(57)【要約】【課題】  同軸型の特長である高いQを得るとともに、積層構造による小型、低背位化を実現するとともに、低損失で高減衰量の特性を有する誘電体フィルタを提供する。【解決手段】  誘電体セラミック内に2つ以上の貫通孔を具えた誘電体フィルタの製造方法において、セラミック誘電体グリーンシートを積層して圧着し、積層した当該シートを貫通する複数の孔を所定の間隔で形成し、それらの貫通孔を少なくとも２つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、それらの素子を焼成し、貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成する。【選択図】  図１
2007028139.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体セラミック内に2つ以上の貫通孔を具えた誘電体フィルタの製造方法において、
セラミック誘電体グリーンシートを積層して圧着し、
積層した当該シートを貫通する複数の孔を所定の間隔で形成し、
それらの貫通孔を少なくとも２つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、
それらの素子を焼成し、
貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成することを特徴とする誘電体フィルタの製造方法。
【請求項２】
誘電体セラミック内に貫通孔を具えた誘電体共振器の製造方法において、
セラミック誘電体グリーンシートを積層して圧着し、
積層した当該シートを貫通する複数の孔を所定の間隔で形成し、
それらの貫通孔を少なくとも１つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、
それらの素子を焼成し、
貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成することを特徴とする誘電体共振器の製造方法。
【請求項３】
少なくとも内導体の焼付けを素子の焼成と同時に焼付けする請求項１または請求項2記載の製造方法。
【請求項４】
誘電体セラミック内に2つ以上の貫通孔を具えた誘電体フィルタの製造方法において、
セラミック誘電体グリーンシートに所定の配置で複数の貫通孔を形成し、
そのセラミック誘電体グリーンシートを孔の位置を合わせて積層して圧着し、
それらの貫通孔を少なくとも２つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、
それらの素子を焼成し、
貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成することを特徴とする誘電体フィルタの製造方法。
【請求項５】
誘電体セラミック内に貫通孔を具えた誘電体共振器の製造方法において、
セラミック誘電体グリーンシートに所定の配置で複数の貫通孔を形成し、
そのセラミック誘電体グリーンシートを孔の位置を合わせて積層して圧着し、
それらの貫通孔を少なくとも１つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、
それらの素子を焼成し、
貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成することを特徴とする誘電体共振器の製造方法。
【請求項６】
シートを積層した後に孔を成形して貫通孔を形成する請求項４又は請求項５記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は同軸型の誘電体共振器およびフィルタの製造方法に係るもので、特に、積層チップフィルタの製造方法によって誘電体共振器とそれらを組み合わせたフィルタを構成する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
同軸型ブロックタイプの誘電体フィルタは、誘電体ブロックに複数の平行な貫通孔が形成されて、貫通孔の表面に内導体、ブロックの表面に外導体、端面の一方に短絡導体が形成される。このタイプの誘電体フィルタは、その製造プロセスが金型成型、溝加工や貼り合わせの工程を必要とするので、小型化や低背化が困難であった。これまでのところ、高さの寸法限界は1.2mmで、最近の要求の主流となっている1.0mmMAX、0.6mmMAXといった仕様に対応することが難しくなっている。また、高いアスペクト比の誘電体ブロックや、中心（内）導体を形成するための細い孔の成形も困難になっているし、細い孔への導体膜形成はめっきやペースト注入によって行うが、サイズが小さくなるにしたがって困難となる。
【０００３】
集中定数で構成される積層LCフィルタもあるが、そのインダクタンス部分やストリップラインの部分はリボン状の構造となるので、電界がそのエッジに集中する。このため、同軸方の電極構造を有するブロックタイプの誘電体フィルタよりもQが小さくなってしまい、それによってフィルタの特性も下がることが避けられない。
【特許文献１】特開２００３−６０４０６号公報
