(57)【要約】【課題】画像によりリブ又は異物の検査を行う場合において、アドレス電極等の不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、リブ等の検査の正確を期することができると共に、簡易且つ低コストの構成で正確にリブを検査することが可能な検査装置等を提供する。【解決手段】正反射光学系を用いてＰＤＰ背面板１００のリブ１０４の状態を外観検査する場合に、撮像素子の受光方向Ｃとガラス基板１０１との為す当該ガラス基板１０１から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つのリブ１０４において対向する壁面間の距離をＷｉ、各リブ１０４の高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉを満たす角度θとされている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに平行に複数並んで基板上に形成された壁状の検査対象物と、当該基板と、からなる構造体の表面の状態を検査する検査装置において、
正反射光学系を形成しつつ当該検査用の検査光を前記表面に照射する照射手段と、
前記照射手段と共に前記正反射光学系を形成する受光手段であって、前記表面により前記検査光が反射されて生成される反射光を受光する受光手段と、
前記受光された反射光に基づいた前記表面の画像を表示する表示手段と、
を備え、
前記受光手段の受光方向と前記基板とのなす当該基板から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つの前記検査対象物において対向する壁面間の距離をＷ、各前記検査対象物の前記基板からの高さをＬ、としたとき、
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ
を満たす角度θであることを特徴とする検査装置。
【請求項２】
互いに平行に複数並んで基板上に形成された壁状の検査対象物と、当該基板と、からなる構造体の表面の状態を検査する検査装置において、
正反射光学系を形成しつつ当該検査用の検査光を前記表面に照射する照射手段と、
前記照射手段と共に前記正反射光学系を形成する受光手段であって、前記表面により前記検査光が反射されて生成される反射光を受光する受光手段と、
前記受光された反射光に基づいて前記表面に対応する検査画像を生成する画像生成手段と、
前記生成された検査画像に対して予め設定された補正処理を施し、前記状態を検出する検出手段と、
を備え、
前記受光手段の受光方向と前記基板とのなす当該基板から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つの前記検査対象物において対向する壁面間の距離をＷ、各前記検査対象物の前記基板からの高さをＬ、としたとき、
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ
を満たす角度θであることを特徴とする検査装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記受光手段は、前記基板に平行な面内において前記反射光を受光する受光部を中心とした扇形の受光範囲を有する受光手段であり、
前記受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の前記距離のうち長い方を前記Ｗとするとき、前記角度θが、
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ
を満たす角度θであることを特徴とする検査装置。
【請求項４】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記受光手段は、前記基板に平行な面内において前記反射光を受光する受光部を中心とした扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子が、前記検査対象物の長手方向に平行に並んで構成されており、
各前記受光素子に夫々対応する各前記受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の前記距離のうち、全ての前記受光素子について最も長い距離を前記Ｗとするとき、前記角度θが、
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗ
を満たす角度θであることを特徴とする検査装置。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記状態の検査中において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記構造体を移動させる移動手段を更に備えることを特徴とする検査装置。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか一項に記載の検査装置において、
前記検査対象物は、前記基板としてのプラズマディスプレイパネル背面板上に形成されたリブであることを特徴とする検査装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置を用いて前記状態を検査する検査方法において、
