(57)【要約】【課題】半導体装置用テープにおける配線パターン部分に中折れを生じさせたり損傷を与えることなく搬送可能にしたエアーターンローラー装置を提供する。【解決手段】回転ローラー５６の外周ガイド面部６２に、半導体装置用テープ１６の幅方向両端部にそれぞれ転接する転接段部６６、６８、７０を形成し、これら転接段部７０の間に一段低い外周面である逃げ凹部７２を形成し、逃げ凹部７２の部分に送気口７４を穿設し、回転ローラー５６の両側面部分から空気が漏れることを抑制する半密閉手段を設け、送気ファン８２で回転ローラー５６の空洞内部に空気を送気し送気口７４から噴射させ半導体装置用テープ１６の幅方向中間部に空気を吹き付けて逃げ凹部７２から浮き上がらせた状態で回転ローラー５６が回転して半導体装置用テープ１６が搬送される。【選択図】図１
2007201380.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、前記半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、
前記回転ローラーの外周ガイド面部に、前記半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、
前記回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、
前記回転ローラーの前記逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、
前記回転ローラーの側面部分から空気が漏れることを抑制して前記回転ローラーの内部に空洞を作るように配置される半密閉手段と、
前記回転ローラーの空洞内部に空気を送気して前記送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各前記転接段部に転接させている前記半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて前記空気を吹き付けて、前記半導体装置用テープを前記逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、
を有することを特徴とするエアーターンローラー装置。
【請求項２】
長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、前記半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、
前記回転ローラーの外周ガイド面部に、前記半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、
前記回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、
前記回転ローラーの前記逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、
前記回転ローラーの一方の側面を部分から空気が漏れることを抑制するように塞ぐ端面板と、
前記回転ローラーの他方の側面部分から空気が漏れることを抑制して前記回転ローラーの内部に空洞を作るように配置した支持端面部材及び取り付け端面部材と、
前記取り付け端面部材に取り付けられ、前記回転ローラーの空洞内部に空気を送気して前記送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各前記転接段部に転接させている前記半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて前記空気を吹き付けて、前記半導体装置用テープを前記逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、
を有することを特徴とするエアーターンローラー装置。
【請求項３】
長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、前記半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、
前記回転ローラーの外周ガイド面部に、前記半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、
前記回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、
前記回転ローラーの前記逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、
前記回転ローラーの一方の側面を部分から空気が漏れることを抑制するように塞ぐ端面板と、
