(57)【要約】【目的】  ステージと対面している面に導通端子を有する電気光学装置に検査用の電気信号を伝達する。【解決手段】  光源と、前記光源から光が入射すべき第１の面に画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき第１の導通端子１１を有する電気光学装置を前記第１の面が前記光源に対面するように保持するステージと、前記ステージにおける当該ステージが前記電気光学装置を保持するときに前記第１の導通端子１１と接触する位置に形成されている、前記第１の導通端子１１に前記検査用の電気信号を伝達するための第２の導通端子２２と、を有する検査装置である。それにより、上記ステージが上記電気光学装置を保持するとき、上記第１の導通端子１１と上記第２の導通端子２２とが互いに接触する。したがって、第１の面に上記第１の導通端子１１を有する電気光学装置に対し、上記第２の導通端子２２から上記検査用の電気信号を伝達できる。【選択図】      図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から光が入射すべき第１の面と、光が出射する第２の面と、前記第１の面に形成されている、画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき第１の導通端子と、を有する電気光学装置を、前記第１の面が前記光源に対面するように保持するステージと、
前記ステージ上の、前記電気光学装置を保持するときに前記第１の導通端子と接触する位置に形成されており、前記第１の導通端子に前記検査用の電気信号を伝達する第２の導通端子と、
を有することを特徴とする電気光学装置の検査装置。
【請求項２】
前記ステージは、それぞれ表面に形成されている前記第２の導通端子の個数、及び間隔のうちの少なくとも１つの態様が互いに異なる複数の着脱可能な部材のうちの１つと、前記着脱可能な部材を装着する着脱部材装着部と、から成っていることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項３】
表面に第３の導通端子を有し、前記第１の面、及び前記第２の面の双方の面に、画素電極を制御する前記検査用の電気信号が伝達されるべき前記第１の導通端子が分割して形成されている電気光学装置の前記第２の面に形成されている前記第１の導通端子を、前記第３の導通端子で前記ステージの所定の部分に押し付ける押し圧部材をさらに有することを特徴とする請求項１、又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【請求項４】
表面に第３の導通端子を有し、前記第２の面に画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき前記第１の導通端子が形成されている電気光学装置の前記第１の導通端子を、前記第３の導通端子で前記ステージの所定の部分に押し付ける押し圧部材と、前記検査用の電気信号を前記第１の導通端子に前記第２の導通端子から伝達するか又は前記第３の導通端子から伝達するかを選択可能な切り替え手段と、をさらに有することを特徴とする請求項１、又は２に記載の電気光学装置の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気光学装置の一つである、自発光型でない平板状の液晶表示装置は、光が入射する第１の面と光が出射する第２の面がある。通常はスイッチングを行なうスイッチング素子が形成されている素子基板が第１の面であり、第１の面に照射された光を装置内部で変調して、第２の面から出射する。したがって、液晶表示装置の表示特性を検査する装置は、当該電気光学装置に画素電極を制御する検査用の電気信号を装置内部のスイッチング素子に伝達しつつ、外部の光源から出射される検査光を表示領域に照射する必要がある。
【０００３】
上記検査用の電気信号が伝達される第１の導通端子は、第２の面に形成されている。したがって、上記検査用の電気信号を上記第１の導通端子に伝達する第２の導通端子を、下記の特許文献１に記載されているように、上記光源を基準にして上記第１の導通端子の位置より遠い位置から上記第１の導通端子に近付くように移動させてきて上記第１の導通端子に接触させていた。
【０００４】
