(57)【要約】 【課題】  洗浄能力が向上され、しかも単純な制御系で、被洗浄基板を、振動させることなく、安定に搬送しながら、その被洗浄基板の被洗浄面を洗浄することができる洗浄装置を提供する。【解決手段】  搬送手段３２によって被洗浄基板３５を搬送しながら、その被洗浄基板３５の被洗浄面３４に洗浄液供給手段３３によって洗浄液３６を供給する。搬送手段３２は、回転駆動体４２と、ローラ体４１とを備える。回転駆動体４２は、円筒状の外周面４４が形成される車輪部４５を有し、回転軸線Ｌ１１まわりに回転駆動される。車輪部４５の外径寸法Ｄ１１は回転軸線Ｌ１１の方向に一様である。ローラ体４１は、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５まわりに個別に回転可能な各ローラ５１〜５５を有する。各ローラ５１〜５５の外周部５８は、前記車輪部４５の外周部４６に接触し、最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並ぶ。【選択図】      図１
2007307533.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄されるべき被洗浄面を有する被洗浄基板を、前記被洗浄面を上方に向けて、略水平な搬送方向に搬送する搬送手段と、
搬送手段によって搬送される被洗浄基板の被洗浄面に、洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを含み、
搬送手段は、
搬送方向に垂直かつ水平な搬送幅方向に延びる回転軸線まわりに回転駆動される回転駆動体であって、回転軸線と同軸の円筒状の外周面が形成される車輪部を有し、車輪部の外径寸法は回転軸線の方向に一様である回転駆動体と、
搬送幅方向に延びる他の回転軸線まわりに個別に回転可能に設けられ、搬送幅方向に間隔をあけて配置され、被洗浄基板を下方から支持する複数のローラを有し、各ローラは、各ローラの外周部の最上位置が、搬送方向に垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面に沿って並び、各ローラの外周部が、回転駆動体の車輪部の外周部に接触するように、設けられるローラ体とを備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
搬送手段は、ローラ体の各ローラによって支持される被洗浄基板と回転駆動体との間に介在する介在体をさらに備えることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を洗浄するための洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
アクティブマトリクス型液晶表示装置は、薄膜トランジスタをスイッチ素子として用いることを特徴とする液晶表示装置であり、画素が部分的に暗くなり、ディスプレイ全体のコントラストを下げるクロストークが起こり難く、高精細化、大容量化に適することから、現在では、液晶テレビ、パーソナルコンピュータ、携帯電話、モバイル機その他の電子電気機器において各種ディスプレイとして広く利用される。
【０００３】
アクティブマトリクス型液晶表示装置には、たとえば、液晶パネルと、液晶パネルを駆動する駆動回路と、光源とを含むものが挙げられ、液晶パネルは薄膜トランジスタマトリクス基板を含む。薄膜トランジスタマトリクス基板は、複数の工程を経て製造されるものであり、その表面には、各工程で用いられる材料、化学薬品などに由来する金属、金属化合物、有機化合物などを含む微粒子（パーティクル）が付着することが多い。このような微粒子は、アクティブマトリクス型液晶表示装置を電子電気機器に組み込む際に、動作不良を引き起こす原因になる。したがって、薄膜トランジスタマトリクス基板表面を洗浄し、該表面に付着する微粒子を除去することが必要不可欠になっている。
【０００４】
従来から、薄膜トランジスタマトリクス基板などの電子電気分野における各種基板の洗浄には、被洗浄基板である基板の被洗浄面に対して洗浄ツールから洗浄液を吐出する方式の洗浄装置が多用される。
【０００５】
