(57)【要約】【課題】異なる使用環境に対する動作安定性と経済性に優れたヘッド装置及びそれを有するディスク装置を提供する。【解決手段】ディスクに記録再生を施すヘッドと、当該ヘッドを支持して、回転する前記ディスクの表面から浮上するスライダと、前記スライダの前記ディスクに対向する媒体対向面に形成され、回転する前記ディスクによって形成される空気流と協同して前記スライダを浮上させる浮上力を生成すると共に前記スライダのピッチ角を規定する正圧部と、前記媒体対向面に形成され、前記空気流と協同して前記スライダの浮上を低下させる負圧部とを有し、前記空気流の流入端から流出端に向かう方向に沿った前記媒体対向面の長さをＬとし、前記流入端から流出端に向かう方向に沿った前記正圧部と前記負圧部との最短距離をＥとすると、（Ｅ／Ｌ）×１００≧６を満足することを特徴とするヘッド装置を提供する。【選択図】図２
2007220232.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクに記録再生を施すヘッドと、
当該ヘッドを支持して、回転する前記ディスクの表面から浮上するスライダと、
前記スライダの前記ディスクに対向する媒体対向面に形成され、回転する前記ディスクによって形成される空気流と協同して前記スライダを浮上させる浮上力を生成すると共に前記スライダのピッチ角を規定する正圧部と、
前記媒体対向面に形成され、前記空気流と協同して前記スライダの浮上を低下させる負圧部とを有し、
前記空気流の流入端から流出端に向かう方向に沿った前記媒体対向面の長さをＬとし、前記流入端から流出端に向かう方向に沿った前記正圧部と前記負圧部との最短距離をＥとすると、（Ｅ／Ｌ）×１００≧６を満足することを特徴とするヘッド装置。
【請求項２】
（Ｅ／Ｌ）×１００≧１０を満足することを特徴とする請求項１記載のヘッド装置。
【請求項３】
（Ｅ／Ｌ）×１００≦４０を満足することを特徴とする請求項１記載のヘッド装置。
【請求項４】
０．８５ｍｍ≦Ｌ≦１．８５ｍｍを満足することを特徴とする請求項１記載のヘッド装置。
【請求項５】
請求項１記載のヘッド装置を有することを特徴とするディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般に、記録装置に係り、特に、ディスク装置における記録媒体としてのディスクに記録再生を施すヘッド装置に関する。本発明は、例えば、ハードディスク装置（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｃ Ｄｒｉｖｅ：ＨＤＤ）におけるヘッド装置に好適である。
【背景技術】
【０００２】
近年の電子機器の普及に伴ってＨＤＤを様々な環境で安定して使用すると共に安価に提供する需要が増加している。ＨＤＤにおいてはスライダがディスクから浮上した状態でヘッドがディスクに記録再生を施す。ディスクが回転すると空気流が発生し、かかる空気流はスライダをディスク面から浮上させる浮力を生成する。一方、スライダを支持するサスペンションはスライダの浮力と対向する弾性力をスライダに加える。従来のＨＤＤはかかる浮力（正圧）と弾性力（荷重）との釣り合い（即ち、正圧＝荷重）により、スライダの浮上量を制御していた。
【０００３】
弾性力は一定であるのに対して正圧は空気の濃度、温度、湿度、粘性などの状態に敏感に変動する。このため、従来の構成では浮上量が安定しない虞がある。浮上量が大きすぎてヘッドがディスクから離れすぎると記録再生ができなくなる。浮上量が少なすぎるとスライダがディスクに衝突して両者又は一方が損傷したり、接触により記録されたデータが消去されたりする虞がある。そこで、最近ではスライダに負圧部を設けて正圧＝負圧＋荷重となるように構成することが提案されている。負圧は正圧と同様に空気の性質によって変動し、その変動量は正圧の変動量と相殺する。このため、空気の状態に影響されず浮上量を安定化することができるという利点がある。
