(57)【要約】【課題】量産性を確保しつつ、帯状の共振器部分における特性変動を抑えることができるようにする。【解決手段】誘電体基板１０と、誘電体基板１０上に形成され、互いにインターディジタル結合された帯状の一対の共振電極１１，１２と、誘電体基板１０上において一対の共振電極１１，１２のそれぞれの短絡端に形成され、共振電極１１，１２の幅よりも広い幅を有する補助電極１３，１４とを備える。一対の共振電極１１，１２のそれぞれの短絡端に補助電極１３，１４が形成されていることで、製造時の切断工程において、その補助電極１３，１４となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにすれば、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらない。これにより、切断時の位置ずれによる共振電極１１，１２の長さのずれが防止される。【選択図】図１
2007274119.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の共振器を有する電子部品であって、
前記帯状の共振器が、
誘電体基板と、
前記誘電体基板上に形成された帯状の共振電極と、
前記誘電体基板上において前記共振電極の短絡端に形成され、前記共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極と
を備えていることを特徴とする電子部品。
【請求項２】
前記帯状の共振器が、
前記誘電体基板に対し上側または下側の少なくとも一方に積層された他の誘電体基板と、
前記他の誘電体基板上において、前記補助電極に対応する位置に形成された他の補助電極とをさらに備えた
ことを特徴とする請求項１に記載の電子部品。
【請求項３】
前記共振電極および前記補助電極が前記誘電体基板上に複数形成され、
前記複数の共振電極が基板面内で互いにインターディジタル結合されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品。
【請求項４】
複数の前記帯状の共振器が積層され、その積層方向で互いにインターディジタル結合されている
ことを特徴とする請求項１または２に記載の電子部品。
【請求項５】
帯状の共振器を有する電子部品を製造する方法であって、
誘電体シート上に、帯状の共振電極となる導体パターンを複数の共振器分形成するパターン形成工程と、
前記導体パターンが形成された前記誘電体シートを切断して個々の共振器に対応する大きさに分割する切断工程と
を含み、
前記パターン形成工程において、前記共振電極の短絡端となる部分に、補助電極として前記共振電極の幅よりも広い幅を有する導体パターンをさらに形成し、
前記切断工程において、少なくとも前記補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断する
ことを特徴とする電子部品の製造方法。
【請求項６】
他の誘電体シート上に前記補助電極となる導体パターンに対応する他の導体パターンを形成する他のパターン形成工程と、
前記誘電体シートに対し上側または下側の少なくとも一方に、前記補助電極となる導体パターンと前記他の導体パターンとが対向するようにして前記他の誘電体シートを積層する積層工程と、をさらに含み、
前記切断工程において、前記誘電体シートと前記他の誘電体シートとが積層された状態で、少なくとも前記補助電極となる導体パターンと前記他の導体パターンとが形成されている部分で切断する
ことを特徴とする請求項５に記載の電子部品の製造方法。
【請求項７】
前記パターン形成工程において、
前記補助電極となる導体パターンを、前記切断工程での切断時に生ずると予測される位置ずれ量よりも大きい長さで形成する
ことを特徴とする請求項５または６に記載の電子部品の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、帯状の共振器を有する誘電体フィルタなどの電子部品およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば携帯電話機等の無線通信機器に用いられるフィルタには小型化への要求がある。フィルタの小型化を図る上で、積層型の誘電体フィルタを用いることが有利である。積層型の誘電体フィルタとして、例えば帯状の共振電極を有する共振器を積層した構成が知られている。この種の積層型の誘電体フィルタは、例えば、帯状の共振電極の導体パターンが形成された誘電体シートと、その他の電極層（グランド電極層等）の導体パターンが形成された他の誘電体シートとを重ね合わせて積層した後、直方体形状の積層体ブロックに切断し、その後、その積層体ブロックの側面に入出力電極などの外部端子電極を形成することで製造される。
【０００３】
特許文献１には、このような積層型誘電体フィルタの製造方法が記載されている。ここで、帯状の共振電極を有する共振器では、共振周波数は共振電極の長さで決まる。しかし、製造時において、共振電極の導体パターンが形成された誘電体シートを切断する際に位置ずれが発生すると、共振電極の長さが所望の長さからずれてしまい、共振周波数が所望の値からずれてしまうという問題がある。特許文献１には、積層体ブロックに切断した後、さらにその積層体ブロックの側面を削って内部の共振電極の短絡端を削ることで、共振電極の長さを調整可能にした製造方法が開示されている。