前記受光手段における前記角度θを請求項１から４のいずれか一項に記載された角度θに設定する角度設定行程と、
前記角度θが設定された受光手段と前記照射手段とにより構成される前記正反射光学系内において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記構造体を移動させる移動行程と、
を含むことを特徴とする検査方法。
【請求項８】
請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置に含まれるコンピュータを、
前記角度θが設定された受光手段と前記照射手段とにより構成される前記正反射光学系内において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記検査対象物が形成された前記構造体を移動させる移動手段として機能させることを特徴とする検査用プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、検査方法及び検査用プログラムの技術分野に属し、より詳細には、例えばプラズマディスプレイパネルの製造工程中において、その基板上に形成されている基板上形成物の状態を検査する検査装置、検査方法及び当該検査用プログラムの技術分野に属する。
【背景技術】
【０００２】
近年、いわゆるフラットパネルディスプレイが広く一般化しているが、その中でプラズマディスプレイは、輝度が高く、鮮明な画像が表示できるフラットパネルディスプレイとして需要が増大しつつある。
【０００３】
ここで、当該プラズマディスプレイにおいて表示部を構成するプラズマディスプレイパネル（以下、単にＰＤＰと称する）では、その構成部材である背面板の内側に、平行線状に複数のリブが相互に平行に壁状に形成されている。このリブは、上記ＰＤＰを構成する各画素において、その発光に供されるアドレス電極を当該画素間で分離するために形成されているものであり、当該平行線状のリブとリブとの間のアドレス電極上には、蛍光体層が設けられる。この蛍光体層には、Ｒ（Red）、Ｇ（Green）及びＢ（Blue）の各色で発光する蛍光体材料が充填される。これらにより、上記背面板は、ＲＧＢ各色のストライプ状の蛍光体層からなる組を、マトリクス状に多数配列した構造を有することとなる。
【０００４】
ここで、上記リブに欠け又は変形等の形状欠陥が存在することに起因して上記アドレス電極の分離が不完全となると、ＲＧＢ各色の発光に対して所望の制御を行うことができなくなり、この結果、ＰＤＰとして正常な発光色を再現できなくなる。このため、上記ＰＤＰの製造工程等において、上記リブの形状を検査し、欠陥品についてはこれを除いておく検査工程は、非常に重要な工程と言える。
【０００５】
一般に、リブの形状検査工程においては、上記背面板の基礎となる基板上にリブを形成する工程の後、蛍光体層を設ける工程の前に行われる。このとき、従来のリブ検査工程では、パターン検査装置を用いて、いわゆるデザインルールチェック法や、隣接パターン比較法といった方法により自動的にリブの形状検査が行われる場合が多い。
【０００６】
しかしながら、これらの手法では確実に欠陥品を抽出できるわけではなく、特にリブ頂上部分の形状欠陥（特に欠け）については人による目視検査が行われているのが実状であるが、当該人による目視検査である以上は、形状欠陥の見逃しや判定のバラツキを避けることができない。また、ＰＤＰの背面板自体の寸法が大きく、それを目視検査する者の労力、時間等の作業負荷が大きいという問題点がある。
【０００７】
そこで、この問題点を解決するため、例えば下記特許文献１記載の如きＰＤＰ背面板のリブ層頂部を所定の角度で検査する検査装置がある。
【０００８】
しかしながら、この特許文献１記載の手法では、背面板の裏面（ＰＤＰ自体の裏側）からの透過光による検査となっているため、ＰＤＰ自体のデザイン次第で、裏面からの開口幅は変わる上、誘電体層の透過率が低いため、結果として光量不足に起因する検査不能状態に陥るという問題点がある。
【０００９】
そこでこの問題点を解決すべく、下記特許文献２記載の如き二方向からの暗視野反射光学系を用いた検査方法がある。
【特許文献１】特許第３６２４０７３号公報
【特許文献２】特開２０００−１６２１３９公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、上記特許文献２記載のような方法によると、例えば当該特許文献第７図の（ａ）及び（ｂ）に記載された欠陥双方を検出するためには、当該リブ頂部の検査のために照明が少なくとも二台必要となるため、結果的に検査装置としてのコストが増大してしまうという問題点があった。
【００１１】
