(57)【要約】【課題】対物レンズを切り替えても簡単な構成で良好に結像できる対物レンズ切替装置を備えた顕微鏡を提供する。【解決手段】有限補正光学系の顕微鏡本体の光軸に対して直交する平面上で直線上に移動可能に移動部４２０を配設する。移動部４２０に移動方向で並列状に複数の有限補正光学系の対物レンズ５００を着脱可能に取り付ける。単独で結像させる対物レンズ５００の切替による誤差が生じにくく簡単な構成のスライド移動の構成を利用でき、有限補正光学系の顕微鏡で被観察物の状態に応じて倍率を切り替えつつ高精度な観察ができる。対物レンズ５００毎に生じる光軸中心の誤差と、切替可能に取り付ける各取付部分毎の各誤差を調整するための構成を容易に設けることができる。【選択図】図３
2007328063.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
有限補正光学系の顕微鏡本体に配設され、有限補正光学系の複数の対物レンズが着脱可能に取り付けられる対物レンズ切替装置であって、
前記顕微鏡に取り付けられる本体部と、
この本体部に前記顕微鏡本体の光軸に対して交差する平面上で一方向に直線上に移動可能に配設され、移動方向で前記対物レンズが並列に取り付けられる移動部と、
前記本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか一方に設けられ、前記対物レンズが前記顕微鏡本体の光軸上に位置する状態で前記本体部および前記移動部の前記本体部に対する相対的な移動状態を規制する位置決め手段と、
を具備したことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項２】
請求項１に記載の対物レンズ切替装置であって、
前記移動部は、略長手板状に形成され、平面方向の長手方向でスライド移動可能に前記本体部に配設され、
前記位置決め手段は、前記本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか一方に設けられ、湾曲凸面を有し前記移動部の厚さ方向に略沿って前記湾曲凸面が進退可能な係止部と、前記本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか他方に設けられ、前記係止部が係脱可能に係合する凹状の係合部とを備えた
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の対物レンズ切替装置であって、
前記移動部に設けられ、前記対物レンズがそれぞれ着脱可能に取り付けられる複数の取付部材と、
前記移動部に前記取付部材に係合して設けられ、前記取付部材を前記移動部に対して前記移動部が前記本体部に対して移動する平面方向に沿って移動可能に位置決めする調芯機構と、
前記移動部に前記取付部材に係合して設けられ、前記取付部材を前記移動部に対して前記顕微鏡本体の光軸方向に沿って移動可能に位置決めする焦点調整機構と、を具備した
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項４】
請求項３に記載の対物レンズ切替装置であって、
前記調芯機構は、前記複数の取付部材のいずれか１つに係合する状態に設けられ、
前記焦点調整機構は、前記調芯機構が係合する前記取付部材以外の他の前記取付部材の少なくともいずれか１つに係合する状態に設けられた
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項５】
請求項３または請求項４に記載の対物レンズ切替装置であって、
前記取付部材は、内周側に対物レンズが取り付けられる環状に形成され、
前記調芯機構は、前記取付部材の外周近傍で周方向に少なくとも３カ所で前記取付部材を囲む位置に前記移動部に螺着され、前記移動部へのねじ込みに応じて前記取付部材に摺接する状態に押圧する複数の調整ねじを備え、
前記取付部材の外周と前記調整ねじとのうちの少なくともいずれか一方に、前記調整ねじのねじ込みに応じて互いに離間する方向へ移動させる押圧力を作用させる傾斜面が設けられた
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項６】
請求項３ないし請求項５のいずれかに記載の対物レンズ切替装置であって、
前記取付部材は、内周側に対物レンズが取り付けられ外周面に前記移動部に螺合する雄ねじ部を有する環状に形成され、
前記焦点調整機構は、前記取付部材の雄ねじ部に螺着する雌ねじ部を内周面に有する環状に形成され、前記取付部材との螺合状態に応じて軸方向の端面が前記移動部に当接または離間することで前記取付部材を位置決めまたは移動可能とする環状のナット部を備えた
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項７】
請求項３ないし請求項６のいずれかに記載の対物レンズ切替装置であって、
前記調芯機構により移動される前記取付部材は、低倍率の対物レンズが装着され、
前記焦点調整機構により移動される前記取付部材は、高倍率の対物レンズが装着される
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項８】
請求項３ないし請求項７のいずれかに記載の対物レンズ切替装置であって、
前記位置決め手段は、前記複数の取付部材のうち前記調芯機構が係合する前記取付部材に対して最も遠くなる位置に設けられた
ことを特徴とした対物レンズ切替装置。
【請求項９】
被観察物を載置する載置台および接眼レンズを備えた有限補正光学系の顕微鏡本体と、
この顕微鏡本体に配設される請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の対物レンズ切替装置と、
を具備したことを特徴とした顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の対物レンズを切り替える対物レンズ切替装置およびこの対物レンズ切替装置を備えた顕微鏡に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば半導体の高集積化、ビデオヘッドなどの微細加工が施された各種部品の検査として、顕微鏡による検査が利用されている。特に、近年の部品検査として、ミクロオーダからサブミクロンオーダの検査精度の要求が高まっている。
そして、顕微鏡による部品検査では、被観察物の観察部位の位置や状態などにより、対物レンズの倍率を適宜変更する必要がある。このことから、顕微鏡として、対物レンズを交換する作業性を考慮して、複数の対物レンズを切り替える構成が知られている（例えば、特許文献１および特許文献２参照）。
