(57)【要約】【課題】部品吸着ノズルのピッチを小さくしても、部品吸着ノズルの押圧力や位置などを精度良く制御することができる、部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置を提供する。【解決手段】それぞれ、軸２１と、軸２１を軸方向に駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄと、軸２１の軸方向の駆動に連動して移動する部品吸着ノズル２２とを含む、複数組の部品保持ユニット２０を備える。各組の部品保持ユニット２０の軸２１は、互いに略平行に配置される。隣り合う軸２１をそれぞれ駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄは、軸２１の軸方向に交互にずらして配置されている。【選択図】図１
2007200914.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ、軸と、前記軸を軸方向に駆動するボイスコイルモータと、前記軸の軸方向の駆動に連動して移動する部品吸着ノズルとを含む、複数組の部品保持ユニットを備え、各組の前記部品保持ユニットの前記軸が互いに略平行に配置された部品実装ヘッドにおいて、
隣り合う前記軸をそれぞれ駆動する前記ボイスコイルモータは、前記軸の軸方向に交互にずらして配置されていることを特徴とする部品実装ヘッド。
【請求項２】
前記各部品保持ユニットにおいて、前記軸と、前記ボイスコイルモータと、前記部品吸着ノズルとが略同軸に配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の部品実装ヘッド。
【請求項３】
前記各部品保持ユニットの前記軸が略同一平面上に配置されていることを特徴とする、請求項２に記載の部品実装ヘッド。
【請求項４】
前記各部品保持ユニットの前記軸が略同一円筒面上に配置されていることを特徴とする、請求項２に記載の部品実装ヘッド。
【請求項５】
前記各部品吸着ノズルが回転自在に配置され、
前記各部品吸着ノズルを回転する回転駆動手段を備えたことを特徴とする、請求項１〜４のいずれか一つに記載の部品実装ヘッド。
【請求項６】
前記部品吸着ノズルは、前記軸の一端に固定され、
前記軸には、軸方向に延在するスプライン溝又は突条が形成され、
前記回転駆動手段は、
前記軸の前記スプライン溝又は突条に係合し、かつ前記軸の軸方向に移動自在可能にする係合部材と、
前記係合部材を、前記軸の中心軸の周りを回動させる駆動部材とを含むことを特徴とする、請求項５に記載の部品実装ヘッド。
【請求項７】
前記各ボイスコイルモータの周囲に、磁気シールド部材が配置されていることを特徴とする、請求項１〜６のいずれか一つに記載の部品実装ヘッド。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか一つに記載の部品実装ヘッドを備え、前記部品吸着ノズルに吸着した部品を、製品の所定位置に実装することを特徴とする、部品実装装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は部品実装ヘッドおよび部品実装装置に関し、詳しくは、ボイスコイルモータで駆動する部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば電子部品を回路基板上に実装するために用いる部品実装ヘッドは、電子部品を着脱自在に吸着する部品吸着ノズルを複数備えることによって、部品を効率良く実装することができる。
【０００３】
例えば図８に示す部品実装ヘッドは、ハウジング１１１の下面から、一列に揃えて配置された複数の部品吸着ノズル（図示せず）が突出するようになっている。部品吸着ノズルは、それぞれ、不図示のリンク機構を介して機械的に結合されたボイスコイルモータ１１４の駆動によって、昇降する。各ボイスコイルモータ１１４の駆動量は、直線位置検出器１１７で検出される。各ボイスコイルモータ１１４は、部品吸着ノズルと間隔を設けて平行に２列に分けて配置されている。すなわち、部品吸着ノズルを含みハウジング１１１の略中央を通る垂直面の両側に、部品吸着ノズルを駆動するボイスコイルモータ１１４が交互に配置されている。このようにボイスコイルモータ１１４を千鳥状に配置することによって、部品吸着ノズルのピッチを小さくしても、隣接する部品吸着ノズルを駆動するボイスコイルモータ１１４同士が干渉しないようになっている。部品吸着ノズルは、それぞれ、不図示のスピンドルユニットの下端に設けられている。各スピンドルユニットの上端にはピニオン１１６が設けられ、ピニオン１１６に係合するラック１１５の直進駆動によって、部品吸着ユニットが回動するようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２８０１９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
