(57)【要約】【課題】  軸受部品の加工費用が高額にならず、目詰まりによる調整が不要である静圧軸受を提供する。【解決手段】  静圧軸受１は、ラジアル軸受部３とスラスト軸受部４とを軸線方向に連結させた構成を有し、各軸受部３，４には、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂを２つ近接させたオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂが形成されている。１つのオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ内でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの配置間隔は、隣り合う他のオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂ同士の間でのオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂ間の距離よりも小さく設定されている。【選択図】    図１
2007002862.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被支持体に対向する軸受面を備える軸受部材を有し、前記被支持体に向けて設けられた開口部から圧縮空気を噴出し、前記軸受部材と前記被支持体との間で静圧を発生させることで前記被支持体を軸支する静圧軸受において、
前記開口部と、前記開口部よりも小径の絞り部とからなるオリフィス絞りを有し、複数の前記オリフィス絞りを近接配置してオリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする静圧軸受。
【請求項２】
隣り合う２つの前記オリフィス絞り群の間の距離は、１つの前記オリフィス絞り群に含まれる複数の前記オリフィス絞りの中で最も離れて配置された２つの前記オリフィス絞りの間の距離よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の静圧軸受。
【請求項３】
前記オリフィス絞り群は、前記軸受部材に着脱自在に構成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受。
【請求項４】
前記軸受部材に前記絞り部が形成され、前記軸受部材の前記軸受面側に装着される環状部材に前記開口部が形成されており、前記環状部材を前記軸受部材に装着することで前記オリフィス絞りが形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受。
【請求項５】
前記被支持体は、フランジが突設された回転軸であって、前記回転軸のラジアル方向を軸支するラジアル軸受部と、前記回転軸のスラスト方向を軸支するスラスト軸受部とを別体で構成し、ラジアル軸受部および前記スラスト軸受部のそれぞれの軸受面側に、前記オリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の静圧軸受。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置、半導体検査装置、機械要素等に使用され、軸と軸受の隙間に圧縮空気を噴射して軸を非接触支持する静圧軸受に関する。
【背景技術】
【０００２】
静圧軸受は、例えば回転軸のような被支持体（以下、回転軸とする）を支持する軸受部材を有し、軸受部材と回転軸との間に形成される軸受隙間に圧縮空気を供給し、気体膜によって回転軸を非接触で保持するように構成されている。このような静圧軸受は、高精度、低摩擦、長寿命、クリーンなど多くの特徴を有し、精密加工機、精密測定機、半導体製造装置、半導体検査装置、機械要素等に多く使用されてきている。
【０００３】
このような静圧軸受の一例として、特許文献１に開示されているような多孔質静圧軸受について図６を参照して説明する。ハウジング１００は、ハウジング部材１００Ａと、ハウジング部材１００Ｂと、ハウジング部材１００Ｃとから構成され、ハウジング１００の内径面には、多孔質材料からなる一対の軸受部材１０５、１０６が取り付けられており、これら軸受部材１０５、１０６でフランジ部１０１を有する回転軸１０２を回転自在に支持している。軸受部材１０５、１０６は、ラジアル方向の軸受面１０３とスラスト方向の軸受面１０４とが一体成形された一対のフランジ付きスリーブ形状に成形されている。また、軸受部材１０５の右隣りには、ラジアル方向軸受面１０７を有するラジアル軸受部材１０８が取り付けられている。