(57)【要約】【課題】極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供する。【解決手段】板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減される。【選択図】図１
2007163447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、
板体は、少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下であり、観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成し、別の一段孔壁は親水性が比較的低く液体の吸引が低減されることを特徴とする電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項２】
観察孔の孔壁の断面は一端が大口径、他端が小口径となる錐形を呈するか或いは階段状を呈し、親水性が比較的高い一段孔壁は観察孔の小口径端に近いことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項３】
親水性が比較的高い一段孔壁は親水材質が塗布されることで親水性を生じ、別の一段孔壁は疎水材質または超疎水材質が塗布されることで疎水性を生じて親水性があまり高くないことを特徴とする請求項２に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項４】
観察孔の孔壁は上から下まで上、中、下の三段に分けられ、そのうち中段孔壁は親水性があり、上段孔壁と下段孔壁は疎水性があり親水性があまり高くないことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項５】
板体は一つの親水層と、親水層の上下を挟む二つの疎水層とを重ねることで構成され、親水層は親水材質から構成されるため親水性があり、二つの疎水層は疎水材質から構成されるため親水性があまり高くないことを特徴とする請求項４に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項６】
観察孔の孔壁の断面は直立の形を呈するか或いは中間が狭く上下が広い形を呈することを特徴とする請求項４に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項７】
板体の両端面は疎水性があるため、親水性があまり高くないことを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項８】
板体は観察孔に繋がる液体制御管を少なくとも一つ有することを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項９】
親水性の比較的高い孔壁に近い観察孔の一端は薄膜により封じられることを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項１０】
観察孔の直径は５μｍから５００μｍの間であることを特徴とする請求項１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項１１】
頂面と底面に少なくとも一つの穿孔を別々に有するボックスと、
ボックス内に配置され、かつ観察孔を少なくとも一つ有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうち一段孔壁は疎水性があり、別の一段孔壁は親水性があり、かつ親水性のある一段孔壁の高さは５０μｍ以下である板体とを備え、
前記穿孔および前記観察孔は同軸に位置することを特徴とする電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスの組合せ構造。
【請求項１２】
前記ボックスと前記板体とは一体成形または組み合わせであり、前記板体は前記ボックス内の中段に位置することを特徴とする請求項１１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスの組合せ構造。
【請求項１３】
二つの穿孔のうち、少なくとも一つの穿孔は薄膜により封じられることを特徴とする請求項１１に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスの組合せ構造。
【請求項１４】
板体を備える電子顕微鏡用の超薄液体制御板であって、
板体は少なくとも一つの観察孔と、一端が観察孔に繋がり他端が液体源に外接する少なくとも一つの液体制御管と、を有することを特徴とする電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項１５】
