(57)【要約】【課題】材料を無駄なく使用することができ、また、高精度で蛍光体層を形成することが可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供する。【解決手段】蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子を、複数の放電セル４内に充填する工程（１）と、次いで、ワックス粒子が充填された複数の放電セル４の内、所定の放電セル４にレーザーを照射して放電セル４内のワックス粒子を加熱融解した後、固化することによって蛍光体を放電セル４内に固定する工程（２）と、次いで、前記所定の放電セル４以外の放電セル４内に充填されたワックス粒子を除去する工程（３）とを順に備え、前記工程（１）〜（３）を、ワックス粒子中に分散される蛍光体の色毎に繰り返して行なった後、次いで、放電セル４内のワックスを蒸発させ、前記蛍光体を放電セル４の内壁に固定して蛍光体層とする工程（４）が備えられている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体上に設けられた隔壁によって区画されてなる複数の放電セルの内壁に蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、
赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体の内、何れか１色の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子を、前記複数の放電セル内に充填する工程（１）と、
次いで、前記ワックス粒子が充填された複数の放電セルの内、所定の放電セルにレーザーを照射して放電セル内のワックス粒子を加熱融解した後、固化することによって前記蛍光体を放電セル内に固定する工程（２）と、
次いで、前記所定の放電セル以外の放電セル内に充填されたワックス粒子を除去する工程（３）とを順に備え、
前記工程（１）〜（３）を、前記ワックス粒子中に分散される前記３原色の蛍光体の色毎に繰り返して行なった後、
次いで、前記放電セル内のワックスを蒸発させ、前記蛍光体を前記放電セルの内壁に固定して蛍光体層とする工程（４）が備えられていることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項２】
前記工程（３）において除去したワックス粒子を、前記工程（１）において再利用することを特徴とする請求項１に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項３】
前記レーザーは、炭酸ガスレーザーであることを特徴とする請求項１又は２に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項４】
前記ワックスは、融点が４０〜２００℃の有機物であって、前記レーザーの発信波長によって加熱融解される蝋状物質であることを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
前記ワックスは、融点が４５℃超であり、ベヘニルアルコール、ステアリルアルコール、パルミチルアルコールの内の少なくとも１種、又は２種以上の混合物を主成分とした組成物であることを特徴とする請求項４に記載のプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）における隔壁で区画された放電セルの内壁に蛍光体層を形成する、プラズマディスプレイパネルの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、テレビジョン等の表示デバイスとして用いられるプラズマディスプレイパネルの製造方法としては、各種方法が提案されており、なかでもスクリーン印刷方法が主流になっている。このスクリーン印刷方法は、ＰＤＰにおいて隔壁により区画されてなる放電セルに、壁面塗布法を用いて蛍光体層を形成する方法である。
【０００３】
スクリーン印刷方法は、スクリーンを介する印刷方法を用いて、所定の空間、つまり所定の放電セル内に、蛍光体が混入されたペースト状の液体を流し込む方法である。そして、このスクリーン印刷方法では、乾燥時において、前記放電セル内の壁面に、表面張力によって自然に蛍光体層が形成されるメカニズムを利用している。
【０００４】
しかしながら、このようなスクリーン印刷法では、印刷しようとする印刷位置にパターン同士を重ねあわせる際、印刷面積が大きいほど印刷ずれが大きくなることから、印刷の位置合わせ精度が低いという問題がある。このため、スクリーン印刷法を用いてＰＤＰの放電セル内に蛍光体層を形成した場合、例えば、１ｍ長に対して５０〜２００μｍもの位置ずれを起こし、また、歪みの発生も伴う。
【０００５】
また、ＰＤＰを製造する他の方法として、隔壁で区画された個々の放電セル内に、マイクロディスペンサーを用いて、蛍光体を分散させた蛍光体スラリーを吐出させることにより、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体を塗り分ける方法が考えられる。しかしながら、この方法を用いて、微細なパターンを有するＰＤＰの放電セル内に向けて蛍光体を吐出した場合、放電セル内で蛍光体粒子が目詰まりを起こす等の問題が生じる虞がある。
【０００６】
上述のような、蛍光体層を形成する際の位置ずれや、蛍光体の目詰まり等の問題を解決するため、蛍光体を注入する放電セルを選択するためのマスクを用いるフォトリソグラフィによってパターニングされたフィルムを用い、隔壁で区画された所定の放電セル内に蛍光体層を形成する方法が提案されている（例えば、特許文献１）。
