(57)【要約】      （修正有）【課題】分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる膜欠陥検出方法および膜欠陥検出装置並びに、濾過装置を提供する。【解決手段】基準電極と、前記膜の透過液側に設置される検知電極との間の電位差を連続的に測定し、当該電位差の変動により前記膜の欠陥を検出することを特徴とする膜欠陥検出方法である。また、基準電極１６と、少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄと、前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段１８と、を有することを特徴とする膜欠陥検出装置である。さらに、膜と前記膜を備えた濾過手段と、前記濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、前記濾過手段の前記液供給口以外に設けられた検知電極と、前記基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする濾過装置である。【選択図】図１
2007263942.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜の欠陥を検出する膜欠陥検出方法であって、
基準電極と、前記膜の透過液側に設置される検知電極との間の電位差を連続的に測定し、当該電位差の変動により前記膜の欠陥を検出することを特徴とする膜欠陥検出方法。
【請求項２】
前記電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記膜の欠陥の存在を検出することを特徴とする請求項１に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項３】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項１または２に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項４】
前記電位差の変動を測定する前に、圧力の変動を補正する補正処理を行うことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項５】
基準電極と、
少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極と、
前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする膜欠陥検出装置。
【請求項６】
前記電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記欠陥の存在を検出することを特徴とする請求項５に記載の膜欠陥検出装置。
【請求項７】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項５または６に記載の膜欠陥検出装置。
【請求項８】
膜と、
前記膜を備えた濾過手段と、
前記濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、
前記濾過手段の前記液供給口以外に設けられた検知電極と、
前記基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする濾過装置。
【請求項９】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項７に記載の濾過装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、膜欠陥検出方法および膜欠陥検出装置、並びに、濾過装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
浄水、超純水、パイロジェンフリー水などの製造において、最終の除粒子や除菌、除パイロジェンなどの目的で、限外濾過膜（ＵＦ膜）モジュールや精密濾過膜（ＭＦ膜）モジュールが使用されている。このようなモジュールでは、その使用中、膜に欠陥が生じた場合、製造された水の水質、例えば、微粒子数、濁度や菌数を測定することによって、当該欠陥の有無を検出している。
【０００３】
このような浄水装置には、複数の膜モジュールが使用されるが、微粒子や濁度を測定する機器は、モジュールごとにではなく、最終的に集合された水配管から採取して測定される。そのため、モジュール内の膜の欠陥がわずかな場合（例えば、多数の中空糸モジュールの中の１本の繊維が切断された場合）、その欠陥の検出は非常に困難であった。また、モジュールごとに検出装置を設置することも考えられるが、コストを考えるとあまり実用的ではない。
