(57)【要約】【課題】  インクジェット塗工装置を用いたカラーフィルタ、有機エレクトロルミネッセンス素子等の印刷物の製造方法において、スジ状の抜けやムラを発生しないインクジェット塗工装置の使用方法を提供することである。また、インクジェット塗工装置を用いて、カラーフィルタや有機ＥＬ素子等の印刷物を製造する方法において、スジ状の抜けやムラを発生しない方法を提供することを課題とする。【解決手段】インクジェット塗工装置のインクジェットヘッドユニットを構成する特定色のインクジェットヘッドユニットの第１方向における長さをｘ［ｍｍ］とし、主走査回数をｎ回とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］としたときに、下記式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。（ｙ／ｎ）＋５０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０【選択図】図１
2007263990.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程と、を含む工程を交互にｎ（ｎは２以上の自然数）回行って、前記基板のうち塗工領域を形成をし、
かつ前記インクジェットヘッドユニットを構成する特定色のインクジェットヘッドユニットの第１方向における長さをｘ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］としたときに、
下記式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（ｙ／ｎ）＋５０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
【請求項３】
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程と、を含む工程を交互にｎ（ｎは２以上の自然数）回行って、前記基板のうち塗工領域を形成をし、
かつ前記インクジェットヘッドユニットを構成する特定色のインクジェットヘッドユニットの第１の方向における長さをｘ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］としたときに、
下記式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（ｙ／ｎ）＋３０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
【請求項４】
前記特定色のインクジェットヘッドが赤色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
前記特定色のインクジェットヘッドが青色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項６】
前記特定色のインクジェットヘッドが緑色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット塗工装置を用いてインク皮膜を有する印刷物を製造する印刷物の製造方法に関する。特に印刷物及びインク皮膜として、カラーフィルタの着色層、有機エレクトロルミネッセンス素子（以下、有機ＥＬ素子ともいう。）、色変換フィルターの色変換層等の光学素子の他、回路基板の回路パターン、薄膜トランジスタの配線パターン、マイクロレンズのレンズパターン、バイオチップの流路パターン等を挙げることができる。
本発明は、高精細なパターンを吐出するための吐出パターン生成方法で、フィルムベースのカラーフィルタ製造、ガラスベースのカラーフィルタ製造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、カラーフィルタの製造方法としてはフォトリソグラフィー法、エッチング法等が知られている。フォトリソグラフィー法によるカラーフィルタの製造方法は、基板全体に各色の感光性樹脂層の塗布膜を形成し、パターン状に露光した後に塗布膜の不要な部分を取り除き、残ったパターンを各画素とする。この方法では塗布膜の多くが現像除去されるため、大量の材料が無駄になる。さらに、画素ごとに露光、現像工程を行うため、工程数が多くなる。このフォトリソグラフィー方式は、カラーフィルタに限らず、有機エレクトロルミネッセンス素子等、種々の光学素子や電気素子の製造に利用されている。
しかし、カラーフィルタの基板サイズは年々大型化が進んでいる。カラーフィルタのコストダウン化を図るためには、従来のフォトリソグラフィー工程を繰り返す顔料分散法等は無駄が多く、近年、インクジェットを用いた方法が検討されている。
【０００３】
