(57)【要約】【課題】連続して搬送される長尺状のプラスチック基材の表面の導電性膜を良好に酸化等の電解化成処理をすることができる表示装置の製造方法及び基板表面電解処理装置を提供する。【解決手段】表示装置の製造方法は、可撓性基材を連続して供給する基材供給ステップと、その可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して定電流電解処理を行った後に可撓性基材を送り出す定電流電解処理ステップと、送り出した撓性基材を回収する基材回収ステップと、基材供給ステップと定電流電解処理ステップとの間に設けられ、可撓性基材の引き入れが停止されて定電流電解処理がされている間は連続して供給される可撓性基材を受け取って蓄える一方、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が引き入れられるときには、連続して供給される可撓性基材を受け取りつつ定電流電解処理のために可撓性基材を供給する基材供給調整ステップと、を備える。【選択図】図１
2007332409.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を連続して供給する基材供給ステップと、
上記連続して供給した可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みの可撓性基材を送り出す定電流電解処理ステップと、
上記送り出した定電流電解処理済みの可撓性基材を回収する基材回収ステップと、
上記基材供給ステップと上記定電流電解処理ステップとの間に設けられ、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の引き入れが停止されて定電流電解処理がされている間は、該基材供給ステップにおいて連続して供給される可撓性基材を受け取って蓄える一方、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が引き入れられるときには、該基材供給ステップにおいて連続して供給される可撓性基材を受け取りつつ該定電流電解処理のために可撓性基材を供給する基材供給調整ステップと、
を備えた表示装置の製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載された表示装置の製造方法において、
上記基材回収ステップでは、上記定電流電解処理済みの可撓性基材を連続して回収すると共に、
上記定電流電解処理ステップと上記基材回収ステップとの間に設けられ、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が送り出されるときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ上記基材回収のために可撓性基材を送り出す一方、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の送り出しが停止され該定電流電解処理がされている間は、蓄えた可撓性基材を該基材回収のために送り出す基材回収調整ステップをさらに備えた表示装置の製造方法。
【請求項３】
請求項２に記載された表示装置の製造方法において、
上記基材回収調整ステップと上記基材回収ステップとの間に設けられ、上記定電流電解処理ステップにおいて定電流電解処理された可撓性基材を定電圧電解処理する定電圧電解処理ステップをさらに備えた表示装置の製造方法。
【請求項４】
表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を供給する基材供給ステップと、
上記供給した可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みの可撓性基材を送り出す定電流電解処理ステップと、
上記送り出した定電流電解処理済みの可撓性基材を連続して回収する基材回収ステップと、
上記定電流電解処理ステップと上記基材回収ステップとの間に設けられ、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が送り出されるときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ該基材回収のために可撓性基材を送り出す一方、該定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の送り出しが停止されて定電流電解処理がされている間は、蓄えた可撓性基材を該基材回収のために送り出す基材回収調整ステップと、
を備えた表示装置の製造方法。
【請求項５】
表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を連続して供給する基材供給手段と、
上記基材供給手段からの可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に電解処理済みの可撓性基材を送り出す電解処理手段と、
上記電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を回収する基材回収手段と、
上記基材供給手段と上記電解処理手段との間に設けられ、該電解処理手段が可撓性基材の引き入れを停止して電解処理している間は、該基材供給手段から連続して供給される可撓性基材を受け取って蓄える一方、該電解処理手段が可撓性基材を引き入れるときには、該基材供給手段から連続して供給される可撓性基材を受け取りつつ該電解処理手段に可撓性基材を供給する基材供給調整手段と、
を備えた基材表面電解処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載された基材表面電解処理装置において、
上記基材回収手段は、上記電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を連続して回収するように構成されていると共に、
上記電解処理手段と上記基材回収手段との間に設けられ、該電解処理手段が可撓性基材を送り出すときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ該基材回収手段に可撓性基材を送り出す一方、該電解処理手段が可撓性基材の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えた可撓性基材を該基材回収手段に送り出す基材回収調整手段をさらに備えた基材表面電解処理装置。
【請求項７】
請求項６に記載された基材表面電解処理装置において、
上記基材供給調整手段は、可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら可撓性基材の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された基材供給調整ロールを有し、
上記電解処理手段は、内部に電極を有し且つ可撓性基材の搬送方向に交差する方向に設けられた電解処理槽と、搬送された可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら該電解処理槽内を往復移動することにより可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された処理槽内搬送調整ロールを有し、
上記基材回収調整手段は、可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら可撓性基材の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された基材回収調整ロールを有する基材表面電解処理装置。
【請求項８】
請求項７に記載された基材表面電解処理装置において、
上記基材供給手段は、可撓性基材の表面に当接しつつ回転して可撓性基材を供給するように構成された基材供給ロールを有し、
上記基材回収手段は、可撓性基材の表面に当接しつつ回転して可撓性基材を回収するように構成された基材回収ロールを有すると共に、
上記基材供給ロール、上記基材供給調整ロール、上記処理槽内搬送調整ロール、上記基材回収調整ロール、又は、上記基材回収ロールの少なくとも一つが、上記電解処理槽内の電極との間で可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させる電極を備えた基材表面電解処理装置。
【請求項９】
請求項８に記載された基材表面電解処理装置において、
上記可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させる電極が、可撓性基材の両表面に当接するように設けられた基材表面電解処理装置。
【請求項１０】
請求項６に記載された基材表面電解処理装置において、
上記基材回収調整手段と上記基材回収手段との間に設けられ、上記電解処理手段によって電解処理された可撓性基材をさらに電解処理する後続電解処理手段をさらに備えた基材表面電解処理装置。
【請求項１１】
表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を供給する基材供給手段と、
上記基材供給手段からの可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に電解処理済みの可撓性基材を送り出す電解処理手段と、
上記電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を連続して回収する基材回収手段と、
上記電解処理手段と上記基材回収手段との間に設けられ、該電解処理手段が可撓性基材を送り出すときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ該基材回収手段に可撓性基材を送り出す一方、該電解処理手段が可撓性基材の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えた可撓性基材を該基材回収手段に送り出す基材回収調整手段と、
を備えた基材表面電解処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、表示装置の製造方法及び基板表面電解処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置等の製造工程において、導電性膜が形成された基板に対し、その表面に電気的絶縁膜を形成する目的で陽極酸化または電着処理を施す場合がある。基板の陽極酸化または電着処理には電流を一定に保った状態で導電性膜表面に酸化または電着処理を施す定電流電解処理と、電圧を一定に保った状態で導電性膜表面に酸化または電着処理を施す定電圧電解処理とがあり、これらが併用されている。
【０００３】
ここで、定電圧電解処理では、処理時間のみで導電性膜表面の酸化または電着状態が決定する。ところが、定電流電解処理では、処理時間の経過に従って基板の導電性膜表面に電気的絶縁膜（酸化または電着膜）が形成されることにより基板表面の抵抗値が上がる。すると、電圧がこれに伴って上昇する。このとき、形成される酸化または電着膜は印加される電圧の大きさに従うため、基板表面に膜厚の異なる部分が生じた場合、膜厚の小さい部分に電流が集中してしまい、例えば、導電性膜が電流集中による局所的な温度上昇にて溶けてピンホールが発生してしまう、という問題がある。
【０００４】
このような問題に対する技術として、例えば、特許文献１には、絶縁性基板上に形成された金属膜を電解液に浸漬して陽極酸化する方法において、初めは被酸化基板の酸化領域を広くし、その後狭くして酸化することを特徴とした陽極酸化方法が開示されている。そして、これによれば、 電解液の液面がゆれてもピンホールが発生しない陽極酸化方法を提供することができる、と記載されている。
【特許文献１】特開平06-336693号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ここで、近年、ガラス基板やシリコンウェハ等の硬い基板に代わり、プラスチック基板のようなフレキシブル性及び耐衝撃性に富んだ基板を用いた半導体素子の研究が盛んになされている。このようなフレキシブル性に富んだプラスチック基板は、製造工程での基板搬送に巻物状から巻物状へ搬送するロールツウロール搬送が用いられている。ところが、このようなロールツウロール搬送方式を上記特許文献１のような技術に応用すると、定電流電解処理の際、基板が次々に搬送されるため、未処理の金属膜面が逐次電解液の液面に入り、上記特許文献１の電解液の液面が揺れによる、酸化膜の膜厚の不均一によるピンホールの発生と同等の理由によるピンホールの発生を抑制することができない。従って、上記特許文献１のような技術は、基板を連続して搬送するロールツーロール搬送において用いるには問題がある。
