(57)【要約】【課題】  揺動機構に回動可能に保持された被検査基板を落射照明によって外観検査することが可能であるとともに、効果的に背面透過照明による外観検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。【解決手段】  基板検査装置１は、被検査基板Ｗを保持し回動する揺動機構３と、被検査基板Ｗの正面Ｗ１とは反対側の背面Ｗ２を照射するバックライト５と、バックライト５の移動手段６とを備える。移動手段６である回転アーム１７は、２本のリンクレバー１９、２０と、固定部材である固定板２１とで構成されている。２本のリンクレバー１９、２０は、各々一端１９ａ、２０ａにおいて、所定の間隔を設けて別々に支持部材１６に回転可能に軸支されている。また、他端１９ｂ、２０ｂにおいて、所定の間隔を設けて別々に固定板２１に回転可能に軸支されている。バックライト５は固定板２１に固定されている。【選択図】  図２
2007093411.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被検査基板を保持し、検査時は前記被検査基板を検査位置まで移動させ、非検査時には退避位置まで移動させることが可能である揺動機構と、前記被検査基板の観察する正面側とは反対の背面側に位置し、前記被検査基板を照射するバックライトとを備え、該バックライトの背面透過照明によって前記被検査基板の外観検査を行うことが可能な基板検査装置であって、
前記バックライトを移動可能な移動手段を備え、該移動手段は、背面透過照明による観察時においては、前記揺動機構によって所定の角度に設定された前記被検査基板の背面側に前記バックライトを接近させるとともに、正面側からの落射照明による観察時及び前記揺動機構の回動時においては、前記揺動機構の回動範囲外に前記バックライトを移動させることを特徴とする基板検査装置。
【請求項２】
請求項１に記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、正面側からの落射照明による観察時において、さらに、前記被検査基板を観察する観察視野外に前記バックライトを移動させることを特徴とする基板検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、正面側からの落射照明による観察時において、さらに、前記バックライトを側方視鉛直方向に対して傾斜させることを特徴とする基板検査装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、前記揺動機構の前記回動範囲上方に回転可能に軸支された回転アームを備え、前記バックライトは前記回転アームに設けられ、前記回動範囲上方に回転移動可能であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項５】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、前記揺動機構の前記回動範囲下方に回転可能に軸支された回転アームを備え、前記バックライトは前記回転アームに設けられ、前記回動範囲下方に回転移動可能であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項６】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、前記揺動機構の回動中心と同軸上に回転可能に軸支された回転アームを備え、前記バックライトは前記回転アームに設けられ、前記被検査基板の背面側後方に回転移動可能であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項７】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、前記揺動機構の前記回動範囲上方に設けられたスライド機構を備え、前記バックライトは前記スライド機構に設けられ、前記回動範囲上方に平行移動可能であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項８】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段は、前記揺動機構の前記回動範囲下方に設けられたスライド機構を備え、前記バックライトは前記スライド機構に設けられ、前記回動範囲下方に平行移動可能であることを特徴とする基板検査装置。
【請求項９】
請求項４から請求項６のいずれかに記載の基板検査装置において、
