(57)【要約】【課題】外部に放射されるパワーを一定以下に保ちながら、対物レンズの瞳に入射させるレーザ光もパワーを落とさずに一定に入射させる技術を提供。【解決手段】レーザ光源２１と対物レンズ１４の間に、ＮＤフィルタ３１ｂと開口絞り３１ａとを組み合わせた絞りフィルタ組立体３０を介在させる。これにより、レーザ光源２１のパワーを一定にしたまま、ＮＤフィルタ３１ｂでレーザ光量を調節し、絞り３１ａでレーザ光束を対物レンズ１４の瞳径に合わせてレーザ光を入射させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
自動焦点調節用のレーザ光源からの光束が対物レンズを介して試料面に照射される光学装置において、
開口絞りとＮＤフィルタとを組み合わせた絞りフィルタ組立体を有し、
前記絞りフィルタ組立体は、前記レーザ光源からの光束を、前記開口絞りを通して、対物レンズに導く位置に配置され
前記ＮＤフィルタは、前記対物レンズに導かれる光束が、該対物レンズが観察位置から外れた状態で外部に放射される際に、該放射される光束のパワーが、予め定めた値以下となる透過率を有すること
を特徴とする光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の光学装置において、
前記絞りフィルタ組立体は、開口絞りとＮＤフィルタとを重ね合わせた絞りフィルタ部を、瞳径が大きい対物レンズに対応するための開口径とした開口絞りを有する第１の絞りフィルタ部と、瞳径が小さい対物レンズに対応するための開口径とした開口絞りを有する第２の絞りフィルタ部とを有し、
前記第１の絞りフィルタ部と第２の絞りフィルタ部とは、前記レーザ光源と対物レンズとの間に選択的に配置されること
を特徴とする光学装置。
【請求項３】
自動焦点調節用のレーザ光源からの光束が対物レンズを介して試料面に照射される光学装置において、
開口絞りとＮＤフィルタとを組み合わせた絞りフィルタ部を複数有する絞りフィルタ組立体と、
前記レーザ光源からの光束を、前記開口絞りを通して前記対物レンズに導く位置に、前記複数の絞りフィルタ部のいずれかを選択的に配置する絞りフィルタ組立体駆動機構と、を有し、
前記各絞りフィルタ部が有する開口絞りは、それぞれ対応する対物レンズの瞳径に合わせた開口径を有し、
前記各絞りフィルタ部が有するＮＤフィルタは、前記対物レンズに導かれる光束が、該対物レンズが外れた状態で外部に放射される際に、対応する開口絞りの開口径との関係において、該放射される光束のパワーが、予め定めた値以下となる透過率を有すること
を特徴とする光学装置。
【請求項４】
請求項３に記載の光学装置において、
複数の対物レンズを保持し、いずれかを光軸上に位置させるレボルバ部をさらに有することを特徴とする光学装置。
【請求項５】
請求項３および４のいずれか一項に記載の光学装置において、
対物レンズを識別する対物レンズ識別装置をさらに備え、
前記絞りフィルタ組立体駆動機構は、前記対物レンズ識別装置が検出した対物レンズの識別情報に対応する絞りフィルタ部を、前記開口絞りを通して前記対物レンズに導く位置に、配置させること
を特徴とする光学装置。
【請求項６】
請求項３に記載の光学装置において、
複数の対物レンズを保持し、いずれかを光軸上に位置させるレボルバ部と、
前記レボルバ部を駆動するレボルバ部駆動機構と、
ユーザからの倍率指示操作を受け付けると、倍率指示信号をレボルバ駆動機構および前記絞りフィルタ組立体駆動機構に送る倍率を特定する倍率指示部と、をさらに備え、
前記レボルバ駆動機構は、指示された倍率の対物レンズを観察位置に位置させるようレボルバ部を駆動し、
前記絞りフィルタ組立体駆動機構は、指示された対物レンズの瞳径に対応する絞りフィルタ部を選定して、前記絞りフィルタ組立体を切り替えること、
を特徴とする光学装置。
【請求項７】
自動焦点調節用レーザ光源と、
異なる倍率を有する複数の対物レンズと、
前記異なる倍率の複数の対物レンズを保持し、前記複数の対物レンズのうち一つを観察位置に配置する対物レンズの保持部材を備えた光学装置において、
