(57)【要約】【課題】厳密な位置合せを行わなくても、棒状部品を曲げることなく組立台にセットすることができる吸着ヘッドを提供する。【解決手段】吸着ヘッド９７は、電極棒６の最大外径となるガラスビーズ９よりも大きな内径の吸着穴１０４ａを有する吸着ノズル１０４と、この吸着穴１０４ａに対し、給気穴１０３ｂ、貫通穴１０３ａ、スリット１０４ｂによって接続されたヘッド用エアポンプ１０７とを備えている。吸着ヘッド９７は、ヘッド用エアポンプ１０７の吸気動作により、電極棒６を吸着穴１０４ａ内に吸い込み、吸気動作を継続することで保持して組立台まで搬送する。次いで、ヘッド用エアポンプ１０７を排気動作に切り換えて、吸着穴１０４ａから電極棒６を排出する。【選択図】図５
2007185735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
棒状部品の最大外径部位よりも大きな内径と、棒状部品の少なくとも一部が収納可能な深さとを有する吸着穴が設けられた吸着ノズルと、
この吸着穴から吸気して棒状部品を吸着穴内に収納し、吸気を継続して吸着穴内に棒状部品を保持するエアポンプを備えたことを特徴とする棒状部品用吸着ヘッド。
【請求項２】
前記吸着穴は、棒状部品の略全体を収納できる深さを有することを特徴とする請求項１記載の棒状部品用吸着ヘッド。
【請求項３】
前記エアポンプは、吸着ノズルから棒状部品を排出する際に、吸気動作から排気動作に切り換えることを特徴とする請求項１または２記載の棒状部品用吸着ヘッド。
【請求項４】
前記吸着穴の奥に、棒状部品に当接して吸着穴への挿入量を規定する規定部材を設けたことを特徴とする請求項１ないし３いずれか記載の棒状部品用吸着ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、棒状部品を吸着して保持する吸着ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
ストロボ装置の光源として用いられるキセノン管は、断面図である図７、及び分解斜視図である図８に示すように、筒状の透明なガラス管３と、このガラス管３の両端に形成された開口部４，５に挿入される陰極側電極棒６及び陽極側電極棒７と、陰極側電極棒６に取り付けられるカソード８と、ガラス管３の開口部４，５を密封するガラスビーズ９，１０と、ガラス管３内に封入されるキセノンガスから構成されている。
【０００３】
陰極側電極棒６は、ガラス管３内に納められる電極部１２と、ガラス管３外に突出されてプリント基板等への配線に使用されるリード部１３とからなり、電極部１２とリード部１３との間には、略ボール形状の溶接玉１４が設けられている。電極部１２は、例えばタングステン（Ｗ）を用いて棒状に形成されている。リード部１３は、例えばニッケル（Ｎｉ）を用いて形成されており、電極部１２と径が同等、もしくは若干太くされている。溶接玉１４は、電極部１２とリード部１３とを溶接して接合する際に、リード部１３が溶けて電極部１２の端部を包み込むことで形成される。陽極側電極棒７は、陰極側電極棒６と同様に、電極部１６，リード部１７，溶接玉１８からなり、電極部１６の長さが異なる以外は、同じ材質、同様の製造方法で製造される。
【０００４】
ガラスビーズ９，１０は、ガラスで略リング形状に形成されており、中央には電極棒６，７の電極部１２，１６が挿通される穴９ａ，１０ａが形成されている。このガラスビーズ９，１０は、電極部１２，１６に挿入後、ヒーターで加熱されて電極棒１２，１６に溶着される。その後、ガラス管３の開口部４，５に挿入されてヒーターで加熱されることで溶融し、ガラス管３を密封する。
【０００５】
カソード８は、金属粉末を筒状に成型，焼結したものにセシウム化合物等を添加処理したもので、放電時の電子放出効率を高めるために用いられている。このカソード８は、ガラスビーズ９が溶着された後で電極部１２の所定の位置に挿入され、外側からかしめられることにより電極部１２に固着される。
【０００６】
