(57)【要約】  【課題】基板の両面に電気部品を実装可能な圧着装置を提供する。  【解決手段】本発明の圧着装置１は第一、第二の押圧ゴム１５、２５を有しており、第一、第二の押圧ゴム１５、２５で基板３１を挟み込むことで、基板３１の表面と裏面に電気部品３２、３３を同時に実装することができる。第一、第二の押圧ゴム１５、２５は第一のダム部材１６によって水平方向の広がりが防止されるので、電気部品３２、３３に水平方向に動く力が加わらない。従って、電気部品３２、３３は位置ずれなしに基板３１に接続されるので、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。【選択図】図３
2007214434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一、第二の押圧ゴムを有し、前記第一、第二の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第一、第二の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、
前記第一の押圧ゴムの周囲には前記第一の押圧ゴムの表面高さよりも高いダム部材が配置され、
前記第二の押圧ゴムは前記ダム部材で囲まれた空間内に挿入可能に構成された圧着装置。
【請求項２】
第一、第三の押圧ゴムを有し、
前記第一、第三の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第一、第三の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、
前記第一、第三の押圧ゴムの周囲には、前記第一、第三の押圧ゴムの表面高さよりも高いダム部材がそれぞれ配置された圧着装置。
【請求項３】
前記第一の押圧ゴムは、第一の押圧板上に配置された圧着装置であって、
前記第一の押圧ゴムと前記第一の押圧板との間には圧縮変形可能な第一の圧縮部材が配置され、
少なくとも前記第一の圧縮部材が圧縮したときに、前記第一のダム部材の高さは前記第一の押圧ゴムの表面高さよりも高くなるように構成された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の圧着装置。
【請求項４】
第四、第五の押圧ゴムを有し、
前記第四、第五の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第四、第五の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、
前記第四、第五の押圧ゴムの周囲を取り囲むダム部材を有し、
前記ダム部材は前記第四、第五の押圧ゴムから分離可能に構成された圧着装置。
【請求項５】
前記ダム部材は筒状であって、
前記第四、第五の押圧ゴムは前記ダム部材の筒の内部に挿入可能に構成された請求項４記載の圧着装置。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電気部品を基板に実装させる圧着装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体素子のような電気部品を基板に接続する実装工程には、押圧ヘッドで電気部品を基板に押圧しながら加熱する圧着装置が用いられている。
図１４（ａ）の符号１０１は従来技術の圧着装置を示しており、圧着装置１０１は台座１２６と押圧ヘッド１２０とを有している。
【０００３】
押圧ヘッド１２０は、金属枠に押圧ゴムをはめ込んだもの、金属プレートに押圧ゴムを接着剤で貼り付けたもの、金属枠に液状のゴムを流し込み、ゴムを金属枠内で硬化させたものなどがある。
【０００４】
金属枠からなるヘッド本体１２１に押圧ゴム１２２をはめ込まれたものについて説明すると、押圧ゴム１２２の表面はヘッド本体１２１の表面と面一にされているか、ヘッド本体１２１の表面よりも下方に突き出されており、台座１２６上の圧着対象物１１０に押圧ヘッド１２０を押し付けると、押圧ゴム１２２の表面が圧着対象物１１０に接触する。
【０００５】
圧着対象物１１０は、基板１１１と、基板１１１上に配置された厚みの異なる電気部品１１６、１１８とを有しており、電気部品１１６、１１８の厚みの差によって基板１１１上には段差が形成されている。
【０００６】
押圧ゴム１２２は力が加わると変形する弾性材料で構成されており、押圧ゴム１２２は先ず最も厚い電気部品１１６に接触するが、押圧ゴム１２２は変形して厚い電気部品１１６から薄い電気部品１１８まで順番に接触し、結局全ての電気部品１１６、１１８が押圧ゴム１２２で押圧される。
【０００７】
圧着装置１０１で電気部品１１６、１１８を押圧する前には、電気部品１１６、１１８と基板１１１の位置合わせが行われ、電気部品１１６、１１８の端子が接着剤１１５を挟んで基板１１１の端子の真上に位置している。
【０００８】
台座１２６の表面は略水平にされ、基板１１１はその表面に水平配置されており、圧着対象物１１０を加熱しながら、押圧ヘッド１２０を鉛直下方に移動させて電気部品１１６、１１８を押圧すれば、電気部品１１６、１１８は接着剤１１５を押し退け真下に移動するので、電気部品１１６、１１８の端子と基板１１１の端子が接触して、電気部品１１６、１１８と基板１１１が電気的に接続される（図１４（ｂ））。このように、従来の圧着装置１０１は、高さの異なる電気部品を１枚の基板に同時に接続可能である。
【０００９】
ところで、押圧ゴム１２２は、電気部品１１６、１１８を押圧する時に凹むと、その反動でその周囲の部分が膨らむ性質を有しており、押圧ゴム１２２の膨らんだ部分はヘッド本体１２１の枠を乗り越え、押圧ゴム１２２の表面が水平方向に広がってしまう。
【００１０】
図１５は押圧ゴム１２２の表面が水平方向に広がる様子を示す平面図であり、押圧ゴム１２２はその平面形状の中心Ｃを中心として放射方向に流れる。押圧ゴム１２２の中心Ｃ近傍に比べ、端部で移動量が多いので、押圧ゴム１２２の端部が押し付けられた電気部品１１６、１１８は、押圧ゴム１２２の広がりと共に水平方向に移動し、電気部品１１６、１１８の端子が、基板１１１の端子の真上位置からずれてしまう。
【００１１】
電気部品１１６、１１８の位置ずれが起こると、電気部品１１６、１１８端子と基板１１１の端子とが接触しなくなり、電気部品１１６、１１８と基板１１１の接続信頼性が低下する。
【００１２】
また、基板１１１の片面だけでなく、両面に電気部品１１６、１１８を実装する場合には、片面ずつ、２回に分けて電気部品１１６、１１８の実装を行う必要があり、実装に要する時間が長くなる。
【００１３】
しかも、片面に電気部品１１６、１１８を実装してから、もう一方の面に電気部品１１６、１１８を実装する工程では、既に電気部品１１６、１１８が実装される面が台座１２６と対面するため、実装済みの電気部品１１６、１１８が押圧による損傷を受け難いように、台座１２６に電気部品１１６、１１８の形状に応じた凹凸を形成する必要がある。
しかし、この方法では電気部品１１６、１１８と基板１１１の種類や、電気部品１１６、１１８の接続場所が変る毎に台座１２６を作り直す必要がある。
【００１４】
また、片面に実装済みの電気部品１１６、１１８は、もう一方の面に電気部品１１６、１１８を接続するときに再度加熱押圧されることになり、加熱押圧が繰り返されることで電気部品１１６、１１８が損傷することがあった。
