(57)【要約】      （修正有）【課題】シリコンのセグメントを積層し相互接続するための方法と装置、特に、複数のダイと斜角を付けた縁壁を含むセグメントを積層し、電気的に伝導性のエポキシを使用することにより積層の縁でセグメントを相互接続する方法を提供する。【解決手段】セグメントを画定する３つ以上の縁を持つシリコンのセグメント３６であって、セグメント３６は、複数の第１の接続パッドを含む複数のダイと、外部電気接続のためにセグメント３６の縁の１つより多くに位置している複数の縁接続パッド４２と、前記ダイを相互接続するための前記複数の第１接続パッド間に接続され、さらに前記ダイを外部接続に接続するため、複数の縁接続パッド４２と前記複数の第１接続パッドとの間をさらに接続する金属トレースの層とを含むシリコンのセグメントである。【選択図】図１０Ｂ
2007019527.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
セグメントを画定する３つ以上の縁を持つシリコンのセグメントであって、
前記セグメント上の複数のダイ、ここで、各々のダイは複数の第１の接続パッドを含む、と、
外部電気接続のために前記セグメントの前記縁の１より多くに位置している複数の縁接続パッドと、
前記ダイを相互接続するための前記複数の第１接続パッド間に接続された金属トレースの層、ここで、前記ダイを前記外部接続に接続するため、前記金属トレースは、前記複数の縁接続パッドと前記複数の第１接続パッドとの間をさらに接続する、と、
を含むシリコンのセグメント。
【請求項２】
前記金属トレースがクロムとチタニウム・タングステンと金のサンドイッチを含む請求項１のシリコンのセグメント。
【請求項３】
前記セグメントがさらに前面と裏面を含み、前記複数の第１接続パッドと前記複数の縁接続パッドと前記金属トレースの層が前記セグメントの前記前面に位置している請求項２のシリコンのセグメント。
【請求項４】
前記セグメントを画定する前記縁がさらに縁壁を含み、該縁壁と前記セグメントの裏面が窒化ケイ素で絶縁されている請求項３のシリコンのセグメント。
【請求項５】
前記縁壁が斜角を付けられた請求項４のシリコンのセグメント。
【請求項６】
互いの上部に配置されるセグメントの積層、ここで、前記セグメントの各々が３つ以上の縁と、その中に回路機構を有する複数のダイと、電気的に伝導性の接触点とを含む、と、
前記セグメントの各々上の前記複数のダイを相互接続するため、及び前記複数のダイの１以上を前記セグメントの各々上の前記電気的に伝導性の接触点の１以上へ接続するための第１の相互接続手段と、
前記セグメントの各々上の前記電気的に伝導性の接触点ヘアクセスを提供するアクセス手段と、
前記積層内の前記セグメントの各々上の前記電気的に伝導性の接触点を電気的に相互接続するため、及び前記積層内の前記セグメントの各々に位置している前記複数のダイへ側面の電気的接続を提供するための、前記アクセス手段に適応できる第２の相互接続手段と、
を含む電気回路機構の積層。
【請求項７】
前記電気的に伝導性の接触点が前記セグメントの各々上の前記縁の１より多くに沿って位置している請求項６の電気回路機構の積層。
【請求項８】
前記第１の相互接続手段が金属トレースの１層より多くを含む請求項７の電気回路機構の積層。
【請求項９】
前記金属トレースの層がクロム、チタニウム・タングステン、金のサンドイッチを含む請求項８の電気回路機構の積層。
【請求項１０】
前記アクセス手段が前記セグメントの前記縁の各々に沿って内方に傾斜した縁壁を含んでいる請求項９の電気回路機構の積層。
【請求項１１】
前記相互接続手段が電気的に伝導性のエポキシを含む請求項１０の電気回路機構の積層。
【請求項１２】
前記セグメントの各々がコントロール接続パッドを含んでおり、前記セグメントの各々の前記コントロール接続パッドに焼き付けられた独自のパターンを有することにより前記セグメントがお互いに関して独自に作られる請求項１１の電気回路機構の積層。
【請求項１３】
前記積層は６つの前記セグメントを含み、前記６つのセグメントの各々は前記ダイの４つを含んでおり、前記積層は前記ダイの４つの垂直列を有し、前記垂直列の各々は前記ダイの６つ分の高さであり、前記機能ダイの４つが前記積層内の前記ダイの４つの垂直列の各々で接続されるように前記電気的に伝導性のエポキシが前記６つのセグメントに適用される請求項１２の電気回路機構の積層。
【請求項１４】
セグメントを画定する３つ以上の縁を持つ、シリコンの１以上のセグメントであって、
前記セグメントの各々上の複数のダイ、ここで、各々のダイは複数の第１の接続パッドを含む、と、
外部電気接続のために前記セグメントの前記縁の１より多くに位置している複数の縁接続パッドと、
前記ダイを相互接続するための前記複数の第１接続パッド間に接続された金属トレースの層、ここで、前記ダイを前記外部接続に接続するため、前記金属のトレースは、前記複数の縁接続パッドと前記複数の第１接続パッドとの間をさらに接続している、と、
を含むシリコンの１以上のセグメント。
【請求項１５】
互いの上部に配置されるセグメントの積層、ここで、前記セグメントの各々が、前記セグメントの各１つを画定する３つ以上の縁を有する、と、
前記セグメントの各々上の複数のダイ、ここで、各々の前記ダイは複数の第１の接続パッドを含む、と、
外部電気接続のために前記セグメントの各々の前記縁の１より多くに位置している複数の縁接続パッドと、
前記ダイを相互接続するための前記複数の第１接続パッド間に接続された金属トレースの層、ここで、前記ダイを前記外部接続に接続するため、前記金属のトレースは、前記複数の縁接続パッドと前記複数の第１接続パッドとの間をさらに接続している、と、
を含む電気回路機構の積層。
【請求項１６】
セグメントを画定する複数の縁を各々持つシリコンの１以上のセグメントであって、
前記セグメントの各々上の１以上のダイと、
垂直外部電気接続のために前記セグメントの前記縁の１より多くに位置している１以上の縁接続パッドと、
を含むシリコンの１以上のセグメント。
