(57)【要約】      （修正有）【課題】良好な記録再生を行なえる光記録媒体を提供すること。また、トラックピッチを小さくした場合のトラッキングを良好に制御し、大容量の光情報記録が可能なシステムを提供すること。【解決手段】該記録媒体は、記録層の一方の面にトラッキング用溝を有するものであり、該トラッキング用溝のある前記一方の面に金属製の針を近づけ、かつ、該針を近づけた部分の記録層の面に光を照射することにより生じるエバネセントフォトンが前記針の先端に飛んで前記先端を光らせ、前記先端における光の発光強度の変化を検出することによりトラッキング制御を行なうものであり、トラッキングの制御を行なうための光ヘッドと記録再生用光ヘッドが組み合わされて一体化して使用されることを特徴とする光情報記録再生システム。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に情報信号に対応して凹凸を設けることまたは情報信号に対応して光学特性が変化する記録層を設けることにより記録された情報を、光を用いて再生する光記録媒体を記録媒体として用い、該記録媒体に光照射し、光記録媒体からの記録情報に応じた反射光の特性変化を読み出すことにより情報の再生を行なう記録再生システムであって、該記録媒体は、記録層の一方の面にトラッキング用溝を有するものであり、該トラッキング用溝のある前記一方の面に金属製の針を近づけ、かつ、該針を近づけた部分の記録層の面に光を照射することにより生じるエバネセントフォトンが前記針の先端に飛んで前記先端を光らせ、前記先端における光の発光強度の変化を検出することによりトラッキング制御を行なうものであり、トラッキングの制御を行なうための光ヘッドと記録再生用光ヘッドが組み合わされて一体化して使用されることを特徴とする光情報記録再生システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光ディスクに代表されるような光学的に情報の記録または再生が可能な光情報記録媒体において、近接場光を用いた超大容量の光情報記録媒体に情報を記録再生する際、良好にトラッキング制御をする方法を用いて大容量記録を実現する記録再生システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光記録媒体としては、コンパクトディスクに代表されるようにディスク状情報記録媒体が良く知られているが、マルチメディア、情報ネットワークの時代になり、更なる大容量の記録媒体が必要とされている。
光ディスクメモリとしては読み出し専用、追記型、書き換え型等があるが、読み出し専用としてはＣＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、追記型としてＣＤ−Ｒ等、書き換え型として相変化記録方式、光磁気記録方式のものが実用化されている。
【０００３】
大容量化の方法としては、記録ピットを小さくする、同一場所に複数の情報を記録する、の大きく２つに分けられる。記録ピットを小さくするためには、現在実用化されている相変化型ディスクや光磁気型光ディスクにおいても、小さいピットを記録するのは６０〜１００ｎｍ程度のピット径で書き込みが可能であるという報告がある。しかし、再生は再生光スポットの中に複数のピットが入ってしまうため、各情報を読み出すのが困難となる。小さいピットを読み出すためには、光をより小さく絞りスポットサイズを小さくすることが必要であるが、光学的なスポットサイズの限界は光の波長とレンズの開口数に依存する。このため、従来のように光学系を用いて記録再生光を集光する方法では光の回折限界によりスポットサイズを小さくするのに限界があり、記録密度の向上の限界となっていた。そこで、スポットサイズ以下のピットを読み出すための方法として、光磁気方式を中心に超解像再生が提案されている。これは記録層の上にマスク層を設け、再生光のスポット内の温度分布を利用してスポット径よりも微小なピットを再生しようという方法である。
【０００４】
また、その他に近接場光を応用するという提案がある。空気中を伝播する通常の光とは異なり、物質表面の光の波長より小さな領域に局在する光を利用するというものである。これは、走査型トンネル顕微鏡や走査型原子間力顕微鏡等の走査型プローブ顕微鏡を応用した記録再生ヘッドを応用したもので、走査プローブの中に光を導入し、絞り込んだ先端から出てくる近接場光を利用する方法が提案されている（特許文献１：特開平８−１６０５６４号公報参照）。この方法で可能なスポットサイズは、光の波長に関係なくプローブの先端の開口径のみで決まるので、小さい領域に記録再生が可能となる。
