(57)【要約】【課題】スライダに生じるばりを、スライダを切断治具に保持させたまま、簡易な手段で除去する。【解決手段】スライダ１ａ，１ｂを液体中に配置する。スライダの切断面Ｓ２，Ｓ３は、略平行な向きで対向し、液面Ｗ１と略直交し、実質的に液体に浸される。スライダの上面（ＡＢＳ）はともに液面から露出する。切断面Ｓ２，Ｓ３間の液面Ｗ２は、切断面Ｓ２，Ｓ３と直交する軸を含み液面Ｗ１と直交する面内で曲面形状をなす。液面Ｗ２の上方から電磁波を照射し、電磁波を液面Ｗ２で屈折させて切断面Ｓ２，Ｓ３に入射させ、切断面Ｓ２，Ｓ３の周縁に発生したばりＣ２の媒体対向面からの高さを低減させる。【選択図】  図８
2007052868.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スライダとなるべき複数の素子が配列形成されたバーを切断して得られたスライダと、該スライダの切断面と略平行な向きで対向する第１の面を備えた第１の部材とを、該切断面および該第１の面が液面と略直交し、実質的に液体に浸されるように、かつ、該スライダの上面および該第１の部材の上面がともに該液面から露出するように、かつ、該切断面と該第１の面との間にメニスカスが形成されるように、液体中に配置する配置ステップと、
前記切断面と前記第１の面との間の液面の上方から電磁波を照射し、該電磁波を前記曲面形状をなす液面で屈折させて該切断面に入射させ、該切断面の周縁に発生したばりの媒体対向面からの高さを低減させる照射ステップと、
を有するスライダの製造方法。
【請求項２】
前記配置ステップに先立って、前記スライダおよび前記第１の部材の前記上面となるべき面に撥水処理をおこなうステップを有する、請求項１に記載のスライダの製造方法。
【請求項３】
前記第１の部材は切断された別のスライダであり、前記第１の面は該別のスライダの切断面である、請求項１または２に記載のスライダの製造方法。
【請求項４】
前記配置ステップは、３つ以上の前記スライダを、隣接する２つのスライダの対向面が前記各切断面となるように配置することを含む、請求項３に記載のスライダの製造方法。
【請求項５】
前記配置ステップは、複数の前記スライダを、各上面が前記液体の平均液面レベルよりも下方となり、前記曲面形状が凸状をなすように液体中に配置することを含む、請求項３または４に記載のスライダの製造方法。
【請求項６】
前記照射ステップは、前記曲面形状が凹状をなすまで前記電磁波を照射することを含む、請求項５に記載のスライダの製造方法。
【請求項７】
前記配置ステップは、複数の前記スライダを、各上面が前記液体の平均液面レベルよりも上方となり、前記曲面形状が凹状をなすように液体中に配置することを含む、請求項３または４に記載のスライダの製造方法。
【請求項８】
前記バーを個々の前記スライダに分離する切断ステップをさらに有し、
前記切断ステップは、前記バーを治具に保持することと、該バーを該治具に保持された状態で切断することとを含み、
前記配置ステップは、分離された複数の前記スライダを、前記治具に保持したまま液中に配置することを含む、
請求項３から７のいずれか１項に記載のスライダの製造方法。
【請求項９】
前記上面は前記媒体対向面である、請求項３から８のいずれか１項に記載のスライダの製造方法。
【請求項１０】
前記電磁波は波長２００〜３０００ｎｍのレーザーである、請求項１から９のいずれか１項に記載のスライダの製造方法。
【請求項１１】
前記レーザーの照射量は０．５〜６．０ｍＪ／ｍｍ2である、請求項１０に記載のスライダの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスクドライブに用いられるスライダの製造方法に関し、特に、スライダの切断面に生じるばりの除去方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
高速、大容量、高信頼性、低コストの記録媒体としてハードディスクドライブが、デジタル情報の記録に広く用いられている。ハードディスクドライブには、記録媒体への情報の書込みをおこなう書込み素子と、記録媒体からの情報の読出しをおこなう読込み素子の少なくとも一方が設けられた磁気ヘッドスライダ（以下、スライダという。）が備えられている。これらの書込み素子や読込み素子が設けられたリードライト部は、スライダの一端部に設けられている。スライダが記録媒体と対向する面は媒体対向面またはＡＢＳ（Air Bearing Surface）と呼ばれる。
