(57)【要約】    【課題】  例え軸が円錐モードの振れ回り動作があったとしても動圧溝の損傷が少なく、電解エッチング加工に際して対称性を維持するための位置合わせ精度を簡便化し、動圧軸受としても高性能を発揮することのできる動圧軸受及びその製造方法を提供する。    【解決手段】  スリーブ１の内周面１ｂに段部１ａを設けて該段部内周面にラジアル動圧溝３を形成する場合、前記動圧溝３の軸方向幅Ｌが、段部の軸方向幅Ｄよりも少し小さく形成する。また、このスリーブ１の動圧溝３は、電解エッチング加工により形成する。動圧軸受の製造方法は、動圧溝形成面の軸方向幅Ｄよりも小さい軸方向幅Ｌを有する前記動圧溝を除く部分および前記動圧溝の軸方向両端に動圧溝形成面にレジストを形成し、電解エッチングによって動圧溝を形成する。【選択図】              図２
2007040536.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面の両端部には動圧溝の形成されない部分があり、前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とする動圧軸受。
【請求項２】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、前記２つの動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかには両端部に動圧溝の形成されない部分があり、２つの前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とする動圧軸受。
【請求項３】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、前記２つの動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面にはそれぞれ両端部に動圧溝の形成されない部分があり、２つの前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とする動圧軸受。
【請求項４】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
前記動圧溝形成面の両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とする動圧軸受。
【請求項５】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかの両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とする動圧軸受。
【請求項６】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面のそれぞれ両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とする動圧軸受。
【請求項７】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
前記動圧溝形成面の両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とする動圧軸受。
【請求項８】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかの両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とする動圧軸受。
【請求項９】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面のそれぞれ両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とする動圧軸受。
【請求項１０】
請求項１乃至９のいずれかに記載の動圧軸受において、前記動圧溝形成面は所定の幅を備えることを特徴とする動圧軸受。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の動圧軸受において、前記動圧溝は所定の幅を備えることを特徴とする動圧軸受。
【請求項１２】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に動圧溝を形成する動圧軸受の製造方法において、
前記動圧溝形成面の軸方向幅よりも小さい軸方向幅を有する前記動圧溝を除く部分および前記動圧溝の軸方向両端に動圧溝形成面にレジストを形成し、
電解エッチングによって動圧溝を形成することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【請求項１３】
スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に動圧溝を形成する動圧軸受の製造方法において、
前記動圧溝形成面の軸方向幅よりも小さい軸方向幅を有する前記動圧溝を除く部分および前記動圧溝の軸方向両端に動圧溝形成面にレジストを形成し、
電解エッチングによって動圧溝を形成することを特徴とする動圧軸受の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧軸受、特に、軸を嵌め入れるスリーブ内周面に動圧溝を形成した動圧軸受であって、高精度で且つ製作コストを低減し、軸受損傷の割合も低い動圧軸受とその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
情報機器等では、高速回転するスピンドルモータの軸受装置として、スリーブに軸を嵌めて相対回転させ、スリーブ内周面或いは軸外周面のいずれかにヘリングボーン型或いはスパイラル型の動圧溝を形成した動圧軸受が使用される。
