(57)【要約】【課題】浮上ヘッドスライダと記録ディスクとの衝突を防止することができる記録ディスク駆動装置を提供する。【解決手段】ヘッドアクチュエータ部材１６はランプ部材２５から記録ディスク１４に向かって揺動する。浮上ヘッドスライダ２２のベース面４３には記録ディスク１４の表面に沿って生成される気流が作用する。ヘッドアクチュエータ部材１６がランプ部材２５から離脱すると、浮上ヘッドスライダ２２では負圧が生成される。浮上ヘッドスライダ２２は記録ディスク１４の表面に引き寄せられる。気流は溝６１内に流入する。溝６１は空気軸受け面５３に囲まれることから、流入した気流は溝６１の底面で跳ね返る。気流は溝６１から記録ディスク１４に向かって流出する。浮上ヘッドスライダ２２では浮力は増大する。浮上ヘッドスライダ２２および記録ディスク１４の衝突はできる限り回避される。浮上ヘッドスライダ２２や記録ディスク１４の破損は回避される。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録ディスクと、記録ディスクの表面に向き合わせられる浮上ヘッドスライダと、先端で浮上ヘッドスライダを支持するヘッドアクチュエータ部材と、記録ディスクの外側に配置されて、ヘッドアクチュエータ部材を受け止めるランプ部材とを備え、浮上ヘッドスライダは、記録ディスクの表面に向き合わせられるベース面を区画するスライダ本体と、ベース面に形成されてベース面から立ち上がるレールと、レール上に区画される空気軸受け面と、レールに形成されて空気軸受け面に囲まれる溝とを備えることを特徴とする記録ディスク駆動装置。
【請求項２】
請求項１に記載の記録ディスク駆動装置において、前記溝の底面およびベース面は、前記空気軸受け面を含む仮想平面から同一の距離に規定されることを特徴とする記録ディスク駆動装置。
【請求項３】
記録ディスクに向き合わせられるベース面を区画するスライダ本体と、ベース面に形成されてベース面から立ち上がるレールと、レール上に区画される空気軸受け面と、レールに形成されて空気軸受け面に囲まれる溝とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
【請求項４】
請求項３に記載の浮上ヘッドスライダにおいて、前記溝の底面およびベース面は、前記空気軸受け面を含む仮想平面から同一の距離に規定されることを特徴とする浮上ヘッドスライダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録ディスクの表面に向き合わせられる浮上ヘッドスライダと、先端で浮上ヘッドスライダを支持するヘッドアクチュエータ部材と、記録ディスクの外側に配置されてヘッドアクチュエータ部材を受け止めるランプ部材とを備える記録ディスク駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えばハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）は、先端で浮上ヘッドスライダを支持するヘッドアクチュエータ部材すなわちキャリッジを備える。キャリッジは磁気ディスクの外側でランプ部材に受け止められる。磁気ディスクの回転中、キャリッジは磁気ディスクに向かってランプ部材から離脱する。浮上ヘッドスライダは浮上面で磁気ディスクの表面に向き合う。浮上面には気流が作用する。浮上面に形成されるレールの働きで浮上ヘッドスライダには正圧すなわち浮力と負圧とが生成される。浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダの浮上姿勢は確立される。
【特許文献１】特開２００１−３１２８１１号公報
【特許文献２】特開昭６１−１６０８８５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ランプ部材からキャリッジの離脱時、浮上ヘッドスライダには浮力よりも先に負圧が発生する。こういった負圧の働きで浮上ヘッドスライダは磁気ディスクの表面に引き寄せられる。その結果、浮上ヘッドスライダはしばしば磁気ディスクの表面に衝突してしまう。浮上ヘッドスライダや磁気ディスクは破損してしまう。
