(57)【要約】【課題】質量流量を切り替えポイントに用いてより良いマルチ渦流量計を提供する。【解決手段】マルチ渦流量計１は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路１３を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける。マルチ渦流量計１は、質量流量を切り替えポイントに用いる。すなわち、マルチ渦流量計１は、二つの流量計の切り替えポイントを質量流量に基づくものとする。渦流量計の最小流量より大きく熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量Ｑｍを、Ｑｍ＝Ｋ３＊√Ｐで決定する。但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｋ３：流路１３の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、及び、１ａｔｍの時の圧力で決まる定数とする。【選択図】図４
2007333459.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける構成のマルチ渦流量計において、
前記二つの流量計の切り替えポイントを前記質量流量に基づくものとし、前記渦流量計の最小流量より大きく前記熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量ＱｍをＱｍ＝Ｋ３＊√Ｐで決定する（但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｋ３：流路の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、及び、１ａｔｍの時の圧力、で決まる定数）
ことを特徴とする質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計。
【請求項２】
容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける構成のマルチ渦流量計において、
前記二つの流量計の切り替えポイントを前記質量流量に基づくものとし、前記渦流量計の最小流量より大きく前記熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量ＱｍをＱｍ＝Ｋ４＊√（Ｐ／Ｔ）で決定する（但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｔ：被測定流体の絶対温度（変数）、Ｋ４：流路の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、１ａｔｍの時の圧力、及び、０℃に相当する絶対温度（２７３．１５Ｋ）、で決まる定数）
ことを特徴とする質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける構成のマルチ渦流量計に関し、詳しくは、二つの流量計の切り替えポイントに関する。
【背景技術】
【０００２】
流管に流れる被測定流体の流量を計測するために、渦流量計や熱式流量計が用いられている。
【０００３】
渦流量計は、周知のように、流体の流れの中に渦発生体を配設したとき、所定のレイノルズ数範囲では、渦発生体から単位時間内に発生するカルマン渦の数（渦周波数）が気体、液体に関係なく流量に比例することを利用したもので、この比例定数はストローハル数と呼ばれている。渦検出器としては、熱センサ、歪みセンサ、光センサ、圧力センサ、超音波センサ等が挙げられ、これらは渦による熱変化、揚力変化等を検出することが可能なものになっている。渦流量計は、被測定流体の物性に影響されずに流量を測定できる簡易な流量計であって、気体や流体の流量計測に広く使用されている（例えば特許文献１参照）。
【０００４】
熱式流量計は、感温センサ（流体温度検出センサ）と加熱感温センサ（加熱側温度センサ）とを備えて構成されており、温度センサと加熱センサの機能を有する加熱感温センサ（流速センサ（ヒータ））の温度が感温センサで計測される温度に対して一定の温度差になるように制御されている。これは、被測定流体を流した時にヒータから奪われる熱量が質量流量と相関があるからであって、ヒータに対する加熱電力量から質量流量が算出されるようになっている（例えば特許文献２参照）。
【０００５】
下記特許文献３には、渦流量計の機能と熱式流量計の機能とを兼ね備えてなるマルチ渦流量計の技術が開示されている。マルチ渦流量計は、微少流量から大流量まで精度よく計測することができ、この点が特に他の流量計よりも優れている。
