(57)【要約】 【課題】研磨布をポリシャヘッドから簡単に剥がすことができるとともに研磨加工中では研磨布がポリシャヘッドから誤って剥がれることがない研磨ポリシャを提供すること。【解決手段】弾性材からなるドーム状のポリシャヘッド３１、このポリシャヘッド３１の表面に粘着層を介して設けられ研磨布を有する研磨パッド３２とを備え、ポリシャヘッド３１の表面にプラズマを照射する。ポリシャヘッド３１の表面が改質され、汚れを除去する洗浄効果や表面に凹凸形状を形成する粗面効果等が得られる。【選択図】 図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品を研磨加工する際に用いられる研磨ポリシャであって、
弾性材を含むドーム状のポリシャヘッドと、このポリシャヘッドの表面に粘着材を介して設けられ研磨布を有する研磨パッドとを備え、前記ポリシャヘッドの表面にプラズマを照射したことを特徴とする研磨ポリシャ。
【請求項２】
請求項１に記載された研磨ポリシャにおいて、
前記研磨パッドは、前記研磨布と、前記研磨布の前記ポリシャヘッド側へ対向する面に設けられる粘着層と、この粘着層の前記ポリシャヘッドへ対向する面に設けられるフィルムとを備え、前記フィルムの前記研磨布へ対向する側の表面がプラズマ照射されたことを特徴とする研磨ポリシャ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載された研磨ポリシャにおいて、
前記フィルムは前記研磨布の外周より外側に突出した口取り部を有することを特徴とする研磨ポリシャ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載された研磨ポリシャを備えたことを特徴とする研磨治具。
【請求項５】
光学部品を研磨加工する際に用いられる研磨ポリシャを製造する方法であって、
ドーム状ポリシャヘッドを構成する弾性シートの表面にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、このプラズマ照射工程の後に前記弾性シートの表面に粘着材を介して研磨布を有する研磨パッドを貼り付ける貼付工程とを備えたことを特徴とする研磨ポリシャの製造方法。
【請求項６】
請求項５に記載された研磨ポリシャの製造方法において、
前記ドーム状ポリシャヘッドを構成する前記弾性シートの表面にプラズマを照射するプラズマ照射工程の前に、前記研磨布に粘着層を介してフィルムを貼り付ける研磨パッド製造工程を備え、この研磨パッド製造工程において、前記フィルムにプラズマを照射することを特徴とする研磨ポリシャの製造方法。
【請求項７】
請求項５又は請求項６に記載された研磨ポリシャの製造方法において、
前記プラズマを照射する条件は、真空圧が０．１〜１０．０Ｐａ、プラズマ電圧が０．５〜３ｋＶ、プラズマ電流が１０〜２００ｍＡ、照射時間が１０〜３００秒であることを特徴とする研磨ポリシャの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、眼鏡レンズ等の光学部品を鏡面研磨等する際に使用される研磨ポリシャ、その研磨ポリシャを備えた研磨治具並びに研磨ポリシャの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
眼鏡レンズの凹面は、球面、回転対称非球面、トーリック面、累進面、あるいはこれらを合成した曲面等の形状に形成され、切削等により面形状が加工されたときは光学面に鏡面研磨される。
【０００３】
球面やトーリック面の単純な曲面の鏡面研磨は、オスカー式と呼ばれる剛体の研磨皿を用いて摺り合わせ研磨が用いられるが、これらの曲面以外の累進面等の複雑な、いわゆる自由曲面の研磨には研磨皿を用いることができないので、研磨ポリシャを備えた研磨治具が用いられている。