【０００４】
中空糸膜モジュールのリークおよび欠陥の検出には、従来から種々の方法が提案されている。例えば、中空糸膜の内側に加圧空気を供給して中空糸膜の外側より圧力が高い状態を維持させ、このときの一定時間後の中空糸膜外側の液面の降下速度を測定することでリークを検出する方法（例えば、特許文献１参照）、中空糸膜モジュール内に所定の大きさの微粒子を一定濃度に分散させた気体を通し、中空糸膜モジュールを通過した不活性粒子を検出して欠陥を検出する方法（例えば、特許文献２参照）、中空糸膜外側から気体を圧入し、中空糸膜内側の中空糸膜端末へ出てくる気体によりリークを検出する方法（例えば、特許文献３参照）などである。
【０００５】
しかし、これらは未使用の中空糸膜の欠陥を検出する場合に適用したり、運転を一旦停止して調べるものであったりして検出精度が高くないという問題がある。また、運転中に透過水の濁度を測定しようとする場合には、中空糸膜のピンホールや切断糸の欠陥部分を被処理液中の懸濁物質等で塞いでしまうため欠陥を検出できないという欠点を有している。このように、従来技術では運転中に生じた中空糸膜の欠陥を運転中に検出することができなかったり、できたとしても装置が複雑になって測定が面倒であったりするものであった。しかしながら、中空糸膜の欠陥および切断の有無を、中空糸膜モジュールを運転中に検出することは透過液を安定供給する上で重要である。特に電子工業用の液体処理、飲料水用途に使用する場合には微粒子の混入や細菌等の漏出を素早く検出することが不可欠である。
【特許文献１】特公平８ー２５２７４６２号公報
【特許文献２】特開平７ー２４２７３号公報
【特許文献３】特開昭５５ー７０２５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決することを目的とする。すなわち、本発明は、運転中でも、分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる膜欠陥検出方法および膜欠陥検出装置、並びに、濾過装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決すべく鋭意検討した結果、本発明者らは下記本発明に想到し、当該課題を解決できることを見出した。
【０００８】
すなわち、本発明は、膜の欠陥を検出する膜欠陥検出方法であって、基準電極と、前記膜の透過液側に設置される検知電極との間の電位差を連続的に測定し、当該電位差の変動により前記膜の欠陥を検出することを特徴とする膜欠陥検出方法である。
【０００９】
本発明の膜欠陥検出方法は、液体が膜（分離膜）を透過する際に生ずる膜電位の電位差の変動から、膜の欠陥を検出する。膜電位は、水などの液体が膜の細孔を透過するときに、膜の表面の電気二重層との相互作用によって、膜の両側に電位として発生する。膜に欠陥（例えば、ピンホールや亀裂）が発生すれば、この電位が変動する。この変動を、上記基準電極と検知電極とで連続的に測定しながら検出すれば、運転中でも、欠陥が発生したときに瞬時に、かつ高精度で効率よくこれを検出することができる。
【００１０】
本発明の膜欠陥検出方法においては、前記電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記膜の欠陥の存在を検出することが好ましい。また、前記膜としては、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることが好ましい。さらに、前記電位差の変動を測定する前に、圧力の変動を補正する補正処理を行うことが好ましい。かかる補正処理により、迅速に電位差を連続的測定し始めることができる。
【００１１】
また、本発明は、基準電極と、少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極と、前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする膜欠陥検出装置である。
【００１２】
本発明の膜欠陥検出装置は、既述の本発明の膜欠陥検出方法を実施するのに最適であるため、運転中でも、分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる。また、微粒子カウンターを使用する従来の検出方法では、検出器が高価であるため、多数の検出器を一台の装置に設置することはコストの増大をもたらし実用的ではない。これに対し本発明の膜欠陥検出装置は、基本的に、電極および測定手段があればよく、低コストで実用的である。また、濾過手段が複数ある場合、それぞれに電極を設けるだけでよく、欠陥が検出された場合は、その濾過手段を交換すればよい。すなわち、欠陥が検出された場合に、すべての濾過手段による濾過を止めて、欠陥のある濾過手段を特定する必要が無いため、濾過処理の高効率化を図ることができる。