【０００７】
また、特許文献１で用いられているようなフィルム状のシートに蛍光体を混合して感光性の柔軟性フィルム状シートとし、このフィルム状シートを基体に対して加減圧ラミネートして露光現像することにより、放電セル内に蛍光体層を形成する方法も提案されている。
【特許文献１】特開２０００−５７９４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、特許文献１に記載の製造方法、及び、上記感光性フィルム状シートを露光現像する製造方法の何れにおいても、以下に示すような問題点があった。
（１）蛍光体等の材料使用効率が低く、ロスが多い。
（２）放電セル内に各色の蛍光体層を形成する際、アラインメントを適正にするのが困難である。
（３）蛍光体が分散されたスラリーを、精細度の高い放電セル内へ効率良く注入するのが困難である。
【０００９】
本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、材料を無駄なく使用することができ、また、放電セルに対する位置合わせ精度が向上し、高精度で蛍光体層を形成することが可能なプラズマディスプレイパネルの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者等は、上記課題を解決すべく鋭意検討を行なった結果、以下の点に着目した。
（１）加工精度の高いレーザー技術を用いる。
（２）高価な蛍光体材料をサイクル利用する。
（３）蛍光体層形成に使用する各材料の熱的特性、及び有機物的特性を充分に活かす。
（４）蛍光体をワックス中に分散させて、複合粒子化して用いる。
（５）高速で処理が可能であり、材料ロスが少なく低コストで製造できる。
【００１１】
そして、上記特徴を有するものとして、レーザー照射によって加熱融解する材料であって加熱時に液体となり、放電セル内壁への壁面塗布に必要な表面張力を有し、また、放電セル内に容易に充填することが可能な形状特性を有する、蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子を用いることを見出し、本発明を完成した。
【００１２】
上述のようなワックス粒子を用いることにより、ワックス中に分散された蛍光体を、必要な放電セルに必要な量だけ充填することが可能となる。また、蛍光体を、所定の配列パターンで放電セル内に固定する際には、ワックス粒子が加熱融解する特性を利用することができる。また、ワックス粒子を加熱する方法としては、出力が可変であって、ビームスポット径を絞り込むことが可能であり、また、高速での位置出しやスキャンニングが可能なレーザー照射による加熱方法を用いることができ、特に炭酸ガスレーザーを用いることが効果的である。
【００１３】
このような、蛍光体層を高精度で放電セル内に形成する方法を用いることは、工程時間の短縮や製造コストの削減、歩留まりの向上等、工業生産的に極めて有意義であり、また、材料使用効率の面でも、材料の廃棄による無駄を無くすことができ、極めて有意義な発明である。
【００１４】
すなわち、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基体上に設けられた隔壁によって区画されてなる複数の放電セルの内壁に蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体の内、何れか１色の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子を、前記複数の放電セル内に充填する工程（１）と、次いで、前記ワックス粒子が充填された複数の放電セルの内、所定の放電セルにレーザーを照射して放電セル内のワックス粒子を加熱融解した後、固化することによって前記蛍光体を放電セル内に固定する工程（２）と、次いで、前記所定の放電セル以外の放電セル内に充填されたワックス粒子を除去する工程（３）とを順に備え、前記工程（１）〜（３）を、前記ワックス粒子中に分散される前記３原色の蛍光体の色毎に繰り返して行なった後、次いで、前記放電セル内のワックスを蒸発させ、前記蛍光体を前記放電セルの内壁に固定して蛍光体層とする工程（４）が備えられていることを特徴とする。
【００１５】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記工程（３）において除去したワックス粒子を、前記工程（１）において再利用する構成とすることができる。
【００１６】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記レーザーを、炭酸ガスレーザーとすることができる。
【００１７】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記ワックスを、融点が４０〜２００℃の有機物であって、前記レーザーの発信波長によって加熱融解される蝋状物質からなる構成とすることができる。
【００１８】
また、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、前記ワックスを、融点が４５℃超であり、ベヘニルアルコール、ステアリルアルコール、パルミチルアルコールの内の少なくとも１種、又は２種以上の混合物を主成分とした組成物として構成することができる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、上記構成により、放電セル内に蛍光体層を形成する際の位置合わせ精度が向上し、プラズマディスプレイパネルの放電セル全体において均一な蛍光体層の形状とすることができる。また、加熱によって蛍光体以外の成分が蒸発、及び、完全燃焼することから、蛍光体層に不純物が混入するのを防止できる。これにより、放電セルの発光特性が高められる。
