(57)【要約】【課題】  生産性が良く、安価な表面弾性波ディバイスを提供すること。【解決手段】  本発明の表面弾性波ディバイスは、絶縁基板１と圧電基板６が接着シート５によって接着されて、振動空間部９が接着シート５によって密封されたため、接着シート５を絶縁基板１上に載置した後、接着シート５上に圧電基板６を載置すれば良く、従って、その組立作業が容易で、生産性が良好である上に、接着シート５は、厚み方向への変形が少なく、絶縁基板１と圧電基板６間の寸法精度が良くなる。【選択図】  図１
2007019941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電体を設けた絶縁基板と、櫛歯電極を設けた圧電基板と、前記導電体と前記櫛歯電極とを接続する接続部材と、前記絶縁基板と前記圧電基板との間に配置された接着シートとを備え、前記櫛歯電極が前記絶縁基板との間に振動空間部を持たせた状態で、前記絶縁基板と前記圧電基板は、前記接着シートによって接着されて、前記振動空間部が前記接着シートによって密封されたことを特徴とする表面弾性波ディバイス。
【請求項２】
前記接着シートは、半硬化状態の前記接着シートが前記絶縁基板と前記圧電基板との間で挟まれた状態で、硬化されて形成されたことを特徴とする請求項１記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項３】
前記接着シートには、前記櫛歯電極と対向する位置に除去部が設けられ、前記除去部によって前記振動空間部が形成されたことを特徴とする請求項１、又は２記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項４】
前記櫛歯電極と対向する前記絶縁基板の表面には、凹部が設けられ、前記接着シートは、前記絶縁基板と前記圧電基板間の位置から延びて前記凹部内の全面に接着され、前記振動空間部が前記櫛歯電極と前記凹部内の前記接着シートの間で形成されたことを特徴とする請求項１、又は２記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項５】
前記絶縁基板は、複数枚の絶縁シートの積層によって形成され、前記凹部は、前記圧電基板に隣接する前記絶縁シートに設けられた孔によって形成されたことを特徴とする請求項４記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項６】
前記圧電基板を取り付けた前記絶縁基板は、前記圧電基板の側部よりも外方に延びた延設部を有すると共に、前記圧電基板の全外周を覆う封止樹脂部を備え、前記封止樹脂部が前記延設部側を封止するように前記延設部上に延びて形成されたことを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項７】
前記接着シートは、前記圧電基板の前記側部を越えて前記延設部の端部まで延びた延出部を有し、前記封止樹脂部が前記延出部上に設けられたことを特徴とする請求項６記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項８】
前記接着シートは、前記圧電基板の前記側部を越えて前記延設部側まで延びた延出部を有し、前記封止樹脂部が前記延出部の端部を越えて前記延設部上に跨って設けられたことを特徴とする請求項６記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項９】
前記接続部材は、前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプで構成され、前記バンプが前記接着シートを貫通して前記櫛歯電極と前記導電体に接続されたことを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の表面弾性波ディバイス。
【請求項１０】
前記接着シートは、異方性導電接着シートで構成されると共に、前記接続部材は、前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプと、このバンプによって押し付けられた前記異方性導電接着シートの部分とで構成され、前記バンプが前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方に接触した状態で、前記バンプによって押し付けられた前記異方性導電接着シートの前記部分が前記櫛歯電極と前記導電体の何れか他方に導通するようにしたことを特徴とする請求項１から８の何れか１項に記載の表面弾性波ディバイス。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、種々の電気機器に使用される共振器やフィルタ等に適用して好適な表面弾性波ディバイスに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の表面弾性波ディバイスの図面を説明すると、図６は従来の表面弾性波ディバイスに係る要部断面図であり、次に、従来の表面弾性波ディバイスの構成を図６に基づいて説明すると、絶縁基板５１は、中央部の上面に設けられた凹部５１ａと、複数の貫通孔５１ｂを有し、この貫通孔５１ｂには、外部引出用の導電材５２が取り付けられている。
