(57)【要約】【課題】テープの貼付け時にテープに皺が発生するのを防止する。【解決手段】テープ貼付装置（１０）が、テープ（３）が繰出される繰出ロール（４２）と、繰出ロールから繰出されたテープの一部を固定するテープ固定手段（４７）と、テープ固定手段により固定されたテープをテープ固定手段と繰出ロールとの間において繰出ロールから所定量だけさらに繰出すテープ繰出手段（６２）と、テープ固定手段によるテープの固定を解除した状態で、テープ固定手段の下流に位置するテープを貼付対象物（２０、３６）に貼付けるテープ貼付手段（４９、３１、３７）とを含む。テープ繰出手段により繰出されたテープは、貼付対象物の直径以上の長さであるのが好ましい。【選択図】図２
2007307866.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テープが繰出されるテープロールと、
該テープロールから繰出された前記テープの一部を制動するテープ走行の制動手段と、
該制動手段により制動された前記テープを前記制動手段と前記テープロールとの間において前記テープロールから所定量だけさらに繰出すテープ繰出手段と、
前記制動手段による前記テープの制動を緩めた状態または解除した状態で、前記制動手段の下流に位置する前記テープを貼付対象物に貼付けるテープ貼付手段とを具備するテープ貼付装置。
【請求項２】
前記テープ貼付手段は、前記テープを押付けて前記貼付対象物の縁部に貼付ける貼付ロールと、前記貼付対象物を支持していて水平方向に移動可能な支持テーブルとを含む請求項１に記載のテープ貼付装置。
【請求項３】
前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときに前記支持テーブルを上昇させるようにした請求項２に記載のテープ貼付装置。
【請求項４】
前記テープ繰出手段がダンサロールである請求項１から３のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。
【請求項５】
前記制動手段と前記テープ貼付手段との間において前記テープ繰出手段により繰出された前記テープは、前記貼付対象物の直径以上の長さである請求項１から４のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。
【請求項６】
さらに、前記テープを繰出すために前記テープロールを回転させる駆動ローラを具備し、該駆動ローラは前記テープの貼付時には前記テープロールを停止させる請求項１から５のいずれか一項に記載のテープ貼付装置。
【請求項７】
前記テープは前記貼付対象物の表面に概ね対応した形状であってベーステープの長手方向に所定間隔で貼付けられており、
さらに、該テープの後端を検出する検出手段を具備し、
前記前記検出手段により前記テープの前記後端が検出されたときに前記テープが前記貼付ロールに隣接して配置されるように前記検出手段が位置決めされている請求項２に記載のテープ貼付装置。
【請求項８】
テープロールからテープを繰出し、
前記テープロールから繰出された前記テープの一部をテープ走行の制動手段により制動し、
該制動手段により制動された前記テープを前記制動手段と前記テープロールとの間において前記テープロールから所定量だけさらに繰出し、
前記制動手段による前記テープの制動を緩めるかまたは解除し、
前記制動手段の下流に位置するテープを貼付対象物に貼付けるようにしたテープ貼付方法。
【請求項９】
前記貼付対象物は支持テーブルに支持されており、
前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときには、前記テープが押付けられることにより前記貼付対象物の縁部に貼付けられ、次いで、前記支持テーブルが水平方向に移動されるようにした請求項８に記載のテープ貼付方法。
【請求項１０】
前記テープを前記貼付対象物の縁部に貼付けられるときに前記支持テーブルを上昇させる請求項９に記載のテープ貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、テープ、例えばダイシングテープをウェーハの表面に貼付けるテープ貼付方法、およびこの方法を実施するテープ貼付装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野においてはウェーハが年々大型化する傾向にあり、また、実装密度を高めるためにウェーハの薄葉化が進んでいる。ウェーハを薄葉化するために、半導体ウェーハの裏面を研削するバックグラインドが行われている。バックグラインド時には、ウェーハ表面に形成された半導体素子を保護するために表面保護テープがウェーハ表面に貼付けられる。