【０００３】
特許文献１に記載のものは、胴付面より上方に大きく突出したレンズ群を配置した低倍率の対物レンズと高倍率の対物レンズとを、対物レンズのレンズ群を収納可能な厚さの可動部に配置する。そして、可動部が直線移動のみ可能に顕微鏡に装着し、可動部を直線移動させて低倍率の対物レンズと高倍率の対物レンズとを選択的に観察光軸上に位置させる構成が採られている。
特許文献２に記載のものは、複数の対物レンズをレボルバ本体の回転軸線を中心とする同一円周上に取り付けた取付フランジを回転して観察光軸上に対物レンズを位置させる構成が採られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−９１８４１号公報
【特許文献２】特開平１１−２３７５５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、顕微鏡の結像方式として、有限補正光学系と、無限補正光学系とに分類される。有限補正光学系は、対物レンズが単独で像を有限な位置に作る構成である。一方、無限補正光学系は、対物レンズの他に結像レンズを用いて像を作る構成である。
また、特に高精度の部品検査結果を得るためには、交換する対物レンズの光軸を一致させる必要がある。すなわち、光軸が一致しない場合、対物レンズを切り替えた際に、観察している像が視野の中心からずれてしまう不都合が生じる。
【０００６】
本発明は、このような点を考慮して、対物レンズを切り替えても良好な結像が簡単な構成で得られる対物レンズ切替装置および顕微鏡を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に記載の対物レンズ切替装置は、有限補正光学系の顕微鏡本体に配設され、有限補正光学系の複数の対物レンズが着脱可能に取り付けられる対物レンズ切替装置であって、前記顕微鏡に取り付けられる本体部と、この本体部に前記顕微鏡本体の光軸に対して交差する平面上で一方向に直線上に移動可能に配設され、移動方向で前記対物レンズが並列に取り付けられる移動部と、前記本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか一方に設けられ、前記対物レンズが前記顕微鏡本体の光軸上に位置する状態で前記本体部および前記移動部の前記本体部に対する相対的な移動状態を規制する位置決め手段と、を具備したことを特徴とする。
この発明では、有限補正光学系の顕微鏡本体に取り付けられる本体部に、顕微鏡本体の光軸に対して交差する平面上で一方向に直線上に移動可能に移動部を配設し、移動部に移動方向に沿って並列状に複数の有限補正光学系の対物レンズを着脱可能に取り付ける。そして、本体部および移動部のうちの少なくともいずれか一方に、移動部に取り付けた対物レンズが顕微鏡本体の光軸上に位置する状態で本体部および移動部の相対的な移動を規制させる位置決め手段を設ける。
このことにより、単独で結像させる構成で固有の光軸中の誤差を有する有限補正光学系の対物レンズを切り替える際に、複数の対物レンズが取り付けられる移動部を一方向で直線上に移動させる構成であることから、切替による誤差が生じにくく簡単な構成のスライド移動の構成を利用でき、有限補正光学系の顕微鏡で被観察物の状態に応じて倍率を切り替えつつ高精度な観察が得られ、製造性の向上や小型化などが容易に図れる。さらには、構成が簡単であることから、対物レンズ毎に生じる光軸中心の誤差と、複数の対物レンズを切替可能に取り付ける各取付部分毎の誤差を調整するための構成を設けることが容易にでき、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察ができる構成の製造性の向上や小型化などが容易に得られる。
【０００８】
そして、本発明では、前記移動部は、略長手板状に形成され、平面方向の長手方向でスライド移動可能に前記本体部に配設され、前記位置決め手段は、前記本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか一方に設けられ、湾曲凸面を有し前記移動部の厚さ方向に略沿って前記湾曲凸面が進退可能な係止部と、全本体部および前記移動部のうちの少なくともいずれか他方に設けられ、前記係止部が係脱可能に係合する凹状の係合部とを備えた構成とすることが好ましい。
この発明では、略長手板状に形成された移動部を、平面方向の長手方向でスライド移動可能に本体部に配設し、本体部および移動部のうちの少なくともいずれか一方に湾曲凸面を有する係止部を湾曲凸面が移動部の厚さ方向に略沿って進退可能に設け、少なくともいずれか他方に係止部が係脱可能に係合する凹状の係合部を設けて、係止部および係合部の係脱により移動部の相対的な移動および位置決めをする。
このことにより、対物レンズを切り替えるために移動させる移動部の移動による誤差や位置決めによる誤差などが、簡単な構成で生じにくくなり、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察ができる構成が容易に得られる。
【０００９】
また、本発明では、前記移動部に設けられ、前記対物レンズがそれぞれ着脱可能に取り付けられる複数の取付部材と、前記移動部に前記取付部材に係合して設けられ、前記取付部材を前記移動部に対して前記移動部が前記本体部に対して移動する平面方向に沿って移動可能に位置決めする調芯機構と、前記移動部に前記取付部材に係合して設けられ、前記取付部材を前記移動部に対して前記顕微鏡本体の光軸方向に沿って移動可能に位置決めする焦点調整機構と、を具備した構成とすることが好ましい。
この発明では、対物レンズがそれぞれ着脱可能に取り付けられる複数の取付部材を移動部に設ける。そして、調芯機構により移動部が本体部に対して移動する平面に沿って取付部材を移動部に対して移動可能に位置決めし、焦点調整機構により移動部に対して顕微鏡本体の光軸方向に沿って取付部材を移動可能に位置決めする。
このことにより、対物レンズが取り付けられる取付部分での誤差のみならず、対物レンズ毎の誤差も調整でき、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察が容易に得られる。
【００１０】
さらに、本発明では、前記調芯機構は、前記複数の取付部材のいずれか１つに係合する状態に設けられ、前記焦点調整機構は、前記調芯機構が係合する前記取付部材以外の他の前記取付部材の少なくともいずれか１つに係合する状態に設けられた構成とすることが好ましい。
