(57)【要約】【課題】内部の所望領域に蛍光体層が設けられた複数の放電管を備える表示装置において、放電管内での蛍光体層の変位を防止し、全体として均一な輝度を得ることができる表示装置を提供すること。【解決手段】内部に蛍光体層１３を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管１０と、放電管１０に電圧を印加して放電管１０の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極３０，３１と、を備える表示装置Ａ１であって、  放電管１０は、その内面上に膜形成され、当該放電管１０の長手方向に沿って延びる帯状の蛍光体層１３を有する。【選択図】図３
2007242261.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、
上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備える表示装置であって、
上記放電管は、その内面上に膜形成され、当該放電管の長手方向に沿って延びる蛍光体層を有することを特徴とする、表示装置。
【請求項２】
上記蛍光体層は、上記放電管の長手方向に直交する方向において上記放電管の内面に沿った一定の幅とされている、請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、
上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備え、上記放電管の内面上に蛍光体層を形成する工程を含む、表示装置の製造方法であって、
上記蛍光体層の形成は、上記放電管の長手方向に沿って延びるマスクを挿入し、ＣＶＤ法により行なうことを特徴とする、表示装置の製造方法。
【請求項４】
上記マスクは、上記放電管の内面において、蛍光体層が形成される部分以外の領域を覆うように上記放電管の内面に沿う形状とされており、当該放電管の内面に沿う部分が一定の幅である、請求項３に記載の表示装置の製造方法。
【請求項５】
上記蛍光体層の形成は、上記マスクを上記放電管の両端から突出する状態にて上記放電管の内面に押し当てながら、上記放電管の一端から他端に向けてソースガスを通流させることにより行なう、請求項３または４に記載の表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の放電管を用いて構成された表示装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の表示装置としては、下記の特許文献１に開示されたものがある。この表示装置は、前面側の透明な基板と背面側の基板との間に複数の放電管を並列に配置し、これらの基板と放電管とを接着剤などで貼り合わせたラミネート構造からなる。１つの放電管は、たとえば管径が２ｍｍ以下で長さが３００ｍｍ以上あり、その内部の所望領域には、蛍光体層が設けられている。前面側の基板の内面には、並列した複数の放電管と交差状に接触する表示電極が形成されており、背面側の基板の内面には、各放電管に沿って接触するアドレス電極が形成されている。各放電管が表示電極と交差する部分は、発光単位部分となっており、これらの発光単位部分を瞬時かつ選択的に放電発光させることで面的な表示が行われる。
【０００３】
ところで、上記従来の表示装置においては、放電管の管径が比較的に小さいので、放電管の内面に蛍光体を直接塗布するなどの手段によって所望の領域に蛍光体層を形成するのは、困難であった。このため、特許文献１においては、蛍光体層を支持するためのプレートが利用されていた。具体的には、蛍光体層は、例えばガラス製の蛍光体支持プレート上に形成されており、当該プレートを各放電管に挿入してその端部と放電管とをレーザ照射にて融着固定するなどにより、蛍光体支持プレートおよび蛍光体支持プレート上の蛍光体層は、放電管内にて所望領域に配置される。
【０００４】