【０００４】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、浮上ヘッドスライダと記録ディスクとの衝突を防止することができる記録ディスク駆動装置を提供することを目的とする。本発明は、そういった記録ディスク駆動装置の実現に大いに貢献する浮上ヘッドスライダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために、本発明によれば、記録ディスクと、記録ディスクの表面に向き合わせられる浮上ヘッドスライダと、先端で浮上ヘッドスライダを支持するヘッドアクチュエータ部材と、記録ディスクの外側に配置されて、ヘッドアクチュエータ部材を受け止めるランプ部材とを備え、浮上ヘッドスライダは、記録ディスクの表面に向き合わせられるベース面を区画するスライダ本体と、ベース面に形成されてベース面から立ち上がるレールと、レール上に区画される空気軸受け面と、レールに形成されて空気軸受け面に囲まれる溝とを備えることを特徴とする記録ディスク駆動装置が提供される。
【０００６】
こうした記録ディスク駆動装置では、記録ディスクの回転が定常状態に達すると、ヘッドアクチュエータ部材はランプ部材から記録ディスクに向かって揺動する。浮上ヘッドスライダのベース面には、記録ディスクの表面に沿って生成される気流が作用する。ヘッドアクチュエータ部材がランプ部材から離脱すると、浮上ヘッドスライダには負圧が生成される。浮上ヘッドスライダは記録ディスクの表面に引き寄せられる。このとき、気流は溝内に流入する。溝は空気軸受け面に囲まれることから、流入した気流は溝の底面で跳ね返る。気流は溝から記録ディスクに向かって流出する。こうした気流の働きで浮上ヘッドスライダでは浮力は増大する。こうして浮上ヘッドスライダおよび記録ディスクの間で衝突はできる限り回避される。浮上ヘッドスライダや記録ディスクの破損は回避される。
【０００７】
こういった記録ディスク駆動装置では、溝の底面およびベース面は、空気軸受け面を含む仮想平面から同一の距離に規定されればよい。浮上ヘッドスライダの製造にあたって、スライダ本体の表面では例えばミリングが実施される。ミリングに先立ってスライダ本体には例えばフォトレジスト材料が形成される。フォトレジスト材料はベース面や溝の輪郭を象る空隙を区画する。フォトレジスト材料の外側でスライダ本体にはミリングが実施される。仮想平面から溝の底面およびベース面までの距離は同一の規定される。その結果、空隙内ではベース面の形成と同時に溝が形成されることができる。したがって、これまでの製造方法でフォトレジスト材料の形状が変更されれば、溝は簡単に形成されることができる。
【０００８】
以上のような記録ディスク駆動装置の実現にあたって、記録ディスクに向き合わせられるベース面を区画するスライダ本体と、ベース面に形成されてベース面から立ち上がるレールと、レール上に区画される空気軸受け面と、レールに形成されて空気軸受け面に囲まれる溝とを備えることを特徴とする浮上ヘッドスライダが提供されればよい。
【発明の効果】
【０００９】
以上のように本発明によれば、浮上ヘッドスライダと記録ディスクとの衝突を防止することができる記録ディスク駆動装置が提供される。本発明によれば、そういった記録ディスク駆動装置の実現に大いに貢献する浮上ヘッドスライダが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
【００１１】
図１は記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）１１の内部構造を概略的に示す。このＨＤＤ１１は箱形の筐体すなわちハウジング１２を備える。ハウジング１２は、例えば平たい直方体の内部空間すなわち収容空間を区画する箱形のベース１３を備える。ベース１３は例えばアルミニウムといった金属材料から鋳造に基づき成形されればよい。ベース１３には蓋体すなわちカバー（図示されず）が結合される。カバーとベース１３との間で収容空間は密閉される。カバーは例えばプレス加工に基づき１枚の板材から成形されればよい。
【００１２】
収容空間には、記録媒体としての１枚以上の磁気ディスク１４が収容される。磁気ディスク１４はスピンドルモータ１５の回転軸に装着される。スピンドルモータ１５は例えば５４００ｒｐｍや７２００ｒｐｍ、１００００ｒｐｍ、１５０００ｒｐｍといった高速度で磁気ディスク１４を回転させることができる。
【００１３】