【０００６】
マルチ渦流量計は、流管の流路を流れる被測定流体の流れの状況に応じて渦流量計の機能と熱式流量計の機能とが使い分けられるようになっている。すなわち、微少流量域や低流量域では、熱式流量計の機能によって計測がなされ、高流量域では、渦流量計の機能によって計測がなされるようになっている。
【０００７】
渦流量計は、流量が低くなって渦差圧が小さくなると渦検出器の感度が不足してしまうことから、マルチ渦流量計では、所定の下限流量で熱式流量計へ機能を切り替えるような制御がなされている。
【特許文献１】特許第２８６９０５４号公報  （第３頁、第１図）
【特許文献２】特開２００４−１２２２０号公報  （第６頁、第４図）
【特許文献３】特開２００６−２９９６６号公報  （第４−８頁、第１−５図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本願発明者は、流量が低くても流管内の圧力が上昇すると渦差圧が高くなり、これによって流量計の機能を切り替える際の判断基準となる下限流量を下げることが可能であることを見出し、この見出した結果をマルチ渦流量計に反映したいと考えている。本願発明者は、渦流量計の利点を生かすために、できるだけこの渦流量計の機能を用いて流量を測定したいと考えている。
【０００９】
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたもので、質量流量を切り替えポイントに用いてより良いマルチ渦流量計を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するためになされた請求項１記載の本発明の質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける構成のマルチ渦流量計において、前記二つの流量計の切り替えポイントを前記質量流量に基づくものとし、前記渦流量計の最小流量より大きく前記熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量ＱｍをＱｍ＝Ｋ３＊√Ｐで決定する（但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｋ３：流路の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、及び、１ａｔｍの時の圧力、で決まる定数）ことを特徴としている。
【００１１】
上記課題を解決するためになされた請求項２記載の本発明の質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計は、容積流量で計測する渦流量計と質量流量で計測する熱式流量計とを備え、これら二つの流量計を流路を流れる被測定流体の流量に応じて使い分ける構成のマルチ渦流量計において、前記二つの流量計の切り替えポイントを前記質量流量に基づくものとし、前記渦流量計の最小流量より大きく前記熱式流量計の最大流量よりも小さい範囲の切り替えポイント質量流量ＱｍをＱｍ＝Ｋ４＊√（Ｐ／Ｔ）で決定する（但し、Ｐ：流路の圧力（変数）、Ｔ：被測定流体の絶対温度（変数）、Ｋ４：流路の面積、渦差圧、渦差圧に係る定数、０℃で１ａｔｍの密度、１ａｔｍの時の圧力、及び、０℃に相当する絶対温度（２７３．１５Ｋ）、で決まる定数）ことを特徴としている。
【００１２】
このような特徴を有する本発明によれば、圧力が加味された上で、或いは圧力と温度とが加味された上で渦流量計の機能から熱式流量計の機能へ、或いは熱式流量計の機能から渦流量計の機能への切り替えが行われるようになる。本発明は、圧力が高い方が渦差圧が上がって、結果、渦流量計の感度が上がり低い流量まで測定をすることが可能になることに着目する。本発明のように切り替えポイントを決定することで、圧力、温度が変動しても最適な（できるだけ低い）流量（流速）により流量計の切り替えを行うことができるようになる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、渦流量計の利点を生かした精度の良いマルチ渦流量計を提供することができるという効果を奏する。従って、従来よりもより良いマルチ渦流量計を提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照しながら説明する。図１は本発明の質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計の一実施の形態を示す正面図である。また、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、図３は流量変換器の断面図である。さらに、図４は切り替えポイントの説明に係る図、図５は切り替えポイントの比較説明に係る図である。
