(57)【要約】【課題】薄板状の物品を一枚ずつ載置して、複数積み重ねた状態で保管することが可能な枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイ間に送風が届き、ダストの溜まりにくい枚葉搬送用トレイを提供すること。【解決手段】枚葉搬送用トレイ１の外枠２の上面に、積み重ねられるトレイを支持する支持部を間隔をあけて複数設けた。また外枠２をその上端が外側を向くように傾斜させた。【選択図】  図１１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数積み重ねた状態で保管される枚葉搬送用トレイであって、外枠の上面に、積み重ねられるトレイを支持する支持部を間隔をあけて複数設けたことを特徴とする枚葉搬送用トレイ。
【請求項２】
外枠をその上端が外側を向くように傾斜させたことを特徴とする請求項１記載の枚葉搬送用トレイ。
【請求項３】
支持部を外枠の他の部分に比べてダストの発生が少ない別部材で構成したことを特徴とする請求項１又は２記載の枚葉搬送用トレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、薄板状の物品を１枚ずつ載置して搬送するトレイに関する。特に、ダストの付着を防止するための送風を、積み重ねたトレイの間に対してもなし得る枚葉搬送用トレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば薄型表示装置の製造工程等において、ガラス基板に代表される薄板状の物品を搬送する技術が必要となっている。薄板状の物品は捻れや撓み等の変形が発生しやすく、搬送中に変形が原因で周囲に接触して表面に傷が付いたり、破損してしまう恐れがある。このため搬送には、薄板状の物品を変形させずに載置できる専用の容器が用いられる。
【０００３】
薄板状の物品を、１枚ずつ個別の容器に載置して搬送することで、搬送中の物品の変形を防止することができる。しかしこのような搬送形態では、搬送途中で一時保管を行う場合に、保管スペースを広く占めてしまうという問題があった。また、別の場所にまとめて移送したい場合にも手間がかかるという問題があった。
【０００４】
そこで、薄板状の物品を個別に載置可能であり、且つ一時保管や別の場所への移送の際には容器同士を積み重ねることのできるトレイが考案された。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このようなトレイは積み重ねられた状態で搬送・待機などさせることが多いが、この積み重ねられたトレイに対しては送風によるダスト対策も講じられている。つまり、フィルターなどでダストの除去されたクリーンエアーの送風を、トレイに対して常時行うようにして、ダスト対策が成されている。例えば薄板状の物品を載置したトレイが複数積み重ねた状態で保管される自動倉庫においては、積み重ねたトレイが収納されるラックの背面側からスタッカークレーンの通路側に向けてクリーンエアーを送風することで、スタッカークレーンから発生するダストが物品に付着するのを防止するようにしている。これにより、トレイをクリーンエアーで洗浄することができるのである。
【０００６】
ただ、トレイが積み重ねられている場合、上下に挟まれたトレイには送風が届かなくなり、クリーンエアーの送風によるダスト除去が行い難く成ってしまう。
【０００７】
本願発明は、上記従来技術の問題点に鑑みてなされたものであり、薄板状の物品を一枚ずつ載置し、複数枚積み重ねた状態で保管することのできる枚葉搬送用トレイであって、積み重ねた場合にもトレイ間に送風が届き、ダストの溜まりにくい枚葉搬送用トレイを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、複数積み重ねた状態で保管される枚葉搬送用トレイであって、外枠の上面に、積み重ねられるトレイを支持する支持部を間隔をあけて複数設けたことを特徴とする。
【０００９】
請求項２の発明は、請求項１記載の枚葉搬送用トレイであって、外枠をその上端が外側を向くように傾斜させたことを特徴とする。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載の枚葉搬送用トレイであって、支持部を外枠の他の部分に比べてダストの発生が少ない別部材で構成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１１】
本願請求項１記載の発明の枚葉搬送用トレイによれば、上下に積み重ねてもトレイの上下間に、支持部の高さ幅に対応した間隙を設けることができ、この間隙が送風路となり得るので、クリーンエアーの送風が各トレイに届くこととなり、よってトレイ及びこれに載置されるガラス基板などの物品へのダストの付着を防止することができる。
【００１２】
