(57)【要約】【課題】本発明は、エッチング工程における、高アスペクト比用途の異方性フィーチャの形成方法を提供する。【解決手段】開示された方法は、側壁パッシベーション管理技法を通して、高アスペクト比のフィーチャのプロファイルと寸法の制御を有利に促進する。一実施形態において、側壁パッシベーションは酸化パッシベーション層をエッチング層の側壁及び／又は底部に選択的に形成することによって管理される。他の実施形態において、側壁のパッシベーションは余分な再堆積層を定期的に除去して平坦で均一なパッシベーション層をその上に維持することによって管理される。平坦で均一なパッシベーション層により、欠陥及び／又は下層のオーバーエッチングを起こすことなく、高アスペクト比のフィーチャを、基板上の高及び低フィーチャ密度領域の双方に所望の深さ及び垂直プロファイルの限界寸法に適した形で徐々にエッチングすることが可能となる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）層をその上に有する基板をエッチングチャンバ内に設置し、
（ｂ）エッチングチャンバ内で基板上の層の少なくとも一部をエッチングし、
（ｃ）エッチングされた層上に酸化層を形成し、
（ｄ）エッチングチャンバ内で酸化層により保護されていないエッチングされた層の露出部分をエッチングすることを含む高アスペクト比で基板上の層を異方性エッチングするための方法。
【請求項２】
フッ素含有ガスを用いてステップ（ｂ）で形成された再堆積層をエッチングすることを含む請求項１記載の方法。
【請求項３】
層の少なくとも一部をエッチングするステップは、ステップ（ｃ）―（ｄ）を繰返して、層を増分的にエッチングすることを含む請求項１記載の方法。
【請求項４】
層上に堆積されたパターン化されたマスク層を周期的に再開口することを含む請求項１記載の方法。
【請求項５】
フッ素含有ガスが、三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、又はテトラフルオロメタンガス（ＣＦ４）、ＣＨＦ３、及びＣ４Ｆ８の少なくとも１つを含む請求項２記載の方法。
【請求項６】
酸化層を形成するステップは、エッチングされた層に形成された側壁部上に酸化層を形成することを含む請求項１記載の方法。
【請求項７】
酸化層を形成するステップは、高いパターン密度を有するフィーチャの第２グループより優先的に低いパターン密度を有するフィーチャの第１グループに酸化層を形成することを含む請求項１記載の方法。
【請求項８】
酸化層を形成するステップは、エッチングチャンバに酸素含有ガスを供給することを含む請求項１記載の方法。
【請求項９】
酸化層を形成するステップは、基板を酸素含有雰囲気に露出することを含む請求項１記載の方法。
【請求項１０】
（ａ）第１層と第２層を含む積層体を有する基板をエッチングチャンバ内に設置し、
（ｂ）エッチングチャンバ内で積層体をエッチングして第１層と第２層とを露出させ、
（ｃ）第１層上に酸化層を形成し、
（ｄ）エッチングチャンバ内で第２層をエッチングすることを含む高アスペクト比で基板上の層を異方性エッチングするための方法。
【請求項１１】
積層体をエッチングして第１層と第２層とを露出させるステップは、第１層をエッチングし、第１層上に酸化層を形成し、第１層をエッチングして第２層を露出させることを含む請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
積層体をエッチングして第１層と第２層とを露出させるステップは、チャンバ内にフッ素含有ガスを流し、第１層をエッチングする間に形成された再堆積層をエッチングすることを含む請求項１０記載の方法。
【請求項１３】
ステップ（ｃ）―（ｄ）を繰返して、第２層を増分的にエッチングすることを含む請求項１０記載の方法。
【請求項１４】
再堆積層を周期的に除去して、パターン化されたマスク層に形成された開口部を維持することを含む請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
再堆積層をエッチングするステップは、フッ素含有ガスで再堆積層をエッチングすることを含む請求項１２記載の方法。
【請求項１６】
第２層は高ｋ材料である請求項１０記載の方法。
【請求項１７】
高ｋ材料は、二酸化ハフニウム、二酸化ジルコニウム、ハフニウムシリコン酸化物、ジルコニウムシリコン酸化物、二酸化タンタル、酸化アルミニウム、アルミニウムドープ二酸化ハフニウム及びこれらの組合せから成る群から選択される材料である請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
第１層はポリシリコン層である請求項１０記載の方法。
【請求項１９】
酸化層を形成するステップは、高パターン密度の領域より低パターン密度の領域に優先的に酸化層を形成する請求項１０記載の方法。
【請求項２０】
酸化層は第１層の側壁上に形成される請求項１０記載の方法。
【請求項２１】
酸化層を形成することは、第２層の上部に酸化層を形成することを含む請求項１０記載の方法。
【請求項２２】
第２層は、酸化層、窒素層、酸化物及び窒素層の組成物、及び窒素層を挟む１又はそれ以上の酸化層を含む誘電層である請求項１４記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【発明の分野】
【０００１】
本発明は、概して、高アスペクト比用途の異方性フィーチャの形成方法に関する。更に詳細には、本発明は、概して、半導体製造におけるエッチング処理による高アスペクト比用途の異方性フィーチャの形成方法に関する。
【関連技術の説明】
【０００２】
半導体デバイスの次世代型超大規模集積回路（ＶＬＳＩ）と超々大規模集積回路（ＵＬＳＩ）にとって鍵となる技術の１つが、サブハーフミクロン以下のフィーチャを信頼度高く製造することである。しかしながら、回路技術の制約に押され、ＶＬＳＩ及びＵＬＳＩ技術における相互接続部の小型化は、処理能力に更なる課題をもたらすこととなった。ゲートパターンを信頼性高く形成することが、ＶＬＳＩとＵＬＳＩの成功と個々の基板とダイの回路密度や品質を向上するための継続的な取り組みに重要である。
【０００３】
フィーチャのサイズが小型化するにつれ、アスペクト比つまりフィーチャの深さと幅との比は確実に増大してきたため、約５０：１から約１００：１又はそれ以上ものアスペクト比を有するフィーチャに材料をエッチングする製造工程が必要とされている。従来、約１０：１程度のアスペクト比を有するフィーチャは、誘電体層を所定の深さと幅に異方性エッチングすることで形成されていた。しかしながら、より高アスペクト比のフィーチャを形成する場合、従来の側壁パッシベーション技法を用いた異方性エッチングでは困難になってくるため、均一な間隔及び／又は二重又は多重傾斜プロファイルを有するフィーチャとなり、フィーチャの限界寸法が失われる。
【０００４】
更に、エッチング処理中におけるパッシベーション層のフィーチャ上又は側壁への再堆積又は蓄積により、マスクに画成された開口部が塞がれる場合がある。マスク開口部及び／又はエッチングフィーチャの開口部が蓄積した再堆積層によって狭くなる又は封止されるにつれ、反応性エッチング剤の開口部への侵入が阻害され、得られるアスペクト比が制限される。従って、フィーチャを十分にエッチング出来ないことにより、フィーチャのアスペクト比を所望のものにすることが不可能となる。