【０００３】
スライダが記録媒体への情報の記録・再生をおこなう際には、スライダと高速回転する記録媒体との間に空気流が流入する。スライダはこの空気流によって、記録媒体からわずかに浮上する。このときのＡＢＳと記録媒体の表面との距離は浮上量と呼ばれている。浮上量が小さくなると記録媒体のビット長が短くなるため、記録媒体の高密度化には浮上量の低減が有効である。このため、ハードディスクドライブのさらなる高記録密度化の要求に応じ、浮上量をより一層抑えることが要求されている。
【０００４】
このようなスライダの作成方法を、図１４Ａ〜１４Ｆを用いて説明する。まず、図１４Ａに示すように、スライダとなるべき素子１３をウエハ１１上に多数形成する。次に、素子１３が多数形成されたウエハ１１を、砥石２６で長尺状のバー１２に切断する。バー１２は切断面Ｔ１，Ｔ２に沿って切断される。この状態が図１４Ｂに示されている。次に、図１４Ｃに示すように、切断されたバー１２の切断面Ｔ２を専用の研磨装置で研磨して、記録媒体と対向する媒体対向面ＡＢＳを形成する。同図は、図１４Ｂの矢印の方向にバー１２を回転させたときの斜視図である。次に、図１４Ｄに示すように、バー１２を切り代１４に沿って砥石２７で切断し、個々のスライダ１に分離する。
【０００５】
ところで、砥石でウエハをバーに切断したり、バーをスライダに切断する際には、切断時の加工応力によってスライダ切断面に圧縮応力層が生じて、切断面に「ばり」が生じることがある。ウエハをバーに切断する場合、図１４Ｂ，１４Ｃに示すように、切断面Ｔ１，Ｔ２の両端にばりＣ１１，Ｃ１２が生じる（切断面Ｔ１，Ｔ２の一端側のばりは図示せず）。バーをスライダに切断する場合、図１４Ｄのスライダの拡大図に示すように、切断面Ｓ２の辺Ａ１，Ａ２に沿ってばりＣ２が生じる（辺Ａ２に沿ったばりは図示せず）。同様のばりＣ３は、切断面Ｓ２の辺Ｂ１，Ｂ２に沿っても生じる（辺Ｂ１に沿ったばりは図示せず）。さらに、切断面Ｓ３側にも同様のばりＣ２，Ｃ３が生じる。
【０００６】
図１４Ｅ，１４Ｆは各々、図１４ＤのＸ−Ｘ線、Ｙ−Ｙ線に沿った断面図である。ばりＣ２は、媒体対向面ＡＢＳに突き出すように発生し、媒体対向面ＡＢＳの裏側の面Ｓ５にも同様に発生する。ばりＣ３は、媒体対向面ＡＢＳと直交する面Ｓ４，Ｓ６に突き出すように発生する。
【０００７】
これらのばりのうち、切断面Ｔ２側のばりＣ１２は、媒体対向面ＡＢＳが形成される際に切断面Ｔ２が５０〜８０μｍ程度研磨されるので、消滅する。切断面Ｔ１側のばりＣ１１は、多少残っても機能上の問題はない。ばりＣ３は面Ｓ４，Ｓ６に突き出すように発生するが、面Ｓ４，Ｓ６は完全に平坦である必要はないので、多少のばりが残っても機能上の問題はない。しかし、ばりＣ２は媒体対向面ＡＢＳに突き出すため、浮上量を低減し、記録媒体の高密度化を図る上で大きな障害となる。また、媒体対向面ＡＢＳの反対面のばりＣ２も、フレクシャとの接合時に障害となる可能性がある。
【０００８】
そこで、このようなばりの残存を防止するために、切断面を研磨するほか、スライダの周囲に予備溝を設けて、予備溝に沿って切断することによって、ばりが媒体対向面ＡＢＳまで張り出さないようにする技術が開示されている（特許文献１参照）。
【０００９】
なお、スライダの加工技術として、例えばスライダ形状のゆがみを除去したり、所定の形状を形成する目的で、レーザーを利用する技術も開示されている（特許文献２，３）。
【特許文献１】特開２００１−１４３２３３号公報
【特許文献２】特開平６−８４３１２号公報
【特許文献３】特開平１１−３２８６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１に記載の技術は、いくつかの問題点がある。第一に、特許文献１に記載の技術は、ばりそのものを消滅させるのではなく、ばりを予備溝の内部に収めるものであるので、媒体対向面の形状設計の汎用性が低下する。すなわち、媒体対向面には、スライダ作動時の浮上量を制御するためのレールが形成されているが、ばりが残存した状態であると、レールの高さを小さくすることが難しくなる。
【００１１】