また、本発明では、レーザーを用いることで、高速スキャンによるワックス粒子への照射加熱が可能となる。これにより、工程処理時間を短縮することができるとともに、放電セル全体における蛍光体パターン形成をより正確に位置合わせしながら行うことができ、より高精度な蛍光体パターン形成が可能となる。
また、本発明の製造方法によれば、製造工程において放電セル内から除去した蛍光体を、繰り返して使用するサイクルプロセスを組み入れた方法とすることにより、材料を効率良く使用でき、製造コストを低減することが可能となる。
従って、表示特性に優れたプラズマディスプレイパネルを低コストで製造することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法について、図１〜５を適宜参照しながら説明する。
図１〜５は、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一実施形態を説明する図であり、放電セル内に蛍光体層を形成する工程の流れを示している。
【００２１】
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法は、基体２上に設けられた隔壁３によって区画されてなる複数の放電セル４（４ａ，４ｂ、４ｃ，４ｄ）の内壁に蛍光体層を形成するプラズマディスプレイパネルの製造方法において、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体の内、何れか１色の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子５（５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ）を、複数の放電セル４内に充填する工程（１）と、次いで、ワックス粒子５が充填された複数の放電セル４の内、所定の放電セル４にレーザーを照射して放電セル４内のワックス粒子５を加熱融解した後、固化することによって蛍光体を放電セル４内に固定する工程（２）と、次いで、前記所定の放電セル４以外の放電セル４内に充填されたワックス粒子５を除去する工程（３）とを順に備え、前記工程（１）〜（３）を、ワックス粒子５中に分散される前記３原色の蛍光体の色毎に繰り返して行なった後、次いで、放電セル４内のワックスを蒸発させ、前記蛍光体を放電セル４の内壁に固定して蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２とする工程（４）が備えられ、概略構成されている。
以下、各工程について詳細に説明する。
【００２２】
［工程（１）］
本実施形態の製造方法の工程（１）は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体の内、何れか１色の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子５を、３原色の色毎に順次、複数の放電セル４内に充填する工程である。
【００２３】
まず、図１に示すような、例えばガラスからなる平板状の基体２上に、絶縁性材料からなるリブ状の隔壁３が所定間隔で格子状に形成され、これら隔壁３によって区画されてなる放電セル４（４ａ，４ｂ、４ｃ，４ｄ）を有する基板を用意する。
放電セル４の寸法は、隔壁３の寸法、及び基体２上に隔壁３が配される間隔によって決定され、例えば、基体２表面からの高さが１２０〜１３０μｍ、幅が２５０μｍの平面視矩形状の空間とすることができる。
【００２４】
「ワックス粒子」
次に、以下に説明するようなワックス粒子を用意する。
本実施形態のワックス粒子は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）の３原色の蛍光体の内、何れか１色の蛍光体がワックス中に分散されてなる。
本発明に係るワックス粒子は、例えば複合粒子のように、所定の隔膜等による遮断するか、又は蛍光体の粒子がワックスの成分で内包されるように、ワックス粒子中に分散してなるものである。
【００２５】
本発明に係るワックス粒子は、粒径が１０〜８０μｍの範囲であることが好ましい。
ワックス粒子の粒径が１０μｍ未満、及び８０以上μｍだと、内部に分散される蛍光体の数量が少なくなり、放電セル４内に固定される蛍光体が減少し、充分な発光特性が得られる蛍光体層が形成できなくなる虞がある。また、１０μｍ未満のワックス粒子が放電セル内の隔壁に付着し、後述の工程（３）におけるワックス粒子の除去が困難になる虞がある。
また、ワックス粒子の粒径が８０μｍを超えると、上述したように、放電セル４は２５０μｍ程度の幅であるため、放電セル４内に充填されるワックス粒子そのものの数量が少なくなってしまい、放電セル４内に固定される蛍光体が減少し、充分な発光特性が得られる蛍光体層が形成できなくなる虞がある。
【００２６】
蛍光体としては、プラズマディスプレイパネルにおいて通常用いられる蛍光体を、特に限定されること無く用いることができる。
蛍光体の材質は、例えば、赤（Ｒ）の蛍光体としては（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ３＋、緑（Ｇ）としてはＺｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ、又は、ＢａＡｌ１２Ｏ１９：Ｍｎ、
青（Ｂ）としてはＢａＭｇＡｌ１４Ｏ２３：Ｅｕ２＋等を用いることができる。
蛍光体の粒径は、例えば５μｍ程度とすることが好ましく、この粒径であれば、上記粒径とされたワックス粒子中に、より多くの蛍光体を分散させることができる。
