(57)【要約】【課題】３次元的なあらゆる方向の方位、姿勢、及び加速度を、容易かつ精確に検出することができるモーションセンサ及びこれを用いた携帯電話機を提供しようとするものである。【解決手段】互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部２と、３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部３とを有する。加速度センシング部３は、加速度に応じて変位するよう構成された磁石体３１と、磁石体３１の変位を検知する磁石変位検出ヘッド３２とからなる。３基の磁気センシング部２と３基の磁石変位検出ヘッド３２とは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子４からなる。これら合計６基の磁気検出素子４を制御する１個の電子回路１２と、３基の磁気センシング部２と、３基の加速度センシング部３２とを、一つのパッケージにモジュール化してなる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部と、上記３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部とを有し、
該加速度センシング部は、加速度に応じて変位するよう構成された磁石体と、該磁石体の変位を検知する磁石変位検出ヘッドとからなり、
上記３基の磁気センシング部と上記３基の磁石変位検出ヘッドとは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子からなり、
これら合計６基の磁気検出素子を制御する１個の電子回路と、上記３基の磁気センシング部と、上記３基の加速度センシング部とを、一つのパッケージにモジュール化してなることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項２】
請求項１において、上記磁石体は、上記パッケージ内に固定された支持ポストに一端を固定したカンチレバーの他端に固定されており、上記３基の加速度センシング部における上記カンチレバーは、その長手方向が同一の平面に対して平行となるように配置されていることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記３基の磁気センシング部を構成する磁気検出素子及び上記３基の磁石変位検出ヘッドを構成する磁気検出素子は、マグネト・インピーダンス・センサ素子からなることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、上記磁石変位検出ヘッドは、上記磁石体による磁気を検出する主検出部と、上記磁石変位検出ヘッドに作用する周辺磁界を検出する補償用検出部とを有し、上記主検出部と上記補償用検出部とは、同軸方向の磁気を検出できるよう配置されており、上記主検出部の出力から上記補償用検出部の出力を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッドの出力信号を補償するよう構成してあることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項５】
請求項１〜３のいずれか一項において、上記磁石変位検出ヘッドは、上記磁石体による磁気を検出する主検出部と、上記磁石変位検出ヘッドに作用する周辺磁界を検出する補償用検出部とを有し、上記主検出部と上記補償用検出部とは、同軸方向の磁気を検出できるよう配置されており、上記主検出部の出力から上記補償用検出部の出力の所定数倍を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッドの出力信号を補償するよう構成してあることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項６】
請求項４において、上記磁石変位検出ヘッドは、一つの感磁体と該感磁体に巻回された第１検出コイル及び第２検出コイルとからなる差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子からなり、上記第１検出コイルは上記主検出部の一部を構成し、上記第２検出コイルは上記補償用検出部の一部を構成し、上記第１検出コイルの一端は上記第２検出コイルの一端と接続されており、上記第１検出コイルと上記第２検出コイルとは、上記感磁体に一様の磁界が作用したときに逆向きの同じ大きさの出力電圧が生じるように巻回されていることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項７】
請求項５において、上記磁石変位検出ヘッドは、一つの感磁体と該感磁体に巻回された第１検出コイル及び第２検出コイルとからなる差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子からなり、上記第１検出コイルは上記主検出部の一部を構成し、上記第２検出コイルは上記補償用検出部の一部を構成し、上記第１検出コイルの一端は上記第２検出コイルの一端と接続されており、上記第１検出コイルと上記第２検出コイルとは、上記感磁体に一様の磁界が作用したときに、互いに逆向きであると共に一方が他方の所定数倍となる大きさの出力電圧が生じるように巻回されていることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項８】
請求項１〜５のいずれか一項において、上記電子回路は、上記磁気検出素子の感磁方向が互いに同一方向となる上記加速度センシング部と上記磁気センシング部とのそれぞれの出力を基に、周辺磁界の影響を補償演算して加速度を算出するよう構成してあることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項において、上記電子回路は、上記６基の磁気検出素子を時分割で制御するよう構成してあることを特徴とするモーションセンサ。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項に記載のモーションセンサを搭載してなることを特徴とする携帯電話機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、方位及び加速度を検知するモーションセンサ及びこれを用いた携帯電話機に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、方位検出及び姿勢検出を可能とした姿勢検知センサとして、例えば、３軸の磁気センサ部と２軸以上の加速度センサ部とを組み合わせたものがある。かかる姿勢検知センサは、例えば、ホール素子を利用した磁気センサ部と、作用する重力に応じて変位する重り部の変位を計測するための応力検知素子を含む加速度センサ部とを組み合わせて構成されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
