(57)【要約】【課題】折れ曲がりが生じても気体流路を塞ぐことがなく、かつシール性能に優れた高い信頼性を有するシート状ヒートパイプを提供する。【解決手段】作動液と、作動液が通過する液体流路６と作動液の蒸気が通過する気体流路５を有するスペーサ４からなるシート状の仕切板３と、作動液とシート状の仕切板３を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルム２をシート状に変形させ、封止フィルム２の両端の開口部を封止した封止部１０Ａ、１０Ｂとを備え、封止フィルム２は、少なくとも金属膜２Ｂと樹脂膜２Ａ、２Ｃの積層構造を有することにより、シール性能の低下が少ないシート状ヒートパイプ１００を実現する。【選択図】図１
2007093032.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動液と、
前記作動液が通過する液体流路と前記作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、
前記作動液とシート状の前記仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、前記封止フィルムの両端の前記開口部を封止した封止部とを備え、
前記封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有することを特徴とするシート状ヒートパイプ。
【請求項２】
作動液と、
前記作動液が通過する液体流路と前記作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなる円筒状の仕切板と、
前記作動液と円筒状の前記仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、前記封止フィルムの両端の前記開口部を封止した封止部とを備え、
前記封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有することを特徴とするシート状ヒートパイプ。
【請求項３】
前記封止フィルムの前記金属膜は、前記仕切板側に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項４】
前記封止フィルムの前記封止部において、前記封止フィルムの前記金属膜は、前記仕切板より大きく、かつ前記封止フィルムの前記樹脂膜より小さいことを特徴とする請求項３に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項５】
前記封止フィルムに、少なくとも前記封止部を被覆する封止層を設けたことを特徴とする請求項１から請求項４までのいずれか１項に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項６】
前記封止層は、金属膜と樹脂膜の少なくとも２層からなることを特徴とする請求項５に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項７】
前記樹脂膜は、熱硬化性樹脂であることを特徴とする請求項１、請求項２および請求項６のいずれか１項に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項８】
円筒状の前記仕切板をシート状に変形させて、円筒状の前記仕切板の内周面で前記気体流路を形成したことを特徴とする請求項２に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項９】
円筒状の前記仕切板の前記内周面を粗面化したことを特徴とする請求項８に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項１０】
シート状の補強部材を設けたことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか１項に記載のシート状ヒートパイプ。
【請求項１１】
少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、
気体流路と液体流路を形成したシート状の仕切板を前記封止フィルム内に内包する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部から作動液を注入する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部を接合して封止部を形成する工程と、
を含むことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。
【請求項１２】
少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、
気体流路と液体流路を形成した円筒状の仕切板を前記封止フィルム内に内包する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部から作動液を注入する工程と、
前記封止フィルムの前記開口部を接合して封止部を形成する工程と、
を含むことを特徴とするシート状ヒートパイプの製造方法。
【請求項１３】
前記封止フィルムに、少なくとも前記封止部を被覆する封止層を形成する工程を含むことを特徴とする請求項１１または請求項１２に記載のシート状ヒートパイプの製造方法。
【請求項１４】
円筒状の前記仕切板の内周面を粗面化する工程を含むことを特徴とする請求項１２に記載のシート状ヒートパイプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ディスク装置やノート型パソコンなどの電子機器に用いて、発熱部を冷却するシート状ヒートパイプおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、情報通信用などの電子機器の発展はめざましく、特にパーソナルコンピュータなどの関連機器は、高性能化が進む一方で小型化も進んでいる。そのため、高性能化による発熱量の増加と小型化による発熱密度の増大により、放熱に対する対策が重要となっている。