前記移動手段の前記回転アームは２本のリンクレバーで構成され、該リンクレバーの各々は、一端が前記揺動機構の回動範囲外の異なる位置で回転可能に軸支され、他端が固定部材の異なる位置に回転可能に取り付けられることでクランクリンク機構を構成するとともに、前記バックライトは前記固定部材に固定されることを特徴とする基板検査装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の基板検査装置において、
前記回転アームを構成する２本の前記リンクレバーは、異なる長さに設定されていることを特徴とする基板検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、背面透過照明によってガラス基板などの外観検査が可能な基板検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等の製造工程において、ガラス基板などの外観検査を行うものとして、被検査基板の正面側からの落射照明によって観察するとともに、背面側から透過照明によって観察し、さらに詳細に傷などの欠陥部分を検出する方法が試みられている。例えば、被検査基板を揺動可能に支持する揺動ステージと、揺動ステージ上の基板表面を照射する反射照明手段と、揺動ステージ上の基板を裏面から透過する透過照明手段とを備えた基板検査装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、被検査基板を保持する被検査基板保持部に対し、上下方向の駆動力を作用する第１の駆動手段と、回動支持する回動支持手段と、水平方向に駆動力を作用する第２の駆動手段とを備えた装置本体の後方に、外光の反射を防止するためのＮＤフィルタが表面に設けられたバックライトが設けられている基板検査装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−６６１６４号公報
【特許文献２】特開平１１−９４７５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１の基板外観検査装置においては、透過照明手段によって揺動ステージの下方から照明を行い、検査者の観察方向と透過照明の方向とが異なるため、効果的な透過照明観察を行うことができなかった。また、透過照明手段が揺動ステージに固着され、揺動ステージとともに透過照明手段も揺動する装置が提案されているが、揺動ステージを駆動させる駆動部は透過照明手段も合わせて揺動させるため、特に被検査基板の大型化に伴い、駆動部が大きくなってしまう問題があった。
また、特許文献２の基板検査装置においては、被検査基板の移動範囲の後方に位置することで、透過照明による観察時に、被検査基板とバックライトとの距離が離れてしまう。このため、特に被検査基板が大型化するのに伴い、バックライトの照明が散乱してしまい、観察に必要な明るさを得ることができない問題があった。
【０００４】
この発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、揺動機構に回動可能に保持された被検査基板を落射照明によって外観検査することが可能であるとともに、効果的に背面透過照明による外観検査を行うことが可能な基板検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、この発明は以下の手段を提案している。
請求項１に係る発明は、被検査基板を保持し、検査時は前記被検査基板を検査位置まで移動させ、非検査時には退避位置まで移動させることが可能である揺動機構と、前記被検査基板の観察する正面側とは反対の背面側に位置し、前記被検査基板を照射するバックライトとを備え、該バックライトの背面透過照明によって前記被検査基板の外観検査を行うことが可能な基板検査装置であって、前記バックライトを移動可能な移動手段を備え、該移動手段は、背面透過照明による観察時においては、前記揺動機構によって所定の角度に設定された前記被検査基板の背面側に前記バックライトを接近させるとともに、正面側からの落射照明による観察時及び前記揺動機構の回動時においては、前記揺動機構の回動範囲外に前記バックライトを移動させることを特徴としている。
【０００６】
