(57)【要約】【課題】ロータリエンコーダの波形逓倍回路において光学的に得られた原点検出信号を逓倍回路で角度位置信号を出力するのに合わせて原点信号の精度を向上させることが出来る。【解決手段】回転ディスクと、上記回転ディスクの回転方向に所定角度間隔で複数の透光スリットを形成した角度検出部と、上記回転ディスクに少なくとも１箇所に透光スリットを形成した原点検出部と、上記角度検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第１の受光素子と、上記原点検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第２の受光素子と、上記第１及び第２の受光素子の検出信号を矩形波信号に変換する波形整形回路と、上記第１の受光素子の矩形波信号を整数倍に逓倍する逓倍回路とを備えた。【選択図】図７
2007147396.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検出軸に連結され一体に回転する回転ディスク板と、
上記回転ディスク板の回転方向に所定角度間隔で複数の透光スリットを形成した角度検出部と、
上記回転ディスク板に少なくとも１箇所に透光スリットを形成した原点検出部と、
上記角度検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第１の受光素子と、
上記原点検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第２の受光素子と、
上記第１及び第２の受光素子の検出信号を矩形波信号に変換する波形整形回路と、
上記第１の受光素子の矩形波信号を整数倍に逓倍する逓倍回路と、を備えたロータリエンコーダであって、
上記波形整形回路は、上記第１及び第２の受光素子からの出力信号を矩形波に変換する波形整形回路と、この波形整形回路からの上記第１の受光素子の出力値と上記第２の受光素子の出力値との論理積信号を原点信号として出力する信号処理回路とから構成され、
上記第１の受光素子からの出力信号を整数倍に逓倍して角度位置信号として出力する逓倍回路を備えたことを特徴とするロータリエンコーダ。
【請求項２】
前記第１の受光素子は、上記複数の透光スリットから所定周期の角度検出信号をＡ相信号として出力する素子と、上記Ａ相信号と所定角度異なる周期の角度位置検出信号をＢ相信号として出力する素子と、を備え、上記Ａ相及びＢ相と異なる周期の検出信号をＣ相及びＤ相信号として出力する素子で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のロータリエンコーダ。
【請求項３】
前記原点検出部は、前記回転ディスク板に回転方向に形成した複数の透光スリットから構成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のロータリエンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、産業機器、民生機器その他各種被検出軸の回転角度を検出するロータリエンコーダに係わり、詳細には被検出軸に連結した回転ディスク板を挟んでＬＥＤなどの光源とホトダイオードなどの受光素子を対向配置し、回転ディスク板に等間隔で複数形成した透光スリットを受光素子で検出して電気的に出力する際、回転ディスク板の原点位置を正確に割り出すことが可能なロータリエンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、この種のロータリエンコーダはスピンドル基盤にディスク板を回転自在に設け、この回転ディスク板のトラック上に所定間隔の透光スリットを形成し、この透光スリットを挟んで光源と受光素子を対向配置している。そして、この回転ディスク板に被検出軸を連結して一体的に回転し、光源から透光スリットを通過した光を受光素子で光電変換してパルス信号として外部装置に出力し、外部装置では連続するパルス信号を累積加算或いは減算して被検出軸の角度位置を検出する所謂インクリメンタル式ロータリエンコーダが広く知られている。このようなインクリメンタル式ロータリエンコーダでは角度検出用のスリットと同時に１回転の起点を検出する原点検出スリットを設け、このスリットを通過した光を受光素子で検出して原点信号として外部装置に出力し、外部装置ではこの原点信号で角度検出信号を累積するカウンタをリセットする等の処理を行っている。
