(57)【要約】【課題】構造が簡単・容易で、薄型で、変換効率に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性)も良好で、音の歪が少なく、かつ製造が容易で、安価なフィルムスピーカおよびその製造方法を提供する。【解決手段】本発明のフィルムスピーカ１０は、バイアス電圧が付与されてバイアス電極となる固定電極１３と、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた駆動電圧が付与されて固定電極１３に対して移動可能となる樹脂フィルム１１と導電性薄膜１２とからなるフィルム部材（移動電極）とを備えている。そして、フィルム部材はつづら折り状に折り畳まれて複数の山部Ａ１，Ａ２・・・と谷部Ｂ１，Ｂ２・・・とが形成されている。山部および谷部の先端部１１ａ，１１ｂは固定枠１５，１６に固定されており、山部を形成する空間内および谷部を形成する空間内の少なくとも一方の空間内の中央部に固定電極１３が配置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
バイアス電圧が付与されてバイアス電極となる固定電極と、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与されて前記固定電極に対して移動可能となるフィルム部材からなる移動電極とを備えたフィルムスピーカであって、
前記フィルム部材は折り畳まれて複数の山部と谷部とが形成されているとともに前記山部および谷部の先端部は固定枠に固定されており、
前記山部を形成する空間内および前記谷部を形成する空間内の少なくとも一方の空間内の中央部に前記固定電極が配置されていて、
前記移動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該移動電極と前記バイアス電極となる固定電極との間のクーロン力により前記移動電極となるフィルム部材により形成された空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていることを特徴とするフィルムスピーカ。
【請求項２】
前記フィルム部材は熱可塑性樹脂フィルムあるいは熱硬化性樹脂フィルムと、これらのフィルムの表裏面の少なくとも一方に形成された導電性薄膜とからなることを特徴とする請求項１に記載のフィルムスピーカ。
【請求項３】
前記導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択された金属またはそれらの合金から形成された薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択された導電性無機材料から形成された薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された薄膜のいずれか１つであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のフィルムスピーカ。
【請求項４】
前記バイアス電極となる固定電極は導電性板状体、絶縁板の表裏両面に形成された導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に導電性薄膜が被覆された板状体であることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のフィルムスピーカ。
【請求項５】
前記導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に被覆された導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択される金属またはそれらの合金から形成された板状体あるいは薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択された導電性無機材料から形成された板状体あるいは薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された板状体あるいは薄膜のいずれか１つであることを特徴とする請求項４に記載のフィルムスピーカ。
【請求項６】
前記バイアス電極となる固定電極の表面および前記移動電極となる前記導電性薄膜の表面の少なくとも一方は絶縁膜で被覆されていることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれかに記載のフィルムスピーカ。
【請求項７】
前記バイアス電極となる固定電極は単極エレクトレットあるいは双極エレクトレットからなる板状体により形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれかに記載のフィルムスピーカ。
【請求項８】
バイアス電圧が付与されてバイアス電極となる固定電極と、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与されて前記固定電極に対して移動可能となるフィルム部材からなる移動電極とを備えたフィルムスピーカの製造方法であって、
熱可塑性樹脂フィルムあるいは熱硬化性樹脂フィルムの表面側および裏面側の少なくとも一方に導電性薄膜を形成してフィルム部材とするフィルム部材形成工程と、
前記導電性薄膜が形成されたフィルム部材の表面側および裏面側に円柱状あるいは角柱状の曲げ治具を配置する治具配置工程と、
前記フィルム部材の裏面側に配置された前記曲げ治具と、前記フィルム部材の表面側に配置された前記曲げ治具とを互に引張するようにして当該フィルム部材を折り畳む折り畳み工程と、
前記フィルム部材が折り畳たたまれて形成された山部および谷部の少なくとも一方の空間部の中央部に前記固定電極を配置する固定電極配置工程と、
前記フィルム部材の山部および谷部の先端部を固定枠により固定する先端部固定工程とを備えたことを特徴とするフィルムスピーカの製造方法。
【請求項９】
前記先端部固定工程の後に前記曲げ治具を取り除く曲げ治具除去工程を備えるようにしたことを特徴とする請求項７に記載のフィルムスピーカの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気信号を音波に変換するスピーカに係り、特に、バイアス電圧が付与されてバイアス電極となる固定電極と、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与されて固定電極に対して移動可能となるフィルム部材からなる移動電極とを備えたフィルムスピーカおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電気音響変換器となるスピーカとしては、従来より、コンデンサ型のものが知られている。このコンデンサ型スピーカは、板状をなす固定電極に近接させて薄膜状の振動膜を配置したもので、振動膜にバイアス電圧を印加した状態で固定電極に音声電圧を印加することにより、振動膜を振動させて音波として放射するようになされている。
ところで、コンデンサ型のスピーカは、一般的に音の周波数帯域が狭く、普通以下のサイズのものは高音用として用いられるのが通常であった。また、低音域まで周波数帯域を拡げたものもあるが、そのようなスピーカはかなり大型になってしまうばかりでなく、大きな面積を有する振動膜を固定電極に対して一定の距離だけ離間して保持することはかなりの困難を伴った。さらに、振動膜の振動を外部に音波信号として放射するために、固定電極にパンチングメタルと呼ばれる多数の孔が形成された部品を用いなければならないため、製造コストが割高になっていた。
【０００３】
そこで、大型化することなく周波数帯域の全域の周波数特性を向上させることができるスピーカとして、ハイル型と呼ばれるものが提案されるようになった。このハイル型スピーカは、例えば、特許文献１（特公昭５５ー４２５５５号公報）に開示されているように、１枚の振動板を蛇行するように折り曲げるとともにその両端部をケーシングに支持し、振動板の両側部に磁石を配置して構成されている。このようなハイル型スピーカにおいては、振動板を蛇行するように曲げているので、大型化することなく振動板の総面積を大きくすることができ、低音域までカバーすることができるという利点がある。
【０００４】
しかしながら、上記のようなハイル型スピーカでは、振動板の両端部のみを支持してその間をフリーにしていることから、振動板の形状を所定の形状に保持するためにはその大きさに限界があった。このため、低音域を充分にカバーすることができなかった。また、振動板の両側部に磁石を配置しているため、磁石同士の距離が長くなり、振動板全体を振動させるような強い磁場を形成する必要があることから、かなり大型の磁石を使用しなければならないという問題もあった。
【０００５】
そこで、特許文献２（特開平８−２４２４９８号公報）で開示されるようなスピーカも提案されるようになった。この特許文献２にて開示されたスピーカにあっては、板状の固定電極を互いに平行に離間するように複数配置して電極集合体を構成し、各固定電極同士の中間に、振動膜をその縁部に配置したスペーサを介して挟持する。また、この振動膜にバイアス電圧を印加するとともに、両端部に音声電圧を発生させる音声電圧発生手段の一方の端部と他方の端部とを固定電極に交互に接続する。そして、スペーサに、振動膜が固定電極側へ振れる際に、電極集合体の一側から空気が吐出されると同時に電極集合体の他側から空気が吸引される開口部を設けるようにしてスピーカを構成するようにしている。
【０００６】
さらに、ピエゾフィルムを積層して作ったバイモルフによって、アコ−ディオンのヒダのくぼみを拡張させたり収縮させて、音波を放射するフィルムスピーカが特許文献３（特開２００２−２７５９２号公報）で提案されるようになった。
【特許文献１】特公昭５５ー４２５５５号公報
【特許文献２】特開平８−２４２４９８号公報
【特許文献３】特開２００２−２７５９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上述した特許文献２にて提案されたスピーカにおいては、振動膜（フィルム）とスペーサを順に積み上げていくため、工数がかかり、生産性が悪いという問題を生じた。また、出力アンプの信号端子の一方の端部と他方の端部とを多数の固定電極に交互に接続する必要があるため、生産性も悪いという問題も生じた。また、裏面に設置した固定電極からの駆動しか使わないので効率も十分ではないという問題も生じた。
【０００８】
一方、上述した特許文献３にて提案されたフィルムスピーカにおいては、フィルムの駆動にピエゾフィルムを使うため、電圧と変形量のリニア性(線形性)が充分に良好なものでなく、音質は歪っぽいという問題を生じた。
そこで、本発明は上記の如き問題点を解消するためになされたものであって、構造が簡単・容易で、薄型で、変換効率に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性)も良好で、音の歪が少なく、かつ安価なフィルムスピーカを提供するとともに、この種のスピーカを簡単・容易に製造できる製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のフィルムスピーカは、バイアス電圧が付与されてバイアス電極となる固定電極と、オーディオ信号に応じた駆動電圧が付与されて固定電極に対して移動可能となるフィルム部材からなる移動電極とを備えている。そして、上記目的を達成するため、フィルム部材は折り畳まれて複数の山部と谷部とが形成されているとともに山部および谷部の先端部は固定枠に固定されており、山部を形成する空間内および谷部を形成する空間内の少なくとも一方の空間内の中央部に固定電極が配置されていて、移動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該移動電極とバイアス電極となる固定電極との間のクーロン力により移動電極となるフィルム部材により形成された空間内に存在する空気が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていることを特徴とする。
【００１０】
このように、移動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく移動電極とバイアス電極との間のクーロン力により、バイアス電極と移動電極との間の空間部に存在する空気相が押し出されたり引き戻されることにより空気振動が生じて音波を発生するようになされていると、構造が単純で、変換効率（オーディオ信号を音波に変換する効率）に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性) もよくて、音の歪が少なく、かつ製造が容易で、安価なフィルムスピーカを得ることが可能となる。そして、一枚のフィルム部材を折り曲げて作製することが可能となるため、生産効率が向上し、薄型で軽量のスピーカを作製することが可能となる。
【００１１】
この場合、フィルム部材は移動させることができる可撓性のフィルム、例えば、熱可塑性樹脂フィルムあるいは熱硬化性樹脂フィルムなどの樹脂フィルムと、これらのフィルムの表裏面の少なくとも一方に形成された導電性薄膜から構成するのが望ましい。なお、導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄などの金属またはそれらの合金から形成された薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料から形成された薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された薄膜のいずれか１つから選択して用いるようにすればよい。
【００１２】
一方、バイアス電極となる固定電極は導電性板状体、絶縁板の表裏両面に形成された導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に導電性薄膜が被覆された板状体であるのが望ましい。この場合、導電性板状体あるいは絶縁体の表裏両面に被覆された導電性薄膜は銅、アルミニウム、クロム、チタン、金、ニッケル、鉄から選択される金属またはそれらの合金から形成された板状体あるいは薄膜、カーボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)から選択された導電性無機材料から形成された板状体あるいは薄膜、微細な金属粉末を分散させた導電性樹脂材料から形成された板状体あるいは薄膜のいずれか１つであるのが好ましい。
また、バイアス電極となる固定電極の表面および移動電極となる導電性薄膜の表面の少なくとも一方が絶縁膜で被覆されていると、移動電極の振動により固定電極と移動電極とが接触して両電極が短絡する恐れを防止することができるので望ましい。さらに、バイアス電極を単極エレクトレットあるいは双極エレクトレット（エレクトレット）で構成すると、バイアス電圧を付与するための電源が必要でなくなるので、さらに省電力のスピーカを構成することが可能となる。
【００１３】
上述のようなフィルムスピーカを作製するに際しては、熱可塑性樹脂フィルムあるいは熱硬化性樹脂フィルムの表面側および裏面側の少なくとも一方に導電性薄膜を形成してフィルム部材とするフィルム部材形成工程と、導電性薄膜が形成されたフィルム部材の表面側および裏面側に円柱状あるいは角柱状の曲げ治具を配置する治具配置工程と、フィルム部材の裏面側に配置された曲げ治具と、フィルム部材の表面側に配置された曲げ治具とを互に引張するようにして当該フィルム部材を折り畳む折り畳み工程と、フィルム部材が折り畳たたまれて形成された山部および谷部の少なくとも一方の空間部の中央部に固定電極を配置する固定電極配置工程と、フィルム部材の山部および谷部の先端部を固定枠により固定する先端部固定工程とを備えるようにすればよい。
【００１４】
なお、本発明のフィルムスピーカにおいては、一枚の薄膜フィルム内に複数のスピーカが形成されたマルチスピーカを安価に容易に形成することが可能となる。そして、マルチスピーカを構成する１つ１つのスピーカにそれぞれ異なったオーディオ信号を入力して、これらのマルチスピーカを個々に駆動することで、より進んだ立体音場を形成することが可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明においては、移動電極に付与されたオーディオ信号に応じた駆動電圧に基づく当該移動電極と固定電極との間のクーロン力により、移動電極と固定電極との間の空間部に存在する空気相が押し出されたり引き戻されることによって、空気振動が生じて音波を発生するようになされている。これにより、構造が簡単・容易で、薄型で、変換効率に優れるとともに、入力に対する応答のリニア性(線形性)も良好で、音の歪が少なく、かつ製造が容易で、安価なフィルムスピーカを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、本発明の実施の形態を図１〜図２７に基づいて説明するが、本発明はこの実施の形態に何ら限定されるものでなく、本発明の目的を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。なお、図１は本発明の実施例１のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２は実施例１の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す断面図である。また、図３は、図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す断面図であり、図４は、図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図である。また、図５は、図１のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図６は、図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図７は他の製造法を模式的に示す断面図である。
【００１７】
