Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
(57)【要約】      （修正有）【課題】有機燐系神経ガスを呈色反応により検出するための検知材の提供。【解決手段】検知材は、水素イオン濃度指示薬、例えばメチルレッド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリットル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコール等の多価アルコール１５ミリリットル、及び有機燐系神経ガスを水素化する水素化用均一系触媒、例えば銅錯塩を、全量が１００ミリリットルとなるようにメタノール等の易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セルロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させて構成されている。【効果】有機燐系神経ガスを分解して酸性成分であるフッ化水素を生じさせて水素イオン指示薬と呈色反応するため、前処理用の熱分解炉が不要となり検出装置の簡素化、小型化を図ることができる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
水素イオン指示薬、保湿剤、及び有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させる剤を担体に展開して構成された有機燐系神経ガスの検知材。
【請求項２】
前記有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させる剤が、水素化用均一系触媒である請求項１に記載の有機燐系神経ガスの検知材。
【請求項３】
水素化用均一系触媒が、銅錯塩である請求項２に記載の有機燐系神経ガスの検知材。
【請求項４】
前記水素化用均一系触媒が、硫酸銅である請求項２または請求項３に記載の有機燐系神経ガスの検知材。
【請求項５】
前記有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させる剤が、メチルセロソルブである請求項１に記載の有機燐系神経ガスの検知材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機燐系神経ガスを呈色反応により検出するための検知材に関する。
【背景技術】
【０００２】
有機燐系神経ガス、例えばマスタードを呈色反応により検出するためには、特許文献１に見られるように神経性ガス自体と呈色反応する適当な反応試薬が存在しないため、被検ガスを５００℃程度に加熱して酸性物質であるフッ化水素に分解する必要上、熱分解炉を必要として検出装置の構造が複雑かつ大型化、さらには熱分解炉を作動させるための大きな電力を必要とする等の不都合がある。
【特許文献１】特開2005-62136号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明はこのような問題に鑑みてなされたものであって、前処理を必要とすることなく検知材自体で神経性ガスを検出することができる新規な有機燐系神経ガスの検知材を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
このような課題を達成するために本発明は、水素イオン指示薬、保湿剤、及び有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させる剤を担体に展開して構成されている。
【発明の効果】
【０００５】
有機燐系神経ガスを分解して酸性成分であるフッ化水素を生じさせて水素イオン指示薬と呈色反応するため、前処理用の熱分解炉が不要となり検出装置の簡素化、小型化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
そこで以下に本発明の詳細を実施例に基づいて説明する。
本発明の検知材は、水素イオン濃度指示薬、例えばメチルレッド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリットル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコール等の多価アルコール１５ミリリットル、及び有機燐系神経ガスを水素化する水素化用均一系触媒、例えば銅錯塩を、全量が１００ミリリットルとなるようにメタノール等の易蒸発性有機溶媒に溶解した発色液に、セルロースを素材とするろ紙に含浸させ有機溶媒を揮散させて構成されている。
【０００７】
また、水素イオン指示薬としては、メチルオレンジのほか、メタニールイエロー、アザリンイエロー、ベンジルイエロー、メチルイエロー、メチールレッド、ベンジルオレンジ、トロペオリン、ブロモフェノールブルーを使用することが出来る。
【０００８】
このようにして構成された検知材は、テープ状に裁断してカセットケースに収容して連続測定用に供したり、また紙片に成形して遮気性の袋に保管し、必要の都度、遮気性袋から取り出してバッチ測定に供したりすることができる。
【０００９】
この検知材は、例えば図１に示したような検出装置、つまり発光素子１１と受光素子１２とを備えた光学濃度検知手段としての測定ヘッド１３と、一定時間毎にテープ状に整形された検知材を測定ヘッド１３の領域に搬送するテープ搬送機構１４と、サンプリングポンプ１５からの負圧を受けて、測定ヘッド１３と共同して検知材Ｓに被検ガスを接触させる吸引ヘッド１６とから構成された装置に装填して使用される。なお、図中符号１７は、検知材Ｓの未使用領域を測定領域に一定量送り出すための間欠駆動部を示す。
【００１０】
この実施例において、濃度０．１ｍｇ／立方メートル程度のマスタードを含むエアを時間３０秒だけ吸引すると、有機燐系神経ガスは検知材上の水素化用均一系触媒により、
【化１】
2007040934.tif 000002
【００１１】
なる反応によりフッ化水素を生成し、検知材Ｓの一方の面から他方の面に通過し、検知材Ｓに担持されている発色剤と反応する。この際、検知材のシリカゲルや保湿剤が反応を促進することになる。
【００１２】
このようにしてサンプリング時間が経過した時点で、測定ヘッド１３の発光素子１１と受光素子１２とにより、ガスを通過させる以前の光学濃度との差分を検出すると、発色液の光学的飽和濃度の２７％程度の検出出力を得ることができた。
【００１３】
なお、上述の実施例においては、水素化用均一系触媒により有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させているが、基本反応試薬である水素イオン濃度指示薬、例えばメチルレッド０．０２ｗｔ％、バッファ溶液１７．５ミリリットル、及び保湿剤、例えばグリセリンやエチレングリコール等の多価アルコール１５ミリリットルに、メチルセロソルブを０．５乃至１０ｖ／ｖ％となるように１００ミリリットルのメタノール等の易蒸発性有機溶媒に溶解して発色液を調製し、セルロースを素材とするろ紙などの担体に含浸させ、有機溶媒を揮散させて構成することもできる。
【００１４】
この実施例によれば、有機燐系神経ガスは、担体上のメチルセロソルブにより分解されてフッ化水素を発生するので、反応試薬がフッ化水素により呈色反応することになる。
【００１５】
