(57)【要約】【課題】自動的にかつ、確実にＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を判別することのできるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０を撮像するカメラ３と、撮像用の光を照射する照明装置４と、カメラ３に入射する光の波長を、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０の絶縁層からの反射光が他の部位からの反射光より多くなるように制限するフィルタ１１と、カメラ３からの撮像信号に基づいてＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出する画像処理手段とを具備している。【選択図】図３
2007095109.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属基材層と、絶縁層と、配線層と、カバー層とを有するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを検査するための検査装置であって、
前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクが載置される載置台と、
前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを撮像する撮像装置と、
前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクに撮像用の光を照射する照明装置と、
前記撮像装置に入射する光の波長を、前記絶縁層からの反射光量と他の部位からの反射光量及び透過光量に差が生じるように制限するフィルタと、
前記撮像装置からの撮像信号に基づいて前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出する画像処理手段と、
を具備したことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項２】
金属基材層と、絶縁層と、配線層と、カバー層とを有するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを検査するための検査装置であって、
前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクが載置される載置台と、
前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを撮像する撮像装置と、
前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクに、前記絶縁層からの反射光と他の部位からの反射光量及び透過光量に差が生じるようなスペクトル成分を選択的に多く含む光を照射する照明装置と、
前記撮像装置からの撮像信号に基づいて前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出する画像処理手段と、
を具備したことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記撮像装置がエリアセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、
前記照明装置は、前記撮像部位に対して環状の領域から光を照射するよう構成されていることを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項４】
請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記撮像装置がラインセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、
前記照明装置は、前記撮像部位に対して、前記ラインセンサカメラのライン方向に沿った両側から光を照射するよう構成されていることを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項５】
請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記撮像装置がエリアセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、
前記照明装置は、前記撮像部位に対して少なくとも2方向以上の異なった角度から光を照射するよう構成されていることを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項６】
請求項５記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記少なくとも2方向の異なった角度から光を照射する照明装置が、半球状に設置されていることを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項７】
請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記撮像装置がラインセンサカメラからなり、前記載置台とラインセンサカメラは少なくとも一方が相対的に移動して、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、
前記照明装置は、前記撮像部位に対して少なくとも2方向以上の異なった角度から光を照射するよう構成されていることを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項８】
請求項１〜７いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記画像処理手段は、隣接する前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの所定領域における差分画像を生成し、当該差分画像をノイズ除去し、二値化して、二値化されたいずれかの値によって示される欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に欠陥有りと判定する
ことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項９】
