(57)【要約】【課題】  ワイヤ工具の無駄を低減し、ワイヤ工具同士の接合部における盛り上がりを抑制しつつ、且つ、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することを可能とするワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を提供する。【解決手段】  ワイヤ２にボンド材４を介して砥粒３を固着したワイヤ工具１同士を接合する方法であって、ワイヤ工具１の接合する端部５にあるボンド材４及び砥粒３を剥離する工程と、ボンド材４及び砥粒３が剥離されたワイヤ端部２ａ同士を、金属筒６内に両端からそれぞれ挿入する工程と、金属筒６とワイヤ端部２ａとの間で接着剤７を硬化させてワイヤ端部２ａ同士を固定する工程と、を備える。【選択図】  図１
2007307650.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、
前記ワイヤ工具の接合する端部にある前記ボンド材及び前記砥粒を剥離する工程と、
前記ボンド材及び前記砥粒が剥離された端部同士を、金属筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、
前記金属筒と前記端部との間で接着剤を硬化させて前記端部同士を固定する工程と、
を備えることを特徴とするワイヤ工具接合方法。
【請求項２】
前記接着剤は焼結可能な金属粉末を含み、該金属粉末を焼結させて硬化させることを特徴とする請求項１に記載のワイヤ工具接合方法。
【請求項３】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、
前記ワイヤ工具の接合する端部にある前記ボンド材及び前記砥粒を剥離する工程と、
前記ボンド材及び前記砥粒が剥離された端部同士を、金属筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、
前記金属筒をかしめて前記端部同士を固定する工程と、
を備えることを特徴とするワイヤ工具接合方法。
【請求項４】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、
前記ワイヤ工具の接合する端部にある前記ボンド材及び前記砥粒を剥離する工程と、
前記ボンド材及び前記砥粒が剥離された端部同士を向き合わせ、筒形状が記憶された形状記憶合金を該端部の周りに配置する工程と、
前記形状記憶合金を加熱し、前記筒形状に復元させて前記端部同士を包み込んで固定する工程と、
を備えることを特徴とするワイヤ工具接合方法。
【請求項５】
前記形状記憶合金と前記端部との間で、金属粉末を焼結させて硬化させる工程を更に備えることを特徴とする請求項４に記載のワイヤ工具接合方法。
【請求項６】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、
前記ワイヤ工具の接合する端部にある前記ボンド材及び前記砥粒を剥離する工程と、
前記ボンド材及び前記砥粒が剥離された端部同士を、熱収縮性を有する樹脂筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、
前記樹脂筒を加熱して収縮させて前記端部同士を固定する工程と、
を備えることを特徴とするワイヤ工具接合方法。
【請求項７】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、
内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである金属筒と、
前記ワイヤの端部と前記金属筒とを接着固定可能な接着剤と、
を備えることを特徴とするワイヤ工具接合部材。
【請求項８】
前記接着剤は、焼結可能な金属粉末を含むことを特徴とする請求項７に記載のワイヤ工具接合部材。
【請求項９】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、
内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍであって、かしめることが可能な金属筒を備えることを特徴とするワイヤ工具接合部材。
【請求項１０】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、
内径が１００〜５００μｍである筒形状が記憶され、厚みが５〜５０μｍであって、熱により復元可能な形状記憶合金を備えることを特徴とするワイヤ工具接合部材。
【請求項１１】
前記ワイヤの端部と前記形状記憶合金とを焼結により接着可能な金属粉末を備えることを特徴とする請求項１０に記載のワイヤ工具接合部材。
【請求項１２】
ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、
内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍであって、熱収縮性を有する樹脂筒を備えることを特徴とするワイヤ工具接合部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワイヤに砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させるワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
