(57)【要約】【課題】軸受隙間に動圧作用を発生させる動圧発生部の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図る。【解決手段】  素材２ａ’の外周面２ａ１に、フッ素樹脂を含有したインク１２を供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターン１を形成した後、非マスク部１ｂの素材表面をエッチングすることにより動圧発生部を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、
軸部材の素材表面に、フッ素樹脂を含有するインクを供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成し、その後、非マスク部の素材表面をエッチングすることを特徴とする動圧発生部の形成方法。
【請求項２】
インクが、常温硬化性を有する請求項１記載の動圧発生部の形成方法。
【請求項３】
マスキングパターンの除去工程を設けない請求項１記載の動圧発生部の形成方法。
【請求項４】
軸部材と、軸受部材とを備え、軸部材が、その表面に軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を有するものにおいて、
動圧発生部が、エッチングで形成された底部と、底部を区画形成し、フッ素樹脂被膜で被覆された区画部とで構成された動圧軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧軸受装置に使用する軸部材の外周および端面に設けられる動圧発生部の形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、軸部材と、軸部材の外周に位置する軸受部材の相対回転により軸受隙間に生じた潤滑油の動圧作用で圧力を発生させ、この圧力で軸部材を非接触支持する軸受装置である。この動圧軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を備えるものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器、例えばＨＤＤ、ＦＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置などのスピンドルモータ用の軸受、レーザービームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ用の軸受、あるいは電気機器、例えばプロジェクタのカラーホイール、軸流ファンなどの小型モータ用の軸受として、近年広く用いられている。
【０００３】
この種の動圧軸受装置では、例えば軸部材の外周面に、動圧を発生するための溝（動圧溝）がヘリングボーン形状やスパイラル形状等に配列した状態で形成される。この特殊かつ複雑な形状の動圧発生部を精度良く形成するための方法として、以下に述べる方法が知られている。
【０００４】
（１）軸部材の素材表面にマスキングのための皮膜を形成し、レーザー光により前記皮膜の動圧溝に対応する部分を除去した後、エッチング処理、皮膜除去作業を経て動圧溝を形成する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
（２）動圧溝形状に対応する印刷型を、軸部材の素材外周面と接触させながら軸部材の回転に応じて移動させることにより、軸部材の素材外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷すると共に、軸部材の印刷型との接触部以外の位置に光線を照射してインクを硬化させる。その後、非マスク部のエッチング処理、マスク部の除去作業を行い、動圧溝を形成する（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２００４００号公報
【特許文献２】特公昭６２−４９３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記（１）の動圧発生部形成方法によれば、有機バインダ（インク）からなる皮膜層を動圧発生部形成領域全面にわたって形成した後、レーザー光による動圧溝形成のための皮膜除去（パターニング）が必要となるため、インク使用量と形成工程が増加し、かつレーザー光照射設備が必要となるため、高コスト化するとともに高額投資が必要となる。
【０００７】
