(57)【要約】【課題】  半導体ウエハ等の基板収納器について、各スロットの位置情報を得る際に、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得る。【解決手段】  基板収納器のスロットに基準基板を挿入し、センサが基準基板の位置を検出する。検出した位置と、予め設定されている基板収納器の設計情報から、各スロットの位置情報を作成する。次いでセンサが再度基準基板の位置を検出し、作成した位置情報と照合する。【選択図】  図８
2007019110.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
載置台上に載置された、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器に対して、前記スロットに収納された基板を検出するセンサを各々の前記スロットを横断する方向に相対的に移動させるスキャン動作により、予め定めた前記スロットに収納された基板を基準基板としてその位置を検出する第１の位置検出工程と、
前記第１の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記基板収納器の設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成工程と、
再度の前記スキャン動作によって、前記基準基板の位置を再度検出する第２の位置検出工程と、
前記第２の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記作成工程で作成した前記スロットの位置情報と、を照合する照合工程と、
を備えたことを特徴とするスロットの位置情報作成方法。
【請求項２】
前記基準基板は、
複数段の前記スロットのうち、その端部に位置する前記スロットの一方に収納されることを特徴とする請求項１に記載のスロットの位置情報作成方法。
【請求項３】
前記基準基板は、
複数段の前記スロットのうち、その端部に位置する前記スロットの双方にそれぞれ収納されることを特徴とする請求項１に記載のスロットの位置情報作成方法。
【請求項４】
前記スキャン動作は、
複数段の前記スロットのうち、その一方の端部に位置する前記スロットから他方の端部に位置する前記スロットへ向かう方向へ前記センサを相対的に移動させる往動時と、前記他方の端部に位置する前記スロットから前記一方の端部に位置する前記スロットへ向かう方向へ前記センサを相対的に移動させる復動時の少なくともいずれかにおいて実行され、
前記第１及び第２の位置検出工程では、
前記センサの往動時に、前記一方の端部に収納された前記基準基板の位置を検出し、前記センサの復動時に、前記他方の端部に収納された前記基準基板の位置を検出することを特徴とする請求項３に記載のスロットの位置情報作成方法。
【請求項５】
前記第２の位置検出工程では、
前記スキャン動作の開始位置が、前記端部に位置する前記スロットから、前記センサの前記スロットに対する相対的な移動方向と逆方向に、前記スロットのピッチ分だけ間隔を置いた位置に設定されていることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載のスロットの位置情報作成方法。
【請求項６】
基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器が載置される載置台と、
前記スロットに収納された基板を検出するセンサと、
前記載置台上に載置された前記基板収納器に対して、各々の前記スロットを横断するように前記センサを相対的に移動させるスキャン動作を行い、前記センサにより検出された基板の位置を検出する位置検出手段と、
前記位置検出手段の前記スキャン動作によって検出された予め定めた前記スロットに収納された基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成手段と、
前記位置検出手段の再度の前記スキャン動作によって検出された前記基準基板の位置と、前記作成手段によって作成された前記スロットの位置情報と、を照合する照合手段と、
を備えたことを特徴とする載置ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハやガラス基板等の基板が収納される基板収納器について、そのスロットの位置情報を作成する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造に用いる半導体ウエハや、液晶表示装置の製造に用いるガラス基板等の基板は薄板であるため、その取扱いが必ずしも容易ではない。このため、各処理装置間における基板の搬送には基板収納器が用いられる。基板収納器には基板が収納されるスロットが複数段設けられており、複数枚の基板が等ピッチで平行に収納される。