【０００５】
また、近接場光は微小なスポットが可能となるため、ピット間隔、トラックピッチが小さくなってもクロストーク無しに記録再生が可能隣となり、大容量となりうるが、記録再生のために狭いトラックピッチにおいても安定にトラッキングを行なう必要がある。
つまり、記録ピットを小さくし、記録容量を大きくしようとするとき、記録間隔を縮め、容量を大きくするとともにトラックピッチを小さくし、更に容量を大きくする必要がある。しかし、トラックピッチを小さくすることにより、記録再生時のトラッキング制御が難しくなるという問題がある。近接場光を用いた場合、光強度が比較的小さくなるので特にトラッキング制御の方法が課題となる。
【０００６】
【特許文献１】特開平８−１６０５６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記問題点を改善し、本発明の光記録媒体を用いることにより良好な記録再生を行なうことができ、また、トラックピッチを小さくした場合のトラッキングを良好に制御し、大容量光情報記録システムを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明者は鋭意検討した結果、上記課題は、本発明の「基板上に情報信号に対応して凹凸を設けることまたは情報信号に対応して光学特性が変化する記録層を設けることにより記録された情報を、光を用いて再生する光記録媒体を記録媒体として用い、該記録媒体に光照射し、光記録媒体からの記録情報に応じた反射光の特性変化を読み出すことにより情報の再生を行なう記録再生システムであって、該記録媒体は、記録層の一方の面にトラッキング用溝を有するものであり、該トラッキング用溝のある前記一方の面に金属製の針を近づけ、かつ、該針を近づけた部分の記録層の面に光を照射することにより生じるエバネセントフォトンが前記針の先端に飛んで前記先端を光らせ、前記先端における光の発光強度の変化を検出することによりトラッキング制御を行なうものであり、トラッキングの制御を行なうための光ヘッドと記録再生用光ヘッドが組み合わされて一体化して使用されることを特徴とする光情報記録再生システム」によって達成されることを見い出した。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の光情報記録再生システムによれば、光を照射した面と反対面の記録媒体表面に金属製の針を近づけ、その先端に生じる光の強度の変化を検出することによりトラッキング制御を行なうことにより大容量光メモリを実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、相変化記録媒体を用いることにより、従来のシステムを大きく変更せずに大容量光メモリが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、光磁気記録媒体を用いることにより、従来の光磁気メモリのシステムを大きく変更せずに大容量光メモリが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、フォトンモードにより記録再生を行なう記録媒体を用いることによりヒートモードとは異なり解像度が上がるため、さらに大きな容量を持つ光メモリが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、有機色素材料を用いた記録媒体を用いることにより、従来のシステムを大きく変更せずに大容量光メモリが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、光記録媒体としてＡｇ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｔｅの元素を含む記録媒体を用いることにより媒体の感度解像度を上げることができ、ヒートモードにおいても更に大容量の光メモリが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、トラッキング制御機構として圧電素子を用いた機構を用いることにより、応答性がよく、良好なトラッキングができる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、トラッキング制御機構として磁歪素子を用いた機構を用いることにより、高速で正確な位置合わせが可能となり、良好なトラッキングができる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、トラッキングの制御を行なうための光ヘッドと記録再生用光ヘッドが組み合わされて一体化して使用されることにより、小型、軽量のヘッドが実現できる。
