(57)【要約】【課題】  ノズルから液晶を滴下させるためのモータ等の駆動源から発生する熱が計量部に伝わることを防止して液晶の滴下精度を向上させること。【解決手段】  液晶を基板１上に滴下する液晶滴下装置１０において、液晶（Ｌ）を貯溜する容器４０と、液晶を吐出するノズル５３と、容器４０から設定された量の液晶を取り出し、取り出した液晶をノズル５３へ送出する計量部４１と、計量部４１を駆動する駆動源４７と、駆動源４７と計量部４１の間に断熱部材６２を備えるもの。【選択図】  図１
2007147921.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶を基板上に滴下する液晶滴下装置において、
液晶を貯溜する容器と、
液晶を吐出するノズルと、
前記容器から設定された量の液晶を取り出し、取り出した液晶を前記ノズルへ送出する計量部と、
該計量部を駆動する駆動源と、
該駆動源と該計量部の間に断熱部材を備えることを特徴とする液晶滴下装置。
【請求項２】
前記駆動源はモータであり、
前記断熱部材は該モータの回転軸が貫通する孔を有する請求項１に記載の液晶滴下装置。
【請求項３】
放熱部材を更に有する請求項１又は２に記載の液晶滴下装置。
【請求項４】
前記放熱部材は、冷却媒体を流通させる流路を有する請求項３に記載の液晶滴下装置。
【請求項５】
前記駆動源を冷却する冷却装置を有する請求項１〜４のいずれかに記載の液晶滴下装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に液晶を滴下する液晶滴下装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルの製造工程では、２枚のガラス基板の一方にその表示領域を囲むようにシール剤を塗布し、そのシール剤で囲まれた領域の内側に液晶を必要量滴下し、その基板と他方の基板とを真空中で位置合わせしてシール剤を介して貼り合わせ、その後、シール剤を硬化させることが行なわれる。
【０００３】
このような液晶表示パネルの製造工程において、表示品質の良好な液晶表示パネルを製造するためには、必要量の液晶を正確に滴下する必要がある。即ち、滴下する液晶の量が過少であると、貼り合わされた２枚の基板とシール剤とで囲まれる空間内に気泡が生じ、その気泡部分で表示ができなくなる。一方、滴下する液晶の量が過多であると、２枚の基板間において液晶層の厚みが厚くなり表示ムラを生じる。
【０００４】
ところで、従来は、次のような液晶滴下装置を用いて基板に対する液晶の滴下を行なっていた。
【０００５】
特許文献１には、図６に示すように、基板１０１を搭載する基板ステージ１１１と、基板１０１上の定めた滴下位置に一定量の液晶（Ｌ）を滴下して供給する液晶供給装置１２０とを有する液晶滴下装置１１０が開示されている。
【０００６】
液晶供給装置１２０は、液晶を貯溜するための容器１４０と、容器１４０内の液晶を一定体積ずつ取り出して基板１０１上に滴下するための計量部１４１を有する。計量部１４１は、ケーシング１４３と、ケーシング１４３の底部の固定部１４５と、ケーシング１４３内に設けられた円筒状の回転体１４４からなり、回転体１４４の回転軸１４６がケーシング１４３に取り付けられたサーボモータ１４７により駆動される。固定部１４５は回転体１４４の回転軸１４６を挟んだ対向位置に取出しポート１５２と吐出ポート１５３を備え、取出しポート１５２は固定部１４５内の流路１５７を介して容器１４０内に連通している。
【０００７】
回転体１４４は、上記固定部１４５の取出しポート１５２と吐出ポート１５３に整合する２個の備蓄室１５１を備える。
【０００８】
液晶供給装置１２０は、サーボモータ１４７による回転体１４４の回転によって、以下のように、ポンプ作用を営む。
【０００９】
即ち、回転体１４４の備蓄室１５１が固定部１４５の取出しポート１５２を通過するとき、プランジャ１６０が備蓄室１５１の内部を下限から上限まで移動し、容器１４０内の液晶を取出しポート１５２経由で備蓄室１５１に吸い込んで取り出す。つまり、一定体積の液晶を計量して取り出す。そして、回転体１４４の備蓄室１５１が固定部１４５の吐出ポート１５３を通過するとき、プランジャ１６０が備蓄室１５１の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室１５１に蓄えた液晶を吐出ポート１５３（ノズル）経由で吐出し、１滴の液晶として基板１０１上に滴下する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
