(57)【要約】【課題】流路抵抗が変動することに着目して、チェッキ弁の離脱を判断することができるベローズポンプ及びこれを備えた基板処理装置を提供する。【解決手段】ポンプ本体９のチェッキ弁２１〜２４が破損して離脱すると、ベローズ１９，２０へ吸引またはベローズ１９，２０から吐出される液体の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズ１９，２０が収縮する際の動作時間が短くなる。これを一対の近接センサ３７で検出することができるので、チェッキ弁２１〜２４が破損して離脱したと制御部３９が判断することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を供給するベローズポンプにおいて、
互いに逆方向への液体の流通を許容する一対のチェッキ弁を介して連結され、交互に伸縮駆動される一対のベローズを備え、一対のベローズを交互に伸縮させ、吸引口を介してベローズの内部に吸引された液体を吐出口から吐出するポンプ本体と、
前記一対のベローズが伸縮したことを検出する一対の検出手段と、
前記一対の検出手段の動作時間差に基づいて、前記一対のチェッキ弁の異常を判断する判断手段と、
を備えていることを特徴とするベローズポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のベローズポンプにおいて、
前記一対の検出手段は、近接センサであることを特徴とするベローズポンプ。
【請求項３】
請求項１または２に記載のベローズポンプにおいて、
前記判断手段は、異常を判断した場合に、そのことを示す異常発生信号を出力する出力端子を備えていることを特徴とするベローズポンプ。
【請求項４】
供給配管を介して処理部に処理液を供給し、前記処理部に収容された基板に対して処理液によって基板に対する処理を行う基板処理装置において、
互いに逆方向への処理液の流通を許容する一対のチェッキ弁を介して連結され、交互に伸縮駆動される一対のベローズを備え、一対のベローズを交互に伸縮させ、吸引口を介してベローズの内部に吸引された処理液を吐出口から吐出するポンプ本体と、
前記一対のベローズが伸縮したことを検出する一対の検出手段と、
前記一対の検出手段の動作時間差に基づいて、前記一対のチェッキ弁の異常を判断する判断手段と、
を備えたベローズポンプを前記供給配管に備えているとともに、
前記判断手段が前記一対のチェッキ弁について異常であると判断した場合には、処理を停止させる制御手段を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の基板処理装置において、
前記一対の検出手段は、近接センサであることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
請求項４または５に記載の基板処理装置において、
前記判断手段は、異常を判断した場合に、そのことを示す異常発生信号を出力する出力端子を備えていることを特徴とする基板処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載の基板処理装置において、
前記出力端子に接続され、異常発生信号が出力された場合には、異常発生を報知する報知手段をさらに備えていることを特徴とする基板処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一対のベローズの伸縮によって液体を吐出するベローズポンプ及び、これを備えた、半導体ウエハや液晶表示装置用のガラス基板（以下、単に基板と称する）等の基板を処理液によって洗浄、エッチング、塗布等の処理をする基板処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のベローズポンプとして、互いに逆方向への液体の流通を許容する一対のチェッキ弁を介して連結され、交互に伸縮駆動される一対のベローズを備え、一対のベローズを交互に伸縮させ、吸引口を介してベローズの内部に吸引された液体を吐出口から交互に吐出するポンプ本体と、一対のベローズを駆動する圧縮気体の供給管内圧力を検知する圧力センサと、供給管内圧力が異常であると判定した場合に警報出力を出す異常判定部と、を備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。このような構成により、ベローズが破損した場合に生じる圧力変動を検知して異常を判定できる。
