(57)【要約】  【課題】  キャビティ付きパッケージのリーク検査前の真空引き時間を短くすると共に、リーク検査終了後の洗浄工程を不要とし、生産性・コスト性を向上させる。  【解決手段】  真空引き治具１１上に載置する弾性シールパッキン１３として、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性シールパッキンを用い、各被検査物１７をキャビティ１６を下向きにして弾性シールパッキン１３の各貫通穴１４を覆うように載置する。真空引き治具１１に対して粗引きポンプ３１の他に、ドラッグポンプ３３と高真空ポンプ３４とを接続する。真空引き工程において、粗引きポンプ３１で真空引き治具１１内を粗引きした後、ドラッグポンプ３３と高真空ポンプ３４を運転して目標の真空度まで真空引きする。この後、弾性シールパッキン１３上の被検査物１７にＨｅガスを吹き付けて、Ｈｅガス検出器３６でＨｅガスが検出されるか否かを判定して被検査物１７のリーク検査を行う。  【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
中空状の真空引き治具上に弾性シールパッキンを載置して前記真空引き治具の上面の吸入穴と前記弾性シールパッキンの貫通穴とを合致させると共に、前記弾性シールパッキン上にキャビティを有する被検査物を前記キャビティを下向きにして載置して、前記キャビティの外周部全周を前記弾性シールパッキンの貫通穴の外周囲に密着させて前記キャビティを前記貫通穴に連通させた状態で、前記真空引き治具内を真空引きすることで、前記被検査物のキャビティ内を真空引きした後、前記被検査物に対して外部から不活性ガスを吹き付け、前記被検査物のキャビティ内にリークする前記不活性ガスの有無を前記真空引き治具内に連通するガス検出装置で検出して前記被検査物のリーク検査を行うリーク検査方法において、
前記弾性シールパッキンは、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性シールパッキンを用い、
真空引き工程において、粗引きポンプで前記真空引き治具内を粗引きした後、ターボ分子ポンプ又はドラッグポンプを含む複数台の高真空ポンプで目標の真空度まで真空引きすることを特徴とするリーク検査方法。
【請求項２】
前記真空引き工程において、押さえ部材で前記被検査物を前記弾性シールパッキンに押さえ付けた状態で真空引きすることを特徴とする請求項１に記載のリーク検査方法。
【請求項３】
前記真空引き治具の吸入穴に真空導管をその上端部が前記弾性シールパッキンの厚みよりも低い高さで突出するように嵌着し、前記真空導管の上端部に前記弾性シールパッキンの貫通穴を嵌め込むことで、前記弾性シールパッキンの貫通穴を前記真空引き治具の吸入穴と合致させることを特徴とする請求項１又は２に記載のリーク検査方法。
【請求項４】
キャビティを有する被検査物のリーク検査を行うリーク検査装置において、
上面に吸入穴を有する中空状の真空引き治具と、
前記真空引き治具上に弾性シールパッキン上に載置され、前記弾性シールパッキンの貫通穴と連通する貫通穴を有する弾性シールパッキンと、
前記真空引き治具内を粗引きする粗引きポンプと、
前記粗引きポンプで粗引きされた前記真空引き治具内を目標の真空度まで真空引きする高真空排気系と、
前記弾性シールパッキン上に前記キャビティを下向きにして載置された被検査物に対して外部から不活性ガスを吹き付けるガス吹き付け装置と、
前記被検査物のキャビティ内にリークして前記真空引き治具内に吸入される前記不活性ガスの有無を検出するガス検出装置とを備え、
前記弾性シールパッキンは、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性材料で形成され、
前記高真空排気系は、ターボ分子ポンプ又はドラッグポンプを含む複数台の高真空ポンプを組み合わせて構成されていることを特徴とするリーク検査装置。
【請求項５】
前記弾性シールパッキン上に載置した前記被検査物をその上方から押さえ付ける押さえ部材を備えていることを特徴とする請求項４に記載のリーク検査装置。
【請求項６】
前記不活性ガスを前記被検査物に向けて吹き付けるガス吹付け口と前記押さえ部材とを一体的に上下動させる昇降手段を備えていることを特徴とする請求項４又は５に記載のリーク検査装置。
【請求項７】
