(57)【要約】【課題】封止構造が改善された平板表示装置と製造装置及びその製造方法を提供する。【解決手段】複数の発光素子が形成された基板と、前記発光素子が形成された基板の一面に対向するように前記基板上に位置する封止部材と、前記基板及び封止部材を貼り合わせるフリットパターンを含み、前記フリットパターンは少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて溶融される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の発光素子が形成された基板と、
前記発光素子が形成された基板の一面に対向するように前記基板上に位置する封止部材と、
前記基板及び封止部材を貼り合わせるフリットパターンを含み、
前記フリットパターンは少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて溶融されることを特徴とする平板表示装置。
【請求項２】
前記基板上に形成された発光素子は、有機電界発光素子であることを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置。
【請求項３】
前記発光素子は、互いに対向する１対の電極と、この電極の間に介在されて少なくとも有機発光層を含む有機層として備えられることを特徴とする請求項２に記載の平板表示装置。
【請求項４】
前記レーザ照射により溶融されたフリットパターンは、前記基板と貼り合わされる領域で少なくとも１つ以上の変曲点を有することを特徴とする請求項１に記載の平板表示装置。
【請求項５】
基板の一面に複数の発光素子が形成される段階と、
前記基板の一面に対向するように封止部材が用意される段階と、
前記基板に向かう封止部材の一面にフリットパターンが塗布され、前記フリットパターンが基板に接合される段階と、
前記フリットパターンに少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて前記フリットパターンが溶融され、前記溶融されたフリットパターンの硬化により前記基板及び封止部材が貼り合わされる段階と
を含むことを特徴とする平板表示装置の製造方法。
【請求項６】
前記発光素子は、有機電界発光素子であることを特徴とする請求項５に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項７】
前記レーザがフリットパターンの２つの経路に沿って照射される場合、前記フリットパターンの１／４地点及び３／４地点に沿って照射されることを特徴とする請求項５に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項８】
前記２つの経路に沿ってレーザが照射される場合、同時に２つのレーザ照射手段が駆動されて前記フリットパターンが溶融されることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項９】
前記２つの経路に沿ってレーザが照射される場合、第１経路に沿ってレーザが照射されてフリットパターンの第１領域をまず溶融させ、前記レーザ照射が完了した後に第２経路に沿ってレーザが照射されてフリットの第２領域を溶融させることを特徴とする請求項７に記載の平板表示装置の製造方法。
【請求項１０】
基板ステージ上に第１、２基板及びマスクを備え、前記第２基板の所定領域に形成されたフリットパターンを溶融させる平板表示装置の製造装置において、
前記フリットパターン上の少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されるように少なくとも２つ以上が隣接して備えられたレーザヘッドと、
前記レーザヘッドを支持し、前記レーザヘッドが前記フリットパターン領域を移動させるレーザヘッドガイドと、
前記レーザヘッドガイドの一領域に付着されて前記基板と前記マスクの位置を測定する第１ＣＣＤを備え、前記基板と前記マスクを整列させる少なくとも１つの第１整列部と、
前記レーザヘッドの一領域に付着されて前記基板と前記レーザヘッドの位置を測定する第２ＣＣＤを備え、前記基板と前記レーザヘッドを整列させる第２整列部と
を含むことを特徴とする平板表示装置の製造装置。
【請求項１１】
前記レーザヘッドを１対備えることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置の製造装置。
【請求項１２】
前記１対のレーザヘッドは、同一線上に位置するか、または所定間隔離隔されて位置することを特徴とする請求項１１に記載の平板表示装置の製造装置。
【請求項１３】
前記第１基板は複数の発光部が形成された基板であり、前記第２基板は前記発光部が形成された第１基板の一面に対向する封止部材であることを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置の製造装置。
【請求項１４】
前記発光部は、有機電界発光素子を含む有機電界発光部であることを特徴とする請求項１３に記載の平板表示装置の製造装置。
【請求項１５】
