(57)【要約】【課題】  欠陥の検出性能が良好で、欠陥とノイズとの識別が十分に行える渦電流探傷装置を提供することを目的とする。【解決手段】  それぞれ同一方向に渦電流を発生させる複数のコイル９ａ，９ｄで形成された第一探傷部１２と、第一探傷部１２と隣り合って略点対称に配置され、それぞれコイル９ａ，９ｄと反対方向に渦電流を発生させる複数のコイル９ｂ，９ｃで形成された第二探傷部１４と、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄからそれぞれ単独のアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を受取り、それらを合成する信号処理部７と、が備えられていることを特徴とする。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ同一方向に渦電流を発生させる複数の第一コイルで形成された第一探傷部と、
該第一探傷部と隣り合って略点対称に配置され、それぞれ前記第一コイルと反対方向に渦電流を発生させる複数の第二コイルで形成された第二探傷部と、
前記各第一コイルおよび前記各第二コイルからそれぞれ単独のアブソリュート信号を受取り、それらを合成する信号処理部と、
が備えられていることを特徴とする渦電流探傷装置。
【請求項２】
前記信号処理部では、前記各アブソリュート信号の時系列変化を用いて処理することを特徴とする請求項１に記載の渦電流探傷装置。
【請求項３】
前記信号処理部では、前記信号処理部では、前記各アブソリュート信号と、それらの差分を示すディファレンシャル信号と、を用いて処理することを特徴とする請求項２に記載の渦電流探傷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、渦電流探傷装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
渦電流探傷装置では、ほとんど検出用のコイル等を備えたプローブが用いられている。この渦電流探傷装置で検査対象の複雑形状部を探傷する場合、プルーブと検査対象との距離（リフトオフ）の変動、プルーブ（コイル）の傾き、検査対象の変形等によって欠陥信号と識別が困難な信号（ノイズ）が発生する。
これらのノイズを解消するため、種々の方式が用いられている。（例えば、特許文献１、特許文献２参照）
これらは、ほとんどがコイルをホイーストンブリッジの要素として組み込み、ノイズを相互に打ち消すようにするものである。
【０００３】
【特許文献１】特開昭５９−１０８４６号公報
【特許文献２】特許第３３４３８６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、いずれの方式でも、検出性能、全ての種類の欠陥検出、あるいは、欠陥とノイズとの識別が十分行えるものはないのが現状であった。
【０００５】
本発明は、上記問題点に鑑み、欠陥の検出性能が良好で、欠陥とノイズとの識別が十分に行える渦電流探傷装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用する。
すなわち、本発明にかかる渦電流探傷装置は、それぞれ同一方向に渦電流を発生させる複数の第一コイルで形成された第一探傷部と、該第一探傷部と隣り合って略点対称に配置され、それぞれ前記第一コイルと反対方向に渦電流を発生させる複数の第二コイルで形成された第二探傷部と、前記各第一コイルおよび前記各第二コイルからそれぞれ単独のアブソリュート信号を受取り、それらを合成する信号処理部と、が備えられていることを特徴とする。
【０００７】
本発明によると、第一探傷部および第二探傷部を励磁させ検査対象に沿って移動させ、それらを構成する複数の第一コイル及び複数の第二コイルのそれぞれの、例えば、電圧あるいはインピーダンスの変化を示すアブソリュート信号を信号処理部に送信する。信号処理部では、受取った各アブソリュート信号を合成して種々の欠陥を検出する。
この時、第一探傷部を形成する複数の第一コイルは同一方向に渦電流を発生させ、第二探傷部を形成する複数の第二コイルは第一コイルと反対方向に渦電流を発生させるので、第一探傷部で形成される渦電流と第二探傷部で形成される渦電流とは逆方向に向いた渦電流が形成される。
この第一探傷部と第二探傷部とは隣り合って略点対称に配置されているので、第一探傷部と第二探傷部との間では第一探傷部の渦電流と第二探傷部の渦電流とが同一方向に流れ、それ以外のところでは、逆方向の流れとなる。
【０００８】
このため、第一探傷部の渦電流と第二探傷部の渦電流とを合成するとそれ以外のところでは渦電流の効果が相互に打ち消され、一方、第一探傷部と第二探傷部との間では渦電流が同一方向に集中するので、微小欠陥の検出性能を向上させることができる。
また、信号処理部は各第一コイルおよび各第二コイルのアブソリュート信号を用いるので、各第一コイルおよび各第二コイルを一斉に励磁させる必要を無くすことができ、これらを時分割で励磁させることができる。
これにより、例えば、励磁用の発振器を小型化できる。
なお、対称中心点を含む第一探傷部と第二探傷部との中間点を結んだ対象中心線は第一探傷部および第二探傷部の移動方向に対して傾斜するように構成するのが、良好な欠陥検出を行うのに好適である。