前記回転ローラーの他方の側面部分から空気が漏れることを抑制して前記回転ローラーの内部に空洞を作るように配置した閉塞用の支持端面部材と、
前記回転ローラーの外周における前記半導体装置用テープを巻回しない所定範囲に配置したエアガイド部材と、
前記エアガイド部材の外側に取り付けられ、前記回転ローラーの空洞内部に空気を送気して前記送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各前記転接段部に転接させている前記半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて前記空気を吹き付けて、前記半導体装置用テープを前記逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、
を有することを特徴とするエアーターンローラー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体チップを搭載するＴＡＢ（Ｔａｐｅ  Ａｕｔｏｍａｔｅｄ  Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープ等の半導体装置用テープを検査するために搬送するのに用いて好適なエアーターンローラー装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置の小型化の要求が強まっており、そのため、半導体装置の外形寸法をほぼ半導体素子の外形寸法にまで小型化したチップサイズパッケージ（以後、ＣＳＰと称す。）の半導体装置が用いられている。
【０００３】
このＣＳＰの半導体装置では、基板の材料となる半導体装置用テープ上に半導体素子を接着剤などで固着し、半導体素子の周縁部に形成された電極と基板の周縁部に形成された電極とを金線等のワイヤボンディングで電気的に接続した構成のものや、半導体装置用テープ上に形成したアレイ状の電極と半導体素子の裏面側にアレイ状に形成された半田ボールとを、半田ろう付けして電気的に接続する構成のものといった様々な構成のＣＳＰの半導体装置が提案されている。
【０００４】
また、半導体装置の製造においては、長尺に形成された半導体装置用テープに、１チップに対応して配線、電極、ビームリード及びスルーホール等の配線パターンを複数繰り返してパタンニングし、各チップに対応して半導体素子を実装してから、チップ毎に切断し、一度に大量の半導体装置を製造する方法が提案されている。
【０００５】
このように用いられる半導体装置用テープは、ポリイミド基材等の可撓性を有する長尺のシート状基材の表面に形成された銅の導電膜を、エッチング技術又はプレス加工等により、各チップに対応した所定の配線、電極、ビームリード及びスルーホール等の配線パターンを複数繰り返して構成する。
【０００６】
また、この半導体装置用テープには、その各チップに対応した配線パターンの範囲外となる長手方向両端部に、それぞれ送り操作をする送り爪を挿入するための小矩形透穴を所定間隔で一列に穿設する。
【０００７】
この半導体装置用テープには、その幅を３５ｍｍ、４８ｍｍ、７０ｍｍ或いは９６ｍｍ等の各所定サイズに形成したものがある。
【０００８】
また、このように構成される半導体装置用テープは、そのパターン形成後に配線に断線や欠け等のパターン欠陥を検査装置で検査してから半導体装置の製造に用いられる。
【０００９】
この検査装置では、半導体装置用テープ表面の配線パターンをＣＣＤ等の画像読取装置により画像データとして読み取り、この読み取られた画像データに基づいてパターン幅や配線パターンの断線、ショートなどの欠陥を検出する検査を行う。
【００１０】
この検査装置は、半導体装置用テープを引き出す巻き出しユニットと半導体装置用テープを巻き取る巻き取りユニットとの間に、複数の搬送用のローラーを用いた搬送手段で搬送路を構成し、この搬送路上に、画像読取装置を備えたスキャナーユニット、不良部分に対応してマーキングを施すマーキングユニット等を順に配置して構成する（例えば、特許文献１参照）。
【００１１】
また、この検査装置では、半導体装置用テープの表面に形成された配線パターンに搬送用のローラーの外周面が当接して損傷を与えることを防止することが要求される。
【００１２】
このため、この検査装置では、搬送用のローラーを、その外周面における幅方向両側にそれぞれ配線パターンの範囲外となる長手方向両端部の小矩形透穴の列を設けた部分だけを当接させる転接面部を形成し、搬送用のローラー外周面における幅方向両側の転接面部の間部分に一段低い逃げ凹部を形成したいわゆる段付きローラーに構成することが考えられる。
【００１３】