一方、上記（２）の方法によれば、印刷型が軸部材の外周面と接触して移動するため、接触部での摩耗が生じやすく、量産時には印刷型の摩耗や変形等による印刷精度の低下が懸念される。さらにインク供給装置から供給された耐食インクは、印刷型を経て軸部材の外周面に到達し、さらにスキージにより圧迫されて軸部材外周面に定着するから、溝形成に関与しない余分な耐食インクが必要であり、耐食インクの使用量が増して不経済である。また、動圧溝および素材形状に対応した印刷型が必要となるため、近年の多種多様な要求に対応しづらい。
【０００８】
本発明の課題は、動圧溝を始めとする、動圧作用を発生させるための動圧発生部の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明では、軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、軸部材の素材表面に、フッ素樹脂を含有するインクを供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成し、その後、非マスク部の素材表面をエッチングすることを特徴とする動圧発生部の形成方法を提供する。
【００１０】
軸部材の表面にインクを供給するための方法としては、インクを、インク供給部（例えば、細孔ノズル）から微小液滴の状態で着弾あるいは滴下する方法、例えばインクジェット法が考えられる。この方法であれば、予めプログラムすることにより高精度のマスキングパターン形成が可能となる一方、ノズルと素材表面が非接触となるので、上記（２）の方法で問題となる接触部での摩耗による精度低下を回避することができる。また本方法ではスキージが不要で必要箇所にのみインクが使用されるので、インクはマスキングパターンの形成に関与するだけの使用量で足り、インクの使用量を削減することができる。さらには、印刷型や印刷型を保持するための保持部材が不要で成形装置を簡略化することができ、また、上記（１）の方法で必要であった素材表面を被覆する皮膜のマスキングパターン成形工程が不要となる。
【００１１】
本発明では、マスキングパターン（マスク部）がフッ素樹脂を含有するインクで形成される。フッ素樹脂は優れた撥水撥油性を示すものであるから、エッチング時にはエッチング材によるマスキングパターンの侵食を防止して、高精度な動圧発生部が形成可能となる。また、このインクは、種々のエネルギー付加により硬化するものを使用できるが、常温硬化性を有するものであれば、光硬化や熱硬化等の硬化工程を省略できるので望ましい。
【００１２】
また、本発明では、エッチング後におけるマスキングパターン（マスク部）の除去工程を設けないため、工程数を減じて加工コストの更なる低廉化を図る一方で、軸受運転時、特に起動・停止時等には、残存したマスク部が優先的に相手部材（例えば、軸受部材）と接触する。このマスク部は、上述のとおり、フッ素樹脂を含有するインクの集合体であるから、摺動特性を高めて低トルク化を図ることができる。
【００１３】
非マスク部の素材表面をエッチングする手法としては、化学エッチング、あるいは電解エッチングが選択可能である。しかしながら、電解エッチングは、電解電源を必要とし、処理装置が複雑かつ高価なものとなるため、これらの問題点が生じない化学エッチングが望ましい。
【００１４】
以上に述べた動圧発生部の形成方法は、軸部材の外周のみならず、軸部材の端面に動圧発生部を形成する際にも用いることができる。
【００１５】
また、本発明では、軸部材と、軸受部材とを備え、軸部材が、その表面に軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を有するものにおいて、動圧発生部が、エッチングで形成された底部と、底部を区画形成し、フッ素樹脂被膜で被覆された区画部とで構成された動圧軸受装置を提供する。
【発明の効果】
【００１６】
以上より、本発明によれば、動圧発生部の形成工程を簡略化することができることに加え、インク等の消耗品も必要最低限で足りるため、動圧発生部の加工コストの低減を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明方法の実施形態を図面に基づいて説明する。
【００１８】
本発明にかかる動圧発生部の形成工程は、素材表面にマスキングパターンを形成する第１工程と、非マスク部をエッチングする第２工程とからなる。
【００１９】
