(57)【要約】【課題】  真空レギュレータの構成を簡素化して製作コストを引き下げるとともに、小型化を可能にする。【解決手段】  真空源に接続される真空ポート１１と、真空ポートから真空圧力が供給される調圧ポート１２とが設けられたハウジング３０、６０に、前記調圧ポート１２に連通する感圧室２２および該感圧室と大気室７５とを仕切る配置に設けられたダイアフラム７０と、該ダイアフラムの一方の面に端面が当接し、前記真空ポートと前記調圧ポートを連絡する流路３２ａの中間で前記真空ポート１１と前記調圧ポート１２との間を開閉するバルブ部５４を備えた主弁５０と、付勢手段２３を介して前記ダイアフラム７０の他方の面に作用させる押圧力を調節する操作部８０、８３とを設けた真空レギュレータであって、前記主弁５０に軸線方向に貫通する貫通孔５０ａを設けるとともに、前記ダイアフラム７０に前記主弁５０と同軸に開口孔７２ａを設け、前記貫通孔５０ａおよび前記開口孔７２ａを介して前記調圧ポート１２側と前記感圧室２２とを連通させたことを特徴とする。【選択図】          図１
2007058294.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空源に接続される真空ポートと、真空ポートから真空圧力が供給される調圧ポートとが設けられたハウジングに、
前記調圧ポートに連通する感圧室および該感圧室と大気室とを仕切る配置に設けられたダイアフラムと、
該ダイアフラムの一方の面に端面が当接し、前記真空ポートと前記調圧ポートを連絡する流路の中間で前記真空ポートと前記調圧ポートとの間を開閉するバルブ部を備えた主弁と、
付勢手段を介して前記ダイアフラムの他方の面に作用させる押圧力を調節する操作部とを設けた真空レギュレータであって、
前記主弁に軸線方向に貫通する貫通孔を設けるとともに、前記ダイアフラムに前記主弁と同軸に開口孔を設け、前記貫通孔および前記開口孔を介して前記調圧ポート側と前記感圧室とを連通させたことを特徴とする真空レギュレータ。
【請求項２】
前記ハウジングに、前記主弁を軸線方向に可動に支持するとともに、主弁の外周面との間が前記真空ポートと調圧ポートとを連通する流路となる装着孔が設けられ、
該装着孔に、前記主弁の進退動とともに前記バルブ部が接離して前記真空ポートと前記調圧ポートとの間を開閉させる弁座が設けられ、
前記真空ポートと調圧ポートの一方が、前記弁座よりも前方に前記流路に連通して設けられ、前記真空ポートと調圧ポートの他方が、前記弁座よりも後方に前記流路に連通して設けられていることを特徴とする請求項１記載の真空レギュレータ。
【請求項３】
前記弁座よりも前方に前記調圧ポートが、後方に前記真空ポートが設けられ、
前記装着孔内に、前記主弁の前部が摺入するとともに主弁を前記ダイアフラムに向けて弾性的に押圧する付勢手段が介装されたスリーブ体が装着され、
該スリーブ体の外周面と前記装着孔の内周面との間が前記流路に形成され、
該スリーブ体に前記流路に連通する連通孔と、前記調圧ポートと連通する開口部とが設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空レギュレータ。
【請求項４】
前記弁座よりも前方に前記真空ポートが、後方に前記調圧ポートが設けられ、
前記装着孔内に、前記主弁の前部が摺入するとともに主弁を前記ダイアフラムに向けて弾性的に押圧する付勢手段が介装されたスリーブ体が装着され、
該スリーブ体の外周面と前記装着孔の内周面との間が前記流路に形成され、
該スリーブ体に前記流路に連通する連通孔が設けられ、
前記主弁の前記弁座よりも後方位置に、前記流路と前記主弁に設けられた貫通孔とを連通する連通孔が設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空レギュレータ。
【請求項５】
前記ハウジングが、主弁が装着された第１のハウジングと、感圧室が形成された第２のハウジングとからなり、
前記第１のハウジングと前記第２のハウジングとの間に、前記感圧室を仕切る配置に前記ダイアフラムを介装して組み立てられていることを特徴とする請求項１または２記載の真空レギュレータ。
【請求項６】
