(57)【要約】【課題】除電装置において、ファンにより送り出されるイオンの流れの直進性を高める技術を提供することを課題とする。【解決手段】除電装置は装置本体とルーバ３を備える。装置本体には放電電極とファンが収納され、放電電極より発生したイオンがファンの回転により、ルーバ３を介して外部に送り出される。ルーバ３は、フレーム３１とフレーム３１内に格子状に設けられたフィン３２から構成される。フィン３２は、横方向の第１フィン３２２と縦方向の第２フィン３２３を備える。ファンの軸方向に関する第１フィン３２２と第２フィン３２３の厚みは、ファン２２の径方向に関して中央側が厚くなっている。ファンより押し出されたイオン流は拡散しながら送り出されるが、第１フィン３２２、第２フィン３２３の厚く形成された部分で直進方向に規制される。これにより、イオン流の直進性が高められ、より広範囲のエリアに対して除電効果が得られる。【選択図】図４
2007311229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する除電装置本体に装着されるルーバであって、
前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が他の部分より厚く形成されていることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項２】
請求項１に記載の除電装置のルーバにおいて、
前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が最大であり、径方向で外側に向かうにつれて段階的に薄く形成されていることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項３】
請求項２に記載の除電装置のルーバにおいて、
前記ルーバを構成するフィンは前記ファン側が平面で構成され、外方側が曲面で構成されることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項４】
イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する除電装置本体に装着されるルーバであって、
前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ファンに取り付けられている羽の基部より前記ファンの径方向に関して外側に第１半径が設定され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径より内側に前記第１半径より外側の部分より厚く形成された部分が存在することを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項５】
請求項４に記載の除電装置のルーバにおいて、
前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径の位置から外側に向かうにつれて段階的に薄く形成されていることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項６】
請求項５に記載の除電装置のルーバにおいて、
前記ルーバを構成するフィンは前記ファン側が平面であり、外方側が曲面で構成されることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項７】
請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の除電装置のルーバにおいて、
前記ルーバの前記ファンの径方向に関して中央部には開口部が設けられていることを特徴とする除電装置のルーバ。
【請求項８】
イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する装置本体と、
前記装置本体に装着されるルーバと、
を備える除電装置であって、
前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が他の部分より厚く形成されていることを特徴とする除電装置。
【請求項９】
イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する装置本体と、
前記装置本体に装着されるルーバと、
を備える除電装置であって、
前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ファンに取り付けられている羽の基部より前記ファンの径方向に関して外側に第１半径が設定され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径より内側に前記第１半径より外側の部分より厚く形成された部分が存在することを特徴とする除電装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークに対して除電を行う除電装置のルーバ構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶基板、半導体基板などの製造工場において除電装置が利用されている。除電装置は、帯電しているワークにプラスあるいはマイナスのイオンを供給することで、ワークの帯電電位を中和し、ワークを静電気から保護するものである。
