(57)【要約】【課題】ガス応答特性の異なる種々のガスセンサを得る。【解決手段】ガス測定装置はガス応答特性の異なる２個以上のガスセンサを含む。各ガスセンサは、絶縁基板１上に形成された２個以上の電極３，３間に導電性高分子からなる感応膜７が設けられ、その感応膜７にガス中の測定対象成分が付着した際の電極３，３間の電気的変化により測定対象成分を測定するものである。それらのガスセンサの少なくとも１個には、その製造工程で導電性高分子膜を重合させる過程においてその重合条件を調節することにより他のガスセンサとは異なったガス応答特性をもたせる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガス応答特性の異なる２個以上のガスセンサを含み、前記ガスセンサは絶縁基板上に形成された２個以上の電極間に導電性高分子からなる感応膜が設けられ、その感応膜にガス中の測定対象成分が付着した際の前記電極間の電気的変化により測定対象成分を測定するものであるガス測定装置の製造方法において、
前記ガスセンサの少なくとも１個は、その製造工程で導電性高分子膜を重合させる過程においてその重合条件を調節することにより他のガスセンサとは異なったガス応答特性をもたせることを特徴とするガス測定装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導電性高分子からなる感応膜を用いてガス中の被測定成分を検知するガスセンサを複数個用いたガス測定装置の製造方法に関するものである。本発明はにおいを識別するにおいセンサにも利用することができる。
【背景技術】
【０００２】
ガスセンサは、空気又は供給された試料ガス中に含まれるにおい物質が、センサの感応面に付着することにより生ずるセンサの物理的変化を、電気的に測定するものにも使用される。
ガスセンサとしては、酸化物半導体を用いたものが市販されている。
【０００３】
また、酸化物半導体ガスセンサを複数個用いた人工電子鼻と呼ばれるガス測定装置も市販が始められている。人工電子鼻は、「におい」を検知するシステムとして、食品や香料の品質検査、悪臭公害の定量基準、焦げ臭検知による火災警報機などへの利用が試みられている。さらに高感度化して犬の鼻に匹敵するようになれば、人物の追跡、識別、認証や薬物の検査といった分野にも利用可能になる。
【０００４】
しかし、酸化物半導体を用いたにおいセンサの測定対象は、感応面で酸化還元反応を起こす物質に限られる。また、センサ部が高温でないと動作しないため、その熱によって熱分解を受ける物質は測定対象にならない。さらに、分析にあたり、センサの温度が動作温度まで上昇し安定するまで待つ必要があり、繰返し測定に時間がかかるという問題もあるし、センサの表面状態により経時変化があるという欠点もある。
【０００５】
他のガスセンサとしては、ポリピロールやポリチオフェン等の導電性高分子からなる感応膜を用いたものがある。導電性高分子膜を用いたガスセンサでは、におい物質のようなガス成分が感応面に付着すると、分子の直接的又は間接的な関与により導電性高分子の導電率が変化する。そこで、感応膜を挾んで設けた電極間の抵抗又はインピーダンスの変化を測定することによりにガス成分の検知を行なうことができる。
【０００６】
また、導電性高分子膜を用いたガスセンサは、室温で動作するので、測定対象を熱分解させることなく、におい物質などをそのままの形で検出できるし、センサ部の温度を所定温度まで上昇させるための予備時間も必要がなくなる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
導電性高分子膜を用いたガスセンサは特定の成分にのみ特異的に感度をもつというものではなく、感度の違いはあるが複数の成分に対して感度をもつのが一般的である。そこで、におい識別装置を構成しようとすれば、ガス応答特性の異なる複数のガスセンサが必要である。ガスセンサの種類を増やすには、ガスセンサの感応膜の組成の種類を増やすことが一般的である。導電性高分子の種類は比較的多いが、ガスセンサの感応膜として使用できるようなガス応答性を持ち、かつ安定な導電性高分子となれば、種類は制約される。また、新たな構造の導電性高分子を合成しようとすれば、膨大な時間と労力が必要になる。
【０００８】
そこで本発明は、導電性高分子膜を用いたガスセンサによりガス測定装置を構成するにあたり、ガス応答特性の異なる種々のガスセンサを実現することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の対象とするガス測定装置は、ガス応答特性の異なる２個以上のガスセンサを含んでいる。それらのガスセンサは、絶縁基板上に形成された２個以上の電極間に導電性高分子からなる感応膜が設けられ、その感応膜にガス中の測定対象成分が付着した際の電極間の電気的変化により測定対象成分を測定するものである。
