(57)【要約】【課題】  環状磁石をピストン等に形成した環状溝に容易に装着できるようにする。【解決手段】  軸線方向に着磁された環状磁石１を、その周方向において複数に分割した分割磁石１１から構成し、これら分割磁石１１の相互の接合部１２，１３に、軸線方向に重ね合わせる接合面１２ａ，１３ａを設け、この接合面において該分割磁石を相互に磁着させることにより接合する。上記分割磁石１１は、それらの接合により横断面外形状が略一定となるような形状にする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸線方向に着磁された環状磁石を、その周方向において複数に分割し、且つ、それらの接合により横断面外形状が略一定となる分割磁石から構成し、これら分割磁石の相互の接合部に、軸線方向に重ね合わせる接合面を設け、この接合面において該分割磁石を相互に磁着させることにより接合した、
ことを特徴とする環状磁石。
【請求項２】
複数に等分割された分割磁石が、該分割磁石の各両端部を相互に反対面側が切除された形に薄肉化して形成され、上記接合面が、該切除した部分の面から形成されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の環状磁石。
【請求項３】
上記接合部が、上記分割磁石の表裏の一方の面側から他方の面側へ向って傾斜した上記接合面を有する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の環状磁石。
【請求項４】
上記環状磁石が二つに等分割された分割磁石の端部を接合してなり、  
上記接合部は、該分割磁石の半円形部分の両端より先端部分において、該両端で環状磁石の内周面に接する互いに平行な接平面から内側に突出する部分が切除され、且つ、該分割磁石の両端の接合部においては、分割磁石の表裏の同じ面側で上記接平面よりも外側の部位が環状磁石の厚さの半分を切除して薄肉化され、上記接合面がその切除した側の面により形成され、
上記形態で着磁方向が逆の一対の分割磁石における上記接合面を磁着させて環状に形成している、
ことを特徴とする請求項１に記載の環状磁石。  
【請求項５】
上記環状磁石が二つに等分割された分割磁石の端部を接合してなり、
上記接合部は、該分割磁石の半円形部分の両端より先端部分において、該両端で環状磁石の内周面に接する互いに平行な接平面から内側に突出する部分が切除され、且つ、該分割磁石の両端の接合部においては、分割磁石の表裏の反対面側で上記接平面よりも外側の部位が環状磁石の厚さの半分を切除して薄肉化され、上記接合面をその切除した側の面により形成され、
上記形態で着磁方向が同じ一対の分割磁石における上記接合面を磁着させて環状に形成している、
ことを特徴とする請求項１に記載の環状磁石。
【請求項６】
上記分割磁石の両端の接合部における相互に当接し合う面の一方に突起を、他方に上記突起が嵌合する凹部を設けた、
ことを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の環状磁石。
【請求項７】
軸線方向に着磁された環状磁石を、複数層の分割環状磁石の磁着接合により構成し、且つ各分割環状磁石を、周方向において複数に分割された分割弧状磁石により構成し、接合する分割環状磁石における各分割弧状磁石相互の接合端面の位相を周方向にずらした、
ことを特徴とする環状磁石。  
【請求項８】
上記分割磁石が２層で、各分割弧状磁石が半円弧状であり、結果的に環状磁石が４個の同一形状の分割弧状磁石により形成されている、
ことを特徴とする請求項７に記載の環状磁石。  
【請求項９】
シリンダチューブと、該シリンダチューブ内で駆動されるピストンとを備えた流体圧シリンダにおいて、
請求項１〜８のいずれかに記載の環状磁石が、上記ピストンの周囲の環状溝に取り付けられ、
且つ、上記シリンダチューブに環状磁石の磁力を検知する磁気センサを取り付けるための取付け手段を付設した、
ことを特徴とする流体圧シリンダ。
【請求項１０】
上記ピストンの周囲の環状溝に嵌入した環状磁石の外周面に、該環状磁石をカバーするウエアリングまたはピストンパッキンが設けられている、
