(57)【要約】【課題】熱に対するパターン形状安定性と感度とを両立した有機溶剤可溶性染料を含有する染料含有ネガ型感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法の提供。【解決手段】有機溶剤可溶性染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、アルカリ不溶性樹脂と、を少なくとも含有することを特徴とする染料含有ネガ型感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機溶剤可溶性染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、アルカリ不溶性樹脂と、を少なくとも含有することを特徴とする染料含有ネガ型感光性組成物。
【請求項２】
前記アルカリ不溶性樹脂の分子量が３５００以上３００，０００以下であることを特徴とする、請求項１に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の染料含有ネガ型感光性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成させる工程を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の染料含有ネガ型感光性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示素子や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルターの着色画像を形成するのに好適なカラーフィルター用の染料含有ネガ型感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法及び顔料分散法が知られている。
【０００３】
このうち顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感光性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルターを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルターを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
【０００４】
顔料分散法によりカラーフィルターを作製する場合、ガラス基板上に感光性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布し乾燥させて塗膜を形成し、該塗膜をパターン露光・現像することによって着色された画素が形成され、この操作を各色ごとに繰り返し行うことでカラーフィルターを得ることができる。上記の顔料分散法としては、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物が記載されたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
一方近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。
【０００６】
かかる問題に鑑み、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている。しかしながら、染料含有感光性組成物は一般的に顔料に比べ低感度であり、しかも後加熱によりパターンが縮み、小さくなるという問題が発生している。
有機溶剤可溶性染料を用いたネガ型硬化系にて、分子内に水酸基を有する分子量３０００以下の化合物を添加した例が特許文献２に記載され、この中にアルカリ不溶である化合物を添加した例も記載されているが、該低分子化合物は後加熱によりパターンが縮む問題に対しては効果が得られていなかった。
【特許文献１】特開平２−１９９４０３号公報
【特許文献２】特開２００５−２２７７２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、熱に対するパターン形状安定性と感度とを両立した有機溶剤可溶性染料を含有する染料含有ネガ型感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によれば、下記構成の染料剤含有感光性組成物が提供されて、本発明の目的が達成される。
【０００９】
＜１＞  有機溶剤可溶性染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、アルカリ不溶性樹脂と、を少なくとも含有することを特徴とする染料含有ネガ型感光性組成物。
【００１０】
＜２＞  前記アルカリ不溶性樹脂の分子量が３５００以上３００，０００以下であることを特徴とする、＜１＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【００１１】
＜３＞  前記アルカリ不溶性樹脂の含有量が、固形分１００質量部に対して０．０１〜５．０質量部である、＜１＞〜＜２＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【００１２】
＜４＞  前記アルカリ不溶性樹脂が、光架橋性基及び環状エーテル基を含有しないことを特徴とする、＜１＞〜＜３＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
＜５＞  前記アルカリ不溶性樹脂が、フッ素原子および／または珪素原子を有する樹脂であることを特徴とする＜１＞〜＜４＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
＜６＞  前記光重合開始剤がオキシム系化合物であることを特徴とする＜１＞〜＜５＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
＜７＞  前記有機溶剤可溶性染料として、少なくとも以下の一般式（Ｉ）で表される色素化合物を含有することを特徴とする＜１＞〜＜６＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【００１３】
【化１】
2007219025.tif 000002
【００１４】
一般式（Ｉ）中、環Ａ1、環Ａ2、環Ａ3、および環Ａ4は、それぞれ独立に、下記の芳香環を表す。
【００１５】
【化２】
2007219025.tif 000003
【００１６】
さらに、環Ａ1、環Ａ2、環Ａ3、および環Ａ4の少なくとも１つは、下記の芳香環を表す。
【００１７】
【化３】
2007219025.tif 000004
【００１８】
Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子または、置換もしくは無置換のアルキル基を表す。ただし、Ｒ1とＲ2とが同時に水素原子を表すことはない。また、ｍは１〜８の整数を表し、ｎは１〜４の整数を表す。
＜８＞  前記有機溶剤可溶性染料として、少なくとも以下の一般式（ＩＩ）で表される色素化合物を含有することを特徴とする＜１＞〜＜６＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【００１９】
【化４】
2007219025.tif 000005
【００２０】
〔一般式（ＩＩ）中、Ｒｃ1は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。Ｚｃ1は、炭素原子と共に６員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、４つのＺｃ1は同一でも異なっていてもよい。Ｍは、２個の水素原子、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、または２価の金属塩化物を表す。ｃｍは、０、１または２を表し、ｃｎは０または１〜５の整数を表し、４つのｃｎは同一でも異なってもよい。但し、ｃｎの１つは１〜５の整数を表し、分子中の複数のＲｃ1は同一でも異なっていてもよい。ｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３およびｃｒ４は０または１を表し、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４≧１を満たす。〕
＜９＞  前記重合性モノマーの含有量が、全固形分に対して２０．０〜７０．０質量％であることを特徴とする＜１＞〜＜８＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
＜１０＞  アルカリ可溶性樹脂の含有量が、全固形分に対して０．０〜１０．０質量％であることを特徴とする＜１＞〜＜９＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物。
【００２１】
＜１１＞  ＜１＞〜＜１０＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成させる工程を有することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
【００２２】
＜１２＞  ＜１＞〜＜１０＞に記載の染料含有ネガ型感光性組成物を用いて形成されたことを特徴とするカラーフィルター。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、熱に対するパターン形状安定性と感度とを両立した有機溶剤可溶性染料を含有する染料含有ネガ型感光性組成物並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明の染料含有ネガ型感光性組成物（以下、「本発明の組成物」という場合がある。）並びにそれを用いたカラーフィルター及びその製造方法について説明する。
本発明の染料含有ネガ型感光性組成物は、有機溶剤可溶性染料と、光重合開始剤と、重合性モノマーと、アルカリ不溶性樹脂と、を少なくとも含有することを特徴とする。以下、本発明の組成物を構成する各材料について説明する。
【００２５】
〜有機溶剤可溶性染料〜
本発明では、特に制限はなく従来カラーフィルター用として公知の染料を使用できる。
例えば、特開昭６４−９０４０３号公報、特開昭６４−９１１０２号公報、特開平１−９４３０１号公報、特開平６−１１６１４号公報、特登２５９２２０７号、米国特許第４，８０８，５０１号明細書、米国特許第５，６６７，９２０号明細書、米国特許第５，０５９，５００号明細書、特開平６−３５１８３号公報、等に開示されている色素が使用できる。化学構造としては、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、等の染料が使用できる。特に好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アンスラピリドン系の染料である。
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および／または、これらの誘導体等も有用に使用することが出来る。
【００２６】
〈酸性染料〉
上記のうち、酸性染料について説明する。酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、本発明の組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
【００２７】
以下、酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
ａｃｉｄ  ａｌｉｚａｒｉｎ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｎ；
ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  １，２，２４，４８；
ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  １，７，９，１５，１８，２３，２５，２７，２９，４０，４２，４５，５１，６２，７０，７４，８０，８３，８６，８７，９０，９２，９６，１０３，１１２，１１３，１２０，１２９，１３８，１４７，１５０，１５８，１７１，１８２，１９２，２１０，２４２，２４３，２５６，２５９，２６７，２７８，２８０，２８５，２９０，２９６，３１５，３２４：１，３３５，３４０；
ａｃｉｄ  ｃｈｒｏｍｅ  ｖｉｏｌｅｔ  Ｋ；
ａｃｉｄ  Ｆｕｃｈｓｉｎ；
ａｃｉｄ  ｇｒｅｅｎ  １，３，５，９，１６，２５，２７，５０，５８，６３，６５，８０，１０４，１０５，１０６，１０９；
ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ６，７，８，１０，１２，２６，５０，５１，５２，５６，６２，６３，６４，７４，７５，９４，９５１０７，１０８，１６９，１７３；
【００２８】
ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８２，１８３，１９８，２０６，２１１，２１５，２１６，２１７，２２７，２２８，２４９，２５２，２５７，２５８，２６０，２６１，２６６，２６８，２７０，２７４，２７７，２８０，２８１，１９５，３０８，３１２，３１５，３１６，３３９，３４１，３４５，３４６，３４９，３８２，３８３，３９４，４０１，４１２，４１７，４１８，４２２，４２６；
ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ６Ｂ，７，９，１７，１９；
ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １，３，７，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，３８，４０，４２，５４，６５，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１３，１１４，１１６，１１９，１２３，１２８，１３４，１３５，１３８，１３９，１４０，１４４，１５０，１５５，１５７，１６０，１６１，１６３，１６８，１６９，１７２，１７７，１７８，１７９，１８４，１９０，１９３，１９６，１９７，１９９，２０２，２０３，２０４，２０５，２０７，２１２，２１４，２２０，２２１，２２８，２３０，２３２，２３５，２３８，２４０，２４２，２４３，２５１；
【００２９】
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ２，３３，３４，３５，３８，３９，４３，４７，５０，５４，５８，６８，６９，７０，７１，８６，９３，９４，９５，９８，１０２，１０８，１０９，１２９，１３６，１３８，１４１；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３４，３９，４１，４６，５０，５２，５６，５７，６１，６４，６５，６８，７０，９６，９７，１０６，１０７；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｒｅｄ  ７９，８２，８３，８４，９１，９２，９６，９７，９８，９９，１０５，１０６，１０７，１７２，１７３，１７６，１７７，１７９，１８１，１８２，１８４，２０４，２０７，２１１，２１３，２１８，２２０，２２１，２２２，２３２，２３３，２３４，２４１，２４３，２４６，２５０；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ４７，５２，５４，５９，６０，６５，６６，７９，８０，８１，８２，８４，８９，９０，９３，９５，９６，１０３，１０４；
【００３０】
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｂｌｕｅ  ５７，７７，８０，８１，８４，８５，８６，９０，９３，９４，９５，９７，９８，９９，１００，１０１，１０６，１０７，１０８，１０９，１１３，１１４，１１５，１１７，１１９，１３７，１４９，１５０，１５３，１５５，１５６，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２，１６３，１６４，１６６，１６７，１７０，１７１，１７２，１７３，１８８，１８９，１９０，１９２，１９３，１９４，１９６，１９８，１９９，２００，２０７，２０９，２１０，２１２，２１３，２１４，２２２，２２８，２２９，２３７，２３８，２４２，２４３，２４４，２４５，２４７，２４８，２５０，２５１，２５２，２５６，２５７，２５９，２６０，２６８，２７４，２７５，２９３；
Ｄｉｒｅｃｔ  Ｇｒｅｅｎ  ２５，２７，３１，３２，３４，３７，６３，６５，６６，６７，６８，６９，７２，７７，７９，８２；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｙｅｌｌｏｗ  ５，８，１０，１６，２０，２６，３０，３１，３３，４２，４３，４５，５６，５０，６１，６２，６５；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｏｒａｎｇｅ  ３，４，５，８，１２，１３，１４，２０，２１，２３，２４，２８，２９，３２，３４，３５，３６，３７，４２，４３，４７，４８；
【００３１】
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｒｅｄ  １，２，３，４，９，１１，１２，１４，１７，１８，１９，２２，２３，２４，２５，２６，３０，３２，３３，３６，３７，３８，３９，４１，４３，４５，４６，４８，５３，５６，６３，７１，７４，８５，８６，８８，９０，９４，９５；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｖｉｏｌｅｔ  ２，４，５，７，１４，２２，２４，３０，３１，３２，３７，４０，４１，４４，４５，４７，４８，５３，５８；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｂｌｕｅ  ２，３，７，８，９，１２，１３，１５，１６，１９，２０，２１，２２，２３，２４，２６，３０，３１，３２，３９，４０，４１，４３，４４，４８，４９，５３，６１，７４，７７，８３，８４；
Ｍｏｒｄａｎｔ  Ｇｒｅｅｎ  １，３，４，５，１０，１５，１９，２６，２９，３３，３４，３５，４１，４３，５３；
Ｆｏｏｄ  Ｙｅｌｌｏｗ  ３；
及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
【００３２】
上記の酸性染料の中でも、
ａｃｉｄ  ｂｌａｃｋ  ２４；
ａｃｉｄ  ｂｌｕｅ  ２３，２５，２９，６２，８０，８６，８７，９２，１３８，１５８，１８２，２４３，３２４：１；
ａｃｉｄ  ｏｒａｎｇｅ  ８，５１，５６，７４，６３；
ａｃｉｄ  ｒｅｄ  １，４，８，３４，３７，４２，５２，５７，８０，９７，１１４，１４３，１４５，１５１，１８３，２１７，２４９；
ａｃｉｄ  ｖｉｏｌｅｔ  ７；
ａｃｉｄ  ｙｅｌｌｏｗ  １７，２５，２９，３４，４２，７２，７６，９９，１１１，１１２，１１４，１１６，１３４，１５５，１６９，１７２，１８４，２２０，２２８，２３０，２３２，２４３；
Ａｃｉｄ  Ｇｒｅｅｎ  ２５；
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
【００３３】
酸性染料の誘導体としては、スルホン酸あるいはカルボン酸を有する酸性染料の無機塩、含窒素化合物との塩が使用でき、本発明の組成物中に溶解させることができるものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、本発明の組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
【００３４】
酸性染料と含窒素化合物との塩について説明する。
酸性染料と含窒素化合物との塩を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良（有機溶剤への溶解性付与）や、耐熱性及び耐光性改良に効果的な場合がある。
また、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物については、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、本発明の組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも分子量３００以下のものが好ましく、分子量２８０以下のものがより好ましく、分子量２５０以下のものが特に好ましい。
【００３５】
酸性染料と含窒素化合物との塩における、含窒素化合物／酸性染料のモル比（以下、ｎという。）について説明する。ｎは、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の０＜ｎ≦５の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、本発明の組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、前記ｎは０＜ｎ≦４．５の間の数値をとることが好ましく、０＜ｎ≦４の間の数値をとることがさらに好ましく、０＜ｎ≦３．５の間の数値をとることが特に好ましい。
【００３６】
〜有機溶剤可溶性フタロシアニン〜
本発明の染料含有ネガ型感光性組成物は、着色剤として、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料の少なくとも一種を含有することが好ましい。有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料であれば、特に制限なく使用することができる。
例えば、有機溶剤に可溶なフタロシアニン染料としては、特開平５−３３３２０７号公報、特開平６−５１１１５号公報、特開平６−１９４８２８号公報に記載の染料が挙げられる。特に好ましい有機溶剤可溶性フタロシアニン染料としては、下記一般式（Ｉ）で表される色素化合物、又は下記一般式（ＩＩ）で表される色素化合物が挙げられる。
【００３７】
［一般式（Ｉ）で表される色素化合物］
一般式（Ｉ）で表される色素化合物について説明する。下記一般式（Ｉ）で表される色素化合物は、モル吸光係数εおよび色価の良好な有機溶剤可溶性フタロシアニン染料であり、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足する化合物である。
【００３８】
【化５】
2007219025.tif 000006
【００３９】
前記一般式（Ｉ）中、環Ａ1、環Ａ2、環Ａ3、および環Ａ4は、それぞれ独立に、下記の芳香環を表す。その縮環方向およびそこに結合する置換基の置換位置により一般式（Ｉ）で表される色素化合物は多数の異性体が存在する。
【００４０】
【化６】
2007219025.tif 000007
【００４１】
さらに、環Ａ1、環Ａ2、環Ａ3、および環Ａ4の少なくとも１つは、下記の芳香環を表す。
【００４２】
【化７】
2007219025.tif 000008
【００４３】
具体的には、一般式（Ｉ）の基本骨格として、下記式（１）〜（５）の５種類の構造が挙げられ、さらにピリジン環の縮合方向の相違から、Ｎの位置が異なる位置異性体が存在する。さらに、臭素等の置換基の置換位置が異なる異性体もそれぞれに存在する。
【００４４】
【化８】
2007219025.tif 000009
【００４５】
前記一般式（Ｉ）中、Ｒ1およびＲ2は、それぞれ独立に、水素原子または、置換もしくは無置換のアルキル基を表す。ただし、Ｒ1とＲ2とが同時に水素原子を表すことはない。また、ｍは１〜８の整数を表し、ｎは１〜４の整数を表す。
【００４６】
