(57)【要約】【課題】設置スペースが少なくて済み、光源とスクリーン間から反射ミラーを省け、しかも表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することである。【解決手段】電気光学パネル１００に表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置１であって、水平に置かれた電気光学パネル１００に検査光を透過または反射させて鉛直方向に投影面１７に投射する検査光路を構成する検査光学系５と、電気光学パネル１００を所定の検査パターンで駆動した際の投影面１７上の輝度分布を撮像する撮影カメラ６と、撮影カメラ６のレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー６１、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部６２と、を備えたものである。【選択図】  図１
2007093673.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、
水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、
前記電気光学パネルを所定の検査パターンで駆動した際の前記投影面上の輝度分布を撮像する撮影カメラと、
前記撮影カメラのレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、
水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、
前記検査光学系の一部を構成し、前記電気光学パネルの透過光または反射光を前記投影面上に投影する投射レンズと、
前記投射レンズのレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及びその吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、
水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、
前記投影面の表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及びその吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
前記電気光学パネルを透過または反射する前記検査光を出射する光源であって、その光軸が前記鉛直方向とされる光源、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項５】
前記エアーブロー及び吸引部の付近に在って前記異物が付着する部分の静電気を除去する静電気除去手段、
をさらに備えたことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項６】
電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、
水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、
前記電気光学パネルを透過または反射する前記検査光を出射する光源であって、その光軸が前記鉛直方向とされる光源と、
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項７】
前記投影面は、スクリーンであることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項８】
前記スクリーンは、天井又は床面に配置されることを特徴とする請求項７に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項９】
電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査方法であって、
水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射するステップと、
前記投影面上の検査パターンの輝度分布を撮像する撮影カメラのレンズ表面、又は、前記検査光学系の一部を構成する投射レンズのレンズ表面、或いは、前記投影面の表面、に付着する異物を、エアーブロー及び吸引部を用いて除去するステップと、
を備えたことを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の検査装置及び検査方法に係り、特に投射型表示装置等のライトバルブに用いられる電気光学装置の表示品位を自動で検査する検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、液晶パネルは、製造工程において、薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと記す）等のスイッチング素子の不良や液晶層への異物の混入等による表示欠陥（点欠陥，線欠陥，シミムラ欠陥等）の発生状況の検査が行われる。
