(57)【要約】【課題】低回転速度時におけるモータ駆動の信頼性を向上させることができるＤＣブラシレスモータの提供。【解決手段】モータステータ６４のＵ相に発生する逆起電圧と中性点電圧との差分を差分演算部７７で算出し、その差分信号に基づいて回転信号ＳＢを算出する。また、モータロータ６２と共に回転するセンサターゲット４６を回転位置センサ４７で検出することにより、回転信号ＳＡを算出する。そして、回転信号ＳＡに基づくロータ回転速度が、回転信号検出部７０Ｂによる回転信号ＳＢの取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、回転信号ＳＡに基づいてモータを駆動制御し、ロータ回転速度が所定回転速度以上の場合には、回転信号ＳＢに基づいてモータを駆動制御する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モータステータの少なくとも一つの相に発生する逆起電圧に基づいて第１の回転位置情報を取得する第１の回転位置検出手段と、
モータロータと共に回転する検出対象を検出して第２の回転位置情報を取得する第２の回転位置検出手段と、
（ａ）前記第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度が、前記第１の回転位置検出手段による前記第１の回転位置情報の取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、前記第２の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御し、（ｂ）前記ロータ回転速度が前記所定回転速度以上の場合には、前記第１の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御する制御手段とを備えたことを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、
前記第１の回転位置情報に基づくロータ回転速度と、前記第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度との差の大きさが所定値以上の場合に、前記第１および第２の回転位置検出手段の少なくとも一方が異常であると判定する判定手段を備えることを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。
【請求項３】
請求項２に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、
前記判定手段による異常判定時に、前記第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度が前記所定回転速度より小さい場合には、前記制御手段はロータ回転を停止することを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。
【請求項４】
請求項１に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、
前記制御手段は、前記第１の回転位置情報に基づく制御時に、前記第１の回転位置検出手段による取得が不能となったならば、前記第２の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御することを特徴とするＤＣブラシレスモータ装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載のＤＣブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転手段として備えることを特徴とする回転式真空ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＤＣブラシレスモータ装置およびそのＤＣブラシレスモータ装置が搭載された回転真空ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、ＤＣブラシレスモータでは、ホール素子等のセンサを用いてロータの磁極を直接検知し、そのセンサ信号から磁極位置や回転速度などを検出する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。また、モータ構造の簡略化やコストダウン等を目的に、磁極位置を直接検出するセンサを省略したセンサレスモータも知られている（例えば、特許文献２参照）。センサレスモータにおけるセンサ信号に相当する信号の生成方法については、種々の方法が提案されている。最も一般的な方法としては、モータステータに発生する逆起電圧に基づいて、モータの磁極位置や回転速度を検出する方法がある。