ことを特徴とする請求項９に記載の流体圧シリンダ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、周方向において２以上に分割された分割磁石から構成された環状磁石、およびそれを用いた流体圧シリンダに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、シリンダチューブと、該シリンダチューブ内で駆動されるピストンを備えた流体圧シリンダにおいては、従来から、上記ピストンの駆動位置を検出するために、該ピストン周囲に形成した環状溝に環状磁石が取り付けられ、且つ、上記磁石の磁力を検知するセンサが上記シリンダチューブに取り付けられている。
この種環状磁石のピストンへの装着は、ピストンを軸方向に２分割してその間に形成された溝に該環状磁石を嵌め込むことにより行われるか、あるいは、環状磁石を半円状に２分割し、ピストンの外周の環状溝の両側から半円状の二つの磁石を嵌入してそれらの端部を接着するなどの方法がとられていた。
【０００３】
しかしながら、前者の方法では、ピストンを２分割する必要があるために製造が煩雑でコスト高の原因になり、後者の方法では、接着する端部での同極同士の対向に基く反発力が発生し、接着作業が困難であるという問題があった（特許文献１）。
また、上記磁石として軟質のものを用いる場合には、環状磁石の１箇所を切断して、一体構造のピストン外周の環状溝に環状磁石を変形させながら嵌入した後、切断部の端面同士を接着することにより装着ができるが、この端面同士は、同極間での反発力が発生し接着作業が困難であるという点では上記磁石と同様である。
したがって、上記環状磁石のピストン等への装着の簡易化が望まれていた。
【０００４】
【特許文献１】特許第３０８４０７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の技術的課題は、上記問題を解決し、ピストン等に形成した環状溝に容易且つ簡単に装着できるようにした環状磁石を提供することにある。
また、本発明の他の技術的課題は、上記環状磁石を用いて製作が容易で安価な流体圧シリンダを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記技術的課題を解決するための本発明の環状磁石は、軸線方向に着磁された環状磁石を、その周方向において複数に分割し、且つ、それらの接合により横断面外形状が略一定となる分割磁石から構成し、これら分割磁石の相互の接合部に、軸線方向に重ね合わせる接合面を設け、この接合面において該分割磁石を相互に磁着させることにより接合したことを特徴とするものである。
【０００７】
本発明の環状磁石の好ましい実施の形態においては、複数に等分割された分割磁石が、該分割磁石の各両端部を相互に反対面側が切除された形に薄肉化して形成され、上記接合面が、該切除した部分の面から形成される。
上記環状磁石においては、上記接合部が、上記分割磁石の表裏の一方の面側から他方の面側へ向って傾斜した上記接合面を有するものとすることができる。
【０００８】
本発明の環状磁石の他の好ましい実施の形態においては、上記環状磁石が二つに等分割された分割磁石の端部を接合してなり、上記接合部は、該分割磁石の半円形部分の両端より先端部分において、該両端で環状磁石の内周面に接する互いに平行な接平面から内側に突出する部分が切除され、且つ、該分割磁石の両端の接合部においては、分割磁石の表裏の同じ面側、あるいは反対の面側で、上記接平面よりも外側の部位が環状磁石の厚さの半分を切除して薄肉化され、上記接合面がその切除した側の面により形成され、上記形態で着磁方向が逆または同じである一対の分割磁石における上記接合面を磁着させて環状に形成される。
上記本発明の環状磁石においては、上記分割磁石の両端の接合部における相互に当接し合う面の一方に突起を、他方に上記突起と嵌合する凹部を設けることができる。
【０００９】
また、本発明においては、軸線方向に着磁された環状磁石を、複数層の分割環状磁石の磁着接合により構成し、且つ各分割環状磁石を周方向において複数に分割された分割弧状磁石により構成し、接合する分割環状磁石における各分割弧状磁石相互の接合端面の位相を周方向にずらすことによって構成することができる。
