(57)【要約】【課題】低コストで、高速伝送が可能なマルチモード光通信システムおよび多波長面発光素子を提供する。【解決手段】基板１には、光を出射するアパーチャ９ａの直径が８μｍ以下であって、波長が異なるシングルモードの光を出射する２つのＶＣＳＥＬ（面発光レーザ）２，３が設けられており、そのアパーチャ９ａに外接する円の直径Ｄは、マルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径よりも小さくしてある。これにより、ＶＣＳＥＬ２，３から出射されたレーザ光を光学系を介することなく直接コア２１に導光することができる。【選択図】図１
2007214430.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マルチモード光ファイバと、
光を出射するアパーチャの直径が８μｍ以下であって、波長が異なる複数のシングルモードの光を前記マルチモード光ファイバに入射する複数の面発光レーザと備えたことを特徴とするマルチモード光通信システム。
【請求項２】
前記複数の面発光レーザは、前記複数のシングルモードの光を光学系を介さずに前記マルチモード光ファイバに入射することを特徴とする請求項１に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項３】
前記複数の面発光レーザは、複数の前記アパーチャに外接する円の直径が、前記マルチモード光ファイバのコアの直径よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項４】
前記複数のアパーチャに外接する円の直径は、５０μｍ以下であることを特徴とする請求項３に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項５】
前記複数の面発光レーザは、共通の基板上に形成されたことを特徴とする請求項１に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項６】
前記複数の面発光レーザは、位相調整層の厚みが相互に異なることにより前記複数のシングルモードの光の波長が相互に異なることを特徴とする請求項１に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項７】
前記複数の面発光レーザは、発振波長のピークが相互に１５ｎｍ以上離れていることを特徴とする請求項１に記載のマルチモード光通信システム。
【請求項８】
共通の基板上に、光を出射するアパーチャの直径が８μｍ以下であって、波長が異なる複数のシングルモードの光を出射する複数の面発光レーザを備え、
前記複数の面発光レーザは、位相調整層の厚みが相互に異なることにより前記複数のシングルモードの光の波長が相互に異なることを特徴とする多波長面発光素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発振波長が異なる複数の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ：Vertical Cavity Surface Emitting Laser）とマルチモード光ファイバを用いたマルチモード光通信システム、および発振波長が異なる複数の面発光レーザを備えた多波長面発光素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＦＴＴＨ（Fiber To The Home）に代表される光通信は、非常に速い速度で一般家庭へも浸透し、大変身近な存在になってきている。また、光通信のメリットである超高速性を生かしてアクセス系においても１Ｇｂｐｓから１００Ｇｂｐｓへと移行していくのは必至である。
【０００３】
光通信には、高速伝送及び長距離通信に適したシングルモード光ファイバや、短距離で使用でき、取り扱いが比較的楽で安価なマルチモード光ファイバが用いられる。シングルモード光ファイバは、光の伝播領域であるコアの直径が１０μｍ以下と非常に小さく、この部分に外部から光を正確に導光するのは難しい。このため、光学系の調整が大変で、コストがかかるといった問題がある。マルチモード光ファイバは、コアの直径が一般に５０μｍ以上と大きいため、光学系の調整が容易となる。また、マルチモード光ファイバは、複数のモードの光がコア内を伝播し、光の伝播速度がモード毎に異なるため、光信号が時間的に広がるので、長距離通信には使えず、数１００ｍ以下の短距離で使用される。
【０００４】
広く一般のユーザまでに普及させるためには、安価であることが重要であり、マルチモード光ファイバを用いることにより低コスト化が期待できる。
【０００５】
このようなマルチモード光ファイバを用いた従来の光通信システムとして、例えば、マルチモード光ファイバと、アパーチャの直径が８μｍよりも大きい単一の面発光レーザとを用いたものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。このシステムは、積極的に高次のモードを信号伝達に使用している。
