(57)【要約】【課題】副走査の回数を低減し、吐出ムラを抑制することが可能な液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置、この液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法、デバイスの製造方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】本発明の液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（Ｐ1）で配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有し、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見て複数のノズル２２が異なる間隔（Ｐ2，Ｐ3）で交互に配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂをずらして配置した。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
充填された液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドであって、
複数のノズルからなるノズル列を備え、
前記ノズル列に対して直交する方向から見たときに、前記複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数のノズルが略等間隔で配置されたノズル列を少なくとも２つ備え、
前記ノズル列に対して直交する方向から見たときに、前記複数のノズルが異なる間隔で交互に配列するように、一方の前記ノズル列に対して他方の前記ノズル列がずれて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
３つ以上の前記ノズル列を備え、
少なくとも１つのノズル列は、前記複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数のノズルの異なる間隔において、狭い方の間隔は、前記ノズルの直径に対して３分の２以上１未満の長さであることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
複数のノズルからなるノズル列を有し、前記ノズル列に対して直交する方向から見たときに、前記複数のノズルが異なる間隔で交互に配置された液滴吐出ヘッドと、
前記液滴吐出ヘッドとワークとを対向させて相対移動させる移動手段とを備え、
前記移動手段による相対移動に同期して、前記液滴吐出ヘッドの前記複数のノズルから液状体を液滴としてワークに吐出することを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドとワークとを対向させた状態で相対移動させる走査を行って、ワーク上の複数の区画領域に液状体を液滴として吐出する吐出方法であって、
少なくとも１回の前記走査では、前記液滴吐出ヘッドの複数のノズルから１つの前記区画領域に複数の液滴が着弾するように吐出し、前記異なる間隔のうち狭い方の間隔で隣り合う前記ノズルから吐出された液滴が部分的に繋がるように吐出することを特徴とする液状体の吐出方法。
【請求項７】
前記液滴吐出ヘッドの前記ノズル列が前記区画領域の長手方向に対して略平行または傾斜するように対向配置され、前記液状体を前記複数のノズルから液滴として吐出することを特徴とする請求項６に記載の液状体の吐出方法。
【請求項８】
ワークと、ワーク上の複数の区画領域に形成された薄膜とを有するデバイスの製造方法であって、
請求項６または７に記載の液状体の吐出方法を用い、薄膜形成材料を含む液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記薄膜を形成することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項９】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、
請求項６または７に記載の液状体の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記複数色の着色層を形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１０】
基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を含む機能層とを有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、
請求項６または７に記載の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を前記複数の区画領域に吐出して乾燥することにより前記有機発光層を形成することを特徴とする有機ＥＬ発光素子の製造方法。
【請求項１１】
一対の基板と、
前記一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備え、
前記一対の基板のうちの一方が請求項９に記載のカラーフィルタの製造方法によって製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
複数の有機ＥＬ発光素子が形成された基板と前記基板を封止する封止基板とを備えた電気光学装置であって、
前記有機ＥＬ発光素子が、請求項１０に記載の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１３】
請求項１１または請求項１２に記載の電気光学装置が搭載されたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドおよびこれを備えた液滴吐出装置、液状体の吐出方法、デバイスの製造方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置としては、同一の液状体を吐出可能な複数の液滴吐出ヘッドを被吐出物に向けて保持する保持手段と、保持手段と被吐出物とを相対的に移動させる移動手段とを備えた吐出装置が知られている（特許文献１）。
【０００３】
この吐出装置では、各液滴吐出ヘッドのノズル列が上記相対移動の方向に対して斜めに交差する方向にそれぞれ配列されている。また、ノズル列には、複数のノズルが略等間隔に配設されている。
【０００４】
このような吐出装置は、各液滴吐出ヘッドの複数のノズルから同一の液状体を広い範囲に渡って吐出することを可能とした。また、被吐出物の大きさに対応した専用の液滴吐出ヘッドを必要とせず、規格品の液滴吐出ヘッドを複数配列させることによって種々の被吐出物に対応させた。
【０００５】
また、流動性を有する液状体を吐出して基板上に精密で良好な微細パターンの機能性薄膜を形成できるようにした液滴吐出装置およびデバイスの製造方法が知られている（特許文献２）。
【０００６】
このデバイスの製造方法では、液滴吐出装置に備えられたカメラにより、基板上に着弾した際の液状体の液滴の挙動を連続的に撮影した結果を基に、最適な液状体の吐出条件を決定することができるとしている。
【０００７】
【特許文献１】特開２００３−１５９７８６号公報、頁２、頁７
【特許文献２】特開２００４−２９０７９９号公報、頁３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記吐出装置を用い、液状体を被吐出物としての基板に吐出する場合、保持手段と被吐出物との相対移動方向に液滴が連続して着弾するように吐出することは可能である。しかし、複数のノズルは略等間隔で配設されており、液滴吐出ヘッドを相対移動方向に対して斜めに交差する方向に配列しても、相対移動方向に対して直交する方向に液滴を連続して着弾させることは困難である。よって、必要量の液滴をよりムラ無く吐出するには、保持手段を相対移動方向に対して直交する方向にずらす改行動作が必要となる。
【０００９】
そして、液状体を吐出しようとする面積が拡大すればするほど、相対移動方向に液滴を吐出する所謂主走査と改行動作（副走査）とを繰り返し行う必要が生ずるという課題がある。
【００１０】
また、基板上に着弾した際の液状体の液滴の挙動は、実際には着弾する基板の表面状態や吐出量により左右される。着弾した液滴を濡れ拡げるために基板表面を親液化する表面処理にムラがあると、部分的に液滴が濡れ拡がらず孤立してしまう。複数のノズルから吐出される液滴の吐出量がばらついていると、たとえ改行動作を行って先に着弾した液滴と繋がるように後の液滴を吐出しても、少ない吐出量の液滴が孤立して吐出ムラとなる惧れがあった。
【００１１】