【０００５】
高アスペクト比のフィーチャのエッチングにおける別の問題はマイクロローディング効果の発生であり、これは高フィーチャ密度領域と低フィーチャ密度領域との間のエッチング寸法におけるばらつきの指標である。低フィーチャ密度領域（例えば、隔離領域）は、表面積の総開口部がより広いことから高フィーチャ密度領域（例えば、緻密領域）と比較して表面積あたりの反応性エッチング剤の曝露量が多く、エッチング速度が速くなる。エッチング副生成物から形成される側壁のパッシベーション膜は同様のパターン密度依存性を示し、隔離フィーチャではより多くのパッシベーション膜が形成され、これはこの領域でより多くの副生成物が生成されるからである。これら２つの領域における表面積あたりの反応物とパッシベーション膜における差は、フィーチャ密度差が増大するにつれ大きくなる。図８Ａに示されるように、高フィーチャ密度領域と低フィーチャ密度領域でのエッチング速度と副生成物生成における差により、低フィーチャ密度領域８０２はある特定の所望の制御された垂直寸法にエッチング・画成されるものの、高フィーチャ密度領域８０４は側壁のパッシベーションの不十分さに起因する横方向の侵食により湾曲及び／又は抉れる（８０６）ということがしばしば観察される。その他の処理においては、図８Ｂに示されるように、低フィーチャ密度領域８０８が、高フィーチャ密度領域８１０よりも早い速度とより多いパッシベーションでエッチングされ、エッチング層８１４の側壁のテーパー状上部８１２となる様子が描かれている。従って、高アスペクト比の高フィーチャ密度領域及び低フィーチャ密度領域におけるエッチング速度の差に関連する不十分な側壁保護は、エッチングフィーチャの限界寸法の維持の失敗及びパターン転写の悪さにつながることが多い。
【０００６】
高アスペクト比のフィーチャのエッチングに関連する更に別の課題は、多層を貫通して形成され、異なるフィーチャ密度を有するフィーチャのエッチング速度を制御することである。ここで、各層はフィーチャ密度に応じて異なる速度でエッチングされ得る。図９に示されるように、低フィーチャ密度領域９０２におけるより速いエッチング速度は、上部エッチング層９０６の下に配置された層９０４の選択的なオーバーエッチングにつながることが多く、その一方、緻密なフィーチャ領域９０８における緩やかなエッチング速度は層９１０の一部が完全にエッチングされることを妨げる。フィーチャが更に高いアスペクト比になるにつれ、上層のエッチング不足又は下層へのオーバーエッチングのどちらも起こすことなく低及び高フィーチャ密度領域全体にわたって効率的なエッチング速度を維持することは制御が困難になりつつある。設計した通りに基板上にフィーチャ又はパターンを形成することに失敗することは不本意な欠陥につながり、更にはその後の処理ステップに悪影響を与え、究極的には最終的な集積回路構造の性能を劣化又は不能にする場合がある。
【０００７】
従って、高アスペクト比のフィーチャをエッチングするための改善された方法が当該技術分野で求められている。
【発明の概要】
【０００８】
エッチング工程における、高アスペクト比用途の異方性フィーチャの形成方法を本発明で提供する。ここで記載の方法は、側壁パッシベーション管理法を通して高アスペクト比のフィーチャのプロファイルと寸法の制御を有利に促進する。一実施形態において、側壁のパッシベーションは、エッチング層の側壁及び／又は底部上に酸化パッシベーション層を選択的に形成することにより管理される。別の実施形態において、側壁パッシベーションは、過剰な再堆積層を定期的に除去し、その上に平坦で均一なパッシベーション層を維持することで管理される。平坦で均一なパッシベーション層により、欠陥及び／又は下層のオーバーエッチングを起こすことなく、高アスペクト比のフィーチャを、基板上の高及び低フィーチャ密度領域の双方に所望の深さ及び垂直プロファイルの限界寸法に適した形で徐々にエッチングすることが可能となる。
【０００９】
一実施形態において、本方法は層をその上に有する基板をエッチングチャンバ内に設置し、第１混合ガスを用いてマスク層に形成された開口部を通して層をエッチングしフィーチャの第１領域を画成し、エッチング中に形成された再堆積層を第２混合ガスを用いてインシチュでエッチングすることにより開口部の不要物を除去し、不要物が除去された開口部を通して層をエッチングすることを含む。
【００１０】
別の実施形態において、本方法は、その上に層を有する基板をエッチングチャンバ内に
設置し、基板上の層の少なくとも一部をエッチングし、エッチング層上に酸化層を形成し、酸化層によって保護されていないエッチング層の露出部分をエッチングチャンバ内でエッチングすることを含む。
【００１１】
更に別の実施形態において、本方法は第１層と第２層を備えた積層体を有する基板をエ
ッチングチャンバ内に設置し、エッチングチャンバ内で積層体をエッチングして第１層及び第２層を露出し、第１層上に酸化層を形成し、エッチングチャンバ内で第２層をエッチングすることを含む。
【００１２】
更に別の実施形態において、本方法は第１層と第２層を備えた積層体を有する基板をエ
ッチングチャンバ内に設置し、第１混合ガスを用いてエッチングチャンバ内で積層体をエッチングして第１及び第２層を露出し、第２混合ガスを用いてエッチング中に形成された再堆積層をエッチングし、基板を酸素ガス含有環境に曝露することで第１層上に酸化層を形成し、酸化層によって保護されていない第２層をエッチングすることを含む。
【詳細な説明】
【００１３】
本発明は、概して、エッチング処理により高アスペクト比用途の異方性フィーチャを形成するための方法に関する。一実施形態において、本方法は高アスペクト比のフィーチャの上部及び／又は側壁に堆積した再堆積材料をプラズマエッチングすることを含む。別の実施形態において、本方法は、基板表面上のエッチング領域の一部上に保護酸化層を形成することを含む。エッチング処理はクラスターツール内で統合されている１つ以上のチャンバ内で行ってもよい。
【００１４】
ここで記載のエッチング処理はいずれのプラズマエッチングチャンバで行ってもよく、例えばＨＡＲＴエッチング装置、ＨＡＲＴ ＴＳエッチング装置、センチュラ（ＣＥＮＴＵＲＡ）エッチングシステムの分離プラズマソース（ＤＰＳ）、ＤＰＳ−II、又はＤＰＳプラス、又はＤＰＳ ＤＴエッチング装置が挙げられ、これらは全てカリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から入手可能である。その他の製造業者のプラズマエッチングチャンバも利用可能である。ＤＰＳ反応装置は１３．５６ＭＨｚの誘導プラズマソースを用いて高密度プラズマを発生・維持し、１３．５６ＭＨｚソースバイアス電力を利用してウェハにバイアスを印加する。プラズマソースとバイアスソースとを切り離すことにより、イオンエネルギーとイオン密度とを独立して制御することが可能となる。ＤＰＳ反応装置は、ソース、バイアス電力、圧力、エッチングガス化学反応における変化に広いプロセスウィンドウを許容するものであり、終点システムを用いて処理の終点を決定する。
【００１５】
図１はエッチング処理チャンバ１００の一実施形態の概略図である。チャンバ１００は、誘電性ドーム型天井部（以後、ドーム１２０と称する）を支持する導電性チャンバ壁部１３０を含む。その他のチャンバはその他のタイプの天井部（例えば、平坦な天井部）を有し得る。壁部１３０は電気アース１３４に接続されている。