前記ダイアフラムは、ダイアフラムの中央部を第１のセンターディスクと前記開口孔が形成された第２のセンターディスクとにより両側から挟圧して組み付けて形成されたダイアフラム組立部品として形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の真空レギュレータ。
【請求項７】
前記主弁の後端面が前記第２のセンターディスクにメタルシールされた状態で当接することを特徴とする請求項６記載の真空レギュレータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空レギュレータに関し、より詳細には装置構成を簡素化し製作を容易にするとともに、装置の小型化を図ることを可能にする真空レギュレータに関する。
【背景技術】
【０００２】
真空レギュレータはワークを真空吸着して搬送等の操作を行う装置において、真空ポンプ等の真空源から供給される真空の真空度を調圧して供給するために用いられる。真空レギュレータには真空度を調節する調節つまみが設けられ、調節つまみを操作して、調圧側が所定の真空度になるように調節される。
【０００３】
図５は、従来の真空レギュレータの構成例を示す。真空レギュレータは、真空ポンプに接続される１次側である真空ポート１１と、真空圧力が調圧される２次側である調圧ポート１２を備えるボディ部１０と、ダイアフラム２１および感圧室２２を備えるハウジング部２０とを備える。感圧室２２には、ダイアフラム２１を裏面側からボディ部１０方向へ押圧するスプリング２３が装着され、スプリング２３による押圧力を調節する調圧ハンドル２４が設けられる。
ボディ部１０には軸線方向に進退動する主弁１３が設けられ、主弁１３の先端がダイアフラム２１に当接するとともに、ダイアフラム２１が軸線方向に移動する動作に応じて、主弁１３の中途に設けられたバルブ１４が弁座１５に対して接離する。
【０００４】
図５に示す真空レギュレータにおいては、ダイアフラム２１を挟んで感圧室２２と大気室２５とを設け、感圧室２２と調圧ポート１２とを連通流路２８により連通している。これによって、調圧ポート１２側の真空度が低い（圧力が高い）際には、ダイアフラム２１がスプリング２３によって押し上げられ、主弁１３に設けられたバルブ１４が弁座１５から離間して真空ポート１１と調圧ポート１２とが連通し、調圧ポート１２側の真空度が高くなると（圧力が低い）、ダイアフラム２１は大気圧によって内側に引き込まれ（押し下げられ）バルブ１４は弁座１５に当接して真空ポート１１と調圧ポート１２とは閉鎖される。すなわち、調圧ポート１２側の真空度に応じて真空ポート１１と調圧ポート１２との連通状態が制御され、調圧ポート１２側の真空度が所要の真空度に制御される。
【特許文献１】特開２０００−２７６２３７号公報
【特許文献２】特開２００４−１５７５９１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、調圧側の真空度を検知するために、調圧ポート１２側と感圧室２２とを連絡する連通流路２８を設けるが、従来の真空レギュレータでは、この連通流路２８はダイアフラム２１と干渉しないようにダイアフラム２１の外側を迂回する配置となり、ダイアフラム２１が配置される外側に連通流路２８を通過させる領域を確保しなければならない。また、連通流路２８は複数の部品間を屈曲するようにして連通する流路構成となることから、部品ごとに連通流路２８を相互に位置合わせして加工する必要があり、部品間の接続部ではＯリングを配してエアシールして接続しなければならないといったように、従来の真空レギュレータは構造が複雑で、製作コストが高くなるといった問題があった。
【０００６】
本発明は、これらの課題を解決すべくなされたものであり、装置の構成を簡素化することによって製作コストを引き下げることを可能とし、小型化をも可能にする真空レギュレータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するため次の構成を備える。
