(57)【要約】【課題】半導体製造ライン等で用いられるコンベア装置において、摩耗粉、塵埃等の飛散を防止する。【解決手段】前後方向Ｘに伸長する左右一対の搬送フレーム１１，１２及び一対の搬送フレームの下方を連結する面状フレーム１３を含む下側ケース１０、面状フレーム１３に上方から対向して内部空間Ｓを閉鎖的に画定すると共に一対の搬送フレームに左右方向Ｙから対向して前後方向Ｘに伸長する所定幅の間隙部Ｇを画定するように下側ケースに連結された上側カバー２０、被搬送物を担持して前後方向に搬送するべく左右一対の搬送フレームに支持された搬送体３０、搬送体を駆動するべく内部空間に配置された駆動機構４０、内部空間を吸引する吸引手段５０，６０を含む。これにより、発生した摩耗粉、塵埃等は、吸引手段により吸い込まれて外部に飛散するのが防止される。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
前後方向に伸長する左右一対の搬送フレーム及び前記一対の搬送フレームの下方を連結する面状フレームを含む下側ケースと、
前記面状フレームに上方から対向して内部空間を閉鎖的に画定すると共に前記一対の搬送フレームに左右方向の内側から対向して前後方向に伸長する所定幅の間隙部を画定するように，前記下側ケースに連結された上側カバーと、
被搬送物を担持して前後方向に搬送するべく前記左右一対の搬送フレームに支持された搬送体と、
前記搬送体を駆動するべく前記内部空間に配置された駆動機構と、
前記内部空間を吸引する吸引手段と、
を含む、ことを特徴とするコンベア装置。
【請求項２】
前記左右一対の搬送フレーム及び面状フレームは、一体的に成型されている、
ことを特徴とする請求項１記載のコンベア装置。
【請求項３】
前記搬送体は、前記間隙部の近傍に又は隣接して配置されている、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載のコンベア装置。
【請求項４】
前記上側カバーは、前記下側ケースに対して着脱自在に形成されている、
ことを特徴とする請求項１ないし３いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項５】
前記搬送体は、前後方向に張設されて前記内部空間内に配置された無端ベルトであり、
前記無端ベルトの上側に位置する上側ベルトは、前記間隙部に対して下方から対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項６】
前記搬送体は、前後方向に張設されて前記内部空間内に配置された複数のローラをもつローラチェーンであり、
前記ローラチェーンの上側に位置する上側チェーンは、前記間隙部に対して下方から対向するように配置されている、
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項７】
前記搬送体は、前後方向に張設された無端ベルトであり、
前記無端ベルトの上側に位置する上側ベルトは、前記間隙部の近傍に配置されている、
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項８】
前記搬送体は、前記間隙部の領域に非接触にて配置された複数のローラであり、
前記複数のローラの上方部が、被搬送物を担持するように前記間隙部から外側に突出している、
ことを特徴とする請求項１ないし４いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項９】
前記吸引手段は、前記下側ケースの左右方向略中央において前後方向に配列して設けられた複数の吸引口、前記複数の吸引口に連通された吸引通路を含む、
ことを特徴とする請求項１ないし８いずれかに記載のコンベア装置。
【請求項１０】
前記上側カバーには、被搬送物の一部を係合させて搬送方向に案内するガイド部が設けられている、
ことを特徴とする請求項１ないし９いずれかに記載のコンベア装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子部品あるいは機械部品等のワークを搬送するコンベア装置に関し、特に、半導体製造ライン等のクリーン環境下で、半導体に関連する電子部品、例えば半導体用の基板等を収容する専用の容器（ＦＯＵＰ）等を搬送するのに適したコンベア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の半導体製造ラインにおいては、半導体用の基板（ウェハー）を各々の処理工程（処理装置）に搬送する際に、複数の基板を専用の容器（ＦＯＵＰ）に収容し、この容器をコンベア装置により搬送する手法が知られている。この容器は、内部をクリーン環境に維持するべく密閉されている。一方、容器が搬送される環境は、半導体の製造ライン内にあるため、コンベア装置もクリーン化の対応が要求される。
【０００３】