【０００４】
負圧部は従来は正圧部（のうちピッチ角を規定する正圧部）に隣接して配置されていた。これは、かかる配置が負圧効果を高めることができると共に負圧を発生させやすいからである。このため、従来のスライダ１０は、図６（ａ）に示すように、空気流入端ＩＥから空気流出端ＯＥに向かう方向（空気流の方向）Ｘにおいて負圧部１６を第１の正圧部の直後に壁１４を介して配置していた。図６（ｂ）は、図６（ａ）の部分断面図である。なお、正圧部は、正圧効果を発揮する空気軸受け面（Ａｉｒ Ｂｅａｒｉｎｇ Ｓｕｒｆａｃｅ：ＡＢＳ）部１２ａとＡＢＳ部の効果を高めるステップ部１２ｂとを有する。正圧部は、最も空気流入端側に設けられてスライダ１０のピッチ角を決定する第１の正圧部１２Ａと、最も空気流出端側（ヘッド２０の近傍）に設けられてスライダ１０の浮上量を決定する第３の正圧部１２Ｃと、第１と第３の正圧部１２Ａ及び１２Ｃの間に設けられてスライダ１０のＸ方向から見た左右のバランスをとる一対の第２の正圧部１２Ｂとから構成される。スライダ１０の空気流出端ＯＥに近い中央部分にはヘッド２０が設けられる。
【０００５】
従来技術としては、例えば、特許文献１乃至３がある。
【特許文献１】特開２０００−２１１１１号公報
【特許文献２】特開２００１−９３２５０号公報
【特許文献３】特開２００１−２０２７３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、第１の正圧部１２Ａの直後に負圧部１６を設けると減圧時の浮上低下量が大きくなる。図６（ｃ）は、スライダのディスク２からの浮上を示す概略断面図である。同図に示すように、スライダ１０は常圧では実線で示すように浮上しているが、３，０００ｍの高度においてはスライダ１０は点線で示すように約２．５ｎｍ降下する。最近では多くの製造メーカーが３，０００ｍまでの使用を保証しているが、この場合、浮上低下によりスライダ１０がディスク２と衝突することを防止するために常圧における浮上量を２．５ｎｍ予め高めに設定しておかなければならない。一方、浮上量に反比例してヘッド２０の記録再生が困難になり、それは歩留まりの低下として現れる。例えば、常圧で浮上量が２．５ｎｍ高めに設定された場合、記録再生動作を行えるヘッド２０の歩留まりは低い。歩留まりの低下はＨＤＤの高価格化をもたらす。
【０００７】
そこで、本発明は、異なる使用環境に対する動作安定性と経済性に優れたヘッド装置及びそれを有するディスク装置を提供することを例示的な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の一側面としてのヘッド装置は、ディスクに記録再生を施すヘッドと、当該ヘッドを支持して、回転する前記ディスクの表面から浮上するスライダと、前記スライダの前記ディスクに対向する媒体対向面に形成され、回転する前記ディスクによって形成される空気流と協同して前記スライダを浮上させる浮上力を生成すると共に前記スライダのピッチ角を規定する正圧部と、前記媒体対向面に形成され、前記空気流と協同して前記スライダの浮上を低下させる負圧部とを有し、前記空気流の流入端から流出端に向かう方向に沿った前記媒体対向面の長さをＬとし、前記流入端から流出端に向かう方向に沿った前記正圧部と前記負圧部との最短距離をＥとすると、（Ｅ／Ｌ）×１００≧６を満足することを特徴とする。かかるヘッド装置は、正圧部から負圧部が上式で規定される所定距離だけ離れており、歩留まりが約１０％改善する。
【０００９】
通常スライダには複数の正圧部が設けられている。これらは、最も流入端側に形成されてスライダのピッチ角を決定する上述の第１の正圧部と、最も流出端側に形成されてスライダの浮上量を決定する第３の正圧部と、第１及び第３の正圧部の間に配置されてスライダの流入端から流出端に向かう方向（第１の方向）から見て左右のバランスを取る第２の正圧部である。負圧部は第１及び第２の正圧部の間に形成される。また、ある実施例では、距離Ｅは、第１の方向に直交する第２の方向の媒体対向面の幅を半分にすると共に第１の方向に平行な直線上にある。
