(57)【要約】【課題】  Ｘ線照射範囲を拡げた場合であっても装置の強度及び耐久度を維持することができ、均一なＸ線照射を実現すること。【解決手段】  このＸ線管１は、電子を放射する電子源８ａ，８ｂ，８ｃと、電子源８ａ，８ｂ，８ｃからの電子の入射に応じてＸ線を発生するターゲット材１５とが真空外囲器５内に設けられるとともに、ターゲット材１５から発生したＸ線を外部に取り出すためのＸ線取出窓が真空外囲器５に設けられたＸ線管であって、Ｘ線取出窓は、真空外囲器５に設けられた１以上の貫通孔１３を含む窓ユニット１３Ａ，１３Ｂが、真空外囲器５の長手方向に沿って少なくとも２列で複数配列されて構成され、複数の窓ユニット１３Ａ，１３Ｂは、隣接する列間で真空外囲器５の長手方向に沿って千鳥配列となるように配置されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電子を放射する電子源と、前記電子源からの電子の入射に応じてＸ線を発生するターゲットとが真空外囲器内に設けられるとともに、前記ターゲットから発生したＸ線を外部に取り出すためのＸ線取出窓が前記真空外囲器に設けられたＸ線管であって、
前記Ｘ線取出窓は、前記真空外囲器に設けられた１以上の窓部を含む窓ユニットが、所定の方向に沿って少なくとも２列で複数配列されて構成され、
複数の前記窓ユニットは、隣接する列間で前記所定の方向に沿って千鳥配列となるように配置されている、
ことを特徴とするＸ線管。
【請求項２】
前記窓部は、前記真空外囲器に形成された貫通孔と前記貫通孔を覆うように前記真空外囲器に設けられた窓材とを有し、
前記窓材は、前記窓ユニットが配列された列間で分割して設けられている、
ことを特徴とする請求項１記載のＸ線管。
【請求項３】
前記窓材は、前記所定の方向において窓ユニット毎に分割して設けられている、
ことを特徴とする請求項２記載のＸ線管。
【請求項４】
前記窓部は、スリット状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のＸ線管。
【請求項５】
前記窓部は、円形状に形成されている、
ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のＸ線管。
【請求項６】
前記貫通孔は、前記真空外囲器の外側に向かって広がるように形成され、
前記窓材は、前記真空外囲器の内側から前記貫通孔を覆うように設けられ、
前記ターゲットは、前記窓材の内側に設けられている、
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項にＸ線管。
【請求項７】
前記貫通孔は、前記真空外囲器の外側に向かって狭くなるように形成され、
前記窓材は、前記真空外囲器の外側から前記貫通孔を覆うように設けられ、
前記ターゲットは、前記窓材の内側に設けられている、
ことを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項にＸ線管。
【請求項８】
前記真空外囲器は、長尺状に形成されており、
前記複数の窓ユニットは、前記真空外囲器の長手方向に沿って配列されている、
ことを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載のＸ線管。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１項に記載のＸ線管と、
前記Ｘ線管と被照射物とを、前記Ｘ線取出窓の前方において前記所定の方向に対して交わる方向に沿って相対移動させるガイド部と、
を備えることを特徴とするＸ線照射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線を照射させるＸ線管に関し、特に、広範囲にＸ線を照射するのに適した構造を有するＸ線管、及びこれを用いたＸ線照射装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