【０００３】
バックグラインドによってウェーハの厚さは大幅に低下するので、ダイシングテープをウェーハの裏面に貼付けてマウントフレームと一体化させている。これにより、後工程におけるウェーハのハンドリングを容易にしている。
【０００４】
特許文献１には、テープをマウントフレームおよびウェーハ上に繰出して貼付ける貼付装置が開示されている。テープロールから繰出されたテープはガイド部材によって案内されて、最初にマウントフレームの縁部付近に貼付ローラによって貼付けられる。
【０００５】
図６は特許文献１に開示されるような従来技術においてテープをマウントフレームに貼付開始したときのウェーハの頂面図である。図６に示される貼付開始時においては、テープ３はマウントフレーム３６の縁部付近に位置する貼付箇所３ａのみに貼付けられる。
【０００６】
次いで、マウントフレーム３６およびウェーハ２０を支持するテーブル（図６には示さない）が水平方向に移動し、それにより、テープ３がマウントフレーム３６およびウェーハ２０全体に貼付けられるようになる。
【特許文献１】特開２００６−０４４１５２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、テープ３をマウントフレーム３６に貼付けた当初においては、貼付箇所３ａの面積が比較的小さいので、テープロールがテープ３を引張る引張力が貼付箇所３ａにおける粘着力を上回る場合がある。このような場合には引張力がテープ３の弾性限度を越えることにより、図６に示されるように、貼付箇所３ａの両端部３ｂ、３ｃよりも外側において長手方向に延びる皺９９がテープに形成されるようになる。これら皺９９はテープ３の弾性限度を越えた結果として形成されるので、一旦皺９９が形成されると、テープロールからの引張力を排除したとしても解消することはできない。
【０００８】
ところで、図７は一般的なテープロールの状態を示す図である。テープロール１４２が貼付装置にロードされた直後において繰出されるダイシングテープ３の繰出位置は半径方向において比較的外側に在る。そして、ダイシングテープ３の貼付動作が進行してテープロール１４２におけるダイシングテープ３の残り量が低下すると、ダイシングテープ３の繰出位置は半径方向において次第に内側に移動する（仮想線３’を参照されたい）。さらに、繰出位置が比較的外側に在る場合には、テープロール１４２のオーバーランを防止するためにテープロール１４２に隣接したブレーキ機構（図示しない）を設ける必要がある。
【０００９】
このようなことから、テープロール１４２のロード直後とテープロール１４２の交換直前とにおいては、テープロール１４２を回転するのに必要とされる駆動トルクは異なり、テープロール１４２のロード直後における駆動トルクは交換直前における駆動トルクよりもかなり大きい。このため、ロード直後におけるテープロールからの引張力もかなり大きく、その結果、ロード直後においては前述した皺９９がテープ３に発生しやすい。さらに、引張力が貼付箇所３ａにおける粘着力を大幅に越えると、貼付箇所３ａに貼付けられたテープ３がマウントフレーム３６から離脱する場合もある。
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、テープに皺が発生するのを防止することのできるテープ貼付方法、およびこの方法を実施するテープ貼付装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、テープが繰出されるテープロールと、該テープロールから繰出された前記テープの一部を制動するテープ走行の制動手段と、該制動手段により制動された前記テープを前記制動手段と前記テープロールとの間において前記テープロールから所定量だけさらに繰出すテープ繰出手段と、前記制動手段による前記テープの制動を緩めた状態または解除した状態で、前記制動手段の下流に位置する前記テープを前記貼付対象物に貼付けるテープ貼付手段とを具備するテープ貼付装置が提供される。
【００１２】
すなわち１番目の発明においては、テープ、例えばダイシングテープを貼付対象物に対応した長さだけ予め繰出すことができるので、テープを実際に貼付けるときにはテープロールを回転させる必要がない。すなわち、テープ貼付時にはテープロールからの引張力が発生しえないので、テープに皺が発生するのを防止することができる。なお、貼付対象物はウェーハか、またはウェーハとマウントフレームとの両方でありうる。
