(57)【要約】【課題】混色や白抜け等の発生を抑制することができ、画素を位置精度良く形成することができ、液晶表示装置に搭載したときに表示ムラを抑制することができる、低コストかつ高効率なカラーフィルターの製造方法、この方法によって得られたカラーフィルター、このカラーフィルターを備えた液晶表示装置を提供する。【解決手段】基板上に遮光性を有する隔壁を形成し、該隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によってＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクを付与することにより着色層を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記隔壁が、光重合性遮光層を貧酸素条件下で露光することにより形成され、前記インクが、着色剤、重合性化合物および重合開始剤を含み、かつインク中の溶剤量が５０質量％以下であることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に遮光性を有する隔壁を形成し、該隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によってＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクを付与することにより着色層を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記隔壁が、光重合性遮光層を貧酸素条件下で露光することにより形成され、前記インクが、着色剤、重合性化合物および重合開始剤を含み、かつインク中の溶剤量が５０質量％以下であることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項２】
前記貧酸素条件が、減圧若しくは不活性気体の充填により、酸素分圧を大気１気圧における酸素分圧より低下させた条件であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項３】
前記貧酸素条件が、光重合性遮光層上に酸素遮断層が形成された条件であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
前記貧酸素条件が、減圧若しくは不活性気体の充填により、酸素分圧を大気１気圧における酸素分圧より低下させ、かつ、光重合性遮光層上に酸素遮断層が形成された条件であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項５】
前記光重合性遮光層が少なくとも遮光剤、重合性化合物および重合開始剤を含有してなることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項６】
前記隔壁の高さが１〜２０μｍであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項７】
前記インクがラジカル重合性組成物であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするカラーフィルター。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルターの製造方法、カラーフィルター、液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
表示装置用カラーフィルターは、ガラス等の基板上に赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の隔壁で区分した構造である。このようなカラーフィルターの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法（着色レジスト法、例えば、特許文献１参照。）、４）仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法（例えば、特許文献２参照。）、５）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法（転写方式）が知られている（例えば、特許文献３参照。）。またインクジェット法を用いる方法も知られている（例えば、特許文献４参照。）。
【０００３】
これらの方法のうち、着色レジスト法は位置精度高くカラーフィルターを作製できるものの、感光層樹脂液の塗布にロスが多くコスト的には有利とは言えない。一方インクジェット法は樹脂液のロスが少なくコスト的に有利ではあるものの、画素の位置精度が悪いという問題がある。
【０００４】
これらを克服すべく、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、ＲＧＢ画素をインクジェット法で形成するカラーフィルター製造方法も提案されているが、形成されたブラックマトリックスの断面形状を観察すると、上端やそのエッジが丸くなっており、後に打滴された各色インクがブラックマトリックスをのり越えやすいために、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどが起こる恐れがある。これを防ぐ為、ブラックマトリックスとインクとの間に、お互いはじきあう性質を持たせたり、ブラックマトリックス間隙部のインクの濡れ性を高めたりする方法が開示されている（例えば、特許文献５、６及び７参照）。
しかし、これらの方法では、ブラックマトリックス用着色レジストやインクに特殊な素材が必要であったり、ブラックマトリックス間隙部の表面エネルギーを高める工程（表面改質処理）が必要であり、コスト的な問題がなお残されている。
【０００５】
また、単官能モノマーと多官能モノマーを用い、付着後直ちに活性エネルギー線で硬化するインクを用いて生産性を向上させる方法が開示されている（例えば、特許文献８参照）が、特性が十分では無く、表示装置に搭載したときに、表示ムラなどが見られ、問題が残されている。
【０００６】
【特許文献１】特開昭６３−２９８３０４号公報
【特許文献２】特開昭６１−９９１０３号公報
【特許文献３】特開昭６１−９９１０２号公報
【特許文献４】特開平８−２２７０１２号公報
【特許文献５】特開平６−３４７６３７号公報
【特許文献６】特開平７−３５９１５号公報
【特許文献７】特開平１０−１４２４１８号公報
【特許文献８】特開２００２−３７１２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述のように、ブラックマトリックスを着色レジスト法で形成し、ＲＧＢ画素をインクジェット法で形成するカラーフィルターの製造方法は、画素を位置精度良く形成でき、低コストかつ高効率であるという利点はあるものの、混色や白抜け、表示ムラ等の発生を十分に抑制できるには至っていないのが現状である。
【０００８】
本発明は上記に鑑みなされたものであり、混色や白抜け等の発生を抑制することができ、画素を位置精度良く形成することができ、液晶表示装置に搭載したときに表示ムラを抑制することができる、低コストかつ高効率なカラーフィルターの製造方法、この方法によって得られたカラーフィルター、このカラーフィルターを備えた液晶表示装置を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明者らは鋭意研究を行った結果、貧酸素条件下で形成された遮光性隔壁（ブラックマトリックス）の上端やそのエッジの断面形状は丸くなりにくく、矩形型に近いものとなっているため、後に打滴された各色のインクがブラックマトリックスをのり越えにくくなることを見出した。その結果、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどを防止できるとの知見を得た。さらに、Ｒ（レッド）、Ｇ（グリーン）、Ｂ（ブルー）の各色のインクとして、溶剤量が５０質量％以下のインクを用いることにより、各色の着色層の硬化後の体積収縮を小さくすることができ、画素中央部での平滑性が良好となり、色均一性が向上し、その結果、液晶表示装置に搭載したときに表示ムラの発生を抑制できるとの知見を得た。
【００１０】
これらの知見に基づき、前記課題は以下の手段によって解決される。即ち、本発明は、
＜１＞  基板上に遮光性を有する隔壁を形成し、該隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によってＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクを付与することにより着色層を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記隔壁が、光重合性遮光層を貧酸素条件下で露光することにより形成され、前記インクが、着色剤、重合性化合物および重合開始剤を含み、かつインク中の溶剤量が５０質量％以下であることを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。
【００１１】
＜２＞  前記貧酸素条件が、減圧若しくは不活性気体の充填により、酸素分圧を大気１気圧における酸素分圧より低下させた条件であることを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１２】
＜３＞  前記貧酸素条件が、光重合性遮光層上に酸素遮断層が形成された条件であることを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１３】
＜４＞  前記貧酸素条件が、減圧若しくは不活性気体の充填により、酸素分圧を大気１気圧における酸素分圧より低下させ、かつ、光重合性遮光層上に酸素遮断層が形成された条件であることを特徴とする＜１＞に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１４】
＜５＞  前記光重合性遮光層が少なくとも遮光剤、重合性化合物および重合開始剤を含有してなることを特徴とする＜１＞〜＜４＞のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１５】
＜６＞  前記遮光性を有する隔壁の高さが１〜２０μｍであることを特徴とする＜１＞〜＜５＞のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１６】
＜７＞  前記インクがラジカル重合性組成物を含むことを特徴とする＜１＞〜＜６＞のいずれか１項に記載のカラーフィルターの製造方法である。
【００１７】
＜８＞  ＜１＞〜＜７＞のいずれか１項に記載の製造方法で製造されたことを特徴とするカラーフィルターである。
【００１８】
＜９＞  ＜８＞に記載のカラーフィルターを有することを特徴とする液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、混色や白抜け等の発生を抑制することができ、画素を位置精度良く形成することができ、表示装置に搭載したときに表示ムラを抑制することができる、低コストかつ高効率なカラーフィルターの製造方法、この方法によって得られたカラーフィルター、このカラーフィルターを備えた液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明について詳細に説明する。
本発明は、基板上に遮光性を有する隔壁を形成し、該隔壁により区切られた凹部に、インクジェット方式によってＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクを付与することにより着色層を形成するカラーフィルターの製造方法であって、前記隔壁が、光重合性遮光層を貧酸素条件下で露光することにより形成され、前記インクが、着色剤、重合性化合物および重合開始剤を含み、かつインク中の溶剤量が５０質量％以下であることを特徴とする。
【００２１】
≪貧酸素条件≫
