(57)【要約】【課題】  転がり軸受装置に作用する予圧の測定精度が高く、更に低コスト化が可能なセンサ付き転がり軸受装置及び歪みセンサを得る。【解決手段】  内輪２，３、外輪４、転動体５及び歪みセンサ６を有するセンサ付き転がり軸受１である。歪みセンサ６は、外輪４又は内輪２，３の表面に設けられている。歪みセンサ６は、絶縁性膜ｂ及びこの絶縁性膜ｂ上に設けられた導電配線ｄを有する。導電配線ｄは、金属薄膜よりなる複数の細線状の高抵抗部８を経路途中に有する。これら複数の高抵抗部８が軌道輪表面の複数位置に配置されている。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周側に軌道面を有する外輪と、
外周側に軌道面を有する内輪と、
前記外輪の軌道面と前記内輪の軌道面との間に介在された転動体と、
前記外輪又は内輪の表面に貼り付け可能な歪みセンサとを備え、
前記歪みセンサは、金属薄膜よりなる複数の細線状の高抵抗部を経路途中に有する導電配線を絶縁性膜上に設けることによって構成されていることを特徴とするセンサ付き転がり軸受装置。
【請求項２】
前記高抵抗部は、前記歪みセンサの長手方向位置を異ならせて複数配置され、
前記歪みセンサは、前記外輪又は内輪の周面において、歪みセンサの長手方向を前記周面の周方向に略一致させて配置されていることを特徴とする転がり軸受装置。
【請求項３】
前記歪みセンサは、略帯状とされた帯状部と、この帯状部の長手方向に対して略直交する方向に延びる引き出し部とを有し、
前記周面には、周方向に沿って形成された周溝と、この周溝と連続して形成され当該周溝から軸受端面にまで至る取出用溝とが設けられ、
前記帯状部は前記周溝内に配置され、前記引き出し部は前記取出用溝を経由して軸受外部に至っていることを特徴とする請求項２に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
【請求項４】
前記高抵抗部が周方向略等間隔おきに配置されていることを特徴とする請求項２又は３に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
【請求項５】
略帯状とされた絶縁性膜と、この絶縁性膜上に設けられた導電配線とを有し、前記導電配線はその経路途中に細線状の高抵抗部を複数備えており、これら複数の高抵抗部が前記絶縁性膜の長手方向の複数位置に配置されていることを特徴とする歪みセンサ。
【請求項６】
前記絶縁性膜は、その長手方向に沿って延びる中間部と、この中間部の両端から前記長手方向と略直交して互いに同一方向に延びる２つの両端部とを有し、
前記導電配線は、複数の前記高抵抗部及びこれらの高抵抗部同士を接続する接続部のいずれもが１本の帯状の金属薄膜により形成され且つ前記絶縁性膜の延在方向に沿って配置されていること特徴とする請求項５に記載の歪みセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサ付き転がり軸受装置及び歪みセンサに関する。
【背景技術】
【０００２】
転がり軸受では、長寿命化等の観点から、組み付け時に適切な予圧を付与するのが好ましい。また、特に自動車ホイール用の転がり軸受装置では、転がり軸受に作用する予圧がコーナリング時の操舵フィーリング等に影響を与えるため、予圧を正確に管理することが極めて重要である。
【０００３】
しかしながら、内外輪等の各部材は寸法にバラツキがあるため、予圧を正確に設定するのは容易ではない。また、取り付けナットを備えた複列アンギュラ軸受装置等においては、取り付けナットの締め付けトルクを調整することにより予圧をある程度まで管理することができるが、この場合も予圧そのものが計測されているわけではないので、予圧の設定精度には限界がある。
【０００４】
