(57)【要約】      （修正有）【課題】鏡面を変形させる形状可変ミラーにおいて、組み立て時のプロセスが少なく効率よく作製でき、収差の補正を的確に行える形状可変ミラーを提供する。【解決手段】鏡面を変形させる形状可変ミラー１は、支持基板２とミラー部３とミラー部３に設けられる鏡面を変形させる駆動部４と、ミラー部３を固定する固定部５とで構成され、更に、支持基板２上には駆動部４を駆動するための電極と配線とが設けられる。電極と配線はそれぞれ支持基板上に設けられる第１の凸部６と第２の凸部（図示せず）上に形成される。第１の凸部６と第２の凸部では、第１の凸部６の方が、支持基板２表面からの高さが高く形成されている。【選択図】図１
2007058920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
支持基板と、該支持基板と対面し、該支持基板と反対側に鏡面を有するミラー部と、前
記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電部材を用いて前記鏡面を変形させる駆動部と
、前記ミラー部の端部で接合されて前記ミラー部を前記支持基板に固定する固定部と、前
記駆動部を駆動するための電極及び配線と、を有する形状可変ミラーを備える光ピックア
ップ装置において、
前記支持基板上には、前記駆動部及び前記固定部を接合する接合面を有し、前記電極が設
けられる第１の凸部と、前記配線のパターンと成る第２の凸部とが設けられ、前記第１の
凸部は前記第２の凸部に比べて前記支持基板の表面からの高さが高く設けられ、
前記固定部は前記駆動部と同一の圧電部材で形成され、
前記電極と前記配線とはＡｕ層で形成され、
前記ミラー部は、導電性を有する部材で形成され、
前記駆動部及び前記固定部は、同一の十字方向に対称に４つ配置されることを特徴とする
光ピックアップ装置。
【請求項２】
支持基板と、該支持基板と対面し、該支持基板と反対側に鏡面を有するミラー部と、前
記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電部材を用いて前記鏡面を変形させる駆動部と
、前記駆動部より前記ミラー部の外周側に配置され、前記ミラー部を前記支持基板に固定
する固定部と、前記駆動部を駆動するための電極及び配線と、を備える形状可変ミラーに
おいて、
前記支持基板上には、前記駆動部及び前記固定部を接合する接合面を有し、前記電極が設
けられる第１の凸部と、前記配線のパターンと成る第２の凸部とが設けられ、前記第１の
凸部は前記第２の凸部に比べて前記支持基板の表面からの高さが高く設けられることを特
徴とする形状可変ミラー。
【請求項３】
前記固定部が、前記駆動部と同一の圧電部材で形成されることを特徴とする請求項２に
記載の形状可変ミラー。
【請求項４】
前記電極と前記配線とは、同一種類の金属層で形成されることを特徴とする請求項２ま
たは請求項３に記載の形状可変ミラー。
【請求項５】
前記金属層は、Ａｕ層であることを特徴とする請求項４に記載の形状可変ミラー。
【請求項６】
前記ミラー部は、導電性を有する部材で形成されることを特徴とする請求項２乃至請求
項５のいずれかに記載の形状可変ミラー。
【請求項７】
前記駆動部及び前記固定部は、同一の十字方向に対称に４つ配置されることを特徴とす
る請求項２乃至請求項６のいずれかに記載の形状可変ミラー。
【請求項８】
請求項２乃至請求項７のいずれかの記載の形状可変ミラーを備えることを特徴とする光
ピックアップ装置。
【請求項９】
支持基板と、該支持基板と対面し、該支持基板と反対側に鏡面を有するミラー部と、前
記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電部材を用いて前記鏡面を変形させる駆動部と
、を備える形状可変ミラーの製造方法において、
前記支持基板の一部に凸部を形成する第１の工程と、前記凸部に金属層を設ける第２の工
程と、前記凸部の一部と前記圧電部材とを接合する第３の工程と、前記凸部に接合された
部分を切断しないように、前記圧電部材を前記支持基板と略垂直な方向で切断する第４の
工程と、を有することを特徴とする形状可変ミラーの製造方法。
【請求項１０】
前記第３の工程は、加熱状態で前記凸部の一部と前記圧電部材とを圧着する工程である
ことを特徴とする請求項９に記載の形状可変ミラーの製造方法。
【請求項１１】
前記金属層はＡｕ層であり、前記凸部の一部と前記圧電部材との圧着は４００℃以上５
００℃以下の温度下で行われることを特徴とする請求項１０に記載の形状可変ミラーの製
造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ピックアップ装置等に備えられる、ミラーの鏡面形状を変形できる形状可
変ミラーに関し、より詳細には効率よく組み立てることが可能な形状可変ミラーの構造及
び、その製造方法に関する。また、本発明はそのような形状可変ミラーを備える光ピック
アップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ピックアップ装置を使って、ＣＤ（コンパクトディスク）やＤＶＤ（デジタル多用途
ディスク）等の光ディスクの情報を読み書きする際、光ピックアップ装置の光軸とディス
ク面の関係は、垂直であることが理想である。しかし、実際にディスクが回転している際
、この関係は常に垂直というわけではない。このため、ＣＤやＤＶＤ等の光ディスクでは
、ディスク面が光軸に対して傾いた時に、レーザ光の光路が曲げられて波面収差（主にコ
マ収差）が発生する。また、光ピックアップ装置で再生する光ディスクの交換により光デ
ィスクの基板の厚さが変化すると、波面収差（主に球面収差）が発生する。
【０００３】
このような波面収差が発生した場合、光ディスク上に照射されたレーザ光のスポット位
置が正しい位置からずれるため、波面収差が許容値を超えると、情報の正しい読み書きが
できないという問題が発生する。このため、従来から、形状可変ミラーを用いて波面収差
の補正を行う手段が提案されている。
【０００４】
特許文献１においては、図６に示すようなミラー自体を積層型の圧電素子で変形させ位
相制御する形状可変ミラーが提案されている。そして、この形状可変ミラーでは、ミラー
面よりも先に、ミラー母材と、アクチュエータ（例えば圧電素子）１０４の変位をミラー
１０１に伝えるプッシャー１０３とを組み立て、ミラー母材をミラーに加工した後にアク
チュエータ１０４を組み立て、ついでアクチュエータ１０４などの各部品の長さのばらつ
き及び各部品間の接続状態の差異による高さのばらつきを硬度の高い充填剤１０６で補う
ように組み立てることで、組み立て作業性が向上するとしている。
【０００５】
また、特許文献２においては、波面収差を補正する形状可変ミラーとして、圧電素子を
利用したユニモルフ構造の形状可変ミラーが紹介されている。これは、例えば、図７（ａ
）、（ｂ）に示すような構造を有している。図７（ａ）は、ベース基板２０７を取り除い
て、鏡材２０１と反対側から見た図である。図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ'の位置
で切った形状可変ミラーの断面図である。
【０００６】
この形状可変ミラーでは、鏡材２０１を少ない電圧で変形できるように、基板をエッチ
ングしてミラー部を薄く形成している。そして、圧電素子２０２に電圧を印加するために
、配線電極２０３ｂ、２０４ｂは、ミラー基板２０５の裏面（ミラー２０１が無い側の面
）からエッチングされた側壁を伝って梁２０６の部分で、ベース基板２０７の電極２０３
ｃ、２０４ｃと電気的に接続されている。ここで、配線電極２０３ｂ、２０４ｂは、主に
Ａｌスパッタ膜で作製され、ミラー基板２０５の裏面全面に成膜された後、フォトリソグ
ラフィ法によりパターニングされている。圧電素子電極２０３ａ及び個別電極２０４ａを
有する圧電素子２０２は、配線電極２０３ｂ、２０４ｂがパターニングされたミラー基板
の裏面側に接着・配線されて形成されている。
【０００７】
しかしながら、特許文献１に提案される形状可変ミラーは、アクチュエータを動作させ
るための配線が複雑となり、電極及び配線の取り付けまで含めて考えると必ずしも組み立
ての作業性が良いとは言えない。また、この形状可変ミラーを光ピックアップ装置等の小
さな部品に用いるには配線が複雑で組み付けが困難であるという問題もある。
【０００８】
また、特許文献２に紹介される形状可変ミラーは、光ピックアップ装置等の小さな部品
に用いる上で、配線が複雑で組み付けが困難であるといった問題はないが、形状可変ミラ
ーを組み立てるにあたって、圧電素子、各基板、各種の電極及び配線といった部品を一つ
一つ順番に組み付けていく必要があるために、組み立て作業に時間を要し、作業効率の面
で問題があった。
【特許文献１】特開平５−３３３２７４号公報
【特許文献２】特開２００４−１５１６３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
以上の問題点に鑑み、本発明の目的は、鏡面を変形させる形状可変ミラーにおいて、組
み立て時のプロセスが少なく効率よく作製でき、収差の補正を的確に行える形状可変ミラ
ーを提供することである。また、本発明の他の目的は、鏡面を変形させる形状可変ミラー
を、少ないプロセスで効率良く製造する製造方法を提供することである。更に、本発明の
他の目的は、効率良く作製できる形状可変ミラーを備えることにより、製造時の作業効率
を高めることができる光ピックアップ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために本発明は、支持基板と、該支持基板と対面し、該支持基板と
反対側に鏡面を有するミラー部と、前記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電部材を
用いて前記鏡面を変形させる駆動部と、前記ミラー部の端部で接合されて前記ミラー部を
