(57)【要約】【課題】高密度の被計測物群を精度良く計測することができるディジタルホログラフィ計測装置を提供する。【解決手段】ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置において、光源からの再生光の照射方向に対して垂直な撮像面を備えた撮像手段により生成されたホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出し、算出された各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出し、算出された各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置において、
上記被計測物に再生光を照射する光源と、
上記光源からの再生光の照射方向に対して垂直な撮像面を備え、該撮像面で上記被計測物に照射された再生光を受けてホログラム画像を生成する撮像手段と、
上記撮像手段により生成されたホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出する光振幅分布算出手段と、
上記光振幅分布算出手段により算出された各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出する相対位相算出手段と、
上記相対位相算出手段により算出された各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測する物理量計測手段と、を有していることを特徴とするディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項２】
更に、上記各相対位相に基づき、ディジタル画像を視認可能に生成するディジタル画像生成手段を有していることを特徴とする請求項１記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項３】
更に、隣接する所定数の相対位相分布毎に、上記ディジタル画像生成手段により生成されたディジタル画像を構成する各画素についての最小濃度を抽出して、該最小濃度を保存することで、ディジタル画像を圧縮するディジタル画像圧縮手段を有している、ことを特徴とする請求項２記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項４】
上記被計測物の物理量が、該被計測物の径，空間位置，数密度の少なくとも１つに対応した値であることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一に記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項５】
上記被計測物の物理量が、該被計測物の形状，姿勢角度，移動速度の少なくとも１つに対応した値であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一に記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項６】
上記被計測物が、噴霧を構成する液滴であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一に記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項７】
上記被計測物が、気泡であることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一に記載のディジタルホログラフィ計測装置。
【請求項８】
ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測方法において、
上記被計測物に再生光を照射するステップと、
上記被計測物に照射された再生光を受けてホログラム画像を生成するステップと、
上記ホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出するステップと、
上記各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出するステップと、
上記各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測するステップと、を有していることを特徴とするディジタルホログラフィ計測方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、微小な固体粒子，液滴，気泡等の被計測物の物理量を計測するための手法として、レーザドップラー流速計（ＬＤＶ）を利用しつつ、透明な被計測物を計測し得る位相ドップラー法，任意形状を有する被計測物を計測し得るシャドードップラー法，回折光強度から球体の径を計測するレーザ光回折法等の点計測型が知られているが、かかる点計測型では、いずれの手法も、ある特定の空間点を通過する微小な被計測物の径を測定し得るだけのもので、空間的な情報を同時に取得することができない。
【０００３】