図８に、従来の上記第１の導通端子と上記第２の導通端子の位置関係を示す。上記第１の導通端子が、液晶表示装置本体に付加されたフレキシブル・プリント・サーキット（以下、ＦＰＣと称する。）に形成されている液晶表示装置を例として示している。図８（ａ）は概略を示す斜視図であり、液晶表示装置本体と、それを保持するステージは図示を省略している。図８（ｂ）は、図８（ａ）のＡ−Ａ´線における、液晶表示装置本体、及びステージを含めた断面図である。
【０００５】
液晶表示装置２０を第１の面が光源と対面するようにステージ３３３で保持したときに、第２の面に形成されている第１の導通端子１１は光源の反対側を向く。そして上述したように、上記光源を基準にして第１の導通端子１１の位置より遠い位置から第２の導通端子２２を第１の導通端子１１に近付くように移動させ、第１の導通端子１１に接触させて、開口部３１０から検査光を第１の面に照射していた。
【０００６】
【特許文献１】特開２００４−１２５４３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来の検査装置は、第２の導通端子２２が光源に向かっての移動しかできないため、ステージ３３３と対面している第１の面に第１の導通端子１１を有する電気光学装置に対しては、第２の導通端子２２から上記検査用の電気信号を伝達できないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明に係る電気光学装置の検査装置は、光源と、前記光源から光が入射すべき第１の面と光が出射する第２の面とを有し、前記第１の面に画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき第１の導通端子を有する電気光学装置を、前記第１の面が前記光源に対面するように保持するステージと、前記ステージにおける当該ステージが前記電気光学装置を保持するときに前記第１の導通端子と接触する位置に形成されている、前記第１の導通端子に前記検査用の電気信号を伝達するための第２の導通端子と、を有する。
【０００９】
本発明に係る電気光学装置の検査装置によれば、前記ステージが前記電気光学装置を保持するとき、前記第１の導通端子と前記第２の導通端子とが互いに接触する。したがって、第１の面に前記第１の導通端子を有する電気光学装置に対し、前記第２の導通端子から前記検査用の電気信号を伝達できる。
【００１０】
好ましくは、前記ステージは、それぞれ表面に形成されている前記第２の導通端子の個数、及び間隔のうちの少なくとも１つの態様が互いに異なる複数の着脱可能な部材のうちの１つと、前記着脱可能な部材を装着する着脱部材装着部と、から成っている。
【００１１】
本発明に係る構成により、前記電気光学装置の前記第１の導通端子の個数、及び間隔等の態様に合わせて前記着脱可能な部材のうちの１つを選択することにより、前記ステージの前記第２の導通端子の個数、及び間隔等を、検査の対象となる電気光学装置に合わせて変更できる。したがって、同一のステージを用いて、各々で前記第１の導通端子の態様が異なる複数種の電気光学装置に対して、前記検査用の電気信号を伝達できる。
【００１２】
好ましくは、前記電気光学装置の検査装置は、表面に第３の導通端子を有し、前記第１の面、及び前記第２の面の双方の面に、画素電極を制御する前記検査用の電気信号が伝達されるべき前記第１の導通端子が分割して形成されている電気光学装置の前記第２の面に形成されている前記第１の導通端子を、前記第３の導通端子で前記ステージの所定の部分に押し付ける押し圧部材をさらに有する。
【００１３】
本発明に係る構成により、前記電気光学装置の第１の面、及び第２の面の双方の面に形成された第１の導通端子に対し、前記第２の導通端子と前記第３の導通端子が同時に接触する。したがって、前記第１の面と前記第２の面の双方に前記第１の導通端子が分割して形成されている電気光学装置に対して前記検査用の電気信号を伝達できる。
【００１４】
好ましくは、前記電気光学装置の検査装置は、表面に第３の導通端子を有し、前記第２の面に画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき前記第１の導通端子が形成されている電気光学装置の前記第１の導通端子を、前記第３の導通端子で前記ステージの所定の部分に押し付ける押し圧部材と、前記検査用の電気信号を前記第１の導通端子に前記第２の導通端子から伝達するか又は前記第３の導通端子から伝達するかを選択可能な切り替え手段と、をさらに有する。