ところで、この液晶滴下装置１１０が備える液晶供給装置１２０は、液晶を吐出させるためのサーボモータ１４７がその駆動によって運転中に発熱し、この熱が計量部１４１に伝わる。
【００１１】
計量部１４１が加熱されると次の問題点が生じる。
(1)計量して取り出される液晶の温度が上がるので、液晶が熱膨張する。そのため、計量部１４１の備蓄室１５１で設定体積ずつの液晶を取り出したとしても、取り出した液晶の質量は、液晶が熱膨張した分だけ少なくなってしまう。
【００１２】
(2)計量部１４１が熱膨張すると、液晶を取り出す計量部１４１の備蓄室１５１の内径が縮小すると考えられる。そのため、液晶を取り出す量が少なくなるので、その分、液晶の滴下量（１滴当たりの質量）が減ってしまう。
【特許文献１】特開2004-89783
【００１３】
本発明の課題は、ノズルから液晶を滴下させるためのモータ等の駆動源から発生する熱が計量部に伝わることを防止して液晶の滴下精度を向上させることにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
請求項１の発明は、液晶を基板上に滴下する液晶滴下装置において、液晶を貯溜する容器と、液晶を吐出するノズルと、前記容器から設定された量の液晶を取り出し、取り出した液晶を前記ノズルへ送出する計量部と、該計量部を駆動する駆動源と、該駆動源と該計量部の間に断熱部材を備えるものである。
【００１５】
請求項２の発明は、請求項１の発明において更に、前記駆動源はモータであり、前記断熱部材は該モータの回転軸が貫通する孔を有するものである。
【００１６】
請求項３の発明は、請求項1又は２の発明において更に、放熱部材を更に有するものである。
【００１７】
請求項４の発明は、請求項３の発明において更に、前記放熱部材は、冷却媒体を流通させる流路を有するものである。
【００１８】
請求項５の発明は、請求項１〜４のいずれかの発明において更に、前記駆動源を冷却する冷却装置を有するものである。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の液晶滴下装置によれば、駆動源と計量部の間に断熱部材を備えるので、駆動源が運転中に発熱しても、この熱が計量部に伝わることを断熱部材が防止する。従って、液晶滴下装置内の液晶が熱膨張して取り出した液晶の質量が減少したり、或いは、液晶を取り出す計量部の備蓄室の内径が縮小して、液晶の滴下量（１滴当たりの質量）が減少したりすることを防止することができる。その結果、基板１枚当たりの液晶の滴下量の精度を向上させることができ、製造される液晶表示パネルの表示品質を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は液晶滴下装置を示す模式図、図２は基板上の液晶滴下パターンを示す模式図、図３は液晶供給装置の計量部の要部を示す模式図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）における矢視Ａ方向でのカム展開図、図４は液晶滴下装置の変形例の要部を示す模式図、図５は液晶滴下装置の他の変形例の要部を示す模式図である。
【実施例】
【００２１】
以下、図面を参照しながらこの発明の実施例を説明する。
図１において、液晶滴下装置１０は、基板１を搭載する基板ステージ１１と、基板１上に液晶（Ｌ）を滴下して供給する液晶供給装置２０とを有する。
【００２２】
基板ステージ１１は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、θ軸駆動部を備えた移動装置１２を有し、基板１をＸ方向とＹ方向のそれぞれに移動するとともに、θ方向に回転することができる。移動装置１２の各駆動部はサーボモータにより構成できる。
【００２３】
液晶供給装置２０は、容器４０と計量部４１とからなり、移動装置５０を備える。
容器４０は液晶（Ｌ）を蓄える。
【００２４】
移動装置５０は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部、Ｚ軸駆動部を有し、液晶供給装置２０をＸ方向とＹ方向とＺ方向のそれぞれに移動する。移動装置５０の各駆動部はサーボモータにより構成できる。移動装置１２及び／又は移動装置５０は、基板ステージ１１上の基板１に対し、液晶供給装置２０を相対的に移動させる。