また、対象中心線に沿って、第一コイルおよび第二コイルがそれぞれ複数配置されるのが好適である。
【０００９】
また、本発明にかかる渦電流探傷装置は、前記信号処理部では、前記各アブソリュート信号の時系列変化を用いて処理することを特徴とする。
【００１０】
第一探傷部および第二探傷部と検査対象との距離（リフトオフ）の変動、第一探傷部および第二探傷部の傾き、並びに検査対象の傾きは、第一探傷部および第二探傷部に対して一斉に発生するので、各第一コイルおよび各第二コイルのアブソリュート信号は、略同一時刻に変動する。
一方、種々の欠陥については、各第一コイルおよび各第二コイルがそれらを通過する時刻が相違するので、各第一コイルおよび各第二コイルのアブソリュート信号は、時系列で見ると別々の時刻に変動する。
したがって、各第一コイルおよび各第二コイルのアブソリュート信号の時系列変化を用いて処理すると、第一探傷部および第二探傷部と検査対象との距離（リフトオフ）の変動、第一探傷部および第二探傷部の傾き、並びに検査対象の傾きは、欠陥と区別することができるので、信号の識別性を向上させることができる。
【００１１】
また、本発明にかかる渦電流探傷装置は、前記信号処理部では、前記各アブソリュート信号と、それらの差分を示すディファレンシャル信号と、を用いて処理することを特徴とする。
【００１２】
アブソリュート信号は、検査対象との距離変動を直接表すので、検査対象の凹凸を測定できる。また、検査対象の透磁率、電気抵抗の絶対値を測定できるので、例えば、マグネタイト等の付着物の量を測定することができる。
さらに、相互に逆方向の渦電流を形成する第一コイルと第二コイルとの差分を示すディファレンシャル信号を用いると、変動が加算されることになるので、測定性能を向上させることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第一探傷部と第二探傷部との間では渦電流が同一方向に集中するので、微小欠陥の検出性能を向上させることができる。
また、信号処理部は各第一コイルおよび各第二コイルのアブソリュート信号を用いるので、各第一コイルおよび各第二コイルを一斉に励磁させる必要を無くすことができ、これらを時分割で励磁させることができる。
これにより、例えば、励磁用の発振器を小型化できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の一実施形態にかかる渦電流探傷装置１について、図１〜図１５を参照して説明する。
図１は、渦電流探傷装置１の概略構成を示すブロック図である。
渦電流探傷装置１には、発振器３と、検査部５と、信号処理部７とが備えられている。
【００１５】
発振器３は、検査部５に交流の電流を供給するものである。
検査部５には、４個のコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄが備えられている。４個のコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄは、略同一平面を形成し、それらの中心が略正方形の各頂点に対応する位置に配置されている。
なお、４個のコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄは、略正方形を形成せず、菱形を形成するように配置されてもよい。
４個のコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄは、この順序で時計まわりに配置されている。
【００１６】
コイル９ａとコイル９ｄとは、同相に巻かれているので、それらによって発生する渦電流１１ａおよび渦電流１１ｄは、同じ方向、例えば、反時計回りとなる。
これによって、コイル９ａおよびコイル９ｄのまわりには、図２に示されるように合成された略長円形状の渦電流１３が形成される。
コイル９ａ，９ｄはそれぞれ本発明の第一コイルを構成し、両者は第一探傷部１２を構成している。
【００１７】
コイル９ｂとコイル９ｃとは、同相で、コイル９ａ，９ｄとは逆相に巻かれているので、それらによって発生する渦電流１１ａおよび渦電流１１ｄは、同じ方向、例えば、時計回りとなる。
これによって、コイル９ｂおよびコイル９ｃのまわりには、図２に示されるように合成された略長円形状の渦電流１５が形成される。
コイル９ｂ，９ｃはそれぞれ本発明の第二コイルを構成し、両者は第二探傷部１４を構成している。
【００１８】
コイル９ａ，９ｄで形成される第一探傷部１２とコイル９ｂ，９ｃで形成される第二探傷部１４とは、正方形の中心である中心点Ｃに対して略点対称の関係に配置されている。第一探傷部１２と第二探傷部１４とは、鏡像の関係にある。
渦電流１３と渦電流１５とは反対方向に形成されるので、その影響は外側では相互に打ち消され、内側では強められる。すなわち、中心点Ｃを通る第一探傷部１２と第二探傷部１４との中間位置では、渦電流１３および渦電流１５が同じ方向に形成されるので、加算されて集中した渦電流１７が形成される。
【００１９】
信号処理部７は、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄからの信号を受け取って処理するものである。
