(57)【要約】【課題】湿式法により製造が可能であり、低分子系有機物の結晶化や凝集が起こりにくく高性能な有機ＥＬ素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】インジウム・スズ酸化物層２がパターニングされた基板１の上に、正孔輸送材料であるＮＰＤのトルエン溶液をスピンコート法にて膜状化して、ＮＰＤ膜３を形成した。電子輸送性発光材料であるＡｌｑ３と合成サポナイトであるスメクトンＳＡとの分散液をＮＰＤ膜３の上に滴下し、Ａｌｑ３とスメクトンＳＡからなる薄膜４をＮＰＤ膜３の上に形成した。さらに、電極となるアルミニウム層を薄膜４上に形成して、有機ＥＬ素子とした。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２つの電極間に、粘土と分子量が５０００以下の有機物とで構成された粘土層を配したことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項２】
前記粘土層は、２次元的に広がる粘土の単位構造が複数積層された層状構造を有し、これら単位構造間の少なくとも１つに、前記有機物が配されていることを特徴とする請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項３】
前記有機物が正孔注入機能及び正孔輸送機能の少なくとも一方を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項４】
前記有機物が発光機能及び電子輸送機能の少なくとも一方を有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項５】
前記有機物が電子輸送機能、電子注入機能、及び正孔輸送を阻害する機能のうち少なくとも１つを有することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子。
【請求項６】
請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するに際して、粘土を含有する粘土含有液を、キャスト法，スピンコート法，インクジェット法，浸漬法，スプレー法，又は印刷法を用いて膜状化し、乾燥して前記粘土層を形成することを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は有機エレクトロルミネッセンス素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス素子（以降は有機ＥＬ素子と記すこともある）は、Ｔａｎｇ及びＶａｎＳｌｙｋｅによって報告されて以来（非特許文献１を参照）、活発に研究開発が行われている。一般に、有機ＥＬ素子は、低分子系有機物を用いたものと高分子系有機物を用いたものとの２種類に分けられる。現在のところ、優れた性能を有する低分子系有機物が合成され、それらを用いた有機ＥＬ素子は実用化レベルまで達している。
【０００３】
低分子系有機物の製膜は、一般的に真空蒸着法により行われる。真空蒸着法を用いることにより、低分子系有機物が難溶解性や高い結晶性を有していても均一に製膜することができ、高性能な有機ＥＬ素子を製造することができる。ただし、真空蒸着法は、真空下で製膜を行うために大面積化が難しく、材料の利用効率も十分ではないという問題点を有している。
そこで、大気圧下で製膜を行うことが可能で大面積化が容易である湿式法により、低分子系有機物を用いた有機ＥＬ素子を製造することが試みられている。
【非特許文献１】C. W. Tang, S. A. VanSlyke, Appl. Phys. Lett., 51, 913 (1987)
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、低分子系有機物は難溶解性で、しかも結晶性のものが多く、製膜時に結晶化しやすいため、均一な膜の作製が困難であった。また、均一な膜が作製できたとしても、経時的に結晶化や凝集が起こる場合があるため、有機ＥＬ素子が劣化して素子寿命が低下するおそれがあった。
そこで、本発明は、湿式法により製造が可能であり、低分子系有機物の結晶化や凝集が起こりにくく高性能な有機ＥＬ素子及びその製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記課題を解決するため、本発明は次のような構成からなる。すなわち、本発明に係る請求項１の有機エレクトロルミネッセンス素子は、２つの電極間に、粘土と分子量が５０００以下の有機物とで構成された粘土層を配したことを特徴とする。
また、本発明に係る請求項２の有機エレクトロルミネッセンス素子は、請求項１に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記粘土層は、２次元的に広がる粘土の単位構造が複数積層された層状構造を有し、これら単位構造間の少なくとも１つに、前記有機物が配されていることを特徴とする。
【０００６】