【００１０】
ガス応答特性の異なるガスセンサを作成する本発明の製造方法は、その製造工程で導電性高分子膜を重合させる過程においてその重合条件を調節することである。導電性高分子は、重合反応の進みにくい条件、例えば低温下での重合、短時間重合又は酸化剤の使用量の少ない場合のような条件下では直鎖状の導電性高分子となり易い。逆に、重合反応の進み易い条件、例えば高温下での重合、長時間重合、酸化剤の使用量の多い場合のような条件下では網目構造の導電性高分子となり易い。このように、重合条件が異なると導電性高分子の高次構造が異なる。そして、導電性高分子の導電率の変化の機構の一つとして、ガスによる導電性高分子膜の膨潤が考えられる。導電性高分子の高次構造の違いにより膨潤の割合も異なることから、導電率の変化量も異なることとなる。つまり、重合条件の調節によってガス応答特性の異なったガスセンサを作成することができる。
【００１１】
このように、限られた導電性高分子であっても、多種類のガス応答特性をもつガスセンサを備えたガス測定装置を作成することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、ガスセンサのガス応答特性を、導電性高分子膜の重合条件を変えることによってガスセンサのガス応答特性を変化させることができる。
【００１３】
このように、限られた導電性高分子であっても、多種類のガス応答特性をもつガスセンサを備えたガス測定装置を作成することができるようになり、におい測定装置など、多成分を同時に定量する装置の実現に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１により、本発明が適用されるガスセンサの一例を示す。（Ａ）は平面図、（Ｂ）はその電極部の一部拡大図である。
ガラス基板１上に、２個の金電極３，３が２ｍｍ×３ｍｍの領域に５μｍスペースで櫛形状に形成されており、それらの電極３，３は同じ材料からなる０．５ｍｍ幅の端子５，５にそれぞれ接続されている。電極３及び端子５は、金薄膜を例えばリフトオフ法によってパターン化することにより形成されている。電極３の上面には、電極３全体を覆うように導電性高分子からなる感応膜７が形成されている。対向する各電極対間には感応膜７が存在し、それらの電極対間の感応膜７の電気抵抗値が端子５，５間で測定される。
【００１５】
図２は本発明が適用されるガス測定装置の一例を示したものである。ボンベにより供給される乾燥窒素ガスの流路上にはバルブ９及びフローセル１１が設けられ、図示しないポンプの吸引によって乾燥窒素ガスが流路内に流通する。バルブ９には、におい物質容器１３に連なるガス流路が接続されており、バルブ９の操作により乾燥窒素ガス中に適宣量のにおい物質が混入される。フローセル１１内にはセンサ１５が設置されている。そのセンサ１５は、図１に示されたガスセンサが複数個配置されたものであり、それらのガスセンサは互いにガス応答特性が異なっている。各ガスセンサには電極３，３間の抵抗値を測定する抵抗計１７が接続されている。
【００１６】
次に、このガス測定装置の動作を説明すると、初めにフローセル１１に乾燥窒素ガスを流しておき、バルブ９を切り替えて、におい物質容器１３からにおい物質をフローセル１１に送る。におい物質に含まれる各種成分の分子がセンサ１５の感応膜７に付着すると、分子の直接的又は間接的な関与により導電性高分子の感応膜７の導電率が変化し、抵抗計１７により電極３，３間の抵抗変化が測定される。におい物質には複数の成分が含まれており、それらの成分がセンサ１５に含まれる複数のガスセンサで同時に検出される。各ガスセンサの検出出力がそれぞれいずれかの成分に対応するというものではなく、各ガスセンサが複数の成分に感度をもっているため、各ガスセンサでは複数の成分をそれぞれのガス応答特性に応じた感度で同時に検出して出力する。図には示されていないが、データ処理装置では、それらのガスセンサの出力をもとにして多変量解析を行ない、複数の成分を同時に定量する。
【００１７】
（参考例１）
複数種類の混在した導電性高分子膜を感応膜としたもの：
図１に示されるように、ガラス基板１上に２個の櫛形状電極３，３が形成され、その電極３，３の上面にポリ（３−ヘキシルチオフェン）とポリ（３−オクチルピロール）の混在した導電性高分子膜が感応膜７として形成されている。その導電性高分子膜には１２タングスト（ＩＶ）リン酸がドーパントとしてドーピングされている。ポリ（３−ヘキシルチオフェン）とポリ（３−オクチルピロール）の構造式は、以下の化学式（Ａ），（Ｂ）にそれぞれ示すものである。
【００１８】
【化１】
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【００１９】
