(57)【要約】【課題】センサヘッドとスケール間の取付けの自由度を確保することで良好なエンコーダ信号を得ることができる光学式エンコーダを提供すること。【解決手段】少なくとも１つ以上の光源１０３と、少なくとも１つ以上の光検出器１０４とを有したセンサヘッド１０１と、センサヘッド１０１と相対的に変位するスケール１２０と、センサヘッド１０１とスケール１２０を所望の配置関係に保持する突当て部材１０６と、を有し、光源１０３から出射した光をスケール１２０で反射もしくは回折し、反射もしくは回折した光を光検出器１０４で受光してセンサヘッド１０１から変位信号を出力し、センサヘッド１０１のスケール１２０と対向する面を、突当て部材１０６に突当てる突当て面１０５とする。【選択図】        図１
2007333401.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、光検出器とを有したセンサヘッドと、
前記センサヘッドと相対的に変位するスケールと、
前記センサヘッドと前記スケールを所望の配置関係に保持する突当て部材と、を有し、
前記光源から出射した光を前記スケールで反射もしくは回折し、反射もしくは回折した光を前記光検出器で受光して前記センサヘッドから変位信号を出力し、
前記センサヘッドの前記スケールと対向する面を、前記突当て部材に突当てる突当て面とすることを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】
さらに、前記センサヘッドと電気的に導通されている基板を有し、
前記センサヘッドの前記突当て面を除く面に前記基板と電気的に導通させるための外部引出し配線電極が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】
前記突当て部材の前記センサヘッドの突当て面側は、段差形状を有していることを特徴とする請求項１または２に記載の光学式エンコーダ。
【請求項４】
前記突当て部材は、
前記光源から出射し前記スケールで反射もしくは回折して前記光検出器に入射する経路の光を透過する透過領域と、
少なくとも前記透過領域の周辺の一部もしくは全域に形成された遮光構造と、を有することを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項５】
前記突き当て部材は、前記センサヘッドの突当て面と前記突当て部材との間の少なくとも一部に、前記センサヘッドの突当て面と前記スケールとの間隔と傾きとの少なくとも一方を調整する調整部を有することを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項６】
前記センサヘッドの前記突当て面を前記スケールのスケールパターン面に対して前記調整部を用いて傾斜させて配置したことを特徴とする請求項５に記載の光学式エンコーダ。
【請求項７】
前記調整部は、薄板であることを特徴とする請求項４〜６のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【請求項８】
前記センサヘッドの前記突当て面を除く少なくとも１つの側面を前記突当て部材に実装するときの突当て面とすることを特徴とする請求項１に記載の光学式エンコーダ。
【請求項９】
前記センサヘッドの前記突当て面は、樹脂であることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の光学式エンコーダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は被検出体の位置等を検出する光学式エンコーダに関する。
【背景技術】
【０００２】
光源と、光源から出射した光を反射もしくは回折する格子パターンとを有するスケールと、スケールで反射もしくは回折した光を受光する光検出器で構成される光学式エンコーダが知られている。このタイプの光学式エンコーダは、被検出体の移動情報、例えば移動量、移動方向等を検出する装置として多く用いられている。
【０００３】
ここで、光学式エンコーダにおいて、光源及び光検出器を１つのパッケージ内に収納したエンコーダヘッドを突当て部材に実装した代表例として、例えば特許文献１に開示された構成が知られている。
【０００４】
