(57)【要約】【課題】  液晶装置等の電気光学装置において、縦線状の表示ムラが発生するのを防止して、高品質な画像表示を行う。【解決手段】  下層側金属膜及び上層側金属膜のうち一方の金属膜を含んで形成されると共に画像信号が供給されるＮ本の画像信号線と、対応する画像信号線に一端側が電気的に夫々接続されると共に、下層側金属配線及び上層側金属配線のうち他方の金属膜を含んで夫々形成される複数の中継配線と、前記一方の金属膜を含んで形成された入力配線を介して中継配線から供給される画像信号を、サンプリング信号に応じてデータ線に夫々供給する複数のサンプリングスイッチを含むサンプリング回路と、サンプリング信号を順次供給するデータ線駆動回路とを備える。【選択図】  図６
2007052222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
素子基板上に、
相互に交差する複数の走査線及びデータ線と、
画素領域において前記複数の走査線と複数のデータ線との交差に対応して設けられた複数の画素電極と、
前記画素領域の周辺に位置する周辺領域に、下層側金属膜及び該下層側金属膜より層間絶縁膜を介して上層側に配置された上層側金属膜のうち一方の金属膜を含んで夫々形成されると共に前記データ線の配列方向に沿って夫々延びる、前記複数のデータ線をＮ（但し、Ｎは２以上の自然数）本の前記データ線を１群とするデータ線群毎に駆動するためにＮ系統のシリアル−パラレル変換された画像信号が供給されるＮ本の画像信号線と、
前記複数のデータ線の配列に対応して複数配列されており、前記Ｎ本の画像信号線のうち対応する一本における前記データ線の配列方向に沿って延在する一部に一端側が電気的に夫々接続されると共に、前記下層側金属膜及び前記上層側金属膜のうち他方の金属膜を含んで夫々形成されており、前記一端側より他端側に向かって前記データ線の配列方向に交差する方向に夫々延びる複数の中継配線と、
前記一方の金属膜を含んで夫々形成され且つ前記中継配線の他端側に電気的に接続された入力配線を介して、前記中継配線から供給される前記画像信号を、サンプリング信号に応じて前記データ線に夫々供給する複数のサンプリングスイッチを含むサンプリング回路と、
前記データ線群に対応する前記サンプリングスイッチ毎に、前記サンプリング信号を順次供給するデータ線駆動回路と
を備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
前記素子基板と対向して配置される対向基板と、
該対向基板上に、前記複数の画素電極と対向するように形成されると共に、前記素子基板上で平面的に見て、前記複数の中継配線の各々の少なくとも一部と重畳するように形成された対向電極と
を備えており、
前記複数の中継配線は、前記対向電極と重畳する部分の面積が相互に等しいように形成されていること
を特徴とする請求項１に記載の電気光学装置。
【請求項３】
前記複数の中継配線は夫々、前記一方の金属膜として前記上層側金属膜を含んで形成され、
前記Ｎ本の画像信号線の各々において前記データ線の配列方向に沿って延びる一部及び前記入力配線は、前記他方の金属膜として前記下層側金属膜を含んで形成されていること
を特徴とする請求項２に記載の電気光学装置。
【請求項４】
前記複数の中継配線は夫々、前記一端側が前記層間絶縁膜を貫通して開孔された第１コンタクトホールを介して前記画像信号線に電気的に接続されると共に、前記他端側が前記層間絶縁膜を貫通して開孔された第２コンタクトホールを介して前記入力配線に電気的に接続されており、
前記複数の中継配線は、前記素子基板上で平面的に見て、前記第１コンタクトホールから前記第２コンタクトホールに至る一部の配線長が相互に揃うように形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項５】
前記複数の中継配線は、前記素子基板上で平面的に見た面積が相互に揃うように形成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の電気光学装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置及びそのような電気光学装置を具備してなる例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
【背景技術】
【０００２】
この種の電気光学装置は、特許文献１又は２に開示されているように、複数系列の、例えばシリアル−パラレル変換された画像信号に基づいて駆動される。例えば、液晶装置において、素子基板上の、複数の画素がアレイ状に平面配列された画素領域又は画素アレイ領域（或いは画像表示領域とも呼ばれる）に配線された複数のデータ線は所定の本数毎にブロック化されており、シリアル−パラレル変換された画像信号が、ブロック単位で、該ブロックに含まれるデータ線にサンプリングスイッチを介して供給される。これにより、所定の本数のデータ線が同時に、且つ複数のデータ線は所定の本数毎に順次駆動される。
【０００３】
シリアル−パラレル変換された画像信号は、素子基板上の画像表示領域の周辺に位置する周辺領域に配線された複数の画像信号線に供給される。そして、各画像信号線は、中継配線を介して、サンプリングスイッチの入力配線に電気的に接続される。
【０００４】
ここで、特許文献１によれば、画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線は金属配線により形成されると共に、中継配線は画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線より高抵抗となるように、例えば多結晶シリコンにより形成される。このような構成によれば、画像信号線からサンプリングスイッチに至る電気的な経路における時定数は、中継配線において、画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線の電気的な接続に係る部分の抵抗に依存する。よって、特許文献１によれば、複数の中継配線間で、画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線の電気的に接続に係る部分の配線長を調整することで、当該部分の配線抵抗を相互に揃えることにより、複数の中継配線の時定数を相互に揃えて、表示画面上で縦線状の表示ムラが発生するのを防止する。
【０００５】
【特許文献１】特開平７−１７５０３８号公報
【特許文献２】特開平１０−１６１１５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述したような電気光学装置の構成によれば、画像信号線からサンプリングスイッチに至る電気的な経路における時定数を揃えるために、各中継配線において、少なくとも画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線の電気的に接続に係る部分の配線長、或いは配線長に加えて更に配線幅を厳密に調整する必要がある。よって、各中継配線を形成するための製造プロセスが煩雑となる恐れがある。言い換えれば、複数の中継配線間における配線抵抗のばらつきが発生しやすく、これに起因して表示画面上における縦線状の表示ムラが発生しかねないという技術的問題点がある。
【０００７】
本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、例えば各中継配線を容易に形成すると共に、表示画面上において縦線状の表示ムラが発生するのを防止して、高品質な画像表示を行うことが可能な電気光学装置及び該電気光学装置を備えた各種電子機器を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、素子基板上に、相互に交差する複数の走査線及びデータ線と、画素領域において前記複数の走査線と複数のデータ線との交差に対応して設けられた複数の画素電極と、前記画素領域の周辺に位置する周辺領域に、下層側金属膜及び該下層側金属膜より層間絶縁膜を介して上層側に配置された上層側金属膜のうち一方の金属膜を含んで夫々形成されると共に前記データ線の配列方向に沿って夫々延びる、前記複数のデータ線をＮ（但し、Ｎは２以上の自然数）本の前記データ線を１群とするデータ線群毎に駆動するためにＮ系統のシリアル−パラレル変換された画像信号が供給されるＮ本の画像信号線と、前記複数のデータ線の配列に対応して複数配列されており、前記Ｎ本の画像信号線のうち対応する一本における前記データ線の配列方向に沿って延在する一部に一端側が電気的に夫々接続されると共に、前記下層側金属膜及び前記上層側金属膜のうち他方の金属膜を含んで夫々形成されており、前記一端側より他端側に向かって前記データ線の配列方向に交差する方向に夫々延びる複数の中継配線と、前記一方の金属膜を含んで夫々形成され且つ前記中継配線の他端側に電気的に接続された入力配線を介して、前記中継配線から供給される前記画像信号を、サンプリング信号に応じて前記データ線に夫々供給する複数のサンプリングスイッチを含むサンプリング回路と、前記データ線群に対応する前記サンプリングスイッチ毎に、前記サンプリング信号を順次供給するデータ線駆動回路とを備える。
