(57)【要約】【課題】保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止し、かつ保管棚の全域に亘って清浄空気の流れを発生させて保管棚に収納されている液晶基板の塵埃による汚染を防止することができる保管倉庫室内の空気清浄装置を提供すること。【解決手段】互いに隣接する清浄空気吹出装置５の拡散ケーシング５２を、内部を流れる清浄空気が整流拡散して吹き出されるように形成するとともに、清浄空気の流れのないデッドスペースが生じないように隣接して配設する。【選択図】図１
2007147180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚を隣接配置した保管棚列と、該保管棚列に沿ってカセットを搬送移載するようにしたスタッカクレーンと、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた保管倉庫室において、互いに隣接する清浄空気吹出装置の拡散ケーシングを、内部を流れる清浄空気が整流拡散して吹き出されるように形成するとともに、清浄空気の流れのないデッドスペースが生じないように隣接して配設したことを特徴とする保管倉庫室内の空気清浄装置。
【請求項２】
清浄空気吹出装置より吹き出す清浄空気の流れが、保管棚の背面位置から保管棚へ、さらにスタッカクレーン走行域の上方から下方を経てリターンエリアを下方から上方に流れ、保管棚の背面位置へと戻り流れるように清浄空気吹出装置を配設したことを特徴とする請求項１記載の保管倉庫室内の空気清浄装置。
【請求項３】
清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置に配設したことを特徴とする請求項１又は２記載の保管倉庫室内の空気清浄装置。
【請求項４】
清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置とロードポートの上方位置とに配設したことを特徴とする請求項１、２又は３記載の保管倉庫室内の空気清浄装置。
【請求項５】
清浄空気吹出装置の拡散ケーシング内部に清浄空気を整流拡散するための整流板を備えるようにしたことを特徴とする請求項１、２、３又は４記載の保管倉庫室内の空気清浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ガラス基板等を保管する液晶基板の保管倉庫室内の空気清浄装置に関し、特に、保管倉庫室（ストッカ）内を走行するスタッカクレーン（搬送装置）等により発生する塵埃による保管倉庫室内の汚染を、清浄空気が流れないデッドスペースを小さくすることにより抑制し、液晶基板等を清浄に保管できるようにした保管倉庫室内の空気清浄装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶ガラス基板等の液晶基板を一時保管する保管倉庫室（ストッカ）Ｓは、特に限定されるものではないが、例えば、図４に示すように、複数枚の液晶基板を収納したカセット１を保管する保管棚２をその長手方向に沿って隣接配置して構成する保管棚列ＳＬに沿ってスタッカクレーン４をその走行路（レール）走行させて、保管棚列ＳＬの各保管棚位置にてカセット１を収納保管或いは払い出すようにするとともに、各保管棚２に保管するカセット１を、詳しくはカセット内に半ば露出した状態で収納する液晶基板を、スタッカクレーン４の走行等によって発生する塵埃等による汚染を防止して清浄に保つようにするために、各保管棚２に清浄空気Ａを供給する清浄空気吹出装置５を備え、この清浄空気吹出装置５より吹き出される清浄空気Ａの流れにて塵埃をカセット１に付着させることなく保管倉庫室外に排出するようにしている。
【０００３】
ところで、近年、高スループットや需要者の要望等の観点から、液晶ガラス基板は、高速搬送や大型化といった方向で生産ラインが構築され、これに伴い、保管倉庫室も大型化してきている。
このような保管倉庫室Ｓにおいては、図５に示すように、保管棚２がある位置に清浄空気吹出装置５を配設しているので、清浄空気が保管棚の背面側から供給され、その周囲はクリーン度が維持されるが、保管棚２がない部分や、大型化された保管棚においては各保管棚毎に清浄空気吹出装置５を隣接するようにして備えていても、図５に示すように、その吹出口がない部分が生じ、このような箇所には清浄空気Ａの流れが生じないデッドスペースとなってクリーン度が維持されにくい。
