(57)【要約】【課題】物体が孔を備える場合、その孔に特殊な治具、機器等を挿入することなく、その孔の内面の塗装、洗浄、脱脂、乾燥その他の処理を簡便に又は容易に実現できる、また、ムラが少なくより均一な処理を実現できる、更には作業者の負荷の軽減、保守管理の容易化、作業環境の改善等も可能な技術を提供することを目的とする。【解決手段】物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を流動性物質に晒し、他方の開口部との間で流動性物質を移動させ、孔の内面と接触させることにより、流動性物質により孔の内面に表面処理を施す。【選択図】図１
2007117860.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を流動性物質に晒し、他方の開口部との間で流動性物質を移動させ、孔の内面と接触させることにより、流動性物質により孔の内面に表面処理を施すことを特徴とする孔の内面の処理方法。
【請求項２】
前項に定める流動性物質の移動は、孔の一方の開口部に向かう方向と他方の開口部に向かう方向の少なくとも１回の往復移動であることを特徴とする請求項１記載の孔の内面の処理方法。
【請求項３】
前記流動性物質が塗料、洗浄液、脱脂液、乾燥用気体又は塗料の塗布量を調整するための気体であることを特徴とする請求項１又は２記載の孔の内面の処理方法。
【請求項４】
物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を塗料に晒し、他方の開口部との間で塗料を移動させ、その移動の過程で塗料を孔の内面に接触させ、塗布する塗料塗布工程と、孔の一方の開口部を気体に晒し、他方の開口部との間で気体を移動させ、その移動の過程で気体を孔の内面に接触させ、孔の内面に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる塗料定着工程とを有することを特徴とする孔の内面への塗装膜の形成方法。
【請求項５】
物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を流動性物質に晒し、他方の開口部との間で流動性物質を移動させ、孔の内面と接触させることにより、流動性物質により孔の内面に表面処理を施すことを特徴とする、内面に表面処理が施された孔を備える物体の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体が備える孔の内面の塗装、洗浄、脱脂等へ適用を射程内とする孔の内面の処理方法に関する。なお、本発明との関係において次に掲げる（鍵括弧内の）用語の定義は以下に定める通りとする。
（１）「物体」とは、一定の空間を占めて存在し、目視できる外観を有する固体をいい、特に形状や大きさは問わない。物体のうち、特に塗装に供されるものを被塗物という。例えば管状体や多孔質体はいずれも物体であり、被塗物たり得る。
（２）物体が備える「孔」とは、有形物の外部に向けて開口する一方の端部と他方の端部（それぞれを「開口部」という）との間でその有形物を貫通する孔であって、その間において物質移動が可能なものをいう。孔の一方の開口部が物体の外部に向けて開口しているが、他方の開口部が物体内部に止まり、貫通しているとはいえないものは「孔」には含まれない。また、本発明が予定する作用効果を奏する限り、一つの物体が備える開口部の数、配置及び形状、物体を貫通する孔の断面形状、貫通経路及び長短は問わない。「孔」の典型例は、パイプの場合は、そのパイプの軸（パイプ内周を外郭とする断面の重心点を結んでできる線）の方向に沿って内面が構成する空間、金属厚板の両表面を貫通させて形成した穿孔、多孔質体内部を貫通する細孔である。
（３）「流動性物質」とは、流動性がある物質をいい、気体、液体、ゲル状物質、細かな固体が懸濁又は分散している液体（スラリー状態のものを含む）、細かな固体や液体が分散又は霧化している気体を含む。更に、本発明が予定する作用効果を奏する限り、粘性、温度、濃度等の程度（大小、高低）は問わず、また固液二層分離状態の物質も一時的であれ長時間であれ懸濁又は分散させることで流動性物質たり得る。
（４）「被膜組成物」とは、塗装膜、ろ過膜等の被膜の組成物をいい、主原料、副原料、添加物、不可避的混入物質を含める。
（５）「塗料」とは、被膜組成物を物体表面に塗布するための物質をいい、塗布のために溶媒が必要な場合には、溶媒も「塗料」に含める。
（６）物体が備える孔の一方の開口部を流動性物質に「晒す」とは、孔の一方の開口部を流動性物質が収容されている空間内に配置し、流動体物質と離隔しないように接触させることをいう。継手部材を用意し、継手部材の一方の端部を当該一方の開口部に取り付け、継手部材の他方の端部を流動性物質が収容されている空間内に配置し、流動体物質と離隔しないように接触させることも「晒す」に含まれる。
【背景技術】
【０００２】
物体が孔を備える場合、その孔の内面に必要な、液体や塗料の塗布、洗浄、塗装、加熱、乾燥等の表面処理を施すことは常に容易とは限らず、例えば、その物体が長尺である場合、その孔が小径である場合、その孔が直線でなく屈曲していたり、曲がりくねっている場合、或いは細孔が多数ある場合には、上記の処理を行う際に通常使用する治具、工具、器具、装置或いは手法をそのまま適用することができないことが多い。より具体的にいえば、小径で長尺の管状体の管内面の処理をしようとする場合、細い又は長いパイプのうち主として内面を塗装しようとする場合、或いは物体が備える多数の細孔の各細孔の内面に確実に行き渡るように塗装しようとする場合、塗料への浸漬、流し塗り、はけやへら、刷毛下、ロールコーター等によるバルク塗布、 長首（長柄）スプレーガン、エアブラシ、エアレス、エアエアレスによる霧化塗布、静電粉体吹付け、流動浸漬などによる粉体塗布などといった従来の塗装手法（非特許文献１）を単純に適用しただけでは目的は達成できない。
【０００３】