図８は実施例２のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図９は実施例２の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す断面図である。図１０は実施例３のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１１は実施例３の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１２は実施例４のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１３は実施例４の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１４は実施例５のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１５は実施例５の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１６は実施例６のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１７は実施例６の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図１８は実施例７のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１９は実施例７の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。
【００１８】
図２０は実施例８のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２１は実施例８の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図である。図２２は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２３は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図である。図２４は１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図である。図２５は遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステムを説明するブロック図である。図２６は１枚にフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を１列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。図２７は１枚にフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を複数列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。
【００１９】
１．実施例１
本実施例１のフィルムスピーカ１０は、図１に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム１１と、この樹脂フィルム１１の裏面側に形成された複数の導電性薄膜１２と、つづら折りされた樹脂フィルム１１により形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜１２に相対向して平行になるように配置された固定電極１３とを備えている。
【００２０】
山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部１１ａを固定する表側固定枠１５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部１１ｂを固定する裏側固定枠１６とを備えている。ここで、樹脂フィルム１１の裏面側に形成された複数の導電性薄膜１２はオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極（駆動電極）となり、固定電極１３はバイアス電極となり、樹脂フィルム１１と導電性薄膜１２とでフィルム部材となる。表側固定枠１５と裏側固定枠１６とは、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。なお、上述した「表側」とはフィルムスピーカ１０が形成された場合の聴取側を意味し、「裏側」はこれの反対側を意味し、以下の記載においても同様である。
【００２１】
つづら折りされた樹脂フィルム１１の表側折曲端部１１ａは表側固定枠１５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部１１ｂは裏側固定枠１６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極１３は裏側固定枠１６に接着剤などにより固定されている。さらに、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜１２および固定電極１３より延出して形成された配線が接続されている。
この場合、複数の導電性薄膜（移動電極）１２は直列接続されていて、これにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、複数の固定電極１３も直列接続され、これに外部電源Ｖからバイアス電圧が付与されるようになされている。なお、複数の導電性薄膜（移動電極）１２および複数の固定電極１３はそれぞれ並列接続であってもよい。
【００２２】
ここで、樹脂フィルム１１の材質としては、ポリイミド（カプトン〈登録商標〉）、ナイロン、ポリエステル（マイラー〈登録商標〉）などの熱可塑性樹脂あるいは熱硬化性樹脂からなる樹脂フィルムが使用できる。これらの樹脂フィルムの厚みは５〜５００μｍであるのが望ましい。これは、厚みが５μｍ未満であると剛性が低すぎて柔軟なために所定の形状を維持することができなく、かつ強度も低くて破れやすいためである。一方、厚みが５００μｍを越えるようになると、剛性が高すぎて剛直なために振動板としての変位を生じにくいためである。
【００２３】
導電性薄膜１２は、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）、鉄などの金属あるいはそれらの合金、または、カ−ボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料、微細な金属粒子を分散させた導電性樹脂などの材料が使用可能である。固定電極１３としては、銅（Ｃｕ）、アルミニウム（Ａｌ）、クロム（Ｃｒ）、チタン（Ｔｉ）、金（Ａｕ）、ニッケル（Ｎｉ）などの金属あるいはそれらの合金、または、カ−ボン、ＩＴＯ(Indium-Tin-Oxide)などの導電性無機材料からなる導電性板状体が用いられる。なお、固定電極１３は絶縁体の表裏両面に導電性薄膜が被覆された板状体であってもよい。また、固定電極１３の表面は、図示しない絶縁膜でコーティングするのが望ましい。これは、導電性薄膜１２と固定電極１３とが直接接触するショートの発生を防止するためである。
【００２４】
上述のように構成された実施例１のフィルムスピーカ１０において、例えば、図１（ａ）に示すように、外部電源（直流電源）Ｖからバイアス電極となる固定電極１３にプラス（＋）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜（移動電極）１２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１（ｂ）に示すように、導電性薄膜１２にマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（バイアス電極）１３と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００２５】
また、導電性薄膜１２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１（ｃ）に示すように、導電性薄膜１２にプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（バイアス電極）１３と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
【００２６】
そして、移動電極となる導電性薄膜１２に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
このような固定電極（バイアス電極）１３に対する樹脂フィルム１１に形成された導電性薄膜（移動電極）１２の変位が、樹脂フィルム１１により形成された谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の出入りを生むこととなって、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた空気振動が生み出されることとなる。
【００２７】
〈変形例〉
上述した実施例１においては、固定電極（バイアス電極）１３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに配置する例について説明した。ところが、固定電極（バイアス電極）は山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能である。そこで、本変形例においては、固定電極（バイアス電極）１３を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置するとともに、固定電極（バイアス電極）１４を谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置した例について、図２に基づいて以下に説明する。
【００２８】
本変形例のフィルムスピーカ１０ａにおいては、図２（なお、図２において、図１と同一符号は同一名称を表している）に示すように、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（バイアス電極）１３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（バイアス電極）１４が配置されている点で、上述した実施例１のフィルムスピーカ１０と異なるが、その他の点については上述した実施例１のフィルムスピーカ１０と同様であるので、その詳細な説明は省略する。この場合、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（バイアス電極）１４は、表側固定枠１５に接着剤などにより固定されている。
【００２９】
なお、実施例１と同様に、複数の導電性薄膜（移動電極）１２同士は直列接続されるようになされていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、複数の第１固定電極１３同士は直列接続されるようになされていて、これらに第１の外部電源Ｖ１からバイアス電圧が印加されるようになされているとともに、複数の第２固定電極１４同士も直列接続されるようになされていて、これらに第２の外部電源Ｖ２からバイアス電圧が印加されるようになされている。なお、複数の導電性薄膜（移動電極）１２同士、固定電極１３同士、固定電極１４同士はそれぞれ並列接続であってもよい。
【００３０】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ１０ａにおいて、例えば、図２（ａ）に示すように、第１の外部電源（直流電源）Ｖ１から第１固定電極（第１バイアス電極）１３にプラス（＋）の電圧が印加され、第２の外部電源（直流電源）Ｖ２から第２固定電極（第２バイアス電極）１４にマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜（移動電極）１２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２（ｂ）に示すように、導電性薄膜（移動電極）１２にマイナス（−）の電圧が印加されたとする。
【００３１】
すると、第１固定電極（第１バイアス電極）１３と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極（第２バイアス電極）１４と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極１３と導電性薄膜１２との間の吸引力ｆ１に、第２固定電極１４と導電性薄膜１２との反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例１よりも多くなる。
【００３２】
また、導電性薄膜１２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２（ｃ）に示すように、導電性薄膜１２にプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極）１３と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（第２バイアス電極）１４と、これに対向する導電性薄膜１２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図２（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極１３と導電性薄膜１２との間の反撥力ｆ２に、第２固定電極１４と導電性薄膜１２との間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例１よりも多くなる。
【００３３】
そして、移動電極となる導電性薄膜１２に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００３４】
〈製造方法〉
ついで、上述のような構成となる実施例１のフィルムスピーカ１０およびその変形例のフィルムスピーカ１０ａの製造方法を図３〜図６に基づいて、以下に詳細に説明する。まず、図３に示すように、厚みが５〜５００μｍでポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムからなる樹脂フィルム１１を用意する。ついで、樹脂フィルム１１の裏面に所定寸法で複数個の導電性薄膜１２を所定間隔に形成してフィルム部材を形成する。この場合、導電性薄膜１２は、スパッタリング、蒸着、メッキなどの薄膜プロセスで作製した金属薄膜を、エッチングでパタ−ニングする方法や、リソグラフでレジストをパタ−ニングした後、金属をパタ−ンメッキしたり、リフトオフで金属をパタ−ン蒸着する方法や、金属膜と振動板フィルムを積層接着した後、エッチングでパタ−ニングする方法や、印刷技術やインクジェットなどの方法で、導電材料をパタ−ンイングしつつコ−ティングする方法等の様々な方法により形成することが可能である。
【００３５】
ついで、図４に示すように、裏面に複数個の導電性薄膜１２が形成された樹脂フィルム１１の表裏面に交互に複数の円柱状の曲げ治具１７，１８を配置する。この場合、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・を形成するために曲げ治具１７を裏面に導電性薄膜１２が形成された側に配置し、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・を形成するために曲げ治具１８を樹脂フィルム１１の表側に配置する。ついで、樹脂フィルム１１の裏側に配置された曲げ治具１７を上方に引張するとともに、樹脂フィルム１１の表側に配置された曲げ治具１８を下方に引張して、樹脂フィルム１１をつづら折り状に折り曲げる。
ついで、図５、図６に示すように、つづら折りされた樹脂フィルム１１の上端部に表側固定枠１５を配置するとともに、下端部に裏側固定枠１６を配置した。なお、表側固定枠１５および裏側固定枠１６には、空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が形成されている。この後、樹脂フィルム１１の表側折曲端部１１ａを表側固定枠１５に接着剤などで固着するとともに、樹脂フィルム１１の裏側折曲端部１１ｂを裏側固定枠１６に接着済などで固着した。
【００３６】
ここで、実施例１のフィルムスピーカ１０を作製する場合は、図５に示すように、固定電極１２が配設された裏側固定枠１６，１６を用いて、樹脂フィルム１１がつづら折り状に折り曲げられて形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の中央部に各固定電極１３が配置されるようにしている。なお、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに固定電極１３より延出して形成された配線が接続されている。この場合、曲げ治具１７，１８を取り外すようにしてもよいし、図５に示すように、曲げ治具１７，１８を取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。
【００３７】
また、変形例のフィルムスピーカ１０ａを作製する場合は、図６に示すように、第１固定電極１３が配設された裏側固定枠１６，１６を用いるとともに、第２固定電極１４が配設された表側固定枠１５，１５を用いる。そして、樹脂フィルム１１がつづら折り状に折り曲げられて形成された山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の中央部に各第１固定電極１３が配置されるようにするとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の中央部に各第２固定電極１４が配置されるようにしている。なお、表側固定枠１５および裏側固定枠１６にはパッド（図示せず）が形成されていて、このパッドに第１固定電極１３および第２固定電極１４より延出して形成された配線が接続されている。この場合、曲げ治具１７，１８を取り外すようにしてもよいし、図６に示すように、曲げ治具１７，１８を取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。
【００３８】
上述した製造方法においては、樹脂フィルム１１をつづら折りにするに際して、樹脂フィルム１１の表裏面に交互に円柱状の曲げ治具１７，１８を配置して断面が略半円形の曲げ部が形成されるようにした。ところが、曲げ部の形状は半円形に限られることなく、種々の変形例が考えられる。例えば、図７に示すように、樹脂フィルム１１の表裏面に交互に角柱状の曲げ治具１９ａ，１９ｂを配置し、曲げ治具１９ａを上方に引張するとともに、曲げ治具１９ｂを下方に引張して、樹脂フィルム１１の上端部および下端部を矩形状につづら折りするようにすればよい。この場合も、曲げ治具１９ａ，１９ｂを取り外すようにしてもよいし、取り外すことなく、そのまま残すようにしてもよい。
【００３９】
２．実施例２
実施例２のフィルムスピーカ２０は、図８に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム２１と、この樹脂フィルム２１の裏面側に形成された第１導電性薄膜２２ａと、第２導電性薄膜２２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜２２ａ，２２ｂに相対向して平行になるように配置され、絶縁板２３ｃの表裏両面に形成された第１金属板２３ａと第２金属板２３ｂとからなる固定電極２３とを備えている。