【０００３】
【特許文献１】特開２００５−１６８１３８号公報
【特許文献２】特開２００５−１４３１８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、逆起電圧を利用するセンサレスモータでは、低回転速度の時に十分な逆起電圧が得られず、逆起電圧に基づくモータロータ磁極位置や回転速度に十分な信頼性が得られないという欠点があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明によるＤＣブラシレスモータ装置は、モータステータの少なくとも一つの相に発生する逆起電圧に基づいて第１の回転位置情報を取得する第１の回転位置検出手段と、モータロータと共に回転する検出対象を検出して第２の回転位置情報を取得する第２の回転位置検出手段と、（ａ）第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度が、第１の回転位置検出手段による第１の回転位置情報の取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、第２の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御し、（ｂ）ロータ回転速度が所定回転速度以上の場合には、第１の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御する制御手段とを備えたことを特徴とする。
請求項２の発明は、請求項１に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、第１の回転位置情報に基づくロータ回転速度と、第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度との差の大きさが所定値以上の場合に、第１および第２の回転位置検出手段の少なくとも一方が異常であると判定する判定手段を備えるようにしたものである。
請求項３の発明は、請求項２に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、判定手段による異常判定時に、第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度が所定回転速度より小さい場合に、ロータ回転を停止するようにしたものである。
請求項４の発明は、請求項１に記載のＤＣブラシレスモータ装置において、第１の回転位置情報に基づく制御時に、第１の回転位置検出手段による取得が不能となったならば、第２の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御するようにした。
請求項５の発明による回転式真空ポンプは、請求項１〜４のいずれか一項に記載のＤＣブラシレスモータ装置を、ポンプロータの回転手段として備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、逆起電圧を利用してロータ回転位置を検出するＤＣブラシレスモータ装置において、第２の回転位置情報に基づくロータ回転速度が、第１の回転位置検出手段による第１の回転位置情報の取得が不能となる所定回転速度より低い場合には、第２の回転位置情報に基づいてモータを駆動制御するようにしたので、低回転速度時におけるモータ駆動の信頼性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図を参照して本発明を実施するための最良の形態について説明する。
−第１の実施の形態−
図１は、本発明による回転真空ポンプの一実施の形態を示す図であり、ＤＣブラシレスモータ装置が組み込まれた磁気軸受式ターボ分子ポンプの概略構成を示すブロック図である。ターボ分子ポンプは、ポンプ本体１と電源装置２とから構成されている。図１に示す例では、ポンプ本体１と電源装置２とをケーブルで接続するような構成としているが、ポンプ本体１と電源装置２とを一体で構成する場合もある。
【０００８】
ポンプ本体１には、回転翼（後述する）が形成されたロータ４が設けられている。ロータ４は磁気軸受５により非接触支持されるとともにモータ６により回転駆動される。モータ６にはＤＣブラシレスモータが用いられる。一方、電源装置２には、モータ６（ＤＣブラシレスモータ）を駆動するモータ制御部７と、磁気軸受５に供給される励磁電流を制御する軸受制御部８とを備えている。
【０００９】