【０００３】
圧電基板５３の下面には、櫛歯電極５４が設けられ、この櫛歯電極５４は、櫛歯部５４ａと、この櫛歯部５４ａに繋がった電極５４ｂを有し、圧電基板５３が絶縁基板５１に対向した状態で配置されると共に、電極５４ｂが導電材５２に接続されて、振動空間部５５が形成されている。
【０００４】
絶縁樹脂が塗布されて形成された環状の封止材５６は、凹部５１ａから外れた位置の絶縁基板５１と圧電基板５３間に設けられ、この封止材５６によって振動空間部５５を封止すると共に、ペースト状の封止材５６が櫛歯部５４ａ側に流れた際、凹部５１ａ内に流入するようになっている。
【０００５】
保護樹脂５７は、圧電基板５３の全外周を覆った状態で、絶縁基板５１の上面に設けられて、従来の表面弾性波ディバイスが形成されている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００１−２４４７８５号公報（第２−第４頁、図４）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、従来の表面弾性波ディバイスは、ペースト状の封止材５６が絶縁基板５１上に塗布されるため、その作業が面倒で、生産性が悪い上に、ペースト状の封止材５６が厚み方向に容易に変形して、絶縁基板５１と圧電基板５３間の寸法精度が悪くなるばかりか、櫛歯部５６ａ側へのペースト状封止材５６の流れ込みを防止するために、絶縁基板５１に凹部５１ａを必要とし、絶縁基板５１の加工性が悪く、コスト高になるという問題がある。
【０００７】
本発明は、このような従来技術の実情に鑑みてなされたもので、その目的は、生産性が良く、安価な表面弾性波ディバイスを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達成するために、本発明の第１の解決手段として、導電体を設けた絶縁基板と、櫛歯電極を設けた圧電基板と、前記導電体と前記櫛歯電極とを接続する接続部材と、前記絶縁基板と前記圧電基板との間に配置された接着シートとを備え、前記櫛歯電極が前記絶縁基板との間に振動空間部を持たせた状態で、前記絶縁基板と前記圧電基板は、前記接着シートによって接着されて、前記振動空間部が前記接着シートによって密封された構成とした。
【０００９】
また、第２の解決手段として、前記接着シートは、半硬化状態の前記接着シートが前記絶縁基板と前記圧電基板との間で挟まれた状態で、硬化されて形成された構成とした。
【００１０】
また、第３の解決手段として、前記接着シートには、前記櫛歯電極と対向する位置に除去部が設けられ、前記除去部によって前記振動空間部が形成された構成とした。
【００１１】
また、第４の解決手段として、前記櫛歯電極と対向する前記絶縁基板の表面には、凹部が設けられ、前記接着シートは、前記絶縁基板と前記圧電基板間の位置から延びて前記凹部内の全面に接着され、前記振動空間部が前記櫛歯電極と前記凹部内の前記接着シートの間で形成された構成とした。
【００１２】
また、第５の解決手段として、前記絶縁基板は、複数枚の絶縁シートの積層によって形成され、前記凹部は、前記圧電基板に隣接する前記絶縁シートに設けられた孔によって形成された構成とした。
【００１３】
また、第６の解決手段として、前記圧電基板を取り付けた前記絶縁基板は、前記圧電基板の側部よりも外方に延びた延設部を有すると共に、前記圧電基板の全外周を覆う封止樹脂部を備え、前記封止樹脂部が前記延設部側を封止するように前記延設部上に延びて形成された構成とした。
【００１４】
また、第７の解決手段として、前記接着シートは、前記圧電基板の前記側部を越えて前記延設部の端部まで延びた延出部を有し、前記封止樹脂部が前記延出部上に設けられた構成とした。
【００１５】
また、第８の解決手段として、前記接着シートは、前記圧電基板の前記側部を越えて前記延設部側まで延びた延出部を有し、前記封止樹脂部が前記延出部の端部を越えて前記延設部上に跨って設けられた構成とした。
【００１６】
また、第９の解決手段として、前記接続部材は、前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプで構成され、前記バンプが前記接着シートを貫通して前記櫛歯電極と前記導電体に接続された構成とした。
【００１７】
また、第１０の解決手段として、前記接着シートは、異方性導電接着シートで構成されると共に、前記接続部材は、前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプと、このバンプによって押し付けられた前記異方性導電接着シートの部分とで構成され、前記バンプが前記櫛歯電極と前記導電体の何れか一方に接触した状態で、前記バンプによって押し付けられた前記異方性導電接着シートの前記部分が前記櫛歯電極と前記導電体の何れか他方に導通するようにした構成とした。
【発明の効果】
【００１８】
本発明の表面弾性波ディバイスは、絶縁基板と圧電基板が接着シートによって接着されて、振動空間部が接着シートによって密封されたため、接着シートを絶縁基板上に載置した後、接着シート上に圧電基板を載置すれば良く、従って、その組立作業が容易で、生産性が良好である上に、接着シートは、厚み方向への変形が少なく、絶縁基板と圧電基板間の寸法精度が良くなる。