【０００９】
本発明の電気光学装置によれば、その駆動時には、複数系列にシリアル−パラレル変換されたＮ系統の画像信号が、素子基板上の周辺領域に配線されたＮ本の画像信号線に供給され、更に、データ線に対応して配列された中継配線を介してサンプリング回路へと供給される。例えば、Ｎ系統の画像信号は、駆動周波数の上昇を抑えつつ高精細な画像表示を実現すべく、外部回路によって、シリアルな画像信号が、３相、６相、１２相、２４相、・・・など、複数のパラレルな画像信号に変換されることによって生成される。このような「シリアル−パラレル変換」とは、「シリアル−パラレル展開」或いは「相展開」とも呼ばれる。尚、シリアル−パラレル変換は、典型的には、電気光学装置の外部に設けられ、シリアルな画像信号の入力を受ける画像信号処理回路によって行われる。
【００１０】
このような画像信号のサンプリング回路への供給と並行して、データ線駆動回路によって、データ線群に対応するサンプリングスイッチ毎に、サンプリング信号（即ち、サンプリング回路駆動信号）が順次供給される。すると、サンプリング回路における各サンプリングスイッチによって、複数のデータ線には、サンプリング信号に応じてデータ線群毎にＮ系統の画像信号が順次供給される。よって、同一のデータ線群に属するデータ線は同時に駆動されることとなる。即ち、同一のデータ線群に属する複数のデータ線に対しては、パラレルとされた複数の画像信号が一挙に供給されることとなる。尚、サンプリングスイッチは、例えば、片チャネル型のＴＦＴにより夫々構成され、ソースが入力配線を介して中継配線に電気的に接続され、ドレインがデータ線に接続され、ゲートにサンプリング信号が供給されることでオン状態とされる。
【００１１】
素子基板上の、複数の画素がアレイ状に平面配列されてなる画像領域或いは画素アレイ領域において、データ線が駆動されると、例えば、走査線駆動回路から走査線を介して供給される走査信号に応じて各画素電極が選択状態となり、データ線より画像信号が画素電極に供給される。これにより、画素毎に設けられた例えば表示素子である液晶素子は供給された画像信号に基づいて画像表示を行う。
【００１２】
本発明の電気光学装置では特に、素子基板上の周辺領域において、Ｎ本の画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線は夫々、例えばＡｌ（アルミニウム）を含む導電材料により形成される、比較的低抵抗な上層側金属膜及び下層側金属配線膜のうち一方の金属膜を含んで形成されている。より具体的には、Ｎ本の画像信号線は夫々少なくとも、複数のデータ線にデータ線の配列方向（例えば、各走査線が延在するＸ方向）に沿って延在する一部が、一方の金属膜を含んで形成される。また、各サンプリングスイッチの入力配線において、サンプリングスイッチから中継配線までの電気的経路を構成する一部は、同じく一方の金属膜を含んで形成される。この際、画像信号線と中継配線とは、同一の金属膜である、一方の金属膜を含んで形成されており、典型的には、同一の金属膜から形成されるが、両者が平面パターンとして相互から分断されている、更に相隣接する画像信号線が相互から分断されていることは言うまでもない。即ち、「一方の金属膜を含んで形成される」とは、同一の金属膜の同一部分から共通に形成される意味ではなく、素子基板上に構築される積層構造において同一の積層位置に、同一の機会に形成されれば足りる意味である。このように、画像信号線及び中継配線を形成すれば、画像信号線からサンプリングスイッチに至るまでの電気的経路における時定数を、容易に、画像信号の系列間で概ね一致させることができる。
【００１３】
複数の中継配線は、データ線群に対応する中継配線毎に、複数系列、即ちＮ系列の画像信号を、各サンプリングスイッチに供給する。よって、データ線群に対応する中継配線はＮ系列の画像信号に対応しており、各中継配線は、Ｎ本の画像信号線のうち対応する系列の画像信号が供給される一本に電気的に接続される。より具体的には、各中継配線の一端側は、対応する画像信号線において、複数のデータ線に対して、データ線の配列方向に沿って延びる部分に電気的に接続される。この場合、中継配線の一端側は、上層側金属膜及び下層側金属膜を層間絶縁する層間絶縁膜を貫通して開孔された第１コンタクトホールを介して、該第１コンタクトホール内に露出した画像信号線の表面に電気的に接続される。
【００１４】
各中継配線の他端側は、層間絶縁膜を貫通して開孔された第２コンタクトホールを介して、サンプリングスイッチの入力配線に電気的に接続される。そして、各中継配線は、第１コンタクトホールから第２コンタクトホールに向かう、データ線の配列方向に交差する方向（例えば、各データ線が延在するＹ方向）に延在させて形成される。
【００１５】
本発明では、このように構成される中継配線が夫々、例えば導電性のポリシリコン膜ではなく、他方の金属膜を含んで形成される。よって、各中継配線の抵抗は、例えば比較的高抵抗など導電材料である多結晶シリコンにより形成する場合と比較して、低くすることが可能となる。
【００１６】
この際特に、第１コンタクトホール内に露出した画像信号線の表面から、第２コンタクトホール内に露出したサンプリングスイッチの入力配線の表面に至る電気的経路を構成する中継配線の一部、即ち、画像信号線からサンプリングスイッチの入力配線までの電気的経路を構成する一部を、他方の金属膜により形成するのが好ましい。これにより、各中継配線において、画像信号線からサンプリングスイッチの入力配線までの電気的経路を構成する一部を、低抵抗化させることが可能となる。
【００１７】
これらの結果、画像信号線からサンプリングスイッチに至るまでの電気的経路における配線抵抗を容易に低めることができると共に、それらの時定数を、容易に、画像信号の系列間で概ね一致させることができる。
【００１８】
即ち、各中継配線において、画像信号線からサンプリングスイッチの入力配線までの電気的経路を構成する一部の配線長や配線幅を、当該一部が比較的高抵抗な多結晶シリコンにより形成される場合と比較して、厳密に調整しなくても、当該一部における配線抵抗を概ね同等にしたり、或いは、各中継配線自体の配線長等を厳密に調整しなくても配線容量を概ね同等に揃えることが可能となる。即ち、より具体的には、各中継配線を形成する際、配線抵抗や配線容量を互いに概ね同等とするために、中継配線の配線長や配線幅を所定値に揃える場合、中継配線を多結晶シリコンにより形成する場合と比較して、例えばパターニングに係るマージンを比較的大きくする確保することができる。よって、より容易に、画像信号の供給に係る時定数を中継配線間で概ね同等として揃えることが可能となる。
【００１９】
よって、以上説明したような本発明の電気光学装置によれば、容易に各中継配線を形成することが可能となる。また、互いに異なる系列の画像信号が供給される中継配線間で、中継配線における時定数を概ね同等とすることが可能となり、画像信号線からサンプリングスイッチに至るまでの電気的経路における時定数も概ね同等とすることができる。その結果、画像表示時、表示画面上に縦線状の表示ムラが発生するのを防止することができる。よって、本発明の電気光学装置では、高品質な画像表示を行うことが可能となる。
【００２０】
本発明の電気光学装置の一態様では、前記素子基板と対向して配置される対向基板と、該対向基板上に、前記複数の画素電極と対向するように形成されると共に、前記素子基板上で平面的に見て、前記複数の中継配線の各々の少なくとも一部と重畳するように形成された対向電極とを備えており、前記複数の中継配線は、前記対向電極と重畳する部分の面積が相互に等しいように形成されている。
【００２１】
この態様によれば、その動作時には、対向基板において素子基板と対向する側に形成された対向電極は所定電位に維持されると共に、各画素電極に所定電位の画像信号が供給されることにより、素子基板及び対向基板間に挟持された、例えば電気光学物質である液晶に、画素電極に応じた電圧、或いは縦電界が印加されることにより、液晶素子は画像表示を行う。尚、対向基板上に、対向電極は、例えば、各画素電極に対応させて個別に、島状或いはセグメント状に形成されるようにしてもよいし、データ線に対応する画素電極に共通の、ストライプ状のパターンとして、これら画素電極と対向するように形成されてもよい。或いは、対向電極は、例えば、素子基板上の複数の画素電極と対向するように、対向基板上に平面的に見て、画像表示領域を含むベタ一面の、即ちベタ状のパターンとして形成されてもよい。
【００２２】
また、本態様では、対向電極は、平面的に見て画像表示領域から周辺領域に大なり小なり延在して、複数の中継配線の各々の少なくとも一部と重畳するパターンを有するものとして形成される。このような構成によれば、各中継配線において対向電極に重畳する一部において、該一部が上層側金属膜により形成される場合には、特に顕著に、電気光学物質を介して対向電極との間で容量カップリングが生じ得る。