第二に、スライダの側方に予備溝を追加することは、切断部の幅の実質的な増加につながる。近年、携帯電話への搭載などを目的とするハードディスク装置の小型化に伴い、スライダ自体も、従来の３０％スライダ（１．０ｍｍ×１．２３５ｍｍ×０．３ｍｍ程度の大きさのスライダ）から２０％スライダ（０．７ｍｍ×０．８５ｍｍ×０．２３ｍｍ程度の大きさのスライダ）へと小型化されつつあり、さらなる小型化も検討されている。スライダの小型が進むほどウエハの中で切断部の占める割合が増加するため、切断部の幅の増加は１枚のウエハから製造できるスライダの個数の制約となる。これは、生産効率の低下や、スライダ１個当たりのコストアップにつながる。切断幅を縮小するには一層の微細加工が必要となるが、このような予備溝が必要であると、切断幅の縮小にも限界がある。
【００１２】
また、切断面を研磨すればばりの除去は可能であるが、分離されたスライダを一つ一つ研磨することは生産効率上課題が多い。
【００１３】
そのため、ばりを根本的に除去する技術が望まれており、その一つとして、本願発明者は、特許文献２，３に示されているようなレーザーを利用した技術に注目した。しかし、レーザーによるばり除去技術も以下に示すような問題点がある。すなわち、レーザーを媒体対向面側に照射すると、媒体対向面の平坦性がかえって悪化するため、切断面に照射する必要がある。切断面に照射する場合、スライダを一つ一つに分離してからレーザーを照射すると、上述と同様の生産効率上の問題が生じるため、切断用治具にスライダを保持したまま照射することが必要となる。しかし、スライダ同士の間隔は極めて狭いため、レーザーを切断面に対して浅い角度で入射させなければならず、十分なエネルギーを切断面に与えることができない。また、浅い角度で入射させるためには、照射角度の高い精度が要求される。
【００１４】
さらに、スライダに斜めにレーザーを照射するには、スライダを水平面に設置し、スライダの上方から斜め方向に向けて照射するのが望ましいが、レーザー出射装置の構造によっては斜めからの照射が困難な場合がある。この場合、スライダを斜面に固定し、レーザーを上部から照射することによって斜め照射を実現することが考えられるが、照射装置の焦点深度や上下方向の移動範囲の制約で、１回に照射できるスライダの数が制限される。
【００１５】
本発明の目的は、上記の状況を踏まえ、バーを切断しスライダを製造する際にスライダに生じるばりを、スライダを切断治具に保持させたまま、簡易な手段で除去することのできるスライダの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のスライダの製造方法は、スライダとなるべき複数の素子が配列形成されたバーを切断して得られたスライダと、スライダの切断面と略平行な向きで対向する第１の面を備えた第１の部材とを液体中に配置する配置ステップを有している。このステップにおいて、スライダの切断面および第１の部材の第１の面は、液面と略直交し、実質的に液体に浸されるように配置される。スライダの上面および第１の部材の上面はともに液面から露出するようにされる。さらに、切断面と第１の面との間にメニスカスが形成される。本製造方法はさらに、切断面と第１の面との間の液面の上方から電磁波を照射し、電磁波を曲面形状をなす液面で屈折させて切断面に入射させ、切断面の周縁に発生したばりの媒体対向面からの高さを低減させる照射ステップを有している。
【００１７】
切断面と第１の面との間の液面は、曲面形状を呈するので一種のレンズとして機能する。したがって、切断面と第１の面との間の液面に電磁波を照射すると、電磁波は切断面と第１の面との間の液面で屈折され、切断面に入射する。電磁波は、スライダの切断面を加熱し、切断時などに生じる残留応力のバランスを変え、ばりの高さを低減させる。
【００１８】
本発明のスライダの製造方法は、配置ステップに先立って、スライダおよび第１の部材の上面となるべき面に撥水処理をおこなうステップを有していることが望ましい。これによって、上述した曲面形状の液面が形成されやすくなる。
【００１９】
第１の部材は切断された別のスライダであり、第１の面は別のスライダの切断面とすることができる。
【００２０】
配置ステップは、３つ以上のスライダを、隣接する２つのスライダの対向面が各切断面となるように配置することを含んでいてもよい。
【００２１】
配置ステップは、複数のスライダを、各上面が液体の平均液面レベルよりも下方となり、曲面形状が凸状をなすように液体中に配置することを含んでいてもよい。