ＮＤフィルタと開口絞りを一組とし、各々が異なる光学性能を有する複数組の光学部材と、
前記複数組の光学部材を保持し、観察位置に配置される対物レンズの倍率に合わせて、前記複数組の光学部材のうち一つを前記対物レンズと前記レーザ光源を結ぶ光路に配置可能な絞りフィルタ組立体を有する光学装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動焦点調節機構を備えた光学装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、高倍率の対物レンズほど瞳径が小さくなり、受光量が減少する。このため、倍率の違う対物レンズに切り換えて、レーザＡＦ（自動焦点調節）動作をさせるためには、ＡＦ用光源のパワーを、制御回路を使って、対物レンズごとに変化させて、充分な受光量を得て、ＡＦ動作を行わせている。
【０００３】
ＡＦ用光源のレーザパワーの制御については、例えば、特許文献１〜３に記載されている。
【０００４】
従来の方法では、全ての倍率の対物レンズにおける瞳径にＡＦ用レーザ光を入射させられるように、レーザの光束は大きい瞳径に対して合わせている。そのため、瞳径の小さい高倍率の対物レンズのときは、対物レンズに入射するレーザ光量が少なくなるため、レーザ光源のパワーを大きくして充分な受光量を得るようにしている。
【０００５】
【特許文献１】特許第２５６８５１３号公報
【特許文献２】特許第２７９５４８３号公報
【特許文献３】特許第３６４８９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、レーザ光源のパワーを大きくしている状態において、対物レンズを外してしまった場合、外部に放射されるパワーが大きくなってしまう。このため、高出力のレーザ光が外部に放射されることが起きる。
【０００７】
本発明は、外部に放射されるパワーを一定以下に保ちながら、対物レンズの瞳に入射させるレーザ光もパワーを落とさずに一定に入射させる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、レーザ光源と対物レンズとの間に、ＮＤフィルタと開口絞りとを組み合わせた絞りフィルタ組立体を介在させる。これにより、レーザ光源のパワーを一定にしたまま、ＮＤフィルタでレーザ光量を調節し、絞りでレーザ光束を対物レンズの瞳径に合わせてレーザ光を入射させる。
【０００９】
具体的には、第１の態様として、
自動焦点調節用のレーザ光源からの光束が対物レンズを介して試料面に照射される光学装置において、
開口絞りとＮＤフィルタとを組み合わせた絞りフィルタ組立体を有し、
前記絞りフィルタ組立体は、前記レーザ光源からの光束を、前記開口絞りを通して、対物レンズに導く位置に配置され
前記ＮＤフィルタは、前記対物レンズに導かれる光束が、該対物レンズが観察位置から外れた状態で外部に放射される際に、該放射される光束のパワーが、予め定めた値以下となる透過率を有すること
を特徴とする光学装置が提供される。
【００１０】
また、第２の態様として、
自動焦点調節用のレーザ光源からの光束が対物レンズを介して試料面に照射される光学装置において、
開口絞りとＮＤフィルタとを組み合わせた絞りフィルタ部を複数有する絞りフィルタ組立体と、
前記レーザ光源からの光束を、前記開口絞りを通して前記対物レンズに導く位置に、前記複数の絞りフィルタ部のいずれかを選択的に配置する絞りフィルタ組立体駆動機構と、を有し、
前記各絞りフィルタ部が有する開口絞りは、それぞれ対応する対物レンズの瞳径に合わせた開口径を有し、
前記各絞りフィルタ部が有するＮＤフィルタは、前記対物レンズに導かれる光束が、該対物レンズが外れた状態で外部に放射される際に、対応する開口絞りの開口径との関係において、該放射される光束のパワーが、予め定めた値以下となる透過率を有すること
を特徴とする光学装置が提供される。
【００１１】
さらに、第３の態様として、
自動焦点調節用レーザ光源と、
異なる倍率を有する複数の対物レンズと、