【０００３】
そこで、限られた空間内で効率的に放熱する手段として、熱伝導性に優れたヒートパイプを用いて発熱部の熱を電子機器に設けた放熱部に移動させて放熱する構成がとられている。
【０００４】
上記目的に対応するヒートパイプとしては、例えば図１５に示すようなシート状ヒートパイプが開示されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
図１５（ａ）は、従来のシート状ヒートパイプの透視平面図であり、図１５（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。
【０００６】
図１５に示すように、従来のシート状ヒートパイプ３００は、金属箔などの２枚のフィルム３０２の外周端部３０８をシーラント層３０３により貼り合わせて形成した細長いフィルム製のシート状コンテナ３０４の中に作動液（図示せず）が封入されている。さらに、複数のスペーサ３０５によって仕切られた複数の気体流路３０６と、各気体流路３０６の上下面に作動液を毛細管現象を利用して還流させる液体流路３０７とが形成されている。
【０００７】
そして、シート状ヒートパイプ３００は、長手方向の一端部の蒸発部（図示せず）を、例えば電子機器の発熱部に、他端部の凝縮部（図示せず）を電子機器の放熱部に装着して使用されるものである。
【０００８】
また、その動作は、まず電子機器の発熱部に接触しているシート状ヒートパイプ内の作動液が、熱により蒸発して蒸気となる。さらに、この蒸気はシート状ヒートパイプ３００内の気体流路３０６を通って凝縮部側の放熱部に伝わり、熱が奪われることにより凝縮して再び作動液となる。そして、作動液は、シート状ヒートパイプ３００の液体流路３０７を介して毛細管現象により蒸発部に還流する。
【０００９】
すなわち、シート状ヒートパイプ３００は、上記動作を繰り返すことによって、電子機器の熱を放熱部から放熱し冷却するものである。
【００１０】
このように、従来のシート状ヒートパイプは、コンテナをシート状のフィルムで形成するため、薄型・軽量で柔軟性を有しており、例えばノート型パソコンの中央演算処理部からの発熱をヒンジ部を介してディスプレイ側の放熱部から放熱する場合などには好適であった。
【００１１】
一方、近年、情報記録媒体として、例えば光ディスク装置などにおいて、その大容量化や高速記録が要求されている。それを実現するために、光ピックアップ部を構成する半導体レーザや高周波回路モジュール、駆動用コイルなどの部品からの発熱量の増加を招いている。そのため、半導体レーザへの熱の影響を低減するために光ピックアップ部の冷却が必要となっている。
【００１２】
また、光ピックアップ部は、その駆動時において、頻繁に小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する。そのため、光ピックアップ部の発熱を本体部の放熱部に伝達するために、小さな曲げ変形に対応するフレキシブル性とともに、高頻度の曲げ変形に対応する耐久性が求められている。
【特許文献１】特開２００１−１６５５８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかしながら、特許文献１に示すようなシート状ヒートパイプによれば、シート状コンテナが金属箔などの２枚のフィルムをシーラント層により貼り合わせて形成されている。そのため、シート状ヒートパイプが小さな曲げ変形で繰り返し応力を受ける場合、曲げ変形の中心線上の外周端部に位置するシーラント層の接合部に剥離や亀裂を生じ、シール性能が低下するという課題があった。
【００１４】
また、シート状コンテナのフィルムが樹脂材料で形成される場合、作動液やその蒸気の吸収や、さらに透過による外部への散逸により長期の使用に耐えられないという課題もあった。
【００１５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、例えば光ディスク装置の光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲で移動する箇所に使用しても、シート状コンテナのシール性能が低下することのない、信頼性に優れたシート状ヒートパイプおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
上述したような課題を解決するために、本発明のシート状ヒートパイプは、作動液と、作動液が通過する液体流路と作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなるシート状の仕切板と、作動液とシート状の仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、封止フィルムの両端の開口部を封止した封止部とを備え、封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有する。
【００１７】
これにより、シート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、高いシール性能を確保できる。また、シート状ヒートパイプを、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下が小さく、信頼性の高いシート状ヒートパイプが得られる。
【００１８】
また、本発明のシート状ヒートパイプは、作動液と、作動液が通過する液体流路と作動液の蒸気が通過する気体流路を有するスペーサとからなる円筒状の仕切板と、作動液と円筒状の仕切板を内部に含む開口部を有する円筒状の封止フィルムをシート状に変形させ、封止フィルムの両端の開口部を封止した封止部とを備え、封止フィルムは、金属膜と樹脂膜の積層構造を少なくとも有する。
