(57)【要約】【課題】各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとの副走査方向の相対位置の認識を可能とすることを課題とする。【解決手段】複数の画素領域５０７ａを配列した実描画領域Ｗｆと、その四周を囲む周縁領域Ｗｂと、から成る基板Ｗに対し、複数のノズル８５を有する機能液滴吐出ヘッド６１をＸ軸方向に相対的に移動させながら、各画素領域５０７ａに対し、対応するノズル８５から機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、機能液滴吐出ヘッド６１をＹ軸方向に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、複数の画素領域５０７ａのそれぞれの全域を機能液で満たすように描画処理を行うに当たり、周縁領域Ｗｂに、主走査毎の、ノズル８５からの機能液滴の着弾を受容する、少なくとも１の着弾位置検査用の仮想画素領域２０７を設定し、各主走査において、各画素領域５０７ａおよび各仮想画素領域２０７に対してそれぞれ機能液滴を吐出・着弾させる。【選択図】図８
2007117880.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素領域を互いに直交する行方向および列方向に配列した実描画領域と、当該実描画領域の四周を囲む周縁領域と、から成る基板に対し、複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対的に移動させながら、前記各画素領域に対し、対応する前記ノズルから機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、前記機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、前記複数の画素領域のそれぞれの全域を機能液で満たすように描画処理を行うに当たり、
前記周縁領域に、前記主走査毎の、前記ノズルからの機能液滴の着弾を受容する、少なくとも１の着弾位置検査用の仮想画素領域を設定し、
前記各主走査において、前記各画素領域および前記各仮想画素領域に対してそれぞれ機能液滴を吐出・着弾させることを特徴とする液滴吐出装置の描画方法。
【請求項２】
複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドと、
複数の画素領域を互いに直交する行方向および列方向に配列した実描画領域と、当該実描画領域の四周を囲む周縁領域と、から成る基板を搭載すると共に、当該基板に対し、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ相対的に移動させるＸＹ移動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記ＸＹ移動手段を制御する制御手段と、を備え、
前記制御手段は、
前記基板に対し、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対的に移動させながら、前記各画素領域に対し、対応する前記ノズルから機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、前記機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、前記複数の画素領域のそれぞれの全域を機能液で満たすように描画処理を行うに当たり、
前記周縁領域に、前記主走査毎の、前記ノズルからの機能液滴の着弾を受容する、少なくとも１の着弾位置検査用の仮想画素領域を設定し、
前記各主走査において、前記各画素領域および前記仮想画素領域に対してそれぞれ機能液滴を吐出・着弾させることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
前記ＸＹ移動手段は、前記基板を、前記列方向がＸ軸方向と平行になるように搭載し、
前記制御手段は、前記各画素領域に対し、前記主走査を複数回行わせる共に、複数回に亘る前記主走査による機能液滴の着弾位置が、同一画素領域内で相互に前記行方向にずれるように、前記副走査を行わせることを特徴とする請求項２に記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記仮想画素領域を、少なくとも、前記複数の画素領域のうち１以上列のそれぞれの延長上にそれぞれ設定していることを特徴とする請求項２または３に記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記仮想画素領域を、少なくとも、前記複数の画素領域の全列それぞれの延長上にそれぞれ設定していることを特徴とする請求項４に記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記機能液滴吐出ヘッドは、複数色の機能液をそれぞれ導入した色別複数のものを、Ｘ軸方向に連ねて構成されており、
前記ＸＹ移動手段は、前記基板に対し、前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを一体としてＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させ、
前記制御手段は、
前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを制御して、前記複数の画素領域に複数色の配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させると共に、
前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の前記仮想画素領域を、前記各列の延長上に設定しており、
前記各列の複数の仮想画素領域に対し、前記配色パターンに倣って、機能液滴を吐出・着弾させることを特徴とする請求項４または５に記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記仮想画素領域を、少なくとも、前記複数の画素領域の全行それぞれの延長上にそれぞれ設定していることを特徴とする請求項２ないし６のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記機能液滴吐出ヘッドは、複数色の機能液をそれぞれ導入した色別複数のものを、Ｘ軸方向に連ねて構成されており、
前記ＸＹ移動手段は、前記基板に対し、前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを一体としてＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させ、
前記制御手段は、
前記色別複数の機能液滴吐出ヘッドを制御して、前記複数の画素領域に、前記列方向に異色となる複数色ストライプの配色パターンに基づいて、機能液滴を吐出・着弾させると共に、
前記複数の画素領域の全行それぞれの延長上に設定した前記複数の仮想画素領域に対し、前記配色パターンに倣って、機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させることを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
請求項２ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記基板上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１０】
請求項２ないし８のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、前記基板上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１１】