また本願請求項２記載の発明の枚葉搬送用トレイによれば、トレイの外枠が、その上端を外側に向くように傾斜させたので、上下の外枠の間にも間隙を確保することができる。つまり上下のトレイに間隙が設けられていても、その外枠が垂直に近い状態で立ち上がっていると、上下のトレイの隙間は垂直に近くなるほど狭くなり、クリーンエアーが通りにくくなる。この点に関し、本請求項に於いては、外枠を外に傾斜させたものであり、これにより間隙が得られ、よって送風を通すことができる。
【００１３】
また本願請求項３記載の発明の枚葉搬送用トレイによれば、トレイの支持部からのダストの発生自体を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に発明を実施するための最良の形態を列記する。
（形態１）  枚葉搬送用トレイは、４本の板状部材を略長方形に接合することで構成された外枠の間に、複数の桟を架け渡すことによって薄板状の物品の載置部が形成されている。
（形態２）  略長方形の外枠は、外側平坦部と外側平坦部よりも低い位置に設けられた内側平坦部を備えており、外側平坦部と内側平坦部の間に傾斜部が設けられている。複数個の樹脂ブロックが、外側平坦部の少なくとも４箇所に取り付けられている。
（形態３）  樹脂ブロックには、クリーン対策材料として、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れているためにダストが発生しにくい樹脂であるＵＰＥ（超高分子量（高密度）ポリエチレン）、又はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）等が使用される。
（形態４）  樹脂ブロックの上面は、外枠の外側平坦部の上面よりも高い位置にあり、樹脂ブロックの下面は、外側平坦部の下面よりも低い位置にある。上下方向に枚葉搬送用トレイを多段で積み重ねた状態では、各々の樹脂ブロックの上面と下面が接しており、樹脂ブロックが枚葉搬送用トレイの重量を支持する。
（形態５）  樹脂ブロックの上面には凸部が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部が設けられている。下面の凹部は、上面の凸部に対応した形状を有している。上下方向に重ねた枚葉搬送用トレイの樹脂ブロックの凸部と凹部を嵌め合わせることで、枚葉搬送用トレイの位置決め固定がなされる。
（形態６）  樹脂ブロックは、積み重ねたトレイの上下間隔が、送風路と成りうるような適宜間隔を形成し得るだけの上下幅を有する。
（形態７）  外枠は、（形態２）で説明した傾斜部が、その上端が外側を向くようにして６０°傾斜させたものであり、これにより傾斜部同士の間隙は、送風路に成り得るように形成される。
【実施例】
【００１５】
以下、本発明を適用した枚葉搬送用トレイ（以下、トレイとも言う）の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明による枚葉搬送用トレイの一実施例の構成を示す斜視図である。
【００１６】
本実施例における枚葉搬送用トレイ１は、外枠２と、外枠２の対向する辺の間に掛け渡された複数の桟４と、外枠用部材の接合部近傍で隣り合う部材の間に斜めに掛け渡される接合部材６を備えている。
【００１７】
外枠２は、２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂから構成される。本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって同一の断面形状となるように加工されている。
【００１８】
図２と図３に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂを示す。長辺部材２ａと短辺部材２ｂは、外側平坦部１１と、外側平坦部１１よりも低い位置に形成される内側平坦部１２を備えており、外側平坦部１１と内側平坦部１２の間に傾斜部１３が設けられている。傾斜部１３は、外枠２が形成されたときに外側に向けて広がる形状となっており、内側平坦部１２と傾斜部１３のなす角度が９０°より大きくなっている。
【００１９】
この傾斜部の１３の高さは、１枚のガラス基板などの薄板状の物品を安全に収容するために必要な収容高さを越えた高さ６８ｍｍとなっている。その高さは、長辺部材２ａと短辺部材２ｂが長方形の外枠２として組み合わされた場合に、外枠２に要求される平面度を維持するために必要な強度を保てる長さに設定されており、外枠２の形状が大型化された場合には、外枠２を強化するために傾斜部１３の高さはより高くなる。
【００２０】
長辺部材２ａと短辺部材２ｂを接合することにより、本実施例の外枠２が形成される。本実施例の外枠２は、その断面形状が、上述したように、フランジ１４，これより少し高い外側平坦部１１、これに連続して下降する傾斜部１３、この傾斜部１３の下方に連続する内側平坦部１２とで形成される。形成された外枠２単体の高さは、傾斜部の１３の高さで決定されるが、複数枚の枚葉搬送用トレイ１を積み重ねる場合には、この傾斜部１３を利用してより小さいピッチで積み重ねることが可能となるので、積み重ね高さをあまり高くならないようにすることができる。