この発明では、有限補正光学系の対物レンズが取り付けられるいずれか１つの取付部材を調芯機構にて適宜移動させて光軸調整し、有限補正光学系の対物レンズが取り付けられる他の取付部材の少なくともいずれか１つを焦点調整機構により適宜移動させて焦点調整する。
このことにより、対物レンズの切替時の誤差、対物レンズを取り付ける取付部分の誤差のみならず、有限補正光学系の対物レンズ毎の誤差が生じても、直線上に一方向で移動させて対物レンズを切り替える切替時の誤差が生じにくい構成で、各取付部材毎に調芯機構および焦点調整機構を設けなくても各誤差を調整できる。したがって、高精度な観察が得られ、構成の簡略化による製造性の向上や小型化、コストの低減などが得られるとともに、観察のための調整作業の簡略化が得られ、高精度の観察の効率化が得られる。
【００１１】
また、本発明では、前記取付部材は、内周側に対物レンズが取り付けられる環状に形成され、前記調芯機構は、前記取付部材の外周近傍で周方向に少なくとも３カ所で前記取付部材を囲む位置に前記移動部に螺着され、前記移動部へのねじ込みに応じて前記取付部材に摺接する状態に押圧する複数の調整ねじを備え、前記取付部材の外周と前記調整ねじとのうちの少なくともいずれか一方に、前記調整ねじのねじ込みに応じて互いに離間する方向へ移動させる押圧力を作用させる傾斜面が設けられた構成とすることが好ましい。
この発明では、調芯機構として、内周側に対物レンズが取り付けられる環状の取付部材の外周近傍で周方向に少なくとも３カ所で取付部材を囲む位置に、移動部に螺着してねじ込み状態に応じて取付部材に摺接する状態に押圧して、外周側から少なくとも３方向での押引状態により取付部材を移動させる調整ねじを設ける。そして、取付部材の外周と調整ねじとのうちの少なくともいずれか一方に、調整ねじのねじ込み状態に応じて互いに離間する方向へ移動させる押圧力を作用させる傾斜面を設けている。
このことにより、３カ所以上に取付部材を囲むように取付部材に摺接する状態で調整ねじを設け、摺接部分にねじ込みに対して互いに離間させる方向の押圧力となる分力を生じさせる傾斜面を設ける簡単な構成で光軸調整するので、構成の簡略化や製造性の向上、小型化などが容易に得られるとともに、構成が簡略化するので、対物レンズを切り替えるために対物レンズが装着される移動部を移動させる構成として誤差を生じないように剛性を高めるなどの必要がなく、対物レンズを切り替える構成の簡略化も容易に得られる。
【００１２】
さらに、本発明では、前記取付部材は、内周側に対物レンズが取り付けられ外周面に前記移動部に螺合する雄ねじ部を有する環状に形成され、前記焦点調整機構は、前記取付部材の雄ねじ部に螺着する雌ねじ部を内周面に有する環状に形成され、前記取付部材との螺合状態に応じて軸方向の端面が前記移動部に当接または離間することで前記取付部材を位置決めまたは移動可能とする環状のナット部を備えた構成とすることが好ましい。
この発明では、焦点調整機構として、内周側に対物レンズが取り付けられる環状の取付部材の外周面に設けられ移動部に螺合する雄ねじ部に、環状のナット部の内周面に設けた雌ねじ部を螺着させ、取付部材との螺合状態に応じてナット部の軸方向の端面を移動部に当接または離間させることで、取付部材を位置決めまたは移動可能にして焦点調整する構成としている。
このことにより、対物レンズが内周側に取り付けられる環状の取付部材の外周に設けた雄ねじ部を移動部に螺合させるとともに、取付部材の雄ねじ部に環状のナット部の内周側に設けた雌ねじ部を螺着させてナット部の軸方向の端面を移動部に当接または離間させて、取付部材を移動部に対して位置決めまたは移動可能となる簡単な構成で焦点調整できる。したがって、構成の簡略化や製造性の向上、小型化などが容易に得られるとともに、構成が簡略化するので、対物レンズを切り替えるために対物レンズが装着される移動部を移動させる構成として誤差を生じないように剛性を高めるなどの必要がなく、対物レンズを切り替える構成の簡略化も容易に得られる。
【００１３】
そして、本発明では、前記調芯機構により移動される前記取付部材は、低倍率の対物レンズが装着され、前記焦点調整機構により移動される前記取付部材は、高倍率の対物レンズが装着される構成とすることが好ましい。
この発明では、調芯機構により移動される取付部材に低倍率の対物レンズが装着され、焦点調整機構により移動される取付部材に高倍率の対物レンズが装着される。
このことにより、倍率の低い対物レンズにて光軸調整して有限補正光学系の対物レンズによる固有の誤差および取付部分における誤差による視野の中心から観察する像が中心からずれることを調整でき、倍率の高い対物レンズにて有限補正光学系の対物レンズによる固有の誤差による焦点ずれを調整でき、それぞれで光軸調性および焦点調整を実施することなく、対物レンズを切り替えて異なる倍率による良好な観察が容易に得られる。
【００１４】
また、本発明では、前記位置決め手段は、前記複数の取付部材のうち前記調芯機構が係合する前記取付部材に対して最も遠くなる位置に設けられた構成とすることが好ましい。
この発明では、複数の取付部材のうち調芯機構が係合する取付部材に対して最も遠くなる位置に、位置決め手段を設ける。
このことにより、位置決め手段による位置決め誤差が、最も遠い位置となる調芯機構にて確実に調整され、より良好な観察が得られる。
【００１５】
本発明に記載の顕微鏡は、被観察物を載置する載置台および接眼レンズを備えた有限補正光学系の顕微鏡本体と、この顕微鏡本体に配設される請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の対物レンズ切替装置と、を具備したことを特徴とする。
この発明では、有限補正光学系の顕微鏡本体に、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の対物レンズ切替装置を配設する。
このことにより、被観察物の状態に応じて有限補正光学系の対物レンズを切り替えても簡単な構成で高精度な観察ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明を実施するための最良の形態について詳述する。
なお、本実施の形態では、２つの有限補正光学系の対物レンズを切り替えて観察できる有限補正光学系の顕微鏡を例示するが、例えば３つ以上の対物レンズを適宜切り替える構成としてもよい。また、３つ以上の対物レンズを取り付けられる構成として、２つのみ取り付けてもよい。
