(57)【要約】      （修正有）【課題】ＩＣコンタクタ全体を微小化するとともに、導電性スライダー頭頂部の耐久性の劣化を未然に防ぎ、被試験デバイスの電極端子に対する接触抵抗をより安定化させること。【解決手段】導電性ケース１５と、この導電性ケース１５内に配置されたエラストマー１６と、このエラストマー１６により被試験デバイス７の電極端子８側に付勢され、導電性ケース１５内面と摺接して頭頂部が電極端子８と押圧接触する摺動ストロークの規制された導電性スライダー１１とによりＩＣコンタクタ１０を構成し、このＩＣコンタクタ１０全体を垂線Ｐに対して横方向に若干の傾斜を持たせたこと。【選択図】図１
2007040946.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導電性ケースと、この導電性ケース内に配置されたエラストマーと、このエラストマーにより被試験デバイスの電極端子側に付勢され、前記導電性ケース内面と摺接して頭頂部が前記電極端子と押圧接触する摺動ストロークの規制された導電性スライダーとにより構成され、全体を垂線に対して横方向に若干の傾斜を持たせたことを特徴とする被試験デバイスのＩＣコンタクタ。
【請求項２】
導電性ケースと、この導電性ケース内に配置されたエラストマーと、このエラストマーにより被試験デバイスの電極端子側に付勢され、前記導電性ケース内部と摺接して頭頂部が前記電極端子と押圧接触する摺動ストロークの規制された導電性スライダーとにより構成され、この導電性スライダーを前記電極端子の接触面に対し傾斜して配設し、被試験デバイスの検査時には、導電性スライダーの頭頂部同士を近接させた状態で被試験デバイスの電極端子に接触させて配置することを特徴とする被試験デバイスのＩＣコンタクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】  本発明は、半導体電子部品等の被試験デバイスの性能を、試験、評価するための検査冶具（いわゆる「ＩＣコンタクタ」）に関するものである。
【背景技術】
【０００２】  被試験デバイスの電極端子は、電気信号の入力側と出力側等で構成されており、その厚みは通常異なっている。また、この被試験デバイスの性能を評価するＩＣコンタクタには、接触抵抗の安定性が要求されている。それ故、接触抵抗の安定性を満たし、厚みの異なる電極端子に対応すべく、従来から用いられているＩＣコンタクタには、図４に示すようなポゴピンタイプといわれているものがある。このタイプのＩＣコンタクタ１は、導電性のケース２内に図示しないバネが内臓されており、このバネによって、ケース１の上下に突出した導電性の可動ピン３ａ，３ｂが中心線上に位置してそれぞれ外側に向けて付勢されている。なお、この可動ピン３ａ，３ｂは、付勢方向への可動ストロークが規制されている。【０００３】  ＩＣコンタクタ１を保持する絶縁性のハウジング５は、ＰＣボード等４上に配置されるもので、多数の検査穴６，６を備えている。この検査穴６，６は、被検査デバイス７の一対の電極端子８，８との対応位置に形成されている。【０００４】  そして、被試験デバイス７の性能検査を行なうときは、ＰＣボード等４上にハウジング５を配置し、多数の検査穴６，６にＩＣコンタクタ１をそれぞれ立て、被試験デバイス７の電極端子８，８を可動ピン３ａ（３ｂ）に押圧接触させ、所定周波数帯域の電気信号を通電することで、被試験デバイス７の電気的性能の良否を判別する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】  ところが、従来のＩＣコンタクタ１によると、２つの可動ピン３ａ（３ｂ）とこれらを付勢するバネが内蔵されていることで、ＩＣコンタクタ全体を物理的に短い（小さい）構造とすることができず、その結果、接触抵抗が増し、高周波特性にも制限が出てしまう。また、可動ピン３ａ（３ｂ）が中心線上に位置して付勢されていて、電極端子８，８とは点接触となるため、この接触を繰り返すことで、ピン先端が酸化して接触が不安定になったり、不純物と合金化する等して耐久性及び接触性能に問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】  本発明は、これらの問題点を解決するためになされたものである。すなわち、本発明の第１は導電性ケースと、この導電性ケース内に配置されたエラストマーと、このエラストマーにより被試験デバイスの電極端子側に付勢され、前記導電性ケース内面と摺接して頭頂部が前記電極端子と押圧接触する摺動ストロークの規制された導電性スライダーとにより構成され、全体を垂線に対して横方向に若干の傾斜を持たせたことを特徴とする被試験デバイスのＩＣコンタクタである。【０００７】  また、本発明の第２は、導電性ケースと、この導電性ケース内に配置されたエラストマーと、このエラストマーにより被試験デバイスの電極端子側に付勢され、前記導電性ケース内部と摺接して頭頂部が前記電極端子と押圧接触する摺動ストロークの規制された導電性スライダーとにより構成され、この導電性スライダーを前記電極端子の接触面に対し傾斜して配設し、被試験デバイスの検査時には導電性スライダーの頂部同士を近接させた状態で配置することを特徴とする被試験デバイスのＩＣコンタクタである。
【発明の効果】