【００２１】
本実施例における長辺部材２ａと短辺部材２ｂには、外側平坦部１１に、支持部としての樹脂ブロック８を取り付けるためのブロック取付孔１５ａ、１５ｂが１部材にそれぞれ２カ所ずつ設けられている。又、それぞれの部材の外側平坦部１１の端部には、部材同士を接合するための接合孔１６が３個ずつ設けられている。内側平坦部１２には、桟４を接合するための桟取付孔１７が設けられている。
【００２２】
図４に、長辺部材２ａと短辺部材２ｂに取り付けられる前の樹脂ブロック８の斜視図を示す。樹脂ブロック８は、略直方体の本体部２０の上面に凸部２１が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部２２が設けられている。また、本体部２０の高さは、１枚のガラス基板を安全に収容する為の収容高さと等しくなるように形成されている。
【００２３】
本実施例における樹脂ブロック８の凸部２１は、円錐台形状に形成されている。下面の凹部２２は、上面の凸部２１に対応した形状を有している。本体部２０の右面と左面には、トレイ１を持ち上げる把持装置に係止される係止部２３が伸びている。係止部２３には、長辺部材２ａ又は短辺部材２ｂに樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔２４が貫通している。
【００２４】
樹脂ブロック８は、上下に積み重ねられる枚葉搬送用トレイ１との接触部となるために、クリーン対策材料で形成されることが好ましい。よって外枠２の他の部分に比べてダストの発生が少ない別部材で構成したのであり、つまり本実施例における樹脂ブロック８は、耐磨耗性の高く、機械的な強度に優れたＰＥＥＫで形成されている。樹脂ブロック８は、ブロック同士が接触しても摩耗せず、ダストの発生が極めて少ないために、搬送するガラス基板を汚染しない。
【００２５】
樹脂ブロック８は、外枠２に、リベット若しくはネジによって固定されている。図５と図６は、樹脂ブロック８が長辺部材２ａにリベット若しくはネジによって固定された状態を模式的に示す図である。図５は、長辺部材２ａの長手方向の断面図を示しており、図６は、長辺部材２ａの側面図を示している。樹脂ブロック８は、係止部２３の上面が長辺部材２ａの外側平坦部の下面に突き当てられて、ブロック取付孔１５ａから本体部２０の上部と凸部２１とが突出した状態で固定されている。
【００２６】
外枠２に固定された樹脂ブロック８は、本体部２０の上面が、長辺部材２ａの外側平坦部１１よりも高くなっている。また、本体部２０の下面は、外側平坦部１１に設けられたフランジ１４の下面よりも低くなっている。
【００２７】
また、支持部としての樹脂ブロック８は、その高さ幅が上下のトレイの内側平坦部１２，１２同士の間隙を規定することとなり、ここでは約３０ｍｍの間隙となっている。また外枠は、６０°に傾斜した傾斜部１３が６８ｍｍの高さに設けられている。この様な条件で形成すると、トレイ１を重ねた時には、上下の傾斜部１３同士は１４ｍｍの間隔となるが、この間隔であると、送風口から送られてきたクリーンエアーが十分通ることができる。この様に、支持部としての樹脂ブロック８は、トレイ１の上下間に送風路と成り得る間隙を形成するように支持するのである。
【００２８】
上下のトレイ１，１の接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。
【００２９】
外枠２の構成について更に説明する。長辺部材２ａと短辺部材２ｂとは、図７に示すＬ字型の接合金具１０を用いて接合されている。本実施例における接合金具１０には、Ｌ字型のそれぞれの辺に３個ずつ計６個の接合孔１８が設けられている。接合孔１８同士の相対位置は、長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合孔１６の孔同士の相対位置関係と同一になるように、配置されている。
【００３０】
接合金具１０の一辺は、長辺部材２ａの端部に重ね合わされる。長辺部材２ａの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、長辺部材２ａと接合金具１０がリベット接合される。接合金具１０の他辺は、短辺部材２ｂの端部に重ね合わされる。短辺部材２ｂの接合孔１６と接合金具１０の接合孔１８の両方を貫通するようにブラインドリベットが打たれ、短辺部材２ｂと接合金具１０がブラインドリベット接合される。２本の長辺部材２ａと２本の短辺部材２ｂが４個の接合金具１０を用いてブラインドリベット接合されて、略長方形の外枠２が形成される。
【００３１】
