(57)【要約】【課題】検査工程などの処理工程を効率よく行うことのでき、しかも透光性基板などに欠けなどが発生することを確実に防止した状態で処理を行うことのできるマスクブランクスの製造方法、処理装置、および台車を提供すること。【解決手段】マスクブランクスを製造するにあたって、透光性基板あるいはマスクブランクスの製造途中品からなる大型で重いワーク１０を搭載した台車２０を検査装置３の昇降板５１、５２により床面Ｆから浮上させて除振台４０に連結する。このため、検査を行う際、ワーク１０を台車２０と除振台４０との間で移載する必要がない。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板の主表面に少なくとも転写パターンを形成するための金属膜が形成されたマスクブランクスの製造方法において、
前記透光性基板、あるいは当該透光性基板からマスクブランクスを製造する際の製造途中品からなるワークを搭載した台車を処理装置に連結し、前記ワークを前記台車に搭載した状態のまま処理を行う処理工程を少なくとも１回、行うことを特徴とするマスクブランクスの製造方法。
【請求項２】
前記処理工程では、前記台車を床面から浮上した状態で前記処理装置に連結することを特徴とする請求項１に記載のマスクブランクスの製造方法。
【請求項３】
前記処理工程は、前記ワークに対する検査工程であり、
前記処理装置は、前記台車が浮上した状態で連結される除振台を備えた検査装置であることを特徴とする請求項１に記載のマスクブランクスの製造方法。
【請求項４】
前記ワークを前記台車に起立した状態に搭載し、
前記除振台は、前記台車の台車連結領域を両側で挟む第１の除振台部および第２の除振台部を備えるとともに、前記第１の除振台部上および前記第２の除振台部上の各々に前記ワークの一方面側に対向する第１の検査機器および前記ワークの他方面側に対向する第２の検査機器が搭載されていることを特徴とする請求項３に記載のマスクブランクスの製造方法。
【請求項５】
ワークに対する処理機器が搭載された処理台と、ワークが搭載された台車を当該処理台に連結させる連結装置とを有することを特徴とする処理装置。
【請求項６】
前記連結装置は、前記台車を床面から浮上させて当該台車と前記処理台とを連結させる昇降装置であることを特徴とする請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
前記台車を前記処理台との連結位置に向けて前記台車の両側でガイドする一対のガイド部を備え、
前記台車の側面部と、前記ガイド部において前記台車の側面部に対向する部分とには、互いに同一極を向ける磁石が構成されていることを特徴とする請求項５または６に記載の処理装置。
【請求項８】
前記処理台は、前記台車の台車連結領域を両側で挟む第１の除振台部および第２の除振台部を備え、
前記処理機器は、前記第１の除振台部上および前記第２の除振台部上の各々に前記ワークの一方面側に対向する第１の検査機器および前記ワークの他方面側に対向する第２の検査機器であることを特徴とする請求項５乃至７の何れか一項に記載の処理装置。
【請求項９】
請求項６に記載の処理装置にワークを搬送するための台車であって、
前進する際と後退する際とで向きが反転するキャスターと、該キャスターが床面から浮上した際に当該キャスターを後退する向きに自動的に反転させるキャスター自動反転装置とを備えていることを特徴とする台車。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路や液晶表示装置などの製造に使用される転写マスク製造用のマスクブランクスの製造方法、処理装置、および台車に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路や液晶表示装置等を製造する際、フォトリソグラフィ技術を用いて薄膜をパターニングする工程では、合成石英基板などの透光性基板に遮光性膜などからなる転写パターンが形成された転写マスクが用いられる。このような転写マスクを製造するには、まず、透光性基板を研磨した後、その主表面にベタの遮光性膜およびベタのレジスト層を順次形成する。次に、レジスト層に対して選択的露光、ベーク処理、現像処理を行い、レジストパターンを形成した後、レジストパターンをマスクとして遮光性膜をパターニングし、透光性基板の表面に転写パターンを備えた転写マスクを製造する。ここで、透光性基板にベタの遮光性膜などを形成した段階のもの、透光性基板の全面にベタの遮光性膜およびベタのレジスト層を積層した段階のもののいずれについてもマスクブランクス(あるいはマスクブランク)と称する。