前記異なる倍率の複数の対物レンズを保持し、前記複数の対物レンズのうち一つを観察位置に配置する対物レンズの保持部材を備えた光学装置において、
ＮＤフィルタと開口絞りを一組とし、各々が異なる光学性能を有する複数組の光学部材と、
前記複数組の光学部材を保持し、観察位置に配置される対物レンズの倍率に合わせて、前記複数組の光学部材のうち一つを前記対物レンズと前記レーザ光源を結ぶ光路に配置可能な絞りフィルタ組立体を有する光学装置が提供される。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、外部に放射されるパワーを一定以下に保ちながら、対物レンズの瞳に入射させるレーザ光もパワーを落とさずに一定に入射させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
図１に示す実施形態は、レーザＡＦ作動系を備えた光学装置の例である。図１に示す光学装置としては、例えば、顕微鏡が挙げられる。
【００１５】
図１に示すように、本実施形態の光学装置は、照明光源１１と、コリメータレンズ１２と、ハーフミラー１３と、対物レンズ１４と、結像レンズ１６と、ＡＦ作動系２０と、絞りフィルタ組立体３０とを有する。対物レンズ１４等のレンズは、便宜上、単レンズに限られず、複数のレンズからなるレンズ系によって構成される場合を含む。
【００１６】
図１に示す光学装置では、照明光源１１からの照明光が出射される。この照明光は、コリメータレンズ１２を経てハーフミラー１３で反射され、後述するダイクロイックミラー２４を透過して、対物レンズ１４から出射されて、物体面Ｓ１に照射される。物体面Ｓ１でからの光は、対物レンズ１４、ダイクロイックミラー２４およびハーフミラー１３を経て、結像レンズ１６を通して結像面Ｓ２に結像される。
【００１７】
ＡＦ作動系２０は、ＡＦ用光源として機能する半導体レーザ２１と、集光レンズ２２と、半円絞り２３と、ダイクロイックミラー２４と、ナイフエッジミラー２５と、結像レンズ２６と、二分割センサ２７と、自動焦点整合動作を行うＡＦ制御装置２８とを有する。ＡＦ制御装置２８は、二分割センサ２７からの検出信号を受け付けてＡＦ動作を制御するための動作信号を生成して出力する制御回路２８ａと、この制御回路２８ａからの信号に基づいて、対物レンズ１４と物体面Ｓ１とを相対変位させる駆動機構２８ｂとを有する。
【００１８】
このＡＦ作動系２０では、半導体レーザ２１からのレーザ光が放射され、このレーザ光は、半円絞り２３および絞りフィルタ組立体３０を経て、ダイクロイックミラー２４において反射されて、対物レンズ１４を経て、物体面Ｓ１に照射される。物体面Ｓ１からの反射光は、対物レンズ１４で集光されて、ダイクロイックミラー２４で反射され、さらに、ナイフエッジミラー２５により反射されて、結像レンズ２６を介して二分割センサ２７に投影される。投影された像は、二分割センサ２７において、当該センサを構成する２個の受光素子により電気的検出信号に変換され、それぞれの出力がＡＦ制御装置２８の制御回路２８ａに入力される。ＡＦ制御回路２８では、二分割センサ２７からの検出信号を受けて、対物レンズ１４と物体面Ｓ１との相対位置を変位させて、自動的に合焦させる。
【００１９】
絞りフィルタ組立体３０は、本実施形態では、例えば、図２に示すように、開口絞り３１ａとＮＤフィルタ３１ｂとが光軸方向に一体的に重ねられた第１の絞りフィルタ部３１と、開口絞り３３ａとＮＤフィルタ３３ｂとが光軸方向に一体的に重ねられた第２の絞りフィルタ部３３とを有する。第１の絞りフィルタ部３１と第２の絞りフィルタ部３３とは、一体に構成されている。そして、図示しない支持機構に、スライド可能に装着されている。手動操作によって、図２にしめすように、Ｚ方向に、絞りフィルタ組立体３０を変位させることによって、第１の絞りフィルタ部３１および第２の絞りフィルタ部３３のいずれかを選択することができる。例えば、図１に示す状態から図３に示す状態に変位させることができる。この例では、２者択一での構造であるが、絞りフィルタ部を３以上とする構成としてもよい。
【００２０】
