(57)【要約】【課題】揮発性有機化合物を除去できる排ガス処理方法および排ガス処理装置を提供する。【解決手段】ランダムに堆積して連続する空隙を形成するカーボン製不規則充填物８を充填したスクラバ容器２に排ガスを挿通し、主散水手段１０によってカーボン製不規則充填物８に微生物を含む洗浄水を循環散布して揮発性有機化合物を溶け込ませ、洗浄水にマイクロナノバブルを導入して微生物を活性化することで、微生物に溶け込んだ揮発性有機化合物を分解させる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ランダムに堆積して連続する空隙を形成するカーボン製不規則充填物の層に微生物を含む洗浄水を散布し、
排ガスを前記カーボン製不規則充填物の層に挿通することを特徴とする排ガス処理方法。
【請求項２】
ランダムに堆積して連続する空隙を形成するカーボン製不規則充填物が充填され、排ガスが挿通されるスクラバ容器と、
前記カーボン製不規則充填物に微生物を含む洗浄水を循環散布する主散水手段とを備えることを特徴とする排ガス処理装置。
【請求項３】
前記不規則充填物は、活性炭からなることを特徴とする請求項２に記載の排ガス処理装置。
【請求項４】
前記スクラバ容器の下側に一体に形成され、前記洗浄水を貯留する貯留槽を備えることを特徴とする請求項２または３に記載の排ガス処理装置。
【請求項５】
前記スクラバ容器と前記貯留槽との間に、前記洗浄水を循環散布する中間散水手段を設けたことを特徴とする請求項４に記載の排ガス処理装置。
【請求項６】
前記中間散水手段が散水する前記洗浄水によって前記貯留槽内の洗浄水に水流を形成することを特徴とする請求項５に記載の排ガス処理装置。
【請求項７】
前記スクラバ容器は、前記カーボン製不規則充填物の下に合成樹脂製不規則充填物が充填されていることを特徴とする請求項４から６のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項８】
前記貯留槽は、貯留する前記洗浄水中にカーボン製不規則充填物を保持することを特徴とする請求項４から７のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項９】
前記貯留槽は、側壁の一部に底壁から隔離して設けた収容室に、前記カーボン製不規則充填物を収容し、
前記収容室の下方において、前記側壁と前記底壁とが、約４５度の傾斜を有する傾斜壁で接続されていることを特徴とする請求項８に記載の排ガス処理装置。
【請求項１０】
前記貯留槽は、前記洗浄水中にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を有することを特徴とする請求項４から９のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項１１】
前記マイクロナノバブル発生装置は、水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置であることを特徴とする請求項１０に記載の排ガス処理装置。
【請求項１２】
前記マイクロナノバブル発生装置にオゾンを供給するオゾン発生装置を有することを特徴とする請求項１０または１１に記載の排ガス処理装置。
【請求項１３】
前記マイクロナノバブル発生装置によって前記貯留槽に貯留した前記洗浄水に水流を形成することを特徴とする請求項１０から１２のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項１４】
前記貯留槽は、貯留する前記洗浄水中の全有機体炭素の濃度を測定するＴＯＣ測定器を有し、
前記ＴＯＣ測定器で測定した全有機炭素濃度に応じて前記主散水手段の散水量を調節する散水量制御手段を備えることを特徴とする請求項４から１３のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項１５】
前記貯留槽から導出され、前記主散水手段で散水される前記洗浄水を濾過する急速濾過器を備えることを特徴とする請求項４から１４のいずれかに記載の排ガス処理装置。
【請求項１６】
前記急速濾過器で濾過した前記洗浄水からさらに有機化合物を吸着除去する活性炭吸着塔を備えることを特徴とする請求項１５に記載の排ガス処理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は排ガス処理方法および排ガス処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する排ガスの処理方法として、活性炭による吸着や、排ガスの燃焼による方法が実用化されている。