【００１３】
２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記テープ貼付手段は、前記テープを押付けて前記貼付対象物の縁部に貼付ける貼付ロールと、前記貼付対象物を支持していて水平方向に移動可能な支持テーブルとを含む。
すなわち２番目の発明においては、貼付対象物の縁部にテープを貼付けた後で支持テーブルを水平方向に移動させることにより、テープを貼付対象物全体に貼付ることができる。
【００１４】
３番目の発明によれば、２番目の発明において、前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときに前記支持テーブルを上昇させるようにした。
すなわち３番目の発明においては、テープを貼付対象物に押付けるための貼付ロールの移動量を比較的小さくし、それにより、貼付時にテープが揺動するのを防止することができる。
【００１５】
４番目の発明によれば、１番目から３番目のいずれかの発明において、前記テープ繰出手段がダンサロールである。
すなわち４番目の発明においては、比較的簡易な構成によりテープを所定量だけさらに繰出すことができる。
【００１６】
５番目の発明によれば、１番目から４番目のいずれかの発明において、前記制動手段と前記テープ貼付手段との間において前記テープ繰出手段により繰出された前記テープは、前記貼付対象物の直径以上の長さである。
すなわち５番目の発明においては、貼付対象物全体に貼付けるのに必要とされる量のテープを確保することができる。
【００１７】
６番目の発明によれば、１番目から５番目のいずれかの発明において、さらに、前記テープを繰出すために前記テープロールを回転させる駆動ローラを具備し、該駆動ローラは前記テープの貼付時には前記テープロールを停止させる。
すなわち６番目の発明においては、駆動ローラを停止させることにより繰出ローラからの引張力が生じるのを確実に防止することができる。
【００１８】
７番目の発明によれば、２番目の発明において、前記テープは前記貼付対象物の表面に概ね対応した形状であってベーステープの長手方向に所定間隔で貼付けられており、さらに、該テープの後端を検出する検出手段を具備し、前記前記検出手段により前記テープの前記後端が検出されたときに前記テープが前記貼付ロールに隣接して配置されるように前記検出手段が位置決めされている。
すなわち７番目の発明においては、テープの先端を貼付ローラに隣接した位置に適格に配置することができる。検出手段は例えば厚さセンサである。または、検出手段としてカメラを採用し、カメラを通じて得られる画像をコンピュータ処理することにより、テープの後端を検出するようにしてもよい。
【００１９】
８番目の発明によれば、テープロールからテープを繰出し、前記テープロールから繰出された前記テープの一部をテープ走行の制動手段により固定し、該制動手段により制動された前記テープを前記制動手段と前記テープロールとの間において前記テープロールから所定量だけさらに繰出し、前記制動手段による前記テープの制動を緩めるかまたは解除し、前記制動手段の下流に位置するテープを前記貼付対象物に貼付けるようにしたテープ貼付方法が提供される。
【００２０】
すなわち８番目の発明においては、テープ、例えばダイシングテープを貼付対象物に対応した長さだけ予め繰出すことができるので、テープを実際に貼付けるときにはテープロールを回転させる必要がない。すなわち、テープ貼付時にはテープロールからの引張力が発生しえないので、テープに皺が発生するのを防止することができる。なお、貼付対象物はウェーハか、またはウェーハとマウントフレームとの両方でありうる。
【００２１】
９番目の発明によれば、８番目の発明において、前記貼付対象物は支持テーブルに支持されており、前記テープを前記貼付対象物に貼付けるときには、前記テープが押付けられることにより前記貼付対象物の縁部に貼付けられ、次いで、前記支持テーブルが水平方向に移動されるようにした。
すなわち９番目の発明においては、貼付対象物の縁部にテープを貼付けた後で支持テーブルを水平方向に移動させることにより、テープを貼付対象物全体に貼付ることができる。
【００２２】
１０番目の発明によれば、８番目または９番目の発明において、前記テープを前記貼付対象物の縁部に貼付けられるときに前記支持テーブルを上昇させる。
