(57)【要約】【課題】  歩留りを向上できる電気光学装置、および電子機器を提供すること。【解決手段】  電気光学装置１は、走査線、この走査線と交差するデータ線、走査線およびデータ線の交差に対応して設けられた画素回路、および、この画素回路を駆動する駆動回路を有する素子基板６０と、この素子基板６０に対向配置された対向基板７０と、素子基板６０および対向基板７０の間に挟持された電気光学物質と、を備えている。素子基板６０には、画素回路と同一構造の画素検査回路を含むＴＥＧ４０と、このＴＥＧ４０に電気的に接続されたＴＥＧ用外部端子９２とが設けられ、ＴＥＧ４０は、駆動回路の一部である昇圧回路をさらに含んでいる。【選択図】        図２
2007093846.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査線、この走査線と交差するデータ線、前記走査線および前記データ線の交差に対応して設けられた画素回路、および、この画素回路を駆動する駆動回路を有する第１の基板と、
前記第１の基板に対向配置された第２の基板と、
前記第１の基板および前記第２の基板の間に挟持された電気光学物質と、を備える電気光学装置であって、
前記第１の基板には、前記画素回路と同一構造の画素検査回路を含む評価回路と、この評価回路に電気的に接続された外部端子と、が設けられ、
前記評価回路は、前記駆動回路の一部をさらに含むことを特徴とする電気光学装置。
【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置において、
前記評価回路は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置されていない領域に形成されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の電気光学装置において、
前記外部端子は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置されていない領域に形成されることを特徴とする電気光学装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気光学装置において、
前記第１の基板には、前記評価回路と前記外部端子とを電気的に接続する評価回路信号線が設けられ、
当該評価回路信号線の少なくとも一部は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置された領域に設けられることを特徴とする電気光学装置。
【請求項５】
請求項４に記載の電気光学装置において、
前記評価回路信号線は、複数であり、
これら評価回路信号線のうち最も画素回路および駆動回路寄りに位置するものは、グラウンド電位であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか１項に記載の電気光学装置において、
前記評価回路に形成する駆動回路は、歩留りの低い駆動回路であることを特徴とする電気光学装置。
【請求項７】
走査線、この走査線と交差するデータ線、前記走査線および前記データ線の交差に対応して設けられた画素回路、および、この画素回路を駆動する駆動回路を有する第１の基板と、
前記第１の基板に対向配置された第２の基板と、
前記第１の基板および前記第２の基板の間に挟持された電気光学物質と、を備える電気光学装置であって、
前記第１の基板には、前記駆動回路の一部と同一構造を含む評価回路を含むことを特徴とする電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の電気光学装置を備えたことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、画像を表示する液晶装置などの電気光学装置が知られている。この電気光学装置として、自然光や室内光といった周囲光の反射光を利用する反射型表示が可能な全反射型の電気光学装置がある。
【０００３】
このような電気光学装置は、電気光学パネルとしての液晶パネルを備えている。この液晶パネルは、複数の画素を有する表示領域と、この表示領域の周辺に設けられて画素に含まれる画素回路を駆動する液晶駆動回路と、を備えている。
【０００４】
液晶パネルは、スイッチング素子としての薄膜トランジスタ（以降、ＴＦＴと呼ぶ）が画素に対応して配置された素子基板と、この素子基板に対向配置された対向基板と、素子基板および対向基板の間に挟持された電気光学物質としての液晶と、から構成されている。
ここで、素子基板は、対向基板よりも大きく形成されており、上述の液晶駆動回路は、この素子基板に設けられている。また、液晶は、対向基板の外周に沿って、素子基板および対向基板の間に形成されたシール部により封止されている。
【０００５】
素子基板は、所定間隔おきに設けられた複数の走査線と、これら走査線に略直交しかつ所定間隔おきに設けられた複数のデータ線と、各走査線と各データ線との交差部に対応して設けられたＴＦＴおよび画素電極と、を備えている。
対向基板は、画素電極に対向して設けられた共通電極を備えている。
【０００６】
各画素回路は、上述のＴＦＴ、画素電極、および、画素電極に一端が電気的に接続された蓄積容量で構成されている。