【０００３】
この種の検査を行うための検査装置として、例えば本出願人による特許文献１には、液晶パネルに検査光を照射するランプと、液晶パネルの透過光をスクリーン上に投影する投影光学系とを有し、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン上の輝度分布をＣＣＤカメラで撮像し、その撮像結果から液晶パネル上の点欠陥等を自動検出する技術が開示されている。
【０００４】
また、点欠陥等の検査は作業者の目視によっても並行して行われることが一般的であり、目視による液晶パネルの検査装置として、液晶パネルを所定の検査パターンで駆動し、その検査画像をスクリーン上に投影する検査装置が従来より広く知られている。
【０００５】
さらに、例えば本出願人による特許文献２には、液晶パネルに表示した検査画像を投影するための検査光学系を構成する投影レンズを、検査画像の投影時に検査光に対してレンズ移動機構部を用いて相対移動させることにより、光軸を移動させ、投影された検査画像の移動による残像効果によって点欠陥等の視認性を向上させる技術が開示されている。
【特許文献１】特開平１１−１７４３９８号公報
【特許文献２】特開２００４−１０１７４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、従来の液晶パネルの検査装置では、例えば特許文献２の図２に示されているように検査装置内への液晶パネルの供給及び配置が平置き（水平状態での配置）となるため、横方向に検査画像を投影するためには反射ミラーが必要になり、かつ床面に垂直なスクリーン（即ち縦置きスクリーン）に投影していたため、検査装置自体のサイズが大きくなり、しかもスクリーンと検査装置を併せた筐体の床面上の設置スペースが非常に大きくなることと、検査光路を変える反射ミラーに汚れが付着した場合、表示欠陥の視認性が劣化してしまうこと、また反射ミラーの存在によって光量損失を生じたり投影画像が歪むなどの問題が生じていた。更に、横方向に投影する検査装置では、縦方向の高さを低くするために光源からの投射光を一旦横方向に投影し、もう１つの別の反射ミラーで上向きに光路を変えて前記液晶パネルを透過させるので、反射ミラーがもう１つ必要となり、汚れの付着や光量損失が生じる問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は上記の問題に鑑み、設置スペースが少なくて済み、光源とスクリーン間の光路から反射ミラーを省け、しかも表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出可能な電気光学装置の検査装置及び検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、前記電気光学パネルを所定の検査パターンで駆動した際の前記投影面上の輝度分布を撮像する撮影カメラと、前記撮影カメラのレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及び吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
本発明によるこのような装置によれば、エアーブロー及び吸引部を撮影カメラのレンズ表面近傍に設けたので、上向きとされる投影する方向を天井方向に向ける場合に、撮影カメラのレンズ表面に異物が付着するのを防ぎ、誤判定を防止することができる。従って、検査精度が向上する。撮影カメラの撮像結果から電気光学パネル上の表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出することが可能で設置面積の小さい自動検査装置を実現することができる。
【００１０】
本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、前記検査光学系の一部を構成し、前記電気光学パネルの透過光または反射光を前記投影面上に投影する投射レンズと、前記投射レンズのレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及びその吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
本発明によるこのような装置によれば、エアーブロー及び吸引部を投射レンズのレンズ表面近傍に設けたので、投影する方向を天井方向に向ける場合に、上向きとされる投射レンズのレンズ表面に異物が付着するのを防ぎ、誤判定を防止することができる。従って、検査精度が向上する。撮影カメラの撮像結果から電気光学パネル上の表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出することが可能で設置面積の小さい自動検査装置を実現することができる。
【００１２】