【特許文献１】特許第２６５７４６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、誘電体フィルタを構成する共振器として、インターディジタル結合型の共振器を用いることが考えられる。図１１は、インターディジタル結合型の共振器の基本構成を示している。また図１２は、その共振器の具体的な構成例を示している。インターディジタル結合型の共振器は、図１１に示したように、共振電極として一対の１／４波長共振器２１１，２１２を備えている。そして、一方の１／４波長共振器２１１の開放端と他方の１／４波長共振器２１２の短絡端とが対向すると共に、一方の１／４波長共振器２１１の短絡端と他方の１／４波長共振器２１２の開放端とが対向するように配置されることで、互いに電磁結合されている。このような一対の１／４波長共振器２１１，２１２は、例えばストリップラインにより構成される。具体的には、図１２に示したように、誘電体基板２１０の表面に帯状の導体パターン（ストリップライン）を形成することで、一対の１／４波長共振器２１１，２１２が構成される。
【０００５】
図１３は、このようなインターディジタル結合型の共振器を製造する方法の一例を示している。まず、一対の１／４波長共振器２１１，２１２となる導体パターンを誘電体のグリーンシート２００上に複数形成する。そして、図１３において点線で示した切断線２０１で例えば長方形状に切断して個々の共振器ブロックに分割する。１枚のグリーンシート２００上に複数の共振器に対応する導体パターンを縦横に並列的に複数形成していることで、１枚のグリーンシート２００から複数の共振器を製造することができ、量産性を高めている。
【０００６】
ここで、導体パターンの長手方向において、切断位置が理想的な切断線２０１から位置ずれ量ｄだけずれて、例えば図中一点鎖線で示した切断線２０２になったとする。図１４に、理想的な切断線２０１で切断された場合の共振器２１０Ａと、位置ずれ時の切断線２０２で切断された場合の共振器２１０Ｂとを示す。長手方向に位置ずれして切断された場合、図１４に示したように、一方の１／４波長共振器２１１の物理的な長さは位置ずれ量ｄ分だけ短くなり、逆に他方の１／４波長共振器２１２の物理的な長さは位置ずれ量ｄ分だけ長くなってしまう。この場合、一方の１／４波長共振器２１１と他方の１／４波長共振器２１２とで、合計で位置ずれ量ｄの２倍の長さ２ｄだけ物理的な長さが異なってくる。上述したように共振周波数は共振電極の長さで決まるため、切断ずれが共振器としての特性に及ぼす影響は大きい。特にインターディジタル結合型の共振器では、切断工程の位置ずれ量の２倍のずれが共振電極間に生じるため、特性に及ぼす影響が大きい。特許文献１では、積層体ブロックに切断した後に共振器の短絡端を物理的に削って共振周波数の調整をしているが、この方法では調整のための削り出し工程が増えることになり、製造コストが大幅に高くなってしまうという問題がある。
【０００７】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたもので、その目的は、量産性を確保しつつ、帯状の共振器部分における特性変動を抑えることができる電子部品およびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による電子部品は、帯状の共振器を有する電子部品であって、帯状の共振器が、誘電体基板と、誘電体基板上に形成された帯状の共振電極と、誘電体基板上において共振電極の短絡端に形成され、共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極とを備えているものである。
【０００９】
本発明による電子部品では、共振電極の短絡端に共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極が形成されていることで、製造時の切断工程において、その補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにすれば、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらない。これにより、切断時の位置ずれによる共振電極の長さのずれが防止され、製造時に共振電極の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性が高められる。なお、補助電極は短絡端に設けられ、かつ共振電極の幅よりも広い幅を有しているので、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動は小さく抑えられる。
【００１０】
本発明による電子部品において、帯状の共振器が、誘電体基板に対し上側または下側の少なくとも一方に積層された他の誘電体基板と、他の誘電体基板上において、補助電極に対応する位置に形成された他の補助電極とをさらに備えていても良い。
この構成の場合には、補助電極と他の補助電極とで容量成分が形成され、補助電極部分での特性インピーダンスが小さくなる。これにより、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動がより小さく抑えられる。
【００１１】
本発明による電子部品において、共振電極および補助電極が誘電体基板上に複数形成され、複数の共振電極が基板面内で互いにインターディジタル結合されていても良い。
または、複数の帯状の共振器が積層され、その積層方向で互いにインターディジタル結合されていても良い。
【００１２】