【０００３】
また、マスクブランクスを製造するには、透光性基板に対する傷や異物の有無、遮光性膜に対するピンホールの有無などを検査する工程などが行われる。このような工程のうち、例えば、大型のマスクブランクスを検査する工程では、遮光性基板あるいはそれに遮光性膜を形成した製造途中品などのワークを台車に搭載して検査装置まで搬送した後、ワークを検査装置の除振台の上に移載する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、従来の方法で検査工程を行うと、ワークを台車から検査装置の除振台に移載するとともに、検査が終了するとワークを除振台から台車に移載する必要があるので、作業効率が低いという問題点がある。特に、大型の透光性基板の場合には重量が１００kg近くになることもあり、このような重量物を台車と除振台との間で移載するには、多大な手間がかかる。しかも、透光性基板として用いられる合成石英基板は極めて高価であるため、移載作業の際に基板の角が台車や除振台に当たって欠けなどが発生すると多大な損害が発生してしまう。なお、マスクブランクスを製造するには、透光性基板に対する研磨工程などの処理工程が行われるが、これらの処理装置でも、検査工程と同様、ワークを台車と処理台との間で移載する作業が行われるので、上記した検査工程と同様な問題点がある。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、検査工程などの処理工程を効率よく行うことのでき、しかも透光性基板などに欠けなどが発生することを確実に防止した状態で処理を行うことのできるマスクブランクスの製造方法、処理装置、および台車を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明では、透光性基板の主表面に少なくとも転写パターンを形成するための金属膜が形成されたマスクブランクスの製造方法において、前記透光性基板、あるいは当該透光性基板からマスクブランクスを製造する際の製造途中品からなるワークを搭載した台車を処理装置に連結し、前記ワークを前記台車に搭載した状態のまま処理を行う処理工程を少なくとも１回、行うことを特徴とする。
【０００７】
本発明に係る処理装置では、ワークに対する処理機器が搭載された処理台と、ワークが搭載された台車を当該処理台に連結させる連結装置とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、ワークに対する検査、研磨その他の工程を行う際、ワークを搭載した台車を処理装置に連結するため、ワークを台車に搭載した状態のまま処理を行うことができる。それ故、ワークを台車と処理台とで移載する必要がない。
【０００９】
本発明において、前記処理工程では、前記台車を床面から浮上した状態で前記処理装置に連結する構成を採用してもよい。この場合、本発明に係る処理装置において、前記連結装置は、前記台車を床面から浮上させて当該台車と前記処理台とを連結させる昇降装置である。
【００１０】
このような処理工程は、例えば、前記ワークに対する検査工程であり、この場合、前記処理装置は、前記台車が浮上した状態で連結される除振台を備えた検査装置である。
【００１１】
本発明において、検査工程では、前記ワークを前記台車に起立した状態に搭載し、前記除振台は、前記台車の台車連結領域を両側で挟む第１の除振台部および第２の除振台部を備えるとともに、前記第１の除振台部上および前記第２の除振台部上の各々に前記ワークの一方面側に対向する第１の検査機器および前記ワークの他方面側に対向する第２の検査機器が搭載されている構成を採用することができる。
【００１２】
本発明において、前記処理装置は、前記処理台が前記台車の台車連結領域を両側で挟む第１の除振台部および第２の除振台部を備え、前記処理機器が前記第１の除振台部上および前記第２の除振台部上の各々に前記ワークの一方面側に対向する第１の検査機器および前記ワークの他方面側に対向する第２の検査機器である構成を採用することができる。
【００１３】
