(57)【要約】  【課題】  ペリクル収容容器の破損及び変形を抑制し、異物の混入を低減可能なペリクル収容容器を提供する。  【解決手段】  トレイ３と、当該トレイ３と嵌合する蓋体４とを有し、トレイ３と蓋体４との嵌合により形成される空間内にペリクル１を収容するペリクル収容容器５において、トレイ３及び／又は蓋体４に、ペリクル収容容器５を把持可能な把持部６を備え、把持部６は、その内方に把持部６より剛性の高いインサート部材９等の補強手段を含むようにする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トレイと、当該トレイと嵌合する蓋体とを有し、
上記トレイと上記蓋体との嵌合により形成される空間内にペリクルを収容するペリクル収容容器において、
上記トレイ及び／又は蓋体に、上記ペリクル収容容器を把持するための把持部を備え、上記把持部は、その内方に上記把持部より剛性の高い補強手段を含むことを特徴とするペリクル収容容器。
【請求項２】
前記補強手段の融点は、前記把持部の外側を覆う前記トレイ及び／又は前記蓋体の融点以上であることを特徴とする請求項１記載のペリクル収容容器。
【請求項３】
前記把持部は、前記トレイ及び／又は前記蓋体から水平方向に延出して設けられていることを特徴とする請求項１又は２記載のペリクル収容容器。
【請求項４】
前記把持部の下面における水平方向の延出部分の長さを５ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲とすることを特徴とする請求項３記載のペリクル収容容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するために用いられる、ペリクルを収容するペリクル収容容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ペリクルは、半導体回路パターン形成の際に用いられるフォトマスクやレティクルの防塵部材である。フォトマスクやレティクルは、粘着剤によりペリクルを保持した状態で使用される。このペリクルを製造者から使用者に運搬する際には、当該ペリクルをトレイと蓋体とからなる収容容器に収容する。これは、ペリクルに展張されるペリクル膜への異物の付着及びペリクル膜の損傷を防くためである。
【０００３】
近年のペリクルの大型化に伴い、ペリクル収容容器も大型化している。これに伴い、ペリクル収容容器の持ち上げ作業が困難となっている。一般的に、前記トレイと蓋体は、薄肉で大型一体成形が容易にできる真空成形によって製造される。成形されたトレイ又は蓋体は、真空成形後に金型から抜く必要があるため、形状上の制約として抜き勾配を要する。しかし、抜き勾配の部分は把持する際に非常に滑りやすいため、ペリクル収容容器を持ち上げることが困難となる。したがって、ペリクル収容容器を確実に把持して持ち上げることを可能とすることが望まれている。
【０００４】
かかる要望に応える技術として、図６に示すように、蓋体２２の端部の一部を突出させ、板状の当該突出部２３を設けることにより、トレイ２１と蓋体２２とから成るペリクル収容容器２５を把持可能とした第１の従来技術が開示されている（例えば、特許文献１参照)。
【０００５】
また、同文献には、上記突出部２３に切欠きや穴等を設けて、ペリクル収容容器２５を治具等で把持可能とした第２の従来技術も開示されている。
【特許文献１】特開２００５−４３７０８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記第１の従来技術において、突出部２３は、蓋体２２の板材の厚みと同等の厚みを有している。図７に示すように、突出部２３を把持してペリクル収容容器２５を持ち上げると（矢印の方向）、突出部２３が変形しやすい。また、その変形は、突出部２３の付け根付近（Ａの部分）への応力集中を伴い、その結果、ペリクル収容容器２５が早期に破損し、場合によっては蓋体２２とトレイ２１との密封性が低下して、異物がペリクル表面へ付着する危険性を生じる可能性がある。
【０００７】
一方、上記第２の従来技術では、突出部２３に切欠きや穴を設けているため、当該切り欠きや穴に治具を挿入してペリクル収容容器２５の開閉を繰り返すことにより、前記治具と穴等との磨耗により生じる磨耗くずがペリクル収容容器２５内へ入り込む危険性がある。これによって、異物がペリクル表面へ付着することが懸念される。
【０００８】
本発明は、上記問題を解決すべく、破損及び変形することなく、異物混入のないペリクル収容容器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、トレイと、当該トレイと嵌合する蓋体とを有し、上記トレイと上記蓋体との嵌合により形成される空間内にペリクルを収容するペリクル収容容器であって、トレイ及び／又は蓋体に、ペリクル収容容器を把持するための把持部を備え、上記把持部の内方に把持部より剛性の高い補強手段を含むペリクル収容容器に関する。