請求項８記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記画像処理前後に前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層と、前記絶縁層と、前記配線層と、前記カバー層とを切り分ける処理を行なうことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項１０】
請求項３又は４項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記画像処理手段は、前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層を他の層から切り分け、切り分けた前記金属基材層の所定領域における画像をノイズ除去し、二値化して、二値化されたいずれかの値によって示される欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に前記金属基材層の欠陥有りと判定する
ことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項１１】
請求項３又は４項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記画像処理手段は、前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層を他の層から切り分け、切り分けた前記金属基材層の所定領域における画像を二値化して、二値化された画像と、同様に二値化された基準画像との差分画像を生成し、欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に前記金属基材層の変形欠陥有りと判定する
ことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、
前記画像処理手段は、前記撮像信号からビアめっき部の位置を検出し、当該ビアめっき部周辺の所定領域内の配線部分を切り出し、切り出した配線部分全体の面積Ｓに対する切り出した配線部分のうち閾値以下の明るさ部分の面積Ｔの割合Ｔ／Ｓによって、ビアめっき部周辺の変色欠陥の有無を判定する
ことを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置。
【請求項１３】
請求項１〜１２いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置を用い、前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出することを特徴とするＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハードディスク装置のサスペンションに使用されるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来からコンピュータやオーディオ、ビジュアル機器における情報記憶手段としてハードディスク装置が多用されている。このようなハードディスク装置は、情報を磁気パターンとして記録しておく円盤状のディスクに対して、ヘッドにより情報の読み書きを行うようになっており、これらのディスクとヘッドとの間隔を一定に保つためサスペンションが設けられている。
【０００３】
従来においては、ヘッドはサスペンション上でツイストペア線と呼ばれる撚り線にて電気的に結線されていたが、記録密度向上のため、ディスクとヘッドの浮上量が小さくなるにつれ、このような構造のサスペンションでは、ヘッドの姿勢制御が困難になってきた。このため、サスペンション上に配線機能を組み込んだ構造を採用する傾向にあり、かかる構造を実現するためＨＤＤサスペンション用配線一体型フレキシャーブランク（以後、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクと標記する。）が用いられるようになっている。
【０００４】
上記のようなＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクは、例えば、金属基材層としてのステンレス層と、絶縁層としてのポリイミド層と、配線層としての銅層の３層が積層された３層積層材に、精密写真転写技術（フォトリソグラフィー）によって、所定のパターンを転写することによって製造される。また、例えば配線層の上等には、カバー層が設けられ、合計４層構造のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクが製造される。
【０００５】
上記のようにして製造されたＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥検査としては、撮像装置によって撮像した拡大画像を目視することによって、欠陥の有無を検出する方法がある。一方、例えばＩＣのリードフレームの検査を行う検査装置としては、リードフレームをＸ−Ｙテーブル上に載置し、側方からスリット光を投射するとともに撮像装置によって撮像し、この撮像信号を画像処理部において処理してリード形状の良否を判定する検査装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。しかしながら、このような検査装置は、単にリードの形状の良否を判定するものであり、４層等の多層構造を有し、かつ、これらの層夫々について欠陥の有無を検出する必要のあるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥検査に対しては、例えば十分なコントラストを得ることができない等して、そのまま適用することができない。このため、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を自動的にかつ、確実に検出することのできる検査装置及び検査方法の開発が望まれていた。
【特許文献１】特開平５−２１８１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記したとおり、従来ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査を自動的にかつ確実に行うことのできる検査装置はなく、このような検査装置及び検査方法の開発が望まれていた。