管状体の内面の塗装や洗浄を典型例として更に説明する。従来、配管の内面に塗料を塗布する場合、その内径が大きければ種々の従来法を適用してこれを行うことができたが、管が長い場合や管径が小さいときは特殊な治具を管内に挿入してこれを行っていた。例えば、その鋼管内にスプレーガンを挿入し、そのスプレーガンから塗料を円形状に噴出させながら、スプレーガンを鋼管の長さ方向に移動させることで小口径長尺の鋼管の内面に塗膜を形成していた（特許文献１）。また、多孔質体管内周への均一なろ過膜の形成を目的として多孔質体管の長軸方向を鉛直にし、サイフォン管の一端を多孔質体管内に挿入し、その他端を管外に置くことで、管内外を連通し、多孔質体管内をサイフォン管を介してろ過膜組成物である泥漿に浸すことで泥漿液面の管内外落差を減らし、これにより管内外のろ過膜の厚さを均一にしていた（特許文献２）。さらに、管状体内に洗浄液噴射手段を挿入し、これを管状体の周方向に沿って回転させながら、軸方向に沿って移送することにより管状体の内面を洗浄していた（特許文献３）。
【０００４】
【非特許文献１】工業塗装ラインにおける塗装・塗料管理ハンドブック（平成１４年１１月、（社）日本塗料工業会、９５〜１２３頁）
【特許文献１】特開昭５８−１３７４７５号公報
【特許文献２】特開平２−８６８７０号公報
【特許文献３】特開２００３−１４５０２０号公報
【特許文献４】特開平２−８６８７０号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記の例に共通するのは、管状体の内面に表面処理を施すために、目的に応じた治具、機器等を挿入してその処理を行うという点である。この場合、表面処理を実現するための装置構成はかなり複雑、従って往々にして高価になる。特に特許文献２の場合は、表面処理を行うまでの作業準備が複雑で面倒である。これに対し、特許文献４には、管状体の内面に表面処理を施すために、格別の治具、機器等を挿入しない例、即ち圧縮空気により管状体内面で泥漿を搬送し、泥漿が通過する過程で接触する管状体内面に被膜を形成する技術が教示されている。しかし、これは、管状体の一方の開口部から他方の開口部に向けて泥漿を移動させる際、当該一方の開口部が圧縮空気に晒す技術であり、また、一方向的に泥漿の集まりを圧縮空気とともに移動させる技術である。このような方法で泥漿を管状体内面に接触させる場合、被膜に気泡が混入し易く、空孔が発生し易く、均一にムラ無く塗布できるとは限らない。このような問題を解決し、より完全な塗布を実現するためには、管状体の内面を移動する泥漿と圧縮空気との切れ目（境界面）を極力少なくし、更には繰り返し泥漿と接触させれば被膜への気泡の混入や均一性を高める取り組みが必要である。特許文献４以外にも塗料への浸漬、流し塗りといった管状体の内面に治具、機器等を挿入しない従来法もあるが、既述の通り、小径で長尺の管状体の管内面の処理をしようとする場合、細い又は長いパイプのうち主として内面を塗装しようとする場合、非直線で屈曲した又は曲がりくねった孔の内面の処理をしようとする場合、或いは物体が備える多数の細孔の各細孔の内面に確実に行き渡るように塗装しようとする場合には不向きである。
【０００６】
本発明は以上の点に鑑みてなされたものであり、物体が孔を備える場合、その孔に特殊な治具、機器等を挿入することなく、その孔の内面の塗装、洗浄、脱脂、乾燥その他の処理を簡便に又は容易に実現できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る孔の内面の処理方法（その１）は、物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を流動性物質に晒し、他方の開口部との間で流動性物質を移動させ、孔の内面と接触させることにより、流動性物質により孔の内面に表面処理を施すものである。本発明に係る孔の内面の処理方法（その２）は、処理方法（その１）において、流動性物質の移動が、孔の一方の開口部に向かう方向と他方の開口部に向かう方向の少なくとも１回の往復移動であるものである。本発明に係る孔の内面の処理方法（その３）は、処理方法（その１）又は処理方法（その２）において、流動性物質が塗料、洗浄液、脱脂液、乾燥用気体又は塗料の塗布量を調整するための気体であるものである。
【０００８】
本発明に係る孔の内面への塗装膜の形成方法（その１）は、物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を塗料に晒し、他方の開口部との間で塗料を移動させ、その移動の過程で塗料を孔の内面に接触させ、塗布する塗料塗布工程と、孔の一方の開口部を気体に晒し、他方の開口部との間で気体を移動させ、その移動の過程で気体を孔の内面に接触させ、孔の内面に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる塗料定着工程とを有するものである。本発明に係る孔の内面への塗装膜の形成方法（その２）は、物体が備える孔の一方の開口部を塗料に晒し、他方の開口部との間で塗料を移動させ、その移動の過程で塗料を孔の内面に接触させ、塗布する塗料塗布工程と、孔の少なくとも一方の開口部を気体に晒し、他方の開口部との間で気体を移動させ、その移動の過程で孔の内面に過剰に付着していた塗料を吹き飛ばし又は十分付着していなかった箇所に塗料を補充し、孔の内面における塗料の付着量を調整又は均一化する塗布量調整工程とを有するものである。本発明に係る孔の内面への塗装膜の形成方法（その３）は、形成方法（その２）における塗布量調整工程の後に、形成方法（その１）における塗料定着工程を有するものである。
【０００９】
なお、塗料塗布工程において塗料に晒す開口部、塗料定着工程において気体に晒す開口部及び塗布量調整工程において気体に晒す開口部は一部又は全部が同一であっても、一部又は全部が異なっていても、いずれでも構わない。
【００１０】
本発明に係る内面に表面処理が施された孔を備える物体の製造方法は、物体が備える孔の少なくとも一方の開口部を流動性物質に晒し、他方の開口部との間で流動性物質を移動させ、孔の内面と接触させることにより、流動性物質により孔の内面に表面処理を施すものである。この物体の製造方法は、言うまでもなく、本発明に係る孔の内面の処理方法を基礎とし、これを適用するものである。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、物体が備える孔の中に特殊な治具、機器等を挿入することなく、その孔の内面の塗装、洗浄、脱脂、加熱、乾燥等の表面処理を簡便に又は容易に実現することができる。また、被膜への気泡の混入が少なく、より均一な表面処理を実現することができる。更に、本発明によれば、孔の内面の処理に要する流動性物質の量は少なくて済み、少ない流動性物質により当該表面処理を実現することができる。
