(57)【要約】【課題】  ＣＲＴパネルの蛍光面の周辺での輝度の低下を補正し、蛍光面全域にわたって精度良く、ムラ状の欠陥を検査する。【解決手段】  光源３０でＣＲＴパネル１０の蛍光面１１を裏面側から照明し、表面側から蛍光面１１をＣＣＤカメラ１３で撮像する。撮像された画像データを画像処理装置１５で処理して蛍光面の欠陥を検査する。光源３０とＣＣＤカメラ１３との間に、ＣＣＤカメラ１３により撮像される蛍光面の画像の輝度分布を蛍光面の全域にわたってほぼ均一にするフィルタ１１が備えられている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＣＲＴパネルの蛍光面を裏面側から照明する光源と、前記ＣＲＴパネルの前記蛍光面を表面側から撮像する撮像装置と、撮像された画像データを処理する画像処理装置とを備え、前記蛍光面の欠陥を検査するＣＲＴパネルの欠陥検査装置であって、
更に、前記撮像装置により撮像される前記蛍光面の画像の輝度分布を前記蛍光面の全域にわたってほぼ均一にするフィルタを、前記光源と前記撮像装置との間に備えることを特徴とするＣＲＴパネルの欠陥検査装置。
【請求項２】
前記フィルタが液晶を含み、前記光源と前記ＣＲＴパネルとの間に配置される請求項１に記載のＣＲＴパネルの欠陥検査装置。
【請求項３】
前記光源と前記撮像装置との間にＣＲＴパネルを固定し、前記ＣＲＴパネルの前記蛍光面を撮像して前記蛍光面の欠陥を検査する、請求項１又は２に記載の欠陥検査装置を用いたＣＲＴパネルの欠陥検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＲＴパネルの内面に形成された蛍光面の欠陥を検査するための検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ＣＲＴの製造において、パネルの裏面に蛍光面を形成した後、蛍光面における、背景との輝度差が小さいムラ状の欠陥の有無が検査される。この検査は、パネルの裏面側に照明用光源を配置し、パネルの表面側からＣＣＤカメラ等で蛍光面を撮像し、得られた画像データを画像処理することにより欠陥部を検出することにより行われる。
【０００３】
画像処理による欠陥部の検出は、例えば、撮像した原画像から２次元空間フィルタを用いて平滑画像を作成し、原画像との差画像（原画像−平滑画像）を作成することによって行われる。
【０００４】
ＣＲＴパネルの蛍光面が形成される領域の厚みは、中央部で最も薄く周辺に近づくほど厚いため、蛍光面の周辺では照明光の減衰が大きく、撮像画像の輝度が低下する。この為、蛍光面の周辺では、良好部と欠陥部との輝度差が現れにくく、検出精度が低下するという問題がある。
【０００５】
この問題を解消する為、ＬＣＤ用ではあるが、周辺での輝度の低下を補正する欠陥検査装置が特許文献１に提案されている。これを図５を用いて説明する。
【０００６】
駆動部６で駆動されたＬＣＤパネル１を裏面側からバックライト２で照明し、表面側からＬＣＤパネル１をＣＣＤカメラ３で撮像する。得られた画像データは画像メモリ４に格納される。エッジ補正係数算出部８は、画像データを用いて、パネル中心から周辺にわたって輝度値がほぼ一定となるように、パネル周辺のラインのエッジ補正係数を算出する。画像エッジ補正処理部９は、各ラインごとに算出されたエッジ補正係数を、画像データの対応する各ラインに乗じて補正処理を行う。画像処理部５は、補正処理されたデータを用いて欠陥の検出処理を行う。制御部７は、以上の一連の動作を制御する。これにより、バックライト２による照明に起因するパネル周辺の輝度の低下の問題が解消される。
【特許文献１】特開平１１−２８１５２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の欠陥検査装置では、パネル周辺における輝度の低下を、撮像して得た画像データを演算処理することにより補正している為、この演算処理に多大な時間を要してしまい、欠陥の検出処理に十分な時間をかけることができない。従って、この欠陥検査装置をＣＲＴパネルの欠陥検査に応用すると、背景との輝度差が小さいムラ状の欠陥については、十分な検出精度が得られない。
【０００８】
本発明は、このような従来の課題を解決するもので、ＣＲＴパネルの蛍光面に発生する、背景との輝度差が小さなムラ状の欠陥を、蛍光面の全域にわたって精度良く検査することが可能な欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のＣＲＴパネルの欠陥検査装置は、ＣＲＴパネルの蛍光面を裏面側から照明する光源と、前記ＣＲＴパネルの前記蛍光面を表面側から撮像する撮像装置と、撮像された画像データを処理する画像処理装置とを備える。欠陥検査装置は、更に、前記撮像装置により撮像される前記蛍光面の画像の輝度分布を前記蛍光面の全域にわたってほぼ均一にするフィルタを、前記光源と前記撮像装置との間に備える。
【００１０】
本発明のＣＲＴパネルの欠陥検査方法は、上記の本発明の欠陥検査装置を用い、前記光源と前記撮像装置との間にＣＲＴパネルを固定し、前記ＣＲＴパネルの前記蛍光面を撮像して前記蛍光面の欠陥を検査する。
【発明の効果】
【００１１】