収容空間にはヘッドアクチュエータ部材すなわちキャリッジ１６がさらに収容される。このキャリッジ１６は、垂直方向に延びる支軸１７に回転自在に連結されるキャリッジブロック１８を備える。キャリッジブロック１８には、支軸１７から水平方向に延びる複数のキャリッジアーム１９が区画される。こういったキャリッジブロック１８は例えば鋳造に基づきアルミニウムから成型されればよい。
【００１４】
個々のキャリッジアーム１９の先端には、キャリッジアーム１９から前方に延びるヘッドサスペンション２１が取り付けられる。ヘッドサスペンション２１の先端にはいわゆるジンバルばね（図示されず）が接続される。ジンバルばねの表面に浮上ヘッドスライダ２２は固定される。こうしたジンバルばねの働きで浮上ヘッドスライダ２２はヘッドサスペンション２１に対してその姿勢を変化させることができる。
【００１５】
浮上ヘッドスライダ２２にはいわゆる磁気ヘッドすなわち電磁変換素子（図示されず）が搭載される。この電磁変換素子は、例えば、薄膜コイルパターンで生成される磁界を利用して磁気ディスク１４に情報を書き込む薄膜磁気ヘッドといった書き込み素子と、スピンバルブ膜やトンネル接合膜の抵抗変化を利用して磁気ディスク１４から情報を読み出す巨大磁気抵抗効果（ＧＭＲ）素子やトンネル接合磁気抵抗効果（ＴＭＲ）素子といった読み出し素子とで構成されればよい。
【００１６】
浮上ヘッドスライダ２２には、磁気ディスク１４の表面に向かってヘッドサスペンション２１から押し付け力が作用する。磁気ディスク１４の回転に基づき磁気ディスク１４の表面で生成される気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２には浮力が作用する。ヘッドサスペンション２１の押し付け力と浮力とのバランスで磁気ディスク１４の回転中に比較的に高い剛性で浮上ヘッドスライダ２２は浮上し続けることができる。
【００１７】
こういった浮上ヘッドスライダ２２の浮上中にキャリッジ１６が支軸１７回りで回転すると、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の半径線に沿って移動することができる。その結果、浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は最内周記録トラックと最外周記録トラックとの間でデータゾーンを横切ることができる。こうして浮上ヘッドスライダ２２上の電磁変換素子は目標の記録トラック上に位置決めされる。キャリッジ１６の回転は例えばボイスコイルモータ（ＶＣＭ）２３といった動力源の働きを通じて実現されればよい。
【００１８】
ヘッドサスペンション２１の先端には、ヘッドサスペンション２１の先端から前方に延びるロードタブ２４が固定される。ロードタブ２４はキャリッジ１６の揺動に基づき磁気ディスク１４の半径方向に移動することができる。ロードタブ２４の移動経路上には磁気ディスク１４の外側でランプ部材２５が配置される。ランプ部材２５の先端は、磁気ディスク１４の外縁から内側に進入し、最外周記録トラック１６の外側で磁気ディスク１４の表面に向き合わせられる。ランプ部材２５およびロードタブ２４は協働でいわゆるロードアンロード機構を構成する。ランプ部材２５は例えば硬質プラスチック材料から成型されればよい。
【００１９】
図２を併せて参照し、ランプ部材２５は、磁気ディスク１４の外側で筐体本体１２の底板に例えばねじ留めされる取り付け台２６を備える。取り付け台２６は、筐体本体１２の底板に受け止められる底面から垂直方向に直立する。取り付け台２６の側面には、取り付け台２６の側面からキャリッジ１６の支軸１７に向かって水平方向に突き出る突片２７が形成される。突片２７は取り付け台２６の側面に並列に延びる。突片２７は個々の磁気ディスク１４ごとに配置される。突片２７は例えば一体成型に基づき取り付け台２６に一体化される。取り付け台２６および突片２７には受け入れ溝２８が形成される。受け入れ溝２８は個々の突片２７ごとに形成される。受け入れ溝２８には対応する磁気ディスク１４が受け入れられる。
【００２０】