そこで、特許文献１では、軌道輪の外表面に、軌道輪の変形程度を計測する圧力センサを設けた複列アンギュラ軸受が開示されている。この場合、センサ出力に基づき算出される予圧の大きさをモニタしながら取り付けナットを締め付けることができ、予圧の設定精度を高めることができる（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００２−２１３４３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載の従来技術では種々の問題が生じる。
第一に、圧力センサとしてストレーンゲージ（歪みゲージ）が例示されているが、歪みゲージを軌道輪表面に直接貼り付ける作業は手間と時間を要するので、軸受装置としての生産性が低下しやすい。更に圧力センサを複数設ける場合には生産性の低下が一層顕著化しやすくなる。
【０００６】
第二に、圧力センサを軌道輪表面に直接貼り付けているため、圧力センサの取り付け誤差が生じやすくなり、予圧測定精度が低下する恐れがある。第三に、圧力センサを１カ所のみに設けた場合には、軌道輪の１カ所における変形を局部的に測定しているにすぎず、軌道輪全体としての予圧を精度よく把握することができない。第四に、歪みゲージ等の圧力センサでは、センサ自体のコストが高いため、特に複数の圧力センサを設ける場合には極めて高コストとなる。
【０００７】
本発明は、かかる状況に鑑みてなされたものであり、転がり軸受装置に作用する予圧の測定精度が高く、更に低コスト化が可能なセンサ付き転がり軸受装置及び歪みセンサを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のセンサ付き転がり軸受装置は、内周側に軌道面を有する外輪と、外周側に軌道面を有する内輪と、前記外輪の軌道面と前記内輪の軌道面との間に介在された転動体と、前記外輪又は内輪の表面に貼り付け可能な歪みセンサとを備え、前記歪みセンサは、金属薄膜よりなる複数の細線状の高抵抗部を経路途中に有する導電配線を絶縁性膜上に設けることによって構成されていることを特徴とする。
【０００９】
このセンサ付き転がり軸受装置では、歪みセンサを内輪又は外輪の表面に取り付けるだけで、複数の高抵抗部が軌道輪表面の複数カ所に配置される。よって、市販の歪みゲージを複数用意してこれらを一つずつ軌道輪表面に貼り付けるといった煩雑な作業が不要となる。また、市販の歪みゲージを複数用いる場合と比較して歪みセンサのコストを低減することができる。また、高抵抗部が複数位置に配置されるので、一カ所における変形のみならず、複数カ所の変形を測定して予圧を算出することができる。よって、複数カ所のデータから軌道輪に作用する予圧を判断でき、予圧の測定精度を高めることができる。
【００１０】
前記高抵抗部は、前記歪みセンサの長手方向位置を異ならせて複数配置され、前記歪みセンサは、前記外輪又は内輪の周面において、歪みセンサの長手方向を前記周面の周方向に略一致させて配置されているのが好ましい。
このようにすると、歪みセンサの長手方向を軌道輪周面の周方向に略一致させて（巻き付けるように）歪みセンサを取り付けるだけで、歪みゲージとして機能する高抵抗部を、周面における複数の周方向位置に配置することができる。よって、軌道輪全体に作用する予圧を総合的に判断でき、予圧の測定精度をより一層高めることができる。
【００１１】
前記歪みセンサは、略帯状とされた帯状部と、この帯状部の長手方向に対して略直交する方向に延びる引き出し部とを有し、前記周面には、周方向に沿って形成された周溝と、この周溝と連続して形成され当該周溝から軸受端面にまで至る取出用溝とが設けられ、前記帯状部は前記周溝内に配置され、前記引き出し部は前記取出用溝を経由して軸受外部に至っていることを特徴とするのが好ましい。
