(57)【要約】【課題】シール性及び耐衝撃性を向上させ半導体ウエハＷ等を安全に枚葉収納して搬送する。【解決手段】互いに着脱可能な複数枚の載置トレイ１６を積層し、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体１２と、このトレイ収納体１２を内部に収納する外部収納容器１３とからなる薄板収納容器１１である。各載置トレイ１６の対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部２０を設けた。外部収納容器１３は、容器本体３１と、蓋体３２と、これら蓋体３２と容器本体３１との間に設けられて内部をシールするシール材３３と、上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を底面側と蓋体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５を備えた。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに着脱可能な複数枚の載置トレイを積層した状態で互いに結合して構成され、各載置トレイの間の隙間に薄板をそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体と、
当該トレイ収納体を内部に収納する外部収納容器とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項２】
請求項１に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体の各載置トレイの対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部が設けられ、
上記外部収納容器が、開口を一端に有する袋状に形成された容器本体と、当該容器本体の上記開口を塞ぐ蓋体と、当該蓋体と上記容器本体との間に設けられて上記容器本体内を外部雰囲気から気密に隔離するシール材と、上記容器本体内の対向する２つの内側面にそれぞれ設けられ上記トレイ収納体を支持する一対のトレイ収納体支持部とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体が、互いに結合された各載置トレイの間の、上記薄板を収納する隙間を気密に保持することを特徴とする薄板収納容器。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体が、互いに結合される複数の載置トレイと、隣接する各載置トレイの間を互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段と、上記各載置トレイにそれぞれ設けられ、隣接する２つの上記載置トレイが協働して上記薄板を保持する際に当該薄板が載置される載置部とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体が、外部機械装置側に嵌合するための機械的インターフェイスを有する一又は一対のベーストレイと、当該ベーストレイの一側面に又は各ベーストレイの間に挿入されて互いに結合される１又は複数の載置トレイと、当該各載置トレイの間や上記ベーストレイと載置トレイとの間を互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段と、上記各載置トレイにそれぞれ設けられ、隣接する２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイが協働して上記薄板を保持する際に当該薄板が載置される載置部とを備えて構成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項６】
請求項４又は５に記載の薄板収納容器において、
上記載置トレイの上記載置部の周囲に、２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイを互いに結合した状態で上記載置部に収納された上記薄板を外部環境から気密に隔離するシール材を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項７】
請求項２乃至６のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記外部収納容器の容器本体内の底面と、上記蓋体の上記容器本体側面とに、上記蓋体を上記容器本体に取り付けたときに、上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体を、上記容器本体の底面側と上記蓋体の上記容器本体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえをそれぞれ設け、
上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体の各載置トレイの上記容器本体底部側端部及び上記蓋体側端部に、上記トレイ収納体押さえに嵌合する嵌合部を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項８】
請求項７に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体押さえと嵌合部とが、互いに嵌合する凹部及び凸部を有すると共に、これら凹部及び凸部の互いの当接面が楔状に傾斜して形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項９】
請求項７又は８に記載の薄板収納容器において、
上記容器本体と上記蓋体との間に、当該蓋体を上記容器本体に取り付けて上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに嵌合させた状態で、上記蓋体を上記容器本体側に押し込んで固定すると共に、上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに深く結合させるラッチ機構を備えたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１０】
請求項７乃至９のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体押さえが弾性体で構成されて、上記トレイ収納体を弾性的に支持することを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１１】
請求項７乃至１０のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体が上記容器本体内に収納されて上記トレイ収納体支持部で支持された状態で、上記トレイ収納体と上記容器本体との間に、上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間と、当該処理アームで支持された上記トレイ収納体の持ち上げを許容する隙間とを設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１２】
請求項７乃至１１のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体を支持した上記トレイ収納体支持部がスライド可能又は回動可能に支持されると共に、当該トレイ収納体支持部が開いた状態で当該トレイ収納体支持部と上記トレイ収納体との間に上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記外部収納容器の容器本体に、搬送ロボットの搬送アームで把持される把持機構を設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記外部収納容器の上記容器本体と上記蓋体との間に、当該蓋体を上記容器本体に取り付ける際に案内すると共に、上記蓋体を上記容器本体に対してズレないように支持するドアガイドを設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記外部収納容器の上記容器本体に、上記外部収納容器を持ち上げるための一対のハンドルを設けたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記外部収納容器の一部又は全部が非帯電性材料又は導電材料で形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１７】
請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体のうち、少なくとも載置トレイが非帯電性材料又は導電材料で形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の薄板収納容器において、