図１１の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、それぞれに従来技術の光学式エンコーダの断面構成を示している。図１１では、ベース基板９７上のヘッド９１の一部に設けた半田付け用リード９２が、突当て部材に設けた銅箔パターン９５と直接接触するようにして実装している。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−１２６８１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
図１２の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、エンコーダ信号を説明する図である。光学式エンコーダでは、例えばピッチＰの反射/非反射の格子パターンを有するスケール２がセンサヘッド１と相対移動することにより、センサヘッド１から変位信号が得られる。
【０００７】
ここで、変位信号とは、スケール２とセンサヘッド１間の相対移動に応じて周期的に変化する位相が９０度ずれた２相（Ａ相、Ｂ相）のアナログ信号、または、このアナログ信号を信号処理回路で変換したデジタル信号のことである。
【０００８】
ここで、センサヘッド１内に配置した光源、光検出器を含む各部材及びスケール２の位置関係が精度よく所望の位置に配置されていれば、良好な変位信号を得ることができる。分解能が高い光学式エンコーダになるほど、より高い配置精度が要求されてくる。
【０００９】
一般的には、光源、光検出器を１つのパッケージ内に収納した後に、センサヘッド１とスケール２の配置を良好な変位信号が得られるように調整しながらベース基板にセンサヘッド１を実装する。このため、センサヘッド１をベース基板に実装する時の姿勢、配置などの取付け調整が容易な構成であることが好ましい。
【００１０】
図１３の（ａ）、（ｂ）、（ｃ）示したように、センサヘッド１とスケール２の取付けの自由度方向としては、センサヘッド１とスケール２間の水平方向（Ｘ、Ｙ）、間隔方向（Ｚ）、回転方向（θｙ、θｒ、θｐ）が考えられる。そして、これらの各方向に調整が可能であることが好ましい。
【００１１】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、センサヘッドとスケール間の取付けの自由度を確保することで良好なエンコーダ信号を得ることができる光学式エンコーダを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明によれば、光源と、光検出器とを有したセンサヘッドと、センサヘッドと相対的に変位するスケールと、センサヘッドとスケールを所望の配置関係に保持する突当て部材と、を有し、光源から出射した光をスケールで反射もしくは回折し、反射もしくは回折した光を光検出器で受光してセンサヘッドから変位信号を出力し、センサヘッドのスケールと対向する面を、突当て部材に突当てる突当て面とすることを特徴とする光学式エンコーダを提供できる。
【００１３】
また、本発明の好ましい態様によれば、さらに、センサヘッドと電気的に導通されている基板を有し、センサヘッドの突当て面を除く面に基板と電気的に導通させるための外部引出し配線電極が形成されていることが望ましい。
【００１４】
また、本発明の好ましい態様によれば、突当て部材のセンサヘッドの突当て面側は、段差形状を有していることが望ましい。
【００１５】
また、本発明の好ましい態様によれば、突当て部材は、光源から出射しスケールで反射もしくは回折して光検出器に入射する経路の光を透過する透過領域と、少なくとも透過領域の周辺の一部もしくは全域に形成された遮光構造と、を有することが望ましい。
【００１６】
また、本発明の好ましい態様によれば、突き当て部材は、センサヘッドの突当て面と突当て部材との間の少なくとも一部に、センサヘッドの突当て面とスケールとの間隔と傾きとの少なくとも一方を調整する調整部を有することが望ましい。
【００１７】
また、本発明の好ましい態様によれば、センサヘッドの突当て面をスケールのスケールパターン面に対して調整部を用いて傾斜させて配置したことが望ましい。
【００１８】
また、本発明の好ましい態様によれば、調整部は、薄板であることが望ましい。
【００１９】
また、本発明の好ましい態様によれば、センサヘッドの突当て面を除く少なくとも１つの側面を突当て部材に実装するときの突当て面とすることが望ましい。
【００２０】