【０００３】
複数枚の基板が収納された基板収納器は、処理装置に設けられた載置ユニット上に載置され、その後、処理装置と基板収納器との間で１枚ずつ基板が移載される。一般に基板の移載は処理装置に設けられた、搬送アームを有するロボットにより行われる。基板の移載の際、ロボットが基板収納器内に収納された個々の基板に適切にアクセスできるように、基板収納器や載置ユニットの構成に応じて、基板収納器内における各基板の位置、つまり、各スロットの位置を実際の処理に先立って予め設定しておく必要がある。
【０００４】
特許文献１には、実際の処理に先立って、予め各スロットの位置情報を作成する技術（基準スロット位置の算出工程）が開示されている。特許文献１のものは、所定の要件を満たした調整用カセットを用い、その最上段及び最下段に基板を収納し、光センサによるスキャン動作を１回行って最上段及び最下段の基板の位置を検出する。その上で最上段及び最下段の基板の中心位置をそれぞれのスロット位置とし、２つのスロット間の距離を（カセットのスロット数−１）で割り、各スロットの位置情報を作成している。
【０００５】
【特許文献１】特開平１０−３０３２６９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかし、特許文献１のものは前述のように少なくとも２枚の基準基板を必要とし、最上段及び最下段両方のスロットの位置から各スロットの位置情報を算出するため、例え一方でもスロットの位置が不正確になると、全スロットの位置情報の信頼性が失われるという問題があると共に位置情報を得るための演算も複雑化する。また、各スロットの位置情報の作成は、処理装置が設置されている工場内で行われるのが通常であり、センサに対してノイズが混入し易い環境下で行われる。従って、センサの検出信号に対するノイズ混入の影響を考慮する必要がある。
【０００７】
従って、本発明の目的は、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得ることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明のスロットの位置情報作成方法は、載置台上に載置された、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器に対して、前記スロットに収納された基板を検出するセンサを各々の前記スロットを横断する方向に相対的に移動させるスキャン動作により、予め定めた前記スロットに収納された基板を基準基板として前記基準基板の位置を検出する第１の位置検出工程と、前記第１の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成工程と、再度の前記スキャン動作によって、前記基準基板の位置を再度検出する第２の位置検出工程と、前記第２の位置検出工程で検出した前記基準基板の位置と、前記作成工程で作成した前記スロットの位置情報と、を照合する照合工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
この構成によれば、前記設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも１枚の前記基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、前記基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
【００１０】
また、本発明の載置ユニットは、基板が収納されるスロットを複数段有する基板収納器が載置される載置台と、前記スロットに収納された基板を検出するセンサと、前記載置台上に載置された前記基板収納器に対して、各々の前記スロットを横断するように前記センサを相対的に移動させるスキャン動作を行い、前記センサにより検出された基板の位置を検出する位置検出手段と、前記位置検出手段の前記スキャン動作によって検出された予め定めた前記スロットに収納された基準基板の位置と、前記基板収納器の各々の前記スロットの設計情報と、に基づいて、前記基板収納器の各々の前記スロットの位置情報を作成する作成手段と、前記位置検出手段の再度の前記スキャン動作によって検出された前記基準基板の位置と、前記作成手段によって作成された前記スロットの位置情報と、を照合する照合手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