そこで、本発明は上記の各問題点に鑑みてなされたもので、その課題は、画像によりリブの状態検査を行う場合において、リブ間底部に形成されたアドレス電極等の不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、当該リブの検査の正確を期することができると共に、簡易且つ低コストの構成で正確に当該リブを検査することが可能な検査装置、検査方法及び当該検査用プログラムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、互いに平行に複数並んで基板上に形成された壁状の検査対象物と、当該基板と、からなる構造体の表面の状態を検査する検査装置において、正反射光学系を形成しつつ当該検査用の検査光を前記表面に照射する照明部等の照射手段と、前記照射手段と共に前記正反射光学系を形成する受光手段であって、前記表面により前記検査光が反射されて生成される反射光を受光するＣＣＤ等の受光手段と、前記受光された反射光に基づいた前記表面の画像を表示する表示部等の表示手段と、を備え、前記受光手段の受光方向と前記基板とのなす当該基板から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つの前記検査対象物において対向する壁面間の距離をＷ、各前記検査対象物の前記基板からの高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θであるように構成される。
【００１３】
上記の課題を解決するために、請求項２に記載の発明は、互いに平行に複数並んで基板上に形成された壁状の検査対象物と、当該基板と、からなる構造体の表面の状態を検査する検査装置において、正反射光学系を形成しつつ当該検査用の検査光を前記表面に照射する照明部等の照射手段と、前記照射手段と共に前記正反射光学系を形成する受光手段であって、前記表面により前記検査光が反射されて生成される反射光を受光するＣＣＤ等の受光手段と、前記受光された反射光に基づいて前記表面に対応する検査画像を生成する制御部等の画像生成手段と、前記生成された検査画像に対して予め設定された補正処理を施し、前記状態を検出する制御部等の検出手段と、を備え、前記受光手段の受光方向と前記基板とのなす当該基板から立ち上がる方向の角度θが、相隣接する二つの前記検査対象物において対向する壁面間の距離をＷ、各前記検査対象物の前記基板からの高さをＬ、としたとき、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θであるように構成される。
【００１４】
よって、請求項１及び２に夫々記載された発明によれば、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００１５】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて構造体表面の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に検査対象物を検査することができる。
【００１６】
上記の課題を解決するために、請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の検査装置において、前記受光手段は、前記基板に平行な面内において前記反射光を受光する受光部を中心とした扇形の受光範囲を有する受光手段であり、前記受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の前記距離のうち長い方を前記Ｗとするとき、前記角度θが、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θであるように構成される。
【００１７】
よって、受光手段が扇形の受光範囲を有する受光手段であるとき、当該受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち長い方をＷとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗとするので、扇形の受光範囲を有する受光手段を用いて構造体表面の検査を行う場合でも、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００１８】
上記の課題を解決するために、請求項４に記載の発明は、請求項１又は２に記載の検査装置において、前記受光手段は、前記基板に平行な面内において前記反射光を受光する受光部を中心とした扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子が、前記検査対象物の長手方向に平行に並んで構成されており、各前記受光素子に夫々対応する各前記受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の前記距離のうち、全ての前記受光素子について最も長い距離を前記Ｗとするとき、前記角度θが、０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θであるように構成される。
【００１９】
よって、受光手段が扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子により構成されているとき、当該各受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち、全ての受光素子において最も長い壁面間距離をＷとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗとするので、扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子を用いて構造体表面の検査を行う場合でも、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００２０】