ＴＦＴのゲートには、走査線が接続され、ＴＦＴのソースには、データ線が接続され、ＴＦＴのドレインには、画素電極および蓄積容量が接続されている。
【０００７】
液晶駆動回路は、走査線駆動回路と、データ線駆動回路と、液晶駆動用電源回路と、を備えている。
走査線駆動回路は、複数の走査線を線順次で選択するデコーダ回路と、入力電圧を昇圧して選択電圧を生成し、このデコーダ回路で選択された走査線にこの選択電圧を供給するレベルシフタと、を備えている。
データ線駆動回路は、複数のデータ線を線順次で選択するデコーダ回路と、入力信号を昇圧して画像信号を生成し、このデコーダ回路で選択されたデータ線にこの画像信号を供給するレベルシフタと、を備えている。
液晶駆動用電源回路は、入力される基準電圧を昇圧して画素回路の駆動電圧を生成する昇圧回路を備えている。
【０００８】
以上の電気光学装置は、以下のように動作する。すなわち、液晶駆動用電源回路から駆動電圧を液晶パネルに供給するとともに、走査線駆動回路から選択電圧を走査線に線順次で供給することで、ある走査線に係るＴＦＴを全てオン状態にして、データ線と画素電極とを導通状態とする。そして、これらデータ線と画素電極とが導通状態となるタイミングに同期して、データ線駆動回路からデータ線に画像信号を線順次で供給する。これにより、走査線駆動回路およびデータ線駆動回路で選択した全ての画素にデータ線からＴＦＴを介して画像信号が供給されて、画像データが画素電極に書き込まれる。
つまり、ＴＦＴや画素電極からなる画素回路は、同じ素子基板に形成された液晶駆動回路により駆動される。
【０００９】
画素電極に画像データが書き込まれると、この画素電極と共通電極とに印加された電圧の電位差により、液晶に駆動電圧が印加される。したがって、画像信号の電圧レベルを変化させることで、液晶の配向や秩序を変化させて、各画素の光変調による階調表示を行う。
【００１０】
以上の素子基板では、画素回路を液晶駆動回路で駆動することで、画素回路および液晶駆動回路の動作を確認する検査を行う。そして、この検査に合格した素子基板のみが電気光学装置の構成部品として使用される。
【００１１】
ところで、素子基板では、画素回路が形成された後に液晶駆動回路が形成されるため、画素回路の動作のみを確認し、画素回路が正常に動作する素子基板にのみ画素回路を形成することができれば、素子基板の歩留りを向上できることになる。
しかしながら、上述したように、画素回路の動作を確認するためには、素子基板に液晶駆動回路を形成する必要があるため、素子基板の歩留りを向上させることは困難であった。
【００１２】
このような問題を解決するため、画素回路と同じ構造を有する検査用の回路（以降、ＴＥＧ（Test  Element  Group）と呼ぶ）を素子基板の端部に形成しておき、このＴＥＧを検査することで、画素回路の動作を確認する方法がある（特許文献１参照）。
この方法によれば、ＴＥＧが正常に動作しない場合には、画素回路も正常に動作しないと推定して、液晶駆動回路を形成せずにそのＴＥＧが形成された素子基板を廃棄する。したがって、素子基板の歩留りを向上できる。
【特許文献１】特開２００４−２１４６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
ところで、近年、歩留りをさらに向上させることが要請されているが、上述したＴＥＧには液晶駆動回路が含まれないため、ＴＥＧを検査しても、画素回路が正常に動作しない素子基板を発見することはできるが、液晶駆動回路が正常に動作しない素子基板を発見することはできない。そのため、ＴＥＧによる検査にも限界があり、歩留りを向上することは困難であった。
【００１４】
本発明は、歩留りを向上できる電気光学装置、および電子機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の電気光学装置は、走査線、この走査線と交差するデータ線、前記走査線および前記データ線の交差に対応して設けられた画素回路、および、この画素回路を駆動する駆動回路を有する第１の基板と、前記第１の基板に対向配置された第２の基板と、前記第１の基板および前記第２の基板の間に挟持された電気光学物質と、を備える電気光学装置であって、前記第１の基板には、前記画素回路と同一構造の画素検査回路を含む評価回路と、この評価回路に電気的に接続された外部端子と、が設けられ、前記評価回路は、前記駆動回路の一部をさらに含むことを特徴とする。
【００１６】
この発明によれば、第１の基板に、画素回路と同一構造の画素検査回路を含む評価回路と、この評価回路に電気的に接続された外部端子と、を設けた。このため、外部端子を介して評価回路を検査することで、画素回路の動作を確認できる。
【００１７】
また、画素検査回路を含む評価回路に、画素回路を駆動する駆動回路の一部をさらに形成した。このため、評価回路を検査して、この評価回路が正常に動作する場合には、駆動回路の一部も正常に動作しているから、駆動回路全体が正常に動作する確率は高くなる。
したがって、評価回路を検査することによって、駆動回路が正常に動作するか否かを推定できるから、歩留りを向上できる。
【００１８】