【００１０】
（Ｅ／Ｌ）×１００≧１０を満足すると、浮上低減量は約４０％になり、歩留まりが１０％乃至２０％改善する。（Ｅ／Ｌ）×１００≦４０を満足することが好ましい。（Ｅ／Ｌ）が大きすぎると負圧が下がりすぎて空気の変化に対処できなくなったり、流入端から流出端までの浮上を安定にできなくなったりするためである。例えば、前記負圧部を規定する壁と前記一対の第２の正圧部とが結合され、単一の負圧部を形成してもよい。０．８５ｍｍ≦Ｌ≦１．８５ｍｍを満足するロングフェムト型のスライダの場合に本発明は有効である。
【００１１】
上述のヘッド装置を有することを特徴とするディスク装置も本発明の一側面を構成する。
【００１２】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、異なる使用環境に対する動作安定性と経済性に優れたヘッド装置及びそれを有するディスク装置を提供することを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、添付図面を参照して本発明の一実施例としてのＨＤＤ１００について説明する。ＨＤＤ１００は、図１に示すように、筐体１０２内に、記録媒体としての一又は複数の磁気ディスク１０４と、ヘッドスタックアッセンブリ（Ｈｅａｄ Ｓｔａｃｋ Ａｓｓｅｍｂｌｙ：ＨＳＡ）１１０と、スピンドルモータ１４０と、クランプリング１５０とを収納する。ここで，図１は、ＨＤＤ１００の内部構造の概略平面図である。
【００１５】
筐体１０２は、例えば、アルミダイカストベースやステンレスなどから構成され、直方体形状を有し、内部空間を密閉する図示しないカバーが結合される。本実施形態の磁気ディスク１０４は高い面記録密度、例えば、８５Ｇｂ／ｉｎ２以上を有する。磁気ディスク１０４は、その中央に設けられた孔を介してスピンドルモータ１４０のスピンドルに装着される。
【００１６】
ＨＳＡ１１０は、磁気ヘッド部又はヘッド装置１２０と、サスペンション１３０と、キャリッジ１３２とを有する。
【００１７】
磁気ヘッド部１２０は、図２に示すように、スライダ１２１とヘッド１２２とを備える。
【００１８】
スライダ１２１は、略直方体に形成されるＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製であり、ヘッド１２２を支持して回転するディスク１０４の表面から浮上する。
【００１９】
ヘッド１２２は、スライダ１２１の空気流出端ＯＥ近傍に搭載され、ディスク１２２に記録再生を施す、読み出し及び書き込み用のヘッドである。ヘッド１２２は内蔵するＡｌ２Ｏ３（アルミナ）製のヘッド素子内蔵膜として形成される。ここで、図２は、磁気ヘッド部１２０の概略平面図である。
【００２０】
スライダ１２１及びヘッド１２２には、磁気ディスク１０４に対向する媒体対向面、即ち、浮上面１２３が規定される。磁気ディスク１０４の回転に基づき生成される気流ＡＦは浮上面１２３に受け止められる。
【００２１】
スライダ１２１の浮上面１２３には、第１の正圧部１２４と、第２の正圧部１２５と、壁部１２６と、負圧部１２７と、第３の正圧部１２８と、壁部１２９とが形成される。
【００２２】
ここで、浮上面１２３において空気流入端ＩＥから空気流出端ＯＥまでの方向をＸ、Ｘ方向に直交する方向をＹ、Ｘ方向に沿った浮上面１２３の距離を長さＬ、Ｙ方向に沿った浮上面１２３の距離を幅Ｗとする。なお、長さＬ及び幅Ｗは、より詳細には、浮上面１２３を図２のＸＹ平面のように浮上面１２３に平行な面に投射した距離であり、浮上面１２３上に形成される段差の影響を受けない。直線Ｓは、幅Ｗを半分にすると共にＸ方向に平行な直線である。
【００２３】
本実施例では、スライダ１２１はロングフェムト（Ｌｏｎｇ Ｆｅｍｔｏ）型で長さＬ、幅Ｗ及び奥行きＨが、０．８５ｍｍ≦Ｌ≦１．８５ｍｍ、Ｗ＝０．７０ｍｍ、Ｈ＝０．２３ｍｍを有する。