しかしながら、上記従来の姿勢検知センサでは、次のような問題がある。すなわち、上記姿勢検知センサでは、計測原理が全く異なる上記磁気センサ部及び上記加速度センサ部を効率良く配置するのが難しく、センサ全体の体格を充分に小型化できないおそれがある。さらに、上記磁気センサ部及び上記加速度センサ部は、計測信号を処理するための電気回路として、全く別設計の電気回路を必要とする。そのため、少なくとも２種類の電気回路が必要となる上記姿勢検知センサは、充分に小型化できないおそれがある。
【０００４】
また、加速度センサが２軸方向にしか対応していないと、あらゆる方向の加速度を精確に検出することが困難となるおそれがある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７２６３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、３次元的なあらゆる方向の方位、姿勢、及び加速度を、容易かつ精確に検出することができるモーションセンサを提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
第１の発明は、互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部と、上記３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部とを有し、
該加速度センシング部は、加速度に応じて変位するよう構成された磁石体と、該磁石体の変位を検知する磁石変位検出ヘッドとからなり、
上記３基の磁気センシング部と上記３基の磁石変位検出ヘッドとは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子からなり、
これら合計６基の磁気検出素子を制御する１個の電子回路と、上記３基の磁気センシング部と、上記３基の加速度センシング部とを、一つのパッケージにモジュール化してなることを特徴とするモーションセンサにある（請求項１）。
【０００８】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記モーションセンサは、上記３基の磁気センシング部及び上記３基の加速度センシング部を有するため、上記モーションセンサを取付けた物体の方位、姿勢、並びに加速度の方向及び大きさを３次元的に検出することができる。
【０００９】
即ち、上記磁気センシング部によって地磁気を検知し、加速度センシング部によって重力加速度を検知することにより、上記物体の向いている方位及び姿勢を検出することができる。そして、磁気センシング部及び加速度センシング部がそれぞれ３基ずつ３軸方向に配置されているため、３次元的に方位及び姿勢を検出することができる。なお、ここで姿勢とは、例えば、上記物体のピッチ、ヨー、ロールの絶対角、相対角をいう。
更には、上記３基の加速度センシング部によって、３次元的なあらゆる方向の加速度の方向及び大きさを検出することができる。
【００１０】
また、上記３基の磁気センシング部と上記３基の磁石変位検出ヘッドとは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子からなる。そのため、これらの磁気検出素子を制御する電子回路は同一原理で駆動させることができ、１個で足りる。その結果、モーションセンサの簡素化、小型化を容易に行うことができる。
そして、上記モーションセンサは、１個の電子回路と３基の磁気センシング部と３基の加速度センシング部とを、一つのパッケージにモジュール化してなるため、モーションセンサの簡素化、小型化を一層容易に行うことができる。
【００１１】
また、上記モーションセンサは、互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部と、上記３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部とを有するため、加速度センシング部への周辺磁界の影響を、容易に補償することができる。即ち、磁石体に起因する磁気以外の地磁気等の周辺磁界が、加速度センシング部の磁石変位検出ヘッドに作用したり、上記周辺磁界の磁力作用によって磁石体が変位したりすることがある。このような、磁石変位検出ヘッドに作用する周辺磁界や、周辺磁界の磁力作用による磁石体の変位に基づく、加速度センシング部による加速度の検出値の誤差を、上記３基の磁気センシング部の出力値を用いて補償することができる。
【００１２】
そして、磁気センシング部は、上記３基の加速度センシング部に対応する方向に３基配設され、しかも、加速度センシング部の磁石変位検出ヘッドと動作原理の共通する同種類の磁気検出素子からなる。そのため、上記加速度の検出値の補償を容易に行うことができる。更には、上記磁気センシング部は、加速度センシング部と共に一つのパッケージにモジュール化してあり、近傍に配置されているため、精度の高い補償を行うことができる。
また、上記３基の加速度センシング部により得られた姿勢情報を基に、上記３基の磁気センシング部により得られる方位の誤差を補償することもできる。
【００１３】
以上のごとく、本発明によれば、３次元的なあらゆる方向の方位、姿勢、及び加速度を、容易かつ精確に検出することができるモーションセンサを提供することができる。
【００１４】
第２の発明は、上記第１の発明（請求項１）にかかるモーションセンサを搭載してなることを特徴とする携帯電話機にある（請求項１０）。
本発明によれば、３次元的なあらゆる方向の方位、姿勢、及び加速度を、容易かつ精確に検出することができる携帯電話機を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
上記第１の発明のモーションセンサは、携帯電話機等の携帯機器の他、自動車や、自律移動ロボットや、ロボットのマニュピレータ等の制御に利用することもできる。
また、上記磁気検出素子は、ホール素子、マグネト・インピーダンス・センサ素子、磁気抵抗素子、フラックスゲート等の磁気検出用の素子とすることができる。さらに、上記磁石体としては、フェライト、希土類磁石等により形成することができる。
