(57)【要約】【課題】  カラー陰極線管で、ブラックマトリクス膜の開口形状の均一化と作業効率の向上を図る。【解決手段】  蛍光面形成露光で使用する露光光源をアーク長が３５〜６０ｍｍの超高圧水銀灯とした。【選択図】        図９
2007095453.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の前記開口部に配置された蛍光体絵素を有する蛍光面を備えたパネル部と、このパネル部の前記蛍光面に対向配置された多数の電子ビ−ム通過孔を有するシャドウマスクとを備えたカラ−陰極線管の製造方法であって、
前記ブラックマトリクス膜形成の露光工程で用いる露光光源をアーク長が３５〜６０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とするカラー陰極線管の製造方法。
【請求項２】
前記露光光源をアーク長が５０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とする前記請求項１に記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項３】
前記露光光源と前記パネル部の被露光面とを相対的に変位させて露光することを特徴とする前記請求項１又は請求項２に記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項４】
前記露光光源への入力周波数を１０〜３０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項１乃至請求項３の何れかに記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項５】
前記露光光源への入力周波数を２０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項１乃至請求項３の何れかに記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項６】
複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の前記開口部に配置された蛍光体絵素を有する蛍光面を備えたパネル部と、このパネル部の前記蛍光面に対向配置された多数の電子ビ−ム通過孔を有するシャドウマスクとを備えたカラ−陰極線管の製造方法であって、
前記蛍光体絵素形成の露光工程で用いる露光光源をアーク長が３５〜６０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とするカラー陰極線管の製造方法。
【請求項７】
前記露光光源をアーク長が５０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とする前記請求項６に記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項８】
前記露光光源と前記パネル部の被露光面とを相対的に変位させて露光することを特徴とする前記請求項６又は請求項７に記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項９】
前記露光光源への入力周波数を１０〜３０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項５乃至請求項７の何れかに記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項１０】
前記露光光源への入力周波数を２０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項６乃至請求項７の何れかに記載のカラー陰極線管の製造方法。
【請求項１１】
複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の前記開口部に配置された蛍光体絵素を有する蛍光面を備えたパネル部と、このパネル部の前記蛍光面に対向配置された多数の電子ビ−ム通過孔を有するシャドウマスクとを備えたカラ−陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置であって、