本発明において、貧酸素条件とは、光重合性遮光層の露光の際、該光重合性遮光層の表面に存在する酸素が、大気中で露光を行う場合よりも少ない条件をいう。
貧酸素条件は例えば、減圧若しくは不活性気体の充填により、酸素分圧を大気１気圧における酸素分圧より低下させた条件（以下、「貧酸素雰囲気」ということがある）及び／又は光重合性遮光層上に酸素遮断層が形成された条件が好ましい。
【００２２】
＜貧酸素雰囲気＞
本発明において、貧酸素雰囲気は、酸素の分圧が０．１５気圧以下の雰囲気であることが好ましく、これらは詳しくは以下の通りである。
通常、大気（１気圧）下では酸素の分圧は０．２１気圧であるので、酸素の分圧を０．１５気圧以下に下げるためには、（ａ）露光時の大気を減圧して０．７１気圧以下にするか、（ｂ）空気と酸素以外の気体（例えば、窒素やアルゴン等の不活性気体）を空気に対して４０ｖｏｌ％以上混合することにより達成できる。
本発明における貧酸素雰囲気については、特に限定されず前記いずれの方法も用いることができる。
前記酸素分圧は０．１５気圧以下とする方法を用いる場合、０．１０気圧以下が好ましく、０．０８気圧以下がより好ましく、０．０５気圧以下が特に好ましい。酸素分圧が０．１５気圧より高いと、隔壁表面での重合が酸素により阻害され、表面の粗さが増加する場合がある。
酸素分圧の下限には特に制限はない。真空又は雰囲気を空気以外の気体（例えば窒素）で置換することにより酸素分圧を事実上０にすることができるが、これも好ましい方法である。酸素分圧は酸素計を用いて測定することができる。
【００２３】
前記不活性気体とは、Ｎ２、Ｈ２、ＣＯ２、などの一般的な気体や、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒなどの希ガス類をいう。この中でも、安全性や入手の容易さ、コストの問題から、Ｎ２が好適に利用される。
【００２４】
前記減圧下とは、５００ｈＰａ以下、好ましくは１００ｈＰａ以下の状態を指す。
【００２５】
＜酸素遮断層＞
本発明において用いられる酸素遮断層としては例えば、特開昭４６−２１２１号や特公昭５６−４０８２４号の各公報に記載の、ポリビニルエーテル／無水マレイン酸重合体、カルボキシアルキルセルロースの水溶性塩、水溶性セルロースエーテル類、カルボキシアルキル澱粉の水溶性塩、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、各種のポリアクリルアミド類、各種の水溶性ポリアミド、ポリアクリル酸の水溶性塩、ゼラチン、エチレンオキサイド重合体、各種の澱粉およびその類似物からなる群の水溶性塩、スチレン／マレイン酸の共重合体、マレイネート樹脂、及びこれらの二種以上の組合せ等が挙げられる。
【００２６】
これらの中でも特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンの組合せである。ポリビニルアルコールは鹸化率が８０％以上であるものが好ましく、ポリビニルピロリドンの含有量はアルカリ可溶な樹脂層固形分の１〜７５質量％が好ましく、より好ましくは１〜５０質量％、更に好ましくは１０〜４０質量％である。
【００２７】
このようにして形成された酸素を遮断しうる酸素遮断層の酸素透過係数は７５ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・１０００ｈＰａ以下が好ましく、５０ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・１０００ｈＰａ以下がより好ましく、２５ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・１０００ｈＰａ以下が最も好ましい。酸素透過係数が７５ｃｍ３／ｍ２・ｄａｙ・１０００ｈＰａ以下の場合には、効率的に酸素を遮断することができ、隔壁を所望の矩形型に近い断面形状にすることができる。
【００２８】
≪インク≫
本発明に用いられるＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクは、インク中の溶剤量が５０質量％以下であることを特徴とする。インク中の溶剤量が５０質量％以下であるとは、実質的に溶剤を含まないインクを明瞭に定義するための条件である。
該インクを用いることにより、各色の着色層の硬化後の体積収縮を小さくすることができ、画素中央部での平滑性が良好となり、色均一性が向上する。その結果、液晶表示装置に搭載したときに表示ムラの発生を抑制できる。
尚、本発明にいう溶剤とは、水、アルコール類、ケトン類、など、「新版溶剤ポケットブック（有機合成科学協会編、オーム社発行）」記載の溶剤をさす。
さらに、本発明に用いられるＲ、Ｇ、Ｂの各色のインクは、着色剤、重合性化合物および重合開始剤を含むことを特徴とする。該インクは、活性光線により、重合反応により、硬化する重合性着色組成物からなることが好ましい。
【００２９】
＜着色剤＞
着色剤としては、公知の着色剤（染料、顔料）を用いることができる。該公知の着色剤のうち顔料を用いる場合には、インク中に均一に分散されていることが望ましく、そのため粒径が０．１μｍ以下、特には０．０８μｍ以下であることが好ましい。
上記公知の染料ないし顔料としては、具体的には、特開２００５−１７７１６号公報[００３８]〜[００４０]に記載の色材や、特開２００５−３６１４４７号公報[００６８]〜[００７２]に記載の顔料や、特開２００５−１７５２１号公報[００８０]〜[００８８]に記載の着色剤を好適に用いることができる。
【００３０】
本発明における着色剤としては、上記の着色剤の中でも、（ｉ）Ｒ（レッド）のインクにおいてはＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４が、（ｉｉ）Ｇ（グリーン）のインクにおいてはＣ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６が、（ｉｉｉ）Ｂ（ブルー）のインクにおいてはＣ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６が好適なものとして挙げられる。更に上記顔料は組み合わせて用いてもよい。
【００３１】
本発明において、併用するのが好ましい上記記載の顔料の組み合わせは、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、又は、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３との組み合わせが挙げられ、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１３８、又は、Ｃ．Ｉ．ピグメント・イエロー１８０との組み合わせが挙げられ、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６では、Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット２３、又は、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー６０との組み合わせが挙げられる。
このように併用する場合の顔料中のＣ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６の含有量は、Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド２５４は、８０重量％以上が好ましく、特に９０重量％以上が好ましい。Ｃ．Ｉ．ピグメント・グリーン３６は５０重量％以上が好ましく、特に６０重量％以上が好ましい。Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５：６は、８０重量％以上が好ましく、特に９０重量％以上が好ましい。
【００３２】
上記顔料は分散液として使用することが望ましい。この分散液は、前記顔料と顔料分散剤とを予め混合して得られる組成物を、後述する重合性化合物に添加して分散させることによって調製することができる。前記顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、２０００年、４３８項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献３１０項記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
【００３３】
本発明で用いる着色剤（顔料）は、数平均粒径０．００１〜０．１μｍのものが好ましく、更に０．０１〜０．０８μｍのものが好ましい。顔料数平均粒径が０．００１μｍ未満であると、粒子表面エネルギーが大きくなり凝集し易くなり、顔料分散が難しくなると共に、分散状態を安定に保つのも難しくなり好ましくない。また、顔料数平均粒径が０．１μｍを超えると、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下し、好ましくない。尚、ここでいう「粒径」とは粒子の電子顕微鏡写真画像を同面積の円とした時の直径を言い、また「数平均粒径」とは多数の粒子について上記の粒径を求め、この１００個平均値をいう。
【００３４】
着色画素のコントラストは、分散されている顔料の粒径を小さくすることで向上させることができる。粒径を小さくするには、顔料分散物の分散時間を調節することで達成できる。分散には、上記記載の公知の分散機を用いることができる。分散時間は好ましくは１０〜３０時間であり、更に好ましくは１８〜３０時間、最も好ましくは２４〜３０時間である。分散時間が１０時間未満であると、顔料粒径が大きく、顔料による偏光の解消が生じ、コントラストが低下することがある。一方、３０時間を越えると、分散液の粘度が上昇し、インクジェットヘッドからの吐出が困難になることがある。
【００３５】
上記着色剤を用いて作製されるカラーフィルターの各着色画素のコントラストは、２０００以上が好ましく、より好ましくは２８００以上、更に好ましくは３０００以上であり、最も好ましくは３４００以上である。カラーフィルターを構成する各着色画素のコントラストが２０００以下だと、これを有する液晶表示装置の画像を観察すると、全体に白っぽい印象となり、見難く好ましくない。また、各着色画素のコントラストの差が、好ましくは６００以内であり、より好ましくは４１０以内であり、更に好ましくは３５０以内、最も好ましくは２００以内である。各着色画素のコントラストの差が６００以内であると、黒表示時における各着色画素部からの光漏れ量が大きく相違しない為、黒表示の色バランスが良いため好ましい
【００３６】
本明細書において、「着色画素のコントラスト」とは、カラーフィルターを構成するＲ、Ｇ、Ｂについて、色毎に個別に評価されるコントラストを意味する。コントラストの測定方法は次の通りである。被測定物の両側に偏光板を重ねて、偏光板の偏光方向を互いに平行にした状態で、一方の偏光板の側からバックライトを当てて、他方の偏光板を通過した光の輝度Ｙ１を測定する。次に偏光板を互いに直交させた状態で、一方の偏光板の側からバックライトを当てて、他方の偏光板を通過した光の輝度Ｙ２を測定する。得られた測定値を用いて、コントラストはＹ１／Ｙ２で算出される。尚、コントラスト測定に用いる偏光板は、該カラーフィルターを使用する液晶表示装置に用いる偏光板と同一のものとする。
【００３７】
＜重合性化合物＞
本発明における重合性化合物としては、ラジカル活性種による重合反応により硬化するラジカル重合性化合物およびカチオン活性種によるカチオン重合反応により硬化するカチオン重合性化合物を用いることができる。
【００３８】
（ラジカル重合性化合物）
ラジカル重合性化合物の具体的化合物としては、いかに示す化合物があるが、これらに限定されることは無い。