インクジェット塗工装置は、複数のノズルが整列配置されたインクジェットヘッドを備えている。インクジェット塗工装置では、ノズルと基板置台とを、基板置台面上に沿って相対的に移動させ描画を行っている。基板の大型化に伴い歩留まりを考慮し、インクジェット塗工装置は、インクジェットヘッドは複数個整列で配置して備え、吐出液量が均一になるような吐出パターン情報を作成している。また、インクジェット塗工装置を用いてストライプ状に並んだ複数色のパターンを有する光学素子等を作成する方法として複数の方法が知られている。例えば、ストライプ状パターンの長手方向と特定色のインクジェットヘッドの向きを略直交させ、このストライプ状パターンの長手方向に沿ってインクジェットヘッドを主走査する第１の方法（特許文献１及び特許文献２）や、ストライプ状パターンの長手方向と特定色のインクジェットヘッドの向きを略平行とし、このストライプ状パターンの長手方向と直交する方向にインクジェットヘッドを走査する第２の方法（特許文献３）が知られている。
【０００４】
いずれの方法を用いた場合であっても、インクジェット塗工装置においては、印刷中にノズルの高い位置精度が要求される。また近年表示装置の高精細化が進行し、例えばフルスペックハイビジョン（横１９２０×縦１０８０）に対応する液晶表示装置用カラーフィルタにおいては、インクジェット塗工装置で製造する場合、従来よりも高度な画素密度を備えることが必要である。
しかし、前掲第１の方法では、画素密度の高い光学素子等を製造する場合にはインクジェットヘッドの配置が僅かでもずれると混色を発生する問題があり、精度よく画素密度の高い光学素子等を製造することができなかった。また、前掲第２の方法においては、相違する色の画素間で混色が発生した場合であっても、インクジェットヘッドに属するノズルの吐出タイミングを変えることにより不良を防止することができる。しかし、基材（以下、カラーフィルタにおいては基板ともいう。）の大型化に伴い、同一色のストライプ状のパターンの全長を、インクジェットヘッドユニットの１回の走査で形成することはできなくなった。このため、ストライプ状のパターンの走査ごとのつなぎ部では、先に吐出を行った部分が乾燥し、後から吐出を行った部分と接合が良好でなく、白抜けとなったり、色ムラが発生したりする問題があった。特に基板上に受像層を設けずにインクジェット塗工装置を用いてパターンを形成する場合においては、吐出されたインクは画素で吸収されず、乾燥によりインク皮膜の表面状態が変化しやすい。さらにＲＧＢの３色をそろえて並列に配置すると、３色同一箇所に同様のムラが発生し、スジ状のムラとなって見える問題があった。
【特許文献１】特開平８−２９２３１９号公報
【特許文献２】特開２００１−２２８３２０号公報
【特許文献３】特開２００３−１２７３４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は上記問題を解決するためになされるものであり、スジ状の抜けやムラを発生しないインクジェット塗工装置の使用方法を提供することである。また、インクジェット塗工装置を用いて、カラーフィルタや有機ＥＬ素子等の印刷物を製造する方法において、スジ状の抜けやムラを発生しない方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための本発明の構成を以下に示す。
（請求項１）
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程とを含むことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【０００７】
（請求項２）
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程と、を含む工程を交互にｎ（ｎは２以上の自然数）回行って、前記基板のうち塗工領域を形成をし、
かつ前記インクジェットヘッドユニットを構成する特定色のインクジェットヘッドユニットの第１方向における長さをｘ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］としたときに、
下記式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（ｙ／ｎ）＋５０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
【０００８】
（請求項３）
多数のノズルを第１の方向に配列してなるインクジェットヘッドを具備するインクジェットヘッドユニットを用いて、
このインクジェットヘッドユニットと基板とを前記第１の方向と略直交する第２の方向に相対的に主走査させながら、前記インクジェットヘッドから前記基板にインクを吐出して、前記第２の方向に隣り合う画素が互いに異なる色となるように着色することによりカラーフィルタを製造する方法であって、インクジェットヘッドはほぼ第１の方向に均一の間隔で配列されたノズルを備え、少なくとも、