被計測物の径に加えて空間的な情報を取得する手法として、被計測物の背後又は側方から被計測物に広く照明を当て、その状態を手前からカメラで観測し、画像として捉えた被計測物を画像処理的に計測する手法，照明にコヒーレンシの高いレーザ光を用いたホログラフィ法等の場計測型が知られている。しかしながら、コヒーレンシの低い照明を用いる通常の観測法では、一般に高倍率の対物レンズで被計測物を観測するため、被写界深度が浅く、計測に際しては多数の被計測物にピント合わせする必要があり、観測の作業量が膨大になり、実用的でない。また、ホログラフィ法によれば、被対象物の奥行き深い３次元空間情報を記録し得るが、例えば特許文献１に開示されるような被計測物を記録したホログラム画像から実際に再生光を照射して像再生を行う手法では、計測のための作業量が、上述した観測法と同じ程度に多くなる。
【０００４】
これに対して、近年では、ホログラム画像を電子カメラで直接にコンピュータに取り込み、コンピュータ内で仮想的かつ数値的に像再生を行うディジタルホログラフィ法（例えば非特許文献１参照）が提案されている。非特許文献１に開示されるディジタルホログラフィ法によれば、コンピュータで３次元再生画像空間における光強度分布が数値的に求められディジタル画像化された上で、その中から必要な被計測物の各種情報が自動的に抽出され得る。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−３４０７７７号公報
【非特許文献１】「Ｄｉｇｉｔａｌ Ｈｏｌｏｇｒａｐｈｙ」，Ｕ．Ｓｃｈｎａｒｓ ａｎｄ Ｗ．Ｐ．Ｊｕｅｐｔｎｅｒ著，Ｓｐｒｉｎｇｅｒ−Ｖｅｒｌａｇ出版，ｐｐ．１０７−１１１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、非特許文献１に開示されるように光強度分布がディジタル画像化された場合には、各被計測物に対応した像の輪郭が不鮮明になる傾向があり、３次元空間内における被計測物の密度が増大すると、各被計測物に対応した像が互いに干渉して計測精度が低下する問題を生じていた。
【０００７】
この発明は、上記技術的課題に鑑みてなされたもので、高密度の被計測物群を精度良く計測することができるディジタルホログラフィ計測装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
そこで、本願の請求項１に係る発明は、ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測装置において、上記被計測物に再生光を照射する光源と、該光源からの再生光の照射方向に対して垂直な撮像面を備え、該撮像面で上記被計測物に照射された再生光を受けてホログラム画像を生成する撮像手段と、該撮像手段により生成されたホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出する光振幅分布算出手段と、該光振幅分布算出手段により算出された各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出する相対位相算出手段と、該相対位相算出手段により算出された各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測する物理量計測手段と、を有していることを特徴としたものである。
【０００９】
また、本願の請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明において、上記各相対位相に基づき、ディジタル画像を視認可能に生成するディジタル画像生成手段を有していることを特徴としたものである。
【００１０】
更に、本願の請求項３に係る発明は、請求項２に係る発明において、隣接する所定数の相対位相分布毎に、上記ディジタル画像生成手段により生成されたディジタル画像を構成する各画素についての最小濃度を抽出して、該最小濃度を保存することで、ディジタル画像を圧縮するディジタル画像圧縮手段を有していることを特徴としたものである。
【００１１】
また、更に、本願の請求項４に係る発明は、請求項１〜３に係る発明のいずれかにおいて、上記被計測物の物理量が、該被計測物の径，空間位置，数密度の少なくとも１つに対応した値であることを特徴としたものである。
【００１２】
また、更に、本願の請求項５に係る発明は、請求項１〜４に係る発明のいずれかにおいて、上記被計測物の物理量が、該被計測物の形状，姿勢角度，移動速度の少なくとも１つに対応した値であることを特徴としたものである。
【００１３】
また、更に、本願の請求項６に係る発明は、請求項１〜５に係る発明のいずれかにおいて、上記被計測物が噴霧を構成する液滴であることを特徴としたものである。
【００１４】
また、更に、本願の請求項７に係る発明は、請求項１〜５に係る発明のいずれかにおいて、上記被計測物が気泡であることを特徴としたものである。
【００１５】
