(57)【要約】【課題】高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法を提供する。【解決手段】ウエハ片剥離方法は、シート１１上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシート１１から剥離させる方法である。ウエハ片剥離方法は、熱剥離シートからなるシート１１のウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５に対面するようにして、加熱ヘッド３５とシート１１とを接触させる工程と、シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッド３５により加熱する工程と、を備えている。シート１１を加熱することによって、シート１１のウエハ片に対する粘着保持力を除去または弱める。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
熱剥離シートからなるシート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を前記シートから剥離させる方法において、
前記シートの前記ウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッドに対面するようにして、前記加熱ヘッドと前記シートとを接触させる工程と、
前記シートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドにより加熱する工程と、
を備えたことを特徴とするウエハ片剥離方法。
【請求項２】
前記加熱ヘッドと前記シートとが相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドが順次加熱していくことを特徴とする請求項１に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項３】
前記ウエハを横断する幅を有した前記加熱ヘッドが幅方向に直交する方向に前記シートと相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドが順次加熱していくことを特徴とする請求項２に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項４】
前記加熱ヘッドとシートとを接触させる工程において、頂部に向けて先細りする突出部を有し前記突出部の前記頂部に前記加熱ヘッドが組み込まれた折り返し部材の前記突出部の前記頂部で前記シートを折り返し、前記加熱ヘッドと前記シートとを接触させ、
前記加熱する工程において、前記シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を、前記加熱ヘッドにより加熱することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の剥離方法。
【請求項５】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、
前記回収する工程において、前記シートの前記ウエハを粘着保持している側に前記ウエハから離間して配置された吸い取り装置により、前記剥離対象であるウエハ片を吸い取ることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項６】
前記回収する工程において、
前記吸い取り装置と前記加熱ヘッドとが接近して、前記吸い取り装置が前記剥離対象であるウエハ片を吸い取ることを特徴とする請求項５に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項７】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、
前記回収する工程は、
前記剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、
前記剥離対象のウエハ片を吸着した前記吸着ノズルと、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項８】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、
前記回収する工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、粘着力を有する粘着体と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項４に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項９】
前記回収する工程は、
テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程をさらに有し、
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させることを特徴とする請求項８に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項１０】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項９に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項１１】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項９に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項１２】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、
前記回収する工程は、
方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程と、
前記剥離対象であるウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載のウエハ片剥離方法。
【請求項１３】
熱剥離シートからなるシート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を前記シートから剥離させる装置において、
前記シートの前記ウエハを粘着保持していない側に配置され、前記シートと接触して前記シートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を局部的に加熱する加熱ヘッドを備えたことを特徴とするウエハ片剥離装置。
【請求項１４】
前記加熱ヘッドと前記シートとが相対移動可能であり、
前記加熱ヘッドが前記シートと相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドが順次加熱していくようになっていることを特徴とする請求項１３に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１５】
前記加熱ヘッドは前記ウエハを横断する幅を有し、
前記加熱ヘッドがその幅方向に直交する方向に前記シートと相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を順次加熱していくようになっていることを特徴とする請求項１４に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１６】
頂部に向けて先細りする突出部を有し、前記ウエハを粘着保持した前記シートを前記突出部の前記頂部で折り返す折り返し部材をさらに備え、
前記加熱ヘッドは細長状の形状を有し、前記折り返し部材の前記突出部の前記頂部に組み込まれていることを特徴とする請求項１３乃至１５のいずれか一項に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１７】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、
前記回収手段は、前記シートの前記ウエハを粘着保持している側に前記ウエハから離間して配置された吸い取り装置を有することを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１８】
前記吸い取り装置は前記シートに対して相対移動可能であり、前記剥離対象のウエハ片を回収する際に前記シートと接近することを特徴とする請求項１７に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項１９】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、
前記回収手段は、前記シートの前記ウエハを粘着保持している側に前記加熱ヘッドと対向して配置される吸着ノズルを有し、
前記吸着ノズルは前記シートに対して相対移動可能であり、前記シートと接近して前記剥離対象のウエハ片を吸着するようになっていることを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２０】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、
前記回収手段は、頂部に向けて先細りする突出部を有し、テープ状の粘着体を前記突出部の頂部で折り返す粘着体折り返し部材を有し、
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、各々の突出部が対向するようにして配置され、
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが相対移動可能であり、接近して、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させるようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２１】
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させるようになっていることを特徴とする請求項２０に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２２】
前記折り返し部材と前記粘着体折り返し部材とが、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させるようになっていることを特徴とする請求項２０に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２３】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、
前記回収手段は、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材であって、方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、前記突出部の前記頂部で折り返す粘着体折り返し部材を有し、
前記粘着体折り返し部材は、前記シートの前記ウエハを粘着保持している側に、その突出部が前記加熱ヘッドと対向するようにして配置され、
前記粘着体折り返し部材は前記シートに対して相対移動可能であり、前記シートと接近して、前記粘着体の折り返し部分と前記剥離対象のウエハ片とを接触させるようになっていることを特徴とする請求項１３乃至１６のいずれか一項に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２４】
前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、
前記回収手段は、紐状の粘着体を保持する粘着体保持機構を有し、
前記折り返し部材と前記粘着体保持機構とが相対移動可能であり、接近して、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記紐状の粘着体と、を接触させるようになっていることを特徴とする請求項１６に記載のウエハ片剥離装置。
【請求項２５】
熱剥離シートからなるシートと、前記シート上に粘着保持された円盤状ウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハと、を有する円盤状ウエハ付シートを準備する工程と、
前記円盤状ウエハのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
前記ウエハ片のうち不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を前記シートから剥離させる工程と、
を備え、前記シートと、前記シート上に粘着保持されるとともに、前記ＩＣチップを構成しないウエハ片および前記不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する方法であって、
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、
前記シートの前記ウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッドに対面するようにして、前記加熱ヘッドと前記シートとを接触させる工程と、
前記シートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドにより加熱する工程と、
を有することを特徴とする選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項２６】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程において、
前記加熱ヘッドと前記シートとが相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドが順次加熱していくことを特徴とする請求項２５に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項２７】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程において、
前記ウエハを横断する幅を有した前記加熱ヘッドが幅方向に直交する方向に前記シートと相対移動して、前記シートの前記剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッドが順次加熱していくことを特徴とする請求項２６に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項２８】
前記加熱ヘッドとシートとを接触させる工程において、頂部に向けて先細りする突出部を有し前記突出部の前記頂部に前記加熱ヘッドが組み込まれた折り返し部材の前記突出部の前記頂部で前記シートを折り返し、前記加熱ヘッドと前記シートとを接触させ、
前記加熱する工程において、前記シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を、前記加熱ヘッドにより加熱することを特徴とする請求項２５乃至２７のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項２９】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、
前記回収する工程において、前記シートの前記ウエハを粘着保持している側に前記ウエハから離間して配置された吸い取り装置により、前記剥離対象であるウエハ片を吸い取ることを特徴とする請求項２５乃至２８のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３０】
前記回収する工程において、
前記吸い取り装置と前記加熱ヘッドとが接近して、前記吸い取り装置が前記剥離対象であるウエハ片を吸い取ることを特徴とする請求項２９に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３１】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、
前記回収する工程は、
前記剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、
前記剥離対象のウエハ片を吸着した前記吸着ノズルと、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項２５乃至２８のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３２】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、
前記回収する工程は、
前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、粘着体と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、粘着力を有する前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項２８に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３３】
前記回収する工程は、
テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の頂部で折り返す工程をさらに有し、
