(57)【要約】【課題】大型の機器部品に対しても均一な金属酸化物〈セラミックス〉蒸着皮膜を低コストで形成でき、また、ピンホール等の欠陥の発生を防止して防食コーティングとして充分な耐久性を有する金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供する。【解決手段】金属酸化物蒸着皮膜形成方法を、有機金属化合物を気化して発生した有機金属ガスを酸化分解し、生成した金属酸化物を基材上に蒸着させる金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記基材を反応容器内に配置し、前記有機金属化合物を酸化分解する添加ガスと同有機金属化合物とを予め所定範囲のモル比に混合した後、前記反応容器内に送り込むように構成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
有機金属化合物を気化して発生した有機金属ガスを酸化分解し、生成した金属酸化物を基材上に蒸着させる金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記基材を反応容器内に配置し、前記有機金属化合物を酸化分解する添加ガスと同有機金属化合物とを予め所定範囲のモル比に混合した後、前記反応容器内に送り込むことを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法。
【請求項２】
請求項１に記載の金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記添加ガスが酸素ガス、前記有機金属化合物がアルミニウムアセチルアセトナートであって、酸素ガス対アルミニウムアセチルアセトナートの前記所定範囲のモル比が、６から１００であることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法。
【請求項３】
請求項１に記載の金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記添加ガスが水蒸気、前記有機金属化合物がアルミニウムアセチルアセトナートであって、水蒸気対アルミニウムアセチルアセトナートの前記所定範囲のモル比が、１２から１５０であることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記反応容器内へ送り込まれる前記有機金属ガスの温度を同有機金属ガスの酸化分解反応温度未満、前記基材の温度を前記有機金属ガスの酸化分解反応温度以上にすることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属酸化物蒸着皮膜形成方法に関し、特に圧縮機のケーシング等の腐食成分を含む気体に接し耐食性を求められる大型部品の耐食コーティングに用いられる場合等に適する金属酸化物蒸着皮膜の形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧縮機等回転機械は、腐食成分を含む気体が流通する環境で使用される場合が多く、その場合、気体が直接接触するインペラ等の部品のみに限らずケーシング等の部品においても防食、耐食性のコーティングが求められるが、そのような大型の部品のコーティングにおいては依然多くの課題が残されている。
【０００３】
すなわち、従来多く採用される金属めっき皮膜は、大型機器部品の防食コーティングとしては、例えば無電解めっきによるＮｉ−Ｐめっき等があるが、ピンホールを発生しやすく緻密性に欠け、ピンホールからの腐食性ガスの浸入によって母材の腐食が起こるという問題があった。一方、電気メッキによるＮｉめっき等は、めっきする際に、電極などの設備が必要であり、大型で複雑な形状に対しては、電流密度の不均一性から、均一なめっき層が得られ難いという問題があった。また、高濃度ＣＯ２、Ｈ２Ｓ、Ｈ２Ｏ等の腐食環境にも耐食性を示すセラミックス皮膜を施すことが好ましい場合があるが、セラミックス単体成分をめっきにより形成することは不可能であった。
【０００４】
溶射、スパッタリング等の物理蒸着法（ＰＶＤ）は、金属酸化物等のセラミックス皮膜を形成できるものであるが、大型部品の場合、均一皮膜を形成するにはスクロール操作を要する他、溶射の影になる部分への蒸着が困難であり複雑な形状の部品への蒸着皮膜の形成は問題が多い。また、成膜温度が高いので基材に影響を与える問題もあった。
【０００５】
それに対して、化学蒸着法（ＣＶＤ）による金属酸化物蒸着皮膜形成はセラミックスを含め比較的均一で緻密な皮膜を形成できるので好ましい方法と考えられるが、従来一般に行なわれる熱ＣＶＤでは、反応を起こすための大容量の加熱装置が必要であり、基材、原料ガスの加熱、また反応熱によって成膜温度が高く（１０００℃程度）、基材温度の上昇による基材材質への影響が避け難く、適用可能な基材が制限される。