【００１６】
少なくとも１つの誘導コイルアンテナセグメント１１２が、高周波（ＲＦ）ソース１１８にマッチング回路１１９を介して連結されている。アンテナセグメント１１２はドーム１２０の外側に位置されており、処理ガスから形成されたプラズマをチャンバ内に維持するために利用される。一実施形態において、誘導コイルアンテナ１１２に印加されるソースＲＦ電力は約０ワットから約２５００ワットの範囲にあり、周波数は約５０ｋＨｚから約１３．５６ＭＨｚである。別の実施形態において、誘導コイルアンテナ１１２に印加されるソースＲＦ電力は約２００ワットから約８００ワットの範囲にあり、例えば約４００ワットである。
【００１７】
処理チャンバ１００は、第２（バイアス印加）ＲＦソース１２２に連結された基板支持台座１１６（バイアス素子）も含み、第２ＲＦソース１２２は、通常、ＲＦ信号を生成し、約１５００ワット又はそれ以下（例えば、バイアス電力ゼロ）、周波数約１３．５６ＭＨｚのバイアス電力を発生することができる。バイアスソース１２２は基板支持台座１１６にマッチング回路１２３を介して連結されている。基板支持台座１１６に印加されるバイアス電力はＤＣ又はＲＦであってもよい。
【００１８】
操作において、基板１１４は基板支持台座１１６上に設置され、通常の技法、例えば基板１１４を静電チャッキング又は機械的に締め付けることでそこに保持される。気体成分がガスパネル１３８から処理チャンバ１００へと投入ポート１２６を経由して供給され、ガス状混合物１５０を生成する。混合物１５０から生成されたプラズマはＲＦソース１１８、１２２からアンテナ１１２、基板支持台座１１６にそれぞれＲＦ電力を印加することで処理チャンバ内に維持される。エッチングチャンバ１００内部の圧力は、チャンバ１００と真空ポンプ１３６との間の絞り弁１２７を用いて制御する。チャンバ壁部１３０の表面温度は、チャンバ１００の壁部１３０内の液体含有導管（図示せず）を用いて制御する。
【００１９】
基板１１４の温度は、支持台座１１６の温度を安定させ、導管１４９を経由させて供給源１４８から熱伝導ガスを基板１１４の裏面と台座表面上の溝部（図示せず）によって形成された流路に流すことで制御される。ヘリウムガスを熱伝導ガスとして使用して、基板支持台座１１６と基板１１４との間の熱伝導を促進してもよい。エッチング処理中、基板１１４は基板支持台座１１６内に配置された抵抗加熱器１２５によってＤＣ電力源１２４を介して定常温度にまで加熱される。台座１１６と基板１１４との間のヘリウムにより、基板１１４の均一な加熱が促進される。ドーム１２０と基板支持台座１１６の双方の熱制御をすることにより、基板１１４の温度は約１００℃から約５００℃に維持される。
【００２０】
その他のタイプのエッチングチャンバを使用しても本発明を実施し得ることを当業者は理解するものとする。例えば、遠隔プラズマソースを備えたチャンバ、マイクロ波プラズマチャンバ、電子サイクロトロン共鳴（ＥＣＲ）プラズマチャンバその他を利用して本発明を実施してもよい。
【００２１】
中央演算処理装置（ＣＰＵ）１４４、メモリ１４２、ＣＰＵ１４４のサポート回路１４６を含む制御装置１４０がＤＰＳエッチング処理チャンバ１００の様々なコンポーネントに連結され、エッチング処理の制御を促進している。上述したようにチャンバの制御を容易にするために、ＣＰＵ１４４は、様々なチャンバ及びサブプロセッサを制御するために工業環境で使用されるいずれのタイプの汎用コンピュータプロセッサであってもよい。メモリ１４２はＣＰＵ１４４に連結されている。メモリ１４２又はコンピュータ読み込み可能な媒体は、局所又は遠隔の、容易に入手可能なメモリ、例えばランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取専用メモリ（ＲＯＭ）、フロッピー（商標名）ディスク、ハードディスク、又はその他の形態のデジタル記憶媒体のうちの１つ以上であってもよい。サポート回路１４６は、通常の方法でプロセッサをサポートするためにＣＰＵ１４４に連結されている。これらの回路には、キャッシュ、電力源、クロック回路、入力／出力回路及びサブシステムその他が含まれる。ここに記載されるようなエッチング工程は、概して、メモリ１４２にソフトウェアルーチンとして記憶される。ソフトウェアルーチンは、ＣＰＵ１４４によって制御されるハードウェアから離れて位置する第２ＣＰＵ（図示せず）に記憶及び／又は第２ＣＰＵで実行してもよい。
【００２２】
図２は、チャンバ１００又はその他の適切な処理チャンバで実施し得るエッチング工程２００の一実施形態のフローチャートである。図３Ａ−３Ｄは、工程２００の様々な段階に対応する複合基板の一部の概略断面図である。工程２００は図３Ａ−３Ｄのゲート構造形成を説明するものであるが、工程２００はその他の構造のエッチングにも有益に利用することができる。
【００２３】
工程２００は、基板１１４をエッチング処理チャンバに移動（供給）するステップ２００から開始される。図３Ａに示される実施形態において、基板１１４はゲート構造を作製するに適した積層体３００を有する。基板１１４は半導体基板、シリコンウェハ、ガラス基板等のいずれであってもよい。積層体３００を構成する層は、１つ以上の適切な従来の堆積技法を用いて形成してもよく、例えば、原子層成長法（ＡＬＤ）、物理的気相成長法（ＰＶＤ）、化学気相成長法（ＣＶＤ）、プラズマ気相成長ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）等が挙げられる。積層体３００は、センチュラ（ＣＥＮＴＵＲＡ）、プロデューサ（ＰＲＯＤＵＣＥＲ）、エンデュラ（ＥＮＤＵＲＡ）、及びその他のモジュール製造業者の中でも特にはカリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアル社から入手可能なその他の半導体ウェハ処理システムのそれぞれの処理モジュールを用いて堆積してもよい。一実施形態において、積層体３００はゲート電極層３１４とゲート誘電層３０２を含む。ゲート電極層３１４の少なくとも一部がエッチング用に露出される。図３の実施形態において、ゲート電極層３１４の領域３１８、３２０はパターンマスク３０８の１つ以上の開口部を通して曝露される。
【００２４】
一実施形態において、ゲート電極層３１４はポリシリコン材料３０４とその上の金属材料３０６から構成される積層を含んでいてもよい。金属材料３０６は、タングステン（Ｗ）、窒化タングステン（ＷＮ）、ケイ化タングステン（ＷＳｉ）、タングステンポリシリコン（Ｗ／ポリ）、タングステン合金、タンタル（Ｔａ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、タンタル窒化ケイ素（ＴａＳｉＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）の群から単体又は組み合わせで選択してもよい。
【００２５】
図３Ａの模範実施形態において、マスク３０８はハードマスク、フォトレジストマスク又はその組み合わせであってもよい。マスク３０８をエッチングマスクとして使用して、ゲート電極層３１４とゲート誘電層３０２の双方を所定のフィーチャにエッチングするために緻密領域３２０と隔離領域３１８に開口部を形成してもよい。
【００２６】