前記真空引き治具の吸入穴に真空導管をその上端部が前記弾性シールパッキンの厚みよりも低い高さで突出するように嵌着し、前記真空導管の上端部に前記弾性シールパッキンの貫通穴を嵌め込むことで、前記弾性シールパッキンの貫通穴を前記真空引き治具の吸入穴と合致させることを特徴とする請求項４乃至６のいずれかに記載のリーク検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、キャビティを有する被検査物のリーク検査方法及びリーク検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体素子搭載用キャビティ付きの被検査物のリーク検査を行う場合は、特許文献１（実開昭６３−７００５１号公報）に示すように、中空状の真空引き治具上に弾性シールパッキンを載置して前記真空引き治具の上面の吸入穴と前記弾性シールパッキンの貫通穴とを合致させると共に、前記弾性シールパッキン上にキャビティを有する被検査物を前記キャビティを下向きにして載置して、前記キャビティの外周部全周を前記弾性シールパッキンの貫通穴の外周囲に密着させて前記キャビティを前記貫通穴に連通させた状態で、前記真空引き治具内を真空排気系により真空引きすることで、前記被検査物のキャビティ内を真空引きした後、前記被検査物に対して外部からＨｅガスを吹き付け、前記被検査物のキャビティ内にリークするＨｅガスの有無を前記真空引き治具内に連通するＨｅガス検出装置で検出して前記被検査物のリーク検査を行うようにしている。
【特許文献１】実開昭６３−７００５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この種のリーク検査装置では、リーク検査を行う際に、予め、真空引き治具内に残留する前回検査時のＨｅガスを真空排気系により真空引きして除去する必要があるが、上記従来のものは、真空排気系が油回転ポンプや油拡散ポンプにより構成されていたため、真空引き治具内のＨｅガスの残量を基準値以下に低下させるには、かなり長い時間をかけて真空引きする必要がある。
【０００４】
また、リーク検査時に被検査物と弾性シールパッキンとの間からのリークを防止するには、被検査物と弾性シールパッキンとの密着性を高める必要があり、そのためには、弾性シールパッキンの硬度を柔らかくすることが効果的である。しかし、柔らかい弾性シールパッキンは、Ｈｅガスを含浸しやすいため、真空引き治具内を真空引きする過程で、弾性シールパッキンに含浸されているＨｅガスが真空引き治具内にしみだす現象が発生する。このため、弾性シールパッキンから真空引き治具内にしみだしたＨｅガスを真空ポンプで十分に排出してから、リーク検査を行う必要があり、これも真空引き時間を長引かせる原因となっている。特に、Ｈｅガスは、空気よりも軽い気体であるため、従来の真空排気系に用いられている油回転ポンプや油拡散ポンプの能力では、弾性シールパッキンから真空引き治具内にしみだしたＨｅガスを短時間で排出することは困難である。
【０００５】
この対策として、従来は、硬度（緻密度）の高い弾性シールパッキンを使用して、弾性シールパッキンへのＨｅガスの含浸を少なくするようにしているが、弾性シールパッキンの硬度が高いと、弾性シールパッキンと被検査物との密着性が低下するため、弾性シールパッキンに真空グリスを塗ってシール性を確保するようにしていた。その結果、リーク検査時に被検査物に真空グリスが付着して被検査物が汚れてしまうため、リーク検査終了後に被検査物を洗浄する工程が必要になり、工程数が増加して、生産性・コスト性が低下するという問題があった。
【０００６】
本発明はこのような事情を考慮してなされたものであり、従ってその目的は、リーク検査前の真空引き時間を短くすると共に、リーク検査終了後の洗浄工程を不要とし、生産性・コスト性を向上させることができるリーク検査方法及びリーク検査装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明は、中空状の真空引き治具上に弾性シールパッキンを載置して前記真空引き治具の上面の吸入穴と前記弾性シールパッキンの貫通穴とを合致させると共に、前記弾性シールパッキン上にキャビティを有する被検査物を前記キャビティを下向きにして載置して、前記キャビティの外周部全周を前記弾性シールパッキンの貫通穴の外周囲に密着させて前記キャビティを前記貫通穴に連通させた状態で、前記真空引き治具内を真空引きすることで、前記被検査物のキャビティ内を真空引きした後、前記被検査物に対して外部から不活性ガスを吹き付け、前記被検査物のキャビティ内にリークする前記不活性ガスの有無を前記真空引き治具内に連通するガス検出装置で検出して前記被検査物のリーク検査を行うものにおいて、前記弾性シールパッキンは、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性シールパッキンを用い、真空引き工程において、粗引きポンプで前記真空引き治具内を粗引きした後、ターボ分子ポンプ又はドラッグポンプを含む複数台の高真空ポンプで目標の真空度まで真空引きするようにしたものである。
