(57)【要約】【課題】配管を４００℃以上に昇温可能で、原料供給経路にも設置可能な加熱配管を提供する。【解決手段】加熱配管１０は、内側管２０と外側管３０との間に形成された閉空間３３内に加熱手段４０を設けている。この加熱手段４０は、板状のカーボンヒーター４１と、そのカーボンヒーター４１を挟持するとともに他の部材との非接触状態を保つように設けられた互いに係合する一対の碍子対４３と、を備えている。カーボンヒーター４１は、加熱配管１０の長手方向に沿って帯状に延びる複数の中間部４８と、この中間部４８の両端の折り返し部４２と、を有し、中間部４８および折り返し部４２が順につづら折り状に連続して一体に形成されるとともに、加熱配管１０の円周方向に断面多角形状に配置されて加熱空間を構成しており、碍子対４３は、カーボンヒーター４１の各折り返し部４２および隣り合う中間部４８同士の隙間の長手方向中央にそれぞれ複数配置されている。【選択図】図１
2007040436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内側管と外側管との間に形成された閉空間内に加熱手段を設けた加熱配管において、
前記加熱手段は、板状のヒーターと、互いに係合してヒーターをその外側および内側から挟持する一対の碍子対と、を備えてなり、
ヒーターは、加熱配管の長手方向または円周方向に沿って帯状に延びる複数の中間部と、この中間部の両端の折り返し部と、を有し、これら中間部および折り返し部が略つづら折り状に連続して一体に形成されるとともに、内側管を囲繞して配置されて加熱空間を構成しており、碍子対は、そのヒーターの各折り返し部および隣り合う中間部同士の隙間の長手方向中央にそれぞれ複数配置されてヒーターと内側管および外側管との非接触状態を保つように設けられていることを特徴とする加熱配管。
【請求項２】
一対の碍子対のうち、外側の碍子は、一対をなす碍子対同士の係合を緩めて外側の碍子と外側管の内周壁とを接触させたときに、ヒーターと外側管の内周壁とが非接触状態を保つようにその外側管側の厚みが設定されていることを特徴とする請求項１に記載の加熱配管。
【請求項３】
碍子対は、雄ねじ部および頭部を有する段付ピン形状の雄碍子と、その雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成された角筒形状の雌碍子と、を備えて構成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の加熱配管。
【請求項４】
外側管の外側に外郭管を設け、外側管と外郭管との間に形成された閉空間内を冷却する冷却手段をさらに設けたことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の加熱配管。
【請求項５】
加熱手段を設けた閉空間内は、真空引きまたは不活性ガスを導入可能に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の加熱配管。
【請求項６】
外側管に、さらに、ヒーターの表面に熱電対を近接させるための熱電対挿入管と、ヒーターおよび熱電対相互の近接状態を観察する観察管と、が接続されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の加熱配管。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、加熱配管の配管構造に係り、特に、半導体製造装置の排気経路や原料供給用途等に好適に用い得る加熱機能を備える加熱配管に関する。
【背景技術】
【０００２】
化合物半導体の製造に用いるＭＯＣＶＤ装置などの半導体製造装置の排気経路は、未反応の半導体ガスから砒素やリンなどが、ガスの温度の降下にともなって凝集されて配管内壁に付着する。配管内壁に付着物があるとガスの流れに変化が生じ、上流側の半導体製造装置に悪影響を及ぼす。そのため、配管を加熱することでガスの温度降下量を抑えて配管内壁への付着物の量を低減させ、さらに、付着物の量が一定量にまで達したら配管を所定温度以上に加熱して付着物を燃焼させてキャリアガスで除去する、いわゆるベークアウトを行うことが必要である。ベークアウトの温度は付着物の組成によるが、付着物が砒素である場合は４００℃以上にする必要がある。
【０００３】
ここで、従来の半導体製造装置の排気配管に備えられていた加熱手段としては、ラインヒーターが挙げられるが、一般的なラインヒーターは、その加熱温度が１００〜２００℃程度であり、砒素が付着した場合のベークアウトに必要な４００℃には及ばなかった。