さらに、本発明に係る請求項３の有機エレクトロルミネッセンス素子は、請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記有機物が正孔注入機能及び正孔輸送機能の少なくとも一方を有することを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項４の有機エレクトロルミネッセンス素子は、請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記有機物が発光機能及び電子輸送機能の少なくとも一方を有することを特徴とする。
【０００７】
さらに、本発明に係る請求項５の有機エレクトロルミネッセンス素子は、請求項１又は請求項２に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子において、前記有機物が電子輸送機能、電子注入機能、及び正孔輸送を阻害する機能のうち少なくとも１つを有することを特徴とする。
さらに、本発明に係る請求項６の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、請求項１〜５のうちいずれか一項に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子を製造するに際して、粘土を含有する粘土含有液を、キャスト法，スピンコート法，インクジェット法，浸漬法，スプレー法，又は印刷法を用いて膜状化し、乾燥して前記粘土層を形成することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子は、湿式法により製造が可能であり、有機物の結晶化や凝集が起こりにくいため高性能である。また、本発明の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法は、湿式法による製造方法であり、有機物の結晶化や凝集が起こりにくく高性能な有機エレクトロルミネッセンス素子を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本実施形態の有機エレクトロルミネッセンス素子は、粘土と分子量が５０００以下の有機物との混合物からなる粘土層が２つの電極間に配されて構成されている。ここで言う粘土層とは、粘土と特定の機能を持った有機物との混合物で形成された層のことであり、混合する有機物によって、正孔注入機能を有する層、正孔輸送機能を有する層、発光機能を有する層、電子輸送機能を有する層、電子注入機能を有する層、正孔輸送を阻害する機能を有する層、又はこれらの機能のうち２つ以上の機能を有する層となる。
また、粘土と有機物との混合物からなる前記粘土層は、その内部構造が、２次元的に広がる粘土の単位構造が複数積層された層状構造となっており、この層状構造を形成する粘土の単位構造間の少なくとも１つに、分子量が５０００以下の有機物が配された構成の有機エレクトロルミネッセンス素子でもよい。
【００１０】
本発明において使用可能な粘土は、２次元的に広がる四面体シートと八面体シートとが０：１、１：０、１：１、又は２：１の比で組み合って形成された複合シートを、その単位構造として有している。四面体シートの例としては、主としてケイ素と酸素からなるものや、その四面体シートの一部にアルミニウム等を含有するものがあげられる。また、八面体シートの例としては、アルミニウムやマグネシウムと酸素等からなるもの、マグネシウムと酸素等からなるもの、マグネシウムとリチウムと酸素等からなるものがあげられる。粘土の単位構造を構成する元素は上記記載のものに限定されるものではなく、一般的に粘土を構成する元素ならばいずれでもよい。
【００１１】
また、粘土の種類は特に限定されるものではなく、天然粘土でも合成粘土でもよい。そのような粘土としては、例えば、雲母、バーミキュライト、モンモリロナイト、鉄モンモリロナイト、バイデライト、サポナイト、ヘクトライト、スチーブンサイト、及びノントロナイトのうちの１種以上が好ましく、分散性の点からは、スメクタイト族に属する粘土が特に好ましい。また、導電性や電子デバイスの寿命等への影響という観点からは、不純物が少なく組成制御が容易な合成粘土を用いることがより望ましく、合成サポナイトや合成ヘクトライトが好ましい。
【００１２】
さらに、アンモニウム塩、フォスフォニウム塩、イミダゾリウム塩等を用いて親有機化処理を施した粘土（特に有機スメクタイト）を使用してもよい。アンモニウム塩としては、アルキル基、ベンジル基、ポリオキシエチレン基、オキシエチレン基、オキシプロピレン基等を有するアンモニウム塩や、ジメチルジステアリルアンモニウム塩、トリメチルステアリルアンモニウム塩等の第４級アンモニウム塩があげられる。
【００１３】
本発明において使用される有機物は、分子量が５０００以下の有機物であり、正孔注入機能を有する有機物（以降は正孔注入材料と記す）、正孔輸送機能を有する有機物（以降は正孔輸送材料と記す）、発光機能を有する有機物（以降は発光材料と記す）、電子輸送機能を有する有機物（以降は電子輸送材料と記す）、電子注入機能を有する有機物（以降は電子注入材料と記す）、正孔輸送を阻害する機能を有する有機物（以降は正孔阻害材料と記す）、又はこれらの機能のうち２つ以上の機能を有する有機物が好ましい。
