(57)【要約】【課題】球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供する。【解決手段】弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し、環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提供するものである。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、
前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し
環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、
経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子。
【請求項２】
感応膜が複数種類有することを特徴とする請求項１記載の球状弾性表面波素子。
【請求項３】
経路どうしの交点には感応膜を有しないことを特徴とする請求項１または２記載の球状弾性表面波素子。
【請求項４】
光が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する透明３次元基材の表面に、
前記光を投入検出する光入力手段を有し
環境変化に従って光の伝搬状態が変化する感応膜を有する球状光素子であって、
経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状光素子。
【請求項５】
感応膜が複数種類有することを特徴とする請求項４記載の球状光素子。
【請求項６】
経路どうしの交点には感応膜を有しないことを特徴とする請求項４または５記載の球状光素子。
【請求項７】
請求項３記載の球状表面弾性波素子の製造方法において、３次元基材に感応膜をインクジェットを用いてパターン形成し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状表面弾性波素子の製造方法。
【請求項８】
請求項６記載の球状光素子の製造方法において、３次元透明基材に感応膜をインクジェットを用いてパターン形成し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状光素子の製造方法。
【請求項９】
請求項３記載の球状表面弾性波素子の製造方法において、３次元基材に感応膜を全面に形成した後、交点に形成した感応膜を、光の照射によって除去するかあるいは不活性化し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状表面弾性波素子の製造方法。
【請求項１０】
請求項６記載の球状光素子の製造方法において、３次元透明基材に感応膜を全面に形成した後、交点に形成した感応膜を、光の照射によって除去するかあるいは不活性化し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状光素子の製造方法。
【請求項１１】
光入力手段が光の照射を結晶球の表面に集束して照射するものであり、励起された周回信号を電極で受信して伝搬速度を測定することを特徴とする請求項３から６何れか記載の球状光素子を用いた環境測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、近年、平板形状ではなく、球形状の圧電性結晶基材の表面にすだれ状電極が形成された球状表面弾性波素子が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この球状表面弾性波素子は、駆動信号としての高周波バースト信号がすだれ状電極に印加されると、すだれ状電極から表面弾性波（Ｓｕｒｆａｃｅ  Ａｃｏｕｓｔｉｃ  Ｗａｖｅ）が励起され、表面弾性波が基材表面の円環状領域を多重に周回する。ここで、表面弾性波は、基材表面の状態に応じて多重周回する速度が変化する。同様に、表面弾性波は、基材表面への分子の付着等により、円環状領域の周長が表面弾性波の波長の整数倍になるとき、共鳴周波数が変化する球状表面弾性波素子、および光の励起により同様に基材表面の円環状領域を多重に周回する速度が変化し、波長の整数倍になるとき、共鳴周波数が変化す球状光素子に関する技術についてのものである。
