(57)【要約】【課題】二次元配列データの平滑化処理において、計算負荷を低減させ、また、計算負荷の低減によって、ＴＦＴアレイ基板の検査のスループットを向上させる。【解決手段】ＴＦＴ基板に電子線を照射し、当該電子線照射によりＴＦＴ基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査方法において、処理対象領域の二次元配列データからバックグランドを求めるバックグランド算出工程と、バックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求めるデータ処理工程とを備える。バックグランド算出工程は、処理対象領域を分割するブロックに含まれる二次元配列データからそのブロックの第１のバックグランドを算出する第１算出工程と、算出したブロックのバックグランドから、そのブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出する第２算出工程と、処理対象領域全体のバックグランドを算出する第３算出工程とを備える。【選択図】図２
2007333584.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＦＴ基板に電子線を照射し、当該電子線照射によりＴＦＴ基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、
処理対象領域において前記二次電子の検出で得られる二次元配列データからバックグランドを求め、当該バックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求めるデータ処理手段を備え、
前記データ処理手段は、前記処理対象領域を複数のブロックに分割し、当該各ブロックに含まれる二次元配列データから当該ブロックの第１のバックグランドを算出する第１の算出手段と、
前記ブロックのバックグランドから、ブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出する第２の算出手段とを備え、
前記第１のバックグランドと第２のバックグランドから処理対象領域全体のバックグランドを算出することを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項２】
前記第１の算出手段は、各ブロックにおいて、当該ブロックに含まれる二次元配列データの中間値を算出し、当該中間値を当該ブロック内に定める代表点における第１のバックグランドとし、
前記第２の算出手段は、各ブロックの第１のバックグランドを用いて補間処理を行い、当該ブロック内の前記代表点以外の二次元配列点のバックグランドを算出し、第２のバックグランドとすることを特徴とする、請求項１に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項３】
前記二次元配列データは、処理対象領域を複数回のパスで走査する際の一パスで取得されるデータであることを特徴とする、請求項１又は２に記載のＴＦＴアレイ検査装置。
【請求項４】
ＴＦＴ基板に電子線を照射し、当該電子線照射によりＴＦＴ基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査方法において、
処理対象領域において前記二次電子を検出して得られる二次元配列データからバックグランドを求めるバックグランド算出工程と、
前記バックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求めるデータ処理工程とを備え、
前記バックグランド算出工程は、
前記処理対象領域を複数のブロックに分割し、この各ブロックに含まれる二次元配列データからそのブロックの第１のバックグランドを算出する第１の算出工程と、
前記ブロックのバックグランドから、そのブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出する第２の算出工程と、
前記第１のバックグランドと第２のバックグランドから処理対象領域全体のバックグランドを算出する第３の算出工程とを備えることを特徴とする、ＴＦＴアレイ検査方法。
【請求項５】
前記第１の算出工程は、各ブロックにおいて、そのブロックに含まれる二次元配列データの中間値を算出する工程と、
この中間値をそのブロック内に定める代表点における第１のバックグランドとする工程とを有し、
前記第２の算出工程は、前記第１の算出工程で求めた各ブロックの第１のバックグランドを用いて補間処理を行って、このブロック内の代表点以外の二次元配列点のバックグランドを算出する工程を有することを特徴とする、請求項４に記載のＴＦＴアレイ検査方法。
