(57)【要約】      （修正有）【課題】フラットパネルディスプレイ、フレキシブルディスプレイ、携帯情報端末のディスプレイ、タッチパネルなどの情報表示部材で、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタを形成することができる誘電体組成物を提供する。【解決手段】（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および（ｃ）有機溶剤を含有してなるペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であるペースト組成物。また、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有してなる誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および（ｃ）有機溶剤を含有するペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であるペースト組成物。
【請求項２】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下である請求項１記載のペースト組成物。
【請求項３】
（ａ）樹脂が熱硬化性である請求項１記載のペースト組成物。
【請求項４】
（ａ）樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項１記載のペースト組成物。
【請求項５】
さらに分散剤を有し、その含有量が（ｂ）結晶構造がペロブスカイト型を有する高誘電率無機粒子に対し２重量％以上２５重量％以下である請求項１記載のペースト組成物。
【請求項６】
（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有する誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物。
【請求項７】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項８】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し３０重量％以上９９重量％以下である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項９】
波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項１０】
周波数１ｋＨｚにおける比誘電率が１０以上、３００以下である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項１１】
（ａ）樹脂が熱硬化性である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項１２】
（ａ）樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項１３】
さらに分散剤を有し、その含有量が（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し２重量％以上２５重量％以下である請求項６記載の誘電体組成物。
【請求項１４】
請求項６〜１３のいずれか記載の誘電体組成物と、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である透明電極を有するキャパシタ。
【請求項１５】
金属、セラミックス、ガラスのいずれかの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であるビーズを分散メディアとして用いて、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散して（ｄ）分散液を作製し、次に樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液と（ｄ）分散液とを混合する請求項１記載のペースト組成物の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ、フレキシブルディスプレイ、電子ペーパー、携帯情報端末のディスプレイ、タッチパネルなどの情報表示部材で、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタなどを形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタに関する。
【背景技術】
【０００２】
実装基板に内蔵するキャパシタ用の層間絶縁膜を作製する方法として、高誘電率無機粒子を樹脂中に分散したペースト組成物を塗布、乾燥、硬化させるという方法が知られている（特許文献１〜２参照）。しかしながら、これらの方法により作製された層間絶縁膜は、用いている粒子の粒子径が大きいためと、膜厚が厚いためから、不透明であり、透明誘電体膜として用いることが困難であった。
【０００３】
一方、液晶配向膜樹脂中に高誘電率無機粒子を分散させ、比誘電率を６〜７に高めるという技術も知られている（特許文献３参照）。この技術では樹脂単体の２〜２．５倍となる比誘電率を得ているが、比誘電率の値が６〜７と不十分で、この膜を層間絶縁膜とするキャパシタの静電容量は小さく実用的でない。
【０００４】
無機粒子の樹脂材料中への分散は、まず、有機溶剤中へ無機粒子を良好に分散させた分散液を製造し、その後、分散液を樹脂と混合することで達成することができる。市販されている平均粒子径がナノメートル〜数十ナノメートルオーダーである無機粒子は、個々の粒子（１次粒子）を適度に凝集させ、平均粒子径が数十μｍの粉体状の粒子（２次粒子）として提供されている場合が多い。したがって、平均粒子径が０．０６μｍ以下の無機粒子の分散液を製造するためには、分散媒中で、これら２次粒子の凝集を解し、１次粒子が安定に分散した分散液を製造する必要がある。しかしながら、無機粒子の粒子径がより微小になると、凝集した無機粒子にせん断応力を加えるための機構が粒子サイズに追随できなくなることから、無機粒子を分散媒中で均一分散させることが非常に困難となる。また、粒子重量に対する表面積の割合が高くなるため、分散が進行すると分散液の粘度が増加し、分散をさらに進めることが難しくなる。
【０００５】
他方、無機粒子を１次粒子の状態にして分散させる方法として、ホモジナイザーやビーズミル、超音波分散機などの分散装置を用いる方法が知られている。特に、無機粒子を平均粒子径０．０６μｍ以下の微小粒子へと分散するには、微小ビーズの摩擦によるせん断応力により分散を促進するビーズミルを好ましく用いることができる。
【０００６】
例えば、粒子径７０ｎｍ以下のシリカ粒子を有機溶剤中へ、ビーズミルを用いて分散させるものがある（特許文献４参照）。しかしながら、特許文献４に記載された方法は、シリカ粒子という極性が高く有機溶剤への分散が比較的容易な無機粒子についての方法であり、他の無機粒子に対しては有効でない。さらに、分散が容易なシリカ粒子においても、分散媒に使用する有機溶剤はアルコール系に限定され、ビーズミルでの分散後、遠心分離機を用いて、粒子径を小さくしている。また特許文献４には、アルミナなどのシリカ粒子よりも極性が小さい粒子に関する分散例が示されているが、シリカ粒子以外については具体的な粒子径分布が示されておらず、１次粒子までの分散達成は難しいと考えられる。極性が小さい粒子として、ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子であるチタン酸バリウムなどが挙げられる。
【０００７】
また、ビーズミルを用いたナノメートルオーダーの炭素粒子の分散を行う方法も提案されている（特許文献５参照）。しかしながら、特許文献５に記載された方法では、分散媒としては極性が高い水を用いており、一般的な有機溶剤よりも分散が容易である。したがって、一般的な有機溶剤に対しては、特許文献５に記載された方法は有効でない。
【０００８】
これら従来の分散方法は、無機粒子の種類や大きさ、分散媒の種類によって分散の度合いが左右されることが多く、なかでもペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分散に適用した場合、安定した分散性を実現することは非常に困難であった。
【特許文献１】特開２００５−３８８２１号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開２００４−２８５１０５号公報（特許請求の範囲）
【特許文献３】特開平４−７０８１８号公報（特許請求の範囲）
【特許文献４】特開２００４−３４６２８８号公報（６頁、実施例）
【特許文献５】特開２００５−１９８３号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
かかる状況に鑑み、本発明は、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタや帯電量を制御できる透明誘電体層を形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および（ｃ）有機溶剤を含有してなるペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であるペースト組成物であり、その製造方法である。
【００１１】
また、本発明のもう一つの態様は、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有してなる誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物と、その誘電体組成物を絶縁膜として用いたキャパシタである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、比誘電率が大きく、波長４００〜７００ｎｍの全域において光線透過率が高い誘電体組成物およびそれを得るための原料となるペースト組成物を得ることができる。さらには、本発明の組成物は、１μｍという薄膜においても、リーク電流が小さく、高電圧保持率が大きい。またこれらの誘電体組成物は、ディスプレイ部材などの高い可視光透過率を要求される用途でのキャパシタ用層間絶縁膜を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のペースト組成物は、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、および（ｃ）有機溶剤を含有しており、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であって、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下である。
【００１４】
本発明で用いる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は、０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、好ましくは０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下であり、より好ましくは０．００２μｍ以上であることや０．０３μｍ以下であることである。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０６μｍ以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物の表面が平滑になりやすくなり、そのため表面での光の散乱が小さくなり、その結果、光線透過率を大きくできる。伝搬する光線が受けるレーリー散乱の強度は、光線が通過する媒質中にある粒子の粒子径の３乗に正の相関関係があるため、誘電体組成物中の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径が小さいほど、（ｂ）高誘電率無機粒子による光線透過を阻害するレーリー散乱は小さくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０４μｍ以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物に光を透過させる際に（ｂ）高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱の抑制効果が顕著となり、光線透過率を大きくしやすくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０３μｍ以下であると、ペースト中の（ｂ）高誘電率無機粒子の沈降が起きにくくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上であると高誘電率無機粒子の結晶性が良くなるために、（ｂ）高誘電率無機粒子の誘電率を大きくすることができるため、誘電体組成物の誘電率を大きくしやすくなる。
【００１５】
本発明のペースト組成物中の全有機溶剤量は、ペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であり、さらには、４５重量％以上であることや、７５重量％以下であることが好ましい。有機溶剤量がペースト組成物全量の８５重量％以下では、ペースト中の固形分量が十分多くなるため、塗布膜を形成した際に膜厚が薄い場合にも連続膜が得やすくなる。有機溶剤量がペースト組成物全量の７５重量％以下では、乾燥時の有機溶剤揮発による空隙の発生が抑制される。このため誘電体組成物の誘電率を大きくすることができ、かつ空隙によるレーリー散乱が抑制され光線透過率を高くすることができ、また吸湿の原因となりうる空隙の量が小さいために、湿度、水分の影響による物性変化を小さくできる。有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上では、分散処理する前の段階においての）高誘電率無機粒子の過剰な凝集を防ぎ粘度を低くできるため、分散処理開始時点において極端に高い粘度であると分散処理を開始できないことがあるビーズミルなどの分散装置での分散処理を行いやすい。有機溶剤量がペースト組成物全量の４５重量％以上では、高誘電率無機粒子を均一に分散した後のペーストの粘度も低くすることができるため、膜厚均一性が高い塗布膜を形成しやすい。
【００１６】
ペースト組成物は、例えば、高誘電率無機粒子を液状樹脂や樹脂溶液に加えて混合分散する方法や、予め高誘電率無機粒子を適当な有機溶剤中に分散した分散液を作製し、その分散液と液状樹脂もしくは樹脂溶液を混合するレットダウン法などによって作製される。また、樹脂または有機溶剤中へ高誘電率無機粒子を分散させる方法は特に限定されず、例えば、超音波分散機、ボールミル、ロールミル、クレアミックス、ホモジナイザー、ビーズミル、メディア分散機などを使用する方法を用いることができるが、特に、高い分散性が達成できる点でボールミル、ホモジナイザー、ビーズミルを用いるのが好ましい。
【００１７】
高誘電率無機粒子を分散させる際、分散性を向上させるために、例えば、高誘電率無機粒子の表面処理、組成物への分散剤の添加、界面活性剤の添加、溶剤の添加などを行ってもよい。
【００１８】
高誘電率無機粒子の表面処理としては、シラン系、チタン系、アルミニウム系などの各種カップリング剤、脂肪酸、リン酸化合物などによる処理のほか、ロジン処理、酸性処理、塩基性処理などが挙げられる。ここで、高誘電率無機粒子の表面処理は、組成物を作製する前に、高誘電率無機粒子に施す表面処理であってもよく、また、上記の処理剤を組成物中に添加し、結果として高誘電率無機粒子の表面に上記の処理剤が付着する態様のいずれでもよい。
【００１９】
組成物へ添加する分散剤の例としては、リン酸、カルボン酸、脂肪酸、およびそれらのエステル類などの酸基を有するものなどが挙げられる。チタン酸バリウムなど表面が塩基性である高誘電率無機粒子を分散させる場合には、酸−塩基相互作用を利用して分散剤を高誘電率無機粒子表面と相互作用させることができるため、酸基を有する分散剤を用いることが有効であり、特に、リン酸エステル骨格を有する化合物が好ましく用いられる。リン酸エステル骨格を有する化合物が含まれる分散剤としては、ビックケミー・ジャパン（株）製：商品名“Ｄｙｓｐｅｒｂｙｋ−１１１”、同じく“ＢＹＫ−Ｗ９０１０”などがある。その他、リン酸トリメチル、リン酸トリエチル、リン酸トリブチルなどのリン酸アルキルやリン酸アクリレートなども有効な場合がある。また、組成物へ添加する分散剤は高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。
【００２０】
添加する分散剤の量は、高誘電率無機粒子に対し、２重量％以上２５重量％以下が好ましい。分散剤の量が２重量％以上であると高誘電率粒子の良好な分散が達成されやすくなる。分散剤は、分散処理等によって凝集が解された粒子の表面を覆うことで粒子の再凝集を阻害し、分散を維持する効果を有している。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し２重量％以上であると、前記の効果が発現する。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し５重量％以上であるとより好ましく、高誘電率粒子の粒子径が０．０２μｍ以下の場合にも前述の分散剤の効果が発現し、良好な分散が得られ、誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすい。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し２５重量％以下であると誘電率を大きくしやすくなる。
【００２１】
そのほか、分散性を良好にするための手段として、ノニオン性、カチオン性、アニオン性の界面活性剤、多価カルボン酸などの湿潤剤、両親和性物質、高立体障害の置換基を有する樹脂などの添加が挙げられる。これらの添加剤は、高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。また、有機溶剤の添加によって、分散時または分散後の系の極性を制御することができる。有機溶剤としては、樹脂を溶解するものであり、かつ分散剤との相溶性のあるものを適宜選択すれば良い。例えば、エタノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ベンジルアルコール、イソブチルアルコール、メトキシメチルブタノールなどのアルコール類、クロロベンゼン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブエステル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールエステル類、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、テトラヒドロフラン、アニソールなどのエーテル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチル−ｎ−アミルケトン、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、γ−ブチロラクタム、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、テトラヒドロフラン、イソホロン、トリクロロエチレン、乳酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどや、これらのうちの１種類以上を含有する混合物を有機溶剤として用いることができる。
【００２２】
また本発明で用いる有機溶剤は沸点１６０℃以上であることが好ましい。有機溶剤の沸点が１６０℃以上では、誘電体組成物内での空隙発生が抑制されて、誘電体組成物の比誘電率を高くしやすい。沸点が１６０℃より低いと、有機溶剤の揮発速度が速いため、熱処理時の物質移動による緻密化が追いつかず、空隙部が増加し、誘電体組成物の誘電率が低下することが多くなる。より好ましくは１８０℃以上、さらにより好ましくは２００℃以上である。また、本発明で用いられる有機溶剤は、沸点３００℃以下であることが好ましく、より好ましくは２８０℃以下である。沸点が２８０℃より高くなると、脱有機溶剤のための処理が高温となり、高温処理によって樹脂が分解し、誘電特性の劣化や機械的強度の低下などが起こる。また３００℃より大きくなると、樹脂の分解がより激しくなり、機械強度の低下が起きる。本発明のペースト組成物に使用する有機溶剤は、沸点１６０℃以上の有機溶剤１種のみでもよいが、沸点１６０℃以上の有機溶剤を含有していれば、それ以外の溶剤を含んでいても空隙発生が抑制される効果が得られやすくなる。また、ペースト組成物は必要に応じて、安定化剤、分散剤、沈降防止剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解調整剤、界面活性剤、消泡剤などの添加剤などを含有してもよい。
【００２３】
沸点１６０℃以上の有機溶剤としては、メシチレン、アセトニルアセトン、メチルシクロヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルフェニルケトン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、イソホロン、ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクタム、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、３−メトキシ３−メチルブタノールおよびそのアセテート、３−メトキシブチルアセテート、２−エチルヘキシルアセテート、シュウ酸エステル、マロン酸ジエチル、マレイン酸エステル、炭酸プロピレン、ブチルセロソルブ、エチルカルビトール等がある。
【００２４】
本発明でいう沸点とは、１気圧、即ち1．０１３２５×１０５Ｎ／ｍ２の圧力下での沸点である。沸点の測定は公知の技術を用いて行うことができ、特に限定されないが、例えば、Swietoslawskiの沸点計を用いることで測定できる。
【００２５】
なお、高誘電率無機粒子の充填率が高くなるにつれて、上記有機溶剤量による影響は大きくなり、高誘電率無機粒子がペースト組成物に含まれる有機溶剤を除く成分の総重量の８０重量％以上の場合に、本発明の効果が特に大きい。
【００２６】
次に、ペースト組成物を基板などの被着体に塗布する方法としては、特に限定されず、例えば、スクリーン印刷機、ブレードコーター、スピンコーター、バーコーターなどを用いて塗布する方法が挙げられる。続いて塗布後の膜に対し、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置を用いて、脱有機溶剤や熱硬化を行う。
【００２７】
ペースト組成物を塗布する被着体（例えば基板）としては、例えば、有機系基板、無機系基板、およびこれらの基板に回路の構成材料が配置されたものから選択できる。有機系基板の例としては、樹脂基板、紙・フェノール銅張積層板、紙・エポキシ銅張積層板、紙・ポリエステル銅張積層板などの紙基材銅張積層板、ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス布・ポリイミド銅張積層板、ガラス布・テフロン（登録商標）銅張積層板などのガラス基材銅張積層板、紙・ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス不織布・エポキシ銅張積層板などのコンポジット銅張積層板、ポリエーテルイミド基板、ポリエーテルケトン基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ポリカーボネート基板、ポリイミド基板、ポリエステルなどの樹脂基板、ポリエステルフィルム、ポリエステル銅張フィルム基板、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、ポリイミド銅張フィルム基板、各種液晶ポリマーフィルムなどのフレキシブル基板が挙げられる。
【００２８】
また、無機系基板の例としては、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板などのセラミック基板、アルミニウムベース基板、鉄ベース基板などの金属系基板、そのほか、ガラス基板、シリコン基板、石英基板などが挙げられる。
【００２９】
回路の構成材料の例としては、銀、金、銅、クロム、ニッケル、チタンやこれらの合金などの金属や、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム−亜鉛酸化物、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛やこれらにその他元素のドープしたものなどを含有する導体、無機系酸化物などを含有する抵抗体、ガラス系材料および／または樹脂などを含有する低誘電体、樹脂や高誘電率無機粒子などを含有する高誘電体、ガラス系材料などを含有する絶縁体などが挙げられる。
【００３０】
本発明の誘電体組成物は、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有し、かつ（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である。本発明の誘電体組成物は、波長４００〜７００ｎｍの全域の光線透過率が５０％以上１００％以下であることが好ましく、より好ましくは７０％以上１００％以下であり、さらに好ましくは、９０％以上１００％以下である。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が５０％以上となると、誘電体組成物を透過した光で情報表示を行うという透明性の機能を満足できるようになる。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が７０％以上となると、誘電体組成物を透過した光でモノクロメーターでの情報表示が行いやすくなる。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が９０％以上となると、誘電体組成物を透過した光でカラーでの情報表示が行いやすくなる。ここで波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が５０％以上１００％以下であるとは、光線透過率に波長依存性がある場合に、誘電体組成物の波長４００〜７００ｎｍの透過光スペクトルにおいて光線透過率の最小値が５０％以上であるということと同義である。これらの光線透過率は、樹脂中に存在する（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の良好な分散性に依り、これは前述した分散技術によって達成できる。
【００３１】
波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率は、可視分光光度計を用いて測定することができる。誘電体組成物が膜状である場合は、波長４００〜７００ｎｍの全域において吸収を持たない材料であるガラスや石英などの基板上に誘電体組成物膜を形成したものを光線透過率測定用試料として用いればよい。
【００３２】
本発明の誘電体組成物は比誘電率が１０以上３００以下であることが良い。好ましくは比誘電率が２０以上である場合と、８０以下である場合である。より好ましくは比誘電率が３０以上である場合と、５０以下である場合である。誘電体組成物を層間絶縁膜として用いた場合に、比誘電率が１０以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成することが容易となる。また、比誘電率が２０以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成する場合に、層間絶縁膜を極端に薄くする必要がないため、層間絶縁膜にリーク電流発生の原因となるピンホールが発生しにくくなる。比誘電率が３０以上となると、容量の大きなキャパシタを形成する場合にも、層間絶縁膜を比較的厚く形成することができるため、絶縁耐圧を大きくしやすくなる。多くのペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率は、粒子径の大きさと正の相関関係がある。本誘電体組成物の比誘電率が３００以下の場合、ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に極端に比誘電率が大きいものを用いる必要がないため、粒子径が比較的小さいペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を用いることができ、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率を大きくしやすい。本誘電体組成物の比誘電率を８０より大きくしようとすると、粒子充填率を単一粒子径のものを用いた場合の最密充填以上とすることが必要となる場合が多い。したがって、本誘電体組成物の比誘電率が８０以下の場合は、単一粒子径のみからなる場合に近い、粒子径分布が非常にシャープな高誘電率無機粒子を用いることが可能となる。本誘電体組成物の比誘電率が５０以下の場合は、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の誘電率が極端に大きなものを用いる必要がないため、高誘電率無機粒子の材料選択の幅が広がる。
【００３３】
本発明で用いる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、その平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下であることが好ましい。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は、より好ましくは０．００５μｍ以上である場合と、０．０３μｍ以下である場合である。平均粒子径が０．００２μｍ以上となると、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率を大きくしやすくなる。平均粒子径が０．００５μｍ以上となると、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が凝集しにくくなり、樹脂に均一に分散させやすくなる。平均粒子径が０．０４μｍ以下となると、誘電体組成物に光を透過させる際に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱が抑制されるために、光線透過率を大きくしやすくなる。平均粒子径が０．０３μｍ以下となると、レーリー散乱抑制効果がより大きくなり誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすくなるだけでなく、誘電体組成物製造時に発生しやすく（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分布の偏りの原因となる沈降がおきにくくなる。
【００３４】
本発明の誘電体組成物の製造方法として、液状もしくは溶液状の未硬化樹脂に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が分散されたペーストなどの流動性がある状態のものを、加熱などにより固化させるというものがある。このような場合、一般に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比重が樹脂の比重より大きいために、流動性がある状態では重力で粒子が分散体の下部に沈むという沈降がおきやすい。しかしながら、粒子径が小さくなると、粒子１つ１つの重量が小さくなり、ブラウン運動による影響が大きくなり、粒子が沈降しにくくなる。
【００３５】
誘電体組成物内を進む光のレーリー散乱の大きさは（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子径の３乗に正の相関関係があるため、高誘電率無機粒子の平均粒子径が等しいものの場合でも、粒子径分布の幅が狭いものや、大きな粒子の存在量が少ないものほど、誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすい。
【００３６】
なお、本発明の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径の測定は、誘電体組成物の硬化薄膜の超薄切片に対するＸＭＡ測定、および透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により行うことができる。この超薄切片には、誘電体組成物の硬化薄膜を、膜厚方向に断面を切り出したものを用いる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂では電子線に対する透過率が異なるので、ＴＥＭ観察像中で（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂はコントラストの違いにより識別できる。複数種の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が使用されている場合の各高誘電率無機粒子の同定は、ＸＭＡ測定に基づく元素分析および電子線回折像観察による結晶構造解析により行うことができる。ＴＥＭ観察像の画像解析から、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂の面積の分布を求め、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子像の断面を円形と近似して面積から粒子径を算出できる。この粒子径の評価は倍率５０００倍と４００００倍のＴＥＭ画像について行えばよい。算出された粒子径の分布を倍率が５０００倍のＴＥＭ画像において０．１μｍ刻みのヒストグラム、倍率が４００００倍のＴＥＭ画像において０．０１μｍ刻みのヒストグラムで表す。得られたヒストグラムの各カラムに対し、その中心値と度数の積を求める。次にそれらの積の和を度数の総和で除したものを平均粒子径とする。なお、粒子径分布の評価は、ＴＥＭのかわりに走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、上記と同様の解析を行うことによってもできる。
【００３７】
一般に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒成長や焼結などの一次粒子の形状変化が起きる温度は、（ａ）樹脂の硬化温度より遙かに高い場合が殆どであるので、そのような場合は、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を（ａ）樹脂に分散させる前の原料段階で（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径を評価してもよい。この場合、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を直接、前記と同様のＴＥＭやＳＥＭを用いて観察し、それにより得られた観察像の画像解析により求めることができる。
【００３８】
また、上記以外にも、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の液体中でのブラウン運動による散乱光の揺らぎを測定する動的光散乱法、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を電気泳動させたときの散乱光のドップラー効果を測定する電気泳動光散乱法、照射した超音波の減衰状態求める超音波減衰分光法などによって平均粒子径を測定することができる。レーザー回折式、レーザー散乱式の粒度分布測定装置としては、（株）堀場製作所製ＬＡ−９２０、（株）島津製作所製ＳＡＬＤ−１１００、日機装（株）製ＭＩＣＲＯＴＲＡＣ−ＵＰＡ１５０やシスメックス（株）製ゼータサイザーナノＺＳ等がある。
【００３９】
本発明の誘電体組成物の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子含有量は誘電体組成物全体に対し、３０重量％以上９９重量％以下であることが好ましい。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し３０重量％以上では、誘電体組成物の比誘電率を大きくしやすくなり、キャパシタの層間絶縁材料として用いた場合に、大きな静電容量のキャパシタを実現しやすくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し９９重量％以下の場合、樹脂の含有量が十分に多いために、膜の強度を高くしやすい。
【００４０】
本発明で用いられる（ａ）樹脂は、熱可塑性、熱硬化性樹脂のいずれも選択することができるが、波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率を５０％以上とするために、（ａ）樹脂は光線透過率が５０％以上であるものを用いることが好ましい。誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすいため、（ａ）樹脂の光線透過率は大きい方が好ましい。
【００４１】
本発明で用いられる熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、液晶ポリマー、ポリスチレン、ポリエチレン、フッ素樹脂などを用いることができる。
【００４２】
また、本発明で用いられる熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シロキサン樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂、シアネート樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂などを用いることができる。耐熱性が高いことなどの点から、熱硬化性樹脂を用いることが好ましく、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子分散性などの点からエポキシ樹脂が好ましく使用される。
【００４３】
ここで、エポキシ樹脂とは、分子構造中にエポキシ基（オキシラン環）を２個以上含むプレポリマーを有する樹脂である。また、本発明のペースト組成物は硬化剤を有していてもよく、硬化剤には、例えば、一般にエポキシ樹脂に使用されている硬化剤を添加することができる。このような硬化剤としては、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤などが例示される。また、これらの硬化剤は相互に併用してもよい。さらに、硬化剤と共に硬化促進剤を用いることができる。硬化促進剤は、硬化剤を伴わないで単独で樹脂に添加してもよい。このような硬化促進剤としては、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、トリフェニルホスフィン、トリス（２，４−ペンタジオナト）コバルトなどの金属キレート化合物などが挙げられる。
【００４４】
波長４００〜７００ｎｍの光に対する透過性が高いという点から、本発明では（ａ）樹脂としてアクリル樹脂も好ましく用いることができる。
【００４５】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子とは、ペロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有するもののことである。これらは、例えばチタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系、二酸化チタン系、などを挙げることができる。チタン酸バリウム系とは、チタン酸バリウム結晶内の一部の元素を他の元素で置換したり、結晶構造内に他の元素を侵入させたりしたチタン酸バリウムを母材とする固溶体を含めた総称である。その他のチタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系もいずれも同様で、それぞれを母材とする固溶体を含めた総称である。
【００４６】
なお、ペロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、これらのうち１種を単独で用いたり、２種以上を混合して用いたりすることができる。大きい誘電率を有する誘電体組成物を得る場合には、商業的利便性との両立の点から、主としてチタン酸バリウムからなる化合物を用いることが好ましい。但し、誘電特性や温度安定性を向上させる目的で、シフター、デプレッサー剤などを少量添加して用いてもよい。
