磁気記録媒体としては、磁気記録媒体用の基板にスパッタリング法により金属膜を積層し、その上にカーボン等の保護膜を形成し、その上に液体潤滑剤である、パーフルオロポリエーテル化合物を塗布した構造が主流となっている。
【０００３】
このような、磁気記録媒体の製造工程において、磁気記録媒体に液体潤滑剤を塗布した後、その磁気記録媒体を熱処理することが知られている。例えば、潤滑層と保護膜表面の相互作用高め、強い相互作用で保護膜に被着する潤滑層を構築するため、磁気記録媒体に潤滑層を形成した後、磁気記録媒体を、５０〜２８０℃の範囲で、５分〜３０時間程度の熱処理を施すことが開示され、実施例では１３０℃で１時間の熱処理を行っている（例えば、特許文献１参照。）。また、磁気記録媒体上の炭素系保護膜に強度に吸着する潤滑物質を提供し、磁気記録媒体の寿命、耐久性及び信頼性の向上をはかるため、磁気記録媒体に潤滑物質を塗布した後、磁気記録媒体を、８０〜２５０℃の温度範囲から選ばれた加熱温度で、５〜６０分熱処理することが開示されている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００４】
また、磁気記録媒体に浮上型磁気ヘッドを用いた磁気記録再生装置においては、磁気記録媒体の表面上で磁気ヘッドを高速で走行させ、磁気ヘッドと磁気記録媒体の間に生じる動圧を利用して磁気ヘッドを浮上させている。通常、磁気記録媒体はディスク形状であり、磁気記録媒体を高速で回転することにより磁気ヘッドを浮上させているが、この時の回転数は一万五千 回転／分にも及ぶことから、磁気記録媒体の表面上に突起がある場合には、磁気ヘッドがこの突起に接触して、正常な動作が困難となり、場合によっては、磁気ヘッドあるいは磁気記録媒体に損傷を生じることとなる。このため、磁気記録媒体の表面上にこれらの突起、異物が存在せず、平滑であることを確認するために、グライド高さと呼ばれる特性の評価が行われている（例えば、特許文献３、４参照。）。
【０００５】
さらに、近年、磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）を用いた磁気ディスク装置が提案されている。又、磁気記録媒体の高密度化に伴って、ＭＲヘッドの磁気記録媒体からの浮上量が少なくなってきている。このため、ＭＲヘッドが磁気記録媒体上に不可避的に存在する欠陥である突起物に衝突して、その際に生じる摩擦熱から、ＭＲヘッドより再生される信号波形が変動する現象、即ち、サーマル・アスペリティが問題となっている（例えば、特許文献５参照。）。
【０００６】
以上のように、磁気記録媒体は、非磁性基板上に、非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層等を設けて製造され、その後、必要に応じて熱処理がなされ、さらに、表面特性評価による検査工程を経て磁気記録再生装置に組み込まれ使用される。しかしながら、表面特性評価を通過した磁気記録媒体であっても、その後の使用において、磁気記録媒体上の突起と磁気ヘッドとが接触し、磁気記録再生装置が使用不能となる場合があった。
【０００７】
この原因について本発明者が調査したところ、磁気記録再生装置内部からの発塵により、磁気記録媒体が汚染し、その汚染によって磁気記録媒体上の突起が形成している場合が見られた。しかしながら、中には、磁気記録媒体の製造過程で形成した突起が原因である場合も見られた。
【特許文献１】特開平８−３０９６２号公報
【特許文献２】特開平５−９３１９４号公報
【特許文献３】特開平１１-２６００１４号公報
【特許文献４】特開平７-３２６０４９号公報
【特許文献５】特開平１０−１０５９０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は磁気記録媒体の製造過程において発生する不良品の従来不可能であった表面特性評価による検査方法での発見を可能とし、その検査によって不良品を除去して品質の向上を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者は、上記原因を究明すべく鋭意努力検討した結果、磁気記録媒体の製造過程に起因する突起物が以下の理由で形成されることを明らかにした。
