(57)【要約】【課題】チャンバの高重量化を招くことなく、剛性を向上させることができるようにした基板の処理装置を提供することにある。【解決手段】基板を処理液によって処理するチャンバを有する処理装置であって、  チャンバ１１は、前面板１２、背面板１３、一対の側板１４、底板１５及び天板１６によって箱型状に形成されていて、背面板の外面には背面板を補強する補強枠２２が設けられ、底板と天板の外面にはこれらを補強する補強部材２４，２５が設けられている。【選択図】      図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を処理液によって処理するチャンバを有する処理装置であって、
上記チャンバは、前面板、背面板、一対の側板、底板及び天板によって箱型状に形成されていて、
上記背面板の外面にはこの背面板を補強する補強枠が設けられ、上記底板と天板の外面にはこれらを補強する補強部材が設けられていることを特徴とする基板の処理装置。
【請求項２】
上記前面板には開口部が形成され、この開口部の内周縁には前面板の内面側に向かって折り曲げられた補強片が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は基板を処理するためのチャンバを有する基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置に用いられるガラス製の基板には回路パターンが形成される。基板に回路パターンを形成するにはリソグラフィープロセスが採用される。リソグラフィープロセスは周知のように上記基板にレジストを塗布し、このレジストに回路パターンが形成されたマスクを介して光を照射する。
【０００３】
つぎに、レジストの光が照射されない部分或いは光が照射された部分を除去し、基板のレジストが除去された部分をエッチングし、エッチング後にレジストを除去するなどの一連の工程を複数回繰り返すことで、上記基板に回路パターンを形成する。
【０００４】
このようなリソグラフィープロセスにおいては、上記基板に現像液、エッチング液或いはエッチング後にレジストを除去する剥離液によって基板を処理する工程、さらにリンス液によって洗浄する工程などがあり、洗浄後には基板に付着残留したリンス液を除去する乾燥工程が必要となる。
【０００５】
基板に対して上述した一連の処理を各種の処理液で行う場合、基板を水平に搬送したのでは、基板に供給される処理液の重量によって基板が撓むため、基板の処理を全面にわたって均一に行なうことができなくなるということがある。
【０００６】
そこで、処理液によって基板を処理する際、上記基板が処理液の重量によって撓むのを防止するため、基板を所定の傾斜角度、たとえば７５度の角度で傾斜させて搬送するということが考えられている。基板を傾斜させて搬送すれば、処理液は基板の板面に溜まらず、上方から下方へ円滑に流れるから、処理液の重量によって基板が撓むのを防止することができる。
【０００７】
ところで、基板に対して薬液処理、リンス液処理及び乾燥処理などの複数の処理を連続して行なう場合、処理装置は基板に対して複数の処理を順次行なう複数の処理ユニットが一列に配置された構造となる。
【０００８】
上記処理ユニットはチャンバを有する。このチャンバは、処理液に対して耐蝕性を有する、たとえばステンレス鋼板などの板材によって形成されている。チャンバは、前板、後板、一対の側板、底板及び天板を溶接して箱型状に形成される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
最近では、基板が大型化する傾向にある。基板が大型化すると上記チャンバも大型化することになる。チャンバは大型化することによって高重量化するから、工場からの出荷の際などの取り扱いが不便になる。
【００１０】
そこで、チャンバを構成する板材を薄くし、チャンバを軽量化するということが考えられている。しかしながら、板材を薄くしてチャンバの軽量化を図るようにすると、各板材を溶接した際に、板材が熱変形してチャンバの形状精度が低下するということがある。つまり、チャンバに溶接時の熱歪みが生じない強度を持たせると同時に、軽量化を図ることができないということがあった。
【００１１】
この発明はチャンバの高重量化を招くことなく、溶接による熱歪みが生じ難いようにした基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
この発明は、基板を処理液によって処理するチャンバを有する処理装置であって、
上記チャンバは、前面板、背面板、一対の側板、底板及び天板によって箱型状に形成されていて、
上記背面板の外面にはこの背面板を補強する補強枠が設けられ、上記底板と天板の外面にはこれらを補強する補強部材が設けられていることを特徴とする基板の処理装置にある。
【００１３】
上記前面板には開口部が形成され、この開口部の内周縁には前面板の内面側に向かって折り曲げられた補強片が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１４】
この発明によれば、チャンバは、背面板の外面に設けられた補強枠と、底板と天板の外面に設けられた補強部材によって補強されるから、チャンバを形成する板材を薄くして軽量化を図るようにしても、チャンバの強度が大幅に低下するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
【００１６】
図１は基板の処理装置を示す正面図であって、この処理装置は装置本体１を有する。この装置本体１は並設された複数の処理部からなる。この実施の形態では第１乃至第５の５つの処理部２Ａ〜２Ｅが並設されている。これら処理部２Ａ〜２Ｅの上部には搬送装置３が設けられている。この搬送装置３は未処理の基板を矢印Ａで示すように第５の処理部２Ｅ側から第１の処理部２Ａ側へと搬送するようになっている。
【００１７】
第１の処理部２Ａの側方には上記搬送装置３によって水平搬送された基板を所定の角度、たとえば７５度の角度に傾斜させて上記第１の処理部２Ａに送り込む傾斜受け渡しユニット４が設けられている。
【００１８】