すなわち、真空源に接続される真空ポートと、真空ポートから真空圧力が供給される調圧ポートとが設けられたハウジングに、前記調圧ポートに連通する感圧室および該感圧室と大気室とを仕切る配置に設けられたダイアフラムと、該ダイアフラムの一方の面に端面が当接し、前記真空ポートと前記調圧ポートを連絡する流路の中間で前記真空ポートと前記調圧ポートとの間を開閉するバルブ部を備えた主弁と、付勢手段を介して前記ダイアフラムの他方の面に作用させる押圧力を調節する操作部とを設けた真空レギュレータであって、前記主弁に軸線方向に貫通する貫通孔を設けるとともに、前記ダイアフラムに前記主弁と同軸に開口孔を設け、前記貫通孔および前記開口孔を介して前記調圧ポート側と前記感圧室とを連通させたことを特徴とする。
【０００８】
また、前記ハウジングに、前記主弁を軸線方向に可動に支持するとともに、主弁の外周面との間が前記真空ポートと調圧ポートとを連通する流路となる装着孔が設けられ、該装着孔に、前記主弁の進退動とともに前記バルブ部が接離して前記真空ポートと前記調圧ポートとの間を開閉させる弁座が設けられ、前記真空ポートと調圧ポートの一方が、前記弁座よりも前方に前記流路に連通して設けられ、前記真空ポートと調圧ポートの他方が、前記弁座よりも後方に前記流路に連通して設けられていることを特徴とする。
また、前記弁座よりも前方に前記調圧ポートが、後方に前記真空ポートが設けられ、前記装着孔内に、前記主弁の前部が摺入するとともに主弁を前記ダイアフラムに向けて弾性的に押圧する付勢手段が介装されたスリーブ体が装着され、該スリーブ体の外周面と前記装着孔の内周面との間が前記流路に形成され、該スリーブ体に前記流路に連通する連通孔と、前記調圧ポートと連通する開口部とが設けられていることにより、調圧ポートと感圧室とが直線的に連通する形態となり、調圧ポートの圧力を的確に感知して調圧側の真空度を的確に調節することが可能になる。
また、前記弁座よりも前方に前記真空ポートが、後方に前記調圧ポートが設けられ、前記装着孔内に、前記主弁の前部が摺入するとともに主弁を前記ダイアフラムに向けて弾性的に押圧する付勢手段が介装されたスリーブ体が装着され、該スリーブ体の外周面と前記装着孔の内周面との間が前記流路に形成され、該スリーブ体に前記流路に連通する連通孔が設けられ、前記主弁の前記弁座よりも後方位置に、前記流路と前記主弁に設けられた貫通孔とを連通する連通孔が設けられていることを特徴とする。
【０００９】
また、前記ハウジングが、主弁が装着された第１のハウジングと、感圧室が形成された第２のハウジングとからなり、前記第１のハウジングと前記第２のハウジングとの間に、前記感圧室を仕切る配置に前記ダイアフラムを介装して組み立てられていることを特徴とする。ハウジングを第１のハウジングと第２のハウジングの２体構造とすることにより、各部品の製作および組立を容易にすることができる。
また、前記ダイアフラムは、ダイアフラムの中央部を第１のセンターディスクと前記開口孔が形成された第２のセンターディスクとにより両側から挟圧して組み付けて形成されたダイアフラム組立部品として形成されていることを特徴とする。このダイアフラム組立部品を使用することにより、前記主弁に設けた貫通孔とダイアフラムの開口孔とを容易に連通させる構造とすることができる。
また、前記主弁の後端面が前記第２のセンターディスクにメタルシールされた状態で当接することにより、真空レギュレータの調圧作用をより的確に行うことができる
【発明の効果】
【００１０】
本発明に係る真空レギュレータによれば、主弁に、調圧ポート側と感圧室とを連通する貫通孔を主弁に設ける構造としたことにより、調圧ポート側と感圧室とを連通させる連通流路を形成するための複雑な加工が不要となり、装置の構成を簡素化することが可能になるとともに、装置の小型化を図ることが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明に係る真空レギュレータの好適な実施の形態について、添付図面にしたがって詳細に説明する。
（第１の実施の形態）
図１は真空レギュレータの第１の実施の形態の全体構成を示す断面図である。本実施形態の真空レギュレータは、真空ポンプ３８が接続される真空ポート１１とワーク４５等を操作するための装置に調圧された真空を供給するための調圧ポート１２を備えた第１のハウジング３０と、調節ねじ８０と圧力計６６が接続される圧力計ポート６５を備えた第２のハウジング６０とを備える。以下では、第１のハウジング３０における構成と第２のハウジング６０の構成に分けて説明する。