【０００３】
たとえば、除電装置は、半導体製造工場や液晶基板製造工場などで利用され、半導体基板や液晶基板などが静電破壊することを防止している。あるいは、帯電したワークに埃が付着することを防止している。このように、除電装置を利用することで、製品の歩留まり率の向上や品質向上を図っている。
【０００４】
装置内に放電電極とファンとを備えるタイプの除電装置が存在する。このタイプの除電装置は、放電電極から発生したイオンをファンにより遠距離まで送り出すことができるので、比較的広い範囲のエリアを除電することが可能である。
【０００５】
特許文献１は、ファンを備えるタイプの除電装置に関するものである。この文献の図１８に示すように、ケース内にはファンと放電電極が収納されており、放電電極より発生したイオンが、ファンの回転駆動によってケース開口部を介して外部に送り出されるように構成されている。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−２５３１９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の除電装置を用いることにより、比較的広い範囲を除電エリアとすることができる。ここで、ファンは、中央部の回転軸と回転軸の外周に取り付けられた羽とから構成される。ファンは、回転軸を中心として回転することにより、この周囲の羽が空気を前方に送り出すことになる。このため、ファンから送り出される空気流は、主に、回転軸の周囲の羽の部分から発生するものであり、回転軸の前方部分は送り出される空気流が少なく、負圧領域となる。そして、安価で提供されている一般的なファンの場合には、羽により送り出される空気は、拡散しながら前方に送り出される。
【０００８】
つまり、ファンの羽より送り出される空気は、回転軸に近い領域は、負圧領域に引っ張られてその進路がファンの軸方向内側に曲げられ、回転軸より遠い領域は、拡散して広がる。したがって、ファンより送り出されるイオンの流れは、中心の負圧領域に近い部分は、負圧領域に引っ張られて渦巻き状になり、外周付近は拡散していく。これらは、イオンの流れの直進性を妨げるものである。したがって、このような問題を解決し、イオン流の直進性を高めることができれば、同じタイプ、同じパワーのファンを利用した場合でも、より広い範囲を除電エリアに含めることができると期待される。
【０００９】
そこで、本発明は前記問題点に鑑み、除電装置においてファンにより送り出されるイオンの流れの直進性を高める技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、請求項１記載の発明は、イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する除電装置本体に装着されるルーバであって、前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が他の部分より厚く形成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項２記載の発明は、請求項１に記載の除電装置のルーバにおいて、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が最大であり、径方向で外側に向かうにつれて段階的に薄く形成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項３記載の発明は、請求項２に記載の除電装置のルーバにおいて、前記ルーバを構成するフィンは前記ファン側が平面で構成され、外方側が曲面で構成されることを特徴とする。
【００１３】
請求項４記載の発明は、イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する除電装置本体に装着されるルーバであって、前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ファンに取り付けられている羽の基部より前記ファンの径方向に関して外側に第１半径が設定され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径より内側に前記第１半径より外側の部分より厚く形成された部分が存在することを特徴とする。
【００１４】
請求項５記載の発明は、請求項４に記載の除電装置のルーバにおいて、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径の位置から外側に向かうにつれて段階的に薄く形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項６記載の発明は、請求項５に記載の除電装置のルーバにおいて、前記ルーバを構成するフィンは前記ファン側が平面であり、外方側が曲面で構成されることを特徴とする。
【００１６】