図２はポンプ本体１の詳細を示す断面図である。ポンプ本体１のケーシング１０の内部に配設されたロータ４には、複数段の回転翼４１およびネジロータ部４２が形成されている。上下に並んだ回転翼４１の各段の間には、固定翼４３が交互に配設されている。また、ベース３には、回転するネジロータ部４２と対向するようにネジステータ部４４が配設されている。
【００１０】
ロータ４のシャフト部４５にはＤＣブラシレスモータ６のモータロータ６２が装着されており、モータロータ６２には永久磁石が内蔵されている。一方、ベース３側には、回転磁界を形成するためのＵ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線を有するモータステータ６１が設けられている。シャフト部４５の下端にはセンサターゲット４６が設けられており、センサターゲット４６と対向する位置には回転位置センサ４７が設けられている。
【００１１】
回転位置センサ４７は、センサターゲット４６との距離を検出する距離センサであり、本実施の形態ではインダクタンスセンサが用いられている。回転位置センサ４７としては、ロータ回転と同期した信号を出力するものであれば上述したものに限らず、光エンコーダやホールセンサ等を用いても良い。
【００１２】
図３は、ＤＣブラシレスモータ装置を構成するモータステータ６１，モータロータ６２，センサターゲット４６，回転位置センサ４７およびモータ制御部７の概略構成を示すブロック図である。モータ制御部７は、回転信号検出部７０Ａ，７０Ｂ、電源７１、モータ駆動部７２、駆動信号生成部７３、回転信号切替部７４、回転速度比較部７５、回転信号異常検出部７６および差分演算部７７を備えている。モータステータ６１に設けられたＵ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線には、電源７１に接続されたモータ駆動部７２により駆動電圧が印加される。
【００１３】
なお、図２では回転位置センサ４７をセンサターゲット４６のアキシャル方向（図示下方）に配設したが、図３では回転位置センサ４７をセンサターゲット４６のラジアル方向に配設した場合について示した。
【００１４】
まず、回転信号検出部７０Ａから出力される回転信号ＳＡについて説明する。図４は回転位置センサ４７とセンサターゲット４６との位置関係を示す図であり、（ａ）は回転位置センサ４７をセンサターゲット４６のアキシャル方向に配設した場合を示し、（ｂ）は回転位置センサ４７をセンサターゲット４６のラジアル方向に配設した場合を示す。図４（ａ）の場合、センサターゲット４６の下面は段差ｈを有する凹凸面となっており、凸面４６ａおよび凹面４６ｂはそれぞれ回転角度に関して１８０度ずつに振り分けられている。
【００１５】
一方、図４（ｂ）のようにラジアル方向に回転位置センサ４７を配設する場合には、センサ対向面であるセンサターゲット４６の外周面に、段差ｈの凸面４６ａおよび凹面４６ｂが形成されている。回転位置センサ４７からは、段差ｈによるインダクタンスの変化に応じた信号が出力される。回転信号検出部７０Ａは、このインダクタンス変化の信号に基づいて、図５（ｃ）に示すような回転信号ＳＡを出力する。この回転信号ＳＡは、回転位置センサ４７がセンサターゲット４６の凸面４６ａに対向するとHigh（Ｈ）状態となり、逆に凹面４６ｂに対向するとLow（Ｌ）状態となる。回転信号検出部７０Ａから出力された回転信号ＳＡは、回転信号切替部７４および回転速度比較部７５に入力される。
【００１６】
次に、回転信号検出部７０Ｂから出力される回転信号ＳＢについて説明する。永久磁石が設けられたモータロータ６２が回転すると、モータステータ６１に設けられたＵ相巻線，Ｖ相巻線およびＷ相巻線には逆起電圧が発生するので、この逆起電圧を利用してモータロータ６２の磁極位置を検出することができる。差分演算部７７には、Ｕ相に誘起される逆起電圧と、中性点の電圧とが入力される。差分演算部７７は、入力された逆起電圧と中性点電圧とから、「（差分）＝（逆起電圧）−（中性点電圧）」を算出する。図５（ａ）は駆動電圧がオフの場合（無通電時）の差分電圧信号を示したものであり、通電時には逆起電圧に駆動電圧が重畳される。なお、ここでは２極モータを例に説明しているので、１回転の間に差分信号の正負が１回ずつ現れている。
【００１７】
この差分信号が入力される回転信号検出部７０Ｂでは、差分信号がゼロとなる点（ゼロクロス点）を検出し、図５（ｂ）に示すような回転信号ＳＢを生成する。従来、ホールセンサでロータ磁極を検出して得られる回転信号は、このゼロクロス点Ｐと３０度の位相差があることが知られている。そこで、回転信号ＳＢもゼロクロス点Ｐに対して位相差３０度となるように生成される。回転信号検出部７０Ｂで生成された回転信号ＳＢは、回転信号切替部７４、回転速度比較部７５および回転信号異常検出部７６に入力される。