本発明は、上記課題を考慮してなされたものであり、副走査の回数を低減し、吐出ムラを抑制することが可能な液滴吐出ヘッドおよび液滴吐出装置、この液滴吐出装置を用いた液状体の吐出方法、デバイスの製造方法、カラーフィルタの製造方法および有機ＥＬ発光素子の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の液滴吐出ヘッドは、充填された液状体を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッドであって、複数のノズルからなるノズル列を備え、ノズル列に対して直交する方向から見たときに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されていることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、ノズル列に対して直交する方向から見たときに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されている。したがって、隣り合うノズルの間隔が異なり、一方の間隔に比べて他方の間隔が狭い間隔となる。よって、狭い間隔で配置されたノズルから液状体を液滴として被吐出物に吐出すれば、複数のノズルが等間隔で配置された場合に比べて、少なくとも２つの液滴をより近づけて着弾させることができる。被吐出物と本発明の液滴吐出ヘッドとを対向配置させ、ノズル列の方向と交差する方向に相対移動させる主走査に同期して複数の液滴を吐出すれば、主走査方向と直交する副走査方向に近接する少なくとも２つの液滴を所定の間隔で着弾させることができる。より近くに着弾した液滴同士が濡れ拡がって合体する確率が高まるので、副走査方向に液滴を濡れ拡げ易くすることができる。すなわち、副走査方向に液滴をさらに吐出するために被吐出物と液滴吐出ヘッドとを相対移動させる副走査の回数を低減し、被吐出物の表面状態や液滴の吐出量のバラツキによって吐出された液滴が部分的に孤立して吐出ムラとなることを抑制することが可能な液滴吐出ヘッドを提供することができる。以降、ノズル列の方向と交差する方向を主走査方向とし、主走査方向に液滴を吐出することを主走査という。また、主走査方向に直交する方向を副走査方向とし、副走査方向に液滴吐出ヘッドと被吐出物とを相対移動させることを副走査として説明する。
【００１４】
また、上記複数のノズルが略等間隔で配置されたノズル列を少なくとも２つ備え、ノズル列に対して直交する方向から見たときに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配列するように、一方のノズル列に対して他方のノズル列がずれて配置されているとしてもよい。
【００１５】
この構成によれば、１つのノズル列を有する場合に比べて、より多くのノズルを有しているので、１回の主走査によって副走査方向により高い密度で液滴を着弾させることができる。さらに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されているので、副走査方向により高い密度で着弾した液滴のうち、狭い間隔で吐出された液滴同士が合体して濡れ拡がり易くなり、より副走査の回数を低減することができる。
【００１６】
さらには、３つ以上のノズル列を備え、少なくとも１つのノズル列は、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されているとしてもよい。これによれば、１回の主走査により液滴を吐出可能なノズルの数が増え、少なくとも１つのノズル列の複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されているので、さらに副走査の回数を低減することができる。
【００１７】
また、上記複数のノズルの異なる間隔において、狭い方の間隔は、ノズルの直径に対して３分の２以上１未満の長さであることが好ましい。ノズルから吐出される液滴の着弾径は、吐出量や吐出速度だけでなくノズルの直径にも依存する。これによれば、狭い方のノズル間隔は、ノズルの直径に対して３分の２以上１未満の長さであるので、液滴が被吐出物に着弾したときに、互いに接して合体させることが容易となる。したがって、狭い間隔で吐出された液滴同士がすばやく合体して濡れ拡がり易くなり、より副走査の回数を低減することができる。
【００１８】
本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルからなるノズル列を有し、ノズル列に対して直交する方向から見たときに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置された液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドとワークとを対向させて相対移動させる移動手段とを備え、移動手段による相対移動に同期して、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから液状体を液滴としてワークに吐出することを特徴とする。
【００１９】
この構成によれば、複数のノズルからなるノズル列を有し、ノズル列に対して直交する方向から見たときに、複数のノズルが異なる間隔で交互に配置された液滴吐出ヘッドと、液滴吐出ヘッドとワークとを対向させて相対移動させる移動手段とを備えている。液滴吐出ヘッドの狭い方の間隔で隣り合うノズルから吐出された液滴は、ワークに着弾後合体する確率が高まる。合体した液滴は副走査方向により濡れ拡がることになるので、副走査の回数を低減し、ワークに対して吐出ムラを抑制した状態で液状体を液滴として効率よく吐出可能な液滴吐出装置を提供することができる。
【００２０】
本発明の液状体の吐出方法は、上記発明の液滴吐出装置を用い、液滴吐出ヘッドとワークとを対向させた状態で相対移動させる走査を行って、ワーク上の複数の区画領域に液状体を液滴として吐出する吐出方法であって、少なくとも１回の走査では、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから１つの区画領域に複数の液滴が着弾するように吐出し、異なる間隔のうち狭い方の間隔で隣り合うノズルから吐出された液滴が部分的に繋がるように吐出することを特徴とする。
【００２１】
この方法によれば、上記発明の液滴吐出装置を用い、異なる間隔のうち狭い方の間隔で隣り合うノズルから吐出された液滴が部分的に繋がるように吐出する。したがって、副走査方向に狭い吐出間隔で吐出された液滴同士が合体して濡れ拡がり、副走査の回数を低減して複数の区画領域に吐出ムラが抑制された状態で液状体を付与することができる。
【００２２】
また、上記液滴吐出ヘッドのノズル列が区画領域の長手方向に対して略平行または傾斜するように対向配置され、液状体を複数のノズルから液滴として吐出することが好ましい。
【００２３】
この方法によれば、区画領域の長手方向に対して直交する方向に液滴吐出ヘッドとワークとが相対移動する主走査を行う所謂横描画となり、該長手方向に副走査する回数を低減して、区画領域の長手方向に吐出ムラが抑制された状態で複数の区画領域に液状体を付与することができる。すなわち、主走査方向にスジ状となる吐出ムラを低減することができる。
【００２４】
本発明のデバイスの製造方法は、ワークと、ワーク上の複数の区画領域に形成された薄膜とを有するデバイスの製造方法であって、上記発明の液状体の吐出方法を用い、薄膜形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより薄膜を形成することを特徴とする。
【００２５】
この方法によれば、副走査の回数を低減して複数の区画領域に吐出ムラが抑制された状態で液状体が付与されるので、区画領域においてより均一に薄膜を形成することができる。
【００２６】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された複数色の着色層とを有するカラーフィルタの製造方法であって、上記発明の液状体の吐出方法を用い、異なる着色層形成材料を含む複数種の液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより複数色の着色層を形成することを特徴とする。
【００２７】
この方法によれば、副走査の回数を低減して複数の区画領域に吐出ムラが抑制された状態で液状体が付与されるので、区画領域において吐出ムラによる色ムラが低減され、より均一な着色層を有するカラーフィルタを製造することができる。
【００２８】
本発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、基板と、基板上の複数の区画領域に形成された有機発光層を含む機能層とを有する有機ＥＬ発光素子の製造方法であって、上記発明の液状体の吐出方法を用い、発光層形成材料を含む液状体を複数の区画領域に吐出して乾燥することにより有機発光層を形成することを特徴とする。
【００２９】
この方法によれば、副走査の回数を低減して複数の区画領域に吐出ムラが抑制された状態で液状体が付与されるので、区画領域において吐出ムラによる発光ムラが低減され、より均一な有機発光層を有する有機ＥＬ発光素子を製造することができる。
【００３０】
本発明の電気光学装置は、一対の基板と、一対の基板により挟持された電気光学材料としての液晶とを備え、一対の基板のうちの一方が上記発明のカラーフィルタの製造方法によって製造されたことを特徴とする。これによれば、一対の基板のうちの一方が上記発明のカラーフィルタの製造方法によって製造されているので、色ムラが少なく高い表示品質を有する電気光学装置としての液晶表示装置を提供することができる。
【００３１】
本発明の他の電気光学装置は、複数の有機ＥＬ素子が形成された基板と該基板を封止する封止基板とを備えた電気光学装置であって、有機ＥＬ発光素子が、上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されたことを特徴とする。これによれば、有機ＥＬ発光素子が、上記発明の有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されているので、発光ムラが少ない高い表示品質を有する電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置を提供することができる。