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものである。本発明は、自動的にかつ、確実にＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を判別することのできるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１の発明は、金属基材層と、絶縁層と、配線層と、カバー層とを有するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを検査するための検査装置であって、前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクが載置される載置台と、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを撮像する撮像装置と、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクに撮像用の光を照射する照明装置と、前記撮像装置に入射する光の波長を、前記絶縁層からの反射光量が他の部位からの反射光量及び透過光量に対して差が生じるように制限するフィルタと、前記撮像装置からの撮像信号に基づいて前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出する画像処理手段と、を具備したことを特徴とする。
【０００９】
請求項２の発明は、金属基材層と、絶縁層と、配線層と、カバー層とを有するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを検査するための検査装置であって、前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクが載置される載置台と、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを撮像する撮像装置と、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクに、前記絶縁層からの反射光のスペクトル成分を選択的に多く含む光を照射する照明装置と、前記撮像装置からの撮像信号に基づいて前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出する画像処理手段と、を具備したことを特徴とする。
【００１０】
請求項３の発明は、請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記撮像装置がエリアセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、前記照明装置は、前記撮像部位に対して環状の領域から光を照射するよう構成されていることを特徴とする。
【００１１】
請求項４の発明は、請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記撮像装置がラインセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、前記照明装置は、前記撮像部位に対して、前記ラインセンサカメラのライン方向に沿った両側の領域から光を照射するよう構成されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５の発明は、請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記撮像装置がエリアセンサカメラからなり、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、前記照明装置は、前記撮像部位に対して少なくとも2方向以上の異なった角度から光を照射するよう構成されていることを特徴とする。
【００１３】
請求項６の発明は、請求項５記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記少なくとも2方向以上の異なった角度から光を照射する照明装置が、半球状に設置されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項７の発明は、請求項１又は２記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記撮像装置がラインセンサカメラからなり、前記載置台とラインセンサカメラは少なくとも一方が相対的に移動して、前記載置台上の前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの撮像部位を直上から撮像し、前記照明装置は、前記撮像部位に対して少なくとも2方向以上の異なった角度から光を照射するよう構成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項８の発明は、  請求項１〜７いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記画像処理手段は、隣接する前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの所定領域における差分画像を生成し、当該差分画像をノイズ除去し、二値化して、二値化されたいずれかの値によって示される欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に欠陥有りと判定することを特徴とする。
【００１６】
請求項９の発明は、請求項８記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記画像処理前後に前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層と、前記絶縁層と、前記配線層と、前記カバー層とを切り分ける処理を行なうことを特徴とする。
【００１７】