本発明による電子部品の製造方法は、帯状の共振器を有する電子部品を製造する方法であって、誘電体シート上に、帯状の共振電極となる導体パターンを複数の共振器分形成するパターン形成工程と、導体パターンが形成された誘電体シートを切断して個々の共振器に対応する大きさに分割する切断工程とを含み、パターン形成工程において、共振電極の短絡端となる部分に、補助電極として共振電極の幅よりも広い幅を有する導体パターンをさらに形成し、切断工程において、少なくとも補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにしたものである。
【００１３】
本発明による電子部品の製造方法では、パターン形成工程において、共振電極の短絡端となる部分に、補助電極として共振電極の幅よりも広い幅を有する導体パターンが形成される。そして切断工程において、少なくとも補助電極となる導体パターンが形成されている部分が切断される。切断工程において、補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断することで、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらず、切断時の位置ずれによる共振電極の長さのずれが防止される。これにより、共振電極の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性が高められる。なお、補助電極は短絡端に設けられ、かつ共振電極の幅よりも広い幅を有しているので、製造後の電子部品において補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動は小さく抑えられる。
【００１４】
本発明による電子部品の製造方法において、他の誘電体シート上に補助電極となる導体パターンに対応する他の導体パターンを形成する他のパターン形成工程と、誘電体シートに対し上側または下側の少なくとも一方に、補助電極となる導体パターンと他の導体パターンとが対向するようにして他の誘電体シートを積層する積層工程とをさらに含み、切断工程において、誘電体シートと他の誘電体シートとが積層された状態で、少なくとも補助電極となる導体パターンと他の導体パターンとが形成されている部分で切断するようにしても良い。
この場合には、製造後の電子部品において補助電極と他の補助電極とで容量成分が形成され、補助電極部分での特性インピーダンスが小さくなる。これにより、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動がより小さく抑えられる。
【００１５】
なお、パターン形成工程において、補助電極となる導体パターンを、切断工程での切断時に生ずると予測される位置ずれ量よりも大きい長さで形成することが好ましい。
これにより、切断時の位置ずれによる共振電極の長さのずれが確実に防止される。
【発明の効果】
【００１６】
本発明の電子部品によれば、共振電極の短絡端に共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極を形成するようにしたので、製造時の切断工程において、その補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにすれば、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらないので、切断時の位置ずれによる共振電極の長さのずれを防止することができる。これにより、製造時に共振電極の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性にも優れている。また、共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極を共振電極の短絡端に設けるようにしたので、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動を小さく抑えることができる。このようにして、量産性を確保しつつ、帯状の共振器部分における特性変動を抑えることができる。
【００１７】
本発明の電子部品の製造方法によれば、パターン形成工程において、共振電極の短絡端となる部分に、補助電極として共振電極の幅よりも広い幅を有する導体パターンを形成し、切断工程において、少なくとも補助電極となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにしたので、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらず、切断時の位置ずれによる共振電極の長さのずれを防止することができる。これにより、共振電極の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性にも優れている。また、共振電極の幅よりも広い幅を有する補助電極を共振電極の短絡端にパターン形成するようにしたので、製造後の電子部品において補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。
［第１の実施の形態］
【００１９】
まず、本発明の第１の実施の形態について説明する。
図１は、本実施の形態に係る電子部品に積層されるインターディジタル結合型の共振器の一構成例を示している。この共振器１は、誘電体基板１０と、誘電体基板１０上に形成され、基板面内で互いにインターディジタル結合された帯状の一対の共振電極１１，１２と、誘電体基板１０上において一対の共振電極１１，１２のそれぞれの短絡端に形成され、共振電極１１，１２の幅よりも広い幅を有する補助電極１３，１４とを備えている。