【００１５】
本発明に係る構成により、前記電気光学装置の前記第１の面と前記第２の面の少なくともどちらか一方の面に形成されている前記第１の導通端子に対し、前記第２の導通端子と前記第３の導通端子のうちの少なくともどちらか一方が接触する。そして前記切り替え手段により、前記第２の導通端子と前記第３の導通端子のうちの前記第１の導通端子と接触している方から、前記第１の導通端子に前記検査用の電気信号を伝達できる。また、前記第２の導通端子と前記第３の導通端子の双方が前記第１の導通端子に接触している場合には、前記２つの導通端子の任意の方から、前記第１の導通端子に前記検査用の電気信号を伝達できる。したがって、前記電気光学装置における前記第１の導通端子の形成位置の多様化に対応できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明に係る実施例の電気光学装置の検査装置について、図面を参照して説明する。
【００１７】
まず、図１、２を参照して、本実施例において検査の対象となる電気光学装置の構造について説明する。
【００１８】
本実施形態では、検査対象の電気光学装置として透過型プロジェクタに用いられる液晶表示装置を例にとり述べる。表面から入射した光を、表示面にマトリクス状に形成されている液晶シャッターで変調し、裏面側からスクリーン等に投射して画像を形成するものである。したがって、その光学特性の検査では、当該電気光学装置の表側が点灯している光源を向き、裏側がスクリーンの替わりの受光装置を向くように配置し、上記液晶を駆動する検査用の電気信号を通電しつつ、受光装置をオンにする必要がある。
【００１９】
図１は、液晶表示装置２０の画素領域を構成する各種素子、配線等の等価回路図であり、後述する図２に示す液晶表示装置の素子基板２３上に形成されているものである。表示領域１００では、複数本の走査線１０２と複数本のデータ線１０４とが交差するように形成され、走査線１０２とデータ線１０４とで区画された領域に画素電極１０６がマトリクス状に配置される。そして、走査線１０２とデータ線１０４の各交差部分に対応してＴＦＴ１０８が設けられ、このＴＦＴ１０８に画素電極１０６が接続される。ＴＦＴ１０８は走査線１０２のＯＮ信号によってオンとなり、これにより、データ線１０４に供給される、画素電極を制御する電気信号が画素電極１０６に供給される。その結果、後述する図２に示す対向基板２４に設けられた図示しない対向電極との間の電圧が、素子基板２３と対向基板２４間に狭持されている図示しない液晶に印加される。上記電圧の印加量に応じて液晶分子の配向や秩序が変化して、光源３０２（図３参照）から照射される光を変調し、画像を形成する。また、画素電極１０６と並列に、０電位側が容量線１１０で接地されている蓄積容量１１２が設けられている。蓄積容量１１２によって、画素電極１０６の電圧は、ソース電圧が印加された時間よりも長い時間の保持が可能となり、電圧保持特性が改善される。表示領域の外側には走査線駆動回路１２２とデータ線駆動回路１２４が形成されている。後述するＦＰＣ２５（図２参照）を介して外部から供給される電気信号を受信している。
【００２０】
図２は、液晶表示装置の全体を表わす模式斜視図である。素子基板２３と対向基板２４がシール材２６で所定の間隔をもって接着されており、シール材２６の内側の領域に表示領域１００がある。素子基板２３、対向基板２４、及びシール材２６で形成される空間内に液晶が封入されている。対向基板２４の側が第１の面であり、光源３０２からの光は対向基板２４に照射され、素子基板２４から出射される。
【００２１】
素子基板２３は対向基板２４よりも大きく、シール材２６の外側に走査線駆動回路１２２とデータ線駆動回路１２４が形成されている。走査線駆動回路１２２とデータ線駆動回路１２４に対して外部から検査用の電気信号を伝達する経路となるのが、フレキシブル・プリント・サーキット（以下、ＦＰＣと称する。）２５である。ＦＰＣ２５の端部には複数の第１の導通端子１１が形成されており、後述する駆動信号供給装置からの電気信号を受信する。ＦＰＣ２５と液晶表示装置２０は複数の実装端子２８で電気的に接続されており、実装端子２８と走査線駆動回路１２２間、及び実装端子とデータ線駆動回路１２４間は図示しない複数の接続配線で接続されている。光学特性の検査時には第１の面、即ち対向基板２４の側から検査光が照射されるので第１の導通端子１１は光源の方を向く。