【０００６】
プラズマＣＶＤによれば、原料ガス自体に反応エネルギを与えるので基材自体の高熱を抑制できるが、減圧装置、プラズマ発生装置等の装置構成が大きくなる他、原料としてＭＣｌｘ（Ｍは金属元素）を用いることが多く、その場合は成膜後のＨＣｌ（塩酸）除去等の排ガス処理設備を要する。
【０００７】
ＭＯＣＶＤ（メタルオーガニックＣＶＤ）は、炭素−金属結合を持つ有機金属化合物（例えば、アルキル金属化合物等）を一種ないし複数種用いて、これを気化し、キャリアガスとともに減圧反応容器に送入し、併せ減圧反応容器内に酸化用ガスあるいは窒化用ガスを送入して、密閉された減圧反応容器中に配置され加熱された基材上で反応を起こし、基材上に金属酸化物または窒化金属等を蒸着、成膜するものがあり（例えば、特許文献１：特開平８−３２１５０４号公報）、成膜温度が５００℃程度で比較的低い利点はあるが、従来多くは半導体成膜等小型部品に用いられるもので、減圧容器を用いるなど装置も複雑であり、大型部品における均一な皮膜形成の性能、コストについては充分な見通しが得られていない。
【０００８】
大気開放型ＣＶＤはＡｌ、Ｔｉ等の有機金属化合物を揮発させてノズルから基材に吹き付け、大気中の酸素等によるその酸化物を成膜するもので（例えば、特許文献２：特開２０００−３８６７１号公報）、比較的温度を低く設定でき、装置も基本的には簡素化可能であるが、大面積の部品に皮膜を形成するためには、ノズルを走査させるか基材側を移動させる必要があり施工時間がかかり、操作する手間もかかる。また、ノズルからの吹き付けのために、複雑な形状の基材に対応し難く、膜厚の制御も難しいほか、原料ガスの歩留まりが悪いという問題がある。
【０００９】
以上のように、種々のＣＶＤによる成膜方法が示されているが、大型の部品に対しても均一な金属酸化物（セラミックス）蒸着皮膜を低コストで形成する方法としては充分とはいえず、また、ピンホール等の欠陥の発生を防止して防食コーティングとして充分な耐久性を有する金属酸化物を形成する方法は明確でなかった。
【００１０】
【特許文献１】特開平８−３２１５０４号公報（明細書、図面全般）
【特許文献２】特開２０００−３８６７１号公報（明細書、図面全般）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、大型の機器部品に対しても均一な金属酸化物〈セラミックス〉蒸着皮膜を低コストで形成でき、また、ピンホール等の欠陥の発生を防止して防食コーティングとして充分な耐久性を有する金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、上記の課題を解決するためになされ、下記の（１）から（４）の手段を提供するものであり、以下、特許請求の範囲に記載の順に説明する。
【００１３】
（１）その第１の手段として、有機金属化合物を気化して発生した有機金属ガスを酸化分解し、生成した金属酸化物を基材上に蒸着させる金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記基材を反応容器内に配置し、前記有機金属化合物を酸化分解する添加ガスと同有機金属化合物とを予め所定範囲のモル比に混合した後、前記反応容器内に送り込むことを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供する。
【００１４】
（２）第２の手段としては、第１の手段の金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記添加ガスが酸素ガス、前記有機金属化合物がアルミニウムアセチルアセトナートであって、酸素ガス対アルミニウムアセチルアセトナートの前記所定範囲のモル比が、６から１００であることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供する。
【００１５】
（３）また、第３の手段として、第１の手段の金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記添加ガスが水蒸気、前記有機金属化合物がアルミニウムアセチルアセトナートであって、水蒸気対アルミニウムアセチルアセトナートの前記所定範囲のモル比が、１２から１５０であることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供する。
【００１６】
（４）第４の手段として、第１ないし第３の手段のいずれかの金属酸化物蒸着皮膜形成方法において、前記反応容器内へ送り込まれる前記有機金属ガスの温度を同有機金属ガスの酸化分解反応温度未満、前記基材の温度を前記有機金属ガスの酸化分解反応温度以上にすることを特徴とする金属酸化物蒸着皮膜形成方法を提供する。