このガスセンサの製造方法を示す。
ガラス基板１上にリフトオフ法によって電極３及び端子５を形成しておく。導電性高分子膜を形成するために、原料として３−ヘキシルチオフェンと３−オクチルピロールをモノマー換算濃度でそれぞれ０.０５Ｍとなるように、溶媒のクロロホルムに溶かし、その溶液を回転数１５００ｒｐｍでガラス基板１上に１０秒間スピンコートして成膜した。
【００２０】
次に、ドーパントとなる１２タングスト（ＩＶ）リン酸をニトロメタン中に１０ｍＭの濃度で溶かした溶液に、導電性高分子膜を成膜したガラス基板１を６０分間浸漬してドーパントのドーピングを行なって、感応膜７を形成した。
【００２１】
このガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこのガスセンサを設置した。はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された酢酸ブチルのガスを同じ流速で３０秒間通過させた。最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。
【００２２】
このときの応答曲線を図３に示す。縦軸は抵抗値（ル）、横軸は時間（秒）を表す。
この結果から、このガスセンサは応答が非常に速く、感度が大きいことが確認できる。
【００２３】
この参考例は２種類の導電性高分子の混在した膜を感応膜としたものであるが、そのガス応答特性をそれぞれの導電性高分子膜を感応膜としたガスセンサのガス応答特性と比較した結果を表１に示す。混合膜、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜、ポリ（３−オクチルピロール）膜のそれぞれには同じ濃度の１２タングスト（ＩＶ）リン酸がドーパントとしてドーピングされている。測定したガスは、酢酸ブチル、酪酸、水蒸気、及びトリメチルアミンである。それぞれのガスに対する応答率を示している。応答率は次の式によって算出した。以下の実施例又は参考例においても同じである。
応答率（％）＝（抵抗値の変化／変化前の抵抗値）×１００
【００２４】
【表１】
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表１中で、アミンはトリメチルアミン（以下の表でも同じ）、単一膜１はポリ（３−ヘキシルチオフェン）、単一膜２はポリ（３−オクチルピロール）を表わす。
【００２５】
この結果によれば、混合膜はそれに含まれるポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜とポリ（３−オクチルピロール）膜の平均的な特性を示すのではなく、それぞれ単独の膜とは異なるガス応答特性を示す。例えば、この場合には、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜とポリ（３−オクチルピロール）膜は単独ではアミン類に対して感度が悪いが、混合膜にするとアミン類に対する感度が約５倍に改善されている。このように、複数種の導電性高分子を混合して感応膜を形成することにより、それぞれ単独の膜とはガス応答特性の異なるガスセンサを得ることができる。混合する導電性高分子の組合せや組成を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００２６】
（参考例２）
複数種類の可溶性導電性高分子膜を積層して感応膜としたもの：
感応膜として、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）層の上にポリアニリン層を積層したものを用いた。以下にポリアニリンの構造式を示す。
【００２７】
【化２】
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【００２８】
この感応膜の作成方法を示す。電極３が形成されたガラス基板１上に、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）を溶媒のクロロホルムに溶かした溶液を、回転数１５００ｒｐｍで１０秒間スピンコートして成膜した。その基板１をドーパントとなる１２タングスト（ＩＶ）リン酸のニトロメタン溶液中に６０分間浸漬して、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜にドーピングを行なった。
【００２９】
次に、その膜上に、ポリアニリン水溶液を同じようにスピンコートして成膜し、ポリアニリン膜にはパラトルエンスルホン酸をドーピングした。
このガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこのガスセンサを設置し、はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された酢酸ブチルのガスを同じ流速で３０秒間通過させ、最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。
このときの応答曲線を図４に示す。縦軸は抵抗値（ル）、横軸は時間（秒）を表す。この結果から、応答が非常に速く、感度が大きいことが確認できる。
【００３０】
この参考例は２層の導電性高分子膜を積層して感応膜としたものであるが、そのガス応答特性をそれぞれの導電性高分子膜を感応膜としたガスセンサのガス応答特性と比較した結果を表２に示す。単一膜１はポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜で１２タングスト（ＩＶ）リン酸がドーパントとしてドーピングされており、単一膜２はポリアニリン膜でパラトルエンスルホン酸がドーパントとしてドーピングされている。
【００３１】
【表２】
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表１中でアミンはトリメチルアミンを表わす。
【００３２】
異なる複数の導電性高分子が同一の溶媒に溶解しないか、又は一の導電性高分子が他の導電性高分子の溶媒に対する溶解度が悪い場合には、それぞれの導電性高分子を別々の溶媒に溶解してディップ法又はスピンコート法により別々の層として形成し、積層することにより、異なる複数の導電性高分子が同一センサ上に存在する状況を形成できる。
【００３３】
複数種の導電性高分子膜を積層して感応膜を形成することにより、それぞれ単独の膜を感応膜として用いたガスセンサのガス応答特性とは異なるガスセンサを得ることができる。積層する導電性高分子膜の組合せや膜厚比を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００３４】
（参考例３）
複数種のドーパントを含むガスセンサ：
図１に示されたガスセンサで、感応膜７として単一の導電性高分子膜に２種類のドーパントを導入した。導電性高分子膜としてポリ（３−ヘキシルチオフェン）、ドーパントとしてＢＦ4とＰＦ6を用いた。
【００３５】
その感応膜を作成するために、電極が形成された基板上に、ＢＦ4とＰＦ6を含む３−ヘキシルチオフェンのモノマー溶液中で電解重合を行なった。
感応膜７の作成方法は上記のものに限られるものではなく、導電性高分子膜を基板上に成膜した後、複数種のドーパントを含む溶液に浸し、電圧をかけるか浸漬するだけによって、複数種のドーパントを導電性高分子膜に導入することもできる。
【００３６】
表３は、感応膜中のドーパントの種類によって、ガスセンサのガス選択性が変化する例を示したものである。ＢＦ4又はＰＦ6を含む３−ヘキシルチオフェンのモノマー溶液中で電解重合して、ＢＦ4とＰＦ6のそれぞれをドーパントとするポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜を感応膜とするガスセンサを作成した。表３の結果は、それぞれのガスセンサの感度比である。
【００３７】
【表３】
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これ以外に、ヘプタンのように、ＢＦ4には感じるが、ＰＦ6には感じない対象物もある。
【００３８】
この結果から、感応膜中のドーパントの種類によって、ガスセンサのガス選択性が変化することがわかる。そして、複数種のドーパントを感応膜に導入することにより、ガスセンサのガス応答特性が変化する。感応膜に導入するドーパントの種類と組成を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００３９】
（参考例４）
ドーパントの濃度を変えたガスセンサ：
図１に示されたガスセンサで、感応膜７としてポリ（３−ヘキシルチオフェン）にドーパントとしてＳｃ(ＣＦ3ＳＯ3)3を導入したものを使用した。そして、ドーパント濃度の異なる感応膜を備えた２種類のガスセンサを作成した。
【００４０】
その感応膜を作成するために、３−ヘキシルチオフェンを酸化重合法により重合し、それをクロロホルムに溶かしてモノマー濃度換算で濃度が０.１Ｍの溶液とした。その溶液を用いて、電極が形成された基板上に、回転数１５００ｒｐｍで１０秒間スピンコートして成膜した。
【００４１】
次に、ドーパントとなるＳｃ(ＣＦ3ＳＯ3)3をニトロメタン中に５ｍＭと０.５ｍＭのそれぞれの濃度に溶かした溶液を用意し、それぞれの溶液中に、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜を成膜下基板を６０分間浸漬してドーパントのドーピングを行なった。
【００４２】
このガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこのガスセンサを設置し、はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された各種ガスを同じ流速で３０秒間通過させ、最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。その結果を表４に示す。測定したガスは、酢酸ブチル、酪酸、水蒸気、及びトリメチルアミンである。
【００４３】
【表４】
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【００４４】
この結果から、同一導電性高分子、同一ドーパントを用いても、ドーパント濃度を変えることにより、感応膜のガス応答特性が異なることがわかる。このように、ドーパント濃度を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００４５】
この参考例では、ドーパント導入時のドーパント濃度のみを変えているが、ドーパント導入時間や温度を変えることにより、感応膜に導入されるドーパントの量を変化させることもできる。
【００４６】
（参考例５）
ドーピング時の酸素量、水分量によりガス応答特性を変える方法：
図１に示されたガスセンサで、感応膜７としてポリ（３−ヘキシルチオフェン）にドーパントとして１２タングスト（ＩＶ）リン酸を導入したものを使用した。そして、ドーパント濃度の異なる感応膜を備えた２種類のガスセンサを作成した。
【００４７】
その感応膜を作成するために、３−ヘキシルチオフェンを酸化重合法により重合し、それをクロロホルムに溶かしてモノマー濃度換算で濃度が０.１Ｍの溶液とした。その溶液を用いて、電極が形成された基板上に、回転数１５００ｒｐｍで１０秒間スピンコートして成膜した。
【００４８】
次に、ドーピング操作を２種類の環境下で行なった。一方は、１２タングスト（ＩＶ）リン酸を水分含有ニトロメタン中に１０ｍＭの濃度で溶かし、大気中で、その溶液に６０分間浸漬してドーピングを行なった。このようにして、大気中、含水下でドーピングした感応膜を備えたガスセンサを得た。
【００４９】
他方は、脱水処理した蒸留ニトロメタン中に１２タングスト（ＩＶ）リン酸を１０ｍＭの濃度で溶かし、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜を成膜した基板を、乾燥窒素雰囲気下で、その溶液中に６０分間浸漬してドーピングを行なった。このようにして、窒素下、無水下でドーピングした感応膜を備えたガスセンサ１を得た。
【００５０】
これらのガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこれらのガスセンサを別個に設置し、はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された各種ガスを同じ流速で３０秒間通過させ、最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。その結果を表５に示す。測定したガスは、酢酸ブチル、酪酸、水蒸気、及びトリメチルアミンである。
【００５１】
【表５】
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【００５２】
この結果から、同一導電性高分子膜、同一ドーパントを用いても、そのドーピング時の環境を変えて感応膜を形成することにより、得られるガスセンサのガス応答特性が異なることがわかる。このように、ドーピング時の環境を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００５３】
（実施例１）
導電性高分子膜の重合条件によりガス応答特性を変える方法：
図１に示されたガスセンサで、感応膜７としてポリ（３−ヘキシルチオフェン）にドーパントとして１２タングスト（ＩＶ）リン酸を導入したものを使用した。そして、導電性高分子膜の重合条件の異なる感応膜を備えた２種類のガスセンサを作成した。
【００５４】
その感応膜を作成するために、３−ヘキシルチオフェンを酸化重合法により重合した。このときの重合反応の条件は、反応温度を変え、−２０℃と３０℃の２種類とした。
重合したポリ（３−ヘキシルチオフェン）をクロロホルムに溶かしてモノマー濃度換算で濃度が０.１Ｍの溶液とした。その溶液を用いて、電極が形成された基板上に、回転数１５００ｒｐｍで１０秒間スピンコートして成膜した。
【００５５】
ドーピングは１２タングスト（ＩＶ）リン酸をニトロメタン中に１０ｍＭの濃度で溶かし、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）を成膜した基板をその溶液に６０分間浸漬してドーピングを行なった。
