(57)【要約】【課題】基板表面についたキズとピットとを判別ができ、基板の良否判定をより正確に行えるようにして基板製造の歩留まりを向上させることができる基板の外観検査法及びその外観検査装置を提供すること。【解決手段】以下の（１）〜（３）の工程を含む基板の外観検査法。（１）光源Ｌからの光を一方向の光吸収軸を有する第１偏光板３Ａを通過させることで直線偏光を得る工程、（２）前記直線偏光を被検査基板１の一面に照射する工程、（３）前記被検査基板１を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板３Ｂを前記被検査基板１の他面に配設して、前記第２偏光板３Ｂに表示される明暗により基板表面のキズとピットとを判別する工程。【選択図】図１
2007263928.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の（１）〜（３）の工程を含むことを特徴とする基板の外観検査法。
（１）光源からの光を一方向の光吸収軸を有する第１偏光板を通過させることで直線偏光
を得る工程、
（２）前記直線偏光を被検査基板の一面に照射する工程、
（３）前記被処理基板を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板を前記
被検査基板の他面に配設して、前記第２偏光板に表示される明暗により基板表面のキズと
ピットとを判別する工程。
【請求項２】
前記第１、第２偏光板は、被検査基板の種類に応じて光吸収軸が同一方向又は互いに９
０度で直交するものが使用されることを特徴とする請求項１に記載の基板の外観検査法。
【請求項３】
前記被検査基板は、透過性基板単体あるいは一対の該透過性基板を貼り合せ内部に液晶
を封入してなる液晶表示パネルであることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板の外
観検査法。
【請求項４】
被検査基板が載置される光透過性の基台と、前記基台に載置された被検査基板を照射す
る光源と、前記被検査基板を覆う光透過性の検査プレートとを備えた基板の外観検査装置
において、
前記基台には一方向の光吸収軸を有し所定の直線偏光を透過する第１偏光板を、前記検
査プレートには被検査基板を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板を
それぞれ配設し、前記第１偏光板を透過した直線偏光を被検査基板に照射して、該被検査
基板を通過した光から直線偏光を前記第２偏光板で吸収させることにより被検査基板のキ
ズとピットとを判別することを特徴とする基板の外観検査装置。
【請求項５】
前記第１、第２偏光板は、光吸収軸が同一方向又は互いに９０度で直交するものである
ことを特徴とする請求項４に記載の基板の外観検査装置。
【請求項６】
前記被検査基板は、透過性基板単体あるいは一対の該透過性基板を貼り合せ内部に液晶
を封入してなる液晶表示パネルであることを特徴とする請求項４又は５に記載の基板の外
観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装
置等に組み込まれる表示パネルの基板の外観検査法及び外観検査装置に係り、特に、基板
表面についたキズとピットとを判別できる基板の外観検査法及び外観検査装置に関するも
のである。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置、エレクトロルミネッセンス表示装置、プラズマ表示装置等の各種表示パ
ネルは、それぞれの製造工程を経て製造されている。このうち、液晶表示パネルは、通常
、複数枚分の液晶表示パネルを一度に作製できる大判の透明ガラスからなる２枚のマザー
基板を用いて、これらのマザー基板にそれぞれ所定の電極、素子等を形成する成膜工程、
これらの基板を貼り合わせる貼り合せ工程、貼り合せた基板を個々のパネルの大きさに分