しかしながら、上記従来の表示装置では、蛍光体支持プレートを放電管内に挿入する際に破損しやすいといった不都合があった。また、蛍光体支持プレートは、放電管に対して一部で固定されているだけであるので、ねじれや歪みが生じて部分的に傾く場合がある。この場合、蛍光体支持プレート上に形成された蛍光体層は、当該プレートとともに傾いて変位することになる。その結果、放電空間の減少による輝度の低下や画面を斜めから見たときの表示特性の劣化が生じ、表示装置全体として均一な輝度が得られないという不都合があった。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−８６１４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような事情のもとに考えだされたものであって、内部の所望領域に蛍光体層が設けられた複数の放電管を備える表示装置において、放電管内での蛍光体層の変位を防止し、全体として均一な輝度を得ることができる表示装置を提供することを課題としている。また、本発明は、そのような表示装置を効率よく、かつ適切に製造することが可能な表示装置の製造方法を提供することを他の課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。
【０００８】
本発明の第１の側面によって提供される表示装置は、内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備える表示装置であって、上記放電管は、その内面上に膜形成され、当該放電管の長手方向に沿って延びる蛍光体層を有することを特徴としている。
【０００９】
このような構成の表示装置においては、蛍光体層が放電管の内面上に膜形成されている。このため、蛍光体層が放電管内にて変位することは回避される。したがって、蛍光体層の変位を原因とする、放電空間の減少による輝度の低下や画面を斜めから見たときの表示特性の劣化などの不具合を適切に防止することができる。その結果、表示装置の全体において、放電発光による輝度の均一化を図ることができる。
【００１０】
また、上記構成の表示装置においては、放電管内に蛍光体支持プレートを配置する従来技術と比べて、蛍光体支持プレートが不要であるこのため、蛍光体支持プレートの占有空間に相当する部分を放電空間として確保することができる。このような構成によれば、放電効率を向上させることができ、輝度の低下を防止するうえで好適である。
【００１１】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記蛍光体層は、上記放電管の長手方向に直交する方向において上記放電管の内面に沿った一定の幅とされている。
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記蛍光体層としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれか一色に対応するものが上記各放電管ごとに形成されており、上記蛍光体層の幅は、各色ごとに異なる。
【００１３】
このような構成によれば、ＲＧＢ３色の蛍光体層を備えたカラー表示装置において、各色ごとの蛍光体層について、紫外線の照射による発光効率が相違する場合でも、当該発光効率の相違に起因する発光単位部分の輝度のバラつきを簡便に抑制することができる。すなわち、例えば、発光効率が相対的に低い色に対応する蛍光体層の幅を相対的に大きくする一方、発光効率が相対的に高い色に対応する蛍光体層の幅を相対的に小さくすることにより、色ごとに発光効率が異なる蛍光体層について、輝度の均一化を図ることができる。
【００１４】
本発明の第２の側面によって提供される表示装置の製造方法は、内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備え、上記放電管の内面上に蛍光体層を形成する工程を含む、表示装置の製造方法であって、上記蛍光体層の形成は、上記放電管の長手方向に沿って延びるマスクを挿入し、ＣＶＤ法により行なうことを特徴としている。
【００１５】
このような製造方法によれば、本発明の第１の側面によって提供される表示装置を効率良く、かつ適切に製造することができる。すなわち、マスクを利用するとともにＣＶＤ法を実行することにより蛍光体層を形成する本製造方法では、ガラス管の内面の所望領域に蛍光体層を適正に膜形成することができる。
【００１６】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記マスクは、上記放電管の内面において、蛍光体層が形成される部分以外の領域を覆うように上記放電管の内面に沿う形状とされており、当該放電管の内面に沿う部分が一定の幅とされている。
【００１７】
このようにマスクを一定の幅にしておくと、放電管内に形成される蛍光体層においては、その幅を一定に仕上げることができる。