図６は、第１の従来技術である洗浄装置１の構成を模式的に示す断面図である。この従来技術の洗浄装置１は、被洗浄基板２を水平搬送しながら、その被洗浄基板２の上面である被洗浄面３に、上方の洗浄ツール４から洗浄液５を吐出して供給し、これによって被洗浄基板２の被洗浄面３を洗浄する。この洗浄装置１では、被洗浄基板２の搬送方向Ａに、複数のローラ体６が間隔をあけて配置される。ローラ体６は、被洗浄基板２を支持する。ローラ体６は、被洗浄基板２の搬送方向Ａに垂直かつ水平な搬送幅方向Ｂに延びる回転軸線Ｌ１０１まわりに回転駆動され、これによって被洗浄基板２が搬送される。ローラ体６は、回転軸線Ｌ１０１の方向に延びる軸部７と、回転軸線Ｌ１０１の方向に間隔をあけて配置され、前記軸部７に同軸に固定される複数のローラ本体８とを含む。各ローラ本体８は同径である。
【０００６】
このような構成では、水平な状態の被洗浄基板２の被洗浄面３に洗浄液５が供給されるので、被洗浄面３上に洗浄液５が滞留してしまう。特に、大型の被洗浄基板２では、洗浄液５が落下できる端面９に対する基板面積の割合が大きいので、洗浄液５の滞留は顕著である。被洗浄面３上に洗浄液５が滞留すると、被洗浄面３に付着するパーティクルに対して、被洗浄面３に供給される洗浄液５が与える力は、小さくなり、これによってパーティクルを被洗浄面３から十分に離脱させることができない。また被洗浄面３からパーティクルが離脱したとしても、そのパーティクルを、速やかに被洗浄面３上から除去することができず、これによってパーティクルが被洗浄面３に再付着しやすい。したがって洗浄能力が低下するという問題がある。
【０００７】
この問題を解決するための技術として、後述の第２および第３の従来技術がある。第２および第３の従来技術の各洗浄装置１１，１２は、第１の従来技術の洗浄装置１に類似するので、対応する部分には、同一の符号を付し、異なる点についてだけ説明する。
【０００８】
図７は、第２の従来技術である洗浄装置１１の構成を模式的に示す断面図である。この従来技術の洗浄装置１１では、被洗浄基板２をその搬送幅方向Ｂの中央部寄りで支持するローラ本体８ａが、被洗浄基板２をその搬送幅方向Ｂの両側部寄りで支持するローラ本体８ａに比べて大径である（たとえば特許文献１参照）。
【０００９】
このような構成では、各ローラ本体８ａによって支持される被洗浄基板２は、搬送方向Ａから見たときに上方に凸に湾曲した状態となる。このような状態では、重力によって、被洗浄面３に供給された洗浄液５が、被洗浄面３に沿って流れやすく、また被洗浄基板２の端面９から落下しやすい。したがって被洗浄面３上に洗浄液５が滞留することを防ぐことができ、洗浄能力を向上することができる。しかしながら軸部７に固定される各ローラ本体８ａの外径が異なるので、各ローラ本体８ａの外周面の周速度が異なる。したがって被洗浄基板２を安定して搬送することができないという問題がある。この問題を解決するために、ローラ本体８ａ毎に軸部を設けて、各ローラ本体８ａの外周面の周速度が互いに同一となるように、ローラ本体８ａの外径に応じて軸部の回転速度を変えることが考えられるが、この場合、制御系が複雑になるという問題がある。
【００１０】
図８は、第３の従来技術である洗浄装置１２の構成を模式的に示す断面図である。この従来技術の洗浄装置では、軸部７ａは、搬送方向Ａから見たときに上方に凸に撓む（たとえば、特許文献２参照）。
【００１１】
このような構成では、各ローラ本体８によって支持される被洗浄基板２は、搬送方向Ａから見たときに上方に凸に湾曲した状態となり、したがって前記第２の従来技術と同様、洗浄能力を向上することができる。また、軸部７ａを撓ませるだけなので、制御系を複雑にすることなく、被洗浄基板２を安定して搬送することができる。しかしながら撓んだ軸部７ａを回転させると、軸部７ａの伸縮が起こり、被洗浄基板２の搬送時に被洗浄基板２が振動してしまうという問題が生じる。
【００１２】
【特許文献１】特開２００３−１００５８１号公報
【特許文献２】特開２００４−３５２４２７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の目的は、洗浄能力が向上され、しかも単純な制御系で、被洗浄基板を、振動させることなく、安定に搬送しながら、その被洗浄基板の被洗浄面を洗浄することができる洗浄装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明は、洗浄されるべき被洗浄面を有する被洗浄基板を、前記被洗浄面を上方に向けて、略水平な搬送方向に搬送する搬送手段と、
搬送手段によって搬送される被洗浄基板の被洗浄面に、洗浄液を供給する洗浄液供給手段とを含み、
搬送手段は、
搬送方向に垂直かつ水平な搬送幅方向に延びる回転軸線まわりに回転駆動される回転駆動体であって、回転軸線と同軸の円筒状の外周面が形成される車輪部を有し、車輪部の外径寸法は回転軸線の方向に一様である回転駆動体と、