【０００８】
本発明のように、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性シールパッキンを用いれば、弾性シールパッキンに真空グリスを塗らなくても、シール性を確保することができ、リーク検査終了後の洗浄工程が不要となり、工程数を削減できる。しかも、本発明では、真空引き工程において、粗引きポンプで前記真空引き治具内を粗引きした後、ターボ分子ポンプ又はドラッグポンプを含む複数台の高真空ポンプで目標の真空度まで真空引きするようにしたので、真空引き治具内に残留する前回検査時の不活性ガスや弾性シールパッキンから真空引き治具内にしみだした不活性ガスをターボ分子ポンプ又はドラッグポンプを含む複数台の高真空ポンプで短時間で効率良く排出することができ、真空引き時間を従来よりも大幅に短縮することができ、上述したリーク検査終了後の洗浄工程が不要になることと相俟って、リーク検査の高速化（例えば１個／秒）を実現できると共に、生産性・コスト性を向上させることができる。しかも、１×１０-9Ｐａｍ3 ／ｓのリークレートで検査できるため、リーク検査の精度向上の要求も満たすことができる。
【０００９】
この場合、特開平９−２８０９９３号公報に記載されているように、真空引き工程において、弾性シールパッキン上の被検査物に外方から加わる大気圧と内部のポンプ吸引圧との圧力差による吸着力のみで被検査物を弾性シールパッキンに密着させるようにしても良いが、押さえ部材で被検査物を弾性シールパッキンに押さえ付けた状態で真空引きするようにすれば、被検査物と弾性シールパッキンとの密着性をより一層高めることができ、被検査物と弾性シールパッキンとの密着不良に起因する真空引き不良やリークの誤検出をより確実に防止することができる。
【００１０】
この押さえ部材は、不活性ガスを被検査物に向けて吹き付けるガス吹付け口と一体的に昇降させるようにすると良い。これにより、これらを昇降させる装置の構成を簡単化できる。
【００１１】
ところで、真空引き治具上の弾性シールパッキンの表面に汚れが付着すると、シール性が悪くなるため、真空引き治具上の弾性シールパッキンは定期的に取り替える必要がある。この取り替えの際に、弾性シールパッキンの貫通穴を真空引き治具の吸入穴と正確に合致させる必要がある。更に、小型の被検査物をリーク検査するために弾性シールパッキンの貫通穴と真空引き治具の吸入穴が小径化されている場合は、弾性シールパッキンの取り替え時の位置決め精度も要求される。
【００１２】
このような事情を考慮して、真空引き治具の吸入穴に真空導管をその上端部が弾性シールパッキンの厚みよりも低い高さで突出するように嵌着し、この真空導管の上端部に弾性シールパッキンの貫通穴を嵌め込むことで、弾性シールパッキンの貫通穴を真空引き治具の吸入穴と合致させるようにすると良い。このようにすれば、弾性シールパッキンの貫通穴と真空引き治具の吸入穴が小径化されている場合でも、弾性シールパッキンの取り替え時に、弾性シールパッキンの貫通穴を真空導管によって真空引き治具の吸入穴に極めて簡単且つ確実に合致させることができて、弾性シールパッキンの取り替えを容易に行うことができると共に、弾性シールパッキンが位置ずれした状態のままで真空引きしてしまう不良も未然に防止できる。しかも、弾性シールパッキンの貫通穴に嵌め込む真空導管の高さが弾性シールパッキンの厚みよりも低い高さであるため、被検査物が真空導管の上端エッジで傷つけられることを防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。まず、図１に基づいてリーク検査装置の構成を説明する。