エチレン性不飽和二重結合を１個有する単官能モノマーとして、ブタンジオールモノアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアクリレート、２−メトキシエチルアクリレート、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−ビニルピロリドン、アクリロイルモルフォリン、Ｎ−ビニルホルムアミド、シクロヘキシルアクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ジシクロペンタニルメタクリレート、グリシジルアクリレート、イソボニルアクリレート、イソデシルアクリレート、フェノキシメタクリレート、ステアリルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、２−フェノキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、４−ヒドロキシブチルアクリレート、イソブチルアクリレート、ｔ−ブチルアクリレート、イソオクチルアクリレート、イソボルニルアクリレート、メトキシトリエチレングリコールアクリレート、２−エトキシエチルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、３−メトキシブチルアクリレート、ベンジルアクリレート、エトキシエトキシエチルアクリレート、ブトキシエチルアクリレート、エトキシジエチレングリコールアクリレート、メトキシジプロピレングリコールアクリレート、メチルフェノキシエチルアクリレート、ジプロピレングリコールアクリレート等が挙げられる。
【００３９】
２官能以上のモノマーとして、オリゴマーにはエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化１，６−ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，９−ノナンジオールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、２−ｎ−ブチル−２−エチル−１，３−プロパンジオールジアクリレート、ジメチロールートリシクロデカンジアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート、１，３−ブチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エトキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、プロポキシ化ビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、シクロヘキサンジメタノールジ（メタ）アクリレート、ジメチロールジシクロペンタンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、プロポキシ化トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、テトラメチロールプロパントリアクリレート、テトラメチロールメタントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、カプロラクトン変性トリメチロールプロパントリアクリレート、エトキシ化イソシアヌール酸トリアクリレート、トリ（２−ヒドロキシエチルイソシアヌレート）トリアクリレー、プロポキシレートグリセリルトリアクリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、エトキシ化ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ネオペンチルグリコールオリゴアクリレート、１，４−ブタンジオールオリゴアクリレート、１，６−ヘキサンジオールオリゴアクリレート、トリメチロールプロパンオリゴアクリレート、ペンタエリスリトールオリゴアクリレート、ウレタンアクリレート、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート等が挙げられる。
これら化合物は、一種または必要に応じて二種以上用いてもよい。
【００４０】
（カチオン重合性化合物）
カチオン重合性化合物としては、光重合開始剤から発生されるカチオン活性種により重合反応を生起し、硬化する化合物として、カチオン重合性化合物を用いることができる。
カチオン重合性化合物としては、光カチオン重合性モノマーとして知られる各種公知のカチオン重合性のモノマーを使用することができる。カチオン重合性モノマーとしては、例えば、特開平６−９７１４号、特開２００１−３１８９２、同２００１−４００６８、同２００１−５５５０７、同２００１−３１０９３８、同２００１−３１０９３７、同２００１−２２０５２６などの各公報に記載されているビニルエーテル化合物、オキセタン化合物、オキシラン化合物などが挙げられる。
【００４１】
ビニルエーテルを官能基に有するカチオン重合性化合物の具体例としては、ウレタン系ビニルエーテル（ビニルエーテルウレタン）、エステル系ビニルエーテルなどが挙げられる。これらのオリゴマーは単独でまたは混合して使用することができる。
芳香族エポキシ樹脂の具体例としては、少なくとも１個の芳香族環を有する多価フェノール、またはそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテル、例えばビスフェノールＡ、ビスフェノールＦ、またこれらに更にアルキレンオキサイドを付加させた化合物のグリシジルエーテル、エポキシノボラック樹脂、ビスフェノールＡノボラックジグリシジルエーテル、ビスフェノールＦノボラックジグリシジルエーテル等が挙げられる。
また、脂環式エポキシ樹脂の具体例としては、少なくとも１個の脂環式環を有する多価アルコールのポリグリシジルエーテルまたはシクロヘキセン、シクロペンテン環含有化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるシクロヘキセンオキサイド構造含有化合物または、シクロペンテンオキサイド構造含有化合物、またはビニルシクロヘキサン構造を有する化合物を酸化剤でエポキシ化することによって得られるビニルシクロヘキサンオキサイド構造含有化合物が挙げられる。例えば、水素添加ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキシルカルボキシレート、３，４−エポキシ−１−メチルシクロヘキシル−３，４−エポキシ−１−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、６−メチル−３，４−エポキシシクロヘキシルメチル−６−メチル−３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシ−３−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−３−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、３，４−エポキシ−５−メチルシクロヘキシルメチル−３，４−エポキシ−５−メチルシクロヘキサンカルボキシレート、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル−５，５−スピロ−３，４−エポキシ）シクロヘキサン−メタジオキサン、ビス（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）アジペート、ビニルシクロヘキセンジオキサイド、４−ビニルエポキシシクロヘキサン、ビス（３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルメチル）アジペート、３，４−エポキシ−６−メチルシクロヘキシルカルボキシレート、メチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサン）、ジシクロペンタジエンジエポキサイド、エチレングリコールジ（３，４−エポキシシクロヘキシルメチル）エーテル、エチレンビス（３，４−エポキシシクロヘキサンカルボキシレート）、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジオクチル、エポキシヘキサヒドロフタル酸ジ−２−エチルヘキシル等が挙げられる。
【００４２】
脂肪族エポキシ樹脂の具体例としては、脂肪族多価アルコールまたはそのアルキレンオキサイド付加物のポリグリシジルエーテル、脂肪族長鎖多塩基酸のポリグリシジルエステル、脂肪族長鎖不飽和炭化水素を酸化剤で酸化することによって得られるエポキシ含有化合物、グリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートのホモポリマー、グリシジルアクリレートまたはグリシジルメタクリレートのコポリマー等が挙げられる。代表的な化合物として、１，４−ブタンジオールジグリシジルエーテル、１，６−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリンのトリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパンのトリグリシジルエーテル、ペンタエリスリトールのテトラグリシジルエーテル、ソルビトールのテトラグリシジルエーテル、ジペンタエルスリトールのヘキサグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールのジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールのジグリシジルエーテルなどの多価アルコールのグリシジルエーテル、また、プロピレングリコール，グリセリン等の脂肪族多価アルコールに１種または２種以上のアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル、脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステルが挙げられる。さらに、脂肪族高級アルコールのモノグリシジルエーテルやフェノール，クレゾール，ブチルフェノール、またこれらにアルキレンオキサイドを付加することによって得られるポリエーテルアルコールのモノグリシジルエーテル、高級脂肪酸のグリシジルエステル、エポキシ化大豆油、エポキシステアリン酸オクチル、エポキシステアリン酸ブチル、エポキシ化アマニ油等が挙げられる。
【００４３】
これら活性エネルギー線の照射により硬化性を有する成分が、全インキ量の５０質量％以下になると、一般的な活性エネルギー線の強度では硬化性が不足してくる。そのため、照射時間を長くするなどの対応が必要となる。以上のことから、硬化性を有する成分量は全インキの５０質量％以上、より好ましくは６０質量％以上を有することが望ましい。
【００４４】
＜重合開始剤＞
本発明に用いられる重合開始剤としては、活性光線の照射により、ラジカル活性種を発生し、ラジカル重合性化合物の重合を開始するラジカル重合開始剤、及び、カチオン活性種を発生し、カチオン重合性化合物の重合を開始するカチオン重合開始剤のいずれかを重合性化合物に合わせて、用いることができる。
【００４５】
（ラジカル重合開始剤）