特に、スタッカクレーン５が高速で走行することによる床面からの塵埃の巻き上がりにて吹出口がない部分の保管棚２に収納されているカセット及びカセット内の液晶基板を汚染するという問題があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、液晶ガラス基板の大型化やスタッカクレーンの高速化に伴って生じる上記の問題点に鑑み、保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止し、かつ保管棚の全域に亘って清浄空気の流れを発生させて保管棚に収納されている液晶基板の塵埃による汚染を防止することができる保管倉庫室内の空気清浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するため、本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置は、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚を隣接配置した保管棚列と、該保管棚列に沿ってカセットを搬送移載するようにしたスタッカクレーンと、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた保管倉庫室において、互いに隣接する清浄空気吹出装置の拡散ケーシングを、内部を流れる清浄空気が整流拡散して吹き出されるように形成するとともに、清浄空気の流れのないデッドスペースが生じないように隣接して配設したことを特徴とする。
【０００６】
この場合において、清浄空気吹出装置より吹き出す清浄空気の流れが、保管棚の背面位置から保管棚へ、さらにスタッカクレーン走行域の上方から下方を経てリターンエリアを下方から上方に流れ、保管棚の背面位置へと戻り流れるように清浄空気吹出装置を配設することができる。
【０００７】
また、清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置に配設することができる。
【０００８】
また、清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置とロードポートの上方位置とに配設することができる。
【０００９】
また、清浄空気吹出装置の拡散ケーシング内部に清浄空気を整流拡散するための整流板を備えることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置によれば、液晶基板を収納するカセットを保管する保管棚を隣接配置した保管棚列と、該保管棚列に沿ってカセットを搬送移載するようにしたスタッカクレーンと、保管棚に清浄空気を供給する清浄空気吹出装置とを備えた保管倉庫室において、互いに隣接する清浄空気吹出装置の拡散ケーシングを、内部を流れる清浄空気が整流拡散して吹き出されるようにするとともに、清浄空気の流れのないデッドスペースが生じないように隣接して配設しているから、隣接する全保管棚内の全体に亘って清浄空気が均一に流れるようになるので、倉庫室の床面から巻き上がる塵埃や、スタッカクレーン下部からの発塵を速やかに除去し、かつカセット及びカセット内に収納した液晶基板を清浄に保つことができる。
【００１１】
また、清浄空気吹出装置より吹き出す清浄空気の流れが、保管棚の背面位置から保管棚へ、さらにスタッカクレーン走行域の上方から下方を経てリターンエリアを下方から上方に流れ、保管棚の背面位置へと戻り流れるように清浄空気吹出装置を配設することにより、倉庫室の床面から巻き上がる塵埃や、スタッカクレーン下部からの発塵をより効果的に除去することができる。
【００１２】
また、清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置に配設することにより、保管棚内の全体に亘って清浄空気が均一に流れるようになり、カセット及びカセット内に収納した液晶基板を効果的に清浄に保つことができる。
【００１３】
また、清浄空気吹出装置を、保管棚の背面位置とロードポートの上方位置とに配設することにより、カセットが保管棚内に保管或いはロードポート上に載置されているいずれの状態でも塵埃の付着を防止し、カセット及びカセット内に収納した液晶基板を清浄に保つことができる。
【００１４】