そこで、例えば特許文献１に記載の技術では、高温対応のラインヒーターが開示されている。このラインヒーターは、配管の周囲にコードヒーターを螺旋状に沿わせており、その外周に、アルミ箔とガラスクロスシートとの積層構造体である均熱層、ガラスファイバーをポリエチレンの薄膜で包み込んだ保温層、および、ポリビニルクロリデンのパイプである保護カバーを設けることで４００℃まで昇温可能になっている。なお、この種のコードヒーターは、芯材とガラスクロステープからなる被覆材とで構成されているが、このラインヒーターによれば、コードヒーターの発熱量は被覆材の耐熱温度によって制限される。また、コードヒーターの外周に設けられた均熱層はコードヒーターの熱が局所的に偏ることを防ぎ、保温層は熱の放散を防ぎ、保護カバーおよびラインヒーター全体を保護することができる。
【特許文献１】特開２００２−２２８０８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記従来のラインヒーターでは、コードヒーターの被覆材の耐熱温度以上は望めず配管内を４００℃以上に加熱することは困難であり、砒素の付着が問題となっている排気経路で使用することはできなかった。
一方、同じく化合物半導体の製造に用いるＨＶＰＥ装置などの半導体製造装置において、金属原料の供給経路の加熱温度は、原料がガリウムの場合には８００℃に達し、原料がアルミニウムの場合でも５００℃を下らないので、従来のラインヒーターでは昇温することができなかった。
【０００５】
そのため、ＨＶＰＥ装置では供給経路に大型の電気炉を設置し、供給経路全体を加熱していたが、装置が大型化し問題となっていた。また、ＨＶＰＥ装置に複数の金属原料を同時に供給する場合は、それぞれ金属原料の供給温度に合わせた温度域を設定する必要があり、それぞれの供給経路に個別の電気炉を設置すると、装置がさらに大型化するという問題があった。
そこで、本発明は、このような問題点に着目してなされたものであって、配管を４００℃以上に昇温可能で、原料供給経路にも設置可能な加熱配管を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、内側管と外側管との間に形成された閉空間内に加熱手段を設けた加熱配管において、前記加熱手段は、板状のヒーターと、互いに係合してヒーターをその外側および内側から挟持する一対の碍子対と、を備えてなり、ヒーターは、加熱配管の長手方向または円周方向に沿って帯状に延びる複数の中間部と、この中間部の両端の折り返し部と、を有し、これら中間部および折り返し部が略つづら折り状に連続して一体に形成されるとともに、内側管を囲繞して配置されて加熱空間を構成しており、碍子対は、そのヒーターの各折り返し部および隣り合う中間部同士の隙間の長手方向中央にそれぞれ複数配置されてヒーターと内側管および外側管との非接触状態を保つように設けられていることを特徴としている。
【０００７】
本発明によれば、加熱手段は、板状のヒーターと、そのヒーターを外側および内側から挟持する碍子対とを備えて構成されており、例えば耐熱温度の低いガラスクロスシート（テープ）を使用しないで加熱手段を構成可能なので、ベークアウトに必要な４００℃以上に昇温が可能であり、原料供給系にも設置することができる。ここで、板状のヒーターとしては、カーボン繊維強化カーボンヒーター（カーボンヒーター）を好適に使用することができる。
【０００８】
また、本発明によれば、ヒーターは、長手方向または円周方向に折り返しながら内側管を囲繞して加熱空間を占めており、折り返し部および折り返しの中間部にそれぞれ碍子対を配しているので、ヒーターが内側管の略全周を覆い局所的に偏って加熱することがない。
ここで、一対の碍子対のうち、外側の碍子は、一対をなす碍子対同士の係合を緩めて外側の碍子と外側管の内周壁とを接触させたときに、ヒーターと外側管の内周壁とが非接触状態を保つようにその外側管側の厚みが設定されていることが好ましい。このような構成であれば、仮に、碍子対同士の係合が緩み、外側の碍子と外側管の内周壁とが接触してもヒーターと外側管の内周壁が非接触状態を保つように外側の碍子の厚みを設定しているので、例えばヒータにカーボンヒーターを用いた場合であっても、カーボンヒーターの使用上の難点である絶縁状態の保持を確実なものとすることができる。
【０００９】
また、碍子対は、雄ねじ部および頭部を有する段付ピン形状の雄碍子と、その雄ねじ部に螺合する雌ねじ部が形成された角筒形状の雌碍子と、を備えて構成されていることが望ましい。このような構成であれば、碍子対の係合を強固なものとする上で好適である。