部品実装装置は、電子部品の小型化に伴い実装作業の効率化を図るため、部品吸着ノズルのピッチを小さくすることが考えられる。
【０００５】
しかし、単純に部品吸着ノズルのピッチを小さくすると、各部品吸着ノズルを駆動するボイスコイルモータ同士が接近する。ボイスコイルモータは、軸の周りにマグネットとコイルが配置され、コイルに通電することによって駆動するため、ボイスコイルモータ同士を近づけ過ぎると、磁界の干渉によってコイル通電時のスラスト力が変動するなどの悪影響が生じ、部品吸着ノズルの位置や押圧力などを精度良く制御することが困難になる。
【０００６】
また、ボイスコイルモータ同士が接近すると、コイル通電時の放熱による周辺部材の熱変形などの悪影響が大きくなるため、部品吸着ノズルの位置などを精度良く制御することが困難になる。
【０００７】
本発明は、かかる実情に鑑み、部品吸着ノズルのピッチを小さくしても、部品吸着ノズルの押圧力や位置などを精度良く制御することができる、部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、上記課題を解決するために、以下のように構成した部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置を提供する。
【０００９】
部品実装ヘッドは、それぞれ、軸と、前記軸を軸方向に駆動するボイスコイルモータと、前記軸の軸方向の駆動に連動して移動する部品吸着ノズルとを含む、複数組の部品保持ユニットを備え、各組の前記部品保持ユニットの前記軸が互いに略平行に配置される。この略平行とは、実質的には平行な状態のものも、僅かながら傾斜がついている状態のものも、どちらも含む。隣り合う前記軸をそれぞれ駆動する前記ボイスコイルモータは、前記軸の軸方向に交互にずらして配置されている。
【００１０】
上記構成の各部品保持ユニットにおいて、軸と部品吸着ノズルとは、軸の駆動と部品吸着ノズルの移動とが連動するように、直接接続されても、リンク機構等を介して間接的に接続させてもよい。
【００１１】
上記構成によれば、複数の軸が並んだ面の法線方向から見ると、ボイスコイルモータは軸方向に交互にずらして千鳥状に配置されている。これによって、隣り合う軸を接近させても、それぞれの軸を駆動するボイスコイルモータの間に所定以上の距離を確保することができる。これによって、隣り合う軸をそれぞれ駆動するボイスコイルモータの間で磁界の干渉が生じないようにすることができる。また、隣り合う軸をそれぞれ駆動するボイスコイルモータの放熱が影響し合うことがないようにすることができる。
【００１２】
好ましくは、前記各部品保持ユニットにおいて、前記軸と、前記ボイスコイルモータと、前記部品吸着ノズルとが略同軸に配置されている。この略同軸とは、実質的には同軸の状態のものも、僅かながら同軸からずれている状態のものも、どちらも含む。
【００１３】
この場合、ボイスコイルモータと部品吸着ノズルとの間に介在するリンク機構等による誤差をなくしたり小さくしたりすることができる上、ボイスコイルモータと部品吸着ノズルとの間でモーメントが発生しないため、部品吸着ノズルでの押圧力をボイスコイルモータにより精度良く制御することができる。
【００１４】
また、部品実装ヘッドをスライド移動する場合、スライド面と部品実装ヘッドの重心との間の距離を短くして、移動時の部品実装ヘッドの振れを小さくすることにより、部品実装ヘッドを高速で駆動することができる。
【００１５】
好ましくは、前記各部品保持ユニットの前記軸が略同一平面上に配置されている。この略同一平面上とは、実質的には同一平面上の状態のものも、僅かながら同一平面上からずれている状態のものも、どちらも含む。
【００１６】
この場合、部品吸着ノズルを略一列に並べることにより、部品実装装置のスライド移動時の振動抑制性が向上するため、部品吸着ノズルの位置決め制御が容易になる。
【００１７】
また、部品実装ヘッドがロータリー式に回転する場合などには、前記各部品保持ユニットの前記軸が略同一円筒面上に配置されていれば、部品実装装置の回転時の振動抑制性が向上するため、部品吸着ノズルの位置決め制御が容易になる。この略同一円筒面上とは、実質的には同一円筒面上の状態のものも、僅かながら同一円筒面上からずれている状態のものも、どちらも含む。
【００１８】
好ましくは、前記各部品吸着ノズルが回転自在に配置される。部品実装ヘッドは、前記各部品吸着ノズルを回転する回転駆動手段を備える。
【００１９】
この場合、部品吸着ノズルに保持された部品の載置角度を変えたり、製品に対する回転補正をすることが可能となる。なお、上記構成において、部品吸着ノズルと軸とが一体となって回転しても、部品吸着ノズルのみが回転してもよい。
【００２０】
