(57)【要約】【課題】  平面型蛍光ランプを形成している基板の蛍光体層や機能膜層を、基板の大きさや形に限らず、むらを発生させることなく、均一に形成された平面型蛍光ランプの製造方法を提供すること。【解決手段】  蛍光体層２や機能膜２１、２２を、スプレーガン１４、１４、１４ｂ、１４ｃを蛍光体層２や機能膜２１、２２を形成するガラス基板３、４に対して相対的に移動させながらスラリーを噴射させて形成する。【選択図】  図２
2007095362.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電極を備えた放電容器を構成する前面ガラス基板と背面ガラス基板の少なくとも一方の内面の塗布面に対向して配置されたスプレーガンにより蛍光体スラリーを噴射して蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程と、前記蛍光体層が形成された前記前面ガラス基板と前記背面ガラス基板とを前記蛍光体層が向き合うように配置して周辺部を封止して放電容器を形成する放電容器形成工程と、この放電容器形成工程で形成された放電容器の内部を真空にした後に放電ガスを封入して封止するガス封入工程とを具えた平面型蛍光ランプの製造方法であって、
前記蛍光体層形成工程では、前記スプレーガンを前記蛍光体層を形成する前記ガラス基板に対して相対的に移動させながら前記蛍光体スラリーを噴射させて前記蛍光体層を形成していることを特徴とする平面型蛍光ランプの製造方法。
【請求項２】
電極を備えた放電容器を構成する前面ガラス基板と背面ガラス基板の少なくとも一方の内面の塗布面に対向して配置されたスプレーガンによりスラリーを噴射して保護膜または反射膜を形成する機能膜形成工程と、前記機能膜の上あるいは該機能膜が形成されていない前記ガラス基板の上に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程と、前記蛍光体層が形成された前記前面ガラス基板と前記背面ガラス基板とを前記蛍光体層が向き合うように配置して周辺部を封止して放電容器を形成する放電容器形成工程と、この放電容器形成工程で形成された放電容器の内部を真空にした後に放電ガスを封入して封止するガス封入工程とを具えた平面型蛍光ランプの製造方法であって、
前記機能膜形成工程では、前記スプレーガンを前記機能膜を形成する前記ガラス基板に対して相対的に移動させながら前記スラリーを噴射させて前記機能膜を形成していることを特徴とする平面型蛍光ランプの製造方法。
【請求項３】
前記塗布面に対向して配置されたスプレーガンによりスラリーを噴射する際に、前記ガラス基板または前記スプレーガンの少なくともいずれか一方のみを可動にしたことを特徴とする請求項１または２記載の平面型蛍光ランプの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶ディスプレイのバックライトや一般照明などに用いられている平面型蛍光ランプの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶ディスプレイは、液晶自体は発光しないものであるので、液晶に形成された画像を液晶のみの表示だけでは、人間が容易に識別可能な明度の画像を形成することができない。そのため、通常の液晶ディスプレイは、この液晶を明るく照射するためのバックライト等の光源を用いている。それにより、液晶に形成された画像を明るくして人間が容易に識別できるように表示させている。このバックライトとしては、屈曲あるいは複数本の冷陰極蛍光ランプで構成したものや、蛍光体層が形成された平板を備えた平面型（あるいは平板型ともいう）蛍光ランプが広く用いられている。
【０００３】
平面型蛍光ランプの構造は、例えば、図１１に分解斜視図を示すように、前面基板（前面ガラス基板）４１と、この前面基板４１と対向して設けられた背面基板（背面ガラス基板）４２と、前面基板４１の下面に塗布された蛍光体層４３と、背面基板４２の上面に所定の間隔で離隔して設けられた放電電極４４と、この放電電極４４を被覆するように形成された誘電体層４５と、この誘電体層４５の上に形成された反射膜４６と、この反射膜４６の上に形成された蛍光体層４８とを具えて構成されている。
【０００４】
また、前面基板４１と背面基板４２との間を一定の間隔に保持するスペーサ（図示省略）が備えられ、前面基板４１と背面基板４２との間の密閉された空間には放電ガスが封入されている。
【０００５】