図１は、本実施の形態に係る顕微鏡を示す斜視図である。図２は、顕微鏡を示す一部を切り欠いた側面図である。図３は、対物レンズ切替装置を示す一部を切り欠いた側面図である。図４は、対物レンズ切り替え装置を示す平面図である。図５は、対物レンズ切替装置を示す位置決め手段の位置での断面図である。図６は、対物レンズ切替装置の位置決め手段近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。図７は、対物レンズ切替装置の第一取付孔近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。図８は、対物レンズ切替装置の第二取付孔近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。
【００１７】
〔顕微鏡の構成〕
図１および図２において、１００は顕微鏡で、この顕微鏡１００は、有限補正光学系で、図示しない被観察物の観察部位の位置や状態などにより、倍率を適宜切り替えできる。
この顕微鏡１００は、載置台２００と、顕微鏡本体３００と、を備えている。
【００１８】
載置台２００は、例えば観察のための図示しない作業台上に載置固定される台座部２１０を備えている。この台座部２１０には、軸方向が鉛直方向に略沿った支柱部２２０が一体的に設けられている。
さらに、台座部２１０には、Ｘ軸移動部２３０と、Ｙ軸移動部２４０と、が配設されている。そして、これらＸ軸移動部２３０およびＹ軸移動部２４０には、台座部２１０に対して水平方向で移動可能な載置板２５０が設けられている。この載置板２５０は、Ｘ軸移動部２３０のＸ軸回転操作部２３１の回転操作により平面方向でＸ軸方向となる一方向に移動され、Ｙ軸移動部２４０のＹ軸回転操作部２４１の回転操作により平面方向で一方向に対して直交するＹ軸方向となる他方向に移動される。
また、載置板２５０には、例えば透過照明による測定が可能なように載置ガラス２５１が設けられている。
【００１９】
顕微鏡本体３００は、載置台２００の支柱部２２０に鉛直方向に沿って移動可能に配設されている。この顕微鏡本体３００は、筐体３１０を備えている。この筐体３１０には、回転操作可能に配設され回転操作により筐体３１０を鉛直方向に沿って移動させるＺ軸回転操作部３２０が配設されている。さらに、筐体３１０には、接眼レンズ３３０が配設されている。
また、筐体３１０内には、図２に示すように、第一反射ミラー３４１、第二反射ミラー３４２、第三反射ミラー３４３、ハーフミラー３４４などの光学系部材３４０が配設されている。さらに、筐体３１０には、例えばハロゲンランプなどが配設され光を出射する光源部３５０が配設されている。この光源部３５０は、略鉛直方向に沿って下方に向けて光を出射する状態に配設されている。
光源部３５０から出射された光は、第一反射ミラー３４１で反射され、さらにハーフミラー３４４で筐体３１０の下面に開口された観察穴３１１を介して下方に向けて反射され被観察物へ照射される。また、被観察物へ照射された光は反射され、ハーフミラー３４４を透過して、第二反射ミラー３４２さらに第三反射ミラー３４３で反射され、接眼レンズ３３０で拡大されて結像される。
【００２０】
また、顕微鏡本体３００の筐体３１０の下面には、観察穴３１１に対応して対物レンズ切替装置４００が配設されている。この対物レンズ切替装置４００は、複数、例えば２つの有限補正光学系の対物レンズ５００が着脱可能に装着され、観察者の操作により対物レンズ５００を光軸上に位置する状態に切り替える。なお、本実施の形態では、対物レンズ５００として、比較的に低倍率の対物レンズ５１０、比較的に高倍率の対物レンズ５２０を用いる構成を例示する。
この対物レンズ切替装置４００は、図３ないし図５に示すように、本体部４１０と、移動部４２０と、位置決め手段４３０と、いわゆるベアリングである可動部４４０と、を備えている。
【００２１】
本体部４１０は、例えば鋼板などにて長手板状に形成された保持板４１１を有している。この保持板４１１の略中央には、長手方向に沿って長手状の係合凹部４１２が設けられている。さらに、保持板４１１の略中央には、係合凹部４１２内に位置して長手方向に沿って長手状の観察孔４１３が開口形成されている。また、保持板４１１の長手方向の両側には、同方向に長手方向に沿ったリブ状の側板部４１４がそれぞれ設けられている。それら側板部４１４の一方は一体に形成され、他方は保持板４１１にねじ止めにより取付固定されている。
また、側板部４１４の対向面には、長手方向に沿った凹溝状の第一可動凹溝部４１５がそれぞれ設けられている。さらに、保持板４１１には、側板部４１４が設けられた側の面における長手方向の一端部近傍と略中央部分とには、図５および図６に示すように、位置決め手段４３０を構成する係合部としての位置決め孔４３１が穿設されている。
そして、本体部４１０は、保持板４１１の平面方向が、顕微鏡本体３００の光軸に対して直交する状態、すなわち顕微鏡本体３００の観察穴３１１から出射される光の光軸に対して交差する状態に顕微鏡本体３００の筐体３１０の下面に取り付けられる。
【００２２】
移動部４２０は、図３ないし図５に示すように、例えば鋼板などにて本体部４１０の側板部４１４の高さ寸法と略同じ厚さ寸法で、かつ側板部４１４間の対向距離と略同じ幅寸法の略板状に形成されている。この移動部４２０の一面側の略中央には、本体部４１０の係合凹部４１２の深さ寸法と略同一の高さ寸法で膨出し、係合凹部４１２内に摺動可能に係合する係合凸部４２１が設けられている。また、移動部４２０の長手方向の両側には、長手方向に沿った凹溝状で本体部４１０の第一可動凹溝部４１５に対向する状態の第二可動凹溝部４２２がそれぞれ設けられている。
そして、第一可動凹溝部４１５および第二可動凹溝部４２２間に位置して可動部４４０が配設され、移動部４２０は、本体部４１０の係合凹部４１２に係合凸部４２１が摺動可能に係合して本体部４１０の保持板４１１に積層する状態で、可動部４４０により平面方向すなわち顕微鏡本体３００の光軸に対して直交する方向でかつ長手方向で相対的に直線状に摺動可能に本体部４１０に保持されている。
また、移動部４２０には、長手方向に沿って並設する状態に、第一取付孔４２３および第二取付孔４２４が開口形成されている。これら第一取付孔４２３および第二取付孔４２４は、本体部４１０の保持板４１１と反対側の面側、すなわち係合凸部４２１が突出する側と反対側の面側が径大に開口する状態に、それぞれ段差部４２５を有している。
【００２３】
