(57)【要約】【課題】  アクチュエータにより動作される動作対象物の移動位置をセンサおよびリード線を用いることなく確認するアクチュエータの動作限確認装置を提供する。【解決手段】  教示モード時において正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部１６をモニタカメラ２により撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを予め記憶して備え、検知モード時における複数のワーク把持部１６の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラ２により撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モード時に記憶した基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部１６の動作が正常か否かを判定するようにした。【選択図】    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
アクチュエータにより戻り限位置と出限位置との間で動作される複数のワーク把持部を撮影するモニタカメラと、
前記モニタカメラの映像から複数のワーク把持部の位置若しくは姿勢を判定するコントローラとを備え、
前記コントローラは、教示モード時において正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部をモニタカメラにより撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを予め記憶し、検知モード時において複数のワーク把持部の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラにより撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モード時に記憶した基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部の動作が正常か否かを判定することを特徴とするアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項２】
前記基準位置パターンおよび実位置パターンは、戻り限と出限との間で最も作動ストロークが大きいワーク保持部の部位に設けたマークとアクチュエータの動作によっては移動しない部位に配置した基準マークとで構成される配列パターンであることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項３】
前記基準マークは、戻り限に作動された複数のワーク把持部に設置したマークと整列する位置に配置されていることを特徴とする請求項２に記載のアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項４】
前記ワーク把持部は、複数のクランプ装置を備えるワーク位置決め装置の各クランプアームのワークと当接する部位であることを特徴とする請求項１から請求項３いずれか一つに記載のアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項５】
前記ワーク把持部は、複数のクランプ装置を備えるハンドリングロボットのロボットハンドの各クランプアームのワークと当接する部位であることを特徴とする請求項１から請求項３いずれか一つに記載のアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項６】
前記ワーク把持部は、ロケートクランプ装置のロケートピンから出没するクランプ爪であることを特徴とする請求項１から請求項３いずれか一つに記載のアクチュエータの動作限確認装置。
【請求項７】
正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部をモニタカメラにより撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを求める教示モードと、