さらに、ハウジング１００の外側面には、給気孔１０９が設けられており、給気孔１０９は給気経路１１０、１１１を経て、環状室１１２，１１３に連通している。環状室１１２，１１３は、軸受部材１０５、１０６、ラジアル軸受部材１０８のそれぞれの外径面と、スラスト方向の軸受面１０４の裏側になる外側面とに連通している。したがって、給気孔１０９から圧縮空気を供給すると、多孔質の各軸受部材１０５，１０６，１０８を通ってそれぞれの軸受面１０３，１０４，１０７から圧縮空気が噴出し、回転軸１０２を軸支する。なお、圧縮空気は、回転軸１０２の外側面の間や、フランジ部１０１のスラスト面の間と、軸受面１０３，１０４，１０７との間からそれぞれ気体貯め１１４、１１５に導かれ、排気経路１１６、１１７を経て、ハウジング１００の外側面にある排気孔１１８から排出される。
【特許文献１】特開２００１−２０８０６１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来例の静圧軸受には以下の課題があった。
軸受部材１０５、１０６をフランジ付きスリーブ形状に一体成形するには、別途型を製作して成形加工してから更に機械加工する方法と、ブランク材から切削等の機械加工を行う方法とのいずれかが用いられるが、成形加工では別途の型費が必要になり、切削加工等を行う場合には、加工量が多く、加工時間が多くなると共に、材料費が高くなる。このように、成形、切削のどちらの加工方法を選択したとしても加工費用や、材料費用が高くなるという問題があった。
また、多孔質材料を用いた静圧軸受では、一般的に給気流量を調整するために多孔質材料の一部の孔を目詰まりさせる工程が必要であるが、所定の給気流量になるよう目詰まりをさせるには、試行錯誤を繰り返す必要があり、加工時間を増大させる原因となっていた。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたもので、軸受部品の加工費用が高額にならず、目詰まりによる吸気流量の調整が不要になるような静圧軸受を提供することを主な目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決する本発明の請求項１に係る発明は、被支持体に対向する軸受面を備える軸受部材を有し、前記被支持体に向けて設けられた開口部から圧縮空気を噴出し、前記軸受部材と前記被支持体との間で静圧を発生させることで前記被支持体を軸支する静圧軸受において、前記開口部と、前記開口部よりも小径の絞り部とからなるオリフィス絞りを有し、複数の前記オリフィス絞りを近接配置してオリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする静圧軸受とした。
この静圧軸受では、多孔質材料を用いる代わりに、絞り部を有するオリフィス絞りを用いて被支持体を軸支する構成を有し、さらに複数のオリフィス絞りが集中的に配置されたオリフィス絞り群を複数形成してある。オリフィス絞りから噴出する圧縮空気は、同じオリフィス絞り群内の他のオリフィス絞りから噴出する圧縮空気と干渉して気体膜を形成し、この気体膜で被支持体を軸支する。
【０００６】
請求項２に係る発明は、請求項１に記載の静圧軸受において、隣り合う２つの前記オリフィス絞り群の間の距離は、１つの前記オリフィス絞り群に含まれる複数の前記オリフィス絞りの中で最も離れて配置された２つの前記オリフィス絞りの間の距離よりも大きいことを特徴とする。
この静圧軸受では、１つのオリフィス絞り群を形成する複数のオリフィス絞り同士の距離が、各オリフィス絞りから噴出する圧縮空気が干渉するように設定されている。これに対して、隣り合う２つのオリフィス絞り群の間の距離は、圧縮空気が干渉しないように設定されている。
【０００７】
請求項３に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受において、前記オリフィス絞り群は、前記軸受部材に着脱自在に構成されていることを特徴とする。
この静圧軸受では、オリフィス絞り群は軸受部材と別に加工成形されたものが用いられる。これによって、製造が容易になる。また、例えば、オリフィス絞り群を構成するオリフィス絞りの数や、オリフィス絞りの大きさを容易に変化させることができる。
【０００８】
請求項４に係る発明は、請求項１又は請求項２に記載の静圧軸受において、前記軸受部材に前記絞り部が形成され、前記軸受部材の前記軸受面側に装着される環状部材に前記開口部が形成されており、前記環状部材を前記軸受部材に装着することで前記オリフィス絞りが形成されていることを特徴とする。