【００４７】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子には、比誘電率が５０〜３００００の無機粒子を用いることが好ましい。比誘電率が５０以上である高誘電率無機粒子を用いると比誘電率が十分大きい誘電体組成物が得られやすい。また、高誘電率無機粒子の比誘電率が３００００以下であると、誘電体組成物の  比誘電率の温度依存性を小さくしやすくなる。ここでいう（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率とは、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を原料粉末として、加熱、焼成して得られる焼結体の比誘電率をさす。焼結体の比誘電率は、例えば以下の手順によって測定する。高誘電率無機粒子とポリビニルアルコールのようなバインダー樹脂、有機溶剤もしくは水を混合して、ペースト状組成物を作製したのち、ペレット成型器の中に充填して、乾燥させ、ペレット状固形物を得る。そのペレット状固形物を、例えば９００〜１２００℃程度で焼成することにより、バインダー樹脂を分解、除去し、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を焼結させ、無機成分のみからなる焼結体を得ることができる。このとき、焼結体の空隙は十分小さく、理論密度と実測密度から計算した空隙率が１％以下となっていることが必要である。この焼結体ペレットに上下電極を形成し、静電容量および寸法の測定結果から、比誘電率を計算する。
【００４８】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製方法としては、固相反応法、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、しゅう酸塩法、アルコキシド法などの方法が挙げられる。粒子径が小さく大きさが揃った（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製が容易であるという理由から、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、のいずれかを用いることが好ましい。
【００４９】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の形状は、球状、略球状、楕円球状、針状、板状、鱗片状、棒状、立方体（サイコロ）状などが挙げられるが、特に、球形あるいは略球形であることが好ましい。球状あるいは略球状の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、比表面積が小さいために充填時に高誘電率無機粒子の凝集や樹脂流動性低下などを生じにくいからである。これらのうち１種を単独で用いたり、２種以上を混合して用いることができる。
【００５０】
本発明のペースト組成物の製造方法は特に限定されないが、以下のような方法により好ましく実施することができる。本発明で用いられる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は平均粒子径が小さいため、粒子間の凝集を解して均一な分散を達成するためには、分散メディアに微小ビーズを用いる分散手法が有効である。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であるため、分散メディアにはビーズの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のものを用いることが有効である。分散メディアのビーズの平均粒子径が０．０３ｍｍ以上である場合と０．０６ｍｍ以下である場合は、より有効である。ビーズの平均粒子径が０．１ｍｍ以下である場合、ビーズの間を分散液が通過する際に、高誘電率無機粒子がビーズと接触する頻度が高く、十分な分散効果が得られる。さらに高い分散効果を得るためには、ビーズの平均粒子径は０．０６ｍｍ以下であることが好ましい。ビーズの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上である場合、個々のビーズの持つ運動量が十分大きく、高誘電率無機粒子の凝集を解くのに十分なせん断応力が得られる。高誘電率無機粒子の凝集体にさらに強いせん断応力を与えるためには、ビーズの平均粒子径は０．０３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００５１】
ビーズの平均粒子径の評価は、例えば以下のような方法で行うことができる。ビーズは光学顕微鏡を用いて観察を行うことができる。ガラスなどの透明板の上にビーズ（サンプル）を載せ、透明板の下側から光を当て透過光像を対物レンズを通して観察し、ビーズの粒子径を評価する。任意の１００個のビーズの観察を行い、それぞれのビーズに対して求めた粒子径の平均値をビーズの平均粒子径とすることができる。ビーズの粒子径は、ビーズの観察像に対し各種の画像処理ソフトを用いた球形近似を行うことで求めることができる。具体的には、顕微鏡の接眼レンズ部の代わりに取り付けたＣＣＤカメラによるデジタル画像をコンピューター上で画像処理することにより行う。このようなＣＣＤカメラとしては（株）フローベル製のＡＤＰ−２４０があり、このような画像処理ができるソフトとしては（株）フローベル製のＦｌｖＦｓなどがある。
【００５２】
分散メディアであるビーズとしては、金属製、セラミック製やガラス製のものを好ましく使用できる。これらの具体的な材質としては、ステンレス、鉄、銅、クロム、ニッケル、チタニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、アルミナ、ジルコニア、ケイ酸ジルコニウム、チタン酸バリウム、珪酸ガラス、石英などが挙げられる。特に、硬度が高いジルコニア製ビーズが好適に使用できる。ジルコニアとしては強度が大きいことからイットリア安定化ジルコニアを用いることが好ましい。
【００５３】
本発明におけるビーズを用いた分散方法は特に限定されないが、用いる装置としては、ボールミル、ホモジナイザー、ピンロータービーズミルなどが挙げられ、寿工業（株）製の“ウルトラアペックスミル”（商品名）やアシザワ・ファインテック（株）製の“スターミル”（商品名）などが微小粒子の分散に特に好適なものとして挙げられる。これらの２種のビーズミルにおいては、高誘電率無機粒子の分散が行われるベッセルと呼ばれる部位が、外壁を形成する円筒形のステーターと、ステーターの中心で回転するローターによって形成される。そして、高誘電率無機粒子と有機溶剤とを混合した分散液を、ステーターとローターとの間を送液する。ローターからは放射状に複数のブレードが突出している。ベッセル内に分散メディアであるビーズを充填し、ローターを回転させることにより、ブレードによりビーズが攪拌され、それに伴い、ビーズが分散液中の高誘電率無機粒子にせん断応力を与え、高誘電率無機粒子が微小粒子に分散される。一度ベッセル内を通過した分散液を循環させ、繰り返しベッセル内へと送液することで、分散液中の高誘電率無機粒子の凝集を徐々に解し、分散を進める。
【００５４】
分散液に含まれる高誘電率無機粒子は１次粒子あるいは凝集体として存在するものであるが、本発明においては分散液中に存在するときの高誘電率無機粒子の大きさは、分散液中で幾つかの高誘電率無機粒子の１次粒子が凝集した状態のものを体積基準で分布にしたときのメジアン径（５０％粒子径）である。分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定する方法としては、レーザーによる静的光散乱方式や動的光散乱方式が挙げられるが、平均粒子径２０ｎｍ以下の粒子径を高精度で評価する場合は、動的光散乱方式を用いる方が好ましい。この方式による粒子径測定装置として、例えば、日機装（株）製の“ナノトラック”ＵＰＡ−ＥＸ１５０（商品名）が挙げられる。
【００５５】
ビーズミルのベッセル内のビーズ充填量は、ベッセル容積の２０容積％以上の場合と８５容積％以下の場合が好ましい。ビーズの充填量が２０容積％以上である場合、近接するビーズの間隙が狭いため分散液中の高誘電率無機粒子がビーズに接触する頻度が高く、分散が短時間で効率よく進行する。さらにこの効果を高めるために、ビーズの充填量は５０容積％以上であることがより好ましい。一方、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合、近接するビーズの間に十分な間隙が存在するため、分散液がベッセル内に詰まることなくスムーズに送液することができる。また、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦により発生する熱量が少ないため、分散剤などの分散液を構成する材料が変質しにくい。また、遠心力によりビーズをフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、ビーズの充填量が多くなると、フィルタリング機能が十分に働かず、ベッセルから回収した分散液中にビーズが混入する可能性が大きくなるが、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合は、ビーズの混入がないか、あるいは非常に小さくて済む。さらにこの効果を大きく奏するために、ビーズの充填量は７５容積％以下であることがより好ましい。
【００５６】
ビーズミルのローターの回転周速は８ｍ／ｓ以上１５ｍ／ｓ以下であることが好ましい。本発明における回転周速とは、ローターから突出しているブレードの先端が回転するときの速度である。回転周速が８ｍ／ｓ以上である場合、高誘電率無機粒子を平均粒子径０．０２μｍ以下に分散するのに十分なせん断応力が得られる。また、回転周速が８ｍ／ｓ以上である場合、ビーズを遠心力によりフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、回収した分散液中にビーズが混入しない。一方、回転周速が１５ｍ／ｓ以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦による発熱量は少ないため、分散液が変質しにくい。
【００５７】
分散処理時の分散液の温度は１０℃以上４０℃以下であることが好ましい。ここで、分散処理時の分散液の温度は、ベッセルから送出された直後の分散液の温度とする。分散液温が４０℃以下である場合、分散液中の有機溶剤の揮発量は少なく、分散液中の高誘電率無機粒子や分散剤などの組成の濃度変化は少ない。液温が４０℃よりも高いと、分散液組成の濃度変化が生じ、分散液の分散性が悪くなる場合がある。例えば、分散液の分散性はｐＨにより影響を受けることがあるが、分散液のｐＨ値は分散液組成の濃度変化により変化する。したがって分散液の温度制御は分散液のｐＨ値、また分散液中の高誘電率無機粒子の分散性を制御する重要な条件の１つである。また、分散液中に温度により化学反応する材料や、温度により変質する材料を含有する場合は、温度変化により分散液が有する特性が変化するため、分散時の温度制御を行うことが好ましい。さらにこの効果を高めるために、分散液の温度は３５℃以下であることが好ましい。一方、分散処理時の分散液の温度が１０℃よりも低い場合、ベッセルから送出した分散液を回収する容器内に結露が生じ、分散液中に水分が混入し、分散液の特性を劣化させる可能性があるため、分散処理時の分散液の温度は１０℃以上であることが好ましい。また、分散液の温度が１０℃以上であると、分散液の粘度が低くなるため、ビーズの運動エネルギーの減損が避けられ、分散効率が高くなる。さらにこの効果を高めるためには、分散液の温度は２０℃以上であることがより好ましい。
【００５８】
分散処理時の分散液の粘度は、１ｍＰ・ｓ以上１００ｍＰ・ｓ以下であることが好ましい。ここで、分散処理時の分散液の粘度は、ベッセルから送出された分散液をサンプリングし、サンプリングから５分後に測定した際の粘度とする。測定温度は２５℃とする。粘度測定は、例えば、東機産業（株）製の粘度計ＲＥ−１１５Ｌを用いて行うことができる。ビーズミルのベッセル内のビーズは回転するローターのブレードから運動エネルギーを獲得し、分散液中の高誘電率無機粒子と接触することにより、せん断応力を発生する。しかし、分散液の粘度が高い場合は、ビーズが高誘電率無機粒子へ接触する前に、溶剤中で運動エネルギーが大きく減損し、高誘電率無機粒子に十分なせん断応力を与えることができない場合がある。分散処理時の分散液の粘度が１００ｍＰ・ｓ以下である場合は、上記問題を回避することができる。さらにこの効果を高めるために、分散処理時の分散液の粘度は、２０ｍＰ・ｓ以下であることがより好ましい。一方、分散液の粘度が１ｍＰ・ｓ以上であれば、製造した分散液と樹脂とを混ぜて作製するペースト組成物の粘度が低くならず、ペースト組成物を基板上に塗布し膜状の樹脂組成物を製造する場合、連続膜を形成しやすくなる。
【００５９】
本発明における無機粒子の分散液の製造方法についての例を以下に記す。
【００６０】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、分散剤、（ｃ）有機溶剤を所定の分量で混合し、攪拌する。混合直後は、高誘電率無機粒子の表面を空気の層が覆っているため、高誘電率無機粒子と有機溶剤との濡れが十分でなく、粘度が増加する場合がある。この場合は、高誘電率無機粒子と有機溶剤が完全に濡れるまで、回転羽根などで時間をかけて攪拌するのが好ましい。
【００６１】
高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤を混合、攪拌した後、ビーズミルにて高誘電率無機粒子の分散処理を行う。まず、ビーズミルのベッセル内に所定粒子径のビーズを所定量投入し、ローターを回転させながら、分散液に用いるものと同じ有機溶剤をベッセル内へ送液／循環させビーズ洗浄を行う。洗浄時に有機溶剤の汚れが目立つ場合は、新しい有機溶剤と入れ替え、有機溶剤の汚れが目立たなくなるまで洗浄を続ける。ビーズ洗浄後、循環させた有機溶剤を回収し、次いで、上記高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤の混合液をベッセル内へ送液／循環させ分散処理を行う。初めにベッセル内から送出される分散液は、ベッセル内に残留した有機溶剤により濃度が薄くなっているため、ベッセルの大きさに応じて、ベッセル内から送出される分散液の濃度が一定になるまで初流を除去する。分散処理は一度に小さいビーズで実施してもよく、段階的にビーズの大きさを変えて行ってもよく、特に限定されない。例えば、粒子径が０．５ｍｍのビーズで高誘電率無機粒子の平均粒子径が１００ｎｍ程度になるまで分散を行ってから、次に、より微小なビーズでの分散を施してもよい。ここで、平均粒子径が０．１μｍ程度になるまでの分散処理を粗分散とよび、その後の０．０６μｍ以下の微小粒子径への分散処理を本分散とよぶ。粗分散をホモジナイザーで行い、本分散をビーズミルで行うなど、粗分散と本分散を異なる装置にて行うこともできる。ビーズミルにおいては、サンプルをミル本体へチューブを通して送液する方式のものが多く、粗分散をビーズミルで行うと、粒子径の大きな粒子が送液チューブ中で目詰まりする場合がある。粗分散をホモジナイザーなど別の装置で行うと、これを避けることができる。
【００６２】
粗分散をホモジナイザーで行う場合は、例えば、回転刃の先端の周速を１〜１０ｍ／ｓにして、１時間程度処理する。ホモジナイザー処理中は熱が発生するため、氷浴中で処理することが好ましい。用いることができるホモジナイザーとしては、“エクセルオート”（商品名）（（株）日本精機製作所製）などが挙げられる。
【００６３】
分散処理時の分散液の粘度は高誘電率無機粒子の分散性や分散処理の効率に影響するので、分散処理の経過に伴う分散液の粘度変化を把握することが好ましい。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、粘度測定をすることにより、粘度の経時変化を把握することができる。分散処理時に分散液の粘度が上昇した場合は、循環させている分散液中に有機溶剤や分散剤、ｐＨ調整剤などを適量加えて、粘度を低下させることもできる。
【００６４】
分散処理時の分散液の温度は、ベッセル外部を冷却する冷却水の温度や流量、分散液の循環速度により制御できる。分散液の温度上昇は、分散処理時の分散液の粘度が高い場合に発生しやすい。分散液の温度上昇が大きすぎる場合には、分散液の変質が起きることがある。
【００６５】
分散液の固形分濃度は１０重量％以上が好ましく、より好ましくは２０重量％以上である。また、分散液の固形分濃度は６０重量％以下であることが好ましく、より好ましくは４０重量％以下である。本発明の分散液の固形分濃度とは、分散液全量に対して分散液中に含まれる有機溶剤以外の成分の割合である。分散液の固形分濃度が１０重量％以上であると、粘度の低い分散液を作製することが可能となり、分散処理時もビーズとの摩擦などにより発生する熱量が少ないため、分散液を構成する材料が変質しにくくなる。分散液の固形分濃度が２０重量％以上であると、分散液と樹脂液を混合したペースト組成物を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に１μｍ以上の厚膜を形成しやくなる。また、分散液の固形分濃度が６０重量％以下であると、遠心分離によるフィルタリング方式のビーズミルを用いた場合に、ビーズが分離されやすい。さらに、分散液の固形分濃度が４０重量％以下であると、分散液の粘度が低く、分散液中の高誘電率無機粒子とビーズが頻度よく接触するため、高誘電率無機粒子の凝集体を解きやすくなる。また、平均粒子径０．１μｍ以下の高誘電率無機粒子を用いた場合においても、分散液中の高誘電率無機粒子を効率良く分散することができ、粒度分布が１次粒子径付近まで分散しやすく、本分散液を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に透過率の高い膜を得やすい。
【００６６】
ビーズミルのローターの回転周速は一定でもよく、分散処理時に段階的に変更してもよい。ローターの回転周速は分散処理時の分散液の温度に影響を与える場合があるので、分散処理時に回転周速を変更する場合は、分散液の温度上昇が大きくなりすぎないようにするのが好ましい。また、ビーズを遠心分離によりフィルタリングする方式のビーズミルの場合は、ローターを回転する前に送液ポンプを作動し、分散液の循環を開始すると、ベッセル内から送出する分散液中にビーズが混入することがあるので、ローターを回転した後に送液ポンプを作動するようにする。
【００６７】
分散処理時間は高誘電率無機粒子や有機溶剤、分散剤などの分散液を構成する材料の種類や組成比により適宜設定する。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定することは、分散状態の経時変化を把握でき、分散処理の終了時点を判断することができるので好ましい。分散性が良好な組成の場合は、３０分程度の分散処理時間で十分であるが、組成によっては、分散処理を２４時間以上行ってもよい。分散処理時間が長い場合は、有機溶剤などの分散液を構成する材料が揮発することにより、分散液の組成比が変化し、分散性が変化する場合があるので、そのような場合は、適宜必要な成分を添加し、組成を調整する。
【００６８】
次に、上記の高誘電率無機粒子分散液の製造方法によって得られた分散液と、樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液とを含有するペースト組成物の製造方法について説明する。
【００６９】
分散液と樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液の混合は、樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液中に分散液を所定量となるまで注入してもよいし、分散液中に樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液を所定量となるまで注入してもよい。この際の樹脂の態様は、液状樹脂であっても、固形樹脂を溶剤に溶かした樹脂溶液であってもよい。また、この際の樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液の態様は、液状樹脂もしくは固形樹脂を溶剤に溶かした樹脂を有機溶剤で希釈した樹脂溶液であってもよい。
【００７０】
ペースト組成物の製造方法としては、上記の方法のように別々に作製した分散液と樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液を混合する方法だけでなく、高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に直接分散する方法も用いることができる。高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に直接分散する場合においても、ビーズミルを好ましく用いることができる。
【００７１】
所定量の高誘電率無機粒子を有する分散液と樹脂材料を混合して得られたペースト組成物を、さらに均質になるようにするために、ボールミルやロールミルを用いることができる。また、混合処理によりペースト組成物中に気泡が混入した場合は、静置する、あるいは攪拌脱泡機を用いるなどして、気泡を除去すると、ペースト組成物を用いて製造する樹脂組成物中への気泡の混入を抑制することができる。
【００７２】
本発明の誘電体組成物を得る方法として、例えば、上記のように、まず、高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に分散させたペースト組成物を作製し、そのペースト組成物を被着体（例えば基板）などに塗布し、脱有機溶剤、固化を行うことにより、誘電体組成物を得る方法が挙げられる。このとき、固化の方法として、熱、光などによる固化が挙げられる。但し、加熱によって固化を行う場合は、本発明の誘電体組成物は焼結体ではないので、樹脂を分解したり、除去したりすることなく、ペースト組成物と同時に加熱行う被着体や電子部品などの耐熱温度範囲内、例えば、５００℃以下の温度で加熱することが好ましい。より好ましくは２５０℃以下の温度で加熱することが好ましい。また、塗布する被着体は、ガラス基板やガラスエポキシ基板などのリジッドな基板に限定されず、樹脂フィルムや銅などの金属箔などのフレキシブル基板でもよい。
【００７３】
本発明の誘電体組成物の空隙率は、３０体積％以下であることが好ましい。より好ましくは２０体積％以下であり、さらにより好ましくは１０体積％以下である。空隙率が３０体積％以下であると、空隙によるレーリー散乱などを小さくすることができ透過率を大きくしやすい。空隙率が２０体積％以下となると絶縁抵抗を大きくしやすい。空隙率が１０体積％以下であるとリーク電流を小さくしやすい。
【００７４】
ここで、空隙率を３０体積％以下にする方法としては、例えば、樹脂、高誘電率無機粒子、有機溶剤を上記した中から適宜選択することで達成可能である。具体的には、例えばペースト組成物が、沸点１６０℃以上の有機溶剤を少なくとも１種含むものとすることで達成することができる。
【００７５】
誘電体組成物の空隙率の測定方法は、ガス吸着法、水銀圧入法、陽電子消滅法、小角Ｘ線散乱法など、用途に合わせて適宜選択することができる。
【００７６】
本発明のペースト組成物から得られる誘電体組成物の形態は特に限定されず、膜状、棒状、球状など、用途に合わせて選択することができるが、特に膜状であることが好ましい。ここでいう膜とは、フィルム、シート、板、ペレットなども含まれる。もちろん、導通のためのビアホール形成、インピーダンスや静電容量あるいは内部応力の調整、または、放熱機能付与など、用途にあわせたパターン形成を行うこともできる。
【００７７】
本発明で用いる透明電極は、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下であればよく、材質は特に限定されないが、光透過性が高いことからインジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム−亜鉛酸化物、酸化錫、酸化インジウムや酸化亜鉛これらにその他元素のドープしたものなどを用いることができる。透明電極の光線透過率が５０％未満であると、ディスプレイなどに用いるキャパシタとしては透明性が不十分となり、情報表示特性が不十分で良くない。
【００７８】
本発明の誘電体組成物から得られる層間絶縁膜と、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である透明電極を有するキャパシタは、波長４００〜７００ｎｍで高い光線透過率を有するため、透明キャパシタとしてそれを通した光線による情報表示を行うことができる。
【００７９】
本発明のキャパシタは、少なくとも層間絶縁膜と透明電極を有しており、層間絶縁膜は電極間に存在するものであるが、本発明では、２つの電極のうち少なくとも１つが透明であれば良く、もう１つは金属などの不透明な電極であってもよい。
【００８０】
本発明の誘電体組成物を膜状にしたときの膜厚は、誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量や光線透過率が所望の値を満たす範囲内で任意に設定することができるが、０．０５μｍ以上である場合と、２０μｍ以下である場合が好ましく、さらに好ましくは、０．１μｍ以上である場合と、５μｍ以下である場合である。キャパシタとして大きな静電容量を確保するには膜厚が薄い方が好ましいが、０．０５μｍより厚い場合にはピンホールなどが発生しにくく、電気的絶縁を得やすくなる。また、０．１μｍ以上では、耐久性加速試験であるＰＣＴ（プレッシャークッカーテスト）後に誘電正接が増大しにくい。また、膜厚が２０μｍ以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。膜厚が５μｍ以下であると、十分高い光線透過率を得やすい。
【００８１】
誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量の温度変化、面内ばらつきは、小さい方が回路設計上好ましい。温度変化についても、できるだけ小さい方が好ましく、例えば、Ｘ７Ｒ特性（−５５〜１２５℃において静電容量の温度変化率が±１５％以内）を満たすことが好ましい。静電容量の面内ばらつきは、平均値に対して５％以下（静電容量の平均値−５％≦静電容量≦静電容量の平均値＋５％）であることが好ましい。
【００８２】
本発明の誘電体組成物は、電極で挟まれたキャパシタ用の層間絶縁材料以外にも用いることができる。例えば、エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料として用いることができる。この場合は、本発明の誘電体組成物膜は、電解液に接する面と反対の面が電極に接するように形成される。透明な高誘電率層を電解液に接する面に形成することで、電圧印加による電解液の濡れ性変化が大きくなり、電解液の移動速度が大きくなり、表示速度が大きいエレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーを実現することができる。
【００８３】
エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーに用いられる場合のように、本発明の誘電体組成物が電解液などの液状物質に接して用いられる用途においては、誘電体組成物へこのような液状物質が染み込むようなことが起きないようにすることが好ましい。染み込みを抑制するためには、（ａ）樹脂として吸湿、吸水の影響が少ないものを用いることが好ましい。低吸水性のエポキシ樹脂としては、キシリレンノボラック型、ビフェニルノボラック型、ジシクロペンタジエン型、ジシクロペンタジエンフェノールノボラック型、ジフェニルメタン型、ナフトールアラルキル型、ナフトールノボラック型、４官能ナフタレン型、ナフタレン骨格、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂等がある。低吸水性の硬化剤としては、例えば、フェノール系のノボラック樹脂等がある。
【００８４】
本発明のペースト組成物には、必要に応じて、安定化剤、分散剤、沈降分散剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解抑制剤、溶解調整剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤の添加を行っても良い。また、上記のような誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する場合には、ペースト組成物中に可塑剤、架橋剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤を含有することが好ましい。より好ましい添加剤の例としては、フッ素系の界面活性剤、フッ素系の表面改質剤が挙げられる。フッ素系の界面活性剤としては、大日本インキ化学工業（株）製の“メガファック”（商品名）Ｆ−４９３、Ｆ−４９４、Ｆ−４７０、Ｆ−４７５、Ｆ−４７７、Ｆ−４７８、Ｆ−４８２、Ｆ−４８７、Ｆ−１７２Ｄ、“ディフェンサ”（商品名）ＭＣＦ−３５０ＳＦ、住友スリーエム（株）製の“ノベック”（商品名）ＦＣ−４４３０などが挙げられる。
【００８５】
また、誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する方法として、ペースト組成物中に上記の添加剤を含有することの他に、誘電体組成物の膜表面上に、フッ素系の表面活性剤、フッ素系の表面改質剤、フッ素系のコーティング剤などを１μｍ厚以下の極薄で塗布し、誘電体組成物の膜表面上に透明被膜を形成しても良い。透明被膜の膜厚は、好ましくは０．５μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以下である。透明被膜の比誘電率は、誘電体組成物の比誘電率と比べて低いため、キャパシタとして大きな静電容量を確保するには、透明被膜の膜厚は薄い方が好ましい。透明被膜の膜厚が０．２μｍ以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。透明被膜の膜厚が０．５μｍ以下では十分高い光線透過率を得やすい。
【実施例】
【００８６】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。光線透過率、誘電特性、膜厚、高誘電率無機粒子の平均粒子径、分散液の粒度分布、リーク電流、電圧保持率の評価は下記の方法に従って測定した。
【００８７】
（１）光線透過率
顕微分光装置  ＭＣＰＤ−２０００（大塚電子（株）製）を用いて、（Ａ）ガラス基板の波長４００〜７００ｎｍの光線透過率、（Ｂ）ガラス基板上に誘電体組成物を形成したサンプルの波長４００〜７００ｎｍの光線透過率を測定した。本発明の誘電体組成物の光線透過率は（Ｂ）の光線透過率から（Ａ）の光線透過率を差し引いた差スペクトルとした。ガラス基板には、ソーダライムガラスを用いた。本発明の誘電体組成物の透過光スペクトルにおいて、本発明の実施例における光線透過率は波長４００ｎｍの値を代表値として用いた。光線透過率が波長４００ｎｍ以外で最小値を示すものについては、波長４００〜７００ｎｍで最も小さい値を示した光線透過率と、その値が得られた波長を記載した。
【００８８】
（２）誘電特性
誘電体組成物の静電容量は、インピーダンスアナライザ４２９４Ａおよびサンプルホルダー１６４５１Ｂ（共にアジレントテクノロジー（株）製）を用いて測定した。
【００８９】
実施例１〜４２および比較例１〜５については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数１ｋＨおよび１ＭＨｚにおける比誘電率を求めた。面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．３ｍｍのアルミニウム基板上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、直径１０ｍｍの円形パターンの測定用電極と内径１１．５ｍｍのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は１０μｍ〜２０μｍの範囲とした。測定用電極とアルミニウム基板に挟まれた部分が測定対象領域となる。比誘電率は静電容量と測定対象領域の寸法から算出した。
【００９０】
実施例４３〜６８および比較例６〜８については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数１ｋＨにおける比誘電率を求めた。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。ガラス基板は面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．７ｍｍ、透明電極はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）電極を用いた。ＩＴＯ電極は、膜厚１５０±１０ｎｍ、抵抗値８〜２０Ω／□、透過率≧８５％（測定波長５５０ｎｍ）を用いた。ＩＴＯ電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。アルミニウム電極は、直径１０ｍｍの円形パターンの測定用電極と内径１１．５ｍｍのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は実施例６８以外は１μｍ、実施例６８は１．１μｍとした。測定用電極とＩＴＯ電極に挟まれた部分が測定対象領域となる。
【００９１】
（３）膜厚
塗膜の膜厚は、塗膜と基板の段差をサーフコム１４００（東京精密（株）製）を用いて触針法により測定することで求めた。
【００９２】
（４）高誘電率無機粒子の平均粒子径
高誘電率無機粒子の平均粒子径は以下の方法で求めた。高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散し、凝集をほぐした状態にしたものをＴＥＭ観察用メッシュ上に滴下し、有機溶剤を蒸発させた後、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察を行った。透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察は倍率１０００００倍および２０００００倍において行った。得られた高誘電率無機粒子の透過型電子顕微鏡観察写真を画像解析ソフト（Ｓｃｉｏｎ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ社製、  Ｓｃｉｏｎ  Ｉｍａｇｅ）を用いて解析し、各高誘電率無機粒子の像の面積を求めた。このようにして得られた各無機フィラー像を円形と近似し、面積から粒子径を算出した。粒子径の算出は、１００個以上の粒子が撮影されている透過型電子顕微鏡写真を用いて写真内の全ての高誘電率無機粒子に対して行い、その平均値を平均粒子径とした。
【００９３】
（５）高誘電率無機粒子の分散液中の粒度分布
分散液の粒度分布は、粒度分布測定装置マイクロトラックＵＰＡ１５０（日機装（株）製）を用いて測定した。粒度分布は、５０％径、９０％径の値を用いた。５０％径とは、粉体の集合の全体積を１００％として累積カーブを求めたときに、その累積カーブが５０％となる点の粒子径の累積中位点（Ｍｅｄｉａｎ径）である。９０％径とは、その累積カーブが９０％となる点の粒子径である。
【００９４】
（６）リーク電流
誘電体組成物のリーク電流は以下のようにして測定した。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物を形成した。ガラス基板は面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．７ｍｍ、透明電極はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）電極を用いた。ＩＴＯ電極は、膜厚１５０±１０ｎｍ、抵抗値８〜２０Ω／□、透過率≧８５％（測定波長５５０ｎｍ）を用いた。ＩＴＯ電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。ＩＴＯ透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、厚さ３００ｎｍの直径２．５ｍｍの円形パターンの電極である。透明電極とアルミニウム電極に挟まれた部分が測定対象となる。透明電極とアルミニウム電極の間に２Ｖの電圧を印加し、電圧印加２０秒後に電流を測定した。この測定にはケースレーインスツルメンツ（株）製、エレクトロメータ／高抵抗システム６５１７Ａ型を用いた。
【００９５】
（７）電圧保持率
上記（６）と同じようにして、透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。透明電極付きガラス基板は上記（６）と同じものを用いた。
【００９６】
誘電体組成物の塗膜上に濃度１ｍＭの塩化カリウム水溶液を滴下し、塩化カリウム水溶液を介して、上部電極を配置し、上部電極／塩化カリウム水溶液／誘電体組成物／ＩＴＯ透明電極のサンドイッチ構造を形成した。塩化カリウム水溶液の液滴はサンドイッチ構造を形成した際に面積３ｍｍ２、厚み０．７ｍｍとなるように調整した。測定対象領域は、塩化カリウム水溶液と接した面積３ｍｍ２部分の上下電極に挟まれた部分となる。上部電極とＩＴＯ透明電極間に電位差５Ｖ、幅６０μｓの矩形電圧パルスを加えた。電圧保持率（ＶＨＲ）は、式（１）から計算した。Ｖ１は矩形電圧パルス印加時の上部電極とＩＴＯ透明電極間の電位差、Ｖ２はパルス立ち下がり後１６．６ｍｓ経過時の電極間電位差を表す。図１に各電位差と印加矩形電圧パルスの関係を示す。電圧保持率の測定は濃度１ｍＭの塩化カリウム水溶液を滴下し、３０秒後に行った。３回の測定値の平均値を、その誘電体組成物の電圧保持率（ＶＨＲ）とした。
【００９７】
ＶＨＲ＝Ｖ２／Ｖ１                        （１）        。
【００９８】
実施例１
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１を得た。エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピコート”（商品名）ＹＸ８０００）６．８重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、“リカシッド”（商品名）ＭＨ７００）４．７重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン１．２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を得た。エピコートＹＸ８０００はエポキシ当量２０５ｇ／ｅｑの液状エポキシ樹脂である。分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１を作製した。Ｃ−１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。
【００９９】
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５０％であった。
【０１００】
この試料の空隙率を測定したところ、３％であった。空隙率の測定は以下の方法で行った。シリコンウェハ上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。これを約２ｃｍ×２．５ｃｍの大きさにカットしたものを５枚作製した。次に、より正確な大きさをノギスを用いて採寸し、膜面積をもとめた。この膜面積と上記（３）の膜厚の測定方法で求めた膜厚から膜の嵩体積Ａを求めた。次にマイクロメリテックス社製のポアサイザー９３２０を用いて水銀圧入法（測定圧力範囲：１００ｋＰａ〜２０７ＭＰａ、セル容積１５ｃｍ２）により、細孔容積Ｂを求めた。空隙率Ｃ（％）は、Ｃ＝１００×Ｂ／Ａから求めた。
【０１０１】
ペースト組成物Ｃ−１を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３８であった。
【０１０２】
実施例２
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６５％であった。
【０１０３】
実施例３
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８５％であった。
【０１０４】
実施例４
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９３％であった。