前記支持基板に固定する固定部と、前記駆動部を駆動するための電極及び配線と、を有す
る形状可変ミラーを備える光ピックアップ装置において、前記支持基板上には、前記駆動
部及び前記固定部を接合する接合面を有し、前記電極が設けられる第１の凸部と、前記配
線のパターンと成る第２の凸部とが設けられ、前記第１の凸部は前記第２の凸部に比べて
前記支持基板の表面からの高さが高く設けられ、前記固定部は前記駆動部と同一の圧電部
材で形成され、前記電極と前記配線とはＡｕ層で形成され、前記ミラー部は、導電性を有
する部材で形成され、前記駆動部は、前記固定部の内側に十字方向に対称に４つ設けられ
ることを特徴としている。
【００１１】
また、上記目的を達成するために本発明は、支持基板と、該支持基板と対面し、該支持
基板と反対側に鏡面を有するミラー部と、前記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電
部材を用いて前記鏡面を変形させる駆動部と、前記駆動部より前記ミラー部の外周側に配
置され、前記ミラー部を前記支持基板に固定する固定部と、前記駆動部を駆動するための
電極及び配線と、を備える形状可変ミラーにおいて、前記支持基板上には、前記駆動部及
び前記固定部を接合する接合面を有し、前記電極が設けられる第１の凸部と、前記配線の
パターンと成る第２の凸部とが設けられ、前記第１の凸部は前記第２の凸部に比べて前記
支持基板の表面からの高さが高く設けられることを特徴としている。
【００１２】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーにおいて、前記固定部が、前記駆動部と同
一の圧電部材で形成されることを特徴としている。
【００１３】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーにおいて、前記電極と前記配線とは、同一
種類の金属層で形成されることを特徴としている。
【００１４】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーにおいて、前記金属層は、Ａｕ層であるこ
とを特徴としている。
【００１５】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーにおいて、前記ミラー部は、導電性を有す
る部材で形成されることを特徴としている。
【００１６】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーにおいて、前記駆動部及び前記固定部は、
同一の十字方向に対称に４つ配置されることを特徴としている。
【００１７】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーを備える光ピックアップ装置であることを
特徴としている。
【００１８】
また、上記目的を達成するために本発明は、支持基板と、該支持基板と対面し、該支持
基板と反対側に鏡面を有するミラー部と、前記支持基板と前記ミラー部とに挟まれ、圧電
部材を用いて前記鏡面を変形させる駆動部と、を備える形状可変ミラーの製造方法におい
て、前記支持基板の一部に凸部を形成する第１の工程と、前記凸部に金属層を設ける第２
の工程と、前記凸部の一部と前記圧電部材とを接合する第３の工程と、前記凸部に接合さ
れた部分を切断しないように、前記圧電部材を前記支持基板と略垂直な方向で切断する第
４の工程と、を有することを特徴としている。
【００１９】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーの製造方法において、前記第３の工程は、
加熱状態で前記凸部の一部と前記圧電部材とを圧着する工程であることを特徴としている
。
【００２０】
また、本発明は、上記構成の形状可変ミラーの製造方法において、前記金属層はＡｕ層
であり、前記凸部の一部と前記圧電部材との圧着は４００℃以上５００℃以下の温度下で
行われることを特徴としている。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の第１の構成によれば、光ピックアップ装置に備えられる形状可変ミラーについ
て、鏡面を変形させる駆動部に用いられる圧電部材と同一の部材を、ミラー部を固定する
固定部にも用いているために、支持基板上に設けられる駆動部と固定部とを配置するため
の凸部に圧電部材を接合した後に、圧電部材を切断して不要部を除去すれば、駆動部と固
定部をまとめて同時に作製することが可能となる。このため、装置作製時の作業効率を向
上できる。また、この場合、圧電部材を接合する接合面は、配線パターンを作製する凸部
より高く設けられているので、圧電部材を接合する前に配線を作製しておいても、圧電部
材の不要部を除去する切断作業で配線を切断することもなく、装置を効率よく組み立て易
い構造となっている。
【００２２】
更に、支持基板上に設けられた凸部と圧電部材とを接合する接合面に設けられる電極と
、配線とがいずれもＡｕ層で形成されているために、蒸着等により電極と配線を同時に作