【００２２】
図３は、本実施形態における電気光学装置の検査装置の概略構成図である。筐体３０の底部に光源３０２が設置されており、筐体３０の上面の、光源３０２の光軸３０４上に受光部３０６が設置されている。そして、筐体３０の中層領域には、検査対象である液晶表示装置２０を保持するステージ３３３が設置されている。ステージ３３３は、移動機構部３０８により、筐体内に、光軸に対して垂直な面上に支持され、上記面内を所定の範囲内で移動可能である。上述したように、液晶表示装置２０はＦＰＣ２５も含めて、第１の面が光源３０２を向くように保持される。したがって、上記第１の面はステージ３３３と対面する。ステージ３３３には、光源から射出される光が液晶表示装置２０に入射できるように開口部３１０が形成されている。光源３０２から射出された光は液晶表示装置２０で変調されて受光部３０６で強度等が測定される。
【００２３】
液晶表示装置２０のＦＰＣ２５は、上述したように、第１の面に第１の導通端子１１が形成されているため、検査時には、第１の導通端子１１はステージの上面に接する。そして、ステージ上面の、第１の導通端子１１が接触する位置に後述する第２の導通端子２２（図４参照）が形成されている。
【００２４】
そして、押し圧部材３２１が、第１の導通端子１１を第２の導通端子２２に押し付けて電気信号の伝達を可能にする。押し圧部材３２１は、図示しない押し圧部材駆動機構により上下動可能であり、液晶表示装置２０がステージ３３３上に保持された後、ＦＰＣ２５における第１の導通端子が形成されている部分の裏側をステージに押し当てる。
【００２５】
検査用の電気信号は駆動信号供給装置３２０から第１の信号線３１４を介して後述するステージのコネクタ３１２へ供給される。そして、後述するステージ内部の配線５０２（図５参照）により第２の導通端子２２まで伝達され、さらに第１の導通端子１１を介して液晶表示装置２０の走査線駆動回路１２２等に供給される。
【００２６】
図４は、本実施形態におけるステージ３３３の斜視図である。一方の側に液晶表示装置２０を保持する段差部４０２があり、その内側に光源３０２からの光を液晶表示装置２０に照射するための開口部３１０が形成されている。そして検査光はステージ３３３の下側（コネクタ３１２等が形成されていない方の面）から照射される。もう一方の側には、駆動信号供給装置３２０から第１の信号線３１４が接続されるコネクタ３１２が形成されている。そして段差部４０２とコネクタ３１２との間に第２の導通端子２２が形成されている。
【００２７】
この第２の導通端子２２の形成位置は、検査対象である液晶表示装置２０の形状にあわせて決定されている。つまり、表側に第１の導通端子１１を有する液晶表示装置２０を、段差部４０２に、検査光が表側に入射するように設置すると、第１の導通端子１１と第２の導通端子２２が重なるように、位置、端子間隔等が形成されている。さらに、第２の導通端子２２とコネクタ３１２間は、ステージ内部の配線５０２（図５参照）で電気的に接続されている。
【００２８】
したがって、表側に第１の導通端子１１を有するＦＰＣ２５を有する液晶表示装置２０を段差部４０２に表側が光源３０２と対面するように載置してＦＰＣ２５の第１の導通端子１１が形成されている部分を押し圧部材３２１で押さえれば、駆動信号供給装置３２０から供給される検査用の電気信号を液晶表示装置２０に伝達できる。したがって、かかる構成のステージ３３３を有する検査装置を用いれば、表側に第１の導通端子１１を有する電気光学装置を、ステージと光源等の位置関係を変更せずに、表示特性を検査できる。
【００２９】
図５（ａ）は、ステージ３３３に、第１の面に第１の導通端子１１を有する液晶表示装置２０を載置し、押し圧部材３２１で第１の導通端子１１を第２の面側からステージ３３３に押し付けた状態の概略断面図である。段差部４０２を始めとするステージ３３３の各部の寸法形状は、載置される液晶表示装置２０の寸法形状に合わせて形成されている。そのため、液晶表示装置２０をステージ３３３に載置するとステージ３３３上に形成されている第２の導通端子とＦＰＣ２５上に形成されている第１の導通端子が重なる。したがって、上述するように第１の導通端子１１を第２の面側からステージ３３３に押し付けると、第１の導通端子１１と第２の導通端子２２が密着し、第１の面側から液晶表示装置に検査用の電気信号を伝達することが可能となる。
【００３０】