【００２３】
そして、このような容量カップリングの度合いは、各中継配線間において、素子基板上に平面的に見て、中継配線における対向電極に重畳する一部の面積が異なれば、異なってくる。よって、既に説明したように、各中継配線の配線長や配線幅を概ね同等に調整したとしても、容量カップリングの度合いが中継配線間で異なれば、中継配線における時定数も異なってしまうという問題点が生じる。
【００２４】
このため、本態様では、複数の中継配線間で、対向電極に重畳する一部の面積が相互に等しいように形成されている。ここに「面積が相互に等しい」とは、何らの対策も施さない場合と比較して、積極的に面積の差が低減されている意味であり、言い換えれば、面積が相互に揃えられているという意味である。そして「面積が等しい」とは、理想的には面積が同一或いは完全に同一であることを意味するが、次に説明する如き中継配線間における容量カップリングの差を低減する効果が認められる限りにおいて同一と看做せれば足りる、即ち実質的に同一である場合も含む意味である。より具体的には、複数の中継配線のうちデータ線群に対応する中継配線毎に、最も対向電極との容量カップリングの度合いの大きい中継配線に対応させて、該大きい中継配線を含めての複数の中継配線間で対向電極に重畳する一部の面積の差が小さくなるように、他の中継配線の上層側金属膜からなる部分の配線長及び配線幅を夫々調整する。例えば、各中継配線において、平面的に見て、第２コンタクトホールの位置を調整することにより、対向電極と重畳する一部の配線長を調整する。或いは、これに加えて、又は代えて、平面的に見て、各中継配線において、例えば、画像信号線からサンプリングスイッチの入力配線までの電気的経路を構成する一部から、当該一部を形成する金属配線をサンプリングスイッチに向かって延在させることで、配線長を調整する。
【００２５】
以上の結果、本態様によれば、各中継配線が、部分的に、或いは全体的に、素子基板上に平面的に見て、対向電極に重畳する場合に、対向電極との容量カップリングの度合いを互いに概ね同等或いは実質的に同一とすることが可能となる。従って、各中継配線における時定数を、より確実に概ね同等或いは実質的に同一とすることが可能となる。
【００２６】
この、複数の中継配線の各々の少なくとも一部が対向電極と重畳する態様では、前記複数の中継配線は夫々、前記一方の金属膜として前記上層側金属膜を含んで形成され、前記Ｎ本の画像信号線の各々において前記データ線の配列方向に沿って延びる一部及び前記入力配線は、前記他方の金属膜として前記下層側金属膜を含んで形成されているように構成してもよい。
【００２７】
このように構成した場合、各中継配線において、素子基板上に平面的に見て、対向電極と重畳する一部が上層側金属膜により形成されていると、該一部において、対向電極との間で容量カップリングが特に顕著に発生し易い。即ち、層間距離が近い分だけ、距離に概ね反比例する容量カップリングが大きくなる。これにより、容量カップリングが中継配線の時定数に与える影響は、より大きくなる。この場合に、上述の如く複数の中継配線間で、平面的に見て、対向電極に重畳する一部の面積が相互に等しいように形成することにより、より効果的に、時定数を概ね同等に揃えることが可能となる。
【００２８】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の中継配線は夫々、前記一端側が前記層間絶縁膜を貫通して開孔された第１コンタクトホールを介して前記画像信号線に電気的に接続されると共に、前記他端側が前記層間絶縁膜を貫通して開孔された第２コンタクトホールを介して前記入力配線に電気的に接続されており、前記複数の中継配線は、前記素子基板上で平面的に見て、前記第１コンタクトホールから前記第２コンタクトホールに至る一部の配線長が相互に揃うように形成されている。
【００２９】
この態様によれば、第１及び第２コンタクトホールは夫々、平面的に見て、これら第１及び第２コンタクトホール間の距離が相互に揃うように、位置が調整される。ここに「距離が相互に揃う」とは、何らの対策も施さない場合と比較して、積極的に距離の差が低減されている意味である。そして「距離が揃う」とは、理想的には距離が同一或いは完全に同一であることを意味するが、前述の如き中継配線間における容量カップリングの差を低減する効果が認められる限りにおいて同一と看做せれば足りる、即ち実質的に同一である場合も含む意味である。より具体的には、複数の中継配線のうちデータ線群に対応する中継配線毎に、これら中継配線のうち、一の中継配線に対して設けられた第２コンタクトホールの位置を、隣接する中継配線に対して形成された第２コンタクトホールに対して、これら相隣接する中継配線に対応する２本の画像信号線間の間隔分だけ、一の中継配線の延在方向にずらして形成する。この場合、一の中継配線に対して設けられた第１コンタクトホールに着目すれば、隣接する中継配線に対して形成された第１コンタクトホールに対して、これら相隣接する中継配線に対応する２本の画像信号線間の間隔分だけ、一の中継配線の延在方向にずれた位置に形成されているため、第１及び第２コンタクトホール間の距離が相互に揃えられることになる。
【００３０】
尚、各中継配線の他端側に電気的に接続される、サンプリングスイッチの入力配線の配線長は、互いに概ね同等としてもよいし、一の中継配線に電気的に接続された入力配線の配線長が、一の中継配線に隣接する中継配線に電気的に接続された入力配線の配線長に対して、これら２本の中継配線に対応する画像信号線間の間隔分だけ、短く又は長く形成されてもよい。
【００３１】
よって、この態様によれば、各中継配線において、画像信号線からサンプリングスイッチの入力配線までの電気的経路を構成する一部の配線長を相互に揃えることにより、各中継配線における配線抵抗を概ね同等とすることができるため、より確実に、各中継配線における時定数を概ね同等とすることが可能となる。
【００３２】
本発明の電気光学装置の他の態様では、前記複数の中継配線は、前記素子基板上で平面的に見た面積が相互に揃うように形成されている。
【００３３】
この態様によれば、各中継配線について、中継配線の延在方向に沿う配線長や配線幅が相互に揃うことにより、素子基板上に平面的に見た、中継配線自体の面積が概ね同等となるように形成される。ここに「配線幅が相互に揃う」とは、何らの対策も施さない場合と比較して、積極的に配線幅の差が低減されている意味である。そして「配線幅が揃う」とは、理想的には配線幅が同一或いは完全に同一であることを意味するが、前述の如き中継配線間における容量カップリングの差を低減する効果が認められる限りにおいて同一と看做せれば足りる、即ち実質的に同一である場合も含む意味である。より具体的には、各中継配線において、例えば、画像信号線及びサンプリングスイッチの入力配線の電気的接続に係る一部から中継配線を構成する金属配線を、サンプリングスイッチに向かう方向に、又はこれに加えて若しくは代えて、サンプリングスイッチに向かう方向とは反対方向に延在させて、配線長を調整する。
【００３４】
よって、この態様によれば、各中継配線の配線容量を概ね同等に揃えることが可能となる。従って、より確実に、中継配線における時定数を概ね同等とすることが可能となる。
【００３５】
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置（但し、その各種態様も含む）を具備する。
【００３６】
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質な画像表示を行うことが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置（Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display）、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた装置としてDLP（Digital  Light  Processing）等を実現することも可能である。
【００３７】
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３８】
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
【００３９】
＜１；電気光学パネルの全体構成＞
先ず、本発明の電気光学装置の一例たる液晶装置における、電気光学パネルの一例としての液晶パネルの全体構成について、図１及び図２を参照して説明する。ここに、図１は、本発明に係る「素子基板」の一例であるＴＦＴアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に、対向基板の側から見た液晶パネルの概略的な平面図であり、図２は、図１のＨ−Ｈ'断面図である。ここでは、駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
