(57)【要約】      （修正有）【課題】素子搭載パッドに塗布した導電性接着剤上に一定姿勢にて接着保持できる圧電振動素子の搭載方法を提供する。【解決手段】絶縁基板２上に設けた素子搭載パッド７上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズル３０の吸着面３１に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子２０の一端部２０ａ下面を近接させた状態で、圧電振動素子を離脱させて一端部下面を導電性接着剤上に接着させる搭載方法であって、吸着面が傾斜している吸着ノズルを用意する工程と、通気孔からの負圧により圧電振動素子の一端部を下向きに傾斜させた状態で吸着面に保持する工程と、圧電振動素子の一端部下面を導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、を備え、圧電振動素子を落下させる際に、一端部が他端部２０ｂに先行して吸着面から離脱するように、各通気孔からの正圧、負圧の供給の有無、圧力値、供給タイミングを夫々適切に制御する。【選択図】図２
2007201615.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、
前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、
前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、
前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、を備え、
前記吸着面から圧電振動素子を離脱させて落下させる際に、前記一端部側が他端部側に先行して前記吸着面から離脱するように、前記各通気孔からの正圧、負圧の供給の有無、圧力値、供給タイミングを夫々適切に制御したことを特徴とする圧電振動素子の搭載方法。
【請求項２】
絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、
前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、
前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、
前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、を備え、
前記吸着ノズルの複数の通気孔から正圧を吐出させて吸着面から圧電振動素子を離脱させて落下させる際に、前記接着剤側に位置する通気孔からの正圧の吐出力を、接着剤側から離間した他の通気孔からの正圧の吐出力よりも強く設定したことを特徴とする圧電振動素子の搭載方法。
【請求項３】
絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、少なくとも一つの前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、
前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、
前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、
前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、
前記吸着ノズルの吸着面から圧電振動素子を落下させる際に、前記接着剤側に位置する通気孔から正圧を吐出する一方で、接着剤側から離間した通気孔からは弱い負圧を供給するか、或いは正負いずれの圧力も供給しないことを特徴とする圧電振動素子の搭載方法。
【請求項４】
一端部下面を絶縁基板上の素子搭載パッド上に導電性接着剤によって接着保持される圧電振動素子を前記導電性接着剤上に接着させるために該圧電振動素子の上面を吸着保持する吸着面を備え、前記吸着面は前記圧電振動素子の一端部を保持する側が下向きに傾斜し、且つ前記吸着面には正圧、及び負圧供給用の複数の通気孔を備えた吸着ノズルであって、
前記吸着面に設けた複数の前記通気孔のうち、前記圧電振動素子の一端部寄りに位置する通気孔の内径を他の通気孔の内径よりも大きくしたことを特徴とする吸着ノズル。