（１）磁気記録媒体上に塗布した液体潤滑剤である、パーフルオロポリエーテル化合物が、磁気記録媒体表面で凝集し、その液体潤滑剤の凝集が突起部を覆い隠し、磁気記録媒体表面に形成した突起部と磁気ヘッドとが接触するのを防いでいること、そしてその凝集した液体潤滑剤は、磁気記録再生装置内での磁気記録媒体の使用にともなって、徐々にその凝集が解けること、そして磁気記録媒体の表面特性評価工程では液体潤滑剤により覆われていた突起部が徐々にその表面に現れること、その結果、磁気記録媒体上の突起と磁気ヘッドとが接触し、磁気記録再生装置が使用不能となること。
【００１０】
（２）磁気記録媒体に付着していた汚染物が、磁気記録再生装置内部での使用環境によって徐々に成長して大きな突起物となり、その結果、その突起と磁気ヘッドとが接触し、磁気記録再生装置が使用不能となること。
本発明者は、上記理由の解決策を検討した結果、本発明の磁気記録媒体の検査方法、および該検査方法を有する磁気記録媒体の製造方法に到達した。すなわち、本発明は以下に関する。
【００１１】
（１）非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体を表面特性評価を用いて検査する磁気記録媒体の検査方法であって、磁気記録媒体に液体潤滑層を形成させた後、該磁気記録媒体を、５０℃〜１５０℃の温度範囲で、４ 時間〜２８０時間加熱し、その後、該磁気記録媒体を、表面特性評価を用いて検査することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（２）加熱温度をＴ（℃）、加熱時間をｔ（時間）とした場合、下記式の関係を満たす時間より長く加熱することを特徴とする、上記（１）に記載の磁気記録媒体の検査方法。
【化２】
2007328828.tif 000003
【００１２】
（３）表面特性評価が、磁気記録媒体を磁気抵抗効果素子ヘッドを用いたサーマル・アスペリティを検出する特性評価であることを特徴とする上記（１）または（２）に記載の磁気記録媒体の検査方法。
（４）液体潤滑剤の厚さが１．５ｎｍ〜２．５ｎｍである上記（１）〜（３）のいずれかに記載の磁気記録媒体の検査方法。
（５）液体潤滑剤層が、パーフルオロポリエーテル化合物であることを特徴とする上記（１）〜（４）のいずれかに記載の磁気記録媒体の検査方法。
【００１３】
（６）上記（１）〜（５）のいずれかに記載の磁気記録媒体の検査方法において、磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする磁気記録媒体の検査方法。
（７）非磁性基板上に、少なくとも非磁性下地層、磁性層、保護層および液体潤滑剤層を有する磁気記録媒体の製造方法において、製造工程中に上記（１）〜（６）のいずれかに記載の検査工程を含む磁気記録媒体の製造方法。
（８）検査工程において、磁気記録媒体の表面の突起物を検出し、所定の高さの突起物を含む磁気記録媒体を不良品として除外することを特徴とする上記（７）に記載の磁気記録媒体の製造方法。
【発明の効果】
【００１４】
本発明は、磁気記録再生装置などに用いられる磁気記録媒体において、従来の表面特性評価では検知できなかった 磁気記録媒体上の突起物を検知する磁気記録媒体の検査方法を提供する。そして、これにより信頼性が高く、かつ、耐環境性の高い磁気記録媒体の製造方法を提供可能とする効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の磁気記録媒体の検査方法は、非磁性基板上に、非磁性下地層、磁性層および保護層をこの順番で積層し、その表面に、液体潤滑剤を塗布した磁気記録媒体において、 磁気記録媒体を特定の条件下で熱処理し、その後、表面特性評価を実施することにより行う。
【００１６】
以下図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係る磁気記録媒体の実施形態を示すもので、ここに示す磁気記録媒体は、非磁性基板１００の上に、非磁性下地層２００、磁性層３００、保護層４００、液体潤滑層５００を順次積層させたものである。