【０００３】
活性炭による吸着には、塵埃やミストなどの浮遊物を除去する前処理が必要であり、使用によって吸着能力の低下した活性炭の再生処理に大きなコストがかかるという問題がある。
【０００４】
また、排ガスを燃焼する方法では、燃料の消費が大きく、炭酸ガスを多量に排出するという問題がある。
【０００５】
一般的に、環境負荷の少ない排ガス処理方法として、スクラバなどにより、排ガスを水、酸およびアルカリ溶液などの液体に接触させて汚染物質を吸収させる方法があるが、揮発性有機化合物を十分に除去できるものは提供されていなかった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
そこで、本発明は、揮発性有機化合物を除去できる排ガス処理方法および排ガス処理方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するために、本発明による排ガス処理方法は、ランダムに堆積して連続する空隙を形成するカーボン製不規則充填物の層に微生物を含む洗浄水を散布し、排ガスを前記カーボン製不規則充填物の層に挿通する方法とする。
【０００８】
この方法によれば、カーボン製不規則充填物に排ガス中の揮発性有機化合物を吸着させ、吸着された有機化合物を洗浄水の微生物によって分解することができ、排ガス中の揮発性有機化合物を連続的に除去できる。
【０００９】
さらに、本発明による排ガス処理装置は、ランダムに堆積して連続する空隙を形成するカーボン製不規則充填物が充填され、排ガスが挿通されるスクラバ容器と、前記カーボン製不規則充填物に微生物を含む洗浄水を循環散布する主散水手段とを備えるものとする。
【００１０】
この構成によれば、カーボン製不規則充填物に排ガス中の揮発性有機化合物を吸着させ、吸着された有機化合物を洗浄水の微生物によって分解することができ、排ガス中の揮発性有機化合物を連続的に除去できる。
【００１１】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記不規則充填物が活性炭からなっていれば、揮発性有機化合物を吸着する効果が高いので、排気ガスから揮発性有機化合物をより確実に除去できる。
【００１２】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記スクラバ容器の下側に一体に形成され、前記洗浄水を貯留する貯留槽を設ければ、主散水手段による洗浄水の循環散布が容易である。
【００１３】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記スクラバ容器と前記貯留槽との間に、前記洗浄水を循環散布する中間散水手段を設けてもよく、前記中間散水手段が散水する前記洗浄水によって前記貯留槽内の洗浄水に水流を形成してもよい。
【００１４】
この構成によれば、貯留槽に貯留する洗浄水の循環回数を多くすることができ、洗浄水内の微生物を活性化させて揮発性有機化合物の分解を促進できる。また、中間散水手段の散水によって洗浄水を撹拌することでも、微生物による揮発性有機化合物の分解を促進できる。
【００１５】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記スクラバ容器は、前記カーボン製不規則充填物の下に合成樹脂製不規則充填物が充填されてもよい。
【００１６】
この構成によれば、排ガス中が合成樹脂製不規則充填物を通過する際に、排気ガス中の浮遊物およびミスト並びに揮発性有機化合物の一部を洗浄水で回収してから、残留する揮発性有機化合物をカーボン製不規則充填物に吸着させるので、カーボン製不規則充填物に浮遊物や可溶性の成分が吸着されず、カーボン製不規則充填物の吸着能力を低下させず、揮発性有機化合物による負荷を低減することができる。
【００１７】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記貯留槽は、貯留する前記洗浄水中にカーボン製不規則充填物を保持すれば、排気ガスから洗浄水に溶け込んだ揮発性有機化合物を洗浄水中に保持したカーボン製不規則充填物に吸着させて、微生物によって分解することができる。
【００１８】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記貯留槽は、側壁の一部に底壁から隔離して設けた収容室に前記カーボン製不規則充填物を収容し、前記収容室の下方において、前記側壁と前記底壁とが、約４５度の傾斜を有する傾斜壁で接続されていてもよい。