この場合、周溝及び取出用溝の存在により、軌道輪周面とこれに嵌合等する外部部材とで挟まれることなく歪みセンサを取り付けることができる。また、引き出し部が軸受外部に至っているので、この引き出し部により歪みセンサと外部機器等とを容易に接続することができる。
【００１２】
また、前記高抵抗部が周方向略等間隔おきに配置されているのが好ましい。
この場合、周方向略等間隔おきに軌道輪の変形データが得られるので、軌道輪全体に作用する予圧をより正確に把握することができる。
【００１３】
本発明の歪みセンサは、略帯状とされた絶縁性膜と、この絶縁性膜上に設けられた導電配線とを有し、前記導電配線はその経路途中に細線状の高抵抗部を複数備えており、これら複数の高抵抗部が前記絶縁性膜の長手方向の複数位置に配置されていることを特徴とする。
この場合、単一の歪みセンサを物体表面に取り付けるだけで、複数カ所における物体の歪み（変形）を容易に測定することができる。よって、複数の歪みゲージを被検査物の表面に貼り付けるといった煩雑な作業を不要とすることができる。そして、絶縁性膜の長手方向を軌道輪の周方向に略一致させて取り付けることで、軌道輪の周方向複数カ所における歪みを容易に測定することができる。さらに、金属薄膜よりなる高抵抗部を絶縁性膜上に複数設けた歪みセンサとすることで、市販の歪みゲージを複数用いる場合と比較して歪みセンサのコストを低減することができる。
【００１４】
前記歪みセンサにおいて、前記絶縁性膜は、その長手方向に沿って延びる中間部と、この中間部の両端から前記長手方向と略直交して互いに同一方向に延びる２つの両端部とを有し、前記導電配線は、複数の前記高抵抗部及びこれらの高抵抗部同士を接続する接続部のいずれもが１本の帯状の金属薄膜により形成され且つ前記絶縁性膜の延在方向に沿って配置されている構成としてもよい。
この場合、歪みセンサの長手方向長さを軌道輪周面の周長と略同一に設定することにより、軌道輪周面に巻き付けた状態で２つの両端部を近接させることができる。よって、両端部上の導電配線と外部機器との接続が極めて容易となる。また、導電配線は高抵抗部のみならず接続部も金属薄膜により形成されているので、接続部が薄くなり、従来の歪みセンサのようにリード線等で接続する場合よりも狭い隙間に設置可能なセンサとすることができる。さらに導電配線は１本の帯状の金属薄膜により形成されているから、導電配線の作製が極めて容易となる。
【発明の効果】
【００１５】
歪みゲージとして機能する高抵抗部を複数接続してなる導電配線を備えたセンサを用いることにより、センサの取り付けが容易となり、かつ予圧の測定精度を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明する。
図１は、本発明のセンサ付き転がり軸受装置の一実施形態である複列アンギュラ玉軸受装置１及びその周辺部材の軸方向断面図である。
【００１７】
この複列アンギュラ玉軸受装置１は、内周側に軌道面を有する外輪４と、外周側に軌道面を有する第一の内輪２及び第二の内輪３と、転動体としての球５と、歪みセンサ６とを有している。外輪４の内周面に形成された２列の軌道溝のうちの一方が第一の内輪２の軌道面と対向しており、他方が第二の内輪３の軌道面と対向している。そして、これらの対向する軌道面間のそれぞれに球５が配列されている。この複列アンギュラ玉軸受装置１は、自動車ホイール用の軸受装置である。すなわち図１に示すように、自動車に装着された状態では、内輪２，３が車軸１５に嵌合固定され、外輪４がナックル１４に嵌合固定される。車軸１５の軸端部にはネジ部１６が設けられており、このネジ部１６にナット１８が締着されている。
【００１８】
図２は、歪みセンサ６及びその近傍の外輪４を示す断面図である。同図に示すように、外輪４の外周面には、歪みセンサ６を収容するための溝ｍが設けられている。この溝ｍの深さは歪みセンサ６の厚みよりも深くされているので、図１のような装着状態において歪みセンサ６が外部部材（ナックル１４）と外輪４との間に挟まれることがない。
