(57)【要約】【課題】基板検査装置およびシステムにおいて、大型の被検査基板に対して検査位置を移動して検査する場合でも、検査効率や検査精度を良好なものとすることができるようにする。【解決手段】基板検査装置１が、水平方向からの検査者２の目視検査が可能となるように基板１０１を起こした状態で保持する基板保持部１０８と、起こされた基板１０１と検査者２の目視観察の観察領域とを相対的に移動させる保持部移動機構１２０とを備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
水平方向からの検査者の目視検査が可能となるように被検査基板を起こした状態で保持する基板保持部と、
起こされた前記被検査基板と前記検査者の目視観察の観察領域とを相対的に移動させる観察領域移動機構とを備えることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
前記観察領域の相対的な移動の移動先の情報を取得して前記観察領域移動機構の相対的に移動させる移動量を制御する移動制御部を備えることを特徴とする請求項１に記載の基板検査装置。
【請求項３】
前記観察領域移動機構が、前記被検査基板の一部を前記検査者のいる面よりも下方の領域に相対的に移動できるようにしたことを特徴とする請求項１または２に記載の基板検査装置。
【請求項４】
前記検査者が検査するための観察台を備え、該観察台が、前記基板保持部に保持された前記被検査基板に対して移動する可動観察台とされ、
前記観察領域移動機構が、前記可動観察台を移動することにより、前記基板保持部と前記観察領域とを相対的に移動させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項５】
前記観察領域と前記観察台との位置関係を、検査者に応じて可変できるようにした観察位置調整機構を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項６】
前記検査者の位置検出を行う位置検出部を備え、
前記位置検出部で検出した前記検査者の位置に応じて、前記相対移動機構部を駆動することを特徴とする請求項５に記載の基板検査装置。
【請求項７】
拡大観察を行うための顕微鏡を備えることを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項８】
前記観察領域を形成するための観察窓を備えることを特徴とする請求項１〜７のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項９】
前記観察領域を照明する照明ユニットを備え、前記観察領域の移動に応じて移動できるようにしたことを特徴とする請求項１〜８のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項１０】
前記観察領域の相対的な移動の移動先の情報を入力設定する移動先設定部を備えることを特徴とする請求項１〜９のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項１１】
前記移動先設定部が、前記基板保持部に保持された被検査基板の画像を表示して、該被検査基板の画像上で位置設定を行う画面操作機構からなることを特徴とする請求項１０に記載の基板検査装置。
【請求項１２】
前記移動先設定部が、複数の相対的な移動の移動先が設定可能とされ、該複数の相対的な移動の移動先を順次移動して検査を行う自動移動モードが設定できるようにしたことを特徴とする請求項１０または１１に記載の基板検査装置。
【請求項１３】
前記移動先設定部が、外部通信回線に接続され、該外部通信回線を通して、前記相対的な移動の移動先の情報を取得できるようにしたことを特徴とする請求項１０〜１２のいずれかに記載の基板検査装置。
【請求項１４】
被検査基板上の検査位置を取得する検査位置取得装置と、請求項１３に記載の基板検査装置とを備える基板検査システムであって、
前記検査位置取得装置と前記基板検査装置とが、前記外部通信回線により互いに電気的に接続され、
前記検査位置取得装置によって取得した前記検査位置を、前記基板検査装置の前記移動先設定部に送出することにより、前記相対的な移動の移動先を設定できるようにしたことを特徴とする基板検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板検査装置およびシステムに関する。例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイなど大型基板を起こした状態で検査者の前面側に保持して検査できるようにした基板検査装置およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイなどの基板の外観検査を行う場合、可動ステージに基板を保持し、可動ステージによって基板を回転したり傾斜したりした状態で照明光を照射して欠陥を目視検出し、必要に応じて、欠陥部分を顕微鏡で拡大したり、撮像したりする検査が行われている。
このような基板検査装置として、例えば、特許文献１には、基板を水平軸回りおよび垂直軸回りに回転自在に保持する検査基板ステージが、水平移動自在な基台上に設けられ、基板を起こした状態で保持し、その状態で基板に平行な面内の２軸方向に移動できる顕微鏡検査ステージを備えた板状物体検査装置が記載されている。
【特許文献１】特開２００３−１４６４９号公報（図１−４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記のような従来の基板検査装置には以下のような問題があった。
特許文献１に記載の技術は、例えば１０００ｍｍ×１０００ｍｍ程度の基板を検査するための技術であり、そのため、検査者が一定位置から基板全体を目視して検査できる場合に有効な技術である。
一方、近年では被検査基板の大型化が著しく、例えば、検査者の身長より大きい２８００ｍｍ×２５００ｍｍなどのサイズの液晶ディスプレイ用のガラス基板も出現しており、今後さらに大型化が進むことが予想される。
このような大きさの基板では、検査者が基板全体を目視しようとすると、基板との距離が大きくなりすぎ、目視検査が困難になるか、もしくは検査精度が劣ってしまうものである。
そのため、検査者は、立ち位置を移動するなどして、基板を部分的に検査する必要がある。この場合、検査者が検査位置と操作位置との間の往復を繰り返さなくてはならないので、検査者の負担が大きくなってしまうという問題がある。
また、検査者の姿勢や目視位置が、検査位置によって異なるため、全面を均一な検査精度で安定して検査することができなくなるという問題がある。
また、検査領域を移動することで、検査領域にもれが生じたり、逆に検査領域の重複量が多すぎて検査効率が悪化したりするおそれがあるという問題もある。
【０００４】
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、大型の被検査基板に対して検査位置を移動して検査する場合でも、検査効率や検査精度を良好なものとすることができる基板検査装置およびシステムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するために、本発明の基板検査装置は、水平方向からの検査者の目視検査が可能となるように被検査基板を起こした状態で保持する基板保持部と、起こされた前記被検査基板と前記検査者の目視観察の観察領域とを相対的に移動させる観察領域移動機構とを備える。
この発明によれば、観察領域移動機構により、検査者の目視観察の観察領域を被検査基板上で移動することができる。そのため、検査者自身が歩いて移動したり検査姿勢を変えたりすることなく、被検査基板の表面に沿う方向に観察領域を移動して検査を行うことができる。
【０００６】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域の相対的な移動の移動先の情報を取得して前記観察領域移動機構の相対的に移動する移動量を制御する移動制御部を備えることが好ましい。
この場合、移動制御部によって、観察領域の相対的な移動の移動先の情報を取得し、それにより観察領域移動機構の相対移動量を制御し、基板保持部と観察領域とを相対的に移動することにより、観察領域を被検査基板上で移動することができる。