なお、水酸化ナトリウムやジエチレントリアミンも有機燐系神経ガスを分解してフッ化水素を発生させることが知られているが、これら水酸化ナトリウムやジエチレントリアミンは、いずれも強塩基性物質であるため、反応試薬のｐＨを変化させることなり、フッ化水素により呈色反応させることが不可能となり、有機燐系神経ガスを検出するための剤としては不適当であることが確認された。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明の検知材に適した検出装置の一実施例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００１７】
１１  発光素子    １２  受光素子    １３  測定ヘッド    １４  テープ搬送機構      １５  サンプリングポンプ    １６  吸引ヘッド    １７  間欠駆動部    Ｓ    検知材
【図１】
2007040934.tif 000003
(57)【要約】【課題】  単段圧縮の冷却装置は、周囲温度（外気温度）４０℃以上では冷却効果の低下が顕著であり、さらに、周囲温度（外気温度）４２〜４５℃では、冷媒圧力の異常を検知した安全装置が作動して装置が停止する。【解決手段】  従来技術では、キャピラリーチューブ（３）として、選択肢になかった、内径が２．０ｍｍ以上、長さ２０００ｍｍ以上の銅管を採用することを特徴とする。【選択図】  図１
2007040685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷凍空調回路の一つの重要なパラメータとして作用する部品として内径２．０ｍｍ以上、長さ２０００ｍｍ以上の銅管をキャピラリーチューブ（３）として採用することで温暖化へ対応した冷却装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  この発明は、圧縮機（１）、凝縮器（２）、キャピラリーチューブ（３）、蒸発器（４）、ファンモーター（５）、ポンプ（６）で構成される安価で堅牢な構造である単段圧縮とした場合に周囲温度（外気温）が４０℃を超える領域における冷却空調機器の冷却効果が顕著に低下しないようにすることを目的とした温暖化へ対応した冷却装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来の冷却装置では、周囲温度（外気温度）４０℃を超える使用条件において単段圧縮方式を採用した冷却空調機器の冷却効果は顕著に低下する。また、周囲温度（外気温度）４２〜４５℃で安全装置が作動して、冷却装置が停止する。したがって、装置の利用者が最も必要とする肝心な条件で冷却装置が利用できない。
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  従来技術には、次のような欠点があった。
単段圧縮の冷却空調装置は、周囲温度（外気温度）３２〜３５℃で、冷却能力を最適化するように設計されているので、周囲温度（外気温度）４０℃は、想定外であって、冷却効果が小さくなる。また、周囲温度（外気温度）４２〜４５℃の過酷な高温条件では装置の安全装置が作動して冷却装置が利用できない。さらに、代替フロンは温暖化係数が高いので、ガス漏れ事故等があったとき、温暖化へ与える影響が高い。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  従来の装置では、キャピラリーチューブとして採用することがなかった。本発明では、内径２．０ｍｍ、長さ２０００ｍｍ以上の銅管を、キャピラリーチューブとして採用した状態で、冷凍サイクルを最適化できるように、従来よりも少ない冷媒封入量を封入する。
【発明の効果】
【０００５】  従来の方法では、周囲温度（外気温度）４０℃以上で冷却能力が極めて低下することが認められる。本発明は、単段圧縮としているが、周囲温度（外気温度）４０〜４５℃の、高温時においても、常温時（２５℃）冷却能力の７５％以上を維持できる。また本発明の構成を採用することで同時に、冷却装置の安全装置の作動温度も、周囲温度（外気温度）５０℃まで、異常圧力とならず、冷却能力も、常温（２５℃）に対して、７０％以上までとすることができる。また、代替フロンは温暖化係数が大きいことに配慮すると本発明は、従来よりも冷媒封入量が少なくできるので、冷媒漏れ事故があった場合の温暖化リスクが軽減できる。
【発明の実施をするための最良の形態】
【０００６】  以下、本発明の実施をするための最良の形態について説明する。
本発明は、単段圧縮を採用する。凝縮効果を高効率とする目的で強制冷却する凝縮器（２）のファンモーター（５）のシステムインピーダンスを最小化するように設定し、蒸発器（４）の熱交換を最適とするために、被冷却対象（液体）の物性に応じて、最適な流量にできるポンプ（６）を選択した状態で、内径２．０ｍｍ以上、長さ２０００ｍｍ以上の銅管を、キャピラリーチューブとして採用した構成で、従来よりも少ない冷媒を封入することで、装置を最適化するものである。その結果、装置の周囲温度（外気温度）が４０〜４５℃の高温時では、常温時（２５℃）に対して７５％以上の冷却能力とすることができる。また同時に、周囲温度（外気温度）５０℃まで冷却装置の冷媒は異常圧力とならず冷却能力も常温（２５℃）に対して７０％以上とすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の回路図である。
【図２】本発明のモリエル線図である。
【符号の説明】
【０００８】    １  圧縮機
２  凝縮器
３  キャピラリーチューブ
４  蒸発器
５  ファンモーター
６  ポンプ
【図１】
2007040685.tif 000003
【図２】
2007040685.tif 000004
【手続補正書】
【提出日】平成17年9月14日(2005.9.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】本発明は、従来の装置では、キャピラリーチューブとして採用することがなかった内径２．０ｍｍ、長さ２０００ｍｍ以上の銅管をキャピラリーチューブとして採用した状態で冷凍サイクルを最適化できるように、従来よりも少ない冷媒封入量を封入する。
【手続補正２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2007040685.tif 000005
(57)【要約】【課題】  本発明は、手を汚さずにフィルターの交換が簡単に出来、吸い取り口を多面式にすることで換気扇本来の力を発揮させ、排出力の向上を促す立体型換気扇フィルターを提供する。【解決手段】  多面を有する立体型の枠体は、組み立てて壁と換気扇本体の隙間に爪部を差し込み固定し、袋状のフィルターを覆い被せバネ付き掛部で挟み固定し、フィルターの吸い取り口を複数面を設け、換気扇を回しフィルター内部の空間の気圧を下げることで吸収・排出力の向上と換気扇本来の力を出させることを特徴とする立体型換気扇フィルター。【選択図】    図１
2007040682.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