このような構造により、平板型蛍光ランプは、放電電極４４に所定の電力が投入されると、放電ガスの放電が生じて紫外線を発光し、この紫外線が蛍光体層４３、４８を励起して蛍光を発光し、この蛍光が液晶ディスプレイに照射されるようになっている。（例えば、特許文献１を参照）
上述のように平板型蛍光ランプは、背面電極には成膜された反射膜４６の上に蛍光体層４８が形成されている。この蛍光体層の形成は、例えば、背面基板の中央部の上方で、１ｍ程度離れた位置に、蛍光体スラリーを噴霧するためのスプレーガンを配置し、引き続き、蛍光体スラリーを、供給ホースを介して略４０℃に保持された塗布装置に供給した後、スプレーガンから蛍光体スラリーを背面基板上に噴霧して蛍光体層を形成している。（例えば、特許文献１を参照）
また、平面型蛍光ランプで、輝度の向上を図るために、下面ガラス基板の内面を凹凸形状に形成したものも存在する。すなわち、図１２に示すように、下面ガラス基板７２は、その内面７６が連続する波形形状７７に形成され、連続する波形形状７７の表面に蛍光体７８が塗布されている。この場合、連続する波形形状７７は、内面７６の中央部７６ａから左右一対の電極７９ａ，７９ｂに向かって電極７９ａ，７９ｂに平行で、且つ中央部７６ａを中心として左右対称に形成されている。内面７６の表面積は、内面７６を連続する波形形状７７に形成することによって、従来のような平坦の場合よりも広くなる。その結果、下面ガラス基板７２の内面７６に蛍光体７８を最適厚み（数十ミクロン以上）で塗布できる面積が増大するようになっている。（例えば、特許文献２を参照）
【特許文献１】特開２００２−２７００９３号公報（［０００６］〜［０００８］、［００２１］）
【特許文献２】特開平１０−３２１１８４号公報（［００１２］〜［００１３］）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上述の平面型蛍光ランプの製造に際して、各基板への蛍光体層の形成は、スクリーン印刷やスプレーガンによる蛍光体スラリーの噴射が用いられている。
【０００７】
スクリーン印刷法を用いた場合は、１回の印刷工程で塗布される蛍光体層の膜厚が７μｍ〜１０μｍ程度である。平面蛍光ランプで使用している前面基板の膜厚（５μｍ〜２０μｍ）、背面基板の膜厚（６０μｍ〜１２０μｍ）を塗布する場合に後数回の塗布工程が必要である。
【０００８】
また、スクリーン印刷法は、蛍光体層を形成する面が平滑で均一である場合や、あるいは形成すべき蛍光体層が特定のパターンであるといった場合のみに限定されるという問題点がある。
【０００９】
スプレーガンによる蛍光体スラリーの噴射の場合は、上述のように、基板に対向してスプレーガンを固定位置に配置し、蛍光体スラリーを、供給ホースを介して略４０℃に保持された塗布装置に供給した後、スプレーガンで噴射している。したがって、この方法ではスプレーガンが背面基板と１ｍ程度離れた位置に配置して固定されているため、基板とスプレーガンとの間隔があまりに長いために、スラリーがかなり広範囲に広がるので、大型の平面型蛍光ランプを作製する場合には、形成する蛍光体層の表面にむら（中央部は厚く、周辺部は薄くなる傾向が高い。）が発生するのを防止することはできない。
【００１０】
また、上述の特許文献１の表１および［００２３］には、蛍光体層の膜厚は、蛍光体スラリーを噴射させる時間を調節することによって、所望の膜厚に形成することが可能である。スラリーの噴射時間が２００ｓｅｃ程度で４０μｍから６７μｍ程度を、４００ｓｅｃ程度で９０μｍから１２０μｍを形成することができることが開示されているが、前述した様に平面型蛍光ランプで使用している前面基板の蛍光体層は、５μｍから２０μｍの薄膜が必要である。特許文献１に開示された製造方法では厚膜しか形成できないため、薄膜の成膜には不適である。
【００１１】
本発明はこれらの事情にもとづいてなされたもので、平面型蛍光ランプを形成している基板の蛍光体層や機能膜層を、基板の大きさや形に限らず、むらを発生させることなく、均一に形成された平面型蛍光ランプの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明によれば、電極を備えた放電容器を構成する前面ガラス基板と背面ガラス基板の少なくとも一方の内面の、塗布面に対向して配置されたスプレーガンにより蛍光体スラリーを噴射して蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程と、前記蛍光体層が形成された前記前面ガラス基板と前記背面ガラス基板とを前記蛍光体層が向き合うように配置して周辺部を封止して放電容器を形成する放電容器形成工程と、この放電容器形成工程で形成された放電容器の内部を真空にした後に放電ガスを封入して封止するガス封入工程とを具えた平面型蛍光ランプの製造方法であって、