前記レーザ照射により溶融されたフリットパターンは、前記第１基板と貼り合わされる領域で少なくとも１つ以上の変曲点を有することを特徴とする請求項１０に記載の平板表示装置の製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板表示装置とその製造装置及び製造方法に関し、より詳細には、封止構造が改善された平板表示装置と製造装置及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近頃、陰極線管（Ｃａｔｈｏｄｅ Ｒａｙ Ｔｕｂｅ、ＣＲＴ）の短所である重さと体積を減らせる各種の平板表示装置が開発されている。前記平板表示装置には、液晶表示装置（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）、電界放出表示装置（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｄｉｓｐｌａｙ）、プラズマ表示パネル（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）及び有機電界発光表示装置（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｓｐｌａｙ）などがある。
【０００３】
このような平板表示装置は、駆動の特性上、超薄型化及びフレキシブル化が可能であり、これに関する研究が多く行われている。
【０００４】
そのうち、有機電界発光表示装置は、水分の侵入により劣化する特性を有しており、水分の侵入を防止するための封止部材が必要である。
【０００５】
従来は、金属缶やガラス基板を、溝を有するようにキャップ状に加工して封止部材にし、その溝に水分の吸収のための乾湿剤をパウダ状に搭載するか、フィルム状に製造して両面テープを用いて接着した後、この封止部材をＵＶ硬化封止材や、熱硬化封止材を利用して素子が形成された基板に接合する方法を用いた。
【０００６】
すなわち、従来の場合、素子が形成された基板と前記封止部材とはＵＶ硬化封止材または熱硬化封止材を用いて貼り合わせたが、前記材質の封止材の場合は酸素または水分の侵入を防ぐのに限界があった。
【０００７】
このように、前記素子の内部に酸素または水分が侵入する場合、第１電極（ＩＴＯ）からの酸素による発光層の劣化、発光層-界面間の反応による劣化など内的要因による劣化の他にも、外部の水分や、酸素、紫外線及び素子の製作条件など外的要因による劣化も発生し易いという短所を有している。すなわち、外部の水分などが表示部の内部に侵入して発光層と電極との分離をもたらし、不良画素を発生させるといった問題点を引き起こす。
【０００８】
これを克服するために、前記封止部材の内部に水分吸収のための乾湿剤などを搭載するが、このような乾湿剤を搭載する方式は、工程が煩雑であり、材料及び工程単価が上昇するほか、全体的な基板の厚みが厚くなり、封止に用いられる基板が透明でなく、または前記乾湿剤が搭載された部分のため、全面発光または両面発光に利用できないという短所がある。
【０００９】
また、前記封止部材と基板とを接合させるための封止材の場合、耐圧特性がよくないうえ、時間が経つにつれ、耐透湿性が急激に低下し、封止効果を低減させるという短所がある。
【００１０】
このような有機電界発光素子は、周辺環境から水分や酸素が素子の内部に流入する場合、電極物質の酸化や、剥離などにより素子の寿命が短縮し、発光効率が低下するだけでなく、発光色が変質するといった、不具合が生じる。
【００１１】
前記のような問題点を解決するために前記基板及び封止部材を貼り合わせる材料としてフリットを用いて素子の基板とキャップとの間の密着性を向上させるカプセル縫合方法が考案された。
【００１２】
ガラス基板にフリットを塗布して有機電界発光表示装置を封止する構造が開示された米国公開特許公報[第２００４０２０７３１４号]によれば、フリットを用い、これをレーザで溶融させることによって、素子基板とキャップとの間が完全に封止されるので、より一層効率よく有機電界発光素子を保護できる。
【００１３】
しかしながら、前記フリットパターンをレーザで照射する時、レーザが照射される地点を含め、フリットパターンを溶融させることができるレーザのエネルギー領域は前記フリットパターンの幅よりも小さい。
【００１４】
したがって、レーザのエネルギーが届かない前記フリットパターンの縁領域には、不完全な溶融により、一部不完全な硬化が発生する恐れがあり、このように不完全な硬化が発生する場合は、酸素または水分が侵入して発光部に備えられた発光層と電極との分離をもたらし、不良画素を発生させるなどの問題点を引き起こすという短所がある。
【特許文献１】大韓民国特許公開第２００５-０１１２３１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、素子が形成された基板と封止部材とを前記封止部材上に形成されたフリットパターンを溶融させてこれらを貼り合わせ、前記フリットパターンの溶融時に少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されることで、前記フリットパターンが不完全に溶融されるのを防止する平板表示装置及びその製造方法を提供することにある。