【特許文献１】特開２００２−３５９２６４号公報
【特許文献２】特開２００５−３２９５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は電気部品と基板とを確実に接続可能な圧着装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上記課題を解決するために請求項１記載の発明は、第一、第二の押圧ゴムを有し、前記第一、第二の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第一、第二の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、前記第一の押圧ゴムの周囲には前記第一の押圧ゴムの表面高さよりも高いダム部材が配置され、前記第二の押圧ゴムは前記ダム部材で囲まれた空間内に挿入可能に構成された圧着装置である。
請求項２記載の発明は、第一、第三の押圧ゴムを有し、前記第一、第三の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第一、第三の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、前記第一、第三の押圧ゴムの周囲には、前記第一、第三の押圧ゴムの表面高さよりも高いダム部材がそれぞれ配置された圧着装置である。
請求項３記載の発明は、前記第一の押圧ゴムは、第一の押圧板上に配置された請求項１又は請求項２のいずれか１項記載の圧着装置であって、前記第一の押圧ゴムと前記第一の押圧板との間には圧縮変形可能な第一の圧縮部材が配置され、少なくとも前記第一の圧縮部材が圧縮したときに、前記第一のダム部材の高さは前記第一の押圧ゴムの表面高さよりも高くなるように構成された圧着装置である。
請求項４記載の発明は、第四、第五の押圧ゴムを有し、前記第四、第五の押圧ゴムの間に配置された圧着対象物を、前記第四、第五の押圧ゴムで押圧可能に構成された圧着装置であって、前記第四、第五の押圧ゴムの周囲を取り囲むダム部材を有し、前記ダム部材は前記第四、第五の押圧ゴムから分離可能に構成された圧着装置である。
請求項５記載の発明は、請求項４記載の圧着装置であって、前記ダム部材は筒状であって、前記第四、第五の押圧ゴムは前記ダム部材の筒の内部に挿入可能に構成された圧着装置である。
【００１７】
本発明は上記のように構成されており、第一、第二の押圧ゴムで基板を挟み込むことで、基板の表面と裏面が同時に押圧され、基板の表面と裏面に電気部品を同時に接続することができる。
【発明の効果】
【００１８】
基板の表面と裏面に電気部品を同時に接続することができるので、実装工程に要する時間が短くなり、加熱押圧による電気部品のダメージも少なくなる。電気部品は基板の表面上でも裏面上でも水平方向に移動せず、電気部品の位置ずれが起こらないので、信頼性の高い電気装置が得られる。圧着対象物を押圧する時に、押圧ゴムが水平方向に広がらないと、押圧ゴムを変形する力の殆どが圧着対象物を押圧する力となるので、押圧の時のプレス圧力の無駄が無くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１の符号１は本発明の第一例の圧着装置を示しており、この圧着装置１は第一、第二の押圧ヘッド１０、２０と、作業台９と、駆動装置２とを有している。第一の押圧ヘッド１０は金属製のヘッド本体１１と、該ヘッド本体１１に形成された有底の孔１９と、孔１９内に配置された第一の押圧ゴム１５とを有している。
【００２０】
第一の押圧ゴム１５は水平方向に切断した時の断面形状が、第一のダム部材１６で囲まれた領域の断面形状と略等しい柱状であって、底面が孔１９の底面に密着して固定され、側面が孔１９の側壁に接触している。
【００２１】
第一の押圧ゴム１５の底面から表面までの高さは、孔１９の深さよりも低くされ、第一の押圧ゴム１５の周囲は孔１９の側壁で構成される第一のダム部材１６で囲まれた状態になっており、第一の押圧ゴム１５表面と第一のダム部材１６の先端との間に、第一の押圧ゴム１５表面を底面とし、第一のダム部材１６を側面とする凹部１７が形成されている。
【００２２】
第一の押圧ヘッド１０は凹部１７の開口１８を下側に向け、第一の押圧ゴム１５の表面が略水平になるよう配置されている。
第一のヘッド本体１１のうち、第一の押圧ゴム１５の底面と密着した部分は第一の押圧板１２であり、第一の押圧板１２は軸３によって駆動装置２に取り付けられ、駆動装置２を動作させ、軸３を伸縮させると、第一の押圧ゴム１５の表面を略水平に向けたまま、第一の押圧板１２が第一の押圧ゴム１５や第一のダム部材１６と一緒に鉛直方向に上下移動するように構成されている。
【００２３】
第一の押圧ヘッド１０の真下位置には作業台９が配置されており、第二の押圧ヘッド２０は作業台９上に配置されている。
第二の押圧ヘッド２０は金属製の押圧板からなる第二のヘッド本体２１と、第二のヘッド本体２１の表面に配置された第二の押圧ゴム２５とを有しており、第二の押圧ヘッド２０は第二のヘッド本体２１側の面が作業台９と密着し、第二の押圧ゴム２５側の面が上側に向けられている。従って、第二の押圧ヘッド２０の上側の面には第二の押圧ゴム２５の表面が露出している。
【００２４】
ここでは、第二の押圧ゴム２５の周囲には何も配置されておらず、第二の押圧ゴム２５の平面形状は、上述した凹部１７の開口１８と同じか、それよりも小さい相似形にされており（図２）、第二の押圧ヘッド２０は少なくとも第二の押圧ゴム２５の上端が凹部１７に挿入可能になっている。
【００２５】
次に、この圧着装置１で圧着可能な圧着対象物と、その圧着対象物３０を圧着する工程について説明する。
図４（ａ）の符号３０は圧着対象物を示しており、圧着対象物３０は基板３１と、接着フィルム３５と、電気部品３２、３３とを有している。
【００２６】
基板３１の表面と裏面にはそれぞれ端子３７が形成されており、接着フィルム３５は基板３１表面の端子３７上と、基板３１裏面の端子３７上にそれぞれ配置されている。
【００２７】
電気部品３２、３３はバンプやランド等の端子３８、３９を有しており、各電気部品３２、３３は端子３８、３９が基板３１の端子３７上に位置するように位置合わせされた後、不図示の搭載ヘッドで接着フィルム３５上に個別に乗せられ、比較的低温で加熱されながら、搭載ヘッドによって小さい圧力で押圧されており、接着フィルム３５が発現する接着力によって基板３１の表面及び裏面に仮に接着されている（仮圧着）。
【００２８】
しかし、この接着力は弱く、電気部品３２、３３は物理的衝撃によって基板３１上から脱落しやすく、また、基板３１の端子３７と電気部品３２、３３の端子３８、３９は物理的にも機械的にも接触されておらず、その端子３７、３８、３９の間には接着フィルム３５がある。
【００２９】
接着フィルム３５は電気部品３２、３３の平面形状よりも大きく形成され、一部が電気部品３２、３３からはみ出し、電気部品３２、３３間に露出している。また、電気部品３２、３３から接着フィルム３５が露出していない場合であっても、後述する押圧の時には接着フィルム３５は押圧によって電気部品３２、３３の外周から一部がはみ出る。