本発明において、使用し得る光重合開始剤は以下のものが挙げられる。ベンゾフェノン系として、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、４−フェニルベンゾフェノン、４、４−ジエチルアミノベンゾフェノン、３、３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド等が、チオキサントン系として、チオキサントン、２−クロロオキサントン、２、４−ジエチルチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、イソプロピルキサントン等が、アセトフェノン系として、２−メチル−１−（４−メチルチオ）フェニル−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタノン−１、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２、２−ジメチル−２−ヒドロキシアセエトフェノン、２、２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、４−フェノキシジクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン等が、ベンゾイン系として、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジルメチルケタール等が、アシルフォスフィンオキサイド系として、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス（２，４，６−トリメチルベンゾイル）アシルフォスフィンオキサイド、等が挙げられる。
【００４６】
（カチオン重合開始剤）
カチオン重合開始剤としては、ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩、スルホニウム塩、鉄アレーン錯体及び有機ポリハロゲン化合物を好ましく使用することができる。ジアゾニウム塩、ヨードニウム塩及びスルホニウム塩としては、特公昭５４−１４２７７号、特公昭５４−１４２７８号、特開昭５１−５６８８５号、米国特許第３，７０ ８，２９６号、同第３，８５３，００２号等に記載された化合物が挙げられる。
光カチオン重合開始剤としては、例えば芳香族ジアゾニウム塩、芳香族スルホニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、メタロセン化合物、ケイ素化合物／アルミニウム錯体等が例示される。
【００４７】
≪隔壁≫
本発明における隔壁は、２以上の画素群を離画するものであり、遮光性を有することを特徴とする。本発明における隔壁は、光重合性遮光層を前述の貧酸素条件下にて露光し、その後現像することにより形成することが好ましい。
【００４８】
＜光重合性遮光層＞
本発明における光重合性遮光層を形成する組成物を、以下単に濃色組成物という。
ここで、濃色組成物とは、高い光学濃度を有する組成物のことであり、その値は２．０〜１０．０である。濃色組成物の光学濃度は好ましくは２．５〜６．０であり、特に好ましくは３．０〜５．０である。また、この濃色組成物は、後述するように好ましくは光開始系で硬化させる為、露光波長（一般には紫外域）に対する光学濃度も重要である。すなわち、その値は２．０〜１０．０であり、好ましくは２．５〜６．０、最も好ましいのは３．０〜５．０である。２．０未満では隔壁形状が望みのものとならない恐れがあり、１０．０を超えると、重合を開始することができず隔壁そのものを作ることが困難となる。かかる性質を有しさえすれば、組成物中の遮光剤は有機物（染料、顔料などの各種色素）であっても、各形態の炭素であっても、また金属又はそれらの合金及び酸化物であっても良く、さらにこれらの組み合わせからなるものであってもよい。かかる遮光剤は、特に限定されないが、黒色体がもっとも多く使用される。黒色体の例示としては、カーボンブラック、チタンカーボン、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛、銀及び錫及びそれらの合金などが挙げられ、中でも、カーボンブラック、銀及び錫及びそれらの合金が好ましい。
【００４９】
濃色組成物はかかる遮光剤以外に、重合性化合物および重合開始剤を少なくとも含んでなることが好ましい。また、必要に応じて更に公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、重合禁止剤、界面活性剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに濃色組成物は少なくとも１５０℃以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。
【００５０】
（重合開始剤）
濃色組成物を硬化させる方法としては、熱重合開始剤を用いる熱開始系や光重合開始剤を用いる光開始系が一般的であるが、光開始系を用いることが好ましい。
ここで用いる光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の照射（露光ともいう）により、後述の多官能性モノマーの重合を開始する活性種を発生し得る化合物であり、公知の光重合開始剤若しくは光重合開始剤系の中から適宜選択することができる。
例えば、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物、等を挙げることができる。
【００５１】
具体的には、特開２００１−１１７２３０公報に記載の、トリハロメチル基が置換したトリハロメチルオキサゾール誘導体又はｓ−トリアジン誘導体、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載のトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載のトリハロメチルオキサジアゾール化合物などのトリハロメチル基含有化合物；
９−フェニルアクリジン、９−ピリジルアクリジン、９−ピラジニルアクリジン、１，２−ビス（９−アクリジニル）エタン、１，３−ビス（９−アクリジニル）プロパン、１，４−ビス（９−アクリジニル）ブタン、１，５−ビス（９アクリジニル）ペンタン、１，６−ビス（９−アクリジニル）ヘキサン、１，７−ビス（９−アクリジニル）ヘプタン、１，８−ビス（９−アクリジニル）オクタン、１，９−ビス（９−アクリジニル）ノナン、１，１０−ビス（９−アクリジニル）デカン、１，１１−ビス（９−アクリジニル）ウンデカン、１，１２−ビス（９−アクリジニル）ドデカン等のビス（９−アクリジニル）アルカン、などのアクリジン系化合物；
６−（ｐ−メトキシフェニル）−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンなどのトリアジン系化合物；その他、９，１０−ジメチルベンズフェナジン、ミヒラーズケトン、ベンゾフェノン／ミヒラーズケトン、ヘキサアリールビイミダゾール／メルカプトベンズイミダゾール、ベンジルジメチルケタール、チオキサントン／アミン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールなどが挙げられる。
【００５２】
上記のうち、トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物から選択される少なくとも一種が好ましく、特に、トリハロメチル基含有化合物及びアクリジン系化合物から選択される少なくとも一種を含有することが好ましい。トリハロメチル基含有化合物、アクリジン系化合物は、汎用性でかつ安価である点でも有用である。
特に好ましいのは、トリハロメチル基含有化合物としては、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−スチリルスチリル）−１，３，４−オキサジアゾールであり、アクリジン系化合物としては、９−フェニルアクリジンであり、更に、６−〔ｐ−（Ｎ，Ｎ−ビス（エトキシカルボニルメチル）アミノ）フェニル〕−２，４−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ブトキシスチリル）−５−トリクロロメチル−１，３，４−オキサジアゾールなどのトリハロメチル基含有化合物、及びミヒラーズケトン、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールである。
【００５３】
前記光重合開始剤は、単独で用いてもよいし、２種以上を併用してもよい。前記光重合開始剤の濃色組成物における総量としては、濃色組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％が好ましく、０．５〜１０質量％が特に好ましい。前記総量が、０．１質量％未満であると、組成物の光硬化の効率が低く露光に長時間を要することがあり、２０質量％を超えると、現像する際に、形成された画像パターンが欠落したり、パターン表面に荒れが生じやすくなることがある。
【００５４】
前記光重合開始剤は、水素供与体を併用して構成されてもよい。該水素供与体としては、感度をより良化することができる点で、以下で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。ここでの「水素供与体」とは、露光により前記光重合開始剤から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物をいう。
前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という）である。また、前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、更に好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という）である。尚、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有していてもよい。
【００５５】
上記のメルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン、等が挙げられる。これらのうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
上記のアミン系水素供与体の具体例としては、４、４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４、４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等が挙げられる。これらのうち、４，４’− ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００５６】
前記水素供与体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができ、形成された画像が現像時に永久支持体上から脱落し難く、かつ強度及び感度も向上させ得る点で、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組合せて使用することが好ましい。
【００５７】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組合せの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等が挙げられる。より好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノベンゾフェノンであり、特に好ましい組合せは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。
【００５８】
前記メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体とを組合せた場合の、メルカプタン系水素供与体（Ｍ）とアミン系水素供与体（Ａ）との質量比（Ｍ：Ａ）は、通常１：１〜１：４が好ましく、１：１〜１：３がより好ましい。前記水素供与体の濃色組成物における総量としては、濃色組成物の全固形分（質量）の０．１〜２０質量％ が好ましく、０．５〜１０質量％ が特に好ましい。
【００５９】
（重合性化合物）
本発明の重合性化合物としては、多官能性モノマーを用いることができる。