【請求項５】
請求項１、２又は３の何れか一項の搭載方法によって前記絶縁基板上の素子搭載パッド上に接続固定された圧電振動素子を含む前記絶縁基板上の空間を封止する蓋部材と、前記絶縁基板と、前記絶縁基板の底部に配置された実装端子と、前記素子搭載パッドと前記実装端子とを導通させる接続導体と、を備えたことを特徴とする圧電振動子。
【請求項６】
前記圧電振動子に発振回路を構成するＩＣ部品を一体化したことを特徴とする圧電発振器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は圧電振動素子を片持ち支持した構造を備えた圧電振動子等の圧電デバイスにおける圧電振動子搭載方法の改良に関し、特にパッケージ内の素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤上に圧電振動素子端部をマウンターにより自動的に搭載する方法の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
水晶振動素子等の圧電振動素子は、圧電振動子、圧電発振器等に組み込まれて使用される。圧電振動子は、目標とする共振周波数を得る為に好適な肉厚の振動部を有した圧電基板の振動部に励振電極やリード端子等を構成する金属膜を蒸着等によって形成した構成を備えている。
表面実装型の圧電振動子は、セラミック等の絶縁材料から成るパッケージの凹陥部内に素子搭載パッドを設け、この素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤により圧電振動素子の一端部を片持ち状態で支持してから、凹陥部を金属蓋により気密封止した構成を有している。
【０００３】
圧電振動素子は、通常、各リード端子を含む基板一端部を導電性接着剤によって素子搭載パッド上面に電気的機械的に接続固定された片持ち構造により支持される。圧電振動素子の素子搭載パッド上への搭載は自動マウンターによって行われるのが一般である。自動マウンターは、図４（ａ）に示すように吸着ノズル１００先端の吸着面１０１に同径の複数の通気孔１０２を有し、各通気孔から同時に供給される同圧力値の負圧によって圧電振動素子１１０の片面を吸着し、パッケージの凹陥部１０５の内底面上に設けた素子搭載パッド１０６上に塗布した導電性接着剤１０７上に圧電振動素子１１０の直上位置に一端部下面を接近させた状態で、負圧供給を中止すると同時に、各通気孔１０２から同時に同圧力値の正圧を供給開始して圧電振動素子を吸着面から落下させる。圧電振動素子１１０はその一端部下面を導電性接着剤の直上位置に近接させた状態で至近距離から落下するため、導電性接着剤上に着座することにより接着がなされる。なお、接着力の補強と、圧電振動素子の上面側リード端子との導通を確保するために、圧電振動素子の一端部下面を導電性接着剤上に接着した後で、同じ一端部の上面側から導電性接着剤を塗布する二度塗りが行われることもある。
【０００４】
ところで、表面実装型圧電振動子の小型化、低背化が進むに連れてパッケージの凹陥部内における圧電振動素子の収納スペースが減少し、素子搭載パッド上に接続固定された圧電振動素子の一端部とは反対側の自由端部と凹陥部内底面との間のギャップＧが狭小化し易くなっている。
このようにパッケージの小容積化が進む中で、従来のように圧電振動素子面が凹陥部内底面と平行な水平姿勢となるように搭載しようとすると、搭載時の僅かな搭載角度の下降傾斜、導電性接着剤の硬化時の応力による影響等によって圧電振動素子の自由端部が凹陥部内底面に接触し、圧電振動素子の共振周波数が変動するという不具合があった。
このような不具合に対処するために特許文献１には、図４（ｂ）に示すように圧電振動素子１１０の一端部下面を素子搭載パッド１０６上の導電性接着剤１０７に搭載する際の姿勢を、圧電振動素子の自由端部が上向きに傾斜するように吸着搭載ノズル１００の吸着面１０１と搭載基板面（凹陥部内底面）との相対的な傾斜角度を調整するようにした技術が提案されている。
【０００５】
