(57)【要約】【課題】  本発明は、外部記憶装置に使用する磁気ディスク基板に関し、より詳細には磁気ディスク基板の外周側面にディンプルを形成したことを特徴とする磁気ディスク基板に関する。【解決手順】  本発明は、磁気ディスク基板の外周側面に等間位置を隔離して、所定の大きさと深さのディンプルを３個以上形成するよう構成する、もしくはディンプルの形状を、半球形、円錐形もしくは多角錐形として所定の大きさと深さで３個以上形成するよう構成する。【選択図】    図１
2007242204.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁気ディスク基板の外周側面に等間隔離して、所定の大きさと深さのディンプルを３個以上形成した、
ことを特徴とする磁気ディスク基板。
【請求項２】
前記ディンプルの形状は、半球形、円錐形もしくは多角錐形である、
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク基板。
【請求項３】
前記ディンプルを磁気ディスク基板の外周側面に所定間隔離して一対として形成し、さらに該磁気ディスク基板の中心に対して点対称となる位置に一対のディンプルを形成した、
ことを特徴とする請求項１記載の磁気ディスク基板。
【請求項４】
前記ディンプルの深さ方向は、前記磁気ディスク基板の中心に対して所定の角度を持つように形成した、
ことを特徴とする請求項３記載の磁気ディスク基板。
【請求項５】
先端形状が凸となる保持具の先端を磁気ディスク基板の外周側面に等間隔離して形成された３個以上のディンプルに当接し、該保持具を該磁気ディスク基板の中心方向に押圧して該磁気ディスク基板を保持する、
ことを特徴とする磁気ディスク基板の保持方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク基板に関し、より詳細には外周側面にディンプルを形成した磁気ディスク基板に関する。
【背景技術】
【０００２】
外部記憶装置に記憶媒体として使用される磁気ディスク基板は、アルミニュウムやその合金、あるいはガラスなどからなる非磁性体の円盤状の基板にコバルトを主成分とする磁性膜を形成して作られる。この磁性膜の形成は、スパッタリングにより成膜されることが一般に行われている。
【０００３】
図６は、磁気ディスク基板の両面に磁性膜をスパッタリングにより形成する状態を示すもので、真空チャンバー内の配置を模式的に示している。まず、磁気ディスク基板１００は保持具６００により垂直に保持され、磁性膜の材料である金属板から成る２つのターゲット５００の真ん中の位置に置かれる。真空チャンバーは１〜１０のマイナス２乗Ｔｏｒｒ程度の不活性ガス（たとえばアルゴン）雰囲気にあり、この状態でターゲット５００と磁気ディスク基板１００間に数100Vの電圧を印加する（ターゲット５００は負の電位に、磁気ディスク基板１００は陽の電位に置かれる）と、イオン化したアルゴンがターゲット向かって加速・衝突し、ターゲットの金属分子がはじき飛ばされて、磁気ディスク基板１００に堆積する（図６で「Ｍ」と描かれた図形は、金属の分子を示している）。従来では、図６に示すＶ字形の爪を持った保持具６００で磁気ディスク基板１００を保持するため、保持する爪の部分が影となり、磁性膜の膜厚が他の箇所に較べて薄くなることがあった。
【０００４】
図７は、磁気ディスク基板１００の外周部の保持具６００の爪のある部分の出力特性を示すもので、図７（ａ）はオシロスコープによる周方向の出力レベルの波形を示している。図７（ａ）の波形の中央に窪みが見られるが、その部分が爪の影響で磁性膜が薄くなり、出力レベルが落ちている箇所である。
【０００５】
図７（ｂ）は、爪の部分を磁気ディスク基板１００の中心に近い所から外周部に向かって出力レベルを調べた状態を示すものである。磁気ディスク基板１００の中心から３１．３ｍｍの位置の出力レベルを基準とすると、外周部に向かって出力レベルは徐々に低下し、最外周の３２．１ｍｍの位置では約１２％の出力ダウンが見られる。
【０００６】
このように均一の磁性膜が得られない磁気ディスク基板１００は膜欠陥による不良と判断され、製造歩留りの点で問題となる。
【０００７】
成膜中の基板の保持具による影の影響を少なくする提案として、基板の外周側面に溝を設ける提案がなされている。これは、従来の保持具がＶ字型をしており、そのＶ字型の開いた箇所に磁気ディスク基板を乗せていたものを、磁気ディスク基板の外周側面に溝を形成し、その溝に当たるように尖った形状の保持具とするものである。これにより保持具による影が無くなり均一のスパッタが行える提案である（特許文献１）。