Ｘ線管は、高真空の管内において電子源を用いて電子を発生させ、その電子をターゲットに入射させることによってＸ線を発生する装置である。このようなＸ線管としては、例えば、下記特許文献１に示されたＸ線装置がある。このＸ線装置では、平面状陰極から放出された電子線がターゲットである平面状陽極に衝突し、平面状陽極から発生したＸ線が真空容器の側面に設けられた取り出し窓を通して外部に取り出される。
【特許文献１】特開２００３−２８８８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上述したように筐体内に平面状の電子源が保持された構造を有するＸ線管は、電子源及びターゲットを大型化することでＸ線照射範囲の大面積化が容易である。ここで、Ｘ線を広範囲に渡って外部に照射させるためには、電子源を大型化するのに伴って取り出し窓も大きくする必要がある。しかしながら、取り出し窓を大型化すると、取り出し窓が破損し易くなる。
【０００４】
そこで、取り出し窓の強度を上げるために、取り出し窓を分割して設けることも考えられるが、この場合は、大面積の被照射物に照射されるＸ線の強度にムラが生じ易いという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものであり、Ｘ線照射範囲を拡げた場合であっても装置の強度を維持することができ、均一なＸ線照射を実現するＸ線管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、本発明のＸ線管は、電子を放射する電子源と、電子源からの電子の入射に応じてＸ線を発生するターゲットとが真空外囲器内に設けられるとともに、ターゲットから発生したＸ線を外部に取り出すためのＸ線取出窓が真空外囲器に設けられたＸ線管であって、Ｘ線取出窓は、真空外囲器に設けられた１以上の窓部を含む窓ユニットが、所定の方向に沿って少なくとも２列で複数配列されて構成され、複数の窓ユニットは、隣接する列間で所定の方向に沿って千鳥配列となるように配置されている。
【０００７】
このようなＸ線管によれば、真空外囲器内の電子源から放出された電子がターゲットに入射することによってＸ線が発生し、このＸ線は真空外囲器に設けられたＸ線取出窓を通じて外部に取り出される。このＸ線取出窓は、複数の窓部で分割することによって、Ｘ線取出窓全体を大型化してもその強度を向上させることができるとともに、１以上の窓部を有する窓ユニットが所定の方向に沿って２列以上で千鳥配列することによって、所定の方向と垂直な方向に沿ったＸ線の照射強度をＸ線照射領域全体に亘って均一にすることができる。
【０００８】
窓部は、真空外囲器に形成された貫通孔と貫通孔を覆うように真空外囲器に設けられた窓材とを有し、窓材は、窓ユニットが配列された列間で分割して設けられていることが好ましい。かかるＸ線取出窓を備えれば、窓材毎が封止する領域を小さくすることができるので、貫通孔を覆う窓材の破損を防止することができる。
【０００９】
また、窓材は、所定の方向において窓ユニット毎に分割して設けられていることも好ましい。この場合、窓材毎が封止する領域をさらに小さくすることができるので、窓材の破損をより防止することができる。
【００１０】
また、窓部は、スリット状に形成されていることも好ましい。かかる構成とすれば、所定の方向に沿ったＸ線の照射強度をより均一にすることができる。
【００１１】
また、窓部は、円形状に形成されていることも好ましい。こうすれば、真空封止領域の形状が円形となるため、さらにＸ線取出窓の破損を防止することができる。
【００１２】
さらに、貫通孔は、真空外囲器の外側に向かって広がるように形成され、窓材は、真空外囲器の内側から貫通孔を覆うように設けられ、ターゲットは、窓材の内側に設けられていることも好ましい。この場合、ターゲットから発生したＸ線を外部に効果的に取り出すことができるとともに、窓材を貫通孔の内側に配置することにより、窓材への接触等によるＸ線取出窓の破損の可能性を低減させることができる。
【００１３】
またさらに、貫通孔は、真空外囲器の外側に向かって狭くなるように形成され、窓材は、真空外囲器の外側から貫通孔を覆うように設けられ、ターゲットは、窓材の内側に設けられていることも好ましい。かかる構成を採れば、電子がターゲットへ入射する効率を上げることができる。
【００１４】