複数のワーク把持部の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラにより撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モードにより求めた基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部の動作が正常か否かを判定する検知モードと、を備えることを特徴とするアクチュエータの動作限確認方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータの動作限確認装置および動作限確認方法に関し、特に、アクチュエータにより動作するワーク把持部を複数組み備えるワーク位置決め装置に好適なアクチュエータの動作限確認装置および動作限確認方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来からシリンダ内を往復運動するピストンを備えるアクチュエータの動作位置を検出するため、ピストンに永久磁石を配置する一方、シリンダの外周に前記永久磁石の接近により作動するリードスイッチを配置したアクチュエータ動作位置検出装置が提案されている（特許文献１参照）。
【０００３】
これは、シリンダ本体内を摺動するピストンに装着された磁石に応答して、ピストン位置を検出する検知手段が、ピストンに装着した磁石に応答するリードスイッチと、光を発する発光体と、リードスイッチの出力によりスイッチングして発光体を発光させるスイッチング素子とを有しており、リードスイッチに流れる電流量を少なくして、リードスイッチにチャタリングが発生してもリードスイッチの接点部で溶着が発生するまでの回数を大幅に増大させることができ、寿命の長い検出装置を提供することを可能としている。
【特許文献１】特許第３２６７５５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、上記従来例のように、アクチュエータの動作位置を個々に検出するリードスイッチおよび検出信号をコントローラに入力するリード線を備える検出装置においては、センサやリード線の断線（特に、アクチュエータがその動作に応動して揺動するような場合に生じやすい）が発生すると、アクチュエータは正常に動作しているにも関らず、アクチュエータの位置情報がコントローラに入力されず、設備の停止に繋がる。
【０００５】
また、アクチュエータの動作を対象物に伝達する、例えば、リンク機構に破損が発生した場合には、アクチュエータが正常に動作してその動作信号がコントローラに入力されていても、動作対象物が正常な動作位置に到達しないことになり、生産する製品の品質不良を発生する虞がある。
【０００６】
そこで本発明は、上記問題点に鑑みてなされたもので、アクチュエータにより動作される動作対象物の移動位置をセンサおよびリード線を用いることなく確認するに好適なアクチュエータの動作限確認装置および動作限確認方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、アクチュエータにより戻り限位置と出限位置との間で動作される複数のワーク把持部を撮影するモニタカメラと、前記モニタカメラの映像から複数のワーク把持部の位置若しくは姿勢を判定するコントローラとを備え、前記コントローラは、教示モード時において正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部をモニタカメラにより撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを予め記憶し、検知モード時において複数のワーク把持部の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラにより撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モード時に記憶した基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部の動作が正常か否かを判定するようにした。
【発明の効果】
【０００８】
したがって、本発明では、検知モード時において複数のワーク把持部の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラにより撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと予め教示モード時において記憶した正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部をモニタカメラにより撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部の動作が正常か否かを判定するため、アクチュエータの動作限を直接的に感知するセンサやリード配線を設ける必要がなく、それらの断線による設備不具合が発生しない。しかも、動作対象部であるワーク把持部の作動を画像により判定するものであるため、アクチュエータとの間に存在する伝達リンクが破損した場合にも、その動きにより正常か否か判定でき、生産する製品の品質不良等を未然に防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明のアクチュエータの動作限確認装置および動作限確認方法を各実施形態に基づいて説明する。