【００２７】
本発明に係るワックス粒子では、蛍光体を内部に分散させるワックスとして用いる成分は特に限定されないが、融点が４０〜２００℃の有機物であって、後述するように、レーザーの発信波長によって加熱融解される蝋状物質を用いることが好ましい。また、ワックスとしては、融点が４５℃超であり、高級アルコール類であるベヘニルアルコール（ｍｐ６５〜７２℃）、ステアリルアルコール（ｍｐ５４〜６２℃）、パルミチルアルコール（ｍｐ４６〜５５℃）の内、少なくとも１種、又は２種以上の混合物を主成分とした組成物を用いることがより好ましい。
【００２８】
ワックスの主成分として用いられる高級アルコール類のベヘニルアルコール、ステアリルアルコール、パルミチルアルコールのワックス中の組成比は、単独、あるいは２種以上の混合物で、質量％で８５〜９９％の範囲とすることが好ましい。また、ワックス特性を有する副成分として、主成分である前記高級アルコール類を置換する形で、固形パラフィン（５０質量％以下）、ステアリン酸（１０質量％以下）等を用いても良い。
【００２９】
なお、本発明に係るワックス粒子に用いるワックスとしては、上記高級アルコールの他、５０℃以上の温度で融解する、オレフィン系ワックスを用いることも可能である。
【００３０】
また、本発明に係るワックス粒子は、ワックスの主成分として上記高級アルコールを用いた場合、さらにバインダーが添加された構成とすることもできる。
ワックス中にバインダーを添加することにより、詳細を後述する工程（４）においてワックス成分を蒸発させた後、多くの蛍光体を放電セル４の壁面、つまり隔壁３に固定することが可能となり、基体２上の蛍光体層は薄く形成される。
これにより、より発光表示特性に優れたプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【００３１】
バインダーの材質としては、ポリイソブチルメタクリレート等の樹脂を用い、ワックスに対して１〜１５質量％程度の添加量で加熱融解して用いることができる。また、バインダーの副添加成分としては、ポリイソブチルメタクリレートを置換する形で、エチルセルロースを、１〜１０質量％の量で添加して用いることができ、その他のレジン類も、ワックス中に相溶する限り、少量で使用することが可能である。
なお、ワックスの主成分として上記オレフィン系ワックスを用いた場合、溶媒となるワックスではないため、バインダーを添加するのは困難である。このため、ワックスの主成分には上記高級アルコールを用いるのが好ましい。
【００３２】
本発明に係るワックス粒子は、ワックスと蛍光体の組成比を、質量％で、ワックス：蛍光体＝５０％：５０％〜７０％：３０％の範囲とすることが好ましい。また、この範囲内において、ワックス：蛍光体＝６０％：４０％として、ワックスの組成比が蛍光体よりも大きいことがより好ましい。
ワックスと蛍光体の組成比は、目標とする蛍光体層の塗布厚により決定されるが、使用する蛍光体の材質及び粒度によって変動するため、その都度決定する必要がある。
ワックスが７０質量％超で蛍光体が３０質量％未満の組成比だと、蛍光体の量が少なくなりすぎ、充分な発光特性が得られる蛍光体層を放電セル内に形成するのが困難になる。
ワックスが５０質量％未満で蛍光体が５０質量％超の組成比だと、ワックス粒子の液体としての特性が低下し、微細な放電セル内にワックス粒子を充填して蛍光体層を形成するのが困難になる虞がある。
【００３３】
「ワックス粒子の製造方法」
本発明で用いるワックス粒子を製造する方法としては、特に限定されないが、例えば、ケミカル法や粉砕法等が挙げられる。
【００３４】
ケミカル法では、蛍光体及びワックスを湯水の中に分散させた後、この湯水を冷却する。この際、湯水中のワックスによって、蛍光体の粒子が包まれて固められる。これにより、ワックス中に蛍光体が分散されたワックス粒子を得ることができる。
【００３５】
粉砕法では、蛍光体を融解してワックスに入れて分散させた後、固化させる。そして、これを粉砕することにより、ワックス中に蛍光体が分散されたワックス粒子を得ることができる。
【００３６】
また、ワックス粒子を製造するその他の方法としては、例えば、以下のような方法が挙げられる。
まず、液体状態のワックスに蛍光体を加える。これを、例えば漏斗に入れ、滴下しながら冷却して固化することにより、ワックス中に蛍光体が分散されたワックス粒子を得ることができる。
なお、これらのワックス粒子の製造方法では、予め、ワックスと蛍光体とを混合することにより、一体化して行なうことが好ましい。上記各プロセスにおいて、ワックス粒子と蛍光体とを単に混合して充填した場合には、蛍光体がワックス中に分散しにくいので、放電セル内に蛍光体を均一に付着させることが困難になり、また、充填時に蛍光体の粒子が放電セル内の隔壁に付着し、工程（３）における除去処理が困難になる。
【００３７】
「蛍光体の充填方法」
図１に示すように、本工程では、まず、赤（Ｒ）の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子５Ｒを、短毛密生の植毛付きブレード、あるいはラバー製ブレード等を用いて放電セル４内に、均一に充填する。この際、ワックス粒子５Ｒは、プラズマディスプレイパネル１に設けられた複数の放電セル４の全てに充填するが、これには限定されず、所定の放電セル４のみに充填する方法とすることも可能である。
【００３８】