【００１２】
本発明は、孔の内面の処理方法として広く適用できるが、孔の内面に対し、例えば前処理、洗浄（洗浄液除去のための水切り乾燥を含む）、塗料の塗布、乾燥・硬化等の工程からなる被膜形成のための一連の作業又はその各作業工程において特に好適である。また、小径で長尺の管状体の管内面の処理をしようとする場合、細い又は長いパイプのうち主として内面を塗装しようとする場合、直線でなく屈曲した又は曲がりくねった孔の内面の処理をしようとする場合、或いは物体が備える多数の細孔の各細孔の内面に確実に行き渡るように塗装しようとする場合において特に有効で有益である。この意味から、本発明は、小径若しくは長尺の孔、屈曲した若しくは曲がりくねった孔、又は多数の細孔を備える物体の製造方法としても広く適用できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法並びに孔を備える物体の製造方法について、必要に応じて図面を参照しつつ説明するが、各図において同じ部分または相当する若しくは共通する部分にはこれと同じ符号を付し、一部の説明を省略する。
【００１４】
１.  実施例（その１）
（Ａ）  図１において、１１０は孔、１２０は孔１１０を備える物体、１３０は流動性物質、１４０は流動性物質１３０が収容されている空間、１５０は流動性物質を孔１１０内で移動させる力、１１１は孔の内面、１１２は孔の一方の開口部、１１３は孔の他方の開口部、１２１は物体の外面（孔１１０、孔の内周面１１１、孔の開口部１１２、１１３は除く）である。
【００１５】
まず、孔１２０の一方の開口部１１２を流動性物質１３０に晒す、即ち一方の開口部１１２を空間１４０に配置し、空間１４０に収容された流動性物質１３０と接触させる(工程[Ｉ])。次に、力１５０を印加することにより、一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させる（工程[ＩＩ]）。この移動により、孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される。その際、多量の流動性物質１３０は必要とせず、むしろ比較的少量で足りる。これは物質１３０が揮発性である場合や高価である場合に特に有益である。また、物質１３０の周辺環境への露出が少なく、接触も少ないので（しかも多量の物質１３０を必要としないので）、物質１３０の変質が起こり難くなるので品質管理が容易になり、作業者の負荷が軽減され、保守管理も容易になり、作業環境も改善できる。更に、一方の開口部１１２は空間１４０において物質１３０に晒されているので流動性物資１３０への気泡の混入も極力抑えることができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な表面処理を実現することができる。
【００１６】
なお、開口部１１２、端部１６１を空間１４０に配置する手段は必要であるが、図示していない（他の図においても同様に図示していない）。孔の内面１１１を流動性物質１３０と接触させるためには、状況に応じて、物体１２０、従って孔１２０の配向を変える必要があることは言うまでもない（それ故、以降において説明は繰り返さない）。図中、力１５０として示した矢印は、流動体物質１３０に作用する力１５０そのものを示すものではなく、力１５０が作用することにより流動性物質１３０の境界面が移動する際の、その移動の方向を示すに止まる（他の図においても同様である）。
【００１７】
また、孔１２０の一方の開口部１１２を流動性物質１３０に晒す場合、物体の外面１２１に流動性物質１３０が接触しないようにする必要があるときは、かかる接触を防止又は抑制するために必要な任意の措置を予め講じることができる。例えば、（２−ア）接触を防止すべき部分にマスキング用テープを予め貼り付けておき、表面処理が終了した適当な時期にこれを剥がす、（２−イ）物体の外面１２１に付いた流動性物質１３０を拭き取る、（２−ウ）流動性物質１３０と接触した物体の外面１２１を事後に削除又は切除するといった措置により、物体の外面１２１への物質１３０の接触を実質的に回避することができる。また（２−エ）、継手部材１６０の一方の端部１６１を孔１１０に被せて差し込み（図２参照）又は孔１１０の中に差し込み若しくはネジ止めし（図３参照）、他方の端部１６２を空間１４０に設置することにより、継手部材１６０を介して物体の外面１２１と流動性物質１３０との接触を防止しつつ、開口部１１２を空間１４０に収容された流動性物質１３０に実質的に接触させ、もって開口部１１２を流動性物質１３０に晒すこともできる。この場合、流動性物質１３０による孔の内部の移動や孔の内面１１１の表面処理に支障を与えないように部材１６０の強度、材質、構造、形状等を選択する。（２−ア）乃至（２−エ）の任意の組み合わせの措置を講じることで物体の外面１２１への流動性物質１３０の接触を防止又は抑制することもできることは言うまでもない。
【００１８】
（Ｂ）  孔の内部において流動性物質１３０を移動させる方法としては、例えば（３−ア）孔の内部の圧力を変動させる方法、即ち孔１２０の内部の圧力を減少させることで、空間１４０に収容された流動性物質１３０を開口部１１３、従って物体１２０の内部に向けて引き込む、又は孔１２０の内部の圧力を増加させることで、物体１２０の内部に収容された流動性物質１３０を開口部１１２、従って物体１２０の外部、特に空間１４０に向けて押し出す、（３−イ）空間１４０に収容された流動性物質１３０に働く圧力を変動させる方法、即ち空間１４０に収容された流動性物質１３０に働く圧力を増加させることで、流動性物質１３０を開口部１１２から開口部１１３、従って物体１２０の内部に向けて押し出す、又は空間１４０に収容された流動性物質１３０に働く圧力を減少させることで、物体１２０の内部に収容された流動性物質１３０を開口部１１２、従って物体１２０の外部、特に空間１４０に向けて押し出す、（３−ウ）上記（３−ア）と（３−イ）の方法の併用がある。
【００１９】