本発明の電気光学装置では、前記評価回路は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置されていない領域に形成されることが好ましい。
【００１９】
ところで、例えば、第１の基板および第２の基板は、それぞれ、第１のマザー基板および第２のマザー基板に複数枚が一体に形成され、これらマザー基板がシール材を介して貼り合わされた後、各電気光学パネルの大きさに合わせて切断される。ここで、第２の基板を切断する際に、第１の基板のうち第２の基板の切断面に対向する領域の近傍には、応力が作用する。
また、例えば、電気光学物質を封止するために、第２の基板の外周に沿ってシール材が設けられている場合、第１の基板や第２の基板のうちシール材が設けられた領域には、外力による応力が集中しやすい。
しかしながら、この発明によれば、評価回路を、第１の基板のうち第２の基板が対向配置されていない領域に形成したので、評価回路に応力が作用するのを回避でき、損傷や誤動作を防止できる。
【００２０】
本発明の電気光学装置では、前記外部端子は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置されていない領域に形成されることが好ましい。
【００２１】
この発明によれば、外部端子を、第１の基板のうち第２の基板が対向配置されていない領域に形成したので、外部端子が第２の基板に隠蔽されず、この外部端子の上に外部基板を容易に実装できる。
【００２２】
本発明の電気光学装置では、前記第１の基板には、前記評価回路と前記外部端子とを電気的に接続する評価回路信号線が設けられ、当該評価回路信号線の少なくとも一部は、前記第１の基板のうち前記第２の基板が対向配置された領域に設けられることが好ましい。
【００２３】
この発明によれば、評価回路と外部端子とを電気的に接続する評価回路信号線を第１の基板に設け、この評価回路信号線の少なくとも一部を、第１の基板のうち第２の基板が対向配置された領域に設けた。このため、評価回路信号線のうち第２の基板に覆われていない部分が少なくなり、評価回路信号線に外部からの静電気が印加されるのを防止できる。
【００２４】
本発明の電気光学装置では、前記評価回路信号線は、複数であり、これら評価回路信号線のうち最も画素回路および駆動回路寄りに位置するものは、グラウンド電位であることが好ましい。
【００２５】
この発明によれば、複数の評価回路信号線のうち最も画素回路および駆動回路寄りに位置するものを、グラウンド電位とした。このグラウンド電位である評価回路信号線は、残りの評価回路信号線と、駆動回路に電気的に接続される信号線と、の間に位置するので、これらの信号線の間のノイズの影響を減少させることでクロストークを低減できる。
【００２６】
本発明の電気光学装置では、前記評価回路に形成する駆動回路は、歩留りの低い駆動回路であることが好ましい。
【００２７】
この発明によれば、評価回路に歩留りの低い駆動回路を形成した。このため、評価回路を検査して、この評価回路が正常に動作する場合には、駆動回路のうち歩留りの低いものも正常に動作しているから、駆動回路全体が正常に動作する確率は高くなる。したがって、歩留りをさらに向上できる。
【００２８】
本発明の電気光学装置は、走査線、この走査線と交差するデータ線、前記走査線および前記データ線の交差に対応して設けられた画素回路、および、この画素回路を駆動する駆動回路を有する第１の基板と、前記第１の基板に対向配置された第２の基板と、前記第１の基板および前記第２の基板の間に挟持された電気光学物質と、を備える電気光学装置であって、前記第１の基板には、前記駆動回路の一部と同一構造を含む評価回路を含むことを特徴とする。
【００２９】
この発明によれば、第１の基板に、駆動回路の一部と同一構造を含む評価回路を設けた。このため、評価回路を検査することで、駆動回路の一部の動作を確認できる。
【００３０】
本発明の電子機器は、上述の電気光学装置を備えたことを特徴とする。
この発明によれば、上述した効果と同様の効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の実施形態および変形例の説明にあたって、同一構成要件については同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
＜実施形態＞
図１は、本発明の一実施形態に係る電気光学装置１の構成を示すブロック図である。図２は、電気光学装置１の平面図である。
【００３２】
電気光学装置１は、複数の画素からなる表示領域Ａを有する液晶パネルＡＡを備えている。
この液晶パネルＡＡは、第１の基板としての素子基板６０と、この素子基板６０に対向配置された第２の基板としての対向基板７０と、素子基板６０および対向基板７０の間に挟持された電気光学物質としての液晶と、を備えている（図４参照）。
【００３３】
素子基板６０は、対向基板７０よりも大きく形成されている。素子基板６０のうち表示領域Ａに対応する領域には、所定間隔おきに交互に設けられた複数の走査線１０および共通線（容量線）３０と、これら走査線１０に交差し所定間隔おきに設けられた複数のデータ線２０と、各走査線１０および各データ線２０の交差に対応して設けられた画素回路５０と、が設けられている。
