(57)【要約】【課題】複数の工程のワークを加工することが可能な加工設備が、複数工程のワークの中から次に処理するワークを選択する際、製造ライン全体のスループットの向上と、仕掛りの削減によるリードタイムの短縮を図る。【解決手段】実ラインからの仕掛り情報を収集して記憶する工程管理手段１０７と、前記工程管理手段１０７に記憶された各工程の仕掛り情報と予め設定されている各工程で必要な仕掛り数とから、工程ごとの処理優先度を演算して記憶する演算記憶手段１０２と、前記演算記憶手段１０２に記憶されている処理優先度に基づき、次に処理をするワークを選択するワーク選択手段１０３と、前記ワーク選択手段１０３で選択したワークに作業指示を与える作業指示手段１０４とを備えている。【選択図】図１
2007188336.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の工程でワークを加工することが可能な加工設備を有する製造ラインにおける工程制御装置であって、
ラインからの仕掛り情報を収集して記憶する工程管理手段と、
前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と予め設定されている各工程の仕掛り必要数とから、工程ごとの処理優先度を演算して記憶する演算記憶手段と、
前記演算記憶手段に記憶されている処理優先度を利用して、次に処理をするワークを選択するワーク選択手段と、
前記ワーク選択手段で選択されたワークに作業指示を与える作業指示手段とを備えたことを特徴とする工程制御装置。
【請求項２】
前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、仕掛りとなった時刻を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶することを特徴とする請求項１に記載の工程制御装置。
【請求項３】
前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、加工設備及びワークの位置情報から求められたワークの近さを評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶することを特徴とする請求項１に記載の工程制御装置。
【請求項４】
前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、ワークの進捗及び納期情報から求められたワークの納期に対する余裕度を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶することを特徴とする請求項１に記載の工程制御装置。
【請求項５】
前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、加工設備の段取り替え時間を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶することを特徴とする請求項１に記載の工程制御装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、工程制御装置に関するものであり、特に、半導体製造ラインのように複数の工程でワークを加工することが可能な加工設備を有する製造ラインにおいて、複数工程で使用可能な加工設備に複数工程の仕掛りが溜まっている場合に、仕掛りの中から次に処理を行なうワークを決定する工程制御装置。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造においては、一般に、成膜工程→フォトリソ工程（レジストのパターン形成）→エッチング工程（レジストパターンの転写）→レジスト剥離工程→検査工程という一連のパターニングプロセス（これを１サイクルと呼ぶ）でワークを処理することにより、ワークに１つのパターンが形成される。このサイクルを繰り返し行ない、複数のパターンを形成することにより半導体回路が完成する。
【０００３】
半導体製造において、各工程の処理を行う加工設備は、トラブルやメンテナンスのために加工設備が停止する頻度が多い。また、一旦停止すると、停止する期間が長いため、他の加工設備を稼動させるために各工程で仕掛りを確保しておく必要がある。
【０００４】