本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、前記投影面の表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー、及びその吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部と、を備えたことを特徴とする。
【００１３】
本発明によるこのような装置によれば、エアーブロー及び吸引部を投影面の表面近傍に設けたので、投影する方向を床方向に向ける場合に、上向きとされる投影面の表面に異物が付着するのを防ぎ、誤判定を防止することができる。従って、検査精度が向上する。撮影カメラの撮像結果から電気光学パネル上の表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を自動検出することが可能で設置面積の小さい自動検査装置を実現することができる。
【００１４】
本発明において、前記電気光学パネルを透過または反射する前記検査光を出射する光源であって、その光軸が前記鉛直方向とされる光源、をさらに備えたことを特徴とする。
【００１５】
このような装置によれば、光源からの光を反射して光路を変える反射ミラーが無くなることにより、反射ミラーの汚れの付着や光量損失を無くして、表示欠陥の視認性の向上及び光量の増大を図ることができ、より正確な検査が行えるようになる。
【００１６】
本発明において、前記エアーブロー及び吸引部の付近に在って前記異物が付着する部分の静電気を除去する静電気除去手段、をさらに備えたことを特徴とする。
【００１７】
このような装置によれば、異物が付着する部分（検査画像を受光或いは投射する部分）の表面が静電気で帯電するのを防いで、埃等の異物を付着しにくくすることができ、より正確な検査が行えるようになる。
【００１８】
本発明による電気光学装置の検査装置は、電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査装置であって、水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射する検査光路を構成する検査光学系と、前記電気光学パネルを透過または反射する前記検査光を出射する光源であって、その光軸が前記鉛直方向とされる光源と、を備えたことを特徴とする。
【００１９】
本発明によるこのような装置によれば、天井方向又は床方向に表示画像を投影させることで、横方向に取っていた投影スペースを削減でき、床面上に配置する場合に検査装置サイズの縮小を図ることができる。光源からの光を反射して光路を変える反射ミラーが無くなることにより、反射ミラーの汚れの付着や光量損失を無くして、表示欠陥の視認性の向上及び光量の増大を図ることができ、より正確な検査が行えるようになる。
【００２０】
本発明において、前記投影面は、スクリーンであることを特徴とする。  
本発明において、前記スクリーンは、天井又は床面に配置されることを特徴とする。
【００２１】
本発明による電気光学装置の検査方法は、電気光学パネルに表示した検査画像を投影面に投影する電気光学装置の検査方法であって、水平に置かれた前記電気光学パネルに検査光を透過または反射させて鉛直方向に前記投影面に投射するステップと、前記投影面上の検査パターンの輝度分布を撮像する撮影カメラのレンズ表面、又は、前記検査光学系の一部を構成する投射レンズのレンズ表面、或いは、前記投影面の表面、に付着する異物を、エアーブロー及び吸引部を用いて除去するステップと、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
本発明によるこのような方法によれば、エアーブロー及び吸引部を撮影カメラのレンズ表面近傍に設けたので、投影する方向を天井方向に向ける場合に、上向きとされる撮影カメラのレンズ表面に異物が付着するのを防ぎ、誤判定を防止することができる。検査精度が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
発明の実施の形態について図面を参照して説明する。  
［第１の実施形態］
図１は本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査装置の概略構成図を示している。  
図１において、符号１は液晶パネルの検査装置を示す。ここで、本実施形態では、モジュール化された液晶パネル、すなわち、フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣ）１００-1等が取り付けられ防塵ガラス（図示せず）等とともにケース内に収容された液晶パネル１００の表示欠陥（点欠陥・線欠陥・シミムラ欠陥等）を検査する検査装置の一例について説明する。
【００２４】