【０１０５】
実施例５
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２を作製した。Ｃ−２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−２から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３６であった。
【０１０６】
実施例６
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５重量％であるペースト組成物Ｃ−３を作製した。Ｃ−３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−３から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１０７】
実施例７
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６３重量％であるペースト組成物Ｃ−４を作製した。Ｃ−４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−４から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１０８】
実施例８
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径０．０３μｍのチタン酸バリウムＴ−１を４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２を得た。分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−５を作製した。Ｃ−５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−５から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３５であった。
【０１０９】
実施例９
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。
【０１１０】
実施例１０
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９２％であった。
【０１１１】
実施例１１
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９６％であった。
【０１１２】
実施例１２
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−６を作製した。Ｃ−６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−６をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７８％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−６から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１１３】
実施例１３
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５重量％であるペースト組成物Ｃ−７を作製した。Ｃ−７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−７をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−７から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１７であった。
【０１１４】
実施例１４
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６３重量％であるペースト組成物Ｃ−８を作製した。Ｃ−８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−８をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８８％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−８から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１１５】
実施例１５
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−３を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−９を作製した。Ｃ−９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。
【０１１６】
ペースト組成物Ｃ−９を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１１７】
実施例１６
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。
【０１１８】
実施例１７
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９４％であった。
【０１１９】
実施例１８
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。
【０１２０】
実施例１９
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−１０を作製した。Ｃ−１０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１０をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１０から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３０であった。
【０１２１】
実施例２０
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物Ｃ−１１を作製した。Ｃ−１１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１１から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１６であった。
【０１２２】
実施例２１
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物Ｃ−１２を作製した。Ｃ−１２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１２から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１２３】
実施例２２
チタン酸ストロンチウム（ＴＰＬ，Ｉｎｃ．製、ＨＰＳ−２０００：平均粒子径０．０４５μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−４を得た。分散液Ａ−４を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１３を作製した。Ｃ−１３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。
【０１２４】
このペースト組成物Ｃ−１３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５５％であった。ペースト組成物Ｃ−１３を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は２７であった。
【０１２５】
実施例２３
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚２μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６５％であった。
【０１２６】
実施例２４
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚２μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７０％であった。
【０１２７】
実施例２５
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）２２４重量部、γ−ブチロラクトン１６５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１１重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−５を得た。分散液Ａ−５を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４０重量％であるペースト組成物Ｃ−１４を作製した。Ｃ−１４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６８％であった。
【０１２８】
ペースト組成物Ｃ−１４を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３４であった。
【０１２９】
実施例２６
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部と、γ−ブチロラクトンを８６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が８０重量％であるペースト組成物Ｃ−１５を作製した。Ｃ−１５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５１％であった。
【０１３０】
ペースト組成物Ｃ−１５を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は４１であった。
【０１３１】
実施例２７
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン３１５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−６を得た。分散液Ａ−６を７６．５重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４０重量％であるペースト組成物Ｃ−１６を作製した。Ｃ−１６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１６をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５０％であった。ペースト組成物Ｃ−１６を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３６であった。
【０１３２】
実施例２８
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径０．０５μｍのチタン酸バリウムＴ−２を４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−７を得た。分散液Ａ−７を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１８９重量部と、γ−ブチロラクトンを３６５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１７を作製した。Ｃ−１７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、２０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１７をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８２％であった。
【０１３３】
ペースト組成物Ｃ−１７を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は８であった。
【０１３４】
実施例２９
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）１５．３重量部、フェノールノボラック樹脂（日本化薬（株）製、“カヤハード”（商品名）ＫＴＧ−１０５）５．３重量部、硬化促進剤（北興化学（株）製、トリフェニルホスフィン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン２４．７重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−２を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−２を１０．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が７０重量％であるペースト組成物Ｃ−１８を作製した。Ｃ−１８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１８をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７２％であった。
【０１３５】
ペースト組成物Ｃ−１８を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１３６】
実施例３０
光重合性アクリル樹脂（ダイセル化学工業（株）製、“サイクロマー”（商品名））１００重量％、光ラジカル発生剤（チバスペシャルティケミカルズ社製、“イルガキュア” （商品名）３６９）１０重量部、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールメチルエーテルアセテート）９０重量部を室温にて２時間攪拌し、アクリル樹脂溶液Ｂ−３を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、アクリル樹脂溶液Ｂ−３を４．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１９を作製した。Ｃ−１９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化し、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７５％であった。
【０１３７】
ペースト組成物Ｃ−１９を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は２８であった。
【０１３８】
比較例１
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０５、平均粒子径：０．５μｍ）３２３重量部、γ−ブチロラクトン１８重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）０．２重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で１時間混合分散し、分散液Ａ−８を得た。エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＥＰＰＮ５０２Ｈ）１２．８重量部、フェノールノボラック樹脂（大日本インキ化学工業（株）製、ＴＤ−２１３１）７．８重量部、硬化促進剤（北興化学工業（株）製、トリフェニルホスフィン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン２４．８重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−４を得た。分散液Ａ−８を３４１．２重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−４を４５．６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が１１重量％であるペースト組成物Ｃ−２０を作製した。Ｃ−２０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９４重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２０をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１０μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８％であった。
【０１３９】
ペースト組成物Ｃ−２０を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は９５であった。
【０１４０】
比較例２
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０５：平均粒子径０．５μｍ）６２．３重量部、チタン酸バリウム（ＴＰＬ，Ｉｎｃ．社製、ＨＰＢ−１０００：平均粒子径０．０５９μｍ）２１．９重量部、γ−ブチロラクトン１５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）０．８重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−９を得た。エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＥＰＰＮ５０２Ｈ）２．２重量部、フェノールノボラック樹脂（大日本インキ化学工業（株）製、ＴＤ−２１３１）１．４重量部、硬化促進剤（北興化学工業（株）製、トリフェニルホスフィン）０．０４重量部、γ−ブチロラクトン７．１重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−５を得た。分散液Ａ−９を１００重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−５を１０．７重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が２０重量％であるペースト組成物Ｃ−２１を作製した。Ｃ−２１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９５重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１０μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５％であった。
【０１４１】
ペースト組成物Ｃ−２１を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は１２３であった。
【０１４２】
比較例３
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０１：平均粒子径０．１μｍ）２００重量部、トルエン４００重量部をホモジナイザー用いて氷冷下で１時間混練分散し、分散液Ａ−１０を得た。エポキシ樹脂ＹＤ−８１２５（東都化成（株）製、ＹＤ８１２５）１００重量部、硬化剤（日立化成工業（株）製、ＨＮ−５５００）９０重量部、硬化促進剤（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピキュア”（商品名）３０１０）１重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−６を得た。分散液Ａ−１０を６０重量部と、Ｂ−６を１．９重量部とを混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−２２を作製した。Ｃ−２２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて１２０℃で１５時間の熱処理を行い硬化させ、スピン速度を調整し、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は２８％であった。
【０１４３】
ペースト組成物Ｃ−２２を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、１２０℃で１５時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３４であった。
【０１４４】
比較例４
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）２２４重量部、γ−ブチロラクトン１０５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１１重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−１１を得た。分散液Ａ−１１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が３０重量％であるペースト組成物Ｃ−２３を作製した。Ｃ−２３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。ペースト組成物Ｃ−２２は粘度が高いため、スピンコーターでは平坦な塗膜が得られなかった。膜厚が２μｍ付近の部位において光線透過率を測定したところ、光線透過率（波長４００ｎｍ）は３５％であった。
【０１４５】
ペースト組成物Ｃ−２３を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は４０であった。
【０１４６】
比較例５
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部と、γ−ブチロラクトンを３２４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が９０重量％であるペースト組成物Ｃ−２４を作製した。Ｃ−２４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。しかしながら、粘度が低いため、完全な連続膜にはならなかった。そのため、この誘電体組成物の光線透過率は測定できなかった。
【０１４７】
ペースト組成物Ｃ−２４を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。しかしながら、完全な連続膜にはならなかったため、上下の電極が短絡し、誘電率の測定ができなかった。
【０１４８】
実施例３１
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１４４．２重量部、γ−ブチロラクトン３５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５．８重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で２時間混練分散し、分散液Ａ−１２を得た。分散液Ａ−１２における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の４重量％である。分散液Ａ−１２の粒度分布５０％径は０．２５μｍ、９０％径は０．４２μｍであった。分散液Ａ−１２は、高誘電率無機粒子の凝集が十分に解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
【０１４９】
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピコート”（商品名）ＹＸ８０００）６．８重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、“リカシッド”（商品名）ＭＨ７００）４．７重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を得た。分散液Ａ−１２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を８．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−２５を作製した。Ｃ−２５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５０】
ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７９％であった。ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１５１】
実施例３２
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）４１６．７重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）３３．３重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１３を得た。分散液Ａ−１３における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の８重量％である。分散液Ａ−１３の粒度分布５０％径は０．０４μｍ、９０％径は０．０７μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１２に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
【０１５２】
分散液Ａ−１３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−２６を作製した。Ｃ−２６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５３】
ペースト組成物Ｃ−２６を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８７％であった。ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２７であった。
【０１５４】
実施例３３
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１４を得た。分散液Ａ−１４における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１４の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１２、Ａ−１３に比べ十分に多く、高誘電率無機粒子の凝集を十分に解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が、原料高誘電率無機粒子の平均粒子径により近づいた。
【０１５５】
分散液Ａ−１４を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を２．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−２７を作製した。Ｃ−２７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５６】
ペースト組成物Ｃ−２７を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は８８％（波長５３０ｎｍ）であった。また、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２８であった。
【０１５７】
ペースト組成物Ｃ−２７をＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間乾燥させた後、１７５℃で４時間硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。ＩＴＯ付きガラス基板は、１７３７ガラス上にＩＴＯを１５０ｎｍの膜厚となるようスパッタリング法で形成されたものである。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９８％であった。
【０１５８】
誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／アルミ電極で構成されるキャパシタＤ−１を作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタＤ−１の１ｋＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１５９】
上部電極をアルミに代えＩＴＯを用い、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／ＩＴＯ電極で構成されるキャパシタＤ−２を作製した。上部電極のＩＴＯ層は、スパッタリング法を用いて形成した。さらに、上部電極をアルミ電極に代えＮｉ−Ｃｒ／銅層を用い、ガラス／ＩＴＯ電極１／誘電体組成物／Ｎｉ−Ｃｒ／銅で構成されるキャパシタＤ−３を作製した。上部電極は、Ｎｉ-Ｃｒ、銅の順にスパッタリングを行い、さらに電解銅めっきを行い導通層を形成し、エッチング法によってパターン加工を行い、形成した。キャパシタＤ−２、Ｄ−３の１ｋＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１６０】
実施例３４
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１５を得た。分散液Ａ−１５における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１５の粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０５μｍであった。
【０１６１】
分散液Ａ−１５を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３．４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２８を作製した。Ｃ−２８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６２】
ペースト組成物Ｃ−２８を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５７０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２８を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１６３】
実施例３５
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−１１１）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１６を得た。分散液Ａ−１６における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１６の粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。
【０１６４】
分散液Ａ−１６を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３．４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２８を作製した。Ｃ−２９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６５】
ペースト組成物Ｃ−２９を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２９を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１６６】
実施例３６
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）６５２重量部、γ−ブチロラクトン７５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９７．８重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１７を得た。分散液Ａ−１７における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１７の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。分散液Ａ−１７を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．７重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４８重量％であるペースト組成物Ｃ−３０を作製した。Ｃ−３０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６７】
ペースト組成物Ｃ−３０を用い、実施例１と同様にして膜厚４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は８８％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２６を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１６８】
実施例３７
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）４３２．６重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１７．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１８を得た。分散液Ａ−１８における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の４重量％である。分散液Ａ−１８の粒度分布５０％径は０．３０μｍ、９０％径は０．５５μｍであった。分散液Ａ−１２と同様に、高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が少なく、高誘電率無機粒子の凝集が十分には解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
【０１６９】
分散液Ａ−１８を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を８．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３１を作製した。Ｃ−３１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１７０】
ペースト組成物Ｃ−３１を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７８％であった。ペースト組成物Ｃ−３１を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１６であった。
【０１７１】
実施例３８
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）４２０．６重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２９．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１９を得た。分散液Ａ−１９における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の７重量％である。分散液Ａ−１９の粒度分布５０％径は０．０４μｍ、９０％径は０．０８μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１８に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
【０１７２】
分散液Ａ−１９を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を６．５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３２を作製した。Ｃ−３２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１７３】
ペースト組成物Ｃ−３２を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８９％であった。ペースト組成物Ｃ−３２を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１７４】
実施例３９
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３７５重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）７５重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２０を得た。分散液Ａ−２０における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２０重量％である。分散液Ａ−２０の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。平均粒子径０．０２７μｍの無機粒子を用いた分散液Ａ−１４と平均粒子径０．０１２μｍの無機粒子を用いた分散液Ａ−２０を比較すると、平均粒子径がより小さい場合、分散剤の含有量を多くするとその分散液は１次粒子に近い粒度分布を得ていることが分かる。
【０１７５】
分散液Ａ−２０を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−３３を作製した。Ｃ−３３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７５重量％となる。
【０１７６】
ペースト組成物Ｃ−３３を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５１０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３３を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１７７】
実施例４０
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３６０重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９０重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２１を得た。分散液Ａ−２１における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２５重量％である。分散液Ａ−２１の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。
【０１７８】
分散液Ａ−２１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−３４を作製した。Ｃ−３４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７２重量％となる。
【０１７９】
ペースト組成物Ｃ−３４を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９１％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３４を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１８０】
実施例４１