【０００６】
また、波長の異なる複数の面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）を用いて１本のマルチモード光ファイバに導光する方式も検討されている。
【０００７】
図６は、そのマルチモード光通信システムの一例を示す。このマルチモード光通信システム２００は、波長が異なる第１および第２のＶＣＳＥＬ２０１，２０２からのレーザ光を、第１および第２の光導波路２０３，２０４とレンズ２０５を介してコア２０６ａ及びクラッド２０６ｂからなるマルチモード光ファイバ２０６に導光している。この構成によれば、ＶＣＳＥＬの間隔が大きくても、マルチモード光ファイバ２０６のコア２０６ａに導光することができる。
【０００８】
また、従来のマルチモード光ファイバとして、例えば、波長が異なる複数のＶＣＳＥＬをマウンタに取り付け、レンズ等の光学系を介さずにマルチモード光ファイバに導光するものが知られている（例えば、特許文献２参照。）また、量子井戸活性層の材料、例えば、ＡｌとＧａの比を適宜調整することで、波長が２０ｎｍずつ異なる発振波長を得ている。
【０００９】
同一基板上に形成した複数のＶＣＳＥＬ間で発振波長を変える従来の方法として、ＶＣＳＥＬ間でメサの径を変えてＭＯＣＶＤ（Metal Organic Chemical Vapour Deposition：有機金属気相成長法）の体積速度に影響を与え、ＤＢＲやＭＱＷ（multi Quantum Well：多重量子井戸構造）の全体の膜厚が異なり、それによりキャビティ長を変えて発振波長を変化させる方法や（例えば、非特許文献１参照。）、共振器部分または導波路部分の断面積を変えることにより、発振波長を変化させる方法がある（特許文献３参照。）。
【特許文献１】特許第３４８０９８９号公報
【特許文献２】特開２００５−３８４７号公報
【非特許文献１】ＩＥＥＥ  Ｐｈｏｔｏｎｉｃｓ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ  Ｌｅｔｔｅｒｓ  Ｖｏｌ．７，  Ｎｏ．１  ｐ１０（１９９５）
【特許文献３】特開平６−９７５７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、特許文献１の構成によると、光ファイバに高次モードが多く入射すると、モード間の群遅延が発生し、高速伝送には不向きとなる。
【００１１】
また、図６に示す構成では、レンズ等の光学系を介してマルチモード光ファイバに導光しているため、マルチモード光ファイバ、光学系およびＶＣＳＥＬ間のアライメントに手間がかかり、コスト高を招く。
【００１２】
マルチモード光ファイバを用いた光通信システムを安価に構成する場合、受信側で波長の分離を行うのに低価格のエッジフィルタを使用できるようにするため、２波長ＶＣＳＥＬの発振波長が１５ｎｍ以上、望ましくは２０ｎｍ以上離れていることが必要である。
【００１３】
しかし、特許文献２の構成によると、波長差２０ｎｍを得ることができるが、ＶＣＳＥＬ間を正確に保持してマウンタに実装する必要があり、実装に要する手間がかかる。また、非特許文献１の構成によると、ＭＯＣＶＤ装置内のガス分布の影響を直接受けるため、再現性に乏しい。特許文献３の構成では、変化できる波長の範囲が数ｎｍ以下と非常に狭く、ＤＷＤＭ(Dense Wavelength Division Multiplexing)用光源にしか使用できず、１５ｎｍ以上の大きな波長分離には向かない。
【００１４】
従って、本発明の目的は、低コストで、高速伝送が可能なマルチモード光通信システムおよび多波長面発光素子を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の一態様は、上記目的を達成するため、以下のマルチモード光通信システムおよび多波長面発光素子を提供する。
【００１６】
［１］マルチモード光ファイバと、光を出射するアパーチャの直径が８μｍ以下であって、波長が異なる複数のシングルモードの光を前記マルチモード光ファイバに入射する複数の面発光レーザと備えたことを特徴とするマルチモード光通信システム。
【００１７】
上記構成のマルチモード光通信システムによれば、光ファイバとして、比較的安価なマルチモード光ファイバを用いることにより、システムの低コスト化が図れる。また、波長が異なる各面発光レーザのアパーチャの直径を８μｍ以下とすることにより、シングルモードの光を出射することが可能となり、高速伝送が可能となる。なお、より完全なシングルモードを得るには、アパーチャの直径を６μｍ以下とするのが好ましい。また、レーザとして、面発光レーザを用いることにより、発光点の２次元的配置が容易となる。ここで、本特許請求の範囲及び明細書において、「アパーチャ」とは、酸化狭窄層のアパーチャをいう。