【００１９】
また、接着シートは、半硬化状態の接着シートが絶縁基板と圧電基板との間で挟まれた状態で、硬化されて形成されたため、接着シートは、外形形状の精度の良いものが得られる。
【００２０】
また、接着シートには、櫛歯電極と対向する位置に除去部が設けられ、除去部によって振動空間部が形成されたため、振動空間部の形成が容易となって、生産性が良く、安価なものが得られる。
【００２１】
また、櫛歯電極と対向する絶縁基板の表面には、凹部が設けられ、接着シートは、絶縁基板と圧電基板間の位置から延びて凹部内の全面に接着されたため、接着シートは、振動空間部を形成するための除去部が不要で、構成が簡単になるばかりか、振動空間部が櫛歯電極と凹部内の接着シートの間で形成されたため、振動空間部の密封度の良好なものが得られる。
【００２２】
また、絶縁基板は、複数枚の絶縁シートの積層によって形成され、凹部は、圧電基板に隣接する絶縁シートに設けられた孔によって形成されたため、絶縁基板の凹部の形成が容易となって、生産性の良好なものが得られる。
【００２３】
また、圧電基板を取り付けた絶縁基板は、圧電基板の側部よりも外方に延びた延設部を有すると共に、圧電基板の全外周を覆う封止樹脂部を備え、封止樹脂部が延設部側を封止するように延設部上に延びて形成されたため、絶縁基板と圧電基板間は、接着シートと封止樹脂部とによって封止されて、振動空間部の密封度の良好なものが得られる上に、封止樹脂部によって圧電基板の保護が図れる。
【００２４】
また、接着シートは、圧電基板の側部を越えて延設部の端部まで延びた延出部を有し、封止樹脂部が延出部上に設けられたため、封止樹脂部は、接着シートに確実に接合できて、封止樹脂部の取り付けが確実にできる。
【００２５】
また、接着シートは、圧電基板の側部を越えて延設部側まで延びた延出部を有し、封止樹脂部が延出部の端部を越えて延設部上に跨って設けられたため、絶縁基板と圧電基板間は、接着シートと封止樹脂部とによって封止されて、振動空間部の密封度の良好なものが得られる上に、封止樹脂部は、接着シートに確実に接合できて、封止樹脂部の取り付けが確実にできる。
【００２６】
また、接続部材は、櫛歯電極と前記導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプで構成され、バンプが接着シートを貫通して櫛歯電極と導電体に接続されたため、バンプは、接着シートを貫通することができ、組立性の良好なものが得られる。
【００２７】
また、接着シートは、異方性導電接着シートで構成されると共に、接続部材は、櫛歯電極と導電体の何れか一方、又は両方に設けられたバンプと、このバンプによって押し付けられた異方性導電接着シートの部分とで構成され、バンプが櫛歯電極と導電体の何れか一方に接触した状態で、バンプによって押し付けられた異方性導電接着シートの部分が櫛歯電極と導電体の何れか他方に導通するようにしたため、接続が容易となり、生産性の良好なものが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
発明の実施の形態について図面を参照して説明すると、図１は本発明の表面弾性波ディバイスの第１実施例に係る要部断面図、図２は本発明の表面弾性波ディバイスの第２実施例に係る要部断面図、図３は本発明の表面弾性波ディバイスの第３実施例に係る要部断面図、図４は本発明の表面弾性波ディバイスの第４実施例に係る要部断面図、図５は本発明の表面弾性波ディバイスの第５実施例に係る要部断面図であり、次に、本発明の表面弾性波ディバイスの第１実施例に係る構成を図１に基づいて説明すると、セラミック材等の絶縁材の積層基板からなる四角形の絶縁基板１は、複数枚の絶縁シートが積層されて形成され、この絶縁基板１には、上面と積層間に設けられた導電パターンからなる導電体２と、下面に設けられた導電パターンからなる外部接続用の端子３と、導電体２間、及び導電体２と端子３間を接続するスルーホール等の接続体４を有する。
【００２９】
四角形の接着シート５は、中央部に孔からなる除去部５ａを有し、この接着シート５は、削除部５ａを除いて、絶縁基板１の上面全面に接着されている。
【００３０】
四角形の圧電基板６の下面には、櫛歯電極７が設けられ、この櫛歯電極７は、櫛歯部７ａと、この櫛歯部７ａに繋がった電極７ｂを有すると共に、電極７ｂには、半田等で形成されたバンプからなる接続部材８が設けられている。
【００３１】
そして、圧電基板６の下面は、絶縁基板１の上面の面積より小さく形成され、圧電基板６の全周の側部から前記絶縁基板１の外周部がはみ出した延設部１ａを有した状態で、圧電基板６は、絶縁基板１に対向して配置されると共に、接続部材８であるバンプが接着シート５を貫通して導電体２に接続された状態で、絶縁基板１と圧電基板６間が接着シート５によって接着される。
【００３２】
この時、櫛歯部７ａは、除去部５ａに対向した状態となって、除去部５ａによって振動空間部９が形成されると共に、振動空間部９は、接着シート５によって密封された状態になり、そして、接着シート５は、圧電基板６の全周の側部から外方に突出する延出部５ｂが形成される。
【００３３】