検査装置１は、検査画像を鉛直方向に液晶パネル１００を透過させそのまま鉛直方向に投射レンズ１８などの光学部材を通してスクリーン１７に投射するための検査光路を構成する検査光学系５と、液晶パネル１００を所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン１７上の輝度分布を撮像する視野角度を有した撮影カメラであるＣＣＤカメラ６と、検査光路上に液晶パネル１００を水平に保持するステージ７と、検査光路上に保持された液晶パネル１００に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブユニット８と、検査光路上に任意のフィルタ手段を選択的に挿入して保持するフィルタ挿脱機構部９と、検査光路上に保持された液晶パネル１００を加熱或いは冷却して液晶パネル１００の温度調節を行う温度調節装置１０と、筐体２の上部にその位置を上下に調整可能に配置された投影面であるスクリーン１７と、ＣＣＤカメラ６のレンズ表面に付着する異物をエアーで吹き飛ばすエアーブロー６１、及びその吹き飛ばされた異物をエアーと共に吸引する吸引部６２と、投射レンズ１８のレンズ表面に付着する異物をエアーで吹き飛ばすエアーブロー８１、及びその吹き飛ばされた異物をエアーと共に吸引する吸引部８２と、を筐体２内に有して要部が構成されている。更に、筐体２内には、ＣＣＤカメラ６のレンズ表面、及び、投射レンズ１８のレンズ表面の静電気を除去する静電気除去手段であるイオナイザ（図２及び図３にて後述する）を備えていてもよい。
【００２５】
検査光学系５は、筐体２の下部で白色光等の検査光を鉛直方向上方に出射する光源で
あるランプ１５と、検査対象となる液晶パネル１００が搭載される実機と同等の特性の検査光を生成するための光学設計部１６と、ランプ１５から光学設計部１６を経て出射された検査光がステージ７に水平に保持された液晶パネル１００をそのまま鉛直方向に透過して筐体２の上部のスクリーン１７に投影するように、鉛直方向の検査光路上に介装されて検査光の焦点距離を調整する光学部材としての投射レンズ１８と、を有して構成され、ランプ１５から出射された検査光が光学設計部１６を通して液晶パネル１００を鉛直方向に透過し投射レンズ１８で投射されて、方向を変えずに鉛直方向に筐体２の上部に配置されたスクリーン１７に投影されるようになっている。
【００２６】
光学設計部１６は、プロジェクタ用の光学系に対応して設計されており、第１のマルチレンズ５０と、検査光の光量を調節する光量調節フィルタとしてのＮＤ（ｎｅｕｔｒａｌ  ｄｅｎｓｉｔｙ）フィルタ５１と、紫外線フィルタ５２と、第２のマルチレンズ５３と、ＰＢＳ（Ｐｏｌａｒｚｅｄ  Ｂｅａｍ  Ｓｐｌｉｔｔｅｒ）ユニット５４と、コンデンサレンズ（集光レンズ）５５と、緑、赤、青等の所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタ５６とを有して構成されている。
【００２７】
筐体２は、例えば、幅Ｗ＝８０ｃｍ、高さＨ＝２ｍの大きさであり、従来のように検査光を水平方向に投影する構成（幅Ｗ＝２ｍ、高さＨ＝１ｍ程度）と比べ、鉛直方向の高さは高くなるが、床面上の設置スペースは非常に少なくなる。    
ステージ７は、ステージ動作機構部２５（後述する）を介して筐体２内に水平に支持される矩形の板状部材で構成され、ステージ７の上面には検査対象となる液晶パネル１００を載置するための凹部２０が形成されている。
【００２８】
液晶パネル１００は、例えば、０．５〜１．４インチの範囲の各種の大きさであってもよく、スクリーン１７は、例えば３５インチ程度の大きさである。  
また、投射レンズ１８も交換可能とされ、液晶パネル１００の大きさに応じて焦点距離の違う投射レンズ１８を使用可能である。
【００２９】
この場合、凹部２０は、液晶パネル１００の外観形状に略沿う形状をなし、さらに、図示しないピン等の位置決め部材を要部に有することにより、載置された液晶パネル１００を所定の位置に位置決めした状態で水平に保持するようになっている。ステージ７は、液晶パネル１００のサイズに応じた凹部２０が形成されたものを交換して使用したり、或いは所定サイズの凹部２０にアダプタを用いて各種サイズの液晶パネルを載置するようにしてもよい。
【００３０】
また、ステージ７には、凹部２０に載置された液晶パネル１００の表示部（図示せず）に検査光を導くための開口部２１が開口されている。  
また、ステージ７の基部には、当該ステージ７をステージ動作機構部２５に着脱自在に装着するためのフランジ部２３が設けられている。
【００３１】
ステージ動作機構部２５は、筐体２内に水平に固設されたエアシリンダ２６を有して構成されている。エアシリンダ２６には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ２６のピストンロッド２７が筐体２内を水平方向に伸縮移動するようになっている。  
また、ピストンロッド２７の先端には、ステージ装着部２８が固設されており、このステージ装着部２８に、前記フランジ部２３を介してステージ７が装脱自在に締結固定されている。
【００３２】
この場合、ステージ７は、図１に実線で示すように、ピストンロッド２７が収縮位置にあるとき、光学設計部１６と投射レンズ１８との間に挿入されて液晶パネル１００の表示部を検査光路上に保持し、一方で、図１に２点鎖線で示すように、ピストンロッド２７が伸長位置にあるとき液晶パネル１００の表示部を検査光路から退避させるよう、各部の諸元が設定されている。なお、図示のように、検査開始前や検査終了後等におけるピストンロッド２７の伸長時には、ステージ７が筐体２に設けられた開閉窓２９を押し開けることで、液晶パネル１００が筐体２の外部に露呈されて交換可能または取外し可能となる。