上記の課題を解決するために、請求項５に記載の発明は、請求項１から４のいずれか一項に記載の検査装置において、前記状態の検査中において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記構造体を移動させる移動手段を更に備える。
【００２１】
よって、検査中において構造体が検査光の照射方向に平行な方向に移動するので、効率的且つ短時間に構造体表面の状態を検査することができる。
【００２２】
上記の課題を解決するために、請求項６に記載の発明は、請求項１から５のいずれか一項に記載の検査装置において、前記検査対象物は、前記基板としてのプラズマディスプレイパネル背面板上に形成されたリブであるように構成される。
【００２３】
よって、微少なプラズマディスプレイパネル背面板のリブであっても短時間に且つ正確に当該リブの状態を検査することができる。
【００２４】
上記の課題を解決するために、請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置を用いて前記状態を検査する検査方法において、前記受光手段における前記角度θを請求項１から４のいずれか一項に記載された角度θに設定する角度設定行程と、前記角度θが設定された受光手段と前記照射手段とにより構成される前記正反射光学系内において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記構造体を移動させる移動行程と、を含む。
【００２５】
よって、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００２６】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて構造体表面の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に構造体表面を検査することができる。
【００２７】
上記の課題を解決するために、請求項８に記載の発明は、請求項１から６のいずれか一項に記載の検査装置に含まれるコンピュータを、前記角度θが設定された受光手段と前記照射手段とにより構成される前記正反射光学系内において、前記検査光の照射方向に平行な方向のいずれか一方に前記構造体を移動させる移動手段として機能させる。
【００２８】
よって、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて、構造体を移動させつつ当該構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００２９】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて構造体表面の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に検査対象物を検査することができる。
【発明の効果】
【００３０】
以上説明したように、請求項１又は２に記載の発明によれば、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００３１】
従って、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、当該構造体表面の検査の正確を期することができる。
【００３２】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて構造体表面の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に構造体表面を検査することができる。
【００３３】
請求項３に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明の効果に加えて、受光手段が扇形の受光範囲を有する受光手段であるとき、当該受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち長い方をＷとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗとするので、扇形の受光範囲を有する受光手段を用いて構造体表面の検査を行う場合でも、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００３４】
請求項４に記載の発明によれば、請求項１又は２に記載の発明の効果に加えて、受光手段が扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子により構成されているとき、当該各受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち、全ての受光素子において最も長い壁面間距離をＷとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗとするので、扇形の受光範囲を夫々に有する複数の受光素子を用いて構造体表面の検査を行う場合でも、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００３５】
請求項５に記載の発明によれば、請求項１から４のいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、検査中において構造体が検査光の照射方向に平行な方向に移動するので、効率的且つ短時間に構造体表面の状態を検査することができる。