前記シャドウマスクを介して前記パネル部を露光する露光光源と、この露光光源と前記シャドウマスク間に配置されて露光光線の一部が通過する略矩形状のスリットを有するアパーチャプレートと、このアパーチャプレートと前記シャドウマスク間に配置された補正レンズ及び補正フィルタと、前記露光光源を作動させる電源ユニットとを備え、前記露光光源をアーク長が３５〜６０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とするカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１２】
前記露光光源をアーク長が５０ｍｍの超高圧水銀灯としたことを特徴とする前記請求項１１に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１３】
前記スリットの前記露光光源の管軸と平行方向の長さを前記露光光源のアーク長より短くしたことを特徴とする前記請求項１１又は請求項１２に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１４】
前記スリットの前記露光光源の管軸と平行方向の長さを前記露光光源のアーク長の０．４〜０．８としたことを特徴とする前記請求項１３に記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１５】
前記電源ユニットの出力周波数を１０〜３０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項１１乃至請求項１４の何れかに記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１６】
前記電源ユニットの出力周波数を２０ｋＨｚとしたことを特徴とする前記請求項１１乃至請求項１４の何れかに記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【請求項１７】
前記露光光源を同一面内で変位させる機構を備えたことを特徴とする前記請求項１１乃至請求項１５の何れかに記載のカラー陰極線管の蛍光面製造に用いる露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラー陰極線管の製造に係り、特に蛍光面形成露光に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラー陰極線管、例えばカラーテレビ、ＯＡ機器端末用カラーディスプレイモニター等に用いられるカラー陰極線管は、内面にブラックマトリクス（ＢＭ）膜及びドット状或いはストライプ状の多数の蛍光体絵素を含む蛍光面を持つ略矩形状のパネル部と、電子銃を収容する略筒状のネック部と、このネック部と前記パネル部とを管軸と略同軸に接続しかつネック部とパネル部の遷移領域の外周に偏向ヨークを有する略漏斗状のファンネル部とで真空外囲器を形成し、この真空外囲器内で前記蛍光面に近接対向して多数の電子ビ−ム通過孔を有する色選択電極のシャドウマスクを配置した構成が採られている。
【０００３】
このシャドウマスクは、その構成材料として、主にアルミキルド鋼が用いられているが、近時カラー陰極線管の高精細度化に伴い、板厚の薄いシャドウマスクが使われている。この薄肉のシャドウマスクを採用したカラー陰極線管では、その動作中にシャドウマスクの一部が熱変形して電子ビームスポットが蛍光面上で所定の位置からずれるというマスクドーミングと称する現象が発生し易い。
【０００４】
この対策として、シャドウマスク懸架機構の改良と共に、前記構成材料として熱膨張率、物理的硬度を考慮してアンバー材も用いられている。
【０００５】
この様なシャドウマスクは、エッチングによって所定の位置に前記多数の電子ビーム通過孔を設けた原板を、所定形状に打ち抜き、その後プレス整形して略球面状をなす主面と、この主面の周囲に連なり、かつ主面に対して略９０度に屈曲されたスカート部とを有する形状に整形されて使用される。
【０００６】
又、最近フラット画面タイプのカラーテレビやカラーディスプレイモニターの普及に伴い、これらに使用されるカラー陰極線管においても、フェースプレート（パネルガラス）の外面が平坦化（フラット化）される傾向にある。
【０００７】
図１３はフラットパネルタイプのシャドウマスク形カラー陰極線管の構造例を説明する概略断面図である。
【０００８】
図１３において、内面に蛍光体絵素と非発光性光吸収物質層からなるブラックマトリクス膜を有する蛍光面５０を備えたパネル部５１と、電子銃６１を収容したネック部５２、及びパネル部５１とネック部５２とを連接するファンネル部５３とで真空外囲器を構成している。