【００１９】
第一の内輪２の軸受外側の端面は、車軸１５に設けられた段差２２と当接している。また、第二の内輪３の軸受外側の端面は、前述したナット１８と当接している。第一の内輪２と第二の内輪３との間には軸方向隙間１１が設けられているので、ナット１８を締め付けて内輪２，３を段差２２とナット１８とで挟み込むことにより、複列アンギュラ玉軸受装置１に予圧を付与することができる。また、ナット１８の締め付け力により、内輪２，３に作用する軸方向荷重が変化し、これに伴って軸受装置１の予圧が変化する。
【００２０】
図３は外輪４とその外周面に巻き付けるように装着された歪みセンサ６とを示す斜視図であり、図４は歪みセンサ６の全体図である。図４に示すように、歪みセンサ６は、略帯状とされた帯状部６ａと、この帯状部の長手方向に対して略直交する方向に延びる引き出し部６ｂとを有している。一方、図３に示すように、歪みセンサ６を収容するための溝ｍは、外輪４の周方向に沿って形成された周溝ｍ１と、この周溝ｍ１と連続して形成され当該周溝ｍ１から軸受端面にまで至る取出用溝ｍ２とを有する。取出用溝ｍ２は軸方向に沿って設けられている。そして、歪みセンサ６の帯状部６ａが周溝ｍ１内に配置され、引き出し部６ｂは取出用溝ｍ２に配置されている。引き出し部６ｂは、取出用溝ｍ２を経由して軸受外部に至っている。したがって、図１に示すように、歪みセンサ６の取り付け面（外輪４の外周面）が他部材（ナックル１４）で覆われている場合であっても、この引き出し部６ｂにおいて導電配線ｄと外部機器とを接続することができる。
【００２１】
歪みセンサ６の導電配線ｄは、外輪４の変形（歪み）に伴ってその抵抗、電流、又は電圧が変化する。よって歪みセンサ６により外輪４の変形を測定することができ、この変形量に基づいて軸受装置１に作用する予圧を算出することができる。本実施形態では、導電配線ｄの抵抗値を求める例を説明する。なお、歪みセンサ６は、外輪４の軸方向中央位置に取り付けられているが、これは予圧の測定精度向上に寄与している。外輪４の軸方向中央位置は、予圧に伴う変形が生じやすい部位だからである。
【００２２】
歪みセンサ６は、たとえばマイクロコンピュータ（以下、マイコンという）１９を介してモニタ２０に接続される。マイコン１９には、導電配線ｄの抵抗値を測定できる抵抗測定部と、この抵抗値から軸受装置１に作用する予圧を算出する予圧算出部と、この算出された予圧をモニタ２０に表示させる出力部とが内蔵されている。したがって、モニタ２０に表示される予圧を確認しながらナット１８を締め付けることにより、軸受装置１に精度良く予圧を付与することができる。
【００２３】
歪みセンサ６についてより詳細に説明する。
図２に示すように、歪みセンサ６は、絶縁性膜ｂと、この絶縁性膜ｂ上に設けられた導電配線ｄとを有している。なお図１及び図２では、絶縁性膜ｂや導電配線ｄの厚みを誇張して表示している。なお図２は、導電配線ｄと絶縁性膜ｂとの２層構造を示す概略図であって、絶縁性膜ｂ上における導電配線ｄの正確な配置は図４にて示される。
【００２４】
図４に示すように、絶縁性膜ｂは、帯状絶縁膜部ｂ１と、この帯状絶縁膜部ｂ１の長手方向とは異なる方向に延びる引き出し絶縁膜部ｂ２とを有している。引き出し絶縁膜部ｂ２の延設方向は、帯状絶縁膜部ｂ１の長手方向に対して略直交する方向である。前述した歪みセンサ６の帯状部６ａは帯状絶縁膜部ｂ１及び帯状絶縁膜部ｂ１上の導電配線ｄにより構成されている。また歪みセンサ６の引き出し部６ｂは引き出し絶縁膜部ｂ２および引き出し絶縁膜部ｂ２上の導電配線ｄにより構成されている。引き出し部６ｂは、帯状部６ａの長手方向の所定位置に１つ設けられ、この引き出し部６ｂ上に導電配線ｄの一端ｔ１と他端ｔ２とが配置されている。
