(57)【要約】【課題】応答性に優れ且つ非火災報を低減可能な火災感知器を提供する。【解決手段】超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部２と、音源部１から送波された超音波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部４とを備える。信号処理部４は、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４１と、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２とを有する。煙式判断手段４２は、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度が上記閾値以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。ここで、制御部２は、煙式判断手段４２からの火災感知信号を受信すると、音源部１から可聴域の音波からなる警報音を発生させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
超音波を送波可能な音源部と、音源部を制御する制御部と、音源部から送波された超音波の音圧を検出する受波素子と、受波素子の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備え、信号処理部は、受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部と受波素子との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段と、煙濃度推定手段にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段とを有することを特徴とする火災感知器。
【請求項２】
前記音源部は周波数の異なる複数種の超音波を送波可能であって、前記信号処理部は、前記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および煙濃度に応じた前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量との関係データを記憶した記憶手段と、前記音源部から送波された各周波数の超音波ごとの前記受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段とを有し、前記煙濃度推定手段は、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて前記監視空間の煙濃度を推定することを特徴とする請求項１記載の火災感知器。
【請求項３】
前記記憶手段は、前記関係データとして前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量を基準値で除した減衰率との関係データを記憶していることを特徴とする請求項２記載の火災感知器。
【請求項４】
前記音源部は前記複数種の超音波を送波可能な単一の音波発生素子からなり、前記制御部は音波発生素子から複数種の超音波が順次送波されるように前記音源部を制御することを特徴とする請求項２または請求項３記載の火災感知器。
【請求項５】
前記音源部は互いに異なる周波数の超音波を送波可能な複数の音波発生素子からなることを特徴とする請求項２または請求項３記載の火災感知器。
【請求項６】
前記制御部は、前記音源部から周波数の異なる２種類の超音波を送波させることを特徴とする請求項２ないし請求項５のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項７】
前記制御部は、前記音源部から送波させる超音波の周波数を所定の周波数範囲の下限周波数から上限周波数まで変化させることを特徴とする請求項２ないし請求項５のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項８】
前記信号処理部は、定期的に、所定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力に基づいて前記制御部による前記音源部の制御条件と前記受波素子の出力の信号処理条件との少なくとも一方を変更することを特徴とする請求項２ないし請求項７のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項９】
前記音源部は、発熱体部への通電に伴う発熱体部の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生するものであることを特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項１０】
前記音源部は、ベース基板の一表面側に前記発熱体部が形成されるとともに、ベース基板の前記一表面側で前記発熱体部とベース基板との間に設けられて前記発熱体部とベース基板とを熱絶縁する多孔質層からなる熱絶縁層を有してなることを特徴とする請求項９記載の火災感知器。
【請求項１１】
前記制御部は、前記音源部から超音波として単パルス状の超音波を送波させることを特徴とする請求項９または請求項１０記載の火災感知器。
【請求項１２】
前記制御部は、前記信号処理部にて火災有りと判断されたときに前記音源部から可聴域の音波からなる警報音を発生させることを特徴とする請求項１ないし請求項１１のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項１３】
前記制御部は、前記音源部から防虫効果のある周波数の超音波を送波させること特徴とする請求項１ないし請求項１２のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項１４】
前記受波素子の周辺に前記音源部以外から前記受波素子へ超音波が入射するのを阻止する遮音壁が設けられてなることを特徴とする請求項１ないし請求項１３のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項１５】
前記信号処理部は、前記音源部が超音波を送波してから当該超音波が前記受波素子に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求める音速検出手段と、音速検出手段で求めた音速に基づいて前記監視空間の温度を推定する温度推定手段と、温度推定手段で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断する熱式判断手段とを有することを特徴とする請求項１ないし請求項１４のいずれか１項に記載の火災感知器。
【請求項１６】