このように構成した段付きローラーを用いて、長尺で可撓性の帯状シート部材である半導体装置用テープを搬送する場合には、搬送用のローラーに半導体装置用テープを巻回した状態で、半導体装置用テープの長手方向両端部の小矩形透穴の列を設けた部分だけが搬送用のローラー外周の転接面部に転接し半導体装置用テープの配線パターン部分が中に浮いた状態として搬送用のローラーの外周面と非接触の状態で搬送できるので配線パターン部分に傷が付くことを防止することができる。
【００１４】
しかし、検査装置において、段付きローラーを用いて半導体装置用テープを搬送する場合には、半導体装置用テープが薄くなると、半導体装置用テープの幅方向中央部が一段低い逃げ凹部側に折れ曲がって入り込み配線パターン部分に皺を作るいわゆる中折れを生じることがあるという問題がある。
【特許文献１】特開２０００―３０９４５７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
本発明は、上述した点に鑑み、半導体装置用テープにおける配線パターン部分に中折れを生じさせたり損傷を与えることなく、半導体装置用テープを搬送可能に構成したエアーターンローラー装置を新たに提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明の請求項１に記載のエアーターンローラー装置は、長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、回転ローラーの外周ガイド面部に、半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、回転ローラーの逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、回転ローラーの側面部分から空気が漏れることを抑制して回転ローラーの内部に空洞を作るように配置される半密閉手段と、回転ローラーの空洞内部に空気を送気して送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各転接段部に転接させている半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて空気を吹き付けて、半導体装置用テープを逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、を有することを特徴とする。
【００１７】
本発明の請求項２に記載のエアーターンローラー装置は、長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、回転ローラーの外周ガイド面部に、半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、回転ローラーの逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、回転ローラーの一方の側面を部分から空気が漏れることを抑制するように塞ぐ端面板と、回転ローラーの他方の側面部分から空気が漏れることを抑制して回転ローラーの内部に空洞を作るように配置した支持端面部材及び取り付け端面部材と、取り付け端面部材に取り付けられ、回転ローラーの空洞内部に空気を送気して送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各転接段部に転接させている半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて空気を吹き付けて、半導体装置用テープを逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、を有することを特徴とする。
【００１８】
本発明の請求項３に記載のエアーターンローラー装置は、長尺帯状の半導体装置用テープを回転ローラーの所定範囲に巻き掛けた状態で回転することにより、半導体装置用テープを搬送するのに用いるエアーターンローラー装置において、回転ローラーの外周ガイド面部に、半導体装置用テープの幅方向両端部にそれぞれ転接するよう段状に形成した転接段部と、回転ローラーの外周ガイド面部の幅方向中間部に、一段低い外周面として形成された逃げ凹部と、回転ローラーの逃げ凹部の部分に、穿設された送気口と、回転ローラーの一方の側面を部分から空気が漏れることを抑制するように塞ぐ端面板と、回転ローラーの他方の側面部分から空気が漏れることを抑制して回転ローラーの内部に空洞を作るように配置した閉塞用の支持端面部材と、回転ローラーの外周における半導体装置用テープを巻回しない所定範囲に配置したエアガイド部材と、エアガイド部材の外側に取り付けられ、回転ローラーの空洞内部に空気を送気して送気口から噴射させることにより長手方向両側部を各転接段部に転接させている半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて空気を吹き付けて、半導体装置用テープを逃げ凹部から浮き上がらせるための送気ファンと、を有することを特徴とする。