【請求項１７】
互いの上部に配置されるセグメントの積層、ここで、前記セグメントの各々は、前記セグメントの各１つを画定する複数の縁を有する、と、
前記セグメントの各々上の１以上のダイと、
垂直外部電気接続のために前記セグメントの各々の前記縁の１より多くに位置している１以上の縁接続パッドと、
を含む、電気回路機構の積層。
【請求項１８】
１以上の第１接続パッドと、前記ダイを相互接続するための前記第１接続パッド間に接続された金属トレースの層、ここで、前記ダイを前記外部接続に接続するため、前記金属トレースは、前記縁接続パッドと前記第１接続パッドとの間をさらに接続する、と、を含む請求項１７の積層。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の背景
本発明は、シリコンのセグメントを積層し相互接続するための方法と装置に関し、特に、複数のダイと斜角を付けた縁壁を含むセグメントを積層し、電気的に伝導性のエポキシを使用することにより積層の縁でセグメントを相互接続する方法と装置に関する。
【０００２】
長年の間、トランジスタやＩＣのような電子部品はシリコンやゲルマニウムを含む半導体材料のウェハーを用いて製造されてきた。ＩＣはウェハーにエッチング、ドーピング、層化のような様々な既知の手法を用いて用意される。ウェハーに用意された個々のＩＣは、ダイとして言及され、外部の電気的接続のための接続パッドと呼ばれる接触点を含んでいる。典型的に、ウェハー上のダイはダイを画定する境界に沿ってウェハーを切断することによりお互いに切り離される。一度ダイがウェハーから切断されると、それらはチップとして言及され、使用のためパッケージ化される。近年において、より高電力の電子システムの激増化により、高密度ＩＣパッケージの必要性が高まっている。
【０００３】
高密度パッケージを造る１つの方法は、ＷＳＩ（Wafer scale integration）手法を用いて１枚のウェハー上に完全なコンピューターシステムを造ることである。ＷＳＩ技術はダイを相互接続するためにワイヤーを用いてウェハー上の全てのダイをワイヤーで横からつなぐものである。しかしながら、ダイ間の必要な相互接続のためには極めて細くて製造が困難なワイヤーが多く必要とされる。
【０００４】
高密度パッケージを造る第２の方法は、チップを垂直に物理的に積層することによって回路板上のチップを搭載するのに必要な領域を減少させることである。１チップ積層方法は、個々のダイをセラミック媒体に載せダイと媒体の両方を封じ込め媒体を積層化しプリント回路板上に積層を搭載するものである。この手法においては、ダイのリードを金属ピンによりプリント回路板と接続することによって積層の全てのダイが相互接続される。この方法では回路板上に並外れた高ピン総数を要し、高ピン数では多くのピンの中の一つが板から接続されなくなる可能性が増大するので電気回路機構の信頼性を低下させる。
【０００５】
他のチップ積層方法は、１９９２年４月１４日に登録されたＵＳ特許Ｎｏ.５１０４８２０に開示されているようにダイを積層するより複雑な工程を用いるものである。図１に示すように、この方法は、別形成リード１２と呼ばれる金属化パターンをウェハーの表面に加えることによって積層されるように個々のチップ１０を修正したものである。別形成リード１２はチップ上の接続パッド１４から新たに形成された接続パッド１１へ伸びており、全ての別形成リード１２が修正されたチップ１０の一側で終わるように配置されている。各々の修正チップ１０はそれから点線で示されているようにウェハーから切断され、図示していない積層に組み立てられる。積層は、修正チップ１０の全てのリード１２が積層の同じ面に沿って１列に整列するような方法で組み立てられる。リード１２を有する積層の面はそれから各々の修正チップ１２の上のリード１２の断面が得易いようにエッチングされ研磨される。リード１２が露出された後、積層内の各々の修正チップ１０を電気的に接続するため金属化層が積層の面に沿ってリード１２に適用される。積層はそれから、従来の電気回路機構と接続される基板に搭載され接続される。
【０００６】
別形成リードの方法は回路密度の点で従来技術に改良を与えるが、複雑でコスト高である。加えて、図１に示すように別形成リード１２は５つの隣接したダイ１５から１９上に伸びており、修正チップ１０がウェハーから切断されたとき破壊される。この方法では５つのダイは修正された各々のチップ１０のために犠牲にされる。
【０００７】
高密度回路を製造する他の方法は、ウェハー整列を形成するため、個々のチップよりもむしろ、完全なウェハーから積層を製造するものである。ある装置においては、積層内のウェハーは銅のような金属伝導体のフィードスルー（ｆｅｅｄ−ｔｈｒｏｕｇｈｓ）の固体の垂直列を用いることにより電気的に相互接続される。ウェハーを相互接続するための固体のフィードスルーの使用は、熱サイクルの間、異なる熱膨張係数により整列にダメージを与える。さらにこの方法はコスト高で、修理のためのウェハーの切り離しが困難である。
【０００８】
ウェハーの積層を相互接続する他の方法は、例えば１９９０年６月３０日に登録されたＵＳ特許Ｎｏ．４８９７７０８、１９９０年９月４日に登録されたＵＳ特許Ｎｏ．４９５４８７５において開示されている。これらの方法は、積層内の各々のウェハーに、ウェハーの接続パッドを露出させる円錐状のスルーホールを提供するものである。積層内のウェハーの接続パッドは、ウェハーの間で連続的な垂直状の電気的接続を提供するため、スルーホールを電気的に伝導性の液体で満たすかスルーホール内に電気的に伝導性の従順な材料を挿入することによって電気的に接続される。ウェハーを相互接続するために金属の固体の垂直列を使用する欠点を避けるため、電気的に伝導性の液体や伝導性材料がスルーホールを満たす特別の材料として要求される。さらに、いくつか応用するためには、電気装置の寸法上の圧迫面から全体のウェハーの積層を使用することは望ましくない。
【０００９】
発明の概要