【００５６】
これらのガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこれらのガスセンサを別個に設置し、はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された各種ガスを同じ流速で３０秒間通過させ、最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。その結果を表６に示す。測定したガスは、酢酸ブチル、酪酸、水蒸気、トリメチルアミン及びメタノールである。
【００５７】
【表６】
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【００５８】
この結果から、同一導電性高分子膜、同一ドーパントを用いても、その導電性高分子膜の重合反応温度を変えて導電性高分子膜を形成することにより、得られるガスセンサのガス応答特性が異なることがわかる。
このように、導電性高分子膜の重合反応温度を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
【００５９】
この実施例では、導電性高分子の重合条件として温度のみを変化させているが、重合時間や酸化剤の量などの条件を変えても、導電性高分子膜の高次構造を変化させることができ、ガスセンサのガス応答特性を変えることができる。
【００６０】
（参考例６）
導電性高分子膜成膜時の溶媒によりガス応答特性を変える方法：
図１に示されたガスセンサで、感応膜７としてポリ（３−ヘキシルチオフェン）にドーパントとして１２タングスト（ＩＶ）リン酸を導入したものを使用した。そして、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）膜を成膜するために溶解する溶媒を異ならせた２種類のガスセンサを作成した。
【００６１】
その感応膜を作成するために、３−ヘキシルチオフェンを酸化重合法により重合し、それをクロロホルムとアニソールにそれぞれ溶かしてモノマー濃度換算で濃度が０.０５Ｍの２種類の溶液とした。それぞれの溶液を用いて、電極が形成された基板上に、回転数１５００ｒｐｍで１０秒間スピンコートして成膜した。
【００６２】
ドーピングは１２タングスト（ＩＶ）リン酸をニトロメタン中に１０ｍＭの濃度で溶かし、ポリ（３−ヘキシルチオフェン）を成膜した２種類の基板をその溶液に６０分間浸漬してドーピングを行なった。
【００６３】
これらのガスセンサの特性を評価するために、図２のガス測定装置のセンサ１５としてこれらのガスセンサを別個に設置し、はじめに乾燥窒素ガスを２００ミリリットル／分の流速で１０秒間通過させた後、乾燥窒素ガスで希釈された各種ガスを同じ流速で３０秒間通過させ、最後に再び、乾燥窒素ガスを流した。ガスセンサの抵抗値は２秒ごとに測定した。その結果を表７に示す。測定したガスは、酢酸ブチル、酪酸、水蒸気、及びトリメチルアミンである。
【００６４】
【表７】
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【００６５】
この結果から、同一導電性高分子膜、同一ドーパントを用いても、その導電性高分子膜を成膜するときの溶媒を変えて感応膜を形成することにより、得られるガスセンサのガス応答特性が異なることがわかる。
このように、導電性高分子膜を成膜する時の溶媒を変えることにより、異なったガス応答特性をもつ複数のガスセンサを得ることができる。
以上の実施例に示した方法によりガス応答特性の異なる複数のガスセンサを得ることができる。それらの複数のガスセンサをガス測定装置のセンサとして備えることにより、におい成分など、複数の成分を同時に定量できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明が対象にするガスセンサを示す図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）はその電極部の一部拡大図である。
【図２】図１のガスセンサを用いるガス測定装置の構成図である。
【図３】参考例１において酢酸ブチルを検知したときの応答曲線を示す図である。
【図４】参考例２において酢酸ブチルを検知したときの応答曲線を示す図である。
【符号の説明】
【００６７】
１      ガラス基板
３      櫛形状電極
７      感応膜
９      バルブ
１１      フローセル
１３      におい物質容器
１５      センサ
１７      抵抗計
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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