さらに、移動部４２０には、取付部材としての第一取付リング４５０および取付部材としての第二取付リング４６０が配設されている。
第一取付リング４５０は、図３、図４および図７に示すように、外径が第一取付孔４２３の内径より径小の環状に形成されている。そして、第一取付リング４５０の内周面には、対物レンズ５００（５１０）が螺着される雌ねじである取付ねじ部４５１が設けられている。また、第一取付リング４５０の軸方向の一端縁には、外径が第一取付孔４２３の内径より径大で段差部４２５より径小に外周方向に鍔状に突出するフランジ部４５２が設けられている。そして、第一取付リング４５０は、第一取付孔４２３内で中心軸線が平行移動する状態にフランジ部４５２が段差部４２５に摺接可能に嵌挿保持される。
第二取付リング４６０は、図３、図４および図８に示すように、外径が第二取付孔４２４の内径と略同寸法の環状に形成されている。そして、第二取付リング４６０の内周面には、対物レンズ５００（５２０）が螺着される雌ねじである取付ねじ部４６１が設けられている。なお、第一取付リング４５０の取付ねじ部４５１と第二取付リング４６０の取付ねじ部４６１とは、同一ピッチに形成され、いずれの有限補正光学系の対物レンズ５００が取付可能となっている。また、第二取付リング４６０の外周面には、第二取付孔４２４の取付ねじ部４２６に螺合する雄ねじ部４６２が形成されている。
【００２４】
また、移動部４２０には、図３、図４および図７に示すように、調芯機構４７０が設けられている。この調芯機構４７０は、第一取付孔４２３の段差部４２５が臨む側の周縁部で周方向に略等間隔に螺着される３つの調整ねじ４７１を備えている。これら調整ねじ４７１には、リング状の押圧部４７２がそれぞれ装着されている。これら押圧部４７２は、調整ねじ４７１の頭部４７１Ａに係合され、調整ねじ４７１のねじ部４７１Ｂ側に向けて縮径する状態の傾斜面４７３を有している。
そして、調整ねじ４７１が移動部４２０にねじ込まれることにより、傾斜面４７３が第一取付リング４５０の外周縁に当接して第一取付孔４２３から脱落防止されるとともに、さらにねじ込まれることにより、第一取付リング４５０の外周縁が押圧部４７２の傾斜面４７３上を相対的に滑動する状態に摺接して調整ねじ４７１から第一取付リング４５０が離間する方向へ移動させる押圧力を作用させる。
このように、調芯機構４７０は、押圧部４７２を備えた３つの調整ねじ４７１のねじ込みに応じて、第一取付リング４５０を第一取付孔４２３内で移動部４２０の平面方向に沿って押引する状態に移動させて位置決めする。
【００２５】
さらに、移動部４２０には、図３、図４および図８に示すように、焦点調整機構４８０が設けられている。この焦点調整機構４８０は、内周面に第二取付リング４６０の雄ねじ部４６２に螺合する雌ねじ部４８１を有した環状のナット部４８２を備えている。
このナット部４８２が第二取付リング４６０に螺着して軸方向の端面が第二取付孔４２４の段差部４２５に当接することにより第二取付リング４６０が移動部４２０に位置決め固定される。また、ナット部４８２は、軸方向の端面が第二取付孔４２４の段差部４２５から離間する状態で第二取付リング４６０に螺合する状態で、第二取付リング４６０が軸方向でねじ込みにより移動部４２０の厚さ方向となる第二取付孔４２４の軸方向で移動可能となる。
【００２６】
また、移動部４２０には、図４ないし図６に示すように、長手方向の一端部側、具体的には第一取付孔４２３から遠くなる第二取付孔４２４側に位置して、位置決め手段４３０を構成するクリック部４３２を備えている。
このクリック部４３２は、図５および図６に示すように、移動部４２０に貫通形成された取付孔４２７に嵌合固定される略有底円筒状の筒部４３３を備えている。この筒部４３３は、移動部４２０の係合凸部４２１が突出する側に向けて開口する状態で取付孔４２７内に嵌合固定される。また、筒部４３３の内周側には、例えばコイルばねなどの付勢手段４３４が配設されている。さらに、筒部４３３の内周側には、付勢手段４３４の弾性変形による復元力にて軸方向の一端開口から押し出される状態に付勢される係止部４３５が配設されている。この係止部４３５は、例えば球状に形成され、筒部４３３から球面が進出する状態に付勢手段４３４により付勢される。
そして、位置決め手段４３０は、移動部４２０の係合凸部４２１が本体部４１０の係合凹部４１２の長手方向の一端に当接する状態で、クリック部４３２の係止部４３５が本体部４１０の位置決め孔４３１に係合して位置決めする。
【００２７】
〔顕微鏡の動作〕
次に、上記顕微鏡の動作として、被観察物を観察する動作について説明する。
【００２８】
まず、移動部４２０の第一取付リング４５０に低倍率の対物レンズ５１０を取り付けるとともに、第二取付リング４６０に高倍率の対物レンズ５２０を取り付ける。さらに、低倍率の対物レンズ５１０が光軸上に位置、例えば図２に示す状態に移動部４２０を移動させて位置決めする。そして、顕微鏡１００に電力を供給して光源部３５０を点灯させるとともに、図示しない疑似被観察物、すなわち調整用試料を載置板２５０上に載置し、観察可能な状態とする。
そして、この状態で、調整工程を実施する。
【００２９】
すなわち、目視により対物レンズ５１０がほぼ被観察物の直上に位置する状態に、Ｘ軸移動部２３０およびＹ軸移動部２４０を操作して載置板２５０を水平移動させるとともに、Ｚ軸回転操作部３２０を操作して顕微鏡本体３００を上下移動させる。この後、接眼レンズ３３０を介して調整用試料を確認し、調整用試料に設けられた基準位置が視界中心に位置する状態、例えば接眼レンズに設けられた基準線が交差する中心に位置する状態に、Ｘ軸移動部２３０およびＹ軸移動部２４０を操作して載置板２５０を移動させる。さらに、焦点が合う位置まで、対物レンズ５１０が調整用試料から離間する方向へＺ軸回転操作部３２０を操作して顕微鏡本体３００を移動させる。
そして、視界中心で基準位置の焦点が合った時点で、移動部４２０を移動させて対物レンズ５１０が光軸上に位置する状態とする。
【００３０】
次に、移動部４２０を移動させて対物レンズ５２０が光軸上に位置する状態とする。この状態で、焦点調整機構４８０のナット部４８２を弛め、第二取付リング４６０をねじ込んだり弛めたりするねじ回し操作により、第二取付リング４６０とともに対物レンズ５２０を光軸に沿って移動させ、焦点を合わせる。
この後、移動部４２０を移動させて対物レンズ５１０が光軸上に位置する状態とする。そして、調芯機構４７０の各調整ねじ４７１を適宜ねじ込んだり弛めたりするなどして、第二取付リング４６０とともに対物レンズ５１０を光軸に対して直交する方向で移動させ、光軸中心が同じになるように調整する。