【０００６】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、表面に導電性膜が形成され、連続して搬送される長尺状の可撓性基材に対し、その基材表面の導電性膜を良好に酸化等の電解化成処理をすることができる表示装置の製造方法及び基板表面電解処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る表示装置の製造方法は、表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を連続して供給する基材供給ステップと、連続して供給した可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みの可撓性基材を送り出す定電流電解処理ステップと、送り出した定電流電解処理済みの可撓性基材を回収する基材回収ステップと、基材供給ステップと定電流電解処理ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の引き入れが停止されて定電流電解処理がされている間は、基材供給ステップにおいて連続して供給される可撓性基材を受け取って蓄える一方、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が引き入れられるときには、基材供給ステップにおいて連続して供給される可撓性基材を受け取りつつ定電流電解処理のために可撓性基材を供給する基材供給調整ステップと、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状の可撓性基材をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、その可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の供給を連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、可撓性基材を連続して供給することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際、電解処理液へ未処理部分の搬入を止めることで、安定して可撓性基材表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【０００９】
また、本発明に係る表示装置の製造方法は、基材回収ステップで定電流電解処理済みの可撓性基材を連続して回収すると共に、定電流電解処理ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が送り出されるときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ基材回収のために可撓性基材を送り出す一方、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の送り出しが停止され定電流電解処理がされている間は、蓄えた可撓性基材を基材回収のために送り出す基材回収調整ステップをさらに備えてもよい。
【００１０】
このような構成によれば、可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の供給のみならず、回収についても連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、定電流電解処理工程全体について可撓性基材を連続して供給及びそれに引き続き回収することにより電解処理がより効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際、電解処理液へ未処理部分の搬入を止めることで、安定して可撓性基材表面の導電性膜の酸化処理等をすることができる。
【００１１】
さらに、本発明に係る表示装置の製造方法は、基材回収調整ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいて定電流電解処理された可撓性基材を定電圧電解処理する定電圧電解処理ステップをさらに備えてもよい。
【００１２】
このような構成によれば、可撓性基材に安定して定電流電解処理を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理を行うことができる。このため、同一の電解槽等で定電流電解処理及びそれに引き続き定電圧電解処理を行うものに比べて、基材供給調整ステップ及び基材回収調整ステップそれぞれにおいて、蓄えなければならない可撓性基材の量が少なくてすむ。すなわち、同一の電解槽等で定電流電解処理及びそれに引き続き定電圧電解処理を行うものであれば、定電流電解処理と定電圧電解処理とが完了するまで連続して供給される可撓性基材及び連続して回収される可撓性基材をその電解槽前後で蓄えておかねばならず、このような処理を行う装置の規模が大きくなってしまう、という問題がある。これに対し、本発明に係る表示装置の製造方法であれば、可撓性基材に定電流電解処理を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理を行うため、定電流電解処理のみが完了するまで、連続して供給される可撓性基材及び連続して回収される可撓性基材をその電解槽前後で蓄えておきさえすればよい。従って、このような処理を行う装置の規模をより小さくすることができる。
【００１３】
本発明に係る表示装置の製造方法は、表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を供給する基材供給ステップと、供給した可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みの可撓性基材を送り出す定電流電解処理ステップと、送り出した定電流電解処理済みの可撓性基材を連続して回収する基材回収ステップと、定電流電解処理ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材が送り出されるときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ基材回収のために可撓性基材を送り出す一方、定電流電解処理ステップにおいて可撓性基材の送り出しが停止されて定電流電解処理がされている間は、蓄えた可撓性基材を基材回収のために送り出す基材回収調整ステップと、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状の可撓性基材をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、その可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の回収を連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、可撓性基材を連続して回収することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際、電解処理液へ未処理部分の搬入を止めることで、安定して可撓性基材表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【００１５】
本発明に係る基材表面電解処理装置は、表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を連続して供給する基材供給手段と、基材供給手段からの可撓性基材を、所定長さずつ引き入れて、電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に、電解処理済みの可撓性基材を送り出す電解処理手段と、電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を回収する基材回収手段と、基材供給手段と電解処理手段との間に設けられて、電解処理手段が可撓性基材の引き入れを停止して電解処理をしている間は、基材供給手段から連続して供給される可撓性基材を受け取って蓄える一方、電解処理手段が可撓性基材を引き入れるときには、基材供給手段から連続して供給される可撓性基材を受け取りつつ、電解処理手段に可撓性基材を供給する基材供給調整手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１６】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状の可撓性基材をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、その可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、基材供給調整手段によって、可撓性基材の供給を連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、可撓性基材を連続して供給することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際の電解処理液の液面が可撓性基材の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定して可撓性基材表面の導電性膜を酸化等することができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【００１７】
また、本発明に係る基材表面電解処理装置は、基材回収手段が、電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を連続して回収するように構成されていると共に、電解処理手段と基材回収手段との間に設けられ、電解処理手段が可撓性基材を送り出すときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ、基材回収手段に可撓性基材を送り出す一方、電解処理手段が可撓性基材の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えた可撓性基材を基材回収手段に送り出す基材回収調整手段をさらに備えてもよい。
【００１８】
このような構成によれば、可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の供給のみならず、基材回収調整手段によって可撓性基材の回収についても連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、定電流電解処理等の電解処理工程全体について可撓性基材を連続して供給及びそれに引き続き回収することにより電解処理がより効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際、電解処理液へ未処理部分の搬入を止めることで、安定して可撓性基材表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。
【００１９】
さらに、本発明に係る基材表面電解処理装置は、基材供給調整手段が、可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら可撓性基材の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された基材供給調整ロールを有し、電解処理手段は、内部に電極を有し且つ可撓性基材の搬送方向に交差する方向に設けられた電解処理槽と、搬送された可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら電解処理槽内を往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された処理槽内搬送調整ロールを有し、基材回収調整手段は、可撓性基材の表面に当接しつつ、回転しながら可撓性基材の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された基材回収調整ロールを有していてもよい。