観察孔の直径は５μmから５００μｍの間であることを特徴とする請求項１４に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【請求項１６】
液体制御管は、板体に形成される管路または板体を貫通する管体のいずれかであることを特徴とする請求項１４に記載の電子顕微鏡用の超薄液体制御板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子顕微鏡、詳しく言えば試料を置くのに用いかつ電子顕微鏡の中に一層の水層を維持することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板に関する。
【背景技術】
【０００２】
周知技術では、電子顕微鏡を操作し物体を観察する際、電子顕微鏡内の試料腔室は真空環境に限定されるため、観察対象物は非発揮性固体でなければ観察を行うことができなかった。発揮性物体、例えば液体または気体の流体物質の場合、真空試料腔室に入れられると大量の気体が発生するため、電子束が物体を通過して回折するか或いは結像することができないだけでなく、顕微鏡電子銃などの高真空区域における真空度が低下するか或いは汚染される事態が発生し、電子顕微鏡を損壊する事態を招く。
【０００３】
現今、一部の研究者、例えばCai P. L.は電子顕微鏡において提供可能な観測環境を提出した（非特許文献１参照）。しかし、その欠点はその試料槽の設計では液体の注入量を有効に制御できないことであるため、液体の厚さが厚くなりすぎ、電子ビームが試料を透過できなくなってしまう事態を招く。また気体室の範囲は上下極片（pole pieces）の間の空間全体となるため、電子が気体分子に衝撃を与えて生成した多重散乱を深刻化させると同時に電子ビームによる結像または電子回折の実験をスムーズに進行させることができなくなってしまう。またその設計は顕微鏡の本体を分解しないと部品を装着できないものであるため、あまり量産に適さない。
【０００４】
また、今まで電子顕微鏡において液体または生体細胞などの液体内の物体を明瞭に観察可能な環境はまた提出されていなかった。
したがって、上述の問題に対し、本発明者は液体を明瞭に観察可能な環境を提出し、かつ操作の際、液体の観察対象物に対し、液体層と周囲の気体層の厚さを極めて薄い状態に制御しなければならないことを発見したため、液体試料または生体細胞を置くのに用いる液体層を形成しかつ液体層を極めて薄い状態に制御することにより電子顕微鏡の観察に適応する超薄液体制御板とボックスの結合装置を提出した。
【０００５】
【非特許文献１】Cai P. L.,Microscopy & Microanalysis 8, 21, 2002
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の主な目的は極めて薄い液体層を形成することにより電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供することである。
本発明のもう一つの目的は、板体から観察孔を形成しかつ観察孔内に水層を形成し、そしてボックスにより板体の外部を被覆することにより超薄液体制御板の周囲にシンプルな気体制御環境を構成し電子顕微鏡の観察に適応することが可能である電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスとの組合を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述の目的を達成するために、本発明による電子顕微鏡用の超薄液体制御板は板体を備える。板体は少なくとも一つの観察孔を有し、観察孔の孔壁は上から下まで少なくても上下二段に分けられ、そのうちの一段孔壁の親水性が別の一段孔壁の親水性より高く、かつ親水性が比較的高い一段孔壁の高さは５０μｍ以下である。これにより観察孔から液体を注入した後、親水性が比較的高い一段孔壁は液体を吸引して極めて薄い液体層を形成するのに対し、別の一段孔壁は親水性が比較的低いため液体を吸引することはない。
【０００８】
続いてボックスと結合する場合、それをボックス内に置く。ボックスは頂面と底面に少なくとも一つの穿孔を別々に有し、穿孔と観察孔は同軸上にある。
これにより本発明は極めて薄い浮遊液体層を容易に生成する板体を提供可能であるため、電子顕微鏡の観察に適用することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、下記の五つの実施例と図面に基づき本発明の構造と特徴を説明する。
以下、本発明の特徴を明らかに表示し説明するために、本発明のあらゆる断面図では、親水材質、疎水材質及び液体層の厚さについて、実際の例に対応する厚さ以上で表示することで本発明の技術を明らかに表現する。
【００１０】