それによって、第５の処理部２Ｅ側から搬送装置３に供給された基板は、第１乃至第５の処理部２Ａ〜２Ｅによって順次処理されて矢印Ｂで示すように第５の処理部２Ｅから送り出されるようになっている。すなわち、処理装置に対する基板の供給及び処理された基板の搬出を第５の処理部２Ｅ側、つまり同じ位置で行なうことができるなっている。
【００１９】
各処理部２Ａ〜２Ｅはチャンバ１１を有する。チャンバ１１は、図２乃至図４に示すように前面板１２、背面板１３、一対の側板１４、底板１５及び天板１６によって箱型状に形成されている。
【００２０】
チャンバ１１を形成する各板１２〜１６は、基板を処理する処理液に対して耐蝕性を有する、たとえばステンレス鋼板によって形成されていて、その厚さは従来に比べて薄いものが用いられている。従来は５〜１２ｍｍ程度の厚さの板材が用いられていたが、この実施の形態では３ｍｍの厚さの板材が用いられる。
【００２１】
上記前面板１２には幅方向に離間した一対の開口部１８が上下方向に沿って形成されている。各開口部１８の内周縁には内面側に向かって折曲された補強片１９が設けられている。それによって、前面板１２は補強片１９により補強されている。
【００２２】
上記開口部１８には図示しない透明なガラス板が液密に設けられ、各開口部１８のガラス板は図１に示す一対の蓋体２１によって覆われている。この蓋体２１は上記前面板１２に開閉可能に設けられていて、詳細は図示しないが上記開口部１８に設けられたガラス板と対向する部分には透明なガラス板が設けられる。それによって、蓋体２１を閉じた状態で、チャンバ１１内を透視できるようになっている。
【００２３】
上記背面板１３の外面には補強枠２２が溶接によって固着される。この補強枠２２は上記背面板１３とほぼ同じ大きさに形成されていて、その枠内には上下一対の横桟２３が幅方向に架設されている。それによって、背面板１３は補強枠２２により補強されている。
【００２４】
一対の側板１４には、上下方向に沿って細長い長孔２４が形成されている。この長孔２４には上記傾斜ユニット４で所定の角度に傾斜された基板が通過する。隣り合う一対のチャンバ１１は、互いの側板１４を接触させ、図示しない枠状部材によって液密な状態で一体的に結合される。それによって、側板１４は上記枠状部材及び隣接するチャンバ１１の側板１４によって互いに補強される。
【００２５】
上記底板１５の外面には角パイプからなる下部補強部材２４が幅方向全長にわたって溶接や接着剤によって固着され、上記天板１６の外面には同じく角パイプからなる上部補強部材２５が幅方向全長にわたって同じく溶接や接着剤によって固着される。それによって、底板１５と天板１６はそれぞれ補強部材２４，２５によって補強される。
【００２６】
上記前面板１２と背面板１３の幅方向両端は内面側に向かって折り曲げられた接続片１２ａ，１３ａが上下方向全長にわたって形成されている。一対の側板１４は幅方向の両端部を前面板１２及び背面板１３の接続片１２ａ，１３ａに重合させ、その重合部分の両端がそれぞれ溶接される。上記背面板１３の外面に設けられる補強枠２２は、背面板１３に重合する一端と、側板１４に重合する他端とがそれぞれ溶接される。
【００２７】
上記底板１５は、上面の周縁部を前面板１２、背面板１３及び一対の側板２４の下端に接触させ、これらの接触部分が全長にわたって溶接される。上記天板１６は、下面の周縁部を前面板１２、背面板１３及び一対の側板２４の上端に接触させ、これらの接触部分が全長にわたって溶接される。それによって、チャンバ１１は箱型状に形成される。
【００２８】
なお、図２と図３に示すように、底板１５の上面と天板１６の下面には部品の取付け部材２６が設けられる。
【００２９】
このような構成のチャンバ１１によれば、面積の大きな背面板１３は、その外面に設けられた補強枠２２によって補強されている。背面板１３と同様に面積の大きい前面板１２は開口部１８の内周縁に折り曲げ形成された補強片１９によって補強されている。
【００３０】
さらに、底板１５と天板１６は、それぞれの外面に設けられた下部補強部材２４と上部補強部材２５によって補強されている。
【００３１】
すなわち、チャンバ１１を構成する各板１２〜１６は補強されて剛性が向上している。そのため、これらの板１２〜１６を溶接してチャンバ１１を形成する際、溶接時の熱によって歪みが生じるのを抑制することができるから、形状精度の高いチャンバ１１を形成することができる。つまり、チャンバ１１を構成する各板１２〜１６を薄くして軽量化を図るようにしても、チャンバ１１の剛性を確保することが可能となる。
【００３２】
なお、背面板１３に補強枠２２、底板１５に下部補強部材２４、天板１６に上部補強部材２５を設けることで、チャンバ１１は重量が増大するが、各板１２〜１６を厚肉化する場合に比べたら、重量の増加を低減させることができる。
【００３３】
しかも、各板１２〜１６を薄くすることで、これらの板１２〜１６に対する種々の加工、たとえば孔あけ加工などを切削加工によらず、プレス加工で形成することが可能となる。つまり、各板１２〜１６をプレス加工で打ち抜く際、同時に孔あけ加工などを行なうことが可能となる。
【００３４】
前面板１２は、開口部１８の内周縁に補強片１９を形成して補強したが、開口部１８にはガラス板が設けられる。そのため、前面板１２はガラス板によっても補強されるから、補強片１９を形成しなくても、所定の剛性を持たせることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の一実施の形態を示す処理装置の正面図。
【図２】チャンバを前面から見た分解斜視図。
【図３】チャンバを背面から見た分解斜視図。
【図４】チャンバの縦断面図。
【符号の説明】
【００３６】
１１…チャンバ、１２…前面板、１３…背面板、１４…側板、１６…天板、１８…開口部、１９…補強片、２２…補強枠、２４…下部補強部材、２５…上部補強部材。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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