【０００８】  本発明によると、ＩＣコンタクタ全体を垂線に対して横方向に若干の傾斜を持たせ、あるいは、スライダーを電極端子の接触面に対し傾斜して配設することで、スライダーにワイピング機能が働き、スライダーの頭頂部が電極端子の面によって擦られることになる。これにより、スライダー頭頂部は常に磨かれ、新品同様の状態となり、従来のような電極端子に対する頭頂部の継続的は点接触による不具合、例えば、頭頂部の酸化や不純物との合金化等による頭頂部の耐久性の劣化を未然に防ぐことができ、接触性能をも向上させることができる。また、スライダーを一つにし、これをエラストマーで付勢することにしたことで、微小化が実現でき、高い周波数性能を得ることができる。さらに、本発明の第２の実施例によると、被試験デバイスの検査時に、導電性スライダーの頭頂部同士を近接させた状態で配置することで、電極端子間距離の狭い被試験デバイスにも適用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】  以下に、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。
【実施例】
【００１０】  図１及び図２は、本発明の第１の実施例を示す断面図である。導電性のスライダー１１は、ピン部１２、ストロークバー１３、摺動基部１４により構成されている。摺動基部１４は、導電性の筒型をしたケース１５内に収容され、その周面がケース１５の内面と摺接している。したがって、スライダー１１は、可動範囲を規制されつつ、上下方向に摺動可能である。また、このスラーダー１１を上方、すなわち被検査デバイス７の電極端子８，８側に付勢すべく、ケース１５内の底部に、エラストマー１６が摺動基部１４と密着して配置されている。そして、上記スライダー１１、ケース１５及びエラストマー１６とにより、本発明のＩＣコンタクタ１０を構成している。【００１１】  そして、本発明では、スライダー１１のピン部１２にワイピング機能を付与すべく、ＩＣコンタクタ１０全体に、垂線Ｐに対して横方向への若干の傾斜を持たせてある。これにより、被検査デバイス７の電極端子８，８がピン部１２に押し当てられると、ピン部１２は電極端子８，８に対してｘ軸方向に若干の移動が可能となる。【００１２】  上記のＩＣコンタクタ１０はしたがって、ハウジング５の検査穴６にピン部１２を上にして立て、被検査デバイス７の電極端子８，８をピン部１２に押圧接触させた状態で所定周波数帯域の電気信号を通電すると、電気信号は、被検査デバイス７の電極端子８，８から、スライダー１１、ケース１５を経由してＰＣボード４に伝わる。【００１３】  スライダー１１とケース１５は導電性材料で構成されているので、スライダー１１が押されて沈み込んだとき、摺動基部１４がケース１５の内面と摺接しているので、電気信号は、スライダー１１の稼働中でも接続されている。【００１４】  また、被試験デバイス７の電極８，８は、厚みが異なっているため、スライダー１１の接触抵抗が問題となるが、このスライダー１１はエラストマー１６によりそれぞれ付勢されていて、電極８，８の厚みに応じてスライダー１１の押圧力をエラストマー１６がそれぞれ吸収するので、安定な接触抵抗を実現することができる。【００１５】  そして、注目すべきは、スライダー１１にワイピング機能が働くことである。上記のように、ＩＣコンタクタ１０全体が垂線Ｐに対して横方向へ若干傾斜されていることにより、電極端子８，８がピン部１２に押し当てられると、ピン部１２は電極端子８，８に対してｘ軸方向に若干移動することになる。すると、ピン部１２の頭頂部が電極端子８，８の面によって擦られるので、ピン部１２の頭頂部は常に磨かれ、新品同様の状態となる。したがって、従来のような電極端子８，８に対するピンの継続的な点接触による不具合、例えば、ピン頭頂部の酸化や不純物との合金化等によるピンの耐久性の劣化を未然に防ぐことができ、また、接触性能をも向上させることができる。【００１６】  図３は、本発明の第２の実施例を示す断面図である。この実施例では、導電性のケース２１が箱型に成形され、このケース２１内に配置されたエラストマー２２によって、導電性のスライダー２３が被検査デバイス７の電極端子８，８側に付勢されており、ケース２１、エラストマー２２及スライダー２３により、ＩＣコンタクタ２０を構成している。そして、この���ライダー２３は、電極端子８，８の電極面に対して傾斜して配設され、その頭頂部にワイピング機能が働くようになっている。【００１７】  このようなＩＣコンタクタ２０は、被検査デバイス７の検査の際、スライダー２３の頭頂部同士を近接させた状態で、電極端子８，８に配置される。これにより、電極端子８，８間の距離が最小となった場合にも適用することが可能となる。その他の作用及び効果は第１の実施例に準じるので詳細説明は省略する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】  本発明の第１の実施例を示すＩＣコンタクタの断面図である。
【図２】  図１のＩＣコンタクタを用いた被検査デバイスの検査状態を示す全体断面図である。
【図３】  本発明の第２の実施例を示すＩＣコンタクタを用いた図２と同様の図である。
【図４】  従来のＩＣコンタクタを用いた被検査デバイスの検査状態を示す全体断面図である。
【符号の説明】
【００１９】  ４    ＰＣボード
５    ハウジング
６    検査穴
７    被試験デバイス
８    電極端子
１０，２０  本発明によるＩＣコンタクタ
１１，２３  導電性のスライダー
１２  ピン部
１３  ストロークバー
１４  摺動基部
１５，２１  導電性のケース
１６，２２  エラストマー
Ｐ    垂線
【図１】
2007040946.tif 000003
【図２】
2007040946.tif 000004
【図３】
2007040946.tif 000005
【図４】
2007040946.tif 000006