【００２４】
ロングフェムト型はフェムト型（０．８５ｍｍ×０．７０ｍｍ×０．２３ｍｍ）に比べて奥行き（スライダの長手方向）が長いので後述するように距離Ｅを確保しやすい。また、フェムト型はウェハから切り出すときに大きめのサイズを削ることによって形成するため、フェムト型からロングフェムト型に変更しても１枚のウェハから切り出すことができる個数はフェムト型と同数にすることができる。その一方、ピコ（Ｐｉｃｏ）型（１．２５ｍｍ×１．０ｍｍ×０．３ｍｍ）に比べて浮上面１２３の面積が半分に程度になっており、正圧量及び負圧量も大幅に減少し、浮上低下量も大きい。このため、本実施例のスライダ１２１はロングフェムト型に有効である。
【００２５】
第１の正圧部１２４、第２の正圧部１２５及び第３の正圧部１２８は、いずれも、回転するディスク１０４によって形成される気流ＡＦと協同してスライダ１２１を浮上させる浮力（正圧）を発生させる機能を有する。
【００２６】
第１の正圧部１２４は、より詳細には、スライダ１２１のピッチ角を規定する。第１の正圧部１２４は、直線Ｓに関して対称な略直方体形状を有する。第１の正圧部１２４は、正圧効果を発揮するＡＢＳ部１２４ａとＡＢＳ部１２４ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２４ｂとを有する。ステップ部１２４ｂはＡＢＳ部１２４ａの空気流入端側に設けられる。
【００２７】
ＡＢＳ部１２４ａは空気流入端ＩＥ近傍に直線Ｓに関して左右一対円形に形成されると共にステップ部１２４ｂの直後に直線Ｓに関してほぼ対称に矩形状に形成される。ステップ部１２４ｂは空気流入端ＩＥから直線Ｓに関してほぼ対称にＹ方向に亘って形成される。ＡＢＳ部１２４ａはステップ部１２４ｂよりも高さが高い。ＡＢＳ部１２４ａは、図６（ａ）に示す空気流入端ＩＥ近傍に形成されるＡＢＳ部１２ａと比較すると矩形部の面積は減少している。これは、後述するように、負圧部１２７が離れているので面積が減ってもピッチ角を維持することができるからである。
【００２８】
なお、ＡＢＳ部１２４ａと壁部１２６との間であって、直線Ｓに関して略対称な領域は負圧部１２７と同じ高さを有する。
【００２９】
第２の正圧部１２５は、より詳細には、スライダ１２１のＹ方向のバランスを取る機能を有し、後述する直線Ｓに関して左右一対設けられる。かかる対はサイド島とも呼ばれる。第２の正圧部１２４は、正圧効果を発揮するＡＢＳ部１２５ａとＡＢＳ部１２５ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２５ｂとを有する。ステップ部１２５ｂはＡＢＳ部１２５ａの空気流入端側に設けられる。ＡＢＳ部１２５ａはＡＢＳ部１２４ａと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。ステップ部１２５ｂはステップ部１２４ｂと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。第２の正圧部１２５は、図６（ａ）に示す一対のサイド島１２Ｂと略同じ位置に形成されている。これは、サイド島の機能を発揮する上でかかる位置が適しているからである。換言すれば、第２の正圧部１２５の位置はあまり移動することができない。
【００３０】
壁部１２６は、本実施例ではステップ部１２４ｂと同一の高さを有し、負圧部１２７を規定する。壁部１６は、図６（ａ）においては三又であったが、本実施例では二又である。壁部１２６は第２の正圧部１２５のステップ部１２５ｂと結合しているが、両者は同じ高さであるから両者の境界を厳密に区別する必要はない。また、壁部１２６は、図２においてはＡＢＳ部１２４ａとも結合して略Ｙ字形状を有するが、図３に示すように、ＡＢＳ部１２４ａと結合せずに略Ｕ字形状を有してもよい。ここで、図３は、図２に示す磁気ヘッド部１２０の変形例としての磁気ヘッド部１２０Ａの概略平面図である。