すなわち１０番目の発明においては、テープを貼付対象物に押付けるための貼付ロールの移動量を比較的小さくし、それにより、貼付時にテープが揺動するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同一の部材には同一の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明に基づくテープ貼付装置の概略断面図である。テープ貼付装置１０に供給されるウェーハ２０は、バックグラインドによりその裏面が研削されており、ウェーハ２０の厚さは例えば１００マイクロメートル以下であるものとする。また、公知であるように、ウェーハ２０の表面には、半導体素子を保護する表面保護フィルム１１（図示しない）が既に貼付られているものとする。
【００２４】
ウェーハ２０はその裏面２２を上方に向けた状態で、テープ貼付装置１０の可動テーブル３１に支持される。図示されるように、ウェーハ２０よりも一回り大きいリング型のマウントフレーム３６は、可動テーブル３１に対して同心に配置されたリング型の可動テーブル３７に支持される。これら可動テーブル３１、３７は公知の手段により一体的に水平方向および鉛直方向に移動する。
【００２５】
図１に示されるテープ貼付装置１０は、円形シリコンウェーハ２０およびマウントフレーム３６に貼付けられるダイシングテープ３を繰出すテープロール４２と、テープロール４２から繰出されたテープのリリースを巻取る巻取ロール４３とをハウジング１５内に含んでいる。図示されるように、ハウジング１５の底面には複数のキャスタ１８および複数のストッパ１９が設けられており、キャスタ１８によってテープ貼付装置１０を床Ｌ上の所望の位置まで移動させ、ストッパ１９によってテープ貼付装置１０をこの位置に固定できるようになっている。
【００２６】
また、テープ貼付装置１０の下方部分には扉１７が設けられており、これら扉１７を開放すると、テープ貼付装置１０の下方部分に配置された制御部９０、例えばデジタルコンピュータにアクセスすることができる。なお、制御部９０には、テープ貼付装置１０の後述する各構成要素が接続されており、制御部９０がテープ貼付装置１０の各構成要素の動作を制御する。
【００２７】
図１の左方に示されるように、テープ貼付装置１０はカッタユニット６５を含んでいる。カッタユニット６５は鉛直方向に往復運動できて、回転可能なカッタ６４が設けられている。ダイシングテープ貼付後にカッタユニット６５をウェーハ２０まで移動させ、次いでカッタ６４をマウントフレーム３６の周縁に沿って回転させことにより、ウェーハ２０とマウントフレーム３６とに貼付けられたダイシングテープ３を切断できるようになっている。
【００２８】
図２はテープ貼付装置の一部を拡大して示す第一の部分拡大図である。図２に示されるように、テープロール４２の下流には、図示しないモータにより駆動される駆動ロール４５が設けられている。駆動ロール４５は、ダイシングテープ３がテープロール４２から繰出されるようにテープロール４２を回転させる。
【００２９】
駆動ロール４５の下流には一対の制動ロール４６、４７が設けられている。通常はダイシングテープ３に係合している一方の制動ロール４６には、検尺ロール４１が隣接して配置されている。検尺ロール４１は走行したダイシングテープ３の長さを検出する。他方の制動ロール４７は、第一エアシリンダ５１によって一方の制動ロール４６に押付けられる。これにより、一方の制動ロール４６に掛けられたダイシングテープ３が制動ロール４６、４７の間で把持されるので、ダイシングテープ３をその位置で一時的に固定することができる。また、制動ロール４７の制動ロール４６に対する押付力を弱くした場合には、ダイシングテープ３を制動してダイシングテープ３にブレーキ力を加えることができる。
【００３０】
制動ロール４７の下流には、ガイドロール４８と先端３５ａがナイフエッジ状に形成されたガイド部材３５とが設けられている。ダイシングテープ３はガイド部材３５の先端３５ａにおいて折返された後、巻取ロール４３に向かって延びている。
【００３１】
ダイシングテープ３の粘着面にはリリース６（ベーステープ）が予め貼付けられており、テープロール４２とガイド部材３５との間においては、ダイシングテープ３はリリース６と一体的に繰出される。ダイシングテープ３は、ガイド部材３５の先端にて折返される際にリリース６から剥離して、後述するようにマウントフレーム等に貼付けられる。図示されるように、ダイシングテープ３から剥離されたリリース６は複数のガイドロール５３、５４、５７を介して巻取ロール４３に導かれる。このとき、ガイドロール５４とガイドロール５７との間に配置された駆動ロール５５、５６が駆動してリリース６を巻取ロール４３まで移動させる。なお、駆動ロール５５、５６は図示しないモータに接続されている。