上記トレイ収納体又は外部収納容器のいずれか一方又は両方に透明窓が形成されたことを特徴とする薄板収納容器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体ウエハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスク、液晶用ガラス基板、フレキシブル表示装置用フィルム基板などの薄板を収納する薄板収納容器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、半導体ウエハ等の電子デバイス用の薄板は、大型化、薄型化している。このため、薄板が破損しやすくなっている。このような薄板を収納して保管、搬送するための容器としては、引用文献１に記載の多段式収納カセットが知られている。この多段式収納カセットは、厚みが２０〜１００μｍの極薄ウエハの外周面にチッピングを生じることなく、かつ、パッドへの吸着ミスなく搬出できる収納カセットである。この収納カセットは、複数の収納棚を支柱で等間隔に並べて多段に積層した収納カセットである。
【０００３】
しかし、このような多段式収納カセットでは、極薄ウエハの周縁部をその下側から支持するだけで、特に極薄ウエハを確実に固定する手段は設けられていない。このため、多段式収納カセットを傾けると、極薄ウエハが容易にずれて破損するおそれがあるため、慎重に搬送する必要があり、搬送時の作業性が悪い。また、内部を密封して極薄ウエハを外部環境から隔離できる構造にはなっていない。このため、極薄ウエハをシールして外部環境から隔離することも、安全に支持することもできない。
【０００４】
このため、本発明者は先に半導体ウエハ等の薄板を、外部環境から隔離して安全に支持して搬送できる薄板収納容器を提案した。この薄板収納容器の例を図８に示す。薄板収納容器１は、図示するように主に、複数枚の載置トレイ２で構成されている。載置トレイ２は互いに着脱可能な構造になっており、薄板を載置した複数枚の載置トレイ２を積層させた状態で互いに結合させて、薄板収納容器１が構成されている。
【特許文献１】特開２００４−２７３８６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、上述のような構成の薄板収納容器１では、工場内等での使用の場合は特に問題とならないが、搬送する場合は、シール性及び耐衝撃性の点で問題になる。
【０００６】
複数枚の載置トレイ２を積層させた状態で互いに結合させて薄板収納容器１を構成しているため、外部から衝撃を受けると、各載置トレイ２が多少ずれたり、各載置トレイ２の間のシール性が低下したりする可能性がある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、シール性及び耐衝撃性を向上させて薄板を安全に収納して搬送することができるように改良したものである。
【０００８】
本発明に係る薄板収納容器は、互いに着脱可能な複数枚の載置トレイを積層した状態で互いに結合して構成され、各載置トレイの間の隙間に薄板をそれぞれ挟持して収納するトレイ収納体と、当該トレイ収納体を内部に収納する外部収納容器とを備えて構成されたことを特徴とする。
【０００９】
この構成により、トレイ収納体の各載置トレイの間の隙間に薄板を収納して、外部収納容器内に収納する。これにより、薄板を二重構造で収納する。
【００１０】
上記トレイ収納体の各載置トレイの対向する両側端に、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持する一対の把持部が設けられ、上記外部収納容器が、開口を一端に有する袋状に形成された容器本体と、当該容器本体の上記開口を塞ぐ蓋体と、当該蓋体と上記容器本体との間に設けられて上記容器本体内を外部雰囲気から気密に隔離するシール材と、上記容器本体内の対向する２つの内側面にそれぞれ設けられ上記トレイ収納体を支持する一対のトレイ収納体支持部とを備えて構成するのが望ましい。
【００１１】
この構成により、上記トレイ収納体内に薄板が収納された状態で、当該トレイ収納体が上記外部収納容器内に収納される。このとき、一対の上記トレイ収納体支持部が当該トレイ収納体を支持する。当該トレイ収納体を内部に収納して支持した上記外部収納容器内は上記シール材で密封される。
【００１２】
上記トレイ収納体は、互いに結合された各載置トレイの間の、上記薄板を収納する隙間を気密に保持するのが望ましい。
【００１３】
この構成により、上記薄板は、上記トレイ収納体と上記外部収納容器とで二重にシールされて、外部環境から隔離される。
【００１４】
上記トレイ収納体は、互いに結合される複数の載置トレイと、隣接する各載置トレイの間を互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段と、上記各載置トレイにそれぞれ設けられ、隣接する２つの上記載置トレイが協働して上記薄板を保持する際に当該薄板が載置される載置部とを備えて構成するのが望ましい。
【００１５】
この構成により、上記載置部に上記薄板を載置した状態で隣接する２つの上記載置トレイを上記結合・解除手段で互いに結合させて、上記薄板を保持する。
【００１６】
上記トレイ収納体は、外部機械装置側に嵌合するための機械的インターフェイスを有する一又は一対のベーストレイと、当該ベーストレイの一側面に又は各ベーストレイの間に挿入されて互いに結合される１又は複数の載置トレイと、当該各載置トレイの間や上記ベーストレイと載置トレイとの間を互いに独立して結合・結合解除する結合・解除手段と、上記各載置トレイにそれぞれ設けられ、隣接する２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイが協働して上記薄板を保持する際に当該薄板が載置される載置部とを備えて構成するのが望ましい。
【００１７】
この構成により、上記載置部に上記薄板を載置した状態で隣接する２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイを上記結合・解除手段で互いに結合させて、上記薄板を保持する。上記載置トレイと上記ベーストレイで構成されたトレイ収納体は、上記ベーストレイが上記機械的インターフェイスを介して上記外部機械装置側に嵌合して当該外部機械装置側に上記トレイ収納体が支持される。
【００１８】
上記載置トレイの上記載置部の周囲には、２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイを互いに結合した状態で上記載置部に収納された上記薄板を外部環境から気密に隔離するシール材を設けるのが望ましい。
【００１９】
この構成により、シール材は、上記載置部に収納された上記薄板をその周囲からシールして外部環境から気密に隔離する。これにより、上記薄板を清浄に保つことができる。
【００２０】
上記外部収納容器の容器本体内の底面と、上記蓋体の上記容器本体側面とには、上記蓋体を上記容器本体に取り付けたときに、上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体を、上記容器本体の底面側と上記蓋体の上記容器本体側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえをそれぞれ設け、上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体の各載置トレイの上記容器本体底部側端部及び上記蓋体側端部には、上記トレイ収納体押さえに嵌合する嵌合部を設けるのが望ましい。
【００２１】
この構成により、上記外部収納容器の容器本体内に挿入された上記トレイ収納体に対して、上記容器本体内の底面のトレイ収納体押さえと、上記蓋体の上記容器本体側のトレイ収納体押さえとが載置トレイの嵌合部に嵌合して、上記トレイ収納体を支持する。
【００２２】
上記トレイ収納体押さえと嵌合部とは、互いに嵌合する凹部及び凸部を有すると共に、これら凹部及び凸部の互いの当接面が楔状に傾斜して形成されるのが望ましい。
【００２３】
この構成により、上記トレイ収納体押さえと嵌合部の凹部及び凸部が互いに嵌合することで、これら凹部及び凸部の楔状に傾斜した当接面が互いに当接する。この状態で、凹部及び凸部が互いに深く結合していくと、楔状に傾斜した当接面で位置合わせ補正がされて、上記トレイ収納体が上記トレイ収納体押さえに支持される。
【００２４】
上記容器本体と上記蓋体との間には、当該蓋体を上記容器本体に取り付けて上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに嵌合させた状態で、上記蓋体を上記容器本体側に押し込んで固定すると共に、上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに深く結合させるラッチ機構を備えるのが望ましい。