図１から図３に示すように、本発明の第一実施例による電子顕微鏡用の超薄液体制御板１０は板体１１を備える。
板体１１は少なくとも一つの観察孔１２を有する。本実施例では、観察孔１２の孔壁は上から下まで上段孔壁１２１と下段孔壁１２３に分けられ、その断面は上端が大口径、下端が小口径となる錐形を呈する。そのうち上段孔壁１２１は疎水材質１４が塗布されるため親水性があまり高くないのに対し、下段孔壁１２３は親水材質１６が塗布されるため親水性が高い。かつ親水性の高い下段孔壁１２３の高さは５０μｍ以下であり、２０μｍが比較的好ましい。また観察孔１２の直径は５μｍから５００μｍの間であり、特にその最小口径は５０μｍが比較的好ましい。また板体１１の両端面とも疎水性がある、即ち疎水材質１４が塗布されることで疎水性（即ち親水性があまり高くない）を有する。
【００１１】
疎水または超疎水処理を施す場合、直径が数百ナノ以内の柱状物（pillar）をたくさん生成し、その表面に疎水性のある自己組成単分子膜（self-assembly monomolecular layer）を付けることにより水滴とこの表面の接触角度（contact angle）を１５０度以上にし、水が付着しないような排水性を達成することが可能であり、また周知の超疎水法により超疎水（水が付着しない）効果を達成することも可能である。液体を置く場合、板体１１上に水膜を塗布するか或いは板体１１を水に入れその後板体１１を縦に置く。板体１１の両端面は疎水性または超疎水性があり、観察孔１２内壁の上段孔壁１２１は疎水性または超疎水性があるため、水は疎水性のある上段孔壁１２１の表面に残留せず、親水性のある下段孔壁１２３に液体層１８を生成する。これにより観察孔１２内の下段孔壁１２３において図４に示すような状態を呈する浮遊水層を容易に生成することが可能となる。また液体層１８の高さと下段孔壁１２３の高さとがだいたい一致しているため、極めて薄い（高さが５０μｍ以下である）水層を生成することが可能である。
【００１２】
前記の板体１１により電子顕微鏡内の観察を実行する場合、需要に応じ前述の方法で板体１１の観察孔１２内に細胞試料を含有している液体層、例えば生体細胞と培養液を生成し、そしてそれを観測環境に置けば観察を実行することが可能である。そのうち生体細胞は下段孔壁１２３に固定することが可能である。図５に示すのは板体１１を置いている観測環境内の状態である。観測環境２０は内部に一つの気体室２２、気体室２２の上下方に位置する二つの緩衝室２４を有するハウジング２１にすることが可能である。そのうち気体室２２とこれらの緩衝室２４の間には互いに繋がる気孔２２１を別々有し、ハウジング２１は外部に緩衝室２４を繋げるように外孔２１１を二つ有し、板体１１は観察観測環境２０内に配置され、かつ観察孔１２と二つの気孔２２１と二つの外孔２１１は同軸上にある。
【００１３】
操作の際に気体室２２に所定の圧力の蒸気、例えば総圧力が１大気圧である飽和水蒸気（または未飽和水蒸気）と特定気体との混合気体を供給する。そのうち特定気体は窒素、酸素、二酸化炭素、不活性気体などのいずれでも可能であり、気体室２２内の水蒸気は観察孔１２内の水の蒸発速度を抑制可能である。一方、緩衝室２４から気体を持続的に抜き出す。したがって、気体室２２から二つの緩衝室２４に拡散した蒸気と気体はハウジング２１から漏洩し電子顕微鏡へ拡散することなく、抜き出される。また観察の際に電子顕微鏡の電子ビーム（図中未表示）をこれらの外孔２１１と気孔２２１と観察孔１２から透過させることにより観察孔１２内の水層と試料を観察することが可能である。
【００１４】
また板体１１を製造する場合、マイクロリソグラフィ法（microlithography）、レーザーマイクロ加工（Laser micromachining）または機械マイクロ加工（machanical micromachining）などにより製造することが可能である。親水または疎水材質１４を塗布することで親水性の程度が異なる界面を作製する場合、板体１１全体に疎水材質１４を塗布し、そののち親水性が必要である位置に親水材質１６を塗布しさえすれば完成する。
【００１５】
また本発明の観察孔は別の方法により形成することも可能である。図６に示すように、板体１１の上に大孔１９を配置し、続いて大孔１９内に複数の交差するリブ１９１を配置することでリブ１９１の間に形成されるあらゆる網目が観察孔１２’となる。
【００１６】
図７に示すように、本発明の第二実施例による電子顕微鏡用の超薄液体制御板３０は前述の第一実施例とほぼ同じである。その違いは次の通りである。
板体３１の観察孔３２の孔壁は上から下まで上段孔壁３２１、中段孔壁３２２と下段孔壁３２３に分けられ、そのうち中段孔壁３２２は親水性があるのに対し、上段孔壁３２１と下段孔壁３２３は疎水性があるため親水性があまり高くない。つまり前述の第一実施例と比べて下方に疎水性のある一段孔壁が一つ多いものである。本実施例では観察孔３２の孔壁の断面は上下が大きく中間が小さい形を呈し、かつ中段孔壁３２２は直立の形を呈する。
