(57)【要約】【課題】配管や吸着部材の破損又は目詰まり等による真空異常の有無が事前に簡単に検出できるようにし、ワークの吸着保持を確実に行える成形品取出機等を提供する。【解決手段】成形品取出機１は、成形品を吸着保持する取出ヘッド３０を移動させるアーム機構部２と、取出ヘッド３０に設ける吸着部材３１に配管接続する真空圧発生器３５と、圧縮空気供給源３２と真空圧発生器３５との間の配管３９に設けるバルブ３４と、真空圧発生器３５と吸着部材３１間の配管３９に設ける真空圧検出器３６と、成形品非吸着状態の取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）までの復帰移動中に、一定時間、バルブ３４を開いて吸着部材３１に真空圧を発生させたときの真空圧検出器３６で検出される真空到達度により配管３９や吸着部材３１の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段３７とを備える。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを吸着する吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出する真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とする真空吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の真空吸着装置において、
上記真空異常判断手段は、吸着部材がワーク非吸着状態の間における上記真空到達度により真空異常が発生しているか否か判断する制御構成とする真空吸着装置。
【請求項３】
ワークを吸着保持するワーク把持部を移動させるアーム機構部と、
ワーク把持部に設ける吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
ワーク把持部がワークを解放した後から次にワークを把持開始するまでのワーク非吸着状態の間に、一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出される真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とする搬送装置。
【請求項４】
成形品を吸着保持する取出ヘッドを成形機の金型から成形機外の解放位置まで移動させるアーム機構部と、
取出ヘッドに設ける吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
取出ヘッドが解放位置で成形品を解放した後から次に所定の待機位置から成形機の金型内に進入開始するまでの成形品非吸着状態の間に、一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出される真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とする成形品取出機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成形品等のワークの取出し、搬送等のために用いられる真空吸着装置、搬送装置及び成形品取出機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、例えば、成形品取出機としては、取出ヘッドを成形機の金型から成形機外の解放位置まで移動させるアーム機構部と、取出ヘッドに設けた吸着部材内を真空圧（負圧）にする真空吸着装置とを備えるものが知られている（特許文献１、特許文献２）。この種の成形品取出機は、成形機に付設され、アーム機構部を駆動させ、取出ヘッドを待機位置から成形機の金型内に進入させて取出ヘッドに成形品を吸着保持し、続いて、この取出ヘッドを成形機外の解放位置まで移動させて解放位置で取出ヘッドの成形品の吸着保持を解除し、その後、取出ヘッドを元の待機位置に復帰移動させる動作を繰り返し行う。
【０００３】
一方、成形品取出機に備える真空吸着装置は、例えば、圧縮空気供給源に配管接続すると共に取出ヘッドの吸着部材に配管接続する真空圧発生器と、圧縮空気供給源と真空圧発生器との間の配管に設けるバルブとを備える。そして、この真空吸着装置は、取出ヘッドが金型内に進入する所定タイミングで上記バルブを開いて取出ヘッドの吸着部材内を真空圧状態にし、この真空圧状態を取出ヘッドが解放位置で成形品を吸着解除するときまで維持させる。これにより、取出ヘッドによって成形品を成形機の金型から成形機外の解放位置まで吸着保持させることができる。
【特許文献１】特開２００６−６８９７１号公報
【特許文献２】特開２００１−１４５９４６号公報
【特許文献３】特開平７−１２４８８２号公報
