(57)【要約】【課題】  所望のインピーダンスを得ることができる小型のコモンモードフィルタを提供する。【解決手段】  コモンモードフィルタの積層体５は、孔部２０を有する絶縁層９、コイル部２１を有するコイル導体層１０、孔部２４を有する絶縁層１１、コイル部２５を有するコイル導体層１２、孔部２８を有する絶縁層１３、孔部３１を有する絶縁層１５を備えている。積層体５におけるコイル部２１，２５の内側領域には、孔部２０，２４，２８，３１により形成される磁路形成用凹部３２が設けられている。孔部２０，２４，２８，３１は積層体５の上層側に向けて大きくなっているので、磁路形成用凹部３２の側面は段状構造を有することとなり、磁路形成用凹部３２はその開口側（上層側）に向かって広くなる。磁路形成用凹部３２には、閉磁路を形成するための磁粉含有樹脂Ｊが充填されている。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の絶縁層と螺旋状のコイル部を有する２つのコイル導体層とを備え、前記絶縁層と前記コイル導体層とが交互に積層されてなるコモンモードフィルタであって、
前記複数の絶縁層には、前記絶縁層の厚さ方向に貫通し磁路形成用凹部の一部を構成する孔部がそれぞれ形成され、
前記磁路形成用凹部には、磁路を形成するための磁性材料を含有した樹脂が充填されており、
前記磁路形成用凹部が下層側から上層側に向かって広くなるように、下層側の前記絶縁層に形成された前記孔部よりも上層側の前記絶縁層に形成された前記孔部が大きくなっていることを特徴とするコモンモードフィルタ。
【請求項２】
前記磁路形成用凹部の側面が段状をなしていることを特徴とする請求項１記載のコモンモードフィルタ。
【請求項３】
前記孔部は、前記絶縁層における前記コイル部の内側領域に対応する部位に形成されていることを特徴とする請求項１または２記載のコモンモードフィルタ。
【請求項４】
前記孔部は、前記コイル部の螺旋形状に対応する断面形状を有していることを特徴とする請求項３記載のコモンモードフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子機器等に用いられるコモンモードフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のコモンモードフィルタとしては、例えば特許文献１に記載されているようなコモンモードチョークコイルが知られている。このコモンモードチョークコイルは、複数の絶縁層と２つのコイルパターンとが交互に積層されてなる積層体を備えている。各絶縁層におけるコイルパターンによって囲まれる中央領域には穴が形成され、この穴には、絶縁性接着剤にフェライトの磁粉を含有させた材料が充填されている。これにより、コモンモードチョークコイルには閉磁路が形成されることになる。
【特許文献１】特開平１１−５４３２６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年では、コモンモードフィルタの小型化が強く要求されている。しかし、上記従来技術のコモンモードフィルタでは、小型になると、所望のインピーダンスが確保されない可能性がある。
【０００４】
本発明の目的は、所望のインピーダンスを得ることができる小型のコモンモードフィルタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
コモンモードフィルタに閉磁路を形成する方法としては、複数の絶縁層に設けられた孔部によって形成される磁路形成用凹部に、磁路を形成するための磁性材料を含有した樹脂（磁性樹脂）を充填するのが一般的である。このとき、磁性樹脂を磁路形成用凹部に印刷（塗布）して埋める場合、チップサイズが１２１０タイプ（１．２ｍｍ程度×１．０ｍｍ程度×０．６ｍｍ程度）よりも大きいコモンモードフィルタでは、所望のインピーダンスが得られるものの、チップサイズが１２１０タイプ以下のコモンモードフィルタでは、所望のインピーダンスが得られないことがあった。
【０００６】