【００１９】
これにより、シート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、高いシール性能を確保できるとともに、円筒状の仕切板により、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプが得られる。
【００２０】
さらに、封止フィルムの金属膜は、仕切板側に設けられていてもよい。
【００２１】
これにより、作動液の吸収などを少なくすることができる。
【００２２】
さらに、封止フィルムの封止部において、封止フィルムの金属膜は、仕切板より大きく、かつ封止フィルムの樹脂膜より小さくてもよい。
【００２３】
これにより、封止フィルムの封止部のシール性能を向上させることができる。
【００２４】
さらに、封止フィルムに、少なくとも封止部を被覆する封止層を設けてもよい。
【００２５】
これにより、封止フィルムの封止部が外部に露出しないため、封止部でのシール性能の低下を防止することができる。
【００２６】
さらに、封止層は、金属膜と樹脂膜の少なくとも２層からなっていてもよい。
【００２７】
これにより、封止フィルムの封止部のシール性能をさらに向上させることができる。
【００２８】
さらに、樹脂膜は、熱硬化性樹脂であってもよい。
【００２９】
これにより、柔軟性および耐熱性に優れ、電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に使用しても、封止フィルムの軟化や変形によりシール性能が低下しないシート状ヒートパイプが得られる。
【００３０】
さらに、円筒状の仕切板をシート状に変形させて、円筒状の仕切板の内周面で気体流路を形成してもよい。
【００３１】
さらに、円筒状の仕切板の内周面を粗面化してもよい。
【００３２】
これらにより、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプが得られる。
【００３３】
さらに、シート状の補強部材を設けてもよい。
【００３４】
これにより、シート状ヒートパイプが、電子機器に使用され封止フィルムが部分的に曲げ変形を受ける場合、補強部材を装着することによって、封止フィルムの破損の防止や耐久性を向上することができる。
【００３５】
また、本発明のシート状ヒートパイプの製造方法は、少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、気体流路と液体流路を形成したシート状の仕切板を封止フィルム内に内包する工程と、封止フィルムの開口部から作動液を注入する工程と、封止フィルムの開口部を接合して封止部を形成する工程とを含む。
【００３６】
この方法により、作動液を封入したシート状ヒートパイプの長手方向が接合部のない封止フィルムで封止されるので、シール性能に優れたシート状ヒートパイプを、効率よく安定して製造することができる。
【００３７】
また、本発明のシート状ヒートパイプの製造方法は、少なくとも金属膜と樹脂膜を積層し、開口部を有する円筒状の封止フィルムを形成する工程と、気体流路と液体流路を形成した円筒状の仕切板を封止フィルム内に内包する工程と、封止フィルムの開口部から作動液を注入する工程と、封止フィルムの開口部を接合して封止部を形成する工程とを含む。
【００３８】
この方法により、シール性能に優れるとともに、熱伝導効率の高いシート状ヒートパイプを、効率よく安定して製造することができる。
【００３９】
さらに、封止フィルムに、少なくとも封止部を被覆する封止層を形成する工程を含む。
【００４０】
この方法により、さらにシール性能が向上したシート状ヒートパイプを製造することができる。
【００４１】
さらに、円筒状の仕切板の内周面を粗面化する工程を含む。
【００４２】
この方法により、さらに熱伝導効率が向上したシート状ヒートパイプを製造することができる。
【発明の効果】
【００４３】
本発明によれば、特に光ディスク装置などの光ピックアップ部のように、かなりの頻度で小さな曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に使用しても、シール性能の低下の小さい、信頼性に優れたシート状ヒートパイプを実現できるという大きな効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００４５】
（第１の実施の形態）
図１（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図であり、同図（ｂ）は図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、同図（ｃ）は図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００４６】
図１において、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１００は、円筒状でその開口部が接合された封止部１０Ａ、１０Ｂを有する封止フィルム２の中に、飽和蒸気圧の低い作動液（図示せず）とともに、シート状の仕切板（以下、「仕切板」と記す）３を内包している。
【００４７】
そして、シート状の仕切板３は、図１（ｂ）に示すように、シート状ヒートパイプの長手方向（図１（ａ）参照）に沿って複数の気体流路５と、各気体流路５の内周表面に液体流路６が設けられたスペーサ４を有している。
【００４８】
ここで、図２に液体流路６の要部拡大斜視図を示すように、液体流路６として、例えばアルミニウムやポリイミドなどからなるスペーサ４の気体流路５の内周表面に、例えば酸素や四弗化炭素などのプラズマを用いたドライエッチングや燐酸などを用いたウェットエッチングなどの表面処理により、例えば１００μｍ以下程度の微細な突起６Ａが形成される。この突起６Ａにより、作動液が毛細管現象によって、蒸発部に還流する。
【００４９】
