(57)【要約】【課題】水平転送期間中にフォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷を減少させることができる固体撮像装置の駆動方法を提供する。【解決手段】水平転送期間（期間Ｔ１）に、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極８に対応する電圧パルスφＶ４のみを中電圧ＶＭにし、他の転送電極５〜７に対応する電圧パルスφＶ１〜φＶ３を低電圧ＶＬにして、転送電極８下のチャネル領域にのみ信号電荷を保持させる。【選択図】図１
2007311945.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光電変換により生じた信号電荷を蓄積する行列状に配置された複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードから信号電荷を読み出して垂直方向へ１段ずつ転送する複数の垂直ＣＣＤと、前記各垂直ＣＣＤから転送された水平１ライン分の信号電荷を水平方向へ転送する水平ＣＣＤと、を有し、前記垂直ＣＣＤは、１つの前記フォトダイオードにつき少なくとも３枚以上の垂直転送電極を具備し、そのうちの１枚は前記フォトダイオードから信号電荷を読み出す読み出し機能を有する固体撮像装置の駆動方法であって、
前記水平ＣＣＤが水平１ライン分の信号電荷を水平方向へ転送する水平転送期間に、前記各フォトダイオードに対応する前記垂直転送電極のうち、前記各フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い少なくとも１枚の前記垂直転送電極に所定の電圧を印加して信号電荷を保持させる
ことを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項２】
請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に信号電荷を保持する前記垂直転送電極は、垂直方向に隣接する前記フォトダイオードの間の領域に対向する少なくとも１枚の前記垂直転送電極であることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項３】
請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に、前記フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い前記垂直転送電極に加えて、その前記垂直転送電極に隣接する読み出し機能を有する前記垂直転送電極とは異なる前記垂直転送電極にも所定の電圧を印加して信号電荷を保持させることを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【請求項４】
請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に信号電荷を保持する前記垂直転送電極に、垂直方向へ信号電荷を転送するときよりも高い電圧を印加することを特徴とする固体撮像装置の駆動方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プログレッシブスキャン方式（全画素読み出し方式）の固体撮像装置（プログレッシブＣＣＤ）の駆動方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プログレッシブＣＣＤは、垂直解像度が高いＣＣＤとして、例えば放送用カメラ、家庭用ムービーカメラなどに搭載される。以下、従来のプログレッシブＣＣＤの駆動方法について、４層駆動の垂直ＣＣＤを有するインターライン転送型のプログレッシブＣＣＤを例に説明する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
図４は従来のプログレッシブＣＣＤを模式的に表した平面図である。図４において、１はフォトダイオード、２は垂直ＣＣＤ、３は水平ＣＣＤ、４は出力部である。行列状に配置されるフォトダイオード１は、光電変換された信号電荷を蓄積する。フォトダイオード１の列と一列ごとに交互に配置される垂直ＣＣＤ２は、フォトダイオード１に蓄積された信号電荷を読み出して垂直方向へ１段ずつ転送する。
【０００４】
水平ＣＣＤ３は複数の水平転送電極を有しており、それらの水平転送電極に各垂直ＣＣＤ２の端部が接続される。水平ＣＣＤ３は、垂直ＣＣＤ２によって転送された水平１ライン分の信号電荷を水平方向へ転送する。出力部４は水平ＣＣＤ３によって転送された信号電荷を検知し出力する。
【０００５】
図５に、図４の破線で囲まれた領域を拡大して示す。図５において、５〜８は垂直ＣＣＤの転送電極、９は垂直ＣＣＤのチャネル領域（垂直転送路）である。図５に示すように、１個のフォトダイオード１に対して４枚の転送電極５〜８が設けられている。そのうちの転送電極５は読み出し電極を兼ねており、フォトダイオード１から信号電荷を読み出す。
【０００６】
図６に、図５の破線で囲まれた領域を拡大して示す。図６において、１０は遮光膜、１１はフォトダイオードの開口部である。図６に示すように、一般的にフォトダイオードは、スミア成分を抑制するために上部が遮光膜１０で覆われている。また、図示していないが、一般的に垂直ＣＣＤの上部も遮光膜で覆われている。
【０００７】
また、図６において、ａは転送電極８のフォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さである。同様に、ｂ〜ｄは転送電極５〜７のフォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さである。図６に示すように、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さａ〜ｄの関係は、