また、上記加速度センシング部において検出する加速度としては、運動加速度だけでなく、重力加速度もある。
【００１６】
また、上記磁石体は、上記パッケージ内に固定された支持ポストに一端を固定したカンチレバーの他端に固定されており、上記３基の加速度センシング部における上記カンチレバーは、その長手方向が同一の平面に対して平行となるように配置されていることが好ましい（請求項２）。
この場合には、小型、薄型のモーションセンサを容易に得ることができる。これにより、モーションセンサを小型機器、薄型機器にも搭載可能とすることができる。
【００１７】
また、上記３基の磁気センシング部を構成する磁気検出素子及び上記３基の磁石変位検出ヘッドを構成する磁気検出素子は、マグネト・インピーダンス・センサ素子からなることが好ましい（請求項３）。
この場合には、高精度かつ小型のモーションセンサを容易に得ることができる。
即ち、マグネト・インピーダンス・センサ素子（ＭＩ素子）は、高感度であるため、微弱な地磁気を高精度にて検出することができると共に、磁石体の微小変位を高精度で検出することができる。更には、マグネト・インピーダンス・センサ素子は小型であるため、小型のモーションセンサを実現することができる。
【００１８】
また、上記磁石変位検出ヘッドは、上記磁石体による磁気を検出する主検出部と、上記磁石変位検出ヘッドに作用する周辺磁界を検出する補償用検出部とを有し、上記主検出部と上記補償用検出部とは、同軸方向の磁気を検出できるよう配置されており、上記主検出部の出力から上記補償用検出部の出力を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッドの出力信号を補償するよう構成することができる（請求項４）。
この場合には、磁石変位検出ヘッドの主検出部が直接検知した磁気から、ノイズ成分である周辺磁界を除去して、加速度の検出値の補償を行うことができる。それ故、本来の加速度を精確に検出することができる。
【００１９】
また、上記磁石変位検出ヘッドは、上記磁石体による磁気を検出する主検出部と、上記磁石変位検出ヘッドに作用する周辺磁界を検出する補償用検出部とを有し、上記主検出部と上記補償用検出部とは、同軸方向の磁気を検出できるよう配置されており、上記主検出部の出力から上記補償用検出部の出力の所定数倍を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッドの出力信号を補償するよう構成することもできる（請求項５）。
【００２０】
この場合には、周辺磁界に起因するノイズ成分を除去して、加速度センシング部による加速度の検出値の補償を行うことができる。即ち、周辺磁界に起因するノイズ成分としては、厳密には、周辺磁界が磁石変位検出ヘッドに直接作用することによるノイズと、周辺磁界の磁力作用により磁石体が変位することによるノイズとを合わせたものとなる。この二つのノイズを合わせたノイズの大きさは、周辺磁界の大きさの所定数倍として表すことができる。それ故、上記主検出部の出力から上記補償用検出部の出力の所定数倍を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッドの出力信号を補償することができる。
従って、本来の加速度をより精確に検出することができる。
【００２１】
また、上記磁石変位検出ヘッドは、一つの感磁体と該感磁体に巻回された第１検出コイル及び第２検出コイルとからなる差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子からなり、上記第１検出コイルは上記主検出部の一部を構成し、上記第２検出コイルは上記補償用検出部の一部を構成し、上記第１検出コイルの一端は上記第２検出コイルの一端と接続されており、上記第１検出コイルと上記第２検出コイルとは、上記感磁体に一様の磁界が作用したときに逆向きの同じ大きさの出力電圧が生じるように巻回されていることが好ましい（請求項６）。
【００２２】
この場合には、磁石変位検出ヘッドの小型化、簡素化を図ることができる。
そして、上記請求項４の発明と同様に、磁石変位検出ヘッドの主検出部が直接検知した磁気から、ノイズ成分である周辺磁界を除去して、加速度の検出値の補償を行うことができる。それ故、本来の加速度を精確に検出することができる。
【００２３】
また、上記磁石変位検出ヘッドは、一つの感磁体と該感磁体に巻回された第１検出コイル及び第２検出コイルとからなる差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子からなり、上記第１検出コイルは上記主検出部の一部を構成し、上記第２検出コイルは上記補償用検出部の一部を構成し、上記第１検出コイルの一端は上記第２検出コイルの一端と接続されており、上記第１検出コイルと上記第２検出コイルとは、上記感磁体に一様の磁界が作用したときに、互いに逆向きであると共に一方が他方の所定数倍となる大きさの出力電圧が生じるように巻回されていることが好ましい（請求項７）。
この場合にも、磁石変位検出ヘッドの小型化、簡素化を図ることができる。
そして、上記請求項５の発明と同様に、周辺磁界に起因するノイズ成分を除去して、加速度センシング部による加速度の検出値の補償を行うことができる。それ故、本来の加速度をより精確に検出することができる。
【００２４】
また、上記電子回路は、上記磁気検出素子の感磁方向が互いに同一方向となる上記加速度センシング部と上記磁気センシング部とのそれぞれの出力を基に、周辺磁界の影響を補償演算して加速度を算出するよう構成してもよい（請求項８）。
この場合には、上記磁気センシング部を、方位及び姿勢の検出を行うために用いるのみならず、加速度の検出値の補償用としても用いることとなるため、部品点数を削減し、小型かつ安価なモーションセンサを得ることができる。
【００２５】
また、上記電子回路は、上記６基の磁気検出素子を時分割で制御するよう構成してあることが好ましい（請求項９）。
この場合には、１個の上記電子回路を用いて、上記６基の磁気検出素子を効率的に制御することができる。これにより、小型かつ安価なモーションセンサを得ることができる。
【実施例】
【００２６】
（実施例１）
本発明の実施例にかかるモーションセンサ及びこれを用いた携帯電話機につき、図１〜図１２を用いて説明する。図１は、モーションセンサの概略的な斜視図である。