【００３０】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は接着フィルム３５に接着可能な材料で構成されており、第二の押圧ゴム２５が接着フィルム３５に接触しないように、接着フィルム３５に対して接着性の低い保護フィルム５を第二の押圧ゴム２５の表面に配置してから、圧着対象物３０を、基板３１の表面が上、裏面が下に向けられた状態で、第二の押圧ゴム２５上に配置する（図３（ａ））。
【００３１】
ここでは、第二の押圧ゴム２５の表面は水平にされ、保護フィルム５の膜厚は均一になっている。従って、保護フィルム５表面の第二の押圧ゴム２５上に位置する部分は略水平になっている。
【００３２】
基板３１の裏面には厚さの異なる電気部品３２、３３が接着されているが、基板３１の裏面には最も厚い電気部品３２が複数個離間して配置されるか、そうでない場合は、第二の押圧ゴム２５上に基板３１を支える補助部品が配置され、電気部品３２や補助部品で保持されることで、基板３１は略水平になる。
【００３３】
次に、第一の押圧ゴム１５が接着フィルム３５に接触しないように、圧着対象物３０の上にも保護フィルム５を配置し、圧着対象物３０の表面と裏面をそれぞれ保護フィルム５で覆う。
【００３４】
保護フィルム５が第二の押圧ゴム２５の平面形状よりも広く、第二の押圧ゴム２５上の保護フィルム５や、圧着対象物３０上の保護フィルム５が、第二の押圧ゴム２５の側面に垂れ下がった場合には、第二の押圧ゴム２５の平面形状は凹部１７の開口１８よりも小さくされ、垂れ下がった保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形が開口１８の大きさと略等しくなっている。
【００３５】
圧着対象物３０の平面形状は第二の押圧ゴム２５平面形状と同じか、それよりも小さく、圧着対象物３０は外周が第二の押圧ゴム２５からはみ出さないように位置しており、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の向きを位置合わせし、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外周と、開口１８とを一致させてから、第一の押圧ヘッド１０を下降させると、圧着対象物３０が第一の押圧ヘッド１０の凹部１７内に挿入される。
【００３６】
基板３１表面上で最も厚い電気部品３２の厚さと、基板３１の裏面上で最も厚い電気部品３２の厚さと、基板３１の厚さとの合計を圧着対象物３０の厚さとすると、凹部１７の深さ、即ち、第一のダム部材３３先端の第一の押圧ゴム１５表面からの高さは、圧着対象物３０の厚さと、その表面裏面を覆う保護フィルム５の厚さとの合計と同じか、それ以上になっており、圧着対象物３０は表面から裏面まで全て凹部１７内に収容される。
【００３７】
凹部１７の深さが、圧着対象物３０の厚さと保護フィルム５の厚さの合計よりも大きい場合には、圧着対象物３０が凹部１７に収容されてからも、第一の押圧ヘッド１０が下降するが、上述したように、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形は、開口１８の大きさと略等しくなるようになっているから、第一のダム部材１６の先端は第二の押圧ゴム２５の表面に押し当てられず、第一の押圧ヘッド１０の下降が停止しない。
【００３８】
尚、保護フィルム５は圧縮変形可能な材料で構成されており、保護フィルム５を含む第二の押圧ゴム２５の外形が開口１８よりもわずかに大きい場合であっても、保護フィルム５が圧縮変形して第二の押圧ゴム２５と第一のダム部材１６の隙間に入り込むから、第一の押圧ヘッド１０の下降は停止しない。
第一の押圧ヘッド１０の下降を続けると、圧着対象物３０と第一の押圧ゴム１５とが相対的に近づく。
【００３９】
基板３１の表面に厚みの異なる複数種類の電気部品３２、３３が接着された場合には、その厚みの差により基板３１表面上に段差が形成されている。ここでは、第一の押圧ゴム１５の表面は略水平にされており、第一の押圧ヘッド１０は鉛直方向に沿って下降するので、第一の押圧ヘッド１０の下降を続けると、基板３１表面に接着された電気部品３２、３３のうち、最も厚い電気部品３２に第一の押圧ゴム１５の表面が保護フィルム５を介して接触する。
【００４０】
図３（ｂ）は第一の押圧ゴム１５が、基板３１表面上の各電気部品３２、３３を押圧する前であって、最も厚い電気部品３３だけに接触した状態を示しており、凹部１７の深さは保護フィルム５を含む圧着対象物３０の厚みと同じかそれ以上であるから、最も厚い電気部品３３に第一の押圧ゴム１５が接触した状態では、第一のダム部材１６の先端は第二の押圧ゴム２５の表面が位置する平面Ｈと同じか、それよりも下方に位置する。
【００４１】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は力が加わると変形し、力を除去した時に元の形に戻るような弾性材料（例えばエラストマー）で構成されており、第一の押圧ゴム１５の側面は孔１９の内壁に接触しているが、該内壁に固定されておらず、また、第二の押圧ゴム２５は周囲に何も配置されていないので、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は中央部分だけでなく、縁部分も変形可能になっている。
【００４２】
従って、図３（ｂ）に示した状態から、第一の押圧ヘッド１０を下降させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５で圧着対象物３０を押圧すると、縁部分、中央部分にかかわらず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の電気部品３２と接触した部分が凹む。
【００４３】
更に第一の押圧ヘッド１０を下降させ、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的により近づけると、厚みの厚い電気部品３２から厚みの薄い電気部品３２に向かって、順次第一、第二の押圧ゴム１５、２５に押し付けられ、結局、全ての電気部品３２、３３が基板３１に向かって押し付けられる。
【００４４】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は内部均一な弾性材料のように、力が加わった部分が凹むと、他の部分が膨らむような材料で構成されており、第一の押圧ゴム１５の、電気部品３２、３３と接触しない部分は下方に膨らみ、第二の押圧ゴム２５の電気部品３２、３３と接触しない部分は上方に膨らむ。
【００４５】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５は変形する前よりも相対的に近づいているから、変形する前の第二の押圧ゴム２５の表面と、第一のダム部材１６の先端とが面一な場合であっても、変形後は第二の押圧ゴム２５は少なくとも表面部分が凹部１７内に収容され、凹部１７に収容された部分の側面は第一のダム部材１６で囲まれている。
【００４６】
その側面は、第一のダム部材１６と密着しているか、その側面と第一のダム部材１６との間に隙間があるとしても、その隙間は膨らんだ第一の押圧ゴム１５が流出しない程狭く、第一の押圧ゴム１５は水平方向には広がらない。また、その隙間が狭いから、第二の押圧ゴム２５の凹部１７に収容された部分が水平方向に広がったとしてもその広がりは無視できる程小さい。
【００４７】