【００１９】
この構成によれば、収容室をから下方に流出した洗浄水が傾斜壁に沿って流れる水流を形成し、カーボン製不規則充填物に活性化した微生物を効率よく供給できる。
【００２０】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記貯留槽は、前記洗浄水中にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置を有してもよく、前記マイクロナノバブル発生装置は、水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置であってもよい。
【００２１】
この構成によれば、マイクロナノバブルによって洗浄水中の微生物を活性化させ、カーボン製不規則充填物における揮発性有機化合物の分解を促進できる。
【００２２】
また、本発明の排ガス処理装置が、前記マイクロナノバブル発生装置にオゾンを供給するオゾン発生装置を有していれば、オゾンマイクロナノバブルを発生させ、洗浄水中に溶け込んだ有機化合物を酸化分解できる。
【００２３】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記マイクロナノバブル発生装置によって前記貯留槽に貯留した前記洗浄水に水流を形成すれば、貯留槽内の洗浄水を撹拌して処理効率を高めることができる。
【００２４】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記貯留槽は、貯留する前記洗浄水中の全有機体炭素濃度を測定するＴＯＣ測定器を有し、前記ＴＯＣ測定器で測定した全有機炭素濃度に応じて前記主散水手段の散水量を調節する散水量制御手段を備えてもよい。
【００２５】
この構成によれば、洗浄水中の全有機体炭素量が増加したときは、主散水手段の散水量を増加させて、活性のある微生物をカーボン製不規則充填物に供給して、揮発性有機化合物の分解能力を増強でき、全有機体炭素量が低下したときは、散水量を減少させて消費エネルギーを低減することができる。
【００２６】
また、本発明の排ガス処理装置において、前記貯留槽から導出され、前記主散水手段で散水される前記洗浄水を濾過する急速濾過器を備えてもよく、前記急速濾過器で濾過した前記洗浄水からさらに有機化合物を吸着除去する活性炭吸着塔を備えてもよい。
【００２７】
この構成によれば、急速濾過器で異常繁殖した微生物を除去して、洗浄水中の微生物が多くなりすぎないようにでき、活性炭吸着塔で微生物が揮発性炭素化合物を分解して生じた反応物を吸着除去できる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、カーボン製不規則充填物に排ガス中の揮発性有機化合物を吸着させ、吸着された有機化合物を洗浄水の微生物によって分解するので、排ガス中の揮発性有機化合物を連続的に除去して分解できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
これより、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
図１に、本発明の第１実施形態の排ガス処理装置１を示す。排ガス処理装置１は、排ガスが下側から挿通されるスクラバ容器２と、スクラバ容器２の下側に一体に形成された貯留槽３とからなる。
【００３０】
スクラバ容器２は、下端に多孔板からなる底板４が設けられ、上端に排気管５が設けられた容器である。底板４の上に合成樹脂製不規則充填物６が充填された合成樹脂製充填層７が形成され、合成樹脂製充填層７の上にカーボン不規則充填８が充填されたカーボン充填層９が形成されている。さらに、スクラバ容器２は、上部にカーボン充填層９に上から洗浄水を散布するスプレーノズルからなる主散水手段１０が設けられている。
【００３１】
合成樹脂製不規則充填物６およびカーボン製不規則充填物８は、ランダムに堆積して連続する空隙を形成し、合成樹脂製充填層７およびカーボン充填層９は、大きな圧力損失なく流体を通過させる。合成樹脂製不規則充填物６については、現在、スクラバ用の充填剤として市販されているプラスチック充填剤を用いることができ、カーボン製不規則充填物８については、多孔性のカーボン、好ましくは活性炭を市販のプラスチック充填剤と同様の形状または異なる形状に形成したものを用いる。
【００３２】