【００１８】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記蛍光体層としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれか一色が上記各放電管ごとに形成されるものであり、上記マスクは、上記各色に対応して上記放電管の内面に沿う部分の幅が異なるように構成されている。
【００１９】
このような製造方法によれば、マスクの幅を異ならせるといった簡便な手段により、形成領域を簡単に変化させることができる。
【００２０】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記蛍光体層の形成は、上記マスクを上記放電管の両端から突出する状態にて上記放電管の内面に押し当てながら、上記放電管の一端から他端に向けてソースガスを通流させることにより行なう。ここで、好ましくは、上記放電管内に通流させるソースガスは、大気圧状態とされている。
【００２１】
このような製造方法によれば、ＣＶＤ法による蛍光体層の形成は、大気圧下にて行なわれるので、減圧下で行なわれるＣＶＤ処理に比べて、減圧に係る装置が不要となる。本製造方法は、蛍光体層の形成に係る工程および設備の簡素化を図るうえで好適である。
【００２２】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記放電管の一端から供給される放電ガスを上記放電管内に封入する工程を更に含む。
【００２３】
このような製造方法によれば、蛍光体層を形成する工程と、放電ガスを封入する工程とを一連の工程として実行することができる。したがって、本製造方法は、本発明の第１の側面に係る表示装置を効率よく製造するうえで好適である。
【００２４】
本発明の好ましい実施の形態においては、上記マスクは、ガラス製である。
【００２５】
本発明のその他の特徴および利点は、添付図面を参照して以下に行う詳細な説明によって、より明らかとなろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
本発明の好ましい実施の形態について図面を参照しつつ具体的に説明する。図１〜図３は、本発明に係る表示装置の一例を表す。表示装置Ａ１は、前面側の基板２０（図２では便宜上図示略）と、背面側の基板２１と、これらの基板２０，２１の間に位置する複数の放電管１０と、複数の表示電極３０と、複数のアドレス電極３１とを備え、カラーディスプレイパネルとして構成されたものである。
【００２７】
図１〜図３に表れているように、放電管１０は、細長いガラス管１１からなり、その内部には、電子放出膜１２および蛍光体層１３が設けられている。ガラス管１１は、その断面（ガラス管１１の長手方向に直交する断面）が一様な略矩形状とされている。ガラス管１１の管径は、長辺が１ｍｍ程度、短辺が０．５ｍｍ程度であり、ガラス管１１の長さは１２００ｍｍ程度である。電子放出膜１２は、放電時における電子の衝突により二次電子を放出させるためのものであり、ガラス管１１の内面の略全域に一様に形成されている。電子放出膜１２の一例としては、ＭｇＯ膜が挙げられる。蛍光体層１３は、電子放出膜１２の表面において、ガラス管１１の長手方向に沿って延びる帯状に膜形成されている。この蛍光体層１３としては、カラー表示の３原色となるＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）に対応する３種類の蛍光体層１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂがあり、各ガラス管１１には、これら蛍光体層１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂのうち、いずれか一つが形成されている。蛍光体層１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂは、例えば化学気相成長法（ＣＶＤ法）により形成される。ガラス管１１の内部の空間（放電空間１４）には、放電ガス（例えば、ＮｅとＸｅとの混合ガス）が充填されており、ガラス管１１の両端部は封止されている。
【００２８】