【０００３】
一方、このようなロータリエンコーダで検出精度を向上させる為には透光スリットの数を増やす機械的方法と、受光素子で検出した信号を分割する電気的方法がそれぞれ知られている。機械的方法はスリット幅とスリット間隔を小さくして回転ディスク板周上のトラックに多数の透光スリットを配列する方法が採られているが、スリット幅或いは間隔を小さくするとディスクが歪み易く機械的強度に問題が生じ、また加工精度に問題が生ずることが知られている。
【０００４】
そこで電気的に受光素子の検出値を分割する方法が例えば特許文献１（特開２００３−２４０６０７号公報）などで提案されている。同文献には受光素子から出力された信号を抵抗で分割し、受光素子からの出力信号を２逓倍或いは４逓倍に分割する抵抗分割回路が提案されている。このような逓倍回路で角度位置検出用の受光素子から得られた検出値で実際のスリット数の２倍、或いは４倍の出力信号として出力することは同文献に開示されていないが、回転ディスク板に原点位置検出用のスリットと、このスリットと対応する受光素子を配置して回転ディスク板の起点を検出している。
【特許文献１】特開２００３−２４０６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述のように被検出軸と一体に回転するディスク板を設け、この回転ディスク板に角度位置検出用の透光スリットと原点位置検出用のスリットとを設けて、被検出軸の回転角度信号と原点信号とを出力して各種装置の制御を行なう場合に回転ディスク板に配置する角度位置検出用のスリットはスリット幅およびスリット間隔に限界がある。そこで前掲特許文献１に開示されている電気分割回路により光学的に得られる分解能よりも高い分解能を得ようとすると次の問題が生ずる。
【０００６】
つまり、回転ディスク板に形成する原点位置検出用のスリットは、電気的に分割された分解能に対応するスリット幅に構成しなければ起点位置の割り出しが出来ない。この為、角度位置検出の分解能を電気的に逓倍させると、これに応じて原点位置検出用のスリット幅を小さくする必要がある。つまり透光スリットから光学的に得られる分解能よりも高い分解能を逓倍回路で電気的に高分解能を得ようとすると、原点信号のスリット幅はそれに応じて小さくなっていくため、原点位置検出用のスリットがクロム蒸着など加工上の精度により、正確に出力できない問題が生ずる。
【０００７】
特に受光素子の光量を確保するために複数のスリットから原点信号を得る所謂マルチスリットで構成すると受光素子の受光面積を大きくしなければならないため、ロータリエンコーダの小型化及び装置等の小型化が困難となる。そこで、本発明はロータリエンコーダの波形逓倍回路において光学的に得られた原点検出信号を逓倍回路で角度位置信号を出力するのに合わせて原点信号の精度を向上させることが出来、同時にスリット幅の加工精度が必要以上に高精細に形成する必要がなく、正確な原点信号を出力することが可能なロータリエンコーダの提供をその主な課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は上記課題を解決するため以下の構成を採用したものである。被検出軸に連結され一体に回転する回転ディスク板と、上記回転ディスク板の回転方向に所定角度間隔で複数の透光スリットを形成した角度検出部と、上記回転ディスク板に少なくとも１箇所に透光スリットを形成した原点検出部と、上記角度検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第１の受光素子と、上記原点検出部の透光スリットを介して互いに対向配置した光源及びこの光源からの光を光電変換する第２の受光素子（後述する実施例中におけるＺ相信号）と、上記第１及び第２の受光素子の検出信号を矩形波信号に変換する波形整形回路と、上記第１の受光素子の矩形波信号を整数倍に逓倍する逓倍回路とを備える。
【０００９】