【請求項６】
前記二次元配列データは、処理対象領域を複数回のパスで走査する際の一パスで取得することを特徴とする、請求項４又は５に記載のＴＦＴアレイ検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴアレイ検査装置およびＴＦＴアレイ検査方法に関し、特に、測定データを用いて欠陥画素を検査するためのデータ処理に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）をアレイ状に配列した構成として例えば液晶基板があり、液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）等に用いられている。
【０００３】
従来、ＴＦＴアレイ基板検査装置では、電子線や光をＴＦＴ基板に照射してＴＦＴ基板の電位状態を測定し、ＴＦＴ基板の異常電位のピクセルを検出することによってＴＦＴアレイの欠陥を検出している。
【０００４】
ＴＦＴアレイ基板装置では、検査対象であるＴＦＴ基板の基板画素配列に対応した二次元の測定データ（二次元配列データ）を取得し、この二次元配列データをデータ処理することによって欠陥画素を抽出し、欠陥画素の座標や欠陥種の分類などについて欠陥検査を行う（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
このデータ処理には、ローパスフィルタ（Low Pass Filter）処理のアルゴリズムが用いられている。図６はローパスフィルタ処理のアルゴリズムを説明するための概略図である。
【０００６】
図６において、ローパスフィルタ処理は、例えば、バックグランド算出手段２０２によって、二次元配列データ２０１から欠陥やノイズによる高周波成分を取り除いてバックグランド２０３を求め、元の二次元配列データ２０１からこのバックグランド２０３を減算して欠陥やノイズを抽出し、この出力を欠陥画素検査２０４においてしきい値によって１００を基準として規格化することにより欠陥検出を行って検査出力情報２０５を得る。
【０００７】
このローパスフィルタ処理の機能的役割は、二次元配列データの平滑化してバックグランドを算出するものである。この平滑化処理において十分な平滑化精度を得るには、十分に広い領域を着目領域（ＲＯＩ：Region of Intention）を用いる必要がある。広い領域の着目領域について平滑化の処理を行うということは、多数のデータ数について処理を行うことを意味し、計算の負担が大きいことを意味している。つまり、処理対象領域の全域を着目領域とし、この処理対象領域の二次元配列データ２０１を通常の二次元イメージ画像データ処理によって平滑化処理する場合、一度に全領域を処理すると計算量が膨大となり計算機にとって大きな負荷となる。
【０００８】
バックグランドを算出するに要する計算量を低減させる方法として、処理対象領域内に小規模な二次元配列の演算領域を設定して着目領域としてバックグランドを算出し、この着目領域を順に移動させることによって処理対象領域内のバックグランドを平滑化するものがある。
【０００９】
図７は、このバックグランドの算出を説明するための説明図である。処理対象領域１は、二次元配列された複数のデータ点２を有する（図７（ａ））。このデータ点２の各々に対して、データ点２を含む複数のデータ点からなる演算領域３０ａを設定し（図７（ｂ））、この演算領域３０中の複数個のデータについて、例えば、メディアン処理によって中心値のデータ値を求め、求めたデータ値を演算領域３０ａ内のデータ点３１ａの元のデータ値と入れ替えて設定する（図７（ｃ））。演算領域の設定と、メディアン処理で算出したデータ値との入れ替えを、データ点２の各々について順に繰り返す処理を行う（図７（ｄ）〜（ｇ））。これによって、処理対象領域１のバックグランドを算出する（図７（ｈ））。
【００１０】
この場合には、全領域を一度に処理する場合よりは計算量は少ないものの、処理対象領域１の全データ点２についてメディアン処理を行う必要があるため、依然としてかなりの計算量を要することになる。例えば、処理対象領域１の全データ点数がｎ個であれば、ｎ回のメディアン処理を行う必要がある。なお、二次元配列データに含まれるノイズ成分を除去する方法としてメディアンフィルタ処理を用いるものとしては、例えば特許文献２がある。
【００１１】
本発明の出願人は、演算処理量を減少させるために、処理対象領域に含まれる配列データの内から特定の配列位置にある配列データを選択し、この選択した配列データを用いるバックグランドの算出方法を提案している（特許文献３）。
【００１２】