図３に表れているように、前面側および背面側の基板２０，２１は、透明な樹脂で板状に形成されたものであり、たとえば縦横のサイズが１．２ｍ×１．６ｍ程度である。なお、背面側の基板２１は、透明性を有していなくてもよい。前面側の基板２０の内面には、各放電管１０と交差状に接して横方向に延びるように複数の表示電極３０が形成されている。図２に表れているように、表示電極３０には、発光セル（発光単位部分）を選択するためのスキャン電極３０１と発光を維持するための維持電極３０２とがあり、これらが互いに対をなしている。対をなす表示電極３０の電極間には所定の間隔が設けられており、この電極間の領域は、放電が発生しない非放電領域（非放電スリット：図２においてクロスハッチングで表された領域）となる。背面側の基板２１の内面には、表示電極３０と交差しつつ各放電管１０に沿って延びるように複数のアドレス電極３１が形成されている。なお、アドレス電極については、放電管の外面上に形成してもよい。
【００２９】
上記構成の放電管１０は、ＲＧＢの順に並べられており、基板２０，２１の間に挟まれた状態で、接着剤などを介して基板２０，２１と接合されている。放電管１０の内部に形成された蛍光体層１３は、より詳細には、図３によく表れているように、背面側の基板２１寄りの所望領域に形成されている。各蛍光体層１３において、ガラス管１１の長手方向に直交する面内でのガラス管１１の内面に沿う幅Ｗは、一定とされている。また、蛍光体層１３の色ごとの発光効率の相違を考慮して、蛍光体層１３の幅Ｗを色ごとに異ならせておいてもよい。本実施形態では、蛍光体層１３Ｂの幅ＷＢが最大とされており、蛍光体層１３Ｒの幅ＷＲが最小とされている。各放電管１０が表示電極３０の各対と交差する部分は、発光単位部分となり、ＲＧＢ３色の発光単位部分を１組として１画素が構成される。
【００３０】
次に、上記した表示装置Ａ１の製造方法の一例を図４〜図７を参照して説明する。
【００３１】
まず、放電管１０を構成するガラス管１１（長辺１ｍｍ、短辺０．５ｍｍ、肉厚０．１ｍｍ、全長１２０ｃｍ）を準備し、内面に電子放出膜１２としてのＭｇＯ膜を形成する。ＭｇＯ膜の形成は、例えばＭｇを含有する原料液体をガラス管１１の内面に塗布し、酸素雰囲気中で焼成することにより行なう。
【００３２】
次に、蛍光体層１３を形成する。蛍光体層１３の形成は、蛍光体成膜装置を用いて行なう。図４は、蛍光体成膜装置４０の概略構成を表す。蛍光体成膜装置４０は、エネルギ印加装置４１と、コネクタ４２と、混合器４３と、ソース昇華装置４４と、ヘリウムガスボンベ４５と、酸素ガスボンベ４６と、減圧ポンプ４７と、開閉弁４８，４９と、これらを結合する配管とを備え、大気圧下にてＣＶＤ処理を行なうことにより、ガラス管１１の内面に蛍光体層１３を形成するように構成されたものである。
【００３３】
蛍光体層１３の形成に先立ち、図５に示すように、まず、あらかじめ準備したガラス製のマスク５０をガラス管１１内に挿入する。マスク５０は、ガラス管１１の内面の上部ないし側部を覆うためのものであり、ガラス管１１の全長よりも長い全長寸法を有している。マスク５０は、ガラス管１１の内面に沿うように折れ曲がる形態を有する板状材であり、ガラス管１１の内面に沿う部分の幅Ｌが一定とされている。マスク５０は、ガラス管１１の内面上部を覆う主板部５１と、主板部の幅方向両端から立ち上がりガラス管１１の内面側部を覆う側板部５２とからなる。このような形状を有するマスク５０は、当該マスク５０と相似形のガラス母材を作製し、このガラス母材を加熱して軟化させながら引き延ばすこと（リードロー法）により作製される。また、マスク５０は、形成される蛍光体層１３の色によって幅Ｌが異なるように構成されている。例えば、図６に示すように、蛍光体層１３Ｒを形成するのに用いられるマスク５０Ｒは、その幅ＬＲが最も大きくされており、蛍光体層１３Ｂを形成するのに用いられるマスク５０Ｂは、その幅ＬＢが最も小さくされている。マスクの幅Ｌを異ならせるのは、板状部５２の立ち上がり長さを変えることにより行なう。
【００３４】
