(57)【要約】【課題】計測する対象物と計測データとの対応関係を容易に把握できる表示を行えるようにする。【解決手段】移動する対象物を、移動方向に対して直交する方向に沿って配置された複数の表面電位センサによってそれぞれ計測して得られる各計測データを表示するに際して、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示し、かつ、各計測データの計測値を、計測対象面の計測位置に対応させるとともに、計測値の正負および絶対値を色および濃淡にそれぞれ対応させて前記画像に表示する。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を計測して得られる計測データを表示する方法であって、
前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示するとともに、前記計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させて前記画像に表示することを特徴とする計測データ表示方法。
【請求項２】
前記計測値を、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示する請求項１に記載の計測データ表示方法。
【請求項３】
前記対象物を、複数の計測手段で分担してそれぞれ計測し、計測した各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示する請求項２に記載の計測データ表示方法。
【請求項４】
前記複数の計測手段は、移動する前記対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置され、前記複数の各計測手段によってそれぞれ計測される各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示する請求項３に記載の計測データ表示方法。
【請求項５】
移動する対象物を、該対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置された複数の計測手段によってそれぞれ計測して得られる各計測データを表示する方法であって、
前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示し、かつ、前記各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させるとともに、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示することを特徴とする計測データ表示方法。
【請求項６】
前記二次元の画像の表示画面の一方向を、前記移動方向に対応させ、前記各計測データを、前記一方向に延びる複数の各帯状のグラフとして表示するとともに、前記複数の計測手段の前記非平行な方向に沿う配置の順番に応じた配列で表示する請求項４または５に記載の計測データ表示方法。
【請求項７】
隣合って表示される前記帯状のグラフの境界部分の計測値を、該境界部分が徐々に変化する表示となるように処理する請求項６に記載の計測データ表示方法。
【請求項８】
前記計測値を、同じ計測値を結ぶ等高線で表示する請求項１〜５のいずれか１項に記載の計測データ表示方法。
【請求項９】
前記計測値における正負の符号を色に対応させるとともに、絶対値の大小を色の濃淡に対応させて前記画像に表示する請求項２〜８のいずれか１項に記載の計測データ表示方法。
【請求項１０】
前記計測値に代えて、該計測値と閾値との比較判定結果を、前記画像に表示する請求項１〜８のいずれか１項に記載の計測データ表示方法。
【請求項１１】
前記計測データが、前記対象物の表面電位を計測して得られる請求項１〜１０のいずれか１項に記載の計測データ表示方法。
【請求項１２】
対象物を計測して得られる計測データを表示する装置であって、
前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示するとともに、前記計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させて前記画像に表示するデータ表示手段を備えることを特徴とする計測データ表示装置。
【請求項１３】
前記データ表示手段は、前記計測値を、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示する請求項１２に記載の計測データ表示装置。
【請求項１４】
前記データ表示手段は、移動する前記対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置された複数の計測手段によって前記対象物を分担してそれぞれ計測した各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示する請求項１２または１３に記載の計測データ表示装置。