この静圧軸受では、開口径の異なる絞り部と開口部とを別々の部材から製造し、絞り部と開口部とが一致するように環状部材を装着することでオリフィス絞りおよびオリフィス絞り群を形成する。
【０００９】
請求項５に係る発明は、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の静圧軸受において、前記被支持体は、フランジが突設された回転軸であって、前記回転軸のラジアル方向を軸支するラジアル軸受部と、前記回転軸のスラスト方向を軸支するスラスト軸受部とを別体で構成し、ラジアル軸受部および前記スラスト軸受部のそれぞれの軸受面側に、前記オリフィス絞り群を複数形成したことを特徴とする。
この静圧軸受は、ラジアル軸受部とスラスト軸受部とを別体で構成したので、複雑な金型などを用いる必要がなくなる。また、加工量が増大することがなくなり、製作費用が安価になる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、多孔質材料を使用しないので、目詰まり調整等が不要であり、製造が容易である。また、オリフィス絞りの配置が粗な部分と密な部分とを形成し、オリフィス絞りが密に配置された部分で開口部から噴出する圧縮空気を干渉させるようにしたので、軸受部分の剛性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
〔第１の実施の形態〕
本発明の第１の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
最初に、被支持体について説明する。図１に示すように、被支持体は、静圧軸受１に軸支される回転軸２であり、回転軸２は、中実の円柱部２Ａの一部にフランジ２Ｂが径方向外側に環状に突設されている。
【００１２】
静圧軸受１は、回転軸２の円柱部２Ａをラジアル方向で軸支するラジアル軸受部３と、フランジ２Ｂをスラスト方向で軸支するスラスト軸受部４とを有している。
ラジアル軸受部３は、回転軸２の円柱部２Ａを隙間５をもって覆う環状のラジアル軸受部材１０と、ラジアル軸受部材１０の外周を覆う環状のハウジング１１とを有している。ラジアル軸受部材１０は、その内周面が回転軸２に臨むラジアル軸受面１２になっている。さらに、ラジアル軸受部材１０の外周面側には、給気溜まり１３が外周側の全周に亘って凹設されている。給気溜まり１３の長さは、ラジアル軸受部材１０の軸方向に沿って所定長さになっており、圧縮空気を導入できるようになっている。さらに、この給気溜まり１３の底面（内周側の面）で、かつ軸線方向の両方の端部の近傍のそれぞれには、給気マニホールド１４が全周に亘って環状に凹設されている。この給気マニホールド１４からは、ラジアル軸受部材１０の軸線に向けて、オリフィス絞り群１５が形成されている。オリフィス絞り群１５は、ラジアル軸受部材１０の軸線の方向の複数箇所に形成されており、図２に示すように、軸線に直交する断面視では同一円周上に４箇所形成されている。この実施の形態では、図１に示すように、ラジアル軸受部材１０の軸線方向に２箇所形成されており、図２とは異なる断面上でもオリフィス絞り群１５が同一円周上に４箇所形成されている。したがって、このラジアル軸受部３には、２列で一列あたり４箇所の合計８つのオリフィス絞り群１５が形成されている。
【００１３】
各オリフィス絞り群１５は、２つのオリフィス絞り１６が軸線方向に配列して形成されている。オリフィス絞り１６は、給気溜まり１３に連通する絞り部であるノズル１７と、ノズル１７よりも大径でラジアル軸受面１２に開口する開口部であるポケット１８とからなる。１つのオリフィス絞り群１５を構成する２つのオリフィス絞り１６は、近接して設けられており、この近接する２つのオリフィス絞り１６のそれぞれから噴出される圧縮空気が互いに干渉して乱流状態を形成するようになっている。これに対して、隣り合う２つのオリフィス絞り群１５の間では、それぞれのノズル１７の内で最も近くにあるノズル１７の中心間の距離は、１つのオリフィス絞り群１５の中のノズル１７の中心間の距離よりも十分に大きい。つまり、図２で周方向のノズル１７の中心間の距離Ｌ１よりも図１に示すオリフィス絞り群１５の中の２つのノズル１７の中心間の距離Ｌ２の方が小さい。さらに、図１で軸線方向に離間して配置される２つのオリフィス絞り群１５の間で最も近いノズル１７の中心間の距離Ｌ３は、１つのオリフィス絞り群１５の中の２つのノズル１７の中心間の距離Ｌ２よりも十分に大きい。このように、この静圧軸受１のラジアル軸受部３は、軸線方向および周方向のそれぞれにおいてオリフィス絞り１６が粗な部分と密な部分とが形成されている。
【００１４】