【背景技術】
【０００２】
球形表面上を弾性表面波を周回させることによって長い伝搬距離を実現し、伝搬過程の表面の弾性物性の変化を伝搬する速度の高い分解能によって検出して評価する球状弾性表面波素子が提案されている。
【０００３】
球の表面にはたとえばパラジウム薄膜を形成することで超高感度の水素ガスセンサーを実現したり、あるいは、匂い分子を吸着してその質量負荷効果による伝播速度の低下を測定することで検出する匂いセンサーが提案されている。
【０００４】
また、下記特許に示すように、透明球形材料の内部に光ファイバーを接近させ、球形内部に回廊波を励起して多重周回させ、周回過程での球の表面の誘電率の変化を光吸収波長の変化から測定するセンサーが考案されている。
【０００５】
このような球形状したデバイスを実用化する利点の一つは、たとえばＬｉＮｂ3結晶のように一個の球形基材上に複数の経路を形成可能なことである。
【０００６】
たとえば弾性表面波素子の場合に球の直径と弾性表面波の波長に依存した所定のビーム幅で弾性表面波を励起すると、弾性表面波は広がらずに一定の幅の円環領域内部を多重周回して、同一の球形表面に形成した他の周回経路と干渉しない。このため、複数の周回経路を一個の球形基材表面に形成し、夫々の経路上に別個の感応膜を形成することによる異なる感応膜の反応に基づいた多機能のセンサー素子を実現することが出来る。
【０００７】
光の場合においても周回する光が所定の周回経路のみを伝搬することは明らかにされており、同じように多機能素子（複数の感応特性を持ったセンシング機能を一個の素子上に形成する。）を実現することは言うまでもない。
【０００８】
これとは別に、特許文献２の様に、球状表面弾性波素子で校正用に複数の周回経路を持つ技術もしられている。
【０００９】
特許文献は以下の通り。
【特許文献１】特開２００４−６１３７０号公報
【特許文献１】特開２００５−１０１９７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、実際に複数経路を用いた球状弾性表面波素子を実現するためにたとえば、匂い分子を検出する為複数の有機感応膜材料を形成する為には球表面上において所定の経路上に所定の感応膜のみを形成するあるいは、その伝搬距離を長くして他の感応膜が経路上で長い伝搬距離を持たせないようにする必要がある。単一の経路に複数の感応膜が混在して存在する場合、それら感応膜の特性が重畳されて出力され当該すだれ状電極からの出力を単一の感応膜の応答ととらえることが困難になる。
【００１１】
感応膜の従来の形成方法として、図７に示すように（Ｐｄ膜などの場合）蒸着方法を、蒸着源４０３から気化して蒸着雰囲気４０２を出し、マスク４０２を用いて球状部材４０１に蒸着する技術を採用することが出来る。しかし、これらは球形素子の直径が１ｍｍよりも小さい場合はマスク合わせが非常に困難となり、球の周回にわたって形成できない難点を持ち、さらに膜厚が均一にならない欠点を有する。特に蒸着法のように過熱を必要とする製膜方法の場合には感応膜の分子構造を侵す致命的な難点を持っていた。
【００１２】
あるいは、薄く形成した感応膜材料に対して素子を浸漬して引き上げ、乾燥させる方法、スピンコーターを用いて遠心力のよって形成する方法があるが、何れも、球表面の限られた部位に対して感応膜を形成する方法としてしようすることが出来ない難点を持っていた。しかし、これらの感応膜は所定の匂い分子に対して吸着によって結合させる為に表面の分子状態によってその機能が著しく影響されることから、フォトリソプロセスのように別個の薬品処理によって処理することで吸着特性が変化することからパターニングが非常に困難だった。
【００１３】
本発明は、このような問題点を解決するためになされたものであり、球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を製造する方法を提供することを目的としている。
【００１４】