請求項９に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１０に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板に対し、インクジェット方式で機能液滴吐出ヘッドから基板に機能液滴を吐出・着弾させる液滴吐出装置の描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、複数の画素領域を互いに直交する行方向および列方向にマトリクス状に配列した基板に対し、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向（主走査方向）に相対的に移動させながら、各画素領域に対し、対応する複数のノズルから機能液滴を吐出・着弾させる主走査と、機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向（副走査方向）に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、各画素領域の全域を機能液で満たすように描画処理を行う液滴吐出装置により、液晶表示装置のカラーフィルタ等を製造することが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００５−２３８８２１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、このような液滴吐出装置では、描画処理の開始前に、機能液滴吐出ヘッドと基板との位置合わせを正確に行ったとしても、副走査により基板に対して機能液滴吐出ヘッドを副走査方向に移動した際に、装置自身の機械精度や、基板上の画素領域の寸法精度等に起因して、基板と機能液滴吐出ヘッドとの副走査方向における相対位置が正確な位置からずれるおそれがある。基板に対する機能液滴吐出ヘッドの相対位置が正確でないと、画素領域間（バンク）に機能液滴を吐出・着弾させることになり、バンクに着弾した機能液滴は、カラーフィルタ等においてスジむら、色むらの原因となる。
【０００４】
このため、描画処理終了後に、主走査毎の機能液滴の着弾位置を検査することで、各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとの副走査方向の相対位置を認識し、その認識結果に基づいて、主走査毎に適切な相対位置へ補正することが考えられる。しかしながら、現実には、各画素領域や各バンクに着弾した機能液滴を画像認識等しても、その正確な着弾位置を認識することは困難であった。すなわち、各画素領域には、主走査毎に、複数のノズルから複数滴の機能液滴が着弾するため、これら複数滴の機能液滴が互いに重なってしまい、また、バンクに着弾した機能液滴は、隣接する画素領域内に流れ込んでしまうため、そこから着弾位置に関する正確な情報を得ることはできなかった。
【０００５】
本発明は、各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとの副走査方向の相対位置の認識を可能とする液滴吐出装置の描画方法、液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の液滴吐出装置の描画方法は、複数の画素領域を互いに直交する行方向および列方向に配列した実描画領域と、当該実描画領域の四周を囲む周縁領域と、から成る基板に対し、複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対的に移動させながら、各画素領域に対し、対応するノズルから機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、複数の画素領域のそれぞれの全域を機能液で満たすように描画処理を行うに当たり、周縁領域に、主走査毎の、ノズルからの機能液滴の着弾を受容する、少なくとも１の着弾位置検査用の仮想画素領域を設定し、各主走査において、各画素領域および各仮想画素領域に対してそれぞれ機能液滴を吐出・着弾させることを特徴とする。
【０００７】
また、本発明の液滴吐出装置は、複数のノズルを有する機能液滴吐出ヘッドと、複数の画素領域を互いに直交する行方向および列方向に配列した実描画領域と、当該実描画領域の四周を囲む周縁領域と、から成る基板を搭載すると共に、当該基板に対し、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ相対的に移動させるＸＹ移動手段と、機能液滴吐出ヘッドおよびＸＹ移動手段を制御する制御手段と、を備え、制御手段は、基板に対し、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に相対的に移動させながら、各画素領域に対し、対応するノズルから機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に相対的に移動させる副走査と、を交互に繰り返して、複数の画素領域のそれぞれの全域を機能液で満たすように描画処理を行うに当たり、周縁領域に、主走査毎の、ノズルからの機能液滴の着弾を受容する、少なくとも１の着弾位置検査用の仮想画素領域を設定し、各主走査において、各画素領域および仮想画素領域に対してそれぞれ機能液滴を吐出・着弾させることを特徴とする。
【０００８】
これらの構成によれば、各画素領域には、その全域が機能液で満たされるように機能液を吐出するのに対し、各仮想画素領域には、着弾位置を検査できるように、すなわち、着弾した機能液滴が着弾位置を指標するように、機能液滴を吐出する。このため、描画処理終了後に、仮想画素領域に着弾した機能液滴を画像認識等することで、主走査毎の機能液滴の着弾位置を検査することができ、各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとのＹ軸方向（副走査方向）の相対位置を的確に認識することが可能となる。したがって、その認識結果に基づいて、主走査毎に適切な相対位置へ補正することで、描画動作を正確に行うことが可能となる。
【０００９】
なお、各仮想画素領域に対しては、対応するノズルが複数ある場合、そのうちの１のノズルから機能液滴を吐出・着弾させることが好ましいが、着弾した複数滴の機能液滴が互いに重なることがないのであれば、２以上のノズルから機能液滴を吐出・着弾させてもよい。さらに、各仮想画素領域に対しては、各主走査において、各ノズルから１ショットの機能液滴を吐出・着弾させることが好ましいが、着弾した複数滴の機能液滴が互いに重なることがないのであれば、２ショット以上の機能液滴を吐出・着弾させてもよい。
【００１０】
上記の液滴吐出装置において、ＸＹ移動手段は、基板を、列方向がＸ軸方向と平行になるように搭載し、制御手段は、各画素領域に対し、主走査を複数回行わせる共に、複数回に亘る主走査による機能液滴の着弾位置が、同一画素領域内で相互に行方向にずれるように、副走査を行わせることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、各画素領域において、機能液滴が行方向に隈なく着弾する。このため、各画素領域の全域を機能液で確実に満たすことができる。この構成では、高度な位置管理が求められるが、上記のように、各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとのＹ軸方向（副走査方向）の相対位置の認識を可能とする描画処理を行うため、本構成は、これに対応可能とするものである。
【００１２】
これらの場合、制御手段は、仮想画素領域を、少なくとも、複数の画素領域のうち１以上列のそれぞれの延長上にそれぞれ設定していることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、各仮想画素領域およびこれと同一列に並ぶ画素領域に対し、共通のノズルから機能液滴を着弾させることになる。このため、各画素領域に対応するノズルからの機能液滴の着弾位置を検査することができる。
【００１４】
この場合、制御手段は、仮想画素領域を、少なくとも、複数の画素領域の全列それぞれの延長上にそれぞれ設定していることが好ましい。
【００１５】