図１は、第１工程を示すもので、軸部材２（図５参照）を構成する軸部２ａの素材２ａ’の外周にインクを供給してマスク部１ａと非マスク部１ｂとからなるマスキングパターン１を形成する装置、ここではインクジェット方式の印刷装置の概要を示すものである。素材２ａ’はステンレス鋼等の金属材料で形成される。図示のように、この印刷装置は、素材２ａ’を回転駆動させる支持部１３と、素材２ａ’の外周面２ａ１と対向させた一又は複数のノズルヘッド１０とを主要な構成要素として備える。ノズルヘッド１０には、微小液滴状態のインク１２を吐出する複数のノズル１４が軸方向に配設されている。
【００２０】
インク１２は、常温硬化させることができ、硬化後に耐エッチング性を有するフッ素樹脂被膜を形成可能な、いわゆる撥水撥油剤をアルコール等の溶媒で希釈したものが用いられる。希釈倍率は、形成されるマスク部１ａの必要厚みに応じて適宜変更することができる。使用可能な撥水撥油剤としては、フッ素樹脂（ポリフルオロアルキル基）含有の単量体（以下、フッ素系単量体という）と他の共重合可能な炭化水素系単量体をランダム共重合したもの、例えば、フッ素系単量体と、ステアリル（メタ）アクリレートに例示される長鎖アルキル基含有（メタ）アクリレートとの共重合体、炭化水素系重合体を主成分・フッ素系単量体を複成分としてグラフト結合させたグラフト共重合体、あるいはフッ素系単量体、およびこれと共重合可能な特定の単量体をランダム共重合させたものなどが使用できる。この他、フッ素系単量体、およびこれと共重合可能なフッ素を含有しないマクロモノマーを共重合して得られるフッ素系グラフト共重合体を有効成分とするもの、沸点が０〜１５０℃で炭素原子数が２〜３のハイドロクロロフルオロカーボンおよび炭素原子数が４〜６でフッ素原子数が４以上のハイドロフルオロカーボンよりなる群から選択された少なくとも一種の化合物を少なくとも５ｗｔ％含む重合溶媒中に、少なくともフッ素系単量体を含む重合可能なモノマー成分を溶液重合させたもの等も使用することができる。なお、本実施形態では、（株）フロロテクノロジー社製ＦＳ−６１３０をイソプロピルアルコールで１０倍に希釈したものを用いた。
【００２１】
以上の構成において、支持部１３にて素材２ａ’を両端支持しつつ回転させながらノズルヘッド１０を軸方向に往復スライドさせ、ノズル１４からインク１２を吐出することにより、インク１２の微小液滴が素材２ａ’の外周面２ａ１の所定位置に着弾する。この微小液滴が多数集合することで、素材２ａ’の外周面２ａ１にマスク部１ａを形成し、このマスク部１ａと印刷されていない領域、すなわち非マスク部１ｂとでマスキングパターン１を形成する。
【００２２】
マスキングパターン１の印刷は素材２ａ’の回転に伴って徐々に円周方向に進行する形で行われ、着弾したインク１２’は順次硬化を開始する。着弾直後のインク１２’は、図２（ａ）に示すように、最終的なマスク部１ａ形状（図２（ｂ）参照）よりも厚膜に形成される。インク１２’の硬化は、インク中の溶媒が揮発することによって行われ、揮発成分が失われると、図２（ｂ）に示すようなフッ素樹脂の高分子が数層分堆積した極薄膜からなるマスク部１ａが形成される。最終的には、各ノズルからのインクの供給・停止を適宜切換えながら素材２ａ’を１〜数十回転させて、素材２ａ’の全周に、図２（ｂ）に示すような凹凸状のマスキングパターン１を形成する。なお、着弾したインク１２’の硬化速度を早めるため、例えば素材２ａ’やインク１２’を加熱することもできる。
【００２３】
以上に述べた印刷方法では、インク１２の微小液滴の吐出を制御することでマスキングパターン１の形状を精度良く管理することができる。よって従来のように、パターン形成領域全面にわたりマスキング層を形成する場合と比較すると、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足りる。さらにレーザー等を用いるマスキングパターン形成工程が不要となり、印刷したマスキングパターン１をそのまま利用して、エッチング工程に移ることができため、かかる成形コストを低減することができる。
【００２４】
また、本発明によるマスキングパターン１の形成方法では、従来の印刷機のように印刷型と素材２ａ’との接触部を持たないから、接触部での摩耗による印刷精度の低下を回避することができ、量産時にも安定したマスキングパターン精度を確保することができる。さらに印刷型や印刷型を保持するための印刷用スクリーン、素材２ａ’の回転に応じて印刷型を移動させる機構も不要となるだけでなく、インク１２として常温硬化性のものを用いているので硬化装置も不要となる。以上のことから、形成装置の構造を簡素化すると共に工程数を削減することができる。また、上記と同様に、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足りるので、スキージを必要とする従来装置に比べ、インク１２の使用量を低減して低コスト化を図ることができる。