従来の陰極側電極棒６へのカソード８の取り付けは、次のような手順で行われている。まず、供給用パレットに１本ずつ立てられて収納されている陰極側電極棒６の電極部１２をロボットハンドで把持して取り出し、組立台にセットする。図９に示すように、組立台２１は、リード部１３をリード支持穴２１ａで支えるとともに、下方に配置された受け板２２でリード部１３の下端を受けている。さらに電極部１２を電極部位置決めチャック３０により保持する。陰極側電極棒６を保持した組立台２１は、次のステーションに搬送される。
【０００７】
次のステーションでは、フィーダ２５により整列されたカソード８が、カソード８の外径と微小なクリアランスを持つカソードガイドチャック２６のカソードガイド部２６ｂに挿入される。カソードガイドチャック２６は左右に開閉することができ、電極部ガイド爪２６ａで電極部１２とカソードガイド部２６ｂの芯を一致させ、カソードガイドチャック２６を振動させると同時に、上部より軽衝撃荷重ピン２７でカソード８を叩いて陰極側電極棒６に押込み挿入し、カソードガイドチャック２６を開き、上部に退避させた後、組立台２１は次のステーションに搬送される。
【０００８】
図１０に示すように、次のステーションでは、電極部１２の先端径よりも太くカソード８の外径よりも細い穴３１ａが所定の深さで形成されたカソード位置決め治具３１の穴３１ａに電極部１２の先端が入り、カソード位置決め治具３１の下端がカソード８の上端にあたり電極部位置決めチャック３０と挟まれるまでカソード位置決め治具３１を押し下げ、カソード８の位置調整を行う。このとき、電極部１２の先端が治具３１に押圧されると、陰極側電極棒６の下端を受けている受け板２２がバネ３２の付勢に抗して押し下げられる。このようにしてカソード８の位置決めが行われた後、カソード８の外周が仮かしめチャック３３によって押圧され、仮かしめされる。
【０００９】
次のステーションでは、カソード８の外周が本かしめチャックによって仮かしめよりも強い力で押圧され、本かしめが行われる。更に次のステーションでは、カソード８が取り付けられた陰極側電極棒６が組立台２１から取り出され、集積用パレットに集積される。
【００１０】
上述したカソード８の取付方法は、比較的大型のキセノン管において用いられているが、例えばガラス管の直径が１．５ｍｍ以下の小形キセノン管では、陰極側電極棒にカソードを挿入する工程を手作業によって行い、その後の位置調整及びかしめ工程を機械によって行っている。これは、キセノン管の小型化により、上述した機械挿入では機構的な困難が生じるためである。
【特許文献１】特開２００３−０８６０９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
上述したように、従来は、ロボットハンドによって電極棒の搬送を行っていた。そのため、電極棒供給台もしくは組立台に立てられている電極棒をロボットハンドで把持する際に、電極棒とロボットハンドとの位置がずれていると、ロボットハンドによって電極棒が曲げられてしまい、ＮＧ品となることがあった。また、このような電極棒の屈曲を防止するには、電極棒供給台及び組立台とロボットハンドとの位置合せを厳密に行う必要があり、調整に時間がかかった。また、ロボットハンドで搬送する場合には、電極棒が電極棒供給台もしくは組立台から完全に抜けきるまでロボットを垂直に上昇させる必要がありタクトが延びるという問題があった。
【００１２】
本発明は、上記課題を解決するためのもので、厳密な位置合せを行わなくても、棒状部品を曲げることなく組立台にセットすることができ、ロボットの動線を短くしタクトを短縮することができる吸着ヘッドを提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記課題を解決するために、本発明の棒状部品用吸着ヘッドは、棒状部品の最大外径部位よりも大きな内径と、棒状部品の少なくとも一部が収納可能な長さとを有する吸着穴が設けられた吸着ノズルと、この吸着穴から吸気して棒状部品を吸着穴内に収納し、吸気を継続して吸着穴内に棒状部品を保持するエアポンプとを備えたものである。
【００１４】
また、吸着穴の深さは、棒状部品の略全体を収納できる深さを有するようにしたものである。
【００１５】
さらに、エアポンプは、吸着ノズルから棒状部品を排出する際に、吸気動作から排気動作に切り換えるようにしたものである。
【００１６】