【００２５】
導電配線ｄは、金属薄膜よりなり歪みゲージとして機能する高抵抗部８をその経路途中に４つ備えている。そして導電配線ｄは、４つの高抵抗部８を接続する接続部９を有しており、この接続部９と高抵抗部８とで、４つの高抵抗部８が接続された回路を形成している。具体的には、この回路は、４つの高抵抗部８のうち２つずつを直列に接続するとともに、これら直接接続された高抵抗部８の組同士を互いに並列に接続している。
【００２６】
高抵抗部８のみならず接続部９も金属薄膜よりなる。よって、歪みセンサ６は、リード線のような比較的太径の配線部分が無く、全体に亘って薄肉化されている。したがって、歪みセンサ６は、狭い隙間に設置することができ、周溝ｍ１や取出用溝ｍ２の深さを抑制するのに寄与している。
【００２７】
図５は高抵抗部８近傍の拡大図である。なお図５では、理解しやすいように金属薄膜の存在する部分をハッチングで示している。図５に示すように、高抵抗部８は細線状とされ、且つつづら折り状に形成されている。よって高抵抗部８は、線幅が細くされるとともに線長さが長くされており、歪みゲージとして機能する。このような高抵抗部８は、たとえば金属薄膜をエッチングすることにより得られる。また高抵抗部８の両端には、高抵抗部８と同一の金属薄膜により形成されたジョイント部１３が設けられている。図４に示すように、異なる高抵抗部８のジョイント部１３同士が接続部９を介して接続されている。
【００２８】
高抵抗部８は、歪みセンサ６の長手方向位置を異ならせて複数配置されている。そして、図３に示すように、歪みセンサ６は、外輪４の外周面において、歪みセンサ６の長手方向を外輪外周面の周方向に略一致させて配置されている。その結果、高抵抗部８は、外輪４における周方向複数位置に配置されている。
さらに歪みセンサ６では、歪みセンサ６の長手方向に対して略等間隔おきに高抵抗部８が配置されている。その結果、歪みセンサ６を外輪４の外周面に取り付けた状態において、高抵抗部８が周方向略等間隔おきに配置された状態とされている。
【００２９】
なお、高抵抗部８の金属薄膜を構成する金属としては、たとえばニクロム、Ｎｉ、Ｃｕ、等が挙げられる。この点は、接続部９の金属薄膜についても同様である。また絶縁性膜ｂを構成する膜としては、たとえばポリイミド系の材料を挙げることができる。
【００３０】
以上のように構成されたセンサ付き複列アンギュラ玉軸受装置１あるいは歪みセンサ６は、以下のような作用効果を奏する。
前記の軸受装置１では、単一の歪みセンサ６を外輪表面に取り付けるだけで、複数の高抵抗部が軌道輪表面の複数カ所に配置される。よって、市販の歪みゲージを複数用意してこれらを一つずつ軌道輪表面に貼り付けるといった煩雑な作業が不要となる。また、金属薄膜よりなる高抵抗部８を絶縁性膜上に複数設けた歪みセンサ６を用いているので、市販の歪みゲージを複数用いる場合と比較して歪みセンサのコストを低減することができる。また、歪みセンサ６を貼り付けることにより高抵抗部８が複数位置に配置されるので、一カ所における変形のみならず、複数カ所の変形を測定して予圧を算出することができる。よって、複数カ所のデータから軌道輪に作用する予圧を判断でき、予圧の測定精度を高めることができる。
【００３１】
さらに、歪みセンサ６の長手方向を軌道輪周面の周方向に略一致させて（巻き付けるようにして）歪みセンサ６を取り付けるだけで、歪みゲージとして機能する高抵抗部８を、周面における複数の周方向位置に配置することができる。よって、軌道輪全体に作用する予圧を総合的に判断でき、予圧の測定精度をより一層高めることができる。
【００３２】
周溝ｍ１及び取出用溝ｍ２の存在により、歪みセンサ６が外輪外周面とナックル１４とで挟まれることがない。また、引き出し部６ｂが軸受外部に至っているので、この引き出し部６ｂにより歪みセンサと外部機器（マイコン等）とを容易に接続することができる。