【００３３】
プローブユニット８は、プローブ動作機構部３３（後述する）を介して筐体２内に支持されるもので、液晶パネル１００のＦＰＣ１００-1上に配列された各電極端子（図示せず）に対応して電気的に接続可能な複数のプローブ３０を有して構成されている。  
そして、プローブユニット８は、各プローブ３０がＦＰＣ１００-1上の各電極端子と電気的に接続された際に、パネル駆動装置３２で生成された所定の駆動信号を液晶パネル１００に伝達するようになっている。
【００３４】
プローブ動作機構部３３は、筐体２内に垂直に固設されたエアシリンダ３４を有して構成されている。エアシリンダ３４には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ３４のピストンロッド３５が筐体２内を垂直方向に伸縮移動するようになっている。
【００３５】
また、ピストンロッド３５の先端には、プローブユニット装着部３６が固設されており、このプローブユニット装着部３６に、プローブユニット８が装脱自在に締結固定されている。
【００３６】
この場合、プローブユニット８は、各プローブ３０が検査光路上に保持された液晶パネル１００のＦＰＣ１００-1上の各電極端子に夫々対向され、且つ、ピストンロッド３５が伸長位置（下降位置）にあるときＦＰＣ１００-1上の各電極端子に各プローブ３０が電気的に接続されるとともに（図１参照）、ピストンロッド３５が収縮位置（上昇位置）にあるときＦＰＣ１００-1上の各電極端子から各プローブ３０が離間されるよう（図示せず）、各部の諸元が設定されている。
【００３７】
フィルタ挿脱機構部９は、例えば投射レンズ１８の鉛直方向の光軸と一致する検査光路上に任意のフィルタ手段４０を選択的に挿入して保持するためのもので、検査光路に平行となるよう筐体２内に立設された軸部４１と、軸部４１に夫々回動自在に軸支された複数（本実施形態では４枚）のトレイ４２とを有して構成されている。
【００３８】
各トレイ４２の上面にはフィルタ手段４０を載置して保持するための凹部４３が設けられ、さらに各凹部４３の底部には、各凹部４３に夫々載置されたフィルタ手段４０に検査光を導くための開口部４４が設けられている。
【００３９】
フィルタ挿脱機構部９は、通常時には、各トレイ４２を検査光路からの退避位置に保持するようになっており、作業者等によって所定のトレイ４２が選択されて退避位置から所定の回動角だけ回動されることにより、当該トレイに保持したフィルタ手段４０を検査光路に露呈するようになっている。
【００４０】
本実施形態において、各トレイ４２には、フィルタ手段４０として、例えば、液晶パネル１００を通過後の検査光のコントラストを強調するコントラスト強調フィルタとしての視角補償フィルタや、緑（Ｇ），青（Ｂ），赤（Ｒ）等の所定の波長領域の検査光を透過する色フィルタ、光量調節フィルタとしてのＮＤ（Neutral Density）フィルタ等が載置される。ここで、各フィルタ手段４０は、検査対象である液晶パネル１００を実際に搭載する液晶装置の各種フィルタと同等の光学特性を有することが望ましい。
【００４１】
温度調節装置１０は、検査光路上に保持された液晶パネル１００に温風或いは冷風を送風することにより液晶パネル１００の温度調節を行うもので、ブロア装置４５と、このブロア装置４５の駆動制御を行う制御部（図示せず）と、液晶パネル１００の近傍でステージ７に埋設された温度センサ（図示せず）とを有して構成されている。制御部には温度設定等を行うための図示しないコントロールパネルが設けられており、制御部は、温度センサからの検出温度に基づいて、ブロア装置４５から送風する温風或いは冷風の風量及びその温度をフィードバック制御することで、液晶パネル１００を所望の設定温度に制御するようになっている。
【００４２】
ＣＣＤカメラ６のレンズ表面に付着する異物をエアーで吹き飛ばし且つ吸引するエアーブロー６１及び吸引部６２については、エアーが工場エアー供給機構（図示せず）からチューブ（図示略）で筐体２内のエアーブロー６１に導入され、吸引部６２に接続したチューブ（図示略）にて筐体２外の工場エアー吸引機構（図示せず）に導出される。同様に、投射レンズ１８のレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばし且つ吸引するエアーブロー８１及び吸引部８２についても、エアーが工場エアー供給機構（図示せず）からチューブ（図示略）で筐体２内のエアーブロー８１に導入され、吸引部８２に接続したチューブ（図示略）にて筐体２外の吸引機構（図示せず）に導出されている。使用するクリーニング用のエアーとしては、空気のほかに窒素Ｎ2を用いてもよい。
【００４３】
図２及び図３は、上記エアーブロー及び吸引部の付近に在って異物が付着するのを回避したい部分（例えばレンズ表面）の静電気を除去するイオナイザを示している。  
