(57)【要約】【課題】ミストによる画像の乱れを抑えることができるインクジェットノズル板及びその製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。【解決手段】インクの流路となる凹部又は貫通穴１１ａが形成された流路板１１と、この流路板１１に固定されかつ前記凹部又は貫通穴１１ａに連通させるように前記凹部又は貫通穴１１ａを流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔１０ａを有する樹脂製ノズルシート１２とを備えるインクジェットノズル板１０において、前記ノズルシート１２は張力を掛けた状態で前記流路板１１に紫外線硬化材料で固定されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクの流路となる凹部又は貫通穴が形成された流路板と、この流路板に固定されかつ前記凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートと、を備えたインクジェットノズル板において、前記ノズルシートは張力を掛けた状態で前記流路板に対して紫外線硬化材料により固定されていることを特徴とするインクジェットノズル板。
【請求項２】
液滴を吐出するためのインクジェットノズル板と、該インクジェットノズル板内のインクを加圧する加圧手段とを備える液滴吐出装置において、前記インクジェットノズル板として、請求項１記載のインクジェットノズル板を用いたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
液滴吐出装置から吐出した液滴を記録体に付着させて画像を記録する画像形成装置において、前記液滴吐出装置として、請求項２記載の液滴吐出装置を用いることを特徴とする画像形成装置。
【請求項４】
流路板に固定されかつこの流路板の凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートとを備えるインクジェットノズル板を製造するインクジェットノズルの製造方法において、前記流路板と前記樹脂からなるノズルシートに張力をかけた状態で紫外線硬化材料を用いて密着させ、前記ノズルシートに紫外光を照射することにより吐出孔を設け、前記紫外線硬化材料に紫外光を照射し、前記流路板と前記ノズルシートとを接着固定させることを特徴とするインクジェットノズルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、画像を記録するのに使用するインクジェットヘッド（液滴吐出装置）、これに用いるインクジェットノズル板及びその製造方法、ならびにインクジェット方式で画像を記録するインクジェット記録装置（画像形成装置）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種のインクジェット記録装置としては、インクジェットヘッドによって記録体に画像を記録するもの、流路板の表面に複数の吐出孔を有するニッケル等の金属ノズル部材が張力を作用させるように固定されるもの等が知られている（例えば、特許文献１及び２参照）。
【０００３】
特許文献１では、インクジェットヘッドは、インクの流路となる複数の凹部又は貫通穴が形成された流路板の表面に、これら凹部又は貫通穴のそれぞれに連通する複数の吐出孔を有するノズル部材が固定されたインクジェットノズル板を有している。流路板の凹部又は貫通穴は、ノズル部材の吐出孔の径よりも大きな断面積となっており、微小径の吐出孔の裏側でインクを貯留している。
このように貯留されるインクが圧電素子等の加圧手段によって加圧されることで、インクジェットノズル板の吐出孔からインク滴が吐出する。そして、これが記録体に付着することで、画像が記録される。
【０００４】
また、特許文献２には、インクの流路となる複数の凹部又は貫通穴が形成された流路板の表面に、これら凹部又は貫通穴のそれぞれに連通する複数の吐出孔を有するニッケル等の金属ノズル部材が張力を作用させるように固定されたインクジェットヘッドが記載されている。
【特許文献１】特開２００３−１１３６８公報