また、外側管の外側に外郭管を設け、外側管と外郭管との間に形成された閉空間内を冷却する冷却手段をさらに設けていることが望ましい。すなわち、例えば上記従来のラインヒーターでは、最外郭の保護カバーも相当の温度まで上昇するのでその温度が設定した温度を超える高温になることがある。しかし、このような構成であれば、加熱手段の外側は冷却されるので、その温度が設定した温度を超えることを抑制することができる。
【００１０】
また、加熱手段を設けた閉空間内は、真空引きまたは不活性ガスを導入可能に構成されていることが望ましい。すなわち、例えば上記従来のラインヒーターでは、コードヒーターの被覆材、均熱層、および、保温層に用いられるガラスクロスシート（テープ）が大気中で高温に曝されるので酸化等による劣化で定期的に交換する必要があった。しかし、このような構成であれば、加熱手段が形成された閉空間を真空引き、または、不活性ガスを導入することで、内側管の外周、外側管の内周、ヒーターおよび碍子対が大気に曝されないので、酸化等による劣化を抑制する上で好適である。
【００１１】
また、外側管に、さらに、ヒーターの表面に熱電対を近接させる熱電対挿入管と、ヒーターおよび熱電対相互の近接状態を観察する観察管と、が接続されていることが望ましい。すなわち、例えば上記従来のラインヒーターでは、多数の被覆層は密着して構成されており、熱電対を適切に熱源に近接保持することができないので、ラインヒーター内の温度状態を正確に測定することは困難であった。しかし、このような構成であれば、熱電対をヒーターに確実に近接させることができ、温度状態を正確に測定することが可能となる。そして、観察窓から放射温度計によってヒーターの温度を測定することで、熱電対の補正も可能となり温度状態をより正確に把握することができる。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、配管を４００℃以上に昇温可能で、原料供給経路にも設置可能な加熱配管を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について、図面を適宜参照しつつ説明する。
図１は本発明に係る加熱配管の第一の実施形態を説明する正面図であり、同図では、その加熱配管の外郭管を軸線を含む縦断面で示している。また、図２は図１でのＡ−Ａ線断面図である。
図１および図２に示すように、この加熱配管１０は、内側から順に、内側管２０、外側管３０、および外殻管５０が同心状に配設されて構成されている。そして、内側管外周壁２１と外側管内周壁３２との間に形成された閉空間３３内に後述する加熱手段４０が設けられている。
【００１４】
内側管２０には、図１に示すように、その両端にフランジ部２３がそれぞれ設けられている。フランジ部２３には、その周方向等間隔に多数のボルト穴２３ａが貫通形成されており、このボルト穴２３ａによって加熱配管１０同士、または、半導体製造装置（図示略）等の他の構成部品と接続され、内側管内周壁２２内を原料または排気が移送可能になっている。なお、実際の使用時には、フランジ部２３は断熱材で覆うことが好ましい。
【００１５】
外側管３０には、図１に示すように、その両端部に電極挿入管３４がそれぞれ接続されており、この電極挿入管３４には、ガス配管継手３５が設けられている（図２参照）。このガス配管継手３５には、ガス供給経路（図示略）から窒素等の不活性ガスが供給可能に構成されており、これにより、ガス配管継手３５から閉空間３３内に不活性ガスを導入することで、高温に曝される閉空間３３や後述する加熱手段４０の構成部品が高温によって劣化することを防止可能になっている。
【００１６】
ここで、外側管３０の外周壁３１と外郭管５０の内周壁５２との間で形成した閉空間５３の両端には、冷媒配管継手５４がそれぞれ接続されている。そして、冷媒経路（図示略）を介してこの冷媒配管継手５４から閉空間５３内に冷媒を供給可能になっており、これらによって外郭管５２の外周壁５１を冷却する冷却手段が構成されている。
【００１７】
次に、加熱手段４０について詳しく説明する。なお、図３は加熱手段の要部を拡大して示す説明図、また、図４はカーボンヒーターの中間部の中央を拡大して示す説明図である。
加熱手段４０は、図１および図２に示すように、板状のカーボンヒーター４１と、多数の碍子対４３と、を備えて構成されている。