従って本発明の目的は、シリコンのセグメントを積層し相互接続するための改良した方法と装置を提供することである。
【００１０】
本発明は、シリコンセグメントの積層を垂直状に相互接続するための方法と装置を提供することである。各々のセグメントは半導体ウェハー上に複数の隣接したダイを含んでいる。セグメントの全ての４つの側に伸びる１以上の金属相互接続層を使用することによってセグメント上の複数のダイはセグメント上で相互接続され、外部電気的接続点としての縁接続パッドを提供する。ダイが相互接続された後に、各々のセグメントに４つの内部へ傾斜した縁壁を提供するため、各々のセグメントはウェハーの裏面から斜角切断を用いることにより切断される。
【００１１】
セグメントがウェハーから切断された後、個々のチップの積層と全体のウェハーの積層の双方から区別されるように、セグメントは積層を形成するためお互いの上に配置される。積層の全ての４つの側に電気的に伝導性のエポキシを適用することにより、積層内の垂直上の隣接したセグメントは電気的に相互接続される。積層内の各々のセグメントの内部へ傾いた縁壁は、セグメントが積層された時に電気的に伝導性のエポキシが各々のセグメントの縁接続パッドと側面の回路に接近できる凹所を提供する。電気的に相互接続されたセグメントの積層は、それから回路板の表面下に配され、積層の頂上セグメントの接続パッドと回路板との間に電気的に伝導性のエポキシを適用することによって板上の回路と電気的に接続される。
【００１２】
本発明の他の目的、特徴、利点は図面と共に以下の詳細な説明から明らかになるだろう。
図面は、この明細書と一体となり、一部となって、発明の実施例を示し、以下に示す詳細な記述とともに、発明の原理を示すのに役立つ。
【００１３】
発明の詳細な記述
発明の好適な実施例、図面に示された例において詳細な言及がなされるだろう。本発明は好適な実施例とともに述べられるが、本発明をこれらの実施例に限定することを意図するものではない事が分かるだろう。これに反して、本発明は、クレームによって限定されている発明の精神と範囲内において含まれるであろう代替物、変更物、均等物を含むように意図されている。
【００１４】
図２を参照して、本発明の垂直接続方法が、製造業者より供給される標準的なウェハー３０から述べられるだろう。ウェハー３０上の正方形の目は、ウェハー３０上の個々のダイ３２の位置を示している。ウェハー３０は、通常、インク点３４で印された機能を果たさない欠陥のダイを伴って製造業者から届けられる。本発明の好適な実施例では、ウェハー３０はシリコンから作られる。しかしながら、ウェハー３０はまた、ガリウム・ヒ素のような代替材料を用いることによっても作られる。ダイ３２は、例えばメモリー・チップのような個々のチップを提供するために、典型的に、ウェハー３０から切断される。しかしながら、本発明によれば、ダイ３２はウェハー３０から個々には切断されない。代わりに、ウェハー３０の多数の隣接したダイ３２が集合して、図３に示すセグメント３６として言及されるものを形成する。
【００１５】
図３は、ウェハー３０における２つのセグメント３６Ａと３６Ｂ（以下ではセグメント３６）の平面図を示している。ここで、各々の長四角形は、１つのダイ３２を表している。各々のセグメント３６は、垂直境界線３８と水平境界線４０とによって定められる。そして、各々のセグメント３６は、ウェハー３０における一群の隣接したダイ３２を含んでおり、その結果、セグメント３６は特別の寸法と形状を有している。好適な実施例においては、セグメント３６は、図示されているような２ｘ２マトリックスに配列された４つの隣接したダイ３２を含んでいる。そのようなセグメント３６は、２ｘ２セグメントと呼ばれる。しかしながら、セグメント３６の他の例としては、例えばダイ３２の２ｘ１セグメント、２ｘ４セグメント、４ｘ４セグメントのような隣接ダイ３２の幾つかのパターンまたは配列が挙げられる。各セグメント３６には、その全ての４つの側面に、外部との接続のための電気的な接点として用いられる端部接続パッド４２が備えられている。同様に、個々のダイ３２は、ダイ３２の内部回路と接続するための内部接続パッド４４を含んでいる。個々のセグメント３６は、ストリートとして典型的に言及されている垂直境界線３８と水平境界線４０に沿ってウェハー３０を切断することによってウェハー３０から分離される。ウェハー３０からセグメント３６を切断する方法は、さらに以下に述べられる。
【００１６】
本発明の１つの特徴は、セグメント３６の個々のダイ３２はダイ相互接続機構による多数の層を用いて相互に接続されていることである。ダイ相互接続機構は、セグメント３２の表面上のＸ方向とＹ方向との双方に方向付けられた多数の金属トレースを含んでいる。その金属トレースは、Ｘ相互接続４６とＹ相互接続４８として言及され、セグメント３６の縁接続パッド４２から個々のダイ３２の選択された内部接続パッド４４へパワーと信号を伝達する機能を果たす。
【００１７】
図４は、ウェハー３０を横切って配列された多数のセグメント３６を示す図である。ウェハー３０の周囲では、個々のダイ３２（図２、３を参照）の接続パッドは、１ｘ１セグメント５０を製造するように適切に定められる。
【００１８】
再び図３を参照すると、個々のダイ３２の相互接続のためにウェハー３０の表面上に金属のＸ相互接続４６とＹ相互接続４８を適用する際には、欠陥ダイを示すインク点３４（図２）は、金属の相互接続４６、４８のじゃまをしないように、最初に取り除かれなければならない。インク点３４は、通常のポジ型レジスト・ストリッパーを用いることによりウェハー３０から取り除かれる。ポジ型レジスト・ストリッパは、産業上一般的に使用されている材料で、特定の表面から好ましくない物質を表面に損傷を与えることなく溶解し取り除く。インク点３４が取り除かれた後、ウェハー相互接続工程間で金属相互接続４６、４８がウェハー３０に設けられる。
【００１９】