この構成によれば、複数の画素領域の全列それぞれに対応する複数の仮想画素領域に機能液滴が着弾することで、複数の画素領域の全列それぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査することができる。このため、着弾位置不良原因があるときにも、列毎の着弾位置の検査結果に基づいて、その原因を解析することができ、適切な対策をとった上で、次の基板に対して描画処理を行うことが可能となる。
【００１６】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドは、複数色の機能液をそれぞれ導入した色別複数のものを、Ｘ軸方向に連ねて構成されており、ＸＹ移動手段は、基板に対し、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを一体としてＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させ、制御手段は、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを制御して、複数の画素領域に複数色の配色パターンに基づいて機能液滴を吐出・着弾させると共に、色別複数の機能液滴吐出ヘッドに対応して、複数の仮想画素領域を、各列の延長上に設定しており、各列の複数の仮想画素領域に対し、配色パターンに倣って、機能液滴を吐出・着弾させることが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、複数の画素領域に対する複数色ストライプの配色パターンと同じ配色パターンに従って、各列の複数の仮想画素領域に対して、色別複数の機能液滴吐出ヘッドからそれぞれ機能液滴が着弾する。このため、機能液滴吐出ヘッド毎に、各主走査における基板とのＹ軸方向の相対位置を的確に認識することができる。すなわち、各主走査における基板と各機能液滴吐出ヘッドとのＹ軸方向の相対位置を認識できることに加え、色別複数の機能液滴吐出ヘッド間のＹ軸方向の相対位置（組付け精度）をも認識することができる。
【００１８】
この場合、制御手段は、仮想画素領域を、少なくとも、複数の画素領域の全行それぞれの延長上にそれぞれ設定していることが好ましい。
【００１９】
この構成によれば、複数の画素領域の全行それぞれに対応する複数の仮想画素領域に機能液滴が着弾することで、複数の画素領域の全行それぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査することができる。したがって、着弾位置不良原因があるときにも、行毎の着弾位置の検査結果に基づいて、その原因を解析することができ、適切な対策をとった上で、次の基板に対して描画処理を行うことが可能となる。
【００２０】
この場合、機能液滴吐出ヘッドは、複数色の機能液をそれぞれ導入した色別複数のものを、Ｘ軸方向に連ねて構成されており、ＸＹ移動手段は、基板に対し、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを一体としてＸ軸方向およびＹ軸方向にそれぞれ移動させ、制御手段は、色別複数の機能液滴吐出ヘッドを制御して、複数の画素領域に、列方向に異色となる複数色ストライプの配色パターンに基づいて、機能液滴を吐出・着弾させると共に、複数の画素領域の全行それぞれの延長上に設定した複数の仮想画素領域に対し、配色パターンに倣って、機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させることが好ましい。
【００２１】
この構成によれば、複数の画素領域に対する複数色ストライプの配色パターンと同じ配色パターンに従って、各行の複数の仮想画素領域に対して、色別複数の機能液滴吐出ヘッドからそれぞれ機能液滴が着弾する。このため、機能液滴吐出ヘッド毎に、機能液滴のＸ軸方向における着弾位置を検査することができる。すなわち、各主走査における基板と各機能液滴吐出ヘッドとのＸ軸方向の相対位置を認識できることに加え、色別複数の機能液滴吐出ヘッド間のＸ軸方向の相対位置（組付け精度）をも認識することができる。
【００２２】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２３】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、基板上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２４】
これらの構成によれば、各主走査における基板と機能液滴吐出ヘッドとのＹ軸方向（副走査方向）の相対位置の認識を可能とする描画処理を行う液滴吐出装置を用いたことで、その認識結果に基づいて、主走査毎に適切な相対位置へ補正することが可能となり、信頼性の高い電気光学装置を製造することができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２５】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２６】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、添付の図面を参照して、本発明を適用した液滴吐出装置について説明する。本実施形態の液滴吐出装置は、液晶表示装置等のＦＰＤの製造ラインに組み込まれた描画システムに設置されており、特殊なインクや発光性の樹脂液等の機能液を機能液滴吐出ヘッドに導入して、カラーフィルタ等の基板上にＲ・Ｇ・Ｂ３色の機能液滴による成膜部を形成するものである。そこで、まず、液滴吐出装置による機能液滴の吐出対象（描画対象）となる基板（ワーク）について簡単に説明する。
【００２８】
図１に示すように、基板Ｗは、石英ガラスやポリイミド樹脂等で構成された透明基板である。基板Ｗには、同形同サイズの複数の画素領域５０７ａをマトリクス状に、すなわち、互いに直交する行方向（図示左右方向）および列方向（図示上下方向）にそれぞれ等ピッチで配列したフィルタ領域Ｗｆ（実描画領域）と、フィルタ領域Ｗｆの四周を囲む周縁領域Ｗｂ（額縁領域）とから構成されている。また、周縁領域Ｗｂの両長辺部分には、導入された液滴吐出装置１（図２等参照）により位置認識される２つの基板アライメントマークＷｍがそれぞれ形成されている。詳細は後述するが、基板Ｗは、液滴吐出装置１に対し、複数の画素領域５０７ａの列方向がＸ軸方向と平行になるようにして、セットされる。なお、基板Ｗは、複数のフィルタ領域Ｗｆを間隙を存して作り込んだ、いわゆる複数取り形式の大型基板であってもよい。
【００２９】
各画素領域５０７ａは、区画壁部５０７ｂ（バンク５０３、図１１参照）で囲まれた平面視長方形の凹部に形成されており、その長辺が行方向と平行に、短辺が列方向と平行になっている。そして、後述する機能液滴吐出ヘッド６１（図８等参照）によりＲ（赤）・Ｇ（緑）・Ｂ（青）３色の成膜部（着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂ）を形成する際に、機能液滴の着弾領域となる（図１１参照）。なお、各画素領域５０７ａは、その短辺がマトリクスの行方向と平行で、その長辺が列方向と平行であってもよい。
【００３０】
詳細は後述するが、画素領域５０７ａ以外の部分、すなわち、周縁領域Ｗｂおよび区画壁部５０７ｂ（バンク５０３）は、疎水（疎液）性の樹脂材料で構成されているため、機能液滴が着弾しても、その機能液滴は隣接する画素領域５０７ａ内へ流れ込むようになっている。一方、画素領域５０７ａ（基板Ｗの表面）は、表面処理により親水（親液）性となっており、着弾した機能液滴は、画素領域５０７ａ内に濡れ拡がるようになっている。
【００３１】
そして、液滴吐出装置１により、列方向に異色且つ行方向にすべて同色となる３色ストライプの配色パターンで、各画素領域５０７ａに所定量の機能液滴が吐出・着弾する（図８参照）。この場合、機能液滴が着弾した３個の画素領域５０７ａ、すなわち、Ｒの機能液滴が着弾した画素領域５０７ａと、Ｇの機能液滴が着弾した画素領域５０７ａと、Ｂの機能液滴が着弾した画素領域５０７ａとにより、いわゆる画素が構成される。なお、色再現性を高めるべく、他の組み合わせ・他の色数により画素を構成してもよく、例えば、Ｒ・Ｇ・ＢにＣ（シアン）やＥ（エメラルド）を加えてもよい。
