(57)【要約】【課題】保護層の表面に第２保護膜を形成する必要がなく、しかも、エージング工程を不要にすることができる、ないしエージングに要する時間を大幅に短縮することができる、作業雰囲気の空気成分制御方法を提供する。【解決手段】クリーンルーム５に、前面板にＭｇＯ保護層を形成する真空チャンバ６と、前面板に背面板を封着する封着装置７とを設置する。そして、クリーンルーム５に人工空気製造装置３を接続するとともに、作業者１は特定の保護具２を装着する。この保護具２は、作業者１の顔面の少なくとも鼻および口を覆う面体２１と、この面体２１の内側とクリーンルーム５の外側とが連通しているホース２２とを備えている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、液体窒素を気化させた窒素ガスと、液体酸素を気化させた酸素ガスとからなる人工空気を供給し、上記クリーンルームをその人工空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に下記（Ａ）の保護具を装着させることを特徴とする、作業雰囲気の空気成分制御方法。
（Ａ）作業者の少なくとも鼻および口を覆う面体と、この面体の内側と上記クリーンルーム外側とが連通しているホースとを備えた保護具。
【請求項２】
前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気を供給し、上記クリーンルームをその調整空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に上記（Ａ）の保護具を装着させることを特徴とする、作業雰囲気の空気成分制御方法。
【請求項３】
上記保護具の面体に、面体の外側から内側への方向のみの空気の流れを可能にする第１の逆止弁が備えられ、上記ホース内に、上記面体の内側から上記クリーンルーム外側への方向のみの空気の流れを可能にする第２の逆止弁が備えられている請求項１または２記載の作業雰囲気の空気成分制御方法。
【請求項４】
前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、液体窒素を気化させた窒素ガスと、液体酸素を気化させた酸素ガスとからなる人工空気を供給し、上記クリーンルームをその人工空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に下記（Ｂ）の保護具を装着させることを特徴とする、作業雰囲気の空気成分制御方法。
（Ｂ）作業者の少なくとも鼻および口を覆う面体と、この面体の外側から内側への方向のみの空気の流れを可能にする第１の逆止弁と、水分と二酸化炭素とを吸着する吸着塔と、上記面体の内側と上記吸着塔とが連通しているホースと、上記面体の内側から上記吸着塔への方向のみの空気の流れを可能にする第２の逆止弁とを備えた保護具。
【請求項５】
前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気を供給し、上記クリーンルームをその調整空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に上記（Ｂ）の保護具を装着させることを特徴とする、作業雰囲気の空気成分制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程において、前面板に保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行う作業雰囲気の空気成分を、上記保護層が変化しないよう制御する、作業雰囲気の空気成分制御方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、プラズマディスプレイパネル製造工程は、前面板を作製する工程と、背面板を作製する工程と、これら前面板と背面板とを組み立てる工程とからなっている。
【０００３】
上記前面板を作製する工程では、所定の電極が形成された後、その電極を保護する等の目的で、誘電体層が形成される。この誘電体層は、放電によるイオン衝撃に弱く、このイオン衝撃がパネル寿命を短くする。しかも、その誘電体層は、プラズマ放電に必要な二次電子放出の効率が低いため、放電電圧が高くなる。そこで、誘電体層の表面に、イオン衝撃に強く、かつ、二次電子放出性に優れた酸化マグネシウム（ＭｇＯ）が保護層として形成される。このＭｇＯからなる保護層の形成は、真空チャンバ内においてスパッタリング等により行われる。このようにして前面板が作製され、上記保護層が形成された後は、真空チャンバから取り出される。
【０００４】
そして、上記組み立て工程では、まず、上記前面板と、別工程で作製された背面板とが重ね合わせられ、その周縁部がシールされることにより封着される。ついで、前面板と背面板とが封着されたパネル内の大気が排気され、その後、パネル内に発光（放電）用のガスが導入される。
【０００５】
このような工程において、前面板が真空チャンバから取り出された後、その前面板に背面板を重ね合わせるまでの間、前面板に形成された保護層は、クリーンルーム内の空気に晒される。その保護層は、ＭｇＯからなっているため、空気中の水分（Ｈ2 Ｏ）や二酸化炭素（ＣＯ2 ）と反応し易く、そのＨ2 Ｏとの反応により水酸化マグネシウム〔Ｍｇ（ＯＨ）2 〕が、ＣＯ2 との反応により炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ3 ）が、それぞれ保護層の表面に析出する。これら化合物が析出したままの状態であると、ディスプレイの表示が不安定になる等の問題が生じるため、上記パネルに実駆動より高い電圧を印加してプラズマを発生させることにより、保護層表面の上記化合物を除去するというエージングが行われる。