なお、工程（１）では、上述のように放電セル４にワックス粒子５Ｒを充填し、以下に詳述する（２）〜（３）の各工程で処理を行った後、次いで、工程（１）の２回目の操作を行い、緑（Ｇ）の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子５Ｇを放電セル４に充填する。さらに、（２）〜（３）の各工程で処理を行った後、次いで、工程（１）の３回目の操作を行い、青（Ｂ）の蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子５Ｂを放電セル４に充填し、下記（２）〜（３）の各工程で処理を行う。
【００３９】
また、放電セル４へのワックス粒子の充填は、放電セル４内がワックス粒子で完全に満たされるようにすることが好ましい。セル単位での蛍光体の量は、ワックスと蛍光体の組成比の設定によって決定することができる。このため、ワックスと蛍光体の組成比を調整することにより、放電セル内に形成される蛍光体層の厚さ等を制御することが可能となる。
【００４０】
［工程（２）］
本実施形態の工程（２）は、図２に示すように、ワックス粒子５（５Ａ，５Ｂ，５Ｃ）が充填された複数の放電セル４の内、所定の放電セル４にレーザーＬを照射して放電セル４内のワックス粒子５を加熱融解した後、固化することによって蛍光体（図３のワックス粒子層５１を参照）を放電セル４内に固定する工程である。
【００４１】
「レーザー」
本工程で用いるレーザーとしては、特に限定されないが、赤外線の炭酸ガス（ＣＯ２）レーザー（波長１０．６μｍ；連続、パルス）を用いることが特に好ましい。
レーザー等の光による加熱溶融においては、ワックスの光吸収スペクトルや特有の光吸収ピークに光波長を一致させることにより、効率の良い加熱融解が可能となる。この際、光吸収ピークの波長幅よりも光の波長幅を充分に狭くする必要があるが、レーザー光は極めて波長幅が狭い線状スペクトルを有しているため、一般に、光吸収のスペクトル幅が広い物質の加熱融解に用いる場合、効率の良い加熱融解が可能とする条件を充分に満たす。
【００４２】
ここで、ワックス粒子を構成する上記高級アルコール類の赤外線吸収スペクトル（ＩＲ）の特性を基に、高級アルコール類を主成分としたワックスの、加熱融解に関係する分子鎖の赤外線吸収について考察する。
上記高級アルコールは、分子鎖が、Ｃ−Ｃ，Ｃ−Ｈ，Ｏ−Ｈからなる。これらの分子鎖の、それぞれの分子振動による赤外線吸収は、以下のようになる。
【００４３】
（ａ）Ｃ−Ｃ  ：  分子伸縮振動；主８．３−１２．５μｍ
（ｂ）Ｃ−Ｈ  ：  分子変角振動；主６．９−７．６μｍ、分子伸縮振動；主３．４−３．７μｍ、分子変角振動；副１１．４−１６．７μｍ
（ｃ）Ｏ−Ｈ  ：  分子伸縮振動；主２．７−２．８μｍ、分子変角振動；副６．９−８．３μｍ
【００４４】
上記（ａ）〜（ｃ）に示す特性から、高級アルコール系ワックスの結合主鎖に熱振動を与え、レーザー照射によって融解するには、１０．６μｍの発光波長を有する炭酸ガスレーザーが適していることが明らかである（実施例の欄も参照）。
【００４５】
なお、レーザー照射に用いるレーザー装置としては、レーザーは上述のような短パルス光の発生に適した特性を有しているので、ワックス粒子の瞬間的な加熱融解を行うため、パルス幅の短い（例えば、μｓ〜ｎｓ単位）、充分なエネルギーを持つパルス光を発生させる装置を用いることが好ましい。
また、ワックス粒子の加熱融解に使用することができる他のレーザーとしては、赤外線の炭酸ガス（ＣＯ）レーザー（波長５．３μｍ；連続、パルス）、Ｅｒ:ＹＡＧ（波長２．９４μｍ；パルス）、Ｈｏ:ＹＡＧ（波長２．１μｍ；パルス）等が挙げられる。これらの内、Ｅｒ:ＹＡＧ（波長２．９４μｍ）は、水、及びＯＨに吸収されやすい特性を有する。
【００４６】
「レーザー照射方法」
図２に示すように、本工程では、まず、複数の放電セルの内、放電セル４ａ、４ｄの位置に、例えば、ビームスポット径を１００μｍ以下に絞った炭酸ガスレーザーＬを用い、ワックス粒子５Ｒに対してレーザー照射する。これにより、レーザーＬが照射された放電セル４内のワックス粒子５Ｒだけが熱エネルギーで融解し、間もなく冷却固化されてメニスカス状となり、内部に蛍光体が分散されてなるワックス粒子層５１（５１Ｒ）として放電セル４の内壁に固定される。
【００４７】
なお、本発明の製造方法では、近赤外線を照射する半導体レーザー（波長０．７８μｍ〜０．９８μｍ）を用いた場合でも、波長の合致する光吸収剤（色素）をワックスに添加して用いることにより、加熱融解を行なうことが可能である。このような光吸収剤としては、例えば、日本化薬株式会社製ポリメチン系化合物（商品番号ＩＲ−８２０Ｂ；最大吸収波長０．８１６μｍ、有効吸収波長０．７７μｍ〜０．８５μｍ）や、耐光性が不安定ではあるが、同社製シアニン系化合物（商品番号ＣＹ−２；吸収０．７８２μｍ、ＣＹ−４；吸収０．７９１μｍ、ＣＹ−９；吸収０．７８７μｍ））等が挙げられる。
また、上記光吸収剤は、何れも１質量％以下の少量の添加で用いる必要がある。光吸収剤のワックスへの添加量が多すぎると、前記工程（４）で行なうワックス（及びバインダー）の蒸発〜焼成過程において、光吸収剤に含まれるカーボンを蛍光体層に残留させずに処理するのが困難となる。このような、蛍光体層への不純物の残留を考慮した場合、ワックスに光吸収剤を添加する必要が無い、炭酸ガスレーザーを用いることが好ましい。
【００４８】
［工程（３）］
本実施形態の工程（３）は、前記所定の放電セル４以外の放電セル４内に充填されたワックス粒子５を除去する工程である。
【００４９】
図３に示すように、本工程では、まず、赤の蛍光体が分散されたワックス粒子が、ワックス粒子層５１Ｒとして放電セル４ａ、４ｄ内に固定されているため、高圧エアーあるいは水圧シャワー等を用いることにより、放電セル４ｂ，４ｃ内に充填されたワックス粒子５Ｒを吹き飛ばすようにして、あるいは吸引して除去する。