ステップ２０４で、第１混合ガスをエッチングチャンバに供給して、チャンバ内に設置された基板１１４をエッチングする。エッチング中、図３Ｂに示すように、基板１１４上の層３０６をエッチングして領域３１８、３２０から除去すると、マスク３０８によって画成されたトレンチが残る。終点に達した後、層３０６の少なくとも一部が基板上で除去されている。終点は、いずれの適切な方法によって決定してもよい。例えば、終点は発光、所定の時間の終了をモニタすること、又はエッチング対象の層が十分に除去されたかを測定する別の指標によって決定してもよい。
【００２７】
第１混合ガスは、金属含有ゲート電極層をエッチングするのに適したいずれのガスを含んでいてもよい。一実施形態において、第１混合ガスは窒素ガス（Ｎ２）、塩素ガス（Ｃｌ２）、三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、炭素及びフッ素含有ガス、例えばＣＦ４、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ８、特にはアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等の少なくとも１つを伴う酸素ガスを含んでいてもよいが、これに限定されるものではない。
【００２８】
第１混合ガスをエッチングチャンバに供給しながら、処理パラメータの一部を調節する。一実施形態においては、第１混合ガスの存在下におけるチャンバ圧を調節する。一模範実施形態においては、エッチングチャンバ内の処理圧力は約２ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒ、例えば約１０ｍＴｏｒｒに調節される。ＲＦソース電力を印加して、第１処理ガスから形成されたプラズマを維持してもよい。例えば、約１００ワットから約１５００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加して、エッチングチャンバ内にプラズマを維持してもよい。第１混合ガスは約５０ｓｃｃｍから約１０００ｓｃｃｍの速度でチャンバ内に流入させてもよい。基板温度は約３０℃から約５００℃に維持される。
【００２９】
エッチング中、エッチングチャンバ内で非マスク領域のエッチング中に生成されたシリコン及び炭素含有成分等の副生成物は濃縮し、マスク層３０８及びエッチング層３０６の側壁又は上部に蓄積し、図３Ｂに示されるように再堆積層３２４を形成する場合がある。再堆積層３２４が成長するにつれ、トレンチの開口部３２０が閉鎖又は狭くなり、エッチング処理を妨害し得る。そのようなことから、任意のステップ２０５で、洗浄ガスをエッチングチャンバに供給してマスク層３０８とエッチング層３０６の上部又は側壁に蓄積した再堆積層３２４をエッチングする。洗浄ガスは再堆積層３２４を除去することで、所定のパターンマスクを再開口する。
【００３０】
洗浄ガスはフッ素含有ガスを含んでいてもよい。一実施形態において、洗浄ガスは三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、テトラフルオロメタンガス（ＣＦ４）を含む。別の実施形態において、洗浄ガスは炭素及びフッ素含有ガスを含み、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ８等が含まれる。キャリアガス、例えばアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等を利用して洗浄中にエッチングチャンバ内に供給してもよい。
【００３１】
図３Ｂに戻ると、緻密領域３１０の領域３２０は、隔離領域３１２の領域３１８に比較して表面積の総開口部が狭いことから表面積あたりのエッチング種の曝露量が少ない。これら２つの領域間における表面積あたりの反応物質の差は、パターン密度差が増大するにつれて上がり、マイクロローディング効果が増大し好ましくない。マイクロローディング効果は、高アスペクト比の基板、又はその上に形成される緻密に密集したフィーチャをエッチングする際に一般的である。比較的大量のエッチング種が隔離領域３１２の領域３１８上に蓄積されるためエッチング速度が速くなり、その結果、隔離領域３１２で露出している領域３１８は緻密領域３１０よりもずっと速い速度でエッチングされる。所定時間にわたる基板のエッチング後、隔離領域３１２における層の領域３１８は除去されるものの、エッチング速度の差の発生により、緻密領域３１０の層の領域３２０の少なくとも一部はエッチングされずに残存する。
【００３２】
ステップ２０６で、図３Ｃに示されるように、基板１１４上に酸化層３２２を堆積する。一実施形態においては、第２ガス又は混合ガスを酸素含有ガスを含むエッチングチャンバに供給する。酸素含有ガスは露出した下層３０４、例えばポリシリコン層の領域３１８と反応して酸化層３２２、例えばＳｉＯ２を形成する。形成された酸化層３２２は、マスク層３０８によって画成された緻密領域３１０の層３０６の残存部分を除去する間、下層３０４を浸食から保護するためのパッシベーション層として機能する。緻密領域３１０のゲート電極層３０６の領域３２０は、下のポリシリコン層３０４上に露出している領域３１８のケースのように酸化層を形成する可能性が低い。これは材料の不活性特性及び酸素種との接触が不十分であることによるものであり、これにより基板表面の一部を選択的に酸化できる。従って、酸化層３２２が下層３０４が露出している領域３１８上に実質的に選択的に形成され、層３０６のエッチング対象部３２０が保護されずに、その残存部分を更にエッチングして除去できるよう残される。
【００３３】
ここで記載の酸化層は様々な方法で形成することができる。一実施形態において、酸化層は少なくとも酸素含有ガス、例えばＯ２、Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＣＯ、ＣＯ２等をエッチングチャンバにインシチュで供給し、ポリシリコン表面と反応させることによって形成してもよい。別の実施形態においては、ポリシリコン層３０４を少なくとも酸素ガス又は酸素含有ガスを含有する環境に曝露して（つまり、基板をバッファチャンバ又は移送チャンバに移送する）、その上に酸化層を形成してもよい。更に別の実施形態において、基板を少なくとも酸素ガス又は酸素含有ガスを供給する別の処理チャンバ又は別のツールに移送して、基板表面上に酸化層を形成してもよい。
【００３４】
酸素含有ガスをエッチングチャンバに供給しながら、処理パラメータの一部を調節する。一実施形態においては、エッチングチャンバ内部における、酸素含有ガスの存在下におけるチャンバ圧を調整する。一模範実施形態において、エッチングチャンバ内の酸素含有ガスの圧力は約２ｍＴｏｒｒから約１５０ｍＴｏｒｒ、例えば約１０ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒに調節される。ＲＦソース電力を印加して、第２混合ガスから生成されたプラズマを維持し、基板上の層３０４の少なくとも一部を酸化してもよい。例えば、約２００ワットから約１５００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加して、エッチングチャンバ内にプラズマを維持してもよい。酸素含有ガスは、約５０ｓｃｃｍから約２０００ｓｃｃｍの速度で流入させてもよい。
【００３５】