そこで、本発明者等は、そのような不具合が発生する原因の究明を行った。コモンモードフィルタの小型化に伴って磁路形成用凹部も当然小さくなるが、磁性樹脂を磁路形成用凹部に埋めるときの条件（スキージを動かすスピード、磁性樹脂の粘度、設備等）は、磁路形成用凹部のサイズに関係なく同一条件である。このため、スキージを使って磁性樹脂を磁路形成用凹部に印刷して埋める際に、磁性樹脂が磁路形成用凹部に存在する空気を抱き込む量としては、磁路形成用凹部のサイズに関係なく同じになると考えられる。この場合には、磁性樹脂で形成された閉磁路に含まれる空気の占有率は、磁路形成用凹部が小さくなるほど増大することになる。従って、磁路形成用凹部が小さい１２１０タイプ以下のコモンモードフィルタでは、インピーダンスが低下しやすくなる。そして、本発明者等は、試行錯誤を繰り返して更に検討を重ねた結果、磁路形成用凹部を開口側（上層側）に向かって広くなるような形状とすることにより、磁性樹脂が磁路形成用凹部に存在する空気を抱き込む量を低減できることを見出した。本発明は、そのような知見に基づいてなされたものである。
【０００７】
即ち、本発明は、複数の絶縁層と螺旋状のコイル部を有する２つのコイル導体層とを備え、絶縁層とコイル導体層とが交互に積層されてなるコモンモードフィルタであって、複数の絶縁層には、絶縁層の厚さ方向に貫通し磁路形成用凹部の一部を構成する孔部がそれぞれ形成され、磁路形成用凹部には、磁路を形成するための磁性材料を含有した樹脂が充填されており、磁路形成用凹部が下層側から上層側に向かって広くなるように、下層側の絶縁層に形成された孔部よりも上層側の絶縁層に形成された孔部が大きくなっていることを特徴とするものである。
【０００８】
このように本発明においては、下層側の孔部よりも上層側の孔部を大きくすることにより、各孔部によって形成される閉磁路形成用凹部が開口側（上層側）に向かって広くなっている。このため、コモンモードフィルタの製造工程において、磁路を形成するための磁性材料を含有した樹脂（磁性樹脂）を磁路形成用凹部に印刷して充填させる際に、磁性樹脂が磁路形成用凹部の側面に沿って磁路形成用凹部の底面に向かって流れやすくなると考えられる。この場合には、磁性樹脂が磁路形成用凹部に存在する空気を抱き込む量が少なくなるため、コモンモードフィルタの小型化に伴って磁路形成用凹部の開口部の寸法を小さくしても、磁性樹脂で形成された閉磁路に含まれる空気の占有率を低減することができる。これにより、小型のコモンモードフィルタにおいても、所望のインピーダンスを確保することができる。
【０００９】
好ましくは、磁路形成用凹部の側面が段状をなしている。この場合には、絶縁層に形成する孔部の側面を必ずしもテーパ状にしなくても良い。従って、例えばエッチング、レーザビーム、パンチング等によって、絶縁層に孔部を簡単に形成することができる。
【００１０】
また、好ましくは、孔部は、絶縁層におけるコイル部の内側領域に対応する部位に形成されている。コモンモードフィルタの小型化を図りつつ、所望のコイル特性を確保するためには、コイル部の内側領域に対応する部位のスペースに比べてコイル部の外側領域に対応する部位のスペースを狭くするのが好適である。このため、絶縁層におけるコイル部の内側領域に対応する部位に孔部を形成することにより、閉磁路の領域を増大させることができる。これにより、コモンモードフィルタのインピーダンスを十分確保することが可能となる。
【００１１】
このとき、孔部は、コイル部の螺旋形状に対応する断面形状を有していることが好ましい。これにより、絶縁層におけるコイル部の内側領域に対応する部位の広いスペースを有効利用できるものとなるため、閉磁路の領域を更に増大させることができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、コモンモードフィルタの小型化を図りつつ、所望なインピーダンスを有するコモンモードフィルタを得ることができる。これにより、小型で高品質のコモンモードフィルタを実現することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係わるコモンモードフィルタの好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係わるコモンモードフィルタの一実施形態を示す斜視図である。同図において、本実施形態のコモンモードフィルタ１は、例えばチップサイズが１２１０タイプ（１．２ｍｍ程度×１．０ｍｍ程度×０．６ｍｍ程度）のコモンモードチョークコイルである。