この構成によれば、前記設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも１枚の前記基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、前記基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上の構成により、本発明のスロットの位置情報作成方法及び載置ユニットによれば、ノイズによる影響を低減し、より信頼性の高いスロットの位置情報を簡易に得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、添付図面を参照して、本発明の好適な実施形態を説明する。
【００１４】
＜第１実施形態＞
＜載置ユニットの構成＞
図１は本発明の一実施形態に係る載置ユニットＡの外観図、図２は載置ユニットＡの構成図である。載置ユニットＡは、半導体ウエハ等の基板を処理する処理装置の近傍に配置され、その処理装置で処理される基板を収納した基板収納器Ｂが一時載置されるユニットである。基板収納器ＢはＦＯＵＰ形式の基板収納器であり、中空の本体部１００と本体部１００の背面に開閉可能に設けられた蓋部１０１とを備える。本体部１００の内壁には基板が収納されるスロットが上下方向に等ピッチで複数段設けられ、複数の基板が略水平に収納される。
【００１５】
載置ユニットＡは、基板収納器Ｂが載置される載置台１と、背部２とを備える。背部２には開口部２ａが設けられており、処理装置が備える基板搬送用のハンドはこの開口部２ａを通して載置台１上に載置された基板収納器Ｂ内の基板の受渡しを行なう。
【００１６】
背部２の内部には開閉保持ユニット３が設けられており、基板収納器Ｂが載置されていない場合、開閉保持ユニット３が開口部２ａを閉鎖する。開閉保持ユニット３は、基板収納器Ｂの蓋部１０１を開閉し、また、保持するものであり、基板収納器Ｂの本体部１００と蓋部１０１との係合、解除を行なう機構（不図示）並びに取り外した蓋部１０１を保持するため、例えば、吸着機構（不図示）等も備える。開閉保持ユニット３は、支持部材４を介してリニアガイド５のスライダ５ａに連結されている。リニアガイド５は、エアシリンダ等の付勢によりスライダ５ａを図２の左右方向にスライドさせる装置である。
【００１７】
リニアガイド５は、ボールねじ６に螺合するボールナット７に連結されている。ボールナット７は、エンコーダ８ａを備えたモータ８の出力軸に連結されたボールねじ６を回転させることにより、図２の上下方向に昇降する。ボールナット７には、レールガイド９が連結されており、レールガイド９を案内するレール１０に沿って安定して昇降する。
【００１８】
開閉保持ユニット３の上部には基板収納器Ｂのスロットに収納された基板を検出するセンサ１１が設けられている。センサ１１は、例えば、発光部と受光部とを備えた反射型の光センサである。センサ１１は基板収納器Ｂのスロットに収納された基板へ光を照射し、基板の端縁で反射される反射光を受光し、スロットに基板が無い時と収納されている時とで反射光の受光強度が異なることを利用してスロットに基板が収納されているか否かを検出する。無論、基板を検出する他のセンサを用いてもよいことはいうまでもない。また、センサ１１は載置ユニットＡではなく処理装置側に設けてもよく、例えば、処理装置の基板を搬送するハンドに設けることもできる。
【００１９】
センサ１１は、モータ８、ボールネジ６並びにボールナット７による開閉保持ユニット３の昇降により昇降される。昇降位置はエンコーダ８ａからの情報により特定される。センサ１１の昇降により、載置台１上に載置された基板収納器Ｂに対して、各々のスロットを横断するようにセンサ１１を相対的に移動させるスキャン動作が可能となり、センサ１１の検出結果とエンコーダ８ａからの情報とにより基板収納器Ｂ内に収納されている各スロット毎の基板の有無や適切に収納されているかを検出することができる。エンコーダ８ａはセンサ１１により検出された基板の位置を検出する位置検出手段として機能する。なお、本実施形態では基板収納器Ｂに対してセンサ１１を移動させることで、スキャン動作を行なうが、センサ１１は不動として基板収納器Ｂ側を移動させてスキャン動作を行なってもよい。
【００２０】