従って、個別の素子に個別の感応膜を形成する場合に比較して、一個の素子で実現できるだけでなく、温度など全く同じ条件で複数のセンシングを実現できることから高精度でもある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記のような課題を解決するために、請求項１の発明では、
弾性表面波が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する３次元基材の表面に、
前記弾性表面波を励起検出する電気音響変換素子を有し
環境変化に従って伝搬状態が変化する感応膜を有する球状弾性表面波素子であって、
経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状弾性表面波素子を提案している。
【００１６】
請求項２の発明では、
感応膜が複数種類有することを特徴とする請求項１記載の球状弾性表面波素子を提案している。
【００１７】
請求項３の発明では、
経路どうしの交点には感応膜を有しないことを特徴とする請求項１または２記載の球状弾性表面波素子を提案している。
【００１８】
請求項４の発明では、
光が周回可能な円環状経路を複数有し、各経路に独自に受信電極を有する球形状表面を有する透明３次元基材の表面に、
前記光を投入検出する光入力手段を有し
環境変化に従って光の伝搬状態が変化する感応膜を有する球状光素子であって、
経路毎に感応膜のパターンが異なっていることを特徴とする球状光素子を提案している。
【００１９】
請求項５の発明では、感応膜が複数種類有することを特徴とする請求項４記載の球状光素子を提案している。
【００２０】
請求項６の発明では
経路どうしの交点には感応膜を有しないことを特徴とする請求項４または５記載の球状光素子を提案している。
【００２１】
請求項７の発明では
請求項３記載の球状表面弾性波素子の製造方法において、３次元基材に感応膜をインクジェットを用いてパターン形成し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状表面弾性波素子の製造方法を提案している。
【００２２】
請求項８の発明では、請求項６記載の球状光素子の製造方法において、３次元透明基材に感応膜をインクジェットを用いてパターン形成し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状光素子の製造方法を提案している。
【００２３】
請求項９の発明では、請求項３記載の球状表面弾性波素子の製造方法において、３次元基材に感応膜を全面に形成した後、交点に形成した感応膜を、光の照射によって除去するかあるいは不活性化し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状表面弾性波素子の製造方法を提案している。
【００２４】
請求項１０の発明では、請求項６記載の球状光素子の製造方法において、３次元透明基材に感応膜を全面に形成した後、交点に形成した感応膜を、光の照射によって除去するかあるいは不活性化し、しかる後に各経路に独自に受信電極を形成することを特徴とする球状光素子の製造方法を提案している。
【００２５】
請求項１１の発明では、光入力手段が光の照射を結晶球の表面に集束して照射するものであり、励起された周回信号を電極で受信して伝搬速度を測定することを特徴とする請求項３から６何れか記載の球状光素子を用いた環境測定方法を提案している。
【発明の効果】
【００２６】
本発明では、球状弾性表面波素子の表面に形成する感応膜形成プロセスにおいて、複数の周回経路の表面に選択的に感応膜を形成することで、独立して働く多機能素子を提供することを目的としている。
【００２７】
従って、個別の素子に個別の感応膜を形成する場合に比較して、一個の素子で実現できるだけでなく、温度など全く同じ条件で複数のセンシングを実現できることから高精度でもある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下実施形態に関連する実施例について述べる。
【００２９】