Ｒ1またはＲ2で表される無置換のアルキル基としては、炭素数１〜１２のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、イソブチル基、ｎ−ヘキシル基、２−エチルへキシル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ドデシル基等の直鎖または分岐アルキル基が挙げられ、中でも炭素数４〜１２の直鎖または分岐アルキル基が好ましい。
【００４７】
Ｒ1またはＲ2で表される置換アルキル基としては、酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で含む置換アルキル基が好ましく、特に酸素原子を前記少なくとも１つの形態で１〜４個含む炭素数２〜１２の直鎖、分岐、もしくは環状の置換アルキル基が好ましい。例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、ブトキシメチル基、メトキシエチル基、エトキシエチル基、３−メトキシプロピル基、３−エトキシプロピル基、３−ブトキシプロピル基、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、ブトキシエトキシエチル基、メトキシエトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエトキシエチル基、ブトキシエトキシエトキシエチル基、アセチルメチル基、アセチルエチル基、プロピオニルメチル基、プロピオニルエチル基、テトラヒドロフルフリルオキシメチル基、２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラン−４−メトキシメチル基、２−（１，３−ジオキソラン）エトキシメチル基、２−（１，３−ジオキサン）エトキシメチル基、メトキシカルボニルメチル基、エトキシカルボニルエチル基、
【００４８】
プロポキシカルボニルエチル基、ブトキシカルボニルエチル基、ペントキシカルボニルブチル基、１−（ブトキシメチル）エチル基、１−（メトキシメチル）プロピル基、１−（エトキシメチル）プロピル基、１−（ブトキシメチル）プロピル基、１−（２−メトキシ−エトキシ−メチル）プロピル基、１−（２−エトキシ−エトキシ−メチル）プロピル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）エチル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）エチル基、１−（２−ブトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）エチル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−プロポキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−ブトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ブチル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ブチル基、１−（２−プロポキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ブチル基、
【００４９】
１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ペンチル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ペンチル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）エチル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）エチル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）プロピル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシメチル）ブチル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシエチル）エチル基、１−（２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシエチル）エチル基、１−（２−メトキシ−２−エトキシ−２−エトキシ−２−エトキシエチル）プロピル基、１，１−ジ（メトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（エトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（プロポキシメチル）メチル基、１，１−ジ（ブトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（２−メトキシ−エトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（２−エトキシ−エトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（２−プロポキシ−エトキシメチル）メチル基、１，１−ジ（２−ブトキシ−エトキシメチル）メチル基が挙げられる。
【００５０】
前記Ｒ1およびＲ2としては、それぞれ独立に、水素原子（但し、Ｒ1およびＲ2が同時に水素原子を表すことはない。）、無置換のアルキル基、または「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で含む置換アルキル基」である態様が好ましい。
【００５１】
上記のうち、Ｒ1およびＲ2が、それぞれ独立に、水素原子（但し、Ｒ1およびＲ2が同時に水素原子を表すことはない。）、炭素数１〜１２の無置換のアルキル基、または「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で１〜４個含む炭素数２〜１２の置換アルキル基」である態様が特に好ましく、更に中でも、Ｒ1およびＲ2の少なくとも一方が、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で１〜４個含む炭素数２〜１２の置換アルキル基」である態様が、極性有機溶剤に対する溶解性が高い点で好ましい。
【００５２】
更には、特にＲ1およびＲ2の少なくとも一方が、下記式（Ｉ−ａ）で表される置換アルキル基である場合のテトラアザポルフィリン化合物が好ましい。
【００５３】
【化９】
2007219025.tif 000010
【００５４】
前記式（Ｉ−ａ）中、Ｒ3およびＲ4は、それぞれ独立に、水素原子、無置換のアルキル基、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で含むアルキル基、アルキルカルボニル基、またはアルコキシカルボニル基を表す。但し、Ｒ3およびＲ4の少なくとも一方は、「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で含む置換アルキル基」、アルキルカルボニル基、またはアルコキシカルボニル基を表す。
【００５５】
Ｒ3またはＲ4で表される無置換のアルキル基としては、炭素数１〜８のアルキル基が好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、オクチル基等が挙げられる。
【００５６】
Ｒ3またはＲ4で表される「酸素原子をエーテル結合、カルボニル結合、およびエステル結合の少なくとも１つの形態で含む置換アルキル基」としては、酸素原子を１〜４個含む炭素数２〜１０の置換アルキル基が好ましい。例えば、メトキシメチル基、エトキシメチル基、プロポキシメチル基、ブトキシメチル基、メトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシメチル基、メトキシエトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシエトキシメチル基、メトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、エトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、プロポキシエトキシエトキシエトキシメチル基、ブトキシエトキシエトキシエトキシメチル基、アセチルメチル基、プロピオニルメチル基、テトラヒドロフルフリルオキシメチル基、２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラン−４−メトキシメチル基、２−（１，３−ジオキソラン）エトキシメチル基、２−（１，３−ジオキサン）エトキシメチル基、メトキシカルボニルメチル基、エトキシカルボニルメチル基、プロポキシカルボニルメチル基、ブトキシカルボニルメチル基、ペントキシカルボニルメチル基等が挙げられる。
【００５７】
Ｒ3またはＲ4で表されるアルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基としては、総炭素数２〜１０のアルキルカルボニル基、総炭素数２〜１０のアルコキシカルボニル基が好ましい。例えば、アセチル基、プロピオニル基、プロピルカルボニル基、メトキシカルボニル基、エトキシカルボニル基、プロポキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基、ペントキシカルボニル基等が挙げられる。
【００５８】
前記一般式（Ｉ）において、ｍは、１〜８の整数を表し、中でも、１〜６の整数が好ましく、吸光度が高い点で１〜４の整数が特に好ましい。また、ｎは、１〜４の整数を表し、中でも、２または３が好ましく、２が特に好ましい。
【００５９】
前記一般式（Ｉ）で表されるテトラアザポルフィリン化合物は、これら多数の異性体の一部または全てを含むものである。
【００６０】
以下、前記一般式（Ｉ）で表されるテトラアザポルフィリン化合物の例示化合物〔具体例１〜１５７〕を示す。本発明においては、これらの具体例に限定されるものではない。
【００６１】
【化１０】
2007219025.tif 000011
【００６２】
【化１１】
2007219025.tif 000012
【００６３】
【化１２】
2007219025.tif 000013
【００６４】
【化１３】
2007219025.tif 000014
【００６５】
【化１４】
2007219025.tif 000015
【００６６】
【化１５】
2007219025.tif 000016
【００６７】
【化１６】
2007219025.tif 000017
【００６８】
【化１７】
2007219025.tif 000018
【００６９】
【化１８】
2007219025.tif 000019
【００７０】
［一般式（ＩＩ）で表される色素化合物］
【００７１】
【化１９】
2007219025.tif 000020
【００７２】
前記一般式（ＩＩ）において、Ｒｃ1は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。Ｚｃ1は、炭素原子と共に６員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、４つのＺｃ1は同一でも異なっていてもよい。Ｍは、２個の水素原子、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、または２価の金属塩化物を表す。ｃｍは、０、１または２を表し、ｃｎは０または１〜５の整数を表し、４つのｃｎは同一でも異なってもよい。但し、ｃｎの１つは１〜５の整数を表し、分子中の複数のＲｃ1は同一でも異なっていてもよい。ｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は０または１を表し、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４≧１を満たす。
【００７３】