次に、基板収納器Ｂの蓋部１０１の開閉動作について図３乃至図５を参照して説明する。図３乃至図５は基板収納器Ｂの蓋部１０１の開放時の載置ユニットＡの動作説明図である。まず、図２の態様から、図３に示すように基板収納器Ｂを載置ユニットＡの載置台１上にセットする。そして、開閉保持ユニット３により基板収納器Ｂの本体部１００と蓋部１０１との係合を解除し、取り外した蓋１０１を開閉保持ユニット３に保持させる。次に、図４に示すようにリニアガイド５のスライダ５ａを移動させ、蓋部１０１を保持した開閉保持ユニット３を基板収納器Ｂから後退させる。更に、モータ８によりボールねじ６を回転させ、ボールナット７を介して開閉保持ユニット３を下降させる。これにより基板収納器Ｂの背面が完全に開放したこととなる。その態様を示したのが図５である。処理装置のハンドは基板収納器Ｂ内に収納された基板を受け取ることが可能となる。
【００２１】
開閉保持ユニット３を下降させる際にはセンサ１１によるスキャン動作が実行され、基板収納器Ｂ内のどのスロットに基板が収納されているか否かがチェックされる。処理装置において基板の処理が終了すると、再び基板収納器Ｂ内に基板が返送され、上述した手順と逆の手順により蓋部１０１が本体部１００に取り付けられることとなる。
【００２２】
次に、載置ユニットＡの制御部の構成について説明する。図６は載置ユニットＡの制御部２０のブロック図である。ＣＰＵ２１は載置ユニットＡ全体を制御する。ＥＥＰＲＯＭ２２はＣＰＵ３０２が実行可能なプログラム等を記憶する。また、本実施形態では基板収納器の設計情報を記憶する。設計情報は後述するスロットの位置情報を作成する際に用いられる情報である。図７（ａ）は設計情報の例を示す図である。本実施形態の場合、設計情報は載置ユニットＡで取扱い可能な基板収納器の種類（タイプ）毎にその基板収納器のスロットの数、及び、各スロット間のピッチから構成されている。ＲＡＭ２３はＣＰＵ２１がプログラムを実行する際の作業領域として使用される。ＲＡＭ２３はまた、後述する処理により作成されたスロットの位置情報を記憶する。なお、ＥＥＰＲＯＭ２２、ＲＡＭ２３としては他の記憶手段を採用できることは言うまでもない。
【００２３】
ＣＰＵ２１は出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２４を介して、上述した開閉保持ユニット３、モータ８、リニアガイド５と接続されており、これらに制御信号を送出する。ＣＰＵ２１はまた、入力インターフェース（Ｉ／Ｆ）２５を介してセンサ１１、エンコーダ８ａと接続されており、センサ１１及びエンコーダ８ａの検出結果を取得する。ＣＰＵ２１はまた、通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）２６を介して載置ユニットＡに対応する処理装置、及び、不図示のホストコンピュータに接続されており、これらと情報通信が可能である。ホストコンピュータは載置ユニットＡの動作内容の設定等の指示を行う。
【００２４】
＜スロットの位置情報の作成＞
基板収納器Ｂの蓋部１０１を開放して、基板収納器Ｂ内に収納されている各スロット毎の基板の有無や適切に収納されているかを検出する際、その前提として基板収納器Ｂ内の各スロットの位置情報が必要となる。つまり、スロットの位置情報とセンサ１１の検出結果を比較し、スロットの位置情報で示された位置にて基板が検出されれば、基板がそこに収納されていると判断され、検出されなければ空きのスロットであると判断される。また、スロットの位置情報で示された位置以外の位置で基板が検出されれば、基板が適切に収納されていない（例えば、斜めに収納されている）と判断される。
【００２５】
各スロットの位置情報は基板収納器の種類毎に異なる場合があり、また、載置ユニットＡで用いられている座標系との整合を取る必要もある。そこで、本実施形態の載置ユニットＡでは基板収納器の種類が変更される度に、その基板収納器に応じた各スロットの位置情報が作成される。図８は本実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図である。
【００２６】
同図の例では基板収納器Ｂが１８段のスロットを有している場合を想定しており、各スロットには最下段のスロットから最上段のスロットへ順にスロットＮｏ．が付されている。スロットの位置情報を作成する場合、基板収納器Ｂのスロットのうち、予め定めたスロット（本実施形態では端部（Ｎｏ．１、Ｎｏ．１８）のスロットのうち、特に最下段のＮｏ．１のスロット）に基準基板が収納され、他のスロットは空きとする。そして、センサ１１のスキャン動作により基準基板の位置を検出し、ＥＥＰＲＯＭ２２に記憶された設計情報に基づいてスロットの位置情報を作成する。本実施形態の場合、スロットの位置情報は、各スロットの上下方向（図８のＺ座標）の位置とする。以下、スロットの位置情報の作成時の載置ユニットＡの処理について説明する。図９はスロットの位置情報の作成時にＣＰＵ２１が実行する処理のフローチャートである。
【００２７】
