(57)【要約】【課題】均一な厚さの色要素を有するカラーフィルタ、当該カラーフィルタを用いた電気光学装置ならびに電子機器、および液滴吐出法を用いた当該カラーフィルタの製造方法を提供すること。【解決手段】カラーフィルタ基板２０は、ガラス基板２１および隔壁４５によって形作られる凹部に、透明樹脂層４１および色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを備える（図６（ｄ））。透明樹脂層４１は、当該凹部の中央部付近を頂点とする凸状の表面を有している。また、各色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面に平行である。したがって、各色要素４０は、各凹部内において均一な厚さを有する。カラーフィルタ基板２０の製造方法は、ガラス基板２１上に隔壁４５を形成する工程（図６（ｂ））と、上記凹部に透明樹脂層４１を形成する工程（図６（ｂ））と、透明樹脂層４１上に色要素４０を形成する工程（図６（ｃ）および（ｄ））とを有する。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、
基板と、
前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層と、
前記樹脂層上に配置され、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有する色要素と
を備えることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタであって、
前記樹脂層は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有することを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項３】
請求項１に記載のカラーフィルタであって、
前記樹脂層は、前記各壁に接する部分が最も厚いことを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項４】
複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、
基板と、
前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、当該凹部の底部に略平行な表面を有する色要素と
を備え、
前記凹部の底部である前記基板表面の少なくとも一部は、前記基板に平行な平面に対して傾斜していることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状を呈していることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項４に記載のカラーフィルタであって、
前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を底部とする凹状を呈していることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載のカラーフィルタであって、
各々の前記色要素領域および当該色要素領域に配置された前記色要素は、３種または４種以上の異なる色のいずれかに対応することを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項８】
請求項７に記載のカラーフィルタであって、
前記色は、赤、緑、青の３色であることを特徴とするカラーフィルタ。
【請求項９】
請求項１から８のいずれか一項に記載のカラーフィルタを備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１１】
複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、
前記樹脂層上に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１２】
複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板上の前記色要素領域に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、
前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板、前記樹脂層および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【請求項１３】
複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、
基板の前記色要素領域に対応する表面を凹凸形状を有するように加工する工程と、
前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、
前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程と
を有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタ、当該カラーフィルタを用いた電気光学装置ならびに電子機器、および液滴吐出法を用いた当該カラーフィルタの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶表示装置を始めとする各種電気光学装置に用いられるカラーフィルタ（カラーフィルタ基板とも呼ばれる）は、基板上に、色要素領域ごとに所定の色の色要素が配置された構成を有する。色要素は、入射光の特定の波長成分を吸収することにより透過光を着色させる樹脂である。色要素の形成には、従来から、スピンコート法およびフォトリソグラフィー法を組み合わせた方法や印刷法等が知られている。近年ではこれに加えて、隔壁で区画された凹部に液滴吐出装置によって色要素材料を含む機能液を吐出した後にこれを乾燥させて色要素を形成する、液滴吐出法が注目されている。フォトマスクが不要である点、色要素材料の使用量を抑えることができる点、オンデマンドに形成可能な点等の種々の利点を有するからである。液滴吐出法を用いたカラーフィルタおよびその製造方法としては、例えば特許文献１に記載のものが知られている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−２６６０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、液滴吐出法によって製造したカラーフィルタには、色要素の厚さが色要素領域内で不均一になりやすいという問題点があった。図１５（ａ）から（ｃ）はこの様子を示したカラーフィルタの断面図である。液滴吐出法においては、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部に色要素材料を含む機能液を吐出し、これを乾燥させて色要素４０を形成するが、この際の隔壁４５の高さ、機能液の体積、乾燥の速さ等のパラメータによっては、色要素４０の表面が凸状（図１５（ａ））、凹状（図１５（ｂ））、もしくは凹凸状（図１５（ｃ））を呈して形成される。こうした場合には、色要素の厚さのばらつきに起因して光学特性が低下してしまうという問題点があった。
【０００５】