本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の対向する短辺部材２ｂの間に、複数の桟４が掛け渡されて、ガラス基板の載置部が形成されている。桟４には一定の板厚のＳＵＳ３０４が使用されており、板金加工によって所定の断面形状をとるように加工されている。
【００３２】
桟４の一端部の拡大図を図８に示す。桟４は、両側に外枠２への平坦な取付部２５が形成されており、平坦部の間に上方に突出する膨出部２６が形成されている。取付部２５の端部には、外枠２に接合するための外枠取付孔２７が設けられている。膨出部２６には、ガラス基板を支持するための複数の載置ピン２８が固定されている。
【００３３】
載置ピン２８は耐磨耗性の高いＰＥＥＫで形成されており、ガラス基板を繰り返し搭載しても、磨耗によるダストの発生が極めて少なく、ガラス基板を汚染しない。
【００３４】
桟４の外枠取付孔２７と、外枠２の桟取付孔１７を貫通するようにリベットが打たれて、外枠２と桟４がリベット接合されている。桟４が膨出部２６を備えているために、桟４は外枠２に対して両端に開口部を持った状態で接合されている。このため外枠２と桟４の接合部にダストが蓄積されにくく、又枚葉搬送用トレイ１を洗浄する際に桟４の部分の洗浄と乾燥を容易に行うことができる。
【００３５】
又、桟４は、膨出部２６が形成されているために、平板の部材を用いた場合よりも梁強度が向上している。このため、桟４にはより板厚の薄い素材を用いることが可能となっており、桟４の軽量化が図られている。
【００３６】
接合部材６は、枚葉搬送用トレイ１に搭載されるガラス基板の位置決めと、外枠２のコーナー部の補強のために、外枠２のコーナー部近傍の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの間に、斜めに掛け渡されている。接合部材６の斜視図を図９に示す。接合部材６は、桟４と同様に膨出部２６が設けられており、膨出部の上に、ガラス基板を支持するための載置ピン２８と、ガラス基板のコーナー部を突き当てて載置位置の位置決めを行うための２個の位置決めピン２９が固定されている。
【００３７】
接合部材６の位置決めピン２９は、ガラス基板のコーナー位置を定めるために設けられており、実際のガラス基板の寸法に対して片側で２ｍｍから３ｍｍのクリアランスを確保できるように配置されている。位置決めピン２９は、耐磨耗性の高いＰＥＥＫで形成されており、ガラス基板が位置決めのために繰り返し接触しても、磨耗によるダストの発生が極めて少なく、ガラス基板を汚染しない。
【００３８】
図１０に、枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す。枚葉搬送用トレイ１は、外枠２の傾斜部１３を利用することによって、１枚のガラス基板を安全に収容するために必要な収容高さを上下のピッチとして積み重ねられており、小さなスペースで多くのトレイを保管することが可能となっている。
【００３９】
枚葉搬送用トレイ１は、全ての樹脂ブロック８の凸部２１と凹部２２を嵌め合わせて積み重ねられている。凸部２１が円錐台形状であるために、上積みされる枚葉搬送用トレイ１が多少ずれて降下してきた場合でも、凸部２１と凹部２２の正確な嵌め合わせが可能である。
【００４０】
この様に枚葉搬送用トレイ１は、凸部２１と凹部２２を嵌め合わされることで、位置決めされて正確に積み重ねられる。積み重ねられた状態では、多少の衝撃が加わった場合でも、積み重ねた枚葉搬送用トレイ１がずれたり落ちたりする恐れがなく、安定して積み重ねられる。
【００４１】
本実施例の枚葉搬送用トレイ１が上下方向に積み重ねられているとき、上下の枚葉搬送用トレイ１の間では、樹脂ブロック８だけが接触しており、外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と全く接触しない。樹脂ブロック８はＰＥＥＫで形成されているために接触によってもダストの発生が極めて少ない。また外枠２と桟４は他の枚葉搬送用トレイ１と接触しないためにダストを発生させない。このように、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は積み重ねてもダストの発生が極めて少なく、ガラス基板を汚染しない。
【００４２】
次に、本実施例の枚葉搬送用トレイ１にガラス基板を載置し、この様なトレイを積み重ねたトレイの集積体に対し、クリーンな空気が送風された場合について言及する。
【００４３】
通常、トレイが収納されるラックの背面側からスタッカークレーンの通路側に向けてクリーンエアーが送風されるようになっており、トレイにはほぼ水平方向に沿ってクリーンエアーが送風される。
【００４４】