【特許文献１】特開平０３−２２５６２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上記に説明したように、磁気ディスク基板の磁性膜はスパッタリングの薄膜プロセスにより膜形成している。スパッタリングにおいては、磁気ディスク基板を保持する必要があるが、その保持具によって磁気ディスク基板の外周部に影を作り、その部分の膜形成が充分に行われない、という問題があった。この部分は磁性膜が薄く、膜質が他と異なり充分の出力が得られず欠陥品となり製造歩留りを下げていた。
【０００９】
特許文献１に提案された方法は、保持具による影を無くす方法で磁気ディスク基板の外周部まで均一に膜形成できるものと考えられる。
【００１０】
本発明は、特許文献１とは別の方法で磁気ディスク基板の保持具による影響を無くして磁気ディスク基板の外周部も均一に磁性膜の形成ができる磁気ディスク基板とその保持方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するために、磁気ディスク基板および磁気ディスク基板の保持方法は以下のように構成される。
（１）第１の発明
第１の発明は、磁気ディスク基板の外周側面に所定の大きさと深さのディンプルを形成することを特徴とするものである。このディンプルは、磁気ディスク基板の外周側面に等間隔離した位置に３個以上を形成するものである。
【００１２】
第１の発明によれば、外周側面にディンプルを形成することにより、そのディンプルに先端を凸とする保持具を当て保持することで側面からの保持が可能となり、膜形成面に対する保持具の影響を回避できる。
（２）第２の発明
第２の発明は、第１の発明のディンプルの形状が半球形と円錐形、さらに多角錐を含むことを特徴とするものである。
【００１３】
第２の発明によれば、この形状のディンプルに先端を凸とする保持具を当てたときその先端はディンプルの壁に沿って位置が定まることができる。
（３）第３の発明
第３の発明は、磁気ディスク基板の外周側面に形成するディンプルを所定間隔の距離を離して一対として形成し、さらに磁気ディスク基板の中心に対して点対称の位置にもう一対のディンプルを形成することを特徴とするものである。即ちディンプルは二対の計４個が磁気ディスク基板の外周側面に形成されることになる。
【００１４】
第３の発明によれば、例えば一対の先端を持つ保持具を用いて左右から磁気ディスク基板のディンプルに当て、挟むようにして保持できるので保持の安定性が高まる。
（４）第４の発明
第４の発明は、第３の発明のディンプルの深さ方向を磁気ディスク基板の中心に対して所定の角度を持つように形成したことを特徴とするものである。
【００１５】
第４の発明によれば、例えば一対のディンプルの深さの角度を磁気ディスク基板の中心方向から互いのディンプルのある方向に傾けることにより、一対の先端を内側に向けた保持具で磁気ディスク基板をより安定して保持できる。
（５）第５の発明
第５の発明は、先端形状が凸の保持具の先端を磁気ディスク基板の外周側面に等間隔離して形成された３個以上のディンプルに当て、その保持具を該磁気ディスク基板の中心方向に押して磁気ディスク基板を保持することを特徴とする保持方法である。
【発明の効果】
【００１６】
第１の発明により、磁気ディスク基板の側面からの保持することが可能となるため、保持具の影の影響のない均一な磁性膜の形成が可能となる。
【００１７】
第２の発明により、ディンプルの形状が半球形、円錐形あるいは多角錐形であるため、保持具の先端はディンプルの壁に沿って自動的に位置が定まることができる。
【００１８】
第３の発明により、一対のディンプルを点対称に形成するため、保持具により挟むようにして安定に保持できる。
【００１９】
第４の発明により、保持具の先端の角度が磁気ディスク基板の中心方向よりさらに内側に向くようにした保持具に合わせて磁気ディスク基板の一対のディンプルの深さ角度を形成することにより、より安定した保持ができる。
【００２０】
第５の発明により、第１の発明と同様の理由で保持具の影の影響のない均一な磁性膜の形成が可能となる保持方法の提供が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
本発明の実施例について図１から図４を用いて説明する。
【００２２】
（第１の実施例）
第１の実施例として第１の発明の実施形態を説明する。図１は第１の実施例を説明する図で、磁気ディスク基板１００の外周側面２００にディンプル３００を形成した状態を示している。ディンプル３００は外周側面２００に外周方向に等しい間隔で配置している。磁気ディスク基板１００を保持するときは、このディンプル３００に先端形状が尖った保持具の先端を当て、磁気ディスク基板１００の中心方向に向かって押圧することを行うので、そのバランスからディンプル３００は外周側面状に等間隔に配置する必要がある（等間隔の配置は、即ち磁気ディスク基板の中心に対して等角度で配置されることになる）。