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分上に配置された前記剥離対象のウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させることを特徴とする請求項３２に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３４】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項３３に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３５】
前記粘着体を粘着させる工程において、前記シートの折り返し部分と前記粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、前記剥離対象のウエハ片と前記粘着体とを接触させることを特徴とする請求項３３に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３６】
前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、前記シートの加熱される部分によって粘着保持された前記剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、
前記回収する工程は、
方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の前記突出部の前記頂部で折り返す工程と、
前記剥離対象であるウエハ片と、前記粘着体の折り返し部分と、を接触させて、前記粘着体を前記剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、
前記剥離対象のウエハ片に粘着した前記粘着体と、前記シートと、を離間させて前記剥離対象のウエハ片を前記シートから引き剥がす工程と、を有することを特徴とする請求項２５乃至２８のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３７】
前記ＩＣチップを構成しないウエハ片を、前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法で前記シートから剥離させることを特徴とする請求項２５乃至３６のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【請求項３８】
前記ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片を前記シートから剥離させる工程をさらに備え、
前記アライメント用チップとして機能するウエハ片を、前記不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法で前記シートから剥離させることを特徴とする請求項２５乃至３７のいずれか一項に記載の選別済ウエハ付シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片を、シートから剥離させるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置に関する。
【０００２】
また、本発明は、シートと、シート上に粘着保持されＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する選別済ウエハ付シートの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００３】
従来、回路を書き込まれた円盤状の円盤状ウエハは、シート上に粘着保持されてＩＣチップ１個分の大きさにダイシングされることにより、多数のウエハ片に分割される。このウエハ片の大部分は、シートから剥離された後にＩＣチップとして実装対象物に実装されていく。
【０００４】
また、個々のＩＣチップを１個ずつ供給する方法として、シート上に粘着保持された多数のＩＣチップを１個ずつシートから剥離させて供給する方法（例えば、特許文献１）と、多数のＩＣチップを有するダイシング済みの円盤状ウエハをまとめてシートから剥離させ、個々にばらされた多数のウエハ片をパーツフィーダ等に投入し、パーツフィーダ等によって各ウエハ片からなるＩＣチップを１個ずつ供給する方法と、が主に用いられている。
【特許文献１】特開平１１−３１７３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
個々のＩＣチップを１個ずつシートから剥離させる方法として、特許文献１にも開示されているように、シート越しに剥離対象であるウエハ片を突き上げて該ウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めるとともに、別途の回収手段により該ウエハ片をシートから引き剥がす方法が、広く普及している。この方法において、ウエハ片が真上に突き上げられなかった場合、該ウエハ片は隣接するウエハ片に接触し、これによって、ウエハ片を損傷させてしまうこともある。したがって、この方法においては、突き上げピン等によってウエハ片を精度良く突き上げることが要求され、このことがＩＣチップの生産性向上および製造コスト低減を阻害する一要因となってきた。
【０００６】
また、該ウエハ片に対するシートからの粘着保持力を弱めるだけでなく除去することができれば、別途の回収手段を用いて該ウエハ片をシートから引き剥がす必要がなくなる。この場合、ウエハ片剥離装置の構成が容易となるので、ウエハ片剥離装置の製造コストおよびメンテナンスを安価にすることができる。さらに、回収手段のウエハ片に対する位置決め等の操作を省くことができ、これにより、ＩＣチップの生産性を向上させることができるとともにＩＣチップの製造コストを低減することができる。
【０００７】
ところで、通常、シート上に支持された多数のウエハ片中には不良品ＩＣチップが混在しており、この不良品ＩＣチップの円盤状ウエハ中における位置はウエハの製造業者によって特定されている。したがって、とりわけパーツフィーダを用いてＩＣチップを１個ずつ供給する場合には、特定された不良品ＩＣチップの円盤状ウエハ中における位置に関する情報（例えば、ビットマップデータ）に基づき、不良品ＩＣチップを円盤状ウエハから予め剥離させて取り除いておくことが好ましい。そして、このような作業を事前に行う場合には、特許文献１に開示されているような個々のＩＣチップをシートから１個ずつ剥離させる方法が用いられ、これにともなって上述した不具合が生じていた。
【０００８】
本発明はこのような点を考慮してなされたものであり、シート上に粘着保持されるとともにダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置であって、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に除去または弱めることができ、これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置を提供することを目的とする。
【０００９】
また、通常、ウエハは円盤状からなり平面視において円形状を有するのに対し、ＩＣチップは平面視において矩形状等の方形状（四角形状）を有する。この場合、円盤状ウエハの周縁部には、円弧状の輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片からなる不要部分が必ず含まれるようになる。パーツフィーダを用いてＩＣチップを１個ずつ供給する場合には、予めこの不要部分が除去されていることが好ましい。
【００１０】
本発明はさらにこのような点を考慮してなされており、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片の発生が円盤状ウエハの形状に起因するものでありＩＣチップを構成しないウエハ片が円盤状ウエハ内に片寄って存在することから、ばらされた個々のウエハ片を選別するよりも、シートに粘着保持された円盤状ウエハの状態で不要部分を選別する方がより効率的である、との知見に基づくものである。したがって、本発明のさらなる目的は、円盤状ウエハからＩＣチップを構成しないウエハ片と不良品ＩＣチップとを効率的に取り除くことができ、これにより、シートとシート上に粘着保持されＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップを取り除かれた選別済ウエハとを有する選別済ウエハ付シートを効率的に製造することができる選別済ウエハ付シートの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明によるウエハ片剥離方法は、熱剥離シートからなるシート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させる方法であって、シートのウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッドに対面するようにして、加熱ヘッドとシートとを接触させる工程と、シートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドにより加熱する工程と、備えたことを特徴とする。
【００１２】
このようなウエハ片剥離方法によれば、シートを局部的に加熱することにより、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を大幅に弱めることができる。したがって、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。また、加熱条件等を適正化することによって、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を完全に除去することができ、この場合、別途の手段を用いることなく、重力により剥離対象のウエハ片をシートから分離させることができる。これらのことから本発明によれば、ＩＣチップの生産性を向上させるとともにＩＣチップの製造コストを低減させることができる。
【００１３】
本発明によるウエハ片剥離方法において、加熱ヘッドとシートとが相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドが順次加熱していくようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、シート上に粘着保持された複数のウエハ片を順次効率的に剥離させていくことができる。
【００１４】
この場合、ウエハを横断する幅を有した加熱ヘッドが幅方向に直交する方向にシートと相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドが順次加熱していくようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、シートが広幅を有する加熱ヘッドとの接触部分に複数の剥離対象であるウエハ片を粘着保持している場合、加熱ヘッドとシートとの位置決めを一度行うだけで、これら複数のウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。したがって、ウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。また、加熱ヘッドとシートとを加熱ヘッドの幅方向に直交する方向のみに相対移動させることによって、シート上のすべての剥離対象であるウエハ片を剥離させることができる。したがって、簡単な制御により剥離対象であるウエハ片を正確に剥離させていくことができる。
【００１５】
また、本発明によるウエハ片剥離方法においては、加熱ヘッドとシートとを接触させる工程において、頂部に向けて先細りする突出部を有し突出部の頂部に加熱ヘッドが組み込まれた折り返し部材の突出部の頂部でシートを折り返し、加熱ヘッドとシートとを接触させ、加熱する工程において、シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を、加熱ヘッドにより加熱するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めして折り返すことにより、シートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を一括して弱めることができる。また、この状態で、シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱することによって、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力を除去すること、あるいはさらに弱めることができる。そして、シートの折り返し部分上に複数の剥離対象であるウエハ片が粘着保持されている場合には、これら複数のウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。これらのことから、ウエハ片をシートからより効率的に剥離させることができる。
【００１６】
さらに、本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片剥離方法がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、回収する工程において、シートのウエハを粘着保持している側にウエハから離間して配置された吸い取り装置により、剥離対象であるウエハ片を吸い取るようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片が離間して配置された吸い取り装置によって吸引されるようになっている。そして、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に弱められるので、吸い取り装置は該ウエハ片から離間した状態で該ウエハ片を十分回収することができる。したがって、該ウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、吸い取り装置を剥離対象であるウエハ片に対して高精度に位置決めする必要がないので、該ウエハ片を効率的に剥離させて回収することができる。一方、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を吸い取り装置内に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００１７】
この場合、回収する工程において、吸い取り装置と加熱ヘッドとが接近して、吸い取り装置が剥離対象であるウエハ片を吸い取るようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片をより正確に剥離させることができる。
【００１８】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片剥離方法がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、回収する工程が、剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、剥離対象のウエハ片を吸着した吸着ノズルと、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を吸着ノズルで回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００１９】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片剥離方法がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、回収する工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着力を有する粘着体と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００２０】
この場合、回収する工程が、テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程をさらに有し、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片を簡易な方法および手段により順次回収していくことができる。なお、粘着体を折り返す工程は、加熱する工程の前に開始されるようにしてもよい。
【００２１】
さらにこの場合、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片を簡易な方法および手段により順次回収していくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に回収していくことができる。
【００２２】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離方法において、ウエハ片剥離方法がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに備え、回収する工程が、方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程と、剥離対象であるウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離方法によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００２３】
本発明によるウエハ片剥離装置は、熱剥離シートからなるシート上に粘着保持されたウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割されたウエハのウエハ片をシートから剥離させる装置であって、シートのウエハを粘着保持していない側に配置され、シートと接触してシートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を局部的に加熱する加熱ヘッドを備えたことを特徴とする。
【００２４】
