(57)【要約】【課題】従来のショットピーニング処理では、ショット粒子の硬さが低いか、あるいはショット粒子の粒径が大きいため、生成する表層の圧縮残留応力の値そのものが低く、疲労強度も十分ではない、という問題があった。【解決手段】鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行うショットピーニング処理方法において、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すものであり、更に、より好ましくは、前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さは、いずれもロックウェル硬さでＨＲＣ６５以下とするものである。【選択図】図８
2007307678.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行うショットピーニング処理方法において、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すことを特徴とするショットピーニング処理方法。
【請求項２】
前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さは、いずれもロックウェル硬さでＨＲＣ６５以下であることを特徴とする請求項１記載のショットピーニング処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、歯車等の鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行い、該鋼部材の疲労特性を著しく改善させることが可能な、ショットピーニング処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、歯車等の鋼部材には高い疲労強度が要求されており、特に、近年のエンジンの高出力化と小形化ニーズから、鋼部材にかかる負荷が増大してきているため、疲労強度の一層の向上が求められている。このような疲労強度を向上させる技術としては、浸炭処理を施した鋼部材もしくは浸炭処理後に再加熱した鋼部材にショットピーニング処理を施し、表面を硬化させると共に高い圧縮残留応力を生成する技術が知られている。
【０００３】
このショットピーニング処理方法では、真空浸炭処理を施した鋼部材に微小な鉄系ショット粒子を用いてショットピーニングを施すことにより、圧縮残留応力のピーク位置を疲労起点のある表面近傍に設定し、疲労強度の向上を図る技術が公知となっている（例えば、特許文献１参照。）。
また、第一ショット粒子による第一ショットピーニングを施した後、該第一ショット粒子に対し所定粒径比を有する小さい第二ショット粒子を用いて第二ショットピーニングを施すことにより、圧縮残留応力の深さ方向分布を改善し、疲労強度の向上を図る技術が公知となっている（例えば、特許文献２参照。）。
更に、所定粒径の第一ショット粒子による第一ショットピーニングを施した後、該第一ショット粒子に比べて非常に小さい第二ショット粒子を用いて第二ショットピーニングを施すことにより、高い圧縮残留応力を表面に導入して、疲労強度の向上を図る技術も公知となっている（例えば、特許文献３参照。）。
【特許文献１】特公平６−７２２５４号公報
【特許文献２】特許２７２３１５０号公報
【特許文献３】特開２００２−３０３４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述のショットピーニング処理のうち、微小な鉄系ショット粒子を用いたショットピーニングでは、使用するショット粒子の硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ５０以上５８未満と低いために、生成する圧縮残留応力の値そのものが低く、疲労強度も十分ではない、という問題があった。
また、第一ショット粒子の所定粒径比に相当する小さい第二ショット粒子を用いた二段ショットピーニングにおいても、圧縮残留応力の分布は改善されるものの、第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さはロックウェル硬さでＨＲＣ５０以上５８未満と低いため、やはり、圧縮残留応力の値そのものが低く、十分な疲労強度が得られない、という問題があった。
更に、第一ショット粒子に比べて非常に小さい第二ショット粒子を用いた二段ショットピーニングでは、第一ショット粒子、第二ショット粒子の硬さはＨＲＣ６０と高いものの、第一ショット粒子の粒径が４００〜８００μｍと大きくて圧縮残留応力のピーク位置が内部へ移行するため、表面切欠きの影響が最小限に抑えられるφ６０μｍ以下の微小粒子を用いると、圧縮残留応力分布に不連続が生じ、必要とする２０〜３０μｍ深さの残留応力が低下し、やはり十分な疲労強度が得られない、という問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