【００１８】
［２］前記複数の面発光レーザは、前記複数のシングルモードの光を光学系を介さずに前記マルチモード光ファイバに入射することを特徴とする前記[１]に記載のマルチモード光通信システム。光学系を用いないことにより、部品点数を削減することができ、アライメントが容易となる。光学系には、コリメータレンズや集光レンズ等が含まれる。なお、必要に応じて光学系を用いてもよい。
【００１９】
［３］前記複数の面発光レーザは、複数の前記アパーチャに外接する円の直径が、前記マルチモード光ファイバのコアの直径よりも小さいことを特徴とする前記[１]に記載のマルチモード光通信システム。この構成によれば、各面発光レーザからのレーザ光を光学系を介さずにマルチモード光ファイバに導光することができる。
【００２０】
［４］前記複数のアパーチャに外接する円の直径は、５０μｍ以下であることを特徴とする前記[３]に記載のマルチモード光通信システム。マルチモード光ファイバのコア径は、一般に５０μｍ以上であるので、複数のアパーチャに外接する円の直径を５０μｍ以下とすることにより、各面発光レーザからのレーザ光を光学系を介さずにマルチモード光ファイバに入射させることができる。
【００２１】
［５］前記複数の面発光レーザは、共通の基板上に形成されたことを特徴とする前記[１]に記載のマルチモード光通信システム。この構成によれば、面発光レーザ間の位置合わせ作業が不要になる。
【００２２】
［６］前記複数の面発光レーザは、位相調整層の厚みが相互に異なることにより前記複数のシングルモードの光の波長が相互に異なることを特徴とする前記[１]に記載のマルチモードマルチモード光通信システム。この構成によれば、発光点間隔（またはピッチ）を短くすることができ、発振波長差を大きくすることができる。位相調整層は、ＴｉＯ２膜等の半導体やＳｉＯ２膜、Ｓｉ３Ｎ４膜等の誘電体から構成することができる。
【００２３】
［７］前記複数の面発光レーザは、発振波長のピークが相互に１５ｎｍ以上離れていることを特徴とする前記［１］に記載のマルチモード光通信システム。この構成により、受信側で波長分離を行うのに、低価格のエッジフィルタを用いることができ、システムの低コスト化が図れる。なお、発振波長のピークは、相互に２０ｎｍ以上離れていることが好ましい。
【００２４】
［８］共通の基板上に、光を出射するアパーチャの直径が８μｍ以下であって、波長が異なる複数のシングルモードの光を出射する複数の面発光レーザを備え、前記複数の面発光レーザは、位相調整層の厚みが相互に異なることにより前記複数のシングルモードの光の波長が相互に異なることを特徴とする多波長面発光素子。
【００２５】
上記構成の多波長面発光素子によれば、波長が異なる各面発光レーザのアパーチャの直径を８μｍ以下とすることにより、シングルモードの光を出射することが可能となり、高速伝送が可能となる。なお、より完全なシングルモードを得るには、アパーチャの直径を６μｍ以下とするのが好ましい。位相調整層の厚みが相互に異なることにより発振波長を変更することにより、発振波長差を大きくすることができる。また、レーザとして、面発光レーザを用いることにより、発光点の２次元的配置が容易となる。特に、３波長以上を用いる場合は、同心円上に発光点を配置することができ、マルチモード光ファイバのコアに直接導光することが容易となる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明によれば、低コストで、高速伝送が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
［第１の実施の形態］
（多波長面発光素子の構成）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る多波長面発光素子を示す。この多波長面発光素子１００は、波長が異なる２つのシングルモードの光を出射する第１および第２のＶＣＳＥＬ２，３をＧａＡｓ等からなる共通の基板１上にモノリシックに作製したものであり、マルチモード光ファイバ２０の端面に近接配置されて用いられる。
【００２８】
第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３は、円柱状のメサ部４Ａ，４Ｂと、メサ部４Ａ，４Ｂの上面に出射窓５ａが形成された電極５Ａ，５Ｂとを備えている。そして、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３の後述する酸化狭窄層の各アパーチャ９ａに外接する円の直径Ｄは、マルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径以下にしている。なお、メサ部４Ａ，４Ｂの外形は、角柱状であってもよい。
【００２９】