次いで、マスク５０が挿入された複数のガラス管１１をエネルギ印加装置４１に装着する（図４参照）。ここで、ガラス管１１は、図４における紙面の垂直方向に並べられており、同図では便宜上、一つのガラス管１１だけが表されている。すなわち、本実施形態では、蛍光体層１３の形成は、複数のガラス管１１に対して一括して行なわれる。エネルギ印加装置４１は、ヒータおよびプラズマ発生源（ともに図示せず）を備え、常圧プラズマＣＶＤ法を行なうように構成されたものである。次いで、ガラス管１１の両端部にコネクタ４２を接続する。図７に表れているように、コネクタ４２は、マスク５０を所定位置に保持しつつ当該コネクタ４２に繋がる配管とガラス管１１の端部との間でガスを通流させるためのものであり、ガラス管１１に対し、例えばシリコンゴム製のシール材４２１を介して密封接続される。コネクタ４２には、マスク保持機構４２２が設けられている。マスク保持機構４２２は、マスク５０の端部を把持して引っ張りながら、当該マスク５０をガラス管の内面（図７においては上側）に押し当てるものである。また、一方のコネクタ４２（図４においては右側）には、配管を介して混合器４３が接続され、当該混合器４３には、ソースガス供給用のソース昇華装置４４と、ヘリウムガスボンベ４５と、酸素ガスボンベ４６とが、各々、配管を介して接続されている。ソース昇華装置４４から供給されるソースガスとしては、例えばアセチルアセトナート−イットリウムなどの有機化により低温で昇華可能なイットリウム系化合物が用いられる。また、ソースガスには、蛍光体層１３の色要素としての添加剤が含まれている。添加剤としては、形成される蛍光体層１３の色ごとに異なるものが用いられ、例えば、赤色用としてはユーロピウム（Ｅｕ）、緑色用としてはテルビウム（Ｔｂ）、青色用としてはツリウム（Ｔｍ）が挙げられる。また、これら添加剤は、有機化により低温で昇華可能とされている。
【００３５】
蛍光体層１３を形成する際には、開閉弁４９を閉じておき、ソース昇華装置４４からは上記したソースガスが、ヘリウムガスボンベ４５からはプラズマ発生ガス・キャリアガスとしてのヘリウムガスが、酸素ガスボンベ４６からは酸化剤としての酸素ガスが、各々、混合器４３に供給される。混合器４３では、ソースガス、ヘリウムガス、および酸素ガスが所定比率で混合し（以下、当該混合したガスを混合ガスという）、混合ガスは、コネクタ４２を通じてガラス管１１内に導入される。混合ガスがガラス管１１内に充填されたところで開閉弁４８を閉じ、ガラス管１１内のガスが密封された状態にて、エネルギ印加装置４１によりガラス管１１の内部に約２秒間プラズマを発生させる。反応後、開閉弁４９を開き、減圧ポンプ４７を作動させることにより、ガラス管１１内の残留ガスを排出する。ガラス管１１の内部が１０ＫＰａ程度に減圧されたところで開閉弁４９を閉じて排気を終了し、開閉弁４８を開いて混合ガスをガラス管１１内に導入する。この際、混合ガス導入時のガス圧を１００ＫＰａ程度にすることで、プラズマ発生を容易にすることができる。ガラス管１１は、管径が１ｍｍ程度と細く、その内部容積が比較的に小さいので、１回の混合ガス導入では、蛍光体層１３として必要な厚みを確保することができない。このため、蛍光体層１３の形成は、ガラス管１１内への混合ガス導入、エネルギ印加、残留ガスの排出という手順を１サイクルとして、このサイクルを繰り返すことにより行なう。１サイクルにより形成される蛍光体層の厚さは、例えば１００ｎｍ程度である。蛍光体層１３の厚さの目標値が１０μｍ程度である場合には、上記サイクルを１００回程度繰り返す。これにより、各ガラス管１１の内面には、所定の厚みを有し、かつ一定幅の蛍光体層１３が膜形成される。
【００３６】
次いで、マスク保持機構４２２によるガラス管１１へのマスク５０の押し当てを解放し、コネクタ４２を取り外す。次いで、ガラス管１１をエネルギ印加装置４１から取り出し、その後、ガラス管１１に放電ガスを封入する。
【００３７】
次いで、複数のガラス管１１をＲＧＢの順に配列し、当該ガラス管１１と、前面側の基板２０および背面側の基板２１とを接合する。前面側の基板２０の所定領域には、あらかじめ表示電極３０（スキャン電極３０１および維持電極３０２）が形成されており、背面側の基板２１の所定領域には、あらかじめアドレス電極３１が形成されている。電極３０，３１の形成は、例えば蒸着法やスパッタリング法により電極材料を成膜し、その後エッチングにより不要部分を除去することにより行なう。ガラス管１１と、基板２０，２１との接合は、例えば接着剤を用いて行う。ここで、非放電スリットを黒く塗れば、黒帯として機能し、表示装置のコントラストの向上を図ることができる。上記した一連の作業工程により、図１〜図３に示す表示装置Ａ１を効率よく製造することができる。
【００３８】
次に、表示装置Ａ１の作用について説明する。
【００３９】