前記一般式（ＩＩ）において、「脂肪族」は、その脂肪族部位が直鎖、分岐鎖、または環状であって飽和及び不飽和のいずれであってもよく、例えば、アルキル基、アルケニル基、シクロアルキル基、シクロアルケニル基を含み、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。また、「アリール」は、単環及び縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。「ヘテロ環」は、そのヘテロ環部位が環内にヘテロ原子（例えば、窒素原子、イオウ原子、酸素原子）を持つものであり、飽和環及び不飽和環のいずれであってもよく、単環及び縮合環のいずれでもよく、無置換であっても置換基で置換されていてもよい。
【００７４】
また、前記一般式（ＩＩ）において、「置換基」は、置換可能な基であればよく、例えば、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、アシル基、イミド基、アゾ基、アシルオキシ基、アシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、ヘテロ環スルホニル基、脂肪族スルホニルオキシ基、アリールスルホニルオキシ基、ヘテロ環スルホニルオキシ基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、ヘテロ環スルホンアミド基、アミノ基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、ヘテロ環アミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、ヘテロ環オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルフィニル基、アリールスルフィニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヘテロ環チオ、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、脂肪族オキシアミノ基、アリールオキシアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子、スルファモイルカルバモイル基、カルバモイルスルファモイル基、ジ脂肪族オキシフォスフィニル基、ジアリールオキシフォスフィニル基、等を挙げることができる。
【００７５】
前記一般式（ＩＩ）において、Ｒｃ1は、ハロゲン原子、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、シアノ基、カルボキシル基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、アシル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、アシルオキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、スルホ基、イミド基、またはヘテロ環チオ基を表す。
【００７６】
前記Ｒｃ1で表されるハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
【００７７】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数１〜１５の脂肪族基が好ましい。例えば、メチル基、エチル基、ビニル基、アリル基、エチニル基、イソプロペニル基、２−エチルヘキシル基等が挙げられる。
【００７８】
前記Ｒｃ1で表されるアリール基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１６のアリール基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリール基がより好ましい。例えば、フェニル基、４−ニトロフェニル基、２−ニトロフェニル基、２−クロロフェニル基、２，４−ジクロロフェニル基、２，４−ジメチルフェニル基、２−メチルフェニル基、４−メトキシフェニル基、２−メトキシフェニル基、２−メトキシカルボニル−４−ニトロフェニル基等が挙げられる。
【００７９】
前記Ｒｃ1で表されるヘテロ環基としては、飽和であっても不飽和であってもよく、総炭素数１〜１５のヘテロ環基が好ましく、総炭素数３〜１０のヘテロ環基がより好ましい。例えば、３−ピリジル基、２−ピリジル基、２−ピリミジニル基、２−ピラジニル基、１−ピペリジル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。
【００８０】
前記Ｒｃ1で表されるカルバモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイル基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイル基がより好ましい。例えば、カルバモイル基、ジメチルカルバモイル基、ジメトキシエチルカルバモイル基等が挙げられる。
【００８１】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族オキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよく、総炭素数２〜１６の脂肪族オキシカルボニル基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニル基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニル基、ブトキシカルボニル基等が挙げられる。
【００８２】
前記Ｒｃ1で表されるアリールオキシカルボニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数７〜１７のアリールオキシカルボニル基が好ましく、総炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニル基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニル基等が挙げられる。
【００８３】
前記Ｒｃ1で表されるアシル基は、脂肪族カルボニル基であってもアリールカルボニル基であってもよく、脂肪族カルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、アリールカルボニル基を表す場合は更に置換基を有していてもよく、飽和または不飽和のいずれでもよく、環状であってもよい。該アシル基としては、総炭素数２〜１５のアシル基が好ましく、総炭素数２〜１０のアシル基がより好ましい。例えば、アセチル基、ピバロイル基、ベンゾイル基等が挙げられる。また、さらに置換基を有していてもよい。
【００８４】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族オキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシ基としては、総炭素数１〜１２の脂肪族オキシ基が好ましく、総炭素数１〜１０の脂肪族オキシ基がより好ましい。例えば、メトキシ基、エトキシエトキシ基、フェノキシエトキシ基、チオフェノキシエトキシ基等が挙げられる。
【００８５】
前記Ｒｃ1で表されるアリールオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１８のアリールオキシ基が好ましく、総炭素数６〜１４のアリールオキシ基がより好ましい。例えば、フェノキシ基、４−メチルフェノキシ基等が挙げられる。
【００８６】
前記Ｒｃ1で表されるアシルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数２〜１４のアシルオキシ基が好ましく、総炭素数２〜１０のアシルオキシ基がより好ましい。例えば、アセトキシ基、メトキシアセトキシ基、ベンゾイルオキシ基等が挙げられる。
【００８７】
前記Ｒｃ1で表されるカルバモイルオキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイルオキシ基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイルオキシ基がより好ましい。例えば、ジメチルカルバモイルオキシ基、ジイソプロピルカルバモイルオキシ基等が挙げられる。
【００８８】
前記Ｒｃ1で表されるヘテロ環オキシ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１５のヘテロ環オキシ基が好ましく、総炭素数３〜１０のヘテロ環オキシ基がより好ましい。例えば、３−フリルオキシ基、３−ピリジルオキシ基、Ｎ−メチル−２−ピペリジルオキシ基等が挙げられる。
【００８９】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族オキシカルボニルオキシ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族オキシカルボニルオキシ基としては、総炭素数２〜１６の脂肪族オキシカルボニルオキシ基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニルオキシ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルオキシ基、（ｔ）ブトキシカルボニルオキシ基等が挙げられる。
【００９０】
前記Ｒｃ1で表されるＮ−アルキルアシルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数３〜１５のＮ−アルキルアシルアミノ基が好ましく、総炭素数３〜１２のＮ−アルキルアシルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ−メチルアセチルアミノ基、Ｎ−エトキシエチルベンゾイルアミノ基、Ｎ−メチルメトキシアセチルアミノ基等が挙げられる。
【００９１】
前記Ｒｃ1で表されるカルバモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１６のカルバモイルアミノ基が好ましく、総炭素数１〜１２のカルバモイルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルカルバモイルアミノ基、Ｎ−メチル−Ｎ−メトキシエチルカルバモイルアミノ基等が挙げられる。
【００９２】
前記Ｒｃ1で表されるスルファモイルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数０〜１６のスルファモイルアミノ基が好ましく、総炭素数０〜１２のスルファモイルアミノ基がより好ましい。例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルスルファモイルアミノ基、Ｎ，Ｎ−ジエチルスルファモイルアミノ基等が挙げられる。
【００９３】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族オキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数２〜１５の脂肪族オキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数２〜１０の脂肪族オキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、メトキシカルボニルアミノ基、メトキシエトキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。
【００９４】
前記Ｒｃ1で表されるアリールオキシカルボニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数７〜１７のアリールオキシカルボニルアミノ基が好ましく、総炭素数７〜１５のアリールオキシカルボニルアミノ基がより好ましい。例えば、フェノキシカルボニルアミノ基、４−メトキシカルボニルアミノ基等が挙げられる。