多面を有する立体型の枠体は、組み立てて壁と換気扇本体の隙間に爪部を差し込み固定し、袋状のフィルターを覆い被せバネ付き掛部で挟み固定し、フィルターの吸い取り口を複数面を設け、換気扇を回しフィルター内部の空間の気圧を下げることで吸収・排出力の向上と換気扇本来の力を出させることを特徴とする立体型換気扇フィルター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、手を汚さずにフィルターの交換が簡単に出来、吸い取り口を多面式にすることで換気扇本来の力を発揮させ、排出力の向上を促す立体型換気扇フィルターに関するものである。
【背景技術】
【０００２】  従来のフィルターは、換気扇に接するように平面の一枚のフィルターが有る為、目詰まりを起こすと換気の意味を成さず、空回りの状態だった。
方形状平面体であるため、吸い取り口が一面しかなく、吸う空間が狭いため、フィルターの目が詰まり始めると吸引力は無くなり換気扇は空回り状態である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】  （イ）換気扇の吸い取り口が一面では、汚れが早くなり直ぐに目詰まりを起こしてしまう。
（ロ）換気扇がフィルターに接していることで、吸引力を低下させている。
（ハ）フィルターの交換の操作が複雑で面倒な一面がある。
本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】  多面を有する立体型の枠体は、組み立てて壁と換気扇本体の隙間に爪部を差し込み固定し、袋状のフィルターを覆い被せバネ付き掛部で挟み固定し、フィルターの吸い取り口を複数面を設け、換気扇を回しフィルター内部の空間の気圧を下げることで吸収・排出力の向上と換気扇本来の力を出させる。以上を特徴とする立体型換気扇フィルターである。
【発明の効果】
【０００５】  立体形の枠体にフィルターの面を複数作ることで、フィルター面を広くすることが出来、目詰まりを軽減できる。
フィルターの内部に空間が出来、内部の気圧が下がることで、換気扇本来の力が発揮され排出力・吸収力が向上する。
上部・下部枠体を固定するのに、バネを使用することで多少の枠体装着時の誤差を解消できる。
バネ付き掛部の使用は、フィルターの取り付け、取り外しが容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】  以下、本発明の実施の形態について説明する。
（イ）組み立てた枠体の上部（９）下部（１０）に、爪部（２）を設ける。
（ロ）枠体上部（９）と下部（１０）を固定するため、バネ留め具（１）とバネ留め具孔（４）を設ける。
（ハ）袋状のフィルター（８）を設け、これを挟み固定するため、バネ付き掛部（３）とバネ付き受け孔（５）を設ける。
本発明は、以上の構成よりなっている。
本発明を使用する時は、平面の枠体（７）を組み立てて立体化させ、枠体上部（９）の爪部（２）と下部の爪部（２）を換気扇（６）と壁との隙間に差込み、両サイドのバネ留め具（１）をバネ留め具孔（４）に入れ固定する。
袋状のフィルター（８）を枠体全体に包み込み、バネ付き掛部（３）をバネ付き受け孔（５）に入れ固定して使用する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】  本発明の斜視図
【図２】  本発明の平面図
【図３】  本発明の使用状態を示す分解斜視図
【符号の説明】
【０００８】１    バネ留め具
２    爪部
３    バネ付き掛部
４    バネ留め具孔
５    バネ付き受け孔
６    換気扇
７    枠体
８    袋状フィルター
９    枠体上部
１０  枠体下部
【図１】
2007040682.tif 000003
【図２】
2007040682.tif 000004
【図３】
2007040682.tif 000005
(57)【要約】【課題】  本発明は、寒冷地において起る現象である外壁面を貫通する排気管の外周部より水分、蒸気等が壁面と取付板との間に浸入して壁面を汚損したり、凍結して壁面を破損するおそれがあるような場合に対処することができる構造の換気口を提供することを目的とする。。【解決手段】  外壁面に設置する排気管ａの取付板１と通気板３との間に全面的にゴムパッキング６を一体に装着し、該パッキングの通孔周縁部を自然曲折６'して前記排気管に密着せしめ、このように成る前記通気板外部にフード体を設置して成るものである。【選択図】    図  ３
2007040610.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
外壁面に設置する排気管の取付板と通気板との間に全面的にゴムパッキングを一体に装着し、該パッキングの通孔周縁部を自然曲折して前記排気管に密着せしめ、前記通気板外部にフード体を設置して成ることを特徴とする建物用換気口。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、建物用換気口に関するもので、特に寒冷地仕様に適する換気口に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
寒冷地仕様の換気口としては、従来公知の文献として次のようなものが挙げられる。
【０００３】
【特許文献１】登録実用新案第３０３２５９６号公報
【特許文献２】特許第３１３５２０８号公報
【特許文献３】特開２００４-１３８３００号公報
【０００４】
しかしながら、これらの換気口にあっては、寒冷地において起る現象である外壁面を貫通する排気管の外周部より水分，蒸気等が壁面と取付板との間に浸入しこれが凍結すると壁面を破損するおそれがある場合に対処できる構造とはなっていなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
そこで、本発明は、前記のような現象によって起る被害を未然に防止することができる構造の換気口を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、外壁面に設置する排気管の取付板と通気板との間に全面的にゴムパッキングを一体に装着し、該パッキングの通孔周縁部を自然曲折して前記排気管に密着せしめ、このように成る前記通気板外部にフード体を設置して成るものである。
【発明の効果】
【０００７】
本発明にあっては、建物外部の寒気と建物内部の温気との競合によって起ころうとする排気管外周部からの水滴や蒸気等の壁面と取付板との間への浸入を完全に遮断することができるから、壁面を凍結によって破損したり、汚損したりすることを防止することができるようになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本換気口にあっては、外壁面を貫通設置する排気管を取付ける内側の取付板と外側の通気板との間に全面的に同形状に成るパッキングを一体に装着する管接続構造であるから、建物外部の寒気と建物内部の温気との競合によって起こる水滴や蒸気の壁面付着を確実に防止し、壁面の汚損や凍結による壁面破損を未然に防止する。
【０００９】
万一、水滴等の水分がパッキングを超えて外壁面に浸入しても、通気板の下側部に設けた水抜孔から円滑に流出するようになる。
【実施例】
【００１０】
１は壁面の外側部に接して設置する取付板で、この取付板には後記排気管ａを挿通する通口部２を有する。
【００１１】
３は壁面の外側部に設置する通気板で、この通気板には後記排気管ａを挿通する支持縁部４を有する通口部５を設ける。
【００１２】