多官能性モノマーとしては、下記化合物を単独で又は他のモノマーとの組合わせて使用することができる。具体的には、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、２−エチル−２−ブチル−プロパンジオールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ポリオキシエチル化トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリス（２−（メタ）アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、１，４−ジイソプロペニルベンゼン、１，４−ジヒドロキシベンゼンジ（メタ）アクリレート、デカメチレングリコールジ（メタ）アクリレート、スチレン、ジアリルフマレート、トリメリット酸トリアリル、ラウリル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、キシリレンビス（メタ）アクリルアミド、等が挙げられる。
また、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有する化合物とヘキサメチレンジイソシアネート、トルエンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート等のジイソシアネートとの反応物も使用できる。
これらのうち、特に好ましいのは、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、トリス（２−アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレートである。
【００６０】
多官能性モノマーの濃色組成物における含有量としては、濃色組成物の全固形分（質量）に対して、５〜８０質量％が好ましく、１０〜７０質量％ が特に好ましい。前記含有量が、５質量％ 未満であると、組成物の露光部でのアルカリ現像液への耐性が劣ることがあり、８０質量％ を越えると、濃色組成物としたときのタッキネスが増加してしまい、取扱い性に劣ることがある。
【００６１】
（バインダー）
濃色離画壁形成用の濃色組成物は、バインダーの少なくとも一種を用いて構成することができる。
バインダーとしては、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーが好ましい。その例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報、及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載の、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、等を挙げることができる。
【００６２】
また、側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げられる。さらに、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用できる。
特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーは、一種単独で用いてもよいし、通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用するようにしてもよい。
【００６３】
バインダーの濃色組成物中における含有量としては、層又は組成物の全固形分（質量）に対して、２０〜５０質量％が好ましく、２４〜４５質量％がより好ましい。
【００６４】
（溶剤）
本発明における離画壁を作製する際に用いる濃色組成物は、一般に前記成分以外に、有機溶剤を用いて構成することができる。有機溶剤の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等が挙げられる。
【００６５】
（他の成分）
本発明における濃色組成物層には、さらに下記成分、例えば界面活性剤、紫外線吸収剤、並びに公知の添加剤、例えば、可塑剤、充填剤、安定化剤、熱重合防止剤、溶剤、密着促進剤等を含有させることができる。さらに、感光性樹脂組成物は少なくとも１５０ ℃ 以下の温度で軟化もしくは粘着性になることが好ましく、熱可塑性であることが好ましい。かかる観点からは、相溶性の可塑剤を添加することで改質することができる。
【００６６】
−界面活性剤−
濃色組成物を基板上又は後述の感光性転写材料の仮支持体上に塗布する場合には、濃色組成物中に界面活性剤を含有させることで、均一な膜厚に制御でき、塗布ムラを効果的に防止することができる。界面活性剤としては、特開２００３−３３７４２４号公報、特開平１１−１３３６００号公報に記載の界面活性剤が好適に挙げられる。なお、界面活性剤の濃色組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分（質量）に対して、０．００１〜１％が一般的であり、０．０１〜０．５％が好ましく、０．０３〜０．３％が特に好ましい。
【００６７】
−紫外線吸収剤−
濃色組成物には、必要に応じて紫外線吸収剤を含有することができる。
紫外線吸収剤としては、特開平５−７２７２４号公報に記載の化合物、並びにサリシレート系、ベンゾフェノン系、ベンゾトリアゾール系、シアノアクリレート系、ニッケルキレート系、ヒンダードアミン系等の化合物が挙げられる。
【００６８】
例えば、フェニルサリシレート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジ−ｔ−ブチルフェニル−３’，５’−ジ−ｔ−４’−ヒドロキシベンゾエート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、２，４−ジヒドロキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−４−ｎ−オクトキシベンゾフェノン、２−（２’−ヒドロキシ−５’−メチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２−（２’−ヒドロキシ−３’−ｔ−ブチル−５’−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、エチル−２−シアノ−３，３−ジ−フェニルアクリレート、２，２’−ヒドロキシ−４−メトキシベンゾフェノン、ニッケルジブチルジチオカーバメート、ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピリジン）−セバケート、４−ｔ−ブチルフェニルサリシレート、サルチル酸フェニル、４−ヒドロキシ−２，２，６，６−テトラメチルピペリジン縮合物、コハク酸−ビス（２，２，６，６−テトラメチル−４−ピペリデニル）−エステル、２−［２−ヒドロキシ−３，５−ビス（α，α−ジメチルベンジル）フェニル］−２Ｈ−ベンゾトリアゾール、７−｛［４−クロロ−６−（ジエチルアミノ）−５−トリアジン−２−イル］アミノ｝−３−フェニルクマリン等が挙げられる。
紫外線吸収剤を用いる場合の、濃色組成物の全固形分に対する紫外線吸収剤の含有量としては０．５〜１５％が一般的であり、１〜１２％が好ましく、１．２〜１０％が特に好ましい。
【００６９】
−熱重合防止剤−
濃色組成物には、熱重合防止剤を含むことが好ましい。熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
熱重合防止剤を用いる場合の、濃色組成物の全固形分に対する含有量としては０．０１〜１％が一般的であり、０．０２〜０．７％が好ましく、０．０５〜０．５％が特に好ましい。
【００７０】
また、濃色組成物には、前記成分以外に、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「接着助剤」やその他の添加剤等を含有させることもできる。
【００７１】
＜隔壁の表面粗さ＞
本発明においては、隔壁形成の際、貧酸素条件下で光重合性遮光層を露光するため、酸素の影響を受けにくく、隔壁の表面粗さを小さくすることができる。隔壁の表面粗さＲａ値は５ｎｍ以下とすることができ、好ましくは４．０ｎｍ以下、より好ましくは３．６ｎｍの以下とすることができる。隔壁の表面粗さＲａ値が５ｎｍ以下となると、隔壁の表面におけるインク等着色液体組成物の移動を抑制することができ、この結果、隣接する画素間の着色液体組成物の移動による混色を未然に防止することができる。
【００７２】
＜隔壁の高さ＞
本発明において、隔壁の高さは、１μｍ〜２０μｍであることが好ましく、１．５μｍ〜５μｍであることがより好ましい。１μｍ〜２０μｍとすることにより、より効果的に混色を防止することができる。
【００７３】
＜隔壁の断面形状＞
本発明における隔壁の断面形状は、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色及び白抜けなどを防止する観点から、矩形型に近いものであることが好ましい。
【００７４】
≪基板≫
本発明のカラーフィルターを構成する基板（永久支持体）としては、金属性支持体、金属張り合わせ支持体、ガラス、セラミック、合成樹脂フィルム等を使用することができる。特に好ましくは、透明性で寸度安定性の良好なガラスや合成樹脂フィルムが挙げられる。
【００７５】
≪感光性転写材料≫
かかる隔壁形状を容易且つ低コストで実現するものとして、仮支持体上に少なくとも光重合性遮光層と、酸素遮断層とを有してなる感光性転写材料を使用するという手法がある。このような材料を用いた場合、光重合性遮光層は酸素遮断層に保護されるため自動的に貧酸素条件下となる。そのため露光工程を不活性気体下や減圧下で行う必要がないため、現状の工程をそのまま利用できる利点がある。
【００７６】
上記の感光性転写材料は、必要に応じて熱可塑性樹脂層を有していてもよい。かかる熱可塑性樹脂層とは、アルカリ可溶性であって、少なくとも樹脂成分を含んで構成され、該樹脂成分としては、実質的な軟化点が８０℃以下であることが好ましい。このような熱可塑性樹脂層が設けられることにより、後述する隔壁形成方法において、永久支持体との良好な密着性を発揮することができる。
【００７７】
軟化点が８０℃以下のアルカリ可溶性の熱可塑性樹脂としては、エチレンとアクリル酸エステル共重合体のケン化物、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル共重合体のケン化物、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体などのケン化物、等が挙げられる。
【００７８】
熱可塑性樹脂層には、上記の熱可塑性樹脂の少なくとも一種を適宜選択して用いることができ、更に「プラスチック性能便覧」（日本プラスチック工業連盟、全日本プラスチック成形工業連合会編著、工業調査会発行、１９６８年１０月２５日発行）による、軟化点が約８０℃ 以下の有機高分子のうちアルカリ水溶液に可溶なものを使用することができる。
【００７９】
また、軟化点が８０℃以上の有機高分子物質についても、その有機高分子物質中に該高分子物質と相溶性のある各種可塑剤を添加することで、実質的な軟化点を８０℃以下に下げて用いることもできる。また、これらの有機高分子物質には、仮支持体との接着力を調節する目的で、実質的な軟化点が８０℃を越えない範囲で、各種ポリマーや過冷却物質、密着改良剤あるいは界面活性剤、離型剤、等を加えることもできる。
【００８０】
好ましい可塑剤の具体例としては、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェートビフェニル、ジフェニルフォスフェートを挙げることができる。
【００８１】
上記の感光性転写材料における仮支持体としては、化学的及び熱的に安定であって、可撓性の物質で構成されるものから適宜選択することができる。具体的には、テフロン（登録商標） 、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン等、薄いシート若しくはこれらの積層体が好ましい。前記仮支持体の厚みとしては、５〜３００μｍが適当であり、好ましくは２０〜１５０μｍである。
【００８２】
≪カラーフィルターの製造方法≫