【００３１】
負圧部（キャビティ部）１２７は、空気流ＡＦと協同してスライダ１２１の浮上を低下させる機能を有し、第１の正圧部１２４と第２の正圧部１２５の間に形成される。負圧部１２７は、空気流入側と側面を塞ぐことによって負圧を発生させる。負圧部１２７は、ステップ部１２４ａ及び壁部１２６よりも高さが低い。実際に負圧効果を発揮する負圧部１２７の実効領域は壁部１２６で規定されたＵ字部に近い領域である。
【００３２】
負圧部１２７は、第１の正圧部１２４のＡＢＳ部１２４ａのＯＥ側最後縁部の壁面と負圧部１２７のＩＥ側最前縁部（壁部１２６のＩＥ側の壁部分におけるＯＥ側後縁部の壁面とのＸ方向に沿った距離をＥとすると、本発明者は、図４に示すように、Ｅが増加するにしたがって従来の浮上低下量２．５ｎｍが低下することを発見した。なお、本実施例では、距離Ｅは、ＡＢＳ部１２４ａと負圧部１２７の最短距離であり、直線Ｓ上にある。本実施例では、ＡＢＳ部１２４ａは壁部１２６との境界部がＯＥ側に突出した凸部１２４ａ１を有する。一方、負圧部１２７は壁部１２６との境界部がＩＥ側に突出した凸部１２７ａを有する。距離Ｅは凸部１２４ａ１と凸部１２７ａ間の最短距離である。
【００３３】
ここで、図４は、Ｅと浮上低下量の減少の効果を説明するグラフである。浮上低下量は、高度３，０００ｍにおけるＨＤＤ１００の動作を保証するために、常圧位置の高さから３，０００ｍ高い高さに移動した場合のスライダ１２１の浮上低下量を示している。図４において、縦軸が浮上低下量（ｎｍ）であり、横軸が（Ｅ／Ｌ）×１００（ＥのＬに対する割合）（％）である。浮上低下量が１ｎｍ減少すると歩留まりは約１０％向上すると言われている。従って、従来の浮上低下量２．５０ｎｍが１．５０ｎｍになれば十分歩留まり改善の効果がある。図４から、浮上低下量が１．５０ｎｍになるのはＥがＬの約６％以上になるときである。このことから本実施例においてＥは数式１を満足する必要がある。
【００３４】
【数１】
2007220232.tif 000003
【００３５】
より好ましくは、Ｅは数式２を満足する。Ｅが１０％以上になるとさほど効果に差は見られないＥは１０％程度であればよいからである。
【００３６】
【数２】
2007220232.tif 000004
【００３７】
数式２を満足すると、浮上低減量２．５ｎｍは約１ｎｍになり約４０％減少する。図５（ａ）は、スライダ１２１の浮上低下量を示すグラフであり、ＩＤはスライダ１２１のディスク内周側の浮上低下量を示し、ＯＤはスライダ１２１のディスク外周側の浮上低下量を示している。図５（ｂ）は、図６（ａ）に示すスライダ１０の浮上低下量を示すグラフであり、ＩＤはスライダ１０のディスク内周側の浮上低下量を示し、ＯＤはスライダ１０のディスク外周側の浮上低下量を示している。図５（ａ）及び図５（ｂ）において、縦軸は浮上低下量（ｎｍ）であり、横軸は高度（ｍ）である。図５（ｂ）を参照するに、高度０の位置から高度３，０００ｍに気圧が変化すると従来型のスライダ１０の浮上量はＩＤ及びＯＤ共に約２．５０ｎｍ低下する。一方、本発明を採用したスライダ１２１は、図５（ａ）に示すように、高度０の位置から高度３，０００ｍに気圧が変化するとスライダ１０の浮上量はＩＤが約０．７０ｎｍ低下し、ＯＤは約１．００ｎｍ低下するだけである。
【００３８】
それゆえに、従来型スライダにて設定されていた浮上低減量２．５ｎｍを、本発明を採用したスライダでは約１ｎｍ以下に設定できるので、歩留まりを約１０％乃至２０％改善させることができる。従って、歩留まりが図６（ａ）に示す従来型のスライダの構造よりも改善するので、製造メーカーは３，０００ｍ保証を行いつつ、ＨＤＤ１００の低価格化を図ることができる。
【００３９】
スライダ１２１は、数式３を満足することが好ましい。これは、（Ｅ／Ｌ）が大きすぎると負圧が下がりすぎて空気の変化に対処できなくなるためである。