【００１０】
把持部の内方に当該把持部より剛性の高い補強手段を含む構造を採用することにより、把持部の剛性が高くなり。それ自体の変形が小さく、把持部を備えるトレイ及び／又は蓋体の破損又は変形を抑制できる。このため、トレイと蓋体の間から異物が混入する危険性を低減できる。さらには、把持部自体の剛性が高まることにより、把持部に切り欠きや穴を設けないため、上述した磨耗くずが発生することが無い。
【００１１】
把持部は、ペリクル収納容器を持ち上げたり、トレイと蓋体とを分離したりする際に把持する部分をいう。例えば、ペリクルを載置する側をトレイとし、そのトレイの上に被せる側を蓋体とすると、把持部はトレイ及び蓋体のいずれに備えられていてもよく、またトレイと蓋体の両方に備えられていても良い。
【００１２】
別の本発明は、上記ペリクル収容容器において、補強手段としてその融点が把持部の外側を覆うトレイ又は蓋体の融点以上となる構成部としている。その理由は、成形の際に、補強手段の上から溶融状態の樹脂を被せたときに補強手段が軟化して変形する可能性を低減するためである。
【００１３】
また、別の本発明は、把持部を、トレイ及び／又は蓋体から水平方向に延出して設けるようにしている。このため、手を把持部の下面におき、容器を容易に持ち上げたり、蓋体とトレイとを容易に分離することができる。
【００１４】
さらに、別の本発明は、先の発明における延出部分の長さを５ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲とするようにしている。延出部分の長さを５ｍｍ以上とすると、把持することがより容易となり、また、延出部分の長さを４０ｍｍ以下とすると、延出部分の成形がより容易となると共にコンパクトな形態を実現できる。
【００１５】
本発明に係るペリクル用収納容器を構成するトレイおよび蓋体の材料には、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂（アクリロニトリル、ブタジエンおよびスチレンの３種類の単量体からなる共重合体であり、以後、「ＡＢＳ樹脂」という。）の他、ポリメタクリル酸メチル（ＰＭＭＡ）樹脂等のアクリル樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂等のポリエステル樹脂、ポリエチレン（ＰＥ）樹脂、ポリプロピレン（ＰＰ）樹脂等のポリオレフィン樹脂、ポリスチレン（ＰＳ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）樹脂等を用いることができる。ただし、上述の樹脂は一例に過ぎず、他の樹脂材料を採用しても良い。
【００１６】
また、補強手段は、当該補強手段を有する蓋体あるいはトレイの材料に比べて剛性が高い材料で構成されていれば材料に限定はないが、金属、セラミックス、あるいはポリアミド（ＰＡ）樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）樹脂、ガラス繊維強化ポリカーボネート（ＧＦＲＰＣ）等の樹脂が好ましい。
【００１７】
本発明に係るペリクル用収納容器は、好適には真空成形にて製造される。ここで、「真空成形」とは、軟化状態の樹脂を金型に配置して、その樹脂と金型との間の空間を真空にすることによって、樹脂を金型に吸い付けて成形する方法をいい、金型への樹脂の供給方法は問わない。したがって、シート形状の樹脂を金型に配置したり、あるいは溶融状態の樹脂を金型に吐出しても良い。真空成形の例としては、雌型を用いるストレート法、雄型によるドレープ法、樹脂シートを半球状にふくらませてその中に雄型を入れて成形するエアスリップ法、エアスリップ法で用いられる雄型の代わりに雌型を用いるリバースドロー法、雌型上にクランプした樹脂シートをプラグで雌型に突き降ろし、樹脂シートを予張して真空にひく補助プラグ法などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。また、真空成形以外に、樹脂側から金型方向にガス圧を及ぼして成形する圧空成形、当該圧空成形と真空成形の両方を組み合わせた圧空真空成形によって製造することもできる。また、真空成形、圧空成形、圧空真空成形以外の成形方法を採用しても良い。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、ペリクル収容容器の破損及び変形を抑制し、異物混入の危険性の少ないペリクル収容容器を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明のペリクル収容容器の実施形態の一例について、図面を用いて説明する。