【請求項１５】
前記データ表示手段は、前記画像の表示画面の一方向を、前記移動方向に対応させ、前記各計測データを、前記一方向に延びる複数の各帯状のグラフとして表示するとともに、前記複数の計測手段の前記非平行な方向に沿う配置の順番に応じた配列で表示する請求項１４に記載の計測データ表示装置。
【請求項１６】
前記データ表示手段は、前記計測値に代えて、該計測値と閾値との比較判定結果を前記画像に表示する請求項１２〜１５のいずれか１項に記載の計測データ表示装置。
【請求項１７】
前記計測手段が、前記対象物の表面電位を計測する表面電位センサであり、前記データ表示手段は、前記計測値における正負の符号を色に対応させるとともに、絶対値の大小を色の濃淡に対応させて前記画像に表示する請求項１４〜１６のいずれか１項に記載の計測データ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、各種のセンサ等を用いて計測されるデータを表示する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、対象物の表面電位を非接触で測定するのに表面電位センサが用いられている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１０-１１５６４６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
各種センサ、例えば、上述の表面電位センサによって、対象物の表面を走査して得られる計測結果を表示するような場合には、計測値を縦軸、計測位置または経過時間を横軸、あるいは、計測位置または経過時間を縦軸、計測値を横軸として、グラフ表示するのが、一般的である。
【０００４】
かかる表示は、対象物が点状もしくは線状のものであれば、計測結果を把握し易いけれども、例えば、対象物が平面状であって、複数の表面電位センサによって、前記対象物の表面の各測定領域をそれぞれ走査して計測するような場合、例えば、移動する平面状の対象物を、その移動方向に直交する方向に沿って配置した複数、例えば、３個の表面電位センサによって計測するような場合には、例えば、図１４に示すように、計測位置に対応する時間を横軸に、計測値を縦軸に対応させた表示となる。
【０００５】
このため、３個の各表面電位センサの計測値を示すラインＬ１〜Ｌ３が重なったり、交差したりして見にくいとともに、平面状の対象物の計測位置と各表面電位センサによる計測値との対応関係が把握しずらく、例えば、対象物の特性の分布を一目で把握するといったことが困難であるという課題がある。
【０００６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたものであって、対象物と計測データとの対応関係を容易に把握できる計測データの表示方法および表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明では、上述の目的を達成するために、次のように構成している。
【０００８】
（１）本発明の計測データ表示方法は、対象物を計測して得られる計測データを表示する方法であって、前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示するとともに、前記計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させて前記画像に表示するものである。
【０００９】
「計測対象面」は、平面であるのが好ましいが、曲面であってもよく、凹凸や段差などがある面であってもよい。
【００１０】
「対象物の計測対象面に対応する二次元の画像」とは、対象物の計測対象面と、二次元の画像、すなわち、面の画像とが対応していることをいい、対象物の計測対象面と面の画像とは、対比できるのが好ましく、例えば、平面の計測対象面を平面で表示したり、曲面や段差などのある計測対象面を、その投影面で表示することなどを含むものである。
【００１１】
「計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させて前記画像に表示する」とは、計測値を、計測対象面に対応する二次元の画像、すなわち、面の画像に、その計測位置を対応させて表示することをいい、面の画像に表示される計測値が、対象物の計測対象面の計測位置と対比できるのが好ましい。
【００１２】
本発明の計測データ表示方法によれば、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像、すなわち、面の画像に、計測値を、その計測位置を対応させて表示するので、表示される計測値と対象物の計測対象面との対応関係、特に、計測値と対象物の計測位置との対応関係を容易に把握できることになる。
【００１３】