図２は、ＣＣＤカメラ６のレンズ表面付近に配置されるイオナイザを示している。このイオナイザは、前面に配置された少なくとも１つ以上の放電針７０と、高圧電源を有し、放電針７０に交流電圧を印加してコロナ放電を行い、（＋），（−）イオンを発生するイオナイザ本体７１と、イオナイザ本体７１に電気的に接続していて、（＋），（−）イオンの発生及びそれらイオンの強さをコントロールすることが可能なコントローラ７２と、を備えている。
【００４４】
図３は、投射レンズ１８のレンズ表面付近に配置されるイオナイザを示している。このイオナイザは、前面に配置された少なくとも１つ以上の放電針９０と、高圧電源を有し、放電針９０に交流電圧を印加してコロナ放電を行い、（＋），（−）イオンを発生するイオナイザ本体９１と、イオナイザ本体９１に電気的に接続していて、（＋），（−）イオンの発生及びそれらイオンの強さをコントロールすることが可能なコントローラ９２と、を備えている。
【００４５】
図２及び図３に示すようなイオナイザにより、各レンズ表面及びその付近に対してイオンエアーを送り、除電することができる。ＣＣＤカメラ６のレンズ表面、及び、投射レンズ１８のレンズ表面の静電気による帯電を防止することによって埃等の異物の付着を防止することができる。
【００４６】
次に、上述の構成による検査装置１の作用及び効果について説明する。  
先ず、作業者は、図示しない空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させてステージ７を検査光路からの退避位置まで移動させる。そして、この状態で、ステージ７の凹部２０上に検査対象となる液晶パネル１００を位置決めして載置する。
【００４７】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させ、ステージ７を光学設計部１６と投射レンズ１８との間の挿入位置まで移動させる。これにより、ステージ７上に載置された液晶パネル１００の表示部が検査光路上の所定の位置に保持される。
【００４８】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ３４を動作させることでプローブユニット８を下降させ、当該プローブユニット８のプローブ３０を、液晶パネル１００のＦＰＣ１００-1上に配列された各電極端子に電気的に接続させる。  
その後、作業者は、パネル駆動装置３２を動作させ、所定の駆動信号を液晶パネル１００に印加する。これにより、筐体２の上部のスクリーン１７上には、所定の検査画像が投影される。
【００４９】
その後、液晶パネル１００を所定の検査パターンで駆動した際のスクリーン１７上の輝度分布をＣＣＤカメラ６で撮像し、その撮像結果から液晶パネル１００上の表示欠陥（点欠陥，線欠陥，シミムラ欠陥等）を自動検出する。この自動検出する技術については、本出願人による先行技術である特開平１１―１７４３９８号公報に開示されている。
【００５０】
従って、作業者の熟練度等に関係なく、点欠陥等の検出を自動で検出することができる。また、点欠陥等の検出を自動で行うことができるので、作業者の目への疲労等を低減することができる。さらに、液晶パネルの投影検査をする際、検査光を鉛直方向に出射して投影画面を頭上に映すことで、自動検査装置の設置面積を縮小させ、省スペースにすることができる。
【００５１】
ここで、このような検査時に、作業者が、フィルタ挿脱機構部９の各トレイ４２を選択的に検査光路上に移動させて、液晶パネル１００からの出射光に各フィルタ手段４０を作用させることにより、検査光の特性が任意に制御された検査画像を観察することができる。
【００５２】
例えば、検査光路上に視角補償フィルタを挿入することにより、コントラストが強調された検査画像を観察することができ、点欠陥の検出等を容易なものとすることができる。
【００５３】
また、検査光路上に所定の色フィルタを挿入することにより、Ｇ，Ｂ，Ｒ等の各色の波長領域に制限された検査画像を観察することができ、実機の各色光路に最適な条件下での検査を行うことができる。  
また、ＮＤフィルタを検査光路上に挿脱すれば、高い照度が必要なパネルの輝点検査と高い照度を必要としないそれ以外の検査とをランプ１５の出射光量を変化させることなく行うことができる。
【００５４】
また、作業者は、温度調節装置１０を作動させて、液晶パネル１００の温度管理を行うことで、所定の高温条件下或いは低温条件下での検査画像を観察することができる。  
さらに、反射ミラーを省略できるので、検査光の反射による光量損失を無くすことができる。また、反射ミラーが無くなることにより、投影画像の台形歪みがなくなり、長方形に近い画角を表示できるようになる。これにより、台形画像を長方形画像に補正する誤差成分が少なくなることから、欠陥座標値などの誤差が少なくなり、より正確な検査が行えるようになる。
【００５５】