【００３６】
請求項６に記載の発明によれば、請求項１から５のいずれか一項に記載の発明の効果に加えて、微少なプラズマディスプレイパネル背面板のリブであっても短時間に且つ正確に当該リブの状態を検査することができる。
【００３７】
請求項７に記載の発明によれば、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００３８】
従って、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、当該構造体表面の検査の正確を期することができる。
【００３９】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて検査対象物の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に構造体表面を検査することができる。
【００４０】
請求項８に記載の発明によれば、正反射光学系を構成する照射手段と受光手段とを用いて、構造体を移動させつつ当該構造体表面の状態を検査するとき、受光手段の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗを満たす角度θとして検査を実行するので、各検査対象物の間の基板に当該検査対象物以外の構成物が存在する場合でも、当該構成物が検査画像内に写り込むことを防止することができる。
【００４１】
従って、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを防止することで、当該構造体表面の検査の正確を期することができる。
【００４２】
また、照射手段が一つのみの正反射光学系を用いて検査対象物の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確に構造体表面を検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４３】
次に、本を実施するための最良の形態について、図面に基づいて説明する。なお、以下に説明する実施形態は、上記ＰＤＰを構成する背面板に形成されたリブの特に頂部に生じた欠陥又は当該リブ自体の高さの不一致（ばらつき）を検出する検査システムに対して本発明を適用した場合の実施形態である。
【００４４】
（Ｉ）ＰＤＰ背面板の構成
まず、図１を参照して、検査対象となるＰＤＰ背面板について詳細に説明する。なお、図１は、本実施形態に係るＰＤＰ背面板１００の層構成の一例を示す断面斜視図である。
【００４５】
図１に示すＰＤＰ背面板１００は、アドレス電極１０２、誘電体層１０３、及び検査対象物としてのリブ（蛍光体を隔てる隔壁）１０４を、ガラス基板１０１上に積層して構成されている。
【００４６】
この構成において、ガラス基板１０１は、透明のガラスによって形成されているため、アドレス電極１０２及びリブ１０４は、ガラス基板１０１表面（換言すれば、ＰＤＰ背面板の裏面）から視認することができるようになっている。
【００４７】
また、ガラス基板１０１は、ＰＤＰ背面板１００の、図示しないＰＤＰ前面板と対向する面とは反対の面に位置する。そして、上記アドレス電極１０２等の構成部材が配された側（図１において上方）から、正反射光学系を構成する検査光が照射され、リブ１０４を中心としたガラス基板１０１の上面が撮像される。
【００４８】
本実施形態におけるＰＤＰ背面板１００は、厚さ約２．８ｍｍであり、ガラス基板１０１に生じた検出すべき欠陥の大きさは約３００μｍである。
【００４９】
（II）検査システムの構成及び機能
次に、図２乃至図７を参照して、本実施形態に係る検査システムの構成及び機能について説明する。
【００５０】
先ず、図２を用いて、本実施形態に係る検査システムの概要構成について説明する。なお、図２は、本実施形態に係る検査システムの概要構成例を示す図である。
【００５１】
図２に示す検査システムＳは、ワーク搬送ステージ２上に載置されたＰＤＰ背面板１００のガラス基板１０１の表面（リブ１０４が形成されている面。図２において、ＰＤＰ背面板１００の上面）に対して照明部３により白色光を照射しつつ、ラインセンサカメラ４Ａにより当該ガラス基板１０１の上面を撮像して、その撮像画像を画像処理部（例えば、ラインセンサカメラ４を有する筐体内に実装）により取得するようになっている。
【００５２】
このラインセンサカメラ４Ａは、後述するＣＣＤ（Charge Coupled Device）４がリブ１０４の長手方向に複数一列に並んで構成されるものであり、当該ＣＣＤ４夫々からの画像信号を合成する等の処理により上記撮像画像が得られる。
【００５３】
そして、ＰＤＰ背面板１００が、図示しないステージ制御装置によって搬送制御されるワーク搬送ステージ２上を搬送されながら、当該ＰＤＰ背面板１００のガラス基板１０１がラインセンサカメラ４Ａ内の上記ＣＣＤ４にて順次撮像され、当該画像（撮像画像）のデータは、通信ケーブルを介して上記画像処理部から検査端末１に出力される。
【００５４】
なお、ラインセンサカメラ４Ａ内のＣＣＤ４としては、例えば通常汎用されているＣＣＤカメラを用いることができる。
【００５５】