また、本発明の光情報記録再生システムによれば、記録再生に用いる光ヘッドとしてアレイ型のレーザーを構成要素として含むことにより、大容量光メモリの高速な記録再生ができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
光情報記録再生システムに用いられる記録媒体としては、ＣＤ−ＲＯＭのような再生専用ディスクのように基板上に情報信号に対応して凹凸を設けることにより記録したもの、ＣＤ−Ｒのように１度だけ記録ができる追記型記録媒体、または記録部の磁化による磁気光学効果を用いて再生を行なう光磁気記録、結晶相−アモルファス相の違いにより記録を行ない、その光学特性の違いを利用して読み出しを行なう相変化記録方式のような書き換え可能な記録媒体のいずれも用いることができる。
【００１１】
再生専用ディスクの場合、記録は基板に直接凹凸を微細加工により設けることによって行なわれる。再生には微小ピットを読むため近接場光が用いられる。追記型、書き換え型の媒体の場合は、スポット内の温度分布を利用した記録方法により小さいピットを記録することができる近接場光を用いることが好ましい。また、再生にも近接場光を用いることが好ましい。
【００１２】
記録再生時のトラッキング制御は記録媒体の反対面より光照射し、表面に金属製の針を近づけることにより行なう。これは試料（ここでは記録媒体）の裏面から光照射すると表面にエバネセント光が存在するようになる。そこに金属針を近づけることによりエバネセントフォトンと呼ばれる非放射なフォトンが針先に飛んで針先を光らせるという現象を利用しようというものである。針先の光の強度により媒体の凹凸が検出できるため、トラックをはずれそうになるエラー信号を検出してトラッキング制御を行なうものである。
【００１３】
光源としては特に制限はないが、小型、軽量化の面から、また、現在の光メモリとの互換性を考えても半導体レーザーを用いるのが好ましい。近接場光のスポットサイズはプローブの開口径に依存するため、青色等の短波長レーザーを用いなくても十分小さなスポットが得られる。そのため、赤外などの光でも可能となるので光源が安くなることになる。
【００１４】
また、本発明のシステムは記録媒体として光照射によりアモルファス−結晶相を変化させることにより記録を行ない、異なる相により光の反射率が異なるのを利用して信号を再生する相変化記録媒体を用いることができる。相変化記録媒体としては、カルコゲナイド化合物、カルコパイライト系化合物が挙げられ、書き換え型、追記型に用いられるが、ＧｅＳｂＴｅ、ＡｇＩｎＳｂＴｅなどはその書き換え性能、消去性能などが特に優れ、本発明のシステムに用いることが特に好ましい。
【００１５】
中でも、Ａｇ、Ｉｎ、Ｓｂ、Ｔｅの元素を含むような記録媒体を用いることは効果が大きい。ＡｇＩｎＳｂＴｅは高感度な材料であることが知られている。そのため比較的小さい出力の光でも十分記録ピットを書き込むことが可能となる。また、高コントラストを示すため、再生も良好に行なうことができる。記録情報を消去する際、完全消去が可能であるため、オーバーライト特性に優れ、記録信号の消え残りが無いため、良好なオーバーライトが可能となる。また、記録マークの周囲にＧｅＳｂＴｅで見られるように粗大粒の出現がないので小さいピットを安定に記録再生できる。
【００１６】
本発明の記録媒体としては、光磁気媒体も用いることができる。光磁気記録媒体を用いることにより現在の光磁気記録システムをそのまま部分的に利用でき、容易にシステムを実現できる利点がある。本発明に用いられる光磁気用の材料としては、希土類と遷移金属元素の化合物が挙げられる。例えば、ＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＦｅＣｏ、ＴｂＦｅ等のアモルファス膜がカー回転も比較的大きく、媒体ノイズも少ないために用いることが可能である。その他、本発明に使用できる光磁気記録膜としては、例えば、ＧｄＴｂＣｏ、ＧｄＴｂＦｅ、ＧｄＤｙＣｏ、ＧｄＤｙＦｅ、ＧｄＴｂＤｙＦｅ、ＧｄＴｂＤｙＣｏ、ＧｄＨｏＣｏ、ＧｄＴｂＥｒＦｅ、ＧｄＴｂＥｒＣｏ、ＤｙＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＦｅＣｏ、ＧｄＤｙＦｅＣｏ、ＴｂＤｙＦｅＣｏ、ＧｄＴｂＤｙＦｅＣｏ、ＧｄＨｏＦｅＣｏ、ＧｄＥｒＦｅＣｏ等が例示されるが、これらの光磁気記録膜は単層膜であっても良いし、例えば、ＧｄＦｅＣｏ／ＴｂＦｅＣｏの２層膜等の多層膜であっても良い。また、波長の短い光に対する媒体として、貴金属又は貴金属合金層と遷移金属、遷移金属合金層の多層膜が効果的である。貴金属はＰｔ、Ｐｄ、Ａｕ、Ａｇ、Ｒｈ、Ｎｄ、Ｐｒ等、及びこれらの合金を例示することができる。多層膜としては例えばＰｔ／Ｃｏ、Ｐｔ／Ｆｅ、Ａｕ／Ｃｏ、Ｐｄ／Ｃｏ等が挙げられる。