【００１９】
前述のように構成することにより、送気ファンを駆動し回転ローラーの空洞内部に空気を送気して送気口から噴射させることにより、この回転ローラーに半導体装置用テープの長手方向両側部が各転接段部に転接した状態で巻回されている半導体装置用テープの幅方向中間部に向けて空気を吹き付けて、この半導体装置用テープが逃げ凹部から浮き上がる状態を維持しながら回転ローラーが回転して半導体装置用テープを搬送するので、半導体装置用テープに形成された配線パターン部分に中折れを生じさせたり損傷を与えることなく搬送できる。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のエアーターンローラー装置によれば、半導体装置用テープにおける配線パターン部分に中折れを生じさせたり損傷を与えることなく、半導体装置用テープを搬送できるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明のエアーターンローラー装置に関する第１実施の形態について、図１乃至図４を参照しながら説明する。
【００２２】
図１及び図２は、本第１実施の形態に係るエアーターンローラー装置を備えた半導体装置用テープの欠陥を検査するための検査装置の全体概略正面図と、全体概略側面図であり、図で１０は、検査装置の本体である。
【００２３】
この検査装置１０の前面には、検査対象である長尺帯状の半導体装置用テープ１６を供給するための巻き出しユニット１２と、検査済みの半導体装置用テープ１６を回収するための巻き取りユニット１４とを配置する。
【００２４】
この巻き出しユニット１２は、予め多数のパッケージパターンが繰り返し形成された半導体装置用テープ１６を巻装したテープリール２０を回動可能に保持する巻き出し側リール軸２２を備える。
【００２５】
また、巻き取りユニット１４は、検査済みの半導体装置用テープ１６を巻き取るテープリール２４を回転駆動可能に装填する巻き取り側リール軸１８を備える。
【００２６】
この検査装置１０の前面には、巻き出しユニット１２から巻き取りユニット１４へかけて半導体装置用テープ１６を搬送するための搬送路を構成するため、巻き出しユニット１２から引き出した半導体装置用テープ１６の搬送方向を変更するガイド２６、供給側でテープテンションを調整するショートダンサー２８、スキャナーユニット用の第１の送りローラー３０及び第２の送りローラー３２、搬送路途中でテープテンションを調整するロングダンサー３４、マーキングユニット用の第１のガイドローラー３６及び第２のガイドローラー３８、巻き取り側でテープテンションを調整するショートダンサー４０、半導体装置用テープ１６の搬送方向を変更するガイド４２を順に配置する。
【００２７】
この検査装置１０では、スキャナーユニットを構成するため、第１の送りローラー３０と第２の送りローラー３２とを所定間隔を開けて水平に配置し、第１の送りローラー３０と第２の送りローラー３２との間に浮上ステージ４４を配置する。
【００２８】
そして、このスキャナーユニットでは、半導体装置用テープ１６が第１の送りローラー３０から所定高さ上側に位置する浮上ステージ４４のガイド面上を通過して第２の送りローラー３２へ移行するよう構成する。
【００２９】
図示しないが、この浮上ステージ４４は、中空構造とし、その内部に圧縮空気を供給してガイド面に形成した細孔から半導体装置用テープ１６の裏面に向けて空気を噴出することにより、ガイド面上を半導体装置用テープ１６が非接触で移動するよう構成する。
【００３０】
この浮上ステージ４４のガイド面中央の上方には、フォーカスユニットを備えたカメラユニット４６からなる画像読取部を設置する。
【００３１】
このスキャナーユニットでは、第１の送りローラー３０と第２の送りローラー３２とを回動することにより半導体装置用テープ１６を一方向に一定の速度で搬送しながら、浮上ステージ４４上を通過している半導体装置用テープ１６上に形成された回路パターンをカメラユニット４６で撮影する。
【００３２】
このスキャナーユニットでは、カメラユニット４６で撮影した画像情報を図示しない制御装置に送信して画像処理し、適正なパターンの画像処理情報と比較して配線パターンの欠陥があれば、これを検出する。なお、カメラユニット４６で撮影した画像情報等は、モニタ４８に表示する。
【００３３】