【００４０】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部２１ａを固定する表側固定枠２５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部２１ｂを固定する裏側固定枠２６とを備えている。ここで、樹脂フィルム２１の裏面側に形成された第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂは、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極となり、第１金属板２３ａおよび第２金属板２３ｂからなる固定電極２３はバイアス電極となる。表側折曲端部２１ａは表側固定枠２５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部２１ｂは裏側固定枠２６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠２５および裏側固定枠２６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。
【００４１】
表側固定枠２５および裏側固定枠２６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂより延出して形成された配線、あるいは第１金属板２３ａおよび第２金属板２３ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜２２ａ同士および第２導電性薄膜２２ｂ同士はそれぞれ直列接続されるようになされていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、複数の第１金属板２３ａ同士は直列接続されていて、これらに第１の外部電源（直流電源）Ｖ１が印加され、複数の第２金属板２３ｂ同士も直列接続されていて、これらに第２の外部電源（直流電源）Ｖ２が印加されるようになされている。なお、第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂを並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の第１金属板２３ａ同士および第２金属板２３ｂ同士はそれぞれ並列接続であってもよいい。
【００４２】
ここで、樹脂フィルム２１の材質、導電性薄膜２２ａ，２２ｂおよび第１金属板２３ａおよび第２金属板２３ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質および固定電極１３の材質と同様であり、これらの形成方法も上述した実施例１と同様である。そして、第１金属薄膜２２ａと第１金属板２３ａ（あるいは第２金属薄膜２２ｂと第２金属板２３ｂ）とが直接接触するショートの発生を防止するため、第１金属板２３ａおよび第２金属板２３ｂの表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。なお、樹脂フィルム２１と導電性薄膜２２ａ，２２ｂとでフィルム部材となる。また、表側固定枠２５と裏側固定枠２６とは、上述した実施例１と同様に、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。
【００４３】
上述のように構成された実施例２のフィルムスピーカ２０において、例えば、図８（ａ）に示すように、第１の外部電源（直流電源）Ｖ１から第１金属板２３ａにプラス（＋）のバイアス電圧が印加され、第２の外部電源（直流電源）Ｖ２から第２金属板２３ｂにマイナス（−）のバイアス電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜２２ａ，２２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図８（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜２２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜２２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。
すると、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に配置された固定電極（バイアス電極）２３の第１金属板２３ａとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間および第２金属板２３ｂとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図８（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００４４】
また、導電性薄膜２２ａ，２２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図８（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜２２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜２２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、第１金属板２３ａとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間および第２金属板２３ｂとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図８（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜２２ａ，２２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００４５】
〈変形例〉
上述した実施例２においても、上述した実施例１と同様に、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図９（なお、図９において、図８と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。
本変形例のフィルムスピーカ２０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に絶縁板２３ｃの表裏両面に形成された第１金属板２３ａと第２金属板２３ｂとからなる第１固定電極２３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に絶縁板２４ｃの表裏両面に形成された第１金属板２４ａと第２金属板２４ｂとからなる第２固定電極２４が配置されている。そして、第１金属薄膜２２ａと第２金属板２４ｂ（あるいは第２金属薄膜２２ｂと第１金属板２４ａ）とが直接接触するショートの発生を防止するため、第１金属板２４ａおよび第２金属板２４ｂの表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。
【００４６】
この場合、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極２４は、表側固定枠２５に接着剤などにより固定されている。さらに、表側固定枠２５および裏側固定枠２６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂより延出して形成された配線、第１金属板２３ａおよび第２金属板２３ｂより延出して形成された配線、第１金属板２４ａおよび第２金属板２４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。
【００４７】
なお、実施例２と同様に、複数の第１導電性薄膜２２ａ同士および第２導電性薄膜２２ｂ同士はそれぞれ直列接続されるようになされていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、複数の第１金属板２３ａ同士および複数の第１金属板２４ａ同士は直列接続されるようになされていて、第１外部電源Ｖ１が印加されるようになされている。また、複数の第２金属板２３ｂ同士および複数の第２金属板２４ｂ同士も直列接続されるようになされていて、これらに第２の外部電源Ｖ２が印加されるようになされている。
なお、第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂを並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の第１金属板２３ａと第１金属板２４ａとを並列接続してこれに第１外部電源Ｖ１を印加し、複数の第２金属板２３ｂと第２金属板２４ｂとを並列接続してこれに第２外部電源Ｖ２を印加するようにしてもよい。
【００４８】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ２０ａにおいて、例えば、図９（ａ）に示すように、第１外部電源（直流電源）Ｖ１から第１固定電極２３の第１金属板２３ａと第２固定電極２４の第２金属板２４ａにプラス（＋）の電圧が印加されてされているとともに、第２外部電源（直流電源）Ｖ２から第１固定電極２３の第２金属板２３ｂと第２固定電極２４の第２金属板２４ｂにマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜２２ａ，２２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図９（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜２２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜２２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１金属板２３ａとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間および第２金属板２３ｂとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用する。
【００４９】
一方、第１金属板２４ａとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間および第２金属板２４ｂとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図９（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極２３と第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極２４と第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂとの反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例２よりも多くなる。
【００５０】
また、導電性薄膜２２ａ，２２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図９（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜２２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜２２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、第１金属板２３ａとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間および第２金属板２３ｂとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。一方、第１金属板２４ａとこれに対向する第２導電性薄膜２２ｂとの間および第２金属板２４ｂとこれに対向する第１導電性薄膜２２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
【００５１】
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図９（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極２３と第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極２４と第１導電性薄膜２２ａおよび第２導電性薄膜２２ｂとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例２よりも多くなる。そして、移動電極となる導電性薄膜２２ａ，２２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００５２】
なお、上述した実施例２のフィルムスピーカ２０および変形例のフィルムスピーカ２０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム２１の裏面に形成された導電性薄膜２２ａ，２２ｂに極性が異なるオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加されるように導電性薄膜２２ａ，２２ｂを接続することと、固定電極２３（２４）を第１金属板２３ａ（２４ａ）と第２金属板２３ｂ（２４ｂ）とで形成する工程を付加すること以外は、上述した実施例１の製造方法およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【００５３】
３．実施例３
実施例３のフィルムスピーカ３０は、図１０に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム３１と、この樹脂フィルム３１の裏面側に形成された複数の第１導電性薄膜３２ａおよび表面側に形成された複数の第２導電性薄膜３２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置された金属板からなる固定電極３３とを備えている。この場合、第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂは固定電極３３と相対向して平行になるように形成されている。なお、樹脂フィルム３１の材質、導電性薄膜３２ａ，３２ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質の材質と同様である。
【００５４】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部３１ａを固定する表側固定枠３５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部３１ｂを固定する裏側固定枠３６とを備えている。ここで、樹脂フィルム３１の表面側に形成された第１導電性薄膜３２ａおよび裏面側に形成された第２導電性薄膜３２ｂは、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極となり、固定電極３３はバイアス電極となる。表側折曲端部３１ａは表側固定枠３５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部３１ｂは裏側固定枠３６に接着剤などにより固定されている。この場合、表側固定枠３５および裏側固定枠３６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。
【００５５】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極３３は裏側固定枠３６に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠３５および裏側固定枠３６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂより延出して形成された配線、あるいは固定電極３３より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜３２ａ同士および複数の第２導電性薄膜３２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされているとともに、複数の固定電極３３同士は直列接続されるようになされていて、これらにバイアス用の外部電源（直流電源）Ｖが印加されるようになされている。なお、第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂを並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の固定電極３３を並列接続してこれに外部電源Ｖを印加するようにしてもよい。
【００５６】
上述のように構成された実施例３のフィルムスピーカ３０において、例えば、図１０（ａ）に示すように、外部電源（直流電源）Ｖから固定電極３３にプラス（＋）の電圧が印加されてされているものとする。そして、導電性薄膜３２ａ，３２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１０（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜３２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜３２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極３３と第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１０（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００５７】
また、導電性薄膜３２ａ，３２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１０（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜３２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜３２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されれたとする。すると、固定電極３３と第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力は２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１０（ｃ）の白抜き矢印方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が交互に繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００５８】