始めに作業者は基準基板として処理の対象となる基板を基板収納器ＢのＮｏ．１のスロットに挿入し、蓋部１０１が閉じられた状態で基板収納器Ｂを載置ユニットＡにセットする。次に作業者はホストコンピュータから載置ユニットＡに対して、セットした基板収納器Ｂの種類を特定してスロットの位置情報の作成を指示する。当該指示によりＣＰＵ２１は図９の処理を開始する。
【００２８】
Ｓ１では、ホストコンピュータから指示された基板収納器Ｂの種類に対応する設計情報をＥＥＰＲＯＭ２２から読み出す。また、載置ユニットＡにセットされた基板収納器Ｂの蓋部１０１を、図３乃至図５を参照して上述した手順により開放する。センサ１１は図５に示される最も低い位置に位置する。
【００２９】
Ｓ２では１回目のスキャン動作（第１のスキャン動作）を実行する。ここでのスキャン動作は、Ｎｏ．１〜Ｎｏ１８の複数段のスロットのうち、その一方の端部に位置するＮｏ．１のスロットから他方の端部に位置するＮｏ．１８のスロットへ向かう方向にセンサ１１を移動させる動作である。図１０は第１のスキャン動作のフローチャートである。
【００３０】
Ｓ１１ではモータ８を駆動してセンサ１１を上昇させる。Ｓ１２では、エンコーダ８ａの検出結果に基づいてセンサ１１がスキャン開始位置（図８の第１スキャン開始位置）に到達したか否かを判定する。第１スキャン開始位置は、最下段のスロット（Ｎｏ．１）よりも十分低い位置に設定される。該当する場合はＳ１３へ進み、該当しない場合は待ちとなる。
【００３１】
Ｓ１３ではセンサ１１の発光部の発光を開始し、受光部の検出結果の取得を開始する。Ｓ１４ではセンサ１１により基準基板が検出されたか否かを判定する。該当する場合はＳ１５へ進み、該当しない場合はＳ１６へ進む。Ｓ１５ではエンコーダ８ａの検出結果をセンサ１１の検出位置として取得し、ＲＡＭ２３に記憶する。Ｓ１６ではエンコーダ８ａの検出結果に基づいてセンサ１１がスキャン終了位置に到達したか否かを判定する。スキャン終了位置は最上位のスロット（Ｎｏ．１８）よりも上方に設定される。該当する場合はＳ１７へ進み、該当しない場合はＳ１４へ戻る。Ｓ１７ではスキャン動作を終了する。ここではセンサ１１の移動、発光部の発光を終了する。
【００３２】
図９に戻り、Ｓ３では第１のスキャン動作による基準基板のスキャンが成功したか否かを判定する。ここではＲＡＭ２３に１つの基板の位置が記憶されている場合は成功と判断し、１つも記憶されていない場合、複数記憶されている場合はいずれも失敗と判断する。該当する場合はＳ４へ進み、該当しない場合はＳ８のエラー処理を行なう。Ｓ８のエラー処理では例えばホストコンピュータに通知して、全ての処理を終了する。
【００３３】
Ｓ４ではＳ２で検出された基準基板の位置と、Ｓ１で読み出した設計情報とに基づいて基板収納器Ｂの各スロットの位置情報を作成する。図７（ｂ）はその例である。基準基板が収納されているＮｏ．１のスロットの位置の情報はＳ２で検出された基準基板の位置の情報となる。Ｎｏ．２乃至Ｎｏ．１８のスロットの位置は、Ｎｏ．１のスロットの位置の情報に、設計情報に含まれるピッチの情報を順次加算していくことで得られる。本実施形態のように、基準基板の収納を、端部のスロット（ここでは最下段のスロット）としておくことで、スロットの位置情報は、基準基板のスロットの位置の情報にピッチの情報を単純に加算（または減算）することで得られるので、演算を簡易化することができる。
【００３４】
図９に戻り、Ｓ５では再度のスキャン動作として、２回目のスキャン動作（第２のスキャン動作）を実行し、基準基板の位置を再度検出する。図１１は第２のスキャン動作のフローチャートである。Ｓ２１ではモータ８を駆動して、最上部にあるセンサ１１を下降させる。Ｓ２２では、エンコーダ８ａの検出結果に基づいてセンサ１１がスキャン開始位置（図８の第２スキャン開始位置）に到達したか否かを判定する。第２スキャン開始位置は、本実施形態では、Ｓ４で作成したスロットの位置情報に基づき、Ｎｏ．１のスロットの位置から１ピッチ分下方の位置に設定される。これにより、センサ１１のスキャン距離を第１のスキャン動作時よりも短くして処理時間の短縮化を図ることができる。また、スキャン開始位置を第１のスキャン動作時と変えることで、後述するスロット位置の情報の照合（Ｓ６）において、スロットの位置情報の正確性をより厳しくチェックできる。該当する場合はＳ２３へ進み、該当しない場合は待ちとなる。
【００３５】
Ｓ２３ではモータ８を逆転させてセンサ１１を上昇させると共に、センサ１１の発光部の発光を開始し、受光部の検出結果の取得を開始する。Ｓ２４ではセンサ１１により基準基板が検出されたか否かを判定する。該当する場合はＳ２５へ進み、該当しない場合はＳ２６へ進む。Ｓ２５ではエンコーダ８ａの検出結果をセンサ１１の検出位置として取得し、ＲＡＭ２３に記憶する。Ｓ２６ではエンコーダ８ａの検出結果に基づいてセンサ１１がスキャン終了位置に到達したか否かを判定する。該当する場合はＳ２７へ進み、該当しない場合はＳ２４へ戻る。Ｓ２７ではスキャン動作を終了する。ここではセンサ１１の移動、発光部の発光を終了する。