以上の二つの調整を実施することにより、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替えても観察している像が視野の中心からずれることなく、又、焦点も合った状態となり、切替時に個々に顕微鏡３００の焦点調整が不要となる。
これら調整工程により、調芯および焦点調整が完了後、実際に被観測物を載置板２５０上に載置して、観察する観察工程が実施される。
【００３１】
〔顕微鏡の作用効果〕
上述したように、上記実施の形態では、有限補正光学系の顕微鏡本体３００に取り付けられる本体部４１０に、顕微鏡本体３００の光軸に対して直交する平面上で長手方向となる一方向に直線上で移動可能に移動部４２０を配設し、移動部４２０に移動方向に沿って並列状に複数の有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）を着脱可能に取り付ける。そして、本体部４１０および移動部４２０のうちの少なくともいずれか一方に、移動部４２０に取り付けた対物レンズ５００（５１０，５２０）が顕微鏡本体３００の光軸上に位置する状態で本体部４１０および移動部４２０の相対的な移動を規制させる位置決め手段４３０を設ける。
このため、単独で結像させる構成で固有の光軸中の誤差を有する有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える際に、複数の対物レンズ５００（５１０，５２０）が取り付けられる移動部４２０を一方向で直線上に移動させる構成であることから、対物レンズ５００（５１０，５２０）の切替による誤差が生じにくく簡単な構成であるスライド移動の構成を利用でき、有限補正光学系の顕微鏡１００で被観察物の状態に応じて倍率を切り替えつつ高精度な観察が得られ、製造性の向上や小型化などが容易に図れる。さらには、構成が簡単であることから、対物レンズ５００（５１０，５２０）毎に生じる光軸中心の誤差と、複数の対物レンズ５００（５１０，５２０）を切替可能に取り付ける各取付部分毎、すなわち第一取付孔４２３および第一取付リング４５０や第二取付孔４２４および第二取付リング４６０の各誤差を調整するための構成を設けることが容易にでき、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察ができる構成の製造性の向上や小型化などが容易に得られる。
【００３２】
そして、上記実施の形態では、略長手板状に形成された移動部４２０を、平面方向の長手方向でスライド移動可能に本体部４１０に配設し、本体部４１０および移動部４２０のうちの少なくともいずれか一方に湾曲凸面を有する係止部４３５を湾曲凸面である球面が移動部４２０の厚さ方向に略沿って進退可能に設け、少なくともいずれか他方に係止部４３５が係脱可能に係合する凹状の係合部を設けて、係止部４３５および位置決め孔４３１の係脱により移動部４２０の相対的な移動および位置決めをする。
このため、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替えるために移動させる移動部４２０の移動による誤差や位置決めによる誤差などが、簡単な構成で生じにくくなり、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察ができる構成が容易に得られる。
特に、係止部４３５として、球体を用いているので、汎用品を流用でき、簡単な構成で位置決めするための構成が容易に得られる。
さらには、位置決めする構成として、本体部４１０に係合凹部４１２を設けるとともに、この係合凹部４１２に摺動可能に係合する係合凸部４２１を移動部４２０に設け、移動部４２０が軸方向で移動して係合凹部４１２および係合凸部４２１が当接した位置で位置決めする構成としている。このため、より高精度な位置決めが得られる。
【００３３】
また、上記実施の形態では、対物レンズ５００（５１０，５２０）がそれぞれ着脱可能に取り付けられる複数、例えば第一取付リング４５０および第二取付リング４６０の２つを移動部４２０に設けている。そして、調芯機構４７０により移動部４２０が本体部４１０に対して移動する平面に沿って第一取付リング４５０を移動部４２０に対して移動可能に位置決めし、焦点調整機構４８０により移動部４２０に対して顕微鏡本体３００の光軸方向に沿って第二取付リング４６０を移動可能に位置決めしている。
このため、対物レンズ５００（５１０，５２０）が取り付けられる取付部分での誤差のみならず、対物レンズ５００（５１０，５２０）毎の誤差も調整でき、有限補正光学系で汎用性が高く高精度な観察が容易に得られる。
すなわち、有限補正光学系の対す物レンズ５００（５１０，５２０）では、所定の倍率が得られることに重点をおいて製造されるため、対物レンズ５００（５１０，５２０）の取付部分の取付座から被観察物までの距離である同焦距離は、必ずしも一定の距離にはならない。このことにより、１本のみの対物レンズ５００のみを取り付ける構成では、その都度焦点調整を実施すればよいが、複数の対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える対物レンズ切替装置４００では、対物レンズ５００（５１０，５２０）個々の同焦距離に合わせて焦点調整を実施する必要がある。
そして、調整方法としては、以下の２通りの方法が実施できる。
（対物レンズ間の同焦距離を合わせる方法）
低倍率の対物レンズ５１０と焦点調整機構４８０側に取り付けられる対物レンズ５２０の焦点が一致するように調整する方法
（２本の対物レンズの倍率を合わせる方法）
調芯機構４７０側と焦点調整機構４８０側とに取り付ける対物レンズ５００（５１０，５２０）の倍率を合わせるように焦点調整機構４８０を調整する
これらの方法により、対物レンズ５００（５１０，５２０）毎の固有の誤差も調整できることとなり、有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える構成で容易に高精度な観察が得られる。
【００３４】
さらに、上記実施の形態では、有限補正光学系の対物レンズ５１０が取り付けられるいずれか１つである第一取付リング４５０を調芯機構４７０にて適宜移動させて光軸調整し、有限補正光学系の対物レンズ５２０が取り付けられる他方の少なくともいずれか１つとなる第二取付リング４６０を焦点調整機構４８０により適宜移動させて焦点調整している。