【発明の効果】
【００１７】
（１）特許請求の範囲に記載の請求項１の発明によれば、金属酸化物蒸着皮膜形成方法を上記第１の手段のように構成したので、有機金属ガスが添加ガスと混合された状態で一様に吹き込まれるので、基材が大型の機器部品であっても、その周囲で一様に有機金属ガスの酸化分解、蒸着反応が起き金属酸化物蒸着皮膜が均一に形成され、膜のつきまわり性が良い。また、原料ガスである有機金属ガスが反応容器内で基材周囲に十分な接触を保つことができるので、有機金属ガスの歩留まりが高くなる。
【００１８】
また、添加ガスと有機金属ガスとを所定範囲のモル比で混合しているので、添加ガスが少なすぎる場合に見られるような、有機成分のカーボンが蒸着皮膜中に存在してカーボンを起点とした割れが発生することが防止され、且つ、添加ガスが多すぎる場合に見られるような、基材までも酸化し基材酸化皮膜を増大させて蒸着皮膜との間で剥離を生じることが防止され、欠陥の少ない、防食コーティングとして耐久性の高い金属酸化物蒸着皮膜を形成することができる。
【００１９】
（２）請求項２の発明によれば、上記第２の手段のように構成したので、添加ガスを酸素ガス、有機金属化合物をアルミニウムアセチルアセトナートとして酸素ガス対アルミニウムアセチルアセトナートのモル比を６から１００の範囲とすることで請求項１の発明の作用効果を具体的且つ確実に奏し得る金属酸化物蒸着皮膜形成方法が得られる。
【００２０】
（３）請求項３の発明によれば、上記第３の手段のように構成したので、添加ガスを水蒸気、有機金属化合物をアルミニウムアセチルアセトナートとして水蒸気対アルミニウムアセチルアセトナートのモル比を１２から１５０の範囲とすることで請求項１の発明の作用効果を具体的且つ確実に奏し得る金属酸化物蒸着皮膜形成方法が得られる。
【００２１】
（４）請求項４の発明によれば、上記第４の手段のように構成したので、請求項１ないし請求項３の発明の作用効果に加え、基材が有機金属ガスの酸化分解反応温度以上に加熱され、有機金属ガスはその酸化分解反応温度未満を維持して反応容器内に送り込まれるので、基材表面上で集中的に酸化分解、蒸着反応が起き、他の箇所での酸化分解反応が抑制されるので、金属酸化物蒸着皮膜がより均一に形成され易く、膜のつきまわり性がさらに向上するほか、有機金属ガスの歩留まりがより高いものとなる
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の金属酸化物蒸着皮膜形成方法を実施するための最良の形態として、図１に実施の一形態に係る金属酸化物蒸着装置の構成概略図を示し説明する。
【００２３】
図１の金属酸化物蒸着装置１００において、１は、金属酸化物蒸着皮膜の原料２となる有機金属化合物、例えばアルキル金属、アルコキシド等の有機金属錯体等を蒸発させる気化器であり、気化器１の上流側には、気化器１で有機金属化合物が気化して発生した原料ガスとしての有機金属ガス２ａを、反応容器３に送り込むためのＮ２等のキャリアガス４ａのキャリアガスタンク４が接続している。
【００２４】
反応容器３は混合器５を介して上流側の気化器１に接続しており、混合器５には、有機金属ガス２ａを酸化反応させて金属酸化物を生成させる酸化用ガスとしての酸素ガスまたは水（水蒸気）等添加ガス６ａを供給する添加ガス供給装置６が接続されている。混合器５において酸素、水蒸気等添加ガス６ａと混合した有機金属ガス２ａは多孔板を備えた複数の吹込み口７から反応容器３内に送り込まれるようになっている。また、反応容器３は反応後のガスが放出可能な開口部を有するように構成される。
【００２５】
反応容器３には誘導加熱ヒータ８が備えられ、反応容器３内に載置された蒸着基材９ａとなる機器部品９が載置されている。なお、上記において、配管、弁、送風機、検出器、制御装置等は図示説明省略しているが、要に応じて通常用いられる機器を用いて構成することができる。
【００２６】
上記のような本実施の形態の金属酸化物蒸着装置１００において、金属酸化物蒸着皮膜の形成は以下のように行なわれる。気化器１において図示省略のヒータによって原料２となる有機金属化合物を気化温度まで加熱し、有機金属ガス２ａをキャリアガス４ａによって混合器５に送り込む。
【００２７】
混合器５において、有機金属ガス２ａは所定範囲のモル比となるように添加ガス６ａと混合され、その混合ガス７ａが複数の吹込み口７から反応容器３内へ機器部品９の周囲に一様に送り込まれる。反応容器３においては機器部品９を金属酸化物蒸着の基材９ａとして、誘導加熱ヒータ８により有機金属ガス２ａの酸化分解反応温度以上、３００〜６００℃に加熱しておく。有機金属ガス２ａは反応容器３に送り込まれるまでは酸化分解反応温度未満に維持され、酸化分解反応温度以上に加熱されている基材９ａに接するので、基材９ａ表面上で有機金属ガス２ａが酸化分解し、金属成分は金属酸化物として基材９ａ上に蒸着して皮膜を形成し、他の酸化分解した有機成分は大気中へ放出される。