本発明において、前記台車を前記処理台との連結位置に向けて当該台車の両側でガイドする一対のガイド部を備える場合がある。この場合、前記台車の側面部と、前記ガイド部において前記台車の側面部に対向する部分とには、互いに同一極を向ける磁石が構成されていることが好ましい。このように構成すると、台車とガイド部との間に磁気的反発力が発生するので、台車がガイド部を擦ることがないので、台車とガイド部との擦れによる発塵を防止できる。
【００１４】
本発明に係る処理装置にワークを搬送するための台車として、本発明では、前進する際と後退する際とで向きが反転するキャスターと、該キャスターが床面から浮上した際に当該キャスターを後退する向きに自動的に反転させるキャスター自動反転装置とを備えた台車を用いることが好ましい。台車を前進させた後、後退させる際には、キャスターの向きを反転させる必要がある。かかるキャスターの反転が起こる際、従来であれば、台車が横に振れるが、床面から浮上した際にキャスターを自動的に反転させれば、台車を後退させる際に台車が横に振れることがない。それ故、台車の連結位置の両側に処理台がある場合でも、台車が処理台に当たることがない。
【発明の効果】
【００１５】
本発明では、ワークに対する処理を行う際、ワークを搭載した台車を処理装置に連結するため、ワークを台車に搭載した状態のまま処理を行うことができる。このため、ワークを台車から処理装置に移載する必要がなく、処理後、ワークを処理装置から台車に移載する必要もないので、作業効率を向上することができる。特に、重量が１００kg近くもあるワークの場合にもワークの移載に多大の手間がかかるが、本発明によれば、かかる作業を一切行う必要がないので、作業効率を大幅に向上することができる。また、ワークを台車と処理装置との間で移載する際にワークが台車や処理装置に当たって欠けるなどのおそれもない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。なお、以下の説明では、ワークとして、マスクブランクスを製造するための透光性基板、あるいはこの透光性基板に転写パターンを形成するための金属膜を形成したマスクブランクスの製造途中品に対して検査を行う例を中心に説明する。
【００１７】
(マスクブランクスの説明)
半導体集積回路や液晶表示装置等を製造する際、フォトリソグラフィ技術を用いて薄膜をパターニングする工程では、合成石英基板などの透光性基板に遮光性膜などからなる転写パターンが形成された転写マスクが用いられる。このような転写マスクを製造するには、例えば、透光性基板に検査工程を行い、傷や異物が付いているか否かを検査する。次に、研磨工程において、透光性基板の主表面に研磨を行った後、検査工程を行い、透光性基板の主表面に傷や異物が付いているか否かを検査する。次に、成膜工程において、透光性基板の主表面にベタの遮光性膜を形成した後、検査工程を行い、遮光性膜にピンホールがないか検査する。次に、遮光性膜の上層にレジスト層を順次形成し、マスクブランクスを製造する。次に、レジスト層に対して選択的露光、ベーク処理、現像処理を行い、レジストパターンを形成した後、レジストパターンをマスクとして遮光性膜をパターニングし、透光性基板の転写パターンを備えた転写マスクを製造する。
【００１８】
(検査工程および検査装置の構成)
図１は、本発明のマスクブランクスの製造方法において、マスクブランクスを製造するための透光性基板、あるいはこの透光性基板からマスクブランクスを製造する際の製造途中品からなるワークを台車に搭載して検査装置に搬送する様子を示す説明図である。図２(ａ)、(ｂ)は、図１に示す台車の側面図、および台車の下部を拡大して示す正面図である。図３(ａ)、(ｂ)は、図１に示す検査装置の台車連結領域に台車を進入させた状態を模式的に示す正面図、および台車を浮上させた状態を模式的に示す正面図である。図４は、図１に示す検査装置、およびこの検査装置に設けたガイド部の平面図である。
【００１９】
本形態では、マスクブランクスを製造する際の検査工程においては、図１に示すように、１２００mm×１４００mmといった大型で重いワーク１０(遮光性基板、あるいはマスクブランクスの製造途中品)を台車２０に搭載した状態で検査装置３まで、矢印Ｌで示す方向に前進させ、搬送する。
【００２０】