また、絶縁基板１と圧電基板６間に介在する接着シート５は、半硬化状態の接着シート５が絶縁基板１と圧電基板６との間で挟まれた状態で、接着シート５が硬化されて形成されると共に、接続部材８であるバンプは、半硬化状態の接着シート５の状態で、接着シート５を貫通して導電体２に接続するようになっている。
【００３４】
なお、バンプは、櫛歯電極７側に設けたもので説明したが、バンプは、導電体２側、又は両方に設けても良く、また、バンプが貫通する接着シート５の貫通孔は、接着シート５に予め設けても良い。
【００３５】
絶縁樹脂からなる封止樹脂部１０は、圧電基板６の全外周と、圧電基板６の側部から外方に突出した接着シート６の延出部５ｂの上面を覆った状態で、絶縁基板１の延設部１ａ上に延びて形成され、この封止樹脂部１０によって、絶縁基板１と圧電基板６間の封止と、圧電基板６の保護が行われて、本発明の表面弾性波ディバイスが形成されている。
【００３６】
なお、接着シート５は、絶縁基板１の端部まで延びたもので説明したが、接着シート５の端部は、圧電基板６の側部と面一状態にし、封止樹脂部１０が絶縁基板１の延設部１ａ上で接着するようにしても良い。
【００３７】
また、図２は本発明の表面弾性波ディバイスの第２実施例を示し、この第２実施例について説明すると、櫛歯部７ａと対向する絶縁基板１の表面には、凹部１ｂが設けられ、この凹部１ｂは、圧電基板６に隣接し、絶縁基板１を形成する絶縁シートに設けられた孔によって形成されると共に、接着シート５は、絶縁基板１と圧電基板６間の位置から延びて凹部１ｂ内の全面に接着され、振動空間部９が櫛歯部７ａと凹部１ｂ内の接着シート５の間で形成されたものである。
【００３８】
その他の構成は、前記第１実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００３９】
また、図３は本発明の表面弾性波ディバイスの第３実施例を示し、この第３実施例について説明すると、接着シート５は、圧電基板６の側部を越えて延設部１ａの途中（延設部１ｂの端部に至らない状態）まで延びた延出部５ｂを有し、封止樹脂部１０が延出部５ｂの端部を越えて延設部１ａ上に跨って設けられて、絶縁基板１と圧電基板６間が封止樹脂部１０と接着シート５とによって封止されたものである。
【００４０】
その他の構成は、前記第２実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００４１】
また、図４は本発明の表面弾性波ディバイスの第４実施例を示し、この第４実施例について説明すると、スパッタやメッキ等からなる金属膜１１が圧電基板６の外周面と、圧電基板６から外方に露出した接着シート５の露出部分（延出部５ｂ）を覆うように設けられ、この金属膜１１によって、絶縁基板１と圧電基板６間の封止を向上させると共に、封止樹脂部１０が金属膜１１を覆うように設けられたものである。
【００４２】
その他の構成は、前記第３実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【００４３】
また、図５は本発明の表面弾性波ディバイスの第５実施例を示し、この第５実施例について説明すると、接着シート５は、異方性導電接着シートで構成され、この異方性導電接着シートは、導電粒子が接着樹脂中に混入（散在）され、外力で押し付けられた部分の導電粒子がシートの厚み方向に導通するように構成されており、接続部材４がこの異方性導電接着シートとバンプによって形成されたものである。
【００４４】
そして、接続部材４は、櫛歯電極７と導電体２の何れか一方に設けられたバンプと、このバンプによって押し付けられた上記の異方性導電接着シートの部分とで構成され、バンプが櫛歯電極７と導電体２の何れか一方に接触した状態で、バンプによって押し付けられた異方性導電接着シートの部分が櫛歯電極７と導電体２の何れか他方に導通するようにしたものである。
【００４５】
その他の構成は、前記第２実施例と同様の構成を有し、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の表面弾性波ディバイスの第１実施例に係る要部断面図である。
【図２】本発明の表面弾性波ディバイスの第２実施例に係る要部断面図である。
【図３】本発明の表面弾性波ディバイスの第３実施例に係る要部断面図である。
【図４】本発明の表面弾性波ディバイスの第４実施例に係る要部断面図である。
【図５】本発明の表面弾性波ディバイスの第５実施例に係る要部断面図である。
【図６】従来の表面弾性波ディバイスに係る要部断面図である。
【符号の説明】
【００４７】
１  絶縁基板
１ａ  延設部
１ｂ  凹部
２  導電体
３  端子
４  接続体
５  接着シート
５ａ  除去部
５ｂ  延出部
６  圧電基板
７  櫛歯電極
７ａ  櫛歯部
７ｂ  電極
８  接続部材
９  振動空間部
１０  封止樹脂部
１１  金属膜
【図１】
2007019941.tif 000003
【図２】
2007019941.tif 000004
【図３】
2007019941.tif 000005
【図４】
2007019941.tif 000006
【図５】
2007019941.tif 000007
【図６】
2007019941.tif 000008