【００１６】
また、本発明のさらに他の目的は、前記フリットパターンを溶融させて、これを貼り合わせる時、少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されるようにし、前記フリットパターンが不完全に溶融及び硬化されるのを防止する平板表示装置の製造装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記目的を達成するために本発明の第１側面は、複数の発光素子が形成された基板と、前記発光素子が形成された基板の一面に対向するように前記基板上に位置する封止部材と、前記基板及び封止部材を貼り合わせるフリットパターンを含み、前記フリットパターンは少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて溶融されることを特徴とする平板表示装置を提供する。
【００１８】
また、本発明の第２側面は、基板の一面に複数の発光素子が形成される段階と、前記基板の一面に対向するように封止部材が用意される段階と、前記基板に向かう封止部材の一面にフリットパターンが塗布され、前記フリットパターンが基板に接合される段階と、前記フリットパターンに少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて前記フリットパターンが溶融され、前記溶融されたフリットパターンの硬化により前記基板及び封止部材が貼り合わされる段階とを含むことを特徴とする平板表示装置の製造方法を提供する。
【００１９】
さらに、本発明の第３側面は、基板ステージ上に第１、２基板及びマスクを備え、前記第２基板の所定領域に形成されたフリットパターンを溶融させる平板表示装置の製造装置において、前記フリットパターン上の少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されるように少なくとも２つ以上が隣接して備えられたレーザヘッドと、前記レーザヘッドを支持し、前記レーザヘッドが前記フリットパターン領域を移動させるレーザヘッドガイドと、前記レーザヘッドガイドの一領域に付着されて前記基板と前記マスクの位置を測定する第１ＣＣＤを備え、前記基板と前記マスクを整列させる少なくとも１つの第１整列部と、前記レーザヘッドの一領域に付着されて前記基板と前記レーザヘッドの位置を測定する第２ＣＣＤを備え、前記基板と前記レーザヘッドを整列させる第２整列部とを含むことを特徴とする平板表示装置の製造装置を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
このような本発明によれば、基板と封止部材との貼り合わせにより、少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されてフリットが溶融されることで、後でフリットパターンが硬化された場合、封止効果の高いフリット封止構造を得られるという長所がある。
【００２１】
また、前記フリットにより完全封止が行なわれるため、発光部を外部環境と完全に隔離させることができ、これにより別途の乾湿剤などが不要で、結果として平板表示装置の寿命を更に向上させることができるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付図面を参照して本発明の好適な一実施形態について詳細に説明する。
【００２３】
図１は、本発明の実施形態に係る平板表示装置の断面図である。
【００２４】
但し、本発明の実施形態の場合、前記平板表示装置は、有機電界発光表示装置をその例に説明するが、本発明に係る平板表示装置が必ずしもこれに限定されるのではない。
【００２５】
また、一般にフリットは、粉末状のガラスの意味として用いられるか、本発明におけるフリットは粉末状に有機物を添加したゲル状のガラス及びレーザを照射して硬化させた固相のガラスをいう。
【００２６】
図１を参照すれば、本発明の実施形態に係る平板表示装置１００は、複数の発光素子１１２が形成された基板１１０と、前記発光素子１１２が形成された基板１１０の一面に対向するように前記基板上に位置する封止部材１２０と、前記基板及び封止部材を貼り合わせるフリットパターン１３０とを含んで構成される。
【００２７】
このとき、前記フリットパターン１３０は、前記封止部材１２０の縁面に沿って形成されるもので、前記基板と接合された後、溶融を経て硬化されることで前記基板１１０と封止部材１２０とを貼り合わせる役割を果たし、本発明の実施形態の場合は前記フリットパターン１３０の溶融時に少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されることで、前記フリットパターンが不完全に溶融されるのを防止することを特徴とする。
【００２８】