【００４０】
図１及び図２において、本実施形態に係る液晶パネル１００では、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とが対向配置されている。ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間に液晶層５０が封入されており、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０とは、画像表示領域１０ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材５２により相互に接着されている。
【００４１】
シール材５２は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴアレイ基板１０上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材５２中には、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間隔（基板間ギャップ）を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
【００４２】
シール材５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１０ａの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜５３が、対向基板２０側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜５３の一部又は全部は、ＴＦＴアレイ基板１０側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
【００４３】
画像表示領域１０ａの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材５２が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴアレイ基板１０の一辺に沿って設けられている。この一辺に沿ったシール領域よりも内側に、サンプリング回路２００が額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。また、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺に沿ったシール領域の内側に、額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられている。尚、走査線駆動回路１０４は、この一辺に隣接する２辺のいずれかに沿い、且つ、前記額縁遮光膜５３に覆われるようにして設けられてもよい。
【００４４】
また、対向基板２０の４つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材１０６が配置されている。他方、ＴＦＴアレイ基板１０にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、ＴＦＴアレイ基板１０と対向基板２０との間で電気的な導通をとることができる。
【００４５】
図２において、ＴＦＴアレイ基板１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極９ａ上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２０上には、対向電極２１の他、格子状又はストライプ状の遮光膜２３、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００４６】
なお、図１及び図２には図示しないが、ＴＦＴアレイ基板１０上には、データ線駆動回路１０１や走査線駆動回路１０４等に加えて、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の当該電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
【００４７】
＜２；電気光学装置の全体構成＞
液晶装置の全体構成について図３及び図４を参照して説明する。ここに、図３は、液晶装置の全体構成を示すブロック図であり、図４は、液晶パネルの電気的な構成を示すブロック図である。
【００４８】
図３に示すように、液晶装置は、液晶パネル１００を備えると共に、外部回路として設けられた画像信号供給回路３００、タイミング制御回路４００、及び電源回路７００を備える。
【００４９】
タイミング制御回路４００は、液晶パネル１００を駆動するための各種タイミング信号を出力するように構成されている。タイミング制御回路４００の一部であるタイミング信号出力手段により、最小単位のクロックであり各画素を走査するためのドットクロックが作成され、このドットクロックに基づいて、Ｙクロック信号ＣＬＹ、反転Ｙクロック信号ＣＬＹｉｎｖ、Ｘクロック信号ＣＬＸ、反転Ｘクロック信号ＸＣＬｉｎｖ、ＹスタートパルスＤＹ及びＸスタートパルスＤＸが生成される。
【００５０】
画像信号供給回路３００には、外部から１系統の入力画像データＶＩＤが入力される。画像信号供給回路３００は、１系統の入力画像データＶＩＤをシリアル−パラレル変換して、Ｎ相、本実施形態では１２相（Ｎ＝１２）の画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２を生成する。更に、画像信号供給回路３００において、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２の各々の電圧が、所定の基準電位に対して正極性及び負極性に反転され、このように極性反転された画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２が出力されるようにしてもよい。
【００５１】
また、電源回路７００は、所定の共通電位ＬＣＣの共通電源を、図２に示す対向電極２１に供給する。対向電極２１は、図２に示す対向基板２０の下側に、複数の画素電極９ａと対向するように形成されている。本実施形態では、対向基板２０上に平面的に見て、対向電極２１は、本発明に係る「画素領域」の一例である画像表示領域１０ａを含むベタ状のパターンとして形成されているものとする。
【００５２】
次に、液晶パネル１００における電気的な構成について説明する。
【００５３】
図４に示すように、液晶パネル１００には、そのＴＦＴアレイ基板１０の周辺領域に、走査線駆動回路１０４、データ線駆動回路１０１、サンプリング回路２００を含む内部駆動回路が設けられている。
【００５４】
走査線駆動回路１０４には、Ｙクロック信号ＣＬＹ、反転Ｙクロック信号ＣＬＹｉｎｖ、及びＹスタートパルスＤＹが供給される。走査線駆動回路１０４は、ＹスタートパルスＤＹが入力されると、Ｙクロック信号ＣＬＹ及び反転Ｙクロック信号ＣＬＹｉｎｖに基づくタイミングで、走査信号Ｙ１、・・・、Ｙｍを順次生成して出力する。
【００５５】
データ線駆動回路１０１には、Ｘクロック信号ＣＬＸ、反転Ｘクロック信号ＣＬＸｉｎｖ、及びＸスタートパルスＤＸが供給される。データ線駆動回路１０１は、ＸスタートパルスＤＸが入力されると、Ｘクロック信号ＣＬＸ及び反転Ｘクロック信号ＸＣＬＸｉｎｖに基づくタイミングで、サンプリング信号Ｓ１、・・・、Ｓｎを順次生成して出力する。
【００５６】
サンプリング回路２００は、Ｐチャネル型又はＮチャネル型の片チャネル型ＴＦＴ、若しくは相補型のＴＦＴから構成されたサンプリングスイッチ２０２を複数備える。
【００５７】
液晶パネル１００は更に、そのＴＦＴアレイ基板の中央を占める画像表示領域１０ａに、縦横に配線されたデータ線１１４及び走査線１１２を備え、それらの交点に対応する各画素部７０に、マトリクス状に配列された液晶素子１１８の画素電極９ａ、及び画素電極９ａをスイッチング制御するためのＴＦＴ１１６を備える。画素スイッチング素子はＴＦＴのほか、各種トランジスタ或いはＴＦＤ等により構成されてもよい。また、本実施形態では、例えば光源から照射され、ＴＦＴアレイ基板１０或いは対向基板２０側から入射される光から、各画素部７０に形成されたＴＦＴ１１６を遮光するための遮光膜が、ＴＦＴアレイ基板１０上において、ＴＦＴ１１６の半導体層より上層側、更には上層側に加えて下層側に形成される。
【００５８】
尚、本実施形態では特に、走査線１１２の総本数をｍ本（但し、ｍは２以上の自然数）とし、データ線１１４の総本数をｎ本（但し、ｎは２以上の自然数）として説明する。
【００５９】