図５Ａ−５Ｈを参照することにより、本発明によるウェハー３０の一部の断面図が示される。上述したように、ウェハー３０の表面は、個々のダイ３２（図２、３参照）に属する多数の内部接続パット４４とセグメント３６に属する多数の外部接続パッド４２を含んでいる。ウェハー３０の表面に設けられる金属接続からダイ３２を絶縁するために、図５Ｂに示すように、ポリイミド層６０が最初にウェハー３０に形成される。ウェハーの製造業者はウェハー３０の表面に、回路を絶縁すべき保護層を設けるけれども、ポリイミド層６０は、確実に保護材料内のホールを消滅させる。ポリイミド層６０は、またウェハー３０のダイ３２間の道３８と４０（図３参照）を埋める。好適な実施例において、ポリイミド層６０は、標準的なスピン・コート方法によって設けられる。この方法においては、ポリイミドはウェハー３０の中央に配され、ウェハー３０はスピン・モーター上を水平に回転し、ウェハー３０上に厚さ約２ミクロンの薄いポリイミド層が提供される。
【００２０】
今、図５Ｃを参照すると、ウェハー３０の表面がポリイミド層６０又は他の絶縁材料で覆われた後、接続パッド４４と４２上でポリイミド層６０は、ウェハー３０の表面から除かれる。好適な実施例では、ポリイミド層６０は、標準的なフォトリソグラフィの手法により接続パッド４４と４２上で取り除かれる。そのフォトリソグラフィの手法では、光感光材料（ポジのフォトレジストと呼ばれる）がポリイミド層６０の表面に設けられ、加熱される。次に、ウェハー３０の接続パッド４４と４２の位置を規定する開口を有するマスクが、一般的な調整装置を用いてフォトレジスト上に載せられる。マスクには紫外線が照射され、接続パッド４４と４２上のフォトレジストのマスクで覆われていない部分が光にさらされる。光にさらされたフォトレジストは接続パッド４４と４２の表面から取り去られ、希釈した現像液中で現像される。接続パッド４４と４２が光にさらされた後、残留しているポジのフォトレジストはアセトンや他のポジ型フォトレジスト除去材料によってウェハー３０から取り除かれる。アセトンはフォトレジストを洗い取るがポリイミド層６０に影響を与えない材料である。
【００２１】
フォトレジストが取り除かれた後、ウェハー３０は加熱され、ポリイミド層６０を硬化させる。典型的には、ポリイミドは４００度で１時間半加熱される。本発明の好適な実施例においては、ウェハー３０の電気回路機構に害を与える可能性を減少させるために３５０度の温度で６時間加熱される。
【００２２】
図６Ａと６Ｂを参照すると、好適な実施例において、ポリイミド層６０が取り除かれる領域においてポリイミドは、図６Ａに示されるように、丸くなった縁壁７０を作り出す絶縁層６０として使用される。ポリイミド層６０の丸くなった縁壁７０は、ポリイミド層６０に設けられるであろう金属層４８の堆積を容易にするのが望ましい。対照的に、光像化可能なポリイミド６１は、図６Ｂに示すように、鋭利な角７２を有する縁壁を提供し、結果的に、金属層４９が不連続なものとなる。
【００２３】
図５Ｄを参照すると、接続パッド４４と４２上でポリマー層６０が開口された後、垂直相互接続方法の次の段階が金属剥がし方法として言及される。この方法においては、最初の金属層４８は、セグメント３６にある各々のダイ３２を電気的に相互接続するため、ウェハー３０に設けられる。ウェハー３０上に堆積された最初の金属層４８は、接続パッド４４と４２と接触し、図３の金属Ｙ相互接続４８に対応する。ウェハー３０を横切った金属Ｙ相互接続の通路は、標準的なフォトリソグラフィの方法を用いることにより定められる。
【００２４】
図７Ａと７Ｂを参照すると、金属剥がし方法の最初の段階は、ポリイミド層６０上に剥がしフォトレジスト７４の層を設けることである。好適な実施例においては、商業的に得られる像反転フォトレジストが公知の方法でウェハー３０に設けられる。フォトレジスト７４は、それから選択領域で取り除かれ、金属Ｙ相互接続４８の通路を定める。図７Ａにおいて示されるように、後退している縁壁７６として表される突出し縁が金属Ｙ相互接続４８の通路に沿って創り出されるように、像反転フォトレジスト７４は取り除かれる。
【００２５】
金属Ｙ相互接続４８の通路を定めるためにフォトレジスト７４の選択された領域が取り除かれた後、ウェハー３０は標準的なスパッタリング装置（図示されていない）の中に配され、ウェハー３０の全体にわたって金属層４８が付着される。好適な実施例においては、金属層４８はクロム、チタン・タングステン、金のサンドイッチ構造を有している。クロムとチタン・タングステンは、主として付着目的で金と結合されるが、他の金属サンドイッチも同様に用いられる。好適な実施例においては、約２０００オングストロームのクロム、５００オングストロームのチタン・タングステン、１２００オングストロームの金がウェハー３０上に付着される。
【００２６】
一度、金属堆積物が形成されると、残留しているフォトレジスト７４はウェハー３０の表面から取り除かれる。フォトレジストは、典型的には、アセトン又はフォトレジスト７４が溶解する他のポジ・フォトレジスト・ストリッパー中にウェハー３０を浸すことによって取り除かれる。図７Ｂを参照すると、フォトレジスト層７４が溶解するにつれて、金属層４８は、金属相互接続４８（図３参照）を残して最初のポリイミド層６０の表面から持ち上げられる。後退している縁壁７６の目的は、金属Ｙ相互接続４８の縁の周りにアセトンを充満させ、フォトレジスト７４を効果的に溶解させることである。
【００２７】
アセトンによりフォトレジスト７４を溶解した後、ウェハー３０は加熱され、ポリイミド層６０内に残留したアセトンが蒸発する。この工程の後、金の一層がポリイミド層６０の表面に残され、図５Ｄに示すように、接続パッド４４と４２と接触するＹ相互接続４８を画定している。
【００２８】
金属Ｙ相互接続４８がウェハー３０の表面に設けられた後、本質的に上述した方法を繰り返すことによって第２の金属層４６がウェハー上に形成される。第２の金属層４６は図３で示されるＸ相互接続４６に対応している。
【００２９】
