(57)【要約】【課題】実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法を提供すること。【解決手段】  光電面１０は、入射光を透過する基板１２と、ＨｆＯ２からなる中間層１４と、下地層１６と、アルカリ金属を含む光電子放出層１８とを備える。すなわち、光電面１０は、基板１２と光電子放出層１８との間に形成された中間層１４を備える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を透過する基板と、アルカリ金属を含む光電子放出層と、前記基板と前記光電子放出層との間に形成された中間層とを備え、
前記中間層が酸化ハフニウムからなることを特徴とする光電面。
【請求項２】
前記中間層と前記光電子放出層との間に下地層が形成されていることを特徴とする請求項１記載の光電面。
【請求項３】
前記光電子放出層は、アンチモンとアルカリ金属との化合物であることを特徴とする請求項１又は２記載の光電面
【請求項４】
前記アルカリ金属は、セシウム、カリウム、またはナトリウムである請求項１〜３の何れか一項記載の光電面。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項記載の光電面と、
前記光電面から放出された電子を収集する陽極と、
前記光電面及び前記陽極を収納する容器と、
を備えることを特徴とする電子管。
【請求項６】
入射光を透過する基板上に、酸化ハフニウムからなる中間層を形成する工程と、
前記中間層の前記基板に接する面と反対側に、アルカリ金属を含む光電子放出層を形成する工程と、を備えることを特徴とする光電面の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光の入射により光電子を外部に放出する光電面、それを備える電子管及び光電面の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
光電面は、入射した光に応じて発生する電子（光電子）を放出する素子であり、例えば光電子増倍管に用いられている。光電面は基板上に光電子放出層が形成されたものであり、基板を透過した入射光が光電子放出層に入射し、そこで光電子が放出される。
【特許文献１】米国特許第３２５４２５３号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
入射光に対する光電面の感度は高いことが好ましい。光電面の感度を高くするには、基板及び光電子放出層を備える光電面に入射する光子の数に対する光電面外部に放出される光電子の数の割合を示す実効的な量子効率を高くする必要がある。例えば、特許文献１においては、基板と光電子放出層との間に反射防止膜を備える光電面が検討されている。しかしながら、光電面においては、さらなる量子効率の向上が望まれている。
【０００４】
本発明は、実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
ところで、本願発明者は、量子効率の高い光電面を実現すべく鋭意研究を重ねたところ、アルカリ金属を含む光電子放出層を備える光電面では製造時に高温にさらされることで、実効的な量子効率が低下してしまうという新たな事実を見出すに至った。本願発明者はこうした量子効率の低下の原因は光電子放出層からアルカリ金属が基板に移動してしまうことにあると考え、基板と光電子放出層との間に酸化ハフニウムからなる中間層を設けることに思い至った。
【０００６】
このような検討結果を踏まえ、本発明に係る光電面は、入射光を透過する基板と、アルカリ金属を含む光電子放出層と、基板と光電子放出層との間に形成された中間層とを備え、中間層が酸化ハフニウムからなることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明による光電面の製造方法は、入射光を透過する基板上に、酸化ハフニウムからなる中間層を形成する工程と、中間層の基板に接する面と反対側に、アルカリ金属を含む光電子放出層を形成する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