例えば、フォトリソ工程に仕掛りがない場合、成膜工程の加工設備がトラブルで停止すると、フォトリソ工程に供給するワークが無くなる。このため、フォトリソ工程を実行する装置で処理するワークが無く、フォトリソ工程を実行する加工設備の稼動率が下がる。その結果、製造ラインの生産能力が低下してしまう。この場合、フォトリソ工程に供給するのに十分な数の仕掛りを持っていれば、たとえ成膜工程の加工設備が停止したとしても、フォトリソ工程は仕掛りの中からワークを選択して処理を続けることができ、加工設備の稼動率は低下しない。
【０００５】
この複数の仕掛りの中から処理すべきワークを選択するルールとして、一般的にディスパッチルールが用いられている。このディスパッチルールとしては、例えば、（ａ）加工時間最小のワークを選択する、（ｂ）納期までの期間が最も短いワークを選択する、（ｃ）残りの工程の平均通過時間から生産完了予定時刻を求め、納期に対し余裕の少ないワークを選択する、（ｄ）最優先で処理する必要のあるワークを選択する、（ｅ）仕掛り状態に最初に入ったワークを選択する、（ｆ）段取り替え時間の最小のワークを選択する、などのルールがあり、その工場に適したルールが用いられている。
【０００６】
また、他のワーク選択方法として、例えば特許文献１には、後工程での現在のワーク仕掛かり量を予め定められている基準値と比較した結果に基づいて、前工程の処理着手順序を決定する方法が記載されており、また、特許文献２には、２つ後の工程まで続けて処理可能なワークを優先して処理を行なう方法が記載されている。
【特許文献１】特開平１−１８３３４７号公報
【特許文献２】特開平１０−２７７８９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のディスパッチルールだけでは、製造ラインのスループットが低下する場合がある。すなわち、上記（ａ）〜（ｆ）の各方法は、いずれも各工程の仕掛り数を考慮しないロット選択方法である。例えば、次工程に大量の仕掛りがある場合は処理する必要性が低く、逆に、次の工程に仕掛りが無い場合は処理する必要性が高いことが予測されるが、このように仕掛り数を考慮しないでロットを選択すると、後工程の加工設備において待機ロスを発生しやすくなり、製造ラインのスループットが低下する原因となる。
【０００８】
一方、上記特許文献１，２に記載の技術は、上記の課題を回避する手段であり、次工程、または２つ後の工程の加工設備の待機ロスを減らすことを目的としているが、この方法だけでは必ずしも製造ラインのスループットが上がるとは限らない。例えば、次工程や2つ後ろの工程の仕掛りが少ない場合でも、3つ後の工程の加工設備に大量の仕掛りが溜まっているときは処理をする優先度は低くてよい。また、逆に、次工程の加工設備にトラブルが発生したことにより、次工程に仕掛りが溜まっている状況でも、現在の工程の加工設備がトラブル等で停止する場合に備えて、ある程度の仕掛りを次工程に溜めておくことが必要な場合もある。
【０００９】
本発明はかかる問題点を解決すべく創案されたもので、その目的は、各製造ラインの各工程の仕掛り状況を把握して、各工程の処理優先度を計算することにより、装置ロスの低減及び製造ラインのスループットの向上を図った工程制御装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するため、本発明の工程制御装置は、複数の工程でワークを加工することが可能な加工設備を有する製造ラインに適用し、実ラインからの仕掛り情報を収集して記憶する工程管理手段と、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と予め設定されている各工程で必要な仕掛り数とから、工程ごとの処理優先度を演算して記憶する演算記憶手段と、前記演算記憶手段に記憶されている処理優先度を利用して、次に処理をするワークを選択するワーク選択手段と、前記ワーク選択手段で選択されたワークに作業指示を与える作業指示手段とを備えたことを特徴とする。
【００１１】
このような特徴を有する本発明によれば、工程ごとに仕掛り数を収集し、この収集した各工程の仕掛り数と予め設定されている各工程で必要な仕掛り数とから、工程ごとの処理優先度を演算するように構成したので、装置ロスを低減することができ、製造ラインのスループットを向上させることができる。