一方、検査端末１は、例えば汎用のパーソナルコンピュータを適用可能であり、図２に示すように、図示しない上記画像処理部と接続されて当該画像処理部から出力された撮像画像のデータを入力し、ワーク搬送ステージ２を制御する図示しないステージ制御装置及び照明部３を制御する図示しない光源制御装置と接続される外部機器接続部１１と、上記撮像画像のデータ、各種設定データ、ＯＳ（オペレーティングシステム）及びアプリケーションプログラム（例えば、本発明の欠陥検出プログラム）を記憶する記憶部（例えば、ハードディスク、ＲＯＭ、作業用ＲＡＭ、ビデオＲＡＭ等を備える）１２と、ＣＰＵを主体として構成され、上記撮像した画像データを取得して各種画像処理を行う制御部１３と、上記撮像画像及び検査結果を示す情報等を表示する表示部（例えば、液晶ディスプレイ）１４と、検査者（オペレータ）からの操作指示を入力し、その指示信号を制御部１３に出力する操作部１５（例えば、キーボード、マウス等）と、ネットワークを介して他のコンピュータ等と通信するための通信部１６を含んで構成され、これらの構成要素はバス１７を介して相互に接続されている。なお、上記ステージ制御装置及び光源制御装置は検査装置１内に具備するよう構成してもよい。
【００５６】
そして、制御部１３は、記憶部１２に記憶された欠陥検出プログラムを実行することにより、上記撮像画像に対して、後述するノイズ除去処理、微分処理、二値化処理等の各種画像処理を行う。
【００５７】
また、制御部１３は、演算機能を有するＣＰＵ（Central Processing Unit）、各種プログラム（例えば、本発明の欠陥検出プログラム）及びデータを記憶するＲＯＭ（Read Only Memory）、及び作業用メモリとしてのＲＡＭ（Random Access Memory）等を含んで構成されており、検査装置１における構成要素全体を制御するものである。また、制御部１３は、欠陥検出プログラムを実行することにより、他の構成部材と協動して、本発明に係る移動手段及び表示制御手段として機能するようになっている。
【００５８】
次に、本実施形態に係るラインセンサカメラ４Ａを構成するＣＣＤ４の位置の設定について、具体的に図３を用いて説明する。なお、図３（ａ）は本実施形態に係るＣＣＤ４の取り付け位置を説明する図であり、図３（ｂ）は当該取り付け位置による効果を説明する図である。
【００５９】
先ず、本願に係るＣＣＤ４の鉛直方向の取り付け位置については、当該ＣＣＤ４の撮像方向Ｃ（なお、以下の説明では、照明部３から出射される検査光自体も符号Ｃを用いて説明する）とガラス基板１０１の上面とのなす角度θ（換言すれば、ラインセンサカメラ４Ａと共に正反射光学系を構成する照明部３の照射方向とガラス基板１０１の上面とのなす角度）が、図３（ａ）左に示すように、相隣接するリブ１０４における対向する壁面同士の距離（設計上の距離）Ｗｉと、リブ１０４自体の高さ（設計上の高さ）Ｌと、を用いて、
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉ      …（１）
を満たす角度θとなるように当該取り付け位置が設定されている。
【００６０】
より具体的には、図３（ａ）右に示すように、複数のＣＣＤ４がリブ１０４の長手方向に一列に並んで構成されるラインセンサカメラ４Ａにおいて、一つのＣＣＤ４における撮像視野幅Ｘと、ＣＣＤ４の視野範囲を示す扇形の左右端を夫々構成する当該扇形の半径と、で構成される三角形の底角φｉを考える。そして、全てのＣＣＤ４について設定される当該底角φｉ（その数は、ラインセンサカメラ４Ａ全体ではＣＣＤ４の数の二倍となる）のうち、最も小さい底角minφｉに対応する当該半径方向に沿ったリブ１０４の対向する壁面間の距離Ｗｉと、上記高さＬと、を用いて
０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉ      …（２）
を満たす角度θとなるように当該取り付け位置が設定されている。
【００６１】
このようにラインセンサカメラ４Ａの取り付け位置及び照射部３の取り付け位置が設定されているため、図３（ａ）左に示すように、アドレス電極１０２が透過して見えるリブ１０４間の底面部（誘電体層１０３の表面）に検査光が照射されることがなく、これにより、当該検査光のリブ１０４からの反射光を受光して生成される上記撮像画像においては、図３（ｂ）右に例示するように、リブ１０４とアドレス電極１０２との明暗差が小さくなることで当該アドレス電極１０２を含むリブ１０４間の底面部の影響を受けることなく、リブ１０４のみが撮像された画像を得ることができる。
【００６２】
因みに、上記式（１）又は（２）により示される角度θより大きい角度を用いて撮像した場合は、図３（ｂ）左に例示するように、リブ１０４とアドレス電極１０２との明暗差が大きくなってアドレス電極１０２の影が当該撮像画像内に顕著に表れることとなり、リブ１０４の状態判定（欠陥判定）自体が支障を来してしまうことになる。
【００６３】
（III）欠陥検出処理
次に、図４乃至図７を参照して、本実施形態に係る検査システムＳの動作について説明する。
【００６４】
先ず、当該動作の全体について、図４を用いて説明する。なお、図４は、検査端末１における欠陥検出処理を示すフローチャートであり、制御部１３の制御に基づいて実行され、ＰＤＰ背面板１００のガラス基板１０１面がラインセンサカメラ４Ａにより撮像され、その撮像画像データが、通信ケーブル等を介して検査端末１に入力されることにより処理を開始する。
【００６５】