例えば、図９に示すように、ステータコイル２０を設置したスリーブ２１の内周面に、ヘリングボーンタイプの動圧溝２３，２３を形成し、前記ステータコイル２０に対向配置されるよう強磁性体（図示省略）を取り付けた軸２５を該スリーブ２１に嵌め入れ、ステータコイル２０に電流を通して軸２５を高速回転させる動圧軸受が使用される。このような動圧軸受は、軸２５に図示しないがポリゴンミラーや光ディスクを取り付け、レーザ光を反射させ情報を記録したり取り出したりするための装置に利用される。
【０００３】
前記スリーブ２１の内周面２１ｂには、図１０及び図１１に示すように、若干径を小さくした段部２１ａに軸受部２２を設け、該段部２１ａの軸受部２２の内周面にヘリングボーンタイプやスパイラル或いはＶ字型の動圧溝２３が形成されている。或いは、スリーブ２１の内周面２１ｂに動圧溝２３を設ける代わりに軸２５の外周面に動圧溝を形成することもある。このような動圧溝２３は、通常、転造による塑性加工で形成される。しかし、近年の高精度化、高速化に対応させるため電解エッチング加工で動圧溝を形成する例があるが、ステンレス鋼等の場合エッチング加工すると時間がかかるため、アルミ合金製のスリーブの軸受面にボール転造により塑性加工し、ホーニング加工後にアルマイト処理により陽極酸化皮膜を形成する動圧軸受用スリーブが提案されている（特開平８−２４７１３８号）。
【０００４】
また、スリーブ内周面に動圧溝を形成した動圧軸受としては、軸受隙間の潤滑油不足を解消して耐久性を向上させたり、軸受剛性を高くする手段として、図１２（Ａ）に示すように、多孔質の軸受本体３１と、該軸受本体３１に含浸された潤滑油又は潤滑グリースと、該軸受本体の軸受面に傾斜して設けられた動圧溝３３とを備え、軸受隙間に形成された潤滑油の動圧油膜によって回転軸を非接触に支持すると共に、軸受面の開孔部を介して潤滑油を軸受本体３２の内部と軸受隙間との間で循環させる軸受装置が提案され（特開平１１−８２４７９号）、更に、この場合、図１２（Ｂ）に示すように、一方の傾斜溝３３ａと他方の傾斜溝３３ａとの間に平滑部３４を設けた動圧溝３３としている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記するように、従来のスリーブ２１の内周面２１ｂの段部２１ａに設ける軸受部２２の動圧溝２３は、いずれにしてもこの軸受部２２の端部から端部までの幅Ｄ全体に形成されている。このため、図１１に示すように、特に、モータの起動時や停止時に軸２５が円錐モード（コニカルモード、或いはみそ摺り運動）で回転すると、軸２５が段部２１ａの端部２１ｃ，２１ｃを損傷させる。このような円錐モードによる回転で繰り返し軸受部２２を設けた段部２１ａの端部２１ｃ、２１ｃを傷つけると、動圧軸受としての性能を低下させ、ひいては機器の性能や寿命にも悪影響を及ぼすという問題がある。また、従来はスリーブ２１の内周面に形成する動圧溝２３は、上記するように転造による塑性加工で形成され、その後に加工のリーマ通し，ボール通し，ホーニング加工等により仕上げ加工を要しており、製造コストも高いという問題があった。
【０００６】
また、動圧溝加工として用いられるエッチング加工は高精度ではあるが、製造コストは依然として高くなっている。更に、動圧溝を電解エッチング加工を施すことがあるが、従来の加工法ではワークに対する電極の位置合わせが高精度で実施しないとパターンの対称性が崩れ、流体流れを起こす、という問題があった。    
【０００７】
この発明は、上記する課題に対処するためになされたものであり、例え軸が円錐モードの振れ回り動作があったとしても動圧溝の損傷が少なく、電解エッチング加工に際して対称性を維持するための位置合わせ精度を簡便化し、動圧軸受としても高性能を発揮することのできる動圧軸受及びその製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
即ち、この発明は、上記する課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面の両端部には動圧溝の形成されない部分があり、前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とするものである。
【０００９】
また、請求項２に記載の発明は、  スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、前記２つの動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかには両端部に動圧溝の形成されない部分があり、２つの前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、前記２つの動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面にはそれぞれ両端部に動圧溝の形成されない部分があり、２つの前記動圧溝形成面にはスリーブの内外を貫通する孔がないことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
前記動圧溝形成面の両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とするものである。
【００１２】
また、請求項５に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかの両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とするものである。
【００１３】
また、請求項６に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝を除く部分であって前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面のそれぞれ両端部は前記動圧溝形成面の内径寸法を備える部分のみからなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項７に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