【００３２】
また、複数の画素領域５０７ａに対する配色パターンは、行方向に異色となるストライプ配列であってもよい。さらに、行方向・列方向に並んだ任意の３つの画素領域５０７ａが、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色となるモザイク配列であってもよく、複数の画素領域５０７ａが千鳥をなすデルタ配列であってもよい。
【００３３】
次に、本発明に係る液滴吐出装置について説明する。図２ないし図４に示すように、液滴吐出装置１は、機能液滴吐出ヘッド６１を搭載した描画装置２と、描画装置２に添設されたメンテナンス手段３とを備え、メンテナンス手段３により機能液滴吐出ヘッド６１の機能維持・回復を行うと共に、描画装置２により基板Ｗ上に機能液を吐出する描画処理を行うようにしている。さらに、この液滴吐出装置１には、各種データを入力するための操作パネル４や、各部を統括制御するコントローラ５（制御手段、図７参照）等が組み込まれている。
【００３４】
描画装置２は、複数（例えば１２個）の機能液滴吐出ヘッド６１およびこれを搭載したキャリッジ５２から成る複数（例えば５個）のキャリッジユニット１１と、床上に設置され、基板ＷをＸ軸方向に移動させるＸ軸テーブル１３、およびＸ軸テーブル１３を跨ぐようにして配設され、５個のキャリッジユニット１１を個々にＹ軸方向に移動させるＹ軸テーブル１４から成るＸＹ移動機構１２と、基板Ｗやキャリッジユニット１１等を画像認識する画像認識手段１５とを備えている。
【００３５】
そして、Ｘ軸テーブル１３による基板Ｗの移動軌跡と、Ｙ軸テーブル１４によるキャリッジユニット１１の移動軌跡とが交わる領域が、描画処理を行う描画エリア２１となっており、また、Ｙ軸テーブル１４によるキャリッジユニット１１の移動軌跡上のＸ軸テーブル１３から外側に外れた領域が、メンテナンスエリア２２となっており、このメンテナンスエリア２２にメンテナンス手段３の一部が設置されている。一方、Ｘ軸テーブル１３の手前側の領域は、液滴吐出装置１に対する基板Ｗの搬出入を行う基板搬出入エリア２３となっている。
【００３６】
Ｘ軸テーブル１３は、床上に設置された石定盤３１上に設けられており、搬入された基板Ｗを吸着セットする吸着テーブル３２と、吸着テーブル３２の下部に接続され、吸着テーブル３２を介してモータ駆動で基板Ｗのθ位置を微調整（θ補正）する基板θ軸テーブル３３と、基板θ軸テーブル３３を支持するセットテーブル３４と、セットテーブル３４をＸ軸方向にスライド自在に支持するＸ軸スライダ３５と、Ｘ軸方向に延在し、吸着テーブル３２を介して基板ＷをＸ軸方向に移動させる左右一対のＸ軸リニアモータ（図示省略）と、Ｘ軸リニアモータに並設され、Ｘ軸スライダ３５の移動を案内する一対のＸ軸ガイドレール３６と、吸着テーブル３２の位置を把握するためのＸ軸リニアスケール３７（図７参照）とを備えている。そして、一対のＸ軸リニアモータを駆動すると、一対のＸ軸ガイドレール３６をガイドにしながら、Ｘ軸スライダ３５をＸ軸方向に移動し、吸着テーブル３２にセットされた基板ＷがＸ軸方向に移動する。
【００３７】
なお、後述するメンテナンス手段３を構成する待機時フラッシングボックス９８および一対の描画時フラッシングボックス９９が、吸着テーブル３２の前後両側およびセットテーブル３４上の描画エリア２１側端部にそれぞれ設けられている。
【００３８】
一方、Ｙ軸テーブル１４は、Ｙ軸方向に延在する前後一対の支持スタンド４１上に支持されており、描画エリア２１およびメンテナンスエリア２２間を掛け渡すと共に、描画エリア２１と、メンテナンス手段３の各ユニットの直上部との相互間で、５個のキャリッジユニット１１を個々に移動させるものである。
【００３９】
Ｙ軸テーブル１４は、５個のキャリッジユニット１１をそれぞれ垂設する５個のブリッジプレート４４と、図示しないが、５個のブリッジプレート４４がＹ軸方向に整列するよう、これを両持ちで支持する５組のＹ軸エアースライダと、Ｙ軸方向に延在し、各組のＹ軸エアースライダを介して各ブリッジプレート４４をＹ軸方向に移動させる前後一対のＹ軸リニアモータと、Ｙ軸方向に延在し、５個のブリッジプレート４４の移動を案内する前後各２本のＹ軸ガイドレールと、各キャリッジユニット１１の移動位置を検出するＹ軸リニアスケール４５（図７参照）とを備えている。なお、５個のキャリッジユニット１１は、相互の物理的干渉を回避すべく、千鳥状にＹ軸方向に並んでいる。
【００４０】
そして、各エアースライダを移動させることで、各キャリッジユニット１１をＹ軸方向に移動させることができ、これに搭載された１２個の機能液滴吐出ヘッド６１が一体としてＹ軸方向に移動する。なお、当然ではあるが、５個のキャリッジユニット１１を一括してＹ軸方向に移動させることも可能である。
【００４１】
各キャリッジユニット１１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１を有するヘッドユニット５１と、ヘッドユニット５１を搭載するキャリッジ５２とから構成されている。各キャリッジ５２は、ヘッドユニット５１を保持すると共に、モータ駆動でヘッドユニット５１のθ位置を微調整（θ軸補正）するヘッドθ軸テーブル５３と、モータ駆動でヘッドユニット５１の上下位置を微調整（基板Ｗ表面と後述するノズル面８３とのワークギャップ調整）するヘッドＺ軸テーブル５４とを有している。なお、図示しないが、各キャリッジ５２には、画像認識を前提として、各キャリッジユニット１１を位置決め（位置認識）するための基準となる２個の基準ピンが設けられている。
【００４２】
図５に示すように、各ヘッドユニット５１は、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１と、ステンレス等から成る平面視略平行四辺形の厚板で構成され、１２個の機能液滴吐出ヘッド６１を位置決めするヘッドプレート６２とを有している。そして、ヘッドユニット５１は、ヘッドプレート６２を介してキャリッジ５２に着脱自在に搭載される。各機能液滴吐出ヘッド６１は、キャリッジ５２に搭載された状態では、ノズル列８４がＹ軸方向と平行になるようにヘッドプレート６２に固定されている。もっとも、ノズル列８４がＹ軸方向に対して傾くようにしてもよい。
なお、同図では、説明の便宜上、各機能液滴吐出ヘッド６１を、８個のノズル８５から成るノズル列８４が１列形成されたものとして表しているが、実際には、後述するように、１８０個のノズル８５から成るノズル列８４が２列形成されたものである。
【００４３】
１２個の機能液滴吐出ヘッド６１は、３個ずつ４群のヘッド群６３に分割されている。各群３個の機能液滴吐出ヘッド６１は、Ｘ軸方向に連なると共にＹ軸方向において互いに同位置に配置されており、同図の上側から順に、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液がそれぞれ導入されている。そして、図示左側から数えて１群目および２群目のヘッド群６３は、各色２個の機能液滴吐出ヘッド６１の複数のノズル８５がＹ軸方向に連続するように、ヘッド群単位でＸ軸方向にずらしながら階段状に配設され、さらに、３群目および４群目のヘッド群６３は、機能液滴吐出ヘッド６１間の物理的干渉を避けるべく、１群目および２群目のヘッド群６３に対しＹ軸方向に列替えすると共に間隙（略５ヘッド分）を存して、上記と同様の階段状に配設されている。
【００４４】
なお、機能液滴吐出ヘッド６１の個数や配置はこれに限定されるものではなく、任意である。また、いずれの機能液滴吐出ヘッド６１にも同色の機能液を導入し、単色の機能液を描画可能な３台の液滴吐出装置１により、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の描画処理を行うようにしてもよい。さらに、詳細は後述するが、Ｒ・Ｇ・Ｂ３色の機能液のほか、種々の機能液を機能液滴吐出ヘッド６１に導入可能である。
【００４５】