さらにまた、真空外囲器は、長尺状に形成されており、複数の窓ユニットは、真空外囲器の長手方向に沿って配列されていることも好ましい。このような構成により、Ｘ線をより大きな幅で照射することができる。
【００１５】
或いは、本発明のＸ線照射装置は、上述したＸ線管と、Ｘ線管と被照射物とを、Ｘ線取出窓の前方において所定の方向に対して交わる方向に沿って相対移動させるガイド部とを備える。このようなＸ線照射装置によれば、大面積を有する被照射物に対してより均一にＸ線を照射することができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、Ｘ線照射範囲を拡げた場合であっても装置の強度を維持することができ、均一なＸ線照射を実現するＸ線管を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、図面を参照しつつ本発明に係るＸ線管の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図面は説明用のために作成されたものであり、説明の対象部位を特に強調するように描かれている。そのため、図面における各部材の寸法比率は、必ずしも実際のものとは一致しない。
【００１８】
図１は、本発明の好適な一実施形態であるＸ線管１の平面図、図２は、図１のＸ線管１の上部面板を取り除いた状態を示す平面図、図３は、図１のIII−III線に沿った断面図、図４は、図１のIV−IV線に沿った断面図である。
【００１９】
これらの図に示すように、Ｘ線管１は、長尺状の平板ガラス等の絶縁部材からなる上部面板２及び下部面板３と、ガラス等の絶縁部材からなる四角柱状の側壁４とから構成される真空外囲器５を有している。上部面板２、下部面板３、及び側壁４は、ガラスによって形成され、上部面板２及び下部面板３がフリットガラス等により側壁４の開口端と封着されることにより真空外囲器５の内部が気密に保たれている。
【００２０】
この真空外囲器５の一部を構成する下部面板３の内面３ａ上には、表面に炭素系電子放出材料６ａ，６ｂ，６ｃがそれぞれ塗布された帯状の金属膜７ａ，７ｂ，７ｃによって構成される電子源８ａ，８ｂ，８ｃが配置されている（図２及び図４参照）。それぞれの電子源８ａ，８ｂ，８ｃにおいては、金属膜７ａ，７ｂ，７ｃの両端部を除く上面の全体に渡って炭素系電子放出材料６ａ，６ｂ，６ｃが塗布されている。金属膜７ａ，７ｂ，７ｃには、それぞれ、外部から金属膜７ａ，７ｂ，７ｃの電圧を設定するためピンであって、真空外囲器５から外部に貫通して設けられた外部接続用ピン９ａ，９ｂ，９ｃが電気的に接続されている。
【００２１】
ここで、炭素系電子放出材料６ａ，６ｂ，６ｃは、カーボンナノチューブ、カーボンナノウォール、カーボンナノファイバ、ダイヤモンド、ダイヤモンドライクカーボン等に代表され、電界の作用によって電子を外部に放出する性質を有するいわゆる電界放出型の電子放出材料である。金属膜７ａ，７ｂ，７ｃへの炭素系電子放出材料の被覆方法としては、ＣＶＤ法、スプレー法、印刷法等の方法を用いることができる。
【００２２】
これらの電子源８ａ，８ｂ，８ｃは、側壁４と内面３ａとによって形成される３つの直線状の溝部１６ａ，１６ｂ，１６ｃ内にそれぞれ配置される（図４）。すなわち、側壁４においては下部面板３に向けて貫通する互いに平行な３つのスリットと内面３ａによって溝部１６ａ，１６ｂ，１６ｃが下部面板３の長手方向に沿って形成され、金属膜７ａ，７ｂ，７ｃは、それぞれ、溝部１６ａ，１６ｂ，１６ｃの底面となる内面３ａに沿って成膜されている。
【００２３】
また、側壁４における溝部１６ａ，１６ｂ，１６ｃを挟む内面４ａ上には、電子源８ａ，８ｂ，８ｃと並列に帯状の金属膜である引出電極１１が複数布設されている。この引出電極１１は、各電子源８ａ，８ｂ，８ｃを両側から挟むように分割して配置され、電子源８ａ，８ｂ，８ｃの長手方向に沿ってさらに２分割されている。さらに、引出電極１１には、電子源８ａ，８ｂ，８ｃを挟んで設けられた１組の電極毎に外部接続用ピン１２が接続されている。
【００２４】
上部面板２は、電子源８ａ，８ｂ，８ｃに対向する位置に複数のスリット状の貫通孔１３が形成されることによって、Ｘ線を外部に取り出すためのＸ線取出窓として機能する（図１）。貫通孔１３は、上部面板２の真空側の内面の開口から外面の開口に向かって狭くなるように、断面台形状に穿たれて形成されている（図４）。