〈変形例〉
上述した実施例３においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１１（なお、図１１において、図１０と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例の本変形例のフィルムスピーカ３０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（第１バイアス電極）３３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（第２バイアス電極）３４が配置されている。なお、第１金属薄膜３２ａと第２固定電極３４（あるいは第２金属薄膜３２ｂと第１固定電極３３）とが直接接触するショートの発生を防止するため、第１固定電極３３および第２固定電極３４の表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。
【００５９】
そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極３４は、表側固定枠３５に接着剤などにより固定されているとともに、さらに、表側固定枠３５および裏側固定枠３６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂより延出して形成された配線、あるいは第１固定電極３３より延出して形成された配線、ならびに第２固定電極３４より延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。この場合、実施例３と同様に、複数の導電性薄膜３２ａおよび３２ｂはそれぞれ直列接続されるようになされていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、複数の固定電極３３，３４は直列接続されるようになされていて、これらに外部電源（直流電源）Ｖが印加されるようになされている。なお、第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂを並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の固定電極３３．３４を並列接続してこれに外部電源Ｖを印加するようにしてもよい。
【００６０】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ３０ａにおいて、例えば、図１１（ａ）に示すように、外部電源（直流電源）Ｖから固定電極３３にプラス（＋）の電圧が印加されてされているものとする。そして、導電性薄膜３２ａ，３２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１１（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜３２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜３２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極）３３と第２導電性薄膜３２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用するとともに、第２固定電極（第２バイアス電極）と第１導電性薄膜３２ａとの間で互に互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（第１バイアス電極）３３と第２導電性薄膜３２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（第２バイアス電極）３４と第１導電性薄膜３２ａとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例３よりも多くなる。
【００６１】
また、導電性薄膜３２ａ，３２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１１（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜３２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜２２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極）３３と第２導電性薄膜３２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用するとともに、第２固定電極（バイアス電極）３４と第１導電性薄膜３２ａとの間でも互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ４が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１１（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極３３と第２導電性薄膜３２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極３４と第１導電性薄膜３２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例３よりも多くなる。
【００６２】
そして、移動電極となる第１導電性薄膜３２ａおよび第２導電性薄膜３２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
なお、上述した実施例３のフィルムスピーカ３０およびその変形例のフィルムスピーカ３０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム３１の表面に第１導電性薄膜３２ａを形成するとともに、樹脂フィルム３１の裏面に第２導電性薄膜３２ｂを形成すること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【００６３】
４．実施例４
実施例４のフィルムスピーカ４０は、図１２に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム４１と、この樹脂フィルム４１の表側面と裏側面に交互に形成された第１導電性薄膜４２ａと、同様に樹脂フィルム４１の裏側面と表面側に交互に形成された第２導電性薄膜４２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜４２ａ，４２ｂに相対向して平行になるように配置された絶縁板４３ｃの表裏両面に形成された第１金属板４３ａと第２金属板４３ｂとからなる固定電極４３とを備えている。なお、第１金属板４３ａおよび第２金属板４３ｂの表面は絶縁膜でコーティングするのが望ましい。
【００６４】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部４１ａを固定する表側固定枠４５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部４１ｂを固定する裏側固定枠４６とを備えている。ここで、第１導電性薄膜４２ａおよび第２導電性薄膜４２ｂは、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧（Ｖｉｎ）が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極４２となり、第１金属板４３ａおよび第２金属板４３ｂからなる固定電極４３はバイアス電極となる。そして、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極４３は裏側固定枠４６に接着剤などにより固定されている。
【００６５】
表側固定枠４５および裏側固定枠４６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。なお、表側固定枠４５と裏側固定枠４６とは、上述した実施例１と同様に、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。さらに、表側固定枠４５および裏側固定枠４６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜４２ａおよび第２導電性薄膜４２ｂより延出して形成された配線、あるいは固定電極４３のた第１金属板４３ａおよび第２金属板４３ｂよりそれぞれ延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。
【００６６】
この場合、複数の第１導電性薄膜４２ａ同士および複数の第２導電性薄膜４２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、固定電極４３の複数の第１金属板４３ａ同士は直列接続されていて、第１の外部電源（直流電源）Ｖ１が印加され、複数の第２金属板４３ｂ同士も直列接続されていて、第２の外部電源（直流電源）Ｖ２が印加されるようになされている。なお、第１導電性薄膜４２ａ同士および第２導電性薄膜４２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の第１金属板４３ａ同士を並列接続してこれに外部電源Ｖ１を印加するようにし、複数の第２金属板４３ｂ同士を並列接続してこれに外部電源Ｖ２を印加するようにしてもよい。
【００６７】
樹脂フィルム４１の材質、導電性薄膜４２ａ，４２ｂおよび第１金属板４３ａおよび第２金属板４３ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質および固定電極１３の材質と同様であり、これらの形成方法も上述した実施例１と同様である。また、第１金属板４３ａと第２金属板４３ｂとの間が絶縁体（図示せず）により隔離されるようにして板状に形成されている。なお、表側固定枠４５と裏側固定枠４６とは、上述した実施例１と同様に、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。
【００６８】
上述のように構成された実施例４のフィルムスピーカ４０において、例えば、図１２（ａ）に示すように、第１の外部電源（直流電源）Ｖ１から第１金属板４３ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２の外部電源（直流電源）Ｖ２から第２金属板４３ｂにマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜４２ａ，４２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１２（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜４２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜４２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、第１金属板４３ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間および第２金属板４３ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１２（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００６９】
また、導電性薄膜４２ａ，４２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１２（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜４２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜４２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されれたとする。すると、第１金属板４３ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間および第２金属板４３ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１２（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜４２ａ，４２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００７０】
〈変形例〉
上述した実施例４においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１３（なお、図１３において、図１２と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ４０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に絶縁板４３ｃの表裏両面に形成された第１金属板４３ａと第２金属板４３ｂとからなる第１固定電極（第１バイアス電極）４３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に絶縁板４４ｃの表裏両面に形成された第１金属板４４ａと第２金属板４４ｂとからなる第２固定電極（第２バイアス電極）４４が配置されている。なお、第１金属板４４ａおよび第２金属板４４ｂの表面も絶縁膜でコーティングするのが望ましい。
【００７１】
そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極４４は、表側固定枠４５に接着剤などにより固定されているとともに、さらに、表側固定枠４５および裏側固定枠４６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜４２ａおよび第２導電性薄膜４２ｂより延出して形成された配線、あるいは第１固定電極４３の第１金属板４３ａおよび第２金属板４３ｂより延出して形成された配線、ならびに第２固定電極４４の第１金属板４４ａおよび第２金属板４４ｂより延出して形成された配線（図示せず）が接続されている。
この場合、複数の第１導電性薄膜４２ａ同士および第２導電性薄膜４２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。また、第１固定電極４３の第１金属板４３ａ同士および第２固定電極４４の第１金属板４４ａ同士は直列接続されていて、これらに第１の外部電源（直流電源）Ｖ１が印加されれるようになされている。また、第１固定電極４３の第２金属板４３ｂ同士および第２固定電極４４の第２金属板４４ｂ同士も直列接続されていて、これらに第２の外部電源（直流電源）Ｖ２が印加されるようになされている。
なお、第１導電性薄膜４２ａ同士および第２導電性薄膜４２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。また、複数の第１固定電極４３の第１金属板４３ａ同士および第２固定電極４４の第１金属板４４ａ同士を並列接続してこれに外部電源Ｖ１を印加するようにし、複数の第１固定電極４３の第２金属板４３ｂ同士および第２固定電極４４の第２金属板４４ｂ同士を並列接続してこれに外部電源Ｖ２を印加するようにしてもよい。
【００７２】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ４０ａにおいて、例えば、図１３（ａ）に示すように、第１外部電源（直流電源）Ｖ１から第１固定電極４３の第１金属板４３ａと第２固定電極４４の第２金属板４４ａにプラス（＋）の電圧が印加されてされているとともに、第２外部電源（直流電源）Ｖ２から第１固定電極４３の第２金属板４３ｂと第２固定電極４４の第２金属板４４ｂにマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜４２ａ，４２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１３（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜４２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜４２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。
【００７３】
すると、第１固定電極４３の第１金属板４３ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間、および第２金属板４３ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用する。一方、第２固定電極４４の第２金属板４４ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間、および第１金属板４４ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。
これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１３（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極４３の第１金属板４３ａと第２導電性薄膜４２ｂとの間および第２金属板４３ｂと第１導電性薄膜４２ａとの間吸引力ｆ１に、第２固定電極４４の第２金属板４４ｂと第１導電性薄膜４２ａとの間および第１金属板４４ａと第２導電性薄膜４２ｂとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例４よりも多くなる。
【００７４】