ｂ＞ｃ＞ｄ＞ａ
となる。
【０００８】
図７に、従来の垂直ＣＣＤの駆動パルスの一例を示す。転送電極５〜８の各々には、駆動パルスとして図７に示す電圧パルスφＶ１〜φＶ４が印加される。図７において、期間Ｔ０は、各垂直ＣＣＤが全画素から信号電荷を読み出し、その読み出した信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。期間Ｔ１は、水平ＣＣＤが水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する水平転送期間である。期間Ｔ２は、垂直ＣＣＤが信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。プログレッシブＣＣＤは、期間Ｔ０において全画素から信号電荷を読み出した後、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返して全画素の信号電荷を転送する。
【０００９】
すなわち、期間Ｔ０において、まず転送電極５に対応する電圧パルスφＶ１を高電圧ＶＨにして、転送電極５下のチャネル領域へフォトダイオードより信号電荷を読み出す。その後、期間Ｔ１になるまでの間に電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。
【００１０】
次に、期間Ｔ１において、水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する。この間、従来のプログレッシブＣＣＤでは、転送電極５、６に対応する電圧パルスφＶ１、φＶ２を中電圧ＶＭにする。これにより、転送電極５、６下のチャネル領域のポテンシャルは空乏化状態となり、信号電荷が蓄積される。つまり、従来のプログレッシブＣＣＤでは、水平転送期間中、垂直転送時に用いる中電圧ＶＭを転送電極５、６に印加して、転送電極５、６下のチャネル領域を蓄積領域にする。また、この期間Ｔ１においては、転送電極７、８に対応する電圧パルスφＶ３、φＶ４を低電圧ＶＬにして、転送電極７、８下のチャネル領域をバリア領域にする。このように、期間Ｔ１においては、信号電荷は転送電極５、６下のチャネル領域に保持される。次に、期間Ｔ２において、電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。以後は、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返す。
【００１１】
しかしながら、上記した従来のプログレッシブＣＣＤの駆動方法では、水平転送期間にスミア電荷（スミア成分）が増加するという問題があった。すなわち、上述したように、水平転送期間では転送電極５、６下のチャネル領域に信号電荷を蓄積しておくが、その転送電極５、６のフォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さｂ、ｃが長いため、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア成分が増加する。
【００１２】
以上のように、従来のプログレッシブＣＣＤの駆動方法では、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷が増加してしまい、このスミア電荷によって画像特性が劣化するという問題があった。
【特許文献１】特開２０００−１３４５４０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、上記問題点に鑑み、水平転送期間中に、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い垂直転送電極が信号電荷を保持するように駆動パルスを制御することにより、水平転送期間中にフォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷を減少させることができる固体撮像装置の駆動方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法は、光電変換により生じた信号電荷を蓄積する行列状に配置された複数のフォトダイオードと、前記フォトダイオードから信号電荷を読み出して垂直方向へ１段ずつ転送する複数の垂直ＣＣＤと、前記各垂直ＣＣＤから転送された水平１ライン分の信号電荷を水平方向へ転送する水平ＣＣＤと、を有し、前記垂直ＣＣＤは、１つの前記フォトダイオードにつき少なくとも３枚以上の垂直転送電極を具備し、そのうちの１枚は前記フォトダイオードから信号電荷を読み出す読み出し機能を有する固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平ＣＣＤが水平１ライン分の信号電荷を水平方向へ転送する水平転送期間に、前記各フォトダイオードに対応する前記垂直転送電極のうち、前記各フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い少なくとも１枚の前記垂直転送電極に所定の電圧を印加して信号電荷を保持させることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明の請求項２記載の固体撮像装置の駆動方法は、請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に信号電荷を保持する前記垂直転送電極は、垂直方向に隣接する前記フォトダイオードの間の領域に対向する少なくとも１枚の前記垂直転送電極であることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明の請求項３記載の固体撮像装置の駆動方法は、請求項１記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に、前記フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い前記垂直転送電極に加えて、その前記垂直転送電極に隣接する読み出し機能を有する前記垂直転送電極とは異なる前記垂直転送電極にも所定の電圧を印加して信号電荷を保持させることを特徴とする。