この発明に係る基板検査装置によれば、バックライトからの背面透過照明による観察時には、被検査基板を保持した揺動機構を検査位置となるように所定の角度に設定した上で、移動手段によってバックライトを被検査基板の背面側に接近させることができる。さらに正面側からの落射照明による観察時及び前記揺動機構の回動時においては、移動手段によってバックライトは揺動機構の回動範囲外に移動させることができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、被検査基板の背面にバックライトを配置することができるので、効果的な背面透過照明による外観検査を行うことができる。さらに、移動手段によって揺動機構の回動範囲外に移動させることができるので、正面側からの落射照明による観察時及び前記揺動機構の回動時に支障となることがない。また、バックライトの移動手段を被検査基板を回動させる揺動機構と異なる機構とすることで、これらの機構の駆動部が大型化してしまうことがない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
（第１の実施形態）
図１及び図２は、この発明に係る第１の実施形態を示している。図１に基板検査装置の全体図、図２に拡大した側面図を示す。
【０００９】
図１に示すように、基板検査装置１は、外郭をなす筐体２と、被検査基板Ｗを保持し回動する揺動機構３と、被検査基板Ｗの観察する正面Ｗ１を落射照明する落射照明手段４と、被検査基板Ｗの正面Ｗ１とは反対側の背面Ｗ２を照射するバックライト５と、バックライト５の移動手段６とを備える。筐体２の内壁面２ａは、光が乱反射しないように黒色とされている。また、揺動機構３は、回動中心に設けられた回動軸７と、基端部で回動軸７に回転可能に軸支される一対の揺動アーム８と、各揺動アーム８の先端部に固定される一対のホルダガイド部９と、各ホルダガイド部９に沿って移動可能な矩形状の開口部を有する基板ホルダ１１とを備える。基板ホルダ１１の開口部には、細かい棒状の桟が複数架設され、この桟の上に被検査基板Ｗを吸着保持する吸着パッド１０が、所定の間隔をおいて複数固定されている。さらに、揺動機構３は駆動部１２を備え、駆動部１２が稼動することによって、揺動アーム８が回動軸７を中心として回動可能としている。これにより揺動アーム８は、被検査基板Ｗの検査を行う位置である検査位置Ａからホルダガイド部９が略水平となる被検査基板Ｗの受け渡しを行う退避位置Ｂまで回動可能であり、また被検査基板Ｗの検査時に、検査位置Ａにおいて被検査基板Ｗを微小な角度範囲で揺動させることが可能である。
【００１０】
また、落射照明手段４は、照明用光源であるランプ１３と、ランプ１３から照射される照明光が反射される反射ミラー１４と、反射ミラー１４で反射された照明光を収束し、被検査基板Ｗに照射させるフレネルレンズ１５とを備える。ランプ１３は、広範囲を照明可能なもので、例えばメタルハライドランプ、ナトリウムランプや蛍光灯などである。
【００１１】
バックライト５は、面照明可能な光源であり、例えば蛍光灯やＬＥＤの集合体で構成されている。また、移動手段６は、基端部で揺動機構３の回動範囲Ｐより外側の上方に固定された支持部材１６に軸支され回転可能な回転アーム１７と、回転アーム１７を回転、作動させるアクチュエータ１８とで構成される。回転アーム１７は、２本のリンクレバー１９、２０と、固定部材である固定板２１とで構成されている。２本のリンクレバー１９、２０は、各々一端１９ａ、２０ａにおいて、所定の間隔を設けて別々に支持部材１６に軸支されている。また、他端１９ｂ、２０ｂにおいて、所定の間隔を設けて別々に固定板２１に回転可能に取り付けられ、支持部材１６、回転アーム１７の構成要素であるリンクレバー１９、２０、及び固定板２１によって、クランクリンク機構が構成されている。また、被検査基板Ｗ側に位置するリンクレバー１９の長さに対して、もう１つのリンクレバー２０の方が長く設定されている。アクチュエータ１８は、より詳しくは油圧シリンダで、一端１８ａがリンクレバー２０にピン結合されるとともに、他端１８ｂも壁体などの固定部にピン結合されていて、この状態で伸縮することで、回転アーム１７を回転させることを可能としている。さらに、アクチュエータ１８は、駆動部２２と接続されていて、駆動部２２が稼動することによって、駆動することが可能となっている。また、固定板２１にはバックライト５が固定されている。
【００１２】