【００１４】
正孔注入材料、正孔輸送材料、又はこの両方の機能を有する有機物としては、例えば、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（１−ナフチル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミン（ＮＰＤ、分子量５８８）、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（１−ナフチル）−９，９’−スピロビフルオレン）−２，７−ジアミン（ｓｐｉｒｏ−ＮＰＤ、分子量７５０）、Ｎ，Ｎ’−ジフェニル−Ｎ，Ｎ’−ビス（３−メチルフェニル）−１，１’−ビフェニル−４，４’−ジアミン（ＴＰＤ、分子量５１６）、１，３，５−トリス（３−メチルジフェニルアミノ）ベンゼン（ｍ−ＭＴＤＡＴＡ、分子量７８８）、４，４’，４’’−トリス（カルバゾル−９−イル）トリフェニルアミン（ＴＣＴＡ、分子量７４０）などの芳香族アミン系材料があげられる。また、フタロシアニン銅（ＣｕＰｃ）などのフタロシアニン系錯体や、アニリン系共重合体、ポリフィリン化合物、イミダゾール誘導体、トリアゾール誘導体、ピラゾリン誘導体、オキサゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、スチルベン誘導体、ポリアリールアルカン誘導体があげられる。さらに、ポリアセン化合物及びその誘導体があげられる。
【００１５】
また、発光材料の例としては、トリス（８−ヒドロキシキノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３、分子量４５９）、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）（ｐ−フェニルフェノラート）アルミニウム（III ）（ＢＡｌｑ、分子量５１２）、ビス（ベンゾキノリノラト）ベリリウム錯体（ＢｅＢｑ２、分子量３９７）、フェナントロリン系ユウロピウム錯体（Ｅｕ（ＴＴＡ）３（ｐｈｅｎ））、ペリレン、クマリン誘導体、キナクリドン（いずれも分子量２５２〜９９５）、イリジウム錯体（例えばＩｒ（ｐｐｙ）3、Ｆｉｒｐｉｃ、Ｉｒ（ｐｐｙ）2（ａｃａｃ）、いずれも分子量５９９〜６９４）といった蛍光材料、燐光材料などをあげることができる。これらは、正孔輸送機能、電子輸送機能、又はその両方の機能を有するホスト化合物に少量ドープして用いてもよい。そのようなホスト化合物としては、４，４’−ビス（９−カルバゾール）ビフェニル（ＣＢＰ、分子量４８４）、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）（ｐ−フェニルフェノラート）アルミニウム（III ）（ＢＡｌｑ、分子量５１２）などをあげることができる。
【００１６】
電子注入材料、電子輸送材料、正孔阻害材料、又はこれらのうち２つ以上の機能を有する有機物としては、例えば、２，９−ジメチル−４，７−ジフェニル−１，１０−フェナンスロリン（ＢＣＰ（バソキュプロイン）、分子量３６０）、２−（４−ビフェニリル）−５−（４−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＰＢＤ、分子量３５４）、２，５−ビス（１−ナフチル）−１，３，４−オキサジアゾール（ＢＮＤ、分子量３２２）、４，４’−ビス（９−カルバゾール）ビフェニル（ＣＢＰ、分子量４８４）、トリス（８−ヒドロキシキノリノラト）アルミニウム錯体（Ａｌｑ３、分子量４５９）、ビス（２−メチル−８−キノリノラート）（ｐ−フェニルフェノラート）アルミニウム（III ）（ＢＡｌｑ、分子量５１２）などのキノリノール誘導体やトリアゾール誘導体等があげられる。
【００１７】
粘土と有機物の混合比は、質量比で粘土：有機物が３０：１から１：３０の間が好ましい。粘土の質量比が３０：１よりも多くなると、有機物の機能（正孔輸送機能、発光機能、電子輸送機能）が低下するおそれがあり、粘土の質量比が１：３０よりも少ないと、粘土層における有機物の結晶化が防止できなくなったり、均一な粘土層が得られにくくなったりする。
【００１８】
次に、粘土と有機物との混合物からなる粘土層の作製方法について、詳細に説明する。難溶解性で高結晶性の低分子系有機物を含有する薄膜を作製するためには、低分子系有機物が溶媒に溶解又は均一に分散する必要があり、さらにその液を膜状化して乾燥した際に、薄膜を形成させたい部分の全面を覆うように均一な薄膜が形成される必要がある。本発明者らは、鋭意検討した結果、有機物とともに粘土を溶媒に混合することにより、難溶解性で高結晶性の有機物を溶媒に溶解又は均一分散させることが可能となり、且つ、その液を膜状化して乾燥すれば、薄膜を形成させたい部分の全面を覆うように均一な薄膜が形成できることを見出した。
また、粘土と有機物とで構成された粘土層が、粘土の単位構造が複数積層された層状構造を有し、これら層状構造を形成する粘土の単位構造間の少なくとも１つに有機物が配されていれば、有機物の経時的な結晶化が防止されて有機ＥＬ素子が安定的に作動することを見出した。