（ａ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第２の方向に相対的に主走査させながらインクの吐出を行う工程と、
（ｂ）前記インクジェットヘッドユニットと前記基板とを第１の方向に相対的に所定の距離副走査させる工程と、を含む工程を交互にｎ（ｎは２以上の自然数）回行って、前記基板のうち塗工領域を形成をし、
かつ前記インクジェットヘッドユニットを構成する特定色のインクジェットヘッドユニットの第１の方向における長さをｘ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］としたときに、
下記式を満たすことを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
（ｙ／ｎ）＋３０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
【０００９】
（請求項４）
前記特定色のインクジェットヘッドが赤色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１０】
（請求項５）
前記特定色のインクジェットヘッドが青色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【００１１】
（請求項６）
前記特定色のインクジェットヘッドが緑色のインクを吐出するインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のカラーフィルタの製造方法。
【発明の効果】
【００１２】
本発明により、インクジェット塗工装置を用いたカラーフィルタ等の印刷物の製造方法において、吐出タイミングの相違により発生するストライプ状の画素パターンのスジ状の抜け又はムラの発生を防止することができた。ＲＧＢの３色を並列に具備するカラーフィルタを製造した場合であっても、３色同一箇所に同様のムラが発生せずスジ状のムラの問題を解決することができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照し、本発明を詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置および周辺設備の全体図である。インクジェット塗工装置は、塗工搬送ステージ２、インクジェットヘッドユニット１４、インクジェットヘッドユニット移動軸４、メインコントローラ１０、吐出制御部９で構成されている。
塗工搬送ステージ２には塗工対象となる基材を搭載する。基材として、前述した印刷物又は光学素子等の基板を挙げることができる。以下ではカラーフィルタを形成する場合を例として説明する。搬送ステージ２は、所定の搬送方向１１（主走査方向である。以下Ｙ方向ともいう。）に沿って移動する。
インクジェットヘッドユニット１４はインクジェットヘッドユニット移動軸４上を移動する。インクジェットヘッドユニット移動軸４は、インクジェットヘッドユニットの走査方向１１と直交している。この軸と平行方向をＸ方向とする。
搬送ステージ２は、塗工基材１を固定するための真空吸着穴を備え、基材表面より突出するものなく基材を固定することができる。これによって、基材１とインクジェットヘッド１３のギャップを極小に近づけられる。
吐出制御部９には、インクジェットヘッドユニット移動の軌跡の直線性の測定値を記憶する記憶部（図示しない）が内蔵されている。
吐出制御部９によりインクジェットヘッドユニットのＸ軸上の任意の位置での直線性を把握することができ、仮にインクジェットヘッドユニット１４が所望の位置において、Ｘ軸に対し直線でないとしても、その位置での直線性（ズレ）に応じてノズルの吐出タイミングを変えることで、塗工精度を補正することができる。
【００１４】
図２には、上記インクジェットヘッドユニット１４およびその周辺機構図の詳細を示す。
インクジェットヘッドユニット１４は複数のインクジェットヘッドを備えている。インクジェットヘッドは、インクを吐出する複数のノズルを備えている。このノズルの間隔を所定の間隔になるようインクジェットヘッドは好ましい方向に配向していなければならない。インクジェットヘッドの配向が所定の向きからずれることをインクジェットヘッドの回転ズレという。このため、インクジェット塗工装置は回転方向（以下、θ方向ともいう）のズレを補正するためのθ調整機構１５を備えている。θ調整機構１５により、インクジェットヘッドユニットが複数のインクジェットヘッドを搭載する際、当該複数のインクジェットヘッドの全体の大まかな方向を調整することができる。
