(57)【要約】【課題】ガラス基板にチップ部品用とＦＰＣ用の２種類の接着テープをそれぞれの領域にタクトタイムを短くかつ精度良く貼り付けることができるとともに、装置を大型化を抑えることができる異種の接着テープ貼付における貼付方法を提供することを目的とする。【解決手段】二つの移載ハンド１５Ａ，１５Ｂを備えた第１移載ユニット６と二つの吸着テーブル１７ａ，１７ｂを備えた第１可動テーブル１７Ａを用いて、チップ部品用の接着テープをガラス基板９に貼り付けた後、ＦＰＣ用の接着テープの貼付位置だけ第１可動テーブル１７Ａの位置をシフトしてガラス基板９を第１可動テーブル１７Ａに移載し、２種類の接着テープのガラス基板９への同時並列貼り付け動作を行う。【選択図】図１
2007311774.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガラス基板を第１移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第２移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な１組の第１および第２吸着テーブルを有する第１可動テーブルと、供給される第１接着テープと第２接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第１ヘッドと第２ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含む異種接着テープ貼付装置によって、前記異なる第１および第２接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付方法であって、
前記第１移載ユニットにより前記第１可動テーブルの第１吸着テーブルにガラス基板を移載するステップと、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第１可動テーブルを第１接着テープの貼付け位置に移動するステップと、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第１ヘッドで第１接着テープを貼り付けるステップと、
前記第１接着テープの貼り付けられたガラス基板を第１吸着テーブルから第２吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第１移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第１吸着テーブルに移載するステップと、
前記第１および第２接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第１可動テーブルを移動するステップと、
前記各ガラス基板に対して、第１ヘッドでの第１接着テープの貼り付けと、第２ヘッドでの第２接着テープの貼り付けを同時にするステップと、
前記第２吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットに移載するステップと、
を備えたことを特徴とする異種接着テープの貼付方法。
【請求項２】
請求項１に記載の異種接着テープの貼付方法において、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載するステップの前に、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する間にガラス基板に付されたアライメントマークの位置を認識するステップと、
前記アライメントマークの位置の認識結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡すステップと、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第１移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するステップと、
を備えたことを特徴とする異種接着テープの貼付方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の異種接着テープの貼付方法を利用してガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング方法であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装するステップと、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着するステップと、
を備えたことを特徴とするボンディング方法。
【請求項４】
ガラス基板を第１移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第２移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な１組の第１および第２吸着テーブルを有する第１可動テーブルと、供給される第１接着テープと第２接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第１ヘッドと第２ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含み、異なる第１および第２接着テープをガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付装置であって、
前記第１移載ユニットにより前記第１可動テーブルの第１吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第１可動テーブルを第１接着テープの貼付け位置に移動させ、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第１ヘッドで第１接着テープを貼り付け、
前記第１接着テープの貼り付けられたガラス基板を第１吸着テーブルから第２吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第１移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第１吸着テーブルに移載し、
前記第１および第２接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第１可動テーブルを移動させ、
前記各ガラス基板に対して、第１ヘッドでの第１接着テープの貼り付けと、第２ヘッドでの第２接着テープの貼り付けを同時に行い、
前記第２吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットに移載するように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。
【請求項５】
請求項４に記載の異種接着テープの貼付装置において、
さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する搬送手段と、
前記ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段とを備え、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載する前に、前記搬送手段でパレットから仮置き台にガラス基板を搬送しながら、当該ガラス基板に付されたアライメントマークの位置を前記位置検出手段で検出し、
その結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡し、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第１移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。
【請求項６】
請求項４または請求項５に記載の異種接着テープの貼付装置を含むガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。
