(57)【要約】【課題】  一方の端に対して他端が相対的に移動するダクトを、コンパクトに配管できると共に、ダクトに無理な力がかかることを防止できるダクト接続具およびこれを備えたダクトユニットを提供する。【解決手段】  本発明は、ダクトまたはダクト接続口である接続対象物と、これに接続される被接続ダクト２とをその軸線廻りに回転自在に接続するダクト接続具４であって、被接続ダクト２および接続対象物の一方が固定される内輪部材１２と、被接続ダクト２および接続対象物の他方が固定されると共に、内輪部材１２の外周面に嵌め合わされ、内輪部材１２に対して相対的に回転自在な外輪部材１１と、を備えている。【選択図】  図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダクトまたはダクト接続口である接続対象物と、該接続対象物に接続される被接続ダクトとを前記接続対象物の軸線廻りに回転自在に接続するダクト接続具であって、
前記被接続ダクトおよび前記接続対象物の一方が固定される内輪部材と、
前記被接続ダクトおよび前記接続対象物の他方が固定されると共に、前記内輪部材の外周面に嵌め合わされ、前記内輪部材に対して相対的に回転自在な外輪部材と、を備えていることを特徴とするダクト接続具。
【請求項２】
前記内輪部材および前記外輪部材には、それぞれ前記被接続ダクトまたは前記接続対象物をフランジ形式で固定するためのフランジ固定部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のダクト接続具。
【請求項３】
前記内輪部材および前記外輪部材の間には、複数の転動子が介設されていることを特徴とする請求項１または２に記載のダクト接続具。
【請求項４】
前記被接続ダクトおよび前記接続対象物は、エアー吸引による排気系を構成しており、
前記外輪部材の外周面を覆うカバーをさらに備え、
前記カバーには、前記エアー吸引により、当該カバー外のエアーを吸引する吸引孔が設けられていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のダクト接続具。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のダクト接続具と、
前記被接続ダクトと、を備えたことを特徴とするダクトユニット。
【請求項６】
前記被接続ダクトを移動自在に保持する可撓性のダクト保持部材をさらに備え、
前記ダクト保持部材は、帯板状の保持部材本体と、
前記保持部材本体に前記被接続ダクトを支持する複数のダクトバンドと、を有していることを特徴とする請求項５に記載のダクトユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一方の端に対して他端が相対的に移動する可動ダクトを、ダクトまたはダクト接続口に接続するためのダクト接続具およびこれを備えたダクトユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
一端を固定されると共に、他端を移動機構により移動自在な可動部に固定され、可動部の移動に追従して可動するチューブのように、一方の端に対して他端が相対的に移動する管は、湾曲した状態で配管されており、湾曲状態を維持したまま可動するようになっている。この場合、管は、可動のために十分な長さを有し、その湾曲部が所定の曲げ半径よりも小さくならないよう設定されており、無理な力がかからないようになっている。
【特許文献１】特開２００４−１４１８６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、比較的大きな径を有するダクトにおいて、上述のように、ダクトを湾曲して配管し、曲げ半径を一定以上に維持させたまま、一方の端に対して他端を相対的に移動させようとすると、ダクトの移動に伴い、大きなスペースが必要となるため問題となる。すなわち、ダクトの一方の端に対して、他端が実際に移動するスペースに加え、湾曲状態を維持するためのスペースが必要となるため、ダクトを省スペースに配管することができない。もっとも、湾曲状態を維持するためのスペースを節約するため、ダクトに湾曲部を設けず、ダクトを、その可動を許容できるだけの長さとすることが考えられるが、この場合、ダクトの移動に伴い、ダクトにはねじれ力等の無理な力が作用する。この結果、ダクトを移動させている移動機構の移動精度に悪影響を及ぼすと共に、ダクトにつぶれ等の傷が生じやすくなってしまう。