【００２５】
計量部４１は、ケーシング４３と、ケーシング４３内に設けた円柱状の回転体４４と、ケーシング４３の底部の固定部４５とからなり、回転体４４はその上部に回転軸４６を有し、回転軸４６がケーシング４３の上面に取り付けられたサーボモータ４７により駆動される。回転体４４は２個の備蓄室５１を、回転軸４６の軸心を中心とする同一半径上でかつ回転軸４６を挟んだ対向位置に備え、固定部４５は取出しポート５２とノズルを構成する吐出ポート５３を備え、回転体４４の１つの備蓄室５１が取出しポート５２に対向するとき回転体４４の他方の備蓄室５１が吐出ポート５３と対向する。取出しポート５２は固定部４５内の流路５７を介して容器４０内に連通する。回転体４４は固定部４５に液密に摺接し、回転体４４の回転により２個の備蓄室５１は取出しポート５２と吐出ポート５３を順に通過し、取出しポート５２経由で滴下量に応じた量の液晶を備蓄室５１内に計量して取出し、備蓄室５１は、取出した液晶を一時的に蓄え、吐出ポート５３を介して備蓄室５１内の液晶を基板１へ吐出する。
【００２６】
計量部４１は、図３に示す如く、回転体４４に相対するカム５４を回転軸４６の周囲に固定配置し、回転体４４とカム５４の間で回転軸４６に固定した回転板５５に設けた複数のガイド孔５６に備蓄室５１と同数のプランジャ６０を上下動自在に保持し、プランジャ６０の下端部を備蓄室５１に嵌合して備蓄室５１の内部で往復動可能にし、プランジャ６０の上端部（カムフォロワ６０Ａ）をばね６１によりカム５４のカム面に衝合させている。ばね６１は、プランジャ６０の中間部に設けたフランジ６０Ｂと回転板５５の間に介装される。
【００２７】
ここで、図３（Ｂ）を用いて、カム５４の形状について詳細に説明する。図３（Ｂ）は、図３（Ａ）における矢視Ａでのカム展開図である。
【００２８】
図３（Ｂ）において、カム５４は、回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の取出しポート５２上を通過するとき、プランジャ６０が、備蓄室５１における回転方向（矢印Ｒ方向）先頭側の端部が取出しポート５２の左側端部上を通過するタイミングで上昇を開始し、備蓄室５１における回転方向後方側の端部が取出しポート５２の右側端部上を通過するタイミングで上限に達して停止するようにカム面の形状が設定される。また、プランジャ６０の上限位置は、プランジャ６０が上限に位置した状態での備蓄室５１内が、１回の滴下に必要とされる滴下量と同量の液晶を収容可能な容積となるように、カム５４により規定される。
【００２９】
一方、吐出ポート５３側については、取出しポート５２側と反対で、プランジャ６０が、備蓄室５１における回転方向先頭側の端部が吐出ポート５３における回転体４４の回転方向手前側端部上を通過するタイミングで下降を開始し、備蓄室５１における回転方向後方側の端部が吐出ポート５３における回転体４４の回転方向後側端部上を通過するタイミングで下限に達して停止するようにカム５４のカム面の形状が設定される。そしてプランジャ６０が下限に達した段階において、備蓄室５１内の液晶すべてが吐出ポート５３を通って吐出されて基板１上に滴下される。
【００３０】
尚、図３（Ａ）においては、便宜上、あたかも備蓄室５１が取出しポート５２の真上に位置したときにこの備蓄室５１内のプランジャ６０が下限位置に位置し、備蓄室５１が吐出ポート５３の真上に位置したときにこの備蓄室５１内のプランジャ６０が上限位置に位置するかの如く示したが、図３（Ｂ）に示すように、備蓄室５１が取出しポート５２、或いは吐出ポート５３の真上（備蓄室５１が取出しポート５２、或いは吐出ポート５３に完全に重なる位置）にあるときは備蓄室５１内のプランジャ６０は上限位置と下限位置の間に位置することとなる。
【００３１】
液晶供給装置２０は、サーボモータ４７による回転体４４の回転によって以下の如くにポンプ作用を営む。
【００３２】
(a)取出し作用
回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の取出しポート５２を通過するとき、プランジャ６０が備蓄室５１の内部を下限から上限まで移動し（図３（Ｂ））、容器４０の液晶を取出しポート５２経由で備蓄室５１に計量して取出す。
【００３３】
(b)吐出作用
回転体４４の備蓄室５１が固定部４５の吐出ポート５３を通過するとき、プランジャ６０が備蓄室５１の内部を上限から下限まで移動し、備蓄室５１に蓄えた液晶を吐出ポート５３経由で吐出し、１滴の液晶として基板１上に滴下する。