【００３２】
図２においては、貼付ロール４９がガイド部材３５の先端３５ａに隣接して設けられている。貼付ロール４９は第二エアシリンダ５２によって昇降運動するようになっている。貼付ロール４９はリリース６から剥離したダイシングテープ３をマウントフレーム３６またはウェーハ２０の表面に押付けて貼付ける役目を果たす。
【００３３】
さらに、本発明のテープ貼付装置１０は、駆動ロール４５と制動ロール４６との間に設けられたダンサロール６２を含んでいる。ダンサロール６２は、略鉛直方向に配置されたレール６１上を摺動するよう形成されている。図示されるように、ダイシングテープ３は駆動ロール４５と制動ロール４６との間において概ね水平方向に延びている。従って、ダンサロール６２がレール６１上を摺動すると、ダイシングテープ３はダンサロール６２に係合してさらに繰出されるようになる。
【００３４】
また、ダイシングテープ３がリリース６全体に亙って連続的に貼付けられている代わりに、マウントフレーム３６の外形に概ね対応した形状の複数のダイシングテープ３がリリース６の長手方向に所定間隔で貼付けられている構成であってもよい。この場合にはダイシングテープ貼付後に使用されるカッタユニット６５は排除される。
【００３５】
マウントフレーム３６の外形に対応したダイシングテープ３が採用される場合には、制動ロール４６とガイドロール４８との間に配置される複数、例えば二つのセンサ７１、７２が使用される。これらセンサ７１、７２は例えばダイシングテープ３とリリース６との合計厚さを検出する厚さセンサ、またはダイシングテープ３の色の変化を検出するセンサである。
【００３６】
これらセンサ７１、７２は異なる寸法のウェーハ２０および／またはマウントフレーム３６にダイシングテープ３を貼付けるのに使用される。すなわち、一方のセンサ７１は例えば直径約３００ｍｍ（１２インチ）のウェーハ２０にダイシングテープ３を貼付けるのに使用され、他方のセンサ７２は例えば直径約２００ｍｍ（８インチ）のウェーハ２０にダイシングテープ３を貼付けるのに使用される。
【００３７】
センサ７１、７２は、制動ロール４６とガイドロール４８との間のダイシングテープ３の合計厚さの変化および／またはダイシングテープ３の色の変化を検出することにより、マウントフレーム３６の外形に概ね対応した形状のダイシングテープ３の上流側の後端位置を検出する。センサ７１、７２によってダイシングテープ３の後端位置が検出されたときに、ダイシングテープ３の下流側の先端が貼付ロール４９の真下に配置されるように、これらセンサ７１、７２は予め位置決めされている。言い換えれば、センサと貼付ロール４９との間におけるダイシングテープ３に沿った距離は、貼付けられるべきダイシングテープ３の長さに対応する。
【００３８】
なお、図示しない他の実施形態においては、制御部９０に接続されたカメラをセンサ７１、７２として使用してもよい。この場合には、カメラを通じて得られる画像を制御部９０においてコンピュータ処理することにより、ダイシングテープ３が存在する部分とリリース６のみの部分とを識別し、それにより、ダイシングテープ３の後端または先端の位置を検出することができる。
【００３９】
図３は本発明に基づくテープ貼付装置のタイムチャートを示す図であり、図４はテープ貼付装置の一部を拡大して示す第二の部分拡大図である。以下、図２から図４を参照しつつ、本発明に基づくテープ貼付装置１０の動作を説明する。なお、テープ貼付装置１０の駆動前においては、駆動ロール４５、制動ロール４７および貼付ロール４９はいずれも動作しておらず、ダンサロール６２は上方位置にあるものとする。
【００４０】
はじめに、図３の時刻ｔ１において、駆動ロール４５を起動し、それにより、ダイシングテープ３をテープロール４２から繰出す。マウントフレーム３６に対応した形状の複数のダイシングテープ３がリリース６に貼付けられている場合には、センサ７１（またはセンサ７２）によってダイシングテープ３の後端位置を検出するようにする。図３においては、ダイシングテープ３の後端位置が時刻ｔ４において検出されたものとされており、時刻ｔ１において第一エアシリンダ５１を駆動して制動ロール４７を駆動させる。
【００４１】