ステップ２０８で、第３混合ガスを処理チャンバに供給して、図３Ｄに示されるように、処理チャンバ内部で層３０６の残存部分３２０を更にエッチングする。一実施形態において、エッチング処理は緻密領域３１０の層３０６の残存部分３２０が除去された時点で終了してもよい。別の実施形態においては、エッチング処理は、下層３０４の領域３１６（仮想線で表示）にオーバーエッチングすることで終了してもよい。更に別の実施形態において、エッチング処理は、図３Ｅに示されるように、下層３０４の露出した平坦な表面が除去され、マスク３０８のパターンフィーチャが積層体３００に無事に転写された後に終了してもよい。任意の実施形態において、図２に図示のループ２１０によって示されるように、ステップ２０５、２０６、２０８を繰り返し行って緻密領域３１０の領域３２０が全て除去されるまで領域３２０を徐々に除去し、ゲート誘電層３０２を露出させてもよい。
【００３６】
第３混合ガスは、基板上の層の残存部分をエッチングするのに適した混合ガスならばいずれであってもよい。一実施形態において、第３混合ガスは上述のステップ２０２の第１混合ガスと同一であってもよい。別の実施形態において、第３混合ガスはシリコン層をエッチングするのに適したいずれのガスであってもよい。更に別の実施形態において、第３混合ガスは特にはＣｌ２、ＨＣｌ、ＨＢｒ、ＣＦ４、ＣＨＦ３、ＮＦ３、ＳＦ６、Ｏ２、Ｎ２、Ｈｅ、Ａｒ等のガスから成る群から選択してもよい。
【００３７】
更に、第３混合ガスをエッチングチャンバに供給しながら処理パラメータを調節してもよい。一実施形態において、エッチングチャンバ内の処理圧力は約２ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒ、例えば約４ｍＴｏｒｒに調節される。ＲＦソース電力を印加して、第１処理ガスから生成されたプラズマを維持し、基板上の層３０４の少なくとも一部をエッチングしてもよい。例えば、約１５０ワットから約１５００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加してエッチングチャンバ内でプラズマを維持してもよい。第３混合ガスは約５０ｓｃｃｍから約１０００ｓｃｃｍの速度で流入させてもよい。基板温度は約２０℃から約８０℃の範囲に維持する。
【００３８】
ここで記載の基板のエッチング方法は、異なる膜層及び構造の基板のエッチングに利用してもよい。図４Ａ−４Ｇに図示される別の模範実施形態において、基板は図２の方法２００の別の実施形態を用いてエッチングされる。図４Ａ−４Ｇは複合基板をエッチングするための工程２００に対応する、複合基板の一部の概略断面図である。工程２００は図４Ａ−４Ｇのゲート構造を形成するために図示されるものであるが、工程２００はその他の構造のエッチングにも有益に利用することができる。
【００３９】
方法２００は基板を供給し、エッチング処理チャンバに移送するステップ２０２から開始される。図４Ａに示されるように、基板１１４はその上に高ｋ誘電層を備える層を含む。一実施形態において、基板１１４は積層体４１０を含み、例えばゲートといった構造がその上に形成される。積層体４１０は、高誘電率材料層４０２（高ｋ材料は４．０よりも高い誘電率を有する）を挟む少なくとも１つ以上の層４０４、４０６を含む。積層体４１０は誘電層４１４、例えばゲート誘電層上、又は基板１１４上に直接配置してもよい。マスク４０８、例えばハードマスク、フォトレジストマスク又はその組み合わせを、積層体４１０の領域４１２を露出してその上にフィーチャをエッチングするためのエッチングマスクとして使用してもよい。基板１１４は半導体基板、シリコンウェハ、ガラス基板等のいずれであってもよい。層に挟まれた誘電層４０２は、基板上に構造を形成するのに利用されるいずれの適切な誘電層であってもよい。誘電層の適切な例には、酸化物膜、窒素層、酸化物と窒素層の複合体、窒素層を挟む少なくとも１つ以上の酸化物層その他が含まれるがこれに限定されるものではない。
【００４０】
図４に示される実施形態において、高ｋ材料層４０２は４．０より高い誘電率を有する材料を含んでいてもよく、その例には特には二酸化ハフニウム（ＨｆＯ２）、酸化ジルコニウム、ハフニウムシリコン酸化物（ＨｆＳｉＯ２）、ジルコニウムシリコン酸化物（ＺｒＳｉＯ２）、二酸化タンタル（ＴａＯ２）、酸化アルミニウム、アルミニウムドープ二酸化ハフニウム、ビスマスストロンチウムチタン（ＢＳＴ）、プラチナジルコニウムチタン（ＰＺＴ）が含まれる。
【００４１】
高ｋ材料層４０２の上の層４０６は１つ以上の層を含んでいてもよい。一実施形態において、層４０６は特にはタングステン（Ｗ）、ケイ化タングステン（ＷＳｉ）、タングステンポリシリコン（Ｗ／ポリ）、タングステン合金、タンタル（Ｔａ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、タンタル窒化ケイ素（ＴａＳｉＮ）、窒化チタン（ＴｉＮ）を含む、ゲート電極用の金属材料を含む。あるいは、層４０６はポリシリコン層であっても、又はポリシリコン層を含むものであってもよい。積層体４１０から形成される構造に必要なら、層４０４、例えばポリシリコン層又は酸化物層を高ｋ材料層４０２の下に任意で配置する。
【００４２】
ステップ２０４で、図４Ｂに示すように、第１混合ガスをエッチングチャンバに供給して積層体４１０をエッチングする。ステップ２０４において、層４０６の領域４１２をマスク４０８によって画成された開口部を通してエッチングし、積層体４１０にトレンチを形成する。
【００４３】
一実施形態において、第１混合ガスはハロゲン含有ガスを含み、酸素含有ガスを含まない。ハロゲン含有ガスは塩素含有ガスであってもよく、特には塩素ガス（Ｃｌ２）、塩化ホウ素（ＢＣｌ３）、塩化水素（ＨＣｌ）の少なくとも１つを含むがこれに限定されるものではない。あるいは、塩素ガス（Ｃｌ２）と塩化ホウ素（ＢＣｌ３）の双方を第１混合ガスに含むことが可能である。ハロゲンガスの種類（例えば、Ｃｌ２、ＢＣｌ３、又は両方）を選択することで、層４０６から金属（例えば、ハフニウム、ジルコニウム等）を効率的に除去する。
【００４４】
別の実施形態において、ステップ２０４で使用の第１混合ガスは、酸素含有ガスと共に又は酸素含有ガスを伴わずに還元剤を更に含んでいてもよい。適切な還元剤には特には炭化水素ガス、例えば一酸化炭素（ＣＯ）、酸素ガス（Ｏ２）、メタン（ＣＨ４）、エタン（Ｃ２Ｈ６）、エチレン（Ｃ２Ｈ４）、その組み合わせが含まれるが、これに限定されるものではない。別の実施形態においては、炭化水素（例えば、メタン）を選択して、エッチング処理中に生成された副生成物と結合する重合ガスとして機能させる。メタンはシリコン材料のエッチングを抑制するために使用され、この結果、シリコン材料よりも高ｋ誘電材料（例えば、ＨｆＯ２又はＨｆＳｉＯ２）に対して高いエッチング選択性が得られる。また、第１混合ガスは、１つ以上の付加ガスを更に含んでいてもよく、特にはヘリウム（Ｈｅ）、アルゴン（Ａｒ）、窒素（Ｎ２）等が挙げられる。
【００４５】