【００３４】
素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置された領域には、表示領域Ａに対応する領域を囲んで、走査線１０を介して画素回路５０を駆動する駆動回路としての走査線駆動回路１１と、データ線２０を介して画素回路５０を駆動する駆動回路としてのデータ線駆動回路２１と、走査線駆動回路１１を検査する検査回路１２と、データ線駆動回路２１を検査する検査回路２２と、が設けられている。
具体的には、走査線駆動回路１１と検査回路１２とは、表示領域Ａを図２中水平方向から挟んで設けられ、データ線駆動回路２１と検査回路２２とは、表示領域Ａを図２中上下方向から挟んで設けられている。
【００３５】
素子基板６０には、図２中下側の端縁に沿って、上述の走査線駆動回路１１、データ線駆動回路２１、検査回路１２、２２に、汎用信号線９６を介して電気的に接続された複数の汎用外部端子９７が配置されている。
これら汎用外部端子９７は、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に設けられ、外部に露出している。
汎用信号線９６は、汎用外部端子９７から、当該汎用外部端子９７が設けられた素子基板６０の端縁に対して垂直に延びて、素子基板６０のうち対向基板７０に対向する領域内で引き回されて、上述の走査線駆動回路１１、データ線駆動回路２１、検査回路１２、２２に電気的に接続されている。
【００３６】
画素回路５０は、画素トランジスタ５１、画素電極５５、および、一端が画素電極５５に電気的に接続され他端が共通線３０に電気的に接続された蓄積容量５３で構成され、画素に対応して設けられている。
【００３７】
対向基板７０は、画素電極５５に対向して設けられた共通電極５６を備えている。
【００３８】
画素トランジスタ５１のゲート電極には、走査線１０が接続され、画素トランジスタ５１のソース電極には、データ線２０が接続され、画素トランジスタ５１のドレイン電極には、画素電極５５および蓄積容量５３が接続されている。画素電極５５と共通電極５６との間には、液晶が挟持されている。したがって、この画素トランジスタ５１は、走査線１０から選択電圧が印加されると、データ線２０と画素電極５５および蓄積容量５３とを導通状態とする。
【００３９】
共通電極５６は、液晶パネルＡＡの隅に設けられた導通部３１およびこれら導通部３１同士を接続する共通配線３２を介して、共通線３０と接続されている。
【００４０】
走査線駆動回路１１は、複数の走査線１０を線順次で選択するデコーダ回路１５と、入力電圧を昇圧して選択電圧を生成し、デコーダ回路１５で選択された走査線１０にこの選択電圧を供給するレベルシフタ１６と、を備えている。この走査線駆動回路１１は、画素トランジスタ５１をオン状態にする選択電圧を各走査線１０に線順次で供給する。例えば、ある走査線１０に選択電圧が供給されると、この走査線１０に接続された画素トランジスタ５１が全て導通状態になり、この走査線１０に係る画素が全て選択される。
【００４１】
データ線駆動回路２１は、複数のデータ線２０を線順次で選択するデコーダ回路２５と、入力信号を昇圧して画像信号を生成し、デコーダ回路２５で選択されたデータ線２０にこの画像信号を供給するレベルシフタ２６と、を備えている。このデータ線駆動回路２１は、画像信号を各データ線２０に線順次で供給し、オン状態の画素トランジスタ５１を介して、画素の画素電極５５に画像データを順次書き込む。ここで、データ線駆動回路２１は、共通電極５６の電圧を基準電圧として、この共通電極５６の電圧よりも高い電圧でデータ線２０に画像信号を供給する正極性書込と、共通電極５６の電圧よりも低い電圧でデータ線２０に画像信号を供給する負極性書込とを交互に行う。
【００４２】
また、素子基板６０には、図２中下側の端縁に沿って、対向基板７０が形成されていない領域に、画素回路５０を検査する評価回路としてのＴＥＧ４０が設けられている。素子基板６０には、ＴＥＧ４０に評価回路信号線としてのＴＥＧ用信号線９１を介して電気的に接続された複数のＴＥＧ用外部端子９２が配置されている。
これらＴＥＧ用外部端子９２は、汎用外部端子９７に隣接して設けられており、汎用外部端子９７と同様に、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に設けられ、外部に露出している。
【００４３】
ＴＥＧ用信号線９１は、ＴＥＧ用外部端子９２から、汎用信号線９６と略平行に、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置された領域まで延びている。そして、この素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置された領域内で引き回された後、再び、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に延びて、ＴＥＧ４０に接続されている。
つまり、ＴＥＧ用信号線９１の一部は、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置された領域に形成されている。