このように、第二の押圧ゴム２５の凹部１７に収容された部分の側面は、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が水平方向に広がらない程度に第一のダム部材１６に密着しているので、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の膨らんだ部分は、電気部品３２、３３の間のくぼみに充填されることはあっても、水平方向、即ち第一の押圧ヘッド１０の移動方向と直交する方向には流動しない。
【００４８】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面部分は水平方向に広がらないので、電気部品３２、３３に外側に広がる力が加わらず、電気部品３２、３３は仮圧着の時と同じ場所で接着フィルム３５に押し付けられる。
【００４９】
ここでは、第二のヘッド本体２１にヒータ８が内蔵されており、ヒータ８に通電することで圧着対象物３０が所定温度に加熱され、加熱によって接着フィルム３５の流動性が高くなっている。
【００５０】
従って、電気部品３２、３３が接着フィルム３５に押し付けられると、接着フィルム３５が押し退けられ、電気部品３２、３３の端子が接着フィルム３５にのめり込み、電気部品３２、３３の端子３８、３９が基板３１の端子３７に直接接触して、電気部品３２、３３と基板３１が電気的に接続される。
【００５１】
接着フィルム３５が熱硬化性樹脂を含有する場合は加熱によって接着フィルム３５が硬化し、また、接着フィルム３５が熱可塑性樹脂を有する場合は、加熱終了後に温度が下がると接着フィルム３５が固化する。
従って、電気部品３２、３３は基板３１に硬化又は固化した接着フィルム３５を介して機械的にも接続され、電気装置３０ａが得られる（図３（ｃ））。
【００５２】
電気部品３２、３３を押圧する時に位置ずれが起こると、電気部品３２、３３の端子３８、３９が基板３１の端子３７と接触しなくなるため、電気装置３０ａの信頼性が低下するが、本発明の圧着装置１を用いれば、上述するように電気部品３２、３３の位置ずれは起こらないので、本発明の圧着装置１を用いて製造された電気装置３０ａの信頼性は高い。
【００５３】
第一の押圧ゴム１５と圧着対象物３０の間と、第二の押圧ゴム２５と圧着対象物３０の間には保護フィルム５が位置するため、電気部品３２、３３を押圧する時に電気部品３２、３３の外周から接着フィルム３５がはみ出ても、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は接着フィルム３５と直接接触しない。
【００５４】
従って、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は接着フィルム３５に接着されておらず、第一の押圧ヘッド１０を上方に移動させると、第一の押圧ゴム１５は電気装置３０ａから分離され、次いで電気装置３０ａを持ち上げると、電気装置３０ａが第二の押圧ゴム２０から分離され、電気装置３０ａを圧着装置１から取り出すことができる。
【００５５】
以上は、押圧ヘッド２０に予め形成された凹部１７に圧着対象物３０を収容してから、第一の押圧ゴム１５を圧着対象物３０に接触させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００５６】
図５（ａ）の符号６は本発明の第二例の圧着装置を示しており、この圧着装置４は、第一の押圧ゴム１５と第一の押圧板１２の間に第一の圧縮部材４６が配置された以外は、第一例の圧着装置１と同じ構成を有しており、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の配置も同じになっている。
【００５７】
第一の押圧ゴム１５が上述した内部均一な弾性材料で構成されているのに対し、第一の圧縮部材４６はスポンジ状のゴムのように内部に空隙を有し、力が加わるとその空隙が押しつぶされて体積が減少するようもので構成されている。
【００５８】
第一の押圧ゴム１５と第一の圧縮部材４６の間には可動板４７が配置されており、第一の圧縮部材４６は上端が第一の押圧板１２の表面に、下端が可動板４７の表面に取り付けられ、第一の押圧ゴム１５は上端が可動板４７の裏面に取り付けられている。従って、第一の圧縮部材４６と、可動板４７と、第一の押圧ゴム１５は、第一の押圧板１２から、鉛直下方に向かって記載した順番に並べられている。
【００５９】
第一の圧縮部材４６は、第一の押圧ゴム１５と同様に、水平方向に切断した時の断面形状が、第一のダム部材１６で囲まれた領域の断面形状と同じ柱状にされており、第一の圧縮部材４６は側面が第一のダム部材１６に接触している。
【００６０】
しかし、第一の圧縮部材４６は側面が第一のダム部材１６に固定されておらず、また、第一の押圧ゴム１５も可動板４７も第一のダム部材１６には固定されていない。従って、第一の押圧ゴム１５と可動板４７は、第一の圧縮部材４６の厚みが変わると、第一のダム部材１６で囲まれた領域内で移動可能に構成されている。
【００６１】
この圧着装置４を用いて電気装置を製造するには、第一例の圧着装置１を用いた場合と同様に、圧着対象物３０を保護フィルム５を介して第二の押圧ゴム２５上に配置し、第一の押圧ゴム１５を保護フィルム５を介して最も厚い電気部品３２に接触させる。
【００６２】
第一の圧縮部材４６を変形させるのに要する力は、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を変形させるのに要する力よりも小さく、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させて、第一の押圧板１２を第一の圧縮部材４６に押し付けると、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が変形する前に、第一の圧縮部材４６が圧縮してその厚みが小さくなる。
【００６３】
上述したように、第一の押圧ゴム１５は第一のダム部材１６で囲まれた領域内で移動可能に構成されているから、第一の圧縮部材４６の厚みが小さくなると、第一の押圧ゴム１５は上方に移動し、第一の圧縮部材４６が圧縮する前にはなかった凹部が出現し、圧着対象物３０はその凹部内に収容される。
第一の圧縮部材４６の変形量は限度があるので、第一の圧縮部材４６がある程度変形すると圧縮が止まる。
【００６４】
図５（ｂ）は第一の圧縮部材４６の圧縮が止まった状態であって、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が変形する前の状態を示しており、この状態では、第一の押圧ゴム１５が上方に移動した分だけ、第一のダム部材１６の先端が第一の押圧ゴム１５表面よりも下方に突き出され、その先端は、第二の押圧ゴム１５表面が位置する平面Ｈと同じか、それよりも下方に突き出されている。
【００６５】
第一の圧縮部材４６の変形が止まってからも、更に第一の押圧ヘッド１０を下降させると、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は電気部品３２、３３に押し付けられて凹み、電気部品３２、３３と接触しない部分は膨らむが、第一例の圧着装置１の場合と同様に、第二の押圧ゴム２５と第一のダム部材１６の間の隙間は小さいので、第一の押圧ゴム１５の表面は水平方向に広がらない。
【００６６】
