(57)【要約】【課題】高磁界強度を保ちつつ、狭トラック化を実現でき、隣接トラックのデータを減衰、消去するこのない垂直記録磁気ヘッドでありながら、磁界強度、分布の製造バラツキによる寸法依存性が小さいヘッドを提供する。【解決手段】主磁極１のポールチップ１Ｂのトレーリング側とトラック幅方向の両側に磁界勾配を急峻にするための磁性体（トレーリング／サイドシールド）３２，３３が設けられる。サイドシールド３３とポールチップ１Ｂのスロートハイト部との間隔（サイドギャップ長gl）が、浮上面から素子高さ方向に向かって小さくなるように構成されている。すなわち、浮上面位置Ｐ１におけるサイドギャップ長gl(1)よりも、素子高さ位置Ｐ２におけるサイドギャップ長gl(2)が小さくなっている（gl(1)＞gl(2)）。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
トラック幅を規定する先端部を有する主磁極と、補助磁極と、前記主磁極と補助磁極で構成される磁気回路と鎖交するコイルと、前記主磁極のトレーリング側及びトラック幅方向の両側に設けられた磁性体とを有し、前記主磁極の先端部の両側面と前記磁性体との間隔が、素子高さ方向に向かって小さくなることを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。
【請求項２】
前記主磁極の先端部は浮上面から素子高さ方向に所定の距離だけトラック幅に相当する幅を有し、該先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、当該先端部の両側面との間隔が素子高さ方向に向かって小さくなるような角度を有することを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項３】
前記磁性体の側面のトラック幅方向に平行な面とのなす角度が１０４度以上１３０度以下であることを特徴とする請求項２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項４】
前記主磁極の先端部は素子高さ方向に向かってトラック幅方向の幅が広がる形状を有し、該先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、トラック幅方向に平行な面に対して直交していることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項５】
前記主磁極の先端部のトラック幅方向への広がり角度が、トラック幅方向に平行な面に対して１０４度以上１３０度以下であることを特徴とする請求項４記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項６】
前記主磁極の先端部と前記磁性体との間には非磁性体が充填されていることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項７】
前記磁性体は一体構造であり、前記主磁極のトレーリング側との間に間隔を有することを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項８】
前記主磁極は、トラック幅方向の幅がリーディング側よりもトレーリング側が広い逆台形形状を有し、該主磁極の両側面に対向する前記磁性体の側面は当該主磁極の両側面に倣って傾斜していることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項９】
前記磁性体は、前記主磁極のトラック幅方向の両側に位置する部分と、トレーリング側に位置する部分に分割されていることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１０】
前記主磁極は前記先端部に磁気的に接続されたヨーク部を有し、該ヨーク部を介して前記補助磁極と磁気的に接続されていることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１１】
さらに、前記主磁極又は前記補助磁極に隣接して設けられた再生ヘッドを有することを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１２】
トラック幅を規定する先端部を有する主磁極と、補助磁極と、前記主磁極と補助磁極で構成される磁気回路と鎖交するコイルと、前記主磁極のトレーリング側及びトラック幅方向の両側に設けられた磁性体とを有し、前記主磁極の先端部の両側面と前記磁性体との間隔が、浮上面から遠ざかるにつれて小さくなることを特徴とする垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１３】