しかし、複数のインクジェットヘッドを用いる場合、個々のインクジェットヘッドの向きをさらに調整しなければならない。図１及び図２にはこのインクジェットヘッドの回転ズレを検出するための検出手段（倒立顕微鏡７）が２つ示されている。
【００１５】
図３は、本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列の1例を示す平面図である。インクジェットヘッドユニット１９は、インクジェットヘッドとインクジェットヘッドの２つの組からなるインクジェットヘッドサブユニットを多数配列して構成される。インクジェットヘッドユニットを構成するインクジェットヘッドのうち、図３の左側１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＲｅｄ（赤色）インクを吐出し、中央１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＧｒｅｅｎ（緑色）インクを吐出し、右側１／３領域に配置されるインクジェットヘッドはＢｌｕｅ（青色）インクを吐出する。インクジェットヘッドは、インクを吐出するノズルを多数配列してなり、ノズルはＸ方向（第１の方向）に略配列されている。また、インクジェットヘッドユニットの主走査方向は、Ｘ方向と直交するＹ方向（第２の方向）である。
図３では、Ｂｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッド１３ａとＢｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッド１３ｂの２つの組からなるインクジェットヘッドサブユニット１３１を示す。インクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、いずれもほぼ走査方向（Ｙ方向ともいう）と直交する方向（第１の方向とする。Ｘ方向ともいう）に平行に並列配置されている。このインクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、いずれもノズル間隔が同一かつ均一になるようにノズルが配置されている。また、インクジェットヘッド１３ａとインクジェットヘッド１３ｂは、当該ノズル間隔の１／２の距離、ノズルのＸ方向の位置がずれるように配置されている。
インクジェットヘッドサブユニット１３１は、いずれもＢｌｕｅインクを吐出するインクジェットヘッドを２つ備える。そして、ノズル間隔の１／２の距離ずらしてインクジェットヘッドを配置したため、ＢｌｕｅインクのＸ方向の吐出解像度が、インクジェットヘッド１３ａ又はインクジェットヘッドｂのみの解像度に比して２倍となっている。
図３に示すインクジェットヘッドユニットでは、Ｂｌｕｅ吐出領域（右側領域）に、このようなインクジェットヘッドサブユニットが２６個配置され、全体としてＢｌｕｅインクを高解像度で吐出するユニットを形成している。インクジェットヘッドサブユニット１３１以外のインクジェットサブユニットは囲みで図示しない。
さらに、Ｇｒｅｅｎ吐出領域、Ｒｅｄ吐出領域においても同様のインクジェットサブユニットを設け、ＲＧＢ３色の吐出を高解像度で行えるようインクジェットヘッドサブユニットを形成している。
【００１６】
図４は、インクジェットヘッドのアライメント（位置調整）機構部の図面である。この例ではアライメント機構がインクジェットヘッドの周囲に配置され、インクジェットヘッドはサブユニット（２５）内の中心位置には配置されていない。アライメント機構部は各インクジェットヘッドに備わっており、これにより各インクジェットヘッドを平行（基材搬送方向と直交する方向）に、かつＸ方向の相互関係を調整することができ、またＹ方向については位置の違い分だけ吐出タイミングを変えるため、機械的は調整は必要としない。
【００１７】
図５には、本発明のカラーフィルタの製造法におけるインクジェットヘッドの走査状態を示す。基板（基材に当たる。）は、を第１の方向及び第２の方向に沿って配置されている。基板の塗工領域のうち第１の方向に沿った長さをＷ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第２の方向に沿った長さをＬとする。図５に示すように、インクジェットヘッドは第１の方向にそって各色ごとに３色並列されインクジェットヘッドユニットを構成している。♯及び数字で示されているのは各インクジェットヘッドである。インクジェットヘッドユニットは、基板のうち図５の左下領域に配置され、吐出を開始する。そして、基板とインクジェットヘッドユニットを相対的に第２の方向に図面上側に走査し、左上領域に移動する（第１走査）。次にインクジェットヘッドユニットは、第１の方向に沿って右に所定距離ｌ［ｍｍ］移動する（副走査）。