【００３３】
さらに、周方向略等間隔おきに高抵抗部８が設置されているので、周方向略等間隔おきにおける軌道輪の変形データが得られ、外輪４に作用する予圧を全体的に把握することができる。
【００３４】
なお、歪みセンサ６における導電配線ｄの一端ｔ１と他端ｔ２との間の抵抗値を求める手法の一例について説明しておく。図８は、４つの高抵抗部８を有する導電配線ｄと、この導電配線ｄに接続された抵抗測定部３０とが接続された状態の回路図である。抵抗測定部３０の第一端子３１と歪みセンサ６の一端ｔ１とが接続され、抵抗測定部３０の第二端子３２と歪みセンサ６の他端ｔ２とが接続されている。そして、抵抗測定部３０の内部に配置された抵抗３４と抵抗３５との間に電圧Ｅを印加して、抵抗３３と抵抗３４の両端の電圧ｅを測定することによって、導電配線ｄ一端ｔ１と他端ｔ２との間の抵抗値を測定する。
【００３５】
図６は、本発明の他の実施形態の歪みセンサ４０を示す全体図であり、図７は歪みセンサ４０における高抵抗部８近傍の拡大図である。なお、この歪みセンサ４０も外輪４の外周面に取り付けられて複列アンギュラ玉軸受装置を構成するが、この複列アンギュラ玉軸受装置の構成は上記実施形態と同じなので、以下では説明を省略する。なお、図６では、理解しやすいように、導電配線ｄのうち高抵抗部８のみをハッチングで示し、接続部９にはハッチングを付していない。
【００３６】
図４に示す歪みセンサ６と異なり、歪みセンサ４０の絶縁性膜ｂは、その長手方向に沿って延びる中間部ｋ１と、この中間部ｋ１の両端から絶縁性膜ｂの長手方向と略直交して互いに同一方向に延びる２つの両端部ｋ２とを有している。そして、絶縁性膜ｂ上に配置された導電配線ｄは、複数の高抵抗部８及びこれらの高抵抗部８同士を接続する接続部９のいずれもが１本の帯状の金属薄膜により形成されている。また導電配線ｄは、絶縁性膜ｂの中間部ｋ１及び２つの両端部ｋ２の表面上において、これら中間部ｋ１及び両端部ｋ２の延在方向に沿って配置されている。導電配線ｄの一端ｔ１は第一の両端部ｋ２１上に配置され、導電配線ｄの他端ｔ２は第二の両端部ｋ２２上に配置されている。中間部ｋ１と当該中間部ｋ１上の導電配線ｄとが歪みセンサ４０の帯状部４０ａを構成している。また両端部ｋ２と当該両端部ｋ２上の導電配線ｄとが歪みセンサ４０の引き出し部４０ｂを構成している。
【００３７】
導電配線ｄは、図４の歪みセンサ６の場合よりも回路構成が単純化されている。すなわち、歪みセンサ４０の導電配線ｄは、３つの高抵抗部８が直列に接続されてなる。よって導電配線ｄは、３つの高抵抗部８及びそれらを接続する接続部９とが一本の線状に接続された状態となっている。
【００３８】
歪みセンサ４０は、歪みセンサ６と似た態様で図３に示すように取り付けられる。つまり、中間部ｋ１が周溝ｍ１内に配置され、両端部ｋ２が取出用溝ｍ２内を通って軸受外部にまで至っている。ここで、中間部ｋ１の長手方向長さＬは外輪４の周面の周長（周溝ｍ１の底面の周長）と略等しく設定されている。よって、中間部ｋ１の長手方向を外輪４の周方向と一致させ、歪みセンサ４０を外輪４の外周面に巻き付けると、第一の両端部ｋ２１と第二の両端部ｋ２２とが近接配置されることとなる。よって、これら第一の両端部ｋ２１と第二の両端部ｋ２２とを単一の取出用溝ｍ２に配置することができる。またこの場合、導電配線ｄの一端ｔ１と他端ｔ２との位置が近接するので、これら一端ｔ１，他端ｔ２と外部端子との接続が容易となる。
【００３９】
歪みセンサ４０では、導電配線ｄが一本の帯状の金属薄膜により形成されている。具体的には、所定幅を有する一本の帯状の金属薄膜から導電配線ｄを形成している。そのため、接続部９の幅Ｗ１は、高抵抗部８部分の折り返し方向幅Ｗ２と等しくなっている。