断する分断工程、分断された個々のパネルに液晶を封入する液晶封入工程、及び液晶が封
入された液晶表示パネルに偏光板を貼付する偏光板貼付工程等の各種工程を経て製造され
ている。ところが、このマザー基板及び分断されたパネルは、一つの処理工程が終了する
と次の処置工程へ搬送されて所定の処理加工がなされるので、この搬送及び処理中にガラ
ス表面が例えば搬送機構等と接触してその表面にキズ、打痕等（以下、総称して「キズ」
という）が形成されることがある。
【０００３】
一方、近年液晶パネルに対して薄型化の要請がますます高くなっている。この薄型化の
液晶パネルを実現する方法として、上記の貼り合せ工程の後に、貼り合わせた基板をエッ
チング液の中に浸漬しガラス基板を溶かすことで、基板を所定の厚さに研磨する化学研磨
工程が追加されている。この研磨工程により微細穴が形成されることがある。この微細穴
は、通常、ピット（pit）或いはデンプル（dimple）（以下、纏めてピットという）と呼
ばれているものである。なお、化学研磨については、例えば下記特許文献１に紹介されて
いる。
【０００４】
微細穴は研磨工程の前にガラス基板の表面に深いキズがあると、化学研磨の際にこのキ
ズにエッチング液が貯留されて、この貯留されたエッチング液によって深みが浅くなるど
ころか、成長してしまって反対に深く大きな穴、いわゆるピットとなって残ってしまう。
そして、この研磨工程後に例えば基板搬送中についたキズはキズとしてそのまま残ってし
まう。
【０００５】
その結果、ガラス基板の表面には、様々な大きさのキズ及びピットが共存してしまうが
、これらのキズ及びピットは所定範囲のものは品質管理上許容されている。これはガラス
基板を表示パネルとして使用した際にこれらのキズ及びピットが画像表示に悪影響を与え
るか否かによって判断され、このような欠陥の有無の検査が上記の製造工程の間に実施さ
れている。この判断の分かれ目となる大きさとしては、キズ及びピットのサイズが０．３
μｍ程度であり、この欠陥検査は、通常、光透過性の基板表面に光を照射して検査員が基
板表面を目視することによって行なわれている（例えば、下記特許文献２参照）。
【０００６】
図６は下記特許文献２において従来技術として紹介されているもので、液晶表示パネル
の外観検査法を説明するための模式図であり、図６（ａ）は液晶表示パネルの表面検査、
図６（ｂ）は裏面検査の状態を示している。
【０００７】
この検査法は、先ず、被検査用の液晶表示パネル３０が平坦な基台（図示省略）上に載
置されて、この液晶表示パネルの表基板３１の表面に、光源３５からの光が照射される。
そして、検査員が表基板３１の表面を肉眼３６で目視し、キズ、ピット等の有無を検査す
る。このとき、キズ等３３、３４が存在すると、これらのキズ等３３、３４からの反射光
により肉眼３６でその大きさが目視できるようになるので、これらのキズ等３３、３４が
画像品質に悪影響を与えるものであるか否かの判定が可能になる。なお、裏基板３２は、
パネルを裏返して同じ方法で検査される（図６（ｂ）参照）。
【０００８】
この判定では、キズ等３３、３４の幅、長さ及び深さ等が小さいものであると、画質に
影響を与えることが少ないので良品と判定され、一方大きいと画質に影響を与えるので不
良と判定される。この良否の判定基準は、通常、図示しない予め欠陥サンプルを用意して
置き、この欠陥サンプルと実際のキズ等とを検査員が目視で対比することによって判定さ
れている。
【特許文献１】特開平４−１１６６１９号公報（図１、第３頁）
【特許文献２】特開２０００−１３０８１４公報（図５、段落〔０００６〕〜〔００１３〕）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
ところで液晶表示パネルは、上記のようにそのガラス基板の表面に存在する０．３μｍ
前後の大きさのピット及びキズについて許容できるか否かの判定を行うが、実際はキズに
比べてピットの方が問題となりにくい。それは例えば、所定大きさのピットはその形状が