前記蛍光体層形成工程では、前記スプレーガンを前記蛍光体層を形成する前記ガラス基板に対して相対的に移動させながら前記蛍光体スラリーを噴射させて前記蛍光体層を形成していることを特徴とする平面型蛍光ランプの製造方法である。
【００１３】
また本発明によれば、電極を備えた放電容器を構成する前面ガラス基板と背面ガラス基板の少なくとも一方の内面の塗布面に対向して配置されたスプレーガンによりスラリーを噴射して保護膜または反射膜を形成する機能膜形成工程と、前記機能膜の上あるいは該機能膜が形成されていない前記前面ガラス基板と前記背面ガラス基板に蛍光体層を形成する蛍光体層形成工程と、前記蛍光体層が形成された前記前面ガラス基板と前記背面ガラス基板とを前記蛍光体層が向き合うように配置して周辺部を封止して放電容器を形成する放電容器形成工程と、この放電容器形成工程で形成された放電容器の内部を真空にした後に放電ガスを封入して封止するガス封入工程とを具えた平面型蛍光ランプの製造方法であって、
前記機能膜形成工程では、前記スプレーガンを前記機能膜を形成する前記ガラス基板に対して相対的に移動させながら前記スラリーを噴射させて前記機能膜を形成していることを特徴とする平面型蛍光ランプの製造方法である。
【００１４】
また本発明によれば、前記塗布面に対向して配置されたスプレーガンによりスラリーを噴射する際に、前記ガラス基板または前記スプレーガンの少なくともいずれか一方のみを可動にしたことを特徴とする平面型蛍光ランプの製造方法である。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、平面型蛍光ランプを形成している基板の大きさや形状にかかわらず、蛍光体層や機能膜がむらなく均一に形成され、均一な光強度の平面型蛍光ランプが得られる。
【００１６】
また、塗布条件を制御することで、蛍光体層や機能膜を要求に応じた所望の膜厚を形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を実施するための最良の形態を図面を参照して説明する。
【００１８】
図１は、本発明の一例としての平面型蛍光ランプの主要構成を示す断面図である。平面型蛍光ランプ１は、蛍光体が塗布されて蛍光体層２が形成された前面ガラス基板３と背面ガラス基板４との２枚のガラス基板３、４が対向して配置されている。前面ガラス基板３は平面ガラスを使用し、光を透過させて取り出す機能を果たしている。また、背面ガラス基板４は加工した波形形状の曲面ガラスを使用し、蛍光体の発光を前面方向に放射させる機能を果たしている。したがって、蛍光体層２の膜厚は、前面ガラス基板３は５μｍから２０μｍを必要とし、一方、背面ガラス基板４は６０μｍから１２０μｍを必要としている。
【００１９】
なお、背面ガラス基板４の波形形状の曲面は、内面の蛍光体の発光面積を広くすると共に、凸部５が前面ガラス基板３と接して、前面ガラス基板３と背面ガラス基板４との間隔を一定に保持するためのスペーサの機能も果たしている。
【００２０】
２枚のガラス基板３、４の対向する周辺部は封止部材である側壁６により相互に密閉接合されて放電容器１０を形成している。放電容器１０の内部は真空で排気された後、水銀及び希ガスが低圧で封入され、放電空間を形成している。また、２枚のガラス基板３、４のいずれか一方の外壁面または内壁面には、互いにほぼ平行に電極（不図示）が対向して形成されている。なお、電極は少なくとも一対以上が形成されている。
【００２１】
なお、各部の材質は、各ガラス基板３、４の材質としてはソーダライムガラスを使うのが一般的であるが、特に限定されない。電極は銀やクロム／銅／クロムの積層構造や、アルミテープ、半田などでガラス基板の外壁に形成されることが一般的である。また、放電容器の内部にニッケルなどの金属電極を設ける構成も取ることが出来る。蛍光体層２に用いる蛍光体は放電で発生した紫外線により励起され、発光するものであれば特に限定されない。
【００２２】
このような構成の平面型蛍光ランプ１は、背面ガラス基板４に波形形状の曲面ガラスを使用しているので、蛍光体の塗布面積が増加することで輝度の向上が図れている。
【００２３】
なお、上述の平面型蛍光ランプ１は、前面ガラス基板３と背面ガラス基板４のそれぞれに蛍光体層２が形成されているが、少なくとも、いずれか一方にのみ形成されているものでもよい。
【００２４】