【００１３】
本発明の膜欠陥検出装置においては、前記電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記欠陥の存在を検出することが好ましい。膜に欠陥がない通常の状態では、電位差の変動というのはほとんど生じない。一方で、電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となると、欠陥の発生によるものと考えられる。そこで、変動値の絶対値が１ｍＶ以上の場合を欠陥の発生と判断することで、精度よく膜欠陥の検出を行うことができる。
【００１４】
また、本発明の膜欠陥検出装置においては、前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることが好ましい。これらの膜は、微粒子や微生物の除去に用いられ、基本的に連続使用可能であるため、本発明のような電位差の変動で欠陥の有無を判断することが好ましい。
【００１５】
さらに、本発明は、膜と、前記膜を備えた濾過手段と、前記濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、前記濾過手段の前記液供給口以外に設けられた検知電極と、前記基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有することを特徴とする濾過装置である。
【００１６】
本発明の濾過装置は、既述の本発明の膜欠陥検出方法を実施しながら、濾過を行うことができる。そのため、運転中でも、分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出することが可能で、膜に欠陥が発生した場合には、迅速にその後の適切な処理を施すことができる。また、連続的に電位差を測定しながら欠陥を検出するので、サンプリングの必要が無く、検出のたびに装置を止める必要が無いため、膜処理の効率を高い状態に維持することができる。
【００１７】
本発明の濾過装置においては、上記本発明の膜欠陥検出装置の場合と同様に、前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、運転中でも、分離膜に生じた欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる膜欠陥検出方法および膜欠陥検出装置、並びに、濾過装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
〔膜欠陥検出方法〕
本発明の膜欠陥検出方法は、まず、膜へ液を供給する供給口に基準電極を設置し、膜の透過液側に検知電極を設置する。そして、これらの電極の間の電位差を連続的に測定する。膜に欠陥がない場合は、電位差に大きな変動が生じることがない。これに対し、膜に欠陥が発生した場合、瞬時に電位差が変動する。この変動を膜の欠陥として検出することで、運転中でも、欠陥（亀裂やピンホールなどの欠陥）を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できる。
【００２０】
欠陥が発生する前の検出電極の電位は、例えば、ＵＦ膜（限外濾過膜）の細孔内を水が透過したために生じる流動電位で、下記式（１）で表される。
【００２１】
Ｖ／Ｐ＝（ε０εｒζ）／（ηκ）・・・式（１）
なお、上記式（１）中、Ｖは流動電位（中空糸膜内を透過する水によって生じた流動電位）、Ｐは膜間差圧、ε０およびεｒは真空および水の誘電率、ζはゼータ電位、ηは水の粘度、κは水の電気伝導度を表す。
【００２２】
流動電位は、膜にかかる圧力や水温、電気伝導度によって変化するため、電位を計測するのと同時に、圧力、流量、温度、電気伝導度を測定しておき、その影響を補正する必要があるが、それらの影響を考慮し補正しても、電位の変化が認められる場合には、膜に欠陥が発生したと判断することができる。
【００２３】
本発明の膜欠陥検出方法においては、電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、膜の欠陥の存在を検出することが好ましい。通常の状態でも外部のなんらかの影響により、電位差が若干変動することがある。しかし、大きく変動したとしてもその変動値の絶対値が１ｍＶを超えることはない。一方で、膜に欠陥が発生すると、供給液側と透過液側とが直接つながり、流速が大幅に変動するといったことから、その変動値の絶対値は１ｍＶ以上となる。従って、この値を基準に膜の欠陥を検出することが、実用的であり、非常に効率的であるといえる。