上記の光電面では、製造時に施す熱処理によって光電面の実効的量子効率が低減することが抑制され、高い量子効率を維持することが可能となる。これは、基板と光電子放出層との間に酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）からなる中間層を備え、この中間層が光電子放出層から基板へのアルカリ金属の移動を抑制するバリア層として機能することによると考えられる。また、基板と光電子放出層との間に挿入された酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）からなる中間層は、反射防止膜として機能する。そのため、光電子放出層に入射する光について所望の波長の反射率が低減され、高い実効的量子効率を示すことが可能となる。このように、上記の光電面では、実効的量子効率について高い値を示すことが可能である。ここで、実効的な量子効率とは、光電子放出層についてだけでなく、基板等を含む光電面全体での量子効率をいう。したがって、実効的な量子効率には、基板の透過率などの要素も反映されている。
【０００９】
中間層と光電子放出層との間に下地層が形成されていてもよい。この場合、光電子放出層を形成する際に形成されるＳｂ膜を、より一層均質な膜として形成することが可能となる。
【００１０】
光電子放出層は、アンチモン（Ｓｂ）とアルカリ金属との化合物であることが好適である。アルカリ金属は、セシウム（Ｃｓ）、カリウム（Ｋ）、またはナトリウム（Ｎａ）であるのが好適である。
【００１１】
また、本発明による電子管は、上記の光電面と、光電面から放出された電子を収集する陽極と、光電面及び陽極を収納する容器と、を備えることを特徴とする。このような構成とすることにより感度の良い電子管を実現することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面とともに、本発明による光電面、それを備える電子管及び光電面の製造方法の実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１４】
図１は、実施形態に係る光電面の構成を一部拡大して示す断面図である。この光電面１０では、図１に示すように、基板１２上に中間層１４、下地層１６、及び光電子放出層１８がこの順で形成されている。図１においては、光電面１０は、基板１２側から光ｈνが入射し、光電子放出層１８側から光電子ｅ−が放出される透過型として模式的に図示されている。
【００１５】
基板１２は、酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）からなる中間層１４をその上に形成することが可能な基板からなる。基板１２は、波長３００ｎｍ〜１０００ｎｍの光を透過するものが好ましい。このような基板として、例えば石英ガラス、あるいは硼珪酸ガラスからなる基板がある。
【００１６】
中間層１４は、ＨｆＯ２から形成されている。ＨｆＯ２は、波長３００ｎｍ〜１０００ｎｍの光に対して高い透過率を示す。また、ＨｆＯ２は、その上にＳｂが形成される場合、Ｓｂのアイランド構造を細かくする。中間層１４の膜厚は、例えば５０Å〜１０００Åの範囲である。
【００１７】
下地層１６は、例えばＭｎＯｘ、ＭｇＯ、あるいはＴｉＯ２などからなる。下地層１６は、波長３００ｎｍ〜１０００ｎｍの光を透過するものが好ましい。また、下地層１６がなく、中間層１４上に光電子放出層１８が形成されていてもよい。下地層１６の膜厚は、例えば５Å〜８００Åの範囲である。
【００１８】
光電子放出層１８は、例えばＫ−ＣｓＳｂ、Ｎａ−ＫＳｂ、Ｎａ−Ｋ−ＣｓＳｂ、あるいはＣｓ−ＴｅＳｂからなる。光電子放出層１８は、光電面１０の活性層として機能する。光電子放出層１８の膜厚は、例えば５０Å〜２０００Åの範囲である。
【００１９】
次に、本発明による電子管の実施形態について説明する。図２は、光電面１０を透過型として適用した光電子増倍管の断面構成を説明する図である。光電子増倍管３０は、入射光を透過する入射窓３４と、容器３２とを備える。容器３２内には光電子を放出する光電面１０、放出された光電子を増倍部４０へ導く集束電極３６、電子を増倍する増倍部４０、及び増倍された電子を収集する陽極３８が設けられている。このように、容器３２は、光電面１０及び陽極３８を収納する。なお、光電子増倍管３０では、光電面１０の基板１２が入射窓３４として機能するように構成されていてもよい。
【００２０】
集束電極３６と陽極３８との間に設けられる増倍部４０は、複数のダイノード４２で構成されている。各電極は、容器３２を貫通するように設けられたステムピン４４と電気的に接続されている。