孔の内部において流動性物質１３０の移動を、開口部１１２に向かう方向と開口部１１３に向かう方向の少なくとも１回の往復移動とする。これにより、孔の内面１１１と流動性物質１３０との接触を万遍なく行うことができ、表面処理の均一性と品質を高めることができる。流動性物質１３０を塗料、洗浄液、脱脂液、乾燥用気体にして、上記の手順に従って各表面処理を行えば、それぞれ、塗料の塗布、孔の内面の洗浄や脱脂、孔の内部の乾燥をムラなく均一に行うことができる。なお、物質１３０が洗浄液又は脱脂液である場合、物体１２０に超音波を印加することで孔の内面１１１の洗浄又は脱脂の効果を高めることもできる。
【００２０】
（Ｃ）  物質１３０として塗料を選択し、塗料を収容する空間１４０に開口部１１２を晒し、上記の手順に従って当該気体を孔１１０の内部で移動させる。これにより孔の内面１１１に当該塗料を塗布する（塗料塗布工程）。引き続き物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、開口部１１２（又は１１３）を当該気体が存在する空間１４０に晒し、上記（Ａ）記載の手順に従って当該気体を孔１１０の内部で移動させる。これにより孔の内面１１１に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる（塗料定着工程）。これら一連の工程により孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、いずれの工程においても流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００２１】
（Ｄ）  物質１３０として塗料を選択し、塗料を収容する空間１４０に開口部１１２を晒し、上記（Ａ）記載の手順に従って当該塗料を孔１１０の内部で移動させる。これにより孔の内面１１１に当該塗料を塗布する（塗料塗布工程）。引き続き物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、開口部１１２（又は１１３）を当該気体が存在する空間１４０に晒し、上記（Ａ）記載の手順に従って当該気体を孔１１０の内部で移動させる。これにより孔の内面１１１に過剰に付着していた塗料を吹き飛ばし又は十分付着していなかった箇所に塗料を補充し、孔の内面１１１における塗料の付着量を調整又は均一化する（塗布量調整工程）。これら一連の工程により、孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、塗布量調整工程後に上記（Ｃ）記載の塗料定着工程を行えば、孔の内面１１１に形成される塗装膜をより均一で欠陥が少ないものにすることができる。また、いずれの工程においても、流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、塗布量を均一にすることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００２２】
（Ｅ）  本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法は、図４に示すような枝管部分１７０を備える直管状体であって、その枝管部分１７０に孔１１０Ｍがあり、その先端に開口部１１４が存在するものにも適用できる。この場合、開口部１１２、１１３、１１４のうち何れか一つを一時的に封止し、残る二つの開口部について一方の開口部１１２、他方の開口部１１３を設定すれば、上記の説明（Ａ）乃至（Ｄ）はそのまま当て嵌まる。即ち、図４では、枝管部分１７０の開口部１１４を封止部材１１５により封止し、残る二つの開口部について一方の開口部１１２、他方の開口部１１３を設定し、開口部１１２、１１３近傍の孔１１０にそれぞれ継手部材１６０Ａ、１６０Ｂの一方の端部１６１Ａ、１６１Ｂを被せて差し込んでいる。そして、継手部材１６０Ａの他方の端部１６２Ａを空間１４０内に設置することにより、流動性物質１３０に晒し（工程[Ｉ]）、力１５０を印加することにより、一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させる（工程[ＩＩ]）。この移動により、孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される。
【００２３】
しかし、開口部１１２、１１３、１１４のいずれも封止することなく、本発明に係る方法を適用することも可能である。例えば、継手部材を使用して同時に複数の開口部を空間１４０内に設置すれば、上記の説明（Ａ）乃至（Ｄ）はそのまま当て嵌まる。即ち、図５では、開口部１１２、１１３、１１４近傍の孔１１０、１１０Ｍにそれぞれ継手部材１６０Ａ、１６０Ｂ、１６０Ｃの一方の端部１６１Ａ、１６１Ｂ、１６１Ｃを被せて差し込んでいる。そして、継手部材１６０Ａ、１６０Ｃの他方の端部１６２Ａ、１６２Ｃを空間１４０内に設置することにより、流動性物質１３０に晒し（工程[Ｉ]）、力１５０を印加することにより、開口部１１２と開口部１１３との間及び開口部１１４と開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させる（工程[ＩＩ]）。この移動により、孔の内面１１１、１１１Ｍは流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される。
【００２４】
（Ｆ）  図１〜５では物体１２０は直管状体（枝管部分１７０を備えるものを含む）であった。しかし、（４−ア）小径で長尺の管状体、（４−イ）非直線で屈曲した又は曲がりくねった管状体、（４−ウ）多数の細孔を備える多孔質体等々を物体とする場合であっても、また、これらの場合において継手部材１６０を使用しても、本発明に係る方法を適用することが可能である。
【００２５】
ちなみに、（４−ア）の例としては、図１〜５に示した管状体が小径で長尺であるものであり、更なる説明は要しない。
【００２６】