絞りフィルタ部３１と３３とは、対物レンズ１４の瞳径に合わせて開口絞り３１ａと３３ａの開口径が決められている。そして、それらの開口絞り３１ａ、３３ａに対応するＮＤフィルタ３１ｂ、３３ｂの透過率は、異なる開口径である開口絞り３１ａ、３１ｂに対応させて、対物レンズ瞳に入射するパワーが同じになるように設定する。すなわち、開口絞りの開口径が大きい場合、ＮＤフィルタの透過率を下げる（減光率を大きくする）。逆に、開口絞りの開口径が小さい場合、ＮＤフィルタの透過率を上げる（減光率を下げる）。
【００２１】
次に、本実施形態の動作例についてさらに説明する。図１は、ナイフエッジ方式のＡＦに実施した場合の全体の構成を示している。図１は相対的に低倍率の対物レンズ１４が装着されている場合、図３は、対物レンズ１４に代えて、相対的に高倍率の対物レンズ１５が装着されている状態を示す。
【００２２】
図１に示すように、相対的に倍率が低い対物レンズ１４の時、一体になったＮＤフィルタ３１ｂと開口絞り３１ａとによって、レーザ光量を落とし、対物レンズの瞳径の半円に絞られた状態で、対物レンズの瞳に入射させる。対物レンズ１４に入射させた光が、物体面（被検物面）Ｓ１から反射され、対物レンズ１４，ダイクロイックミラー２４、ナイフエッジミラー２５および結像レンズ２６を経て、二分割センサ２７上に集光する。その集光した光の重心を二分割センサ２７で検出し、ＡＦ制御装置２８により光学装置においてＡＦ動作を実行させる。
【００２３】
次に、対物レンズ１４を高倍率の対物レンズ１５に切り換えた場合について説明する。図３に示すように、高倍率になると、一般的に対物レンズ瞳径は小さくなる。そのため、それに合わせて、開口径を小さくした開口絞り３３ａを有する高倍率対物レンズ用の第２の絞りフィルタ部３３に切り換える。第２の絞りフィルタ部３３を装着することにより、対物レンズ１５の瞳径に対応して、開口絞り３３ａによってレーザ光束が絞られる。一方、開口絞り３３ａと組み合わされた透過率の高いＮＤフィルタ３３ｂにより、対物レンズ瞳に入射するパワーが低倍率の対物レンズを用いた場合とほぼ同じになるようにしている。
【００２４】
これにより、例えば、図４に示すように、対物レンズ１４（取り外された状態を表すため破線で示す）を取り外した時にも、レーザ光放射が外部に高出力のままで漏れることを防止することができる。また、対物レンズ瞳に一定のレーザ光を入射できるため、対物レンズによる受光量の変動を小さくできる。本実施形態では、ＡＦ用光源から発せられた時点のレーザ光強度は、一定である。また、ＮＤフィルタで減光することを考慮し、ＡＦ用光源を発せられた時点のレーザ光の強度は、ＮＤフィルタ透過後のレーザ光強度を満足させるため、ＮＤフィルタを透過させない従来の場合よりも、相対的に高強度に設定する。
【００２５】
図８を参照して、本発明の効果について説明する。図８（Ａ）に、レーザＡＦのクラス分けに関して、クラス１を満たすことを設計値で確認する例を示している。図８（Ｂ）に、対物レンズを装着した状態でのレーザ光の外部照射出力を示す。また、図８（Ｃ）に、対物レンズを外した状態でのレーザ光の外部照射出力を示す。これらの図表では、項目９１と、単位を示す単位９２と、１０倍の対物レンズに関する値９３と、１００倍の対物レンズに関する値９４とが格納されている。
【００２６】
図８（Ａ）に、対物レンズのＮ．Ａ．と、瞳径と、クラス１レーザパワー制限値と、レーザ設計目標値（上限）についての数値を、１０倍の対物レンズについて、および、１００倍の対物レンズについてそれぞれ示している。
【００２７】
図８（Ｂ）に、対物レンズを装着した状態での、レーザパワー（光源部）９１（半導体レーザ２１）からレーザパワー（出口）でのパワーの値と、それに対する減衰率等の係数とを示す。具体的には、ａ集光レンズ効率、ｂ絞りの割合、ｃＮＤ透過率、ｄナイフエッジによる減衰率、ｅダイクロイックミラー効率、および、ｆ対物レンズ効率がそれぞれ数値で示されている。そして、ａからｆの各係数の積として求められるｇ光源部から出口までの全体効率が示されている。従って、レーザパワー（光源部）９５に、ｇ全体効率を乗ずることによって、レーザパワー（出口）９６が求められる。例えば、レーザパワー（出口）９６が、１０倍対物レンズの場合、０．１８ｍＷ、１００倍対物レンズの場合、０．１４ｍＷとなっている。