請求項７記載の発明は、請求項４ないし請求項６のいずれかに記載の除電装置のルーバにおいて、前記ルーバの前記ファンの径方向に関して中央部には開口部が設けられていることを特徴とする。
【００１７】
請求項８記載の発明は、イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する装置本体と、前記装置本体に装着されるルーバと、を備える除電装置であって、前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して中央部分が他の部分より厚く形成されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項９記載の発明は、イオンを発生させる放電電極と前記放電電極から発生したイオンを外部に送り出すファンとを収納する装置本体と、前記装置本体に装着されるルーバと、を備える除電装置であって、前記ルーバは、前記ファンの回転面に対向する位置に装着され、前記ファンに取り付けられている羽の基部より前記ファンの径方向に関して外側に第１半径が設定され、前記ルーバを構成するフィンの前記ファンの軸方向に対する厚みは、前記ファンの径方向に関して前記第１半径より内側に前記第１半径より外側の部分より厚く形成された部分が存在することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の除電装置のルーバは、ファンの回転面に対向する位置に装着され、ルーバを構成するフィンのファンの軸方向に対する厚みは、ファンの径方向に関して中央部分が他の部分より厚く形成されている。これにより、径方向で中央部分については、ファンから押し出される空気の流れは、ファンの軸方向、すなわち直進方向に規制される。したがって、ファンにより送り出されるイオン流の直進性が高められ、より広い範囲に対する除電効果を得ることが可能である。
【００２０】
また、フィンの厚みは、ファンの径方向に関して中央部分が最大であり、径方向で外側に向かうにつれて段階的に薄く形成される。これにより、中央部のイオン流の直進性が高められるとともに、外周部のイオンについては、速い速度で外部に送り出すことができる。
【００２１】
また、本発明の除電装置のルーバは、ファンの回転面に対向する位置に装着され、ルーバを構成するフィンのファンの軸方向に対する厚みは、ファンの径方向に関して第１半径より内側に第１半径より外側の部分より厚く形成されて部分が存在する。これにより、径方向で第１半径より内側の部分については、ファンから押し出される空気の流れは、ファンの軸方向、すなわち直進方向に規制される。したがって、ファンにより送り出されるイオン流の直進性が高められ、より広い範囲に対する除電効果を得ることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態に係る除電装置１の斜視図である。また、図２は、除電装置１の正面図である。この除電装置１は、たとえば、半導体基板製造装置や液晶基板製造装置などに設置され、半導体基板や液晶基板などのワークに帯電する静電気を除去する目的で利用される。
【００２３】
除電装置１は、図１、図２に示すように、箱型の形状をした装置であり、装置本体２の上部にルーバ３が取り付けられる構造となっている。この除電装置１は、装置内にイオンを発生させる放電電極２１とファン２２とを収納しており、放電電極２１により発生されたイオンをファン２２により送り出すタイプの装置である。また、本実施の形態の除電装置１に使われているファン２２は、空気を拡散するように送り出すタイプのファンである。
【００２４】
具体的には、ルーバ３は、格子状に配列された多数のフィン３２から構成されており、フィン３２の間に多数の開口部が形成されている。ファン２２より送り出されるイオン流は、この開口部を介して装置外部へと送り出されるのである。このように、ルーバ３は格子状に構成されており、人の手や指、あるいは物などが装置内部に入ることを防止している。
【００２５】
図３は、装置本体２の斜視図である。つまり、ルーバ３を取り外した状態の除電装置１の斜視図である。装置本体２は、箱状のケース内に、４つの放電電極２１,２１・・・とファン２２とを収納している。
【００２６】
４つの放電電極２１,２１・・・は、装置本体２の正面側、つまり、ルーバ３の取り付け面に近い位置に配置されている。４つの放電電極２１,２１・・・は、等間隔を空けて、環状に形成されているケースの側壁から、中心に延設するように設けられている。そして、この放電電極２１,２１・・・より奥の位置にファン２２が取り付けられている。
【００２７】
これら放電電極２１,２１・・・とファン２２は図示せぬ電源装置や制御回路によって駆動制御される。ファン２２は、図に示すように、中央の回転軸２２１と、回転軸２２１の外周面に取り付けられた複数の羽２２２,２２２・・・から構成される。図２等で示す点Ｘは、回転軸２２１の回転中心を示している。つまり、点Ｘは、ファン２２の回転中心である。ファン２２の回転軸２２１が、点Ｘを中心として回転駆動すると、羽２２２,２２２・・・により空気が装置外部に送り出されるのである。
【００２８】