また、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の変形によって、第二の押圧ゴム２５は少なくとも表面部分が凹部１７内に収容されるため、第二の押圧ゴム２５は表面が上方に膨らんでも水平方向には広がらない。従って、この圧着装置４においても電気部品３２、３３は水平方向に移動せず、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。
【００６７】
第一の圧縮部材４６は押圧によって体積が減少するものであれば特に限定されず、図６に示したように、圧縮部材をバネ４８で構成してもよく、第一の押圧板１２で押圧することでバネ４８が縮み、その長さが短くなると、第一の押圧ゴム１５の表面が押し上げられ、凹部が出現する。また、第一の押圧ゴム１５に加わる力が第一の圧縮部材４６に伝達可能であれば特に可動板４７を設ける必要もない。
【００６８】
以上は、第一の押圧板１２を駆動装置２の軸３に取り付け、第一の押圧ヘッド１０を移動させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的に近づけたが、本発明はこれに限定されるものではなく、第一、第二の押圧ゴム１５、２５が相対的に移動可能であれば、第一の押圧ヘッド１０を静止させた状態で、第二の押圧ヘッド２０を移動させてもよいし、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の両方を移動させてもいい。
【００６９】
以上は、第二の押圧ゴム２５の表面に圧着対象物３０を配置してから、第一の押圧ヘッド１０を下降させる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７０】
第二の押圧ヘッド２０の第二の押圧ゴム２５が配置された側の面を下側に向けて配置し、第一の押圧ヘッド１０を、第二の押圧ヘッド２０の下方位置で凹部１７が形成された面を上側に向けて配置し、凹部１７の底面、即ち第一の押圧ゴム１５の表面に圧着対象物３０を配置してから、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０のいずれか一方又は両方を移動させて、第一、第二の押圧ゴム１５、２５を相対的に近づけ、第二の押圧ゴム２５の表面を圧着対象物３０に押し付けてもよい。
【００７１】
第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面の向きは水平な場合に限定されず、第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面が略垂直になるように第一、第二の押圧ヘッド１０、２０を配置してもよい。
【００７２】
第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の移動方向も特に限定されないが、電気部品３２、３３の位置ずれを防止するためには、基板３１の表面及び裏面に対して略垂直に移動することが好ましく、従って、基板３１が第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面と平行な場合は、第一、第二の押圧ヘッド１０、２０の移動方向は第一、第二の押圧ゴム１５、２５の表面に対して略垂直になる。
【００７３】
以上は、第二の押圧ゴム２５の周囲に何も無く、その側面が露出する場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、第二の押圧ゴム２５が第一のダム部材１６で擦れないように、第二の押圧ゴム２５の側面を、例えば金属製の薄板（摺動板）で覆ってもよい。
【００７４】
摺動板で第二の押圧ゴム２５側面が覆われた場合、その第二の押圧ヘッド２０を凹部１７に収容したときには、摺動板が第一のダム部材１６と密着するか、また、摺動板と第一のダム部材１６との間に隙間があるとしても、その隙間は膨らんだ第一の押圧ゴム１５が流出しない程狭くされているので、第一の押圧ゴム１５は水平方向に広がらない。
【００７５】
摺動板は膜厚が小さく、第二の押圧ゴム２５と一緒に変形しても、第一のダム部材１６に接触してその変形が止まる。変形する前の第一のダム部材１６と摺動板の隙間が小さいから、その変形量は小さく、従って、第二の押圧ゴム２５の水平方向の広がりは無視できる程小さい。
【００７６】
また、第二の押圧ゴム２５の表面縁部分が膨らんで摺動板を乗り越えたとしても、摺動板の膜厚が小さく、上述したように摺動板と第一のダム部材１６の隙間も小さいから、摺動板を乗り越えた部分の水平方向の広がり量は小さい。
【００７７】
このように、第一、第二の押圧ゴム１５、２５は水平方向には広がらず、広がったとしてもその広がり量は無視できる程小さいから、電気部品３２、３３の位置ずれが起こり難い。
【００７８】
第一、第二例の圧着装置１、４で、第一のダム部材１６と第二の押圧ゴム２５との間の隙間が大きい場合には、保護フィルム５で第二の押圧ゴム２５の側面を覆えば、その隙間が保護フィルム５で埋められる。
【００７９】
従って、第一のダム部材１６を金型等を用いずに安価なコストで製造し、その成形精度の悪い場合であっても、保護フィルム５の膜厚を適宜選択することで、第一のダム部材１６と第二の押圧ゴム２５の間の隙間が埋められ、第一の押圧ゴム１５が隙間から流出しなくなる。
【００８０】
以上は第一の押圧ヘッド１０だけにダム部材が設けられた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図７の符号６は本発明第三例の圧着装置を示しており、この圧着装置６は、上述した第一の押圧ヘッド１０の他に、第三の押圧ヘッド６０を有している。
【００８１】
第一、第三の押圧ヘッド１０、６０の構成は同じであって、第一、第三の押圧ヘッド１０、６０は、第一、第三のヘッド本体１１、６１と、第一、第三のヘッド本体１１、６１に設けられた有底の孔（第一、第三の孔）１９、６９と、第一、第三の孔１９、６９内に配置された第一、第三の押圧ゴム１５、６５とをそれぞれ有している。
【００８２】
第一、第三の押圧ゴム１５、６５の配置も同じであって、第一、第三の押圧ゴム１５、６５は、第一、第三の孔１９、６９の側壁で構成される第一、第三のダム部材１６、６６でそれぞれ取り囲まれており、第一、第三のダム部材１６、６６の先端は第一、第三の押圧ゴム１５、６５表面から高く突き出され、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の表面を底面とし、第一、第三のダム部材１６、６６を側面とする第一、第三の凹部１７、６７が形成されている。
【００８３】
第一、第三の孔１９、６９の開口１８、６８の形状は略等しく、開口１８、６８の縁が一致するよう位置合わせして第一、第三の押圧ヘッド１０、６０を互いに押し付けると、第一、第三のダム部材１６、６６の先端同士が接触するようになっている。
【００８４】
ここでは、第一の押圧ヘッド１０の配置と駆動装置２への接続は、第一例の圧着装置１の第一の押圧ヘッド１０と同じであり、第一の押圧ヘッド１０は第一の押圧ゴム１５の表面を略水平に向けたまま、駆動装置２によって作業台９を鉛直方向に上下移動可能になっている。
【００８５】
第三の押圧ヘッド６０は第三の凹部６７の開口６８を上側に向けて作業台９上に配置されており、第三の凹部６７の底面、即ち第三の押圧ゴム６５の表面は略水平にされ、その表面が圧着対象物３０を乗せる載置面となる。