また、封止フィルム２は、例えばアルミニウムなどの金属膜２Ｂと、例えばポリイミドなどの樹脂膜２Ａ、２Ｃとからなる積層構造を有している。
【００５０】
なお、円筒状の封止フィルム２を、図１（ｂ）に示すように、シート状に変形させることによって、仕切板３の長手方向の外周部の外側で樹脂膜２Ｃの接合部９Ａ、９Ｂを介して接着されるとともに、接合部のない折り畳み部１２Ａ、１２Ｂが形成される。一方、円筒状の封止フィルム２の開口部は、図１（ｃ）に示すように、樹脂膜２Ｃが、例えば熱や超音波などを用いて融着することにより接合され、封止部１０Ａ、１０Ｂが形成される。この場合、封止フィルム２の封止部１０Ａ、１０Ｂの長さは、その長手方向に長めに形成することが好ましい。これにより、作動液の樹脂膜２Ｃを介しての外部への散逸を低減することができる。
【００５１】
そして、図１（ｃ）に示すように、例えばシート状ヒートパイプ１００の一方の端部は作動液の蒸発部７として、他方の端部は凝縮部８として機能するものである。
【００５２】
ここで、封止フィルム２の樹脂膜２Ａ、２Ｃとしては、ポリイミドのほかにポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。封止フィルム２の金属膜２Ｂとしては、アルミニウムのほかに銅などの柔軟性を有する金属材料が用いられる。作動液としては、飽和蒸気圧の低いエタノールや水、フロンなどが使用される。
【００５３】
また、仕切板３のスペーサ４としては、アルミニウムや銅などの柔軟性を有する金属材料またはポリイミドやポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料を用いることができる。
【００５４】
なお、気体流路５の深さは、突起６Ａの高さ以上であれば任意でよく、要望される冷却性能などにより設計される。例えば、突起６Ａの高さが１００μｍの場合、気体流路５の深さは１００μｍ以上であればよい。
【００５５】
本発明の第１の実施の形態によれば、積層構造を有する円筒状の封止フィルム２で、その長手方向は接合部のない状態で封止できるため、シール性能に優れたシート状ヒートパイプが得られる。
【００５６】
すなわち、一般に、シート状ヒートパイプの封止部の幅に対して、長手方向の長さは相対的に長く、シール性能の低下を招く確率が非常に高い。しかし、本発明の第１の実施の形態によれば、長手方向には封止部などの接合部の露出をなくすことができるため、シール性能の低下する確率を大幅に低減することができる。
【００５７】
また、このシート状ヒートパイプ１００を、例えば光ディスク装置の光ピックアップ部のように曲げ変形を受けながら広い範囲を移動する箇所に用いても、曲げ変形を受ける長手方向の箇所には、外部に露出する接合部が存在しないためシール性能や剥離などによる耐久性の低下がなく、高い信頼性を実現できる。
【００５８】
なお、封止フィルム２の樹脂膜２Ａ、２Ｃは、熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプ１００の柔軟性および耐熱性が向上するため、封止フィルム２の軟化や熱変形によるシール性能が低下しないので、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。
【００５９】
以下に、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を、図３から図５を用いて詳細に説明する。
【００６０】
図３は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの中間体の製造方法を説明する工程断面図である。
【００６１】
図４は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの作動液の注入方法を説明する断面図である。
【００６２】
図５は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する透視平面図である。
【００６３】
まず、図３（ａ）に示すように、例えばポリイミドなどの樹脂材料からなる円筒状の樹脂膜２Ｃの外表面全体に、例えばアルミニウムなどの金属材料からなる金属膜２Ｂを、例えば蒸着法や鍍金法を用いて、例えば１μｍ〜１０μｍ程度の厚みに形成する。さらに、金属膜２Ｂの少なくとも外表面全体に、例えばポリイミドなどの樹脂材料を、例えばスプレー法や浸漬法により、例えば数μｍ程度の厚みに形成し、円筒状の封止フィルム２を形成する。
【００６４】
なお、円筒状の金属膜２Ｂを、例えば液状のポリイミド中に浸漬して、その両面に同時に樹脂膜２Ａ、２Ｃを形成してもよく、樹脂膜２Ａの内面全体に金属膜２Ｂ、樹脂膜２Ｃを形成してもよいことはいうまでもない。
【００６５】
つぎに、図３（ｂ）に示すように、封止フィルム２をプレス金型３０に載置し、矢印方向から封止フィルム２を加圧・加熱してシート状の所定の形状に加工する。
【００６６】
つぎに、図３（ｃ）に示すように、以下で述べる仕切板が内包する空間３２と、その長手方向の両側で樹脂膜２Ｃを融着して接合部３４Ａ、３４Ｂを形成する。
【００６７】
つぎに、図３（ｄ）に示すように、上記空間３２に、気体流路５と液体流路６が形成されたスペーサ４からなる仕切板３を挿入することにより、封止フィルムの両端部に開口部（図示せず）を有するシート状ヒートパイプの中間体（以下、「中間体」と記す）３６が形成される。
【００６８】
つぎに、図４に示すように、中間体３６の開口部４０Ａ、４０Ｂの、例えば一方の開口部４０Ａを、容器４２に入れた、例えばエタノールなどの作動液４４中に浸漬させて、仕切板３の液体流路に作動液４４を注入する。この場合、作動液４４は、液体流路に毛細管現象により注入される。なお、この場合、例えば他方の開口部４０Ｂを減圧して作動液４４を注入してもよい。これにより、作動液４４を短時間に液体流路に注入することができる。
【００６９】