また、導電性薄膜４２ａ，４２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１３（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜４２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜４２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極４３の第１金属板４３ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間、および第２金属板４３ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。一方、第２固定電極４４の第２金属板４４ｂとこれに対向する第１導電性薄膜４２ａとの間、および第１金属板４４ａとこれに対向する第２導電性薄膜４２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
【００７５】
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１３（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極４３の第１金属板４３ａと第２導電性薄膜４２ｂとの間、および第２金属板４３ｂと第１導電性薄膜４２ａとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極４４の第２金属板４４ｂと第１導電性薄膜４２ａとの間、および第１金属板４４ａと第２導電性薄膜４２ｂとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例４よりも多くなる。そして、移動電極となる導電性薄膜４２ａ，４２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００７６】
なお、上述した実施例４のフィルムスピーカ４０およびその変形例のフィルムスピーカ４０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム４１の表側面と裏側面に交互に第１導電性薄膜４２ａを形成するとともに、樹脂フィルム４１の裏側面と表面側に交互に第２導電性薄膜４２ｂを形成することと、固定電極４３（４４）を絶縁板４３ｃ（４４ｃ）の両面に第１金属板４３ａ（４４ａ）と第２金属板４３ｂ（４４ｂ）を形成する工程を付加すること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【００７７】
５．実施例５
本実施例５のフィルムスピーカ５０は、図１４に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム５１と、この樹脂フィルム５１の裏面側に形成された導電性薄膜５２と、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜５２に相対向して平行になるように配置された固定電極５３とを備えている。
【００７８】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部５１ａを固定する表側固定枠５５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部５１ｂを固定する裏側固定枠５６とを備えている。ここで、樹脂フィルム５１の裏面側に形成された導電性薄膜５２はオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極となり、固定電極５３はバイアス電極となる。また、樹脂フィルム５１と導電性薄膜５２とでフィルム部材となる。この場合、表側折曲端部５１ａは表側固定枠５５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部５１ｂは裏側固定枠５６に接着剤などにより固定されている。そして、表側固定枠５５および裏側固定枠５６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、固定電極５３は裏側固定枠５６に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠５５および裏側固定枠５６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜５２より延出して形成された配線が接続されていて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。
【００７９】
なお、樹脂フィルム５１の材質、導電性薄膜５２の材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質と同様であり、これらの形成方法も上述した実施例１と同様である。また、固定電極５３は、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムを用いており、例えばコロナ放電されたイオンを打ち込むことにより、当該フィルムの表面に電荷が形成されるような単極エレクトレット処理が施されている。この場合は、図１４に示すように、固定電極５３の表面にプラス（＋）の電荷が形成されているものとする。また、表側固定枠５５と裏側固定枠５６とは、上述した実施例１と同様に、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。
【００８０】
上述のように構成された実施例５のフィルムスピーカ５０において、例えば、図１４（ａ）に示すように、バイアス電極（単極エレクトレット）となる固定電極５３の表面にプラス（−）の電荷が付与されているものとする。そして、導電性薄膜５２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１４（ｂ）に示すように、導電性薄膜５２にプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極（単極エレクトレット）５３と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１４（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００８１】
また、導電性薄膜５２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１４（ｃ）に示すように、導電性薄膜５２にマイナス（−）の電圧が印加されているとする。すると、固定電極（単極エレクトレット）５３と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１４（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜５２に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００８２】
〈変形例〉
上述した実施例５においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１５（なお、図１５において、図１４と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ５０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（第１バイアス電極：単極エレクトレット）５３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（第２バイアス電極：単極エレクトレット）５４が配置されている。この場合、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極５４は、表側固定枠５５に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠５５および裏側固定枠５６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜５２より延出して形成された配線が接続されていて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。
【００８３】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ５０ａにおいて、例えば、図１５（ａ）に示すように、第１バイアス電極（単極エレクトレット）となる第１固定電極５３の表面にマイナス（−）の電圧が付与されているとともに、第２バイアス電極（単極エレクトレット）となる第２固定電極５４の表面にプラス（＋）の電圧が付与されているものとする。そして、導電性薄膜５２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１５（ｂ）に示すように、プラス（＋）の電圧が印加されたとする。
【００８４】
すると、第１固定電極５３と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極（第２バイアス電極）５４と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１５（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極（第１バイアス電極）５３と導電性薄膜５２との間の吸引力ｆ１に、第２固定電極（第２バイアス電極）５４と導電性薄膜５２との反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例５よりも多くなる。
【００８５】
また、導電性薄膜５２にオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１５（ｃ）に示すように、導電性薄膜５２がマイナス（−）の電圧が印加されれたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極）５３と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（第２バイアス電極）５４と、これに対向する導電性薄膜５２との間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１５（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極（第１バイアス電極）５３と導電性薄膜５２との間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（第２バイアス電極）５４と導電性薄膜５２との間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例５よりも多くなる。
【００８６】
そして、移動電極となる導電性薄膜５２に交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
上述した実施例５のフィルムスピーカ５０およびその変形例のフィルムスピーカ５０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム５１の裏側面に導電性薄膜５２を形成するとともに、固定電極５３（５４）を単極エレクトレットで形成すること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。なお、図１４に示す実施例５および図１５に示す実施例５の変形例の場合は、移動電極として金属フィルム、導電性高分子、金属フィラー入り高分子フィルムなどの導電性フィルムを使用することもできる。
【００８７】
６．実施例６
実施例６のフィルムスピーカ６０は、図１６に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム６１と、この樹脂フィルム６１の表面側に形成された複数の第１導電性薄膜６２ａおよび裏面側に形成された複数の２導電性薄膜６２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜６２ａ，６２ｂに相対向して平行になるように配置された固定電極６３とを備えている。なお、固定電極６３は、上述した実施例５の固定電極５３と同様に、高分子フィルムの表面に電荷が付与されるような単極エレクトレット処理が施された単極エレクトレットを用いている。
【００８８】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部６１ａを固定する表側固定枠６５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部６１ｂを固定する裏側固定枠６６とを備えている。表側折曲端部６１ａは表側固定枠６５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部６１ｂは裏側固定枠６６に接着剤などにより固定されている。そして、表側固定枠６５および裏側固定枠６６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、固定電極６３は裏側固定枠６６に接着剤などにより固定されている。
【００８９】
そして、表側固定枠６５および裏側固定枠６６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜６２ａ，６２ｂより延出して形成された配線が接続されていて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。この場合、複数の第１導電性薄膜６２ａ同士および複数の第２導電性薄膜６２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、第１導電性薄膜６２ａ同士および第２導電性薄膜６２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。
【００９０】
樹脂フィルム６１の材質、導電性薄膜６２ａ，６２ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質と同様であり、これらの形成方法も上述した実施例１と同様である。そして、樹脂フィルム６１の表面側に形成された第１導電性薄膜６２ａおよび裏面側に形成された第２導電性薄膜６２ｂはオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極６２となる。また、樹脂フィルム６１と導電性薄膜６２ａ，６２ｂとでフィルム部材となる。なお、表側固定枠６５と裏側固定枠６６とは、上述した実施例１と同様に、図示しない枠体や箱体などにより固定されるようになされている。
【００９１】
上述のように構成された実施例６のフィルムスピーカ６０において、例えば、図１６（ａ）に示すように、バイアス電極（単極エレクトレット）となる固定電極６３の表面にマイナス（−）の電圧が付与されているものとする。そして、導電性薄膜６２ａ，６２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１６（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜６２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜６２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極（単極エレクトレット）６３と、これに対向する第２導電性薄膜６２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１６（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【００９２】
また、導電性薄膜６２ａ，６２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１６（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜６２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜６２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されれたとする。すると、固定電極（単極エレクトレット）６３と、これに対向する第２導電性薄膜６２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１６（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜６２ａ，６２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【００９３】
〈変形例〉
上述した実施例６においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１７（なお、図１７において、図１６と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ６０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（第１バイアス電極：単極エレクトレット）６３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（第２バイアス電極：単極エレクトレット）６４が配置されている。
この場合、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（第２バイアス電極：単極エレクトレット）６４は、表側固定枠６５に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠６５および裏側固定枠６６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜６２ａ，６２ｂより延出して形成された配線が接続されていて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。
【００９４】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ６０ａにおいて、例えば、図１７（ａ）に示すように、第１バイアス電極（単極エレクトレット）となる第１固定電極６３の表面および第２バイアス電極（単極エレクトレット）となる第２固定電極６４の表面にそれぞれマイナス（−）の電圧が印加されているものとする。そして、導電性薄膜６２ａ，６２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１７（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜６２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜６２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極：単極エレクトレット）６３と、これに対向する第２導電性薄膜６２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。