そして、図２に示すように、バックライト５は、移動手段６によって、揺動機構３の回動範囲Ｐの外の退避位置Ｄから揺動アーム８及び被検査基板Ｗが検査位置Ａに位置した際の被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近する照射位置Ｃまで移動することが可能である。また、バックライト５が照射位置Ｃに位置した時に、検査位置Ａに位置する被検査基板Ｗとバックライト５とが略平行となるように、回転アーム１７とバックライト５とは組み付けられている。さらに、回転アーム１７はクランクリンク機構が構成され、構成するリンクレバー１９、２０の長さが異なっているので、照射位置Ｃから退避位置Ｄまでバックライト５が移動するのに伴い、バックライト５の側方視鉛直方向に対する角度が変化していく。そして、退避位置Ｄに位置する時に、バックライト５が側方視鉛直方向に対して傾斜するとともに、揺動機構３の回動範囲Ｐと筐体２の間のスペースに収容されるようにリンクレバー１９、２０の長さが設定されている。
【００１３】
また、基板検査装置１には、さらに操作盤２３や制御部２４が設けられ、検査者Ｍによる操作盤２３の操作によって、揺動アーム８の駆動部１２や回転アーム１７の駆動部２２の稼動、及びバックライト５や落射照明手段４による照明を制御することが可能となっている。さらに、バックライト５にはセンサ２５が設けられていて、照射位置Ｃよりも揺動アーム８及び被検査基板Ｗに接近するとセンサ２５が感知し、制御部２４に信号が送られ、自動停止する構成となっている。
【００１４】
次に、基板検査装置１の作用について説明する。まず、図１に示すように、揺動アーム８をホルダガイド部９が水平となる退避位置Ｂに配置し、図示しない搬送ロボットによって搬送される被検査基板Ｗの受け渡しを行う。被検査基板Ｗを吸着パッド１０で吸着した後、揺動アーム８を回動させて外観検査を行う検査位置Ａまで被検査基板Ｗを移動させる。この際、バックライト５は、揺動機構３の回動範囲Ｐの外である退避位置Ｄに配置しておく。そして、落射照明手段４によって被検査基板Ｗの正面Ｗ１に落射照明を照射し、その反射光の変化を観察し、傷等の欠陥部分を検出する。観察する際は、ホルダガイド部９上で基板ホルダ１１を移動させることで、被検査基板Ｗが大きくても、検査者Ｍは視線を上下する必要なく、また被検査基板Ｗの全体を照射する必要がなく、上下方向に被検査基板Ｗの全体を検査することができる。また、検査する際に揺動アーム８を揺動させることで反射光の変調を調べ、さらに詳細な検査を可能とさせる。
【００１５】
落射照明による外観検査の際、筐体２の内部で散乱した光や外光が筐体２の内壁面２ａあるいはバックライト５の表面に反射して検査者Ｍに到達してしまい、落射照明による反射光の観察に支障をきたす場合がある。しかし、基板検査装置１では、筐体２の内壁面２ａが黒色となっているので、内壁面２ａでは反射せず検査者Ｍに到達してしまう恐れがない。また、バックライト５は、退避位置Ｄでは検査者Ｍの観察視野Ｍ１の上方に位置し、側方視鉛直方向に対して傾斜しているので、仮に散乱光や外光がバックライト５に反射したとしても、その反射光が検査者Ｍに到達してしまう恐れがない。
【００１６】
次に、図２に示すように、駆動部２２を稼動させ、アクチュエータ１８を作動させることで、回転アーム１７を回転させて、バックライト５を退避位置Ｄから照射位置Ｃへ移動させ、被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近させる。この際、センサ２５によってバックライト５と揺動アーム８及び被検査基板Ｗとの距離を監視しているので、バックライト５と揺動アーム８あるいは被検査基板Ｗとが接触して破損してしまう恐れはない。次に、バックライト５を点灯させて、バックライト５の透過照明によって被検査基板Ｗの傷等の欠陥部分を検出する。そして、落射照明による外観検査時と同様に、基板ホルダ１１を上下に移動させることで、被検査基板Ｗの全体を検査する。そして、すべての検査が完了した後、再び回転アーム１７を回転させて、バックライト５を照射位置Ｃから退避位置Ｄへ移動させ、揺動アーム８を検査位置Ａから退避位置Ｂに回動させる。そして、図示しない搬送ロボットに検査完了した被検査基板Ｗを受け渡し、新たな被検査基板Ｗを受け取って再び検査を行う。
【００１７】
