(57)【要約】【課題】  一辺が８ｍｍ以下の小型の光学部品を超音波洗浄した後の乾燥は、スピン乾燥だけではシミや汚れができてしまい、光学部品をピンセットでつかみクリーニングペーパーで汚れを拭き取るという高度の熟練を要する手拭き作業に頼らざるを得なかった。長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を必須とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来る光学部品保持部品を提供する。【解決手段】  開口部が細長く、平行に形成された複数の貫通孔を有する光学部品載置部に光学部品を載置して洗浄・乾燥を行い、課題を解決した。【選択図】  図１
2007117988.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持部品の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも３つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも３つは前記光学部品載置部において各貫通孔の開口部が細長い形状をしており、前記開口部が細長い形状をしている少なくとも３つの貫通孔のうちの２つの貫通孔は、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が当該光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２】
請求項１に記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている２つの貫通孔は、各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている（以下、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、あるいは前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、単に、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されているともいう）ことを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３】
請求項１または２に記載の光学部品保持部品において、光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている前記２つの各貫通孔の開口部が、光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている対向する両端部とは異なる方向で対向している２つの端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の前記細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている貫通孔を除く貫通孔の過半数が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の前記少なくとも３つの貫通孔のうちの前記開口部の細長い方の一辺が当該光学部品載置部の対向する端部に接して形成されている２つの貫通孔とは異なる１つの貫通孔は、前記光学部品載置部の中央部に、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の全ての貫通孔が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部の貫通孔の少なくとも２つは、その光学部品載置部表面における開口部の長さ方向の中心線が互いに平行になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部には、細長い形状の開口部を有する少なくとも３つの貫通孔が、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の端部の少なくとも一部が前記光学部品載置部の端部の少なくとも一部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容して接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部よりも上の部分すなわち光学部品を挿入する側の部分の形状が一様な寸法・形状であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が、前記光学部品保持部品の表側と裏側における前記複数の光学部品保持部の形成されている部分等の細部の凹凸形状を除いて、少なくとも主要部分が全体としておおむね平行平板であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の少なくとも一つが着脱可能な仕切部であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品載置部の貫通孔の縁部が面取りされているか曲面形状に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１５】
請求項１〜１４のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する各端部にそれぞれ接して形成されている貫通孔でない前記貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が、前記開口部の両端部近傍を除いて一様な幅の開口部であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１６】
請求項１〜１５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持部品の裏側まで、５°以内の傾きを許容しておおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１７】
請求項１〜１６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の全ての貫通孔の開口部の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部になっている光学部品保持部の底部を構成している肉部のうちの隣り合った２つの貫通孔の間の部分、すなわち、隣り合った２つの貫通孔の間の部分を島部と定義して、前記光学部品載置部の島部の当該光学部品載置部における幅寸法が０．６〜２ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２０】
請求項１〜１９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間には、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも０．５ｍｍ以上浅い溝（以下、連結溝ともいう）が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２１】
請求項２０に記載の光学部品保持部品において、複数の前記連結溝が光学部品保持部品の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２２】
請求項１〜２１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表面の周辺部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持部品の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている凹部にはめ込んで、複数の前記光学部品保持部品を結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２３】
請求項１〜２２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側周縁部、すなわち、前記光学部品保持部が形成されている側の周縁部の形状は、高さの異なる表側外側周縁部とその内側の周縁部（以下、表側内側周縁部ともいう）の２種類の周縁部を有する２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持部品の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に前記凸部と表面凹部が形成されており、前記表側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部が形成されており、前記光学部品保持部品の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側の周縁部（以下、裏側内側周縁部ともいう）の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持部品の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、異なる２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に係合させて、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２４】
請求項１〜２３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、異なる２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２５】
請求項２４に記載の光学部品保持部品において、２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、少なくとも一部の前記一方の光学部品保持部品の表面と前記他方の光学部品保持部品の表面との間に０．１〜０．５ｍｍのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２６】
請求項１〜２５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の隣り合った２つの前記光学部品保持部の間隔が０．６ｍｍ以上であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２７】
請求項２３〜２６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側内側周縁部に、前記表側内側周縁部の半分以上の周部分に当該光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に達する貫通孔が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２８】
請求項１〜２７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項２９】
請求項２８に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の四角形の一隅に切欠部が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３０】
請求項１〜２９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部が縦横にマトリクス状に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３１】
請求項１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３２】
請求項３１に記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長方形であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３３】
請求項１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が円形であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３４】
請求項１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が楕円形あるいは長円形であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３５】
請求項１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長穴形状すなわち細長い穴の形状であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３６】
請求項１〜３５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部（以下、可変光学部品保持部ともいう）として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３７】
請求項３６に記載の光学部品保持部品において、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部（以下、可変仕切部ともいう）による手段であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３８】
請求項３６または３７に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部（以下、固定仕切部ともいう）によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項３９】
請求項３６〜３８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、可変仕切部によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができるとともに、縦方向にも前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４０】
請求項３７〜３９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部を前記固定仕切部または当該可変仕切部とは異なる可変仕切部に装着することができる取付部（以下、可変仕切部取付部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４１】