図１１はこの集積体１００の断面であり、外枠２に架け渡された桟が、送風と同方向（図中の左右方向）に架けてある場合を示している。また図は桟と桟の間の断面を示しており、よって桟に載置されたガラス基板３０が、上下に間隔を開けるようにして配置された様子となっている。また積み重ねられたトレイ１の集積体１００の外周は、外枠２の積み重なった部分となる。そして、この外枠２の積み重なった部分は、上下のフランジ１４，１４が約３０ｍｍの間隙を隔て、また傾斜部１３，１３同士が１４ｍｍの間隙Ｗとなっている。その為、送風はこれら間隙を通り、集積体１００の反対側に抜けることができるのである。つまり壁面側の外枠の間隙から入った送風は、トレイ内、すなわちガラス基板上にダストが浸入するのを防止するのである。
【００４５】
この時、ガラス基板３０は、間隙を隔てて上下に重なるので上段のガラス基板が整流板のような役割を果たし、ガラス基板上のクリーンエアーの進入を促進するように作用する。ただし、一番上のトレイは、この様な整流板の効果を得られないので、その上にトレイと同形状の蓋状の部材を置いてもよい。或いは空のトレイを最上位におき、外枠による整流効果を得るようにしてもよい。
【００４６】
なお外枠２の傾斜部１３には、外枠２の強度などが許す範囲であれば、これに通風の為の孔を空けてもよい。この様な孔を空けることにより、外枠２から集積体の内方への送風がより容易となり、クリーンエアーがガラス基板により十分に届くようになるからである。
【００４７】
また傾斜部の角度は６０°に限るものではなく、傾斜部の高さ、支持部によるトレイ同士の上下間隔などによって、５０°〜７０°、その他、クリーンエアーを通すことのできる間隙を形成し得るものであれば、どの様に実現されてもよい。
【００４８】
また樹脂ブロック８はＰＥＥＫで形成されており、つまり外枠の他の部分に比べてダストの発生が少ない別部材で構成されているので、トレイの積み上げ、積み下ろしなどの際に、支持部同士の接触で発生しやすいダストも、発生が抑えられ、この点でもガラス基板を汚染しない。
【００４９】
また、上下の枚葉搬送用トレイ１の接触部となる樹脂ブロック８と外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成をとることによって、本実施例の枚葉搬送用トレイ１は、接触部８を容易に加工し、形成することができる。また、外枠２の素材にクリーン対策材料以外のものを適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。
【００５０】
以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。たとえば、実施例における外枠２の長辺部材２ａと短辺部材２ｂの接合方法や接合箇所、外枠２と桟４の接合方法や接合箇所、各部材の断面形状等は、搭載する薄板状の物品の大きさや重量に合わせて、適宜変更が可能である。また、樹脂ブロック８の形状や配置も、作用効果を損なわない範囲において、変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】実施例の枚葉搬送用トレイ１の概要を説明する斜視図である。
【図２】実施例の外枠２を構成する部材の斜視図である。
【図３】実施例の外枠２を構成する部材端部の斜視図である。
【図４】実施例の樹脂ブロック８の斜視図である。
【図５】実施例の樹脂ブロック８が固定された長辺部材２ａの断面図である。
【図６】実施例の長辺部材２ａに固定された樹脂ブロック８の側面図である。
【図７】実施例の接合金具１０の斜視図である。
【図８】実施例の桟４の一端部の拡大図である。
【図９】実施例の接合部材６の斜視図である。
【図１０】実施例の枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた状態を模式的に示す斜視図である。
【図１１】実施例の枚葉搬送用トレイ１を上下方向に複数枚重ね合わせた集積体の外枠部分を断面図的に示し、外枠の間隙をクリーンエアーが通る様子を説明する図である。
【符号の説明】
【００５２】
１：  枚葉搬送用トレイ
２：  外枠
２ａ：  長辺部材
２ｂ：  短辺部材
４：  桟
６：  接合部材
８：  樹脂ブロック
１０：  接合金具
１１：  外側平坦部
１２：  内側平坦部
１３：  傾斜部
１４：  フランジ
１５ａ，１５ｂ：  ブロック取付孔
１６，１８：  接合孔
１７：  桟取付孔
１９：  空間
２０：  本体部
２０ａ：樹脂ブロックの吸引孔
２１：  凸部
２２：  凹部
２３：  係止部
２４,２７：  外枠取付孔
２５：  取付部
２６：  膨出部
２８：  載置ピン
２９：  位置決めピン
３０：  ガラス基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007201341.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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