【００１７】
また、本発明の請求項４記載の固体撮像装置の駆動方法は、請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置の駆動方法であって、前記水平転送期間に信号電荷を保持する前記垂直転送電極に、垂直方向へ信号電荷を転送するときよりも高い電圧を印加することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い垂直転送電極が、水平転送期間中に信号電荷を蓄積する垂直転送電極となるので、水平転送期間中におけるフォトダイオードから垂直ＣＣＤへのスミア電荷の経路を狭くすることができ、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷を減少させることができる。
【００１９】
さらに、垂直方向に隣接するフォトダイオードの間の領域に対向する垂直転送電極に信号電荷を保持させることにより、フォトダイオードから垂直ＣＣＤへのスミア電荷の経路を狭くできるうえ、その電極はフォトダイオードから離れているので、スミア電荷が入り込み難く、スミア電荷をより減少させることができる。さらにまた、その電極の上面に設ける遮光膜は広く設計できるので、遮光性を強化でき、スミア電荷をより減少させることができる。
【００２０】
また、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い垂直転送電極に加えて、その垂直転送電極に隣接する読み出し機能を有する垂直転送電極とは異なる垂直転送電極にも信号電荷を保持させることにより、複数の転送電極下のチャネル領域に信号電荷を蓄積できるので、多量の信号電荷を蓄積できるようになる。よって、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い垂直転送電極の電極幅が読み出し機能を有する垂直転送電極の電極幅と比べて狭い場合であっても、フォトダイオードから読み出した信号電荷の全てを蓄積することができるようになる。
【００２１】
また、水平転送期間中に信号電荷を保持する垂直転送電極に、垂直方向へ信号電荷を転送するときよりも高い電圧を印加することで、その電極下のチャネル領域のポテンシャルが深くなり、信号電荷を多量に蓄積することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態における固体撮像装置の駆動方法について説明する。但し、本実施の形態における固体撮像装置の構成は、図４〜図６に基づいて説明した固体撮像装置の構成と同様であるので、説明を省略する。
【００２３】
（実施の形態１）
以下、本実施の形態１における固体撮像装置の駆動方法ついて説明する。
前述した図６に示すように、１つのフォトダイオードに対して４枚の転送電極（垂直転送電極）５〜８が設けられており、それらのうちで、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短いのは転送電極８である。
【００２４】
図１に本発明の実施の形態１における垂直ＣＣＤの駆動パルスの一例を示す。転送電極５〜８の各々には、駆動パルスとして図１に示す電圧パルスφＶ１〜φＶ４が印加される。図１において、期間Ｔ０は、各垂直ＣＣＤが全画素から信号電荷を読み出し、その読み出した信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。期間Ｔ１は、水平ＣＣＤが水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する水平転送期間である。期間Ｔ２は、垂直ＣＣＤが信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。このように、期間Ｔ０において全画素から信号電荷を読み出した後、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返して全画素の信号電荷を転送する。
【００２５】
すなわち、期間Ｔ０において、まず転送電極５に対応する電圧パルスφＶ１を高電圧ＶＨにして、転送電極５下のチャネル領域へフォトダイオードより信号電荷を読み出す。その後、期間Ｔ１になるまでの間に電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。
【００２６】
次に、期間Ｔ１において、水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する。この間、本実施の形態１では、転送電極８に対応する電圧パルスφＶ４のみを中電圧ＶＭにする。これにより、転送電極８下のチャネル領域のポテンシャルは空乏化状態となり、信号電荷が蓄積される。つまり、本実施の形態１では、水平転送期間中、垂直転送時に用いる中電圧ＶＭを転送電極８に印加して、転送電極８下のチャネル領域を蓄積領域にする。また、この期間Ｔ１においては、他の電圧パルスφＶ１〜φＶ３を低電圧ＶＬにして、転送電極５〜７下のチャネル領域をバリア領域にする。このように、期間Ｔ１においては、信号電荷は、転送電極８下のチャネル領域に保持される。次に、期間Ｔ２において、電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。以後は、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返す。