【特許文献２】特開平０２−１３９２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のインクジェットノズル板を用いるインクジェット記録装置では、画像を記録するためのインク滴の他に、インクを霧状に吐出させて記録体に付着させてしまう現象、いわゆるミストによって画像を乱すことがあった。高解像度化に伴ってより小さなインク滴を吐出させるようにインクジェットノズル板を構成する近年においては、かかるミストがとくに生じ易くなる傾向にある。
また、特許文献２のインクジェットノズル板を用いるインクジェット記録装置では、ニッケルからなるノズル板に所要の数のノズル開口を列設する工程、ノズル板をエポキシ樹脂等の接着剤、はんだ付け、レーザスポット溶接等の溶接、ネジ止め等である締結等の手段により筐体と位置合わせを正確に行った上で接合する工程というように煩雑な工程を必要とし生産性を悪化させる傾向にある。
【０００６】
本発明者の研究によれば、ミストを引き起こす原因は、近年におけるインク滴を吐出させるための吐出孔を形成するノズル部材の厚みがより薄くなって来ていることにある可能性が高いと結論付けるに至った。
すなわち、より小径のインク滴を吐出させる場合においては、インク滴を吐出させるための吐出孔をより小径にするとともに、その吐出孔を形成するノズル部材の厚みをより薄くしている。
【０００７】
ノズル部材の厚みが大きいと、インク滴の大きさが吐出方向に大きくなってしまい、十分に小径なインク滴を吐出することが困難になるからである。このようなノズル部材は、シート状あるいはフィルム状の薄厚なものであるため、吐出の際に流路内のインクが加圧されるのに伴って、吐出孔の周囲を吐出側に撓ませながらインク滴を吐出させる。
かかる撓みは、吐出後の加圧力の解放に伴って吐出孔の周囲をリバウンドさせ、その反動によって吐出孔内のインクを霧（ミスト）状に飛び散らせている可能性が十分にあると考えられる。
そこで、本発明の目的は、ミストによる画像の乱れを抑えることができるインクジェットノズル板及びその製造方法、インクジェットヘッド及びインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、インクの流路となる凹部又は貫通穴が形成された流路板と、この流路板に固定されかつ前記凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートとを備えるインクジェットノズル板において、前記ノズルシートは張力を掛けた状態で前記流路板に紫外線硬化材料で固定されているインクジェットノズル板を特徴とする。
また、請求項２に記載の発明は、液滴を吐出するためのインクジェットノズル板と、このインクジェットノズル板内のインクを加圧する加圧手段とを備える液滴吐出装置において、前記インクジェットノズル板として、請求項１記載のインクジェットノズル板を用いる液滴吐出装置を特徴とする。
【０００９】
また、請求項３に記載の発明は、液滴吐出装置から吐出した液滴を記録体に付着させて画像を記録する画像形成装置において、前記液滴吐出装置として、請求項２記載の液滴吐出装置を用いる画像形成装置を特徴とする。
また、請求項４に記載の発明は、流路板に固定されかつこの流路板の凹部又は貫通穴に連通させるように前記凹部又は貫通穴を流通してきたインクを液滴として吐出するための吐出孔を有する樹脂製ノズルシートとを備えるインクジェットノズル板を製造するインクジェットノズルの製造方法において、前記流路板と前記樹脂からなるノズルシートに張力をかけた状態で紫外線硬化材料を介して密着させ、前記ノズルシートに紫外光を照射することにより吐出孔を設け、前記紫外線硬化材料に紫外光を照射し、前記流路板と前記ノズルシートとを接着固定させるインクジェットノズルの製造方法を特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、複数の吐出孔を有する薄肉のノズルシートが張力を掛けた状態で流路板に紫外線硬化材料で固定されているので、張力を掛けないで固定された従来のノズルシートに比べて、インク滴を吐出する際の加圧による撓みが小さくなる。これにより、撓みがリバウンドする際の反動による吐出孔内からのインクの飛び散りが少なくなり、これによって、ミストによる画像の乱れを抑えることができる。