【００２４】
また、膜欠陥検出方法では、膜処理の運転の初期は、電位差が安定しないことがある。その場合は、電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ未満となるまで待ってから、膜欠陥を検出するための電位差測定を連続的に行うことが好ましい。ここでいう「連続的」とは、膜処理運転中に電位差測定を行い続けることをいう。
【００２５】
本発明の膜欠陥検出方法では、膜へ液を供給する供給口に基準電極を設置し、膜の透過液側に検知電極を設置するが、濾過手段の大きさに応じて、検知電極をさらに増設してもよい。
【００２６】
なお、基準電極、検知電極、電位差を測定するための手段については、従来公知のものを使用することができる。基準電極の形態としては、ステンレスやチタンの棒や板が挙げられ、検知電極の形態としては、上記同様、ステンレスやチタンの棒や板が挙げられる。また、電位差を測定するための手段としては、基準電極および検知電極の電位を測定する電圧計が挙げられる。
【００２７】
〔膜欠陥検出装置〕
本発明の膜欠陥検出装置は、基準電極と、少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極と、前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有する。本発明の膜欠陥検出装置は、既述の本発明の膜欠陥検出方法を実施するのに最適な装置である。本発明の膜欠陥検出装置は、種々の膜分離装置の膜欠陥検出に利用することができる。
【００２８】
本発明の膜欠陥検出装置を、濾過手段としての中空糸膜モジュールの膜欠陥検出に適用した例として、図１を参照しながら説明する。
【００２９】
中空糸膜モジュール１０は、ハウジングケース１１の内部に中空糸膜１２を多数備えている。中空糸膜１２の端末はハウジングケース１１の両端部において、端末を開口した状態で封止部１３ａ，１３ｂにより封止されている。
【００３０】
この中空糸膜モジュール１０は、中空糸膜１２の内側から外側へろ過する内圧ろ過方式であり、一方の開口端１４から矢印Ａ方向へろ過対象流体を中空糸膜１２の内径流路に流入させる。中空糸膜１２を透過した透過流体はハウジングケース１１の内部から流出口１５ａ，１５ｂを経て中空糸膜モジュール１０から流出する。
【００３１】
ここで、本発明の膜欠陥検出装置のうち、基準電極１６は、開口端１４（液供給口）内に設ける。検出電極は、少なくとも、膜の透過液側である流出口の配管内に設ける（符号１７ａ，１７ｂ）が、好ましくは、開口端１４に最も近い流出口の配管内に設ける（符号１７ａ）。そして、基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定するための測定手段である電圧計１８が、これらの電極と配線を通して繋がっている。なお、図１に示すように、検知電極は複数設けてもよい。すなわち、図１に示すように、中空糸膜モジュール１０の中間部に検知電極１７ｄ、下流側に検知電極１７ｃを設けてもよい。中空糸膜モジュール１０に複数の検知電極を設ける場合は、液供給口とそれより下流側の端部との間に適当な間隔で設けることが好ましい。
【００３２】
電圧計により測定された電位は、コンピュータに取り込んでおき、電位差の変動値の絶対値が例えば、１ｍＶ以上となった場合には、警告が発せられるような機構を備えておくことが好ましい。当該警告により、欠陥が発生した中空糸膜モジュールの特定が可能となり、中空糸膜モジュールの交換を速やかに行うことが可能となる。
【００３３】
次に、本発明の膜欠陥検出装置を、濾過手段としての浄水器の膜欠陥検出に適用した例として、図２を参照しながら説明する。
【００３４】
浄水器２０は、ハウジングケース２１の内部に中空糸膜２２を多数備えている。中空糸膜２２の端末はハウジングケース２１の上端部において、端末を開口した状態で封止部２３により封止されている。そして、中空糸膜２２は、通常は図２に示すように、Ｕ字型に束ねて接着されており、デッドエンド濾過（押し込み濾過）方式となっている。
【００３５】
この浄水器２０も、原水の入り口２４（液供給口）からろ過対象流体（例えば、水道水）を中空糸膜２２の内径流路に流入させる。中空糸膜２２を透過した透過流体（例えば、浄水）はハウジングケース２１の内部から流出口２５を経て浄水器２０から流出する。
【００３６】