６は前記取付板１及び通気板３との間に全面的に介装するゴムパッキングで、このパッキングは通口部７を設けるとともに前記取付板１及び通気板３と同一形状に成る。
【００１３】
６'は後記排気管ａの外周面部に密着する前記ゴムパッキング６の自然曲折部を示す。
【００１４】
８は前記通気板３の流水部で、この流水部の上段部９には水抜孔１０，１０を設ける。
【００１５】
１１はフード体で、このフード体は前記通気板３，ゴムパッキング６及び取付板１の周囲部に固着する。
【００１６】
ａは外壁面に貫通設置する排気管である。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】全体を構成する各部材の斜視図
【図２】図１の各部材を組立てた斜視図
【図３】要部の中央部断面図
【符号の説明】
【００１８】
１                    取付板
２                    通口部
３                    通気板
４                    支持縁部
５                    通口部
６                    ゴムパッキング
６'                  曲折部
７                    通口部
８                    流水部
９                    上段部
１０，１０            水抜孔
１１                  フード体
【図１】
2007040610.tif 000003
【図２】
2007040610.tif 000004
【図３】
2007040610.tif 000005
(57)【要約】【課題】多室循環換気システムにおいて、トイレ内に静電霧化装置を設置し、静電霧化装置のミスト濃度の低下を防ぎ消臭能力の低下を防止しするもので、トイレ内の消臭を効率的に行う多室循環換気システムを提供することをその課題とする。【解決手段】浴室１に多室用循環換気乾燥機４を設け、該多室用循環換気乾燥機４からの循環空気の吐出口と換気（排気）するための排気口とを脱衣室２、トイレ３の各室に設けると共に少なくともトイレ３には静電霧化装置５を設け、当該静電霧化装置５が稼働している場合に連動してトイレ３内の換気量（排気量）を減少せしめる多室循環換気システムである。【選択図】図１
2007040650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
浴室に多室用循環換気乾燥機を設け、該多室用循環換気乾燥機からの循環空気の吐出口と換気（排気）するための排気口とを脱衣所、トイレの各室に設けると共に少なくともトイレには静電霧化装置を設け、当該静電霧化装置が稼働している場合に連動してトイレ内の換気量（排気量）を減少せしめる多室循環換気システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は浴室、脱衣所、トイレを一つの多室用循環換気乾燥機で換気乾燥する多室循環換気システムに関するものであり、さらに詳しくは、少なくともトイレには静電霧化装置を設けることによりトイレ使用時の消臭を行い、しかも、常時は循環換気機能により浴室、脱衣所、トイレの循環換気を行うことによりカビの発生を防止する多室循環換気システムに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、多室循環換気システムとして、特許文献１に示される多室循環換気システムが知られている。この従来の多室循環換気システムは図１及びその説明内容から明らかなように、浴室内の空気を換気すると共に換気口を通して洗面室（脱衣室）及びトイレの空気を換気するものであり、換気用送風機と循環用送風機とを備え、換気用送風機は浴室内の空気を換気（排気）すると共に換気口を通じて洗面室（脱衣室）およびトイレの空気を換気（排気）する。循環用送風機は乾燥手段と共に浴室乾燥ユニットを構成し空気を循環させ除湿し浴室を乾燥するものである。この従来の多室循環換気システムは浴室を浴室乾燥ユニットにより乾燥し、浴室、洗面室（脱衣室）およびトイレの空気を換気（排気）するものであるがトイレの消臭については充分なものではなかった。又、静電霧化装置は特許文献２に示されるように、室内空気の脱臭に効果のあるものとして空気清浄機として従来から用いられている。
【特許文献１】特開平９−２４１９５号公報（第１頁、図１）
【特許文献２】特開２００４−８５１８５号公報（第１頁、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１における多室循環換気システムは、トイレ内の消臭をするときはトイレ内の空気を換気（排気）することにより行うものであるために、臭いを単に移動させるもので、特に好ましいものではなく、消臭の観点からも充分なものでなかった。又、静電霧化装置による消臭能力は特許文献２に示されるように、静電霧化装置より発生されるミストの濃度が影響しており、ミストの濃度が低下すれば消臭能力は低下するものである。本発明は、トイレに設けた静電霧化装置より発生されたミストの濃度がトイレの換気（排気）から受ける悪影響を少なくし、消臭能力の低下を少なくした多室循環換気システムを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上記課題を解決するために、本発明に係る多室循環換気システムは、請求項１に記載した如く、浴室に多室用循環換気乾燥機を設け、該多室用循環換気乾燥機からの循環空気の吐出口と換気（排気）するための排気口とを脱衣所、トイレの各室に設けると共に少なくともトイレには静電霧化装置を設け、当該静電霧化装置が稼働している場合に連動してトイレ内の換気量（排気量）を減少せしめるものである。
【発明の効果】
【０００５】
請求項１に記載の多室循環換気システムは、トイレには静電霧化装置を設け、当該静電霧化装置が稼働している場合に連動してトイレ内の換気量（排気量）を減少せしめるものであるために、静電霧化装置から発生されるミストが空気と共に換気（排気）されることが少なくトイレ内のミスト濃度が高くなり、消臭能力が高くなるのである。静電霧化装置の稼働が停止するとトイレ内の換気は定常状態に復帰するが、すでにトイレ内の空気は消臭されており、外部に換気（排気）されてもなんら問題は生じないものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して、詳細に説明する。図１は本発明に係る多室循環換気システムの実施例を示すものである。図１において、１は浴室、２は脱衣室、３はトイレである。浴室１には多室用循環換気乾燥機４が設けられ、トイレ３には静電霧化装置５が設けられている。多室用循環換気乾燥機４は浴室１の天井裏に設置されており、換気フアン６、循環フアン７を備えている。
【０００７】
換気フアン６には電動ダンパ８を介してトイレ３に、電動ダンパ９を介して脱衣室２に、電動ダンパ１２を介して浴室１に各々連通しており、換気量（排気量）を調節している。循環フアン７には電動ダンパ１０を介してトイレ３に、電動ダンパ１１を介して脱衣室に、電動ダンパ１３を介して浴室１に各々連通しており循環空気量を調節している。１４はシャッターであり、換気フアン６による外部への排気を調節する。
【０００８】