また、吸着穴の奥に、棒状部品に当接して吸着穴への挿入量を規定する規定部材を設けたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、吸着ヘッドで棒状部品を吸着して保持するようにしたので、吸着ヘッドと棒状部品との位置が多少ずれていても、棒状部品をほぼ垂直に持ち上げることができるので、棒状部品を曲げることなく保持することができる。また、ロボットハンドに比べ、構成が簡略化されるので、ローコストであり、故障時の復帰等のメンテナンス性も高くなる。
【００１８】
また、吸着穴に棒状部品の略全体を収納することができるので、棒状部品を保持した後の吸着ヘッドの動線を短縮することができ、タクトに有利である。
【００１９】
更に、棒状部品を排出する際に、エアポンプを排気動作させるようにしたので、スムーズに棒状部品を排出することができる。また、更に、吸着穴内に設けた規定部材で棒状部品の挿入量を規定するようにしたので、棒状部品が吸着穴の奥まで入って抜け出なくなるようなことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
図１は、本発明の挿入・かしめ装置の構成を示す外観斜視図である。この挿入・かしめ装置４０は、図７，８に示すキセノン管２の陰極側電極棒（以下、電極棒と省略する）６にカソード８を挿入し、このカソード８をかしめて電極棒６に固着させる装置である。挿入・かしめ装置４０は、架台４１の上部台板４１ａに設置されて加工を行う加工部４２と、下部台板４１ｂに設置されて加工部４２を制御するハードウェアである制御部４３と、この制御部４３をソフトウェア的に制御する制御コンピュータ４４とから構成されている。上部台板４１ａの側縁には、挿入・かしめ装置４０の操作に用いられる各種スイッチやモニタを備えた操作盤４５が設けられている。
【００２１】
加工部４２には、電極棒６を供給する電極棒供給台４９と、カソード８が取り付けられた電極棒６（以下、加工済み電極棒４８と呼ぶ）を集積する電極棒集積台５０とが並んで配置されている。電極棒供給台４９及び電極棒集積台５０は、上面に設けられた多数の穴に電極棒６のリード部１３を挿入させ、立てた状態で収納する。
【００２２】
また、加工部４２には、電極棒供給台４９から取り出された電極棒６を保持して本かしめを行う組立台ユニット５１と、この組立台ユニット５１に保持された電極棒６とその軸方向のベクトルを検出するために撮像する第１電極棒認識カメラ５２、第２電極棒認識カメラ５３とが設けられている。これらのカメラの対面には、電極棒６に光を照射する照明５４（図２参照）が配置されている。
【００２３】
更に、加工部４２には、カソード８が供給されるカソード供給ユニット５６が配置されている。また、電極棒供給台４９から電極棒６を取り出して組立台ユニット５１にセットし、カソード供給ユニット５６からカソード８を取り出して組立台ユニット５１の電極棒６に挿入して仮かしめを行ない、加工済み電極棒４８を組立台ユニット５１から取り出して電極棒集積台５０に集積するスカラーロボット５７が設置されている。
【００２４】
制御部４３には、スカラーロボット５７と、組立台ユニット５１のロボシリンダとを制御するロボットコントローラ６０と、ロボット以外を制御する多数の制御基板が組み込まれたコントロールボックス６１とが設置されている。制御コンピュータ４４は、このロボットコントローラ６０とコントロールボックス６１に接続されている。なお、下部台板４１ｂには、カソード供給ユニット５６を構成するカソード認識カメラ６２も設置されている。
【００２５】
図２は、組立台ユニット５１の断面図である。組立台ユニット５１は、組立台本体６８、組立台６９、電極棒６に取り付けられたカソード８を本かしめする本かしめチャック７０、この本かしめチャック７０をカソード８の高さ位置に合せて昇降させるロボシリンダ７１等から構成されてユニット化されており、品種変更の際には、この組立台ユニット５１ごと交換することで迅速に対応することができる。
【００２６】
組立台本体６８は、架台４１の上部台板４１ａに取り付けられる支持板７４と、この支持板７４の上面に取り付けられる上部フレーム７５と、支持板７４の下面に取り付けられ、上部台板４１ａに形成された組立台用開口７６に挿入されて上部台板４１ａの下方に配置される一対の下部フレーム７７とから構成されている。上部フレーム７５は、支持板７４に垂直に取り付けられる一対の支柱部７５ａと、これらの支柱部７５ａの上端を接続するように設けられる水平部７５ｂとを備えており、水平部７５ｂの上面中央には略円筒形状の組立台６９が取り付けられる。