【０００６】
しかしながら、上記エージング工程には、長時間（２０時間程度）を要する。このため、従来より、その時間を短縮する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１では、上記保護層の表面に、エージングにより容易に除去される第２保護膜を形成している。
【特許文献１】特開平１１−１４９８６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記特許文献１では、保護層の表面に第２保護膜を形成する工程が必要となる。しかも、エージングに要する時間は短縮されるものの、そのエージング工程は必須である。
【０００８】
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、保護層の表面に第２保護膜を形成する必要がなく、しかも、エージング工程を不要にすることができる、ないしエージングに要する時間を大幅に短縮することができる、作業雰囲気の空気成分制御方法の提供をその目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するため、本発明の第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法は、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、液体窒素を気化させた窒素ガスと、液体酸素を気化させた酸素ガスとからなる人工空気を供給し、上記クリーンルームをその人工空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に下記（Ａ）の保護具を装着させるという構成をとる。
（Ａ）作業者の少なくとも鼻および口を覆う面体と、この面体の内側と上記クリーンルーム外側とが連通しているホースとを備えた保護具。
【００１０】
また、本発明の第２の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法は、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気を供給し、上記クリーンルームをその調整空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に上記（Ａ）の保護具を装着させるという構成をとる。
【００１１】
また、本発明の第３の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法は、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、液体窒素を気化させた窒素ガスと、液体酸素を気化させた酸素ガスとからなる人工空気を供給し、上記クリーンルームをその人工空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に下記（Ｂ）の保護具を装着させるという構成をとる。
（Ｂ）作業者の少なくとも鼻および口を覆う面体と、この面体の外側から内側への方向のみの空気の流れを可能にする第１の逆止弁と、水分と二酸化炭素とを吸着する吸着塔と、上記面体の内側と上記吸着塔とが連通しているホースと、上記面体の内側から上記吸着塔への方向のみの空気の流れを可能にする第２の逆止弁とを備えた保護具。
【００１２】
また、本発明の第４の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法は、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程のうち、前面板に酸化マグネシウムからなる保護層を形成したのち、その前面板に背面板を封着させる工程を行うクリーンルームに、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気を供給し、上記クリーンルームをその調整空気雰囲気にするとともに、上記クリーンルームで作業する作業者に上記（Ｂ）の保護具を装着させるという構成をとる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法では、作業者の吸気はクリーンルーム外側からホースを介して面体の内側に供給することができ、呼気は面体の内側からホースを介してクリーンルーム外側に排気することができる。これにより、クリーンルームの作業雰囲気の空気成分は、作業者の呼吸によって変化せず、窒素ガスと酸素ガスとからなり、水分も二酸化炭素も含まれない状態を維持することができる。このため、前面板に形成された酸化マグネシウムからなる保護層は、その前面板に背面板を封着合わせるまでの間、水分とも二酸化炭素とも反応せず、保護層の表面に水酸化マグネシウムも炭酸マグネシウムも析出しないようにすることができる。その結果、上記水酸化マグネシウムや炭酸マグネシウムを除去するためのエージング工程を不要にすることができる。
【００１４】