【０００７】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域移動機構が、前記被検査基板の一部を前記検査者のいる面よりも下方の領域に相対移動できるようにした構成とすることが好ましい。
この場合、例えば、被検査基板が検査者の身長を超えるような場合でも、被検査基板を観察台の台座面の下方に相対移動させることができるので、被検査基板を起こした状態で検査することができる。
【０００８】
また、本発明の基板検査装置では、前記検査者が検査するための観察台を備え、該観察台が、前記基板保持部に保持された前記被検査基板に対して移動する可動観察台とされ、前記観察領域移動機構が、前記可動観察台を移動することにより、前記基板保持部と前記観察領域とを相対移動する構成とすることが好ましい。
この場合、被検査基板の位置を固定した状態であっても、可動観察台を移動することにより、観察領域を変更できる。そのため、被検査基板の可動範囲が被検査基板を動かして観察領域を変更する場合に比べて狭くて済むため、装置の設置スペースを低減することができる。
なお、この場合、可動観察台の移動に連動して被検査基板も反対方向に移動できるようにしてもよい。このようにすれば、一定の相対移動量に比して、より装置の設置スペースを低減することができる。
【０００９】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域と前記観察台との位置関係を、検査者に応じて可変できるようにした観察位置調整機構を備えることが好ましい。
この場合、身長が異なる検査者に変わっても、観察位置調整機構によって検査者に応じて観察領域と観察台との位置関係を可変できるので、観察領域の位置を観察台上で、検査者が最も検査しやすいように設定することができる。
【００１０】
また、本発明の、観察位置調整機構を備える基板検査装置では、前記検査者の位置検出を行う位置検出部を備え、前記位置検出部で検出した前記検査者の位置に応じて、前記相対移動機構部を駆動する構成とすることが好ましい。
この発明によれば、位置検出部によって、検査者の位置を検出し、それに応じて観察位置調整機構を駆動することにより、観察領域と観察台との位置関係を設定することができる。そのため、位置関係の自動調整を行うことができる。
この場合、位置検出部が検出する位置は、必要に応じて適宜の位置を採用することができる。例えば、検査者の立ち位置または座位置や、検査者の目や顔の位置や、検査者の身長などの、それぞれまたはそれらの組み合わせを採用することができる。
【００１１】
また、本発明の基板検査装置では、拡大観察を行うための顕微鏡を備える構成とすることが好ましい。
この場合、検査者が、顕微鏡による拡大観察を行うことができる。
【００１２】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域を形成するための観察窓を備えることが好ましい。
この場合、観察窓の範囲を観察領域とする目視観察を行うことができるので、目視観察を効率的に行うことができる。
【００１３】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域を照明する照明ユニットを備え、前記観察領域の移動に応じて移動できるようにした構成とすることが好ましい。
この場合、観察領域の移動に応じて照明ユニットを移動するので、観察領域を効率的に照明することができる。
【００１４】
また、本発明の基板検査装置では、前記観察領域の相対的な移動の移動先の情報を入力設定する移動先設定部を備える構成とすることが好ましい。
この場合、移動先設定部を通して、相対的な移動の移動先の情報を設定することができるので、観察領域を効率よく移動することができる。
移動先設定部を、観察台上に設定する場合は、検査者が容易に相対的な移動の移動先の情報を設定することができるので、検査効率をより向上することができる。
【００１５】
また、本発明の、移動先設定部を備えた基板検査装置では、前記移動先設定部が、前記基板保持部に保持された被検査基板の画像を表示して、該被検査基板の画像上で位置設定を行う画面操作機構からなる構成とすることが好ましい。
この場合、画面操作機構により、被検査基板の画像を見ながら位置設定を行うことができるので、相対的な移動の移動先の情報の設定が容易となり、検査効率を向上することができる。
【００１６】
また、本発明の、移動先設定部を備えた基板検査装置では、前記移動先設定部が、複数の相対的な移動の移動先の情報が設定可能とされ、該複数の相対的な移動の移動先の情報を順次移動して検査を行う自動移動モードが設定できるような構成とすることが好ましい。
この場合、自動移動モードを設定することができるので、検査効率を向上することができる。
【００１７】
また、本発明の、移動先設定部を備えた基板検査装置では、前記移動先設定部が、外部通信回線に接続され、該外部通信回線を通して、前記相対的な移動の移動先の情報を取得できるような構成とすることが好ましい。
この場合、外部通信回線により相対的な移動の移動先の情報を取得して、それに基づいて相対的な移動の移動先を自動的に設定するので、相対的な移動の移動先の設定を正確かつ効率的に行うことができる。
【００１８】
本発明の基板検査システムは、被検査基板上の検査位置を取得する検査位置取得装置と、本発明の、移動先設定部を備えるとともに該移動先設定部が外部通信回線に接続された基板検査装置とを備える基板検査システムであって、前記検査位置取得装置と前記基板検査装置とが、前記外部通信回線により互いに電気的に接続され、前記検査位置取得装置によって取得した前記検査位置を、前記基板検査装置の前記移動先設定部に送出することにより、前記相対的な移動の移動先を設定できるようにした構成とする。
この発明によれば、基板検査装置の移動先設定部が、検査位置取得装置により取得された検査位置を外部通信回線から取得できるので、相対的な移動の移動先の設定を、容易、かつ正確に行うことができる。そのため基板検査を効率的に行うことができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の基板検査装置およびシステムによれば、観察領域移動機構により、検査者の目視観察の観察領域を被検査基板上で移動することができるので、大型の被検査基板に対して検査位置を移動して検査する場合でも、検査効率や検査精度を良好なものとすることができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下では、本発明の実施の形態について添付図面を参照して説明する。すべての図面において、実施形態が異なる場合であっても、同一または相当する部材には同一の符号を付し、共通する説明は省略する。
【００２１】
［第１の実施形態］
本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図１（ｂ）は、図１（ａ）のＡ−Ａ線に沿う模式的な断面図である。図２は、図１（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う模式的な断面図である。図３（ａ）、（ｂ）は、それぞれ図１（ａ）、（ｂ）における観察台近傍の拡大図である。図４は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の制御ユニットの概略構成を示す機能ブロック図である。図５は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の操作画面の一例を示す模式的な画面構成図である。図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれ、図５の操作画面における情報画面部分の例を示す模式的な画面構成図である。
【００２２】
なお、以下では、説明の便宜上、相対的な方向を参照するために各図に共通のＸＹＺ座標系を設定している。この座標系のＸ軸は、正面視（図１（ａ））の図示左から右に向かう水平方向を表し、Ｙ軸は、上向きを正とした鉛直方向を示す。Ｚ軸は、ＸＹ平面の法線となる方向で、図１（ａ）の紙面手前側を正としている。