【００２０】
このような構成によれば、基材供給調整手段、電解処理手段及び基材回収調整手段が、各々、可撓性基材の表面に当接しつつ回転しながら可撓性基材の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、可撓性基材の搬送経路を変化させるように構成された基材供給調整ロール、処理槽内搬送調整ロール又は基材回収調整ロールを有しているため、可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の供給・回収を連続して行う一方、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うための基材表面電解処理装置を簡潔な構造にすることができる。
【００２１】
また、本発明に係る基材表面電解処理装置は、基材供給手段が、可撓性基材の表面に当接しつつ、回転して可撓性基材を供給するように構成された基材供給ロールを有し、基材回収手段が、可撓性基材の表面に当接しつつ回転して可撓性基材を回収するように構成された基材回収ロールを有すると共に、基材供給ロール、基材供給調整ロール、処理槽内搬送調整ロール、基材回収調整ロール、又は、基材回収ロールの少なくとも一つが、電解処理槽内の電極との間で可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させる電極を備えてもよい。
【００２２】
このような構成によれば、電解処理槽内の電極との間で可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させるための電極として、新たに別の構成要素を装置に組み入れなくてもよい。このため、基材表面電解処理装置を簡潔な構造にすることができる。
【００２３】
さらに、本発明に係る基材表面電解処理装置は、可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させる電極が、可撓性基材の両表面に当接するように設けられていてもよい。
【００２４】
このような構成によれば、可撓性基材の導電性膜に当接して電流を発生させる電極が、可撓性基材の両表面に当接するように設けられているため、両表面に導電性膜を有する可撓性基材に対して、その両表面の導電性膜を同時に電解処理することができる。従って、可撓性基材の処理効率がより良好となる。
【００２５】
また、本発明に係る基材表面電解処理装置は、基材回収調整手段と基材回収手段との間に設けられ、電解処理手段によって電解処理された可撓性基材をさらに電解処理する後続電解処理手段をさらに備えていてもよい。
【００２６】
このような構成によれば、可撓性基材に安定して定電流電解処理等を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理等（後続電解処理）を行うことができる。このため、同一の電解槽等で定電流電解処理等及びそれに引き続き定電圧電解処理等を行うものに比べて、基材供給調整手段及び基材回収調整手段それぞれにおいて、蓄えなければならない可撓性基材の量が少なくてすむため、基材表面電解処理装置の規模をより小さくすることができる。
【００２７】
本発明に係る基材表面電解処理装置は、表面に導電性膜を有する長尺状の可撓性基材を供給する基材供給手段と、基材供給手段からの可撓性基材を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に電解処理済みの可撓性基材を送り出す電解処理手段と、電解処理手段からの電解処理済みの可撓性基材を連続して回収する基材回収手段と、電解処理手段と基材回収手段との間に設けられ、電解処理手段が可撓性基材を送り出すときには、その送り出された可撓性基材を受け取って蓄えつつ基材回収手段に可撓性基材を送り出す一方、電解処理手段が可撓性基材の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えた可撓性基材を基材回収手段に送り出す基材回収調整手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状の可撓性基材をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、その可撓性基材の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、可撓性基材の回収を連続して行う一方、基材回収調整手段により、可撓性基材の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、可撓性基材を連続して回収することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際の電解処理液の液面が可撓性基材の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定して可撓性基材表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【発明の効果】
【００２９】
以上説明したように、本発明によれば、表面に導電性膜が形成され、連続して搬送される長尺状の可撓性基材に対し、その基材表面の導電性膜を良好に酸化等の電解化成処理をすることができる表示装置の製造方法及び基板表面電解処理装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施形態に係る基板表面電解処理装置及びそれを用いた表示装置の製造方法について図面を用いて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００３１】
（実施形態１）
（基板表面電解処理装置１０の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る基板表面電解処理装置１０の模式図を示す。基板表面電解処理装置１０は、基材供給ロール（基材供給手段）１１、基材供給調整ロール（基材供給調整手段）１２、搬送ロール２１〜２９、定電流電解処理槽（電解処理手段）１３、定電流電解処理槽内搬送調整ロール（電解処理手段）１４、基材回収調整ロール（基材回収調整手段）１５、定電圧電解処理槽（後続電解処理手段）１６、定電圧電解処理槽内搬送ロール（後続電解処理手段）１７、基材回収ロール（基材回収手段）１８、電源３０，３１、及び、不図示の制御部で構成されている。
【００３２】
基材供給ロール１１は、処理対象である表面に導電性膜が形成された長尺状のプラスチック基材３３（可撓性基材）がロール状に巻かれた基材巻物３４から引き出されたプラスチック基材３３を初めに基板表面電解処理装置１０内へ供給する位置に置かれている。基材供給ロール１１は、供給するプラスチック基材３３の表面に当接するように設けられている。基材供給ロール１１は、ロール軸３５及びロール本体３６で構成されている。
【００３３】
ロール軸３５は、細長の円柱状に形成されている。ロール軸３５は、プラスチック基材３３の搬送方向（図１において左側から右側へ進む方向）と水平面内において垂直な方向に配置されている。ロール軸３５は、その先端で不図示の支持台に支持及び固定されている。
【００３４】
ロール本体３６は、ロール軸３５周りに巻きつけられている。ロール本体３６は、後述の電源３０，３１のプラス側と電気的に接続されている。これらのロール軸３５及びロール本体３６は、それぞれ、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス、又は、プラチナ、金、パラジウムや白金等で形成されており、電気分解における陽極を構成している。
【００３５】
搬送ロール２１，２２，２３は、基材供給ロール１１から供給されるプラスチック基材３３を引き込むように、基材供給ロール１１と後述する基材供給調整ロール１２との間にそれぞれ隣接して設けられている。搬送ロール２２，２３は、基材供給ロール１１とほぼ同一の高さで且つプラスチック基材３３の搬送方向にそれぞれ並ぶように設けられており、搬送ロール２１は、基材供給ロール１１と搬送ロール２２との間において、その下方に設けられている。すなわち、これらの搬送ロール２１によって供給されるプラスチック基材３３が、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２，２３のそれぞれ上側で搬送され、途中で下方の搬送ロール２１の下側を通るように構成されている。搬送ロール２１は、ロール軸３５及びロール本体３６で構成されており、それぞれ基材供給ロール１１のロール軸３５及びロール本体３６と同様の形状及び材料により形成されている。搬送ロール２１は、そのロール本体３６が電源３０，３１のプラス側に電気的に接続されており、プラスチック基材３３の表面側の導電性膜に当接している。搬送ロール２２，２３は、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。ロール軸３７は、その先端で不図示の支持台に支持及び固定されている。
【００３６】
ここで、搬送ロール２２，２３は、搬送ロール２１のように電極を構成しなくてもよいため、その構成材料は電極を構成するものに限定されない。例えば、ロール軸３７は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されていてもよい。また、ロール本体３８は、それぞれ、例えばシリコンゴム、熱可塑性エラストマー及びその他の合成ゴム等の任意の弾性ゴム材等で形成されていてもよい。
【００３７】
尚、搬送ロール２１〜２３は、図１のように構成されていなくてもよく、それ以上又はそれ以下の搬送ロールを設置して構成されていてもよい。また、処理対象のプラスチック基材３３がその片面のみに導電性膜を有するものであれば、電源３０，３１を電気的に接続するものは、そのプラスチック基材３３の導電性膜形成面側に当接する基材供給ロール１１又は搬送ロールだけでよい。
【００３８】
基材供給調整ロール１２は、搬送ロール２３から搬送されるプラスチック基材３３を引き込むように、搬送ロール２３と後述する搬送ロール２４との間に設けられている。基材供給調整ロール１２は、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。基材供給調整ロール１２は、不図示の駆動軸に接続されており、これによって上下に往復移動可能に構成されている。
【００３９】
搬送ロール２４，２５は、基材供給調整ロール１２から供給されるプラスチック基材３３を引き込むように、基材供給調整ロール１２と後述する定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４との間にそれぞれ隣接して設けられている。搬送ロール２４，２５は、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２，２３とほぼ同一の高さで、且つ、プラスチック基材３３の搬送方向にそれぞれ並ぶように設けられている。搬送ロール２４，２５は、搬送ロール２２，２３と同様に、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。
【００４０】
尚、搬送ロール２４，２５は、図１のように構成されていなくてもよく、それ以上又はそれ以下の搬送ロールを設置して構成されていてもよい。
【００４１】
定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、搬送ロール２５から搬送されるプラスチック基材３３を引き込むように、搬送ロール２５と後述する搬送ロール２６との間に設けられている。定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、不図示の駆動軸に接続されており、これによって上下に往復移動可能に構成されている。
【００４２】
定電流電解処理槽１３は、処理槽本体４０、電解処理液４１、及び、電極４２で構成されている。
【００４３】