【特許文献４】実開昭６２−８８５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記成形品取出機においても、取出ヘッドで成形品の吸着不良を起こすことが稀にある。例えば、金型内の成形品と取出ヘッドの吸着部材とが位置ずれを起こして成形品が上手く吸着部材に当接されないような場合である。この位置ずれの問題は、目視により確認することで比較的容易に発見できる。そのため、例えば、成形機の金型の段取替え時に上記位置ずれを確認して成形品の吸着位置を調整することで、これが原因の吸着不良を起こすことがないように対処することは容易である。
【０００５】
しかしながら、上記以外に、成形品の吸着不良を起こす原因としては、例えば、以下の真空異常の場合もある。
１．吸着部材に至る配管や吸着部材等に亀裂・穴あき等の破損が生じてエアー漏れを起こしている場合。
２．吸着部材に至る配管や吸着部材等に異物等が詰まっている場合。
このような配管の破損や目詰まり等は、目視による確認を行っても、発見し難いし、また、この種の真空異常か否かの検出作業も煩雑且つ面倒である。そのため、配管等の破損・目詰まり等の真空異常を事前に検出することは困難であった。
また、このような真空異常によって成形品の吸着不良が起こると、最悪の場合は、金型内で成形品を取出ミスしたり、搬送途中で成形品を落下させる等して、成形品取出機が非常停止して成形機の運転をストップさせてしまうため、成形品の生産効率の低下を招く。
しかも、成形品の取出ミスや落下等で成形品にキズが付くと、不良品となるため、歩留まりも悪くなり、また、成形品がディスク基板等の比較的単価の高いものでは、コスト高ともなる。
【０００６】
そこで、金型内で成形品を吸着する前の事前に真空異常の有無を確かめる手段を講じて、少なくとも金型内での成形品の取出ミスや搬送途中での成形品の落下等を起こさないようにすることが要望される。事前に真空異常が検出できれば、真空吸着装置を直ちに正常な状態に復旧させる対応が採れることから、成形品の取出ミスや搬送途中での成形品の落下等を防止できるからである。
【０００７】
なお、真空吸着装置として、対象物に吸着させたときの吸着パッド内の真空度上昇速度を検出し、通常時に比べて真空度に達する時間が早い場合は、吸着パッドが目詰まりしていると判断するもの（特許文献３）、また、ワークを吸着パッドに吸着させたときにフィルターと吸着パッドとの間に取り付けた真空スイッチのＯＮ−ＯＦＦ状態からフィルターの目詰まりや吸着パッドの破損等の真空異常を検知するもの（特許文献４）等が知られている。
しかし、これらは吸着パッドに対象物を吸着させたときの真空状態を基に異常判断するため、これらの真空吸着装置を成形品取出機に適用すると、金型内で成形品を取出ヘッドの吸着部材に吸着させたときの真空状態を検出することとなるから、この段階で上記の配管等の破損や目詰まり等が発見されても、もはや成形品の取出ミスを回避することは困難である。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、配管や吸着部材の破損又は目詰まり等による真空異常の有無が事前に簡単に検出できるようにし、ワークの吸着保持を確実に行える真空吸着装置、搬送装置及び成形品取出機を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
（１）本発明に係る真空吸着装置は、
ワークを吸着する吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出する真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とするものである（請求項１）。
【００１０】
一定時間、バルブを開くと、この一定時間で吸着部材が大気圧の状態から所定の真空圧に到達し、この間の真空圧値が真空圧検出器で検出される。このときの真空到達度、例えば、このときの一定時間経過後の真空圧値は、配管や吸着部材に破損・目詰まりが生じていると、これら破損等のない正常なときと比して異なった値となる。すなわち、配管等に亀裂や穴あき等の破損があるとエアー漏れを起こすので、上記真空到達度は、配管等に破損・目詰まりのないときの真空圧値の正常範囲よりも低くなる。一方、配管等にクズ等が目詰まりしている場合は、その目詰まりが真空圧検出器よりも上流の配管であれば、上記真空到達度は上記正常範囲よりも低くなり、目詰まりが真空圧検出器よりも下流の配管や吸着部材であれば、上記真空到達度は上記正常範囲よりも高くなる。
これにより、真空異常判断手段によって、上記真空到達度が正常範囲の値から外れていると、配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生していると判断できる。従って、配管や吸着部材の状態に起因した真空異常を事前に簡易に検出できる。
【００１１】
（２）また、上記真空異常判断手段は、吸着部材がワーク非吸着状態の間における上記真空到達度により真空異常が発生しているか否か判断する制御構成としてもよい（請求項２）。