【００４０】
【数３】
2007220232.tif 000005
【００４１】
第３の正圧部１２８は、より詳細には、浮上量を得る機能を有し、ヘッド１２２に隣接してその空気流入端側に設けられる。第３の正圧部１２８は、正圧効果を発揮するＡＢＳ部１２８ａとＡＢＳ部１２８ａによる浮力発生機能を高めるステップ部１２８ｂとを有する。ステップ部１２８ｂはＡＢＳ部１２８ａの空気流入端側に設けられる。ＡＢＳ部１２８ａはＡＢＳ部１２４ａと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。ステップ部１２８ｂはステップ部１２４ｂと形状や大きさは異なるが同一の高さを有する。
【００４２】
壁部１２９は、空気流出端ＯＥ近傍に直線Ｓに関して左右対称に設けられている。壁部１２９は壁部１２６と同じ高さを有し、スライダ１２１の直線Ｓに関する左右のバランスを取る機能を有する。
【００４３】
ＨＤＤの起動方式は、停止時に磁気ヘッド部１２０がディスク１０４に接触するコンタクトスタートストップ方式であってもよいし、停止時に磁気ヘッド部１２０をディスク１０４から持ち上げてディスク１０４の外側にあるランプで磁気ヘッド部１２０をディスク１０４と非接触に保持し、起動時に保持部からディスク１０４上に落とすダイナミックローディング又はランプロード方式を採用してもよい。
【００４４】
ヘッド１２２は、図示しない導電コイルパターンで生起される磁界を利用して磁気ディスク１０４に２値情報を書き込む誘導書き込みヘッド素子（以下、「インダクティブヘッド素子」という。）と、磁気ディスク１０４から作用する磁界に応じて変化する抵抗に基づき２値情報を読み取る磁気抵抗効果（以下、「ＭＲ」という。）ヘッド素子とを有するＭＲインダクティブ複合ヘッドである。ＭＲヘッド素子は、（ＣＩＰ（Ｃｕｒｒｅｎｔ ｉｎ Ｐｌａｎｅ）構造を利用したＧＭＲ、ＣＰＰ（Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒ ｔｏ Ｐｌａｎｅ）構造を利用したＧＭＲを含む）ＧＭＲ（巨大磁気抵抗：Ｇｉａｎｔ Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）、ＴＭＲ（Ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）、ＡＭＲ（ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｍａｇｎｅｔｏｒｅｓｉｓｔｉｖｅ）等種類を問わない。
【００４５】
サスペンション１３０は、磁気ヘッド部１２０を支持すると共に磁気ヘッド部１２０に対して磁気ディスク１０４に抗して弾性力を加える機能を有し、例えばステンレス製のワトラス形サスペンションである。かかるサスペンションは磁気ヘッド部１２０を片持ち支持するフレキシャー（ジンバルばねその他の名称で呼ばれる場合もある）とベースプレートに接続されるロードビーム（ロードアームその他の名称で呼ばれる場合もある）とを有する。また、サスペンション１３０は磁気ヘッド部１２０にリード線などを介して接続される図示しない配線部も支持する。かかるリード線を介して、ヘッド１２２と配線部との間でセンス電流、書き込み情報及び読み出し情報が供給及び出力される。
【００４６】
キャリッジ１３２は、図示しないボイスコイルモータによって支軸１３４周りに揺動する。キャリッジ１３２は、アクチュエータ、断面がほぼＥ字形状であるためにＥブロック、若しくは、アクチュエータ（ＡＣ）ブロックとも呼ばれる。キャリッジ１３２の支持部はアームと呼ばれ、支軸１３４の周りに回転又は揺動可能に設けられるアルミニウム製の剛体である。キャリッジ１３２には、配線部に制御信号及びディスク１０４に記録されるべき信号並びに電力を供給すると共にディスク１０４から再生された信号を受信するフレキシブル回路基板（ＦＰＣ）が更に設けられている。
【００４７】