基板検査装置１では、Ｚ軸正方向側（正面側）に位置する検査者２が、Ｚ軸負方向側に配置された基板１０１を検査するものとして説明する。
【００２３】
本実施形態の基板検査装置１は、例えば、液晶パネルやプラズマディスプレイなど大型基板を、起こした状態で検査者２の前面側に保持し、基板表面を目視または撮像して検査するものである。
ここで、検査者２が立位または座位などの観察姿勢をとって基板を目視検査するとき、検査者２が検査する領域を目視観察の観察領域とする。例えば、照明光があたる範囲によって決定される検査可能な領域を観察領域としてもよい。
被検査基板である基板１０１の種類は、特に限定されないが、大型基板、例えば一辺が１０００ｍｍ以上の大きさを有する基板が好適である。そして、基板の大きさが大きくなるほど、より良好な作用効果を発揮するものとなる。例えば、一辺が２０００ｍｍ以上であれば、より好ましい。
本実施形態では、基板１０１の長辺×短辺をＷ×Ｈとしている。例えば、Ｗ＝２５００ｍｍ、Ｈ＝２０００ｍｍなどの値を採用することができる。
【００２４】
基板検査装置１は、図１（ａ）、（ｂ）、図２に示すように、床面４上に設置され、基板１０１を清浄な環境で検査するために正面の一部に形成された観察窓１００を除き複数の不透明な装置カバー３で覆われた装置本体５と、装置本体５の観察窓１００の前側に設けられた観察台１０５と、観察台１０５上に配置された制御ユニット１０７からなる。
ここで、観察窓１００は、検査者２から目視される基板１０１の領域の範囲を規制しており、目視観察の場合の観察領域を形成するものとなっている。例えば、Ｘ軸方向幅×Ｙ軸方向幅が、１０００ｍｍ×１０００ｍｍなどの寸法とされている。本実施形態では、観察窓１００に何もつけていないが、ガラスなどの透明な板を設け、装置内の空気を汚染しないようにしてもよい。
【００２５】
装置本体５の概略構成は、基板保持部１０８、保持部鉛直方向ガイド１１０、保持部前後方向ガイド１１１、保持部水平方向ガイド１０９、バックライト１１２および実体顕微鏡ヘッド１０４からなる。また、装置本体５には、基板１０１を搬入出する搬入出口が開閉可能に設けられている。この搬入出口は、特に図示しないが、本実施形態ではＸ軸方向の両側面または後面や上面の装置カバー３上に設けられている。
【００２６】
基板保持部１０８は、基板１０１を位置決めした状態で保持するものであり、基板１０１よりわずかに大きい矩形板状とされ、１組の対辺の略中央にそれぞれ設けられた保持部回転機構１０８ａによって、Ｘ軸回りに少なくとも１８０°の範囲で回転して表裏を反転できる状態とされている。
保持部回転機構１０８ａは、例えば、ベアリング支持された回転軸と、モータとベルト伝動機構などの組み合わせによる回転駆動部（不図示）とからなる。
基板１０１を保持する手段は、検査時に基板１０１の変形や振動が検査可能な範囲に抑えられれば、どのような手段を用いてもよい。例えば、真空吸着機構、機械的なチャッキング機構や静電吸着機構などを採用することができる。
【００２７】
保持部回転機構１０８ａ、保持部鉛直方向ガイド１１０、保持部前後方向ガイド１１１、保持部水平方向ガイド１０９は、基板保持部１０８のＸ軸回りの傾斜角度を可変し、その傾斜角度に保った状態で、Ｙ軸、Ｘ軸、Ｚ軸方向にそれぞれ可動に保持する保持部移動機構１２０（観察領域移動機構）を構成するものである。
【００２８】
保持部鉛直方向ガイド１１０は、２つの保持部回転機構１０８ａをＹ軸方向に可動に保持するための機構である。例えば、保持部回転機構１０８ａを固定するスライダが、Ｙ軸方向に延びるスライドガイド部上に設けられ、適宜のエンコーダを備えた駆動機構、例えばリニアモータ機構や、回転モータを用いた送り機構などによって駆動され、位置移動されるような移動機構を採用することができる。
保持部前後方向ガイド１１１は、各保持部鉛直方向ガイド１１０の上下端部をそれぞれＺ軸方向に移動可能に保持するために、Ｚ軸方向に平行に延ばされた４つの移動機構である。各保持部前後方向ガイド１１１は、保持部鉛直方向ガイド１１０と同様の移動機構を採用することができる。
保持部水平方向ガイド１０９は、各保持部前後方向ガイド１１１のＺ軸方向の端部をそれぞれＹ軸方向に移動可能に保持するために、Ｙ軸方向に平行に延ばされた４つの移動機構である。各保持部水平方向ガイド１０９は、保持部鉛直方向ガイド１１０と同様の移動機構を採用することができる。
そして、保持部水平方向ガイド１０９のスライドガイド部は、装置本体５の適宜の支持部材に固定されている。
保持部移動機構１２０の移動量は、後述する保持部移動制御部１５（図４参照）により制御される。
【００２９】
バックライト１１２は、検査者２が、基板１０１を目視観察する際に、基板１０１を裏面側から照明するためのものであり、不図示の水平方向ガイドにより目視観察位置における基板１０１の裏面側の近傍まで移動するとともに、例えば、基板の搬入出時などにはそれらの作業を妨げないように、Ｚ軸負方向側の退避位置に退避できるようになっている。
【００３０】
実体顕微鏡ヘッド１０４は、図３（ａ）、（ｂ）に示すように、その視野範囲を観察領域とする基板観察部を構成するもので、基板１０１を拡大観察するための顕微鏡からなる。具体的には、接眼レンズ、対物レンズなどの光学系と、拡大画像を撮像する、例えばＣＣＤカメラなどからなる顕微鏡カメラと、観察領域を照明する顕微鏡照明１０４ａ（照明ユニット）とを備えている。
そして、実体顕微鏡ヘッド１０４は、観察窓１００の開口周縁部に設けられた顕微鏡移動機構１０２（観察位置調整機構）により観察窓１００内のＸＹ平面内で位置移動可能に支持されている。
顕微鏡移動機構１０２は、実体顕微鏡ヘッド１０４をＹ軸方向に移動する顕微鏡鉛直方向ガイド１０２Ｂと、顕微鏡鉛直方向ガイド１０２Ｂの上下端をＸ軸方向に可動に支持する顕微鏡水平方向ガイド１０２Ａとからなる。そして、後述する顕微鏡移動制御部１２（図５参照）によって、移動量、移動タイミングを制御することができるようになっている。
顕微鏡水平方向ガイド１０２Ａおよび顕微鏡鉛直方向ガイド１０２Ｂの構成は、例えば、保持部水平方向ガイド１０９などと同様の移動機構を採用することができる。
【００３１】
観察台１０５は、検査者２が観察窓１００に正対し、その略中央位置から基板１０１を観察することができるように、観察台上面１０５ａが床面４から高さｈＳの位置に固定された台状構造物である。
検査者２は、必要に応じて観察台上面１０５ａ上を歩いて移動することが可能となっており、検査の必要に応じて、立位、座位等で検査を行うことができる。これらの立位の立ち位置や座位の着席位置は、少なくとも標準的な位置に関してはそれぞれ適宜マーキングなどされ、検査者２が識別できるようになっている。そのため、立位、座位等における検査者２の視点位置（以下、目視観察の観察位置と称する）は、検査者２により略一定とすることができる。
高さｈＳは、基板１０１が観察台上面１０５ａから観察位置までの高さより大きい場合であっても、検査者２が基板１０１の上端を観察できるよう、基板１０１の一部が検査者２のいる検査を行うための観察台上面１０５ａよりも下方の領域に相対移動できるようにするために設定される。これにより、床面４と干渉することなく基板１０１を移動できるので、例えば、検査者２がかがみ込んだりして観察姿勢を変えて目視観察の観察位置を変えることなく、基板１０１のＹ軸方向の全高さ範囲を検査することができる。
このとき、本検査装置は、目視観察の観察位置を中心に基板の高さ（短辺Ｈ）の２倍以上の高さを有していることが望ましい。また、観察台１０５の高さを可変としてもよく、そうすれば検査装置の高さを低くできる。
このように、観察窓１００と観察台１０５とは、検査者２が基板１０１を肉眼で目視観察するための基板観察部を構成している。
なお、本実施形態では、検査者２が、観察台上面１０５ａに上がるものとしたが、検査者２が立つ位置が床であり、本検査装置が床より掘り下げられた位置に設置された構成として基板１０１の一部が床より下がる構成としてもよい。すなわち、検査者２がいる面よりも下がる構成であればよい。
【００３２】
本実施形態では、検査者２の位置を検出する検査者位置検出センサ１１３が、観察窓１００周縁部の前側（Ｚ軸正方向側）に設けられている。