放電電極２１,２１・・・は、電源装置から高電圧が供給されることによりコロナ放電を起こし、放電電極２１,２１・・・の先端部よりイオンを発生させる。そして、放電電極２１,２１・・・によるイオンの発生とあわせて、ファン２２が駆動することにより、発生したイオンが、ルーバ３の開口部を介して外部に送り出されるのである。このようにして、放電電極２１,２１・・・より発生したイオンを遠方に送り出し、広い範囲を除電エリアとするようにしている。
【００２９】
そして、これら放電電極２１,２１・・・やファン２２を上部から覆うようにしてルーバ３が取り付けられている。図１および図２に示すように、ルーバ３は、略四角形状のフレーム３１と、フレーム３１内に格子状あるいは環状に設けられた複数のフィン３２,３２・・・から構成されている。
【００３０】
図４は、ルーバ３の斜視図である。このように、フレーム３１が略平面形状となっているのに対して、フィン３２は、やや上方に膨らむような形状となっている。図５は、ルーバ３の正面図であり、図６は、ルーバ３の背面図である。このように、フィン３２は、環状フィン３２１と、横方向に配列された第１フィン３２２,３２２・・・と、縦方向に配列された第２フィン３２３,３２３・・・とから構成されている。
【００３１】
環状フィン３２１は、円環形状をしており、その円の中心は、ファン２２の回転中心と同じである。つまり、環状フィン３２１の中心は点Ｘである。そして、図２,５,６に示すように、環状フィン３２１は、半径ｄの大きさを持った環状のフィンである。
【００３２】
ここで、図２に示すように、正面視において、ファン２２の回転軸２２１は、環状フィン３２１の内側に位置している。言い換えると、環状フィン３２１の半径ｄは、回転軸２２１の半径より大きな長さを持っている。したがって、環状フィン３２１の内側からも、羽２２２より空気（イオン流）が送り出されることになる。
【００３３】
横方向に配列される第１フィン３２２,３２２・・・のうち、中央の２本の第１フィン３２２ａ,３２２ａは、フレーム３１の両端を結ぶ長さを有している。そして、この中央の２本の第１フィン３２２ａ,３２２ａ以外の第１フィン３２２ｂ,３２２ｂ・・・は、フレーム３１の端部から環状フィン３２１までを連結する長さを有している。つまり、ルーバ３の開口部の全長に亘って延設する２本の第１フィン３２２ａ,３２２ａと、長さの短い８本の第１フィン３２２ｂ,３２２ｂ・・・により、横方向の格子を形成している。
【００３４】
縦方向に配列される第２フィン３２３,３２３・・・のうち、中央の４本の第２フィン３２３ａ,３２３ａ・・・は、フレーム３１の両端を結ぶ長さを有している。そして、この中央の４本の第２フィン３２３ａ,３２３ａ・・・以外の第２フィン３２３ｂ,３２３ｂ・・・は、フレーム３１の端部から第１フィン３２２ｂまでを連結する長さを有している。つまり、ルーバ３の開口部の全長に亘って延設する４本の第２フィン３２３ａ,３２３ａ・・・と、長さの短い８本の第２フィン３２３ｂ,３２３ｂ・・・により、縦方向の格子を形成している。
【００３５】
図７は、ルーバ３の平面図である。つまり、図７は、図５におけるルーバ３を矢視Ａの方向から見た図である。図８は、図５におけるルーバ３を矢視Ｂの方向から見た側面図である。また、図７,図８において、矢視Ｑは、ファン２２の軸方向を示し、矢視Ｒは、ファン２２の径方向を示している。このように、ルーバ３は、平面あるいは側面からみると、中央部の厚みが厚くなっている。言い換えると、ファン２２の軸方向Ｑに関するルーバ３の厚みは、ファン２２の径方向Ｒに関して中央側が厚くなっている。
【００３６】
さらに、具体的に説明すると、ルーバ３の軸方向Ｑに関する厚みとは、第１フィン３２２,３２２・・・あるいは第２フィン３２３,３２３・・・の軸方向Ｑに関する厚みを示している。
【００３７】
図７に示すように、第１フィン３２２ａは、ファン２２の径方向Ｒに関して中央部の厚みが厚く形成されている。第１フィン３２２ｂに関しては、環状フィン３２１の内側にまで延設していないが、やはり、ファン２２の径方向Ｒで中央寄りの厚みが厚く形成されている。
【００３８】
同様に、図８に示すように、第２フィン３２３ａは、ファン２２の径方向Ｒに関して中央部の厚みが厚く形成されている。第２フィン３２３ｂに関しては、環状フィン３２１の内部にまで延設していないが、やはり、ファン２２の径方向Ｒで中央寄りの厚みが厚く形成されている。
【００３９】
図９は、図５における矢視Ｃ−Ｃ断面図である。つまり、第２フィン３２３ａの断面図を示している。この断面図により、第２フィン３２３ａの厚みがファン２２の径方向Ｒに関して中央部分が厚くなっていることが分かる。より具体的には、第２フィン３２３ａは、軸方向Ｒに関してファン２２側、つまり、装置内部側は平面となっているが、外部側は中央が膨らんだ曲面で構成されているのである。第１フィン３２２ａの断面図も、図９で示した第２フィン３２３ａの断面と略同じである。つまり、第１フィン３２２ａについても、軸方向Ｑに関してファン２２側、つまり、装置内部側は平面となっているが、外部側は中央が膨らんだ曲面で構成されているのである。
【００４０】
このように、第１フィン３２２および第２フィン３２３のファン２２の軸方向Ｑに関する厚みが、ファン２２の径方向Ｒに関して中央側が厚く形成されることにより、本実施の形態の除電装置１は、イオンの流れの直進性が高められている。この根拠について以下説明する。