以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、均一な厚さの色要素を有するカラーフィルタ、当該カラーフィルタを用いた電気光学装置ならびに電子機器、および液滴吐出法を用いた当該カラーフィルタの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明のカラーフィルタは、複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、基板と、前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層と、前記樹脂層上に配置され、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有する色要素とを備えることを特徴とする。
【０００７】
このような構成によれば、色要素の表面が表面エネルギーのバランスによって凸状や凹状、あるいは凹凸状を呈していたとしても、当該色要素の基板側に形成された樹脂層もこれと同様の表面形状を有している結果、色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。このため、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタが得られる。ここで「基板上」とは、基板の表面のみを指す概念ではなく、例えば基板と樹脂層との間に他の薄膜等の構成要素が形成されていてもよい。また、本稿において「基板に平行な平面」とは、「基板の面を巨視的に見たときの平面に平行な平面」の意であり、基板表面に細かな凹凸等が施されていたとしてもこれらは勘案しない。
【０００８】
上記カラーフィルタにおいて、前記樹脂層は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有することが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凸状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。上記条件は、隔壁の高さ、色要素の体積、色要素形成時の乾燥の速さ等のパラメータに依存する条件である。
【０００９】
上記カラーフィルタにおいて、前記樹脂層は、前記各壁に接する部分が最も厚いことが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凹状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、あらかじめ樹脂層によって凹部の底部が凹状となっているため、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。上記条件は、隔壁の高さ、色要素の体積、色要素形成時の乾燥の速さ等のパラメータに依存する条件である。
【００１０】
本発明のカラーフィルタは、複数の色要素領域を有するカラーフィルタであって、基板と、前記基板上に形成された、前記色要素領域を区画する隔壁と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に配置され、当該凹部の底部に略平行な表面を有する色要素とを備え、前記凹部の底部である前記基板表面の少なくとも一部は、前記基板に平行な平面に対して傾斜していることを特徴とする。
【００１１】
このような構成によれば、色要素の表面が表面エネルギーのバランスによって凸状や凹状、あるいは凹凸状を呈していたとしても、当該色要素が形成される基板表面もこれと同様の形状を有している結果、色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。このため、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタが得られる。
【００１２】
上記カラーフィルタにおいて、前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を頂点とする凸状を呈していることが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凸状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。
【００１３】
上記カラーフィルタにおいて、前記凹部の底部である前記基板表面は、前記色要素領域の中央部近傍を底部とする凹状を呈していることが好ましい。このような構成によれば、色要素の表面が凹状となりやすい条件において製造されたカラーフィルタであっても、あらかじめ凹部の底部、すなわち基板表面が凹状となっているため、当該色要素の厚さを各色要素領域内でほぼ均一にすることができる。
【００１４】
上記カラーフィルタにおいて、各々の前記色要素領域および当該色要素領域に配置された前記色要素は、３種または４種以上の異なる色のいずれかに対応することが好ましい。このような構成によれば、カラー表示を行う電気光学装置に適用可能なカラーフィルタが得られる。具体的には、前記色要素領域が電気光学装置の画素に対応するように、かつ色要素領域の色と電気光学装置の画素の色とが互いに対応するように色要素領域を形成する。
【００１５】
上記カラーフィルタにおいて、前記色は、赤、緑、青の３色であることが好ましい。このような構成によれば、赤、緑、青の３色に基づくカラー表示を行う電気光学装置に適用可能なカラーフィルタが得られる。
【００１６】
本発明の電気光学装置は、上記カラーフィルタを備えることを特徴とする。このような電気光学装置は、色要素領域内における透過率にばらつきのないカラーフィルタを用いて表示を行う結果、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。
【００１７】
本発明の電子機器は、上記電気光学装置を備えることを特徴とする。このような電子機器は、上記電気光学装置を表示部に備えることにより、当該表示部において高品位な表示を行うことができる。
【００１８】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、前記樹脂層上に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００１９】
このような製造方法によれば、まず隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。続く樹脂層を形成する工程においては、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように樹脂層が形成される。このため、次の色要素を形成する工程で形成された色要素は、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有することとなり、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。
【００２０】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板上の前記色要素領域に、表面の少なくとも一部が前記基板に平行な平面に対して傾斜した、透光性を有する樹脂層を形成する工程と、前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板、前記樹脂層および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００２１】