【０００４】
以上の問題を鑑み、本発明は、一方の端に対して他端が相対的に移動するダクトを、コンパクトに配管できると共に、ダクトに無理な力がかかることを防止できるダクト接続具およびこれを備えたダクトユニットを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この構成によれば、ダクトまたはダクト接続口である接続対象物と、これに接続される被接続ダクトとをその軸線廻りに回転自在に接続するダクト接続具であって、被接続ダクトおよび接続対象物の一方が固定される内輪部材と、被接続ダクトおよび接続対象物の他方が固定されると共に、内輪部材の外周面に嵌め合わされ、内輪部材に対して相対的に回転自在な外輪部材と、を備えていることを特徴とする。
【０００６】
この構成によれば、内輪部材と、内輪部材に対して相対的に回転自在な外輪部材と、を備えたダクト接続具により、接続対象物と被接続ダクトとをその軸線廻りに回転自在に接続することができる。そして、被接続ダクトの一端が他端に対して相対的に移動するような場合、本発明のダクト接続具を用いれば、被接続ダクトに回転トルクが作用しても、これを回転させることで被接続ダクトにねじれ等の無理な力がかかることを有効に防止することができる。したがって、回転トルクが生じないように、被接続ダクトを湾曲させる必要がなく、被接続ダクトを省スペースに配設することができる。
【０００７】
この場合、内輪部材および外輪部材には、それぞれ被接続ダクトまたは接続対象物をフランジ形式で固定するためのフランジ固定部が設けられていることが好ましい。
【０００８】
この構成によれば、内輪部材および外輪部材に対し、フランジ接合により接続対象物および被接続ダクトを固定して、これらを連通されることができる。
【０００９】
この場合、内輪部材および外輪部材の間には、複数の転動子が介設されていることが好ましい。
【００１０】
この構成によれば、内輪部材に対する外輪部材の相対的に回転に伴って、複数の転動子を転接させることにより、内輪部材と外輪部材との摩擦抵抗を低減させることができる。
【００１１】
この場合、被接続ダクトおよび接続対象物は、エアー吸引による排気系を構成しており、外輪部材の外周面を覆うカバーをさらに備え、カバーには、エアー吸引により、当該カバー外のエアーを吸引する吸引孔が設けられていることが好ましい。
【００１２】
この構成によれば、カバーにより、カバー内の塵埃が外部に飛散することを防止できると共に、吸引孔を介してカバー外から吸引されるエアーと共に、カバー内の塵埃を排出することができる。
【００１３】
本発明のダクトユニットは、上述のいずれかに記載のダクト接続具と、被接続ダクトと、を備えたことを特徴とする。
【００１４】
この構成によれば、上述のいずれかに記載ダクト接続具を備えているので、一端に対して他端が相対的に移動するような被接続ダクトであってもこれを湾曲させる必要がなく、被接続ダクトを省スペースに配設することができる。すなわち、コンパクトなダクトユニットを構成することが可能である。
【００１５】
この場合、被接続ダクトを移動自在に保持する可撓性のダクト保持部材をさらに備え、ダクト保持部材は、帯板状の保持部材本体と、保持部材本体に被接続ダクトを支持する複数のダクトバンドと、を有していることが好ましい。
【００１６】
この構成によれば、被接続ダクトを移動自在に保持するダクト保持部材を帯板状のもの構成することにより、ダクト保持部材から発生する塵埃を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を適用した第１実施形態のダクトユニットについて説明する。このダクトユニットは、装置の往復動部分に接続され、往復動部分廻りのエアーを排気設備により吸引すると共に、往復動部分に生じる塵埃を排気設備に導くものであり、装置の上側にダクティングされている。
【００１８】