【００２２】
照射ステップは、曲面形状が凹状をなすまで電磁波を照射することを含んでいてもよい。
【００２３】
配置ステップは、複数のスライダを、各上面が液体の平均液面レベルよりも上方となり、曲面形状が凹状をなすように液体中に配置することを含んでいてもよい。
【００２４】
バーを個々のスライダに分離する切断ステップをさらに有し、切断ステップは、バーを治具に保持することと、バーを治具に保持された状態で切断することとを含み、配置ステップは、分離された複数のスライダを、治具に保持したまま液中に配置することを含んでいてもよい。
【００２５】
上面は媒体対向面とすることができる。
【００２６】
電磁波は波長２００〜３０００ｎｍのレーザーを用いることが望ましい。また、レーザーの照射量は０．５〜６．０ｍＪ／ｍｍ2とすることが望ましい。
【発明の効果】
【００２７】
以上説明したように、本発明によればスライダの切断面に面する液体が曲面形状をなすようにスライダを液体中に配置し、この曲面形状をなす液体に向けて電磁波を照射する。曲面形状をなす液体はレンズとして機能し、ここで屈折した電磁波がスライダの切断面に入射する。このため、バーを切断しスライダを製造する際にスライダに生じるばりを、スライダを切断治具に保持させたまま、簡易な手段で除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、図面を参照して、本発明のスライダの製造方法について詳細に説明する。図１には、本発明のスライダの製造方法に係るスライダの斜視図を示す。スライダ１は、アルティック（Ａｌ2Ｏ3・ＴｉＣ）等のセラミック材料からなる基板２と、積層体からなる薄膜磁気ヘッド部３とを備えている。スライダ１の上方（下方となる場合もある。）に、回転駆動される円盤状の記録媒体（図示せず）が設けられている。スライダ１はほぼ六面体形状をなし、六面のうちの一面が記録媒体と対向する媒体対向面ＡＢＳを形成している。媒体対向面ＡＢＳには、薄膜磁気ヘッド部３の読込み・書込み素子が設けられたリードライト部４と、レール部５ａ、５ｂとが設けられている。読込み素子としては、ＡＭＲ（異方性磁気抵抗効果）素子、ＧＭＲ（巨大磁気抵抗効果）素子、またはＴＭＲ（トンネル磁気抵抗効果）素子等の磁気抵抗効果を示す感磁膜を用いた素子（以下、ＭＲ素子ともいう。）を用いることができる。書込み素子としては、誘導型磁気変換素子が用いられ、記録媒体の面内方向への記録を行なう水平記録方式と、記録媒体の面外方向への記録を行なう垂直記録方式のいずれでもよい。
【００２９】
記録媒体が回転すると、空気流は、スライダ１の空気流流入方向側６から進入し、薄膜磁気ヘッド部３が設けられた記録媒体進行方向ｚの下流側端部からスライダ１外へ抜ける。すなわち、空気流は、レール部５ｂと記録媒体との間のわずかな隙間に入り、レール部５ａ，５ｂで整流され、リードライト部４と記録媒体との間の隙間に入る。この空気流によって、ｙ方向下向きの揚力が生じ、スライダ１は、記録媒体の表面から浮上する。
【００３０】
媒体対向面ＡＢＳは、レール部５ａが記録媒体に対して最も突出し、リードライト部４は、レール部５ａよりも１〜３ｎｍほど記録媒体に対して引込んでいる。レール部５ａ、５ｂの段差は必ずしも必要ではない。媒体対向面ＡＢＳには、Ｓｉ（シリコン）とＤＬＣ(Diamond like carbon；ダイヤモンド状炭素)との混合膜からなる厚さ１〜１０ｎｍ程度の保護膜（図示せず）が形成されている。スライダ１の媒体対向面ＡＢＳの裏側の面Ｓ５（図１４Ｄ，１４Ｅ参照）はスライダ１を支持するフレクシャ（図示せず）との接触面となる。
【００３１】
（第１の実施形態）
次に、以上説明したスライダの製造方法の第１の実施形態を、図２のフロー図を参照して説明する。
【００３２】
（ステップ１０１）まず、図１４Ａのように、ウエハ１１の上にスライダ１となるべき複数の素子１３を薄膜工程によって積層し、図１４Ｂのように、ウエハ１１を、素子１３が長手方向に一列に配列形成された長尺状のバー１２に切断する。バー１２は、媒体対向面ＡＢＳとなるべき面が切断面Ｔ２に現れる向きに切断される。なお、ウエハ１１には、ステップ１０２における媒体対向面ＡＢＳの研磨量を管理するため、あらかじめ複数の素子１３ごとに１つの測定素子（図示せず）を設けてもよい。