【００３６】
図９に戻り、Ｓ６ではＳ４で作成したスロットの位置情報と、Ｓ５の第２のスキャンで検出された基準基板の位置とを照合する。ここでは、基準基板が収納されているＮｏ．１のスロットの位置情報とＳ５の第２のスキャンで検出された基準基板の位置とを照合する。Ｓ７では照合に成功したか（両者が許容誤差の範囲で一致しているか）を判定し、該当すれば処理を終了し、Ｓ４で作成したスロットの位置情報がその後の処理で利用されることになる。該当しなければＳ８へ進み上述したエラー処理を行なう。
【００３７】
以上のべた通り、本実施形態では、基板収納器Ｂの設計情報を用いることで、簡易に、しかも、少なくとも１枚の基準基板の位置を検出できれば各々のスロットの位置情報を得ることができる。また、スキャン動作を２回行なって基準基板の位置検出を再度行い、作成したスロットの位置情報と照合することで、ノイズによる基準基板の誤検出が防止され、ノイズの影響を低減することができる。
【００３８】
＜第２実施形態＞
上記第１実施形態では基準基板を最下段のスロット（Ｎｏ．１）に収納したが、基準基板を収納するスロットが特定されておれば他のスロットに収納してもよい。また、上記第１実施形態では、センサ１１のスキャン動作をセンサ１１の上昇時に行なったが下降時に行なってもよい。図１２は本発明の第２実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図であり、基準基板を最上段のスロット（Ｎｏ．１８）に収納し、かつ、センサ１１のスキャン動作をセンサ１１の下降時に行なう例である。つまり、ここでのスキャン動作は、Ｎｏ．１〜Ｎｏ１８の複数段のスロットのうち、その一方の端部に位置するＮｏ．１８のスロットから他方の端部に位置するＮｏ．１のスロットへ向かう方向にセンサ１１を移動させる動作である。
【００３９】
図１２の実施形態では、上記第１実施形態のＳ２の１回目のスキャン動作（第１のスキャン動作）をＮｏ．１８のスロットよりも十分に高い位置に設定された第１スキャン開始位置から開始し、最下段のスロット（Ｎｏ．１）をセンサ１１が通過した位置で終了する（終了位置）。上記第２実施形態のＳ５の２回目のスキャン動作（第２のスキャン動作）は、第１のスキャン動作後に作成したスロットの位置情報に基づき、Ｎｏ．１８のスロットの位置から１ピッチ分上方の位置に設定された第２スキャン開始位置から開始し、終了位置で終了する。その他は上記第１実施形態と同様である。
【００４０】
本実施形態の載置ユニットＡは基板収納器Ｂの蓋部１０１を取り外した際にセンサ１１が上方の位置（図３、図４のセンサ１１と同じ高さの位置）にあり、図５に示すように下方へ移動するが、本実施形態ではその下方への移動の際に第１のスキャン動作を行なうことができ、センサ１１の移動量を少なくして処理の迅速化が図れるという利点がある。
【００４１】
＜第３実施形態＞
上記第１及び第２実施形態では基準基板を１枚としたが、複数枚としてもよい。また、基板には厚みがあるため、上記第１実施形態のようにセンサ１１を上昇させて基準基板の位置を検出する場合と、上記第２実施形態のようにセンサ１１を下降させて基準基板の位置を検出する場合とで、それぞれスロットの位置情報に誤差が生じる場合がある。この誤差は無論、基板の厚みを考慮して修正することが可能であるが、センサ１１の上昇時のスロットの位置情報と下降時のスロットの位置情報とをそれぞれ別々に用意しておき、スロットの位置情報を使用する場合に、センサ１１の移動方向に応じて使い分けることもできる。
【００４２】
図１３は本発明の第３実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図であり、最下段のスロット（Ｎｏ．１）と最上段のスロット（Ｎｏ．１８）とにそれぞれ基準基板１及び２を収納し、基準基板１を用いてセンサ１１の上昇時用のスロットの位置情報を作成し、基準基板２を用いてセンサ１１の下降時のスロットの位置情報を作成する例である。
【００４３】
センサ１１の上昇時用のスロットの位置情報の作成は上記第１実施形態の処理を、下降時用のスロットの位置情報の作成は上記第２実施形態の処理を、それぞれ連続して行なうことで実現されるが、こうするとセンサ１１の往復移動回数が多くなる。そこで、図１３に示す本実施形態では、センサ１１の往復移動回数をなるべく少なくする。ここでは