本発明に係る非磁性基板１００としては、Ａｌ、Ａｌ合金などの金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金からなる膜が形成されたものを用いることができる。非磁性基板１００としては、ガラス、セラミックス、シリコン、シリコンカーバイド、カーボン、樹脂などの非金属材料からなるものを用いてもよいし、この非金属材料からなる基体上にＮｉＰまたはＮｉＰ合金の膜を形成したものを用いてもよい。
【００１７】
非金属材料としては、表面平滑性の点から、ガラス、シリコンから選ばれるいずれか１種が好ましい。特に、コストおよび耐久性の点からガラスを用いるのが好ましい。ガラスとしては、結晶化ガラスまたはアモルファスガラスを用いることができる。アモルファスガラスとしては汎用のソーダライムガラス、アルミノほう珪酸ガラス、アルミノシリケートガラスを使用できる。結晶化ガラスとしては、リチウム系結晶化ガラスを用いることができる。
【００１８】
セラミックス基板としては、汎用の酸化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体やそれらの繊維強化物が挙げられる。記録密度を高めるため、磁気ヘッドの低フライングハイト化が要求されていることから、非磁性基板１００の表面平滑性を高めることが望ましい。すなわち、非磁性基板１００は、表面平均粗さＲａが０．５ｎｍ以下、好ましくは０．３ｎｍ以下であることが望ましい。
非磁性基板上には、非磁性下地層２００が形成される。非磁性下地層２００としてはＣｒ合金等が用いられる。
本発明における磁性層３００は、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｔａ系、Ｃｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ−Ｔａ系合金等が用いられる。
【００１９】
本発明のおける保護層４００は、従来の公知の材料、例えば、カ−ボン、ＳｉＣの単体またはそれらを主成分とした材料を使用することができる。保護層４００の膜厚は１ｎｍ〜１０ｎｍの範囲内であるのが高記録密度状態で使用した場合の、磁気的スペ−シングの低減または耐久性の点から好ましい。磁気的スペーシングとは、磁気ヘッドのリードライト素子と磁性層３００との距離を表す。磁気的スペーシングが狭くなるほど電磁変換特性は向上する。
本発明では、保護層上に液体潤滑層５００を設ける。本発明の液体潤滑層の層厚は、１．５ｎｍ〜２．５ｎｍの範囲内が好ましい。本発明では特に、液体潤滑剤としてパ−フルオロポリエ−テル化合物を用いるのが好ましい。パ−フルオロポリエ−テル化合物からなる潤滑層は、この後に行う熱処理工程の熱処理条件下で、表面が平滑化しやすく、よって、磁気記録媒体表面に存在する突起が表面特性評価によって検知しやすくなる。
【００２０】
本発明の表面特性評価とは、いわゆる、グライド評価や、ＴＡ（サーマル・アスペリティ）グライド評価を含むものである。グライド評価は、圧電素子をつけたヘッドを用いて磁気記録媒体表面を走査し、ヘッドが磁気記録媒体表面に形成した突起部に触れた場合の圧電素子からのシグナルを検知し、磁気記録媒体表面の平滑度を評価する方法である。またＴＡグライド評価は、検査ヘッドとしてＭＲヘッドを用いて、ＭＲヘッドが磁気記録媒体表面上の突起部に衝突た際に生じる摩擦熱から、ＭＲヘッドより再生される信号波形が変動する現象、即ち、サーマル・アスペリティを検出し、そのシグナルから磁気記録媒体表面の平滑度を評価する方法である。
本願発明の熱処理により磁気記録媒体表面に新たに現れる突起部は、非常に微小である。そのため、本願発明の検査方法では、表面形状特性評価として感度の高い、ＴＡグライド評価を用いるのが好ましい。
【００２１】
本発明では、磁気記録媒体に液体潤滑層を形成させた後、該磁気記録媒体を、大気中、５０℃〜１５０℃の温度範囲で、４時間〜２８０時間加熱処理を行う。前述したように、磁気記録媒体の製造過程に起因する、磁気記録媒体表面の突起物の生成は、突起物を覆っていた液体潤滑剤の凝集が解け、液体潤滑層が平滑化することにより、突起物が表面に現れること、磁気記録媒体表面に付着していた汚染物が、磁気記録再生装置内部での使用環境において徐々に成長して突起物として現れること、が原因である。その何れの現象も、本発明の熱処理条件下において、顕著に発現させることが可能である。この過程の前者を図２を用いて模式的に説明する。図２の（ａ）に示すように、磁気記録媒体表面１に突起物２が存在する場合において、その表面に液体潤滑剤を塗布すると、（ｂ）に示すように、液体潤滑剤が凝集して突起が液体潤滑剤層３に覆い隠されてしまう場合がある。この磁気記録媒体を本発明の熱処理条件で加熱処理を行うと、（ｃ）に示すように、液体潤滑剤層４のごとく凝集が解け、液体潤滑層が平滑化することにより、突起物が表面に現れる。