また、紫外光を照射することにより吐出孔を設けると同時に、紫外線硬化材料に紫外光を照射し、流路板と、樹脂性ノズルシートとを接着固定させるので、紫外光のエネルギロスが少なくなる上、複数の工程が必要なくなるため容易にノズルを製造できる。また、接着固定部にスポット的に紫外光を照射できるため、余剰の硬化材料を硬化させることなく、容易に洗い流すことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳細に説明する。図１は本発明に係わるインクジェットプリンタを示す斜視図である。以下、本発明を適用したインクジェット記録装置（画像形成装置）として、インクジェットプリンタ（以下、単にプリンタという）の実施の形態について説明する。
図１において、プリンタ１は、互いに所定の距離をおいて相対向する２枚の側板２、２を有する筺体３を備えている。これら２枚の側板２、２には、両者間を架橋するように２本のガイドレール４、５が互いに平行になるように固定されている。
棒状のガイドレール４、５は、キャリッジ６をガイドレールの長手方向に沿って移動可能に保持している。このキャリッジ６は、インクジェットヘッド（液滴吐出装置）７を搭載しており、図示しないモータ等の駆動源によってガイドレールの長手方向に往復移動可能になっている。
【００１２】
このように往復移動可能なキャリッジ６には、図示しない駆動源によって回転駆動される搬送ローラ８が対面している。また、筺体３の図中後部には、用紙Ｐを複数枚重ねた紙束の状態で載置する用紙ガイド板９が固定されている。
この用紙ガイド板９上に載置された紙束の一番上の用紙Ｐは、搬送ローラ８に圧接するように配置される。そして、搬送ローラ８の回転に伴って、キャリッジ６との対向位置である印字位置に向けて搬送される。
【００１３】
インクジェットヘッド７は、キャリッジ６の往復移動に伴い、用紙Ｐの搬送方向である副走査方向と直交する主走査方向に移動しながら、インク滴（液滴）を噴射させて用紙Ｐに画像を記録する。
キャリッジ６は、かかる構成のインクジェットヘッド７を、その吐出孔が下方に向く状態で保持している。なお、キャリッジ６には、インクジェットヘッド７にインクを供給するためのインクカートリッジが交換可能に装着されている。
【００１４】
図２はインクジェットヘッドの先端に固定されるインクジェットノズル板をインク吐出側からみた平面図である。図２に示されるように、インクジェットヘッド７の先端にはインクジェットノズル板１０が固定されている。このインクジェットノズル板１０は、３８［ｍｍ］×５［ｍｍ］の平面内に形成された複数の吐出孔１０ａを有している。これらの吐出孔１０ａからのインクの吐出は、それぞれ個別に適宜制御されるようになっている。
【００１５】
図３はインクジェットノズル板の要部を示す部分拡大断面図である。図４はインクジェットノズル板をインク流入側から見た部分拡大平面図である。これらの図において、インクジェットノズル板１０は、ＳｉＯ2からなる厚さ７０〜１００［μｍ］の流路板１１と、この表面に固定された厚さ２５［μｍ］のポリイミド、ポリエチレンナフタレート又はポリエチレンテレフタレートからなるノズルシート１２とを有している。
流路板１１は、ＳｉＯ2からなる厚さ７５〜１００［μｍ］の基板に対して、その厚さ方向に貫通する複数の貫通穴１１ａが異方性エッチングによって形成されたものである。これらの貫通穴１１ａは、それぞれ流入側（図３中、上側）から流出側（図３中、下側）に向けてのインクの流路となるもので、その平面形状は、図４に示すように菱形状になっている。菱形の一辺の長さは１００［μｍ］程度である。
【００１６】
ノズルシート１２は、流路板１１の貫通穴１１ａを流通してきたインクをインク滴として吐出するための複数の吐出孔１０ａ（インクジェットノズル板１０の吐出孔と同じ）を、流路板１１の貫通穴１１ａのそれぞれに対して１対１で連通させるように、流路板１１の表面に固定されている。
吐出孔１０ａは、平面形状が直径２６［μｍ］の真円状となっており、図４に示すように、ノズルシート１２の平面上で２列に並ぶように複数形成されている。それぞれの列の延在する方向は用紙に対する副走査方向に対応しており、１列内では１９４個の吐出孔１０ａが一直線状に約１５０［μｍ］のピッチで並んでいる。