【００１７】
また、本発明の記録媒体材料としてフォトンモード材料を用いることもできる。フォトンモード記録を行なうことができるような材料を記録媒体として用いた場合、近接場光記録を行なうことでフォトンモードの利点を活かせるため好ましい。フォトンモード記録が可能な材料としては、光化学反応を利用するハロゲン化銀、また、フォトポリマーと呼ばれるもので感光性化合物が光を吸収して励起し、ポリマーと反応するもの、ポリマー自体が感光性を持つもの、光照射により光重合反応を引き起こさせるもの等がある。また、フォトドーピング現象と呼ばれるものもある。この現象は例えば、カルコゲナイドアモルファス半導体薄膜とＡｇ、Ｃｕ等の金属の２層構造に光を照射すると金属がカルコゲナイド膜中に拡散する現象である。光照射により結晶、ガラス、分子等の吸収スペクトルが可逆的に変化するフォトクロミック現象も利用できる。フォトクロミック材料には無機と有機があるが、無機材料としてはＳｒＴｉＯ３等の酸化物に遷移金属元素をドープしたもの、ＣａＦ２等のフッ化物に希土類元素をドープしたもの、珪酸塩ガラスなどに銀ハライドを分散させたもの等がある。例えば、ＳｒＴｉＯ３にドーパントとしてＦｅ／Ｍｏ、Ｎｉ／Ｍｏを用いる、ＣａＴｉＯ３、ＴｉＯ２、ＢａＴｉＯ３等を用いてドーパントとしてＦｅ等を用いる。フォトクロミック材料として、無機材料では反応が結晶やガラスで薄められた形で用いられることが多いのに対し、有機材料では分子そのものが変化するため解像度を高くできる。材料としてはスピロピランのように結合の開裂も用いるもの、メチレンブルーのような光酸化還元反応、β−テトラクロロ−１−ケトジヒドロナフタレンのような光解離反応による遊離基の生成反応、サルチリデンアニリンの分子内水素移動を伴う互変異性化、アゾベンゼンのようなシストランス光異性化反応、アントラセンのような光重合反応等の反応を利用したものが用いられる。
【００１８】
また、フォトリフラクティブ材料も用いることができる。フォトリフラクティブ効果を示す材料のことであるが、フォトリフラクティブ効果とは光を照射することにより屈折率が変化する特性のことである。この性質を示す材料も、無機、有機の両方があり、無機材料としてはＬｉＮｂＯ３、ＢａＴｉＯ３、ＳｒＢａＮｂＯ、Ｂｉ１２ＳｉＯ２０等がある。有機材料は最近盛んに研究がされるようになり、有機結晶、光伝導性高分子膜、ネマティック液晶を用いたもの等が報告されている。
【００１９】
近接場光を用いたとき、記録材料として特にフォトンモードの材料系が好ましい。フォトンモード材料としてフォトクロミック材料が代表的であるが、フォトクロミック材料のうち無機材料は記録媒体とするとき、ポリマー等に分散して使うため、密度が上がらなかった。一方、最近有機のフォトクロミック材料が注目されるようになった。有機フォトクロミック材料は分子一つ一つが反応するため、高感度で、解像度に優れた媒体が実現できる。そこで、近接場光で記録再生を行なう際、微小な近接場光でも記録できるため、近接場光を用いたとき特に好ましい。
【００２０】
また、本発明には有機色素材料を用いることもできる。有機色素はＣＤ−Ｒに使われているシアニン色素、フタロシアニン、アゾ金属材料等が例示できるが、フォトクロミック反応を示す色素材料も用いることができる。
【００２１】
良好にトラッキングを制御できるようにトラッキングエラー信号に応じ、アクセス機構を移動しトラッキング制御を行なう。トラッキング制御用の針の先より検出される近接場光の強度変化によりトラッキングエラーを検出する。そのアクセス機構としては圧電素子が用いられる。トラッキング用の近接場光の強度変化をフォトダイオード等で電圧変化として検出し、その電圧に応じて圧電素子に電圧を印加し、トラッキング制御を行なう。圧電素子を用いることにより電磁誘導を用いたものに比べ高速かつ高精度で行なうことができる。
【００２２】