【請求項７】
異なる種類の接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付装置おいて、
パレットから仮置き台にガラス基板を搬送する搬送手段と、
ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段と、
を備えた基板供給ユニットと、
可動台と当該可動台の縦回転軸に回転可能に連結されたアームの両端に吸着テーブルを有し、前記位置検出手段の検出結果に基づいてアライメントしてガラス基板を保持し、搬入搬出位置と接着テープ貼付け位置とにわたって両吸着テーブルを移動させるように構成した第１可動テーブルを備え、
貼付け位置で異なる種類の接着テープを前記ガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付ユニットと、
前記仮置き台から第１可動テーブルにガラス基板を移載する第１移載ユニットと、
前記接着テープの貼り付けられた部分ごとに異なる実装部材を圧着する圧着ユニットと、
前記位置検出手段の検出結果に基づいてガラス基板のアライメントをするとともに、搬入搬出位置と圧着ユニットの圧着位置とにわたって移動する第２可動テーブルと、
第１可動テーブル上の接着テープ貼付け済みのガラス基板を第２可動テーブルに移載する第２移載ユニットと、
実装部材の圧着されたガラス基板を次工程に搬送する第３移載ユニットとを備え、
前記第１移載ユニットにより搬送される未処理のガラス基板を受け渡し位置で一方の吸着テーブルに移載して位置合し、第１可動テーブルを接着テープ貼付け位置に移動させてガラス基板の所定位置に接着テープを貼り付け、
貼付け終了後にアームを回転させて当該ガラス基板を異なる接着テープの貼付け位置に移動させるとともに、第１移載ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を他方の吸着テーブルに移載してアライメントし、両吸着テーブルを接着テープの貼付け位置に移動させ、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付け、
貼付け終了後にアームを回転させて２種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットで第２可動テーブルに移載し、
さらに、アームを回転させてガラス基板の搬出された吸着テーブルに、第１移送ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を移載してアライメントするとともに、１種類の接着テープを貼付けたガラス基板のアライメントし、両吸着テーブルを接着テープ貼付け位置に移動し、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付ける
これら前記処理を繰り返し行うように構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。
【請求項８】
請求項７に記載の異種接着テープの貼付装置おいて、
前記吸着テーブルは、アームの長手方向に沿って移動可能に構成されるとともに、アームに対して垂直な縦軸回りに回転可能に保持されている
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。
【請求項９】
請求項８に記載の異種接着テープの貼付装置おいて、
前記吸着テーブルは、アームに対して水平直交する軸に沿って前後移動可能に構成した
ことを特徴とする異種接着テープの貼付装置。
【請求項１０】
請求項７ないし請求項９のいずれかに記載の異種接着テープの貼付装置を含むガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とするボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示パネルなどの基板に異種の異方性導電テープなどの接着テープを貼付する異種接着テープ貼付方法およびこれを用いたボンディング方法ならびにこれらの装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
表示パネルなどの基板に電子部品を実装する方法として、異方性導電テープなどの接着テープを用いる方法が知られている。この方法では、基板電極上の所定位置に貼付けられた接着テープの上から電子部品をアライメントし、搭載後に所定時間加圧および加熱し、電子部品を基板に対して接着テープを硬化させる事により固定するとともに電子部品の接合用電極を基板の電極に導通させている。接着テープはベーステープの片面にテープ状の接着材を貼着した積層テープの形態で供給される。接着テープの基板への貼付は、連続した接着テープを所定寸法に切断し、この切断された接着テープを基板の所定位置に加圧および加熱する事により実施される。
【０００３】
近年、携帯電話や携帯端末のＰＤＡ（Personal Digital Assistant）などの小型器においては、表示パネルとして液晶パネルを搭載しつつも、小型かつ軽量化が要求されている。そのため、液晶ガラス基板には、面実装タイプの電子部品やＬＳＩ（Large Scale Integrated Circuit）、および小さい筐体内の空間利用が可能となる軽量なＦＰＣ（Flexible Printed Circuit）とが実装されている。このような種類の異なる実装部品を接着テープを用いて液晶ガラス基板へ実装する装置として、特許文献１のような実装装置と実装方法が知られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３５８１７７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１のように、ガラス基板へチップ部品とＦＰＣとを実装する場合、ガラス基板に貼り付けられる接着テープは、チップ部品とＦＰＣの実装される全領域をカバーする単一の接着テープを一括してガラス基板に貼り付ける方法（図６の（ａ）参照）や、チップ部品実装箇所とＦＰＣ実装箇所それぞれの領域に応じて異なる接着テープをガラス基板に貼り付ける方法（図６の（ｂ）参照）がある。なお、図６の（ｃ）に、ガラス基板にチップ部品とＦＰＣが実装された状態を示す。
【０００６】
図６の（ａ）のように実装される電子部品の全領域をカバーするように接着テープを貼り付けると、接着テープの特性が同一となるため、それぞれの電子部品に適した接合条件で実装を行おうとすると、条件設定が極めて困難となる。
【０００７】
ここで接合条件とは電子部品を基板に対して接着テープを硬化させる事により固定するとともに電子部品の接合用電極を基板の電極に導通させる為の加圧力、加熱力、熱圧着時間の条件である。
【０００８】
また、両部材の接合条件を満たすには、使用出来る接着テープの種類が特殊なものに限定されるので、従来から、チップ部品専用もしくはＦＰＣ専用として使用していた接着テープは使用できなくなる。特に、ＦＰＣをガラス基板に熱圧着する際は、接着テープへの加熱時の温度によるフイルムの伸び等のダメージを考慮し、比較的、低温長時間（例えば接着テープ部温度１６０℃で１０秒程度）で接着テープを硬化させることが望ましい。一方、チップ部品を実装する際は、タクトタイム短縮から考えて、ＦＰＣの加熱条件に比べて高温短時間の加熱（例えば接着テープ部温度２１０℃で５秒）をして接着テープを硬化させることが望ましい。
【０００９】
したがって、同一の接着テープでチップ部品とＦＰＣの両者を品質的な問題無く熱圧着出来る条件の設定は極めて難しい。また全領域をカバーする接着テープを一括して貼り付けると、無駄な部分となる接着テープが多くなる為に材料費が高価となったり、接着テープの未硬化部分が多くなる為に腐食が発生する可能性が高くなり品質上問題があったりする。
【００１０】