前記主磁極の先端部は浮上面から遠ざかる方向に所定の距離だけトラック幅に相当する幅を有し、該先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、当該先端部の両側面との間隔が浮上面から遠ざかるにつれて小さくなるような角度を有することを特徴とする請求項１２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１４】
前記磁性体の側面のトラック幅方向に平行な面とのなす角度が１０４度以上１３０度以下であることを特徴とする請求項１３記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１５】
前記主磁極の先端部は浮上面から遠ざかる方向に向かってトラック幅方向の幅が広がる形状を有し、該先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、トラック幅方向に平行な面に対して直交していることを特徴とする請求項１２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１６】
前記主磁極の先端部のトラック幅方向への広がり角度が、トラック幅方向に平行な面に対して１０４度以上１３０度以下であることを特徴とする請求項１５記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１７】
前記磁性体は一体構造であり、前記主磁極のトレーリング側との間に間隔を有することを特徴とする請求項１２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１８】
前記主磁極は、トラック幅方向の幅がリーディング側よりもトレーリング側が広い逆台形形状を有し、該主磁極の両側面に対向する前記磁性体の側面は当該主磁極の両側面に倣って傾斜していることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項１９】
前記磁性体は、前記主磁極のトラック幅方向の両側に位置する部分と、トレーリング側に位置する部分に分割されていることを特徴とする請求項１記載の垂直記録磁気ヘッド。
【請求項２０】
さらに、前記主磁極又は前記補助磁極に隣接して設けられた再生ヘッドを有することを特徴とする請求項１２記載の垂直記録磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、垂直記録用磁気ヘッドに係り、特に、主磁極と補助磁極を有する垂直記録磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気記録再生装置は、磁気記録媒体と磁気ヘッドを備え、磁気記録媒体上のデータは磁気ヘッドによって読み書きされる。磁気記録媒体の単位面積当たりの記録容量を大きくするためには、面記録密度を高める必要がある。しかしながら、現状の面内磁気記録方式では、記録されるビット長が小さくなると媒体の磁化の熱揺らぎの問題が生じ、面記録密度を上げられない問題がある。この問題を解決できる記録方式として、媒体に垂直な方向に磁化信号を記録する垂直磁気記録方式がある。垂直磁気記録方式には、記録媒体として軟磁性の裏打層を備えた二層垂直媒体を用いる方式と、軟磁性裏打層を有さない単層垂直媒体を用いる方式の２種類がある。記録媒体として二層垂直媒体を用いる場合には、主磁極と補助磁極とを備えたいわゆる単磁極ヘッドを用いて記録を行うと、より強い記録磁界を媒体に印加することができる。磁界を出すために、主磁極は浮上面に近づくにつれて体積が小さく絞られるように構成され、浮上面近傍の数百ｎｍ以下では幅が一定とされているのが一般的である。主磁極の浮上面形状は、ヘッドにスキュー角がついた場合を考慮して、リーディング側の幅が狭い逆台形形状とするのが一般的である。
【０００３】
記録ヘッド磁界の強度と共に記録ビットセルの境界を記録するヘッド磁界垂直成分プロファイルにおける磁界勾配、すなわち、ヘッド走行方向のヘッド磁界垂直成分プロファイルの磁界勾配も、高い記録密度を実現するための重要な要素である。今後、更に高い記録密度を達成するためには、更に磁界勾配を増大しなければならない。特許文献１には、記録磁界勾配を向上させるために、主磁極のトレーリング側及びトラックサイド側に非磁性層を介してトレーリングサイドシールドを配置する構造が記載されている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００５−１９０５１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