また、本発明の好ましい態様によれば、センサヘッドの突当て面は、樹脂であることが望ましい。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、センサヘッドとスケール間の取付けの自由度を確保することで良好なエンコーダ信号を得ることができる光学式エンコーダを提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下に、本発明にかかる光学式エンコーダの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例によりこの発明が限定されるものではない。
【実施例１】
【００２３】
図１は、本発明の実施例１に係る光学式エンコーダの断面構成を示す側面図である。また、図２は、その斜視図である。図１に示す光学式エンコーダ１００は、光源１０３と光検出器１０４を内部に有したセンサヘッド１０１と、センサヘッド１０１と相対的に直線運動をする格子パターン１２１を有するスケール１２０とで構成される。光学式エンコーダ１００は、反射型光学式エンコーダである。
【００２４】
ここでセンサヘッド１０１は、電極を形成したセラミックあるいは樹脂などの配線基板１０９上に、光を主にスケール１２０の方向に出射するように配置したＬＥＤあるいは半導体レーザなどの光源１０３、及び光源１０３から出射しスケール１２０で反射あるいは回折してきた光を検出する光検出器１０４を搭載している。
【００２５】
光源１０３及び光検出器１０４を含む配線基板１０９上のすべてを透明樹脂などの光透過性材１１０で覆った構成となっている。これにより、後述する突当て面１０５は樹脂で構成されることになる。この様に樹脂で覆った樹脂封止構成とすることで、安価にセンサヘッドを製作することができる。
【００２６】
また、光源１０３と光検出器１０４とは、配線基板１０９に形成した配線電極と電気的に接続され、少なくともその一部は外部引出し電極１０７により外部と電気的に接続可能な構成になっている。
【００２７】
更に、外部引出し電極１０７は外部配線基板１３０に形成した配線１３１と導電材１０８を介して電気的に接続している。また、センサヘッド１０１は、スケール１２０とセンサヘッド１０１との間に所望の位置関係で配置された突当て部材１０６に突当てて接着材などで固定保持した構成としている。
【００２８】
ここで、センサヘッド１０１の突当て部材１０６との突当て面１０５は、スケール１２０に対向する面である。突き当て面１０５は、光源１０３から出射しスケールに向かう光が出射する出射光Ｌｏｕｔと、出射光Ｌｏｕｔがスケール１２０で反射もしくは回折して光検出器１０４に向かう入射光Ｌｉｎが入射する光入出面である。
【００２９】
次に各部材の配置関係の求め方の一例について簡単に説明する。まず、良好なエンコーダ信号（変位信号）が得られる理論上のＬｏｕｔ長とＬｉｎ長の関係から、光源１０３、光検出器１０４及びスケール１２０の配置関係を求める。
【００３０】
それから、光透過性材１１０の屈折率を考慮して光透過性材１１０の厚み及びセンサヘッド１０１の突当て面１０５とスケール１２０の間の距離を求める。そして、突当て部材１０６の位置を決定する。
【００３１】
例えばＬｉｎ＝Ｌｏｕｔ＝Ｚ（Ｚ：所望の値）であれば、光源１０３の光出射面と光検出器１０４の光受光面の高さを揃えるように配線基板１０９上に光源１０３と光検出器１０４を配置する。そして、更にセンサヘッド１０１の突当て面１０５とスケール１２０の格子パターン１２１面が略平行になるように突当て部材１０６の位置を決定する。
【００３２】
次に、センサヘッド１０１の実装方法の一例について簡単に説明する。まず、センサヘッド１０１の外部引出し電極１０７とフレキシブルプリント基板などの容易に位置、姿勢調整が可能な外部配線基板１３０に形成した配線１３１間を半田等の導電材１０８を用いて電気的に接続する。外部配線基板１３０は、基板に対応する。
【００３３】
ここで外部配線基板１３０とセンサヘッド１０１とは、互いに容易に位置、姿勢の調整が可能な状態で電気的接続ができる。次に、センサヘッド１０１の突当て面１０５を突当て部材１０６に突当てて、接着材などで突当て部材１０６にセンサヘッド１０１を固定する。
【００３４】
ここで、センサヘッド１０１を搭載した外部配線基板１３０は容易に位置、姿勢調整が可能である。このため、センサヘッド１０１の突当て面１０５を突当て部材１０６に突当てた時に、図１２に示したＡＢ相アナログ信号の大きさ（Ｖｐ−ｐ）、あるいはＡ相信号をＸ座標、Ｂ相をＹ座標とした、いわゆるリサージュ図が真円形状になるようにセンサヘッド１０１の位置、姿勢を調整しながら最適となるセンサヘッド１０１の位置で固定可能である。
【００３５】