【００２８】
以上のような本実施の形態の金属酸化物蒸着装置１００による金属酸化物蒸着皮膜形成方法では、有機金属ガス２ａが添加ガス６ａと混合された状態で一様に吹き込まれるので、基材９ａが大型の機器部品であっても、その周囲で一様に有機金属ガス２ａの酸化分解、蒸着反応が起き金属酸化物蒸着皮膜が均一に形成され、膜のつきまわり性が良い。また、原料ガスである有機金属ガス２ａが反応容器内で基材９ａ周囲に十分な接触を保つことができるので、有機金属ガス２ａの歩留まりが高くなる。
【００２９】
特に、有機金属ガス２ａはその酸化分解反応温度未満に維持されて反応容器３に送り込まれ、誘導加熱ヒータ８によって集中的に加熱され酸化分解反応温度以上に加熱されている基材９ａに接するので、基材９ａ表面上で有機金属ガス２ａが酸化分解し、金属酸化物蒸着皮膜がより均一に形成され易く、膜のつきまわり性がさらに向上するほか、基材９ａ上で集中的に酸化、蒸着反応が起き、他の箇所での反応が抑制されるので有機金属ガス２ａの歩留まりがより高いものとなる。
【００３０】
また、有機金属ガス２ａと添加ガス６ａを所定の範囲のモル比で混合しているので、添加ガス（酸素ガスまたは水蒸気等の酸化用ガス）６ａが少なすぎる場合に見られるような、有機成分のカーボンが蒸着皮膜中に存在してカーボンを起点とした割れが発生することが防止され、且つ、添加ガス６ａが多すぎる場合に見られるような、基材９ａまでも酸化し基材酸化皮膜を増大させて蒸着皮膜との間で剥離を生じることが防止され、欠陥の少ない、防食コーティングとして耐久性の高い金属酸化物蒸着皮膜を形成することができる。
【００３１】
なお、図１の金属酸化物蒸着装置１００の変形例として、図示省略するが、反応容器３中の機器部品９を回転テーブル上に載置する構造として、蒸着操作時に機器部品９を回転させれば、機器部品９（基材９ａ）上の金属酸化物蒸着皮膜がより均一に形成される。
【００３２】
また、機器部品９を誘導加熱ヒータ８で加熱することに代えて、反応容器外で適宜な方法で加熱した後に反応容器３内に移動させて蒸着操作を行ってもよく、他の箇所での有機金属ガス２ａの酸化反応を抑制し、機器部品９上において集中的に酸化、蒸着反応を起こすことができるものとなる。
【００３３】
以上の実施の形態による金属酸化物蒸着皮膜形成方法を、具体的実験条件で評価試験を行った実施例１、実施例２を次に説明する。
【実施例１】
【００３４】
図２は、本実施例の実験装置としての金属酸化物蒸着装置２００の概略構成図であり、１１は気化器であり、金属酸化物蒸着皮膜の原料１２となる有機金属化合物、ここではアルミナ有機金属錯体の一つであるアルミニウムアセチルアセトナート（Ａｌ（Ｃ５Ｈ８Ｏ２）３）を蒸発させる。気化器１１の上流側には、気化器１１で蒸発した有機金属ガス、すなわちアルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａを反応容器１３に送り込むためのキャリアガスとしてのＮ２ガス１４ａのキャリアガスタンク１４が接続している。
【００３５】
反応容器１３は上部空間１３ａが多孔板（整流板）１７で仕切られており、上部空間１３ａは上流側の気化器１１に接続している。気化器１１から上部空間１３ａへの配管２１には添加ガス配管２２が合流し、アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａを酸化反応させてアルミニウム酸化物を生成させる酸化用の酸素ガス１６ａを供給する添加ガス供給装置１６が接続されている。
【００３６】
上部空間１３ａは、前述の図１の実施の形態の混合器５に相当し、また、多孔板１７は前述の吹込み口７に相当する。上部空間１３ａにおいて混合した酸素ガス１６ａとアルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａの混合ガス１７ａは、多孔板１７から反応容器１３の下部空間１３ｂ内に吹き込まれるようになっている。下部空間１３ｂは、図１の実施の形態の反応容器３に相当し、反応後のガスが放出可能な開口部を有するように構成される。
【００３７】
反応容器１３の底部１３ｃにはホットプレート１８が備えられ、その上に下部空間１３ｂ内に置かれる基材１９ａが載置されている。なお、上記において、配管、弁、送風機、検出器、制御装置等は図示説明省略しているが、要に応じて通常用いられる機器を用いて構成することができる。
【００３８】
本実施例の金属酸化物蒸着装置２００において、金属酸化物蒸着皮膜の形成は以下のように行なわれる。