つぎに、図５に示すように、中間体３６の開口部を、例えば熱または超音波などを用いて融着して接合し、封止部１０Ａ、１０Ｂを形成する。
【００７０】
そして、上記工程により、封止フィルム内に作動液と仕切板を内包し、封止部で気密封止されたシート状ヒートパイプ１００が作製される。
【００７１】
なお、中間体３６を減圧雰囲気中で、仕切板の液体流路内に作動液を吸引・注入して開口部４０Ａ、４０Ｂを接合し、シート状ヒートパイプ１００を形成してもよい。
【００７２】
本発明の第１の実施の形態の製造方法によれば、円筒状の封止フィルムにより、簡単な構成で気密封止などのシール性能に優れたシート状ヒートパイプを効率よく安定して製造することができる。
【００７３】
以下に、第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例について、図６と図７を用いて説明する。
【００７４】
図６（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例１の透視平面図であり、図６（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、図６（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７５】
また、図７（ａ）は、本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例２の透視平面図であり、図７（ｂ）は、同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、図７（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００７６】
上記各変形例は、金属膜と樹脂膜の積層構成からなる封止フィルムの構造が、第１の実施の形態とは異なるものである。
【００７７】
まず、図６に示すように、変形例１におけるシート状ヒートパイプ１１０は、封止フィルム２を樹脂膜２Ａと金属膜２Ｂの２層の積層構造とし、金属膜２Ｂを仕切板３側に設けたものである。
【００７８】
これにより、樹脂膜２Ａにより作動液の吸収や透過を、仕切板３側に設けた金属膜２Ｂにより完全に防止できるため、作動液の吸収や透過などが少なく冷却特性が低下しにくい信頼性の高いシート状ヒートパイプを実現できる。
【００７９】
また、より薄型となるため、発熱部や放熱部などとの熱伝導効率に優れたシート状ヒートパイプを実現することができる。
【００８０】
なお、この場合には、図６（ｃ）に示すように、金属膜２Ｂの融着により封止フィルム２の開口部を封止し封止部１０Ａ、１０Ｂを形成するため、樹脂膜２Ａの融着に比べて完全なシール性能の確保が困難である。なぜなら、金属膜２Ｂの融着は一般に溶融温度が高いため、金属膜２Ｂの融着時に、樹脂膜２Ａに気泡などを生じやすいためである。そのため、変形例１のシート状ヒートパイプ１１０の場合には、以下の本発明の第２の実施の形態で述べるように、封止部１０Ａ、１０Ｂに封止層を設け、封止フィルム２の封止部の接合部を気密封止することが好ましい。
【００８１】
そこで、図７に示すように、変形例２のシート状ヒートパイプ１２０は、変形例１に対し、封止フィルム２の金属膜２Ｄを樹脂膜２Ａより長手方向において小さく（短く）形成して、仕切板３側に設けたものである。
【００８２】
これにより、封止フィルム２の封止部１０Ａ、１０Ｂの封止を、主に樹脂膜２Ａの融着により行うため、低い温度での融着ができるとともに、樹脂膜２Ａは融着界面が一体化するため、シール性能に優れた接合を実現できる。
【００８３】
そのため、特にこの場合においては、以下の本発明の第２の実施の形態で述べるように封止層を樹脂膜だけで構成してもよいが、封止層を金属膜と樹脂膜の積層構成としてもよいことはいうまでもない。
【００８４】
（第２の実施の形態）
以下に、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプについて、図８を用いて説明する。
【００８５】
図８（ａ）は、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１３０の透視平面図であり、図８（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図で、図８（ｃ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図８において、図１と同じ構成については同じ符号を用いて説明を省略する。
【００８６】
本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１３０は、封止フィルム２の封止部１０Ａ、１０Ｂを被覆する封止層７４を設けた点で第１の実施の形態とは異なるものである。
【００８７】
図８において、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１３０は、円筒状で、その開口部が接合された封止部１０Ａ、１０Ｂを有する封止フィルム２の中に、飽和蒸気圧の低い作動液（図示せず）とともに、シート状の仕切板３を内包している。
【００８８】
そして、シート状の仕切板３は、図８（ｂ）に示すように、シート状ヒートパイプの長手方向（図８（ａ）参照）に沿って複数の気体流路５と、各気体流路５の内周表面に液体流路６が設けられたスペーサ４を有している。
【００８９】
また、封止フィルム２は、例えばアルミニウムなどの金属膜２Ｂと、例えばポリイミドなどの樹脂膜２Ａ、２Ｃとからなる積層構造を有している。
【００９０】
なお、円筒状の封止フィルム２を、図８（ｂ）に示すように、シート状に変形させることによって、仕切板３の長手方向の外周部の外側で樹脂膜２Ｃの接合部９Ａ、９Ｂを介して接着されるとともに、接合部のない折り畳み部１２Ａ、１２Ｂが形成される。
【００９１】
一方、円筒状の封止フィルム２の開口部は、図８（ｃ）に示すように、樹脂膜２Ｃが、例えば熱や超音波を用いて融着することにより接合され、封止部１０Ａ、１０Ｂが形成される。