図８は、特定の配列位置にある配列データを用いたバックグランド算出を説明するための説明図である。図８において、演算領域４０として例えば十字形状の配列位置の配列データを用いてバックグランドを算出する例を示している。例えば、この演算領域４０ａ中の複数個のデータについて（図８（ｂ））、メディアン処理によって中心値のデータ値を求め、求めたデータ値を演算領域４０ａ内のデータ点４１ａの元のデータ値と入れ替えて設定し（図８（ｃ））、演算領域の設定と、メディアン処理で算出したデータ値との入れ替えを、データ点２の各々について順に繰り返す処理を行い（図８（ｄ）〜（ｇ））、これによって、処理対象領域１のバックグランドを算出する（図８（ｈ））。
【００１３】
【特許文献１】特開平８−８６６３３号公報（段落番号００３３〜００３６）
【特許文献２】特開平１０−１６０６３２号公報（段落番号０００９）
【特許文献３】特開２００５−２２１３３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
上記したように、バックグランドの算出に要する演算処理量の減少が図られているが、検査対象となるＴＦＴアレイ基板の大型化、高解像度化が進み、スループットの増大が求められているため、さらに、バックグランドに要する時間を短縮することが求められている。
【００１５】
そこで、ＴＦＴアレイ検査において、バックグランドの算出時間をより短縮することが求められている。
【００１６】
そこで、本発明は上記課題を解決し、二次元配列データからバックグランドを算出する処理において、計算負荷を低減することを目的とする。また、計算負荷の低減によって、ＴＦＴアレイ基板の検査のスループットを向上させることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
従来のメディアン処理を用いたバックグランドの算出演算では、いずれも処理対象領域内に含まれる全データ点についてメディアン処理の演算を行っているため、ＴＦＴアレイ基板の大型化の要因が大きく影響する。
【００１８】
そこで、本発明では、メディアン処理を用いたバックグランドの算出演算において、処理対象領域内に含まれる全データ点の中から選択されたデータ点に対してメディアン処理を施して一部の配列位置のバックグランドを求め、残り配列位置のバックグランドについては、先に求めたバックグランドを用いて補間処理を行うことで求める。
【００１９】
これによってメディアン処理の演算回数を低減することができるため、処理対象領域内のバックグランドを求めるトータルの演算時間を短縮することができる。
【００２０】
上記目的を解決するために、本願発明のＴＦＴアレイ検査装置は、ＴＦＴ基板に電子線を照射し、この電子線照射によりＴＦＴ基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査装置において、処理対象領域において二次電子を検出して得られる二次元配列データからバックグランドを求め、求めたバックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求めるデータ処理手段を備える。
【００２１】
このデータ処理手段は、処理対象領域を複数のブロックに分割し、この分割した各ブロックに含まれる二次元配列データからそのブロックの第１のバックグランドを算出する第１の算出手段と、第１の算出手段で算出したブロックのバックグランドから、ブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出する第２の算出手段とを備える。
【００２２】
第１の算出手段で算出したバックグランドと、第２の算出手段で算出したバックグランドとを合わせることで、処理対象領域全体のバックグランドを算出することができる。
【００２３】
本願発明が有する第１の算出手段は、各ブロックにおいて、そのブロックに含まれる二次元配列データの中間値を算出し、算出した中間値をそのブロック内に定める代表点における第１のバックグランドとする。
【００２４】
また、本願発明が有する第２の算出手段は、各ブロックの第１のバックグランドを用いて補間処理を行い、そのブロック内の代表点以外の二次元配列点のバックグランドを算出し、第２のバックグランドとする。
【００２５】
また、本願発明のＴＦＴアレイ検査方法は、ＴＦＴ基板に電子線を照射し、当該電子線照射によりＴＦＴ基板のピクセルから発生する二次電子を検出することによってＴＦＴアレイを検査するＴＦＴアレイ検査方法において、処理対象領域において二次電子を検出して得られる二次元配列データからバックグランドを求めるバックグランド算出工程と、バックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求めるデータ処理工程とを備える。