図７に示すように、半導体シリコン等の硬脆材料３１を薄く切断加工するためのワイヤソーとして、砥粒が電着されたワイヤ工具１を備えたマルチワイヤソー２０が用いられている。ワイヤ工具１は、例えば、直径５００μｍ未満のワイヤに対して、ダイヤモンド粒を電着することにより得られる。マルチワイヤソー２０において、ボビン２２Ａに巻かれたワイヤ工具１は、滑車２３Ａを介してローラ２１Ａ及び２１Ｂをまとめて巻回した後に、滑車２３Ｂ及び２３Ｃを介してボビン２２Ｂに巻取られる状態となっている。マルチワイヤソー２０は、ワイヤ工具１をボビン２２Ｂが巻取る方向にボビン２２Ｂを回転させる動作、及びワイヤ工具１をボビン２２Ａが巻取る方向にボビン２２Ａを回転させる動作のそれぞれを行うことができる（一方向送りタイプ）。また、マルチワイヤソー２０は、両方の動作を交互に行うことによりエンドレスな研削を行うこともある（往復研削の繰り返しタイプ）。
【０００３】
このワイヤ工具１が切断されてしまった場合、マルチワイヤソー２０によるスライスが再度可能な状態にするには、いくつかの方法がある。例えば、切断されたワイヤ工具１を全て巻取った後に、新たなワイヤ工具をボビン２２Ａから滑車やローラを介してボビン２２Ｂに巻取らせてマルチワイヤソー２０にセットする方法がある。また、切断されたワイヤ工具１同士を結ぶことにより接合する方法がある。さらに、切断されたワイヤ工具１同士を溶接により接合する方法がある。溶接により接合する技術は、例えば非特許文献１に開示されている。
【０００４】
この非特許文献１に記載の接合技術においては、切断されたワイヤ工具１の接合面同士を３０ｍＮの押付力で押付けてレーザ溶接している。
【非特許文献１】石川憲一編著、「硬脆材料の高能率・高精度  スライシング加工」、株式会社アイピーシー、１９９５年１２月１０日、ｐ．２６９−２７３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、切断されたワイヤ工具１を全て巻取って取り外し、新たなワイヤ工具をマルチワイヤソー２０にセットする方法では、巻取り及びセットのために多大な作業時間と労力を要してしまい、またワイヤ工具に無駄が生じるという問題がある。また、切断されたワイヤ工具１同士を結ぶことにより接合する方法では、ワイヤの太さより大きく盛り上がる結び目が、ローラ２１Ａ及び２１Ｂの溝形状部を傷つけてしまい、後の加工精度に影響してしまうという問題がある。さらに、ワイヤ工具１同士を上記の溶接により接合する方法では、強度不足のため、接合したワイヤ工具１を巻き取る前に断線しやすいという問題がある。
【０００６】
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、ワイヤ工具の無駄を低減し、ワイヤ工具同士の接合部における盛り上がりを抑制しつつ、且つ、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することを可能とするワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係るワイヤ工具接合方法は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒を剥離する工程と、ボンド材及び砥粒が剥離された端部同士を、金属筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、金属筒と端部との間で接着剤を硬化させて端部同士を固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【０００８】
これにより、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒が剥離されるので、端部同士を金属筒内に挿入して固定した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、端部同士は、金属筒内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具の端部同士を固定するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、硬化させた接着剤により端部同士を固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【０００９】
また、接着剤は焼結可能な金属粉末を含み、該金属粉末を焼結させて硬化させるのも好ましい。
【００１０】
これにより、接着剤が含む金属粉末を焼結させて硬化させることができるので、ワイヤ工具の端部同士をより確実に接合することができる。
【００１１】
本発明に係るワイヤ工具接合方法は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒を剥離する工程と、ボンド材及び砥粒が剥離された端部同士を、金属筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、金属筒をかしめて端部同士を固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１２】