搬送幅方向に延びる他の回転軸線まわりに個別に回転可能に設けられ、搬送幅方向に間隔をあけて配置され、被洗浄基板を下方から支持する複数のローラを有し、各ローラは、各ローラの外周部の最上位置が、搬送方向に垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面に沿って並び、各ローラの外周部が、回転駆動体の車輪部の外周部に接触するように、設けられるローラ体とを備えることを特徴とする洗浄装置である。
【００１５】
また本発明は、搬送手段は、ローラ体の各ローラによって支持される被洗浄基板と回転駆動体との間に介在する介在体をさらに備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、被洗浄基板は、洗浄されるべき被洗浄面を有する。搬送手段は、被洗浄基板を、被洗浄面を上方に向けて、略水平な搬送方向に搬送する。洗浄液供給手段は、搬送手段によって搬送される被洗浄基板の被洗浄面に、洗浄液を供給する。このような洗浄装置では、被洗浄基板を搬送しながら、その被洗浄基板の被洗浄面を洗浄することができる。
【００１７】
搬送手段は、回転駆動体と、ローラ体とを備える。回転駆動体は、搬送方向に垂直かつ水平な搬送幅方向に延びる回転軸線まわりに回転駆動される。回転駆動体は、回転軸線と同軸に形成される円筒状の外周面が形成される車輪部を有する。ローラ体は、搬送幅方向に間隔をあけて配置され、被洗浄基板を下方から支持する複数のローラを有する。各ローラは、搬送幅方向に延びる他の回転軸線まわりに個別に回転可能に設けられる。各ローラは、各ローラの外周部が、回転駆動体の車輪部の外周部に接触するように、設けられる。回転駆動体が回転駆動されると、ローラ体の各ローラが回転し、これによって各ローラによって支持される被洗浄基板が搬送される。
【００１８】
ローラ体の各ローラは、各ローラの外周部の最上位置が、搬送方向に垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面に沿って並ぶように、設けられる。このように各ローラが設けられるので、各ローラによって支持される被洗浄基板は、前記湾曲面に沿って上方に凸に湾曲した状態となる。このような状態では、被洗浄面に供給された洗浄液が、被洗浄面に沿って流れやすく、また被洗浄基板の端面から落下しやすい。したがって被洗浄面上に洗浄液が滞留することを防ぐことができる。
【００１９】
このように被洗浄面上での洗浄液の滞留が防がれるので、被洗浄面に供給される洗浄液が、被洗浄面に付着するパーティクルに与える力を大きくすることができ、これによってパーティクルを被洗浄面から確実に離脱させることができる。また被洗浄面から離脱したパーティクルを、速やかに被洗浄面上から除去することができ、これによってパーティクルが被洗浄面に再付着することを防ぐことができる。したがって洗浄能力を向上することができる。
【００２０】
回転駆動体は、車輪部の外径寸法が回転軸線の方向に一様である。このような回転駆動体が回転駆動され、これによってローラ体の各ローラが回転する。したがって各ローラの外周面の周速度が互いに同一となる。このように各ローラの外周面の周速度が互いに同一となるので、被洗浄基板を安定して搬送することができる。
【００２１】
このように洗浄能力を向上することができ、しかも被洗浄基板を安定に搬送しながら、その被洗浄基板を洗浄することができる。また、このような効果を達成するために、ローラ体の各ローラの回転速度を制御系によって個別に制御する必要がなく、したがって制御系を単純化することができる。さらに、前述の効果を達成するために、前記第３の従来技術のように撓んだ軸部を用いる必要がなく、したがって被洗浄基板の搬送時にその被洗浄基板の振動を防ぐことができる。
【００２２】
また本発明によれば、ローラ体の各ローラによって支持される被洗浄基板と回転駆動体との間には、介在体が介在する。ローラ体の各ローラの外周部と回転駆動体の車輪部の外周部とが接触した状態で、回転駆動体が回転駆動されると、パーティクルが発生する。介在体は、前記パーティクルが上方に舞い上がって被洗浄基板に到達することを防ぎ、これによって前記パーティクルが被洗浄基板に付着することを防ぐことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