上記環状磁石の好ましい実施の形態においては、上記分割磁石が２層で、各分割弧状磁石が半円弧状であり、結果的に環状磁石が４個の同一形状の分割弧状磁石により形成される。
【００１０】
更に、前記技術的課題を解決するための本発明の流体圧シリンダは、シリンダチューブと、該シリンダチューブ内で駆動されるピストンとを備えた流体圧シリンダにおいて、上記いずれかの環状磁石が、上記ピストンの周囲の環状溝に取り付けられ、且つ、上記シリンダチューブに環状磁石の磁力を検知する磁気センサを取り付けるための取付け手段を付設したことを特徴とするものである。
上記流体圧シリンダの好ましい実施の形態においては、上記ピストンの周囲の環状溝に嵌入した環状磁石の外周面に環状磁石をカバーするウエアリングまたはピストンパッキンが設けられる。
【００１１】
上記構成を有する環状磁石は、周方向において複数に分割しているので、ピストンの周囲の環状溝等への装着を、容易に行うことができ、しかも、分割磁石の相互の接合をそれらの接合面における磁着によって行うようにしているので、分割磁石の接合に接着剤等を必要とせず、容易且つ簡単にそれらを接合することができる。
また、上記環状磁石はその横断面外形状が略一定になるようにしているので、環状磁石の周囲全体の磁気的特性を略均一化することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上に詳述した本発明においては、環状磁石を磁着により接合する分割磁石により形成したので、環状磁石を容易且つ簡単にピストン等に装着することができ、また、この環状磁石を用いることによりピストン位置を検知可能にした流体圧シリンダを容易且つ安価に製作することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下に、本発明の環状磁石およびそれを用いた流体圧シリンダを図面に示す実施例に基づいて詳細に説明する。
図１および図２は、本発明に係る環状磁石の第１実施例を示すもので、この環状磁石１は、その中心軸線方向の一方の表面がＮ極、他面がＳ極となるように着磁されたものであり、該環状磁石１を周方向において三つに等分割した分割磁石１１により形成している。
なお、ここで等分割とは、環状磁石をその周方向において単純に等分した長さに分割することを意味するのではなく、両端に接合部を設けた状態で同形に分割され、その分割磁石を接合部において接合したときに丁度環状になる形状に分割することを意味している。
【００１４】
図２に示すように、三つの分割磁石１１のそれぞれの両端には、端部を薄肉化して他の分割磁石１１と軸線方向に重ね合わせることにより相互に磁着させる第１の接合部１２と第２の接合部１３とが形成されている。
上記第１の接合部１２と第２の接合部１３とは、端部における相互に反対面側の段落面１２ｂ，１３ｂよりも先端側を一部切除して、該分割磁石１１の厚さの略１／２に薄肉化することにより形成され、３個の分割磁石１１は、これらの切除した側の面を接合面１２ａ，１３ａとして巴状に重ね合わせ、すなわち、相互の第１の接合部１２の接合面１２ａと第２の接合部１３の接合面１３ａとを、軸線方向に重ね合わせて磁着接合している。そして、このように接合した状態の環状磁石１の各部の横断面の外形状が略一定になるようにしている。
【００１５】
なお、第１および第２の接合部１２，１３の厚さは、必ずしも等しいものである必要はなく、重ね合わせた厚さが分割磁石１１の厚さに等しくなっていれば、すなわち断面外形状が略一定であれば、異なる厚さの組み合わせでもよい。また、上記接合面は、ここでは環状磁石の軸線方向に対して直交する面として示しているが、軸線方向に重ねられる面であれば、斜面や曲面であっても差支えない。
【００１６】
上記環状磁石１においては、図３に示すように、磁着した接合面１２ａと接合面１３ａとの一方に突起１２ｃを、他方に上記突起１２ｃと嵌合する凹部１３ｃを設けている。そのため、接合面１２ａと接合面１３ａとの磁着状態においては、該突起１２ｃと凹部１３ｃの嵌合により環状磁石１の接合部１２，１３が径方向にずれることはない。
なお、これらの突起１２ｃと凹部１３ｃとは、必要に応じて設けられるものであり、必ずしも必須のものではない。
【００１７】