検査者位置検出センサ１１３（位置検出部）は、目視観察用照明１０６、実体顕微鏡ヘッド１０４の自動調整モード（以下、観察位置自動調整モードと称する）が設定されている場合に、検査者２の位置検出を行って、目視観察用照明１０６、実体顕微鏡ヘッド１０４、基板保持部１０８を移動させるべき移動先の情報、すなわち位置座標を取得するためのものである。
検査者位置検出センサ１１３は、検査者２の位置検出を行うことができれば、どのようなものでもよいが、本実施形態では、検査者位置検出センサ１１３として、検査者２の画像を取得するＣＣＤカメラと、画像処理によって検査者２の両目を結んだ線の中点を算出する位置検出処理部２０（図４参照）とからなる。
なお、例えば、検査者２の頭部の位置や身長などの情報から観察位置を算出する場合には、移動体の位置情報を非接触で検出する測距機構を用いてもよいし、検査者２の体や衣服に位置検出センサを固定し、その検出出力から、検査者２の位置を取得するようにしてもよい。
また、実体顕微鏡ヘッド１０４を検査者２が意図する位置へ移動させた状態で、そのＸ、Ｙ軸上の位置を、顕微鏡移動機構１０２のモータなどの信号から取得するようにしてもよい。
【００３３】
観察台１０５上には、検査者２が目視観察を行う場合に基板１０１を照明するための目視観察用照明１０６が設けられている。目視観察用照明１０６は、照明移動機構１０６ａによって可動支持され、Ｘ、Ｙ軸方向の位置と、照明光の光軸の角度を可変できるようになっている。
目視観察用照明１０６の位置は、後述する照明移動制御部１１（図４参照）により観察領域の移動に応じて移動制御される。
【００３４】
制御ユニット１０７は、図４に示すように、主として基板検査装置１の装置制御を行うためのもので、例えば、液晶モニタやＣＲＴモニタなどからなり、ＧＵＩなどの操作画面やデータ、画像データなどを表示する表示部１０７ａと、検査者２が操作入力するための操作部１０７ｂとが、制御ユニット本体１０７ｃに接続されてなる。
操作部１０７ｂは、例えば、タッチパネル、キーボード、ボタン、ジョイスティック、マウス、トラックボールなどの各種の操作入力機構を挙げることができる。
【００３５】
制御ユニット本体１０７ｃは、目視観察用照明１０６、バックライト１１２、顕微鏡照明１０４ａ、照明移動機構１０６ａ、顕微鏡移動機構１０２、保持部移動機構１２０、および検査者位置検出センサ１１３と電気的に接続され、制御信号とデータとの送受信が可能となっている。
制御ユニット本体１０７ｃの概略の機能ブロック構成は、操作入力処理部１３、照明制御部１０、照明移動制御部１１、顕微鏡移動制御部１２、保持部移動制御部１５、観察位置移動演算部１４、記憶部１６、基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９、および表示制御部１７からなる。これらの機能ブロックは、具体的な装置構成としては、例えば、ＣＰＵ、メモリ、入出力インタフェース、外部記憶部などからなるコンピュータや、専用のハードウェアなどの単体またはそれらの組み合わせからなり、それぞれの機能は、メモリにロードされたプログラムや、各ハードウェアによって実現されているものである。
【００３６】
操作入力処理部１３は、操作部１０７ｂや、表示部１０７ａの操作画面から入力された操作入力信号と、位置検出処理部２０から送出された制御信号を受信、解析し、それに応じた動作を実現する制御信号を生成、送出するものである。
目視観察用照明１０６、バックライト１１２、顕微鏡照明１０４ａに関する操作入力は、制御信号として照明制御部１０に送出される。
目視観察用照明１０６の移動、照明方向に関する操作入力は、制御信号として照明移動制御部１１に送出される。
実体顕微鏡ヘッド１０４の移動に関する操作入力は、制御信号として移動座標値などとともに顕微鏡移動制御部１２に送出される。
基板保持部１０８の移動に関する操作入力は、制御信号として座標値や回転角度などとともに、保持部移動制御部１５に送出される。
基板１０１の観察領域の移動に関する操作入力は、制御信号として移動先の座標値などともに、観察位置移動演算部１４に送出される。
表示部１０７ａの表示画面の切り替えに関する操作入力は、制御信号として表示制御部１７に送出される。
各種データ入力は、必要に応じて、記憶部１６に送出され記憶される。
また、位置検出処理部２０から検査者位置検出センサ１１３が検出した検査者２の位置に関する情報を受信した場合には、観察位置自動調整モードが、オンされているか確認し、さらに、検査モードが、目視観察モードか、顕微鏡観察モードかに応じて、それぞれ、照明移動制御部１１、顕微鏡移動制御部１２に、移動先の座標値として送出する。
【００３７】
照明制御部１０は、目視観察用照明１０６、バックライト１１２、顕微鏡照明１０４ａの点灯・消灯制御や照明条件設定を行うものである。
照明条件としては、各照明光源に応じたものを設定することができる。例えば、光量、波長、散乱度合いなどを挙げることができる。
【００３８】
照明移動制御部１１は、照明移動機構１０６ａのＸ、Ｙ軸方向の位置と、照明光の光軸の角度を可変する制御を行うものである。
すなわち、照明移動制御部１１は、目視観察モード開始時には、例えば、観察窓１００の中央付近などの、予め設定された目視観察における照明位置に移動し、目視観察モード終了時には、顕微鏡観察や他の操作、観察の妨げとならないように、例えば、観察窓１００の周縁部などの予め設定された照明退避位置に移動される。
また、例えば、検査者２の身長に合わせて照明位置や方向を変更する場合などにも、操作入力処理部１３からの制御情報に基づいて必要な位置に移動させることができるようになっている。
【００３９】
顕微鏡移動制御部１２は、顕微鏡水平方向ガイド１０２Ａ、顕微鏡鉛直方向ガイド１０２Ｂの移動量を制御するものである。
すなわち、顕微鏡移動制御部１２は、顕微鏡観察モード開始時には、予め設定された顕微鏡観察位置に移動し、顕微鏡観察モード終了時には、目視観察や他の操作、観察の妨げとならないように、例えば、観察窓１００の周縁部などの予め設定された顕微鏡退避位置に移動するようにする。
また、例えば、検査者２の身長に合わせて高さを変更する場合など、操作入力処理部１３からの制御情報に基づいて必要な位置に移動させることができるようになっている。
【００４０】
保持部移動制御部１５は、操作入力処理部１３からの制御情報、または観察位置移動演算部１４からの制御情報に基づいて、保持部移動機構１２０を制御し、基板保持部１０８に保持された基板１０１のＸ軸回りの傾斜角度とＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の位置を可変するものである。
【００４１】
観察位置移動演算部１４は、表示部１０７ａまたは操作部１０７ｂから入力された観察領域の相対的な移動の移動先の情報、すなわち、次に検査を行う座標または領域の情報を取得して、現在位置からの相対移動量を演算し、保持部移動制御部１５に移動情報として送出するとともに、現在位置および観察領域の相対移動位置に関する位置情報を基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９に送出するものである。
本実施形態では、観察位置移動演算部１４と保持部移動制御部１５とで、移動制御部を構成している。
【００４２】
記憶部１６は、操作入力処理部１３、表示制御部１７、基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９にそれぞれ電気的に接続され、それらとの間で、各種データや画像データを読み書き可能の記憶するものである。記憶部１６は、例えば、メモリや外部記憶部などから構成される。
【００４３】
基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９は、観察位置移動演算部１４からの位置情報や、記憶部１６に記憶された情報に基づいて、観察領域の移動に関する操作画面（以下、移動操作画面と略称する）の画像データを生成し、表示制御部１７に送出するものである。