【００１５】
図１及び図２において、引用符号１は本発明のマルチ渦流量計を示している。このマルチ渦流量計１は、渦流量計の機能と熱式流量計の機能とを兼ね備えるように構成されている。また、マルチ渦流量計１は、後述するが、二つの流量計の切り替えポイントを決定し、この決定した切り替えポイントに基づいて流量計の機能が切り替わるように構成されている。マルチ渦流量計１は、測定用取付配管２、圧力計３、測定管４、渦発生体５、及び渦検出器６を有する渦式検出手段７と、感温センサ８及び加熱感温センサ９を有する熱式検出手段１０と、渦式検出手段７及び熱式検出手段１０からの出力信号に基づいて被測定流体（図示省略）の流速又は流量を算出する流量変換器１１とを備えて構成されている。以下、先ず各構成について図１ないし図３を参照しながら説明し、次に二つの流量計の切り替えポイントについて説明をする。
【００１６】
測定用取付配管２は、流管１２の中間に着脱自在に取り付けられて（流管１２の中間に限らず、端部に取り付けても可）、この内部に流路１３を形成する例えば図示のような筒状の構造体として形成されている。測定用取付配管２の両端には、それぞれ継ぎ手が形成されている。このような測定用取付配管２の外部には、流量変換器１１が適宜手段で固定されている。測定用取付配管２に形成される流路１３は、断面円形状に形成されている。この流路１３には、被測定流体が矢印方向に流れるようになっている。
【００１７】
流路１３の中間には、測定管４や、感温センサ８及び加熱感温センサ９が設けられている。また、これら測定管４等の上流側で且つ測定管４の近傍には、圧力計測部１４が形成されている（配置は一例であるものとする）。この圧力計測部１４には、圧力計３が収納されるような状態で取り付けられている。圧力計測部１４は、圧力計３を収納する部分と、流路１３を流れる被測定流体の一部を導入する部分とを有している。圧力計３は、流路１３を流れる被測定流体の圧力を計測するためのものであって、ここでは公知の圧力計が用いられている（但し流量変換器１１に対応可能なものとする）。圧力計３は、流量変換器１１に対し一体化するように取り付けられている。圧力計３は、渦検出器６や感温センサ８及び加熱感温センサ９に対して若干上流側に離れた位置で流量変換器１１に対し一体化されている。
【００１８】
測定管４は、管断面が四角形状となる筒状に形成されている（形状は一例であるものとする）。測定管４は、被測定流体が流れる矢印方向に沿って伸びるように形成されている。測定管４の被測定流体が流れる部分には、渦発生体５と、この渦発生体５の下流側に位置する後述の受圧板１５とが設けられている。測定管４の外部には、感温センサ８及び加熱感温センサ９の先端を保持する温度センサ保持部１６が設けられている（本形態では一体であるが、この限りでないものとする）。測定管４は、連結筒部１７を介して渦検出器６に固定されている。本形態において、測定管４を連結した渦検出器６は、測定用取付配管２に対して着脱自在となるように取り付けられている。
【００１９】
渦発生体５は、測定管４の内部に渦を発生させるための部分であって、被測定流体の流れに対向するように、この形状が設定されている。渦発生体５は、本形態において、三角柱形状に形成されている（形状は一例であるものとする。特許文献１の特許第２８６９０５４号公報には幾つかの例が開示されている）。渦発生体５は、測定管４の被測定流体が流入する側の開口部分に設けられている。渦発生体５は、測定管４の開口部分中央に位置するように設けられている。
【００２０】
ここで、渦発生体５により生じる渦について説明する。渦は、測定管４の上記開口部分に流入する被測定流体が渦発生体５に沿って流れる流れによって生じる運動量変化の大きい位置から剥離するもので、渦発生体５の断面が本形態のように三角形状の場合は、三角形エッジ部が剥離点となる。渦発生体５から剥離し流出する渦は、カルマンの安定渦条件に従って、千鳥状に交互に発生し、一定の渦間距離及び渦列間距離を保った渦列を形成しながら流出する。渦間距離は、単位時間当たりに発生する渦の数、すなわち、渦周波数と、所定時間内に、例えば、基準タンク等の基準容器に流入した流体から求めた流量に基づいて算出された単位時間当たりの流速とから求めることができる。
【００２１】