このような構成において上記波形整形回路を、上記第２の受光素子からの出力信号を矩形波に整形する波形整形回路と、この波形整形回路からの出力値と上記第１の受光素子の出力値との論理積の演算回路とで構成し、この論理回路から得られた信号を原点信号として出力する。また上記第１の受光素子からの出力信号を整数倍に逓倍して角度信号として出力する逓倍回路を備える。
【００１０】
また前記第１の受光素子は、上記複数の角度検出スリットから所定周期の角度検出信号をＡ相信号として出力する素子と、上記Ａ相信号と所定角度異なる周期の角度位置検出信号をＢ相信号として出力する素子とを備え、前記原点検出部は、前記回転ディスク板の回転方向に形成した複数の透光スリットから構成する。前記信号処理回路は、上記Ａ相信号とＢ相信号の論理和を出力する逓倍回路を備える。
【発明の効果】
【００１１】
本発明は回転ディスク板に角度位置検出用の透光スリットと原点位置検出用のスリットを設け、この角度位置検出信号を逓倍回路で電気的に逓倍する際に整形する回路からの出力値と角度検出用の受光素子からの矩形波出力値との論理積信号を原点信号として出力するようにしたものであるから角度位置検出信号を電気的に逓倍するのと同時に原点信号を電気的に高精細に出力することが出来る。
【００１２】
従って角度位置検出用の出力値を電気的に逓倍するか否かに拘わらず原点位置検出用のスリットは所定の形状に形成し、その検出信号を角度位置検出用の出力値の逓倍に応じて原点信号を出力することが出来る。この為、１逓倍或いは２逓倍、４逓倍の装置仕様に応じて同一の回転ディスク板から得られた原点信号を逓倍回路の状態に応じて出力することが出来、装置構成の共通化（標準化）によるコストダウンが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下図示の好適な実施の形態に基づいて本発明を詳述する。図１及び図２はロータリエンコーダの基本的な構成を示し、図１はその概念図、図２は各構成要素の詳細を示す断面図である。一般にロータリエンコーダは図１に示すように被検出軸（図示せず）に連結する回転ディスク板１３を設け、この回転ディスク板１３に周方向に所定間隔で複数の透光スリット（以下角度検出スリットと云う）１３１を設ける。そしてこの角度検出スリット１３１を挟んで、その一方に発光素子１７を他方に受光素子１４を対向配置する。そして、発光素子１７から角度検出スリット１３１を通過した光を受光素子１４で検出し、この受光素子１４の出力信号を波形整形回路で矩形波に変換して外部装置に出力する。
【００１４】
このように回転ディスク板１３の周方向のトラックに等間隔に形成した透光スリット（角度検出スリット）１３１を受光素子１４で検出し、その出力値を累積加算して被検出軸（図示せず）の回転角度位置を検知するようにしてインクリメンタル式エンコーダを構成する。そこで回転ディスク板１３には回転の起点を検出する原点検出用の透光スリット（以下原点検出スリットと云う）１３２を設け、回転ディスク板１３の起点を検出し、外部装置で例えば累積カウンタ値をリセットする等の処理を施す。
【００１５】
上記角度検出スリット１３１と原点検出スリット１３２とは回転ディスク板１３に配置され、この両スリットを挟んで発光素子１７と受光素子１４とが対向する位置に配置される。回転ディスク板１３は金属薄板にホトエッチング加工などでスリットを形成して角度検出スリット１３１及び原点検出スリット１３２を構成するか、或いはガラス板に蒸着加工でスリットを被膜形成するか、何れかの方法を用いる。前者はトラック上に形成するスリットの数に限界があり、低分解能であるが耐衝撃性に富み、後者は高分解能が得られる特徴がある。
【００１６】
このように回転ディスク板１３には角度検出スリット１３１と原点検出スリット１３２が形成され、この回転ディスク板１３と発光素子１７との間には固定スリット板１６が設けられている。この固定スリット板１６には角度検出スリットの透過光を所定周期で受光素子に投射するスリット１６１ａと、これと異なる位相（図示のものは電気角９０度異なる位置）で受光素子に投射するスリット１６１ｂが形成されている。
【００１７】