この検査装置１０では、マーキングユニット（この検査装置１０ではパンチユニットとする）を構成するため、第１のガイドローラー３６と第２のガイドローラー３８の間には、欠陥有りと検知されたパッケージパターンの予め定めた位置にパンチ孔を穿孔してマーキングを施すパンチユニット５０を設置する。
【００３４】
上述のように構成した検査装置１０では、ロングダンサー３４（必要に応じてショートダンサー２８及びショートダンサー４０も同じ）を、エアーターンローラー装置で構成する。
【００３５】
図３に示すように、エアーターンローラー装置としてのロングダンサー３４は、固定軸５２に対し、ボールベアリング５４を介して回転ローラー５６を回動自由に装着して構成する。
【００３６】
この回転ローラー５６は、そのボールベアリング５４に支受された中心軸部５８からラジアル方向に延出する複数のリブ６０によって半導体装置用テープ１６に転接するための外周面を構成する外周ガイド面部６２を支持するように一体的に形成する。
【００３７】
図３及び図４に示すように、この回転ローラー５６は段付きローラーとして構成するもので、外周ガイド面部６２の幅方向両端にそれぞれフランジ端部６４を形成し、それらの内側にそれぞれ第１転接段部６６を形成し、各第１転接段部６６の内側に一段下がった転接面を構成する第２転接段部６８を形成し、さらに各第２転接段部６８の内側に一段下がった転接面を構成する第３転接段部７０を形成し、２つの第３転接段部７０の間に、一段低い外周面である逃げ凹部７２を形成する。
【００３８】
さらに、この回転ローラー５６には、逃げ凹部７２の部分に、直径２０ｍｍ程度の透孔である送気口７４を、等間隔で１２個穿設する。なお、送気口７４は、逃げ凹部７２の部分に溝状の透穴を単数又は複数穿設して構成しても良い。
【００３９】
この回転ローラー５６には、側面部分から空気が漏れることを抑制して内部に空洞を作るための半密閉手段として、回転ローラー５６の一方の側面を塞ぐための端面板７６を設置する。この端面板７６は、回転ローラー５６の側面にある円形開口より一回り小さい円板状に形成し、その外周縁が回転ローラー５６の内側面近傍に位置して、端面板７６の外周縁と回転ローラー５６の内側面との間から空気が漏れることを抑制できるように形成する。
【００４０】
この端面板７６は、その中心部に穿設した透孔を、固定軸５２に挿通し固定して配置する。なお、この端面板７６は、回転ローラー５６における中心軸部５８と外周ガイド面部６２との間を塞ぐように、回転ローラー５６と一体的に構成しても良い。
【００４１】
また、この回転ローラー５６の他方の側面部分（固定軸５２の自由端部側の部分）には、空気が漏れることを抑制して内部に空洞を作るための半密閉手段として、支持端面部材７８と取り付け端面部材８０とを取り付ける。さらに、この取り付け端面部材８０には、送気ファン８２を取り付ける。
【００４２】
この支持端面部材７８は、その中央部の円形凹部部分に穿設した透孔に、固定軸５２のねじ溝を穿設した先端部を挿通し、ナット８４で固定して取り付ける。この支持端面部材７８の外周には、筒状のリング部７８Ａを一体的に形成し、リング部７８Ａの周縁が回転ローラー５６の内側面近傍に位置して、リング部７８Ａと回転ローラー５６の内側面との間から空気が漏れることを抑制できるように構成する。
【００４３】
また、図４及び図５に示すように、支持端面部材７８の平面部には、複数の円形透孔である通気穴８６を平均的に分散するよう等間隔で穿設する。支持端面部材７８の平面部には、取り付け端面部材８０を重ねるように配置してねじ８８で締結する。この取り付け端面部材８０には、その中央部に穿設した開口部分を覆うように、送気ファン８２をねじ９０で取り付ける。
【００４４】
この送気ファン８２は、外気を、取り付け端面部材８０の開口部分及び支持端面部材７８の通気穴８６を通して回転ローラー５６の内部へ送気する機能を持つ。
【００４５】
このように構成したエアーターンローラー装置としてのロングダンサー３４は、検査装置１０の支持機構に支持されて下方に所定の荷重で降下するよう装着し、半導体装置用テープ１６を、テープテンションを一定にして搬送するために用いる。
【００４６】
すなわち、このロングダンサー３４を装着した検査装置１０では、半導体装置用テープ１６をロングダンサー３４に半周程度巻回した状態で搬送することにより、半導体装置用テープ１６の搬送動作によって回転ローラー５６が固定軸５２の周りに回動しながら、半導体装置用テープ１６に加わるテープテンションの変動をロングダンサー３４の上下動作で吸収する。
【００４７】
図５に例示するように、このロングダンサー３４を利用して搬送される半導体装置用テープ１６は、その長手方向両側部にそれぞれ搬送用の爪を引っ掛けるための小矩形透孔９２が所定間隔を開けて一列に穿設されている。この半導体装置用テープ１６では、小矩形透孔９２を穿設した長手方向両側部を後の加工工程で切除して半導体装置を完成させるので、この半導体装置用テープ１６の長手方向両側部に回転ローラー５６が転接しても半導体装置用テープ表面の配線パターンに損傷を受けることはない。