上記構成を有する環状磁石１は、それが周方向に三つに等分されているので、流体圧シリンダのピストンにおける環状溝等に装着してピストンの位置検出に用いる場合に、該環状溝に容易且つ確実に取り付けることができる。しかも、分割磁石１１の相互の接合をそれらの接合面１２ａ，１３ａの磁着によって行うので、分割磁石の接合に接着剤等を必要とせず、容易且つ簡単にそれらを接合することができる。
なお、上記分割磁石１１の接合に際して、段落面１２ｂ，１３ｂとそれに接合する他方の分割磁石の接合部１２，１３の先端面との間では、両分割磁石１１に相互に離間する方向の反発力が作用することになるが、比較的広い接合面１２ａ，１３ａの磁着によって両分割磁石の離間を抑制することができる。
【００１８】
上記分割磁石１１は、環状磁石１を三つに等分割したものに限らず、複数に分割したものとすることができる。
図４に示す第２実施例の環状磁石２は、第１実施例と同様な形態を有する分割磁石２１を備えているが、環状磁石２を二つに等分割した分割磁石２１により形成したものである。そのため、第１実施例の環状磁石１のようにピストン等の環状溝に装着する際に、分割磁石２１の開口幅が狭く、そのままでは上記環状溝に嵌入することができないが、環状溝の溝底の一部あるいは接合部２２，２３の一部を削り取って上記開口幅でも環状溝に嵌入できるようにするとか、環状磁石２の接合部２２，２３における接合面２２ａ，２３ａを短くするとか、分割磁石２１の素材に若干の弾性を付与するなどの手段により、該環状溝への装着が可能になる。なお、このような二等分の構成は、部品点数が少なくなる点で有利なものである。
【００１９】
上記第１および第２実施例における上記段落面１２ｂ，１３ｂ，２２ｂ，２３ｂは、環状磁石１，２の中心から放射方向に向く面として形成しているが、それに限るものではなく、図５に示す変形例の環状磁石３のように、複数の分割磁石３１における接合部３２，３３を、該放射方向に対して傾斜した段落面３２ｂ，３３ｂと前記実施例と同様の接合面３２ａ，３３ａによって形成し、あるいは相互に接合する適宜曲面によって形成することもできる。これにより、磁着された接合部３２，３３の相互のずれを抑制される。
【００２０】
図６は、本発明の第３実施例の環状磁石４を示すものである。この環状磁石４は、第２実施例と同様に二つに等分割した分割磁石４１から形成されているが、それとは接合部の形態を異にしている。すなわち、この環状磁石４では、分割磁石４１における第１および第２の接合部４２，４３が、表裏の一方の面側から他方の面側に向けて斜めに薄肉化され、傾斜した接合面４２ａ，４３ａを形成している。この二つの分割磁石４１を組み付けることにより、上記の傾斜した第１および第２の接合面４２ａ，４３ａが重ね合わされ、第２実施例と同様に磁着される。この環状磁石４のその他の構成および作用は第２実施例と同様である。
なお、図４〜図６に示す環状磁石の接合面においても、第１実施例と同様に突起１２ｃとこの突起１２ｃと嵌合する凹部１３ｃとを設け（図３参照）、それらを相互に嵌合させることができる。
【００２１】
図７は本発明に係る環状磁石の第４実施例を示すものである。この環状磁石５は、同一形状である第１の分割磁石５１Ａと第２の分割磁石５１Ｂとに等分割され、これらの分割磁石５１Ａ、５１Ｂは、ピストン等の環状溝に嵌入する開口部を備えたＵ字状をなし、開口部を形成する両端部にそれぞれ接合部５２Ａ，５３Ａ，５２Ｂ，５３Ｂが形成されている。そして、第１の分割磁石５１Ａは、その中心軸線方向の一方の表面がＮ極、他方の表面がＳ極となっており、第２の分割磁石５１Ｂは、図示の状態から左右に反転させればその形状が分割磁石５１Ａと同一であるが、着磁方向が逆になっている。
上記第１の分割磁石５１Ａと第２の分割磁石５１Ｂとは、相互の開口部が向かい合う図示の状態で、それぞれの薄肉化された接合部５２Ａ，５３Ａと、接合部５２Ｂ，５３Ｂとにおいて重ね合わせると、それらが相互に磁着して、横断面外形状が略一定の環状磁石５が形成される。
【００２２】