【００３９】
気化器１１において図示省略のヒータによって原料１２となるアルミニウムアセチルアセトナートを気化温度まで加熱し、アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａをＮ２ガス１４ａによって反応容器１３の上部空間１３ａに送り込む。
【００４０】
それとともに添加ガス配管２２から酸素ガス１６ａを送り込み、上部空間１３ａにおいてアルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａに対し所定のモル比となるように混合し、その混合ガスが多孔板１７から下部空間１３ｂに一様に吹き込まれる。一方、反応容器１３の下部空間１３ｂにおいては実験用の基材１９ａを、ホットプレート１８によりアルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａの酸化分解反応温度以上、３００〜６００℃に加熱しておく。アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａは酸化分解反応温度未満に維持されたまま下部空間１３ｂに送り込まれるので、アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａは基材１９ａ表面上で酸化分解し、金属成分は金属酸化物として基材９ａ上に蒸着して皮膜を形成し、他の酸化分解した有機成分は大気中へ放出される。
【００４１】
以下に、図２の金属酸化物蒸着装置２００により行なった評価試験につき、具体的な実験条件、操作手順、評価につき説明する。
【００４２】
〔実験条件〕
・原料：アルミニウムアセチルアセトナート（Ａｌ（Ｃ５Ｈ８Ｏ２）３）
・基材：ＳＳ４００材  １２０ｍｍ×１２０ｍｍ、５ｍｍ厚
・基材温度：４５０℃
・気化器温度：２３０℃
・キャリアガス：窒素ガス（Ｎ２）
流量：６．３〜２５Ｌ／ｍｉｎ
・添加ガス：酸素ガス（Ｏ２）
流量：０〜１Ｌ／ｍｉｎ
・加熱方法（ホットプレート）：ヒータ加熱
または高周波加熱（５００ｋｗ、５ｋＨｚ）
（気化器）：ヒータ加熱
【００４３】
〔操作手順〕
（１）反応容器１３内で基材１９ａをＡｒガス中でホットプレート１８により加熱（３００〜６００℃）。
（２）気化器１１を加熱（１８０〜２３０℃）。
（３）ガス供給系（配管２１、２２）を、気化器１１の設定温度＋１０℃に加熱。
（４）基材１９ａ温度、気化器１１温度、および反応容器１３温度がそれぞれの目標温度に達したら、原料（アルミニウムアセチルアセトナート）１２を気化器１１中に入れ、Ｎ２ガス（キャリアガス）１４ａを流入。
（５）酸素ガス１６ａを、アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａと所定のモル比になるように流入。
（６）成膜（金属酸化物蒸着皮膜形成）（２〜５ｈ）
（７）基材１９ａを反応容器１３外へ取り出し冷却。
【００４４】
〔評価〕
成膜後、フェロキシル試験（ＪＩＳ  Ｈ９６１８準拠）により基材１９ａ上の金属酸化物蒸着皮膜の欠陥数を測定。
結果を〔表１〕に示す。
【００４５】
【表１】
2007262442.tif 000003
【実施例２】
【００４６】
図２に示す金属酸化物蒸着装置２００により、実施例２の評価試験を行なった。
【００４７】
本実施例の評価試験は、〔実験条件〕として、添加ガスを酸素ガス（Ｏ２）１６ａに代えて水蒸気（Ｈ２Ｏ）１６ｂを用い、アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａと水蒸気１６ｂの混合ガス１７ｂを下部空間１３ｂに吹き込むようにした点が異なる他は、実施例１と同様である。
【００４８】
成膜後、フェロキシル試験（ＪＩＳ  Ｈ９６１８準拠）により基材１９ａ上の金物酸化物蒸着皮膜の欠陥数を測定した結果を〔表２〕に示す。
【００４９】
【表２】
2007262442.tif 000004
【００５０】
以上の実施例１、実施例２の評価試験結果から、好ましい金属酸化物蒸着皮膜形成方法は、さらに下記の条件によることが判明した。
【００５１】
図３、図４はそれぞれ、上記〔表１〕、〔表２〕の結果から、添加ガス（酸素ガス１６ａまたは水蒸気１６ｂ）と原料ガス（アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａ）とのモル比と、欠陥数密度の関係をグラフに表わしたものである。
【００５２】
ここで、金属酸化物蒸着皮膜を圧縮機等の実機に使用する際には、発明者等が実機の経験から得た皮膜の剥離の誘起を実質的に防止できる欠陥数密度という点から、欠陥数密度は、５０個／５０ｍｍ×５０ｍｍ以下が望ましい。
【００５３】