【０００９】
パネル部５１は、その外面が略平坦であり、内面は凹面状に湾曲している。この内面に配置された蛍光面５０は、一般に赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の蛍光体をそれぞれドット状あるいはストライプ状に塗布してなる蛍光体絵素と、この蛍光体絵素を取り囲んでカ−ボンの様な非発光性光吸収物質層からなるブラックマトリクス膜と、更にメタルバック層となる金属反射膜を有している。
【００１０】
又、蛍光面５０に近接してシャドウマスク５４が配置されている。このシャドウマスク５４は熱膨張率、物理的硬度を考慮してアンバ−材から構成されている。
【００１１】
シャドウマスク５４はプレス成形した自立形状保持型であり、その周辺をマスクフレーム５７に溶接し、パネル部５１のスカート部内壁に植立したスタッドピン６０に懸架スプリング５９を介して懸架支持される。なお、マスクフレーム５７の電子銃６１側には磁気シールド５８が固定されている。真空外囲器のネック部５２とファンネル部５３の遷移領域には偏向ヨーク５５が外装され、電子銃６１から出射する３本の変調された電子ビームＢを水平（Ｘ方向）と垂直（Ｙ方向）に偏向することで、電子ビームＢを蛍光面５０上で２次元走査し、画像を再現する。
【００１２】
又、ファンネル部５３の内表面に形成された内部導電膜６２は、アノードボタンから導入された高電圧を電子銃６１の主レンズを形成する電極及び蛍光面５０の金属反射膜に印加する。６３は補強バンド、６４は口金、６５はカラ−陰極線管全体を示す。
【００１３】
このような構成のカラー陰極線管では、前述のようにパネル部５１はその外面が略平坦で、内面は凹面状に湾曲している。これに対しシャドウマスク５４は、シャドウマスク原板がプレス成形によって所定の局面に整形されたもので、パネル部５１の内面に合わせて湾曲している。
【００１４】
このように、パネル部５１の外面が略平坦であるにもかかわらず、パネル部５１の内面及びシャドウマスク５４を湾曲させているのは、プレス成形技術によるシャドウマスク５４の製作方法が簡単かつ低コストであるためである。
【００１５】
このシャドウマスク５４の曲面形状は、曲率半径が長軸沿い、短軸沿い及び対角線沿いの各々でシャドウマスク５４の主面の中央から周辺に向かって徐々に減少した非球面である。
【００１６】
この非球面形状のシャドウマスクの曲率は、等価曲率半径Ｒｅとして例えば次のように定義される。
【００１７】
Ｒｅ＝（ｚ２＋ｅ２）／２ｚ
但し、 ｅ：シャドウマスク主面の中央から任意の周辺位置までの管軸に垂直な方向の距離（ｍｍ）。
【００１８】
ｚ：上記任意の周辺位置におけるシャドウマスク主面の中央から管軸方向の落ち込み量（ｍｍ）。
【００１９】
この仕様は、カラー陰極線管としての画面のフラット感と整形されたシャドウマスクの機械的強度維持の両立を図ることを可能にしている。
【００２０】
図１４は図１３に示すカラー陰極線管の要部の一部を拡大して示す断面模式図である。図１４において、パネル部５１の内面に設けられた蛍光面５０は、３色の蛍光体をドット状あるいはストライプ状に塗布してなる三色蛍光体絵素５０１と、この蛍光体絵素５０１を取り囲むブラックマトリクス膜５０２及び金属反射膜５０３を持ち、この蛍光面５０に近接対向してシャドウマスク５４が配置されている。
【００２１】
三色蛍光体絵素５０１は、赤（Ｒ）色蛍光体絵素５０１Ｒ、緑（Ｇ）色蛍光体絵素５０１Ｇ及び青（Ｂ）色蛍光体絵素５０１Ｂから構成されている。三色蛍光体絵素５０１は、ブラックマトリクス膜５０２が形成されているパネル部内面に各色の蛍光体スラリ−を塗布した後、仮想線で示す３個の光源６６Ｇ、６６Ｂ、６６Ｒの位置からそれぞれ個別にシャドウマスク５４の対応する特定の電子ビ−ム通過孔５４１を介して矢印で示す露光を行う工程を経てブラックマトリクス膜５４２の開口部（窓部）にそれぞれ形成される。
【００２２】
ブラックマトリクス膜５０２は、パネル内面にフォトレジストのスラリーを塗布した後、フォトレジストを露光し、フォトレジストの感光個所以外を取り除く。その後、グラファイトを塗布し、フォトレジストの感光個所を取り除くことで、ブラックマトリクス膜に蛍光体層を形成するための開口部が形成される。ブラックマトリクス膜を形成する際の露光工程では、緑色蛍光体用開口部、青色蛍光体用開口部、赤色蛍光体用開口部を形成するため、光源の位置を変えて３回露光する。
【００２３】