図１は、本発明の実施の一形態である洗浄装置３１の構成を簡略化して示す断面図である。図２は、搬送手段３２を上方から見た断面図である。洗浄装置３１は、基板を洗浄するために用いられる。洗浄装置３１によって洗浄される基板である被洗浄基板としては、液晶表示装置のガラス基板などが挙げられる。
【００２４】
洗浄装置３１は、搬送手段３２と、洗浄液供給手段３３とを含む。搬送手段３２は、洗浄されるべき被洗浄面３４を有する被洗浄基板３５を、前記被洗浄面３４を上方に向けて、略水平な搬送方向Ａに搬送する。被洗浄基板３５の被洗浄面３４は、被洗浄基板３５の厚み方向一表面である。略水平は水平を含む。洗浄液供給手段３３は、搬送手段３２によって搬送される被洗浄基板３５の被洗浄面３４に、洗浄液３６を供給する。このような洗浄装置３１では、被洗浄基板３５を搬送しながら、その被洗浄基板３５の被洗浄面３４を洗浄することができる。
【００２５】
搬送手段３２は、搬送方向Ａに間隔をあけて配置される複数のローラ体４１と、各ローラ体４１に対して一対一で対応して設けられる複数の回転駆動体４２とを備える。各ローラ体４１の間隔は、被洗浄基板３５の寸法および重量などに応じて適宜、選ばれる。各ローラ体４１の構成は同一である。各回転駆動体４２の構成は同一である。
【００２６】
回転駆動体４２は、搬送方向Ａに垂直かつ水平な搬送幅方向Ｂに延びる回転軸線Ｌ１１まわりに回転駆動される。回転駆動体４２は、回転軸線Ｌ１１と同軸の軸部４３と、軸部４３に固定され、回転軸線Ｌ１１と同軸の円筒状の外周面４４が形成される車輪部４５とを有する。車輪部４５は、弾性材料、たとえばゴムから成る。
【００２７】
軸部４３および車輪部４５は、搬送幅方向Ｂに延びる。車輪部４５の外径寸法Ｄ１１は、搬送幅方向Ｂと同一方向である回転軸線Ｌ１１の方向に一様である。本実施の形態では、車輪部４５の外径寸法Ｄ１１は、回転軸線Ｌ１１の方向に全体にわたって一様である。
【００２８】
ローラ体４１は、回転駆動体４２の上方に設けられる。ローラ体４１は、搬送幅方向Ｂに間隔をあけて配置され、被洗浄基板３５を下方から支持する複数のローラを有する。ローラの個数および間隔は、被洗浄基板３５の寸法および重量などに応じて適宜、選ばれる。詳しくは、ローラ体４１は、被洗浄基板３５をその搬送幅方向Ｂの一側部３５ａ寄りで支持する第１ローラ５１と、被洗浄基板３５をその搬送幅方向Ｂの他側部３５ｂ寄りで支持する第２ローラ５２と、被洗浄基板３５をその搬送幅方向Ｂの中央部３５ｃ寄りで支持する第３ローラ５３とを、少なくとも有する。本実施の形態では、ローラ体４１は、第１ローラ５１と第３ローラ５３との間に配置される第４ローラ５４と、第２ローラ５２と第３ローラ５３との間に配置される第５ローラ５５とをさらに有する。
【００２９】
各ローラ５１〜５５は、搬送幅方向Ｂに延びる他の回転軸線Ｌ２１，Ｌ２２，Ｌ２３，Ｌ２４，Ｌ２５まわりに個別に回転可能に設けられる。各ローラ５１〜５５は、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５と同軸の軸部５６と、軸部５６に固定され、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５と同軸の円板状のローラ本体５７とを有する。ローラ本体５７は、たとえば超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）、ポリエ−テルエ−テルケトン（ＰＥＥＫ）から成る。ローラ本体５７の外周部５８は、全周にわたって、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５の方向に関して半径方向外方に向かうにつれて先細状に形成される。
【００３０】
各ローラ５１〜５５は、各ローラ５１〜５５の外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並ぶように、設けられる。各ローラ５１〜５５は、各ローラ５１〜５５の外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５で、被洗浄基板３５を支持する。各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５は、自重によって弾性変形して撓み、前記湾曲面５９に沿って上方に凸に湾曲した状態となる。
【００３１】