請求項３６〜４０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部には、少なくとも２つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４２】
請求項３６〜４１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記可変光学部品保持部は、横方向の両端部に固定仕切部を有し、前記両固定仕切部の間には可変仕切部を着脱可能に取付けることができる取付部が複数設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４３】
請求項３６〜４２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の縦方向に前記可変光学部品保持部が複数列配置されており、各列の横方向には少なくとも１つの前記可変光学部品保持部が配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４４】
請求項４２または４３に記載の光学部品保持部品において、前記複数列の可変光学部品保持部を仕切っている固定仕切部または可変仕切部には、前記複数列の可変光学部品保持部にまたがって各可変光学部品保持部を仕切ることができる前記可変仕切部を装着することができる前記可変仕切部取付部が複数箇所に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４５】
請求項４４に記載の光学部品保持部品において、前記固定仕切部または可変仕切部には前記可変仕切部取付部が等間隔に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４６】
請求項４０〜４５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部（以下、係合凸部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４７】
請求項４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が細長い曲面であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４８】
請求項４６または４７に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が円筒の側面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項４９】
請求項４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５０】
請求項４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が三角柱の一部であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５１】
請求項４６〜５０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部が、前記可変仕切部の、それを装着することができる全ての各固定仕切部または可変仕切部に交差する位置に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５２】
請求項４６〜５１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記係合凸部を含めた厚み寸法が、前記係合凸部が装着される前記可変仕切部取付部の寸法よりも０．０１〜０．１ｍｍ大きいことを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５３】
請求項３７〜５２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５４】
請求項１〜５３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が樹脂の一体成形技術によって形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【請求項５５】
光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品保持部の光学部品挿入側とは反対側（以下、光学部品保持部品の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも２つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部の一部が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光通信などに用いられるアイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等のモジュールに組み込まれる水晶、イットリュウム、バナデート、方解石、バリウム等の単結晶、多層膜フィルターなどの光学部品、近年広く用いられているプリズムや小型のレンズなどの光学部品、特殊な形状をした光学部品（これら光通信などに用いられるモジュールに組み込まれる光学部品と、前記プリズムや小型のレンズのような光学部品と、特殊な形状をした光学部品などを総称して、以下、光学部品ともいう）などの洗浄や洗浄した後に被洗浄物に付着している洗浄液を除去する乾燥のいずれかまたは双方に用いることができる光学部品保持部品（以下、保持部品のことを保持治具ともいう）に関する。
【背景技術】
【０００２】
光通信では、光アイソレーター、サーキュレーター、ＷＤＭ、フィルター等の様々なモジュールが使用されるが  これらのモジュールにはガーネット、水晶、方解石等の結晶や多層膜フィルター等が組み込まれている。
【０００３】
通常、アイソレータ、フィルター等のモジュールは、たとえば光ファイバーからモジュールに入力された光を、たとえば多層膜フィルター等に入力させて、透過、反射、分離、および屈折等の光学現象を利用することにより、モジュールの機能を実現させている。フィルター等の表面が汚れていると、光ファイバーからモジュールに入力された光が汚れたフィルター等の表面で減衰したり乱反射したりして結合損失が増大したり、モジュールの機能を損なってしまうことがある。モジュールに用いる光学部品の表面の清浄度はモジュールの品質上きわめて重要である。
【０００４】
このため、これらの光学部品の洗浄には多くの工夫が施されてきた。
【０００５】
従来は、たとえば３本の棒状の支持部品で多数の光学部品を３方向から３点支持（以下、支持を保持ともいう）をしたり、光学部品を光学部品挿入部を有する光学部品保持部品（前記光学部品保持部品は、ケースと呼称するのが適切な場合もあるが、以下、そのような場合も、そして、前記のような３点支持をするように棒状の支持部品を組み合わせて構成した保持部品も、特に必要な場合を除き光学部品保持部品とも称する）に入れて保持して超音波洗浄機で光学部品の汚れを落とし、光学部品の表面を清浄にして後、スピン乾燥機で付着した洗浄液を除去しようとしていた。しかし、光学部品の最大面の大きさが８ｍｍ角（すなわち、一辺の寸法が８ｍｍの正方形）以下のような小さいものを洗浄する際には、従来の３点支持をする治具で光学部品を支持して洗浄すると、支持部品で光学部品を確実に支持するには支持部品の強度を保つために支持部品をあまり細くすることができないため、超音波洗浄するときに、光学部品の支持部品の陰になった部分に超音波が効果的に当たらずに光学部品の汚れが残ってしまったり、洗浄中や洗浄後の乾燥時に光学部品が欠落することがある上に、洗浄の仕上げ工程としてのいわゆる水切り工程、すなわち光学部品に付着した洗浄液を除去する乾燥工程で、洗浄残液を完全に取り去ることが出来ず、そのままでは光学部品の汚れとして残ってしまい、正常なモジュールを構成するのに用いることができない光学部品が多発してしまうという大問題があった。
【０００６】
そのため、実際には、光学部品をモジュールに実装するときに、あるいは洗浄後に、１個ずつ専用のピンセットなどで光学部品を持ち、その表面を溶剤を浸したクリーニングペーパーや綿棒などで拭き上げる拭き作業に頼らざるを得なかった。
【０００７】
この光学部品の拭き作業は、光学部品を１個ずつピンセットで注意深くつかみ、有機溶剤等をつけたクリーニングペーパーや綿棒で汚れを拭き取る作業で、一辺が１１ｍｍぐらいの大きな光学部品の場合でも高度な熟練を要する難しい時間のかかる作業であるが、特に、表面を清浄にする光学部品の大きさが１ｍｍ角前後のように小さい場合には、非常に高度な熟練を要し、満足な品質特性を有するように光学部品を清浄にすることが出来るようになるためには、少なくとも数ヶ月の訓練が必要であった。この拭き作業は作業効率が悪く、多層膜フィルタの例では、１時間に２０個程度しか清浄にすることが出来なかった。
【０００８】
光学部品の洗浄においては、洗浄液中で光学部品に付着している汚れを除去する工程は当然重要な洗浄工程であるが、洗浄工程のあとに光学部品に付着している洗浄液（超純水も含めて洗浄液または洗剤という）を除去する乾燥工程も洗浄の重要な工程である。
【０００９】
図２１は、この乾燥工程に使用される従来のスピン乾燥機の要部をモデル的に示した図である。
【００１０】
図２１で、符号１３０１は従来のスピン乾燥装置、１３０２はスピン乾燥装置１３０１の外枠、１３０３はスピン乾燥装置１３０１を構成する回転させることが出来る回転板を有する回転体、１３１０〜１３１３は回転体１３０３の回転板に取り付けられたホルダで被乾燥物としての光学部品（以下、ワークとも称する）を保持した乾燥用の光学部品保持部品や光学部品保持部品を保持した保持枠（以下、クレードルともいう）（図示せず）を保持するためのホルダ、１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃはそれぞれホルダ１３１０〜１３１３の側壁、１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂはそれぞれ側壁１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ，１３１３ｃに設けられたクレードル設置用溝、１３１５は前記クレードルの位置決めのための支持棒、１３１６は回転方向を示す矢印、１３２０はスピン乾燥装置の蓋、１３２３は蓋１３２０に設けられた送風口、１３２２は送風口に取り付けられているフィルタである。
【００１１】
図２１で、ホルダ１３１０〜１３１３は回転体１３０３にネジなどで固定された状態で保持されている。
【００１２】
図２１のようなスピン乾燥装置で、洗浄したワークのスピン乾燥を行う際は、ワークを保持した光学部品保持部品を入れたクレードルを、クレードルに設けられた突起部（図３０に図示）をホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれのクレードル設置用溝１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂに挿入してホルダ１３１０〜１３１３のそれぞれに配置した後に、回転体１３０３をたとえば矢印１３１６の方向に回転させることによってスピン乾燥を行う。このとき、回転体に装着されたクレードルの底面は、図３０のように、回転体の回転により与えられる遠心力に対してクレードルが最も安定に保持されるように、回転体の回転により与えられる遠心力の方向に直交するように前記ホルダに取り付けられるようになっている。
【００１３】
ワークの３点支持による保持方法については、たとえば、特開平６−２０８０９３（以下、特許文献１という）にも記載されており、その細部についてはあまり詳細でないが、図と文章からおおむね知ることができる。
【００１４】
図２２〜図２５は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図で、特許文献１と完全に同じではないが、本発明の発明者等の分類では同種の技術思想に基づくワークの３点支持による保持方法であるということができるもので、現在光学部品の洗浄・乾燥に使用されているものである。
【００１５】
図２２は、ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【００１６】
図２２で、符号１３３１は被乾燥物としてのワーク、１３３２〜１３３４はワーク１３３１を固定するための光学部品支持部品である。
【００１７】
図２２で光学部品支持部品１３３２および１３３４は、ワーク１３３１の側面の両辺のおおよそ中央にそれぞれ配置されており、光学部品支持部品１３３３は光学部品支持部品１３３２と１３３４を結ぶ線分の垂直２等分線近傍の光学部品側面に配置されている。
【００１８】
図２２において、ワーク１３３１を洗浄・乾燥する際には、ワークを固定するための光学部品支持部品１３３２〜１３３４の接触面積は可能な限り少ない方が良いとされている。
【００１９】
図２３〜図２５は、図２２の光学部品支持部品の例を説明するための図で、図２３は１本の光学部品支持部品の斜視図、図２４は図２３の光学部品支持部品を図２３の直線Ｙ１−Ｙ２で切った断面から斜めに見た図、図２５は図２３の光学部品支持部品がワークを保持している状態を説明するための図である。
【００２０】
図２３〜図２５で、符号１３４０は従来の光学部品支持部品、１３４１は光学部品支持部品１３４０を構成する支柱、１３４２は支柱１３４１の端部に設けられたネジ、１３４３は光学部品支持部品１３４０を構成する支持板、１３４１ａ，１３４１ｂは支柱１３４１の溝に入れた支持板１３４３をカシメによって固定しているカシメ部分、１３４４は支持板１３４３に形成されたＶ字溝である。
【００２１】
図２３および図２４に示した光学部品支持部品１３４０には支柱１３４１の先端部にネジ１３４２が設けられており、図示しないが、複数本の光学部品支持部品１３４０を支持部品取り付け枠に光学部品を保持するのに適当な間隔で固定できるように形成して洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が構成されている。また、支持板１３４３はフッ素樹脂で形成されており、ある程度の弾力性を有しており、形状が図示の如くＶ字型の溝を有するノコギリの刃状に形成されている。前記Ｖ字型の溝は、同一形状・寸法の溝が、同一光学部品保持部品として使用する全ての支柱１３４１の長手方向の同じ位置に設けられている。
【００２２】
図２５で、ワーク１３３１は、水平方向の左右に２つとそれに直交する方向の１つの計３つの方向から３つの光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３のＶ字形の溝部分によって支えられている。