【００３３】
（ステップ１０２）次に、バー１２はラッピングされて、ＭＲ素子の所定のＭＲ高さ、および書込み素子のスロートハイトが形成される。また、媒体対向面ＡＢＳには、イオンミリング等によってレール部５ａ，５ｂが形成される。
【００３４】
（ステップ１０３）次に、バー１２を切断用治具２１に取付ける。切断用治具２１は、図３に示すように、支持板２３の上に、互いにギャップ２５を介して、スライダ支持部２２が一列に配列されたものである。バー１２は、図３，４に示すように、切り代１４がギャップ２５と一致するように位置決めされて、媒体対向面ＡＢＳを上側にして、スライダ支持部２２の固定面２４に接着剤によって固定される。切断用治具２１は、後述するレーザー光によるばり除去の際にも、スライダを保持する治具として機能する。
【００３５】
本ステップにおいて、媒体対向面ＡＢＳには、撥水性物質を塗布するなどして撥水処理をしておくことが望ましい。撥水性物質としてはたとえば、一般に使用される食用油などでも効果は十分得られるが、媒体対向面ＡＢＳの汚染を防ぐために、シリコンオイルなどが好ましい。撥水性物質を塗布することにより、次ステップでバーからスライダへ切断するときに、飛散してくる切断粉から媒体対向面ＡＢＳを保護する効果も得られる。撥水性物質は、スライダ１を切断用治具２１から取り外した後の洗浄工程において除去することができる。ステップ１０２でのレール部５ａ，５ｂの形成後に、媒体対向面ＡＢＳにＤＬＣを成膜しても同様の効果が得られる。なお、媒体対向面ＡＢＳの撥水性が比較的良好な場合は、撥水処理を行なわなくてもよい。
【００３６】
（ステップ１０４）次に、図４に示すように、バー１２を切断用治具２１で保持しながら切り代１４で切断して、スライダ１に分離する。切断には、砥石２７が用いられる。あらかじめ切り代１４がギャップ２５と一致するように位置決めされているので、砥石２７はギャップ２５の中を通り、切断用治具２１には接触しない。このため、バー１２は、切断用治具２１に保持された状態で切断される。
【００３７】
図５には、切断されたバー１２の部分斜視図を示す。このように、分離されたスライダ１は、隣接するスライダ１の切断面Ｓ２，Ｓ３同士が、切断によって生じた切り代１４に相当する空間１５をあけて対向するように保持される。スライダ１の寸法は、一例では、バー１２の長手方向長さＤｘが約１．０ｍｍ、バー１２の奥行き方向長さＤｙが約１．２３ｍｍ、バー１２の厚みＤｚが約０．３ｍｍである。これらの寸法はスライダの種類によって異なるが、互いの比率は大きく変わらない。また、切断幅すなわち空間１５のｘ方向の幅Ｇは、一例では約０．１５ｍｍである。
【００３８】
砥石２７は、材質がダイヤモンド、回転速度は５０００〜２００００ｒｐｍ程度である。砥石２７を図４の白抜き矢印の向きに動かしながら、すべてのスライダ１を順次切断する。このとき、図１４Ｄ，１４Ｅで示したようなばりＣ２が、切断面Ｓ２，Ｓ３に形成される。
【００３９】
なお、切断面Ｓ２，Ｓ３の一方は、スライダ１のウエハ１１内の位置によってはステップ１０４における切断面とはならない可能性があるが、その場合でもステップ１０１において、ウエハ１１からバー１２に切断する際の切断面となっている。このため、すべてのスライダ１には切断面Ｓ２，Ｓ３の両側に同様なばりＣ２が生じている。
【００４０】
（ステップ１０５）図６に示すように、水槽４１を用意し、水槽４１に純水Ｗを張る。次に、純水Ｗを張った水槽４１に切断用治具２１に保持されたスライダ１を配置する（切断用治具２１は図示せず）。各スライダ１は切断用治具２１に保持されたままであるので、隣接する２つのスライダ１の対向面は各切断面Ｓ２，Ｓ３となっており、切断面Ｓ２，Ｓ３は互いに略平行な向きで対向している。図６には図面の簡略化のため、数個のスライダのみが示されているが、一つの切断用治具２１には通常数十個のスライダが設けられている。スライダ１は、図示するように、２列以上まとめて配置してもよい。
【００４１】
図７は、図６のＡ部の部分拡大図である。図８は、図６の８−８線から見た断面図である。図８に示すように、切断用治具２１のスライダ支持部２２は、水槽４１の平均液面レベルに相当する液面Ｗ１と平行になるように設置される。このため、スライダ１の上面となる媒体対向面ＡＢＳは液面Ｗ１と平行になり、隣接するスライダ１ａ，１ｂの各切断面Ｓ２，Ｓ３は液面Ｗ１と略直交する。