【００２１】
次に、光電子増倍管３０の製造方法について、図３〜図６に基づいて説明する。図３〜図６は、光電子増倍管３０の製造方法における各工程を模式的に説明するための図である。
【００２２】
まずは、図３を参照して、ＨｆＯ２からなる中間層を基板上に形成する工程を説明する。図３に示されるように、洗浄処理を行ったガラスバルブの容器３２の入射窓３４に相当する基板部分１２にＨｆＯ２を蒸着する。蒸着は、例えばＥＢ（electron beam；エレクトロンビーム）蒸着装置５０を用いたＥＢ蒸着法によってなされる。すなわち、真空容器内において、容器５２に収容されたＨｆＯ２の蒸着源５１を電子ビーム（図示は省略）で加熱蒸発させ、ヒータ（図示は省略）によって加熱された基板部分１２上に薄膜として成長させる。これにより、基板部分１２上にＨｆＯ２からなる中間層１４が形成される。
【００２３】
次に、図４に示すように、Ｓｂ蒸着源５３を備える集束電極３６、ダイノード４２、及びアルカリ金属源５４が一体に組み立てられたステム板５７を用意する。ステム板５７には、各電極に制御電圧を供給するための複数のステムピン４４が貫通状態で固定されている。Ｓｂ蒸着源５３及びアルカリ金属原５４は導線５６を介して、ステム板５７に貫通状態で固定された電極５５に接続している。こうして用意されたステム板５７と容器３２とを封止する。
【００２４】
次に、図５に示すように、容器３２の基板部分１２上に形成されたの中間層１４上に、ＭｎＯｘを蒸着して下地層１６を形成する。さらに、Ｓｂ蒸着源５３を通電加熱することにより、下地層１６の上にＳｂを蒸着し、Ｓｂ膜５８を形成する。
【００２５】
次に、図６を参照して、光電子放出層を形成する工程を説明する。Ｓｂ膜５８及びダイノード４２に対してアルカリ金属（例えば、Ｋ、Ｃｓなど）蒸気を送り、活性化処理を施す。このとき、中間層１４に対し、当該中間層１４の基板部分１２に接する面と反対側に、アルカリ金属蒸気が送られる。これにより、アルカリ金属（例えば、Ｋ、Ｃｓなど）を含む光電子放出層（例えば、Ｋ−Ｃｓ−Ｓｂからなる膜）１８が形成される。
【００２６】
以上の製造方法により、光電面１０及び当該光電面１０を備える光電子増倍管３０が形成される。
【００２７】
光電面１０及び光電子増倍管３０の動作を説明する。光電子増倍管３０において、入射窓３４を透過した入射光ｈνが光電面１０に入射する。光ｈνは、基板１２側から入射し、基板１２、中間層１４、及び下地層１６を透過して光電子放出層１８に達する。光電子放出層１８は活性層として機能し、ここで光子が吸収されて光電子ｅ−が発生する。光電子放出層１８で発生した光電子ｅ−は、光電子放出層１８表面から放出される。放出された光電子ｅ−は増倍部４０で増倍され、陽極３８によって収集される。
【００２８】
光電面１０では、製造時に施す熱処理によって光電面の実効的な量子効率が低減することが抑制され、高い量子効率を維持することが可能となる。これは、基板１２と光電子放出層１８との間にＨｆＯ２からなる中間層１４を備え、この中間層１４が光電子放出層１８から基板１２へのアルカリ金属の移動を抑制するバリア層として機能することに起因すると考えられる。アルカリ金属が移動してしまうと光電子放出層１８の感度が低下し、さらに移動してきたアルカリ金属によって基板１２が着色し透過率を低下させてしまう。したがって、アルカリ金属の基板１２への移動を抑制することによって、光電子放出層１８の感度上昇、及び基板１２の透過率向上が達成でき、その結果高い量子効率を維持することが可能となる。
【００２９】
中間層１４を構成するＨｆＯ２は、非常に緻密な構造であるため、アルカリ金属を通しにくいと考えられる。したがって、光電子放出層１８から基板１２へのアルカリ金属の移動を抑制するバリア層としての機能が期待される中間層１４を構成する材料としてはＨｆＯ２は非常に好適である。
【００３０】
図７は、中間層１４がバリア層として機能しているとの考えを説明するための概念図である。図７（ａ）に示すように、中間層１４のない光電面１０Ａ、すなわち基板１２と光電子放出層１８とからなる光電面１０Ａでは、製造工程における熱処理時に光電子放出層に含まれるアルカリ金属（例えば、Ｋ、Ｃｓなど）が基板１２に移動してしまうと考えられる。実効的な量子効率の低減はその結果によるものと推察される。
【００３１】