スクリーン表面が下向きとなるため、少なくとも表面に異物が付着し誤判定してしまうことが無くなる。さらに、上向きとされる撮影カメラや投射レンズのレンズ表面に異物が付着し誤判定となることが想定されるため、エアーブロー及び吸引部による機構を設け、異物をエアーで吹き飛ばして除去する。さらに、撮影カメラや投射レンズのレンズ表面付近にイオナイザを配設して静電気による帯電を防ぐことにより、埃等の異物の付着をさらに防止することが可能となる。レンズ表面に異物が付着しないため、スクリーン１７の表面に投影される検査画像に欠陥を生じることがなく、誤判定を防止することができる。
【００５６】
なお、本実施形態のように検査光は下方から上方に向かうよう鉛直方向に投射し上方の投影面（スクリーン）に投影するようにしてもよいし、或いは検査光は上方から下方に向かうよう鉛直方向に投射し下方に配置した投影面（スクリーン）に投影する構成としてもよい。  
また、筐体２の上方または下方を開放して、天井または床面を投影面として使用してもよい。勿論、スクリーンを別体とし、スクリーンを天井面又は床面に配置する構成としてもよい。
【００５７】
［第２の実施形態］
図４は本発明の第２の実施形態の液晶パネルの検査装置の概略構成図を示している。  本実施形態の検査装置１Ａでは、光源であるランプ１５は筐体２内の天井側に配置され、検査画像が投影される投影面であるスクリーン１７は筐体２内の床面側に配置されている。光源であるランプ１５から出射された検査光は上方から下方に向かうよう鉛直方向に投射し下方に配置した投影面であるスクリーン１７に投影する構成となっている。図１の第１の実施形態とは、天地が反対の関係になるため、ほぼ同じ構成となり、機能的に同じ部分には同一符号を付してある。
【００５８】
検査光学系５の検査光路上に液晶パネル１００を水平に保持するステージ７については、液晶パネル１００を載置する凹部２０はステージ７の上側に形成されており、凹部２０に載置された液晶パネル１００の表示部（図示せず）に対応する位置にはランプ１５からの検査光を鉛直方向下方、即ちステージ７の下方に導くための開口部２１が開口されている。
【００５９】
ランプ１５から光学設計部１６を経て鉛直方向下方に出射された検査光がステージ７に水平に保持された液晶パネル１００をそのまま鉛直方向に透過し投射レンズ１８で投射されて、方向を変えずに筐体２の下部のスクリーン１７に投影されるようになっている。
【００６０】
投射レンズ１８のレンズ表面に付着する異物を吹き飛ばし且つ吸引するエアーブロー８１及び吸引部８２については、エアーが工場エアー供給機構（図示せず）からチューブ（図示略）で筐体２内のエアーブロー８１に導入され、吸引部８２に接続したチューブ（図示略）で筐体２外の工場エアー吸引機構（図示せず）に導出されている。
【００６１】
更に、筐体２の下部のスクリーン１７の外周付近には、スクリーン１７の表面に付着する異物を吹き飛ばすエアーブロー２０１、及びその吹き飛ばされた異物を吸引する吸引部２０２が、スクリーン面上の相対峙する位置（筐体２の両側面付近）に配設されている。エアーブロー２０１及び吸引部２０２についても、エアーが工場エアー供給機構（図示せず）からチューブ（図示略）で筐体２内のエアーブロー２０１に導入され、吸引部２０２に接続したチューブ（図示略）で筐体２外の工場エアー吸引機構（図示せず）に導出されている。使用するクリーニング用のエアーとしては、空気のほかに窒素Ｎ2を用いてもよい。
【００６２】
図５は、スクリーン１７の表面付近に配置されるイオナイザを示している。このイオナイザは、前面に配置された少なくとも１つ以上の放電針２１０と、高圧電源を有し、放電針２１０に交流電圧を印加してコロナ放電を行い、（＋），（−）イオンを発生するイオナイザ本体２１１と、イオナイザ本体２１１に電気的に接続していて、（＋），（−）イオンの発生及びそれらイオンの強さをコントロールすることが可能なコントローラ２１２と、を備えている。
【００６３】
図５に示すようなイオナイザにより、スクリーン表面付近に対してイオンエアーを送り、少なくともスクリーン表面を除電することができる。スクリーン１７の表面の静電気による帯電を防止することによって埃等の異物の付着を防止することができる。スクリーン表面に異物が付着しないため、撮影カメラ６によって撮像される検査画像に欠陥を生じることがなく、誤判定を防止することができる工場エアー及び吸引機構からチューブで筐体２内に導入及び導出されている。
【００６４】
なお、投射レンズ１８のレンズ表面付近に配設されるイオナイザについては、図３に示したものと同様である。  
上述の図４の第２の実施形態の構成による検査装置１Ａの作用及び効果については、図１の第１の実施形態と同様である。
【００６５】
ここで、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のＴＦＴアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置について説明する。  
図６は、液晶装置を示すもので、液晶パネルにおける素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図７は図６のＨ−Ｈ’断面図である。
【００６６】
図６及び図７において、本実施形態に係る液晶パネルでは、ＴＦＴが形成された素子基板１１０と対向基板１２０とが対向配置されている。