【００２３】
図２３〜図２５を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワーク１３３１を固定した場合、支持板１３４３のワークを支持する部分がＶ字型の溝形状に形成されているために、ワーク１３３１は３方の側面の稜線部分だけが支持板１３４３のＶ字型の溝に支持されており、支持板１３４３との接触面積が比較的小さいように緩く固定される。
【００２４】
しかし、図２３〜図２５を用いて説明したような光学部品支持部品１３４０の支持板１３４３は、フッ素樹脂であるテトラフルオロエチレンで形成されていることなどから、一辺が１０ｍｍ以上のあまり重くないワークしか固定することが出来ず、これ以下の小さいワークに関しては別の方法で保持しなければならなかった。
【００２５】
図２６および図２７は光学部品支持部品の図２３〜図２５を用いて説明した例とは別の従来例を説明する図で、特許文献１とは異なるものということができるものである。
【００２６】
図２６は１本の光学部品支持部品の斜視図、図２７は図２６の光学部品支持部品３本によってワークが固定（緩く固定）されている状態を説明するための図である。
【００２７】
図２６および図２７で、符号１３５０は光学部品支持部品、１３５１は光学部品支持部品１３５０を構成する支柱、１３５３は支柱１３５１に設けられたワークを固定するためのＶ字形の溝である。
【００２８】
図２６で、支柱１３５１は円柱形であり、直径はφ６ｍｍ〜１０ｍｍである。また、溝１３５３は同一形状・寸法の溝が一定の間隔で支柱１３５１に、支柱１３５１の長さ方向に切った断面がＶ字形の溝として設けられている。
【００２９】
図２７で、ワーク１３３１は支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れることによって緩く固定されている。この場合、図中のワーク１３３１の左右の辺は、中央より少し上の方を支持されている。この緩く固定されているという状態は、ワークをピンセットなどで注意して持ち、たとえば、３点支持の光学部品支持部品として組み上げられた３本の支柱１３５１に形成された溝１３５３の部分にワーク１３３１の一部を入れて保持したとき、ワークを超音波洗浄したり、スピン乾燥したりしたときに、ワークが溝１３５３の部分から抜け出すことはないが、ワークをピンセットなどで持って溝１３５３の部分から取り出したり、ワークを溝１３５３の部分に挿入したりすることが出来る程度に固定されているという意味である。以下、３点支持の記述において、特に断らない場合には、このような緩く固定することを、単に、固定するあるいは束縛するともいう。図２５と図２７に示した保持の状態も、この緩く固定した状態である。
【００３０】
図２８は、ワーク１３３１が光学部品支持部品によって固定されているときのワークと光学部品支持部品との接触状態を説明するための図であり、図２６の矢印１３５４の方向から見た図である。
【００３１】
図２８でワーク１３３１は、支柱１３５１に形成された溝１３５３が作る斜面に接することによって緩く固定されている。
【００３２】
図２６および図２７を用いて説明したような光学部品支持部品を用いてワークを固定した場合、支柱１３５１が円柱形に構成されているため、溝１３５３の部分も円柱形となっており、ワークとの接触面積が極めて少なくて済む。しかし、ワークの一辺が８ｍｍ以下である場合、図２８からもわかるように支柱１３５１がワークに非常に近い位置にある状態でワークを固定することになるため、洗浄する際にワークに支柱１３５１の影の部分になる部分が生じ、超音波を効果的にワークに当てることが出来ず、洗浄自体がうまくいかないという欠点があった。
【００３３】
支持板１３４３をカシメによって固定する支柱１３４１や溝１３５３が形成された支柱１３５１は、機械加工によって１本ずつ加工されているのが現状である。支柱の材料としてはステンレス鋼や、加工によって溝をつけた金属に樹脂をコーティングしたものが多く用いられている。樹脂だけでつくった支柱は、強度に問題があり、溝を付けた金属や溝を付けた金属に樹脂をコートしたものが主に用いられていた。
【００３４】
以上説明したように、従来は、ワークが小さい場合は光学部品支持部品によってワークを固定できなかったり、固定できた場合でもワークを効果的に洗浄することが出来ないという大きな問題があった。
【００３５】
そのため、小さなワークを洗浄・乾燥する際には、通常、ワークを洗浄治具に収納した後に、洗浄治具をクレードルなどに入れて、前記のようにスピン乾燥装置に装着して洗浄・乾燥する方法が採られている。
【００３６】
図２９は、従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。
【００３７】
図２９で、符号１３５５は従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、１３５６はワークを入れるための光学部品挿入部である。光学部品挿入部１３５６は穴状になっており、穴の底部の周縁部にはそこに挿入した光学部品を保持するための光学部品載置枠１３５６ａが設けられており、その内側に洗浄液を通過させるための貫通孔１３５６ｂが設けられている。この貫通孔１３５６ｂの直径はワークより十分小さく、光学部品載置枠１３５６ａの中央部に設けられている。
【００３８】
図２９からも推察できるように、光学部品保持部品１３５５の基本的な技術思想は、光学部品を３点支持のように緩く固定せずに光学部品載置枠１３５６ａに載置し、洗浄・乾燥中に光学部品の特に重要なところである光学面の重要部分を貫通孔１３５６ｂのところで周囲のものと非接触に保つことができるように考慮しているところにある。
【００３９】
図２９のような洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いて洗浄と乾燥を行うときは、光学部品挿入部にワークを入れて、光学部品保持部品ごとクレードルなどに入れて洗浄装置やスピン乾燥装置の所定位置に載置する。
【００４０】
図３０は従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【００４１】
図３０において、符号１０１０はスピン乾燥装置の回転体、１０１１は回転体１０１０を回転させるときの回転軸、１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂは回転体１０１０と回転軸１０１１を連結・固定する固定ネジ、１０１４，１０１５は乾燥するワークを入れて保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品、１０１６，１０１７はワークを載置し保持する洗浄・乾燥用の光学部品保持部品１０１４，１０１５を載置するクレードル、１０１８ａ，１０１９ａはクレードルの突起部を保持するホルダ、１０２０は回転体の上部枠、１０１８ｂ、１０１９ｂはホルダ１０１８ａ，１０１９ａに設けられたクレードル吊り下げ用の溝、１０１８，１０１９はクレードルの突起部でホルダ１０１８ａ，１０１９ａの溝１０１８ｂ、１０１９ｂに入れてホルダ１０１８ａ，１０１９ａにクレードル１０１６，１０１７を保持する連結ピン，１０２１〜１０２４は回転体１０１０の回転時にクレードルを支えるためにホルダ１０１８ａ，１０１９ａに取り付けられている支持棒、１３７０は回転板である。
【００４２】
図３０で、クレードル１０１６，１０１７は、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分１０１４ａ，１０１５ａが（洗浄・乾燥用の光学部品保持部品が平行平板のときは、同様に、前記クレードルの底面も）、回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２にそれぞれ平行になるように、かつ、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の上面部分１０１４ａ，１０１５ａの中央における前記中心軸線Ａ１−Ａ２を中心とする仮想の円筒の外側面の接平面（図示せず）にそれぞれ平行になるように、さらに、回転体１０１０の中心軸線であるＡ１−Ａ２に対して対称に配置されており、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品に載置した洗浄後の光学部品を、回転軸１０１１を中心にして回転体全体を回転させることによって洗浄した光学部品に残った洗浄液を除去して光学部品を乾燥させるようになっている。
【００４３】
図３１は、従来の光学部品のスピン乾燥方法を説明する模式的断面図で、図３０のスピン乾燥装置に、光学部品を載置した図２９の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をとりつけて乾燥する状態を説明する図である。
【００４４】
図３１において、符号１０４１〜１０４５はスピン乾燥後に残った純水などの洗浄液、１０４９は被乾燥物である光学部品から洗浄液が除去される（以下、洗浄液が切れるともいう）方向を示す矢印、１０４６は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品ならびにワークにかかる遠心力の方向を示す矢印、１０４７は洗浄・乾燥されるワークとしての光学部品、１０４８は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品に取り付ける蓋、１０４８ａは蓋１０４８に設けられた穴である。
【００４５】
図３１で、乾燥されるワーク１０４７は光学部品挿入部１３５６の光学部品載置枠１３５６ａに載置されており、ワーク１０４７を保持している光学部品挿入部１３５６は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品とともに矢印１０４６の方向に遠心力がかかるように回転される。この場合、回転中における光学部品保持部品１３５５の内側表面（回転の中心軸側の表面）と光学部品挿入部１３５６の光学部品載置枠１３５６ａに載置されているワークとしての光学部品１０４７の内側表面（回転の中心軸側の表面）は平行になっており、それら両表面は回転軸１０１１の回転中心となる中心軸線Ａ１−Ａ２にそれぞれ平行になっているとともに矢印１０４６で示した遠心力の方向に直交している。
【００４６】
スピン乾燥時には、回転体１０１０の回転によって、洗浄したときにワーク１０４７に付着した洗浄液としての水分は、矢印１０４６の方向に働く遠心力によって、矢印１０４９の方向に貫通孔１３５６ｂを通って除去されていく。
【００４７】
しかし、本発明の発明者等の調査の結果、図２９〜図３１を用いて説明したような従来の乾燥方法では、洗浄液１０４３〜１０４５などのように、洗浄液の残りをワークから完全に除去することが出来ないうえに、スピン乾燥装置の回転を止めると、残った洗浄液１０４３〜１０４５はワークの他の面に回り込んで水分が再付着してしまい、また、残った洗浄液１０４１，１０４２も流れ出してワークを濡らしてしまうことが多く、残った水分が多層膜フィルターなどのワークにシミなどを作ってしまうため、良好な洗浄・乾燥が出来なかった。
【００４８】
そのため、従来は残った水分を除去するために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などで水分を拭き取る手作業を必要としていた。
【００４９】
図３２および図３３は従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液のふき取り方法について説明するための模式図である。
【００５０】
図３２および図３３において、符号４００はワーク、５０１は綿棒、５０２，５０３は綿棒５０１の端部、５０４は綿棒の動く方向を示す矢印、５１０はハンドラップ、５１１は有機溶剤、５１２はハンドラップの皿部、５１３はピンセット、５１４は管である。    図３２で、ハンドラップ５１０の内部には有機溶剤５１１が入っており、皿部５１２をたとえば綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３で押し下げると、有機溶剤５１１は管５１４を毛管現象によって皿部５１２まで上がり、綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３に適量の有機溶剤５１１を付けることが出来る。
【００５１】
図３３で、ワーク４００をピンセット５１３によってつまみ、有機溶剤をしみこませた綿棒５０１の端部５０２もしくは５０３を矢印５０４の方向へ動かしながら、ワーク４００の光学面４０１と４０２を拭いて清浄にすることが出来る。
【００５２】
また、綿棒５０１に有機溶剤を付けないでワーク４００をふき、水分をワーク４００から除去することも出来る。
【００５３】
図３２および図３３を用いて説明したような洗浄・乾燥方法は、図２１〜図３１を用いて説明したような方法では洗浄・乾燥出来ないものの洗浄・乾燥に用いられることが多い。しかし、一辺が８ｍｍ以下のように小さなワーク、たとえば、光通信に通常用いられている光学面が１．４ｍｍ角の薄いフィルタのような場合、ワークが非常に小さくて、これをピンセットで掴みながら水分をふき取ったりする作業は非常に困難な作業である。
【００５４】
また、重くて比較的大きな直方体の光学部品や長さの長い光学部品の場合、図２２〜図２８で説明した光学部品では安定に支持できない。このような場合の洗浄・乾燥方法に適切な方法がなく、シミをつくらず、量産に適した洗浄・乾燥方法の実現が強く望まれていた。
【００５５】
従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の図２９に示した例とは異なる例が、特開２０００−２４９４６６（以下，特許文献２という）に記載されている。特許文献２には，パレットに設けられたすり鉢状の貫通穴に光学部品をいれて乾燥を行うことが記載されている（特許文献２の図１〜図３参照）。そして、特許文献２の図２，図５〜図７には前記穴に蓋を取り付けた断面図が記載されており，前記蓋には，適当にあけられた穴が設けられている。この蓋の穴に関しては，空気をすり鉢状貫通穴に流すこと以外の特別の作用は記載されていない。
【００５６】
本発明の発明者らは，特許文献２のような光学部品保持部品を用いて前記と同様な洗浄と乾燥を行ったが、良好な洗浄および乾燥を行うことができず、手拭き作業が不可欠であった。さらに，光学部品によっては損傷を生じてしまい，光学部品の着脱がしにくいなど、大きな問題があることがわかった。
【００５７】
【特許文献１】特開平６−２０８０９３
【特許文献２】特開２０００−２４９４６６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００５８】