このような半導体製造ラインに適用される従来のコンベア装置としては、駆動フレーム及び支持フレームからなる左右一対の搬送フレーム、左右一対の搬送フレームを連結する連結部材、駆動フレームに配置された複数のホイール，複数のホイールを連動させて回転駆動する無端ベルト，無端ベルトを回転駆動するモータ等からなる駆動機構、ホイールの上方部を露出させた状態で駆動機構を囲繞するべく搬送フレームに設けられたハウジング等を備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、このコンベア装置においては、左右一対の搬送フレームは各々独立して形成された後に連結部材で結合されるため、部品点数が多く、しかも左右の搬送フレームの平行度を確保するべく、高精度に組み立てる必要があると共に、経時に伴う左右方向の平行度あるいは水平度の低下を調整する必要があり、高コスト化を招くという問題がある。また、駆動機構はハウジングにより囲繞されているものの、摺動部分等で発生した摩耗粉、塵埃等がハウジングから外部に飛散して、半導体製造ラインの環境を汚す虞があり、又、ハウジングで囲繞されていない支持フレーム側においても、摺動により発生した摩耗粉等が直接飛散して半導体製造ラインの環境を汚す虞がある。
そこで、これら粉塵等の飛散を防止するべく、この装置に対して、摩耗粉、塵埃等を積極的に吸引する吸引手段を設けようとしても、左右の搬送フレームがそれぞれ独立しているため、別々に吸引手段を設けなければならず、高コスト化を招くことになる。
【０００５】
また、従来の他のコンベア装置としては、左右一対の搬送フレーム、左右一対の搬送フレームを連結する連結部材、左右一対の搬送フレームに各々の両端が回動自在に支持されると共に搬送方向に配列された複数のローラ、複数のローラの一端側に駆動力を及ぼすべく一方の搬送フレームに配置された駆動軸，駆動伝達ベルト等からなる駆動機構、駆動機構を収容するべく一方の搬送フレーム側に設けられた密閉ケース、密閉ケース内に発生した塵を排気するダクト，集塵フィルタ，ファン等からなる排気手段等を備えたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００６】
しかしながら、このコンベア装置においては、複数のローラは完全に露出した状態に配置され、複数のローラの他端を支持する他方の搬送フレームに設けられた軸受も露出した状態にあり、これらの領域から発生した摩耗粉あるいは塵埃等が直接飛散して半導体製造ラインの環境を汚す虞がある。
【０００７】
【特許文献１】特表２００３−５２４５４４号公報
【特許文献２】特開平１１−１７１３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、低コスト化、生産性の向上等を図りつつ、左右一対の搬送フレームの平行度及び水平度を容易に確保でき、組み付けが容易であり、又、摺動部で発生した摩耗粉、塵埃等が飛散するのを防止でき、特に、半導体製造ライン等のクリーン環境下で使用されるのに適したコンベア装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のコンベア装置は、前後方向に伸長する左右一対の搬送フレーム及び一対の搬送フレームの下方を連結する面状フレームを含む下側ケースと、面状フレームに上方から対向して内部空間を閉鎖的に画定すると共に一対の搬送フレームに左右方向から対向して前後方向に伸長する所定幅の間隙部を画定するように，下側ケースに連結された上側カバーと、被搬送物を担持して前後方向に搬送するべく左右一対の搬送フレームに支持された搬送体と、搬送体を駆動するべく内部空間に配置された駆動機構と、内部空間を吸引する吸引手段と、を含む。
【００１０】
この構成によれば、駆動機構により搬送体が駆動されると、搬送体に担持された被搬送物は、左右一対の搬送フレームに沿って前後方向に搬送される。ここで、間隙部は空気シールを生じるべく可能な限り狭く形成されており、吸引手段により、下側ケースと上側カバーとにより画定される内部空間が吸引されると、間隙部を通して外部から内部空間に流れ込む気流が発生する。したがって、搬送体あるいは駆動機構等の摺動領域で発生した摩耗粉、塵埃等は、この気流に乗って吸引手段により吸い込まれ、外部に飛散するのが防止される。その結果、このコンベア装置がクリーン環境下において使用されても、その環境を汚すことなく要求されるクリーン度を維持することができる。
【００１１】
上記構成において、左右一対の搬送フレーム及び面状フレームは、一体的に成型されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、左右一対の搬送フレーム及び面状フレームが一体的に成型されているため、組み付け作業が不要になり、又、一体成型により左右のフレームの平行度及び水平度が高精度に確保されるため、平行度及び水平度を調整する作業が不要になり、製造コスト及び管理コストを低減できる。
【００１２】
上記構成において、搬送体は、間隙部の近傍に又は隣接して配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送体の近傍において発生した摩耗粉、塵埃等を、間隙部において生じる内部への空気流れに乗せて吸引させることができ、これら摩耗粉、塵埃等の飛散を効果的に防止することができる。
【００１３】
上記構成において、上側カバーは、下側ケースに対して着脱自在に形成されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、定期的なメインテナンスを行う際に、上側カバーを取り外すことで、容易に点検作業あるいは清掃作業を行うことができる。
【００１４】