本例のモーションセンサ１は、図１〜図３に示すごとく、互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部２（２ｘ，２ｙ，２ｚ）と、上記３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部３（３ｘ，３ｙ，３ｚ）とを有する。
【００２７】
該加速度センシング部３は、加速度に応じて変位するよう構成された磁石体３１と、該磁石体３１の変位を検知する磁石変位検出ヘッド３２とからなる。
３基の磁気センシング部２と３基の磁石変位検出ヘッド３２とは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子１１からなる。
そして、上記モーションセンサ１は、これら合計６基の磁気検出素子４を制御する１個の電子回路１２（ＩＣチップ）と、上記３基の磁気センシング部２と、上記３基の加速度センシング部３とを、一つのパッケージにモジュール化してなる。
【００２８】
また、上記磁石体３１は、上記パッケージ内に固定された支持ポスト３３に一端を固定したカンチレバー３４の他端に固定されている。上記３基の加速度センシング部３におけるカンチレバー３４は、その長手方向が同一の平面即ち基板１３に対して平行となるように配置されている。なお、以下の説明では、図１に示すごとく、基板１３の直交する２辺に沿う軸をＸ軸及びＹ軸とし、基板１３の法線方向の軸をＺ軸とした。
【００２９】
３基の加速度センシング部３のカンチレバー３４は、それぞれ、互いに直交する３軸方向に撓むよう配置されている。
即ち、Ｘ軸方向の加速度を検出するための加速度センシング部３ｘにおけるカンチレバー３４はＸ軸方向に撓むように配置される。Ｙ軸方向の加速度を検出するための加速度センシング部３ｙにおけるカンチレバー３４はＹ軸方向に撓むように配置される。Ｚ軸方向の加速度を検出するための加速度センシング部３ｚにおけるカンチレバー３４はＺ軸方向に撓むように配置される。
そして、それぞれのカンチレバー３４の自由端に対向するように、磁石変位検出ヘッド３２が配置されている。
【００３０】
図４に示すごとく、カンチレバー３４は一端を支持ポスト３３に固定された弾性体からなる。本例のカンチレバー３４は、材質Ｎｉ−Ｐよりなり、幅０．３ｍｍ、長さ１．５ｍｍ、厚さ５ミクロンの矩形板状を呈するものである。さらに、本例では、厚さ方向の力に対する剛性を低下させて磁石体３１の変位量を拡大できるよう、支持ポスト３３側の付け根部分から自由端の手前０．３８ｍｍに至る位置にかけて、幅０．２２ｍｍの長孔３４０を設けてある。
【００３１】
本例では、上記の長孔３４０を設けることにより、カンチレバー３４の固有振動数をおよそ５０Ｈｚ以上６０Ｈｚ以下の範囲に設定した。なお、上記長孔３４０を設けない平板状のカンチレバーを適用することもできる。
【００３２】
磁石体３１は、カンチレバー３４の自由端側の端部に配設してある。本例では、この側面に、磁石体塗料を塗布し、その後、乾燥及び硬化後に着磁することにより上記磁石体３１を形成した。
そして、カンチレバー３４が撓むことにより、カンチレバー３４の自由端が変位し角度変化することにより、磁石体３１が変位する。なお、このカンチレバー３４の撓みや自由端の変位等は僅かな量であり、例えば、カンチレバー３４の自由端の変位は、カンチレバー３４の長さの１０分の１程度以下である。
【００３３】
また、カンチレバー３４の固定端を支持する支持ポスト３３は、断面略Ｌ字状に形成されている。
即ち、図４、図５に示すごとく、上記支持ポスト３３は、上記固定端を接合した基体部３３１と、上記カンチレバー３４との間に間隙３３９を設けつつ基体部３３１からカンチレバー３４の自由端側へ延設された延設部３３２とを有する。そして、カンチレバー３４の自由端における、上記間隙３３９側と反対側の面に、磁石体３１が配設されている。
【００３４】
支持ポスト３３とカンチレバー３４と磁石体３１とが結合されて、図４に示す加速度感知部品３０が構成されている。
図５に示す支持ポスト３３の寸法は、例えば、幅ｗが０．６ｍｍ、長さａ１が２．０ｍｍであり、基体部３３１の高さｈ１が０．４ｍｍ、延設部３３２の高さｈ２が０．３ｍｍであり、基体部３３１の長さａ２が０．４ｍｍとすることができる。
【００３５】
また、図４に示すごとく、磁石体３１の寸法は、例えば、長さＬを０．２〜０．６ｍｍ、幅Ｗを０．２〜０．８ｍｍ、高さＨを０．０５〜０．２ｍｍとすることができる。ここで、長さとは、カンチレバー３４の固定端から自由端へ向かう方向に沿った長さである。また、上記幅Ｗは、上記長さＬの方向に直交すると共にカンチレバー３４の表面に平行となる方向についての長さである。また、上記高さＨは、カンチレバー３４の表面に直交する方向の長さである。
なお、カンチレバー３４の自由端の撓み方向の両側に、カンチレバー３４の過変位を防ぐストッパーを配設することもできる（図示略）。また、支持ポスト３３及びストッパーは、例えばＳｉ（シリコン）によって形成することができる。
【００３６】
また、上記３基の磁気センシング部２を構成する磁気検出素子４及び上記３基の磁石変位検出ヘッド３２を構成する磁気検出素子４は、マグネト・インピーダンス・センサ素子からなる。
図６〜図９に示すごとく、マグネト・インピーダンス・センサ素子（磁気検出素子４）は、感磁体４４と該感磁体４４に巻回した検出コイル４５とを有する。感磁体４４は、絶縁体４６の中を貫通しており、上記検出コイル４５は、絶縁体４６の外周面に配設されている。
上記感磁体４４としては、長さ１．０ｍｍ、線径２０μｍのＣｏ68.1Ｆｅ4.4Ｓｉ12.5Ｂ15.0合金からなるアモルファスワイヤを利用する。また、絶縁体４６としては、エポキシ樹脂を用いる。
【００３７】
上記マグネト・インピーダンス・センサ素子は、上記感磁体４４に通電する電流の変化に伴い、素子に作用する磁界の大きさに応じた誘起電圧が検出コイル４５に生じる、いわゆるＭＩ（Ｍａｇｎｅｔｏ−ｉｍｐｅｄａｎｃｅ）現象を利用して磁気センシングを行うものである。このＭＩ現象は、供給する電流方向に対して周回方向に電子スピン配列を有する磁性材料からなる感磁体４４について生じるものである。この感磁体４４の通電電流を急激に変化させると、周回方向の磁界が急激に変化し、その磁界変化の作用によって周辺磁界に応じて電子のスピン方向の変化が生じる。そして、その際の感磁体４４の内部磁化及びインピーダンス等の変化が生じる現象が上記のＭＩ現象である。
なお、このマグネト・インピーダンス・センサ素子及びＭＩ現象の説明において用いる「周辺磁界」には、地磁気等の周辺磁界の他、磁石体３１によって生じる磁界をも含む。
【００３８】