これにより、上記真空異常の判断を吸着部材がワーク非吸着状態の間における真空到達度により行うので、吸着部材にワークを吸着する前の事前に真空異常の有無を検出できる。従って、真空異常が発生した状態でワークを吸着保持する事態を回避でき、ワークの確実な吸着保持に対する信頼性を向上できる。
【００１２】
（３）また、本発明に係る搬送装置は、
ワークを吸着保持するワーク把持部を移動させるアーム機構部と、
ワーク把持部に設ける吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
ワーク把持部がワークを解放した後から次にワークを把持開始するまでのワーク非吸着状態の間に、一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出される真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とするものである（請求項３）。
【００１３】
これにより、上記真空異常の判断をワーク把持部の吸着部材がワーク非吸着状態の間における真空到達度により行うので、吸着部材にワークを吸着する前の事前に真空異常の有無を検出できる。従って、真空異常が発生した状態でワークを吸着する事態を回避でき、ワークの確実な吸着保持に対する信頼性を向上できる。しかも、上記真空異常の判断を、ワーク把持部がワークを解放した後から次にワークを把持開始するまでの間に行うので、ワーク搬送のサイクルタイムを延長することなく真空異常の有無を検出できる。
【００１４】
（４）また、本発明に係る成形品取出機は、
成形品を吸着保持する取出ヘッドを成形機の金型から成形機外の解放位置まで移動させるアーム機構部と、
取出ヘッドに設ける吸着部材に配管接続されて真空圧を発生させる真空発生手段と、
配管に設けられて吸着部材への真空圧の供給と遮断を行うバルブと、
配管に設けられて吸着部材における真空圧を検出する真空圧検出器と、
取出ヘッドが解放位置で成形品を解放した後から次に所定の待機位置から成形機の金型内に進入開始するまでの成形品非吸着状態の間に、一定時間、バルブを開いて吸着部材に真空圧を発生させたときの真空圧検出器で検出される真空到達度により配管や吸着部材の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する真空異常判断手段とを備えることを特徴とするものである（請求項４）。
【００１５】
これにより、上記真空異常の判断を取出ヘッドの吸着部材が成形品非吸着状態の間における真空到達度により行うので、吸着部材に成形品を吸着する前の事前に真空異常の有無を検出できる。従って、真空異常が発生した状態で成形品を吸着する事態を回避でき、成形品の確実な吸着保持に対する信頼性を向上できる。しかも、上記真空異常の判断を、取出ヘッドが解放位置で成形品を解放した後から次に所定の待機位置から成形機の金型内に進入開始するまでの間に行うので、成形品取出しのサイクルタイムや成形機での成形サイクルタイムを延長することなく真空異常の有無を検出できる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように、本発明によれば、配管や吸着部材の状態に起因した真空異常を事前に簡単に検出できるので、この種の真空異常に対する煩雑な判断作業をなくすことができ、また、この種の真空異常に対して真空吸着装置を直ちに正常な状態に復旧させる適切な対応が採れる。従って、ワークの確実な吸着保持に対する信頼性を向上できる。また、上記真空異常に伴う生産設備の停止を必要最小限に抑制でき、また、ワーク吸着不良に伴うワークの損失等をも防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１に示すように、本実施の形態による成形品取出機１は、成形機５上に設置されて型開き後の金型５１から成形品を吸着させて成形機５から成形品を成形機操作盤５２のある側である操作側へ取出す装置である。図１に示す成形品取出機１は、いわゆるトラバース型であって、ＸＹＺ各軸のアーム２１，２２，２３よりなるアーム機構部２と、成形機５の成形品を吸着保持するための真空吸着装置３（図２参照）とを備える。アーム機構部２のアーム先端部には、真空吸着装置３の一部を構成し成形品を吸着保持する取出ヘッド３０が取付けられている。
【００１８】
そして、この成形品取出機１は、基本動作として、成形機５の金型５１が型開きされると、アーム機構部２を駆動させて、待機位置（Ａ）にある取出ヘッド３０を金型５１内の取出位置（Ｂ）に進入させ、金型５１から離型されるタイミングで成形品を吸着保持し、次いで、その状態で取出ヘッド３０を成形機５外に移動させて所定の解放位置（Ｃ）で成形品を吸着解除して回収した後、再び取出ヘッド３０を待機位置（Ａ）に復帰させるという１回の取出サイクル動作を繰り返し行う。
【００１９】