また、ＴＥＧ用信号線９１のうち最も画素回路５０、走査線駆動回路１１、およびデータ線駆動回路２１寄りに位置するものをＴＥＧ用特定信号線９１Ａとすると、このＴＥＧ用特定信号線９１Ａは、グラウンド電位となっている。
【００４４】
図３は、ＴＥＧ４０の構成を示すブロック図である。
ＴＥＧ４０は、画素回路５０と同一構造の画素検査回路４１と、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１の一部と、を含んで構成されている。
走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１の一部とは、歩留りの低い回路であり、具体的には、入力される基準電圧を昇圧して、画素回路５０を駆動するための駆動電圧を生成するチャージポンプ回路４６である。
【００４５】
チャージポンプ回路４６は、ＴＥＧ用信号線９１に接続された入力端子Ｐ、Ｑおよび出力端子Ｒ、Ｓを備え、入力端子Ｑおよび出力端子Ｓは、同電位である。このチャージポンプ回路４６は、入力端子Ｐの電圧に入力端子Ｐ、Ｑ間の電位差を加えて、出力端子Ｒから出力する。つまり、チャージポンプ回路４６は、入力端子Ｐの電圧を略２倍にして、出力端子Ｒから出力する。
【００４６】
具体的には、チャージポンプ回路４６は、コンデンサ４６１と、このコンデンサ４６１の一端側を入力端子Ｐまたは出力端子Ｒに電気的に接続するスイッチング素子４６２と、コンデンサ４６１の他端側を入力端子Ｐまたは入力端子Ｑに電気的に接続するスイッチング素子４６３と、一端側が入力端子Ｐに電気的に接続され他端側が出力端子Ｒに電気的に接続されたコンデンサ４６４と、を備えている。
【００４７】
スイッチング素子４６２、４６３は、互いに連動して切り替わるようになっている。すなわち、スイッチング素子４６２がコンデンサ４６１の一端側を入力端子Ｐに電気的に接続した場合には、スイッチング素子４６３は、コンデンサ４６１の他端側を入力端子Ｑに電気的に接続する。一方、スイッチング素子４６２がコンデンサ４６１の一端側を出力端子Ｒに電気的に接続した場合には、スイッチング素子４６３は、コンデンサ４６１の他端側を入力端子Ｐに電気的に接続する。
【００４８】
まず、スイッチング素子４６２がコンデンサ４６１の一端側を入力端子Ｐに電気的に接続するとともに、スイッチング素子４６３がコンデンサ４６１の他端側を入力端子Ｑに電気的に接続する。この状態で、入力端子Ｐにデジタル入力電圧ＶＤＤを供給するとともに、入力端子ＱにデジタルＧＮＤを供給する。
すると、コンデンサ４６１には、デジタル電圧ＶＤＤが充電される。
【００４９】
次に、スイッチング素子４６２、４６３をそれぞれ切り替えて、スイッチング素子４６２がコンデンサ４６１の一端側を出力端子Ｒに接続するとともに、スイッチング素子４６３がコンデンサ４６１の他端側を入力端子Ｐに接続する。
すると、コンデンサ４６４には、コンデンサ４６１に充電されたデジタル電圧ＶＤＤおよび入力端子Ｐから供給されたデジタル入力電圧ＶＤＤの和であるデジタル電圧２ＶＤＤが充電される。
【００５０】
以上により、チャージポンプ回路４６は、入力端子Ｐから入力されるデジタル入力電圧ＶＤＤを略２倍のデジタル電圧２ＶＤＤに昇圧して、出力端子Ｒから出力する。
【００５１】
以上の素子基板６０は、以下の手順で製造される。
まず、素子基板６０のうち表示領域Ａに対応する領域に、複数の画素回路５０を形成するとともに、ＴＥＧ４０に、画素回路５０と同一工程を経て、当該画素回路５０と同一構造の画素検査回路４１を形成する。また、上述の工程の際に、ＴＥＧ用信号線９１、ＴＥＧ用外部端子９２、汎用信号線９６、および汎用外部端子９７を上述したように形成するとともに、ＴＥＧ４０に、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１の一部であるチャージポンプ回路４６も形成する。
【００５２】
次に、ＴＥＧ用外部端子９２を利用して、ＴＥＧ４０を検査する。
具体的には、ＴＥＧ４０に形成された画素検査回路４１の動作を確認する。そして、画素検査回路４１が正常に動作しない場合には、画素回路５０も正常に動作しないと推定して、そのＴＥＧ４０が形成された素子基板６０を廃棄する。
一方、画素検査回路４１が正常に動作する場合には、画素回路５０も正常に動作すると推定して、ＴＥＧ４０に形成されたチャージポンプ回路４６の動作を確認する。そして、チャージポンプ回路４６が動作するか否かに関わらず、次の手順に移る。
【００５３】
次に、素子基板６０に、上述のチャージポンプ回路４６を除く残りの走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１を形成する。また、上述の工程の際に、走査線駆動回路１１を検査する検査回路１２と、データ線駆動回路２１を検査する検査回路２２とを形成する。
【００５４】
次に、汎用外部端子９７を利用して、検査回路１２を用いて走査線駆動回路１１を検査するとともに、検査回路２２を用いてデータ線駆動回路２１を検査する。そして、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１のうち上述のチャージポンプ回路４６を除く回路の少なくとも一部が正常に動作しない場合には、これらが形成された素子基板６０を廃棄する。