【００１７】
第二実施例では、板体３１の親水性あるいは親水性があまり高くないという特性は別の方法により形成することも可能である。図８に示すように、板体３１’は一つの親水層３６’と二つの疎水層３４’を重ねることで構成することが可能であり、親水層３６’は親水材質から構成されるため親水性があり、疎水層３４’は疎水材質から構成されるため親水性があまり高くない。これにより、直接親水性または疎水性をもたせることにより親水性の程度が異なる界面を生成し、前述の図７に示すような板体３１と同じ効果を達成することが可能となる。また板体３１’を製造する場合、コーディング技術とマイクロリソグラフィ法またはレーザーマイクロ加工などの技術との組合せにより製造することが可能である。
【００１８】
第二実施例では、水層を生成する方法と操作方法は前述の第一実施例と同じであるため説明を省く。
図９に示すように、本発明の第三実施例による電子顕微鏡用の超薄液体制御板４０は前述の第一実施例とほぼ同じである。その違いは次の通りである。
板体４１は親水性のある下段孔壁４２３に近い観察孔４２の一端が非結晶炭素膜などから形成される薄膜４５により封じられる。
【００１９】
薄膜４５の厚さは極めて薄く、その厚さは約１００から２０ナノ（ｎｍ）の間であるため、電子顕微鏡の電子ビーム（図中未表示）が電子多重乱射を生成するという問題が発生しない。また表面に親水処理を施すことにより水層を容易に生成することが可能である。また表面に細胞固定剤を塗布することにより細胞試料を容易に固定することが可能である。
【００２０】
第三実施例では、水層を生成する方法と操作方法は前述の第一実施例と同じであるため説明を省く。
図１０と図１１に示すように、本発明の第四実施例による電子顕微鏡用の超薄液体制御板とボックスの組合装置５０はボックス５１と板体６１を備える。
ボックス５１は頂面と底面に少なくとも一つの穿孔５１１を別々に有する。
【００２１】
板体６１はボックス５１内の中段位置に配置される。かつ板体６１は少なくとも一つの観察孔６２を有し、観察孔６２の孔壁は上から下まで少なくても上段孔壁６２１と下段孔壁６２３に分けられる。そのうち上段孔壁６２１は疎水性があるため親水性があまり高くないのに対し、下段孔壁６２３は親水性がある。かつ親水性のある一段孔壁の高さは５０μｍ以下である。また板体６１は上下端の表面に疎水性がある。
【００２２】
これらの穿孔５１１と観察孔６２は同軸に位置する。
第四実施例は、使用の際に前述の第一実施例と同じであり、ボックス５１内の空間を第一実施例に示すような気体室にしてかつ外部に緩衝室を設置すれば、前述の第一実施例の操作方法により操作することが可能である。
第四実施例では、観察孔は必ずしも一つであるとは限らない。図１２に示すように板体６１に複数の観察孔６２を配置している場合、板体はボックス５１と分離し、治具６９により維持されることでボックス５１内において制御を受けて移動することが可能である。これにより、観察の際に観察を実行する観察孔６２をこれらの穿孔５１１と同軸である位置に移動させれば観察を実行し、複数の観察孔６２による観察状態を呈することが可能となる。また一般の試料を板体６１に固定し、それをボックス５１に置いて観察を実行することも可能である。
【００２３】
また第四実施例の実施状態は電子顕微鏡の試料治具７１との組合せにより達成することも可能である。図１３に示すように、板体６１は液体制御管６７を少なくとも一つ有し、液体制御管６７は観察孔６２に繋がりかつ親水性のある下段孔壁６２３に相対応することで観察孔６２に対し水を注いだり水を抜き出したりすることが可能であるため、観察孔６２内の水層の量と圧力を制御することが可能であり、生体細胞と液体試料または液体試料に溶解している物質を注入することも可能である。また試料治具７１に繋がるボックス５１の一側は気体の制御に用いることが可能である。また試料治具７１内に板体６１の液体制御管６７に繋がる液体制御装置７２を配置することにより液体を制御することも可能である。
【００２４】
板体６１はマイクロリソグラフィ法により直接ボックス５１内に製作するか或いは、図１３に示すように試料を置いた後、係止ユニット６１１による固定方法でボックス５１と組み合わせることが可能である。またボックス５１と板体６１の間の空間に極めて薄い気体室５３が形成されるため、電子ビームが気体室５３を透過して電子多重乱射を生成するという問題を減少させることが可能である。
【００２５】
また板体６１とボックス５１において同軸に位置する複数組の穿孔−観察孔−穿孔の組合を配置し、そして試料治具７１によりボックス全体を維持し移動させれば、同様に複数の位置の観察を実行することが可能である。その状況は前述の図１２により掲示された状況と同じであるため、説明を省く。
【００２６】