（２）本発明の計測データ表示方法の一つの実施形態では、前記計測値を、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示するものである。
【００１４】
計測値と色や濃淡との対応は、例えば、計測値の絶対値の大小に応じて色や濃淡を異ならせたり、あるいは、計測値の正負の符号に応じて色や濃淡を異ならせたり、あるいは、色と濃淡とを組み合せる、例えば、計測値の絶対値の大小を濃淡に対応させ、計測値の正負の符号を色に対応させるようにしてもよい。
【００１５】
この実施形態によれば、計測値が、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、計測位置を対応させて色や濃淡で表示されるので、視覚的に計測結果を把握することができ、特に、計測値の分布を容易に把握することができる。
【００１６】
なお、他の実施形態として、計測対象面に対応するＸ，Ｙの二次元の画像に対して、計測値を、Ｚ方向に対応させて三次元の画像として表示してもよく、更に、色や濃淡を組み合わせて表示してもよい。
【００１７】
（３）本発明の計測データ表示方法の他の実施形態では、前記対象物を、複数の計測手段で分担してそれぞれ計測し、計測した各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示するものである。
【００１８】
「対象物を、複数の計測手段で分担してそれぞれ計測し」とは、対象物の計測対象面の計測を、各計測手段で分担して計測することをいい、計測対象面に対する各計測手段の計測領域の少なくとも一部を異ならせて計測することをいう。
【００１９】
対象物および前記複数の計測手段は、少なくともいずれか一方を移動させて計測するものであるのが好ましい。
【００２０】
この実施形態によれば、単一の計測手段では計測できないような計測対象面が広い対象物であっても、複数の計測手段で分担して計測し、各計測データを表示することにより、計測値と対象物の広い計測対象面との対応関係を容易に把握できることになる。
【００２１】
（４）本発明の計測データ表示方法の好ましい実施形態では、  前記複数の計測手段は、移動する前記対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置され、前記複数の各計測手段によってそれぞれ計測される各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示するものである。
【００２２】
この実施形態によれば、移動する対象物に対して、移動方向に非平行な方向、好ましくは直交する方向に沿って配置された複数の計測手段で計測して表示することにより、計測値と移動する対象物の計測対象面との対応関係を容易に把握できることになる。
【００２３】
（５）本発明の計測データ表示方法は、移動する対象物を、該対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置された複数の計測手段によってそれぞれ計測して得られる各計測データを表示する方法であって、前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示し、かつ、前記各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させるとともに、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示するものである。
【００２４】
本発明の計測データ表示方法によれば、移動する対象物に対して、移動方向に非平行な方向、好ましくは直交する方向に沿って配置された複数の計測手段で計測し、計測値が、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、計測位置を対応させて色や濃淡で表示されるので、視覚的に計測結果を把握することができ、特に、計測値の分布を容易に把握することができる。
【００２５】
（６）本発明の計測データ表示方法の一実施形態では、前記二次元の画像の表示画面の一方向を、前記移動方向に対応させ、前記各計測データを、前記一方向に延びる複数の各帯状のグラフとして表示するとともに、前記複数の計測手段の前記非平行な方向に沿う配置の順番に応じた配列で表示するものである。
【００２６】
「前記二次元の画像の表示画面の一方向」は、計測対象面に対応する二次元の画像を表示する表示画面の一方向、例えば、横方向であるのが好ましく、この場合、表示画面の縦方向に、複数の各計測手段によって計測される各計測データが、計測手段の配置順に従った配列で表示されることになる。
【００２７】
「帯状のグラフ」は、対象物の移動に応じて計測される計測データを二次元の画像に表示したものであり、移動方向に対応する表示画面の一方向、例えば、横方向に長く表示されるものであり、この帯状のグラフの幅は、複数の帯状のグラフの全てが、表示画面に表示される幅に調整されるのが好ましい。