請求項１０の発明は、請求項３又は４項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記画像処理手段は、前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層を他の層から切り分け、切り分けた前記金属基材層の所定領域における画像をノイズ除去し、二値化して、二値化されたいずれかの値によって示される欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に前記金属基材層の欠陥有りと判定することを特徴とする。
【００１８】
請求項１１の発明は、請求項３又は４項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記画像処理手段は、前記撮像信号の明るさによって、前記金属基材層を他の層から切り分け、切り分けた前記金属基材層の所定領域における画像を二値化して、二値化された画像と、同様に二値化された基準画像との差分画像を生成し、欠陥領域のサイズが所定値より大きい場合に前記金属基材層の変形欠陥有りと判定することを特徴とする。
【００１９】
請求項１２の発明は、請求項１〜１１いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置において、前記画像処理手段は、前記撮像信号からビアめっき部の位置を検出し、当該ビアめっき部周辺の所定領域内の配線部分を切り出し、切り出した配線部分全体の面積Ｓに対する切り出した配線部分のうち閾値以下の明るさ部分の面積Ｔの割合Ｔ／Ｓによって、ビアめっき部周辺の変色欠陥の有無を判定することを特徴とする。
【００２０】
請求項１３のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査方法は、請求項１〜１２いずれか１項記載のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置を用い、前記ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を検出することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、自動的にかつ、確実にＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの欠陥の有無を判別することのできるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置及び検査方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置１の全体概略構成を示す図であり、図２は、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置１のブロック構成を示す図である。
【００２３】
図１に示すように、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置１は、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを載置するための載置台２を具備している。載置台２の上方には、撮像装置としてのカメラ３が設けられており、カメラ３の撮像用レンズの先端側には照明装置４が設けられている。
【００２４】
本実施形態において、カメラ３は、例えばエリアセンサから構成されており、照明装置４は、図３に示すように環状の領域からＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０の撮像部位に光を照射するよう構成されている。このように、環状の領域から撮像部位に光を照射する照明装置４を用いることにより、表面に段差を有するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０の撮像においても、影が生じない撮像画像を得ることができ、それによって精度の高い検査を行うことができる。また、この撮像部位からの反射光は、フィルタ１１を介して、カメラ３に入射するよう構成されている。このフィルタ１１の具体的な構成については、後述する。
【００２５】
図１に示すように、上記カメラ３及び照明装置４は、カメラ支持機構５に固定されている。また、前記載置台はＸ及びＹ方向に移動可能な様に駆動源（図示せず。）を具備しており、載置台上の全領域を撮像可能となっている。前記した載置台２とこのカメラ支持機構５によって検査のためのステージが構成されている。なお、図１において、７は操作部、８はモニタ、９はパーソナルコンピュータ、１０は照明装置４のための光源である。本実施形態では、光源１０からの光を光ファイバで照明装置４に導入するように構成されているが、照明装置４に例えばＬＥＤ等の光源を直接配置するようにしてもよい。また、カメラ３と載置台４は相対的に移動すればよいため、カメラ側はX及びY方向に移動可能としてもよい。
【００２６】
上記パーソナルコンピュータ９には、図２に示すように、検査装置全体を制御する制御部２０、画像処理部２１が含まれている。また、載置台２を駆動制御するための載置台駆動装置２２、光源１０を制御するための光源制御装置２３、カメラ３を制御するためのカメラ制御装置２４が設けられ、これらは、制御部２０、画像処理部２１からの指令により各部を駆動動作させるようになっている。
【００２７】
次に、前記したフィルタ１１について説明する。図４は、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０の絶縁層を構成するポリイミド層の反射波長、カバー層を構成する緑カバー層及びオレンジカバー層の透過波長のスペクトル分布を示している。また、図５は検査対象であるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０を一枚の多層基材上に複数形成した状態の外観構成を示す図であり、図６は、その一部の構成を拡大して示す模式図である。
【００２８】
図６に示すように、本実施形態におけるＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０は、金属基材層としてのステンレス層３１と、絶縁層としてのポリイミド層３２と、配線層としての銅層３３と、カバー層３４の４層構造とされている。そして、これらの各層を検査するためには、ポリイミド層３２とのコントラストを高くし、かつ、カバー層３４を透過して銅層３３及びポリイミド層３２を検査可能とする必要がある。なお、図６において、３５は銅層３３とステンレス層３１との電気的接続用のビアめっき部を示している。