【００１８】
回転速度比較部７５では、回転信号ＳＡ，ＳＢの各々に基づいて回転周波数ｆａ，ｆｂをそれぞれ算出し、それらの差の大きさ差Δｆ＝｜ｆａ−ｆｂ｜を基準値Δｆ０と比較する。そして、Δｆ≧Δｆ０と判定されたならば、すなわち、回転信号ＳＡによる回転周波数と回転信号ＳＢによる回転周波数との間の乖離が大きくなったならば、回転速度異常信号を駆動信号生成部７３へと出力する。
【００１９】
回転信号異常検出部７６では、回転信号ＳＢに基づいて、逆起電圧に基づく磁極位置や回転周期の検出が不能と判定されると、回転異常異信号を駆動信号生成部７３に出力する。定常回転状態の場合には、図５（ｂ）に示すような回転信号ＳＢが繰り返し出力され、その周期もほぼ一定となっている。ところで、ノイズ等により回転信号ＳＢ中にパルスが発生した場合には、あたかも回転速度が急激に増加したように検出される。そこで、例えば、一つ手前の回転周期と比較して回転速度の変化が異常に大きな場合には、その回転周期はノイズに依存するものと判断して無視するようにする。ただし、そのような現象が継続して検出された場合には、検出系の異常と判断しとして回転異常信号を駆動信号生成部７３に出力する。どの程度継続したら異常と判定するかの基準は、適宜設定される。
【００２０】
回転信号切替部７４には、出力すべき回転信号を指定する切替指令が駆動信号生成部７３から入力される。回転信号切替部７４は、その切替指令に基づいて、入力された２つの回転信号ＳＡ，ＳＢのいずれか一方を駆動信号生成部７３に出力する。具体的には、ロータ回転速度が低速の時には逆起電圧が十分に得られないので、低回転速度時には回転信号ＳＡを用いてモータ制御を行い、回転信号ＳＢを生成するのに十分な逆起電圧が得られる所定回転速度となったならば、回転信号ＳＡから回転信号ＳＢに切り替えてセンサレス制御を行うようにする。駆動信号生成部７３は、回転信号ＳＡに基づいて回転速度を算出し、その回転速度が所定回転速度となったならば、上述した切替指令を回転信号切替部７４に出力する。また、駆動信号生成部７３は、回転信号切替部７４から入力された回転信号ＳＡまたはＳＢに基づいて駆動信号の生成を行う。
【００２１】
［駆動信号生成についての説明］
図６は、駆動信号生成部７３における駆動信号生成を説明する図である。図６において、（ａ）は回転信号切替部７４から駆動信号生成部７３に入力される回転信号Ｓ（回転信号ＳＡまたはＳＢ）を示したものである。駆動信号生成部７３では、この回転信号Ｓからロータ回転周期Ｔ１を算出する。そして、次の周期（以下では２周期目と称する）の回転信号Ｓが回転信号切替部７４から入力されたならば、その信号立ち上がりと同期して図６（ｂ）に示すような駆動信号ＳＵ，ＳＶ，ＳＷを生成する。
【００２２】
モータ駆動部７２は、この駆動信号ＳＵ，ＳＶ，ＳＷに基づいてＵ相、Ｖ相、Ｗ相に電圧を印加する。例えば、Ｕ相の印加電圧は駆動信号ＳＵに基づいて生成され、駆動信号ＳＵがレベルＬｏｗの時には印加電圧は０Ｖとされ、レベルＨｉｇｈの時には印加電圧＝Ｅとされる。駆動信号ＳＶ，ＳＷに基づくＶ相、Ｗ相の印加電圧も同様に制御される。
【００２３】
図６（ｂ）に示すように、駆動信号ＳＵ〜ＳＷの生成パターンは、時間Ｔ１／６が経過する毎に切り換えられる。図６（ａ）に示す２周期目の回転周期Ｔ２は、モータロータ６２の回転速度が厳密に一定であればＴ１＝Ｔ２であるが、定常回転時であっても回転ムラ等があるため、一般的にはＴ２≠Ｔ１である。図６（ｂ）に示す例ではＴ２＜Ｔ１となっているので、Ｔ１／６間隔で形成される駆動信号パターンの内の６番目の駆動信号期間中に３周期目の回転信号Ｓの立ち上がりが発生する。この場合、２周期目の回転信号Ｓの周期Ｔ２に基づいて、２周期目の駆動信号パターンの切替時間をＴ２／６とし、３周期目の回転信号Ｓの立ち上がりに同期して、２周期目の駆動信号ＳＵ〜ＳＷを順に生成する。
【００２４】
［動作説明］
図７は、モータ駆動動作の一例を示すフローチャートである。図１の制御装置１に設けられたポンプスタートボタン（不図示）が操作されると、図７の処理が開始され、ステップＳ１が実行される。ステップＳ１では、非同期でモータロータ６２を回転駆動する。回転始動時のようにモータロータ６２が停止状態にある場合には回転周期が算出できないので、図６（ｂ）に示すような駆動信号ＳＵ，ＳＶ，ＳＷをモータロータ６２の磁極位置と非同期で生成し、モータ回転を開始する。そして、駆動信号ＳＵ，ＳＶ，ＳＷの周期を順次短くすることにより、モータロータ６２の回転速度を上昇させる。
【００２５】