図１はＬｉＮｂＯ3結晶を用いた球状表面弾性波素子１０の構成を示す模式図で、図２がそれを用いた計測装置全体の構成図である。この球状表面弾性波素子１０は、球状部材１２の表面に３対のすだれ状電極１３〜１５が形成されている。３対のすだれ状電極１３〜１５は、夫々、交差する最大外周線１０２を中心に帯状の円環状表面１０１からなる第１経路ｒ１、第２経路ｒ２及び経路ｒ３を使用する。
【００３０】
経路上には各々所望の感応膜が形成されている。
【００３１】
ここで、測定用第１経路ｒ１は、球状部材１２の表面に、反応膜が形成されず、ＬｉＮｂＯ3となっており、水素を吸収するＰｄを用いて水素センサを構成して、環境測定が可能になっている。
【００３２】
ここで、測定用第２経路ｒ２は、球状部材１２の表面に、測定用第１経路ｒ１と重複する部分には反応膜が形成されず、他の部分には１０ｎｍ厚のＰｄ（パラジウム）からなる反応膜が形成されており、水素を吸収するＰｄを用いて水素センサを構成して、環境測定が可能になっている。
【００３３】
ここで、測定用第３経路ｒ３は、球状部材１２の表面に、測定用第１経路ｒ１と重複する部分には反応膜が形成されず、測定用第２経路ｒ２と重複する部分には１０ｎｍ厚のＰｄ（パラジウム）からなる反応膜が形成されており、他の部分には１０ｎｍ厚のＰｄ（パラジウム）からなる反応膜が形成されており、１００ｎｍ厚ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）を用いて温度湿度センサを構成して、環境測定が可能になっている。
【００３４】
いま、高周波信号発生部３０４は、図２に示すように、４５ＭＨｚの高周波信号を発生すると共に、この高周波信号を出力する。出力された高周波信号は、３本の信号線路に分岐され、それぞれ駆動用スイッチ３０２に入力される。
【００３５】
各球状表面弾性波素子１０は、高周波信号によりすだれ状電極１３、１４もしくは１５が表面弾性波を励起する。すだれ状電極１３の場合で説明すれば、励起された表面弾性波は、球状部材１２の表面上を約１０μ秒毎に周回してすだれ状電極１３に受信され、図４（ｄ）に示すように、周回毎に、周回受信信号としてすだれ状電極１３からの信号と高周波信号発生部３０４がサーキュレーター３０３干渉し、干渉信号として増幅器でこの干渉信号を増幅して計測部３０５に出力する。
【００３６】
計測部２５は、この干渉信号の強度を測定し、得られた強度に基づいて、干渉信号に含まれる測定用及び校正用の周回受信信号間の位相差を計測する。なお、干渉信号の強度は、両素子１０Ａ，１０Ｂからの周回受信信号の位相差が０の場合には最高になり、逆に位相差がπラジアンの場合には最小あるいは０となる。
【００３７】
本素子について電極１に周波数１５０ＭＨｚの高周波バースト信号を印加して、周回に伴う出力の観測を減衰率及び位相速度測定解析装置を用いて行う。これは実際にはデジタルオシロスコープと計算機によって構成している。電極について減衰率は周囲の気体圧力によって感度良く測定できることがわかっており、適当な周回数における振幅を測定することで測定が可能である。たとえば１気圧近辺で変化することが構成実験から測定される。また位相速度からこの素子の温度を測定可能である。つまり、ＬｉＮｂＯ3素子の経路１における温度依存性は８０ｐｐｍ／度であって、周回速度を測定することで温度を非常に良く測定できる。
【００３８】
一方、水素濃度を測定する為に、パラジウム金属を蒸着を用いて形成するが、パラジウム金属が経路１上に存在すると、水素濃度に従ってパラジウムの弾性物性が変化する為に
正確な温度測定が困難になる。このため、次に示すように、パラジウムを経路１上に形成しない処理を行うことで可能であった。
【００３９】
パラジウム蒸着は加熱ボードを用いたパラジウム蒸着源２１２を用いた蒸着を行うが、蒸着の際には図３（Ａ）に示すように経路２の上でのみ蒸着されるように２個の金属マスクで素子をはさみ、回転しながら蒸着を行う。回転速度は毎秒６０度程度である。蒸着によって図３（Ｂ）のようにすだれ状電極２の部分についてもパラジウムの蒸着をマスク２１１が防ぎ電極短絡を防ぐことが出来ている。
【００４０】
以上のような簡単なマスクによって電極１については周囲の水素濃度によって弾性表面波の伝搬状態を変化させるパラジウム膜の影響がない経路と、パラジウムの弾性物性の影響を大きく受ける経路２の二つの経路を単一の素子の上に形成することが出来た。