１９４個の吐出孔１０ａからなる孔列が用紙に対する主走査方向に２列に並んでいる。それぞれの列内における吐出孔１０ａの副走査方向における位置は、１／２ピッチずつずれている。これにより、インクジェットヘッド７（図１）が主走査方向に１回動作する毎に、最大で３８８滴のインク滴が吐出され、用紙に３８８ドットが記録される。なお、吐出孔１０ａは、後述されるエキシマレーザによって穿孔加工されたものである。
【００１７】
流路板１１の各貫通穴１１ａ内は、図示しないインクカートリッジから導かれてきたインクで満たされる。そして、インクジェットヘッド７は、図示しない圧電素子を用いた周知の技術によって、各貫通穴１１ａ内のインクを、貫通穴１１ａ毎に個別に加圧するようになっている。加圧されたインクは、ノズルシート１２の吐出孔１０ａからインク滴として吐出される。
本インクジェット記録装置（画像形成装置）のインクジェットヘッド（液滴吐出装置）のように、吐出孔１０ａが厚さ２５［μｍ］程度の薄厚のノズルシート１２に形成されたインクジェットノズル板１０を用いるものでは、吐出の際に以下に述べるような現象によるミストを引き起こす可能性が十分にある。
【００１８】
図５はインク吐出時のノズルシートの撓みを説明する部分拡大断面図である。すなわち、図示のように、流路板１１の貫通穴１１ａ内のインクの加圧に伴って、ノズルシート１２における吐出孔１０ａの周囲の箇所が吐出側に大きく撓むようになる。ここで、貫通穴１１ａ内のインクが加圧力から解消されると、それまで撓んでいたシート箇所がリバウンドし、その反動によって吐出孔１０ａからインクがミスト状（霧状）に飛び出す。これをミスト現象と称している。
そこで、本インクジェット記録装置では、インクジェットノズル板１０として、ノズルシート１２を、テンション（張力）を掛けた状態で流路板１１に固定したものを用いている。
かかる構成のインクジェットノズル板１０のノズルシート１２は、張力を掛けないで固定された従来のノズルシートに比べて、インク滴を吐出する際の加圧による撓みが小さくなる。これにより、撓みがリバウンドする際の反動による吐出孔１０ａ内からのインクの飛び散りが少なくなる。よって、ミストによる画像の乱れを抑えることができる。
【００１９】
次に、本インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットノズル板１０を製造するインクジェットノズル板の製造方法について説明する。このインクジェットノズル板の製造方法では、異方性エッチング等の技術により、流路となる複数の貫通穴１１ａを形成した流路板１１の表面に、ノズルシート１２を接着剤によって固定してインクジェットノズル板１０を得る。
この固定の際、テンショナ（図示せず）によってテンションを掛けたノズルシート１２、あるいは、テンショナによってテンションを掛けて枠に固定された後、テンションを維持した状態でテンショナが取り外されたノズルシート１２を用いる。
【００２０】
テンショナとしては、印刷マスク製造の分野などで用いられる周知のものを用いることができるが、本出願人が特開平１１−２６８２３０号公報で提案した円形テンショナを用いることが望ましい。この円形テンショナは、テンション付与対象となるシート材の中心側から外縁側に向けて、法線方向に均一なテンションを掛けることができる。
なお、ノズルシート１２については、テンションを掛けた状態で流路板１１に固定してから、エキシマレーザの照射により複数の吐出孔１２ａを形成してもよいし、吐出孔１２ａを形成してから、テンションを掛けた状態で流路板１１に固定してもよい。
【００２１】
図６は流路板に固定される前のノズルシートと、流路板の前駆体であるポリイミドフィルムとを示す概略斜視図である。図６には、流路板１１（図３）に固定される前のノズルシート１２と、流路板１１の前駆体であるポリイミドフィルム１３とを示している。
図６において、ノズルシート１２は、上述の円形テンショナによってテンションを掛けた状態でリング状の枠１４に接着された後、そのテンションを維持した状態で円形テンショナが取り外されたものである。ノズルシート１２における枠１４内の箇所には、テンションが掛かっている状態である。
【００２２】