次に、この多室循環換気システムの作動状態の一例を説明する。トイレ３の使用が終わり、照明スイッチ（図示せず）がオンからオフに切り替わると、換気フアン６は強運転し電動ダンパ８は開となり一時的にトイレ３の換気を行った後、換気量（排気量）を減少させると共に静電霧化装置５を連動させて作動させる。換気量（排気量）の減少と静電霧化装置５の連動は静電霧化装置５の作動に連動して換気量（排気量）を減少させても良いことはもちろんである。要するに静電霧化装置５の作動によるミストの濃度が減少しないように換気フアン６を連動させるものである。
【０００９】
上述の多室循環換気システムの作動状態例にかかわらず他の作動状態例、例えば、トイレ３の使用が終わり、照明スイッチがオンからオフに切り替わったとき、トイレ３の一時的換気を行わず、すぐに静電霧化装置５を作動させこれに連動させて換気量（排気量）を減少させても良いものである。本発明の実施例ではトイレ３に静電霧化装置５を設けた例を示したが、トイレ３に加え浴室１、脱衣室２にも静電霧化装置を設けてよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】本発明にかかる多室循環換気システムを示す説明図。
【符号の説明】
【００１１】
１        浴室
２        脱衣室
３        トイレ
４        多室用循環換気乾燥機
５        静電霧化装置
６        換気フアン
７        循環フアン
８、９，１０，１１，１２，１３        電動ダンパ
１４      シャッター
【図１】
2007040650.tif 000003
(57)【要約】【課題】貫流水車のランナー羽根の製造コストを低減する。【解決手段】水路からの流水を導入する導水管２と、回転軸４により支持されて導水管２により導入された流水をランナー羽根５に受けて回転するランナー３とを備える貫流水車１のランナー羽根５において、金属製の平板を所定の曲面に沿うように折り曲げてなる。【選択図】図１
2007040256.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水路からの流水を導入する導水管と、回転軸により支持されて前記導水管により導入された流水をランナー羽根に受けて回転するランナーとを備える貫流水車の前記ランナー羽根の製造方法において、金属製の平板を所定の曲面に沿うように折り曲げる折り曲げ工程を有することを特徴とするランナー羽根の製造方法。
【請求項２】
前記折り曲げ工程では、前記平板の一表面の折り曲げるべき位置に治具を当接させ、該治具を前記平板側に押し込むことにより前記平板を折り曲げることを特徴とする請求項１記載のランナー羽根の製造方法。
【請求項３】
水路からの流水を導入する導水管と、回転軸により支持されて前記導水管により導入された流水をランナー羽根に受けて回転するランナーとを備える貫流水車の前記ランナー羽根において、金属製の平板を所定の曲面に沿うように折り曲げてなることを特徴とするランナー羽根。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、導水管とランナーとを有する貫流水車に使用されるランナー羽根の製造方法およびランナー羽根に関する。さらに詳述すると、本発明はランナー羽根の形状の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
水力発電に利用される水車として、水路からの流水を導入する導水管と、複数のランナー羽根を有する導水管により導入された流水で回転するランナーとを備えた貫流水車があり、貫流水車においてはランナー羽根は曲面状に形成されている。そして、このような曲面状に形成されたランナー羽根には、削り出しや鋳造により製造されているものがある。例えば、特許文献１に記載の水車用のランナー羽根は、ランナクラウンとともに鋳造により製造されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−３０４０８８号公報（図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１のように、鋳造によりこのような曲面状のランナー羽根を製造すると製造コストが高くなってしまう。
【０００５】
本発明の目的は、製造コストを低減できるランナー羽根の製造方法およびランナー羽根を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
本発明のランナー羽根の製造方法は、水路からの流水を導入する導水管と、回転軸により支持されて前記導水管により導入された流水をランナー羽根に受けて回転するランナーとを備える貫流水車の前記ランナー羽根の製造方法において、金属製の平板を所定の曲面に沿うように折り曲げる折り曲げ工程を有する。
【０００７】
これによると、金属製の平板に対する折り曲げ加工によりランナー羽根を製造することができる。このため、削り出しや鋳造により製造する場合に比べて製造コストを低減することができる。
【０００８】
また、本発明のランナー羽根の製造方法においては、折り曲げ工程では、平板の一表面の折り曲げるべき位置に治具を当接させ、当該治具を平板側に押し込むことにより平板を折り曲げてもよい。これによると、治具を利用した簡易な折り曲げ加工によりランナー羽根を製造することができ、製造コストをさらに低減することができる。
【０００９】
本発明のランナー羽根は、水路からの流水を導入する導水管と、回転軸により支持されて前記導水管により導入された流水をランナー羽根に受けて回転するランナーとを備える貫流水車の前記ランナー羽根において、金属製の平板を所定の曲面に沿うように折り曲げてなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。
【００１１】
図１は本実施の形態に係る貫流水車１を示す側面図である。貫流水車１は導水管２とランナー３とを有する。導水管２は川などの水路から水を導入する。ランナー３には導水管２から水が流れ込む（図１中、矢印Ａ）。ランナー３は回転軸４を中心に回転可能に支持された２枚の回転板と、これら回転板に挟まれ回転板の外側の縁に沿って取り付けられた複数のランナー羽根５を有している。
【００１２】
各ランナー羽根５は、図２および図３に示すように、金属製の平板を所定の曲面６（基準面）に沿うように折り曲げてなる。ここでは、回転軸４に沿った方向から見てランナー３の回転方向に突出した折れ線状に形成されている。ここでの形状としては、図２に示すように曲面６に外接するものとしたり、あるいは図３に示すように曲面６に内接するものとすることができる。また、折り曲げた時の直線部分の長さは互いに同じであっても異なっていても良い。ただし水流に対する回転効率を考慮して、曲げ位置は２箇所以上であることが好ましい。
【００１３】
ここで、貫流水車１の動作について説明する。貫流水車１の動作時には、導水管２からランナー３に水が流れ込む。これにより、水がランナー羽根５を押し下げるように作用し（図１中、矢印Ａ）、さらにランナー３に流れ込んだ水が外部に放出される時にはランナー羽根５を押し上げるように作用する（図１中、矢印Ｂ）。よって、ランナー３が回転軸４を中心に回転する。ランナー３には例えば発電機が取り付けられており、ランナー３の回転により発電が行われる。
【００１４】