これにより、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒が剥離されるので、端部同士を金属筒内に挿入して固定した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、端部同士は、金属筒内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具の端部同士を固定するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、かしめられた金属筒により端部同士を固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００１３】
本発明に係るワイヤ工具接合方法は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒を剥離する工程と、ボンド材及び砥粒が剥離された端部同士を向き合わせ、筒形状が記憶された形状記憶合金を該端部の周りに配置する工程と、形状記憶合金を加熱し、筒形状に復元させて端部同士を包み込んで固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１４】
これにより、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒が剥離されるので、端部同士を金属筒内に挿入して固定した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、端部同士は向き合って配置され、形状記憶合金を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具の端部同士を固定するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、形状記憶合金を筒形状に復元させて端部同士を包み込むことにより端部同士を固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００１５】
また、形状記憶合金と端部との間で、金属粉末を焼結させて硬化させる工程を更に備えるのも好ましい。
【００１６】
これにより、形状記憶合金と端部との間で、金属粉末を焼結させて硬化させることができるので、ワイヤ工具の端部同士をより確実に接合することができる。
【００１７】
本発明に係るワイヤ工具接合方法は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合する方法であって、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒を剥離する工程と、ボンド材及び砥粒が剥離された端部同士を、熱収縮性を有する樹脂筒内に両端からそれぞれ挿入する工程と、樹脂筒を加熱して収縮させて端部同士を固定する工程と、を備えることを特徴とする。
【００１８】
これにより、ワイヤ工具の接合する端部にあるボンド材及び砥粒が剥離されるので、端部同士を樹脂筒内に挿入して固定した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、端部同士は、樹脂筒内の両端からそれぞれ挿入されて樹脂筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具の端部同士を固定するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、加熱して収縮させた樹脂筒により端部同士を固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００１９】
本発明に係るワイヤ工具接合部材は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである金属筒と、ワイヤの端部と金属筒とを接着固定可能な接着剤と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
これにより、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである金属筒内に、ワイヤ工具の端部同士を挿入して接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、ワイヤ工具の端部同士は、金属筒内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具同士を接合するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、ワイヤの端部と金属筒とを接着固定可能な接着剤により固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００２１】
また、接着剤は、焼結可能な金属粉末を含むのも好ましい。
【００２２】
これにより、接着剤が含む金属粉末を焼結させて硬化させることができるので、ワイヤ工具の端部同士をより確実に接合することができる。
【００２３】
本発明に係るワイヤ工具接合部材は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍであって、かしめることが可能な金属筒を備えることを特徴とする。
【００２４】