【００２２】
本発明では、磁気記録媒体の熱処理を好ましくは大気中で行うが、これは、磁気記録媒体を磁気記録再生装置内部での使用環境と同じにして、磁気記録媒体の表面に付着した汚染物を徐々に成長させるためである。
本発明の磁気記録媒体の検査方法では、その、表面特性評価の前に、５０℃〜１５０℃の温度範囲で、４ 時間〜２８０時間、好ましくは３２時間〜１００時間加熱処理を行う。この熱処理温度及び熱処理時間には、相対的な関係がある。すなわち、熱処理温度が低い場合は、熱処理時間を長くし、逆に、熱処理温度が高い場合は、熱処理時間が短くできる。本発明者の実験によると、加熱時間４時間〜２８０時間の範囲内で、下記式を満たす時間より長く加熱するのが好ましい。
【化３】
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【００２３】
本発明者らは、液体潤滑剤の凝集が解ける温度及び時間の関係を実験的に調べ、その関係が反応速度論的に説明できることを発見し、その関係をアレニウスの式から解明した。
上式は実施例より活性化エネルギーを求め、７０℃での表面特性評価結果が９６時間で飽和していることを基にして、ある温度Ｔ℃での飽和に達するまでの時間ｔを求める形で表したものである。
【００２４】
熱処理温度が５０℃より低い場合、または、熱処理時間が４ 時間より短い場合は、突起物を覆っている液体潤滑剤の凝集を解き、液体潤滑層を平滑化することができず、また、磁気記録媒体 に付着している汚染物を徐々に成長させることができない。熱処理温度が１５０℃より高い場合、または、熱処理時間が２８０時間より長い場合は、液体潤滑剤が熱により変質する可能性が高くなり、また、磁気記録媒体の生産性が著しく低下する。
【００２５】
前述したように、液体潤滑剤を塗布した磁気記録媒体を熱処理することは公知である（例えば、特許文献１、２参照。）。しかしながら、これらの熱処理は、主に、保護膜と潤滑層との吸着強度を高める目的で行われ、その熱処理時間は、本発明の熱処理時間に比べきわめて短時間である。また長時間の熱処理を行う場合は、加熱温度は低かった。すなわち、従来の熱処理条件下では、本発明が目的とする、突起物を覆っていた液体潤滑剤の凝集が解き、液体潤滑層が平滑化させることにより、突起物を表面に現すこと、または、磁気記録媒体表面に付着していた汚染物を、徐々に成長させて突起物として現すことは実現できない。
【００２６】
本発明では、前記の熱処理を施した磁気記録媒体にを、表面特性評価を用いて検査する。以下に、磁気記録媒体の表面特性評価の概要を説明する。
表面特性評価では、磁気記録媒体の表面から所定の浮上量で表面特性評価ヘッドを磁気記録媒体面上に浮上させる。この浮上量を浮上保証高さ（グライドハイト）という。表面特性評価ヘッドは、磁気記録媒体の回転により流入する空気流により、表面特性評価ヘッドの前端部が高く、後端部が低い浮上姿勢となる。したがって、表面特性評価ヘッドの磁気記録媒体と対向する浮上面の後端部が最下点となり、この後端部と磁気記録媒体の表面との距離がグライドハイトとなる。
【００２７】
磁気記録媒体の表面の突起部の高さがグライドハイトより高い場合は、表面特性評価用ヘッドがこの突起部に接触し、その衝撃波が表面特性評価用ヘッドのスライダ上面に配設された接触検知センサに伝播し、この接触検知センサに電圧が誘起され、この電圧が接触検知センサの出力信号となる。そして、この突起部を１箇所でも有する磁気記録媒体は通常、不良品として除外される。もしこのような欠陥を有する磁気記録媒体が磁気記録再生装置に組み込まれると、ヘッドクラッシュ等が発生してしまうからである。
【００２８】