【００２７】
以上のように、本実施の形態１では、水平転送期間（期間Ｔ１）に、各フォトダイオードに対応する転送電極５〜８のうち、各フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極８に中電圧ＶＭを印加して信号電荷を保持させる。
【００２８】
これにより、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極が、水平転送期間中に信号電荷を蓄積する転送電極となるので、水平転送期間中におけるフォトダイオードから垂直ＣＣＤへのスミア電荷の経路を狭くすることができ、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷を減少させることができる。
【００２９】
なお、水平転送期間に信号電荷を保持する転送電極８は、垂直方向に隣接するフォトダイオードの間の領域に対向する転送電極でもあり、フォトダイオードから離れている。よって、転送電極８にはスミア電荷が入り込み難く、スミア電荷をより減少させることができる。さらにまた、転送電極８がフォトダイオードから離れていることから、転送電極８の上面に設ける遮光膜は広く設計できるので、遮光性を強化でき、スミア電荷をより減少させることができる。
【００３０】
また、垂直方向に隣接するフォトダイオードの間の領域に対向する転送電極が２枚以上ある場合には、水平転送期間中に信号電荷を蓄積させる転送電極として、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極（その長さが‘０’のものを含む。）を用いればよい。フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが‘０’の転送電極が２枚以上ある場合には、いずれか１枚を用いればよい。
【００３１】
なお、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極の電極幅が、読み出し機能を有する転送電極５の電極幅と比べて狭い場合、中電圧ＶＭを印加した１枚の転送電極８のみでは、１つのフォトダイオードから読み出した信号電荷の全てを保持することが困難となる場合が考えられる。
【００３２】
そこで、水平転送期間中に、垂直転送時に用いる中電圧ＶＭよりも高い電圧ＶＨを転送電極８に印加して、転送電極８のチャネル領域のポテンシャルを深くして信号電荷の蓄積容量を増加させてもよい。
【００３３】
すなわち、図２に示すように、期間Ｔ１において、電圧パルスφＶ１〜φＶ３を低電圧ＶＬとし、電圧パルスφＶ４のみを高電圧ＶＨにする。これにより、水平転送期間中に信号電荷を保持する転送電極が１枚でも、多量の信号電荷を蓄積することができるようになり、フォトダイオードから読み出された信号電荷の全てを保持できるようになる。
【００３４】
（実施の形態２）
以下、本実施の形態２における固体撮像装置の駆動方法ついて説明する。
上述したように、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極の電極幅が、読み出し機能を有する転送電極５の電極幅と比べて狭い場合、中電圧ＶＭを印加した１枚の転送電極８のみでは、１つのフォトダイオードから読み出した信号電荷の全てを保持することが困難となる場合が考えられる。
【００３５】
そこで、本実施の形態２では、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極８に加えて、その転送電極８に隣接する読み出し機能を有する転送電極５とは異なる転送電極７にも中電圧ＶＭを印加して信号電荷を保持させる。
【００３６】
図３に本発明の実施の形態２における垂直ＣＣＤの駆動パルスの一例を示す。転送電極５〜８の各々には、駆動パルスとして図３に示す電圧パルスφＶ１〜φＶ４が印加される。図３において、期間Ｔ０は、各垂直ＣＣＤが全画素から信号電荷を読み出し、その読み出した信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。期間Ｔ１は、水平ＣＣＤが水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する水平転送期間である。期間Ｔ２は、垂直ＣＣＤが信号電荷を垂直方向に１段転送する垂直転送期間である。このように、期間Ｔ０において全画素から信号電荷を読み出した後、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返して全画素の信号電荷を転送する。
【００３７】
すなわち、期間Ｔ０において、まず転送電極５に対応する電圧パルスφＶ１を高電圧ＶＨにして、転送電極５下のチャネル領域へフォトダイオードより信号電荷を読み出す。その後、期間Ｔ１になるまでの間に電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。
【００３８】