製することが可能となるため、装置作製時の作業効率を向上できる。そして、支持基板と
圧電部材との間にＡｕ層を設けて電極とした場合には、支持基板と圧電部材とを熱圧着す
るとＡｕの存在により接合強度も増大する利点がある。また、ミラー部に導電性の部材を
用いているために、ミラー部側に電極等を設ける必要が無く、装置作製時の作業効率を向
上できる。
【００２３】
また、本発明の第２の構成によれば、鏡面を変形させる形状可変ミラーにおいて、支持
基板上に設けられる２種類の凸部のうち配線パターンとなる凸部の方が、高さが低いため
に、先に配線を形成した後に、駆動部等を接合するための凸部上に所定の部材を接合し、
凸部からはみ出した部分をその後に切断するという工程で形状可変ミラーを作製する場合
においても、配線を切断することなく、不要部分を切断できる。このため、本発明の形状
可変ミラーはプロセス加工に適した構造を有していると言え、組み立て時の作業効率が良
い形状可変ミラーの提供が可能となる。
【００２４】
また、本発明の第３の構成によれば、上記第２の構成の形状可変ミラーにおいて、固定
部にも鏡面を変形させる駆動部と同じ圧電部材を用いているために、支持基板上に形成さ
れた駆動部等を接合するための凸部に圧電部材を接合し、その後にまとめて不要部分を切
断する工程を行えば、鏡面を変形させるための駆動部及び固定部を同時に作製でき、組み
立て時の作業効率を高めた形状可変ミラーの提供が可能となる。
【００２５】
また、本発明の第４の構成によれば、上記第２又は第３の構成の形状可変ミラーにおい
て、凸部上に設けられる電極と配線が同一種類の金属層で形成されるために、電極層と配
線層とを蒸着等により同時に形成できるので、組み立て時の作業効率を高めた形状可変ミ
ラーの提供が可能となる。
【００２６】
また、本発明の第５の構成によれば、上記第４の構成の形状可変ミラーにおいて、Ａｕ
層は電極としての役割ばかりでなく、支持基板と圧電部材の接合を熱圧着した場合に、接
合強度を高める役割を果たすために、破損しにくい形状可変ミラーの提供が可能となる。
【００２７】
また、本発明の第６の構成によれば、上記第２乃至第５のいずれかの構成の形状可変ミ
ラーにおいて、ミラー部側に圧電部材を駆動するための電極等を設ける必要がなくなるた
めに、組み立て時の作業効率を高めた形状可変ミラーの提供が可能となる。
【００２８】
また、本発明の第７の構成によれば、上記第２乃至第６のいずれかの構成の形状可変ミ
ラーにおいて、圧電部材及び固定部が対称に配置されているためにバランスよく鏡面を変
形させることができ、的確な収差の補正が可能となる。
【００２９】
また、本発明の第８の構成によれば、上記第２乃至第７のいずれかの構成の形状可変ミ
ラーを備える光ピックアップ装置において、形状可変ミラーを作業効率よく組み立てるこ
とが可能であり、また、形状可変ミラーの配線も簡易であるために、光ピックアップ装置
の製造時の作業効率も向上する。
【００３０】
また、本発明の第９の構成によれば、鏡面を変形させる形状可変ミラーの製造方法にお
いて、少ないプロセスで鏡面を変形させる駆動部、ミラー部の固定部、電極、配線を形成
することが可能となる。
【００３１】
また、本発明の第１０の構成によれば、上記第９の構成の形状可変ミラーの製造方法に
おいて、支持基板と圧電部材の接合を、金属層を介して熱圧着するために、金属層が電極
の役割を果たすことに加えて、接合強度の向上が可能となる。
【００３２】
また、本発明の第１１の構成によれば、上記第１０の構成の形状可変ミラーの製造方法
において、金属層としてＡｕ層を用いているため、電極としての役割に加えて、接合強度
の大きな向上が期待できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
以下に本発明の実施形態を、図面を用いて説明する。なお、ここで示す実施形態は一例
であり、本発明はここに示す実施形態に限定されるものではない。また、図面中の各部材
の大きさや厚み等は理解を容易にする目的のためのものであり、実際の寸法とは異なる。
【００３４】
図１は、本発明の実施形態の形状可変ミラーを示す構成図である。図１（ａ）は、本実
施形態の形状可変ミラーを構成する各部材を分解して斜視図で示している。図１（ｂ）は
、図１（ａ）に示すａ−ａ'位置で切った断面図であり、各部材が組み立てられた状態を
示している。
【００３５】
１は、本発明の形状可変ミラーであり、圧電部材（駆動部４）の縦方向の変位を利用し
てミラー部３の鏡面を変形させて、収差の補正を行うミラーである。２は、駆動部４及び
固定部５を取り付ける支持基板である。支持基板２の材質としては、例えば、ガラスやセ
ラミックス等の絶縁体が挙げられる。支持基板２上には、この他に、駆動部４及び固定部
５を配置するための第１の凸部６や、駆動部４を駆動するために必要な電極及び配線が設
けられているが、この点については後述する。
【００３６】
ミラー部３は、駆動部４によって鏡面を変形され、光源から照射されてきた光ビームを