このような露光に用いる露光装置の一例を図１５に示す。図１５において、６７は光源ランプ、６８はランプハウス、６９は補正レンズ、７０は補正フィルタ、７１は筐体である。  この露光装置を用い、内面に蛍光面形成用部材を備えたパネル５１内にシャドウマスク５４を装着した被露光体を前記筐体７１の上面に載置する。
【００２４】
この状態でランプハウス６８内に配置された光源ランプ６７を発光させ、補正レンズ６９と補正フィルタ７０及びシャドウマスク５４を透過した光線で前記蛍光面形成用部材を露光する。
【００２５】
この露光装置において、前記光源ランプ６７としては特許文献１に開示されている直管型のロングアークタイプの超高圧水銀ランプや特許文献２に開示されているショートアーク型水銀ランプが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−３１２９６４号公報
【特許文献２】特開平１０−１１２２８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
パネル部の外面が略平坦な図１３に示すようなフラットパネル型カラー陰極線管では、パネル部肉厚が中央部と周辺部で異なり、これに起因して画面歪の発生が見られた。この画面歪は、ミスランディング発生の要因の一つで、色純度の優れたカラー陰極線管の製造に支障を来たす問題があり、その解決が課題となっている。
【００２７】
又、蛍光面形成作業ではブラックマトリクス膜及び蛍光体絵素形成に際して複数回の露光工程が必須で、この露光に要する時間が作業効率向上を阻害する大きな要因となっており、その解決が急務となっていた。
【課題を解決するための手段】
【００２８】
前記問題を解決するために、本発明においては蛍光面形成露光時の露光光源にアーク長が３５ｍｍ〜６０ｍｍの超高圧水銀灯を用いる。
【発明の効果】
【００２９】
露光光源のアーク長を３５ｍｍ〜６０ｍｍとしたことで、ブラックマトリクス膜の開口部寸法の均一化が図れ、色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。又、露光時間の短縮が図れ、作業効率向上を可能にした。
【００３０】
光源と被露光面とを相対的に変位させることで、ブラックマトリクス膜の開口部寸法の均一化が図れ、色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３１】
電源ユニットの出力周波数を１０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚとすることで、露光光源の光出力の変動を抑制でき、ブラックマトリクス膜の開口部寸法の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３２】
露光光源のアーク長を３５ｍｍ〜６０ｍｍとしたことで、蛍光体絵素寸法の変動を抑制でき、色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。又、露光時間の短縮が図れ、作業効率向上を可能にした。
【００３３】
光源と被露光面とを相対的に変位させることで、蛍光体絵素寸法の変動を抑制でき、色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３４】
光源への入力周波数を１０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚとしたことで、露光光源の光出力の変動を抑制でき、蛍光体絵素の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３５】
露光光源のアーク長が３５ｍｍ〜６０ｍｍの露光装置を用いることで、ブラックマトリクス膜の開口部寸法及び蛍光体絵素の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。又、露光時間の短縮が図れ、作業効率向上を可能にした。
【００３６】
スリットの長さを光源のアーク長より短くしたことで、ブラックマトリクス膜の開口部寸法及び蛍光体絵素の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３７】
電源ユニットの出力周波数を１０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚとした露光装置を使用することで、光出力の変動を抑制でき、ブラックマトリクス膜の開口部寸法及び蛍光体絵素の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３８】