【００６７】
素子基板１１０と対向基板１２０との間に液晶層１５０が封入されており、素子基板１１０と対向基板１２０とは、画像表示領域１１０aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材１５２により相互に接着されている。シール材１５２は、両基板を貼り合わせるために、例えば熱硬化樹脂、熱及び光硬化樹脂、光硬化樹脂、紫外線硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいて素子基板１１０上に塗布された後、加熱、加熱及び光照射、光照射、紫外線照射等により硬化させられたものである。
【００６８】
対向基板１２０の４隅には、上下導通材１０６が設けられており、素子基板１１０に設けられた上下導通端子と対向基板１２０に設けられた対向電極１２１との間で電気的な導通をとる。
【００６９】
図６及び図７において、シール材１５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１１０aを規定する遮光性の額縁１５３が対向基板１２０側に設けられている。額縁１５３は素子基板１１０側に設けても良いことは言うまでもない。画像表示領域１１０aの周辺に広がる周辺領域のうち、シール材１５２が配置されたシール領域の外側部分には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２が素子基板１１０の一辺に沿って設けられており、走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。更に素子基板１１０の残る一辺には、画像表示領域１１０aの両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられている。
【００７０】
図７において、素子基板１１０上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極１１９上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板１２０上には、対向電極１２１の他、最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層１５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００７１】
額縁１５３下にある素子基板１１０上の領域には、図示しないサンプリング回路が設けられている。サンプリング回路は、画像信号線上の画像信号をデータ線駆動回路１０１から供給されるサンプリング回路駆動信号に応じてサンプリングして各画素のデータ線に供給するようになっている。
【００７２】
なお、例えば、ＬＣＯＳ等の反射型の電気光学パネルに応用する場合には、ランプ１５や光学設計部１６をハーフミラー等と共にステージ７とスクリーン１７の間に好適に配置することにより本発明の検査装置を用いることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
上記実施形態では、電気光学装置として、液晶パネルのような液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Field Emission Display 及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッター等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の検査装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査装置の概略構成図。
【図２】図１の実施形態の撮影カメラにおける静電気除去装置の一例を示す構成図。
【図３】図１の実施形態の投射レンズにおける静電気除去装置の一例を示す構成図。
【図４】本発明の第２の実施形態の電気光学装置の検査装置の概略構成図。
【図５】図４の実施形態のスクリーンにおける静電気除去装置の一例を示す構成図。
【図６】液晶装置を示すもので、液晶パネルにおける素子基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図。
【図７】図６のＨ−Ｈ’断面図。
【符号の説明】
【００７５】
１，１Ａ…液晶パネルの検査装置（電気光学装置の検査装置）
２…筐体
５…検査光学系
６…ＣＣＤカメラ（撮影カメラ）
７…ステージ
１５…ランプ（光源）
１７…スクリーン（投影面）
１８…投射レンズ
６１，８１，２０１…エアーブロー
６２，８２，２０２…吸引部
７０，９０，２１０…放電針
７１，９１，２１１…イオナイザ本体
１００…液晶パネル（電気光学パネル）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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