１２相にシリアル−パラレル展開された画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２は、Ｎ本、本実施形態では１２本の画像信号線１７１を介して液晶パネル１００に供給される。そして、ｎ本のデータ線１１４は、以下に説明するように、画像信号線１７１の本数に対応する１２本のデータ線１１４を１群とするデータ線群毎に、順次駆動される。
【００６０】
データ線駆動回路１０１から、データ線群に対応するサンプリングスイッチ２０２毎にサンプリング信号Ｓｉ（ｉ＝１、２、・・・、ｎ）が順次供給され、サンプリング信号Ｓｉに応じて各サンプリングスイッチ２０２はオン状態となる。後述するように、各サンプリングスイッチ２０２は、分岐配線を介して画像信号線１７１に接続されている。尚、この分岐配線の詳細な構成は後述する。
【００６１】
よって、１２本の画像信号線１７１から画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２が、オン状態となったサンプリングスイッチ２０２を介して、データ線群に属するデータ線１１４に同時に、且つデータ線群毎に順次供給される。よって、データ線群に属するデータ線１１４は互いに同時に駆動されることとなる。従って、本実施形態では、ｎ本のデータ線１１４をデータ線群毎に駆動するため、駆動周波数が抑えられる。
【００６２】
図４中、一つの画素部７０の構成に着目すれば、ＴＦＴ１１６のソース電極には、画像信号ＶＩＤｋ（但し、ｋ＝１、２、３、・・・、１２）が供給されるデータ線１１４が電気的に接続されている一方、ＴＦＴ１１６のゲート電極には、走査信号Ｙｊ（但し、ｊ＝１、２、３、・・・、ｍ）が供給される走査線１１２が電気的に接続されるとともに、ＴＦＴ１１６のドレイン電極には、液晶素子１１８の画素電極９ａが接続されている。ここで、各画素部７０において、液晶素子１１８は、画素電極９ａと対向電極２１との間に液晶を挟持してなる。従って、各画素部７０は、走査線１１２とデータ線１１４との各交点に対応して、マトリクス状に配列されることになる。
【００６３】
走査線駆動回路１０４から出力される走査信号Ｙ１、・・・、Ｙｍによって、各走査線１１２は線順次に選択される。選択された走査線１１２に対応する画素部７０において、ＴＦＴ１１６に走査信号Ｙｊが供給されると、ＴＦＴ１１６はオン状態となり、当該画素部７０は選択状態となる。液晶素子１１８の画素電極９ａには、ＴＦＴ１１６を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線１１４より画像信号ＶＩＤｋが所定のタイミングで供給される。これにより、液晶素子１１８には、画素電極９ａ及び対向電極２１の各々の電位によって規定される印加電圧が印加される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として液晶パネル１００からは画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２に応じたコントラストをもつ光が出射する。
【００６４】
ここで、保持された画像信号がリークするのを防ぐために、蓄積容量１１９が、液晶素子１１８と並列に付加されている。例えば、画素電極９ａの電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも３桁も長い時間だけ蓄積容量１１９により保持されるので、保持特性が改善される結果、高コントラスト比が実現されることとなる。
【００６５】
＜３；サンプリング回路の機能的構成＞
次に、データ線１１４の駆動に係る主要な構成について、より詳細に図５から図７を参照して説明する。図５は、データ線１１４の駆動に係る回路構成を示す図であり、図６は、分岐配線及び画像信号線のＴＦＴアレイ基板１０上におけるレイアウトを示す図であり、更に図７は、図６のＡ−Ａ’断面図である。また、図７には、１２本の画像信号線のうち一本、及び該一本に対応する分岐配線の、接続関係及び配置関係について示すと共に、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、該各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
【００６６】
以下では、データ線１１４の駆動に係る主要な構成について、ｎ本のデータ線１１４が、その配列方向に沿って片方向に或いは双方向のうちの一方の方向にデータ線群毎に順次駆動される際、データ線駆動回路１０１から第（ｉ−１）番目、第ｉ番目、及び第（ｉ＋１）番目に出力される３つのサンプリング信号Ｓｉ−１、Ｓｉ、Ｓｉ＋１に基づいて駆動される３つのデータ線群のうち、特に第ｉ番目のサンプリング信号Ｓｉに基づいて駆動される第ｉデータ線群の構成に着目して説明する。
【００６７】
尚、以下に説明する第ｉデータ線群に係る構成は、第（ｉ−１）データ線群及び第（ｉ＋１）データ線群についても同様である。即ち、以下に説明するような構成により、第ｉデータ線群に対する１２個の画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２の供給経路における時定数は夫々概ね同等となるように形成されるが、第（ｉ−１）データ線群及び第（ｉ＋１）データ線群についても、夫々、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２の供給経路に係る構成が第ｉデータ線群と同様に形成されることにより、第（ｉ−１）データ線、第ｉデータ線群、及び第（ｉ＋１）データ線群について、画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２の供給経路における時定数が夫々互いに概ね同等とすることが可能である。
【００６８】
図５において、第ｉデータ線群に属するデータ線１１４ｅ（１１４ｅ−１〜１１４ｅ−１２）の配列に対応して、１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２が配列されている。また、１２本の画像信号線１７１−１〜１７１−１２は、データ線１１４ｅの配列方向に交差する方向に沿って配列されると共に、図４又は図５に示すように、ｎ本のデータ線１１４に対して、これらデータ線１１４の配列方向に沿って延在する一部を夫々含む。そして、１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２の一端は、１２本の画像信号線１７１−１〜１７１−１２のうち対応する一本に、夫々電気的に接続されると共に、これら１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２の他端は夫々サンプリングスイッチ２０２を介してデータ線１１４ｅに電気的に接続される。各サンプリングスイッチを構成するＴＦＴ２０２は、ソースが分岐配線Ｅｋに接続されると共に、ドレインがデータ線１１４ｅに電気的に接続される。また、各ＴＦＴ２０２のゲートは、制御配線Ｘ１〜Ｘ１２を介してデータ線駆動回路１０１に電気的に接続されている。尚、制御配線Ｘ１〜Ｘ１２には第ｉ番目のサンプリング信号Ｓｉがデータ線駆動回路１０１から供給される。
【００６９】
ここで、図５において、第ｉデータ線群に属するデータ線１１４ｅのうち、第（ｉ−１）データ線群に隣接する一のデータ線１１４ｅ−１に対応する分岐配線Ｅ１の構成について、図６に示すように、この分岐配線Ｅ１は、一端側が対応する画像信号線１７１−１に電気的に接続される中継配線Ｈａ１、及び中継配線Ｈａ１の他端側に、一端側が電気的に接続され、その一部がサンプリングスイッチ２０２のソース電極を形成する入力配線Ｈｂ１を含む。尚、第ｉデータ線群に電気的に接続される他の分岐配線Ｅ２、Ｅ３、・・・、Ｅ１２は、分岐配線Ｅ１と同様の構成を有している。
【００７０】
ＴＦＴアレイ基板１０上において、１２本の画像信号線１７１−１〜１７１−１２、及びサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１〜Ｈｂ１２は、例えばＡｌ（アルミニウム）を含む導電材料により形成される、比較的低抵抗な、本発明に係る「上層側金属膜」の一例から構成される上層側金属配線及び本発明に係る「下層側金属膜」の一例から構成される下層側金属配線のうち、一方の金属膜を含んで形成されている。他方、中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２は、夫々、上層側金属配線及び下層側金属配線のうち、他方の金属膜を含んで形成されている。
【００７１】
図７において、第ｉデータ線群に対応する中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２のうち、一の中継配線Ｈａ１について着目すれば、本実施形態では、一の中継配線Ｈａ１は上層側金属配線を含んで形成されると共に、この一の中継配線Ｈａ１に対して、ＴＦＴアレイ基板１０上において、層間絶縁膜６０を介して下層側に配置された下層側金属配線を含んで、この一の中継配線Ｈａ１に対応する画像信号線１７１−１及びサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１が夫々形成される。