ステップＳ２では、回転信号ＳＡに基づく回転速度が、上述した同期回転に必要な基準回転速度に達したか否かを判定する。ステップＳ２においてＹＥＳと判定されるとステップＳ３に進み、ステップＳ３において回転信号ＳＡを用いた同期駆動を開始する。続くステップＳ６では、回転信号ＳＡに基づくロータ回転速度が前述した所定回転速度ｖ１以上となったか否かを判定する。ステップＳ６で所定回転速度ｖ１以上と判定されるとステップＳ７へ進み、そうでない場合にはステップＳ４へ戻る。
【００２６】
ステップＳ７では、駆動信号生成部７３から回転信号切替部７４へと切替指令を出力し、駆動信号生成部７３に入力される回転信号を回転信号ＳＡから回転信号ＳＢへと切り替える。続くステップＳ８では、回転信号異常検出部７６から回転異常信号が出力されたか否かを判定し、出力されたと判定されるとステップＳ８−１へ進み、出力されていないと判定されるとステップＳ１２へと進む。
【００２７】
ステップＳ８−１では、所定回転速度ｖ２以上か否かを判定し、ＮＯと判定された場合にはステップＳ１４に進んで異常処理を行う。ここで、所定回転速度ｖ２は、回転信号ＳＡを用いた回転駆動が可能な回転速度である。一方、ステップＳ８−１でＹＥＳと判定された場合には、ステップＳ９へと進む。なお、ステップＳ１４における異常処理としては、例えば、回転検出系が異常であることを報知するアラームを発生すると共に、モータ停止処理を実行し、一連の処理を終了する。
【００２８】
ステップＳ９では、駆動信号生成部７３から回転信号切替部７４へと切替指令を出力し、駆動信号生成部７３に入力される回転信号を回転信号ＳＢから回転信号ＳＡへと切り替える。その後、ステップＳ１０へ進んで、回転信号ＳＢを検出する回転検出系が以上であることを示すアラームを発生する。ステップＳ１１では、モータ駆動停止の指示があったか否かを判定し、指示があったと判定したならばステップＳ１５へ進んでモータ停止処理を実行し、指示がないと判定されるとステップＳ９へ戻る。
【００２９】
一方、ステップＳ８からステップＳ１２へ進んだ場合には、ステップＳ１２において、回転速度比較部７５から駆動信号生成部７３に回転速度異常信号が出力されたか否かを判定する。ステップＳ１２において、回転速度異常信号が出力されたと判定されるとステップＳ１４へ進み前述した異常処理を行い、回転速度異常信号が出力されていないと判定されるとステップＳ１３へと進む。ステップＳ１３では、モータ駆動停止の指示があったか否かを判定し、指示があったと判定したならばステップＳ１５へ進んでモータ停止処理を実行し、指示がないと判定されるとステップＳ８へ戻る。
【００３０】
−第２の実施の形態−
上述した第１の実施の形態では、回転位置センサ４７により検出されるセンサターゲット４６は、位相がモータロータ６２に設けられた永久磁石の位相と一致しているとして説明した。しかしながら、組立誤差等によりそれらの位相が一致するとは限らず、ずれが生じることが多い。そこで、第２の実施の形態では、この位相ズレを補正を行う方法について説明する。
【００３１】
図８は第２の実施の形態を説明する図であり、図３と同様にDCブラシレスモータ装置の概略構成を示すブロック図である。回転信号検出部７０Ａには、信号遅延部７００，回転速度算出部７０１および位相差記憶部７０２が設けられている。また、センサターゲット４６は、モータロータ６２の磁極に対して角度θだけ位相ずれが生じている。上述した第１の実施の形態では、θがほぼゼロであるとして説明した。
【００３２】
このような位相ずれθがあった場合には、図９に示すように、インダクタンスに応じて回転位置センサ４７から出力される信号Ｇの立ち上がりタイミングと、回転信号検出部７０Ａから出力すべき回転信号ＳＡの立ち上がりタイミングとの間に、位相ずれθに起因する遅延時間Δｔが生じる。位相ずれθは、モータ組立後の検査工程において測定され、その測定結果θは位相差記憶部７０２に記憶される。
【００３３】
回転速度算出部７０１は、回転位置センサ４７からの信号Ｇに基づいてモータロータ６２の回転周波数ｆを演算し、演算された回転周波数ｆを信号遅延部７００に出力する。信号遅延部７００は、回転速度算出部７０１から入力された回転周波数ｆと位相差記憶部７０２に記憶されている位相ずれθに基づいて、次式（１）により遅延時間Δｔを算出する。そして、信号ＧをΔｔだけ遅延させた信号を、回転信号ＳＡとして出力する。
Δｔ＝（１／ｆ）・（θ／３６０）    …（１）
【００３４】
このように、組立誤差等によりセンサターゲット４６とモータロータ６２の永久磁石との間に位相ずれθがあっても、センサ信号Ｇを位相ずれθに基づいた遅延時間Δｔで補正することにより、回転信号ＳＡを取得するようにしているので、回転信号ＳＡを用いてモータを同期駆動をすることが可能となる。
【００３５】