図５Ｅを参照すると、第２のポリイミドの堆積がなされ、ウェハー３０に第２のポリイミド層８０が設けられる。第２のポリイミド層８０は、第１のポリイミド層６０と同様な方法で設けられるが、厚く設ける必要はない。第２のポリイミド層８０が設けられた後、図５Ｆで示されるように、金属Ｘ相互接続４６と電気的に接続する予定の金属Ｙ相互接続４８上の点で第２層８０内に穴が開けられる。一旦セグメント３６が積層されると金属相互接続４６の第２層が縁接続パッド４２と電気的に接続できるように、第２のポリイミド層８０は、各々のセグメント３６の縁接続パッド４２からも同様に取り除かれる。
【００３０】
代わりの実施例においては、第１の金属層４８は、第２の金属層４６に代わって縁接続パッド４２と接続するために用いられる。第２のポリイミド層８０がウェハー３０の選択された地点から除かれた後、金相互接続４８とアルミニウム接続パッド４２、４４との間の相互作用（好ましくない絶縁物質が生じる）を避けるために、第２のポリイミド層８０は低温で矯正される。
【００３１】
第２のポリイミドが堆積した後、図５Ｇに示す相互接続４６の第２層を形成するために、第２の金属剥がし方法が施される。再び、像反転フォトレジストがウェハー３０に設けられ、ウェハー３０上の金相互接続４８の第２の層の通路を画定する場所において、フォトレジストが取り除かれる。上述したように、この方法によれば通路を画定するフォトレジストの層に後退している縁壁を作り出す。好適な実施例においては、それから、クロム、チタニウム・タングステン、金のサンドイッチ構造を含む金属の層がフォトレジスト上にスパッタにより堆積される。クロムは第２層４８においては不必要であるが、製造方法の標準化のために用いられる。第２の金堆積がなされた後、図３のＸ相互接続４６を残しながら不要のフォトレジストと金属を取り去るため、剥がし工程が施される。
【００３２】
第２の金属層４６が堆積した後、金属Ｘ相互接続４６をひっかきから保護し外界に対する機械的バリアとして扱うため、図５Ｈに示されているように第３のポリイミド層９０がウェハー３０に設けられる。第３のポリイミド層９０は、後に他のセグメントの縁接続パッドと電気的に接続するであろう縁接続パッド４２を露出させるため、各々のセグメント３６の縁の周りで取り除かれる。従来の光像化可能なポリイミド９０とそうでないもののどちらも、金属Ｘ相互接続４６を保護するために受け入れられる。
【００３３】
図５Ｈに示すように、第１のポリイミド層６０はウェハー３０上の回路を保護し、第１の金属相互接続４８は接続パッド４４、４２と接続する。第２のポリイミド層８０は、第２の層である金属相互接続４８を第１の層である金属相互接続４６から、２層が接続する場所を除き、絶縁している。最終的に、第３のポリイミド層９０は第２層である金属相互接続４８を保護し絶縁する。
【００３４】
本発明のウェハー相互接続方法によって設けられた金属相互接続４６と４８の２層は、各々のセグメント３６のダイ３２を相互接続するためにウェハー３０を横切って線を定める際の適応性を付与するものである。セグメント３６のダイ３２の相互接続とその後のセグメント３６の積層化は、ウェハー３０から個々にチップを切断しチップを積層し回路板上にチップを相互接続する従来技術の方法と比較してコストが安く、信頼性が高いものである。
【００３５】
ウェハー３０の相互接続工程後、セグメント形成工程がウェハー３０上で施される。再び図３を参照すると、ウェハー３０は、セグメント３６間の水平及び垂直路３８と４０に沿ってウェハー３０を切断することによって個々のセグメント３６に分割される。セグメント３６がウェハー３０から切断された後、セグメントは積層構造に配されるだろう。構造の全寸法を減少させるために、セグメント３６の裏面から材料を削り取ることによりセグメント３６は最初に薄くされる。薄化工程を補助するため、セグメント３６がウェハー３０から切断される前に、ウェハー３０全体が薄くされる。薄化工程はウェハー３０とセグメント３６の高さを２５ミルから約８から１０ミルに減少させる。
【００３６】
従来は、電気回路機構が容易に見え切断工程で損傷を与えないように、回路が配置される前面からウェハー１０は切断される。しかしながら本発明においては、路３８と４０に沿った傾斜を入れた切断によりウェハー３０の裏面からウェハー３０が切断される。図８Ａは、セグメント３６が傾斜を入れた切断によりウェハーから切断された後のセグメント３６の裏面１００を示す。図示されているように、傾斜を入れた切断により、セグメント３６はその４側の全てに内方に傾斜した縁壁１０２を有している。
【００３７】
ウェハー３０を裏面１００から切断するために、セグメントの境界を定める路３８と４０のパターンが切断の補助のためウェハー３０の裏面１００に設けられる。セグメントの境界のパターンは、ビデオカメラとフェルト付きの記載装置を含む装置内にウェハー３０を配することにより、その裏面１００に設けられる。ウェハーは、ウェハー３０の前面がカメラに向き合い、記載装置がウェハー３０の裏面１００と接触して配されるように装置の中に配置される。ウェハー３０の前面の像がモニターに映し出され、作業者はセグメントの境界のパターンに沿って記載装置の下でウェハー３０を動かし、ウェハー３０の裏面１００にパターンがひかれる。
【００３８】
代わりに、セグメント境界のパターンが従来のフォトリソグラフィの手法によりウェハー３０の裏面１００に設けられる。この手法においては、ウェハー３０の裏面１００はフォトレジストで覆われ、電気回路機構がウェハー３０の裏面１００で見られるようにウェハー３０の前に赤外線が照射される。そして切断を導くためウェハー３０の裏面１００の表面に境界のパターンが直線化され形成される。
【００３９】
セグメント境界のパターンがウェハー３０の裏面１００に設けられた後であってウェハー３０が切断される前に、切断の間にセグメント３６を保持するためのテープ層がウェハー３０の前面に設けられる。ウェハー３０の前面にテープが形成された後、傾斜を入れた切断がウェハー３０の裏面１００のセグメント境界に沿って行われる。本発明の好適な実施例では、傾斜を入れた切断により４５度の角度を有するセグメント縁壁１０２が形成される。セグメント３６が切断された後、テープは注意深くウェハー３０の前面から取り去られ、切断工程とテープによる残留物を取り除くためにセグメント３６が洗浄される。