すなわち、請求項１においては、鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行うショットピーニング処理方法において、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すものである。
請求項２においては、前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さは、いずれもロックウェル硬さでＨＲＣ６５以下とするものである。
【発明の効果】
【０００６】
本発明は、以上のように構成したので、以下に示す効果を奏する。
すなわち、請求項１においては、鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行うショットピーニング処理方法において、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すので、鋼部材の表面とその近傍に生成される圧縮残留応力の値を大幅に増加させることができ、鋼部材に十分な疲労強度を付与することができる。
また、請求項２においては、前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さは、いずれもロックウェル硬さでＨＲＣ６５以下とするので、ショット粒子の硬さをできるだけ低めに抑えることにより、特殊なショット粒子の使用によるコスト高を防止すると共に、ショット粒子の衝突による鋼部材表面への圧痕形成を最小限に抑えて表面粗さをできるだけ小さくし、表面品質の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
次に、発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明に係わるショットピーニング処理を施す鋼部材の製造工程を示すフローチャート、図２は残留応力分布に及ぼす繰り返し数の影響を示す説明図、図３は一段だけのショットピーニング時の残留応力分布に及ぼすショット粒子の硬さと粒径の影響を示す説明図、図４は残留応力分布に及ぼすショット粒子の粒径の影響と、二段ショットピーニング後の残留応力分布状況とを示す説明図、図５は最大圧縮残留応力に及ぼすショット粒子の硬さの影響を示す説明図、図６は高圧縮残留応力域の表面からの深さに及ぼす第一ショット粒子の粒径の影響を示す説明図、図７は表面粗さに及ぼす第一ショット粒子の粒径の影響を示す説明図、図８は疲労寿命に及ぼす第一ショット粒子と第二ショット粒子との粒径比の影響を示す説明図、図９は真空浸炭処理でのヒートサイクルを示す説明図であって、図９（ａ）は熱処理１のヒートサイクルの説明図、図９（ｂ）は熱処理２のヒートサイクルの説明図、図１０は疲労試験装置の構成を示すブロック図である。なお、ここで、前記高圧縮残留応力域とは、−１４００ＭＰａよりも高い圧縮残留応力が存在する層を示す。
【０００８】
まず、本発明に係わるショットピーニングを施す鋼部材の製造工程について、図１により説明する。
材料は浸炭処理に適したＳＣＭ４２０Ｈ等の合金鋼を準備し、所定の大きさに切断（ステップＳ１）した後、切削や熱間鍛造等によって粗形品に加工する（ステップ２）。この際、必要に応じて、熱によって粗大化した結晶組織を標準組織に戻すために焼ならし処理を施す（ステップＳ３）。次に、前記粗形品に所定の加工、例えば歯車であれば旋削、歯切り等を施すことにより、製品形状に加工（ステップＳ４）すると鋼部材が得られ、引き続いて、該鋼部材には真空浸炭焼入れ処理（ステップＳ５）と、該焼入れによる脆性と歪みを除去するための焼戻し処理（ステップＳ６）とを施し、その後、本発明に係わる二段ショットピーニング処理を施すのである。
【０００９】
該二段ショットピーニング処理は、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すことによって行う。
【００１０】
各ショット粒子の硬さと粒径をこのように限定したのは、本発明者が鋭意研究した以下の結果に基づくものである。
鋼部材に繰り返し応力がかかるとマイクロクラックが発生し、該マイクロクラックを起点としてクラックが伸展していき、疲労破壊に至る。そこで、疲労強度を一層向上させるには、疲労起点となるマイクロクラックの発生限界応力を高くしてマイクロクラックの発生そのものを抑制すると共に、このマイクロクラックが伸展して疲労クラックへ成長することを抑制することが重要であり、それには、マイクロクラックの発生起点の圧縮残留応力を高めると同時に、マイクロクラックの発生に伴う圧縮残留応力の低下を最小限に抑えクラックの伝播を抑制することが有効といえる。
【００１１】