【００５５】
以上により製造された素子基板６０は、電気光学装置１の構成部品として使用される。
ここで、電気光学装置１のうちチャージポンプ回路４６が正常に動作するものでは、図２に示すように、ＴＥＧ用外部端子９２を、外部基板としてのＦＰＣ（Flexible  Printed  Circuit）９５を介して汎用外部端子９７に電気的に接続して、このチャージポンプ回路４６で生成された駆動電圧を液晶パネルＡＡに供給する。
一方、電気光学装置１のうちチャージポンプ回路４６が正常に動作しないものでは、ＴＥＧ用外部端子９２にＦＰＣ９５を電気的に接続せず、ＦＰＣ９５に形成されたチャージポンプ回路で生成された駆動電圧を汎用外部端子９７を介して液晶パネルＡＡに供給する。
【００５６】
以上の電気光学装置１は、以下のように動作する。
すなわち、液晶パネルＡＡに駆動電圧を供給するとともに、走査線駆動回路１１から選択電圧を走査線１０に線順次で供給することで、ある走査線１０に係る画素トランジスタ５１を全てオン状態にして、データ線２０と画素電極５５とを導通状態とする。そして、これらデータ線２０と画素電極５５とが導通状態となるタイミングに同期して、データ線駆動回路２１からデータ線２０に画像信号を線順次で供給する。これにより、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１で選択した全ての画素にデータ線２０から画素トランジスタ５１を介して画像信号が供給されて、画像データが画素電極５５に書き込まれる。
【００５７】
画素の画素電極５５に画像データが書き込まれると、この画素電極５５と共通電極５６との電位差により、液晶に駆動電圧が印加される。したがって、画像信号の電圧レベルを変化させることで、液晶の配向や秩序を変化させて、各画素の光変調による階調表示を行う。
なお、液晶に印加される駆動電圧は、蓄積容量５３により、画像データが書き込まれる期間よりも３桁も長い期間に亘って保持される。
【００５８】
図４は、画素トランジスタ５１および画素電極５５の断面を含む液晶パネルＡＡの部分断面図である。
本実施形態において、画素トランジスタ５１は、プレーナ型ポリシリコンＴＦＴであり、各画素は、このＴＦＴ５１を複数含んで構成されている。
【００５９】
まず、素子基板６０について説明する。
素子基板６０は、図４に示すように、ガラス基板６８を有し、このガラス基板６８上のＴＦＴが形成される領域には、ｐ−Ｓｉ（多結晶シリコン）およびｎ＋ｐ−Ｓｉからなる半導体層６１が形成されている。
半導体層６１の上およびガラス基板６８の上には、表示領域Ａの全面に亘ってゲート絶縁膜６２が形成されている。
【００６０】
ゲート絶縁膜６２上には、半導体層６１に対向して、ゲート電極５１１が形成されている。また、ゲート絶縁膜６２上には、走査線１０および共通線３０が形成されている。
ゲート電極５１１、走査線１０、および共通線３０上には、層間絶縁膜６３が被覆されている。
【００６１】
ゲート絶縁膜６２および層間絶縁膜６３には、半導体層６１と後述のソース電極５１２とを電気的に接続するためのコンタクトホール６２１と、半導体層６１と後述のドレイン電極５１３とを電気的に接続するためのコンタクトホール６２２と、が形成されている。
【００６２】
層間絶縁膜６３の上には、ソース電極５１２およびドレイン電極５１３が形成されている。
ドレイン電極５１３は、後述のコンタクトホール６４１が形成される位置まで延長されている。また、層間絶縁膜６３の上には、データ線２０が形成されている。
【００６３】
ソース電極５１２、ドレイン電極５１３、データ線２０、および層間絶縁膜６３上には、絶縁膜としての平坦化膜６４が形成されている。
平坦化膜６４には、ドレイン電極５１３と後述の画素電極５５とを電気的に接続するためのコンタクトホール６４１が形成されている。
【００６４】
平坦化膜６４上には、コンタクトホール６４１が形成された領域を除いて、画素電極５５が形成される領域の全面に亘って、入射光を反射する反射膜６５が形成されている。
この反射膜６５上には、ＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）やＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などの透明電極からなる上述の画素電極５５が形成されている。この画素電極５５は、コンタクトホール６４１の内部も被覆しており、これにより、ドレイン電極５１３に電気的に接続されている。
画素電極５５上には、ポリイミド膜などの有機膜からなる配向膜（図示省略）が形成されている。
【００６５】
次に、対向基板７０について説明する。
対向基板７０は、ガラス基板７４を有し、このガラス基板７４のうち画素電極５５の境界に対向する位置には、ブラックマトリクスを成す遮光膜７１が形成されている。
ガラス基板７４および遮光膜７１上には、カラーフィルタの着色層７２が形成されている。
カラーフィルタの着色層７２上には、画素電極５５に対向するＩＴＯ（Indium  Tin  Oxide）やＩＺＯ（Indium  Zinc  Oxide）などの透明導電膜からなる共通電極５６が形成されている。共通電極５６上には、配向膜（図示省略）が形成されている。