一方、流路板１１の前駆体であるポリイミドフィルム１３には、複数の貫通穴１３ａが異方性エッチング等によって形成されている。これらの貫通穴１３ａは、ポリイミドフィルム１３の円形平面で、１９４個×２列＝３８８個からなる１つの穴パターン（これはインクジェットヘッド１個分に相当する）を形成している。
そして、ポリイミドフィルム１３には、このように３８８個の貫通穴１３ａからなる穴パターンが、アレイ状に並んで複数形成されている。すなわち、ポリイミドフィルム１３には、インクジェットヘッド複数分の貫通穴１３ａが形成されている。このポリイミドフィルム１３の貫通穴１３ａは、後工程でポリイミドフィルム１３が切断されてフィルム表面が複数に分割された複数の流路板１１になった際に、流路板１１の貫通穴１１ａとなる。
【００２３】
上述のようにしてテンションが掛けられて枠１４に固定されたノズルシート１２にも、インクヘッドヘッド１個分ではなく、複数個分に対応する数の吐出孔１２ａが形成されている。
ポリイミドフィルムの表面には、ＵＶ硬化接着剤等が塗布された後、枠１４に固定されたノズルシート１２が接着固定される。そして、ノズルシート１２及びにエキシマレーザの照射により複数の吐出孔１２ａを形成し、接着剤が乾いたら、ポリイミドフィルムの表面に密着させたノズルシート１２の表側から、吐出孔１２ａを形成するために利用したエキシマレーザの余剰の光を充分に減衰した紫外光を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させかつ接着させる。
枠１４からノズルシート１２がくり抜かれた後、図６のポリイミドフィルム１３に示した分割線の位置で、ノズルシート１２及びポリイミドフィルム１３が複数に分割されて、複数のインクジェットノズル板が得られる。
【００２４】
図７はノズルシートに複数の吐出孔を穿孔加工する際に用いられるエキシマレーザ加工装置を示す概略構成図である。図７には、ノズルシート１２に複数の吐出孔１２ａを穿孔加工する際に用いられるエキシマレーザ加工装置を示している。
同図において、レーザ発振器１５から出射されたエキシマレーザ光Ｌは、ホモジェナイザ１６、フィールドレンズ１７、そのアパーチャマスク１８、結像レンズ１９を順次通過した後、図示しないＸ−Ｙテーブルの底板、天板を経てマザー基板に到達する。
図示のレーザ照射部には、できるだけコンパクトにする目的で、エキシマレーザ光Ｌの進行方向をその光路の途中で変化させる複数の反射ミラーを設けているが、同図においては、便宜上、それら反射ミラーの図示を省略している。エキシマレーザによる加工対象となる図示しないノズルシートは、図示しないＸ−Ｙテーブル上に固定されている。
【００２５】
図８はレーザ照射部のホモジェナイザを拡大して示す拡大構成図である。図７および図８を参照して、ホモジェナイザ１６は、第１レンズアレイ対２０と、第２レンズアレイ対２３と、分散抑制用集光レンズ２６とを有している。
第１レンズアレイ対２０及び第２レンズアレイ対２３は、それぞれ、ｙ軸分割レンズアレイ２１、２４と、ｘ軸分割レンズアレイ２２、２５とから構成されている。
ホモジェナイザ１６内では、２枚のｙ軸分割レンズアレイ２１、２４、２枚のｘ軸分割レンズアレイ２２、２５と、１枚の分散抑制用集光レンズ２６が、エキシマレーザ光Ｌの光軸Ｃ上に一直線状に並ぶように配設されている。
ホモジェナイザ１６に進入したエキシマレーザ光Ｌは、ｙ軸分割レンズアレイ２１、ｘ軸分割レンズアレイ２２、ｙ軸分割レンズアレイ２４、ｘ軸分割レンズアレイ２５、分散抑制用集光レンズ２６を順次通過していく。
【００２６】
図９はホモジェナイザにおける４枚のレンズアレイを示す斜視図である。ホモジェナイザ１６における４枚のレンズアレイを示している同図において、互いに直交するｘ軸、ｙ軸、ｚ軸のうち、ｚ軸は、図７に示すエキシマレーザ光Ｌの光軸Ｃと平行な軸である。
第１レンズアレイ対２０のｙ軸分割レンズアレイ２１は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２１ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。これら１１個のシリンドリカルレンズ２１ａは、入射してくるエキシマレーザ光Ｌをｙ軸方向に１１分割する。