処理槽本体４０は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４の上下の往復移動がその内部で行われるように、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４の下方に設けられている。処理槽本体４０は、底面を有する円筒形状に形成されている。処理槽本体４０は、内部に入れる後述の電解処理液４１によって腐蝕されないように、ステンレス製材料等を用いて形成されている。
【００４４】
電解処理液４１は、硫酸、酢酸、りん酸、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、ホウ酸アンモニウム、塩化アンモニウム等の高純度の電解質の水溶液、又は、有機溶剤による希釈液等が用いられている。電解処理液４１は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４が処理槽本体４０内を上下に往復移動する際の最上位の位置においても、液面から出ないような量が処理槽本体４０内に満たされている。
【００４５】
電極４２は、棒状に形成されており、処理槽本体４０内の電解処理液４１中に設けられている。電極４２の構成材料には、プラチナ、金、パラジウム、白金又はステンレル板等の電解処理液４１に対して腐食されない金属が用いられている。電極４２は、電源３０のマイナス側に電気的に接続されており、電気分解処理における陰極を構成している
搬送ロール２６，２７は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４から供給されるプラスチック基材３３を引き込むように、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４と後述する基材回収調整ロール１５との間にそれぞれ隣接して設けられている。搬送ロール２６，２７は、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２〜２５とほぼ同一の高さで、且つ、プラスチック基材３３の搬送方向にそれぞれ並ぶように設けられている。搬送ロール２６，２７は、それぞれ、搬送ロール２２〜２５と同様に、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。
【００４６】
尚、搬送ロール２６，２７は、図１のように構成されていなくてもよく、それ以上又はそれ以下の搬送ロールを設置して構成されていてもよい。
【００４７】
基材回収調整ロール１５は、搬送ロール２７から搬送されるプラスチック基材３３を引き込むように、搬送ロール２７と後述する搬送ロール２８との間に設けられている。基材回収調整ロール１５は、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。基材回収調整ロール１５は、不図示の駆動軸に接続されており、これによって上下に往復移動可能に構成されている。
【００４８】
搬送ロール２８，２９は、基材回収調整ロール１５から供給されるプラスチック基材３３を引き込むように、基材回収調整ロール１５と後述する定電圧電解処理槽内搬送ロール１７との間にそれぞれ隣接して設けられている。搬送ロール２８，２９は、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２〜２７とほぼ同一の高さで、且つ、プラスチック基材３３の搬送方向にそれぞれ並ぶように設けられている。搬送ロール２８，２９は、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。
【００４９】
尚、搬送ロール２８，２９は、図１のように構成されていなくてもよく、それ以上又はそれ以下の搬送ロールを設置して構成されていてもよい。
【００５０】
定電圧電解処理槽１６は、処理槽本体５０、電解処理液５１、及び、電極５２で構成されている。
【００５１】
処理槽本体５０は、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７の上下の往復移動がその内部で行われるように、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７の下方に設けられている。処理槽本体５０は、底面を有する円筒形状に形成されている。処理槽本体５０は、内部に入れる後述の電解処理液５１によって腐蝕されないように、ステンレス製材料等を用いて形成されている。
【００５２】
電解処理液５１は、硫酸、酢酸、りん酸、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、ホウ酸アンモニウム、塩化アンモニウム等の高純度の電解質の水溶液、又は、有機溶剤による希釈液等が用いられている。電解処理液５１は、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７が処理槽本体５０内を上下に往復移動する際の最上位の位置においても、液面から出ないような量が処理槽本体５０内に満たされている。
【００５３】
電極５２は、棒状に形成されており、処理槽本体５０内の電解処理液５１中に設けられている。電極５２の構成材料には、プラチナ、金、パラジウム、白金又はステンレル板等の電解処理液５１に対して腐食されない金属が用いられている。電極５２は、電源３１のマイナス側に電気的に接続されており、電気分解処理における陰極を構成している。
【００５４】
定電圧電解処理槽内搬送ロール１７は、搬送ロール２９から搬送されるプラスチック基材３３を引き込むように、搬送ロール２９と後述する基材回収ロール１８との間に設けられている。定電圧電解処理槽内搬送ロール１７は、搬送ロール２２〜２９と同様に、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。定電圧電解処理槽内搬送ロール１７は、不図示の駆動軸に接続されており、これによって上下に往復移動可能に構成されている。
【００５５】
基材回収ロール１８は、プラスチック基材３３を最後に基板表面電解処理装置１０外へ回収する位置に置かれている。基材回収ロール１８は、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２〜２９とほぼ同一の高さで、且つ、プラスチック基材３３の搬送方向に並ぶように設けられている。基材回収ロール１８は、搬送ロール２２〜２９と同様に、ロール軸３７及びロール軸３７に軸支されたロール本体３８で構成されている。
【００５６】
電源３０は、そのプラス側が基材供給ロール１１及び搬送ロール２１に、そのマイナス側が電極４２にそれぞれ電気的に接続されており、電源３１は、そのプラス側が基材供給ロール１１及び搬送ロール２１に、そのマイナス側が電極５２にそれぞれ電気的に接続されている。
【００５７】
上述した基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２９、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、基材回収調整ロール１５、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７、基材回収ロール１８、及び、電源３０，３１は、それぞれ不図示の制御部に電気的に接続されている。
【００５８】
また、基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２９、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、基材回収調整ロール１５、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７、基材回収ロール１８は、それぞれその大きさは限定されず、搬送する長尺状のプラスチック基材３３の大きさにより適宜選択される。例えば、搬送する長尺状のプラスチック基材３３が、その長さが２０ｍで幅が１０ｃｍ程度のものであれば、それぞれ直径数十ｃｍで長さが数十ｃｍ程度に形成されていればよい。  
【００５９】
なお、実施形態１では、電気分解処理に用いる陽極として、基材供給ロール１１及び搬送ロール１を用いたが、これに限定されず、搬送ロール２２〜２９、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、基材回収調整ロール１５、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７、基材回収ロール１８を上述した金属で形成して、これを陽極として用いてもよい。
【００６０】
（基板表面電解処理装置１０の動作）
次に、本発明の実施形態１に係る基板表面電解処理装置１０の各構成部の動作について説明する。
【００６１】
基材供給ロール１１は、ロールツウロール搬送方式で搬送されるプラスチック基材３３の導電性膜に対し、その下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより装置内へ供給する。
【００６２】
搬送ロール２１は、基材供給ロール１１から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、固定されたまま左回転をすることにより搬送ロール２２へと送り出す。このとき、搬送ロール２１は、基材供給ロール１１が当接するプラスチック基材３３の導電性膜とは反対側の導電性膜に当接している。さらに、搬送ロール２１はプラスチック基材３３の搬送経路（図１において基材供給ロール１１から搬送ロール２２及び２３へ向かう水平の経路）を一旦下側へ変化させている。
【００６３】
搬送ロール２２及び２３は、搬送ロール２１から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより基材供給調整ロール１２へ送り出す。
【００６４】
基材供給調整ロール１２は、搬送ロール２２及び２３から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより搬送ロール２４へと送り出す。基材供給調整ロール１２は、不図示の駆動軸の移動に伴って上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。また、基材供給調整ロール１２は、後述するように、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４及び基材回収調整ロール１５と、所定のタイミングによって連動して上下の往復移動を行う。
【００６５】
搬送ロール２４及び２５は、基材供給調整ロール１２から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４へ送り出す。
【００６６】
定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、搬送ロール２４及び２５から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより搬送ロール２６へと送り出す。定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、不図示の駆動軸の移動に伴って定電流電解処理槽１３内を上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、往復移動の最上位において、電解処理液５１の液面より下側となるように移動する。即ち、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、常に電解処理液５１中を往復移動して、液面より外へ飛び出ないように移動する。
【００６７】
搬送ロール２６及び２７は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより基材回収調整ロール１５へ送り出す。
【００６８】
基材回収調整ロール１５は、搬送ロール２６及び２７から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより搬送ロール２８へと送り出す。基材回収調整ロール１５は、不図示の駆動軸の移動に伴って上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。
【００６９】