【００１２】
また、本発明の工程制御装置によれば、前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、仕掛りとなった時刻を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶するように構成することができる。前記評価値は、例えば時刻の古い順とすることができる。このように、時刻の古い順に処理を行うことで、例えば洗浄工程とその次の膜工程のように、続けて処理を行った方が製品の歩留りが良くなる場合には、この評価値を用いるのがよい。
【００１３】
また、本発明の工程制御装置によれば、前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、加工設備及びワークの位置情報から求められたワークの近さを評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶するように構成することができる。例えば、同じ種類の加工設備が複数台あり、各設備が離れた場所に設置されているような場合、通常、その工程の仕掛りワークは、それぞれの加工設備のある場所に分散して置かれている。このような場合には、それぞれの加工設備が近くにあるワークを優先して処理することで、工程間の搬送待ちによる待機ロスを少なくすることができる。
【００１４】
また、本発明の工程制御装置によれば、前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、ワークの進捗及び納期情報から求められたワークの納期に対する余裕度を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶するように構成することができる。このような構成によれば、進捗の遅れているワークを優先して処理することができるので、例えば、処理中に加工設備が停止して進捗が遅れたワークや、検査設備で不良と判定されリワーク処理となって進捗が遅れたワークや、納期を急ぐワークなどを優先して処理することができる。
【００１５】
また、本発明の工程制御装置によれば、前記演算記憶手段は、前記工程管理手段に記憶された各工程の仕掛り数と、予め設定されている各工程で必要な仕掛り数と、加工設備の段取り替え時間を評価する評価値とから、ワークごとの処理優先度を演算して記憶するように構成することができる。このような構成によれば、同じ工程でも機種が異なるために段取り替え時間が発生する場合に、同じ機種のワークを連続して処理させることができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の工程制御装置は、上記のように構成したので、同一設備で複数の工程を処理することが可能な場合、製造ラインの各工程の仕掛り状況から、各工程の処理優先度を計算し、その処理優先度の高い工程を優先して処理を行なうことにより、装置ロスを低減することができ、製造ラインのスループットを向上させることができる。また、本発明によれば、結果的に次工程以降が比較的空いているワークを選択することになり、ワークの滞留時間が減少して生産リードタイムが短縮するため、製造ラインの総仕掛り数を減少させることができる。さらに、本発明によれば、先頭工程の優先度が正（1以上）になるときに、先頭工程への投入を行なうようにすれば、製造ライン内の仕掛り数を一定に制御することができ、リードタイムも一定に制御することが可能となるので、投入過多による不要な仕掛り増加を防止できるとともに、リードタイムの長期化も防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は本発明の実施の形態に係る工程制御装置の構成を示す機能ブロック図である。
【００１９】
図１において、製造ライン１０９は、製品を加工する製造ラインの一形態であり、加工設備１０８が計８台設置されている。このうち加工設備Ｂと加工設備Ｄは、複数工程で処理可能な加工設備であり、その他の加工設備Ａ、Ｃ、Ｅは、ある特定の工程しか処理することができない加工設備とする。
【００２０】
上記構成の製造ライン１０９の工程を制御する工程制御装置１０１は、演算記憶手段１０２と、ワーク選択手段１０３と、作業指示手段１０４と、工程管理手段１０７とから構成されている。