磁気ヘッドの記録磁界、分布は記録媒体に合わせて適正化しなければならない。磁界強度、分布は、スロートハイトに大きく依存する。スロートハイトとは、主磁極のポールチップにおいて、媒体に対向してトラック幅を規定する先端部分に磁束を集中させるために、媒体対向面から素子高さ方向に向かってトラック幅方向の磁極幅の変化の割合が変化する位置（絞り位置）までの媒体対向面からの長さである。スロートハイトが小さい場合、磁界強度が大きくトラック幅方向の分布幅も大きくなる。スロートハイトが大きい場合、磁界強度が小さくなり、トラック幅方向の磁界分布幅も小さくなる。磁界強度が小さい場合、保磁力の大きな媒体に記録できなくなる。トラック幅方向の分布幅が大きい場合、隣接トラックのデータを消去してしまう問題がある。
さらに、高密度化を実現するためには、線記録密度を高めると共に、トラック密度を高めることが不可欠である。そのためには、記録トラック幅を小さくする必要があり、サイドシールド構造ヘッドなどが提案されている。この構造においては、サイドシールドと主磁極の間隔いわゆるサイドギャップ、およびサイドシールドの膜厚が重要となる。
【０００６】
スロートハイト、サイドシールドの寸法公差は非常に重要となり、製造バラツキを抑えることが高密度化への課題である。このバラツキは性能の劣化、歩留まりの低化をもたらす。スロートハイト、サイドシールドの膜厚などはウエハープロセスにおいても、浮上面を研磨する加工工程においてもバラツキが生じる要因が存在する。
以上のことから、磁界強度、分布のバラツキを小さくすることは、磁気ヘッドの性能、製造歩留まりを向上させる上で必須である。この問題は、垂直磁気記録を用いた磁気ディスク装置のさらなる高記録密度化を実現するために解決しなくてはならない課題である。
本発明の目的は、磁界強度、分布の製造バラツキによる寸法依存性が小さい垂直記録磁気ヘッドを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による垂直記録磁気ヘッドは、主磁極と補助磁極とを備え、主磁極は、記録トラック幅を規定するポールチップと、ポールチップより素子高さ方向に後退したヨーク部とを有し、ポールチップのトレーリング側とトラック幅方向側に磁界勾配を急峻にするための磁性体（トレーリング／サイドシールド）を有し、主磁極とサイドシールドの間隔（サイドギャップ長）が浮上面から素子高さ方向に向かって小さくなる構造をとる。
【０００８】
前記主磁極の先端部は浮上面から素子高さ方向に所定の距離だけトラック幅に相当する幅を有し、先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、先端部の両側面との間隔が素子高さ方向に向かって小さくなるような角度を有する。
【０００９】
前記磁性体の側面のトラック幅方向に平行な面とのなす角度が１０４度以上１３０度以下であることが望ましい。
【００１０】
また、前記主磁極の先端部は素子高さ方向に向かってトラック幅方向の幅が広がる形状を有し、先端部の両側面と対向する前記磁性体の側面は、トラック幅方向に平行な面に対して直交している構成であっても良い。
【００１１】
前記主磁極の先端部のトラック幅方向への広がり角度が、トラック幅方向に平行な面に対して１０４度以上１３０度以下であることが望ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によると、磁界強度、分布のスロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を小さくできるため、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。以下の図においては、同じ機能部分には同一の符号を付して説明する。
図１４Ａは本発明の垂直記録磁気ヘッドが搭載される磁気ディスク装置の概略構成を示す上面図である。図１４Ｂは、その断面図である。磁気ディスク装置は、モータ２８によって回転する磁気ディスク（磁気記録媒体）１１上の所定位置に、サスペンション１２の先端に固定された磁気ヘッドスライダ１３に搭載された磁気ヘッドによって磁化信号の記録再生を行う。ロータリアクチュエータ１５を回転駆動することにより、磁気ヘッドの磁気ディスク半径方向の位置（トラック）を選択することができる。磁気ヘッドへの記録信号及び磁気ヘッドからの読み出し信号はヘッドアンプ３５ａ、プリント基板３５ｂに実装されている信号処理回路等にて処理される。
【００１４】
図１は第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドの主磁極先端部をトレーリング方向からみた摸式図である。図２は浮上面からみた主磁極近傍の模式図である。図２のＡ−Ａ線断面図が図１である。図３は第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのトラック中心での断面模式図である。図３には、磁気記録媒体１１も合わせて示してある。