【００２６】
バックグランド算出工程は、処理対象領域を複数のブロックに分割し、この各ブロックに含まれる二次元配列データからそのブロックの第１のバックグランドを算出する第１の算出工程と、算出したブロックのバックグランドから、そのブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出する第２の算出工程と、第１のバックグランドと第２のバックグランドから処理対象領域全体のバックグランドを算出する第３の算出工程とを備える。
【００２７】
ここで、第１の算出工程は、各ブロックにおいて、そのブロックに含まれる二次元配列データの中間値を算出する工程と、この中間値をそのブロック内に定める代表点における第１のバックグランドとする工程とを有する。また、第２の算出工程は、第１の算出工程で求めた各ブロックの第１のバックグランドを用いて補間処理を行って、このブロック内の代表点以外の二次元配列点のバックグランドを算出する工程を有する。
【００２８】
本願発明が処理する二次元配列データは、処理対象領域を複数回のパスで走査する際の一パスで取得することができる。
【発明の効果】
【００２９】
本発明によれば、二次元配列データの平滑化処理において、計算負荷を低減することができる。また、計算負荷の低減によって、ＴＦＴアレイ基板の検査のスループットを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、本発明の実施の形態について図を参照しながら詳細に説明する。
【００３１】
図１は、本願発明のＴＦＴアレイ検査装置の一構成例を説明するための説明図であり、電圧コントラスト技術を用いたＴＦＴアレイ検査装置を例としている。
【００３２】
この検査装置において、検査されるＴＦＴ基板は高真空室内に搬送され、ステージ上に配置された状態で検査される。
【００３３】
図１において、ＴＦＴ基板検査装置２０は、電子線発生源２１、二次電子検出器２２およびデータ処理手段２３を備える。電子線発生源２１は、ＴＦＴ基板５０の各ピクセル５１に電子線２４を照射する。二次電子検出器２２は、電子線２４をＴＦＴ基板５０の各ピクセル５１に照射して発生した二次電子２５を検出する。また、二次電子検出器２２は、二次電子２５の検出量に基づいてピクセル５１の電圧波形に対応した波形を表わす信号をデータ処理手段（コンピュータシステム等）２３に出力する。データ処理手段２３は、二次電子検出器２２の出力信号を解析して、ピクセルの状態、特に、ピクセルの欠陥の有無や欠陥の内容を検査する。
【００３４】
また、データ処理手段２３は駆動信号供給手段を含むこともでき、ＴＦＴ基板５０の各ピクセル５１を駆動するための駆動信号をライン２６を介して出力する。この駆動信号の供給は、ＴＦＴ基板５０上を走査する電子線２４の走査制御と同期して行うことで、検出位置を特定することができる。
【００３５】
ここで、データ処理手段２３は、ＴＦＴ基板５０上の処理対象領域上を電子線２４を走査して得られる二次電子２５を、二次電子検出器２２で検出して得られる二次元配列データからバックグランドを求め、求めたバックグランドを用いてＴＦＴ基板の欠陥情報を求める機能を有する。
【００３６】
図２は、本発明のデータ処理手段が行う、欠陥検出のアルゴリズムを説明するための説明図である。
【００３７】
図２において、処理対象データ１０１について、バックグランド算出処理１０２によって、処理対象データ１０１からバックグランド１０３を求め、元の処理対象データ１０１からこのバックグランド１０３を減算して欠陥やノイズを抽出し、この出力を欠陥抽出処理１０４により欠陥検出を行って検査出力１０５を得る。
【００３８】
ここで、バックグランド算出処理１０２は、処理対象領域を複数のブロックに分割し、各ブロックに含まれる二次元配列データからブロックの第１のバックグランドを算出する第１の算出処理１０２ａと、この第１の算出処理１０２ａで算出した各ブロックのバックグランドを用いて、ブロック内の他の点の第２のバックグランドを算出し、処理対象領域の全データについてのバックグランド１０３を算出する第２の算出処理１０２ｂを有する。
【００３９】
図３は、前記した第１の算出処理１０２ａにおいて、第１のバックグランドの算出に用いるブロックを説明するための図である。
【００４０】
図３は、処理対象領域を分割する複数のブロックの一構成例である。図３において、処理対象領域１は、ＴＦＴ基板５０上における電子線２４の走査領域に対応しており、例えば、電子線発生源２１の電子線２４が基板５０上を複数のパスによって走査する場合には、一つのパスが走査する領域に対応させることができる。
【００４１】