【００９５】
一方、第２固定電極（第２バイアス電極：単極エレクトレット）６４と、これに対向する第１導電性薄膜６２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１７（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極６３と第２導電性薄膜６２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極６４と第１導電性薄膜６２ａとの反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例６よりも多くなる。
【００９６】
また、導電性薄膜６２ａ，６２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１７（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜６２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜６２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極（第１バイアス電極：単極エレクトレット）６３と、これに対向する第２導電性薄膜６２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極（第２バイアス電極：単極エレクトレット）６４と、これに対向する第１導電性薄膜６２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
【００９７】
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１７（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極６３と第２導電性薄膜６２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極６４と第１導電性薄膜６２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例６よりも多くなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜６２ａ，６２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
なお、上述した実施例６のフィルムスピーカ６０およびその変形例のフィルムスピーカ６０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム６１の表面側に複数の第１導電性薄膜６２ａ形成するとともに裏面側に複数の第２導電性薄膜６２ｂを形成することと、固定電極６３（６４）を単極エレクトレットで形成すること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【００９８】
７．実施例７
実施例７のフィルムスピーカ７０は、図１８に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム７１と、この樹脂フィルム７１の裏面側に形成された複数の第１導電性薄膜７２ａおよび複数の第２導電性薄膜７２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置された双極エレクトレット（エレクトレット）からなる固定電極７３とを備えている。
なお、第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂは固定電極７３と相対向して平行になるように形成されている。この場合、固定電極７３は、高分子フィルムの表裏面に電荷が付与されるようなエレクトレット処理が施された双極エレクトレット（エレクトレット）を用いており、固定電極７３の表面７３ａ（固定電極７３の図示右側）にプラス（＋）の電圧が付与されており、固定電極７３の裏面７３ｂ（固定電極７３の図示左側）にマイナス（−）の電荷が付与されているものとする。
【００９９】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部７１ａを固定する表側固定枠７５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部７１ｂを固定する裏側固定枠７６とを備えている。表側折曲端部７１ａは表側固定枠７５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部７１ｂは裏側固定枠７６に接着剤などにより固定されている。そして、表側固定枠７５および裏側固定枠７６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。また、固定電極７３は裏側固定枠７６に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠７５および裏側固定枠７６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜７２ａ，７２ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜７２ａ同士および複数の第２導電性薄膜７２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１導電性薄膜７２ａ同士および複数の第２導電性薄膜７２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。
【０１００】
なお、固定電極７３がエレクトレットで形成されていること以外は、樹脂フィルム７１の材質、導電性薄膜７２ａ，７２ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質の材質と同様である。また、第１導電性薄膜７２ａ、第２導電性薄膜７２ｂは固定電極７３と相対向して平行になるように形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法と同様である。ここで、固定電極７３を構成するエレクトレットとしては、例えば、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−６フッ化ポリプロピレン（ＦＥＰ）などの高分子フィルムを用いており、例えばコロナ放電処理することにより、当該フィルムの表裏面に互に極性が異なる電荷が形成されるような分極処理が施されている。
【０１０１】
上述のように構成された実施例７のフィルムスピーカ７０において、導電性薄膜７２ａ，７２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１８（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜７２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜７２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極７３と第１導電性薄膜７２ａとの間、および固定電極７３と第２導電性薄膜７２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１８（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【０１０２】
また、導電性薄膜７２ａ，７２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１８（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜７２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜７２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されれたとする。すると、固定電極７３と第１導電性薄膜７２ａとの間、および固定電極（バイアス電極）７３と第２導電性薄膜７２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１８（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が交互に繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【０１０３】
〈変形例〉
上述した実施例７においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図１９（なお、図１９において、図１８と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ６０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（第１バイアス電極：エレクトレット）７３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（第２バイアス電極：エレクトレット）７４が配置されている。
【０１０４】
そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（第２バイアス電極：エレクトレット）７４は、表側固定枠７５に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠７５および裏側固定枠７６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜７２ａ，７２ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜７２ａ同士および複数の第２導電性薄膜７２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１導電性薄膜７２ａ同士および複数の第２導電性薄膜７２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。
【０１０５】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ７０ａにおいて、例えば、図１９（ａ）に示すように、第１バイアス電極（エレクトレット）となる第１固定電極７３の表面７３ａ（図示右側）にプラス（＋）の電圧が付与され、第１固定電極７３の裏面７３ｂ（図示左側）にマイナス（−）の電荷が付与されているものとする。また、第２バイアス電極（エレクトレット）となる第２固定電極７４の表面７４ａ（図示右側）にプラス（＋）の電圧が付与され、第２固定電極７４の裏面７４ｂ（図示左側）にマイナス（−）の電荷が付与されているものとする。
【０１０６】
そして、導電性薄膜７２ａ，７２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１７（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜７２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜７２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。
すると、第１固定電極（第１バイアス電極：エレクトレット）７３と、これに対向する第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極（バイアス電極）７４と、これに対向する第２導電性薄膜７２ｂおよび第１導電性薄膜７２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。
【０１０７】
これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図１９（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極７３と第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極７４と第２導電性薄膜７２ｂおよび第１導電性薄膜７２ａとの間の反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例７よりも多くなる。
【０１０８】
また、導電性薄膜７２ａ，７２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図１９（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜７２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜７２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。
すると、第１固定電極７３と第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。また、第２固定電極７４と第２導電性薄膜７２ｂおよび第１導電性薄膜７２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
【０１０９】
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図１９（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極７３と第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極（バイアス電極）７４と第２導電性薄膜７２ｂおよび第１導電性薄膜７２ａとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例７よりも多くなる。
【０１１０】
そして、移動電極となる第１導電性薄膜７２ａおよび第２導電性薄膜７２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
なお、上述した実施例７のフィルムスピーカ７０およびその変形例のフィルムスピーカ７０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム７１がつづら折りされたされた際に、固定電極７３と相対向して平行になるように樹脂フィルム７１の裏面に第１導電性薄膜７２ａと第２導電性薄膜７２ｂとを形成することと、固定電極７３（７４）をエレクトレットで形成すること以外は、上述した実施例１およびその変形例の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【０１１１】
８．実施例８
実施例８のフィルムスピーカ８０は、図２０に示すように、つづら折りされて表側に向けて突出する山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・と裏側に向けて凹む谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・とが形成された樹脂フィルム８１と、この樹脂フィルム８１の表側面と裏側面に交互に形成された第１導電性薄膜８２ａと、同様に樹脂フィルム８１の裏側面と表面側に交互に形成された第２導電性薄膜８２ｂと、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・（あるいは谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・）内の中央部（この場合は、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部）に配置され、かつこれらの導電性薄膜８２ａ，８２ｂに相対向して平行になるように配置されたエレクトレットよりなる固定電極８３とを備えている。
【０１１２】
また、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・の先端部となる表側折曲端部８１ａを固定する表側固定枠８５と、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・の先端部となる裏側折曲端部８１ｂを固定する裏側固定枠８６とを備えている。ここで、第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂは、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた電圧が印加されて折り畳み方向に移動可能な移動電極８２となり、固定電極８３はバイアス電極となる。表側折曲端部８１ａは表側固定枠８５に接着剤などにより固定されているとともに、裏側折曲端部８１ｂは裏側固定枠８６に接着剤などにより固定されている。なお、表側固定枠８５および裏側固定枠８６にはこれらの内外で空気が流通できるような空気開口部（図示せず）が設けられている。
【０１１３】
そして、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内の中央部に配置された固定電極８３は裏側固定枠８６に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠８５および裏側固定枠８６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜８２ａ同士および複数の第２導電性薄膜８２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１導電性薄膜８２ａ同士および複数の第２導電性薄膜８２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。
なお、固定電極８３がエレクトレットで形成されていること以外は、樹脂フィルム８１の材質、導電性薄膜８２ａ，８２ｂの材質は上述した実施例１の樹脂フィルム１１の材質、導電性薄膜１２の材質の材質と同様である。ここで、エレクトレットとしては、上述した実施例７と同様の高分子フィルムからなり、例えばコロナ放電処理することにより、当該フィルムの表裏面に互に極性が異なる電荷が形成されるような分極処理が施されている。
【０１１４】