また、更に、本願の請求項８に係る発明は、ディジタルホログラム像再生を用いて、３次元空間内での微小な被計測物の物理量を計測するディジタルホログラフィ計測方法において、上記被計測物に再生光を照射するステップと、上記被計測物に照射された再生光を受けてホログラム画像を生成するステップと、上記ホログラム画像に対して再生光を数値的に照射しつつ、該ホログラム画像に対して垂直な奥行き方向におけるそれぞれ異なる位置での各再生面上での光振幅分布を算出するステップと、上記各光振幅分布の位相を、上記各再生面上での基準位相に対する相対位相として算出するステップと、上記各相対位相の分布に基づき、上記被計測物の物理量を計測するステップと、を有していることを特徴としたものである。
【発明の効果】
【００１６】
本願の請求項１に係る発明によれば、背景を基準化した相対位相で構成されたディジタル画像が用いられるため、光強度分布を反映したディジタル画像に比べて各被計測物の影響が背景に大きく表れないため、３次元空間内での被計測物の密度が増大しても、被計測物は互いに干渉し難く、個々の被計測物を正確に識別することができ、被計測物の各種物理量を精度良く計測することができる。
【００１７】
また、本願の請求項２に係る発明によれば、背景を基準化した相対位相を反映して、個々の被計測物の像を鮮明に視覚化することができる。
【００１８】
更に、本願の請求項３に係る発明によれば、被計測物の再生画像の欠落防止及びメモリ量の低減を両立することができる。
【００１９】
また、更に、本願の請求項４に係る発明によれば、被計測物の径，空間位置，数密度の少なくとも１つに対応した値を計測することができる。
【００２０】
また、更に、本願の請求項５に係る発明によれば、被計測物の形状，姿勢角度，移動速度の少なくとも１つに対応した値を計測することができる。
【００２１】
また、更に、本願の請求項６に係る発明によれば、噴霧を構成する液滴の各種物理量を計測することができる。
【００２２】
また、更に、本願の請求項７に係る発明によれば、気泡の各種物理量を計測することができる。
【００２３】
また、更に、本願の請求項８に係る発明によれば、背景を基準化した相対位相で構成されたディジタル画像が用いられるため、光強度分布を反映したディジタル画像に比べて各被計測物の影響が背景に大きく表れないため、３次元空間内での被計測物の密度が増大しても、被計測物は互いに干渉し難く、個々の被計測物を正確に識別することができ、被計測物の各種物理量を精度良く計測することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施形態に係るディジタルホログラフィ計測システムの基本構成を示す図である。このディジタルホログラフィ計測システム１では、レーザ発振器２から射出されたレーザ光Ｓ１が減光フィルタ３及び空間フィルタ４に通され、空間フィルタ４のピンホールから出た球面波光Ｓ２が該ピンホールに焦点位置が設定されたレーザコリメーティングレンズ５により平面波光Ｓ３へ変換される。
【００２５】
レーザコリメーティングレンズ５からの平面波光Ｓ３は、噴霧装置６で噴射容器６ａ内にインジェクタ６ｂから噴射された噴霧Ｆに照射させられ、透過した平面波光と噴霧Ｆで回折した回折光による干渉縞が後方に設置した電子カメラ７で観測される。そして、電子カメラ７の撮像素子によってホログラムパターンが電気信号に変換され、ホログラム画像がコンピュータ８の内蔵メモリ又は外部記憶装置にディジタルファイルとして記録される。
【００２６】
その後、ディジタル化されたホログラム画像を基に、噴霧Ｆを構成する液滴の３次元空間分布がコンピュータ８により算出され、液滴の径，空間位置，数密度，形状，姿勢角度及び移動速度等に対応した物理量の計測が実行される。
【００２７】
次に、図２を参照しながら、コンピュータ８により噴霧Ｆを構成する液滴の各種物理量が計測される処理手順について説明する。なお、かかる処理を実現する計測アルゴリズムは、コンピュータ８の内蔵メモリ又は外部記憶装置に保持されている。
この処理では、第１に、ディジタル化されたホログラム画像を入力情報として、ホログラムに記録された噴霧Ｆを構成する液滴の像再生が、コンピュータ８で数値的に行われる。図３には、この場合の像再生状態を概念的に示す。具体的に、このステップでは、ホログラム画像２１への再生光２２の照射がコンピュータで数値的に行われ（＃１１）、ホログラム画像２１の存在する面に垂直な方向（奥行き方向）においてホログラム画像２１から任意の距離だけ離間した位置（奥行き位置）での光振幅分布が再生画像２３として算出される。光振幅分布の計算では、波動光学の基礎式として知られるフレネルの回折式が数値的に解かれる。そして、再生画像２３を算出するホログラム画像２１からの距離が所定の範囲で微小間隔ずつ変化させられ、３次元の再生画像空間２４における光振幅分布が算出される（＃１２）。
【００２８】
その後、光振幅分布の位相が、相対位相分布として整理される（＃１３）。この相対位相とは、再生画像２３が算出された奥行き位置における再生光位相を基準とした相対位相をあらわす。このステップでは、例えば、ある奥行き位置にて算出された再生画像２３上で背景部分の位相がπであれば、それと異なる部分が液滴の存在する部分（以下、液滴部分という）であると判断される。例えば液滴部分が背景部分に対して０．５πだけずれている場合には、液滴部分を０．５πとするとともに、背景部分を０と修正して基準化する。このように、背景の位相値が一定にされ基準化されることにより、液滴部分の位相が背景の位相とは異なることが全体的に強調され、３次元空間内での位相の違いが明瞭になる。