これにより、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである金属筒内に、ワイヤ工具同士を挿入して接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、ワイヤ工具同士は、金属筒内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具同士を接合するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、金属筒をかしめることにより固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００２５】
本発明に係るワイヤ工具接合部材は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、内径が１００〜５００μｍである筒形状が記憶され、厚みが５〜５０μｍであって、熱により復元可能な形状記憶合金を備えることを特徴とする。
【００２６】
これにより、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである筒形状に熱によって復元された形状記憶合金内に、ワイヤ工具同士を収容して接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、ワイヤ工具同士は、熱によって筒形状に復元された形状記憶合金を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具同士を接合するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、形状記憶合金を熱により筒形状に復元することにより固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【００２７】
また、ワイヤの端部と形状記憶合金とを焼結により接着可能な金属粉末を備えるのも好ましい。
【００２８】
これにより、金属粉末を焼結させて、ワイヤの端部と形状記憶合金と接着させることができるので、ワイヤ工具同士をより確実に接合することができる。
【００２９】
本発明に係るワイヤ工具接合部材は、ワイヤにボンド材を介して砥粒を固着したワイヤ工具同士を接合させる接合部材であって、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍであって、熱収縮性を有する樹脂筒を備えることを特徴とする。
【００３０】
これにより、内径が１００〜５００μｍであり、厚みが５〜５０μｍである樹脂筒内に、ワイヤ工具同士を挿入して接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、ワイヤ工具同士は、樹脂筒内の両端からそれぞれ挿入されて熱収縮した樹脂筒を介して固定されるため、ワイヤ工具の無駄を低減することができる。また、ワイヤ工具同士を接合するためにワイヤ工具を巻取る等の作業量の大きい作業を行うことなく、樹脂筒を熱収縮することにより固定できる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明によれば、ワイヤ工具の無駄を低減し、ワイヤ工具同士の接合部における盛り上がりを抑制しつつ、且つ、短時間で効率よくワイヤ工具同士を確実に接合することを可能とするワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
以下、添付図面を参照して、本発明に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材の好適な実施形態について詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いるものとし、重複する説明は省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【００３３】
まず、ワイヤ工具１の構造について、図８（ａ）及び（ｂ）を用いて説明する。ワイヤ工具１は、ピアノ線等からなるワイヤ２にボンド材４を介して砥粒３を固着した工具であり、全長は１ｋｍを超えている。ワイヤ２の直径Ｄは全長に亘って５００μｍ未満である。一般的に、直径Ｄが１４０〜３００μｍのワイヤ２が多く用いられ、直径Ｄが１４０μｍのワイヤ２が特に多く用いられる。ワイヤ２に固着している砥粒３は、ダイヤモンドやｃＢＮ（立方晶窒化ホウ素）等からなり、粒径が２０〜３０μｍ程度である。また、粒径が３０〜４０μｍ程度である砥粒３を用いることもある。ワイヤ２に砥粒３を固着させるボンド材４としては、例えばニッケルといった金属のめっき層等を用いることができる。
【００３４】
［第１実施形態］
図１（ａ）〜（ｃ）は、第１実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材１０を説明する説明図である。
【００３５】
まず、図１（ａ）に示すように、切断されたワイヤ工具１の破断部分を、ワイヤ工具１を接合する端部５とする。なお、ここでは、切断されたワイヤ工具１同士の接合方法について説明するが、切断が発生していないワイヤ工具１の末端同士の接合を行う場合にも本方法を適用することができる。次に、図１（ｂ）に示すように、ワイヤ工具１の端部５近傍にあるボンド材４及び砥粒３を剥離する（剥離工程）。この剥離工程は、ワイヤ２の端部であるワイヤ端部２ａが露出するように、ヤスリやカッターナイフを用いてボンド材４及び砥粒３を削ぎ落とすことにより行う。また、ワイヤ端部２ａ同士が互いに向き合う部分を削り、ワイヤ端部２ａ同士が互いに平行に向き合う接合平面５ａを形成する。これにより、ワイヤ工具１同士を接合するための突合せを、容易に行うことができる。