反射する。このため、ミラー部３は、図１に示されるように、支持基板２上に配置される
駆動部４を挟み込むように配置される。ミラー部３は、鏡面を変形されるために、剛性を
有する物質で構成されるのが好ましい。また、ミラー部３は電気伝導性を有する物質で形
成されるのがより好ましい。電気伝導性を有する物質でミラー部３を形成した場合、駆動
部４を駆動するための電極や配線を、必ずしも別途設ける必要がなくなり、形状可変ミラ
ー１の作製時において、組み立て作業の作業効率を向上できる。
【００３７】
このような、剛性を有する物質であって、且つ電気伝導性を有する物質としては、例え
ば、シリコンやアルミニウム、鉄等の金属が挙げられる。なお、電気伝導性が無いガラス
等の絶縁体でミラー部３を形成した場合には、駆動部４の導通を得るために、ミラー部３
の鏡面の裏面に、例えば、金等を蒸着することにより電極パターンを形成するか、ミラー
の裏面側に電極を取り付ける必要が生じる。
【００３８】
また、ミラー部３を構成する材質は、必ずしも１種類の材質に限定されるわけではなく
、本発明の目的を逸脱しない範囲で変更が可能である。すなわち、例えば、ミラー部３の
ベースにシリコンを用いて、その上に、鏡面となるアルミニウム等のコーティング層を重
ねるような構成としてもよい。また、ミラー部３のベースの上に複数の層を形成するよう
にしても構わない。
【００３９】
本実施形態では、ミラー部３を平板状としたが、これに限定される趣旨ではない。ミラ
ー部３の形状は、本発明の目的を逸脱しない範囲で形状の変更が可能である。例えば、図
２（ａ）に示すように、ミラー部３の鏡面部分を凹ませて、全体として凹面形状のミラー
部３を形成しても構わないし、また、図２（ｂ）に示すように、ミラー部３の鏡面の裏側
と圧電素子４が接触する部分に凸部３ａを設けるような構成としても構わない。なお、図
２は、図１（ａ）の形状可変ミラー１をａ−ａ’の位置で切った断面図であり、ミラー部
３の形状が理解しやすいように、ミラー部３と固定部５が接合される前の状態を示してい
る。
【００４０】
ここで、ミラー部３と駆動部４の接触が保持できない場合、駆動部４は電極と接触しな
い状態となるので、通常はミラー部３と駆動部４は接合される。しかし、ミラー部３の形
状を図２（ａ）又は図２（ｂ）のような形状にした場合には、ミラー部３と駆動部４を接
合しなくとも、駆動部４の伸縮にかかわらずミラー部３と駆動部４の接合を保持すること
が可能となる。すなわち、ミラー部３と駆動部４の接合工程の省略が可能となる。
【００４１】
なお、凹面形状のミラー部３は、例えば、熱収縮率の違う材料を重ね合わせることによ
って形成でき、凸部が設けられたミラー部３は、例えば、ミラー部３がシリコンで形成さ
れている場合にはドライエッチングにより形成できる。
【００４２】
駆動部４は、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛、Ｐｂ（ＺｒxＴｉ1-x）Ｏ3）の
ような圧電部材で構成される。ただし、ＰＺＴに限定される趣旨ではなく、ＰＺＴ以外の
圧電セラミックスでも構わないし、ポリフッ化ビニリデンのような圧電高分子等でも構わ
ない。
【００４３】
駆動部４は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、支持基板２とミラー部３の間に挟まれ
ており、本実施形態では、駆動部４は十字方向に対称に４つ配置された構成となっている
。駆動部４の数及び配置については、本実施形態に示したものに限定されるものではない
が、ミラー部３の鏡面の変形を各位置でバランスよく行うために、駆動部４の配置の仕方
としては、対称的に複数配置するのが好ましく、ミラー部３のサイズ等を考慮すると十字
方向に対称に４つ配置するのがより好ましい。また、駆動部４を複数設ける場合には、ミ
ラー部３の鏡面に歪みが発生するのを防止するように、駆動部４を構成する各部材の高さ
を調整するのが好ましい。
【００４４】
なお、駆動部４の形状については特に限定はなく、直方体形状でも円柱状等であっても
構わない。ただし、直方体形状の方が、切断や研磨等の加工性に優れるため、形状可変ミ
ラー１の組み立て時の作業効率性という点では、直方体形状が好ましい。
【００４５】
固定部５は、図１（ａ）、（ｂ）に示すように、支持基板２とミラー部３の間に挟まれ
、駆動部４の外側に配置される。また、固定部５の上面は、ミラー部３と接合される。固
定部５の高さは、ミラー部３の鏡面に歪みが発生するのを防止するため、同一高さに揃え
るのが好ましく、固定部５と駆動部４の高さの関係も歪みが発生しないように調整するの
が好ましい。
【００４６】
なお、固定部５を形成する部材の材質については特に制限はなく、固定部５と駆動部４
の材質を同一にすることも可能である。固定部５と駆動部４の材質を同一とする場合には
、固定部５と駆動部４の高さ調整をまとめて行え、その後、まとめて切り出すことのよっ
て固定部５と駆動部４を作製できるために、形状可変ミラー１の組み立て作業の効率化を