ここで、本発明の膜欠陥検出装置のうち、基準電極１６および検知電極は、中空糸膜モジュールの場合と同様の配置とする。まず、原水の入り口２４内に基準電極１６を設ける。検出電極は、少なくとも、膜の透過液側である流出口２５の配管内に設ける（符号１７ａ）。そして、基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定するための測定手段である電圧計１８が、これらの電極と配線を通して繋がっている。なお、中空糸膜モジュールの場合と同様に、検知電極は複数設けてもよい。すなわち、図２に示すように、ハウジングケースの下端に検知電極１７ｂを設けてもよい。また、浄水器の外側はプラスチック製であることが多いため、基準電極や検知電極をステンレス製とした場合は、これをプラスチック中に埋め込んで固定することが好ましい。
【００３７】
電圧計により測定された電位は、コンピュータに取り込んでおき、電位差の変動値の絶対値が例えば、１ｍＶ以上となった場合には、警告が発せられるような機構を備えておくことが好ましい。当該警告により、欠陥の発生を認識することが可能となり、浄水器の交換時期が速やかにわかることになる。
【００３８】
〔濾過装置〕
本発明の濾過装置は、膜と、この膜を備えた濾過手段と、濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、濾過手段の前記液供給口以外に設けられた検知電極と、基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、を有する。具体的には、公知の濾過手段に本発明の膜欠陥検出装置が組み合わされた構成となっている。従って、図１や図２に示すように、少なくとも、濾過手段である中空糸膜モジュール１０や浄水器２０に本発明の膜欠陥検出装置が装備された態様となる。
【００３９】
本発明の濾過装置は、複数の濾過手段を有していてもよい。この場合、それぞれの濾過手段に、膜欠陥検出装置を設ければよい。既述のように、本発明の膜欠陥検出装置は電極と測定手段とからなる簡易な構成であるため、装置の構成が複雑になることはなく、低コストなものとすることができる。
【００４０】
本発明の膜欠陥検出方法においては、測定する電極間の電位は、装置の運転状況（例えば、濾過圧力、温度、モジュール入口の流量、水の電気伝導度等）により変化する場合がある。そうすると、測定の際に観察される電位の変動が、上記運転状況によるものであるのか、または、欠陥の発生によるものであるのか、その判別が困難となることがある。そこで、さらなる測定精度の向上を目的として、電位差の変動を測定する前に、圧力および流量など（特に、圧力）を補正する補正処理を行うことが好ましい。当該処理の概要としては、既述の式（１）に示したように、流動電位Ｖは膜間差圧Ｐに比例するが、測定される電位は中空糸内部の流れによって生じる電位が加算されているため、予め膜間差圧による電位の変化を測定しておき、圧力の変動を補正すればよい。同様に、他の変動要因についても補正を行うことが好ましい。
【００４１】
図１に記載のＵＦモジュール（但し、検出電極は１７ａおよび１７ｂのみの構成）である中空糸膜モジュール（ダイセンメンブレンシステムズ社製ＦＵＳ１５８２）に基準電極（ステンレス線：直径１ｍｍ，長さ１ｃｍ）と２つの検出電極（構成は基準電極と同様）とを設け、ＵＦモジュールの入口圧力および出口圧力を下記表１に示すように変化させて純水の濾過を行い、既述のような補正処理を行った場合の補正処理前後の各電極の電位を連続的に測定した。結果を下記表１に示す。
【００４２】
【表１】
2007263942.tif 000003
【００４３】
上記表１より、平均膜間差圧の変動に伴い、検出電極１７ａおよび検出電極１７ｂによって測定された電圧は１ｍＶ以上変動しているが、圧力の補正を行うことによって、補正後の電位の変動は、１ｍＶ以内になることがわかる。このように、装置の運転状況によって変動し得る電位を補正すれば、正常な運転状態での電位の変動はより迅速に１ｍＶ以内に収まり、膜の欠陥による電位変動のみが１ｍＶ以上の変動として検出される。
【００４４】
膜欠陥検出装置および濾過装置も同様に、上記補正処理と行う補正手段を備えることが好ましい。かかる補正手段としては、濾過装置に通常設置される圧力発信機、流量発信機、電気伝導時計、温度計などの手段からの測定データを電位測定電極から測定値と共にコンピュータに取り込み、それらの数値を使用して補正式で電位を補正すればよい。
【実施例】
【００４５】
（実施例）
図１に示すように、ＵＦモジュールである中空糸膜モジュール（ダイセンメンブレンシステムズ社製ＦＵＳ１５８２）に基準電極（ステンレス線：直径１ｍｍ，長さ１ｃｍ）と２つの検出電極（構成は基準電極と同様）とを設けた。純水の濾過を行って、基準電極の電位を基準として各電極の電位との差を連続的に測定した。
【００４６】
各電極の電位の変動の絶対値が１ｍＶ未満となってから、中空糸膜モジュールの長手方向中間部に位置する中空繊維１本に、直径０．５ｍｍ程度のピンホールを設けた。この際も各電極の電位の測定は続行した。濾過条件を下記表２に示し、測定結果を下記表３に示す。なお、検出電極（１）とは、図１の符号１７ａに相当し、検出電極（２）とは、図１の符号１７ｄに相当する。