この処理対象領域１を一つのパスの走査領域に対応させる場合には、パスの走査に伴ってデータを取得しながら、順にデータ処理を行うことができる。
【００４２】
処理対象領域１上に示す各点２は、電子線２４の走査によって検出する検出点に対応し、各点に検出して得られたデータを対応させることで二次元配列データを表すことができる。以下では、点２をデータ点２として表す。
【００４３】
ここで、本発明のバックグランドの第１の算出処理では、処理対象領域１上の全データ点２に対してバックグランドを求める演算処理を行うのではなく、処理対象領域１上において選択した一部のデータ点２に対してバックグランドを求める演算処理を行うことで、演算処理時間を短縮すると共に、演算処理に負担を低下させる。
【００４４】
処理対象領域１上において、バックグランドの算出を行うデータ点の選択は、処理対象領域１を複数のブロック３，４に分割し、この分割したブロック３，４内に含まれるデータ点をバックグランドを算出するための対象データとすることで行う。
【００４５】
ここで、バックグランドを算出する演算としてメディアン処理を適用する。メディアン処理は、対象とする複数のデータを大きさに順に並べ、中央の順番にあるデータを代表データとする処理である。ここでは、各ブロックを単位として、メディアン処理を適用する。つまり、処理対象領域１において分割した各ブロック内に含まれるデータ点が有するデータ値を大きさの順序に配列し、中央の順番にあたるデータのデータ値をそのブロックを代表するデータ値として選ぶ。なお、選択したデータ値を、そのブロック内のどのデータ点に対応させるかは、各ブロックについて予め設定しておく。
【００４６】
図３（ａ）に示すブロック例は、処理対象領域１上に設定する全ブロックを同形状とし、ブロックが含むデータ点数を同数とする例であり、図３（ｂ）に示すブロック例は、処理対象領域１上に設定するブロックは異なる形状を有し、また、ブロックが含むデータ点数についても異なる個数とすることを許容する例である。
【００４７】
図３（ａ）は、一ブロックとして９個のデータ点を正方形状に配置したものを設定し、処理対象領域１を複数のブロック３ａ、３ｂ、〜３ｎに分割する例を示している。なお、一ブロックが備えるデータ点数、および形状は任意に設定することができる。
【００４８】
また、図３（ｂ）に示すブロック例は、処理対象領域１上に設定するブロックとして、異なる形状や、ブロックが含むデータ点数が異なる複数種のブロック４ａ，４ｂ，〜，４ｎを含む例である。なお、このブロックは同形状のブロックや同数のデータ点数を含むものであってもよい。なお、処理対象領域１上において、如何なる部分に如何なる形状のブロックを設定するか、あるいは、如何なる部分に何個のデータ点を含むブロックを設定するかは、任意に設定することができる。
【００４９】
図４は、図３（ａ）に示すブロック３を用いたバックグランドの算出を説明するための説明図である。
【００５０】
処理対象領域１は、二次元配列された複数のデータ点２を有する（図４（ａ））。この処理対象領域１は、同形状で同数のデータ点を含む複数のブロック３ａ，３ｂ，〜３ｍに分割され、各ブロック内には複数のデータ点２が含まれる。本発明によるバックグランドの算出は、はじめにこの各ブロック内を代表する１つのバックグランドを算出して、ブロック内の一データ点に割り当て（第１のバックグランドの算出）、次に、このブロック毎の一データ点に割り当てたバックグランドを用いて、処理対象領域１内の残りのデータ点のバックグランドを補間によって算出し（第２のバックグランドの算出）、これらのバックグランドを合わせることで、処理対象領域１内の全データ点のバックグランドの値を算出する。
【００５１】
図４（ｂ）は処理対象領域１内の１つのブロック３ａを示している。このブロック３ａ内に含まれるデータ点に値についてメディアン処理を施して１つのバックグランド値を算出する。メディアン処理は、複数のデータ点に値を大きさ順に並べ、中間の値を抽出することによって、このブロックを代表する値を選択する処理である。
【００５２】
このメディアン処理で算出したバックグランドの値を、そのブロック３ａに含まれる何れかのデータ点に割り当てる。図４（ｃ）は、このブロック３ａ内に定めたデータ点１０ａに、メディアン処理で算出したバックグランドを割り当てた状態を示している。
【００５３】
また、図４（ｄ）は処理対象領域１内において、前記したブロック３ａと隣接する別のブロック３ｂを示している。このブロック３ｂ内に含まれるデータ点に値についてメディアン処理を施して１つのバックグランド値を算出する。このメディアン処理で算出したバックグランドの値を、そのブロック３ｂに含まれる何れかのデータ点に割り当てる。図４（ｅ）は、このブロック３ｂ内に定めたデータ点１０ｂに、メディアン処理で算出したバックグランドを割り当てた状態を示している。