【００１５】
コモンモードフィルタ１は、下部磁性基板２、層構造体３及び上部磁性基板４からなる直方体状の積層体５を備えている。層構造体３は、下部磁性基板２と上部磁性基板４との間に配置されている。下部磁性基板２及び上部磁性基板４は、焼結フェライト、複合フェライト（粉状のフェライトを含有した樹脂）等の磁性材料からなる基板である。積層体５の一方の端面には、端子電極６Ａ，６Ｂが設けられ、積層体５の他方の端面には、端子電極６Ｃ，６Ｄが端子電極６Ａ，６Ｂと対向するように設けられている。
【００１６】
図２は、積層体５の分解斜視図である。同図において、積層体５の層構造体３は、下から順に絶縁層７、コイル導体層８、絶縁層９、コイル導体層１０、絶縁層１１、コイル導体層１２、絶縁層１３、コイル導体層１４、絶縁層１５、磁性層１６及び接着層１７が積層されて成るものである。絶縁層７，９，１１，１３，１５は、ポリイミド樹脂やエポキシ樹脂等の絶縁樹脂材料で形成されている。コイル導体層８，１０，１２，１４は、ＣｕやＡｌ等の金属材料で形成されている。
【００１７】
図３は、絶縁層７，９，１１，１３，１５及びコイル導体層８，１０，１２，１４の平面図である。図２及び図３において、絶縁層７上には、コイル導体層８が積層されている。コイル導体層８は、Ｌ字状の引出し部１８と、引出し電極１９Ａ〜１９Ｄとを有している。引出し部１８は、引出し電極１９Ｃと接続されている。引出し電極１９Ａ〜１９Ｄは、上記の端子電極６Ａ〜６Ｄと電気的に接続される。
【００１８】
コイル導体層８上には、絶縁層９を介してコイル導体層１０が積層されている。絶縁層９の中央部には、絶縁層９の厚さ方向に貫通する断面円形状または断面略円形状の孔部２０が形成されている。
【００１９】
コイル導体層１０は、コイル部２１と、Ｌ字状の引出し部２２と、引出し電極２３Ａ〜２３Ｄとを有している。コイル部２１は、孔部２０を取り囲むように略円形の螺旋状に形成されている。引出し部２２の一端は、コイル部２１の外側端と接続され、引出し部２２の他端は、引出し電極２３Ａと接続されている。引出し電極２３Ａ〜２３Ｄは、上記の端子電極６Ａ〜６Ｄと電気的に接続される。また、コイル部２１の内側端は、絶縁層９に形成されたコンタクトホール（図示せず）を介してコイル導体層８の引出し部１８と電気的に接続されている。なお、コンタクトホール内には、Ａｇ等の導電材料が充填されている。
【００２０】
コイル導体層１０上には、絶縁層１１を介してコイル導体層１２が積層されている。絶縁層１１の中央部には、絶縁層１１の厚さ方向に貫通する断面円形状または断面略円形状の孔部２４が形成されている。孔部２４の直径Ｄ２は、孔部２０の直径Ｄ１よりも大きくなっている。
【００２１】
コイル導体層１２は、コイル部２５と、Ｌ字状の引出し部２６と、引出し電極２７Ａ〜２７Ｄとを有している。コイル部２５は、孔部２４を取り囲むように略円形の螺旋状に形成されている。コイル部２５は、絶縁層１１を介してコイル部２１と重なり合っている。引出し部２６の一端は、コイル部２５の外側端と接続され、引出し部２６の他端は、引出し電極２７Ｂと接続されている。引出し電極２７Ａ〜２７Ｄは、上記の端子電極６Ａ〜６Ｄと電気的に接続される。
【００２２】
コイル導体層１２上には、絶縁層１３を介してコイル導体層１４が積層されている。絶縁層１３の中央部には、絶縁層１３の厚さ方向に貫通する断面円形状または断面略円形状の孔部２８が形成されている。孔部２８の直径Ｄ３は、孔部２４の直径Ｄ２よりも大きくなっている。
【００２３】
コイル導体層１４は、Ｌ字状の引出し部２９と、引出し電極３０Ａ〜３０Ｄとを有している。引出し部２９は、引出し電極３０Ｄと接続されている。また、引出し部２９は、絶縁層１３に形成されたコンタクトホール（図示せず）を介してコイル導体層１２のコイル部２５の内側端と電気的に接続されている。引出し電極３０Ａ〜３０Ｄは、上記の端子電極６Ａ〜６Ｄと電気的に接続される。