【００１９】
粘土と有機物との混合物からなる粘土層の具体的な作製方法を、下記の（１）〜（１３）に示す。
（１）水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に、粘土を均一に分散させて粘土分散液を得る。そして、前記粘土を分散するのに用いた溶媒と任意の割合で混合可能な有機溶媒に、有機物を均一に溶解又は分散させて有機物含有液を得る。これら粘土分散液と有機物含有液とを混合して、粘土と有機物とを含有する混合液を得、その混合液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜が得られる。
【００２０】
（２）前記（１）の混合液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。なお、粘土と有機物との混合物で構成された粘土層が、粘土の単位構造が複数積層された層状構造を有し、これら層状構造を形成する粘土の単位構造間に有機物を配する場合は、本方法で薄膜を作製した方がよい。
【００２１】
（３）前記（１）の混合液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、任意の有機溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
（４）水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に、粘土と有機物を加え、超音波処理，ホモジナイザー処理等により均一に分散させて混合液を得る。そして、その混合液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜が得られる。
【００２２】
（５）前記（４）の混合液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
（６）前記（４）の混合液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、任意の有機溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
【００２３】
（７）水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に、粘土を均一に分散させて粘土分散液を得る。そして、前記粘土を分散するのに用いた溶媒と任意の割合で混合できない有機溶媒に、有機物を均一に溶解又は分散させて有機物含有液を得る。これら粘土分散液と有機物含有液とを超音波処理，ホモジナイザー処理等により強制的に混合する。この混合液を静置して液が２層に分離したら、その各層の液を分別する。いずれか一方の分別液（粘土と有機物の混合液）を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜が得られる。
【００２４】
（８）前記（７）の分別液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
（９）前記（７）の分別液を乾燥させて得た粘土と有機物との混合物を、任意の有機溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
【００２５】
（１０）任意の有機溶媒に粘土を均一に分散させて粘土分散液を得る。そして、前記粘土を分散するのに用いた前記有機溶媒と任意の割合で混合可能な有機溶媒に、有機物を均一に溶解又は分散させて有機物含有液を得る。これら粘土分散液と有機物含有液とを混合して粘土と有機物とを含有する混合液を得、その混合液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜が得られる。
【００２６】
（１１）前記（１０）の粘土分散液に有機物を直接添加し、よく攪拌して粘土と有機物とを含有する混合液を得、その混合液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
（１２）前記（１０）又は（１１）の混合液を乾燥させ、粘土と有機物との混合物を得、この混合物を任意の有機溶媒（混合溶媒でもよい）に再分散させて粘土と有機物との混合物の再分散液を得る。そして、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる。
【００２７】
（１３）前記（１０）又は（１１）の混合液を乾燥させ、粘土と有機物との混合物を得、この混合物を水、水と任意に混合可能な有機溶媒、又は両者の混合溶媒に再分散させ、粘土と有機物との混合物の再分散液を得る。そして、この再分散液を膜状化して乾燥させることにより、均一な薄膜を得ることができる
これら（１）〜（１３）の方法においては、混合液や再分散液を膜状化する方法は特に限定されるものではないが、キャスト法，スピンコート法，インクジェット法，浸漬法，スプレー法，又は印刷法が好ましい。
【００２８】