しかし、この従来方法は、各通気孔１０２からの負圧によって吸着面に吸着保持していた圧電振動素子を、同径の複数の通気孔からほぼ同圧力の正圧を同時に供給することにより離脱させる構成であるため、必ずしも各圧電振動素子が同一の姿勢を維持したまま落下するとは限らなかった。即ち、圧電振動素子の一端部下面が導電性接着剤上に落下して接着保持された際における圧電振動素子の上向き傾斜角度（自由端部と基板上面との間隔が）が一定化しなくなるという問題がある。その結果、圧電振動素子の他端と凹陥部内底面との間のギャップＧが狭小化して両者が接触し易くなり、圧電振動素子の共振周波数が変動するという不具合が生じる。
これは、圧電振動素子は極めて軽量であるため落下時に空気抵抗による影響を受けやすく、至近距離から落下させたとしても一端部下面が導電性接着剤面に到達するまでの過程中に圧電振動素子の下面全体に加わる空気抵抗のバラツキによって落下姿勢が一定にならないことがあるからである。また、吸着面から圧電振動素子の接触面が離間するタイミングが一致するとは限らない点も上記問題点を起こす原因の一つである。
【特許文献１】特開２００３−７８３７３公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上のように従来は、素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤上に圧電振動素子の一端部下面を接着させる際に、導電性接着剤側に圧電振動素子の被接着側端部が下向きに傾斜するように、圧電振動素子を吸着ノズルの傾斜した吸着面により吸着した状態で、圧電振動素子の被接着側端部下面を導電性接着剤の直上位置まで近接させてから、吸着面に設けた複数の同径の通気孔から正圧を吐出させることにより、傾斜姿勢にて圧電振動素子を落下させていた。しかし、この従来の搭載方法では、圧電振動素子面内に位置する全ての通気孔から同時に同じ圧力のエアーを吐出していたため、圧電振動素子面の各部が吸着面を離脱するタイミングのバラツキ、圧電振動素子の一端部下面が導電性接着剤上に落下して接着されるまでの落下過程における空気抵抗による落下姿勢のバラツキによって、最終的に接着完了したときの圧電振動素子の姿勢にバラツキが発生するという問題があった。
【０００７】
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、吸着ノズルの吸着面に設けた通気孔からの負圧によって圧電振動素子の被接着側端部が下向きとなるように傾斜させた状態で圧電振動素子を吸着保持しつつ、当該被接着側端部下面を素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に近接させてから前記負圧を正圧に切り換えることにより圧電振動素子を落下させて該被接着側端部下面を導電性接着剤上に接着させる搭載方法において、吸着ノズルから圧電振動素子が離脱して落下する過程で空気抵抗のバラツキの影響を受けることなく一定の姿勢にて落下し、一定姿勢にて導電性接着剤上に接着保持されることができる圧電振動子の搭載方法、それに使用する吸着ノズル、この搭載方法によって製造した圧電振動子、及び圧電発振器を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明に係る圧電振動素子の搭載方法は、絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、を備え、前記吸着面から圧電振動素子を離脱させて落下させる際に、前記一端部側が他端部側に先行して前記吸着面から離脱するように、前記各通気孔からの正圧、負圧の供給の有無、圧力値、供給タイミングを夫々適切に制御したことを特徴とする。
【０００９】
また、本発明に係る搭載方法は、絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、を備え、前記吸着ノズルの複数の通気孔から正圧を吐出させて吸着面から圧電振動素子を離脱させて落下させる際に、前記接着剤側に位置する通気孔からの正圧の吐出力を、接着剤側から離間した他の通気孔からの正圧の吐出力よりも強く設定したことを特徴とする。
【００１０】