【００１２】
図２は、第１のハウジング３０についての構成部分を拡大して示した断面図である。
第１のハウジング３０には軸芯方向に貫通する装着孔３２が設けられ、装着孔３２の一端に調圧ポート１２が設けられ、軸芯方向と直交する第１のハウジング３０の側面に、装着孔３２に連通して真空ポート１１が設けられている。すなわち、真空ポート１１と調圧ポート１２とは第１のハウジング３０にＬ字形に折曲する配置に設けられる。
【００１３】
真空ポート１１は、係止爪３３、開放リング３４、フィッティング本体３５等を備えたワンタッチ継手構造に形成され、真空ポート１１は樹脂チューブ等の接続管を介して真空ポンプ３８に接続される。なお、真空ポート１１の継手構造はワンタッチ継手構造に限られるものではない。
【００１４】
調圧ポート１２は、第１のハウジング３０の一端側から装着孔３２にスリーブ体４０を嵌入して形成される。スリーブ体４０の一端側の内周面にはねじ孔４０ａが設けられ、ねじ孔４０ａにワーク４５を操作する装置に連通する接続管が螺入して接続される。スリーブ体４０の外周面には、スリーブ体４０と装着孔３２の内周面との間を気密にシールするＯリング４１が装着される。なお、本実施形態では、調圧ポート１２を装置の基体等にねじ止めして固定するため、調圧ポート１２が設けられる第１のハウジング３０の外周面にねじ３０ａが形成されている。
スリーブ体４０の内端側は装着孔３２の内径よりも細径に形成された筒体部４０ｂに形成され、筒体部４０ｂに設けられた隔壁部に設けた開口部４２を介して貫通孔５０ａとねじ孔４０ａとが連通する。ねじ孔４０ａの内底部の側面には、筒体部４０ｂの外周面と装着孔３２の内周面との間に形成される流路３２ａに連通して開口する連通孔４４が設けられる。
【００１５】
装着孔３２内で、スリーブ体４０が装着された部位よりも内方には、装着孔３２と同芯に、軸線方向に貫通する貫通孔５０ａが形成された主弁５０が配置される。装着孔３２の主弁５０を内挿する部位は縮径して形成され、主弁５０はこの縮径した内挿孔に外周面を摺接させて装着される。主弁５０が内挿される内挿孔には主弁５０の外周面に摺接するパッキン５１が装着され、パッキン５１により主弁５０と装着孔３２との間がエアシールされて主弁５０が軸線方向に可動となる。
【００１６】
主弁５０の調圧ポート１２に対向する前端部は、スリーブ体４０の筒体部４０ｂに挿入され、主弁５０の前端部と筒体部４０ｂの隔壁部との間に付勢手段としてのバルブスプリング５２が介挿される。バルブスプリング５２は主弁５０とスリーブ体４０との間を離間させる向きに付勢する弾発スプリングである。
【００１７】
主弁５０の外周面にはスリーブ体４０に挿入される前端部よりも径大となる段差部５０ｂが形成される。段差部５０ｂの外周面には、段差部５０ｂの外周面よりも外面が突出するようにＯリング５４が装着される。段差部５０ｂよりも前端側がスリーブ体４０の筒体部４０ｂに挿入される部位であり、段差部５０ｂにスリーブ体４０の端面が当接することにより主弁５０の前進位置（主弁５０が調圧ポート１２に向けて移動する場合を前進、調圧ポート１２から離間する向きに移動する場合を後退）が規制される。段差部５０ｂおよびＯリング５４がバルブ部を構成する。
【００１８】
装着孔３２は軸線方向の中途部分が、調圧ポート１２側よりもやや縮径する縮径部３２ｂに形成され、縮径部３２ｂと調圧ポート１２側から形成されている装着孔３２との境界部分が断面形状がテーパ状となる弁座３２ｃとして形成される。前記主弁５０を装着孔３２に装着した状態で、段差部５０ｂに取り付けたＯリング５４は弁座３２ｃよりも前方（調圧ポート１２側）に位置し、Ｏリング５４と弁座３２ｃとは対向する配置位置関係となる。主弁５０の段差部５０ｂと主弁５０の他端との中間の外周面には突起５０ｃが周設される。突起５０ｃは、縮径部３２ｂと主弁５０を内挿する内挿孔との段差部分に当接する。真空ポート１１と装着孔３２とは、縮径部３２ｂで開口する流路３６を介して連通する。
【００１９】
図３は、第２のハウジング６０についての構成部分を拡大して示した断面図である。