【００２７】
組立台６９の断面を表す図３（Ａ）に示すように、組立台６９の上面中央には、溶接玉１４よりも大きな径を有する円形の開口部６９ａが設けられ、その下方には、電極棒６のリード部１３よりも径が大きく、かつ溶接玉１４より小さな径を有する支持穴６９ｂが形成されている。開口部６９ａと支持穴６９ｂとの間は、略円錐状のテーパー面６９ｃによって接続されている。組立台６９の下面には、支持穴６９ｂよりも大きな径を有する通気穴６９ｅが設けられており、この通気穴６９ｅは支持穴６９ｂに接続されている。通気穴６９ｅは、上部フレーム７５の水平部７５ｂに垂直方向に設けられた円形の垂直通気路７５ｃに接続される。また、水平部７５ｂには、垂直通気路７５ｃに接続される水平通気路７５ｄが設けられており、この水平通気路７５ｄには、ホースやパイプ等を介して組立台用エアポンプ８０が接続される。
【００２８】
垂直通気路７５ｃと通気穴６９ｅは同径とされ、これらで形成される空間内には、例えばステンレス等の金属で形成されたリフト球８３が収納されている。このリフト球８３は、通気穴６９ｅ及び垂直通気路７５ｃよりも小さな径を有しており、通気穴６９ｅ及び垂直通気路７５ｃとの間に通気可能な隙間が形成されるようになっている。なお、垂直通気路７５ｃには、リフト球８３が水平通気路７５ｄを塞がないように高さ位置を規制する規制ネジ８４が嵌合されている。
【００２９】
スカラーロボット５７は、アームを水平方向で移動させる水平多間接ロボットであって、上部台板４１ａに固定される基台部５７ａと、この基台部５７ａに垂直に立設される円筒形状の支持部５７ｂと、この支持部５７ｂの上端に水平方向で回転自在に取り付けられる第１アーム５７ｃと、この第１アーム５７ｃの先端に回転自在に取り付けられる第２アーム５７ｄと、この第２アーム５７ｄの先端に回転及び昇降自在に設けられるリスト部５７ｅと、このリスト部５７ｅに取り付けられるロボットヘッド８８とから構成されている。各アーム５７ｃ，５７ｄ及びリスト部５７ｅは、モータやギヤ等からなる駆動機構によって駆動され、ロボットヘッド８８は前述した加工部４２上で移動される。
【００３０】
図４は、ロボットヘッド８８の外観形状を示す斜視図である。このロボットヘッド８８は、リスト部５７ｅに取り付けられたオートツールチェンジャ９０を介してスカラーロボット５７に取り付けられる。オートツールチェンジャ９０は、ロボットヘッド８８を保持する保持機構と、この保持機構にロボットヘッド８８の保持動作と解除動作とを行わせるアクチュエータとを備えたもので、ロボットヘッド８８の自動交換に用いられる。
【００３１】
ロボットヘッド８８は、内部が空洞なフレーム状に形成されて軽量化されたヘッド本体９３と、このヘッド本体９３の上部に取り付けられてオートツールチェンジャ９０に保持されるチェンジャアタッチメント９４と、ヘッド本体９３の下部に取り付けられる３爪チャック９５と、ヘッド本体９３の側面に取り付けられるヘッドシリンダ９６と、このヘッドシリンダ９６に保持される吸着ヘッド９７、検査ヘッド９８、ＮＧ用チャック９９と、ヘッドシリンダ９６と反対側でヘッド本体９３の側面に取り付けられるキャリブレーション用照明１００とを備えている。
【００３２】
３爪チャック９５は、カソード供給ユニット５６からカソード８を把持して取り出す機構であり、組立台ユニット５１の電極棒６にカソードを挿入した後で、把持圧力を強めて仮かしめを行う。検査ヘッド９８は、電極棒６に取り付けられたカソード８を軸方向で押圧して、締結力を検査する。ＮＧ用チャック９９は、ＮＧ品と判断された電極棒６を組立台ユニット５１から除去する。キャリブレーション用照明１００は、カソード供給ユニット５６において、カソード認識カメラ６２のカメラ座標と、スカラーロボット５７のロボット座標とを一致させる際の指標として利用される。ヘッドシリンダ９６は、吸着ヘッド９７、検査ヘッド９８、ＮＧ用チャック９９を昇降させて、組立台ユニット５１やカソード供給ユニット５６と干渉するのを防止する。
【００３３】