【００６６】
素子基板６０と対向基板７０との間には、液晶層が形成され、この液晶層は、素子基板６０および対向基板７０の周囲に形成された図示しないシール材により封止されている。
【００６７】
素子基板６０および対向基板７０の表面には、図示しない位相差板や偏光板が設けられている。
【００６８】
図５は、ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７の断面を含む素子基板６０の部分断面図である。
素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域では、ガラス基板６８上に、ゲート絶縁膜６２が形成されている。
このゲート絶縁膜６２上には、層間絶縁膜６３が形成され、このゲート絶縁膜６２上には、ＴＥＧ用信号線９１および汎用信号線９６が上述のソース電極５１２およびドレイン電極５１３と同一の材料で形成されている。
ＴＥＧ用信号線９１、汎用信号線９６、および層間絶縁膜６３上には、平坦化膜６４が形成されており、この平坦化膜６４には、コンタクトホール６４２が形成されている。
このコンタクトホール６４２の近傍および内部には、画素電極５５と同一の材料である透明電極からなるＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７が形成されている。これにより、ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７は、ＴＥＧ用信号線９１および汎用信号線９６に電気的に接続されている。
【００６９】
したがって、素子基板６０は、ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７が形成される領域と、画素トランジスタ５１および画素電極５５が形成される領域とが同一工程で製造される。そして、ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７は、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に略同一の形状で設けられ、外部に露出している。このため、この露出したＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７の上には、ＦＰＣ９５が容易に実装可能となっている。
【００７０】
次に、電気光学装置１の表示について説明する。
電気光学装置１は、全反射型の表示を行う。すなわち、図４中矢印で示すように、外部から入射した周囲光は、対向基板７０の偏光板（図示省略）で直線偏光となり、ガラス基板７４、カラーフィルタの着色層７２、共通電極５６を透過して、液晶層に入射する。液晶層に入射した光は、画素電極５５を透過して、反射膜６５で反射され、再び画素電極５５を透過して、液晶層を通過する。この液晶層を通過する間に、印加電圧に応じて偏光方向が回転される。液晶層を通過した光は、再び、共通電極５６、カラーフィルタの着色層７２、およびガラス基板７４を透過して、対向基板７０の偏光板に達する。偏光板に達した光は、液晶による偏光方向の回転量に応じて、偏光板を透過する。
【００７１】
このような全反射型の電気光学装置１は、画素トランジスタ５１といった回路上に画素電極５５を形成できるので、画素電極５５の有効面積を、画素トランジスタ５１やその配線などの面積に影響されることなく、十分に広く確保でき、しかもバックライトなどの光源も不要であるため、高輝度の表示を、低い消費電力で実現できる。
【００７２】
本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）素子基板６０に、画素回路５０と同一構造の画素検査回路４１を含むＴＥＧ４０と、このＴＥＧ４０に電気的に接続されたＴＥＧ用外部端子９２と、を設けた。このため、ＴＥＧ用外部端子９２を介してＴＥＧ４０を検査することで、画素回路５０の動作を確認できる。
また、画素検査回路４１を含むＴＥＧ４０に、チャージポンプ回路４６をさらに形成した。このチャージポンプ回路４６は、画素回路５０を駆動する走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１の一部であり、歩留りが低い。このため、ＴＥＧ４０を検査して、このＴＥＧ４０が正常に動作する場合には、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１の一部であるチャージポンプ回路４６も正常に動作しているから、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１が正常に動作する確率は高くなる。
したがって、ＴＥＧ４０を検査することによって、走査線駆動回路１１およびデータ線駆動回路２１が正常に動作するか否かを推定できるから、歩留りを向上できる。
【００７３】
（２）素子基板６０のうち対向基板７０の端部に対向する領域の近傍には、液晶パネルＡＡの製造する際に、応力が作用する。また、素子基板６０や対向基板７０のうちシール材が設けられた領域には、このシール材により、外力による応力が集中しやすい。