【００５４】
処理対象領域１内に定めた、残りのブロックについても同様にしてメディアン処理によってバックグランドを算出して、そのブロック内に含まれる何れかのデータ点に割り当てる。
【００５５】
図４（ｆ）、（ｇ）は、処理対象領域１内に定めた、最後のブロック３ｍについて同様にしてメディアン処理によってバックグランドを算出して、そのブロック内に含まれる何れかのデータ点に割り当てる。なお、図４の処理対象領域１は、ｍ個のブロックに分割されているものとする。したがって、処理対象領域１がｍ個のブロックを含む場合には、ｍ回のメディアン処理によってｍ個のバックグランドが算出され、処理対象領域１の各ブロック内のデータ点に割り当てられる。
【００５６】
図４（ｈ）は、メディアン処理によって算出したｍ個のバックグランドの処理対象領域１内での分布を示している。
【００５７】
このメディアン処理の後には、処理対象領域１内に含まれるｎ個のデータ点において、ｍ個のバックグランドが算出され、残りの（ｎ−ｍ）個のデータ点についてバックグランドは、取得してデータ値のままでバックグランドの値は未算出である。
【００５８】
そこで、本発明は、第２のバックグランドの算出によって、処理対象領域１内において未算出のままで残っているデータ点において、そのデータ点でのバックグランドの値を求める。ここでは、残りのデータ点でのバックグランドを、前記した第１のバックグランドの算出で求めたバックグランドの値を用いて補間処理を行うことによって算出する。
【００５９】
第２のバックグランドを算出する補間処理において、算出を行うデータ点に対して、どの位置関係にあるバックグランド値を用いるかを任意に定めることができる。例えば、算出を行うデータ点のｘ方向およびｙ方向のバックグランドの値を用いて補間を行う他、ｘ方向のバックグランドの値を用いた補間、あるいは、ｙ方向のバックグランドの値を用いた補間を行っても良い。また、斜め方向にあるバックグランドを用いて補間を行っても良い。
【００６０】
このとき、ｘ方向のバックグランドあるいは、ｙ方向のバックグランドのように、特定方向のバックグランドを用いて補間することによって、欠陥の特性をより表すバックグランドを求めることができる。
【００６１】
図４（ｉ）は、メディアン処理による第１のバックグランド算出と、補間処理による第２のバックグランド算出とで求めたバックグランドを合わせることによって、処理対象領域１内の全データ点についてバックグランドを求めた状態を示している。
【００６２】
図５は、図３（ｂ）に示すブロック３を用いたバックグランドの算出を説明するための説明図である。
【００６３】
処理対象領域１は、二次元配列された複数のデータ点２を有する（図５（ａ））。この処理対象領域１は、形状およびデータ点が異なる複数のブロック４ａ，４ｂ，〜４ｍに分割され、各ブロック内には複数のデータ点２が含まれる。本発明によるバックグランドの算出は、前記図４で示した場合と同様に、はじめにこの各ブロック内を代表する１つのバックグランドを算出して、ブロック内の一データ点に割り当て（第１のバックグランドの算出）、次に、このブロック毎の一データ点に割り当てたバックグランドを用いて、処理対象領域１内の残りのデータ点のバックグランドを補間によって算出し（第２のバックグランドの算出）、これらのバックグランドを合わせることで、処理対象領域１内の全データ点のバックグランドの値を算出する。
【００６４】
図５（ｂ）は処理対象領域１内の１つのブロック４ａを示している。このブロック４ａ内に含まれるデータ点に値についてメディアン処理を施して１つのバックグランド値を算出する。
【００６５】
このメディアン処理で算出したバックグランドの値を、そのブロック４ａに含まれる何れかのデータ点に割り当てる。図５（ｃ）は、このブロック４ａ内に定めたデータ点１１ａに、メディアン処理で算出したバックグランドを割り当てた状態を示している。
【００６６】
また、図５（ｄ）は処理対象領域１内において、前記したブロック４ａと隣接する別のブロック４ｂを示している。このブロック４ｂ内に含まれるデータ点の値についてメディアン処理を施して１つのバックグランド値を算出する。このメディアン処理で算出したバックグランドの値を、そのブロック４ｂに含まれる何れかのデータ点に割り当てる。図５（ｅ）は、このブロック４ｂ内に定めたデータ点１１ｂに、メディアン処理で算出したバックグランドを割り当てた状態を示している。
【００６７】
処理対象領域１内に定めた、残りのブロックについても同様にしてメディアン処理によってバックグランドを算出して、そのブロック内に含まれる何れかのデータ点に割り当てる。
【００６８】