【０００４】
研磨ポリシャの従来例として、ゴム等の弾性材からなるドーム状のポリシャヘッドと、このポリシャヘッドの表面に粘着材を介して設けられる研磨パッドとを備え、このポリシャヘッドのドーム内部に圧縮空気を送り込み、ワーク形状に倣って研磨加工する構成のものがある。
【０００５】
研磨ポリシャとして使用される研磨パッドの多くは花弁形状をしており、従来、その裏面がポリシャヘッドを構成する弾性シートの表面に直接に粘着固定されていた。この場合、弾性シートの表面から使用済みの研磨パッドを剥がす際に、多大な工数を必要としていた。研磨パッドを剥がしやすくするために研磨パッドと弾性シートとの粘着力を弱めることが考えられるが、弾性シートと研磨パッドとの間の粘着強度が不十分であると、研磨作業中に研磨パッドがポリシャヘッドから剥がれてしまう。よって、粘着力を確保するために、強力な粘着強度を有する粘着材料を用いることになるが、その結果、研磨加工の完了後に研磨パッドを弾性シート表面から剥がす時には、塩化メチレンやアセトン等の有機溶剤を使用して粘着材を溶解する必要があった。このような従来の研磨パッドの貼り付け方では、研磨パッドを剥がす作業は手作業に頼らざるを得ないため、使用済みの研磨パッドを剥がす作業の自動化は、その構成上非常に困難な状況にあった。
【０００６】
そこで、このような問題を解決するため、ゴム等の弾性材からなるドーム状のポリシャヘッドの表面に貼り付けて使用される研磨パッドを、フィルム層、粘着層及び研磨層から構成し、フィルム層の面積を研磨布の面積に比べて大きくした研磨ポリシャがある（特許文献１）。
【０００７】
この特許文献１の研磨ポリシャでは、ポリシャヘッドを構成する弾性シートの表面から使用済みの研磨パッドを剥がす際に、フィルム層の外周部を指で把持して研磨パッドを剥がすことができるため、指の爪や先端が薄く鋭角なヘラなどを用いて作業を行う必要がなくなり、研磨パッドを剥がす作業の簡素化を図ることが可能となる。
【特許文献１】特開平１１−７７５０３号公報（段落番号「００３１」及び図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
特許文献１では、弾性シートに粘着層を介してフィルム層を貼り付けているので、粘着層の粘着強度が不十分である。そのため、短時間の研磨でフィルム層から研磨布が剥がれることがあるので、弾性シートからフィルム層が剥がれて研磨されるレンズの品質が必ずしも十分ではないという課題がある。
【０００９】
また、短時間で研磨ポリシャの交換をすることによる作業者の負担増加や研磨ポリシャを多数用意することによる研磨ポリシャの製造コストが増加するという課題がある。
【００１０】
本発明の目的は、研磨布をポリシャヘッドから簡単に剥がすことができるとともに研磨加工中では研磨布がポリシャヘッドから誤って剥がれることがない研磨ポリシャ、研磨治具及び研磨ポリシャの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の研磨ポリシャは、光学部品を研磨加工する際に用いられる研磨ポリシャであって、弾性材を含むドーム状のポリシャヘッドと、このポリシャヘッドの表面に粘着材を介して設けられ研磨布を有する研磨パッドとを備え、前記ポリシャヘッドの表面にプラズマを照射したことを特徴とする。
【００１２】
この発明によれば、弾性材を含むポリシャヘッドの表面をプラズマ処理することで、その表面が改質され、汚れを除去する洗浄効果や表面に凹凸形状を形成する粗面効果等が得られる。
【００１３】
従って、この状態で研磨パッドをポリシャヘッドに貼り付けることにより粘着力が向上するから、研磨作業中でも研磨布がポリシャヘッドから剥がれることがない。
【００１４】