図６の（ｂ）のように実装される電子部品ごとの領域に異種の接着テープを貼り付けると、接着テープの特性はそれぞれの部品毎に最適なものを使用できる様になる。このような貼付を行うために、図２２の（ａ）に示すような２種類の接着テープを一巻ずつ並べて配置し一つの位置決めテーブルを移動する事により順次貼り付ける方法が考えられる。しかし、図２２の（ａ）の装置では貼付動作が異なる接着テープごとに順番に行われる連続動作となる為、タクトタイムが長くなる問題や位置決めテーブルのストロークが長くなり装置が大型化するなどの問題が有る。
【００１１】
また、図２２の（ｂ）に示すような１種類の接着テープを二巻並べて配置された第１接着テープ貼付ユニット１ともう１種類の接着テープを二巻並べて配置された第２接着テープ貼付ユニット２を利用して２種類の異種接着テープを同時に貼り付ける方法も考えることができる。しかしながら、タクトタイムは短縮出来るものの設備費用が高価になる問題や装置が大型化するなどの問題が有る。
【００１２】
また、接着テープの貼付位置精度を向上する為に、通常接着テープを貼付ける直前に基板位置のアライメントを行っているが、この場合動作が連続となる為にタクトタイムが長くなる問題がある。
【００１３】
そこで本発明は、ガラス基板にチップ部品用とＦＰＣ用の２種類の接着テープをそれぞれの領域にタクトタイムを短くかつ精度良く貼り付けることができるとともに、装置を大型化する事無くかつ設備費用を安価にできる異種接着テープ貼付方法およびこれを用いたボンディング方法ならびにこれらの装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、上記目的を達成するために次のような構成をとる。
第１の発明は、ガラス基板を第１移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第２移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な１組の第１および第２吸着テーブルを有する第１可動テーブルと、供給される第１接着テープと第２接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第１ヘッドと第２ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含む異種接着テープ貼付装置によって、前記異なる第１および第２接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付方法であって、
前記第１移載ユニットにより前記第１可動テーブルの第１吸着テーブルにガラス基板を移載するステップと、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第１可動テーブルを第１接着テープの貼付け位置に移動するステップと、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第１ヘッドで第１接着テープを貼り付けるステップと、
前記第１接着テープの貼り付けられたガラス基板を第１吸着テーブルから第２吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第１移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第１吸着テーブルに移載するステップと、
前記第１および第２接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第１可動テーブルを移動するステップと、
前記各ガラス基板に対して、第１ヘッドでの第１接着テープの貼り付けと、第２ヘッドでの第２接着テープの貼り付けを同時にするステップと、
前記第２吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットに移載するステップと、
を備えることを特徴とする。
【００１５】
（作用・効果）  第１の発明によれば、第１移載ユニットがガラス基板を第１可動テーブルの第１吸着テーブルに移載し、ガラス基板に第１接着テープを貼付後、ガラス基板を第１可動テーブルの第１吸着テーブルから第２吸着テーブルに移載する。このとき、移載位置を合せる（オフセット）。それと個別または同時に第１移載ユニットから第１可動テーブルの第１吸着テーブルに次のガラス基板を移載する。これにより、異なる種類の接着テープを貼り付けるタクトタイムを短縮できる。また、第２吸着テーブルのガラス基板位置を第１吸着テーブルからオフセットさせて移載する事により、貼付位置の異なる第１接着テープと第２接着テープを同時に貼り付ける事ができるので、最小のスペースと最小の設備費用でタクトタイムが大幅に短縮され生産効率が上がる。
【００１６】
また、この構成は１種類の接着テープのみ貼り付ける場合に一般的に行われている貼付方法であるガラス基板を基板供給ユニットから２枚同時に移載し、接着テープを２枚同時に貼付ける方法の装置構成のままでソフトウエアの変更のみで対応する事が可能である。その結果動作パターンをデータ選択する事によりどちらでも対応する事が可能となる。
【００１７】
第２の発明は、第１の方法発明において、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載するステップの前に、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する間にガラス基板に付されたアライメントマークの位置を認識するステップと、
前記アライメントマークの位置の認識結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡すステップと、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第１移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するステップと、
を備えたことを特徴とする。
【００１８】
（作用・効果）  この方法よれば、パレットから搬送されるガラス基板が仮置き台に移載されるまでに位置合せされる。すなわち、第１接着テープおよび第２接着テープの貼付直前に、ガラス基板のアライメントを行うことなく貼付作業を実施できるので、タクトタイムの短縮をする事ができる。
【００１９】
第３の発明は、第１または第２の方法発明を利用してガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング方法であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装するステップと、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着するステップと、
を備えたことを特徴とする。
【００２０】
（作用・効果）  この方法よれば、材料および形状の異なるＬＳＩとFlexible Printed Circuit（以下、適宜「ＦＰＣ」という）を実装するタクトタイムを短縮できる。
【００２１】
第４の発明は、ガラス基板を第１移載ユニットから受け取る位置と、受け取ったガラス基板に接着テープを貼り付ける位置と、接着テープの貼り付けられたガラス基板を第２移載ユニットに受け渡す位置に移動自在な１組の第１および第２吸着テーブルを有する第１可動テーブルと、供給される第１接着テープと第２接着テープをガラス基板に熱圧着して貼り付ける第１ヘッドと第２ヘッドを備えた接着テープ貼付ユニットを含み、異なる第１および第２接着テープをガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付装置であって、
前記第１移載ユニットにより前記第１可動テーブルの第１吸着テーブルにガラス基板を移載した後に、前記第１可動テーブルを第１接着テープの貼付け位置に移動させ、
前記貼付け位置にあるガラス基板に第１ヘッドで第１接着テープを貼り付け、
前記第１接着テープの貼り付けられたガラス基板を第１吸着テーブルから第２吸着テーブルに位置合せして移載するとともに、前記第１移載ユニットからガラス基板を受け取る位置にある次のガラス基板を第１吸着テーブルに移載し、
前記第１および第２接着テープの貼付け位置に両ガラス基板が位置するように前記第１可動テーブルを移動させ、