【００２５】
なお、インク１２の定着方式としては、上述のインクジェット方式のみならず、例えば電気泳動を利用して液滴を吐出する方式、ノズルではなく液面から直接液滴を滴下させる、いわゆるノズルレスタイプの液滴吐出方式、あるいはマイクロピペットを介してインク１２を液滴の状態ではなく連続的に素材２ａ’の表面に吐出する方式、あるいは素材表面までの距離を短縮し、インク１２を吐出と同時に定着面に接触させる方式などを採用することもできる。また、インクジェット印刷機の印刷方法は、連続（コンティニュアス）式、オンデマンド式の何れでもよい。
【００２６】
また、図示例では、一の素材２ａ’に対してマスキングパターン１を形成する形態を例示しているが、効率的にマスキングパターン１を形成するため、複数の素材２ａ’を直列に連結して、複数の素材２ａ’に同時にマスキングパターン１を形成することもできる。この場合、これに対応させてノズルヘッド１０を軸方向の複数箇所に配設することもできる（図示省略）。
【００２７】
上記第１工程でのマスキングパターンの形成後、素材２ａ’は第２工程に移送される。
【００２８】
図２（ｃ）に示すように、第２工程では、外周面２ａ１の非マスク部１ｂの表面が規定の深さ分（数μｍ）だけエッチングされる。エッチングとして、電解エッチングを採用することも可能であるが、電解エッチングの場合、電解電源を必要とし、処理装置が高価かつ複雑なものとなる。そのため、エッチングとしてはこれらの問題点を解消することができる化学エッチングが望ましい。
【００２９】
エッチングの際には、非マスク部１ｂが、その外周面２ａ１からほぼ等速で除去されていく。非マスク部１ｂのエッチングが進行し、規定の深さになると、エッチング処理が完了し、図２（ｃ）に示すような底部（動圧溝）Ａｂが形成される。そして該底部Ａｂと底部Ａｂを区画形成する区画部Ａａとからなる動圧発生部Ａが形成される。なお、この際、動圧発生部の底部（動圧溝）Ａｂの表面粗さを所定値に形成することができるよう、エッチング液としては、例えば比重４０〜５０Ｂｅ’程度の塩化第二鉄液を用いるのが望ましい。
【００３０】
このように、本発明では、マスク部１ａの除去工程を設けることなく、マスク部１ａをそのまま動圧発生部Ａの区画部Ａａとしているため、従来方法に比べて工程数を減じて加工コストを一層低廉化することができる。その一方で、この動圧発生部Ａを備えた軸部２ａを組み込んだ動圧軸受装置では、特に起動・停止時等に残存したマスク部１ａが優先的に相手部材（例えば、図５に示す軸受部材７）に接触する。このマスク部１ａは、フッ素樹脂被膜で被覆されているので摺動特性を高めて低トルク化を図ることができる。
【００３１】
以上、軸部２ａに動圧発生部Ａを形成する手順について説明を行ったが、例えば図３に示す印刷装置を用いて、軸部材２のフランジ部２ｂを構成する素材２ｂ’の上端面２ｂ１に図２（ｂ）に示すマスキングパターン１を形成し、その後図２（ｃ）に基づいて説明した上記同様の手段で、フランジ部２ｂの素材２ｂ’の上側端面２ｂ１に、例えば図４に示すスパイラル形状に配列した底部（動圧溝）Ｂｂおよび区画部Ｂａからなる動圧発生部Ｂを形成することができる。なお、図３に示す印刷装置は、主に、支持部１３が素材２ｂ’の上下端面２ｂ１、２ｂ２を支持するように設けられている点で、図１に示す印刷装置と構成を異にしているが、その他の構成や、マスキングパターンの形成手順は上記同様であるから詳細説明は省略する。図示例の印刷装置は、素材２ｂ’を回転駆動させてマスキングパターンを印刷するものであるが、これ以外にも、素材２ｂ’をコンベア等の移送機に載置し、これをノズルヘッド１０と相対スライドさせることにより、素材２ｂ’の上側端面にマスキングパターンを印刷することも可能である。
【００３２】
また、上記同様の手順で、素材２ｂ’の下側端面２ｂ２にも、例えばスパイラル形状の底部と区画部とからなる動圧発生部Ｃ（図示省略）を形成することができるが、その工程は、上側端面２ｂ１に動圧発生部Ｂを形成する工程と全くの同一であるので詳細な説明は省略する。なお、動圧発生部Ｂ、Ｃの何れか一方又は双方は、プレス加工で成形することもできる。