【００３２】
本発明の電子機器は、上記発明の電気光学装置が搭載されたことを特徴とする。これによれば、上記発明の電気光学装置が搭載されているので、高い表示品質を有する電子機器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
（実施形態１）
＜液滴吐出装置＞
まず本実施形態の液滴吐出装置について図１を基に説明する。図１は、液滴吐出装置を示す概略斜視図である。各部の構成は、適宜縮尺して表示している。
【００３４】
図１に示すように、本実施形態の液滴吐出装置１０は、液状体を液滴として吐出してワークＷ上に液状体からなる膜を形成するものである。そしてワークＷが載置されるステージ４と、載置されたワークＷに液状体を液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を有するヘッドユニット１とを備えている。
【００３５】
また液滴吐出装置１０は、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に駆動するためのＸ方向ガイド軸２と、Ｘ方向ガイド軸２を回転させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。また、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）にガイドするためのＹ方向ガイド軸５と、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転するＹ方向駆動モータ６とを備えている。そしてＸ方向ガイド軸２とＹ方向ガイド軸５とが上部に配設された基台７を備え、その基台７の下部には、制御部８を備えている。
【００３６】
さらに、ヘッドユニット１の複数の液滴吐出ヘッド２０をクリーニング（回復処理）するためのクリーニング機構９および吐出された液状体を加熱し溶媒を蒸発・乾燥させるためのヒータ１２とを備えている。またクリーニング機構９にもＹ方向駆動モータ１１が備えられている。
【００３７】
ヘッドユニット１には、液状体をノズル２２（吐出口）から吐出してワークＷに塗布する複数の液滴吐出ヘッド２０（図２参照）を備えている。そして、これら複数の液滴吐出ヘッド２０により、制御部８から供給される吐出電圧に応じて個別に液状体を吐出できるようになっている。この液滴吐出ヘッド２０とその配置については後述する。
【００３８】
Ｘ方向駆動モータ３は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＸ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｘ方向ガイド軸２を回転させ、Ｘ方向ガイド軸２に係合したヘッドユニット１をＸ方向に移動させる。
【００３９】
同様にＹ方向駆動モータ６，１１は、これに限定されるものではないが例えばステッピングモータ等であり、制御部８からＹ軸方向の駆動パルス信号が供給されると、Ｙ方向ガイド軸５に係合して回転し、Ｙ方向駆動モータ６，１１を備えたステージ４およびクリーニング機構９をＹ軸方向に移動させる。
【００４０】
クリーニング機構９は、液滴吐出ヘッド２０をクリーニングする際には、ヘッドユニット１を臨む位置に移動し、液滴吐出ヘッド２０のノズル面に密着して不要な液状体を吸引するキャッピング、液状体等が付着したノズル面を拭き取るワイピング、液滴吐出ヘッド２０の全ノズルから液状体の吐出を行う予備吐出あるいは不要となった液状体を受けて排出させる処理を行う。クリーニング機構９の詳細は省略する。
【００４１】
ヒータ１２は、これに限定されるものではないが例えばランプアニールによりワークＷを熱処理する手段であり、ワークＷ上に吐出された液状体の蒸発・乾燥を行うとともに膜に変換するための熱処理を行うようになっている。このヒータ１２の電源の投入及び遮断も制御部８によって制御される。
【００４２】
液滴吐出装置１０の塗布動作は、制御部８から所定の駆動パルス信号をＸ方向駆動モータ３およびＹ方向駆動モータ６とに送り、ヘッドユニット１を副走査方向（Ｘ方向）に、ステージ４を主走査方向（Ｙ方向）に相対移動させる。そして、この相対移動に同期して制御部８から吐出電圧を供給し、ヘッドユニット１の液滴吐出ヘッド２０からワークＷの所定の領域に液状体を液滴として吐出し塗布を行う。
【００４３】
液滴吐出ヘッド２０から吐出される液滴の吐出量は、制御部８から供給される吐出電圧の大きさによって調整することができる。
【００４４】
＜液滴吐出ヘッド＞
次に本発明の一実施形態である液滴吐出ヘッドについて図２から図４に基づいて説明する。図２は液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図、図３液滴吐出ヘッドを示す斜視図である。
【００４５】
図２に示すように液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２を有するノズルプレート２１と、各ノズル２２に対応してこれを区画する区画部２４を含む液状体の流路が形成されたリザーバプレート２３と、エネルギー発生手段としての圧電素子（ピエゾ）２９を有する振動板２８とからなる３層構造の所謂ピエゾ方式インクジェットヘッドである。ノズルプレート２１とリザーバプレート２３の区画部２４および振動板２８によって複数の圧力発生室２５が構成されている。各ノズル２２は、各圧力発生室２５にそれぞれ連通している。また、圧電素子２９は、各圧力発生室２５に対応するように振動板２８に複数配設されている。
【００４６】
リザーバプレート２３には、振動板２８に形成された供給孔２８ａを通じてタンク（図示省略）から供給される液状体が一時的に貯留される共通流路２７が設けられている。また共通流路２７に充填された液状体は、供給口２６を通じて各圧力発生室２５に供給される。
【００４７】
液滴吐出ヘッド２０は、電気信号としての駆動波形が圧電素子２９に印加されると圧電素子２９自体が歪んで振動板２８を変形させる。これにより、圧力発生室２５の体積変動が起こり、これによるポンプ作用で圧力発生室２５に充填された液状体が加圧され、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出することができる。尚、ノズル２２から液状体を液滴Ｌとして吐出させるエネルギー発生手段は、圧電素子２９に限定されず、加熱素子としてのヒータや電気機械変換素子としての静電アクチュエータ等でもよい。
【００４８】
図３に示すように、液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1）でノズルプレート２１に配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有している。また、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見たときに、複数のノズル２２が異なる間隔（ノズルピッチＰ2とノズルピッチＰ3）で交互に配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂがずれて配置されている。
【００４９】
この場合、各ノズル列２２ａ，２２ｂには、それぞれ１８０個のノズル２２が配設されており、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見ると、３６０個のノズル２２が異なる間隔で交互に配置されている。すなわち、複数のノズル２２が不等間隔で配置されている。ノズル２２の直径は、およそ３０μｍである。ノズルピッチＰ1はおよそ１４０μｍ、ノズルピッチＰ2はおよそ３０μｍ、ノズルピッチＰ3はおよそ１１０μｍである。ノズル列２２ａとノズル列２２ｂとの間隔は、およそ２．５４ｍｍである。
【００５０】
このように異なる間隔で複数のノズル２２を配置することにより、狭い方の間隔（ノズルピッチＰ2）で隣り合うノズル２２から吐出される液滴ＬがワークＷに着弾したときに、互いに接して合体し易くしたものである。これにより、それぞれのノズルから同一種類の液状体を吐出し着弾した後に液滴同士が一緒になって濡れ拡がりムラを軽減できる。吐出された液滴Ｌの着弾径は、ワークＷの表面状態や液滴Ｌの吐出量、吐出速度、ノズル径等に依存する。液滴Ｌの吐出量、吐出速度は、吐出される液状体の物性にも左右されるので、着弾した液滴Ｌをより積極的に合体させるには、ノズルピッチＰ2をノズル２２の直径に対して３分の２以上１未満の長さとすることが好ましい。なお、ワークＷの表面が親液性ならば、着弾した液状体が濡れ拡がり易いので、着弾後の液滴Ｌの挙動を考慮してノズルピッチＰ2をノズル２２の直径以上に広げてもよい。
【００５１】
次にヘッドユニット１に備えられた複数の液滴吐出ヘッド２０の配置について説明する。図４は、液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図である。
【００５２】