図６は、図５（ａ）のＢで示す円内の、第１の導通端子１１と第２の導通端子とが密着している部分の拡大図である。第１の導通端子は、ＦＰＣ内部配線６２を介して液晶表示装置２０の走査線駆動回路１２２等と導通しており、第２の導通端子は、ステージ内部の配線５０２を介して駆動信号供給装置３２０と導通している。したがって、第１の導通端子１１と第２の導通端子２２が密着して電気的に接続されることにより駆動信号供給装置３２０からの検査用の電気信号が液晶表示装置に伝達される。
【００３１】
（変形例１）
本実施形態の変形例として、ステージ３３３のコネクタ３１２及び第２の導通端子２２が形成されている部分を着脱可能としたものが考えられる。図５（ｂ）に上記変形例の、図５（ａ）と同様の線における断面図を示す。着脱部材装着部５０４にコネクタ３１２及び第２の導通端子２２が形成されている着脱部材５０６が挿入されている。かかる構成のステージであれば、着脱部材５０６を変更、交換することで第２の導通端子２２の個数、及び端子間の間隔等を変更でき、また、それに合わせてコネクタ３１２、及びステージ内部の配線５０２も変更できる。したがって、ステージ３３３を変更することなく、液晶表示装置の第１の導通端子１１の個数、及び端子間の間隔等の変更に対応できる。
【００３２】
（変形例２）
本実施形態の変形例として、押し圧部材３２１に第３の導通端子３３が形成されており、ステージに形成された第２の導通端子２２と第３の導通端子３３の双方から同時に、または切り替え手段により選択されたどちらか一方の端子から、液晶表示装置２０の第１の導通端子１１に検査用の電気信号を伝達する態様が考えられる。図５（ｃ）に上記変形例の、図５（ａ）と同様の線における概略断面図を示す。
【００３３】
ステージ３３３上に形成されたコネクタ３１２、及びステージ内部の配線５０２を介して、第１の信号線３１４が、第２の導通端子２２と電気的に接続している点は本実施形態と同様であるが、押し圧部材３２１の先端に第３の導通端子３３が形成されている点が異なっている。押し圧部材３２１をステージ３３３に向けて降下させると、ＦＰＣ２５の第２の面、つまりステージと対面していない側にも第１の導通端子１１が形成されている場合、第３の導通端子３３が第１の導通端子１１に突き当たり、密着して、電気的に接続される。
【００３４】
図７は、図５（ｃ）のＣで示す円内の、第１の導通端子１１が第２の導通端子２２、及び第３の導通端子３３と密着している部分の拡大図を示したものである。ＦＰＣ２５の第１の面と第２の面にはそれぞれ第１の導通端子１１が形成されており、またＦＰＣ２５の内部には、ＦＰＣ内部配線６２が２層に形成されている。押し圧部材３２１の先端に形成されている第３の導通端子３３は、第２の信号線３１６を介して駆動信号供給装置３２０と導通している。また、ステージ３３３に形成されている第２の導通端子２２は、上記実施例と同様に、第１の信号線３１４を介して駆動信号供給装置３２０と導通している。押し圧部材３２１をステージに向けて降下させると、第３の導通端子３３が、ＦＰＣ２５の第２の面、つまりステージと対面していない側に形成されている第１の導通端子１１に突き当たり、密着する。同時に、第２の導通端子２２も、ＦＰＣ２５の第１の面、つまりステージと対面している側に形成されている第１の導通端子１１に突き当たり、密着する。
【００３５】
かかる構成の押し圧部材３２１、及びステージ３３３を備えた検査装置であれば、ＦＰＣ２５の第１の面、及び第２の面の両面に分散して第１の導通端子１１が形成されている液晶表示装置２０に対して、駆動信号供給装置３２０から供給される検査用の電気信号を伝達することが可能となる。
【００３６】
また、図７に示す例とは一部異なり、ＦＰＣ内部配線６２は１層で、その両面に一組づつの第１の導通端子が形成されている場合でも、図示しない切り替え手段により第１の信号線３１４と第２の信号線３１６のうちの任意の配線から液晶表示装置２２に検査用の電気信号を伝達することが可能となる。
【００３７】
したがって、将来的に現れると予想される、ＦＰＣ２５の両面に第１の導通端子を分散配置した液晶表示装置の検査にも対応できる。また、製品に組み込む段階での融通性を高めるために、ＦＰＣ２５の両面に一組づつ第１の導通端子を形成した液晶表示装置の検査にも対応できる。
【００３８】
（変形例３）