【００１０】
図１〜図９は、本発明を適用したアクチュエータの動作限確認装置の第１実施形態を示し、図１〜図７はアクチュエータの動作限確認装置の実施例１を示し、図８〜図９はアクチュエータの動作限確認装置の実施例２〜３を示す。
【００１１】
アクチュエータの動作限確認装置の実施例１において、図１はワーク位置決め装置に適用したシステム構成図、図２はアクチュエータにより動作される動作状態のクランプ装置の概略図、図３はアクチュエータの動作限確認装置を適用したワーク位置決め装置の平面図、図４はコントローラにより実行される処理手順を示すフローチャート、図５は図４の位置決め装置のアクチュエータ戻り限状態の平面図、図６は図４の位置決め装置のアクチュエータ出限状態の平面図、図７は回転テーブル上に配置したワーク位置決め装置に適用した場合の平面図である。
【００１２】
図１において、アクチュエータの動作限確認装置は、確認対象としてのワーク位置決め装置１と、ワーク位置決め装置１の動作状態をモニタするモニタカメラ２と、モニタカメラ２より入力された映像信号をパターン化し、予め記憶されている映像パターンと比較してワーク位置決め装置１の動作が正常に行われたか否かを判定するコントローラ３とを備える。
【００１３】
前記ワーク位置決め装置１は、複数の位置決めゲージ１０と位置決めゲージ１０に着座したワークを位置決めゲージ１０に押付けてクランプする複数のクランプ装置１１とを、フロア等に固定したベース１２に固定配置して備える。前記位置決めゲージ１０およびクランプ装置１１は、図２に示すように、ベース１２上に固定したゲージポスト１３の先端に配置され、先端のゲージ面１４でワークを位置決めするゲージ部１５と、前記ゲージポスト１３に回動自在に支持され、ワーク把持部１６を前記ゲージ部１５のゲージ面１４に臨ませてゲージ面１４に着座したワークをゲージ面１４とでクランプするクランプ位置およびワーク把持部１６を前記ゲージ面１４から離反させるアンクランプ位置の間で揺動するクランプアーム１７と、同じくゲージポスト１３に揺動可能に支持され、前記クランプアーム１７にピストンロッド１８を連結してクランプアーム１７をクランプ位置とアンクランプ位置との間で揺動させるクランプシリンダ１９（空圧シリンダ）とを備える。また、位置決めゲージ１０には、ゲージ面１４から若干突出させた検出部を備え、ゲージ面１４にワークが着座されたときにこれを検出する着座センサ２０が配置されている。
【００１４】
前記クランプアーム１７のワーク把持部１６には、クランプアーム１７の他の部分と識別できるよう目立つ色のマーク２２を施している。具体的には、図３に示すように、ワーク位置決め装置１においては、複数のクランプ装置１１がベース１２上に配置されており、各クランプ装置１１のクランプアーム１７のワーク把持部１６にマーク２２を施している。また、ベース１２上には、図３に示すように、基準となるマーク２３がその隅部分に配置されている。前記ワーク把持部１６のマーク２２は、シーケンス動作するワーク位置決め装置１の動作限確認が必要となる都度、ベース１２に配置した基準となるマーク２３とともに前記モニタカメラ２により撮像され、コントローラ３により基準マーク２３と共にマーク２２同士の配列パターンが演算され、予め記憶されている基準配列パターンと比較され、ワーク位置決め装置１の各クランプ装置１１が正常に動作されたか否かが判定される。
【００１５】
前記各マーク２２、２３の配列パターンを演算する手法としては、図３に示すように、ワーク位置決め装置１によるワーク２２、２３の、例えば、クランプ状態における基準マーク２３と各ワーク把持部１６のマーク２２とをカメラ２により撮像して画像を得る。そして、その画像をマーク部分２２、２３とそれ以外の部分とに２値化し、マーク部分２２、２３の配列パターンを作成し、予め作成して記憶させた正常時のマーク部分２２、２３の基準配列パターンと比較する。そして、両者の配列パターンが一致する場合にはワーク位置決め装置１の各クランプ装置１１は正常にワークをクランプしていると判定し、前記比較で一致しないマーク２２が存在する場合には、そのマーク２２を付したクランプ装置１１が異常であると判定する。各クランプ装置１１のアンクランプ状態においても、同様にモニタカメラ２によりこれらのマーク２２、２３が撮像され、その画像をマーク部分２２、２３とそれ以外の部分とに２値化して配列パターンを求め、予め記憶させた正常なアンクランプ状態の基準配列パターンと比較してその成否が判定される。
【００１６】