表示装置Ａ１により画像を表示する際には、発光対象となる発光単位部分に対応するスキャン電極３０１とアドレス電極３１とに電圧を印加し、当該発光単位部分に電荷を蓄積させる。次に、スキャン電極３０１と維持電極３０２とに電圧を印加することにより、表示電極対３０１，３０２に沿う発光単位部分にて放電し、紫外線が発生する。また、放電により発生した電子が電子放出膜１２に衝突して二次電子を発生させ、より多くの紫外線を発生させる。そして、この紫外線が蛍光体層１３に照射され、蛍光体層１３が励起されることでＲＧＢの可視光を発する。このとき、発光単位部分ごとに電圧を印加するパルスの数を制御することで、ＲＧＢ３色の階調表現が可能となる。このような放電発光は、例えば線順次走査によって極めて短い時間間隔で繰り返し行われ、これにより基板２０の前面に画像が形成される。
【００４０】
本実施形態の表示装置Ａ１においては、蛍光体層１３がガラス管１１の内面上の所望領域に膜形成されているため、蛍光体層１３がガラス管１１内にて変位することは回避される。したがって、蛍光体層の変位を原因とする、放電空間の減少による輝度の低下や画面を斜めから見たときの表示特性の劣化などの不具合は、適切に防止される。その結果、表示装置Ａ１の全体において、放電発光による輝度は均一なものとなる。
【００４１】
また、表示装置Ａ１においては、放電管内に蛍光体支持プレートを配置する場合と比べると、蛍光体支持プレートが不要であるため、蛍光体支持プレートの占有空間に相当する部分を放電空間１４として確保することができる。このような構成によれば、放電効率が向上し、輝度の低下を防止するうえで好適である。
【００４２】
各蛍光体層１３において、ガラス管１１の長手方向に直交する面内でのガラス管１１の内面に沿う幅Ｗは、一定とされている。加えて、蛍光体層１３の幅は、各色ごとに異ならされている。このため、ＲＧＢ３色の蛍光体層を備えたカラー表示装置において、各色ごとの蛍光体層について、紫外線の照射による発光効率が相違する場合でも、当該発光効率の相違に起因する発光単位部分ごとの輝度のばらつきを簡便に抑制することができる。すなわち、発光効率が相対的に低い色に対応する蛍光体層１３の幅Ｗを相対的に大きくする一方、発光効率が相対的に高い色に対応する蛍光体層１３の幅Ｗを相対的に小さくすることにより、発光効率が異なる蛍光体層１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂについて、輝度の均一化を図ることができる。
【００４３】
本実施形態に係る表示装置Ａ１の製造方法においては、蛍光体層１３の形成は、ガラス管１１の長手方向に沿って延びるマスク５０を使用し、ＣＶＤ法により行なう。このようにマスク５０を利用してＣＶＤ法を実行することにより、ガラス管１１の内面の所望領域に蛍光体層１３を適正に膜形成することができる。
【００４４】
また、本実施形態に係る表示装置Ａ１の製造方法では、形成される蛍光体層１３の色ごとに、使用するマスク５０の幅を異ならせるといった簡便な手段により、各色ごとの蛍光体層１３の形成領域を容易かつ正確に調整することができる。すなわち、幅Ｌの異なるマスク５０を利用してガラス管１１の内面においてマスク５０によって覆われる領域を選択することにより、蛍光体層１３の幅Ｗを所望の寸法に調整することができるのである。
【００４５】
また、本実施形態に係る表示装置Ａ１の製造方法では、ＣＶＤ法による蛍光体層の形成は、大気圧下にて行なうことも可能である。この場合には、減圧下で行なわれるＣＶＤ処理に比べて、減圧に係る装置が不要である。すなわち、大気圧下にてＣＶＤ法を行なうことにより、ガラス管１１そのものをチャンバとして機能させることができ、減圧下でのＣＶＤ処理の場合に比べて真空チャンバなどが不要となるのである。したがって、本製造方法は、蛍光体層の形成に係る工程および設備の簡素化を図るうえで好適である。
【００４６】
次に、表示装置Ａ１の製造方法の他の例について、図４を参照して説明する。以下に示す製造方法において、上記製造方法に係る装置・部材などと同一または類似の要素には、同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。
【００４７】