図３に示すように垂直記録磁気ヘッド１０は、主磁極１と補助磁極３とを備えた記録ヘッド（単磁極ヘッド）２５と、再生素子７を備えた再生ヘッド２４を有する記録再生複合ヘッドである。巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ）やトンネル磁気抵抗効果素子（ＴＭＲ）などからなる再生素子７は、リーディング側の下部シールド８とトレーリング側の上部シールド９からなる一対の磁気シールド（再生シールド）間に配置されている。主磁極１と補助磁極３とは浮上面から離れた位置でピラー１７によって磁気的に接続され、主磁極１、補助磁極３、ピラー１７によって構成される磁気回路に薄膜導体コイル２が鎖交している。主磁極１は、補助磁極３のリーディング側に配置されている。主磁極１は、主磁極ヨーク部１Ａと、ヘッド浮上面に露出してトラック幅を規定する主磁極先端部（ポールチップ）１Ｂとから構成されている。
記録ヘッド２５の主磁極１から出た磁束は、磁気記録媒体１１の磁気記録層１９及び軟磁性裏打ち層２０を通り補助磁極３に戻る磁束路を形成し、磁気記録層１９に磁化パターンを記録する。磁気記録層１９と軟磁性裏打ち層２０の間には中間層が形成されていても良い。
【００１５】
図１に示すように、ポールチップ１Ｂは、浮上面に向かってトラック幅方向の幅が絞られている部分と、素子高さ（スロートハイトＴｈ）位置Ｐ２から浮上面位置Ｐ１までトラック幅Ｐｗに相当する一定の幅の部分とを有する。図２に浮上面から見たポールチップ１Ｂの形状を示すが、トラック幅方向の幅がリーディング側よりトレーリング側が広い逆台形形状をしており、トレーリング側の幅でトラック幅Ｐｗが規定される。
図１及び図２に示すように、ポールチップ１Ｂのトレーリング側及びトラック幅方向に配置された磁性体３２，３３は、ヘッド走行方向の磁束を吸収し、ヘッド磁界垂直成分プロファイルの磁界勾配を増大するためのトレーリングシールド３２、狭トラック化を実現するためにトラック幅方向への磁界漏れを小さくするためのサイドシールド３３である。
なお、図３に示したヘッド構造では、補助磁極３を主磁極１のリーディング側に配置したが、図４に示すように補助磁極３は主磁極１のリーディング側に配置しても良い。また、図５に示すように上部シールド９と主磁極１の間にコイルを配置しても良いし、図示はしていないが磁性体を配置しても良い。また、浮上面形状は図６に示すようにサイドシールド３３の側面（ポールチップの側面に対向する面）が、逆台形形状のポールチップ１Ｂの側面に沿って傾斜していても良い。また、図７に示すようにサイドシールド３３とトレーリングシールド３２が分離されていても良い。また、より大きい磁界強度を得るためにサイドシールドのみの構造でも良い。
【００１６】
そして、本実施例の磁気ヘッド１０では、図１に示すように、サイドシールド３３とポールチップ１Ｂのスロートハイト部との間隔（サイドギャップ長gl）が、浮上面から素子高さ方向に向かって（浮上面から遠ざかる方向に向かって）小さくなる構造をとる。すなわち、浮上面位置Ｐ１におけるサイドギャップ長gl(1)よりも、素子高さ位置Ｐ２におけるサイドギャップ長gl(2)が小さくなっている（gl(1)＞gl(2)）。
【００１７】
上記第１の実施例による垂直記録磁気ヘッド１０の記録ヘッド２５と、従来構造の記録ヘッドの主磁極より発生する記録磁界を３次元磁界計算により計算した。計算に用いた従来構造の記録ヘッドは、主磁極先端部とサイドシールドとの間隔（サイドギャップ長gl）が一定のものである。計算の条件は以下の通りである。図１に示す第１の実施例による記録ヘッド２５のサイドギャップ長glは浮上面位置Ｐ１で１００ｎｍ、素子高さ位置Ｐ２で２５ｎｍとした。このときサイドシールド３３の側面の浮上面と平行な面からの開き角度θは１２７度である。ポールチップ１Ｂは、図２に示す形状で、膜厚は２００ｎｍ、トレーリング側の幅は１００ｎｍ、リーディング側の幅は４４ｎｍとした。ポールチップ１Ｂとトレーリングシールド３２の間隔（トレーリングギャップTg）は４０ｎｍとした。
【００１８】
ポールチップ１Ｂの材料にはＣｏＮｉＦｅを用い、飽和磁束密度を２．４Ｔ、比透磁率を５００とした。主磁極１のヨーク部１Ａには、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを用いた。補助磁極３には、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを用い、大きさは、トラック幅方向の幅を３０μｍ、素子高さ方向の長さを１６μｍ、膜厚を２μｍとした。上部シールド９、下部シールド８は、飽和磁束密度が１．０Ｔの８０ａｔ％Ｎｉ−２０ａｔ％Ｆｅを用い、大きさは、トラック幅方向の幅を３２μｍ、素子高さ方向の長さを１６μｍ、膜厚を１．５μｍとした。トレーリング／サイドシールド３２，３３の材料には４５ａｔ％Ｎｉ−５５ａｔ％Ｆｅを用い、飽和磁束密度を１．７Ｔ、比透磁率を１０００とした。