（３−イ）の例としては図６に示すような非直線で曲がりくねったパイプがあり、パイプの一方の開口部１１２を空間１４０に配置することで流体１３０に晒し（工程[Ｉ]）、力１５０を印加することにより、開口部１１２と他方の開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させれば（工程[ＩＩ]）、孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される（図７参照）。この例においても継手部材１６０を使用することは可能である。例えば、図８に示すように継手部材１６０の一方の端部１６１を開口部１１２に取り付け、他方の端部１６２を空間１４０（図示せず）に配置し、空間１４０に収容された流動性物質１３０と端部１６１とを接触させ、後は工程[Ｉ]、工程[ＩＩ]を順に行えばよい。
【００２７】
（３−ウ）の例としては図９に部分拡大図と示す多孔質体がある。図９中、孔１１０は多数あり、物体の内部において孔１１０が枝分かれしていたり、合流している場合もある。また、一方の開口部１１２Ａ，１１２Ｂ、・・・１１２Ｎ（まとめて１１２）も他方の開口部１１３Ａ，１１３Ｂ、・・・１１３Ｚ（まとめて１１３）も多数ある。この多孔質の一方の開口部１１２を空間１４０に配置することで流動性物質１３０に晒し（工程[Ｉ]）、力１５０を印加することにより、開口部１１２と他方の開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させれば（工程[ＩＩ]）、孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される（図１０参照）。
【００２８】
よって、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法によれば、従来に比べ簡便に又は容易に孔の内面を処理することができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な処理を行うことができ、例えば小径で長尺の管状体の管内面、細い又は長いパイプの内面、物体が備える多数の細孔の各細孔の内面といった、従来は難しかった孔の内面に対する表面処理も可能になる。
【００２９】
２．実施例（その２）
（Ｇ）  図１１に示す要部を備える装置は、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法を実現する一例である。図中、物体１２０は、図６乃至図８に示した非直線で曲がりくねったパイプであり、特に小径で長尺であるものを想定して描かれている。容器Ｄ及び容器Ｅは、物体１２０の孔１１０（図示せず）の一方及び他方の開口部１１２、１１３の側にそれぞれ配置する空間１４０を構成する流動性物質１３０を収容する容器である。孔１１０の一方の開口部は継手部材１６０Ｄの一方の開口部と接続し、継手部材１６０Ｄの他方の開口部は管状部材１８０Ｄの一方の開口部と接続し、管状部材１８０Ｄの他方の開口部１８２Ｄは容器Ｄ内に収容された空間１４０に配置する。同様に、孔１１０の他方の開口部は継手部材１６０Ｅの一方の開口部と接続し、継手部材１６０Ｅの他方の開口部は管状部材１８０Ｅの一方の開口部と接続し、管状部材１８０Ｅの他方の開口部１８２Ｅは容器Ｅ内に収容された空間１４０に配置する。この実施例では、孔の両方の開口部を流動性物質１３０に晒すことになる（工程[Ｉ]）。
【００３０】
容器Ｄ、Ｅには、管状部材１９０Ｄ、Ｅの一方の開口部１９１Ｄ、１９１Ｅが空間１４０に配置しないように、換言すれば流動性物質１３０に晒されない位置に設置される。管状部材１９０Ｄ、Ｅの他方の開口部Ｄ、Ｅは、図示しない圧力調整手段２００と接続する。圧力調整手段２００は、管状部材１９０内に力１５０を印加することができ、またその印加の方向や印加する力の大きさを調整することができる。この機能を有するものであれば、圧力調整手段２００の構成は任意に選択でき、例えば、シリンダーとそのシリンダー内で移動するピストンを基本要素とする注射器類似のポンプを採用することにより、或いはポンプやバルブなどの周知の機器の組み合わせによりこれを構成することができ、人力で実現することもできるし、機械化して自動化することもできる。また、流動性物質１３０に毒性や人体への悪影響がなければ、開口部１９２Ｄ又は１９２Ｅに作業者が口を付けて、吸引や吹き出しを行うことで圧力調整手段２００の機能を果たすことができる場合もある。
【００３１】
容器Ｄ、Ｅは、その内部に開口部１８２Ｄ、１８２Ｅ、１９１Ｄ、１９１Ｅと流動性物質１３０（従って空間１４０）と流動性物質１３０が存在しない空間を備え、且つ密封される。それ故、圧力調整手段２００により力１５０を印加し、（５−ア）管状部材１８０Ｄの圧力を高くする、（５−イ）管状部材１８０Ｅの圧力を低くする又は（５−ウ）管状部材１８０Ｄの圧力を高くし、且つ管状部材１８０Ｅの圧力を低くすることにより、容器Ｄ内の流動性物質１３０が管状部材１９０Ｄから継手部材１６０Ｄを通じて物体１２０が備える孔１１０内に流入し、継手部材１６０Ｅを通じて管状部材１９０Ｅ、更には容器Ｅ内に流出する。この流動性物質１３０の移動（工程[ＩＩ]）により、孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触するので、そこに表面処理を施すことができる。
【００３２】
その表面処理の際、多量の流動性物質１３０は必要とせず、むしろ比較的少量で足りる。物質１３０の消耗が著しくない場合には、当該表面処理に要する物質１３０は、概算ではあるが、容器Ｄ、Ｅ及び孔１１０の容積の総和を越えない。物質１３０が少量で足りるということは、物質１３０が揮発性である場合や高価である場合に特に有益である。また、物質１３０の周辺環境への露出が少なく、接触も少ないので（しかも多量の物質１３０を必要としないので）、物質１３０の変質が起こり難くなるので品質管理が容易になり、作業者の負荷が軽減され、保守管理が容易になり、作業環境も改善できる。更に、一方の開口部１１２は空間１４０において物質１３０に晒されているので流動性物資１３０への気泡の混入も極力抑えることができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な表面処理を実現することができる。
【００３３】
圧力調整手段２００の動作のさせ方次第で、物質１３０を容器Ｅの側から容器Ｄの側に向かって移動させることができるので、必要に応じて物質１３０を容器Ｄと容器Ｄとの間で往復させ、孔の内面の表面処理の徹底、均一化及び品質向上を図ることができる。なお、物質１３０の移動は、継手部材１６０Ｄ、１６０Ｅにそれぞれ設けた透明窓１６３Ｄ、１６０Ｅを観察していれば、これを確認できる。