【特許文献１】特開平１０−３２３６０７号公報（段落番号「００１０」、「００１１」、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、高温に加熱された液体を吐出する場合、チェッキ弁が破損してポンプ本体から離脱することがあるが、従来の装置ではそのことを検知することができないという問題がある。これは、チェッキ弁が離脱してもベローズに異常が生じない限り、供給管内の圧力に変化が生じないので、圧力センサではそのことを検知できないからである。
【０００４】
特に、薬品を含む処理液を加熱して圧送する場合には、耐薬品性を高めるためにフッ素樹脂等で構成されたチェッキ弁が樹脂溶接により取り付けられている。そのため樹脂溶接が熱によって溶解する場合があり、ポンプ本体からチェッキ弁が離脱する問題が生じやすい。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、流路抵抗が変動することに着目して、ポンプ本体からのチェッキ弁の離脱を判断することができるベローズポンプ及びこれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項1に記載の発明は、液体を供給するベローズポンプにおいて、互いに逆方向への液体の流通を許容する一対のチェッキ弁を介して連結され、交互に伸縮駆動される一対のベローズを備え、一対のベローズを交互に伸縮させ、吸引口を介してベローズの内部に吸引された液体を吐出口から交互に吐出するポンプ本体と、前記一対のベローズが伸縮したことを検出する一対の検出手段と、前記一対の検出手段の動作時間差に基づいて、前記一対のチェッキ弁の異常を判断する判断手段と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００７】
［作用・効果］請求項1に記載の発明によれば、ポンプ本体のチェッキ弁が破損して離脱すると、ベローズへ吸引またはベローズから吐出される液体の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズが伸長または収縮する際の動作時間が変動する（短くなる）。これを一対の検出手段で検出することができるので、チェッキ弁が破損して離脱したと判断手段が判断することができる。
【０００８】
また、本発明において、一対の検出手段は、近接センサであることが好ましい（請求項２）。ベローズが伸長または収縮した時点を非接触で検出することができるので、接触に起因する故障を回避できる。
【０００９】
また、本発明において、判断手段は、異常を判断した場合に、そのことを示す異常発生信号を出力する出力端子を備えていることが好ましい（請求項３）。異常発生信号を検知する装置を出力端子に接続することにより、ベローズポンプのチェッキ弁に異常が発生したことを判断して、何らかの連係動作を行わせることができる。
【００１０】
また、請求項４に記載の発明は、供給配管を介して処理部に処理液を供給し、前記処理部に収容された基板に対して処理液によって基板に対する処理を行う基板処理装置において、互いに逆方向への処理液の流通を許容する一対のチェッキ弁を介して連結され、交互に伸縮駆動される一対のベローズを備え、一対のベローズを交互に伸縮させ、吸引口を介してベローズの内部に吸引された処理液を吐出口から吐出するポンプ本体と、前記一対のベローズが伸縮したことを検出する一対の検出手段と、前記一対の検出手段の動作時間差に基づいて、前記一対のチェッキ弁の異常を判断する判断手段と、を備えたベローズポンプを前記供給配管に備えているとともに、前記判断手段が前記一対のチェッキ弁について異常であると判断した場合には、処理を停止させる制御手段を備えていることを特徴とするものである。
【００１１】
［作用・効果］請求項４に記載の発明によれば、ポンプ本体のチェッキ弁が破損する等して離脱すると、ベローズへ吸引またはベローズから吐出される処理液の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズが伸長または収縮する際の動作時間が変動する（短くなる）。これを一対の検出手段で検出することができるので、ベローズポンプのチェッキ弁が破損して離脱したと判断手段が判断できる。そして、制御手段は、判断手段が異常であると判断したことを受けて、ベローズポンプの動作を停止させることにより、供給配管を介しての処理部への処理液の供給を停止させる等して処理を停止させる。これにより、基板に対して不適切な処理が継続的に行われることを防止できる。
【００１２】