第１混合ガスをエッチングチャンバに供給しながら、処理パラメータを調節してもよい。一実施形態において、エッチングチャンバ内部の第１混合ガスの存在下におけるチャンバ圧は約２ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒ、例えば約１０ｍＴｏｒｒに調節される。基板バイアス電力を基板支持台座に電力約０から約８０ワットで印加してもよい。ＲＦソース電力を印加して、第１処理ガスから生成されたプラズマを維持し、層４０６の少なくとも一部をエッチングしてもよい。例えば約０ワットから約３０００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加してエッチングチャンバ内にプラズマを維持してもよい。基板温度は約３０℃から約５００度の範囲に維持する。
【００４６】
任意のステップ２０５で、洗浄ガスを供給してエッチングステップ２０４中に堆積した再堆積層４２６をエッチングしてもよい。再堆積層４２６は、シリコン及び炭素含有成分等の副生成物を放出するマスクしていない領域のエッチング中にエッチングチャンバ内で形成される場合がある。副生成物は濃縮し、マスク層４０８及びエッチング層４０６の側壁又は上部に蓄積し、図４Ｂに示されるように再堆積層４２６を形成し得る。再堆積層４２６が成長するにつれ、トレンチの開口部４１２は狭くなり及び／又は封止され、トレンチエッチング処理の終了を妨害し得る。そのようなことから、洗浄ガスをエッチングチャンバに供給して再堆積層４２６をエッチングして重合体堆積物を除去し、パターンマスクを再開口し、限界寸法及び／又はトレンチ側壁プロファイル及び／又は角度に悪影響を与えることなくエッチングの継続を可能としてもよい。
【００４７】
洗浄ガスはフッ素含有ガスを含んでいてもよい。一実施形態において、洗浄ガスは少なくとも１つのフッ素含有ガスを含み、例えば三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、テトラフルオロメタンガス（ＣＦ４）が挙げられる。別の実施形態において、洗浄ガスは炭素及びフッ素含有ガスを含み、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ８等が含まれる。挿入ガス、例えばアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等を洗浄ガスに更に追加してもよい。
【００４８】
従来の処理においては、エッチング処理中、高アスペクト比のエッチング層の側壁のパッシベーション不足が観察されることがある。側壁のパッシベーションが不十分だと、垂直方向はもとより横方向のエッチングが同時に起こり、エッチング処理の結果、フィーチャの所定の寸法に大幅のズレ又は、丸く削れた角部等のフィーチャの角部の浸食につながることがある。こういったズレは限界寸法（ＣＤ）バイアスと称される。
【００４９】
ＣＤバイアスを防止するために、ステップ２０６で酸化層４１８を堆積する。酸化層４１８は、図４Ｃに示されるように、酸素含有ガスを含む第２混合ガスをエッチングチャンバに供給して基板上のエッチング層４０６の側壁４２２に酸化層４１８を形成することで適用することができる。一実施形態において、層４０６の露出した側壁４２２は処理チャンバに供給された酸素ガスと反応して、ＳｉＯ２層として酸化層４１８を形成する。酸化層４１８は続くエッチングステップにおける横方向の浸食から層４０６の側壁４２２を保護するパッシベーション層として機能する。
【００５０】
酸化層４１８は様々な方法で形成することができる。一実施形態において、酸化層４１８は少なくとも酸素含有ガス、特にはＯ２、Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＣＯ、ＣＯ２等をエッチングチャンバにインシチュで供給し基板と反応させることによって形成してもよい。別の実施形態において、エッチング層４０６を酸素ガス又は酸素含有ガスを含有する環境に曝露して、その上に酸化層を形成してもよい。更に別の実施形態においては、基板をバッファチャンバ又は移送チャンバへと移送することによるツールの真空環境外の大気条件への曝露により、ツール間の移送中に酸化層が形成される。
【００５１】
ステップ２０８においては、図４Ｄに示されるように、第３混合ガスを処理チャンバに供給して高ｋ材料層４０２をエッチングする。一実施形態において、ステップ２０４後に残存する層４０６の一部を層４０２と共にエッチングする。ステップ２０８でのエッチング処理は実質、垂直方向である。一実施形態において、ステップ２０８のエッチング処理は、高ｋ材料４０２が全て除去されてから終了してもよい。別の実施形態において、エッチング処理は基板をオーバーエッチングして、高ｋ材料層４０２の下に配置された下層４０４の領域４２４を除去することを含んでいてもよい。
【００５２】
再堆積層４２６が、続くエッチング処理であるステップ２０８の最中に再堆積され、酸化層４１８がエッチング処理中に消費される場合がある。従って、ステップ２０５、２０６、２０８を任意で周期的に行って、層４０２を徐々にエッチングしてもよい。再堆積層４２６の反復的な除去及び酸化層４１８の堆積による段階的なエッチングによりトレンチの垂直性が改善され、パターンマスクを再開口し、層４０２のフィーチャエッチング中に酸化層を維持することによりマスクからトレンチへのＣＤ転写が増強される。
【００５３】
別の実施形態においては、図４Ｅに示されるように、第１酸化層４１８が消費されたあと、第２混合ガスをエッチングチャンバに再度供給してエッチング層４０６、４０２の側壁４２２上に第２酸化層４２０を適用し、続くエッチング処理中において層が横方向からエッチングされることを更に防止してもよい。
【００５４】
第２酸化層４２０の任意の堆積に続き、第３混合ガスを処理チャンバに供給して、図４Ｆに示されるように層４０４をエッチングしてもよい。第３混合ガスは層４０４を除去するのに適したいずれのガスであってもよい。一実施形態において、第３混合ガスはステップ２０４の第１混合ガスと同じであってもよい。別の実施形態において、第３混合ガスは特にはＨＢｒ、Ｃｌ２、ＨＣｌ、ＣＦ４、ＣＨＦ３、ＮＦ３、ＳＦ６、Ｎ２、Ｏ２、Ｈｅ、Ａｒから成る群から選択してもよい。
【００５５】
層４０４のエッチング中、処理パラメータを調節してもよい。例えば、エッチングチャンバ内の処理圧力を約２ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒ、例えば約２０ｍＴｏｒｒに調節する。ＲＦソース電力を印加して、第１処理ガスから生成されたプラズマを維持してもよい。例えば、約１００ワットから約８００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加してエッチングチャンバ内でプラズマを維持してもよい。第３混合ガスは約５０ｓｃｃｍから約１０００ｓｃｃｍの速度でチャンバ内に流入させてもよい。基板温度は約２０℃から約５００℃の範囲に維持する。
【００５６】
マスク層４０８は、図４Ｇに示すように、積層体４１０をエッチング後に除去してもよい。別の実施形態においては、パターンマスクを再開口し、エッチングしたフィーチャの側壁を保護する酸化層を維持しながら、図２のループ２１０で示されるようにステップ２０５、２０６、２０８を繰り返し行って層４０４を徐々にエッチングしてもよい。
【００５７】
上述の方法は、異なる膜層を有する基板をエッチング及び／又は異なる構造を形成するために利用してもよい。図５Ａ−５Ｅに図示の更に別の模範実施形態においては、図２の方法２００の別の実施形態を用いて基板１１４をエッチングする。
【００５８】