【００４１】
上記は金属の蒸着であったが次にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）を球結晶上に形成することで、温度湿度センサーを形成することが出来る。
【００４２】
ＰＥＴ材料は水分を吸収することで自身が重くなり、伝搬する弾性表面波の位相速度を低下させることから、温度計を同時に使用することで湿度計を構成することが出来る。この場合には図４（Ａ）に示すようにマスク２０１を行いながらＰＥＴをＰＥＴ蒸着源２０２を用いた熱蒸着によって薄膜形成する（１００ｎｍ）。有機材料であるが低温蒸着を行えば蒸着が可能な材料である。この結果、図４（Ｂ）に示すように蒸着が行えた。
【００４３】
次に（Ｃ）に示すように、フェムト秒レーザー２０４を用いて、電極による経路１、２に渡る領域のＰＥＴを昇華によりとりのぞくことが可能であった。正確に取り除くことが可能で、直径３．３ｍｍの球状弾性表面波素子について、経路幅約０．７ｍｍ幅を正確にＰＥＴの影響を受けない経路を作成することが可能である。フェムト秒レーザーの出力を落とし熱に弱いＬｉＮｂＯ3結晶を損傷しない強度のコリメートビームに調整して行った。収束させることで非常に微細な部位を正確に、感応膜（ＰＥＴ）を加工できるがエネルギーが高すぎる為に基材の破損に注意が必要であった。尚、本実施例ではフェムト秒レーザーを使用したが、紫外線を用いることで、ＰＥＴのみを分解させて基材に損傷を与えることなく感応膜の加工が可能である。紫外線照射によって残渣が残るが、弾性表面波への影響の程度は非常小さくなることが経路全周がＰＥＴの素子を用いた実験によって明らかになっている。これはＵＶ照射によって、殆どの分子が分解されたからで質量負荷効果としても影響が殆ど無視できる程度に低下するからである。また、ＰＥＴ樹脂として存在する場合に比べて湿度の影響を経路１がうけなくなることは明らかである。
【００４４】
以上のように、経路の他の経路との交点を加工することによって、一方の経路は感応膜の影響を受けず、一方は影響を受ける構成が可能であって、より高精度の測定を可能にする。
【００４５】
次に直径１ｍｍの素子の加工を行う方法について説明を行う。図５（Ａ）では同じであるが非常に微細な加工を必要とするために、レンズを用いて集束させた。平行ビームを用いる場合は、球材料自体がレンズ効果によって、球の反対面の表面に集束すると意図しない部分の感応膜の除去をおこなうことがありその際には収束させることで、反対面での破損をふせぐことが出来る。
【００４６】
これで領域Ａのみならず、領域Ｂについての感応膜の除去を行うことを防ぐことが可能である。
【００４７】
図５から明らかのようにＡでは領域１も高いエネルギー密度となり感応膜が損傷するが
、Ｂの場合は、領域２は非常に高くエネルギー密度になり除去されるが、領域１は光の拡散によって除去されずに済むことが明らかである。
【００４８】
次に複数の経路に複数種類の感応膜が混在している場合の解析方法について説明する。
【００４９】
図６は、ＬｉＮｂＯ3結晶球の、３経路を用いた球状弾性表面波のモデルを示す。ＬｉＮｂＯ3は三方晶系であるために結晶学的に全く同等の経路を形成することが出来る。経路１から３について図６に示すように３種類の感応膜分布に形成するばあい、３つの出力を測定することによって、各官能膜の応答を推測することが出来る。
【００５０】
図６に示すように３種類の感応膜を夫々の経路で異なる比率で形成すると次に示すように感応膜の夫々の経路への寄与しやすさと３つの経路の出力から３つの連立方程式がなり立つ。
【００５１】
各経路について感応膜の形成される領域の比率を図６の場合を用いて示す。
Ａ１  ｐ：ｑ：ｒ＝５：０：０
Ａ２  ｐ：ｑ：ｒ＝１：４：０
Ａ３  ｐ：ｑ：ｒ＝１：１：３
Ａ１、Ａ２、Ａ３、から、各官能膜の検知する環境因子ｐ、ｑ、ｒをもとめることができる
例えば、Ａ１，Ａ２，Ａ３の感応膜の周回時間が各々ｔ1からｔ1＋Δｔ1に、ｔ2からｔ2＋Δｔ2に、ｔ3からｔ3＋Δｔ3に、変化するとすれば、ｐ、ｑ、ｒの感応膜の変化を各々ｔpからｔp＋Δｔpに、ｔqからｔq＋Δｔqに、ｔrからｔr＋Δｔrに、なったとして。