カーボンヒーター４１は、図１に示すように、加熱配管１０の長手方向に沿って帯状に延びる複数の中間部４８と、この中間部４８両端の折り返し部４２と、を有している。そして、これら中間部４８および折り返し部４２が順に略つづら折り状に連続して一体に形成されている。また、カーボンヒーター４１には、その折り返し部４２に保持穴４２ａが設けられており（図３参照）、さらに、隣り合う中間部４８同士の隙間には、その長手方向中央に、相対向する一対の切欠き４８ａが設けられている（図４参照）。
【００１８】
そして、そのつづら折り状のカーボンヒーター４１の始点と終点には、それぞれ電極固着部４７が設けられており、各電極固着部４７に電極４６がそれぞれ固着されている。さらに、各電極４６は電極挿入管３４にそれぞれ固定されている。なお、このカーボンヒーター４１は、例えば配管材としてインコネル６００を使用した場合、１０００℃以上まで使用可能であり、加熱配管１０が排気に砒素を含む排気経路に使用する場合のベーキング温度である４００℃以上、あるいは、加熱配管１０が原料としてガリウムを移送する原料供給経路に使用する場合の温度８００℃以上に加熱可能である。
【００１９】
碍子対４３は、図３に拡大図示するように、一対をなす外側碍子４４と内側碍子４５とを備えて構成されている。外側碍子４４は、雄ねじ部４４ａおよび頭部４４ｂを有する段付ピン形状の雄碍子である。また、内側碍子４５は、角筒形状の雌碍子であり、外側碍子４４の雄ねじ部４４ａに螺合する雌ねじ部４５ａが形成されている。そして、外側碍子４４は、その雄ねじ部４４ａが、カーボンヒーター４１の保持穴４２ａおよび一対の切欠き４８ａに挿入可能になっており、このカーボンヒーター４１の保持穴４２ａに雄碍子４４の雄ねじ部４４ａを挿入して、雄碍子４４と雌碍子４５とをねじ結合することで、カーボンヒーター４１の各折り返し部４２および各中間部４８同士の隙間にそれぞれ装着されて、カーボンヒーターをその外側および内側から挟持可能に構成されている。
【００２０】
これにより、カーボンヒーター４１は、その電極固着部４７を電極４６によって支持されるとともに、多数の碍子対４３によってカーボンヒーター４１全体が内側管２０および外側管３０との非接触状態を保つように閉空間３３内で保持されている。
すなわち、一対の碍子対４３が、内側管２０の周壁に沿って加熱配管１０の円周方向に等間隔に装着されることで、カーボンヒーター４１は、内側管２０および外側管３０との非接触状態を保つように多数の碍子対４３で絶縁可能になっている。さらに、カーボンヒーター４１は、加熱配管１０の円周方向に曲げられて断面多角形状に配置されることで、内側管２０を囲繞しており、これにより、閉空間３３を占めた加熱空間を構成可能になっている（図２参照）。なお、この状態で、碍子対４３は、カーボンヒーター４１の中間部４８では、隣り合う中間部４８同士の隙間の長手方向中央に形成された切欠き４８ａに対し固定される（図４参照）ので、仮に碍子対４３が緩むとともに、配管が傾いたとしても、碍子対４３が偏ることなくカーボンヒーター４１を保持して絶縁状態を維持可能になっている。
【００２１】
ここで、碍子対４３は、図５に示すように、雄碍子４４と雌碍子４５との係合、つまり一対をなす碍子対４３の係合を緩めて雄碍子４４と外側管３０の内周壁３２とが接触したときに、カーボンヒーター４１と外側管３０の内周壁３２とが非接触状態を保つように雄碍子４４の外側管３０側となる頭部４４ｂの厚みが設定されている。すなわち、同図に示すように、碍子対４３の係合を緩めて雄碍子４４が外側管３０の内周壁３２に接触したときの碍子対４３の軸方向での隙間Ｄ１に対し、その軸方向でのカーボンヒーター４１と外側管３０の内周壁３２との隙間Ｄ２は、Ｄ２＞Ｄ１となる厚さになっている。これにより、碍子対４３が最大に緩んでカーボンヒーター４１が内周壁３２に移動しても隙間Ｄ３が確保されるようになっている。
【００２２】
次に、この加熱配管１０の作用・効果について説明する。
上述のように、この加熱配管１０によれば、その加熱手段４０は、板状のカーボンヒーター４１と、カーボンヒーター４１を外側および内側から挟持する碍子対４３とを備えて構成されているので、例えば耐熱温度の低いガラスクロスシート（テープ）を使用しないで加熱手段を構成可能なので、ベークアウトに必要な４００℃以上に昇温が可能であり、原料供給系にも設置することができる。
【００２３】
例えば、この加熱配管１０を、半導体製造装置の排気経路に使用する際は、冷媒配管継手５４から閉空間５３内に冷媒を供給し、ガス配管継手３５から閉空間３３内に不活性ガスを導入しながら、電極４６に通電してカーボンヒーター４１を昇温する。例えば、移送する排気に砒素が含まれる場合はベーキング温度である４００℃以上に昇温すれば、内側管２０の内周壁２２に砒素が付着することを防ぐことができる。
【００２４】