このようなウエハ片剥離装置によれば、シートを局部的に加熱することにより、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を大幅に弱めることができる。したがって、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。また、加熱条件等を適正化することによって、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を完全に除去することができ、この場合、別途の手段を用いることなく、重力により剥離対象のウエハ片をシートから分離させることができる。これらのことから本発明によれば、ＩＣチップの生産性を向上させるとともにＩＣチップの製造コストを低減させることができる。
【００２５】
本発明によるウエハ片剥離装置において、加熱ヘッドとシートとが相対移動可能であり、加熱ヘッドがシートと相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドが順次加熱していくようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、シート上に粘着保持された複数のウエハ片を順次効率的に剥離させていくことができる。
【００２６】
この場合、加熱ヘッドがウエハを横断する幅を有し、加熱ヘッドはその幅方向に直交する方向にシートと相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を順次加熱していくようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、シートが広幅を有する加熱ヘッドとの接触部分に複数の剥離対象であるウエハ片を粘着保持している場合、加熱ヘッドとシートとの位置決めを一度行うだけで、これら複数のウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。したがって、ウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。また、加熱ヘッドとシートとを加熱ヘッドの幅方向に直交する方向のみに相対移動させることによって、シート上のすべての剥離対象であるウエハ片を剥離させることができる。したがって、簡単な制御により剥離対象であるウエハ片を正確に剥離させていくことができる。
【００２７】
また、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置が頂部に向けて先細りする突出部を有し、ウエハを粘着保持したシートを突出部の頂部で折り返す折り返し部材をさらに備え、加熱ヘッドが細長状の形状を有し、折り返し部材の突出部の頂部に組み込まれているようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めして折り返すことにより、シートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を一括して弱めることができる。また、この状態で、シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱することによって、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力を除去すること、あるいはさらに弱めることができる。そして、シートの折り返し部分上に複数の剥離対象であるウエハ片が粘着保持されている場合には、これら複数のウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。これらのことから、ウエハ片をシートからより効率的に剥離させることができる。
【００２８】
さらに本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、回収手段が、シートのウエハを粘着保持している側にウエハから離間して配置された吸い取り装置を有するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片が離間して配置された吸い取り装置によって吸引されるようになっている。そして、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に弱められるので、吸い取り装置は該ウエハ片から離間した状態で該ウエハ片を十分回収することができる。したがって、該ウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、吸い取り装置を剥離対象であるウエハ片に対して高精度に位置決めする必要がないので、該ウエハ片を効率的に剥離させて回収することができる。一方、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を吸い取り装置内に回収していくことができるという点において好都合である。
【００２９】
この場合、吸い取り装置がシートに対して相対移動可能であり、剥離対象のウエハ片を回収する際にシートと接近するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片をより正確に剥離させることができる。
【００３０】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、回収手段が、シートのウエハを粘着保持している側に加熱ヘッドと対向して配置される吸着ノズルを有し、吸着ノズルはシートに対して相対移動可能であり、シートと接近して剥離対象のウエハ片を吸着するようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な構成からなる回収手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を吸着ノズルで回収していくことができるという点において好都合である。
【００３１】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、回収手段が、頂部に向けて先細りする突出部を有し、テープ状の粘着体を突出部の頂部で折り返す粘着体折り返し部材を有し、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが、各々の突出部が対向するようにして配置され、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが相対移動可能であり、接近して、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な構成からなる回収手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。
【００３２】
この場合、折り返し部材と粘着体折り返し部材とが、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片を簡易な構成からなる回収手段により順次回収していくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に回収していくことができる。
【００３３】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、回収手段が、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材であって、方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、突出部の頂部で折り返す粘着体折り返し部材を有し、粘着体折り返し部材は、シートのウエハを粘着保持している側に、その突出部が加熱ヘッドと対向するようにして配置され、粘着体折り返し部材はシートに対して相対移動可能であり、シートと接近して、粘着体の折り返し部分と剥離対象のウエハ片とを接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な構成からなる回収手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。
【００３４】
あるいは、本発明によるウエハ片剥離装置において、ウエハ片剥離装置がシートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段をさらに備え、回収手段が、紐状の粘着体を保持する粘着体保持機構を有し、折り返し部材と粘着体保持機構とが相対移動可能であり、接近して、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、紐状の粘着体と、を接触させるようにしてもよい。このようなウエハ片剥離装置によれば、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な構成からなる回収手段により該ウエハ片をシートから引き剥がすことができるようになっている。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられたウエハ片を粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。
【００３５】
本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法は、熱剥離シートからなるシートと、シート上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハと、を有する円盤状ウエハ付シートを準備する工程と、円盤状ウエハのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しないウエハ片をシートから剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片をシートから剥離させる工程と、を備え、シートと、シート上に粘着保持されるとともに、ＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハと、を有する選別済ウエハ付シートを製造する方法であって、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程は、シートのウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッドに対面するようにして、加熱ヘッドとシートとを接触させる工程と、シートのうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドにより加熱する工程と、を有することを特徴とする。
【００３６】
このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、ウエハ片を剥離させる工程において、シートを局部的に加熱することにより、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を大幅に弱めることができる。したがって、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。また、加熱条件等を適正化することによって、剥離対象であるウエハ片に対するシートの粘着保持力を完全に除去することができ、この場合、別途の手段を用いることなく、重力により剥離対象のウエハ片をシートから分離させることができる。さらに、円盤状ウエハ中においてＩＣチップを構成しないウエハ片は外周近傍に片寄って存在していることから、これらのＩＣチップを構成しないウエハ片を容易かつ効率的に取り除くことができる。これらのことから、本発明によれば、シート上に粘着保持されるとともにＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが取り除かれた選別済ウエハを備えた選別済ウエハ付シートを効率的に製造することができる。また、ＩＣチップを構成しないウエハ片および不良品ＩＣチップが予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シートを用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。なお、本発明において、不良品ＩＣチップを剥離させる工程は、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程の前または後に行ってもよく、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程と並行して行ってもよい。
【００３７】
本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法においては、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程において、加熱ヘッドとシートとが相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドが順次加熱していくようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、シート上に粘着保持された複数の不良品ＩＣチップを順次効率的に取り除いていくことができる。
【００３８】
この場合、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程において、ウエハを横断する幅を有した加熱ヘッドが幅方向に直交する方向にシートと相対移動して、シートの剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッドが順次加熱していくようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、シートが広幅を有する加熱ヘッドとの接触部分に複数の不良品ＩＣチップを粘着保持している場合、加熱ヘッドとシートとの位置決めを一度行うだけで、これら複数の不良品ＩＣチップに対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。したがって、不良品ＩＣチップをシートから効率的に取り除いていくことができる。また、加熱ヘッドとシートとを加熱ヘッドの幅方向に直交する方向のみに相対移動させることによって、シート上のすべての不良品ＩＣチップを剥離させることができる。したがって、簡単な制御により不良品ＩＣチップを正確に取り除いていくことができる。
【００３９】
また、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法においては、加熱ヘッドとシートとを接触させる工程において、頂部に向けて先細りする突出部を有し突出部の頂部に加熱ヘッドが組み込まれた折り返し部材の突出部の頂部でシートを折り返し、加熱ヘッドとシートとを接触させ、加熱する工程において、シートの折り返し部分のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を、加熱ヘッドにより加熱するようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、シートを折り返し部材に対して一度位置決めして折り返すことにより、シートの折り返し部分上に一列に配置される多数のウエハ片に対するシートからの粘着保持力を一括して弱めることができる。また、この状態で、シートの折り返し部分のうち不良品ＩＣチップを粘着保持する部分を加熱することによって、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、不良品ＩＣチップに対する粘着保持力を除去すること、あるいはさらに弱めることができる。そして、シートの折り返し部分上に複数の不良品ＩＣチップが粘着保持されている場合には、これら複数の不良品ＩＣチップに対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。これらのことから、不良品ＩＣチップをシートからより効率的に取り除いていくことができる。
【００４０】
さらに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程が、シートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、回収する工程において、シートのウエハを粘着保持している側にウエハから離間して配置された吸い取り装置により、剥離対象であるウエハ片を吸い取るようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップが離間して配置された吸い取り装置によって吸引されるようになっている。そして、不良品ＩＣチップに対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に弱められるので、吸い取り装置は該不良品ＩＣチップから離間した状態で該不良品ＩＣチップを十分回収することができる。したがって、該不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片をシートから引き剥がすことができる。また、吸い取り装置を不良品ＩＣチップに対して高精度に位置決めする必要がないので、該不良品ＩＣチップを効率的に剥離させて回収することができる。一方、該不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられた不良品ＩＣチップを吸い取り装置内に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００４１】
この場合、回収する工程において、吸い取り装置と加熱ヘッドとが接近して、吸い取り装置が剥離対象であるウエハ片を吸い取るようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップをより正確に剥離させることができる。