上述の平面型蛍光ランプ１の製造方法についての基本的な流れのステップそのものは、一般に行われているものである。
【００２５】
放電容器を構成する二枚のガラス基板３、４の各々について、一方の主表面に詳細を後述するスプレーガンにより蛍光体層２を形成する。また、この蛍光体層２の周囲に側壁６を介してフリット等の封着材（不図示）を配設して、大気焼成してフリットを溶融し、機密な放電容器を構成する。
【００２６】
次いで、一方のガラス基板３、４の端部に、外部に貫通する排気管（不図示）を配設して、これら二枚のガラス基板３、４をスペーサ（不図示）により形成された間隙部を介して対向配置し、フリットを焼成して周囲を気密に封止する。
【００２７】
次いで、排気管から間隙部の排気処理を行う。この際、排気処理を促進させるために、密閉された放電容器１０全体を加熱するとともに、数百Ｐａ（数Ｔｏｒｒに相当）の微量の希ガス雰囲気中で洗浄処理を行うことも可能である。その場合、加熱温度は高いほどガラス基板３、４の吸着ガスの排出が促進されるが、使用するガラス基板３、４やフリットの軟化温度以下であることが必要である。
【００２８】
間隙部の真空度が所定の真空度に達した後、所定量の希ガスや水銀を封入して排気管を封止する。水銀を含まない希ガス放電ランプの場合は、紫外線を励起するキセノンを含む混合希ガスが用いられ、ネオンやアルゴンまたはそれらの混合ガスをベースとし、さらにクリプトンを添加させる場合もある。
【００２９】
一方、水銀の励起紫外線を利用する水銀ランプの場合は、例えば水銀とアルゴンやネオンの混合ガスを封入するが、低温時の始動性を改善させるために、キセノンやクリプトンを微量添加させる場合もある。
【００３０】
次に、２枚のガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法についての各実施例について説明する。
【００３１】
発明者は、ガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法について、ディップ塗布方式、スクリーン印刷方式、そして、スプレーガン方式について、それぞれについて実験を行い、仕上がり面の精度等について検証した結果、ディップ塗布方式では、蛍光体の膜厚に偏りが生じるのを防止することが困難であり、また、スクリーン印刷方式では、曲面ガラスへの塗布が困難であると判断した。その結果、スプレーガン方式が最も良好であるとの結論に達した。
【００３２】
スプレーガン方式では蛍光体とスラリーを混合した蛍光体スラリーを噴霧化して基盤に塗布する方法である。スラリーは、増粘剤のニトロセルロース、エチルセルロースまたは、ポリエチレンオキサイドを溶融させた有機溶剤、例えば酢酸ブチルや水溶性溶剤の水を用いる。以下に蛍光体を均一に塗布するためのスプレーを用いた塗布方法の実施例を示す。
【００３３】
（実施例１）
本発明の蛍光体塗布方法の第1実施例を図２に示す、塗布装置１１ａは、被加工体であるガラス基板３、４を載置する載置テーブル１２と、この載置テーブルに対向して配置され、載置テーブル１２に平行に矢印Ａ１及びＡ２の方向に往復移動するスライダ１３と、このスライダ１３に取り付けられて矢印Ｂ１及びＢ２の方向に往復移動するスプレーガン１４とを具えている。スプレーガン１４の噴射口１５は載置テーブル１２に載置するガラス基板３、４に向けられている。また、スプレーガン１４はホース（不図示）を介して蛍光体スラリーが貯蔵されている貯蔵タンク（不図示）等に接続されている。なお、スライダ１３やスプレーガン１４の移動や、スプレーガン１４からのスラリーの噴射制御等については、図示しない制御部により制御されている。
【００３４】
ガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法は、載置テーブル１２の載置面にガラス基板３、４を載置した状態で、スプレーガン１４を搭載しているスライダ１３をガラス基板３、４の一方の端部に移動させる。スプレーガン１４から蛍光体スラリーを噴射させながらスライダ１３を矢印Ａ１方向へ所定の速度でガラス基板３、４の他方の端部まで移動させる。この位置でスプレーガン１４を矢印Ｂ１方向に所定量ピッチ移動させる。次に、スライダ１３を矢印Ａ１の反対方向であるＡ２方向へ所定速度で移動させる。以下同様な動作を繰り返す。これらの動作により、スプレーガン１４が移動した軌跡は図３のようになり、ガラス基板３、４の全面に対して蛍光体を均一に塗布して蛍光体層２を形成することができる。
【００３５】
（実施例２）
本発明の蛍光体塗布方法の第２実施例を図４に示す。