搬送ロール２８及び２９は、基材回収調整ロール１５から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより定電圧電解処理槽内搬送ロール１７へ送り出す。
【００７０】
定電圧電解処理槽内搬送ロール１７は、搬送ロール２８及び２９から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、固定されたまま左回転をすることにより基材回収ロール１８へと送り出す。定電圧電解処理槽内搬送ロール１７は、プラスチック基材３３の搬送経路を一旦下側（定電圧電解処理槽１６内）へ変化させている。
【００７１】
基材回収ロール１８は、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、その下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより装置外へ送り出す。
【００７２】
（基板表面電解処理装置１０を用いた表示装置の製造方法）
次に、本発明の実施形態１に係る基板表面電解処理装置１０を用いた表示装置の製造方法について、図２〜８を用いて詳細に説明する。尚、図２〜８には、便宜的にプラスチック基材３３，各搬送ロール、定電流電解処理槽１３及び定電圧電解処理槽１６についてのみ示している。
【００７３】
まず、不図示の制御部により基板表面電解処理装置１０の基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、及び、基材回収調整ロール１５をそれぞれ図２に示す位置に移動させ、両表面に導電性膜が形成された長尺状のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリカーボネート（ＰＣ）等で構成されるプラスチック基材３３の巻物からプラスチック基材３３を引き出して、基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２９、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、基材回収調整ロール１５、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７及び基材回収ロール１８にセットする。ここで、図２は定電流電解処理槽１３にプラスチック基材３３の未処理部分の搬入を開始する時の様子を示しており、基材供給調整ロール１２及び基材回収調整ロール１５は、それぞれ装置全体の搬送速度と定電流電解処理時間との関係で決定される往復移動の最下位に位置しており、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は、往復移動の最上位に位置している。また、このとき、基材供給調整ロール１２が最下位に位置することにより、搬送バッファとして未処理部分を有するプラスチック基材３３を蓄えている。
【００７４】
次に、制御部により基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２９、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、基材回収調整ロール１５、定電圧電解処理槽内搬送ロール１７及び基材回収ロール１８をそれぞれ回転させてプラスチック基材３３の搬送を開始する。
【００７５】
次に、図３に示すように、基材供給調整ロール１２及び基材回収調整ロール１５をそれぞれ上側に移動させると同時に定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４を下側へ移動させて、プラスチック基材３３の未処理部分を定電流電解処理槽１３内へ搬入する。このとき、基材供給調整ロール１２によって定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４へ送り出されるプラスチック基材３３の速度は、装置全体の搬送速度より大きくなる。これは、基材供給調整ロール１２に次々に送り込まれるプラスチック基材３３の量よりも、事前に蓄えたプラスチック基材３３を上側への移動の際に定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４へ送り出す量が多くなるためである。また、このとき、基材回収調整ロール１５が基材供給調整ロール１２と連動して上側へ移動することにより、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４からプラスチック基材３３を搬入せずに、蓄えていたプラスチック基材３３を搬送ロール２８へ送り出している。
【００７６】
次に、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４が最下位まで移動して定電流電解処理槽１３内へプラスチック基材３３の未処理部分を搬入すると、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４の移動が停止する。この状態で電源３０をＯＮにして、プラスチック基材３３表面の導電性膜に電流を流す。ここで、図４に本実施形態の電解処理における電圧と時間との関係を表すグラフを、図５に本実施形態の電解処理における電流と時間との関係を表すグラフを示す。図４および図５は、金属タンタル膜の表面を電解化成処理として陽極酸化した場合の例を示す。定電流電解処理用の電源３０の設定値は、陽極酸化膜の膜質が良好な処理速度での上限が最大電流値（図５におけるＩ１）となるように設定している。また、定電流電解処理槽１３において、完全に定電流電解処理を完了させ、続いて定電圧電解処理に移行してもよい。この場合、定電流電解処理完了時間（図４，５のＴ１）よりも長く定電電解処理槽での酸化処理を行うため、定電流電解処理用の電源３０の設定として最大処理電圧（図４のＶ１）の設定も行う。
【００７７】
この定電流電解酸化処理を行っている間、図６に示すように、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４は最下位に位置して上下には移動せず、基材供給調整ロール１２は下方へ移動しながら左回転を続け、次々供給されるプラスチック基材３３を定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４へ送り出さずに蓄えていく。また、同時に、基材回収調整ロール１５は、上側への移動を続け、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４からプラスチック基材３３を回収せずに、蓄えていたプラスチック基材３３を搬送ロール８へ連続して送り出している。このため、定電流電解処理槽１３内でプラスチック基材３３が搬送されていないにもかかわらず、装置全体としては常に連続してプラスチック基材３３の搬送が行われることになる。
【００７８】
また、上記定電流電解処理がなされていると同時進行にて、定電流電解処理がなされたプラスチック基材に対し、電源３１をＯＮにして定電圧電解処理槽１６内へ連続搬入することにより、引き続き定電圧電解処理を行う。定電流電解処理が完了した時点で、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、及び、基材回収調整ロール１５の位置は、それぞれ図７のようになっている。
【００７９】
定電流電解処理が完了したら電源３０をＯＦＦにして、処理済みのプラスチック基材３３に対し、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４を上側へ移動することにより、装置全体でのプラスチック基材３３の搬送速度よりも速い速度で定電流電解処理槽１３内から搬出する。このとき、図８に示すように、基材供給調整ロール１２は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４へプラスチック基材３３を送り出さないように、下側へ移動して送り込まれるプラスチック基材３３を蓄える。また、基材回収調整ロール１５は、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４から送り込まれるプラスチック基材３３の量より搬送ロール８へ送り出すプラスチック基材３３の量の方が多いため、その分、下側へ移動していく。
【００８０】
このようにして、基材供給調整ロール１２、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、及び、基材回収調整ロール１５がそれぞれ図４に示す元の位置に戻り、定電流電解処理槽１３へのプラスチック基材３３の搬入工程が引き続き未処理基材に対して行われる。
【００８１】
また、定電流電解処理及び定電圧電解処理が施されたプラスチック基材３３に以降の工程において所定の処理を施し、表示装置を完成する。
【００８２】
以上のように、定電流電解処理においてプラスチック基材３３が静止した状態で良好にその導電性膜の陽極酸化等の電解化成処理を行い、且つ、装置全体では連続して効率よくプラスチック基材３３の搬送を行っている。
【００８３】
（実施形態２）
（基板表面電解処理装置６０の構成）
図９は、本発明の実施形態２に係る基板表面電解処理装置６０の模式図を示す。基板表面電解処理装置６０は、実施形態１における基板表面電解処理装置１０における定電流電解処理及び定電圧電解処理を、同一の電解処理槽において連続して行うものである。ここで、基板表面電解処理装置６０において、基板表面電解処理装置１０の構成要素と同一のものは、同符号を附している。
【００８４】
基板表面電解処理装置６０は、基材供給ロール１１、基材供給調整ロール１２、搬送ロール２１〜２７、定電流・定電圧電解処理槽（電解処理手段）６１、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール（電解処理手段）６２、基材回収調整ロール１５、基材回収ロール１８、電源３０、及び、不図示の制御部で構成されている。
【００８５】
本実施形態２に係る基材供給ロール１１、基材供給調整ロール１２、搬送ロール２１〜２７、定電流・定電圧電解処理槽６１、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、及び、電源３０は、それぞれ、上述の実施形態１に係る基材供給ロール１１、基材供給調整ロール１２、搬送ロール２１〜２７、定電流電解処理槽１３、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４、及び、電源３０と同一の構成材料を用いて、同一の形状及び大きさに形成され、且つ、同様の位置に設けられている。
【００８６】
基材回収調整ロール１５、及び、基材回収ロール１８については、実施形態１と比較して、その間に搬送ロール２８，２９及び定電圧電解処理槽内搬送ロール１７が設けられていない。基材回収調整ロール１５は、搬送ロール２７から搬送されるプラスチック基材３３を引き込むように、搬送ロール２７と基材回収ロール１８との間に設けられている。
【００８７】
基材回収ロール１８は、基材回収調整ロール１５から搬送されたプラスチック基材３３を最後に基板表面電解処理装置６０外へ回収する位置に置かれている。基材回収ロール１８は、基材供給ロール１１及び搬送ロール２２〜２７とほぼ同一の高さで、且つ、プラスチック基材３３の搬送方向に並ぶように設けられている。
【００８８】
（基板表面電解処理装置６０の動作）
次に、本発明の実施形態２に係る基板表面電解処理装置６０の各構成部の動作について説明する。
【００８９】
基材供給ロール１１は、ロールツウロール搬送方式で搬送されるプラスチック基材３３の導電性膜に対し、その下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより装置内へ供給する。
【００９０】
搬送ロール２１は、基材供給ロール１１から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、固定されたまま左回転をすることにより搬送ロール２２へと送り出す。このとき、搬送ロール２１は、基材供給ロール１１が当接するプラスチック基材３３の導電性膜とは反対側の導電性膜に当接している。さらに、搬送ロール２１はプラスチック基材３３の搬送経路（図９において基材供給ロール１１から搬送ロール２２及び２３へ向かう水平の経路）を一旦下側へ変化させている。