【００９２】
さらに、図８（ｃ）に示すように、封止フィルム２の封止部１０Ａ、１０Ｂには、少なくとも封止部１０Ａ、１０Ｂで露出した接合部の端面を被覆する封止層７４が形成される。ここで、封止層７４は、例えばアルミニウムなどの金属膜７０と、例えばポリイミドなどの樹脂膜７２との積層構成を有している。
【００９３】
なお、封止層７４の金属膜７０は、例えば蒸着法や鍍金法を用いて形成することができる。また、封止層７４の樹脂膜７２は、例えば液状ポリイミド中への浸漬法などにより形成することができる。
【００９４】
ここで、封止層７４の樹脂膜７２としては、ポリイミドのほかにポリエチレンテレフタレートなどの樹脂材料が用いられる。封止層７４の金属膜７０としては、アルミニウムのほかに銅などの金属材料が用いられる。
【００９５】
本発明の第２の実施の形態によれば、積層構造を有する封止層で、封止部の露出する接合部の端面を完全に封止できるため、フレキシブル性を低下させることなく、さらにシール性能に優れたシート状ヒートパイプが得られる。
【００９６】
また、封止層で封止部の接合部を被覆するため、封止部の長手方向の長さを長くすることにより、作動液の接合部の界面からの透過を防止する必要がなく、封止部の長さの短いシート状ヒートパイプが得られる。
【００９７】
さらに、封止層により、シート状ヒートパイプの長手方向の厚みを略均一にできるため、発熱部や放熱部との均一接触が容易で、熱伝導効率を向上させることができる。
【００９８】
なお、封止フィルムの樹脂膜２Ａ、２Ｃと同様に封止層７４の樹脂膜７２は、熱硬化性樹脂で形成してもよい。これにより、シート状ヒートパイプ１３０の耐熱性が向上するため、封止層７４の軟化や熱変形によりシール性能が低下せず、例えば電子機器の温度変化の大きい部分や高温の部分に用いることができる。
【００９９】
なお、上記第２の実施の形態では、封止フィルム２を、樹脂膜２Ａ、２Ｃと金属膜２Ｂとの３層からなる積層構造で説明したが、これに限らない。例えば、図９に示すように、樹脂膜２Ａと金属膜２Ｂとの２層の積層構造とし、金属膜２Ｂを仕切板３側に設ける構成としてもよい。これにより、より薄型で、熱伝導効率に優れるとともに、作動液の吸収や透過などが少なく冷却特性の低下しにくいシート状ヒートパイプ１４０を作製することができる。
【０１００】
以下に、本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例について、図１０を用いて説明する。
【０１０１】
図１０（ａ）に示すように、第２の実施の形態の変形例１におけるシート状ヒートパイプ１５０は、３層構造を有する封止フィルム２の外表面全体に、例えば金属膜７０と樹脂膜７２とからなる封止層７４を形成したものである。
【０１０２】
また、図１０（ｂ）に示すように、第２の実施の形態の変形例２におけるシート状ヒートパイプ１６０は、２層構造を有する封止フィルム２の外表面全体に、例えば金属膜７０と樹脂膜７２とからなる封止層７４を形成したものである。
【０１０３】
これらにより、シート状ヒートパイプ１５０、１６０のシール性能をさらに向上できるものである。
【０１０４】
また、封止フィルムの外表面全体に封止層を形成するため、部分的に封止層を形成する場合と比べて、封止層の形成が容易であるためシート状ヒートパイプを生産性よく作製することができる。
【０１０５】
（第３の実施の形態）
以下に、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプについて、図１１を用いて説明する。
【０１０６】
図１１（ａ）は、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１７０の透視平面図である。また、図１１（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線断面図であり、図１１（ｃ）は同図（ｂ）の要部拡大断面図で、図１１（ｄ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図１１において、図１と同じ構成要素については同じ符号を用いて説明を省略する。
【０１０７】
本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１７０は、仕切板８０の構成が第１の実施の形態とは異なるものである。
【０１０８】
すなわち、図１１（ｂ）に示すように、仕切板８０は、円筒状のスペーサ８１をシート状に変形させ、スペーサ８１の内周面を接触させた構成を有するものである。
【０１０９】
そして、スペーサ８１の、例えば外周側に気体流路８２が長手方向に設けられ、内周側には、例えば図２に示したような突起８３を有する粗面が形成されている。そして、図１１（ｃ）に示すように、仕切板８０の内周側の粗面の接触する隙間で液体流路８４を形成している。
【０１１０】
これにより、仕切板８０は、広い気体流路８２と液体流路８４を有するので、冷却特性の優れたシート状ヒートパイプ１７０が得られる。
【０１１１】
以下に、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１７０の製造方法を、図１２を用いて詳細に説明する。
【０１１２】
図１２は、本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する工程断面図である。
【０１１３】
まず、図１２（ａ）に示すように、例えば円筒状の封止フィルムに内接する柔軟性を有する樹脂材料からなる円筒状のスペーサ８１の外周面側に、気体流路８２を長手方向に沿って設け、内周面側を粗面化して、例えば突起などを形成し円筒状の仕切板８０を作製する。ここで、スペーサ８１の気体流路８２は、例えば型成型やエッチングなどにより、任意の形状や深さに形成することができる。また、突起などは、第１の実施の形態で述べた方法と同様な方法で形成することができる。