前記各ガラス基板に対して、第１ヘッドでの第１接着テープの貼り付けと、第２ヘッドでの第２接着テープの貼り付けを同時に行い、
前記第２吸着テーブルから両接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットに移載するように構成した
ことを特徴とする。
【００２２】
なお、この構成において、さらに、ガラス基板搬送用のパレットからガラス基板を取り出して仮置き台に搬送する搬送手段と、
前記ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段とを備え、
前記第１吸着テーブルにガラス基板を移載する前に、前記搬送手段でパレットから仮置き台にガラス基板を搬送しながら、当該ガラス基板に付されたアライメントマークの位置を前記位置検出手段で検出し、
その結果に基づいて、ガラス基板の位置を補正して前記仮置き台にガラス基板を受け渡し、
前記仮置き台に移載されたガラス基板を、前記第１移載ユニットによって前記接着テープ貼付ユニットへの受け渡し位置に搬送するように構成することが好ましい。
【００２３】
（作用・効果）  この構成によれば、第２の方法発明を好適に実現することができる。
【００２４】
第６の発明は、第４または第５の方法発明を含むガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とする。
【００２５】
（作用・効果）  この構成によれば、第３の方法発明を好適に実現することができる。
【００２６】
第７の発明は、異なる種類の接着テープをガラス基板に貼り付ける異種接着テープの貼付装置おいて、
パレットから仮置き台にガラス基板を搬送する搬送手段と、
ガラス基板に設けられたアライメントマークを検出する位置検出手段と、
を備えた基板供給ユニットと、
可動台と当該可動台の縦回転軸に回転可能に連結されたアームの両端に吸着テーブルを有し、前記位置検出手段の検出結果に基づいてアライメントしてガラス基板を保持し、搬入搬出位置と接着テープ貼付け位置とにわたって両吸着テーブルを移動させるように構成した第１可動テーブルを備え、
貼付け位置で異なる種類の接着テープを前記ガラス基板に貼り付ける接着テープ貼付ユニットと、
前記仮置き台から第１可動テーブルにガラス基板を移載する第１移載ユニットと、
前記接着テープの貼り付けられた部分ごとに異なる実装部材を圧着する圧着ユニットと、
前記位置検出手段の検出結果に基づいてガラス基板のアライメントをするとともに、搬入搬出位置と圧着ユニットの圧着位置とにわたって移動する第２可動テーブルと、
第１可動テーブル上の接着テープ貼付け済みのガラス基板を第２可動テーブルに移載する第２移載ユニットと、
実装部材の圧着されたガラス基板を次工程に搬送する第３移載ユニットとを備え、
前記第１移載ユニットにより搬送される未処理のガラス基板を受け渡し位置で一方の吸着テーブルに移載して位置合し、第１可動テーブルを接着テープ貼付け位置に移動させてガラス基板の所定位置に接着テープを貼り付け、
貼付け終了後にアームを回転させて当該ガラス基板を異なる接着テープの貼付け位置に移動させるとともに、第１移載ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を他方の吸着テーブルに移載してアライメントし、両吸着テーブルを接着テープの貼付け位置に移動させ、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付け、
貼付け終了後にアームを回転させて２種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットで第２可動テーブルに移載し、
さらに、アームを回転させてガラス基板の搬出された吸着テーブルに、第１移送ユニットで搬送されてくる未処理のガラス基板を移載してアライメントするとともに、１種類の接着テープを貼付けたガラス基板のアライメントし、両吸着テーブルを接着テープ貼付け位置に移動し、
接着テープ貼付けユニットにより両ガラス基板に接着テープを貼付ける
これら前記処理を繰り返し行うように構成したことを特徴とする。
【００２７】
（作用・効果）  この構成によれば、第１可動テーブル上のアームを縦回転軸回りに回転させながらガラス基板の接着テープ貼付け部分に順に所定の接着テープを貼り付けることができる。また、２種類の接着テープを貼り付けたガラス基板を第２移載ユニットで第２可動テーブルに移載させるとともに、移動後に開放された吸着テーブルに未処理のガラス基板を移載し、１種類の接着テープ貼付け済みのガラス基板と未処理のガラス基板のそれぞれを接着テープ貼付け位置に同時に移動させることができる。したがって、上記第１の発明装置に比べてガラス基板の受け渡し回数を減らすことができるので、作業効率の向上を図ることができる。
【００２８】
また、この構成は、吸着テーブルをアームの長手方向に沿って移動可能、かつ、アームに対して垂直な縦軸回りに回転可能に保持されるように構成したり（請求項８）、さらに、吸着テーブルをアームに対して水平直交する軸に沿って前後移動可能に構成したりする（請求項９）ことが好ましい。この構成によれば、吸着テーブルを水平平面上で前後左右に移動することが可能となるので、接着テープ貼付け位置へのアライメントの微調整を精度よく行うことができる。
【００２９】
第１０の発明は、第７の方法発明を含むガラス基板にＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを実装するボンディング装置であって、
前記ガラス基板に貼り付けられた第１および第２接着テープのいずれか一方にＬＳＩを、他方にFlexible Printed Circuitを実装する実装手段と、
前記ガラス基板に実装されたＬＳＩおよびFlexible Printed Circuitを圧着する圧着ユニットと、
を備えたことを特徴とする。
【００３０】
（作用・効果）  この構成よれば、材料および形状の異なるＬＳＩとＦＰＣを実装するタクトタイムを短縮できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
【００３２】
図１は本発明の一実施形態の接着テープ貼付ユニット３が組み込まれたボンディング装置（以下、適宜「実装装置」という）の斜視図である。
【００３３】
図１のＹ方向手前側にはガラス基板９（以下、単に「基板」という）を移載する第１〜４移載ユニット６，２１，３３，３４が備えられている。
【００３４】
基板供給ユニット２から接着テープ貼付ユニット３への基板９の移載および、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａから第２吸着テーブル１７ｂへの基板９の移載および位置合せ（以下、適宜「オフセット移載」という）は第１移載ユニット６を用いて行われる。また、接着テープ貼付ユニット３から仮圧着ユニット４への基板９の移載は、第２移載ユニット２１を用いて行われる。
【００３５】
基板供給ユニット２は、実装部材であるチップ部品７とＦＰＣ８を実装前の複数基板９を一定間隔で整列配置したパレット１０と、パレット１０上の基板９を仮置き台１１に搬送する搬送手段１２と、基板９を仮置き台１１にアライメントして載置するため基板９のアライメントマーク位置を認識するカメラ１３とから構成されている。搬送手段１２は、水平２軸（Ｘ、Ｙ）方向、上下（Ｚ）方向、および回転（θ）方向に移動自在に構成されている。仮置き台１１には、基板９を吸着保持する第１吸着部１１ａと第２吸着部１１ｂが備えられている。なお、カメラ１３は、本発明の位置検出手段に相当する。
【００３６】
第１移載ユニット６は、装置基台１の長手方向に配設されたレール１４Ａと、このレール１４Ａに沿って走行する第１移載ハンド１５Ａおよび１５Ｂと、この第１移載ハンド１５Ａおよび１５Ｂに昇降自在に取り付けられて基板９を吸着保持する保持板１６ａ、１６ｂを備えており、基板供給ユニット２の仮置き台１１から基板９を受け取る位置と接着テープ貼付ユニット３の第１可動テーブル１７Ａとの基板９受け渡し位置の間を移動自在となっている。