しかも、従来に比べて、粘着材自体の粘着力は大きくすることを要しないので、使用済みの研磨パッドをポリシャヘッドから容易に剥がすことができる。
【００１５】
本発明の研磨ポリシャでは、前記研磨パッドが、前記研磨布と、前記研磨布の前記ポリシャヘッド側へ対向する面に設けられる粘着層と、この粘着層の前記ポリシャヘッドへ対向する面に設けられるフィルムとを備え、前記フィルムの前記研磨布へ対向する側の面がプラズマ照射された構成が好ましい。
【００１６】
この構成の発明では、フィルムを介して研磨布がポリシャヘッドに貼り付けられるため、ポリシャヘッドの表面から使用済みの研磨パッドを剥がす際に、フィルムの外周部を指で把持して研磨パッドを剥がすことができるので、研磨パッドを剥がす作業の簡素化を図ることができる。その上、フィルムと研磨布とを粘着固定する前にフィルムの表面にプラズマを照射しているから、研磨作業中でも研磨布がフィルムから剥がれることがない。そして、フィルムと研磨布との間の粘着材自体の接着力を大きくしなくてもよいから、使用済みの研磨パッドをフィルムから容易に剥がすことができる。
前記フィルムは前記研磨布の外周より外側に突出した口取り部を有する構成が好ましい。
【００１７】
この構成の発明では、ポリシャヘッドの表面から使用済みの研磨パッドを剥がす際に、フィルムの外周部から突出した口取り部を指で把持して研磨パッドを剥がすことができるので、研磨パッドを剥がす作業をより容易に行うことができる。
【００１８】
本発明の研磨治具は前述の構成の研磨ポリシャを備えたことを特徴とする。
【００１９】
この構成の発明では、前述の効果を奏することができる研磨治具を提供することができる。
【００２０】
本発明の研磨ポリシャの製造方法は、光学部品を研磨加工する際に用いられる研磨ポリシャを製造する方法であって、ドーム状ポリシャヘッドを構成する弾性シートの表面にプラズマを照射するプラズマ照射工程と、このプラズマ照射工程の後に前記弾性シートの表面に粘着材を介して研磨布を有する研磨パッドを貼り付ける貼付工程とを備えたことを特徴とする。
【００２１】
この構成の発明では、プラズマ照射工程で、ポリシャヘッドを構成する弾性シートの表面をプラズマ処理した後で、この弾性シートに研磨パッドを粘着固定するので、プラズマ処理を確実に実行して弾性シートの表面に洗浄効果や粗面効果等を付与することができる。そのため、研磨布をポリシャヘッドから簡単に剥がすことができるとともに研磨加工中では研磨布がポリシャヘッドから誤って剥がれることがない研磨ポリシャの製造方法を提供することができる。
【００２２】
本発明の研磨ポリシャの製造方法では、前記ドーム状ポリシャヘッドを構成する前記弾性シートの表面にプラズマを照射するプラズマ照射工程の前に、前記研磨布に粘着層を介してフィルムを貼り付ける研磨パッド製造工程を備え、この研磨パッド製造工程において、前記フィルムにプラズマを照射する構成としてもよい。
【００２３】
この構成の発明では、研磨パッド製造工程で研磨布を貼付する前のフィルムにプラズマを照射したので、研磨作業中でも研磨布がフィルムから剥がれることがないとともに、使用済みの研磨パッドをフィルムから容易に剥がすことができる研磨ポリシャの製造方法を提供することができる。
前記プラズマを照射する条件は、真空圧が０．１〜１０．０Ｐａ、プラズマ電圧が０．５〜３ｋＶ、プラズマ電流が１０〜２００ｍＡ、照射時間が１０〜３００秒である構成が好ましい。
真空圧が１０．０Ｐａを超えるとプラズマ状態を実現できず、０．１Ｐａ未満であると、プラズマによる効果に比べてエネルギー消費が大きく、真空圧を得るための時間が長くなるため実用的ではなくなる。プラズマ電圧が０．５ｋＶ未満であり、プラズマ電流が１０ｍＡ未満であり、照射時間が１０秒未満であると、効率的なプラズマ状態を実現できず、プラズマ電圧が３ｋＶを超えたり、プラズマ電流が２００ｍＡを超えたり、照射時間が３００秒を超えると、無駄なエネルギー消費となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００２５】