【００９５】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族スルホニルアミノ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族スルホニルアミノ基としては、総炭素数１〜１２の脂肪族スルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数１〜８の脂肪族スルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、メタンスルホニルアミノ基、ブタンスルホニルアミノ基等が挙げられる。
【００９６】
前記Ｒｃ1で表されるアリールスルホニルアミノ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１５のアリールスルホニルアミノ基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリールスルホニルアミノ基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニルアミノ基、４−トルエンスルホニルアミノ基等が挙げられる。
【００９７】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族チオ基は、無置換でも置換基を有していてもよく、飽和であっても不飽和であってもよく、環状であってもよい。脂肪族チオ基としては、総炭素数１〜１６の脂肪族チオ基が好ましく、総炭素数１〜１０の脂肪族チオ基がより好ましい。例えば、メチルチオ基、エチルチオ基、エトキシエチルチオ基等が挙げられる。
前記Ｒｃ1で表されるアリールチオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜２２のアリールチオ基が好ましく、総炭素数６〜１４のアリールチオ基が好ましい。例えば、フェニルチオ基、２−ｔ−ブチルチオ基等が挙げられる。
【００９８】
前記Ｒｃ1で表される脂肪族スルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数１〜１５の脂肪族スルホニル基が好ましく、総炭素数１〜８の脂肪族スルホニル基がより好ましい。例えば、メタンスルホニル基、ブタンスルホニル基、メトキシエタンスルホニル基等が挙げられる。
前記Ｒｃ1で表されるアリールスルホニル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数６〜１６のアリールスルホニル基が好ましく、総炭素数６〜１２のアリールスルホニル基がより好ましい。例えば、ベンゼンスルホニル基、４−ｔ−ブチルベンゼンスルホニル基、４−トルエンスルホニル基、２−トルエンスルホニル基等が挙げられる。
【００９９】
前記Ｒｃ1で表されるスルファモイル基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、総炭素数０〜１６のスルファモイル基が好ましく、総炭素数０〜１２のスルファモイル基がより好ましい。例えば、スルファモイル基、ジメチルスルファモイル基等が挙げられる。
【０１００】
前記Ｒｃ1で表されるイミド基としては、更に縮環していてもよく、総炭素数３〜２２のイミド基が好ましく、総炭素数３〜１５のイミド基がより好ましい。例えば、コハク酸イミド基、フタル酸イミド基等が挙げられる。
【０１０１】
前記Ｒｃ1で表されるヘテロ環チオ基としては、無置換でも置換基を有していてもよく、５〜７員環であって、総炭素数１〜２０のヘテロ環チオ基が好ましく、総炭素数１〜１２のヘテロ環チオ基が好ましい。例えば、３−フリルチオ基、３−ピリジルチオ基等が挙げられる。
【０１０２】
前記一般式（ＩＩ）中、Ｚｃ1は、炭素原子と共に６員環を形成するのに必要な非金属原子群を表し、４つのＺｃ1は同一でも異なっていてもよい。形成される６員環は、アリール環またはヘテロ環のいずれであってもよく、縮環していてもよく、縮環した環が更に置換基を有していてもよい。６員環としては、例えば、ベンゼン環、ピリジン環、シクロヘキセン環、ナフタレン環等が挙げられ、ベンゼン環である態様が好適である。
【０１０３】
前記一般式（ＩＩ）中、Ｍは、２個の水素原子、２価の金属原子、２価の金属酸化物、２価の金属水酸化物、または２価の金属塩化物を表す。該Ｍとしては、例えば、ＶＯ、ＴｉＯ、Ｚｎ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｒｈ、Ｐｔ、Ｐｄ、Ｍｏ、Ｍｎ、Ｐｂ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｆｅ、ＡｌＣｌ、ＩｎＣｌ、ＦｅＣｌ、ＴｉＣｌ2、ＳｎＣｌ2、ＳｉＣｌ2、ＧｅＣｌ2、Ｓｉ（ＯＨ）2、Ｈ2等が挙げられ、ＶＯ、Ｚｎ、Ｍｎ、Ｃｕ、Ｎｉ、Ｃｏである態様が好適である。
【０１０４】
前記一般式（ＩＩ）において、ｃｍは０、１または２（好ましくは０）を表し、ｃｎは０または１〜５の整数（好ましくは０または１）を表す。分子中の４ヶ所のｃｎは同一でも異なってもよいが、ｃｎの１つは１〜５の整数を表し、分子中にｃｎが複数ある場合には、複数のＲｃ1は互いに同一でも異なっていてもよい。
また、ｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は、０または１を表し、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４≧１を満たす。中でも、ｃｒ１＋ｃｒ２＋ｃｒ３＋ｃｒ４が３または４である態様が好ましい。
【０１０５】
前記一般式（ＩＩ）で表される色素化合物の中でも、下記一般式（ＩＩ−１）で表される色素（本発明に係るフタロシアニン系染料）が好ましい。
【０１０６】
【化２０】
2007219025.tif 000021
【０１０７】
前記一般式（ＩＩ−１）中、Ｒｃ2は置換基を表し、該置換基は、置換可能な基であればよく、既述の「置換基」の項で列挙した基が挙げられる。好ましくは、脂肪族基、アリール基、ヘテロ環基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、アリールオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヘテロ環オキシカルボニル基、カルバモイル基、脂肪族スルホニル基、スルファモイル基、脂肪族スルホンアミド基、アリールスルホンアミド基、脂肪族アミノ基、アリールアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールオキシカルボニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、ヒドロキシ基、シアノ基、スルホ基、カルボキシル基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、ハロゲン原子であり、より好ましくは、脂肪族基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシル基、ハロゲン原子である。
【０１０８】
前記一般式（ＩＩ−１）中、ｃｐは０〜４の整数を表し、好ましくは０または１である。ただし、ｃｐ＋ｃｒ１、ｃｐ＋ｃｒ２、ｃｐ＋ｃｒ３、ｃｐ＋ｃｒ４は、いずれも０〜４の整数を表す。Ｒｃ2が分子中に複数存在している場合、複数のＲｃ2は同一でも異なっていてもよい。
なお、一般式（ＩＩ−１）におけるＲｃ1、Ｍ、ｃｍ、ｃｎ並びにｃｒ１、ｃｒ２、ｃｒ３及びｃｒ４は、前記一般式（ＩＩ）おける場合と同義であり、好ましい態様も同様である。
【０１０９】
前記一般式（ＩＩ−１）で表される色素化合物の中でも、下記一般式（ＩＩ−２）で表される色素（本発明に係るフタロシアニン系染料）がより好ましい。
【０１１０】
【化２１】
2007219025.tif 000022
【０１１１】
前記一般式（ＩＩ−２）中、Ｒｃ1、Ｒｃ2、Ｍ、ｃｍ及びｃｎは、前記一般式（ＩＩ）及び（ＩＩ−１）における場合とそれぞれ同義であり、好ましい態様も同様である。また、一般式（ＩＩ−２）中のｃｑは、０または１を表す。なお、フタロシアニン骨格はテトラアザポルフィリン骨格の外側に４つのベンゼン環が縮合した構造を有しており、各ベンゼン環には４ヶ所の置換基が入り得る部位（炭素原子）があるが、前記一般式（ＩＩ−２）は各ベンゼン環のテトラアザポルフィリン骨格から遠い２ヶ所（β位）に水素原子が結合したものである。
【０１１２】
前記一般式（ＩＩ−２）において、より効果的に本発明の効果を奏し得る観点からは、前記Ｒｃ1は、ハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様が好ましく、脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基である態様がより好ましく、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、アリールスルホニル基、イミド基、または脂肪族スルホニル基である態様が最も好ましい。
【０１１３】
同様に本発明の効果をより効果的に奏し得る点で、前記Ｒｃ2は、脂肪族基、Ｎ−アルキルアシルアミノ基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族スルホニル基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、スルホ基、カルボキシル基、またはハロゲン原子である態様が好ましく、脂肪族基またはハロゲン原子である態様がより好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記ｃｑは０である態様が好ましい。同様に本発明の効果をより奏し得る点で、前記Ｍは、ＶＯ、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｃｕ、ＺｎまたはＭｇである態様が好ましく、ＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎである態様がより好ましく、Ｃｕである態様が最も好ましく、また、ｃｍは０である態様が好ましく、ｃｎは１または２である態様が好ましく、ｃｎは１である態様がより好ましい。
【０１１４】
更に効果的に本発明の効果を奏する観点からは、前記一般式（ＩＩ−２）において、前記Ｒｃ1がハロゲン原子、脂肪族基、シアノ基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、ヒドロキシ基、脂肪族オキシ基、カルバモイルオキシ基、ヘテロ環オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族チオ基、アリールチオ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記ＭがＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様が好ましく、また、前記Ｒｃ1が脂肪族基、カルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、脂肪族オキシカルボニルオキシ基、カルバモイルアミノ基、スルファモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニルアミノ基、アリールスルホニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、スルファモイル基、イミド基、またはスルホ基であって、前記ＭがＶＯ、Ｃｏ、ＣｕまたはＺｎであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様がより好ましい。
【０１１５】