ここで、照明部３は、欠陥検出処理が実行されている間、ＰＤＰ背面板１００の上面に対して常に光を照射し続けるものとする。また、ＰＤＰ背面板１００を搬送しながら撮像が行われるため、照明部３は、一枚のＰＤＰ背面板１００について撮像が完了するまで、一定の光量で照射することが望ましい。また、各工程において得られる撮像画像や検出結果等は、表示部１４上に表示可能になっており、これにより、検査者（オペレータ）が目視でも確認も可能になっている。
【００６６】
検査端末１は、制御部１３に対して通信ケーブルを介してラインセンサカメラ４Ａから順次撮像された画像がデータとして入力され、当該制御部１３がデータを取得し、その後、当該取得した撮像画像データに対して、例えば、ノイズ除去処理（ステップＳ１）、微分処理（ステップＳ２）、二値化処理（ステップＳ３）、及び穴埋め処理等の各種画像処理を行い、その結果を表示する。これら一連の画像処理（所定の補正処理）は、欠陥部分を強調してより抽出し易くすることができればよく、従来公知の画像処理技術を用いることができる。
【００６７】
続いて、制御部１３は、リブ１０４上の欠陥のサイズを判定する（ステップＳ４）。
【００６８】
より具体的には、検出すべき欠陥の疑いがある擬似欠陥を検出した後に、当該検出された擬似欠陥のサイズ（面積）を測定して、サイズが所定閾値（例えば、３００μｍ等）よりも大きい擬似欠陥を、欠陥として検出するよう構成する。
【００６９】
このとき、サイズが所定閾値以下の擬似欠陥（すなわち、欠陥の候補となるもの。以下同様。）は、ＰＤＰ背面板１００としての品質に与える影響が少ない程に小さいことから欠陥検出対象外とする、言い換えれば、ＰＤＰ背面板１００としての品質に与える影響があるサイズの欠陥だけを検出することができる。
【００７０】
なお、当該所定閾値は、検査者によって予め設定され、記憶部１２等に記憶されているものとし、各擬似欠陥のサイズを所定閾値と比較する際に、当該所定閾値を記憶部１２等から読み出すよう構成されている。
【００７１】
そして、検出された欠陥を例えば表示部１４に欠陥検出結果として表示して検査者に提示（告知）する。その後検査を終了するか否かを確認し（ステップＳ５）、終了するのであれば（ステップＳ５；ＹＥＳ）そのまま処理を終了し、一方、他のＰＤＰ背面板１００に対して検査を継続するのであれば（ステップＳ５；ＮＯ）、上記ステップＳ１に戻って当該他のＰＤＰ背面板１００に対して検査を継続する。
【００７２】
次に、図５乃至図７を用いて、本実施形態に係る検査システムＳの構成による具体的な効果について説明する。
【００７３】
なお、図５乃至図７においては、説明の簡略化のため、例えば図５（ａ）に示すように、五つのリブ１０４が形成されているＰＤＰ背面板１００において、図５（ａ）中最も左にあるリブ１０４の頂部に欠陥Ｐ１が存在し、更に中央にあるリブ１０４の頂部の欠陥Ｐ１の場合と反対の位置に欠陥Ｐ２が存在しているとする。また、左から二番目のリブ１０４は、その頂部には欠陥がないが、当該リブ１０４自体の高さが他のリブ１０４よりも不足しているとする。本実施形態では、この高さが不足しているリブ１０４も、欠陥として検査の対象となるものである。
【００７４】
図５（ａ）に示すように、ＰＤＰ背面板１００が左から右に搬送される場合において、正常なリブ１０４である場合は照射部３からの検査光Ｃは当該リブ１０４の頂部等において正常に反射され、ＣＣＤ４に入射して撮像される。
【００７５】
これに対し、図５（ｂ）に示すように欠陥Ｐ２の部分に検査光Ｃが照射された場合、図６（ａ）に示すように他に比べて高さが不足しているリブ１０４に向けて検査光Ｃが照射された場合、及び図６（ｂ）に示すように反対方向の欠陥Ｐ２の部分に検査光Ｃが照射された場合には、いずれも、検査光Ｃの反射光がＣＣＤ４に受光されることはなく、従って、これら図５（ｂ）、図６（ａ）及び図６（ｂ）に夫々示す場合は、欠陥Ｐ１及びＰ２の部分並びに高さの不足しているリブ１０４の部分が撮像画像においては暗くなることにより、当該欠陥が認識され得るようになる。
【００７６】
なお、図７に示すように、相隣接するリブ１０４の間の空間内に異物Ｇが存在していた場合、検査光Ｃが当該異物Ｇにより散乱されることとなり、検査光Ｃの反射光が僅かにＣＣＤ４に入射することとなる。この結果、当該異物Ｇが存在するリブ１０４間の底面部が他の底面部より明るく見えることとなり、その異物Ｇの存在を認識することができることになる。
【００７７】
以上説明したように、上記実施形態の検査システムＳによれば、正反射光学系を構成する照射部３とＣＣＤ４とを用いてリブ１０４又は異物Ｇの状態を検査するとき、ＣＣＤ４の角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉを満たす角度θとして検査を実行するので、各リブ１０４の間のガラス基板１０１に当該リブ１０４以外の構成物（アドレス電極１０２等）が存在する場合でも、当該構成物が撮像画像内に写り込むことを防止することができる。
【００７８】
従って、不要な構成物が撮像画像内に写り込むことを防止することで、当該リブ１０４又は異物Ｇの検査の正確を期することができる。
【００７９】
また、照射部３が一つのみの正反射光学系を用いてリブ１０４の検査が実行できるので、簡易且つ低コストの構成で正確にリブ１０４又は異物Ｇを検査することができる。
【００８０】