なお、クリーンルームに作業者が出入りする際に、水分および二酸化炭素がクリーンルームの外側から侵入する場合がある。また、クリーンルームで作業者が上記保護具を着脱する際に、作業者の呼気として水分および二酸化炭素がクリーンルームで排出される場合もある。しかしながら、そのような場合の水分および二酸化炭素は僅かであり、上記保護層の表面に析出する水酸化マグネシウムおよび炭酸マグネシウムは全く無いか、あっても極僅かである。そこで、その極僅かの水酸化マグネシウムおよび炭酸マグネシウムを除去するためにエージングを行ったとしても、そのエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００１５】
また、本発明の第２の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法でも、作業者は、上記第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様の保護具を装着するため、作業者の吸気はクリーンルーム外側からホースを介して面体の内側に供給することができ、呼気は面体の内側からホースを介してクリーンルーム外側に排気することができる。これにより、クリーンルームの作業雰囲気の空気成分は、作業者の呼吸によって変化せず、水分も二酸化炭素も含まれない状態を維持することができる。このため、上記第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様、保護層の表面に水酸化マグネシウムも炭酸マグネシウムも析出せず、それら化合物を除去するためのエージング工程を不要にすることができる、ないしエージングに要する時間を非常に短くすることができる。なお、この第２の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法では、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気をクリーンルームに供給するため、そのクリーンルームの作業雰囲気の空気成分には、窒素および酸素以外にアルゴン等も含まれている。
【００１６】
特に、上記保護具の面体に、面体の外側から内側への方向のみの空気の流れを可能にする第１の逆止弁が備えられ、上記ホース内に、上記面体の内側から上記クリーンルーム外側への方向のみの空気の流れを可能にする第２の逆止弁が備えられている場合には、作業者は、吸気をクリーンルームの人工空気から第１の逆止弁を介して得ることができ、呼気を面体の内側からホースおよび第２の逆止弁を介してクリーンルーム外側に排気することができる。
【００１７】
一方、本発明の第３の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法では、作業者の吸気はクリーンルームの人工空気から第１の逆止弁を介して供給することができ、呼気は面体の内側からホース（第２の逆止弁）を介して吸着塔で吸着させることができる。これによっても、上記第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様、クリーンルームの作業雰囲気の空気成分は、作業者の呼吸によって変化せず、水分も二酸化炭素も含まれない状態を維持することができるため、保護層の表面に水酸化マグネシウムも炭酸マグネシウムも析出せず、それら化合物を除去するためのエージング工程を不要にすることができる、ないしエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００１８】
また、本発明の第４の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法でも、作業者は、上記第３の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様の保護具を装着するため、作業者の吸気はクリーンルームの人工空気から第１の逆止弁を介して供給することができ、呼気は面体の内側からホース（第２の逆止弁）を介して吸着塔で吸着させることができる。これにより、クリーンルームの作業雰囲気の空気成分は、作業者の呼吸によって変化せず、水分も二酸化炭素も含まれない状態を維持することができる。このため、上記第１の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様、保護層の表面に水酸化マグネシウムも炭酸マグネシウムも析出せず、それら化合物を除去するためのエージング工程を不要にすることができる、ないしエージングに要する時間を非常に短くすることができる。なお、この第４の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法では、上記第２の要旨の作業雰囲気の空気成分制御方法と同様、大気中の空気から水分と二酸化炭素とを除去した調整空気をクリーンルームに供給するため、そのクリーンルームの作業雰囲気の空気成分には、窒素および酸素以外にアルゴン等も含まれている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。但し、本発明は、これに限定されるわけではない。
【００２０】