なお、上述した例では、位相ずれθを予め測定して位相差記憶部７０２に記憶し、その記憶されている位相ずれθを用いて遅延時間Δｔを算出したが、差分演算部７７から出力される差分信号と回転位置センサ４７の出力信号Ｇを用いて、位相ずれθをリアルタイムに計測するようにしても良い。図９に示すように、（ａ）に示す差分信号のゼロクロス点Ｐと算出すべき回転信号ＳＡの立ち上がりタイミングとは位相が３０度ずれている。一方、ゼロクロス点Ｐと信号Ｇの立ち上がりタイミングとの時間差がＴであったとすると、信号Ｇと回転信号ＳＡとの位相ずれ（位相差）θは、次式（２）により算出される。なお、Ｔ１は信号Ｇから算出される回転周期である。
θ＝（Ｔ／Ｔ１）×３６０−３０    …（２）
【００３６】
上述したように、本発明では、ロータ回転位置を検出する回転位置センサ４７を設け、低回転速度においては、回転位置センサ４７の出力信号より得られる回転信号ＳＡに基づいて駆動信号を生成するようにしたので、従来のように逆起電圧による回転信号ＳＢを用いる場合に比べて、モータ駆動の信頼性を向上させることができる。また、高速回転時において、回転信号ＡＳおよびＳＢを常時比較することにより、検出系に異常がないか否かを判定しているので、オーバスピン等の危険な状態を回避することができる。さらに、回転信号ＳＢによる回転位置の検出が不能になった場合には、回転センサ４７の回転信号ＳＢに基づく制御に切り替えるようにしているので、十分な精度が得られないながらも運転を継続することができ、モータが突然停止するのを防止することができる。
【００３７】
なお、上述した実施の形態では、Ｕ相の逆起電圧を利用したが、Ｖ相またはＷ相の逆起電圧を利用しても良い。また、Ｕ，Ｖ，Ｗ相の一つの相の逆起電圧を計測し、その最大値Vmaxと最低値Vmin（＝０V）との中間電圧（Vmax−Vmin）／２を求め、その中間電圧と計測される逆起電圧とが一致するタイミングを上述したゼロクロス点の代わりに利用しても良い。その場合、位相ずれθは上記同様（２）式で算出される。さらにまた、２つの相の逆起電圧の差分、例えばＵ相の逆起電圧とＶ相の逆起電圧との差分を利用しても良い。その場合には、位相ずれθは次式（３）により算出される。
θ＝Ｔ／Ｔ１×３６０    …（３）
【００３８】
上述した実施の形態では、ターボ分子ポンプに用いられるＤＣブラシレスモータ装置を例に説明したが、ターボ分子ポンプに限らずドラッグポンプ等の回転式真空ポンプにも適用することができる。
【００３９】
以上説明した実施の形態と特許請求の範囲の要素との対応において、センサターゲット４６は検出対象を、回転信号ＳＢは第１の回転位置情報を、回転信号検出部７０Ｂは第１の回転位置検出手段を、回転信号ＳＡは第２の回転位置情報を、回転信号検出部７０Ａは第２の回転位置検出手段を、モータ駆動部７２および駆動信号生成部７３は制御手段を、回転速度比較部７５は判定手段をそれぞれ構成する。なお、以上の説明はあくまでも一例であり、発明を解釈する際、上記実施の形態の記載事項と特許請求の範囲の記載事項の対応関係に何ら限定も拘束もされない。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明によるＤＣブラシレスモータ装置が搭載された回転真空ポンプを示す図である。
【図２】ポンプ本体１の詳細を示す断面図である。
【図３】ＤＣブラシレスモータ装置の概略構成を示すブロック図である。
【図４】回転位置センサ４７とセンサターゲット４６との位置関係を示す図であり、（ａ）は回転位置センサ４７をアキシャル方向に配設した場合を示し、（ｂ）は回転位置センサ４７をラジアル方向に配設した場合を示す。
【図５】（ａ）は差分信号を、（ｂ）は回転信号ＳＢを、（ｃ）は回転信号ＳＡを示す図である。
【図６】駆動信号生成を説明する図であり、（ａ）は回転信号Ｓを示し、（ｂ）は駆動信号ＳＵ，ＳＶ，ＳＷを示す。
【図７】モータ駆動動作の一例を示すフローチャートである。
【図８】第２の実施の形態を説明するブロック図である。
【図９】差分信号と信号Ｇとから位相差θを算出する方法を説明する刷る図であり、（ａ）は差分信号、（ｂ）は回転信号ＳＡ、（ｃ）は信号Ｇをそれぞれ示す。
【符号の説明】
【００４１】
１：ポンプ本体、２：電源装置、６：モータ、７：モータ制御部、４６：センサターゲット、４７：回転位置センサ、６１：モータステータ、６２：モータロータ、７０Ａ，７０Ｂ：回転信号検出部、７１：電源、７２モータ駆動部、７３：駆動信号生成部、７４：回転信号切替部、７５：回転速度比較部、７６：回転信号異常検出部、７７：差分演算部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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