【００２８】
この実施形態によれば、複数の計測手段によって計測される各計測データが、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、帯状のグラフとして表示されるので、計測データと対象物の計測対象面との対応関係を容易に把握できる。
【００２９】
（７）本発明の計測データ表示方法の一実施形態では、隣合って表示される前記帯状のグラフの境界部分の計測値を、該境界部分が徐々に変化する表示となるように処理するものである。
【００３０】
計測手段によって得られる計測値が、例えば、計測領域における特性値の平均のような形で得られるような場合には、隣合う帯状のグラフの計測値（平均値）の間には、大きな差が生じて急激な変化のある表示となることがあるが、この実施形態では、隣合う帯状のグラフの境界部分が徐々に変化する表示となるように処理する、例えば、境界部分では、隣合う帯状のグラフの平均値を補間処理することにより、前記平均値でそのまま表示するのに比べて実際の対象物の特性に近い表示を行なうことが可能となる。
【００３１】
（８）本発明の計測データ表示方法の他の実施形態では、前記計測値を、同じ計測値を結ぶ等高線で表示するものである。
【００３２】
等高線の間隔は、見やすい表示となるように任意に選択すればよい。
【００３３】
この実施形態によれば、対象物の計測対象面において、同じ計測値あるいは同程度の計測値の領域、あるいは、逆に異なる計測値の領域を、容易に把握できることになる。
【００３４】
（９）本発明の計測データ表示方法の更に他の実施形態では、  前記計測値における正負の符号を色に対応させるとともに、絶対値の大小を色の濃淡に対応させて前記画像に表示するものである。
【００３５】
この実施形態によれば、正負の数値である計測値が、色および濃淡で表示されるので、計測値を、容易に把握できることになる。
【００３６】
（１０）本発明の計測データ表示方法の一実施形態では、前記計測値に代えて、該計測値と閾値との比較判定結果を、前記画像に表示するものである。
【００３７】
前記閾値は、一つであってもよく、複数であってもよい。また、この閾値は、ユーザが任意に設定できるのが好ましい。
【００３８】
この実施形態によれば、閾値の設定によって、例えば、正常と判定される計測値や不良と判定される計測値が得られた対象物の計測位置を、容易に把握できることになる。
【００３９】
（１１）本発明の計測データ表示方法の他の実施形態では、前記計測データが、前記対象物の表面電位を計測して得られるものである。
【００４０】
この実施形態によれば、対象物の表面電位の分布を容易に把握できることになる。
【００４１】
（１２）本発明の計測データ表示装置は、対象物を計測して得られる計測データを表示する装置であって、前記対象物の計測対象面に対応する二次元の画像を表示するとともに、前記計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置に対応させて前記画像に表示するデータ表示手段を備えている。
【００４２】
データ表示手段は、二次元の画像を表示する液晶ディスプレイなどの表示部と、計測値を二次元の配列で記憶する記憶部と、記憶部に対する計測値の書き込み／読出しを制御するとともに、前記表示部の表示を制御する制御部とを含むものであるのが好ましい。
【００４３】
本発明の計測データ表示装置によれば、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像、すなわち、面の画像に、計測値を、その計測位置を対応させて表示するので、表示される計測値と対象物の計測対象面との対応関係、特に、計測値と対象物の計測位置との対応関係を容易に把握できることになる。
【００４４】
（１３）本発明の計測データ表示装置の一実施形態では、前記データ表示手段は、前記計測値を、色および濃淡の少なくともいずれか一方に対応させて前記画像に表示するものである。
【００４５】
この実施形態によれば、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、計測値が、その計測位置に対応して色や濃淡で表示されるので、視覚的に計測結果を把握することができ、特に、計測値の分布を容易に把握することができる。
【００４６】
（１４）本発明の計測データ表示装置の好ましい実施形態では、  前記データ表示手段は、移動する前記対象物の移動方向に対して非平行な方向に沿って配置された複数の計測手段によって前記対象物を分担してそれぞれ計測した各計測データの計測値を、前記計測対象面の計測位置にそれぞれ対応させて前記画像に表示するものである。
【００４７】
この実施形態によれば、移動する対象物に対して、移動方向に非平行な方向、好ましくは直交する方向に沿って配置された複数の計測手段で計測して表示することにより、計測値と移動する対象物の計測対象面との対応関係を容易に把握できることになる。