そして、基板Ｗのサイズに応じて、稼動させるキャリッジユニット１１の個数を増減することで、基板Ｗの端から端まで一括して描画処理を行うことが可能である、もっとも、上述したように、４群のヘッド群６３が２群目と３群目との間で分断されていることから、フィルタ領域Ｗｆの全画素領域５０７ａに機能液滴を一括して着弾させることはできないため、副走査（改行走査）を行う必要がある（詳細は後述する）。
【００４６】
図６に示すように、機能液滴吐出ヘッド６１は、いわゆる２連のものであり、２連の接続針７２を有する機能液導入部７１と、機能液導入部７１の側方に連なる２連のヘッド基板７３と、機能液導入部７１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体７４とを備えている。接続針７２は、上記の各ブリッジプレート４４上に設置され各色の機能液を貯留する機能液タンク（図示省略）に接続されており、機能液滴吐出ヘッド６１のヘッド内流路に機能液を供給する。
【００４７】
ヘッド本体７４は、ピエゾ素子等で構成された２連のポンプ部８１と、２本のノズル列８４を相互に平行に形成したノズル面８３を有するノズルプレート８２とを有している。各ノズル列８４は複数（例えば１８０個）のノズル８５が等ピッチ（例えば１４０μｍ）で並べられて構成されている。そして、両ノズル列８４は、互いにノズル列方向に半ピッチ（７０μｍ）分ずれている。すなわち、２本のノズル列８４によるノズルピッチが、７０μｍとなっている。
【００４８】
また、ヘッド基板７３には、２連のコネクタ７５が設けられており、各コネクタ７５はフレキシブルフラットケーブルにより後述するヘッドドライバ１１１（図７参照）に接続されている。そして、コントローラ５からヘッドドライバ１１１を介して各ポンプ部７１に駆動波形が印加され、各ノズル８５から機能液滴が吐出される。
【００４９】
そして、詳細は後述するが、描画装置２は、Ｘ軸テーブル１３により基板ＷをＸ軸方向に移動させながら、各機能液滴吐出ヘッド６１が臨む各画素領域５０７ａに対し、対応する複数のノズル８５から機能液滴をそれぞれ吐出・着弾させる主走査と、Ｙ軸テーブル１４によりキャリッジユニット１１をＹ軸方向に移動させる副走査とを繰り返し行って、各画素領域５０７ａの全域を機能液で満たすように描画処理を行う。なお、１回の主走査においては、基板Ｗの往動または復動を１回だけ行ってもよく、往動および／または復動を複数回行ってもよい。
【００５０】
図２ないし図４に示すように、画像認識手段１５は、基板搬出入エリア２３の前後両側に臨むように配設され、基板Ｗの両長辺部分にそれぞれ形成された２つの基板アライメントマークＷｍをそれぞれ画像認識する２台の基板認識カメラ９１と、Ｘ軸テーブル１３のＸ軸スライダ３５に連結され、各キャリッジ５２の２つの基準ピンを画像認識するヘッド認識カメラ９２（図７参照）とを有している。これらの各種カメラの画像認識結果に基づいて、基板Ｗや各キャリッジユニット１１の位置補正が行われる。
【００５１】
メンテナンス手段３は、メンテナンスエリア２２に配設され、機能液滴吐出ヘッド６１内で増粘した機能液を除去するための吸引を行う５個の吸引ユニット９５と、機能液滴吐出ヘッド６１のノズル面８３を払拭する２個のワイピングユニット９６と、ワイピングユニット９６の描画エリア２１側に配設された飛行観測ユニット９７とを備えている。
【００５２】
さらに、メンテナンス手段３は、上記のセットテーブル３４上に配設された待機時フラッシングボックス９８と、吸着テーブル３２の前後両側に配設された一対の描画時フラッシングボックス９９とを有している。この待機時フラッシングボックス９８に対し、描画待機時（基板Ｗの載替え時等）にフラッシング（捨て吐出）が行われると共に、各描画時フラッシングボックスに対し、機能液滴吐出ヘッド６１の基板Ｗへの機能液滴の吐出の直前・直後に多数ショットのフラッシングが行われる。
【００５３】
次に、図７を参照して、液滴吐出装置１全体の制御系について説明する。液滴吐出装置１の制御系は、基本的に、各種データを入力する操作パネル４を有する入力部１０１と、画像認識手段１５の各種カメラを有して基板Ｗや各キャリッジユニット１１の位置認識を行う位置検出部１０２と、Ｘ軸リニアスケール３７およびＹ軸リニアスケール４５を有して吸着テーブル３２および各キャリッジユニット１１の刻々の位置を検出する移動検出部１０３と、機能液滴吐出ヘッド６１、ＸＹ移動機構１２等を駆動する各種ドライバを有する駆動部１０４と、これら各部を含め液滴吐出装置１を統括制御する制御部１０５（コントローラ５）とを備えている。
【００５４】
駆動部１０４は、機能液滴吐出ヘッド６１を吐出駆動制御するヘッドドライバ１１１と、ＸＹ移動機構１２の各モータをそれぞれ駆動制御するモータドライバ１１２とを有している。ヘッドドライバ１１１は、制御部１０５の指示に従って所定の駆動波形を生成・印加して、機能液滴吐出ヘッド６１を吐出駆動制御する。また、モータドライバ１１２は、Ｘ軸モータドライバ１１３、Ｙ軸モータドライバ１１４、基板θ軸モータドライバ１１５、ヘッドθ軸モータドライバ１１６およびヘッドＺ軸モータドライバ１１７を有し、これらは制御部１０５の指示に従って、Ｘ軸テーブル１３のＸ軸リニアモータ、Ｙ軸テーブル１４のＹ軸リニアモータ、基板θ軸テーブル３３の駆動モータ、ヘッドθ軸テーブル５３の駆動モータおよびヘッドＺ軸テーブル５４の駆動モータを駆動制御する。
【００５５】
制御部１０５は、ＣＰＵ１２１と、ＲＯＭ１２２と、ＲＡＭ１２３と、Ｐ−ＣＯＮ１２４とを備え、これらは互いにバス１２５を介して接続されている。ＲＯＭ１２２は、ＣＰＵ１２１で処理する制御プログラム等を記憶する制御プログラム領域と、描画処理や画像認識を行うための制御データ等を記憶する制御データ領域とを有している。
【００５６】
ＲＡＭ１２３は、各種レジスタ群のほか、描画処理のための描画データを記憶する描画データ領域、画像データを一時的に記憶する画像データ領域、基板Ｗや各キャリッジユニット１１を位置補正するための補正データを記憶する補正データ領域等を有し、制御処理のための各種作業領域として使用される。
【００５７】
Ｐ−ＣＯＮ１２４には、ＣＰＵ１２１の機能を補うと共に、周辺回路とのインタフェース信号を取り扱うための論理回路が構成されて組み込まれている。このため、Ｐ−ＣＯＮ１２４は、画像データや入力部１０１からの各種指令等をそのままあるいは加工してバス１２５に取り込むと共に、ＣＰＵ１２１と連動して、ＣＰＵ１２１等からバス１２５に出力されたデータや制御信号を、そのままあるいは加工して駆動部１０４に出力する。
【００５８】
そして、ＣＰＵ１２１は、ＲＯＭ１２２内の制御プログラムに従って、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して各種検出信号、各種指令、各種データ等を入力し、ＲＡＭ１２３内の各種データ等を処理した後、Ｐ−ＣＯＮ１２４を介して駆動部１０４等に各種の制御信号を出力することにより、液滴吐出装置１全体を制御している。例えば、ＣＰＵ１２１は、機能液滴吐出ヘッド６１、Ｘ軸テーブル１３およびＹ軸テーブル１４を制御して、所定の液滴吐出条件および所定の移動条件で基板Ｗに描画を行う。
【００５９】
ここで、図８および図９を参照して、本実施形態に係る液滴吐出装置１による描画方法について詳細に説明する。本実施形態の描画方法では、各画素領域５０７ａに対し、各画素領域５０７ａの全域を機能液で満たすように機能液滴を吐出・着弾させるのに対し、後述する仮想画素領域２０７に対しては、着弾位置を検査できるように機能液滴を吐出・着弾させるものである。
【００６０】
なお、同図では、１のキャリッジユニット１１のみについて述べるが、大型の基板Ｗに対して描画処理を行う場合には、他のキャリッジユニット１１も同様に描画動作を行うものである。また、図５と同様に、各機能液滴吐出ヘッド６１には、８個のノズル８５が形成されているものとし、さらに、各画素領域５０７ａには、３個のノズル８５が対応しているものとする。
【００６１】
まず、液滴吐出装置１に基板Ｗが導入され、吸着テーブル３２にセットされると、画像認識手段１５の各種カメラによって画像認識がなされ、基板Ｗおよびキャリッジユニット１１の位置補正（アライメント）が行われる（図２ないし図４参照）。