このような製造方法によれば、樹脂層を形成する工程において、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように樹脂層が形成される。続いて、隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。そして、次の色要素を形成する工程で上記凹部の底部に形成された色要素は、前記樹脂層の表面に略平行な表面を有することとなるので、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。
【００２２】
本発明のカラーフィルタの製造方法は、複数の色要素領域を有するカラーフィルタの製造方法であって、基板の前記色要素領域に対応する表面を凹凸形状を有するように加工する工程と、前記基板上に、前記色要素領域を区画する隔壁を形成する工程と、前記基板および前記隔壁が形作る凹部の底部に、液滴吐出法を用いて色要素材料を含む機能液を吐出し、前記機能液を乾燥させて色要素を形成する工程とを有することを特徴とする。
【００２３】
この製造方法のうち、基板の表面を加工する工程においては、基板表面が、後に形成される色要素の表面形状と同様な表面形状を有するように加工される。続いて、隔壁を形成する工程によって基板上に色要素領域を区画する隔壁が形成され、これにより凹部が形成される。そして、次の色要素を形成する工程で上記凹部の底部に形成された色要素は、前記基板表面に略平行な表面を有することとなるので、当該色要素の厚さは各色要素領域内でほぼ均一となる。よって、上記製造方法によれば、色要素領域内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタを製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。なお、以下に示す各図においては、各構成要素を図面上で認識され得る程度の大きさとするため、各構成要素の寸法や比率を実際のものとは適宜に異ならせてある。
【００２５】
（第１の実施形態）
＜Ａ．カラーフィルタ基板＞
本実施形態は、色要素４０の表面が凸状となる場合の実施形態である。図１は、本発明の「カラーフィルタ」としてのカラーフィルタ基板２０の構造を示す概略平面図である。図１に示すように、本実施形態のカラーフィルタ基板２０は、「基板」としてのガラス基板２１の表面に、赤、緑、青にそれぞれ対応する複数の色要素領域２Ｒ，２Ｇ，２Ｂ（以下ではこれらをまとめて「色要素領域２」とも呼ぶ）を区画する隔壁４５を有している。各色要素領域２には、赤、緑、青にそれぞれ対応する色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂが形成されている。各色要素４０は、同色の色要素４０同士が列をなすように配置されている。すなわち、カラーフィルタ基板２０は、ストライプ状に配列された色要素４０を備えている。
【００２６】
図１のカラーフィルタ基板２０を、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図６（ｄ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。また、ガラス基板２１と色要素４０との間には、「樹脂層」としての透明樹脂層４１が配置されている。
【００２７】
ここで色要素４０は、色要素領域２ごとに、異なる色要素材料を含む３種（色）の機能液を吐出して乾燥することにより形成されている。このような機能液としては、公知の材料を用いればよく、例えば、色要素材料として無機あるいは有機顔料を用い、これにより着色したアクリル樹脂やポリウレタン樹脂等からなる機能液を用いることができる。また、透明樹脂層４１には、アクリル樹脂を始めとする各種合成樹脂を用いることができる。
【００２８】
透明樹脂層４１は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。換言すれば、透明樹脂層４１の厚さは、色要素領域２の中央部近傍においてもっとも厚く、隔壁４５に近付くにつれて薄くなっている。
【００２９】
一方、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。
【００３０】
ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０は、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０によれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。
【００３１】
＜Ｂ．カラーフィルタ基板の製造方法＞
続いて、上記カラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。
【００３２】
＜Ｂ−１．液滴吐出装置の全体構成＞
まず、カラーフィルタ基板２０の製造に用いる液滴吐出装置３００の全体構成について図２を用いて説明する。図２に示す液滴吐出装置３００は、基本的には液状の材料１１１（透明樹脂層４１の材料を含む機能液４１Ａ：図６（ｂ）参照）を吐出するためのインクジェット装置である。より具体的には、液滴吐出装置３００は、液状の材料１１１を保持するタンク１０１と、チューブ１１０と、グランドステージＧＳと、吐出ヘッド部１０３と、ステージ１０６と、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、制御部１１２と、支持部１０４ａとを備えている。なお、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂの各色要素材料を含む機能液４０ＲＡ（図６（ｃ）参照），４０ＲＧ，４０ＲＢ（不図示）を吐出するための液滴吐出装置（不図示）は、吐出する材料が異なることを除けば液滴吐出装置３００の構造および機能と基本的に同じであるので、説明は省略する。
【００３３】
吐出ヘッド部１０３は、ヘッド１１４（図３参照）を保持している。このヘッド１１４は、制御部１１２からの信号に応じて、液状の材料１１１の液滴を吐出する。なお、吐出ヘッド部１０３におけるヘッド１１４は、チューブ１１０によってタンク１０１に連結されており、このため、タンク１０１からヘッド１１４に液状の材料１１１が供給される。
【００３４】
ステージ１０６はガラス基板２１を固定するための平面を提供している。さらにステージ１０６は、吸引力を用いてガラス基板２１の位置を固定する機能も有する。
【００３５】
第１位置制御装置１０４は、支持部１０４ａによって、グランドステージＧＳから所定の高さの位置に固定されている。この第１位置制御装置１０４は、制御部１１２からの信号に応じて、吐出ヘッド部１０３をＸ軸方向と、Ｘ軸方向に直交するＺ軸方向と、に沿って移動させる機能を有する。さらに、第１位置制御装置１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りで吐出ヘッド部１０３を回転させる機能も有する。ここで、本実施形態では、Ｚ軸方向は、鉛直方向（つまり重力加速度の方向）に平行な方向である。
【００３６】