上記構成において、搬送体は、前後方向に張設されて内部空間内に配置された無端ベルトであり、無端ベルトの上側に位置する上側ベルトは、間隙部に対して下方から対向するように配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、無端ベルト全体が、下側ケース及び上側カバーにより画定される内部空間に収容されており、被搬送物は、上方の間隙部を通して上側ベルトに担持された状態で前後方向に搬送される。したがって、間隙部を非接触にて通される脚部をもつパレット等を介してワーク（例えば、電子部品あるいは電子部品を収容した容器等）を搬送するのに好適であり、又、搬送体（無端ベルト）及び駆動機構が全て、内部空間に収容されているため、発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのをより確実に防止することができる。
【００１５】
上記構成において、搬送体は、前後方向に張設されて内部空間内に配置された複数のローラをもつローラチェーンであり、ローラチェーンの上側に位置する上側チェーンは、間隙部に対して下方から対向するように配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、ローラチェーン全体が、下側ケース及び上側カバーにより画定される内部空間に収容されており、被搬送物は、上方の間隙部を通して上側チェーン（の複数のローラ）に担持された状態で前後方向に搬送される。
したがって、間隙部を非接触にて通される脚部をもつパレット等を介してワーク（例えば、電子部品あるいは電子部品を収容した容器等）を搬送するのに好適であり、又、搬送体（ローラチェーン）及び駆動機構が全て、内部空間に収容されているため、発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのをより確実に防止することができる。
また、搬送体が転動するローラチェーンであるため、摺動する場合に比べて摩耗粉等の発生を抑制することができ、間隙部で生じる吸引作用を相俟って効果的に埃塵等の発生を防止できる。
さらに、ローラチェーンとして倍速チェーンを用いる場合には、駆動機構によりチェーンが搬送される速度にローラの回転速度が加わった速度で、被搬送物が搬送されるため、要求されるクリーン度を維持しつつも、より高速での搬送が可能になる。
【００１６】
上記構成において、搬送体は、前後方向に張設された無端ベルトであり、無端ベルトの上側に位置する上側ベルトは、間隙部の近傍に配置されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、無端ベルトの上側ベルトが露出した状態で間隙部の近傍に配置され、下側ベルトが下側ケース及び上側カバーにより画定される内部空間に収容されており、被搬送物は、露出した上側ベルトに担持された状態で前後方向に搬送される。したがって、上側ベルトを内部に収容してパレット等を介してワークを搬送する場合に比べて、ワークを担持する上側ベルトを露出させる分だけ搬送高さを低くでき、装置を小型化することができる。また、無端ベルト（上側ベルト）は、間隙部の近傍に配置されるため、上側ベルトの近傍で発生した摩耗粉，塵埃等は、間隙部で生じる気流に乗って内部空間に流れ込み、摩耗粉あるいは塵埃等が飛散するのを抑制ないし防止することができる。
【００１７】
上記構成において、搬送体は、間隙部の領域に非接触にて配置された複数のローラであり、複数のローラの上方部が、被搬送物を担持するように間隙部から外側に突出している、構成を採用することができる。
この構成によれば、複数のローラは、間隙部の領域に非接触にかつその上方部が外側に突出するように配置されるため、被搬送物は、露出したローラの上方部に担持された状態で前後方向に搬送されると共に、ローラと間隙部を画定する部材との隙間には内部に向かう気流が生じる。したがって、ローラを完全に収容しパレット等を介してワークを搬送する場合に比べて、ワークを担持するローラの上方部を露出させる分だけ搬送高さを低くでき、装置を小型化することができる。ローラの周りにおいて内部に向かう気流により、内部空間内で発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのを確実に防止することができる。
【００１８】
上記構成において、吸引手段は、下側ケースの左右方向略中央において前後方向に配列して設けられた複数の吸引口、これら複数の吸引口に連通された吸引通路を含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、下側ケース及び上側カバーにより画定される内部空間を吸引する際に、吸引口が下側ケースに設けられ、この吸引口に対して吸引通路が連通されているため、仮に上側カバーを取り外しても、下向きに吸引される気流を発生させることができる。これにより、上側カバーを取り外してメインテナンスを行う場合にも、吸引手段を作動させることで、摩耗粉、塵埃等の飛散を防止することができる。また、複数の吸引口が下側ケースの略中央において配列して設けられているため、淀みを生じるような領域が発生するのを防止して、全体として隅々まで効率よく吸引することができる。また、吸引力を発生するファン等の吸引機を一つ設けるだけでよいため、吸引手段を簡素化及び低コスト化できる。
【００１９】
上記構成において、上側カバーには、被搬送物の一部を係合させて搬送方向に案内するガイド部が設けられている、構成を採用することができる。