真空引き治具１１は、密閉された偏平な中空箱状に形成され、その平坦な上面部に複数の吸入穴１２が等間隔に形成されている。この真空引き治具１１の上面に弾性シールパッキン１３が載置される。この弾性シールパッキン１３は、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性材料で且つＨｅガス（不活性ガス）を含浸しにくい緻密度の高い弾性材料（例えば塩化ビニル系の材料）で形成されている。尚、弾性シールパッキン１３の硬度「２８」は、日本工業規格（ＪＩＳ  Ｋ  ６２５３）で規定されたデュロメータ等で測定した値である。
【００１４】
この弾性シールパッキン１３には、真空引き治具１１の複数の吸入穴１２に合致する複数の貫通穴１４が形成されている。弾性シールパッキン１３の取り替え時の位置決めを容易にするために、真空引き治具１１の各吸入穴１２にそれぞれ真空導管１５が上方に突出するように嵌合固定され、各真空導管１５に弾性シールパッキン１３の各貫通穴１４が嵌め込まれるようになっている。真空引き治具１１上面からの各真空導管１５の上方への突出量は、弾性シールパッキン１３の厚みよりも小さい突出量に設定され、好ましくは、弾性シールパッキン１３の厚みの１／３〜２／３（より好ましくは１／２程度）の突出量に設定すると良い。
【００１５】
この弾性シールパッキン１３上には、キャビティ１６を有するセラミックパッケージ等の被検査物１７をキャビティ１６を下向きにして載置して、キャビティ１６の外周部全周を弾性シールパッキン１３の貫通穴１４の外周囲に密着させる。
【００１６】
この弾性シールパッキン１３の上方には、ガス吹き付けケーシング１８がエアシリンダ１９（昇降手段）によって上下方向に移動可能に設けられ、このガス吹き付けケーシング１８の下面部に、弾性シールパッキン１３上の各被検査物１７にＨｅガス（不活性ガス）を吹き付けるガス吹付け口２０が設けられている。このガス吹き付けケーシング１８は、電磁バルブ２１を介してＨｅガスボンベ等のＨｅガス供給源に接続され、電磁バルブ２１の開放時にＨｅガス供給源からＨｅガスがガス吹き付けケーシング１８内に供給されるようになっている。このＨｅガス供給源、電磁バルブ２１、ガス吹き付けケーシング１８等によりガス吹き付け装置が構成されている。
【００１７】
また、ガス吹き付けケーシング１８の下面部には、弾性シールパッキン１３上の各被検査物１７をそれぞれ上方から押さえ付けるための複数の押さえピン２２（押さえ部材）が上下動可能に支持され、各押さえピン２２がバネ２３（付勢手段）によって下方に付勢されている。エアシリンダ１９は、ガス吹き付けケーシング１８（ガス吹付け口２０）と押さえピン２２とを一体的に上下動させる。
【００１８】
次に、真空引き治具１１内を真空引きする真空排気装置の構成を説明する。
真空引き治具１１の下面部に真空引き穴２４が形成され、この真空引き穴２４に接続された真空引き配管２５には、粗引き排気系２６と高真空排気系２７とが並列に接続されている。更に、真空引き配管２５には、真空引き治具１１内を大気に開放するための大気開放電磁バルブ２８と、真空引き配管２５内の圧力（真空度）を検出するピラニー真空計等の真空計２９とが設けられている。
【００１９】
粗引き排気系２６は、真空引き治具１１の真空引き穴２４に接続された真空引き配管２５に対して、電磁切換バルブ３０を介して粗引きポンプ３１を接続して構成されている。この粗引きポンプ３１としては、大容量の油回転ポンプ等が用いられている。
【００２０】
一方、高真空排気系２７は、真空引き治具１１の真空引き穴２４に接続された真空引き配管２５に対して、電磁切換バルブ３２を介してドラッグポンプ３３と油回転ポンプ等の高真空ポンプ３４とを直列に接続して構成されている。ここで、ドラッグポンプ３３は、吸入した気体分子が高速回転するロータのネジ溝によって運動量を与えられてポンプ排気口へ移動することでポンプ作用が行われる排気される真空ポンプである。このドラッグポンプ３３に代えて、ターボ分子ポンプを用いても良い。このターボ分子ポンプは、吸入した気体分子が高速回転するロータのタービンブレードによって運動量を与えられてポンプ排気口へ移動することでポンプ作用が行われる真空ポンプである。
【００２１】
また、真空引き治具１１の真空引き穴２４に接続された真空引き配管２５には、電磁切換バルブ３５を介してＨｅガス検出器３６が接続されている。
以上のように構成したリーク検査装置を用いて、セラミックパッケージ等のキャビティ１６付きの被検査物１７のリーク検査を行う手順を以下に説明する。
【００２２】