【００１９】
磁気記録媒体１１の軟磁性裏打ち層２０の材料にはＣｏＴａＺｒを用い、ヘッド浮上面から軟磁性裏打ち層２０の表面までの距離は４０ｎｍ、軟磁性裏打ち層２０の膜厚は１５０ｎｍとした。記録磁界は、ヘッド浮上面から２１ｎｍの磁気記録層１９の中心位置で算出した。記録電流値は３５ｍＡで、コイルの巻き数は５ターンとした。
サイドギャップ長の大きさが一定な従来構造の記録ヘッドに対しては、サイドシールドの形状以外は、形状、材料ともに上記実施例の記録ヘッドと同様の条件で計算を行った。
【００２０】
図８に計算結果を示す。図８は第１の実施例による記録ヘッド２５と、従来構造の記録ヘッドの記録磁界強度の最大値を縦軸に、スロートハイトＴｈ、サイドシールド厚さｔを横軸にとった図である。本計算ではスロートハイトＴｈ、サイドシールド厚さｔは同じ寸法で変化するものとした。図８より第１の実施例による構造の方がスロートハイト、サイドシールド厚さ依存性が小さくなっていることがわかる。スロートハイト、サイドシールド厚さが１００ｎｍから５０ｎｍまで変化した場合、従来構造の記録ヘッドでは５０００（×１０００／４π  (A/m)）変化するのに対して、第１の実施例の記録ヘッドでは４０００（×１０００／４π  (A/m)）と小さくなっている。磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが７５ｎｍの場合の最大磁界強度での割合で示すと、従来構造の場合においてはスロートハイトＴｈが７５ｎｍの場合の最大磁界強度の４８%に相当した。一方、第１の実施例の場合は、この値は３６％に減少させることができた。主磁極と補助磁極とを有する垂直記録用磁気ヘッドでは、主磁極のスロートハイトＴｈが小さくなると磁界強度が大きくなる。さらに、サイドシールドが設けられた構造においては、サイドギャップ長が小さいほどサイドシールドの磁束を吸い込む能力が大きくなり、トラック幅方向の磁界分布が狭くなる関係にあるためである。また、磁界強度のバラツキの抑制ができたために、同時に磁界勾配のバラツキも抑制することができる。
【００２１】
図９に、トラック幅方向の磁界分布幅を示す。図９の横軸はスロートハイト、サイドシールド厚さ、縦軸は媒体に信号が記録されることを考慮し、媒体の保磁力が５０００（×１０００／４π  (A/m)）での磁界分布幅である。従来構造の磁界分布幅の差は１９０ｎｍもあるのに対して、本実施例の構造では８０ｎｍと半分以下に抑制することができている。
【００２２】
以上の説明のように第１の実施例による記録ヘッドを用いると、磁界強度のバラツキを抑制できるため、オーバーライト特性などのバラツキを抑制することができる。また、磁界勾配のバラツキを抑制できるため、再生分解能特性などのバラツキを抑制することができる。さらに、トラック幅方向の磁界分布幅のバラツキを抑制できるため、実効トラック幅のバラツキを抑制することができる。これらのことにより、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。
【００２３】
図１０に上記第１の実施例において、サイドシールド３３の角度θを変化させたときの記録磁界強度の最大値の依存性の結果を示す。図１１には磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが７５ｎｍの場合の最大磁界強度での割合で示した結果を示す。図１０に示すように角度θが大きくなるにつれて磁界強度のバラツキが小さくなり、図１１に示すように、スロートハイト、サイドシールド厚さが７５ｎｍの場合の最大磁界強度の変化の割合も小さくなることがわかる。また、図１２にはサイドシールド３３の角度θを変化させた第１の実施例のトラック幅方向の磁界分布幅を示す。角度θが大きくなるにつれて磁界分布幅のバラツキを抑制できていることがわかる。角度θは大きいことが望ましい。ただし、あまり大きいとサイドシールドの効果がなくなるために逆に幅方向の分布を劣化させることになり、好ましくない。また、角度を大きく製造することは困難を伴い、さらに磁性体を鋭角にすることは磁束の集中を引き起こすので望ましくなく、したがって角度θは１０４度〜１２７度にするのが望ましく、特に１３０度程度が望ましい。
【００２４】
上記第１の実施例の計算では、スロートハイト、サイドシールド厚さは同じ値としたが、トレーリングシールド３２とサイドシールド３３の厚さは異なっても良い。サイドシールド３３の厚さｔがスロートハイトＴｈより２０ｎｍ短い場合の検討を行った。磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが７５ｎｍの場合の最大磁界強度での割合で示した値は、従来構造の場合においては４８%に相当したのに対して、この構造の場合、この値は４０％に減少させることができた。