【００３４】
液晶供給装置２０は２個の備蓄室５１を備えているから、各備蓄室５１相互間で、容器４０から滴下量に応じた液晶を取出しポート５２経由で備蓄室５１に取出す工程と、備蓄室５１内に一時的に蓄えられた液晶を吐出ポート５３経由で吐出する工程とを並行して行なう。
【００３５】
液晶滴下装置１０は、液晶供給装置２０と基板ステージ１１上の基板１との面方向の相対的な位置を検出する検出装置（不図示）と、検出装置の検出結果に基づいて液晶供給装置２０を作動させるとともに移動装置１２を制御する制御装置（不図示）を備える。ここで検出装置は、例えば、移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダ及び移動装置５０の各駆動部を構成するサーボモータに設けられたエンコーダが用いられ、これらのエンコーダからの出力値に基づいて、基板ステージ１１の位置情報、及び液晶供給装置２０の位置情報を得て、これらの位置情報から液晶供給装置２０の吐出ポート５３と基板１との相対的な位置を検出する。
【００３６】
今、図２に示す如くに、基板１への液晶の滴下パターン（３Ａ，３Ｂ，…は滴下位置、３Ａは滴下開始位置、３Ｚは滴下終了位置、４はシール剤）が縦横に行列状に等間隔のパターンであり、このようなパターンで液晶を滴下するときの基板１に対する液晶供給装置２０の吐出ポート５３の移動経路（滴下経路）が、例えば矢印で示すように左右の端部で交互にＵ字状に折り返す経路をなすとする。このような場合、制御装置は、各直線状経路の両端滴下位置を除く中間滴下位置では、液晶供給装置２０と基板１との相対位置関係を検出する検出装置の検出結果に基づいて、液晶供給装置２０と基板１との相対移動を停止させずに吐出ポート５３から各滴下位置への吐出を行ない、各直線状経路の両端滴下位置では検出装置の検出結果に基づいて、液晶供給装置２０と基板１との相対移動を停止させて吐出ポート５３から各滴下位置への吐出を行なう。
【００３７】
即ち、制御装置は、基板ステージ１１の位置情報を移動装置１２の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取るとともに、液晶供給装置２０の吐出ポート５３のＸ、Ｙ方向での位置情報を、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部を構成するサーボモータのエンコーダの出力値から読取り、例えば、予め教示された基板１上の各滴下位置３Ａ，３Ｂ，…３Ｚの位置情報に基づいて、所定の滴下位置が吐出ポート５３を通過するタイミングで、液晶供給装置２０に吐出指令を出力する機能を備える。
【００３８】
液晶供給装置２０は、制御装置の制御下において吐出回数と吐出タイミングをサーボモータ４７により制御し、１回の吐出動作において、先に述べた取出し作用にて備蓄室５１内に蓄えられた液晶すべてを吐出ポート５３から吐出させる。このとき、備蓄室５１内の容積は１回の滴下に必要とされる滴下量と同量となっていることから、備蓄室５１内の液晶をすべて吐出させれば必要とする滴下量が得られる。つまり、液晶を吐出させる段階での液量調整を不要とすることから、高速で安定した滴下を行なうことができる。これにより、基板ステージ１１を停止させずに、基板ステージ１１の位置座標に基づいて滴下位置到達毎に必要量の液晶の吐出を行なうことができ、滴下工程に要する時間を大幅に短縮することができる。
【００３９】
液晶滴下装置１０は以下の如くに動作する。
(1)移動装置５０により、液晶供給装置２０の吐出ポート５３が滴下開始位置へ移動する。
【００４０】
(2)閉ループ状にシール剤４が塗布された基板１を基板ステージ１１に搭載する。基板１の位置決めマークを検出装置にて認識し、基板ステージ１１上での基板１の位置ずれ状態を検出する。
【００４１】
(3)上述の(2)で検出した基板１の位置ずれ状態を加味して移動装置１２を移動させ、基板１上の滴下開始位置３Ａ（図２）が、前述(1)で滴下開始位置に位置付けられた吐出ポート５３の直下となるように基板１を位置決めする。
【００４２】
(4)移動装置１２により基板ステージ１１上の基板１を液晶供給装置２０の吐出ポート５３に対する前述の滴下経路に沿って相対移動させ、液晶を吐出ポート５３から基板１上の各滴下位置に前述の如くに滴下する。制御装置は、移動装置１０の各駆動部を構成するサーボモータのエンコーダ信号により、滴下位置を検出する。