この構成によれば、搬送体（例えば、無端ベルトの上側ベルト、ローラの上方部等）が露出した状態において、被搬送物を担持して搬送する場合に、被搬送物の一部（例えば、パレットから下方に突出して形成された被ガイド部）を上側カバーのガイド部で案内することにより、被搬送物を左右方向にずれることなく前後方向に確実に搬送することができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上述べたように、本発明のコンベア装置によれば、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、低コスト化、生産性の向上等を達成でき、一対の搬送フレームを一体的に成型することにより、それらの平行度及び水平度を容易に確保でき、組み付けが容易であり、又、摺動部で発生した摩耗粉、塵埃等が飛散するのを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。
このコンベア装置は、図１ないし図５に示すように、下側ケース１０、下側ケース１０に連結された上側カバー２０、下側ケース１０及び上側カバー２０により画定される内部空間Ｓに収容された搬送体としての無端ベルト３０、無端ベルト３０を駆動する駆動機構４０、内部空間Ｓを吸引するべく下側ケース１０に接続された吸引手段としての排気ダクト５０及び吸引機６０等を備えている。
【００２２】
尚、このコンベア装置は、半導体用の基板を収容した容器（ＦＯＵＰ）等のワークＷ及びワークＷを担持したパレットＰを被搬送物として搬送するようになっている。ここで、パレットＰは、図１ないし図３に示すように、ワークＷを担持する平面状の担持部Ｐ１、担持部Ｐ１の左右両端から下方に延出する脚部Ｐ２、脚部Ｐ２の下端に結合され無端ベルト３０に担持される平板状の基部Ｐ３等を備えている。
【００２３】
下側ケース１０は、前後方向Ｘに伸長する左右一対の搬送フレーム１１，１２、一対の搬送フレーム１１，１２の下方を連結する面状フレーム１３等を備えている。一対の搬送フレーム１１，１２及び面状フレーム１３は、アルミニウム材料を用いて引き抜き成型により、一体的に形成されている。また、下側ケース１０の前後方向Ｘの端部には、図１に示すように、必要に応じて仕切り壁１４が取り付けられている。仕切り壁１４は、このコンベア装置が直線的に配列されて使用される場合に、その端部を閉塞するものであり、このコンベア装置が閉ループを形成するように環状に配列して使用される場合には不要である。
【００２４】
すなわち、下側ケース１０は一体成型されることから、搬送フレーム１１、搬送フレーム１２、面状フレーム１３をそれぞれ別々に成型した後に組み付ける場合に比べて、組み付け作業が不要になり、又、成形用の型が高精度であることから、搬送フレーム１１，１２の相互の平行度及び水平度が高精度に確保される。これにより、部品点数が削減され、平行度及び水平度を出すための調整作業が不要になり、コストを低減することができる。
【００２５】
左右一対の搬送フレーム１１，１２は、図４及び図５に示すように、中心線Ｌに対して対称的な形状をなし、それぞれ縦壁部１１ａ，１２ａ、上端フランジ部１１ｂ，１２ｂ、縦壁部１１ａ，１２ａの内側の途中から突出して形成された上側支持部１１ｃ，１２ｃ、縦壁部１１ａ，１２ａの下端から内側に伸長するように形成された下側支持部１１ｄ，１２ｄ等を備えている。
これら縦壁部１１ａ，１２ａ、上端フランジ部１１ｂ，１２ｂ、上側支持部１１ｃ，１２ｃ、及び下側支持部１１ｄ，１２ｄは、それぞれ内部が空洞になるように形成されており、曲げ剛性すなわち機械的強度が高められている。尚、この空洞は、断面が矩形あるいは三角形をなすと共に引き抜き成形を行う方向（前後方向Ｘ）に伸長するように形成されている。
【００２６】
面状フレーム１３には、図３ないし図５に示すように、左右方向Ｙの中央において、前後方向Ｘに配列された複数の吸引口１３ａが、上下方向Ｚに貫通するように後加工により形成されている。また、面状フレーム１３の内部空間Ｓを画定する上面には、後述する上側カバー２０の支柱２４を嵌合する複数の嵌合穴１３ｂが形成されている。
ここで、上側支持部１１ｃ，１２ｃ及び下側支持部１１ｄ，１２ｄの上面には、図３及び図４に示すように、無端ベルト３０を摺動自在に支持するべく、摺動抵抗が小さくかつ耐摩耗性に優れたパッド１５が設けられている。
【００２７】
上側カバー２０は、図４及び図５に示すように、左右一対の搬送フレーム１１，１２の上端フランジ部１１ｂ，１２ｂに対して左右方向Ｙの内側から対向する縁部２１，２２、下側ケース１０の面状フレーム１３と上下方向Ｚにおいて対向する凹状部２３、凹状部２３の下面に結合された中空状の複数の支柱２４等を備えている。両縁部２１，２２及び凹状部２３は、アルミニウム材料を用いて引き抜き成型により一体的に形成されており、前後方向Ｘに面状に伸長すると共に左右方向Ｙにおける断面が下側に凹む凹面状をなすように形成されている。そして、この凹状部２３の下面に対して支柱２４が結合され、又、両縁部２１，２２に対して前後方向Ｘに伸長するガイド部材２５が着脱可能に取り付けられている。
【００２８】
ここでは、上側カバー２０が凹状に形成されているため、下側ケース１０と協働して画定する内部空間Ｓを必要最小限に形成することができ、無駄な空間を削除して気流の流れを強くすることができ、摩耗粉、塵埃等の吸引（排出）効率を高めることができる。
【００２９】
ガイド部材２５は、樹脂材料等により形成されており、図２及び図４に示すように、左右一対の搬送フレーム１１，１２の上側フランジ部１１ｂ，１２ｂと協働して、前後方向Ｘに伸長しかつ左右方向Ｙに所定幅をなす左右一対の間隙部Ｇを画定するようになっている。