次に、この発明の実施例の作用を説明する。また、センサヘッド１０１の突当て部材１０６への突当て実装時に、センサヘッド１０１を搭載した外部配線基板１３０は容易に位置、姿勢調整が可能である。このため、センサヘッド１０１の位置、姿勢を調整しながら最適となるセンサヘッド１０１の位置で固定可能であり、従って良好なエンコーダ信号が得られる。
【００３６】
また、センサヘッド１０１の突当て部材１０６への突当て面１０５と、センサヘッド１０１の外部引出し電極１０７の面をそれぞれ別面とする。これにより、センサヘッド１０１および外部配線基板１３０は互いに容易に位置、姿勢の調整が可能な状態で電気的接続ができる。このため、信頼性が高い確実な電気的接続ができる。
【００３７】
従来例のようにベース基板に設けた銅箔パターンに直接接触するようにして電気的接続と物理的固定を同一面側で接着する構成では、センサヘッドとスケールを所望の位置関係に調整しながら、且つ導電ペーストもしくは半田材による電気的接続をとる必要がある。
【００３８】
このため、従来例では取付けの自由度が制限されるうえに、電気的接続にばらつきが生じ、信頼性の面で問題が生じてくる。ここで、例えば、センサヘッド内部の光源と光検出器の所望位置からのずれが大きいと、センサヘッドをベース基板に対して傾斜させて配置することで良好な変位信号が得られるケースがある。
【００３９】
この様なケースでは、電気的接続を優先に実装すると、最適なヘッドとスケール間の配置関係に実装できず十分な変位信号を得られない。また、良好なエンコーダ信号を得るために最適なヘッドとスケール間の配置関係を優先すると、電気的接続で不安定な接続部位が生じ、断線などの信頼性上の問題が発生する。
【００４０】
これに対して、本実施例では、センサヘッド１０１の突当て面１０５を除く面に外部引出し配線電極１０７が形成されている。このため、良好なエンコーダ信号を得つつ、高い信頼性でセンサヘッドと外部配線との間を電気的に接続できる。
【００４１】
なお、この発明の実施の形態の各構成は、当然、各種の変形、変更が可能である。光源１０３及び光検出器１０４は１個に限らず多数配置しても良い。また、スケール１２０の格子パターンも１種に限らず多種形成してもよい。また、光検出器１０４は、半導体ＩＣの中に搭載し、光検出器１０４の他にアナログ信号をデジタル信号に変換する回路、内挿分割回路、光源のドライバ−などを搭載しても良い。さらには、光源１０３上に光学的スリットを設けた構造とすることもできる。
【００４２】
また、実装方法は、突当て部材１０６にセンサヘッド１０１を突当て実装した後に外部配線基板１３０をセンサヘッド１０１と電気的接続しても良い。また、突当て部材１０６へのセンサヘッド１０１の固定方法は接着材とは限られず、外部配線基板１３０のセンサヘッド１０１搭載面と反対側の面から板ばねなどで押圧して固定しても良い。
【００４３】
さらには、Ｌｉｎ＝Ｌｏｕｔ＝Ｚ（Ｚ：所望の値）には限られない。例えば、Ｌｉｎ≠Ｌｏｕｔで、光源１０３の光出射面と光検出器１０４の光受光面の高さを揃えず配線基板１０９上に光源１０３と光検出器１０４を所望の関係で配置した構成でも良い。
【実施例２】
【００４４】
次に、本発明の実施例２に係る光学式エンコーダについて説明する。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図３は、本実施例の光学式エンコーダの側面図である。また、図４は、その斜視図である。
【００４５】
図３、図４に示す光学式エンコーダは、光源１０３と光検出器１０４を内部に有したセンサヘッド１０１と、センサヘッド１０１と相対的に直線運動をする格子パターン１２１を有するスケール１２０とで構成される反射型光学式エンコーダである。
【００４６】
本実施例と実施例１との相違は、突当て部材１０６にセンサヘッド１０１を最初に突当てる時の突当て位置の目安として段差形状の溝、即ち凹部２０１が形成されている点である。そして、凹部２０１の溝部にセンサヘッド１０１の突当て面１０５が突当て嵌合するように構成されている。
【００４７】
その他の構成、各部材の配置関係の求め方、及びセンサヘッド１０１の実装方法については実施例１と同様なので説明は省略する。
【００４８】
本実施例の作用は、実施例１と同様な作用を有すると共に、更には突当て部材１０６の段差面である凹部２０１がセンサヘッド１０１を最初に突当てる時の位置合わせの目安となるので、取付けの位置合わせが容易となる。
【００４９】
なお、本実施例の各構成は、実施例１と同様な各種の変形、変更が可能である。
【実施例３】
【００５０】