次に、期間Ｔ１において、水平１ライン分の信号電荷を水平方向に転送する。この間、本実施の形態２では、転送電極７、８に対応する電圧パルスφＶ３、φＶ４を中電圧ＶＭにする。これにより、転送電極７、８下のチャネル領域のポテンシャルは空乏化状態となり、信号電荷が蓄積される。つまり、本実施の形態２では、水平転送期間中、垂直転送時に用いる中電圧ＶＭを転送電極７、８に印加して、転送電極７、８下のチャネル領域を蓄積領域にする。また、この期間Ｔ１においては、他の電圧パルスφＶ１、φＶ２を低電圧ＶＬにして、転送電極５、６下のチャネル領域をバリア領域にする。このように、期間Ｔ１においては、信号電荷は、転送電極７、８下のチャネル領域に保持される。次に、期間Ｔ２において、電圧パルスφＶ１〜φＶ４を制御して蓄積領域を移動させ、信号電荷を垂直方向に１段転送する。以後は、期間Ｔ１と期間Ｔ２を交互に繰り返す。
【００３９】
以上のように、本実施の形態２では、水平転送期間（期間Ｔ１）に、各フォトダイオードに対応する転送電極５〜８のうち、各フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極８、および転送電極８に隣接する読み出し機能を有する転送電極５とは異なる転送電極７に中電圧ＶＭを印加して信号電荷を保持させる。
【００４０】
これにより、水平転送期間中におけるフォトダイオードから垂直ＣＣＤへのスミア電荷の経路を狭くすることができ、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れるスミア電荷を減少させることができるとともに、複数の転送電極下のチャネル領域に信号電荷を蓄積できるので、多量の信号電荷を蓄積できる。よって、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極８の電極幅が読み出し機能を有する転送電極５の電極幅と比べて狭い場合であっても、フォトダイオードから読み出した信号電荷の全てを蓄積することができるようになる。
【００４１】
なお、水平転送期間に信号電荷を保持する転送電極７、８は、垂直方向に隣接するフォトダイオードの間の領域に対向する転送電極でもあり、フォトダイオードから離れている。よって、転送電極７、８にはスミア電荷が入り込み難く、スミア電荷をより減少させることができる。さらにまた、転送電極７、８がフォトダイオードから離れていることから、転送電極７、８の上面に設ける遮光膜は広く設計できるので、遮光性を強化でき、スミア電荷をより減少させることができる。
【００４２】
また、垂直方向に隣接するフォトダイオードの間の領域に対向する転送電極が３枚以上ある場合には、水平転送期間中に信号電荷を蓄積させる転送電極として、フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが最も短い転送電極（その長さが‘０’のものを含む。）、およびその転送電極に隣接する転送電極であってフォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが短い方の転送電極（その長さが‘０’のものを含む。）を用いる。両側とも長さが‘０’の場合、いずれか一方を任意に用いることができる。
【００４３】
また、水平転送期間中に信号電荷を蓄積させる転送電極は２枚に限るものでなく、例えばフォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが‘０’の転送電極が複数枚連続する場合には、それらのうちの２枚以上を用いるようにしてもよい。さらに、その連続する転送電極に隣接する転送電極（フォトダイオードの端面が投影される領域の垂直方向の長さが‘０’でないもの）を含めて用いるようにするなどしてもよい。
【００４４】
なお、本実施の形態１、２では、４層駆動の垂直ＣＣＤを有するインターライン転送型のプログレッシブＣＣＤを例に説明を行ったが、これに限らず、１つのフォトダイオードにつき少なくとも３枚以上の垂直転送電極を具備するものであればよい。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明にかかる固体撮像装置の駆動方法は、フォトダイオード側から垂直ＣＣＤへ漏れ込んでくるスミア電荷を減少させることができ、ハイビション放送用カメラ、家庭用デジタルビデオカメラなどの高画質が必要な撮像装置に使用される固体撮像装置に有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の垂直駆動の駆動タイミングの一例を示す図
【図２】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の垂直駆動の駆動タイミングの他の例を示す図
【図３】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の垂直駆動の駆動タイミングの一例を示す図
【図４】本発明の実施の形態１、２および従来のプログレッシブＣＣＤの構成を模式的に表した平面図
【図５】図４に示す破線部を拡大した図
【図６】図５に示す破線部を拡大した図
【図７】従来の固体撮像装置の垂直駆動の駆動タイミングを示す図
【符号の説明】
【００４７】
１      フォトダイオード
２      垂直ＣＣＤ
３      水平ＣＣＤ
４      出力部
５〜８      垂直転送電極
９      チャネル領域
１０      遮光膜
１１      フォトダイオードの開口部
φＶ１      垂直転送電極５に印加される電圧パルス
φＶ２      垂直転送電極６に印加される電圧パルス
φＶ３      垂直転送電極７に印加される電圧パルス
φＶ４      垂直転送電極８に印加される電圧パルス
【図１】
2007311945.tif 000003
【図２】
2007311945.tif 000004
【図３】
2007311945.tif 000005
【図４】
2007311945.tif 000006
【図５】
2007311945.tif 000007
【図６】
2007311945.tif 000008
【図７】
2007311945.tif 000009