なお、上記第１の実施例は、記録ヘッドと再生ヘッドとを有する複合タイプの垂直記録磁気ヘッドであるが、この構成に限らず、記録ヘッドのみを有する垂直記録磁気ヘッドであっても良い。
【００２５】
本発明の第２の実施例による垂直記録磁気ヘッドの主磁極の構造例をトレーリング側から見た平面模式図を図１３に示す。主磁極以外の構成は、図３〜図５に示した第１の実施例と同じである。したがって、ここでは第１の実施例との相違点について説明する。浮上面に露出する主磁極１のポールチップ１Ｂの幅（幾何トラック幅Ｐｗ）が絞り位置（素子高さ）Ｐ２のトラック幅方向の幅より狭くなっており、かつ、サイドギャップ長glが浮上面位置Ｐ１から素子高さＰ２方向に向かって小さくなっている。すなわち、gl(1)＞gl(2)となる。このような構造においても、スロートハイト、サイドシールド厚さが小さい場合には、サイドギャップ長glが小さくトラック幅方向の磁界の広がりを抑制する。また、スロートハイト、サイドシールド厚さが大きい場合には、サイドギャップ長glが前者より大きくなっているため、トラック幅方向の磁界の広がりを抑制する効果が小さくなる。したがって、スロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を小さくすることができ、磁気ヘッドの性能を維持しつつ、製造歩留まりを向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００２６】
【図１】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのポールチップをトレーリング方向から見た上面模式図である。
【図２】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのポールチップ近傍を浮上面から見た模式図である。
【図３】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのトラック中心での断面模式図である。
【図４】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのトラック中心での断面模式図である。
【図５】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのトラック中心での断面模式図である。
【図６】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのポールチップ近傍を浮上面から見た模式図である。
【図７】第１の実施例による垂直記録磁気ヘッドのポールチップ近傍を浮上面から見た模式図である。
【図８】第１の実施例の記録ヘッドと従来構造の記録ヘッドの記録磁界強度のストロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を比較して示した図である。
【図９】第１の実施例の記録ヘッドと従来構造の記録ヘッドの磁界分布幅のストロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を比較して示した図である。
【図１０】サイドシールドの角度を変化させたときの記録ヘッドの記録磁界強度のストロートハイト、サイドシールド厚さ依存性を示した図である。
【図１１】磁界強度の変化をスロートハイト、サイドシールド厚さが７５ｎｍの場合の最大磁界強度での割合で示した結果を示す図である。
【図１２】サイドシールドの角度を変化させたときのトラック幅方向の磁界分布幅を示す図である。
【図１３】第２の実施例による垂直記録磁気ヘッドのポールチップをトレーリング方向から見た上面模式図である。
【図１４Ａ】本発明の垂直記録磁気ヘッドが搭載される磁気ディスク装置の概略構成を示す上平模式図である。
【図１４Ｂ】図１４Ａに示した磁気ディスク装置の断面模式図である。
【符号の説明】
【００２７】
１…主磁極、１Ａ…主磁極ヨーク部、１Ｂ…ポールチップ、２…薄膜導体コイル、３…補助磁極、７…再生素子、８…下部シールド、９…上部シールド、１０…垂直記録磁気ヘッド、１１…磁気ディスク、１２…サスペンション、１３…磁気ヘッドスライダ、１５…ロータリアクチュエータ、１７…ピラー、１９…磁気記録層、２０…軟磁性裏打ち層、２４…再生ヘッド、２５…記録ヘッド、３２，３３…磁性体（トレーリング／サイドシールド）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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