このため、対物レンズ５００（５１０，５２０）の切替時の誤差、対物レンズ５００（５１０，５２０）を取り付ける取付部分の誤差のみならず、有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）毎の誤差が生じても、直線上に一方向で移動させて対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える切替時の誤差が生じにくい構成で、各取付部材毎に調芯機構４７０および焦点調整機構４８０を設けなくても各誤差を調整できる。したがって、高精度な観察が得られ、構成の簡略化による製造性の向上や小型化、コストの低減などが得られるとともに、観察のための調整作業の簡略化が得られ、高精度の観察の効率化が得られる。
【００３５】
特に、上記実施の形態では、調芯機構４７０により移動される第一取付リング４５０に低倍率の対物レンズ５１０を装着し、焦点調整機構４８０により移動される第二取付リング４６０に高倍率の対物レンズ５２０を装着する構成としている。
このため、倍率の低い対物レンズ５１０にて光軸調整して有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）による固有の誤差および取付部分における誤差による視野の中心から観察する像が中心からずれることを調整でき、倍率の高い対物レンズ５２０にて有限補正光学系の対物レンズ５００（５１０，５２０）による固有の誤差による焦点ずれを調整でき、それぞれで光軸調性および焦点調整を実施することなく、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替て倍率を切り替えることによる良好な観察が容易に得られる。
【００３６】
また、上記実施の形態では、調芯機構４７０として、内周側に対物レンズ５１０が取り付けられる環状の第一取付リング４５０の外周近傍で周方向に少なくとも３カ所で第一取付リング４５０を囲む位置に、移動部４２０に螺着してねじ込み状態に応じて第一取付リング４５０に摺接する状態に押圧して、外周側から少なくとも３方向での押引状態により第一取付リング４５０を移動させる調整ねじ４７１を設けている。そして、第一取付リング４５０の外周と調整ねじ４７１とのうちの少なくともいずれか一方、具体的には調整ねじ４７１に設けた押圧部４７２に、調整ねじ４７１のねじ込み状態に応じて調整ねじ４７１と第一取付リング４５０とが互いに離間する方向へ移動させる押圧力を作用させる傾斜面４７３を設けている。
このため、３カ所以上に第一取付リング４５０を囲むように第一取付リング４５０に摺接する状態で調整ねじ４７１を設け、摺接部分にねじ込みに対して互いに離間させる方向の押圧力となる分力を生じさせる傾斜面４７３を有した押圧部４７２を設ける簡単な構成で光軸調整するので、構成の簡略化や製造性の向上、小型化などが容易に得られる。したがって、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替えるために対物レンズ５００（５１０，５２０）が装着される移動部４２０を移動させる構成として誤差を生じないように剛性を高めるなどの必要がなく、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える構成の簡略化も容易に得られる。
さらに、調芯機構４７０として、調整ねじ４７１に押圧部４７２を設け、この押圧部４７２に傾斜面４７３を設けている。このため、調整ねじ４７１のねじ込み状況による押圧力を作用させる第一取付リング４５０と傾斜面４７３との安定した摺接状態が容易に得られ、円滑で高精度な調整が簡単な構成で容易に得られる。
【００３７】
そして、上記実施の形態では、焦点調整機構４８０として、内周側に対物レンズ５２０が取り付けられる環状の第二取付リング４６０の外周面に設けられ移動部４２０に螺合する第二取付リング４６０の雄ねじ部４６２に、環状のナット部４８２の内周面に設けた雌ねじ部４８１を螺着させる。第二取付リング４６０との螺合状態に応じてナット部４８２の軸方向の端面を移動部４２０の段差部４２５に当接または離間させることで、第二取付リング４６０を位置決めまたは光軸方向で移動可能にして焦点調整する構成としている。
このため、対物レンズ５００（５１０，５２０）が内周側に取り付けられる環状の第二取付リング４６０の外周に設けた雄ねじ部４６２を移動部４２０に螺合させるとともに、第二取付リング４６０の雄ねじ部４６２に環状のナット部４８２の内周側に設けた雌ねじ部４８１を螺着させ、ナット部４８２の軸方向の端面を移動部４２０の段差部４２５に当接または離間させて、第二取付リング４６０を移動部４２０に対して位置決めまたは移動可能となる簡単な構成で焦点調整できる。したがって、構成の簡略化や製造性の向上、小型化などが容易に得られるとともに、構成が簡略化するので、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替えるために対物レンズ５００（５１０，５２０）が装着される移動部４２０を移動させる構成として誤差を生じないように剛性を高めるなどの必要がなく、対物レンズ５００（５１０，５２０）を切り替える構成の簡略化も容易に得られる。
【００３８】
また、上記実施の形態では、複数の第一取付リング４５０および第二取付リング４６０の２つのうち、調芯機構４７０が係合する第一取付リング４５０に対して最も遠くなる位置、すなわち第二取付リング４６０側に位置決め手段４３０のクリック部４３２を設けている。
このため、位置決め手段４３０による位置決め誤差が、最も遠い位置となる調芯機構４７０にて確実に調整でき、より良好な観察が得られる。
【００３９】
さらに、上記実施の形態では、移動部４２０を移動させる構成として、いわゆるベアリングである可動部４４０を設けている。このため、円滑で微細な移動ができ、さらには移動部４２０と本体部４１０とのがたつきが生じないように移動部４２０を移動可能に保持する構成が容易に得られ、より高精度な観察が簡単な構成でできる。
そしてさらに、移動部４２０の移動方向の両側で可動部４４０により移動可能に本体部４１０に保持させている。このため、がたつきをより防止して安定した移動が得られる。さらに、本体部４１０の一方の側板部４１４をねじ止めにより取付固定する構成で、がたつきなく移動部４２０を移動可能に組み付けることができ、簡単な構成で円滑な移動が容易に得られる。
また、移動部４２０を板状に形成している。このため、対物レンズ切替装置４００を小型化できるとともに、製造性を向上できる。さらには、スライド移動させる構成が容易に得られる。
【００４０】
〔実施の形態の変形例〕