前記音源部と前記受波素子とが一表面側に実装されたベース部材を備え、ベース部材の前記一表面には、前記音源部から送波された超音波の反射を防止する吸音層が設けられてなることを特徴とする請求項１ないし請求項１５のいずれか１項に記載の火災感知器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、火災感知器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から、火災時などに発生する煙を感知する火災感知器として、散乱光式煙感知器（例えば、特許文献１参照）や、減光式煙感知器（例えば、特許文献２参照）が知られている。ここにおいて、散乱光式煙感知器は、発光ダイオード素子よりなる投光素子から監視空間に照射された光の煙粒子による散乱光をフォトダイオードよりなる受光素子で受光するように構成されたものであり、監視空間に煙粒子が存在すれば散乱光が生じることによって受光素子での受光量が増大するから、受光素子での受光量の増加量に基づいて煙粒子の存否を検知できる。一方、減光式煙感知器は、投光素子から照射された光を受光素子により直接受光するように構成されたものであり、投光素子と受光素子との間の監視空間に煙粒子が存在すれば受光素子の受光量が減少するから、受光素子での受光量の減光量に基づいて煙粒子の存否を検知できる。
【特許文献１】特開２００１−３４８６２号公報
【特許文献２】特開昭６１−３３５９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、散乱光式煙感知器は、迷光対策としてラビリンス体を設ける必要があるので、空気の流れが少ない場合には、火災発生時に監視空間へ煙粒子が侵入するまでの時間が長くなり、応答性に問題があった。また、減光式煙感知器においては、火災が発生していないにもかかわらずバックグランド光の影響で発報してしまう（非火災報が発生してしまう）ことがあるという問題があった。また、分離型の減光式煙感知器は、投光素子と受光素子との光軸を高精度に軸合わせする必要があり、施工に手間がかかるという問題があった。
【０００４】
また、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器では、監視空間に煙ではなく湯気が侵入した場合に、非火災報が発生してしまうことがあり、台所や浴室での使用には適していなかった。
【０００５】
本発明は上記事由に鑑みて為されたものであり、その目的は、応答性に優れ且つ非火災報を低減可能な火災感知器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１の発明は、超音波を送波可能な音源部と、音源部を制御する制御部と、音源部から送波された超音波の音圧を検出する受波素子と、受波素子の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部とを備え、信号処理部は、受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部と受波素子との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段と、煙濃度推定手段にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段とを有することを特徴とする。
【０００７】
この発明によれば、音源部から送波された超音波の音圧を検出する受波素子の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部を備え、信号処理部では、煙濃度推定手段において、受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部と受波素子との間の監視空間の煙濃度を推定し、煙式判断手段において、煙濃度推定手段にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断するので、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器のような光電式煙感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて火災発生時に監視空間へ煙粒子が拡散しやすくなるから、散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１の発明において、前記音源部は周波数の異なる複数種の超音波を送波可能であって、前記信号処理部は、前記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および煙濃度に応じた前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量との関係データを記憶した記憶手段と、前記音源部から送波された各周波数の超音波ごとの前記受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段とを有し、前記煙濃度推定手段は、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて前記監視空間の煙濃度を推定することを特徴とする。
【０００９】
この発明によれば、前記信号処理部では、粒子種別推定手段において、前記音源部から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子の出力と記憶手段に記憶されている関係データとを用いて前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定し、粒子種別推定手段にて推定された粒子が煙粒子のときに、煙濃度推定手段において、特定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力の基準値からの減衰量に基づいて監視空間の煙濃度を推定するので、粒子種別識別手段において監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することで、例えば煙粒子と湯気とを識別可能となるから、散乱光式煙感知器および減光式煙感知器に比べて非火災報を低減することが可能となる。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項２の発明において、前記記憶手段は、前記関係データとして前記音源部の出力周波数と前記受波素子の出力の基準値からの減衰量を基準値で除した減衰率との関係データを記憶していることを特徴とする。
【００１１】
この発明によれば、前記音源部の出力周波数に応じて前記受波素子の出力の基準値が変動する場合でも、前記音源部の出力周波数と基準値の変動の影響が除去された減衰率との関係データを用いることにより、基準値の変動の影響を受けずに前記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することができる。