また、本発明の場合、前記封止部材１２０は、ガラス材質の基板であることができるが、必ずしもこれに限定されるのではなく、プラスチックまたはメタルキャップなども可能であり、前記基板１１０もやはり透明なガラスが用いられることができるが、必ずしもこれに限定されるのではなく、プラスチック材なども使用可能である。
【００２９】
前記基板１１０上に形成された複数の発光素子１１２は、有機電界発光素子であることができる。
【００３０】
また、前記発光素子１１２は、互いに対向する１対の電極と、これらの電極の間に介在されて少なくとも有機発光層を含む有機層として備えられることができる。このとき、有機電界発光部はその駆動方式がパッシブ駆動型であれ、アクティブ駆動型であれ、何れも適用されることができる。
【００３１】
前記有機電界発光素子１１２は、ホールを供給するアノード電極と、電子を供給するカソード電極とが互いに対向するように配置され、これらのアノード電極とカソード電極との間に配置されて発光する有機層から構成される。
【００３２】
一般に、前記アノード電極は、前記基板１１０上に形成され、その上に有機層が形成され、有機層の上にカソード電極が形成されるが、必ずしもこれに限定されるのではなく、アノード電極とカソード電極の位置が反対になっても構わない。
【００３３】
画像が前記基板１１０側に実現される背面発光型である場合、前記アノード電極は透明電極で形成されることができ、カソード電極は反射型電極で形成されることができる。画像が前記基板１１０の反対側に実現される前面発光型の場合、前記アノード電極が反射型電極で形成されることができ、カソード電極が透過型電極で形成されることができる。
【００３４】
このようなアノード電極とカソード電極とは、所定のパターンで形成されることができるが、能動発光型の場合、前記カソード電極は全面蒸着されることができる。しかし、必ずしもこれに限定されるのではなく、パターンされることができるのはもちろんである。
【００３５】
アノード電極とカソード電極との間に介在された有機層としては、低分子または高分子有機層が用いられることができるが、低分子有機層を用いる場合、ホール注入層（ＨＩＬ：Ｈｏｌｅ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、ホール輸送層（ＨＴＬ：Ｈｏｌｅ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）、有機発光層（ＥＭＬ：Ｅｍｉｓｓｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、電子輸送層（ＥＩＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｉｎｊｅｃｔｉｏｎ Ｌａｙｅｒ）、電子注入層（ＥＴＬ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｔｒａｎｓｐｏｒｔ Ｌａｙｅｒ）などが単一または複合の構造に積層されて形成されることができ、使用可能な有機材料も銅フタロシアニン（ＣｕＰｃ：ｃｏｐｐｅｒｐｈｔｈａｌｏｃｙａｎｉｎｅ）Ｎ、Ｎ-ジ（ナフタレン-イル）-Ｎ、Ｎ’-ジフェニル-ベンジジン（Ｎ、Ｎ’-Ｄｉ（ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅ-１-ｙｌ）-Ｎ、Ｎ’-ｄｉｐｈｅｎｙｌｂｅｎｚｉｄｉｎｅ：ＮＰＢ）、トリス-８-ヒドロキシキノリンアルミニウム（ｔｒｉｓ‐８-ｈｙｄｒｏｘｙｑｕｉｎｏｌｉｎｅ ａｌｕｍｉｎｕｍ）（Ａｌｑ３）などをはじめ、多様に適用可能である。これらの低分子有機機層は真空蒸着の方法により形成されることができる。
【００３６】
高分子有機層の場合には、大体ホール輸送層（ＨＴＬ）及び発光層（ＥＭＬ）で備えられた構造を有することができ、このとき、前記ホール輸送層としてＰＥＤＯＴを用い、発光層としてＰＰＶ（Ｐｏｌｙ‐Ｐｈｅｎｙｌｅｎｅｖｉｎｙｌｅｎｅ）系及びポリフルオレン（Ｐｏｌｙｆｌｕｏｒｅｎｅ）系など高分子有機物質を用い、これをスクリーン印刷やインクジェット印刷方法などにより形成することができる。
【００３７】
このような有機層において、少なくとも発光層（ＥＭＬ）は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）色の各画素毎にパターニングしてフルカラーを実現できるようにする。
【００３８】
このような有機電界発光素子１１２では、前記アノード電極及びカソード電極に陽極及び陰極電圧がそれぞれ印加されることで、アノード電極から注入されたホールが発光層に移動し、電子はカソード電極から発光層に注入されて、この発光層で電子とホールとが再び結合して励起子を生成し、この励起子が励起状態から基底状態へと変化することにより、発光層の蛍光性分子が発光し、画像を形成する。フルカラー有機電界発光表示装置の場合には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色を発光する画素を備えることで、フルカラーを実現する。
【００３９】
また、前記複数の発光素子１１２が形成された基板１１０と対面する封止部材１２０の場合、図示のように、前記封止部材１２０の縁領域に沿ってフリットパターン１３０が形成される。