光源を同一面内で変位させる機構としたことで、光出力の変動を抑制でき、ブラックマトリクス膜の開口部寸法及び蛍光体絵素の均一化を図って色純度の優れたカラー陰極線管の製造を可能にした。
【００３９】
以下、本発明の実施の形態につき、実施例の図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００４０】
カラー陰極線管は、複数の開口部を有するブラックマトリクス膜及びこのブラックマトリクス膜の開口部に配置された３種類の蛍光体絵素を有する蛍光面を内面に備えたパネル部と、このパネル部内面の蛍光面に対向配置された多数の電子ビーム通過孔を有するシャドウマスクとを備える。
【００４１】
図１及び図２は本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための図で、図１は露光装置の一例を示す模式平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。図１及び図２において、１１は露光光源装置で、その詳細は後述する。１２はグレーディングフィルタ、１３（１３ｃ、１３ｓ１、１３ｓ２）は単色用局部補正フィルタ、１４は多色用局部補正フィルタ、１５は共通補正レンズ、１６（１６ｃ、１６ｓ１，１６ｓ２）は複数の単色用補正レンズ、１７はシャドウマスク、１８はパネル部、１９はパネル位置決め、２０は突起、２１（２１ｓ１，２１ｓ２）は格納室、２２は装置本体である。
【００４２】
このような露光装置を用いて所定のパターンを持った蛍光面を形成する。
【００４３】
外表面が略フッラトで周辺部の肉厚が中央部の肉厚に比べて厚いフッラトフェースタイプのパネル部１８はその内側にシャドウマスク１７を装着した状態で装置本体２２上のパネル位置決め１９の突起２０に当接して載置される。そして露光光源装置１１からの光線で露光される。
【００４４】
特に、ブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用の開口部（以下孔と言う）の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とから構成される。
【００４５】
第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、第１単色用補正レンズ１６Ｃとを配置して露光する。
【００４６】
第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、前記共通補正レンズ１５と、第２単色用補正レンズ１６Ｓ１とを配置して露光する。
【００４７】
第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源間に、共通補正レンズ１５と、第３単色用補正レンズ１６Ｓ２とを配置して露光する。
【００４８】
共通補正レンズ１５は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とで共通に使用される。
【００４９】
共通補正レンズの有効領域であるレンズ形成部の外形は矩形状で、この共通補正レンズは共通補正レンズの縦軸（Ｙ軸）を中心に左右対称であり、且つ共通補正レンズの横軸（Ｘ軸）を中心に上下対称に形成されている。
【００５０】
又、第１蛍光体絵素用孔の露光工程では緑色蛍光体絵素用孔を形成するために露光し、第２蛍光体絵素用孔の露光工程では青色蛍光体絵素用孔を形成するために露光し、第３蛍光体絵素用孔の露光工程では赤色蛍光体絵素用の孔を形成するために露光する。
【００５１】
本発明では、この露光に際し、補正レンズとして３回の露光で共通に使用される共通補正レンズ１５と、３回の露光毎に使用する単色用補正レンズ１６（１６Ｃ、１６Ｓ１、１６Ｓ２）と、補正フィルタとして中央と周辺で光透過率が変化している３回の露光で共通に使用されるグレーディングフィルタ１２と、一定透過率補正の各露光毎に使用される単色用局部補正フィルタ１３と、更には一定透過率補正の３回の露光で共通に使用される共通局部補正フィルタ１４との複数の補正フィルタとを組み合わせて介在させて露光し、所望のパターンを形成する。
【００５２】
各色用の単色用補正レンズ１６は中央ビーム用補正レンズ１６Ｃと、両サイドビーム用補正レンズ１６Ｓ１、１６Ｓ２の構成からなり、それぞれ露光光源１１の位置と組み合わせて使用する。すなわち、中央ビーム用露光では、Ｙ軸方向の格納室２１Ｃに退避していた中央ビーム用補正レンズ１６Ｃが退避位置から管軸上付近の所定の位置まで移動する。