また、上記マグネト・インピーダンス・センサ素子（磁気検出素子４）は、上記感磁体４４に通電する電流を１０ナノ秒以下で立ち上げたとき、或いは、立ち下げたときに、上記検出コイル４５の両端に発生する誘起電圧の大きさを計測することで作用する磁界強度を計測し得るように構成してある。
これにより、上記のような急激な通電電流の変化により、上記感磁体４４について、電子スピン変化の伝播速度に近い速度に見合う周回方向の磁場変化を生じさせることができ、それにより充分なＭＩ現象を発現させることができる。
【００３９】
１０ナノ秒以下で通電電流の立ち上げあるいは立ち下げを実施すれば、およそ０．１ＧＨｚの高周波成分を含む電流変化を上記感磁体４４に作用することができる。そして、上記検出コイルの両端に発生する誘起電圧を計測すれば、周辺磁界に応じて上記感磁体４４に生じる内部磁界変化を、上記誘起電圧の大きさとして計測でき、さらに精度良く周辺磁界の強度を計測することができる。ここで、通電電流の立ち上げ或いは立ち下げとは、例えば、感磁体４４に通電する電流の電流値を、定常電流値の１０％以下（９０％以上）から９０％以上（１０％以下）に変化させることをいう。
【００４０】
また、上記マグネト・インピーダンス・センサ素子は、上記感磁体４４に通電する電流を立ち下げたときに上記検出コイル４５の両端に発生する誘起電圧を計測するように構成されていることが好ましい。
通電電流を立ち上げる場合に比べて、通電電流を急激に立ち下げる場合は、磁界の強さに対してマグネト・インピーダンス・センサ素子による計測信号の直線性が良好になる。
【００４１】
そして、本例では、感磁体４４に図１１（ａ）に示すパルス状の電流（以下、適宜パルス電流と記載する。）を通電したときに検出コイル４５の両端の電極４５８と電極４５９との間に生じる誘起電圧ｅ（図１１（ｂ））を計測することで磁界の強度を検出している。
この磁気検出方法は、図１１に示すごとく、感磁体４４に通電したパルス電流（図１１（ａ））の立ち下がり時に、検出コイル４５に発生する誘起電圧ｅ（図１１（ｂ））を計測するものである。
【００４２】
また、マグネト・インピーダンス・センサ素子は、図７に示すごとく、深さ５〜２００μｍの断面略矩形状を呈する溝状の凹部４７０を設けた素子基板上に形成してある。この凹部４７０の内周面のうちの相互に対面する各溝側面４７０ａには、図８、図９に示すごとく、溝の深さ方向の導電パターン４５ａを均一ピッチで複数、配設してある。また、凹部４７０の溝底面４７０ｂには、同一ピッチの導電パターン４５ａを電気的に接続する導電パターン４５ｂを、溝の幅方向に対して若干斜めとなる方向に設けてある。
【００４３】
図６〜図９に示すごとく、各溝側面４７０ａ及び溝底面４７０ｂに導電パターン４５ａ、４５ｂを配設した凹部４７０の内部には、エポキシよりなる絶縁体４６中に、感磁体４４を埋設してある。そして、凹部４７０に充填した絶縁体４６の外表面には、相互に対面する溝側面４７０ａの１ピッチずれた導電パターン４５ａを電気的に接続する導電パターン４５ｃを、溝の幅方向に対して若干斜めとなる方向に設けてある。このようにして、導電パターン４５ａ、４５ｂ、４５ｃが一体となることにより、ら旋状に巻回された検出コイル４５が形成されている。
【００４４】
なお、検出コイル４５を形成する方法としては、例えば以下のような方法がある。即ち、凹部４７０の内周面４７０ａ、４７０ｂの全面に、導電性の金属薄膜を蒸着したのち、エッチング処理を実施して導電パターン４５ａ及び４５ｂを形成する。そして、導電パターン４５ｃは、絶縁体４６の表面全面に、導電性の金属薄膜（図示略。）を蒸着したのち、エッチング処理を実施することにより形成する。
【００４５】
本例の検出コイル４５の捲線内径は、凹部４７０の断面積と同一断面積を呈する円の直径である円相当内径として６６μｍを有する。そして、検出コイル４５の線幅及び線間幅は共に２５μｍとしてある。なお、図８、図９においては、便宜上線間幅を広く描いてある。
【００４６】
上記６基の磁気検出素子４を制御する電子回路１２は、図１０に示すごとく、感磁体４４に入力するパルス電流を生成する信号発生器１２１と、検出コイル４５の誘起電圧ｅ（図１１（ｂ））に応じた計測信号を出力する信号処理部１２２とを含む電子回路を有してなる。信号発生器１２１は、通電時間４０ｎｓｅｃ、パルス間隔５マイクロｓｅｃのパルス電流を生成するように構成してある。さらに、本例の信号発生器１２１は、パルス電流の立ち下がりに同期したトリガー信号を、信号処理部１２２のアナログスイッチ１２２ａに向けて出力するように構成してある。
【００４７】
信号処理部１２２は、上記トリガー信号に同期して、検出コイル４５と信号処理部１２２との間の電気的な接続をオンオフするアナログスイッチ１２２ａ及び該アナログスイッチ１２２ａを介して検出コイル４５と接続したコンデンサ１２２ｃを含み、いわゆるピークホールド回路として機能する同期検波回路と、増幅器１２２ｂとを組み合わせて構成したものである。
【００４８】
電子回路１２は、信号発生器１２１と各磁気検出素子４の感磁体４４との間の電気経路及び、信号処理部１２２と各検出コイル４５との間の電気経路を切り替える電子スイッチ１２８を設けてある。これにより、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸（図１参照）の各軸に沿う磁界の強度を計測する３基の磁気検出素子４（磁気センシング部２）、及びＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸に沿う加速度の大きさを計測する３基の磁気検出素子４（磁石変位検出ヘッド３２）の合計６基の磁気検出素子４について、２ｍｓごとに切り替えて電子回路１２を時分割で共用している。なお、切替時間の２ｍｓは一例であり、２ｍｓよりも短くても長くてもよい。
【００４９】
ここで、本例の磁気検出素子４による磁気検出方法について、簡単に説明しておく。この磁気検出方法は、この磁気検出方法は、図１１に示すごとく、感磁体４４に通電したパルス電流（同図（ａ））の立ち下がり時に、検出コイル４５に発生する誘起電圧ｅ（同図（ｂ））を計測するものである。なお、本例では、パルス電流が、定常値（電流値１５０ｍＡ）の９０％から１０％に立ち下がる遮断時間を４ナノ秒とした。
【００５０】
すなわち、図１１に示すごとく、磁界中に置かれた感磁体４４に通電したパルス電流が遮断された瞬間には、磁界のうち感磁体４４の長手方向成分に比例した大きさの誘起電圧ｅが検出コイル４５の両端に発生する。本例の電子回路１２では、検出コイル４５の誘起電圧ｅが、上記トリガー信号によりＯＮとされたアナログスイッチ１２２ａを介してコンデンサ１２２ｃに蓄積され、さらに、増幅器１２２ｂで増幅されて出力端子１２５から出力される。