すなわち、ガイド部材２５は、下側ケース１０に上側カバー２０を組み付けた状態において、その取り付け位置（すなわち嵌め込み深さ）を調整できるようにすることで、間隙部Ｇの幅寸法を適宜調整することができる。また、ガイド部材２５は、無端ベルト３０（後述の上側ベルト３１）に担持されて搬送される被搬送物の一部としてのパレットＰの脚部Ｐ２を、左右にずれて蛇行するのを規制しつつ前後方向（搬送方向）Ｘに確実に案内するようになっている。
【００３０】
そして、上側カバー２０は、図５に示すように、支柱２４が嵌合穴１３ｂに嵌合されることにより、下側ケース１０に対して着脱自在に結合されるようになっている。このように、上側カバー２０が下側ケース１０に対して着脱自在に形成されることにより、定期的なメインテナンスを行う際に、上側カバー２０を取り外すことで、容易に点検作業あるいは清掃作業を行うことができる。
【００３１】
搬送体としての無端ベルト３０は、図３及び図４に示すように、内部空間Ｓに完全に収容されると共に間隙部Ｇの下方に位置するように（すなわち、間隙部Ｇの近傍に）配置され、後述する駆動プーリ４１及び被動プーリ（不図示）により前後方向Ｘに張設されている。そして、上側ベルト３１が、搬送フレーム１１，１２の上側支持部１１ｃ，１２ｃ（パッド１５）に摺動自在に支持されると共に下方から間隙部Ｇに対向するように配置され、間隙部Ｇを通過して入り込んできたパレットＰの脚部Ｐ２（及び基部Ｐ３）を担持して送り走行するようになっている。また、下側ベルト３２が、搬送フレーム１１，１２の下側支持部１１ｄ，１２ｄ（パッド１５）に摺動自在に支持されて戻り走行するようになっている。
【００３２】
駆動機構４０は、図１及び図３に示すように、下側ケース１０及び上側カバー２０により画定される内部空間Ｓ内に配置されると共に下側ケース１０に保持されており、左右の無端ベルト３０に駆動力を及ぼすべくシャフト４１ａを介して一体的に連結された左右一対の駆動プーリ４１、モータ４２、モータ４２と駆動プーリ４１との間に介在する伝達ベルト４３等を備えている。
すなわち、モータ４２が回転すると、伝達ベルト４３を介して駆動プーリ４１が回転し、無端ベルト３０が回転して、ワークＷを担持したパレットＰを前後方向Ｘに搬送するようになっている。
尚、シャフト４１ａを用いず、左右の駆動プーリ４１をそれぞれのモータ４２で駆動するようにしてもよい。
【００３３】
排気ダクト５０は、図１、図３ないし図５に示すように、下側ケース１０に設けられた複数の吸引口１３ａにそれぞれ連通すると共にその下流側が一つの吸引通路５０ａを画定して、吸引機６０に接続されている。
吸引機６０としては、内部空間Ｓの吸引を行って、間隙部Ｇにおいて外側から内部に向かう気流を生じさせるものであれば、ファン、ポンプ、その他の機構を採用することができる。
【００３４】
次に、このコンベア装置の動作について説明すると、モータ４２が回転し、伝達ベルト４３及び駆動プーリ４１を介して、無端ベルト３０が走行すると、上側ベルト３１に担持された被搬送物（パレットＰ及びワークＷ）は、左右一対の搬送フレーム１１，１２に沿って前後方向Ｘに搬送される。
【００３５】
ここで、この搬送動作中において、吸引機６０が作動して、下側ケース１０と上側カバー２０とにより画定される内部空間Ｓの空気を吸引すると、図４中の矢印で示すように、間隙部Ｇを通して外部から内部空間に流れ込む気流が発生し、空気シールを形成することができる。したがって、パレットＰあるいは駆動機構４０等の摺動領域で発生した摩耗粉、塵埃等は、この気流に乗って吸引口１３ａから吸引通路５０ａを経て、半導体製造ラインの外部に設けられた所定の排気口に排出されることになり、コンベア装置から外部に飛散するのが防止される。その結果、このコンベア装置がクリーン環境下において使用されても、その環境を汚すことなく要求されるクリーン度を維持することができる。
ここでは、特に、無端ベルト３０及び駆動機構４０の全てが、内部空間Ｓに収容されているため、発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのを確実に防止することができる。
【００３６】
また、吸引口１３ａが下側ケース１０の略中央において複数配列して設けられているため、内部空間Ｓにおいて淀みを生じるような領域が発生するのを防止でき、全体として隅々まで効率よく吸引することができ、又、吸引力を発生するファン等の吸引機６０を一つ設けるだけでよいため、装置を簡素化及び低コスト化できる。
さらに、吸引口１３ａが下側ケース１０に設けられ、この吸引口１３ａに対して吸引通路５０ａが連通されているため、仮に上側カバー２０を取り外しても、下向きに吸引される気流を発生させることができる。
【００３７】
したがって、搬送動作を停止して、上側カバー２０を取り外しメインテナンスを行う場合にも、吸引機６０を作動させることで、摩耗粉、塵埃等の飛散を防止することができる。また、メインテナンスにおいては、下側ケース１０が一体的に成型されているため、左右の搬送フレーム１１，１２の平行度及び水平度を調整する必要がなく、メインテナンス作業を簡素化することができる。
【００３８】
図６及び図７は、本発明に係るコンベア装置の他の実施形態を示すものであり、搬送体としてローラチェーンすなわち倍速チェーン１３０を採用し、搬送フレームの一部を変更した以外は、前述の実施形態と同一の構成であり、したがって、同一の構成については同一の符号を付してその説明を省略する。