トラッキング制御のためのアクセス機構として磁歪素子を用いることができる。トラッキング制御用の針の先より検出される近接場高の強度変化をフォトダイオード等で検出し、その電圧に応じて磁歪素子を駆動するためのコイルに電流を印加し、磁歪素子を伸び縮みすることによりトラッキング制御を行なう。磁歪素子は材料の伸び縮みの感度で大きくでき、その伸び縮みの量も大きく取れるため、磁歪素子を用いることにより電磁誘導を用いたものに比べ、高速かつ高精度で行なうことができる。
【００２３】
本発明のシステムを小型軽量化するために、トラッキング制御用の光ヘッドと、記録再生用の光ヘッドとを組み合わせて設計することにより一体化した形でシステムに組み込み、用いることができる。近年盛んになりつつあるマイクロマシン技術を用いることにより半導体レーザーとトラッキング用の針を一体で形成することができる。
【００２４】
また、記録再生に用いるヘッドとしてアレイ型のレーザーを用いた構成で使用することができる。記録密度が大きくなるに伴い、その記録再生のデータ転送速度等も向上させる必要があり、その方法として現在の光メモリのように単トラックづつ記録再生を行なうのではなく、複数のトラックを同時に使い、記録再生を行なう方式を用いることができる。この方式を用いることにより記録再生用の光ヘッドをアレイ状に構成し、そのアレイ状に並べられたレーザーの数と同数のトラックへ同時に書き込み、読み出しを行なうことができる。そのアレイ状のヘッドにいくつかの金属針を設けることによりトラッキングを行なうことが可能となる。複数のトラックを同時に記録再生することになるが、アレイ状のヘッドを用いることによりトラッキングは各トラックごとに行なう必要がなく、数点でトラッキングをすればよいことになる。
【実施例】
【００２５】
以下に、本発明の実施の形態を例示するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。
実施例１
記録再生用の光の前後に金属針を用いてトラッキングを行なう。図１に本発明に対応するシステムの概略図を示した。この図に示したように、記録媒体（１）の裏側から光を当て、反対側にトラッキング用の金属針（２）を近づける。金属針の先端からの光の強度をレンズを通してフォトダイオード（５）で検出し、その強度変化に対応する電圧信号を記録再生用の光ヘッド（３）と金属針（２）に取り付けたアクセス機構（４）に印加し、トラッキング制御を行なう。このようにトラッキングを行ない、記録再生を行なう。
【００２６】
実施例２
図２には、本発明によるシステムに用いた光記録媒体の構造の１実施形態を示した。円盤状のポリカーボネート製透明基板（６）は、中心孔を有し、案内溝を具備している。透明基板（６）の上に下部保護層（７）として非晶質のＺｎＳ−ＳｉＯ２膜（ＺｎＳ：ＳｉＯ２＝８０：２０ｍｏｌ％、膜厚１７０ｎｍ）があり、Ｇｅ２Ｓｂ２Ｔｅ５合金膜からなる約２０ｎｍの記録層（８）と、その上面に上部保護層（９）として非晶質のＺｎＳ−ＳｉＯ２（ＺｎＳ：ＳｉＯ２＝８０：２０ｍｏｌ％、膜厚２０ｎｍ）がある。この記録媒体を用い、システムを構成した。上記以外のシステム構成は、実施例１と同様である。システムとしては図６に示したように、記録再生用ヘッドとトラッキング用の金属針が一体で構成されていることが好ましい。
【００２７】
実施例３
本発明の光記録システムに用いた記録媒体として光磁気記録媒体を用いた例を示す。本実施例の光磁気記録媒体は、図３に示すように、透明基板（６）の一主面側に、下部保護層（７）、記録層（８）、上部保護層（９）が順次積層形成されたものである。
上記透明基板（６）は、円盤状のポリカーボネート製透明基板を用いたが、透明なポリカーボネートやガラス等のこの種の光磁気記録媒体の基板として使用されるものであれば、何でも良い。
また、下部保護層（７）は、窒化シリコンを用い、その膜厚は８０ｎｍとしたが、窒化シリコン等、この種の光磁気記録媒体の誘電体膜に使用される材料により形成すればよい。
さらに、上部保護層（９）は、窒化シリコンを用い、膜厚は２０ｎｍとした。しかし、窒化シリコン等のこの種の光磁気記録媒体の誘電体膜に使用される材料により形成すればよい。
そして、本実施例の光磁気記録媒体においては、記録層（８）としてＴｂ０．２Ｆｅ０．６４Ｃｏ０．１６膜を用いた。なお、この記録層はＧｄを含んでもよい。
【００２８】
実施例４
図４には、フォトリフラクティブ材料を用いた記録媒体の例を示した。Ｆｅをドーパントとして用いたＬｉＮｂＯ３を記録媒体として用いてシステムを構成した。透明基板（６）としてポリカーボネート基板を用い、その上に記録層（８）としてＦｅをドーパントとして用いたＬｉＮｂＯ３層を構成し、記録媒体とした。それ以外は実施例１と同様のシステムとした。