また、原点検出スリット１３２に対向する原点スリット１６２が固定スリット板１６に形成されている。このスリットは１つでも良いが図示のものは複数のマルチスリットで構成されている。またこのマルチスリットは回転ディスク板１３に形成した角度検出スリット１３１と異なる間隔で形成されている。このようにスリット間隔を異ならせることによって、原点検出の際、誤出力を防止している。
【００１８】
図５に基づいてこれを説明すると、同図（ａ）は回転ディスク板１３に５つの原点検出スリット１３２を等間隔に形成し、同様に固定スリット板１６に５つの原点スリット１６２を等間隔に形成した場合であり、この両スリットの相対移動と検出値との関係を示し、スリット間隔が等間隔の場合は略々等しい出力レベル値が検出される。従って原点信号は複数の出力を発生する。これに対し同図（ｂ）は、複数のスリットを間隔を異ならせてランダムに配置した場合で出力値は図示のようにレベル差が明確になり、誤検出をなくすことが出来る。図示実施例のものは後者の配置にしてある。よって原点信号用のマルチスリットは複数のスリットを間隔を異ならせてランダムに配置しなくてはならないため、その分受光素子の受光面積が必要となる。
【００１９】
次に発光素子１７及び受光素子１４について説明すると、発光素子１７はＬＥＤなどの発光ダイオードから構成されている。発光素子１７としては角度検出スリット１３１及び原点検出スリット１３２に均一な光量の平行光を照射することが好ましく、このように発光素子１７から受光素子１４に至る光路を平行光にすると回転ディスク板１３と固定スリット板１６との位置関係が常に正確に透光スリットを検出することが可能となる。
【００２０】
次に受光素子１４について図８に基づいて説明する。受光素子１４はホトダイオードなどの半導体受光素子で構成される。通常、この受光素子はＮ形のベース部材上にＰ形の受光領域と遮光マスキング領域を形成する薄膜で形成される。図８に受光領域を示し、図示１４ａ−及び１４ａ＋は角度検出信号（パルス信号）を発するＡ相信号を、図示１４ｂ−及び１４ｂ＋は同じくＢ相信号を出力するようにそれぞれ異なる角度位置、図示のものは電気角９０度の位相差を形成する位置に受光部が配置されている。また、Ａ相信号及びＢ相信号は差動比較するためそれぞれ電気角で１８０度隔てたプラス検出域とマイナス検出域を備えている。
【００２１】
特に図示のものはＡ相及びＢ相に加えて１４ｃ−及び１４ｃ＋と、１４ｄ−及び１４ｄ＋の検出域を備えＣ相、Ｄ相の信号を出力するようになっている。これは、発光素子の光を平行光とすることで有効照射範囲を広くすることができ、且つ位置関係を正確に検出できることが可能となったことによるものであり、その結果、従来Ａ相及びＢ相とＺ相の６個の光検出素子が限界であったのに対し、Ｃ相とＤ相を追加し合計１０個の受光素子をアレイ状に構成することが可能となった為である。従って、疑似サイン波として出力される検出値はそれぞれの電気角がＡ相をゼロ度とすると、Ｂ相は９０度、Ｃ相は４５度、Ｄ相は１３５度（マイナス４５度）位相が異なることとなる。
【００２２】
以上説明したロータリエンコーダの各構成相互の関係について図２に基づいてこれを説明する。図示のロータリエンコーダは、装置フレームを構成するスピンドル基盤１１０ａ、１１０ｂと、回転軸１２と、回転ディスク板１３と、回路基板１４０と、ケーシング１５０で構成されている。スピンドル基盤１１０は円柱状或いは多角形筒状など適宜形状にアルミ合金その他の金属で堅牢に構成し、この基盤１１０の中心には回転軸１２を嵌合支持する軸孔１１２を設け、ベアリング１１１ａ、１１１ｂで回転軸１２を回転自在に支持する。回転軸１２は基端部に被検出部（図示せず）とカップリング継手で連結され、その軸端にはハブ１２１が設けられ、このハブ１２１は回転軸１２と直交する平坦面を備え、この面に回転ディスク板１３を接合するようになっている。
【００２３】
また回転軸１２にはベアリング１１１ａのインナーレーサと係合する段差が設けられ、軸端には被検出軸（図示せず）と連結する継手を嵌合するＤカットが設けられている。このＤカットを基準に被検出軸の検出開始位置（角度位置）と回転軸１２に取付ける回転ディスク板１３の原点位置を位置合わせする。そこで前述の回転ディスク板１３は回転軸１２のハブ１２１に固定され、後述する方法で回転軸中心と透光スリット１３１ａの回転中心が一致するように調整され接着剤などで取付けられる。この回転ディスク板１３を介して受光素子１４と発光素子１７とが次のようにスピンドル基盤１１０に取付けられる。