【００８６】
次に、この圧着装置６を用いて上述した圧着対象物３０を接続する場合について説明する。
第一、第三の押圧ゴム１５、６５は接着フィルム３５との接着性が高い物質で構成されており、接着フィルム３５との接触を避けるために、上述した保護フィルム５を第三の押圧ゴム６５の表面に配置してから、圧着対象物３０を第三の押圧ゴム６５上に配置し、更に圧着対象物３０表面にも保護フィルム５を配置する（図８（ａ））。
【００８７】
第一、第三の凹部１７、６７の深さの合計、即ち、第一の押圧ゴム１５の表面から第一のダム部材１６先端までの高さと、第三の押圧ゴム６５の表面から第三のダム部材６６の先端までの高さの合計は、圧着対象物３０の厚さと、その表面裏面を覆う保護フィルム５の厚さの合計よりも小さくされている。
【００８８】
従って、第一、第三の凹部１７、６７の開口１８、６８の縁を一致させてから第一の押圧ヘッド１０を下降させると、第一、第三のダム部材１６、６６の先端が接触する前に、第一の押圧ゴム１５の表面が保護フィルム５を介して圧着対象物３０に接触する。
【００８９】
図８（ｂ）は第一の押圧ゴム１５が保護フィルム５を介して圧着対象物３０の表面と接触した状態であって、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が圧着対象物３０を押圧する前の状態を示しており、第一のダム部材１６の先端と、第三のダム部材６６の先端の間には隙間がある。
【００９０】
第一、第三のヘッド本体１１、６１のうち、第一、第三の押圧ゴム１５、６５底面が密着する部分を第一、第三の押圧板１２、６２とすると、第一、第三の押圧ゴム１５、６５はそれぞれ底面が第一、第三の押圧板１２、６２に固定されているが、側面は第一、第三のダム部材１６、６６に固定されておらず、第一、第三の押圧ゴム１５、６５は中央部分も縁部分も変形可能に構成されている。
【００９１】
従って、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させて、第一、第三の押圧ゴム１５、６５を相対的に近づけると、第一例の圧着装置１の場合と同様に、厚みの厚い電気部品３２から厚みの薄い電気部品３２に向かって、順次第一、第三の押圧ゴム１５、６５が押し付けられ、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２、３３と接触しない部分が膨らみ、圧着対象物３０が押圧される。
【００９２】
圧着対象物３０を押圧するときの圧力は、接着フィルム３５や電気部品３２、３３の厚さや、接着フィルム３５の加熱温度によって設定されている。
上述した第一、第三の凹部１７、６７の深さの合計は、設定された圧力で圧着対象物３０を押圧する時に、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が変形しても、第一、第三のダム部材１６、６６の先端同士が直接接触しない深さにされており、従って、第一の押圧ヘッド１０は第一、第三の押圧ゴム１５、６５の変形が続く限り下降し、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の変形の変形が止まった後は、第一の押圧ヘッド１０を下降させる力は、圧着対象物３０を押圧する力となる（図８（ｃ））。
【００９３】
尚、保護フィルム５の縁部分が開口１８、６８からはみ出し、第一、第三のダム部材１６、６６の先端同士が、はみ出した保護フィルム５を挟んで接触する場合であっても、保護フィルム５が上述したように圧縮変形可能な材料で構成されていれば、保護フィルム５が圧縮変形することで圧着対象物３０への押圧が維持される。
【００９４】
圧着対象物３０を押圧する時には、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の表面が膨らむが、第一、第三のダム部材１６、６６の先端は第一、第三の押圧ゴム１５、６５表面から突き出されているので、第一、第三の押圧ゴム１５、６５表面の膨らんだ部分は第一、第三のダム部材１６、６６で堰き止められる。従って、この圧着装置６においても第一、第三の押圧ゴム１５、６５表面が水平方向に広がらず、電気部品３２、３３の位置ずれが起こらない。
【００９５】
第一、第三の押圧ヘッド１０、６０のいずれか一方又は両方に加熱手段が設けられており、第一例の圧着装置１と同様に、圧着対象物３０を加熱しながら押圧することで、電気部品３２、３３が基板３１に電気的にも機械的にも接続されて電気装置３０ａが得られる。
【００９６】
以上は、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が変形する前に第一、第三の凹部１７、６７が形成された場合について説明したが本発明はこれに限定されるものではない。
【００９７】
図９（ａ）の符号７は本発明第四例の圧着装置を示している。この圧着装置７は、第一、第三の押圧板１２、６２と第一、第三の押圧ゴム１５、６５の間に、第一、第三の圧縮部材４６、７６が配置された以外は上記第三例の圧着装置６と同じ構造を有しており、第一、第三の押圧ヘッド１０、６０の配置も、上記第三例の圧着装置６と同じになっている。
【００９８】
第一、第三の圧縮部材４６、７６の構成と配置は、第二例の圧着装置４の第一の圧縮部材４６と同じであって、第一、第三の押圧ゴム１５、６５で圧着対象物３０を挟み込むと、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が変形する前に、第一、第三の圧縮部材４６、７６が圧縮されて膜厚が現象し、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が第一、第三の押圧板１２、６２に押し付けられて、可動板４７、７７と一緒に孔１９、６９内を移動する。
【００９９】
図９（ｂ）は、第一、第三の圧縮部材４６、７６の膜厚が減少した状態であって、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が変形する前の状態を示しており、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が第一、第二の押圧板１２、６２に近づくことで、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の表面を底面とし、第一、第三のダム部材１６、６６を側壁とする凹部がそれぞれ形成される。
【０１００】
このときの凹部の深さの合計、即ち、第一、第三の圧縮部材４６、７６が圧縮された時の、第一の押圧ゴム１５表面から第一のダム部材１６先端までの高さと、第三の押圧ゴム６５表面から第三のダム部材６６先端までの高さの合計は、第三の押圧ゴム６５表面の保護フィルム５と、圧着対象物３０表面の保護フィルム５を含む圧着対象物３０の厚さよりも小さくされている。
【０１０１】
第一、第三の圧縮部材４６、７６が圧縮された時には、第一、第三のダム部材１６、６６の先端は接触せず、第一の押圧ヘッド１０の下降を妨げるものがないので、第一の押圧ヘッド１０を更に下降させると、第一、第三の押圧ゴム１５、６５が相対的に近づき、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２に接触した部分が凹んで、結局全ての電気部品３２、３３が第一、第三の押圧ゴム１５、６５で押圧される。