また、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３は、発振波長のピークが１５ｎｍ以上離れていることが望ましい。具体的には、第１のＶＣＳＥＬ２は、例えば、発振波長が８４０ｎｍであり、第２のＶＣＳＥＬ３は、例えば、発振波長が８６０ｎｍである。また、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３のアパーチャ径ｄは、例えば、８μｍ以下であり、より完全なシングルモードを得るには、６μｍ以下が好ましい。
【００３０】
マルチモード光ファイバ２０は、コア２１と、コア２１の外側に設けられたクラッド２２とを備えて構成されている。マルチモード光ファイバ２０は、用途や規格にもよるが、例えば、コア径が６２．５μｍ、５０μｍ等のものがある。従って、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３のアパーチャ９ａの間隔（発光点間隔）が５０μｍ以下であれば、レンズ等の光学系を用いなくとも、コア径６２．５μｍのマルチモード光ファイバ２０に導光することができる。また、アパーチャ９ａの間隔が４０μｍであれば、光学系を介さずにコア径が５０μｍのマルチモード光ファイバ２０へ導光することができる。
【００３１】
なお、本実施の形態では、アライメントが不必要な光学系無しの構成にしたが、必要に応じて光学系を使用することができる。例えば、２つのＶＣＳＥＬ間のアパーチャ５ａの間隔が５０μｍで、マルチモード光ファイバ２０のコア径が５０μｍであるような場合、簡単な縮小光学系を用いることで、アパーチャ間隔にほぼ等しいコア径のマルチモード光ファイバ２０に導光することができる。また、ＶＣＳＥＬ出射口とファイバコアの間に樹脂等を用いて、ＶＣＳＥＬ出射口とファイバコアの屈折率差を小さくし、反射光を少なくしても良い。
【００３２】
（多波長面発光素子の製造方法）
図２は、多波長面発光素子１００の製造工程を示す。まず、図２Ａの（ａ）のように、ＧａＡｓからなる基板１上に、下部ミラー６、活性層７及び保護層８をＭＯＣＶＤ法により順次形成する。
【００３３】
下部ミラー６は、ＡｌｘＧａ１−ｘＡｓのｘを変化させて４０周期を積層してなるＤＢＲ構造であり、各層の厚みはλ０／４（λ０＝真空中で８５０ｎｍ）である。また、活性層７は、ｉ−ＧａＡｓで量子井戸構造により下部ミラー６上に堆積する。
【００３４】
次に、図２Ａの（ｂ）のように、酸化狭窄が行えるようにするため、ドライエッチング等により、直径２５μｍの円柱状のメサ（Ｍｅｓａ）部４Ａ，４Ｂを３０μｍの間隔に形成した。このメサ部４Ａ，４Ｂは、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３に対応する。
【００３５】
次に、図２Ａの（ｃ）のように、メサ部４Ａ，４Ｂ上の保護層８を除去し、メサ部４Ａ，４Ｂを酸化狭窄し、アパーチャ９ａを有する酸化狭窄層９を形成して電流経路を形成する。ここで、酸化狭窄層９によるアパーチャ９ａの直径ｄは、８μｍ以下とし、高次のモードが入りにくいようにする。高次のモードは、基本波と発振波長が異なるため、なるべく少なくしておく必要である。
【００３６】
次に、フォトリソグラフィ工程によって、メサ部４Ａ，４Ｂのそれぞれの表面にＳｉＯ２からなる誘電体膜をｔ１の厚みに着膜する。ついで、図２Ａの（ｄ）のように、メサ部４Ｂの誘電体膜を除去し、メサ部４Ａの誘電体膜を残す処理を施して、メサ部４Ａに残された誘電体膜を第１の位相調整層１０とする。
【００３７】
第１の位相調整層１０の厚みは、予め位相調整層の膜厚（ＱＷＤＴ：quarter-wave optical-thickness）と波長の関係を反射スペクトルや透過スペクトルに対応させて把握しておき、反射率（または透過率）を随時測定しながら膜厚を決定する。
【００３８】
例えば、着膜装置（チャンバ）内に反射率（または透過率）を測定するための光学系を配置し、所望の発振波長からのずれを着膜装置内で測定すれば、作製の途中で中間品を着膜装置から取り出すことなく、発振波長を制御することが可能である。
【００３９】
次に、図２Ｂの（ｅ）のように、第１の位相調整層１０及びメサ部４Ｂの表面に、ＳｉＯ２からなる第２の位相調整層１１Ａ，１１Ｂをｔ２の厚みに着膜する。これにより、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３の発振波長を大きく変えたλ１，λ２の２波長の発振が可能になる。
【００４０】
次に、図２Ｂの（ｆ）のように、リフトオフ用レジストを形成してから、ＴｉＯ２／ＳｉＯ２からなる膜を６．５周期積層して、誘電体多層を形成する。積層の膜厚は、λ０／４である。次に、リフトオフしてＴｉＯ２／ＳｉＯ２からなる上部ミラー１２を形成する。
【００４１】
更に、金（Ａｕ）のリフトオフ用レジストを形成した後、金を蒸着する。次に、リフトオフして、図２Ｂの（ｅ）のように、電極５Ａ，５Ｂを形成する。こうして作製した２波長ＶＣＳＥＬの平面図が図１である。