移動操作画面は、図５に示すように、例えば、１つのウィンドウからなるメイン画面２００（移動先設定部）内に、基板マップ画面２０１、情報画面２０２、基板判定ボックス２０３、次ワークボタン２０４、終了ボタン２０５を配置したものである。
【００４４】
基板マップ生成部１８は、基板マップ画面２０１の画像データを生成する。
基板マップ画面２０１は、基板マップタブ内に、基板１０１の全体像を模式的に示す基板模式図２０６上に、例えばセルの概略位置を示すセル表示２０７と、記憶部１６に記憶されている欠陥情報に基づいて模式的に描画された欠陥表示２０８、２０８を重ね合わせて構成される。
欠陥表示２０８は、欠陥の概略形状を目立ちやすい色でカラー表示したり、欠陥種類により色分けしたりされたものなどが採用できる。
観察領域表示２０９は、現在の検査モードが目視観察モードか、顕微鏡観察モードかに応じて、それぞれの観察領域の大きさ、形状、位置を表示する画像である。例えば、基板マップ画面２０１中で目立ちやすいカラー表示の矩形枠画像などを採用することができる。
なお、観察領域表示２０９の中心は、装置本体５に固定された座標系における観察領域の中心の位置座標、または、観察位置自動調整モードで取得した位置座標である。
そして、例えば、基板１０１が保持部移動機構１２０によって移動されるなど観察領域が変化する場合には、現在状態の表示に更新されるようになっている。
観察領域表示２０９は、基板１０１の観察領域を移動させるためのＧＵＩも兼ねており、例えば、操作部１０７ｂのマウスなどで、観察領域表示２０９をドラッグ移動して、位置を確定することにより、相対的な移動の移動先の指定を行うことができるようになっている。
【００４５】
情報画面生成部１９は、情報画面２０２の画像データを生成する。
情報画面２０２は、複数のタブ画面、例えば、図６（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示すような欠陥情報タブ２０２Ａ、座標情報タブ２０２Ｂ、セル情報タブ２０２Ｃなどからなる。
欠陥情報タブ２０２Ａは、基板マップ画面２０１上に表示した欠陥の位置情報を表示するものである。本実施形態では、欠陥を識別する欠陥番号（「欠陥Ｎｏ．」）、適宜の座標系で表された欠陥位置の位置座標（「Ｘ座標」、「Ｙ座標」）、欠陥が存在するセル番号（「セルＮｏ．」）の一覧表が表示される。
図６（ａ）では、セル番号は図示左上から右方向に、１、２、３、４とされ、セル番号１の下段側が、順次、５、９、１３などとなっている。
【００４６】
座標情報タブ２０２Ｂは、観察領域表示２０９の現在位置の中心位置（「現在座標」）と、観察領域の相対的な移動の移動先の目標座標とを表示するものである。また、目標座標の表示部は、キーボードなどから数値入力する場合の入力エリアを兼ねている。
観察領域表示２０９をドラッグすることによって目標座標を設定する場合は、操作入力処理部１３により画面上のドラッグ位置を取得して、基板マップ画面２０１上の座標に換算し、記憶部１６に記憶する。
また、目標座標を数値入力する場合は、座標情報タブ２０２Ｂ上の目標座標の入力エリアにフォーカスを移動して、操作部１０７ｂのキーボードなどから数値を入力し、エンターキーまたはタブキーなどの操作で入力数値を確定し、記憶部１６に記憶する。
そして、記憶部１６に記憶された目標座標に基づいて、基板マップ生成部１８が観察領域表示２０９の画像をドラッグ時の表示形態に変えてコピー移動するとともに、情報画面生成部１９が目標座標の数値表示を更新する。
本実施形態では、マウスでドラッグした場合はドラッグ動作と同時並行に、また、目標座標を数値入力した場合は入力終了後に、「目標画像」の表示欄をダブルクリックすることで、それぞれ保持部移動機構１２０の駆動を行う。移動終了後は、移動前の現在座標位置の観察領域表示２０９が消去され、目標座標位置に観察領域表示２０９が表示される。
【００４７】
なお、欠陥情報タブ２０２Ａ、座標情報タブ２０２Ｂに表示する座標系、単位は、入力後、制御ユニット本体１０７ｃ内部で座標変換することができるので、制御ユニット本体１０７ｃ内部の演算処理に用いる座標系と異なる座標系を採用することができる。
そのため、これらタブに表示する座標値は、他の検査工程と整合する座標系、単位で表現されるものが採用される。
【００４８】
セル情報タブ２０２Ｃは、記憶部１６に記憶された欠陥数とセルごとの合否判定情報（「判定」）とをセル番号ごとの一覧表として表示するものである。そして、欠陥数欄と判定欄とは、検査者２が検査結果を入力する入力エリアを兼ねている。判定欄に、フォーカスを移すと「Ｐａｓｓ」（合格）と「ＮＧ」（不合格）とのプルダウンメニューが表示され、一方をマウスクリックなどして選択できるようになっている。
【００４９】
基板判定ボックス２０３、次ワークボタン２０４、終了ボタン２０５は、表示制御部１７により生成されるＧＵＩである。
基板判定ボックス２０３は、現在の基板１０１の合否判定が行われた場合に、「Ｐａｓｓ」と「ＮＧ」とによって合否を表示するためのものである。この表示は、後述する判定入力処理において、自動的に表示される場合と、検査者２が入力する場合とがある。検査者２が入力する場合は、フォーカスを基板判定ボックス２０３に移動することにより、「Ｐａｓｓ」と「ＮＧ」とが選択できるようになっている。
次ワークボタン２０４は、基板１０１の検査の終了を入力するもので、次ワークボタン２０４がクリックされると、基板１０１の搬出動作および次の基板１０１の搬入動作が行われる。
終了ボタン２０５は、基板検査装置１の検査終了を入力するもので、終了ボタン２０５がクリックされると、装置全体の終了処理と、メイン画面２００を表示するプログラムの終了処理とが行われる。
【００５０】
表示制御部１７は、移動操作画面の表示制御を含む表示部１０７ａの表示画面全般の表示制御を行うものである。
【００５１】
次に、基板検査装置１の動作について説明する。
図７は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の観察領域の相対移動の模式的な動作説明図である。図８は、本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の位置検出部の動作説明図である。
【００５２】
基板検査装置１の動作は、まず、装置本体に電源を投入すると、各ハードウェアを初期化し、メイン画面２００を表示するソフトウェアを起動する初期化工程が行われる。そして、表示部１０７ａのＧＵＩまたは操作部１０７ｂから、検査者２が操作入力することにより、基板搬入出処理工程、観察領域移動処理工程、判定入力処理工程、および終了処理工程が選択的に実行できるようになっている。
【００５３】
基板搬入出処理工程は、次ワークボタン２０４をクリックすることで実行開始される。この工程では、基板保持部１０８上に基板１０１が保持されているかどうか判定し、すでに保持されている場合には、保持部移動機構１２０を駆動して、基板保持部１０８の傾斜角度を０°（水平）に戻した状態で、基板１０１を搬出位置に移動し、適宜の搬送ロボットなどを用いて搬出する。
基板１０１が保持されていない場合、または搬出が完了した場合は、基板保持部１０８を基板搬入位置に移動し、適宜の搬送ロボットなどを用いて、次に検査する基板１０１を基板保持部１０８上に水平に載置する。そして、必要に応じて位置決めし、基板保持部１０８に保持する。
そして、保持部回転機構１０８ａにより基板保持部１０８を回動し、検査側の表面がＺ軸正方向に面するように略垂直に起こし、保持部移動機構１２０によってデフォルトの検査位置に移動して、待機状態に移行する。
以上で、基板搬入出処理工程が終了する。
【００５４】
なお、基板１０１が垂直に起こされていない場合、観察領域での検査者２や実体顕微鏡ヘッド１０４との間の距離が場所によって変化するが、本実施形態では、保持部前後方向ガイド１１１を用いてＺ軸方向の距離を可変できるので、基板１０１を起こす傾斜角度は略垂直でよい。
例えば、鉛直面に対して±２０°の範囲を採用することができる。ただし、顕微鏡観察を行う場合に、観察領域内で、基板１０１が被写界深度内に捉えることができる程度の傾斜角度とする必要がある。そのため、顕微鏡観察領域の大きさにもよるが、傾斜角度はより小さいことが好ましい。例えば、±１０°であれば、より好ましく、±５°であれば、一層好ましい。