なお、上述のようにして除去されたワックス粒子は、例えば、捕集手段を備えた構成とすることにより、捕集して再利用することが可能であるが、捕集手段の種類は特に限定されず、吸引式の捕集装置等、適宜採用することができる。
【００５０】
［工程（１）〜（３）の繰り返し］
本実施形態では、上述したように、上記各工程（１）〜（３）を、ワックス粒子５中に分散される前記３原色の蛍光体の色毎に繰り返して行なうことにより、複数の放電セル４内に各色の蛍光体が分散されたワックス粒子５Ｒ，５Ｇ，５Ｂを充填し、加熱融解の後に冷却固化されてメニスカス状となり、内部に各色の蛍光体が分散されてなるワックス粒子層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂが固定された状態とする。
【００５１】
本例では、上記各工程（１）〜（３）の１回目の操作により、赤の蛍光体が分散されたワックス粒子層５１Ｒを所定の放電セル４（４ａ，４ｄ）内に固定した後、２回目の操作により、同様にして、緑の蛍光体が分散されたワックス粒子層５１Ｇを所定の放電セル４（ここでは、放電セル４ｂ）内に固定する。そして、３回目の操作により、同様にして、青の蛍光体が分散されたワックス粒子層５１Ｂを所定の放電セル４（ここでは、放電セル４ｃ）内に固定する。これにより、図４に示すように、複数の放電セル４内に、各色の蛍光体が分散されたワックス粒子層５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂが固定された状態となる。
【００５２】
なお、本例では、上記各工程（１）〜（３）の繰り返し操作について、ワックス粒子の充填を、ワックス粒子５Ｒ（赤）〜ワックス粒子５Ｇ（緑）〜ワックス粒子５Ｂ（青）の各色の順で行なったが、この順には限定されず、適宜決定することができる。
【００５３】
［工程（４）］
本実施形態の工程（４）は、図４に示すような、上記各工程（１）〜（３）によって放電セル４内に固定された、各色の蛍光体が分散されてなるワックス粒子５１（５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ）を、例えば再加熱等の方法で放電セル４内からワックスの成分を蒸発させることにより、図５に示すように、各色の蛍光体が放電セル４の内壁に固定された蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２を形成する工程である。
【００５４】
本工程では、例えば焼成炉を用いて、図４に示すような放電セル４内に固定された状態のワックス粒子層５１を、前記焼成炉内の低温ゾーンを通過させた際に６０〜１５０℃の雰囲気温度で加熱することにより融解する。この工程において、ワックス粒子層５１は融解されて液状化し、表面張力によって放電セル４内部に広がってゆく。
そして、ワックス粒子層５１が放電セルの内壁に広がった状態で、３８０〜４２０℃の高い温度で加熱することにより、ワックス粒子層に含まれるワックスやバインダー樹脂成分等が蒸発し、ワックス粒子層５１中に分散された各色の蛍光体が焼成され、図５に示すような蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２を形成することができる。
【００５５】
なお、本工程では、ワックス粒子層中に含まれる蛍光体以外の余分な成分を全て蒸発させることが好ましい。不純物を全て蒸発、除去することによって蛍光体層の純度が高まり、発光表示特性に優れたプラズマディスプレイパネルを製造することが可能となる。
【００５６】
また、本工程で形成される蛍光体層は、放電セル４内において、蛍光体層が基体２上には薄く形成され、隔壁３側に多くの蛍光体が固定された状態で形成されていることが好ましい。最も好ましいのは、放電セル４内の全ての蛍光体が隔壁３側に固定された蛍光体層とされていることであるが、基体２上に形成された蛍光体層が薄く、隔壁３側に多くの蛍光体が固定された状態の蛍光体層とすれば、発光表示特性に優れたプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【００５７】
［プラズマディスプレイパネルの基板］
本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法では、上述の各工程により、図５に示すようなプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の基板を製造することができる。図５は、プラズマディスプレイパネルにおける、放電セル側の基板１の断面図である。
図５に示すように、この基板１は、板状の基体２と、該基体２上に形成された隔壁３と、該隔壁３によって区画されてなる放電セル４とを有し、該放電セル４内には、上記工程（１）〜（４）で形成された蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２が備えられて構成されている。
【００５８】
基体２は、絶縁性材料からなる平板状の基体である。
基体２を構成する絶縁性材料としては、例えば、低融点ガラスコーティング膜等が挙げられる。
【００５９】
隔壁３は、基体２上に所定の間隔で設けられるリブ状部材であり、絶縁性材料、例えば低融点ガラス、フィラー混合体等により形成される。
隔壁３は、例えば、基体２表面からの高さが１２０〜１３０μｍ、幅が５０μｍ程度であり、基体２上に２５０μｍの間隔で配され、格子状に形成される。
【００６０】
放電セル４（４ａ，４ｂ、４ｃ，４ｄ）は、基体２及び隔壁３によって形成され、基体２上において隔壁３で区画されてなる空間である。図５に例示した部分図では、放電セル４として、符号４ａ，４ｂ、４ｃ，４ｄの各セルが示されており、また、平面視による図示を省略するが、放電セル４は、基体２表面全面において略矩形状の空間として複数形成されている。