本例の各磁気検出素子４は、以上のように、感磁体４４の長手方向に作用する磁界の強度に応じた出力信号を、電子回路１２を介して外部に出力する。
【００５１】
次に、本例の作用効果につき説明する。
上記モーションセンサ１は、上記３基の磁気センシング部２及び上記３基の加速度センシング部３を有するため、上記モーションセンサ１を取付けた物体の方位、姿勢、並びに加速度の方向及び大きさを３次元的に検出することができる。
【００５２】
即ち、上記磁気センシング部２によって地磁気を検知し、加速度センシング部３によって重力加速度を検知することにより、上記物体の向いている方位及び姿勢を検出することができる。そして、磁気センシング部２及び加速度センシング部３がそれぞれ３基ずつ３軸方向に配置されているため、３次元的に方位及び姿勢を検出することができる。なお、ここで姿勢とは、例えば、上記物体のピッチ、ヨー、ロールの絶対角、相対角をいう。
更には、上記３基の加速度センシング部３によって、３次元的なあらゆる方向の加速度の方向及び大きさを検出することができる。
【００５３】
また、上記３基の磁気センシング部２と上記３基の磁石変位検出ヘッド３２とは動作原理の共通する同種類の磁気検出素子４からなる。そのため、これらの磁気検出素子４を制御する電子回路１２は同一原理で駆動させることができ、１個で足りる。その結果、モーションセンサ１の簡素化、小型化を容易に行うことができる。
そして、上記モーションセンサ１は、１個の電子回路１２と３基の磁気センシング部２と３基の加速度センシング部３とを、一つのパッケージにモジュール化してなるため、モーションセンサ１の簡素化、小型化を一層容易に行うことができる。
【００５４】
また、上記モーションセンサ１は、互いに直交する３軸方向の磁界強度を検出する３基の磁気センシング部２と、上記３軸方向の加速度を検出する３基の加速度センシング部３とを有するため、加速度センシング部３への周辺磁界の影響を、容易に補償することができる。即ち、磁石体３１に起因する磁気以外の地磁気等の周辺磁界が、加速度センシング部３の磁石変位検出ヘッド３２に作用したり、上記周辺磁界の磁力作用によって磁石体３１が変位したりすることがある。このような、磁石変位検出ヘッド３２に作用する周辺磁界や、周辺磁界の磁力作用による磁石体３１の変位に基づく、加速度センシング部３による加速度の検出値の誤差を、上記３基の磁気センシング部２の出力値を用いて補償することができる。
【００５５】
そして、磁気センシング部２は、上記３基の加速度センシング部３に対応する方向に３基配設され、しかも、加速度センシング部３の磁石変位検出ヘッド３２と動作原理の共通する同種類の磁気検出素子６からなる。そのため、上記加速度の検出値の補償を容易に行うことができる。更には、上記磁気センシング部２は、加速度センシング部３と共に一つのパッケージにモジュール化してあり、近傍に配置されているため、精度の高い補償を行うことができる。
【００５６】
また、上記３基の加速度センシング部３における上記カンチレバー３４は、その長手方向が同一の平面に対して平行となるように配置されている。そのため、小型、薄型のモーションセンサ１を容易に得ることができる。これにより、モーションセンサ１を小型機器、薄型機器にも搭載可能とすることができる。
【００５７】
また、上記３基の磁気センシング部２を構成する磁気検出素子４及び上記３基の磁石変位検出ヘッド３２を構成する磁気検出素子４は、マグネト・インピーダンス・センサ素子からなるため、高精度かつ小型のモーションセンサ１を容易に得ることができる。
即ち、マグネト・インピーダンス・センサ素子は、高感度であるため、微弱な地磁気を高精度にて検出することができると共に、磁石体３１の微小変位を高精度で検出することができる。更には、マグネト・インピーダンス・センサ素子は小型であるため、小型のモーションセンサ１を実現することができる。
【００５８】
なお、上記のごとく、本例の磁気センシング部２と、磁石変位検出ヘッド３２とは同一仕様の磁気検出素子４からなる。特に、加速度センシング部３ｘ、３ｚの磁石変位検出ヘッド３２と磁気センシング部２ｙ、或いは加速度センシング部３ｙの磁石変位検出ヘッド３２と磁気センシング部２ｘとは、感磁体４４の長手方向も一致している。
【００５９】
そのため、磁気センシング部２における感磁体４４に巻回した各検出コイル４５と、磁石変位検出ヘッド３２における感磁体４４に巻回した各検出コイル４５とは、互いに長手方向が一致するものについては、地磁気等による周辺磁界に対して、一致した大きさの誘起電圧を出力する。
【００６０】
そこで、加速度センシング部３ｘの磁石変位検出ヘッド３２の出力信号から、磁気センシング部２ｙの出力信号を減算する補正を行えば、加速度センシング部３ｘの出力信号から周辺磁界による影響を排除して、その検出精度をさらに向上できる。
即ち、加速度センシング部３ｘの磁石変位検出ヘッド３２の出力Ｈsは、加速度αに対応する磁気量ｋ1Ｈαと、地磁気のＹ方向成分（磁石変位検出ヘッド３２の感度方向成分）Ｈeとの和になり、以下の式１のように表せる。
Ｈs＝ｋ1Ｈα＋ｋ2Ｈe・・・（式１）
また、当該磁石変位検出ヘッド３２と同一方向の磁気センシング部２ｙの出力Ｈ'sは、以下の式２のように表せる。
Ｈ's＝ｋ3Ｈe・・・（式２）
【００６１】
そこで、ｋ2＝ｋ3としておけば、ＨsとＨ'sとの減算補正（式１）−（式２）を施して、以下の式３のように表せる。
Ｈs−Ｈ's＝ｋ1Ｈα・・・（式３）
このようにして、ノイズである地磁気の影響を排除できる。
ここで、ｋ1、ｋ2、ｋ3は磁気量についての係数である。
なお、加速度センシング部３ｙ、３ｚについても同様である。
【００６２】
また、電子回路１２は、６基の磁気検出素子４を時分割で制御するよう構成してあるため、１個の上記電子回路１２を用いて、上記６基の磁気検出素子４を効率的に制御することができる。
【００６３】
即ち、図１０、図１２に示すごとく、６チャンネルの切替スイッチ（電子スイッチ１２８）を有する電子回路１２を１個用いて時分割して、上記６基の磁気検出素子４、即ち３基の磁気センシング部２と３基の磁石変位検出ヘッド３２とを制御するよう構成することができる。
これにより、３基の磁気センシング部２と３基の磁石変位検出ヘッド３２との全てが１つの電子回路１２を共用することとなり、モーションセンサ１全体の更なる小型化を容易に行うことができると共に、その消費電力を抑制することができる。
【００６４】