一方、図７（ｂ）に示すように、中間層１４を備える光電面１０Ｂでは、製造工程における熱処理時に光電子放出層１８に含まれるアルカリ金属（例えば、Ｋ、Ｃｓなど）が基板１２に移動してしまうことを中間層１４が抑制すると考えられる。中間層を備える光電面において高い実効的量子効率を実現できるのは、その結果によるものと推察される。
【００３２】
光電子放出層に含まれるアルカリ金属の種類が複数の場合、複数回に渡ってアルカリ蒸気を送らなければならない。そのため、熱処理による量子効率の低減が抑制されることは、非常に有効である。
【００３３】
光電面１０では、基板１２と光電子放出層１８との間に中間層１４を備える。そのため、中間層１４の膜厚を適宜制御することで、所望の波長の光について反射率を低減することが可能となる。このように中間層１４が反射防止膜として機能することで、高い実効的量子効率を示すことが可能となる。
【００３４】
光電面１０は下地層１６を備える。この場合、光電子放出層１８を形成する際に下地層１６上に蒸着されるＳｂ膜５８を、より一層均質な膜として形成することが可能となる。なお、光電面１０は、下地層１６を備えなくてもよい。
【００３５】
光電子増倍管３０は、上記したように高い実効的量子効率を示す光電面１０を備える。そのため、感度の良い光電子増倍管を実現することができる。
【００３６】
続いて、光電面の具体的なサンプルＡ〜Ｃ及び比較例であるサンプルＤ〜Ｅについて説明する。サンプルＡ〜Ｃ及びサンプルＤ〜Ｆはそれぞれ、光電子放出層を構成する材料が異なる。サンプルＤ〜Ｆはいずれも、ＨｆＯ２からなる中間層を備えていない。また、これらのサンプルについて測定された量子効率は、上述の実効的量子効率に相当する。
【００３７】
具体的には、サンプルＡは、石英ガラスからなる基板と、ＨｆＯ２からなる中間層と、Ｎａ−Ｋ−ＣｓＳｂからなる光電子放出層とを備える。一方、サンプルＡに対する比較例であるサンプルＤは、石英ガラスからなる基板と、Ｎａ−Ｋ−ＣｓＳｂからなる光電子放出層とを備える。
【００３８】
また、サンプルＢは、硼珪酸ガラスからなる基板と、ＨｆＯ２からなる中間層と、Ｎａ−ＫＳｂからなる光電子放出層とを備える。一方、サンプルＢに対する比較例であるサンプルＥは、硼珪酸ガラスからなる基板と、Ｎａ−ＫＳｂからなる光電子放出層とを備える。
【００３９】
また、サンプルＣは、硼珪酸ガラスからなる基板と、ＨｆＯ２からなる中間層と、ＭｎＯｘからなる下地層と、Ｋ−ＣｓＳｂからなる光電子放出層とを備える。一方、サンプルＣに対する比較例であるサンプルＦは、硼珪酸ガラスからなる基板と、ＭｎＯｘからなる下地層と、Ｋ−ＣｓＳｂからなる光電子放出層とを備える。
【００４０】
ＨｆＯ２の屈折率は約２．０５であり、これらのサンプルＡ〜Ｆにおいて、基板（石英ガラス、あるいは硼珪酸ガラス）の屈折率と光電子放出層（Ｎａ−Ｋ−ＣｓＳｂ、あるいはＮａ−ＫＳｂ、あるいはＫ−ＣｓＳｂ）の屈折率との中間の値である。
【００４１】
以下の表１に、サンプルＥ、すなわち硼珪酸ガラスからなる基板とＮａ−ＫＳｂからなる光電子放出層とを備える光電面における基板のアルカリの含有量（ｗｔ％）を、光電子放出層側とその反対側とで測定した結果を示す。なお、表１に示す測定結果は、基板の表面に付着したアルカリ金属を洗い流した後に測定した結果である。また、サンプルＥの基板としてＺＫＮ７（ショット社製）を用いた。
【表１】
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【００４２】
表１より、光電子放出層側とその反対側とで含有されているアルカリ金属（Ｋ、Ｎａ）の量が大きく異なり、光電子放出層側の方が多くなっていることがわかる。また、サンプルＥの光電子放出層側と反対側は、着色されず透明のままであったのに対し、光電子放出層側は透明のままであった。これは、製造時の熱処理によって、光電子放出層に含まれるアルカリ金属（Ｋ、Ｎａ）が基板に侵入したためと考えられる。
【００４３】
図８は、サンプルＡ及びサンプルＤを焼成したときの、量子効率の温度依存性を表すグラフである。図８に示すグラフの横軸は焼成温度（℃）を、縦軸は規格化量子効率（％）をそれぞれ表す。規格化量子効率とは、各サンプルについて、焼成温度が１０℃の時の量子効率を１００％として各温度での量子効率を規格化した値である。ここでは、各サンプルに対し、焼成温度を１０℃から２２０℃まで１０℃ごとに変化させたときの規格化量子効率を求めた結果を示す。図８に示すグラフでは、サンプルＡを円で、サンプルＤを四角形で表している。