【００４８】
よって、このロングダンサー３４では、半導体装置用テープ１６の長手方向両側部だけに転接して半導体装置用テープ１６を搬送する。すなわち、このロングダンサー３４では、例えば大きな幅サイズの半導体装置用テープ１６に対して、その第１転接段部６６上に半導体装置用テープ１６の長手方向両側部を転接させ若しくは中の幅サイズの半導体装置用テープ１６に対して、その第２転接段部６８上に半導体装置用テープ１６の長手方向両側部を転接させ又は小の幅サイズの半導体装置用テープ１６に対して、その第３転接段部７０上に半導体装置用テープ１６の長手方向両側部を転接させて搬送する。
【００４９】
さらに、このロングダンサー３４では、送気ファン８２で外気を回転ローラー５６の内部空洞へ送気して外周ガイド面部６２の送気口７４から、両側の第１転接段部６６若しくは第２転接段部６８又は第３転接段部７０に長手方向両側部を転接させている半導体装置用テープ１６の幅方向中間部に向けて吹き付けることにより、この半導体装置用テープ１６の幅方向中間部を逃げ凹部７２から所定距離だけ浮き上がらせた状態を維持する。
【００５０】
よって、このロングダンサー３４では、その外周ガイド面部６２に半周巻回された半導体装置用テープ１６の幅方向中間部が送気口７４から吹き出す空気に押圧されて半導体装置用テープ１６の幅方向中央部が一段低い逃げ凹部７２側に折れ曲がって入り込むことがないので、配線パターン部分に皺を作るいわゆる中折れを生じることを防止できる。
【００５１】
また、このロングダンサー３４では、外周ガイド面部６２に半導体装置用テープ１６を半周程度巻回して用いるときに、半導体装置用テープ１６が巻回されていない範囲にある送気口７４から空気が漏れて半導体装置用テープ１６に吹き付けるための空気圧が低下することを防止するため、図４に想像線で示すように、外周ガイド面部６２の半導体装置用テープ１６が巻回されていない範囲に対応してカバー部材９４を配置しても良い。
【００５２】
このカバー部材９４には、逃げ凹部７２の外周面に対応した円弧面９４Ａを形成する。また、このカバー部材９４は、支持枠部材９５によってロングダンサー３４に取り付ける。
【００５３】
この支持枠部材９５は、逆Ｕ字状に形成した枠体の一方の自由端部を固定軸５２に固着し、他方の自由端部を取り付け端面部材８０に固着して配置する。この支持枠部材９５には、外周ガイド面部６２の直上位置にカバー部材９４を取り付けてカバー部材９４の円弧面９４Ａを逃げ凹部７２に隣接させて配置する。このように構成した場合には、回転ローラー５６の半導体装置用テープ１６が巻回されていない範囲にある送気口７４を支持枠部材９５で塞ぐようにして空気が漏れることを抑制できる。
【００５４】
次に、上述のように構成した検査装置１０の作用及び動作を説明する。この検査装置１０では、テープリール２０から引き出した半導体装置用テープ１６を、ガイド２６、ショートダンサー２８及び第１の送りローラー３０により浮上ステージ４４のガイド面上を、湾曲した状態で非接触で搬送する。
【００５５】
このとき、浮上ステージ４４のガイド面上にある半導体装置用テープ１６は、搬送方向に湾曲され、幅方向に一直線状となり、かつカメラユニット４６と平行になる。さらに、半導体装置用テープ１６は、浮上ステージ４４のガイド面からの浮上量が制御されているので、カメラユニット４６で適切にピントを合わせて撮影することができる。
【００５６】
このカメラユニット４６で撮影された画像情報は、図示しない制御装置へ送信される。制御装置では、送信された画像情報に基づいて画像処理を行ってパターンの欠陥を検出する。
【００５７】
制御装置は、欠陥を検出した場合に、パンチユニット５０を駆動制御して、欠陥のあるパターンに対応して予め定められた箇所にパンチ孔を穿孔してマーキングを施す。
【００５８】
なお、この検査装置１０は、ショートダンサー２８、ロングダンサー３４、ショートダンサー４０等をエアーターンローラー装置で構成し、半導体装置用テープ１６を非接触でガイドすることにより、搬送時の抵抗を少なくし、薄い半導体装置用テープ１６を最適に搬送することができる。
【００５９】
次に、本発明のエアーターンローラー装置に関する第２実施の形態について、図６を参照しながら説明する。
【００６０】
本第２実施の形態に係るエアーターンローラー装置では、回転ローラー５６の外周における半導体装置用テープ１６を巻回しない所定範囲を覆うようにエアガイド部材９６を配置し、このエアガイド部材９６の外側に送気ファン８２を配置して構成する。