即ち、上記電子回路１２は、磁気検出素子４と回路本体とを連結する接続部を除くと、磁気検出素子の駆動回路、信号検知回路、信号処理回路、信号転送回路、及びセンサ電源回路からなる。そこで、これらの回路を、上記６基の磁気検出素子４のそれぞれに対して設けるのではなく、電子スイッチ１２８を用いて、上記６基の磁気検出素子４の制御用として一つの電子回路１２を共用する。これにより、電子回路１２の部分を大幅に小型化することが可能となり、ひいてはモーションセンサ１の更なる小型化が可能となる。
【００６５】
このように、６軸の切替スイッチを設けて１個の電子回路１２にて６基の磁気検出素子４を制御することにより、モーションセンサ１の小型化を図ることができる。
また、本例のように上記磁気検出素子４としてマグネト・インピーダンス・センサ素子を用いる場合において、上記の切替スイッチ（電子スイッチ１２８）を用いることは極めて有効である。即ち、マグネト・インピーダンス・センサ素子は、出力の直線性及び追従性に極めて優れているため、切替スイッチにて各マグネト・インピーダンス・センサ素子と電子回路１２との接続を切り替えた際にも良好な動作を実現することができる。
【００６６】
以上のごとく、本例によれば、３次元的なあらゆる方向の方位、姿勢、及び加速度を、容易かつ精確に検出することができるモーションセンサを提供することができる。
【００６７】
（実施例２）
本例は、図１３〜図１７に示すごとく、磁石変位検出ヘッド３２としての磁気検出素子４０に、磁石体３１による磁気を検出する主検出部４１と、上記磁石変位検出ヘッド３２に作用する周辺磁界を検出する補償用検出部４２とを設けた例である。
上記主検出部４１と上記補償用検出部４２とは、同軸方向の磁気を検出できるよう配置されており、上記主検出部４１の出力から上記補償用検出部４２の出力を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッド３２の出力信号を補償するよう構成してある。
図１５に示すごとく、磁石変位検出ヘッド３２は、主検出部４１側を加速度センシング部３の磁石体３１に対向させるように配置する。
【００６８】
上記磁石変位検出ヘッド３２は、図１３、図１４に示すごとく、一つの感磁体４４と該感磁体４４に巻回された第１検出コイル４５１及び第２検出コイル４５２とによって構成される差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子からなる。上記第１検出コイル４５１は上記主検出部４１の一部を構成し、上記第２検出コイル４５２は上記補償用検出部４２の一部を構成する。上記第１検出コイル４５１の一端は上記第２検出コイル４５２の一端と接続されている。そして、上記第１検出コイル４５１と上記第２検出コイル４５２とは、上記感磁体４４に一様の磁界が作用したときに逆向きの同じ大きさの出力電圧が生じるように巻回されている。
【００６９】
具体的には、図１３、図１４に示すごとく、第１検出コイル４５１と第２検出コイル４５２とは、逆向きに巻回してある。換言すると、第１検出コイル４５１の一端と第２検出コイル４５２の一端との接続部分が巻回方向転換部４５３であり、この巻回方向転換部４５３を境にコイルの巻回方向が逆転している。この巻回の仕方は、主検出部４１と補償用検出部４２とのそれぞれに同じ磁界が作用したときに主検出部４１と補償用検出部４２とに逆向きの出力電圧が生じるような巻回の仕方となっている。
【００７０】
本例における磁気検出素子４０は、基本的には実施例１における磁気検出素子４と同様の構成を有する。ただし、図１３、図１４に示すごとく、第１検出コイル４５１と第２検出コイル４５２とは、巻回方向転換部４５３を境にコイルの巻回方向が反転するように形成されている。
【００７１】
また、本例の磁気検出素子４０は、実施例１と同様に、感磁体４４に図１７（ａ）に示すパルス電流を通電したときに、第１検出コイル４５１及び第２検出コイル４５２からなる検出コイル４５０の両端における電極４５８と電極４５９との間に生じる誘起電圧ｅ（図１７（ｂ））を計測することで、主検出部４１と補償用検出部４２との間の磁界の強度の差を検出している。
なお、図１７（ｂ）において、実線の曲線と破線の曲線とは、それぞれ一様な磁界が作用したときの第１検出コイル４５１と第２検出コイル４５２とに生ずる出力電圧を表す。
【００７２】
また、主検出部４１と補償用検出部４２とに作用する磁界の感磁体４４の軸方向成分に差が生じたとき、連続形成された第１検出コイル４５１と第２検出コイル４５２とからなる検出コイル４５０の両端の電極４５８、４５９に電位差を生じるよう構成してある。
即ち、上記磁気検出素子４０は、主検出部４１と補償用検出部４２とを対称性を持たせた状態で形成しており、主検出部４１と補償用検出部４２とに同じ磁界が作用したときには、連続形成された検出コイル４５０の両端における電極４５８と電極４５９との間には、電位差が生じないように構成されている。
【００７３】
これは、図１６の破線Ｂ１、Ｂ２に示すごとく、周辺磁界が主検出部４１と補償用検出部４２とのそれぞれに同様に作用した場合には、同じ大きさであると共に互いに反対符号の出力電圧が生じる。これらの出力電圧（Ｂ１、Ｂ２）は、それぞれ、電極４５８と巻回方向転換部４５３との間、巻回方向転換部４５３と電極４５９との間において生じる電圧である。
ところが、図１３、図１４に示すごとく、主検出部４１の第１検出コイル４５１の一端と補償用検出部４２の第２検出コイル４５２の一端とが巻回方向転換部４５３において接続されているため、上記二つの出力電圧は打ち消し合い、結局、図１６の実線Ｂ０に示すごとく、磁気検出素子４０全体としての出力電圧は生じないこととなる。
【００７４】
そして、主検出部４１と補償用検出部４２とに作用する磁界の感磁体４４の軸方向成分に差が生じたとき、図１３に示す検出コイル４５０の両端の電極４５８、４５９に電位差を生じる。即ち、周辺磁界以外の磁界として、計測対象磁界である加速度センシング部３の磁石体３１に起因する磁界が、主検出部４１にのみ作用することにより、磁気検出素子４０における検出コイル４５０の両端の電極４５８、４５９に電位差を生じる。
なお、磁気センシング部２については、実施例１と同様の磁気検出素子４０を用いる。
その他は、実施例１と同様である。
【００７５】
本例の場合には、磁石変位検出ヘッド３２の主検出部４１が直接検知した磁気から、ノイズ成分である周辺磁界を除去して、加速度の検出値の補償を行うことができる。それ故、本来の加速度を精確に検出することができる。