【００１２】
請求項４の発明は、請求項２または請求項３の発明において、前記音源部は前記複数種の超音波を送波可能な単一の音波発生素子からなり、前記制御部は音波発生素子から複数種の超音波が順次送波されるように前記音源部を制御することを特徴とする。
【００１３】
この発明によれば、各種の超音波を送波可能な音波発生素子を複数備える場合に比べて、前記音源部の小型化、低コスト化が可能となる。
【００１４】
請求項５の発明は、請求項２または請求項３の発明において、前記音源部は互いに異なる周波数の超音波を送波可能な複数の音波発生素子からなることを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、各音波発生素子として圧電素子のように機械的振動により超音波を発生する素子を用い、各音波発生素子をそれぞれの共振周波数で駆動することにより、前記音源部から送波される超音波の音圧を高めることができる。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項２ないし請求項５の発明において、前記制御部は、前記音源部から周波数の異なる２種類の超音波を送波させることを特徴とする。
【００１７】
この発明によれば、３種類以上の超音波を送波させる場合に比べて、前記制御部および前記信号処理部の負担を軽減できるとともに前記制御部および前記信号処理部の簡略化を図れる。
【００１８】
請求項７の発明は、請求項２ないし請求項５の発明において、前記制御部は、前記音源部から送波させる超音波の周波数を所定の周波数範囲の下限周波数から上限周波数まで変化させることを特徴とする。
【００１９】
この発明によれば、前記粒子種別推定手段での粒子の種別の推定精度を高めることが可能となる。
【００２０】
請求項８の発明は、請求項２ないし請求項７の発明において、前記信号処理部は、定期的に、所定周波数の超音波に対する前記受波素子の出力に基づいて前記制御部による前記音源部の制御条件と前記受波素子の出力の信号処理条件との少なくとも一方を変更することを特徴とする。
【００２１】
この発明によれば、前記音源部の出力変動や前記受波素子の感度変動を定期的にキャンセルすることが可能となり、長期的な信頼性が高くなる。
【００２２】
請求項９の発明は、請求項１ないし請求項８の発明において、前記音源部は、発熱体部への通電に伴う発熱体部の温度変化により空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生するものであることを特徴とする。
【００２３】
この発明によれば、前記音源部は平坦な周波数特性を有しており、発生させる超音波の周波数を広範囲にわたって変化させることができる。また、前記音源部から残響の少ない単パルス状の超音波を送波させることも可能となる。
【００２４】
請求項１０の発明は、請求項９の発明において、前記音源部は、ベース基板の一表面側に前記発熱体部が形成されるとともに、ベース基板の前記一表面側で前記発熱体部とベース基板との間に設けられて前記発熱体部とベース基板とを熱絶縁する多孔質層からなる熱絶縁層を有してなることを特徴とする。
【００２５】
この発明によれば、熱絶縁層が多孔質層からなるので、熱絶縁層が非多孔質層からなる場合に比べて、熱絶縁層の断熱性が向上して超音波発生効率が高くなり、低消費電力化を図れる。
【００２６】
請求項１１の発明は、請求項９または請求項１０の発明において、前記制御部は、前記音源部から超音波として単パルス状の超音波を送波させることを特徴とする。
【００２７】
この発明によれば、前記受波素子が反射波による干渉を受けにくくなり、前記煙濃度推定手段にて推定される煙濃度の精度を高めることが可能となる。
【００２８】
請求項１２の発明は、請求項１ないし請求項１１の発明において、前記制御部は、前記信号処理部にて火災有りと判断されたときに前記音源部から可聴域の音波からなる警報音を発生させることを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、前記音源部から警報音を発生させることができるので、警報音を出力するスピーカなどを別途に設ける必要がなく、小型化および低コスト化が可能となる。
【００３０】
請求項１３の発明は、請求項１ないし請求項１２の発明において、前記制御部は、前記音源部から防虫効果のある周波数の超音波を送波させること特徴とする。
【００３１】
この発明によれば、前記監視空間に虫が侵入するのを防止することができ、虫に起因した非火災報を低減できる。
【００３２】
請求項１４の発明は、請求項１ないし請求項１３の発明において、前記受波素子の周辺に前記音源部以外から前記受波素子へ超音波が入射するのを阻止する遮音壁が設けられてなることを特徴とする。
【００３３】
この発明によれば、前記音源部以外で発生した超音波が前記受波素子に入射するのを遮音壁によって阻止することができ、非火災報を低減できる。
【００３４】
請求項１５の発明は、請求項１ないし請求項１４の発明において、前記信号処理部は、前記音源部が超音波を送波してから当該超音波が前記受波素子に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求める音速検出手段と、音速検出手段で求めた音速に基づいて前記監視空間の温度を推定する温度推定手段と、温度推定手段で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断する熱式判断手段とを有することを特徴とする。
【００３５】
この発明によれば、前記信号処理部では、音速検出手段において、前記音源部が超音波を送波してから当該超音波が前記受波素子に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求め、温度推定手段において、音速検出手段で求めた音速に基づいて前記監視空間の温度を推定し、熱式判断手段において、温度推定手段で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断するので、別途に温度検出素子を用いることなく火災発生時の温度上昇によっても火災を感知することが可能となり、火災をより確実に感知することが可能になる。
【００３６】
請求項１６の発明は、請求項１ないし請求項１５の発明において、前記音源部と前記受波素子とが一表面側に実装されたベース部材を備え、ベース部材の前記一表面には、前記音源部から送波された超音波の反射を防止する吸音層が設けられてなることを特徴とする。
【００３７】
この発明によれば、前記音源部から送波された超音波がベース部材で反射して前記受波素子に入射するのを防止することができ、反射波の干渉を防止することができる。
【発明の効果】
【００３８】