その範囲が得られる添加ガス（酸素ガス１６ａまたは水蒸気１６ｂ）／原料ガス（アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａ）のモル比は、下記の通りであることが判明した。
【００５４】
・酸素ガス（Ｏ２）／原料ガスの場合：モル比適性範囲  ６〜１００
・水蒸気（Ｈ２Ｏ）／原料ガスの場合：モル比適性範囲  １２〜１５０
・上記適性範囲以下では、酸化用の添加ガス（酸素ガス１６ａ、水蒸気１６ｂ）が不足し、原料ガス（アルミニウムアセチルアセトナートガス１２ａ）のカーボンが皮膜中に存在し、カーボンを基点とした割れが発生することにより欠陥数が増大する。
【００５５】
・上記適性範囲以上では、混合した添加ガスである酸素ガス１６ａまたは水蒸気１６ｂが基材１９ａを酸化させ、酸化膜厚を増大させる。それにより、基材酸化膜と成膜した金属酸化物蒸着皮膜との間で剥離が生じ、欠陥数が増加する。
【００５６】
本発明の金属酸化物蒸着皮膜形成方法では、実施の形態において説明したように、混合器において有機金属ガスと酸化用の添加ガスが所定範囲のモル比となるように混合された後、その混合ガスを反応容器に送り込み、有機金属ガスの酸化分解を行ない、反応容器内に配置した機器部品を基材として金属酸化物の蒸着皮膜を形成するので膜のつきまわり性が向上し、基材が大型機器部品であっても均一な金属酸化物蒸着皮膜の形成が容易となり、有機金属ガスの歩留まりが高くなる他、上記の実施例によって明らかなように、添加ガス（酸化用ガス）と有機金属ガス（原料ガス）とを予め所定範囲のモル比となるように混合したため、添加ガスが少なすぎる場合において有機成分のカーボンが蒸着皮膜中に存在してカーボンを起点とした割れが発生することが防止され、且つ、添加ガスが多すぎる場合において基材までも酸化し基材酸化皮膜を増大させて蒸着皮膜との間で剥離を生じることが防止され、欠陥の少ない、防食コーティングとして耐久性の高い金属酸化物蒸着皮膜を形成することができる。
【００５７】
以上、本発明を図示の実施例について説明したが、本発明は上記の実施例に限定されず、本発明の範囲内でその具体的構成に種々の変更を加えてよいことはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】本発明の金属酸化物蒸着皮膜形成方法の実施の一形態に係る金属酸化物蒸着装置の構成概略図である。
【図２】実施例１および２の実験装置としての金属酸化物蒸着装置の概略構成図である。
【図３】添加ガス（酸素ガス）と原料ガス（アルミニウムアセチルアセトナートガス）とのモル比と、欠陥数密度の関係のグラフである。
【図４】添加ガス（水蒸気）と原料ガス（アルミニウムアセチルアセトナートガス）とのモル比と、欠陥数密度の関係のグラフである。
【符号の説明】
【００５９】
１                  気化器
２                  原料
２ａ                有機金属ガス
３                  反応容器
４                  キャリアガスタンク
４ａ                キャリアガス
５                  混合器
６                  添加ガス供給装置
６ａ                添加ガス
７                  吹込み口
７ａ                混合ガス
８                  誘導加熱ヒータ
９                  機器部品
９ａ                基材
１１                気化器
１２                原料
１２ａ              アルミニウムアセチルアセトナートガス
１３                反応容器
１３ａ              上部空間
１３ｂ              下部空間
１４                キャリアガスタンク
１４ａ              Ｎ２ガス
１６                添加ガス供給装置
１６ａ              酸素ガス
１６ｂ              水蒸気
１７                多孔板
１７ａ              混合ガス
１７ｂ              混合ガス
１８                ホットプレート
１９ａ              基材
１００              金属酸化物蒸着装置
２００              金属酸化物蒸着装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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