図２に示すように、上記真空吸着装置３は、上記取出ヘッド３０の他に、バルブ３４と、真空圧発生器３５（真空発生手段）と、真空圧検出器３６と、真空圧制御回路３８とを備える。なお、この真空吸着装置３は、コンプレッサー等の圧縮空気供給源３２に配管接続される調圧機器３３が配管接続されている。また、真空圧制御回路３８には、真空異常判断手段３７が設けられている。取出ヘッド３０は、板状等のアタッチメント本体に成形品を吸着させる吸盤状の吸着部材３１が複数設けられている。各吸着部材３１は、上記真空圧発生器３５によって真空圧状態にされる。
【００２０】
調圧機器３３は、圧縮空気供給源３２とバルブ３４間の配管３９に設置され、真空圧発生器３５に供給する圧縮空気供給源３２からの圧縮空気を所望の圧力に可変調整するものである。この調圧機器３３としては、例えば、ダイヤフラム、吸気用電磁弁及び排気用電磁弁等で、入力される電気信号に比例して空気圧を無段階に制御可能な構造からなる。なお、この調圧機器３３は、上記真空吸着装置３において、これを設けずに配管３９を通して圧縮空気供給源３２から供給される圧縮空気を直接真空圧発生器３５に供給するようにしてもよい。また、上記調圧機器３３は、電気信号に基づいて制御する構成としたが、作業者が手作業により開閉度を調整する手動調整構造であってもよい。
【００２１】
バルブ３４は、圧縮空気供給源３２と真空圧発生器３５間における調圧機器３３より下流の配管３９に設けられ、圧縮空気供給源３２から真空圧発生器３５への圧縮空気流路を開閉するものである。このバルブ３４としては、例えば、電磁弁等で構成され、このバルブ３４の開状態によって真空圧発生器３５に対して圧縮空気供給源３２から圧縮空気が供給され、一方、バルブ３４の閉状態によって真空圧発生器３５に対して圧縮空気供給源３２からの圧縮空気が遮断される。
【００２２】
真空圧発生器３５は、圧縮空気供給源３２から供給される圧縮空気により真空圧を発生させて取出ヘッド３０の吸着部材３１を真空圧状態にするものである。すなわち、供給された圧縮空気が通過する際に、ベルヌーイの法則に基づいて真空圧を発生させる構造を有する。この真空圧発生器３５としては、例えば、エゼクター式真空発生装置である「コンバム」（登録商標）が使用される。
【００２３】
真空圧検出器３６は、真空圧発生器３５と取出ヘッド３０の吸着部材３１間の配管３９に設けられ、吸着部材３１における真空圧を検出するものである。この真空圧検出器３６としては、例えば、アナログ式またはデジタル式の真空圧センサが用いられ、この真空圧検出器３６に有する圧電素子が受けた外圧に応じ電気信号を出力しこの電気信号を大気圧時のものと比較することにより取出ヘッド３０の吸着無事３１における真空圧を検出する。なお、この真空圧検出器３６は、成形品取出機１の基本動作等を制御するロボット制御用コントローラ４（ＰＬＣ：Programmable Logic Controller）にも信号接続されており、真空圧検出器３６の真空圧検出信号は、ロボット制御用コントローラ４にも出力される。
【００２４】
真空圧制御回路３８は、真空圧検出器３６とバルブ３４とにそれぞれ信号接続され、取出ヘッド３０が成形品取出動作を開始する所定タイミングのときから取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）で成形品を解放するときまで、バルブ３４を開いて圧縮空気供給源３２からの圧縮空気を真空圧発生器３５に供給して取出ヘッド３０の吸着部材３１に真空圧を発生させる。これにより、取出ヘッド３０は、取出位置（Ｂ）となる成形機５の金型５１内で成形品を吸着保持し、この成形品吸着保持状態を成形機５外の解放位置（Ｃ）まで維持できる。
【００２５】
真空異常判断手段３７は、真空圧制御回路３８内に設けられ、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）に復帰移動する復帰移動中等にあって、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品が非吸着状態の間に、一定時間、バルブ３４を開いて吸着部材３１に真空圧を発生させたときの真空圧検出器３６で検出される真空到達度により配管３９や吸着部材３１の状態に起因した真空異常が発生しているか否か判断する。
ここで、真空到達度とは、成形品非吸着状態の取出ヘッド３０の吸着部材３１が、上記一定時間の間に大気圧の状態から所定の真空圧に上昇する真空状態に基づくものであるが、この一定時間経過後の真空圧値そのものでもよいし、この一定時間内で、ある真空圧値に達するまでの真空上昇速度や真空上昇度等でもよい。
【００２６】
なお、上記真空圧制御回路３８は、成形品取出機１の基本動作等を制御するロボット制御用コントローラ４に信号接続され、このロボット制御用コントローラ４は、待機位置（Ａ）の取出ヘッド３０が成形品の取出動作を開始するとバルブ３４を開く吸着ＯＮ信号や、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）に移動されて成形品を解放するときバルブ３４を閉じる吸着ＯＦＦ信号を真空圧制御回路３８を通してバルブ３４に出力する。