【００４０】
前記フリットパターン１３０は、レーザにより溶融されるが、本発明の場合は前記フリットパターン１３０の溶融時に少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されることで、前記フリットパターンが不完全に溶融されるのを防止することを特徴とする。
【００４１】
図２Ａ及び図２Ｂは、フリットパターン溶融時に照射されるレーザのエネルギー波形を示す図である。
【００４２】
まず、図２Ａに示すように、一般にレーザのエネルギー波形を見れば、レーザが照射される地点を含めて、フリットパターン１３０を溶融させることができるエネルギー領域Ｅは前記封止部材に形成されたフリットパターン１３０の幅よりも小さい。
【００４３】
したがって、前記レーザをフリットパターン１３０の中央部に沿って照射する場合、前記フリットパターン１３０の縁領域にはレーザのエネルギーが届かず、不完全な溶融が発生する恐れがあり、このように、不完全な溶融が発生する場合は硬化した後に酸素または水分が侵入して発光素子に備えられた発光層と電極との分離をもたらし、不良画素を発生させるなどの問題点を引き起こす。
【００４４】
これを克服するために、本発明の実施形態は、図２Ｂに示すように、図２Ａに示したエネルギー波形を有するレーザを照射する時、前記フリットパターン１３０の溶融時に少なくとも２以上の経路に沿ってレーザを照射することで前記フリットパターン１３０全体が前記レーザのエネルギー領域Ｅに含まれ、図２Ａを通じて説明したような問題点を克服できる。すなわち、前記フリットパターンが不完全に溶融されることを防止できる。
【００４５】
一例として、２つの経路に沿ってレーザを照射する場合は前記フリットパターン１３０の１／４地点及び３／４地点に沿って照射することで、フリットパターン１３０全体が前記レーザの有効エネルギー領域Ｅに含まれることができる。
【００４６】
このように、少なくとも２以上の経路に沿ってレーザを照射すれば、前記レーザ照射により溶融されたフリットパターン１３０は、図１の拡大して示した部分のように、前記基板と貼り合わされる領域で少なくとも１つ以上の変曲点Ａを有するように形成される。
【００４７】
図３Ａ乃至図３Ｄは、本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造工程を示す工程断面図である。
【００４８】
まず、図３Ａに示すように、基板１１０の一面に複数の発光素子１１２が形成される。
【００４９】
ここで、前記基板１１０上に形成される各発光素子１１２は、有機電界発光素子であることができ、その具体的な構成は、図１を通じて説明したのと同様であるので、詳細な説明は省略する。
【００５０】
次に、図３Ｂに示すように、前記発光素子が形成された基板の一面に対向するように封止部材が用意される。
【００５１】
前記封止部材１２０は、ガラス材の基板であることができるが、必ずしもこれに限定されるのではなく、プラスチックまたはメタルキャップなども可能である。
【００５２】
次に、図３Ｃに示すように、前記封止部材１２０の前記基板１１０に向かう面にはフリットパターン１３０が塗布され、前記フリットパターン１３０が塗布された後に前記フリットパターン１３０が基板１１０に接合されるように前記封止部材１２０を基板１１０に貼り合わせる。
【００５３】
最後に、図３Ｄを参照すれば、前記フリットパターン１３０の少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されて前記フリットパターン１３０が溶融され、前記溶融されたフリットパターン１３０が硬化されることで、前記基板１１０及び封止部材１２０が貼り合わされる。
【００５４】
すなわち、前記フリットパターン１３０の溶融時に少なくとも２以上の経路に沿ってレーザを照射することで、前記フリットパターン１３０全体が前記レーザのエネルギー領域に含まれるため、不完全に溶融される部分を防止できる。
【００５５】
一例として２つの経路に沿ってレーザを照射する場合、前記フリットパターン１３０の１／４地点及び３／４地点に沿って照射することで、フリットパターンの全体が前記レーザの有効エネルギー領域に含まれることができる。
【００５６】
また、前記２つの経路に沿ってレーザを照射する場合、同時に２つのレーザ照射手段が駆動されて前記フリットパターンを溶融させるか、または第１経路に沿ってレーザが照射されてフリットパターンの第１領域をまず溶融させ、前記レーザの照射が完了した後に、第２経路に沿ってレーザが照射されてフリットの第２領域を溶融させることもできる。
【００５７】
図４は、本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造装置の概略的な斜視図である。
【００５８】
但し、図４は、平板表示装置の製造装置であり、平板表示装置の第１及び第２基板を貼り合わせるために前記フリットパターンにレーザを照射する装置に対する図である。
【００５９】