【００２９】
次に、相対位相がディジタル画像化され（＃１４）、所定形式の画像として出力されて、噴霧Ｆを構成する個々の液滴が視覚化される。この場合、相対位相がディジタル画像化されているため、背景部の濃度値が奥行き方向における位置に応じて変化せず、噴霧Ｆを構成する液滴が明瞭に視覚化される。図４に、相対位相分布に基づき生成されたディジタル画像の一例を示す。また、これと比較するために、図５には、従来方法で光強度分布に基づき生成されたディジタル画像の一例を示す。各図の（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ、液滴密度が３３個／ｍｍ３及び５００個／ｍｍ３である例に対応している。なお、図４では、液滴が黒点で表されるのに対して、図５では、白点で表されている。
【００３０】
これらの図を比較して分かるように、光強度に基づき取得されたディジタル画像では、各液滴の輪郭が不鮮明となる。このため、液滴密度の高い場合には、液滴が互いに干渉し合うため、各液滴を識別し難く、各種物理量の計測が難しい。これに対して、相対位相に基づき取得されたディジタル画像では、背景（白部分）と液滴とのコントラストが明瞭となり、各種物理量の計測を容易に行うことができる。
【００３１】
ところで、液滴の再生画像は奥行き方向に伸びる性質があるが、小さな液滴ほどその伸び量が小さくなる。そのため、小さい径の液滴を計測する上で、再生画像２３を算出する奥行き方向における間隔を粗く設定すると、液滴の再生画像情報の欠落が発生してしまうことがある。逆に、再生画像２３を算出する奥行き方向における間隔を細かく設定すると、保存しておかなければならない相対位相分布の再生画像像枚数が多くなり、コンピュータ８の内蔵メモリ又は外部記憶装置の限界を超えると、計測処理が不可能となる。本実施形態では、液滴の再生画像情報を欠落させることなく、相対位相分布の記憶容量を低減させるため、図６に示すように、奥行き方向における一定間隔毎に、複数枚の再生画像２３の相対位相分布を反映したディジタル画像の圧縮が行われる。この場合、液滴の再生画像は低い濃度値部分として表されるため、圧縮対象である再生画像の最小濃度が画素毎に保存され、保存再生画像（圧縮画像）３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆとしてコンピュータ８の内蔵メモリ又は外部記憶装置に保存される（＃１５）。
【００３２】
保存された複数枚の保存再生画像によって再生画像空間における相対位相分布が表されるが、この相対位相分布がある閾値で２値化され、液滴が存在する部分が抽出される（＃１６）。続いて、２値化により抽出された液滴が存在する部分についてラベリングが行われる（＃１７）。更に、そのラベル数を総検出液滴数とし、これを再生画像空間サイズで除することにより、液滴数密度が測定される（＃１８）。
【００３３】
また、２値化により抽出された液滴毎にその液滴を構成する画素の平均空間座標が求められ、噴霧Ｆを構成する液滴の空間位置が計測される（＃１９）。更に、２値化により抽出された噴霧Ｆを構成する液滴毎に、液滴の奥行き方向における位置での構成画素数から液滴の奥行き方向投影面積及びその円相当直径（径）が計測される（＃２０）。
【００３４】
また、更に、上述の計測された噴霧Ｆを構成する液滴の空間位置又は径に関してヒストグラムが作成され（＃２１）、液滴の空間分布ヒストグラム及び径分布ヒストグラムが出力される。そして、液滴の総検出数又は数密度、及び、液滴毎の空間位置及び径等の物理量がまとめて出力される（＃２２）。
【００３５】
なお、液滴の物理量としては、液滴の形状，姿勢角度，移動速度に対応する値を算出することも可能である。特に、液滴の移動速度を算出する場合には、まず、電子カメラ７により所定の時間間隔で撮像された２枚のホログラム画像に基づき、液滴の空間位置が個々に計測された上で、それぞれ計測された空間位置から移動距離が算出され、移動距離が時間間隔で除算される。更に、電子カメラ７により所定の時間間隔で連続的に撮像された複数枚のホログラム画像に基づき計測された液滴な空間位置の経時的変化を観察することにより、液滴の動きを検証することも可能である。
【００３６】
以上説明したように、本実施形態では、背景を基準化した相対位相で構成されたディジタル画像が用いられるため、光強度分布を反映したディジタル画像に比べて各液滴の影響が背景に大きく表れないため、３次元空間内での液滴の密度が増大しても、液滴は互いに干渉し難く、個々の液滴を正確に識別することができ、液滴の各種物理量を精度良く計測することができる。
【００３７】
最後に、図２に示す処理手順に含まれるステップ＃１２，＃１３，＃１６，＃１７，＃１８，＃１９，＃２０に対応した具体的な計算について説明する。
【００３８】
（ステップ＃１２に対応した計算）