【００２１】
工程管理手段１０７は、製造ライン１０９からの情報の収集と管理を行なう役割を担っており、製造ライン１０９内の全てのワークの進捗や設備の稼動状況を把握している。従って、工程管理手段１０７内のデータを集計すれば、工程ごとの仕掛り数が求められ、かつ、それぞれのワークの位置も求めることができる。
【００２２】
また、工程管理手段１０７は、加工設備１０８からのワーク要求を受けると、ワーク選択手段１０３に対してワーク選択要求Ｒ２を出力する。さらに、工程管理手段１０７は、演算記憶手段１０２に対し、仕掛り情報Ｒ１として工程別の仕掛り数を提供する。また、必要に応じて、それぞれのワークの位置、進捗、納期、及び加工設備の位置情報なども提供する。
【００２３】
ワーク選択手段１０３は、工程管理手段１０７からのワーク選択要求Ｒ２を受けると、演算記憶手段１０２に対してワークの処理優先度を計算させて、処理優先度の高いワークを選択し、作業指示手段１０４に対して、選択したワークの作業指示を出力する。
【００２４】
演算記憶手段１０２は、ワーク選択手段１０３から、処理優先度を計算するように指示されると、工程管理手段１０７に対して仕掛り情報Ｒ１を要求し、仕掛り情報Ｒ１を読み出すと、予め記憶された各工程の必要仕掛り数から、各工程の処理優先度を演算する。このとき、処理優先度の高い工程に複数のワークが存在する場合は、さらにワークごとの優先度を求める必要が生じるので、さらに工程管理手段１０７から、ワークごとの位置情報や、仕掛りとなった時刻や、ワークと加工設備の位置情報や、ワークの進捗及び納期情報などを読み出して、ワークごとの処理優先度を計算し、その情報をワーク選択手段１０３に与える。
【００２５】
次に、本実施の形態の工程制御装置１０１で行なわれるロット選択について説明する。
【００２６】
図２は、本実施の形態の工程管理手段１０７で管理される工程と加工装置との関係を示す説明図である。ここでは、半導体の製造工程を例示している。
【００２７】
図２において、製造工程は、第１サイクルと第２サイクルからなり、第１サイクルの後に第２サイクルが行われる。第１サイクルは、加工設備Ａ１で成膜処理する工程１と、加工設備Ｂでフォトリソグラフ処理する工程２と、加工設備Ｃ１でエッチング処理する工程３と、加工設備Ｄでレジスト剥離する工程４と、加工設備Ｅ１で検査する工程５とを含む。第２サイクルは、加工設備Ａ２で成膜処理する工程６と、加工設備Ｂでフォトリソグラフ処理する工程７と、加工設備Ｃ２でエッチング処理する工程８と、加工設備Ｄでレジスト剥離する工程９と、加工設備Ｅ２で検査する工程１０とを含む。半導体の製造工程では、成膜処理、フォトリソグラフ処理、エッチング処理、レジスト剥離処理、及び検査からなるサイクルが何回も繰り返されるが、ここでは説明を簡略化するため、第１サイクルと第２サイクルの２回の繰り返しとしている。
【００２８】
また、図２中で、工程１の仕掛りとなっているワークをＸ（１）、工程２の仕掛りとなっているワークをＸ（２）、工程３の仕掛りとなっているワークをＸ（３）、工程４の仕掛りとなっているワークをＸ（４）、工程５の仕掛りとなっているワークをＸ（５）、工程６の仕掛りとなっているワークをＸ（６）、工程７の仕掛りとなっているワークをＸ（７）、工程８の仕掛りとなっているワークをＸ（８）、工程９の仕掛りとなっているワークをＸ（９）、工程１０の仕掛りとなっているワークをＸ（１０）で表している。
【００２９】
加工設備Ｂは、工程２の仕掛りワークＸ（２）と、工程７の仕掛りワークＸ（７）のどちらも処理することが可能であり、また、加工設備Ｄも、工程４の仕掛りワークＸ（４）と、工程９の仕掛りワークＸ（９）のどちらも処理することが可能である。ここで、工程１の処理可能な加工設備Ａ１は、複数台あっても構わないし、工程２と工程７のどちらも処理できる加工設備Ｂも複数台あってもかまわない。
【００３０】
図２の場合、加工設備Ａ１は処理可能な仕掛りがＸ（１）だけなので、Ｘ（１）の中から、ロットを選択して加工設備Ａ１で処理を行なう。ロットを選択するルールとして、従来技術で説明した方法があるが、基本的に、Ｘ（１）のどの仕掛りワークから処理を行なっても、後の工程に影響を与えるようなことは無い。ただし、製造ラインに複数機種を混在して投入し、機種ごとにタクトタイムが異なる場合や、異なる機種のロットを選択すると機種切替時間が生じる場合には、その工程の加工装置や、後ろの工程の加工設備の稼動率に影響を与えることもある。なお、加工設備Ａ２、Ｃ１、Ｃ２、Ｅ１、Ｅ２についても、上記加工設備Ａ１と同様である。