本製造方法では、蛍光体層の形成に用いられる蛍光体成膜装置が上記製造方法に係る蛍光体成膜装置４０と相違する。本製造方法に用いられる蛍光体成膜装置４０’は、大気圧下で熱ＣＶＤ法を実行するように構成されたものであり、エネルギ印加装置４１に代えてこれとは異なる構成のエネルギ印加装置４１’を備える点と、ヘリウムガスボンベ４５に代えてアルゴンガスボンベ４５’を備える点とにおいて、上記製造方法に係る蛍光体成膜装置４０と相違する。エネルギ印加装置４１’は、ヒータステージ、赤外線ヒータおよびヒータ電源（ともに図示せず）を備える。ソース昇華装置４４から供給されるソースガスとしては、例えばジバイルメタナト−イットリウムなどの有機化により低温で昇華可能なイットリウム系化合物が用いられる。また、ソースガスには、蛍光体層１３の色要素としての添加剤が含まれている。添加剤としては、上記製造方法と同様のものが用いられる。
【００４８】
蛍光体層１３の形成に先立ち、上記製造方法と同様のマスク５０が挿入された複数のガラス管１１をエネルギ印加装置４１’に装着する。そして、蛍光体層１３を形成する際には、開閉弁４８，４９を開いておき、ソース昇華装置４４からはソースガスが、アルゴンガスボンベ４５’からはキャリアガスとしてのアルゴンガスが、酸素ガスボンベ４６からは酸化剤としての酸素ガスが、各々、混合器４３に供給される。混合器４３で混合された混合ガスは、一方のコネクタ４２を通じてガラス管１１内に導入され、ガラス管１１内を通過してから他方のコネクタ４２を通じて排出される。ガラス管１１への混合ガスの供給は、連続的に行われる。エネルギ印加装置４１’においては、ガラス管１１は、ヒータステージによりその全体が予熱されるとともに、赤外線ヒータにより局所加熱される。ヒータステージによる加熱温度は、例えば２５０℃程度であり、赤外線ヒータによる加熱温度は、例えば２８０℃程度である。赤外線ヒータは、ガラス管１１の長手方向に沿って移動可能とされており、赤外線ヒータを連続的に往復移動させることにより、各ガラス管１１内には、所定の厚みを有し、かつ一体幅の蛍光体層１３が膜形成される。
【００４９】
その他の工程については、上記製造方法と同様の工程を行なう。このような方法によっても、上記した表示装置Ａ１を効率よく製造することができる。
【００５０】
次に、本発明に係る表示装置Ａ１の製造方法のさらに他の例について、図８を参照して説明する。
【００５１】
本製造方法においては、蛍光体層の形成と放電ガスの封入を一連の工程として実行することができるように構成されたものである。図８に示すように、本製造方法に係る蛍光体成膜装置４０”は、開閉弁４８に代えて切換弁４８”を備える点において、上記製造方法に係る蛍光体成膜装置４０と相違する。また、切換弁４８”には、配管を介して放電ガスボンベ６１が接続されている。切換弁４８”は、コネクタ４２に対して、混合器４３からの混合ガスの供給と放電ガスボンベ６１からの放電ガスの供給とを切り換えるためのものである。
【００５２】
本製造方法においては、上記製造方法と同様の方法にて蛍光体層１３を形成する。ガラス管１１内に蛍光体層１３が形成されると、マスク保持機構４２２によるガラス管１１へのマスク５０の押し当てを解放するとともに一方のコネクタ４２を取り外し、ガラス管１１からマスク５０を除去する。その後、再びコネクタ４２をガラス管に装着する。次いで、切換弁４８”を閉じるとともに開閉弁４９を開いた状態にて、減圧ポンプ４７を作動させることにより、ガラス管１１内のガスを排出する。次いで、開閉弁４９を閉じるとともに切換弁４８”を放電ガスボンベ６１とコネクタ４２とが連通する状態にし、ガラス管１１内に放電ガスを充填する。その後、ガラス管１１の両端を溶融封止する。次いで、コネクタ４２を取り外し、ガラス管１１をエネルギ印加装置４１から取り出す。
【００５３】
その他の工程については、上記製造方法と同様の工程を行なう。このような方法によっても、上記した表示装置Ａ１を効率よく製造することができる。また、本製造方法においては、ガラス管１１をエネルギ印加装置４１に装着したまま、蛍光体層を形成する工程と、放電ガスを封入する工程とを一連の工程として実行することができる。したがって、本製造方法は、表示装置Ａ１を効率よく製造するうえで好適である。
【００５４】
上記実施形態では、蛍光体層の形成に用いられるマスクとしては、板状材からなるものを用いて構成していたが、本発明では、当該板状材に開口部や切欠部を設けて構成してもよい。開口部を設けるマスクの一例としては、図９に示すように、矩形状の開口部５３が主板部５１に設けられた構成が挙げられる。ここで、開口部５３は、非放電スリットに対応する領域に設けられている。このような構成によれば、放電管内の非放電スリットに対応する領域にも蛍光体層が形成されることになるので、蛍光体層の形成領域は効果的に拡大され、結果として、表示装置の放電発光による輝度を向上させることができる。