【００４０】
図８Ｂは、セグメントがウェハー３０から切断された後でセグメントがずっと積層して組み立てられる直前の、互いに垂直に一列に並べられた３つのセグメント３６を示す。図示されているように、各々のセグメント３６の前面１０４は、金属相互接続４８、４６、縁接続パッド４２を含んでいる。一度セグメント３６が積層して組み立てられると、セグメント３６の縁接続パッド４２は積層構造の垂直上の隣接セグメント３６と電気的に接続されるだろう。傾斜を付けた縁壁１０２の目的は、１つのセグメント３６の縁接続パッド４２と積層構造のすぐ下のセグメント３６の縁接続パッド４２との間の垂直上の電気的な接続をとるための適度なすきまを設けることである。
【００４１】
洗浄後、セグメント３６の裏面１００と傾斜した縁１０２は、窒化物をスパッタする方法を用いることにより絶縁化される。窒化物をスパッタする方法は、金属の代わりに窒化ケイ素をセグメント３６の裏面１００にスパッタする点を除いては金属膜のスパッタと同様である。窒化ケイ素の絶縁化は、セグメント３６のダイ３２の基であるケイ素基板内にノイズと妨害信号が吸収されないようにするために必要である。
【００４２】
セグメント３６がウェハー３０から切断され、絶縁化された後、セグメント３６の回路が機能的に試験される。ウェハー３０のダイ３２の一部が作用しなかったり欠陥ダイがウェハー３０から切断されなかったり従来技術の方法で捨てられたものとされた以後は、欠陥ダイは機能ダイ３２から切り離されなければならない。欠陥ダイは、セグメント３６の縁接続パッド４２と欠陥ダイの回路との間を接続している金属相互接続４６の上層をレーザーを用いて蒸発させることによって切り離される。欠陥ダイは又、金属相互接続４６の上層を機械的に摩耗させたり電気的に溶解させたりしても切り離される。金属相互接続４６の上層がセグメント３６の縁接続パッド４２と欠陥ダイの回路との間で開口されると、欠陥ダイはもはや電気的にセグメント３６と接続されなくなる。
【００４３】
元に戻った電気回路機構（完成した積層と接続するもの）が各々のセグメント３６を利用するために、切り離された欠陥ダイに代わって、各々のセグメント３６は、又、独自に形成される。各々のセグメント３６は、レベルプログラミングと呼ばれる方法で独自に形成される。この方法では、多数のコントロール・シグナルがレーザーを使用して各々のセグメントに焼き付けられる。図３を参照すると、多数のコントロール・シグナルは、各々のセグメント３６のコントロール接続パッド１０６の上に独自のパターンを焼き付けることにより各々のセグメント上に形成される。
【００４４】
各々のセグメント３６が互いに独自に形成された後、セグメント３６はプログラム化される。この開示の目的のために、余分の機能ダイ３２が切り離された欠陥ダイに取って代わるために、プログラミングは電気回路機構を定める工程に言及する。これは置き換えられたダイ３２に、切り離されたダイに初めから向けられた適当なコントロール・シグナルを提供することによってなされる。一旦セグメント３６が積層され作動すると、コンピューターその他同様のものは積層内の切り離されたダイにアクセスしようとするため、プログラミングは必要とされる。それゆえ、積層内の欠陥ダイをアクセスしようとされた時、機能ダイ３２が代わりに利用されるために、欠陥ダイを有するセグメント３６はプログラムされなければならない。セグメント３６の現実のプログラミングは、以下に述べられるように、積層製造間に行われる。
【００４５】
図９を参照すると、セグメント固定物１１０が示され、積層１１２が積層工程で組み立てられる。ここで、セグメント３６は積層され、エポキシで一緒にされる。好適な実施例においては、積層工程の間、積層１１２は６つの隣接したセグメント３６を用いて組み立てられる。積層１１２は、各対の隣接したセグメント３６の間にエポキシ１１４のフィルムを提供し、それからセグメント３６を前面１０４を上にして整列した取り付け具１１６内に配することによって組み立てられる。整列した取り付け具１１６は、３つの閉ざされたセルのウレタンゴムスタンプ１１８、１１９、１２０を用いることにより、水平面において固形物の固定壁に対して積層１１２を圧縮し、垂直面において固形物の基底に対して積層１１２を圧縮する。積層１１２はそれから、積層１１２を固化させるため取り付け具内で保持されつつ１２０度で矯正される。矯正サイクルは、１５分の安定化期間と６０分の矯正と１０分の冷却期間を含んでいる。本発明の積層１１２を有するセグメント３６は厚さの多様性を有すると共にいくつかの順で積層されるので、本発明は個々のダイ３２が積層される従来技術の方法を改良したものである。
【００４６】
積層１１２が固化された後、各々のセグメント３６の縁接続パッド４２（図８Ｂ参照）は、電気的に機能する積層１１２を提供するために、積層１１２内で垂直に電気的に接続される。積層の要素を垂直に接続する従来の方法は、積層の要素の間で電気的な通路を提供するため、要素を金属ロットと接続し、要素内で多数のバイアスを設け、バイアス内に電気的に伝導性の材料を挿入し、又はバイアスを伝導性のある液体で満たすものである。
【００４７】
図１０Ａと１０Ｂ参照すると、積層１１２のセグメント３６の間の垂直電気路を提供する方法は、本発明により示される。図１０Ａはセグメント３６の裏面１００から、横に配された積層１１２を描いたものである。図１０Ｂは垂直に配されたセグメント３６の前面１０４から積層１１２を見たものである。積層１１２のセグメント３６間の垂直電気路を提供するために、銀で満たされた伝導エポキシトレース１３０が、セグメント３６の傾斜を有する縁壁１０２に沿って施与機構１３２により施される。施与機構１３２は、ＸとＹ方向に動き、整列した積層１１２のセグメント３６の外部接続パッド４２にエポキシのトレースを形成する。エポキシのトレース１３０は予めプログラムされた位置で積層１１２の全ての４つの縁に設けられ、エポキシトレース１３０は流れ、接続パッド４２の露出した金属と接続する。セグメント３６の傾斜を有する縁壁１０２はエポキシトレースによる外部接続パッド４２との接近を容易にしている。本発明の傾斜を有する縁壁１０２とエポキシトレース１３０の使用により、積層への垂直方向の電気的接続を設けるために金属化層を使用する従来技術の方法を改良する。