【００３６】
ここで、ワイヤ工具１同士を接合するワイヤ工具接合部材１０を用いる。ワイヤ工具接合部材１０は、金属筒６と、接着剤７とを備えている。また、接着剤７は、焼結可能なメタルボンド（金属粉末）８を含んでいる。金属筒６は、内径Ｓが１００〜５００μｍであり、厚みＴが５〜５０μｍであり、軸方向の長さＬが５〜２０ｍｍである金属製（例えば、ＡｌやＮｉ等）の筒状部材である。また、金属筒６は、可撓性を有する。金属筒６の内径Ｓは、ワイヤ２の直径Ｄよりやや大きいのが好ましい。これにより、ワイヤ端部２ａを金属筒６内に挿入する際に、挿入しやすくなる。接着剤７は、ワイヤ端部２ａと金属筒６の内側面とを接着固定することができる。ワイヤ工具１同士の接合を行う際には、予め金属筒６の内側面に接着剤７が多量に塗られている。これにより、ワイヤ端部２ａを金属筒６内に挿入した際にできる間隙を、金属筒６の内側面に塗られた接着剤７により埋めることができる。すなわち、金属筒６とワイヤ端部２ａとの間の間隙には、接着剤７が存在している。
【００３７】
次に、図１（ｃ）に示すように、ボンド材４及び砥粒３が剥離されたワイヤ端部２ａ同士を、金属筒６内に両端からそれぞれ挿入する（挿入工程）。これにより、ワイヤ端部２ａ同士は、金属筒６の両端において金属筒６内に収容される。そして、メタルボンド８を含む接着剤７を金属筒６とワイヤ端部２ａとの間で加熱により焼結させる。これにより、接着剤７を硬化させて、ワイヤ端部２ａ同士を固定する（固定工程）。なお、接着剤７の加熱は、黒矢印で示される方向に行う。
【００３８】
次に、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材の作用及び効果について説明する。
【００３９】
本実施形態では、ワイヤ端部２ａが露出するように、ワイヤ工具１の接合する端部５にあるボンド材４及び砥粒３が剥離される。このため、ワイヤ端部２ａ同士を金属筒６内に挿入して固定した際の接合部における盛り上がりを、ボンド材４及び砥粒３を剥離した分だけ抑制することができる。また、内径Ｓが１００〜５００μｍであり、厚みＴが５〜５０μｍである金属筒６内に、直径Ｄが内径Ｓよりやや小さいワイヤ端部２ａ同士が挿入されて接合している。このため、ワイヤ工具１の外径と、金属筒６の外径とが略等しくなる。従って、ワイヤ端部２ａ同士を接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士は、金属筒６内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒６を介して固定される。すなわち、一方のワイヤ端部２ａが金属筒６と接合しており、この金属筒６が他方のワイヤ端部２ａと接合している。このため、ワイヤ工具１の重なりを必要とする接合のような、ワイヤ工具１の無駄を低減することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士を固定するための作業量の大きい作業（例えば、ワイヤ工具１を巻取る等の作業）を行うことなく、硬化させた接着剤７によりワイヤ端部２ａ及び金属筒６やワイヤ端部２ａ同士を固定することができる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具１同士を確実に接合することができる。
【００４０】
また、接着剤７は焼結可能なメタルボンド８を含み、該メタルボンド８を焼結させて硬化させている。これにより、ワイヤ端部２ａ同士をより確実に接合することができる。
【００４１】
［第２実施形態］
図２（ａ）〜（ｃ）は、第２実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材１０ａを説明する説明図である。また、図３は、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法で用いるかしめ治工具の構造を示す正面図である。
【００４２】
図２（ａ）は、上述の剥離工程を経た後の状態を示す。ここで、ワイヤ工具１同士を接合するワイヤ工具接合部材１０ａを用いる。ワイヤ工具接合部材１０ａは、金属筒６ａを備えている。金属筒６ａは、内径Ｓａが１００〜５００μｍであり、厚みＴａが５〜５０μｍであり、軸方向の長さＬａが５〜２０ｍｍである金属製（例えば、ＡｌやＮｉ等）の筒状部材である。また、金属筒６ａは、かしめることが可能な部材であり、可撓性を有する。金属筒６ａの内径Ｓａは、ワイヤ２の直径Ｄよりやや大きいのが好ましい。これにより、ワイヤ端部２ａを金属筒６ａ内に挿入する際に、挿入しやすくなる。
【００４３】
次に、図２（ｂ）に示すように、ボンド材４及び砥粒３が剥離されたワイヤ端部２ａ同士を、金属筒６ａ内に両端からそれぞれ挿入する（挿入工程）。これにより、ワイヤ端部２ａ同士は、金属筒６ａの両端において金属筒６ａ内に収容される。そして、金属筒６ａを外側から内部に向かう方向（すなわち白矢印で示される方向）にかしめて、ワイヤ端部２ａ同士を固定する（固定工程）。
【００４４】