【００６１】
このため、本第２実施の形態に係るエアーターンローラー装置では、回転ローラー５６の一方の側面に端面板７６を配置して空気漏れを抑制し、他方の側面に閉塞用の支持端面部材７８（ここでは、通気穴８６を設けていない円板状に形成する）を配置して空気漏れを抑制するように構成する。なお、本第２実施の形態に係るエアーターンローラー装置では、送気ファン８２を取り付けるための取り付け端面部材８０を省略して構成する。
【００６２】
このエアーターンローラー装置に用いるエアガイド部材９６は、外周ガイド面部６２における逃げ凹部７２の幅程度の幅で、逃げ凹部７２の直径以下の長さを持つ矩形筒状に形成し、その逃げ凹部７２と対向する開口端縁部（図で下側の開口端縁部）を逃げ凹部７２の外周面に沿う円弧状に形成する。
【００６３】
このエアガイド部材９６の逃げ凹部７２と反対側の開口部（図で上側の開口部）には、送気ファン８２を一体的に取り付ける。
【００６４】
なお、エアガイド部材９６を一体的に設けた送気ファン８２は、図示しない支持部材等の保持手段で、固定軸５２や閉塞用の支持端面部材７８等に取り付けて設置する。
【００６５】
上述のように構成した本第２実施の形態に係るエアーターンローラー装置では、送気ファン８２で吸気した空気をエアガイド部材９６でガイドして回転ローラー５６の逃げ凹部７２にある送気口７４を通じて回転ローラー５６の空洞内部へ送気する。このように回転ローラー５６の空洞内へ強制送気された空気は、回転ローラー５６における半導体装置用テープ１６が巻回されている範囲に位置する送気口７４から噴射して、長手方向両側部を外周ガイド面部６２側に転接させている半導体装置用テープ１６の幅方向中間部に向けて吹き付けられることにより、この半導体装置用テープ１６の幅方向中間部を逃げ凹部７２から所定距離だけ浮き上がらせた状態を維持させる。
【００６６】
よって、この本第２実施の形態に係るロングダンサー３４では、その外周ガイド面部６２に半周巻回された半導体装置用テープ１６の幅方向中間部が送気口７４から吹き出す空気に押圧されて半導体装置用テープ１６の幅方向中央部が一段低い逃げ凹部７２側に折れ曲がって入り込むことがないので、配線パターン部分に皺を作るいわゆる中折れを生じることを防止できる。
【００６７】
なお、本第２実施の形態における以上説明した以外の構成、作用、及び効果は前述した第１実施の形態と同様であるので、その説明を省略する。
【００６８】
また、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、その他種々の構成を取り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】本発明の第１実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を装備した検査装置を示す正面図である。
【図２】本発明の第１実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を装備した検査装置を示す右側面図である。
【図３】本発明の第１実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を示す部分断面図である。
【図４】本発明の第１実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の第１実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を示す斜視図である。
【図６】本発明の第２実施の形態に係わるエアーターンローラー装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００７０】
１０  検査装置
１６  半導体装置用テープ
２６  ガイド
２８  ショートダンサー
３０  第１の送りローラー
３２  第２の送りローラー
３４  ロングダンサー
３６  ガイドローラー
３８  ガイドローラー
４０  ショートダンサー
４２  ガイド
５６  回転ローラー
６２  外周ガイド面部
６６  第１転接段部
６８  第２転接段部
７０  第３転接段部
７２  逃げ凹部
７４  送気口
７６  端面板
７８Ａリング部
７８  支持端面部材
８０  取り付け端面部材
８２  送気ファン
８６  通気穴
９４  カバー部材
９４Ａ円弧面
９５  支持枠部材
９６  エアガイド部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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