【００４４】
図８から、サンプルＤは、焼成温度が１８０℃を超えてから規格化量子効率の値が小さくなってしまい、２２０℃では７１．２％の規格化量子効率を示すまでに低減する。一方、サンプルＡは、焼成温度が２２０℃に至るまで略一定の規格化量子効率を示し、２２０℃においても規格化量子効率９８．３％を維持することがわかる。このように、中間層を備えるサンプルＡは焼成温度を上昇させても量子効率を低減させないことが明確に示されている。光電面を製造する工程においては温度を約２００℃以上に上昇させるため、２００℃を超えても量子効率が低減しないということは、最終的に高い量子効率を示す光電面を得るのに非常に有効である。その結果、サンプルＡでは製造時に熱処理を施しても量子効率を低減することが抑制されることがわかる。
【００４５】
図９〜図１１に、サンプルＡ〜Ｆの分光感度特性を示す。図９はサンプルＡ及びサンプルＤについて、図１０はサンプルＢ及びサンプルＥについて、図１１はサンプルＣ及びサンプルＦについて、それぞれ波長に対する量子効率を示すグラフである。図９〜図１１それぞれに示すグラフの横軸は波長（ｎｍ）を、縦軸は量子効率（％）を表す。図９において実線で示したグラフはサンプルＡを、点線で示したグラフはサンプルＤを、図１０において実線で示したグラフはサンプルＢを、点線で示したグラフはサンプルＥを、図１１において実線で示したグラフはサンプルＣを、点線で示したグラフはサンプルＦをそれぞれ示す。
【００４６】
図９から理解されるように、サンプルＡは３００ｎｍ〜１０００ｎｍの波長帯域の光に対し、サンプルＤより高い量子効率を示す。具体的には、例えば波長４００ｎｍの光に対してサンプルＡは約２３．１％の量子効率、サンプルＤは約１６．７％の量子効率と、サンプルＡはサンプルＤの約４０％増の量子効率を示す。
【００４７】
また、図１０から理解されるように、サンプルＢは３００ｎｍ〜７００ｎｍの波長帯域の光に対し、サンプルＥより高い量子効率を示す。具体的には、例えば波長３７０ｎｍの光に対してサンプルＢは３０．４％の量子効率、サンプルＥは２２．９％の量子効率と、サンプルＢはサンプルＥの約３０％超増の量子効率を示す。
【００４８】
また、図１１から理解されるように、サンプルＣは３００ｎｍ〜７００ｎｍの波長帯域の光に対し、サンプルＦより高い量子効率を示す。具体的には、例えば波長４２０ｎｍの光に対してサンプルＣは３６．５％の量子効率、サンプルＦは２５．６％の量子効率と、サンプルＣはサンプルＦの約４０％増の量子効率を示す。
【００４９】
続いて、基板とＨｆＯ２からなる中間層とＮａ−Ｋからなる光電子放出層とを備える光電面の量子効率、及び基板と光電子放出層とを備え中間層を備えない光電面の量子効率をそれぞれ測定した。その結果を表２に示す。測定では、波長３７０ｎｍの光を入射光として用いた。
【表２】
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【００５０】
中間層を備える光電面については、２３個のサンプルを用意し測定を行った。中間層を備えない光電面については、３個のサンプルを用意し測定を行った。その結果、表２から理解されるように、中間層を備える光電面では、平均値が２８．４％に達するのに対し、中間層を備えない光電面では、平均値が２２．７％にしか至らない。したがって、表２から、ＨｆＯ２からなる中間層を備えることで光電面は高い量子効率を実現できることを明確に理解することができる。
【００５１】
さらに、基板とＨｆＯ２からなる中間層とＫ−Ｃｓからなる光電子放出層とを備える光電面の量子効率、及び基板とＫ−Ｃｓからなる光電子放出層とを備え中間層を備えない光電面の量子効率を測定した。測定では、波長４２０ｎｍの光を入射光として用いた。中間層を備える光電面については９つのサンプルを用意し、中間層を備えない光電面については１つのサンプルを用意した。これらのサンプルから得られた量子効率を、中間層を備える光電面及び中間層を備えない光電面それぞれについて平均値を求め、その結果を表３に示す。
【表３】
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【００５２】