以上の構成のアクチュエータの動作限確認装置の動作を、図４に示すフローチャートに基づいて、以下に説明する。図４に示すフローチャートは、コントローラ３により実行される、基準配列パターンの取得に関るティーチモード（左側フローチャート）と、取得された基準配列パターンと実際の動作時におけるマーク２２、２３の配列パターンとを比較して動作異常か否かを判定する検知モード（右側フローチャート）とを左右に並べて記載している。
【００１７】
左側に記載したティーチモードにおいては、各アクチュエータ１９を戻り限に動作させ（Ｓ１）、戻り限に位置しているクランプ装置１１のワーク把持部１６のマーク２２をベース１２上の基準マーク２３と共にモニタカメラ２により撮像し、画像情報を２値化して各マーク２２、２３の配列パターンを戻り限基準配列パターンとしてデータファイルに記憶させる（Ｓ２）。次いで、各アクチュエータ１９を出限に動作させ（Ｓ３）、出限に位置しているクランプ装置１１のワーク把持部１６のマーク２２をベース１２上の基準マーク２３と共にモニタカメラ２により撮像し、画像情報を２値化して各マーク２２、２３の配列パターンを出限基準配列パターンとしてデータファイルに記憶させ（Ｓ４）、処理が終了する。必要な基準配列パターンの全てを記憶させた段階でティーチモードでの基準配列パターン入力が終了すると、検知モードに切換えられ、クランプ装置１１のクランプ動作およびアンクランプ動作の度に起動されて、クランプ装置１１の作動が正常か否かが判定される。
【００１８】
得られた戻り限基準配列パターンは、例えば、図５に示すように、各クランプ装置１１のワーク把持部１６のマーク２２はワーク位置決め装置１の外周側に退避したアンクランプ位置に整列してベース１２の基準マーク２３と並んで整列した状態の配列となる。このように、待機状態における各マーク２２、２３の配列が一線上となるように基準マーク２３を配置すると、クランプ装置１１を動作させる以前に、正常な待機状態か否かを判定することができ、しかも、簡単なパターンであるため、モニタカメラ２の設置位置を高精度に設定する必要がなく、システム構成を簡単化できる。また、得られた出限基準配列パターンは、例えば、図６に示すように、各クランプ装置１１のワーク把持部１６のマーク２２はワーク位置決め装置１の内周側に進出したクランプ位置に整列してベース１２の基準マーク２３とは並ばず、互いが横方向に整列した状態の配列となる。
【００１９】
なお、ここでカメラ位置が、例えば、ワーク位置決め装置１の上方から斜め上方に位置変更された場合には、カメラ側から見て、基準配列パターンが大きく変化する場合には再度基準配列パターンの記憶が必要となるが、基本的な配列パターンが変化せず、パターンの同一性が維持されている場合には、再度の基準配列パターンの記憶実行を要しない。
【００２０】
右側に記載した検知モードにおいては、クランプ装置１１のクランプ作動若しくはアンクランプ作動がされる都度スタートされ、クランプ動作後若しくはアンクランプ動作後のワーク把持部１６のマーク２２をベース１２上の基準マーク２３と共にモニタカメラ２により撮像し、画像情報を２値化して各マーク２２、２３の配列パターン（クランプ装置１１のクランプ動作がアンクランプかクランプかにより、戻り限パターン若しくは出限パターンのいずれかとなる）を一次的に記憶する（Ｓ５）。
【００２１】
次いで、ティーチモードにおいて記憶させている基準配列パターン（クランプ装置１１のクランプ動作がアンクランプかクランプかにより、戻り限基準配列パターン若しくは出限基準配列パターンのいずれかを選択する）を一次記憶に読込む（Ｓ６）。
【００２２】
次いで、撮像して得た一次記憶のマーク配列パターンと一次記憶に読込んだ基準配列パターンとをパターン比較する（Ｓ７）。比較の結果、両者のパターンが一致する場合にはクランプ装置１１が正常であると確認し（Ｓ８）、両者のパターンの一部が一致しない場合にはアラーム表示を出力し、ワーク位置決め装置１のシーケンス動作を停止させる（Ｓ９）。
【００２３】
図７は、前記ワーク位置決め装置１が、往復回転する回転台３０に搭載され、部品投入・組付・搬出ステージ３１と部品溶接ステージ３２との間で交互に入れ替るような組立装置に適用する場合を示す。このように、ワーク位置決め装置１が全体として移動されつつワークを生産するような装置においては、アクチュエータの動作限を直接的に感知するセンサやリード配線を各クランプ装置１１に設ける場合における、それらの断線による設備不具合が発生し易い。従って、これらのクランプ装置１１の動作をモニタカメラ２により撮像して得たマーク２２、２３の配列パターンと基準配列パターンとの比較による動作限確認が特に有効である。
【００２４】