各ローラ５１〜５５の外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５は、被洗浄基板３５の弾性変形可能な範囲を考慮して選ばれる。一例として述べると、各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５の搬送幅方向Ｂに関する寸法が２１６０ｍｍである場合、被洗浄基板３５の搬送幅方向Ｂの中央部３５ｄが両側部３５ａ，３５ｂよりも１００ｍｍ上方になるように、各ローラ５１〜５５の外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が選ばれる。
【００３２】
各ローラ５１〜５５は、各ローラ５１〜５５の外周部５８が、回転駆動体４２の車輪部４５の外周部４６に接触するように、設けられる。本実施の形態では、各ローラ５１〜５５の外周部５８は、回転駆動体４２の車輪部４５の外周部４６に押圧され、これによって各外周部５８，４６間の摩擦力が高められる。このように各外周部５８，４６間の摩擦力が高められることによって、各外周部５８，４６間の滑りを防ぐことができる。
【００３３】
搬送手段３２は、駆動源６１と、駆動源６１からの回転動力を各回転駆動体４２に伝達する伝達体６２とをさらに備える。駆動源６１は、たとえば電動機によって実現される。伝達体６２は、たとえばベルトおよびチェーンなどの索条を用いる動力伝達機構によって実現される。駆動源６１および伝達体６２によって、各回転駆動体４２が、同一の回転方向に同一の回転速度で回転駆動される。各回転駆動体４２が矢符Ｃ１方向に回転駆動されると、各ローラ体４１の各ローラ５１〜５５が矢符Ｃ２方向に回転し、これによって各ローラ体４１の各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５が搬送方向Ａに搬送される。
【００３４】
洗浄液供給手段３３は、洗浄液を吐出する洗浄ツール７１と、洗浄液を貯留する洗浄液貯留タンク７２と、洗浄液を洗浄ツール７１に送給する洗浄液供給ポンプ７３と、洗浄液の流路を構成する洗浄液供給管７４とを備える。洗浄液貯留タンク７２に貯留される洗浄液は、洗浄液供給ポンプ７３によって加圧送給され、洗浄液供給管７４を経て、洗浄ツール７１に供給される。本実施の形態では、洗浄液として、純水が使用される。洗浄液は、純水に限らず、不純物含有量が非常に少ない液体であればよい。
【００３５】
洗浄ツール７１は、搬送手段３２によって搬送される被洗浄基板３５の上方に設けられる。洗浄ツール７１は、搬送幅方向Ｂに延びる。洗浄ツール７１は、搬送手段３２によって搬送される被洗浄基板３５を臨む側には、前記被洗浄基板３５の被洗浄面３４に向けて洗浄液を吐出する洗浄液吐出口７５が形成される。洗浄液吐出口７５は、搬送幅方向Ｂに延びるスリット状の開口によって実現される。
【００３６】
洗浄ツール７１は、搬送手段３２によって搬送される被洗浄基板３５に対して、洗浄液吐出口７５の両端が、搬送幅方向Ｂの両側に突出するように設けられる。このように洗浄ツール７１が設けられることによって、前記被洗浄基板３５の被洗浄面３４に、全体にわたって洗浄液を供給することができる。
【００３７】
洗浄ツール７１は、洗浄液吐出口７５からの洗浄液の吐出方向が、下方になるにつれて搬送方向Ａとは反対方向に傾斜した斜め下向きになるように設けられる。このように洗浄ツール７１が設けられることによって、被洗浄面３４に対する洗浄液の流速を高め、これによって洗浄能力を向上することができる。
【００３８】
図３は、ローラ体４１および回転駆動体４２を図１の矢符Ｂ１方向から見て模式的に示す図である。図１の矢符Ｂ１方向は、搬送幅方向Ｂに平行な方向である。第３ローラ５３は、第１および第２ローラ５１，５２よりも外径寸法が大きい。第４ローラ５４は、第１ローラ５１よりも外径寸法が大きくかつ第３ローラ５３よりも外径寸法が小さい。第５ローラ５５は、第２ローラ５２よりも外径寸法が大きくかつ第３ローラ５３よりも外径寸法が小さい。本実施の形態では、第１および第２ローラ５１，５２は外径寸法が同一であり、第４および第５ローラ５４，５５は外径寸法が同一である。
【００３９】
各ローラ５１〜５５の他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５は、搬送方向Ａに関する位置が同一である。各ローラ５１〜５５の外周部５８は、各ローラ５１〜５５の外周部５８の最下位置Ｐ２１，Ｐ２２，Ｐ２３，Ｐ２４，Ｐ２５で、回転駆動体４２の車輪部４５の外周部４６に接触する。
【００４０】
図４は、第１ローラ５１およびその付近を拡大して示す斜視図である。搬送手段３２は、複数の介在体８１と、複数の軸受体８２とをさらに備える。介在体８１および軸受体８２は、各ローラ体４１に対して一対一で対応して設けられる。各介在体８１の構成は同一である。各軸受体８２の構成は同一である。