次にインクジェットヘッドユニットを、基板に対して相対的に第２の方向に図面下側に走査し、各インクジェットヘッドから吐出を行う（第２走査）。次にインクジェットヘッドユニットを、第１の方向に沿って右に所定距離ｌ［ｍｍ］移動する（副走査）。続いて同様な第３走査、第４走査を順次行ってカラーフィルタのパターンを形成する。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、インクジェットヘッドユニットの第１の方向におけるｘ［ｍｍ］とし、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さをｙ［ｍｍ］とし、走査回数をｎとしたときに、下記式を満たすことを特徴とする。走査回数ｎは２以上の自然数であればよく、４以上であることが好ましい。
（ｙ／ｎ）＋５０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
図５においては、基板の塗工領域のうち第１の方向における長さはＷで示されている。また、走査回数ｎ＝４である。
（Ｗ／４）＋５０≧ｘ≧（Ｗ／４）＋１０
を満たしている。
また、副走査工程におけるインクジェットヘッドユニットの移動距離ｌ［ｍｍ］は、
ｌ＝Ｗ／ｎ（図５においてはｎ＝４）
から求められる。すると、任意の走査工程と次の走査工程との間におけるインクジェットヘッドユニットの重複部分の第１の方向における長さは、
５０≧ｘ−ｌ≧１０
から（ｘ−ｌ）により求められる。この間隔が図５（ＸＣ）に示されている。インクジェット塗工装置を用いたカラーフィルタの製造方法において、このような方法を用いることにより、前掲従来技術の第２の方法を用いても、吐出タイミングのずれに由来する色ムラ、スジ状のムラの発生を防止することができる。また、
（ｙ／ｎ）＋３０≧ｘ≧（ｙ／ｎ）＋１０
を満たすカラーフィルタの製造方法によると、さらに色ムラ等不良の発生を効果的に防止することができる。
【００１９】
副走査においてするインクジェットヘッドユニットの移動の制御は、メインコントローラ１０からの数値入力に基づき吐出制御部で自動的に行うことが好ましい。副走査工程において、インクジェットヘッドユニットの精度欲するためである。
また、副走査の際のインクジェットヘッドユニットの移動距離は、上記範囲において、使用するインクの特性によって変えることが好ましい。必要があり、その可変幅は５ｍｍ以上あることが好ましい。
【００２０】
なお、インクジェットヘッドユニットの第１の方向における長さｘ［ｍｍ］は、基板の塗工領域のうち第１の方向に沿った長さｙ［ｍｍ］と走査回数ｎを考慮して設定する必要がある。一般的に、カラーフィルタ製造装置は、特定サイズのガラス基板のみを処理することが多い。また、本発明の塗工装置においては基材投入と基材排出とが装置の同じ側で行われるため、走査回数ｎ＝往復回数×２であることが好適である。つまりｎは偶数であることが好適である。仮に、走査回数が奇数の場合、基材搬送ステージ２は、最終走査後に塗工基材寸法分の距離を空走しなければならず、生産性が低下する。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】図１は、本発明の実施の形態に係るインクジェット塗工装置の全体図である。
【図２】図２は、本発明のインクジェットヘッドユニットおよびその周辺機構図である。
【図３】図３は、本発明のインクジェットヘッドユニット内のインクジェットヘッドの配列を  示す平面図である。
【図４】図４は、本発明のインクジェットヘッドのアライメント機構部の図面である。
【図５】図５は、本発明の塗工状態を示す図面である。
【符号の説明】
【００２２】
１…塗工基材
２…基材搬送ステージ
３…メンテナンスステーション
４…インクジェットヘッドユニット移動軸（Ｘ軸）
５…リニアスケール
６…インクジェットヘッドユニット移動ベース
７…倒立顕微鏡
８…搬送ステージ制御部
９…吐出制御部
１０…メインコントローラ
１１…基材搬送ステージ搬送方向（Ｙ方向）
１２…インクジェットヘッドユニット移動方向（Ｘ方向）
１３ａ…インクジェットヘッド
１３ｂ…インクジェットヘッド
１３１…インクジェットヘッドサブユニット
１４…インクジェットヘッドユニット
１５…θ調整機構（θ軸）
１６…昇降機構（Ｚ軸）
１７…Ｚ方向
１８…θ方向
１９…インクジェットヘッドベース板
２０…アライメントマーク
２１…インクジェットヘッド取付け部
２２…調整ステージ
２３…インクジェットヘッドユニットベース
２４…走査つなぎ位置
２５…走査方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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