【００４２】
あるいは、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程が、シートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、回収する工程が、剥離対象のウエハ片を吸着ノズルによって吸着する工程と、剥離対象のウエハ片を吸着した吸着ノズルと、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該不良品ＩＣチップをシートから引き剥がすことができる。また、該不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられた不良品ＩＣチップを吸着ノズルで回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００４３】
あるいは、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程が、シートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、回収する工程が、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、粘着力を有するシートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該不良品ＩＣチップをシートから引き剥がすことができる。また、該不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられた不良品ＩＣチップを粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００４４】
この場合、回収する工程が、テープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程をさらに有し、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させるようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップを簡易な方法および手段により順次取り除いていくことができる。
【００４５】
さらにこの場合、粘着体を粘着させる工程において、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが斜めに配置されるようにして、さらに好ましくは、シートの折り返し部分と粘着体の折り返し部分とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体とを接触させるようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップを簡易な方法および手段により順次回収していくことができる。また、テープ状の粘着体を剥離対象である不良品ＩＣチップのみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に取り除いていくことができる。
【００４６】
あるいは、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片を剥離させる工程が、シートの加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する工程をさらに有し、回収する工程が、方形状からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有するテープ状の粘着体を、頂部に向けて先細りする突出部を有した粘着体折り返し部材の突出部の頂部で折り返す工程と、剥離対象であるウエハ片と、粘着体の折り返し部分と、を接触させて、粘着体を剥離対象のウエハ片に粘着させる工程と、剥離対象のウエハ片に粘着した粘着体と、シートと、を離間させて剥離対象のウエハ片をシートから引き剥がす工程と、を有するようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、剥離対象である不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、簡易な方法および手段により該不良品ＩＣチップをシートから引き剥がすことができる。また、該不良品ＩＣチップに対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、シートから剥離させられた不良品ＩＣチップを粘着体に回収していくことができるという点において好都合である。なお、回収工程は、加熱する工程中、および加熱する工程の前後のいずれに開始されるようにしてもよい。
【００４７】
さらに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、ＩＣチップを構成しないウエハ片を、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法でシートから剥離させるようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、ＩＣチップを構成しないウエハ片を効率的に取り除くことができる。
【００４８】
さらに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法において、選別済ウエハ付シートの製造方法がウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片をシートから剥離させる工程をさらに備え、アライメント用チップとして機能するウエハ片を、不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片と同様の方法でシートから剥離させるようにしてもよい。このような選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、アライメント用チップを効率的に取り除くことができる。なお、本発明において、アライメント用チップを剥離させる工程は、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程の前または後に行ってもよく、また、ＩＣチップを構成しないウエハ片を剥離させる工程と並行して行ってもよい。
【発明の効果】
【００４９】
本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置によれば、ウエハ片を破損させてしまうことなく剥離対象であるウエハ片に対するシートからの粘着保持力を効率的に除去または弱めることができ、これにより、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる
また、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法によれば、円盤状ウエハからＩＣチップを構成しないウエハ片と不良品ＩＣチップとを効率的に取り除くことができる。また、この方法によって得られる選別済ウエハ付シートを用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５０】
以下、図面を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法のいくつかの実施の形態について説明する。
【００５１】
第１の実施の形態
まず、図１、図２、図１９、および図２０を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態、並びにその変形例について説明する。
【００５２】
ここで、図１はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図であり、図２は図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図であり、図１９は選別済ウエハ付シートを示す斜視図であり、図２０は円盤状ウエハ付シートを示す斜視図である。
【００５３】
なお、以下の記載により、選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態として、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａからウエハ片を取り除き選別済ウエハ付シート１０を製造する方法について説明するが、この中に含まれる、ウエハ片を支持シート１１上から剥離させる方法および装置４０がそれぞれウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に該当する。
【００５４】
＜選別済ウエハ付シート、円盤状ウエハ付シート＞
まず、図１９および図２０を用いて、選別済ウエハ付シート１０および円盤状ウエハ付シート１０ａについて説明する。
【００５５】
図２０に示すように、円盤状ウエハ付シート１０ａは、粘着性を有する支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハ２０ａであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハ２０ａと、を有している。このようなダイシング済みの円盤状ウエハ２０ａは、例えば、半導体からなる円盤状の薄い基板（例えば、シリコンウエハ）へ多数の回路（図示せず）を形成し、この基板を支持シート１１上に粘着保持させて一方向およびこの一方向に直交する他方向に沿ってそれぞれ等間隔にダイシングして回路毎に分割することにより、得られる。
【００５６】
円盤状ウエハ２０ａのウエハ片には、回路を書き込まれ方形状（本実施の形態においては、矩形状）を有するウエハ片（以下において単に「ＩＣチップ」とも呼ぶ）１８と、円盤状ウエハ２０ａの形状に起因して弧状輪郭を一部分に有し、このため矩形状のＩＣチップを構成しないウエハ片（以下において「不要ウエハ片」とも呼ぶ）２１と、円盤状ウエハ２０ａ内における各ウエハ片の位置（「番地」とも呼ばれている）を特定するための基準となるアライメント用チップとして機能するウエハ片（以下において単に「アライメント用チップ」とも呼ぶ）２６と、が含まれる。なお、円盤状ウエハ２０ａの製造においては、上述した半導体からなる円盤状の薄い基板の内、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を構成すると予想される範囲に回路を書き込まないこともある。すなわち、不要ウエハ片２１には予め回路が書き込まれていないこともある。
【００５７】
このうちＩＣチップを構成するウエハ片１８は、良品ＩＣチップ１８ａと、不良品ＩＣチップ２４と、に分類される。なお、本願における「不良品ＩＣチップ」とは、何らかの異常を有しＩＣチップとして予定された機能を発揮することができないことが判明しているとともに、支持シート１１に粘着保持された状態でウエハ内のどの位置に存在するかも判明しているウエハ片を指し示す。このような不良品ＩＣチップ２４は、例えば、円盤状ウエハ２０ａの製造中における回路の書き損じ等の不具合を原因として生じ、通常、円盤状ウエハ２０ａ内の不規則な場所に位置している。そして、例えば、回路が焼き付けられた円盤状ウエハ２０ａを支持シート１１上でダイシングした後にウエハ製造者が行う検査に基づき、不良品ＩＣチップ２４の有無およびその位置が、ビットマップデータとして提供されることにより、あるいは円盤状ウエハ中の不良品ＩＣチップ２４に直接マーキングされることにより、特定される。上述したように、本実施の形態においては、円盤状ウエハ中２０ａにアライメント用チップ２６が含まれており、このアライメント用チップ２６を基準として不良品ＩＣチップ２４の位置が特定されているものとする。
【００５８】
一方、本願における「良品ＩＣチップ１８ａ」とは、不良品ＩＣチップ２４以外のＩＣチップ１８を指し示す。したがって、良品ＩＣチップ１８ａとは、後工程での検査により良品と判定されるか否かは問題としない。
【００５９】
一方、支持シート１１は熱剥離シートからなっている。ここで熱剥離シートとは、粘着層を設けられたシートであって、加熱されると加熱された部分の粘着力が除去または大幅に低下するようになっているシートである。
【００６０】
例えば、ＰＥＴフィルム基材からなる透明なシート上に、アクリル系熱再剥離型接着剤等を粘着層として塗布する（粘着処理する）ことによって、熱剥離シートを形成することができ、感熱型または加熱型の再剥離シート、あるいは熱発泡剥離シート等の名称で流通されるとともに入手可能である。このような構成からなる熱剥離シートにおいては、粘着層により円盤状ウエハ２０ａを粘着保持するための粘着力が支持シート１１に付与されるが、加熱されると加熱された部分の粘着層から気体が発生し、粘着層上に気体層が形成され粘着力が除去または大幅に低下するようになっている。なお、粘着力を除去または低下させるための加熱温度は、用いられる熱再剥離型接着剤を適宜選択することにより調整することができる。
【００６１】
通常、支持シート１１はその外周縁をリング状等の保持フレーム１３（図１）によって保持されており、保持リング１３には位置決め用のアラインメントマーク１３ａ（図１）が形成されていることもある。
【００６２】
後に詳しく説明するように、このような構成からなる円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａから不要ウエハ片２１と不良品ＩＣチップ２４とを取り除くことにより、図１９に示す選別済ウエハ付シート１０が得られる。また、図１９に示されているように、本実施の形態においては、さらにアライメント用チップ２６も取り除かれている。
【００６３】
本実施の形態においては、不要ウエハ片２１を含む外周部分（図２０における斜線部分）２２を取り除くことによって、円盤状ウエハ２０ａから不要ウエハ片２１が取り除かれている。外周部分２２には、円盤状ウエハ２０ａ中の弧状輪郭を一部分に有するため矩形状のＩＣチップ１８を構成しない不要ウエハ片２１がすべて含まれている。
【００６４】
このように本実施の形態における選別済ウエハ付シート１０は、熱剥離シートからなり粘着力を有する支持シート１１と、支持シート１１に粘着保持されるとともに外周部分２２と不良品ＩＣチップ２４とアライメント用チップ２６とが取り除かれた選別済ウエハ２０と、を有しており、この結果、選別済ウエハ２０は良品ＩＣチップ１８ａのみから構成される。
【００６５】
なお、選別済ウエハ付シート１０は、外周部分２２、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６の有無を除けば、円盤状ウエハ付シート１０ａと略同一の構成からなっている。したがって、図１９において、円盤状ウエハ付シート１０ａと同一部分には同一符号を付すとともに重複する詳細な説明は省略する。
【００６６】
＜ウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法＞
以下に、主に図１及び図２を用いて、熱剥離シートからなる支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持されるとともに不要ウエハ片２１および不良品ＩＣチップ２４が取り除かれた選別済ウエハ２０と、を有する選別済ウエハ付シート１０を製造する方法について説明する。
【００６７】
上述したように、また、図１および図２に示されているように、本実施の形態における選別済ウエハ付シート１０の製造方法は、粘着力を有する支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持された円盤状の円盤状ウエハ２０ａであってダイシングされて多数のウエハ片に分割された円盤状ウエハ２０ａと、を有する円盤状ウエハ付シート１０ａを準備する工程と、円盤状ウエハ２０ａのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を、支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップ２４と判定されたウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片２６を支持シート１１から剥離させる工程と、を備えている。
【００６８】
本実施の形態において、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６は、同一の方法により並行して支持シート１１から剥離させられる。そして、図１および図２に示すように、ウエハ片剥離方法（これらのウエハ片を剥離する工程）は、支持シート１１のウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５に対面するようにして、加熱ヘッド３５と支持シート１１とを接触させる工程と、支持シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッド３５により加熱する工程と、を有している。
【００６９】
以降、ウエハ片剥離方法について、ウエハ片剥離装置４０とともにさらに詳述していく。
【００７０】
まず、本実施の形態におけるウエハ片剥離装置４０について説明する。図１および図２に示すように、ウエハ片剥離装置４０は、支持シート１１のウエハを粘着保持していない側に配置された加熱ヘッド３５と、加熱ヘッド３５を支持シート１１と相対移動可能に保持する保持部材３７と、を有している。
【００７１】
図１に示すように、本実施の形態において、加熱ヘッド３５は細長状からなり、ウエハを横断する幅、言い換えると、円盤状ウエハ２０ａの直径より大きな幅を有している。一方、加熱ヘッド３５は、図２に示すように、幅方向に直交する方向に沿って、整列配置されたウエハ片を３つ覆うことができるような長さ（厚み）を有している。
【００７２】