【００２５】
これらの貫通孔１３は、それぞれの電子源８ａ，８ｂ，８ｃに対向して、その長手方向（所定の方向）に沿って３列になるように、各列で一直線上に複数、等間隔で配列されて形成されている。その結果、配列方向において隣接する２つの貫通孔１３からなる窓ユニット１３Ａと、１つの貫通孔１３からなる窓ユニット１３Ｂとが構成されている。電子源８ａ，８ｃに対向する両端の列においては、２つの窓ユニット１３Ａが１つの窓ユニット１３Ｂを挟むように配置され、電子源８ｂに対向する中心の列においては、２つの窓ユニット１３Ａが隣接して配置されている。窓ユニット１３Ａ，１３Ｂは、隣接する列間で電子源８ａ，８ｂ，８ｃの長手方向に沿って千鳥配列となるように、具体的には、上部面板２の平面上における、電子源８ａ，８ｂ，８ｃの長手方向に沿った窓ユニット１３Ａ，１３Ｂの配列方向に垂直な方向から見て、所定の列で電子源８ａ，８ｂ，８ｃの長手方向に沿って隣接した窓ユニット１３Ａと１３Ｂ（又は、窓ユニット１３Ａ同士）の境界に対応する位置に、所定の列に隣接した列の窓ユニット１３Ａ（又は、窓ユニット１３Ｂ）が、所定の列の窓ユニット１３Ａと１３Ｂ（又は、窓ユニット１３Ａ同士）の両方に重なるように配置されている。つまり、所定の列における連続する窓ユニットの境界が、隣接する列における連続する窓ユニットの境界と一致しないように、互い違いに配置されている。また、窓ユニット１３Ａ，１３Ｂにおける貫通孔１３も、窓ユニット１３Ａ，１３Ｂと同様の配置になるように形成されている。
【００２６】
また、上部面板２の外側表面には、窓ユニット１３Ａ，１３Ｂ毎に分割された窓材としてのシリコン薄膜１４が、貫通孔１３を覆うように陽極接合によって接合されており、シリコン薄膜１４と貫通孔１３とでＸ線を外部に透過させる窓部が構成される。つまり、このシリコン薄膜１４は、窓部が配列された列間で分割されると同時に、配列方向においても分割されて設けられている。なお、窓材としては、シリコン以外にベリリウム等の他のＸ線透過性を有する材料を用いてもよい。このようなシリコン薄膜１４の存在により、真空外囲器５の内部の気密封止が実現される。
【００２７】
さらに、シリコン薄膜１４の内側、つまり真空側面の貫通孔１３から露出する部位には、タングステン等のターゲット材１５が蒸着により形成されている（図４）。このターゲット材１５は、電子源８ａ，８ｂ，８ｃからの電子の入射に応じてＸ線を発生させる性質を有する。なお、貫通孔１３の内壁も含めて、上部面板２の真空側にもタングステン等の導電性部材が蒸着されている。電子源８からの電子は、絶縁部材である上部面板２にも入射するため、上部面板２が帯電し、真空容器５内に形成される電界に影響を与えてしまう場合がある。そのため、導電性部材で電子入射側を覆うことによって、帯電を防止している。なお、本実施形態においては、ターゲット材１５と一体に蒸着形成されている。また、ターゲット材１５への電圧供給も、真空外囲器５から外部に貫通して設けられた外部接続用ピン１７と接触する導電性部材を介して行われる。
【００２８】
以上説明したＸ線管１においては、真空外囲器５内の電子源８ａ，８ｂ，８ｃから放出された電子がターゲット材１５に入射することによってＸ線が発生し、このＸ線は真空外囲器５に設けられたＸ線取出窓を通じて外部に取り出される。このＸ線取出窓は、貫通孔１３を有する窓ユニット１３Ａ，１３Ｂが上部面板２の長手方向の方向に沿って２列以上で千鳥配列されたものであるので、Ｘ線取出窓全体を大型化した場合であっても、貫通孔１３で複数の領域に分割することによって実質的にＸ線取出窓全体の面積を保ちながらも窓ユニット内におけるシリコン薄膜１４の保持領域を増やすことができる結果、シリコン薄膜１４で覆われたＸ線取出窓の強度及び耐久度を向上させることができる。
【００２９】
また、真空外囲器５の長手方向と垂直な方向に亘るＸ線の照射強度をＸ線照射領域全体で均一にすることができ、被照射物をＸ線取出窓の面に平行に、かつ真空外囲器５の短手方向に向けて移動させることによって、大面積を有する被照射物において照射ムラを生じさせることなく全体に均一にＸ線を照射することができる。特に、Ｘ線管に被照射物を近接させてＸ線を照射する場合にはＸ線の指向性が高くなるので、Ｘ線管１を用いることによる照射強度の均一化の効果が大きい。