【００２８】
また、図８（Ｃ）に、対物レンズを外した状態での、レーザパワー（光源部）９１（半導体レーザ２１）からレーザパワー（出口）でのパワーの値と、それに対する減衰率等の係数とを、図８（Ｂ）と同様に示す。図８（Ｃ）の場合、対物レンズを外しているので、１０倍対物レンズおよび１００倍対物レンズのいずれについても、ｆ対物レンズ効率が１．００となっている。このため、ｂ絞りの割合が小さいこと、および、ｃＮＤ透過率が小さいことの少なくとも一方を満たさないと、レーザ光が高出力で外部に放射されることを意味する。しかし、本実施形態では、１０倍対物レンズの場合、ｃＮＤ透過率が小さい値“０．１０”と設定され、ｇ全体効率が０．０３２となっている。一方、１００倍対物レンズの場合、ｂ絞りの割合が小さい値“０．０９”と設定され、ｇ全体効率が０．０２８となっている。この結果、レーザパワー（出口）９６は、１０倍対物レンズにおいて０．１９ｍＷ、１００倍対物レンズにおいて０．１７でｍＷである。従って、１０倍対物レンズおよび１００倍対物レンズのいずれの場合も、図８（Ａ）に示す設計目標値（上限）の０．２０ｍＷを下回っている。
【００２９】
本発明は、前述した実施形態に限られるものではない。例えば、以下に述べるように、さまざまな態様が実現可能である。以下、他の実施形態について、前述した実施形態と相違する点を中心として説明する。
【００３０】
前述した実施形態では、第１の絞りフィルタ部３１と第２の絞りフィルタ部３３とにより、絞りフィルタ組立体を構成している。しかし、それに限定されない。当該光学装置が使用する、倍率が異なる複数種の対物レンズの瞳経に対応させて複数組の絞りフィルタ部を有する絞りフィルタ組立体を用いることができる。
【００３１】
前述した実施形態では、絞りフィルタ組立体３０を手動操作することにより、第１の絞りフィルタ部３１と第２の絞りフィルタ部３３とを切り換える構成となっている。しかし、それに限定されない。電動機構により切り換え動作を行う構成とすることができる。例えば、ソレノイドアクチュエータ等を有する絞りフィルタ組立体駆動機構を用いて、絞りフィルタ組立体を変位させる構成とすることができる。
【００３２】
また、対物レンズの交換を検出して、当該対物レンズに合わせた絞りフィルタ部を選択して、それを光軸上に配置する構成とした絞りフィルタ組立体とすることもできる。この例について、図５を参照して説明する。
【００３３】
図５に示すように、対物レンズの識別を行う対物レンズ識別装置８０と、絞りフィルタ組立体駆動機構５０とを設ける。ここで、光学装置のレボルバ部４０は、複数の対物レンズを保持すると共に、いずれかが光軸上に位置するよう変位させる。このレボルバ部４０において、対物レンズを目的の倍率のものに切り換えると、対物レンズ識別装置８０は、観察位置に配置された対物レンズの識別子を検出して、対物レンズ識別情報を取得する。ここで、対物レンズの識別子としては、例えば、それぞれ異なるＩＤ（識別子）が記録されたＲＦＩＤを各対物レンズに設け、対物レンズ識別装置８０にＲＦＩＤのリーダを設けて、ＩＤを読み出すことで、識別情報を取得することができる。読み出された識別情報に基づいて、対物レンズ識別装置８０は、対応して使用すべき絞りフィルタ部を指定する情報を絞りフィルタ組立体駆動機構５０に送る。絞りフィルタ組立体駆動機構５０では、指定する情報が示す絞りフィルタ部が観察位置に位置するよう、アクチュエータを作動させて、絞りフィルタ組立体３０を変位させる。すなわち、レーザ光源２１からの光束を、開口絞り３１ａまたは３３ａを通して対物レンズ１４に導く位置に、絞りフィルタ組立体３０を変位させ、複数の絞りフィルタ部３１、３３，３５のいずれかを選択的に配置させる。
【００３４】
次に、絞りフィルタ組立体を回動可能構造とした例について、図６および図７を参照して説明する。