図１および図２(ａ)、(ｂ)に示すように、台車２０は、底部にキャスター２８を備えた台車本体２１と、この台車本体２１上において、起立姿勢のワーク１０の下端部を受ける受け部２２と、ワーク１０の側端部を両側から挟持する一対のワーク支持部２３、２４とを有している。ワーク支持部２３、２４は、図２(ａ)に実線で示すワーク支持位置と、図２(ａ)に二点鎖線で示すワーク解放位置との間で移動可能である。キャスター２８は、垂直軸線周りに回転可能に台車本体２１に支持されており、台車２０が前進する際と後退する際とで向きが反転するようになっている。
【００２１】
本形態において、台車２０の両側面部には、断面Ｌ字形の長尺の鋼材２５、２６が各々固定されており、鋼材２５、２６の水平板部２５１、２６１が側方に張り出している。
【００２２】
図１、図３(ａ)および図４に示すように、検査装置３は、スチール製のハニカム定盤からなる平面コの字形状の除振台４０を有している。除振台４０は、その中央部に台車連結領域３０となる空間を備えており、その開放端が台車２０の出入り口となる。また、除振台４０は、台車連結領域３０を両側で挟む第１の除振台部４１と第２の除振台部４２とを備えている。このような構成の除振台４０は、第１の除振台部４１側の部材と第２の除振台部４２側の部材とが分割されていたものを結合させたものであり、これらの２つの部材同士は直接、連結されているとともに、フレーム４３によっても固定されている。除振台４０の底部には、空気バネユニット４５と、除振台４０を水平に保った状態で除振台４０を床面Ｆに固定するアジャスタ付きの脚部４６と、除振台４０を移動させる際に用いられるキャスター４７とが設けられている。
【００２３】
検査装置３において、第１の除振台部４１上には、第１の検査ユニット３１(検査機器)と、この第１の検査ユニット３１をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に駆動する第１の３軸駆動装置３６が搭載されている。また、第２の除振台部４２上には、第２の検査ユニット３２(検査機器)と、この第２の検査ユニット３２をＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向に駆動する第２の３軸駆動装置３７が搭載されている。図示を省略するが、第１の検査ユニット３１は、前方の局所暗室にＬＥＤ、反射ミラーおよび結像レンズが配置されているとともに、結像レンズの後方に冷却ＣＣＤカメラを備えている。第２の検査ユニット３２は、ＬＥＤおよび反射ミラーを備えており、その内面は迷光防止用および局所暗室化するためのトラップ面となっている。
【００２４】
このように構成した検査装置３において、第１の除振台部４１の内面側、および第２の除振台部４２の内面側には、台車２０の両側面から張り出した鋼材２５、２６の水平板部２５１、２６１の各々に対して下方位置で平面的に重なる昇降装置５(連結装置)の昇降板５１、５２が配置されている。これらの昇降板５１、５２は、除振台４０に取り付けられたエアシリンダ装置の出力軸(図示せず)に連結されており、図１および図３(ａ)に矢印Ｕ、Ｄで示すように上下動可能である。なお、昇降装置５としては、エアシリンダ装置に代えて、電動ウインチにより昇降板５１、５２を上下させる構成を採用してもよい。
【００２５】
除振台４０の先端部には、台車２０が台車連結領域に前進してきた際に台車２０を受けるストッパユニット３９が構成されている。このストッパユニット３９には、台車２０を後退させる際に台車２０に推力を付与する補助シリンダ(図示せず)が構成されている。
【００２６】
図４に示すように、検査装置３には、台車連結領域３０に向けて台車２０をその両側でガイドする一対のガイド部７１、７２が配置されている。ここで、一対のガイド部７１、７２はいずれも、複数のガイドローラ７１０、７２０を備えており、これらのガイドローラ７１０、７２０によって台車２０を台車連結領域３０に向けて案内する。
【００２７】
(動作)
このように構成した検査装置３を用いて、ワーク１０に対する検査工程を行う際には、ワーク１０を起立した状態で搭載した台車２０を、矢印Ｌで示すように、前進させて除振台４０の台車連結領域３０に進入させる。その際、台車２０は、両側のガイド部７１、７２で案内されるため、除振台４０に当たることなく台車連結領域３０内にスムーズに進入する。
【００２８】
次に、検査装置３において、台車２０が台車連結領域３０に進入したことをセンサ(図示せず)により検出すると、昇降装置５が作動し、矢印Ｕで示すように、昇降板５１、５２が上昇する。そして、昇降板５１、５２は、図３(ｂ)に示すように、台車２０の両側面から張り出した鋼材２５、２６の水平板部２５１、２６１に係合して台車２０を床面Ｆから浮上させ、停止する。その結果、台車２０は、床面Ｆから浮上した状態で除振台４０に連結される。