化学研磨による略逆ドーム状に形成されたものであるために、後工程の偏光板の貼付工程
で偏光板を貼付する際に粘着性の糊剤が使用されるので、この糊剤によってピットが埋め
られて画質に影響を与えるような光の乱反射等が解消されることがある。これに対して、
キズは、ピットと異なり一般にその形状が複雑で糊剤が入り難くなった形状となっている
ので糊剤では完全に埋まらず、そのままのキズが残り、この残ったキズ部分で光の屈折や
乱反射等が起こり画質に悪影響を与えてしまうことがある。
【００１０】
そこでガラス基板の上に存在するピット及びキズの判定が必要になるが、その検査は、
上記特許文献２に記載されているように予めキズ、ピットの欠陥サンプルを用意して、こ
れらの欠陥サンプルと実際のキズ等とを検査員が目視で対比することによって判定するこ
とになるが、このような目視検査は、キズとピットとの判別が難しいばかりか、検査員の
個人差で変動してしまい、例えば画質劣化を生じない許容範囲にあるピットを誤って許容
範囲外と判定したり、或いは逆に許容範囲外のピットを容認したりする恐れがある。この
ような判定結果の変動或いは誤判定があると、正確な良否判定が行えず品質管理にバラツ
キを生じさせ、或いはパネルの生産性の低下を招来することになる。つまりピットとキズ
とを見分けることができるか否かは非常に重要な問題である。
【００１１】
そこで、本発明は上記の課題を解決するためになされたものであって、本発明の目的は
基板表面についたキズとピットとを判別ができ、基板の良否判定をより正確に行えるよう
にして基板製造の歩留まりを向上させることができる基板の外観検査法及びその外観検査
装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的は、以下の手段によって達成できる。すなわち、請求項１に記載の基板の外観
検査法は、以下の（１）〜（３）の工程を含むことを特徴とする。
（１）光源からの光を一方向の光吸収軸を有する第１偏光板を通過させることで直線偏光
を得る工程、
（２）前記直線偏光を被検査基板の一面に照射する工程、
（３）前記被処理基板を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板を前記
被検査基板の他面に配設して、前記第２偏光板に表示される明暗により基板表面のキズと
ピットとを判別する工程。
【００１３】
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板の外観検査法において、前記第
１、第２偏光板は、被検査基板の種類に応じて光吸収軸が同一方向又は互いに９０度で直
交するものが使用されることを特徴とする。
【００１４】
また、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の基板の外観検査法において、
前記被検査基板は、透過性基板単体あるいは一対の該透過性基板を貼り合せ内部に液晶を
封入してなる液晶表示パネルであることを特徴とする。
【００１５】
請求項４に記載の基板の外観検査装置は、被検査基板が載置される光透過性の基台と、
前記基台に載置された被検査基板を照射する光源と、前記被検査基板を覆う光透過性の検
査プレートとを備えた基板の外観検査装置において、
前記基台には一方向の光吸収軸を有し所定の直線偏光を透過する第１偏光板を、前記検
査プレートには被検査基板を通過した直線偏光を吸収する光吸収軸を有する第２偏光板を
それぞれ配設し、前記第１偏光板を透過した直線偏光を被検査基板に照射して、該被検査
基板を通過した光から直線偏光を前記第２偏光板で吸収させることにより被検査基板のキ
ズとピットとを判別することを特徴とする。
【００１６】
また、請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の基板の外観検査装置において、前記
第１、第２偏光板は、光吸収軸が同一方向又は互いに９０度で直交するものであることを