【００３６】
この実施例では、ガラス基板３、４を載置した載置テーブル１２ａが移動し、スプレーガン１４は移動しない。
【００３７】
塗布装置１１ａは、ガラス基板３、４載置している載置テーブル１２ａが矢印Ｃ１、Ｃ２及び矢印Ｄ１、Ｄ２方向に移動自在に形成されている。一方、スプレーガン１４は載置テーブル１２ａに対向した位置に、噴射口１５を載置テーブル１２ａに載置されたガラス基板３、４に向けて固定されており、移動しない。また、スプレーガン１４はホース（不図示）を介して蛍光体スラリーが貯蔵されている貯蔵タンク（不図示）等に接続されている。なお、スライダ１３やスプレーガン１４の移動や、スプレーガン１４からのスラリーの噴射制御等については、図示しない制御部により制御されている。
【００３８】
ガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法は、載置テーブル１２ａの載置面にガラス基板３、４を載置した状態で、スプレーガン１４の下にガラス基板３、４の一方の端部に載置テーブル１２ｓを移動させる。スプレーガン１４から蛍光体スラリーを噴射させ、スライダ１３を矢印Ｃ１方向へ所定の速度でガラス基板３、４の他方の端部まで移動させる。この位置で載置テーブル１２ａを矢印Ｄ１方向に所定量移動させガラス基板３、４を移動させる。次に、スライダ１３をＣ１方向の反対方向であるＣ２方向へ所定速度で移動させる。以下同様な動作を繰り返す。これらの動作により、スプレーガン１４が移動した軌跡は、（実施例１）の場合と同様に図３のようになり、ガラス基板３、４の全面に対して蛍光体を均一に塗布して蛍光体層２を形成することができる。
【００３９】
（実施例３）
本発明の蛍光体塗布方法の第３実施例を図５に示す。
【００４０】
この実施例では、ガラス基板３、４を載置した載置テーブル１２ａとスプレーガン１４の双方が移動する。
【００４１】
塗布装置１１ｂは、ガラス基板３、４を載置して矢印Ｅ１、Ｅ２および矢印Ｆ１、Ｆ２方向へ移動する載置テーブル１２ａと、この載置テーブルに対向して配置されて矢印Ｇ１及びＧ２の方向に往復移動するスライダ１３と、このスライダ１３に取り付けられて矢印Ｈ１およびＨ２の方向に往復移動するスプレーガン１４とを具えている。スプレーガン１４の噴射口１５は載置テーブル１２ａに向けられている。また、スプレーガン１４はホース（不図示）を介して蛍光体スラリーが貯蔵されている貯蔵タンク（不図示）等に接続されている。なお、スライダ１３やスプレーガン１４の移動や、スプレーガン１４からのスラリーの噴射制御等については、図示しない制御部により制御されている。
【００４２】
ガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法は、まず、載置テーブル１２ａの載置面にガラス基板３、４を載置した状態で、ガラス基板３、４を搭載した載置テーブル１２ａをスプレーガン１４に対して所定方向（Ｅ１、Ｅ２、Ｆ１、Ｆ２）に移動させ、所定位置に配置する。スプレーガン１４からスラリーを噴射させながらスライダ１３を矢印Ｇ１方向へ所定の速度でガラス基板３、４の他方の端部まで移動させる。この位置でスプレーガン１４を矢印Ｈ１方向に所定量移動させる。次に、スライダ１３をＧ１方向の反対方向であるＧ２方向へ所定速度で移動させる。以下同様な動作を繰り返す。これらの動作により、スプレーガン１４が移動した軌跡は（実施例１）の場合と同様に図３のようになり、ガラス基板３、４の全面に対して蛍光体を均一に塗布して蛍光体層２を形成することができる。
【００４３】
（実施例４）
本発明の蛍光体塗布方法の第４実施例を図６に示す。
【００４４】
この実施例は、基本構造は、（実施例１）と同様であるが、ただし、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃ複数個が並列に並べられて配置されている。
【００４５】
塗布装置１１ｃは、ガラス基板３、４を載置する載置テーブル１２と、この載置テーブル１２に対向して配置され、載置テーブル１２に平行に矢印Ｋ１およびＫ２の方向に往復移動するスライダ１３と、このスライダ１３に取り付けられて矢印Ｊ１およびＪ２の方向に往復移動するスプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃとを具えている。スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃの噴射口１５ａ、１５ｂ、１５ｃは載置テーブル１２に向けられている。また、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃはホース（不図示）を介して蛍光体スラリーが貯蔵されている貯蔵タンク（不図示）等に接続されている。なお、スライダ１３やスプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃの移動や、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃからのスラリーの噴射制御等については、図示しない制御部により制御されている。