また、本実施形態では、デフォルトの検査位置は、基板１０１の中央部を観察領域として、検査者２が標準的な立位の検査位置に立って、所定距離Ｌ１だけ離れた状態で目視観察できるような位置とされる。また、このとき、実体顕微鏡ヘッド１０４の対物側先端から基板１０１までの距離は、Ｌ２（ただし、Ｌ２＜Ｌ１）であるとする（図３（ｂ）参照）。
【００５５】
観察領域移動処理工程は、検査者２が、表示部１０７ａの移動操作画面上から、相対的な移動の移動先の情報を操作入力することによって、実行開始される。この場合、実行時に、検査モードが、少なくとも、目視観察モード、顕微鏡観察モードのいずれかが設定されている必要があり、もし、設定されていない場合は、設定を促す警告表示が行われる。検査モードの設定は、設定用の操作画面から、選択入力することにより行う。
【００５６】
例えば、顕微鏡観察モードが選択されている場合、図７に示すように、実体顕微鏡ヘッド１０４が、顕微鏡移動機構１０２によって顕微鏡退避位置から観察位置に移動される。例えば、顕微鏡観察の観察領域の中心位置が点Ｃ（ｘＣ，ｙＣ）に移動している。点Ｃは、デフォルト値では、観察窓１００の中心位置と一致している。
またこのとき、点Ｃのｘ座標は、検査者２が操作と観察とを行いやすい位置に設定されている。また、点Ｃのｙ座標は、観察台１０５からの高さｈ０が、検査者２の身長に合わせて実体顕微鏡ヘッド１０４が見やすいように調整されている。点Ｇ（ｘＣ，ｙＣ＋ｈ０）は、検査者２の立ち位置を示す。
ここで、実体顕微鏡ヘッド１０４の位置と観察台上面１０５ａからの高さｈ０は、必要に応じて、操作部１０７ｂによって顕微鏡移動機構１０２を駆動し、手動で調整することもできる。この場合、調整量に応じてこれを相殺するように保持部移動機構１２０を駆動することで、実体顕微鏡ヘッド１０４に対する観察領域の位置を不変に保つことができる。
【００５７】
また、本実施形態では、観察位置自動調整モードを有するため、検査者位置検出センサ１１３を用いて、実体顕微鏡ヘッド１０４の配置位置を自動調整することができる。
ここで、観察位置自動調整モードが選択されている場合の動作について説明する。
まず検査者位置検出センサ１１３により、図８に示すような、観察位置に立つ検査者２を撮像する。そして、この画像は、検査者位置検出センサ１１３から位置検出処理部２０に送出される。
ここで、画像フレーム内の座標（α，β）は、記憶部１６に記憶されている検査者位置検出センサ１１３の固定位置との関係に応じて換算され、最終的にｘｙｚ座標系に変換されるが、以下では、αβ座標系で説明する。
【００５８】
位置検出処理部２０では、取得された画像から、例えば、予め撮像された検査者２がいない場合の画像との差をとるなどして検査者２の画像のみを抽出する。そして、画像処理により検査者２の目の画像Ｉ１，Ｉ２を抽出する。これらの中心の位置座標Ｐ１（α１，β１）、Ｐ２（α２，β２）を算出し、移動位置Ｐ（（α１＋α２）／２，（β１＋β２）／２）を求めて、実体顕微鏡ヘッド１０４を移動する。
これにより観察位置が自動調整される。
【００５９】
なお、検査者２の位置は、両目の中心の位置だけでなく、例えば、より簡素な画像処理を行うことで目の位置に関連した他の位置情報で代用してもよい。
例えば、目の高さに代えて、頭部の位置を求めてもよい。すなわち、検査者２の画像から頭部画像を特徴抽出する画像処理を行って頭部の画像の重心Ｑ（αＱ，βＱ）を取得し頭部の重心から目の高さまでの距離に対応する一定値を加えてもよい。
また、目の高さに代えて、身長の情報から求めてもよい。すなわち、頭頂部の点Ｒ（αＲ，βＲ）を取得し、頭頂部から目の高さまでの距離に対応する一定値を引いてもよい。
【００６０】
一方、基板１０１は、Ｘ軸負方向かつＹ軸正方向の隅の頂点Ｅが、座標（ｘＥ，ｙＥ）に位置しているものとする。
このとき、制御ユニット本体１０７ｃでは、観察位置移動演算部１４が、保持部移動制御部１５から、基板１０１の位置情報を一定のサンプリング間隔で取得しており、ｘｙｚ座標系の座標値に換算して、基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９にその位置情報を送出する。
そのため、基板マップ生成部１８によって、基板マップ画面２０１には、図５に二点鎖線で示す位置に、観察領域表示２０９Ｃが表示される。また、座標情報タブ２０２Ｂには、現在座標が表示される。ただし、図６（ｂ）の数値は、一例であって、本説明に対応するものではない。
【００６１】
これにより検査者２は、基板１０１上の観察領域の位置を基板模式図２０６上で相対的な位置関係や、欠陥表示２０８で表される欠陥に対する位置関係を直観的に理解することができる。また、座標情報タブ２０２Ｂ、欠陥情報タブ２０２Ａを参照することにより、定量的な位置関係も把握することができる。
【００６２】
検査者２が観察領域の中心位置を基板１０１上で図７に示す点Ｄの位置に変更したいときは、例えば、図５に示すように、観察領域表示２０９Ｃを基板マップ画面２０１上で、観察領域表示２０９Ｄの位置までドラッグする。
このドラッグ操作は、操作入力処理部１３により、略リアルタイムで検出、解析され、まず、基板模式図２０６上での画面上のドラッグ位置の位置座標が取得される。この位置座標は、例えば操作入力処理部１３によって基板１０１上のｘｙｚ座標系での位置座標に換算され、観察位置移動演算部１４に送出される。
簡単のため、１サンプリング期間で、点Ｄまでドラッグされ、点Ｄ（ｘＤ，ｙＤ）が取得されたとする。
【００６３】
観察位置移動演算部１４は、現在位置の点Ｃと、相対的な移動の移動先である点Ｄの位置座標から、移動ベクトルＣＤ＝（ｘＤ−ｘＣ，ｙＤ−ｙＣ）を算出する。
移動ベクトルＣＤの符号を変えたものが、基板１０１の相対移動量を表す。
すなわち、観察位置移動演算部１４は、基板１０１のｘ方向、ｙ方向の移動量、ｘＥＦ、ｙＥＦをそれぞれ次式のように設定し、保持部移動制御部１５に送出する。
ｘＥＦ＝−（ｘＤ−ｘＣ）                                        （１）
ｙＥＦ＝−（ｙＤ−ｙＣ）                                        （２）
保持部移動制御部１５は、これらの相対移動量を実現するように、保持部水平方向ガイド１０９、保持部鉛直方向ガイド１１０の移動量を設定し、それぞれに移動量情報を送出する。
このようにして、基板１０１が、図７の二点鎖線位置に移動され、基板１０１上で点Ｄが、実体顕微鏡ヘッド１０４の位置する点Ｃに一致される。
【００６４】
一方、これに並行して、ｘＥＦ、ｙＥＦの値が、基板マップ生成部１８、情報画面生成部１９に送出される。
基板マップ生成部１８により、基板模式図２０６上で、観察領域表示２０９Ｃが消去されて、観察領域表示２０９Ｄに移動された画像データが生成され、表示制御部１７に送出される。
また、情報画面生成部１９により、座標情報タブ２０２Ｂの現在座標が、点Ｄの位置座標を座標情報タブ２０２Ｂに表示する座標系に換算した数値として、表示するデータが生成され、表示制御部１７に送出される。
これらにより、基板マップ画面２０１の画面が、移動後の状態に更新される。
そして、ドラッグ終了を検出すると待機状態に移行する。
以上で、観察領域移動処理工程が終了する。
【００６５】
なお、点Ｄに移動する間に、複数の移動点がサンプリングされる場合は、上記動作をドラッグ終了までそれぞれ繰り返すことにより、ドラッグ動作と同時並行的に基板１０１を移動し、基板マップ画面２０１の表示を更新するものである。
また、詳細の説明は省略するが、上記観察領域移動処理工程の動作は、相対的な移動の移動先を、座標情報タブ２０２Ｂの「目標座標」の入力エリアに座標値を入力して指定し、「目標座標」の上をダブルクリックして実行することもできる。
【００６６】
検査モードが、目視観察モードの場合、図５に示すように、観察領域表示２０９Ｃ、２０９Ｄに代えて、観察領域が、対応する観察窓１００の大きさに表示された、観察領域表示１００Ｃ、１００Ｄとなるだけで、上記と同様な動作が行われる。
【００６７】
判定入力処理工程は、検査者２が、セル情報タブ２０２Ｃの「判定」欄に判定を入力するか、または基板判定ボックス２０３に基板判定結果を入力することによって実行される。