本発明によれば、撮像した時点で、蛍光面の全域にわたってほぼ均一な輝度の画像が得られる為、周辺の輝度の低下を補正するための演算処理を行う必要がない。その結果、処理時間の全てを欠陥検出処理にかけることが出来るので、蛍光面の全域にわたってより精度の高い検出処理を行う事が出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１３】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るＣＲＴの欠陥検査装置の概略構成図である。本実施の形態の検査装置は、ＣＲＴパネル１０の蛍光面１１を裏面側から照明する光源３０と、ＣＲＴパネル１０の蛍光面１１を表面側から撮像する対物レンズ２０を備えたＣＣＤカメラ１３と、撮像された画像データを処理する画像処理装置１５とを備える。
【００１４】
光源３０は、上面が開口した箱型のケース３１と、ケース３１の開口に嵌め込まれた乳白色の拡散板３２と、ケース３１内に配置された複数の蛍光灯３３とを備えている。画像処理装置１５は、例えば、ＣＣＤカメラ１３が撮像した画像データが入力される画像入力ボード１４を内臓したパソコン１９と、欠陥検査結果等を表示するモニタ２１とからなる。
【００１５】
ＣＲＴパネル１０の蛍光面の欠陥検査は、光源３０とＣＣＤカメラ１３との間にＣＲＴパネル１０を固定し、光源３０でＣＲＴパネル１０の蛍光面１１を照明し、ＣＣＤカメラ１３で蛍光面１１を撮像することにより行われる。
【００１６】
光源３０とＣＲＴパネル１０との間には、フィルタ４０が配置されている。このフィルタ４０は、例えば、図２に模式的に示すような透過率分布を有する。図３は、図１の欠陥検査装置でフィルタ４０を使用しないで欠陥のないＣＲＴパネル１０の蛍光面を撮像したときに得られる蛍光面画像の輝度分布を模式的に表す平面図である。図３に示すように、光源３０で照明された蛍光面は、中央が明るく、これより周辺に行くにしたがって暗くなる輝度分布を有している。フィルタ４０は、図３の輝度分布とほぼ逆比例するような透過率分布を有している。すなわち、フィルタ４０は、図２に示すように、中央で低く、これより周辺に行くにしたがって高くなる透過率分布を有している。この為、ＣＣＤカメラ１３によって撮像される蛍光面画像の輝度は、蛍光面の全域にわたってほぼ均一となる。従って、図５に示した従来の欠陥検査装置のように輝度の低下を補正するための演算処理を行う必要が無く、処理時間の全てを欠陥の検出処理にかけることが出来る。よって、蛍光面の全域にわたってより精度の高い検出処理を行うことが出来る。
【００１７】
なお、図１ではフィルタ４０は光源３０とＣＲＴパネル１０との間に配置されているが、ＣＲＴパネル１０とＣＣＤカメラ１３との間に配置されていても構わない。
【００１８】
（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２に係るＣＲＴの欠陥検査装置の概略構成図である。図４において、図１と同じ構成要素については図１と同じ符号を用い、それらの説明を省略する。
【００１９】
本実施の形態２では、実施の形態１におけるフィルタ４０に代えて液晶４５が、光源３０とＣＲＴパネル１０との間に配置されている。液晶４５は、パソコン１９の入出力制御ボード１７を介して制御される液晶駆動装置４６によって駆動される。
【００２０】
本実施の形態によれば、液晶４５を、パソコン１９で制御することにより、実施の形態１におけるフィルタ４０と同様に作用させることが出来るので、ＣＣＤカメラ１３によって撮像されるＣＲＴパネル１０の蛍光面画像の輝度は、蛍光面の全域にわたってほぼ均一となる。これにより、実施の形態１の場合と同様に輝度の低下を補正するための演算処理を行う必要が無く、処理時間の全てを欠陥の検出処理にかけることが出来る。よって、蛍光面の全域にわたってより精度の高い検出処理を行うことが出来る。また、ＣＲＴパネル１０の種類に応じて液晶４５の透過率分布を変えることにより、多品種のＣＲＴパネルの欠陥検査を効率よく行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００２１】
本発明の利用分野は特に制限はなく、ＣＲＴの蛍光面形成後の検査工程に広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の実施の形態１におけるＣＲＴパネルの欠陥検査装置の概略構成図
【図２】本発明の実施の形態１におけるＣＲＴパネルの欠陥検査装置に使用されるフィルタの透過率分布を模式的に表す平面図
【図３】本発明の実施の形態１におけるＣＲＴパネルの欠陥検査装置においてフィルタを使用しないで欠陥のないＣＲＴパネルを撮像したときに得られる蛍光面画像の輝度分布を模式的に表す平面図
【図４】本発明の実施の形態２におけるＣＲＴパネルの欠陥検査装置の概略構成図
【図５】従来の欠陥検査装置の概略構成図
【符号の説明】
【００２３】
１  ＬＣＤパネル
２  バックライト
３  ＣＣＤカメラ
４  画像メモリ
５  画像処理部
６  駆動部
７  制御部
８  エッジ補正係数算出部
９  画像エッジ補正処理部
１０  ＣＲＴパネル
１１  蛍光面
１３  ＣＣＤカメラ
１４  画像入力ボード
１５  画像処理装置
１７  入出力制御ボード
１９  パソコン
２０  対物レンズ
２１  モニタ
３０  光源
３１  ケース
３２  拡散板
３３  蛍光灯
４０  フィルタ
４５  液晶
４６  液晶駆動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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