スピンドルモータ１４０は、例えば、１００００ｒｐｍなどの高速で磁気ディスク１０４を回転する。クランプリング１５０は、ディスク１０４をスピンドルモータ１４０に固定する。
【００４８】
ＨＤＤ１００の動作において、スピンドルモータ１４０を駆動してディスク１０４を回転させる。ディスク１０４の回転に伴う空気流をスライダ１２１とディスク１０４との間に巻き込み微小な空気膜を形成する。かかる空気膜と第１乃至第３の正圧部１２４、１２５及び１２８により、スライダ１２１にはディスク面から浮上する浮力が作用する。一方、空気膜と負圧部１２６によりスライダ１２１には浮力を低下する負圧が発生する。また、サスペンション１３０はスライダの浮力と対向する方向に弾性押付力をスライダに加える。この結果、浮力（正圧）＝負圧＋弾性力の釣り合いが形成される。本実施例では負圧部１２６が第１の正圧部１２４（のＡＢＳ部１２４ａ）から所定距離Ｅだけ離れているので３，０００の高度差又は気圧差があってもスライダ１２１の浮上低下量は１．００ｎｍでしかない。かかる条件を満足する磁気ヘッド部１２０を従来よりも歩留まりよく製造することができるので、３，０００ｍ保証したＨＤＤ１００の製造の経済性を高め、低価格化の要請にも対応することができる。
【００４９】
上述の釣り合いにより、磁気ヘッド部１２０とディスク１０４との間が一定距離だけ離間する。次に、キャリッジ１３２を支軸１３４回りに回動させ、ヘッドをディスク１０４の目的のトラック上にシークさせる。書き込み時には、インターフェースを介して図示しないＰＣなどの上位装置から得たデータを受信し、これを変調してインダクティブヘッドに供給し、インダクティブヘッドを介して目的のトラックにデータを書き込む。読み出し時には、ＭＲヘッドに所定のセンス電流が供給され、ＭＲヘッドはディスク１０４の所望のトラックから所望の情報を読み出す。
【００５０】
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されず、その要旨の範囲内で様々な変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の一実施例としてのハードディスクドライブの内部構造を示す平面図である。
【図２】図１に示すハードディスクドライブの磁気ヘッド部の拡大平面図である。
【図３】図２に示す磁気ヘッド部の変形例の拡大平面図である。
【図４】図２における磁気ヘッド部の第１の正圧部と負圧部との距離と浮上低下量との関係を示すグラフである。
【図５】図５（ａ）は、本実施例の磁気ヘッド部の第１の正圧部と負圧部との距離と浮上低下量との関係を示すグラフである。図５（ｂ）は、従来の磁気ヘッド部の第１の正圧部と負圧部との距離と浮上低下量との関係を示すグラフである。
【図６】図６（ａ）は、従来の磁気ヘッド部の拡大平面図である。図６（ｂ）は、図６（ａ）に示すＡ-Ａ線に沿った磁気ヘッド部の概略部分断面図である。図６（ｃ）は、浮上低下量を説明するためのスライダの概略側面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１００                    磁気ディスク装置（ハードディスクドライブ）
１２０                    磁気ヘッド部（ヘッド装置）
１２２                    ヘッド
１２４                    第１の正圧部
１２５                    第２の正圧部
１２６、１２９            壁部
１２７                    負圧部
１２８                    第３の正圧部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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