【００２０】
図１は、本発明のペリクル収容容器５にペリクル１を収容した状態を示す縦断面図である。
【００２１】
ペリクル収容容器５内に収容されるペリクル１は、四角枠形状の支持枠１ａと、その一方の端面に展張されるペリクル膜１ｂとからなる。ペリクル収容容器５は、一方を開口する凹形状のトレイ３と、当該トレイ３と嵌合する方向に開口する蓋体４とを有し、トレイ３と蓋体４との嵌合により形成される空間内にペリクル１を収容する機能を有している。
【００２２】
トレイ３は、平面形状のトレイ底面３１と、当該トレイ底面３１の外周において当該トレイ底面３１から続いて略垂直上方に立ち上がる垂直面３２と、当該垂直面３２から水平に外方向に延出される水平面３３と、当該水平面３３から垂直面３２とほぼ同じ長さだけ略垂直下方に延びる垂直面３４と、当該垂直面３４から水平に外方向に延出される水平面３５と、当該水平面３５から略垂直上方に立ち上がる垂直面３６と、当該垂直面３６から水平に外方向に延出される水平面３７とを備えている。
【００２３】
一方、蓋体４は、平面形状の蓋体天面４１と、当該蓋体天面４１の外周から略垂直下方に延びる垂直面４２と、当該垂直面４２から水平に内方向に延出される水平面４３と、当該水平面４３から略垂直下方に延びる垂直面４４と、当該垂直面４４から水平面４３とほぼ同じ長さだけ水平に外方向に延出される水平面４５と、当該水平面４５から略垂直下方に延びる垂直面４６と、当該垂直面４６から水平に外方向に延出される水平面４７と、当該水平面４７から略垂直上方に立ち上がる垂直面４８と、当該垂直面４８から水平に外方向に延出される水平面４９とを備えている。なお、水平面４５と水平面４３とは、同じ長さではなく、どちらかが長くても良い。
【００２４】
ペリクル１の支持枠１ａは、トレイ３の水平面３３上に載置され、支持枠１ａの上方から不図示の固定部によって固定されて、ペリクル収容容器５内に収容される。また、蓋体４の水平面４７、垂直面４８および水平面４９とから構成されるクランク形状部分は、トレイ３の水平面３５、垂直面３６および水平面３７から構成されるクランク形状部分とほぼ同じ形状であり、蓋体４側のクランク形状部分の下面がトレイ３側のクランク形状部分の上面と密着可能となっている。蓋体４側のクランク形状部分とトレイ３側のクランク形状部分とは、ペリクル１の輸送時に、不図示のクリップ若しくはテープによって密着を維持できるように固定される。
【００２５】
蓋体４における蓋体天面４１の直下には、ペリクル収容容器５を輸送する際あるいは蓋体４とトレイ３とを分離する際に把持するための把持部６が備えられている。把持部６は、蓋体天面４１とその内方に把持部６より剛性の高い板状のインサート部材９（補強手段の一例）とから成る構成部材である。ただし、蓋体４に把持部を形成する場合において、蓋体天面４１以外の箇所に把持部を設けても良く、その場合、当該把持部は、蓋体４のいずれかの箇所の外側部材とその中にインサートされるインサート部材とから構成される。
【００２６】
ペリクル収容容器５を輸送する際あるいは蓋体４とトレイ３とを分離する際には、使用者は、水平面４３、垂直面４４および水平面４５によって形成される凹部に手を入れ、把持部６をつかんで、蓋体４をトレイ３と反対方向に動かす。把持部６の内方にインサート部材９が備えられているため、把持部６自体の変形若しくは破損および蓋体４の変形が生じにくい。水平面４３の長さ（把持部６の下面が蓋体４から延出する延出部分の長さ）は、約２５ｍｍである。ただし、かかる延出部分の長さは、２５ｍｍに限定されない。また、延出部分の長さは、特に、５ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲とするのが好ましい。延出部分の長さがかかる範囲内の場合、把持することがより容易となり、かつ延出部分の成形もより容易となるからである。さらに、蓋体４を必要以上に大きくしない点でも好ましい。
【００２７】
トレイ３および蓋体４（把持部６を含む）の材料としては、例えば、ＡＢＳ樹脂、ＰＭＭＡ樹脂、ＰＥＴ樹脂、ＰＰ樹脂等の熱可塑性樹脂を好適に用いることができる。また、把持部６より剛性の高いインサート部材９の材料としては、金属、セラミックス、熱可塑性エンジニアリングプラスチックあるいはフィラー強化型の樹脂を好適に用いることができる。特に、インサート部材９の材料として樹脂を採用する場合には、ＰＡ樹脂、ＰＥＥＫ樹脂、ＧＦＲＰＣ樹脂等が好ましい。
【００２８】