【００４２】
切断面Ｓ２，Ｓ３は実質的に純水Ｗに浸されるが、媒体対向面ＡＢＳにはあらかじめ撥水処理がなされているので、媒体対向面ＡＢＳは、図７に示すように液面から露出する。切断面Ｓ２，Ｓ３の間の液面Ｗ２は、切断面Ｓ２，Ｓ３と直交する軸を含み液面Ｗ１と直交する面内（すなわち図８に示す断面）で凸状（凸レンズ状）の曲面形状をなす。すなわち、切断面Ｓ２，Ｓ３の間にはメニスカスが形成される。これは、媒体対向面ＡＢＳの撥水性と純水Ｗの表面張力のためである。中心線Ｐ（ｙ方向には中心面となる。）は、切断面Ｓ２，Ｓ３の中点の集合であり、原理的に凸レンズ状の液面Ｗ２の頂点となる。以上のような状態を作るため、媒体対向面ＡＢＳの設置レベルは、３０％スライダより大きいスライダでは、液面Ｗ１よりも下方約０．３〜１．０ｍｍとなるように調整される。３０％スライダおよびそれより小さいスライダの場合、この値は０．３〜０．５ｍｍの範囲で設定することが望ましい。ただし、この値はスライダ間の隙間や液体の表面張力とも関連するため、隙間が異なる場合や純水以外の液体を用いる場合には別の値となる。
【００４３】
（ステップ１０６）図６，８に示すように、切断面Ｓ２，Ｓ３間の液面Ｗ２の上方からレーザー照射器３１によってレーザー光３２を照射し、液面Ｗ２に入射させる。レーザー光３２の強度は、一例では２ｍＪ／ｍｍ2である。図８では、レーザー光３２は中心線Ｐの右側の部分だけを示している。右側の部分のレーザー光３２は曲面形状の液面Ｗ２で屈折し、中心線Ｐを越えて、反対側のスライダ１ａの切断面Ｓ２に入射する。純水の屈折率（１．３３）と、スライダ１ａ、１ｂの間隔（ここでは０．１５ｍｍ程度）との関係より、屈折したレーザー光３２は主に切断面Ｓ２の下側（媒体対向面ＡＢＳから見て奥側）に入射する。図示しない中心線Ｐの左側のレーザー光３２も同様にして、中心線Ｐの反対側のスライダ１ｂの切断面Ｓ３に入射する。
【００４４】
さらにレーザー光３２の照射を続ける。レーザー光３２の強度は大きく、一方、スライダ１ａ，１ｂ間の隙間は０．１５ｍｍ程度と小さいため、切断面Ｓ２，Ｓ３間の隙間に存在する純水Ｗは、レーザー光３２によって（正しくは、レーザー照射された切断面Ｓ２，Ｓ３の発熱によって）急激に加熱され、蒸発する。ｘ方向の位置をほとんど変えないで同じ領域にレーザー光３２を連射すると、周囲からの水の補給が蒸発量に追いつかなくなるため、液面Ｗ２はごく短時間、図９に示すような凹状（凹レンズ状）の曲面形状（液面Ｗ３）に変化する。このとき、中心線Ｐの左側のレーザー光３２が液面Ｗ３で屈折して、スライダ１ａの切断面Ｓ２に照射される。レーザー光３２は、スライダ１ａの切断面Ｓ２の上側（媒体対向面ＡＢＳ側）に集中するような軌跡をたどる。
【００４５】
以上の過程をへて、スライダ１ａの切断面Ｓ２に偏りなくレーザー光３２が照射される。スライダ１ｂの切断面Ｓ３にも同様にしてレーザー光３２が照射される。照射範囲には、ばりＣ２そのものや切断面Ｓ２の各エッジ（図１４Ｄの辺Ａ１，Ａ２，Ｂ１，Ｂ２）は含まれないようにされる。ばりＣ２を物理的に除去するのではなく、切断面Ｓ２にレーザーを照射し表面を加熱することによって、切断時などに生じる残留応力のバランスを変え、ばりＣ２をなくすのである。すなわち、レーザーを照射すると、レーザーによる熱でアルティックの溶解、あるいは、再凝集が起こり、加熱された箇所が収縮する。この収縮に伴って、照射面方向（切断面方向）に収縮応力が発生する。この結果、切断面Ｓ２の照射部位に収縮応力が生じ、図１０（ａ）に示すばりＣ２が、図１０（ｂ）に示すように効率的に除去される。本発明の目的である媒体対向面ＡＢＳへのばりの出張りを抑えるという観点からは、切断面の周縁に発生したばりの媒体対向面ＡＢＳからの高さｈ０が、高さｈ１へと低減する（出張りが完全に０または０以下となる場合も含む。）ということもできる。
【００４６】
レーザー光３２の波長は、２００〜３０００ｎｍの範囲から選択するのが好ましい。この波長の範囲のレーザーは、スライダ１の表面で吸収されやすく、また、スライダ１の表面付近で熱エネルギーに変換される効率が高い。また、レーザー光３２の照射量は０．５〜６．０ｍＪ／ｍｍ2の範囲とするのが好ましい。０．５ｍＪ／ｍｍ2を下回ると、基板２を構成するアルティックや、薄膜磁気ヘッド部３の主要材料であるアルミナが溶融する温度に至らないため、十分な効果が得られない。６．０ｍＪ／ｍｍ2を上回ると、スライダ１の熱変形が大きくなりすぎる。照射時間は、上記のエネルギー量の照射を前提に０．０１〜０．１秒が好ましく、特に０．０２秒程度が最適である。なお、照射するビームはレーザーに限定されず、より一般的には、上述のようなエネルギーを照射可能な電磁波であれば、同様の効果を得ることができる。