まず、本発明の第１実施形態について図１から図４に基づいて説明する。
【００２６】
［１．研磨治具の構成］
図１には、第１実施形態の研磨治具１の断面が示されている。
【００２７】
図１において、研磨治具１は、断面略Ｔ型の治具本体２と、この治具本体２で支持される研磨ポリシャ３と、この研磨ポリシャ３の周縁部を押さえる押さえ部材４と、研磨ポリシャ３及び押さえ部材４を治具本体２に対して着脱する図示しないボルト及びナットからなる着脱部とを備えている。研磨ポリシャ３の内面側に形成された密封空間の中には圧力流体が導入される。
【００２８】
研磨ポリシャ３は、被研磨物Ｌの凹状部を研磨するドーム状のポリシャヘッド３１と、このポリシャヘッド３１の表面に設けられた研磨パッド３２とを備えている。
【００２９】
本実施形態の研磨治具１で研磨される被研磨物Ｌとしては、比較的面積が小さく、鏡面研磨を必要とする凹面状の被研磨面を有するものであれば、制限はない。例えば、カメラレンズ、望遠鏡用レンズ、顕微鏡用レンズ、ステッパー用集光レンズ、眼鏡レンズ等に代表される光学レンズの他に、プラスチックレンズを注型重合するためのガラス型、携帯機器のカバーガラス等の光学部品を挙げることができる。以下では、プラスチック眼鏡レンズを代表として説明を行う。
【００３０】
プラスチック眼鏡レンズの凹面（眼球側、内面ともいう）には、球面、回転対称非球面、トーリック面、累進面、あるいはこれらを合成した曲面等の形状が形成される。一方の凸面には、球面、回転対称非球面、累進面等が形成される。凹面の形状は、数値制御等による切削加工で形成される場合が多い。切削加工後は、所望の光学面に鏡面研磨する必要がある。
【００３１】
被研磨物Ｌの凸面には、例えば低融点金属やワックスなどの接合材５を介して研磨装置のチャックに装着して固定される被研磨物取付部６が接合される。図示しない研磨装置のチャックは、回転駆動され、被研磨物Ｌは所定の回転速度で自転する。また、チャックは例えば空気圧が加えられ、被研磨物Ｌを研磨ポリシャ３に対して所定の研磨圧力で押し当てることができるようになっている。さらに、研磨装置の被研磨物Ｌを支持するチャックは、被研磨物Ｌの回転軸がドーム状のポリシャヘッド３１の頂点近傍と端部側とを往復する揺動運動を行う。
【００３２】
治具本体２は、円筒状の筒状部２１と、この筒状部２１の上端部の外周部に一体に設けられたフランジ状のポリシャ取付部２２とを有する。
【００３３】
筒状部２１は、その軸心部に研磨ポリシャ３の内面側を密封空間Ｓに形成し研磨ポリシャ３の中に圧力流体を導入する流路２１１が形成されている。筒状部２１の下端部には、図示しない研磨装置に装着して固定するためのテーパー状の装着部２１２が外方に突出して設けられている。
【００３４】
押さえ部材４は、下面が平坦でポリシャ取付部２２の外周とほぼ同じ外周を有するリング状である。
【００３５】
研磨ポリシャ３の表面に対向するようにノズル７が配置され、このノズル７から研磨剤を含むスラリーＰが研磨ポリシャ３の表面に供給される。
［２．研磨ポリシャの構成］
研磨ポリシャ３としては、ポリシャヘッド３１を凹面状の被研磨面より大面積にする必要がある。これにより、被研磨面のほぼ全面にポリシャヘッド３１を当接させて研磨することが可能となる。また、研磨ポリシャ３のポリシャヘッド３１の面積を被研磨面の面積よりも大面積とすることにより、研磨ポリシャ３の自転の周速度を速くして研磨速度を向上させるとともに、研磨ポリシャ３の形状追随性を向上させることができる。研磨ポリシャ３のポリシャヘッド３１の直径は、被研磨物Ｌであるプラスチック眼鏡レンズの直径の１．１〜１０倍、好ましくは１．５〜５倍程度の大きさとすることが望ましい。