【００２３】
（第２の実施例）
第２の実施例として第２の発明の実施形態を説明する。図２は第２の実施例を説明する図で、ディンプル３００の形状を３種類示している。即ち、図２の（ａ）は半球形状、同図の（ｂ）は円錐形状、同図（ｃ）は四角錐形状であることを示している。それぞれの図の上の図は磁気ディスク基板の外周側面から見た図で、下の図は磁気ディスク基板１００の上面から見た図である。
【００２４】
例えば、保持具の先端をこのディンプル３００と同じ形状でひと回り小さい凸形状にしておけば、多少保持具の先端の中心位置がディンプル３００の中心位置とずれた状態であっても、先端はこのディンプル３００の壁に沿ってディンプルの中心（最も磁気ディスク基板３００の中心に近い位置）に向かって進み、保持具の先端とディンプル３００の中心が一致した位置で停止して位置合わせが行われることになる。
【００２５】
（第３の実施例）
第３の実施例として第３と第４の発明の実施形態を併せて説明する。図３は第３の実施例を説明する図で、磁気ディスク基板１００にはディンプルＡ３１０とディンプルＡ’３１１の一対のディンプルと、ディンプルＢ３２０とディンプルＢ’３２１のもう一対のディンプルとを示している。これらの二対のディンプルは磁気ディスク基板１００の中心に対して点対称の関係にある。さらに、ディンプルＡ３１０の深さ方向は磁気ディスク基板１００の中心方向に対してディンプルＡ’３１１側にθ傾く方向に向けられている。そしてディンプルＡ’３１１の深さ方向はディンプルＡ３１０側にθ傾く方向に向けられている。ディンプルＢ３２０とディンプルＢ’３２１も同様である。このようにすることにより、一対の先端を備えた保持具をそれぞれディンプルＡ−Ａ’とディンプルＢ−Ｂ’に当て、例えばバネを用いて保持具の一対の先端が閉じる方向に力がかかる構造（ピンセットで挟むような形になる）とすることにより、磁気ディスク基板１００の保持は安定したものとなる。
【００２６】
（第４の実施例）
第４の実施例として第５の発明の実施形態を説明する。図４は第４の実施例を説明する図で、磁気ディスク基板１００の外周側面には等間隔で円錐形のディンプル３００を６個形成している。そして、それぞれのディンプル３００は、保持具６００の凸形状の先端で当接され、保持具６００によって磁気ディスク基板１００の中心方向に押圧されている（保持具の図の中に描かれた矢印は押圧の方向を示している）。磁気ディスク基板１００の中心方向に押圧された力は等間隔で中心方向に向かっているのでバランスし、磁気ディスク基板１００は安定に保持されることになる。なお、保持具６００の先端はディンプル３００より鋭角の円錐の凸形状を成している。
【００２７】
図５は、このように保持した磁気ディスク基板１００とターゲット５００との配置関係を示すもので、保持具６００の先端は磁気ディスク基板１００のディンプル３００の中で当接するので磁性膜を形成する面に影を作ることはない。従って、磁気ディスク基板１００の外周部においても均一に磁性膜を形成することができる。
【００２８】
図５の保持例は、磁気ディスク基板１００を垂直に保持しているが、垂直に限定されるものではない。例えば、水平に保持してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】第１の発明の磁気ディスク基板例である。
【図２】第２の発明の磁気ディスク基板に形成するディンプル形状例である。
【図３】第３と第４の発明による磁気ディスク基板例である。
【図４】第５の発明による磁気ディスク基板の保持例（その１）である。
【図５】第５の発明による磁気ディスク基板の保持例（その２）である。
【図６】従来のスパッタリング中の磁気ディスク基板の保持例である。
【図７】保持具の爪部分の磁気ディスク基板の出力特性である。
【符号の説明】
【００３０】
１００  磁気ディスク基板
２００  外周側面
３００  ディンプル
３１０  ディンプルＡ
３１１  ディンプルＡ’
３２０  ディンプルＢ
３２１  ディンプルＢ’
４００  保持具
５００  ターゲット
６００  保持具
【図１】
2007242204.tif 000003
【図２】
2007242204.tif 000004
【図３】
2007242204.tif 000005
【図４】
2007242204.tif 000006
【図５】
2007242204.tif 000007
【図６】
2007242204.tif 000008
【図７】
2007242204.tif 000009