ここで、１つの円周上に形成されるオリフィス絞り群１５の数は、４つに限定されない。また、軸線方向におけるオリフィス絞り群１５の数は、２つに限定されない。さらに、１つのオリフィス絞り群１５を構成するオリフィス絞り１６の数は、３つ以上でも良い。この場合には、１つのオリフィス絞り群１５内の最も離れて配置される２つのノズル１７の中心間の距離よりも、隣り合う２つのオリフィス絞り群１５の間で最も近い２つのノズル１７の中心間の距離の方が、大きく設定される。
【００１５】
ハウジング１１は、給気溜まり１３の外周部分を塞ぐようにラジアル軸受部材１０に取り付けられており、接着剤、または不図示のＯリングによって気密構造を形成するように固定されている。このハウジング１１には、給気孔１９がラジアル軸受部材１０の給気溜まり１３に連通するように穿設されている。さらに、ハウジング１１およびラジアル軸受部材１０を径方向に貫通するように排気孔２０が穿設されている。
【００１６】
また、スラスト軸受部４は、ラジアル軸受部材１０、およびハウジング１１の共通端面に密着する第１スラスト軸受部材２１Ａと、第１スラスト軸受部材２１Ａに環状のスペーサ２２を介して連結される第２スラスト軸受部材２１Ｂとを有している。これらスラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂおよびスペーサ２２には、回転軸２との間で、前記と同様の隙間５が形成されている。
【００１７】
第１スラスト軸受部材２１Ａは、環状の部材からなり、回転軸２のフランジ２Ｂの一方の面に臨むスラスト軸受面２４Ａに開口するオリフィス絞り群２５Ａが形成されている。図３に示すように、オリフィス絞り群２５Ａは、軸線に直交する断面において周方向に等間隔で４つ形成されている。１つのオリフィス絞り群２５Ａには、２つのオリフィス絞り２６Ａが径方向に並んで配設されている。図１に示すように、各オリフィス絞り２６Ａは、環状の給気溜まり２７Ａに連通する絞り部であるノズル２８Ａと、ノズル２８Ａよりも大径で、スラスト軸受面２４Ａに開口する開口部であるポケット２９Ａとからなる。１つのオリフィス絞り群２５Ａにおける２つのオリフィス絞り２６Ａは、近接して設けられており、この近接する互いのオリフィス絞り２６Ａから噴出される圧縮空気が互いに干渉して乱流状態を形成するように配置間隔が設定されている。これに対して周方向でのオリフィス絞り２６Ａの中心間の距離Ｌ４は、１つのオリフィス絞り群２５Ａの中での２つのオリフィス絞り２６Ａの中心間の距離Ｌ５に比べて十分に大きい。このように、この静圧軸受１のスラスト軸受部４は、周方向においてオリフィス絞り２６Ａが粗な部分と密な部分とが形成されている。
【００１８】
ここで、周方向におけるオリフィス絞り群２５Ａの数は、４つに限定されない。また、１つのオリフィス絞り群２５Ａを構成するオリフィス絞り２６Ａの数は、３つ以上でも良い。この場合には、１つのオリフィス絞り群２５Ａ内の最も離れて配置される２つのノズル２８Ａの中心間の距離よりも、近接する２つのオリフィス絞り群２５Ａの間で最も近い２つのノズル２８Ａの中心間の距離の方が大きく設定される。
【００１９】
なお、給気溜まり２７Ａは、給気経路３０に連結しており、この給気経路３０は、スペーサ２２を貫通し、第２スラスト軸受部材２１Ｂの給気孔３１に接続され、給気孔３１を介して外部の圧縮空気の供給源に接続可能になっている。
【００２０】
第２スラスト軸受部材２１Ｂは、環状の部材からなり、回転軸２のフランジ２Ｂの他方の面に臨むスラスト軸受面２４Ｂにオリフィス絞り群２５Ｂが形成されている。オリフィス絞り群２５Ｂは、周方向に複数形成されており、各オリフィス絞り群２５Ｂには、スラスト軸受面２４Ｂに開口する２つのオリフィス絞り２６Ｂが近接配置されている。各オリフィス絞り２６Ｂは、絞り部であるノズル２８Ｂと、ノズル２８Ｂよりも大径な開口部であるポケット２９Ｂとからなる。なお、第２スラスト軸受部材２１Ｂにおいて、１つのオリフィス絞り群２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ｂの配置間隔は、オリフィス絞り２６Ａの配置間隔に等しい。さらに、各オリフィス絞り群２５Ｂと、第１スラスト軸受部材２１Ａの各オリフィス絞り群２５Ａとは、周方向で一致する位置に配設されているが、オリフィス絞り群２５Ｂの形成位置をオリフィス絞り群２５Ａに対して周方向にずらしても良い。
【００２１】
また、第２スラスト軸受部材２１Ｂには、オリフィス絞り群２５Ｂに連通する環状の給気溜まり２７Ｂが形成されており、この給気溜まり２７Ｂは給気孔３１を介して不図示の圧縮空気の供給源に接続可能になっている。さらに、スラスト軸受面２４Ｂとは反対側の面はフタ３２が配置され、不図示のボルト、または接着剤によってスラスト軸受部材２１Ｂと一体的に固定されている。