【００３６】
ポリシャヘッド３１は、弾性シートをドーム状に成形し、圧力流体の内圧でドーム状の形状を保持するものが例示できる。あるいは弾性素材をドーム状のブロックに形成したもの、ドーム状の弾性シートの中空部を他の弾性素材で充填したものなどでもよい。
【００３７】
弾性シートの厚みは０．１〜１０ｍｍ、特に０．２〜５ｍｍの範囲が好ましく、ＪＩＳＡ硬さ（タイプＡデュロメータ）１０〜１００、ヤング率１０２〜１０３Ｎ・ｃｍ−２の物性値を備えるものが好ましい。弾性シートや弾性素材の材質は、天然ゴム、ニトリルゴム、クロロプレンゴム、スチレン−ブタジエンゴム（ＳＢＲ）、アクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）、シリコンゴム、フッ素ゴム等のゴム、ポリエチレン、ナイロン等の熱可塑性樹脂、スチレン系、ウレタン系等の熱可塑性樹脂エラストマーを例示することができる。
【００３８】
第１実施形態にかかる研磨ポリシャ３の具体的な構成が図２から図４に示されている。
【００３９】
図２は研磨パッド３２の平面図、図３は研磨パッド３２の断面図、図４は研磨パッド３２のポリシャヘッド３１への取付状態を示す断面図である。
【００４０】
これらの図において、研磨パッド３２は、平面が略花弁状に形成された研磨布３２１と、この研磨布３２１の裏面側に設けられる粘着層３２２と、この粘着層３２２とポリシャヘッド３１との間に設けられる平面略円形のフィルム３２３と、このフィルム３２３のポリシャヘッド３１側に設けられた粘着層３２４とを備えた構造である。
【００４１】
研磨布３２１は、例えばフェルト、不織布等の布、ポリウレタン製等の多孔質素材で構成されるシート、合成樹脂製のシートに短繊維が植毛されたものが例示される。一般に市販されている硬質の研磨皿用の研磨布３２１は、不織布の一面側にプライマー層、更に弱粘着性粘着材層が積層された構造を有する。本実施形態では、このような市販品の研磨布を用いてもよい。この場合、プライマー層のみ、または弱粘着性粘着材層のみを有する不織布からなる研磨布３２１を用いてもよい。なお、プライマー層はバインダー層と呼ばれる場合がある。
【００４２】
粘着層３２２としては、例えば粘着力として、ＪＩＳ Ｚ ０２３７による１８０度ピール強度が、１０００ｇ／２５ｍｍ以上、好ましくは１２００ｇ／２５ｍｍ以上、最も好ましくは１５００ｇ／２５ｍｍ以上であることが望ましい。
【００４３】
粘着層３２４としては、例えば粘着力として、ＪＩＳ Ｚ ０２３７による１８０度ピール強度が、７００ｇ／２５ｍｍ〜１０００ｇ／２５ｍｍであることが望ましい。
【００４４】
粘着層３２２及び粘着層３２４は、粘着性や作業性を考慮すると両面粘着用テープとすることが望ましい。両面粘着用テープの基材としては、不織布、和紙、ポリエチレンフォーム、ポリプロピレンフィルム、ポリエステルフィルムなどを例示することができる。粘着材の種類としては、前記粘着力を有すれば良く、制限はないが、例えば天然ゴム系、ＳＢＲ系、再生ゴム系等のゴム系粘着材、アクリル系粘着材を用いることができる。その他には、熱硬化性タイプのエポキシ樹脂系粘着材や瞬間粘着材等が例示できる。
【００４５】
フィルム３２３は、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオリフィン系、その他の基材から形成されたものである。このフィルム３２３の材料は後述するようにプラズマ照射することで改質され、汚れを除去する洗浄効果や表面に凹凸形状を形成する粗面効果等が得られる材質であれば、その具体的な種類は問わない。
【００４６】