第２位置制御装置１０８は、制御部１１２からの信号に応じて、ステージ１０６をグランドステージＧＳ上でＹ軸方向に移動させる。ここで、Ｙ軸方向は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方と直交する方向である。
【００３７】
上記のような機能を有する第１位置制御装置１０４の構成と第２位置制御装置１０８の構成とは、リニアモータまたはサーボモータを利用した公知のＸＹロボットを用いて実現できる。このため、ここでは、それらの詳細な構成の説明を省略する。
【００３８】
さて上述のように、第１位置制御装置１０４によって、吐出ヘッド部１０３はＸ軸方向に移動する。そして、第２位置制御装置１０８によって、ガラス基板２１はステージ１０６と共にＹ軸方向に移動する。これらの結果、ガラス基板２１に対するヘッド１１４の相対位置が変わる。より具体的には、これらの動作によって、吐出ヘッド部１０３、ヘッド１１４、またはノズル１１８（図３参照）は、ステージ１０６に固定されたガラス基板２１に対して、Ｚ軸方向に所定の距離を保ちながら、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動、すなわち相対的に走査する。「相対移動」または「相対走査」とは、液状の材料１１１を吐出する側と、そこからの吐出物が着弾する側（被吐出部）の少なくとも一方を他方に対して相対移動することを意味する。
【００３９】
制御部１１２は、液状の材料１１１の液滴を吐出すべき相対位置を表す吐出データを外部情報処理装置から受け取るように構成されている。制御部１１２は、受け取った吐出データを内部の記憶装置に格納するとともに、格納された吐出データに応じて、第１位置制御装置１０４と、第２位置制御装置１０８と、ヘッド１１４と、を制御する。なお、吐出データとは、ガラス基板２１上に、液状の材料１１１を所定パターンで付与するためのデータである。本実施形態では、吐出データはビットマップデータの形態を有している。
【００４０】
上記構成を有する液滴吐出装置３００は、吐出データに応じて、ヘッド１１４のノズル１１８をガラス基板２１に対して相対移動させるとともに、被吐出部に向けてノズル１１８から液状の材料１１１を吐出する。
【００４１】
＜Ｂ−２．ヘッド＞
図３（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出装置３００におけるヘッド１１４は、複数のノズル１１８を有するインクジェットヘッドである。具体的には、ヘッド１１４は、振動板１２６と、ノズル１１８の開口を規定するノズルプレート１２８と、を備えている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、の間には、液たまり１２９が位置しており、この液たまり１２９には、図示しない外部タンクから孔１３１を介して供給される液状の材料１１１が常に充填される。
【００４２】
また、振動板１２６とノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁部１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、一対の隔壁部１２２と、によって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル１１８に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル１１８の数とは同じである。キャビティ１２０には、一対の隔壁部１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状の材料１１１が供給される。なお、本実施形態では、ノズル１１８の直径は、約２７μｍである。
【００４３】
さて、振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、それぞれの振動子１２４が位置する。振動子１２４のそれぞれは、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂとを含む。制御部１１２が、この一対の電極１２４Ａ，１２４Ｂの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル１１８から液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出される。ここで、ノズル１１８から吐出される材料の体積は、０ｐｌ以上４２ｐｌ（ピコリットル）以下の間で可変である。なお、ノズル１１８からＺ軸方向に液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出されるように、ノズル１１８の形状が調整されている。
【００４４】
本明細書では、１つのノズル１１８と、ノズル１１８に対応するキャビティ１２０と、キャビティ１２０に対応する振動子１２４と、を含んだ部分を「吐出部１２７」と表記することもある。この表記によれば、１つのヘッド１１４は、ノズル１１８の数と同じ数の吐出部１２７を有する。吐出部１２７は、ピエゾ素子の代わりに電気熱変換素子を有してもよい。つまり、吐出部１２７は、電気熱変換素子による材料の熱膨張を利用して材料を吐出する構成を有していてもよい。
【００４５】
＜Ｂ−３．制御部＞
次に、制御部１１２の構成を説明する。図４に示すように、制御部１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶装置２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とを備えている。入力バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と、記憶装置２０２と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８とは、図示しないバスによって相互に通信可能に接続されている。
【００４６】
走査駆動部２０６は、第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、ヘッド１１４と相互に通信可能に接続されている。
【００４７】
入力バッファメモリ２００は、液滴吐出装置３００の外部に位置する外部情報処理装置（不図示）から、液状の材料１１１の液滴を吐出するための吐出データを受け取る。入力バッファメモリ２００は、吐出データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は吐出データを記憶装置２０２に格納する。図４では、記憶装置２０２はＲＡＭである。
【００４８】
処理部２０４は、記憶装置２０２内の吐出データに基づいて、被吐出部に対するノズル１１８の相対位置を示すデータを走査駆動部２０６に与える。走査駆動部２０６はこのデータと、吐出周期と、に応じたステージ駆動信号を第１位置制御装置１０４および第２位置制御装置１０８に与える。この結果、被吐出部に対する吐出ヘッド部１０３の相対位置が変わる。一方、処理部２０４は、記憶装置２０２に記憶された吐出データに基づいて、液状の材料１１１の吐出に必要な吐出信号をヘッド１１４に与える。この結果、ヘッド１１４における対応するノズル１１８から、液状の材料１１１の液滴Ｄが吐出される。
【００４９】