図ることが可能となる。
【００４７】
また、本実施形態では、固定部５を駆動部４の外側に配置する構成としたが、必ずしも
これに限定される趣旨ではない。例えば、駆動部４が固定部の役目も果たすように、駆動
部４を本実施形態の固定部５の位置に配置することも可能である。この場合には、本実施
形態の駆動部４の位置に支持部を配置して、鏡面を変形させる構成とする必要がある。
【００４８】
以上に説明した各部品から構成される形状可変ミラー１について、本実施形態では図１
に示すように全体の形状が直方体形状であるが、特にこの形状に制限されるものでなく、
本発明の目的を逸脱しない範囲で変更が可能である。例えば、支持基板２やミラー部３等
が円形に構成されていてもよく、ミラー部３と比較して支持基板２の方が大きい構成とし
てもよい。
【００４９】
本実施形態の形状可変ミラー１において、駆動部４は、支持基板２とミラー部３に設け
られる電極に電圧を印加することにより駆動され、この電極は、支持基板２とミラー部３
に設けられる配線に繋がれている。駆動部４を駆動するために用いる電極及び配線につい
て、ミラー部３側に設けられる電極等については上述したのでここでは省略し、支持基板
２上に設けられる電極及び配線について説明する。
【００５０】
図３は支持基板２上に設けられる凸部の構成を示す図で、図３（ａ）は、図１に示す支
持基板２を斜め上方から見た斜視図である。また、図３（ｂ）は、図３（ａ）に示す支持
基板２をｂ−ｂ’で切った場合の断面図である。
【００５１】
支持基板２上には、駆動部４及び固定部５を配置する第１の凸部６が設けられている。
また、支持基板２上には、第１の凸部６とは異なる第２の凸部７も設けられている。この
第１の凸部６及び第２の凸部７上には、Ａｕ層が形成されており、第１の凸部６上に形成
されたＡｕ層が駆動部４に対する電極８を構成し、第２の凸部７上に形成されたＡｕ層が
配線９を構成している。配線の端部８は、駆動部４の駆動端子を形成しており、支持基板
２の側面で各駆動部４の駆動端子が得られる構成となっている。なお、第２の凸部７で形
成する配線パターンは、本実施形態に限定されないのは言うまでもない。
【００５２】
本実施形態のように電極と配線について、同一の材質を用いる構成とすると、第１の凸
部６及び第２の凸部７に電極８及び配線９を形成する際に、例えば、蒸着又はスパッタ等
の方法でＡｕ層を形成すれば、電極８及び配線９を同時に作製することができるために、
形状可変ミラー１組み立て時の作業効率の向上を図れる。なお、本実施形態では、電極８
及び配線９にＡｕ層を用いたが、これに限定される趣旨ではない。本発明の目的を逸脱し
ない範囲で変更可能であり、例えば、Ａｕ層の代わりにＰｔ層等を用いることも可能であ
り、また、電極８と配線９とで、別の材質を用いても構わない。
【００５３】
次に、支持基板２上に、設けられる第１の凸部６と第２の凸部７について、詳細に説明
する。まず、支持基板２上に、これらの凸部を設ける理由について説明する。支持基板２
上に凸部を設けない場合、上述の電極８や配線９を形成する際に、電極８や配線９が形成
されない部分については、Ａｕが蒸着されないように先にマスクを施す必要が生じるため
、形状可変ミラー１作製時の作業効率が低下する。一方、凸部を形成しておくと、蒸着等
を行う前にマスクを施す必要が無くなるために、電極８及び配線９を効率良く作製できる
。また、駆動部４及び固定部５を配置する第１の凸部６については、支持基板２の表面よ
り凸部を設けて高くすることにより、駆動部４等を第１の凸部６に接合した後に、第１の
凸部６からはみ出した不要部分を切断して除去する際に、支持基板２を切断せずに済むと
いう理由も有する。
【００５４】
本実施形態において、第１の凸部６には、図３（ｂ）に示すように、上面に駆動部４及
び固定部５と接合するための接合面６ａが設けられている。そして、図３（ｂ）に示すよ
うに、第１の凸部６に設けられる接合面６ａの方が、第２の凸部７の最上部よりも、Δｄ
だけ高く形成されている。なお、第１の凸部６及び第２の凸部７上には、電極８及び配線
９を形成するＡｕ層が設けられているが、非常に薄い層であるために、厚さはほとんど無
視できる。
【００５５】
このように、第１の凸部６を第２の凸部７より高く形成しておくと、電極８と配線９と
を支持基板２上に作製した後に、例えば、第１の凸部６の接合面６ａに駆動部４及び固定
部５となる圧電部材を接合し、不要部分をダイサー等で切断して駆動部４および固定部５
を作製するような場合でも、圧電部材と配線９の間に隙間が形成されるために、配線９を
切断することなく不要部分を取り除くことが可能となる。このため、以下に示す製造方法
で形状可変ミラー１を製造することが可能となり、組み立て時の作業効率を向上した形状
可変ミラー１の提供が可能となる。
【００５６】
なお、第１の凸部６と第２の凸部７との間の高さの差Δｄは、上記のようにダイサー等
で切断するときに配線９を切断してしまわない範囲で、小さくするのが好ましい。Δｄの