例えば、また、この加熱配管１０を、半導体製造装置の原料供給経路に使用する際は、冷媒配管継手５４から閉空間５４内に冷媒を供給し、ガス配管継手３５から閉空間３３内に不活性ガスを導入しながら、電極４６に通電してカーボンヒーター４１を昇温する。例えば、移送する原料がガリウムの場合は原料供給温度である８００℃に昇温すれば、ガリウムが安定した状態で半導体製造装置に供給することができる。
【００２５】
また、この加熱配管１０によれば、そのカーボンヒーター４１は、長手方向に折り返しながら円周方向に断面多角形状を形成して加熱空間を占めており、折り返し部４２および隣り合う中間部４８同士の隙間の長手方向中央にそれぞれ碍子対４３を配しているので、カーボンヒーター４１が内側管２０の略全周を覆うことで局所的に偏って加熱することがない。
【００２６】
さらに、この加熱配管１０によれば、仮に、碍子対４３同士の係合が緩み、外側の雄碍子４４と外側管３０の内周壁３２とが接触しても、カーボンヒーター４１と外側管３０の内周壁３２が非接触状態を保つように雄碍子４４の頭部４４ｂの厚みを設定しているので、カーボンヒーター４１の使用上の難点である絶縁状態の保持を確実なものとすることができる。
【００２７】
また、この加熱配管１０によれば、外側管３０の外周壁３１と外郭管５０の内周壁５２との間で形成した閉空間５３の両端に冷媒配管継手５４をそれぞれ接続しており、冷媒経路から閉空間５３内に冷媒を供給することで外郭管５０の外周壁５１を冷却可能なので、外郭管５０の外周壁５１の温度が設定した温度を超えることを抑制することができる。
また、この加熱配管１０によれば、従来の加熱炉に比べて設置スペースが小さくて済むので原料供給経路の加熱装置を小型化することが可能となる。特に、２系統以上の原料を供給する場合は原料供給経路の加熱装置を大幅に小型化することができる。また、閉空間３３および加熱手段４０は不活性ガスが導入されているので熱による劣化を抑制することができる。
【００２８】
次に、本発明に係る加熱配管の第二の実施の形態について図６を参照しつつ説明する。なお、図６は、その第二の実施形態を説明する横断面図であり、同図では図１でのＡ−Ａ線断面図に対応する図で示している。
この加熱配管６０の基本的な構成は、上述の加熱配管１０と共通しており、熱電対挿入管６１と、観察管６４とが接続されている点を除き第一の実施形態と同様であるので、共通部分の説明は適宜省略する。
同図に示すように、この加熱配管６０は、第一の実施形態と同様、同心状に配設された内側管２０、外側管３０、および外殻管５０とを備え、内側管外周壁２１と外側管内周壁３２の間に形成された閉空間３３内に加熱手段４０が設けられている。
【００２９】
この加熱配管６０では、外側管３０の適所（図示しないが、例えば、図１での長手方向の略３／４の位置）に、カーボンヒーター４１の表面に熱電対６２を近接させるための熱電対挿入管６１が設けられている。熱電対６２は、ベローズ６３ａと調整ねじ６３ｂとからなる調整機構６３を備えて構成されている。また、外側管３０の適所に、カーボンヒーター４１と熱電対６２の測定子６２ａとの相互の近接状態を観察する観察管６４を接続している。この観察管６４には観察窓６５が設けられており、観察窓６５は、測定子６２ａとカーボンヒーター４１の近接箇所を観察可能になっている。
ここで、熱電対挿入管６１は、カーボンヒーター４１表面と熱電対６２の測定子６２ａとが互いに平行となる向きに設けられており、観察管６４は、熱電対挿入管６１と直交する向きに設けられている。
【００３０】
次に、この加熱配管６０の作用・効果について説明する。
この加熱配管６０によれば、その基本的な構成は、上述の加熱配管１０と共通しているので、上記第一の実施形態と同様の作用・効果を奏することができる。
そして、この加熱配管６０によれば、熱電対６２は、ベローズ６３ａと調整ねじ６３ｂとからなる調整機構６３を備えており、また、測定子６２ａとカーボンヒーター４１表面が平行となる向きに配設されているので測定子６２ａとカーボンヒーター４１の近接状態を最適に保つ調整作業が可能である。
【００３１】
また、この加熱配管６０によれば、観察管６４には観察窓６５が設けられており、測定子６２ａとカーボンヒーター４１の近接箇所を観察窓６５から観察しながら調整することが可能となっているので、その調整作業は容易である。なお、観察窓６５から放射温度計を用いてカーボンヒーター４１を測定すれば、熱電対６２の較正を行なうことも可能である。
【００３２】
特に、この加熱配管６０は、調整機構をもつ熱電対６２でカーボンヒーター４１の温度状態を正確に把握することができるので、微妙な温度制御が可能であり、原料供給経路に使用するのに適しているといえる。