請求項１の発明では、散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になるという効果がある。
【００３９】
請求項２の発明では、散乱光式煙感知器および減光式煙感知器に比べて非火災報を低減することが可能となるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
（実施形態１）
本実施形態の火災感知器は、図１に示すように、超音波を送波可能な音源部１と、音源部１を制御する制御部２と、音源部１から送波された超音波の音圧を検出する受波素子３と、受波素子３の出力に基づいて火災の有無を判断する信号処理部４とを備えている。ここにおいて、音源部１と受波素子３とは、図２に示すように、円板状のプリント基板からなる回路基板５の一表面側において互いに離間して対向配置されており、回路基板５に制御部２および信号処理部４が設けられている。ここで、受波素子３の周辺には、音源部１以外で発生した超音波が受波素子３に入射するのを阻止する遮音板からなる遮音壁６が設けられている。また、回路基板５の上記一表面には、音源部１から送波された超音波の反射を防止する吸音層（図示せず）が設けられているので、音源部１から送波された超音波が回路基板５で反射して受波素子３に入射するのを防止することができて、反射波の干渉を防止することができ、特に、音源部１から送波させる超音波として連続波を用いる場合に有効である。なお、本実施形態では、回路基板５が、音源部１と受波素子３とが一表面側に実装されたベース部材を構成している。
【００４１】
本実施形態では、音源部１として、後述のように空気に熱衝撃を与えることで超音波を発生させる音波発生素子を用いることで、圧電素子に比べて残響時間が短い超音波を送波するようにし、かつ、受波素子３として共振特性のＱ値が圧電素子に比べて十分に小さく受波信号に含まれる残響成分の発生期間が短い静電容量型のマイクロホンを用いている。
【００４２】
ここにおいて、音源部１は、図３に示すように、単結晶のｐ形のシリコン基板からなるベース基板１１の一表面（図３における上面）側に多孔質シリコン層からなる熱絶縁層（断熱層）１２が形成され、熱絶縁層１２の表面側に発熱体部として金属薄膜からなる発熱体層１３が形成され、ベース基板１１の上記一表面側に発熱体層１３と電気的に接続された一対のパッド１４，１４が形成されている。なお、ベース基板１１の平面形状は長方形状であって、熱絶縁層１２、発熱体層１３それぞれの平面形状も長方形状に形成してある。また、ベース基板１１の上記一表面側において熱絶縁層１２が形成されていない部分の表面にはシリコン酸化膜からなる絶縁膜（図示せず）が形成されている。
【００４３】
上述の音源部１では、発熱体層１３の両端のパッド１４，１４間に通電して発熱体層１３に急激な温度変化を生じさせると、発熱体層１３に接触している空気（媒質）に急激な温度変化（熱衝撃）が生じる（つまり、発熱体層１３に接触している空気に熱衝撃が与えられる）。したがって、発熱体層１３に接触している空気は、発熱体層１３の温度上昇時には膨張し発熱体層１３の温度下降時には収縮するから、発熱体層１３への通電を適宜に制御することによって空気中を伝搬する超音波を発生させることができる。要するに、音源部１を構成する音波発生素子は、発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の急激な温度変化を媒質の膨張収縮に変換することにより媒質を伝搬する超音波を発生するので、圧電素子のように機械的振動により超音波を発生する場合に比べて、残響の少ない単パルス状の超音波を送波させることができる。
【００４４】
上述の音源部１は、ベース基板１１としてｐ形のシリコン基板を用いており、熱絶縁層１２を多孔度が略６０〜略７０％の多孔質シリコン層からなる多孔質層により構成しているので、ベース基板１１として用いるシリコン基板の一部をフッ化水素水溶液とエタノールとの混合液からなる電解液中で陽極酸化処理することにより熱絶縁層１２となる多孔質シリコン層を形成することができる（ここで、陽極酸化処理により形成された多孔質シリコン層は、結晶粒径がナノメータオーダの微結晶シリコンからなるナノ結晶シリコンを多数含んでいる）。多孔質シリコン層は、多孔度が高くなるにつれて熱伝導率および熱容量が小さくなるので、熱絶縁層１２の熱伝導度および熱容量をベース基板１１の熱伝導度および熱容量に比べて小さくし、熱絶縁層１２の熱伝導度と熱容量との積をベース基板１１の熱伝導度と熱容量との積に比べて十分に小さくすることにより、発熱体層１３の温度変化を空気に効率よく伝達することができ発熱体層１３と空気との間で効率的な熱交換が起こり、かつ、ベース基板１１が熱絶縁層１２からの熱を効率良く受け取って熱絶縁層１２の熱を逃がすことができて発熱体層１３からの熱が熱絶縁層１２に蓄積されるのを防止することができる。なお、熱伝導率が１４８Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が１．６３×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）の単結晶のシリコン基板を陽極酸化して形成される多孔度が６０％の多孔質シリコン層は、熱伝導率が１Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．７×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）であることが知られている。本実施形態では、熱絶縁層１２を多孔度が略７０％の多孔質シリコン層により構成してあり、熱絶縁層１２の熱伝導率が０．１２Ｗ／（ｍ・Ｋ）、熱容量が０．５×１０６Ｊ／（ｍ３・Ｋ）となっている。
【００４５】
発熱体層１３は、高融点金属の一種であるタングステンにより形成してあるが、発熱体層１３の材料はタングステンに限らず、例えば、タンタル、モリブデン、イリジウム、アルミニウムなどを採用してもよい。また、上述の音源部１では、ベース基板１１の厚さを３００〜７００μｍ、熱絶縁層１２の厚さを１〜１０μｍ、発熱体層１３の厚さを２０〜１００ｎｍ、各パッド１４の厚さを０．５μｍとしてあるが、これらの厚さは一例であって特に限定するものではない。また、ベース基板１１の材料としてＳｉを採用しているが、ベース基板１１の材料はＳｉに限らず、例えば、Ｇｅ，ＳｉＣ，ＧａＰ，ＧａＡｓ，ＩｎＰなどの陽極酸化処理による多孔質化が可能な他の半導体材料でもよく、いずれの場合にも、ベース基板１１の一部を多孔質化することで形成した多孔質層を熱絶縁層１２とすることができる。
【００４６】