この信号は、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄにおける、例えば、インピーダンス、電圧等を示すアブソリュート信号そのものである。
信号処理部７は、コイル９ａのアブソリュート信号ＡＳ１、コイル９ｂのアブソリュート信号ＡＳ２、コイル９ｃのアブソリュート信号ＡＳ３およびコイル９ｄのアブソリュート信号ＡＳ４を受取り、例えば、それらを合成する、それらの差分信号を形成する、この差分信号の差分信号を形成する、これらの各信号の時系列変化をチェックする等の処理を行なうように構成されている。
【００２０】
以上のように構成された本実施形態にかかる渦電流探傷装置１の動作について説明する。
検査部５の各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄが検査対象１９に対して略等間隔となるように渦電流探傷装置１を位置させる。
この時、コイル９ａとコイル９ｃとが、渦電流探傷装置１の移動方向（Ｙ方向）２１に略整列するように位置させる。
そして、発振器３によってコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄに対し同時に交流電流を印加すると、形成される渦電流１７は移動方向２１に対して略４５°の傾斜を持つように形成される。
【００２１】
この状態で、検査部５を移動方向２１に沿って移動させると、渦電流１７が移動方向２１に対して傾斜するように形成されるので、図３に示される移動方向２１に沿ったＹ方向欠陥ＫＹあるいは図４に示される移動方向２１に略直交するＸ方向欠陥ＫＸに対して渦電流１７は交差することとなる。
このため、Ｙ方向欠陥ＫＹあるいはＸ方向欠陥ＫＸを検出することができる。
しかも、渦電流１７は、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄの渦電流が集中して形成されるので、微小な欠陥でも検出することができる。
この時、信号処理部７では、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄからの各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を合成することでこれらの欠陥を検出することとなる。
【００２２】
移動方向２１に対し傾斜した斜め欠陥ＫＫの場合、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄのアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４が全て変動し、リフトオフと識別が難しい状況がある。
本実施形態の場合、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を処理するので、これらの時系列変化を用いて識別することができる。
この識別について例えば、図５に示す移動方向に略４５°傾斜した斜め欠陥ＫＫについて説明する。
【００２３】
検査部５が移動方向２１に移動すると、まずコイル９ａおよびコイル９ｂが斜め欠陥ＫＫを横切るので、コイル９ａおよびコイル９ｂが変動したアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２を信号処理部７に送る。
さらに、検査部５が移動方向２１に移動すると、コイル９ｃおよびコイル９ｄが斜め欠陥ＫＫを横切るので、コイル９ｃおよびコイル９ｄが変動したアブソリュート信号ＡＳ３，ＡＳ４を信号処理部７に送る。
これらのアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の時系列変化を見ると、図６に示されるようにアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２が変動した後、時間が経過してアブソリュート信号ＡＳ３，ＡＳ４が変動することとなる。
【００２４】
このように、アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４が時系列で変化する場合には、斜め欠陥ＫＫと判断することになる。
なお、図６は移動方向２１に対して略４５°の場合における、アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の時系列変化を示しているが、その他の角度傾斜している場合には、他のパターンの時系列変化となるのは当然である。
いずれにしても、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は異なる時刻に変動することとなる。
【００２５】
一方、リフトオフの場合には、検査部５のコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄと検査対象１９との距離が一斉に変動することになるので、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、図７に示されるようにある時刻に一斉に変動することになる。