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３５２重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９８重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２２を得た。分散液Ａ−２２における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２８重量％である。分散液Ａ−２２の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。分散液Ａ−２２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３５を作製した。Ｃ−３５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７０重量％となる。
【０１８１】
ペースト組成物Ｃ−３５を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９２％（波長５１０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は９であった。なお、分散液Ａ−２２は分散剤の量が高誘電率無機粒子に対して２８重量％であるが、高誘電率無機粒子を高充填化することができなくなり、比誘電率が低下した。
【０１８２】
実施例４２
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２３を得た。分散液Ａ−２３における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−２３の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。
【０１８３】
分散液Ａ−２３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を２．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−３６を作製した。Ｃ−３６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１８４】
ペースト組成物Ｃ−３６を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９６％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９４％（波長５８０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３６を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１８５】
【表１】
2007214107.tif 000003
【０１８６】
【表２】
2007214107.tif 000004
【０１８７】
【表３】
2007214107.tif 000005
【０１８８】
実施例４３
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７３０．４重量部の順に混合し、分散液Ａ−２４Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２４Ａをベッセル内に送液、循環させた。ジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径０．５３７ｍｍである。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−２４Ｂを得た。分散液Ａ−２４Ｂの粒度分布５０％径は０．０６μｍ、９０％径は０．２２μｍであった。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径０．０５８ｍｍである。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２４Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、粒度分布が０．０２±０．０１μｍになるまで分散を行い、分散液Ａ−２４Ｃを得た。分散液Ａ−２４Ｃの粒度分布５０％径０．０２２μｍ、９０％径は０．０５１μｍであった。エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、エピコート（商品名）ＹＸ８０００）１７．５７重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、リカシッド（商品名）ＭＨ７００）１２．１３重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．３重量部、γ−ブチロラクトン１２．１３重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−８を得た。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−８を０．９４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．７重量％であるペースト組成物Ｃ−３７を作製した。Ｃ−３７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０１８９】
ペースト組成物Ｃ−３７を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であり、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９１％（波長５２０ｎｍ）であった。印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値は１５ｎＡ／ｃｍ２、電圧保持率は４％であった。
【０１９０】
誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／アルミ電極で構成されるキャパシタを作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタの１ｋＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１９１】
実施例４４
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）２２０．１８重量部、硬化剤（日本化薬（株）製、“カヤハード”（商品名）ＴＰＭ）７６．８２重量部、硬化促進剤（トリフェニルホスフィン）３重量部、γ−ブチロラクトン７６．８２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−９を得た。ＮＣ３０００はエポキシ当量２７８ｇ／ｅｑのビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂である。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を８．７４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１８重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５２．６重量％であるペースト組成物Ｃ−３８を作製した。Ｃ−３８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し３５重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９２】
実施例４５
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を４．３５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５９．４重量％であるペースト組成物Ｃ−３９を作製した。Ｃ−３９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し５０重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９３】
実施例４６
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−４０を作製した。Ｃ−４０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９４】
実施例４７
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−４１を作製した。Ｃ−４１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９５】
実施例４８
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．４４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．６重量％であるペースト組成物Ｃ−４２を作製した。Ｃ−４２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９６】
実施例４９
乾燥窒素気流下、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＢＡＨＦ）３０．０３ｇ（０．０８２モル）、１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン１．２４ｇ（０．００５モル）、末端封止剤として、３−ヒドロキシフタル酸無水物（東京化成工業（株）製）４．１ｇ（０．０２５モル）をＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）１００ｇに溶解させた。ここにビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物３１．０２ｇ（０．１モル）をＮＭＰ３０ｇとともに加えて、２０℃で１時間攪拌し、次いで５０℃で４時間攪拌した。その後、１８０℃で５時間攪拌した。攪拌終了後、溶液を水３Ｌに投入して白色沈殿を集めた。この沈殿をろ過で集めて、水で３回洗浄した後、２００℃の真空乾燥機で５時間乾燥した。得られたポリマー粉体を、赤外吸収スペクトルで測定したところ、１７８０ｃｍ−１付近、１３７７ｃｍ−１付近にポリイミドに起因するイミド構造の吸収ピークが検出された。 次に、このポリマー粉体１０ｇに光重合開始剤の１，２−オクタンジオン−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）０．４ｇ、熱架橋性化合物のニカラック（ＮＩＫＡＬＡＣ）ＭＷ−１００ＬＭ（商品名、（株）三和ケミカル製）１．５ｇ、着色剤のＡ−ＤＭＡ（商品名、保土谷化学工業（株）製）０．３ｇ、ＰＤＢＥ−２５０（商品名、（株）日本油脂製。重合性不飽和二重結合を有する化合物）８ｇ、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（重合性不飽和二重結合を有する化合物）２ｇをジアセトンアルコール１０ｇ、乳酸エチル２０．５ｇに溶解させ、光硬化型ポリイミド組成物溶液Ｂ−１０を得た。
【０１９７】
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部と光硬化型ポリイミド組成物溶液Ｂ−１０を１．２３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．３重量％であるペースト組成物Ｃ−４３を作製した。Ｃ−４３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０１９８】
ペースト組成物Ｃ−４３を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて１２０℃で１分間プリベークした。次に露光装置（ユニオン光学（株）製ＰＥＭ−６Ｍ）を用いて、露光量５００ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍの強度）で露光を行った。露光後、１２０℃で１分間ベークした後、光洋サーモシステム（株）製イナートオーブンＩＮＬ−６０を用いてＮ２雰囲気下で２００℃で６０分間熱処理し、硬化させて膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９９】
実施例５０
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を０．６１重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．０３重量部、γ−ブチロラクトン０．１９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−４４を作製した。Ｃ−４４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０２００】
ペースト組成物Ｃ−４４を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて８０℃で１０分間プリベークした。次に露光装置（ユニオン光学（株）製ＰＥＭ−６Ｍ）を用いて、露光量２０００ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍの強度）で露光を行って硬化させて膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０１】
実施例５１
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）２０８．５重量部、硬化剤（大日本インキ化学工業（株）製、“フェノライト”（商品名）ＶＨ４１５０）８８．５重量部、硬化促進剤（トリフェニルホスフィン）３重量部、γ−ブチロラクトン８８．５０重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１１を得た。“フェノライト”ＶＨ−４１５０はフェノール系のノボラック樹脂である。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−１１を０．８６重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．６重量％であるペースト組成物Ｃ−４５を作製した。Ｃ−４５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０２】
比較例６
γ−ブチロラクトン８４０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２５５．６５重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１７０４．３５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２５Ａを得た。ホモジナイザーのカップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．７ｋｇ充填した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２５Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２５Ｂを得た。分散液Ａ−２５Ｂは、粘度が高く、ベッセル内でビーズと分散液の分離が不十分であったため、さらに孔径１０μｍのフィルターを用いて濾過し、分散液Ａ−２５Ｃを得た。分散液Ａ−２５Ｃの粒度分布５０％径０．１０２μｍ、９０％径は０．２５４μｍであり、一次粒子径付近まで分散することは困難であった。分散液Ａ−２５Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を２．６２重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．００８重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が２８．９重量％であるペースト組成物Ｃ−４６を作製した。Ｃ−４６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２０３】
ペースト組成物Ｃ−４６を孔径０．４５μｍのフィルターで濾過することができなかった。ペースト組成物Ｃ−４６を孔径０．４５μｍのフィルターの代わりに孔径２μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０４】
実施例５２
γ−ブチロラクトン１１２０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１９．１３重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１４６０．８７重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２６Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．４６ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２６Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２６Ｂを得た。分散液Ａ−２６Ｂの粒度分布５０％径０．０４５μｍ、９０％径は０．１０４μｍであった。分散液Ａ−２６Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を２．２５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が３７．８重量％であるペースト組成物Ｃ−４７を作製した。Ｃ−４７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０５】
実施例５３
γ−ブチロラクトン１４００重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１８２．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１２１７．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２７Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．２ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２７Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２７Ｂを得た。分散液Ａ−２７Ｂの粒度分布５０％径０．０３８μｍ、９０％径は０．０８μｍであった。分散液Ａ−２７Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．８８重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１ｇとをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４７重量％であるペースト組成物Ｃ−４８を作製した。Ｃ−４８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０６】
実施例５４
γ−ブチロラクトン２２４０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）７３．０４重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）４８６．９６重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２８Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．５ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２８Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２８Ｂを得た。分散液Ａ−２８Ｂの粒度分布５０％径０．０２１μｍ、９０％径は０．０５μｍであった。分散液Ａ−２８Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．７５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が７７．３重量％であるペースト組成物Ｃ−４９を作製した。Ｃ−４９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０７】
比較例７
γ−ブチロラクトン２５２０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）３６．５２重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）２４３．５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２９Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．２４ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２９Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２９Ｂを得た。分散液Ａ−２９Ｂの粒度分布５０％径０．０２１μｍ、９０％径は０．０５１μｍであった。分散液Ａ−２９Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．３８重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が８８．４重量％であるペースト組成物Ｃ−５０を作製した。Ｃ−５０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２０８】
ペースト組成物Ｃ−５０を用い、実施例４３と同様にして、誘電体組成物（硬化膜）を得たが、粘度が低く、膜厚１μｍ以上の硬化膜が得られず、膜厚は０．３μｍであった。実施例４３と同様にして評価を行った。また、印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値が、２０ｍＡ以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができなかった。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができなかった。この誘電体組成物の電圧保持率は０％であった。結果は表４に示した。
【０２０９】
実施例５５
分散液Ａ−２４Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５１を作製した。Ｃ−５１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２１０】
ペースト組成物Ｃ−５１を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過したが、すぐに目詰まりしてしまい、濾過することが困難であった。ペースト組成物Ｃ−５１を孔径０．４５μｍの代わりに孔径２μｍのフィルターを用いて濾過した後、実施例４３と同様にして膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１１】
実施例５６
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１４０重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）７００重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３０Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３０Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３０Ｂを得た。分散液Ａ−３０Ｂの粒度分布５０％径０．０１３μｍ、９０％径は０．０３７μｍであった。分散液Ａ−３０Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５２を作製した。Ｃ−５２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１２】
実施例５７
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０３０Ｒ：平均粒子径０．０３μｍ）７３０．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３１Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７３ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３１Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３１Ｂを得た。分散液Ａ−３１Ｂの粒度分布５０％径０．０４８μｍ、９０％径は０．０８２μｍであった。分散液Ａ−３１Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５３を作製した。Ｃ−５３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１３】
実施例５８
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２４．５重量部、チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）８１５．５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３２Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．８１５ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３２Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３２Ｂを得た。分散液Ａ−３２Ｂの粒度分布５０％径０．１５μｍ、９０％径は０．２７μｍであった。分散液Ａ−３２Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５４を作製した。Ｃ−５４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１４】
実施例５９
分散液Ａ−３０Ｂを遠心分離にかけ上澄み部分のみを抽出し、分散液Ａ−３０Ｃを得た。遠心分離は、（株）日立ハイテクノロジーズ製の分離用小形超遠心機“ｈｉｍａｃ、ＣＳ１００ＧＸＬ”（商品名）に同社製の“Ｓ５５Ａアングル形ローター（商品名）をセットし、５００００ｒｐｍで、１０分間処理を行った。さらにロータリーエバポレーターを用いて分散液Ａ−３０Ｃを濃縮し、分散液Ａ−３０Ｄを得た。分散液Ａ−３０Ｄの粒度分布５０％径０．００８μｍ、９０％径は０．０１９μｍであった。分散液Ａ−３０Ｄを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５５を作製した。Ｃ−５５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１５】
実施例６０
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０４０ＲＦ：平均粒子径０．０４μｍ）７３０．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３３Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７３ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３３Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３３Ｂを得た。分散液Ａ−３３Ｂの粒度分布５０％径０．０４９μｍ、９０％径は０．０９２μｍであった。分散液Ａ−３３Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５６を作製した。Ｃ−５６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１６】
比較例８
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）８．３重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）８３１．７重量部の順に混合し、分散液Ａ−３４Ａを得た。分散液Ａ−３４Ａは粘度が高く、ビーズで分散できる状態ではなかったため、γ−ブチロラクトンで希釈した後、ホモジナイザーで分散し、分散液Ａ−３４Ｃを得た。分散液Ａ−３４Ｃの粒度分布５０％径は０．５６μｍ、９０％径１．３μｍであった。分散液Ａ−３４Ｃとエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を混合し、硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７３重量％となるように調整したペースト組成物Ｃ−５７を得た。ペースト組成物Ｃ−５７はペースト全量に対する含有有機溶剤量が８８％となった。
【０２１７】
ペースト組成物Ｃ−５７は孔径２μｍのフィルターを用いて濾過することができなかった。ペースト組成物Ｃ−５７をＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させて、誘電体組成物の膜を得た。この誘電体組成物の波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は測定部位によるばらつきが大きく、５〜１０％の範囲であった。また、印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値が、２０ｍＡ以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができなかった。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができなかった。この誘電体組成物の電圧保持率は０％であった。
【０２１８】
実施例６１
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）６２．２２重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７７７．７８重量部の順に混合し、分散液Ａ−３５Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３５Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３５Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３５Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、９０分間分散し、分散液Ａ−３５Ｃを得た。また、１２０分間分散した分散液Ａ−３５Ｄを得た。分散液Ａ−３５Ｃの粒度分布５０％径は０．０２７μｍ、９０％径は０．０６１μｍであった。分散液Ａ−３５Ｄの粒度分布５０％径は０．０３５μｍ、９０％径は０．０７４μｍとなり、実施例４６より分散剤が少ないため、長時間の分散では粒度分布の増加が確認された。分散液Ａ−３５Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．５６重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５８を作製した。Ｃ−５８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１９】
実施例６２
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１４０重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７００重量部の順に混合し、分散液Ａ−３６Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３６Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３６Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３６Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、１２０分間分散し、分散液Ａ−３６Ｃを得た。分散液Ａ−３６Ｃの粒度分布５０％径は０．０２１μｍ、９０％径は０．０４９μｍであった。分散液Ａ−３６Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５９を作製した。Ｃ−５９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２２０】
実施例６３
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１８３．７５重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）６５６．２５重量部の順に混合し、分散液Ａ−３７Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３７Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３７Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３７Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、１２０分間分散し、分散液Ａ−３７Ｃを得た。分散液Ａ−３７Ｃの粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０４７μｍであった。分散液Ａ−３７Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．４２重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６０を作製した。Ｃ−６０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４３と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２２１】
実施例６４
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を６．４３重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、イルガキュア（商品名）１８４）を０．３２重量部、γ−ブチロラクトン１．９９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５２．６重量％であるペースト組成物Ｃ−６１を作製した。Ｃ−６１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し３５重量％である。実施例５０と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２２】
実施例６５
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を３．２重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．１６重量部、γ−ブチロラクトン０．９９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５９．４重量％であるペースト組成物Ｃ−６２を作製した。Ｃ−６２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し５０重量％である。実施例５０と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２３】
実施例６６
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を０．８３重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．０４重量部、γ−ブチロラクトン０．２６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６３を作製した。Ｃ−６３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例５０と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２４】
実施例６７
乳酸エチル１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７３０．４重量部の順に混合し、分散液Ａ−３８Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３８Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３８Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３８Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、粒度分布が０．０２±０．０１μｍになるまで分散を行い、分散液Ａ−３８Ｃを得た。分散液Ａ−３８Ｃの粒度分布５０％径は０．０２２μｍ、９０％径は０．０４９μｍであった。
【０２２５】
分散液Ａ−３８Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６４を作製した。Ｃ−６４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例５０と同様にして評価を行った。結果を表７に示した。
【０２２６】
実施例６８
ペースト組成物Ｃ−６４を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。さらに、この誘電体組成物上にフッ素系界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製、“ディフェンサ”（商品名）ＭＣＦ−３５０ＳＦ）を用いて０．１μｍ厚の透明被膜を形成した。実施例４３と同様にして評価を行った。結果を表７に示した。
【０２２７】
【表４】
2007214107.tif 000006
【０２２８】
【表５】
2007214107.tif 000007
【０２２９】
【表６】
2007214107.tif 000008
【０２３０】
【表７】
2007214107.tif 000009
【産業上の利用可能性】
【０２３１】
本発明の、ペースト組成物および誘電体組成物は、ディスプレイの表示部に使用される透明キャパシタ用材料や、エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料などとして好適に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２３２】
【図１】実施例における電圧保持率の算出で用いた上部電極とＩＴＯ透明電極間の電位差と印加矩形パルスの関係を示した図
【図１】
2007214107.tif 000010
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月24日(2007.5.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、（ｃ）有機溶剤、および分散剤を含有するペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であり、分散剤の含有量が（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し５重量％以上２５重量％以下であるペースト組成物。