図１は、本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第１の実施の形態を示している。この実施の形態では、前面板と背面板とからなるプラズマディスプレイパネルの製造工程において、前面板に酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護層を形成する真空チャンバ６と、この真空チャンバ６から取り出した前面板に背面板を封着する封着装置７とが、一つのクリーンルーム５内に設置されている。そして、そのクリーンルーム５には、人工空気製造装置３および空気循環装置４が接続されている。また、上記クリーンルーム５では、作業者１が１人以上作業しており、各作業者１は、下記に詳述する本発明に係る保護具２を装着している。なお、上記クリーンルーム５には、上記人工空気製造装置３および空気循環装置４以外にも、クリーンルーム５の雰囲気を適正な清浄状態等に維持する、クリーンルーム５に必要な従来公知の空調設備（図示せず）が備わっている。
【００２１】
より詳しく説明すると、上記作業者１が装着する保護具２は、その周縁が作業者１の顔面に密着し鼻，口および目を覆う面体２１と、この面体２１の内側と上記クリーンルーム５の外側とが連通しているホース２２とを備えている。このホース２２は、作業者１の動きに追従するよう、フレキシブルなものであることが好ましく、また、クリーンルーム５の外側に位置する先端にはフィルタ２３が装着されていることが好ましい。そして、作業者１の吸気は、クリーンルーム５の外側からフィルタ２３およびホース２２を介して面体２１の内側に供給され、作業者１の呼気は、面体２１の内側からホース２２を介してクリーンルーム５の外側に排気されるようになっている。
【００２２】
上記人工空気製造装置３は、液体窒素タンク３１と、液体酸素タンク３２と、これら両タンクに接続されている混合器３３と、この混合器３３と上記クリーンルーム５の天井上空間５１との間に設けられた昇温器３４とを備え、これらは配管により接続されている。そして、上記液体窒素タンク３１から液体窒素が、上記液体酸素タンク３２から液体酸素が、それぞれ上記混合器３３に供給されることにより、上記混合器３３でそれぞれ気化され、窒素ガスと酸素ガスとからなる人工空気が製造されるようになっている。その人工空気は、上記昇温器３４で所定の温度（常温程度）に昇温された後、クリーンルーム５の天井上空間５１に供給されるようになっている。
【００２３】
上記人工空気の酸素ガス濃度は、大気と同様の２０体積％程度（残りが窒素ガス）に制御することが好ましい。この制御は、上記混合器３３に供給される液体窒素と液体酸素の量をバルブ等で調節することにより行うことができる。
【００２４】
上記空気循環装置４は、クリーンルーム５の床下空間５２と、上記人工空気製造装置３の昇温器３４より下流部分の配管との間に接続されており、床下空間５２側から順に、水分（Ｈ2 Ｏ）および二酸化炭素（ＣＯ2 ）を吸着する吸着塔４１と、送風機４２とを備え、これらは配管により接続されている。そして、上記送風機４２を作動させることにより、クリーンルーム５の作業雰囲気の空気は床下空間５２から吸引され、その空気中のＨ2 ＯおよびＣＯ2 が上記吸着塔４１で吸着された後、上記人工空気製造装置３の配管に導入され、上記昇温器３４で昇温させた人工空気とともに、クリーンルーム５の天井上空間５１に導入されるようになっている。ここで、上記吸着塔４１は、内部にＨ2 ＯおよびＣＯ2 を吸着する吸着剤が充填された容器であり、その吸着剤としては、例えば、活性アルミナと合成ゼオライトとの混合物，活性炭，ゼオライト，モレキュラシーブ等があげられる。
【００２５】
上記クリーンルーム５の天井には、ＨＥＰＡフィルタが配設されており、上記製造された人工空気および空気循環装置４を経た循環空気は、その中に含まれるパーティクル等の微粒子を上記ＨＥＰＡフィルタに吸着させてから、クリーンルーム５の作業雰囲気に供給されるようになっている。また、上記クリーンルーム５の床には、クリーンルーム５の作業雰囲気と床下空間５２とを連通する小さい通気孔が分布形成されており、クリーンルーム５の作業雰囲気の空気は床下空間５２に導入されるようになっている。
【００２６】
そして、本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法は、つぎのようにして行われる。すなわち、まず、上記人工空気製造装置３により製造された窒素ガスと酸素ガスとからなる人工空気を上記クリーンルーム５の天井上空間５１から供給し、クリーンルーム５を上記人工空気で満たす。そして、この状態で、クリーンルーム５に設置された真空チャンバ６から、ＭｇＯからなる保護層を形成した前面板を取り出し、その後、封着装置７を用いて前面板に背面板を封着する。このとき、作業者１は、上記保護具２を装着した状態で作業を行う。この作業の間、上記空気循環装置４を適宜（断続ないし連続して）作動させ、クリーンルーム５の作業雰囲気の空気（人工空気）を循環させる。
【００２７】
このようにして行われる本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法では、作業者１が上記保護具２を装着しているため、作業者１の呼気に含まれるＨ2 ＯもＣＯ2 も、クリーンルーム５の作業雰囲気に排出されない。すなわち、クリーンルーム５の作業雰囲気の空気成分は、窒素ガスと酸素ガスとからなる上記人工空気を維持し、Ｈ2 ＯもＣＯ2 も含まれない状態となっている。このため、前面板に形成されたＭｇＯからなる保護層は、その前面板に背面板を封着合わせるまでの間、Ｈ2 ＯともＣＯ2 とも反応せず、保護層の表面には、水酸化マグネシウム〔Ｍｇ（ＯＨ）2 〕も炭酸マグネシウム（ＭｇＣＯ3 ）も析出しないようにすることができる。その結果、上記Ｍｇ（ＯＨ）2 やＭｇＣＯ3 を除去するためのエージング工程を不要にすることができる。