【００９１】
搬送ロール２２及び２３は、搬送ロール２１から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより基材供給調整ロール１２へ送り出す。
【００９２】
基材供給調整ロール１２は、搬送ロール２２及び２３から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより搬送ロール２４へと送り出す。基材供給調整ロール１２は、不図示の駆動軸の移動に伴って上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。また、基材供給調整ロール１２は、後述するように、定電流電解処理槽内搬送調整ロール１４及び基材回収調整ロール１５と、所定のタイミングによって連動して上下の往復移動を行う。
【００９３】
搬送ロール２４及び２５は、基材供給調整ロール１２から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２へ送り出す。
【００９４】
定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は、搬送ロール２４及び２５から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより搬送ロール２６へと送り出す。定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は、不図示の駆動軸の移動に伴って定電流・定電圧電解処理槽６１内を上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は、往復移動の最上位において、電解処理液４１の液面より下側となるように移動する。即ち、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は、常に電解処理液４１中を往復移動して、液面より外へ飛び出ないように移動する。
【００９５】
搬送ロール２６及び２７は、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、それぞれその下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより基材回収調整ロール１５へ送り出す。
【００９６】
基材回収調整ロール１５は、搬送ロール２６及び２７から供給されたプラスチック基材３３に対し、その上方において当接しつつ、左回転をすることにより基材回収ロール１８へと送り出す。基材回収調整ロール１５は、不図示の駆動軸の移動に伴って上下に往復移動をし、これによりプラスチック基材３３の搬送経路を変化させる。
【００９７】
基材回収ロール１８は、基材回収調整ロール１５から送り出されたプラスチック基材３３の導電性膜に対し、その下方において当接しつつ、固定されたまま右回転をすることにより装置外へ送り出す。
【００９８】
（基板表面電解処理装置６０を用いた表示装置の製造方法）
次に、本発明の実施形態２に係る基板表面電解処理装置６０を用いた表示装置の製造方法について、図１０〜１４を用いて詳細に説明する。尚、図１０〜１４には、便宜的にプラスチック基材３３，各搬送ロール、定電流・定電圧電解処理槽６１についてのみ示している。
【００９９】
まず、不図示の制御部により基板表面電解処理装置６０の基材供給調整ロール１２、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、及び、基材回収調整ロール１５をそれぞれ図１０に示す位置に移動させ、両表面に導電性膜が形成された長尺状のポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）やポリカーボネート（ＰＣ）等で構成されるプラスチック基材３３の巻物からプラスチック基材３３を引き出して、基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２７、基材供給調整ロール１２、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、基材回収調整ロール１５及び基材回収ロール１８にセットする。ここで、図１０は定電流・定電圧電解処理槽６１にプラスチック基材３３の未処理部分の搬入を開始する時の様子を示しており、基材供給調整ロール１２及び基材回収調整ロール１５は、それぞれ装置全体の搬送速度と定電流・定電圧電解処理時間との関係で決定される往復移動の最下位に位置しており、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は、往復移動の最上位に位置している。また、このとき、基材供給調整ロール１２が最下位に位置することにより、搬送バッファとして未処理部分を有するプラスチック基材３３を蓄えている。
【０１００】
次に、制御部により基材供給ロール１１、搬送ロール２１〜２７、基材供給調整ロール１２、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、基材回収調整ロール１５及び基材回収ロール１８をそれぞれ回転させてプラスチック基材３３の搬送を開始する。
【０１０１】
次に、図１１に示すように、基材供給調整ロール１２及び基材回収調整ロール１５をそれぞれ上側に移動させると同時に定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２を下側へ移動させて、プラスチック基材３３の未処理部分を定電流・定電圧電解処理槽６１内へ搬入する。このとき、基材供給調整ロール１２によって定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２へ送り出されるプラスチック基材３３の速度は、装置全体の搬送速度より大きくなる。これは、基材供給調整ロール１２に次々に送り込まれるプラスチック基材３３の量よりも、事前に蓄えたプラスチック基材３３を上側への移動の際に定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２へ送り出す量が多くなるためである。また、このとき、基材回収調整ロール１５が基材供給調整ロール１２と連動して上側へ移動することにより、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２からプラスチック基材３３を搬入せずに、蓄えていたプラスチック基材３３を基材回収ロール１８へ送り出している。
【０１０２】
次に、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２が最下位まで移動して定電流・定電圧電解処理槽６１内へプラスチック基材３３の未処理部分を搬入すると、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２の移動が停止する。この状態で電源３０をＯＮにして、プラスチック基材３３表面の導電性膜、例えば、金属タンタル膜に電流を流す。ここで、電源３０の設定値は、例えば金属タンタル膜の陽極酸化膜の膜質が良好な処理速度での上限が最大電流値（図５におけるＩ１）となるように設定している。また、定電流・定電圧電解処理槽６１において、完全に定電流電解処理を完了させ、続いて定電圧電解処理に移行する。この場合、電源３０の設定として最大処理電圧（図４のＶ１）の設定も行う。
【０１０３】
この定電流・定電圧電解酸化処理を行っている間、図１２に示すように、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２は最下位に位置して上下には移動せず、基材供給調整ロール１２は下方へ移動しながら左回転を続け、次々供給されるプラスチック基材３３を定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２へ送り出さずに蓄えていく。また、同時に、基材回収調整ロール１５は、上側への移動を続け、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２からプラスチック基材３３を回収せずに、蓄えていたプラスチック基材３３を基材回収ロール１８へ連続して送り出している。このため、定電流・定電圧電解処理槽６１内でプラスチック基材３３が搬送されていないにもかかわらず、装置全体としては常に連続してプラスチック基材３３の搬送が行われることになる。
【０１０４】
このように定電流電解処理が完了した時点で、基材供給調整ロール１２、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、及び基材回収調整ロール１５の位置は、それぞれ図１３のようになっている。
【０１０５】
次に、定電流・定電圧電解処理が完了したら電源３０をＯＦＦにして、処理済みのプラスチック基材３３に対し、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２を上側へ移動することにより、装置全体でのプラスチック基材３３の搬送速度よりも速い速度で定電流・定電圧電解処理槽６１内から搬出する。このとき、図１４に示すように、基材供給調整ロール１２は、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２へプラスチック基材３３を送り出さないように、下側へ移動して送り込まれるプラスチック基材３３を蓄える。また、基材回収調整ロール１５は、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２から送り込まれるプラスチック基材３３の量より基材回収ロール１８へ送り出すプラスチック基材３３の量の方が多いため、その分、下側へ移動していく。
【０１０６】
このようにして、基材供給調整ロール１２、定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール６２、及び、基材回収調整ロール１５がそれぞれ図１０に示す元の位置に戻り、定電流・定電圧電解処理槽６１へのプラスチック基材３３の搬入工程が引き続き未処理基材に対して行われる。
【０１０７】
また、定電流電解処理及び定電圧電解処理が施されたプラスチック基材３３に以降の工程において所定の処理を施し、表示装置を完成する。
【０１０８】
以上のように、定電流・定電圧電解処理においてプラスチック基材３３が静止した状態で良好にその導電性膜の陽極酸化等の電解化成処理を行い、且つ、装置全体では連続して効率よくプラスチック基材３３の搬送を行っている。
【０１０９】
尚、上記実施形態１及び２において、基材供給ロール１１へ供給されるプラスチック基材３３は巻物状にされたものでなくてもよく、装置全体の搬送速度に合わせれば、別の処理工程から引き続き搬送されたものであってもよい。また、基材回収ロール１８から送り出されるプラスチック基材３３は、巻物状に回収されなくてもよく、装置全体の搬送速度に合わせれば、このままの状態で次の工程へ搬送されて引き続き所定の処理がなされてもよい。
【０１１０】
また、本実施形態１及び２では、プラスチック基板表面の金属膜の陽極酸化について説明したが、これに限らず、可撓性基材に塗料や有機絶縁膜などを形成する電解処理であってもよい。
【０１１１】
また、本発明に係る基材表面電解処理装置は、液晶表示装置の製造の他、ＰＤ（plasma display panel；プラズマディスプレイ）、有機ＥＬ（organic electroluminescence ）、又は、ＳＥＤ（surface-conduction electron-emitter display；表面電界ディスプレイ）等のその他の表示装置の製造にも有効に用いることができる。
【０１１２】
（実施例）
（試験評価）
実施形態１と同様の基材表面電解処理装置を用いて、表面に金属タンタル膜を形成したポリイミド製の長尺状プラスチック基材を陽極酸化処理し、形成した酸化膜の評価を行った。
【０１１３】
（試験評価方法）
厚さ２００μｍ、幅１０５ｍｍ、長さ２０ｍのポリイミドで形成されたプラスチック基材３３を用意し、その両表面に、金属タンタル膜をそれぞれ１００ｎｍの厚さとなるように形成した。
【０１１４】