この時、コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄが検査対象１９に近づくとアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は大きくなり、遠ざかるとアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は小さくなるので、これらを用いてリフトオフの量は算出できる。
【００２６】
次に、検査部５が傾斜した場合と欠陥との識別について説明する。
図８（ａ）に示すＡ視、Ｂ視、Ｃ視、Ｄ視に対して直交する方向に検査部５が傾斜した場合について代表して説明する。
Ａ視に直交する方向での傾斜状況を図８（ｂ）に二点鎖線で示している。ここではコイル９ｂの右端を中心として下方に傾斜している。
この場合、コイル９ｄが検査対象１９に最も接近し、次いで、コイル９ｃおよびコイル９ａが接近し、コイル９ｂが最も接近量が少ない。
したがって、この時の各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、図９（ａ）に示されるように同時刻に変動することとなる。
【００２７】
Ｂ視に直交する方向での傾斜状況を図８（ｃ）に二点鎖線で示している。ここではコイル９ａおよびコイル９ｂの右端を中心として下方に傾斜している。
この場合、コイル９ｃおよびコイル９ｄが検査対象１９に最も接近し、コイル９ｂおよびコイル９ａの接近量は少ない。
したがって、この時の各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、図９（ｂ）に示されるように同時刻に変動することとなる。
【００２８】
Ｃ視に直交する方向での傾斜状況を図８（ｂ）に二点鎖線で示している。ここではコイル９ａの右端を中心として下方に傾斜している。
この場合、コイル９ｃが検査対象１９に最も接近し、次いで、コイル９ｂおよびコイル９ｄが接近し、コイル９ａが最も接近量が少ない。
したがって、この時の各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、図９（ｃ）に示されるように同時刻に変動することとなる。
【００２９】
Ｄ視に直交する方向での傾斜状況を図８（ｃ）に二点鎖線で示している。ここではコイル９ａおよびコイル９ｄの右端を中心として下方に傾斜している。
この場合、コイル９ｂおよびコイル９ｃが検査対象１９に最も接近し、コイル９ａおよびコイル９ｄの接近量は少ない。
したがって、この時の各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、図９（ｄ）に示されるように同時刻に変動することとなる。
【００３０】
このように、検査部５の傾斜について４ケースについて代表的に説明したが、これ以外の傾斜パターンについても同様に、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は略同時刻に変動するものである。
傾斜の状態、すなわち、傾斜方向および傾斜角度（傾斜量）については、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の量によって判定することができる。
【００３１】
一方、図３に示されるようなＹ方向欠陥ＫＹの検出について説明する。
検査部５が移動方向２１に移動すると、まずコイル９ａがＹ方向欠陥ＫＹを検出し、アブソリュート信号ＡＳ１が変動する。
コイル９ｂおよびコイル９ｄが続くが、これらはＹ方向欠陥ＫＹと係合しないので、アブソリュート信号ＡＳ２，ＡＳ４は変動しない。
最後にコイル９ｃがＹ方向欠陥ＫＹを検出し、アブソリュート信号ＡＳ３が変動する。
これらが、それぞれ信号処理部７で時系列に処理されると、図１０に示されるようにアブソリュート信号ＡＳ１およびアブソリュート信号ＡＳ３が異なった時刻に変動することとなる。
【００３２】
また、図４に示されるようなＸ方向欠陥ＫＸの検出について説明する。
検査部５が移動方向２１に移動すると、まずコイル９ａがＸ方向欠陥ＫＸを検出し、アブソリュート信号ＡＳ１が変動する。
次いで、コイル９ｂおよびコイル９ｄがＸ方向欠陥ＫＸを検出し、アブソリュート信号ＡＳ２，ＡＳ４が略同一時刻に変動する。
最後にコイル９ｃがＸ方向欠陥ＫＸを検出し、アブソリュート信号ＡＳ３が変動する。
これらが、それぞれ信号処理部７で時系列に処理されると、図１１に示されるように各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４が異なった時刻に変動することとなる。
【００３３】
このように、本実施形態にかかる渦電流探傷装置１では、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄのアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４がそれぞれ単独で信号処理部７に送られ処理されるので、信号処理部７で各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の時系列変化を見ることができる。