【００７２】
また、この一の中継配線Ｈａの一端側は、層間絶縁膜６０を貫通して開孔された第１コンタクトホール６２ａを介して、対応する画像信号線１７１−１に電気的に接続されており、この一の中継配線Ｈａの他端側は、第２コンタクトホール６２ｂを介して、対応するサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１に電気的に接続されている。
【００７３】
そして、第ｉデータ線群に対応する他の中継配線Ｈａ２〜Ｈａ１２も、一の中継配線Ｈａ１と同様に、上層側金属配線を含んで夫々形成される。上層側金属配線は、例えば、ＴＦＴアレイ基板１０上の画像表示領域１０ａにおいて、ＴＦＴ１１６に対して形成された遮光膜と同一材料の金属導電膜により、形成される。
【００７４】
加えて、これら他の中継配線Ｈａ２〜Ｈａ１２に対応する画像信号線１７１−２〜１７１−１２及びサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ２〜Ｈｂ１２も、一の中継配線Ｈａ１に対応する画像信号線１７１−１及びサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１と同様に、夫々、下層側金属配線を含み、且つ上層側金属配線と電気的に接続されて形成される。
【００７５】
尚、本実施形態では、第ｉデータ線群に対応する中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２は、下層側金属配線を含んで形成されると共に、これら中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２に対応する画像信号線１７１−１〜１７１−１２及びサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１〜Ｈｂ１２は、上層側金属配線により形成されるようにしてもよい。
【００７６】
このような構成では、１２本の画像信号線１７１−１〜１７１−１２は、夫々、図４に示すｎ本のデータ線１１４に対して、データ線１１４の配列方向に沿って延在する一部が、例えば、上層側金属配線によって形成されるようにするとよい。
【００７７】
また、図６において、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２は、対応する画像信号線１７１−ｋにおいて、データ線１１４ｅ−１〜１１４ｅ−１２の配列方向に沿って延びる部分に一端側が電気的に接続され、該一端側より他端側に向かって、データ線１１４ｅの延びる方向に、配線されている。
【００７８】
そして、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２の他端側に電気的に接続される、サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２は、例えば、サンプリングスイッチ２０２のソース電極を形成し、第ｉデータ線群に属するデータ線１１４ｅの各々の一部は例えばサンプリングスイッチ２０２のドレイン電極を形成し、各制御配線Ｘ１、Ｘ２、・・・、Ｘ１２の一部は例えばサンプリングスイッチ２０２のゲート電極を形成する。
【００７９】
本実施形態では、各サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２のうち、サンプリングスイッチ２０２から対応する中継配線Ｈａｋまでの電気的経路を構成する一部を下層側金属配線により形成するとよい。また、各サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２の、データ線１１４ｅの延在方向に沿う長さＬｃは、揃えて形成されている。
【００８０】
そして、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２のうち、第１コンタクトホール６２ａ内に露出した画像信号線１７１−ｋの表面から、第２コンタクトホール６２ｂ内に露出したサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂｋの表面に至る電気的経路を構成する一部、即ち、画像信号線１７１−ｋからサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂｋまでの電気的経路を構成する一部を、上層側金属配線により形成するのが好ましい。よって、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、画像信号線１７１−ｋからサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂｋまでの電気的経路を構成する一部の配線抵抗を、例えば比較的高抵抗な導電材料である多結晶シリコンにより形成する場合と比較して、低くすることが可能となる。
【００８１】
本実施形態では、好ましくは、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２について、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、第１コンタクトホール６２ａ及び第２コンタクトホール６２ｂは、夫々、これら第１コンタクトホール６２ａ及び第２コンタクトホール６２ｂ間の距離Ｌが一定値となるように、位置が調整される。
【００８２】
より具体的には、第ｉデータ線群においては、１２本の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２のうち、隣接する２本の中継配線Ｈａ１及びＨａ２に着目すれば、これら２本の中継配線Ｈａ１及びＨａ２のうち一の中継配線Ｈａ２に対して設けられた第２コンタクトホール６２ｂの位置は、隣接する中継配線Ｈａ１に対して形成された第２コンタクトホール６２ｂに対して、これら相隣接する中継配線Ｈａ１及びＨａ２に対応する２本の画像信号線１７１−１及び１７１−２間の間隔分だけ、一の中継配線Ｈａ２の延在方向にずらして形成される。この場合、一の中継配線Ｈａ２に対して設けられた第１コンタクトホール６２ａに着目すれば、隣接する中継配線Ｈａ１に対して形成された第１コンタクトホール６２ａに対して、これら相隣接する中継配線Ｈａ１及びＨａ２に対応する２本の画像信号線１７１−１及び１７１−２間の間隔分だけ、一の中継配線Ｈａ２の延在方向にずれた位置に形成されているため、第１及び第２コンタクトホール６２ａ及び６２ｂ間の距離Ｌを所定値とすることが可能となる。
【００８３】
そして、第ｉデータ線群においては、１２本の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２について、上述した中継配線Ｈａ２と同様に、他の中継配線Ｈａ３〜Ｈａ１２についても、夫々、第１及び第２コンタクトホール６２ａ及び６２ｂの位置が調整されることにより、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、第１コンタクトホール６２ａから第２コンタクトホール６２ｂに至る一部の配線長Ｌを所定値に揃えることが可能となる。これにより、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２における配線抵抗を概ね同等とすることができる。
【００８４】
また、本実施形態では、対向基板２０上において、対向電極２１は、平面的に見て、画像表示領域１０ａから周辺領域に延在して、複数の中継配線の各々の少なくとも一部と重畳するパターンとして形成される。図６中には、対向基板２０上に形成された対向電極２１の一部と、第ｉデータ線群に対応する分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２との配置関係について、図示してある。図６では、対向電極２１の一部の構成を、一点鎖線にて示してある。
【００８５】