【００４１】
図１０は、ファン２２より送り出される空気の流れ、すなわち、イオンの流れを模式的に示す図である。上述したように、ファン２２は、中央に回転軸２２１を備えている。この回転軸２２１部分の前方には負圧領域が形成される。これに対して、羽２２２,２２２・・・より送り出される空気は、羽２２２の回転により拡散しながら広がるように送り出される。
【００４２】
本実施の形態のルーバ３が存在しないと仮定すれば、羽２２２,２２２・・・により送り出されるイオン流は、その径方向Ｒで最も内側の領域の流れは、負圧領域に引き込まれることになる。さらに、その内側に引き込まれる流れに追随して、さらに、その周囲の流れも中心側に引き込まれることになる。このような現象が起こることにより、ファン２２より送り出されるイオン流は、いたるところで渦巻き状の流れとなり、直進性が高められない。また、径方向Ｒで外側の流れは、拡散するように広がるので、やはり直進性が高いとは言えない。
【００４３】
しかし、本実施の形態においては、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３は、ファン２２の径方向Ｒで中央部の厚みが厚くなっている。したがって、羽２２２,２２２・・・から送り出されるイオン流のうち、径方向Ｒで最も内側の領域のイオン流は、この第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の中央部の厚い部分にぶつかって、直進方向に案内されるのである。
【００４４】
さらに、詳しく説明すると、上述したように、羽２２２により送り出されるイオン流は、拡散しながら前方に進むことになるが、径方向Ｒで中央側のイオン流は、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚い部材部分で、その拡散方向の流れが、ファン２２の軸方向Ｑに沿う直進方向に規制されるのである。つまり、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３は、軸方向Ｑに平行な面をもっており、径方向Ｒで中央側は、この平行な面が長くなっているので、ファン２２より送り出されるイオン流が、この面で直進性を与えられるのである。
【００４５】
このように、まず、径方向Ｒで最も中心側のイオン流に直進性が得られる。次に、その周囲のイオン流であるが、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みは、少しずつ薄くなっているものの、端部側よりは厚く形成されている。したがって、ある程度、拡散する方向が規制される。そして、中心側のイオン流が直進しているため、従来のタイプのように、負圧領域に引き寄せられることなく、やはり直進性が高められるのである。
【００４６】
一方、羽２２２,２２２・・・から送り出されるイオン流のうち、径方向Ｒで最も外側の領域の流れは、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の端部の薄い部材部分にぶつかるだけであるので、それほどイオン流に対する抵抗とならず、勢いよくイオン流が拡散しながら前方に送り出される。そして、上述したように、径方向Ｒで内側の流れは直進性が高められているので、この外側の流れは、内側の直進性の高い流れに引き込まれて、やはり直進性が高められるのである。
【００４７】
そもそもルーバのフィンは、人の手あるいは指がファンに触れることを防止することを目的として設けられるものであり、人の手あるいは指が入らないような格子を形成することで目的が達成されていた。したがって、格子間の開口部については、手あるいは指との関係でその大きさや形状について工夫がなされていたが、その厚みについては重要視されていなかった。一般には、フィンの強度を保つことができればよいので、強度から計算した適当な厚みで構成されていた。そして、その厚みについては、一定の厚みとされていた。
【００４８】
これに対して、本実施の形態のルーバ３は、人の手あるいは指が挿入されることを防止するという本来の目的に加えて、ファン２２の軸方向Ｑに関する厚みとファン２２から送り出される空気の流れに着目し、この空気の流れの直進性を高められるように工夫しているのである。
【００４９】
ここで、ファンの中には、空気を渦巻かせながら直進方向に押し出すタイプのものも存在する。しかし、このような直進性の高いタイプのファンは高価である。これに対して、本実施の形態においては、上述したように空気を拡散方向に送り出すタイプのファン２２が使用されている。このような拡散型のタイプのファンは一般に安価で提供されている。したがって、本実施の形態の除電装置１は、安価なタイプのファン２２を使用しながら、そのイオン流の直進性を高めて、より遠くの領域に存在するワークに対する除電を行うことができるのである。
【００５０】