また加熱ヘッドは、接触物（本実施の形態においては支持シート１１）の任意の一部分を局部的に加熱することができるようになっている。本実施の形態における加熱ヘッド３５は、その先端面に、高密度で配列された多数の微小な発熱体素子を有している。そして、各発熱体素子の発熱を制御することによって、加熱ヘッドへの接触物（本実施の形態においては支持シート１１）の任意の一部分を局部的に加熱することができるようになっている。なお、このような加熱ヘッドとして、例えばサーマルプリンタ用ヘッドを用いることができ、昨今のサーマルプリンタ用ヘッドにおいては、略０．１ｍｍピッチで発熱体素子が配列されているものもある。
【００７３】
ウエハ片剥離装置４０は、円盤状ウエハ付シート１０ａを保持する保持機構３９をさらに備えている。一方、加熱ヘッド３５を保持する保持部材３７は、保持機構３９に保持された円盤状ウエハ付シート１０ａに対して接近すること、および、離間することができ、また、円盤状ウエハ付シート１０ａに対して加熱ヘッド３５の幅方向に直交する方向に沿って移動することもできるようになっている。
【００７４】
次に、このような構成からなるウエハ片剥離装置４０を用いて、支持シート１１からウエハ片を剥離させる方法について説明する。
【００７５】
まず、円盤状ウエハ付シート１０ａが保持機構３９に取り付けられる。このとき、円盤状ウエハ付シート１０ａは、円盤状ウエハ２０ａが下方を向くようにして配置される。次に、加熱ヘッド３５を保持する保持部材３７が支持シート１１の上方に配置され、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａに対して位置決めされる。この位置決めにより、図１および図２に示すように、加熱ヘッド３５の幅方向と、円盤状ウエハ２０ａの一方向に沿ったダイシングラインと、が平行に配置されるようになる。なお、この位置決めは、円盤状ウエハ２０ａ中のアライメント用チップ２６を基準として正確に制御されるようになっている。
【００７６】
その後、図２に示すように、円盤状ウエハ付シート１０ａに保持部材３７が接近し、保持部材３７に支持された加熱ヘッド３５と円盤状ウエハ２０ａとが接触する。図１および図２に示すように、また上述したように、加熱ヘッド３５の幅方向長さは円盤状ウエハ２０ａの直径より大きく、加熱ヘッド３５の厚みは整列配置されたウエハ片の３つ分の長さ（さらに詳しくは、加熱ヘッド３５の幅方向に直交する方向に沿ったウエハ片の辺の長さの３つ分）より長くなっている。したがって、支持シート１１の加熱ヘッド３５によって覆われる部分（加熱ヘッド３５との接触部分）には、多数のウエハ片が粘着保持されている。
【００７７】
次に、支持シート１１の加熱ヘッド３５との接触部分のうち、剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分が、該ウエハ片に対する粘着保持力が除去される温度まで加熱ヘッド３５によって加熱される。支持シート１１からの粘着保持力を除去されたウエハ片は自重によって下方へ落下し、これにより、剥離対象であるウエハ片を支持シート１１から剥離させることができる。
【００７８】
ところで、本実施の形態における剥離対象であるウエハ片とは、上述したように、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６のいずれかである。剥離対象となるこれらのウエハ片の位置は、上述したビットマップデータや予め設定された外周部分２２の範囲に関するデータ等を用い、アライメント用チップ２６の位置を基準として割り出される。これにより、支持シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッド３５で正確に加熱することができる。
【００７９】
なお、支持シート１１の加熱ヘッド３５との接触部分に複数の剥離対象のウエハ片が粘着保持されている場合がある。この場合、支持シート１１のうちこれら複数のウエハ片を保持する部分が、加熱ヘッド３５によって順次加熱されていくようにしてもよいが、生産効率を考慮して同時に加熱されることが好ましい。
【００８０】
その後、保持部材３７が、加熱ヘッド３５の幅方向に直交する方向に沿って、円盤状ウエハ付シート１０ａに対して移動する。上述したように、加熱ヘッド３５は、整列配置されたウエハ片の該移動方向に沿った辺の長さ３つ分の厚みを有している。したがって、このときの保持部材３７の移動長さは、ウエハ片の該移動方向に沿った辺の長さ３つ分とすればよい。そして、加熱ヘッド３５と支持シート１１との相対移動が停止すると、上述した方法と同様にして、支持シート１１の加熱ヘッド３５との接触部分に粘着保持された剥離対象であるウエハ片が剥離させられる。
【００８１】
上述したように、加熱ヘッド３５の幅は、円盤状ウエハ２０ａの直径より大きい。したがって、加熱ヘッド１１は、その幅方向に直交する方向に沿って、支持シートの円盤状ウエハ２０ａの一側から他側まで移動することにより、支持シート１１の円盤状ウエハ２０ａを粘着保持する全部分に接触することができる。この結果、円盤状ウエハ２０ａ中に含まれるすべての剥離対象であるウエハ片を支持シート１１から剥離させることができる。
【００８２】
以上のようにして、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が支持シート１１から順次剥離させられていく。そして、図１９に示すような、支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持され良品ＩＣチップ１８ａのみから構成される選別済ウエハ２０と、を備えた選別済ウエハ付シート１０が得られる。
【００８３】
＜作用効果＞
以上のように第１の実施の形態によれば、ウエハ片剥離装置４０は任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５を備え、ウエハ片を剥離させる工程において、この加熱ヘッド３５により支持シート１１の剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱して、該ウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を除去するようになっている。したがって、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、高い歩留まりでウエハ片をシートから効率的に剥離させることができる。同時に、別途の手段を用いることなく、重力により剥離対象のウエハ片をシートから分離させることができる。また、支持シート１１に粘着保持された円盤状ウエハ２０ａの状態でＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を取り除くようになっている。このときＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１は円盤状ウエハ２０ａ中において外周近傍に片寄って存在しており、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を、この部分を含んだ外周部分２２として容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を効率的に剥離させることができる。これらのことから、本実施の形態によれば、支持シート１１上に粘着保持されるとともに、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が取り除かれた選別済ウエハ２０を備えた選別済ウエハ付シート１０を効率的に製造することができる。また、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シート１０を用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。
【００８４】
また、本実施の形態によれば、加熱ヘッド３５が剥離対象であるウエハ片を含んだウエハを横断する幅を有し、加熱ヘッド３５がその幅方向に直交する方向に支持シート１１と相対移動して、支持シート１１の剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を順次加熱していくようになっている。したがって、支持シート１１が広幅を有する加熱ヘッド３５との接触部分に複数の剥離対象であるウエハ片を粘着保持している場合、加熱ヘッド３５と支持シート１１との位置決めを一度行うだけで、これら複数の剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去することができる。したがって、剥離対象であるウエハ片を支持シート１１から効率的に取り除いていくことができる。また、加熱ヘッド３５と支持シート１１との位置決めを一度行った後は、加熱ヘッド３５と支持シート１１とを加熱ヘッド３５の幅方向に直交する方向のみに相対移動させることによって、支持シート１１上のすべての剥離対象であるウエハ片を剥離させることができる。したがって、簡単な制御により剥離対象であるウエハ片を正確に剥離させていくことができる。
【００８５】
なお、以上の記載により、本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態が、本発明による選別済ウエハ付シート１０の製造方法の第１の実施の形態とともに説明されてきた。したがって、上述したウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態では、支持シート１１から不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が剥離させられている。しかしながら、当然に、上述したウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置４０により支持シート１１から良品ＩＣチップ１８ａを剥離させていくことも可能である。
【００８６】
＜変形例＞
上記の第１の実施の形態に関し、本発明の要旨の範囲内で種々の変更が可能である。以下、変形例の一例について説明する。
【００８７】
［加熱ヘッドに関する変形例］
上述した実施の形態において、加熱ヘッド３５が、剥離対象であるウエハ片を含んだウエハを横断する幅を有するとともに、幅方向に直交する方向に沿って整列配置されたウエハ片を３つ覆うことができる厚みを有する例を示したが、これに限られない。加熱ヘッド３５と支持シート１１とが相対移動可能であれば、加熱ヘッド３５の大きさは特に限定されない。あるいは、加熱ヘッド３５が、支持シート１１のウエハを粘着保持する部分と同一形状、またはこの部分を覆うことができる形状を有するようにしてもよい。
【００８８】
さらに、本実施の形態においては、加熱ヘッド３５が支持シート１１に対して移動するようになっている例を示したが、これに限られず、支持シート１１が加熱ヘッド３５に対して移動するようにしてもよいし、両者が互いに対して移動するようにしてもよい。
【００８９】
［ウエハ片を剥離させる順番に関する変形例］
上述した実施の形態においては、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａ中の、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６を並行して支持シート１１から剥離させていく例を示したが、これに限られない。例えば、円盤状ウエハ付シート１０ａの支持シート１１から、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６をまず剥離させ、その後に、外周部分２２に含まれるウエハ片を剥離させるようにしてもよい。また、円盤状ウエハ付シート１０ａの支持シート１１から、外周部分２２に含まれるウエハ片をまず剥離させ、その後に、不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６を剥離させるようにしてもよい。
【００９０】
なお、円盤状ウエハ付シート１０ａの円盤状ウエハ２０ａから、外周部分２２に含まれるウエハ片を最初に取り除くと、図２１に示す、支持シート１１と、支持シート１１に粘着保持された外周部分取り除き済ウエハ２０ｂと、を備えた外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂが得られる。そして、この外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂから不良品ＩＣチップ２４およびアライメント用チップ２６を剥離させることにより、選別済ウエハ付シート１０を得ることができる。
【００９１】
図２１に示された例において、外周部分取り除き済ウエハ２０ｂは整列配置された多数の矩形状のウエハ片からなっており、さらに詳しくは、ＩＣチップ１８およびアライメント用チップ２６からなっている。そして、外周部分取り除き済ウエハ２０ｂの周縁部分（図２１における斜線部分）１６はＩＣチップ１８のみから構成されている。
【００９２】
外周部分取り除き済ウエハ付シート１０ｂは、外周部分２２の有無を除き、図２０に示す円盤状ウエハ付シート１０ａと略同一の構成からなっている。したがって、図２１において、円盤状ウエハ付シート１０ａと同一部分には同一符号を付すとともに重複する詳細な説明は省略する。
【００９３】
［不要ウエハ片を取り除く（剥離させる）方法の変形例］
上述した実施の形態においては、外周部分２２を取り除く（剥離させる）ことによって、不要ウエハ片２１を円盤状ウエハ付シート１０ａから取り除く（剥離させる）ようにしている。ここでいう外周部分２２とは、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１のみから構成されなくてもよい。すなわち、円盤状ウエハ付シート１０ａから厳密に不要ウエハ片２１のみを取り除くのではなく、不要ウエハ片２１とともに、例えば良品ＩＣチップ１８ａを取り除くことをも想定している。
【００９４】
不要ウエハ片２１の発生原因からして、円盤状ウエハ２０ａ中の不要ウエハ片２１が占める範囲は、円盤状ウエハ２０ａの大きさおよび形状、並びにＩＣチップ１８の大きさおよび形状等、製造されるＩＣチップの製品種別に毎に異なる。そして、１つの円盤状ウエハ１０ａから２０万個以上のＩＣチップ１８が取り出されることがあるように、一般的に１つの円盤状ウエハから多数のウエハ片が形成される。これらのことを考慮すると、製造条件を煩雑にしてＩＣチップの製品種別毎にＩＣチップ１８と不要ウエハ片２１とを厳密に選別するよりも、不要ウエハ片２１を効率的に取り除くことの方が、製造原価の観点から好ましい場合が多い。すなわち、歩留まりよりも効率を優先することにより、結果として、製造原価が低減される場合が多い。このために、本実施の形態においては不要ウエハ片２１を取り除くために、不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を取り除いているのである。
【００９５】
しかしながら、これに限られず、一部に弧状輪郭を有する不要ウエハ片２１を厳密に選別し、不要ウエハ片２１のみを円盤状ウエハ付シート１０から取り除き選別済ウエハ付シート１０を製造するようにしてもよい。
【００９６】
［複数の変形例の組み合わせ］
以上のように、ウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置４０、および選別済シート付ウエハ１０の第１の実施の形態に関するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて用いることも可能である。
【００９７】
第２の実施の形態
次に、図３および図４を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態について説明する。
【００９８】
このうち図３はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図であり、図４はウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図である。
【００９９】
第２の実施の形態における選別済ウエハ付シートの製造方法は、上述した第１の実施の形態と同様に、支持シート１１と円盤状ウエハ２０ａとを有する円盤状ウエハ付シート１０ａを準備する工程と、円盤状ウエハ２０ａのウエハ片のうち弧状輪郭を一部分に有しＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を含む外周部分２２を、支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうち不良品ＩＣチップ２４と判定されたウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程と、ウエハ片のうちアライメント用チップとして機能するウエハ片２６を支持シート１１から剥離させる工程と、を備えており、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６は、同一の方法により並行して支持シート１１から剥離させられる。そして、ウエハ片剥離方法（ウエハ片を支持シート１１から剥離させる工程）は、第１の実施の形態と同様に、支持シート１１のウエハを粘着保持していない側の面が、任意の部分を局部的に加熱することができる加熱ヘッド３５に対面するようにして、加熱ヘッド３５と支持シート１１とを接触させる工程と、支持シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を前記加熱ヘッド３５により加熱する工程と、を有している。
【０１００】