【００６２】
ここで、上述したように、４群のヘッド群６３が２群目と３群目との間で分断されていることから、全画素領域５０７ａに一括して機能液滴を着弾させることはできない。このため、フィルタ領域ＷｆをＹ軸方向に略均等に複数（例えば６個）の仮想分割部位Ｗａ１〜Ｗａ６に区分すると共に、副走査（改行走査）を行いながら、図示左側から１番目および４番目の仮想分割部位Ｗａ１，Ｗａ４に対する描画と、２番目および５番目の仮想分割部位Ｗａ２，Ｗａ５に対する描画と、３番目および６番目の仮想分割部位Ｗａ３，Ｗａ６に対する描画とを、順々に行うようになっている。上記のアライメントが終了した時点では、各機能液滴吐出ヘッド６１は、図示左側から１番目および４番目の仮想分割部位Ｗａ１，Ｗａ４に臨んでいる。
【００６３】
また、各画素領域５０７ａに対し、所定量の機能液を吐出すべく、主走査を複数回（例えば６回）行う。このとき、その全域を機能液で確実に満たすことができるようにすべく、６回に亘る主走査による機能液滴の着弾位置が、同一画素領域５０７ａ内で相互に行方向（Ｙ軸方向）にずれるように、キャリッジユニット１１を移動させる。
【００６４】
したがって、基板Ｗに対して、３回の主走査および２回の副走査から成る描画サイクルを、６サイクル行うことになる。すなわち、１の描画処理のなかで、１８回の主走査が行われることになる。
【００６５】
なお、同図では、各サイクル内での各仮想分割部位Ｗａ１〜Ｗａ６への描画の順序は任意である。さらに、上記の描画サイクル形式ではなく、同一の仮想分割部位（例えばＷａ１，Ｗａ４）に対して、６回の主走査を完了させた後、次の仮想分割部位（例えばＷａ２，Ｗａ５）に移るようにしてもよい。この場合、６回の主走査間に、各キャリッジユニット１１を微小移動させる副走査を行うことになる。
【００６６】
このようにして、各画素領域５０７ａに対し、機能液滴吐出ヘッド６１による描画処理が行われる。すなわち、各画素領域５０７ａに対し、これに臨む３個のノズル８５から機能液滴を吐出・着弾させる。一方、各区画壁部５０７ｂに臨むノズル８５からは、機能液滴を吐出しないようにする。なお、図９では、各主走査において、各画素領域５０７ａに対し、対応する各ノズル８５から１ショットの機能液滴を吐出・着弾させるものとして示しているが、実際には、複数ショット（例えば４ないし６ショット）の機能液滴を吐出・着弾させている。
【００６７】
さらに、複数回に亘る主走査において、各画素領域５０７ａに対する機能液滴の吐出・着弾に加えて、周縁領域Ｗｂ上にも機能液滴を吐出・着弾させる。すなわち、制御部１０５は、周縁領域Ｗｂ上に、着弾位置検査用の機能液滴を吐出・着弾させるための複数の仮想画素領域２０７を設定（想定）する。複数の仮想画素領域２０７は、複数の画素領域５０７ａの全列それぞれの延長上（いずれも図示上側）に、色別の機能液滴吐出ヘッド６１に対応して、それぞれ３個設定された上仮想画素領域２０７ｔと、全行それぞれの延長上（いずれも図示右側）にそれぞれ設定された右仮想画素領域２０７ｒとから構成されている。
【００６８】
なお、各仮想画素領域２０７は、各画素領域５０７ａと同形同サイズにしている。また、同一列に並ぶ上仮想画素領域２０７ｔ同士の間隔、および各上仮想画素領域２０７ｔとこれと同一列に並ぶ各画素領域５０７ａとの間隔は、列方向の画素領域５０７ａ間ピッチに等しく、同様に、各右仮想画素領域２０７ｒと、これと同一行に並ぶ各画素領域５０７ａとの間隔は、行方向の画素領域５０７ａ間ピッチに等しくなるようにしている。
【００６９】
１番目および４番目の仮想分割部位Ｗａ１，Ｗａ４の各画素領域５０７ａに対する描画の際、各列の３個の上仮想画素領域２０７ｔに対し、対応する３個のノズル８５のうち１個のノズル８５から機能液滴を吐出・着弾させる。すなわち、色別の機能液滴吐出ヘッド６１を制御して、各列３個の上仮想画素領域２０７ｔに対し、上記のストライプ配色パターンに従って、機能液滴を吐出・着弾させる。２番目および５番目の仮想分割部位Ｗａ２，Ｗａ５の各画素領域５０７ａに対する描画の際、３番目および６番目の仮想分割部位Ｗａ３，Ｗａ６の各画素領域５０７ａに対する描画の際も同様である。なお、各仮想画素領域２０７に対応する３個のノズル８５のうち、機能液滴を吐出・着弾させる１個のノズル８５は、着弾した機能液滴が相互に極力離間するように、適宜変更することが好ましい。
【００７０】
さらに、３番目および６番目の仮想分割部位Ｗａ３，Ｗａ６の各画素領域５０７ａに対する描画の際には、各右仮想画素領域２０７ｒに対し、対応する３個のノズル８５のうち１個のノズル８５から機能液滴を吐出・着弾させる。すなわち、色別の機能液滴吐出ヘッド６１を制御して、複数の右仮想画素領域２０７ｒに対しては、複数の画素領域５０７ａに対するストライプ配色パターンに従って、機能液滴を吐出・着弾させる。
【００７１】
なお、各仮想画素領域２０７に対しては、着弾した機能液滴が互いに重ならないようにすべく、各主走査において、各ノズルから１ショットの機能液滴を吐出・着弾させることが好ましい。同様に、対応する３個のノズル８５のうち１のノズル８５から機能液滴を吐出・着弾させることが好ましいが、着弾した複数滴の機能液滴が互いに重なることがないのであれば、２以上のノズル８５から機能液滴を吐出・着弾させてもよい。この場合、２列のノズル列８４のそれぞれのノズル８５から吐出させることが好ましい。
【００７２】
以上のように描画処理を行うことで、各画素領域５０７ａでは、着弾した機能液滴が互いに重なるようにして、機能液によって全域が満たされている。なお、各画素領域５０７ａの表面が親液性となっているため、着弾した機能液滴が重なり合いやすく（濡れ拡がりやすく）なっている。一方、各仮想画素領域２０７では、着弾した機能液滴は、互いに重なるようなことがなく、着弾位置を指標可能となっている。なお、各仮想画素領域２０７は疎液性となっているため、着弾した機能液滴が重なり合いにくく（濡れ拡がりにくく）なっている。
【００７３】
このため、描画処理終了後（例えば、後述する機能液定着のための乾燥処理後）に、仮想画素領域２０７に着弾した機能液滴を適切に画像認識等することが可能となる。これにより、主走査毎の機能液滴の着弾位置を検査することができ、各主走査における基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド６１とのＹ軸方向の相対位置を的確に認識することが可能となる。すなわち、各副走査が正確に行われたか否かを認識することが可能となる。したがって、その認識結果に基づいて、例えばキャリッジユニット１１の主走査毎の位置データを補正して、主走査毎に適切な相対位置へ補正することで、描画動作を正確に行うことが可能となる。
【００７４】
特に、本実施形態では、複数回に亘る主走査による機能液滴の着弾位置が、同一画素領域５０７ａ内で相互に行方向（Ｙ軸方向）にずれるように、キャリッジユニット１１を副走査させているため、高度な位置管理が求められるが、本描画方法は、これに対応可能とするものである。
【００７５】
なお、仮想画素領域２０７は、複数の画素領域５０７ａの行または列からずれた位置に設定してもよく、周縁領域Ｗｂの隅部に設定するようにしてもよい。もっとも、各行の延長上に設定することで、各上仮想画素領域２０７ｔおよびこれと同一列に並ぶ画素領域５０７ａに対し、共通のノズル８５から機能液滴を着弾させることになる。このため、各画素領域５０７ａに対応するノズル８５からの機能液滴の着弾位置を検査することができる。
【００７６】
また、１番目から３番目の仮想分割部位Ｗａ１〜Ｗａ３毎にそれぞれ１個の上仮想画素領域２０７ｔを設定するようにしてもよい。すなわち、各主走査において、１個の上仮想画素領域２０７ｔに対して機能液滴を着弾させるようにしてもよい。さらに、複数の機能液滴吐出ヘッド６１の複数のノズル８５による描画ラインが連続したいわゆるフルライン形式のものであれば、改行走査が不要（仮想分割部位Ｗａ１〜Ｗａ６の設定が不要）であるため、基板Ｗ全体で１個の上仮想画素領域２０７ｔを設定してもよい。
【００７７】