また、上記の差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子を用いることにより、磁石変位検出ヘッド３２の小型化、簡素化を図ることができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００７６】
（実施例３）
本例は、主検出部４１の出力から補償用検出部４２の出力の所定数倍を差し引くことにより、磁石変位検出ヘッド３２の出力信号を補償するよう構成した例である。
磁石変位検出ヘッド３２における第１検出コイル４５１と第２検出コイル４５２とは、感磁体４４に一様の磁界が作用したときに、互いに逆向きであると共に一方が他方の所定数倍となる大きさの出力電圧が生じるように巻回されている。
【００７７】
具体的には、第２検出コイル４５２の巻数を第１検出コイル４５１の巻数の所定数倍とした。
即ち、上記磁気検出素子４０は、主検出部４１と補償用検出部４２とを対称性を持たせない状態で形成しており、主検出部４１に作用する磁界と補償用検出部４２に作用する磁界とが一定の比率となったときに、連続形成された検出コイル４５０の両端における電極４５８、４５９には、電位差が生じないように構成されている。
【００７８】
これは、周辺磁界が加速度センシング部３の磁石体３１に作用して磁石体３１が変位することによるノイズを除去するために、このノイズ分の差が生じたときに電位差が生じないようにしたものである。従って、上記の「所定数倍」としては、周辺磁界により磁石体３１が変位することによるノイズを補償できるような適切な値に設定する。
その他は、実施例２と同様である。
【００７９】
本例の場合には、周辺磁界に起因するノイズ成分を除去して、加速度センシング部３による加速度の検出値の補償を行うことができる。即ち、周辺磁界に起因するノイズ成分としては、厳密には、周辺磁界が磁石変位検出ヘッド３２に直接作用することによるノイズと、周辺磁界の磁力作用により磁石体３１が変位することによるノイズとを合わせたものとなる。この二つのノイズを合わせたノイズの大きさは、周辺磁界の大きさの所定数倍として表すことができる。それ故、上記主検出部４１の出力から上記補償用検出部４２の出力の所定数倍を差し引くことにより、上記磁石変位検出ヘッド３２の出力信号を補償することができる。
従って、本来の加速度をより精確に検出することができる。
その他、実施例２と同様の作用効果を有する。
【００８０】
（実施例４）
本例は、実施例１〜３のいずれかのモーションセンサ１を搭載した携帯電話機に関する例である。この内容について、図１８を用いて説明する。
本例の携帯電話機６は、無線通信により双方向の音声通話を可能とするものである。そして、この携帯電話機６は、内部基板６５に、モーションセンサ１と、ＣＰＵ（中央演算処理ユニット）を含む１チップマイコン６２と、動作プログラムを格納したメモリ素子（図示略）とを実装してなる。
【００８１】
そして、モーションセンサ１は、携帯電話機６を原点としてＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各軸周りの回転角、すなわち、ロール角、ピッチ角、ヨー角の姿勢情報、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の加速度情報、更には東西南北の方位情報をマイコン６２に向けて出力するように構成してある。
なお、本例のモーションセンサ１は、縦５．５ｍｍ、横５．５ｍｍ、高さ１．５ｍｍと、非常にコンパクトに構成されたものである。
【００８２】
この携帯電話機６は、インターネットブラウザとしての機能を備えており、液晶画面６１上にインターネット上の各種の情報を表示するように構成してある。この携帯電話機６では、該携帯電話機６自体を傾けることにより、その傾き方向に向けて液晶画面６１に表示する内容をスクロールできるように構成してある。すなわち、マイコン６２は、上記メモリ素子に格納した動作プログラムにより、モーションセンサ１が出力した上記姿勢情報に応じた液晶画面６１のスクロール量を演算するように構成してある。
本例の携帯電話機６によれば、その操作面６３に配置した操作ボタン６３０による操作を補助して、使用者の操作負担を軽減することができる。
【００８３】
また、携帯電話機６を振ったりすることにより、その加速度を検知して各種操作を行うことができるよう構成することもできる。更には、モーションセンサ１によって地磁気を検知して、方位情報を取得することもできる。
なお、その他の構成及び作用効果については、実施例１〜３と同様である。
【００８４】
また、本発明のモーションセンサは、上述した携帯電話機の他にも、例えば、カーナビゲーションシステム、ゲーム機等、種々の機器に搭載して利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】実施例１における、モーションセンサの概略を示す斜視図。
【図２】実施例１における、モーションセンサの平面図。
【図３】図２のＡ−Ａ線矢視断面図。
【図４】実施例１における、加速度感知部品を示す斜視図。
【図５】実施例１における、支持部材を示す斜視図。
【図６】実施例１における、磁気検出素子を示す正面図。
【図７】図６のＢ−Ｂ線矢視断面図。
【図８】実施例１における、磁気検出素子を説明する部分斜視図。
【図９】実施例１における、検出コイルを説明する斜視図。
【図１０】実施例１における、６基の磁気検出素子が共用する電子回路を示す回路図。
【図１１】実施例１における、感磁体に通電するパルス電流と、検出コイルに発生する誘起電圧との関係を示すグラフ。
【図１２】実施例１における、１個の電子回路を用いて６基の磁気検出素子を制御する回路構成を示すブロック図。
【図１３】実施例２における、差動型のマグネト・インピーダンス・センサ素子の平面図。
【図１４】実施例２における、マグネト・インピーダンス・センサ素子の部分斜視図。
【図１５】実施例２における、加速度センシング部の説明図。
【図１６】実施例２における、マグネト・インピーダンス・センサ素子の周辺磁界と出力電圧との関係を示す線図。
【図１７】実施例２における、感磁体に通電するパルス電流と、電磁コイルに発生する誘起電圧との関係を示すグラフ。
【図１８】実施例４における、携帯電話機を示す一部カット図。
【符号の説明】
【００８６】
１  モーションセンサ
１２  電子回路
２  磁気センシング部
３  加速度センシング部
３１  磁石体
３２  磁石変位検出ヘッド
４  磁気検出素子
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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