【００４７】
【表２】
2007263942.tif 000004
【００４８】
【表３】
2007263942.tif 000005
【００４９】
上記表３より明らかなように、ピンホールを設けると、直ちに各電極で電位の大きな変動が確認された。すなわち、検出電極（１）では、欠陥発生前における基準電極と検知電極と電位差が２２ｍＶであったのに対し、欠陥発生後では当該電位差が１９ｍＶと変動し、欠陥発生前後の電位差の変動値の絶対値が３ｍＶとなった。同様に、検出電極でも、当該変動値の絶対値が３ｍＶとなった。
このように濾過手段に基準電極と検出電極とを設け、その電位を連続的に測定し、変動を観察することで、欠陥を迅速、かつ、高精度で効率よく検出できることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の膜欠陥検出装置を濾過手段に適用した態様を説明する一部断面切断説明図である。
【図２】本発明の膜欠陥検出装置を他の濾過手段に適用した態様を説明する一部断面切断説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０・・・中空糸膜モジュール
１１，２１・・・ハウジングケース
１２，２２・・・中空糸膜
１３ａ，１３ｂ，２３・・・封止部
１４・・・開口端
１５ａ，１５ｂ，２５・・・流出口
１６・・・基準電極
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ，１７ｄ・・・検知電極
１８・・・電圧計
２０・・・浄水器
２４・・・原水の入り口
【図１】
2007263942.tif 000006
【図２】
2007263942.tif 000007
【手続補正書】
【提出日】平成19年5月21日(2007.5.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
膜の欠陥を検出する膜欠陥検出方法であって、
膜へ液を供給する供給口に設置される基準電極と、前記膜の透過液側に設置される検知電極との間の電位差を連続的に測定し、当該電位差の変動により前記膜の欠陥を検出する方法であって、前記電位差の変動を連続的に測定する前に、変動要因を補正する補正処理を行い、前記電位差を連続的に測定し、補正後の電位差の変動により前記膜の欠陥を検出することを特徴とする膜欠陥検出方法。
【請求項２】
前記変動要因として、予め膜間差圧による電位の変化を測定し、圧力の変動を補正することを特徴とする請求項１に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項３】
前記補正後の電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記膜の欠陥の存在を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項４】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の膜欠陥検出方法。
【請求項５】
膜へ液を供給する供給口に設置される基準電極と、
少なくとも膜の透過液側に設置される検知電極と、
前記基準電極と前記検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、
前記電位差の変動を連続的に測定する前に、変動要因を補正する補正手段と、
を有することを特徴とする膜欠陥検出装置。
【請求項６】
前記補正手段が、前記変動要因として圧力の変動を補正することを特徴とする請求項５に記載の膜欠陥検出装置。
【請求項７】
前記補正後の電位差の変動値の絶対値が１ｍＶ以上となった場合に、前記欠陥の存在を検出することを特徴とする請求項５又は６に記載の膜欠陥検出装置。
【請求項８】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項５〜７のいずれか一項に記載の膜欠陥検出装置。
【請求項９】
膜と、
前記膜を備えた濾過手段と、
前記濾過手段の液供給口に設けられた基準電極と、
前記濾過手段の透過液側に設けられた検知電極と、
前記基準電極と検知電極との間の電位差を連続的に測定する測定手段と、
前記電位差の変動を連続的に測定する前に、変動要因を補正する補正手段と、
を有することを特徴とする濾過装置。
【請求項１０】
前記補正手段が、前記変動要因として圧力の変動を補正することを特徴とする請求項９に記載の濾過装置。
【請求項１１】
前記膜が、限外濾過膜および精密濾過膜のいずれかであることを特徴とする請求項９又は１０に記載の濾過装置。