【００２５】
この構成により、上記蓋体を上記容器本体に取り付けて上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに嵌合させた状態で、ラッチ機構によって上記蓋体を上記容器本体側に押し込んで固定すると、上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに深く結合させる。
【００２６】
上記トレイ収納体押さえを弾性体で構成して、上記トレイ収納体を弾性的に支持するのが望ましい。
【００２７】
この構成により、上記トレイ収納体押さえが上記トレイ収納体を弾性的に支持するため、外部からの振動や衝撃に対して上記トレイ収納体押さえがその振動や衝撃を吸収して上記薄板に振動等が伝わるのを防止する。
【００２８】
上記トレイ収納体が上記容器本体内に収納されて上記トレイ収納体支持部で支持された状態で、上記トレイ収納体と上記容器本体との間に、上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間と、当該処理アームで支持された上記トレイ収納体の持ち上げを許容する隙間とを設けるのが望ましい。
【００２９】
この構成により、上記トレイ収納体が上記トレイ収納体支持部で支持された状態で、上記外部機械装置の処理アームが挿入されて上記トレイ収納体に結合される。次いで、上記処理アームで支持された上記トレイ収納体を持ち上げて外部に運び出す。
【００３０】
上記容器本体内に収納された上記トレイ収納体を支持した上記トレイ収納体支持部をスライド可能又は回動可能に支持すると共に、当該トレイ収納体支持部が開いた状態で当該トレイ収納体支持部と上記トレイ収納体との間に上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間を設けるのが望ましい。
【００３１】
この構成により、上記トレイ収納体支持部が開いた状態で、上記外部機械装置の処理アームを、上記トレイ収納体支持部と上記トレイ収納体との間に挿入して、上記トレイ収納体の上記各載置トレイを任意の位置で結合解除して切り離し、内部の薄板を出し入れする。
【００３２】
上記外部収納容器の容器本体には、搬送ロボットの搬送アームで把持される把持機構を設けるのが望ましい。
【００３３】
この構成により、上記搬送ロボットの搬送アームが上記把持機構を把持して上記外部収納容器を持ち上げて搬送する。
【００３４】
上記外部収納容器の上記容器本体と上記蓋体との間には、当該蓋体を上記容器本体に取り付ける際に案内すると共に、上記蓋体を上記容器本体に対してズレないように支持するドアガイドを設けるのが望ましい。
【００３５】
この構成により、上記蓋体が上記ドアガイドで案内されて上記容器本体に取り付けられると共に、上記蓋体を上記容器本体に対してズレないように支持する。
【００３６】
上記外部収納容器の上記容器本体には、上記外部収納容器を持ち上げるためのハンドルを設けるのが望ましい。このハンドルは両手で扱う場合が多いため、外部収納容器の外側に一対設けられる。
【００３７】
この構成により、作業者がハンドルを持って外部収納容器を持ち上げて、搬送する。
【００３８】
上記外部収納容器の一部又は全部を非帯電性材料又は導電材料で形成するのが望ましい。
【００３９】
この構成により、上記外部収納容器の帯電による塵埃の付着等を防止できる。
【００４０】
上記トレイ収納体のうち、少なくとも載置トレイを非帯電性材料又は導電材料で形成するのが望ましい。
【００４１】
この構成により、上記載置トレイ等の帯電による塵埃の付着等を防止できる。
【００４２】
上記トレイ収納体又は外部収納容器のいずれか一方又は両方に透明窓を形成するのが望ましい。
【００４３】
この構成により、上記透明窓から内部の状態を確認する。
【発明の効果】
【００４４】
以上詳述したように、本発明の載置トレイ及び薄板収納容器によれば、次のような効果を奏する。
【００４５】
各載置トレイの間の隙間に薄板を収納したトレイ収納体を外部収納容器内に収納して、薄板を二重構造で収納するため、薄体を安全にかつ確実に収納して支持することができる。
【００４６】
上記薄板が収納された上記トレイ収納体を上記外部収納容器内に収納して、一対のトレイ収納体支持部で上記載置トレイの把持部を把持して上記トレイ収納体を支持するため、上記外部収納容器内に収納された上記トレイ収納体を確実に支持することができる。この結果、外部からの振動や衝撃に対して、上記薄板を安全にかつ確実に支持することができる。さらに、上記外部収納容器内をシール材で密封するため、内部を清浄な状態に保つことができる。
【００４７】
上記トレイ収納体の、互いに結合された各載置トレイの間の、上記薄板を収納する隙間を、気密に保持するため、上記薄板を、上記トレイ収納体と上記外部収納容器とで二重にシールすることができ、シール性を大幅に向上させることができる。
【００４８】
上記載置部に上記薄板を載置した状態で隣接する２つの上記載置トレイを上記結合・解除手段で互いに結合させて上記薄板を保持するため、複数積層した上記載置トレイの任意の位置で上記結合・解除手段を解除して上記薄板を出し入れすることができる。
【００４９】
上記載置部に上記薄板を載置した状態で隣接する２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイを上記結合・解除手段で互いに結合させて、上記薄板を保持するため、複数積層した上記載置トレイ及び上記ベーストレイの任意の位置で上記結合・解除手段を解除して上記薄板を出し入れすることができる。さらに、上記載置トレイと上記ベーストレイで構成されたトレイ収納体では、上記ベーストレイが上記機械的インターフェイスを介して上記外部機械装置側に嵌合して当該外部機械装置側に上記トレイ収納体が支持されるため、上記トレイ収納体を上記外部機械装置に対して容易にかつ確実に出し入れすることができる。
【００５０】
上記載置トレイの上記載置部の周囲にシール材を設けて、２つの上記載置トレイ又は当該載置トレイと上記ベーストレイを互いに結合した状態で上記載置部に収納された上記薄板を外部環境から気密に隔離するため、上記薄板を清浄に保つことができる。さらに、上記外部収納容器側のシールと相まって、上記薄板を二重にシールすることができる。
【００５１】
上記外部収納容器の容器本体内に挿入された上記トレイ収納体に対して、上記容器本体内の底面のトレイ収納体押さえと、上記蓋体の上記容器本体側面のトレイ収納体押さえとが各載置トレイの嵌合部に嵌合して、上記トレイ収納体を支持するため、上記トレイ収納体を上記外部収納容器内に安定的に支持することができる。
【００５２】
上記トレイ収納体押さえ及び嵌合部の凹部及び凸部の互いの当接面を楔状に傾斜して形成して、これら凹部及び凸部が互いに嵌合して深く結合していくことで、上記当接面で位置合わせ補正がなされて、上記トレイ収納体が上記トレイ収納体押さえに支持されるため、上記トレイ収納体を上記外部収納容器内の正確な位置で安定的に支持することができる。
【００５３】
上記蓋体を上記容器本体に取り付けて上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに嵌合させた状態で、ラッチ機構によって上記蓋体を上記容器本体側に押し込んで固定して、上記トレイ収納体押さえと嵌合部とを互いに深く結合させるため、上記トレイ収納体を上記外部収納容器内の正確な位置で安定的に支持することができる。
【００５４】
上記トレイ収納体が上記容器本体内に収納されて上記トレイ収納体支持部で支持された状態で、上記トレイ収納体と上記容器本体との間に、上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間と、当該処理アームで支持された上記トレイ収納体の持ち上げを許容する隙間とを設けたので、上記外部機械装置の処理アームを上記隙間に挿入して上記トレイ収納体に結合させて当該トレイ収納体を持ち上げて外部に運び出すことができ、トレイ収納体の出し入れの自動化が容易になる。
【００５５】
上記トレイ収納体支持部が開いた状態で、上記外部機械装置の処理アームを、上記トレイ収納体支持部と上記トレイ収納体との間に挿入して、上記トレイ収納体の上記各載置トレイを任意の位置で結合解除して切り離し、内部の薄板を出し入れするため、上記トレイ収納体を上記外部機械装置に収納した状態で、上記薄板の出し入れが可能になる。
【００５６】
上記搬送ロボットの搬送アームが上記把持機構を把持して上記外部収納容器を持ち上げて搬送するため、自動化された工場でそのまま使用することができる。
【００５７】