【００３１】
一方、加工設備Ｂは、処理可能な仕掛りワークがＸ（２）とＸ（７）の２種類あり、どちらのロットを選択するかによって、その後ろの工程である工程３と工程８の加工設備のスループットに影響を与える。例えば、Ｘ（３）の仕掛りが大量にあり、Ｘ（８）の仕掛りが無い状況では、基本的にＸ（２）よりもＸ（７）の仕掛りを優先して処理をしたほうが、加工設備Ｃ２のロスが少ないと考えられる。同様に、加工設備Ｄは、Ｘ（４）とＸ（９）の２種類の仕掛りワークがあり、どちらかのロットを選択する必要がある。
【００３２】
このように、複数工程で使用可能な加工設備Ｂや加工設備Ｄでは、処理可能な仕掛りの中からロットを選択することは、後ろの工程の加工装置のスループット、ひいては製造ライン全体のスループットに影響を与えるため、適切なロット選択が求められる。
【００３３】
次に、図３、図４、図５のフローチャートを参照して、本実施の形態に係る工程制御装置１０１の動作を説明する。ただし、図３は、本実施の形態における工程管理手段の動作を説明するためのフローチャート、図４は、本実施の形態におけるワーク選択手段の動作を説明するフローチャート、図５は、本実施の形態における演算記憶手段の動作を説明するフローチャートである。
【００３４】
まず、工程管理手段１０７は、ステップＳ０１において、加工装置１０８からのワーク要求を監視しており、加工装置１０８からのワーク要求があれば、ステップＳ０２へ進む。ステップＳ０２では、ワーク選択手段１０３に対し、次に加工装置１０８で処理するワークを選択させるためのワーク選択要求Ｒ２を出して、ステップＳ０３へ進む。ステップＳ０３では、ワーク選択手段１０３がワークを選択するのを待つ。
【００３５】
ワーク選択手段１０３は、ステップＳ１１において、工程管理手段１０７のステップＳ０２からのワーク選択要求Ｒ２を監視しており、ワーク選択要求Ｒ２があれば、ステップＳ１２へ進む。ステップＳ１２では、演算記憶手段１０２に対して、ワークの処理優先度を計算するように指示し、ステップＳ１３へ進む。ステップＳ１３では、演算記憶手段１０２がワークの処理優先度を計算するまで待つ。
【００３６】
演算記憶手段１０２では、ステップＳ２１において、予め各工程の仕掛りの必要数を設定しておき、ステップＳ２２へ進む。ステップＳ２２では、ワーク選択手段１０３からの指示（ステップＳ１２による指示）があれば、ステップＳ２３へ進む。ステップＳ２３では、工程管理手段１０７から仕掛り情報を取得し、ステップＳ２４へ進む。ステップＳ２４では、ステップＳ２１で設定した各工程の仕掛り必要数と、ステップＳ２３で取得した仕掛り情報とからロット選択の対象となる工程の処理優先度を計算し、ステップＳ２５へ進む。ステップＳ２５では、ステップＳ２４で求められた工程ごとの優先度や、ワークが仕掛りとなった時刻を評価する評価値や、加工設備及びワークの位置情報から求められたワークの近さを評価する評価値や、ワークの進捗及び納期情報から求められたワークの納期に対する余裕度を評価する評価値や、加工設備の段取り替え時間を評価する評価値などから、ワークごとに処理優先度を計算し、ステップＳ２６へ進む。ステップＳ２６では、ワーク選択手段１０３に対し処理が完了したことを伝達し、ステップＳ２２へ戻る。
【００３７】
ワーク選択手段１０３は、ステップＳ１３において、演算記憶手段１０２の演算処理完了を監視しており、演算処理が完了したことを確認したら、ステップＳ１４へ進む。ステップＳ１４では、最も処理優先度の高いワークを選択し、ステップＳ１５へ進む。ステップＳ１５では、工程管理手段１０７にワーク選択結果を伝達する。
【００３８】
工程管理手段１０７は、ステップＳ０３において、ワーク選択手段１０３がワークの選択を完了したことを確認すれば、ステップＳ０４に進む。ステップＳ０４では、ワーク選択手段１０３によって選択されたワークに対し、加工設備までの搬送を指示し、加工設備に到着すれば、加工設備に対して加工作業を指示する。
【００３９】
次に、図６を参照して、各工程の処理優先度を計算する方法を説明する。
【００４０】