また、清浄空気吹出装置の拡散ケーシング内部に清浄空気を整流拡散するための整流板を備えることにより、清浄空気の吹出を均一化して拡散されるので、隣接する清浄空気吹出装置間の清浄空気の流れのないデッドスペースを簡易になくして清浄空気吹出装置を配設することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置の実施の形態を、図面に基づいて説明する。
【実施例１】
【００１６】
図１〜図４に、本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置の一実施例を示す。
この液晶基板等を保管するようにした保管倉庫室（ストッカ）Ｓは、主に、液晶基板を収納するカセット１を保管する保管棚２の複数を隣接配置した保管棚列ＳＬと、カセット１を保管倉庫室床に敷設したレール３に沿って搬送するスタッカクレーン４と、各保管棚２に清浄空気Ａを供給する清浄空気吹出装置５とを備えている。
【００１７】
そして、この液晶基板等の保管倉庫室Ｓは、特に限定されるものではないが、例えば、図３及び図４に示すように、カセット１を保管する保管棚２の複数を隣接配置した保管棚列ＳＬを保管倉庫室Ｓ内の長手方向の両側面に沿って２列に配列し、この対向配設した保管棚列ＳＬ、ＳＬ間において、かつ各保管棚列ＳＬに沿って敷設したレール３に導かれて走行するようにしたスタッカクレーン４をそれぞれ配設するとともに、該各スタッカクレーン４の走行路間に仕切壁６、６にて塵埃排出用の空気通路（リターンエリア）７を形成する。
【００１８】
この仕切壁６、６にて形成される塵埃排出用の空気通路（リターンエリア）７は、保管倉庫室Ｓの底部で、かつスタッカクレーン４の走行路側に開口部７１を形成して、保管棚２を経て流通する塵埃を含む空気と一緒にしてスタッカクレーン４にて発生する塵埃をも空気通路（リターンエリア）７側に吸引するようにし、またこの空気通路（リターンエリア）７の上部を保管倉庫室Ｓの内天部に形成した天部空気通路８と導通し、さらにこの天部空気通路８を保管棚２の背部に形成した保管棚裏空気通路９と接続するようにし、これにより、清浄空気吹出装置５より吹き出される清浄空気Ａを保管棚２、開口部７１、空気通路（リターンエリア）７、天部空気通路８、保管棚裏空気通路９を経て循環するように形成する。
この清浄空気吹出装置５は、各保管棚２毎に配設することが望ましいが、清浄空気の流れないデッドスペースが生じないようにすれば、清浄空気吹出装置５の配列は特に限定されるものではない。
なお、清浄空気吹出装置５よりの清浄空気Ａの吹出は、保管棚２にカセット１がある場合は、液晶基板面を汚れにくくするために水平吹出が一般的となっている。
【００１９】
各保管棚２の背部に、或いは保管棚２の背部で保管棚裏空気通路９内に、図１に示す清浄空気吹出装置５を配設し、これにより保管棚裏空気通路９内の空気を吸引し、清浄空気吹出装置５にて清浄空気Ａとして保管棚２内に吹き出すようにする。
なお、図示の実施例では、空気通路（リターンエリア）７を経た空気は、天部空気通路８より保管棚裏空気通路９へ循環するようにしているが、これは特に限定されるものではなく、例えば、空気通路（リターンエリア）７より保管倉庫室Ｓの外部に沿って配設した外部空気通路（図示省略）を経て保管棚裏空気通路９へと循環するようにすることもできる。
【００２０】
この清浄空気吹出装置５は、図１及び図２に示すように、内部にファン５０を収納したファンケーシング本体５１の前面側に突出するようにして先端側が拡幅された形状の拡散ケーシング５２（吹出口ダクトともなる）を配設して清浄空気吹出装置５のケーシング本体を形成し、このファンケーシング本体５１内にフイルタ５３、特に限定されるものではないが、例えば、ＨＥＲＡ等を配設してファンケーシング本体５１側から吸引した空気のろ過を行って清浄空気とし、また拡散ケーシング５２内には整流板５４を配設してフイルタ５３より拡散ケーシング５２内に吹き出される清浄空気を拡散ケーシング５２内全体に拡散するようにし、かつ拡散ケーシング５２の前面にはパンチング板などの吹出板５５を配設して構成する。
なお、この場合、整流板５４は特に限定されるものではなく、図１（Ａ）に示すように、平板状の開口バッフル板を採用することも、或いは図１（Ｂ）に示すように、平板を山形に形成したものを少しの隙間を開けて配列して形成することができる。
【００２１】
これにより、清浄空気吹出装置５は、その吹出板５５より拡散されて吹き出される清浄空気Ａは効率的な気流となって、半ば露出した状態でカセット１に収納されている液晶基板を清浄に保つようになる。