なお、導電配線ｄの製造方法を詳細に説明しておく。一本の帯状の（テープ状の）金属箔を用意し、この金属箔の長手方向複数カ所（歪みセンサ４０では３カ所）をエッチング加工して高抵抗部８を形成する。ここでエッチング加工された部分が高抵抗部８となり、その他の部分（エッチング加工されていない部分）が接続部９となる。そして、このエッチング済みの金属箔の両端部を折り曲げれば導電配線ｄの全体が完成する。この導電配線ｄを絶縁性膜ｂ上に配置することで、歪みセンサ４０が作製される。
【００４０】
このように、歪みセンサ４０の導電配線ｄは、接続部９と高抵抗部８とが一体的に形成されているので、複数の高抵抗部８同士を配線で接続する手間が不要とされている。よって、極めて生産性の高い歪みセンサ４０となっている。また歪みセンサ４０では、導電配線ｄが一本の帯状とされているので、絶縁性膜ｂの幅を狭くすることができ、歪みセンサ４０としても幅が狭くコンパクトなものとなっている。
【００４１】
なお、導電配線ｄの厚み（高抵抗部８及び接続部９の厚み）は、たとえば０．０１ｍｍ程度とすることができ、上述した幅Ｗ１は５ｍｍ程度とすることができる。また、高抵抗部８の最小線幅Ｗ３は、たとえば０．１ｍｍ程度とすることができる。ただし、これらの厚みや幅、さらには高抵抗部８の折り返し数等は、導電配線ｄの材料物性等により適宜調整される。
【００４２】
歪みセンサ４０の導電配線ｄでは、３つの高抵抗部８が直列で接続されているので、両端ｔ１，ｔ２間の抵抗を測定することにより、３つの高抵抗部８の抵抗の合計値を測定することができる。よって、図３のように外輪４に装着することにより、周方向３カ所の変形を総合的に把握することができるので、外輪４に作用する予圧を大局的に精度よく測定することができる。
【００４３】
なお、上記実施形態では、高抵抗部８を構成する金属薄膜を金属箔から形成したが、その他の手法も可能である。たとえば、金属薄膜はＣＶＤ（Chemical Vapor deposition）やＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）などの蒸着によって形成されたものを用いても良い。また高抵抗部８の細線パターンは、上述したエッチングによる方法の他、たとえば熱転写により作製することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明の一実施形態であるセンサ付き複列アンギュラ玉軸受装置及びその周辺部材の断面図である。
【図２】歪みセンサ及びその近傍の外輪の拡大断面図である。
【図３】外輪及びその外周面に取り付けられた歪みセンサの斜視図である。
【図４】第一実施形態の歪みセンサを示す全体図である。
【図５】図４の歪みセンサの高抵抗部近傍の拡大図である。
【図６】第二実施形態の歪みセンサを示す全体図である。
【図７】図６の歪みセンサの高抵抗部近傍の拡大図である。
【図８】導電配線と抵抗測定部とが接続された状態の回路図である。
【符号の説明】
【００４５】
１      複列アンギュラ玉軸受装置（センサ付き転がり軸受装置）
２      第一の内輪（内輪）
３      第二の内輪（内輪）
４      外輪
５      球（転動体）
６      歪みセンサ
６ａ    帯状部
６ｂ    引き出し部
８      高抵抗部
４０    歪みセンサ
４０ａ  帯状部
４０ｂ  引き出し部
ｍ１    周溝
ｍ２    取出用溝
ｂ      絶縁性膜
ｋ１    中間部
ｋ２    両端部
【図１】
2007032705.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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