本実施形態では、ポリシャヘッド３１の表面及びフィルム３２３の表面にそれぞれプラズマが照射されている。なお、ポリシャヘッド３１の裏面及びフィルム３２３の裏面には、それぞれプラズマ照射の影響を受けないようにするための保護手段が施されている。
【００４７】
プラズマ照射の条件としては、真空圧が０．１〜１０．０Ｐａ、プラズマ電圧が０．５〜３ｋＶ、プラズマ電流が１０〜２００ｍＡ、照射時間が１０〜３００秒である。真空プラズマで用いるガスは空気に限らず、酸素、アルゴン等を用いてもよい。
【００４８】
真空圧が０．１Ｐａ未満であるとプラズマ状態を実現できず、真空圧が１０．０Ｐａを超えると、プラズマによる効果に比べてエネルギー消費が大きすぎ実用的ではなくなる。
プラズマ電圧が０．５ｋＶ未満であり、プラズマ電流が１０ｍＡ未満であり、照射時間が１０秒未満であると、効率的なプラズマ状態を実現できず、プラズマ電圧が３ｋＶを超えたり、プラズマ電流が２００ｍＡを超えたり、照射時間が３００秒を超えると、無駄なエネルギー消費となる。
［３．研磨ポリシャの製造方法］
まず、第１のステップとして、研磨布３２１とフィルム３２３とを粘着させる粘着層３２２を研磨布３２１に貼り合せる。この貼り合わせの手段は粘着材を研磨布３２１に塗布するものでもよく、両面粘着用テープを用いてもよい。さらに、研磨布３２１と粘着層３２２が一体となった市販品を用いてもよい。
【００４９】
第２のステップとして、研磨布３２１を貼り付けるフィルム３２３の表面にプラズマを照射させる。プラズマ照射の方法は前述の種々の方法を採用することができる。
【００５０】
第３のステップとして、プラズマ照射を終えたフィルム３２３に粘着層３２２を介して研磨布３２１を貼り付けて一体とし研磨パッド３２とする。
【００５１】
第４のステップとして、研磨パッド３２を貼り付けるポリシャヘッド３１の表面にプラズマを照射する。このプラズマ照射でも、その具体的な方法は前述の種々の方法を採用することができる。
【００５２】
第５のステップとして、プラズマ照射を終えたポリシャヘッド３１に研磨パッド３２を、粘着層３２４を介して貼り付けて研磨ポリシャ３が作製される。
【００５３】
なお、研磨パッド３２を剥がし、使用済みとなった弾性シートからなるポリシャヘッド３１はプラズマ処理の効果が低下する。従って、研磨パッド３２を貼り直す場合は再度ポリシャヘッド３１にプラズマを照射し、表面改質を行う必要がある。
［４．第１実施形態の効果］
従って、第１実施形態では、次の効果を奏することができる。
（１）弾性材からなるドーム状のポリシャヘッド３１、このポリシャヘッド３１の表面に粘着層３２４を介して設けられ研磨布３２１を有する研磨パッド３２とを備えて研磨ポリシャ３を構成し、ポリシャヘッド３１の表面にプラズマを照射したので、ポリシャヘッド３１の表面が改質され、汚れを除去する洗浄効果や表面に凹凸形状を形成する粗面効果等が得られる。そのため、研磨パッド３２をポリシャヘッド３１に貼り付けることにより粘着力が向上するから、研磨作業中でも研磨布３２１がポリシャヘッド３１から剥がれることがなく、粘着材自体の粘着力は大きくすることを要しないので、使用済みの研磨パッド３２をポリシャヘッド３１から容易に剥がすことができる。
（２）研磨パッド３２は、表面からポリシャヘッド３１に向かって、研磨布３２１、粘着層３２２、フィルム３２３及び粘着層３２４を積層した構成とし、フィルム３２３の表面にプラズマを照射した。そのため、フィルム３２３を介して研磨布３２１がポリシャヘッド３１に貼り付けられるから、ポリシャヘッド３１の表面から使用済みの研磨パッド３２を剥がす際に、フィルム３２３の外周部を指で把持して研磨パッド３２を簡単に剥がすことができる。
【００５４】