【０１１４】
つぎに、図１２（ｂ）に示すように、本発明の第２の実施の形態において説明したのと同様の方法で形成した封止フィルム２の内側に、円筒状の仕切板８０を嵌め込む。
【０１１５】
ここで、封止フィルム２は、金属膜２Ｂと樹脂膜２Ａ、２Ｃの３層構造を有し、仕切板８０と樹脂膜２Ｃとが当接している。
【０１１６】
つぎに、図１２（ｃ）に示すように、円筒状の仕切板８０を嵌め込まれた封止フィルム２をプレス金型８６に載置し、矢印方向から加圧・加熱してシート状の所定の形状に加工する。
【０１１７】
これにより、図１２（ｄ）に示すような、円筒状の仕切板８０を嵌め込まれた封止フィルム２の両端部に開口部（図示せず）を有するシート状ヒートパイプの中間体８８が形成される。
【０１１８】
つぎに、本発明の第１の実施の形態で図４を用いて説明したように、中間体８８の一方の開口部を、容器に入れた、例えばエタノールなどの作動液中に浸漬させて、円筒状の仕切板８０の液体流路８４に作動液を注入する。この場合、作動液は、液体流路に毛細管現象を利用して注入してもよく、例えば他方の開口部を減圧して注入してもよい。これにより、作動液を短時間に注入することができる。
【０１１９】
つぎに、図１１（ｄ）に示したように、中間体８８の開口部を、例えば熱または超音波などを用いて融着して接合し、封止部１０Ａ、１０Ｂを形成する。
【０１２０】
そして、上記工程により、封止フィルム２内に作動液と仕切板８０を内包し、封止部１０Ａ、１０Ｂで気密封止されたシート状ヒートパイプ１７０が作製される。
【０１２１】
なお、中間体８８を減圧雰囲気中で、仕切板８０の液体流路８４内に作動液を吸引・注入して開口部を接合し、シート状ヒートパイプ１７０を形成してもよい。
【０１２２】
本発明の第３の実施の形態の製造方法によれば、円筒状の封止フィルムにより、簡単な構成で気密封止などのシール性能に優れたシート状ヒートパイプを効率よく安定して製造することができる。
【０１２３】
さらに、円筒状の仕切板により、広い気体流路と液体流路が形成されるため、放熱特性に優れたシート状ヒートパイプとすることができる。
【０１２４】
なお、本発明の第３の実施の形態では、円筒状の仕切板で説明したが、本発明はこれに限らない。図１３に示すように、例えば一方の面に気体流路８２を形成し、他方の面に突起などを形成して粗面化して液体流路を形成した平板状のスペーサ８１からなる仕切板９０を作製してもよい。そして、図１３中の一点鎖線で示すように、仕切板８０を円筒状に巻いて封止フィルムに嵌め込み、シート状ヒートパイプを形成することができる。なお、気体流路や液体流路の形成方法は、上記各実施の形態で説明した方法と同様な方法で形成することができる。
【０１２５】
この製造方法によれば、平板状のスペーサに液体流路や気体流路を形成できるため、形状や位置精度に優れた仕切板を簡単に生産性よく作製することができる。
【０１２６】
（第４の実施の形態）
図１４は、本発明の第４の実施の形態におけるシート状ヒートパイプを電子機器に装着した状態を説明する図である。
【０１２７】
本発明の第４の実施の形態のシート状ヒートパイプ１８０は、その少なくとも一部に補強部材９１を設け、屈曲の度合いが大きい場合に、折れ曲がりや破損を防止する構造を有するものである。
【０１２８】
さらに、シート状ヒートパイプ１８０の両端部の蒸発部９４および凝縮部９５に接触する部分の金属膜９２を樹脂膜９３から露出させ、使用する電子機器の発熱部９６ならびに放熱部９７に接続している点で異なるものである。
【０１２９】
すなわち、図１４に示すように、シート状ヒートパイプ１８０は、例えば矢印９８で示す方向に往復運動する発熱部９６と固定された放熱部９７とに接続された状態を示している。そして、シート状ヒートパイプ１８０の屈曲の度合いの大きい外周囲の少なくとも一部に、例えば薄膜で形成された補強部材９１を有している。
【０１３０】
ここで、補強部材９１は、必要な剛性に応じて、例えばアルミニウム、銅、クロムなどの金属薄膜の蒸着やスパッタリングを用いて形成される。なお、補強部材９１として、上記では金属薄膜を例に説明したが、弾性率の大きなポリイミドを塗布し、その後、金属薄膜を形成した積層膜の構成でもよいし、ポリイミド膜やその他の有機フィルムを接着層を介して固定する構成としてもよい。
【０１３１】
また、シート状ヒートパイプ１８０の金属膜９２を露出させて電子機器の発熱部９６および放熱部９７と接続した例で説明した。
【０１３２】
これによって、電子機器とシート状ヒートパイプ１８０との熱伝導性を高めることができる。しかし、必ずしもシート状ヒートパイプ１８０の蒸発部９４と凝縮部９５の両方の金属膜９２を露出させて接続する必要はなく、どちらか一方のみであってもよく、また、金属膜９２を露出させなくてもよい。
【０１３３】
本発明の第４の実施の形態によれば、補強部材９１を設けることにより、シート状ヒートパイプ１８０に変形などの過剰の撓みが生じても、補強部材９１によって折れ曲がりを防止し、破損しにくい信頼性に優れたシート状ヒートパイプ１８０が得られる。
【０１３４】
また、シート状ヒートパイプ１８０が部分的に小さな曲げ半径で折り曲げられる箇所などに装着されても、内部の仕切板が鋭角的に曲げられることを緩和できる。これにより、仕切板の気体流路や液体流路が、潰れたり塞がれたりすることを防止することができる。
【０１３５】
なお、補強部材９１の大きさ、形状やその装着位置は、使用される電子機器との条件により決められる。
【０１３６】
また、上記第４の実施の形態で説明したシート状ヒートパイプ１８０の表面にシート状の補強部材９１を設けることと、金属膜９２を露出させて接続することは、必ずしも同時に適用する必要はない。
【０１３７】
また、第４の実施の形態におけるシート状ヒートパイプ１８０は、各実施の形態のシート状ヒートパイプに対しても同様に適用でき、同じ効果が得られるものである。
【０１３８】