【００４３】
しかるに、液晶滴下装置１０は、図１に示す如く、回転体４４を回転させる駆動源のサーボモータ４７と液晶供給装置２０の計量部４１の間に上下２枚の断熱部材６２を備える。即ち、サーボモータ４７は円筒状のハウジング部４７Ａにフランジ部４７Ｂを有し、計量部４１のケーシング４３の上面とサーボモータ４７のフランジ部４７Ｂとの間に、ゴム、セラミック等からなる上下２枚の円板状の断熱部材６２を介在させて、サーボモータ４７を取り付けている。２枚の断熱部材６２の間には、更にアルミ合金等からなる円板状の放熱板６３（放熱部材）を挟持し、放熱板６３により上側の断熱部材６２に溜まった熱を放散している。上下２枚の断熱部材６２及び放熱板６３は、それぞれ回転体４４の回転軸４６が貫通する孔６２Ａを内周に有し、回転軸４６との間に環状隙間を設けて、回転軸４６との接触による摩擦抵抗の発生を防止している。
【００４４】
尚、放熱板６３は、断熱部材６２の計量部４１側に、計量部４１のケーシング４３に直接接触させて配置し、計量部４１の熱を放散するようにすることもできる。
【００４５】
本実施例によれば、以下の作用効果を奏する。
(a)液晶滴下装置１０は、駆動源のサーボモータ４７と計量部４１の間に断熱部材６２を備えるので、サーボモータ４７が運転中に発熱しても、この熱が液晶供給装置２０の計量部４１に伝わることを断熱部材６２が防止する。従って、液晶滴下装置１０内の液晶が熱膨張して、計量して取り出した液晶の質量が減少したり、或いは、液晶を取り出す計量部４１の備蓄室５１の内径が縮小して、液晶の滴下量（１滴当りの質量）が減少したりすることがなくなる。その結果、基板１枚当りの液晶の滴下量の精度を向上させることができ、製造される液晶表示パネルの表示品質を向上させることができる。
【００４６】
(b)計量部４１の上面とサーボモータ４７のフランジ部４７Ｂとの間に、サーボモータ４７の回転軸４６が貫通する孔６２Ａを有する断熱部材６２を介在させて、サーボモータ４７を取り付けたので、サーボモータ４７で発生する熱が液晶供給装置２０の計量部４１に伝わることを防止することができるとともに、回転軸４６と断熱部材６２の内周の孔６２Ａとの間に設けた環状隙間により、回転軸４６と断熱部材６２との接触による摩擦抵抗の発生を防止することができる。サーボモータ４７は、円筒状のハウジング部４７Ａと、ハウジング部４７Ａの両端のフランジ部４７Ｂが主に熱を持ちやすく、回転軸４６は比較的温度上昇が少ない。従って、ハウジング部４７Ａと、フランジ部４７Ｂを断熱すれば、回転軸４６を断熱しなくても、計量部４１への伝熱は十分防止できる。
【００４７】
(c)液晶滴下装置１０は、更に断熱部材６２の間に放熱板（放熱部材）６３を有するので、計量部４１への伝熱を有効に防止することができる。或いは、断熱部材６２の計量部４１側に放熱板６３を、計量部４１のケーシング４３に直接接触させて配置した。そのため断熱部材６２を通過した熱を放熱板６３にて放散することができる。
【００４８】
図４は、図１の液晶供給装置２０の放熱板６３内に水や空気等の冷却媒体を流通させる流路６３Ｃを形成して、冷却媒体により放熱板６３を強制的に冷却するようにしたものである。
【００４９】
図４の液晶の滴下装置によれば、更に放熱板６３内に水等の冷却媒体を流通させる流路６３Ｃを有するので、上記の(a)、(b)、(c)の作用効果に加え、計量部４１への伝熱を更に有効に防止することができる。その結果、この実施例にあっても液晶の滴下量（１滴当りの質量）が減少することを防止することができる。
【００５０】
図５は、図１の液晶供給装置２０のサーボモータ４７の外周にペルチェ素子６４からなる冷却装置を取り付けたものであり、ペルチェ素子６４の冷却面をサーボモータ４７の外周に取り付け、更にペルチェ素子６４の放熱面にヒートシンク６５からなる放熱部材を取り付けたものである。
【００５１】
また、冷却装置６４として送風ファンを用いて、サーボモータ４７の外周を冷却することもできる。
【００５２】
図５の液晶滴下装置１０は、その駆動源としてのサーボモータ自体を冷却する冷却装置を有するので、駆動源自体の発熱を放散することができる。その結果、この実施例にあっても液晶の滴下量（１滴当りの質量）が減少することを防止することができる。
【００５３】
以上、本発明の実施例を図面により詳述したが、本発明の具体的な構成はこの実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