これにより、図４に示されるように、制動ロール４６、４７との間にダイシングテープ３が把持されて一時的に固定される。つまり、このときには、ダイシングテープ３が固定される固定位置まで制動ロール４７によりダイシングテープ３にブレーキをかける。そして、ダイシングテープ３の固定と同時に、ダンサロール６２をレール６１に沿って下方に移動させる。これにより、ダンサロール６２がダイシングテープ３に係合してレール６１に沿って引張るようになる。ダンサロール６２の移動時にも駆動ロール４５は駆動し続けているので、ダイシングテープ３はテープロール４２から連続的に繰出される。
【００４２】
図３を参照して分かるように、時刻ｔ２から時刻ｔ３においては、第一エアシリンダ５１を駆動して、ブレーキ力が弱くなるように、制動ローラ４７をその制動状態にする。制動ローラ４７が制動状態にあるときには、所定のブレーキ力がダイシングテープ３に係るものの、ダイシングテープ３をわずかながら送り出すことができる。
【００４３】
図示されるように、制動ローラ４７が制動状態にある時刻ｔ２から時刻ｔ３において、駆動ロール５５、５６を移動させ、それにより、リリース６をわずかながら引出すようにする。可動テーブル付近を拡大して示す図５（ａ）に示されるように、この引出動作によって、ダイシングテープ３の先端を貼付ロール４９の真下に位置決めする。このような微調整を行った後で、制動ローラ４７はダイシングテープ３を固定する固定状態にされ、駆動ロール５５、５６は停止される（図３を参照されたい）。
【００４４】
ダンサロール６２が所定の下降位置まで到達すると（図４参照）、時刻ｔ４において駆動ロール４５を停止させ、ダイシングテープ３がテープロール４２からそれ以上繰出されないようにする。従って、以下の貼付工程においては、テープロール４２がダイシングテープ３を引張る引張力がダイシングテープ３に掛かることはない。
【００４５】
なお、ダンサロール６２の下降運動によって繰出されたダイシングテープ３の長さは、マウントフレーム３６およびウェーハ２０に貼付けられるべきダイシングテープ３の長さにほぼ等しいものとする。言い換えれば、ダンサロール６２の下降距離は、使用されるマウントフレーム３６およびウェーハ２０に貼付けられるべきダイシングテープ３の長さに応じて定まる。従って、直径約３００ｍｍ（１２インチ）のウェーハ２０を使用するときと直径約２００ｍｍ（８インチ）のウェーハ２０を使用するときとで、ダンサロール６２の下降距離が異なることが理解されよう。
【００４６】
次いで、時刻ｔ４において第一エアシリンダ５１を駆動して他方の制動ロール４７を制動状態にする。これらロール４６、４７を完全に離間させる場合にはダイシングテープ３の所定のテンションが消滅して皺が形成されるので、制動ロール４７は、ダイシングテープ３の固定を解除しつつダイシングテープ３のテンションを一定に維持できる制動状態にされる。そして、図３から分かるように、ダイシングテープ３を制動するのと同時に、第二エアシリンダ５２を駆動して貼付ロール４９を下降させる。
【００４７】
図５（ａ）および図５（ｂ）は可動テーブル付近を拡大して示す第一および第二の拡大図である。図５（ａ）に示されるように、貼付ロール４９を下降させると、貼付ロール４９がダイシングテープ３をマウントフレーム３６の表面に押付けるようになる。これにより、ダイシングテープ３がマウントフレーム３６の外周よりもわずかながら内側の部分に貼付く。
【００４８】
なお、ダイシングテープ３をマウントフレーム３６の縁部に貼付けるときには、貼付ロール４９を下降させることに加えて、図３に示されるように、可動テーブル３１、３７をわずかながら鉛直方向に上昇させてもよい。この場合には、貼付ロール４９の下降量が小さくなるので、貼付ロール４９とマウントフレーム３６との間でダイシングテープ３が揺動するのを抑えられ、その結果、ダイシングテープ３をより安定して貼付けることが可能になる。
【００４９】
次いで、図３および図５（ｂ）に示されるように、貼付後の時刻ｔ５において、可動テーブル３１、３７を一体的に左方に水平移動させる。これにより、可動テーブル３１、３７の水平移動に同期して、ダンサロール６２がレール６１に沿って上昇するようになる（図３および図４を参照されたい）。
【００５０】
可動テーブル３１、３７の反対側の端部が貼付ロール４９を通過すると、マウントフレーム３６およびウェーハ２０の全面にダイシングテープ３が貼付けられることになる。その結果、ウェーハ２０はマウントフレーム３６と一体化し、後工程におけるハンドリングが容易になる。
【００５１】