第２のハウジング６０の一端側にはダイアフラム７０が装着される。ダイアフラム７０はリング状に形成され、ダイアフラム７０の中央部を第１のセンターディスク７１と第２のセンターディスク７２とにより両側からエアシールするように挟圧して組み付けることによって一体化されたダイアフラム組立部品７３として形成される。
【００２０】
第２のセンターディスク７２の中心には主弁５０に設けられた貫通孔５０ａと同径の開口孔７２ａが設けられている。開口孔７２ａの前記主弁５０に対向する側の周縁部には、主弁５０の後端面５０ｄが当接する当接面７２ｂが形成される。主弁５０の後端面５０ｄは球面に形成され、第２のセンターディスク７２に設けられる当接面７２ｂも、後端面５０ｄと同曲率の球面に形成される。これによって、主弁５０が第２のセンターディスク７２に当接した際に、主弁５０の後端面５０ｄと第２のセンターディスク７２に形成された当接面７２ｂとはメタルシールされる状態になる。
【００２１】
真空レギュレータを組み立てる際には、ダイアフラム組立部品７３は、第１のハウジング３０の他端側の周縁部と第２のハウジング６０の一端側の周縁部との間にダイアフラム７０の周縁部を挟み込むように嵌合して挟圧することによって装着される。第１のハウジング３０と第２のハウジング６０とでダイアフラム組立部品７３を挟圧するように装着することによって、ダイアフラム７０によって仕切られた一側に大気室７５が形成され、他側に感圧室２２が形成される。第１のハウジング３０には大気室７５に連通する通気孔３０ｄが設けられている。
【００２２】
第２のハウジング６０の他端側には、感圧室２２に内挿されるフランジ部８０ａと外周面にねじが形成されたねじ部８０ｂからなる調節ねじ８０が、スリーブ部６０ａにねじ部８０ｂを螺入して取り付けられている。
フランジ部８０ａは感圧室２２の内周面に外周面が摺接する円板状に形成され、フランジ部８０ａの感圧室２２の内周面に摺接する周面には、フランジ部８０ａと感圧室２２の内周面との間をエアシールするＯリング８１が周設されている。
フランジ部８０ａの前端面に当接してスプリングガイド８２が配置され、スプリングガイド８２と第１のセンターディスク７１との間に付勢手段としてのスプリング２３が介装されている。スプリング２３は弾発スプリングである。
【００２３】
調節ねじ８０の基端には調節ねじ８０を回動操作するためのつまみ８３が固定され、ねじ部８０ｂに調節ねじ８０の軸線方向での位置決め位置を固定するためのロックナット８４が螺合されている。調節ねじ８０およびつまみ８３が調圧ポート１２側の真空度を調節する操作部である。
圧力計６６を接続する圧力計ポート６５は、連通流路６２を介して感圧室２２と連通する。
【００２４】
図１は、第１のハウジング３０と第２のハウジング６０に所要の部品を組み込み、第１のハウジング３０と第２のハウジング６０とを組み合わせて真空レギュレータを組み立てた状態を示す。
本実施形態の真空レギュレータにおいて特徴的な構成は、主弁５０に形成した貫通孔５０ａを介して調圧ポート１２側と感圧室２２とが、いわば直列的に連通する構造となっていることである。すなわち、主弁５０に貫通孔５０ａを設け、ダイアフラム組立部品７３の第２のセンターディスク７２に開口孔７２ａを形成し、スリーブ体４０に開口部４２を形成したことによって、調圧ポート１２と感圧室２２とが常時連通する構成となる。
【００２５】
これらの調圧ポート１２と感圧室２２とを連通する構造に関与しているスリーブ体４０、主弁５０およびダイアフラム組立部品７３の構成は、従来の真空レギュレータにおいても同様の部品を使用しており、本実施形態の真空レギュレータはこれらの部品の構造を変えることによって調圧ポート１２側と感圧室２２とを連通構造としたものである。
【００２６】
本実施形態の真空レギュレータでは、このように調圧ポート１２側の真空度の変動を直接的に感圧室２２によって検知し、感圧室２２の作用を利用して調圧ポート１２側の真空度を調圧する。
すなわち、真空レギュレータを組み立てた状態で、主弁５０はバルブスプリング５２の付勢力により、その後端面５０ｄがダイアフラム組立部品７３の第２のセンターディスク７２に形成された当接面７２ｂに当接し、ダイアフラム７０を常時後方に押圧する。このとき、主弁５０の段差部５０ｂに設けたＯリング５４は装着孔３２の弁座３２ｃに当接する。