【００２４】
コイル導体層１４上には、絶縁層１５が積層されている。絶縁層１５の中央部には、絶縁層１５の厚さ方向に貫通する断面円形状または断面略円形状の孔部３１が形成されている。孔部３１の直径Ｄ４は、孔部２８の直径Ｄ３よりも大きくなっている。
【００２５】
絶縁層１５上には、磁性層１６が積層されている。磁性層１６は、コモンモードフィルタ１に閉磁路を形成するための樹脂材料、例えば粉状のフェライト等の磁粉を含有した樹脂（磁粉含有樹脂）により形成されている。
【００２６】
磁性層１６上には、接着層１７が積層されている。接着層１７は、磁性層１６と上部磁性基板４とを接合する層であり、例えばエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂及びポリアミド樹脂等の接着剤により形成されている。
【００２７】
このような層からなる層構造体３において、図４に示すように、コイル部２１，２５に囲まれた中央領域（コイル部２１，２５の内側領域）には、最下層の絶縁層７と他の絶縁層９，１１，１３，１５にそれぞれ形成された孔部２０，２４，２８，３１とにより形成される磁路形成用凹部３２が設けられている。つまり、孔部２０，２４，２８，３１は、それぞれ磁路形成用凹部３２の一部を形成するものである。そして、孔部２０，２４，２８，３１の径は層構造体３の下層側から上層側に向けて徐々に大きくなっているので、磁路形成用凹部３２の側面は段状構造を有することとなり、磁路形成用凹部３２はその開口側（上層側）に向かって広くなる。
【００２８】
磁路形成用凹部３２には、磁性層１６と同様の磁粉含有樹脂Ｊが充填されている。これにより、層構造体３におけるコイル部２１，２５の内側領域には、閉磁路３３が形成されることになる。
【００２９】
このとき、絶縁層９，１１，１３，１５におけるコイル部２１，２５の内側領域に対応する部位には、コイル部２１，２５の外側領域に対応する部位と比較して広いスペースが設けられている。また、孔部２０，２４，２８，３１の断面形状は、略円形の螺旋状のコイル部２１，２５に対応して断面円形状または断面略円形状となっている。従って、層構造体３におけるコイル部２１，２５の内側領域のスペースを、閉磁路３３として十分効果的に活用することができる。
【００３０】
磁路形成用凹部３２の一部を形成する孔部２０，２４，２８，３１の直径Ｄ１〜Ｄ４（図３参照）は、各々、例えば３６０μｍ程度、３８０μｍ程度、４００μｍ程度、４２０μｍ程度である。磁路形成用凹部３２の深さＨ（図４参照）は、例えば４０μｍ程度である。
【００３１】
次に、以上のように構成したコモンモードフィルタ１を製造する手順について説明する。まず、積層体５を以下のようにして作製する。
【００３２】
即ち、例えばスピンコート法、ディップ法、スプレー法等によりポリイミド樹脂等の樹脂材料を下部磁性基板２上に塗布した後、露光、現像して硬化させることにより、絶縁体層７を形成する。
【００３３】
続いて、例えばスパッタ法により絶縁体層７上にＣｒ／Ｃｕ等の下地層を形成した後、この下地層の表面にレジストを塗布し、露光、現像し、更にＣｕ等の導体めっきを施す。そして、エッチングにより導体めっきの不要部分を除去し、レジストを剥離した後、エッチングにより下地層を除去する。これにより、引出し部１８及び引出し電極１９Ａ〜１９Ｄのパターンからなるコイル導体層８が絶縁体層７上に形成されることになる。
【００３４】
続いて、絶縁体層７の形成方法と同様にして、コイル導体層８上に絶縁体層９を形成する。そして、例えばエッチング、レーザビーム、パンチング等によって絶縁体層９に孔部２０及びコンタクトホール（図示せず）を同時に形成する。そして、そのコンタクトホール内にＡｇ等の導電材料を充填する。
【００３５】
続いて、コイル導体層８の形成方法と同様の方法により、絶縁体層９上にコイル部２１、引出し部２２及び引出し電極２３Ａ〜２３Ｄのパターンを形成することにより、コイル導体層１０を形成する。そして、絶縁体層７，９の形成方法と同様にして、コイル導体層１０上に絶縁体層１１を形成し、更に絶縁体層１１に孔部２４を形成する。