以上説明したように、従来の光学部品保持部品に小型の光学部品を保持して、一度に多数の前記光学部品を超音波洗浄し、スピン乾燥を行っただけでは、たとえば光通信の部品として使用することができるような清浄な光学面を歩留まり良く得ることが難しいという大きな問題があった。
【００５９】
すなわち、超音波洗浄した多層膜フィルターなどのワークをスピン乾燥しても、ワークに洗浄液が残ってしまい、良好な洗浄を施された清浄な光学面の多層膜フィルターなどを得ることができず、残留洗浄液やそれにより生じたシミを拭き取るために多層膜フィルターなどのワークをピンセットで注意深くつまみ、クリーニングペーパーや綿棒などでそれらを拭き取る手作業を必要としていた。特に、ワークが小型の場合、この拭き作業は避けられなかった。
【００６０】
この拭き作業は、非常に高度な熟練を要し、満足した品質特性を得るためには、数ヶ月の作業者トレーニングが必要であった。そして、この拭き作業を収得した作業者が行った場合でも、作業効率が悪く、高々２０個／時間の多層膜フィルターしか清浄にすることが出来なかった。
【００６１】
そのため、従来のような、長時間の作業者トレーニングが不可欠で高度な熟練を要する拭き作業を必要とせず、一度に多数の光学部品を洗浄・乾燥することが出来て、モジュールの機能を満足に発揮できるような清浄な光学面を有する光学部品を得ることが出来る洗浄・乾燥手段とそれに好適な光学部品保持部品の実現が強く望まれていた。
【００６２】
また、形状・寸法・重さなどの多様な光学部品を洗浄・乾燥する場合、そのための光学部品保持部品が多種類になってしまうことは、その製造コストが高めるという問題があった。
【００６３】
本発明はこのような点に鑑みて成されたものであり、本発明の目的の一つは、長時間の作業者トレーニングが必要で高度な熟練を要する手拭き作業を不可欠とせず、小型の光学部品の場合でも、一度に多数の洗浄後の光学部品を良好な状態に乾燥することが可能な洗浄・乾燥に適した光学部品保持部品を提供することにある。また、一度に多数のブロック状や長い光学部品など特殊な光学部品の洗浄・乾燥を可能にする光学部品保持部品を提供することにもある。
【課題を解決するための手段】
【００６４】
本発明は前記の課題を解決せんとしてなされたものである。
【００６５】
光学部品の、洗浄・乾燥品質が良く、歩留まりの良い洗浄・乾燥を実現するため、本発明の発明者等は、洗浄と乾燥の両面から洗浄方法と洗浄装置ならびに乾燥方法と乾燥装置に関して種々の検討を行い、それらの改善を行った。
【００６６】
その結果、洗浄・乾燥の真の改善を行うには、洗浄・乾燥方法と装置の改善だけではだめで、洗浄・乾燥工程においてワークとしての光学部品を保持する光学部品保持部品の改善も重要であるとの結論に達した。それに基づき、光学部品保持部品の改善を行った結果、光学部品の洗浄・乾燥の画期的な改善を行うことができた。
【００６７】
本発明の光学部品保持部品は、ワークとしての光学部品を光学部品を固定しないで光学部品載置部上である程度動けるように保持して洗浄・乾燥を行う光学部品保持部品である。
【００６８】
以下、本発明の特徴を詳細に説明する。
【００６９】
前記の課題を解決せんとしてなされた本発明の例としての第１の発明（以下、発明１ともいう）は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品であって、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品を載置する側とは反対側（以下、光学部品保持部品の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも３つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも３つは前記光学部品載置部において各貫通孔の開口部が細長い形状をしており、前記開口部が細長い形状をしている少なくとも３つの貫通孔のうちの２つの貫通孔は、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が当該光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７０】
本発明の例としての発明１を展開してなされた第２の発明（以下、発明２ともいう）は、発明１に記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている２つの貫通孔は、各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている（以下、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺の半分以上が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、あるいは前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺のおおむね全体が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されている状態のことを、単に、前記各貫通孔の開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されているともいう）ことを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７１】
本発明の例としての発明１または２を展開してなされた第３の発明（以下、発明３ともいう）は、発明１または２に記載の光学部品保持部品において、光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている前記２つの各貫通孔の開口部が、光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている対向する両端部とは異なる方向で対向している２つの端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７２】
本発明の例としての発明１〜３を展開してなされた第４の発明（以下、発明４ともいう）は、発明１〜３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の前記細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に接して形成されている貫通孔を除く貫通孔の過半数が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７３】
本発明の例としての発明１〜４を展開してなされた第５の発明（以下、発明５ともいう）は、発明１〜４のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の前記少なくとも３つの貫通孔のうちの前記開口部の細長い方の一辺が当該光学部品載置部の対向する端部に接して形成されている２つの貫通孔とは異なる１つの貫通孔は、前記光学部品載置部の中央部に、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７４】
本発明の例としての発明１〜５を展開してなされた第６の発明（以下、発明６ともいう）は、発明１〜５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部の全ての貫通孔が細長い形状の開口部を有しており、前記開口部は同じ方向に細長く形成されているとともに、当該光学部品載置部の前記開口部の細長い方の一辺が接して形成されている前記対向する両端部とは異なる方向で対向している両端部のうちの一方の端部から他方の端部まで連続して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７５】
本発明の例としての発明１〜６を展開してなされた第７の発明（以下、発明７ともいう）は、発明１〜６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部の貫通孔の少なくとも２つは、その光学部品載置部表面における開口部の長さ方向の中心線が互いに平行になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７６】
本発明の例としての発明１〜７を展開してなされた第８の発明（以下、発明８ともいう）は、発明１〜７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品載置部には、細長い形状の開口部を有する少なくとも３つの貫通孔が、互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７７】
本発明の例としての発明１〜８を展開してなされた第９の発明（以下、発明９ともいう）は、発明１〜８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の端部の少なくとも一部が前記光学部品載置部の端部の少なくとも一部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容して接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７８】
本発明の例としての発明１〜９を展開してなされた第１０の発明（以下、発明１０ともいう）は、発明１〜９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部よりも上の部分すなわち光学部品を挿入する側の部分の形状が一様な寸法・形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００７９】
本発明の例としての発明１〜１０を展開してなされた第１１の発明（以下、発明１１ともいう）は、発明１〜１０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が、前記光学部品保持部品の表側と裏側における前記複数の光学部品保持部の形成されている部分等の細部の凹凸形状を除いて、少なくとも主要部分が全体としておおむね平行平板であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８０】
本発明の例としての発明１〜１１を展開してなされた第１２の発明（以下、発明１２ともいう）は、発明１〜１１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の前記仕切部の少なくとも一つが着脱可能な仕切部であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８１】
本発明の例としての発明１〜１２を展開してなされた第１３の発明（以下、発明１３ともいう）は、発明１〜１２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品載置部の貫通孔の縁部が面取りされているか曲面形状に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８２】
本発明の例としての発明１〜１３を展開してなされた第１４の発明（以下、発明１４ともいう）は、発明１〜１３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の全ての貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が互いに平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８３】
本発明の例としての発明１〜１４を展開してなされた第１５の発明（以下、発明１５ともいう）は、発明１〜１４のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記開口部の細長い方の一辺が前記光学部品載置部の対向する各端部にそれぞれ接して形成されている貫通孔でない前記貫通孔の光学部品載置部表面における開口部が、前記開口部の両端部近傍を除いて一様な幅の開口部であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８４】
本発明の例としての発明１〜１５を展開してなされた第１６の発明（以下、発明１６ともいう）は、発明１〜１５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記貫通孔が光学部品載置部表面から光学部品保持部品の裏側まで、５°以内の傾きを許容しておおむね一様な貫通孔であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８５】
本発明の例としての発明１〜１６を展開してなされた第１７の発明（以下、発明１７ともいう）は、発明１〜１６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８６】
本発明の例としての発明１〜１７を展開してなされた第１８の発明（以下、発明１８ともいう）は、発明１〜１７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の形成されている部分の裏側の全ての貫通孔の開口部の縁部が面取りされていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８７】
本発明の例としての発明１〜１８を展開してなされた第１９の発明（以下、発明１９ともいう）は、発明１〜１８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品載置部になっている光学部品保持部の底部を構成している肉部のうちの隣り合った２つの貫通孔の間の部分、すなわち、隣り合った２つの貫通孔の間の部分を島部と定義して、前記光学部品載置部の島部の当該光学部品載置部における幅寸法が０．６〜２ｍｍであることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８８】
本発明の例としての発明１〜１９を展開してなされた第２０の発明（以下、発明２０ともいう）は、発明１〜１９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、複数の隣り合った前記光学部品保持部の間には、前記光学部品保持部の前記光学部品載置部の周縁部よりも０．５ｍｍ以上浅い溝（以下、連結溝ともいう）が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００８９】
本発明の例としての発明２０を展開してなされた第２１の発明（以下、発明２１ともいう）は、発明２０に記載の光学部品保持部品において、複数の前記連結溝が光学部品保持部品の表面で一方向に平行に形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９０】