この構成をさらに詳細に説明すると、第１の分割磁石５１Ａの接合部５２Ａ，５３Ａは、分割磁石５１Ａの半円形部分の両端（ｐ点）より先端部分において、該両端で環状磁石５の内周面に接する互いに平行な接平面（ｐ−ｐに直交する面）から内側に突出する部分が切除面５４ｃ，５５ｃにおいて切除され、且つ、分割磁石５１Ａの両端においては、該分割磁石５１Ａの一面側で上記接平面よりも外側の部位を環状磁石５の厚さの半分だけ切除して薄肉化し、その切除した側の面により接合面５２ａ，５３ａを形成し、上記接平面に沿って切り落とした面を段落面５４ｂ，５５ｂとしている。
また、第２の分割磁石５１Ｂの接合部５２Ｂ，５３Ｂにおいても、接合面５６ａ，５７ａ、段落面５６ｂ，５７ｂおよび切除面５６ｃ，５７ｃが、上記第１の分割磁石５１Ａのそれらと同様に形成されている。そして、第１、第２の分割磁石５１Ａ，５１Ｂを、これらの接合面５４ａと接合面５６ａ、および接合面５５ａと接合面５７ａとを互いに磁着させることにより環状に形成している。
【００２３】
図８は上記第４実施例の環状磁石５の変形例である環状磁石６を、図９はその一部を拡大して示したものである。
この環状磁石６における分割磁石６１Ａ，６１Ｂは、上記図７の実施例と基本的には同一の構成を備えているが、それぞれの両端の接合部６２Ａ，６３Ａ、および６２Ｂ，６３Ｂにおいて相互に当接し合う段落面６４ｂ，６５ｂ，６６ｂ，６７ｂと、切除面６４ｃ，６５ｃ，６６ｃ，６７ｃの一方に突起６８を、他方に上記突起６８が嵌合する凹部６９を設けている。これらの突起６８と凹部６９とは、第１の分割磁石６１Ａと第２の分割磁石６１Ｂとが接合して環状磁石６を形成した際に、該分割磁石が相互に離間する方向へずれるのを防止するものである。
【００２４】
第４実施例の環状磁石６の第１の分割磁石６１Ａと第２の分割磁石６１Ｂとでは、それぞれの接合部６２Ａ，６３Ａと、接合部６２Ｂ，６３Ｂとが、分割磁石６１Ａ，６１Ｂの表面の同じ側を薄肉化して接合面を形成しているが、それらの接合部を分割磁石の他面側で薄肉化して各接合部を形成するようにしても良い。この場合、第１，第２の分割磁石６１Ａ，６１Ｂは、形状も着磁方向も同一となる。
【００２５】
図１０〜１１は、本発明の環状磁石の第５実施例を示すもので、この第５実施例の環状磁石７は、軸線方向に着磁され、その軸線方向に２層に積層された分割環状磁石７１Ａ, ７１Ｂが磁着により接合され、それらの分割環状磁石７１Ａ，７１Ｂが周方向において二つに等分された形の分割弧状磁石７２，７２により形成され、そして、相互に接合する分割環状磁石７１Ａ, ７１Ｂを、それらにおける各分割弧状磁石７２，７２相互の接合端面７４の位相を周方向にずらして磁着接合している。
この場合、各分割弧状磁石７２，７２は半円弧状で、表裏両面が接合面７３を形成し、結果的に環状磁石７が４個の同一形状の分割弧状磁石７２，７２により形成されている。
また、この第５実施例の環状磁石７において、図１１に示すように、二つの分割弧状磁石７２を接合したものは、図４に示す第２実施例の分割磁石２１と実質的に同構造のものとなる。
【００２６】
このような環状磁石７は、４個の分割弧状磁石７２の２個ずつを周方向に位相をずらして積層したもので、同一部品だけから製作することができるので、コストが安価であるとともに製作が容易であり、また、その環状磁石７を構成する分割弧状磁石７２をピストンの環状溝等に取り付ける場合は、それらの分割弧状磁石７２を周方向に位相をずらして積層しながら順次組付けることにより、磁着接合により装着される。
なお、この環状磁石７においても、第１実施例の環状磁石１と同様な突起２２ｃと凹部２３ｃとからなる嵌合部を表裏の接合面７３に設けても良いが、環状磁石としたときにその一方の表面から突起２２ｃが突出することになる。
【００２７】
図１２は、本発明の環状磁石を装着した流体圧シリンダの実施例を示し、図１３は、図１２の流体圧シリンダにおける環状磁石５が装着されたピストン部分の構成を分解して示している。
この実施例における流体圧シリンダは、図１２に示すように、シリンダチューブ８１と、シリンダチューブ８１内で摺動状態に駆動されるピストン８２とを備え、このピストン８２には、その中心軸を一致させてピストンロッド８３が固定されている。
ピストン８２の周囲には、磁石を嵌入する環状溝８４が形成されており、外部の磁気センサ８５でこのピストン８２の駆動位置を検出するための環状磁石５（図７）が嵌入されている。シリンダチューブ８１に付設する上記磁気センサ８５の取付け手段としては、任意手段を採用することができる。