【００２９】
そして、図４に示すように、ポリイミド層３２の反射波長のピークは５６０ｎｍ付近にあり、この波長付近の緑カバー層及びオレンジカバー層の透過率も高くなっている。したがって、図４に矢印で示すように、ポリイミド層３２の反射波長のピークである５６０ｎｍ付近の波長の光を選択的に多く透過するフィルタ１１（本実施形態では５４０ｎｍ以下の波長の光をカットするオレンジフィルタ（Ｏ−５６（商品名）））を用いることによって、撮像により得られる画像のコントラストを高くして検査の精度を向上させることができる。なお、上記した波長域の例は、異なる材料を用いた図４に示すようなスペクトル分布を示す材料で構成された場合であり、ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの場合は、構成する部材の反射率のスペクトル分布によって使用するフィルタを選択する必要がある。
【００３０】
上記の実施形態では、カメラ３に入射する光の波長域を制限するフィルタ１１を用いた場合について説明したが、図７に示すように、環状の領域から上記の波長域の光を多く含む光（例えばオレンジ色の光）を照射する照明装置４ａを用いれば、図３に示したフィルタ１１を用いることなく、同様な効果を得ることができる。
【００３１】
また、エリアセンサではなく、図８に示すように、ラインセンサからなるカメラ３ａを用いた場合は、環状領域から光を照射する必要はなく、ラインセンサのライン方向に沿った両側から光を照射する照明装置４ｂを用いればよい。さらに、この場合においても、図９に示すように、上記の波長域の光を多く含む光（例えばオレンジ色の光）を照射する照明装置４ｃを用いれば、図３に示したフィルタ１１を用いることなく、同様な効果を得ることができる。
【００３２】
図１０〜１３は、他の照明装置４ｄ〜４ｇを用いた実施形態を示すものである。図６に示したように構成されたＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０のステンレス層３１は、表面に微小な凹凸が形成されており、これを前記したような通常の照明装置によって照明し、撮像すると、図１４（ａ）に模式的に示すように、撮像画像に凹凸による影によって細かな濃淡が生じ、この濃淡が表面の状態により一定ではないため、後述するような隣接ピース（隣接するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０）の差分信号に基づいて欠陥の検出を行うことが困難になる。
【００３３】
このため、例えば図１０に示すように、エリアセンサからなるカメラ３を用いた場合は、半球状（ドーム型）の領域から撮像部に光を照射する照明装置４ｄを使用することが好ましい。これによって、図１４（ｂ）に示すように、ステンレス層３１の表面の微小な凹凸に起因する撮像画像の濃淡が減少し、後述するように、隣接するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク３０の差分信号に基づいて欠陥の検出を行うことが可能となる。
【００３４】
上記の図１０に示した実施形態では、白色光を照射する照明装置４ｄを用い、カメラ３に入射する反射光の波長をフィルタ１１によって制限する構成となっているが、例えば、図１１に示すように、オレンジ色の光を照射する照明装置４ｅを用いた場合は、フィルタ１１を使用しない構成とすることができる。また、図１２，１３に示すように、ラインセンサからなるカメラ３ａを使用した場合は、ラインセンサのライン方向に沿って半円状の領域から光を照射する照明装置４ｆ，４ｇを用いることができる。なお、図１２は、白色光を照射する照明装置４ｆとフィルタ１１を用いた場合、図１３は、オレンジ色の光を照射する照明装置４ｇを用いた場合を示している。このような照明装置４ｆ，４ｇとしては、例えば白色光やオレンジ色の光を放射するＬＥＤを半円状に並べて構成した照明装置等を使用することができる。
【００３５】
次に、図２に示した画像処理部２１における画像処理及び欠陥の有無の判定について説明する。まず、１種類の光学系で全ての層の欠陥検査が可能なレベルの画像が入力できる場合、或いは、それぞれの層に対して最適な光学系を複数搭載可能な場合について説明する。かかる場合の例としては、図１０に示したドーム状の領域から光を照射する照明装置４ｄを具備した光学系を１つのみ有する場合、さらには、図３に示した環状の領域から光を照射する照明装置４を具備した光学系と、図１０に示したドーム状の領域から光を照射する照明装置４ｄを具備した光学系の２つの光学系を有する場合等が挙げられる。
【００３６】
上記の条件により、全ての層について、形状変形検査、表面の異物、キズ、しみ等を検出する場合の処理の流れを図１５に示す。この場合、まず隣接ピース（隣接するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク）の差分画像を生成し（１５１）、ノイズ除去処理する（１５２）。次に、ノイズ除去処理した画像を二値化した後（１５３）、この二値化したいずれかの値で示される欠陥領域のサイズを予め定められた規定値と比較し、欠陥領域のサイズが規定値以上であれば欠陥有りと判定し、欠陥領域のサイズが規定値より小さければ欠陥無しと判定する（１５４）。なお、上記の各処理については、図１６に示した画像処理の説明において詳細に説明する。
【００３７】
次に、図１６に示すように、検査エリアにより処理を分けた場合について説明する。これは、前述したように、例えばステンレス層３１の撮像画像に細かな濃淡が生じ、差分処理が適さない状態（ザラザラ）である場合で、図１５に示したような処理を行うと擬似欠陥が多数出てしまう場合等に行う処理である。このような場合としては、例えば前記した図３に示した環状の領域から光を照射する照明装置４を具備した光学系を１つのみ有する場合が挙げられる。このような場合においても、図１６に示す処理を実施すれば、例えば、照明条件を変化させて複数回画像を入力する等の必要がなく、全ての層についての検査を実施することができる。
【００３８】