【００４６】
ガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法は、載置テーブル１２の載置面にガラス基板３、４を載置した状態で、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃを搭載したスライダ１３をガラス基板３、４の一方の端部に移動させる。スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃからスラリーを噴射させながらスライダ１３を矢印Ｋ１方向へ所定の速度でガラス基板３、４の他方の端部まで移動させる。この位置でスプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃを矢印Ｊ１方向に所定量移動させる。次に、スライダ１３をＫ１方向の反対方向であるＫ２方向へ所定速度で移動させる。以下同様な動作を繰り返す。これらの動作により、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃが移動した軌跡は図７のようになり、ガラス基板３、４の全面に対して蛍光体を均一に塗布して蛍光体層２を形成することができる。
【００４７】
この蛍光体層２の形成方法は上記の（実施例１）に比べて、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃの数が多いため、スプレーガン１４、１４ｂ、１４ｃの１つ当たりの移動距離が短くなり、工程時間の短縮も可能になる。
【００４８】
（実施例５）
本発明の蛍光体塗布方法の第５実施例を図８に示す。
【００４９】
この実施例では、ガラス基板３、４とスプレーガン１４の間に部分的に遮断板１６を設置してマスキング機能を付加している。
【００５０】
塗布装置１１ｄとそれを用いたガラス基板３、４への蛍光体層２の形成方法は、（実施例１）と同様であるので、重複説明を避けるため、同一機能箇所には同一符号を付してその個々の説明は省略する。
【００５１】
載置テーブル１２の上方にはガラス基板３、４を収納して額縁状に遮断板１６が配置されている。この遮断板１６は、例えば、ガラス基板３、４を載置テーブル１２に載置後に、載置テーブル１２に立設された４本のガイドピン１７にそれぞれガイド孔１８を係合させて装着するようにしている。
【００５２】
遮断板１６を設けたことにより、遮断板１６の下のガラス基板３、４は蛍光体が付着しない。平面型蛍光ランプ１の製造工程中には、ガラスの封着工程があるため、通常は封着箇所の蛍光体の除去作業が不可欠なのだが、蛍光体の塗布前にあらかじめマスキングをしておくと、蛍光体の除去作業を省くことができ、製造工程の簡略化ができる。
【００５３】
次に、上述の各実施例における共通事項について説明する。なお、以下の説明では、符号は図１〜図８で用いたものを適宜用いている。
【００５４】
（１）蛍光体膜の表面状態の調整  （実施例１）〜（実施例５）
ガラス基板３、４とスプレーガン１４との間隔を変化させることによって、表面状態を調整することが可能である。すなわち、ガラス基板３、４とスプレーガン１４との間隔が短か過ぎると蛍光体層２の表面が波打ち、長すぎるとむらを生じやすい。ガラス基板３、４とスプレーガン１４との間隔を１００ｍｍから７００ｍｍ程度に設定すると、比較的均一な蛍光体層２の形成が可能であることを確認した。
【００５５】
（２）蛍光体膜の膜厚の調整  （実施例１）〜（実施例５）
（ａ）ガラス基板３、４とスプレーガン１４との相対的な移動速度の調整
スライダ１３が移動する場合は、スライダ１３の掃引速度を、また載置テーブル１２が移動する場合は載置テーブル１２の移動速度を、それぞれ、１０ｍｍ／ｓｅｃから５００ｍｍ／ｓｅｃの範囲で変化させるとことで良好な薄膜の膜厚を得ることができることを確認した。
【００５６】
（ｂ）塗布間隔を変化させることで調整