制御部１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、バスを含んだコンピュータである。したがって、制御部１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御部１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
【００５０】
＜Ｂ−４．液状の材料＞
上述の「液状の材料１１１」とは、ヘッド１１４のノズル１１８から液滴Ｄとして吐出されうる粘度を有する材料をいう。ここで、液状の材料１１１が水性であると油性であるとを問わない。ノズル１１８から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が混入していても全体として流動体であればよい。ここで、液状の材料１１１の粘度は１ｍＰａ・ｓ以上５０ｍＰａ・ｓ以下であるのが好ましい。粘度が１ｍＰａ・ｓ以上である場合には、液状の材料１１１の液滴Ｄを吐出する際にノズル１１８の周辺部が液状の材料１１１で汚染されにくい。一方、粘度が５０ｍＰａ・ｓ以下である場合は、ノズル１１８における目詰まり頻度が小さく、このため円滑な液滴Ｄの吐出を実現できる。なお、「液状の材料１１１」は、被吐出部に付与された後に固有の機能を果たすことから、「機能液」とも呼ぶ。
【００５１】
本実施形態で用いる機能液４１Ａおよび機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡは、上述の条件を満たす液状の材料１１１（機能液）である。機能液４１Ａは、透明樹脂層４１の材料となる透明樹脂を溶媒に溶解させた液体である。透明樹脂としては、アクリル樹脂を始めとする各種合成樹脂を用いることができる。機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡは、それぞれ赤、緑、青の色要素材料を溶媒に溶解させた液体である。色要素材料としては、顔料や染料等の着色剤を用いることができ、溶媒としては、アクリル樹脂等を用いることができる。
【００５２】
＜Ｂ−５．製造方法＞
続いて、図５および図６を参照しながら、上述の液滴吐出装置３００を用いたカラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。図５は、カラーフィルタ基板２０の製造方法を示す工程図であり、図６は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０の断面図である。
【００５３】
まず、工程Ｐ１１では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図６（ａ））。
【００５４】
次に、工程Ｐ１２では、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部の底部に、機能液４１Ａを吐出する（図６（ｂ））。具体的には、まず、隔壁４５が形成されたガラス基板２１が、液滴吐出装置３００のステージ１０６に運ばれる。そして、液滴吐出装置３００は、上記凹部の底部に、ヘッド１１４の吐出部１２７から機能液４１Ａを吐出する。吐出された機能液４１Ａは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。
【００５５】
続く工程Ｐ１３では、上記の状態のガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４１Ａ中の溶媒が蒸発し、機能液４１Ａが吐出された領域に透明樹脂層４１が形成される。このとき、透明樹脂層４１は、凸状の表面形状をもって形成される（図６（ｃ））。表面形状がこのように凸状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４１Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が低い場合、機能液４１Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。
【００５６】
次に、工程Ｐ１４では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、機能液４０ＲＡを吐出する（図６（ｃ））。具体的には、まず、透明樹脂層４１が形成されたガラス基板２１が、機能液４０ＲＡを吐出するための液滴吐出装置のステージ１０６に運ばれる。そして、当該液滴吐出装置は、上記透明樹脂層４１上に、ヘッド１１４の吐出部１２７から機能液４０ＲＡを吐出する。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。
【００５７】
同様にして、工程Ｐ１５では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ１６では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。
【００５８】
続く工程Ｐ１７では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡ（以下ではこれらをまとめて「機能液４０Ａ」とも呼ぶ）が吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図６（ｄ））。このとき、各色要素４０は、凸状の表面形状をもって形成される。上記透明樹脂層４１の場合と同様、隔壁４５が低い場合、機能液４０Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。
【００５９】
以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０が完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、透明樹脂層４１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凸状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０が得られる。
【００６０】
（第２の実施形態）
上記第１の実施形態では、液滴吐出法を用いて透明樹脂層４１を形成するものであるが、これに代えて種々の方法を用いることができる。そこで、以下ではフォトリソグラフィー法を用いて透明樹脂層４１を形成する第２の実施形態について説明する。当該第２の実施形態は、透明樹脂層４１の形成方法を除いた製造工程、および得られるカラーフィルタ基板２０の構成および機能は第１の実施形態と同様であるので、重複部分の説明は省略する。
【００６１】
以下では、図７および図８を参照しながら、本実施形態におけるカラーフィルタ基板２０の製造方法について説明する。図７は、カラーフィルタ基板２０の製造方法を示す工程図であり、図８は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０の断面図である。
【００６２】
工程Ｐ２１では、ガラス基板２１上に透明樹脂層４１を形成する。より詳しくは、まずガラス基板２１上に、スピンコート法等によって透明樹脂膜４１Ｌを形成する（図８（ａ））。続いて、レジスト塗布工程、露光工程、エッチング工程、レジスト剥離工程等を含む公知のフォトリソグラフィー法によって透明樹脂膜４１Ｌをエッチングし、色要素領域２に対応する領域に透明樹脂層４１を形成する（図８（ｂ））。このとき、透明樹脂層４１の外縁部については、オーバーエッチ、アンダーエッチ、多階調マスク等の技術を用いて傾斜面を形成する。こうして、凸状の表面を有する透明樹脂層４１が形成される。