貯留槽３は、有機化合物を分解する好気性の微生物を含んだ洗浄水を貯留しており、貯留する洗浄水を汲み出して、主散水手段１０に送出する循環ポンプ１１と、貯留する洗浄水にマイクロナノバブルを導入するマイクロナノバブル発生装置１２とを有する。貯留槽３の側壁１３の一部には、多孔板１４で底壁１５から隔離して形成した収容室１６にカーボン製不規則充填物１７が収容されて保持されている。収容室１６に保持されるカーボン製不規則充填物１７は、スクラバ容器２に充填されるカーボン製不規則充填物８と同じものを使用してもよく、異なるものであってもよい。また、貯留槽３は、収容室１６の下方において、側壁１３と底壁１５とが４５度の傾斜を有する傾斜壁１８で接続されている。
【００３３】
マイクロナノバブル発生装置１２は、貯留槽３内の洗浄水を循環ポンプ１９によって吸い出して、マイクロナノバブル発生器２０に圧入し、洗浄水の流速によって調節弁２１を介して自給した空気を剪断してマイクロナノバブル（微細な気泡）を生成し、洗浄水と共に吐出するものである。
【００３４】
また、スクラバ容器２と貯留槽３との境界部には、排ガス流路２２が接続され、排気ファン２３によって排ガスが導入される。排ガスは、底板４を通過して、合成樹脂充填層７およびカーボン充填層９に挿通され、排気管５から排出される。さらに、スクラバ容器２と貯留槽３との境界部には、散水ポンプ１１から主散水手段１０に至る管路を分岐して、貯留槽３に洗浄水を散布するスプレーノズルからなる中間散水手段２４が設けられている。中間散布手段２４は、主に収容室１６の上部に、偏って洗浄水を散布するようになっている。また、排ガス処理装置１には、主散水手段１０と中間散水手段２４とから散布される洗浄水の水量を調節するために、それぞれの管路には、調節弁２５，２６が設けられている。
【００３５】
続いて、以上の構成からなる排水処理装置１の作用について説明する。
例えば、イソプロピルアルコール、アセトン、酢酸ブチルなどの揮発性有機化合物を含有する排ガスが、排ガス処理装置１に排ガス流路２２から導入されると、排ガスは、合成樹脂充填層７において、マイクロナノバブルおよび微生物を含んだ洗浄水と接触し、排ガス中の浮遊物、水溶性の物質およびミストが取り除かれ、さらに、揮発性有機化合物の一部も洗浄水に溶け込む。
【００３６】
さらに、排ガスは、カーボン充填層９を通過し、ここでも洗浄水に排ガス中の揮発性有機化合物が溶け込むとともに、残る揮発性有機化合物がカーボン製不規則充填物８に吸着される。カーボン製不規則充填物８には、洗浄水によりマイクロナノバブルで活性化した微生物が供給されるので、カーボン製不規則充填物８上には微生物が繁殖し、吸着された揮発性有機化合物を分解する。
【００３７】
つまり、カーボン製不規則充填物８は、微生物によって再生され、再び揮発性有機化合物を吸着可能になる。このため、カーボン製不規則充填物８は吸着性能を維持することができ、連続して排ガスから揮発性有機化合物を除去することができる。
【００３８】
特に、本実施形態では、排ガスを、合成樹脂充填層７において微生物が分解できない浮遊物などを取り除いてから、カーボン充填層９に挿通する。このため、カーボン製不規則充填物８は、浮遊物の吸着によって吸着性能が低下することがない。
【００３９】
また、貯留槽３において、収容室１６内に保持されているカーボン製不規則充填物１７は、洗浄水に溶け込んだ揮発性有機化合物を吸着するが、カーボン製不規則充填物１７にもマイクロナノバブルで活性化した微生物が繁殖し、揮発性有機化合物を分解してカーボン製不規則充填物１７を再生する。
【００４０】
さらに、中間散水手段２４から散布される洗浄水およびマイクロナノバブル発生装置１２から噴出するマイクロナノバブルの流れは、図中に矢印で示すように、収容室１６を上から下に貫流し、貯留槽３内を大きく巡る循環水流を形成する。このとき、傾斜壁１８も、収容室１６の底部から流出した水流が底壁１５に沿って循環するように案内する。
【００４１】
つまり、中間散水手段２４およびマイクロナノバブル発生装置１２は、カーボン製不規則充填物１７に活性化した微生物を効率よく供給し、揮発性有機化合物の分解を促進する。
【００４２】
次に、図２に、本発明の第２実施形態の排ガス処理装置１を示す。以降の説明において、先に説明した構成要素には同じ符号を付して説明を省略する。本実施形態の排ガス処理装置１は、マイクロナノバブル発生装置１２が空気を自給する配管に、オゾン発生装置２７を設けたものである。
【００４３】
これによって、マイクロナノバブル発生装置１２は、オゾンを含有する微細な気泡であるオゾンマイクロナノバブルを形成する。オゾンマイクロナノバブルは、オゾンが揮発性有機化合物を酸化分解するので、排ガス処理装置１の揮発性有機化合物を分解する能力を向上させることができる。
【００４４】