特には、同様に本発明の効果の観点から、前記Ｒｃ1がカルバモイル基、脂肪族オキシカルボニル基、脂肪族オキシ基、カルバモイルアミノ基、脂肪族オキシカルボニルアミノ基、脂肪族スルホニル基、アリールスルホニル基、またはイミド基であって、前記ＭがＣｕであって、前記ｃｑが０であって、前記ｃｍが０であって、前記ｃｎが１である態様が最も好ましい。
【０１１６】
以下、前記一般式（ＩＩ）〜（ＩＩ−２）で表される色素（染料）の具体例（例示化合物Ｃ−１〜Ｃ−５９）を示す。但し、本発明においてはこれらに制限されるものではない。
【０１１７】
【化２２】
2007219025.tif 000023
【０１１８】
【化２３】
2007219025.tif 000024
【０１１９】
【化２４】
2007219025.tif 000025
【０１２０】
【化２５】
2007219025.tif 000026
【０１２１】
【化２６】
2007219025.tif 000027
【０１２２】
【化２７】
2007219025.tif 000028
【０１２３】
【化２８】
2007219025.tif 000029
【０１２４】
【化２９】
2007219025.tif 000030
【０１２５】
【化３０】
2007219025.tif 000031
【０１２６】
本発明の染料含有ネガ型感光性組成物の全固形成分中における有機溶剤可溶性染料の含有濃度としては、染料による吸光度と膜硬化性の観点より、２０〜７０質量％が好ましく、２２〜６８質量％がより好ましく、２５〜６５質量％が特に好ましい。
【０１２７】
〜光重合開始剤〜
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は重合性を有するモノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。
【０１２８】
ハロメチルオキサジアゾール等の活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール等が挙げられる。
【０１２９】
ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物の光重合開始剤としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物および４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物が挙げられる。
【０１３０】
その他の例としては、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチ−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１３１】
２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１３２】
４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１３３】
４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１３４】
その他、みどり化学社製ＴＡＺシリーズ、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＴＡＺ−１０４、ＰＡＮＣＨＩＭ社製Ｔシリーズ、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ、チバスペシャルティケミカルズ社製イルガキュアシリーズ、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１、ダロキュアシリーズ、ダロキュア１１７３４，４’−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用に用いられる。
【０１３５】
上記の開始剤種の中でも、オキシム系化合物が好ましく、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−［４−（フェニルチオ）フェニル］−１，２−オクタンジオン、１−（Ｏ−アセチルオキシム）−１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］エタノンが最も好ましい。
【０１３６】
本発明の組成物には、以上の光重合開始剤の他に他の公知の光重合開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号および第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号および第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
【０１３７】
これら光重合開始剤には増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（またはミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１３８】
上記光重合開始剤の使用量は、固形分に対し、１．０質量％〜４０．０質量％が好ましく、２．５質量％〜３０．０質量％がより好ましく、５．０質量％〜２０．０質量％が特に好ましい。光重合開始剤の使用量が１．０質量％より少ないと重合が進み難く、また、４０．０質量％を超えると重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなる場合がある。
【０１３９】
本発明の組成物には以上の他に、更に、熱重合防止剤を加えておくことが好ましく、例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１４０】
〜重合性モノマー〜
次に重合性モノマーについて説明する。重合性モノマーとしては、常圧下で１００℃以上の沸点を有し、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性不飽和基を持つ化合物が好ましい。
【０１４１】
その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、
【０１４２】
トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Ｖｏｌ．２０、Ｎｏ．７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【０１４３】
上記のほか、下記一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）のようなカルボキシル基を含有するラジカル重合性モノマーも好適に使用することができる。なお、一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）において、Ｔ又はＧがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がＲ、Ｘ及びＷに結合する。
【０１４４】
【化３１】
2007219025.tif 000032
【０１４５】
前記一般式（ＩＩＩ−１）において、ｎは０〜１４であり、ｍは１〜８である。前記一般式（ＩＩＩ−２）において、Ｗは一般式（ＩＩＩ−１）と同義のＲ又はＸであり、６個のＷのうち、３個以上のＷがＲである。ｐは０〜１４であり、ｑは１〜８である。一分子内に複数存在するＲ、Ｘ、Ｔ、Ｇは、各々同一であっても、異なっていてもよい。
前記一般式（ＩＩＩ−１）、（ＩＩＩ−２）で表されるラジカル重合性モノマーのうち、具体的例として、下記式（Ｍ−１）〜（Ｍ−１２）で表されるものが好適に挙げられ、中でも、式（Ｍ−２）、式（Ｍ−３）、及び式（Ｍ−５）が好ましい。
【０１４６】
【化３２】
2007219025.tif 000033
【０１４７】
【化３３】
2007219025.tif 000034
【０１４８】
【化３４】
2007219025.tif 000035
【０１４９】
【化３５】
2007219025.tif 000036
【０１５０】
重合性モノマーの染料含有ネガ型感光性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分に対して、２０〜７０質量％が好ましく、２２〜６５質量％がより好ましく、２５〜６０質量％が特に好ましい。該含有量が上記範囲であると、充分な硬化度と未露光部の溶出性とを保持でき、露光部の硬化度が不足したり、未露光部の溶出性が著しく低下したりすることもない。
【０１５１】
〜アルカリ不溶性樹脂〜
次に、アルカリ不溶性樹脂について説明する。本発明における染料含有ネガ型感光性組成物は、アルカリ不溶性樹脂を含有することが必須である。本発明に使用するアルカリ不溶性樹脂はアルカリ不溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ不溶性樹脂としては、分光に影響を与えないという観点より無着色であることが好ましい。無着色の樹脂としては、可視光領域におけるモル吸光係数εの最大値が０以上３０００以下であることが好ましい。
アルカリ不溶性樹脂としては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶であるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、（メタ）アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリエステル系樹脂、ウレタン樹脂等が挙げられる。
アルカリ不溶性樹脂の酸価としては０〜１０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、０〜５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましく、０〜２ｍｇＫＯＨ／ｇが最も好ましい。
【０１５２】
上記アルカリ不溶性樹脂の分子量は、重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が３５００以上３００，０００以下であることが、後加熱後のパターン形状安定性付与の観点で好ましい。より好ましい重量平均分子量の範囲は４０００以上１００，０００以下であり、さらに好ましい重量平均分子量の範囲は４５００以上５０，０００以下である。
上記アルカリ不溶性樹脂の本発明の組成物中の含有量は、本発明の組成物中の固形分１００質量部に対して０．０１〜５．０質量部が好ましく、０．０２〜４．０質量部がさらに好ましく、０．０５〜３．０質量部が特に好ましい。
【０１５３】
本発明の染料含有ネガ型感光性組成物におけるアルカリ不溶性樹脂は、フッ素原子および／または珪素原子を有する樹脂であることが好ましい。
【０１５４】
前記フッ素原子および／または珪素原子を有するアルカリ不溶性樹脂におけるフッ素原子または珪素原子は、樹脂の主鎖中に有していても、側鎖に置換していてもよく、下記一般式（Ｃ−Ｉ）〜（Ｃ−ＩＶ）で示される繰り返し単位の群から選択される少なくとも１種を含有する樹脂であることが好ましい。
【０１５５】
【化３６】
2007219025.tif 000037
【０１５６】
一般式（Ｃ−Ｉ）〜（Ｃ−ＩＶ）中、
Ｒ1〜Ｒ3は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基、または炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のフッ素化アルキル基を表す。
Ｗ1〜Ｗ2は、フッ素原子および／または珪素原子を少なくとも１つ含有する有機基を表す。
Ｒ4〜Ｒ7は、水素原子、フッ素原子、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基、または炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のフッ素化アルキル基を表す。ただし、Ｒ4〜Ｒ7の少なくとも１つはフッ素原子を表す。Ｒ4とＲ5もしくはＲ6とＲ7は環を形成していてもよい。