上記蓋体が上記ドアガイドで案内されて上記容器本体に取り付けられると共に、上記蓋体を上記容器本体に対してズレないように支持するため、上記蓋体を上記容器本体に容易にかつ正確に取り付けることができると共に、外部からの振動や衝撃に対しても、蓋体のズレを抑えて安定して支持することができる。
【００５８】
作業者がハンドルを持って外部収納容器を持ち上げるため、作業者による搬送が容易になる。
【００５９】
上記外部収納容器の帯電による塵埃の付着等を防止できるため、上記薄板を清浄に保つことができる。
【００６０】
上記載置トレイ等の帯電による塵埃の付着等を防止できるため、上記薄板を清浄に保つことができる。
【００６１】
上記透明窓から内部の状態を確認することができるため、作業者が空の容器等を間違えて搬送することがなくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６２】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明の薄板収納容器は、半導体ウエハ、磁気記録媒体ディスク、光記録媒体ディスク、液晶用ガラス基板、フレキシブル表示装置用フィルム基板などの電子デバイス用の薄板を収納して、搬送、保管、処理工程（製造ライン等）における使用に供するための容器である。本実施形態では、半導体ウエハを収納する薄板収納容器を例に説明する。このため、後述する載置トレイはほぼ円形状に構成されている。なお、液晶用ガラス基板等の四角形板材の場合は、載置トレイも四角形状に構成される。
【００６３】
薄板収納容器１１は、図１に示すように主に、トレイ収納体１２と、外部収納容器１３とから構成されている。
【００６４】
トレイ収納体１２は、半導体ウエハＷを直接収納するための容器である。このトレイ収納体１２は、互いに着脱可能な複数枚の後述の載置トレイ１６を積層した状態で互いに結合して構成され、各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷをそれぞれ挟持して収納するようになっている。このトレイ収納体１２は図１〜３に示すように主に、一対のベーストレイ１５と、各ベーストレイ１５の間に挿入される１又は複数の載置トレイ１６と、各載置トレイ１６の間やベーストレイ１５と載置トレイ１６との間を互いに結合し、結合解除する結合・解除手段１７とから構成されている。なお、図１と３においては、ベーストレイ１５の記載を省略して、概略的に表現している。
【００６５】
ベーストレイ１５は、１又は複数枚積層された載置トレイ１６の上下の端部にそれぞれ設けられてその上端面及び下端面を保護すると共に、トレイ収納体１２の出し入れ用や処理用の外部機械装置(図示せず)に係合するためのトレイである。ベーストレイ１５は、上ベーストレイ１５Ａと下ベーストレイ１５Ｂとから構成されている。各ベーストレイ１５Ａ、１５Ｂは、載置トレイ１６に合わせてほぼ円盤状に形成されている。下ベーストレイ１５Ｂには、又は上ベーストレイ１５Ａ及び下ベーストレイ１５Ｂには、外部機械装置側に嵌合するための機械的インターフェイスが設けられている。この機械的インターフェイスは、キネマチックピン(図示せず)に嵌合してトレイ収納体１２の位置決めを行うためのピン溝や、外部の機械装置側の搬送アームに結合するフック穴等の結合手段等である。この機械的インターフェイスとしては、使用態様に応じて必要な機能が付加される。
【００６６】
上ベーストレイ１５Ａの下側面は、必要に応じて、後述する載置トレイ１６の下側面の第２載置部１９と同様に形成される。下ベーストレイ１５Ｂの上側面は、必要に応じて、後述する載置トレイ１６の上側面の第１載置部１８と同様の第１載置部が設けられる。シール保持溝も同様に設けられる。
【００６７】
上ベーストレイ１５Ａ又は下ベーストレイ１５Ｂのいずれか一方又は両方には、ベーストレイ１５の情報を管理するためのバーコード、無線タグ又はインフォパッドのいずれか一部又は全部が設けられる。これにより、種々の情報を、バーコード、無線タグ及びインフォパッドのいずれか一部で管理したり、それぞれに振り分けて管理したりする。
【００６８】
なお、ベーストレイ１５が１枚のときは、ベーストレイ１５は載置トレイ１６の一側面に取り付けられて、載置トレイ１６をその一側面から支持する。
【００６９】
載置トレイ１６は、各ベーストレイ１５の間に挿入されて半導体ウエハＷを収納支持するためのトレイである。載置トレイ１６は、後述する把持部２０の部分が直線的にカットされた、ほぼ円盤状に形成されている。載置トレイ１６は、任意の枚数を積層することができる。半導体ウエハＷの枚数に応じて枚数の載置トレイ１６を積層して、ベーストレイ１５と共にトレイ収納体１２を構成する。
【００７０】
載置トレイ１６は、第１載置部１８と、第２載置部１９と、結合・解除手段１７と、把持部２０と、嵌合部２１と、吸気路２２とを備えて構成されている。
【００７１】
第１載置部１８は、半導体ウエハＷを載置するための部分である。第１載置部１８は、載置トレイ１６の上側面に、半導体ウエハＷの大きさ及び形状に合わせて凹ませて形成されている。半導体ウエハＷは円形であるため、第１載置部１８は、それに合わせて円形に形成されている。
【００７２】
第１載置部１８の外周縁にはシール保持溝２３が設けられている。このシール保持溝２３は、シール材２４を保持するための溝である。シール保持溝２３は、第１載置部１８の外周縁に円環状に形成されている。これにより、第１載置部１８と第２載置部１９とシール材２４とトレイ本体の壁部とで収納空間が構成されている。シール材２４は、シール保持溝２３に嵌合された状態で、２つの載置トレイ１６が積層されて各載置トレイ１６が互いに結合されたときにできる収納空間を囲繞するように設けられ、この収納空間を外部環境から隔離して気密に保つようになっている。この収納空間は、少なくとも１枚の半導体ウエハＷを収納できる大きさに設定されている。収納空間は、用途に応じて、２枚以上の半導体ウエハＷを同時に収納する場合もある。この場合、収納空間は、２枚重ね又はそれ以上重ねた半導体ウエハＷの厚さに応じた寸法に設定される。
【００７３】
第２載置部１９は、他の載置トレイ１６の第１載置部１８に嵌合して外部環境と隔離した上記収納空間を形成すると共に、当該収納空間内で半導体ウエハＷを挟み持って上下を逆にした際に半導体ウエハＷを載置して支持するための部分である。第２載置部１９は、第１載置部１８に載置された半導体ウエハＷを、その上側から覆ってできる上記収納空間内に収納して支持する。第２載置部１９は、第１載置部１８と同じ寸法に形成されている。
【００７４】
第１載置部１８及び第２載置部１９の表面には、内部に収納された半導体ウエハＷをその両側から押圧して支持するための載置凸部(図示せず)が設けられている。この載置凸部は、半導体ウエハＷと最小面積で接触して、半導体ウエハＷの全面を均等に押圧するために、網目状に形成されている。これにより、第１載置部１８と第２載置部１９との間の収納空間で極薄の半導体ウエハＷを挟んで確実に支持するようになっている。
【００７５】
第２載置部１９の外周縁にはシール受け溝２５が設けられている。このシール受け溝２５は、第１載置部１８側のシール保持溝２３に保持されたシール材２４が密着して上記収納空間内の気密性を向上させるための部分である。
【００７６】
結合・解除手段１７は、隣接する各載置トレイ１６の間を互いに結合・結合解除するための手段である。この結合・解除手段１７によって、複数枚積層された載置トレイ１６を任意の位置で結合解除して開き、その内部の半導体ウエハＷを取り出し、又はその部分に半導体ウエハＷを収納して互いに結合するようになっている。この結合・解除手段１７としては、公知の機構を用いることができる。例えば、フック(図示せず)と、このフックに係止して互いに結合するフック係止機構(図示せず)と、このフック係止機構を操作して結合解除する操作キー(図示せず)を挿入する脱着操作孔２６とから構成される。なお、この結合・解除手段１７としては、隣接する各載置トレイ１６の間を互いに結合・結合解除することができるものであればよく、公知の全ての構造の結合・解除手段を用いることができる。
【００７７】
脱着操作孔２６は、フック係止機構を着脱操作する上記操作キーを挿入するための孔である。この脱着操作孔２６は、載置トレイ１６の外側面に臨ませて形成されている。操作キーは、載置トレイ１６の外側面から脱着操作孔２６内へ挿入されて、内部のフック係止機構とフックとを切り離して結合・解除手段１７を固定解除するようになっている。
【００７８】
これにより、結合・解除手段１７は、ベーストレイ１５及び載置トレイ１６が積層されると、各載置トレイ１６の間やベーストレイ１５と載置トレイ１６の間を互いに固定してトレイ収納体１２を構成する。さらに、操作キーを任意の位置の脱着操作孔２６に挿入して結合・解除手段１７を固定解除することにより、ベーストレイ１５及び載置トレイ１６を任意の位置で分離し、再び結合できるようになっている。