また、定電流電解処理槽及び定電圧電解処理槽として、２２００ｍｍの長さのプラスチック基材をそれぞれ一度に搬入できるような容量のものを用い、さらにこれらに、それぞれ電解処理液としてホウ酸アンモニウム１％水溶液を入れた。定電流電解処理槽及び定電圧電解処理槽内の電極として、ＳＵＳ３１６（オーステナイト系ステンレス鋼）で形成された棒状電極をそれぞれ用意した。
【０１１５】
さらに、定電流電解処理用の電源は、電流制限値が５．５Ａで最大電圧が３１Ｖとなるように設定し、定電圧電解処理用の電源は、最大電圧が３１Ｖ以上となるように設定した。この値は、一枚ずつ処理する単体基板の電解処理では、定電流電解処理領域で１．２ｍＡ／ｃｍ２の電流密度となり、定電圧電解処理完了後では、金属タンタル膜表面の厚さ約４００ｎｍの部分が陽極酸化し、６００ｎｍの厚さの陽極酸化膜が形成される条件に相当する。また、この条件での陽極酸化は、定電流電解処理時間は８分間で完了し、定電圧電解処理では５分間で定電流電解処理時の電流量の約１０分の１まで低下する。そして、このような条件の酸化処理で形成された処理膜は、絶縁膜としての絶縁性能を充分に満たすことができる。
【０１１６】
上記のように準備した基材表面電解処理装置にプラスチック基材を搬入し、制御部により各搬送ロール等を回転させた。各搬送ロールの回転速度は、装置全体の搬送速度が２００ｍｍ／分となるように設定した。
【０１１７】
次に、装置内を搬送されるプラスチック基材に対し、その定電流電解処理槽内の金属タンタル膜、さらには定電圧電解処理槽内の金属タンタル膜に電流を流し、定電流電解処理及び定電圧電解処理を行った。
【０１１８】
ここで、定電流電解処理槽内でプラスチック基材の搬送を停止して定電流電解処理をする時間を９分間とした。実際には、上記に記載の通り、本設定の電流制限値では、８分間で定電流電解処理が完了するため、残りの１分間は定電圧電解処理が定電流電解処理槽内で行われることとなる。
【０１１９】
定電流電解処理が完了すると、定電流電解処理槽から処理済基材を搬出すると同時に引き続いて長さが２０００ｍｍの未処理基材を定電流電解処理槽内へ搬入した。このとき、定電流電解処理槽からの処理済基材の搬出及び定電流電解処理槽への未処理基材の搬入の時間は１分間で完了するように各搬送ロールや各調整ロールの動きが調整されている。
【０１２０】
定電圧電解処理槽内でのプラスチック基材は、装置全体の搬送速度（２００ｍｍ／分）と同じ速度で搬送し処理されるよう各搬送ロールや各調整ロールの回転を制御した。この搬送速度で定電圧電解処理槽の電解処理液中に長さ２２００ｍｍ／分のプラスチック基材を搬入すると、プラスチック基材が定電圧電解処理槽の電解処理液内にある時間は１１分間であるため、これが定電圧電解処理時間となっている。このようなプラスチック基材の搬送制御により、定電流電解処理槽における８分間の定電流電解処理と、定電流電解処理槽における１分間の定電圧電解処理と、定電圧処理槽における１１分間（定電圧電解処理槽内通過時間）の定電圧電解処理と、をそれぞれ行った。
【０１２１】
（試験評価結果）
以上の試験の結果、プラスチック基材表面に形成された酸化膜は、ピンホールなどの不具合が発生しておらず、ほぼ均一な膜厚を有していた。
【０１２２】
（作用効果）
次に作用効果について説明する。
【０１２３】
本実施形態１，２に係る表示装置の製造方法は、表面に導電性膜を有する長尺状のプラスチック基材３３を連続して供給する基材供給ステップと、連続して供給したプラスチック基材３３を所定長さずつ引き入れて電解処理液４１に浸漬して表面に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みのプラスチック基材３３を送り出す定電流電解処理ステップと、送り出した定電流電解処理済みのプラスチック基材３３を回収する基材回収ステップと、基材供給ステップと定電流電解処理ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３の引き入れが停止されて定電流電解処理がされている間は、基材供給ステップにおいて連続して供給されるプラスチック基材３３を受け取って蓄える一方、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３が引き入れられるときには、基材供給ステップにおいて連続して供給されるプラスチック基材３３を受け取りつつ定電流電解処理のためにプラスチック基材３３を供給する基材供給調整ステップと、を備えたことを特徴とする。
【０１２４】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状のプラスチック基材３３をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、そのプラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の供給を連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、プラスチック基材３３を連続して供給することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化膜等の化成膜の場合、膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【０１２５】
また、本実施形態１，２に係る表示装置の製造方法は、基材回収ステップで定電流電解処理済みのプラスチック基材３３を連続して回収すると共に、定電流電解処理ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３が送り出されるときには、その送り出されたプラスチック基材３３を受け取って蓄えつつ基材回収のためにプラスチック基材３３を送り出す一方、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３の送り出しが停止され定電流電解処理がされている間は、蓄えたプラスチック基材３３を基材回収のために送り出す基材回収調整ステップをさらに備えることを特徴とする。
【０１２６】
このような構成によれば、プラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の供給のみならず、回収についても連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、定電流電解処理工程全体についてプラスチック基材３３を連続して供給及びそれに引き続き回収することにより電解処理がより効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。
【０１２７】
さらに、本実施形態１に係る表示装置の製造方法は、基材回収調整ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいて定電流電解処理されたプラスチック基材３３を定電圧電解処理する定電圧電解処理ステップをさらに備えることを特徴とする。
【０１２８】
このような構成によれば、プラスチック基材３３に安定して定電流電解処理を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理を行うことができる。このため、同一の電解槽等で定電流電解処理及びそれに引き続き定電圧電解処理を行うものに比べて、基材供給調整ステップ及び基材回収調整ステップそれぞれにおいて、蓄えなければならないプラスチック基材３３の量が少なくてすむ。すなわち、同一の電解槽等で定電流電解処理及びそれに引き続き定電圧電解処理を行うものであれば、定電流電解処理と定電圧電解処理とが完了するまで連続して供給されるプラスチック基材３３及び連続して回収されるプラスチック基材３３をその電解槽前後で蓄えておかねばならず、このような処理を行う装置の規模が大きくなってしまう、という問題がある。これに対し、本実施形態１に係る表示装置の製造方法であれば、プラスチック基材３３に定電流電解処理を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理を行うため、定電流電解処理のみが完了するまで、連続して供給されるプラスチック基材３３及び連続して回収されるプラスチック基材３３をその電解槽前後で蓄えておきさえすればよい。従って、このような処理を行う装置の規模をより小さくすることができる。
【０１２９】
本実施形態１，２に係る表示装置の製造方法は、表面に導電性膜を有する長尺状のプラスチック基材３３を供給する基材供給ステップと、供給したプラスチック基材３３を所定長さずつ引き入れて電解液に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより定電流電解処理を行った後に定電流電解処理済みのプラスチック基材３３を送り出す定電流電解処理ステップと、送り出した定電流電解処理済みのプラスチック基材３３を連続して回収する基材回収ステップと、定電流電解処理ステップと基材回収ステップとの間に設けられ、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３が送り出されるときには、その送り出されたプラスチック基材３３を受け取って蓄えつつ基材回収のためにプラスチック基材３３を送り出す一方、定電流電解処理ステップにおいてプラスチック基材３３の送り出しが停止されて定電流電解処理がされている間は、蓄えたプラスチック基材３３を基材回収のために送り出す基材回収調整ステップと、を備えたことを特徴とする。
【０１３０】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状のプラスチック基材３３をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、そのプラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の回収を連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理を行うことができる。このため、プラスチック基材３３を連続して回収することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化膜等の化成膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【０１３１】
本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、表面に導電性膜を有する長尺状のプラスチック基材３３を連続して供給する基材供給手段１１と、基材供給手段１１からのプラスチック基材３３を、所定長さずつ引き入れて、電解処理液４１に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に、電解処理済みのプラスチック基材３３を送り出す電解処理手段１３，１４，６１，６２と、電解処理手段１３，１４，６１，６２からの電解処理済みのプラスチック基材３３を回収する基材回収手段１８と、基材供給手段１１と電解処理手段１３，１４，６１，６２との間に設けられて、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３の引き入れを停止して電解処理をしている間は、基材供給手段１１から連続して供給されるプラスチック基材３３を受け取って蓄える一方、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３を引き入れるときには、基材供給手段１１から連続して供給されるプラスチック基材３３を受け取りつつ、電解処理手段１３，１４，６１，６２にプラスチック基材３３を供給する基材供給調整手段１２と、を備えたことを特徴とする。
【０１３２】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状のプラスチック基材３３をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、そのプラスチック基材３３の導電性膜を電解処理により酸化処理等する際、基材供給調整手段１２によって、プラスチック基材３３の供給を連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、プラスチック基材３３を連続して供給することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等することができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【０１３３】