本実施形態の変形例として、ステージ内部の配線５０２と第１の信号線３１４が押し圧部材を介して導通している態様が考えられる。図５（ｄ）に上記実施例の、図５（ａ）と同様の線における概略断面図を示す。
【００３９】
押し圧部材は第１の押し圧部３２２、第２の押し圧部３２３、及び上記２つの押し圧部を連結する連結部材３２４から成っている。上記実施例の押し圧部材３２１と同様に、第１の押し圧部３２２は、第１の導通端子１１を第２の導通端子２２に押し付けて密着させている。そしてコネクタ３１２は、ステージ３３３上ではなく、連結部材３２４上に形成されている。ステージ内部の配線５０２の、上記実施例ではコネクタ３１２と直接導通している部分には第４の導通端子４４が形成されている。そして第２の押し圧部３２３は、連結部材３２４をステージに向けて降下させたときに、その先端が第４の導通端子４４に突き当たる位置に形成されている。そして上記先端には第５の導通端子５５が形成されている。
【００４０】
ステージ３３３に液晶表示装置２０を載置し、連結部材３２４をステージに向けて降下させると、第４の導通端子４４が第５の導通端子５５に突き当たり、密着する。したがって、液晶表示装置２０の第１の面に形成されている第１の導通端子１１は、第２の導通端子２２、ステージ内部の配線５０２、第４の導通端子４４、第５の導通端子５５、コネクタ３１２、及び第１の信号線３１４を介して駆動信号供給装置３２０と導通する。
【００４１】
かかる構成のステージ、及び押し圧部材であれば、第１の信号線３１４を従来の検査装置と同様に、（ステージ３３３ではなく）押し圧部材３２１に接続させたままで、第１の面に第１の導通端子が形成されている液晶表示装置に検査用の電気信号を伝達することが可能となる。したがって、ステージ３３３にコネクタ３１２を形成できないときでも、第１の面に第１の導通端子を有する電気光学装置に対して、検査用の電気信号を伝達できる。
【００４２】
（変形例４）
本実施形態に係る電気光学装置の検査装置の変形例として、偏光ビームスプリッタが、筐体３０内の、受光部３０６とステージ３３３で保持された液晶表示装置２０とを結ぶ光軸３０４の線上にあり、そして当該偏光ビームスプリッタの中心と受光部３０６とを結ぶ線を９０度回転させた線上に光源３０２が位置している態様の検査装置が考えられる。
【００４３】
かかる構成の検査装置であれば、光源からの光が液晶層に向けて入射すべき面と、当該液晶層により変調された光が出射する面と、が同一の面であり、かつ、当該面に画素電極を制御する検査用の電気信号が伝達されるべき第１の導通端子を有する反射型の液晶表示装置に対して、検査用の電気信号を伝達できる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】液晶表示装置２０の画素領域の等価回路図。
【図２】液晶表示装置の全体を表わす模式斜視図。
【図３】本実施形態における電気光学装置の検査装置の概略構成図。
【図４】本実施形態におけるステージの斜視図。
【図５】ステージに、液晶表示装置を載置した状態の概略断面図。
【図６】第１の導通端子近辺の拡大図。
【図７】第１の導通端子近辺の拡大図。
【図８】従来の第１の導通端子と第２の導通端子２２の位置関係を示す図。
【符号の説明】
【００４５】
１１…第１の導通端子、２０…液晶表示装置、２２…第２の導通端子、２３…素子基板、２４…対向基板、２５…ＦＰＣ、２６…シール材、２８…実装端子、３０…筐体、３３…第３の導通端子、４４…第４の導通端子、５５…第５の導通端子、６２…ＦＰＣ内部配線、１００…表示領域、１０２…走査線、１０４…データ線、１０６…画素電極、１０８…ＴＦＴ、１１０…容量線、１１２…蓄積容量、１２２…走査線駆動回路、１２４…データ線駆動回路、３０２…光源、３０４…光軸、３０６…受光部、３０８…移動機構部、３１０…開口部、３１２…コネクタ、３１４…第１の信号線、３１６…第２の信号線、３２０…駆動信号供給装置、３２１…押し圧部材、３２２…第１の押し圧部、３２３…第２の押し圧部、３２４…連結部材、３３３…ステージ、４０２…段差部、５０２…ステージ内部の配線、５０４…着脱部材装着部、５０６…着脱部材。
【図１】
2007093671.tif 000003
【図２】
2007093671.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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