本発明の例としての発明１〜２１を展開してなされた第２２の発明（以下、発明２２ともいう）は、発明１〜２１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表面の周辺部に複数のピン状の凸部と前記ピン状の凸部をはめ込むことができる複数の凹部（以下、表面凹部ともいう）が形成されており、前記光学部品保持部品の表面の前記凸部が形成されている位置の裏面には、前記ピン状の凸部をはめ込むことができる凹部（以下、裏面凹部ともいう）が形成されており、前記表面の凸部をその裏側に形成されている凹部にはめ込んで、複数の前記光学部品保持部品を結合させることができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９１】
本発明の例としての発明１〜２２を展開してなされた第２３の発明（以下、発明２３ともいう）は、発明１〜２２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側周縁部、すなわち、前記光学部品保持部が形成されている側の周縁部の形状は、高さの異なる表側外側周縁部とその内側の周縁部（以下、表側内側周縁部ともいう）の２種類の周縁部を有する２段形状（以下、表側２段形状ともいう）になっており、前記表側２段形状は、当該光学部品保持部品の表面から裏面に向かう方向を高さの低い方向と定義して、前記表側外側周縁部が前記表側内側周縁部よりも高さが低く形成されており、前記表側内側周縁部に前記凸部と表面凹部が形成されており、前記表側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部が形成されており、前記光学部品保持部品の裏側周縁部は高さの異なる裏側外側周縁部とその内側の周縁部（以下、裏側内側周縁部ともいう）の２段形状（以下、裏側２段形状ともいう）になっており、前記裏側２段形状は、前記裏側外側周縁部が前記裏側内側周縁部よりも高さが低く、すなわち、前記光学部品保持部品の裏面において前記裏側外側周縁部から前記裏側内側周縁部が窪んでいるように形成されており、前記裏側内側周縁部の内側に前記光学部品保持部の貫通孔が形成されており、異なる２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品の前記表側内側周縁部を他方の前記光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に係合させて、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に形成されている裏面凹部にはめ込んで接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９２】
本発明の例としての発明１〜２３を展開してなされた第２４の発明（以下、発明２４ともいう）は、発明１〜２３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、異なる２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、前記一方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている凸部を前記他方の光学部品保持部品の前記表側内側周縁部に形成されている表面凹部にはめ込んで、接続することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９３】
本発明の例としての発明２４を展開してなされた第２５の発明（以下、発明２５ともいう）は、発明２４に記載の光学部品保持部品において、２つの前記光学部品保持部品を、一方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を上側にして、他方の前記光学部品保持部品は光学部品保持部が形成されている表側を下側にして、２つの前記光学部品保持部品を重ね合わせたときに、少なくとも一部の前記一方の光学部品保持部品の表面と前記他方の光学部品保持部品の表面との間に０．１〜０．５ｍｍのギャップができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９４】
本発明の例としての発明１〜２５を展開してなされた第２６の発明（以下、発明２６ともいう）は、発明１〜２５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の隣り合った２つの前記光学部品保持部の間隔が０．６ｍｍ以上であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９５】
本発明の例としての発明２３〜２６を展開してなされた第２７の発明（以下、発明２８ともいう）は、発明２３〜２６のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の表側内側周縁部に、前記表側内側周縁部の半分以上の周部分に当該光学部品保持部品の前記裏側内側周縁部に達する貫通孔が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９６】
本発明の例としての発明１〜２７を展開してなされた第２８の発明（以下、発明２８ともいう）は、発明１〜２７のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の前記光学部品保持部の上方から見た輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９７】
本発明の例としての発明２８を展開してなされた第２９の発明（以下、発明２９ともいう）は、発明２８に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の四角形の一隅に切欠部が形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９８】
本発明の例としての発明１〜２９を展開してなされた第３０の発明（以下、発明３０ともいう）は、発明１〜２９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部が縦横にマトリクス状に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【００９９】
本発明の例としての発明１〜３０を展開してなされた第３１の発明（以下、発明３１ともいう）は、発明１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が四角形であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１００】
本発明の例としての発明３１を展開してなされた第３２の発明（以下、発明３２ともいう）は、発明３１に記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長方形であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０１】
本発明の例としての発明１〜３０を展開してなされた第３３の発明（以下、発明３３ともいう）は、発明１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が円形であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０２】
本発明の例としての発明１〜３０を展開してなされた第３４の発明（以下、発明３４ともいう）は、発明１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が楕円形あるいは長円形であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０３】
本発明の例としての発明１〜３０を展開してなされた第３５の発明（以下、発明３５ともいう）は、発明１〜３０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部における前記光学部品載置部の上方から見た前記光学部品保持部の輪郭形状が長穴形状すなわち細長い穴の形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０４】
本発明の例としての発明１〜３５を展開してなされた第３６の発明（以下、発明３６ともいう）は、発明１〜３５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記光学部品保持部が、光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変えることができる光学部品保持部（以下、可変光学部品保持部ともいう）として形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０５】
本発明の例としての発明３６を展開してなされた第３７の発明（以下、発明３７ともいう）は、発明３６に記載の光学部品保持部品において、前記可変光学部品保持部の少なくとも一方向の寸法を変える手段が着脱可能な仕切部（以下、可変仕切部ともいう）による手段であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０６】
本発明の例としての発明３６または３７を展開してなされた第３８の発明（以下、発明３８ともいう）は、発明３６または３７に記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、固定されている仕切部（以下、固定仕切部ともいう）によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０７】
本発明の例としての発明３６〜３８を展開してなされた第３９の発明（以下、発明３９ともいう）は、発明３６〜３８のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部の上方から見た前記光学部品保持部品は、その一方の方向（以下、縦方向ともいう）に、前記可変光学部品保持部が、可変仕切部によって仕切られて、複数列配置されており、前記可変光学部品保持部は、前記光学部品保持部品の縦方向におおむね直交する方向（以下、横方向ともいう）に前記可変仕切部を移動して配置することができるとともに、縦方向にも前記可変仕切部を移動して配置することができる構造になっていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０８】
本発明の例としての発明３７〜３９を展開してなされた第４０の発明（以下、発明４０ともいう）は、発明３７〜３９のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部を前記固定仕切部または当該可変仕切部とは異なる可変仕切部に装着することができる取付部（以下、可変仕切部取付部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１０９】
本発明の例としての発明３６〜４０を展開してなされた第４１の発明（以下、発明４１ともいう）は、発明３６〜４０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部には、少なくとも２つの前記貫通孔が、前記可変仕切部に平行な方向に、当該光学部品載置部の一端から他端に至る開口部を有するように形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１０】
本発明の例としての発明３６〜４１を展開してなされた第４２の発明（以下、発明４２ともいう）は、発明３６〜４１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、少なくとも１つの前記可変光学部品保持部は、横方向の両端部に固定仕切部を有し、前記両固定仕切部の間には可変仕切部を着脱可能に取付けることができる取付部が複数設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１１】
本発明の例としての発明３６〜４２を展開してなされた第４３の発明（以下、発明４３ともいう）は、発明３６〜４２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品の縦方向に前記可変光学部品保持部が複数列配置されており、各列の横方向には少なくとも１つの前記可変光学部品保持部が配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１２】
本発明の例としての発明４２または４３を展開してなされた第４４の発明（以下、発明４４ともいう）は、発明４２または４３に記載の光学部品保持部品において、前記複数列の可変光学部品保持部を仕切っている固定仕切部または可変仕切部には、前記複数列の可変光学部品保持部にまたがって各可変光学部品保持部を仕切ることができる前記可変仕切部を装着することができる前記可変仕切部取付部が複数箇所に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１３】
本発明の例としての発明４４を展開してなされた第４５の発明（以下、発明４５ともいう）は、発明４４に記載の光学部品保持部品において、前記固定仕切部または可変仕切部には前記可変仕切部取付部が等間隔に配置されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１４】
本発明の例としての発明４０〜４５を展開してなされた第４６の発明（以下、発明４６ともいう）は、発明４０〜４５のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部に装着する部分には、前記可変仕切部取付部に挿入することが出来る凸部（以下、係合凸部ともいう）が設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１５】
本発明の例としての発明４６を展開してなされた第４７の発明（以下、発明４７ともいう）は、発明４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が細長い曲面であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１６】
本発明の例としての発明４６または４７を展開してなされた第４８の発明（以下、発明４８ともいう）は、発明４６または４７に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が円筒の側面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１７】