図３に、本発明の第３実施形態の排ガス処理装置１を示す。本実施形態の排ガス処理装置１は、貯留槽３の洗浄水の全有機体炭素濃度を測定するＴＯＣ（Total Organic Carbon）測定器２８と、ＴＯＣ測定器２８で測定した全有機体炭素濃度に比例して、散水ポンプ１１のモータ回転数を増減し、主散水手段１０および中間散水手段２４の散水量を調節するＴＯＣ調節計（散水量制御手段）２９とを有している。
【００４５】
本実施形態では、洗浄水の全有機体炭素濃度が上昇したとき、つまり、微生物が分解すべき有機化合物の量が増加したとき、主散水手段２４からより多くの洗浄水を散布し、カーボン製不規則充填物８により多くの微生物とマイクロナノバブルを供給し、カーボン製不規則充填物８における揮発性有機化合物の分解を促進する。
【００４６】
また、主散水手段２４による散水量を増加することで、合成樹脂充填層７における排ガスと洗浄水との接触を多くして、洗浄水により多くの揮発性有機化合物を溶け込ませるので、カーボン充填層９における揮発性有機化合物の除去を確実にできる。
【００４７】
さらに、中間散水手段２４の散水量も増加するので、貯留槽３内の洗浄水の循環回数が増加し、微生物が洗浄水中に溶け込んでいる揮発性有機化合物を活発に分解するようになる。
【００４８】
逆に、洗浄水の全有機体炭素濃度が低下したときは、散水ポンプ１２の回転数を低下させることでエネルギーの消費を抑えることができる。
【００４９】
図４に、本発明の第４実施形態の排ガス処理装置１を示す。本実施形態の排ガス処理装置１は、散水ポンプ１１から主散水手段１０および中間散水手段２４に急速濾過器３０を介して洗浄水を送出できる管路を設けたものであり、急速濾過器３０を介さずに散水する洗浄水と、急速濾過器３０で濾過してから散水する洗浄水との比率を調節するための調節弁３１，３２を有している。
【００５０】
本実施形態では、通常は、急速濾過器３０をバイパスして主散水手段１０および中間散水手段２４から散水するが、洗浄水中の微生物濃度が高くなりすぎた場合、散水ポンプ１１から送出される洗浄水の一部分を急速濾過器３０を通して散水するようにすることで、過剰な微生物を除去して微生物濃度を適切な範囲に維持することができる。
【００５１】
急速濾過器３０は、いわゆる逆洗浄が可能なように、逆向きに通水する配管ラインを設けてもよい。
【００５２】
図５に、本発明の第５実施形態の排ガス処理装置１を示す。本実施形態の排ガス処理装置１は、洗浄水の一部を、急速濾過器３０の後でさらに活性炭吸着塔３３を通してから主散水手段１０および中間散水手段２４に供給できるようにしたものである。
【００５３】
本実施形態では、微生物が揮発性有機化合物を分解する過程で生成される反応物を、活性炭吸着塔３３において活性炭に吸着させることで、カーボン製不規則充填物８がそのような反応物を吸着して、排ガス中の揮発性有機化合物を吸着できなくなることを防止している。
【００５４】
図６に、本発明の第６実施形態の排ガス処理装置１を示す。本実施形態の排ガス処理装置１は、第１実施形態の自給式のマイクロナノバブル発生装置１２に替えて、強制吸気式のマイクロナノバブル発生装置３４を設けたものである。
【００５５】
マイクロナノバブル発生装置３４は、貯留槽に設けた架台３５に水中ポンプ型マイクロナノバブル発生機３６を設置したものであり、空気を強制注入するブロワ３７と注入される空気量を調整する調整弁３８とを有する。
【００５６】
このような水中ポンプ型マイクロナノバブル発生機３６を用いても、第１実施形態と同様に、洗浄水中の微生物を活性化して、洗浄水に溶け込んだ有機化合物やカーボン製不規則充填物８に吸着された揮発性有機化合物を分解させることができる。
【００５７】
同様に、図７に示す本発明の第７実施形態のように、オゾン発生装置２７を有する第２実施形態の排ガス処理装置１において、マイクロナノバブル発生装置１２を水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置３４に置き換えてもよい。
【００５８】
また、図８に示す本発明の第８実施形態のように、ＴＯＣ測定器２８およびＴＯＣ調節計２９を有する第３実施形態の排ガス処理装置１において、マイクロナノバブル発生装置１２を水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置３４に置き換えてもよい。
【００５９】
図９に示す本発明の第９実施形態のように、急速濾過器３０を有する第４実施形態の排ガス処理装置１において、マイクロナノバブル発生装置１２を水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置３４に置き換えてもよい。