図５（ｆ）、（ｇ）は、処理対象領域１内に定めた、最後のブロック４ｍについて同様にしてメディアン処理によってバックグランドを算出して、そのブロック内に含まれる何れかのデータ点に割り当てる。なお、図５の処理対象領域１は、ｍ個のブロックに分割されているものとしているが、ブロックの個数、各ブロック内に含まれるデータ点の点数、およびブロックの形状は任意に定めることができる。処理対象領域１がｍ個のブロックを含む場合には、ｍ回のメディアン処理によってｍ個のバックグランドが算出され、処理対象領域１の各ブロック内のデータ点に割り当てられる。
【００６９】
図５（ｈ）は、メディアン処理によって算出したｍ個のバックグランドの処理対象領域１内での分布を示している。
【００７０】
このメディアン処理の後には、処理対象領域１内に含まれるｎ個のデータ点において、ｍ個のバックグランドが算出され、残りの（ｎ−ｍ）個のデータ点についてバックグランドは、取得してデータ値のままでバックグランドの値は未算出である。
【００７１】
そこで、本発明は、第２のバックグランドの算出によって、処理対象領域１内において未算出のままで残っているデータ点において、そのデータ点でのバックグランドの値を求める。残りのデータ点でのバックグランドの算出は、前記した図４の場合と同様とすることができるため、ここでの説明は省略する。
【００７２】
図５（ｉ）は、メディアン処理による第１のバックグランド算出と、補間処理による第２のバックグランド算出とで求めたバックグランドを合わせることによって、処理対象領域１内の全データ点についてバックグランドを求めた状態を示している。
【００７３】
本発明の第１のバックグランド算出で行うメディアン処理の演算回数は、処理対象領域に含まれるブロック数ｍに対応し、第２のバックグランド算出で行う補間処理の演算回数は、処理対象領域に含まれるデータ点数ｎからブロック数ｍを差し引いた（ｎ−ｍ）回となり、演算回数自体の合計は、ｍ＋（ｎ−ｍ）となり、処理対象領域に含まれる全データ点に対してメディアン処理を行う場合の演算回数ｎと同回数となる。しかしながら、一般に、メディアン処理が扱うデータ点数は、補間処理が扱うデータ点数よりも多数であるため、１回のメディアン処理に要する演算処理時間をＴとし、１回の補間処理に要する演算処理時間をｔとすると、本発明によるバックグランドの算出で要する処理時間はｍＴ＋（ｎ−ｍ）ｔで表され、全データ点をメディアン処理したときの処理時間はｎＴで表される。一般に、処理対象領域１内に含まれるデータ点数ｎはブロック数ｍより十分に大きいため、本発明によるバックグランド算出に要する演算処理時間ｍＴ＋（ｎ−ｍ）ｔは、全データ点をメディアン処理するに要する演算処理時間ｎＴよりも十分に短時間となる。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明のバックグランドを算出する処理は、ＴＦＴアレイ検査に限らず、二次元配列データからバックグランドを算出する一般のローパスフィルタ処理に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】本願発明のＴＦＴアレイ検査装置の一構成例を説明するための説明図である。
【図２】本発明のデータ処理手段が行う欠陥検出のアルゴリズムを説明するための説明図である。
【図３】本発明の処理対象領域を分割する複数のブロックの一構成例である。
【図４】本発明のブロックを用いたバックグランドの算出を説明するための説明図である。
【図５】本発明のブロックを用いた他のバックグランドの算出を説明するための説明図である。
【図６】従来のローパスフィルタ処理のアルゴリズムを説明するための概略図である。
【図７】従来のバックグランドの算出を説明するための説明図である。
【図８】従来の特定の配列位置にある配列データを用いたバックグランド算出を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００７６】
１…処理対象領域、２…データ点、３，３ａ〜３ｎ…ブロック、４，４ａ〜４ｎ…ブロック、１０ａ〜１０ｍ…データ点、１１ａ〜１１ｍ…データ点、２０…ＴＦＴ基板検査装置、２１…電子線発生源、２２…二次電子検出器、２３…データ処理手段、２４…電子線、２５…二次電子、２６…ライン、３０ａ，３０ｂ〜３０ｎ…演算領域、３１ａ，３１ｂ〜３１ｎ…データ点、４０ａ，４０ｂ〜４０ｎ…演算領域、４１ａ，４１ｂ〜４１ｎ…データ点、５０…ＴＦＴ基板、５１…ピクセル、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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