【００２２】
次に、静圧軸受１の作用について説明する。
不図示の供給源からラジアル軸受部３の給気孔１９に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は給気孔１９、給気溜まり１３を通過して、給気マニホールド１４からオリフィス絞り１６へ到達する。さらに、圧縮空気は、オリフィス絞り１６のポケット１８を通過して回転軸２の円柱部２Ａに噴射される。この際、１つのポケット１８から噴射された圧縮空気は、同じオリフィス絞り群１５の他のポケット１８から噴射された圧縮空気と干渉する。これによって、圧縮空気の乱流状態が局所的に形成され、オリフィス絞り１６を軸受部材に１つだけ配置した時と比較して軸受の剛性が高まる。
【００２３】
また、不図示の供給源からスラスト軸受部４の給気孔３１に圧縮空気が供給されると、圧縮空気は、給気孔３１、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂを通過して、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂへ到達する。さらに、圧縮空気は、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂのポケット２９Ａ，２９Ｂを通過して回転軸２のフランジ２Ｂに噴射される。この際、１つのポケット２９Ａ，２９Ｂから噴射された圧縮空気は、同じオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂの他のポケット２９Ａ，２９Ｂから噴射された圧縮空気と干渉する。これによって、圧縮空気の乱流状態が局所的に形成され、オリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂを軸受部材に１つだけ配置した時と比較して軸受の剛性が高まる。なお、噴射された圧縮空気は、隙間５を通過して排気孔２０、および回転軸２とラジアル軸受部材１０との隙間５を通過してラジアル軸受部材１０の端部やフタ３２の端部から外部へ、およびフランジ部２Ｂとスラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂとの隙間を通過して該スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂにそれぞれ穿設した排気孔３３を介して外部へ排出される。
【００２４】
この実施の形態によれば、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂを近接して配置することでオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを形成したので、従来の多孔質絞りと同様に圧縮空気の乱流を発生させることができ、このとき形成される気体膜によって回転軸２を非接触で軸支することができる。さらに、オリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂが集中して配置されることで、軸受部分の剛性を向上させることができる。ここで、ラジアル軸受部３とスラスト軸受部４とを別体で構成したので、製造が容易になる。また、多孔質材料を使用しないので、目詰まり調整等が不要になる。
【００２５】
なお、同一円周上に複数のオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを配置した例を示したが、これに限らず、オリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを１つの円周を基準にして径方向の内側と外側とにずらして交互に配置したり、他の曲率を有する円周上に一定間隔離して千鳥状に複数配置したりしても同様の効果を有することができる。
【００２６】
［第２の実施の形態］
本発明の第２の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図４に示すように、静圧軸受１Ａは、ラジアル軸受部３のラジアル軸受部材１０に給気溜まり１３とラジアル軸受面１２の内周側とを連通させる挿入孔４０が形成されている。挿入孔４０は、第１の実施の形態におけるオリフィス絞り群１５と同じ配置で形成されている。すなわち、軸線方向に２列、かつ同一円周上に等間隔に４つで合計８つ形成されている。この挿入孔４０には、絞りピン４１が装着されており、絞りピン４１にオリフィス絞り群１５および給気マニホールド１４が形成されている。絞りピン４１は、接着等によってラジアル軸受部材１０に固定されている。