図１および図２に示すように、ダクトユニット１は、装置の固定フレームＦｓの上端部に固定された排気チャンバＣと、装置（往復動部分）の可動フレームＦｍの側面に（張り出すように）固定されたダクト継手Ｊ（接続対象物）と、排気チャンバＣとダクト継手Ｊとを接続する可動ダクト２（被接続ダクト）と、可動ダクト２の一端を排気チャンバＣに接続する第１接続具３と、可動ダクト２の他端をダクト継手Ｊに接続する第２接続具４と、可動ダクトを保持する可撓性のダクト保持部材５と、を備えている。
【００１９】
可動ダクト２は、柔軟性を有し、可動フレームＦｍの往復移動に対応して追従可能に変形する（撓む）フレキシブルダクトで構成されている。
【００２０】
排気チャンバＣは、排気設備に接続される排気ポートＪ１と、可動ダクト２の一端が接続される接続ポートＪ２（ダクト接続口）と、予備の予備接続ポートＪ３と、を有している。
【００２１】
第１接続具３は、排気チャンバＣの排気ポートＪ１に設けられた受口（図示省略）と、可動ダクト２の継手に接続する側（固定側）の端に設けられた挿口（図示省略）と、を備えた差込み式のものであり、受口に挿口を差し込んだ後、受口の先端部から挿口にかけて、図外のアルミテープ等を巻回するようになっている。
【００２２】
ダクト継手Ｊは、装置の往復動部分廻りのエアーを吸引するダクトＤが接続される吸引側ダクト接続部と、可動ダクト２の他端が接続される排気側ダクト接続部と、を有している（いずれも図示省略）。
【００２３】
第２接続具４は、ダクト継手Ｊの排気側ダクト接続部および可動ダクト２のダクト継手Ｊに接続する側（可動側）の端をその軸線廻りに回転自在に接続するものであり、可動フレームＦｍに対する可動ダクト２の追従移動に伴って可動ダクト２を回転させる、すなわち、追従移動に可動ダクト２の可動端に生じる回転トルク（回転モーメント）により可動ダクト２を回転させることで、追従移動時に可動ダクト２がねじれることを防止する。
【００２４】
図３および図４に示すように、第２接続具４は、ダクト継手Ｊの排気側ダクト接続部が固定される外輪部材１１と、外輪部材１１の内周面に嵌め合わされ、外輪部材１１に対して相対的に回転可能であると共に可動ダクト２が固定される内輪部材１２と、（ダクト継手Ｊおよび可動ダクト２の径方向において）外輪部材１１および内輪部材１２の間に介設された転動部材１３と、主に外輪部材１１の外周面を覆うカバー１４と、を備え、軸受様に構成されている。
【００２５】
外輪部材１１は、ダクト継手Ｊをフランジ形式で固定する外輪側固定部２１と、外輪側固定部２１に連なる外輪側リング部２２と、を有している。外輪側固定部２１は、平面視略方形のプレートで構成されており、その中央部には、円形の外輪側開口２３が形成されている。外輪側リング部２２は、外輪側開口２３の同心円上に配置されている。外輪側リング部２２は、ダクト継手Ｊがフランジ接合される面（フランジ接合面：図示下面）とは反対の面（図示上面）から垂直（図示上方）に延びており、その先端は、内側（内輪部材１２側）に向かって水平に折り曲げられている（外輪側折返し部２４：図４（ｂ）参照）。そして、外輪部材１１は、外輪側固定部２１（の上面）および外輪側折返し部２４（の下面）で挟み込むようにして、転動部材１３を保持している。
【００２６】
内輪部材１２は、外輪側固定部２１と平行に配され、可動ダクト２（の可動側の端）をフランジ形式で固定する内輪側固定部３１と、内輪側固定部３１に連なる内輪側リング部３２と、を有している。内輪側固定部３１は、平面視八角形のプレートで構成されており、その中央部には、円形の外輪側開口２３より一回り小さい内輪側開口３３が形成されている。内輪側リング部３２の外周面の径は、外輪側開口２３より小さく、かつ内輪側開口３３より大きく形成されている。また、内輪側リング部３２の内周面の径は、内輪側開口３３と同径に構成されている。そして、内輪側リング部３２は、内輪側開口３３の縁端から、可動ダクト２がフランジ接合される側とは逆方向かつ垂直（図示下方）に延びており、その先端は、外輪側固定部２１のフランジ接合面と略面一となっている。また、内輪側リング部３２の外周面には、外輪部材１１により支持された転動部材１３を係合させる溝が形成されている（図４（ｂ）参照）。
【００２７】
図４（ｂ）に示すように、転動部材１３は、外輪側開口２３にせり出すように、外輪部材１１に支持されている。そして、このせり出した部分で、内輪側リング部３２の溝に係合すると共に、外輪側開口２３の同心円上に内輪側開口３３を位置させた状態で、内輪部材１２を回転自在に支持している。図示省略したが、転動部材１３は、外輪部材１１に対する内輪部材１２の相対的な回転に伴って転動する転動子（図示省略）を有しており、回転時の摩擦抵抗を低減させるようになっている。この場合、転動子を複数のころで構成してもよいし、複数のボールで構成してもよい。