また、このロボット制御用コントローラ４は、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）に復帰移動する復帰移動中等に真空異常の異常診断を行う際に、一定時間、バルブ３４を開くため、バルブ３４を開く吸着ＯＮ信号やバルブ３４を閉じる吸着ＯＦＦ信号を真空圧制御回路３８を通してバルブ３４に出力する。
このようにして、真空圧制御回路３８は、ロボット制御用コントローラ４からの指令信号を受けて上記バルブ３４の動作制御を行わせる。
【００２７】
次に、上記真空吸着装置３における真空異常の判断動作を説明する。
なお、真空吸着装置３は、取出ヘッド３０が待機位置（Ａ）から金型５１内に進入動作する所定タイミングのときにバルブ３４を開き、そして、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）に移動して成形品を解放するときにバルブ３４を閉じるように動作制御する。そして、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）に復帰移動する復帰移動中にあって取出ヘッド３０の吸着部材３１が成形品非吸着状態のときに、この真空吸着装置３における真空異常の判断（真空異常診断）が行われる。
【００２８】
図３に示すように、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）へ復帰移動中の間に、一定時間、バルブ３４を開いて取出ヘッド３０の吸着部材３１に真空圧を発生させ、この間の吸着部材３１における真空圧値を真空圧検出器３６で検出する（Ｓ１）。一定時間バルブ３４を開くと、この間に、真空圧発生器３５により取出ヘッド３０の吸着部材３１が大気圧の状態から所定の真空圧に到達する。また、真空圧検出器３６により成形品非吸着状態の取出ヘッド３０の吸着部材３１における一定時間での真空到達度が取得される（Ｓ２）。この真空到達度、例えば、一定時間経過後の真空圧値は、配管３９や吸着部材３１に破損・目詰まりが生じていると、これら破損等のない正常なときと比して異なった値となる。従って、次に上記真空到達度が正常範囲内か否か判断する（Ｓ３）。
【００２９】
ここで、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態で、吸着部材３１を真空圧状態にすると、最終的には所定の真空圧値に達する。そこで、上記正常範囲は、配管３９や吸着部材３１に破損・目詰まりのない正常なとき、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態で、一定時間、吸着部材３１を真空圧状態にしたときの真空圧値を予め測定して設定しておく。
【００３０】
例えば、上記真空圧発生器３５によると、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態で、吸着部材３１には概ね４０ｃｍＨｇの真空圧が発生するように設定される。そして、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品を吸着保持させた状態（すなわち、吸着部材３１が完全に閉塞されたとき）では、吸着部材３１には概ね６０ｃｍＨｇ〜７０ｃｍＨｇの真空圧が発生する。従って、配管３９や吸着部材３１に亀裂等の破損がある場合、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態では、破損箇所からのエアー漏れによって、吸着部材３１に発生する真空圧は４０ｃｍＨｇに達しない。また、真空圧発生器３５と真空圧検出器３６との間の配管３９に目詰まりがある場合も、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態では、吸着部材３１には４０ｃｍＨｇの真空圧には達しない。吸着部材３１や吸着部材３１と真空圧検出器３６との間の配管３９に目詰まりがある場合、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品非吸着状態でも、吸着部材３１には６０ｃｍＨｇ近くか、又は６０ｃｍＨｇ以上の真空圧に達する。従って、この場合、上記正常範囲としては、例えば、４０ｃｍＨｇ〜５０ｃｍＨｇに設定される。
【００３１】
そして、上記真空到達度が正常範囲内にあれば、真空異常はないと判断されて（Ｓ４）、真空異常の診断ルーチンを終了する。一方、上記真空到達度が正常範囲から外れていると、配管３９や吸着部材３１の状態に起因した真空異常が発生していると判断される（Ｓ５）。
このとき、配管３９や吸着部材３１に亀裂、穴あき等の破損があるとエアー漏れを起こすので、上記真空到達度は、配管３９等に破損・目詰まりのないときの真空圧値の正常範囲よりも低くなり、一方、配管３９等にクズ等が目詰まりしている場合は、その目詰まりが真空圧発生器３５と真空圧検出器３６の間の配管３９であれば、上記真空到達度は上記正常範囲よりも低くなり、目詰まりが真空圧検出器３６と吸着部材３１の間の配管３９や吸着部材３１であれば、上記真空到達度は上記正常範囲よりも高くなる。すなわち、上記真空到達度である真空圧値が正常範囲内よりも低い場合は、配管３９等の破損又は目詰まりによる真空異常が発生していると考えられ、上記真空到達度である真空圧値が正常範囲内よりも高い場合は、真空圧検出器３６と吸着部材３１の間の配管３９又は吸着部材３１の目詰まりによる真空異常が発生していると考えられる。