図５Ａ−５Ｅは、シャドートレンチ分離構造（ＳＴＩ）をエッチングするための工程２００に対応する、基板の一部の概略断面図である。工程２００は図５Ａ−５ＥのＳＴＩ構造の形成を説明するものであるが、工程２００はその他の構造をエッチングするために有益に利用し得る。
【００５９】
方法２００は、基板をエッチング処理チャンバに移送するステップ２０２から開始される。図５Ａに示されるように、基板１１４はその上に配置された層５００を含む。一実施形態において、層５００はＳＴＩ構造を作製するのに適している。層５００はシリコン膜、例えばブランケットベアシリコン膜であってもよい。層５００が存在しない実施形態の場合、層５００に施すものとして記載した処理を、代わりに基板１１４上に施してもよい。基板１１４はいずれの半導体基板、例えばシリコンウェハ、ガラス基板等であってもよい。
【００６０】
マスク５０２はハードマスク、フォトレジストマスク又はその組み合わせであってもよい。エッチングマスクとしてのマスク５０２は層５００の領域５０４を露出させる開口部を有する。層５００を備えたもしくは備えない基板１１４を開口部を通してエッチングして露出部分５０４から材料を除去し、フィーチャを形成してもよい。
【００６１】
ステップ２０４においては、第１混合ガスをエッチングチャンバに供給して層５００をエッチングする。ステップ２０４において、図５Ｂに示すように、マスク５０２によって画成された開口部を通して層５００の領域５０４をエッチングして、膜層５００にトレンチを形成する。
【００６２】
一実施形態において、第１混合ガスはハロゲン含有ガスを含む。ハロゲン含有ガスは臭素含有ガスであってもよく、臭化水素（ＨＢｒ）、臭素ガス（Ｂｒ２）等の少なくとも１つを含んでいてもよいがこれに限定されるものではなく、少なくとも１つのフッ素含有ガスを伴うものであってもよい。一実施形態において、第１混合ガスは臭素ガス（Ｂｒ２）と三フッ化窒素（ＮＦ３）を含む。別の実施形態において、ステップ２０４で使用の第１混合ガスは更にシリコン含有ガスを含んでいてもよい。適切なシリコン含有ガスはテトラフルオロシランガス（ＳｉＦ４）であってもよい。
【００６３】
ステップ２０４中、処理パラメータを調節してもよい。一実施形態においては、エッチングチャンバ内部における、第１混合ガスの存在下におけるチャンバ圧を約２ｍＴｏｒｒから約１００ｍＴｏｒｒ、例えば約１０ｍＴｏｒｒに調節する。基板バイアス電力を約０から約３００ワットで基板支持台座に印加してもよい。ＲＦソース電力を印加して、第１処理ガスから生成されたプラズマを維持し、層４０６の少なくとも一部をエッチングしてもよい。例えば、約２００ワットから約３０００ワットの電力を誘導結合アンテナ源に印加して、エッチングチャンバ内にプラズマを維持してもよい。基板温度は約３０℃から約５００℃の範囲に維持する。
【００６４】
任意のステップ２０５で、洗浄ガスをチャンバに供給することで、エッチングステップ２０４中に堆積した再堆積層５０６（図５Ｂに図示）を除去してもよい。洗浄ガスはマスク５０２とエッチング層５００の上部又は側壁に蓄積された再堆積層５０６をエッチングし、パターンマスクを再開口する。
【００６５】
ここで使用する洗浄ガスは、少なくともフッ素含有ガスを含んでいてもよい。一実施形態において、洗浄ガスは少なくともフッ素含有ガスを含み、例えば三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、テトラフルオロメタンガス（ＣＦ４）が挙げられる。別の実施形態において、洗浄ガスは炭素及びフッ素含有ガスを含み、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ８等が含まれる。洗浄ガスは挿入ガス、例えばアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等を含んでいてもよい。
【００６６】
上述したように、高アスペクト比のエッチング層の側壁のパッシベーションの不足がエッチング処理中に観察される場合がある。側壁を充分に保護するために、酸化層５０８をステップ２０６で堆積する。酸化層５０８は、図５Ｃに示されるように、酸素含有ガスを有する第２混合ガスをエッチングチャンバに供給して基板上のエッチング層５００の側壁５１０に酸化層５０８を形成することで適用することができる。一実施形態において、層５００の露出した側壁５１０は処理チャンバに供給された酸素ガスと反応して、ＳｉＯ２層として酸化層５０８を形成する。酸化層５０８は続くエッチングステップにおける横方向の浸食から層５００の側壁５１０を保護するパッシベーション層として機能する。
【００６７】
酸化層５０８は様々な方法で形成することができる。一実施形態において、酸化層５０８は少なくとも酸素含有ガス、特にはＯ２、Ｎ２Ｏ、ＮＯ、ＣＯ、ＣＯ２等をエッチングチャンバにインシチュで供給し、基板と反応させることによって形成してもよい。別の実施形態においては、エッチング層５００を少なくとも酸素ガス及び／又は酸素含有ガスを含有する環境に曝露して（つまり、基板をバッファチャンバ又は移送チャンバに移送する）、その上に酸化層を形成してもよい。更に別の実施形態において、ツールの真空環境外の大気条件に曝露されることで、ツール間での移送中に酸化層が形成される。
【００６８】
ステップ２０８においては、図５Ｄに示されるように、第３混合ガスを処理チャンバに供給して、マスク５０２によって保護されていないエッチング層５００の残存部分５０４をエッチングする。エッチング処理は実質的に垂直方向である。第３混合ガスは層５００を除去するのに適したいずれのガスであってもよい。一実施形態において、第３混合ガスはステップ２０４の第１混合ガスと同一であってもよい。一実施形態において、ステップ２０８のエッチング処理は、層５００が全て除去されてから終了してもよい。
【００６９】
再堆積層５０６がステップ２０８の続くエッチング処理中に再堆積され、酸化層５０８がエッチング処理中に消費される場合がある。従って、図２のループ２１０によって示されるように、ステップ２０５、２０６、２０８を任意で周期的に行って、層５００を徐々にエッチングしてもよい。再堆積層５０６の反復的な除去及び／又は酸化層５０８の堆積による段階的なエッチングは、正確なＣＤ転写を促進しながらも、パターンマスクを再開口し、層５００へのフィーチャのエッチング中酸化層を維持することによりトレンチの垂直性を改善する。マスク層は、図５Ｅに示すように、層５００を所望のフィーチャにエッチングした後に除去してもよい。
【００７０】
第３混合ガスは、層５００を除去するのに適したいずれのガスであってもよい。一実施形態において、第３混合ガスはステップ２０４の第１混合ガスと同一であってもよい。
【００７１】
図６は、エッチング工程６００の別の実施形態のフローチャートである。図７Ａ−７Ｄは高アスペクト比の基板をエッチングするための工程６００に対応する基板の一部の概略断面図である。工程６００は図７Ａ−７Ｄの高アスペクト比構造の形成を説明するものであるが、工程６００はその他の構造をエッチングするためにも有益に利用し得る。
【００７２】