【００２７】
図１において、Ａ−Ａ線の下半部は、主弁５０が後方に移動しＯリング５４が弁座３２ｃに当接している状態を示す。この状態は、流路３２ａと流路３６とが遮断され、真空ポート１１と調圧ポート１２とが遮断されている状態である。
この真空ポート１１と調圧ポート１２とが遮断される状態とは、調圧ポート１２側の真空度が高い（圧力が低い）状態に相当する。調圧ポート１２側の圧力が低い場合には感圧室２２の圧力も低くなるから、ダイアフラム７０にはスプリング２３を圧縮させるように作用し、主弁５０は後方に移動するようになる。すなわち、主弁５０は真空ポート１１と調圧ポート１２間を閉鎖している。
【００２８】
一方、調圧ポート１２側の真空度が低くなる（圧力が上がる）と、これに伴って感圧室２２の圧力が上がるから、ダイアフラム７０に対してはスプリング２３を伸長させる方向の力が作用する。このスプリング２３を伸長させる方向の力は、主弁５０を前進させるように、いいかえれば主弁５０に設けられているＯリング５４が弁座３２ｃから離間するように作用する。Ｏリング５４が弁座３２ｃから離間すると、連通孔４４、流路３２ａ、流路３６を介して調圧ポート１２と真空ポート１１とが連通する。すなわち、主弁５０は真空ポート１１と調圧ポート１２間を開放し、調圧ポート１２側が真空排気される。図１でＡ−Ａ線の上半部はＯリング５４が弁座３２ｃから離間して調圧ポート１２と真空ポート１１とが連通した状態を示す。
【００２９】
こうして、感圧室２２に設けられたダイアフラム７０に調圧ポート１２側の圧力が作用し、感圧室２２の圧力に応じて主弁５０が軸線方向に進退動し、主弁５０が前進した際にはバルブが開き、後退したときにはバルブが閉まるように作用することにより、調圧ポート１２側が所定の真空度に調圧されることになる。
つまみ８３を用いて調節ねじ８０を操作することにより、スプリング２３を介してダイアフラム７０に作用する押圧力を増減することができる。調節ねじ８０を前進させると、ダイアフラム７０に作用する押圧力が大きくなり、調圧ポート１２側の真空度が上昇し、調節ねじ８０を後退させると、ダイアフラム７０に作用する押圧力が小さくなり、真空度が低下する。この調節ねじ８０による調圧作用は、従来の真空レギュレータによる調圧作用とまったく同様である。
【００３０】
なお、本実施形態において、主弁５０に設けたＯリング５４と装着孔３２の内面に設けた弁座３２ｃとは、相互に接離して流路３２ａと流路３６との連通状態を開閉するバルブ作用をなすもので、このようなバルブ作用をなすものであれば、Ｏリング５４にかえて適宜シール部材を使用することが可能であり、主弁５０に弁座を設け、装着孔３２に、弁座に当接するシール部材を配置することも可能である。
本発明において真空ポートと調圧ポートとの間を開閉するバルブ部とは、このような構成を含むものとして考えている。
【００３１】
（第２の実施の形態）
上記実施形態においては、第１のハウジング３０に設けた装着孔３２の一端側に調圧ポート１２を設け、装着孔３２の側方に真空ポート１１を設けたが、調圧ポート１２と真空ポート１１を逆の配置とすることも可能である。
図４は、第１の実施の形態とは真空ポート１１と調圧ポート１２の配置を逆にした真空レギュレータの構成を示す。本実施形態の真空レギュレータにおいても、貫通孔５０ａが形成された主弁５００を第１のハウジング３０に設けた装着孔３２に装着し、主弁５００に直列にスリーブ体４００を配置する構成については第１の実施の形態と同様である。
【００３２】
本実施の形態において第１の実施の形態における真空レギュレータの構成と相違する点は、主弁５０の段差部５０ｂと突起５０ｃとの中間に、軸線方向に直交する方向に貫通孔５０ａに連通する複数の連通孔５０２を設けたこと、装着孔３２に装着されるスリーブ体４００の隔壁部４０２に開口部４２を設けず、隔壁部４０２によってスリーブ体４００の筒体部４０ｂとねじ孔４０ａとを遮断したことにある。
第１のハウジング３０および第２のハウジング６０に装着されるその他の部品についての構成は、第１の実施の形態におけるとまったく同様である。
【００３３】