【請求項２】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下である請求項１記載のペースト組成物。
【請求項３】
（ａ）樹脂が熱硬化性である請求項１記載のペースト組成物。
【請求項４】
（ａ）樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項１記載のペースト組成物。
【請求項５】
請求項１記載のペースト組成物を硬化させて得られる、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有する誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物。
【請求項６】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下である請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項７】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し３０重量％以上９９重量％以下である請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項８】
波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項９】
周波数１ｋＨｚにおける比誘電率が１０以上、３００以下である請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項１０】
（ａ）樹脂が熱硬化性である請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項１１】
（ａ）樹脂がアクリル樹脂もしくはエポキシ樹脂を有する請求項５記載の誘電体組成物。
【請求項１２】
請求項５〜１１のいずれか記載の誘電体組成物と、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である透明電極を有するキャパシタ。
【請求項１３】
金属、セラミックス、ガラスのいずれかの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下であるビーズを分散メディアとして用いて、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散して（ｄ）分散液を作製し、次に樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液と（ｄ）分散液とを混合する請求項１記載のペースト組成物の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フラットパネルディスプレイ、フレキシブルディスプレイ、電子ペーパー、携帯情報端末のディスプレイ、タッチパネルなどの情報表示部材で、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタなどを形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタに関する。
【背景技術】
【０００２】
実装基板に内蔵するキャパシタ用の層間絶縁膜を作製する方法として、高誘電率無機粒子を樹脂中に分散したペースト組成物を塗布、乾燥、硬化させるという方法が知られている（特許文献１〜２参照）。しかしながら、これらの方法により作製された層間絶縁膜は、用いている粒子の粒子径が大きいためと、膜厚が厚いためから、不透明であり、透明誘電体膜として用いることが困難であった。
【０００３】
一方、液晶配向膜樹脂中に高誘電率無機粒子を分散させ、比誘電率を６〜７に高めるという技術も知られている（特許文献３参照）。この技術では樹脂単体の２〜２．５倍となる比誘電率を得ているが、比誘電率の値が６〜７と不十分で、この膜を層間絶縁膜とするキャパシタの静電容量は小さく実用的でない。
【０００４】
無機粒子の樹脂材料中への分散は、まず、有機溶剤中へ無機粒子を良好に分散させた分散液を製造し、その後、分散液を樹脂と混合することで達成することができる。市販されている平均粒子径がナノメートル〜数十ナノメートルオーダーである無機粒子は、個々の粒子（１次粒子）を適度に凝集させ、平均粒子径が数十μｍの粉体状の粒子（２次粒子）として提供されている場合が多い。したがって、平均粒子径が０．０６μｍ以下の無機粒子の分散液を製造するためには、分散媒中で、これら２次粒子の凝集を解し、１次粒子が安定に分散した分散液を製造する必要がある。しかしながら、無機粒子の粒子径がより微小になると、凝集した無機粒子にせん断応力を加えるための機構が粒子サイズに追随できなくなることから、無機粒子を分散媒中で均一分散させることが非常に困難となる。また、粒子重量に対する表面積の割合が高くなるため、分散が進行すると分散液の粘度が増加し、分散をさらに進めることが難しくなる。
【０００５】
他方、無機粒子を１次粒子の状態にして分散させる方法として、ホモジナイザーやビーズミル、超音波分散機などの分散装置を用いる方法が知られている。特に、無機粒子を平均粒子径０．０６μｍ以下の微小粒子へと分散するには、微小ビーズの摩擦によるせん断応力により分散を促進するビーズミルを好ましく用いることができる。
【０００６】
例えば、粒子径７０ｎｍ以下のシリカ粒子を有機溶剤中へ、ビーズミルを用いて分散させるものがある（特許文献４参照）。しかしながら、特許文献４に記載された方法は、シリカ粒子という極性が高く有機溶剤への分散が比較的容易な無機粒子についての方法であり、他の無機粒子に対しては有効でない。さらに、分散が容易なシリカ粒子においても、分散媒に使用する有機溶剤はアルコール系に限定され、ビーズミルでの分散後、遠心分離機を用いて、粒子径を小さくしている。また特許文献４には、アルミナなどのシリカ粒子よりも極性が小さい粒子に関する分散例が示されているが、シリカ粒子以外については具体的な粒子径分布が示されておらず、１次粒子までの分散達成は難しいと考えられる。極性が小さい粒子として、ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子であるチタン酸バリウムなどが挙げられる。
【０００７】
また、ビーズミルを用いたナノメートルオーダーの炭素粒子の分散を行う方法も提案されている（特許文献５参照）。しかしながら、特許文献５に記載された方法では、分散媒としては極性が高い水を用いており、一般的な有機溶剤よりも分散が容易である。したがって、一般的な有機溶剤に対しては、特許文献５に記載された方法は有効でない。
【０００８】
これら従来の分散方法は、無機粒子の種類や大きさ、分散媒の種類によって分散の度合いが左右されることが多く、なかでもペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分散に適用した場合、安定した分散性を実現することは非常に困難であった。
【特許文献１】特開２００５−３８８２１号公報（特許請求の範囲）
【特許文献２】特開２００４−２８５１０５号公報（特許請求の範囲）
【特許文献３】特開平４−７０８１８号公報（特許請求の範囲）
【特許文献４】特開２００４−３４６２８８号公報（６頁、実施例）
【特許文献５】特開２００５−１９８３号公報（特許請求の範囲）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
かかる状況に鑑み、本発明は、透明性が必要とされる領域に透明な高誘電率層を形成し、層間絶縁膜として透明電極などと組み合わせることにより透明なキャパシタや帯電量を制御できる透明誘電体層を形成することができるペースト組成物および誘電体組成物、およびそれらによって形成された透明キャパシタを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
すなわち（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、（ｃ）有機溶剤、および分散剤を含有してなるペースト組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であり、分散剤の含有量が（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し５重量％以上２５重量％以下であるペースト組成物であり、その製造方法である。
【００１１】
また、本発明のもう一つの態様は、前記ペースト組成物を硬化させて得られる、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を含有してなる誘電体組成物であって、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である誘電体組成物と、その誘電体組成物を絶縁膜として用いたキャパシタである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、比誘電率が大きく、波長４００〜７００ｎｍの全域において光線透過率が高い誘電体組成物およびそれを得るための原料となるペースト組成物を得ることができる。さらには、本発明の組成物は、１μｍという薄膜においても、リーク電流が小さく、電圧保持率が大きい。またこれらの誘電体組成物は、ディスプレイ部材などの高い可視光透過率を要求される用途でのキャパシタ用層間絶縁膜を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明のペースト組成物は、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、（ｃ）有機溶剤、および分散剤を含有しており、（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であって、全有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であり、分散剤の含有量が（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に対し５重量％以上２５重量％以下である。
【００１４】
本発明で用いる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は、０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、好ましくは０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下であり、より好ましくは０．００２μｍ以上であることや０．０３μｍ以下であることである。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０６μｍ以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物の表面が平滑になりやすくなり、そのため表面での光の散乱が小さくなり、その結果、光線透過率を大きくできる。伝搬する光線が受けるレーリー散乱の強度は、光線が通過する媒質中にある粒子の粒子径の３乗に正の相関関係があるため、誘電体組成物中の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径が小さいほど、（ｂ）高誘電率無機粒子による光線透過を阻害するレーリー散乱は小さくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０４μｍ以下であると、ペースト組成物を硬化させて得られる誘電体組成物に光を透過させる際に（ｂ）高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱の抑制効果が顕著となり、光線透過率を大きくしやすくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．０３μｍ以下であると、ペースト中の（ｂ）高誘電率無機粒子の沈降が起きにくくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上であると高誘電率無機粒子の結晶性が良くなるために、（ｂ）高誘電率無機粒子の誘電率を大きくすることができるため、誘電体組成物の誘電率を大きくしやすくなる。
【００１５】
本発明のペースト組成物中の全有機溶剤量は、ペースト組成物全量の３５重量％以上８５重量％以下であり、さらには、４５重量％以上であることや、７５重量％以下であることが好ましい。有機溶剤量がペースト組成物全量の８５重量％以下では、ペースト中の固形分量が十分多くなるため、塗布膜を形成した際に膜厚が薄い場合にも連続膜が得やすくなる。有機溶剤量がペースト組成物全量の７５重量％以下では、乾燥時の有機溶剤揮発による空隙の発生が抑制される。このため誘電体組成物の誘電率を大きくすることができ、かつ空隙によるレーリー散乱が抑制され光線透過率を高くすることができ、また吸湿の原因となりうる空隙の量が小さいために、湿度、水分の影響による物性変化を小さくできる。有機溶剤量がペースト組成物全量の３５重量％以上では、分散処理する前の段階においての）高誘電率無機粒子の過剰な凝集を防ぎ粘度を低くできるため、分散処理開始時点において極端に高い粘度であると分散処理を開始できないことがあるビーズミルなどの分散装置での分散処理を行いやすい。有機溶剤量がペースト組成物全量の４５重量％以上では、高誘電率無機粒子を均一に分散した後のペーストの粘度も低くすることができるため、膜厚均一性が高い塗布膜を形成しやすい。
【００１６】
ペースト組成物は、例えば、高誘電率無機粒子を液状樹脂や樹脂溶液に加えて混合分散する方法や、予め高誘電率無機粒子を適当な有機溶剤中に分散した分散液を作製し、その分散液と液状樹脂もしくは樹脂溶液を混合するレットダウン法などによって作製される。また、樹脂または有機溶剤中へ高誘電率無機粒子を分散させる方法は特に限定されず、例えば、超音波分散機、ボールミル、ロールミル、クレアミックス、ホモジナイザー、ビーズミル、メディア分散機などを使用する方法を用いることができるが、特に、高い分散性が達成できる点でボールミル、ホモジナイザー、ビーズミルを用いるのが好ましい。
【００１７】
高誘電率無機粒子を分散させる際、分散性を向上させるために、例えば、高誘電率無機粒子の表面処理、組成物への界面活性剤の添加、溶剤の添加などを行ってもよい。
【００１８】
高誘電率無機粒子の表面処理としては、シラン系、チタン系、アルミニウム系などの各種カップリング剤、脂肪酸、リン酸化合物などによる処理のほか、ロジン処理、酸性処理、塩基性処理などが挙げられる。ここで、高誘電率無機粒子の表面処理は、組成物を作製する前に、高誘電率無機粒子に施す表面処理であってもよく、また、上記の処理剤を組成物中に添加し、結果として高誘電率無機粒子の表面に上記の処理剤が付着する態様のいずれでもよい。
【００１９】
組成物へ添加する分散剤の例としては、リン酸、カルボン酸、脂肪酸、およびそれらのエステル類などの酸基を有するものなどが挙げられる。チタン酸バリウムなど表面が塩基性である高誘電率無機粒子を分散させる場合には、酸−塩基相互作用を利用して分散剤を高誘電率無機粒子表面と相互作用させることができるため、酸基を有する分散剤を用いることが有効であり、特に、リン酸エステル骨格を有する化合物が好ましく用いられる。リン酸エステル骨格を有する化合物が含まれる分散剤としては、ビックケミー・ジャパン（株）製：商品名“Ｄｙｓｐｅｒｂｙｋ−１１１”、同じく“ＢＹＫ−Ｗ９０１０”などがある。その他、リン酸トリメチル、リン酸トリエチル、リン酸トリブチルなどのリン酸アルキルやリン酸アクリレートなども有効な場合がある。また、組成物へ添加する分散剤は高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。
【００２０】
添加する分散剤の量は、高誘電率無機粒子に対し、５量％以上２５重量％以下である。分散剤の量が５重量％以上であると高誘電率粒子の良好な分散が達成されやすくなる。分散剤は、分散処理等によって凝集が解された粒子の表面を覆うことで粒子の再凝集を阻害し、分散を維持する効果を有している。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し５重量％以上であると、高誘電率粒子の粒子径が０．０２μｍ以下の場合にも前述の分散剤の効果が発現し、良好な分散が得られ、誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすい。分散剤の量が高誘電率無機粒子に対し２５重量％以下であると誘電率を大きくしやすくなる。
【００２１】
そのほか、分散性を良好にするための手段として、ノニオン性、カチオン性、アニオン性の界面活性剤、多価カルボン酸などの湿潤剤、両親和性物質、高立体障害の置換基を有する樹脂などの添加が挙げられる。これらの添加剤は、高誘電率無機粒子の表面処理剤として用いられてもよい。また、有機溶剤の添加によって、分散時または分散後の系の極性を制御することができる。有機溶剤としては、樹脂を溶解するものであり、かつ分散剤との相溶性のあるものを適宜選択すれば良い。例えば、エタノール、ｉ−プロパノール、ｎ−ブタノール、ベンジルアルコール、イソブチルアルコール、メトキシメチルブタノールなどのアルコール類、クロロベンゼン、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどの芳香族炭化水素類、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブチルセロソルブアセテート等のセロソルブエステル類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート等のプロピレングリコールエステル類、１，２−ジメトキシエタン、１，２−ジエトキシエタン、テトラヒドロフラン、アニソールなどのエーテル類、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチル−ｎ−アミルケトン、シクロヘキサノン、γ−ブチロラクトン、γ−ブチロラクタム、ジオキサン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノンなどのケトン類、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、スルホラン、テトラヒドロフラン、イソホロン、トリクロロエチレン、乳酸エチル、酢酸ブチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルなどや、これらのうちの１種類以上を含有する混合物を有機溶剤として用いることができる。
【００２２】
また本発明で用いる有機溶剤は沸点１６０℃以上であることが好ましい。有機溶剤の沸点が１６０℃以上では、誘電体組成物内での空隙発生が抑制されて、誘電体組成物の比誘電率を高くしやすい。沸点が１６０℃より低いと、有機溶剤の揮発速度が速いため、熱処理時の物質移動による緻密化が追いつかず、空隙部が増加し、誘電体組成物の誘電率が低下することが多くなる。より好ましくは１８０℃以上、さらにより好ましくは２００℃以上である。また、本発明で用いられる有機溶剤は、沸点３００℃以下であることが好ましく、より好ましくは２８０℃以下である。沸点が２８０℃より高くなると、脱有機溶剤のための処理が高温となり、高温処理によって樹脂が分解し、誘電特性の劣化や機械的強度の低下などが起こる。また３００℃より大きくなると、樹脂の分解がより激しくなり、機械強度の低下が起きる。本発明のペースト組成物に使用する有機溶剤は、沸点１６０℃以上の有機溶剤１種のみでもよいが、沸点１６０℃以上の有機溶剤を含有していれば、それ以外の溶剤を含んでいても空隙発生が抑制される効果が得られやすくなる。また、ペースト組成物は必要に応じて、安定化剤、沈降防止剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解調整剤、界面活性剤、消泡剤などの添加剤などを含有してもよい。
【００２３】
沸点１６０℃以上の有機溶剤としては、メシチレン、アセトニルアセトン、メチルシクロヘキサノン、ジイソブチルケトン、メチルフェニルケトン、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクトン、イソホロン、ジエチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン、γ−ブチロラクタム、エチレングリコールモノアセテート、エチレングリコールジアセテート、３−メトキシ３−メチルブタノールおよびそのアセテート、３−メトキシブチルアセテート、２−エチルヘキシルアセテート、シュウ酸エステル、マロン酸ジエチル、マレイン酸エステル、炭酸プロピレン、ブチルセロソルブ、エチルカルビトール等がある。
【００２４】
本発明でいう沸点とは、１気圧、即ち1．０１３２５×１０５Ｎ／ｍ２の圧力下での沸点である。沸点の測定は公知の技術を用いて行うことができ、特に限定されないが、例えば、Swietoslawskiの沸点計を用いることで測定できる。
【００２５】
なお、高誘電率無機粒子の充填率が高くなるにつれて、上記有機溶剤量による影響は大きくなり、高誘電率無機粒子がペースト組成物に含まれる有機溶剤を除く成分の総重量の８０重量％以上の場合に、本発明の効果が特に大きい。
【００２６】
次に、ペースト組成物を基板などの被着体に塗布する方法としては、特に限定されず、例えば、スクリーン印刷機、ブレードコーター、スピンコーター、バーコーターなどを用いて塗布する方法が挙げられる。続いて塗布後の膜に対し、ホットプレート、オーブンなどの加熱装置を用いて、脱有機溶剤や熱硬化を行う。
【００２７】
ペースト組成物を塗布する被着体（例えば基板）としては、例えば、有機系基板、無機系基板、およびこれらの基板に回路の構成材料が配置されたものから選択できる。有機系基板の例としては、樹脂基板、紙・フェノール銅張積層板、紙・エポキシ銅張積層板、紙・ポリエステル銅張積層板などの紙基材銅張積層板、ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス布・ポリイミド銅張積層板、ガラス布・テフロン（登録商標）銅張積層板などのガラス基材銅張積層板、紙・ガラス布・エポキシ銅張積層板、ガラス不織布・エポキシ銅張積層板などのコンポジット銅張積層板、ポリエーテルイミド基板、ポリエーテルケトン基板、ポリサルフォン系樹脂基板、ポリカーボネート基板、ポリイミド基板、ポリエステルなどの樹脂基板、ポリエステルフィルム、ポリエステル銅張フィルム基板、ポリイミドフィルム、アラミドフィルム、ポリイミド銅張フィルム基板、各種液晶ポリマーフィルムなどのフレキシブル基板が挙げられる。
【００２８】
また、無機系基板の例としては、アルミナ基板、窒化アルミニウム基板、炭化ケイ素基板などのセラミック基板、アルミニウムベース基板、鉄ベース基板などの金属系基板、そのほか、ガラス基板、シリコン基板、石英基板などが挙げられる。
【００２９】
回路の構成材料の例としては、銀、金、銅、クロム、ニッケル、チタンやこれらの合金などの金属や、インジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム−亜鉛酸化物、酸化錫、酸化インジウム、酸化亜鉛やこれらにその他元素のドープしたものなどを含有する導体、無機系酸化物などを含有する抵抗体、ガラス系材料および／または樹脂などを含有する低誘電体、樹脂や高誘電率無機粒子などを含有する高誘電体、ガラス系材料などを含有する絶縁体などが挙げられる。
【００３０】
本発明の誘電体組成物は、前記ペースト組成物を硬化させて得られるものであり、（ａ）樹脂、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有し、かつ（ｂ）高誘電率無機粒子の平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下である。本発明の誘電体組成物は、波長４００〜７００ｎｍの全域の光線透過率が５０％以上１００％以下であることが好ましく、より好ましくは７０％以上１００％以下であり、さらに好ましくは、９０％以上１００％以下である。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が５０％以上となると、誘電体組成物を透過した光で情報表示を行うという透明性の機能を満足できるようになる。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が７０％以上となると、誘電体組成物を透過した光でモノクロメーターでの情報表示が行いやすくなる。波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が９０％以上となると、誘電体組成物を透過した光でカラーでの情報表示が行いやすくなる。ここで波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率が５０％以上１００％以下であるとは、光線透過率に波長依存性がある場合に、誘電体組成物の波長４００〜７００ｎｍの透過光スペクトルにおいて光線透過率の最小値が５０％以上であるということと同義である。これらの光線透過率は、樹脂中に存在する（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の良好な分散性に依り、これは前述した分散技術によって達成できる。
【００３１】
波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率は、可視分光光度計を用いて測定することができる。誘電体組成物が膜状である場合は、波長４００〜７００ｎｍの全域において吸収を持たない材料であるガラスや石英などの基板上に誘電体組成物膜を形成したものを光線透過率測定用試料として用いればよい。
【００３２】
本発明の誘電体組成物は比誘電率が１０以上３００以下であることが良い。好ましくは比誘電率が２０以上である場合と、８０以下である場合である。より好ましくは比誘電率が３０以上である場合と、５０以下である場合である。誘電体組成物を層間絶縁膜として用いた場合に、比誘電率が１０以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成することが容易となる。また、比誘電率が２０以上では、大きな容量をもつキャパシタを形成する場合に、層間絶縁膜を極端に薄くする必要がないため、層間絶縁膜にリーク電流発生の原因となるピンホールが発生しにくくなる。比誘電率が３０以上となると、容量の大きなキャパシタを形成する場合にも、層間絶縁膜を比較的厚く形成することができるため、絶縁耐圧を大きくしやすくなる。多くのペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率は、粒子径の大きさと正の相関関係がある。本誘電体組成物の比誘電率が３００以下の場合、ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子に極端に比誘電率が大きいものを用いる必要がないため、粒子径が比較的小さいペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を用いることができ、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率を大きくしやすい。本誘電体組成物の比誘電率を８０より大きくしようとすると、粒子充填率を単一粒子径のものを用いた場合の最密充填以上とすることが必要となる場合が多い。
【００３３】
したがって、本誘電体組成物の比誘電率が８０以下の場合は、単一粒子径のみからなる場合に近い、粒子径分布が非常にシャープな高誘電率無機粒子を用いることが可能となる。本誘電体組成物の比誘電率が５０以下の場合は、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の誘電率が極端に大きなものを用いる必要がないため、高誘電率無機粒子の材料選択の幅が広がる。
【００３４】
本発明で用いる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、その平均粒子径が０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であり、０．００２μｍ以上０．０４μｍ以下であることが好ましい。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は、より好ましくは０．００５μｍ以上である場合と、０．０３μｍ以下である場合である。平均粒子径が０．００２μｍ以上となると、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率を大きくしやすくなる。平均粒子径が０．００５μｍ以上となると、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が凝集しにくくなり、樹脂に均一に分散させやすくなる。平均粒子径が０．０４μｍ以下となると、誘電体組成物に光を透過させる際に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子により起こるレーリー散乱が抑制されるために、光線透過率を大きくしやすくなる。平均粒子径が０．０３μｍ以下となると、レーリー散乱抑制効果がより大きくなり誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすくなるだけでなく、誘電体組成物製造時に発生しやすく（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の分布の偏りの原因となる沈降がおきにくくなる。
【００３５】
本発明の誘電体組成物の製造方法として、液状もしくは溶液状の未硬化樹脂に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が分散されたペーストなどの流動性がある状態のものを、加熱などにより固化させるというものがある。このような場合、一般に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比重が樹脂の比重より大きいために、流動性がある状態では重力で粒子が分散体の下部に沈むという沈降がおきやすい。しかしながら、粒子径が小さくなると、粒子１つ１つの重量が小さくなり、ブラウン運動による影響が大きくなり、粒子が沈降しにくくなる。
【００３６】
誘電体組成物内を進む光のレーリー散乱の大きさは（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子径の３乗に正の相関関係があるため、高誘電率無機粒子の平均粒子径が等しいものの場合でも、粒子径分布の幅が狭いものや、大きな粒子の存在量が少ないものほど、誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすい。
【００３７】
なお、本発明の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径の測定は、誘電体組成物の硬化薄膜の超薄切片に対するＸＭＡ測定、および透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察により行うことができる。この超薄切片には、誘電体組成物の硬化薄膜を、膜厚方向に断面を切り出したものを用いる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂では電子線に対する透過率が異なるので、ＴＥＭ観察像中で（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂はコントラストの違いにより識別できる。複数種の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子が使用されている場合の各高誘電率無機粒子の同定は、ＸＭＡ測定に基づく元素分析および電子線回折像観察による結晶構造解析により行うことができる。ＴＥＭ観察像の画像解析から、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子と（ａ）樹脂の面積の分布を求め、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子像の断面を円形と近似して面積から粒子径を算出できる。この粒子径の評価は倍率５０００倍と４００００倍のＴＥＭ画像について行えばよい。算出された粒子径の分布を倍率が５０００倍のＴＥＭ画像において０．１μｍ刻みのヒストグラム、倍率が４００００倍のＴＥＭ画像において０．０１μｍ刻みのヒストグラムで表す。得られたヒストグラムの各カラムに対し、その中心値と度数の積を求める。次にそれらの積の和を度数の総和で除したものを平均粒子径とする。なお、粒子径分布の評価は、ＴＥＭのかわりに走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて、上記と同様の解析を行うことによってもできる。
【００３８】
一般に（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒成長や焼結などの一次粒子の形状変化が起きる温度は、（ａ）樹脂の硬化温度より遙かに高い場合が殆どであるので、そのような場合は、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を（ａ）樹脂に分散させる前の原料段階で（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の粒子径を評価してもよい。この場合、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を直接、前記と同様のＴＥＭやＳＥＭを用いて観察し、それにより得られた観察像の画像解析により求めることができる。
【００３９】
また、上記以外にも、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の液体中でのブラウン運動による散乱光の揺らぎを測定する動的光散乱法、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を電気泳動させたときの散乱光のドップラー効果を測定する電気泳動光散乱法、照射した超音波の減衰状態求める超音波減衰分光法などによって平均粒子径を測定することができる。レーザー回折式、レーザー散乱式の粒度分布測定装置としては、（株）堀場製作所製ＬＡ−９２０、（株）島津製作所製ＳＡＬＤ−１１００、日機装（株）製ＭＩＣＲＯＴＲＡＣ−ＵＰＡ１５０やシスメックス（株）製ゼータサイザーナノＺＳ等がある。
【００４０】
本発明の誘電体組成物の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子含有量は誘電体組成物全体に対し、３０重量％以上９９重量％以下であることが好ましい。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し３０重量％以上では、誘電体組成物の比誘電率を大きくしやすくなり、キャパシタの層間絶縁材料として用いた場合に、大きな静電容量のキャパシタを実現しやすくなる。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の含有量が、誘電体組成物全体に対し９９重量％以下の場合、樹脂の含有量が十分に多いために、膜の強度を高くしやすい。
【００４１】
本発明で用いられる（ａ）樹脂は、熱可塑性、熱硬化性樹脂のいずれも選択することができるが、波長４００〜７００ｎｍの全域における誘電体組成物の光線透過率を５０％以上とするために、（ａ）樹脂は光線透過率が５０％以上であるものを用いることが好ましい。誘電体組成物の光線透過率を大きくしやすいため、（ａ）樹脂の光線透過率は大きい方が好ましい。
【００４２】
本発明で用いられる熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルサルフォン、ポリエーテルイミド、液晶ポリマー、ポリスチレン、ポリエチレン、フッ素樹脂などを用いることができる。
【００４３】
また、本発明で用いられる熱硬化性樹脂としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シロキサン樹脂、ポリイミド、アクリル樹脂、シアネート樹脂、ベンゾシクロブテン樹脂などを用いることができる。耐熱性が高いことなどの点から、熱硬化性樹脂を用いることが好ましく、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子分散性などの点からエポキシ樹脂が好ましく使用される。
【００４４】
ここで、エポキシ樹脂とは、分子構造中にエポキシ基（オキシラン環）を２個以上含むプレポリマーを有する樹脂である。また、本発明のペースト組成物は硬化剤を有していてもよく、硬化剤には、例えば、一般にエポキシ樹脂に使用されている硬化剤を添加することができる。このような硬化剤としては、アミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤、フェノール系硬化剤などが例示される。また、これらの硬化剤は相互に併用してもよい。さらに、硬化剤と共に硬化促進剤を用いることができる。硬化促進剤は、硬化剤を伴わないで単独で樹脂に添加してもよい。このような硬化促進剤としては、２−メチルイミダゾール、２−エチル−４−メチルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾール、１−シアノエチル−２−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、トリフェニルホスフィン、トリス（２，４−ペンタジオナト）コバルトなどの金属キレート化合物などが挙げられる。
【００４５】
波長４００〜７００ｎｍの光に対する透過性が高いという点から、本発明では（ａ）樹脂としてアクリル樹脂も好ましく用いることができる。
【００４６】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子とは、ペロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有するもののことである。これらは、例えばチタン酸バリウム系、チタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系、二酸化チタン系、などを挙げることができる。チタン酸バリウム系とは、チタン酸バリウム結晶内の一部の元素を他の元素で置換したり、結晶構造内に他の元素を侵入させたりしたチタン酸バリウムを母材とする固溶体を含めた総称である。その他のチタン酸ジルコン酸バリウム系、チタン酸ストロンチウム系、チタン酸カルシウム系、チタン酸ビスマス系、チタン酸マグネシウム系、チタン酸バリウムネオジム系、チタン酸バリウム錫系、マグネシウムニオブ酸バリウム系、マグネシウムタンタル酸バリウム系、チタン酸鉛系、ジルコン酸鉛系、チタン酸ジルコン酸鉛系、ニオブ酸鉛系、マグネシウムニオブ酸鉛系、ニッケルニオブ酸鉛系、タングステン酸鉛系、タングステン酸カルシウム系、マグネシウムタングステン酸鉛系もいずれも同様で、それぞれを母材とする固溶体を含めた総称である。
【００４７】
なお、ペロブスカイト型結晶構造、あるいは複合ペロブスカイト型結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、これらのうち１種を単独で用いたり、２種以上を混合して用いたりすることができる。大きい誘電率を有する誘電体組成物を得る場合には、商業的利便性との両立の点から、主としてチタン酸バリウムからなる化合物を用いることが好ましい。但し、誘電特性や温度安定性を向上させる目的で、シフター、デプレッサー剤などを少量添加して用いてもよい。
【００４８】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子には、比誘電率が５０〜３００００の無機粒子を用いることが好ましい。比誘電率が５０以上である高誘電率無機粒子を用いると比誘電率が十分大きい誘電体組成物が得られやすい。また、高誘電率無機粒子の比誘電率が３００００以下であると、誘電体組成物の  比誘電率の温度依存性を小さくしやすくなる。ここでいう（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の比誘電率とは、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を原料粉末として、加熱、焼成して得られる焼結体の比誘電率をさす。焼結体の比誘電率は、例えば以下の手順によって測定する。高誘電率無機粒子とポリビニルアルコールのようなバインダー樹脂、有機溶剤もしくは水を混合して、ペースト状組成物を作製したのち、ペレット成型器の中に充填して、乾燥させ、ペレット状固形物を得る。そのペレット状固形物を、例えば９００〜１２００℃程度で焼成することにより、バインダー樹脂を分解、除去し、（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子を焼結させ、無機成分のみからなる焼結体を得ることができる。このとき、焼結体の空隙は十分小さく、理論密度と実測密度から計算した空隙率が１％以下となっていることが必要である。この焼結体ペレットに上下電極を形成し、静電容量および寸法の測定結果から、比誘電率を計算する。