もっとも、本実施形態のように、複数の上仮想画素領域２０７ｔに機能液滴を着弾させることで、複数の画素領域５０７ａの全列それぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査することができる。また、本実施形態では、複数の画素領域５０７ａの全行それぞれに対応する複数の右仮想画素領域２０７ｒを設定し、各右仮想画素領域２０７ｒに対して機能液滴を着弾させているため、複数の画素領域５０７ａの全行それぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査することができる。
【００７８】
このように、各主走査における基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド６１との副走査方向の相対位置の認識を可能とする描画処理を行うことができることに加えて、複数の画素領域５０７ａの全行および全列のそれぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査することができる。このため、着弾位置不良原因があるときにも、行毎および列毎の着弾位置の検査結果に基づいて、その原因を解析することができ、適切な対策をとった上で、次の基板Ｗに対して描画処理を行うことが可能となる。
【００７９】
例えば、基板Ｗの往動時と復動時とで、着弾位置がＸ軸方向にずれている場合には、往動時と復動時とで、吐出瞬間から機能液着弾までの時間が異なったり、装置雰囲気の流れが異なったりすることが原因であると考えられる。この場合、往動時および／または復動時について、Ｘ軸テーブル１３の位置データの補正値を設定する。
【００８０】
また、あるノズル８５からの着弾位置が、常にずれている場合には、そのノズル８５に機能液が付着したことによる飛行曲がりが原因であると考えられる。この場合、上記の吸引ユニット９５およびワイピングユニット９６によりノズル面８３をクリーニングする。このとき、クリーニングをしても着弾位置のずれが解消しない場合には、ノズル８５の加工精度が原因であると考えられる。この場合、その機能液滴吐出ヘッド６１を交換する。なお、飛行観測ユニット９７により、飛行曲がりの有無等を確認するようにしてもよい。
【００８１】
さらに、着弾位置がランダムにずれているノズル８５がある場合には、そのノズル８５のメニスカスが安定していなかったり、機能液濃度のばらつき、機能液への微小なゴミの混入等が原因であると考えられる。この場合、ずれ量を考慮して各画素領域５０７ａのより内側に描画する、ワークギャップを極力小さくする、機能液滴が安定して飛行するような駆動波形を設計する、等の対策を行う。なお、機能液滴が安定して飛行するような駆動波形としては、例えば、前回の吐出の残留振動が少ない駆動波形、隣接するノズル８５の振動の影響の少ない駆動波形、ミスト（細かい霧状の機能液滴）が発生しにくい駆動波形等が考えられる。
【００８２】
また、すべての機能液滴吐出ヘッド６１からの着弾位置が、一様にずれている場合には、基板Ｗおよび各キャリッジユニット１１のアライメントがずれていることが考えられる。この場合、基板Ｗおよび各キャリッジユニット１１のアライメント位置を補正する。
【００８３】
さらに、３色ストライプの配色パターンと同じ配色パターンで、色別の機能液滴吐出ヘッド６１から複数の上仮想画素領域２０７ｔおよび複数の右仮想画素領域２０７ｒに対してそれぞれ機能液滴が着弾するため、機能液滴吐出ヘッド６１毎に、機能液滴のＹ軸方向およびＸ軸方向における着弾位置を検査することができる。このため、色別の機能液滴吐出ヘッド６１間の相対位置（組付け精度）を認識することができる。
【００８４】
すなわち、ある機能液滴吐出ヘッド６１の複数のノズル８５からの着弾位置が一様にずれている場合で、クリーニングをしても着弾位置のずれが解消しないときには、機能液滴吐出ヘッド６１の組付け精度が原因であると考えられる。この場合、その機能液滴吐出ヘッド６１を交換する。もちろん、上記のように、すべての機能液滴吐出ヘッド６１に同色の機能液を導入した場合にも、同様にして、機能液滴吐出ヘッド６１間の相対位置（組付け精度）を認識することが可能である。
【００８５】
以上のように、本実施形態の液滴吐出装置１によれば、各主走査における基板Ｗと機能液滴吐出ヘッド６１との副走査方向の相対位置の認識を可能とすると共に、複数の画素領域５０７ａの全行および全列のそれぞれについて、機能液滴の着弾位置を検査可能とする描画処理を行うことができる。
【００８６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００８７】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００８８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド２８により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００８９】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００９０】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド２８によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド２８を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００９２】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００９３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００９４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００９５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００９６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００９７】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド２８で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド２８で行うことも可能である。
【００９８】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００９９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【０１００】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【０１０１】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【０１０２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【０１０３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【０１０４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【０１０５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【０１０６】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【０１０７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【０１０８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【０１０９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【０１１０】