温度センサ保持部１６は、測定管４の下壁から水平方向に、言い換えれば測定管４の両側壁からそれぞれ突出するように形成されている。温度センサ保持部１６は、特に限定するものではないが、平面視の形状が三角形となるように形成されている。温度センサ保持部１６は、測定管４に恰もヒレがあるような形状に形成されている。このような温度センサ保持部１６には、感温センサ８、加熱感温センサ９の各先端が真っ直ぐに差し込まれるようになっている。
【００２２】
渦検出器６は、渦検出のためのセンサであって、ここでは受圧センサが用いられている。渦検出器６は、測定管４内の渦発生体５の下流側に配置される受圧板（センサ受圧板）１５と、渦検出器６内部に設けられる圧力検出素子板とを有しており、渦発生体５により生じるカルマン渦に基づく変動圧力（交番圧力）を受圧板１５を介して圧力検出素子板により検出するように構成されている。渦検出器６は、本形態において、流量変換器１１に対し一体化するように取り付けられている。
【００２３】
渦式検出手段７は、測定用取付配管２内を流動する被測定流体の流速又は流量を求めるために設けられている。測定用取付配管２内を流動する被測定流体の流速又は流量は、測定管４内を流れる被測定流体の流速又は流量を、測定用取付配管２の部分流速又は部分流量として算出することにより求められるようになっている。これは、測定用取付配管２の管断面の全体ではなく、この一部について測定しても流れが均一ならば全体流量を推定することができることに基づくものである。すなわち、直管を流れる整流された流体の流速分布は、レイノルズ数の関数として与えられるので、測定用取付配管２の中心部から或る距離の位置での流速を測定用取付配管２内の平均流速に換算することができるものである。
【００２４】
熱式検出手段１０を構成する感温センサ８及び加熱感温センサ９は、共に公知のものが用いられている。尚ここでは、具体的な構成についての説明を省略するものとする。本形態の感温センサ８は、棒状の温度センサであり、同じく棒状の加熱感温センサ９は、温度センサと加熱センサの機能を有する流速センサ（ヒータ）であるものとする。感温センサ８及び加熱感温センサ９は、本形態において、流量変換器１１に対し一体化するように取り付けられている。
【００２５】
感温センサ８及び加熱感温センサ９は、測定用取付配管２の流路１３に突出しており、最先端部分が温度センサ保持部１６によって保持されている。感温センサ８及び加熱感温センサ９の各感温部分は、測定管４の近傍に配置されている。感温センサ８及び加熱感温センサ９は、渦検出器６と共に横一列に並んで配置されている（配置は一例であるものとする。渦検出に影響を来さないように配置すれば他でもよいものとする）。尚、感温センサ８及び加熱感温センサ９の各感温部分を温度センサ保持部１６から更に流路１３の中央に突出させるように長くしてもよいものとするのとする（外部から測定用取付配管２に伝わる熱の作用を避けるため）。
【００２６】
流量変換器１１は、変換器ケース１８を有している。この変換器ケース１８の内部には、マイクロコンピュータ等の構成を有するアンプボード１９が設けられている。アンプボード１９には、圧力計３の伝送線２０と、感温センサ８及び加熱感温センサ９の各リードと、渦検出器６の伝送線２１とが接続されている（図３中の感温センサ８及び加熱感温センサ９の配置を便宜上変えて図示している。実際には９０°回転した位置に配置される。渦検出器６の伝送線２１と共に図３の紙面直角方向に並ぶように配置される）。
【００２７】
感温センサ８及び加熱感温センサ９と伝送線２０及び２１は、変換器ケース１８の内部に引き込まれている。感温センサ８及び加熱感温センサ９と伝送線２０及び２１は、外部に露出することなく変換器ケース１８の内部に引き込まれている。感温センサ８及び加熱感温センサ９と、圧力計３と、渦検出器６と、アンプボード１９は、流量計測部及び流量演算部としての機能を有している。
【００２８】
変換器ケース１８の開口部分には、スイッチボード２２やディスプレイボード２３を有する変換器カバー２４がパッキン（符号省略）を挟んだ状態で取り付けられている。変換器ケース１８の一側壁には、伝送ケーブル２５が接続されている。
【００２９】
上記構成及び構造において、本発明のマルチ渦流量計１は、測定用取付配管２の流路１３を流れる被測定流体の流れの状況に応じて、すなわち後述する切り替えポイントに基づいて、渦流量計の機能と熱式流量計の機能とが使い分けられるようになっている。具体的に、微少流量域や低流量域では、熱式流量計の機能によって計測がなされ、高流量域では、渦流量計の機能によって計測がなされるようになっている（できるだけ渦流量計の機能によって計測がなされるようになっている）。
【００３０】