【００４９】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製方法としては、固相反応法、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、しゅう酸塩法、アルコキシド法などの方法が挙げられる。粒子径が小さく大きさが揃った（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の作製が容易であるという理由から、水熱合成法、超臨界水熱合成法、ゾルゲル法、のいずれかを用いることが好ましい。
【００５０】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の形状は、球状、略球状、楕円球状、針状、板状、鱗片状、棒状、立方体（サイコロ）状などが挙げられるが、特に、球形あるいは略球形であることが好ましい。球状あるいは略球状の（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は、比表面積が小さいために充填時に高誘電率無機粒子の凝集や樹脂流動性低下などを生じにくいからである。これらのうち１種を単独で用いたり、２種以上を混合して用いることができる。
【００５１】
本発明のペースト組成物の製造方法は特に限定されないが、以下のような方法により好ましく実施することができる。本発明で用いられる（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子は平均粒子径が小さいため、粒子間の凝集を解して均一な分散を達成するためには、分散メディアに微小ビーズを用いる分散手法が有効である。（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子の平均粒子径は０．００２μｍ以上０．０６μｍ以下であるため、分散メディアにはビーズの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上０．１ｍｍ以下のものを用いることが有効である。分散メディアのビーズの平均粒子径が０．０３ｍｍ以上である場合と０．０６ｍｍ以下である場合は、より有効である。ビーズの平均粒子径が０．１ｍｍ以下である場合、ビーズの間を分散液が通過する際に、高誘電率無機粒子がビーズと接触する頻度が高く、十分な分散効果が得られる。さらに高い分散効果を得るためには、ビーズの平均粒子径は０．０６ｍｍ以下であることが好ましい。ビーズの平均粒子径が０．０２ｍｍ以上である場合、個々のビーズの持つ運動量が十分大きく、高誘電率無機粒子の凝集を解くのに十分なせん断応力が得られる。高誘電率無機粒子の凝集体にさらに強いせん断応力を与えるためには、ビーズの平均粒子径は０．０３ｍｍ以上であることが好ましい。
【００５２】
ビーズの平均粒子径の評価は、例えば以下のような方法で行うことができる。ビーズは光学顕微鏡を用いて観察を行うことができる。ガラスなどの透明板の上にビーズ（サンプル）を載せ、透明板の下側から光を当て透過光像を対物レンズを通して観察し、ビーズの粒子径を評価する。任意の１００個のビーズの観察を行い、それぞれのビーズに対して求めた粒子径の平均値をビーズの平均粒子径とすることができる。ビーズの粒子径は、ビーズの観察像に対し各種の画像処理ソフトを用いた球形近似を行うことで求めることができる。具体的には、顕微鏡の接眼レンズ部の代わりに取り付けたＣＣＤカメラによるデジタル画像をコンピューター上で画像処理することにより行う。このようなＣＣＤカメラとしては（株）フローベル製のＡＤＰ−２４０があり、このような画像処理ができるソフトとしては（株）フローベル製のＦｌｖＦｓなどがある。
【００５３】
分散メディアであるビーズとしては、金属製、セラミック製やガラス製のものを好ましく使用できる。これらの具体的な材質としては、ステンレス、鉄、銅、クロム、ニッケル、チタニア、窒化ケイ素、炭化ケイ素、アルミナ、ジルコニア、ケイ酸ジルコニウム、チタン酸バリウム、珪酸ガラス、石英などが挙げられる。特に、硬度が高いジルコニア製ビーズが好適に使用できる。ジルコニアとしては強度が大きいことからイットリア安定化ジルコニアを用いることが好ましい。
【００５４】
本発明におけるビーズを用いた分散方法は特に限定されないが、用いる装置としては、ボールミル、ホモジナイザー、ピンロータービーズミルなどが挙げられ、寿工業（株）製の“ウルトラアペックスミル”（商品名）やアシザワ・ファインテック（株）製の“スターミル”（商品名）などが微小粒子の分散に特に好適なものとして挙げられる。これらの２種のビーズミルにおいては、高誘電率無機粒子の分散が行われるベッセルと呼ばれる部位が、外壁を形成する円筒形のステーターと、ステーターの中心で回転するローターによって形成される。そして、高誘電率無機粒子と有機溶剤とを混合した分散液を、ステーターとローターとの間を送液する。ローターからは放射状に複数のブレードが突出している。ベッセル内に分散メディアであるビーズを充填し、ローターを回転させることにより、ブレードによりビーズが攪拌され、それに伴い、ビーズが分散液中の高誘電率無機粒子にせん断応力を与え、高誘電率無機粒子が微小粒子に分散される。一度ベッセル内を通過した分散液を循環させ、繰り返しベッセル内へと送液することで、分散液中の高誘電率無機粒子の凝集を徐々に解し、分散を進める。
【００５５】
分散液に含まれる高誘電率無機粒子は１次粒子あるいは凝集体として存在するものであるが、本発明においては分散液中に存在するときの高誘電率無機粒子の大きさは、分散液中で幾つかの高誘電率無機粒子の１次粒子が凝集した状態のものを体積基準で分布にしたときのメジアン径（５０％粒子径）である。分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定する方法としては、レーザーによる静的光散乱方式や動的光散乱方式が挙げられるが、平均粒子径２０ｎｍ以下の粒子径を高精度で評価する場合は、動的光散乱方式を用いる方が好ましい。この方式による粒子径測定装置として、例えば、日機装（株）製の“ナノトラック”ＵＰＡ−ＥＸ１５０（商品名）が挙げられる。
【００５６】
ビーズミルのベッセル内のビーズ充填量は、ベッセル容積の２０容積％以上の場合と８５容積％以下の場合が好ましい。ビーズの充填量が２０容積％以上である場合、近接するビーズの間隙が狭いため分散液中の高誘電率無機粒子がビーズに接触する頻度が高く、分散が短時間で効率よく進行する。さらにこの効果を高めるために、ビーズの充填量は５０容積％以上であることがより好ましい。一方、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合、近接するビーズの間に十分な間隙が存在するため、分散液がベッセル内に詰まることなくスムーズに送液することができる。また、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦により発生する熱量が少ないため、分散剤などの分散液を構成する材料が変質しにくい。また、遠心力によりビーズをフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、ビーズの充填量が多くなると、フィルタリング機能が十分に働かず、ベッセルから回収した分散液中にビーズが混入する可能性が大きくなるが、ビーズの充填量が８５容積％以下である場合は、ビーズの混入がないか、あるいは非常に小さくて済む。さらにこの効果を大きく奏するために、ビーズの充填量は７５容積％以下であることがより好ましい。
【００５７】
ビーズミルのローターの回転周速は８ｍ／ｓ以上１５ｍ／ｓ以下であることが好ましい。本発明における回転周速とは、ローターから突出しているブレードの先端が回転するときの速度である。回転周速が８ｍ／ｓ以上である場合、高誘電率無機粒子を平均粒子径０．０２μｍ以下に分散するのに十分なせん断応力が得られる。また、回転周速が８ｍ／ｓ以上である場合、ビーズを遠心力によりフィルタリングする方式のビーズミルにおいて、回収した分散液中にビーズが混入しない。一方、回転周速が１５ｍ／ｓ以下である場合、ビーズ同士、あるいはビーズとベッセルのステーターやローターとの摩擦による発熱量は少ないため、分散液が変質しにくい。
【００５８】
分散処理時の分散液の温度は１０℃以上４０℃以下であることが好ましい。ここで、分散処理時の分散液の温度は、ベッセルから送出された直後の分散液の温度とする。分散液温が４０℃以下である場合、分散液中の有機溶剤の揮発量は少なく、分散液中の高誘電率無機粒子や分散剤などの組成の濃度変化は少ない。液温が４０℃よりも高いと、分散液組成の濃度変化が生じ、分散液の分散性が悪くなる場合がある。例えば、分散液の分散性はｐＨにより影響を受けることがあるが、分散液のｐＨ値は分散液組成の濃度変化により変化する。したがって分散液の温度制御は分散液のｐＨ値、また分散液中の高誘電率無機粒子の分散性を制御する重要な条件の１つである。また、分散液中に温度により化学反応する材料や、温度により変質する材料を含有する場合は、温度変化により分散液が有する特性が変化するため、分散時の温度制御を行うことが好ましい。さらにこの効果を高めるために、分散液の温度は３５℃以下であることが好ましい。一方、分散処理時の分散液の温度が１０℃よりも低い場合、ベッセルから送出した分散液を回収する容器内に結露が生じ、分散液中に水分が混入し、分散液の特性を劣化させる可能性があるため、分散処理時の分散液の温度は１０℃以上であることが好ましい。また、分散液の温度が１０℃以上であると、分散液の粘度が低くなるため、ビーズの運動エネルギーの減損が避けられ、分散効率が高くなる。さらにこの効果を高めるためには、分散液の温度は２０℃以上であることがより好ましい。
【００５９】
分散処理時の分散液の粘度は、１ｍＰ・ｓ以上１００ｍＰ・ｓ以下であることが好ましい。ここで、分散処理時の分散液の粘度は、ベッセルから送出された分散液をサンプリングし、サンプリングから５分後に測定した際の粘度とする。測定温度は２５℃とする。粘度測定は、例えば、東機産業（株）製の粘度計ＲＥ−１１５Ｌを用いて行うことができる。ビーズミルのベッセル内のビーズは回転するローターのブレードから運動エネルギーを獲得し、分散液中の高誘電率無機粒子と接触することにより、せん断応力を発生する。しかし、分散液の粘度が高い場合は、ビーズが高誘電率無機粒子へ接触する前に、溶剤中で運動エネルギーが大きく減損し、高誘電率無機粒子に十分なせん断応力を与えることができない場合がある。分散処理時の分散液の粘度が１００ｍＰ・ｓ以下である場合は、上記問題を回避することができる。さらにこの効果を高めるために、分散処理時の分散液の粘度は、２０ｍＰ・ｓ以下であることがより好ましい。一方、分散液の粘度が１ｍＰ・ｓ以上であれば、製造した分散液と樹脂とを混ぜて作製するペースト組成物の粘度が低くならず、ペースト組成物を基板上に塗布し膜状の樹脂組成物を製造する場合、連続膜を形成しやすくなる。
【００６０】
本発明における無機粒子の分散液の製造方法についての例を以下に記す。
【００６１】
（ｂ）ペロブスカイト系結晶構造を有する高誘電率無機粒子、分散剤、（ｃ）有機溶剤を所定の分量で混合し、攪拌する。混合直後は、高誘電率無機粒子の表面を空気の層が覆っているため、高誘電率無機粒子と有機溶剤との濡れが十分でなく、粘度が増加する場合がある。この場合は、高誘電率無機粒子と有機溶剤が完全に濡れるまで、回転羽根などで時間をかけて攪拌するのが好ましい。
【００６２】
高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤を混合、攪拌した後、ビーズミルにて高誘電率無機粒子の分散処理を行う。まず、ビーズミルのベッセル内に所定粒子径のビーズを所定量投入し、ローターを回転させながら、分散液に用いるものと同じ有機溶剤をベッセル内へ送液／循環させビーズ洗浄を行う。洗浄時に有機溶剤の汚れが目立つ場合は、新しい有機溶剤と入れ替え、有機溶剤の汚れが目立たなくなるまで洗浄を続ける。ビーズ洗浄後、循環させた有機溶剤を回収し、次いで、上記高誘電率無機粒子、分散剤、有機溶剤の混合液をベッセル内へ送液／循環させ分散処理を行う。初めにベッセル内から送出される分散液は、ベッセル内に残留した有機溶剤により濃度が薄くなっているため、ベッセルの大きさに応じて、ベッセル内から送出される分散液の濃度が一定になるまで初流を除去する。分散処理は一度に小さいビーズで実施してもよく、段階的にビーズの大きさを変えて行ってもよく、特に限定されない。例えば、粒子径が０．５ｍｍのビーズで高誘電率無機粒子の平均粒子径が１００ｎｍ程度になるまで分散を行ってから、次に、より微小なビーズでの分散を施してもよい。ここで、平均粒子径が０．１μｍ程度になるまでの分散処理を粗分散とよび、その後の０．０６μｍ以下の微小粒子径への分散処理を本分散とよぶ。粗分散をホモジナイザーで行い、本分散をビーズミルで行うなど、粗分散と本分散を異なる装置にて行うこともできる。ビーズミルにおいては、サンプルをミル本体へチューブを通して送液する方式のものが多く、粗分散をビーズミルで行うと、粒子径の大きな粒子が送液チューブ中で目詰まりする場合がある。粗分散をホモジナイザーなど別の装置で行うと、これを避けることができる。
【００６３】
粗分散をホモジナイザーで行う場合は、例えば、回転刃の先端の周速を１〜１０ｍ／ｓにして、１時間程度処理する。ホモジナイザー処理中は熱が発生するため、氷浴中で処理することが好ましい。用いることができるホモジナイザーとしては、“エクセルオート”（商品名）（（株）日本精機製作所製）などが挙げられる。
【００６４】
分散処理時の分散液の粘度は高誘電率無機粒子の分散性や分散処理の効率に影響するので、分散処理の経過に伴う分散液の粘度変化を把握することが好ましい。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、粘度測定をすることにより、粘度の経時変化を把握することができる。分散処理時に分散液の粘度が上昇した場合は、循環させている分散液中に有機溶剤や分散剤、ｐＨ調整剤などを適量加えて、粘度を低下させることもできる。
【００６５】
分散処理時の分散液の温度は、ベッセル外部を冷却する冷却水の温度や流量、分散液の循環速度により制御できる。分散液の温度上昇は、分散処理時の分散液の粘度が高い場合に発生しやすい。分散液の温度上昇が大きすぎる場合には、分散液の変質が起きることがある。
【００６６】
分散液の固形分濃度は１０重量％以上が好ましく、より好ましくは２０重量％以上である。また、分散液の固形分濃度は６０重量％以下であることが好ましく、より好ましくは４０重量％以下である。本発明の分散液の固形分濃度とは、分散液全量に対して分散液中に含まれる有機溶剤以外の成分の割合である。分散液の固形分濃度が１０重量％以上であると、粘度の低い分散液を作製することが可能となり、分散処理時もビーズとの摩擦などにより発生する熱量が少ないため、分散液を構成する材料が変質しにくくなる。分散液の固形分濃度が２０重量％以上であると、分散液と樹脂液を混合したペースト組成物を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に１μｍ以上の厚膜を形成しやくなる。また、分散液の固形分濃度が６０重量％以下であると、遠心分離によるフィルタリング方式のビーズミルを用いた場合に、ビーズが分離されやすい。さらに、分散液の固形分濃度が４０重量％以下であると、分散液の粘度が低く、分散液中の高誘電率無機粒子とビーズが頻度よく接触するため、高誘電率無機粒子の凝集体を解きやすくなる。また、平均粒子径０．１μｍ以下の高誘電率無機粒子を用いた場合においても、分散液中の高誘電率無機粒子を効率良く分散することができ、粒度分布が１次粒子径付近まで分散しやすく、本分散液を用いて誘電体組成物の膜を形成した時に透過率の高い膜を得やすい。
【００６７】
ビーズミルのローターの回転周速は一定でもよく、分散処理時に段階的に変更してもよい。ローターの回転周速は分散処理時の分散液の温度に影響を与える場合があるので、分散処理時に回転周速を変更する場合は、分散液の温度上昇が大きくなりすぎないようにするのが好ましい。また、ビーズを遠心分離によりフィルタリングする方式のビーズミルの場合は、ローターを回転する前に送液ポンプを作動し、分散液の循環を開始すると、ベッセル内から送出する分散液中にビーズが混入することがあるので、ローターを回転した後に送液ポンプを作動するようにする。
【００６８】
分散処理時間は高誘電率無機粒子や有機溶剤、分散剤などの分散液を構成する材料の種類や組成比により適宜設定する。例えば、一定時間ごとに分散液をサンプリングし、分散液中での高誘電率無機粒子の平均粒子径を測定することは、分散状態の経時変化を把握でき、分散処理の終了時点を判断することができるので好ましい。分散性が良好な組成の場合は、３０分程度の分散処理時間で十分であるが、組成によっては、分散処理を２４時間以上行ってもよい。分散処理時間が長い場合は、有機溶剤などの分散液を構成する材料が揮発することにより、分散液の組成比が変化し、分散性が変化する場合があるので、そのような場合は、適宜必要な成分を添加し、組成を調整する。
【００６９】
次に、上記の高誘電率無機粒子分散液の製造方法によって得られた分散液と、樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液とを含有するペースト組成物の製造方法について説明する。
【００７０】
分散液と樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液の混合は、樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液中に分散液を所定量となるまで注入してもよいし、分散液中に樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液を所定量となるまで注入してもよい。この際の樹脂の態様は、液状樹脂であっても、固形樹脂を溶剤に溶かした樹脂溶液であってもよい。また、この際の樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液の態様は、液状樹脂もしくは固形樹脂を溶剤に溶かした樹脂を有機溶剤で希釈した樹脂溶液であってもよい。
【００７１】
ペースト組成物の製造方法としては、上記の方法のように別々に作製した分散液と樹脂、もしくは樹脂と有機溶剤を有する樹脂溶液を混合する方法だけでなく、高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に直接分散する方法も用いることができる。高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に直接分散する場合においても、ビーズミルを好ましく用いることができる。
【００７２】
所定量の高誘電率無機粒子を有する分散液と樹脂材料を混合して得られたペースト組成物を、さらに均質になるようにするために、ボールミルやロールミルを用いることができる。また、混合処理によりペースト組成物中に気泡が混入した場合は、静置する、あるいは攪拌脱泡機を用いるなどして、気泡を除去すると、ペースト組成物を用いて製造する樹脂組成物中への気泡の混入を抑制することができる。
【００７３】
本発明の誘電体組成物を得る方法として、例えば、上記のように、まず、高誘電率無機粒子を液状樹脂もしくは樹脂溶液に分散させたペースト組成物を作製し、そのペースト組成物を被着体（例えば基板）などに塗布し、脱有機溶剤、固化を行うことにより、誘電体組成物を得る方法が挙げられる。このとき、固化の方法として、熱、光などによる固化が挙げられる。但し、加熱によって固化を行う場合は、本発明の誘電体組成物は焼結体ではないので、樹脂を分解したり、除去したりすることなく、ペースト組成物と同時に加熱行う被着体や電子部品などの耐熱温度範囲内、例えば、５００℃以下の温度で加熱することが好ましい。より好ましくは２５０℃以下の温度で加熱することが好ましい。また、塗布する被着体は、ガラス基板やガラスエポキシ基板などのリジッドな基板に限定されず、樹脂フィルムや銅などの金属箔などのフレキシブル基板でもよい。
【００７４】
本発明の誘電体組成物の空隙率は、３０体積％以下であることが好ましい。より好ましくは２０体積％以下であり、さらにより好ましくは１０体積％以下である。空隙率が３０体積％以下であると、空隙によるレーリー散乱などを小さくすることができ透過率を大きくしやすい。空隙率が２０体積％以下となると絶縁抵抗を大きくしやすい。空隙率が１０体積％以下であるとリーク電流を小さくしやすい。
【００７５】
ここで、空隙率を３０体積％以下にする方法としては、例えば、樹脂、高誘電率無機粒子、有機溶剤を上記した中から適宜選択することで達成可能である。具体的には、例えばペースト組成物が、沸点１６０℃以上の有機溶剤を少なくとも１種含むものとすることで達成することができる。
【００７６】
誘電体組成物の空隙率の測定方法は、ガス吸着法、水銀圧入法、陽電子消滅法、小角Ｘ線散乱法など、用途に合わせて適宜選択することができる。
【００７７】
本発明のペースト組成物から得られる誘電体組成物の形態は特に限定されず、膜状、棒状、球状など、用途に合わせて選択することができるが、特に膜状であることが好ましい。ここでいう膜とは、フィルム、シート、板、ペレットなども含まれる。もちろん、導通のためのビアホール形成、インピーダンスや静電容量あるいは内部応力の調整、または、放熱機能付与など、用途にあわせたパターン形成を行うこともできる。
【００７８】
本発明で用いる透明電極は、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下であればよく、材質は特に限定されないが、光透過性が高いことからインジウム−錫酸化物（ＩＴＯ）、インジウム−亜鉛酸化物、酸化錫、酸化インジウムや酸化亜鉛これらにその他元素のドープしたものなどを用いることができる。透明電極の光線透過率が５０％未満であると、ディスプレイなどに用いるキャパシタとしては透明性が不十分となり、情報表示特性が不十分で良くない。
【００７９】
本発明の誘電体組成物から得られる層間絶縁膜と、波長４００〜７００ｎｍの全域における光線透過率が５０％以上１００％以下である透明電極を有するキャパシタは、波長４００〜７００ｎｍで高い光線透過率を有するため、透明キャパシタとしてそれを通した光線による情報表示を行うことができる。
【００８０】
本発明のキャパシタは、少なくとも層間絶縁膜と透明電極を有しており、層間絶縁膜は電極間に存在するものであるが、本発明では、２つの電極のうち少なくとも１つが透明であれば良く、もう１つは金属などの不透明な電極であってもよい。
【００８１】
本発明の誘電体組成物を膜状にしたときの膜厚は、誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量や光線透過率が所望の値を満たす範囲内で任意に設定することができるが、０．０５μｍ以上である場合と、２０μｍ以下である場合が好ましく、さらに好ましくは、０．１μｍ以上である場合と、５μｍ以下である場合である。キャパシタとして大きな静電容量を確保するには膜厚が薄い方が好ましいが、０．０５μｍより厚い場合にはピンホールなどが発生しにくく、電気的絶縁を得やすくなる。また、０．１μｍ以上では、耐久性加速試験であるＰＣＴ（プレッシャークッカーテスト）後に誘電正接が増大しにくい。また、膜厚が２０μｍ以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。膜厚が５μｍ以下であると、十分高い光線透過率を得やすい。
【００８２】
誘電体組成物を層間絶縁膜としたキャパシタの静電容量の温度変化、面内ばらつきは、小さい方が回路設計上好ましい。温度変化についても、できるだけ小さい方が好ましく、例えば、Ｘ７Ｒ特性（−５５〜１２５℃において静電容量の温度変化率が±１５％以内）を満たすことが好ましい。静電容量の面内ばらつきは、平均値に対して５％以下（静電容量の平均値−５％≦静電容量≦静電容量の平均値＋５％）であることが好ましい。
【００８３】
本発明の誘電体組成物は、電極で挟まれたキャパシタ用の層間絶縁材料以外にも用いることができる。例えば、エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料として用いることができる。この場合は、本発明の誘電体組成物膜は、電解液に接する面と反対の面が電極に接するように形成される。透明な高誘電率層を電解液に接する面に形成することで、電圧印加による電解液の濡れ性変化が大きくなり、電解液の移動速度が大きくなり、表示速度が大きいエレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーを実現することができる。
【００８４】
エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーに用いられる場合のように、本発明の誘電体組成物が電解液などの液状物質に接して用いられる用途においては、誘電体組成物へこのような液状物質が染み込むようなことが起きないようにすることが好ましい。染み込みを抑制するためには、（ａ）樹脂として吸湿、吸水の影響が少ないものを用いることが好ましい。低吸水性のエポキシ樹脂としては、キシリレンノボラック型、ビフェニルノボラック型、ジシクロペンタジエン型、ジシクロペンタジエンフェノールノボラック型、ジフェニルメタン型、ナフトールアラルキル型、ナフトールノボラック型、４官能ナフタレン型、ナフタレン骨格、ビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂等がある。低吸水性の硬化剤としては、例えば、フェノール系のノボラック樹脂等がある。
【００８５】
本発明のペースト組成物には、必要に応じて、安定化剤、沈降分散剤、可塑剤、酸化防止剤、架橋剤、架橋促進剤、溶解抑制剤、溶解調整剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤の添加を行っても良い。また、上記のような誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する場合には、ペースト組成物中に可塑剤、架橋剤、界面活性剤、表面改質剤、消泡剤などの添加剤を含有することが好ましい。より好ましい添加剤の例としては、フッ素系の界面活性剤、フッ素系の表面改質剤が挙げられる。フッ素系の界面活性剤としては、大日本インキ化学工業（株）製の“メガファック”（商品名）Ｆ−４９３、Ｆ−４９４、Ｆ−４７０、Ｆ−４７５、Ｆ−４７７、Ｆ−４７８、Ｆ−４８２、Ｆ−４８７、Ｆ−１７２Ｄ、“ディフェンサ”（商品名）ＭＣＦ−３５０ＳＦ、住友スリーエム（株）製の“ノベック”（商品名）ＦＣ−４４３０などが挙げられる。
【００８６】
また、誘電体組成物への液状物質の染み込みを抑制する方法として、ペースト組成物中に上記の添加剤を含有することの他に、誘電体組成物の膜表面上に、フッ素系の表面活性剤、フッ素系の表面改質剤、フッ素系のコーティング剤などを１μｍ厚以下の極薄で塗布し、誘電体組成物の膜表面上に透明被膜を形成しても良い。透明被膜の膜厚は、好ましくは０．５μｍ以下、より好ましくは０．２μｍ以下である。透明被膜の比誘電率は、誘電体組成物の比誘電率と比べて低いため、キャパシタとして大きな静電容量を確保するには、透明被膜の膜厚は薄い方が好ましい。透明被膜の膜厚が０．２μｍ以下であると、キャパシタとして十分大きな静電容量を得やすい。透明被膜の膜厚が０．５μｍ以下では十分高い光線透過率を得やすい。
【実施例】
【００８７】
以下、本発明の実施例について説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。光線透過率、誘電特性、膜厚、高誘電率無機粒子の平均粒子径、分散液の粒度分布、リーク電流、電圧保持率の評価は下記の方法に従って測定した。
【００８８】
（１）光線透過率
顕微分光装置  ＭＣＰＤ−２０００（大塚電子（株）製）を用いて、（Ａ）ガラス基板の波長４００〜７００ｎｍの光線透過率、（Ｂ）ガラス基板上に誘電体組成物を形成したサンプルの波長４００〜７００ｎｍの光線透過率を測定した。本発明の誘電体組成物の光線透過率は（Ｂ）の光線透過率から（Ａ）の光線透過率を差し引いた差スペクトルとした。ガラス基板には、ソーダライムガラスを用いた。本発明の誘電体組成物の透過光スペクトルにおいて、本発明の実施例における光線透過率は波長４００ｎｍの値を代表値として用いた。光線透過率が波長４００ｎｍ以外で最小値を示すものについては、波長４００〜７００ｎｍで最も小さい値を示した光線透過率と、その値が得られた波長を記載した。
【００８９】
（２）誘電特性
誘電体組成物の静電容量は、インピーダンスアナライザ４２９４Ａおよびサンプルホルダー１６４５１Ｂ（共にアジレントテクノロジー（株）製）を用いて測定した。
【００９０】
実施例１〜３９および比較例１〜８については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数１ｋＨおよび１ＭＨｚにおける比誘電率を求めた。面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．３ｍｍのアルミニウム基板上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、直径１０ｍｍの円形パターンの測定用電極と内径１１．５ｍｍのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は１０μｍ〜２０μｍの範囲とした。測定用電極とアルミニウム基板に挟まれた部分が測定対象領域となる。比誘電率は静電容量と測定対象領域の寸法から算出した。
【００９１】
実施例４０〜６３および比較例９〜１３については、以下のようにして静電容量測定サンプルを作製し、周波数１ｋＨにおける比誘電率を求めた。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。続いてこの塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。ガラス基板は面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．７ｍｍ、透明電極はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）電極を用いた。ＩＴＯ電極は、膜厚１５０±１０ｎｍ、抵抗値８〜２０Ω／□、透過率≧８５％（測定波長５５０ｎｍ）を用いた。ＩＴＯ電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。アルミニウム電極は、直径１０ｍｍの円形パターンの測定用電極と内径１１．５ｍｍのリング状パターンのガード電極である。誘電体組成物の膜厚は実施例６３以外は１μｍ、実施例６３は１．１μｍとした。測定用電極とＩＴＯ電極に挟まれた部分が測定対象領域となる。
【００９２】
（３）膜厚
塗膜の膜厚は、塗膜と基板の段差をサーフコム１４００（東京精密（株）製）を用いて触針法により測定することで求めた。
【００９３】
（４）高誘電率無機粒子の平均粒子径
高誘電率無機粒子の平均粒子径は以下の方法で求めた。高誘電率無機粒子を有機溶剤に分散し、凝集をほぐした状態にしたものをＴＥＭ観察用メッシュ上に滴下し、有機溶剤を蒸発させた後、透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察を行った。透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）観察は倍率１０００００倍および２０００００倍において行った。得られた高誘電率無機粒子の透過型電子顕微鏡観察写真を画像解析ソフト（Ｓｃｉｏｎ  Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ社製、  Ｓｃｉｏｎ  Ｉｍａｇｅ）を用いて解析し、各高誘電率無機粒子の像の面積を求めた。このようにして得られた各無機フィラー像を円形と近似し、面積から粒子径を算出した。粒子径の算出は、１００個以上の粒子が撮影されている透過型電子顕微鏡写真を用いて写真内の全ての高誘電率無機粒子に対して行い、その平均値を平均粒子径とした。
【００９４】
（５）高誘電率無機粒子の分散液中の粒度分布
分散液の粒度分布は、粒度分布測定装置マイクロトラックＵＰＡ１５０（日機装（株）製）を用いて測定した。粒度分布は、５０％径、９０％径の値を用いた。５０％径とは、粉体の集合の全体積を１００％として累積カーブを求めたときに、その累積カーブが５０％となる点の粒子径の累積中位点（Ｍｅｄｉａｎ径）である。９０％径とは、その累積カーブが９０％となる点の粒子径である。
【００９５】
（６）リーク電流
誘電体組成物のリーク電流は以下のようにして測定した。透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物を形成した。ガラス基板は面積６ｃｍ×６ｃｍ、厚さ０．７ｍｍ、透明電極はＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）電極を用いた。ＩＴＯ電極は、膜厚１５０±１０ｎｍ、抵抗値８〜２０Ω／□、透過率≧８５％（測定波長５５０ｎｍ）を用いた。ＩＴＯ電極の抵抗値は四端子テスターで測定した。ＩＴＯ透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜上に蒸着法によりアルミニウム電極を形成した。アルミニウム電極は、厚さ３００ｎｍの直径２．５ｍｍの円形パターンの電極である。透明電極とアルミニウム電極に挟まれた部分が測定対象となる。透明電極とアルミニウム電極の間に２Ｖの電圧を印加し、電圧印加２０秒後に電流を測定した。この測定にはケースレーインスツルメンツ（株）製、エレクトロメータ／高抵抗システム６５１７Ａ型を用いた。
【００９６】
（７）電圧保持率
上記（６）と同じようにして、透明電極付きガラス基板上に誘電体組成物の塗膜を形成した。透明電極付きガラス基板は上記（６）と同じものを用いた。
【００９７】
誘電体組成物の塗膜上に濃度１ｍＭの塩化カリウム水溶液を滴下し、塩化カリウム水溶液を介して、上部電極を配置し、上部電極／塩化カリウム水溶液／誘電体組成物／ＩＴＯ透明電極のサンドイッチ構造を形成した。塩化カリウム水溶液の液滴はサンドイッチ構造を形成した際に面積３ｍｍ２、厚み０．７ｍｍとなるように調整した。測定対象領域は、塩化カリウム水溶液と接した面積３ｍｍ２部分の上下電極に挟まれた部分となる。上部電極とＩＴＯ透明電極間に電位差５Ｖ、幅６０μｓの矩形電圧パルスを加えた。電圧保持率（ＶＨＲ）は、式（１）から計算した。Ｖ１は矩形電圧パルス印加時の上部電極とＩＴＯ透明電極間の電位差、Ｖ２はパルス立ち下がり後１６．６ｍｓ経過時の電極間電位差を表す。図１に各電位差と印加矩形電圧パルスの関係を示す。電圧保持率の測定は濃度１ｍＭの塩化カリウム水溶液を滴下し、３０秒後に行った。３回の測定値の平均値を、その誘電体組成物の電圧保持率（ＶＨＲ）とした。
【００９８】
ＶＨＲ＝Ｖ２／Ｖ１                        （１）        。
【００９９】
実施例１
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１を得た。エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピコート”（商品名）ＹＸ８０００）６．８重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、“リカシッド”（商品名）ＭＨ７００）４．７重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン１．２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を得た。エピコートＹＸ８０００はエポキシ当量２０５ｇ／ｅｑの液状エポキシ樹脂である。分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１を作製した。Ｃ−１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。
【０１００】
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５０％であった。
【０１０１】
この試料の空隙率を測定したところ、３％であった。空隙率の測定は以下の方法で行った。シリコンウェハ上の全面に誘電体組成物の塗膜を形成した。この塗膜はスピンコートしたペースト組成物を適宜加熱し、有機溶剤蒸発、樹脂硬化させることにより形成した。これを約２ｃｍ×２．５ｃｍの大きさにカットしたものを５枚作製した。次に、より正確な大きさをノギスを用いて採寸し、膜面積をもとめた。この膜面積と上記（３）の膜厚の測定方法で求めた膜厚から膜の嵩体積Ａを求めた。次にマイクロメリテックス社製のポアサイザー９３２０を用いて水銀圧入法（測定圧力範囲：１００ｋＰａ〜２０７ＭＰａ、セル容積１５ｃｍ２）により、細孔容積Ｂを求めた。空隙率Ｃ（％）は、Ｃ＝１００×Ｂ／Ａから求めた。
【０１０２】
ペースト組成物Ｃ−１を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３８であった。
【０１０３】
実施例２
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６５％であった。
【０１０４】
実施例３
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８５％であった。
【０１０５】
実施例４
ペースト組成物Ｃ−１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９３％であった。
【０１０６】
実施例５
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２を作製した。Ｃ−２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−２から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３６であった。
【０１０７】
実施例６
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５重量％であるペースト組成物Ｃ−３を作製した。Ｃ−３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−３から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１０８】
実施例７
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６３重量％であるペースト組成物Ｃ−４を作製した。Ｃ−４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−４から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１０９】
実施例８
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径０．０３μｍのチタン酸バリウムＴ−１を４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２を得た。分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−５を作製した。Ｃ−５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−５から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３５であった。
【０１１０】
実施例９
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。
【０１１１】
実施例１０
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９２％であった。