図４に示すように、ヘッドユニット１には、複数（６個）の液滴吐出ヘッド２０をワークに向けて保持する略平行四辺形のキャリッジ１ａを有している。キャリッジ１ａには、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に直交するように各液滴吐出ヘッド２０が階段状に配設されている。前述したように液滴吐出ヘッド２０は、３６０個のノズル２２を有している。そのノズル長はＬｎである。そして、実際の液状体の吐出の際には、ノズル列２２ａ，２２ｂの両端側の１０個のノズル２２を用いていない。これは、両端側に位置するノズル２２からの吐出量が他のノズル２２に比べて安定しにくいことを考慮したものである。よって、有効ノズル長をＬｎｐとする。Ｙ方向に３個ずつ階段状に配置された６個の液滴吐出ヘッド２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ，２０ｅ，２０ｆは、有効ノズル長ＬｎｐがＸ方向に連続するように配設されている。このような液滴吐出ヘッド２０の配置は、有効ノズル長Ｌｎｐを最大利用してＸ方向（副走査方向）に液滴Ｌを吐出しようとするものである。ワークＷの膜形成領域の大きさやその配置により、膜形成領域に着弾させる液滴Ｌの吐出量や１回の主走査による着弾密度を考慮して、ノズル列２２ａ，２２ｂが主走査方向（Ｙ方向）に対して交差するように液滴吐出ヘッド２０をキャリッジ１ａに傾斜させて配置してもよい。
【００５３】
また、キャリッジ１ａに搭載する液滴吐出ヘッド２０の数は、これに限定されるものでない。さらには、ヘッドユニット１に複数のキャリッジ１ａを所定の間隔で備える構成としてもよい。
【００５４】
図５は、制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図である。図５に示すように制御部８は、液状体の吐出データを外部情報処理装置から受け取る入力バッファメモリ１３と、入力バッファメモリ１３に一時的に記憶された吐出データを記憶手段（ＲＡＭ）１４に展開して関連する各部に制御信号を送る処理部１５を備えている。また処理部１５からの制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３とＹ方向駆動モータ６とに位置制御信号を送る走査駆動部１６と、同じく処理部１５からの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に駆動電圧パルス（駆動波形）を送るヘッド駆動部１７とを備えている。
【００５５】
入力バッファメモリ１３に受け取られる吐出データは、ワークＷ上の膜形成領域の相対位置を表すデータと、膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータと、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂのうちどのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータと、を含んでいる。
【００５６】
処理部１５は、記憶手段１４に格納された吐出データの中から膜形成領域に関する位置の制御信号を走査駆動部１６に送る。走査駆動部１６は、この制御信号を受けてＸ方向駆動モータ３に位置制御信号を送ってヘッドユニット１（液滴吐出ヘッド２０）を副走査方向であるＸ軸方向に移動させる。またＹ方向駆動モータ６に位置制御信号を送ってワークＷが保持されたステージ４を主走査方向であるＹ軸方向に移動させる。これによってワークＷの所望の位置に液滴吐出ヘッド２０から液状体の液滴が吐出されるようにヘッドユニット１とワークＷとを相対移動させる。
【００５７】
また処理部１５は、記憶手段１４に格納された吐出データの中から膜形成領域に液状体の液滴をどのような着弾密度で吐出するかを示すデータを、ノズル２２毎の４ビットの吐出ビットマップデータに変換してヘッド駆動部１７に送る。また、液滴吐出ヘッド２０のノズル列２２ａ，２２ｂの内どのノズル２２を駆動（ＯＮ−ＯＦＦ）するかを指定するデータに基づいて、液滴吐出ヘッド２０の圧電素子２９に印加する駆動電圧パルスをいつ発信するかの「タイミング検出信号」であるラッチ信号とチャンネル信号をヘッド駆動部１７に送る。ヘッド駆動部１７は、これらの制御信号を受けて液滴吐出ヘッド２０に適正な駆動電圧パルスを送って、ノズル２２から液状体の液滴Ｌを吐出させる。
【００５８】
上記実施形態１の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態１の液滴吐出ヘッド２０は、複数のノズル２２が略等間隔（ノズルピッチＰ1）で配置された２つのノズル列２２ａ，２２ｂを有している。また、ノズル列２２ａ，２２ｂに直交する方向から見たときに、複数のノズル２２が異なる間隔（ノズルピッチＰ2とノズルピッチＰ3）で交互に配列するように、一方のノズル列２２ａに対して他方のノズル列２２ｂがずれて配置されている。したがって、３６０個のノズル２２が等間隔でノズルプレート２１に配置されている場合に比べて、狭い方の間隔（ノズルピッチＰ2）で隣り合うノズル２２から液滴Ｌを吐出すれば、少なくとも２つの液滴Ｌが互いに接するようにワークＷに着弾させて、容易に合体させることができる。すなわち、複数のノズル２２は副走査方向（Ｘ方向）に並んでいるので、副走査方向に着弾した液滴Ｌを濡れ拡げることができる。
【００５９】
（２）上記実施形態１の液滴吐出装置１０は、液滴吐出ヘッド２０と、ステージ４にワークＷを載置して、液滴吐出ヘッド２０に対向させた状態でワークＷを主走査方向（Ｙ方向）に移動させるＹ方向駆動モータ６と、液滴吐出ヘッド２０が搭載されたヘッドユニット１を副走査方向に移動させるＸ方向駆動モータ３とを備えている。複数のノズル２２が副走査方向に並ぶように液滴吐出ヘッド２０がヘッドユニット１（キャリッジ１ａ）に配置されており、液滴吐出ヘッド２０の狭い方の間隔で隣り合うノズル２２から液滴Ｌを吐出すると、少なくとも２つの液滴Ｌが副走査方向に濡れ拡がるように合体させることができる。すなわち、液滴吐出ヘッド２０の副走査と副走査方向に着弾する液滴Ｌの密度を上げるように吐出する主走査の回数を減少させることができる。
【００６０】
（実施形態２）
本実施形態は、電気光学装置としての液晶表示装置と、該液晶表示装置を構成するカラーフィルタの製造方法を例に説明する。
【００６１】
＜液晶表示装置＞
次に本発明の一実施形態である液晶表示装置について、図６に基づいて説明する。図６は液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図６に示すように、本実施形態の電気光学装置としての液晶表示装置８０は、パッシブマトリクス型液晶表示装置であって、一対の基板としてのカラーフィルタ６０と対向基板６７と、これらの基板６０，６７に挟持された液晶７０とを備えている。このような液晶表示装置８０は、受光型の表示装置であるため、例えば対向基板６７の背面側に照明装置等を備えて用いられる。尚、本実施形態の液晶表示装置８０は、これに限定されず、例えば対向基板６７にＴＦＴ（Thin  Film  Transister）やＴＦＤ（Thin  Film  Diode）などのスイッチング素子を備えたアクティブマトリクス型液晶表示装置であってもよい。
【００６２】
対向基板６７は、例えばソーダガラス、低アルカリガラスを用いており、その液晶７０側の表面に導電性材料からなる透明な複数の電極６８を有している。電極６８は、対向するカラーフィルタ６０に設けられた電極６６と直交してＹ方向に延在している。すなわち、液晶表示装置８０は、互いに対向すると共に直交して格子状に配置された電極６６と電極６８とを有している。そして電極６６と電極６８とが直交して重なった部分が表示用の画素領域となっている。透明な電極６６，６８を構成する導電性材料としては、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）やＩＺＯ（Indium  Zic  Oxide）などが挙げられる。
【００６３】
カラーフィルタ６０は、例えばソーダガラス、低アルカリガラスを用いており、透明なガラス基板６１の表面に着色領域に対応して開口している第１バンクとしての遮光膜６２と、遮光膜６２の上に設けられた第２バンク６３とを備えている。また第２バンク６３によって区画された着色領域にＲ（赤色）、Ｇ（緑色）、Ｂ（青色）に対応する着色層６４と、着色層６４と第２バンク６３とを覆う平坦化層としてのＯＣ（オーバーコート）層６５とを備えている。電極６６はＯＣ層６５上に形成されている。
【００６４】
遮光膜６２は、Ｃｒ、Ａｌ、Ｎｉなどの金属やその金属化合物からなり、第２バンク６３によって区画された着色領域の内側に張り出すように設けられている。第２バンク６３は、例えばアクリル系樹脂等の有機材料により構成されている。尚、遮光膜６２の開口部６２ａは、各着色領域ごとにほぼ同一寸法となるように形成されている。したがって、カラーフィルタ６０の各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂごとの開口率はほぼ同一である。
【００６５】
着色層６４は、第２バンク６３によって実質的に区画された着色領域に着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与して形成され、Ｙ方向に同一色の着色層６４が配列するように所謂ストライプ状に配置されている。
【００６６】