次に、ランナー羽根５の製造方法について説明する。ランナー羽根５を製造するには、金属製の平板を所定の曲面６に外接に折り曲げる（折り曲げ工程）。ここでは、図２に示すように、平板の一表面の折り曲げるべき位置に治具７を当接させ、該治具７を平板側に押し込むことにより平板を折り曲げるようにしている。治具７としては、先細形状のものを利用する。そして、平板の折り曲げを行うべき複数の位置のうちの１つに治具７を当接させて平板側に押し込んで折り曲げ、次に他の位置で同様に治具７を当接させて押し込むことを順次繰り返して平板を折り曲げる。
【００１５】
以上説明したように、本発明によると、金属製の平板に対する折り曲げ加工によりランナー羽根を製造することができる。このため、削り出しや鋳造により製造する場合に比べて製造コストを低減することができる。
【００１６】
また、治具７を平板に当接させて押し込むという簡単な方法により金属製の平板に対する折り曲げ加工を行うことによってランナー羽根を製造しているので、ランナー羽根の製造コストをさらに低減することができる。
【００１７】
以上、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明における実施の形態に係る貫流水車を示す側面図である。
【図２】曲面に外接するランナー羽根を示す側面図である。
【図３】曲面に内接するランナー羽根を示す側面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１  貫流水車
２  導水管
３  ランナー
４  回転軸
５  ランナー羽根
６  曲面
７  治具
【図１】
2007040256.tif 000003
【図２】
2007040256.tif 000004
【図３】
2007040256.tif 000005
(57)【要約】【課題】台座１と、内側に固着剤を充填可能な固定台７とを枢着することで、傾斜した屋根１６に風力発電装置を水平に載置可能にする。【解決手段】台座１と固定台７とを蝶番１３により回動自在に枢着している。固定台７には固着剤を充填するための凹部が設けられており、注入口１２より凹部に固着剤を注入充填可能に形成されている。固定台７の他端には角度調整杆１４が枢着されている。角度調整杆１４の先端から長手方向中途部位にかけて長溝１５が設けられ、長溝１５の締着用ボルト５、６を挿通する位置により、台座１と固定台７とのなす角度を調整して台座１の水平状態を保持する。【選択図】図１
2007040285.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
台座の一端と固定台の一端とを回動自在に枢着し、この固定台を前記枢着部を中心として回動し前記台座の下方向に於いて台座と鋭角をなすように位置させた場合に、前記固定台のうち下側に位置する面には固着剤を充填するための凹部が設けられており、この固定台の他端には角度調整杆が枢着され、この角度調整杆と前記台座との固着位置により、前記固定台に対する台座の位置が安定的に固定保持されるように形成されてなることを特徴とする物載置装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、風力発電装置を家根等の傾斜面に設置するための物載置装置に関し、詳しくは傾斜した家根に水平な台座を提供するための物載装置に関する。
【背景技術】
【０００２】  家庭用風力発電装置や階上の部屋に設置したエアコンの室外機は屋根の上に設置することが多い。従来、傾斜した屋根の上に設置する物載置装置は、傾斜面に対応した長さに切断された支柱で台座を支持し、台座を屋根の上に略水平に設置していた。支柱の長さが足りない場合はブロックやレンガを屋根上に載置しこの上に物載置装置を設置して不足する高さを補い、台座上面の水平を確保していた。【０００３】  又、台座の一端を回動自在に固定台に軸支し、他端には長穴が設けられた蝶番で台座の角度を調整する装置が提案されている（例えば、実用新案文献１参照）。
実用新案文献１記載の考案において、台座部分を下側にして使用すると仮定すると、台座の他端に設けた蝶番と固定部材をボルトで締着する場合に、ボルト締着可能範囲が蝶番の縦方向に穿設された穴の長さ方向の距離範囲内に限定され、角度調整範囲が極めて狭いという欠点があった。又、実用新案文献１記載の考案に実用新案文献２記載のステーの使用方法を組み合わせても、ステーはその先端で扉を掛止するのみであるため、微妙な角度調整ができないという欠点があった。
【実用新案文献１】
実開昭６３−３３０９３号公報
【実用新案文献２】
実開平２−１０８３７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】  本願発明はあらゆる傾斜角度を有する傾斜面に水平な台座を設置可能にする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】  本発明は、台座の一端と固定台の一端とを回動自在に枢着し、この固定台を前記枢着部を中心として回動し前記台座の下方向に於いて台座と鋭角をなすように位置させた場合に、前記固定台のうち下側に位置する面には固着剤を充填するための凹部が設けられており、この固定台の他端には角度調整杆が枢着され、この角度調整杆と前記台座との固着位置により、前記固定台に対する台座の位置が安定的に固定保持されるように形成されてなることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】  本発明は、台座と固定台とを枢着し、固定台を枢着部を中心として台座の下方向に回動した場合、固定台のうち下側となる面に固着剤を充填する凹部を形成しているため、傾斜角度が０°を超えて９０°未満の急勾配の屋根等、あらゆる傾斜角度を有する屋根に風力発電装置を安定的に設置できるという効果がある
【発明を実施するための最良の形態】
【実施例１】
【０００７】  図１は物載置装置の構成を示す斜視図、図２は固定台の注入口から凹部に固着剤を充填した状態を示す一部切欠側面図である。
これらの図において、台座１は左右側縁に枠２、３を有する断面コ状に形成され、他端にはボルト４が固定的に立設されている。枠２、３には締着用ボルト挿通孔が穿設され、締着用ボルト挿通孔には夫々締着用ボルト５、６が螺着されている。固定台７は、周縁に枠８、９、１０、１１を設けた有底箱状に形成され、注入口１２が穿設されている。蝶番１３は一方の片が台座１に、他方の片が固定台７に取り付けられ、蝶番１３の軸を中心として台座１と固定台７とが回動するようにしている。固定台７の枠８、９の他端対向位置には角度調整杆１４が枢着されている。角度調整杆１４の長手方向中途部位から先端部にかけて透孔である長溝１５が穿設されている。【０００８】  次に使用方法について図１〜図４を参照にして説明する。固定台７を台座１に対して下方向に回動し、固定台７と台座１とで鋭角をなすようにし、設置する屋根１６に枠８、９、１０、１１の端縁が当接するように固定台７を配置する。図２中の矢印で示すように、固定台７の注入口１２から固着剤１７を枠８、９、１０、１１で囲まれる凹部に充填し、固着剤１７により固定台７を屋根１６に固着する。固着剤１７は、例えば液状のアルミニウム合金等を用いる。台座１の上面に水平レベルを載せ、台座１を回動し角度を調整して台座１を水平位置に設定する。次に、角度調整杆１４を起こし、長溝１５内に締着用ボルト５、６の外端を挿入し、ナット１８、１９を角度調整杆１４の外側から締着用ボルト５、６に締着して角度調整杆１４を台座１に固定的に取り付ける。図３に示すように、風力発電装置２０の基台２１の四隅には螺孔が設けられており、これら蝶孔に夫々ボルト４が螺合している。２２はナットである。【０００９】  又、図４に示すように屋根１６の頂部に風力発電装置を設置する場合は、屋根１６を形成する傾斜面に夫々固定台７を固着し、屋根１６の頂部を基台２１が跨いで設置することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００１０】  ボルト４間に台板を架け渡してエアコンの室外機等の重量物を屋根上に設置することに利用することもできる。