【００５４】
例えば、図１に示した上記実施例において、放熱板６３をサーボモータ４７の外形とほぼ同じ大きさに形成したもので説明したが、サーボモータ４７や計量部４１の外形よりも大きく形成しても良い。放熱板６３の外形を大きくすると、放熱板６３の表面積が大きくなるので、放熱板６３の放熱効率が向上し、計量部４１への伝熱をより確実に防止することができる。また、更に、放熱板６３の表面にひれ状の突起を複数設け、放熱効率を更に高めるようにしても良い。
【００５５】
また、図１に示した上記実施例において、液晶滴下装置２０を移動装置５０にサーボモータ４７を介して連結するように示したが、図１において２つの断熱部材６２の間に設けた放熱板６３を介して連結するようにしても良い。即ち、放熱板６３が移動装置５０との間の連結具を兼ねるようにしても良い。このように構成することで、放熱板６３に伝わった熱を移動装置５０に伝えて放散させることができる。そのため、図１に示した放熱板６３を用いた場合よりも、計量部４１への伝熱をより確実に防止することができる。
【００５６】
また、サーボモータ４７と移動装置５０とを連結する連結具にアルミ合金等の熱伝導率が良好な部材を用いても良い。このようにすることにより、サーボモータ４７で発生した熱が移動装置５０へも伝達されて放散されるので、これによっても、サーボモータ４７の熱が計量部４１に伝達されることが防止できる。
【００５７】
また、図１に示した上記実施例において、サーボモータ４７側から断熱部材６２、放熱板６３、断熱部材６２の順で配置した構成を示したが、放熱板６３、断熱部材６２の順で配置して構成しても良い。このように構成した場合、サーボモータ４７で発生した熱が断熱部材６２に伝わる前に放熱板６３によって放散されるので、断熱部材６２をサーボモータ４７に直接接触させる場合よりも、熱が計量部４１に伝わることを効果的に防止することができる。尚、この場合にも、図４に示した、冷却媒体を流通させる流路を備えた放熱板６３を用いることができる。
【００５８】
また、放熱板６３にアルミ合金を用いた例で説明したが、これに限られるものではなく、銅、銀等の他の部材であっても良い。このとき、放熱板６３は、サーボモータ４７や計量部４１を構成する部材よりも熱伝導率が大きな部材で形成することが好ましい。
【００５９】
また、図１に示した上記実施例において、断熱部材６２を中空に形成し、その中空空間に乾燥空気等の気体を封入するようにしても良い。また、中空空間を真空雰囲気としても良い。
【００６０】
また、断熱部材６２におけるサーボモータ４７などの他の部材との接触面を粗面に加工し、他の部材との接触部に空気が進入しやすい構成としても良い。このように、他の部材との間に、金属などと比べて熱伝導率が小さい空気を介在させることで、断熱部材６２による断熱効果を一層高めることができる。
【００６１】
また、図５に示した上記実施例において、ペルチェ素子６４の代わりに、図４に示した、冷却媒体を流通させる流路を備えた放熱板６３と同様に構成した部材を冷却装置として用いても良い。また、このような冷却装置とペルチェ素子６４を組み合わせて用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】図１は液晶滴下装置を示す模式図である。
【図２】図２は基板上の液晶滴下パターンを示す模式図である。
【図３】図３は液晶供給装置の計量部の要部を示す模式図で、（Ａ）は正面図、（Ｂ）は（Ａ）における矢視Ａ方向でのカム展開図である。
【図４】図４は液晶滴下装置の変形例の要部を示す模式図である。
【図５】図５は液晶滴下装置の他の変形例の要部を示す模式図である。
【図６】図６は従来の液晶滴下装置を示す模式図である。
【符号の説明】
【００６３】
１  基板
１０  液晶滴下装置
２０  液晶供給装置
４０  容器
４１  計量部
４６  回転軸
４７  サーボモータ（駆動源）
５３  ノズル
６２  断熱部材
６２Ａ  孔
６３  放熱板（放熱部材）
６３Ｃ  流路
６４  ペルチェ素子（冷却装置）
【図１】
2007147921.tif 000003
【図２】
2007147921.tif 000004
【図３】
2007147921.tif 000005
【図４】
2007147921.tif 000006
【図５】
2007147921.tif 000007
【図６】
2007147921.tif 000008