また、本発明において、前記一対の検出手段は、近接センサであることが好ましく（請求項５）、前記判断手段は、異常を判断した場合に、そのことを示す異常発生信号を出力する出力端子を備えていることが好ましい（請求項６）。また、前記出力端子に接続され、異常発生信号が出力された場合には、異常発生を報知する報知手段をさらに備えていることが好ましい（請求項７）。報知手段が作動することにより、基板処理装置のオペレータは、ベローズポンプに異常が発生して処理が停止されたことを即座に知ることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明に係るベローズポンプによれば、ポンプ本体のチャック弁が破損してポンプ本体から離脱すると、ベローズへ吸引またはベローズから吐出される液体の流路抵抗が小さくなるので、一対のベローズが伸長または収縮する際の動作時間が変動する。これを一対の検出手段で検出することができるので、チェッキ弁が破損してポンプ本体から離脱したと判断手段が判断できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施例について説明するが、実施例１において「ベローズポンプ」の実施例を説明し、実施例２において実施例１におけるベローズポンプを備えた「基板処理装置」について説明する。
【実施例１】
【００１５】
以下、図面を参照して本発明の実施例1を説明する。
図１は、実施例１に係るベローズポンプの概略構成を示す全体図である。
【００１６】
ベローズポンプ１は、容器３と、この容器３の両端部を閉塞するエンドベース部材５と、容器３の内部空間を二分するセンターブロック７とを備えたポンプ本体９を有する。センターブロック７には、互いに連通していない吸引流路１１及び吐出流路１２が形成されている。吸引流路１１には吸引口１３が配設されており、吐出流路１２には吐出口１５が配設されている。吸引口１３は液体供給源１７に連通接続され、吐出口１５は液体の供給先に連通接続される。
【００１７】
センターブロック７には、一対のベローズ１９，２０が取り付けられている。ベローズ１９は、一対のチェッキ弁（吸引側チェッキ弁２１及び吐出側チェッキ弁２２）を介して吸引流路１１及び吐出流路１２に連通接続されている。吸引側チェッキ弁２１は、吸引流路１１からベローズ１９への液体の流通を許容する一方、ベローズ１９から吸引流路１１への液体の流通を規制する。吐出側チェッキ弁２２は、ベローズ１９から吐出流路１２への液体の流通を許容する一方、吐出流路１２からベローズ１９への液体の流通を規制する。また、ベローズ２０は、一対のチェッキ弁（吸引側チェッキ弁２３及び吐出側チェッキ弁２４）を介して吸引流路１１及び吐出流路１２に連通接続されている。吸引側チェッキ弁２３は、吸引流路１１からベローズ２０への液体の流通を許容する一方、その逆方向への液体の流通を規制する。吐出側チェッキ弁２４は、ベローズ２０から吐出流路１２への液体の流通を許容する一方、その逆方向への液体の流通を規制する。一対のベローズ１９，２０は、センターブロック７とは反対側の端部が、センターブロック７に形成されている貫通孔２５に挿通された一つの連結棒２７で連結されている。
【００１８】
なお、センターブロック７、吸引側チェッキ弁２１、吐出側チェッキ弁２２、吸引側チェッキ弁２３、吐出側チェッキ弁２４は、例えば耐薬品性に優れるフッ素樹脂製であり、吸引側チェッキ弁２１、吐出側チェッキ弁２２、吸引側チェッキ弁２３、吐出側チェッキ弁２４はセンターブロック７に樹脂溶接で接着されている。
【００１９】
エンドベース部材５には、それぞれ吸排口２９が形成されている。各吸排口２９には、吸排管３１の一端側が連通接続されており、他端側が５ポートの電磁弁３３のポートに連通接続されている。電磁弁３３の供給口には、圧縮空気が供給されており、与えられた切り換え信号に応じていずれか一方の吸排管３１だけに圧縮空気を供給する。各吸排管３１には、大気開放弁３５が配設されている。この大気開放弁３５は、与えられた開放信号に応じて吸排管３１内部を大気圧に開放するという動作を行う。
【００２０】
各エンドベース部材５には、近接センサ３７が埋設されている。これらの近接センサ３７は、一対のベローズ１９，２０の各々が伸長した場合における端部を非接触で検出する。各近接センサ３７は、ベローズ１９，２０の端部を検出した場合にのみ検出信号を出力する。これらの近接センサ３７は、本発明における一対の検出手段に相当する。
【００２１】
上述した電磁弁３３と、二つの大気開放弁３５と、二つの近接センサ３７は、本発明における判断手段に相当する制御部３９によって制御されている。制御部３９は、電磁弁３３に対して所定のタイミングで切り換え信号を与え、両吸排管３１に対して交互に圧縮空気を送り込む。また、交互の圧縮空気の送り込みとは逆のタイミングで、大気開放弁３５に対して開放信号を与え、両吸排管３１を交互に大気開放にする。これにより、センターブロック７で仕切られた容器３の両空間の圧力を調整して、ベローズ１９（Ａ側）とベローズ２０（Ｂ側）とを交互に伸縮させる。