また本発明では、前述の表面特性評価として、磁気記録媒体を磁気抵抗効果素子を用いた磁気ヘッドを用いて再生する際に発生するサーマル・アスペリティを検出する特性評価を行うことが好ましい。このような評価を行うことにより、従来の圧電素子を用いた表面特性評価では検知しにくい、磁気記録媒体表面に形成された、より小さな突起物を検出することが可能となる。さらに、サーマル・アスペリティを検出する特性評価方法は、磁気記録媒体の実際の使用環境と酷似した評価方法であることから、ＭＲヘッドを用いた磁気記録再生装置内でサーマル・アスペリティを発現する可能性のある磁気記録媒体を未然に除去することが可能となり、より信頼性が高く、耐環境性の高い磁気記録媒体を提供することが可能となる。
【００２９】
以下、サーマル・アスペリティを検出する特性評価について詳細に説明する。
磁気記録媒体に記録された情報の再生等に、磁気抵抗効果素子を用いたＭＲヘッドが多用されるようになっている。ＭＲヘッドは、抵抗にセンス電流と呼ばれる電流を流しておき、そこへ磁気が誘導されると抵抗値が変わり電流が変化するため、その電流の変化を読み取るというヘッドである。
ＭＲヘッドは、従来の誘導型のヘッドに対して、記録密度が５倍〜１０倍と、非常に高くなっている。その一方、ＭＲヘッドは、温度上昇に敏感で 、温度が上昇すると抵抗値が変わってしまい、その結果、電流値も変わってしまうという欠点を有している。そのため、再生中、高速で動いている磁気記録媒体上に存在する突起にヘッドが接触すると、瞬間的に熱が発生し、抵抗値が上がり、再生信号の出力電圧レベルが変動する。これをサーマル・アスペリティという。本発明で用いる、サーマル・アスペリティを検出する特性評価とは、ＭＲヘッドを用いて、サーマル・アスペリティを検出して、磁気記録媒体の表面に形成した突起物の調べる評価方法である。
【００３０】
以上説明したように、従来の磁気記録媒体の検査方法では、磁気記録再生装置に組み込まれた磁気記録媒体の使用環境によっては、磁気記録媒体表面の突起部を覆い隠していた液体潤滑剤の凝集が解け、その突起部が表面に現れること、または、磁気記録媒体表面の汚れが成長し、突起部として表面に現れることがあった。しかしながら、本発明の磁気記録媒体の検査方法を用いて磁気記録媒体を製造した場合、このような現象が発現する可能性のある磁気記録媒体を未然に除去することが可能となり、より信頼性が高く、耐環境性の高い磁気記録媒体を提供することが可能となる。
【００３１】
図３は、上記磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置の例を示すものである。ここに示す磁気記録再生装置は、上記構成の磁気記録媒体１０と、磁気記録媒体１０を回転駆動させる媒体駆動部１１と、磁気記録媒体１０に情報を記録再生する磁気ヘッド１２と、この磁気ヘッド１２を磁気記録媒体１０に対して相対運動させるヘッド駆動部１３と、記録再生信号処理系１４とを備えている。記録再生信号処理系１４は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド１２に送ったり、磁気ヘッド１２からの再生信号を処理してデータを外部に送ることができるようになっている。
磁気ヘッド１２には、再生素子として巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）を利用したＭＲ（ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔａｎｃｅ）素子だけでなく、トンネル磁気抵抗効果（ＴＭＲ）を利用したＴＭＲ素子などを有する、高記録密度に適したヘッドを用いることができる。
ＴＭＲ素子を用いることによって、さらなる高密度記録化が可能となる。
【実施例】
【００３２】
以下、具体例を示して本発明の磁気記録媒体の検査方法、および該検査方法を有する磁気記録媒体の製造方法の効果を明確にする。
（実施例・比較例）
非磁性基板には、ＭＹＧ社製アモルファスガラス基板ＭＥＬ−３を使用した。ガラス基板のサイズは外径６５ｍｍ、内径２５ ｍｍ、板厚１．２７０ ｍｍである。