図４を参照すれば、本発明に係る平板表示装置の製造装置としてのレーザ照射装置には、チャンバ１０内部の基板ステージ１１０上に第１基板１２ｂ及び第２基板１２ａが安着されている。前記第２基板１２ａ上にはマスク１３が備えられ、前記マスク１３０上にはレーザを透過させる透過部１３ａが形成されている。
【００６０】
前記透過部１３ａに対応してレーザが照射される第２基板１２ａの所定の面は、シーリング部１２ｃになる。
【００６１】
このとき、前記第１基板は複数の発光部が備えられた基板であり、第２基板は前記第１基板に対応して貼り合わされる封止部材をいう。
【００６２】
そして、前記第２基板１２ａのシーリング部１２ｃの反対面にはフリットパターン１４が塗布されている。
【００６３】
本発明の実施形態の場合、レーザヘッド１６が１つの群を成して少なくとも２つ以上備えられることを特徴とし、前記各レーザヘッドはそれぞれレーザヘッドガイド１７により支持され、前記基板１２ａ、１２ｂの上部を移動可能に装着される。
【００６４】
図４には、前記レーザヘッドが２つ備えられた例が示されているが、これは１つの実施例であり、必ずしもこれに限定されるのではない。また、前記１対のレーザヘッドは同一線上に形成されるか、一定間隔離隔されて形成されることもでき、図１では同一線上に形成された例が示されている。
【００６５】
また、前記各レーザヘッドガイド１７の一領域には、前記基板１２ａ、１２ｂと前記マスク１３の位置を測定する第１ＣＣＤを備え、前記第１ＣＣＤにより前記基板１２ａ、１２ｂと前記マスク１３を整列させる少なくとも１つの第１整列部１５が装着されている。したがって、第１整列部１５は前記シーリング部１２ｃの形状がパターニングされたマスク１３と基板１２ａ、１２ｂを一致するように整列させる。
【００６６】
そして、前記レーザヘッド１６の一領域には、前記基板１２ａ、１２ｂと前記レーザヘッド１６の位置を測定する第２ＣＣＤを備え、前記第２ＣＣＤにより前記基板１２ａ、１２ｂと前記レーザヘッド１６を整列させる第２整列部１８が装着されている。したがって、前記第２整列部１８は前記レーザヘッド１６の移動位置を前記シーリング部１２ｃと一致するように整列させる。
【００６７】
前記レーザヘッド１６の前記第２整列部１８に対応する位置には前記チャンバの内部温度を温度センサーで調節する温度調節部（図示せず）が更に備えられている。
【００６８】
また、前記基板ステージ１１は、少なくとも前記基板１２ａ、１２ｂよりも大きく形成されて、前記基板１２ａ、１２ｂを支持し、前記マスク１３には前記シーリング部１２ｃのパターンに対応する透過部１３ａが形成されている。
【００６９】
図示はしていないが、レーザシーリングが行われるチャンバ１０の内部にはモニタカメラが設置されて、シーリング工程をモニタすることで、有機電界発光表示装置の不良率を下げられる。
【００７０】
このような本発明の実施形態に係るレーザ照射装置は、レーザヘッドが少なくても２つ以上備えられることを特徴とし、これを通じて前記レーザ照射による前記フリットパターンの溶融時に前記各レーザヘッドはフリットパターンの少なくとも２以上の経路に沿ってレーザが照射されることで、前記フリットパターンが不完全に溶融されるのを防止できる。
【００７１】
以上説明したように、本発明の最も好ましい実施の形態等について説明したが、本発明は、上記記載に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載され、または明細書に開示された発明の要旨に基づき、当業者において様々な変形や変更が可能であることは勿論であり、この変形や変更が、本発明の範囲に含まれることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００７２】
【図１】本発明の実施形態に係る平板表示装置の断面図である。
【図２Ａ】フリットパターン溶融時に照射されるレーザのエネルギー波形を示す図である。
【図２Ｂ】フリットパターン溶融時に照射されるレーザのエネルギー波形を示す図である。
【図３Ａ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図３Ｂ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図３Ｃ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図３Ｄ】本発明の実施形態に係る平板表示装置の製造工程を示す工程断面図である。
【図４】本発明の実施形態に係る平板表示装置製造装置の概略的な斜視図である。
【符号の説明】
【００７３】
１４  フリットパターン
１６  レーザヘッド
１００  平板表示装置
１１０  基板
１１２  発光部
１２０  封止部材
１３０  フリットパターン
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図３Ｄ】
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【図４】
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