【００３７】
また、第２移載ユニット２１は装置基台１長手方向に配設されたレール１４Ｂと、このレール１４Ｂに沿って走行する第２移載ハンド１５Ｃおよび１５Ｄを備えており、接着テープ貼付ユニット３の第１可動テーブル１７Ａの基板９受け渡し位置と仮圧着ユニット４の第２可動テーブル１７Ｂの基板９受け渡し位置の間を移動自在となっている。第１可動テーブル１７Ａは、第１吸着テーブル１７ａと第２吸着テーブル１７ｂから構成されている。第２可動テーブル１７Ｂは、吸着テーブル１７ｃから構成されている。
【００３８】
なお、第１移載ハンド１５Ａ、１５Ｂの基板９の受け渡しにともなう、レール１４Ａ上での停止位置は、図７に示すように、第１移載ハンド１５Ａ、１５Ｂの保持板１６ａ、１６ｂが基板供給ユニット２の仮置き台１１から基板９を受け取る位置Ａと、図９および図１０に示す第１移載ハンド１５Ａ、１５Ｂの保持板１６ａ、１６ｂが第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａ、第２吸着テーブル１７ｂに基板９を受け渡す位置Ｃと、図８に示す第１移載ハンド１５Ｂの保持板１６ｂが第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａから基板９を受け取る位置Ｂとから構成されている。
【００３９】
また、第２移載ハンド１５Ｃ、１５Ｄのレール１４Ｂ上での停止位置は、図１１に示す第２移載ハンド１５Ｃが第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂから基板９を受け取る位置Ｄと、図７に示す第２移載ハンド１５Ｃが仮圧着ユニット４の第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃに基板９を受け渡す位置Ｅと、から構成されている。
【００４０】
なお、この装置構成で１種類の接着テープを貼り付ける場合は、次の２つの位置が追加される。一つは、第２移載ハンド１５Ｃ、１５Ｄが第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａ、第２吸着テーブル１７ｂから同時に基板９を受け取る位置であり、もう一つは、第２移載ハンド１５Ｄが仮圧着ユニット４の第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃに基板９を受け渡す位置である。
【００４１】
第１可動テーブル１７Ａは、水平２軸（Ｘ、Ｙ）方向および回転（θ）方向に移動自在に構成されている。そして、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第２吸着テーブル１７ｂは個別に上下（Ｚ）方向に移動自在に構成されている。
【００４２】
また、第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃは、水平２軸（Ｘ、Ｙ）方向および回転（θ）方向および上下（Ｚ）方向に移動自在に構成されている。第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第２吸着テーブル１７ｂのＸ方向の間隔は、第１移載ハンド１５Ａと１５Ｂの保持板１６ａと１６ｂの間隔や接着テープ貼付ユニット３の第１ヘッド１９ａと第２ヘッド１９ｂの間隔と同じに設定されている。
【００４３】
第１可動テーブル１７Ａの停止位置は、図８および図９に示す第１移載ハンド１５Ａ、１５Ｂの保持板１６ａ、１６ｂから基板９を受け取る位置Ｆと、図１０に示す第１接着テープ１８ａの貼付位置と第２接着テープ１８ｂの貼付位置の差分だけオフセットした位置Ｇと、図７に示す接着テープ貼付ユニット３で第１接着テープ１８ａおよび第２接着テープ１８ｂを貼り付ける位置Ｈと、図１１に示す第２移載ハンド１５Ｃに基板９を受け渡す位置Ｉとから構成されている。図９の位置Ｆと図１０の位置Ｇは、図６の（ｂ）に示すＸ１、Ｙ１だけ移動した位置となる。この移動が第１可動テーブル１７Ａに基板９を第１移載ハンド１５Ｂの保持板１６ｂから受け渡す際に、行われることにより連結された第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第２吸着テーブル１７ｂにそれぞれ吸着保持された基板９に同時に接着テープ貼付ユニット３で第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂを所定の位置に貼り付けることが可能となる。
【００４４】
接着テープ貼付ユニット３は、基板９にチップ部品７用の第１接着テープ１８ａを貼り付ける第１ヘッド１９ａおよびＦＰＣ８用の第２接着テープ１８ｂを貼り付ける第２ヘッド１９ｂと、第１接着テープ１８ａを供給する第１接着テープ供給機構２０ａおよび第２接着テープ１８ｂを供給する第２接着テープ供給機構２０ｂから構成されている。図６の（ｂ）に第１接着テープ１８ａを貼り付ける貼付箇所２２ａと、第２接着テープ１８ｂを貼り付ける貼付箇所２２ｂを示す。
【００４５】
第１接着テープ１８ａおよび第２接着テープ１８ｂには電子部品接合用の接着剤がテープ状でベーステープの片面に貼り付けられている。
【００４６】
第１ヘッド１９ａと第２ヘッド１９ｂの下方には接着剤テープ貼付加圧時に基板９を支える為のバックアップ２３が固定設置されている。
【００４７】
基板９は、チップ部品７用の第１接着テープ１８ａの貼付箇所２２ａが第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａから前方（Ｙ方向）に延びるように吸着保持される。同様に、基板９はＦＰＣ８用の第２接着テープ１８ｂの貼付箇所２２ｂが第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂから前方（Ｙ方向）に延びるように吸着保持される。
【００４８】
仮圧着ユニット４は、接着テープ貼付ユニット３から搬送されてきた基板９を水平姿勢で吸着保持する第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃと、基板９にチップ部品７とＦＰＣ８を仮圧着する仮圧着ヘッド２５と、仮圧着時に基板９とチップ部品７およびＦＰＣ８との位置合わせを行う上下２方向に認識視野をもつ２視野カメラ３１を備えている。
【００４９】
第２吸着テーブル１７Ｂは水平２軸（Ｘ、Ｙ）方向、上下（Ｚ）方向、および回転（θ）方向に、それぞれ移動自在に構成されている。仮圧着ヘッド２５は昇降自在であって、その下端にはチップ部品７とＦＰＣ８を吸着保持する吸着孔が設けられており、図示していない吸気管を介して真空源と連通接続されている。
【００５０】
仮圧着ヘッド２５へのチップ部品７とＦＰＣ８の供給は、チップスライダー２７を用いて行われる。搬送手段３２が、複数のチップ部品７を一定間隔で整列配置したチップパレット２８からチップ部品７を１個ずつ順に取り出す。取り出されたチップ部品７は、チップスライダー２７に移載される。また搬送手段３２が、複数のＦＰＣ８を一定間隔で整列配置したＦＰＣパレット２９からＦＰＣ８を１個ずつ順に取り出す。取り出されたＦＰＣ８はチップスライダー２７に移載される。チップスラーダー２７は、これらチップ部品７とＦＰＣ８を仮圧着ユニット４からのびるガイドレール３０に沿って、仮圧着ヘッド２５に搬送する。
【００５１】
第３移載ユニット３３は、仮圧着ユニット４でチップ部品７とＦＰＣ８が仮圧着された基板９を本圧着ユニット５の第３可動テーブル１７Ｄに移載する。第３可動テーブル１７Ｄに移載された基板９は、水平２軸（Ｘ、Ｙ）方向、および上下（Ｚ）方向に移動し、第３ヘッド１９ｃおよび第４ヘッド１９ｄが下降して加熱および加圧が行われる。所定の時間、加熱および加圧が行われると、第３ヘッド１９ｃおよび第４ヘッド１９ｄが上昇し、第３可動テーブル１７Ｄが第４移載ユニット３４への基板９の受け渡し位置に移動する。第３可動テーブル１７Ｄが基板９の受け渡し位置に到着すると、第４移載ユニット３４により基板９が搬出ステージ３５に移載される。
【００５２】
次に、図２から図５の動作フロチャートを用いて基板供給ユニット２と、第１移載ユニット６と、第２移載ユニット２１と、第１可動テーブル１７Ａの動作を説明する。