放電セル４は、プラズマディスプレイパネル１において、放電で発生した紫外線により放電セル４内に固定された蛍光体が励起して発光する空間であり、この放電発光が制御されることにより、プラズマディスプレイパネル表面に画像が表示される。
【００６１】
蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２は、図５に示すように、放電セル４の内壁、つまり隔壁３の壁面及び基体２上に、３原色の蛍光体が固定されることで形成される。図５に示す例では、蛍光体層Ｒ１，Ｒ２は赤（Ｒｅｄ）、蛍光体層Ｇ１，Ｇ２は緑（Ｇｒｅｅｎ）、蛍光体層Ｂ１，Ｂ２は青（Ｂｌｕｅ）の各々の蛍光体から形成されており、３原色の各蛍光体からなる蛍光体層が、それぞれ放電セル４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ内に、所定の蛍光体パターンで配置形成されている。
【００６２】
本発明の製造方法で得られる基板を用いたプラズマディスプレイパネルは、上記各工程（１）〜（４）によって放電セル内に各色の蛍光体層が均一に形成され、発光表示特性に優れたものとなる。
【００６３】
以上、説明したように、上記のプラズマディスプレイパネルの製造方法によれば、放電セル４内に蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２を形成する際の位置合わせ精度が向上し、プラズマディスプレイパネルの放電セル４全体において均一な蛍光体層Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２の形状とすることができる。また、加熱によって蛍光体以外の成分が蒸発することから、蛍光体層に不純物が混入するのを防止できる。これにより、放電セルの発光特性が高められる。
また、上記の製造方法によれば、レーザーを用いることで、高速スキャンによるワックス粒子５への照射加熱が可能となる。これにより、工程処理時間を短縮することができるとともに、放電セル４全体における蛍光体パターン形成をより正確に位置合わせしながら行うことができ、より高精度な蛍光体パターン形成が可能となる。
また、上記の製造方法によれば、製造工程において放電セル内から除去した蛍光体を、繰り返して使用するサイクルプロセスを組み入れた方法とすることにより、材料を効率良く使用でき、製造コストを低減することが可能となる。
従って、表示特性に優れたプラズマディスプレイパネルを低コストで製造することが可能となる。
【００６４】
また、上記のプラズマディスプレイパネルの製造方法においては、高さ１００〜１３０μｍ、幅１００μ〜２００μmの微細な放電セル内に、スムーズに蛍光体粒子を充填する必要があるところ、蛍光体の粒子を上記寸法のワックス粒子内に分散させ、乾式法または湿式法で、短毛密生の植毛付きブレードやラバー製ブレード等を用いるスキージング、あるいは静電塗装法により、所定の放電セル内に、蛍光体が分散されてなるワックス粒子を効率良く充填することが可能となる。
【００６５】
また、放電セル内に充填した蛍光体の粒子に流動性を持たせることが必要となるところ、充填の際は固体であって、加熱によって液体に変化するワックス系物質に蛍光体を分散させてワックス粒子５とし、１種の複合粒子とすることが有効であり、また、ワックスの粒子と蛍光体の粒子とが混合状態である場合でも、放電セル充填後、加熱融解により液体状態とすることが可能となる。
【００６６】
また、蛍光体の粒子に、放電セル内に固定するバインダー効果を持たせることが必要となるところ、ワックスの成分として融点が４５℃以上の高級アルコールを用い、該高級アルコール中にアクリル樹脂等を溶解しておくことでバインダー効果を得ることが可能となる。
【００６７】
また、静電セル内に充填した蛍光体の粒子を、選択した放電セル毎に融解して固定化し、赤、緑、青の配列パターンを高速処理で形成することが必要となるところ、炭酸ガスレーザーを用いてビーム径を小径に絞り、照射出力及び照射時間をコントロールすることにより、所定の放電セル内のワックス微粒子のみを加熱融解した後、固着させることが可能であるとともに、高速スキャン加熱が可能となる。
【００６８】
また、光の３原色の赤、緑及び青の各蛍光体を、計３回に分けて充填する工程とした場合、各工程において充填が不要な放電セルから、蛍光体粒子を完全に除去することが必要となるところ、放電セル内の粒子の除去方法として、高圧エアーで吹き飛ばすようにして除去する方法か、又は水等によって除去する湿式の方法を採用することで、不要な粒子を完全に除去することが可能となる。また、除去した粒子の捕集手段を備えることにより、サイクル利用が可能となる。
【００６９】
また、放電セル内に固定した蛍光体の粒子を再び融解し、液体が沸騰する際の性質である表面張力により、狭所に移動してメニスカスを形成する作用を用い、放電セルを形成する隔壁面に、蛍光体の粒子を移動させることが必要となるところ、従来のスクリーン印刷法と同様、液体が沸騰する過程において、液体が壁面に沿って移動しやすくなる特性を利用することにより、ワックス粒子中に分散された蛍光体の粒子を移動させることが可能となる。
【００７０】
また、放電セルを形成する隔壁面に蛍光体層が形成された状態で、バインダー及びその他の不純物を完全に除去することが必要となるところ、バインダーとしてアクリル系バインダーを用いることにより、加熱時に、放電セル内からバインダーを完全に除去することが可能となる。
【実施例】
【００７１】