以下、本発明のカラーフィルターの製造方法について説明する。
＜隔壁の形成＞
本発明における隔壁を形成する方法は、
（１）基板上に濃色組成物を含有する塗布液を塗布して光重合性遮光層を形成し、その上に、必要に応じて酸素遮断膜を塗布する方法
（２）仮支持体上に、濃色組成物からなる光重合性遮光層と、必要に応じて酸素遮断膜とを少なくとも有する感光性転写材料を基板上に転写する方法
が好ましい。以下、単に（１）の方法を塗布法、（２）の方法を転写法ともいう。
以下、これらについて詳細に説明する。
【００８３】
（塗布法による隔壁の形成）
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。該基板を温調後、前記濃色組成物を塗布する。引き続き、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性をなくした後、プリベークして光重合性遮光層を得る。この時、ＥＢＲ（エッジ・ビード・リムーバー）等にて基板周囲の不要な塗布液を除去してもよい。
前記塗布としては、特に限定されず、公知のスリット状ノズルを有するガラス基板用コーター（例えば、エフ・エー・エス・アジア社製、商品名：ＭＨ−１６００）や、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター（平田機工株式会社製）等を用いて行うことができる。
前記乾燥は、公知の乾燥装置（例えば、ＶＣＤ（真空乾燥装置；東京応化工業社製）等）を用いて行うことができる。
プリベークとしては、特に限定されないが、例えば、１２０℃３分間することにより達成することができる。
【００８４】
続いて、基板と画像パターンを有するマスク（例えば、石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該光重合性遮光層の間の距離を適宜（例えば、２００μｍ）に設定し、前述の貧酸素雰囲気下で露光する。
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）等で行い、露光量としては適宜（例えば、３００ｍＪ／ｃｍ２）選択することができる。
【００８５】
ここで、光重合性遮光層上に酸素遮断層を形成し、露光してもよい。この場合には、前記貧酸素雰囲気下で露光してもよいし、大気下で露光してもよい。酸素遮断層は光重合性遮光層と同様の方法で形成できる。
【００８６】
次に、現像液で現像してパターニング画像を得、引き続き必要に応じて、水洗処理して隔壁を得る。
前記現像の前には、純水をシャワーノズル等にて噴霧して、該濃色感光性樹脂層の表面を均一に湿らせることが好ましい。前記現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。
光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
【００８７】
（転写法による隔壁の形成）
次に、前述の感光性転写材料を用いて、隔壁を形成する場合を説明する。
まず、基板を洗浄した後、該基板を熱処理して表面状態を安定化させる。次に、仮支持体上に、酸素遮断層、光重合性遮光層、更に光重合性遮光層上にカバーシートが設けられた感光性転写材料を用意する。ここで、仮支持体と酸素遮断層との間に、熱可塑性樹脂層が設けられていてもよい。
まず、カバーシートを剥離除去した後、露出した光重合性遮光層の表面を永久支持体（基板）上に貼り合わせ、ラミネーター等を通して加熱、加圧して積層する（積層体）。ラミネーターには、従来公知のラミネーター、真空ラミネーター等の中から適宜選択したものが使用でき、より生産性を高めるには、オートカットラミネーターも使用可能である。
【００８８】
次いで、仮支持体と酸素遮断層（熱可塑性樹脂層がある場合には熱可塑性樹脂層）との間で剥離し、仮支持体を除去する。続いて、基板と画像パターンを有するマスク（例えば、石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該酸素遮断層（熱可塑性樹脂層がある場合には熱可塑性樹脂層）との間の距離を適宜（例えば、２００μｍ）に設定し、大気下で露光する。尚、露光は前記貧酸素雰囲気下で行ってもよい。
該露光としては、例えば、超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（例えば、日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）等で行い、露光量としては適宜（例えば、３００ｍＪ／ｃｍ２）選択することができる。
露光後、所定の処理液を用いて現像処理する。現像処理に用いる現像液としては、アルカリ性物質の希薄水溶液が用いられるが、更に水と混和性の有機溶剤を少量添加したものでもよい。光照射に用いる光源としては、中圧〜超高圧水銀灯、キセノンランプ、メタルハライドランプ等が挙げられる。
【００８９】
適当なアルカリ性物質としては、アルカリ金属水酸化物類（例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム）、アルカリ金属炭酸塩類（例えば、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム）、アルカリ金属重炭酸塩類（例えば、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム）、アルカリ金属ケイ酸塩類（例えば、ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム）、アルカリ金属メタケイ酸塩類（例えば、メタケイ酸ナトリウム、メタケイ酸カリウム）、トリエタノールアミン、ジエタノールアミン、モノエタノールアミン、モルホリン、テトラアルキルアンモンニウムヒドロキシド類（ 例えば、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド）、燐酸三ナトリウム、等が挙げられる。アルカリ性物質の濃度は、０．０１〜３０質量％が好ましく、ｐＨは８〜１４が好ましい。
【００９０】
前記「水と混和性の有機溶剤」としては、例えば、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等が好適に挙げられる。水と混和性の有機溶剤の濃度は０．１〜３０質量％が好ましい。更に、公知の界面活性剤を添加することもでき、該界面活性剤の濃度としては０．０１〜１０質量％が好ましい。
【００９１】
前記現像液は、浴液としても、あるいは噴霧液としても用いることができる。感光性樹脂層の未硬化部分を除去する場合、現像液中で回転ブラシや湿潤スポンジで擦るなどの方法を組合わせることができる。現像液の液温度は、通常室温付近から４０℃が好ましい。  現像時間は、感光性樹脂層の組成、現像液のアルカリ性や温度、有機溶剤を添加する場合にはその種類と濃度、等に依るが、通常１０秒〜２分程度である。短すぎると非露光部の現像が不充分となると同時に紫外線の吸光度も不充分となることがあり、長すぎると露光部もエッチングされることがある。いずれの場合にも、隔壁形状を好適なものとすることが困難となる。現像処理の後に水洗工程を入れることも可能である。この現像工程にて、隔壁形状は前述のごとく形成される。
【００９２】
ついで、上記現像工程にて形成された隔壁の空隙に対し、ＲＧＢ各画素を形成する為のインクをその空隙に侵入させるが、各画素を形成する前に、隔壁の形状を固定化してもよく、その手段は特に限定されないが以下のようなものが挙げられる。すなわち、１）現像後、再露光を行う（ポスト露光と呼ぶことがある）、２）現像後、比較的低い温度で加熱処理を行う等である。ここでいう加熱処理とは隔壁を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射するということをさす。
【００９３】
ここで、上記１）を行う場合の露光量は、大気下であれば５００〜３０００ｍＪ／ｃｍ２、好ましくは１０００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２であり、貧酸素雰囲気下である場合にはそれより低い露光量で露光することも可能である。また、同じく２）を行う場合の加熱温度は５０〜２５０℃、好ましくは７０〜２００℃程度であり、その加熱時間は、１０〜４０分程度である。温度が５０℃より低い場合には隔壁の硬化が進まない懸念があり、２５０℃より大きい場合には隔壁形状が崩れてしまう懸念がある。
【００９４】
＜各画素の形成＞
各画素形成のために用いるインクジェット方式に関しては、公知の方法を用いることができる。
好ましくは、各画素を形成した後、加熱処理（いわゆるベーク処理）する加熱工程を設ける。即ち、光照射により光重合した層を有する基板を電気炉、乾燥器等の中で加熱する、あるいは赤外線ランプを照射する。加熱の温度及び時間は、感光性濃色組成物の組成や形成された層の厚みに依存するが、一般に充分な耐溶剤性、耐アルカリ性、及び紫外線吸光度を獲得する観点から、約１２０℃〜約２５０℃で約１０分〜約１２０分間加熱することが好ましい。
このようにして形成されたカラーフィルターのパターン形状は特に限定されるものではなく、一般的なブラックマトリックス形状であるストライプ状であっても、格子状であっても、さらにはデルタ配列状であってもよい。
【００９５】
≪表示装置≫
本発明のカラーフィルターは、表示装置に好適に用いることができる。表示装置としては液晶表示装置、プラズマディスプレイ表示装置、ＥＬ表示装置、ＣＲＴ表示装置などの表示装置などをいう。表示装置の定義や各表示装置の説明は例えば「電子ディスプレイデバイス(佐々木  昭夫著、（株）工業調査会  １９９０年発行)」、「ディスプレイデバイス(伊吹  順章著、産業図書（株）平成元年発行)」などに記載されている。
本発明の表示装置のうち、液晶表示装置は特に好ましい。液晶表示装置については例えば「次世代液晶ディスプレイ技術（内田  龍男編集、（株）工業調査会  １９９４年発行）」に記載されている。本発明が適用できる液晶表示装置に特に制限はなく、例えば上記の「次世代液晶ディスプレイ技術」に記載されている色々な方式の液晶表示装置に適用できる。本発明はこれらのなかで特にカラーＴＦＴ方式の液晶表示装置に対して有効である。カラーＴＦＴ方式の液晶表示装置については例えば「カラーＴＦＴ液晶ディスプレイ(共立出版（株）１９９６年発行)」に記載されている。さらに本発明はもちろんＩＰＳなどの横電界駆動方式、ＭＶＡなどの画素分割方式などの視野角が拡大された液晶表示装置にも適用できる。これらの方式については例えば「ＥＬ、ＰＤＰ、ＬＣＤディスプレイ−技術と市場の最新動向−（東レリサーチセンター調査研究部門  ２００１年発行）」の４３ページに記載されている。
【００９６】
液晶表示装置はカラーフィルター以外に電極基板、偏光フィルム、位相差フィルム、バックライト、スペーサ、視野角保障フィルムなどさまざまな部材から構成される。本発明のブラックマトリックスはこれらの公知の部材で構成される液晶表示装置に適用することができる。これらの部材については例えば「’９４液晶ディスプレイ周辺材料・ケミカルズの市場（島  健太郎  （株）シーエムシー  １９９４年発行  ）」、「２００３液晶関連市場の現状と将来展望（下巻）（表  良吉  （株）富士キメラ総研  ２００３年発行）」に記載されている。
【００９７】
≪対象用途≫
本発明のカラーフィルターはテレビ、パーソナルコンピュータ、液晶プロジェクター、ゲーム機、携帯電話などの携帯端末、デジタルカメラ、カーナビなどの用途に特に制限なく適用できる。
【実施例】
【００９８】
以下に実施例を挙げて本発明を更に具体的に説明する。以下の実施例に示す材料、試薬、割合、機器、操作等は本発明の精神から逸脱しない限り適宜変更することができる。従って、本発明の範囲は以下に示す具体例に限定されるものではない。なお、以下の実施例において、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表し、分子量とは重量平均分子量のことを示す。