【００６０】
図１０に示す本発明の第１０実施形態のように、急速濾過器３０および活性炭吸着塔３１を有する第５実施形態の排ガス処理装置１において、マイクロナノバブル発生装置１２を水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置３４に置き換えてもよい。
【実施例】
【００６１】
図１に示す本発明の第１実施形態の排ガス処理装置１を用いて、実際の半導体工場の排ガスを処理する実証試験を行った。実証試験に用いた排ガス処理装置１は、スクラバ容器２の容量が４ｍ３であり、貯留槽３の容量が２ｍ３であった。
【００６２】
それぞれ新しい、合成樹脂製不規則充填物６、カーボン製不規則充填物８およびカーボン製不規則充填物１７を充填してから１ヶ月間運転し、微生物が安定してから、半導体工場のイソプロピルアルコールを含有する排ガスを連続して処理する運転を行った。
【００６３】
排ガスの処理を開始してから７日後、イソプロピルアルコールの除去率を測定した結果９３％という満足な結果が得られた。
【００６４】
さらに、洗浄水を採取して、除去したイソプロピルアルコールを１次分解することで生じるアセトンの濃度を測定した結果、除去したイソプロピルアルコールから換算される量の２０％の濃度であった。つまり、イソプロピルアルコールを１次分解して生じたアセトンは、さらに、逐次分解されて無害化されていることが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の第１実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図２】本発明の第２実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図３】本発明の第３実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図４】本発明の第４実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図５】本発明の第５実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図６】本発明の第６実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図７】本発明の第７実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図８】本発明の第８実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図９】本発明の第９実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【図１０】本発明の第１０実施形態の排ガス処理装置の概略図。
【符号の説明】
【００６６】
１  排ガス処理装置
２  スクラバ容器
３  貯留槽
４  底板
５  排気管
６  合成樹脂製不規則充填物
７  合成樹脂充填層
８  カーボン製不規則充填物
９  カーボン充填層
１０  主散水手段
１１  散水ポンプ
１２  マイクロナノバブル発生装置
１３  側壁
１４  多孔板
１５  底壁
１６  収容室
１７  カーボン製不規則充填物
１８  傾斜壁
１９  循環ポンプ
２０  マイクロナノバブル発生器
２１  調節弁
２２  排ガス流路
２３  排気ファン
２４  中間散水手段
２５  調節弁
２６  調節弁
２７  オゾン発生装置
２８  ＴＯＣ測定器
２９  ＴＯＣ調節計（散水量制御手段）
３０  急速濾過器
３１  調節弁
３２  調節弁
３３  活性炭吸着塔
３４  水中ポンプ型マイクロナノバブル発生装置
３５  架台
３６  マイクロナノバブル発生機
３７  ブロワ
３８  調節弁
【図１】
2007319832.tif 000003
【図２】
2007319832.tif 000004
【図３】
2007319832.tif 000005
【図４】
2007319832.tif 000006
【図５】
2007319832.tif 000007
【図６】
2007319832.tif 000008
【図７】
2007319832.tif 000009
【図８】
2007319832.tif 000010
【図９】
2007319832.tif 000011
【図１０】
2007319832.tif 000012