ここで、本実施例では鋼部材には真空浸炭処理を施すので、粒界酸化による表面異常層が存在しないため、前記マイクロクラックは表面から発生する。そのため、表面における圧縮残留応力と、表面近傍における圧縮残留応力低下域先端の圧縮残留応力とを、同時に高めることが重要となる。
【００１２】
そこで、この観点から、更に高い疲労強度を得る方法について種々検討したところ、ショット粒子の硬さを増加させると同時に粒径を小さくすることが極めて有効であることが判明した。つまり、ショット粒子を硬くすることにより、生成される圧縮残留応力の値そのものを高めることが出来、又、粒径に関しては粒径が大きいと、圧縮残留応力が広い分布幅をもって生成される一方、そのピーク位置が鋼部材内部寄りに移動することから、逆に粒径を小さくして、ピーク位置を鋼部材表面寄りにある圧縮残留応力低下域先端に設定するのである。
【００１３】
しかしながら、このような高硬度小径ショット粒子による一段だけのショットピーニングでは、表面の圧縮残留応力は依然として低いままである。そこで、表面の圧縮残留応力の改善方法を検討したところ、第一ショット粒子と特定範囲の粒径比を有する第二ショット粒子を用いて二段ショットピーニングを施すことにより、改善できることが判明した。つまり、第二ショット粒子の粒径は、表面の圧縮残留応力を高めるために第一ショット粒子よりも小さくし、この際、圧縮残留応力の分布を最適化するために、粒径比の適正範囲を規定するのである。
【００１４】
ここで、ＨＲＣ６３で粒径５５μｍの高硬度小径ショット粒子による一段だけのショットピーニングを施した鋼部材について、ローラピッチング試験を行った場合の、残留応力の深さ方向分布の変化を図２に示す。
【００１５】
これによると、試験早期（繰り返し数：１×１０４）にマイクロクラックが発生して表面近傍の圧縮残留応力が開放され、該圧縮残留応力は、繰り返し数が増すに従って次第に低下していく。そして、この減少が認められなくなる表面からの深さ、つまり、マイクロクラック発生に伴う圧縮残留応力低下域は表面から約１５μｍまでに存在することがわかる。
【００１６】
また、硬さＨＲＣ５３で粒径６００μｍ、硬さＨＲＣ６３で粒径６００μｍ、硬さＨＲＣ６３で粒径２５０μｍの３種類のショット粒子による一段だけのショットピーニングを施した鋼部材について、その残留応力の深さ方向分布の変化を図３に示す。
【００１７】
同じ粒径６００μｍのショット粒子で硬さをＨＲＣ５３からＨＲＣ６３に増加させると、圧縮残留応力は広い分布幅も持ったまま増加するが表面近傍での増加量は十分とはいえず、更に、そのピーク位置も表面から内部へと移動する（曲線１、２参照）。そこで、同じ硬さＨＲＣ６３のショット粒子で粒径を６００μｍから２５０μｍに減少させると、圧縮残留応力のピーク位置は、内部から表面寄りに大きく移動して深さ約１５μｍとなる（曲線２、３参照）。つまり、ショット粒子の高硬度化・微小化によって、前記圧縮残留応力低下域における圧縮残留応力を高くできることがわかる。
【００１８】
更に、この硬さＨＲＣ６３で粒径２５０μｍの高硬度小径第一ショット粒子による第一ショットピーニングに続いて、硬さＨＲＣ６３で粒径５５μｍの第二ショット粒子による第二ショットピーニングを行う二段ショットピーニングを施した鋼部材について、その残留応力の深さ方向分布の変化を図４に示す。
【００１９】
二段ショットピーニングの場合の圧縮残留応力分布は、各段のショット粒子による一段だけのショットピーニングをした場合の圧縮残留応力分布を合成した形状となっており、前述の高硬度小径第一ショット粒子による第一ショットピーニングの圧縮残留応力分布に比べて、表層の圧縮残留応力が著しく高くなっていることがわかる（曲線３、４、５参照）。
【００２０】
以上の知見に基づき、ショット粒子の硬さと大きさが疲労強度に及ぼす影響について精査したところ、第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さはＨＲＣ６０以上が好ましいことが判明した。ＨＲＣ６０未満では、衝突時のショット粒子の変形によって衝突エネルギーの損失が大きくなり、十分な圧縮残留応力が得られず、疲労強度の顕著な向上が望めないからである。
【００２１】
また、前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さを、いずれもＨＲＣ６０以上６５以下の範囲に限定してもよい。ＨＲＣ６５超えでは、高速度鋼、非晶質鋼、超硬合金等の特殊なショット粒子が必要となりコスト高になるからであり、更に、衝突による鋼部材表面への圧痕形成が著しくなり表面粗さが大きくなるからである。
【００２２】
また、第一ショット粒子の粒径は２００μｍ以上４００μｍ以下であることが好ましい。２００μｍ未満では、表面寄りに圧縮残留応力の高いピーク値が得られるが、その分布幅は狭いため、第二ショットピーニング後も、運転後の圧縮残留応力低下域先端での圧縮残留応力は低いままであり、高い疲労強度が得られないからである。一方、４００μｍ超えでは、生成される圧縮残留応力の分布幅は広くなるものの、表面粗さが大きくなるからである。