Ｒ8は、水素原子、または炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基を表す。
Ｒ9は、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基、または炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のフッ素化アルキル基を表す。
Ｌ1〜Ｌ2は、各々独立に、単結合または連結基を表す。連結基としては、アルキレン基、フェニル基、エーテル基、チオエーテル基、カルボニル基、エステル基、アミド基、ウレタン基、またはウレア基よりなる群から選択される単独あるいは２つ以上の基の組み合わせを挙げられる。
Ｑは、単環または多環の環状脂肪族基を表す。すなわち、結合した２つの炭素原子（Ｃ−Ｃ）を含み、脂環式構造を形成するための原子団を表す。
【０１５７】
上記一般式（Ｃ−Ｉ）は、下記一般式（Ｃ−Ｉａ）〜（Ｃ−Ｉｄ）であることがさらに好ましい。
【０１５８】
【化３７】
2007219025.tif 000038
【０１５９】
Ｒ10〜Ｒ11は、各々独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のアルキル基、または炭素数１〜４個の、直鎖もしくは分岐のフッ素化アルキル基を表す。
Ｗ3〜Ｗ6は、フッ素原子および／または珪素原子を少なくとも１つ含有する有機基を表す。
【０１６０】
Ｗ1〜Ｗ6が、フッ素原子を含有する有機基であるとき、炭素数１〜２０のフッ素化された直鎖、分岐、または環状のアルキル基、もしくは、炭素数１〜２０のフッ素化された直鎖、分岐、または環状のアルキルエーテル基であることが好ましい。
【０１６１】
Ｗ1〜Ｗ6のフッ素化アルキル基としては、トリフルオロエチル基、ペンタフルオロプロピル基、ヘキサフルオロイソプロピル基、ヘキサフルオロ（２−メチル）イソプロピル基、ヘプタフルオロブチル基、ヘプタフルオロイソプロピル基、オクタフルオロイソブチル基、ノナフルオロヘキシル基、ノナフルオロ−ｔ−ブチル基、パーフルオロイソペンチル基、パーフルオロオクチル基、パーフルオロ（トリメチル）ヘキシル基などが挙げられる。
【０１６２】
Ｗ1〜Ｗ6が、珪素原子を含有する有機基であるとき、炭素数１〜６のアルキル基が置換した、トリアルキルシリル基、または環状シロキサンであることが好ましい。具体的には、下記一般式（ＣＳ−１）〜（ＣＳ−３）などが挙げられる。なお、一般式（ＣＳ−２）のｎは０〜３の整数を表す。
【０１６３】
【化３８】
2007219025.tif 000039
【０１６４】
Ｒ12〜Ｒ26は、各々独立に、炭素数１〜２０個の、直鎖、分岐または環状のアルキル基を表す。
Ｌ3〜Ｌ5は、上記Ｌ1〜Ｌ2と同様のものが挙げられる。
【０１６５】
以下、一般式（Ｃ−Ｉ）で表される繰り返し単位の具体例を示す。
【０１６６】
【化３９】
2007219025.tif 000040
【０１６７】
【化４０】
2007219025.tif 000041
【０１６８】
本発明におけるアルカリ不溶性樹脂は、水酸基、エーテル基、スルホン基から選択される極性基を有さない方が好ましい。また、本発明におけるアルカリ不溶性樹脂は光架橋性基及び環状エーテル基を含有しないことが好ましい。
【０１６９】
アルカリ不溶性樹脂が珪素原子を含有する場合、珪素原子の含有量は、アルカリ不溶性樹脂の分子量に対し、２〜５０質量％であることが好ましく、２〜３０質量％であることがより好ましい。また、珪素原子を含む繰り返し単位が、アルカリ不溶性樹脂中１０〜１００質量％であることが好ましく、２０〜１００質量％であることがより好ましい。
【０１７０】
アルカリ不溶性樹脂がフッ素原子を含有する場合、フッ素原子の含有量は、アルカリ不溶性樹脂の分子量に対し、５〜８０質量％であることが好ましく、１０〜８０質量％であることがより好ましい。また、フッ素原子を含む繰り返し単位が、アルカリ不溶性樹脂中１０〜１００質量％であることが好ましく、３０〜１００質量％であることがより好ましい。
【０１７１】
アルカリ不溶性樹脂は、残存モノマー量が０〜１０質量％であることが好ましく、０〜５質量％がさらに好ましい。また、解像度、パターン形状などの点から、分子量分布（Ｍｗ／Ｍｎ、分散度ともいう）は１〜５が好ましく、更に好ましくは１〜３の範囲のものが使用される。
【０１７２】
アルカリ不溶性樹脂は、各種市販品を利用することもできるし、常法により合成したものも使用できる。例えば、ラジカル重合等と一般的な精製などで得ることができる。
以下に、本発明におけるアルカリ不溶性樹脂における好ましい具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
【０１７３】
【化４１】
2007219025.tif 000042
【０１７４】
また、市販されているアルカリ不溶性樹脂としては、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリ（プロピレン−コ−エチレン）、ポリ（エチレン−コ−１−ブテン）、ポリ（プロピレン−コ−１−ブテン）、ポリ（プロピレン−コ−１−ヘキセン）、ポリ（エチレン−コ−１−オクテン）、ポリ（プロピレン−コ−１−ブテン−コ−エチレン）、ポリ（エチレン−コ−１−ブテン−コ−１−ヘキセン）、ポリブテン、ポリイソブチレン、ポリ（４−メチル−１−ペンテン）、ポリ（ビニルクロライド）、ポリ（ビニリデンフルオライド）、ポリ（ビニリデンフルオライド−コ−ヘキサフルオロプロピリデン）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリ（エチレン−コ−テトラフルオロエチレン）、ポリ（エチレン−アルト−クロロトリフルオロエチレン）、ポリ（ビニルメチルエーテル）、ポリ（ビニルエチルエーテル）、ポリ（ビニルイソブチルエーテル）、ポリ（エチレンオキシド）、ポリ（プロピレングリコール）、ポリラクチド、ポリ（ビニルアセテート）、ポリ（ビニルプロピオネート）、ポリ（ビニルステアレート）、ポリ（エチレンアジペート）、ポリ（１，４−ブチレンアジペート）、ポリ（エチレンスクシネート）、ポリ（ネオペンチルグリコールセバセート）、ポリ（メチルアクリレート）、ポリ（エチルアクリレート）、ポリ（ブチルアクリレート）、ポリ（２−エチルヘキシルアクリレート）、ポリ（メチルメタクリレート）、ポリ（エチレン−コ−メチルアクリレート）、ポリ（メチルメタクリレート−コ−エチルアクリレート）、ポリ（エチルメタクリレート）、ポリ（イソプロピルメタクリレート）、ポリ（ブチルメタクリレート）、ポリ（エチレン−コ−ブチルアクリレート）、ポリ（イソブチルメタクリレート）、ポリ（ｔ−ブチルメタクリレート）、ポリ（ヘキシルメタクリレート）、ポリ（２−エチルヘキシルメタクリレート）、ポリ（イソデシルメタクリレート）、ポリ（ラウリルメタクリレート）、ポリ（ヘキサデシルメタクリレート）、ポリ（オクタデシルメタクリレート）、ポリ（シクロヘキシルメタクリレート）、ポリ（イソボルニルメタクリレート）、ポリカプロラクトン、ポリ（エチレンテレフタレート）、ポリ（１，４−ブチレンテレフタレート）、ポリ（ベンジルメタクリレート）、ナイロン６、ナイロン６/６、ナイロン６/９、ナイロン６/１０、ナイロン６/１２、ナイロン１１、ナイロン１２、ポリアクリロニトリル、ポリ（ビニリデンクロライド−コ−アクリロニトリル）、ポリ（アクリロニトリル−コ−メタクリロニトリル）、ポリスチレン、ポリ（α−メチルスチレン）、ポリ（４−メチルスチレン）、ポリ（４−ｔ−ブチルスチレン）、ポリ（４−ビニルビフェニル）、ポリ（２−ビニルナフタレン）、ポリ（４−ブロモスチレン）、ポリ（４−ビニルピリジン）、ポリ（スチレン−コ−アクリロニトリル）、ポリ（４−ビニルピリジン−コ−ブチルメタクリレート）、ポリ（４−ビニルピリジン−コ−スチレン）、ポリ（エチレン−コ−エチルアクリレート）、ポリ（エチレン−コ−ビニルアセテート）、ポリ（ビニルクロライド−コ−ビニルアセテート）等が挙げられる。
【０１７５】
〜アルカリ可溶性樹脂〜
次に、アルカリ可溶性樹脂について説明する。本発明における染料含有ネガ型感光性組成物は、アルカリ可溶性樹脂を併用してもよい。本発明に使用するアルカリ可溶性樹脂（以下バインダーと呼ぶこともある）はアルカリ可溶性であれば特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
【０１７６】
また親水性を有するモノマーを共重合しても良く、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級および３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が上げられる。
その他親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を含有するポリマーの例を以下に示すが、ＣＯＯＨ基、ＯＨ基、アンモニウム基等のアルカリ可溶性基と炭素炭素不飽和結合が含まれていれば下記に限定されない。ＯＨ基を有する例えば２−ヒドロキシエチルアクリレートと、ＣＯＯＨ基を含有する例えばメタクリル酸と、およびこれらと共重合可能なアクリル系もしくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、ＯＨ基と反応性を有するエポキシ環と炭素炭素不飽和結合基を有する化合物  例えばグリシジルアクリレートのような化合物を反応させて得られる化合物等が使用できる。ＯＨとの反応ではエポキシ環の他に酸無水物、イソシアネート基を有し、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また特開平６−１０２６６９号、特開平６−１９３８号に開示されるエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和もしくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。ＣＯＯＨのようなアルカリ可溶化基と炭素炭素不飽和基を併せ持つ化合物として例えばダイヤナ−ルＮＲシリーズ（三菱レイヨン株式会社製）、Ｐｈｏｔｏｍｅｒ６１７３（ＣＯＯＨ含有Ｐｏｌｙｕｒｅｔｈａｎｅ  ａｃｒｙｌｉｃ  ｏｌｉｇｏｍｅｒ。Ｄｉａｍｏｎｄ  Ｓｈａｍｒｏｃｋ  Ｃｏ．  Ｌｔｄ．，製）、ビスコートＲ−２６４、ＫＳレジスト１０６（いずれも大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ、プラクセル  ＣＦ２００シリーズ（いずれもダイセル化学工業株式会社製）、Ｅｂｅｃｒｙｌ３８００（ダイセルユーシービー株式会社製）などが挙げられる。
【０１７７】
上記の各種アルカリ可溶性バインダーのうち、アクリル系樹脂が好ましく、該アクリル系樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、及びＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業（株）製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業（株）製）などが好ましい。
【０１７８】
上記バインダーは、重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）が１０００〜２×１０5の重合体が好ましく、２０００〜１×１０5の重合体がさらに好ましく、５０００〜５×１０4の重合体が特に好ましい。
上記バインダーの本発明の組成物中の使用量は、本発明の組成物中の全固形分に対して０．０〜１０．０質量％が好ましく、０．０〜８．０質量％がさらに好ましく、０．０〜６．０質量％が特に好ましい。
【０１７９】
〜溶剤〜
本発明に使用される溶剤は組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
【０１８０】