すなわち、このコンベア装置においては、図６及び図７に示すように、下側ケース１０´及び上側カバー２０により画定される内部空間Ｓ内に、倍速チェーン１３０及びその駆動機構４０´が配置されている。
【００３９】
倍速チェーン１３０は、相互に連結される複数のプレート１３０ａ、プレート１３０ａ同士を連結する複数のピン１３０ｂ、ピン１３０ｂに回動自在に支持された小径の複数のローラ１３０ｃ、ローラ１３０ｃと同軸に配置された大径の複数のローラ１３０ｄにより形成されている。ここで、大径のローラ１３０ｄは、小径のローラ１３０ｃと摩擦力により一体的に回転するように形成されており、ローラ１３０ｄに対して所定レベルを超える負荷が加わると、ローラ１３０ｄが停止したままローラ１３０ｃのみが回転するようになっている。
【００４０】
倍速チェーン１３０は、図６及び図７に示すように、内部空間Ｓに完全に収容されると共に間隙部Ｇの下方に位置するように（すなわち、間隙部Ｇの近傍に）配置され、後述する駆動スプロケット４１´及び被動スプロケット（不図示）により前後方向Ｘに張設されている。
そして、上側チェーン１３１のローラ１３０ｃが、搬送フレーム１１´，１２´の上側支持部１１ｃ´，１２ｃ´に転動自在に支持されると共に、ローラ１３０ｄが下方から間隙部Ｇに対向するように配置されて間隙部Ｇを通過して入り込んできたパレットＰの脚部Ｐ２（及び基部Ｐ３）を担持して送り走行するようになっている。また、下側チェーン１３２のローラ１３０ｃ´が搬送フレーム１１´，１２´の下側支持部１１ｄ´，１２ｄ´に転動自在に支持されると共に、ローラ１３０ｄも一体となって戻り走行するようになっている。
【００４１】
駆動機構４０´は、図６及び図７に示すように、内部空間Ｓ内に配置されると共に下側ケース１０に保持されており、左右の倍速チェーン１３０に駆動力を及ぼすべくシャフト４１ａを介して一体的に連結された左右一対の駆動スプロケット４１´、モータ４２、伝達ベルト４３等を備えている。
【００４２】
したがって、モータ４２が回転すると、伝達ベルト４３を介して駆動スプロケット４１´が回転し、倍速チェーン１３０が回転走行し、上側チェーン１３１のローラ１３０ｄは転動しつつ担持した被搬送物（ワークＷを担持したパレットＰ）を前後方向Ｘに搬送するようになっている。ここで、駆動機構４０´により倍速チェーン１３０が搬送される速度に、ローラ１３０ｄの回転速度が加わった速度で、被搬送物（ワークＷを担持したパレットＰ）が搬送されるため、より高速での搬送が可能になる。
【００４３】
この実施形態においても、倍速チェーン１３０及び駆動機構４０´の全てが、内部空間Ｓに収容されているため、発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのをより確実に防止することができる。
【００４４】
図８及び図９は、本発明に係るコンベア装置のさらに他の実施形態を示すものであり、下側ケース１０´´及び上側カバー２０´´、無端ベルト３０´の配置等を変更した以外は、前述の図１ないし図５に示す実施形態と同一である。したがって、同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００４５】
このコンベア装置においては、図８及び図９に示すように、下側ケース１０´´が、前後方向Ｘに伸長する左右一対の搬送フレーム１１´´，１２´´、一対の搬送フレーム１１´´，１２´´の下方を連結する面状フレーム１３等を備えている。左右一対の搬送フレーム１１´´，１２´´は、図８及び図９に示すように、中心線Ｌに対して対称的な形状をなし、それぞれ縦壁部１１ａ，１２ａ、上側支持部１１ｃ´´，１２ｃ´´、下側支持部１１ｄ，１２ｄ等を備えている。
【００４６】
上側カバー２０´´は、図８及び図９に示すように、内部が空洞になるように形成されており、曲げ剛性すなわち機械的強度が高められている。尚、この空洞は、断面が矩形あるいは三角形をなすと共に引き抜き成形を行う方向（前後方向Ｘ）に伸長するように形成されている。
【００４７】
この上側カバー２０´´は、左右一対の搬送フレーム１１´´，１２´´の上側支持部１１ｃ´´，１２ｃ´´に対して左右方向Ｙの内側から対向する支持部２１´´，２２´´、凹状部２３、支柱２４等を備えている。
そして、上側カバー２０´´が下側ケース１０´´に結合されると、図８に示すように、上側支持部１１ｃ´´と支持部２１´´との間及び上側支持部１２ｃ´´と支持部２２´´との間に、所定幅の間隙部Ｇが画定されるようになっている。
【００４８】
無端ベルト３０´は、図８及び図９に示すように、上側を送り走行する上側ベルト３１´が外部に露出した状態で上側支持部１１ｃ´´，１２ｃ´´及び支持部２１´´，２２´´に摺動自在に支持され、すなわち、間隙部Ｇに上方から隣接（接触）するように配置されており、下側を戻り走行する下側ベルト３２´が内部空間Ｓ内において下側支持部１１ｄ，１２ｄに摺動自在に支持されている。
【００４９】
この実施形態によれば、被搬送物としてのワークＷは、露出した上側ベルト３１´に担持された状態で前後方向Ｘに搬送される。したがって、上側ベルト３１´を露出させて直接ワークＷを担持することで、前述の図４に示す実施形態のように上側ベルト３１を内部に収容し脚部Ｐ２を介して担持する場合に比べて、脚部Ｐ２の高さ分だけ搬送高さを低くでき、装置を小型化することができる。