【００３２】
そして、上記真空異常があると判断されると、図示しない報知手段によって真空異常の旨の報知が行われ、また、成形品取出機１が非常停止されて（Ｓ６）、真空異常の診断ルーチンを終了する。
なお、真空異常の報知としては、単に真空異常を報知することでもよいし、具体的な報知を行うようにしてもよい。例えば、上記真空到達度である真空圧値が正常範囲内よりも低い場合は、配管３９等の破損又は目詰まりを示す旨の真空異常を報知し、上記真空到達度である真空圧値が正常範囲内よりも高い場合は、真空圧検出器３６と吸着部材３１の間の配管３９又は吸着部材３１の目詰まりを示す旨の真空異常を報知するようにしてもよい。
【００３３】
以上のように、本実施の形態によれば、配管３９や吸着部材３１の状態に起因した真空異常を、取出ヘッド３０の吸着部材３１に成形品を吸着させる前の事前に簡易に検出できる。従って、作業者等は、この種の真空異常に対して真空吸着装置３を直ちに正常な状態に復旧させる適切な対応が採れる。そして、真空異常が発生している状態で、次の成形品取出動作に移行させて成形品を吸着する事態を回避でき、成形品の確実な吸着保持に対する信頼性を向上できる。
また、上記真空異常に伴う成形機５の停止を必要最小限に抑制でき、また、成形品吸着不良に伴う成形品の損失等をも防止できる。
しかも、上記真空異常の判断を、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）で成形品を解放した後から次に所定の待機位置（Ａ）から成形機５の金型５１内に進入開始するまでの間に行うので、成形品取出しのサイクルタイムや成形機５での成形サイクルタイムを延長することなく真空異常の有無を検出できる。
【００３４】
（その他）
なお、本発明は、上記実施の形態に限らず、例えば、以下の変更等が可能である。
（１）上記真空吸着装置３は、真空発生手段として真空圧発生器３５を用いて、この真空圧発生器３５に圧縮空気供給源３２からの圧縮空気を通過させて真空圧を発生させるようにするが、図４に示す真空吸着装置３ａのように、真空発生手段として真空供給源３２０を用いて、これにより真空圧を発生させて、配管３９を通じて吸着部材３１を真空状態にする構成としてもよい。この場合、真空圧発生器３５が不要となる。
（２）上記真空異常判断手段３７は、真空圧制御回路３８内に設けるが、真空圧制御回路３８とは独立させて設けてもよいし、ロボット制御用コントローラ４内に設けてもよい。
（３）上記真空異常の異常診断は、取出ヘッド３０が解放位置（Ｃ）から待機位置（Ａ）に復帰移動する復帰移動中に行うが、取出ヘッド３０が待機位置（Ａ）で待機している間に行ってもよい。
（４）上記真空異常の異常診断は、判断事項の真空到達度として、一定時間経過後の真空圧値としたが、この一定時間内で、ある真空圧値に達するまでの真空上昇速度、真空上昇度、真空上昇カーブ等でもよい。
（５）上記成型品取出機１は、アーム機構部２として取出ヘッド３０をＸＹＺ各軸に移動させるトラバース型のものとするが、取出ヘッド３０を二次元方向、旋回移動させる形式のものであってもよい。
（６）上記成形品取出機１が付設される成形機５としては、型締め、型開き動作が行われるものであれば、竪型式、横型式のどちらでもよく、また、その成形品は、樹脂製のみならず、アルミニウム等の金属製等であってもよい。
（７）上記真空吸着装置３は、上記成形品取出機１のみならず、ワークを吸着保持して搬送する種々の搬送装置にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態における成形品取出機の全体構成を示す斜視図である。
【図２】成形品取出機に備える真空吸着装置の内部構成を示すブロック図である。
【図３】真空異常の移動診断を実行する真空吸着装置の動作フローを示すフローチャートである。
【図４】真空吸着装置の他の例を示すブロック図である。
【符号の説明】
【００３６】
１ 成形品取出機
２ アーム機構部
３ 真空吸着装置
４ ロボット制御用コントローラ
５ 成形機
３０ 取出ヘッド
３１ 吸着部材
３２ 圧縮空気供給源
３３ 調圧機器
３４ バルブ
３５ 真空圧発生器（真空発生手段）
３６ 真空圧検出器
３７  真空異常判断手段
３８ 真空圧制御回路
３９  配管
５１ 金型
３２０  真空供給源（真空発生手段）
【図１】
2007319960.tif 000003
【図２】
2007319960.tif 000004
【図３】
2007319960.tif 000005
【図４】
2007319960.tif 000006