いずれかに判定入力がなされた場合、操作入力処理部１３は、基板１０１が所定の観察領域に移動され、検査準備完了状態となっているか確認し、検査準備完了状態となっている場合に、判定入力を受け付ける。
判定入力がセル情報タブ２０２Ｃからなされた場合、それまでに入力されたセルごとの判定を予め設定された判定条件に照らして自動判定を行う。例えば、判定条件が、セルの中に１つでもＮＧがある場合に基板全体をＮＧと判定するというものであるとする。
この場合、ＮＧが入力されると、基板判定ボックス２０３にＮＧを表示して待機状態に移行する。
Ｐａｓｓが入力された場合、すべてのセルについて判定が入力されるまでの間は基板判定ボックス２０３に空白を表示して待機状態に移行する。すべてのセルにＰａｓｓが入力された場合には、基板判定ボックス２０３にＰａｓｓ表示して待機状態に移行する。
一方、基板判定ボックス２０３に直接、判定入力された場合には、その入力値を表示して、自動判定のプロセスを終了し待機状態に移行する。
検査者２は、待機状態に移行した後に、基板判定ボックス２０３の表示を見て、例えば、観察領域を移動して次のセルの検査を行ったり、次ワークボタン２０４をクリックして、基板１０１を入れ替えたり、終了ボタン２０５をクリックして、検査を終了したりすることができる。
【００６８】
終了処理工程は、終了ボタン２０５をクリックすることで実行される。
終了ボタン２０５がクリックされると、制御ユニット本体１０７ｃは、制御対象ごとに、所定の終了動作を実行させる。そして、保存が必要なデータ、例えば基板判定結果、セル情報、欠陥情報などを記憶部１６のファイルなどに保存する。そして、基板マップ画面２０１を表示するプログラムを終了する。
【００６９】
このように、本実施形態の基板検査装置１によれば、検査者２が観察台１０５上で一定の姿勢を取った状態で、観察領域を移動して、基板１０１を目視観察したり、顕微鏡観察したりすることができる。このため、基板１０１が検査者２の身長を超えるような大きな基板であっても、安定した検査姿勢で効率的に検査を行うことができる。
【００７０】
次に本実施形態の変形例について説明する。
図９は、本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の操作画面の一例を示す模式的な画面構成図である。図１０は、本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の動作について説明するフローチャートである。
【００７１】
本変形例は、上記実施形態の操作入力処理部１３に、複数の相対的な移動の移動先を順次移動して検査を行う自動移動モードを設けたものである。
本変形例では、基板検査装置１が起動されると、図９に示すように、メイン画面２００に代えて、メイン画面３００が表示されるようになっている。
メイン画面３００は、メイン画面２００の画面に加えて、全面検査ボタン３０１、一時停止ボタン３０２が表示される。
全面検査ボタン３０１は、それをクリックすることで、自動移動モードを実行するためのものである。
一時停止ボタン３０２は、それをクリックすることで、割り込みを発生させて、自動移動モードの動作を停止し、再度クリックすることで、停止状態を解除するものである。
【００７２】
自動移動モードの動作について、図１０を参照して説明する。
検査者２によって、全面検査ボタン３０１がクリックされると、操作入力処理部１３によって自動移動モードが実行開始される。
まずステップＳ１では、記憶部１６に予め記憶された複数の相対的な移動の移動先の情報を含む観察領域移動情報を読み込む。
観察領域移動情報は、基板１０１を見落としなく全面的に検査するために、例えば、各セルの中心位置座標、あるいはグループ化された複数のセル群の中心位置座標などがセル番号順に登録されている。また、前工程の検査による欠陥の位置情報などがあれば、その全位置座標と移動順とが登録されている。
【００７３】
次に、ステップＳ２では、例えば移動先カウンタにセットされた順序情報に基づいて、読み込んだ位置座標の１つを選択し、それを相対的な移動の移動先の情報として、観察位置移動演算部１４に設定する処理を行う。
ステップＳ３では、上記実施形態における移動操作画面からの入力に代えて、ステップＳ２で設定した相対的な移動の移動先の情報を用いて、観察領域移動処理工程を実行する。
ステップＳ４では、上記実施形態と同様の判定入力処理工程に移行する。判定入力処理実行後、ステップＳ５を実行する。
ステップＳ５では、基板１０１がＮＧと判定されたかどうか判定し、ＮＧでない場合は、ステップＳ６に移行する。
ＮＧである場合は、自動移動モードを終了して待機状態に移行する。
ステップＳ６では、ステップＳ１で読み込んだ相対的な移動の移動先をすべて移動したかどうか判定し、すべて移動していない場合は、移動先カウンタを更新して、ステップＳ２に移行し、上記工程を繰り返す。
すべて移動した場合は、全面自動移動モードを終了して待機状態に移行する。
【００７４】
本変形例によれば、複数の相対的な移動の移動先を順次移動する自動移動モードを備えるので、検査箇所が多い場合や、検査箇所を複雑に移動する必要がある場合などにも、検査箇所の見落としなどの操作ミスを防止することができ、効率的な検査を行うことができる。
【００７５】
［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置について説明する。
図１１（ａ）は、本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す模式的な正面図である。図１１（ｂ）は、図１１（ａ）のＪ−Ｊ線に沿う模式的な断面図である。
【００７６】
本実施形態の基板検査装置１５０は、図１１（ａ）、（ｂ）に示すように、上記第１の実施形態の装置本体５に代えて、観察窓１６３を除いて複数の不透明な装置カバー３で覆われた装置本体５０が床面４上に設置され、観察台１０５に代えて装置本体５０の観察窓１６３の前側に設けられたゴンドラ１６０（可動観察台）とからなる。制御ユニット１０７は、ゴンドラ１６０上に配置されている。観察窓１６３は、基板１０１の全範囲を観察できる大きさに設けられている。基板１０１を装置本体５０との間で搬入出するための搬入出口は、適宜の位置に設けることができるが、本実施形態では、装置本体５０の裏側（Ｚ軸負方向側）の装置カバー３に開閉可能に設けられている。
【００７７】
装置本体５０は、保持部水平方向ガイド１０９、保持部鉛直方向ガイド１１０に代えて、保持部回転機構１０８ａをＹ軸方向に昇降可能に保持する支持枠１６４を備える。このような支持枠１６４により、基板保持部１０８は、Ｙ軸回りに回動可能な状態で、Ｙ軸方向に昇降可能とされている。また、第１の実施形態と同様に保持部前後方向ガイド１１１によってＺ軸方向に移動可能に支持されている。
ここで、保持部回転機構１０８ａの昇降移動は、図１１（ｂ）に二点鎖線で示すように、搬入出時における基板保持部１０８の高さを調整するために用いている。ただし、搬送ロボットなどで容易に基板１０１の高さ調整を行うことができる場合には、保持部回転機構１０８ａがＹ軸方向に昇降移動しない構成としてもよい。
【００７８】
ゴンドラ１６０は、ゴンドラ床面１６０ａ上に、観察台上面１０５ａと同様にして目視観察用照明１０６、実体顕微鏡ヘッド１０４、制御ユニット１０７を配置して、検査者２が乗った状態で、観察窓１６３の前側（Ｚ軸正方向側）をＸ軸方向およびＹ軸方向に、移動できるようにした移動体である。ただし、実体顕微鏡ヘッド１０４、目視観察用照明１０６の退避位置は、検査者２の観察に支障がない適宜位置、例えば、ゴンドラ床面１６０ａのＸ軸方向の両端部に設定される。
本実施形態では、ゴンドラ１６０は、ゴンドラ水平方向ガイド１６１によって、Ｘ軸方向に移動可能に支持し、ゴンドラ水平方向ガイド１６１の両端部をゴンドラ鉛直方向ガイド１６２、１６２によってＹ軸方向に移動可能に支持することで、Ｘ軸方向およびＹ軸方向への移動を可能としている。
ゴンドラ水平方向ガイド１６１、ゴンドラ鉛直方向ガイド１６２は、上記第１の実施形態の保持部水平方向ガイド１０９、保持部鉛直方向ガイド１１０などと同様な構成を採用することができる。
【００７９】