以上のように、ワーク位置決め装置１に適用したアクチュエータの動作限確認装置においては、モニタカメラ２によりアクチュエータ１９により操作される動作対象部２２、２３を撮像してその画像と予め記憶させた基準となる画像とを比較して動作対象部１６が正常に動作されているか否かを判定するものであるため、アクチュエータ１９の動作限を直接的に感知するセンサやリード配線を設ける必要がなく、それらの断線による設備不具合が発生しない。しかも、動作対象部１６の作動を画像により判定するものであるため、アクチュエータ１９との間に存在する伝達リンクが破損した場合にも、その異常を動作対象部の動きにより正常か否か判定でき、生産する製品の品質不良等を未然に防止することができる。
【００２５】
また、前記動作対象部１６をマーク２２により他と識別容易にすることにより、モニタカメラ２による撮像画像を２値化する等してパターン化させることができ、予め記憶させた基準パターンとの比較も容易となり、動作判定が容易化・迅速化できる。
【００２６】
図８に示す実施例２のアクチュエータの動作限確認装置においては、ハンドリングロボット３３のワークを把持するロボットハンド３４に適用したものであり、ロボットハンド３４の各クランプ装置３５のワーク把持部３６とハンド３４のフレームとに夫々マーク３７、３８を施すようにしたものである。ロボットハンド３４のフレームに施すマーク３８は、図３に示すように、モニタカメラ２による撮像時にマーク３７、３８が、例えば、アンクランプ位置に位置するときに、一線上に整列するようにすることが望ましい。
【００２７】
この場合、ハンドリングロボット３３によりロボットハンド３４の姿勢を様々に変化させることができ、ハンドリングロボット３３の動作シーケンス中にクランプ動作およびアンクランプ動作に続いて動作限確認姿勢の工程を組込むことにより、モニタカメラ２にワーク把持部３６を撮像するに容易な姿勢を取らせることができる。また、モニタカメラ２の設置位置を変更することができ、その場合には前記動作限確認姿勢を変更するのみでよく、モニタカメラ２の設置位置を任意に設定することができる。
【００２８】
このロボットハンド３４のワーク把持部３６においても、そのアンクランプ時における撮像画像による戻り限基準配列パターンとクランプ時における出限基準配列パターンとを予め記憶させることで、第１実施例と同様に、モニタカメラ２による撮像によりクランプ動作およびアンクランプ動作が正常になされているか否かを判定することができる。
【００２９】
しかも、ワーク把持部３６をモニタカメラ２により撮像するものであるため、ハンドリングロボット３３により姿勢変化が自在なロボットハンド３４に設置するアクチュエータに対するセンサおよびリード線が不要とでき、配線の断線による設備停止が無くなる。また、リード線の配線による動作拘束が軽減されるため、ロボットハンド３４の動作範囲を拡大させることができる。
【００３０】
図９に示す実施例３のアクチュエータの動作限確認装置においては、ロケートクランプ装置４０のクランプ装置４１の動作限確認に適用したものである。前記ロケートクランプ装置４０は、パネル材をそのロケート孔に位置決めロケートピン４２を挿入し、ロケートピン４２から出没するクランプ爪４３に他と区別できるマークを施すようにしたものである。この場合の前記クランプ爪４３は、ロケートピン４２基部の段付部分４４（ゲージ基準）との間でパネル状のワークを把持するワーク把持部を構成する。前記クランプ爪４３は、ロケートピン４２から突出した出限位置とロケートピン４２内に後退した戻り限位置とを備え、アクチュエータにより前記両位置のいずれかに切換えて位置される。
【００３１】
この場合のワーク把持部であるクランプ爪４３の動作限確認は、クランプ爪４３に設けたマークがロケートピン４２から突出しているかロケートピン４２内に後退しているかをモニタカメラ２による撮影画面により確認することができるか否かにより、動作が正常か否かを判定する。ただし、戻り限基準配列パターンおよび動作の度に撮像されて得る戻り限配列パターンには、図示しない基準マークのみが配列されるパターンとなる。この場合においても、戻り限基準配列パターンと出限基準配列パターンとをコントローラ３に記憶させ、アクチュエータによるクランプ爪４３の戻り限および出限への動作に関連してモニタカメラ２による撮像画面から得たマークの配列パターンと前記各基準配列パターンとを比較することで、クランプ動作およびアンクランプ動作が正常になされているか否かを判定することができる。
【００３２】
なお、上記実施形態において、モニタカメラ２による撮像対象として、クランプ装置１１のワーク把持部１６に設けたマーク２２を撮像してマーク２２の配列パターンにより戻り限若しくは出限での動作が正常か否かの判定を行うものについて説明したが、図示はしないが、クランプ装置１１のワーク把持部１６全体に他と区別可能なマークを設置してその教示時の戻り限での基準姿勢パターン若しくは出限での基準姿勢パターンと検知時の戻り限での実姿勢パターン若しくは出限での実姿勢パターンとを比較することにより、ワーク把持部１６の動作が正常か否かを判定するようにするものであってもよい。