特徴とする。
【００１７】
また、請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載の基板の外観検査装置において
、前記被検査基板は、透過性基板単体あるいは一対の該透過性基板を貼り合せ内部に液晶
を封入してなる液晶表示パネルであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明は上記構成を有することにより以下に示す効果を奏する。すなわち、請求項１の
発明によれば、被検査基板についたキズ及びピットの形状の差異と偏光板の特性を利用し
て、簡単且つ精度よくキズとピットとの判別及び被検査基板の良否判断行えるようになる
。したがって、従来技術のように、検査員が実際のキズ及びピットとサンプルとを目視に
より対比判定する検査法に比べて、検査員の個人差或いは誤判定を解消することができる
ので、基板の品質管理が安定ししかも生産性を向上させることができる。
【００１９】
請求項２の発明によれば、被検査基板の種類に応じて光吸収軸が同一方向又は互いに９
０度に直交する偏光板を使用することにより、検査対象を広げることができる（請求項２
）。また、検査対象としては透過性基板単体であっても液晶表示パネルであってもよいが
、例えば液晶表示パネルの場合、液晶動作モード、例えばノーマリホワイト或いはノーマ
リブラックのいずれの液晶表示パネルに対しても、第１、第２偏光板を所定の光吸収軸を
組み合わせることにより簡単に検査することができる（請求項３）。
【００２０】
請求項４の発明によれば、第１、第２偏光板を設ける簡単な構成で請求項１の効果を奏
する装置を作製できる。
【００２１】
請求項５、６の発明によれば、被検査基板の種類に応じて光吸収軸が同一方向又は互い
に９０度に直交する偏光板を使用することにより、検査対象を広げることができる（請求
項５）。また、検査対象としては透過性基板単体であっても液晶表示パネルであってもよ
いが、例えば液晶表示パネルの場合、液晶動作モード、例えばノーマリホワイト或いはノ
ーマリブラックのいずれの液晶表示パネルに対しても、第１、第２偏光板を所定の光吸収
軸を組み合わせることにより簡単に検査することができる（請求項６）。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を用いて詳細に説明するが、以下に述
べる実施形態は、本発明の技術思想を具体化するための基板の一例として液晶表示パネル
に用いられる基板及び液晶表示パネルの外観検査装置及び外観検査法を説明したものであ
って、本発明をこの実施形態に特定することを意図するものではなく、特許請求の範囲に
示した技術思想を逸脱することなく種々の変更を行ったものにも均しく適用し得るもので
ある。
【実施例１】
【００２３】
最初に、本発明で採用する基板の外観検査法の原理を説明する。なお、図１はこの外観
検査法の原理を説明するもので、図１（ａ）はガラス基板の断面図、図１（ｂ）はガラス
基板の上下に偏光板を設けた断面図、図１（ｃ）は図１（ｂ）の平面図である。
【００２４】
ピット及びキズがある被検査基板１としてのガラス基板の表面は、その基板を切断した
断面形状から観察すると、図１（ａ）に示すように、ピット１ａはほぼ半円形状をなし、
一方、キズ１ｂは、概ねノコギリ刃状等の複雑な形状となっている。このようなピットの
半円形状は。主に、上述の化学研磨工程でキズにエッチング液が入り込むことにより形成
される。そこで、ピットとキズとでは、このような形状の差異があることから、被検査基
板１背面の光源Ｌから白色光を照射すると、ピット１ａを通過する光Ｌａは、屈折等によ
り偏光されることなくほぼそのまま通過するのに対して、キズ１ｂを通過する光Ｌｂは散
乱・屈折されることで楕円偏光に偏光されて通過することになる。
【００２５】
そこで、図１（ｂ）に示すように、被検査基板１の裏面には光源Ｌから一方向に振動す