【００２２】
制御部３９は、制御部３９の制御の下で計時を行う第１タイマ４１及び第２タイマ４３を備えている。第１タイマ４１は、Ａ側の近接センサ３７がオンしてからＢ側の近接センサ３７がオンするまでの時間を計時する。つまり、ベローズ１９が伸長し、ベローズ２０が収縮した状態から、その逆の状態になるまでのＡＢ動作時間を計時する。第２タイマ４３は、Ｂ側の近接センサ３７がオンしてからＡ側の近接センサ３７がオンするまでの時間を計時する。つまり、ベローズ２０が伸長し、ベローズ１９が収縮した状態から、その逆の状態になるまでＢＡ動作時間を計時する。
【００２３】
制御部３９は、ＡＢ動作時間とＢＡ動作時間とを比較し、その差が一定時間を超える場合には、動作時間差に異常があると判断する。そして、出力端子４５に対して異常発生信号を出力する。この出力端子４５には、例えば、ブザーやランプなどの報知手段が接続される。
【００２４】
ここで、発明者等が行った実験について表１及び表２を参照して説明する。この実験では、破損状態を模擬するために、吸引側チェッキ弁２１または吐出側チェッキ弁２２を意図的に取り外し、通常どおりにベローズポンプ１を駆動させた状態で、一方の近接センサ３７がオンしてから他方の近接センサ３７がオンするまでの動作時間を測定した。
【００２５】
【表１】
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【００２６】
「ＡＢ動作時間」
ベローズ１９が伸長した状態から収縮し、ベローズ２０が収縮した状態から伸長する場合には、正常な状態であればベローズ１９内の液体が吐出側チェッキ弁２２だけを通って吐出流路１２に流出する。しかし、吸引側チェッキ弁２１を取り外した状態では、ベローズ１９が収縮する際に吸引流路１１にも液体が流出する。このとき、流路抵抗は正常時よりも著しく小さいので、ＡＢ動作時間は正常時よりも極めて短くなる（６８０ｍｓｅｃ→３５０ｍｓｅｃ）。但し、吐出側チェッキ弁２２を取り外した状態では、流路抵抗が大差ない関係上、動作時間はあまり変わらない（６８０ｍｓｅｃ→６５０ｍｓｅｃ）。
【００２７】
【表２】
2007220897.tif 000004
【００２８】
「ＢＡ動作時間」
ベローズ２０が伸長した状態から収縮し、ベローズ１９が収縮した状態から伸長する場合には、正常な状態であればベローズ１９内へ吸引側チェッキ弁２１を通って流入する。吸引側チェッキ弁２１を取り外した状態では、ベローズ１９が伸長する際に吸引流路１１から直接的にベローズ１９に液体が流入するものの、流路抵抗が正常時と大差ないので、動作時間はあまり変化がない（６５０ｍｓｅｃ→６４０ｍｓｅｃ）。一方、吐出側チェッキ弁２２を取り外した状態では、ベローズ１９が伸長する際に、吸引側チェッキ弁２１から液体がベローズ１９内に流入するだけでなく、吐出流路１２に貯留している液体が逆にベローズ１９内に吸引されることになる。したがって、流路抵抗が正常時よりも顕著に小さくなるので、ＢＡ動作時間は正常時よりも極めて短くなる（６５０ｍｓｅｃ→３３０ｍｓｅｃ）。
【００２９】
上述したような動作時間の変化は、吐出口１５に接続する負荷をφ６からφ１０に代えても同様の傾向があることがわかった。このようにチェッキ弁を取り外した状態において生じる動作時間の差に着目してチェッキ弁の離脱を検出するのである。
【００３０】
次に、図２を参照して動作について説明する。なお、図２は、ベローズポンプにおける異常発生検出の動作を示すフローチャートである。
【００３１】
ステップＳ１
制御部３９が電磁弁３３及び大気開放弁３５を駆動して、ベローズポンプ１を作動させ、一対のベローズ１９，２０を交互に繰り返し伸縮させ始める。例えば、Ｂ側に圧縮空気が送られると、ベローズ２０が収縮するとともにベローズ１９が伸長する。そして、ベローズ１９が近接センサ３７で検出される。
【００３２】
ステップＳ２〜Ｓ４
制御部３９は、第１タイマ４１を作動させ計時を開始させる。その後、ベローズ１９が収縮し、ベローズ２０が伸長して近接センサ３７により検出される。すると、制御部３９は、第１タイマ４１の計時を停止させるとともに（ＡＢ動作時間）、第２タイマ４３の作動させ計時を開始させる。
【００３３】
ステップＳ５，Ｓ６
制御部３９は、次に近接センサ３７がオンすると、第２タイマ４３の計時を停止させる（ＢＡ動作時間）。
【００３４】
ステップＳ７，Ｓ８