上述のように音源部１は、一対のパッド１４，１４を介した発熱体層１３への通電に伴う発熱体層１３の温度変化に伴って超音波を発生するものであり、発熱体層１３へ与える駆動電圧波形あるいは駆動電流波形からなる駆動入力波形を例えば周波数がｆ１の正弦波波形とした場合、理想的には、発熱体層１３で生じる温度振動の周波数が駆動入力波形の周波数ｆ１の２倍の周波数ｆ２となり、駆動入力波形ｆ１の略２倍の周波数の超音波を発生させることができる。すなわち、上述の音源部１は、平坦な周波数特性を有しており、発生させる超音波の周波数を広範囲にわたって変化させることができる。また、上述の音源部１では、例えば正弦波波形の半周期の孤立波を駆動入力波形として一対のパッド１４，１４間へ与えることによって、残響の少ない略１周期の単パルス状の超音波を発生させることができる。このような単パルス状の超音波を用いることにより、反射による干渉が起こりにくくなるので、上記吸音層を不要にすることもできる。また、音源部１は、熱絶縁層１２が多孔質層により構成されているので、熱絶縁層１２が非多孔質層（例えば、ＳｉＯ２膜など）からなる場合に比べて、熱絶縁層１２の断熱性が向上して超音波発生効率が高くなり、低消費電力化を図れる。
【００４７】
音源部１を制御する制御部２は、図示していないが、音源部１に駆動入力波形を与えて音源部１を駆動する駆動回路と、当該駆動回路を制御するマイクロコンピュータからなる制御回路とで構成されている。
【００４８】
また、上述の受波素子３を構成する静電容量型のマイクロホンは、図４に示すように、シリコン基板に厚み方向に貫通する窓孔３１ａを設けることで形成された矩形枠状のフレーム３１と、フレーム３１の一表面側においてフレーム３１の対向する２つの辺に跨る形で配置されるカンチレバー型の受圧部３２とを備えている。ここにおいて、フレーム３１の一表面側には熱酸化膜３５と熱酸化膜３５を覆うシリコン酸化膜３６とシリコン酸化膜３６を覆うシリコン窒化膜３７とが形成されており、受圧部３２の一端部がシリコン窒化膜３７を介してフレーム３１に支持され、他端部が上記シリコン基板の厚み方向においてシリコン窒化膜３７に対向している。また、シリコン窒化膜３７における受圧部３２の他端部との対向面に金属薄膜（例えば、クロム膜など）からなる固定電極３３ａが形成され、受圧部３２の他端部におけるシリコン窒化膜３７との対向面とは反対側に金属薄膜（例えば、クロム膜など）からなる可動電極３３ｂが形成されている。なお、フレーム３１の他表面にはシリコン窒化膜３８が形成されている。また、受圧部３２は、上記各シリコン窒化膜３７，３８とは別工程で形成されるシリコン窒化膜により構成されている。
【００４９】
図４に示した構成の静電容量型のマイクロホンからなる受波素子３では、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとを電極とするコンデンサが形成されるから、受圧部３２が疎密波の圧力を受けることにより固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の距離が変化し、固定電極３３ａと可動電極３３ｂとの間の静電容量が変化する。したがって、固定電極３３ａおよび可動電極３３ｂに設けたパッド（図示せず）間に直流バイアス電圧を印加しておけば、パッドの間には超音波の音圧に応じて微小な電圧変化が生じるから、超音波の音圧を電気信号に変換することができる。
【００５０】
ところで、信号処理部４は、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４１と、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２と、音源部１が超音波を送波してから当該超音波が受波素子３に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求める音速検出手段４３と、音速検出手段４３で求めた音速に基づいて上記監視空間の温度を推定する温度推定手段４４と、温度推定手段４４で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断する熱式判断手段４５とを有している。信号処理部４は、マイクロコンピュータにより構成されており、上記各手段４１〜４５は、上記マイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現されている。また、信号処理部４は、受波素子３の出力信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器などが設けられている。
【００５１】
煙濃度推定手段４１は、音源部１からの超音波の音圧を検出する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて煙濃度を推定するものであるが、音源部１から送波される超音波の周波数が一定であれば、上記減衰量は上記監視空間の煙濃度に略比例して増加するので、あらかじめ測定した煙濃度と減衰量との関係データに基づいて煙濃度と減衰量との関係式を求めて記憶しておけば、上記関係式を用いて減衰量から煙濃度を推定することができる。また、煙式判断手段４２は、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度が上記閾値未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記閾値以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。ここで、制御部２は、煙式判断手段４２からの火災感知信号を受信すると、音源部１から可聴域の音波からなる警報音が発生するように音源部１への駆動入力波形を制御する。したがって、音源部１から警報音を発生させることができるので、警報音を出力するスピーカなどを別途に設ける必要がなく、火災感知器全体の小型化および低コスト化が可能となる。
【００５２】
また、音速検出手段４３は、音源部１と受波素子３との間の距離と上記時間差とを用いて音速を求める。また、温度推定手段４４は、周知の大気中の音速と絶対温度との関係式を利用して音速から上記監視空間の温度を推定する。また、熱式判断手段４５は、温度推定手段４４にて推定された温度が上記規定温度未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記規定温度以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。ここで、制御部２は、熱式判断手段４５からの火災感知信号を受信した場合にも、音源部１から可聴域の音波からなる警報音が発生するように音源部１への駆動入力波形を制御する。
【００５３】
なお、本実施形態では、煙式判断手段４２や熱式判断手段４５から出力される火災感知信号を制御部２へ出力するようにしているが、制御部２に限らず、例えば、外部の通報装置へ出力するようにしてもよい。
【００５４】