この際、フィルム３２３と研磨布３２１とを粘着固定する前にフィルム３２３の表面にプラズマを照射しているから、研磨作業中でも研磨布３２１がフィルム３２３から剥がれることがなく、かつ、フィルム３２３と研磨布３２１との間の粘着材自体の粘着力を大きくしなくてもよいから、使用済みの研磨パッド３２をフィルム３２３から容易に剥がすことができる。
（３）プラズマ照射条件は、真空圧が０．１〜１０．０Ｐａ、プラズマ電圧が０．５〜３ｋＶ、プラズマ電流が１０〜２００ｍＡ、照射時間が１０〜３００秒であるから、効率的なプラズマ状態を実現できるとともに、無駄なエネルギー消費を回避することができる。
（４）フィルム３２３は研磨布３２１を貼り付ける面だけをプラズマ照射したから、フィルム３２３の両面をプラズマ照射する場合に比べてフィルム３２３の強度低下を防止することができる。
（５）前述の構成の研磨ポリシャ３を備えて研磨治具１を構成したから、研磨布３２１をポリシャヘッド３１から簡単に剥がすことができるとともに研磨加工中に研磨布３２１がポリシャヘッド３１から誤って剥がれることがない研磨治具１を提供することができる。
【００５５】
次に、本発明の第２実施形態を図５から図７に基づいて説明する。第２実施形態は第１実施形態とフィルム３２３の形状が異なるものであり、他の構造は第１実施形態と同じである。また、第２実施形態の研磨ポリシャ３の製造方法も第１実施形態と同じである。
【００５６】
第２実施形態では、治具本体２、押さえ部材４及び着脱部の構成は図１に示される第１実施形態と同じであるので、これらの説明を省略する。
【００５７】
また、研磨ポリシャ３の説明においても、第１実施形態と同一部材は同一符号を付して説明を省略もしくは簡略する。
【００５８】
図５から図７は、第２実施形態にかかる研磨ポリシャ３の具体的な構成を示すもので、図５は研磨パッド３２の平面図、図６は研磨パッド３２の断面図、図７は研磨パッド３２のポリシャヘッド３１への取付状態を示す断面図である。
【００５９】
これらの図において、フィルム３２３は研磨布３２１の外周縁より外周側に突出した口取り部３２３Ａが一体に形成されている。
【００６０】
この口取り部３２３Ａは研磨パッド３２を剥がす際に把持されるものであり、図５に示す例では口取り部３２３Ａは半円状に形成されている。なお、この口取り部３２３Ａは、指や機械で把持できればその形状および大きさは特に限定されるものではなく、用途に応じてアレンジすればよい。例えば、口取り部３２３Ａの形状を矩形状、三角形状、楕円形状等としてもよい。
【００６１】
従って、第２実施形態では、第１実施形態の（１）〜（５）の効果に加えて次の効果を奏することができる。
（６）フィルム３２３は研磨布３２１の外周縁より外周側に突出した口取り部３２３Ａが一体に形成されているから、ポリシャヘッド３１の表面から使用済みの研磨パッド３２を剥がす際に、口取り部３２３Ａを指や機械で把持して剥がすことができるので、研磨パッド３２の剥がす作業をより容易に行うことができる。
【００６２】
次に、前記実施形態の効果を確認するための実施例について説明する。本実施例は第２実施形態の研磨ポリシャ３を製造し、実験したものである。
【００６３】
研磨ポリシャ３を製造するため、まず、図示しない放電処理装置内にフィルム３２３をセットし、その後、空気雰囲気中で、真空圧５．０Ｐａ、電圧０．５ｋＶ、電流７０ｍＡの条件で１８０秒間プラズマ照射を行った。フィルム３２３のプラズマ照射面の反対側はプラズマによる劣化等の影響を避けるため保護をした。
【００６４】
フィルム３２３は、ポリオリフィン系の基材に片面がアクリル系の粘着層３２４で構成された素材（粘着力は８００ｇ／２５ｍｍ）を使用した。プラズマ照射した面を有するフィルム３２３には、粘着層３２２を介して研磨布３２１を貼り付けた。
【００６５】
粘着層３２２は、基材が和紙で、アクリル系粘着剤層を備え、粘着力が１０００ｇ／２５ｍｍである素材を使用した。
【００６６】