【００６３】
次に、工程Ｐ２２では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図８（ｃ））。この工程Ｐ２２を経ることにより、ガラス基板２１上に、隔壁４５および透明樹脂層４１によって形作られる凹部が形成される。
【００６４】
次に、工程Ｐ２３では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出する（図８（ｄ））。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。
【００６５】
同様にして、工程Ｐ２４では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ２５では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。
【００６６】
続く工程Ｐ２６では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図８（ｅ））。
【００６７】
以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０が完成する。このような製造方法によっても、第１の実施形態と同様、色要素４０の厚さが各色要素領域２内で均一なカラーフィルタ基板２０が得られる。
【００６８】
（第３の実施形態）
上記各実施形態における透明樹脂層４１の機能は、ガラス基板２１に含ませることもできる。以下では、こうした特徴を有する第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ａについて説明する。
【００６９】
本実施形態のカラーフィルタ基板２０Ａの平面的な構造は、上述のカラーフィルタ基板２０と同様であり、その概略平面図は図１に示されている。カラーフィルタ基板２０Ａを、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図１０（ｅ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。
【００７０】
ここで、当該凹部の底部であるガラス基板２１の表面は、ガラス基板２１自体に平行な平面に対して傾斜している。より詳しくは、ガラス基板２１の表面は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の形状を有し、図１０（ｅ）の断面図においては波状をなしている。
【００７１】
また、色要素４０の表面は、ガラス基板２１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、ガラス基板２１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。
【００７２】
ここで、ガラス基板２１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ａは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ａによれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。
【００７３】
続いて、図９および図１０を参照しながら、カラーフィルタ基板２０Ａの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタ基板２０Ａの製造方法を示す工程図であり、図１０は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０Ａの断面図である。
【００７４】
まず、工程Ｐ３１では、ガラス基板２１上に、当該ガラス基板２１の表面を部分的にエッチングするためのレジスト４４を、公知の技術を用いて形成する（図１０（ａ））。レジスト４４は、各色要素領域２の中央部近傍に形成する。
【００７５】
続く工程Ｐ３２では、フッ素系のエッチング液等を用いてガラス基板２１の表面をエッチングする。このとき、上記レジスト４４が形成されていない領域において相対的にエッチングされる量が多くなり、結果的にガラス基板２１の表面は凹凸状に加工される。より詳細には、ガラス基板２１は、各色要素領域２の中央部近傍を頂点とする凸状の表面形状を有するようになる。この後の工程Ｐ３３では、レジスト４４を剥離する（図１０（ｂ））。
【００７６】
次に、工程Ｐ３４では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図１０（ｃ））。この工程Ｐ３４を経ることにより、ガラス基板２１上に、隔壁４５および上記凹凸を有するガラス基板２１の表面によって形作られる凹部が形成される。
【００７７】
次に、工程Ｐ３５では、上記凹部の底部、すなわちガラス基板２１の表面に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出する（図１０（ｄ））。吐出された機能液４０ＲＡは、その表面張力により、凹部全体に濡れ広がらずに凸状の形状をもって配置される。この後、乾燥若しくは低温（例えば６０℃）での焼成によるプレベーク（仮焼成）を行うことによって、吐出された機能液４０ＲＡは、仮固化若しくは仮硬化される。
【００７８】
同様にして、工程Ｐ３６では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ３７では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。
【００７９】
続く工程Ｐ３８では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図１０（ｅ））。このとき、各色要素４０は、凸状の表面形状をもって形成される。表面形状がこのように凸状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４０Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が低い場合、機能液４０Ａの体積が大きい場合、あるいは乾燥が速い場合において相対的に凸状となりやすい。
【００８０】
以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０Ａが完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、ガラス基板２１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凸状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０Ａが得られる。
【００８１】
（第４の実施形態）
上記各実施形態は、色要素４０が凸状の表面をもって形成される場合の実施形態であるが、本発明はこれ以外の表面形状をもって形成される場合にも適用可能である。以下では、色要素４０の表面形状が凹状となる場合についての第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ｂについて説明する。
【００８２】