上記のＡＢ動作時間とＢＡ動作時間との差に基づいて、制御部３９は異常が発生したか否かを判断する。つまり、上述した実験結果から明らかなように、ＡＢ動作時間とＢＡ動作時間の差分が所定値よりも大きい場合（例えば、１００ｍｓｅｃ）には異常であると判断する。そして、制御部３９は、出力端子４５に異常発生信号を出力する。差が小さい場合には、正常と判断して、上記ステップＳ１に戻って一連の処理を繰り返し実行する。
【００３５】
上述したように、ポンプ本体９のチェッキ弁２１〜２４が破損して離脱すると、ベローズ１９，２０へ吸引またはベローズ１９，２０から吐出される液体の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズ１９，２０が収縮する際の動作時間が短くなる。これを一対の近接センサ３７で検出することができるので、チェッキ弁２１〜２４が破損して離脱したと制御部３９が判断することができる。
【００３６】
また、異常発生信号を出力する出力端子４５を備えており、ここに異常発生信号を検知する装置を出力端子に接続することで、ベローズポンプ１のチェッキ弁２１〜２４に異常が発生したことを判断して、何らかの連係動作を行わせることができる。
【００３７】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００３８】
（１）近接センサ３７をセンターブロック７側に設け、収縮した時点でベローズ１９，２０を検出する構成としてもよい。
【００３９】
（２）近接センサ３７を容器３の上部に埋設して、側方からベローズ１９，２０を検出するように構成してもよい。
【００４０】
（３）近接センサ３７は、ベローズ１９，２０が収縮した時点を非接触で検出することができるので、ベローズ１９，２０との接触に起因する故障を回避できるが、これに代えて接触式のリミットスイッチなどを採用してもよい。
【実施例２】
【００４１】
次に、図面を参照して、上述した実施例１のベローズポンプ１を備えた基板処理装置を本発明の実施例２として説明する。図３は、実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す全体図である。
【００４２】
この基板処理装置は処理部としての処理槽５１を備え、処理槽５１は、内槽５３と、内槽５３から溢れた処理液を回収する外槽５５とを備えている。内槽５３には、基板Ｗを内槽５１内の処理位置と、内槽５１の上方にあたる待機位置とにわたって昇降可能な保持アーム５７が付設されている。保持アーム５７は、鉛直姿勢のアーム５９と、このアーム５９の下部に備えられ、基板Ｗを起立姿勢で当接支持する支持部材６１とを備えている。
【００４３】
内槽５３は、底部に処理液を供給するための噴出管６３を備えている。また、外槽５５は、回収した処理液を排出するための排出口６５を備えている。噴出管６３と排出口６５とは、供給配管６７で連通接続されている。この供給配管６７には、排出口６５側から順に、ベローズポンプ１と、インラインヒータ７３と、フィルタ７５とが配設されている。インラインヒータ７３は、流通する処理液を加熱する機能を備え、フィルタ７５は、処理液中のパーティクル等を除去する機能を備えている。
【００４４】
排出口６５とベローズポンプ１との間には、処理液供給源７７が連通接続されている。処理液としては、例えば、燐酸が挙げられる。ここから供給配管６７へ供給された処理液は、インラインヒータ７３により、例えば、１６０℃や１７０℃の高温に加熱された上で内槽５３へ供給される。処理液供給源７７と排出口６５との間における供給配管６７の一部位には、分岐管７９が連通接続されている。分岐管７９には、開閉弁８１が取り付けられている。開閉弁８１は、供給配管６７や外槽５５に貯留している処理液を排出する際に開放される。
【００４５】
内槽５３の底部中央付近には、排液口８３が形成されている。この排液口８３には、排出管８５が連通接続されている。排出管８５は、内槽５３に処理液を貯留する際に閉止され、貯留している処理液を排出する際に開放される開閉弁８７を備えている。
【００４６】
主制御部８９は、上述した保持アーム５７の昇降、インラインヒータ７３の温調、開閉弁８１，８７の開閉などを制御する。制御部３９は、主制御部８９の制御の下で、ベローズポンプ１を制御して、供給配管６７における処理液の流量を制御したり、ベローズポンプ１の異常発生を検出し、異常発生信号を出力端子４５に出力したりする。出力端子４５には、アラーム９１が接続されている。アラーム９１は、例えば、装置のオペレータに対してベローズポンプ１に異常が発生したことを報知するものであり、例えば、ブザーやランプなどが挙げられる。また、主制御部８９は、制御部３９が異常を検出した場合に、装置による処理を停止させる。