以上説明した本実施形態の火災感知器では、煙濃度推定手段４１において、受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて音源部１と受波素子３との間の監視空間の煙濃度を推定し、煙式判断手段４２において、煙濃度推定手段４１にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断するので、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器のような光電式煙感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて火災発生時に監視空間へ煙粒子が拡散しやすくなるから、散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。さらに、本実施形態の火災感知器では、音速検出手段４３において、音源部１が超音波を送波してから当該超音波が受波素子３に受波されるまでの時間差に基づいて音速を求め、温度推定手段４４において、音速検出手段４３で求めた音速に基づいて上記監視空間の温度を推定し、熱式判断手段４５において、温度推定手段４４で推定された温度と規定温度とを比較して火災の有無を判断するので、別途に温度検出素子を用いることなく火災発生時の温度上昇によっても火災を感知することが可能となり、火災をより確実に感知することが可能になる。
【００５５】
（実施形態２）
図５に示す本実施形態の火災感知器の基本構成は実施形態１と略同じであり、制御部２および信号処理部４の構成が相違する。なお、実施形態１と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００５６】
ところで、本願発明者らは、音源部１と受波素子３との間の監視空間の浮遊粒子の種別に応じて図６に示すように音源部１の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係が異なるという知見を得た。ここで、監視空間に浮遊粒子が存在しない状態で受波素子３にて受波される音圧（以下、基準音圧という）をＩ０、減光式煙濃度計（減光式煙感知器）での評価でｘ％／ｍとなる濃度の浮遊粒子が監視空間に存在する状態で受波素子３にて受波される音圧をＩｘとしたときに、（Ｉ０−Ｉｘ）／Ｉ０で表される値を音圧の減衰率と定義し、特にｘ＝１のときの減衰率を単位減衰率と定義する。ここにおいて、基準音圧Ｉ０と音圧Ｉｘとは、監視空間における浮遊粒子の有無を除いては同一の条件で検出されるものとする。図６中の「イ」は浮遊粒子が黒煙の煙粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒丸が測定データ）、「ロ」は浮遊粒子が白煙の煙粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒四角が測定データ）、「ハ」は浮遊粒子が湯気の粒子である場合の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係を示す近似曲線（黒三角が測定データ）であり、ここに示す単位減衰率は、音源部１と受波素子３との間の距離を３０ｃｍに設定したときの各出力周波数ごとのデータである。また、図６における右端の各データは、出力周波数が８２ｋＨｚのときのデータであり、出力周波数が８２ｋＨｚのときのデータを１として各出力周波数の単位減衰率を規格化した結果を図７に示す。要するに、図７は、横軸が出力周波数、縦軸が相対的単位減衰率となっている。また、白煙の煙粒子のサイズは８００ｎｍ程度、黒煙の煙粒子のサイズは２００ｎｍ程度、湯気の粒子のサイズは数μｍ〜２０μｍ程度である。
【００５７】
上述の知見に基づいて、本実施形態では、制御部２が、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波が順次送波されるように音源部１を制御するようにし、信号処理部４は、少なくとも受波素子３の基準出力（基準音圧に対する受波素子３の出力）、上記監視空間に存在する浮遊粒子の種別および浮遊粒子濃度に応じた音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との関係データ（上述の図７より抽出されるデータ）、煙粒子に関して特定周波数（例えば、８２ｋＨｚ）における単位減衰率（上述の図６より抽出されるデータ）を記憶した記憶手段４８と、音源部１から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている関係データとを用いて上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定する粒子種別推定手段４６と、粒子種別推定手段４６にて推定された粒子が煙粒子のときに特定周波数（例えば、８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて上記監視空間の煙濃度を推定する煙濃度推定手段４７と、煙濃度推定手段４７にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断する煙式判断手段４２とを有するようにしてある。
【００５８】
以下に、本実施形態の火災感知器の動作例を図８のフローチャートを参照して説明する。まず、音源部１から複数種の超音波を順次送波させ各超音波に対する受波素子３の出力を信号処理部４で計測する（ステップＳ１１）。粒子種別推定手段４６は、各出力周波数ごとに受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている基準出力とから音圧の減衰率を求め（ステップＳ１２）、出力周波数が８２ｋＨｚでの音圧の減衰率に対する２０ｋＨｚでの音圧の減衰率の比を算出する（ステップＳ１３）。記憶手段４８には、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との上記関係データとして、出力周波数が８２ｋＨｚでの相対的単位減衰率に対する２０ｋＨｚでの相対的単位減衰率の比（図７の場合、白煙が０、黒煙が０．２、湯気が０．５となる）が記憶されており、粒子種別推定手段４６は、算出した減衰率の比を記憶手段４８に記憶されている関係データと比較し、関係データの中で減衰率の比が最も近い種別の粒子を監視空間に浮遊している粒子と推定する（ステップＳ１４）。ここで、推定された粒子が煙粒子であれば煙濃度推定手段４７での処理に移行する（ステップＳ１５）。ここにおいて、白煙の場合には図９に示すように減光式煙濃度計で計測される煙濃度と音圧の減衰率との関係は直線で示すことのできるデータであり、他の粒子においても同様であるから、煙濃度推定手段４７は、推定された粒子種別について特定周波数（例えば、８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力の減衰率の記憶手段４８に記憶されている単位減衰率に対する比を算出し、その比の値がｙの場合に監視空間の煙濃度が減光式煙濃度計での評価における煙濃度ｙ％／ｍに相当すると推定する（ステップＳ１６）。煙式判断手段４２は、ステップＳ１６で推定された煙濃度と所定の閾値（例えば、減光式煙濃度計での評価で１０％／ｍとなる煙濃度）とを比較し、推定された煙濃度が上記閾値未満の場合には「火災無し」と判断する一方で、上記閾値以上の場合には「火災有り」と判断して火災感知信号を制御部２へ出力する。