【００７９】
把持部２０は、外部機械装置の処理アームが嵌合して把持するための部分である。把持部２０は、図１及び図３に示すように、載置トレイ１６の対向する両側端（図１中の左右側端部）に、それぞれ設けられている。把持部２０は、その縦断面形状をフランジ状に形成されている。即ち、把持部２０の縦断面形状は、その一側部（図３中の上部）が左右方向の外側へ張り出したフランジ部２０Ａを備えて構成されている。このフランジ部２０Ａが、後述するトレイ収納体支持部３４に嵌合して支持される。
【００８０】
嵌合部２１は、後述するトレイ収納体押さえ３５に嵌合する部分である。この嵌合部２１は、上記載置トレイ１６のうち、当該載置トレイ１６が上記外部収納容器１３内に収納された状態で、後述する上記容器本体３１の底部側端部及び蓋体側端部（上記載置トレイ１６の各把持部２０と直交する両側端部）に設けられている。嵌合部２１は、後述するトレイ収納体押さえ３５と嵌合する凸部又は凹部を有する。ここでは、嵌合部２１が凸部、トレイ収納体押さえ３５が凹部としている。なお、逆でもよい。即ち、嵌合部２１が凹部、トレイ収納体押さえ３５が凸部でもよい。
【００８１】
凸部の嵌合部２１は、その円弧状の周縁部を、断面形状が楔状に傾斜して形成されている。これにより、嵌合部２１は、後述するトレイ収納体押さえ３５の凹部の傾斜面と摺りながら接触して、互いに深く結合することで、一方向（図１中の上下方向）の位置決めがされるようになっている。さらに、嵌合部２１は、円弧状にかつ凸状に湾曲しているため、円弧状にかつ凹状に湾曲したトレイ収納体押さえ３５と結合することで、他方向（図１中の左右方向）の位置決めがされるようになっている。これにより、トレイ収納体１２が外部収納容器１３内で２つのトレイ収納体押さえ３５によって設定位置に安定して支持されるようになっている。
【００８２】
吸気路２２は、上記半導体ウエハＷが収納される上記収納空間内を吸引するための通路である。吸気路２２は、第１吸気路２２Ａと、第２吸気路２２Ｂとから構成されている。第１吸気路２２Ａは、載置トレイ１６の第１載置部１８側と外部環境とを連通するように設けられている。第２吸気路２２Ｂは、載置トレイ１６の第２載置部１９側と外部環境とを連通するように設けられている。各吸気路２２は、外部吸引装置(図示せず)の吸引管(図示せず)に接続されて、上記収納空間内が吸引される。
【００８３】
吸気路２２には、必要に応じてフィルタやキャップを取り付ける。フィルタは、上記収納空間内を清浄に保つための部材である。このフィルタとしては、使用態様に応じた性能のフィルタを用いる。キャップは、上記収納空間内を密封して、内部を清浄に保ったり、負圧状態を保ったりするための部材である。
【００８４】
上記構成の載置トレイ１６は、非帯電性または導電性の高分子材料や導電材料で形成されている。さらに、必要に応じて載置トレイ１６の第１載置部１８及び第２載置部１９の部分が外部から見えるように、透明な高分子材料で形成される。
【００８５】
載置トレイ１６の具体的な材料としては、ポリカーボネート系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリメタクリル酸メチル系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリプロピレン系樹脂などの熱可塑性高分子材料やフッ素系樹脂などを用いることができる。これらの高分子にカーボンファイバーや金属パウダーなどの導電材料を混合したり、界面活性剤等を混合したりすることによって、導電性や非帯電性を付与することができる。
【００８６】
透明な材料としては、ポリカーボネート系樹脂、ポリメタクリル酸メチル系樹脂、シクロオレフィン系樹脂、ポリエチレン系樹脂などがある。
【００８７】
載置トレイ１６には、無線タグ(図示せず)が設けられている。無線タグは、載置トレイ１６の管理情報または収納されている半導体ウエハＷの管理情報またはその両方の管理情報が記録されている。無線タグは、読み出し専用のタグでも、読み書き可能なタグでもよい。用途に応じた機能を選択する。また、無線タグの取り付け位置は載置トレイ１６の上側表面でも、外側面でも、下側面でもよい。無線タグに対して読み書きを行う外部装置との間で送受信できる位置であればよい。なお、無線タグの代わりに、上記同じ情報を記録したバーコードやインフォパッドを設けてもよい。また、これらのうちのいずれか一部又は全部を設けてもよい。管理する情報に応じて適宜設定する。
【００８８】
外部収納容器１３は、トレイ収納体１２を内部に収納するための容器である。外部収納容器１３は、開口３１Ｆを一端に有する袋状に形成された容器本体３１と、当該容器本体３１の上記開口３１Ｆを塞ぐ蓋体３２と、当該蓋体３２と上記容器本体３１との間に設けられて上記容器本体３１内を外部雰囲気から気密に隔離するシール材３３と、上記容器本体３１内の対向する２つの内側面にそれぞれ設けられ上記トレイ収納体１２の全ての載置トレイ１６の把持部２０又は一部の載置トレイ１６の把持部２０を把持して上記トレイ収納体１２を支持する一対のトレイ収納体支持部３４と、上記トレイ収納体１２を上記容器本体３１の底面側と上記蓋体３２の上記容器本体３１側とから挟持して支持するトレイ収納体押さえ３５と、工場内の搬送ロボット(図示せず)の搬送アームによって把持されて外部収納容器１３を持ち上げる把持機構３６と、作業者が手で掴むことによって上記外部収納容器１３を持ち上げるためのハンドル(図示せず)とから構成されている。
【００８９】
容器本体３１は、全体をほぼ立方体状に形成されている。この容器本体３１は、４枚の側壁部３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄと底板部３１Ｅとから構成され、その上部に開口３１Ｆが設けられている。この容器本体３１は、半導体ウエハＷの製造ライン等においてウエハ搬送装置（図示せず）に対向して据え付けられるときには、横置きにされる。この横にした状態（図１の状態）で底部となる側壁部３１Ｂの外側には、キネマチックピンに嵌合する溝等の位置決め手段（図示せず）が設けられている。
【００９０】
容器本体３１の各側壁部３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄの端部（開口３１Ｆの部分）には、蓋体３２が嵌合するための蓋体受け部３１Ｇが設けられている。蓋体受け部３１Ｇの四隅には、後述する蓋体３２のラッチ機構４１が嵌合して蓋体３２を容器本体３１側に固定するための凹部である被嵌合部３１Ｈが設けられている。
【００９１】
蓋体３２は、容器本体３１の上記開口３１Ｆを塞ぐための部材である。蓋体３２は、図１と５に示すように、ほぼ平板状に形成され、容器本体３１の蓋体受け部３１Ｇに嵌合される。蓋体３２と容器本体３１との間には、蓋体３２を容器本体３１に固定するためのラッチ機構４１が設けられている。蓋体３２の外側表面にはラッチ機構４１を操作するキー(図示せず)を挿入するためのキー孔３２Ａが２つ設けられている。
【００９２】
このラッチ機構４１は、蓋体３２を上記容器本体３１に取り付けて上記トレイ収納体押さえ３５と嵌合部２１とを互いに嵌合させた状態で、上記蓋体３２を上記容器本体３１側に押し込んで固定すると共に、上記トレイ収納体押さえ３５と嵌合部２１とを互いに深く結合させるための機構である。このラッチ機構４１は図１３に示すように主に、係止部材４２と、繰り出し部材４３と、カム機構４４と、保持カバー４５と、カバー押え４６とから構成されている。
【００９３】
係止部材４２は、蓋体３２が容器本体３１の蓋体受け部３１Ｇに装着された状態で、容器本体３１側へ延出して、蓋体受け部３１Ｇの被嵌合部３１Ｈに嵌合するための部材である。
【００９４】
繰り出し部材４３は、係止部材４２に連結して係止部材４２を出没動させるための部材である。この繰り出し部材４３は、蓋体３２内に回転可能に取り付けられている。
【００９５】
カム機構４４は、繰り出し部材４３で繰り出された係止部材４２の先端嵌合部４７が蓋体受け部３１Ｇの被嵌合部３１Ｈに嵌合された状態で、その被嵌合部３１Ｈの上面に当接して、蓋体３２を容器本体３１側に押し下げて固定するための部材である。
【００９６】
保持カバー４５は、係止部材４２と繰り出し部材４３とを保持するための部材である。カバー押え４６は、保持カバー４５を蓋体３２側に固定するための部材である。
【００９７】
上記カム機構４４によって、繰り出し部材４３で繰り出される係止部材４２の先端嵌合部４７を押し上げて被嵌合部３１Ｈの上面に当接させると共に、基端部を押し下げることでてこの原理により蓋体３２を容器本体３１側に押し下げて固定するようになっている。これにより、上記トレイ収納体押さえ３５と嵌合部２１とが互いに深く結合するようになっている。