【００３４】
（Ｈ）  図１１において、流動性物質１３０を塗料、洗浄液、脱脂液、乾燥用気体にして、上記の手順に従って各表面処理を行えば、それぞれ、塗料の塗布、孔の内面の洗浄や脱脂、孔の内部の乾燥をムラなく均一に行うことができる。物質１３０が洗浄液又は脱脂液の場合、物体１３０に超音波を印加することで、洗浄又は脱脂の効果を高めることもできる。
【００３５】
（Ｉ）  物質１３０として塗料を選択し、圧力調整手段２００により当該塗料を容器Ｄ、Ｅ間で移動させ、孔の内面１１１に当該塗料を塗布する（塗料塗布工程）。引き続き物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、圧力調整手段２００により当該気体を容器Ｄ、Ｅ間で移動させ、孔の内面１１１に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる（塗料定着工程）。これら一連の工程により孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、いずれの工程においても流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００３６】
（Ｊ）  圧力調整手段２００により塗料を容器Ｄ、Ｅ間で移動させる塗料塗布工程の後、物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、圧力調整手段２００により当該気体を孔１１０の内部で移動させ、孔の内面１１１に過剰に付着していた塗料を吹き飛ばし又は十分付着していなかった箇所に塗料を補充し、孔の内面１１１における塗料の付着量を調整又は均一化する（塗布量調整工程）。これら一連の工程により、孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、塗布量調整工程後に上記の塗料定着工程を行えば、孔の内面１１１に形成される塗装膜をより均一で欠陥が少ないものにすることができる。また、いずれの工程においても、流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、塗布量を均一にすることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００３７】
よって、図１１に示す要部を供える装置によれば、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法を実現することができ、従って従来に比べ簡便に又は容易に孔の内面を処理することができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な処理を行うことができ、例えば小径で長尺の管状体の管内面、細い又は長いパイプの内面、物体が備える多数の細孔の各細孔の内面といった、従来は難しかった孔の内面に対する表面処理も可能になる。なお、この装置は、流動性物質１３０が液体又は液体に準じる流動性を有する物質であって、特にその量の節約が望まれる場合やその品質の劣化を極力回避する必要がある場合に好適であり、作業者の負荷を軽減し、作業者の負荷を軽減し、保守管理の容易化や作業環境の改善に寄与する。また容器Ｄ、Ｅ内で例えば物質１３０が相分離する場合など物質１３０の均一性が喪失する場合には、各容器内に攪拌手段１４１Ｄ、１４１Ｅを設けるのが望ましい。他方、容器Ｄ、Ｅ内では物質１３０の流速変化が生じ、物質１３０中に異物が混在すればそれを捕獲する機能を備えるので、異物が混在する物質１３０を選択する場合には好ましいが、その場合には上記の攪拌手段は不要である。
【００３８】
４．実施例（その３）
（Ｋ）  図１２に示す要部を備える装置は、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法を実現する他の例である。図１２に示す例と図１１に示す例との最も大きな違いは、孔１１０の内面の処理（孔の内面への塗装膜の形成を含む）を行うために必要な処理空間２１０内に物体１２０を配置することである。例えば、目的とする孔の内面１１１の処理が、単に流動性物質１３０と接触するだけで完了せず、引き続き「何らかの処理」を施す必要があるものである場合がこれに相当する。「何らかの処理」が加熱処理（塗料の乾燥又は硬化、即ち定着を行う際に加熱を伴う場合、その加熱処理を含む）である場合には例えば高温雰囲気や加熱炉内が、また、これが攪拌処理である場合には例えば振動装置の振動台や揺動装置の揺動台が、それぞれ処理空間２１０に相当する。
【００３９】
（Ｌ）  流動性物質１３０が乾燥用気体である場合、まず、孔の一方の開口部を乾燥用気体を収容する空間１４０Ｆに設置すること当該乾燥用気体に晒す（工程[Ｉ]）。乾燥温度が例えば摂氏２５０度である場合には、空間１４０Ｆの温度も摂氏２５０度以上にする必要があり、処理空間２１０の温度も摂氏２５０度以上にする。空間１４０Ｆ、２１０の温度を摂氏２５０度以上とするのは、孔１１０の内面の乾燥に寄与しない熱の放出があり得ることを見込んだものである。
【００４０】
次に、図示しない圧力調整手段２００により、（６−ア）力１５０を管状部材２２０Ｆの端部２２２Ｆに印加して乾燥用気体を継手部材１６０Ｆを介して物体１２０の孔１１０（図示せず）の内部に吹き込む、（６−イ）力１５０を管状部材２２０Ｇの端部２２２Ｇに印加して空間１４０Ｆに収容されている乾燥用気体を継手部材１６０Ｇを介して物体１２０の孔１１０（図示せず）の内部に引き込む（その後更に、継手部材１６０Ｇを介して空間１４０Ｇに引き込む）又は（６−ウ）上記（６−ア）を行うとともに、上記（６−イ）を行うことにより、孔の一方の開口部の側（空間１４０Ｆの側）から乾燥用気体が、処理空間２１０内に設置された物体１２０が備える孔１１０の内部に流入し、孔１１０の内部から孔の他方の開口部の側（空間１４０Ｇの側）に当該乾燥用空気を流出する。この流動性物質１３０の移動（工程[ＩＩ]）により、孔の内面１１１は乾燥用気体と接触し、その表面又はその表面に予め存在する物質に対し乾燥処理を施すことができる。
【００４１】