【００５９】
上述の例では、粒子種別推定手段４６は出力周波数が８２ｋＨｚのときの減衰率と２０ｋＨｚのときの減衰率とを用いているが、これらの出力周波数の組み合わせに限定するものではなく、異なる組み合わせの出力周波数を用いてもよい。さらに、より多くの出力周波数に対する減衰率を用いてもよく、その場合は粒子種別の推定の確度を向上させることができる。また、本実施形態では、煙濃度推定手段４７が特定周波数として１周波数を対象としているが、特定周波数として複数の周波数を対象とし、各特定周波数ごとに推定した煙濃度の平均値を求めるようにしてもよく、この場合、煙濃度の推定の確度が向上する。なお、信号処理部４は、マイクロコンピュータにより構成されており、粒子種別推定手段４６、煙濃度推定手段４７、煙式判断手段４２は、上記マイクロコンピュータに適宜のプログラムを搭載することにより実現されている。また、信号処理部４は、受波素子３の出力信号をアナログ−ディジタル変換するＡ／Ｄ変換器などが設けられている。
【００６０】
本実施形態では、音源部１として実施形態１にて説明した音波発生素子を１つ用いており、上述の制御部２は、音源部１へ与える駆動入力波形の周波数を順次変化させることにより、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波を順次送波させる。ここにおいて、制御部２は、音源部１から送波させる超音波の周波数を所定の周波数範囲（例えば、２０ｋＨｚ〜８２ｋＨｚ）の下限周波数（例えば、２０ｋＨｚ）から上限周波数（例えば、８２ｋＨｚ）まで変化させる。なお、本実施形態では、音源部１から周波数の異なる４種類の超音波が順次送波されるように制御部２が音源部１を制御するように構成してあるが、音源部１から送波させる超音波の周波数は４種類に限らず複数種類であればよく、例えば、２種類とすれば、３種類以上の超音波を順次送波させる場合に比べて、制御部２および信号処理部４の負担を軽減できるとともに制御部２および信号処理部４の簡略化を図れる。また、本実施形態では、上述のように音源部１として実施形態１にて説明した音波発生素子を用いており、単パルス状の超音波を送波することができるので、順次送波する超音波をそれぞれ周波数の異なる単パルス状の超音波とすれば、音源部１として共振周波数の異なる複数の圧電素子を用いて各圧電素子から連続波の超音波を送波させる場合に比べて、低コスト化および低消費電力化を図れる。しかも、１つの音波発生素子で複数種の超音波を送波できるので、各種の超音波を送波可能な音波発生素子を複数備える場合に比べて音源部１の小型化、低コスト化が可能となる。
【００６１】
なお、本実施形態では、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の相対的単位減衰率との関係データを記憶手段４８に記憶した例を示したが、そもそも監視空間に存在する浮遊粒子の種別に応じて音源部１の出力周波数ごとに変化するのは受波素子３の出力の基準値からの減衰量（Ｉ０−Ｉｘ）であるから、記憶手段４８に記憶する上記関係データは、音源部１の出力周波数と受波素子３の出力の基準値からの減衰量との関係を示すデータであればよく、上述の相対的単位減衰率に代えて、たとえば、受波素子３の出力の基準値からの減衰量や、受波素子３の出力の基準値からの減衰量を基準値（Ｉ０）で除しただけの減衰率、あるいは単位減衰率を採用した関係データを記憶手段４８に記憶するようにしてもよい。
【００６２】
以上説明した本実施形態の火災感知器では、粒子種別推定手段４６において、音源部１から送波された各周波数の超音波ごとの受波素子３の出力と記憶手段４８に記憶されている関係データとを用いて上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定し、粒子種別推定手段４６にて推定された粒子が煙粒子のときに、煙濃度推定手段４７において、特定周波数の超音波に対する受波素子３の出力の基準値からの減衰量に基づいて上記監視空間の煙濃度を推定し、煙式判断手段４２において、煙濃度推定手段４７にて推定された煙濃度と所定の閾値とを比較して火災の有無を判断するので、散乱光式煙感知器や減光式煙感知器のような光電式煙感知器で問題となるバックグランド光の影響をなくすことができ、散乱光式煙感知器に必要なラビリンス体を不要とすることができて散乱光式煙感知器に比べて応答性を向上でき、また、減光式煙感知器に比べて非火災報の低減が可能になる。しかも、粒子種別推定手段４６において上記監視空間に浮遊している粒子の種別を推定することで煙粒子と湯気とを識別可能となるから、散乱光式煙感知器および減光式煙感知器に比べて湯気に起因した非火災報を低減することが可能となり、台所や浴室での使用にも適する。また、粒子種別推定手段４６において白煙の煙粒子と黒煙の煙粒子とを識別可能となるから、火災の性状の識別に役立てることも可能となる。また、火災感知器を設置している室内の掃除や天井裏の電気工事などの際に浮遊する粉塵と煙粒子との識別も可能になるから、粉塵などに起因した非火災報を低減することも可能となる。
【００６３】
ところで、本実施形態では音源部１を単一の音波発生素子により構成し、制御部２が音源部１へ与える駆動入力波形の周波数を順次変化させることにより、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波を順次送波させるようにしているが、図１０に示すように互いに出力周波数の異なる複数の音波発生素子１ａで音源部１を構成してもよい。この場合には、各音波発生素子１ａとして圧電素子のように機械的振動により超音波を発生する素子を用い、各音波発生素子１ａをそれぞれの共振周波数で駆動することにより、音源部１から送波される超音波の音圧を高めることができる。音源部１からの超音波の音圧が高くなると、受波素子３で受波される超音波の音圧の変動範囲が広くなり、結果的に、煙濃度の変化量に対する受波素子３の出力の変化量が大きくなってＳＮ比が向上するという利点がある。さらに、図１０の例では各音波発生素子１ａにそれぞれ対応付けた複数の受波素子３を設け、各受波素子３が各々に対応する各音波発生素子１ａからの超音波を受波するように構成されている。したがって、各受波素子３として共振特性のＱ値が比較的大きな圧電素子などを用い、各受波素子３をそれぞれの共振周波数の超音波の受波に用いることにより、受波素子３の感度を向上させることができ、ＳＮ比の向上に寄与することができる。この場合、各音波発生素子１ａを順次駆動して複数種の超音波を順次送波させるだけでなく、複数の音波発生素子１ａを一斉に駆動して複数種の超音波を同時に送波させることも可能になる。複数種の超音波を同時に送波させれば、複数種の超音波の音圧の減衰量を同時に検出することで、監視空間の経時的変化（例えば浮遊粒子の濃度変化）の影響を受けることなく同一条件で複数種の超音波について音圧の減衰量を検出することができるので、浮遊粒子の種別や煙濃度を精度よく推定することができる。