このような基板検査装置１５０によれば、保持部前後方向ガイド１１１により、基板保持部１０８をＺ軸方向に移動し、ゴンドラ１６０をゴンドラ水平方向ガイド１６１、ゴンドラ鉛直方向ガイド１６２によりＸ軸方向およびＹ軸方向に移動することで、基板保持部１０８と検査者２との位置関係を、上記第１の実施形態と同様に相対移動させることができる。
すなわち、ゴンドラ水平方向ガイド１６１、ゴンドラ鉛直方向ガイド１６２、および保持部前後方向ガイド１１１が、上記第１の実施形態の保持部移動機構１２０に対応する保持部移動機構１６５を構成している。そのため、制御ユニット本体１０７ｃによって、上記第１の実施形態と同様にして観察領域移動処理工程を行うことができるものである。
その動作は、上記第１の実施形態の保持部移動機構１２０を、保持部移動機構１６５と読み替えることで容易に理解されるので、説明は省略する。
【００８０】
本実施形態の基板検査装置１５０によれば、基板１０１上でのＸＹ平面内の観察領域の移動を基板保持部１０８とゴンドラ１６０とを相対移動することによって実現するので、基板保持部１０８をＸＹ平面内で移動させる場合に比べて、装置本体５０の大きさを低減することができるという利点がある。
【００８１】
［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態に係る基板検査システムについて説明する。
図１２は、本発明の第３の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示すシステム構成図である。
【００８２】
本実施形態の基板検査システム５００は、図１２に示すように、基板１０１を検査して、欠陥の位置情報を取得する欠陥検査装置４００と、基板検査装置４１０とが、通信回線４０１（外部通信回線）で通信可能に接続されたものである。
ここで、基板検査装置４１０は、本発明の実施形態に係る基板検査装置であり、例えば、上記第１および第２の実施形態の基板検査装置１、１５０やその変形例などをすべて採用することができる。
【００８３】
このような基板検査システム５００によれば、欠陥検査装置４００が取得した欠陥の位置情報を、検査した基板１０１のシリアル番号や工程番号などの情報とともに、通信回線４０１を介して、基板検査装置４１０に送出する。そして、基板検査装置４１０では、それらの情報を記憶部１６に記憶する。
そして、これらの情報に基づいて、欠陥表示２０８を行うとともに、欠陥情報タブ２０２Ａに位置情報を表示する。そして、例えば、欠陥情報タブ２０２Ａの「欠陥Ｎｏ．」の欠陥番号をダブルクリックするなどの操作によって、観察領域移動処理工程が実行開始され、ダブルクリックされた欠陥番号の位置座標が、相対的な移動の移動先の座標値に設定されるように操作入力処理部１３を構成しておく。
このようにすることで、前工程の検査によって既知となった欠陥の位置に、観察領域を容易に移動することができる。
【００８４】
また、第１の実施形態の変形例のような自動移動モードを有する場合には、欠陥検査装置４００の欠陥の位置情報を観察領域移動情報として読み込んで、自動移動モードを実行するように設定することもできる。
この場合、前工程の検査結果を有効に活用して効率的な検査を行うことができる。
【００８５】
このように、本実施形態では、欠陥検査装置４００での検査結果を基に手動または自動で観察領域移動処理工程を行うことができるので、検査効率を向上することができる。
【００８６】
なお、上記の第１の実施形態の説明では、観察台上面１０５ａの位置は一定であるとして説明した。すなわち、目視観察の場合の基板観察部に観察位置調整機構を備えない場合の例となっている。
ただし、例えば、観察台上面１０５ａをＹ軸方向に移動できる構成とし、検査者２の身長差などの必要により、観察位置を上下できるようにしてもよい。この場合、観察台上面１０５ａの上下移動機構は、目視観察における観察位置調整機構を構成するものである。
そして、この場合、観察台上面１０５ａ上の目視観察用照明１０６、実体顕微鏡ヘッド１０４は、同時にＹ軸方向に移動できるので、照明移動機構１０６ａのＹ軸方向移動機構、顕微鏡鉛直方向ガイド１０２Ｂは省略してよい。
【００８７】
また、上記の説明では、基板模式図２０６、欠陥表示２０８は、いずれも模式図であるとして説明したが、表示部１０７ａの表示能力が高い場合には、いずれも実画像縮小したものを用いてもよい。その場合、より表示が分かりやすくなって好都合である。
【００８８】
また、上記の説明では、より効率的な相対移動を行うとともに、自動移動を可能とするために、相対的な移動の移動先の情報を入力設定する移動先設定部を備える場合の例で説明したが、例えば、ジョイスティックなどの機構で、移動方向のみを設定し、所望の観察領域に到達したら移動を停止するような簡素な操作機構を備えるようにしてもよい。
【００８９】
また、上記の各実施形態に記載された構成要素は、技術的に可能であれば、本発明の技術的思想の範囲内で適宜組み合わせて実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す模式的な正面図、およびそのＡ−Ａ線に沿う模式的な断面図である。
【図２】図１（ｂ）のＢ−Ｂ線に沿う模式的な断面図である。
【図３】図１（ａ）、（ｂ）における観察台近傍の拡大図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の制御ユニットの概略構成を示す機能ブロック図である。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の操作画面の一例を示す模式的な画面構成図である。
【図６】図５の操作画面における情報画面部分の例を示す模式的な画面構成図である。
【図７】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の観察領域の相対移動の模式的な動作説明図である。
【図８】本発明の第１の実施形態に係る基板検査装置の位置検出部の動作説明図である。
【図９】本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の操作画面の一例を示す模式的な画面構成図である。
【図１０】本発明の第１の実施形態の変形例の基板検査装置の動作について説明するフローチャートである。
【図１１】本発明の第２の実施形態に係る基板検査装置の概略構成を示す模式的な正面図、およびそのＪ−Ｊ線に沿う模式的な断面図である。
【図１２】本発明の第３の実施形態に係る基板検査システムの概略構成を示すシステム構成図である。
【符号の説明】
【００９１】
１、    １５０、４１０  基板検査装置
２  検査者
１１  照明移動制御部
１２  顕微鏡移動制御部（観察位置調整機構）
１３  操作入力処理部
１４  観察位置移動演算部（移動制御部）
１５  保持部移動制御部（移動制御部）
１６  記憶部
１７  表示制御部
１８  基板マップ生成部
１９  情報画面生成部
２０  位置検出処理部
１００  観察窓
１０１  基板（被検査基板）
１０２  顕微鏡移動機構（観察位置調整機構）
１０４  実体顕微鏡ヘッド
１０４ａ  顕微鏡照明（照明ユニット）
１０５  観察台
１０５ａ  観察台上面（台座面）
１０６  目視観察用照明（照明ユニット）
１０７  制御ユニット
１０７ａ  表示部
１０７ｂ  操作部
１０７ｃ  制御ユニット本体
１０８  基板保持部
１０８ａ  保持部回転機構
１１３  検査者位置検出センサ（位置検出部）
１２０、１６５  保持部移動機構（観察領域移動機構）
１６０  ゴンドラ（可動観察台）
１６０ａ  ゴンドラ床面（台座面）
２００  メイン画面（移動先設定部）
２０１  基板マップ画面（画面操作機構）
２０２  情報画面
２０２Ａ  欠陥情報タブ
２０２Ｂ  座標情報タブ（移動先設定部）
２０２Ｃ  セル情報タブ
２０３  基板判定ボックス
４００  欠陥検査装置（検査位置取得装置）
４０１  通信回線（外部通信回線）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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