【００４１】
介在体８１は、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５と回転駆動体４２との間に介在する（図１参照）。ローラ体４１の各ローラ５１〜５５の外周部５８と回転駆動体４２の車輪部４５の外周部４６とが接触した状態で、回転駆動体４２が回転駆動されると、パーティクルが発生する。介在体８１は、前記パーティクルが上方に舞い上がって被洗浄基板３５に到達することを防ぎ、これによって前記パーティクルが被洗浄基板３５に付着することを防ぐことができる。
【００４２】
介在体８１は、搬送幅方向Ｂに延びて板状に形成される。介在体８１は、その厚み方向一表面８３を回転駆動体４２に向けて配置される。介在体８１には、各ローラ５１〜５５が挿入される挿入孔８４が形成される。介在体８１は、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５に対して、搬送幅方向Ｂの両側に突出する。介在体８１は、搬送方向Ａに関する寸法Ｗ１１が、回転駆動体４２の車輪部４５の外径寸法Ｄ１１よりも大きい。介在体８１は、回転駆動体４２の車輪部４５に対して、搬送方向Ａの両側に突出する。このように介在体８１が構成されるので、前記パーティクルが被洗浄基板３５に到達することを好適に防ぎ、これによって前記パーティクルが被洗浄基板３５に付着することを好適に防ぐことができる。
【００４３】
軸受体８２は、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５の軸部５６を、他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５まわりに回転可能に支持する。軸受体８２は、介在体８１よりも上方に設けられて、介在体８１に固定される。軸受体８２が介在体８１よりも上方に設けられることによって、介在体８１と回転駆動体４２との間の距離を小さくすることができる。これによっても、前記パーティクルが被洗浄基板３５に到達することを好適に防いで、前記パーティクルが被洗浄基板３５に付着することを好適に防ぐことができる。
【００４４】
第１ローラ５１の軸部５６は、他の回転軸線Ｌ２１の方向の両端部が、一対の軸受部８５ａ，８５ｂによって支持される。第２〜第５ローラ５５の軸部５６についても同様である。軸受体８２は、各ローラ５１〜５５毎に設けられる各軸受部８５ａ，８５ｂによって構成される。
【００４５】
以上のような洗浄装置３１によれば、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５は、各ローラ５１〜５５の外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並ぶように、設けられる。このように各ローラ５１〜５５が設けられるので、各ローラ５１〜５５によって支持される被洗浄基板３５は、自重によって弾性変形して、前記湾曲面５９に沿って上方に凸に湾曲した状態となる。このような状態では、被洗浄面３４に供給された洗浄液が、被洗浄面３４に沿って流れやすく、また被洗浄基板３５の端面３５ｅから落下しやすい。したがって被洗浄面３４上に洗浄液が滞留することを防ぐことができる。
【００４６】
このように被洗浄面３４上での洗浄液の滞留が防がれるので、被洗浄面３４に供給される洗浄液が、被洗浄面３４に付着するパーティクルに与える力を大きくすることができ、これによってパーティクルを被洗浄面３４から確実に離脱させることができる。また被洗浄面３４から離脱したパーティクルを、速やかに被洗浄面３４上から除去することができ、これによってパーティクルが被洗浄面３４に再付着することを防ぐことができる。したがって洗浄能力を向上することができる。
【００４７】
回転駆動体４２は、車輪部４５の外径寸法Ｄ１１が回転軸線Ｌ１１の方向に一様である。このような回転駆動体４２が回転駆動され、これによってローラ体４１の各ローラ５１〜５５が回転する。したがって各ローラ５１〜５５の外径寸法が異なっていても、各ローラ５１〜５５の外周面４４の周速度が互いに同一となる。このように各ローラ５１〜５５の外周面４４の周速度が互いに同一となるので、被洗浄基板３５を安定して搬送することができる。
【００４８】