【００２８】
このような構成により、第２接続具４では、外輪部材１１に対して内輪部材１２を相対的に回転させることができるようになっているが、本実施形態では、外輪部材１１は、ダクト継手Ｊにより不動に固定されており、可動ダクト２の追従移動により、外輪部材１１に対して内輪部材１２が回転する。
【００２９】
カバー１４は、内輪側固定部３１の平面形状に倣って平面視八角形の筒状に形成されている。そして、内輪側固定部３１の側端面から外輪側リング部２２の外周面を覆うように、内輪側固定部３１に回転自在に固定されている。なお、本実施形態の可動ダクト２は、排気チャンバＣに接続された図外のダクトにより排気設備に接続され、エアー吸引されている。そして、カバー１４には、外部に連通する連通孔４１（または間隙）が形成されており、連通孔４１を介して、カバー外部のエアーが可動ダクト２から吸引されるようになっている（図３参照）。これにより、外輪部材１１に対する内輪部材１２の相対的な回転等に起因してカバー１４内に微小な塵が生じた場合、これをエアーと共に可動ダクト２から吸引させ、排出することができるようになっている。
【００３０】
次に、ダクト保持部材５について説明する。図１および図２に示すように、ダクト保持部材５は、保持プレート５１と、保持プレート５１に可動ダクト２を固定する複数の固定５２（ダクトバンド：固定金物）と、を備えている。
【００３１】
保持プレート５１は、可撓性を有するとともに、板ばね様に弾性を有する帯状のプレート（例えば、ステンレス）で構成されており、可動ダクト２の（略）全長、すなわち可動ダクト２の固定側の端から可動側の端に亘って配設されている。保持プレート５１は、可動ダクト２と共に、可動フレームＦｍの移動に追従しながら変形（撓む）するが、このとき、可動ダクト２を介して保持プレート５１の弾性力が、第２接続具４に作用する。そして、第２接続具４に作用する弾性力は、可動フレームＦｍの移動により、可動ダクト２の可動側の端に生じるトルクと協働して、第２接続具４を回転させるようになっている。すなわち、ダクトＤに対して、可動ダクト２の端をその軸線廻りに回転させるようになっている。また、本実施形態のように、可動ダクト２を単一の帯板状の保持プレート５１で保持させることにより、可動ダクト２共に可動フレームＦｍに追従移動する保持プレート５１から発生する塵埃を有効に低減させることができる。
【００３２】
複数の固定５２は、可動ダクト２の長さ方向において、略等間隔に配置されている。各固定５２は、略「Ｃ」字状に構成されており、可動ダクト２を保持プレート５１に掛止するよう、その両端部が保持プレート５１に固定されている。
【００３３】
以上のように、本実施形態のダクトユニット１では、第２接続具４を用いて、可動ダクト２とダクトＤとを（その軸線廻りに）回転自在に接続しているため、可動ダクト２の可動側の端に回転トルクが作用しても、可動ダクト２にねじれが生じることが無い。したがって、本実施形態のダクトユニット１では、回転トルクが生じないように可動ダクト２の湾曲状態を維持する必要が無く、可動ダクト２の配管レイアウトの自由度を高めることができるようになっている。
【００３４】
そして、本実施形態では、可動ダクト２を省スペースに配管できると共に、配管に必要となる可動ダクト２の長さが極力短くなるように、可動ダクト２を配設している。
【００３５】
ここで、本実施形態における可動ダクト２の配管レイアウトについて説明する。なお、説明の便宜のため、往復移動する可動フレームＦｍの移動端である往動開始位置および復動開始位置のうち、排気チャンバＣから近い位置を往動開始位置、遠い位置を復動開始位置とする。図１および図２に示すように、可動フレームＦｍが往動開始位置に臨んでいるとき、可動ダクト２は、往動開始位置側から復動開始位置側に向かって凸となるように湾曲した状態で配設されており、平面視「Ｕ」字状となるように、ダクト保持部材５により支持されている。一方、可動フレームＦｍが復動開始位置に臨んでいるとき、可動ダクト２は、ダクト保持部材５により平面視略「Ｌ」字状となるように支持されており、可動端側の可動ダクト２が、可動フレームＦｍの移動方向と直交する方向を向くようになっている。すなわち、可動フレームＦｍの往動開始位置から復動開始位置への移動方向において、可動ダクト２が、その可動端（ダクト継手Ｊ）の固定位置からはみ出さないようになっている。