更に、ＣＣＤ４が扇形の受光範囲を有するＣＣＤ４であるとき、当該受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち長い方をＷｉとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉとするので、扇形の受光範囲を有するＣＣＤ４を用いてリブ１０４又は異物Ｇの検査を行う場合でも、不要な構成物が撮像画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００８１】
更にまた、各ＣＣＤ４の受光範囲の両端を夫々形成する直線の方向の壁面間距離のうち、全ての受光素子において最も長い壁面間距離をＷｉとし、角度θを０＜tanθ≦Ｌ／Ｗｉとするので、扇形の受光範囲を夫々に有する複数のＣＣＤ４を用いてリブ１０４又は異物Ｇの検査を行う場合でも、不要な構成物が検査画像内に写り込むことを有効に防止することができる。
【００８２】
また、検査中においてリブ１０４が形成されたＰＤＰ背面板１００が検査光の照射方向に平行な方向に移動するので、効率的且つ短時間にリブ１０４又は異物Ｇの状態を検査することができる。
【００８３】
更に、ＰＤＰ背面板１００の撮像画像から、検出対象とすべき欠陥の疑いのある擬似欠陥を検出し、その検出された当該各擬似欠陥のサイズを測定して、所定閾値より大きい擬似欠陥を、欠陥として検出するように構成したので、ＰＤＰ背面板１００としての品質に与える影響が大きい程度のサイズ（面積）を有する欠陥だけを検出することができる。また、当該所定閾値は、検査者によって自由に設定可能に構成すれば、所望の検出感度で欠陥を検出することができる。
【００８４】
なお、上述した実施形態では、撮像画像に対して各種画像処理を施したが、取得した撮像画像データにかかる撮像画像が、サイズ測定を容易に行える程度十分に欠陥部分を抽出可能である場合には、上記画像処理を施さずともよい。
【００８５】
また、上述した実施形態では、複数のＣＣＤ４によりラインカメラセンサ４Ａを構成したが、これ以外に、例えばいわゆるＭＯＳ（Metal Oxide Semiconductor）型のイメージセンサを複数用いて実施形態に係るラインセンサカメラ４Ａを構成してもよい。
【００８６】
更に、上述した実施形態では、表示部１４に欠陥検出結果を表示するよう構成したが、これ以外に、例えば印刷装置等を用いて、欠陥検出結果を印刷して検査者に提示するよう構成してもよい。
【００８７】
更にまた、上記ＰＤＰ背面板１００の撮像画像に相当する画像信号に対して予め設定されている補正処理を例えば制御部１３により施し、その補正処理後の画像信号に基づいてリブ１０４の欠陥や異物Ｇの存在を自動検出するように構成することも可能である。この場合には、検査対象であるＰＤＰ背面板１００毎に識別番号等を付与しておくことにより、各ＰＤＰ背面板１００毎に検査結果を得ることができる。
【００８８】
また、図４に夫々示すフローチャートに対応するプログラムをフレキシブルディスク又はハードディスク等の情報記録媒体に夫々記録しておき、又はインターネット等を介して取得して夫々記録しておき、これらを汎用のコンピュータで読み出して実行することにより、当該コンピュータを実施形態に係る制御部１３として活用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８９】
以上夫々説明したように、本発明は、基板上に微少な構造物が多数形成されている場合の当該構造物の検査分野に利用することが可能であり、特にＰＤＰ等のフラットパネルディスプレイの検査分野に適用すれば特に顕著な効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】実施形態に係るＰＤＰ背面基板の構成を示し外観斜視図である。
【図２】実施形態の検査システムの概要構成を示すブロック図である。
【図３】実施形態に係る検査システムにおける検査原理を説明する図であり、（ａ）は当該原理を説明する図であり、（ｂ）は効果を説明する図である。
【図４】実施形態の検査システムにおける検査動作を示すフローチャートである。
【図５】実施形態の検査システムにおける検査例を示す図（Ｉ）であり、（ａ）は第一検査例であり、（ｂ）は第二検査例である。
【図６】実施形態の検査システムにおける検査例を示す図（II）であり、（ａ）は第三検査例であり、（ｂ）は第四検査例である。
【図７】実施形態の検査システムにおける検査例を示す図（III）である。
【符号の説明】
【００９１】
１    検査端末
２    ワーク搬送ステージ
３    照明部
４    ＣＣＤ
４Ａ    ラインセンサカメラ
１１    外部機器接続部
１２    記憶部
１３    制御部
１４    表示部
１５    操作部
１６    通信部
１７    バス
１００    ＰＤＰ背面板
１０１    ガラス基板
１０２    アドレス電極
１０３    誘電体層
１０４    リブ
Ｓ    検査システム
Ｐ１、Ｐ２    欠陥
Ｃ    検査光（撮像方向）
Ｇ    異物
【図１】
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【図２】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図３】
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