本実施形態のカラーフィルタ基板２０Ｂの平面的な構造は、第１の実施形態のカラーフィルタ基板２０と同様であり、その概略平面図は図１に示されている。当該カラーフィルタ基板２０Ｂを、色要素４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂを含む平面で切断したときの断面図が図１１（ｄ）である。この図に示すように、各色要素４０は、ガラス基板２１と隔壁４５とが形作る凹部に配置されている。また、ガラス基板２１と色要素４０との間には、「樹脂層」としての透明樹脂層４１が配置されている。
【００８３】
透明樹脂層４１は、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を底部とする凹状の表面を有する。換言すれば、透明樹脂層４１の厚さは、色要素領域２の中央部近傍においてもっとも薄く、隔壁４５に近付くにつれて厚くなっている。
【００８４】
一方、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一であり、隔壁４５によって区画された色要素領域２の中央部近傍を底部とする凹状の表面を有する。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。
【００８５】
ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ｂは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ｂによれば、色要素領域２内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。
【００８６】
次に、図１１を用いて、カラーフィルタ基板２０Ｂの製造方法について説明する。図１１は、当該製造方法の各工程におけるカラーフィルタ基板２０Ｂの断面図である。なお、工程図は第１の実施形態と同一であり、図５に示されている。
【００８７】
まず、工程Ｐ１１では、ガラス基板２１上に樹脂有機薄膜を塗付し、これをフォトリソグラフィー法によってパターニングすることによって、隔壁４５を形成する（図１１（ａ））。
【００８８】
次に、工程Ｐ１２では、ガラス基板２１および隔壁４５が形作る凹部の底部に、液滴吐出装置３００によって機能液４１Ａを吐出する（図１１（ｂ））。ここで、機能液４１Ａは、色要素領域２の外縁部、すなわち隔壁４５に隣接する領域に吐出され、色要素領域２の中央部には吐出されない。この結果、機能液４１Ａは、上記凹部に凹状の表面形状をもって配置される。
【００８９】
続く工程Ｐ１３では、上記の状態のガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４１Ａ中の溶媒が蒸発し、機能液４１Ａが吐出された領域に透明樹脂層４１が形成される。このとき、透明樹脂層４１は、凹状の表面形状をもって形成される（図１１（ｃ））。表面形状がこのように凹状となるか否かは、隔壁４５の高さ、機能液４１Ａの体積、乾燥の速さ等のパラメータに依存する。より詳しくは、隔壁４５が高い場合、機能液４１Ａの体積が小さい場合、あるいは乾燥が遅い場合において相対的に凹状となりやすい。
【００９０】
次に、工程Ｐ１４では、上記凹部の透明樹脂層４１上に、液滴吐出装置によって機能液４０ＲＡを吐出し（図１１（ｃ））、その後プレベークを行う。
【００９１】
同様にして、工程Ｐ１５では機能液４０ＧＡが、また工程Ｐ１６では機能液４０ＢＡが、それぞれ異なる凹部に吐出される。それぞれの吐出工程後には、機能液４０ＲＡの場合と同様、プレベークが行われる。
【００９２】
続く工程Ｐ１７では、機能液４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡが吐出されたガラス基板２１を高温環境下に放置して焼成を行う。当該焼成工程を経た後は、機能液４０Ａ中の溶媒が蒸発し、当該機能液４０Ａが吐出された領域に色要素４０がそれぞれ形成される（図１１（ｄ））。このとき、各色要素４０は、凹状の表面形状をもって形成される。上記透明樹脂層４１の場合と同様、隔壁４５が高い場合、機能液４１Ａの体積が小さい場合、あるいは乾燥が遅い場合において相対的に凹状となりやすい。
【００９３】
以上の工程を経て、カラーフィルタ基板２０Ｂが完成する。このような製造方法によれば、色要素４０は、透明樹脂層４１の表面に略平行な表面を有するので、当該色要素４０の厚さは各色要素領域２内で均一となる。よって、色要素４０が凹状の表面形状をもって形成される条件下においても、色要素領域２内における透過率にばらつきのない、良好な光学特性のカラーフィルタ基板２０Ｂが得られる。
【００９４】
（第５の実施形態）
さらに、本発明は色要素４０が波状等の複雑な表面形状を有する場合にも適用可能である。以下では、こうした場合についての第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板２０Ｃについて説明する。カラーフィルタ基板２０Ｃの構造、機能、および製造方法は、透明樹脂層４１および色要素４０の表面形状を除けば第１の実施形態のカラーフィルタ基板２０と同様であるので、相違点のみ説明する。
【００９５】
本実施形態は、液滴吐出法によって形成される色要素４０の表面が、色要素領域２の中央部近傍においては凹状となり、その周囲においては凸状となる場合を想定したものである。このような状況は、例えば、吐出後の機能液の中央部が先に乾燥し、その後に外縁部が乾燥するような条件下において、乾燥過程で溶質が外縁部に移動する結果、乾燥後の膜の中央部が薄く、その周囲が厚くなるような場合に起こりうる。上記条件としては、機能液の被吐出部が高温であること、溶媒の沸点が高いこと、雰囲気の対流が少ないことなどがあげられる。
【００９６】
こうした条件下で、上述の第１の実施形態の製造方法で製造されたカラーフィルタ基板２０Ｃは、図１２に示すような断面を有する。つまり、透明樹脂層４１の表面および色要素４０の表面は、当該断面図において波状を呈している。ここで、色要素４０の表面は、透明樹脂層４１の表面と略平行となっている。つまり、色要素４０の表面形状は、透明樹脂層４１の表面形状と略同一である。このため、色要素４０の厚さは、色要素領域２内のどの地点においてもほぼ均一となっている。
【００９７】
ここで、透明樹脂層４１は光を吸収せず、透過光に対して光学的に作用しないから、カラーフィルタ基板２０Ｃは、基板上に厚さの均一な色要素が直接形成されたカラーフィルタ基板と同等の光学特性を有することとなる。すなわち、上記構成のカラーフィルタ基板２０Ｃによれば、色要素領域内における透過率にばらつきがないため、光抜けや色濃度のばらつきが生じず、良好な光学特性が実現される。
【００９８】
（電気光学装置への適用例）
本発明を適用したカラーフィルタ基板２０（カラーフィルタ基板２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃを含む）は、例えば、図１３に示すような「電気光学装置」としての液晶表示装置１に用いることができる。液晶表示装置１は、ＴＦＴ素子をスイッチング素子とするアクティブマトリクス方式の表示装置であり、シール剤３５を介して互いに対向して固着された素子基板１０、カラーフィルタ基板２０を有している。シール剤３５は、ガラス基板２１の外縁部近傍に形成されている。素子基板１０、カラーフィルタ基板２０、シール剤３５が作る空間には液晶が封入されている。また、素子基板１０上には、液晶を駆動するためのドライバ３９が実装されている。