【００３６】
換言すれば、本実施形態のダクトユニット１では、可動フレームＦｍの移動方向において、ダクト継手Ｊの移動範囲内に可動ダクト２の移動軌跡を収めることができるようになっている。
【００３７】
次に、本発明を適用した第２実施形態のダクトユニットについて説明する。第２実施形態のダクトユニットは、第１実施形態と略同様に構成されているが、排気チャンバに設けられた複数（２個）の接続ポートと、ダクト継手に設けられた複数（２個）の排気側ダクト接続口と、を２本の可動ダクトで接続する点で、第１実施形態のダクトユニットとは異なっている。
【００３８】
具体的には、本実施形態のダクトユニットは、複数（２本）の可動ダクトと、各可動ダクトの一端を対応する排気チャンバに接続するための２個の第１接続具と、各可動ダクトの他端を対応するダクト継手に接続するための単一の第２接続具と、可動フレームの往復移動に追従するように、複数（２本）の可動ダクトを束ねるように保持する単一のダクト保持部材と、を備えているが、本実施形態のダクトユニットの各部材は、第２接続具の一部を除いて、第１実施形態のものと略同様に構成されている。
【００３９】
したがって、ここでは、第２接続具４の第１実施形態とは異なる部分を中心に説明する。図５ないし図７に示すように、第２実施形態の第２接続具１０１は、第１実施形態に記載の第２接続具４と、その内輪側固定部３１に、２本の可動ダクト２（の可動側の端）を固定するための内輪側接続補助部材１０２と、外輪側固定部２１に、ダクト継手の２個のダクト接続口を固定するための外輪側接続補助部材１０３と、内輪側接続補助部材１０２および外輪側接続補助部材１０３との間に介設されたスペーサ１０４と、を備えている。
【００４０】
図５ないし図７に示すように、内輪側接続補助部材１０２は、円形に窪入させた内輪側凹部１１１と、内輪側凹部１１１に設けられた筒状の２個の内輪側接続部１１２と、内輪側凹部１１１の開口縁から鍔状に設けられた平面視（正）方形の内輪側フランジ部１１３と、を有している。
【００４１】
内輪側凹部１１１の底部には、２個の内輪側接続孔１１４が形成されている。２個の内輪側接続孔１１４は、円形の底部の同心円上であって、その中心に対して対称（回転対称）となるように配設されている。各内輪側接続部１１２は、基部が内輪側接続孔１１４に連なっている。また、各内輪側接続部１１２の先端部は、可動ダクト２の可動端を差込み式で接続できるようになっている。内輪側フランジ部１１３は、内輪側固定部３１に形成された内輪側開口３３から内輪側凹部１１１を挿通させるように、内輪側固定部３１のフランジ接合面上に固定（フランジ接合）されており、内輪側接続補助部材１０２は、内輪部材１２と共に、外輪部材１１に対して（相対）回転する。なお、この場合、内輪側凹部１１１が円形の内輪側開口３３の同心円上に位置するように、内輪側フランジ部１１３は位置決めされている。
【００４２】
図６および図７に示すように、外輪側接続補助部材１０３は、内輪側接続補助部材１０２と同様に構成されており、外輪側凹部１２１と、２個のダクト接続口に接続され、外輪側凹部１２１に設けられた筒状の２個の外輪側接続部１２２と、外輪側凹部１２１の開口縁から鍔状に設けられた平面視（正）方形の外輪側フランジ部１２３と、を有している。そして、内輪側接続補助部材１０２と同様に、外輪側接続補助部材１０３も、外輪側凹部１２１が円形の外輪側開口２３（内輪側開口３３）の同心円上に位置するように、外輪側フランジ部１２３のフランジ接合面上に位置決め固定される。
【００４３】
図６および図７に示すように、スペーサ１０４は、外輪側凹部１２１（内輪側凹部１１１）の底部の平面形状と同一形状に形成された、平面視円形のプレートで構成されている。スペーサ１０４には、内輪部材１２と共に回転する各内輪側接続孔１１４の移動軌跡に倣って形成した円弧状の長穴１３１が２個形成されている。スペーサ１０４は、外輪側凹部１２１の底面に位置決め固定されており、外輪側凹部１２１に形成された各外輪側接続孔１２４が、長穴１３１の（周方向）中間位置に臨むようになっている。