る直線偏光が得られるような光吸収軸を有する第１偏光板３Ａを設け、一方、基板１の表
面にはこの直線偏光を吸収する第２偏光板３Ｂを設けると、第１偏光板３Ａを透過した直
線偏光がピット１ａを通過するときは、偏光状態が変更されることなく第２偏光板３Ｂに
入射されて、この第２偏光板３Ｂで吸収されるので、第２偏光板３Ｂ上ではピット部分は
他のキズのない部分と同じく遮光される。一方、第１偏光板３Ａを透過した直線偏光がキ
ズ１ｂを通過するときは、その直線偏光の偏光状態が変わり楕円偏光となるため、一部の
光が第２偏光板３Ｂを通過して明るく光るのでこの部分がキズであることが分かる（図１
（ｃ）参照）。なお、このときの第２偏光板３Ｂは第１編光板３Ａに対して９０度に直交
した光吸収軸を備えたものが使用される。なお、このような外観検査を行うキズ及びピッ
トの大きさとしては、０．１〜０．３μｍ程度の大きさであり、それ以上に大きなキズ及
びピットであればこのような検査を積極的に行う前に不良品として判断すればよいし、あ
まりに小さいキズ及びピットであれば許容できるものとなる。
【００２６】
次に、この原理を利用した基板の外観検査装置及びこの検査装置を使用した外観検査法
により液晶表示パネルの検査法を説明する。なお、図２は基板の外観検査装置を用いて液
晶表示パネルを検査している状態を示す断面図である。
【００２７】
この外観検査装置１０は、被検査用の液晶表示パネル１５が載置される光透過性材料、
例えばガラス材からなる基台１１と、この基台１１上に液晶表示パネル１５が載置された
後にこの液晶表示パネル１５の表面を覆う光透過性材料、例えばガラス材からなる検査プ
レート１２と、基台１１の背面に配設された光源Ｌと、液晶表示パネル１５を駆動する電
源１４とを有し、基台１１及び検査プレート１２には、その対向する面に第１、第２偏光
板１３ａ、１３ｂがそれぞれ固定されている。被検査対象となる液晶表示パネル１５は、
一対の基板１６、１７が枠状のシール材１８を介在して貼り合わされて、この貼り合わさ
れた基板とシール材１８で囲まれた空間に液晶１９が封入された構成を有している。
【００２８】
第１、第２偏光板１３ａ、１３ｂは、検査対象となる液晶表示パネル１５の動作モード
によって、光吸収軸がそれぞれ同じもの或いは互いにクロスする光吸収軸を有するものが
選択されて使用される。
【００２９】
そこで、偏光板の理解を容易にするために、偏光板の一般的な特性を図３を参照して説
明する。なお、図３は偏光板の特性を説明するための模式図である。
【００３０】
偏光板１３Ｘは、所定方向（図３では縦方向）の光吸収軸とこの軸と直交する方向（横
方向）に光透過軸を有しており、縦方向に振動する光はほぼ１００％吸収し、横方向に振
動する光はそのまま通過する特性を有している。すなわち、図３に示すように、例えば、
縦方向に光吸収軸Ｙを有し横方向に光透過軸Ｘを有した偏光板１３Ｘの一面（図の左側）
に、横Ｘ’及び縦Ｙ’に振動する自然光の光ＬＸＹを照射すると、縦Ｙ’に振動する光は
偏光板１３Ｘで吸収されて遮光され、横Ｘ’に振動する光のみが透過して、結果直線偏光
ＬＸ（平面偏光）の光が得られる。
【００３１】
偏光板１３Ｘは、上記の特性を有しているので、外観検査装置１０では、液晶表示パネ
ルの種類によって第１、第２偏光板１３ａ、１３ｂに光吸収軸の方向が同じもの或いは異
なったものが選択して使用される。
【００３２】
検査対象となる液晶表示パネルは１５、周知のように液晶分子の動作モード及び偏光板
の向きによって２つに大別されている。その一つは、電界が印加されないときに光が透過
され、電界が印加されたときに光が遮断される、いわゆるノーマリーホワイトモードであ
り、また他は、逆に電界が印加されないときに光が遮断され、電界が印加されたときに光
が透過される、いわゆるノーマリーブラックモードである。そして、ノーマリーホワイト
モードの液晶表示パネルは、例えば動作モードにＴＮ（Twisted Nematic）モードを採用
した場合は第１、第２偏光板１３ａ、１３ｂの光吸収軸が互いに９０度で直交するように