まず、真空引き治具１１に載置した弾性シールパッキン１３上に、該弾性シールパッキン１３の貫通穴１４の個数と同数の被検査物１７をローダ装置（図示せず）で搬入して、各被検査物１７をキャビティ１６を下向きにして弾性シールパッキン１３の各貫通穴１４を覆うように載置する。この後、エアシリンダ１９を作動させてガス吹き付けケーシング１８と押さえピン２２とを一体的に下降させて、各押さえピン２２で弾性シールパッキン１３上の各被検査物１７を上方から押さえ付けて、各被検査物１７のキャビティ１６の外周部全周を弾性シールパッキン１３の貫通穴１４の外周囲に密着させる。この際、押さえピン２２による被検査物１７の押さえ付け力は、バネ２３によって生じる。
【００２３】
この後、大気開放電磁バルブ２８と高真空排気系２７の電磁切換バルブ３２とＨｅガス検出器３６の電磁切換バルブ３５を閉鎖した状態で、粗引き排気系２６の電磁切換バルブ３０を開放して、粗引きポンプ３１を運転して真空引き治具１１内を真空引きする。これにより、真空計２９で計測される真空度が設定値まで達した段階で、粗引きポンプ３１による粗引きを終了し、電磁切換バルブ３０を閉鎖する。
【００２４】
この後、高真空排気系２７のドラッグポンプ３３と油回転ポンプ等の高真空ポンプ３４とを運転して、高真空排気系２７内を真空引きすると共に、高真空排気系２７の電磁切換バルブ３２とＨｅガス検出器３６の電磁切換バルブ３５を開放して、真空引き治具１１内を目標の真空度まで真空引きする。これにより、真空引き治具１１内に残留する前回検査時のＨｅガスや弾性シールパッキン１３から真空引き治具１１内にしみだしたＨｅガスが短時間で効率良く排出される。
【００２５】
そして、Ｈｅガス検出器３６で計測されるリーク量が、Ｈｅガス吹き付け設定値（８×１０-10 Ｐａｍ3 ／ｓ）に達した段階で、Ｈｅガス供給源の電磁バルブ２１を１秒程度開放して、Ｈｅガスをガス吹き付けケーシング１８内に供給してガス吹付け口２０からＨｅガスを被検査物１７に吹き付ける。この後、３秒間程度、Ｈｅガス検出器３６によってＨｅガスが検出されるか否かを判定して被検査物１７のリーク検査を行う。
【００２６】
このリーク検査では、Ｈｅガス検出器３６で検出されるＨｅリークレートをリーク判定値（例えば１×１０-9Ｐａｍ3 ／ｓ）と比較し、Ｈｅリークレート検出値がリーク判定値以下であれば、弾性シールパッキン１３上の全ての被検査物１７が良品（リーク無し）と判定し、Ｈｅリークレート検出値がリーク判定値以上であれば、弾性シールパッキン１３上のいずれかの被検査物１７が不良品（リーク有り）と判定する。
【００２７】
リーク検査終了後に、高真空排気系２７の電磁切換バルブ３２とＨｅガス検出器３６の電磁切換バルブ３５を閉鎖し、大気開放電磁バルブ２８を開放して真空引き治具１１内に大気を導入して、被検査物１７の吸着状態を解除すると共に、エアシリンダ１９のロッドを上昇させてガス吹き付けケーシング１８と押さえピン２２とを一体的に上昇させて、押さえピン２２による被検査物１７の押さえを解除する。そして、リーク検査で弾性シールパッキン１３上の全ての被検査物１７が良品（リーク無し）と判定されていれば、アンローダ装置（図示せず）によって全ての被検査物１７を弾性シールパッキン１３上から搬出して良品トレー（図示せず）に収容する。
【００２８】
一方、リーク検査で弾性シールパッキン１３上のいずれかの被検査物１７が不良品（リーク有り）と判定されていれば、アンローダ装置（図示せず）によって搬出した全ての被検査物１７を不良品トレー（図示せず）に収容する。この不良品トレー内に収容された被検査物１７は、別の手動リーク検査装置で、１個ずつリーク検査を行って、最終的に不良品と良品の判別を行う。
【００２９】
以上説明した本実施例によれば、弾性シールパッキン１３として、硬度が２８程度又はそれ以下の柔らかい弾性シールパッキンを用いるようにしたので、弾性シールパッキン１３に真空グリスを塗らなくても、シール性を確保することができ、リーク検査終了後の洗浄工程が不要となり、工程数を削減できる。
【００３０】
しかも、本実施例では、真空引き工程において、粗引きポンプ３１で真空引き治具１１内を粗引きした後、ドラッグポンプ３３（又はターボ分子ポンプ）と高真空ポンプ３４で目標の真空度まで真空引きするようにしたので、真空引き治具１１内に残留する前回検査時のＨｅガスや弾性シールパッキン１３から真空引き治具１１内にしみだしたＨｅガスをドラッグポンプ３３（又はターボ分子ポンプ）によって短時間で効率良く排出することができ、真空引き時間を従来よりも大幅に短縮することができ、上述したリーク検査終了後の洗浄工程が不要になることと相俟って、リーク検査の高速化（例えば１個／秒）を実現できると共に、生産性・コスト性を向上させることができる。