また第四実施例では、図１４に示すようにボックス５１の上方の穿孔５１１を薄膜７５により封じるか或いは図１５に示すように上下方の穿孔５１１を薄膜７５により封じることも可能である。薄膜７５は極めて薄いため、電子顕微鏡の電子ビームの透過に支障をきたすことはない。また薄膜７５の配置により蒸気または気体をこれらの穿孔５１１から外部へ漏洩させることを阻止することが可能であるため、操作の際に緩衝室を設置する必要がなくなる。
【００２７】
図１６と図１７に示すように、本発明の第五実施例による電子顕微鏡用の超薄液体制御板８０は板体８１を備える。
板体８１は一つの観察孔８２と、一端が観察孔８２に繋がり他端が液体源８６に外接する液体制御管８４とを有する。観察孔８２の直径は５μｍから５００μｍの間である。液体制御管８４は板体８１に形成される管路（図１６に示す通り）にすることが可能であり、また液体制御管８４’は板体８１’を貫通する管体（図１７に示す通り）にすることが可能である。液体源８６は観察孔８２内の液体の量と圧力を制御する給水器またはポンプまたは水圧調整器などのいずれでも可能である。また二つの液体制御管（図中未表示）を配している場合、水を吸い上げながら水を吸収する操作により液体を容易に制御することが可能である。
【００２８】
第五実施例は観察孔８２内に水層を生成する。生成方法は次の通りである。まず点滴または水塗布または浸水などの方法により直接水を観察孔８２に入れる。この時、水がすぐ観察孔８２の壁に付着する。続いて液体源８６により液体制御管８４から観察孔８２内の一部分の水を抜き出す。この時、観察孔８２内に残留した水が表面張力作用により極めて薄い水層を生成する。また液体制御管８４の前述の二種類のいずれも水層制御効果を達成することが可能である。また液体制御管８４は直接水または生体細胞と別の液体試料または液体試料に溶解している物質を注入することも可能である。
【００２９】
第五実施例の別の使用方法は前述の第一実施例と同じであるため、説明を省く。第五実施例により、極めて薄い液体を制御するには、本発明は前述の通り孔壁の親水性の程度が異なる方法のほかに、孔内に水を入れ、そののち水を吸い上げる方法で極めて薄い水層を生成することが判明する。また第五実施例は板体とボックスとの組合せにより実施することも可能である。その実施状態は前述の第三実施例と同じであるため、説明を省く。
【００３０】
また本発明の水層の水は一例に過ぎず、同等の効果を維持するように水溶液または油などに取り替えることも可能である。
本発明の観察孔１２”の孔壁の断面は必ずしも前述の実施例により掲示された形であるとは限らず、図１５（Ａ）に示すように上から下へ漸減していくような階段状を呈することも可能である。また観察孔１２”は図１５Ｂに示すように中間が狭く上下が錐状を呈する形にすることも可能である。また観察孔１２”は図１５Ｃに示すように直立の形を呈することも可能である。また観察孔１２”は図１５Ｄに示すように内部に超薄い環状板を有することも可能である。また観察孔１２”は図１５Ｅに示すように上段が錐形を呈し下段が直立している形にすることも可能である。また観察孔１２”は図１５Ｆに示すように中間が狭く上下が広い形にすることも可能である。また観察孔を様々な使用可能な形に形成するのは本発明の同等の変化に属すべきであり、かつ上述の孔壁の断面の形は一例に過ぎず本発明の範囲を限定することができない。
【００３１】
本発明が掲示した親水性の程度は、物体の表面と水玉の辺縁から形成される角度（臨界角）を基準にするものである。図１８Ａから図１８Ｃに示すように、臨界角が９０度以下である場合（図１８Ａに示す通り）、親水性があり、臨界角が９０度から１５０度の間である場合（図１８Ｂに示す通り）、疎水性があり、臨界角が１５０度以上である場合（図１８Ｃに示す通り）、超疎水性がある。本発明の親水性の程度は臨界角によって異なるため、観察孔の孔壁の組合せは親水−疎水、疎水−超疎水または親水−超疎水などのいずれでも異なる親水性を生じ、かつ水層を容易に生成することが可能である。
【００３２】
上述の通り、本発明の長所は次の通りである。
１、極めて薄い液体層を生成することが可能である。本発明が掲示した技術は板体において極めて薄い浮遊液体層を生成し、かつその液体層の生成方法が極めて簡単なものであり、適切な観測環境と取り組めばこの極めて薄い液体層を電子顕微鏡の観察に用いることが可能である。
２、ボックスとともに成型することにより容易に観察することが可能である。本発明はボックスとの組合せにより観測環境を提供する効果を有するため、超薄液体制御板の周囲に厚さの極めて薄い気体制御環境を形成し、電子顕微鏡の観察に適応することが可能である。
【００３３】
本発明により掲示されたユニットは説明のための例に過ぎず本発明の範囲を限定することができないため、本発明の請求範囲に基づき同等の変化と運用をすることは本発明の請求範囲に属すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の第一実施例を示す立体図。