ただし、第２の実施の形態においては、支持シート１１の加熱ヘッド３５との接触部分に粘着保持されたウエハ片に対する粘着保持力が、一時的に弱められるようになっている。この点において、第２の実施の形態におけるウエハ片剥離方法（ウエハ片を剥離する工程）およびウエハ片剥離装置４０が、第１の実施の形態と異なり、他は略同一である。図３および図４において、図１および図２に示す第１の実施の形態と同一部分には同一符号を付して、重複する説明については省略する。
【０１０１】
まず、第２の実施の形態におけるウエハ片剥離装置４０について説明する。図３に示すように、本実施の形態におけるウエハ片剥離装置４０は、加熱ヘッド３５と、鋭角状に突出し頂部４３に向けて先細りする突出部４２を有し、ウエハを粘着保持した支持シート１１を突出部４２の頂部４３で折り返す折り返し部材４１と、を備えている。図３および図４に示すように、加熱ヘッド３５は細長状の形状を有し、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に、頂部４３の長手方向に沿って組み込まれている。そして、折り返し部材４１は、その突出部４２の頂部４３、すなわち加熱ヘッド３５が上方を向くようにして配置されている。なお、折り返し部材４１としては、例えば、ラベルやシール等の剥離に用いられるナイフエッジを用いることができる。
【０１０２】
また、図４に示すように、ウエハ片剥離装置４０は、折り返し部材４１の近傍に配置され、準備された円盤状ウエハ付シート１０を保持する保持機構（送り込み機構）４４をさらに備えている。保持機構４４は、支持シート１１を把持することができる一側把持部材４４ａと他側把持部材４４ｂとを有している。保持機構４４の一側把持部材４４ａおよび他側把持部材４４ｂは折り返し部材４１を挟んで配置されている。図４に示されているように、円盤状ウエハ付シート１０ａは、支持シート１１が折り返し部材４１に対面するようにして保持機構４４によって保持され、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において折り返される。
【０１０３】
図３に示されているように、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３および加熱ヘッド３５は、支持シート１１に粘着保持されたウエハを横断する幅を有しており、さらに本実施の形態においては支持シート１１よりも幅広となっている。
【０１０４】
また、一側把持部材４４ａと他側把持部材４４ｂは折り返し部材４１に対して移動自在となっており、移動することによって円盤状ウエハ付シート１０ａ（支持シート１１）を折り返し部材４１上において摺動させることができるようになっている。
【０１０５】
次に、このようなウエハ片剥離装置４０を用い、ウエハ片を剥離させる工程（方法）について説明する。
【０１０６】
まず、円盤状ウエハ付シート１０ａが保持機構４４によって保持され、折り返し部材４１（加熱ヘッド３５）に対して移動させられる。図３に矢印で示すように、このような円盤状ウエハ付シート１０ａの折り返し部材４１に対する移動は、円盤状ウエハ２０ａに形成された一方向に沿ったダイシングラインと、折り返し部材４１の突出部の４２の頂部４３（加熱ヘッド３５）の長手方向と、が平行になるようにして行われる。なお、このような移動は、円盤状ウエハ２０ａ中のアライメント用チップ２６を基準として正確に制御されるようになっている。
【０１０７】
そして、支持シート１１上に整列配置されたウエハ片の一列が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３上に達すると、支持シート１１の移動が一旦停止する。言い換えると、図３に示すように、支持シート１１上に整列配置されたウエハ片の一列が支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置されるようにして、支持シート１１の移動が一旦停止する。図４に示すように、このとき頂部４３上に配置された一列のウエハ片を粘着保持する支持シート１１は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の輪郭に沿って線状に折り返され、移動方向の前方側および後方側の一部において支持シート１１がウエハ片から剥離する。これにより、折り返し部分４７（折り返し線４５）上に一列に配置された多数のウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力が一斉に弱められるようになる。
【０１０８】
次に、支持シート１１の折り返し部分４７のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分が、加熱ヘッド３５により加熱される。これにより、剥離対象であるウエハ片に対する支持シート１１の粘着保持力が除去され、該ウエハ片は重力により自然落下する（図３）。
【０１０９】
ところで、本実施の形態における剥離対象であるウエハ片とは、第１の実施の形態で既に説明したように、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６のいずれかである。剥離対象となるこれらのウエハ片の位置は、上述したビットマップデータや予め設定された外周部分２２の範囲に関するデータ等を用いて、アライメント用チップ２６の位置を基準として割り出される。これにより、支持シート１１のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱ヘッド３５で正確に加熱することができる。
【０１１０】
なお、支持シート１１の加熱ヘッド３５との接触部分に複数の剥離対象のウエハ片が粘着保持されている場合には、第１の実施の形態と同様に、支持シート１１のうちこれら複数のウエハ片を保持する部分が、加熱ヘッド３５によって順次加熱されていくようにしてもよいが、生産効率を考慮して同時に加熱されることが好ましい。
【０１１１】
このようにして、支持シート１１の折り返し部分４７上に一列に並んだ多数のウエハ片中に介在する剥離対象であるウエハ片がすべて支持シート１０から剥離させられる。その後、当該一列のウエハ片に隣接する次の一列のウエハ片が頂部４３上に達するまで支持シート１１が再度移動させ、同様にして剥離対象であるウエハ片が剥離させられていくことが繰り返される。
【０１１２】
以上のようにして、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が支持シート１１から順次剥離させられていく。そして、図１９に示すような、支持シート１１と、支持シート１１上に粘着保持され良品ＩＣチップ１８ａのみから構成される選別済ウエハ２０と、を備えた選別済ウエハ付シート１０が得られる。
【０１１３】
以上のように第２の実施の形態によれば、ウエハ片剥離装置４０は鋭角状に頂部に向けて先細りする突出部４２を有した折り返し部材４１と、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に組み込まれた加熱ヘッド３５と、を備えている。そして、支持シート１１を折り返し部材４１に対して一度位置決めして折り返すことにより、支持シート１１の折り返し部分４７上に一列に配置される多数のウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力を一括して弱めることができる。また、この状態で、支持シート１１の折り返し部分４７のうち剥離対象であるウエハ片を粘着保持する部分を加熱することによって、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力を除去することできる。そして、支持シート１１の折り返し部分４７上に複数の剥離対象であるウエハ片が粘着保持されている場合には、これら複数のウエハ片に対する粘着保持力を、同時または順次、除去または弱めることができる。これらのことから、ウエハ片を損傷させてしまうことなく、高い歩留まりで剥離対象であるウエハ片を支持シート１１からより効率的に取り除いていくことができる。
【０１１４】
また、折り返し部材４１で支持シート１１を折り返すことによって、ウエハ片に対する粘着保持力が予め弱められるため、加熱ヘッド３５による支持シート１１の加熱量を軽減させることができる。これにより、加熱によって支持シート１１に変形が生じてしまうことを抑制することができ、より正確に剥離対象であるウエハ片を剥離させることができる。
【０１１５】
また、本実施の形態によれば、折り返し部材４１による支持シート１１の折り返しと、加熱ヘッド３５による支持シート１１の加熱と、によって剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力が弱められるようになっている。したがって、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力をより確実に除去することができ、これにより、別途の手段を用いることなく、重力により剥離対象のウエハ片を支持シート１１からより確実に分離させることができるようになる。
【０１１６】
さらに、本実施の形態によれば、第１の実施の形態と同様に、支持シート１１に粘着保持された円盤状ウエハ２０ａの状態でＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を取り除くようになっている。このときＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１は円盤状ウエハ２０ａ中において外周近傍に片寄って存在しており、ＩＣチップを構成しないウエハ片２１を、この部分を含んだ外周部分２２として容易かつ効率的に取り除くことができる。これにより、ＩＣチップを構成しない不要ウエハ片２１を効率的に剥離させることができる。
【０１１７】
これらのことから、本実施の形態によれば、支持シート１１上に粘着保持されるとともに、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が取り除かれた選別済ウエハ２０を備えた選別済ウエハ付シート１０を効率的に製造することができる。また、不要ウエハ片２１、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６が予め取り除かれたこの選別済ウエハ付シート１０を用いてＩＣチップ実装対象物を製造すれば、結果として、信頼性の高い実装対象物を効率的に製造することができる。
【０１１８】
なお、第１の実施の形態と同様に、ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態により、支持シート１１から良品ＩＣチップ１８ａを剥離させていくことももちろん可能である。
【０１１９】
また、第１の実施の形態において説明した変形例のうち、［加熱ヘッドに関する変形例］以外の変形例は、第２の実施の形態に対しても適用することができる。
【０１２０】
さらに、本実施の形態において、折り返し部材４１の突出部４２が鋭角状に突出している例を示したが、これに限られない。支持シート１１を折り返すことにより、支持シート１１からのウエハ片に対する粘着保持力を弱めることができる限りにおいて、折り返し部材４１の突出部４２が鈍角状に突出するようにしてもよい。
【０１２１】
第３の実施の形態
次に、図５乃至図１８を参照し、本発明によるウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態について説明する。
【０１２２】
以下に説明する第３の実施の形態は、ウエハ片を剥離する工程（ウエハ片剥離方法）が、支持シート１１の加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収
する工程をさらに有し、これにともなって、ウエハ片剥離装置４０が、支持シート１１の加熱される部分によって粘着保持された剥離対象であるウエハ片を回収する回収手段５０をさらに有する点において、上述した第１または第２に実施の形態と異なり、他は略同一である。したがって、上述した第１または第２の実施の形態についての作用効果を奏することができ、また、第１または第２の実施の形態に対する変形例を適用することができる。そして、このような第３の実施の形態によれば、支持シート１１から剥離させられたウエハ片を回収手段５０に回収することができ、また、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力を完全に除去することができなかった場合においても、回収手段５０により該ウエハ片を支持シート１１から引き剥がして回収することができる、といった利点をさらに有することになる。
【０１２３】
以下に、回収手段および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程（方法）についてのいくつかの例を説明する。なお、図５乃至図１８において、第１および第２の実施の形態と同一部分には同一符号を付し、ウエハ片剥離方法、ウエハ片剥離装置、および選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態についての重複する詳細な説明は省略する。
【０１２４】
＜第１例＞
まず、図５乃至図８を用いて、回収手段および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程についての第１例を説明する。
【０１２５】
図５乃至図８は、図３および図４に示したウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、回収手段５０および回収する工程を適用した例を示している。なお、図５乃至図８において、折り返し部材４７は、その突出部４２の頂部４３が、すなわち加熱ヘッド３５が上方を向くようにして配置されている。
【０１２６】
この例における回収手段５０は、鋭角状に突出し頂部５３に向けて先細りする突出部５２を有し、テープ状の粘着体３０を突出部５２の頂部５３で折り返す粘着体折り返し部材５１と、粘着体折り返し部材５１の近傍に配置され、供給コア５４ａと巻取コア５４ｂとを有する粘着体保持機構（粘着体送り込み機構）５４と、を有している。
【０１２７】
図５乃至図８に示すように、粘着体折り返し部材５１は折り返し部材４１と、各々の突出部５２，４２が対向するようにして配置されている。粘着体折り返し部材５１は折り返し部材４１に対して相対移動可能であり、接近して、支持シート１１の折り返し部分４７上に配置された剥離対象のウエハ片と、粘着体３０の折り返し部分５７と、を接触させることができるようになっている。
【０１２８】
図５および図６に示されているように、粘着体折り返し部材５１は、突出部５２の頂部５３を含んでテープ状の粘着体３０より幅広となっており、これにより、粘着体３０を頂部５３において線状に折り返すことができるようになっている。粘着体折り返し部材５１としては、折り返し部材４１と同様に、例えば、ラベルやシール等の剥離に用いられるナイフエッジを用いることができる。粘着体３０は支持シート１１よりも強い粘着力を有していることが好ましいく、粘着体３０としては、例えば一方の表面に粘着剤が塗布されることによって粘着力を付与された粘着テープ等を用いることができる。
【０１２９】
図７に示すように、粘着体３０は粘着体保持機構５４の供給コア５４ａおよび巻取コア５４ｂによって保持され、供給コア５４ａから繰り出された粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で線状に折り返され巻取コア５４ｂへと送り込まれるようになっている。
【０１３０】
図５乃至図７に示すように、粘着体折り返し部材５１は、その突出部５２の頂部５３が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３と向き合うようにして、折り返し部材４１の上方に設けられている。図７に示すように、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３が面取りされ、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿って、剥離対象であるウエハ片の一辺の長さよりも短い幅を有するとともに、折り返し部材４１に対面する略平坦な微小面が頂部５３に形成されていることが好ましい。また、同様に、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に、粘着体折り返し部材５１に対面する略平坦な微小面を形成してもよい。
【０１３１】
なお、このように頂部５３に微小面が形成されている場合、厳密に言えば、粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の頂部５３によって面で折り返される（図７）。しかしながら、図５に示すように、頂部５３に形成される面が微小であることから、本願においては、面取りされた頂部５３で折り返されること、および、微小面を形成された頂部５３で折り返されることをも、「（折り返し線５５に沿って）線状に折り返される」と表現する。また同様に、折り返し部材４１の頂部４３によって支持シート１１が折り返される際に用いられる「（折り返し線に沿って）４５に沿って線状に折り返される」との表現は、同様の意味内容を包含することとする。
【０１３２】
ところで、後に詳述する理由から、折り返し部材４１と粘着体折り返し部材５１との相対位置については、各々の突出部４２，５２の頂部４３，５３の長手方向が互いに対してなす角度θ（図５）、言い換えると、支持シート１１の折り返し部分４７の長手方向と粘着体３０の折り返し部分５７の長手方向とが互いに対してなす角度θ、さらに言い換えると、支持シート１１の折り返し線４５と粘着体３０の折り返し線５５とが互いに対してなす角度θは、平行でないことを前提としており、図５に示すように角度θが略直交する場合が好ましい。
【０１３３】