【００３３】
本実施形態においては、以下に記載する効果を奏することができる。
【００３４】
（ア）教示モード時において正常時における戻り限位置および出限位置にある複数のワーク把持部１６をモニタカメラ２により撮影した映像から得た基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンを予め記憶し、検知モード時において複数のワーク把持部１６の戻り限位置若しくは出限位置をモニタカメラ２により撮像した映像から得た実位置パターン若しくは実姿勢パターンと前記教示モード時に記憶した基準位置パターン若しくは基準姿勢パターンとを比較し、ワーク把持部１６の動作が正常か否かを判定するため、アクチュエータ１９の動作限を直接的に感知するセンサやリード配線を設ける必要がなく、それらの断線による設備不具合が発生しない。しかも、動作対象部１６の作動を画像により判定するものであるため、アクチュエータ１９との間に存在する伝達リンクが破損した場合にも、その異常を動作対象部１６の動きにより正常か否か判定でき、生産する製品の品質不良等を未然に防止することができる。
【００３５】
（イ）基準位置パターンおよび実位置パターンは、戻り限と出限との間で最も作動ストロークが大きいワーク把持部１６の部位に設けたマーク２２とアクチュエータ１９の動作によって移動しない部位に配置した基準マーク２３とで構成される配列パターンとすることにより、モニタカメラ２による撮像画像を２値化する等してパターン化させることができ、予め記憶させた基準パターンとの比較も容易となり、動作判定が容易化・迅速化できる。
【００３６】
（ウ）基準マーク２３を、戻り限に作動された複数のワーク把持部１６に設置したマーク２２と整列する位置に配置する場合には、クランプ装置１１を動作させる以前に、正常な待機状態か否かを判定することができ、しかも、簡単なパターンであるため、モニタカメラ２の設置位置を高精度に設定する必要がなく、システム構成を簡単化できる。
【００３７】
（エ）ワーク把持部１６として、複数のクランプ装置１１を備えるワーク位置決め装置１の各クランプアーム１７のワークと当接する部位とすることにより、モニタカメラ２による撮像により全てのクランプ装置１１の正常および異常を同時に判定することができる。
【００３８】
（オ）ワーク把持部として、複数のクランプ装置３５を備えるハンドリングロボット３３のロボットハンド３４の各クランプアーム３６のワークと当接する部位とすることにより、ハンドリングロボット３３に検知モードの姿勢を追加するのみで動作限確認が可能とできる。
【００３９】
（カ）ワーク把持部として、ロケートクランプ装置４０のロケートピン４２から出没するクランプ爪４３とすることにより、ロケートクランプ装置４０の動作が正常か否かの判定を容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の一実施形態のアクチュエータ動作限確認装置をワーク位置決め装置に適用した実施例１のシステム構成図。
【図２】同じくアクチュエータにより動作される動作状態のクランプ装置の概略図。
【図３】アクチュエータの動作限確認装置を適用したワーク位置決め装置の平面図。
【図４】コントローラにより実行される処理手順を示すフローチャート。
【図５】図４の位置決め装置のアクチュエータ戻り限状態の平面図。
【図６】図４の位置決め装置のアクチュエータ出限状態の平面図。
【図７】回転テーブル上に配置したワーク位置決め装置に適用した場合の平面図。
【図８】アクチュエータの動作限確認装置をロボットハンドに適用した実施例２の側面図。
【図９】アクチュエータの動作限確認装置をロケートクランプ装置に適用した実施例３の側面図。
【符号の説明】
【００４１】
１  ワーク位置決め装置
２  モニタカメラ
３  コントローラ
１０  ゲージ
１１  クランプ装置
１２  ベース
１３  ゲージポスト
１４  ゲージ面
１６、３６  ワーク把持部、動作対象部
１７  クランプアーム
１９  アクチュエータ
２２、３７、４３  マーク
２３、３８  基準マーク
【図１】
2007040920.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007040920.tif 000007
【図６】
2007040920.tif 000008
【図７】
2007040920.tif 000009
【図８】
2007040920.tif 000010
【図９】
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