【００２９】
この状態で、ワーク１０の一方面側(主表面)には第１の検査ユニット３１が対向し、ワーク１０の他方面側(裏面)には第２の検査ユニット３２が対向する。そして、第１の３軸駆動装置３６および第２の３軸駆動装置３７により、第１の検査ユニット３１および第２の検査ユニット３２をＺ軸方向に移動させて最適な位置に移動させる。この状態で、第１の検査ユニット３１のＬＥＤから光が出射されると、この光は、ワーク１０を照明するとともに、ワーク１０を透過した光は第２の検査ユニット３２の反射ミラーで反射することになる。また、第２の検査ユニット３２のＬＥＤから光が出射されると、この光は、ワーク１０を背面から照明するとともに、ワーク１０を透過した光は第１の検査ユニット３１の反射ミラーで反射することになる。このようにして、多重反射、透過反射した光により、第１の検査ユニット３１では、冷却ＣＣＤカメラが暗視野でワーク１０を撮像する。このため、ワーク１０に傷や異物が付着しているか否かを検査できる。また、ワーク１０が透光性基板に遮光性膜が形成されているものである場合にはピンポールを検出することもできる。その際、第１の３軸駆動装置３６および第２の３軸駆動装置３７により、第１の検査ユニット３１および第２の検査ユニット３２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させて、ワーク１０の面内方向における各位置を検査する。
【００３０】
このようにして検査が終了した後は、昇降装置５が作動して、矢印Ｄで示すように、昇降板５１、５２が下降する結果、台車２０は床面Ｆに着地する。そして、ストッパユニット３９の推力も利用して、台車２０を台車連結領域３０から、矢印０で示すように後退させて検査装置３から出した後、ワーク１０を台車２０に搭載したまま、次の工程に搬送する。
【００３１】
(本形態の効果)
以上説明したように、本形態のマスクブランクスの製造方法、および検査装置３では、ワーク１０に対する検査を行う際、ワーク１０を搭載した台車２０を検査装置３に連結するため、ワーク１０を台車２０に搭載した状態のまま検査を行うことができる。しかも、ワーク１０を搭載した台車２０を浮上させて検査装置３の除振台４０に連結するため、ワーク１０には振動が伝わらない。それ故、ワーク１０に対して微細な検査を高い精度で行うことができる。また、ワーク１０を台車２０から検査装置３に移載する必要がなく、検査後、ワーク１０を検査装置３から台車２０に移載する必要もないので、作業効率を向上することができる。特に、重量が１００kg近くもある大型のワーク１０の場合にもワーク１０の移載に多大の手間がかかるが、本形態によれば、かかる作業を一切行う必要がないので、作業効率を大幅に向上することができる。また、ワーク１０を台車２０と検査装置３との間で移載する際にワーク１０が台車２０や検査装置３に当たって欠けるなどのおそれもない。
【００３２】
(他の実施の形態)
台車２０に対するガイド部７１、７２については、図５に示すように、台車２０の側面部と、ガイド部７１、７２において台車２０の側面部に対向する部分とに、互いに同一極を向けるネオジウム磁石(Ｎｂ−Ｆｅ−Ｂ)などの磁石２９、７０を配置することが好ましい。このように構成すると、台車２０とガイド部７１、７２との間に磁気的反発力が発生するため、台車２０がガイド部７１、７２を擦ることがない。それ故、台車２０とガイド部との擦れによる発塵を防止できるので、ワーク１０に塵埃が付着することがない。また、検査工程をクリーンルーム内で行ってもクリーンルーム内を汚染することがない。
【００３３】
このような磁気的反発を利用する例としては、図５に示すように、台車２０の側面部に、例えばＮ極を外側に向ける磁石２９を構成する一方、図４に示すようなガイドローラ７１０、７２０の外周面をＮ極に着磁した構成を採用してもよい。
【００３４】