図５に示すように、図示する例において、粘着体折り返し部材５１は折り返し部材４１に向けて進退可能となっている。また、粘着体折り返し部材５１は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向に沿った方向（図７における紙面の左右方向）、言い換えると、図５に示す支持シート１１の折り返し部分４７に沿った方向、さらに言い換えると、図１に示す支持シート１１の折り返し線４５に沿った方向に移動自在となっている。
【０１３４】
次に、このような粘着体折り返し部材５１を有する回収手段５０を用いて、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された剥離対象のウエハ片を回収する工程（方法）について、主に図７および図８を用いて説明する。なお、図８は、図７に対応する図であって、支持シート１１の折り返し線４５上に並んだ一列のウエハ片中に２つの不良品ＩＣチップ２４が含まれている例を示している。
【０１３５】
ウエハ片の引き剥がしに先立って、まずテープ状の粘着体３０が、供給コア５４ａから粘着体折り返し部材５１に沿って繰り出される。繰り出された粘着体３０は粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３で線状に折り返される（粘着体を折り返す工程）。これにより、テープ状の粘着体３０が、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３に沿って、支持シート１１の折り返し線４５上に配置されたウエハ片に対向して配置される（図７）。
【０１３６】
次に、図７に示すように、粘着体３０に覆われた粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、支持シート１１の折り返し線４５上に配置された一列のウエハ片中に存在する剥離対象のウエハ片の直上に配置されるよう、粘着体折り返し部材５１が支持シート１１の折り返し線５５（折り返し部材４１の頂部４３）に沿って移動させられる。このとき、粘着体折り返し部材４５の移動は、アライメント用チップ２６を基準として正確に位置決めされるよう制御される。
【０１３７】
なお、図示する例における剥離対象であるウエハ片とは、上述したように、外周部分２２に含まれるウエハ片、不良品ＩＣチップ２４、およびアライメント用チップ２６のいずれかである。剥離対象となるこれらのウエハ片の位置は、上述したビットマップデータや予め設定された外周部分２２の範囲に関するデータ等を用いて、アライメント用チップ２６の位置を基準として割り出される。
【０１３８】
その後、粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１に向けて降下する。図８（ａ）に示すように、粘着体折り返し部材５１は、その突出部５２の頂部５３を覆う粘着体３０の折り返し部分５７と剥離対象であるウエハ片（図示する例においては不良品ＩＣチップ２４）とが接触するまで折り返し部材４１に接近する。このような操作により、粘着体３０が剥離対象であるウエハ片に粘着する。なお、このときの粘着体３０によるウエハ片への粘着保持力は、例えば粘着体３０および支持シート１１の粘着力の強弱やこの状態における該ウエハ片の粘着体３０および支持シート１１に対する粘着面積の大小等によって、支持シート１１の折り返し部分によるウエハ片への粘着保持力よりも強くなっている。
【０１３９】
ところで、上述したように、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に、粘着体折り返し部材５１に対面する略平坦な微小面が形成されている場合、支持シート１１の折り返し部分４７上にある多数のウエハ片はすべてこの微小面と略平行に配置されるようになる。すなわち、剥離対象であるウエハ片が安定して支持シート１１の折り返し部分４７上に配置されるようになるので、該ウエハ片と粘着体とを正確に接触させることができる。
【０１４０】
なお、このような粘着体３０による剥離対象であるウエハ片への粘着動作は、加熱ヘッド３５が支持シート１１を加熱するのと並行して開始してもよいし、あるいは、加熱して粘着保持力を除去または弱められた後に開始してもよい。
【０１４１】
次に、剥離対象であるウエハ片に粘着した粘着体３０と、剥離対象であるウエハ片を粘着保持した支持シート１１と、を離間させるよう、粘着体折り返し部材５１が上昇し、折り返し部材４１から離間する。上述したように、支持シート１１が折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３において折り返されるとともに支持シート１１が加熱されることにより、ウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力が除去または大幅に弱められている。また、図示する例においては、とりわけ図７に示されているように、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３が面取りされ、当該頂部５３に微小な平坦面が形成されている。これらのことから、支持シート１１の折り返し部分４７上に配置されたウエハ片に対する支持シート１１からの粘着保持力よりも強い粘着保持力で、粘着体３０が該ウエハ片に粘着している。この結果、図８（ｂ）に示すように、粘着体３０および支持シート１１の両者に粘着された剥離対象であるウエハ片は、粘着体３０が支持シート１１から離間する際に、粘着体３０に粘着されたまま支持シート１１から分離する。
【０１４２】
このとき、図５に示すように、図示する例においては、折り返し部材４１の頂部４３の長手方向と粘着体折り返し部材５１の頂部５３の長手方向とが略直交するようになっている。このため、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）と粘着体３０の折り返し部分５７（折り返し線５５）とが略直交するようにして、剥離対象のウエハ片と粘着体３０とが接触する。一方、粘着体折り返し部材５１の頂部５３に形成された微小面が、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿って、剥離対象であるウエハ片の一辺の長さよりも短い幅を有している。これらのことから、テープ状の粘着体３０を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片のみを正確に支持シート１１から回収していくことができる。
【０１４３】
なお、剥離対象のウエハ片と粘着体３０とが接触する際に、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）と粘着体３０の折り返し部分５７（折り返し線５５）とによってなされる角度θが、略直交する場合だけに限られない。本発明者が種々条件を変更して実験したところ、角度θが直交していなくとも、歩留まりを大きく低下させてしまうことなくウエハ片を支持シート１１から剥離させることができるとの知見が得られた。
【０１４４】
また、上述したように、本実施の形態においては、粘着体折り返し部材５１の突出部５２が鋭角状に突出している。したがって、粘着体３０をより正確に剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができるようになっている。ただし、粘着体３０を剥離対象であるウエハ片に十分接触させることができる限りにおいて、粘着体折り返し部材５１の突出部５２が鈍角状に突出するようにしてもよい。
【０１４５】
支持シート１１からウエハ片が回収されると、図８（ｃ）に示すように、粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された別の剥離対象であるウエハ片の上方に配置されるよう、粘着体折り返し部材５１が支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の頂部４３の長手方向）に沿って移動させられる。また、この粘着体折り返し部材５１の移動の前または後、あるいは、粘着体折り返し部材５１の移動と並行して、テープ状の粘着体３０が、少なくともウエハ片１個分だけ供給コア５４ａから繰り出されるとともに、巻取コア５４ｂに巻き取られる。このような動作により、図８（ｃ）に示すように、剥離対象であるウエハ片の直上に配置された粘着体折り返し部材５１の頂部５３が、ウエハ片を粘着していない粘着体３０によって覆われた状態となる。
【０１４６】
以上にようにして、粘着体３０が剥離対象であるウエハ片を回収していく。
【０１４７】
このような例によれば、粘着体３０が剥離対象のウエハ片に粘着し、粘着したまま支持シート１１から離間する。一方、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に低減されるので、粘着体３０は該ウエハ片を十分回収することができる。したがって、該ウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片を支持シート１１から引き剥がすことができるようになっている。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、支持シート１１から剥離させられたウエハ片を一本のテープ状の粘着体３０に順次回収していくことができるという点において好都合である。
【０１４８】
また、図示する例によれば、テープ状の粘着体３０が粘着体折り返し部材５１によって線状に折り返され、支持シート１１の折り返し線４５と粘着体３０の折り返し線５５とが略直交するようにして、粘着体３０が剥離対象であるウエハ片に接触しこれに粘着するようになっている。このような例によれば、粘着保持力が除去または弱められたウエハ片を簡易な方法により効率的に順次取り除いていくことができる。また、テープ状の粘着体３０を剥離対象であるウエハ片のみに接触させることができ、これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に取り除くことができる。
【０１４９】
なお、図５乃至図８に示す例において、ウエハを粘着保持する支持シート１１を挟んで粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１および加熱ヘッド３５の上方に配置されているが、これに限られず、粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１および加熱ヘッド３５の下方に配置されるようにしてもよい。また、上述した例において、粘着体折り返し部材５１が折り返し部材４１に対して移動する例を示したが、これに限られず、折り返し部材４１が粘着体折り返し部材５１に対して移動するようにしてもよいし、折り返し部材４１と粘着体折り返し部材５１との両者がそれぞれ互いに対して移動するようにしてもよい。
【０１５０】
＜第２例＞
次に、図９および図１０を用いて、回収手段５０および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程についての第２例を説明する。
【０１５１】
図９および図１０は、図３および図４に示したウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、回収手段５０および回収する工程を適用した例を示している。なお、図９および図１０において、折り返し部材４７は、その突出部４２の頂部４３が、すなわち加熱ヘッド３５が上方を向くようにして配置されている。
【０１５２】
本例における回収手段５０は、上述した第１例と同様に、粘着体折り返し体５１と粘着体保持機構５４とを有している。しかしながら、本例で用いられるテープ状の粘着体３１は、方形状（本実施の形態においては矩形状）からなるウエハ片の少なくともいずれか一辺の長さより小さい幅を有している。そして、本例は、このような粘着体３１の構成（厳密には、粘着体の幅）、および、粘着体折り返し体５１と折り返し部材４１との相対配置角度において、上述した第１例と相違するが、その他は略同一である。したがって、図９および図１０において、第１例と同一部分には同一符号を付すとともに、重複する詳細な説明は省略する。なお、図９は図６に対応する図であり、図１０は図７に対応する図である。
【０１５３】
図９および図１０に示すように、本例において用いられる粘着体３１の幅は、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に平行なウエハ片の一辺の長さより短くなっている。そして、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向と、粘着体折り返し部材５１の突出部５２の頂部５３の長手方向と、が平行となるようにして、粘着体折り返し部材５１と折り返し部材４１とが配置されている。
【０１５４】
したがって、図１０から理解できるように、本例においては、支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部分４７）と、テープ状の粘着体３１の折り返し線４５（折り返し部分５７）とが略平行に配置されるようにして、粘着体３１が剥離対象であるウエハ片に接触する。しかしながら、粘着体３１の幅がウエハ片１つ分よりも短いため、剥離対象であるウエハ片に隣接する、例えば良品ウエハ片に、粘着体３１が接触してしまうことを防止することができる。これにより、剥離対象であるウエハ片を正確に剥離させていくことができる。また、この方法によれば、ウエハ片剥離装置４０の設置スペースを省スペース化することを期待することができる。
【０１５５】
なお、図９および図１０に示す例は、ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、回収手段を適用したものであるが、これに限られない。ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に対して、この回収手段５０および回収工程を適用することができる。
【０１５６】
＜第３例＞
次に、図１１および図１２を用いて、回収手段５０および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程についての第３例を説明する。
【０１５７】
図１１および図１２は、図３および図４に示したウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、回収手段５０および回収する工程を適用した例を示している。なお、図１１および図１２において、折り返し部材４７は、その突出部４２の頂部４３が、すなわち加熱ヘッド３５が上方を向くようにして配置されている。
【０１５８】
本例における回収手段５０は、細長い紐状の粘着体３２を保持する粘着体保持機構５６を有している。そして、本例は、粘着体の構成および粘着体折り返し部材５１を省いた点において、上述した第１例と相違するが、その他は略同一である。したがって、図１１および図１２において、第１例と同一部分には同一符号を付すとともに、重複する詳細な説明は省略する。なお、図１１は図６に対応する図であり、図１２は図７に対応する図である。
【０１５９】
本例において、粘着体３２は、断面略円形状を有する細長い紐状体からなっている。図１２に示すように、粘着体３２の直径は、剥離対象であるウエハ片の一辺であって支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向）に沿った一辺の長さよりも小さくなっている。このような粘着体３２として、例えば外周に粘着剤を塗布されて粘着力を付与された紐を用いることができる。このような粘着体３０を保持する粘着体保持機構５６は供給コア５４ａおよび巻取コア５４ｂを有し、図５乃至図８を用いて上述した粘着体保持機構５４と略同一構成からなるが、供給コア５４ａから繰り出された粘着体３２が粘着体折り返し部材５１を経由することなく巻取コア５４ｂに直接巻き取られる点で異なっている。
【０１６０】
このような構成からなる回収手段５０を用いた場合、剥離対象であるウエハ片を引き剥がす際、粘着体保持機構５６が折り返し部材４１に接近し、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された剥離対象のウエハ片に粘着体３２を接触させる。これにともなって粘着体３２が剥離対象であるウエハ片に粘着すると、次に粘着体保持機構５６は折り返し部材４１から離間し、剥離対象であるウエハ片が支持シート１１から回収されることになる。また合わせて、次のウエハ片を回収することにそなえ、少なくともウエハ片１つ分だけ、供給コア５４ａから粘着体３２が繰り出され巻取コア５４ｂへ巻き取られる。
【０１６１】
このような本例によれば、回収手段５０の構成を簡易にすることができるとともに、小型化されたウエハ片を１つずつ正確に支持シート１１から剥離させることができる。
【０１６２】
＜第４例＞
次に、図１３および図１４を用いて、回収手段５０および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程についての第４例を説明する。
【０１６３】
図１３は、図１および図２に示したウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に対して、回収手段５０および回収する工程を適用した例を示している。なお、図１３において、加熱ヘッド３５および加熱ヘッド３５を保持する保持部材３７は円盤用ウエハ付シート２０ａの下方に配置されている。また、これにともなって、円盤状ウエハ付シート１０は、支持シート１１が加熱ヘッド３５と対面するように円盤状ウエハ２０ａに対して下方に配置されるようにして、保持機構３９に保持されている。
【０１６４】
この例における回収手段５０は、支持シート１１のウエハを粘着保持している側にウエハから離間して配置された吸い取り装置７０を有している。吸い取り装置７０は、例えば掃除機等から構成され、負圧を発生させるとともに、ノズル７２を介して空気を吸引するようになっている。図１３に示すように、ノズル７２は支持シート１１に粘着保持されたウエハに向けて開口しており、開口の面積は吸い取り対象となるウエハ片の大きさより十分大きくなっている。吸い取り装置７０は、加熱部材３５および保持部材３７とともに支持シート１１に対して相対移動可能であるとともに、加熱部材３５および保持部材３７に対しても相対移動可能となっている。さらに、吸い取り装置７０は支持シート１１に対して接近または離間するように相対移動することもできるようになっている。