本発明の例としての発明４６を展開してなされた第４９の発明（以下、発明４９ともいう）は、発明４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が球面の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１８】
本発明の例としての発明４６を展開してなされた第５０の発明（以下、発明５０ともいう）は、発明４６に記載の光学部品保持部品において、前記係合凸部の外形が三角柱の一部であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１１９】
本発明の例としての発明４６〜５０を展開してなされた第５１の発明（以下、発明５１ともいう）は、発明４６〜５０のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記可変仕切部取付部が、前記可変仕切部の、それを装着することができる全ての各固定仕切部または可変仕切部に交差する位置に設けられていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１２０】
本発明の例としての発明４６〜５１を展開してなされた第５２の発明（以下、発明５２ともいう）は、発明４６〜５１のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記係合凸部を含めた厚み寸法が、前記係合凸部が装着される前記可変仕切部取付部の寸法よりも０．０１〜０．１ｍｍ大きいことを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１２１】
本発明の例としての発明３７〜５２を展開してなされた第５３の発明（以下、発明５３ともいう）は、発明３７〜５２のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記可変仕切部の前記光学部品保持部の底部に当接する部分の形状が、光学部品保持部の底部の形状と同じ形状であることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１２２】
本発明の例としての発明１〜５３を展開してなされた第５４の発明（以下、発明５４ともいう）は、発明１〜５３のいずれかに記載の光学部品保持部品において、前記光学部品保持部品が樹脂の一体成形技術によって形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１２３】
前記の課題を解決せんとしてなされた本発明の例としての第５５の発明（以下、発明５５ともいう）は、光学部品の洗浄と洗浄した光学部品のスピン乾燥の少なくとも一方に使用することができる光学部品保持部品であって、前記光学部品保持部品は被洗浄物あるいは被乾燥物としての光学部品を載置して保持することができる光学部品保持部を複数有しており、複数の前記光学部品保持部は、そこに保持される光学部品を載置することができる光学部品載置部を有しているとともに、それぞれ隣にある他の光学部品保持部と互いに区別される仕切部を有しており、前記光学部品載置部には前記光学部品載置部の表側すなわち前記光学部品を載置する側から前記光学部品保持部の光学部品挿入側とは反対側（以下、光学部品保持部品の裏側ともいう）まで貫通して形成されている貫通孔が少なくとも２つ形成されており、前記貫通孔の少なくとも２つは、前記光学部品載置部において、各貫通孔の開口部の一部が前記光学部品載置部の対向する両端部のうちのいずれかの端部に０．５ｍｍ以内の誤差を許容してそれぞれ接して形成されていることを特徴とする光学部品保持部品である。
【０１２４】
以上、本発明の例を説明したが、本発明はこれらに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものであることは、以上の説明と以下の説明から明らかである。
【発明の効果】
【０１２５】
以上説明したような本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可欠とせずに、一度に大量に短時間で、高い品質で乾燥することができるようになった。
【０１２６】
本発明によって、シミや傷のない清浄な光学面を、バラツキの少ない、量産に適した製造方法で実現することができた。
【０１２７】
本発明は、本発明の光学部品保持部品を用いた洗浄・乾燥によって、その後につける蒸着膜の強度が向上し、従来のような蒸着膜の剥げ落ちも心配しなくて良くなり、また、被洗浄物が清浄に洗浄されることから、たとえば、ディジカメ（ディジタルカメラ）等に使用されるレンズのプレス加工工程において、その原料となるボール材を型成形する際にボール材の汚れによって型に生じていた型の傷の発生を防ぐことができ、ボールレンズをプレス加工する型の寿命が大幅に長くなるなどの多くの効果をもたらした。前記型は非常に高価なものであり、本発明は、レンズの品質向上のみならず製造コストの大幅低減をもたらした効果は大きい。
【０１２８】
前記のように、本発明の光学部品保持部品を用いた洗浄・乾燥によって、極めて高品質な清浄な光学面を高い歩留まりで得ることができるようになったため、従来は、検査において傷なのか汚れなのかを先ず綿棒などでこすって確認する必要があったのが、本発明の実施によって、汚れがなくなったので、傷であることの判定が容易になり、洗浄・乾燥後の光学面の検査時間を大幅に短縮することができた。
【０１２９】
本発明の光学部品保持部品は樹脂成形加工を用いることができ、適切な樹脂の選定により、高性能な光学部品保持部品を安価に得ることができる。
【０１３０】
また、本発明により、多種類の光学部品の洗浄・乾燥にも、従来のように多種類の光学部品保持部品を用意する必要がなくなった効果は大きい。
【０１３１】
以上のように、本発明は工業上多大な効果を発揮するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０１３２】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態の例について説明する。なお、説明に用いる各図は本発明の例を理解できる程度に各構成成分の寸法、形状、配置関係などを概略的に示してある。そして本発明の説明の都合上、部分的に拡大率を変えて図示する場合もあり、本発明の例の説明に用いる図は、必ずしも実施例などの実物や記述と相似形でない場合もある。また、各図において、同様な構成成分については同一の番号を付けて示し、重複する説明を省略することもある。
【０１３３】
図３４は、洗浄や乾燥工程において用いるクレードルについて説明する図である。図３４中の（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図で、点線８０１〜８０４でそれらの対応する位置関係を示してある。
【０１３４】
図３４で、符号８００はクレードル、８１１〜８１４はクレードルの側壁、８２０と８２１は側壁８１２と８１３の下部につけられているピン、８３０はクレードル８００をもつときに用いる取っ手部分、８５２〜８５５はそれぞれ側壁８１１〜８１４の内側の下方（すなわち、クレードルの底部）に設けられた支柱、８５１は洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置する載置部で支柱８５２〜８５４に固定されている。クレードル８００は、たとえばステンレス鋼製のものを用いることができる。
【０１３５】
図３４で、光学部品を保持した洗浄・乾燥用の光学部品保持部品をクレードル８００に入れて洗浄した光学部品のスピン乾燥を行う場合、洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を載置部８５１の上に載置して、クレードルをスピン乾燥装置に装着する。載置部８５１は、これに限定されないが、クレードルの下方、たとえばピン８２０，８２１の位置よりわずかに上に形成しておき、平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品を用いる場合は、スピン乾燥装置の回転体に装着した状態のクレードルの底面と載置部８５１と平行平板の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の表面と裏面がすべて平行になるように形成しておくと取扱上好都合である。
【０１３６】
図１〜図６は本発明の光学部品保持部品の実施の形態例を説明する図である。図１は光学部品保持部品２００を光学部品を光学部品保持部に挿入する側すなわち表側から見た平面図、図２は光学部品保持部品２００を光学部品を光学部品保持部に挿入する側とは反対側すなわち裏側から見た平面図で、図１のＢ１−Ｂ２を軸に左右回転させた状態の平面図である。図３は光学部品保持部品２００の図１のＢ７−Ｂ８の位置における断面図である。図４は図１の光学部品保持部品２００に形成された光学部品保持部２０２を光学部品保持部品２００の表側から見た平面図、図５は図１の光学部品保持部品２００の係合穴２０４近傍の断面図、図６は図１の光学部品保持部品２００の係合突起部２０５近傍の断面図である。
【０１３７】
図１〜図６で、符号２００，２００ａ，２００ｂは本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品、２０１は基板、２０１ａは基板２００の表側すなわち光学部品保持部が形成されている側、２０１ｂは基板２００の裏側すなわち光学部品保持部が形成されている側とは反対側、２０２は基板２０１の表側２０１ａに凹部として形成されている光学部品保持部、２０３は光学部品保持部を結んで形成されている溝、２０４は基板２０１の表側のコーナー部に形成されている穴、２０５は基板２０１の表側のコーナー部に形成されている係合突起部、２０６はスペーサー突起、２０８と２０９は穴、２１２は光学部品載置部、２１３は光学部品保持部２０２の形成されている裏側部分、２１４ａ〜２１４ｄは光学部品載置部の島部（以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部２１４ともいう）、２１５ａ〜２１５ｅは光学部品載置部の貫通孔（以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔２１５ともいう）である。
【０１３８】
図１のように、本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品２００は、平板状の基板２０１の表面２０１ａに凹部として光学部品保持部２０２を縦横１０行１０列のマトリクス状に形成し、縦方向の各列に形成された各光学部品保持部２０２の間には溝２０３が形成されている。
【０１３９】
基板２０１の裏側２０１ｂには、基板表側の各光学部品保持部２０２が形成されている部分に、各光学部品保持部の位置する部分に光学部品保持部２０２の形成されている裏側部分２１３が形成されている。光学部品保持部２０２の形成されている裏側部分２１３は、同一形状・寸法の光学部品保持部品２００を２枚、一方の光学部品保持部品２００の裏側を他方の光学部品保持部品２００の表側に重ねたときに、各光学部品保持部２０２の形成されている裏側部分２１３全体がそれぞれ各光学部品保持部２０２の位置に対応して形成されている。この構造は、スピン乾燥の水切れをよくするのみならず、光学部品がスピン乾燥時に飛び出すのを抑制する効果をもたらす。
【０１４０】
裏側２０１ｂの四隅に、穴２０８と穴２０９が対角線状に形成されており、同一形状・寸法の光学部品保持部品２００を２枚、一方の光学部品保持部品２００の裏側を他方の光学部品保持部品２００の表側に重ねたときに、係合突起２０５が穴２０８に入って２枚の光学部品保持部品２００が少し持ち上げられない限り、簡単にはずれないようになっている。このとき、スペーサ突起と基板の表面によって、重ねられた２枚の光学部品保持部品の表面間（すなわち、一方の光学部品保持部品の裏面と他方の光学部品保持部品の表面の間）に所定の間隔が保たれるようになっている。本実施の形態例においては、この所定の間隔を０．１〜０．５ｍｍになっている。
【０１４１】
１つの光学部品保持部２０２を図１の表面２０１ａの真上から見ると、光学部品載置部には、図４のように、貫通孔２１５と島部２１４が交互に形成されている。光学部品載置部２１２は、図４のＢ９とＢ１０を結んだ直線に関したおおむね対称形になっている。ように、貫通孔２１５と島部２１４が交互に形成されている。
【０１４２】
光学部品保持部の外周形状すなわちその輪郭は、図１〜図６の例では、図１や図４のような平面図において円形の例について示しているが、この輪郭形状はこれに限られず、後述の例の四角形のものや、図示しないが、楕円形や長円形のような細長形状のものを用いることができる。したがって、以下の説明においては、円形の輪郭の外周形状の光学部品保持部を例に取りながら、前記他の形状にも当てはめることができる特徴等の説明を行う場合もある。これらの非厳密性は、本発明の技術思想からその適用性を容易に判断できるものである。
【０１４３】
光学部品載置部２１２には、図４のように、開口部が細長い形状の６個の貫通孔２１５ａ〜２１５ｅが形成されており、各貫通孔は、光学部品載置部の表面から基板裏側２０１ｂまで一様な形状・寸法の貫通孔になっている。この貫通孔の開口部が細長形状になっていることにより、乾燥時の洗浄液を除去する際に、洗浄液の泡により貫通孔の液流が止まってしまうことを防いでいる。
【０１４４】
図４で、各貫通孔２１５ａ〜２１５ｅはその島部側の辺が互いに平行に形成されている。そして、貫通孔２１５ｂ、２１５ｃ、２１５ｄは、（厳密には、その長手方向の端部を除いていう形状の場合もある）その中心線が互いに平行に（従って、各貫通孔が互いに平行に）形成されているとともに、光学部品載置部２１２の外周部２１２ｂの互いに対向している一端から他端まで連続して形成されている。貫通孔２１５ｃが光学部品載置部２１２の中心を通るように形成されている。光学部品載置部２１２の両端部に形成されている細長い貫通孔２１５ａと貫通孔２１５ｅは、その細長い辺の一つ（それぞれ符号２１５ａ１と２１５ｅ１で示した辺）が、光学部品載置部２１２の外周部２１２ｂの、貫通孔２１５ｂ、２１２ｃ、２１５ｄについて説明した互いに対向している端部とは別の、互いに対向している端部２１２ｃと端部２１２ｄのいずれかの端部に、それぞれ０．５ｍｍ以内の誤差を許容して、接して形成されている。これらの構造は、スピン乾燥時の洗剤残液の水切れを促進する効果を有する。貫通孔の開口部の一辺と光学部品載置部２１２の端部（外周部２１２ｂ）の一部が０．５ｍｍ以内の誤差を許容して接して形成されていることは、樹脂を用いた成形技術で製造する場合、特別に製造コストの上昇を招かずにこの範囲の誤差で成形することが可能であることと、水切れ効果をあまり妨げずに済むことが、本発明の発明者等の検討によって確認されたことによる。