また、図３を参照して分かるように、ダイシングテープ３の貼付が完了すると、第二エアシリンダ５２が駆動されて、貼付ロール４９を元位置まで上昇させる。ただし、図４および図５（ａ）に示されるように可動テーブル３１を上昇させてダイシングテープ３を貼付ける場合には、可動テーブル３１を下降させて貼付ロール４９と可動テーブル３１との間の隙間を広げる。なお、貼付ロール４９と可動テーブル３１の両方を使用して、ダイシングテープ３を貼付けるようにしてもよい。また、ダイシングテープ３の貼付が完了したときには、ダンサロール６２はテープ貼付装置１０動作前の元位置にて停止するようになる。
【００５２】
ダイシングテープ３がリリース６全体に亙って連続的に貼付けられている場合には、ダイシングテープ３の貼付後に、図１に示されるカッタユニット６５が駆動される。すなわち、カッタユニット６５のカッタ６４をマウントフレーム３６の外周に沿って周回させ、それにより、ダイシングテープ３を切断する。その後、可動テーブル３１、３７を元位置まで戻し、前述した貼付動作を繰返す。
【００５３】
このように本発明においては、ダンサロール６２を用いてダイシングテープ３を必要長さだけ予め繰出しておき、予め繰出されたダイシングテープ３をマウントフレーム３６およびウェーハ２０に貼付けるようにしている。このため、ダイシングテープ３の貼付時にはテープロール４２を駆動ロール４５によって回転させる必要がない。
【００５４】
さらに、本発明においては、ダイシングテープ３の貼付時には、ダンサーロール６２によって繰出されたダイシングテープ３のみが消費されるので、テープロール４２から新たに繰出すことなしに、貼付動作を行うことができる。従って、テープロール４２のための駆動ロール４６はダイシングテープ３の貼付時には停止の状態でよい。このため、本発明においては、マウントフレーム３６またはウェーハ２０に貼付いた部分よりも上流のダイシングテープ３に皺が生じるのを防止できる。
【００５５】
さらに、本発明においては、前述したようにダイシングテープ３の貼付時に駆動ロール４５を停止させているので、テープロール４２からの引張力はダイシングテープ３の貼付時にはほとんど発生せず、引張力はテープロール４２のロード直後と交換直前とでほぼ等しい。このため、本発明においては、テープロール４２の残り量に関係することなしに、ダイシングテープ３を均等な力（テンション）で安定して貼付ることが可能となる。
【００５６】
以上、ウェーハ２０の裏面にダイシングテープ３を貼付けてマウントフレーム３６と一体化させる場合について説明したが、ウェーハ２０に他のテープを貼付ける場合、例えばウェーハ２０の表面に表面保護フィルムを貼付ける場合にも本発明のテープ貼付装置１０を適用できるのは明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】本発明に基づくテープ貼付装置の概略断面図である。
【図２】テープ貼付装置の一部を拡大して示す第一の部分拡大図である。
【図３】本発明に基づくテープ貼付装置のタイムチャートを示す図である。
【図４】テープ貼付装置の一部を拡大して示す第二の部分拡大図である。
【図５】（ａ）可動テーブル付近を拡大して示す第一の拡大図である。（ｂ）可動テーブル付近を拡大して示す第二の拡大図である。
【図６】従来技術においてテープをマウントフレームに貼付開始したときのウェーハの頂面図である。
【図７】一般的なテープロールを示す図である。
【符号の説明】
【００５８】
３    ダイシングテープ
６    リリース
１０    テープ貼付装置
１１    表面保護フィルム
１５    ハウジング
１７    扉
１８    キャスタ
１９    ストッパ
２０    ウェーハ
２２    裏面
３１、３７    可動テーブル（テープ貼付手段）
３５    ガイド部材
３５ａ    先端
３６    マウントフレーム
４１    検尺ロール
４２    テープロール
４３    巻取ロール
４５    駆動ロール
４６、４７    制動ロール（制動手段）
４８    ガイドロール
４９    貼付ロール（テープ貼付手段）
５１    第一エアシリンダ
５２    第二エアシリンダ
５３    ガイドロール
５５、５６    駆動ロール
６１    レール
６２    ダンサロール（テープ繰出手段）
６４    カッタ
６５    カッタユニット
７１、７２    センサ
９０    制御部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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