【０１６５】
吸い取り装置７０を用いて剥離対象のウエハ片を回収する場合、加熱ヘッド３５が支持シート１１を加熱する際、または加熱して粘着保持力を除去または弱められた後等に、吸い取り装置７０が支持シート１１に対して接近し、剥離対象であるウエハ片を回収する。また、吸い取り装置７０は、加熱ヘッド３５の幅方向および幅方向に直交する方向（厚み方向）に沿って加熱ヘッド３５に対して移動し、加熱ヘッド３５と支持シート１１との接触部分の上方を移動する。これにより、加熱ヘッド３５により支持シート１１からの粘着保持力を除去または弱められた剥離対象であるウエハ片をすべて回収することができる。すべての吸い取り装置７０がウエハ片を回収し終わると、吸い取り装置７０は支持シート１１から再び離間し、その後、加熱ヘッド３５および保持部材３７が支持シート１１に対して相対移動するのにともなって、吸い取り装置７０は、支持シート１１に対して相対移動し、支持シート１１およびウエハを挟んで加熱ヘッド３５の上方に位置するようになる。
【０１６６】
以上にようにして、吸い取り装置７０が剥離対象であるウエハ片を回収していく。
【０１６７】
このような例によれば、剥離対象であるウエハ片が離間して配置された吸い取り装置７０によって吸引されるようになっている。そして、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に低減されるので、吸い取り装置７０は該ウエハ片から離間した状態で該ウエハ片を十分回収することができる。したがって、該ウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片を支持シート１１から引き剥がすことができるようになっている。また、吸い取り装置７０を剥離対象であるウエハ片に対して高精度に位置決めする必要がないので、該ウエハ片を効率的に剥離させて回収することができる。一方、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、支持シート１１から剥離させられたウエハ片を吸い取り装置７０内に回収していくことができるという点において好都合である。
【０１６８】
また、本実施の形態によれば、吸い取り装置７０が、ウエハ片の回収に合わせて支持シート１１に接近するようになっている。したがって、吸い取り装置７０のウエハ片に対する吸引力が、必要時のみ、すなわち、支持シート１１が加熱されることによって剥離対象と剥離対象でないウエハ片に対する粘着保持力に大きな差が生じているときのみ、強化されるようになっている。このため、吸い取り装置７０によって、剥離対象外のウエハ片を支持シート１１から引き剥がしてしまうことを格段に抑制することができる。ただし、吸い取り装置７０の制御を容易等にすることを目的として、吸い取り装置７０が支持シート１１に対して接離自在でないようにすることもできる。
【０１６９】
なお、図１３に示す例は、ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に対して、吸い取り装置７０を適用したものであるが、これに限られない。図１４に示すように、ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、吸い取り装置７０を適用することができる。この場合、吸い取り装置７０は、支持シート１１および支持シート１１上に粘着保持されたウエハ片を挟んで、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に対向するとともに、そのノズル７４がウエハ片を向くようにして配置される。
【０１７０】
また、図１４に示す例において、吸い取り装置７０のノズル７４は、加熱ヘッド３５の形状に対応して細長く延びる開口を有している。このようなノズル７４を有する吸い取り装置を用いた場合においては、加熱ヘッド１１に対して吸い取り装置７０を相対移動させる必要がなくなる。なお、当然に、このようなノズル７４を有した吸い取り装置を。図１３に示すウエハ片剥離装置４０に適用することができる。さらに、支持シート１１に粘着保持されたウエハの形状に対応した大面積のノズルを有する吸い取り装置７０を用いることも可能であり、この場合、吸い取り装置７０を支持シート１１に対して相対移動させる必要がなくなる。
【０１７１】
さらに、図１３に示す例において、ウエハを粘着保持する支持シート１１を挟んで吸い取り装置７０が加熱ヘッド３５の上方に配置されているが、これに限られず、吸い取り装置７０が加熱ヘッド３５の下方に配置されるようにしてもよい。
【０１７２】
＜第５例＞
次に、図１５乃至図１８を用いて、回収手段５０および該回収手段を用いて剥離対象であるウエハ片を回収する工程についての第５例を説明する。
【０１７３】
図１５乃至図１８は、図３および図４に示したウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、回収手段５０および回収する工程を適用した例を示している。なお、図１５乃至図１８において、折り返し部材４７は、その突出部４２の頂部４３が、すなわち加熱ヘッド３５が上方を向くようにして配置されている。
【０１７４】
この例における回収手段５０は、吸着口６１を有し、吸着口６１が加熱ヘッド３５と対向するようにして支持シート１１のウエハを粘着保持している側に配置される吸着ノズル６０と、吸着ノズル６０に連通する吸引機構６２（図１６）と、を有している。吸着ノズル６０は、折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３に接近し、また折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３から離間することができるよう移動可能となっている。また、吸着ノズル６０は折り返し部材４１の突出部４２の頂部４３の長手方向（加熱ヘッド３５の長手方向）に沿った方向（図１７における紙面の左右方向）、言い換えると、支持シート１１の折り返し部分４７に沿った方向、さらに言い換えると、支持シート１１の折り返し線４５に沿った方向にも移動可能となっている。
【０１７５】
次に、このような吸着ノズル６０および吸引機構６２を用い、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線）４５上に配置され、支持シート１１からの粘着保持力を除去または弱められた剥離対象のウエハ片を支持シート１１から回収する方法について説明する。
【０１７６】
まず、図１７に示すように、吸着ノズル６０の吸着口６１が、支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された一列のウエハ片中に存在する剥離対象のウエハ片に対面するよう、吸着ノズル６０が支持シート１１の折り返し線４５（折り返し部材４１の頂部４３（加熱ヘッド３５））に沿って移動させられる。このとき、吸着ノズル６０の移動は、アライメント用チップ２６を基準として正確に位置決めされるよう制御される。
【０１７７】
その後、吸着ノズル６０が折り返し部材４１に向けて降下する。図１８（ａ）に示すように、吸着ノズル６０は、その吸着口６１と剥離対象であるウエハ片（図示する例においては不良品ＩＣチップ２４）とが接触するまで折り返し部材４１に接近する。そして、吸着口６１と剥離対象であるウエハ片とが接触した後または前に吸引機構６２が動作し、吸着ノズル６０が剥離対象であるウエハ片に吸着する。このときの吸着ノズル６０による吸着力は、支持シート１１の折り返し部分４７からのウエハ片への粘着保持力よりも強くなっている。
【０１７８】
なお、このような吸着ノズル６０による剥離対象であるウエハ片への接近および吸着動作は、加熱ヘッド３５が支持シート１１を加熱するのと並行して開始してもよいし、あるいは、加熱して粘着保持力を除去または弱められた後に開始してもよい。
【０１７９】
次に、剥離対象であるウエハ片に吸着した吸着ノズル６０と、剥離対象であるウエハ片を粘着保持した支持シート１１と、を離間させるよう、吸着ノズル６０が上昇して折り返し部材４１から離間する。そしてこのとき、図１８（ｂ）に示すように、吸着ノズル６０に吸着されたウエハ片は、吸着ノズル６０が支持シート１１から離間する際に、吸着ノズル６０に吸着されたまま支持シート１１から回収される。回収されたウエハ片は吸着ノズル６０によってそのまま図示しない廃棄箱等に回収される。その後、吸着ノズル６０は支持シート１１の折り返し部分４７（折り返し線４５）上に配置された他の剥離対象のウエハ片の直上に移動させられ、他の剥離対象であるウエハ片を同様にして支持シート１１から剥離させる。
【０１８０】
以上にようにして、吸い取り装置７０が剥離対象であるウエハ片を回収していく。
【０１８１】
このような例によれば、吸着ノズル６０が剥離対象であるウエハ片を吸着し、吸着したまま支持シート１１から離間する。一方、剥離対象であるウエハ片に対する粘着保持力は加熱によって少なくとも大幅に低減されるので、吸着ノズル６０は該ウエハ片を十分回収することができる。したがって、該ウエハ片に対する粘着保持力が完全に除去されていなくても、該ウエハ片を支持シート１１から引き剥がすことができるようになっている。また、該ウエハ片に対する粘着保持力が加熱によって完全に除去される場合においても、支持シート１１から剥離させられたウエハ片を吸着ノズル６０により所定の場所に回収していくことができるという点において好都合である。
【０１８２】
また、このような例によれば、支持シート１１からの粘着保持力を除去または弱められたウエハ片を吸着ノズル６０によって吸着し支持シート１１から回収するようになっている。この方法は信頼性の高い既存の簡易な方法であり、剥離対象であるウエハ片を高い信頼性で一つずつ回収することができる。また、既存の設備を改良して用いることもできるという点においても有用である。
【０１８３】
なお、図１５乃至図１８に示す例は、ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態に対して、吸着ノズル６０と吸引機構６２とを有する回収手段５０を適用したものであるが、これに限られない。ウエハ片剥離方法（選別済ウエハ付シートのウエハ片を剥離させる工程）およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態に対して、この回収手段を適用することができる。この場合、吸着ノズル６０は、支持シート１１および支持シート１１上に粘着保持されたウエハ片を挟んで、その吸着口６１が加熱ヘッド３５と対向するようにして配置される。
【０１８４】
また、図１５乃至図１８に示す例において、ウエハを粘着保持する支持シート１１を挟んで吸着ノズル６０が加熱ヘッド３５の上方に配置されているが、これに限られず、吸着ノズル６０が加熱ヘッド３５の下方に配置されるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１８５】
【図１】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第１の実施の形態、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第１の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図。
【図３】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図４】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第２の実施の形態、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第２の実施の形態におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図５】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第１例、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第１例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図６】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第１例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第１例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図７】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第１例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第１例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図８】第３の実施の形態の第１例におけるウエハ片を回収する工程を説明する図。
【図９】第３の実施の形態の第２例の図６に対応する図。
【図１０】第３の実施の形態の第２例の図７に対応する図。
【図１１】第３の実施の形態の第３例の図６に対応する図。
【図１２】第３の実施の形態の第３例の図７に対応する図。
【図１３】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第４例、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第４例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図１４】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第４例の変形例、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第４例の変形例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図１５】本発明によるウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第５例、並びに、本発明による選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第５例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す斜視図。
【図１６】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第５例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第５例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の側面側から示す図。
【図１７】ウエハ片剥離方法およびウエハ片剥離装置の第３の実施の形態の第５例、並びに、選別済ウエハ付シートの製造方法の第３の実施の形態の第５例におけるウエハ片を剥離させる工程を示す図であって、折り返し部材の正面側から示す図。
【図１８】第３の実施の形態の第５例におけるウエハ片を回収する工程を説明する図。
【図１９】選別済ウエハ付シートを示す斜視図。
【図２０】円盤状ウエハ付シートを示す斜視図。
【図２１】外周部分取り除き済ウエハ付シートを示す斜視図。
【符号の説明】
【０１８６】
１０  選別済ウエハ付シート
１０ａ  円盤状ウエハ付シート
１１  支持シート（シート）
１８  ＩＣチップ
２０  選別済ウエハ
２０ａ  円盤状ウエハ
２１  ＩＣチップを構成しないウエハ片（不要ウエハ片）
２４  不良品ＩＣチップと判定されたウエハ片（不良品ウエハ片）
２６  アライメント用チップとして機能するウエハ片（アライメント用チップ）
３０，３１，３２  粘着体
３５  加熱ヘッド
４０  ウエハ片剥離装置
４１  折り返し部材
４２  突出部
４３  頂部
４５  折り返し線
４７  折り返し部分
５０  回収手段
５１  粘着体折り返し部材
５２  突出部
５３  頂部
５４，５６  粘着体保持機構（粘着体送り込み機構）
５５  折り返し線
５７  折り返し部分
６０  吸着ノズル
７０  吸い取り装置
【図１】
2007311405.tif 000003
【図２】
2007311405.tif 000004
【図３】
2007311405.tif 000005
【図４】
2007311405.tif 000006
【図５】
2007311405.tif 000007
【図６】
2007311405.tif 000008
【図７】
2007311405.tif 000009
【図８】
2007311405.tif 000010
【図９】
2007311405.tif 000011
【図１０】
2007311405.tif 000012
【図１１】
2007311405.tif 000013
【図１２】
2007311405.tif 000014
【図１３】
2007311405.tif 000015
【図１４】
2007311405.tif 000016
【図１５】
2007311405.tif 000017
【図１６】
2007311405.tif 000018
【図１７】
2007311405.tif 000019
【図１８】
2007311405.tif 000020
【図１９】
2007311405.tif 000021
【図２０】
2007311405.tif 000022
【図２１】
2007311405.tif 000023