【００４８】
（１５）本発明の計測データ表示装置の一実施形態では、前記データ表示手段は、前記画像の表示画面の一方向を、前記移動方向に対応させ、前記各計測データを、前記一方向に延びる複数の各帯状のグラフとして表示するとともに、前記複数の計測手段の前記非平行な方向に沿う配置の順番に応じた配列で表示するものである。
【００４９】
この実施形態によれば、複数の計測手段によって計測される各計測データが、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、帯状のグラフとして表示されるので、計測データと対象物の計測対象面との対応関係を容易に把握できる。
【００５０】
（１６）本発明の計測データ表示装置の他の実施形態では、前記データ表示手段は、前記計測値に代えて、該計測値と閾値との比較判定結果を前記画像に表示するものである。
【００５１】
この実施形態によれば、閾値の設定によって、例えば、正常と判定される計測値や不良と判定される計測値が得られた対象物の計測位置を、容易に把握できることになる。
【００５２】
（１７）本発明の計測データ表示装置の更に他の実施形態では、前記計測手段が、前記対象物の表面電位を計測する表面電位センサであり、前記データ表示手段は、前記計測値における正負の符号を色に対応させるとともに、絶対値の大小を色の濃淡に対応させて前記画像に表示するものである。
【００５３】
この実施形態によれば、正負の数値で得られる表面電位の計測値を、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像に、計測位置を対応させて色および濃淡で表示するので、視覚的に計測結果を把握することができ、表面電位の分布を容易に把握することができる。
【発明の効果】
【００５４】
本発明によれば、対象物の計測対象面に対応する二次元の画像、すなわち、面の画像に、計測値を、その計測位置に対応させて表示するので、表示される計測値と対象物の計測対象面との対応関係、特に、計測値と対象物の計測位置との対応関係を容易に把握できることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５５】
以下に、本発明の好適な実施の形態を添付図面を参照しながら詳細に説明する。
【００５６】
図１は、本発明に係る表示装置を備える計測システムの概略構成図であり、この実施の形態では、表面電位を計測するシステムに適用して説明する。
【００５７】
この実施の形態の計測システムは、例えば、ガラス基板のような板状のワーク１の表面電位を、複数、例えば、５個の表面電位センサ２１〜２５によってそれぞれ計測し、通信ユニット３を介して接続された計測データ表示装置としてのパソコン４に、その計測結果を送信して後述のようにパソコン４の液晶ディスプレイに表示するものである。
【００５８】
各表面電位センサ２１〜２５は、ヘッド部２１ａ〜２５ａと、プリアンプ部２１ｂ〜２５ｂと、アンプ部２１ｃ〜２５ｃとを備えている。
【００５９】
各アンプ部２１ｃ〜２５ｃは、計測演算した表面電位をディジタル表示する機能や、前記表面電位を所定の閾値と比較して、その判定結果を出力する機能を備えている。
【００６０】
複数の表面電位センサ２１〜２５は、そのアンプ部２１ｃ〜２５ｃを連結用のユニットを介して隣接して結合させることができるとともに、通信ユニット３に結合させることができ、図１に示すように、隣接結合状態で１列に連装することができる。
【００６１】
かかる構成によって、パソコン４は、複数の表面電位センサ２１〜２５の計測データを、一つの共通の通信ラインを用いて取得することが可能である。
【００６２】
このように複数のセンサを隣接結合状態で１列に連装し、共通の通信ラインを介してデータをパソコンに送信する構成は、公知である。
【００６３】
ワーク１は、図２に示すように、矢符Ａ方向に搬送され、搬送（移動）方向に直交する方向に沿って、複数の表面電位センサ２…の各ヘッド部２ａ…が、等間隔に並設されてワーク１の全体の表面電位を計測するものである。なお、図２では、代表的に４個のヘッド部２ａのみを示している。
【００６４】
パソコン４には、図３（ａ）に示すように、複数の表面電位センサ２１〜２５および通信ユニット３からなる計測センサ群の複数（図では３つ）を、複数の各ポートに接続してＲＳ−２３２Ｃなどの通信方式によって通信し、各ポートの計測センサ群の計測データを、表示することが可能である。あるいは、パソコン４には、図３（ｂ）に示すように、計測センサ群の複数を、単一のポートに接続してＲＳ−４２２などの通信方式によって通信し、各計測センサ群の計測データを、表示することが可能である。
【００６５】
図４は、パソコン４の起動処理のフローチャートである。
【００６６】