【００４４】
図７に示すように、スペーサ１０４を固定した外輪側接続補助部材１０３および内輪側接続補助部材１０２を、外輪側固定部２１および内輪側固定部３１にそれぞれ固定すると、スペーサ１０４を介して、内輪側凹部１１１および外輪側凹部１２１の底部同士が付き合わされるようになっている。このとき、スペーサ１０４に形成された２個の長穴１３１は、各内輪側接続孔１１４の移動軌跡に倣って形成されているため、長穴１３１により、各内輪側接続孔１１４とこれに対応する各外輪側接続孔１２４とが連通する（接続される）ようになっている。なお、内輪部材１２は、スペーサ１０４に対して内輪側凹部１１１の底部を摺接させながら回転するため、スペーサ１０４は、内輪側凹部１１１（内輪側接続補助部材１０２）に対して、摩擦係数の小さい材質で構成することが好ましい。
【００４５】
第２実施形態のダクトユニット１は、このような構成の第２接続具１０１を用いて、２個のダクト接続口と２本の可動ダクト２の可動端とを回転自在に接続している。もっとも、本実施形態では、各内輪側接続孔１１４が対応する長穴１３１に常に臨み、各内輪側接続孔１１４とこれに対応する各外輪側接続孔１２４との接続状態が維持されるよう、内輪部材１２の回転可能角度は、所定の範囲内に規制されている。
【００４６】
以上のように、本発明のダクトユニットは、接続具を介し、ダクト接続口に対して可動ダクトと回転自在に接続しているため、可動ダクト２の可動側の端に回転トルクに起因して、可動ダクトにねじれが生じることを防止することができる。
【００４７】
なお、上述した実施形態によらず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、ダクトユニットの構成を適宜変更することも当然に可能である。例えば、上記の実施形態の可動ダクトは、一端が固定され、他端が可動する構成であったが、一方の端に対して他端が相対的に移動する可動ダクトに対しても適用可能である。また、上記の実施形態では、可動ダクトの可動端のみ（可動ダクトを回転自在に接続する）第２接続具に接続する構成であったが、両端に第２接続具を接続する構成としてもよい。さらに、継手（ダクト接続口）に代えて、第２接続具に、直接ダクトを接続することも可能である。すなわち、第２接続具に接続される可動ダクトの接続対象物は、ダクト接続口およびダクトのいずれであってもよい。また、本実施形態では、第２接続具を転がり軸受様に構成したが、滑り軸受様に構成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】第１実施形態にかかるダクトユニット廻りの外観斜視図である。
【図２】第１実施形態にかかるダクトユニット廻りの平面図である。
【図３】第１実施形態にかかる第２接続具の外観斜視図である。
【図４】第１実施形態にかかる第２接続具の説明図であり、（ａ）は、第２接続具の平面図、（ｂ）は、第２接続具の断面図である。
【図５】第２実施形態にかかる第２接続具の外観斜視図である。
【図６】第２実施形態にかかる第２接続具の分解斜視図である。
【図７】第２実施形態にかかる第２接続具の断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１：ダクトユニット    ２：可動ダクト    ４：第２接続具    ５：ダクト保持部材    １１：外輪部材    １２：内輪部材    １３：転動部材    １４：カバー    ２１：外輪側固定部    ３１：内輪側固定部    ４１：連通孔    ５１：保持プレート    ５２：固定具
【図１】
2007040483.tif 000003
【図２】
2007040483.tif 000004
【図３】
2007040483.tif 000005
【図４】
2007040483.tif 000006
【図５】
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【図６】
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【図７】
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