【００３３】
このようにして、別工程で動圧発生部Ａ、Ｂ、Ｃを形成した軸部２ａとフランジ部２ｂを圧入等の方法で一体化することにより図５および図６に示す軸部材２が完成する。この他、軸部２ａの素材２ａ’とフランジ部２ｂの素材２ｂ’を予め鍛造等で一体成形し、これを図１および図３に示す第１工程の印刷装置に順次供給してそれぞれマスキングパターンを形成した後、第２工程を経て軸部材２を形成することもできる。この場合、エッチングは、軸部２ａとフランジ部２ｂで同時に行うことができるので、より一層効率的に動圧発生部を形成することができる。
【００３４】
図５に、上記工程を経て製作された軸部材２を組み込んだ動圧軸受装置２１の一構成例を示す。この動圧軸受装置２１は、軸部材２と、スリーブ状の部分を有し、軸部２ａをその内周に挿入可能な軸受部材７と、軸受部材７の一端側開口を封口する蓋部材８と、軸受部材７の他端側に位置し、動圧軸受装置２１の内部を満たす潤滑油をシールするためのシール部９とを備えている。
【００３５】
軸受部材７は、略円筒状に形成され、その内周に軸部材２が挿入されている。図示例の軸受部材７は、スリーブ部７ａと、その上方のシール装着部７ｂと、その下方の蓋部材固定部７ｃとで構成され、蓋部材固定部７ｃの内周面７ｃ１には軸受部材７とは別体の蓋部材８が嵌合固定される。スリーブ部７ａの円筒状の内周面７ａ１は、シール装着部７ｂの内周面７ｂ１や蓋部材固定部７ｃの内周面７ｃ１よりも小径で、軸部２ａの外周面２ａ１に形成された二つの動圧発生部Ａと対向する。
【００３６】
蓋部材８は、軸受部材７の一端開口部を封口する部材で、軸受部材７とは別体の有底略円筒形状に形成される。この蓋部材８は、円筒状の側部８ａと側部８ａの下端開口を封口する底部８ｂとを備え、図示例では側部８ａと底部８ｂとは一体成形されている。蓋部材８は、例えば側部８ａの内周面８ａ１を軸受部材７の蓋部材固定部７ｃの内周に、圧入、接着、溶着等の適宜の手段で固定される。この時、軸部材２のフランジ部２ｂは、軸受部材７のスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と、蓋部材８の底部８ｂの上側端面８ｂ１との間の空間に収容される。蓋部材８の側部８ａの上側端面８ａ２は、軸受部材７のスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と当接しており、これによってスラスト軸受隙間が規定幅に管理される。
【００３７】
シール部９は、金属材料や樹脂材料で環状に形成される。シール部９は、この実施形態では、軸受部材７とは別体に形成され、軸受部材７の上端側に位置するシール装着部７ｂの内周面７ｂ１に圧入、接着等の手段で固定される。シール部９の内周面９ａは上方に向かうにつれてテーパ状に拡径しており、この内周面９ａと、内周面９ａに対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間には、上方に向かって半径方向寸法が漸次拡大する環状のシール空間Ｓが形成される。シール部９で密封された動圧軸受装置１の内部空間には、潤滑油が注油され、動圧軸受装置１内が潤滑油で満たされる。この状態では、潤滑油の油面はシール空間Ｓの範囲内に維持される。部品点数の削減および組立工数の削減のため、シール部９を軸受部材７と一体形成することもできる。
【００３８】
上記構成の動圧軸受装置２１において、軸部材２を回転させると、軸部２ａの外周面２ａ１に形成された動圧発生部Ａとこれに対向する軸受部材７の内周面との間にラジアル軸受隙間が形成される。また、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１に形成された動圧発生部Ｂとこれに対向する軸受部材７の下側端面７ａ２との間に第１のスラスト軸受隙間が形成され、フランジ部２ｂの下側端面２ｂ２に形成された動圧発生部Ｃとこれに対向する蓋部材８の上側端面８ｂ１との間に第２のスラスト軸受隙間が形成される。そして、軸部材２の回転に伴って、ラジアル軸受隙間および第１、第２スラスト軸受隙間に満たされた潤滑油に動圧作用が生じ、これにより、ラジアル軸受隙間には軸部材２をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成され、第１、第２スラスト軸受隙間には軸部材２をスラスト方向に非接触支持する第１、第２スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２がそれぞれ形成される。