【０１１２】
実施例１１
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９６％であった。
【０１１３】
実施例１２
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−６を作製した。Ｃ−６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−６をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７８％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−６から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１１４】
実施例１３
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５重量％であるペースト組成物Ｃ−７を作製した。Ｃ−７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−７をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−７から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１７であった。
【０１１５】
実施例１４
分散液Ａ−２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６３重量％であるペースト組成物Ｃ−８を作製した。Ｃ−８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−８をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８８％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−８から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１１６】
実施例１５
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−３を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−９を作製した。Ｃ−９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８０％であった。
【０１１７】
ペースト組成物Ｃ−９を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１１８】
実施例１６
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。
【０１１９】
実施例１７
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９４％であった。
【０１２０】
実施例１８
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。
【０１２１】
実施例１９
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−１０を作製した。Ｃ−１０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１０をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８３％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１０から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は３０であった。
【０１２２】
実施例２０
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物Ｃ−１１を作製した。Ｃ−１１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７７重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８５％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１１から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１６であった。
【０１２３】
実施例２１
分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を２０重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物Ｃ−１２を作製した。Ｃ−１２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、６８重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９０％であった。実施例１と同様にして、ペースト組成物Ｃ−１２から誘電体組成物を作製し、誘電特性の評価を行ったところ、１ＭＨｚにおける比誘電率は１２であった。
【０１２４】
実施例２２
チタン酸ストロンチウム（ＴＰＬ，Ｉｎｃ．製、ＨＰＳ−２０００：平均粒子径０．０４５μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−４を得た。分散液Ａ−４を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１３を作製した。Ｃ−１３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。
【０１２５】
このペースト組成物Ｃ−１３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５５％であった。ペースト組成物Ｃ−１３を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は２７であった。
【０１２６】
実施例２３
ペースト組成物Ｃ−５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚２μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６５％であった。
【０１２７】
実施例２４      
ペースト組成物Ｃ−９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚２μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７０％であった。
【０１２８】
実施例２５
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）２２４重量部、γ−ブチロラクトン１６５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１１重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−５を得た。分散液Ａ−５を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４０重量％であるペースト組成物Ｃ−１４を作製した。Ｃ−１４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は６８％であった。
【０１２９】
ペースト組成物Ｃ−１４を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３４であった。
【０１３０】
実施例２６
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部と、γ−ブチロラクトンを８６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が８０重量％であるペースト組成物Ｃ−１５を作製した。Ｃ−１５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１５をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚０．８μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５１％であった。
【０１３１】
ペースト組成物Ｃ−１５を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は４１であった。
【０１３２】
実施例２７
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）４２９重量部、γ−ブチロラクトン３１５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−６を得た。分散液Ａ−６を７６．５重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４０重量％であるペースト組成物Ｃ−１６を作製した。Ｃ−１６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１６をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５０％であった。ペースト組成物Ｃ−１６を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３６であった。
【０１３３】
実施例２８
水熱合成法を用いて作製した平均粒子径０．０５μｍのチタン酸バリウムＴ−２を４２９重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−７を得た。分散液Ａ−７を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を１８９重量部と、γ−ブチロラクトンを３６５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１７を作製した。Ｃ−１７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、２０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１７をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８２％であった。
【０１３４】
ペースト組成物Ｃ−１７を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は８であった。
【０１３５】
実施例２９
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）１５．３重量部、フェノールノボラック樹脂（日本化薬（株）製、“カヤハード”（商品名）ＫＴＧ−１０５）５．３重量部、硬化促進剤（北興化学（株）製、トリフェニルホスフィン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン２４．７重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−２を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−２を１０．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が７０重量％であるペースト組成物Ｃ−１８を作製した。Ｃ−１８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１８をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７２％であった。
【０１３６】
ペースト組成物Ｃ−１８を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３２であった。
【０１３７】
実施例３０
光重合性アクリル樹脂（ダイセル化学工業（株）製、“サイクロマー”（商品名））１００重量％、光ラジカル発生剤（チバスペシャルティケミカルズ社製、“イルガキュア”（商品名）３６９）１０重量部、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールメチルエーテルアセテート）９０重量部を室温にて２時間攪拌し、アクリル樹脂溶液Ｂ−３を得た。分散液Ａ−３を１５０重量部と、アクリル樹脂溶液Ｂ−３を４．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−１９を作製した。Ｃ−１９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−１９をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化し、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７５％であった。
【０１３８】
ペースト組成物Ｃ−１９を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、全面に超高圧水銀灯を露光して硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は２８であった。
【０１３９】
比較例１
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０５、平均粒子径：０．５μｍ）３２３重量部、γ−ブチロラクトン１８重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）０．２重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で１時間混合分散し、分散液Ａ−８を得た。エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＥＰＰＮ５０２Ｈ）１２．８重量部、フェノールノボラック樹脂（大日本インキ化学工業（株）製、ＴＤ−２１３１）７．８重量部、硬化促進剤（北興化学工業（株）製、トリフェニルホスフィン）０．２重量部、γ−ブチロラクトン２４．８重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−４を得た。分散液Ａ−８を３４１．２重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−４を４５．６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が１１重量％であるペースト組成物Ｃ−２０を作製した。Ｃ−２０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９４重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２０をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１０μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８％であった。
【０１４０】
ペースト組成物Ｃ−２０を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は９５であった。
【０１４１】
比較例２
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０５：平均粒子径０．５μｍ）６２．３重量部、チタン酸バリウム（ＴＰＬ，Ｉｎｃ．社製、ＨＰＢ−１０００：平均粒子径０．０５９μｍ）２１．９重量部、γ−ブチロラクトン１５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）０．８重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−９を得た。エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＥＰＰＮ５０２Ｈ）２．２重量部、フェノールノボラック樹脂（大日本インキ化学工業（株）製、ＴＤ−２１３１）１．４重量部、硬化促進剤（北興化学工業（株）製、トリフェニルホスフィン）０．０４重量部、γ−ブチロラクトン７．１重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−５を得た。分散液Ａ−９を１００重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−５を１０．７重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が２０重量％であるペースト組成物Ｃ−２１を作製した。Ｃ−２１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９５重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２１をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１０μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は５％であった。
【０１４２】
ペースト組成物Ｃ−２１を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は１２３であった。
【０１４３】
比較例３
チタン酸バリウム（堺化学工業（株）製、ＢＴ−０１：平均粒子径０．１μｍ）２００重量部、トルエン４００重量部をホモジナイザー用いて氷冷下で１時間混練分散し、分散液Ａ−１０を得た。エポキシ樹脂ＹＤ−８１２５（東都化成（株）製、ＹＤ８１２５）１００重量部、硬化剤（日立化成工業（株）製、ＨＮ−５５００）９０重量部、硬化促進剤（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピキュア”（商品名）３０１０）１重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−６を得た。分散液Ａ−１０を６０重量部と、Ｂ−６を１．９重量部とを混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−２２を作製した。Ｃ−２２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２２をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて１２０℃で１５時間の熱処理を行い硬化させ、スピン速度を調整し、膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は２８％であった。
【０１４４】
ペースト組成物Ｃ−２２を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、１２０℃で１５時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は３４であった。
【０１４５】
比較例４
チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）２２４重量部、γ−ブチロラクトン１０５重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１１重量部をホモジナイザーを用いて混練し、分散液Ａ−１１を得た。分散液Ａ−１１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が３０重量％であるペースト組成物Ｃ−２３を作製した。Ｃ−２３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２３をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。ペースト組成物Ｃ−２２は粘度が高いため、スピンコーターでは平坦な塗膜が得られなかった。膜厚が２μｍ付近の部位において光線透過率を測定したところ、光線透過率（波長４００ｎｍ）は３５％であった。
【０１４６】
ペースト組成物Ｃ−２３を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。１ＭＨｚにおける比誘電率は４０であった。
【０１４７】
比較例５
分散液Ａ−１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３重量部と、γ−ブチロラクトンを３２４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が９０重量％であるペースト組成物Ｃ−２４を作製した。Ｃ−２４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、９０重量％となる。このペースト組成物Ｃ−２４をガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。しかしながら、粘度が低いため、完全な連続膜にはならなかった。そのため、この誘電体組成物の光線透過率は測定できなかった。
【０１４８】
ペースト組成物Ｃ−２４を厚さ３００μｍのアルミ基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物上にアルミ電極を形成し、誘電特性評価サンプルとした。しかしながら、完全な連続膜にはならなかったため、上下の電極が短絡し、誘電率の測定ができなかった。
【０１４９】
比較例６
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１４４．２重量部、γ−ブチロラクトン３５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５．８重量部をホモジナイザーを用いて氷冷下で２時間混練分散し、分散液Ａ−１２を得た。分散液Ａ−１２における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の４重量％である。分散液Ａ−１２の粒度分布５０％径は０．２５μｍ、９０％径は０．４２μｍであった。分散液Ａ−１２は、高誘電率無機粒子の凝集が十分に解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
【０１５０】
エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、“エピコート”（商品名）ＹＸ８０００）６．８重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、“リカシッド”（商品名）ＭＨ７００）４．７重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を得た。分散液Ａ−１２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を８．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−２５を作製した。Ｃ−２５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５１】
ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７９％であった。ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１５２】
実施例３１
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）４１６．７重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）３３．３重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１３を得た。分散液Ａ−１３における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の８重量％である。分散液Ａ−１３の粒度分布５０％径は０．０４μｍ、９０％径は０．０７μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１２に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
【０１５３】
分散液Ａ−１３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−２６を作製した。Ｃ−２６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５４】
ペースト組成物Ｃ−２６を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８７％であった。ペースト組成物Ｃ−２５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２７であった。
【０１５５】
実施例３２
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１４を得た。分散液Ａ−１４における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１４の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１２、Ａ−１３に比べ十分に多く、高誘電率無機粒子の凝集を十分に解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が、原料高誘電率無機粒子の平均粒子径により近づいた。
【０１５６】
分散液Ａ−１４を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を２．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−２７を作製した。Ｃ−２７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１５７】
ペースト組成物Ｃ−２７を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は８８％（波長５３０ｎｍ）であった。また、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２８であった。
【０１５８】
ペースト組成物Ｃ−２７をＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて、８０℃で１５分間乾燥させた後、１７５℃で４時間硬化させ、誘電体組成物（硬化膜）を得た。ＩＴＯ付きガラス基板は、１７３７ガラス上にＩＴＯを１５０ｎｍの膜厚となるようスパッタリング法で形成されたものである。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９８％であった。
【０１５９】
誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／アルミ電極で構成されるキャパシタＤ−１を作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタＤ−１の１ｋＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１６０】
上部電極をアルミに代えＩＴＯを用い、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／ＩＴＯ電極で構成されるキャパシタＤ−２を作製した。上部電極のＩＴＯ層は、スパッタリング法を用いて形成した。さらに、上部電極をアルミ電極に代えＮｉ−Ｃｒ／銅層を用い、ガラス／ＩＴＯ電極１／誘電体組成物／Ｎｉ−Ｃｒ／銅で構成されるキャパシタＤ−３を作製した。上部電極は、Ｎｉ-Ｃｒ、銅の順にスパッタリングを行い、さらに電解銅めっきを行い導通層を形成し、エッチング法によってパターン加工を行い、形成した。キャパシタＤ−２、Ｄ−３の１ｋＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１６１】
実施例３３
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１５を得た。分散液Ａ−１５における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１５の粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０５μｍであった。
【０１６２】
分散液Ａ−１５を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３．４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２８を作製した。Ｃ−２８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６３】
ペースト組成物Ｃ−２８を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５７０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２８を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１６４】
実施例３４
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−１１１）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１６を得た。分散液Ａ−１６における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１６の粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。
【０１６５】
分散液Ａ−１６を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を３．４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−２８を作製した。Ｃ−２９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６６】
ペースト組成物Ｃ−２９を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２９を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１６７】
実施例３５
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）６５２重量部、γ−ブチロラクトン７５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９７．８重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１７を得た。分散液Ａ−１７における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−１７の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。分散液Ａ−１７を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１を５．７重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４８重量％であるペースト組成物Ｃ−３０を作製した。Ｃ−３０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１６８】
ペースト組成物Ｃ−３０を用い、実施例１と同様にして膜厚４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９７％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は８８％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−２６を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２９であった。
【０１６９】
比較例７
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）４３２．６重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１７．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１８を得た。分散液Ａ−１８における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の４重量％である。分散液Ａ−１８の粒度分布５０％径は０．３０μｍ、９０％径は０．５５μｍであった。分散液Ａ−１２と同様に、高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が少なく、高誘電率無機粒子の凝集が十分には解けておらず、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に比べ大きくなった。
【０１７０】
分散液Ａ−１８を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を８．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３１を作製した。Ｃ−３１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１７１】
ペースト組成物Ｃ−３１を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は７８％であった。ペースト組成物Ｃ−３１を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１６であった。
【０１７２】
実施例３６
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）４２０．６重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２９．４重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−１９を得た。分散液Ａ−１９における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の７重量％である。分散液Ａ−１９の粒度分布５０％径は０．０４μｍ、９０％径は０．０８μｍであった。高誘電率無機粒子に対する分散剤の含有量が分散液Ａ−１８に比べ多く、高誘電率無機粒子の凝集をより解くことができ、粒度分布測定で得られる高誘電率無機粒子の粒子径が原料高誘電率無機粒子の平均粒子径に近づいた。
【０１７３】
分散液Ａ−１９を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を６．５重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３２を作製した。Ｃ−３２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１７４】
ペースト組成物Ｃ−３２を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は８９％であった。ペースト組成物Ｃ−３２を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１７５】
実施例３７
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３７５重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）７５重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２０を得た。分散液Ａ−２０における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２０重量％である。分散液Ａ−２０の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。平均粒子径０．０２７μｍの無機粒子を用いた分散液Ａ−１４と平均粒子径０．０１２μｍの無機粒子を用いた分散液Ａ−２０を比較すると、平均粒子径がより小さい場合、分散剤の含有量を多くするとその分散液は１次粒子に近い粒度分布を得ていることが分かる。
【０１７６】
分散液Ａ−２０を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４．２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−３３を作製した。Ｃ−３３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７５重量％となる。
【０１７７】
ペースト組成物Ｃ−３３を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９０％（波長５１０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３３を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は２２であった。
【０１７８】
実施例３８
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３６０重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９０重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２１を得た。分散液Ａ−２１における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２５重量％である。分散液Ａ−２１の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。
【０１７９】
分散液Ａ−２１を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８重量％であるペースト組成物Ｃ−３４を作製した。Ｃ−３４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７２重量％となる。
【０１８０】
ペースト組成物Ｃ−３４を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９１％（波長５３０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３４を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１８１】
比較例８
チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）３５２重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）９８重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２２を得た。分散液Ａ−２２における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の２８重量％である。分散液Ａ−２２の粒度分布５０％径は０．０１６μｍ、９０％径は０．０４μｍであった。分散液Ａ−２２を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７重量％であるペースト組成物Ｃ−３５を作製した。Ｃ−３５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７０重量％となる。