【００６４】
また、図１１に示すように複数の音波発生素子１ａからなる音源部１に対して単一の受波素子３を設け、各音波発生素子１ａを順次駆動して複数種の超音波を順次送波させ、これら複数種の超音波を単一の受波素子３で順次受波するようにしてもよい。この場合、受波素子３として例えば実施形態１にて説明した静電容量型のマイクロホンのように共振特性のＱ値が小さい素子を用いることが望ましい。図１１の例では、複数の受波素子３を設ける場合に比べて、受波素子３の低コスト化、火災感知器の小型化を図ることができる。
【００６５】
さらにまた、たとえば圧電型超音波センサなどの超音波の送波と受波との両方に使用可能な音波発生素子１ａを用い、図１２に示すように音波発生素子１ａを制御部２だけでなく信号処理部４にも接続することで、音波発生素子１ａを受波素子３に兼用することも考えられる。図１２の例では音源部１を複数の音波発生素子１ａで構成しており、各音波発生素子１ａから送波される超音波を当該音波発生素子１ａに向けて反射する反射壁７を音源部１と対向配置することにより、各音波発生素子１ａで自身の送波した超音波の反射波をそれぞれ受波できるようにしてある。ここにおいて、音波発生素子１ａから送波された超音波は反射壁７と音波発生素子１ａとの間を往復し、受波素子３として機能する音波発生素子１ａで受波されることになるので、音波発生素子１ａと反射壁７との間の空間が監視空間となる。この場合、音波発生素子１ａから送波される超音波を当該音波発生素子１ａに向けて反射する反射壁７が必要であるものの、素子数の低減による低コスト化を図ることができる。
【００６６】
また、図１３に示すように音源部１として実施形態１にて説明した単一の音波発生素子１ａを用い、制御部２が音源部１へ与える駆動入力波形の周波数を順次変化させることにより、音源部１から周波数の異なる複数種の超音波を順次送波させる一方で、受波素子３を複数備えるようにしてもよい。この場合、各受波素子３はそれぞれ異なる周波数の超音波の受波に用いられる。したがって、各受波素子３として共振特性のＱ値が比較的大きな圧電素子などを用い、各受波素子３をそれぞれの共振周波数の超音波の受波に用いることにより、受波素子３の感度を向上させることができ、ＳＮ比の向上に寄与することができる。なお、複数種の超音波を１つの受波素子３で受波する構成では、周波数ごとに受波素子３の感度が異なっていると各種の超音波ごとにＳＮ比のばらつきを生じるが、上述のように各種の超音波の受波を個別の受波素子３で行う構成では、各受波素子３の感度を揃えておくことにより各種の超音波ごとのＳＮ比のばらつきを抑制することができる。
【００６７】
ところで、信号処理部４は、定期的に、所定周波数（例えば、上述の特定周波数と同じ８２ｋＨｚ）の超音波に対する受波素子３の出力に基づいて、音源部１の出力変動や受波素子３の感度変動がキャンセルされるように制御部２による音源部１の制御条件と受波素子３の出力の信号処理条件との少なくとも一方を変更するようにすれば、音源部１の出力変動や受波素子３の感度変動を定期的にキャンセルすることが可能となり、長期的な信頼性が高くなる。
【００６８】
なお、本実施形態の火災感知器においても、図１に示した実施形態１と同様、信号処理部４に、音速検出手段４３、温度推定手段４４、熱式判断手段４５を設けてもよい。
【００６９】
ところで、上記各実施形態では、音源部１と制御部２と受波素子３と信号処理部４とを１枚の回路基板５に設けて図示しない器体内に収納してあるが、音源部１と制御部２とを備えた音源部側ユニットと、受波素子３と信号処理部４とを備えた受波側ユニットとを別体として互いに対向配置する分離型の火災感知器を構成するようにしてもよい。また、音源部１は上述の図３に示した構成の音波発生素子に限らず、例えば、アルミニウム製の薄板を発熱体部として当該発熱体部への通電に伴う発熱体部の急激な温度変化による熱衝撃によって音波を発生させるものでもよい。
【００７０】
また、上記各実施形態において、制御部２が、音源部１から防虫効果のある周波数の超音波を送波させるようにすれば、上記監視空間に虫が侵入するのを防止することができ、虫に起因した非火災報を低減できる。ここで、制御部２は、煙濃度を推定するために音源部１から送波させる周波数の超音波とは別に、防虫効果のある周波数の超音波を定期的に送波させるようにしてもよいし、煙濃度を推定するために音源部１から送波する超音波の周波数を防虫効果のある周波数に設定するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】実施形態１の火災感知器のブロック図である。
【図２】同上における火災感知器の要部を示し、（ａ）は概略下面図、（ｂ）は概略側面図である。
【図３】同上における音源部を構成する音波発生素子の概略断面図である。
【図４】同上における受波素子を示し、（ａ）は一部破断した概略斜視図、（ｂ）は概略断面図である。
【図５】実施形態２の火災感知器のブロック図である。
【図６】同上における音源部の出力周波数と音圧の単位減衰率との関係図である。
【図７】同上における音源部の出力周波数と相対的単位減衰率との関係図である。
【図８】同上の動作例を示すフローチャートである。
【図９】同上における煙濃度と特定周波数の超音波の減衰率との関係図である。
【図１０】同上の他の例を示すブロック図である。
【図１１】同上のさらに他の例を示すブロック図である。
【図１２】同上のさらに他の例を示すブロック図である。
【図１３】同上のさらに他の例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  音源部
１ａ  音波発生素子
２  制御部
３  受波素子
４  信号処理部
５  回路基板（ベース部材）
６  遮音壁
１１  ベース基板
１２  熱絶縁層
１３  発熱体層（発熱体部）
１４  パッド
４１  煙濃度推定手段
４２  煙式判断手段
４３  音速検出手段
４４  温度推定手段
４５  熱式判断手段
４６  粒子種別推定手段
４７  煙濃度推定手段
４８  記憶手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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