【００９８】
シール材３３は、蓋体３２と容器本体３１との間に設けられている。このシール材３３は、具体的には図５に示すように、容器本体３１内を外部雰囲気から気密に隔離するための部材である。シール材３３は、その基端部が蓋体３２の内側面（容器本体３１側面）に設けられた嵌合溝３２Ｂに嵌合されて支持され、先端部が容器本体３１の蓋体受け部３１Ｇにその全週に亘って当接して容器本体３１内を密封するようになっている。
【００９９】
トレイ収納体支持部３４は、上記トレイ収納体１２を支持するための部材である。トレイ収納体支持部３４は、図１と３に示すように、容器本体３１内の対向する２つの内側面にそれぞれ設けられ、上記トレイ収納体１２の全ての載置トレイ１６の把持部２０又は一部の載置トレイ１６の把持部２０を把持して上記トレイ収納体１２を支持する。トレイ収納体支持部３４は、全体形状をほぼ平板状に構成されている。具体的には、把持部２０のフランジ部２０Ａをその下側から支持する下側フランジ部３４Ａを平板状の基板に多数備えて構成されている。このトレイ収納体支持部３４は、容器本体３１の側壁部３１Ｃ，３１Ｄにスライド可能に取り付けられている。具体的には、２つのトレイ収納体支持部３４が互いに近接して図３（Ａ）に示すように下側フランジ部３４Ａが把持部２０のフランジ部２０Ａに嵌合して、トレイ収納体１２を支持した状態から、互いに離間して図３（Ｂ）に示すように下側フランジ部３４Ａが把持部２０のフランジ部２０Ａから離れて待機した状態まで、トレイ収納体支持部３４がスライドできるように設けられている。なお、下側フランジ部３４Ａの枚数は、トレイ収納体１２を支持できる枚数であればよく、必ずしも把持部２０の全てのフランジ部２０Ａに嵌合できる枚数にする必要はない。
【０１００】
上記トレイ収納体１２が上記容器本体３１内に収納されて上記トレイ収納体支持部３４で支持された状態で、上記トレイ収納体１２と上記容器本体３１との間（図１中の上下方向の上記トレイ収納体１２と上記容器本体３１との間）には、上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間と、当該処理アームで支持された上記トレイ収納体１２の持ち上げを許容する隙間とが設けられている。これらの隙間により、上記トレイ収納体１２が上記トレイ収納体支持部で支持された状態で、上記外部機械装置の処理アームが上記隙間から挿入されて上記トレイ収納体１２に結合され、当該処理アームで支持されたトレイ収納体１２を持ち上げて外部に運び出すようになっている。
【０１０１】
また、トレイ収納体支持部３４が開いた状態で当該トレイ収納体支持部３４と上記トレイ収納体１２との間に上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間が設けられている。この隙間により、上記トレイ収納体支持部３４が開いた状態で、上記外部機械装置の処理アームを、上記トレイ収納体支持部と上記トレイ収納体１２との間に挿入して、上記トレイ収納体１２の上記各載置トレイ１６を任意の位置で結合解除して切り離し、内部の薄板を出し入れするようになっている。
【０１０２】
ここで、トレイ収納体支持部３４の他の例を図４に示す。トレイ収納体支持部３４は、図示するように、下側フランジ部３４Ａの代わりに、把持部２０のフランジ部２０Ａに嵌合するＶ字溝３４Ｂを設けて構成されている。さらに他の例を図６に示す。ここでは、トレイ収納体支持部３４を、２つの平板状ではなく、４つの四角形棒状体で構成されている。この４つの四角形棒状体からなるトレイ収納体支持部３４は、回動可能に支持されて、図６（Ａ）の状態でトレイ収納体１２を支持し、図６（Ｂ）の状態に回動してトレイ収納体１２の支持を解除するようになっている。トレイ収納体支持部３４は、把持部２０のフランジ部２０Ａに嵌合してトレイ収納体１２を支持できる構造であれば、他の構造でもよい。
【０１０３】
このトレイ収納体支持部３４のスライドを支持するスライド機構としては、公知の機構を用いることができる。例えば、スライド機構を、図９に示すように、ガイドレール５１とスライダ５２とから構成してもよい。ガイドレール５１は、容器本体３１の側壁部３１Ａ，３１Ｂに取り付けられる。スライダ５２は、ガイドレール５１にスライド可能に支持されると共にトレイ収納体支持部３４の端部に固定される。これにより、各トレイ収納体支持部３４は、ガイドレール５１とスライダ５２で支持されて、互いに近接離間する。
【０１０４】
また、スライド機構を、図１０に示すように、ガイド支柱５３とスライダ５４とから構成してもよい。ガイド支柱５３は、容器本体３１の側壁部３１Ｃ，３１Ｄに回転可能に取り付けられる。ガイド支柱５３の外周面にはネジ山が設けられている。スライダ５４は、ガイド支柱５３にねじ込まれてスライド可能に支持されると共にトレイ収納体支持部３４の端部に固定される。これにより、各ガイド支柱５３を回転させることで、各トレイ収納体支持部３４は、スライダ５４で支持されて、互いに近接離間する。
【０１０５】
トレイ収納体押さえ３５は、トレイ収納体１２を挟持して支持するための部材である。このトレイ収納体押さえ３５は、図５に示すように、上記外部収納容器１３の容器本体３１内の底面と、上記蓋体３２の上記容器本体３１側面とにそれぞれ設けられている。このトレイ収納体押さえ３５は、上記蓋体３２を上記容器本体３１に取り付けたときに、上記容器本体３１内に収納された上記トレイ収納体１２を、上記容器本体３１の底面側と上記蓋体３２の上記容器本体３１側とから挟持して支持する。
【０１０６】
トレイ収納体押さえ３５は、図５と１１に示すように、ベース板部６１と、弾性支持部６２と、湾曲嵌合部６３とから構成されている。ベース板部６１は、弾性支持部６２及び湾曲嵌合部６３を支持するための基板である。ベース板部６１は、容器本体３１内の底面及び上記蓋体３２の上記容器本体３１側面に直接に取り付けられる。弾性支持部６２は、パンタグラフ状に折り曲げて形成されて、湾曲嵌合部６３を弾性的に支持するようになっている。湾曲嵌合部６３は、トレイ収納体１２の嵌合部２１に整合するように凹状に湾曲させて形成されている。湾曲嵌合部６３には、楔状の凸部である嵌合部２１に嵌合する断面Ｖ字状のＶ字溝６４が形成されている。これにより、嵌合部２１及びＶ字溝６４の各当接面は楔状に傾斜して形成されている。この嵌合部２１とＶ字溝６４が、互いに接触して摺りながら奥まで嵌り合うことで、湾曲面と傾斜面とによって上下左右の位置決めがなされながら、支持するようになっている。このＶ字溝６４の数は、トレイ収納体１２の嵌合部２１と同じ又はそれ以上の数でも、嵌合部２１よりも少ない数でもよい。トレイ収納体１２を確実に支持できる数のＶ字溝６４を設ける。なお、ここでは、弾性支持部６２と湾曲嵌合部６３とを帯状の部材として構成して、設定本数をベース板部６１に一体的に設ける構成にしたが、図１２に示すように、板状に構成してもよい。
【０１０７】
これにより、容器本体３１内の底面側と上記蓋体３２の上記容器本体３１側の２つのトレイ収納体押さえ３５の湾曲嵌合部６３のＶ字溝６４が、トレイ収納体１２の各嵌合部２１にそれぞれ嵌合することで、トレイ収納体１２を外部収納容器１３に対して、前後、左右及び上下の位置決めをしながら弾性的に支持するようになっている。このトレイ収納体押さえ３５は、弾性支持部６２が弾性を有する合成樹脂等の材料で形成されている。湾曲嵌合部６３はトレイ収納体１２の各嵌合部２１に堅固に嵌合するように、硬質の合成樹脂等の材料で成形されることが望ましい。ベース板部６１は、弾性支持部６２と湾曲嵌合部６３を支持できる材料であればよい。なお、弾性支持部６２と湾曲嵌合部６３を硬質の合成樹脂等で堅固に支持するようにしてもよい。薄板収納容器１１の搬送中に振動や衝撃が薄板収納容器１１に加わることが多い場合は、弾性支持部６２及び湾曲嵌合部６３等に弾性を持たせてトレイ収納体１２を弾性的に支持して外部からの振動等をトレイ収納体押さえ３５で吸収するようにする。振動等が少ない場合は、弾性支持部６２及び湾曲嵌合部６３等を硬質の材料で構成してトレイ収納体１２を堅固に支持する。使用態様に応じて硬質の材料と弾性材料とを使え分ける。
【０１０８】
上記外部収納容器１３の上記容器本体３１と上記蓋体３２との間には、図１４と１５に示すように、蓋体３２を容器本体３１に取り付ける際に案内すると共に、蓋体３２を容器本体３１に対してズレないように支持するドアガイド６７が設けられている。このドアガイド６７は、支持片６８と、当接片６９とから構成されている。
【０１０９】
支持片６８は、上記蓋体３２を支持するための部材である。支持片６８は、上記容器本体３１の蓋体受け部３１Ｇの４つの辺にそれぞれ設けられている。なお、支持片６８は、蓋体受け部３１Ｇの４つの辺のうち少なくとも、上記容器本体３１を横にした状態での下側の辺に設けられていることが望ましい。