そして、各分岐配線Ｅ１、Ｅ２、・・・、Ｅ１０、Ｅ１１、Ｅ１２において、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２は、対向電極２１に重畳する一部の面積が互いに概ね同等となるように形成されるのが好ましい。より具体的には、これら１２本の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２のうち、図６中、最も左側に配置された中継配線Ｈａ１２において、第２コンタクトホール６２ｂの位置に着目すれば、この第２コンタクトホール６２ｂは、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１に対して設けられた第２コンタクトホール６２ｂと比較して、中継配線Ｈａ１２の延在方向に沿ってサンプリングスイッチ２０２側に最もずれた位置にある。よって、中継配線Ｈａ１２では、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見れば、対向電極２１の下側に最も第２コンタクトホール６２ｂがずれこんだ位置にあるため、対向電極２１に重畳する一部の面積が、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１よりも大きくなる。よって、何らの対策も施さなければ、中継配線Ｈａ１２において、対向電極２１との間に生じる容量カップリングの度合いも、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１と比べて大きくなる可能性がある。
【００８６】
本実施形態では、例えば、１２本の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１２のうち、前述したように最も対向電極２１との容量カップリングの度合いの大きい中継配線Ｈａ１２に対応させて、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１の各々の、対向電極２１に重畳する一部の、当該中継配線の延在方向に沿う配線長、又はこの配線長に加えて配線幅Ｗを調整する。例えば、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、対応する画像信号線１７１−ｋからサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂｋまでの電気的経路を構成する一部、即ち第１コンタクトホール６２ａから第２コンタクトホール６２ｂに至る一部を形成する上層側金属配線を、サンプリングスイッチ２０２に向かって、第２コンタクトホール６２ｂより延在させることで、配線長を調整する。
【００８７】
これにより、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、対向電極２１との容量カップリングの度合いを互いに概ね同等とすることが可能となる。
【００８８】
加えて、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２について、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２の延在方向に沿う配線長Ｌ０や配線幅Ｗを概ね同等とすることにより、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見た、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２自体の面積が概ね互いに同等となるように形成するとよい。
【００８９】
より具体的には、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、例えば、第１コンタクトホール６２ａから第２コンタクトホール６２ｂに至る一部を形成する上層側金属配線を、第１コンタクトホール６２ａから、サンプリングスイッチ２０２に対して当該中継配線の延在方向に沿って遠ざかる方向に延在させて、配線長Ｌ０を調整する。これにより、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２の配線容量を概ね同等に揃えることが可能となる。
【００９０】
以上のような本実施形態では、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２は上層側金属配線を含む構成であるため、既に説明したように、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２における一部の配線長Ｌ、或いは当該中継配線自体の配線長Ｌ０や配線幅Ｗを調整する場合に、当該中継配線が比較的高抵抗な多結晶シリコンを含んで形成される場合と比較して、厳密な調整を行わなくても、配線抵抗や配線容量を概ね同等に揃えることが可能となる。即ち、より具体的には、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２を形成する際、配線抵抗や配線容量を互いに概ね同等とするために、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２における一部の配線長Ｌ、或いは当該中継配線自体の配線長Ｌ０や配線幅Ｗを夫々所定値に揃える場合、中継配線を多結晶シリコンにより形成する場合と比較して、例えばパターニングに係るマージンを比較的大きくする確保することができる。よって、より容易に、画像信号の供給に係る時定数を中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２間で概ね同等として揃えることが可能となる。
【００９１】
よって、本実施形態によれば、容易にｎ本のデータ線１１４に対応する中継配線の各々を形成することが可能となる。また、互いに異なる系列の画像信号ＶＩＤ１〜ＶＩＤ１２が供給される１２本の中継配線の各々の間で、時定数を概ね同等とすることが可能となり、画像信号線１７１からサンプリングスイッチ２０２に至るまでの電気的経路における時定数も概ね同等とすることができる。その結果、画像表示時、表示画面上に縦線状の表示ムラが発生するのを防止することができる。よって、本実施形態では、電気光学装置において、高品質な画像表示を行うことが可能となる。
【００９２】
＜４：変形例＞
上述した本実施形態の変形例について、以下に説明する。
【００９３】
図８は、本変形例に係る一の構成について、分岐配線及び画像信号線のＴＦＴアレイ基板１０上におけるレイアウトを示す図である。図８には、図６と同様に、図５に示す第ｉデータ線群に対応する１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２の構成について示してある。
【００９４】
本変形例に係る一の構成によれば、１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２における中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２について、夫々、第１コンタクトホール６２ａ及び第２コンタクトホール６２ｂは間の距離Ｌは、所定値となるように形成される。これに加えて、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２の配線幅を、図６と同様に互いに概ね同等となるように形成すれば、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見た、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２自体の面積が概ね互いに同等となるように形成することができる。
【００９５】
他方、この構成によれば、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２は、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、対向電極２１に重畳する一部の面積が互いに異なっている。よって、図６に示す構成と同様に、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２を上層側金属配線により形成する場合には、図６中、最も左側に配置された中継配線Ｈａ１２において、対向電極２１に重畳する一部の面積が、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１よりも大きくなるため、対向電極２１との間に生じる容量カップリングの度合いも、他の中継配線Ｈａ１〜Ｈａ１１と比べて大きくなる可能性がある。
【００９６】
尚、図８においては、図６と同様に、各サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２の、データ線１１４ｅの延在方向に沿う長さが、概ね同等に形成される構成について示してある。この構成の他、例えば、各サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２の、データ線１１４ｅの延在方向に沿う長さは、次のように調整されてもよい。即ち、第ｉデータ線群に対応するサンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２のうち隣接する２本の入力配線について、これら２本の入力配線のうち一方の入力配線は、この一方の入力配線に対応する第２コンタクトホール６２ｂの、他方の入力配線に対応する第２コンタクトホール６２ｂに対するずれに対応させて、これら２本の入力配線に対応する画像信号線間の間隔分だけ、他方の入力配線に対して短く又は長く形成される。そして、このような調整により、各サンプリングスイッチ２０２の入力配線Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２は互いに異なる配線長として形成される。