【００２９】
実施例５
また、図４で有機フォトクロミック材料であるジアリールエテン分子をポリマーに分散した薄膜を記録層（８）として用いた記録媒体を例示する。透明基板（６）としてポリカーボネート基板の上に記録層（８）としてジアリールエテン分子を分散した薄膜を２０ｎｍ形成し、記録媒体とした。全面に紫外光を照射して青色に着色するように初期化処理を行なった媒体の先端に微小孔を開けたプローブにＨｅ−Ｎｅレーザー光を導入し、それにより記録層を褪色させることで記録を行なった。それ以外は実施例１と同様のシステムとした。
【００３０】
実施例６
図５には記録媒体として相変化材料であるＡｇＩｎＳｂＴｅを用いたものを例示する。
図５は、実施の形態に係る相変化型光記録媒体の断面構成を示す説明図である。この相変化型光記録媒体は、ポリカーボネート樹脂からなる厚さ１．２ｍｍまたは０．６ｍｍの透明基板（６）上に、下部保護層（７）（誘電体層）と、記録層（８）と、上部保護層（９）（誘電体層）とを順に多層積層した構成となっている。
下部保護層（７）（誘電体層）の材料として、例えばＺｎＳ、ＳｉＯ２の複合体を用い、その厚さを２００ｎｍとする。
記録層（８）は、層変化型材料、好ましくはその層構成元素としてＡｇ５．１（銀）、Ｉｎ９．２（インジウム）、Ｓｂ５８．５（アンチモン）、Ｔｅ２７．２（テルル）を含み、その厚さを２０ｎｍとする。
上部保護層（９）（誘電体層）の材料としては、例えばＺｎＳとＳｉＯ２の複合体を用い、その厚さを２０ｎｍとする。
以上の記録媒体を用いること以外は、実施例１と同様のシステムとした。
【００３１】
実施例７
本発明に対応する実施例として圧電素子の先端に金属針を構成するような光情報記録再生システムのなかで、トラッキング信号の変化に応じて圧電素子が伸び縮みすることによりトラッキングを行なうようなシステムの例を示す。図１において、圧電素子を金属針と記録再生ヘッド制御用のアクセス機構として用い、金属針からの光強度の変化に対応した電圧を圧電素子に印加することにより圧電素子を伸び縮みさせトラッキングを行なう。
【００３２】
実施例８
本発明に対応する実施例として圧電素子の代わりに磁歪素子を用いること以外は、実施例７と同様なシステムを用いる。
【００３３】
実施例９
図６のように記録再生用光ヘッド（３）の前後に、金属針（２）を構成する。本発明の実施例として図７に一体型ヘッドの拡大図を示したが、記録媒体（１）の反対側から光を照射しておき、金属針（２）の先端に生じる光をフォトダイオード（５）で検出し、その信号に応じてアクセス機構（４）を動かし、トラッキングを行ない、記録再生を行なう。集積化させることにより、近接場光で記録再生、トラッキングができる。
【００３４】
実施例１０
本発明の実施例として、図８はアレイ型ヘッドの断面と斜め上面から見た図を示してある。フォトリソグラフィの技術を用いて、シリコン基板を異方性エッチングすることにより微細孔がアレイ状に並んだものをつくる。そのヘッドに光を照射し、微細孔（１０）の先端に生じる近接場光を記録再生に用いる。そのアレイ状の孔の横などに金属針（２）を構成し、トラッキングを行ない、アレイ状光ヘッドで記録再生を行なう。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の光情報記録再生システムの構成を示した概略図である。
【図２】本発明の記録媒体の１例を示した構成図である。
【図３】本発明の記録媒体の他の１例を示した構成図である。
【図４】本発明の記録媒体の更に他の１例を示した構成図である。
【図５】本発明の記録媒体の更に他の１例を示した構成図である。
【図６】本発明のヘッドの１例を示した構成図である。
【図７】本発明のヘッドの他の１例を示した構成図である。
【図８】本発明のヘッドの更に他の１例を示した構成図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  記録媒体
２  金属針
３  記録再生用光ヘッド
４  アクセス機構
５  フォトダイオード
６  透明基板
７  下部保護層
８  記録層
９  上部保護層
１０  微細孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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