又、屋根以外の構築物の傾斜面、例えば傾斜する外壁面に固定台７を固着することで、従来は物を設置することが不可能であった傾斜面に物を設置可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】物載置台の構成を示す斜視図である。（実施例１）
【図２】注入口から固着剤を固定台の凹部に充填した状態を示す一部切欠側面図である。（実施例１）
【図３】使用状態を示す説明図である。（実施例１）
【図４】使用状態を示す説明図である。（実施例１）
【符号の説明】
【００１２】  １  台座
７  固定台
１４  角度調整杆
１６  屋根
１７  固着剤
【図１】
2007040285.tif 000003
【図２】
2007040285.tif 000004
【図３】
2007040285.tif 000005
【図４】
2007040285.tif 000006
(57)【要約】 【課題】  水晶結晶の結晶欠陥を調べる安易な評価方法が求められていた。【解決手段】  本発明は、被検査品である水晶結晶の主面を金属板で挟み加熱しながら金属板に導通することにより、金属板の金属イオンが水晶結晶にドピングされて発色する。その発色の均一性により結晶欠陥を評価する方法である。【選択図】  図１
2007040707.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水晶結晶の欠陥を検出する評価方法において、
被検査品を金属板で挟み加熱ながら該金属板に通電し、金属イオンを被検査品にドーピングすることにより、該被検査品の発色によって水晶の結晶欠陥を検出する水晶結晶の評価方法。
【請求項２】
該金属板が、銅、チタン、アルミニウム又はニッケルであることを特徴とする請求項１の水晶結晶の評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、水晶結晶とりわけ広く利用される人工水晶の結晶欠陥を評価する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶結晶には、不純物を含む欠陥や結晶性が正しくない欠陥などがある。従来、例えばアルミニウムが多く含まれる水晶結晶では、被検査品にガンマ線を照射することにより、色が変色することで、評価している。しかし結晶欠陥すなわち結晶性の正確さを判断するには、シュリーレン法によって光学的に判断する方法があるが、検体を作るためにサンプルを精度良くポリッシュ研磨しなければならないので、工数がかかる欠点がある。また大きなサンプルを見るには不向きである。
【０００３】
アルミニウム濃度のように、ガンマ線照射による発色で判断する方法が簡便であり、判断しやすいので、簡便な評価方法が求められていた。
しかし、現在の評価方法では手間がかかり、評価するまでに時間と手間がかかっていた。
【０００４】
そこで本発明にあたり、視覚的に結晶欠陥をとらえることによって、工数のかからず、またインゴットごと測定できる方法が求められている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００４―３１７４７３号公報
【０００６】
なお出願人は前記した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を、本件出願時までに発見するに至らなかった。 
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、結晶欠陥を工数をかけずに簡易に評価することにある。
【０００８】
特許文献１には、線状欠陥やエッチチャンネルなどの結晶欠陥をビジュアル的に評価する方法が発表されている。ここでは例えば線状欠陥の場合には、水晶表面に現れるコブルの大きさや量によって水晶結晶の良否を判断している。しかし結晶欠陥を光学的に調べるには、この方法では評価できない。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、水晶結晶の欠陥を検出する評価方法において、被検査品を金属板で挟み加熱ながら該金属板に通電し、被検査品に金属イオンをドーピングすることにより、該被検査品の発色によって水晶の結晶欠陥を検出することにより評価することが出来る。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の評価方法によって、人工水晶をロット単位での結晶欠陥を容易に見つけだすことが出来るようになったため、評価された品質のいい人工水晶を安価で提供することが出来るようになった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しながら実施例を説明する。
水晶結晶は、シリコンＳｉと酸素Ｏとからなり、六角柱状（三方晶系）の結晶体であり、特に転移点が５７３℃より低い温度で安定な状態のα水晶と言われる水晶は、電子業界で水晶振動子や水晶発振器などで広くクロック源として利用されている。結晶は、完璧なほど純粋な結晶で、結晶構造も欠陥の無いものが求められており、安定な周波数を得るためには、結晶性のいい水晶結晶が必要である。
シリコンと酸素が結合し三回らせん軸対称構造であり、結晶成長時にこの構造が歪み等により欠陥を生じ成長した場合に不完全結晶となる。図４は、欠陥のない水晶結晶構造を示す模式図である。
【００１２】
そこで本発明では、図１の手順に従い評価を行っている。（１）被検査品の主面を金属板で挟み固定する。（２）加熱しながら金属板に通電して、金属イオンを被検査品である水晶結晶にドーピングする。（３）金属イオンをドーピングされた水晶結晶が発色している発色の仕方により、結晶欠陥を判定する。
図２のように測定サンプルとなる水晶結晶１の主面を簡単に研磨して面を出し、そこを金属板２で挟む。この場合、水晶結晶１と金属膜２とは互いの表面が強く密着させておく必要がある。機械的に圧着させておかなくてはならない。端子１，２に直流または交流の電源を接続し、金属板２に電圧をかける。金属板の金属イオンが水晶結晶にドーピングされる。金属イオンは、結晶の格子に沿ってドーピングされるため、もし結晶欠陥があるとその部分だけ色に濃淡が出来るので水晶結晶の結晶欠陥のある部分がわかる。
【００１３】
金属イオンの種類によって色が異なる。本発明は、水晶結晶をロット単位でサンプリングすることにより、結晶欠陥有無を評価をすることが出来る。
判定としては、均一に発色している場合には、格子軸に沿って金属イオンがドーピングされている。しかし部分的に色にむらや不均一な部分は結晶欠陥があり、水晶結晶としては特性が期待できない結晶である。この被検査品は、金属がドーピングされているため、振動子や光学素子に加工するには不向きであり、同一ロットの抜き取り検査に本発明を利用することが出来る。
【００１４】