このようなカラーフィルタ６０は、後述するカラーフィルタの製造方法を用いて製造されたものであり、各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂの断面形状がほぼ平坦（一定）で、膜厚もほぼ同一な状態に形成されている。
【００６７】
液晶表示装置８０は、カラーフィルタ６０と対向基板６７とをギャップ材６９を介して所定の間隔で対向配置させ、図示しないシール材を用いて接合させたものである。またシール材により電気光学材料としての液晶７０を一対の基板６０，６７の間に封止したものである。尚、一対の基板６０，６７の液晶７０に面する側には、液晶７０を所定の方向に配向させる配向膜が設けられているが、図６では省略している。また、液晶表示装置８０の前面側と背面側の表面には、通常、入射あるいは出射する光を偏向させる偏光板や、視角等を改善するための光学機能性フィルムとしての位相差フィルム等が配設されるが、これらも省略している。
【００６８】
このような液晶表示装置８０は、膜厚がほぼ同一な各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂを有する基板としてのカラーフィルタ６０を備えているので、各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂが不均一なことに起因する色ムラ等が少ない、高い表示品質を有する。
【００６９】
＜カラーフィルタの製造方法＞
次にカラーフィルタの製造方法について図７〜図８を基に説明する。図７はカラーフィルタの製造方法を示すフローチャート、図８（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図である。
【００７０】
図７に示すように、本実施形態のカラーフィルタ６０の製造方法は、ガラス基板６１の表面に第１バンクとしての遮光膜６２を形成する工程（ステップＳ１）と、遮光膜６２の上に第２バンク６３を形成する工程（ステップＳ２）と、第２バンク６３によって区画された着色領域を表面処理する工程（ステップＳ３）とを備えている。また表面処理された着色領域に異なる着色層形成材料を含む３種（３色）の液状体を付与する液状体吐出工程（ステップＳ４）と、吐出された液状体を乾燥して複数色の着色層６４を形成する乾燥工程（ステップＳ５）と、第２バンク６３と着色層６４とを覆うようにＯＣ層６５を形成する平坦化層形成工程（ステップＳ６）とを備えている。
【００７１】
図７のステップＳ１は、第１バンク形成工程である。ステップＳ１では、図８（ａ）に示すように、第１バンクとしての遮光膜６２をガラス基板６１上に形成する。遮光膜６２の材料は、例えば、Ｃｒ、Ａｌ、Ｎｉ等の不透明な金属、あるいはこれらの金属化合物を用いることができる。遮光膜６２の形成方法としては、蒸着法あるいはスパッタ法で上記材料からなる膜をガラス基板６１上に成膜する。膜厚は、遮光性が保たれる膜厚を選定された材料に応じて設定すればよい。例えば、Ｃｒならば、１００〜２００ｎｍが好ましい。そして、フォトリソグラフィ法により遮光膜６２に対応する部分以外をレジストで覆い、上記材料に対応する酸等のエッチング液を用いて膜をエッチングする。これにより開口部６２ａを有する遮光膜６２が形成される。開口部６２ａの幅をいずれも一定の値としておく。そしてステップＳ２へ進む。
【００７２】
図７のステップＳ２は、第２バンク形成工程である。ステップＳ２では、図８（ｂ）に示すように、第２バンク６３を遮光膜６２の上に形成する。第２バンク６３の材料としては、アクリル系等の感光性樹脂材料を用いることができる。また、感光性樹脂材料は、遮光性を有することが好ましい。第２バンク６３の形成方法としては、例えば、遮光膜６２が形成されたガラス基板６１の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、着色領域Ｄに対応した大きさで開口部が設けられたマスクをガラス基板６１と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、第２バンク６３を形成する方法が挙げられる。そしてステップＳ３へ進む。
【００７３】
図７のステップＳ３は、表面処理工程である。ステップＳ３では、Ｏ2を処理ガスとするプラズマ処理とフッソ系ガスを処理ガスとするプラズマ処理とを行う。すなわち、着色領域Ｄに対応する無機材料であるガラス基板６１の表面や遮光膜６２が親液処理され、その後有機材料からなる第２バンク６３の表面（壁面を含む）が撥液処理される。そしてステップＳ４へ進む。
【００７４】
図７のステップＳ４は、液状体吐出工程である。ステップＳ４では、図８（ｃ）に示すように、表面処理された各着色領域Ｄのそれぞれに、対応する液状体５１，５２，５３を付与して複数色の着色層６４を形成する。液状体５１はＲ（赤色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体５２はＧ（緑色）の着色層形成材料を含むものであり、液状体５３はＢ（青色）の着色層形成材料を含むものである。各液状体５１，５２，５３を付与する方法は、液滴吐出ヘッド２０に各液状体５１，５２，５３を充填し、液滴Ｌとして着色領域Ｄに着弾させる。各液状体５１，５２，５３は、着色領域Ｄの面積に応じて所定量が付与され、着色領域Ｄ内に濡れ拡がり、表面張力によって盛り上がる。
【００７５】
＜液状体の吐出方法＞
ここで、より詳しい液状体の吐出方法について述べる。図９は液状体の吐出方法を示す概略平面図である。なお、吐出方法を分かりやすく説明するために、図は適宜拡大縮小している。本実施形態の液状体の吐出方法は、前述した液滴吐出装置１０を用いている。
【００７６】
まず、図９（ａ）に示すように、区画領域としての着色領域Ｄの長手方向が各ノズル列２２ａ，２２ｂと平行な状態で液滴吐出ヘッド２０と対向するようにワークＷとしてのガラス基板６１をステージ４に載置する。そして、Ｙ方向に液滴吐出ヘッド２０とワークＷとが相対移動する主走査に同期して、１つの着色領域Ｄに掛かる複数のノズル２２から液滴Ｌを複数吐出する。このとき狭い方の間隔で隣り合うノズル２２から吐出された液滴５１ａ，５１ｂが着弾後部分的に繋がるように吐出する。この場合、１回の主走査では、図９（ｂ）に示すように、さらに液滴５１ｃ，５１ｄが同様に着色領域Ｄに着弾するように吐出する。
【００７７】
着弾した液滴５１ａ，５１ｂおよび液滴５１ｃ，５１ｄは、着色領域Ｄに対応するガラス基板６１の表面が親液処理されているので、それぞれに合体して濡れ拡がる。そして、図９（ｃ）に示すように、濡れ拡がった液状体同士がさらに合体した液滴５１ｅが形成される。同様にして副走査方向（Ｘ方向）に着弾した液滴同士が合体した液滴５１ｆが隣り合って形成されるので、図９（ｄ）および図９（ｅ）に示すようにそれぞれが濡れ拡がって合体した液状体５１ｇが形成される。
【００７８】
当然ながら１つの着色領域Ｄに所定の厚みの着色層６４を均一に形成するために、所定量の液状体を吐出することが必要である。本実施形態の液状体の吐出方法では、１回の主走査により着色領域Ｄに液状体を広く濡れ拡げることができるので、主走査方向に該所定量に対応する液滴Ｌを連続的に着弾させれば、着色領域Ｄに隈なく液状体を付与することが可能である。すなわち、着色領域Ｄに隈なく液状体を付与するために、描画範囲を変えて副走査方向により着弾密度が高くなるように液滴を吐出する副走査と主走査を行う回数を減らすことが可能となる。
【００７９】
このような液状体の吐出方法は、これに限定されず、所定量の液状体を複数回の主走査を行うことにより、着色領域Ｄに付与してもよい。例えば、少なくとも１回の主走査により、着色領域Ｄに濡れ拡がる程度に複数の液滴Ｌを吐出してから、所定量に到達するように残りの液状体を吐出してもよい。これによれば、先の吐出によって濡れ拡がった液状体に後の吐出でさらに液状体を付与するので、吐出ムラを低減してより均一に液状体を付与することが可能である。
【００８０】
実際には、１つの液晶表示装置８０に対応する複数の着色領域Ｄがマトリクス状に配置されたより大きなワークＷを用いて複数のカラーフィルタ６０を同時に形成する。よって、ヘッドユニット１に搭載された複数の液滴吐出ヘッド２０が１回の主走査によって吐出可能な範囲（描画範囲）は、このようなワークＷよりも小さく、ワークＷのすべての着色領域Ｄに対応する各液状体５１，５２，５３を吐出するには、ヘッドユニット１を副走査して改行することにより可能となる。そして、ステップＳ５へ進む。
【００８１】
図７のステップＳ５は、乾燥工程である。ステップＳ５では、図８（ｄ）に示すように、各着色領域Ｄに吐出された液状体５１，５２，５３を乾燥して固定化し、各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂを形成する。乾燥方法としては、液状体５１，５２，５３が吐出されたガラス基板６１をチャンバー内に密閉して減圧状態とし、溶媒を一定速度で蒸発させて乾燥する減圧乾燥法が好ましい。これによれば、ムラなく乾燥され均一な着色層６４を得ることが可能である。
【００８２】
なお、付与された各液状体５１，５２，５３の乾燥方法は、各液状体５１，５２，５３をすべて付与した後に一括乾燥する方法に限らず、個々に液状体５１，５２，５３を付与した後に乾燥を行う方法でもよい。そして、ステップＳ６へ進む。
【００８３】