【００４８】
図１０Ａと１０Ｂに示されているように、エポキシトレース１３０は予めのプログラミングにより選択的に積層１１２の異なる層に施される。様々のエポキシトレース１３０が特定の装置の回路の通路と、切り離された欠陥ダイの周りの定められた電気回路機構を決定する。セグメント３６の１つが積層１１２を組み立てるため他のものの上に積層された時、セグメント３６のダイ３２の各々の位置は積層１１２の垂直列を決定する。例えば、もし積層１１２の各々のセグメント３６が６つのダイ３２を含んでいると、積層１１２はダイ３２の６つの垂直列を含んでいる。
【００４９】
記憶回路のような機能回路を有するためには、ある数の機能ダイ３２がセグメント３６の各々の垂直列に要求される。好適な実施例では、６つのセグメントを含む積層１１２の電気回路機構がプログラミング間に定められ、積層の各々の列に４つの機能ダイ３２を提供している。
【００５０】
図１１を参照して、エポキシトレース１３０が施与される機構が示される。施与機構１４０はロータリー真空チェック１３４と、施与機構１３２とシールされたロータリー真空継ぎ手１３８と、モーター１４２と、９０度指示機構１４４を含んでいる。シールされたロータリー真空継ぎ手１３８は、図示されていない真空ポンプと共に、施与機構１３２の真下に位置する真空チェック１３４の端部に真空を作り出す。積層１１２は真空チェック１３４に水平に配され、チェック１３４は真空によって積層１１２をその前面で保持する。積層１１２がチェック１３４に対向して配置された後、施与機構１３２が積層１１２の一端上を動き、上述したように、積層１１２の１側面にエポキシトレース１３０の予めプログラムされた路を施す。施与機構１３２が移動して離れ、それから真空チェック１３４が９０度指示機構１４４によって９０度回転する。その結果、エポキシは積層１１２の他の端に沿って施される。積層１１２の全ての縁にエポキシが施されるまで工程は繰り返される。好適な実施例では、エポキシ施与機構１３２は、１インチの１０００分の１の分解能を有する３０ゲージでルアー・チップ（Luer-tipped）の５ｃｃの皮下注射器であり、図示されていないプログラム可能なロボットに配されている。
【００５１】
エポキシトレース１３０が施与された後、積層１１２はチェック１３４から取り外され、エポキシ１３０は濡れているので特別の処理により保持領域に置かれる。エポキシ化されたセグメントの積層１１２はそれから矯正のため、対流オーブンに配される。矯正は１５分の予備加熱と、６０分の矯正と、１０分の冷却を含んでいる。一度、積層１１２が電気的機能性をテストされると、積層１１２工程は終了し、積層１１２は例えばプリント回路板のような回路支持基板上に載せられる。
【００５２】
本発明の好適な実施例においては、積層１１２は、回路板内の積層１１２を載せる副表面によって回路板と接続される。図１２を参照すると、本発明によりその中に載せられた多数の積層１１２の副表面を有する回路板１５０の断面図が示される。回路板１５０内で積層１１２を副表面に載せるために、積層１１２の周辺よりやや大きい多数の穴１５４が回路板１５０に開けられる。穴１５４が回路板１５０内に開けられた後、回路板１５０は締め付け具１５２内に配される。積層１１２はそれから図示のように積層１１２の最上のセグメント３６の前面１０４がプリント回路板１５０と平面になるように回路板１５０内の穴１５４に置かれる。積層１１２は、その周辺の様々な位置に急速な矯正位置エポキシ（図示されていない）の少量を適用することにより、来る作業のために決まった場所に保持される。
【００５３】
積層１１２はエポキシにより回路板の上に載せられることができるけれども、副表面搭載は、積層１１２の周りの回路板上にエポキシを適用した後に積層１１２の垂直側にエポキシを適用するときに遭遇する問題に打ち勝つ。回路板１５０内の積層１１２を副表面に搭載することは、以下のような多くの利点を有する。熱膨張係数を考慮しており、回路板１５０上の積層１１２の全体の高さを減少させ積層１１２を高密度化のためにより高くでき、これから述べられるように積層１１２と回路板１５０の間の電気的接続を単純化する。
【００５４】
図１３を参照して、積層１１２を回路板１５０に電気的に接続する方法が示される。積層１１２を回路板１５０に保持するために位置決めエポキシ１５８が用いられた後、コンピュター機構が積層１１２の各々の水平面のダイ３２をアクセスできるように積層１１２は回路板１５０上の金属トレース１６０と電気的に接続される。各々の積層１１２は、頂上のセグメント３６の周辺の縁接続パッド４２が回路板１５０の金属トレース１６０の位置と合うように回路板１５０内に位置している。接続パッド４２と回路板１５０上の金属トレース１６０との間の隙間をつなぐために、導電性のエポキシウイスカー１６２を満たした銀が施与機構１３２を用いることにより各々の接続パッド４２から回路板１５０の反対側の金属トレース１６０へ施される。図１３に示されているように、回路板１５０へ積層１１２を取り付けるのに用いられる位置決めエポキシ１５８は導電性エポキシウイスカー１６２と干渉しないように設けられる。本発明の一つの特徴は、積層１１２と回路板１５０上の金属トレース１６０との間の電気的接続が回路板１５０と実質上同じ平面にある導電性エポキシウイスカーでなされることである。
【００５５】
本発明の水平エポキシウイスカーは、回路板１５０と積層１１２の頂上のセグメント３６の縁接続パッド４２との間、頂上セグメント３６の縁接続パッド４２とセグメント３６を相互接続するために積層１１２の縁に設けられた水平エポキシトレース１３０との間に電気的な接続を提供する。水平、垂直導電エポキシトレース１６０、１３２は、回路板１５０の回路が積層１１２のセグメント３６にアクセスできるように設けられる。