【００２８】
上記環状磁石５は、図１３に示すように、ピストン８２の環状溝８４に、その両側から図７の環状磁石５の第１の分割磁石５１Ａと第２の分割磁石５１Ｂとを矢印方向に嵌入して、環状溝内で磁着接合される。
上記環状溝８４は、環状磁石５を嵌入した際に、その外周にわずかな隙間が形成され、この隙間に環状磁石５をカバーするウエアリング８６が装着される。該ウエアリング８６は、これ設けることにより環状磁石５が保護されると同時に、その装着状態が安定的に保持される。
【００２９】
図１４は、本発明の環状磁石５を装着した流体圧シリンダの変形例を示すものであり、上記ピストン８２の環状溝８４には、その開口部位が環状磁石５の厚さより広いウエアリング装着部８４ａが形成され、そこにウエアリング８６Ａが装着されている。したがって、ウエアリング８６Ａは環状磁石５をその厚さより広くカバーするので、ピストン８２を一層安定的に摺動させることができる。
図１２および図１４の実施例では、前記環状磁石５を装着しているが、これに代えて上記した各種環状磁石を用いることができるのは勿論である。また、上記ウエアリング８６，８６Ａに代えてピストンパッキンを用いることもできる。
【００３０】
上述の各実施例の環状磁石は、いずれも複数の部品から構成されているにもかかわらず磁力により一体化しているので、接着などの固定作業を必要とせず、また、ピストン等に装着した場合、使用状態での振動や衝撃に対して機械的に安定である。
さらに、ピストンに装着する場合、ピストンの分割構造が機械的に取れない小型シリンダ、ピストンとピストンロッドが一体構造の流体圧シリンダ等にも無理なく装着できるので、環状磁石を装着した装置を安価に提供することができる。
なお、本発明は上述の実施例に限らず、特許請求の範囲の精神を逸脱しない範囲において、種々の構成を取ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１実施例の環状磁石を示す斜視図である。
【図２】同第１実施例の環状磁石の分解斜視図である。
【図３】図１のＸ−Ｘ位置での断面を示す断面図である。
【図４】本発明の第２実施例の環状磁石を示す斜視図である。
【図５】同第２実施例の環状磁石の一部を変更した変形例の斜視図である。
【図６】本発明の第３実施例の環状磁石を示す斜視図である。
【図７】本発明の第４実施例の環状磁石を分解して示す分解斜視図である。
【図８】同第４実施例の環状磁石の一部を変更した変形例の分解斜視図である。
【図９】図８の変形例における一部を拡大して示す部分正面図である。
【図１０】本発明の第５実施例の環状磁石を示す斜視図である。
【図１１】同第５実施例の環状磁石を一部分解して示す分解斜視図である。
【図１２】本発明の環状磁石を装着した流体圧シリンダの部分半断面図である。
【図１３】同流体圧シリンダの要部分解斜視図である。
【図１４】本発明の環状磁石を装着した流体圧シリンダの他の構成例を示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００３２】
１〜７    環状磁石
１１，２１，３１，４１，５１Ａ，５１Ｂ，６１Ａ，６１Ｂ    分割磁石
１２，１３，２２，２３，４２，４３    接合部
１２ａ，１３ａ，２２ａ，２３ａ，３２ａ，３３ａ，４２ａ，４３ａ    接合面
１２ｂ，１３ｂ，２２ｂ，２３ｂ，３２ｂ，３３ｂ    段落面
１２ｃ，６８    突起
１３ｃ，６９    凹部
５２Ａ，５２Ｂ，５３Ａ，５３Ｂ，６２Ａ，６２Ｂ，６３Ａ，６３Ｂ    接合部
５４ａ，５５ａ，５６ａ，５７ａ    接合面
５４ｂ，５５ｂ，５６ｂ，５７ｂ，６４ｂ，６５ｂ，６６ｂ，６７ｂ    段落面
７１Ａ，７１Ｂ    分割環状磁石
７２    分割弧状磁石
８１    シリンダチューブ
８２    ピストン
８４    環状溝  
８５    磁気センサ
８６，８６Ａ    ウエアリング
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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