工程６００は、基板１１４をエッチング処理チャンバに移動するステップ６０２から開始される。図７Ａに示される実施形態において、基板１１４は高アスペクト比構造を作製するに適した層７００を有する。層７００はいずれの材料であってもよく、例えば誘電材料、シリコン材料、金属、金属窒化物、合金、その他の導電材料が挙げられる。基板１１４は半導体基板、シリコンウェハ、ガラス基板等のいずれであってもよい。層７００を含む積層は適切な従来の堆積技法を用いて形成してもよく、例えば、原子層成長法（ＡＬＤ）、物理的気相成長法（ＰＶＤ）、化学気相成長法（ＣＶＤ）、プラズマ気相成長ＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ）等が挙げられる。
【００７３】
例えばハードマスク、フォトレジストマスク又はその組み合わせであるマスク７０２は、層７００の領域７０４を露出するエッチングマスクとして使用してもよい。層７００の露出部分７０４をマスク７０２の開口部を通してエッチングしてフィーチャ、例えば高アスペクト比トレンチを形成してもよい。
【００７４】
図７Ｂに示されるように、ステップ６０４において、第１混合ガスをエッチングチャンバに供給して層７００をエッチングする。ステップ６０４において、層７００の領域７０４をマスク７０２によって画成された開口部を通してエッチングし、膜層７００にトレンチを形成する。
【００７５】
ステップ６０６において、洗浄ガスを利用してエッチングステップ６０４中に形成された再堆積層７０６をエッチングしてもよい。マスク層７０２又はエッチング層７００は、ステップ６０４中に腐食されるとシリコン及び炭素含有成分等の反応物質をエッチングチャンバ内で放出する。反応物質は濃縮し、マスク層７０２及びエッチング層７００の側壁及び／又は上部に蓄積し、図７Ｂに示されるように再堆積層７０６を形成する場合がある。再堆積層７０６が蓄積するにつれ、トレンチの開口部７０４が狭くなる及び／又は封止され、エッチング処理を妨害することがある。そのようなことから、洗浄ガスをエッチングチャンバに供給して重合体再堆積層７０６をエッチングし、パターンマスクを再開口する。
【００７６】
洗浄ガスは、少なくとも１つのフッ素含有ガスを含んでいてもよい。一実施形態において、洗浄ガスは少なくともフッ素含有ガスを含み、例えば三フッ化窒素ガス（ＮＦ３）、六フッ化硫黄ガス（ＳＦ６）、テトラフルオロメタンガス（ＣＦ４）等が挙げられる。別の実施形態において、洗浄ガスは炭素及びフッ素含有ガスを含み、ＣＨＦ３、Ｃ４Ｆ８等が含まれる。洗浄ガスは挿入ガス、例えばアルゴン（Ａｒ）、ヘリウム（Ｈｅ）等を含有していてもよい。
【００７７】
ステップ６０８においては、図７Ｃに示されるように、第２混合ガスを処理チャンバに供給して、マスク７０２によって保護されていないエッチング層７００の残存部分７０４をエッチングする。エッチング処理は実質的に垂直方向である。第２混合ガスは層７００を除去するのに適したいずれのガスであってもよい。一実施形態において、第２混合ガスはステップ６０４の第１混合ガスと同一であってもよい。一実施形態において、ステップ６０８のエッチング処理は、層７００が全て除去されてから終了してもよい。
【００７８】
再堆積層７０６は、ステップ６０８の続くエッチング処理中に再堆積される場合がある。従って、図６のループ６１０よって示されるように、ステップ６０６、６０８を任意で繰り返し行って、層７００を周期的にエッチングしてもよい。再堆積層７０６の反復的な除去による段階的なエッチングにより、正確なＣＤ転写を実現しながらも、層７００へのフィーチャのエッチング中にパターンマスクを再開口することで高アスペクト比でエッチングしながらも垂直性が改善される。あるいは、マスク層７０２は、図７Ｄに示すように、層７００を所望のフィーチャにエッチングした後に除去してもよい。
【００７９】
従って、本発明は基板をエッチングするための改善された方法を提供する。本方法は、保護酸化層を選択的に形成及び／又はエッチング中に形成された再堆積層を除去してエッチングしながらプロファイルと寸法の制御を有利に促進する。
【００８０】
上記は本発明の実施形態についてのものであるが、本発明の基本的な範囲から逸脱することなくその他かつ更なる実施形態を考案することができ、その範囲は特許請求の範囲に基づいて決定される。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
本発明の開示は、添付図面と共に詳細な記載を考慮することによって容易に理解することができる。
【図１】本発明の一実施形態によるエッチングを実施する際に使用されるプラズマ処理装置の概略図である。
【図２】本発明の一実施形態を組み込んだ方法を示すプロセスフローチャートである。
【図３Ａ】〜
【図３Ｅ】緻密領域と隔離領域を有する複合構造体の一部の断面図である。
【図４Ａ】〜
【図４Ｇ】少なくとも高ｋ材料を含有する層を有する複合構造体の一部の断面図である。
【図５Ａ】〜
【図５Ｅ】浅いトレンチ分離（ＳＴＩ）構造を有する基板の一部の断面図である。
【図６】本発明の別の実施形態を組み込んだ方法を説明する工程フローチャートである。
【図７Ａ】〜
【図７Ｄ】高アスペクト比構造を形成する基板の一部の断面図である。
【図８Ａ】〜
【図８Ｂ】寸法制御の悪いエッチングによる、高アスペクト比を備えたフィーチャの従来実施形態の断面図である。
【図９】多層構造における高アスペクト比のフィーチャの従来実施形態の断面図である。
【００８２】
理解の便宜上、可能な限り同一の参照番号を使用して図に共通な同一部材を示した。一実施形態における要素及び構成は、特に記載がなくとも別の実施形態にも有益に組み込み得ると理解される。
【００８３】
しかしながら、添付の図面は本発明の代表的な実施形態のみを示すにすぎず、従って、本発明はその他の同様に効果的な実施形態も許容することから、発明の範囲を制限するものではないことに留意すべきである。
【図１】
2007235136.tif 000003
【図２】
2007235136.tif 000004
【図３Ａ】
2007235136.tif 000005
【図３Ｂ】
2007235136.tif 000006
【図３Ｃ】
2007235136.tif 000007
【図３Ｄ】
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【図３Ｅ】
2007235136.tif 000009
【図４Ａ】
2007235136.tif 000010
【図４Ｂ】
2007235136.tif 000011
【図４Ｃ】
2007235136.tif 000012
【図４Ｄ】
2007235136.tif 000013
【図４Ｅ】
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【図４Ｆ】
2007235136.tif 000015
【図４Ｇ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図５Ｅ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【外国語明細書】
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2007235136.tif 000054
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2007235136.tif 000060
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