このように洗浄能力を向上することができ、しかも被洗浄基板３５を安定に搬送しながら、その被洗浄基板３５を洗浄することができる。また、このような効果を達成するために、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５の回転速度を制御系によって個別に制御する必要がなく、したがって制御系を単純化することができる。さらに、前述の効果を達成するために、前記第３の従来技術のように撓んだ軸部を用いる必要がなく、したがって被洗浄基板３５の搬送時にその被洗浄基板３５の振動を防ぐことができる。
【００４９】
回転駆動体４２の車輪部４５は、弾性材料から成り、このような車輪部４５の外周部４６に、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５が押圧される。このような状態で、回転駆動体４２が回転駆動される。したがって各部分の形状および寸法ならびに各部分の配置に誤差があっても、回転駆動体４２の車輪部４５からローラ体４１の各ローラ５１〜５５に、回転動力を確実に伝達することができる。
【００５０】
本実施の形態では、第１ローラ５１と第３ローラ５３との間には、第４ローラ５４が１つ配置されるけれども、複数の第４ローラ５４が搬送幅方向Ｂに間隔をあけて配置されてもよい。この場合、各第４ローラ５４は、第３ローラ５３に近いほど、外径寸法が大きい。また本実施の形態では、第２ローラ５１と第３ローラ５３との間には、第５ローラ５５が１つ配置されるけれども、複数の第５ローラ５５が搬送幅方向Ｂに間隔をあけて配置されてもよい。この場合、各第５ローラ５５は、第３ローラ５３に近いほど、外径寸法が大きい。
【００５１】
図５は、本発明の実施の他の形態である洗浄装置におけるローラ体４１および回転駆動体４２を搬送幅方向Ｂから見て模式的に示す図である。本実施の形態の洗浄装置は、図１〜図４に示す洗浄装置３１に類似するので、対応する部分には、同一の符号を付し、異なる点についてだけ説明する。
【００５２】
本実施の形態では、各ローラ５１ａ，５２ａ，５３ａ，５４ａ，５５ａは、外径寸法が同一である。各ローラ５１ａ〜５５ａは、各ローラ５１ａ〜５５ａの外周部５８の最上位置Ｐ１１〜Ｐ１５が、搬送方向Ａに垂直な断面が上方に凸に湾曲する湾曲面５９に沿って並び、各ローラ５１ａ〜５５ａの外周部５８が、回転駆動体４２の車輪部４５の外周部４６に接触するように、各ローラ５１ａ〜５５ａの他の回転軸線Ｌ２１〜Ｌ２５を互いにずらして、設けられる。このような洗浄装置でも、図１〜図４に示す洗浄装置３１と同様の効果を達成することができる。
【００５３】
前述の実施の各形態は、本発明の例示に過ぎず、本発明の範囲内において構成を変更することができる。たとえば搬送方向Ａに並ぶ各ローラ体４１の間に、他のローラ体が設けられてもよい。他のローラ体は、駆動源６１からの回転動力が伝達されないという点を除いては、ローラ体４１と同様である。
【００５４】
回転駆動体４２の車輪部４５は、回転軸線Ｌ１１の方向に全体にわたって外径寸法が一様である必要はなく、ローラ体４１の各ローラ５１〜５５，５１ａ〜５５ａが接触する部分の外径寸法が、少なくとも一様であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施の一形態である洗浄装置３１の構成を簡略化して示す断面図である。
【図２】搬送手段３２を上方から見た断面図である。
【図３】ローラ体４１および回転駆動体４２を図１の矢符Ｂ１方向から見て模式的に示す図である。
【図４】第１ローラ５１およびその付近を拡大して示す斜視図である。
【図５】本発明の実施の他の形態である洗浄装置におけるローラ体４１および回転駆動体４２を搬送幅方向Ｂから見て模式的に示す図である。
【図６】第１の従来技術である洗浄装置１の構成を模式的に示す断面図である。
【図７】第２の従来技術である洗浄装置１１の構成を模式的に示す断面図である。
【図８】第３の従来技術である洗浄装置１２の構成を模式的に示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
３１  洗浄装置
３２  搬送手段
３３  洗浄液供給手段
３４  被洗浄面
３５  被洗浄基板
３６  洗浄液
４１  ローラ体
４２  回転駆動体
４５  車輪部
５１  第１ローラ
５２  第２ローラ
５３  第３ローラ
５４  第４ローラ
５５  第５ローラ
５９  湾曲面
８１  介在体
８２  軸受体
Ａ  搬送方向
Ｂ  搬送幅方向
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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