一方、第１レンズアレイ対２０のｘ軸分割レンズアレイ２２は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２２ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。
これら３個のシリンドリカルレンズ２２ａは、ｙ軸方向で１１分割された分割光を、ｘ軸方向に３分割する。ホモジェナイザ１６に進入したエキシマレーザ光Ｌは、第１レンズアレイ対２０により、ｙ軸方向、ｘ軸方向にそれぞれ１１分割、３分割されて、合計で３３本の分割光となる。これら分割光は、ｙ軸方向に１１本、ｘ軸方向に３本というマトリクスで並ぶ。
【００２７】
第２レンズアレイ対２３のｙ軸分割レンズアレイ２４は、２ｍｍ×２４ｍｍという横長形状のシリンドリカルレンズ２４ａがｙ軸方向に１１個並べられたものである。また、第２レンズアレイ対２３のｘ軸分割レンズアレイ２５は、２２ｍｍ×８ｍｍという縦長形状のシリンドリカルレンズ２５ａがｘ軸方向に３個並べられたものである。
第１レンズアレイ対２０によって得られた３３本の分割光は、第２レンズアレイ対２３を通過する。第２レンズアレイ対２３では、３３本の分割光が、それぞれシリンドリカルレンズ間を跨がずに、各シリンドリカルレンズの何れかに収まるように通過していく。
このため、第２レンズアレイ対２３内で、３３本の分割光が更に分割されることはない。例えば、第２レンズアレイ対２３のｙ軸分割レンズアレイ２４では、３３本の分割光のうち、同一のｘ軸上に並ぶ３本ずつが、ｙ軸分割レンズアレイ２４に設けられた１１個のシリンドリカルレンズ２４ａのうち、同一のものに進入する。
また、ｘ軸分割レンズアレイ２５では、３３本の分割光のうち、同一のｙ軸上に並ぶ１１ずつが、ｘ軸分割レンズアレイ２５に設けられた３個のシリンドリカルレンズ２５ａのうち、同一のものに進入する。第２レンズアレイ対２３を通過した３３本の分割光は、それぞれ、異なる光軸を中心にして、焦点に向けて集光するようになる。
【００２８】
先に示した図７において、フィールドレンズ１７は、次段に配設されるアパーチャマスク１８を介して、結像レンズ１９のレンズ入射瞳に結像するように３３本の分割光を導くいわゆる絞りとしての役割を担っている。
ホモジェナイザ１６からでてくる３３本の分割光は、アパーチャマスク１８の光入射面上で互いにピッタリと重なり合って、３７ｍｍ×４．５ｍｍのレーザスポットを形成する。このように各分割光が重なり合うことにより、レーザ発振器１５から出射されたガウシアンビームの横断面方向におけるエネルギ強度分布が均一化せしめられ、アパーチャマスク１８通過後のマスク処理光がトップハットビームになる。
【００２９】
アパーチャマスク１８は、上述の１９４個×２列＝３８８個の吐出孔のうち、３３個×２列＝６６個の開口を有している。アパーチャマスク１８の入射面に照射されたエキシマレーザ光は、これらの開口を通過して、６６本の加工用レーザ光となる。
そして、これらの加工用レーザ光が図示しないシート部材に一括照射されることにより、ノズルシートに６６個の吐出孔が一括加工される。このような６６個の吐出孔の一括加工が合計で５回繰り返されることで、ノズルシートに合計で３３０個の吐出孔が形成される。
この後、アパーチャマスク１８が２９個×２列＝５８個の開口を有するものに変更された後、ノズルシートに５８個の吐出孔が形成されると、最終的に、ノズルシートに３８８個の開口が形成される。
【００３０】
ノズル孔を形成する時の余剰な光を利用する簡単な方法では、特開２００４−２９９３２０公報のように、ノズル穴１０a（図３）貫通後の光を、裏面に反射物を設置し、その光を反射拡散する方法がある。
また、より良い方法では、図７に示すようにアパーチャマスクで、マスク処理光以外の遮光された光は、装置内に拡散反射し消滅する。そこで、この拡散反射する光を、アパーチャマスク上面の反射鏡で結像レンズ１９を迂回させながらノズルシートまで伝搬させ照射する方法もある。
【００３１】
図１０はポリイミドフィルムの表面に接着剤を塗布する工程を示す模式図である。同図において、ポリイミドフィルム１３は、水平方向に移動可能な固定台２７の上に固定されている。
この固定台２７の上方には、図示しない駆動系によって回転駆動せしめられる塗布ローラ２８と、これに当接しながら連れ回る接着剤供給ローラ２９と、接着剤タンク３０とが配設されている。