【００３６】
続いて、コイル導体層８の形成方法と同様の方法により、絶縁体層１１上にコイル部２５、引出し部２６及び引出し電極２７Ａ〜２７Ｄのパターンを形成することにより、コイル導体層１２を形成する。そして、絶縁体層７，９の形成方法と同様にして、コイル導体層１２上に絶縁体層１３を形成し、更に絶縁体層１３に孔部２８及びコンタクトホール（図示せず）を形成し、コンタクトホール内に導電材料を充填する。
【００３７】
続いて、コイル導体層８の形成方法と同様の方法により、絶縁体層１３上に引出し部２９及び引出し電極３０Ａ〜３０Ｄのパターンを形成することにより、コイル導体層１４を形成する。そして、絶縁体層７，９の形成方法と同様にして、コイル導体層１４上に絶縁体層１５を形成し、更に絶縁体層１５に孔部３１を形成する。
【００３８】
これにより、図５（ａ）に示すように、下部磁性基板２上には、コイル部２１，２５が内蔵された層構造中間体３４が形成されることになる。このとき、層構造中間体３４におけるコイル部２１，２５の内側領域には、孔部２０，２４，２８，３１によって、段状を有する磁路形成用凹部３２が形成される。
【００３９】
続いて、図５（ｂ）に示すように、磁粉含有樹脂Ｊを磁路形成用凹部３２に埋め込むと共に層構造中間体３４の上面に塗布し、その状態で磁粉含有樹脂Ｊを硬化させる。これにより、磁性層１６を含む閉磁路３３が層構造中間体３４に形成される。磁粉含有樹脂Ｊの塗布及び埋め込みは、スクリーン印刷方式を用いて行う。
【００４０】
具体的には、図６に示すように、穴の開いたメタルマスク３５を層構造中間体３４上に載置する。そして、ペースト状の磁粉含有樹脂Ｊを層構造中間体３４の上面に載せた状態で、スキージ３６によりペースト状の磁粉含有樹脂Ｊをしごくことにより、磁粉含有樹脂Ｊを磁路形成用凹部３２に埋め込むと共に、磁粉含有樹脂Ｊを磁性層１６の上面で平坦化させる。
【００４１】
続いて、図５（ｃ）に示すように、磁性層１６上にエポキシ樹脂等の接着剤を塗布して、接着層１７を形成する。そして、接着層１７の上面に上部磁性基板４を貼り付ける。これにより、上記の積層体５が得られる。
【００４２】
その後、積層体５の一方の端面に端子電極６Ａ，６Ｂを形成し、積層体５の他方の端面に端子電極６Ｃ，６Ｄを形成する。具体的には、例えばマスクスパッタ法により積層体５の端面にＣｒ／Ｃｕ膜またはＴｉ／Ｃｕ膜を成膜した後、Ｃｕ／Ｎｉ／Ｓｎを用いて電気めっきを施すことにより、端子電極６Ａ〜６Ｄを形成する。以上により、上記のコモンモードフィルタ１が完成する。
【００４３】
ところで、コモンモードフィルタが１２１０タイプ（前述）といった小型のものでは、その分だけ磁路形成用凹部３２の開口径も当然小さくなる。このため、図７に示すように、磁路形成用凹部３２の形状が円柱状である場合には、比較的粘度の高い磁粉含有樹脂Ｊを磁路形成用凹部３２に埋め込んだときに、磁粉含有樹脂Ｊが磁路形成用凹部３２に十分に充填されないことがある。この原因としては、以下のことが考えられる。
【００４４】
即ち、上記のようにスキージ３６を使って磁粉含有樹脂Ｊを磁路形成用凹部３２に印刷して埋めると、磁路形成用凹部３２に存在する空気を磁粉含有樹脂Ｊが抱き込むことで、図７に示すように、磁路形成用凹部３２の底部縁部に空洞（ボイド）Ｘが形成され、磁粉含有樹脂Ｊの充填欠陥が生じてしまうことがある。このとき、磁路形成用凹部３２が円柱状をなしている場合には、磁路形成用凹部３２に存在する空気を抱き込む量としては、磁路形成用凹部３２の開口径のサイズに拘わらず同等になると思われる。このため、磁路形成用凹部３２の開口径が小さくなるほど、磁粉含有樹脂Ｊにより形成された閉磁路３３に含まれる空気（空洞）の占有率が高くなってしまう。この場合には、コモンモードフィルタのインピーダンスが低下するだけでなく、磁粉含有樹脂Ｊの充填の差によりコモンモードフィルタのインピーダンスにばらつきが発生する。
【００４５】