【００３５】
図６に示す例は、絞りフィルタ部３１，３３および３５を有するもので、これらを円盤３６に設けている。円盤３６には、回転中心３８が設けられている。この回転中心を中心として、絞りフィルタ部３１，３３および３５が回動されて、いずれかが使用される。図６に示すように、開口絞り３１ａ、３３ａおよび３５ａは、開口径が異なっている。また、ＮＤフィルタ３１ｂ、３３ｂおよび３５ｂは、それに対応させて、透過率が変えてある。この例の場合にも、光源部から出口までの全体効率が、対物レンズの瞳径にかかわらず、一定になるように、絞りフィルタ部の開口径と透過率とが設定されている。
【００３６】
この絞りフィルタ組立体３０は、手動操作により回動させる構成とすることができる。また、それを電動とすることもできる。その際、図５に示すように、対物レンズ識別装置８０からの識別情報に基づいて絞りフィルタ組立体駆動機構５０により回動される構成とすることもできる。
【００３７】
図７に、さらに、異なる態様を示す。図７に示す例は、倍率を特定する倍率指示部７０において、ユーザからの倍率指示操作を受け付けると、倍率指示信号をレボルバ駆動機構６０と、絞りフィルタ組立体駆動機構５０とに送る。レボルバ駆動機構６０では、指示された倍率の対物レンズを光軸上に位置させるようレボルバ部４０を駆動する。一方、絞りフィルタ組立体駆動機構５０は、指示された対物レンズの瞳径に対応する絞りフィルタ部を選定して、絞りフィルタ組立体３０を回動させる。
【００３８】
上述したように、外部に放射されるパワーを一定以下に保ちながら、対物レンズの瞳に入射させるレーザ光もパワーを落とさずに一定に入射させることが可能となる。これにより、対物レンズの瞳径によらず、二分割素子のような受光センサへの入射光量も、同じレベルに保つことが可能となり、受光センサ部の信号処理も容易になる。つまりは、顕微鏡のように、レボルバを回して対物レンズを切換える装置において、対物レンズを変更しても、ＡＦが可能となり、かつ、レーザ安全規格のクラス１を満足することが可能となる。
【００３９】
また、本発明は、検査装置、測定器等にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態に係る、レーザＡＦ機構を備えた光学装置の構成を示すブロック図。
【図２】本発明の光学装置に用いられる絞りフィルタ組立体の一例を模式的に示す説明図。
【図３】本発明の一実施形態に係る、レーザＡＦ機構を備えた光学装置の動作状態における一態様を示すブロック図。
【図４】本発明の一実施形態に係る、レーザＡＦ機構を備えた光学装置の動作状態における他の態様を示すブロック図。
【図５】本発明の光学装置に用いられる絞りフィルタ組立体と対物レンズのレボルバとの連携を実現させる機能の一例を示すブロック図。
【図６】本発明の光学装置に用いられる絞りフィルタ組立体の他の例を模式的に示す説明図。
【図７】本発明の光学装置に用いられる絞りフィルタ組立体と対物レンズのレボルバとの連携を実現させる機能の他の例を示すブロック図。
【図８】本発明の一実施形態に係る、レーザＡＦ機構を備えた光学装置の動作例を示す図表。
【符号の説明】
【００４１】
１１…照明光源、１２…コリメータレンズ、１３…ハーフミラー、１４…対物レンズ、１６…結像レンズ、２０…ＡＦ作動系、２１…半導体レーザ、２２…集光レンズ、２３…半円絞り、２４…ダイクロイックミラー、２５…ナイフエッジミラー、２６…結像レンズ、２７…二分割センサ、２８…ＡＦ制御装置、２８ａ…制御回路、２８ｂ…駆動機構、３０…絞りフィルタ組立体、３１、３３、３５…絞りフィルタ部、３１ａ、３３ａ、３５ａ…開口絞り、３１ｂ、３３ｂ、３５ｂ…ＮＤフィルタ、４０…レボルバ部、５０…絞りフィルタ組立体駆動機構、６０…レボルバ駆動機構、７０…倍率指示部、８０…対物レンズ識別部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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