【００２８】
また、作業者１がクリーンルーム５に出入りしたり、クリーンルーム５で上記保護具２を着脱したりする等して、作業者１の呼気としてＨ2 ＯおよびＣＯ2 がクリーンルーム５で排出される場合もあるが、その排出量は僅かであり、上記保護層の表面に析出するＭｇ（ＯＨ）2 およびＭｇＣＯ3 は全く無いか、あっても極僅かである。しかも、この第１の実施の形態では、Ｈ2 ＯおよびＣＯ2 を吸着する吸着塔４１を備えた空気循環装置４により、クリーンルーム５の作業雰囲気の空気を循環させているため、その循環中に上記Ｈ2 ＯおよびＣＯ2 を吸着塔４１で吸着させることができる。これにより、上記保護層の表面でのＭｇ（ＯＨ）2 およびＭｇＣＯ3 の析出をより一層防止することができる。この観点からも、エージング工程を不要にするか、エージングを行ったとしても、そのエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００２９】
なお、この第１の実施の形態では、作業者１が装着する保護具２の面体２１として、鼻および口に加えて目も覆う面体を用いたが、これに限定されるものではなく、鼻および口を覆う面体を用いてもよい。ただし、この場合、作業雰囲気にＨ2 Ｏが含まれないため、目の乾燥を防止するために、目を覆うゴーグルを装着することが好ましいが、装着しなくてもよい。また、頭部全体を覆う面体を用いてもよい。
【００３０】
また、上記クリーンルーム５には、酸素ガス濃度センサを設置し、酸素ガス濃度が人体に危険な濃度にならないよう監視することが安全上好ましい。例えば、上記酸素ガス濃度センサの信号を上記人工空気製造装置３にフィードバックさせ、それに応じて、製造する酸素ガス濃度を適正に調節するようにする。さらに、酸素ガス濃度が人体に危険な濃度になった場合に警報サイレンが鳴るようにすることが好ましい。
【００３１】
本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第２の実施の形態は、上記第１の実施の形態（図１参照）において、保護具２の面体２１が、面体２１の外側から内側への方向のみの空気の流れを可能にする第１の逆止弁（図示せず）を備えた面体２１となっており、ホース２２が、その内部に、上記面体２１の内側から上記クリーンルーム５の外側への方向のみの空気の流れを可能にする第２の逆止弁（図示せず）を備えたホース２２となっている。それ以外は上記第１の実施の形態と同様となっている。
【００３２】
このような保護具２を用いると、作業者１は、吸気をクリーンルーム５の人工空気から第１の逆止弁を介して得ることができる。そして、呼気は、上記第１の実施の形態と同様、面体２１の内側からホース２２および第２の逆止弁を介してクリーンルーム５の外側に排気することができる。このため、この第２の実施の形態でも、クリーンルーム５の作業雰囲気を、Ｈ2 ＯもＣＯ2 も含まれないか、含まれていたとしても僅かな状態とすることができる。その結果、上記保護層の表面に析出するＭｇ（ＯＨ）2 およびＭｇＣＯ3 は全く無いか、あっても極僅かにすることができ、エージング工程を不要にするか、エージングを行ったとしても、そのエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００３３】
なお、この第２の実施の形態では、作業者１は、Ｈ2 Ｏが含まれない上記人工空気を吸うことになるため、喉の渇き等を防止するために、水で湿らせた布等を上記面体２１の内側に着脱自在に装着できるようにすることが好ましい。
【００３４】
図２は、本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第３の実施の形態を示している。この実施の形態は、上記第２の実施の形態において、作業者１は、保護具２としてつぎのようなものを装着する。すなわち、その保護具２は、Ｈ2 ＯとＣＯ2 とを吸着する吸着タンク２４を備えており、その吸着タンク２４を作業者１が背負うようになっている。そして、面体２１から延びるホース２２は上記吸着タンク２４に接続され、そのホース２２内に、上記第２の実施の形態と同様の第２の逆止弁（図示せず）を備えている。また、上記面体２１も、上記第２の実施の形態と同様であり、同様の第１の逆止弁（図示せず）を備えている。ここで、上記吸着タンク２４は、内部にＨ2 ＯおよびＣＯ2 を吸着する吸着剤が充填された容器であり、その吸着剤としては、例えば、活性アルミナと合成ゼオライトとの混合物，活性炭，ゼオライト，モレキュラシーブ等があげられる。
【００３５】
このような保護具２を用いると、作業者１は、吸気を、上記第２の実施の形態と同様、クリーンルーム５の人工空気から第１の逆止弁を介して得ることができる。そして、呼気は、面体２１の内側からホース２２および第２の逆止弁を介して吸着タンク２４で吸着させることができる。このため、この第３の実施の形態でも、クリーンルーム５の作業雰囲気を、Ｈ2 ＯもＣＯ2 も含まれないか、含まれていたとしても僅かな状態とすることができる。その結果、上記保護層の表面に析出するＭｇ（ＯＨ）2 およびＭｇＣＯ3 は全く無いか、あっても極僅かにすることができ、エージング工程を不要にするか、エージングを行ったとしても、そのエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００３６】