【０１０２】
上述した凹部の深さの合計は、第一、第三のダム部材１６、６６の先端が接触せず、圧着対象物３０に所定の圧力がかかるように設定されているので、圧着対象物３０を加熱しながら押圧を続ければ、上記第一例の圧着装置１を用いた場合と同様に、電気部品３２、３３が基板３１に接続されて電気装置３０ａが得られる。
【０１０３】
第一、第三の押圧ゴム１５、６５で電気部品３２、３３を押圧する時には、第一、第三の押圧ゴム１５、６５の電気部品３２、３３と接触していない部分が膨らむが、電気部品３２、３３を押圧する時には第一、第三のダム部材１６、６６は第一、第三の押圧ゴム１５、６５表面から突き出されているので、第一、第三の押圧ゴム１５、６５は第一、第三のダム部材１６、６６で堰き止められて、水平方向には広がない。従って、この圧着装置７を用いた場合も、電気部品３２、３３の位置ずれが起こらず、信頼性の高い電気装置３０ａが得られる。
【０１０４】
以上は、少なくとも第一の押圧ゴム１５の周囲が予め第一のダム部材１６で取り囲まれた場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１０（ａ）の符号８は第五例の圧着装置を示しており、この圧着装置８は第四、第五の押圧ヘッド８０、９０と、ダム部材８６とを有している。
【０１０５】
第四、第五の押圧ヘッド８０、９０は金属製の第四、第五の押圧板８２、９２と、第四、第五の押圧板８２、９２の表面上に配置された第四、第五の押圧ゴム８５、９５とを有しており、ここでは第四、第五の押圧ゴム８５、９５の周囲には何も配置されておらず、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の側面は露出している。
【０１０６】
第四、第五の押圧ゴム８５、９５の表面の平面形状は同じか、相似形にされている。
図１１に示すように、ダム部材８６は筒状であって、筒の両端の開口の形状は、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の表面の形状と同じか、それよりも大きい相似形にされている。従って、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の少なくとも表面部分は、ダム部材８６の開口にそれぞれ挿入可能になっている。
【０１０７】
ここでは、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の側面は、その表面に対して略垂直にされ、第四、第五の押圧ゴム８５、９５は、表面に対して平行方向に切断した時の平面形状が、表面から裏面まで略等しくなっている。
【０１０８】
ダム部材８６は両端の開口に対して内壁面が略垂直にされ、該開口に対して平行に切断した時の断面形状は、一端から他端まで略等しくなっており、第四、第五の押圧ゴム８５、９５は表面部分だけでなく、その側面もダム部材８６に挿入可能になっている。
【０１０９】
第四の押圧ヘッド８０は第四の押圧ゴム８５が配置された側の面を下側に向けて配置されている。第四の押圧ヘッド８０の下方には作業台９が配置され、第五の押圧ヘッド９０は第五の押圧ゴム９５が配置された側の面を上側に向けて作業台９上に配置されている。
【０１１０】
不図示の搬送手段により、第四の押圧ゴム８５をダム部材８６の一端から筒の内部に挿入させ、第四の押圧ヘッド８０にダム部材８６を取り付ける。この状態では、ダム部材８６の他端は、第四の押圧ゴム８５の表面より下方に突き出されている。
【０１１１】
第五の押圧ゴム９５の表面に保護フィルム５を配置してから、その保護フィルム５上に圧着対象物３０を配置し、更に圧着対象物３０の表面に保護フィルム５を配置する。第五の押圧ゴム９５表面の外周が、ダム部材８６の下端の開口の内側に位置するよう位置合わせ後、第四の押圧ヘッド８０と一緒にダム部材８６を下降させると、圧着対象物３０がダム部材８６の内部に挿入され、第四の押圧ゴム８５が保護フィルム５を介して圧着対象物３０に接触する。
【０１１２】
ダム部材８６の筒の長さは、第四の押圧ゴム８５が圧着対象物３０に接触した時であって、第四、第五の押圧ゴム８５，９５が変形する前の状態では、その下端が第五の押圧ゴム９５の表面と面一か、それよりも下方に突き出されるようになっており、上述した第一例の圧着装置１の場合と同様に、圧着対象物３０を押圧するときに、第四、第五の押圧ゴム８５，９５は水平方向に広がらないので、電気部品３２、３３の位置ずれが起こり難い。
【０１１３】
以上は、ダム部材８６が筒状に一体成形された場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
図１２の符号９６はダム部材の他の例を示しており、ダム部材９６は複数の板状の壁材９９を有しており、不図示の移動手段により、各壁材９９は表面を鉛直方向に向けた状態で第四の押圧ゴム８５の側面に沿って並べられて第四の押圧板８２に取り付けられ、第四の押圧ゴム８５の周囲を取り囲む１つの筒が形成される。
【０１１４】
その状態では、各壁材９９の下端は第四の押圧ゴム８５の表面よりも下方に突き出されており、従って第四の押圧ゴム８５の周囲を取り囲む筒の下端は第四の押圧ゴム８５の表面よりも下方に突き出され、その下方に突き出された部分に、圧着対象物３０と、第五の押圧ゴム９５が挿入可能になる。
【０１１５】
以上は、ダム部材８６、９６を第四の押圧ヘッド８０に取り付けられる場合について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ダム部材８６、９６を第五の押圧ゴム９５の周囲を取り囲み、一端が第五の押圧ゴム９５の表面から上方に突き出るように配置してもよく、この場合、第四の押圧ヘッド８０を下降させると、第四の押圧ゴム８５がダム部材８６、９６と、第五の押圧ゴム９５表面で構成される凹部に収容される。
【０１１６】
更に、ダム部材８６、９６を第四、第五の押圧ヘッド８０、９０のいずれにも取り付けず、第四、第五の押圧ゴム８５、９５を圧着対象物３０を挟んで対面させてから、圧着対象物３０の押圧を開始するまでに、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の周囲を取り囲んでもよい。
【０１１７】
また、第四、第五の押圧ゴム８５、９５にそれぞれダム部材８６、９６を取り付けてから、圧着対象物３０の押圧を行っても良い。この場合、第四、第五の押圧ゴム８５、９５に取り付けられた状態のダム部材８６、９６は、構成と配置が、上記第三例の圧着装置６の第一、第三のダム部材１６、６６と同じになるのが好ましい。
【０１１８】
ダム部材８６、９６の筒の長さや、ダム部材８６、９６の配置も特に限定されず、圧着対象物３０を押圧するときに、少なくとも第四、第五の押圧ゴム８５、９５の表面部分を取り囲んでいるのであれば、第四、第五の押圧ゴム８５、９５の表面から裏面まで全部を取り囲んでもよいし、第四、第五の押圧ゴム８５、９５だけでなく、第四、第五の押圧板８２、９２を取り囲んでも良い。
【０１１９】
また、上記第五例の圧着装置８においても、第四、第五の押圧ゴム８５、９５を第四、第五の押圧板８２、９２に直接取り付けてもよいし、第四例の圧着装置７のように、第四、第五の押圧板８２、９２と第四、第五の押圧ゴム８５、９５の間に圧縮部材を設けてもよい。
【０１２０】