【００５３】
図２は、基板供給ユニット２の動作フロチャートである。
【００５４】
まず、パレット１０に一定間隔で整列配置された基板９が、搬送手段１２によってパレット１０から取り出される（ステップＳ０１）。搬送手段１２は、基板９を吸着保持して仮置き台１１の第１吸着部１１ａに搬送する。搬送する際、カメラ１３の上部を通過し、カメラ１３による基板のアライメントマークの認識が行われる（ステップＳ０２）。基板９が仮置き台１１の第１吸着部１１ａ上に到着すると、搬送手段１２がＸ、Ｙ、θ方向のアライメントを行い仮置き台１１の第１吸着部１１ａに基板９を移載する（ステップＳ０３）。
【００５５】
次に、基板９の在席信号ＴＸ１を第１移載ユニット６に送り（ステップＳ０４）、第１移載ユニット６の到着信号ＴＸ２を待つ（ステップＳ０５）。第１移載ユニット６が到着すると、第１移載ハンド１５Ａの保持板１６ａが下降し仮置き台１１の第１吸着部１１ａ上の基板９を吸着保持し、受け渡しが完了する（ステップＳ０６）。基板９の受け渡しが完了すると、ステップＳ０１に戻る。
【００５６】
図３は、第１移載ユニット６の動作フロチャートである。
【００５７】
まず、レール１４Ａ上の第１移載ユニット６が、基板９の受け取り位置である基板供給ユニット２の仮置き台１１上の位置Ａに移動する（ステップＳ１１）。位置Ａに到着すると、基板供給ユニット２に対して到着信号ＴＸ２を送る（ステップＳ１２）。基板９の在席信号ＴＸ１を確認し（ステップＳ１３）、第１移載ハンド１５Ａの保持板１６ａが下降し基板９を吸着保持する（ステップＳ１４）。
【００５８】
次に、第１移載ハンド１５Ａの保持板１６ａを上昇させた後に第１移載ユニット６は第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第１移載ハンド１５Ａとの受け渡し位置である位置Ｃに移動する（ステップＳ１５）。位置Ｃに到着すると、第１可動テーブル１７Ａに基板受け渡し準備完了信号ＴＸ３を送る（ステップＳ１６）。第１可動テーブル１７Ａが基板９の受け取り位置である位置Ｆに到着すると（ステップＳ１７）、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが上昇し第１移載ハンド１５Ａに吸着保持されている基板９が、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａに移載される（ステップＳ１８）。
【００５９】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが下降後、第１移載ユニット６は、基板９の受け取り位置である基板供給ユニット２の仮置き台１１上の位置Ａに移動する（ステップＳ１９）。位置Ａに到着すると、基板供給ユニット２に対して到着信号ＴＸ２を送る（ステップＳ２０）。基板９の在席信号ＴＸ１を確認し（ステップＳ２１）、第１移載ハンド１５Ａの保持板１６ａが下降し基板９ａ（基板９ａは次に搬送されてきた基板９を示す）を吸着保持する（ステップＳ２２）。
【００６０】
次に、第１移載ハンド１５Ａの保持板１６ａを上昇させた後に第１移載ユニット６は第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第１移載ハンド１５Ｂとの受け渡し位置である位置Ｂに移動する（ステップＳ２３）。位置Ｂに到着すると、第１可動テーブル１７Ａに基板受け渡し準備完了信号ＴＸ５を送る（ステップＳ２４）。第１可動テーブル１７Ａが基板９の受け渡し位置である位置Ｆに到着すると（ステップＳ２５）、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが上昇し、第１移載ハンド１５Ｂの保持板１６ｂが、第１可動テーブル１７ａ上に吸着保持されている第１接着テープ１８ａの貼り付けられた基板９を保持板１６ｂに吸着保持して受け取る（ステップＳ２６）。
【００６１】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが下降後、第１移載ユニット６が、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａと第１移載ハンド１５Ａとの受け渡し位置である位置Ｃに移動する（ステップＳ２７）。
【００６２】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが上昇し、第１移載ハンド１５Ａから次の基板９ａを第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａに移載する（ステップＳ２８）。次に第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが下降後に、第１可動テーブル１７Ａに対してテーブルシフト信号ＴＸ６を送る（ステップＳ２９）。
【００６３】
次に、第１可動テーブル１７Ａは第１接着テープ１８ａの貼付基準位置と第２接着テープ１８ｂの貼付基準位置のＸ、Ｙ方向の差であるＸ１、Ｙ１分だけオフセットした位置である位置Ｇに移動する（ステップＳ３０）。位置Ｇへの移動完了後に第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが上昇し、第１移載ハンド１５Ｂから第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂに第１接着テープ１８ａの貼り付けられた基板９が移載される（ステップＳ３１）。
【００６４】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが下降した後、第１移載ユニット６は位置Ａに移動しステップＳ１９からの動作を続ける。
【００６５】
図４は、第１可動テーブル１７Ａの動作を説明するフロチャートである。
【００６６】
まず、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが、第１移載ハンド１５Ａから基板９を受け取る位置である位置Ｆに第１可動テーブルＡ１７Ａが移動する（ステップＳ３１）。位置Ｆに到着すると、第１移載ハンド１５Ａに対して、第１可動テーブル１７Ａの到着信号ＴＸ８を送る（ステップＳ３２）。第１移載ハンド１５Ａの到着信号ＴＸ３を確認すると（ステップＳ３３）、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが上昇し基板９が第１移載ハンド１５Ａから第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａに受け渡される（ステップＳ３４）。
【００６７】
次に、第１吸着テーブル１７ａが下降後、第１可動テーブル１７Ａは、接着テープ貼付ユニット３の第１接着テープ貼付位置である位置Ｈに移動する（ステップＳ３５）。第１可動テーブル１７Ａが位置Ｈに到着すると、第１吸着テーブル１７ａ上に保持されている基板９は基板供給ユニット２にてＸ、Ｙ、θ方向のアライメントが既に行われているので基板９のアライメント動作を行うことなく、第１吸着テーブル１７ａが下降し基板９をバックアップ２３に保持させた後に貼付を第１ヘッド１９ａを下降させて基板９の所定の貼付箇所２２ａに第１接着テープ１８ａを貼り付ける（ステップＳ３６）。貼付時間は第１接着テープ１８ａの特性にあわせて所定の時間行われる。
【００６８】
基板９に第１接着テープ１８ａの貼付が完了すると、第１可動テーブル１７Ａは第１吸着テーブル１７ａから第１移載ハンド１５Ｂに第１接着テープ１８ａの貼り付けられた基板９を受け渡す位置である位置Ｆに移動する（ステップＳ３７）。第１可動テーブル１７Ａが位置Ｆに到着すると、第１移載ハンド１５Ａに対して、第１可動テーブル１７Ａの到着信号ＴＸ８を送る（ステップＳ３８）。第１移載ユニット６の到着信号ＴＸ５を確認すると（ステップＳ３９）、第１吸着テーブル１７ａが上昇し第１吸着テーブル１７ａから第１移載ハンド１５Ｂに基板９が受け渡される（ステップＳ４０）。
【００６９】