図７のステップＳ６は、平坦化層形成工程である。ステップＳ６では、図８（ｅ）に示すように、着色層６４と第２バンク６３とを覆うようにＯＣ層６５を形成する。ＯＣ層６５の材料としては、透明なアクリル系樹脂材料を用いることができる。形成方法としては、スピンコート法、オフセット印刷などの方法が挙げられる。ＯＣ層６５は、着色層６４が形成されたガラス基板６１の表面の凹凸を緩和して、後にこの表面に膜付けされる電極６６を平担化するために設けられている。また、電極６６との密着性を確保するために、ＯＣ層６５の上にさらにＳｉＯ2などの薄膜を形成してもよい。
【００８４】
このようにして出来上がったカラーフィルタ６０は、膜厚がほぼ一定な着色層６４を有する。またこのカラーフィルタ６０を用いて液晶表示装置８０を製造すれば、各着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂの断面形状と膜厚がほぼ一定であるため、着色層６４の膜厚ムラによる色ムラが少ない、見映えのよい表示品質が得られる。
【００８５】
上記実施形態２の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態２の液状体の吐出方法は、着色領域Ｄの長手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行となるように液滴吐出ヘッド２０とワークＷとを対向配置し、異なる間隔のうち狭い方の間隔で隣り合うノズル２２から吐出された液滴Ｌが、着弾後に部分的に繋がるように吐出する。主走査方向から見て複数のノズル２２が副走査方向に等間隔で配置された場合、ワークＷに着弾した隣り合う液滴Ｌは、ワークＷの表面状態や吐出量のバラツキによって、部分的に孤立することがある。また、副走査方向において隣り合う液滴同士がいずれの液滴Ｌと合体するかは一定となり難いので、吐出ムラとなる惧れがある。上記液状体の吐出方法によれば、副走査方向（Ｘ方向）に狭い方の間隔で隣り合うノズル２２から吐出された液滴同士が合体するので、副走査方向に液滴Ｌの着弾密度を上げるように副走査と主走査を行う回数を低減することができる。また、少なくとも１回の主走査により着色領域Ｄの長手方向に複数の液滴Ｌを着弾させ、該長手方向に液状体をムラなく吐出することができる。
【００８６】
（２）上記実施形態２のカラーフィルタ６０の製造方法は、着色層形成工程において、着色層形成材料を含む３種の液状体を上記液状体の吐出方法を用いて、対応する着色領域Ｄに付与する。したがって、吐出ムラが低減され、乾燥工程で固定化すると、膜厚がほぼ一定な着色層６４を形成することができる。すなわち、吐出ムラによる色ムラ等の不良が低減され歩留まりよくカラーフィルタ６０を製造することができる。
【００８７】
（３）上記実施形態２の液晶表示装置８０は、一対の基板のうちカラーフィルタ６０が上記カラーフィルタ６０の製造方法を用いて製造されているので、色ムラ等の不具合が少ない高い表示品質を有する液晶表示装置８０を提供することができる。
【００８８】
（実施形態３）
本実施形態は、複数の有機ＥＬ発光素子が形成された基板と、該基板を封止する封止基板とを備えた電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置および有機ＥＬ発光素子の製造方法を例に説明する。
【００８９】
＜有機ＥＬ表示装置＞
図１０は、有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図である。図１０に示すように、本実施形態の電気光学装置としての有機ＥＬ表示装置１００は、発光素子部１１７を有する基板１０１と、基板１０１と空間１２０を隔てて封着された封止基板１１９とを備えている。また基板１０１は、素子基板１０２上に回路素子部１０３を備えており、発光素子部１１７は、回路素子部１０３上に重畳して形成され、回路素子部１０３により駆動されるものである。発光素子部１１７には、３色の有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂがそれぞれの区画領域Ａに形成され、ストライプ状となっている。基板１０１は、３色の有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂに対応する３つの区画領域Ａを１組の絵素とし、この絵素が素子基板１０２の回路素子部１０３上にマトリクス状に配置されたものである。本実施形態の有機ＥＬ表示装置１００は、発光素子部１１７からの発光が素子基板１０２側に出射するものである。
【００９０】
封止基板１１９は、ガラス又は金属からなるもので、封止樹脂を介して基板１０１に接合されており、封止された内側の表面には、ゲッター剤１１９ａが貼り付けられている。ゲッター剤１１９ａは、基板１０１と封止基板１１９との間の空間１２０に侵入した水又は酸素を吸収して、発光素子部１１７が侵入した水又は酸素によって劣化することを防ぐものである。なお、このゲッター剤１１９ａは省略しても良い。
【００９１】
基板１０１は、素子基板１０２の回路素子部１０３上に複数の区画領域Ａを有するものであって、複数の区画領域Ａを区画すると共に、壁面に段差を有するバンクとしての二層バンク１１３と、複数の区画領域Ａに形成された電極１１２と、電極１１２に積層された正孔注入輸送層１１６とを備えている。また複数の区画領域Ａ内に発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して形成された有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂを有する発光素子部１１７を備えている。二層バンク１１３は、下層バンク１１４と区画領域Ａを実質的に区画する上層バンク１１５とからなり、下層バンク１１４は、区画領域Ａの内側に張り出すように設けられて、二層バンク１１３の壁面に段差を形成している。
【００９２】
素子基板１０２は、例えばガラス等の透明な基板からなり、素子基板１０２上にシリコン酸化膜からなる下地保護膜１０２ａが形成され、この下地保護膜１０２ａ上に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜１０４が形成されている。尚、半導体膜１０４には、ソース領域１０４ａ及びドレイン領域１０４ｂが高濃度Ｐイオン打ち込みにより形成されている。なお、Ｐイオンが導入されなかった部分がチャネル領域１０４ｃとなっている。さらに下地保護膜１０２ａ及び半導体膜１０４を覆う透明なゲート絶縁膜１０５が形成され、ゲート絶縁膜１０５上にはＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等からなるゲート電極１０６が形成され、ゲート電極１０６及びゲート絶縁膜１０５上には透明な第１層間絶縁膜１０７と第２層間絶縁膜１０８が形成されている。ゲート電極１０６は半導体膜１０４のチャネル領域１０４ｃに対応する位置に設けられている。また、第１層間絶縁膜１０７および第２層間絶縁膜１０８を貫通して、半導体膜１０４のソース領域１０４ａ、ドレイン領域１０４ｂにそれぞれ接続されるコンタクトホール１０９，１１０が形成されている。そして、第２層間絶縁膜１０８上に、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）等からなる透明な電極１１２が所定の形状にパターニングされて配置され（電極形成工程）、一方のコンタクトホール１０９がこの電極１１２に接続されている。また、もう一方のコンタクトホール１１０が電源線１１１に接続されている。このようにして、回路素子部１０３には、各電極１１２に接続された駆動用の薄膜トランジスタ１０３ａが形成されている。尚、回路素子部１０３には、保持容量とスイッチング用の薄膜トランジスタも形成されているが、図１０ではこれらの図示を省略している。
【００９３】
発光素子部１１７は、陽極としての電極１１２と、電極１１２上に順次積層された正孔注入輸送層１１６、各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂと、上層バンク１１５と各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂとを覆うように積層された陰極１１８とを備えている。この場合、機能層は、正孔注入輸送層１１６とこれに積層された有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂとを含む。なお、陰極１１８と封止基板１１９およびゲッター剤１１９ａを透明な材料で構成すれば、封止基板１１９側から発光する光を出射させることができる。
【００９４】
有機ＥＬ表示装置１００は、ゲート電極１０６に接続された走査線（図示省略）とソース領域１０４ａに接続された信号線（図示省略）とを有し、走査線に伝わった走査信号によりスイッチング用の薄膜トランジスタ（図示省略）がオンになると、そのときの信号線の電位が保持容量に保持され、該保持容量の状態に応じて、駆動用の薄膜トランジスタ１０３ａのオン・オフ状態が決まる。そして、駆動用の薄膜トランジスタ１０３ａのチャネル領域１０４ｃを介して、電源線１１１から電極１１２に電流が流れ、更に正孔注入輸送層１１６と各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂとを介して陰極１１８に電流が流れる。各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂは、これを流れる電流量に応じて発光する。有機ＥＬ表示装置１００は、このような発光素子部１１７の発光メカニズムにより、所望の文字や画像などを表示することができる。また有機ＥＬ発光素子を複数備えた発光素子部１１７は、後述する有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されており、各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、膜厚が不均一による発光ムラ、輝度ムラ等の不具合の少ない高い表示品質を有している。