これに対し本実施形態では、閉磁路形成用凹部３２を形成する孔部２０，２４，２８，３１の径を積層体５の下層側から上層側に向かって大きくすることにより、閉磁路形成用凹部３２の形状を積層体５の上層側（開口側）に対して広くなるような段状構造としてある。これにより、比較的粘度の高い磁粉含有樹脂Ｊを磁路形成用凹部３２に印刷して埋め込むときに、磁粉含有樹脂Ｊが磁路形成用凹部３２の細かい段状の側面に沿って磁路形成用凹部３２の底までスムーズに流れるようになり、磁粉含有樹脂Ｊが磁路形成用凹部３２に存在する空気を抱き込む量が少なくなる。このため、磁粉含有樹脂Ｊの充填欠陥が抑制され、磁粉含有樹脂Ｊが磁路形成用凹部３２に十分に充填されるようになるため、閉磁路３３に含まれる空気の占有率を低下させることができる。
【００４６】
これにより、コモンモードフィルタ１のインピーダンスの低下を抑えることができる。従って、コモンモードフィルタ１の小型化を図りつつ、安定したインピーダンス特性を確保し、漏れ磁束によるノイズの発生を抑制することが可能となる。また、複数のコモンモードフィルタ１間に生じるインピーダンスばらつきを抑えることもできる。
【００４７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、上記実施形態では、磁路形成用凹部３２の側面を段状構造となるようにしたが、磁路形成用凹部３２が積層体５の上層側に向かって広くなるような構造であれば、磁路形成用凹部３２の側面の断面形状をテーパ状となるようにしても良い。
【００４８】
また、上記実施形態では、コイル部２１，２５を略円形の螺旋状に形成するようにしたが、コイル部２１，２５の螺旋形状としては、長円形状や四角形状等であっても良い。このとき、絶縁層９，１１，１３，１５におけるコイル部２１，２５の内側領域に対応する部位のスペースを閉磁路３３として有効活用するためには、絶縁層９，１１，１３，１５にそれぞれ形成する孔部２０，２４，２８，３１の断面形状としては、コイル部２１，２５の螺旋形状に対応して、長円形状や四角形状等とするのが好ましい。
【００４９】
さらに、上記実施形態では、積層体５におけるコイル部２１，２５の内側領域に磁路形成用凹部３２を形成したが、スペースが確保されているのであれば、積層体５におけるコイル部２１，２５の外側領域に磁路形成用凹部を形成しても良い。
【００５０】
また、上記実施形態では、磁路形成用凹部３２を形成する孔部２０，２４，２８，３１は、層構造体３における最下層の絶縁層７を除く絶縁層９，１１，１３，１５に形成されているが、絶縁層７にも孔部を形成しても良い。この場合には、層構造体３において閉磁路３３の領域が増えることになるので、コモンモードフィルタ１のインピーダンスを更に高めることができる。ただし、上記のように最下層の絶縁層７に孔部を形成しない場合には、その絶縁層７には穴開け加工等を全く施す必要が無いので、工数削減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明に係わるコモンモードフィルタの一実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す積層体の分解斜視図である。
【図３】図２に示す各層の絶縁層及びコイル導体層を示す平面図である。
【図４】図２に示す積層体の断面図である。
【図５】図２に示す積層体を作製する工程を示す断面図である。
【図６】図５に示す磁路形成用凹部に磁粉含有樹脂を埋め込む手法を示す斜視図である。
【図７】比較例として磁路形成用凹部が円柱状をなしている場合に、磁路形成用凹部に磁粉含有樹脂を埋め込まれた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５２】
１…コモンモードフィルタ、９…絶縁層、１０…コイル導体層、１１…絶縁層、１２…コイル導体層、１３…絶縁層、１５…絶縁層、２０…孔部、２１…コイル部、２４…孔部、２５…コイル部、２８…孔部、３１…孔部、３２…磁路形成用凹部、Ｊ…磁粉含有樹脂。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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