【００２７】
同様に、スラスト軸受部４の第１、第２スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂには、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂとスラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂの内周側とを連通させる挿入孔４２Ａ，４２Ｂがそれぞれ形成されている。挿入孔４２Ａ，４２Ｂは、第１の実施の形態におけるオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂと同じ配置で形成されている。すなわち、同一円周上に４つ等間隔で形成されている。この挿入孔４２Ａ、４２Ｂには、絞りピン４３Ａ，４３Ｂが装着されており、絞りピン４３Ａ，４３Ｂには、給気溜まり２７Ａ，２７Ｂに連通する環状の給気マニホールド４４Ａ，４４Ｂと、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂとが形成されている。絞りピン４３Ａ，４３Ｂは、接着等によって各スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂに固定されている。
【００２８】
ここで、この静圧軸受１Ａにおけるオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの配置、及びオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂの配置及び数は、第一の実施の形態と同じになっている。しかしながら、これらの配置や数、挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂの配置や数は、第１の実施の形態と同様に種々の配置にすることができる。また、１つの絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂに形成されるオリフィス絞り１６，２６Ａ，２６Ｂの数は、３つ以上でも良い。
【００２９】
この実施の形態では、オリフィス絞り群１５、２５Ａ，２５Ｂを絞りピン４１、４３Ａ、４３Ｂに形成することによって、各軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂに直接にオリフィス絞り群１５、２５Ａ，２５Ｂを形成するよりも、加工が容易になる。さらに、給気量を微調整したい場合には、ノズル１７，２８Ａ，２８Ｂの直径やポケット１８，２９Ａ，２９Ｂの直径、深さなどを変更した絞りピン４１，４３Ａ、４３Ｂに交換することで容易に対応することができる。その他の効果は、第１の実施の形態と同じである。
【００３０】
なお、ラジアル軸受部３、スラスト軸受部４共に絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂを使用する例を示したが、ラジアル軸受部３、またはスラスト軸受部４のどちらか一方のみに絞りピン４１，４３Ａ，４３Ｂを使用しても同様の効果が得られる。
また、円筒形状のピン４１，４３Ａ，４３Ｂの外周部に雄ネジを形成し、軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂの挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂの内周部に雌ネジを形成し、ピン４１，４３Ａ，４３Ｂを挿入孔４０，４２Ａ，４２Ｂに螺入することで固定しても良い。この場合は、前記した効果に加えてピン４１，４３Ａ，４３Ｂの着脱が容易になる。
【００３１】
［第３の実施の形態］
本発明の第３の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、第１の実施の形態と重複する説明は省略する。
図５に示すように、静圧軸受１Ｂは、ラジアル軸受部材１０の内周側に環状の取付溝５１が形成されており、ここに環状部材であるラジアル絞りリング５２が装着されている。ラジアル絞りリング５２は、その内周面でラジアル軸受面１２を形成し、ラジアル方向の軸受として、ポケット１８のみが形成されている。ラジアル軸受部材１０側には、ノズル１７がポケット１８と連通可能に穿設されている。したがって、ラジアル絞りリング５２を装着することでオリフィス絞り１６およびオリフィス絞り群１５が形成される。この際のオリフィス絞り１６およびオリフィス絞り群１５の数および配置は、第１の実施の形態と同じである。