この基板を十分に洗浄し乾燥した後、ＤＣマグネトロンスパッタ装置（アネルバ社（日本）製Ｃ３０１０）内にセットした。真空到達度を２×１０-7Ｔｏｒｒ（２．７×１０-5Ｐａ）まで排気した後、非磁性下地層として、Ｃｒ−Ｍｎ合金（Ｃｒ：７０ａｔ％、Ｍｎ：３０ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて６ｎｍ積層した。磁性層としてＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金（Ｃｏ：６０ａｔ％、Ｃｒ：２０ａｔ％、Ｐｔ：１３ａｔ％、Ｂ：７ａｔ％）からなるタ−ゲットを用いて磁性層であるＣｏ−Ｃｒ−Ｐｔ−Ｂ合金層を１７ｎｍの膜厚で形成し、保護膜（カ−ボン）３ｎｍを積層した。成膜時のＡｒ圧は３ｍＴｏｒｒ（０．４Ｐａ）とした。その後、パ−フルオロポリエ−テルからなる潤滑剤２ｎｍをディップ法で塗布し液体潤滑層を形成した。
【００３３】
その後グライドテスタ−を用いて、テスト条件のグライド高さを０．３μインチとして、圧電素子を付けたヘッドを用いて表面特性評価を行ない、合格した磁気記録媒体について、ＭＲヘッドを用いてサーマル・アスペリティを検出する特性評価を行った。
サーマル・アスペリティを検出する特性評価で合格した磁気記録媒体について表１の条件下で熱処理を行った。熱処理を行った磁気記録媒体の枚数は、各条件５００枚とした。
熱処理後、再度、 サーマル・アスペリティを検出する特性評価を行った。各評価で不合格となった枚数を表１に記載する。
【表１】
2007328828.tif 000005
【００３４】
また不合格となった磁気記録媒体に関し、表面で確認された突起部分の代表的な例の光学顕微鏡写真を図４〜図７に示す。なお、図中のＩＤ，ＯＤはそれぞれ、基板の内周側および外周側を示す。これらの突起部分を解析したところ、図４は製造工程の製造装置から付着した汚れに起因する突起、図５、６はガラス基板に起因する突起、図７は磁性膜等のスパッタ工程前の汚れに起因する突起であり、何れの突起も磁気記録媒体の製造工程に起因するものであった。すなわち、本発明の検査方法を用いることにより、従来の表面特性評価、すなわち、サーマル・アスペリティを検出する特性評価では検知できなかった磁気記録媒体表面の突起を検知でき、これにより信頼性が高く、かつ、耐環境性の高い磁気記録媒体を提供することが可能となった。従来は比較品のものは良品として出荷される恐れがあったが、非常に過酷な使用環境においては、場合によって、使用中に欠陥を生じる可能性があるものであり、ハードディスクドライブとして動作中の欠陥訂正処理機能の負担を増加させる可能性がある。
【産業上の利用可能性】
【００３５】
本発明の検査方法により、従来の検査では不良品として検出されず、使用中に突起が発現し、不良品となる磁気記録媒体も検査で検出可能であり、この不良品を予め除去することができるので、信頼性の高い製品とすることができ、産業上の利用価値は高い。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の垂直磁気記録媒体の断面構造を示す図である。
【図２】本発明の熱処理過程における潤滑剤層の変化を模式的に示す図である。
【図３】本発明の垂直磁気記録再生装置の構造を示す図である。
【図４】本発明により検知された、製造工程の製造装置から付着した汚れに起因する突起を示す図である。
【図５】本発明により検知された、ガラス基板に起因する突起を示す図である。
【図６】本発明により検知された、ガラス基板に起因する突起を示す図である。
【図７】本発明により検知された、磁性膜等のスパッタ工程前の汚れに起因する突起を示す図である。
【符号の説明】
【００３７】
１００  非磁性基板
２００  非磁性下地層
３００  磁性層
４００  保護層
５００  液体潤滑層
１  磁気記録媒体表面
２  突起物
３  液体潤滑剤層
４  液体潤滑剤層
１０  磁気記録媒体
１１  媒体駆動部
１２  磁気ヘッド
１３  ヘッド駆動部
１４  記録再生信号処理系
ＩＤ  基板の内周側
ＯＤ  基板の外周側
【図１】
2007328828.tif 000007
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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