この起動処理は、パソコン４に接続されているセンサの機種（種別）を判別するためのものである。先ず、前回の使用ポートの情報が有るか否かを判断し（ステップｎ１）、有るときには、前回使用ポートに対して接続されているセンサの機種データの読出し命令を発行する（ステップｎ２）。前回の使用ポートの情報が無いときには、ユーザが、使用ポート選択画面で使用ポートを選択し（ステップｎ５）、選択されたポートに対して、接続されているセンサの機種データの読出し命令を発行し（ステップｎ２）、通信エラーが無いかを判断し（ステップｎ３）、無いときには、接続されているセンサの機種情報を格納し（ステップｎ４）、起動を完了し、通信エラーであるときには、ステップｎ５に戻る。
【００６７】
図５は、上述の起動完了後のパソコン４の処理を示すフローチャートである。
【００６８】
先ず、メイン画面を開き（ステップｎ１０）、画面の変更を実施するか否かを判断し（ステップｎ１１）、変更を実施するときには、どの画面を選択するかを判断し（ステップｎ１３）、メイン画面が選択されたときには、メイン画面に移行し（ステップｎ１４）、計測結果を、数値で一覧表示するメイン画面処理を行い（ステップｎ１５）、ステップｎ１１に戻る。また、ステップｎ１３において、設定画面が選択されたときには、設定画面に移行し（ステップｎ１８）、センサの設定を行なうための設定画面処理を行い（ステップｎ１９）、ステップｎ１１に戻る。また、ステップｎ１３において、本発明の計測データ表示方法に係るグラフ画面が選択されたときには、グラフ画面に移行し（ステップｎ１６）、計測結果を視覚的に表現する後述のグラフ画面処理を行い（ステップｎ１７）、ステップｎ１１に戻る。
【００６９】
図６は、前記グラフ画面処理のフローチャートである。
【００７０】
先ず、グラフ描画の処理を開始し（ステップｎ２０）、コマンド送信ポートを、ポートＮｏ．１にセットし（ステップｎ２１）、計測値データ一括取得コマンドを送信し（ステップｎ２２）、ポートＮｏ．をインクリメントし（ステップｎ２３）、インクリメントしたポートＮｏ．が存在するか否かを判断し（ステップｎ２４）、存在するときには、コマンド送信ポートを、インクリメントしたポートＮｏ．にセットし（ステップｎ２９）、ステップｎ２２に戻る。
【００７１】
ステップｎ２３でインクリメントしたポートＮｏ．が存在しないときは、コマンド受信ポートを、ポートＮｏ．１にセットし（ステップｎ２５）、計測値データを、一括受信し（ステップｎ２６）、ポートＮｏ．をインクリメントし（ステップｎ２７）、インクリメントしたポートＮｏ．が存在するか否かを判断し（ステップｎ２８）、存在するときには、コマンド受信ポートを、インクリメントしたポートＮｏ．にセットし（ステップｎ３０）、ステップｎ２６に戻る。
【００７２】
インクリメントしたポートＮｏ．が存在しないときには、計測値データを、二次元配列でメモリに格納し（ステップｎ３１）、後述のように二次元または三次元の画像のグラフ表示を行ない（ステップｎ３２）、グラフ描画停止要求が有るか否かを判断し（ステップｎ３３）、停止要求が無いときには、ステップｎ２１に戻り、停止要求があるときには、グラフ描画を停止する（ステップｎ３４）。
【００７３】
計測データ表示装置としてのパソコン４は、画像を表示する液晶ディスプレイと、上述のように計測値を二次元の配列で記憶するメモリと、メモリに対する書き込み／読出しを制御するとともに、表示制御するＣＰＵとを含んでいる。
【００７４】
図７は、この実施の形態の計測データの表示方法を説明するための図である。
【００７５】
この実施の形態では、計測値である表面電位（静電気量）のプラス、マイナスの符号を、同図（ａ）に示すように、色、例えば、プラスを、暖色系の色、例えば、赤色Ｒに対応させ、マイナスを、寒色系の色、例えば、青色Ｂに対応させている。
【００７６】
更に、表面電位（静電気量）の絶対値を、同図（ｂ）に示すように、濃淡、例えば、絶対値が大きい程、淡い色、絶対値が小さい程、濃い色に対応させている。
【００７７】
したがって、この実施形態では、色および濃淡を組み合わせることにより、表面電位（静電気量）の計測値を、同図（ｃ）に示すように表示するものであり、絶対値が小さいと、黒色に近くなり、絶対値が大きくなると、その正負に応じて、赤色Ｒあるいは青色Ｂとなる。
【００７８】
図８は、図１の各表面電位センサ２１〜２５によるワーク１の計測結果の表示画面の例を示す図である。
【００７９】
この表示画面は、対象物であるワーク１の計測対象面に対応した二次元の画像、すなわち、長方形の面の画像となっており、各表面電位センサ２１〜２５による計測値を、計測対象位置にそれぞれ対応させて、色および濃淡で表示している。
【００８０】
すなわち、表示画面の横方向（図の左右方法）が、ワーク１の搬送方向の位置に対応する時間を示しており、縦方向（図の上下方向）がワーク１の幅方向、すなわち、搬送方向に直交する方向の位置に対応している。
【００８１】