この評価法によって大きな人工水晶全体を一度に評価することが出来るため、例えば従来のシュリーレン法による評価では光の当たった狭い範囲の評価しか出来ないが、本発明では従来に比べサンプルが大きなまま、人工水晶のインゴットごと評価できる。
また金属板で挟んだ水晶結晶をチャンバーに入れ、温度と圧力を加えながら、金属板に電流を流すと更に金属イオンを多く早く水晶結晶にドーピングすることが出来る。
本発明で使用される金属板は、銅、チタン、アルミニウム、ニッケル等がよい。
【産業上の利用可能性】
【００１５】
本発明は、人工水晶の量産化における品質を維持するため、また人工水晶の製法を変えたときの結晶の比較評価のために活用すると有効である。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】図1は、本発明の評価方法の手順を示す。
【図２】図２は、本発明の評価方法の実施例を示す図である。
【図３】図３は、銅イオンをドーピングした水晶結晶構造を示す模式図である。
【図４】図４は、欠陥のない水晶結晶構造を示す模式図である。
【図１】
2007040707.tif 000003
【図２】
2007040707.tif 000004
【図３】
2007040707.tif 000005
【図４】
2007040707.tif 000006
(57)【要約】【課題】  光学部品の自重や固定による応力による影響を計測時に受けずに、光学部品内部の残留応力による複屈折のみを評価するホルダーおよび該ホルダーを有する装置を提供すること。【解決手段】  光走査型の計測機において、光学部品を全面で保持し、光束が透過する箇所のみを開口部とし、光束が走査されるのと同期して開口部が移動することを特徴とする構成とした。【選択図】  図１
2007040893.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光走査型の計測機において、光学部品を全面で保持し、光束が透過する箇所のみを開口部とし、光束が走査されるのと同期して開口部が移動することを特徴とする計測用ホルダー。
【請求項２】
請求項1の計測用ホルダーであって、複屈折を計測することを特徴とする計測用ホルダー。
【請求項３】
光走査型の計測機において、光学部品を全面で保持し、光束が透過する箇所のみを開口部とし、光束が走査されるのと同期して開口部が移動することを特徴とする計測用ホルダーを有する装置。
【請求項４】
請求項３の装置であって、複屈折を計測することを特徴とする装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品の高精度に計測・評価する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光源に紫外光または真空紫外光を用いた露光装置等の光学部品は、近年高NA化が進み、それに対応して径状も大型化、さらに高性能の要求が高まっている。光学部品の計測評価での光走査型の計測機における光学部品の保持方法は、周辺部のみを保持し、中心部は光が透過するような構造をとっていた。被計測物の大型化により、従来の被計測物の保持方法では、自重による変形、または自重により発生する応力が被計測物自体の複屈折に影響を与え、高精度に被計測物を評価することができない。
【０００３】
光学部品を光走査型の計測する際の保持方法では、光学部品の位置を固定する保持部は当然光路を遮断しないように、光学部品を外周部だけで保持している。この保持方式には、保持力の経時変化による面形状変化がないように、また振動や加速度による光学部品の位置ずれが起きないように、安定性のある構造が要求され、さらに調整・設置の容易性の点からは単純な構造が要求されている。しかし、光学部品は外周部だけで支持されているため、また、位置ずれがないように光学部品を保持工具で強固に固定するとその応力によって、複屈折が発生してしまう。さらに、光学部品の大型化にともない従来技術による保持方法では、自重により発生する応力が測定値に大きな影響を与えることとなる（例えば、特許文献１参照）
【特許文献１】特開平６−２０１９６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
紫外領域での露光装置においては、使用される光学部品に蛍石などの結晶性のものが使用され、結晶性を有する光学部品は応力と結晶軸の関係で発生する複屈折が異なってくる。従来の方式で、光学部品に蛍石を用い、計測条件を以下に示し、図2に概念図を示す。光学部品は蛍石を用い、外径400mmφ、厚み100mmであり、計測波長は193nm、保持部の面積は、一箇所に付き473.90ｍｍ2で三点による保持方式である。この場合、自重による応力の影響により、中心部から190mmの地点(X方向)で0.3nmの複屈折が発生する。
【０００５】
本発明の目的は、光学部品の自重や固定による応力による影響を計測時に受けずに、光学部品内部の残留応力による複屈折のみを評価するホルダーおよび該ホルダーを有する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
図1のように、光学部品101を保持部102により全面で保持し、光走査型計測機の光源部104から出射された光束105が透過できるように、開口部103が光走査するための駆動ステージ107と同期して移動する。光学部品101を透過した光束105を計測機の受光部106により検出する。
【０００７】
本発明の更なる目的又はその他の特徴は、以下、添付の図面を参照して説明される好ましい実施例等によって明らかにされるであろう。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、光学部品の形状の拡大とともに増加する自重による応力により発生する複屈折の影響を低減し、光学部品のもつ内部応力により発生する複屈折のみを評価することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に、本発明の実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００１０】
本発明の実施例の一例として、光学部品に蛍石を用いた。計測条件を以下に示し、本発明の実施例の概略図を図3に示す。光学部品は蛍石を用い、外径400mmφ、厚み100mmであり、開口部はY方向のラインで幅10mmであり、保持部の面積は、121664.96ｍｍ2である。本発明の方式により計測を行った場合、中心部で自重により発生する複屈折は、1.0×10-3nmである。
【００１１】
従来の方式と比較して、自重による応力の影響で発生する複屈折を2桁近く低減が行える。
【００１２】
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１３】
【図１】本発明の実施例の図
【図２】従来例の概念図
【図３】本発明の概念図
【符号の説明】
【００１４】
１０１  光学部品（被計測物）
１０２  保持部
１０３  開口するために移動した保持部
１０４  光源
１０５  光束
１０６  検出部
１０７  ＸＹ駆動ステージ
２０１  開口部
２０２  保持部
３０１  開口部
３０２  保持部
【図１】
2007040893.tif 000003
【図２】
2007040893.tif 000004
【図３】
2007040893.tif 000005