【０１４５】
前記細長い貫通孔の細長い辺の一つの、光学部品載置部２１２の端部に接している長さは、全長が接している状態が最も水切れ効果が特に顕著であるが、細長い辺の半分以上が接している場合にも比較的大きな効果がある。複数の貫通孔の開口部が、前記のように光学部品載置部２１２の端部に接して形成されていることが、水切れ効果を高める見地からも重要なことである。
【０１４６】
光学部品保持部２１２の外周部２１２ｂは、そこに入れて洗浄や乾燥を行う光学部品の載置部に載置される部分の最大寸法よりも、１０％以上大きく形成しておくと、洗浄・乾燥時に光学部品が適宜動いて、たとえばスピン乾燥時に貫通孔の開口部を塞がないようになり水切れ効果を妨げないように作用するなど、適切な状態で洗浄や乾燥が行われ、洗浄・乾燥効果を一層高めることができる。
【０１４７】
光学部品保持部２０２の側壁は、光学部品を挿入する開口部から光学部品載置部２１２との境界である光学部品載置部の外周部２１２ｂまで同じ直径の一様な円筒面の形状に形成されている。この構造は、光学部品を挿入しやすいこと、洗浄・乾燥中に光学部品保持部上で光学部品が動いた時の損傷の危険性を低減すること、対象光学部品の制約を少なくすることなど多くの効果をもたらす。
【０１４８】
光学部品保持部２０２の側壁の開口部すなわち光学部品保持部２０２の入口部分は、テーパ面やいわゆるＲ面のような曲面に形成しておくことにより、洗浄・乾燥対象の光学部品の出し入れがし易く、また、光学部品保持部品２００を重ねて使用するときに、光学部品の損傷リスクを効果的に低減することができ、本実施の形態例において適用したところ、良好な結果を得た。
【０１４９】
光学部品載置部２１２の各２つの貫通孔の間には、光学部品載置部２１２の肉部である前記島部２１４が形成されている。すなわち、貫通孔２１５ａと貫通孔２１５ｂの間には島部２１４ａがあり、貫通孔２１５ｂと貫通孔２１５ｃの間には島部２１４ｂがあり、貫通孔２１５ｃと貫通孔２１５ｄの間には島部２１４ｃがあり、貫通孔２１５ｄと貫通孔２１５ｅの間には島部２１４ｄがある。互いに平行に形成されている島部の適切な幅は、０．６〜２ｍｍである。樹脂を用いた一体成形加工の観点からと洗浄・乾燥効果の観点から、この範囲の幅寸法が特に好ましい。０．６ｍｍ以下の幅にすると、前記樹脂加工の時に樹脂が流れにくいという問題がある。洗浄・乾燥効果の観点からは、水切れの良い２ｍｍ以下の幅にすることが好ましい。
【０１５０】
光学部品載置部の貫通孔の側面の形状、すなわちその両側の島部の貫通孔を形成している部分の形状は、光学部品載置部の表面から光学部品保持部品の裏面方向に、おおむね５°以内の傾きあるいは変化を許容して、平行に形成されている。すなわち、各貫通孔２１５は互いに平行に形成されており、その断面形状も一様に形成されている。この貫通孔の構造は、洗浄液の効果的な除去に大きな効果がある。
【０１５１】
また、複数の光学部品保持部品２００を前記のように重ねて使用する場合、被洗浄・乾燥物に傷を付けないという観点から、基板裏面においてもその島部の周縁部が、面取りされている形状などが好ましい。
【０１５２】
光学部品保持部品２００を形成している基板２０１は、基板表面と裏面の光学部品保持部２０２が形成されている部分の細部構造（凹凸構造）を除いて、平行平板である。この形状は、複数の光学部品保持部品を重ねて使用するときに、条件を設定しやすく、洗浄・乾燥品質を高めることができ、量産において大きな効果を発揮するものである。
【０１５３】
図３は図１の基板の表側２０１ａに形成されている溝の部分の断面図で、溝２０３は、光学部品保持部２０２の光学部品載置部の端部よりも０．５ｍｍ以上浅い溝として設けられており、光学部品のタイプによっては、この溝を利用して、たとえばピンセットで光学部品を出し入れすることができる。溝の深さを、光学部品載置部の端部の位置で、光学部品載置部の端部からの浅さを０．５ｍｍ未満にすると、光学部品の着脱作業性が低下する。
【０１５４】
溝２０３は、図１の例では、隣り合った光学部品保持部２０２の間にそれらの連結溝として、基板の表側２０１ａに縦方向に互いに平行に形成されており、光学部品の出し入れをし易くしている。
【０１５５】
図５と図６は、図１の基板２０１のコーナー部の穴と突起部の周辺を拡大したもので、穴２０４，穴２０９は、基板２０１を後述のように重ねて用いたときに、基板の表側に形成した突起部２０５をはめ込むことができるように、その形状と寸法が形成されている。
【０１５６】
スペーサ突起２０６は、２つの光学部品保持部品２００を重ねて用いたときに、両者間の隙間を所定の間隔にする作用をする。
【０１５７】
図７〜図１０は、本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品２００を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図で、図７と図９の各単独の光学部品保持部品２００ａ，２００ｂについては図３に対応しており、図８と図１０は前記突起部と穴の係合について説明する図である。
【０１５８】
図７〜図１０で、符号２００ａ，２００ｂ，２２０は本発明の光学部品保持部品、２１６，２１７は拡大部分を示す符号である。
【０１５９】
図７と図８は、２つの光学部品保持部品２００ａ，２００ｂを、一方の光学部品保持部品２００ｂを下側に、他方の光学部品保持部品２００ａを上側に、それぞれの基板の表側を向き合わせる状態で重ね合わせて光学部品保持部品２２０にした例である。
【０１６０】
図７は溝２０３が同じ方向（紙面に垂直方向）に平行に配置され、向き合っている状態を示している。
【０１６１】
また、図７の場合、図示していないが、それぞれの光学部品保持部２０２がその開口部を向き合わせて重なる位置にあり、光学部品保持部品２００ｂの光学部品保持部２０２に光学部品を載置し、光学部品保持部品２００ａの光学部品保持部２０２が蓋となっている。このような構成の光学部品保持部品２２０は、一つの光学部品保持部２０２の深さを多少超える高さを有する光学部品の洗浄や乾燥にも用いることができ、向き合わせた２つの光学部品保持部２０２の中で、光学部品が洗浄や乾燥過程において適当に動くことができ、良好な洗浄や乾燥を行うことができる。
【０１６２】
図８は、図７の円１１６で囲んだ部分を拡大して示した図で、図８のように、光学部品保持部品２００ａの係合用の突起２０５が光学部品保持部品２００ｂの係合用の穴２０４に挿入されて光学部品保持部品２００ａと光学部品保持部品２００ｂが、適当なギャップを有して結合されている。このギャップは、スペーサ突起２０６によって適切な間隔に維持されている。
【０１６３】
図９と図１０は、２つの光学部品保持部品２００ａ，２００ｂを、一方の光学部品保持部品２００ａの下側に他方の光学部品保持部品２００ｂを、光学部品保持部品２００ａの基板の裏側２０１ｂ１の下に光学部品保持部品２００ｂの基板の表側２０１ａ２が位置する状態で重ね合わせて用いた例である。
【０１６４】
図９は溝２０３が同じ方向（紙面に垂直方向）に配置されている状態を示している。
【０１６５】
図１０は、図９の円１１７で囲んだ部分を拡大して示した図で、図８のように、光学部品保持部品２００ｂの表面の係合用の突起が光学部品保持部品２００ａの裏面の係合用の穴に挿入されて光学部品保持部品２００ａと光学部品保持部品２００ｂが、適当なギャップを有して結合されている。このギャップは、スペーサ突起２０６によって適切な間隔に維持されている。
【０１６６】
前記光学部品保持部品の重ね方で、３枚以上の光学部品保持部品を重ねて、たとえば、スピン乾燥に用いることもできる。
【０１６７】
以上説明した光学部品保持部品を複数枚重ねる用い方における前記２つの基板の間のギャップ（間隔）の好適な例として、０．１〜０．５ｍｍにしたときに、極めて良好な光学部品の洗浄・乾燥を行うことができた。前記２つの基板の間のギャップを０．１ｍｍ以上にすると本発明者等のスピン乾燥における水切れ効果が大きく好ましいが、前記ギャップを０．５ｍｍよりも大きくすると、ワークの形状・寸法によっては、ギャップからワークが飛び出してしまう恐れがあり、０．１〜０．５ｍｍは特に好ましいギャップである。
【０１６８】
また、本発明の前記各種の光学部品保持部品は、光学部品の洗浄や乾燥のみならず、洗浄・乾燥後に清浄な環境で清浄に、たとえば透明な薄いプラスチック材料などで梱包して、適当な緩衝の梱包をして、納入先などに発送することもでき、その用途は極めて広いものである。
【０１６９】
以上説明した本発明の実施の形態例における大きな特徴の一つは、光学部品載置部における主たる貫通孔が平行に形成されていることである。
【０１７０】
つぎに、主たる貫通孔が平行に形成されている他の形態例について説明する。
【０１７１】
図１１〜図１４は、本発明の実施の形態例としての、可変仕切部を用いた可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品２５０を説明する図で、図１１は光学部品保持部品全体の平面図、図１２は可変仕切部の係合凸部を説明する側面図で可変仕切部の長手方向端部から見た図、図１３は光学部品保持部品の部分拡大図で可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けた状態の平面図、図１４は光学部品保持部品の部分拡大図で可変仕切部取付部２６０に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図である。
【０１７２】
図１１〜図１４で、符号２５０は光学部品保持部品、２５１は基板、２５１ａは基板２５１の表側、２５２，２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃは可変光学部品保持部、２５４ａ〜２５４ｄは光学部品載置部の島部（以下、島部それぞれをあるいはそれらを総称して島部２５４ともいう）、２５４ｅは可変仕切部取付位置に形成されている島部、２５５ａ〜２５５ｅは光学部品載置部の貫通孔（以下、貫通孔それぞれをあるいはそれらを総称して貫通孔２５５ともいう）、２５６は可変仕切部、２５６ａは可変仕切部を構成する仕切板、２５６ｂは基板２５１に設けられた可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付ける係合突部で仕切板の側面に設けられた球状の突起、２５６ｃは可変仕切部を構成する仕切板の上面、２５６ｄは可変仕切部を構成する仕切板の下面、２６０は可変仕切部取付部、２６１は基板の表側２５１ａの対角位置のコーナーに設けられた係合突起部、２６２は基板の表側２５１ａの係合突起部２６１が設けられているコーナーとは別の対角位置のコーナーに設けられた穴、２６３はスペーサー突起である。
【０１７３】
光学部品保持部品２５０は、図１１のように、可変光学部品保持部２５２が基板２５１の表側２５１ａに凹部として７列、基板２５１の表側２５１ａの縦方向に形成されている。各列の可変光学部品保持部２５２は、図のように、横方向の６カ所に各一対の可変仕切部取付部２６０を有しており、必要な位置の可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けて、必要な大きさの光学部品保持部を形成することができるようになっている。
【０１７４】
可変光学部品保持部２５２の横方向の端部とその直近の可変仕切部取付部２６０の間で形成される光学部品保持部あるいは隣り合った２つの可変仕切部取付部２６０の間で形成される光学部品保持部がこの例の場合の最小の大きさの光学部品保持部となり、この最小の大きさの光学部品保持部を、この例の場合、単位光学部品保持部と称することにする。
【０１７５】
図１１の例では、各列の可変光学部品保持部２５２で、図の右側から２番目と３番目の可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けて、各列の可変光学部品保持部２５２を、２つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部２５２ａ、１つの単位光学部品保持部から成る可変光学部品保持部２５２ｂ、４つの単位光学部品保持部を横方向に連結した状態の可変光学部品保持部２５２ｃの３種類の光学部品保持部に分割している。
【０１７６】
各列の可変光学部品保持部２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃにはそれぞれの寸法に適した光学部品を挿入して、超音波洗浄とスピン乾燥を行うことができる。
【０１７７】
図１１に示した可変仕切部２５６は、７列の可変光学部品保持部２５２すべてを一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成されているが、本発明は、もちろんこれに狭く限定されるものではなく、たとえば、１列の可変光学部品保持部２５２だけを仕切ることができる長さの可変仕切部として形成しても良い。このようにすることで、横方向寸法が単位光学部品保持部の任意の整数倍の光学部品保持部を、各列に任意に形成することができる。また、複数列の可変光学部品保持部２５２を一つの可変仕切部で仕切ることができるように形成した可変仕切部を形成しておき、これを用いて、あるいは複数種類の可変仕切部を適宜組み合わせて用いて、前記と同様にして必要な寸法の光学部品保持部を形成することができる。このような可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品は、多種少量品種の光学部品の効率の良い洗浄・乾燥を行うことができ、また、同じ光学部品保持部品を同一種類の多数の光学部品の量産における洗浄・乾燥に用いることもできる。
【０１７８】
図１１で、図の上下方向すなわち７列の各可変光学部品保持部２５２が形成されている方を各可変光学部品保持部の縦方向、図の左右方向すなわち各可変光学部品保持部において可変仕切部を移動させることができる方向を各可変光学部品保持部の縦方向ということにして、各光学部品載置部には、可変光学部品保持部の縦方向に平行な開口部を有する複数の貫通孔とその間に島部が形成されている。前記島部は、各単位光学部品保持部の光学部品載置部を形成している島部２５４ａ〜２５４ｄと、各単位光学部品保持部の間の可変仕切部を装着したときにその下に位置する島部２５４ｅの２種類があり、各島部２５４ａ〜２５４ｄならびに２５４ｅはそれぞれ互いに平行に形成されている。島部２５４ｅは、各単位光学部品保持部の間に可変仕切部を装着したときに、たとえば、２枚の同一形状・寸法の光学部品保持部品を前記の例のように重ねて使用した場合に、島部２５４ｅの基板裏側の部分が可変仕切部の表面２５６ｃとぶつからないように形成されている。
【０１７９】