好ましくは、前記部品吸着ノズルは、前記軸の一端に固定される。前記軸には、軸方向に延在するスプライン溝又は突条が形成される。前記回転駆動手段は、前記軸の前記スプライン溝又は突条に係合し、かつ前記軸の軸方向に移動自在可能にする係合部材と、前記係合部材を、前記軸の中心軸の周りを回動させる駆動部材とを含む。
【００２１】
この場合、係合部材に対して軸が軸方向に移動することによって、部品吸着ノズルと軸とが一体となって軸方向に移動する。駆動部材により係合部材が回動すると、係合部材の係合部が軸のスプライン溝又は突条に係合しているので、係合部材は軸を回転させ、これによって、軸の一端に固定されている部品吸着ノズルが回転する。
【００２２】
好ましくは、前記各ボイスコイルモータの周囲に、磁気シールド部材が配置されている。
【００２３】
磁気シールド部材によって、ボイスコイルモータの周囲における磁界の広がりが抑制することができ、ボイスコイルモータの磁界の干渉の影響を小さくすることができるので、ボイスコイルモータ同士をより接近させ、構成をより小型化することができる。
【００２４】
また、本発明は上記各構成のいずれか一つの部品実装ヘッドを備え、前記部品吸着ノズルに吸着した部品を、製品の所定位置に実装する部品実装装置を提供する。
【００２５】
この部品実装装置は、製品に部品を押圧する力や製品に対する位置を精度良く制御することができる上、高速で駆動することができる。
【発明の効果】
【００２６】
本発明の部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置は、部品吸着ノズルのピッチを小さくしても、各部品吸着ノズルを駆動するボイスコイルモータ同士が離れるようにすることができるので、部品吸着ノズルの押圧力や位置などを精度良く制御することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態として実施例について、図１〜図６、図７ａ〜図７ｃを参照しながら説明する。
【００２８】
図１の外観図に示すように、部品実装ヘッド１０は、ベース板１２上に４組の部品保持ユニット２０が配置されている。各部品保持ユニット２０は、中空の軸２１の一端（図において下端）に、部品吸着ノズル２２が固定され、他端（図において上端）に配管継手２４が固定されている。配管継手２４には、不図示の真空配管チューブが接続され、部品吸着ノズル２２の下端に不図示の部品を真空吸着するようになっている。４組の部品保持ユニット２０は、各軸２１が互いに平行に配置され、各部品吸着ノズル２２の下端が一列に揃うようになっている。各軸２１の両端は、ベース板１２に設けられた支持部材１４，１８によって、回転自在かつ軸方向移動自在に支持されている。各軸２１の外周面には、軸方向に延在する不図示のスプライン溝が形成されている。スプライン溝の代わりに、軸方向に延在する突条を形成してもよい。
【００２９】
各軸２１の一端（下端）側にはプーリー４４が設けられている。詳しくは、部品実装ヘッド１０の上方から図１の線III−IIIに沿って切断した図３の断面図に模式的に示すように、プーリー４４の内側にはスプラインナット４２が配置されている。プーリー４４とスプラインナット４２とは結合されているので一体的に動き、一部材（係合部材）として機能する。スプラインナット４２は、軸２１が挿通される内穴に、軸２１のスプライン溝（図示せず）に係合する係合部（図示せず）が形成されており、軸２１とスプラインナット４２（およびプーリー４４）とが軸方向に相対移動自在となっている。プーリー４４は、その外側に配置されたベアリング４６を介して、支持部材１８（図１参照）に回転自在に支持されている。
【００３０】
プーリー４４にはタイミングベルト５２が係合されている。タイミングベルト５２はモータ５０を駆動源として回動され、４組の部品保持ユニット２０の軸２１及び部品吸着ノズル２２が同時に任意角度回動するようになっている。
【００３１】
４組の部品保持ユニット２０のうち２組について、上側ケーシング１６内に収納されたボイスコイルモータ３０ｂ，３０ｄによって、他の２組については、下側ケーシング１７内に収納されたボイスコイルモータ３０ａ，３０ｃによって、それぞれの軸２１が軸方向（上下方向）に駆動されるようになっている。すなわち、図３の要部断面図に示すように、４組の部品保持ユニット２０の隣り合う軸２１をそれぞれ駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄは、軸２１の軸方向に交互にずらして千鳥状に配置されている。
【００３２】
このようにボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄを千鳥状に配置することによって、隣り合う軸２１を接近させても、隣り合う軸２１をそれぞれ駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの間で磁界の干渉による悪影響が生じないように、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの間に所定以上の距離を確保することができる。