次に、第１吸着テーブル１７ａが下降後、第１移載ユニット６が第１移載ハンド１５Ａから第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａに次の基板９ａを受け渡す位置である位置Ｃに移動する（ステップＳ４１）。位置Ｃへの移動が完了すると、第１可動テーブル１７Ａの第１吸着テーブル１７ａが上昇し基板９ａが第１移載ハンド１５Ａから第１吸着テーブル１７ａに移載される（ステップＳ４２）。
【００７０】
次に、第１吸着テーブル１７ａが下降後、第１移載ユニット６からのテーブルオフセット信号ＴＸ６を確認すると（ステップＳ４３）、第１可動テーブル１７Ａは第１接着テープ１８ａの貼付基準位置と第２接着テープ１８ｂの貼付基準位置のＸ、Ｙ方向の差であるＸ１、Ｙ１分だけオフセットした位置である位置Ｇへ移動しオフセット完了信号ＴＸ７を第１移載ハンド１５Ａに対して送る（ステップＳ４４）。位置Ｇへの移動が完了すると、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが上昇し、第１移載ハンド１５Ｂから第１接着テープ１８ａの貼り付けられた基板９を受け取る（ステップＳ４５）。受け渡しが完了すると第２吸着テーブル１７ｂが下降後、第１可動テーブル１７Ａが接着テープ貼付ユニット３の第１接着テープ貼付位置である位置Ｈへ移動する（ステップＳ４６）。
【００７１】
次に、第１可動テーブル１７Ａが位置Ｈに到着すると、第１吸着テーブル１７ａおよび第２吸着テーブル１７ｂが下降し基板９ａおよび基板９をバックアップ２３に保持させた後に第１ヘッド１９ａが下降し基板９ａに第１接着テープ１８ａを所定の貼付箇所２２ａに貼り付ける作業と第２ヘッド１９ｂが下降し基板９に第２接着テープ１８ｂを所定の貼付箇所２２ｂに貼り付ける作業（ステップＳ４７）が、同時に行われる。第１吸着テーブル１７ａ上に保持されている次の基板９ａは、基板供給ユニット２にてＸ、Ｙ、θ方向のアライメントが既に行われているので第１吸着テーブル１７ａ上で基板９ａをアライメントする必要がない。また、第２吸着テーブル１７ｂ上に保持されている第１接着テープが貼り付けられた基板９は第１接着テープ１８ａの貼付基準位置と第２接着テープ１８ｂの貼付基準位置のＸ、Ｙ方向の差であるＸ１、Ｙ１分だけオフセットしているので基板９のアライメント動作を行う必要がない。貼付時間は第１接着テープ１８ａおよび第２接着テープ１８ｂのそれぞれの特性にあわせて所定の時間、行われる。
【００７２】
第１接着テープ１８ａが基板９ａに貼付完了し、第２接着テープ１８ｂが基板９に貼付完了すると、第１可動テーブル１７Ａが第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂから第２移載ユニット２１の第２移載ハンド１５Ｃに基板９を受け渡しする位置である位置Ｉに移動する（ステップＳ４８）。第１可動テーブル１７Ａが位置Ｉに到着すると、第２移載ユニット２１に対して、第１可動テーブル１７Ａの到着信号ＴＸ９を送る（ステップＳ４９）。その後第２移載ユニット２１の到着信号ＴＸ１０を確認すると（ステップＳ５０）、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが上昇して第２移載ユニット２１の第２移載ハンド１５Ｃに第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂが貼り付けられた基板９が受け渡される（ステップＳ５１）。
【００７３】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが下降後、第１可動テーブル１７Ａが第１吸着テーブル１７ａから第１移載ハンド１５Ｂに第１接着テープ１８ａの貼り付けられた基板９ａを受け渡す位置である位置Ｆに移動し（ステップＳ５２）、ステップＳ３８からの動作を続ける。
【００７４】
図５は、第２移載ユニット２１の動作を説明するフロチャートである。
【００７５】
まず、第２移載ユニット２１は、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂと第２移載ユニット２１の第２移載ハンド１５Ｃの第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂが貼り付けられた基板９を受け渡す位置である位置Ｄに移動する（ステップＳ６１）。位置Ｄに到着すると、第１可動テーブル１７Ａに対して、第２移載ユニット２１の到着信号ＴＸ１０を送る（ステップＳ６２）。第１可動テーブル１７Ａの到着信号ＴＸ９を確認すると（ステップＳ６４）、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが上昇し、第２吸着テーブル１７ｂから第２移載ハンド１５Ｃに第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂが貼り付けられた基板９を移載する（ステップＳ６５）。
【００７６】
次に、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂが下降後、第２移載ユニット２１は第２移載ハンド１５Ｃと仮圧着ユニット４の第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃとの基板９の受け渡し位置である位置Ｅに移動する（ステップＳ６６）。位置Ｅに到着すると、仮圧着ユニット４の第２可動テーブル１７Ｂの吸着テーブル１７ｃが上昇し第２移載ユニット２１の第２移載ハンド１５Ｃから基板９を受け取る（ステップＳ６７）。次に、吸着テーブル１７ｃが下降後に第２移載ハンド１５Ｃは位置Ｄに移動し（ステップＳ６１）、次の基板９ａの受け渡しに備える。仮圧着ユニット４では、第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂが貼り付けられた基板９へのチップ部品７のアライメント動作と仮接合およびＦＰＣ８のアライメント動作と仮接合が開始される。
【００７７】
このように、第１可動テーブル１７Ａの第２吸着テーブル１７ｂに保持される第１接着テープが貼り付けられた基板９が第１接着テープ１８ａの貼付基準位置と第２接着テープ１８ｂの貼付基準位置のＸ、Ｙ方向の差であるＸ１、Ｙ１分だけオフセットしている事で２種類の接着テープの同時並列貼り付け動作が可能となり最小のスペースと最小の設備費用で大幅にタクトタイムの短縮が可能である。
【００７８】
また、第１接着テープ１８ａと第２接着テープ１８ｂを基板９に貼り付ける毎に、接着テープ貼り付けユニット３内での基板９のアライメントを行う必要がないのでタクトタイムの短縮が可能である。更に一般的に行われている１種類の接着テープを基板９に２枚同時に貼付け装置をそのままの構成でソフトウエアのみ変更するだけで従来通りの貼付方法と本発明の貼付方法とをデータ選択により容易に切り換える事が可能となる。
【００７９】
本発明は、以下のような形態に変形して実施することもできる。
【００８０】
（１）上記実施例では、第１および第２吸着テーブル１７ａ，１７ｂを両端に備えたアーム３７が受け取り位置受け渡し位置（搬入搬出位置）と接着テープ貼付け位置とにわたって移動（図中のＸＹ軸方向）する構成であったが、次のように構成してもよい。
【００８１】
第１可動テーブル１７Ａの可動台に設けられた縦回転軸Ｐ回りに回転可能に連結するとともに、両端の両吸着テーブル１７ａ，１７ｂをアーム３７の長手方向（Ｘ方向）および水平直交方向（Ｙ方向）に沿って移動可能にするとともに、アーム上（図中ＸＹ平面上）でθ方向に回転可能に構成してもよい。
【００８２】
この構成装置を利用して２種類の接着テープを貼り付ける動作について、図１２から２１の動作説明図に沿って説明する。
【００８３】
先ず、第１移載ユニット６に備わった第１移載ハンド１５Ａまたは１５Ｂの吸着板１６ａ，１６ｂにより吸着保持されたガラス基板９を、図１２に示すように、第１可動テーブル１７Ａに受け渡す位置に移動させる。
【００８４】
ガラス基板９を受け渡すときに、カメラ１３によって認識されたアライメントマークの位置情報に基づいて、図示しない制御ユニットがガラス基板９のアライメントを行う。