各島部２５４ａ〜２５４ｄの適切な寸法や作用効果に関しては、前記他の例において記したことが当てはまる。
【０１８０】
光学部品載置部の貫通孔２５５ａ〜２５５ｅは、長方形の開口部を有する細長い形状の開口部の貫通孔である。
【０１８１】
光学部品載置部の貫通孔２５５ａ〜２５５ｅは、図示のように四角形の光学部品保持部の光学部品載置部の、互いに対向する周縁部（たとえば、図１１に符号２５２ｆと２５２ｇで示した辺）の間に、一方の周縁部（端部）から他方の周縁部に至るまで連続した開口部を有して形成されている。貫通孔２５５ａと貫通孔２５５ｅは、符号２５２ｆと２５２ｇで示した光学部品載置部の前記互いに対向する周縁部とは別の互いに対向する周縁部（たとえば、可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けたときに、その可変仕切部２５６に平行な周縁部）に、その細長い形状の開口部の細長い方の１辺が接するように形成されている。この場合、実際には貫通孔２５５ａの一部は可変仕切部の下に入り込むように形成されることもあるが、本発明では、本発明の技術思想からも明らかなように、その場合の貫通孔２５５ａは、上方から見て可変仕切部に接するところまでを貫通孔２５５ａと定義することにし、貫通孔の可変仕切部の下に入り込む部分は、貫通孔２５５ａと一体化された別の貫通孔と定義することにする。
【０１８２】
光学部品載置部の貫通孔の適切な形状寸法とその作用効果に関しては、前記他の例で説明したことが当てはまる。
【０１８３】
光学部品載置部の貫通孔のこれらの特徴は、洗浄・乾燥効果に極めて良好な結果をもたらすものである。
【０１８４】
つぎに、可変仕切部２５６について説明する。可変仕切部は可変仕切板というのが適切な場合もあるが、前記説明も含めて、可変仕切部を構成する仕切板の場合も可変仕切部と称して説明することもある。
【０１８５】
可変仕切部２５６は、図１２のように、平板状の仕切り板２５６ａの取付部の位置に半球状の係合凸部２５６ｂを設けた板で構成されている。その下面２５６ｄは光学部品載置部の形状と同じ形状に形成されている。そして、可変仕切部２５６を可変仕切部取付部２６０に取り付けたときに、可変仕切部２５６の下面２５６ｄの下に大きな隙間ができて、そこから被洗浄・乾燥物である光学部品が向け出さないように、各寸法が決められている。
【０１８６】
図１２に示した可変仕切部２５６の下面２５６ｄの、半球状の係合凸部２５６ｂの位置の下の形状は、可変仕切部取付部２６０の形状に合わせて平坦に形成されている。
【０１８７】
可変仕切部２５６の係合凸部２５６ｂは、平板状の仕切り板２５６ａの両側面に等間隔に形成されており、図１２の両側の係合凸部２５６ｂの頂点間の寸法は、それを取り付ける可変仕切部取付部２６０の幅よりもわずかに大きく形成されている。
【０１８８】
前記両側の係合凸部２５６ｂの頂点間の寸法の特に好適な寸法は、それを取り付ける可変仕切部取付部２６０の幅よりも０．０１〜０．１ｍｍ大きい寸法である。このように形成すれば、可変仕切部２５６のように複数対の係合凸部を有する可変仕切部でも、その着脱餓死安く、信頼性が高い。
【０１８９】
図１３は可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けた状態の光学部品保持部品の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されており、可変仕切部が各貫通孔と各島部に平行に形成されている。可変仕切部２５６と可変仕切部取付部２６０の表面ならびに基板２５１の可変仕切部２５６に面する面が同じ形状になっている。
【０１９０】
図１４は可変仕切部取付部２６０に可変仕切部２５６を取り付けていない状態の光学部品保持部品の部分拡大図で、各貫通孔と各島部が交互に互いに平行に形成されている。
【０１９１】
基板の表側２５１ａの係合突起部２６１と穴２６２は、前記他の例と同様の使い方をすることができ、スペーサー突起２６３についても同様である。
【０１９２】
また、本発明の光学部品保持部品を複数重ねて用いるときの各光学部品保持部品の間に形成させるギャップの作り方は、前記のスペーサ突起によることに狭く限定されず、たとえば、係合突起部２６１の外周部の構造を直径の異なる２段構造にし、長い方の直径の小さい方が穴２６２に係合する係合突起、その根本に所定の高さで形成されている直径の大きい方が穴２６２に入らずに各光学部品保持部品間のギャップを決めるなど、種々の方法を用いることができる。
【０１９３】
図１５は、可変仕切部の係合凸部の他の例を説明する図で、可変仕切部の仕切板を装着する光学部品保持部品の基板表面の上方から見た平面図である。
【０１９４】
図１５で、符号２６６は可変仕切部、２６７は平板状の仕切り板、２６８と２６９は可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付ける係合凸部である。係合凸部２６８と２６９は円筒の上と下に半球を取り付けた状態のものを両半球を上下にして縦方向に２分割した形状をして、仕切り板２６７の両端部近傍とその間に等間隔に合計１１対形成されている。この図から容易に判断できることであるが、この可変仕切部２６６は、光学部品保持部品の基板表面の縦方向に１０列の可変光学部品保持部を有する光学部品保持部品用のものである。
【０１９５】
可変仕切部の係合凸部の形状は、取り付けやすく、不用意に外れにくいことが肝要であり、前記球状や円筒状や長円を回転したような形状は条件に好適なものである。
【０１９６】
図１１〜図１４を用いて説明した光学部品保持部品を用いて、図１６〜図２０に示すような各種の形状の光学部品を一度に多数個の超音波洗浄とスピン乾燥を行ったところ、従来のように手拭き作業に頼ることなく、量産レベルでの、シミのない、極めて良好な洗浄・乾燥結果を得た。このような光学部品の洗浄・乾燥は、従来は手拭き作業に頼らざるを得なかったもので、光学部品が小型の場合は特に難航していたものである。
【０１９７】
図１６〜図２０は本発明の光学部品保持部品を用いて超音波洗浄やスピン乾燥を行うことができる光学部品の形状の例を示す図で、符号２６５ａ〜２６５ｅは光学部品である。
【０１９８】
本発明の光学部品保持部品は、前記の特徴から、洗浄・乾燥後にたとえばそのまま防塵性の梱包を行って、適当な防振材でくるむなどして、送ったり持ち運びしたりすることができる。
【０１９９】
本発明の技術思想の大きな特徴の一つは、光学部品保持部品の光学部品載置部に細長い開口部の貫通孔を３個以上設け、２個の貫通孔は光学部品載置部の互いに対向する端部に接して設け、被洗浄・乾燥物としての光学部品を保持するのに、光学部品を適当な範囲で可動に光学部品載置部に載置し、超音波洗浄・スピン乾燥を行うところにある。そして、それに種々のさらなる改善を加えて、前記のような大きな効果をもたらしたところにある。
【０２００】
以上、図面を参照しながら本発明の実施の形態例を説明したが、本発明はこれに狭く限定されるものではなく、多くのバリエーションを可能とするものである。
【産業上の利用可能性】
【０２０１】
以上説明したように、本発明により、従来は手拭き工程を使わなければ到底乾燥することができなかった洗浄後の小型の光学部品のスピン乾燥を、手拭き工程を不可避とせずに、一度に大量に短時間で高い品質で乾燥することができるようになった。そして、本発明は、光学部品の洗浄と乾燥を、洗浄と乾燥で同一の治具で保持し、一環工程として行うことを可能にした。
【０２０２】
以上のように、本発明は光通信分野に限らず、カメラ業界、携帯電話業界、眼鏡業界など工業上広い範囲で多大な効果を発揮するものである。
【図面の簡単な説明】
【０２０３】
【図１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の表側の平面図である。
【図２】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の裏側の平面図である。
【図３】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の断面図である。
【図４】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の光学部品保持部の平面図である。
【図５】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の係合穴近傍の断面図である。
【図６】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の係合突起部近傍の断面図である。
【図７】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。
【図８】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。
【図９】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。
【図１０】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を複数個重ねて使用する場合について説明する断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する平面図である。
【図１２】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品を説明する図で、可変仕切部の係合凸部を説明する側面図である。
【図１３】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けた状態の平面図である。
【図１４】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の部分拡大図で、可変仕切部取付部に可変仕切部を取り付けていない状態の平面図である。
【図１５】本発明の実施の形態例としての光学部品保持部品の可変仕切部の平面図である。
【図１６】被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。
【図１７】被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。
【図１８】被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。
【図１９】被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。
【図２０】被洗浄・乾燥物としての光学部品の形状の例を示す斜視図である。
【図２１】従来のスピン乾燥装置の要部をモデル的に示した斜視図である。
【図２２】ワークの３点支持による保持方法について説明する図である。
【図２３】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品１本の斜視図である。
【図２４】図２３の光学部品支持部品を直線Ｙ１−Ｙ２の位置で切った断面から斜めに見た図である。
【図２５】図２３の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明するための図である。
【図２６】光学部品支持部品の例を説明するための図で、光学部品支持部品一本の斜視図である。
【図２７】図２６の光学部品支持部品３本でワークを保持している状態を説明する図である。
【図２８】ワークと支持部品の接触状態を説明するための図である。
【図２９】従来の洗浄・乾燥用の光学部品保持部品の斜視図である。
【図３０】従来のスピン乾燥装置を説明するための断面図である。
【図３１】従来のスピン乾燥方法を説明する模式的断面図である。
【図３２】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図３３】従来の光学部品の洗浄・乾燥方法における残留洗浄液の手拭き作業を説明する図である。
【図３４】クレードルについて説明する図である。図中、（Ａ）はクレードルを上方から見た図、（Ｂ）はクレードルを手前から見た図、（Ｃ）はクレードルを右側方から見た図である。
【符号の説明】
【０２０４】
２００，２００ａ，２００ｂ，２２０，２５０，１０１４，１０１５，１３５５：光学部品保持部品
１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品（光学部品支持棒）
２０１，２５１：基板
１３５６：光学部品挿入部
２１５，２１５ａ〜２１５ｅ，２５５，２５５ａ〜２５５ｅ，１３５６ｂ：貫通孔
２６５ａ〜２６５ｅ，４００，１０４７，１３３１：ワーク（光学部品）
１０４８：蓋
２０４，２０８，２０９，２６２，１０４８ａ：穴
１０４１〜１０４５：洗浄液
２０１ａ，２５１ａ：基板の表側
２０１ｂ，２５１ｂ：基板の裏側
２０２：光学部品保持部
２０３：光学部品保持部を結んで形成されている溝
２０５，２６１：基板の表側の係合突起部
２０６，２６３：スペーサー突起
２１２：光学部品載置部
２１２ｂ：光学部品載置部の外周部（周縁部）
２１２ｃ，２１２ｄ：光学部品載置部の外周部の互いに対向している端部
２１３：光学部品保持部の裏側部分
２１４，２１４ａ〜２１４ｄ，２５４，２５４ａ〜２５４ｄ：光学部品載置部の島部
２１５ａ１，２１５ｅ１：貫通孔の細長い辺の一つ
２５２，２５２ａ，２５２ｂ，２５２ｃ：可変光学部品保持部
２５４ｅ：可変仕切部取付部の底部に形成されている島部
２５６，２６６：可変仕切部
２５６ａ，２６７：可変仕切部を構成する仕切板
２５６ｂ，２６８，２６９：可変仕切部に設けられた係合凸部
２５６ｃ：可変仕切部を構成する仕切板の上面
２５６ｄ：可変仕切部を構成する仕切板の下面
２６０：可変仕切部取付部
５０１：綿棒
５０２，５０３：端部
５０４，１３１６，１０４６，１０４９：矢印
５１０：ハンドラップ
５１１：有機溶剤
５１２：皿部
５１３：ピンセット
５１４：管
８００，１０１６，１０１７：クレードル
８３０：取っ手部分
１０１０，１３０３：回転体
１０１１：回転軸
１０１２ａ，１０１２ｂ，１０１３ａ，１０１３ｂ：固定ネジ
１０２０：上部枠
１０１８，１０１９：連結ピン
１０１８ａ，１０１９ａ，１３１０〜１３１３：ホルダ
１０１８ｂ，１０１９ｂ：溝
１０２１〜１０２４，１３１５：支持棒
１３０１：スピン乾燥装置
１３７０：回転板
１３１０ｃ、１３１１ｃ、１３１２ｃ、１３１３ｃ：側壁
１３１０ａ，１３１０ｂ，１３１１ａ，１３１１ｂ，１３１２ａ，１３１２ｂ，１３１３ａ，１３１３ｂ：クレードル設置用溝
１３３２〜１３３４，１３４０，１３５０：光学部品支持部品
１３５６ａ：光学部品載置枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図１１】
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