【００９５】
＜有機ＥＬ発光素子の製造方法＞
次に有機ＥＬ発光素子の製造方法について図１１および図１２に基づいて説明する。図１１は有機ＥＬ発光素子の製造方法を示すフローチャート、図１２（ａ）〜（ｇ）は有機ＥＬ発光素子の製造方法を示す概略断面図である。なお図１２（ａ）〜（ｇ）においては、素子基板１０２上に形成された回路素子部１０３は、図示を省略している。
【００９６】
図１１に示すように、本実施形態の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、素子基板１０２に下層バンク１１４を形成する下層バンク形成工程（ステップＳ１１）と、下層バンク１１４上に上層バンク１１５を形成する上層バンク形成工程（ステップＳ１２）とを備えている。また上層バンク１１５で区画された区画領域Ａの表面処理を行う工程（ステップＳ１３）と、表面処理された区画領域Ａに正孔注入輸送層１１６を形成する工程（ステップＳ１４）とを備えている。そして、正孔注入輸送層１１６が形成された区画領域Ａに、発光層形成材料を含む３種の液状体を付与して、各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂを形成する発光層形成工程（ステップＳ１５）とを備えている。さらに、上層バンク１１５と各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂを覆うように陰極１１８を形成する工程（ステップＳ１６）を備えている。
【００９７】
図１１のステップＳ１１は、下層バンク形成工程である。ステップＳ１１では、図１２（ａ）に示すように素子基板１０２の複数の電極１１２の一部を覆うように下層バンク１１４を形成する。下層バンク１１４の材料としては、無機材料である絶縁性のＳｉＯ2（酸化珪素）等を用いる。下層バンク１１４の形成方法としては、例えば、後に形成される各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂに対応して、各電極１１２の表面をそれぞれレジスト等を用いてマスキングする。そして、マスキングされた素子基板１０２を真空装置に投入し、ＳｉＯ2をターゲットあるいは原料としてスパッタリングや真空蒸着することにより下層バンク１１４を形成する方法が挙げられる。なお、下層バンク１１４は、ＳｉＯ2により形成されているため、その膜厚が２００ｎｍ以下であれば十分な透明性を有しており、後に正孔注入輸送層１１６および有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂが積層されても発光を阻害することはない。また、後に陰極１１８が積層されても陰極１１８と電極１１２とが直接に短絡することを防ぐことができる。そしてステップＳ１２へ進む。
【００９８】
図１１のステップＳ１２は、上層バンク形成工程である。ステップＳ１２では、図１２（ｂ）に示すように、各区画領域Ａを実質的に区画すると共に、下層バンク１１４が区画領域Ａの内側に張り出すように、下層バンク１１４の上に上層バンク１１５を形成する。上層バンク１１５の材料としては、アクリル系の感光性樹脂材料を用いることができる。上層バンク１１５の形成方法としては、例えば、下層バンク１１４が形成された素子基板１０２の表面に感光性樹脂材料をロールコート法やスピンコート法で塗布し、乾燥させて厚みがおよそ２μｍの感光性樹脂層を形成する。そして、区画領域Ａに対応した大きさで開口部が設けられたマスクを素子基板１０２と所定の位置で対向させて露光・現像することにより、上層バンク１１５を形成する方法が挙げられる。そして、ステップＳ１３へ進む。
【００９９】
図１１のステップＳ１３は、区画領域Ａを表面処理する工程である。ステップＳ１３では、二層バンク１１３が形成された素子基板１０２の表面を、まずＯ2ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより電極１１２の表面、下層バンク１１４の張り出し部および上層バンク１１５の表面（壁面を含む）を活性化させて親液処理する。つぎにＣＦ4等のフッ素系ガスを処理ガスとしてプラズマ処理する。これにより有機材料である感光性樹脂からなる上層バンク１１５の表面のみにフッ素系ガスが反応して撥液処理される。そして、ステップＳ１４へ進む。
【０１００】
図１１のステップＳ１４は、正孔注入輸送層形成工程である。ステップＳ１４では、図１２（ｃ）に示すように、正孔注入輸送層形成材料を含む液状体１３０を区画領域Ａに付与する。液状体１３０を付与する方法としては、液状体１３０を液滴として吐出可能な液滴吐出ヘッド２０を備えた液滴吐出装置１０を用いる。また、実施形態２の液状体の吐出方法に基づいて液状体１３０を複数のノズル２２から吐出する。
【０１０１】
図１２（ｃ）に示すように液滴吐出ヘッド２０から吐出された液状体１３０は、液滴として素子基板１０２の電極１１２に着弾して濡れ拡がる。液状体１３０は区画領域Ａの面積に応じて必要量が液滴として吐出され表面張力で盛り上がった状態となる。そして図１２（ｄ）に示すように、素子基板１０２を例えばランプアニール等の方法で加熱することにより、液状体１３０の溶媒成分を乾燥させて除去し、電極１１２の二層バンク１１３の段差により区画された領域に正孔注入輸送層１１６が形成される。本実施形態では、正孔注入輸送層形成材料としてＰＥＤＯＴ（Polyethylene  Dioxy  Thiophene；ポリエチレンジオキシチオフェン）を用いた。尚、この場合、各区画領域Ａに同一材料からなる正孔注入輸送層１１６を形成したが、後の有機発光層の形成材料に対応して正孔注入輸送層の材料を区画領域Ａごとに変えてもよい。また、上記液状体の吐出方法によらず、蒸着法等により正孔注入輸送層１１６を形成してもよい。そしてステップＳ１５へ進む。
【０１０２】
図１１のステップＳ１５は、発光層形成工程である。ステップＳ１５では、図１２（ｅ）に示すように、複数の区画領域Ａに発光層形成材料を含む３種の液状体１４１，１４２，１４３を付与する。液状体１４１，１４２，１４３を付与する方法としては、先のステップＳ１４と同様にして、液滴吐出装置１０を用い液滴吐出ヘッド２０に各液状体１４１，１４２，１４３を充填して、それぞれ液滴として対応する区画領域Ａに着弾させる。液状体１４１は有機発光層１１７Ｒ（赤色）を形成する材料を含み、液状体１４２は有機発光層１１７Ｇ（緑色）を形成する材料を含み、液状体１４３は有機発光層１１７Ｂ（青色）を形成する材料を含んでいる。着弾した各液状体１４１，１４２，１４３は、区画領域Ａに濡れ拡がって断面形状が円弧状に盛り上がる。そして、図１２（ｆ）に示すように、付与された各液状体１４１，１４２，１４３を減圧乾燥法により一括乾燥すると、より濡れ性がよい張り出し部まで濡れ拡がった状態を維持しながら乾燥され、膜厚がほぼ一定な各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂが形成される。そして、ステップＳ１６へ進む。
【０１０３】
図１１のステップＳ１６は、陰極形成工程である。ステップＳ１６では、図１２（ｇ）に示すように、素子基板１０２の各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂと上層バンク１１５の表面とを覆うように陰極１１８を形成する。陰極１１８の材料としては、Ｃａ、Ｂａ、Ａｌ等の金属やＬｉＦ等のフッ化物を組み合わせて用いるのが好ましい。特に有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂに近い側に仕事関数が小さいＣａ、Ｂａ、ＬｉＦの膜を形成し、遠い側に仕事関数が大きいＡｌ等の膜を形成するのが好ましい。また、陰極１１８の上にＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層を積層してもよい。このようにすれば、陰極１１８の酸化を防止することができる。陰極１１８の形成方法としては、蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等が挙げられる。特に有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂの熱による損傷を防止できるという点では、蒸着法が好ましい。
【０１０４】
このようにして出来上がった発光素子部１１７は、上記実施形態２の液状体の吐出方法を用いているので、膜厚がほぼ一定な各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂを有する。このような発光素子部１１７を備えた基板１０１を用いて有機ＥＬ表示装置１００を製造すれば、各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂの膜厚がほぼ一定であるため、抵抗がほぼ一定となる。すなわち回路素子部１０３により発光素子部１１７に駆動電圧を印加して発光させると、各有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂごとの抵抗ムラによる発光ムラや輝度ムラ等が少ない、見映えのよい表示品質が得られる。