ポリシャヘッド３１を構成する弾性シートにプラズマを照射して表面改質を行った。プラズマの照射は、フィルム３２３と同じ条件で行った（空気雰囲気中で真空圧５．０Ｐａ，電圧０．５ｋＶ、電流７０ｍＡ、照射時間１８０秒）。
【００６７】
弾性シートのプラズマ照射面の反対側はプラズマによる劣化等の影響を避けるため保護をした。
【００６８】
弾性シートは、厚さ３ｍｍ、ＪＩＳ Ａ硬さ（タイプＡデュロメ−タ）９０のアクリロニトリル−ブタジエンゴム（ＮＢＲ）製のものを用いた。
【００６９】
この弾性シートのプラズマ照射前と照射後の面の接触角を測定したところ、プラズマ照射後の接触角はプラズマ照射前に比べ３０〜４０％低下することを確認した。しかしながら、上記条件の内、照射時間を１０秒未満とした場合、接触角はプラズマ照射前と差が確認できなかった。
【００７０】
今回、前述のプラズマ処理条件で製作した研磨ポリシャ３を治具本体２に装着して研磨治具１を製造し、この研磨治具１を用いて連続研磨をしたところ、研磨ポリシャ３の寿命は約２６分であった。それに対し、プラズマ処理を行っていない研磨ポリシャで同様に研磨したところ、寿命は約２０分であった。
【００７１】
研磨完了後、研磨加工用の研磨パッド３２の口取り部３２３Ａを指で把持してポリシャヘッド３１から剥がしたところ、ポリシャヘッド３１の表面には研磨パッド３２の粘着材は残らず、きれいに研磨パッド３２を剥がすことができた。
【００７２】
なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
【００７３】
例えば、前記実施形態では、研磨パッド３２を、研磨布３２１、粘着層３２２、フィルム３２３及び粘着層３２４の積層構造としたが、本発明では、フィルム３２３を省略し、ポリシャヘッド３１にプラズマ照射して表面改質を行い、このポリシャヘッド３１の表面に直接に研磨布３２１を粘着固定する構造であってもよい。仮に、研磨パッド３２を積層構造とする場合であっても、フィルム３２３を複数用意し、これらのフィルム３２３の間にそれぞれ粘着層を配置する構造であってもよい。
【００７４】
本発明では、研磨布３２１の平面形状は略花弁状に限定されるものではなく、円形、矩形、三角形等でもよく、その具体的な形状が限定されるものではない。
【００７５】
また、ポリシャヘッド３１は、１枚の弾性シートで形成される他に、治具本体２に対向する面に１又は複数のフィルムを積層した構造としてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７６】
本発明は、眼鏡レンズ等の研磨加工に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７７】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる研磨治具を示す縦断面図。
【図２】第１実施形態の研磨パッドの平面図。
【図３】第１実施形態の研磨パッドの断面図。
【図４】第１実施形態の研磨パッドのポリシャヘッドへの取付状態を示す断面図。
【図５】本発明の第２実施形態にかかる研磨パッドの平面図。
【図６】第２実施形態の研磨パッドの断面図。
【図７】第２実施形態の研磨パッドのポリシャヘッドへの取付状態を示す断面図。
【符号の説明】
【００７８】
１…研磨治具、２…治具本体、３…研磨ポリシャ、６…被研磨物取付部、２１…筒状部、２２…ポリシャ取付部、３１…ポリシャヘッド、３２…研磨パッド、３２１…研磨布、３２２…粘着層、３２３…フィルム、３２３Ａ…口取り部、３２４…粘着層、Ｌ…被研磨物
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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