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【０１１１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【０１１２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【０１１３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【０１１４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【０１１５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【０１１６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【０１１７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【０１１８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１１９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１２０】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド２８を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１２１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル３２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１２２】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド２８から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１２３】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１２４】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１２５】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１２６】
同様に、機能液滴吐出ヘッド２８を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１２７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１２８】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１２９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１３０】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１３１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１３２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１３３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１３４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル３２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド２８により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１３５】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１３６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド２８から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１３７】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１３８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１３９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１４０】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１４１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１４２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１４３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１４４】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴吐出装置の描画対象となる基板の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置の外観斜視図である。
【図３】液滴吐出装置の平面図である。
【図４】液滴吐出装置の側面図である。
【図５】液滴吐出装置に搭載されたヘッドユニットの平面模式図である。
【図６】液滴吐出装置に搭載された機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図７】液滴吐出装置の制御系について説明したブロック図である。
【図８】基板に対する液滴吐出装置の描画処理を説明する図である。
【図９】図８において描画処理がなされた基板の一部拡大図である。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１４５】
１…液滴吐出装置  ５…コントローラ  １２…ＸＹ移動機構  ６１…機能液滴吐出ヘッド  ８５…ノズル  ２０７…仮想画素領域  ５０７ａ…画素領域  Ｗ…基板  Ｗｂ…周縁領域  Ｗｆ…フィルタ領域
【図１】
2007117880.tif 000003
【図２】
2007117880.tif 000004
【図３】
2007117880.tif 000005
【図４】
2007117880.tif 000006
【図５】
2007117880.tif 000007
【図６】
2007117880.tif 000008
【図７】
2007117880.tif 000009
【図８】
2007117880.tif 000010
【図９】
2007117880.tif 000011
【図１０】
2007117880.tif 000012
【図１１】
2007117880.tif 000013
【図１２】
2007117880.tif 000014
【図１３】
2007117880.tif 000015
【図１４】
2007117880.tif 000016
【図１５】
2007117880.tif 000017
【図１６】
2007117880.tif 000018
【図１７】
2007117880.tif 000019
【図１８】
2007117880.tif 000020
【図１９】
2007117880.tif 000021
【図２０】
2007117880.tif 000022
【図２１】
2007117880.tif 000023
【図２２】
2007117880.tif 000024
【図２３】
2007117880.tif 000025
【図２４】
2007117880.tif 000026
【図２５】
2007117880.tif 000027
【図２６】
2007117880.tif 000028
【図２７】
2007117880.tif 000029