以上のように、基板検査装置１では、移動手段６によって、バックライト５が背面透過照射による外観検査を行わない時は退避位置Ｄに位置し、背面透過照射による外観検査を行う時にのみ、被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近して照射するので、照度が落ちることなく効果的に透過照明を行うことできる。また、バックライト５は照射位置Ｃから退避位置Ｄに移動するのに伴い、側方視鉛直方向に対して角度を変化させることができる。このため、揺動アーム８の回動範囲Ｐと筐体２との間の少ないスペースに退避、収容させることができる。さらに、移動手段６でバックライト５を移動させる方法が、回動範囲Ｐの上方を中心とした円運動となっている。このため、バックライト５を照射位置Ｃから退避位置Ｄまで後退かつ上方へ移動する行程を２方向の直線運動の繰り返しで行うのに比べて、少ない装置スペース及び移動スペースで効率良く行うことができる。また、落射照明による外観検査時は、バックライト５は観察視野Ｍ１の上方の退避位置Ｄに位置し、かつ側方視鉛直方向に傾斜しているので、バックライト５で反射した反射光が落射照明による外観検査の支障となることもない。また、バックライト５の移動手段６を揺動機構３と別の機構とすることで、これらの機構を駆動させる駆動部１２、２２を異なるものとし、駆動部の大型化を防止できる。
【００１８】
なお、移動手段６の回転アーム１７は、揺動アーム８の回動範囲Ｐの上方で回転可能に軸支されるとしたが、これに限ることは無い。少なくとも、揺動アーム８の回動範囲Ｐの外で軸支されていて、背面照射による外観検査時にバックライト５を被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近させるとともに、回動範囲Ｐの外にバックライト５を退避させることが可能であれば良く、例えば、回動範囲Ｐの下方に軸支され、下方に回転させる構成としても良い。
【００１９】
（第２の実施形態）
図３は、この発明に係る第２の実施形態を示していて、基板検査装置の拡大した側面図を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２０】
図３に示すように、この実施形態の基板検査装置３０において、バックライト５を移動させる移動手段３１は、基端部で一対の揺動アーム８の回動軸７と同軸上に回転可能に軸支される回転アーム３２と、回転アーム３２を回転、作動させるアクチュエータ３３とで構成されている。回転アーム３２の先端部にはバックライト５が固定され、揺動アーム８の退避位置Ｂの下方である退避位置Ｄから照射位置Ｃまで揺動アーム８と異なって回転することが可能である。また、アクチュエータ３３は、一端３３ａが回転アーム３２にピン結合され、他端３３ｂが壁体などの固定部にピン結合されていて、この状態で伸縮することで、回転アーム１７を回転させることを可能としている。さらに、アクチュエータ３３は、駆動部３４と接続されていて、駆動部３４が稼動することによって、駆動することが可能となっている。
【００２１】
この実施形態の基板検査装置３０においても、被検査基板Ｗを図示しない搬送ロボットから受け取り、揺動アーム８が検査位置Ａまで回動するまでの間、バックライト５は揺動アーム８の回動範囲Ｐの外である退避位置Ｄに位置するので支障とならない。また、落射照明による外観検査時には、検査者Ｍの観察視野Ｍ１の外に位置するので、バックライト５で反射した反射光が検査者Ｍに到達し、検査の支障となることはない。そして、回動範囲Ｐの下方の少ないスペースでバックライト５が退避位置Ｄから照射位置Ｃまで移動可能であり、第１の実施形態と同様、効率的である。また、この実施形態の基板検査装置３０では、移動手段３１の回転アーム３２と一対の揺動アーム８とが同軸上に軸支されている。このため、被検査基板Ｗが揺動アーム８によってどのような角度に設定されていたとしても、回転アーム３２によってバックライト５を被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近させて、背面照射による外観検査を行うことができる。
【００２２】
（第３の実施形態）
図４は、この発明に係る第３の実施形態を示していて、基板検査装置の拡大した側面図を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２３】
図４に示すように、この実施形態の基板検査装置４０において、バックライト５を移動させる移動手段４１は、基端部で揺動アーム８の回動範囲Ｐの上方に回転可能に軸支される回転アーム４２と、回転アーム４２を回転させるモータ４３とで構成されている。バックライト５は、回転アーム４２の先端部に固定され、照射位置Ｃに位置する時に被検査基板Ｗと平行となるように設定されている。また、回転アーム４２はバックライト５を回動範囲Ｐの外であり、かつ検査者Ｍの観察視野Ｍ１の外である退避位置Ｄまで移動させることが可能である。
【００２４】