上述のように構成された実施例８のフィルムスピーカ８０において、例えば、図２０（ａ）に示すように、エレクトレットからなる固定電極８３の表面の図示右側にプラス（＋）の電圧が付与され、図示左側にマイナス（−）の電圧が付与されているものとする。そして、導電性薄膜８２ａ，８２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２０（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜８２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜８２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極８３の表面の図示右側と、これに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間、および固定電極８３の表面の図示左側と、これに対向する第２導電性薄膜８２ｂとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２０（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。
【０１１５】
また、導電性薄膜８２ａ，８２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２０（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜８２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜８２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、固定電極８３の表面の図示右側と、これに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間、および固定電極８３の表面の図示左側と、これに対向する第２導電性薄膜８２ｂとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ２が作用する。これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図２０（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜８２ａ，８２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【０１１６】
〈変形例〉
上述した実施例８においても、固定電極（バイアス電極）を山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内のみに限らず谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内にも配置することが可能であり、その変形例を図２１（なお、図２１において、図２０と同一符号は同一名称を表している）に基づいて以下に説明する。本変形例のフィルムスピーカ８０ａにおいては、山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内に第１固定電極（第１バイアス電極：エレクトレット）８３が配置されているとともに、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に第２固定電極（第２バイアス電極：エレクトレット）８４が配置されている。
【０１１７】
そして、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に配置された第２固定電極（第２バイアス電極：エレクトレット）８４は、表側固定枠８５に接着剤などにより固定されているとともに、表側固定枠８５および裏側固定枠８６にはパッド（図示せず）が形成されていて、これらのパッドに導電性薄膜８２ａ，８２ｂより延出して形成された配線が接続されている。この場合、複数の第１導電性薄膜８２ａ同士および複数の第２導電性薄膜８２ｂ同士はそれぞれ直列接続されていて、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。なお、複数の第１導電性薄膜８２ａ同士および複数の第２導電性薄膜８２ｂ同士を並列接続して、これらにオーディオ信号（Ｖｉｎ）を印加するようにしてもよい。て、オーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されるようになされている。
【０１１８】
上述のように構成された本変形例のフィルムスピーカ８０ａにおいて、例えば、図２１（ａ）に示すように、エレクトレットからなる第１固定電極８３の表面の図示右側にプラス（＋）の電圧が付与され、図示左側にマイナス（−）の電圧が付与されているものとする。また、エレクトレットからなる第２固定電極８４の表面の図示右側にマイナス（−）の電圧が付与され、図示左側にプラス（＋）の電圧が付与されているものとする。そして、導電性薄膜８２ａ，８２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２１（ｂ）に示すように、第１導電性薄膜８２ａにプラス（＋）の電圧が印加され、第２導電性薄膜８２ｂにマイナス（−）の電圧が印加されたとする。
【０１１９】
すると、第１固定電極８３の表面の図示右側とこれに対向する第２導電性薄膜８２ｂとの間、および第１固定電極８３の表面の図示左側とこれに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力ｆ１が作用することとなる。一方、第２固定電極８４の表面の図示右側とこれに対向する第２導電性薄膜８２ａとの間、および第２固定電極８４の表面の図示左側とこれに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ３が作用する。これにより、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（図２１（ｂ）の白抜き矢印Ｘ１方向）に空気が吸引される（引き戻される）こととなる。この場合、第１固定電極８３と第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂとの間の吸引力ｆ１に、第２固定電極８４と第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂとの反撥力ｆ３が付加されるので、外部から谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に吸引される空気量は実施例８よりも多くなる。
【０１２０】
また、導電性薄膜８２ａ，８２ｂにオーディオ信号（Ｖｉｎ）が印加されて、例えば、図２１（ｃ）に示すように、第１導電性薄膜８２ａにマイナス（−）の電圧が印加され、第２導電性薄膜８２ｂにプラス（＋）の電圧が印加されたとする。すると、第１固定電極８３の表面の図示右側とこれに対向する第２導電性薄膜８２ｂとの間、および第１固定電極８３の表面の図示左側とこれに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間で互に反撥するようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（反撥力）ｆ２が作用する。一方、第２固定電極８４の表面の図示右側とこれに対向する第２導電性薄膜８２ｂとの間、および第２固定電極８４の表面の図示左側とこれに対向する第１導電性薄膜８２ａとの間で互に引き寄せられるようなオーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じたクーロン力（吸引力）ｆ４が作用する。
【０１２１】
これにより、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内に存在する空気が外部（図２１（ｃ）の白抜き矢印Ｘ２方向）に押し出されることとなる。この場合、第１固定電極８３と第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂとの間の反撥力ｆ２に、第２固定電極８４と第１導電性薄膜８２ａおよび第２導電性薄膜８２ｂとの間の吸引力ｆ４が付加されるので、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内から外部に押し出される空気量は実施例８よりも多くなる。
そして、移動電極となる導電性薄膜８２ａ，８２ｂに交流電圧からなるオーディオ信号（Ｖｉｎ）が繰り返して印加されると、谷部Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３・・・内（あるいは山部Ａ１，Ａ２，Ａ３・・・内）に存在する空気の押し出しと引き戻しが繰り返されて、オーディオ信号（Ｖｉｎ）に応じた音波の波面が形成されることとなる。
【０１２２】
なお、上述した実施例８のフィルムスピーカ８０およびその変形例のフィルムスピーカ８０ａを製造するに際しては、樹脂フィルム８１がつづら折りされたされた際に、固定電極８３（８４）と相対向して平行になるように樹脂フィルム８１の表側面と裏側面に交互に第１導電性薄膜８２ａを形成するとともに、樹脂フィルム８１の裏側面と表面側に交互に第２導電性薄膜８２ｂを形成すること、および固定電極８３（８４）をエレクトレットで形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【０１２３】
９．スピーカアレイ
（１）１ユニットによるスピーカアレイ
上述した各実施例のフィルムスピーカにおいては、各移動電極を直列接続して構成される１ユニットのフィルムスピーカとする例について説明したが、本発明のフィルムスピーカにおいては、各移動電極の個々に同一位相あるいは異なる位相のオーディオ信号（Ｖｉｎ）を入力させるようにして１ユニットによるスピーカアレイを形成することが可能である。そこで、上述した実施例１のフィルムスピーカ１０の各移動電極の個々に同一位相あるいは異なる位相のオーディオ信号（Ｖｉｎ）を入力させるようにして１ユニットによるスピーカアレイを形成する例について、以下に説明する。
【０１２４】
（第１例）
図２２（ａ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−１を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに同位相の信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−１の各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに平行なビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２２（ａ）の点線で示すような音波の波面が形成され、リスナー（Ｌ）は、リスナー（Ｌ）の真正面に音源があるかのように聞こえる。
【０１２５】
（第２例）
図２２（ｂ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−２を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに移動電極Ａから移動電極Ｅに向かうほど位相が進んだ信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−２の移動電極Ａから移動電極Ｅに向かうほど位相が進んだビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２２（ｂ）の点線で示すように傾斜した音波の波面が形成され、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−２の移動電極Ｅ側に音源があるように聞こえる。
【０１２６】
（第３例）
図２３（ａ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−３を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに移動電極Ｃから移動電極Ａおよび移動電極Ｃから移動電極Ｅに向かうほど位相が遅れた信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−３の移動電極Ｃから移動電極Ａおよび移動電極Ｃから移動電極Ｅに向かうほど位相が遅れたビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２３（ａ）の点線で示すようにＰ点を中心とした球状の波面が形成され、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−３の後ろのＰ点に音源があるかのような奥行きのある音に聞こえる。
【０１２７】
（第４例）
図２３（ｂ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−４を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに移動電極Ｃから移動電極Ａおよび移動電極Ｃから移動電極Ｅに向かうほど位相が進んだ信号を付与すると、スピーカアレイ１０Ａ−４の移動電極Ｃから移動電極Ａおよび移動電極Ｃから移動電極Ｅに向かうほど位相が進んだビーム状の音波が放音されることとなる。これにより、図２３（ｂ）の点線で示すような球状の音波の波面が形成され、特定のリスナー（Ｌ）のみに音をフォーカスして聞かせ、他のリスナーには聞かせないという使い方ができるようになる。
【０１２８】
（第５例）
図２４（ａ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに個々にオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−５を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに位相が異なるオーディオ信号（Ｖｉｎ）を付与して、図２４（ｂ）の点線で示すような球状の波面が形成されるようにすると、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０Ａ−５の後ろのＰ点に音源があるかのような奥行きのある音に聞こえる。
【０１２９】
（第６例）
図２４（ｂ）に示すように、各移動電極Ａ，Ｃ，Ｅに個々にＰ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｐ）を付与するように接続するとともに、各移動電極Ｂ，Ｄに個々にＱ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｑ）を付与するように接続して１ユニットによるスピーカアレイ１０Ａ−６を形成する。そして、これらの各移動電極Ａ，Ｃ，Ｅに位相が異なるＰ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｐ）を付与して、図２４（ｂ）の点線で示すような球状の波面が形成されるようにし、これらの各移動電極Ｂ，Ｄに位相が異なるＱ群のオーディオ信号（Ｖｉｎ−ｑ）を付与して、図２４（ｂ）の一点鎖線で示すような球状の波面が形成されるようにすると、リスナー（Ｌ）はスピーカアレイ１０ｆの後ろのＰ点およびＱ点の異なった位置に音源があるかのような立体的な音場が形成されて聞こえる。
【０１３０】
なお、上述のように位相をずらしたオーディオ信号を各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに付与するようにするには、例えば、特開２００５−１９７８９６号公報に開示されているような手段を用いればよい。具体的には、図２５に示すように、指向性制御装置１０２から与えられる遅延制御情報に従い、各スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに供給するオーディオ信号の各々に遅延処理を施す遅延回路９１を備えるようにする。この場合、指向性制御装置９２は、所望する位置に焦点が形成されるように、上記各オーディオ信号に与えるべき遅延量を求め、求めた各遅延量をあらわす遅延制御情報を生成して遅延回路９１に供給する。
【０１３１】
具体的には、焦点からスピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）までの距離差を補償するように、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の空間座標と焦点の空間座標とに基づき上記各遅延量を算出する。そして、重み付け手段９３を、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅと同数の乗算器９３−ａ，９３−ｂ・・・９３−ｅによって構成し、遅延回路９１から供給される遅延処理後のオーディオ信号の各々に窓関数係数やゲイン係数等の重み係数による重みを付加する。
【０１３２】
増幅手段９４は、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅと同数のアンプ９４−ａ，９４−ｂ・・・９４−ｅによって構成し、重み付け手段９３によって所定の重みが付加された各オーディオ信号を増幅する。これにより、増幅手段９４によって増幅されたオーディオ信号は、スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）の各移動電極Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅに入力され、音波として出力される。各スピーカユニット１０Ａ−１（１０Ａ−２，１０Ａ−３，１０Ａ−４，１０Ａ−５，１０Ａ−６）から出力された音波は、空間上の任意の点（焦点）において同位相となり、該焦点方向の音圧が局所的に高くなる効率の良い指向性（以下、狭指向性）が実現される。このように、遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステム９０によれば、狭指向性を実現することができるとともに、遅延量の変更のみで指向方向を任意に変更等することができる。
【０１３３】
（２）１ユニットの複数個を１列になるように接続したスピーカアレイ