【００５０】
また、無端ベルト３０´（上側ベルト３１´）は、間隙部Ｇを閉塞するように隣接した状態にあり、摩耗粉、塵埃等がこの領域から外部へ飛散するのを防止できる。一方、ワークＷを担持していない（荷重を受けない）領域では、無端ベルト３０´と間隙部Ｇを画定する上側支持部１１ｃ´´，１２ｃ´´及び支持部２１´´，２２´´との間に微小隙間を生じる場合があるものの、吸引機６０により内部空間Ｓに向かう気流が生じているため、内部空間Ｓ内で発生した摩耗粉あるいは塵埃等が外部に飛散するのを確実に防止することができる。
【００５１】
図１０は、図８及び図９に示すコンベア装置の下側ケース及び側カバーの一部を変更したものである。尚、被搬送物としては、ワークＷ及びパレットＰ´が適用され、パレットＰ´は、担持部Ｐ１、被ガイド部としての脚部Ｐ２を備えている。
すなわち、このコンベア装置においては、図１０に示すように、下側ケース１０´´´が、前後方向Ｘに伸長する左右一対の搬送フレーム１１´´´，１２´´´、一対の搬送フレーム１１´´´，１２´´´の下方を連結する面状フレーム１３等を備えている。
【００５２】
左右一対の搬送フレーム１１´´´，１２´´´は、中心線Ｌに対して対称的な形状をなし、それぞれ縦壁部１１ａ，１２ａ、上側支持部１１ｃ´´´，１２ｃ´´´、下側支持部１１ｄ，１２ｄ、上側支持部１１ｃ´´´，１２ｃ´´´の略中央において前後方向Ｘに配列された複数の円孔１１ｅ´´´，１２ｅ´´´等を備えている。
上側カバー２０´´は、左右一対の搬送フレーム１１´´´，１２´´´の上側支持部１１ｃ´´´，１２ｃ´´´に対して左右方向Ｙの内側から対向して間隙部Ｇを画定する縁部２１´´´，２２´´´、凹状部２３、支柱２４等を備えている。
【００５３】
そして、左右一対の搬送フレーム１１´´´，１２´´´の上側支持部１１ｃ´´´，１２ｃ´´´の内側面が、パレットＰ´（被搬送物の一部）の脚部Ｐ２を係合させて搬送方向（前後方向Ｘ）に案内する左右一対のガイド部として機能するようになっている。
これによれば、ワークＷを担持したパレットＰ´を無端ベルト３０´の上側ベルト３１´に載せて搬送する場合に、ガイド部としての左右の上側支持部１１ｃ´´´，１２ｃ´´´の内側面が脚部Ｐ２を案内するため、被搬送物（ワークＷ及びパレットＰ´）は左右方向Ｙにずれることなく前後方向Ｘに確実に搬送されると共に、間隙部Ｇから内部空間Ｓに流れ込む空気流れを生じるため、発生した摩耗粉、塵埃等の飛散を防止できる。また、上側ベルト３１´の摺動により発生した摩耗粉等は、円孔１１ｅ´´´，１２ｅ´´´を通して内部空間Ｓに吸い込まれ、外部への飛散を防止できる。
上記図８ないし図１０に示す実施形態においては、無端ベルト３０´を搬送フレーム１１´´，１１´´´，１２´´，１２´´´で直接支持しているが、前述のようにパッド１５を介して支持してもよい。
【００５４】
図１１及び図１２は、本発明に係るコンベア装置のさらに他の実施形態を示すものであり、下側ケース１１０及び上側カバー１２０を変更し、搬送体としての連動する複数のローラ２３０を採用した以外は、前述の図８及び図９に示す実施形態と基本的に同一である。したがって、同一の構成については、同一の符号を付してその説明を省略する。
【００５５】
このコンベア装置においては、図１１及び図１２に示すように、下側ケース１１０が、前後方向Ｘに伸長する左右一対の搬送フレーム１１１，１１２、一対の搬送フレーム１１１，１１２の下方を連結する面状フレーム１３等を備えている。
左右一対の搬送フレーム１１１，１１２は、図１１及び図１２に示すように、中心線Ｌに対して対称的な形状をなし、それぞれ縦壁部１１ａ，１２ａ、上端フランジ部１１１ｃ，１１２ｃ等を備えている。
【００５６】
上側カバー１２０は、図１１及び図１２に示すように、左右一対の搬送フレーム１１１，１１２の上端フランジ部１１１ｃ，１１２ｃに対して左右方向Ｙの内側から対向する縁部１２１，１２２、凹状部２３、支柱２４等を備えている。
そして、上側カバー１２０が下側ケース１１０に結合されると、図１１に示すように、上端フランジ部１１１ｃと縁部１２１との間及び上端フランジ部１１２ｃと縁部１２２との間に、所定幅の間隙部Ｇが画定されるようになっている。
【００５７】
複数のローラ２３０は、図１１及び図１２に示すように、左右一対の搬送フレーム１１１，１１２の上端フランジ部１１１ｃ，１１２ｃの内側壁に設けられた支軸に対して回動自在に支持されて、前後方向Ｘに配列されると共に間隙部Ｇの領域に非接触にて配置されている。そして、複数のローラ２３０の上方部が、被搬送物としてのワークＷを担持するように間隙部Ｇから外側（上方）に突出している。
【００５８】
ここで、複数のローラ２３０は、お互いに連動するように、各々のローラ２３０と同軸に一体的に回転するようにかつローラ２３０よりも小径に形成されたプーリあるいはスプロケット（不図示）に、チェーンあるいはベルト等（不図示）が張設され、一つのローラ２３０が前述の駆動機構４０，４０´等により回転駆動力を付与されることにより、全てのローラ２３０が回転するようになっている。
【００５９】
この実施形態によれば、複数のローラ２３０が間隙部Ｇの領域に非接触にかつその上方部が外側に突出するように配置されるため、ワークＷは、露出したローラ２３０の上方部に担持された状態で前後方向Ｘに搬送され、又、ローラ２３０の周りに形成される隙間には内部に向かう気流が生じる。