本発明のマルチ渦流量計１は、熱式流量計の機能における高流量域計測と、渦流量計の機能における低流量域計測とがある程度ラップするようになっており、このラップする範囲において切り替えポイントが決定され、そして、決定された切り替えポイントに基づいて流量変換器１１で切り換えが行われるようになっている（切り替えポイントについては後述する）。
【００３１】
先ず、微少流量域や低流量域を計測する際の作用、すなわち、熱式流量計の機能によって計測を行う場合の作用を説明する。加熱感温センサ９は、感温センサ８で検出された温度に基づいて流量計測を行う。すなわち、流量変換器１１における流量計測部及び流量演算部では、感温センサ８と加熱感温センサ９との温度差が一定（例えば＋３０℃）になるように、加熱感温センサ９を加熱する（電流を流す）とともに、この加熱に係る電流値から質量流量を算出する。算出された質量流量は、所定の単位に換算された後に、変換器カバー２４の上部に設けられた表示部に表示、又は伝送ケーブル２５で送信されて図示しない表示装置に表示される。
【００３２】
上記質量流量の算出について補足説明をすると、被測定流体（図示省略）を矢印方向に流したときに、加熱感温センサ９は被測定流体によって冷やされる。感温センサ８との温度差を一定に制御するためには、さらに加熱感温センサ９に電流を流す必要がある。この時、加熱感温センサ９に流れる電流は、質量流量に比例することが知られており、これを利用して質量流量が算出される。
【００３３】
次に、渦流量計の機能によって計測を行う場合の作用を説明する。渦発生体５により生じるカルマン渦に基づく変動圧力（交番圧力）を受圧板１５及び圧力検出素子板において検出する。そして、渦検出器６における検出値から測定管４内を流れる被測定流体の流速又は流量を、測定用取付配管２の部分流速又は部分流量として算出し、測定用取付配管２内を流れる被測定流体の流速又は流量（容積流量）を算出する。算出された流速又は流量は、所定の単位に換算された後に、変換器カバー２４の上部に設けられた表示部に表示、又は伝送ケーブル２５で送信されて図示しない表示装置に表示される。
【００３４】
流量変換器１１において行われる流量計の機能に係る切り換えに関しては、圧力計３からの測定値が流量変換器１１に取り込まれ、この取り込まれた測定値が加味されて切り替えポイントが決定された上で、熱式流量計の機能から渦流量計の機能へ、或いは渦流量計の機能から熱式流量計の機能への切り替えが行われるようになっている。
【００３５】
切り替えポイントについて説明する。
【００３６】
渦差圧ΔＰは次のような関係がある。
ΔＰ＝Ｋ＊ρ＊Ｖ２
この式を変形すると、
Ｖ２＝ΔＰ／（Ｋ＊ρ）…（１）
となる。
Ｖ：流速
ΔＰ：渦差圧
ρ：密度
Ｋ：定数
【００３７】
＜切り替えポイントの算出１＞
質量流量で切り替えを行う（圧力のみを変数とした場合）。
質量流量Ｑｍは、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊Ｖ＊ρ…（２）
という関係がある。
Ｑｍ：質量流量
Ｒ：流路１３の半径
【００３８】
ρ＝ρ０＊Ｐ／Ｐ０…（３）
ρ０：０℃で１ａｔｍの密度
Ｐ：絶対圧力［Ｍｐａａｂｓ］
Ｐ０：１ａｔｍの圧力≒０．１０１３３［Ｍｐａａｂｓ］
【００３９】
（２）式を（１）式に代入すると、
｛Ｑｍ／（π＊Ｒ２＊ρ）｝２＝ΔＰ／（Ｋ＊ρ）
となる。
左辺をＱｍとなるように整理すると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊ρ＊√｛ΔＰ／（Ｋ＊ρ）｝
となる。
この式を書き換えると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ／Ｋ）…（４）
となる。
【００４０】
（４）式に（３）式を代入すると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０＊Ｐ／Ｐ０／Ｋ）
となる。
さらに整理すると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０／Ｐ０／Ｋ）＊√Ｐ…（５）
となる。
【００４１】
ここで、Ｋ３＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０／Ｐ０／Ｋ）とすると、
（５）式は、
Ｑｍ＝Ｋ３＊√Ｐ…（６）
となり、この関数が切り替えポイント（切り替えポイント質量流量Ｑｍ）となる。
【００４２】
＜切り替えポイントの算出２＞
質量流量で切り替えを行う（圧力・温度を変数とした場合）。
質量流量Ｑｍは、上記の如く、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ／Ｋ）…（４）
という関係がある。
密度ρは、
ρ＝ρ０＊Ｐ／Ｐ０＊Ｔ０／Ｔ…（７）