１＋Δｔ1／ｔ1＝１＋Δｔp／ｔp
１＋Δｔ1／ｔ1＝（１＋Δｔp／５ｔp）（１＋４Δｔq／５ｔq）
１＋Δｔ1／ｔ1＝（１＋Δｔp／５ｔp）（１＋Δｔq／５ｔq）（１＋３Δｔr／５ｔr）
さらに、感応膜として特定の匂いに対する場合などは、その匂いに対する変化率を定めておけば算定は可能である。例えば、アップル、パイン、オレンジの感応膜の変化を各々ｔ（アップル）からｔ（アップル）＋Δｔ（アップル）に、ｔ（パイン）からｔ（パイン）＋Δｔ（パイン）に、ｔ（オレンジ）からｔ（オレンジ）＋Δｔ（オレンジ）に、なるとして。
１＋Δｔ（アップル）／ｔ（アップル）＝（１＋ｎp（アップル）Δｔp／ｔp）（１＋ｎq（アップル）Δｔq／ｔq）（１＋ｎr（アップル）Δｔr／ｔr）
１＋Δｔ（パイン）／ｔ（パイン）＝（１＋ｎp（パイン）Δｔp／ｔp）（１＋ｎq（パイン）Δｔq／ｔq）（１＋ｎr（パイン）Δｔr／ｔr）
１＋Δｔ（オレンジ）／ｔ（オレンジ）＝（１＋ｎp（オレンジ）Δｔp／ｔp）（１＋ｎq（オレンジ）Δｔq／ｔq）（１＋ｎr（オレンジ）Δｔr／ｔr）
である様な係数、ｎp（アップル）、ｎq（アップル）、ｎr（アップル）、ｎp（パイン）、ｎq（パイン）、ｎr（パイン）、ｎp（オレンジ）、ｎq（オレンジ）、ｎr（オレンジ）、が明確であればこれより計算できることが明白である。なお、図６では長さに比例すると仮定したが、既知のｐ、ｑ、ｒに対する、Ａ１，Ａ２，Ａ３の比率を求めることで素子の感度係数として導出しておくことで算出可能である。
【００５２】
以上示すように球形弾性表面波素子の経路について、複数種類の感応膜が形成されている場合であっても、環境因子に対する感度があらかじめ判っている場合は、上記のように夫々の経路の変化率を求めることで算出することができる。
【００５３】
上記の方法を採用すると、結晶球の表面に、適当に複数種類の感応膜を形成しておきさえすれば（各経路で夫々の環境要因に対して異なる感度を持つ必要があるが）、感応膜の精度の高いパターニングを必要とせずに、複数の検知対象について独立して検知可能なセ
ンサーを構成できる。
【００５４】
たとえば素子の半球のみを浸漬によって感応膜形成を行うなど、非常に容易な感応膜形成方法を採用できる。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明は、球形状の圧電性結晶基材の表面にすだれ状電極が形成された球状表面弾性波素子や、液晶表示装置の前面に設置して視野角を広げるために用いられる指向性ディフューザーと球形状の透明結晶基材の表面にすだれ状電極が形成された球状光素子に関するものである。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の球状表面弾性波素子である場合の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の球状表面弾性波素子の配線を示す概要図である。
【図３】図１の球状表面弾性波素子のパラジウム蒸着工程を示す概念側面図である。
【図４】図１の球状表面弾性波素子のＰＥＴ蒸着工程を示す概要側面図である。
【図５】図１の球状表面弾性波素子のフェムト秒レーザを用いたＰＥＴ膜を部分的に取り除く工程を示す概念断面図である。
【図６】図１の球状表面弾性波素子の各経路の表面状態を示す図である。
【図７】従来の球状表面弾性波素子の製造工程の蒸着機の構成を示す概要断面図である。
【符号の説明】
【００５７】
１０  球状表面弾性波素子
１２  球状部材
１３，１４，１５  すだれ状電極
２０１  マスク
２０２  ＰＥＴ蒸着源
２０４  フェムト秒レーザー
３０２  駆動用スイッチ
３０３  サーキュレーター
３０４  高周波信号発生器
３０５  計測部
４０２  マスク
ｒ１，ｒ２，ｒ３  経路
【図１】
2007163292.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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