【００４７】
図１１には、切断面Ｓ２側の照射状況を示す。照射方法は、ｚ方向に長くｘ方向に短い長方形の照射範囲を順次ｙ方向へ動かしていくのがよい。このような照射方法では、長辺方向のｚ方向への収縮応力がかかり、一方ｙ方向への収縮応力はあまりかからないので、ばりを効果的に除去できる。ｚ方向への照射は、上述した方法に従い、液面Ｗ２から液面Ｗ３への変化によって自動的に行なわれる。ｙ方向へのスキャン（図中白抜き矢印）は、たとえばレーザー照射器３１の首振り運動によって行なわれる（スライド運動でもかまわない。）。レーザー照射器３１の照射部にはマスク３４が取付けられており、マスク３４によってレーザーの照射形状は矩形に整形される。マスク３４は、一度に一つの矩形ビームが照射されるような形状としてもよいが、複数個の矩形のビームが同時に照射されるような形状としてもよい。後者の場合、複数個の照射範囲を同時に照射できるので作業効率が高まる。レーザーのビーム形状は円形でもよく、この場合、ビーム径は３０μｍ以上とするのが好ましい。これ以下の径では、溶融範囲が狭すぎ、照射した箇所がまだら状になるため、ばりを除去する効果が十分に得られず、また、スループットが極端に低下してしまう。
【００４８】
以上のプロセスによって、一組のスライダの対向する切断面のばりが除去される。その後、必要に応じてレーザー照射器の位置を動かし、別の切断面にレーザー光を同様に照射してばりの除去をおこなう。照射位置の移動は、例えばガルバノミラーを動かしておこなってもよい。その後、スライダ１の集合体を水槽４１から取り出し、洗浄し、スライダ１を切断用治具２１から取外し、個々のスライダに分離する。
【００４９】
（第２の実施形態）
次に本発明の第２の実施形態について説明する。第２の実施形態はステップ１０５，１０６が異なる他は、第１の実施形態と同様である。
【００５０】
図１２を参照すると、ステップ１０５において、スライダ１ａ，１ｂは、媒体対向面ＡＢＳが液体の平均液面レベルである液面Ｗ１よりも上方となるように配置される。このときの液面Ｗ１と媒体対向面ＡＢＳとのレベル差は、３０％スライダより大きいスライダでは、０．３〜１．０ｍｍ程度である。スライダの切断面Ｓ２，Ｓ３は通常親水性を有しているので、スライダ１ａ，１ｂ間の液面Ｗ３は凹状（凹レンズ状）の曲面形状をなすように形成される。
【００５１】
この状態において、レーザー光３２を第１の実施形態と同様に照射することで、スライダの切断面にレーザーを照射することができる。このときの状態は図９、すなわち、第１の実施形態において液面が低下し、液面が凹レンズ状になったときと基本的に同じである。このとき、切断面Ｓ２の下方（媒体対向面ＡＢＳから遠い側）はレーザー光３２の照射量が相対的に少なくなるが、下方へ照射回数（照射量）を意図的に増やすようレーザーを調整することで、切断面Ｓ２に均一に照射することができる。また、一定以上の照射量で同一箇所に照射すると、周辺の水分が急激に蒸発し、図１３のように液面Ｗ３が液面Ｗ４へと低下し、切断面Ｓ２，Ｓ３の下方に集中してレーザーを照射することができる。
【００５２】
以上の説明では、スライダ同士を隣接させて、互いに対向する切断面のバリを同時に除去する方法について述べたが、スライダ同士が隣接している必要はなく、一方がダミー部材でもよい。すなわち、隣接するスライダの一方を第１の部材とし、第１の部材を、切断された別のスライダの代わりにダミー部材に置き換えることもできる。この場合、ダミー部材の上面を第１の面としたときに、第１の部材および第１の面が上述したスライダの一方と同様な位置関係となるように設置すればよい。このような方法は、例えば切断して一列に並んだスライダの両端部の切断面のばりを除去するときなどに有効である。
【００５３】
また、以上の説明では媒体対向面が上側となるようスライダを設置したが、媒体対向面を下側としても同様の効果が得られる。この場合、バーを切断用治具に装着する際に、媒体対向面が切断用治具２１の固定面２４を向くように設置し、媒体対向面の裏側に撥水処理を施すことが望ましい。