この実施形態の基板検査装置４０においても、被検査基板Ｗを図示しない搬送ロボットから受け取り、揺動アーム８が検査位置Ａまで回動するまでの間、バックライト５は揺動アーム８の回動範囲Ｐの外である退避位置Ｄに位置するので支障とならない。また、落射照明による外観検査時には、検査者Ｍの観察視野Ｍ１の外に位置するので、バックライト５で反射した反射光が検査者Ｍに到達し、検査の支障となることはない。そして、回動範囲Ｐの下方の少ないスペースでバックライト５が退避位置Ｄから照射位置Ｃまで移動可能であり、第１の実施形態と同様、効率的である。
【００２５】
なお、移動手段４１の回転アーム４２は回動範囲Ｐの上方に回転可能に軸支されていとしたが、これに限ること無く、回動範囲Ｐの下方に軸支されて、退避位置Ｄを回動範囲Ｐの下方としても同様の効果を得ることができる。
【００２６】
（第４の実施形態）
図５は、この発明に係る第４の実施形態を示していて、基板検査装置の拡大した側面図を示している。この実施形態において、前述した実施形態で用いた部材と共通の部材には同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００２７】
図５に示すように、この実施形態の基板検査装置５０において、バックライト５を移動させる移動手段５１は、揺動アーム８の回動範囲Ｐの上方に位置し、検査位置Ａにおける揺動アーム８と略平行となるように設けられるガイド５２と、ガイド５２に嵌合し、ガイド５２の軸方向に移動可能であるスライダ５３とでスライダ機構が構成されている。バックライト５は、スライダ５３の先端部に固定され、スライダ５３によって、検査位置Ａにおける被検査基板Ｗの背面Ｗ２に接近する照射位置Ｃから揺動アーム８の回動範囲Ｐの外である退避位置Ｄまで直線移動することが可能である。
【００２８】
この実施形態の基板検査装置５０においても、被検査基板Ｗを図示しない搬送ロボットから受け取り、揺動アーム８が検査位置Ａまで回動するまでの間、バックライト５は揺動アーム８の回動範囲Ｐの外である退避位置Ｄに位置するので支障とならない。また、落射照明による外観検査時には、検査者Ｍの観察視野Ｍ１の外に位置するので、バックライト５で反射した反射光が検査者Ｍに到達し、検査の支障となることはない。そして、回動範囲Ｐの上方の少ないスペースでバックライト５が退避位置Ｄから照射位置Ｃまで移動可能であり、第１の実施形態と同様、効率的である。
【００２９】
なお、移動手段５１のスライダ５３は照射位置Ｃから揺動アーム８の回動範囲Ｐの上方の退避位置Ｄまで移動可能であるとしたが、これに限ることは無い。ガイド５２を回動範囲Ｐの下方に設けて、照射位置Ｃから揺動アーム８の回動範囲Ｐの下方に移動可能な構成としても良い。
【００３０】
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
【００３１】
なお、センサ２５は、バックライト５ではなく、一対の揺動アーム８に取り付けられる構成としても良い。また、揺動機構３は、ホルダガイド部９上で基板ホルダ１１によってホルダガイド部９の軸方向に移動可能としたが、さらに、ホルダガイド部９に軸支されることで回転可能としても良い。このような構成とすることで、被検査基板Ｗを１８０度回転させて、背面Ｗ２についても同様の外観検査を行うことができるようになる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】この発明の第１の実施形態の基板検査装置の全体図である。
【図２】この発明の第１の実施形態の基板検査装置の拡大した側面図である。
【図３】この発明の第２の実施形態の基板検査装置の拡大した側面図である。
【図４】この発明の第３の実施形態の基板検査装置の拡大した側面図である。
【図５】この発明の第４の実施形態の基板検査装置の拡大した側面図である。
【符号の説明】
【００３３】
１、３０、４０、５０  基板検査装置
３  揺動機構
５  バックライト
６、３１、４１、５１  移動手段
７  回動軸（回動中心）
１６  支持部材
１７、３２、４２  回転アーム
１９、２０  リンクレバー
１９ａ、２０ａ  一端
１９ｂ、２０ｂ  他端
２１  固定板（固定部材）
５２  ガイド（スライダ機構）
５３  スライダ（スライダ機構）
Ａ  検査位置
Ｂ  退避位置
Ｃ  照射位置
Ｄ  退避位置
Ｍ１  観察視野
Ｐ  回動範囲
Ｗ  被検査基板
Ｗ１  正面
Ｗ２  背面
【図１】
2007093411.tif 000003
【図２】
2007093411.tif 000004
【図３】
2007093411.tif 000005
【図４】
2007093411.tif 000006
【図５】
2007093411.tif 000007