【００５５】
以上のまとめとして、本発明の構成およびそのバリエーションを以下に付記として列挙する。
（付記１）
内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、
上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備える表示装置であって、
上記放電管は、その内面上に膜形成され、当該放電管の長手方向に沿って延びる蛍光体層を有することを特徴とする、表示装置。
（付記２）
上記蛍光体層は、上記放電管の長手方向に直交する方向において上記放電管の内面に沿った一定の幅とされている、付記１に記載の表示装置。
（付記３）
上記蛍光体層としては、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）のいずれか一色に対応するものが上記各放電管ごとに形成されており、
上記蛍光体層の幅は、各色ごとに異なる、付記２に記載の表示装置。
（付記４）
内部に蛍光体層を有するとともに放電ガスが封入され、並列させられる複数の放電管と、
上記放電管に電圧を印加して上記放電管の選択された発光単位部分に放電を発生させるための複数の電極と、を備え、上記放電管の内面上に蛍光体層を形成する工程を含む、表示装置の製造方法であって、
上記蛍光体層の形成は、上記放電管の長手方向に沿って延びるマスクを挿入し、ＣＶＤ法により行なうことを特徴とする、表示装置の製造方法。
（付記５）
上記マスクは、上記放電管の内面において、蛍光体層が形成される部分以外の領域を覆うように上記放電管の内面に沿う形状とされており、当該放電管の内面に沿う部分が一定の幅である、付記４に記載の表示装置の製造方法。
（付記６）
上記蛍光体層としては、Ｒ、Ｇ、Ｂのいずれか一色が上記各放電管ごとに形成されるものであり、
上記マスクは、上記各色に対応して上記放電管の内面に沿う部分の幅が異なるように構成されている、付記５に記載の表示装置の製造方法。
（付記７）
上記蛍光体層の形成は、上記マスクを上記放電管の両端から突出する状態にて上記放電管の内面に押し当てながら、上記放電管の一端から他端に向けてソースガスを通流させることにより行なう、付記４ないし６のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
（付記８）
上記放電管の一端から供給される放電ガスを上記放電管内に封入する工程を更に含む、付記４ないし７のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
（付記９）
上記マスクは、ガラス製である、付記４ないし８のいずれかに記載の表示装置の製造方法。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明に係る表示装置の一例を示す全体斜視図である。
【図２】図１に示す表示装置の要部斜視図である。
【図３】図１に示す表示装置の要部断面図である。
【図４】本発明に係る表示装置を製造するのに用いられる装置の一例を示す概略構成図である。
【図５】放電管内にマスクを挿入する状態を示す斜視図であり、（ａ）は、マスク挿入前の状態を示し、（ｂ）はマスク挿入後の状態を示す。
【図６】マスクの一例を示す側面図である。
【図７】図４に示す装置の要部断面図である。
【図８】本発明に係る表示装置を製造するのに用いられる装置の他の例を示す概略構成図である。
【図９】マスクの他の例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
Ａ１      表示装置
Ｌ，ＬＲ，ＬＧ，ＬＢ      （マスクの）幅
Ｗ，ＷＲ，ＷＧ，ＷＢ      （蛍光体層の）幅
１０      放電管
１１      ガラス管
１３，１３Ｒ，１３Ｇ，１３Ｂ      蛍光体層
３０      表示電極
３１      アドレス電極
５０      マスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007242261.tif 000009
【図８】
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【図９】
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