図５は、吸着ヘッド９７の構成を示す断面図である。吸着ヘッド９７は、電極棒供給台４９にセットされている電極棒６を吸着して保持し、組立台ユニット５１にセットし、加工済み電極棒４８を組立台ユニット５１から取り出して電極棒集積台５０に集積する。この吸着ヘッド９７は、垂直な貫通穴１０３ａと、この貫通穴１０３ａに直交して接続される給気穴１０３ｂとが形成された吸着ブロック１０３と、吸着ブロック１０３の下部から貫通穴１０３ａに挿入される吸着ノズル１０４と、吸着ブロック１０３の上部から貫通穴１０３ａに挿入されて封止する封止部材１０５と、貫通穴１０３ａよりも径が細く、吸着ノズル１０４と封止部材１０５とに両端が保持される丸棒状のピン１０６とから構成されている。給気穴１０３ｂは、パイプやホースによってヘッド用エアポンプ１０７に接続されている。
【００３４】
吸着ノズル１０４には、ガラスビーズ９とカソード８とが取り付けられた電極棒６が挿入可能な径と、電極棒６の略全長がほぼ収容可能な深さとを有する吸着穴１０４ａと、この吸着穴１０４ａと貫通穴１０３ａとを接続するスリット１０４ｂとが設けられている。また、吸着穴１０４ａの開口部１０４ｃは、電極棒６を迎え入れやすくするために径が大きくされ、かつ電極棒６の引っ掛かりを防止するためにテーパー状に加工されている。
【００３５】
図６（Ａ）に示すように、電極棒供給台４９から電極棒６を取り出す際には、スカラーロボット５７の動作によって吸着ヘッド９７が電極棒供給台４９の上に移動される。このときに、ヘッド用エアポンプ１０７が吸気動作を開始し、貫通穴１０３ａとスリット１０４ｂと吸着穴１０４ａとを経て吸着ノズル１０４の先端から吸気する。これにより、電極棒供給台４９の電極棒６は、電極部１２側から吸着穴１０４ａに吸い込まれ、先端がピン１０６の下端に突き当たることによって吸着ヘッド９７内の所定の位置で保持される。
【００３６】
図６（Ｂ）に示すように、電極棒６を保持したスカラーロボット５７は、吸着ヘッド９７を組立台ユニット５１の上に移動させ、ついで、ヘッド用エアポンプ１０７の動作が吸気動作から排気動作に切り換えられる。このときに、組立台用エアポンプ８０が吸気動作を開始し、開口部６９ａから空気と一緒に電極棒６を吸引する。これにより、組立台６９への電極棒６の挿入が的確に行えるようにアシストする。なお、組立台６９と吸着ヘッド９７との位置が多少ずれていても、テーパー面６９ｃが電極棒６をガイドするので、挿入ミスが発生することはない。
【００３７】
図６（Ｃ）に示すように、組立台６９に吸引された電極棒６は、リード部１３が支持穴６９ｂに収容され、溶接玉１４がテーパー面６９ｃに当接される。これにより、電極棒６の軸方向及び水平方向が簡易に位置決めされ、電極部１２が組立台６９の上方に突出される。なお、支持穴６９ｂは、リード部１３よりも短くされているため、リード部１３の先端は通気穴６９ｅ内に突出される。
【００３８】
図６（Ｄ）に示すように、保持された電極棒６へのカソード８の挿入、仮かしめ、本かしめ、取付検査等を終了し、組立台６９から加工済み電極棒４８を取り出す際には、組立台用エアポンプ８０が排気動作を開始し、組立台６９からスムーズに電極棒６が排出されるようにアシストする。
【００３９】
なお、カソード８の本かしめが行われた後に、カソード８だけを下方に押圧して締結力を検査する取付検査が行われるが、この取付検査によって溶接玉１４が支持穴６９ｂに食い込み、排気だけでは電極棒６の排出をアシストできない場合がある。前述のリフト球８３は、このような場合に電極棒６の組立台６９への食い込みを解除するために設けられている。図３（Ｂ）に示すように、排気による圧力差によって通気穴６９ｅ内で押し上げられたリフト球８３は、リード部１３の先端を押圧して電極棒６を押し上げる。これにより、スカラーロボット５７による組立台６９からの電極棒６の取り出しに支障が生じることはない。
【００４０】
図６（Ｅ）に示すように、組立台ユニット５１の上方に移動された吸着ヘッド９７は、ヘッド用エアポンプ１０７によって吸気を行ない、組立台６９から加工済み電極棒４８を吸引する。そして、電極棒集積台５０に移動し、ヘッド用エアポンプ１０７の動作を排気動作に切り換えることにより、加工済み電極棒４８を集積する。
【００４１】