【００２３】
更に、本発明のようにＨＲＣ６０以上の高硬度のショット粒子を用いる場合には、第二ショット粒子の粒径は第一ショット粒子との粒径比で０．１以上０．３以下であることが好ましい。粒径比０．１未満では、第一ショット粒子により生成される圧縮残留応力と、第二ショット粒子により生成される圧縮残留応力との差が大きすぎて、二段ショットピーニング後の圧縮残留応力の分布に不連続性が生じ、必要とする２０〜３０μｍ深さ位置の圧縮残留応力値の増加が少なく、高い疲労強度が得られないからである。一方、粒径比０．３超えでは、第一ショット粒子により生成される圧縮残留応力と、第二ショット粒子により生成される圧縮残留応力との差が小さく、第一ショット粒子で形成された表層の圧縮残留応力を、第二ショット粒子によりバックアップできないからである。
【００２４】
なお、本発明における適正粒径比０．１以上０．３以下は、従来の低硬度のショット粒子を用いる場合の適正粒径比、例えば前記特許文献２の適正粒径比と比べて、全体的に低粒径比側に移行しているが、これは、高硬度小径第一ショット粒子による第一ショットピーニングによって圧縮残留応力の値全体が大きく増加するので、第二ショットピーニングにおいては表面の圧縮残留応力も同等に大きく増加させる必要があるが、そのためには、低硬度のショット粒子の場合に比べて、より微小な第二ショット粒子を用いることにより、表面に極めて高い圧縮残留応力を導入しなければならないからと推測される。
【００２５】
以下に、本発明の実施例について説明する。
まず、表１に示す組成から成る３種類の合金鋼を、前述した図１に示す製造工程に従って加工して歯車（モジュール：２．２５、歯数：１３、歯幅：２８ｍｍ）を製作し、供試歯車Ａ〜Ｄとした。なお、供試歯車Ａ、Ｂは、同一組成の合金鋼で熱処理条件を変えたものである。
【００２６】
【表１】
2007307678.tif 000003
【００２７】
なお、図９に示すように、表１の熱処理１においては、９８０℃で２時間真空浸炭した後、８５０℃で油焼入れを行い（前記ステップＳ５）、引き続き、１６０℃で２時間加熱後に空冷して焼戻しを行う（前記ステップＳ６）。そして、熱処理２では、熱処理１での真空浸炭の時間を２時間から３．５時間に延長することにより、浸炭の量や厚みを増加させている。
【００２８】
本実施例では、このような真空浸炭処理を適用しているが、真空浸炭処理以外に真空イオン浸炭処理等を適用してもよく、マイクロクラックの発生起点にショット粒子の衝突エネルギーが作用する際の障壁となる表面異常層をできるだけ薄くできる浸炭処理であれば、本発明の効果を有効に発揮することができる。
【００２９】
次に、前記供試歯車Ａ〜Ｄに、ショット条件を種々変化させてショットピーニング処理を行い、処理後の供試歯車について、表面粗さＲｍａｘ（最大粗さ：μｍ）の測定、並びに、次のような疲労試験を行った。
【００３０】
図１０に示すように、疲労試験装置６において、供試歯車８は相手歯車９（モジュール：２．２５、歯数：６２、歯幅：２８ｍｍ）とギアボックス１０内で噛合され、このうちの供試歯車８は、モータ７からの入力軸１２に連動連結されると共に、相手歯車９の出力軸１３は、動力吸収式の負荷装置１１に連動連結されており、該負荷装置１１によって、前記供試歯車８には転がり面圧Ｋｅで８４ＭＰａの一定負荷を付与できるようにしている。
【００３１】
この定負荷状態にて、供試歯車８を前記モータ７によって１８０ｒｐｍで定速回転させ、噛合する相手歯車９を回転駆動する。そして、前記供試歯車８の歯に進行性ピッティングによる欠損が発生するまでモータ７を駆動させ、該欠損が発生するまでの噛合い繰り返し回数を求めて疲労寿命とし、該疲労寿命に及ぼす各ショットピーニング条件の効果を比較検討した。なお、本試験での欠損形態は全て歯面の疲労によるものであった。
【００３２】
最大圧縮残留応力に及ぼすショット粒子の硬さの影響、高圧縮残留応力域の表面からの深さに及ぼす第一ショット粒子の粒径の影響等について調査した結果を、図５乃至図８に示す。
【００３３】
図５には、供試歯車：Ａ、第一ショット粒子の粒径（以下、「Ｄ１」とする）：３００μｍの硬さを変化させた場合に得られる最大圧縮残留応力の変化を曲線１４として示す。
【００３４】
該曲線１４によると、ショット粒子の硬さがＨＲＣ６０以上になると、最大圧縮残留応力は急激に増加するが、ＨＲＣ６０未満では、最大圧縮残留応力は１０００ＭＰａと低くなり、大きな疲労寿命の向上は見込めない。一方、ＨＲＣ６５を超えると、表面粗さが大きくなり、表面品質の低下が懸念されるためショット硬さはＨＲＣ６５以下が望ましい。
【００３５】
図６には、供試歯車：Ａ、Ｄ１と第二ショット粒子の粒径（以下、「Ｄ２」とする）との粒径比Ｄ２／Ｄ１：０．２０〜０．２５で略一定、第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さ：ＨＲＣ６３の基本条件で、Ｄ１を変化させた場合の、高圧縮残留応力域の表面からの深さの変化を曲線１５として示し、図７には、同条件で、Ｄ１を変化させた場合の表面粗さの変化を曲線１６として示す。