【００５４】
最後に本発明の効果をまとめて説明する。本発明は、上述のように、バーを切断して個々のスライダに分離する際にスライダに生じるばりを、レーザー等の電磁波を照射することによって除去するものである。本発明によれば、ばりそのものを除去できるので、スライダの設計においてばりの存在を考慮する必要がなくなり、スライダの浮上量の一層の低減を図る上での制約の一つが解消する。また、ばりの影響を抑えるために予備溝を設置するなど、切り代幅の増加要因がなくなるので、より多くのスライダを１枚のウエハに形成することが容易となる。さらに、ばりの残存を前提としたスライダの設計が不要となり、媒体第１の面のレール形状など、他の部位の設計自由度の拡大につながる。
【００５５】
本発明は、生産効率の面からもメリットを有している、すわなち、本発明は、バーから個々のスライダに切断後、そのまま切断用治具に固定した状態で、液体中に浸してレーザーを照射する。このため、研磨によってばりを除去する従来の方法に比べて特別な設備を必要とせず、また、手間もかからない。スライダを分離する工程の中にレーザーを照射する工程を組み入れることも容易であるので、作業効率が向上する。レーザー照射器も一般に入手可能なもので十分あり、レーザーを屈折させるための設備の追加も不要である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明のスライダの製造方法に係るスライダの斜視図である。
【図２】本発明のスライダの製造方法の第１の実施形態におけるフロー図である。
【図３】本発明のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図４】本発明のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図５】切断されたバーの部分斜視図である。
【図６】本発明のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図７】図６のＡ部の拡大図である。
【図８】本発明のスライダの製造方法を示す、図６の８−８線に沿った断面図である。
【図９】本発明のスライダの製造方法を示す、図６の８−８線に沿った断面図である。
【図１０】本発明のばり除去の効果を示す概念図である。
【図１１】レーザー光の照射範囲を示す概念図である。
【図１２】本発明のスライダの製造方法の第２の実施形態を示す断面図である。
【図１３】本発明のスライダの製造方法の第２の実施形態を示す断面図である。
【図１４Ａ】従来技術のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図１４Ｂ】従来技術のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図１４Ｃ】従来技術のスライダの製造方法を示すステップ図である。
【図１４Ｄ】図１４Ｃに示す切断されたスライダの拡大図である。
【図１４Ｅ】図１４ＤのＸ−Ｘ線に沿った断面図である。
【図１４Ｆ】図１４ＤのＹ−Ｙ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  スライダ
１２  バー
１３素子
２１  切断用治具
３１  レーザー照射器
３２  レーザー光
４１  水槽
Ｃ２  ばり
Ｓ２、Ｓ３  切断面
ＡＢＳ  媒体対向面
Ｗ  純水
Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３，Ｗ４  液面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【図１４Ｃ】
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【図１４Ｄ】
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【図１４Ｅ】
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【図１４Ｆ】
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