ここで、上記の固定工程において用いるかしめ治工具の一例について、図３（ａ）〜（ｃ）を用いて説明する。図３（ａ）〜（ｃ）はそれぞれ、かしめ治工具８ａ〜８ｃの構造を示す正面図である。かしめ治工具８ａ〜８ｃはそれぞれ、金属筒６ａをかしめるための工具である。かしめ治工具８ａは、図３（ａ）に示すように、かしめ孔９ａを有する。かしめ孔９ａは、かしめる前の金属筒６ａを配置してかしめるための貫通孔である。かしめ孔９ａの、貫通方向に直交する断面形状は円形であり、かしめ孔９ａの直径はワイヤ工具１の直径と略等しい。また、かしめ治工具８ａは、第一治工具１１ａ及び第ニ治工具１２ａから構成される。すなわち、第一治工具１１ａ及び第ニ治工具１２ａを合わせた際に、かしめ孔９ａが形成される。かしめ治工具８ａを用いてかしめるには、まず、ワイヤ端部２ａ同士を金属筒６ａの両端において収容させる。次に、ワイヤ端部２ａ同士を収容させた状態の金属筒６ａを、第一治工具１１ａ及び第ニ治工具１２ａの間に挟みながらかしめ孔９ａに嵌め込む。そして、この嵌め込んだ状態で、第一治工具１１ａ及び第ニ治工具１２ａを互いに引き合わせるように圧力をかけることにより、金属筒６ａをかしめることができる。
【００４５】
また、かしめ治工具８ｂは、図３（ｂ）に示すように、かしめ孔９ｂを有する。かしめ孔９ｂの、貫通方向に直交する断面形状は正六角形である。また、かしめ治工具８ｃは、図３（ｃ）に示すように、かしめ孔９ｃを有する。かしめ孔９ｃの、貫通方向に直交する断面形状は略十字形である。
【００４６】
次に、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材の作用及び効果について説明する。
【００４７】
本実施形態では、上述したように、端部５にあるボンド材４及び砥粒３が剥離されるため、接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、内径Ｓａが１００〜５００μｍであり、厚みＴａが５〜５０μｍである金属筒内に、直径Ｄが内径Ｓａよりやや小さいワイヤ端部２ａ同士が挿入されて接合している。このため、ワイヤ工具１の外径と、金属筒６ａの外径とが略等しくなる。従って、接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、上述したように、ワイヤ端部２ａ同士は、金属筒６ａ内の両端からそれぞれ挿入されて金属筒６ａを介して固定される。このため、ワイヤ工具１の無駄を低減することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士を固定するための作業量の大きい作業を行うことなく、金属筒６ａをかしめてワイヤ端部２ａ同士を固定することができる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具１同士を確実に接合することができる。
【００４８】
［第３実施形態］
図４（ａ）及び（ｂ）は、第３実施形態に係るワイヤ工具接合部材１０ｂを説明する説明図である。また、図５（ａ）〜（ｃ）は、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材１０ｂを説明する説明図である。
【００４９】
ワイヤ工具１同士を接合するワイヤ工具接合部材１０ｂは、図４（ａ）に示すように、形状記憶合金６ｂと、メタルボンド８とを備えている。形状記憶合金６ｂは、ＴｉやＮｉ等の合金である。形状記憶合金６ｂは、厚みＴｂが５〜５０μｍである。また、形状記憶合金６ｂには、図４（ｂ）に示すように、内径Ｓｂが１００〜５００μｍであり、軸方向の長さＬｂが５〜２０ｍｍである筒形状が記憶されている。内径Ｓｂは、ワイヤ２の直径Ｄより小さいのが好ましい。これにより、形状記憶合金６ｂが筒形状に復元された際に、ワイヤ端部２ａ同士をより確実に固定することができる。形状記憶合金６ｂは、図４（ａ）の黒矢印の方向に加熱することにより、図４（ｂ）に示すように内径Ｓｂ及び厚みＴｂを有する筒形状に復元することができる。メタルボンド８は、ワイヤ端部２ａと形状記憶合金６ｂとを焼結により接着することができる。形状記憶合金６ｂが筒形状に復元する際の筒形状の内側になる領域に、メタルボンド８が多量に配置されている。これにより、形状記憶合金６ｂを筒形状に復元した際にできる形状記憶合金６ｂとワイヤ端部２ａとの間の間隙を、このメタルボンド８により埋めることができる。
【００５０】
図５（ａ）は、上述の剥離工程を経た後の状態を示す。ここで、ワイヤ工具１同士を接合するワイヤ工具接合部材１０ｂを用いる。図５（ｂ）に示すように、ボンド材４及び砥粒３が剥離されたワイヤ端部２ａ同士を向き合わせて、形状記憶合金６ｂをワイヤ端部２ａの周りに配置する（配置工程）。そして、形状記憶合金６ｂを、黒矢印の方向に加熱する。これにより、形状記憶合金６ｂを筒形状に復元させ、ワイヤ端部２ａ同士を包み込んで固定する（固定工程）。さらに、形状記憶合金６ｂとワイヤ端部２ａとの間で、メタルボンド８を焼結させて硬化させる（硬化工程）。これにより、形状記憶合金６ｂとワイヤ端部２ａとを接着させることができる。
【００５１】
次に、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材の作用及び効果について説明する。
【００５２】