【００３３】
また、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄを千鳥状に配置することによって、隣り合う軸２１を接近させても、隣り合う軸２１をそれぞれ駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄを別々のケーシング１６，１７に分けて収納し、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの放熱により悪影響が生じないようにすることができる。例えば、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの周辺部材の熱膨張による部品吸着ノズルの位置ずれを抑制し、部品吸着ノズルの位置を精度良く制御することができる。
【００３４】
ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄには、例えばムービングマグネットタイプのものを用いる。この場合、軸２１にマグネット３２が固定され、マグネット３２の外側にコイル３４が配置される。詳しくは図４の要部拡大断面図に示すように、マグネット３２は、軸２１に不図示のネジで固定されるスリーブ３１と、スリーブ３１の外周面に固着されたマグネットエレメント３３とを備える。マグネットエレメント３３は、筒状であっても、例えば約９０°毎等、適宜に分割された半割れ筒状であってもよい。コイル３４は、マグネットエレメント３３の周囲に所定の間隔を設けて配置され、略筒状に巻き回されている。コイル３４に通電することによって磁界が変化し、マグネット３２が符号３８で示すように軸方向に移動する。
【００３５】
ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄには、ムービングマグネットタイプとは逆に、コイルが内側に配置され、マグネットが外側に配置され、コイルが動くムービングコイルタイプを用いてもよい。
【００３６】
また、図４において鎖線で示したように、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの周囲に、例えば筒状の磁気シールド部材３６を配置してもよい。磁気シールド部材３６は、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄの周囲における磁界の広がりを抑制することができ、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄ間の磁界の干渉が小さくなるため、ボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄを互いにより接近させることができる。そのため、部品保持ユニット２０のピッチをより狭くすることができる。
【００３７】
次に、ボイスコイルモータの磁界強度分布の解析例について、図６及び図７ａ〜図７ｃを参照しながら説明する。
【００３８】
図６は、２次元磁界解析を行い、マグネットとコイルの磁界によってノズル可動部に発生する推力ベクトルを算出した結果を示すグラフである。ボイスコイルモータはムービングマグネットタイプであり、内側に配置されるネオジウムのマグネット（内径５ｍｍ、外径１２ｍｍ、長さ４４ｍｍ、保磁力１２．５エルステッド）と、外側に配置されるコイル（内径１３ｍｍ、外径１９ｍｍ、長さ３０ｍｍ）とを備え、可動範囲は７ｍｍである。
【００３９】
図６において、（ａ）は、４つのボイスコイルモータを軸方向の同じ位置に揃えて互いに平行に配置し、ボイスコイルモータ同士の干渉による悪影響が生じないように十分なピッチ（４０ｍｍ）を確保した比較例である。（ｂ）は、ピッチを比較例の半分にした場合である。（ｃ）は、ピッチを比較例の半分にした上、隣り合うボイスコイルモータの位置を、ボイスコイルモータの軸方向寸法の０．９倍分ずつ交互にずらした場合である。（ｄ）は、ピッチを比較例の半分にした上、隣り合うボイスコイルモータの位置を、ボイスコイルモータの軸方向寸法の１．１倍分ずつ交互にずらした場合である。（ｅ）は、ピッチを比較例の半分にした上、隣り合うボイスコイルモータの位置を、ボイスコイルモータの軸方向寸法の１．４倍分ずつ交互にずらした場合である。符号１はボイスコイルモータを可動範囲の中間位置に駆動した場合、符号２はボイスコイルモータの可動範囲の下端に駆動した場合、符号３はボイスコイルモータの可動範囲の上端に駆動した場合を示す。縦軸のノズル推力は、（ａ）の比較例の場合を基準に規格化した値を示している。