突片２７の表面には、突片２７の内端および外端の間でロードタブ２４の移動経路に沿って摺動面２９が規定される。この摺動面２９は、磁気ディスク１４上の最外周記録トラックに最も接近して配置される傾斜面３１を備える。傾斜面３１は、最外周記録トラックから遠ざかるにつれて磁気ディスク１４の表面から徐々に遠ざかる。傾斜面３１の最上端すなわち外端には第１平坦面３２が接続される。第１平坦面３２はロードタブ２４の移動経路に沿って傾斜面３１から外側に延びる。第１平坦面３２の外端には第２平坦面３３が接続される。第２平坦面３３はロードタブ２４の移動経路に沿って第１平坦面３２から外側に延びる。第２平坦面３３は第１平坦面３２よりも低い位置に配置される。言い換えれば、第２平坦面３３は、第１平坦面３２に比べて、磁気ディスク１４の表面を含む１水平面に接近する。第１および第２平坦面３２、３３の接続にあたって、第２平坦面３３には、第１平坦面３２から遠ざかるにつれて徐々に下る傾斜面が形成される。
【００２１】
図３は浮上ヘッドスライダ２２の一具体例を示す。この浮上ヘッドスライダ２２は、例えば平たい直方体に形成されるスライダ本体４１を備える。スライダ本体４１は媒体対向面すなわち浮上面４２で磁気ディスク１４に向き合う。浮上面４２には平坦なベース面４３が規定される。磁気ディスク１４が回転すると、スライダ本体４１の前端から後端に向かって浮上面４２には気流４４が作用する。スライダ本体４１は、例えばＡｌ２Ｏ３−ＴｉＣ（アルチック）製の母材４５と、この母材４５の空気流出側端面に積層され、Ａｌ２Ｏ３（アルミナ）から構成されるヘッド素子内蔵膜４６とで構成されればよい。
【００２２】
スライダ本体４１の浮上面４２には、前述の気流４４の上流側すなわち空気流入側でベース面４３から立ち上がる１筋のフロントレール４７と、フロントレール４７の後端から気流４４の下流側すなわち空気流出側に向かって延びる２筋のサイドレール４８、４８と、フロントレール４７の後端から空気流出側に向かって延びる１筋のセンターレール４９とが形成される。センターレール４９はサイドレール４８、４８の間に配置される。サイドレール４８およびセンターレール４９は平行に延びればよい。
【００２３】
同様に、浮上面４２には、空気流出側でベース面４３から立ち上がる１対のリアサイドレール５１、５１と、空気流出側でベース面４３から立ち上がるリアセンターレール５２とが形成される。リアセンターレール５２はリアサイドレール５１、５１の間に配置される。ここでは、ベース面４３からレール４７、４８、４９、５１、５２の頂上面の高さは等しく規定されればよい。
【００２４】
フロントレール４７、リアサイドレール５１およびリアセンターレール５２の頂上面にはいわゆるＡＢＳ（空気軸受け面）５３、５４、５５が規定される。ＡＢＳ５３、５４、５５の空気流入端は段差５６、５７、５８でレール４７、５１、５２の頂上面に接続される。ここでは、段差５６、５７、５８の高さは等しく規定されればよい。すなわち、ベース面４３からＡＢＳ５３、５４、５５の高さは等しく規定されればよい。
【００２５】
スライダ本体４１には前述の電磁変換素子すなわち読み出し書き込みヘッド素子５９が搭載される。この読み出し書き込みヘッド素子５９はスライダ本体４１のヘッド素子保護膜４６内に埋め込まれる。読み出し書き込みヘッド素子５９の読み出しギャップや書き込みギャップはリアセンターレール５２のＡＢＳ５５で露出する。ただし、ＡＢＳ５５の表面には、読み出し書き込みヘッド素子５９の前端に覆い被さるＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）保護膜が形成されてもよい。
【００２６】
フロントレール４７にはＡＢＳ５３に途切れなく囲まれる溝６１が形成される。溝６１は、例えばＡＢＳ５３に平行に広がる底面を規定する。ここでは、溝６１は浮上ヘッドスライダ２２の空気流入側端に並列に延びればよい。溝６１の開口の大きさは後述の気流の流入量および流出量に応じて設定されればよい。図４を併せて参照し、ＡＢＳ５３（５４、５５）を含む仮想平面６２から溝６１の底面までの距離ｄ１と、仮想平面６２からベース面４３までの距離ｄ２とは等しく規定されればよい。この距離ｄ１、ｄ２は例えば１〜３μｍ程度に設定されればよい。
【００２７】
磁気ディスク１４の回転に基づき生成される気流４４は浮上面４２に受け止められる。このとき、段差５６、５７、５８の働きでＡＢＳ５３、５４、５５には比較的に大きな正圧すなわち浮力が生成される。しかも、フロントレール４７の後方すなわち背後には大きな負圧が生成される。これら浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。なお、浮上ヘッドスライダ２２の形態はこういった形態に限られるものではない。