また、本発明に係る搭載方法は、絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に塗布した導電性接着剤の直上位置に、吸着ノズルの吸着面に設けた複数の通気孔からの負圧により上面を吸着保持した圧電振動素子の一端部下面を近接させた状態で、少なくとも一つの前記通気孔から正圧を吐出させることにより該吸着面から該圧電振動素子を離脱させて該圧電振動素子の一端部下面を前記導電性接着剤上に接着させる圧電振動素子の搭載方法であって、前記吸着面が、該吸着面の前記素子搭載パッド側の一端部から対向する他端部に向けて前記絶縁基板上面から離間する方向へ傾斜している前記吸着ノズルを用意する工程と、前記吸着ノズルの複数の通気孔から負圧を供給することにより前記圧電振動素子の一端部側を下向きに傾斜させた状態で前記吸着面に保持する工程と、前記吸着ノズルの吸着面により保持した前記圧電振動素子の前記一端部下面を前記素子搭載パッド上の導電性接着剤の直上位置に接近させる工程と、前記吸着ノズルの吸着面から圧電振動素子を落下させる際に、前記接着剤側に位置する通気孔から正圧を吐出する一方で、接着剤側から離間した通気孔からは弱い負圧を供給するか、或いは正負いずれの圧力も供給しないことを特徴とする。
【００１１】
また、本発明に係る吸着ノズルは、一端部下面を絶縁基板上の素子搭載パッド上に導電性接着剤によって接着保持される圧電振動素子を前記導電性接着剤上に接着させるために該圧電振動素子の上面を吸着保持する吸着面を備え、前記吸着面は前記圧電振動素子の一端部を保持する側が下向きに傾斜し、且つ前記吸着面には正圧、及び負圧供給用の複数の通気孔を備えた吸着ノズルであって、前記吸着面に設けた複数の前記通気孔のうち、前記圧電振動素子の一端部寄りに位置する通気孔の内径を他の通気孔の内径よりも大きくしたことを特徴とする。
【００１２】
また、本発明に係る圧電振動子は、上記何れかの搭載方法によって前記絶縁基板上の素子搭載パッド上に接続固定された圧電振動素子を含む前記絶縁基板上の空間を封止する蓋部材と、前記絶縁基板と、前記絶縁基板の底部に配置された実装端子と、前記素子搭載パッドと前記実装端子とを導通させる接続導体と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明に係る圧電発振器は、前記圧電振動子に発振回路を構成するＩＣ部品を一体化したことを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を図面に示した実施の形態により詳細に説明する。
図１（ａ）は本発明方法によって圧電振動素子を搭載した圧電振動子の一例としての水晶振動子の全体縦断面図であり、（ｂ）は圧電振動素子の一例としての水晶振動素子の構成説明図（下面側から見た斜視図）である。
この水晶振動子（圧電振動子）１は、セラミック等の絶縁材料から成るパッケージ本体（絶縁基板）２と、パッケージ本体２の外周壁５の上面に固定されて凹陥部３内を気密封止する金属蓋（蓋部材）１５と、凹陥部３内に配置される水晶振動素子（圧電振動素子）２０と、を有する。このパッケージ本体２は、セラミック製の底板４と、底板４の上面周縁に沿って所要幅にて積層されたセラミック製の環状の外壁（外周壁）５と、外壁５の上面に沿って固定された環状のシールリング（コバール）６と、凹陥部３の内底面上に離間して露出配置された２つの素子搭載パッド７と、底板４の外底面に露出配置された実装電極８と、実装電極８と素子搭載パッド７等との間を接続する内部導体９と、を備えている。
【００１４】
水晶振動素子２０は、図１（ｂ）に示すように水晶基板２１の両主面上に励振電極２２を夫々形成した構成を備え、励振電極２２に所要の交番電流を通電したときに表裏の励振電極２２により挟まれた水晶基板部分（主振動部）が厚み滑りを起こすと共にエネルギー閉じ込め現象を起こして、励振電極付着部分に主振動が励起される。水晶振動素子２０は、各励振電極２２から基板の一端縁に延びるリード端子２２ａを備え、各リード端子を含む基板端部下面は各素子搭載パッド７上の導電性接着剤２５によって電気的機械的に接続固定される。この例では、各リード端子２２ａの内の上面側のリード端子は基板端縁を超えて下面側に先端を導出させており、基板下面に離間配置された各リード端子の端部は、夫々各素子搭載パッド７上の導電性接着剤２５と一対一にて接続される。
【００１５】
図２はこの水晶振動素子２０を素子搭載パッド７上の導電性接着剤２５上に搭載するための装置構成、及び搭載手順を示す図である。