【００５６】
セグメントがエポキシトレース１３０（図１０Ａと１０Ｂを参照）を用いて垂直に相互接続された後、セグメント３６のいくつかのダイの失敗を補償するために回路板面１５０に他のプログラムが用いられる。失敗ダイは、回路板平面で失敗ダイに対するコントロールシグナルを選ばず、シグナルを積層１１２の機能ダイ３２のコントロールシグナルに置き換えることにより補償される。これは、導電エポキシウイスカー１６２で回路板１５０の適切な金属トレース１６０を相互接続することにより達成される。
【００５７】
エポキシウイスカー１６２が回路板１５０に適用された後、板１５０の組立品は最終矯正のために従来のオーブン内に配される。その矯正は、１５分の予備加熱と、６０分の矯正と、１５分の冷却を含んでいる。矯正後、板１５０の組立品はテストされ、ポリイミド層で封じられる。本発明のコンピューター回路板１５０の組立品は、ＰＣＭＣＩＡ（Personal Computer Memory Card International Association）カードのような多くの目的のために使われる。ＰＣＭＣＩＡカードは、ノートブックやポータブルコンピューターに挿入され、付加的な入力／出力機能と記憶容量増大をもたらす小さなクレジット型のデバイスである。本発明の積層は、ＰＣＭＣＩＡカードに搭載され、例えば、ノートブックコンピューターの外部記憶回路として用いられる。
【００５８】
本発明の特定の実施例の先の記述は、図と記述により表示される。それらは、余す所のないものと意図されているのではなく、また発明を開示された正確な形態に限定するものと意図されていない。上述の教示を考慮して多くの修正や変更が可能である。実施例は、発明の原理やその実際の適用性を最も良く説明するために、選ばれ述べられた。それにより他の当業者は、その発明や企図された特定の使用にふさわしい様々な変形による実施例を利用することができる。発明の範囲はこれに添えられたクレームやそれらの均等物によって定められる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】図１は、チップの一方の側に沿って別形成リードを設けるための従来技術による方法を示す図である。
【図２】図２は、多数のダイを含む従来のシリコンウェハーを示す図である。
【図３】図３は、本発明による、２ｘ２のダイの配列をふくむセグメント２つを示す図である。
【図４】図４は、ウェハーを横切って設計された多数のセグメントを示す図である。
【図５Ａ】図５Ａは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｂ】図５Ｂは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｃ】図５Ｃは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｄ】図５Ｄは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｅ】図５Ｅは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｆ】図５Ｆは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｇ】図５Ｇは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図５Ｈ】図５Ｈは、ウェハーの一部の断面図であって、セグメントのダイを接続するために、ウェハーに適用される多数の材料の層を示すものである。
【図６Ａ】図６Ａは、ポリイミド層の縁壁の輪郭を示す図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、ポリイミド層の縁壁の輪郭を示す図である。
【図７Ａ】図７Ａは、ウェハー上で金属の接続を形成するための金属剥がし方法を示す図である。
【図７Ｂ】図７Ｂは、ウェハー上で金属の接続を形成するための金属剥がし方法を示す図である。
【図８Ａ】図８Ａは、セグメントがウェハーから切断された後、４つの壁面に斜角を設けたセグメントの裏面を示す図である。
【図８Ｂ】図８Ｂは、ウェハーから切断された後の３つのセグメントの前面と斜角を設けた壁面を示す図である。
【図９】図９は、セグメントが積層され、エポキシで結合させられるセグメントの積層・結合方法を示す図である。
【図１０Ａ】図１０Ａは、本発明による、積層されたセグメント間の垂直電気パスを形成する方法を示す図である。
【図１０Ｂ】図１０Ｂは、本発明による、積層されたセグメント間の垂直電気パスを形成する方法を示す図である。
【図１１】図１１は、積層の端に沿ってエポキシのトレースが施される機構を示す図である。
【図１２】図１２は、表面下に配された多数の積層を有する本発明による信号伝達用基板の断面図である。
【図１３】図１３は、回路板の表面下に配された積層を電気的に接続する方法を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図５Ｃ】
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【図５Ｄ】
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【図５Ｅ】
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【図５Ｆ】
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【図５Ｇ】
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【図５Ｈ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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