【００５３】
移動後、予め管軸上付近の所定の位置に配置されていた共通補正レンズ１５とグレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び単色用局部補正フィルタ１３Ｃと組み合わせて露光し、露光終了後は格納室２１Ｃに退避し格納されて待機する。
【００５４】
一方、両サイドビーム用補正レンズ１６Ｓ１、１６Ｓ２もそれぞれのサイドビーム用露光時にそれぞれ各格納室２１Ｓ１、２１Ｓ２から管軸上付近の所定の位置まで移動し、予め管軸上付近の所定の位置に配置されていた共通補正レンズ１５とグレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び単色用局部補正フィルタ１３Ｓ１、１３Ｓ２と組み合わせて露光し、露光終了後は格納室２１Ｓ１、２１Ｓ２に退避しそれぞれ格納されて待機する。それぞれの露光に際して光源位置を変えることは従来と同様である。又、露光時に露光光源を同一面内で揺動させることも可能である。
【００５５】
図３乃至図６は、本発明のカラー陰極線管の製造方法で用いる補正レンズ及び補正フィルタの例を示し、図３は補正レンズ―補正フィルタの組み合わせ構成の一例を示す模式断面図、図４（ａ）〜（ｃ）は単色用局部補正フィルタを示し、図４（ａ）、（ｃ）はサイドビーム用局部補正フィルタの模式平面図、図４（ｂ）はセンタビーム用局部補正フィルタの模式平面図、図５は共通局部補正フィルタの模式平面図、図６はグレーディングフィルタの模式平面図で、これら各図において前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
【００５６】
図３において、グレーディングフィルタ１２と共通局部補正フィルタ１４及び共通補正レンズ１５が同軸に配置され、中央ビーム用及びサイドビーム用のそれぞれの露光によって単色用局部補正フィルタ１３の何れかとそれと対の単色用補正レンズ１６の何れかが選択される。
【００５７】
図４（ａ）〜（ｃ）は局部補正フィルタ１３の補正パターンの例を示し、図４（ａ）に示すサイドビーム用局部補正フィルタ１３Ｓ１は半月状のパターン１３Ｓ１ｐを有し、図４（ｃ）に示す他のサイドビーム用局部補正フィルタ１３Ｓ２は矩形状のパターン１３Ｓ２ｐを有している。更に図４（ｂ）に示すセンタビーム用局部補正フィルタ１３Ｃは弓状のパターン１３Ｃｐを有している。
【００５８】
図５は、共通局部補正フィルタ１４の補正パターンの例を示し、Ｘ方向両端に三角形状の透過率の高いパターン１４ｐを備えた構成である。
【００５９】
図６は、グレーディングフィルタ１２の補正パターンの例を示し、それぞれ中央部が最低で周辺部にいくに従い光透過率が高くなる特性の略同心円状のパターン１２Ａｐ、１２Ｂｐを備えたグレーディングフィルタ１２Ａ、１２Ｂの２枚から構成されている。
【００６０】
図７乃至図９は前述した露光光源装置１１の一例の模式図を示し、図７は平面図、図８は図７のＢ−Ｂ線断面図、図９は水銀ランプ組立の平面図である。
【００６１】
図７乃至図９において、１１１は露光光源、１１２はランプホルダ、１１３は水銀ランプ組立、１１４はランプ筐体、１１５はカバーガラス、１１６はアパーチャプレート、１１７は冷却水、１１８はＯリング、１１９はスリットである。
【００６２】
前記露光光源１１１は直管型のロングアークタイプ超高圧水銀ランプからなり、アーク長Ｌａが３５〜６０ｍｍのものを用いている。このアーク長Ｌａは５０ｍｍ程度が作業効率及び被露光部の寸法精度の点で好ましい。
【００６３】
この露光光源１１１の一端にランプホルダ１１２が装着されて水銀ランプ組立１１３を構成している。この水銀ランプ組立１１３をランプ筐体１１４の底側に配置し、その上方にスリット１１９を有するアパーチャプレート１１６と、カバーガラス１１５等を組み込み、前記露光光源１１１を冷却水１１７で冷却する構成となっている。
【００６４】
この露光光源１１１の長さ（管軸と平行方向の長さ）方向の中心は、前記アパーチャプレート１１６に設けられているスリット１１９の前記露光光源１１１の管軸と平行方向の長さＬｓの中心と略一致させてランプ筐体１１４中に組み込んでいる。
【００６５】