前記動圧溝形成面の両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とするものである。
【００１５】
また、請求項８に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面の少なくともいずれかの両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とするものである。
【００１６】
また、請求項９に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面を軸方向に離隔して２つ形成し、２つの前記動圧溝形成面にそれぞれ電解エッチング加工で形成された動圧溝を形成した動圧軸受において、
２つの前記動圧溝形成面は、前記動圧溝と、前記動圧溝の形成されない部分と、のみからなり、
２つの前記動圧溝形成面のそれぞれ両端部は動圧溝の形成されない部分であることを特徴とするものである。
【００１７】
また請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載の動圧軸受において、前記動圧溝形成面は所定の幅を備えることを特徴とするものである。
【００１８】
また、請求項１１に記載の発明は、請求項１乃至１０のいずれかに記載の動圧軸受において、前記動圧溝は所定の幅を備えることを特徴とするものである。
【００１９】
さらに、請求項１２に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径より小径の内周面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に動圧溝を形成する動圧軸受の製造方法において、
前記動圧溝形成面の軸方向幅よりも小さい軸方向幅を有する前記動圧溝を除く部分および前記動圧溝の軸方向両端に動圧溝形成面にレジストを形成し、
電解エッチングによって動圧溝を形成することを特徴とするものである。
【００２０】
さらにまた、請求項１３に記載の発明は、スリーブの内周面に形成された、スリーブの内周面の内径から縮径する段差により区画される面であるとともに前記スリーブの内周面の端部より軸方向内方に形成された動圧溝形成面に動圧溝を形成する動圧軸受の製造方法において、
前記動圧溝形成面の軸方向幅よりも小さい軸方向幅を有する前記動圧溝を除く部分および前記動圧溝の軸方向両端に動圧溝形成面にレジストを形成し、
電解エッチングによって動圧溝を形成することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００２１】
上記手段とした本発明の動圧軸受およびその製造方法によれば、動圧溝の端部が、平面であるので、軸がコニカルモードで回転しても軸受性能が低下することはない。また、回転時、軸が当接しても、動圧軸受としての損傷も軽減される。また、この動圧軸受の製造方法は、電解エッチング法によるが、動圧溝の対称性は、電極によって決定されるので加工時のワークと電極の位置合わせ精度が簡便化され、しかも従来のようにワークに対する電極の位置合わせ精度を高精度で実施する必要もない。更に、この電解加工法によれば転造による製造法と異なり、返し等のバリも発生しないので後加工する必要もなく加工工程も軽減され、製造コストも低減させることができる。更にまた、動圧溝の対称性が、軸のコニカルモードによる回転によっても崩れないので、流体流れを起こすことも無くなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の具体的な実施の形態について図面を参照しながら説明する。  図１は、この発明の動圧軸受を構成するスリーブ１の一部斜視図であり、図２はその軸方向断面図である。これらの図に示すように、スリーブ１の内周面１ｂには、該スリーブ１の内径より小径の内周面で形成され所定の幅（Ｄ）を持つ段部１ａが設けられ、該段部１ａの内周面に軸受部２が形成されている。この軸受部２には、ヘリングボーン型の動圧溝３が形成してある。尚、動圧溝３は、スパイラル型或いはＶ字型であってもよい。この場合、段部１ａの幅Ｄに対して動圧溝３の軸方向幅Ｌは、少し小さく（Ｌ＜Ｄ）形成してある。該スリーブ１には、内径部に軸２５（図９、図１１参照）を嵌め入れて、例えばスピンドルモータの軸受部を構成する。従って、この段部１ａの内周面に形成した軸受部２の両端部には動圧溝３の形成されていない内周面があることになる。
【００２３】
この発明の動圧軸受では、スリーブ１の内周面の段部１ａの軸方向幅Ｄより動圧溝３の軸方向幅Ｌが小さいため、段部１ａの端部１ｃに軸が接触しても軸受部２の性能に悪影響を与えることはない。即ち、図１１に示す従来の動圧軸受では、モータの始動時や停止時に、軸２５の円錐モードによる振れ回りに際して、該軸２５が段部２１ａの端部２１ｃ，２１ｃに接触して損傷を与える、という欠点があった。しかし、この発明の動圧軸受は、軸が振れ回り動作をしても、段部１ａの端部１ｃから動圧溝３の端部３ａまでは一定の平坦な距離があるため、動圧溝３には損傷を与えない。従って、動圧溝３のパターンの対称性が崩れ、流体流れを起こすことも無く、動圧軸受２の性能には影響を及ぼさない。
【００２４】
次に、前記スリーブ１の内周面に設ける動圧溝３の形成方法について説明する。図３は、前記スリーブ１の内周面に設けた段部１ａの内周面に動圧溝３を設けるための前処理段階であるレジスト形成のためのレジスト電着装置の構成を示す図である。このレジスト電着装置は、電着槽５と、レジスト成分を含有する電着液４と、負極と正極を有する電源６と、で構成される。スリーブ１は、前記電源６の負極側に接続されて電着液４に浸漬され、正極側に正電極棒７が接続されて浸漬されている。
【００２５】