【００９９】
［実施例１］
＜隔壁形成用濃色組成物Ｋ１の調製＞
濃色組成物Ｋ１は、まず表１に記載の量のＫ顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ＲＰＭ、１０分間攪拌し、次いで、表１に記載の量のメチルエチルケトン、バインダー２、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ジエトキシカルボニルメチル）アミノ−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ＲＰＭ３０分間攪拌することによって得られた。なお、表１に記載の量は質量部であり、詳しくは以下の組成となっている。
＜Ｋ顔料分散物１＞
・カーボンブラック（デグッサ社製  Ｎｉｐｅｘ３５）          ・・・  １３．１％
・分散剤                                                    ・・・  ０．６５％
【化１】
2007163689.tif 000002
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、分子量３．７万）                                      ・・・  ６．７２％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ・・・７９．５３％
＜バインダー２＞
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比のランダム共重合物、分子量３．８万）                                      ・・・      ２７％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ・・・      ７３％
＜ＤＰＨＡ液＞
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬(株)製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）        ・・・      ７６％
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ・・・      ２４％
＜界面活性剤１＞
・下記構造物１                                              ・・・      ３０％
【化２】
2007163689.tif 000003
・メチルエチルケトン          ７０％
【０１００】
【表１】
2007163689.tif 000004
【０１０１】
＜隔壁の形成＞
無アルカリガラス基板を、ＵＶ洗浄装置で洗浄後、洗浄剤を用いてブラシ洗浄し、更に超純水で超音波洗浄した。基板を１２０℃３分熱処理して表面状態を安定化させた。
基板を冷却し２３℃に温調後、スリット状ノズルを有すガラス基板用コーター（エフ・エー・エス・アジア社製、商品名：ＭＨ−１６００）にて、上表に記載の組成よりなる濃色組成物Ｋ１を塗布した。引き続きＶＣＤ（真空乾燥装置、東京応化工業（株）製）で３０秒間、溶媒の一部を乾燥して塗布層の流動性を無くした後、１２０℃３分間プリベークして光重合性遮光層Ｋ１を得た。
【０１０２】
超高圧水銀灯を有すプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と光重合性遮光層Ｋ１の間の距離を２００μｍに設定し、０．２気圧まで減圧した環境下で、露光量３００ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
【０１０３】
次に、純水をシャワーノズルにて噴霧して、光重合性遮光層Ｋ１の表面を均一に湿らせた後、ＫＯＨ系現像液（ＫＯＨ、ノニオン界面活性剤含有、商品名：ＣＤＫ−１、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製）にて２３℃８０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像しパターニング画像を得た。引き続き、超純水を、超高圧洗浄ノズルにて９．８ＭＰａの圧力で噴射して残渣除去を行い、大気下にて露光量２０００ｍＪ／ｃｍ２にてポスト露光を行って光学濃度３．９の黒色隔壁を得た。
【０１０４】
＜ラジカル重合性インクの調製＞
・顔料分散液の調製
下記の表２の組成物を混合し、１時間スターラーで攪拌した。攪拌後の混合物をアイガーミルにて分散し、Ｒ、Ｇ、Ｂの顔料分散物を得た。分散条件は直径０．６５ｍｍのジルコニアビーズを７０％の充填率で充填し、周速を９ｍ／ｓとし、分散時間、１時間で行った。
【０１０５】
【表２】
2007163689.tif 000005
【０１０６】
・インク液の調製
Ｒ、Ｇ、Ｂの各顔料分散液を表３の組成で混合し、１時間スターラーで攪拌し、Ｒ１、Ｇ１、Ｂ１インクを得た。
【０１０７】
【表３】
2007163689.tif 000006
【０１０８】
＜ラジカル重合性インクによるＲＧＢ画素の記録＞
上記で得られたＲインク１、Ｇインク１、Ｂインク１をピエゾ方式のヘッドを用いて遮光性隔壁に囲まれた凹部に、下記のように打滴を行った。
ヘッドは２５．４ｍｍあたり１５０のノズル密度で、３１８ノズルを有しており、これを２個ノズル列方向にノズル間隔の１／２ずらして固定することにより、基板上にはノズル配列方向に２５．４ｍｍあたり３００滴打滴される。
ヘッドおよびインクは、ヘッド内に温水を循環させることにより吐出部分近辺が５０±０．５℃となるように制御されている。
ヘッドからのインク吐出は、ヘッドに付与されるピエゾ駆動信号により制御され、一滴あたり６〜４２ｐｌの吐出が可能であって、本実施例ではヘッドの下１ｍｍの位置でガラス基板が搬送されながらヘッドより打滴される。搬送速度は５０〜２００ｍｍ／ｓの範囲で設定可能である。またピエゾ駆動周波数は最大４．６ＫＨｚまでが可能であって、これらの設定により打滴量を制御することができる。
【０１０９】
本実施例では、Ｒ、Ｇ、Ｂそれぞれ、顔料の塗設量が、１．１、１．８、０．７５ｇ／ｍ２なるように、搬送速度、駆動周波数を制御し、所望するＲ、Ｇ、Ｂに対応する凹部にＲ、Ｇ、Ｂのインクを打滴した。
【０１１０】
打滴されたインクは、露光部に搬送され、紫外発光ダイオード（ＵＶ−ＬＥＤ）により露光される。本実施例ではＵＶ−ＬＥＤは日亜化学製ＮＣＣＵ０３３を用いた。本ＬＥＤは１チップから波長３６５ｎｍの紫外光を出力するものであって、約５００ｍＡの電流を通電することにより、チップから約１００ｍＷの光が発光される。これを７ｍｍ間隔に複数個配列し、表面で０．３Ｗ／ｃｍ２のパワーが得られる。打滴後露光されるまでの時間、および露光時間はメディアの搬送速度およびヘッドとＬＥＤの搬送方向の距離により変更可能である。本実施例では着弾後、約０．５秒後に露光される。
【０１１１】
距離および搬送速度の設定に応じて、メディア上の露光エネルギーを０．０１〜１５Ｊ／ｃｍ２の間で調整することができる。本実施例では搬送速度により露光エネルギーを調整した。
【０１１２】
これら露光パワー、露光エネルギーの測定にはウシオ電機製スペクトロラディオメータＵＲＳ−４０Ｄを用い、波長２２０ｎｍから４００ｎｍの間を積分した値を用いた。
打滴後のガラス基板を２３０℃オーブン中で３０分ベークすることで、遮光性隔壁、各画素共に完全に硬化させた。
【０１１３】
こうして得られたカラーフィルターの、各画素を構成するインクは黒色隔壁間隙にぴったり収まり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１１４】
＜ＩＴＯ電極の形成＞
前記カラーフィルターが形成されたガラス基板をスパッタ装置に入れて、１００℃で１３０ｎｍの厚さのＩＴＯ（インヂウム錫酸化物）を全面真空蒸着した後、２４０℃で９０分間アニールしてＩＴＯを結晶化し、ＩＴＯ透明電極を形成した。
【０１１５】
［実施例２］
＜隔壁の形成＞
露光する工程を、０．５気圧まで減圧した環境下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、遮光性隔壁を形成した。
＜カチオン重合性インクの調製＞
・顔料分散体の調製
まず、表４下記に示す顔料、モノマーおよび分散剤をボールミルに入れて、直径０．６ｍｍのジルコンビーズを使用して、１６時間分散して顔料分散体を得た。
【０１１６】
【表４】
2007163689.tif 000007
【０１１７】
・インク液の調製
表５に示す成分を撹拌混合し、５．０μｍのメンブランフィルターでろ過してＲＧＢのインクを得た。
【０１１８】
【表５】
2007163689.tif 000008
【０１１９】
＜カチオン重合性インクによるＲＧＢ画素の記録＞
実施例１のラジカル重合性インクを上記のカチオン重合性インクに代えた以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製し、ＩＴＯ透明電極を形成した。
【０１２０】
こうして得られたカラーフィルターの、各画素を構成するインクは黒色隔壁間隙にぴったり収まり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。また、カラーフィルターのＩＴＯ抵抗を測定した（三菱化学（株）製「ロレスタ」；四探針法でシート抵抗を測定）ところ、１１Ω／□という非常に低い値を示した。これは、本発明を用いることで予期せずカラーフィルター表面の平坦性が高まったためと考えられる。
【０１２１】
［実施例３］
隔壁を露光する工程を、窒素９０％、酸素１０％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２２】
［実施例４］
隔壁を露光する工程を、窒素９６％、酸素４％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２３】
［実施例５］
隔壁を露光する工程を、窒素１００％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２４】
［実施例６］
隔壁を露光する工程を、ヘリウムガス１００％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２５】
［実施例７］
隔壁を露光する工程を、アルゴンガス１００％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２６】
［実施例８］
光重合性遮光層Ｋ１上に下記の酸素遮断層用塗布液処方Ｐ１を塗布し、乾燥膜厚が１．６μｍの酸素遮断層を設けた状態で、露光する工程を、大気圧（１気圧（酸素分圧が０．２１気圧））下で露光する工程に変更した以外は、実施例１と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１２７】
＜酸素遮断層用塗布液：処方Ｐ１＞
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、（株）クラレ製、鹸化度＝８８％、重合度５５０）                                                      ・・・    ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン社製、Ｋ−３０）
・・・    １４．９部
・蒸留水                                                  ・・・      ５２４部
・メタノール                                              ・・・      ４２９部
【０１２８】
［実施例９］
＜感光性転写材料の作製＞