圧力調整手段２００の動作のさせ方次第で、乾燥用気体を空間１４０Ｇの側から空間１４０Ｆの側に向かって移動させることができるので、必要に応じて乾燥用気体を両空間間で往復させ、孔１１０の内面の乾燥の徹底及び均一化、延いてはかかる孔１１０を備える物体１１０の品質向上を図ることができる。
【００４２】
（Ｍ）  物質１３０として塗料を選択し、圧力調整手段２００により当該塗料を空間１４０Ｇの側と空間１４０Ｆの側との間で移動させ、孔の内面１１１に当該塗料を塗布する（塗料塗布工程）。引き続き物体１２０を所定温度に設定した処理空間２１０に設置し、物質１３０として所定温度の空気、不活性ガス等の気体を選択し、圧力調整手段２００により当該気体を両空間間で移動させ、孔の内面１１１に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる（塗料定着工程）。これら一連の工程により孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、いずれの工程においても流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００４３】
５．実施例（その４）
（Ｎ）  図１３に示す要部を備える装置は、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法を実現する更に別の例である。この図における最も顕著な特徴は、物体１２０が図９に示すような多孔質体である点にある。この多孔質体はその一部に突出管状部１２３とその開口部１２４を備え、その他の部分は多数の孔１１０とその開口部１１２（１１２Ａ，１１２Ｂ、・・・１１２Ｎ）、１１３（１１３Ａ，１１３Ｂ、・・・１１３Ｚ）以外に開口部を備えていない。突出管状部１１２は、継手部材１６０の一方の端部１６１と接続している。
【００４４】
まず、多孔質体１２０を空間１４０内に配置し、外面１２１が流動性物質１３０と接するようにし、且つ継手部材１６０の他方の端部１６２が空間１４０から露出するように位置決めする。これにより、孔の一方の開口部（外面１２１側の開口部）を流動性物質１３０に晒す（工程[Ｉ]）。なお、この際、多孔質体の内面１２２も物質１３０に晒しても構わない。例えば、多孔質体１２０の内部空間Ｗに予め物質１３０を入れた後、これを空間１４０内に配置することで孔の一方の開口部を流動性物質１３０に晒しても構わない。
【００４５】
次に、力１５０を印加することにより、各孔の一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間において流動性物質１３０を移動させれば（工程[ＩＩ]）、各孔の内面１１１は流動性物質１３０と接触し、そこに表面処理が施される。流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、物質１３０が各孔の内面１１１が万遍なく、ムラなく行き渡らせることができ、均一な表面処理を施すためにはより好ましい。
【００４６】
工程[Ｉ]において必要な物質１３０の量は、孔の一方の開口部をこれに晒すのに足るだけの量であり、工程[ＩＩ] おいて必要な物質１３０の量は、各孔の一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間においてこれを移動させるに足るだけの量である。従って本発明によれば、少ない物質１３０により、孔の内面を処理することができる。このことは、物質１３０が揮発性である場合や高価である場合に特に有益であることを意味している。また、物質１３０の周辺環境への露出が少なく、接触も少ないので（しかも多量の物質１３０を必要としないので）、物質１３０の変質が起こり難くなるので品質管理が容易になり、作業者の負荷が軽減され、保守管理が容易になり、作業環境も改善できる。更に、各孔の一方の開口部１１２は空間１４０において物質１３０に晒されているので流動性物資１３０への気泡の混入も極力抑えることができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な表面処理を実現することができる。
【００４７】
（Ｏ）  物質１３０として塗料を選択し、力１５０を印加して当該塗料を空間１４０と多孔質体１２０の内部空間Ｗとの間で移動させ、各孔の内面１１１に当該塗料を塗布する（塗料塗布工程）。引き続き物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、力１５０を印加して両空間間で当該気体を移動させ、孔の内面１１１に塗布された塗料を乾燥又は硬化させる（塗料定着工程）。これら一連の工程により孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、いずれの工程においても物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００４８】
（Ｐ）  力１５０を印加して塗料を空間１４０と内部空間Ｗとの間で移動させる塗料塗布工程の後、物質１３０として空気、不活性ガス等の気体を選択し、力１５０を印加することにより当該気体を孔１１０の内部で移動させ、孔の内面１１１に過剰に付着していた塗料を吹き飛ばし又は十分付着していなかった箇所に塗料を補充し、孔の内面１１１における塗料の付着量を調整又は均一化する（塗布量調整工程）。これら一連の工程により、孔の内面１１１に形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができる。なお、塗布量調整工程後に上記の塗料定着工程を行えば、孔の内面１１１に形成される塗装膜をより均一で欠陥が少ないものにすることができる。また、いずれの工程においても、流動性物質１３０の移動は往復移動である必要はないが、これが少なくとも１回の往復移動であれば、孔の内面１１１に塗料を万遍なくムラなく行き渡らせることができるので、塗布量を均一にすることができるので、又はそこに形成される塗装膜を均一で欠陥が少ないものにすることができ、乾燥又は硬化した塗装膜の均一性や品質も向上するので、より好ましい。
【００４９】