スプレーガン１４あるいはガラス基板３、４が、ガラス基板３、４の端部での折り返し点でピッチ移動に要した移動距離を塗布間隔とすると、この塗布間隔を変化させることによって、比較的容易に所望の膜厚に調整することが可能である。すなわち、塗布間隔は５ｍｍから６０ｍｍの範囲で設定すると均一な蛍光体層２の形成ができる。厚膜形成における塗布間隔は、５ｍｍから３０ｍｍに、薄膜形成では、２０ｍｍから６０ｍｍが目安となることを確認した。
【００５７】
（ｃ）スプレーガン１４に送るエアー流量を制御することで調節
スプレーガン１４に送るエアー流量を多く設定すると、ガラス基板３、４での塗布液の跳ね返り量が多くなるため、厚膜形成には向かない。厚膜形成では、エアー流量を５０Ｌ／ｍｉｎ．から３００Ｌ／ｍｍ．に抑え、薄膜形成では、１５０Ｌ／ｍｉｎ．から４００Ｌ／ｍｍ．に設定すると所望の膜厚が得られることを確認した。
【００５８】
（ｄ）スプレーガン１４から噴出する塗布液量を変化させて調整
スプレーガン１４から噴出する塗布液を単位時間当たり多量に噴出させると膜厚は厚く、逆に少量だと薄く塗布することができる。
【００５９】
（ｅ）塗布回数による調整
スプレーガン１４またはガラス基板３、４の１回の移動パターンでは、最小５μｍから最大５０μｍまでの範囲で膜厚が形成可能である。ただし、平面型蛍光ランプ１の背面ガラス基板３、４のように、膜厚として６０μｍから１２０μｍの蛍光体層２が必要とされる場合。所定の移動パターンを少なくとも２回以上繰り返すことにより形成することができることを確認した。
【００６０】
なお、移動パターンを３回繰り返した場合、１００μｍ以上の膜厚形成が可能であることも確認した。
【００６１】
（３）ガラス基板３、４の表面形状による対応  （実施例１）〜（実施例５）
上述の各実施例では、ガラス基板３、４として平板ガラスを用いた際に、そのガラス基板３、４に蛍光体を塗布した例を示したが、ガラス自身にスペーサ機能を設けるように波形形状の凹凸を設けたガラスや、スペーサを配置したガラス板などでも均一な蛍光体層２の形成ができる。膜厚も１回の移動パターンで５μｍから５０μｍまで形成が可能であり、複数回の塗布を行うと、厚膜も形成できることを確認した。
【００６２】
（４）スプレーガンの揺動  （実施例１）〜（実施例５）
上述の各実施例では、スプレーガン１４の噴射口１５の向きは載置テーブル１２に向かって垂直に固定されていたが、スプレーガン１４を揺動手段（例えば、パルスモータを用いた機構、不図示）によりガラス基板３、４の進行方向と直角方向に揺動させる。塗布の際はスプレーガン１４の噴射口１５を揺動させた状態でガラス基板３、４と相対的に移動させる。それにより、ピッチごとの継ぎ目の合わせによるむらをより目立たなくすることができる。
【００６３】
次に、平面型蛍光ランプ１ａへの機能膜の形成について説明する。
【００６４】
ガラス基板３、４への機能膜の形成方法の基本的原理は、上述のガラス基板３、４に蛍光体層２を形成する方法と同じ方法を用いることができる。
【００６５】
まず、機能膜が形成された平面蛍光ランプ１ａのについて説明する。
【００６６】
図９に基本構成を示すように、平面型蛍光ランプ１ａは、蛍光体が塗布されて蛍光体層２が形成された前面ガラス基板３と背面ガラス基板４との２枚のガラスガラス基板３、４が対向して配置されている。前面ガラス基板３は平面ガラスを使用し、光を透過させて取り出す機能を果たしている。また、背面ガラス基板４は加工した波形形状の曲面ガラスを使用し、蛍光体の発光を前面方向に放射させる機能を果たしている。したがって、蛍光体層２の膜厚は、前面ガラス基板３は５μｍから２０μｍを必要とし、一方、背面ガラス基板４は６０μｍから１２０μｍを必要としている。
【００６７】
なお、背面ガラス基板４の波形形状の曲面は、凸部５が前面ガラス基板３接して、前面ガラス基板３と背面ガラス基板４との間隔を一定に保持するためのスペーサの機能を果たしている。
【００６８】
２枚のガラス基板３、４の対向する周辺部は側壁６を介してフリットガラスにより相互に接合され放電容器１０を形成し、放電容器１０の内部は真空で排気した後不活性ガスや水銀が封入され、放電空間が形成されている。また、２枚のガラス基板３、４の内部または、外部には、互いにほぼ平行に電極（不図示）が形成されている。なお、電極は少なくとも一対以上が形成されている。
【００６９】
また、前面ガラス基板３と背面ガラス４のうち、少なくともどちらかのガラス基板３、４と蛍光体層２の間には、詳細を後述する保護膜２１または反射膜２２等の機能膜が形成されている。
【００７０】