本実施形態では、ワイヤ工具１の接合する端部５にあるボンド材４及び砥粒３が剥離される。このため、ワイヤ端部２ａ同士を固定した際の接合部における盛り上がりを、抑制することができる。また、形状記憶合金６ｂは熱により、内径Ｓｃが１００〜５００μｍであって厚みＴｃが５〜５０μｍである筒形状に復元される。このため、ワイヤ工具１の外径と、筒形状に復元した形状記憶合金６ｂの外径とが略等しくなる。従って、ワイヤ端部２ａ同士を接合した際の接合部における盛り上がりを、抑制することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士は向き合って配置され、形状記憶合金６ｂを介して固定される。すなわち、一方のワイヤ端部２ａが形状記憶合金６ｂにより固定され、この形状記憶合金６ｂが他方のワイヤ端部２ａを固定している。従って、ワイヤ工具１の無駄を低減することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士を固定するための作業量の大きい作業を行うことなく、筒形状に復元させた形状記憶合金６ｂによりワイヤ端部２ａ同士を包み込んでワイヤ端部２ａ同士を固定することができる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具１同士を確実に接合することができる。
【００５３】
［第４実施形態］
図６（ａ）〜（ｃ）は、第４実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材１０ｃを説明する説明図である。
【００５４】
図６（ａ）は、上述の剥離工程を経た後の状態を示す。ここで、ワイヤ工具１同士を接合するワイヤ工具接合部材１０ｃを用いる。ワイヤ工具接合部材１０ｃは、樹脂筒６ｃを備えている。樹脂筒６ｃは、内径Ｓｃが１００〜５００μｍであって、厚みＴｃが５〜５０μｍであり、軸方向の長さＬｃが５〜２０ｍｍである樹脂製（例えば、テフロン（登録商標）等）の筒状部材である。また、樹脂筒６ｃは、熱収縮性を有する。樹脂筒６ｃの内径Ｓｃは、ワイヤ２の直径Ｄより大きいのが好ましい。これにより、ワイヤ端部２ａを樹脂筒６ｃ内に挿入する際に、挿入しやすくなる。
【００５５】
次に、図６（ｂ）に示すように、ボンド材４及び砥粒３が剥離されたワイヤ端部２ａ同士を、樹脂筒６ｃ内に両端からそれぞれ挿入する（挿入工程）。これにより、ワイヤ端部２ａ同士は、樹脂筒６ｃの両端において樹脂筒６ｃ内に収容される。そして、樹脂筒６ｃを黒矢印の方向に加熱して収縮させる。この結果、図６（ｃ）に示すように、ワイヤ端部２ａ同士が樹脂筒６ｃにより固定される（固定工程）。
【００５６】
次に、本実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材の作用及び効果について説明する。
【００５７】
本実施形態では、上述したように、端部５にあるボンド材４及び砥粒３が剥離されるため、接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、内径Ｓｃが１００〜５００μｍであり、厚みＴｃが５〜５０μｍである樹脂筒６ｃ内に、直径Ｄが内径Ｓｃより小さいワイヤ端部２ａ同士が挿入されて接合している。このため、接合した際の接合部における盛り上がりを抑制することができる。また、上述したように、ワイヤ端部２ａ同士は、樹脂筒６ｃ内の両端からそれぞれ挿入されて樹脂筒６ｃを介して固定される。このため、ワイヤ工具１の無駄を低減することができる。また、ワイヤ端部２ａ同士を固定するための作業量の大きい作業を行うことなく、加熱して収縮させた樹脂筒６ｃによりワイヤ端部２ａ同士を固定することができる。このため、短時間で効率よくワイヤ工具１同士を確実に接合することができる。
【００５８】
以上、本発明者によってなされた発明を実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上述の第４実施形態では、樹脂筒６ｃは熱収縮性を有するが、熱収縮後に硬化する熱硬化性を更に有してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】第１実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を説明する説明図である。
【図２】第２実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を説明する説明図である。
【図３】かしめ治工具の構造を示す正面図である。
【図４】第３実施形態に係るワイヤ工具接合部材を説明する説明図である。
【図５】第３実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を説明する説明図である。
【図６】第４実施形態に係るワイヤ工具接合方法及びワイヤ工具接合部材を説明する説明図である。
【図７】マルチワイヤソーの構造を説明する説明図である。
【図８】ワイヤ工具の構造を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００６０】
１…ワイヤ工具、２…ワイヤ、２ａ…ワイヤ端部、３…砥粒、４…ボンド材、５…端部、５ａ…接合平面、６，６ａ…金属筒、６ｂ…形状記憶合金、６ｃ…樹脂筒、７…接着剤、８…メタルボンド、８ａ〜８ｃ…かしめ治工具、９ａ〜９ｃ…かしめ孔、１０，１０ａ〜１０ｃ…ワイヤ工具接合部材、１１ａ〜１１ｃ…第一治工具、１２ａ〜１２ｃ…第二治工具、２０…マルチワイヤソー、２１Ａ，２１Ｂ…ローラ、２２Ａ，２２Ｂ…ボビン、２３Ａ，２３Ｂ…滑車、３１…硬脆材料。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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