【０１１０】
支持片６８は、楔状に形成されている。支持片６８の表側の中央にはその全長に亘って凸条部７０が設けられている。この凸条部７０は当接片６９に直接当接して支持するための部分である。
【０１１１】
当接片６９は、上記支持片６８に当接して、上記蓋体３２を支持するための部材である。当接片６９は、上記蓋体３２の周縁のうち上記支持片６８に対向する四隅の位置に設けられている。この当接片６９は、容器本体３１の支持片６８に当接して蓋体３２を支持する。当接片６９は、蓋体３２の隅部を覆うように湾曲して形成されている。
【０１１２】
なお、ドアガイド６７は、支持片６８又は当接片６９のいずれか一方のみを設けるようにしてもよい。
【０１１３】
上記外部収納容器１３はその一部又は全部が非帯電性材料又は導電材料で形成されている。また、外部収納容器の一部に透明窓を形成してもよい。この透明窓は、内部のトレイ収納体１２を確認するための窓である。この透明窓は、トレイ収納体１２の載置トレイ１６の透明窓と整合する位置に設けるようにしてもよい。これにより、外部収納容器１３の透明窓によって、外部収納容器１３内にトレイ収納体１２があるか否かを確認できると共に、外部収納容器１３の透明窓と載置トレイ１６の透明窓とを介して、半導体ウエハＷを確認することができる。
【０１１４】
横置き状態の容器本体３１の天井部となる側壁部３１Ａの外側には、図１に示すように、把持機構３６が着脱自在に取り付けられている。上記外部収納容器の容器本体３１に、搬送ロボットの搬送アームで把持されて、所定位置へ搬送される。
【０１１５】
横置き状態の容器本体３１の横壁部となる側壁部３１Ｃ，３１Ｄの外側には持ち運び用のハンドル(図示せず)が着脱自在に取り付けられる。作業者はこのハンドルを掴んで外部収納容器を持ち上げるようになっている。このハンドルは、用途に応じて適宜設けられたり設けられなかったりする。なお、ハンドルは、一体的に設けられる場合もある。把持機構３６も一体に設けられる場合もある。
【０１１６】
［作用］
以上のように構成された薄板収納容器１１は、次のようにして使用される。
【０１１７】
まず、保持する半導体ウエハＷの枚数に合わせた枚数の載置トレイ１６が積層される。各載置トレイ１６にはその第１載置部１８に各半導体ウエハＷが載置され、各載置トレイ１６及び各半導体ウエハＷの種々の情報がそれぞれの無線タグ等に記録される。これら載置トレイ１６等は積み重ねられて、結合・解除手段１７で互いに結合されてトレイ収納体１２が構成される。
【０１１８】
このトレイ収納体１２は、外部収納容器１３の容器本体３１内に挿入されて、トレイ収納体支持部３４で両側から支持される。さらに、容器本体３１の蓋体受け部３１Ｇに蓋体３２が自動又は手動で取り付けられ、ラッチ機構４１が蓋体３２を容器本体３１側に固定する。これにより、２つのトレイ収納体押さえ３５がトレイ収納体１２の嵌合部２１に嵌合してトレイ収納体１２を容器本体３１内で、その前後、左右及び上下に正確に位置決めして支持される。このとき、トレイ収納体１２は、トレイ収納体支持部３４に対しては、僅かに浮いた状態に保たれる。これにより、接触面積が小さくなって、摩擦によるダストの発生を抑える。なお、２つのトレイ収納体押さえ３５でトレイ収納体１２を支持した状態で、トレイ収納体支持部３４に把持部２０のフランジ部２０Ａが接触して支持された状態になるように設定してもよい。外部からの振動や衝撃を支持する場合は浮いた状態にする。堅固に支持する場合は接触させる。
【０１１９】
なお、このトレイ収納体１２を外部収納容器１３内に収納するときは、ベーストレイ１５は無くても良い。出し入れの際の支持のために、下側のベーストレイ１５のみ設けるようにしてもよい。
【０１２０】
この状態で、薄板収納容器１１を工場等に搬送する。薄板収納容器１１は、縦置きでも、横置きでも任意の方向に載置することができる。複数の薄板収納容器１１が積層される場合もある。工場等では、薄板収納容器１１内の半導体ウエハＷを取り出す。このとき、トレイ収納体１２を外部収納容器１３から取り出す場合は、図７（Ａ）の状態から、図７（Ｂ）のように搬送アーム７２を挿入して、図７（Ｃ）のように搬送アーム７２をトレイ収納体１２に結合させて支持する。この状態で、図７（Ｄ）のようにトレイ収納体支持部３４を開いて待機状態にする。次いで、搬送アーム７２を引いてトレイ収納体１２を取り出す。取り出したトレイ収納体１２は、各載置トレイ１６が任意の位置で切り離されて内部に半導体ウエハＷが取り出される。
【０１２１】
また、トレイ収納体１２を外部収納容器１３の容器本体３１内で開く場合は、図１６に示すように、搬送アーム７２でトレイ収納体１２を支持した状態で、開閉用のアーム７３を挿入し、操作キーを脱着操作孔２６に挿入してトレイ収納体１２の各載置トレイ１６を任意の位置で切り離し、内部の半導体ウエハＷを取り出す。処理終了後に半導体ウエハＷを戻した後は、開いた載置トレイ１６を閉じて結合・解除手段１７で互いに結合させる。
【０１２２】
なお、半導体ウエハＷのみを出し入れする場合以外に、載置トレイ１６に半導体ウエハＷを載置した状態で載置トレイ１６ごと出し入れする場合もある。
【０１２３】
［効果］
これにより、薄板収納容器１１は次のような効果を奏する。
【０１２４】
各載置トレイ１６の間の隙間に半導体ウエハＷを収納したトレイ収納体１２を外部収納容器１３内に収納して、半導体ウエハＷを二重構造で収納するため、半導体ウエハＷを安全にかつ確実に収納して支持することができる。
【０１２５】
上記半導体ウエハＷが収納された上記トレイ収納体１２を外部収納容器１３内に収納して、一対のトレイ収納体支持部３４で載置トレイ１６の把持部２０を把持してトレイ収納体１２を支持するため、外部収納容器１３内に収納されたトレイ収納体１２を確実に支持することができる。しかも、前後、左右及び上下の位置決めをした状態で支持することができる。この結果、外部からの振動や衝撃に対して、この振動等をトレイ収納体支持部３４で吸収しながら上記半導体ウエハＷを安全にかつ確実に支持することができる。さらに、外部収納容器１３内をシール材３３で密封するため、内部を清浄な状態に保つことができる。
【０１２６】
上記トレイ収納体１２の、互いに結合された各載置トレイ１６の間の、上記半導体ウエハＷを収納する隙間を気密に保持するため、上記半導体ウエハＷを、トレイ収納体１２と外部収納容器１３とで二重にシールすることができ、シール性を大幅に向上させることができる。この結果、仮に外部収納容器１３のシール性が低下した場合でも、半導体ウエハＷを清浄な状態に保つことができる。
【０１２７】
載置部１８に半導体ウエハＷを載置した状態で隣接する２つの上記載置トレイ１６を結合・解除手段１７で互いに結合させて上記半導体ウエハＷを保持するため、複数積層した載置トレイ１６の任意の位置で結合・解除手段１７を解除して半導体ウエハＷを出し入れすることができる。この結果、出し入れ作業の作業性が向上する。
【０１２８】
上記載置部１８に半導体ウエハＷを載置した状態で隣接する２つの載置トレイ１６又は当該載置トレイ１６と上記ベーストレイ１５を結合・解除手段１７で互いに結合させて、半導体ウエハＷを保持するため、複数積層した載置トレイ１６及びベーストレイ１５の任意の位置で結合・解除手段１７を解除して半導体ウエハＷを出し入れすることができる。さらに、載置トレイ１６とベーストレイ１５で構成されたトレイ収納体１２では、ベーストレイ１５が上記機械的インターフェイスを介して上記外部機械装置側に嵌合して当該外部機械装置側にトレイ収納体１２が支持されるため、トレイ収納体１２を上記外部機械装置に対して容易にかつ確実に出し入れすることができる。
【０１２９】
載置トレイ１６の載置部１８の周囲にシール材２４を設けて、２つの載置トレイ１６又は載置トレイ１６とベーストレイ１５を互いに結合した状態で上記載置部１８に収納された半導体ウエハＷを外部環境から気密に隔離するため、半導体ウエハＷを清浄に保つことができる。さらに、外部収納容器１３のシールと相まって、半導体ウエハＷを二重にシールすることができる。この結果、いずれか一方のシール性が低下してももう一方のシールによって半導体ウエハＷを清浄に保つことができる。
【０１３０】
外部収納容器１３の容器本体３１内に挿入されたトレイ収納体１２に対して、上記容器本体３１内の底面のトレイ収納体押さえ３５と、上記蓋体３２の上記容器本体３１側面のトレイ収納体押さえ３５とが各載置トレイ１６の嵌合部２１に嵌合して、トレイ収納体１２を支持するため、トレイ収納体１２を外部収納容器１３内に安定的に且つ確実に支持することができる。
【０１３１】
上記トレイ収納体押さえ３５及び嵌合部２１の凹部及び凸部の互いの当接面を楔状に傾斜して形成して、これら凹部及び凸部が互いに嵌合して深く結合していくことで、上記当接面で位置合わせ補正がなされて、トレイ収納体１２がトレイ収納体押さえ３５に支持されるため、トレイ収納体１２を外部収納容器１３内の正確な位置で安定的に支持することができる。