【００９７】
次に、図９及び図１０は、夫々、本変形例に係る他の構成について、分岐配線及び画像信号線のＴＦＴアレイ基板１０上におけるレイアウトを示す図である。尚、図９及び図１０についても、図８と同様に、第ｉデータ線群に対応する１２本の分岐配線Ｅ１〜Ｅ１２の構成について示してある。
【００９８】
図９において、本変形例に係る他の構成によれば、各分岐配線Ｅ１、Ｅ２、・・・、Ｅ１０、Ｅ１１、Ｅ１２において、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２は、対向電極２１に重畳する一部の面積が互いに概ね同等となるように形成されるが、第１コンタクトホール６２ａ及び第２コンタクトホール６２ｂ間の距離に加えて、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２自体の面積が夫々異なっている。
【００９９】
この構成では、図６に示す構成と比較して、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、第２コンタクトホール６２ｂの位置を調整すると共に、この調整に伴って、第２コンタクトホール６２ｂに電気的に接続される当該中継配線の他端側を、サンプリングスイッチ２０２に向かって延在させることで、対向電極２１と重畳する一部の配線長が調整されている。
【０１００】
よって、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２において、対向電極２１との容量カップリングの度合いを互いに概ね同等とすることが可能となる。他方、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２における配線抵抗及び配線容量は、互いに異なる値になり得る。
【０１０１】
ここで、図１０に示すように、図９に示す構成について、更に、ＴＦＴアレイ基板１０上に平面的に見て、第１コンタクトホール６２ａに電気的に接続される各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２の一端側を、第１コンタクトホール６２ａから、サンプリングスイッチ２０２に対して当該中継配線の延在方向に沿って遠ざかる方向に延在させることで、中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２自体の面積が概ね互いに同等となるように形成するとよい。これにより、各中継配線Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２における配線容量を、互いに概ね同等とすることが可能となる。
【０１０２】
＜５；電子機器＞
次に、上述した液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
【０１０３】
＜５−１：プロジェクタ＞
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図１１は、プロジェクタの構成例を示す平面配置図である。この図に示されるように、プロジェクタ１１００内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット１１０２が設けられている。このランプユニット１１０２から射出された投射光は、ライトガイド１１０４内に配置された４枚のミラー１１０６および２枚のダイクロイックミラー１１０８によってＲＧＢの３原色に分離され、各原色に対応するライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇに入射される。これら３つのライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇは夫々液晶装置を含む液晶モジュールを用いて構成されている。
【０１０４】
ライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇにおいて液晶パネル１００は、画像信号供給回路３００から供給されるＲ、Ｇ、Ｂの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネル１００によって変調された光は、ダイクロイックプリズム１１１２に３方向から入射される。このダイクロイックプリズム１１１２においては、ＲおよびＢの光が９０度に屈折する一方、Ｇの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ１１１４を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
【０１０５】
ここで、各ライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇによる表示像について着目すると、ライトバルブ１１１０Ｇによる表示像は、ライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
【０１０６】
なお、ライトバルブ１１１０Ｒ、１１１０Ｂおよび１１１０Ｇには、ダイクロイックミラー１１０８によって、Ｒ、Ｇ、Ｂの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
【０１０７】
＜５−２：モバイル型コンピュータ＞
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図１２は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、コンピュータ１２００は、キーボード１２０２を備えた本体部１２０４と、液晶表示ユニット１２０６とから構成されている。この液晶表示ユニット１２０６は、先に述べた液晶装置１００５の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
【０１０８】
＜５−３；携帯電話＞
さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図１３は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話１３００は、複数の操作ボタン１３０２とともに、反射型の液晶装置１００５を備えるものである。この反射型の液晶装置１００５にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
【０１０９】
尚、図１１から図１３を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
【０１１０】
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
【図面の簡単な説明】
【０１１１】
【図１】液晶パネルの全体構成を示す平面図である。
【図２】図１のＨ−Ｈ’断面図である。
【図３】液晶装置の全体構成を示すブロック図である。
【図４】液晶パネルの電気的な構成を示すブロック図である。
【図５】データ線の駆動に係る回路構成を示す図である。
【図６】分岐配線及び画像信号線のレイアウトを示す図である。
【図７】図６のＡ−Ａ’断面図である。
【図８】本変形例に係る一の構成について、分岐配線及び画像信号線のレイアウトを示す図である。
【図９】本変形例に係る他の構成について、分岐配線及び画像信号線のレイアウトを示す図である。
【図１０】本変形例に係る他の構成について、分岐配線及び画像信号線のレイアウトを示す図である。
【図１１】液晶装置を適用した電子機器の一例たるプロジェクタの構成を示す平面図である。
【図１２】液晶装置を適用した電子機器の一例たるパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
【図１３】液晶装置を適用した電子機器の一例たる携帯電話の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１１２】
９ａ…画素電極、１０ａ…画像表示領域、１０…ＴＦＴアレイ基板、６０…層間絶縁膜、１００…液晶パネル、１０１…データ線駆動回路、１１２…走査線、１１４…データ線、１７１…画像信号線、２００…サンプリング回路、２０２…サンプリングスイッチ、Ｈａ１、Ｈａ２、・・・、Ｈａ１０、Ｈａ１１、Ｈａ１２…中継配線、Ｈｂ１、Ｈｂ２、・・・、Ｈｂ１０、Ｈｂ１１、Ｈｂ１２…入力配線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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