【００４２】
以上のようにして作製した多波長面発光素子１００は、第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３の常温における発振波長が、８４０ｎｍと８６０ｎｍであり、発光点間隔３０μｍ、発振波長間隔２０ｎｍが得られた。
【００４３】
（第１の実施の形態の効果）
第１の実施の形態によれば、下記の効果を奏する。
（イ）第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３を近接配置しても、第１のＶＣＳＥＬ２の位相調整層の厚み（ｔ１＋ｔ２）と、第２のＶＣＳＥＬ３の位相調整層の厚みｔ２とを異なる値に設けたことで、発振波長を２０ｎｍ程度に大きく変化させることができ、２波長ＶＣＳＥＬの多波長面発光素子１００を容易に構成することができる。
（ロ）２波長ＶＣＳＥＬによる多波長面発光素子１００からの光をマルチモード光ファイバ２０に導光すれば、安価なフィルタを使用して光を分離することができる。
（ハ）第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３の間隔を３０μｍとした場合、一般的な５０μｍ径のマルチモード光ファイバ２０との光結合を光学系を介さずに行えるようになり、光学系を用いた場合のアライメントを不要にすることができる。
【００４４】
［第２の実施の形態］
図３は、本発明の第２の実施の形態に係る多波長面発光素子を示す。本実施の形態は、第１の実施の形態において、多波長面発光素子１００のＶＣＳＥＬの搭載数を３つにしたものであり、その他の構成は第１の実施の形態と同様である。なお、図３においては、電極の図示を省略している。
【００４５】
この多波長面発光素子１００は、互いに発振波長の異なる３つの第１〜第３のＶＣＳＥＬ３１，３２，３３を共通の基板１上に正三角形に配置したものである。第１〜第３のＶＣＳＥＬ〜３３の各アパーチャ９ａに外接する円の直径Ｄをマルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径よりも小さくしている。
【００４６】
また、多波長面発光素子１００は、例えば、第１の実施の形態に示す位相調整層１１，１０Ａ，１０Ｂの上に、更に、Ｓｉ３Ｎ４等からなる誘電体膜を着膜して、第３の位相調整層を形成することにより、作製することができる。
【００４７】
上記構成の第２の実施の形態によれば、マルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径よりも内側に配置可能な数のＶＣＳＥＬを用いることができるため、伝搬させる光の波長数を３つにすることができる。
【００４８】
［第３の実施の形態］
図４は、本発明の第３の実施の形態に係る多波長面発光素子を示す。本実施の形態は、第１の実施の形態において、多波長面発光素子１００のＶＣＳＥＬの搭載数を４つにしたものであり、その他の構成は第１の実施の形態と同様である。なお、図４においては、電極の図示を省略している。
【００４９】
この多波長面発光素子１００は、互いに発振波長の異なる４つの第１〜第４のＶＣＳＥＬ４１，４２，４３，４４を共通の基板１上に四角形に配置したものである。第１〜第４のＶＣＳＥＬ４１〜４４の各アパーチャ９ａに外接する円の直径Ｄをマルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径よりも小さくしている。
【００５０】
また、多波長面発光素子１００は、例えば、第１の実施の形態に示す位相調整層１１，１０Ａ，１０Ｂの上に、更に、Ｓｉ３Ｎ４等からなる誘電体膜を着膜して、第３の位相調整層、更には第４の位相調整層を形成することにより、作製することができる。
【００５１】
上記構成の第３の実施の形態によれば、マルチモード光ファイバ２０のコア２１の直径よりも内側に配置可能な数のＶＣＳＥＬを用いることができるため、伝搬させる光の波長数を４つにすることができる。
【００５２】
［第４の実施の形態］
（マルチモード光通信システムの構成）
図５は、本発明の第４の実施の形態に係るマルチモード光通信システムを示す。このマルチモード光通信システム５０は、図１に示した２波長ＶＣＳＥＬ構成の多波長面発光素子１００及びマルチモード光ファイバ２０と、マルチモード光ファイバ２０の他端の光軸上に配置された波長分離手段としての波長分離フィルタ５１と、波長分離フィルタ５１の透過光路上に配設された第１のフォトダイオード５２と、波長分離フィルタ５１の反射光路上に配設された第２のフォトダイオード５３とを備えて構成されている。
【００５３】
なお、多波長面発光素子１００の第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３には、図示しない光変調器が接続されており、また、第１，第２のフォトダイオード５２，５３には、図示しない復調器が接続されている。