【００９９】
このような構成の液晶表示装置１は、液晶の作用により透過光を変調し、表示領域３２において表示を行う装置である。表示領域３２は、マトリクス状に配列された画素からなり、ドライバ３９はこれらの各々の画素に対して液晶を所望の状態に駆動させるための駆動信号を出力する。ここで、カラーフィルタ基板２０の色要素領域２の形状は、液晶表示装置１の画素の形状と等しくなっている。このため、表示に用いられる透過光は、カラーフィルタ基板２０の色要素４０を透過し、その際に着色される。
【０１００】
このように、液晶表示装置１は、色要素４０の厚さが均一なカラーフィルタ基板２０を備えているので、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。
【０１０１】
なお、カラーフィルタ基板２０は、上記液晶表示装置１以外にも種々の液晶表示装置に適用することが可能であり、例えば、ＴＦＤ（Thin Film Diode）をスイッチング素子とするもの、パッシブマトリクス駆動方式のもの、液晶モードがＴＮ（Twisted Nematic）モードのもの、またはＳＴＮ（Super Twisted Nematic）モードのもの等のいずれにも適用することができる。さらに、液晶表示装置以外にも、有機ＥＬ（Electro Luminescence）パネル、およびＤＭＤ（Digital Micromirror Device）等のカラーフィルタ基板を有する種々の電気光学装置に適用することが可能である。
【０１０２】
（電子機器への搭載例）
カラーフィルタ基板２０を備えた上記液晶表示装置１は、例えば、図１４に示すような「電子機器」としての携帯電話機５００に搭載して用いることができる。携帯電話機５００は、表示部５１０および操作ボタン５２０を有している。表示部５１０は、内部に組み込まれた液晶表示装置１によって、操作ボタン５２０で入力した内容や着信情報を始めとする様々な情報について、画素内における光抜けや色濃度のばらつき等のない、高品位な表示を行うことができる。
【０１０３】
なお、本発明を適用した液晶表示装置１は、上記携帯電話機５００の他、モバイルコンピュータ、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、車載機器、オーディオ機器、プロジェクタなどの各種電子機器に用いることができる。
【０１０４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、上記実施形態に対しては、本発明の趣旨から逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。変形例としては、例えば以下のようなものが考えられる。
【０１０５】
（変形例１）
上記第２の実施形態に示したカラーフィルタ基板２０の製造方法において、工程Ｐ２１と工程Ｐ２２は入れ替えても良い。つまり、ガラス基板２１上に隔壁４５を形成した後に透明樹脂膜４１Ｌを形成し、フォトリソグラフィー法を用いてパターニングすることによって透明樹脂層４１を形成してもよい。このような方法によってもカラーフィルタ基板２０を製造することができる。
【０１０６】
（変形例２）
上記第４、第５の各実施形態において、透明樹脂層４１を形成する工程（図５の工程Ｐ１２および工程Ｐ１３に相当）は、液滴吐出装置３００を用いる方法の他に、第２の実施形態のようにスピンコート法およびフォトリソグラフィー法を用いて透明樹脂層４１を形成してもよい。また、透明樹脂層４１を形成する代わりに、第３の実施形態のようにガラス基板２１の表面をエッチングしてもよい。
【０１０７】
（変形例３）
上記各実施形態のカラーフィルタ基板２０は、必要に応じて最表面に透明樹脂等からなるオーバーコートが形成されていてもよい。こうした構成によれば、色要素４０を保護することができるとともに、色要素４０および隔壁４５の高さの不均衡による表面の凹凸を平坦化することができる。
【０１０８】
（変形例４）
上記各実施形態において、色要素４０の形成は一度の機能液４０Ａの吐出および焼成によって行われるが、これに代えて、機能液４０Ａの吐出および焼成を複数回繰り返すことによって形成してもよい。このとき、透明樹脂層４１（または凹凸を有するガラス基板２１の表面）は、その表面形状が、色要素４０が最終的に有する表面形状と略平行となるように形成する。
【０１０９】
（変形例５）
上記各実施形態のカラーフィルタ基板２０は、赤、緑、青の３色の色要素４０および色要素領域２を有するが、これに代えて、４色以上の色要素および色要素領域を有する構成であってもよい。例えば、赤、緑、青、シアンの４色による構成とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明のカラーフィルタの実施形態に係るカラーフィルタ基板の平面図。
【図２】液滴吐出装置を示す模式斜視図。
【図３】液滴吐出装置におけるヘッドの一部を示し、（ａ）は模式斜視図、（ｂ）は断面図。
【図４】液滴吐出装置における制御部の機能ブロック図。
【図５】第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。
【図６】（ａ）から（ｄ）は、第１の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。
【図７】第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。
【図８】（ａ）から（ｅ）は、第２の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。
【図９】第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造方法の工程図。
【図１０】（ａ）から（ｅ）は、第３の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。
【図１１】（ａ）から（ｄ）は、第４の実施形態に係るカラーフィルタ基板の製造工程における断面図。
【図１２】第５の実施形態に係るカラーフィルタ基板の断面図。
【図１３】本発明の電気光学装置の実施形態に係る液晶表示装置の模式斜視図。
【図１４】本発明の電子機器の実施形態に係る携帯電話機の模式斜視図。
【図１５】液滴吐出法を用いて製造された従来のカラーフィルタ基板の断面図。
【符号の説明】
【０１１１】
１…液晶表示装置、２，２Ｒ，２Ｇ，２Ｂ…色要素領域、２０，２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ…「カラーフィルタ」としてのカラーフィルタ基板、２１…ガラス基板、４０，４０Ｒ，４０Ｇ，４０Ｂ…色要素、４０Ａ，４０ＲＡ，４０ＧＡ，４０ＢＡ…色要素材料を含む機能液、４１…透明樹脂層、４１Ａ…透明樹脂層の材料を含む機能液、４１Ｌ…透明樹脂膜、４５…隔壁、１１４…ヘッド、１２７…吐出部、３００…液滴吐出装置、５００…携帯電話機。
【図１】
2007163927.tif 000003
【図２】
2007163927.tif 000004
【図３】
2007163927.tif 000005
【図４】
2007163927.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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