詳細には、まず、センサ１１をＮｏ．１のスロットよりも十分に低い位置（上昇時第１スキャン開始位置。上記第１実施形態の第１スキャン開始位置に相当。）にセットする。続いてセンサ１１を上昇させ、上昇時の位置情報作成のための１回目のスキャン動作を行なう。基準基板１をスキャンし、上昇時終了位置までセンサ１１を上昇させる。次に、上記第１実施形態のようにセンサ１１を下降させて２回目のスキャン動作を行なわずにセンサ１１を更に上昇して、センサ１１をＮｏ．１８のスロットよりも十分に高い位置（下降時第１スキャン開始位置。上記第２実施形態の第１スキャン開始位置に相当。）にセットする。この際、基準基板１のスキャンの結果に従って、上昇時用の位置情報を作成できる。
【００４４】
次に、センサ１１を下降させ、下降時の位置情報作成のための１回目のスキャン動作を行なう。基準基板２をスキャンし、下降時終了位置までセンサ１１を下降させる。次に、この場合も上記第２実施形態のようにセンサ１１を上昇させて２回目のスキャン動作を行なわずにセンサ１１を更に下降して、センサ１１を上昇時第２スキャン開始位置にセットする。上昇時第２スキャン開始位置は上記第１実施形態の第２スキャン開始位置に相当する。この際、基準基板２のスキャンの結果に従って、下降時用の位置情報を作成できる。
【００４５】
次に、センサ１１を再び上昇させ、上昇時の位置情報の照合のための２回目のスキャン動作を実行し、基準基板１の位置を再度検出する。センサ１１は、上昇時終了位置まで上昇させ、更に、下降時第２スキャン開始位置まで上昇させる。下降時第２スキャン開始位置は上記第２実施形態の第２スキャン開始位置に相当する。この際、基準基板１の再スキャンの結果により上昇時の位置情報の照合を行なうことができる。
【００４６】
次に、センサ１２を再び下降させ、下降時の位置情報の照合のための２回目のスキャン動作を実行し、基準基板２の位置を再度検出する。センサ１１は下降時終了位置まで下降させる。その後、基準基板２の再スキャンの結果により下降時の位置情報の照合を行なうことができる。
【００４７】
このように本実施形態では、上記第１実施形態におけるスキャン動作のセンサ１１の移動方向と、上記第２実施形態におけるスキャン動作のセンサ１１の移動方向とは相互に逆向きであり、センサ１１の往復動（昇降）により、一方がセンサ１１の往動時に、他方がセンサ１１の復動時に行なわれる。このため、上昇時用のスロットの位置情報の作成が終了した時にセンサ１１は下降時用のスロットの位置情報の作成時の第１スキャン開始位置近傍にあり、逆に、下降時用のスロットの位置情報の作成が終了した時にセンサ１１は上昇時用のスロットの位置情報の作成時の第１スキャン開始位置近傍にあるため、これらを連続して行なうに際して、センサ１１の移動距離を短縮でき、センサ１１を２回往復移動させることで上昇時用の位置情報と下降時用の位置情報とが作成できる。
【００４８】
なお、基準基板１または２の検出においては、最初に検出された基準基板の位置のみをＲＡＭ２３に記憶しておき、それぞれ位置情報の作成、位置情報の照合を行なうことができる。作成された上昇時用のスロットの位置情報と下降時用のスロットの位置情報とはそれぞれ個別にＲＡＭ２３に記憶しておき、その後の処理で活用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の一実施形態に係る載置ユニットＡの外観図である。
【図２】載置ユニットＡの構成図である。
【図３】基板収納器Ｂの蓋部１０１の開放時の載置ユニットＡの動作説明図である。
【図４】基板収納器Ｂの蓋部１０１の開放時の載置ユニットＡの動作説明図である。
【図５】基板収納器Ｂの蓋部１０１の開放時の載置ユニットＡの動作説明図である。
【図６】載置ユニットＡの制御部２０のブロック図である。
【図７】（ａ）は設計情報の例を示す図、（ｂ）はスロットの位置情報の例を示す図である。
【図８】本発明の第１実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図である。
【図９】スロットの位置情報の作成時にＣＰＵ２１が実行する処理のフローチャートである。
【図１０】第１のスキャン動作のフローチャートである。
【図１１】第２のスキャン動作のフローチャートである。
【図１２】本発明の第２実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図である。
【図１３】本発明の第３実施形態におけるスロットの位置情報の作成方法の説明図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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