【００３０】
また、シリコン薄膜１４が、窓ユニット１３Ａ，１３Ｂが配列された列間で分割して設けられており、さらに、真空外囲器５の長手方向においても分割して設けられている。そのため、１つのシリコン薄膜１４毎が封止する領域を小さくすることができるので、シリコン薄膜１４にかかる力も小さくなり、製造時や使用時における貫通孔１３を覆う窓材１４の破損を防止することができる。また、シリコン薄膜１４の面積が大きくなるに従って、全体に均質なシリコン薄膜１４を得るのが難しくなる傾向があるが、分割により面積を小さくすれば、全体に均質なシリコン薄膜１４を得やすくなる。つまり、シリコン薄膜１４をシリコンウェハ等から作製する際の製造効率も上がるので、容易にＸ線取出窓を作製することができる。
【００３１】
また、貫通孔１３は、真空外囲器５の外側に向かって狭くなるように形成されているので、電子源８ａ，８ｂ，８ｃから放射された電子を効率よくターゲット材１５へ入射することができるのに加え、シリコン薄膜１４が上部面板２の外側表面に設けられているために、シリコン薄膜１４から取り出されたＸ線が上部面板２に吸収されることなく直接照射することができるので、外部に効果的にＸ線を照射させることができる。
【００３２】
次に、Ｘ線管１を用いたＸ線照射装置である静電気除電装置１０１の構成について説明する。図５は、静電気除電装置１０１の構成を示す斜視図である。同図に示すように、静電気除電装置１０１は、帯状のビニールフィルム（被照射物）１１０を長手方向に進行させるガイド部であるローラ１２０，１２１と、ビニールフィルム１１０の表面にＸ線取出窓を対面させて、ビニールフィルム１１０の進行方向が真空外囲器５の長手方向に垂直な方向になるように配置されたＸ線管１と、Ｘ線管１及びビニールフィルム１１０のＸ線照射部分を覆い外部へのＸ線の漏れを防止するＸ線遮蔽キャビネット１４０とを備えている。Ｘ線遮蔽キャビネット１４０の内部には空気またはガスが充満されている。
【００３３】
このような静電気除電装置１０１においては、電源装置１５０からの給電によってＸ線管１から出射したＸ線は、ローラ１２０，１２１の回転によって進行するビニールフィルム１１０の上面に照射される。Ｘ線の照射によってビニールフィルム１１０の上面に接する空気等がイオン化され、ビニールフィルム１１０の上面に帯電した電荷と結合する。このため、ビニールフィルム１１０の上面が除電される。ビニールフィルム１１０の上面に到達したＸ線は、ビニールフィルム１１０を透過して、ビニールフィルム１１０の裏面に接する空気等もイオン化する。イオン化によって生じた電荷は、ビニールフィルム１１０の裏面に帯電した電荷と結合し、ビニールフィルム１１０の裏面も除電される。ここで、ビニールフィルム１１０が通過する範囲をカバーするようにＸ線管１を配置することで、大面積を有するビニールフィルム等の被照射物において照射ムラなくより均一にＸ線を照射することができ、効果的に除電することができる。特に、被照射物の進行方向に対して、窓ユニットの列が垂直に交わるようにＸ線管１を配置している。Ｘ線管１は、Ｘ線取出窓を構成する窓ユニットが千鳥配列となるように配列されているため、被照射物に最初にＸ線を照射する窓ユニットの列における、連続した窓ユニット間の境界部分に対しては、次いで被照射物にＸ線を照射する列の窓ユニットが確実に照射することができ、大面積であっても、もれなく照射及び除電することができる。
【００３４】
なお、本発明は、前述した実施形態に限定されるものではない。例えば、Ｘ線管１の上部面板２に設けられた窓部の形状としては様々な形状を採ることができる。
【００３５】
図６は、本発明の変形例であるＸ線管２１の平面図、図７は、図６のＸ線管２１のVII−VII線に沿った断面図である。これらの図に示すように、Ｘ線管１と同様に、１つ貫通孔３３を含む窓ユニット３３Ａと２つの貫通孔３３を含む窓ユニット３３Ｂとが、上部面板２の長手方向に沿って３列で千鳥配列となるように形成されている。この貫通孔３３は、上部面板２の真空側の内面の開口から外面の開口に向かって広がるように、断面台形状に穿たれて形成されている（図７）。窓材であるシリコン薄膜３４は、貫通孔３３を内側（真空側）から覆うように上部面板２の内面に沿って接合されており、このシリコン薄膜３４の内面、すなわち、真空側にある電子源８ａ，８ｂ，８ｃと向かい合う面には、ほぼ全面にターゲット材３５が形成されている。