以下、実施例を挙げて本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法をさらに詳しく説明するが、本発明は下記例によって限定されるものではない。
本実施例では、蛍光体がワックス中に分散されてなるワックス粒子にレーザーを照射した際の、ワックスの融解メカニズムを確認するため、以下のような試験を行った。
【００７２】
［ワックス粒子の作製］
まず、以下に示す組成の蛍光体及びワックスを用いて、本発明に係るワックス粒子を作製した。
（１）蛍光体の成分；赤＝（Ｙ，Ｇｄ）ＢＯ３：Ｅｕ、緑＝Ｚｎ２ＳｉＯ４：Ｍｎ            青＝ＢａＭｇＡｌ１０Ｏ１７：Ｅｕ
（２）ワックスの成分；ベヘニルアルコール８０％、ステアリルアルコール１７％、ポリイソブチルメタクリレート３％
（３）ワックス：蛍光体の組成比；５０％：５０％（質量％）                    
【００７３】
［レーザー照射試験］
上述の組成で作製した本実施例のワックス粒子をガラス板上に散布し、炭酸ガスレーザー（ＣＯ２レーザー：出力２５Ｗ）を用いて、レーザー照射による加熱融解試験を行った。
この際の、ガラス板上のワックス粒子の散布厚は、約０．６ｍｍとした。
また、上記炭酸ガスレーザーは、パルス照射として出力を下記表１に示す割合とし、焦点をスポット径１５０μｍに絞り、レーザーによるスキャン速度を下記表１に示す速度として、ガラス板上に散布されたワックス粒子を１０ｍｍスキャンした。そして、ガラス板上に散布されたワックス粒子において、線状に加熱融解された箇所のワックス粒子のメルティング幅を測定し、メルティング線幅として下記表１に示した。
試験条件及び測定結果の一覧を表１に示す。
【００７４】
【表１】
2007294223.tif 000003
【００７５】
表１に示す結果より、炭酸ガスレーザーを用いてワックス粒子を加熱融解した場合、スキャン速度及びレーザー照射出力の設定値により、メルティング幅を制御することが可能であることが明らかである。
例えば、試験例１では、スキャン速度を２５０ｍｍ／ｓ、出力を２％としたところ、メルティング線幅は０．２ｍｍ（２００μｍ）であったのに対し、同じ出力でスキャン速度を２０ｍｍ／ｓと遅らせた試験例２では、メルティング線幅が０．４ｍｍ（４００μｍ）となった。
また、スキャン速度を５ｍｍ／ｓ、出力を６％とした試験例４では、メルティング線幅が１．５ｍｍ（１５００μｍ）であったのに対し、同じ出力でスキャン速度を２．５ｍｍ／ｓと遅らせた試験例５では、メルティング線幅が３ｍｍ（３０００μｍ）となった。
また、スキャン速度を１０ｍｍ／ｓとし、出力を８％と高めた実施例３では、メルティング線幅が１〜１．５ｍｍ（１０００〜１５００μｍ）となるとともに、メルティング線上に、熱の拡散が不均一となっている箇所が見られた。
【００７６】
一般に、プラズマディスプレイパネルでは、放電セル深さ方向のワックス粒子の充填厚みは約１００μｍと推測されるが、この場合のメルティング幅は、上記試験結果より、１００μｍ以下に制御できるものと考えられる。
【００７７】
なお、本実施例では、上記炭酸ガスレーザーを用いた試験の他、Ｎｄ:ＹＡＧ（波長１．０６４μｍ;パルス）レーザーを用いた試験も行ったが、炭酸ガスレーザーを用いた場合に比べてワックス粒子が溶融しない結果となった。
【００７８】
以上の結果により、本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法が、放電セル内に蛍光体層を形成する際の位置合わせ精度に優れ、高精度な蛍光体パターン形成が可能であることが明らかである。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を模式的に説明する断面図であり、工程（１）において、放電セルにワックス粒子を充填した状態を示す概略図である。
【図２】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を模式的に説明する断面図であり、工程（２）において、所定の放電セル内のワックス粒子にレーザーを照射して加熱融解し、ワックス粒子層として固定した状態を示す概略図である。
【図３】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を模式的に説明する断面図であり、工程（３）において、所定の放電セル以外の放電セル内のワックス粒子を除去した状態を示す概略図である。
【図４】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を模式的に説明する断面図であり、図１〜図３に示す各工程（１）〜（３）を繰り返して行い、各放電セル内にワックス粒子層を固定した状態を示す概略図である。
【図５】本発明のプラズマディスプレイパネルの製造方法の一例を模式的に説明する断面図であり、工程（４）において、放電セル内のワックスを蒸発させ、放電セル内に蛍光体層を形成した状態を示す概略図である。
【符号の説明】
【００８０】
１…基板、２…基体、３…隔壁、４，４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ…放電セル、５，５Ｒ，５Ｇ，５Ｂ…ワックス粒子、５１，５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂ…ワックス粒子層、Ｒ１，Ｒ２，Ｇ１，Ｇ２，Ｂ１，Ｂ２…蛍光体層
【図１】
2007294223.tif 000004
【図２】
2007294223.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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