値が小さい方が、第１の凸部６及び第２の凸部７に金属層を蒸着する際の蒸着層がムラな
く形成できるからである。また、本実施形態では、第１の凸部６及び第２の凸部７のいず
れについても直方体状に構成したが、これに限定される趣旨ではなく、他の形態としても
構わない。例えば、第１の凸部６について、上部に接合面６ａを設けて、側面は斜めに拡
がるような傾斜を設けても構わない。
【００５７】
次に、本発明の形状可変ミラー１の製造方法について、図面を参照して説明する。
【００５８】
まず、支持基板２上にエッチングやサンドブラスト等の処理により、例えば、図３（ａ
）に示すような第１の凸部６及び第２の凸部７を形成する。この際、第１の凸部６の高さ
が第２の凸部７の高さより、高くなるよう形成する。なお、凸部６、７の形状は図３（ａ
）に示す形状に限定されるものではない。ただし、第１の凸部６については、駆動部４及
び固定部５を配置しやすいように、平坦な接合面６ａ（図３（ｂ）参照）を設けておくこ
とが好ましい。
【００５９】
次に、支持基板２上に形成された第１の凸部６と、第２の凸部７とに、例えば蒸着やス
パッタ等により金属層を設ける。この金属層は、駆動部４を駆動するための電極８や配線
９の役割を果たす。ここで用いられる金属層の種類については、導通性を有するものであ
ればよいので特に限定されるものではなく、例えば、ＡｕやＰｔ等が挙げられる。
【００６０】
次に、支持基板２上に支持基板２と同一面積を有する圧電部材を載せ、第１の凸部６と
の接合面６ａに圧電部材を接合する。接合は、加熱状態にして、駆動部４及び固定部５と
支持基板２との間に圧力をかけることにより行われる。この際、上述の電極８として用い
る金属層がＡｕ層の場合には、４００℃以上５００℃以下の温度下で駆動部４及び固定部
５を支持基板２に圧着するのが好ましい。これにより、Ａｕ層を設けないで圧着する場合
よりも接合強度が向上する。なお、３７０℃より低い温度には、接合不十分となり、５０
０℃を超えると、以下に示すように接合強度が低下する。
【００６１】
【表１】
2007058920.tif 000003
【００６２】
なお、接合強度の測定は、引張試験機（ＩＮＳＴＲＯＮ社製  Ｍｉｃｒｏ  Ｔｅｓｔｅ
ｒ  Ｍｏｄｅｌ  ５８４８）を用いて行った。
【００６３】
次に、図４（ａ）に示すように、第１の凸部に接合された部分（図の太線で示す部分）
を切断しないように図の破線の従って、例えばダイサー等を用いて圧電部材を切断する。
これにより、図４（ｂ）に示すように、支持基板２に接合されていない不要な圧電部材は
除去されて、駆動部４及び固定部５が得られる。なお、図４は図１に示す形状可変ミラー
１の内、ミラー部３を除いて上面からみた図である。
【００６４】
以上のプロセスにより、少ない工程で、支持基板２上に、鏡面を変形させる駆動部４、
ミラー部３を固定する固定部５、駆動部４を駆動するための電極８及び配線９が形成され
るため、最後に、ミラー部３を固定部５に接合することにより、図１に示す本実施形態の
形状可変ミラー１が得られる。この際、ミラー部３は駆動部４に接合しても構わないし、
接合しなくても構わない。
【００６５】
なお、本実施形態では、支持基板２上に支持基板２と同一面積を有する圧電部材を載せ
、駆動部４及び固定部５を形成する部分以外は不要部として切断除去する構成としている
。この場合、駆動部４及び固定部５の高さの調整等の作業が行い易く、作業効率という点
では優れる。しかし、このようにした場合、高価な圧電部材のロスが多くなってしまう。
このため、例えば、支持基板２上に載せる圧電部材を駆動部４及び固定部５の高さ調整等
の作業における作業効率が下がらない範囲で、圧電部材を先にある程度小さなものに切断
しておき、小さくすることによって生じたスペースには圧電部材を固定するための冶具を
設ける様な方法を加えて形状可変ミラー１を製造するようにしても構わない。これにより
、製造時のコストの上昇を抑制することが可能となる。
【００６６】
次に、本発明の形状可変ミラーを用いた光ピックアップ装置１１の実施形態について説
明する。本発明の形状可変ミラー１を含む光ピックアップ装置１１の光学系としては、例
えば、図５のように構成される。なお、光ピックアップ装置１１の光学系としては、本発
明の目的を逸脱しない範囲で他の構成とすることも可能である。
【００６７】
図５に示す光ピックアップ装置１１は、半導体レーザ１２と、コリメートレンズ１３と
、ビームスプリッタ１４と、本発明の形状可変ミラー１と、１／４波長板１５と、対物レ
ンズ１６と、集光レンズ１８と、光検出器１９とを備えている。
【００６８】
半導体レーザ１２から出射されたレーザ光は、コリメートレンズ１３で平行光に変換さ
れ、この平行光は、ビームスプリッタ１４を通過して、1／４波長板１５でレーザ光の偏
光状態を変化された後に、形状可変ミラー１で反射され、対物レンズ１６で集光されて光
ディスク１７に焦点を合わせる。また、光ディスク１７から反射されたレーザ光は、対物