このスリット１１９の長さＬｓと、前記アーク長Ｌａとは、Ｌｓ＜Ｌａの関係に設定され、特に、（０．４〜０．８）Ｌｓ＝Ｌａの関係が好ましい。これが０．４未満では発光効率の点で無駄が多く、反対に０．８を超えると露光時の光プロファイルの裾形状が乱れて被露光部の寸法に変動が生じる恐れが有り、従って、上記範囲内に設定することが好ましい。又、前記露光光源１１１をランプ筐体１１４内で冷却水１１９により冷却する構成は従来と同様である。
【００６６】
更に、露光光源装置１１を同一面内で揺動させることでブラックマトリクス膜の開口部形状及び蛍光体絵素形状の均一化が図れる。
【００６７】
図１０及び図１１は本発明を説明するための図で、図１０は露光光源を作動させる電源ユニットの一例の構成を示し、図１１は光プロファイルと露光光源への入力との関係を説明するための図で、これらの図において前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
【００６８】
先ず、図１０において、１２０は電源ユニットで、この電源ユニット１２０は露光光源１１１を作動させるユニットで、矩形波電圧整流回路１２１の後段に昇圧トランス１２２を有し、この昇圧トランス１２２の出力を露光光源１１１の入力とし、これにより露光光源１１１の出力を制御している。この昇圧トランス１２２を使用することで前記出力の増大を一層容易としている。
【００６９】
この電源ユニット１２０の出力は、例えばＬａ＝３５ｍｍ〜６０ｍｍ、Ｌｓ＝（０．４〜０．８）Ｌａでは、出力周波数１０〜３０ｋＨｚ、好ましくは２０ｋＨｚ、出力４ｋＷ以上程度が好適である。
【００７０】
出力周波数が１０ｋＨｚ未満ではアーク放電の安定性が損なわれる恐れがあり、一方、３０ｋＨｚを超えると光出力の変動の恐れがある。
【００７１】
又、出力周波数を１０ｋＨｚ〜３０ｋＨｚ、好ましくは２０ｋＨｚとしたことで、昇圧トランス１２２のコアをフェライトコアとすることも可能となり、トランス重量の軽量化も図れる。
【００７２】
次に、図１１において、１２４〜１２６はそれぞれ露光光源１１１の光プロファイルを示し、光プロファイル１２４は露光光源１１１への入力が１ｋＷの場合を、又、光プロファイル１２５は入力が２ｋＷの場合を、更に光プロファイル１２６は入力が４ｋＷの場合をそれぞれ示している。
【００７３】
この図１１に示す光プロファイル１２４〜１２６は、露光光源１１１のアーク長Ｌａ＝３５ｍｍ〜６０ｍｍ、スリット長Ｌｓ＝（０．４〜０．８）Ｌａの下で前述のように入力毎の照度と光プロファイルとの関係をあらわしたものである。
【００７４】
この図１１から明らかなように、入力の増大につれて照度が高くなることは当然のことであるが、光プロファイルそのものも同時に変化している。
【００７５】
このことは、光プロファイル１２４、１２５で示す２ｋＷ程度以下の低入力では、４ｋＷ入力と同一の露光量と露光面積を得るには長時間の露光と露光光源１１１の同一面内での移動が必須となる。
【００７６】
一方、光プロファイル１２６で示す４ｋＷ入力では、所望の露光量と露光面積が短時間で得られ、更に露光光源１１１の前記移動を付加すると作業効率向上がより顕著となる。
【実施例２】
【００７７】
図１２は、本発明のカラー陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の他の例を示す模式断面図で、前述した図と同一部分には同一記号を付してある。
【００７８】
図１２において、外表面が略フッラトで周辺部の肉厚が中央部の肉厚に比べて厚いフッラトフェースタイプのパネルの露光に際し、露光時の露光光源１１１と単色用補正レンズ１６との間隔をＨ６に設定し、一方、共通補正レンズ１５は前記単色用補正レンズ１６よりパネル部１８側で、かつ前記間隔Ｈ６より大きな間隔のＨ５に設定してある。
【００７９】
ここで、本実施例の前記露光光源装置１１は前記実施例１と同一仕様の構成とした。
【００８０】
又、各補正レンズ１５、１６は有効面が略矩形状を呈し、共通補正レンズ１５はＹ軸方向の長さをＬ５Ｙ、Ｘ軸方向の長さをＬ５Ｘとした表面が曲面状のレンズである。更に、前記共通補正レンズ１５に比して小判レンズである単色用補正レンズ１６はＹ軸方向の長さをＬ６Ｙ、Ｘ軸方向の長さをＬ６Ｘとした表面が曲面状のレンズである。
【００８１】
各補正レンズの表面の曲面形状は蛍光面サイズ、蛍光体絵素ピッチ等によりそれぞれ曲面式が設定されるが、外形寸法、配置順序、配置寸法等の具体例を示すと、６８ｃｍカラー陰極線管の例では、先ず補正レンズ配置は露光光源１１１側から単色用補正レンズ１６、共通補正レンズ１５の順序で配置し、かつ各寸法を、Ｈ５：１００ｍｍ、Ｈ６：７５ｍｍ、Ｌ５Ｙ：１１０ｍｍ、Ｌ５Ｘ：７５ｍｍ、Ｌ６Ｙ：８０ｍｍ、Ｌ６Ｘ：５５ｍｍとした。この配列、寸法で、グレーディングフィルタ１２と露光光源１１１間の寸法Ｈ２は従来の方法と略同一に設定した。