図６は、本実施の形態における演算記憶手段１０２に記憶されるテーブルの一例を示す説明図である。このテーブルは、工程１から工程１０までの、各工程の仕掛り数と仕掛り必要数と処理優先度とをまとめたものである。
【００４１】
仕掛り数（Ｘ）は、工程管理手段１０７から読み出した仕掛り情報Ｒ１をテーブルに代入したものである。本実施の形態では、図２において、加工設備Ｅ１の加工設備にトラブルが発生して停止し、工程５の仕掛り数が１３まで増加した状態を想定している。
【００４２】
仕掛り必要数（Ｙ）は、演算記憶手段１０２に予め設定し記憶された各工程の仕掛りの必要数であり、加工設備のポート数（ワークを置くことのできる数）を設定しても良いし、各工程の加工設備がトラブルやメンテナンスのために停止することに備えて、停止する時間分の仕掛り数を設定しても良いし、最も能力の低い律速工程の稼動率を上げるため、律速工程の前後の工程の仕掛り必要数を多く設定しても良い。ここでは、説明を簡略化するために、各工程は４個のワークを必要とするものとして、各工程に「４」を設定している。この時の処理優先度（Ｚ）は、例えば下式（１）のような計算式で求めることができる。
【００４３】
Ｚ（ｉ−１）＝Ｚ（ｉ）＋Ｙ（ｉ）−Ｘ（ｉ）  ・・・  （式１）
この計算式によれば、工程１０の処理優先度Ｚ（１０）は計算不能なので、
Ｚ（１０）＝０
とする。
【００４４】
次に、工程９の処理優先度Ｚ（９）は、
Ｚ（９）＝Ｚ（１０）＋Ｙ（１０）−Ｘ（１０）＝１
となる。工程１０は、仕掛り必要数４に対して、仕掛り数が３個しかないので、もう１個のワークを必要としており、工程９は1個のワークを処理する必要があることを示している。
【００４５】
同様に、工程８の処理優先度Ｚ（８）は、
Ｚ（８）＝Ｚ（９）＋Ｙ（９）−Ｘ（９）＝２
となる。工程９は、仕掛り必要数４に対して、仕掛り数が３個しかないので、もう１個のワークを必要としており、さらに、工程９の処理優先度が１であることから、工程８ではトータル２個のワークを処理する必要があることを示している。
【００４６】
このように、後ろの工程から順番に処理優先度（Ｚ）を求めることにより、このテーブルが完成する。
【００４７】
このテーブルによれば、加工設備Ｂにとって、工程２と工程７の処理優先度は、
Ｚ（２）＝２
Ｚ（７）＝３
であり、工程７の処理優先度の方が優先度が高いので、工程７の仕掛りワークの中から、次に処理するロットが選択される。
【００４８】
加工設備Ｂは、工程２と工程７の２つの工程を処理することが可能である。ここで、工程２の後工程である工程３、工程４よりも、工程７の後工程である工程８、工程９の方が仕掛りワークが多いのにも関わらず、工程７が選択されるのは、工程５に仕掛りワークが１３個溜まっているので、工程２の処理を進める必要性が低いと判断したからである。
【００４９】
しかしながら、工程３の処理能力が低く、できるだけ加工装置Ｃ１のロスを少なくする必要がある場合は、例え工程５に仕掛りが多く溜まっていたとしても、工程３までは処理を進めた方が良い場合がある。
【００５０】
例えば、図７に示すテーブルのように、工程３の仕掛り必要数を他の工程よりも増加させて設定（この例では１２）すると、工程３に仕掛りを溜めるように、全体の仕掛りがコントロールされる。図７のテーブルによれば、前述と同様の計算式１を用いると、図６と仕掛り数が同じであっても、工程２と工程７の処理優先度は、
Ｚ（２）＝３
Ｚ（７）＝０
であり、工程２の処理優先度の方が優先度が高いので、工程２のワークが選択されて、工程３の仕掛りが確保されることになる。
【００５１】
図７に示すように、仕掛り必要数を、加工設備の処理能力を考慮して設定したり、トラブルやメンテナンスなどの設備停止に備えた値に設定することにより、製造ライン全体の仕掛り数状況からみて最適なロット選択が可能となる。
【００５２】
上記で求めた工程ごとの処理優先度により、次に処理を行なう工程を決定することができるが、その工程の仕掛りワークが複数存在する場合は、どのワークを優先して処理を行なうかを決定する必要がある。
【００５３】
そこで、この決定方法として、ワークがその工程の仕掛りとなった時刻の古い順に処理を行なう方法（処理１）とすることができる。例えば、成膜前に行なう洗浄工程と成膜工程のように、続けて処理を行なった方が製品の歩留りが良くなる場合があり、このような場合には、この方法を用いるとよい。