以上は、ダム部材１６、６６、８６、９６で第一、第三〜第五の押圧ゴム１５、６５、８５、９５の全周を取り囲む場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、第一、第三〜第五の押圧ゴム１５、６５、８５、９５の水平方向の広がりを防止可能であれば、図１３に示すように、ダム部材１６、６６、８６、９６に、第一、第三〜第五の押圧ゴム１５、６５、８５、９５の側面の一部が露出するような切込み９８を形成してもよい。
【０１２１】
保護フィルム５の形状や大きさも特に限定されるものではなく、接着フィルム３５と第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５との接触を回避できるのであれば、第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５表面からはみ出さない大きさの保護フィルム５を用いてもよいし、圧着対象物３０の一部表面だけを覆う保護フィルム５を用いてもよい。
【０１２２】
使用する接着フィルム３５と第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５との接着性が低い場合には、保護フィルム５を用いず、第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５のいずれか１つ以上を直接圧着対象物３０に接触させてもよい。
【０１２３】
第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５と接着フィルム３５との接着性を低くする方法としては、第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の構成材料を接着フィルム３５と接着性の低いものに変えたり、第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５の表面に接着フィルム３５に対して離型性を有する離型層を設ける方法がある。
【０１２４】
加熱手段を設ける場所は特に限定されず、２つの押圧ヘッド（第一、第二の押圧ヘッド１０、２０、第一、第三の押圧ヘッド１０、６０、又は第四、第五の押圧ヘッド８０，９０）のいずれか一方又は両方に設けてもよいし、熱伝導可能であれば作業台９に設けてもよい。また、外部から赤外線を放射して接着フィルム３５を加熱してもよい。
【０１２５】
熱可塑性樹脂と熱硬化性樹脂はいずれか一方だけを接着フィルム３５に含有させてもよいし、両方を含有させてもよい。
熱硬化性樹脂と熱可塑性樹脂の種類は特に限定されないが、熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂等を１種類以上用いることができ、熱可塑性樹脂としては例えばフェノキシ樹脂、ポリビニルアルコール等を１種類以上用いることができる。
【０１２６】
また、接着フィルム３５の代わりに、ペースト状の接着剤を基板３１表面に塗布してから、その接着剤に電気部品を接着させて圧着対象物３０としてもよい。
更に、内部に導電性粒子が分散された接着フィルム３５を用い、電気部品３２、３３の接続端子３７、３８と、基板３１の接続端子３７で導電性粒子を挟み込むことで、電気部品３２、３３と基板３１とを電気的に接続してもよい。
【０１２７】
保護フィルムの種類は特に限定されないが、上述した接着フィルム３５に対して剥離性を有するものが好ましく、例えば、ポリテトラフルオロエチレンをフィルム状に成形したもの、シリコーンゴムをフィルム状に成形したものを用いることができる。
【０１２８】
第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５を構成する弾性材料は特に限定されないが、一例を述べるとゴム硬度（ＪＩＳ  Ｓ  ６０５０に準拠）が４０、８０のエラストマーが使用可能であった。
【０１２９】
尚、ゴム硬度がそれぞれ４０、６０、８０のエラストマーについて、測定温度３０℃〜２４０℃の範囲で３０℃毎にゴム硬度を測定したところ、ゴム硬度の変化は±２であった。この値は測定誤差範囲と言えるので、ゴム硬度は温度変化による影響を受けない値であることがわかった。
【０１３０】
第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５に用いるエラストマーとしては、天然ゴム、合成ゴムのいずれも用いることができるが、耐熱性、耐圧性の観点からはシリコーンゴムを用いることが好ましい。
【０１３１】
第一〜第五の押圧ゴム１５、２５、６５、８５、９５は同じ材料で構成してそのゴム硬度を同じにしてもいいし、別々の材料で構成して、ゴム硬度が互いに異なるものを用いてもよい。
【０１３２】
本発明に用いる用いる基板３１の種類も特に限定されず、リジッド基板、フレキシブル基板等種々のものを用いることができる。
基板３１に接続する電気部品３２、３３の種類は特に限定されず、具体的には半導体素子、抵抗素子、他の基板等がある。
【０１３３】
基板３１の表面及び裏面に電気部品３２、３３を接続する前、基板３１の表面に電気部品３２、３３を接続してから裏面への電気部品３２、３３の接続を開始する間、又は、基板３１の表面と裏面の両方に電気部品３２、３３を接続した後に、基板３１の表面と裏面のいずれか一方又は両方に、ＣＲ部品のような他の電気部品を接続してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３４】
【図１】第一例の圧着装置を説明する断面図
【図２】押圧ヘッドと台座の形状を説明する平面図
【図３】（ａ）〜（ｃ）：電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図４】（ａ）、（ｂ）：電気部品が基板に接続される工程を説明する拡大断面図
【図５】（ａ）〜（ｃ）：第二例の圧着装置を用いて電気部品を実装する工程を説明する断面図
【図６】圧縮部材の他の例を説明する断面図
【図７】第三例の圧着装置を説明する断面図
【図８】（ａ）〜（ｃ）：電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図９】（ａ）〜（ｃ）：第四例の圧着装置を用いて電気部品を基板に実装する工程を説明する断面図
【図１０】（ａ）：ダム部材が第四、第五の押圧ゴムから分離した状態を示す断面図、（ｂ）：ダム部材が第四、第五の押圧ゴムを取り囲む状態を示す断面図
【図１１】ダム部材の一例を説明する平面図
【図１２】ダム部材の他の例を説明する平面図
【図１３】ダム部材に切り込みを設けた状態を説明する側面図
【図１４】（ａ）、（ｂ）：従来技術の圧着装置を説明する断面図
【図１５】押圧ゴムの広がりを説明する平面図
【符号の説明】
【０１３５】
１、４、６〜８……圧着装置    ５……保護フィルム    １２……第一の押圧板    １５……第一の押圧ゴム    １６……第一のダム部材    ２２……第二の押圧板    ２５……第二の押圧ゴム    ６６……第二のダム部材    ３０……圧着対象物    ３１……基板    ３５……接着フィルム    ３２、３３……電気部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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