次に、本発明の実施例３に係る光学式エンコーダについて説明する。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図５は、本実施例の光学式エンコーダの斜視図である。
【００５１】
図５に示す光学式エンコーダは、光源１０３と光検出器１０４を内部に有したセンサヘッド１と、センサヘッド１０１と相対的に直線運動をする格子パターン１２１を有するスケール１２０で構成される反射型光学式エンコーダである。
【００５２】
本実施例と実施例１との相違は、センサヘッド１０１の突当て面１０５と遮光材（遮光構造）５０１からなる突当て部材１０６との接触領域を、光源１０３から出射した光がスケールで反射もしくは回折し、その反射もしくは回折光が光検出器１０４に入射するエンコーダの変位信号に関わる光を遮らない領域とし、変位信号に関わらない光を突当て部材１０６が極力遮断する構成としている点である。
【００５３】
その他の構成、各部材の配置関係の求め方、及びセンサヘッド１０１の実装方法については実施例１と同様なので説明は省略する。
【００５４】
本実施例の作用は、実施例１と同様な作用を有すると共に、エンコーダの変位信号に関わらない光を遮光材５０１からなる突当て部材１０６で遮光することにより、光検出器１０４への外乱光入射を防止できる。このため、光検出器１０４にノイズの少ないＳ／Ｎの高い光が入射することになり、高精度な変位信号が得られる。
【００５５】
なお、本実施例の各構成は、実施例１と同様な各種の変形、変更が可能である。また、光源１０３から出射した光がスケールで反射もしくは回折し、その反射もしくは回折光が光検出器１０４に入射する光を遮らない領域には、空間スペースに限らず光を透過する樹脂、ガラスなどを配してもよい。
【実施例４】
【００５６】
次に、本発明の実施例４に係る光学式エンコーダについて説明する。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図６は、本実施例の光学式エンコーダの側面図である。また、図７は、その斜視図である。
【００５７】
図６に示す光学式エンコーダは、光源１０３と光検出器１０４を内部に有したセンサヘッド１０１と、センサヘッド１０１と相対的に直線運動をする格子パターン１２１を有するスケール１２０で構成される反射型光学式エンコーダである。
【００５８】
本実施例と実施例１との相違は、突当て部材１０６とセンサヘッド１０１の突当て面１０５との間に、センサヘッド１０１の突当て面１０５とスケール１２０との間の間隔と傾き（位置、姿勢）との少なくとも一方を調整可能な調整部である薄板６０１を介在させていることである。
【００５９】
例えば、良好なエンコーダ信号（変位信号）が得られる理論上のＬｉｎ長とＬｏｕｔ長の関係がＬｉｎ＝Ｌｏｕｔ＝Ｚ（Ｚ：所望の値）であるとする。光源１０３の光出射面と光検出器１０４の光受光面の高さを揃えるように配線基板１０９上に光源１０３と光検出器１０４を配置する。
【００６０】
そして、更にセンサヘッド１０１の突当て面１０５とスケール１２０の格子パターン１２１面が略平行になるように突当て部材１０６の位置を決定する。ここで、例えばセンサヘッド１０１の製造プロセスにおいて、配線基板１０９上に光源１０３と光検出器１０４を実装配置する時に、光源１０３の光出射面と光検出器１０４の光受光面の高さがずれた時には、図６に示したようにＬｉｎ＝Ｌｏｕｔ＝Ｚとなるようにスケール１２０の格子パターン面１２１に対してセンサヘッド１０１を傾けて配置することで良好なエンコーダ信号（変位信号）が得られることになる。
【００６１】
そこで、センサヘッド１０１の突当て面１０５を突当て部材１０６に突当てて実装する時に、実施例１で説明したようにＡＢ相アナログ信号の大きさ（Ｖｐ−ｐ）、あるいはリサージュ図が真円形状になるようにセンサヘッド１０１をスケール１２０の格子パターン面１２１に対して水平回転あるいは薄板６０１を介在させて、スケール１２０の格子パターン面１２１に対して間隔及び傾き（位置、姿勢）の少なくとも一方を調整しながら最適となるセンサヘッド１０１の位置で固定する。
【００６２】
その他の構成、各部材の配置関係の求め方、及びセンサヘッド１０１の実装方法については実施例１と同様なので説明は省略する。
【００６３】
本実施例の作用は、実施例１と同様な作用を有すると共に、スケール１２０の格子パターン面１２１に対して最適となるセンサヘッド１０１の間隔及び姿勢を調整する薄板６０１などの安価で且つ位置や姿勢を調整容易な調整部材をセンサヘッド１０１とスケール１２０の間に介在させる。これにより、更なる良好なエンコーダ信号（変位信号）を有する光学式エンコーダが得られる。