（Ｑ）  図１４に示す多孔質体１２０は、突出管状部１２３は備えず、各孔の開口部１１２、１１３以外に、大きな開口部１１２Ｐ、１１３Ｐを備えているが、このような構造の多孔質体にも本発明を適用することができる。即ち、開口部１１３Ｐに封止部材２３０を挿着し、開口部１１３Ｐにおける空間１４０と内部Ｗとの間の物質１３０の移動を遮断し、継手部材１６０Ｐを開口部１１２Ｐにネジ止め又は挿着し、その一方の端部１６１Ｐを多孔質体１２０の内部Ｗに向けて配置し、必要に応じて他方の端部１６２Ｐに更に管状部材２２０（図示せず）を接続する。その後、上記（Ｎ）と同じ要領により多孔質体１２０を空間１４０内に配置することで孔の一方の開口部を流動性物質１３０に晒す（工程[Ｉ]）。ただし、他方の端部１６２Ｐ（管状部材２２０を接続している場合には、端部１６２Ｐと接続していない側の管状部材２２０の端部２２２（図示せず））が空間１４０から露出するように位置決めする。
【００５０】
次に、力１５０を印加することにより、各孔の一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間において流動性物質１３０を移動させれば（工程[ＩＩ]）、各孔の内面１１１に物質１３０を接触させることができる。よって、図１４に示す構造の多孔質体１２０においても、本発明に係る孔の内面の処理方法及び孔の内面への塗装膜の形成方法を実現することができる。なお、継手部材１６０Ｐ及び封止部材２３０は、孔の内面の処理や塗装膜の形成が終了した後の適時において、必要に応じて取り除く。
【００５１】
以上の各実施例において、力１５０は工程[ＩＩ]を実現するに足るものであれば良く、一方の開口部１１２と他方の開口部１１３との間の孔の内部において流動性物質１３０を移動させる力であれば、特に種類、発生手段、発生源、作用の仕方等に限定はない。例えば、（７−ア）孔１１０の内部を減圧させてそこに物質１３０を引き込む、（７−イ）孔１１０の内部を増圧させてそこから物質１３０を押出す合、（７−ウ）空間１４０を増圧して孔１１０の内部に物質１３０を押し込む場合、（７−エ）空間１４０を減圧して孔１１０の内部に物質１３０を引き出す、（７−オ）物質１３０に遠心力を作用させて、孔１１０の内部で移動させる、（７−カ）上記（７−ア）（７−イ）において、孔１１０の内部の圧力の増減を連続的、突発的、間歇的その他のパターンで繰り返す、（７−キ）上記（７−ウ）（７−エ）において、空間１４０の圧力の増減を連続的、突発的、間歇的その他のパターンで繰り返す、（７−ク）上記（７−オ）のにおいて、物体１２０を回転し、またはその回転速度を変動させることにより、孔１１０の内部に存在する物質１３０を遠心力方向に移動させ、空間１４０から物質１３０を更に孔１１０の内部に引き込む又は物質１３０を孔１１０の内部から空間１４０に押し出す等々の工程[ＩＩ]に相当する各場合を実現する、物質１３０に直接、間接的に又は結果的に作用する力は、すべて力１５０に該当する。
【産業上の利用可能性】
【００５２】
本発明によれば、物体が備える孔の中に特殊な治具、機器等を挿入することなく、その孔の内面の塗装、洗浄、脱脂、加熱、乾燥等の表面処理を簡便に又は容易に実現することができる。また、本発明によれば、孔の内面の処理に要する流動性物質の量は少なくて済み、少ない流動性物質により表面処理を実現することができる。更に、流動性物資への気泡の混入も極力抑えることができ、より欠陥が少なく、ムラのない均一な表面処理を実現することができる。
【００５３】
本発明は、孔の内面の処理方法として広く適用できるが、孔の内面に対する被膜形成のための一連の作業又はその各作業工程において特に好適である。また、小径で長尺の管状体の管内面の処理をしようとする場合、細い又は長いパイプのうち主として内面を塗装しようとする場合、直線でなく屈曲した又は曲がりくねった孔の内面の処理をしようとする場合、或いは物体が備える多数の細孔の各細孔の内面に確実に行き渡るように塗装しようとする場合において特に有効で有益である。この意味から、本発明は、小径若しくは長尺の孔、屈曲した若しくは曲がりくねった孔、又は多数の細孔を備える物体の製造方法としても広く適用できる。
【００５４】
更に、本発明によれば、流動性物質の周辺環境への露出を少なく、接触も少なくすることができるので、流動性物質の品質管理が容易になり、作業者の負荷が軽減され、保守管理が容易になり、作業環境も改善できる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施例を示した説明図である。
【図２】継手部材を使用する本発明の実施例を示した説明図である。
【図３】継手部材を使用する本発明の他の実施例を示した説明図である。
【図４】物体が枝管部分を備え、継手部材を使用する本発明の実施例を示した説明図である。
【図５】物体が枝管部分を備え、継手部材を使用する本発明の他の実施例を示した説明図である。
【図６】非直線で曲がりくねったパイプである物体の断面図である。
【図７】物体が非直線で曲がりくねったパイプである本発明の実施例を示した説明図である。
【図８】物体が非直線で曲がりくねったパイプであり、継手部材を使用する本発明の実施例を示した説明図である。
【図９】多孔質体である物体の部分拡大図である。
【図１０】物体が多孔質体である本発明の実施例を示した説明図である。
【図１１】本発明を実現する装置の要部を示した説明図である。
【図１２】本発明を実現する他の装置の要部を示した説明図である。
【図１３】物体が多孔質体である本発明の別の実施例を示した説明図である。
【図１４】多孔質体である物体の断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１１０  孔    
１２０  物体    
１３０  流動性物質    
１４０  流動性物質を収容する空間    
１５０  流動性物質を移動させる力又はその方向
１６０  継手部材
１７０  枝管部分
１８０  管状部材
２００  圧力調整手段
２１０  処理空間
２３０  封止部材
【図１】
2007117860.tif 000003
【図２】
2007117860.tif 000004
【図３】
2007117860.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図９】
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