この画像処理においては、まず、輝度値により検査エリア（本実施形態では検査エリア１と検査エリア２）を分離し（１６１）、検査領域を指定する（１６２）。図１７は、この処理の一例を模式的に示すものであり、図中左側に示される撮像画像から、背景及びステンレス層（ＳＵＳ層）と、ポリイミド層及びカバー層とを輝度値（明るさ）によって分離する。図中右側に示される画像が分離されたポリイミド層及びカバー層（検査エリア２）である。また図中白抜きになっている部分が欠陥領域を示している。
【００３９】
次に、上記のように分離した検査エリア２については、図１６中右側に示すような画像処理を行う。図１８は、この一連の画像処理を模式的に示したものである。この画像処理では、まず隣接ピース（隣接するＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランク）の差分画像を生成する（１６３）。この処理においては、図１８の（ａ）の右端のような画像が得られる。
【００４０】
次に、上記の差分画像に対してノイズ除去処理し（１６４）、図１８（ｂ）に示すようなノイズ除去した画像を得る。次に、ノイズ除去処理した画像を二値化し（１６５）、図１８（ｃ）に示すような二値化画像を得る。そして、図１８（ｄ）に示すように、二値化したいずれかの値で示される欠陥領域のサイズを、予め定められた規定値と比較し、欠陥領域のサイズが規定値以上であれば欠陥有りと判定し、欠陥領域のサイズが規定値より小さければ欠陥無しと判定する（１６６）。
【００４１】
一方、ステンレス層を検査対象とする検査エリア１については、形状変形検査と、表面異物、キズ、しみ等に対する検査を行う。表面異物、キズ、しみ等に対する検査では、まず、図１９（ａ）に示すように、背景及びポリイミド層及びカバー層から明るさにより切り分けられたステンレス層（ＳＵＳ層）に対して、ノイズ除去処理を行い（１６７）、図１９（ｂ）の右側に示すような画像を得る。
【００４２】
次に、上記のようにして得られた画像に二値化処理を行い（１６８）、図１９（ｃ）の右側に示すような画像を得る。そして、最後に前述したと同様にサイズ判定を行い（１６９）、図１９（ｄ）に示すように、欠陥の有無を判定する。
【００４３】
一方、形状変形検査では、まず、ステンレス層に対して、汚れ、しみ等が消えるレベルで二値化処理を行い（１７０）、図２０（ａ）の右側に示すような画像を得る。そして、図２０（ｂ）に示すように、この画像と基準画像との差分画像を作り（１７１）、差分画像で残った部分のサイズを、前述したと同様にサイズ判定し（１７２）、図２０（ｃ）に示すように欠陥の有無を判定する。
【００４４】
以上のようにして、本実施形態のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置によれば、各層の欠陥の有無を自動的、かつ精度良く確実に検出することができる。また、図６に示したビアめっき部３５は、製造の過程でめっきの光沢むらによる変色とめっきのピンホール等の欠陥が生じる場合があり、このような欠陥も検出する必要がある。この場合、図２１に示すようにして、その欠陥を検出する。すなわち、まず、図２１（ａ）に示すようにビアめっき部の特徴からその位置を検出する。次にビアめっき部周辺の領域（ａ×ｂ画素）に対し、二値化処理を行い図２１（ｂ）に示すように配線部分を切り出す。そして、図２１（ｃ）に示すように配線部分で閾値以下の明るさ部分の面積Ｔを算出し、図２１（ｄ）に示すように切り出した配線部分全体の面積Ｓに対する切り出した配線部分のうち閾値以下の明るさ部分の面積Ｔの割合Ｔ／Ｓによって、ビアめっき部周辺の変色欠陥の有無を判定する。この場合、例えばＴ÷Ｓ×１００が３０％以上の場合、欠陥有りと判断する。
【００４５】
以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上記実施形態等に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施形態のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置の全体構成を示す図。
【図２】図１の実施形態のブロック構成を示す図。
【図３】図１の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図４】ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの各層の反射率、透過率のスペクトル分布を示すグラフ。
【図５】製造途中のＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクを示す図。
【図６】ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの要部を拡大して示す図。
【図７】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図８】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図９】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図１０】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図１１】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図１２】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図１３】他の実施形態の光学系の構成を示す図。
【図１４】ステンレス層からの反射光の画像例を模式的に示す図。
【図１５】画像処理の流れを示すフローチャート。
【図１６】他の画像処理の流れを示すフローチャート。
【図１７】画像処理の様子を説明するための図。
【図１８】画像処理の様子を説明するための図。
【図１９】画像処理の様子を説明するための図。
【図２０】画像処理の様子を説明するための図。
【図２１】画像処理の様子を説明するための図。
【符号の説明】
【００４７】
１……ＨＤＤサスペンション用フレキシャーブランクの検査装置、２……載置台、３……カメラ、４……照明装置、５……カメラ支持機構、７……操作部、８……モニタ、９……パーソナルコンピュータ、１０……光源。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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