【００４０】
例えば（ｂ）に示すように、ボイスコイルモータのピッチを小さくすると、隣接するボイスコイルモータの磁界の干渉の影響が大きくなる。しかし、隣り合うボイスコイルモータを軸方向にずらすことによって、図６（ｃ）〜（ｅ）に示すようにボイスコイルモータの磁界の干渉の影響が小さくなる。図６（ｅ）に示すように、隣り合うボイスコイルモータを軸方向に所定距離以上ずらすと、磁界の干渉の影響が実用上問題にならないようになる。
【００４１】
図７ａ〜図７ｃは、ボイスコイルモータの配置と磁界強度分布との関係を示す。図中、濃淡が濃く、黒く映し出される部分は、磁界の干渉の影響が小さくなっていることを意味している。
【００４２】
図７ａは、２個のボイスコイルモータが十分に大きいピッチ（４０ｍｍ）で配置された比較例の場合であり、図６の（ａ）に対応する。図７ｂは、４個のボイスコイルモータを比較例の半分のピッチで、軸方向の位置を揃えて配置した場合であり、図６の（ｂ）に対応する。図７ｃは、図７ｂのボイスコイルモータのうち一つを、軸方向に、ボイスコイルモータの軸方向寸法の１．４倍分ずらした場合であり、図６の（ｅ）に対応する。図７ｃのようにボイスコイルモータをずらすと、隣接するボイスコイルモータとの間の磁界強度分布が、図７ａの場合の磁界強度分布と略同程度となることが分かる。
【００４３】
次に、部品実装ヘッド１０を用いる部品実装装置６０について、図２の外観図を参照しながら説明する。
【００４４】
図２に示すように、部品実装装置６０は、本体６２の上面に、複数枚数のウェハが収納されるウェハラック７２と、トレイ７４と、部品供給装置７６と、チップを認識するためのチップ認識カメラ７８と、ステージ８２を駆動するステージ駆動部８０と、ステージ８２に基板６を供給・回収する基板搬送部８４とが配置されている。
【００４５】
また、本体６２の上面には、ガイド部６４が設けられている。ガイド部６４には、ガイド部６４に沿ってＸ方向にスライド移動する部品実装ヘッド駆動部６６と基板認識カメラ駆動部６８とが配置されている。部品実装ヘッド駆動部６６には、部品実装ヘッド１０のベース板１２が固定され、部品実装ヘッド１０がＸ方向に駆動されるようになっている。基板認識カメラ駆動部６８には、ステージ８２上の基板６を認識する基板認識カメラ８８が固定され、基板認識カメラ８８がＸ方向に駆動されるようになっている。
【００４６】
次に、部品実装装置６０の動作を説明する。
【００４７】
不図示の取り出し装置により、ウェハラック７２から、チップに分割されたウェハ４がトレイ７４に供給される。部品供給装置７６は、符号７６ａで示した位置で、トレイ７４上のチップを吸着して取り出し、チップの上下を反転しながら符号７６ｂで示す受け渡し位置まで搬送し、チップを上向きに保持する。
【００４８】
部品実装ヘッド１０は、部品実装ヘッド駆動部６６によって、各部品吸着ノズル２２が順次、受け渡し位置７６ｂの上方に位置するように駆動され、受け渡し位置７６ｂの上方に位置する部品吸着ノズル２２が下降し、受け渡し位置７６ｂのチップを吸着してチップを受け取ると上昇する。
【００４９】
部品実装ヘッド１０は、すべての部品吸着ノズル２２にチップを吸着すると、部品実装ヘッド駆動部６６によって、ガイド部６４に沿ってＸ方向に、ステージ８２上に載置された基板６の上方まで移動する。部品実装ヘッド１０の部品吸着ノズル２２に吸着されたチップは、搬送途中にチップ認識カメラ７８で撮影され、チップの位置が認識され、基板６に対してチップを装着する位置を補正するためのデータが算出される。
【００５０】
部品実装ヘッド１０が、ステージ８２上に載置された基板６の上方まで移動すると、部品吸着ノズル２２が適宜順に下降して、基板６の所定位置にチップを装着する。このとき、所定位置にチップが載置されるように、適宜なタイミングで、部品実装ヘッド駆動部６６が部品実装ヘッド１０をＸ方向に駆動するとともに、ステージ駆動部８０が基板６を載置したステージ８２をＹ方向に駆動する。また、基板６の所定の位置にチップが載置されるように、適宜なタイミングでモータ５０が駆動し、部品吸着ノズル２２に保持されているチップの載置角度を変えたり、回転補正をする。部品実装ヘッド１０は、駆動方向（Ｘ方向）に部品吸着ノズル２２が配置されているため、部品吸着ノズル２２の位置制御が容易である。
【００５１】
基板６は、チップ装着が完了すると、基板搬送部８４によってステージ８２から搬出され、ステージ８２には、基板搬送部８４によって、チップが未装着の基板６が供給される。
【００５２】