という関係がある。
Ｔ：絶対温度［Ｋ］
Ｔ０：０℃に相当する絶対温度≒２７３．１５［Ｋ］
【００４３】
（４）式に（７）式を代入すると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０＊Ｐ／Ｐ０＊Ｔ０／Ｔ／Ｋ）
となる。
さらに整理すると、
Ｑｍ＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０／Ｐ０＊Ｔ０／Ｋ）＊√（Ｐ／Ｔ）…（８）
となる。
【００４４】
ここで、Ｋ４＝π＊Ｒ２＊√（ΔＰ＊ρ０／Ｐ０＊Ｔ０／Ｋ）とすると、
（８）式は、
Ｑｍ＝Ｋ４＊√（Ｐ／Ｔ）…（９）
となり、この関数が切り替えポイント（切り替えポイント質量流量Ｑｍ）となる。
【００４５】
図４において、縦軸を質量流量［ＮＬ／ｍｉｎ］（便宜上、ノルマル流量の単位（温度・圧力の基準値をそれぞれ０℃、１ａｔｍとしたもの）で示す）、横軸を圧力［Ｍｐａａｂｓ］としたグラフには、切り替えポイント（太実線：右上がりの曲線）、渦流量計の最小流量（一点鎖線：右上がりの曲線）、熱式流量計の最大流量（破線：横軸に平行な直線）の各ラインがプロットされている。図４に示される切り替えポイント（太実線）は、渦流量計の最小流量（一点鎖線）より大きく熱式流量計の最大流量（破線）より小さくなっているが、本発明によれば、上記の切り替えポイントの算出によると、切り替えポイント（太実線）が渦流量計の最小流量（一点鎖線）の近傍でこれに添うように決定されている。従って、このような切り替えポイント（太実線）によってグラフからも分かるように、本発明では、できるだけ渦流量計の機能を用いて流量を測定することができるようになる。
【００４６】
尚、比較のために図５を参照しながら説明をすると、図５のグラフでは切り替えポイント（太実線）が固定されている。切り替えポイント（太実線）は、渦流量計の最小流量（一点鎖線）より大きく熱式流量計の最大流量（破線）より小さくなることが必要であることから、切り替えポイント（太実線）を固定する場合には、熱式流量計の最大流量（破線）の近傍でこれに添うように真っ直ぐに決定されるようになる。従って、渦流量計で測定できるところでも熱式流量計で測定しなければならないことになる。一般的に熱式流量計は、渦流量計よりも精度面で劣ることが知られていることから、切り替えポイント（太実線）を固定する場合には、精度面に影響が少なからずともでてしまうことになる。本発明では、この点が解消されることになる。
【００４７】
以上、図１ないし図５を参照しながら説明してきたように、本発明によれば、渦流量計の利点を生かした精度の良いマルチ渦流量計１を提供することができるようになる。言い換えれば、従来よりもより良いマルチ渦流量計１を提供することができるようになる。
【００４８】
圧力が高い方が渦差圧が上がり、結果、渦流量計の感度が上がるようになる。従って、圧力を加味すれば、或いは圧力と温度とを加味すれば、低い流量まで測定をすることができるようになる。この時、本発明の切り替えポイントが有用になる。本発明のように切り替えポイントを決定することで、圧力、温度が変動しても最適な（できるだけ低い）流量（流速）により流量計の切り替えを行うことができるようになる。
【００４９】
その他、本発明は本発明の主旨を変えない範囲で種々変更実施可能なことは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の質量流量を切り替えポイントに用いるマルチ渦流量計の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】流量変換器の断面図である。
【図４】切り替えポイントの説明に係る図である。
【図５】切り替えポイントの比較説明に係る図である。
【符号の説明】
【００５１】
１  マルチ渦流量計
２  測定用取付配管
３  圧力計
４  測定管
５  渦発生体
６  渦検出器
７  渦式検出手段
８  感温センサ
９  加熱感温センサ
１０  熱式検出手段
１１  流量変換器
１２  流管
１３  流路
１４  圧力計測部
１５  受圧板
１６  温度センサ保持部
１７  連結筒部
１８  変換器ケース
１９  アンプボード
２０、２１  伝送線
２２  スイッチボード
２３  ディスプレイボード
２４  変換器カバー
２５  伝送ケーブル
【図１】
2007333459.tif 000003
【図２】
2007333459.tif 000004
【図３】
2007333459.tif 000005
【図４】
2007333459.tif 000006
【図５】
2007333459.tif 000007