本実施形態の真空レギュレータでは、調圧ポート１２は、流路３６、連通孔５０２、貫通孔５０ａ、ダイアフラム組立部品７３を介して感圧室２２と常時連通する。
調圧ポート１２側の真空度が高い（圧力が低い）場合には感圧室２２の圧力が低くなって、主弁５０は閉塞し（図４のＢ−Ｂ線の下半部の状態）、調圧ポート１２側の真空度が低くなる（圧力が高くなる）と、ダイアフラム７０によって主弁５０が前方に押され、Ｏリング５４が弁座３２ｃから離間し、真空ポート１１と調圧ポート１２とが連通孔４４、流路３２ａ、流路３６を介して連通する。
【００３４】
すなわち、感圧室２２により調圧ポート１２側の圧力が常時感知され、調圧ポート１２側の圧力に応じて、主弁５０が軸線方向に進退動し、主弁５０により真空ポート１１と調圧ポート１２との連通状態が制御されて、調圧ポート１２側が調圧される。
本実施形態の真空レギュレータによる調圧作用は、第１の実施の形態における真空レギュレータとまったく同様である。真空レギュレータの真空ポート１１と調圧ポート１２の配置については、使用機器における設置位置等に応じて適宜配置のものを使用すればよい。
【００３５】
上記各実施形態においては、主弁５０とダイアフラム組立部品７３の第２のセンターディスク７２とを突き合わせ、主弁５０と第２のセンターディスクとの接続をメタルシール構造としている。このようなメタルシール構造によると、真空ポート１１と調圧ポート１２との間が連通状態に切り替わる際に、大気室７５からメタルシール部分を介して調圧ポート１２側に大気が流入可能となる。切り替え時に、調圧ポート１２側に大気を進入可とすると、切り替えタイミングが短縮でき、応答性のよい真空レギュレータとすることができるという利点がある。
【００３６】
また、上記各実施形態において説明したように、本発明に係る真空レギュレータでは、主弁５０、５００に貫通孔５０ａを設け、調圧ポート１２と感圧室２２とを連通する連通流路が貫通孔５０ａを介して連通する構造となっている。これによって、調圧ポート１２と感圧室２２とを連絡する連通流路を、従来のように、ダイアフラム７０を迂回させて配置するといった必要がなくなり、主弁５０、５００に貫通孔５０ａを設けることで連通流路の流路構成をコンパクトにかつ簡素化して形成することができ、装置の小型化を図ることが可能となった。
連通流路は主弁５０、５００およびスリーブ体４０、ダイアフラム組立部品７３等に加工を施して形成することができ、部材に屈曲孔を形成するといった複雑な加工が不要となる。これによって、部品の製作が容易となり組立作業も容易になるという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明に係る真空レギュレータの第１の実施の形態の構成と、その作用を示す断面図である。
【図２】真空レギュレータの第１のハウジング側の構成を示す断面図である。
【図３】真空レギュレータの第２のハウジング側の構成を示す断面図である。
【図４】本発明に係る真空レギュレータの第２の実施の形態の構成を示す断面図である。
【図５】従来の真空レギュレータの断面図である。
【符号の説明】
【００３８】
１１  真空ポート
１２  調圧ポート
１３  主弁
２２  感圧室
２３  スプリング
２８  連通流路
３０  第１のハウジング
３２  装着孔
３２ａ  流路
３２ｂ  縮径部
３２ｃ  弁座
３６  流路
３８  真空ポンプ
４０、４００  スリーブ体
４０ｂ  筒体部
４２  開口部
４４  連通孔
４５  ワーク
５０、５００  主弁
５０ａ  貫通孔
５０ｂ  段差部
５０ｄ  後端面
５２  バルブスプリング
５４  Ｏリング
６０  第２のハウジング
６２  連通流路
６５  圧力計ポート
６６  圧力計
７０  ダイアフラム
７１  第１のセンターディスク
７２  第２のセンターディスク
７２ａ  開口孔
７３  ダイアフラム組立部品
７５  大気室
８０  調節ねじ
４０２  隔壁部
５０２  連通孔
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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