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る酸素遮断層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、表６の濃色組成物Ｋ２を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．６μｍの酸素遮断層と、光重合性遮光層を設け、最後に保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と酸素遮断層とブラック（Ｋ）の光重合性遮光層とが一体となった黒色感光性転写材料を作製した。
【０１２９】
＜熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１＞
・メタノール                                                ・・・  １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ・・・  ６．３６部
・メチルエチルケトン                                        ・・・  ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、分子量＝１０万、Ｔｇ≒７０℃）
・・・  ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、分子量＝１万、Ｔｇ≒１００℃）
・・・  １３．６部
・２，２−ビス［４−（メタクリロキシポリエトキシ）フェニル］プロパン（新中村化学工業（株）製）
・・・    ９．１部
・前記界面活性剤１                                          ・・・  ０．５４部
【０１３０】
＜酸素遮断層用塗布液：処方Ｐ１＞
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、（株）クラレ製、鹸化度＝８８％、重合度５５０）                                                        ・・・  ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（アイエスピー・ジャパン社製、Ｋ−３０）
・・・  １４．９部
・蒸留水                                                    ・・・    ５２４部
・メタノール                                                ・・・    ４２９部
【０１３１】
【表６】
2007163689.tif 000009
【０１３２】
無アルカリガラス基板を、２５℃に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分加熱した。
【０１３３】
得られたシランカップリング処理ガラス基板に、上記の製法にて作製された感光性転写材料からカバーフィルムを除去し、除去後に露出した光重合性遮光層の表面と前記シランカップリング処理ガラス基板の表面とが接するように重ね合わせ、ラミネータ（株式会社日立インダストリイズ製（ＬａｍｉｃＩＩ型））を用いて、前記１００℃で２分間加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分でラミネートした。続いてポリエチレンテレフタレートの仮支持体を、熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除去した。仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティー型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と熱可塑性樹脂層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
【０１３４】
次に、トリエタノールアミン系現像液（２．５％のトリエタノールアミン含有、ノニオン性界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名：Ｔ−ＰＤ１、富士写真フイルム製）にて３０℃５０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断層を除去した。
【０１３５】
引き続き炭酸Ｎａ系現像液（０．０６モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、１％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン性界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム製）を用い、２９℃３０秒、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し濃色感光性樹脂組成物層を現像しパターニング画素を得た。
【０１３６】
引き続き洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム製）」を用い、３３℃２０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、ブラック（Ｋ）の画像を得た。
その後更に、該基板に対して該濃色感光性樹脂組成物層の側から超高圧水銀灯で５００ｍＪ／ｃｍ２の光でポスト露光後、２２０℃、１５分熱処理し、隔壁を得た。
【０１３７】
＜ラジカル重合性インクの製法＞
顔料分散液及びインクの組成を表７、８に代えた以外は、実施例１と同様の方法で、ラジカル重合性インクを調製した。
【０１３８】
【表７】
2007163689.tif 000010
【０１３９】
【表８】
2007163689.tif 000011
【０１４０】
上記で得られたＲＧＢインクを実施例１と同様に、ピエゾ方式のヘッドを用いて遮光性隔壁に囲まれた凹部に打滴を行い、カラーフィルターを作製し、ＩＴＯ透明電極を形成した。
こうして得られたカラーフィルターの、各画素を構成するインクは黒色隔壁間隙にぴったり収まり、にじみ、はみ出し、隣接画素との混色および白抜けなどの欠陥となる不良は見つからなかった。
【０１４１】
［実施例１０］
隔壁を露光する工程を、窒素１００％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例８と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１４２】
［実施例１１］
隔壁を露光する工程を、窒素１００％の状態下で露光する工程に変更した以外は、実施例９と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１４３】
［実施例１２］
隔壁の高さを２．５μｍに変更した以外は、実施例９と同様の方法で、カラーフィルターを作製した。
【０１４４】
［比較例１］
表９の組成のインクを調製し、実施例１の遮光性隔壁を有するガラス基板の凹部に、インクジェット法により、Ｒ、Ｇ、Ｂパターンに対応したインクを顔料の塗設量が実施例１と同じになるように打滴した。
【０１４５】
【表９】
2007163689.tif 000012
【０１４６】
打滴後、３０分自然乾燥を行い、さらに１５０℃で乾燥した。その後、実施例１と同様に、ベークを行い、カラーフィルターを得た。
得られたカラーフィルターを観察したところ、Ｒ、Ｇ、Ｂの各画素は、遮光性隔壁を乗り越えた他色のインクの顔料が混在しており、混色が見られ、所望の色相が得られなかった。
【０１４７】
＜液晶表示装置用基板の作製＞
実施例１〜１１、比較例１で得られたカラーフィルターを用い、下記のようにして液晶表示装置用基板を作製した。
【０１４８】
（スペーサの形成）
特開２００４−２４０３３５号公報の［実施例１］に記載のスペーサ形成方法と同様の方法で、上記で作製したＩＴＯ透明電極上にスペーサを形成した。
【０１４９】
（液晶配向制御用突起の形成）
下記のポジ型感光性樹脂層用塗布液を用いて、前記スペーサを形成したＩＴＯ透明電極上に液晶配向制御用突起を形成した。
但し、露光、現像、及び、ベーク工程は、以下の方法を用いた。
【０１５０】
所定のフォトマスクが感光性樹脂層の表面から１００μｍの距離となるようにプロキシミティ露光機（日立電子エンジニアリング株式会社製）を配置し、該フォトマスクを介して超高圧水銀灯により照射エネルギー１５０ｍＪ／ｃｍ２でプロキシミティ露光した。
続いて、２．３８％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を、シャワー式現像装置にて３３℃で３０秒間基板に噴霧しながら現像した。こうして、感光性樹脂層の不要部（露光部）を現像除去することにより、カラーフィルター側基板上に、所望の形状にパターニングされた感光性樹脂層よりなる液晶配向制御用突起を形成した。
【０１５１】
次いで、該液晶配向制御用突起が形成された基板を２３０℃下で３０分ベークすることにより、硬化された液晶配向制御用突起を有する液晶表示装置用基板を得た。
【０１５２】
−ポジ型感光性樹脂層用塗布液処方−
・ポジ型レジスト液（富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ（株）製ＦＨ−２４１３Ｆ）                                                      ・・・  ５３．３部
・メチルエチルケトン                                        ・・・  ４６．７部
・メガファックＦ−７８０Ｆ（大日本インキ化学工業（株）製）  ・・・  ０．０４部
【０１５３】
＜液晶表示装置の作製＞
上記で得られた液晶表示装置用基板上に更にポリイミドよりなる配向膜を設けた。
その後、カラーフィルタの画素群を取り囲むように周囲に設けられたブラックマトリックス外枠に相当する位置にエポキシ樹脂のシール剤を印刷すると共に、ＭＶＡモード用液晶を滴下し、対向基板と貼り合わせた後、貼り合わされた基板を熱処理してシール剤を硬化させた。このようにして得た液晶セルの両面に、（株）サンリツ製の偏光板ＨＬＣ２−２５１８を貼り付けた。次いで、３波長冷陰極管光源（東芝ライテック（株）製ＦＷＬ１８ＥＸ−Ｎ）のバックライトを構成し、前記偏光板が設けられた液晶セルの背面となる側に配置し、液晶表示装置とした。
【０１５４】
＜評価＞
−表示ムラ−
得られた液晶表示装置１〜４をグレイのテスト信号を入力させた時に、目視及びルーペにて観察し、ムラの発生の有無を確認し、以下の基準に従い判断した。
Ａ：まったくムラが見られない（非常に良い）
Ｂ：ガラス基板の縁部分にかすかにムラが見られるが、表示部に問題なし(良い)
Ｃ：表示部にかすかにムラが見られるが実用レベル（普通）
Ｄ：表示部にムラがある（やや悪い）
Ｅ：表示部に強いムラがある（非常に悪い）
【０１５５】
−白抜け−
基板と厚さ方向画素形成側から光学顕微鏡で観察し、白抜けについて評価した。白抜けについては、画素内にインクが付着していない箇所があるか観察すると共に、隔壁上面にインクが残っているか観察した。
白抜けの観察は、画素内の、隔壁側に凸な角の任意の１００点について行い、白抜けが確認できる画素の数を数えた。５個以下であれば実用レベルである。
【０１５６】
【表１０】
2007163689.tif 000013
【０１５７】
評価結果を表１０に示す。
表１０からわかるように、本発明のカラーフィルター（実施例１〜１２）は白抜けが無いか、あっても実用レベルであり、また、該カラーフィルターを用いて作製した液晶表示装置では、表示ムラが無いか、あっても実用レベルであった。
一方、光重合性遮光層上に酸素遮断層を設けず、かつ光重合性遮光層を大気下で露光することにより隔壁を形成したカラーフィルター（比較例１）については、白抜けが発生し、該カラーフィルターを用いて作製した液晶表示装置では、強い表示ムラが発生した。