しかしながら、ＴＥＧ４０を、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に形成したので、ＴＥＧ４０に応力が作用するのを回避でき、損傷や誤動作を防止できる。
【００７４】
（３）ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７を、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置されていない領域に形成した。このため、ＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７は、対向基板７０に隠蔽されないので、これらＴＥＧ用外部端子９２および汎用外部端子９７の上にＦＰＣ９５を容易に実装できる。
【００７５】
（４）ＴＥＧ用信号線９１により、ＴＥＧ４０とＴＥＧ用外部端子９２とを電気的に接続し、このＴＥＧ用信号線９１の一部を、素子基板６０のうち対向基板７０が対向配置された領域に形成した。このため、ＴＥＧ用信号線９１のうち対向基板７０に覆われていない部分が少なくなり、ＴＥＧ用信号線９１に外部からの静電気が印加されるのを防止できる。
【００７６】
（５）複数のＴＥＧ用信号線９１のうち最も画素回路５０、走査線駆動回路１１、およびデータ線駆動回路２１寄りに位置するものであるＴＥＧ用特定信号線９１Ａを、グラウンド電位とした。このグラウンド電位であるＴＥＧ用特定信号線９１Ａは、残りのＴＥＧ用信号線９１と、汎用信号線９６との間に位置するので、これらの信号線の間のノイズの影響を減少させることでクロストークを低減できる。
【００７７】
＜変形例＞
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
例えば、本実施形態では、電気光学装置１を全反射型の表示を行う構成としたが、これに限らず、透過型の表示を行う構成としてもよいし、透過および反射兼用の半透過反射型の表示を行う構成としてもよい。
【００７８】
また、本実施形態では、評価回路としてのＴＥＧ４０を、チャージポンプ回路４６を含んで構成したが、これに限らず、例えば、レベルシフタやデコーダ回路を含んで構成してもよい。
【００７９】
また、本実施形態では、電気光学物質として液晶を用いたが、これに限らず、液晶以外の電気光学物質を用いた電気光学装置にも適用できる。例えば、着色された液体とこの液体に分散された白色の粒子とを含むマイクロカプセルを電気光学物質として用いた電気泳動表示パネル、極性が相違する領域毎に異なる色に塗り分けられたツイストボールを電気光学物質として用いたツイストボールディスプレイパネル、黒色トナーを電気光学物質として用いたトナーディスプレイパネル、あるいは、ヘリウムやネオン等の高圧ガスを電気光学物資として用いたプラズマディスプレイパネルなど各種の電気光学装置に対しても、上記実施形態と同様に本発明が適用され得る。
【００８０】
また、本実施形態では、画素トランジスタ５１として、ポリシリコンＴＦＴを用いたが、これに限らず、アモルファスシリコンＴＦＴを用いてもよい。
【００８１】
＜応用例＞
次に、上述した実施形態に係る電気光学装置１を適用した電子機器について説明する。
図６は、電気光学装置１を適用した携帯電話機の構成を示す斜視図である。携帯電話機３０００は、複数の操作ボタン３００１およびスクロールボタン３００２、ならびに電気光学装置１を備える。スクロールボタン３００２を操作することによって、電気光学装置１に表示される画面がスクロールされる。
【００８２】
なお、電気光学装置１が適用される電子機器としては、図６に示すものの他、パーソナルコンピュータ、情報携帯端末、デジタルスチルカメラ、液晶テレビ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、前述した電気光学装置が適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の一実施形態に係る電気光学装置の構成を示すブロック図である。
【図２】前記電気光学装置の平面図である。
【図３】ＴＥＧの構成を示すブロック図である。
【図４】画素トランジスタおよび画素電極の断面を含む液晶パネルの部分断面図である。
【図５】ＴＥＧ用外部端子および汎用外部端子の断面を含む素子基板の部分断面図である。
【図６】上述した電気光学装置を適用した携帯電話機の構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００８４】
１…電気光学装置、１０…走査線、１１…走査線駆動回路（駆動回路）、２０…データ線、２１…データ線駆動回路（駆動回路）、４０…ＴＥＧ（評価回路）、４１…画素検査回路、４６…チャージポンプ回路（駆動回路）、５０…画素回路、５１…画素トランジスタ、６０…素子基板（第１の基板）、７０…対向基板（第２の基板）、９１…ＴＥＧ用信号線（評価回路用信号線）、９２…ＴＥＧ用外部端子、９６…汎用信号線、９７…汎用外部端子（外部端子）３０００…携帯電話機（電子機器）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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