【００３６】
前記曲線１５よると、運転中に生じる、図２に示す圧縮残留応力の低下域よりも深い位置に高い圧縮残留応力を存在させ、クラックの伝播を阻止するには、φ２００μｍ以上のＤ１が必要であることがわかる。一方、前記曲線１６より、Ｄ１がφ４００μｍを超えると、本条件ではＤ２がφ１００μｍ以上となり、表面粗さが大きくなり表面品質が低下する。
【００３７】
また、図８には、供試歯車：Ａ、Ｄ２：５５μｍ、第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さ：ＨＲＣ６３の基本条件で、粒径比Ｄ２／Ｄ１を変化させた場合の疲労寿命の変化を曲線１７として示すと共に、該曲線１７との比較データとしてプロット１８・１９・２０を併記する。
【００３８】
前記曲線１７によると、第一ショット粒子と第二ショット粒子の粒径比ついて適正範囲が存在し、本発明に係わる高硬度条件下、例えばＨＲＣ６３では、この適正範囲は０．１以上０．３以下であり、該適正範囲より小さくても大きくても、疲労寿命が大きく低下するのがわかる。
【００３９】
更に、曲線１７とプロット１８・１９・２０とを比較すると、合金鋼の組成や熱処理条件を種々変えた供試歯車であっても、本発明に係わるショットピーニング処理を施すことにより、十分な疲労寿命を確保できているのがわかる。
【００４０】
すなわち、鋼部材の表面に浸炭処理を施した後に行うショットピーニング処理方法において、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、粒径が２００μｍ以上４００μｍ以下の第一ショット粒子により第一ショットピーニングを施し、次に、硬さがロックウェル硬さでＨＲＣ６０以上で、前記第一ショット粒子との粒径比が０．１以上０．３以下の小さい第二ショット粒子により第二ショットピーニングを施すので、鋼部材の表面とその近傍に生成される圧縮残留応力の値を大幅に増加させることができ、鋼部材に十分な疲労強度を付与することができるのである。
【００４１】
更に、前記第一ショット粒子と第二ショット粒子の硬さは、いずれもロックウェル硬さでＨＲＣ６５以下とするので、ショット粒子の硬さをできるだけ低めに抑えることにより、特殊なショット粒子の使用によるコスト高を防止すると共に、ショット粒子の衝突による鋼部材表面への圧痕形成を最小限に抑えて表面粗さをできるだけ小さくし、表面品質の向上を図ることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、鋼部材の疲労強度を大きく向上可能なショットピーニング処理方法であり、浸炭処理を施した鋼部材に限らず、ショット粒子の衝突エネルギーによって表面近傍に圧縮残留応力を付与可能な表面処理を施した鋼部材であればよく、例えば、浸炭処理以外に、浸炭窒化処理、鋼部材表面への炭素富化層のめっき処理等を施した種々の鋼部材に対して、本発明を適用することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明に係わるショットピーニング処理を施す鋼部材の製造工程を示すフローチャートである。
【図２】残留応力分布に及ぼす繰り返し数の影響を示す説明図である。
【図３】一段だけのショットピーニング時の残留応力分布に及ぼすショット粒子の硬さと粒径の影響を示す説明図である。
【図４】残留応力分布に及ぼすショット粒子の粒径の影響と、二段ショットピーニング後の残留応力分布状況とを示す説明図である。
【図５】最大圧縮残留応力に及ぼすショット粒子の硬さの影響を示す説明図である。
【図６】高圧縮残留応力域の表面からの深さに及ぼす第一ショット粒子の粒径の影響を示す説明図である。
【図７】表面粗さに及ぼす第一ショット粒子の粒径の影響を示す説明図である。
【図８】疲労寿命に及ぼす第一ショット粒子と第二ショット粒子との粒径比の影響を示す説明図である。
【図９】真空浸炭処理でのヒートサイクルを示す説明図であって、図９（ａ）は熱処理１のヒートサイクルの説明図、図９（ｂ）は熱処理２のヒートサイクルの説明図である。
【図１０】疲労試験装置の構成を示すブロック図である。
【図１】
2007307678.tif 000004
【図２】
2007307678.tif 000005
【図３】
2007307678.tif 000006
【図４】
2007307678.tif 000007
【図５】
2007307678.tif 000008
【図６】
2007307678.tif 000009
【図７】
2007307678.tif 000010
【図８】
2007307678.tif 000011
【図９】
2007307678.tif 000012
【図１０】
2007307678.tif 000013