レンズ１６を通過後、形状可変ミラー１で反射されて、1／４波長板１５を通過し、ビー
ムスプリッタ１４を介して、集光レンズ１８によって集光されて、光検出器１９に導かれ
る。
【００６９】
本実施形態において、形状可変ミラー１は、１つは、従来の立ち上げミラーの役割を果
たしている。一方で、この光学系では、例えば、光ディスク１７がレーザ光の光軸と垂直
の状態から傾くと、前述のようにコマ収差が発生するため、このコマ収差を補正するため
に、形状可変ミラー１の鏡面を変形させて、収差の補正を行う役割も果たしている。すな
わち、光検出器１９で得られた信号に基づいて、コマ収差等の波面収差の補正が必要な場
合には、光ピックアップ装置１１に備えられる制御部（図示せず）から形状可変ミラー１
に信号が送られて、収差を補正するようにミラー部３の鏡面が変形される。
【００７０】
このような光ピックアップ装置１１について、本発明の形状可変ミラー１を用いれば、
収差の補正が的確に行えるばかりでなく、本発明の形状可変ミラー１は組み立て時の作業
工程が少なく、形状可変ミラー１を駆動するための配線が複雑になることもないので、光
ピックアップ装置１１作製時の作業効率も向上できる。
【産業上の利用可能性】
【００７１】
本発明では、支持基板と、支持基板と対面し、支持基板と反対側に鏡面を有するミラー
部と、支持基板とミラー部とに挟まれ、圧電部材を用いて鏡面を変形させる駆動部と、駆
動部よりミラー部の外周側に配置され、ミラー部を支持基板に固定する固定部と、駆動部
を駆動するための電極及び配線と、を備える形状可変ミラーにおいて、支持基板上には、
駆動部及び固定部を接合する接合面を有し、電極が設けられる第１の凸部と、配線のパタ
ーンと成る第２の凸部とが設けられ、第１の凸部は第２の凸部に比べて支持基板の表面か
らの高さが高く設けられている。
【００７２】
このため、先に配線を形成した後に、駆動部等を接合するための凸部上に所定の部材を
接合し、凸部からはみ出した部分をその後に切断するという工程で形状可変ミラーを作製
する場合においても、配線を切断することなく、不要部分を切断できる。すなわち、本発
明の形状可変ミラーは、プロセス加工に適した構造を有していると言え、組み立て時の作
業効率を向上できる。
【００７３】
特に、固定部に駆動部に用いるのと同じ圧電部材を用い、電極と配線に同一の材質の金
属層を用い、更に、ミラー部に導電性の部材を用いれば、本発明の形状可変ミラーの組み
立て時の作業効率は非常に高くなる。また、電極にＡｕ層を用いれば、駆動部及び固定部
と支持基板の接合強度も同時に向上できる。
【００７４】
また、本発明は、上述の形状可変ミラーを製造する製造方法において、支持基板の一部
に凸部を形成する第１の工程と、凸部に金属層を設ける第２の工程と、凸部の一部と圧電
部材とを接合する第３の工程と、前記凸部に接合された部分を切断しないように、前記圧
電部材を前記支持基板と略垂直な方向で切断する第４の工程とを有している。
【００７５】
このため、少ないプロセスで鏡面を変形させる駆動部、ミラー部の固定部、電極、配線
を形成することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】は、本実施形態の形状可変ミラーの構成図である。
【図２】は、本実施形態の形状可変ミラーのミラー部形状に関する変形例を示す概略断面図である。
【図３】は、本実施形態の形状可変ミラーの支持基板上に設けられる凸部の構成を示す斜視図及び断面図である。
【図４】は、本実施形態の形状可変ミラーの製造方法における圧電部材の切断方法を示す説明図である。
【図５】は、本実施形態の光ピックアップ装置の光学系を示す概略図である。
【図６】は、従来の形状可変ミラーの構成を示す概略図である。
【図７】は、従来の形状可変ミラーの構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７７】
１                      形状可変ミラー
２                      支持基板
３                      ミラー部
４                      駆動部
５                      固定部
６                      第１の凸部
６ａ                    接合面
７                      第２の凸部
８                      電極
９                      配線
１１                    光ピックアップ装置
【図１】
2007058920.tif 000004
【図２】
2007058920.tif 000005
【図３】
2007058920.tif 000006
【図４】
2007058920.tif 000007
【図５】
2007058920.tif 000008
【図６】
2007058920.tif 000009
【図７】
2007058920.tif 000010