【００２８】
いま、磁気ディスク１４の回転が停止する場面を想定する。情報の書き込みや読み出しが完了すると、ＶＣＭ２３は支軸１７回りで順方向にキャリッジ１６を回転させる。キャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１は磁気ディスク１４の外側に向かって駆動される。図５に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２が最外周記録トラックを越えて非データゾーンすなわちランディングゾーンに向き合うと、ロードタブ２４は摺動面２９の傾斜面３１に接触する。さらにキャリッジアーム１９が揺動すると、ロードタブ２４は傾斜面３１を登っていく。ロードタブ２４が傾斜面３１を登るにつれて、ヘッドサスペンション２１の先端は磁気ディスク１４の表面から徐々に遠ざかっていく。ジンバルばねがヘッドサスペンション２１に係り合うと、浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の表面から引き上げられる。
【００２９】
その後、キャリッジアーム１９がさらに揺動すると、ロードタブ２４は第１平坦面３２から第２平坦面３３まで摺動する。ロードタブ２４が最大限に磁気ディスク１４から遠ざかると、浮上ヘッドスライダ２２は待避位置に位置決めされる。こうしてロードタブ２４はランプ部材２５に受け止められる。磁気ディスク１４の回転は停止する。ロードタブ２４はランプ部材２５上に保持されることから、無風状態にも拘わらず磁気ディスク１４に対する浮上ヘッドスライダ２２の衝突や接触は回避されることができる。磁気ディスク１４の表面に広がる潤滑剤と浮上ヘッドスライダ２２との吸着は効果的に阻止されることができる。特に、ロードタブ２４は第２平坦面３３で保持されることから、ジンバルばねとヘッドサスペンション２１との係り合いは解除される。磁気ディスク１４の静止中にジンバルばねの変形は回避される。
【００３０】
ＨＤＤ１１が情報の書き込みや読み出しといった指令を受け取ると、まず、磁気ディスク１４の回転が始まる。磁気ディスク１４の回転が定常状態に達すると、ＶＣＭ２３は前述の順方向とは反対の逆方向に支軸１７回りにキャリッジ１６を回転させる。キャリッジアーム１９およびヘッドサスペンション２１は磁気ディスク１４の回転軸に向かって駆動される。ロードタブ２４は第２平坦面３３、第１平坦面３２および傾斜面３１を順番に摺動していく。キャリッジアーム１９の揺動に基づきロードタブ２４は傾斜面３１を下っていく。こうしてロードタブ２４が傾斜面３１を下っていく間に浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の表面に向き合う。浮上ヘッドスライダ２２には、磁気ディスク１４の表面に沿って生成される気流が作用する。
【００３１】
キャリッジアーム１９がさらに揺動すると、ロードタブ２４は傾斜面３１すなわちランプ部材２５から離脱する。離脱に基づき浮上ヘッドスライダ２２には負圧が生成される。浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の表面に引き寄せられる。このとき、図６に示されるように、気流は溝６１内に流入する。溝６１はＡＢＳ５３に囲まれることから、流入した気流は溝６１の底面で跳ね返る。気流は溝６１から磁気ディスク１４に向かって流出する。こうした気流の働きで浮上ヘッドスライダ２２では浮力は増大する。こうして浮上ヘッドスライダ２２および磁気ディスク１４の間で衝突はできる限り回避される。浮上ヘッドスライダ２２や磁気ディスク１４の破損は回避される。磁気ディスク１４が定常状態で回転する結果、溝６１の存在にも拘わらず浮力および負圧のバランスに基づき浮上ヘッドスライダ２２の浮上姿勢は確立される。ランプ部材２５に支えられなくても浮上ヘッドスライダ２２は磁気ディスク１４の表面から浮上し続けることができる。
【００３２】