【００３９】
なお、動圧発生部Ｂ、Ｃの何れか一方又は双方を、フランジ部２ｂの上下端面２ｂ１、２ｂ２に対向する、軸受部材７の下側端面７ａ２や蓋部材８の上側端面８ｂ１に形成することもできる。
【００４０】
図６に上記軸部材２を使用した動圧軸受装置２１の第２構成例を示す。この動圧軸受装置２１が図５に示す第１構成例と大きく異なる点は、一部材であった軸受部材７が、ハウジング１７と軸受スリーブ１８の二部材で構成されている点である。軸部材２は、例えば含油焼結金属で円筒形状に形成される軸受スリーブ１８の内周面に挿入される。また、例えば樹脂の射出成形で略円筒形状に成形されるハウジング７の内周面には、接着等の手段で軸受スリーブ１８が固定される。軸部材２の回転時には、軸部材２の外周面２ａ１に形成された動圧発生部Ａと、軸受スリーブ１８の内周面との間のラジアル軸受隙間にラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成され、またフランジ部２ｂの上側端面２ｂ１に形成された動圧発生部Ｂと、軸受スリーブ１８の下側端面との間の第１スラスト軸受隙間に第１スラスト軸受部Ｔ１が形成される。この他の点については、同一構造であるため、同一符号を付与し、重複説明を省略する。
【００４１】
以上の説明では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を構成する動圧軸受として、例えばヘリングボーン形状やスパイラル形状に配列した動圧溝からなる動圧発生部を用いた軸受を例示しているが、動圧発生部の構成はこれに限定されるものではない。ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２として、例えば円周方向複数箇所で、ラジアル軸受隙間を円周方向の一方又は双方にくさび状に縮小させた形状とした、いわゆる多円弧軸受、軸方向に延びた動圧溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ軸受で構成することもできる。また、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２として、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向等間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、いわゆる波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。なお、図５および図６では、軸方向に離隔して二つのラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を配置した場合を例示しているが、ラジアル軸受部の数は任意であり、一つあるいは三つ以上設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】マスキングパターンの印刷装置を示す側面図である。
【図２】動圧発生部の形成工程を示す拡大断面図である。
【図３】マスキングパターンの印刷装置の他例を示す側面図である。
【図４】軸部材の端面に形成される動圧発生部の一例を示す図である。
【図５】動圧軸受装置の構成例を示す断面図である。
【図６】動圧軸受装置の構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１        マスキングパターン
１ａ      マスク部
１ｂ      非マスク部
２        軸部材
２ａ      軸部
２ｂ      フランジ部
７        軸受部材
１０      ノズルヘッド
１２      インク
１３      支持部
１４      ノズル
２１      動圧軸受装置
Ａ、Ｂ、Ｃ    動圧発生部
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
【図１】
2007247808.tif 000003
【図２】
2007247808.tif 000004
【図３】
2007247808.tif 000005
【図４】
2007247808.tif 000006
【図５】
2007247808.tif 000007
【図６】
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