把持部６の材料とインサート部材９の材料とを共に樹脂で構成する場合の組み合わせとしては、以下のような組み合わせが特に好ましい。把持部６をＡＢＳ樹脂若しくはＰＰ樹脂で構成する場合には、インサート部材９をＰＣ樹脂、ＰＡ樹脂若しくはＧＦＲＰＣ樹脂等で構成するのが良い。また、把持部６をＰＣ樹脂若しくはＰＥＴ樹脂で構成する場合には、インサート部材９をＰＡ樹脂、ＰＥＥＫ樹脂若しくはＧＦＲＰＣ樹脂等で構成するのが良い。また、把持部６をＰＭＭＡ樹脂で構成する場合には、インサート部材９をＰＥＥＫ樹脂若しくはＧＦＲＰＣ等で構成するのが良い。
【００２９】
また、把持部６の材料とインサート部材９の材料との組み合わせは、各融点若しくは軟化点に着目して決定することができる。具体的には、インサート部材９を構成する材料の融点若しくは軟化点が、把持部６を構成する材料の融点若しくは軟化点以上となるように、把持部６を構成する材料とインサート部材９を構成する材料とを決定するのが好ましい。これにより、インサート部材９を真空成形用の金型上に配置し、その上から溶融状態の蓋体４の材料を載せた際に、インサート部材９が加熱されてその形態が変化する危険性を低減することができる。ただし、インサート部材９上に溶融状態の蓋体４の材料を載せている時間が極めて短い場合、上記成形方法以外の製造方法により蓋体４を製造する場合もある。したがって、インサート部材９を構成する材料と把持部６を構成する材料との組み合わせは、融点若しくは軟化点以外の観点で決めても良い。
【００３０】
把持部６は、真空成形で蓋体４を形成する際に、インサート部材９を成形時の配置のまま残すことにより内部に含めることができる。また、インサート部材９と蓋体４との固着性を強固にする趣旨から、当該真空成形の際に、インサート部材９の表面に接着剤等を塗る等のプライマー処理を施すことが好ましい。インサート部材９と蓋体４との固着性を強固にすれば、把持の際に両者の界面ですべりが生じることがなくなり、把持部６の変形およびそれに伴い蓋体４への応力負担がかかるのを抑制できる。
【００３１】
上記真空成形の利点は、大型の一体成形品を容易に成形できる点である。特に、近年のペリクル１の大型化に伴いペリクル収容容器５も大型化していることから、真空成形は、射出成形等の他の成形方法に比べて有利である。ただし、真空成形以外に、圧空成形、圧空真空成形を採用しても良い。
【００３２】
次に、本実施の形態に係るペリクル収容容器５の製造方法につき説明する。
【００３３】
図２は、ペリクル収容容器５の蓋体４を製造する工程を説明するための図である。また、図３は、ペリクル収容容器５のトレイ３を製造する工程を説明するための図である。
【００３４】
まず、図２（ａ）に示すように、真空成形用の金型１０上に、インサート部材９を載置し、その上から蓋体４に成形する前の樹脂製の板状体１１を溶融状態にしてから被せる。続いて、金型１０側から真空に引くと、図２（ｂ）に示すように、溶融状態の板状体１１は、インサート部材９を内方に含みながら、金型１０とインサート部材９によって形成された凹凸形状に沿って密着する。この結果、蓋体４が成形できる。その後、図２（ｃ）に示すように、金型１０と、インサート部材９を含む蓋体４とを分離する。
【００３５】
図２（ｃ）に示すように、蓋体４には、蓋体４の天面に把持部６が形成される。把持部６の内方に含まれているインサート部材９の直下であって、かつ把持部６の外周から内側方向には、凹部７が形成されている。凹部７に手をかけて蓋体４を持ち上げても、インサート部材９の存在によって、把持部６は変形しにくくなる。
【００３６】
また、図３（ａ）に示すように、トレイ３を成形するには、トレイ３の凹凸形状に合わせた形状の金型１０の上から、樹脂製の板状体１１を溶融状態にしてから被せる。続いて、金型１０側から真空に引くと、図３（ｂ）に示すように、溶融状態の板状体１１は、金型１０の凹凸形状に沿って密着する。この結果、トレイ３が成形できる。その後、図３（ｃ）に示すように、金型１０とトレイ３とを分離する。
【００３７】
図４は、ペリクル１をペリクル収容容器５内に収容する手順を説明するための図である。
【００３８】
ペリクル１は、図４（ａ）に示すように、四角枠形状の支持枠１ａの一方の端面にペリクル膜１ｂを展張した形態を有している。かかる形態のペリクル１は、収容の際、図４（ｂ）に示すように、支持枠１ａをトレイ３の開口側にある水平面３３上に載置される。次に、図４（ｃ）に示すように、蓋体４をトレイ３の上から被せて固定する。固定は、蓋体４の一部とトレイ３の一部とを挟持するクリップまたは当該両方の一部をシールする粘着テープを用いて行われる。
【００３９】
以上、本発明に係るペリクル収容容器の好適な実施の形態について説明してきたが、本発明に係るペリクル収容容器は、上述の実施の形態に限定されることなく、種々変形を施した形態にて実施可能である。