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類；
３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、
【０１８１】
ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル等；エーテル類、例えばジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、
【０１８２】
プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート等；ケトン類、例えばメチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等；芳香族炭化水素類、例えばトルエン、キシレン等が好ましい。
【０１８３】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【０１８４】
本発明の組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１８５】
これらの添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤：２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；およびポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１８６】
また、未露光部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、本発明の組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。具体的には、例えばギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１８７】
本発明のカラーフィルターは本発明の組成物を用いて形成される。本発明のカラーフィルターは、本発明の組成物を基板（支持体）上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感光性組成物層を形成し、所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像し、着色されたパターンを形成することで製造することができる。また、本発明のカラーフィルターの製造方法は、必要により上記レジストパターンを加熱および／または露光により硬化する工程を含んでいても良い。
この際に使用される放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
【０１８８】
上記基板としては、例えば液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（登録商標）ガラス、石英ガラスおよびこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上に必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
【０１８９】
上記本発明のカラーフィルターの製造方法に用いる現像液としては、本発明の組成物を溶解し、一方、放射線照射部を溶解しない組成物であればいかなるものも用いることができる。具体的には種々の有機溶剤の組み合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。
有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【０１９０】
アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解したアルカリ性水溶液が使用される。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合には、一般に、現像後、水で洗浄する。
【０１９１】
また、本発明のカラーフィルターは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。本発明のカラーフィルターは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルターとして用いることができる。
【実施例】
【０１９２】
以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。尚、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１９３】
（実施例１）
１）レジスト液の調製
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート  …    １９．２０部
（ＰＧＭＥＡ）
・乳酸エチル                                        …    ３６．６７部
・樹脂                                              …    ３０．５１部
〔メタクリル酸ベンジル／メタクリル酸／メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル共重合体（モル比＝６０：２２：１８）の４０％ＰＧＭＥＡ溶液〕
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート          …    １２．２０部
（光重合性化合物）
・重合禁止剤（ｐ−メトキシフェノール）              …  ０．００６１部
・フッ素系界面活性剤                                …      ０．８３部
（Ｆ−４７５、大日本インキ化学工業（株）製）
・光重合開始剤                                      …    ０．５８６部
（ＴＡＺ−１０７（トリハロメチルトリアジン系の光重合開始剤）、みどり化学社製）
を混合して溶解し、レジスト液を調製した。
【０１９４】
２）下塗り層付シリコンウエハー基板の作製
６ｉｎｃｈシリコンウエハーをオーブン中で２００℃のもと３０分加熱処理した。次いで、このシリコンウエハー上に上記レジスト液を乾燥膜厚２μｍになるように塗布し、更に２２０℃のオーブン中で１時間加熱乾燥させて下塗り層を形成し、下塗り層付シリコンウエハー基板を得た。
【０１９５】
３）着色感光性樹脂組成物（本発明の組成物）の調製
下記組成Ａ−１の化合物を混合して溶解し、着色感光性樹脂組成物Ａ−１を調製した。
〈組成Ａ−１〉
・シクロヘキサノン                                            …    ８０部
・着色剤Ａ〔既述の例示化合物２８〕                            …  ６．０部
・着色剤Ｂ〔例示化合物ａ〕                                    …  ４．０部
・ラジカル重合性モノマーの既述の例示化合物（Ｍ−２）とジペンタエリスリトールヘキサアクリレートの３：７の混合物                                …  ７．０部
・光重合開始剤                                                …  ２．５部
（ＣＧＩ−１２４（チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製）
・樹脂Ｃ−１（本発明に係るアルカリ不溶性樹脂）                …  ０．５部
【０１９６】
上記樹脂Ｃ−１は、可視光領域におけるεが１００未満であった。
また、上記樹脂Ｃ−１の分子量は重量平均分子量が１０，０００、繰り返し単位の比率は５０：５０であった。
【０１９７】
４）着色感光性樹脂組成物の露光・現像、及び評価
後加熱後のパターン形状安定性の評価
前記３）で調製した着色感光性樹脂組成物Ａ−１を、前記２）で得られた下塗り層付シリコンウエハー基板の下塗り層上に塗布し、光硬化性の塗布膜を形成した。そして、この塗布膜の乾燥膜厚が０．８μｍになるように、１００℃のホットプレートを用いて１２０秒間加熱処理（プリベーク）を行った。次いで、ｉ線ステッパー露光装置ＦＰＡ−３０００ｉ５＋（Ｃａｎｏｎ（株）製）を使用して３６５ｎｍの波長でパターンが２μｍ四方のＩｓｌａｎｄパターンマスクを通して１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。その後、照射された塗布膜が形成されているシリコンウエハー基板をスピン・シャワー現像機（ＤＷ−３０型；（株）ケミトロニクス製）の水平回転テーブル上に載置し、ＣＤ−２０００（富士フイルムアーチ（株）製）を用いて２３℃で６０秒間パドル現像を行ない、シリコンウエハー基板に着色パターンを形成した。
【０１９８】
着色パターンが形成されたシリコンウエハー基板を真空チャック方式で前記水平回転テーブルに固定し、回転装置によって該シリコンウエハー基板を回転数５０ｒｐｍで回転させつつ、その回転中心の上方より純水を噴出ノズルからシャワー状に供給してリンス処理を行ない、その後スプレー乾燥した。この段階で一旦測長ＳＥＭ「Ｓ−９２６０Ａ」（日立ハイテクノロジーズ社製）にて着色パターンのサイズを測定した（この測定結果をＡとする）。
【０１９９】
４）後露光及び後加熱
乾燥後のシリコンウエハー基板を、ＵＶキュア装置ＡＥＷ−６１２Ａ（高圧水銀ランプ；大日本スクリーン（株）製）を用いて、シリコンウエハー基板に形成された着色パターンに対して紫外線を照射した（３８０Ｗ，３０ｓ）。引き続いて、２００℃に調温したホットプレート上で更に５分間加熱することによって後加熱した。このようにして形成した着色パターンを再度測長ＳＥＭにて着色パターンのサイズを測定した（この測定結果をＢとする）。このパターンサイズ変化率Ｃ（％）＝（Ａ−Ｂ）／Ａ×１００より求め、この値を比較した。結果を表２に示す。
【０２００】
パターン矩形性の評価
着色パターンのパターン矩形性は、パターン断面のＳＥＭ写真を撮影し、目視により写真観察を行なって下記の評価基準にしたがって評価した。結果を表２に示す。
〔評価基準〕
○：断面形状は良好な矩形状であった。
×：パターン崩れが顕著であり、矩形状の断面は得られなかった。
【０２０１】
（実施例２〜１１、比較例１〜２）
実施例１において、着色感光性樹脂組成物Ａ−１の調製に用いた組成Ａ−１中の着色剤、及び本発明に係るアルカリ不溶性樹脂を下記表１に示すようにそれぞれ変更したこと以外、実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ａ−２〜Ａ−１２を調製すると共に、塗布膜を形成し、後加熱後のパターン形状安定性及びパターン矩形性の評価を行った。評価結果は下記表２に示す。
【０２０２】
【化４２】
2007219025.tif 000043
【０２０３】
【化４３】
2007219025.tif 000044
【０２０４】
【表１】
2007219025.tif 000045
【０２０５】
実施例２〜１１で用いたアルカリ不溶性樹脂は、いずれも可視光領域におけるεが１００未満であった。
また、実施例２〜１１で用いたアルカリ不溶性樹脂の繰り返し単位の比率は、ｇが５０：５０であり、ｈが３０：７０であり、ｉが５０：５０であり、Ｃ−４が５０：５０であり、Ｃ−６が５０：５０であり、Ｃ−１０が５０：５０であり、Ｃ−４の重量平均分子量が４，８００であり、Ｃ−６の重量平均分子量が３，６００であり、Ｃ−１０の重量平均分子量が５，２００であった。
【０２０６】
【表２】
2007219025.tif 000046
【０２０７】
なお、比較例２の着色剤は顔料であるため、パターン矩形性が劣る問題があった。
表２から以下のことがわかる。
着色剤は染料を用いたほうがパターン矩形性が良好であり、アルカリ不溶性樹脂の添加により感度が向上し、熱に対するパターン形状安定性も良化することがわかる。