【００８２】
本発明によるブラックマトリクス膜の形成工程は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とにより構成される。
【００８３】
この実施例による第１蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源１１１間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第１単色用補正レンズ１６Ｃとを配置して露光する。
【００８４】
第２蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源１１１間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第２単色用補正レンズ１６Ｓ１とを配置して露光する。
【００８５】
第３蛍光体絵素用孔の露光工程では、パネル内面と露光光源１１１間に、共通補正レンズ１５と、この共通補正レンズ１５より外径の小さい第３単色用補正レンズ１６Ｓ２とを配置して露光する。
【００８６】
共通補正レンズ１５は、第１蛍光体絵素用孔の露光工程と、第２蛍光体絵素用孔の露光工程と、第３蛍光体絵素用孔の露光工程とで共通に使用される。
【００８７】
共通補正レンズは３回の露光で共通の補正を行う。また各単色用補正レンズは各色用の個々の補正を行う。共通の補正成分と各色別の補正成分を分離したため、高精度の補正レンズを形成でき、ビームランディングの適正化が容易になる。
【００８８】
本発明は上記の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の思想を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００８９】
【図１】本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の一例の模式平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線の模式断面図である。
【図３】本発明の補正レンズ―補正フィルタの組み合わせ構成例を示す模式断面図である。
【図４】本発明の単色用局部補正フィルタの例を示し、図４（ａ）、（ｃ）はサイドビーム用、図４（ｂ）はセンタビーム用局部補正フィルタの模式平面図である。
【図５】本発明の共通局部補正フィルタの一例を示す模式平面図である。
【図６】本発明のグレーディングフィルタの一例を示す模式平面図である。
【図７】本発明のカラ−陰極線管の製造方法に用いられる露光光源装置の一例の模式平面図である。
【図８】図７のＢ−Ｂ線の模式断面図である。
【図９】本発明のカラ−陰極線管の製造方法に用いられる露光光源装置の水銀ランプ組立の一例の模式平面図である。
【図１０】本発明のカラ−陰極線管の製造方法に用いられる露光光源装置の電源ユニットの一例を示す構成図である。
【図１１】本発明のカラ−陰極線管の製造方法に用いられる露光光源の光プロファイルと照度との関係を示す図である。
【図１２】本発明のカラ−陰極線管の製造方法を説明するための露光装置の他の例を示す模式断面図である。
【図１３】フラットフェースタイプのシャドウマスク形カラ−陰極線管の構造を説明する概略構成図である。
【図１４】図１３の要部拡大断面図である。
【図１５】従来の露光装置の一例を示す概略断面図である。
【符号の説明】
【００９０】
１１  露光光源装置
１１１  露光光源
１１６  アパーチャプレート
１１９  スリット
１２０  電源ユニット
１２  グレーディングフィルタ
１３  単色用局部補正フィルタ
１４  共通局部補正フィルタ
１５  共通補正レンズ
１６  単色用補正レンズ
１７  シャドウマスク
１８、５１  パネル部
５０  蛍光面
５０１  蛍光体絵素
５０２  ブラックマトリクス膜
５０３  メタルバック
５２  ネック部
５３  ファンネル部
５４  シャドウマスク
５５  偏向ヨーク
６１  電子銃。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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