なお、本発明に係る加熱配管は、上記各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しなければ種々の変形が可能である。
【００３３】
例えば、上記各実施形態では、内側管２０を囲繞して配置されて加熱空間を構成するヒータとして、カーボンヒーター４１を使用した例で説明したが、これに限定されず、板状のヒータとして使用可能であれば、種々の材料を適用できる。しかし、ベークアウトに必要な４００℃以上に昇温が可能であり、原料供給系にも設置することができる板状のヒータとしては、カーボンヒーターを使用することが好ましい。
【００３４】
また、上記各実施形態では、カーボンヒーター４１の中間部は、加熱配管の長手方向に沿って帯状に延びる構成例で説明したが、これに限定されず、例えば中間部を、加熱配管の円周方向に沿って帯状に延びるように構成してもよい。そして、この中間部と、その中間部の両端の折り返し部と、を有し、これら中間部および折り返し部が略つづら折り状に連続して一体に形成されるとともに、内側管を囲繞して配置されて加熱空間を構成してもよい。
【００３５】
また、上記各実施形態では、外側管３０の外側に外郭管５０を設け、外側管３０と外郭管５０との間に形成された閉空間５３内を冷却する冷却手段をさらに設けた例で説明したが、これに限定されず、上述の冷却手段を有しない構成とすることもできる。しかし、加熱手段の外側を冷却して、例えば最外郭部分の保護カバー等での温度上昇を抑制する上では、上記各実施形態のように冷却手段を有する構成とすることが好ましい。
【００３６】
また、上記各実施形態では、加熱手段４０を設けた閉空間３３内は、不活性ガスを導入する構成例で説明したが、これに限定されず、不活性ガスを導入しない構成とすることもできる。しかし、内側管２０の外周壁２１、外側管３０の内周壁３２、カーボンヒーター４１および碍子対４３を大気に曝さないで、酸化等による劣化を抑制する上では、上記各実施形態のように不活性ガスを導入可能に構成することが好ましい。なお、図２において、ガス配管継手３５を真空ポンプ（図示略）に接続し、閉空間３３内を真空引きしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】図１は本発明に係る加熱配管の第一の実施形態を説明する正面図であり、同図では、その加熱配管の外郭管を軸線を含む縦断面で示している。
【図２】図１でのＡ−Ａ線断面図である。
【図３】加熱手段の要部を拡大して示す説明図である。
【図４】カーボンヒーターの中間部の中央を拡大して示す説明図である。
【図５】加熱手段の要部を拡大して示す説明図であり、同図では碍子対の係合が緩んだ状態を示している。
【図６】本発明に係る加熱配管の第二の実施形態を説明する横断面図であり、同図は図１でのＡ−Ａ線断面図に対応する図である。
【符号の説明】
【００３８】
１０    加熱配管
２０    内側管
２１    （内側管の）外周壁
２２    （内側管の）内周壁
２３    フランジ部
２３ａ    ボルト穴
３０    外側管
３１    （外側管の）外周壁
３２    （外側管の）内周壁
３３    閉空間
３４    電極挿入管
３５    ガス配管継手
４０    加熱手段
４１    カーボン繊維強化カーボンヒーター（カーボンヒーター）
４２    折り返し部
４２ａ    保持穴
４３    碍子対
４４    外側碍子（雄碍子）
４４ａ    雄ねじ部
４４ｂ    頭部
４５    内側碍子（雌碍子）
４５ａ    雌ねじ部
４６    電極
４７    電極固着部
４８    中間部
４８ａ    切欠き
５０    外郭管
５１    （外郭管の）外周壁
５２    （外郭管の）内周壁
５３    閉空間
５４    冷媒配管継手
６０    加熱配管
６１    熱電対挿入管
６２    熱電対
６２ａ    測定子
６３    調整機構
６３ａ    ベローズ
６３ｂ    調整ねじ
６４    観察管
６５    観察窓
【図１】
2007040436.tif 000003
【図２】
2007040436.tif 000004
【図３】
2007040436.tif 000005
【図４】
2007040436.tif 000006
【図５】
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【図６】
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