【図２】本発明の第一実施例を示す断面図。
【図３】図２の一部を拡大した拡大図。
【図４】本発明の第一実施例の使用状態を示す模式図。
【図５】本発明の第一実施例の操作状態を示す模式図。
【図６】本発明の第一実施例の他の観察孔を示す模式図。
【図７】本発明の第二実施例を示す断面図。
【図８】本発明の第二実施例において板体の形態が異なる例を示す断面図。
【図９】本発明の第三実施例を示す断面図。
【図１０】本発明の第四実施例を示す断面図。
【図１１】本発明の第四実施例を示す立体図及び一部を示す内部構造図。
【図１２】本発明の第四実施例において板体とボックスとが分離した状態を示す断面図。
【図１３】本発明の第四実施例においてボックスと試料治具とが結合した状態を示す断面図である。
【図１４】本発明の第四実施例において薄膜の配置状態を示す断面図。
【図１５】本発明の第四実施例において薄膜の別の配置状態を示す断面図。
【図１６】本発明の第五実施例を示す模式図。
【図１７】本発明の第五実施例を示す模式図。
【図１８Ａ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１８Ｂ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１８Ｃ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１８Ｄ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１８Ｅ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１８Ｆ】本発明の第四実施例による観察孔の断面の形状を示す模式図。
【図１９Ａ】本発明の親疎水性原理についての説明図。
【図１９Ｂ】本発明の親疎水性原理についての説明図。
【図１９Ｃ】本発明の親疎水性原理についての説明図。
【符号の説明】
【００３５】
１０  電子顕微鏡用の超薄液体制御板、１１、１１’  板体、１２、１２’  観察孔、１２１  上段孔壁、１２３  下段孔壁、１４、１４’  疎水材質、１６、１６’  親水材質、１８  液体層、１９  大孔、１９１  リブ、２０  観測環境、２１  ハウジング、２１１  外孔、２２  気体室、２２１  気孔、２２４  緩衝室、３０  電子顕微鏡用の超薄液体制御板、３１  板体、３２  観察孔、３２１  上段孔壁、３２２  中段孔壁、３２３  下段孔壁、３４’  疎水層、３６’  親水層、４０  電子顕微鏡用の超薄液体制御板、４１  板体、４２  観察孔、４２３  下段孔壁、４５  薄膜、５０  電子顕微鏡用の超薄液体制御板、５１  ボックス、５１１  穿孔、５３  気体室、６１  板体、６１１  係止ユニット、６２  観察孔、６２１  上段孔壁、６２３  下段孔壁、６７  液体制御管、７１  試料治具、７２  液体制御装置、７５  薄膜、８０  電子顕微鏡用の超薄液体制御板、８１、８１’  板体、８２  観察孔、８４、８４’  液体制御管、８６  液体源
【図１】
2007163447.tif 000003
【図２】
2007163447.tif 000004
【図３】
2007163447.tif 000005
【図４】
2007163447.tif 000006
【図５】
2007163447.tif 000007
【図６】
2007163447.tif 000008
【図７】
2007163447.tif 000009
【図８】
2007163447.tif 000010
【図９】
2007163447.tif 000011
【図１０】
2007163447.tif 000012
【図１１】
2007163447.tif 000013
【図１２】
2007163447.tif 000014
【図１３】
2007163447.tif 000015
【図１４】
2007163447.tif 000016
【図１５】
2007163447.tif 000017
【図１６】
2007163447.tif 000018
【図１７】
2007163447.tif 000019
【図１８Ａ】
2007163447.tif 000020
【図１８Ｂ】
2007163447.tif 000021
【図１８Ｃ】
2007163447.tif 000022
【図１８Ｄ】
2007163447.tif 000023
【図１８Ｅ】
2007163447.tif 000024
【図１８Ｆ】
2007163447.tif 000025
【図１９Ａ】
2007163447.tif 000026
【図１９Ｂ】
2007163447.tif 000027
【図１９Ｃ】
2007163447.tif 000028