このため、略同一時刻で変動するリフトオフおよび検査部５あるいは検査対象１９の傾斜による変動と、異なる時刻に変動する欠陥による変動とを識別することができる。すなわち、これらの識別性を大幅に向上させることができる。
【００３４】
そして、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄと検査対象１９と距離変動を直接表すので、検査対象１９の凹凸の状況を測定することができる。
また、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、検査対象１９の物性値である透磁率および電気抵抗を絶対値として測定できるので、これらの物性値が判明している検査対象１９について、例えば、マグネタイトの付着量を測定することができる。
【００３５】
さらに、信号処理部７では、各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の差分を示すディファレンシャル信号を作ることもできる。
例えば、第一探傷部１２のコイル９ａからのアブソリュート信号ＡＳ１と、第二探傷部１４のコイル９ｃからのアブソリュート信号ＡＳ３との差分を示すディファレンシャル信号ＤＳ１を形成する。
コイル９ａとコイル９ｃとは、中心点Ｃに対して点対称の関係にあり、かつ、相互に反対方向の渦電流を形成しているので、それらの差分を示すディファレンシャル信号ＤＳ１はアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ３の変動量を加算した状態で示すこととなる。
【００３６】
このようなディファレンシャル信号ＤＳ１は、例えば、アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ３の変動が小さくてもそれを拡大して示す等、測定の精度を向上させることができる。
これは、コイル９ｂのアブソリュート信号ＡＳ２とコイル９ｄのアブソリュート信号ＡＳ４との差分を示すディファレンシャル信号ＤＳ２を形成しても同様である。
また、ディファレンシャル信号ＤＳ１とディファレンシャル信号ＤＳ２との差分を示す複ディファレンシャル信号ＨＳ１（＝ＤＳ１−ＤＳ２）を形成するようにすると、従来のホイーストンブリッジを構成しているものと同じ情報を得ることができる。
【００３７】
なお、この複ディファレンシャル信号ＨＳ１では、例えば、アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の差動値が示されるので、絶対値を必要とする検査対象１９の凹凸、透磁率および電気抵抗等の算出については用いることができない。
また、リフトオフ、斜め欠陥ＫＫ等の大きさを検出することができない。
【００３８】
このように、本実施形態では、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄからの各アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を信号処理部７へ送り、信号処理部７でこれらのアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を用いて種々の処理を行うので、例えば、表１に示されるような信号を得ることができる。
これらの信号を目的に合わせて用いることによって、種々の欠陥を精度よく検出することができる。
【００３９】
【表１】
2007263930.tif 000003
【００４０】
リフトオフおよび傾斜の量が測定できるので、これらの変動による欠陥信号の振幅（すなわち、欠陥によるアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４の変動）の補正を行うことができる。
アブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４は、コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄが検査対象１９に近くなれば大きく、遠くなれば小さくなる。
今、コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄが検査対象１９から遠ざかる方向へリフトオフした場合におけるリフトオフ量をパラメータとした場合の欠陥深さと振幅との関係を図１２に示している。
リフトオフが小さい場合は、コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄの検査対象１９から遠ざかる距離が小さいので、リフトオフが大きい場合に比べて振幅が大きくなる。
【００４１】
また、図８（ｂ）あるいは（ｃ）に示すように一端を中心として他端が検査対象１９の方向へ近づくように傾斜した場合における傾斜角（傾き）をパラメータとした場合の欠陥量、例えば欠陥深さと振幅との関係を図１３に示している。
傾きが大きい程コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄは検査対象１９に近くなるので、傾きが小さいものに比べて振幅は大きくなる。
【００４２】