配設され、ノーマリーブラックモードの液晶表示パネルは、第１、第２偏光板１３ａ、１
３ｂの光吸収軸が互いに平行となるように配設される。さらに、検査対象が液晶表示パネ
ルの組み立て段階で液晶が封入される前の空の状態で検査するときは、第１、第２偏光板
１３ａ、１３ｂは、光吸収軸が互いに９０度で交差するものが使用される。
【００３３】
そこで、被検査対象となる液晶表示パネル１５の動作モード等の種類に合わせて所定の
光吸収軸を有する第１、第２偏光板１３ａ、１３ｂを選択して、これらを基台１１及び検
査プレート１２に設け、光源Ｌから例えば白色光を照射すると、第１偏光板１３ａで所定
の直線偏光が得られ、この直線偏光が液晶表示パネル１５を通過するとき、基板１７の表
面にキズ及びピットが存在すると、ピットを通過する直線偏光は第２偏光板１３ｂで吸収
され、一方、キズを通過する直線偏光はこのキズで散乱されて第２偏光板１３ｂで一部が
吸収されることなく、検査プレート１２の表面に現れる。その結果、検査プレート１２の
表面は、図１（ｃ）で説明したように、ピットが存在する箇所が黒く、キズが存在する箇
所が明るく表示されて、ピットとキズの判別ができる。また、その大きさも目視できる。
なお、この検査において電源１４から液晶に電圧を印加して基板表面を観察することもで
きる。
【００３４】
この外観検査装置は、液晶表示パネルの製造工程において使用されるので、製造工程を
説明する。なお、図４は液晶表示パネルの一般的な製造工程と本発明の実施例に係る外観
検査工程が実施されるフローチャート、図５は図４の工程で使用されるマザー基板を示す
斜視図である
液晶表示パネルの一般的な製造工程は、先ず、予め２枚のマザー基板２０、２１が準備
される（図５参照）。これらのマザー基板２０、２１は、それぞれ所定厚さ、例えば０．
６ｍｍのガラス基板が使用され、図５に示すように、仮想切断線ｘ、ｙで区画された複数
個（図５では９個）の表示領域１０１〜１０９、２０１〜２０９を有している。なお、図
５では符号２０１、２０２は基板２０で隠れている。一方のマザー基板２０は、カラーフ
ィルタ基板（以下、ＣＦ基板という）となるもので、その表面には、ＲＧＢ３色からなる
カラーフィルタと、ＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの透明電極とから各画素の領域が形
成される。また、他のマザー基板２１は、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）アレイ基板（
以下、ＡＲ基板という）となるもので、その表面に、外部回路との電気的接続を行うため
の電極配線と、複数のＴＦＴとがマトリクス状に形成されている。これらの２枚のマザー
基板２０、２１は、先ず、搬送機構（図示省略）により、シール材塗布工程Ｓ１へ送られ
、ここで一方のマザー基板２１の表示領域２０１〜２０９の外周囲に両基板を張り合わせ
るためのシール材２２が塗布される。シール材２２には、熱硬化性樹脂或いは紫外線硬化
樹脂が使用され、この塗布は、スクリーン印刷或いはディスペンサーによって行われる。
シール材塗布工程Ｓ１が終了した基板は、スペーサ散布工程Ｓ２へ送られ、各表示領域２
０１〜２０９内にスペーサが散布される。このスペーサには、例えば球状のシリカ、ポリ
スチレンなどが使用される。次に、貼り合わせ工程Ｓ３において、各基板２０、２１は、
各表示領域１０１〜１０９、２０１〜２０９をそれぞれ対向させて、所定の押圧を掛けて
貼り合わされる。次いで、シール材硬化工程Ｓ４で未硬化のシール材を硬化させる。この
硬化は、シール材２２材質により異なるが、加熱或いは紫外線照射により行われる。
【００３５】
次に、シール材２２を硬化させて貼り合わされた両基板２３は、その肉厚を薄くするた
めに、研磨工程Ｓ５でその外表面が研磨される。この研磨は、貼り合わされた基板２３の
表裏両面或いは何れか一方の面に施される。この研磨工程で例えば０．２〜０．４ｍｍ程