【特許文献２】特開２００３−８３０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、同軸型の特長である高いQを得るとともに、積層構造による小型、低背位化を実現するとともに、低損失で高減衰量の特性を有する誘電体フィルタを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、シート積層工法を利用することによって、上記の課題を解決するものである。すなわち、誘電体セラミック内に2つ以上の貫通孔を具えた誘電体フィルタの製造方法において、セラミック誘電体グリーンシートを積層して圧着し、積層した当該シートを貫通する複数の孔を所定の間隔で形成し、それらの貫通孔を少なくとも２つ含むように積層した当該シートを切断して複数の素子に分割し、それらの素子を焼成し、貫通孔に内導体を、素子の表面に外導体、短絡導体および端子電極を形成することに特徴を有するものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、誘電体同軸フィルタに積層構造を採用することにより、細孔の柱状電極を形成できるので、高アスペクト比の誘電体ブロックを得ることができるようになる。その結果としてモノブロックタイプの誘電体フィルタの低背化が可能となった。従来1.2mmが限界とされていたものを、0.6mmまで下げることができた。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明のプロセスを示すと次の順序となる。
（１）セラミック誘電体グリーンシートの積層
（２）積層体への貫通孔の形成
（３）チップへの分割
（４）焼成
（５）電極塗布、焼付
なお、（５）の電極の塗布を（３）のチップへの分割後に行って、焼成と焼付を同時に行うこともできる。また、セラミック誘電体グリーンシートにあらかじめ孔を形成しておき、位置合わせをしながら積層し、その後に貫通孔の高精度の加工を行うようにしてもよい。
【実施例】
【０００８】
以下、図面を参照して、本発明の実施例について説明する。図１に示した例は、2素子のインターデジタル型の誘電体フィルタを製造するものである。セラミック誘電体グリーンシートを積層して所定の厚みとする。この厚みは、セラミック誘電体の誘電率と焼成後の収縮した長さで決まる誘電体フィルタの共振周波数から逆算して所定の枚数を重ねて圧着する。あらかじめレーザ加工等によってシートに孔を形成しておいてもよく、その場合にはその孔をガイドに差すなどして位置合わせをしながら積層する。（図１a）
【０００９】
シートが積層されて仮圧着された誘電体に、積層方向（すなわちシート表面に垂直な方向）に所定の間隔で穿孔して貫通孔を形成する。この工程は、高速ドリル、パンチ等によって行う。前記のようにあらかじめシートに孔を形成しておいた場合には、その孔の直径よりも僅かに広い孔を形成するようにするとよく、孔の形成時間を短くすることができるし、精度の維持も容易となる。（図１ｂ）
【００１０】
ここで、貫通孔の表面に最終的に誘電体フィルタの内導体となる導体膜を形成しておくことができる。この導体膜は、誘電体ブロックの焼成後に形成してもよいが、分割前に一括して多数の貫通孔に導体膜が形成できるので、製造工数の面では有利となる。その後に素子に切断して誘電体ブロックのチップを得る。（図１ｃ、図１ｄ）
【００１１】
このチップの状態で焼成するが、焼成の前に誘電体ブロックの表面および端面の所定の位置に導体膜を形成しておくとよい。表面に形成される導体膜が外導体となり、端面の一部に形成される導体膜が短絡導体となり、外導体の一部を分離して内導体と対向する導体膜が結合容量を得る端子電極となる。セラミック誘電体の焼成と同時に導体膜の焼付も行われて、図２に示した誘電体フィルタが得られる。
【００１２】
本発明においてはセラミック誘電体がグリーンシートの状態で穿孔することが必要であるが、導体膜の形成順序等は任意に変えることができる。また、導体膜の信頼性を高めるとともに高いQを維持するためにめっきを施す工程を付加してもよい。
【００１３】
上記のような製造方法を利用して図３に示すサイズの素子を試作した。すなわち、長さ2.8mm、幅1.6mm、高さ0.6mmの誘電体ブロックに直径0.2mmの貫通孔を形成して図２と同様な電極を形成した２素子のフィルタである。その特性を図４に示す。中心周波数が5.874GHz、ピークから0.8dB減衰する帯域幅が250MHz、5.8−5.85GHzの挿入損失が2.2dBとなっていた。同じ体積の集中定数型の積層フィルタに比較して共振器のQを高くできるので、シャープな減衰特性が得られる。
【００１４】
上記の例は2素子のインターデジタル構造であるが、コムラインでもよいし、素子数は3素子以上任意の数とすることができる。もちろん、デユプレクサや帯域阻止フィルタに利用することもできるし、1素子として共振子やトラップとすることもできる。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明は、移動体通信機器の端末用のフィルタなど、小型、薄型、軽量の要求が強い分野のフィルタの製造に適したものである。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の実施例を示す斜視図
【図２】本発明により得られる誘電体フィルタの斜視図
【図３】本発明により得られる誘電体フィルタの斜視図
【図４】本発明により得られる誘電体フィルタの特性の説明図
【符号の説明】
【００１７】
11：セラミック誘電体グリーンシート
13：貫通孔
15：入出力電極（端子）
17：アース電極（外導体、短絡導体）
【図１】
2007028139.tif 000003
【図２】
2007028139.tif 000004
【図３】
2007028139.tif 000005
【図４】
2007028139.tif 000006