【０１０５】
上記実施形態３の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態３の有機ＥＬ発光素子の製造方法は、上記実施形態２の液状体の吐出方法を用いて、発光層形成材料を含む３種の液状体を区画領域Ａに付与する。したがって、吐出ムラが低減され、乾燥して固定化すると、膜厚がほぼ一定な有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂを形成することができる。すなわち、吐出ムラによる発光ムラ等の不良が低減され歩留まりよく発光素子部１１７を製造することができる。
【０１０６】
（２）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置１００は、基板１０１の発光素子部１１７が上記有機ＥＬ発光素子の製造方法を用いて製造されているので、発光ムラ等の不具合が少ない高い表示品質を有する有機ＥＬ表示装置１００を提供することができる。
【０１０７】
（実施形態４）
次に実施形態２の液晶表示装置または実施形態３の有機ＥＬ表示装置を搭載した電子機器の具体例について説明する。図１３は電子機器としての携帯電話機を示す概略斜視図である。
【０１０８】
図１３に示すように、本実施形態の電子機器としての携帯電話機１０００は、数字や文字の入力が可能な本体１００２と、本体１００２に対して折りたたみ可能な状態に取り付けられた表示部１００１とを有している。表示部１００１には、液晶表示装置８０または有機ＥＬ表示装置１００が搭載されている。
【０１０９】
上記実施形態４の効果は、以下の通りである。
（１）上記実施形態４の電子機器としての携帯電話機１０００は、実施形態２の液晶表示装置８０または実施形態３の有機ＥＬ表示装置１００を搭載しているため、色ムラや発光ムラ等の不具合の少ない、高い表示品質で文字や画像等の情報を確認することが可能な携帯電話機１０００を提供することができる。
【０１１０】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。例えば上記実施形態以外の変形例は、以下の通りである。
【０１１１】
（変形例１）実施形態１の液滴吐出ヘッド２０における複数のノズル２２の配置は、これに限定されない。図１４は、変形例の液滴吐出ヘッドを示す概略図である。同図（ａ）は斜視図、同図（ｂ）は概略断面図である。例えば、図１４（ａ）に示すように、変形例の液滴吐出ヘッド３０は、ノズルプレート３１に１列のノズル列３２ａを有し、ノズルａ１とノズルａ２の間隔Ｐ4がノズルａ２とノズルａ３の間隔Ｐ5よりも狭くなるように不等間隔で配置されている。また、図１４（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド３０は、ノズルプレート３１と、液状体流路を構成する区画部３３と、振動板３４とによって複数の圧力発生室３５が構成されている。また、複数の圧力発生室３５に対応したピエゾ３９を有している。ピエゾ３９は、圧電体３７と上電極３８を有し、振動板３４に形成された下電極３６と上電極３８との間に駆動電圧が印加されると振動板３４を変形させて圧力発生室３５に充填された液状体を液滴としてノズル３２から吐出することができる。ノズルａ１〜ａ３を配置する方法としては、圧力発生室３５の幅Ｃに対応して、例えば、ａ１とａ３を幅Ｃのほぼ中央に位置するように形成する。ノズルａ２は、幅Ｃの中央からそれたノズルａ１に近い位置に形成する。このようにすれば、複数のノズル３２を不等間隔で配置することができる。この状態では、間隔Ｐ4はノズル３２の直径よりも大きいが、よりノズルａ１とノズルａ２とを近接させる方法としては、主走査方向に対してノズル列３２ａが交差するように傾斜させることで実質的に近接させた状態とすることができる。また、液滴吐出ヘッドのノズル列が３つ以上ならば、少なくとも１つのノズル列が複数のノズルが異なる間隔で交互に配置された状態、例えば上記液滴吐出ヘッド３０のノズル列３２ａであればよい。さらには、略等間隔で配置された複数のノズルを有する液滴吐出ヘッドを図４に示したキャリッジ１ａに、主走査方向（Ｙ方向）から見て複数のノズルが異なる間隔で交互に配置されるようにＹ方向に配列させると共に、Ｘ方向にずらして複数配置してもよい。
【０１１２】
（変形例２）上記実施形態２の液状体の吐出方法を適用可能な薄膜を有するデバイスの製造方法は、カラーフィルタ６０の着色層６４や有機ＥＬ発光素子の正孔注入輸送層１１６、有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂの形成方法に限定されない。例えば、液晶表示装置８０の配向膜の形成方法、有機ＥＬ表示装置１００の薄膜トランジスタ１０３ａに接続される金属配線等の形成方法にも適用可能である。
【０１１３】
（変形例３）上記実施形態２のカラーフィルタ６０の着色層６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂの配置は、ストライプ状に限定されない。例えば、同一色の着色層６４が斜め方向に配置されたモザイク状、三角形の頂点の位置に配置されたデルタ状でも、本発明の液状体の吐出方法を適用することができる。なお、上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置１００の有機発光層１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂの配置においても同様である。
【０１１４】
（変形例４）上記実施形態２の液状体の吐出方法は、着色領域Ｄの長手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂横描画方法であるが、着色領域Ｄの短手方向に対してノズル列２２ａ，２２ｂが平行になる所謂縦描画方法においても適用可能である。
【０１１５】
（変形例５）上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置１００の封止基板１１９は必ずしも必要としない。例えば、基板１０１の発光素子部１１７を覆うように遮光性を有する樹脂等からなる封着剤によって封止してもよい。
【０１１６】
（変形例６）上記実施形態２の液晶表示装置８０または上記実施形態３の有機ＥＬ表示装置１００を搭載した電子機器としては、実施形態４の携帯電話機１０００に限定されない。例えば、ＰＤＡ（Personal  Digital  Assistants）と呼ばれる携帯型情報機器や携帯端末機器、携帯型パーソナルコンピュータ、ワープロ、デジタルスチルカメラ、車載用モニタ、デジタルビデオカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワークステーション、テレビ電話機、ＰＯＳ端末機等、電気光学装置である液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置を用いる機器が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【０１１７】
【図１】液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図２】液滴吐出ヘッドの要部構造を示す概略斜視図。
【図３】液滴吐出ヘッドを示す斜視図。
【図４】液滴吐出ヘッドの配置を示す概略平面図。
【図５】制御部および制御部に関連する各部との電気的な構成を示すブロック図。
【図６】液晶表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図７】カラーフィルタの製造方法を示すフローチャート。
【図８】（ａ）〜（ｅ）はカラーフィルタの製造方法を示す概略断面図。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は液状体の吐出方法を示す概略平面図。
【図１０】有機ＥＬ表示装置の要部構造を示す概略断面図。
【図１１】有機ＥＬ発光素子の製造方法を示すフローチャート。
【図１２】（ａ）〜（ｇ）は有機ＥＬ発光素子の製造方法を示す概略断面図。
【図１３】携帯電話機を示す概略斜視図。
【図１４】（ａ）は変形例の液滴吐出ヘッドを示す斜視図、（ｂ）は変形例の液滴吐出ヘッドの構造を示す概略断面図。
【符号の説明】
【０１１８】
１０…液滴吐出装置、２０，３０…液滴吐出ヘッド、２２，３２…ノズル、２２ａ，２２ｂ，３２ａ…ノズル列、５１，５２，５３…着色層形成材料を含む液状体、６０…カラーフィルタ、６１…基板としてのガラス基板、６４，６４Ｒ，６４Ｇ，６４Ｂ…着色層、６７…一対の基板としての対向基板、７０…液晶、８０…液晶表示装置、１００…有機ＥＬ表示装置、１０１…基板、１１７…有機ＥＬ発光素子が複数形成された発光素子部、１１７Ｒ，１１７Ｇ，１１７Ｂ…有機発光層、１１９…封止基板、１０００…電子機器としての携帯電話機、Ａ…区画領域、Ｄ…区画領域としての着色領域、Ｐ2，Ｐ4…狭い方の間隔、Ｗ…ワーク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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