この吸着ノズル３０は、その傾斜した吸着面３１に複数の通気孔３２、３３を備えており、各通気孔３２、３３はポンプ４０との間を管体４１（正圧用管体４１ａ、負圧用管体４１ｂ、正負共用管体４１ｃ）によって連通接続されている。ポンプ４０は正圧、及び負圧を切り換えて出力可能な構成を有し、する。各通気孔３２、３３に対してポンプ４０から供給される正圧、及び負圧の圧力値は、バルブ４２、４３を個別に調整することによって個別に変化させることが可能である。また、吸着ノズル３０は図示しない駆動機構によって矢印方向へ進退自在に構成されている。各通気孔３２、３３から負圧を供給することにより吸着ノズル３０の吸着面に水晶振動素子２０の上面側を吸着保持することができ、正圧を供給することにより吸着面から離脱させることができる。これらの作業は制御部からの制御により実施される。
【００１６】
吸着面３１は、水晶振動素子２０の一端部２０ａ、即ち素子搭載パッド７上の導電性接着剤２５により下面を接着保持される側の一端部２０ａが下向きに傾斜した状態となるように、所定の角度にて傾斜した面となっている。
本実施形態では、導電性接着剤により接着される側の端部（接着側端部）２０ａ寄りの通気孔３２の内径を、当該端部２０ａよりも離間した側の通気孔３３よりも大きくすると共に、バルブ４２、４３を調整することにより通気孔３２から供給される正圧が他方の通気孔３３から供給される正圧よりも大きくなるように構成されている。或いは、各通気孔３２、３３の内径を同等に設定しつつ、通気孔３２からの正圧を通気孔３３からの正圧よりも大きくするようにバルブを制御してもよい。
【００１７】
このように接着側の一端部２０ａを予め下向きにして傾斜させておく一方で、水晶振動素子を離脱させる際には当該一端部２０ａ寄りの通気孔３２からの強い正圧を水晶振動素子の一端部２０ａ寄りの上面に吐出することにより、一端部２０ａ側から先行して落下を開始し、他端部２０ｂ側は遅れて落下することとなる。つまり、水晶振動素子は吸着面３１と平行な姿勢を維持したまま落下するのではなく、一端部２０ａ側が先行して落下してゆくこととなる。その結果、両通気孔３２、３３からの正圧の吐出開始による水晶振動素子の落下姿勢は、点線で示すように吸着面３１の傾斜角度よりも更に一端部２０ａ側が下向きに急傾斜した状態となる。
【００１８】
なお、水晶振動素子を吸着面３１から離脱させる際に、一端部２０ａ寄りの通気孔３２からの負圧供給を停止して正圧を供給開始する一方で、他方の通気孔３３からは弱い負圧を供給し続けることにより一端部２０ａ側から先行して離脱開始させ、一端部２０ａ側の離脱開始後に所定のタイミングにて通気孔３３からの負圧の供給を停止するか、或いは通気孔３３から正圧を供給開始することにより、水晶振動素子の傾斜を急角度にしつつ落下させることができる。
或いは、両通気孔３２、３３から負圧を供給することにより水晶振動素子を吸着面３１に吸着保持した状態から離脱させる際には、両通気孔からの負圧の供給を停止すると同時に、一端２０ａ寄りの通気孔３２からのみ正圧を供給開始するようにしても、上記と同様に水晶振動素子２０の落下時の傾斜角度を吸着面３１の傾斜角度を超えた急傾斜に保持しつつ落下させることができる。
吸着ノズル３０の下方にはワーク支持台５０が配置されており、ワーク支持台５０上には複数のパッケージ本体２をシート状に連結したパッケージ母材２Ａが支持されている。
吸着ノズル３０は、吸着面３１によって水晶振動素子２０の上面を吸着保持した状態で矢印方向へ進退し、パッケージ母材２Ａを構成するパッケージ本体個片上に近接する。
【００１９】
次に、このような構成を備えた吸着ノズル３０を用いた水晶振動素子の搭載手順の一例について説明する。
即ち、まず吸着ノズル３０の複数の通気孔３２、３３から負圧を供給することにより圧電振動素子の一端部２０ａ側を下向きに傾斜させた状態で吸着面３１に保持する。次いで、吸着ノズルの吸着面３１により保持した圧電振動素子の一端部側下面を素子搭載パッド７上の導電性接着剤２５の直上位置に接近（下降）させる。次いで、吸着ノズルの複数の通気孔３２、３３から同時に正圧を吐出させて吸着面３１から圧電振動素子を離脱させて落下させるのであるが、その際に、接着剤側に位置する通気孔３２からの正圧の吐出力を、接着剤側から離間した他の通気孔からの正圧の吐出力よりも強く設定する。
このように通気孔３２、３３から正圧を吐出させることにより傾斜した吸着面３１から水晶振動素子を離脱させて水晶振動素子の一端部を導電性接着剤上に落下させてその下面を接着させることができるが、本発明においては接着剤側の一端部２０ａを他端部２０ｂに先行させて吸着面３１から離脱、落下させるように制御するので、図２中に点線で示すように水晶振動素子は吸着面３１よりも更に急傾斜した状態で一端部２０ａを導電性接着剤２５上に当接させて接着されることができる。