電子カメラ７の撮像面（以下、ホログラム面という）上で観測されたホログラム画像２１における座標を（ｘ，ｙ），ホログラム画像２１の濃度値をＩｄ（ｘ，ｙ），電子カメラ７で観測されたホログラム面を原点とし、ホログラム面に対して垂直な奥行き方向における座標（以下、奥行き座標という）をｚ，奥行き座標ｚを奥行き方向に対して垂直に通過する再生面上での座標を（ｘｚ，ｙｚ)と表すと、空間座標（ｘｚ，ｙｚ，ｚ)における光振幅分布ｈｚは、
2007263864.tif 000003
（数式１）
と表される。λは照射光の波長，ｊは虚数単位である。
【００３９】
光振幅分布ｈｚは複素数で表される。再生画像の背景部に相当する光振幅分布ｈ０もまた複素数で表され、両者の位相の差が大きい部分が、噴霧Ｆを構成する液滴が存在する部分となる。両者の位相差φは次の数式２で算出可能である。なお、数式２中のＲｅは実部，Ｉｍは虚部を表す。
2007263864.tif 000004
（数式２）
【００４０】
（ステップ＃１３に対応した計算）
画像濃度値の分解能をＧｍａｘ（ｎビット画像の場合，２ｎで与えられる）と表すと、相対位相φの空間分布Ｉｐは、次の数式３で表される。
2007263864.tif 000005
（数式３）
この式により、任意の奥行き座標ｚ１に対してＩｐ（ｘｚ，ｙｚ，ｚ１)を画像出力すれば、奥行き座標ｚ１における相対位相画像が得られる。
【００４１】
（ステップ＃１６に対応した計算）
相対位相空間分布Ｉｐ（ｘｚ，ｙｚ，ｚ）に対して、閾値がＩｔｈとして次のように２値化され、２値化空間分布Ｉｂ（ｘｚ，ｙｚ，ｚ）が取得される。
2007263864.tif 000006
【００４２】
（ステップ＃１７に対応した計算）
２値化空間分布Ｉｂ（ｘｚ，ｙｚ，ｚ）中から、ｘｚ方向またはｙｚ方向またはｚ方向に隣接する濃度値１の画素が連結され、互いに連結された画素群毎に次のようなラベル番号Ｌが付けられる。
2007263864.tif 000007
【００４３】
（ステップ＃１８に対応した計算）
ラベル番号の最大値をＬｍａｘとすると、総検出液滴数はＬｍａｘで与えられる。また、再生画像総面積をＳ〇，再生画像奥行き範囲Ｚ〇と表すと、液滴の数密度ρは次の数式６で与えられる。
2007263864.tif 000008
【００４４】
（ステップ＃１９に対応した計算）
上記数式５に基づくラベル番号Ｌ毎にｘｚ，ｙｚ及びｚの平均値ｘａ（Ｌ），ｙａ（Ｌ）及びｚａ（Ｌ）を算出し、液滴の３次元空間位置が計測される。
【００４５】
（ステップ＃２０に対応した計算）
ラベル番号Ｌ毎にｚ＝ｚａ（Ｌ）における２値化画像Ｉｂ（ｘｚ，ｙｚ，ｚａ（Ｌ））から１となる画素数が計数され、その画素数をＮ（Ｌ），１画素面積をｓと表すと、円相当直径ｄ（Ｌ）が次の数式７で計測される。
2007263864.tif 000009
【００４６】
なお、本発明は、例示された実施形態に限定されるものでなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計上の変更が可能であることは言うまでもない。
例えば、前述した実施形態では、噴霧Ｆを構成する液滴が被計測物として採用される例を取り上げたが、これに限定されることなく、本発明は、微小な被計測物であれば、固体粒子又はゲル状粒子若しくは気泡等の物理量の計測にも適用可能であり、また、数密度の高低や被計測物の透明，不透明に関わらず適用可能である。
更に、本発明は、光源から電子カメラまでの観測機器が直線上に並ぶインライン観測系のみならず、被計測物に直接に照射される再生光と参照光とがある角度をなして入射する一般的なオフアキシス観測系による計測にも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の実施形態に係るディジタルホログラフィ計測システムの基本構成を概略的にあらわす図である。
【図２】上記ディジタルホログラフィ計測システムに含まれるコンピュータにより実行される被計測物の各種物理量の計測処理手順をあらわすフローチャートである。
【図３】ディジタル化されたホログラム画像を入力情報として、コンピュータにより数値的に実行される像再生状態を概念的にあらわす図である。
【図４】本発明に従い、相対位相分布に基づき生成されたディジタル画像の一例を示す図である。
【図５】従来方法に従い、光強度分布に基づき生成されたディジタル画像を示す図である。
【図６】上記相対位相分布を反映したディジタル画像の圧縮処理を概念的にあらわす図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…ディジタルホログラフィ計測システム，２…光源，６…噴霧装置，７…電子カメラ，８…コンピュータ，２１…ホログラム画像，２２…再生光，２３…再生画像，２４…再生画像空間，３１ａ，３１ｂ，３１ｃ，３１ｄ，３１ｅ，３１ｆ…圧縮画像，Ｆ…噴霧。
【図１】
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【図２】
2007263864.tif 000011
【図３】
2007263864.tif 000012
【図６】
2007263864.tif 000013
【図４】
2007263864.tif 000014
【図５】
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