また、本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、基材回収手段１８が、電解処理手段１３，１４，６１，６２からの電解処理済みのプラスチック基材３３を連続して回収するように構成されていると共に、電解処理手段１３，１４，６１，６２と基材回収手段１８との間に設けられ、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３を送り出すときには、その送り出されたプラスチック基材３３を受け取って蓄えつつ、基材回収手段１８にプラスチック基材３３を送り出す一方、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えたプラスチック基材３３を基材回収手段１８に送り出す基材回収調整手段１５をさらに備えたことを特徴とする。
【０１３４】
このような構成によれば、プラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の供給のみならず、基材回収調整手段１５によってプラスチック基材３３の回収についても連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、定電流電解処理等の電解処理工程全体についてプラスチック基材３３を連続して供給及びそれに引き続き回収することにより電解処理がより効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等することができる。
【０１３５】
さらに、本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、基材供給調整手段１２が、プラスチック基材３３の表面に当接しつつ回転しながらプラスチック基材３３の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、プラスチック基材３３の搬送経路を変化させるように構成された基材供給調整ロール１２を有し、電解処理手段１３，１４，６１，６２は、内部に電極４２，５２を有し且つプラスチック基材３３の搬送方向に交差する方向に設けられた電解処理槽１３，６１と、搬送されたプラスチック基材３３の表面に当接しつつ回転しながら電解処理槽１３，６１内を往復移動することにより、プラスチック基材３３の搬送経路を変化させるように構成された処理槽内搬送調整ロール１４，６２を有し、基材回収調整手段１５は、プラスチック基材３３の表面に当接しつつ、回転しながらプラスチック基材３３の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、プラスチック基材３３の搬送経路を変化させるように構成された基材回収調整ロール１５を有することを特徴とする。
【０１３６】
このような構成によれば、基材供給調整手段１２、電解処理手段１３，１４，６１，６２及び基材回収調整手段１５が、各々、プラスチック基材３３の表面に当接しつつ回転しながらプラスチック基材３３の搬送方向に交差する方向において往復移動することにより、プラスチック基材３３の搬送経路を変化させるように構成された基材供給調整ロール１２、処理槽内搬送調整ロール１４，６２又は基材回収調整ロール１５を有しているため、プラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の供給・回収を連続して行う一方、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うための基材表面電解処理装置１０，６０を簡潔な構造にすることができる。
【０１３７】
また、本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、基材供給手段１１が、プラスチック基材３３の表面に当接しつつ、回転してプラスチック基材３３を供給するように構成された基材供給ロール１１を有し、基材回収手段１８が、プラスチック基材３３の表面に当接しつつ回転してプラスチック基材３３を回収するように構成された基材回収ロール１８を有すると共に、基材供給ロール１１、基材供給調整ロール１２、処理槽内搬送調整ロール１４，６２、基材回収調整ロール１５、又は、基材回収ロール１８の少なくとも一つが、電解処理槽１３，６１内の電極４２との間でプラスチック基材３３の導電性膜に当接して電流を発生させるプラスチック基材３３の導電性膜に当接して電流を発生させる電極１１を備えることを特徴とする。
【０１３８】
このような構成によれば、電解処理槽１３，６１内の電極４２との間でプラスチック基材３３の導電性膜に当接して電流を発生させるための電極として、新たに別の構成要素を装置に組み入れなくてもよい。このため、基材表面電解処理装置１０，６０を簡潔な構造にすることができる。
【０１３９】
さらに、本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、プラスチック基材３３の導電性膜に当接して電流を発生させる電極が、プラスチック基材３３の両表面に当接するように設けられていることを特徴とする。
【０１４０】
このような構成によれば、プラスチック基材３３の導電性膜に当接して電流を発生させる電極が、プラスチック基材３３の両表面に当接するように設けられているため、両表面に導電性膜を有するプラスチック基材３３に対して、その両表面の導電性膜を同時に電解処理することができる。従って、プラスチック基材３３の処理効率がより良好となる。
【０１４１】
また、本実施形態１に係る基材表面電解処理装置１０は、基材回収調整手段１５と基材回収手段１８との間に設けられ、電解処理手段１３，１４によって電解処理されたプラスチック基材３３をさらに電解処理する後続電解処理手段１６，１７をさらに備えていることを特徴とする。
【０１４２】
このような構成によれば、プラスチック基材３３に安定して定電流電解処理等を行った後、さらに別の電解槽等において定電圧電解処理等（後続電解処理）を行うことができる。このため、同一の電解槽等で定電流電解処理等及びそれに引き続き定電圧電解処理等を行うものに比べて、基材供給調整手段１２及び基材回収調整手段１５それぞれにおいて、蓄えなければならないプラスチック基材３３の量が少なくてすむため、基材表面電解処理装置１０の規模をより小さくすることができる。
【０１４３】
本実施形態１，２に係る基材表面電解処理装置１０，６０は、表面に導電性膜を有する長尺状のプラスチック基材３３を供給する基材供給手段１１と、基材供給手段１１からのプラスチック基材３３を所定長さずつ引き入れて電解処理液４１に浸漬して表面の導電性膜に通電することにより電解処理を行った後に電解処理済みのプラスチック基材３３を送り出す電解処理手段１３，１４，６１，６２と、電解処理手段１３，１４，６１，６２からの電解処理済みのプラスチック基材３３を連続して回収する基材回収手段１８と、電解処理手段１３，１４，６１，６２と基材回収手段１８との間に設けられ、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３を送り出すときには、その送り出されたプラスチック基材３３を受け取って蓄えつつ基材回収手段１８にプラスチック基材３３を送り出す一方、電解処理手段１３，１４，６１，６２がプラスチック基材３３の送り出しを停止して電解処理している間は、蓄えたプラスチック基材３３を基材回収手段１８に送り出す基材回収調整手段１５と、を備えたことを特徴とする。
【０１４４】
このような構成によれば、表面に導電性膜が形成された長尺状のプラスチック基材３３をロールツウロール搬送方式等を用いて連続搬送しつつ、そのプラスチック基材３３の導電性膜を定電流電解処理により酸化処理等する際、プラスチック基材３３の回収を連続して行う一方、基材回収調整手段１５により、プラスチック基材３３の供給を停止した状態で定電流電解処理等を行うことができる。このため、プラスチック基材３３を連続して回収することにより電解処理が効率良く行えることに加えて、定電流電解処理等の際の電解処理液４１の液面がプラスチック基材３３の搬送によって揺れるのを抑制でき、安定してプラスチック基材３３表面の導電性膜を酸化等の電解化成処理をすることができる。従って、生成する酸化等の電解化成処理膜の膜厚の不均一やピンホール等の不具合の発生を抑制することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１４５】
以上説明したように、本発明は、表示装置の製造方法及び基板表面電解処理装置について有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】本発明の実施形態１に係る基板表面電解処理装置１０の模式図である。
【図２】基板表面電解処理装置１０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３のセット工程を示す図である。
【図３】基板表面電解処理装置１０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理槽内への搬入工程を示す図である。
【図４】本実施形態１及び２の電解処理における電圧と時間との関係を表すグラフである。
【図５】本実施形態１及び２の電解処理における電流と時間との関係を表すグラフである。
【図６】基板表面電解処理装置１０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理時の様子を示す図である。
【図７】基板表面電解処理装置１０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理完了時の様子を示す図である。
【図８】基板表面電解処理装置１０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理槽外への搬出工程を示す図である。
【図９】本発明の実施形態２に係る基板表面電解処理装置６０の模式図である。
【図１０】基板表面電解処理装置６０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３のセット工程を示す図である。
【図１１】基板表面電解処理装置６０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理槽内への搬入工程を示す図である。
【図１２】基板表面電解処理装置６０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理時の様子を示す図である。
【図１３】基板表面電解処理装置６０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理完了時の様子を示す図である。
【図１４】基板表面電解処理装置６０による表示装置の製造方法におけるプラスチック基板３３の定電流電解処理槽外への搬出工程を示す図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１０，６０  基材表面電解処理装置
１１  基材供給ロール（基材供給手段）
１２  基材供給調整ロール（基材供給調整手段）
１３  定電流電解処理槽（電解処理手段）
１４  定電流電解処理槽内搬送調整ロール（電解処理手段）
１５  基材回収調整ロール（基材回収調整手段）
１６  定電圧電解処理槽（後続電解処理手段）
１７  定電圧電解処理槽内搬送ロール（後続電解処理手段）
１８  基材回収ロール（基材回収手段）
２１〜２９  搬送ロール
３０，３１  電源
３３  プラスチック基板
３４  基材巻物
３５，３７  ロール軸
３６，３８  ロール本体
４０，５０  処理槽本体
４１，５１  電解処理液
４２，５２  電極
６１  定電流・定電圧電解処理槽（電解処理手段）
６２  定電流・定電圧電解処理槽内搬送調整ロール（電解処理手段）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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