なお、この第３の実施の形態では、吸着タンク２４を作業者１が背負うようにしたが、これに限定されるものではなく、作業者１が作業する近辺の床面や壁面等に載置固定する等してもよい。
【００３７】
また、上記第１〜第３の各実施の形態では、空気循環装置４を設けたが、これに限定されるものではなく、図３に示すように、第４の実施の形態として、空気循環装置４（図１参照）を設けずに、クリーンルーム５の床下空間５２から大気放出してもよい。また、上記各実施の形態において、液体窒素タンク３１と混合器３３との間および液体酸素タンク３２と混合器３３との間の配管には、それぞれ気化器（図示せず）を設け、各気化器で気化させた窒素ガスおよび酸素ガスをそれぞれ上記混合器３３に供給するようにしてもよい。
【００３８】
図４は、本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第５の実施の形態を示している。この実施の形態は、上記第４の実施の形態（図３参照）において、人工空気製造装置３に代えて、大気中の空気からＨ2 ＯとＣＯ2 とを除去した調整空気をクリーンルームに供給する調整空気供給装置８がクリーンルーム５に接続されている。それ以外は上記第４の実施の形態と同様〔保護具２は第１の実施の形態（図１参照）と同様〕であり、同様の部分には同じ符号を付している。
【００３９】
より詳しく説明すると、上記調整空気供給装置８は、大気中に設置された圧縮機（コンプレッサ等）８１と、この圧縮機８１に接続されている冷却器（アフタークーラ等）８２と、この冷却器８２と上記クリーンルーム５の天井上空間５１との間に設けられ吸着塔８３とを備え、これらは配管により接続されている。上記吸着塔８３には、Ｈ2 ＯおよびＣＯ2 を吸着する吸着剤が充填されており、その吸着剤としては、例えば、活性アルミナと合成ゼオライトとの混合物，活性炭，ゼオライト，モレキュラシーブ等があげられる。
【００４０】
そして、上記圧縮機８１を作動させることにより、大気中から空気を採取して昇圧させ、その後、上記冷却器８２および吸着塔８３を経て、クリーンルーム５の天井上空間５１に導入するようになっている。すなわち、上記圧縮機８１で昇圧された圧縮空気は、高温で多量の水分を含んでいるため、上記冷却器８２により、所定の温度（常温程度）まで冷却され、それにより、含まれていた水分が凝縮分離される。さらに、その後の上記吸着塔８３により、Ｈ2 ＯおよびＣＯ2 が吸着され、それにより、Ｈ2 ＯとＣＯ2 とが除去される。そして、そのＨ2 ＯとＣＯ2 とが除去された調整空気がクリーンルーム５に供給されるようになっている。なお、この調整空気は、大気中の空気からＨ2 ＯとＣＯ2 とを除去した空気であるため、窒素および酸素以外にアルゴン等も含まれている。
【００４１】
この第５の実施の形態でも、上記各実施の形態と同様、クリーンルーム５の作業雰囲気を、Ｈ2 ＯもＣＯ2 も含まれないか、含まれていたとしても僅かな状態とすることができる。その結果、上記保護層の表面に析出するＭｇ（ＯＨ）2 およびＭｇＣＯ3 は全く無いか、あっても極僅かにすることができ、エージング工程を不要にするか、エージングを行ったとしても、そのエージングに要する時間を非常に短くすることができる。
【００４２】
なお、この第５の実施の形態では、作業者１が装着する保護具２として、第１の実施の形態（図１参照）のものを用いたが、これに限定されるものではなく、第２の実施の形態のもの（図示せず）や第３の実施の形態のもの（図２参照）を用いてもよい。
【００４３】
また、この第５の実施の形態では、空気循環装置４（図１参照）を設けていないが、これに限定されるものではなく、上記第１〜第３の各実施の形態と同様に、空気循環装置４を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第１の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図２】本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第３の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図３】本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第４の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【図４】本発明の作業雰囲気の空気成分制御方法の第５の実施の形態を模式的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  作業者
２  保護具
３  人工空気製造装置
５  クリーンルーム
６  真空チャンバ
７  封着装置
２１  面体
２２  ホース
【図１】
2007332597.tif 000003
【図２】
2007332597.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007332597.tif 000006