【００５４】
波長分離フィルタ５１は、例えば、所定の波長以下を反射し、所定の波長以上を透過させるエッチフィルタを用いることができる。なお、波長分離手段として、波長分離フィルタの他に、回折格子、波長選択性光ファイバカプラ、光ファイバブラッググレーティング（ＦＢＧ）等を用いることができる。
【００５５】
マルチモード光ファイバ２０は、例えば、コアおよびクラッドがフッ化物ガラスからなるガラス光ファイバや、例えば、ＰＭＭＡ（アクリル）からなるコアと、フッ素系樹脂からなるクラッドからなるプラスチック光ファイバを用いることができる。
【００５６】
（マルチモード光通信システムの動作）
ここでは、コア径が２００μｍ以下のマルチモード光ファイバ２０を用いている。多波長面発光素子１００の第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３からの２つのレーザ光は、マルチモード光ファイバ２０の一端のコア２１に同時に入射され、コア２１内を伝搬してマルチモード光ファイバ２０の他端に到達、更に、波長分離フィルタ５１に到達する。
【００５７】
第１のＶＣＳＥＬ２からの８４０ｎｍのレーザ光は、波長分離フィルタ５１を反射して第１のフォトダイオード５２に到達し、第１のフォトダイオード５２によって電気信号に変換される。一方、第２のＶＣＳＥＬ３からの８６０ｎｍのレーザ光は、波長分離フィルタ５１で反射して第２のフォトダイオード５３に到達し、第２のフォトダイオード５３によって電気信号に変換される。
【００５８】
以上のように、マルチモード光通信システム５０では、マルチモード光ファイバ２０からの２つの波長の光は、波長分離フィルタ５１によって２つの光信号が分波され、それぞれが電気信号に変換される。
【００５９】
上述した第４の実施の形態によれば、多波長面発光素子１００の第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３の間隔をマルチモード光ファイバ２０のコア径より小さくできることにより、光学系を用いずに第１，第２のＶＣＳＥＬ２，３からの光をマルチモード光ファイバ２０に容易に導光することができ、近距離通信を並列に高速に行うことができる。例えば、１波長あたり１０Ｇｂｐｓ以上で送信すれば、トータル２０Ｇｂｐｓ以上の信号伝送を実現することができる。また、１５ｎｍ以上離れた波長を受信するので、波長分離フィルタ５１として、安価なエッジフィルタを用いることができる。
【００６０】
［他の実施の形態］
なお、本発明は、上記各実施の形態に限定されず、本発明の技術思想を逸脱あるいは変更しない範囲内で種々な変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る多波長面発光素子の正面図である。
【図２Ａ】（ａ）〜（ｄ）は、第１の実施の形態に係る多波長面発光素子の製造工程を示す図である。
【図２Ｂ】（ｅ）〜（ｇ）は、第１の実施の形態に係る多波長面発光素子の製造工程を示す図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態に係る多波長面発光素子の正面図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態に係る多波長面発光素子の正面図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態に係るマルチモード光通信システムを示す構成図である。
【図６】従来のマルチモード光ファイバを用いた通信方式を示す構成図である。
【符号の説明】
【００６２】
１  基板
２  第１のＶＣＳＥＬ
３  第２のＶＣＳＥＬ
４Ａ，４Ｂ  メサ部
５Ａ，５Ｂ  電極
５ａ  出射窓
６  下部ミラー
７  活性層
８  保護層
９  酸化狭窄層
９ａ  アパーチャ
１０，１１Ａ，１１Ｂ  位相調整層
１２  上部ミラー
１４  絶縁膜
２０  マルチモード光ファイバ
２１  コア
２２  クラッド
３１  第１のＶＣＳＥＬ
３２  第２のＶＣＳＥＬ
３３  第３のＶＣＳＥＬ
４１  第１のＶＣＳＥＬ
４２  第２のＶＣＳＥＬ
４３  第３のＶＣＳＥＬ
４４  第４のＶＣＳＥＬ
５０  マルチモード光通信システム
５１  波長分離フィルタ
５２  第１のフォトダイオード
５３  第２のフォトダイオード
１００  多波長面発光素子
２００  マルチモード光通信システム
２０１  第１のＶＣＳＥＬ
２０２  第２のＶＣＳＥＬ
２０３  第１の光導波路
２０４  第２の光導波路
２０５  レンズ
２０６  マルチモード光ファイバ
２０６ａ  コア
２０６ｂ  クラッド
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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