【００６４】
また調整部は、突当て部材１０６と一体に形成される構成、及び突き当て部材１０６と別体で形成される構成のいずれでも良い。なお、本実施例の各構成は、実施例１と同様な各種の変形、変更が可能である。
【００６５】
更には、センサヘッド１０１の傾斜方向は、図６のようにスケール１２０の移動に対してロール方向に限られず、ピッチ方向に傾斜させるように薄板６０１を介在させてもよい。
【実施例５】
【００６６】
次に、本発明の実施例５に係る光学式エンコーダについて説明する。実施例１と同一の部分には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。図８は、本実施例の光学式エンコーダの側面図である。また、図９は、その斜視図である。
【００６７】
図８に示す光学式エンコーダは、光源１０３と光検出器１０４を内部に有したセンサヘッド１と、センサヘッド１０１と相対的に直線運動をする格子パターン１２１を有するスケール１２０で構成される反射型光学式エンコーダである。
【００６８】
本実施例と実施例１との相違は、突当て部材１０６をセンサヘッド１０１の突当て面１０５側のみに限らずセンサヘッド１０１の側面にも有することである。
【００６９】
その他の構成、各部材の配置関係の求め方、及びセンサヘッド１０１の実装方法については実施例１と同様なので説明は省略する。
【００７０】
本実施例の作用は、実施例１と同様な作用を有する。更には突当て部材１０６をセンサヘッド１０１の突当て面１０５側のみに限らずセンサヘッド１０１の側面にも配することで、センサヘッド１０１のスケール格子パターン面と略平行方向の取付け位置合わせが容易となる。
【００７１】
なお、本実施例の各構成は、実施例１と同様な各種の変形、変更が可能である。また、上記各実施例において、突当て部材１０６の突当て面１０５との接触部構造は平面に限らず、図１０に示したように点接触構造でも良いし、また側面の突当て面１０５は１面に限らず２面以上であっても良い。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
以上のように、本発明に係る光学式エンコーダは、反射型の光学式エンコーダに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の実施例１に係る光学式エンコーダの側断面の構成を示す図である。
【図２】実施例１の光学式エンコーダの斜視構成を示す図である。
【図３】本発明の実施例２に係る光学式エンコーダの側断面の構成を示す図である。
【図４】実施例２の光学式エンコーダの斜視構成を示す図である。
【図５】本発明の実施例３の光学式エンコーダの斜視構成を示す図である。
【図６】本発明の実施例４に係る光学式エンコーダの側断面の構成を示す図である。
【図７】実施例４の光学式エンコーダの斜視構成を示す図である。
【図８】本発明の実施例５に係る光学式エンコーダの側断面の構成を示す図である。
【図９】実施例５の光学式エンコーダの斜視構成を示す図である。
【図１０】突き当て部材の変形例の斜視構成を示す図である。
【図１１】従来技術の光学式エンコーダの断面構成を示す図である。
【図１２】光学式エンコーダの信号を示す図である。
【図１３】光学式エンコーダのセンサヘッドとスケールとの位置関係を示す図である。
【符号の説明】
【００７４】
１００  光学式エンコーダ
１０１  センサヘッド
１０３  光源
１０４  光検出器
１０５  突当て面
１０６  突当て部材
１０７  外部引出し電極
１０８  導電材
１０９  配線基板
１１０  センサヘッド
１２０  スケール
１２１  格子パターン
１３０  外部配線基板
１３１  配線
２０１  凹部
５０１  遮光材
６０１  薄板
９１  ヘッド
９２  半田取付け用リード
９５  銅箔パターン
９７  ベース基板
１  センサヘッド
２  スケール
【図１】
2007333401.tif 000003
【図２】
2007333401.tif 000004
【図３】
2007333401.tif 000005
【図４】
2007333401.tif 000006
【図５】
2007333401.tif 000007
【図６】
2007333401.tif 000008
【図７】
2007333401.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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