【０１８２】
ペースト組成物Ｃ−３５を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９２％（波長５１０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３５を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は９であった。なお、分散液Ａ−２２は分散剤の量が高誘電率無機粒子に対して２８重量％であるが、高誘電率無機粒子を高充填化することができなくなり、比誘電率が低下した。
【０１８３】
実施例３９
チタン酸バリウム（Ｂｕｈｌｅｒ  ＰＡＲＴＥＣ  ＧｍｂＨ社製、Ｂａｒｉｕｍ  ｔｉｔａｎａｔｅ：平均粒子径０．０２２μｍ（メーカー仕様平均粒子径０．０１８μｍ）３９１．３重量部、γ−ブチロラクトン１０５０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有する酸基を持つコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）５８．７重量部をウルトラアペックスミル（寿工業（株）製）を用いて混練し、分散液Ａ−２３を得た。分散液Ａ−２３における分散剤の含有量は高誘電率無機粒子重量の１５重量％である。分散液Ａ−２３の粒度分布５０％径は０．０２５μｍ、９０％径は０．０６μｍであった。
【０１８４】
分散液Ａ−２３を１５０重量部と、エポキシ樹脂溶液Ｂ−７を２．９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６９重量％であるペースト組成物Ｃ−３６を作製した。Ｃ−３６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％となる。
【０１８５】
ペースト組成物Ｃ−３６を用い、実施例１と同様にして膜厚１．４μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン速度調整により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９６％であった。波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９４％（波長５８０ｎｍ）であった。ペースト組成物Ｃ−３６を用い、実施例１と同様にして誘電特性評価サンプルを得た。１ＭＨｚにおける比誘電率は１８であった。
【０１８６】
【表１】
2007214107.tif 000011
【０１８７】
【表２】
2007214107.tif 000012
【０１８８】
【表３】
2007214107.tif 000013
【０１８９】
実施例４０
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７３０．４重量部の順に混合し、分散液Ａ−２４Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２４Ａをベッセル内に送液、循環させた。ジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径０．５３７ｍｍである。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−２４Ｂを得た。分散液Ａ−２４Ｂの粒度分布５０％径は０．０６μｍ、９０％径は０．２２μｍであった。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）の粒子径に関する検査報告書にあるメーカー値は平均粒子径０．０５８ｍｍである。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２４Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、粒度分布が０．０２±０．０１μｍになるまで分散を行い、分散液Ａ−２４Ｃを得た。分散液Ａ−２４Ｃの粒度分布５０％径０．０２２μｍ、９０％径は０．０５１μｍであった。エポキシ樹脂（ジャパンエポキシレジン（株）製、エピコート（商品名）ＹＸ８０００）１７．５７重量部、硬化剤（新日本理化（株）製、リカシッド（商品名）ＭＨ７００）１２．１３重量部、硬化促進剤（Ｎ，Ｎ−ジメチルベンジルアミン）０．３重量部、γ−ブチロラクトン１２．１３重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−８を得た。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−８を０．９４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．７重量％であるペースト組成物Ｃ−３７を作製した。Ｃ−３７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０１９０】
ペースト組成物Ｃ−３７を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。この誘電体組成物の光線透過率（波長４００ｎｍ）は９９％であり、波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は９１％（波長５２０ｎｍ）であった。印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値は１５ｎＡ／ｃｍ２、電圧保持率は４％であった。
【０１９１】
誘電体組成物上に上部電極としてアルミ電極を形成し、ガラス／ＩＴＯ電極／誘電体組成物／アルミ電極で構成されるキャパシタを作製した。アルミ電極はマスクを介して真空蒸着することによって形成した。このキャパシタの１ｋＨｚにおける比誘電率は２３であった。
【０１９２】
実施例４１
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）２２０．１８重量部、硬化剤（日本化薬（株）製、“カヤハード”（商品名）ＴＰＭ）７６．８２重量部、硬化促進剤（トリフェニルホスフィン）３重量部、γ−ブチロラクトン７６．８２重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−９を得た。ＮＣ３０００はエポキシ当量２７８ｇ／ｅｑのビフェニル骨格を有するエポキシ樹脂である。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を８．７４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１８重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５２．６重量％であるペースト組成物Ｃ−３８を作製した。Ｃ−３８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し３５重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９３】
実施例４２
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を４．３５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５９．４重量％であるペースト組成物Ｃ−３９を作製した。Ｃ−３９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し５０重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９４】
実施例４３
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−４０を作製した。Ｃ−４０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９５】
実施例４４
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−４１を作製した。Ｃ−４１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９６】
実施例４５
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．４４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．６重量％であるペースト組成物Ｃ−４２を作製した。Ｃ−４２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、８１重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０１９７】
実施例４６
乾燥窒素気流下、２，２−ビス（３−アミノ−４−ヒドロキシフェニル）ヘキサフルオロプロパン（ＢＡＨＦ）３０．０３ｇ（０．０８２モル）、１，３−ビス（３−アミノプロピル）テトラメチルジシロキサン１．２４ｇ（０．００５モル）、末端封止剤として、３−ヒドロキシフタル酸無水物（東京化成工業（株）製）４．１ｇ（０．０２５モル）をＮ−メチル−２−ピロリドン（ＮＭＰ）１００ｇに溶解させた。ここにビス（３，４−ジカルボキシフェニル）エーテル二無水物３１．０２ｇ（０．１モル）をＮＭＰ３０ｇとともに加えて、２０℃で１時間攪拌し、次いで５０℃で４時間攪拌した。その後、１８０℃で５時間攪拌した。攪拌終了後、溶液を水３Ｌに投入して白色沈殿を集めた。この沈殿をろ過で集めて、水で３回洗浄した後、２００℃の真空乾燥機で５時間乾燥した。得られたポリマー粉体を、赤外吸収スペクトルで測定したところ、１７８０ｃｍ−１付近、１３７７ｃｍ−１付近にポリイミドに起因するイミド構造の吸収ピークが検出された。次に、このポリマー粉体１０ｇに光重合開始剤の１，２−オクタンジオン−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）０．４ｇ、熱架橋性化合物のニカラック（ＮＩＫＡＬＡＣ）ＭＷ−１００ＬＭ（商品名、（株）三和ケミカル製）１．５ｇ、着色剤のＡ−ＤＭＡ（商品名、保土谷化学工業（株）製）０．３ｇ、ＰＤＢＥ−２５０（商品名、（株）日本油脂製。重合性不飽和二重結合を有する化合物）８ｇ、ジメチロールトリシクロデカンジアクリレート（重合性不飽和二重結合を有する化合物）２ｇをジアセトンアルコール１０ｇ、乳酸エチル２０．５ｇに溶解させ、光硬化型ポリイミド組成物溶液Ｂ−１０を得た。
【０１９８】
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部と光硬化型ポリイミド組成物溶液Ｂ−１０を１．２３重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．３重量％であるペースト組成物Ｃ−４３を作製した。Ｃ−４３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０１９９】
ペースト組成物Ｃ−４３を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて１２０℃で１分間プリベークした。次に露光装置（ユニオン光学（株）製ＰＥＭ−６Ｍ）を用いて、露光量５００ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍの強度）で露光を行った。露光後、１２０℃で１分間ベークした後、光洋サーモシステム（株）製イナートオーブンＩＮＬ−６０を用いてＮ２雰囲気下で２００℃で６０分間熱処理し、硬化させて膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２００】
実施例４７
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を０．６１重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．０３重量部、γ−ブチロラクトン０．１９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−４４を作製した。Ｃ−４４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。
【０２０１】
ペースト組成物Ｃ−４４を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、ホットプレートを用いて８０℃で１０分間プリベークした。次に露光装置（ユニオン光学（株）製ＰＥＭ−６Ｍ）を用いて、露光量２０００ｍＪ／ｃｍ２（３６５ｎｍの強度）で露光を行って硬化させて膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０２】
実施例４８
エポキシ樹脂（日本化薬（株）製、ＮＣ３０００）２０８．５重量部、硬化剤（大日本インキ化学工業（株）製、“フェノライト”（商品名）ＶＨ４１５０）８８．５重量部、硬化促進剤（トリフェニルホスフィン）３重量部、γ−ブチロラクトン８８．５０重量部を混合し、エポキシ樹脂溶液Ｂ−１１を得た。“フェノライト”ＶＨ−４１５０はフェノール系のノボラック樹脂である。分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−１１を０．８６重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．６重量％であるペースト組成物Ｃ−４５を作製した。Ｃ−４５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７６重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０３】
比較例９
γ−ブチロラクトン８４０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２５５．６５重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１７０４．３５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２５Ａを得た。ホモジナイザーのカップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．７ｋｇ充填した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２５Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２５Ｂを得た。分散液Ａ−２５Ｂは、粘度が高く、ベッセル内でビーズと分散液の分離が不十分であったため、さらに孔径１０μｍのフィルターを用いて濾過し、分散液Ａ−２５Ｃを得た。分散液Ａ−２５Ｃの粒度分布５０％径０．１０２μｍ、９０％径は０．２５４μｍであり、一次粒子径付近まで分散することは困難であった。分散液Ａ−２５Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を２．６２重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．００８重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が２８．９重量％であるペースト組成物Ｃ−４６を作製した。Ｃ−４６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２０４】
ペースト組成物Ｃ−４６を孔径０．４５μｍのフィルターで濾過することができなかった。ペースト組成物Ｃ−４６を孔径０．４５μｍのフィルターの代わりに孔径２μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０５】
実施例４９
γ−ブチロラクトン１１２０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２１９．１３重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１４６０．８７重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２６Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．４６ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２６Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２６Ｂを得た。分散液Ａ−２６Ｂの粒度分布５０％径０．０４５μｍ、９０％径は０．１０４μｍであった。分散液Ａ−２６Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を２．２５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が３７．８重量％であるペースト組成物Ｃ−４７を作製した。Ｃ−４７を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０６】
実施例５０
γ−ブチロラクトン１４００重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１８２．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）１２１７．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２７Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を１．２ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２７Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２７Ｂを得た。分散液Ａ−２７Ｂの粒度分布５０％径０．０３８μｍ、９０％径は０．０８μｍであった。分散液Ａ−２７Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．８８重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１ｇとをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が４７重量％であるペースト組成物Ｃ−４８を作製した。Ｃ−４８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０７】
実施例５１
γ−ブチロラクトン２２４０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）７３．０４重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）４８６．９６重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２８Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．５ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２８Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２８Ｂを得た。分散液Ａ−２８Ｂの粒度分布５０％径０．０２１μｍ、９０％径は０．０５μｍであった。分散液Ａ−２８Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．７５重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が７７．３重量％であるペースト組成物Ｃ−４９を作製した。Ｃ−４９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表４に示した。
【０２０８】
比較例１０
γ−ブチロラクトン２５２０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）３６．５２重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）２４３．５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−２９Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．２４ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−２９Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−２９Ｂを得た。分散液Ａ−２９Ｂの粒度分布５０％径０．０２１μｍ、９０％径は０．０５１μｍであった。分散液Ａ−２９Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．３８重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１４重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が８８．４重量％であるペースト組成物Ｃ−５０を作製した。Ｃ−５０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２０９】
ペースト組成物Ｃ−５０を用い、実施例４０と同様にして、誘電体組成物（硬化膜）を得たが、粘度が低く、膜厚１μｍ以上の硬化膜が得られず、膜厚は０．３μｍであった。実施例４０と同様にして評価を行った。また、印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値が、２０ｍＡ以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができなかった。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができなかった。この誘電体組成物の電圧保持率は０％であった。結果は表４に示した。
【０２１０】
実施例５２
分散液Ａ−２４Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５１を作製した。Ｃ−５１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。
【０２１１】
ペースト組成物Ｃ−５１を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過したが、すぐに目詰まりしてしまい、濾過することが困難であった。ペースト組成物Ｃ−５１を孔径０．４５μｍの代わりに孔径２μｍのフィルターを用いて濾過した後、実施例４０と同様にして膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１２】
実施例５３
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１４０重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０１０ＲＦ：平均粒子径０．０１２μｍ）７００重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３０Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３０Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３０Ｂを得た。分散液Ａ−３０Ｂの粒度分布５０％径０．０１３μｍ、９０％径は０．０３７μｍであった。分散液Ａ−３０Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５２を作製した。Ｃ−５２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１３】
実施例５４
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０３０Ｒ：平均粒子径０．０３μｍ）７３０．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３１Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７３ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３１Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３１Ｂを得た。分散液Ａ−３１Ｂの粒度分布５０％径０．０４８μｍ、９０％径は０．０８２μｍであった。分散液Ａ−３１Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５３を作製した。Ｃ−５３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１４】
比較例１１
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）２４．５重量部、チタン酸バリウム（Ｃａｂｏｔ，Ｉｎｃ．社製、Ｋ−Ｐｌｕｓ１６：平均粒子径０．０６μｍ）８１５．５重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３２Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．８１５ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３２Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３２Ｂを得た。分散液Ａ−３２Ｂの粒度分布５０％径０．１５μｍ、９０％径は０．２７μｍであった。分散液Ａ−３２Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５４を作製した。Ｃ−５４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１５】
実施例５５
分散液Ａ−３０Ｂを遠心分離にかけ上澄み部分のみを抽出し、分散液Ａ−３０Ｃを得た。遠心分離は、（株）日立ハイテクノロジーズ製の分離用小形超遠心機“ｈｉｍａｃ、ＣＳ１００ＧＸＬ”（商品名）に同社製の“Ｓ５５Ａアングル形ローター（商品名）をセットし、５００００ｒｐｍで、１０分間処理を行った。さらにロータリーエバポレーターを用いて分散液Ａ−３０Ｃを濃縮し、分散液Ａ−３０Ｄを得た。分散液Ａ−３０Ｄの粒度分布５０％径０．００８μｍ、９０％径は０．０１９μｍであった。分散液Ａ−３０Ｄを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５５を作製した。Ｃ−５５を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１６】
実施例５６
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０４０ＲＦ：平均粒子径０．０４μｍ）７３０．４重量部の順に混合後、ホモジナイザーを用いて混合し、分散液Ａ−３３Ａを得た。ホモジナイザーは、カップ内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．７３ｋｇ充填して、氷浴中で処理した。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３３Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで２時間分散し、分散液Ａ−３３Ｂを得た。分散液Ａ−３３Ｂの粒度分布５０％径０．０４９μｍ、９０％径は０．０９２μｍであった。分散液Ａ−３３Ｂを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−５６を作製した。Ｃ−５６を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２１７】
比較例１２
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）８．３重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）８３１．７重量部の順に混合し、分散液Ａ−３４Ａを得た。分散液Ａ−３４Ａは粘度が高く、ビーズで分散できる状態ではなかったため、γ−ブチロラクトンで希釈した後、ホモジナイザーで分散し、分散液Ａ−３４Ｃを得た。分散液Ａ−３４Ｃの粒度分布５０％径は０．５６μｍ、９０％径１．３μｍであった。分散液Ａ−３４Ｃとエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を混合し、硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は誘電体組成物全量に対し、７３重量％となるように調整したペースト組成物Ｃ−５７を得た。ペースト組成物Ｃ−５７はペースト全量に対する含有有機溶剤量が８８％となった。
【０２１８】
ペースト組成物Ｃ−５７は孔径２μｍのフィルターを用いて濾過することができなかった。ペースト組成物Ｃ−５７をＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させて、誘電体組成物の膜を得た。この誘電体組成物の波長４００〜７００ｎｍにおける光線透過率の最小値は測定部位によるばらつきが大きく、５〜１０％の範囲であった。また、印加電圧２Ｖにおけるリーク電流値が、２０ｍＡ以上となり、評価装置の測定電流の上限値を超えたため、測定することができなかった。比誘電率は、リーク電流が大きく測定することができなかった。この誘電体組成物の電圧保持率は０％であった。
【０２１９】
実施例５７
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）６２．２２重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７７７．７８重量部の順に混合し、分散液Ａ−３５Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３５Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３５Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３５Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、９０分間分散し、分散液Ａ−３５Ｃを得た。また、１２０分間分散した分散液Ａ−３５Ｄを得た。分散液Ａ−３５Ｃの粒度分布５０％径は０．０２７μｍ、９０％径は０．０６１μｍであった。分散液Ａ−３５Ｄの粒度分布５０％径は０．０３５μｍ、９０％径は０．０７４μｍとなり、実施例４６より分散剤が少ないため、長時間の分散では粒度分布の増加が確認された。分散液Ａ−３５Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．５６重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６５．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５８を作製した。Ｃ−５８を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２２０】
実施例５８
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１４０重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７００重量部の順に混合し、分散液Ａ−３６Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３６Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３６Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３６Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、１２０分間分散し、分散液Ａ−３６Ｃを得た。分散液Ａ−３６Ｃの粒度分布５０％径は０．０２１μｍ、９０％径は０．０４９μｍであった。分散液Ａ−３６Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．８４重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６７．５重量％であるペースト組成物Ｃ−５９を作製した。Ｃ−５９を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２２１】
比較例１３
γ−ブチロラクトン１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１８３．７５重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）６５６．２５重量部の順に混合し、分散液Ａ−３７Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３７Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３７Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３７Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、１２０分間分散し、分散液Ａ−３７Ｃを得た。分散液Ａ−３７Ｃの粒度分布５０％径は０．０２μｍ、９０％径は０．０４７μｍであった。分散液Ａ−３７Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を０．４２重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６８．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６０を作製した。Ｃ−６０を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４０と同様にして評価を行った。結果は表５に示した。
【０２２２】
実施例５９
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を６．４３重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、イルガキュア（商品名）１８４）を０．３２重量部、γ−ブチロラクトン１．９９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５２．６重量％であるペースト組成物Ｃ−６１を作製した。Ｃ−６１を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し３５重量％である。実施例４７と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２３】
実施例６０
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を３．２重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．１６重量部、γ−ブチロラクトン０．９９重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が５９．４重量％であるペースト組成物Ｃ−６２を作製した。Ｃ−６２を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し５０重量％である。実施例４７と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２４】
実施例６１
分散液Ａ−２４Ｃを１５重量部とアクリル樹脂（東亜合成（株）製、“アロニックス”（商品名）Ｍ３０５）を０．８３重量部と光重合開始剤（チバガイキー（株）製、“イルガキュア”（商品名）１８４）を０．０４重量部、γ−ブチロラクトン０．２６重量部とをボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６３を作製した。Ｃ−６３を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４７と同様にして評価を行った。結果を表５に示した。
【０２２５】
実施例６２
乳酸エチル１９６０重量部、分散剤（リン酸エステル骨格を有するコポリマー、ビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−Ｗ９０１０）１０９．６重量部、チタン酸バリウム（戸田工業（株）製、Ｔ−ＢＴＯ−０２０ＲＦ：平均粒子径０．０２７μｍ）７３０．４重量部の順に混合し、分散液Ａ−３８Ａを得た。ウルトラアペックスミルＵＡＭ−０１５（寿工業（株）製）のベッセル内にジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填し、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３８Ａをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速８ｍ／ｓで１時間分散後、分散液Ａ−３８Ｂを得た。ベッセル内のビーズを回収し、新たにジルコニアボール（（株）ニッカトー製、ＹＴＺボール、寸法φ０．０５ｍｍ）を０．４ｋｇ充填した。ビーズ交換後、ローターを回転させながら、分散液Ａ−３８Ｂをベッセル内に送液、循環させた。ローターの周速１２ｍ／ｓで、粒度分布が０．０２±０．０１μｍになるまで分散を行い、分散液Ａ−３８Ｃを得た。分散液Ａ−３８Ｃの粒度分布５０％径は０．０２２μｍ、９０％径は０．０４９μｍであった。
【０２２６】
分散液Ａ−３８Ｃを１５重量部とエポキシ樹脂溶液Ｂ−９を１．１３重量部と、界面活性剤としてビックケミー・ジャパン（株）製、ＢＹＫ−３３３を０．０１２重量部をボールミルを用いて混合し、ペースト組成物全量に対する含有有機溶剤量が６６．７重量％であるペースト組成物Ｃ−６４を作製した。Ｃ−６４を硬化させて得られる誘電体組成物中の高誘電率無機粒子の含有量は、誘電体組成物全量に対し７３重量％である。実施例４７と同様にして評価を行った。結果を表７に示した。
【０２２７】
実施例６３
ペースト組成物Ｃ−６４を孔径０．４５μｍのフィルターを用いて濾過した後、ＩＴＯ付きガラス基板上にスピンコーターを用いて塗布し、オーブンを用いて８０℃で１５分間の熱処理を行い乾燥させた後、１７５℃で４時間の熱処理を行い硬化させ、膜厚１μｍの誘電体組成物（硬化膜）を得た。膜厚調整はスピンコート時のスピン調整速度により行った。さらに、この誘電体組成物上にフッ素系界面活性剤（大日本インキ化学工業（株）製、“ディフェンサ”（商品名）ＭＣＦ−３５０ＳＦ）を用いて０．１μｍ厚の透明被膜を形成した。実施例４０と同様にして評価を行った。結果を表７に示した。
【０２２８】
【表４】
2007214107.tif 000014
【０２２９】
【表５】
2007214107.tif 000015
【０２３０】
【表６】
2007214107.tif 000016
【０２３１】
【表７】
2007214107.tif 000017
【産業上の利用可能性】
【０２３２】
本発明の、ペースト組成物および誘電体組成物は、ディスプレイの表示部に使用される透明キャパシタ用材料や、エレクトロウェッティングタイプの電子ペーパーの電解液に接する材料などとして好適に利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２３３】
【図１】実施例における電圧保持率の算出で用いた上部電極とＩＴＯ透明電極間の電位差と印加矩形パルスの関係を示した図