以下に、実施例を示して、本発明をさらに具体的に説明する。まず、粘土と有機物との混合物からなる薄膜の製造例を示す。
〔実施例１〕
電子輸送性発光材料であるＡｌｑ３（０．０２ｇ）をＮ，Ｎ−ジメチルホルムアミド（ＤＭＦ）１０．０ｇに溶解し、５０℃で３時間攪拌して、濃度０．２質量％のＤＭＦ溶液を作製した。次に、合成サポナイトであるスメクトンＳＡ（クニミネ工業株式会社製）０．５ｇを水５０．０ｇに分散させて、濃度１．０質量％の粘土分散液を作製した。そして、Ａｌｑ３のＤＭＦ溶液５．０ｇをホットスターラーを用いて５０〜７０℃の温度下で攪拌しながら、そこに粘土分散液５．０ｇをゆっくり滴下し、Ａｌｑ３とスメクトンＳＡとを含有する混合液を作製した。この混合液を室温にて石英板上に滴下すると、製膜過程で溶媒が自然に蒸発して、Ａｌｑ３とスメクトンＳＡからなる均一な薄膜が得られた。
〔実施例２〕
実施例１で得られた薄膜をスパチュラ等で削り取って粉末化し、その粉末を水に分散させた。その分散液を室温にて石英板上に塗布すると、製膜過程で溶媒が自然に蒸発してＡｌｑ３とスメクトンＳＡからなる均一な薄膜が得られた。
【００２９】
〔実施例３〕
合成サポナイトであるスメクトンＳＡ０．５ｇを水５０．０ｇに分散させて、濃度１．０質量％の粘土分散液を作製した。次に、正孔注入材料であるＣｕＰｃ０．００１６ｇとＤＭＦ８．０ｇとを混合し、そこに前記粘土分散液０．４ｇを加えた。これを超音波処理により分散処理を施すと、青色の分散液が得られた。この分散液を厚さ１μｍの濾紙で濾過し、濾液を室温にて石英板上に滴下すると、製膜過程で溶媒が自然に蒸発してＣｕＰｃとスメクトンＳＡからなる均一な薄膜が得られた。
〔実施例４〕
実施例３で得られた薄膜をスパチュラ等で削り取って粉末化し、その粉末を水に分散させた。その分散液を室温にて石英板上に塗布すると、製膜過程で溶媒が自然に蒸発してＣｕＰｃとスメクトンＳＡからなる均一な薄膜が得られた。
【００３０】
〔比較例１〕
電子輸送性発光材料であるＡｌｑ３（０．０２ｇ）をＤＭＦ１０．０ｇに溶解し、濃度０．２質量％のＤＭＦ溶液を作製した。この溶液を室温にて石英板上に滴下したが、溶媒が自然に蒸発してＡｌｑ３の微結晶体が析出するため、一定領域を覆うような薄膜は得られなかった。
〔比較例２〕
正孔注入材料であるＣｕＰｃは室温における溶解性が乏しく、トルエン、キシレン、テトラリン、ジクロロベンゼン、トリクロロベンゼン、トリメチルベンゼン、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミドには、０．２質量％の濃度で溶解しなかった。そのため、薄膜を作製することはできなかった。
【００３１】
次に、有機ＥＬ素子の製造例を、図１を参照しながら説明する。
正孔輸送材料であるＮＰＤ０．０２ｇをトルエン４．００ｇに加え、５０〜６０℃の温度下で攪拌して、濃度０．５質量％のトルエン溶液を作製した。このトルエン溶液を数滴、インジウム・スズ酸化物（ＩＴＯ）層２がパターニングされた基板１の上にピペットにて滴下し、スピンコート法にて膜状化した。すなわち、トルエン溶液を滴下した基板を３００ｒｐｍで６０秒間回転させた後に、２０００ｒｐｍで１秒間回転させた。このようなスピンコート法による製膜過程でトルエンが蒸発し、固体のＮＰＤ膜３が得られた。
【００３２】
また、実施例２にて作製したＡｌｑ３とスメクトンＳＡとの分散液のぬれ性を改善するため、分散液にエタノールを加え、濃度０．５質量％の分散液を作製した。上記のようにして得たＮＰＤ膜３を４５℃に加熱したホットプレートの上に載置し、そのＮＰＤ膜３の上に、前述のエタノールを加えた分散液を数滴滴下すると、製膜過程で溶媒が自然に蒸発し、Ａｌｑ３とスメクトンＳＡからなる薄膜４がＮＰＤ膜３の上に形成された。
【００３３】
さらに、ＮＰＤ膜３の上に形成された薄膜４を、窒素雰囲気下にて８０℃で５時間養生させた。そして、この薄膜４上に、フッ化リチウムを膜厚が７Åになるように真空蒸着し（図示せず）、さらにアルミニウムを膜厚が８００Åになるように真空蒸着して、電極を形成した。得られたこの素子のＩＴＯ層２及びアルミニウム層５の両電極間に電圧を印加したところ、発光を確認した。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明の有機ＥＬ素子は、ディスプレイ用，照明用の有機ＥＬ素子として有用である。また、本発明の有機ＥＬ素子の製造方法は、湿式法にて薄膜を形成し容易に有機ＥＬ素子を製造できる方法であるので、ディスプレイ用，照明用の有機ＥＬ素子の製造方法として好適である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】有機ＥＬ素子の構造を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１    基板
２    インジウム・スズ酸化物層（電極）
３    ＮＰＤ膜
４    薄膜（粘土層）
５    アルミニウム層（電極）
【図１】
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