ところで、例えば軸方向に見た図５（ａ）に模式的に示す部品実装ヘッド１０ａのように、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２（破線）とが不図示のリンク機構等を介することによって非同軸に配置し、符号１１ａで示すようにスライド面６５に沿って部品実装ヘッド１０ａを駆動するように構成することも可能である。この場合、部品実装ヘッド１０ａの重心１０ｘとスライド面６５との間の距離Ｌ１は相対的に長くなるため、部品実装ヘッド１０ａの振れが大きくなる傾向がある。また、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２との間で生じるモーメントや、介在するリンク機構等の誤差によって、ボイスコイルモータ３０により部品吸着ノズル２２の押圧力を精度よく制御することが困難である。
【００５３】
これに対し、軸方向に見た図５（ｂ）に模式的に示す部品実装ヘッド１０ｂのように、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２（破線）とを同軸に配置し、符号１１ｂで示すようにスライド面６５に沿って部品実装ヘッド１０ｂを駆動すると、部品実装ヘッド１０ｂの重心１０ｙとスライド面６５との間の距離Ｌ２を小さくすることができ、駆動時の部品実装ヘッド１０ｂの振れが小さくなるため、より高速で部品実装ヘッド１０ｂを駆動することができる。また、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２との間の系による誤差をなくしたり小さくしたりすることができ、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２との間でモーメントが生じないため、部品吸着ノズル２２の押圧力をボイスコイルモータ３０により精度良く制御することができる。
【００５４】
したがって、ボイスコイルモータ３０と部品吸着ノズル２２とは、非同軸に配置してもよいが、同軸に配置することが好ましい。
【００５５】
以上に説明したように、部品実装ヘッド１０は、隣り合う軸２１をそれぞれ駆動するボイスコイルモータ３０ａ〜３０ｄを軸方向に交互にずらして配置し、部品吸着ノズル２２を狭ピッチ化することにより、部品吸着ノズル２２の押圧力や位置などを精度良く制御することができる。また、部品実装ヘッド１０を用いる部品実装装置６０は、高速で駆動することができる。
【００５６】
なお、本発明の部品実装ヘッドおよびそれを備えた部品実装装置は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、種々変更を加えて実施することが可能である。
【００５７】
部品実装ヘッドは、電子部品に限らず、小型の部品の実装に用いることができる。部品実装ヘッドはスライド駆動に限らず、例えばロボットアーム等に部品実装ヘッドを取り付け、２次元又は３次元に移動させながら用いるようにしても、部品実装ヘッドを移動せずに固定位置で用いるようにしてもよい。部品吸着ノズルを回転しない場合には、軸にスプライン溝や突条などを形成しなくてもよい。部品保持ユニットは、平面以外に配置してもよく、例えば円筒面に沿って配置して、部品吸着ノズルを円周上に揃えて配置してもよい。部品吸着ノズルは、真空に限らず、例えば粘着剤や静電気、機械的な把持機構などによって、部品を保持してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】部品実装ヘッドの外観図である。
【図２】図１の部品実装ヘッドを用いる部品実装装置の外観図である。
【図３】図１の線III−IIIに沿って切断した断面の模式図である。
【図４】ボイスコイルモータの要部構成図である。
【図５】部品実装ヘッドの説明図である。
【図６】部品実装ヘッドのノズル推力のグラフである。
【図７ａ】ボイスコイルモータによる磁界強度分布図である。
【図７ｂ】ボイスコイルモータによる磁界強度分布図である。
【図７ｃ】ボイスコイルモータによる磁界強度分布図である。
【図８】部品実装ヘッドの外観図である。（従来例）
【符号の説明】
【００５９】
６  基板（製品）
１０  部品実装ヘッド
２０  部品保持ユニット
２１  軸
２２  部品吸着ノズル
３０ａ〜３０ｄ  ボイスコイルモータ
３６  磁気シールド部材
４２  スプラインナット（係合部材、回転駆動手段）
４４  プーリー（係合部材、回転駆動手段）
５０  モータ（駆動部材、回転駆動手段）
５２  タイミングベルト（駆動部材、回転駆動手段）
６０  部品実装装置
【図１】
2007200914.tif 000003
【図２】
2007200914.tif 000004
【図３】
2007200914.tif 000005
【図４】
2007200914.tif 000006
【図５】
2007200914.tif 000007
【図６】
2007200914.tif 000008
【図８】
2007200914.tif 000009
【図７ａ】
2007200914.tif 000010
【図７ｂ】
2007200914.tif 000011
【図７ｃ】
2007200914.tif 000012