上述した各実施例においては、１枚の樹脂フィルムからなる振動板を用いて１ユニットのフィルムスピーカを作製する例について説明した。ところが、１枚の樹脂フィルムからなる振動板を用いて複数ユニットのスピーカ（マルチスピーカ）を作製することが可能である。ついで、マルチスピーカの構成の一例を図２６に基づいて説明する。図２６に示すマルチスピーカ１００においては、１枚の樹脂フィルム１０１に多数の固定電極（バイアス電極）１０２と移動電極（駆動電極）１０３とが形成されている。また、所定の個数（この場合は８個）の固定電極（バイアス電極）１０２がタ−ミナルｘに接続されるように結線され、所定の個数（この場合は８個）の移動電極（駆動電極）１０３がタ−ミナルｙに接続されるように結線されて、ユニットＶ１〜Ｖ７が形成されている。そして、これらの固定電極（バイアス電極）１０２と移動電極（駆動電極）１０３とが互に平行に相対向するように折目線（図２６に示す点線）で交互に折り曲げられている。
【０１３４】
この場合、１枚の樹脂フィルム１０１に多数の固定電極（バイアス電極）１０２と移動電極（駆動電極）１０３とを形成するに際しては、エッチング法、パタ−ニング法、印刷法などを適用して作製するようにすればよい。また、固定電極（バイアス電極）１０２を結線するに際しては、ユニットＶ１〜Ｖ７毎に結線するようにしてもよいし、あるいは樹脂フィルム１０１上の１箇所で全部結線して、ひとつの端子にまとめるようにしてもよい。さらに、まとまってひとつの動きをするユニットに対しては、ユニットごとに異なった信号で制御できるようにするのが望ましい。
なお、このようなマルチスピーカの製造方法においては、１枚の樹脂フィルムに多数の固定電極（バイアス電極）１０２と移動電極（駆動電極）１０３とからなるユニットＶ１〜Ｖ７を形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【０１３５】
（３）１ユニットの複数個を複数列になるように接続したスピーカアレイ
また、図２７に示すマルチスピーカ２００においては、１枚の樹脂フィルム２０１に多数の固定電極（バイアス電極）２０２と移動電極（駆動電極）２０３とが形成されている。この場合、所定の個数（この場合は８個）の固定電極（バイアス電極）２０２がタ−ミナルｘに接続されるように結線され、所定の個数（この場合は８個）の移動電極（駆動電極）２０３がタ−ミナルｙに接続されるように結線されて、ユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６が形成されている。そして、これらの固定電極（バイアス電極）２０２と移動電極（駆動電極）２０３とが互に平行に相対向するように折目線（図２７に示す点線）で交互に折り曲げられている。
【０１３６】
ここで、１枚の樹脂フィルム２０１に多数の固定電極（バイアス電極）２０２と移動電極（駆動電極）２０３とを形成するに際しては、エッチング法、パタ−ニング法、印刷法などを適用して作製するようにすればよい。また、固定電極（バイアス電極）２０２を結線するに際しては、ユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６毎に結線するようにしてもよいし、あるいは樹脂フィルム２０１上の１箇所で全部結線して、ひとつの端子にまとめるようにしてもよい。さらに、まとまってひとつの動きをするユニットに対しては、ユニットごとに異なった信号で制御できるようにするのが望ましい。
なお、このようなマルチスピーカの製造方法においては、１枚の樹脂フィルムに多数の固定電極（バイアス電極）２０２と移動電極（駆動電極）２０３とからなるユニットＸ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６を形成すること以外は、上述した実施例１の製造方法とほぼ同様であるので、その製造方法についての説明は省略する。
【産業上の利用可能性】
【０１３７】
上述した実施の形態においては、つづら折り状に折り畳まれた薄膜フィルムの山部内および谷部内に板状の固定電極（バイアス電極）を配置して平面状のフィルムスピーカを形成する例について説明した。ところが、本発明のフィルムスピーカは平面状のみに限ることなく種々の形状に形成することが可能である。例えば、円筒状、凹面状、球面状などの種々の曲面を有するフィルムスピーカを形成することが可能である。この場合、薄膜フィルムがつづら折り状に折り畳み、つづら折り状に折り畳まれた薄膜フィルムの山部および谷部を、円筒状、凹面状、球面状などの自由な曲面を有する板、枠、梁などで固定するようにすればよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３８】
【図１】本発明の実施例１のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図２】実施例１の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図２（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図３】図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図３（ａ）は上面図であり、図３（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図４】図１および図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図４（ａ）は上面図であり、図４（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図であり、図４（ｃ）はその矢印Ｂから見た側面図である。
【図５】図１のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図５（ａ）は上面図であり、図５（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図６】図２のフィルムスピーカの製造工程の一部を模式的に示す図であり、図６（ａ）は上面図であり、図６（ｂ）はそのＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図７】他の製造法を模式的に示す図であり、図７（ａ）は上面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ−Ａ断面を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例２のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図８（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図８（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図８（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図９】実施例２の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図９（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図９（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図９（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１０】実施例３のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１０（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１０（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１０（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１１】実施例３の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１２】実施例４のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１２（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１２（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１２（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１３】実施例４の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１３（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１３（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１３（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１４】実施例５のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１４（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１４（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１４（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１５】実施例５の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１５（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１５（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１５（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１６】実施例６のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１６（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１６（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１６（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１７】実施例６の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１７（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１７（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１７（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１８】実施例７のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図１８（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１８（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１８（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図１９】実施例７の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図１９（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図１９（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図１９（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図２０】実施例８のフィルムスピーカを模式的に示す断面図であり、図２０（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２０（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２０（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図２１】実施例８の変形例のフィルムスピーカを模式的に示す図であり、図２１（ａ）は非駆動状態を模式的に示す断面図であり、図２１（ｂ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に空気が引き戻された状態を模式的に示す断面図であり、図２１（ｃ）は駆動状態で表面側の樹脂フィルム間に存在する空気が押し出された状態を模式的に示す断面図である。
【図２２】１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２２（ａ）は第１例を示し、図２２（ｂ）は第２例を示す。
【図２３】１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２３（ａ）は第３例を示し、図２３（ｂ）は第４例を示す。
【図２４】１ユニットによるスピーカアレイを形成して放音させる例を模式的に示す図であり、図２４（ａ）は第５例を示し、図２４（ｂ）は第６例を示す。
【図２５】遅延アレイ方式を用いたスピーカアレイシステムを説明するブロック図である。
【図２６】１枚にフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を１列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。
【図２７】１枚にフィルムに１ユニットのフィルムスピーカの複数個を複数列形成して構成されたマルチスピーカおよびその放音例を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【０１３９】
１０，１０ａ…フィルムスピーカ、１１…樹脂フィルム、１１ａ…先端部（表側折曲端部）、１１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、１２…導電性薄膜（移動電極）、１３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、１４…第２固定電極（バイアス電極）、１５…表側固定枠、１６…裏側固定枠、１７，１８…曲げ治具、１９ａ，１９ｂ…曲げ治具、２０…フィルムスピーカ、２１…樹脂フィルム、２１ａ…先端部（表側折曲端部）、２１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、２２…導電性薄膜（移動電極）、２３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、２４…第２固定電極（バイアス電極）、２５…表側固定枠、２６…裏側固定枠、３０，３０ａ…フィルムスピーカ、３１…樹脂フィルム、３１ａ…先端部（表側折曲端部）、３１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、３２ａ，３２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、３３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、３４…第２固定電極（バイアス電極）、３５…表側固定枠、３６…裏側固定枠、４０，４０ａ…フィルムスピーカ、４１…樹脂フィルム、４１ａ…先端部（表側折曲端部）、４１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、４２ａ，４２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、４３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、４４…第２固定電極（バイアス電極）、４５…表側固定枠、４６…裏側固定枠、５０，５０ａ…フィルムスピーカ、５１…樹脂フィルム、５１ａ…先端部（表側折曲端部）、５１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、５２ａ，５２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、５３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、５４…第２固定電極（バイアス電極）、５５…表側固定枠、５６…裏側固定枠、６０，６０ａ…フィルムスピーカ、６１…樹脂フィルム、６１ａ…先端部（表側折曲端部）、６１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、６２ａ，６２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、６３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、６４…第２固定電極（バイアス電極）、６５…表側固定枠、６６…裏側固定枠、７０，７０ａ…フィルムスピーカ、７１…樹脂フィルム、７１ａ…先端部（表側折曲端部）、７１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、７２ａ，７２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、７３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、７４…第２固定電極（バイアス電極）、７５…表側固定枠、７６…裏側固定枠、８０，８０ａ…フィルムスピーカ、８１…樹脂フィルム、８１ａ…先端部（表側折曲端部）、８１ｂ…先端部（裏側折曲端部）、８２ａ，８２ｂ…導電性薄膜（移動電極）、８３…固定電極（バイアス電極、第１固定電極）、８４…第２固定電極（バイアス電極）、８５…表側固定枠、８６…裏側固定枠、１００…マルチスピーカ、１０１…樹脂フィルム、１０２…固定電極（バイアス電極）、１０３…移動電極（駆動電極）、２００…マルチスピーカ、２０１…樹脂フィルム、２０２…固定電極（バイアス電極）、２０３…移動電極（駆動電極）、Ａ１，Ａ２，Ａ３…山部、Ｂ１，Ｂ２，Ｂ３，Ｂ４…谷部、Ｖ１〜Ｖ７…ユニット、Ｘ１〜Ｘ６，Ｙ１〜Ｙ６，Ｚ１〜Ｚ６…ユニット
【図１】
2007274395.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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