保護膜２１は、蛍光体層２を構成する蛍光体粒子の間の隙間には、化学的に安定な非晶質の金属酸化物からなる膜として形成されている。それにより、生じる水銀消費の抑制作用を果たしている。保護膜２１の膜厚は、蛍光体からの光損失を低減させるために、０．１〜１０μｍ程度である。
【００７１】
反射膜２２は、背面ガラスガラス基板４の光を前方に導く膜として形成される。膜厚は６０〜１２０μｍの厚膜である。
【００７２】
なお、各部の材質は、各ガラス基板３、４の材質としてはソーダライムガラスを使うのが一般的であるが、特に限定されない。電極は銀やクロム／銅／クロムの積層構造や、アルミテープ、半田などでガラス基板の外壁に形成されることが一般的である。蛍光体は放電で発生した紫外線により励起され、発光するものであれば特に限定されない。
【００７３】
また、後述する（図１０で示す）保護膜２１及び反射膜２２は金属酸化物は酸化イットリウム、酸化ジルコニウムおよび酸化ハフニウム、酸化チタニウム、酸化アルミニウムの単体またはそれらの中から選ばれた二種以上から構成されている。
【００７４】
次に、機能膜の形成箇所について図１０（ａ）〜（ｃ）に示した部分拡大図を参照して順次説明する。なお、図１０（ａ）〜（ｃ）の各図で図９と同一箇所には同一符号を付して、その個々の説明を省略する。
【００７５】
図１０（ａ）の場合は、前面ガラス基板３Ａにのみ蛍光体層２の間に保護膜２１を形成したものである。この場合、背面ガラス基板４Ａには機能膜を形成されていない。
【００７６】
図１０（ｂ）の場合は、背面ガラス基板４Ａにのみ蛍光体層２の間に保護膜２１または反射膜２２を形成したものである。この場合、前面ガラス基板３Ａには機能膜を形成されていない。
【００７７】
図１０（ｃ）の場合は、前面ガラス基板３Ａと蛍光体層２の間に保護膜２１が形成され、また、背面ガラス基板４Ａと蛍光体層２の間には保護膜２１または反射膜２２が形成されている。
【００７８】
なお、上述の平面型蛍光ランプ１ａは、前面ガラス基板３Ａと背面ガラス基板４Ａのそれぞれに蛍光体層２が形成されているが、少なくとも、いずれか一方にのみ形成されているものでもよい。
【００７９】
次に、機能膜を有する平面型蛍光ランプ１ａの製造方法について説明する。平面型蛍光ランプ１ａの製造方法の基本的な流れは、上述の平面型蛍光ランプ１の製造方法の基本的な流れと同様であるが、ガラス基板３Ａ、４Ａへの機能膜の形成方法が加わる点が異なる。
【００８０】
ガラス基板３Ａ、４Ａへの機能膜の形成方法は、基本的には、上述の各実施例で示した蛍光体層２の形成方法がそのまま当てはまるので、上述の説明の蛍光体を機能膜の成分に置き換えればよい。したがって、その説明は重複を避けるために省略する。
【００８１】
ただし、保護膜２１の膜厚は、０．１〜１０μｍ程度であり、反射膜２２の膜厚は、６０〜１２０μｍ程度であるので、それぞれに応じて制御する際の数値を必要に応じて変更すればよい。
【図面の簡単な説明】
【００８２】
【図１】本発明の一例としての平面型蛍光ランプの主要構成を示す断面図。
【図２】本発明に用いる塗布装置の実施例を示す斜視図。
【図３】本発明に用いる塗布装置のスプレーガンの軌跡図。
【図４】本発明に用いる塗布装置の実施例を示す斜視図。
【図５】本発明に用いる塗布装置の実施例を示す斜視図。
【図６】本発明に用いる複数のスプレーガンを有する塗布装置の実施例を示す斜視図。
【図７】本発明に用いる複数のスプレーガンを有する塗布装置の軌跡図。
【図８】本発明に用いる遮断板を有する塗布装置の実施例を示す斜視図。
【図９】本発明の一例としての機能膜を有する平面型蛍光ランプの主要構成を示す断面図。
【図１０】（ａ）〜（ｃ）は、機能膜の形成態様の説明拡大図。
【図１１】従来の平面型蛍光ランプの分解斜視図。
【図１２】従来の波型形状を有する平面型蛍光ランプの説明図。
【符号の説明】
【００８３】
１、１ａ…平面型蛍光ランプ、２…蛍光体層、３、３Ａ…前面ガラス基板、４、４Ａ…背面ガラス基板、５…凸部、６…側壁、１０…放電容器、１１、１１ａ、１１ｂ…塗布装置、１２、１２ａ…載置テーブル、１３…スライダ、１４、１４ｂ、１４ｃ…スプレーガン、１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ…噴射口、１６…遮蔽板、２１…保護膜、２２…反射膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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