【００３６】
このようなＸ線管２１では、上部面板２の外側表面から奥まってシリコン薄膜３４が配置されているので、接触等の外部要因によるシリコン薄膜３４の破損等を防止することができるとともに、シリコン薄膜３４の上部面板２との接合部分が大気中にさらされないために、外部要因による接合部分の劣化が少ない。
【００３７】
また、Ｘ線取出窓の個々の窓ユニットにおける貫通孔の配置としては、様々な配置をとることが可能である。具体的には、図８に示す窓ユニット４３のように、円形に形成された複数の貫通孔が１列に並ぶように形成され、窓ユニット４３の隣接する列間で窓ユニット及び貫通孔が千鳥配列にされていてもよい。この場合、貫通孔の縁部と窓材との接触が円形状になっているので、接触部における力の分散が均一になりやすく、窓材が破損しにくい。また、図９に示す窓ユニット５３のように、円形に形成された複数の貫通孔を２列で配置し、２列をまとめて窓ユニットとしての１列としてもよい。この場合、窓ユニット中において、貫通孔と窓材を支持する部分とをバランスよく配置することが可能となる。また、図１０に示す窓ユニット６３のように、貫通孔自体が窓ユニット６３の中で千鳥配列にされていてもよい。この場合、窓ユニット内においても、均一なＸ線照射が可能となる。さらには、図１１に示す窓ユニット７３のように、スリット状に形成された貫通孔を２列で並ぶように形成し、２列をまとめて窓ユニットとしての１列としてもよい。この場合、窓ユニット中において、貫通孔と窓材を支持する部分とをバランスよく配置することが可能となるのに加え、スリット状貫通孔の長手方向におけるＸ線照射の均一性も高い。
【００３８】
また、個々の貫通孔毎を窓ユニットとしてもよい。
【００３９】
また、Ｘ線照射装置においては、ガイド部は被照射物を移動させる手段に限らず、Ｘ線管の方を移動させるための手段でも良い。
【００４０】
また、真空外囲器５を構成する部材は絶縁材料に限らず、例えば上部面板３に導電性部材を用いても良い。
【００４１】
また、上部面板２の真空側に蒸着された導電性部材としては、ターゲット材と一体に形成される場合に限らず、ターゲット材とは異なる導電性材料を用いたもの、例えばアルミニウムや、ＩＴＯ(Indium Tin Oxide)等による薄膜でもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の好適な一実施形態であるＸ線管の平面図である。
【図２】図１のＸ線管の上部面板を取り除いた状態を示す平面図である。
【図３】図１のＸ線管のIII−III線に沿った断面図である。
【図４】図１のＸ線管のIV−IV線に沿った断面図である。
【図５】図１のＸ線管を用いた静電気除電装置の斜視図である。
【図６】本発明の変形例であるＸ線管の平面図である。
【図７】図６のＸ線管のVII−VII線に沿った断面図である。
【図８】本発明の変形例における上部面板の平面図である。
【図９】本発明の変形例における上部面板の平面図である。
【図１０】本発明の変形例における上部面板の平面図である。
【図１１】本発明の変形例における上部面板の平面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１，２１…Ｘ線管、５…真空外囲器、８ａ，８ｂ，８ｃ…電子源、１３，３３…貫通孔（窓部）、１３Ａ，１３Ｂ，３３Ａ，３３Ｂ，４３，５３，６３，７３…窓ユニット、１４，３４…シリコン薄膜（窓材）、１５，３５…ターゲット材、１０１…静電気除電装置（Ｘ線照射装置）、１１０…ビニールフィルム（被照射物）、１２０，１２１…ローラ（ガイド部）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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