接着剤タンク３０内には接着剤Ｂが貯留されており、接着剤供給ローラ２９はその周面の一部を接着剤タンク３０内の接着剤に浸すような位置で従動可能に支持されている。ゴム等の弾性材料で形成されたローラ部を有する塗布ローラ２８が回転駆動されると、これに当接している接着剤供給ローラ２９が連れ回りながら、接着剤タンク内３０の接着剤Ｂを汲み上げる。
【００３２】
そして、表面に付着した接着剤を塗布ローラ２８との当接部にて塗布ローラ２８の表面に供給する。ポリイミドフィルム１３は、固定台２７とともに移動する過程で、表面に接着剤が一様な厚みで供給された塗布ローラ２８に接触する。そして、この塗布ローラ２８によって接着剤が一様な厚みで塗布される。
なお、接着剤Ｂとしては、溶剤の揮発によって硬化するものの他、２剤混合型エポキシ系接着剤や紫外線硬化樹脂のように、化学的反応によって硬化するものを用いることができる。中でも、紫外線硬化樹脂は、紫外線の照射によって迅速に硬化するので、製造時間の短縮化を図る上で有利である。
【００３３】
ノズルシート１２として、光を良好に透過させ得るものを用いれば、紫外線硬化樹脂を介してポリイミドフィルム１３の表面に密着せしめたノズルシート１２の表側から、紫外線を照射して紫外線硬化樹脂を硬化させることができるため、紫外光であるエキシマレーザによりノズルシート１２にノズル孔１０ａを形成する時の余剰な光を利用して同時に紫外線硬化樹脂を硬化させることができる。
これまで流路として図３に示すように、貫通穴を設けた流路板１１に、ノズルシート１２を固定したインクジェットノズル板１０の例について説明したが、流路として凹部を設けた流路板に、ノズルシートを固定するインクジェットノズル板についても本発明の適用が可能である。かかるインクジェットノズル板としては、特許文献１のものを例示することができる。
【００３４】
また、ノズルシート１２（図３）がテンションを掛けた状態で流路板１１に固定されているか否かについては、ノズルシート１２を流路板１１から切り取ることによって確認することができる。
具体的には、ノズルシート１２の全面のうち、流路板１１の凹部又は貫通穴１１ａに対面しつつ中に浮いている箇所を、凹部又は貫通穴１１ａの輪郭に沿って切り抜くことによって確認することができる。
この切り抜いた箇所が、凹部又は貫通穴１１ａの平面よりも小さくなっていれば、それは切り抜きによってテンションから解放されたことに起因して、その箇所が縮んだことを示している。切り抜く方法としては、繊細な刃を用いる方法や、レーザ照射による方法などを挙げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係わるインクジェットプリンタを示す斜視図である。
【図２】インクジェットヘッドの先端に固定されるインクジェットノズル板をインク吐出側からみた平面図である。
【図３】インクジェットノズル板を示す部分拡大断面図である。
【図４】インクジェットノズル板をインク流入側から見た部分拡大平面図である。
【図５】インク吐出時のノズルシートの撓みを説明する部分拡大断面図である。
【図６】流路板に固定される前のノズルシートと、流路板の前駆体であるポリイミドフィルムとを示す概略斜視図である。
【図７】レーザ照射部のホモジェナイザ１６を拡大して示す拡大構成図である。
【図８】レーザ照射部のホモジェナイザを拡大して示す拡大構成図である。
【図９】ホモジェナイザにおける４枚のレンズアレイを示す斜視図である。
【図１０】ポリイミドフィルムの表面に接着剤を塗布する工程を示す模式図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  画像形成装置（インクジェット記録装置、プリンタ）
７  液滴吐出装置（インクジェットヘッド）
１０  インクジェットノズル板
１０ａ  吐出孔
１１  流路板
１１ａ  貫通穴
１２  ノズルシート
１３  ポリイミドフィルム（流路板）
１４  枠
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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