【０１３２】
上記蓋体３２を上記容器本体３１に取り付けて上記トレイ収納体押さえ３５と嵌合部２１とを互いに嵌合させた状態で、ラッチ機構４１によって上記蓋体３２を上記容器本体３１側に押し込んで固定して、上記トレイ収納体押さえ３５と嵌合部２１とを互いに深く結合させるため、上記トレイ収納体１２を上記外部収納容器１３内の正確な位置で安定的に支持することができる。
【０１３３】
上記トレイ収納体１２が上記容器本体３１内に収納されて上記トレイ収納体支持部３４で支持された状態で、上記トレイ収納体１２と上記容器本体３１との間に、上記外部機械装置の処理アームが挿入される隙間と、当該処理アームで支持された上記トレイ収納体の持ち上げを許容する隙間とを設けたので、上記外部機械装置の処理アームを上記隙間に挿入して上記トレイ収納体１２に結合させて当該トレイ収納体１２を持ち上げて外部に運び出すことができ、トレイ収納体１２の出し入れの自動化が容易になる。この結果、自動制御の製造ラインにも容易に用いることができる。
【０１３４】
上記トレイ収納体支持部３４が開いた状態で、上記外部機械装置の処理アームを、上記トレイ収納体支持部３４と上記トレイ収納体１２との間に挿入して、上記トレイ収納体１２の上記各載置トレイ１６を任意の位置で結合解除して切り離し、内部の半導体ウエハＷを出し入れするため、上記トレイ収納体１２を上記外部収納容器１３に収納した状態で、上記半導体ウエハＷの出し入れが可能になる。この結果、自動化された工場の既存の製造ラインにもそのまま用いることができる。
【０１３５】
搬送ロボットの搬送アームが上記把持機構３６を把持して外部収納容器１３を持ち上げて搬送するため、自動化された工場でそのまま使用することができる。
【０１３６】
上記蓋体３２が上記ドアガイド６７で案内されて上記容器本体３１に取り付けられると共に、上記蓋体３２を上記容器本体３１に対してズレないように支持するため、上記蓋体３２を上記容器本体３１に容易にかつ正確に取り付けることができると共に、外部からの振動や衝撃に対しても、蓋体３２のズレを抑えて安定して支持することができる。この結果、内部の半導体ウエハＷを保護すると共に、蓋体３２のズレによる内部の気密性の低下を防止することができる。
【０１３７】
外部収納容器１３にハンドルを設けるため、作業者がハンドルを持って容易に外部収納容器１３を持ち上げることができ、作業者による搬送が容易になる。また、外部収納容器１３の帯電による塵埃の付着等を防止できるため、半導体ウエハＷを清浄に保つことができる。載置トレイ１６等の帯電による塵埃の付着等を防止できるため、半導体ウエハＷを清浄に保つことができる。
【０１３８】
外部収納容器１３等に透明窓を設けて、内部の状態を確認することができるため、作業者が空の容器等を間違えて搬送することがなくなる。
【０１３９】
［変形例］
上記実施形態では、ベーストレイ１５を上下に２つ設けたが、下側１つだけ設けるようにしてもよい。また、上側１つだけ設けるようにしてもよい。トレイ収納体１２を下側から支持する場合はベーストレイ１５を下側に設ける。トレイ収納体１２を上側から支持する場合はベーストレイ１５を下上に設ける。
【０１４０】
上記実施形態では、嵌合部２１等をＶ字状に尖らせた楔状に形成したが、断面台形等の他の形状でもよい。互いに嵌合して位置決めできる形状であればよい。即ち、互いに嵌合したときに位置決め方向に力が釣り合う位置が唯１つ存在すればよい。
【０１４１】
載置トレイ１６や外部収納容器１３は、部分的に異なる材料で構成してもよい。例えば、非帯電性材料又は導電材料と、透明な材料とを適宜用いてもよい。これにより、半導体ウエハＷの表面に、ダストが吸着するのを防止することができ、半導体ウエハＷを清浄に保つことができる。さらに、この半導体ウエハＷを清浄に保つ機能を保持した状態で、載置トレイ１６等を種々の材料で構成することができる。この結果、載置トレイ１６側に基本的な機能である半導体ウエハＷを清浄に保つ機能を持たせた状態で、載置板部６２側に種々の機能を持たせることができ、載置トレイ１６を多様な機能を備えたトレイにすることができ、その機能に応じた種々の用途に使用することができる。
【０１４２】
外部収納容器１３には、必要に応じて、呼吸弁やフィルタを設けてもよい。搬送時に気圧の変動が大きい場合は、外部収納容器１３に呼吸弁やフィルタを設ける。
【０１４３】
上記実施形態では、トレイ収納体１２と外部収納容器１３とを二重にシールする構成にしたが、いずれか一方のみをシールするようにしてもよい。特に、トレイ収納体１２のシールを設けない場合がある。要求されるシール性能に応じて設定する。
【０１４４】
上記実施形態の薄板収納容器１１は搬送と工場内での両方に使用することができる。
【０１４５】
上記実施形態では、蓋体３２にもトレイ収納体押さえ３５を設けたが、蓋体３２側は、蓋体３２の下側面を嵌合部２１に合わせて凹ませて形成してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】本発明の実施形態に係る薄板収納容器を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るトレイ収納体を示す側面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部の一例を示す概略構成図である。
【図４】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部の他の例を示す概略構成図である。
【図５】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部の一例を示す概略断面図である。
【図６】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部の他の例を示す概略断面図である。
【図７】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体を出し入れする動作を示す模式図である。
【図８】従来の薄板収納容器を示す斜視図である。
【図９】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部のスライド機構を示す概略構成図である。
【図１０】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体支持部のスライド機構の他の例を示す概略構成図である。
【図１１】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体押さえを示す斜視図である。
【図１２】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のトレイ収納体押さえの他の例を示す斜視図である。
【図１３】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のラッチ機構の例を示す斜視図である。
【図１４】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のドアガイドの容器本体側を示す斜視図である。
【図１５】本発明の実施形態に係る薄板収納容器のドアガイドの蓋体側を示す斜視図である。
【図１６】本発明の実施形態に係る薄板収納容器の半導体ウエハＷの出し入れの一例を示す模式図である。
【符号の説明】
【０１４７】
１１：薄板収納容器、１２：トレイ収納体、１３：外部収納容器、１５：ベーストレイ、１５Ａ：上ベーストレイ、１５Ｂ：下ベーストレイ、１６：載置トレイ、１７：結合・解除手段、１８：第１載置部、１９：第２載置部、２０：把持部、２０Ａ：フランジ部、２１：嵌合部、２２：吸気路、２２Ａ：第１吸気路、２２Ｂ：第２吸気路、２３：シール保持溝、２４：シール材、２６：脱着操作孔、３１：容器本体、３１Ａ，３１Ｂ，３１Ｃ，３１Ｄ：側壁部、３１Ｅ：底板部、３１Ｆ：開口、３１Ｇ：蓋体受け部、３１Ｈ：被嵌合部、３２：蓋体、３２Ａ：キー孔、３３：シール材、３４：トレイ収納体支持部、３４Ａ：下側フランジ部、３５：トレイ収納体押さえ、３６：把持機構、４１：ラッチ機構、４２：係止部材、４３：繰り出し部材、４４：カム機構、４５：保持カバー、４６：カバー押え、４７：先端嵌合部、５１：ガイドレール、５２：スライダ、５３：ガイド支柱、５４：スライダ、６１：ベース板部、６２：弾性支持部、６３：湾曲嵌合部、６４：Ｖ字溝、６７：ドアガイド、６８：支持片、６９：当接片、７０：凸条部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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