【００５４】
また、上記の決定方法として、加工設備とワークの位置情報とを工程管理手段１０７から取得し、距離の近いワークを優先して処理を行なう方法（処理２）とすることができる。例えば、同じ種類の加工設備が複数台あり、これらの設備が離れた場所に設置されているような場合、通常、その工程の仕掛りワークは、それぞれの加工設備のある場所に分散して置かれる。従って、それぞれの加工設備は、近くにあるワークを優先して処理した方が、搬送待ちによる待機ロスを少なくすることができる。
【００５５】
また、上記の決定方法として、ワークの進捗と納期情報とから求められたワークの納期に対する余裕度を評価する評価値から、ワークの処理優先度を決める方法（処理３）とすることができる。このような方法とすれば、進捗の遅れているワークを優先して処理することができる。例えば、処理中に加工設備が停止して進捗が遅れたワークや、検査設備で不良と判定されリワーク処理となって進捗が遅れたワークや、納期を急ぐワークなどを優先して処理することができる。
【００５６】
また、上記の決定方法として、加工設備の段取り替え時間を考慮してワークを選択する方法（処理４）とすることができる。このような方法とすれば、同じ工程でも機種が異なっているために段取り替え時間が発生する場合に、同じ機種のワークを連続して処理させることができる。
【００５７】
また、本発明では、上記処理１〜処理４を組み合わせて用いてもよく、また、工程ごとに異なった処理（上記処理１〜処理４のいずれか）を用いてもよい。
【００５８】
また、本発明では、上記各工程の処理優先度とワークの処理優先度は、どちらを優先しても良く、また、それぞれの処理優先度に重みをつけて計算して、ワークを選択しても良い。
【００５９】
また、図６や図７のテーブルによれば、工程１へのワークの投入は、処理優先度が正（１以上）になった場合に行なえばよく、このように投入することにより、製造ライン全体の総仕掛り数を、仕掛り必要数で設定した値の合計になるようにコントロールされ、不必要な仕掛りを持つことが防止されることになる。また、製造ラインの総仕掛り数を一定にコントロールすることにより、生産リードタイムも一定に保つようにコントロールすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００６０】
本発明は、半導体製造ラインや液晶製造ラインのように、複数の工程でワークを加工することが可能な加工設備を有する製造ラインで利用可能であるのはもちろんのこと、家電製品組立ラインのように、加工設備を複数の工程で利用しない製造ラインでも、仕掛り数を最適に制御する装置として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施形態に係る工程制御装置の構成を示す機能ブロック図である。
【図２】本実施の形態の工程管理手段で管理される工程と加工装置との関係を示す説明図である。
【図３】本実施の形態における工程管理手段の動作を説明するためのフローチャートである。
【図４】本実施の形態におけるワーク選択手段の動作を説明するためのフローチャートである。
【図５】本実施の形態における演算記憶手段の動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】本実施の形態における演算記憶手段に記憶されるテーブルの一例を示す説明図である。
【図７】本実施の形態における演算記憶手段に記憶されるテーブルの一例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００６２】
１０１  工程制御装置
１０２  演算記憶手段
１０３  ワーク選択手段
１０４  作業指示手段
１０５  仕掛り情報
１０６  ワーク選択要求
１０７  工程管理手段
１０８  加工設備
１０９  製造ライン
【図１】
2007188336.tif 000003
【図２】
2007188336.tif 000004
【図３】
2007188336.tif 000005
【図４】
2007188336.tif 000006
【図５】
2007188336.tif 000007
【図６】
2007188336.tif 000008
【図７】
2007188336.tif 000009