【００２０】
このように急傾斜した状態で一端部２０ａの下面を接着した後で、水晶振動素子の自重及び接着剤硬化時の応力によって他端部２０ｂ側が下降するため、この下降量を見込んだ上で水晶振動素子の落下時の傾斜角度を適切に設定すればよい。
従って、本実施形態によれば各通気孔３２、３３からの正圧の吐出力を個別に最適に調整することにより、接着剤２５が硬化した段階で、水晶振動素子の他端部２０ｂと凹陥部３の内底面との間のギャップが（他端部２０ｂと金属蓋１２下面とのギャップも）適切な値となるように微調整することが可能となる。従って、パッケージ本体２の凹陥部３内の高さ寸法が小型化したとしても、導電性接着剤により保持された水晶振動素子の姿勢を最適な姿勢とすることができる。
【００２１】
次に、図３は吸着面３１により一端部２０ａを下向きにして傾斜した状態で保持された水晶振動素子２０を更に急傾斜させた状態で導電性接着剤上に落下させるために通気孔３２、３３から供給する正圧、負圧の他の制御方法を示す図である。この方法では、水晶振動素子を吸着面から離脱させる際に両通気孔３２、３３からの負圧の供給を一斉に停止するのではなく、一端部２０ａ寄りの通気孔３２からの負圧供給だけを停止して正圧を供給すると共に、他方の通気孔３３からは所定時間負圧（負圧値を低下させるのが好ましい）を供給し続けることにより一端部２０ａ側が先に吸着面から離脱するように制御し、所定時間後に通気孔３３からの負圧の供給を停止するか、或いは正圧を供給することにより水晶振動素子全体を吸着面から離脱させ、急傾斜した姿勢で落下開始させる。
更に、両通気孔３２、３３からの負圧の供給を一斉に停止すると同時に、一端部２０ａ寄りの通気孔３２からのみ正圧を供給開始するようにしても、上記と同様に水晶振動素子２０の落下時の傾斜角度を吸着面３１の傾斜角度を超えた急傾斜に保持しつつ落下させることができる。
【００２２】
なお、図１の例では、凹陥部３を有したパッケージ本体（絶縁基板）２の凹陥部３内に水晶振動素子を収容する構成例を示したが、平坦な絶縁基板上に設けた素子搭載パッド上に導電性接着剤により水晶振動素子を搭載した上で、この水晶振動素子を含む基板上の空間を逆椀形の金属蓋（蓋部材）によって気密封止するようにした水晶振動子も本発明の範囲内に含まれるものである。
更に、図１の例では本発明の水晶振動素子の搭載方法を適用し得る圧電デバイスの一例として水晶振動子を示したが、この水晶振動子に対して、発振回路、温度補償回路等を構成するＩＣ部品を組み付けた水晶発振器も本発明の範囲に属するものである。
なお、上記実施形態では、圧電材料として水晶を使用した水晶振動子、水晶発振器を中心として説明してきたが、本発明は水晶以外の圧電材料を使用した各種圧電デバイスにおける圧電振動素子の接着構造に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】（ａ）は本発明方法によって圧電振動素子を搭載した圧電振動子の一例としての水晶振動子の全体縦断面図、（ｂ）は圧電振動素子の一例としての水晶振動素子の構成説明図。
【図２】圧電振動素子を素子搭載パッド上の導電性接着剤上に搭載するための装置構成、及び搭載手順を示す図。
【図３】本発明の他の実施形態の説明図。
【図４】（ａ）及び（ｂ）は従来例に係る吸着ノズルの構成と、搭載手順の説明図。
【符号の説明】
【００２４】
１…圧電振動子、２…パッケージ本体（絶縁基板）、２Ａ…パッケージ母材、３…凹陥部、４…底板、５…外壁、７…素子搭載パッド、８…実装電極、９…内部導体、１２…金属蓋、２０…水晶振動素子、２０ａ…一端部、２０ｂ…他端部、２１…水晶基板、２２…励振電極、２２ａ…リード端子、２５…導電性接着剤、３０…吸着ノズル、３１…傾斜面、３２、３３…通気孔、４０…ポンプ、４１ａ、４１ｂ、４１ｃ…管体、４２、４３…バルブ、５０…ワーク支持台。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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