【００３２】
同様に、スラスト軸受部材２１Ａ，２１Ｂのスラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂ側に環状の取付溝５３Ａ，５３Ｂが形成されており、ここに環状部材であるスラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂが装着されている。スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂは、スラスト軸受面２４Ａ，２４Ｂを形成し、スラスト方向の軸受として、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂが４つずつ形成されている。オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂと、オリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂの数および配置は、第１の実施の形態と同じである。
【００３３】
この実施の形態では、ラジアル絞りリング５２、スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂを装着することで、オリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂが形成されるようにしたので、軸受部材１０，２１Ａ，２１Ｂに直接にオリフィス絞り群１５，２５Ａ，２５Ｂを形成するよりも、加工が容易になる。さらに、給気量を微調整したい場合には、ポケット１８，２９Ａ，２９Ｂの直径を変更したラジアル絞りリング５２、スラスト絞りリング５４Ａ，５４Ｂに交換することで容易に対応することができる。また、オリフィス絞り１６をラジアル軸受部材１０側と、ラジアル絞りリング５２とに分割したので、製造時にノズル１７の径や長さを調整し易い。その他の効果は、第１の実施の形態と同じである。ここにおいて、ラジアル軸受部３、スラスト軸受部４共に絞りリング５２，５４Ａ，５４Ｂを使用する例を示したが、ラジアル軸受部３、またはスラスト軸受部４のどちらか一方のみに絞りリング５２，５４Ａ，５４Ｂを使用しても同様の効果を得ることができる。
【００３４】
なお、本発明は、前記の各実施の形態に限定されずに広く応用することができる。
例えば、第２スラスト軸受部材２１Ｂに、図示しないラジアル軸受部３を連結し、スラスト軸受部４を挟むように２つのラジアル軸受部３を配設しても良い。
また、１つのオリフィス絞り群１５を構成するオリフィス絞り１６は、軸線方向に配置する代わりに周方向または径方向に近接配置しても良い。１つのオリフィス絞り群２５Ａ，２５Ｂを構成するオリフィス絞り２６Ａ，２６Ｂは、径方向に配置する代わりに周方向または軸線方向に近接配置しても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態に係る静圧軸受の軸方向の断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿った断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。
【図４】静圧軸受の軸方向の断面図である。
【図５】静圧軸受の軸方向の断面図である。
【図６】従来の静圧軸受の軸方向の断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１，１Ａ，１Ｂ    静圧軸受
２    回転軸
３    ラジアル軸受部
４    スラスト軸受部
２Ｂ    フランジ
１２    ラジアル軸受面
１５，２５Ａ，２５Ｂ    オリフィス絞り群
１６，２６Ａ，２６Ｂ    オリフィス絞り
１７，２８Ａ，２８Ｂ    ノズル（絞り部）
１８，２９Ａ，２９Ｂ    ポケット（開口部）
２４Ａ，２４Ｂ    スラスト軸受面
４１，４３Ａ，４３Ｂ    絞りピン
５２    ラジアル絞りリング
５４Ａ，５４Ｂ    スラスト絞りリング
【図１】
2007002862.tif 000003
【図２】
2007002862.tif 000004
【図３】
2007002862.tif 000005
【図４】
2007002862.tif 000006
【図５】
2007002862.tif 000007
【図６】
2007002862.tif 000008