従来、電極棒を組立台まで搬送する際にロボットハンドを用いていたため、電極棒供給台に立てられている電極棒をロボットハンドで把持する際に、電極棒とロボットハンドとの位置がずれているとロボットハンドによって電極棒が曲げられてしまい、ＮＧ品となることがあった。また、このような電極棒の屈曲を防止するには、電極棒供給台とロボットハンドとの位置合せを厳密に行う必要があり、コストと時間とがかかるという問題があった。
【００４２】
これに対し、本実施形態では、吸着ヘッド９７で電極棒６を吸気動作によって保持するようにしたので、吸着ヘッド９７と電極棒６との位置が多少ずれていても、電極棒６をほぼ垂直に持ち上げることができるので、電極棒６を曲げることなく保持することができる。また、吸着ヘッド９７内に電極棒６の大部分を収納して搬送するようにしたので、電極棒６を誤ってぶつけて曲げてしまうこともない。また、ロボットハンドで搬送する場合には、電極棒６が支持穴から完全に抜けきるまでロボットを垂直に上昇させる必要があったが、吸着ヘッド９７内に電極棒６の大部分を瞬間的に吸い込んでしまうため、その後のロボットの動線を短縮することができタクトに有利である。更に、ロボットハンドに比べ、構成が簡略化されるので、故障時の復帰等のメンテナンス性も高くなる。
【００４３】
また、従来の組立台には、電極棒６を挟み込んで位置決めするエアチャックが設けられていた。これは、予め組立台に対して芯合せされたカソードガイドチャックによって電極棒にカソードを挿入し、同様に芯合せされたかしめチャックによってカソード８かしめを行うため、組立台に対する電極棒の位置ずれができるだけ少なくなるように保持するためである。
【００４４】
しかしながら、本実施形態の挿入・かしめ装置４０では、組立台６９によって保持された電極棒６の先端の位置座標を検出し、この検出された位置座標に合せて、スカラーロボット５７が電極棒６にカソード８を挿入するので、電極棒６の厳密な位置決めは必要ない。よって、組立台６９の支持穴６９ｂに電極棒６を挿入するだけで電極棒６を保持することができるので、保持に必要な時間が非常に短く、比較的単純な構造のため、組立台６９のコストも低くすることができる。また、テーパー面６９ｃによって溶接玉１４を受けるようにしたので、電極棒６の軸方向及び水平方向を比較的精度よく位置規定して保持することができる。
【００４５】
なお、上記実施形態では、キセノン管の電極棒にカソードを挿入する例について説明したが、その他の棒状部品に筒状部品を挿入してかしめる場合にも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の挿入・かしめ装置の構成を示す外観斜視図である。
【図２】組立台ユニットの構成を示す断面図である。
【図３】組立台の構成を示す断面図である。
【図４】ロボットヘッドの構成を示す外観斜視図である。
【図５】吸着ヘッドの構成を示す断面図である。
【図６】電極棒へのカソードの取り付け手順を示す概念図である。
【図７】キセノン管の構成を示す断面図である。
【図８】キセノン管の構成を示す分解斜視図である。
【図９】従来のカソード挿入・かしめ装置のカソード挿入状態を示す説明図である。
【図１０】従来のカソード挿入・かしめ装置のカソードかしめ状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
２  キセノン管
６  陰極側電極棒
８  カソード
４０  挿入・かしめ装置
４９  電極棒供給台
５０  電極棒集積台
５１  組立台ユニット
５７  スカラーロボット
６９  組立台
６９ａ  開口部
６９ｂ  支持穴
６９ｃ  テーパー面
８０  組立台用エアポンプ
８３  リフト球
９７  吸着ヘッド
【図１】
2007185735.tif 000003
【図２】
2007185735.tif 000004
【図３】
2007185735.tif 000005
【図４】
2007185735.tif 000006
【図５】
2007185735.tif 000007
【図６】
2007185735.tif 000008
【図７】
2007185735.tif 000009
【図８】
2007185735.tif 000010
【図９】
2007185735.tif 000011
【図１０】
2007185735.tif 000012