以上のような浮上ヘッドスライダ２２の製造にあたって、まず、Ａｌ２Ｏ３−ＴｉＣ製のウエハが用意される。ウエハの端面にはヘッド素子保護膜４６が形成される。その後、ウエハの表面ではミリングが実施される。ミリングに先立ってウエハの表面には例えばフォトレジスト材料が形成される。フォトレジスト材料はベース面４３や溝６１の輪郭を象る空隙を区画する。フォトレジスト材料の外側でミリングが実施される。前述されるように、距離ｄ１、ｄ２は同一に規定される。その結果、空隙内ではベース面４３の形成と同時に溝６１が形成されることができる。こうして従来の製造方法でフォトレジスト材料の形状が変更されれば、溝６１は簡単に形成されることができる。
【００３３】
本発明者は、シミュレーションに基づき浮上ヘッドスライダ２２の効果を検証した。検証にあたって具体例および比較例が用意された。具体例には前述の浮上ヘッドスライダ２２が用いられた。比較例には従来の浮上ヘッドスライダが用いられた。従来の浮上ヘッドスライダでは溝の形成は省略された。その他の構成は具体例と同様に設定された。ロードタブがランプ部材から離脱するとき、浮上ヘッドスライダの浮上量が評価された。
【００３４】
その結果、図７に示されるように、比較例では、浮上ヘッドスライダが１．００×１０２から例えば定常状態の１．００×１０といった浮上量に到達するあたりで、浮上ヘッドスライダの上下移動すなわち振動が大きいことが確認された。その一方で、図８に示されるように、具体例では、浮上ヘッドスライダ２２が１．００×１０２から定常状態の１．００×１０といった浮上量に到達するあたりで、比較例に比べて振動が大幅に減衰されることが確認された。浮上ヘッドスライダ２２の浮上の安定性は向上することが確認された。
【００３５】
その他、図９に示されるように、浮上ヘッドスライダ２２ａでは、フロントレール４７には、前述の溝６１に代えて、第１溝６５および第２溝６６が形成されてもよい。第１溝６５は第１ＡＢＳ５３ａに途切れなく囲まれる。第２溝６６は第１溝６５内に配置される。第２溝６６は、第１溝６５内で区画される第２ＡＢＳ５３ｂに途切れなく囲まれる。第１溝６５は第２ＡＢＳ５３ｂを途切れなく囲む。前述と同様に、ＡＢＳ５３ａ、５３ｂ（５５４、５５）を含む仮想平面６２から第１溝６５および第２溝６６の底面までの距離と、仮想平面６２からベース面４３までの距離とは同一に規定されればよい。その他、前述と均等な構成や構造には同一の参照符号が付される。こうした浮上ヘッドスライダ２２ａでは、第１および第２溝６５、６６の働きで浮力は分散されつつ生成されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係る記録ディスク駆動装置の一具体例すなわちハードディスク駆動装置（ＨＤＤ）の内部構造を概略的に示す平面図である。
【図２】一具体例に係るランプ部材の拡大斜視図である。
【図３】本発明の一具体例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。
【図４】空気軸受け面から溝の底面の深さを示す部分拡大断面図である。
【図５】図１の５−５線に沿った断面図である。
【図６】図４に対応し、溝に気流が流入する様子を概略的に示す部分拡大断面図である。
【図７】比較例に係る浮上ヘッドスライダの浮上量の変動を示すグラフである。
【図８】具体例に係る浮上ヘッドスライダの浮上量の変動を示すグラフである。
【図９】本発明の他の具体例に係る浮上ヘッドスライダの拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
１１  記録ディスク駆動装置（ハードディスク駆動装置）、１４  記録ディスク（磁気ディスク）、１６  ヘッドアクチュエータ部材（キャリッジ）、２２  浮上ヘッドスライダ、２５  ランプ部材、４１  スライダ本体、４３  ベース面、４７  レール、５３  空気軸受け面、６１  溝、６２  仮想平面、６５  溝（第１溝）、６６  溝（第２溝）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007220188.tif 000007
【図６】
2007220188.tif 000008
【図７】
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【図８】
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【図９】
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