【００３１】
この場合、特開平９−２８０９９３号公報に記載されているように、真空引き工程において、弾性シールパッキン１３上の被検査物１７に外方から加わる大気圧と内部のポンプ吸引圧との圧力差による吸着力のみで被検査物１７を弾性シールパッキン１３に密着させるようにしても良いが、本実施例では、押さえピン２２で被検査物１７を弾性シールパッキン１３に押さえ付けた状態で真空引きするようにしているため、被検査物１７と弾性シールパッキン１３との密着性をより一層高めることができ、被検査物１７と弾性シールパッキン１３との密着不良に起因する真空引き不良やリークの誤検出をより確実に防止することができる。
【００３２】
しかも、本実施例では、押さえピン２２とこれを下方に付勢するバネ２３をガス吹き付けケーシング１８に設けて、これらをエアシリンダ１９によって一体的に上下動させる構成としたので、これらを昇降させる装置の構成を簡単化できる利点もある。尚、昇降手段として、エアシリンダ１９に代えて、モータ等の他の動力源を用いるように果ても良い。      
【００３３】
ところで、真空引き治具１１上の弾性シールパッキン１３の表面に汚れが付着すると、シール性が悪くなるため、真空引き治具１１上の弾性シールパッキン１３は定期的に取り替える必要がある。この取り替えの際に、弾性シールパッキン１３の貫通穴１４を真空引き治具１１の吸入穴１２と正確に合致させる必要がある。更に、小型の被検査物１７をリーク検査するために弾性シールパッキン１３の貫通穴１４と真空引き治具１１の吸入穴１２が小径化されている場合は、弾性シールパッキン１３の取り替え時の位置決め精度も要求される。
【００３４】
このような事情を考慮して、本実施例では、真空引き治具１１の吸入穴１２に真空導管１５をその上端部が弾性シールパッキン１３の厚みよりも低い高さで突出するように嵌着し、この真空導管１５の上端部に弾性シールパッキン１３の貫通穴１４を嵌め込むことで、弾性シールパッキン１３の貫通穴１４を真空引き治具１１の吸入穴１２と合致させるようにしたので、弾性シールパッキン１３の貫通穴１４と真空引き治具１１の吸入穴１２が小径化されている場合でも、弾性シールパッキン１３の取り替え時に、弾性シールパッキン１３の貫通穴１４を真空導管１５によって真空引き治具１１の吸入穴１２に極めて簡単且つ確実に合致させることができて、弾性シールパッキン１３の取り替えを容易に行うことができると共に、弾性シールパッキン１３が位置ずれした状態のままで真空引きしてしまう不良も未然に防止できる。しかも、弾性シールパッキン１３の貫通穴１４に嵌め込む真空導管１５の高さが弾性シールパッキン１３の厚みよりも低い高さであるため、被検査物１７が真空導管１５の上端エッジで傷つけられることを防止できる。
【００３５】
尚、本実施例では、高真空排気系２７を、ドラッグポンプ３３（又はターボ分子ポンプ）と高真空ポンプ３４とを直列に接続して構成したが、ドラッグポンプ３３（又はターボ分子ポンプ）を含む３台以上の高真空ポンプを組み合わせて構成しても良い。また、高真空ポンプ３４も油回転ポンプに限定されず、他の型式の真空ポンプを用いても良い。
【００３６】
その他、本発明は、Ｈｅガス以外の不活性ガスを用いてリーク検査を行っても良い等、種々変更して実施できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施例のリーク検査装置の構成を示す図ある。
【符号の説明】
【００３８】
１１…真空引き治具、１２…吸入穴、１３…弾性シールパッキン、１４…貫通穴、１５…真空導管、１６…キャビティ、１７…被検査物、１８…ガス吹き付けケーシング、１９…エアシリンダ（昇降手段）、２０…ガス吹付け口、２１…電磁バルブ、２２…押さえピン（押さえ部材）、２３…バネ（付勢手段）、２４…真空引き穴、２５…真空引き配管、２６…粗引き排気系、２７…高真空排気系、２８…大気開放電磁バルブ、２９…真空計、３０…電磁切換バルブ、３１…粗引きポンプ、３２…電磁切換バルブ、３３…ドラッグポンプ、３４…高真空ポンプ、３５…電磁切換バルブ、３６…Ｈｅガス検出器
【図１】
2007040769.tif 000003