表３から理解されるように、中間層を備える光電面では、平均値が３６．２％に達するのに対し、中間層を備えない光電面では、平均値が２７．６％にしか至らない。したがって、表３から、ＨｆＯ２からなる中間層を備えることで光電面は高い量子効率を実現できることを理解することができる。
【００５３】
また、図１２（ａ）にＨｆＯ２からなる中間層が形成されたガラス基板の当該中間層上に形成されたＳｂ膜表面のＡＦＭ像を、図１２（ｂ）にガラス基板上に形成されたＳｂ膜表面のＡＦＭ像をそれぞれ示す。ＡＦＭ像とは、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）によって得られた像をいう。図１２から、中間層をその下に有するＳｂ膜（図１２（ａ））は、中間層を有さないＳｂ膜（図１２（ｂ））に比べ平坦で且つ空間的に均質な膜であることがわかる。このようにＨｆＯ２からなる中間層を備えることで、均質なＳｂ膜を得ることができ、したがってアルカリ金属蒸気を均質なＳｂ膜に反応させて光電子放出層を形成することができる。その結果、粒界等の欠陥部の形成が少なく良質な光電子放出層を得ることができ、量子効率の向上に寄与すると考えることができる。
【００５４】
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。例えば、基板１２、下地層１６、及び光電子放出層に含まれる物質は上記に記載した物質に限定されない。光電面１０は、下地層１６を備えていなくてもよい。光電面１０の中間層１４、下地層１６、及び光電子放出層１８を形成する方法はそれぞれ、上記実施形態に記載された方法に限らない。
【００５５】
また、光電子放出層１８が含むアルカリ金属の種類は、上記実施形態に記載したセシウム（Ｃｓ）、カリウム（Ｋ）、ナトリウム（Ｎａ）に限らず、例えばルビジウム（Ｒｂ）、あるいはリチウム（Ｌｉ）でもよい。また、光電子放出層１８が含むアルカリ金属の種類の数は、１種類であっても、あるいは２種類（バイアルカリ）であっても、あるいは３種類以上（マルチアルカリ）であってもよい。また、光電面１０の中間層１４、下地層１６、及び光電子放出層１８の膜厚は上記実施形態において例示した厚さに限られない。また、上記実施形態に係る光電面の製造方法及びサンプルでは、下地層１６としてＭｎＯｘからなる例を示したが、光電面１０の説明で例示したようにＭｎＯｘに限らず例えばＭｇＯ、あるいはＴｉＯ２などからなる下地層であってもよい。
【００５６】
また、光電子増倍管以外に光電管、イメージインテンシファイア（ＩＩ管）などの電子管に本発明による光電面を適用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
本発明は、実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】実施形態に係る光電面の構成を一部拡大して示す断面図である。
【図２】実施形態に係る光電子増倍管の断面構成を説明する図である。
【図３】中間層を形成する工程を説明するための図である。
【図４】ステムによって、容器を封止する工程を説明するための図である。
【図５】下地層を形成する工程を説明するための図である。
【図６】光電子放出層を形成する工程を説明するための図である。
【図７】中間層がバリア層として機能していることを説明するための概念図である。
【図８】実施例及び比較例について、量子効率の温度依存性を表すグラフである。
【図９】実施例の分光感度特性及び比較例の分光感度特性を表すグラフである。
【図１０】実施例の分光感度特性及び比較例の分光感度特性を表すグラフである。
【図１１】実施例の分光感度特性及び比較例の分光感度特性を表すグラフである。
【図１２】実施例に係るＳｂ膜のＡＦＭ像と比較例に係るＳｂ膜のＡＦＭ像とを表す。
【符号の説明】
【００５９】
１０…光電面、１２…基板、１４…中間層、１６…下地層、１８…光電子放出層、３０…光電子増倍管、３２…容器、３４…入射窓、３６…集束電極、３８…陽極、４０…増倍部、４２…ダイノード、４４…ステムピン、５０…ＥＢ装置、５１…ＨｆＯ２の蒸着源、５２…容器、５３…Ｓｂ蒸着源、５４…アルカリ金属原、５５…電極、５６…導線、５７…ステム板、５８…Ｓｂ膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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