なお、各実施の形態において、シート状コンテナの外表面全体を覆う封止層として金属層と樹脂層が１層ずつである場合について述べたが、これに限られない。例えば、金属膜と樹脂膜の積層膜を複数層としてもよく、また、樹脂膜が作動液に対して吸収や透過性の低いものであれば、樹脂膜だけでもよい。
【０１３９】
これにより、高い気密性を確保することができ、使用される環境条件の厳しい箇所においても、高い信頼性を有するシート状ヒートパイプを実現することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１４０】
本発明のシート状ヒートパイプは、薄型・軽量で高い柔軟性を有するとともに、シール性能が高いため、ノート型パソコンなどの携帯機器や可動部を有する光ディスク装置の光ピックアップ部などの電子機器において有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】（ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）図１（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの液体流路を説明する要部拡大斜視図
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの中間体の製造方法を説明する工程断面図
【図４】本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの作動液の注入方法を説明する断面図
【図５】本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する透視平面図
【図６】（ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例１の透視平面図（ｂ）図６（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図６（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図７】（ａ）本発明の第１の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例２の透視平面図（ｂ）図７（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図７（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図８】（ａ）本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）図８（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図８（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図９】本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの封止フィルムの別の例を説明する図
【図１０】本発明の第２の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの変形例を説明する断面図
【図１１】（ａ）本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの透視平面図（ｂ）図１１（ａ）のＡ−Ａ線断面図（ｃ）図１１（ｂ）の要部拡大断面図（ｄ）図１１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図
【図１２】本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの製造方法を説明する工程断面図
【図１３】本発明の第３の実施の形態におけるシート状ヒートパイプの仕切板の製造方法の別の例を説明する断面図
【図１４】本発明の第４の実施の形態におけるシート状ヒートパイプを電子機器に装着した状態を説明する図
【図１５】従来のシート状ヒートパイプを説明する図
【符号の説明】
【０１４２】
２    封止フィルム
２Ａ，２Ｃ，７２，９３    樹脂膜
２Ｂ，２Ｄ，７０，９２    金属膜
３，８０，９０    仕切板
４，８１    スペーサ
５，８２    気体流路
６，８４    液体流路
６Ａ，８３    突起
７，９４    蒸発部
８，９５    凝縮部
９Ａ，９Ｂ，３４Ａ，３４Ｂ    接合部
１０Ａ，１０Ｂ    封止部
１２Ａ，１２Ｂ    折り畳み部
３０，８６    プレス金型
３２    空間
３６，８８    （シート状ヒートパイプの）中間体
４０Ａ，４０Ｂ    開口部
４２    容器
４４    作動液
７４    封止層
９１    補強部材
９６    発熱部
９７    放熱部
９８    矢印
１００，１１０，１２０，１３０，１４０，１５０，１６０，１７０，１８０    シート状ヒートパイプ
【図１】
2007093032.tif 000003
【図２】
2007093032.tif 000004
【図３】
2007093032.tif 000005
【図４】
2007093032.tif 000006
【図５】
2007093032.tif 000007
【図６】
2007093032.tif 000008
【図７】
2007093032.tif 000009
【図８】
2007093032.tif 000010
【図９】
2007093032.tif 000011
【図１０】
2007093032.tif 000012
【図１１】
2007093032.tif 000013
【図１２】
2007093032.tif 000014
【図１３】
2007093032.tif 000015
【図１４】
2007093032.tif 000016
【図１５】
2007093032.tif 000017