すなわち、このコンベア装置によれば、ローラ２３０を完全に収容する場合に比べて、ローラ２３０の上方部を露出させる分だけ搬送高さを低くでき、装置を小型化することができる。また、ローラ２３０の周りにおいては、吸引機６０により内部に向かう気流が生じるため、内部空間Ｓ内で発生した摩耗粉あるいは塵埃等が、外部に飛散するのを確実に防止することができる。
【００６０】
図１３は、図１１及び図１２に示すコンベア装置の上側カバーの一部を変更したものである。尚、被搬送物としては、ワークＷ及びパレットＰ´が適用される。すなわち、このコンベア装置においては、図１３に示すように、上側カバー１２０´に対して、パレットＰ´（被搬送物の一部）の脚部Ｐ２を係合させて搬送方向（前後方向Ｘ）に案内する左右一対のガイド部１２６´が一体的に設けられている。
【００６１】
これによれば、ワークＷを担持したパレットＰ´をローラ２３０で搬送する場合に、上側カバー１２０´のガイド部１２６´が脚部Ｐ２を案内するため、被搬送物（ワークＷ及びパレットＰ´）は左右方向Ｙにずれることなく前後方向Ｘに確実に搬送される。
【００６２】
上記実施形態においては、単一のコンベア装置について説明したが、これに限定されるものではなく、上述のコンベア装置を一つのユニットとして、複数配列して用いることができ、半導体製造ライン等において、蛇行するように接続して使用することもでき、あるいは、閉ループの搬送路を形成するように環状に配列して使用することもできる。
上記実施形態においては、搬送体としてのローラチェーンとして、倍速チェーンを示したが、これに限定さるものではなく、増倍（倍速）機構を採用しない通常のローラチェーンを採用してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
以上述べたように、本発明のコンベア装置は、クリーンな環境下で被搬送物を搬送する必要がある分野であれば、半導体製造の分野は勿論のこと、その他の電子部品等の製造ライン、あるいは、精密機械等の製造ライン等の分野においても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明に係るコンベア装置の一実施形態を示す正面図である。
【図２】図１に示すコンベア装置の平面図である。
【図３】図１に示すコンベア装置の搬送方向における部分断面図である。
【図４】図１に示すコンベア装置の搬送方向に直角な方向における断面図である。
【図５】図１に示すコンベア装置のフレーム構造を分解して示した分解断面図である。
【図６】本発明に係るコンベア装置の他の実施形態を示すものであり、搬送方向における部分断面図である。
【図７】図６に示すコンベア装置の搬送方向に直角な方向における断面図である。
【図８】本発明に係るコンベア装置のさらに他の実施形態を示す平面図である。
【図９】図８に示すコンベア装置の搬送方向に直角な方向における断面図である。
【図１０】図８及び図９に示すコンベア装置の変形例を示す断面図である。
【図１１】本発明に係るコンベア装置のさらに他の実施形態を示す平面図である。
【図１２】図１１に示すコンベア装置の搬送方向に直角な方向における断面図である。
【図１３】図１１及び図１２に示すコンベア装置の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６５】
Ｓ  内部空間
Ｇ  間隙部
Ｘ  前後方向
Ｙ  左右方向
Ｚ  上下方向
Ｗ  ワーク
Ｐ，Ｐ´  パレット
Ｐ２  脚部
１０，１０´，１０´´，１０´´´，１１０  下側ケース
１１，１１´，１１´´，１１´´´，１１１，１２，１２´，１２´´，１２´´´１１２，  左右一対の搬送フレーム
１１ａ，１２ａ  縦壁部
１１ｂ，１２ｂ  上端フランジ部
１１ｃ，１１ｃ´，１１ｃ´´，１１ｃ´´´，１１１ｃ，１２ｃ，１２ｃ´，１２ｃ´´，１２ｃ´´´，１１２ｃ  上側支持部
１１ｄ，１１ｄ´，１２ｄ，１２ｄ´  下側支持部
１１ｅ´´´，１２ｅ´´´  円孔
１３  面状フレーム
１３ａ  吸引口
１３ｂ  嵌合穴
１４  仕切り壁
１５  パッド
２０，２０´，２０´´，１２０，１２０´  上側カバー
２１，２１´，２１´´，２１´´´，２２，２２´，２２´´，２２´´´１２１，１２２  縁部
１２６´  ガイド部
２３  凹状部
２４  支柱
２５  ガイド部材
３０，３０´  無端ベルト（搬送体）
３１，３１´  上側ベルト
３２，３２´  下側ベルト
４０，４０´  駆動機構
４１  駆動プーリ
４１´  駆動スプロケット
４２  モータ
４３  伝達ベルト
５０  排気ダクト（排気手段）
５０ａ  吸引通路
６０  吸引機（排気手段）
１３０  倍速チェーン（ローラチェーン、搬送体）
１３１  上側チェーン
１３２  下側チェーン
２３０  複数のローラ（搬送体）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007095717.tif 000009
【図８】
2007095717.tif 000010
【図９】
2007095717.tif 000011
【図１０】
2007095717.tif 000012
【図１１】
2007095717.tif 000013
【図１２】
2007095717.tif 000014
【図１３】
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