度研磨され、接合基板２３の厚みを、例えば１．０〜０．８ｍｍ程度にされる。この研磨
は、フッ酸を用いた液体の中に接合基板２３を浸漬する化学研磨によって行われる。この
所謂ケミカルエッチングにより接合基板を薄肉にした際に、元々あった微細なキズがもと
となりピットが発生する。その後、接合基板２３は基板分割工程Ｓ６において、仮想切断
線ｘ、ｙで分断され、液晶が封入されていない単品の液晶表示パネルが形成される。例え
ば、このとき分断されたガラス粉によってガラス基板表面にキズが発生する。分離された
液晶表示パネルは、次工程の液晶注入工程Ｓ７で液晶が封入されて、図２に示すような液
晶表示パネル１５が作製される。なお、この実施例では、大判のマザー基板を用いて液晶
表示パネルを製造する方法を説明したが、単品の液晶表示パネルでも同様の方法で製造で
きる。
【００３６】
これらの製造工程を経て製造された液晶表示パネル１５には、そのガラス基板の表面に
大小のピット及びキズが存在することがあるので、外観検査工程Ｓ８において、上記外観
検査装置１０を使用して、外観検査が行なわれる。この外観検査は、上述したように、被
検査対象となる液晶表示パネルの種類に合わせて所定の光吸収軸を有する第１、第２偏光
板１３ａ、１３ｂを選択して、これらを基台１１及び検査プレート１２に設けて、光源Ｌ
から白色光を照射する。この照射により、第１偏光板１３ａで所定の直線偏光が得られ、
この直線偏光が液晶表示パネル１５を通過するとき、基板１７の表面にキズ及びピットが
存在すると、ピットを通過する直線偏光は第２偏光板１３ｂで吸収され、一方、キズを通
過する直線偏光はこのキズで散乱されて第２偏光板１３ｂで一部が吸収されることなく、
検査プレート１２の表面に現れる。その結果、検査プレート１２の表面は、図１（ｃ）で
説明したように、ピットが存在する箇所が黒く、キズが存在する箇所が明るく表示されて
、ピットとキズの判別ができる。また、その大きさも目視できる。この外観検査は、液晶
を封入した工程Ｓ７に実施したが、研磨工程の後に欠陥検査工程Ｓ５’として実施しても
よい。
【００３７】
上記検査法によると、ピットとキズとの判別が簡単にできるとともに光を照射した際の
表示品質への影響も観察することができるので、以後の製造工程において、パネルの品質
管理が容易になりしかも基板製造の歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の原理を説明するもので、図１（ａ）はガラス基板の断面図、図１（ｂ）はガラス基板の上下に偏光板を設けた断面図、図１（ｃ）は図１（ｂ）の平面図である。
【図２】図２は基板の外観検査装置を用いて液晶表示パネルを検査している状態を示す断面図である。
【図３】図３は公知の偏光板の特性を説明するための模式図である。
【図４】図４は液晶表示パネルの製造工程において外観検査が行われるフローチャートである。
【図５】図５は図４の液晶表示パネルの製造に使用されるマザー基板を示す斜視図である。
【図６】図６は従来技術の検査法を説明する平面図である。
【符号の説明】
【００３９】
１          （被検査）基板
１ａ        ピット
１ｂ        キズ
３Ａ        第１偏光板
３Ｂ        第２偏光板
Ｌ          光源
１０        外観検査装置
１１        基台
１２        検査プレート
１３ａ      第１偏光板
１３ｂ      第２偏光板
１４        電源
１５        液晶表示パネル
２０、２１  マザー基板
【図１】
2007263928.tif 000003
【図２】
2007263928.tif 000004
【図３】
2007263928.tif 000005
【図４】
2007263928.tif 000006
【図５】
2007263928.tif 000007
【図６】
2007263928.tif 000008