図４は、電解エッチングによる動圧溝３の前処理加工法を示す図である。先ず、前記負極側に接続されたスリーブ１の内周面には、予め絶縁物質８で動圧溝３のパターンを印刷塗布する。この印刷は、スリーブ１の内周面に形成した段部１ａの内径に合わせた型紙やマスクを利用しても良いし、凸版印刷やオフセット印刷等によっても良い。こうして絶縁物質8 を動圧溝３のパターンとして塗布したスリーブ１は、電源の負極側に接続され、正極側に正電極棒７が接続されて電流を流すと、図５に示すように、絶縁物質８以外の部分に電着レジスト層９が形成される。この状態で絶縁物質８を除去すれば、図６に示すような電着レジスト層９によりエッチングパターンが形成される。尚、絶縁物質８は形成しないで段部１ａの内周面全体にレジスト層９を形成し、レーザにより動圧溝３となるエッチングパターン部分を除去して、エッチングパターンを形成しても良い。
【００２６】
次に、電解エッチング法について説明する。図７は、動圧溝のエッチングパターンの形成されたスリーブ１に電解エッチングを行う場合の電解エッチング装置の構成を示す図である。この電解エッチング装置は、電解槽１１と、該電解槽１１に入れた電解液１０と、正極側にスリーブ１を接続し、負極側に電極棒１２を接続した電源１３と、で構成される。電解槽１１には、例えば塩化ナトリウム（ＮａＣｌ）や硝酸ナトリウム（ＮａＮＯ3 ）等の電解液１０が入っている。この電解液１０中に所定の動圧溝３のパターンを形成したスリーブ１を浸漬し、電流を流すと電解反応により動圧溝３のパターンを形成したスリーブ１の金属表面のみが溶解し、動圧溝３が形成される。その後、電着レジスト層９を除去すると、電解エッチング法による動圧溝３が形成される。
【００２７】
上記するように、この発明の動圧軸受では、上記方法によりスリーブ１の段部１ａの内周面に動圧溝3 を形成し、段部１ａの軸方向幅Ｄよりも、動圧溝３の軸方向幅Ｌを少し小さくするものである。この場合、動圧溝３の軸方向幅Ｌの中心線Ｏ1 が、段部１ａの軸方向幅の中心線Ｏ0 と一致させることが理想的であるが、図８に示すように、この発明の場合、スリーブ１の内周面にこのような段部１ａと動圧溝３の軸方向幅Ｌの中心線Ｏ1 が、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0 と一致させることができず、多少のずれがあっても動圧軸受２の性能には影響しない。即ち、動圧溝３の軸方向幅Ｌの中心線Ｏ1 と、段部１ａの軸方向幅Ｄの中心線Ｏ0 とに多少のずれがあっても、段部１ａの軸方向幅Ｄよりも、動圧溝３の軸方向幅Ｌを少し小さくしてあるので、動圧溝３の中心が多少ずれていても動圧軸受としての性能には影響しない。
【００２８】
この発明の動圧軸受では、上記段落番号［００２３］でも記載したように、図９に示す如く、スリーブ１の内周面１ｂには、該内周面１ｂよりも小径の内周面を有する２つの段部１ａ（縮径する段差）を設け、それぞれ該小径の内周面に少なくともいずれかには両端部に動圧溝３の形成されない部分のある軸受部２を形成しても良い。従って、この発明の動圧軸受では、２つの両方の軸受部２の一方或いは両方の動圧溝３を設けた内周面の両端部に動圧溝３の形成されない部分を設けたり、設けなかったりする実施の形態が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの一部斜視図である。
【図２】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの軸方向断面図である。
【図３】この発明の動圧軸受を構成するスリーブ内周面に動圧溝を設けるための前処理段階であるレジスト形成のためのレジスト電着装置の構成を示す図である。
【図４】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するための図であって、電解エッチングによる動圧溝の前処理加工法である印刷やマスクにより動圧溝のパターンに絶縁物質を塗布した状態のスリーブの断面図である。
【図５】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するための図であって、絶縁物質を塗布した状態のスリーブにレジストを電着した状態の断面図である。
【図６】この発明の動圧軸受の製造方法を説明するための図であって、スリーブ内周面に塗布した絶縁物質を除去して動圧溝のパターンを形成し、電解エッチング装置に入れる前のスリーブの断面図である。
【図７】動圧溝のエッチングパターンの形成されたスリーブに電解エッチングを行う場合の電解エッチング装置の構成を示す図である。
【図８】この発明の動圧軸受を構成するスリーブの軸方向断面図であって、動圧溝中心が少しずれた場合を示す図である。
【図９】スピンドルモータに使用される従来の動圧軸受の構成を示す図である。
【図１０】従来の動圧軸受を構成するスリーブの一部斜視図である。
【図１１】従来の動圧軸受を構成するスリーブの軸方向断面図である。
【図１２】図１２（Ａ）は、従来の動圧軸受を構成するスリーブの断面図であり、図１２（Ｂ）は、従来の動圧軸受を構成するスリーブの断面図であって、動圧軸受部を２箇所設ける場合の断面図である。
【符号の説明】
【００３０】
１    スリーブ
１ａ  段部
１ｃ  段部の端部
２    軸受部
３    動圧溝
４    電着液
５    電着槽
８    絶縁物質
９    電着レジスト層
１０  電解液
１１  電解槽
【図１】
2007040536.tif 000003
【図２】
2007040536.tif 000004
【図３】
2007040536.tif 000005
【図４】
2007040536.tif 000006
【図５】
2007040536.tif 000007
【図６】
2007040536.tif 000008
【図７】
2007040536.tif 000009
【図８】
2007040536.tif 000010
【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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