各表面電位センサ２１〜２５は、上述のように、ワーク１の搬送方向に直交する方向に沿って等間隔に配置されているので、その配置の順番に応じた配列で、表示画面の縦方向に沿って各表面電位センサセンサ２１〜２５によって計測される領域の計測値が、表示されることになる。
【００８２】
この実施形態では、５個の表面電位センサ２１〜２５によって、ワーク１の幅方向を分担して計測するので、各表面電位センサ２１〜２５によって計測される各計測データが、横方向にそれぞれ延びる５つの帯状のグラフとして縦方向に配列表示されることになる。
【００８３】
計測データである表面電位（静電気量）は、上述のように、そのプラス、マイナスの符号を、赤色、青色に対応させ、その絶対値の大小を、濃淡に対応させて表示している。
【００８４】
この図８の状態では、第１の表面電位センサ２１によって計測されるワーク１の左側の領域が、赤色Ｒで淡く表示されており、この領域が、プラスに帯電しており、第４の表面電位センサ２４によって計測されるワーク１の右側の領域が、青色Ｂで淡く表示されており、この領域が、マイナスに帯電しており、他の領域は、非常に濃い黒の表示となっており、帯電が殆んど認められない。
【００８５】
したがって、この図８では、第２，第３，第５の各表面電位センサ２２，２３，２５の計測値の領域は、帯状の区別がつかない黒色の表示となっている。
【００８６】
このようにワーク１の計測位置に対応した表示が、計測値に応じた色および濃淡でなされるので、計測値と移動するワーク１の計測対象面との対応関係が明確となり、視覚的にワーク１の表面電位の分布を把握することができる。
【００８７】
また、表面電位センサ２の台数に応じて、例えば、図９に示すように、帯状のグラフの表示幅Ｗを調整して、表示画面の全面を使って表示するようにしてもよい。
【００８８】
また、表面電位センサ２…の計測値が、例えば、上述の図２に示す計測エリアＳ内の平均値として算出されるような場合には、隣接する表面電位センサ２…の計測値との間で補間計算を行ってその境界付近の計測値とすることにより、例えば、図１０に示すように、境界部分で穏やかな変化、すなわち、グラデーションのある表示としてもよい。
【００８９】
また、計測値を、色や濃淡に対応させるのではなく、例えば、図  １１に示すように、同じ計測値、すなわち、同じ表面電位を結ぶ等高線で表示してもよい。なお、等高線と、色や濃淡とを組み合わせて表示してもよい。
【００９０】
さらに、ワーク１の計測対象面を、Ｘ軸（時間），Ｙ軸（表面電位センサ）方向の二次元で表示するとともに、その計測値（静電気量）を、例えば、図１２に示すように、Ｚ軸方向に表示して三次元の画像としてもよい。
【００９１】
また、上述のように計測値を、表示するのではなく、計測値と閾値との比較判定結果を、表示してもよい。例えば、計測値が、上限閾値を上回ったときのＨＩＧＨ出力と、計測値が、上限閾値以下であって、下限閾値以上であるときのＰＡＳＳ出力と、計測値が、下限閾値を下回ったときのＬＯＷ出力とを、例えば、赤色、緑色、青色の各色に対応させて、例えば、図１３に示すように表示してもよい。なお、図１３では、丸で表示しているが、上述の帯状や等高線で表示してもよい。
【００９２】
なお、本発明は、表面電位の測定に限らず、表面の凹凸や他の計測にも適用できるのは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】本発明に係る計測データ表示装置を備える計測シテスムの概略構成図である。
【図２】図１のワークと表面電位センサのヘッド部との関係を示す概略斜視図である。
【図３】図１のパソコンとセンサ群との接続構成を示す図である。
【図４】パソコンの起動処理のフローチャートである。
【図５】パソコンの起動後の処理を示すフローチャートである。
【図６】グラフ画面の処理を示すフローチャートである。
【図７】本発明に係る表示を説明するための図である。
【図８】表示の一例を示す図である。
【図９】表示の他の例を示す図である。
【図１０】表示の更に他の例を示す図である。
【図１１】等高線表示の例を示す図である。
【図１２】三次元表示の例を示す図である。
【図１３】本発明の他の実施形態の表示例を示す図である。
【図１４】従来例の表示例を示す図である。
【符号の説明】
【００９４】
１                ワーク
２，２１〜２５      表面電位センサ
４                パソコン
【図１】
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【図２】
2007147549.tif 000004
【図３】
2007147549.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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