【００４７】
なお、上記のアラーム９１が本発明における報知手段に相当し、主制御部８９が本発明における制御手段に相当する。
【００４８】
次に、図４を参照して、上述した基板処理装置の動作について説明する。なお、図４は、基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【００４９】
ステップＳ１０
主制御部８９は、装置のオペレータから図示しない指示部を介して処理開始の指示を受ける。すると、開閉弁８１，８７を閉止するとともに、基板Ｗを保持した保持アーム５７を待機位置で待機させる。
【００５０】
ステップＳ１１
主制御部８９は、制御部３９を介してベローズポンプ１を作動させ、処理液供給源７７から処理液を供給配管６７に流通させる。そして、インラインヒータ７３を制御して所定の処理温度にまで加熱する。内槽５３に供給された処理液は、溢れた外槽５５により回収され、再び供給配管６７に戻されて循環される。
【００５１】
ステップＳ１２〜Ｓ１５
ベローズポンプ１を作動させ始めるとともに、実施例１で説明した異常発生検出の処理を実行し、異常発生信号の有無に応じて処理を分岐する。
すなわち、異常発生信号がなければ、処理を継続し、処理が終了するまでステップＳ１２からステップＳ１４の処理を繰り返す。一方、処理液の高熱等に起因して、樹脂溶接してあるチェッキ弁が離脱して異常発生信号が出力されている場合には、ステップＳ１５へ処理を移行し、アラーム９１から警報を発するとともに処理を停止させる。処理の停止は、例えば、処理液に代えて純水を供給したり、開閉弁８７を開放して処理液を急速排出したり、保持アーム５７を待機位置へ上昇させたり、次のステップＳ１６のようにベローズポンプ１を停止させたりなどがある。
【００５２】
ステップＳ１６
ベローズポンプ１の動作を停止させる。
【００５３】
上述したように、ベローズポンプ１のチェッキ弁２１〜２４が破損する等して離脱すると、ベローズ１９，２０へ吸引またはベローズ１９，２０から吐出される処理液の流路抵抗が小さくなる。したがって、一対のベローズ１９，２０が収縮する際の動作時間が短くなる。これを近接センサ３７で検出することができるので、ベローズポンプ１のチェッキ弁２１〜２４が破損して離脱したと制御部３９が判断できる。そして、主制御部８９は、制御部３９が、ベローズポンプ１に異常が発生したと判断したことを受けて、ベローズポンプ１の動作を停止させることにより、供給配管６７を介しての処理槽への処理液の供給を停止させる等して処理を停止させる。これにより、基板Ｗに対して不適切な処理が継続的に行われることを防止できる。
【００５４】
本発明は、上記実施形態に限られることはなく、下記のように変形実施することができる。
【００５５】
（１）上述した基板処理装置は、処理液を循環させる供給配管６７を備えているが、処理液を循環させない方式であっても本発明を適用できる。
【００５６】
（２）報知手段であるアラーム９１を備えることなく、制御部３９が異常発生を検出した場合には、主制御部８９と協働して装置の動作を停止させるように構成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】実施例１に係るベローズポンプの概略構成を示す全体図である。
【図２】ベローズポンプにおける異常発生検出の動作を示すフローチャートである。
【図３】実施例２に係る基板処理装置の概略構成を示す全体図である。
【図４】基板処理装置の動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５８】
１  …  ベローズポンプ
３  …  容器
７  …  センターブロック
９  …  ポンプ本体
１１  …  吸引流路
１２  …  吐出流路
１９，２０  …  一対のベローズ
２１  …  吸引側チェッキ弁
２２  …  吐出側チェッキ弁
２３  …  吸引側チェッキ弁
２４  …  吐出側チェッキ弁
３７  …  近接センサ
３９  …  制御部
４１  …  第１タイマ
４３  …  第２タイマ
４５  …  出力端子
Ｗ  …  基板
５１  …  処理槽
５３  …  内槽
５５  …  外槽
５７  …  保持アーム
６７  …  供給配管
７３  …  インラインヒータ
８９  …  主制御部
９１  …  アラーム
【図１】
2007220897.tif 000005
【図２】
2007220897.tif 000006
【図３】
2007220897.tif 000007
【図４】
2007220897.tif 000008