信号処理部７において、上述のようにリフトオフ量および傾斜状態を算出できるので、高い精度で欠陥検出振幅を補正することができる。
また、信号処理部７に、図１４および図１５に示されるようなリフトオフ量および傾斜状態をパラメータとした欠陥深さと振幅とのデータベースを保持させていれば、振幅を用いて欠陥深さを推定できるので、その測定精度を向上させることができる。
【００４３】
なお、本実施形態では、コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄを同時に励磁するようにしているが、これに限定されることはない。
例えば、図１６に示されるように、発振器３とコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄとの間に、例えば、マルチプレクサ２３を介装し、発振器３からコイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄを高速に時分割で励磁するようにしてもよい。
この場合、図１７に示すように、例えば、図１７（ａ）から図１７（ｄ）に到るようにコイル９ａ、コイル９ｂ、コイル９ｃおよびコイル９ｄの順に、これを高速で繰り返すように励磁する。
【００４４】
このようにして、各コイル９ａ,９ｂ,９ｃ,９ｄからのアブソリュート信号ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４を信号処理部７に送り、上述と同様な種々の処理を行い、欠陥を検出することができる。
このように、時分割で励磁するようにすると、発振器３を小型化することができ、渦電流探傷装置１を小型化することができる。
【００４５】
また、第一探傷部１２および第二探傷部１４は、それぞれ２個のコイルで形成されているが、これに限定されることなく、それぞれ３個以上のコイルで形成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態にかかる渦電流探傷装置の全体概略構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の一実施形態にかかる検査部の全体概略構成を示す平面図である。
【図３】本発明の一実施形態にかかる検査部がＹ方向欠陥を検出している状態を示す平面図である。
【図４】本発明の一実施形態にかかる検査部がＸ方向欠陥を検出している状態を示す平面図である。
【図５】本発明の一実施形態にかかる検査部が斜め欠陥を検出している状態を示す平面図である。
【図６】本発明の一実施形態にかかる検査部が斜め欠陥を検出している場合のアブソリュート信号の時系列変化を示す図である。
【図７】本発明の一実施形態にかかる検査部がリフトオフした場合のアブソリュート信号の時系列変化を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態にかかる検査部が傾斜している状態を示し、（ａ）はその平面図、（ｂ）（ｃ）は側面図である。
【図９】本発明の一実施形態にかかる検査部が傾斜した場合のアブソリュート信号の時系列変化を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態にかかる検査部がＹ方向欠陥を検出している場合のアブソリュート信号の時系列変化を示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態にかかる検査部がＸ方向欠陥を検出している場合のアブソリュート信号の時系列変化を示す図である。
【図１２】リフトオフ量をパラメータとした場合の欠陥深さと振幅との関係を示す図である。
【図１３】傾きをパラメータとした場合の欠陥深さと振幅との関係を示す図である。
【図１４】リフトオフ量をパラメータとした場合の欠陥深さと振幅との関係を示す図である。
【図１５】傾きをパラメータとした場合の欠陥深さと振幅との関係を示す図である。
【図１６】本発明の一実施形態にかかる渦電流探傷装置の別の実施形態の全体概略構成を示すブロック図である。
【図１７】図１６に示す渦電流探傷装置の検査部における励磁状態を示す平面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  渦電流探傷装置
７  信号処理部
９ａ  コイル
９ｂ  コイル
９ｃ  コイル
９ｄ  コイル
１２  第一探傷部
１４  第二探傷部
Ｃ  中心点
ＡＳ１，ＡＳ２，ＡＳ３，ＡＳ４  アブソリュート信号
ＤＳ１，ＤＳ２  ディファレンシャル信号
【図１】
2007263930.tif 000004
【図２】
2007263930.tif 000005
【図３】
2007263930.tif 000006
【図４】
2007263930.tif 000007
【図５】
2007263930.tif 000008
【図６】
2007263930.tif 000009
【図７】
2007263930.tif 000010
【図８】
2007263930.tif 000011
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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