【００２２】
また、この清浄空気吹出装置５は、隣接する各保管棚２の裏側に配設するが、この場合、各清浄空気吹出装置５は、図２に示すように、清浄空気が吹き出されないデッドスペースが生じないようにするが、これは各清浄空気吹出装置５の拡散ケーシング５２が互いに接するように配設することで解消される。
【００２３】
また、図３に示す実施例においては、清浄空気吹出装置５を各保管棚２の裏側と、最下段の保管棚２の下側で、ロードポート１０の上方に配設したものである。これにより、保管棚２側からロードポート１０上に載置されたカセット１の上方からも清浄空気Ａを吹き出すようにする。
【００２４】
次に、本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置の作用について説明する。
保管倉庫室Ｓの気流性状を説明すると、各保管棚２の裏側に配設された清浄空気吹出装置５から拡散されて水平に吹き出された清浄空気Ａは、保管棚２内を経てスタッカクレーン４の走行路空間内を流下し、下部の開口部７１より空気通路（リターンエリア）７側に吸引される。この場合、ロードポート１０の上方位置にも清浄空気吹出装置５が配設されている場合は、このロードポート１０を経た空気も共に開口部７１より空気通路（リターンエリア）７側に吸引される。
その後、天部空気通路８を経て保管棚２の背部に形成した保管棚裏空気通路９内へと流通し、この保管棚裏空気通路９内より各清浄空気吹出装置５のファンにて吸引され、内蔵のフイルタ５３にてろ過された後、再び清浄空気Ａとして保管棚２内に吹き出されるよう循環する。
【００２５】
この清浄空気吹出装置５より吹き出される清浄空気Ａは、拡散ケーシング５２内で整流板５４により拡散され、その後拡散ケーシング５２前面の吹出口よりデッドスペースが生じることなく、均一に効率的に吹き出されるので、カセット内に半ば露出した状態で収納する液晶基板も塵埃による汚染を防止することができる。
【００２６】
また、スタッカクレーン４が走行路に沿って走行し、カセットの搬送、移載を行うとき、下部摺動部から発塵するが、この微細な塵埃も清浄空気Ａが保管倉庫室内全体に亘って循環しているため、この発塵も清浄空気吹出装置５にてろ過除去されるので、保管倉庫室内全体のクリーン度を保持することができる。
【００２７】
以上、本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置について、実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。
【産業上の利用可能性】
【００２８】
本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置は、保管倉庫室での塵埃の巻き上がりを防止するという特性を有していることから、大型の液晶基板の保管倉庫室に好適に用いることができるほか、例えば、ＯＨＶ（天井吊下式自動搬送車）式保管倉庫にも採用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明の保管倉庫室内の空気清浄装置の一実施例を示し、（Ａ）は清浄空気吹出装置の整流板に開口バッフル板を用いた実施例の断面図、（Ｂ）は清浄空気吹出装置の整流板に山形板を用いた実施例の断面図である。
【図２】清浄空気吹出装置の断面図である。
【図３】清浄空気吹出装置の設置状態を示す説明図である。
【図４】保管倉庫室を示す平面図である。
【図５】従来の清浄空気吹出装置の説明図である。
【符号の説明】
【００３０】
１    カセット
２    保管棚
３    レール
４    スタッカクレーン（搬送装置）
５    清浄空気吹出装置
５０  ファン
５１  ファンケーシング本体
５２  拡散ケーシング
５３  フイルタ
５４  整流板
５５  吹出板
６    仕切壁
７    空気通路（リターンエリア）
７１  開口部
８    天部空気通路
９    保管棚裏空気通路
１０  ロードポート
Ａ    清浄空気
Ｓ    保管倉庫室
ＳＬ  保管棚列
【図１】
2007147180.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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