また、図６(ａ)、(ｂ)に台車２０のキャスター２８を拡大して示すように、前進する際(矢印Ｌで示す方向)と後退する際(矢印Ｏで示す方向)で向きが反転するキャスター２８に対して、キャスター２８が床面Ｆから浮上した際、それまで前進する方向に向いていたキャスター２８を後退する向きに自動的に反転させるキャスター自動反転装置６０を設けることが好ましい。ここに示すキャスター自動反転装置６０は、台車本体２１の底部に形成されたネオジウム磁石などからなる第１の磁石６１と、キャスター２８の支持部２８１から延した板部２８２に設けたネオジウム磁石などからなる第２の磁石６２とから構成されている。ここで、図６(ａ)、(ｂ)に示す状態は、台車２０が前進している状態であり、第１の磁石６１と第２の磁石６２とは同一の磁極(例えばＮ極)が対向し、近接している。但し、キャスター２８は、台車２０の自重を受けた状態で床面Ｆに接しているので、第１の磁石６１と第２の磁石６２との磁気的反発力を受けても台車２０が前進している姿勢のままである。
【００３５】
この状態で、台車２０が検査装置３に連結された際にキャスター２８が床面Ｆから浮上すると、キャスター２８は、第１の磁石６１と第２の磁石６２との磁気的反発力を受けて向きが自動的に反転し、台車２０が後退する向きに切り換わる。従って、検査終了後、台車２０を台車連結領域から後退させる際、キャスター２８は、すでに反転しているので、台車２０をスムーズに後退させることができる。すわなち、従来のように、キャスターが台車２０を前進させている姿勢で台車２０を後退させると、キャスター２８が反転する際に台車２０が横に振れるため、台車２０と第１の除振台部４１との間のクリアランス、および台車２０と第２の除振台部４２との間のクリアランスを大きくする必要がある。しかるに本形態によれば、台車２０を後退させる際に横に振れないので、台車２０と第１の除振台部４１との間のクリアランス、および台車２０と第２の除振台部４２との間のクリアランスを小さくできる。それ故、ワーク１０に対する検査の精度を向上することができる。また、本形態によれば、台車２０と第１の除振台部４１との間のクリアランス、および台車２０と第２の除振台部４２との間のクリアランスを小さくしても、台車２０が第１の除振台部４１や第２の除振台部４２に擦ることがないので、発塵を防止することができる。
【００３６】
なお、キャスター自動反転装置６０では、キャスター２８が後退する向きに切り換わった状態を保持するマグネットを追加してもよいし、バネの付勢力を利用する構成を採用してもよい。
【００３７】
さらに、上記形態では、ワーク１０に対する検査工程に本発明を適用したが、マスクブランクスを製造する際、透光性基板に対する研磨工程などの処理工程でも、従来は、ワーク１０を台車２０と処理台との間で移載する作業が行われているので、かかる処理工程において、ワーク１０を搭載した台車２０を処理装置の処理台に浮上した状態で連結してもよい。また、処理の内容によって台車２０を浮上させる必要がない場合には、ワーク１０を搭載した台車２０と処理装置とを処理装置側の連結機構により連結させ、ワーク１０を台車２０に搭載した状態のまま処理を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明を適用したマスクブランクスの製造方法、および検査装置の説明図である。
【図２】(ａ)、(ｂ)は、図１に示す台車の側面図、および台車の下部を拡大して示す正面図である。
【図３】(ａ)、(ｂ)は、図１に示す検査装置の台車連結領域に台車を進入させた状態を模式的に示す正面図、および台車を浮上させた状態を模式的に示す正面図である。
【図４】図１に示す検査装置、および検査装置に設けたガイド部の平面図である。
【図５】図４に示すガイド部の改良例を示す平面図である。
【図６】(ａ)、(ｂ)は、図２に示す台車のキャスターの改良例を示す平面図、および側面図である。
【符号の説明】
【００３９】
３  検査装置
５  昇降装置(連結装置)
１０  ワーク(遮光性基板、あるいはマスクブランクスの製造途中品)
２０  台車
２８  キャスター
２９、７０  ガイドに対する磁石
３０  台車連結領域
４０  除振台
４１  第１の除振台部
４２  第２の除振台部
３１、３２  検査ユニット(検査機器)
３６、３７  ３軸駆動装置
５１、５２  昇降装置の昇降板
６１、６２  台車のキャスターに対する磁石
７１、７２  ガイド部
２５１、２６１  台車の水平板部
【図１】
2007163566.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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