【００２４】
まず受光素子１４はホトダイオードなどの光電変換素子で構成され、サブ基板１４２に組込まれ、このサブ基板１４２がメイン基板である回路基板１４０に半田付けなどで取付けられている。回路基板１４０には受光素子１４の検出値を増幅する増幅回路と、出力波形に変換する波形整形回路が組込まれている。この回路基板１４０がスピンドル基盤１１０に設けたステム１１３にビスで固定されている。図示のステム１１３は回転軸１２の周囲３ヶ所程度に設けられ、回路基板１４０を後述する方法で位置調節可能に固定している。
【００２５】
一方、発光素子１７はＬＥＤなどの光源ランプをスピンドル基盤１１０に次のように取付けてある。まずスピンドル基盤１１０は回転軸１２の軸方向上下に上部基盤１１０ａと下部基盤１１０ｂに２分割され、上部基盤１１０ａはアルミ合金など堅牢な材料で構成され、下部基盤１１０ｂは合成樹脂など加工性に富んだ材料で構成されている。そして上部基盤１１０ａには前述の軸孔１１２が穿設され、この軸孔１１２に前述の回転軸１２が軸受支持されている。またこの上部基盤１１０ａに軸方向の貫通孔１１４が穿設され、発光素子１７はこの貫通孔１１４に取付けてある。さらに上部基盤１１０ａには貫通孔１１４を覆うように固定スリット板１６が取付けてある。
【００２６】
下部基盤１１０ｂは中心に回転軸１２を嵌合する軸孔１１５と外周にシール取付溝１１８が設けてある。この下部基盤１１０ｂは合成樹脂のモールド成形で形成され、軸孔１１５にはシーリング部材１１６がインサート成形によって一体成形されている。つまり下部基盤１１０ｂは上部基盤１１０ａの貫通孔１１４を閉蓋するのと同時にシーリング部材１１６で回転軸１２０との間隙を封止する。
【００２７】
次に波形整形回路について図３に基づいて説明する。ホトダイオードなどの受光素子１４には透光スリットを通過した光量に比例してアナログ電流が生起する。波形整形回路は各受光素子１４の出力電流を増幅する増幅回路ＥＯ１〜ＥＯ１０と、この増幅回路ＥＯ１〜ＥＯ１０からの出力値を基準電圧と比較して矩形波に整形する比較回路ＥＣ１〜ＥＣ５と、この矩形波を外部に出力する出力回路とから構成される。そこで前記第１の受光素子は１４ａ＋と１４ａ−で構成され、この１４ａ＋と１４ａ−は電気角で１８０度位相を異ならせてある。そしてそれぞれに出力値を増幅器ＥＯ５、ＥＯ６で増幅した後、１４ａ＋側の出力値がコンパレータＥＣ３のマイナス入力側に、１４ａ−側がコンパレータＥＣ３のプラス入力側に接続されている。そして１４ａ−側の増幅器には可変抵抗Ｒ０９が設けてあり、増幅率を調整できるように成っている。
【００２８】
このように受光素子１４からの信号を増幅し、その増幅率は抵抗Ｒ１０で決定し、１４ａ−側の抵抗Ｒ０９を可変抵抗にすることによって結果的に直流バイアスを変化させることができる。このようにコンパレータで処理できるアナログ信号にしてからコンパレータＥＣ３に入力するが、そのままでは信号の大小関係が変わるときチャタリング（ノイズなどのために大小関係が不規則となる現象）を起こすので、コンパレータＥＣ３の出力から入力に抵抗Ｒ１１を設けてフィードバックをかけてヒステリシス特性を持たせる。この場合ヒステリシスの影響で矩形波に変換するデューティが変化する。そこでコンパレータＥＣ３からの出力を可変抵抗Ｒ０９で調整してデューティ５０％の矩形波が得られるように抵抗値で調整する。
【００２９】
なお、コンパレータＥＣ３の出力は抵抗Ｒ１２を介して電源に結線してあるが、これはコンパレータがＯＮのときＧＮＤレベル、ＯＦＦのとき電源レベルの電圧とするためである。そしてコンパレータＥＣ３でＡ相の出力が矩形波として出力され、９０度位相の異なるＢ相がコンパレータＥＣ４で、またＡ相と４５度位相の異なるＣ相がコンパレータＥＣ１で、マイナス４５度位相の異なるＤ相がコンパレータＥＣ２でそれぞれ矩形波として出力される。このＡ相信号とＢ相信号の排他的論理和（ＡＢ＿ＸＮＯＲ）の逓陪信号Ｂ’ｏｕｔが外部に出力される。同様にＣ相信号とＤ相信号の論理和（ＣＤ＿ＸＯＲ）がＡ’ｏｕｔとして逓陪信号が外部に出力される。