【００８５】
アライメントが終了すると、図１３に示すように、第１可動テーブル１７Ａを水平移動させて、接着テープ貼付ユニット３の接着テープ貼付け位置にガラス基板９を移動させる。
【００８６】
その貼付け位置でガラス基板上のチップ部品用の接着テープ貼付け箇所２２ａに接着テープを貼り付ける。貼付けが終了すると、アーム３７は、図１４に示すように、図中の回転軸の右回りに回転する。このとき、アーム３７の他端にある吸着テーブル１７ｂが、次の処理対象である未処理のガラス基板９の受け取り位置（搬入位置）に移動する。
【００８７】
吸着テーブル１７ｂは、図１５に示すように、受け取り位置でＸＹ方向およびθ方向に移動してガラス基板９を受け取るためのアライメントが行われる。アライメントが完了すると、ガラス基板９が吸着テーブル１７ｂに受け渡され、図１６に示すように、アーム３７がバックアップ２３に対して平行になるようアーム３７を回転させる。
【００８８】
アーム３７が平行になると、図１７に示すように、ガラス基板９の接着テープ貼付け端辺がバックアップ２３と対向する位置になるよう吸着テーブル１７ａ，１７ｂを回転させる。このとき、吸着テーブル１７ａをアーム３７の水平直交軸に対して前後移動させてＦＰＣ用接着テープ貼付箇所２２ｂが、接着テープ貼付け位置に位置するようにアライメントされる。
【００８９】
両吸着テーブル１７ａ，１７ｂのアライメントが完了すると、図１８に示すように、第１可動テーブル１７Ａは、さらに水平移動し、両ガラス基板９を接着テープ貼付け位置に移動される。この位置で、それぞれのガラス基板９に異なる種類の接着テープが同時に貼り付けられる。
【００９０】
接着テープの貼り付けが完了すると、図１９に示すように、アーム３７は回転する。このとき、第１吸着テーブル１７ａは、図２０に示すように、第２移載ユニット２１備わった第２移載ハンド１５Ｃへの受け渡し位置（搬出位置）に移動する。ここでガラス基板９のアライメントがされて、第２移載ハンド１５Ｃに受け渡される。
【００９１】
その後、アーム３７を回転させて、図２１に示すように、次の未処理のガラス基板９を受け取る位置に第１吸着テーブル１７ａを移動させるとともに、第２吸着テーブル１７ｂを次のＦＰＣ用接着テープを貼り付けるユニット側に移動させる。
【００９２】
第１吸着テーブル１７ａが未処理のガラス基板９を受け取ると上記した図１２〜２１の処理が繰り返し行われる。
【００９３】
この構成によれば、第１可動テーブル上のアーム３７を回転軸Ｐ回りに回転させながらガラス基板９の接着テープ貼付け部分に順に所定の接着テープを貼り付けることができる。また、２種類の接着テープを貼り付けたガラス基板９を第２移載ユニット２１で第２可動テーブル１７Ｂに移載させるとともに、移動後の第２吸着テーブル１７ｂに未処理のガラス基板９を移載し、１種類の接着テープ貼付け済みのガラス基板９と未処理のガラス基板９のそれぞれを接着テープ貼付け位置に同時に移動させることができる。したがって、上記実施例装置に比べてガラス基板９の受け渡し回数を減らすことができるので、作業効率の向上を図ることができる。
【００９４】
（２）上記実施例装置は、接着テープ貼付ユニット３の次の構成に接着テープを未硬化状態でチップ部品７やＦＰＣ８などに接着する仮圧着ユニット４であったが、接着剤の重合を完了させてチップ部品７などを完全に固着させる本圧着ユニットとして適用することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９５】
【図１】本発明の一実施の形態の実装装置の斜視図である。
【図２】基板供給ユニットの動作を示すフロチャートである。
【図３】第１移載ユニット６の動作を示すフロチャートである。
【図４】第１可動テーブル１７Ａの動作を示すフロチャートである。
【図５】第２移載ユニット２１の動作を示すフロチャートである。
【図６】接着テープの貼付位置の動作を示す説明図である。
【図７】第１移載ユニット６の停止位置Ａと第１可動テーブル１７Ａの停止位置Ｈと第２移載ユニット２１の停止位置Ｅを説明する図である。
【図８】第１移載ユニット６の停止位置Ｂと第１可動テーブル１７Ａの停止位置Ｆを説明する図である。
【図９】第１移載ユニット６の停止位置Ｃと第１可動テーブル１７Ａの停止位置Ｆを説明する図である。
【図１０】第１移載ユニット６の停止位置Ｃと第１可動テーブル１７Ａの停止位置Ｇを説明する図である。
【図１１】第２移載ユニット２１の停止位置Ｄと第１可動テーブル１７Ａの停止位置Ｉを説明する図である。
【図１２】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１３】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１４】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１５】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１６】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１７】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１８】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図１９】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図２０】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図２１】変形例装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【図２２】従来装置の接着テープ貼り付け動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００９６】
１    装置基台
２    基板供給ユニット
３    接着テープ貼付ユニット
４    仮圧着ユニット
５    本圧着ユニット
６    第１移載ユニット
７    チップ部品
８    ＦＰＣ
９    基板
９ａ    基板
１０    パレット
１１    仮置き台
１１ａ    第１吸着部
１１ｂ    第２吸着部
１２    搬送手段
１３    カメラ
１４Ａ    レール
１４Ｂ    レール
１５Ａ    第１移載ハンド
１５Ｂ    第１移載ハンド
１５Ｃ    第２移載ハンド
１５Ｄ    第２移載ハンド
１６ａ    保持板
１６ｂ    保持板
１７Ａ    第１可動テーブル
１７ａ    第１吸着テーブル
１７ｂ    第２吸着テーブル
１７Ｂ    第２可動テーブル
１７ｃ    吸着テーブル
１７Ｄ    第３可動テーブル
１８ａ    第１接着テープ
１８ｂ    第２接着テープ
１９ａ    第１ヘッド
１９ｂ    第２ヘッド
１９ｃ    第３ヘッド
１９ｄ    第４ヘッド
２０ａ    第１接着テープ供給機構
２０ｂ    第２接着テープ供給機構
２１    第２移載ユニット
２２ａ    貼付箇所
２２ｂ    貼付箇所
２３    バックアップ
２５    仮圧着ヘッド
２７    チップスライダー
２８    チップパレット
２９    ＦＰＣパレット
３０    ガイドレール
３１    ２視野カメラ
３２    搬送手段
３３    第３移載ユニット
３４    第４移載ユニット
３５    搬出ステージ
ＴＸ１    基板在席信号
ＴＸ２    位置Ａ到着信号
ＴＸ３    位置Ｃ到着信号
ＴＸ５    位置Ｂ到着信号
ＴＸ６    テーブルオフセット信号
ＴＸ７    位置Ｇ到着信号
ＴＸ８    位置Ｆ到着信号
ＴＸ９    位置Ｉ到着信号
ＴＸ１０    位置Ｄ到着信号
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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