なお、以上に説明した態様は、本発明の一態様を示したものであって、本発明は、前記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的および効果を達成できる範囲内での変形や改良が、本発明の内容に含まれるものであることはいうまでもない。また、本発明を実施する際における具体的な構造および形状などは、本発明の目的および効果を達成できる範囲内において、他の構造や形状などとしても問題はない。
【００４１】
すなわち、本発明の顕微鏡としては、接眼レンズ３３０として、例えば筐体３１０内にもレンズが配設された複数のレンズにて構成される形態としても良い。そして、接眼レンズ３３０として、双眼タイプを例示したが、単眼タイプでもできる。
そして、被観察物が載置される載置台２００として、載置板２５０が光軸に対して直交するＸ軸方向およびＹ軸方向で移動できる構成を例示したが、この構成に限らず、載置板２５０が移動しない構成としてもよい。また、移動させる構成としては、上述したＸ軸移動部２３０とＹ軸移動部２４０とを備えた構成に限らず、例えば電動式とするなどしてもよい。その他、いずれの移動させる構成を利用できる。
また、顕微鏡本体３００に光源部３５０を設けた明視野照明の構成を例示したが、例えば載置台２００内に光源を設ける構成、さらには、各種暗視野照明など、所望の観察状態に応じた各種照明方法を利用できる。
そして、上述したように、２つの対物レンズ５００（５１０，５２０）が装着されて切り替える構成を例示したが、対物レンズ５００として２つのみ取り付けられる構成に限らず、３つ以上を取り付けできる構成としてもよい。そらには、３つ以上取り付けできる構成で２つのみ取り付けるなど、全ての取付部分に対物レンズ５００を全て取り付けて利用する構成に限らない。
【００４２】
また、対物レンズ５００（５１０，５２０）を、移動部４２０に移動可能に設けた第一取付リング４５０および第二取付リング４６０に取り付ける構成を例示したが、例えば移動部４２０に直接取り付ける構成としてもよい。また、対物レンズ５００を取り付ける構成としては、環状のものに限らず、いずれの構成とすることができる。すなわち、調芯機構４７０や焦点調整機構４８０を設ける場合に、それらの移動規制の構成に応じた各種構成を適用できる。
そして、第一取付リング４５０側に調芯機構４７０を設け、第二取付リング４６０側に焦点調整機構４８０を設けて説明したが、逆の構成としてもよい。さらには、双方に調芯機構４７０および焦点調整機構４８０を設けてもよい。
【００４３】
さらに、移動部４２０を板状に形成したが、板状に限らず、矩形状などの塊状としてもよい。
また、移動部４２０を移動させる構成として、可動部４４０を設けたが、可動部４４０を設けず、側板部４１４間に直接摺接保持させる構成など、いずれの構成を利用できる。さらには、可動部４４０として、ベアリング構造のものに限らず、いわゆるリニアモータなどの磁気により移動可能に保持する構成としてもよい。
【００４４】
そして、移動部４２０を位置決めする位置決め手段４３０としては、上述した位置決め孔４３１とクリック部４３２とにて構成したものに限らず、単に係合凹部４１２および係合凸部４２１の移動規制による位置決め、さらには例えば側板部４１４に板ばねなどによりクリック感を与える構成など、各種構成が利用できる。そして、本体部４１０に位置決め孔４３１を設け移動部４２０にクリック部４３２を設けたが、逆の構成としてもよい。さらには、側板部４１４と移動部４２０との対向方向で位置決めする構成としてもよい。
また、第一取付リング４５０から遠くなる位置に設けて説明したが、第一取付リング４５０側に設けてもよい。さらには、複数箇所設けてもよい。複数設ける場合には、より確実な位置決めができる。
そして、係止部４３５として球状物を例示したが、例えばいわゆるキノコ状などの形状として湾曲凸面が進退する構成とするなどしてもよい。また、コイルばねなどの付勢手段４３４を用いて説明したが、例えばゴムなどの弾性部材を用いたり、油圧式や空圧式にて付勢したりするなど、湾曲凸面を進退させるいずれの構成が適用できる。
【００４５】
その他、本発明の実施の際の具体的な構造および手順などは、本発明の目的を達成できる範囲で他の構成に変更するなどしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明における顕微鏡を示す斜視図である。
【図２】前記実施の形態における顕微鏡を示す一部を切り欠いた側面図である。
【図３】前記実施の形態における対物レンズ切替装置を示す一部を切り欠いた側面図である。
【図４】前記実施の形態における対物レンズ切り替え装置を示す平面図である。
【図５】前記実施の形態における対物レンズ切替装置を示す位置決め手段の位置での断面図である。
【図６】前記実施の形態における対物レンズ切替装置の位置決め手段近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。
【図７】前記実施の形態における対物レンズ切替装置の第一取付孔近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。
【図８】前記実施の形態における対物レンズ切替装置の第二取付孔近傍を示す一部を切り欠いた断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１００……顕微鏡
３００……顕微鏡本体
３３０……接眼レンズ
４００……対物レンズ切替装置
４１０……本体部
４１２……位置決め手段として機能し得る係合凹部
４２０……移動部
４２１……位置決め手段として機能し得る係合凸部
４３０……位置決め手段
４３１……係合部としての位置決め孔
４３５……係止部
４５０……取付部材としての第一取付リング
４６０……取付部材としての第二取付リング
４６２……雄ねじ部
４７０……調芯機構
４７１……調整ねじ
４７３……傾斜面
４８０……焦点調整機構
４８１……雌ねじ部
４８２……ナット部
５００（５１０，５２０）…対物レンズ
【図１】
2007328063.tif 000003
【図２】
2007328063.tif 000004
【図３】
2007328063.tif 000005
【図４】
2007328063.tif 000006
【図５】
2007328063.tif 000007
【図６】
2007328063.tif 000008
【図７】
2007328063.tif 000009
【図８】
2007328063.tif 000010