【００３０】
この関係を図３及び図４に基づいて説明すると、Ａ相信号が矩形波として所定周期のパルス信号が端子Ａｏｕｔから出力され、Ｂ相信号が端子Ｂｏｕｔから、Ｃ相信号とＤ相信号の排他的論理和（ＣＤ＿ＸＯＲ）が端子Ａ’ｏｕｔからそれぞれ異なる位相で出力される。これと同時にＡ相信号とＢ相信号の排他的論理和（ＡＢ＿ＸＮＯＲ）が逓倍信号としてＢ’ｏｕｔから出力される。このＡ’ｏｕｔ及びＢ’ｏｕｔの信号は角度検出スリット幅の１／２幅の周期で分解能が２倍となる。
【００３１】
また、原点信号Ｚは電気角で１８０度位相の異なるＺ＋信号、Ｚ−信号として出力され増幅器Ｅ０９、Ｅ１０で増幅され、コンパレータＥＣ５で矩形波として出力される。そこで原点信号ＺはこのコンパレータＥＣ５からの出力値とＡ相信号（矩形波出力）との論理積（ＡＮＤ）として原点検出スリット幅より幅狭のＡ’ｏｕｔと同一の周期幅の出力をＺ’ｏｕｔ端子から出力する。
【００３２】
従ってこの原点信号をＺ相の信号とＡ相信号の論理積として出力する場合と、或いはＺ相の信号とＡＢ＿ＸＮＯＲ信号の論理積とするかによって出力する原点信号の幅を選択して設定することが出来る。また同様にＡ相信号の代わりにＢ相信号と原点信号との論理積にすることによって、出力する原点信号の位相を異ならせることが可能となる。
【００３３】
次に図６及び図７に基づいて、４逓倍時の出力波形および原点信号の波形を説明する。図６に於いて前述の２逓倍の時と同様に、Ａ相信号（０度）、Ｂ相信号（９０度）、Ｃ相信号（４５度）、Ｄ相信号（１３５度）の信号を取得し、それぞれ増幅器とコンパレータを経て矩形波に波形整形する。そしてＡＣ＿ＸＯＲ信号とＢＤ＿ＸＯＲ信号を構成する。つまりＡ相信号とＣ相信号の排他的論理和から求めた信号と、Ｂ相信号とＤ相信号の排他的論理和から求めた信号の論理和を求めて図示Ａ信号として４逓倍の出力信号を合成する。同様に、これらの信号と４５度の１／２度位相の異なる信号を合成し、図示Ｂ信号として４逓倍の信号を得る。
【００３４】
このように４逓倍のＡ相信号とＢ相信号を合成し、この場合の原点信号の合成を図７で説明する。前述の２逓倍で説明し、合成した原点信号Ｚ’に対して、４逓倍の場合はＣ相信号とＤ相信号の排他的論理和（ＸＯＲ）とＺ’信号の論理積（ＡＮＤ）で原点信号を構成する。このように構成することによって２逓倍の原点信号を４逓倍に精細化することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】光学式エンコーダの基本的な原理の説明図。
【図２】本発明に係わるエンコーダ装置の各構成要素相互の関係を示す断面図。
【図３】本発明の実施回路図。（２逓倍）
【図４】本発明の出力波形図であり、２逓倍の場合を示す。
【図５】原点位置検出スリットのマルチスリット構成の説明図であり、同図（ａ）はスリットを等間隔に形成した場合を示し、同図（ｂ）はランダムに形成した場合を示す。
【図６】４逓倍時の出力波形整形回路における出力波形図。
【図７】４逓倍時の原点信号の出力波形図
【図８】本発明における受光素子の配列説明図。
【符号の説明】
【００３６】
１３  回転ディスク板
１４  受光素子
１４ａ＋、１４ａ−  第１の受光素子
１４ｂ＋、１４ｂ−  第１の受光素子
１４ｃ＋、１４ｃ−  第１の受光素子
１４ｄ＋、１４ｄ−  第１の受光素子
１４ｚ＋、１４ｚ−  第２の受光素子
１６  固定スリット板
１７  発光素子
１３１  角度検出スリット
１３２  原点検出スリット
１６２  原点スリット
ＥＯ１〜ＥＯ１０  増幅回路
ＥＣ１〜ＥＣ５  比較回路（コンパレータ）
【図１】
2007147396.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
2007147396.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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