【００４０】
図５は、蓋体４に形成される把持部６の変形例を示す図である。
【００４１】
図５（ａ）および図５（ｂ）に示すように、把持部６は、蓋体４の天面側に形成される板状の形態ではなく、それぞれ、天面に四角枠形状に形成される形態および上下方向に段付きの四角枠形状に形成される形態でも良い。蓋体４の天面全域にインサート部材９を備える場合に比して、ペリクル収容容器５全体の軽量化及びインサート部材９の節減を図ることができる。さらに、把持部６は、蓋体４上に配置される細長い直線形状のインサート部材の一部を包む形態であっても良い。
【００４２】
また、凹部７において、蓋体４から外方向に延出する延出部分５０の長さは、特に限定されるものではないが、５ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲内の長さとする方が好ましい。把持しやすさと成形の容易さ、さらには、蓋体４を必要以上に大きくしないようにするためである。
【００４３】
また、上述の実施の形態では、蓋体４にのみ把持部６を形成しているが、トレイ３に把持部を形成しても良い。さらには、蓋体４とトレイ３の両方に把持部を形成するようにしても良い。また、本発明における補強手段は、上述の把持部６の形態に限定されない。補強手段は、上述の実施の形態におけるインサート部材９のような中実の構成部材ではなく、中空の箱体あるいは一方を開口する凹状体でも良い。
【００４４】
また、上述の実施の形態では、インサート部材９を用いた真空成形により、蓋体４への把持部６の形成を実現していた。しかし、トレイ３や蓋体４を真空成形やプレス成形等の手段により成形する過程のいずれかの段階で、絞り加工等によりトレイ３や蓋体４への把持部６の形成を実現することもできる。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明は、ＬＳＩ等を製造する際のリソグラフィー工程で使用されるフォトマスクやレティクルに異物が付着することを防止するためのペリクルを輸送するためのペリクル収容容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明に係るペリクル収容容器の実施の形態にペリクルを収容した状態を示す縦断面図である。
【図２】図１に示すペリクル収容容器の蓋体を製造する工程を説明するための図である。（ａ）は、インサート部材、溶融状態の樹脂製の板状体を、順に、金型上に載置する状態を、（ｂ）は、金型側から真空に引き、溶融状態の板状体を、金型とインサート部材によって形成された凹凸形状に沿って密着させた状態を、（ｃ）成形後の蓋体を金型から分離する状態を、それぞれ示す。
【図３】図１に示すペリクル収容容器のトレイを製造する工程を説明するための図である。（ａ）は、溶融状態の樹脂製の板状体を金型上に載置する状態を、（ｂ）は、金型側から真空に引き、溶融状態の板状体を金型の凹凸形状に沿って密着させた状態を、（ｃ）成形後のトレイを金型から分離する状態を、それぞれ示す。
【図４】ペリクルをペリクル収容容器内に収容する手順を説明するための図である。（ａ）は、ペリクルを、（ｂ）は、ペリクルをトレイに載置した状態を、（ｃ）は、（ｂ）の状態のトレイの上から蓋体を嵌合した状態を、それぞれ示す。
【図５】図１に示すペリクル収容容器の蓋体に形成される把持部の変形例を示す図である。（ａ）は四角枠形状の把持部を、（ｂ）は上下方向段付きの四角枠形状の把持部を、それぞれ示す。
【図６】第１の従来技術を示す図である。
【図７】図６に示すペリクル収容容器の蓋体の把持部を持ち上げる際の状況を示す図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    ペリクル
1ａ  支持枠
1ｂ  ペリクル膜
３  トレイ
４  蓋体
５  ペリクル収容容器
６  把持部
７  凹部
９  インサート部材（補強手段の一例）
１０  金型
１１  板状体
３１  トレイ底面
３２  垂直面
３３  水平面
３４  垂直面
３５  水平面
３６  垂直面
３７  水平面
４１  蓋体天面
４２  垂直面
４３  水平面
４４  垂直面
４５  水平面
４６  垂直面
４７  水平面
４８  垂直面
４９  水平面
５０  延出部分
【図１】
2007052217.tif 000003
【図２】
2007052217.tif 000004
【図３】
2007052217.tif 000005
【図４】
2007052217.tif 000006
【図５】
2007052217.tif 000007
【図６】
2007052217.tif 000008
【図７】
2007052217.tif 000009