また、本実施の形態の除電装置１は、ルーバ３の形状によってイオン流の直進性を高めているので、装置本体内の構造に変更を加える必要がない。上述したように、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の形状は、装置外方側は曲面上に膨らんでいるが、装置内部側は平面である。したがって、装置内部側に部材が突設する構成ではなく、装置内部側の設計変更を要することなく、イオン流の直進性を高めることが可能である。
【００５１】
ここで、上記の実施の形態においては、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の軸方向Ｑに関する厚みが、径方向Ｒに関して中央部が厚いと説明した。実際、図７、図８、図９で示すように、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みは、中央部が最も厚く、端部に向かうにつれて次第に薄くなるように構成されている。
【００５２】
しかし、本質的には、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みは、径方向Ｒに関して中央に近い側が、端部側よりも厚く形成されていればよく、中央付近は同じ厚みで形成されていてもよい。つまり、ファン２２の回転軸２２１の前方部分には、そもそも空気の流れは発生しないので、回転軸２２１の前方部分には空気の流れに直進性を加えるための手段は必要ではない。
【００５３】
さらに具体的に説明すると、径方向Ｒに関してファン２２の回転軸２２１よりも少し外側、つまり、羽２２２の基部付近の前方位置において、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みが厚く形成されていればよいことになる。したがって、図２に示すように、環状フィン３２１のちょうど内側あたりが、羽２２２の基部に対応しており、この領域について、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みが厚く形成されていればよいことになる。つまり、回転軸２２１の半径よりもやや大きめの半径ｄが定義され、この半径ｄよりも内側の領域における第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みが、半径ｄよりも外側の領域よりも厚く形成されていればよいことになる。
【００５４】
そして、例えば、半径ｄの内側の領域においては、第１フィン３２２あるいは第２フィン３２３の厚みは一定であってもよい。あるいは、半径ｄより内側の領域に、半径ｄよりも外側の領域よりも厚みのある領域が存在すれば、それよりさらに内側の領域については、フィン３２は存在しなくてもよい。つまり、回転軸２２１に対向する位置付近にはフィン３２は存在しなくても、ファン２２から送り出される空気の直進性を高めることは可能である。
【００５５】
なお、上記の説明においては、環状フィン３２１とちょうど重なる位置に半径ｄを定義して説明したが、これは一例である。半径ｄは、回転軸２２１の半径より少し大きめの位置に定義されればよい。
【００５６】
図１１は、本発明の除電装置と従来品の除電装置とで除電能力の差をテストした結果を示す図である。図の縦軸は、除電装置１からの距離を示している。また、曲線で描かれた領域は、除電が完了した領域を示している。図では領域が５段階の層で示されているが、これは時間の経過とともに除電領域が広がっていることを示している。したがって、最も外側の曲線が最終的な除電領域を示している。
【００５７】
この実験結果によると、従来品の除電装置では、約１ｍ先までを除電することが可能であったが、本発明の除電装置では、１ｍ５０ｃｍ先まで除電可能となっていることが分かっている。つまり、従来品と同じファンを利用した場合であっても、約１．５倍の距離まで除電することが可能となっている。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】除電装置の斜視図である。
【図２】除電装置の正面図である。
【図３】ルーバを取り外した除電装置の斜視図である。
【図４】ルーバの斜視図である。
【図５】ルーバの正面図である。
【図６】ルーバの背面図である。
【図７】ルーバの平面図（図５のルーバを矢視Ａ方向から見た図）である。
【図８】図５におけるルーバを矢視Ｂ方向から見た側面図である。
【図９】図５におけるルーバの矢視Ｃ−Ｃ断面図である。
【図１０】本実施の形態における除電装置のイオン流の流れを模式的に示す図である。
【図１１】従来の除電装置と本発明の除電装置のイオン流の直進性の差異を示す実験結果を示す図である。
【符号の説明】
【００５９】
１  除電装置
２  装置本体
３  ルーバ
２１  放電電極
２２  ファン
３２  フィン
２２１  （ファンの）回転軸
２２２  （ファンの）羽
３２１  環状フィン
３２２,３２２ａ,３２２ｂ  第１フィン
３２３,３２３ａ,３２３ｂ  第２フィン
【図１】
2007311229.tif 000003
【図２】
2007311229.tif 000004
【図３】
2007311229.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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