【００２０】
一対の共振電極１１，１２は、一対の１／４波長共振器として機能し、一方の共振電極１１の開放端と他方の共振電極１２の短絡端とが対向すると共に、一方の共振電極１１の短絡端と他方の共振電極１２の開放端とが対向するように配置されることで、互いにインターディジタル結合型に電磁結合されている。一対の共振電極１１，１２と補助電極１３，１４は、ストリップラインなどの導体パターンにより構成されている。
【００２１】
図２は、このようなインターディジタル結合型の共振器１を積層した積層型電子部品５０の一構成例を示している。この積層型電子部品５０は、例えば誘電体フィルタとして用いられるものである。この積層型電子部品５０は、略直方体形状の積層体ブロックを有し、その積層体ブロックの側面に外部端子電極５１が形成されている。外部端子電極５１は、信号入出力用の端子電極や外部のアース電極への接地用の端子電極として用いられる。図１の共振器１における短絡端は、例えばスルーホールや接続用の導体パターンなどで外部端子電極５１に導通され、外部のアース電極に接地される。積層体ブロックは、複数の誘電体基板が積層されたものであり、図１に示した共振器１が形成された誘電体基板１０の他、他の誘電体基板が複数積層されて一体化されている。他の誘電体基板には、例えばグランド電極やシールド電極等の他の電極層が形成されている。また、図１の共振器１と電磁結合してバンドパスフィルタを構成するような他の共振器が形成されていても良い。また、積層体ブロックの内部に、各層間の電極を接続するスルーホールが設けられていても良い。
【００２２】
次に、この積層型電子部品５０の製造方法について説明する。なお、本実施の形態は、インターディジタル結合型の共振器１の構造およびその製造方法に最大の特徴があるので、特にその部分の製造方法を、その利点と共に具体的に説明する。
【００２３】
まず、図３に示したように、誘電体のグリーンシートからなる誘電体シート１００上に、一対の共振電極１１，１２となる導体パターンと補助電極１３，１４となる導体パターンとを形成する。この場合において、量産性を高めるために、複数の共振器１に対応する導体パターンを縦横に並列的に複数形成する。これにより、１枚の誘電体シート１００から複数の共振器１を製造可能にする。補助電極１３，１４となる導体パターンは、一対の共振電極１１，１２のそれぞれの短絡端となる部分に形成し、また、共振電極１１，１２の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ２の導体パターンで形成する。また、補助電極１３，１４となる導体パターンは、後の切断工程での切断時に生ずると予測される位置ずれ量ｄよりも大きい長さＤで形成する。これにより切断時の位置ずれによる共振電極１１，１２の長さのずれを確実に防止する。なお、これらの導体パターンは、例えばスクリーン印刷法により一度に印刷して形成することができる。
【００２４】
次に、上述のパターン形成工程において導体パターンが形成された誘電体シート１００を、図３において点線で示した切断線１１１で例えば長方形状に切断して個々の共振器１に対応する大きさの共振器ブロックに分割する。このとき、図３の横方向（共振電極１１，１２の幅方向）の切断は、少なくとも補助電極１３，１４となる導体パターンが形成されている部分が含まれるように切断する。例えば、理想的な切断線１１１の位置を補助電極１３，１４となる導体パターンの中央に設定すると良い。これにより、縦方向の切断位置が上下にずれ、例えば切断位置が理想的な切断線１１１から位置ずれ量ｄだけずれて図中一点鎖線で示した切断線１１２になったとしても、補助電極１３，１４となる導体パターンが形成されている部分を切断することになる。図４に、理想的な切断線１１１で切断された場合の共振器１Ａと、位置ずれ時の切断線１１２で切断された場合の共振器１Ｂとを示す。図４に示した共振器１Ｂのように、位置ずれが生じて切断された場合であっても、共振電極１１，１２の部分の長さは変わらずに、切断時の位置ずれによる共振電極１１，１２の長さのずれが防止される。これにより、共振電極１１，１２の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性が高められる。
【００２５】
なお、図２に示した積層型電子部品５０を製造する場合、実際には例えば図３に示した誘電体シート１００とグランド電極等が形成された他の誘電体シートとを重ね合わせて積層した状態で、直方体形状の個々の積層体ブロックに切断する。このときの切断位置が、上述したように補助電極１３，１４となる導体パターンが形成されている部分に対応することとなるように切断する。その後、その積層体ブロックの側面に入出力電極などの外部端子電極５１を形成する。
【００２６】
ここで、本実施の形態では、共振電極１１，１２の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ２を有する補助電極１３，１４を共振電極１１，１２の短絡端にパターン形成するようにしたので、製造後の積層型電子部品５０において補助電極１３，１４を設けたことによる共振器１としての特性変動を抑えることができる。以下、図５を参照してこの原理について説明する。
【００２７】
図５に示したように、電極部分を共振電極１１，１２と補助電極１３，１４とに分割して考える。補助電極１３，１４の特性インピーダンスをＺ0、補助電極１３，１４の長さをｌ、伝播定数をβ、ｊを虚数単位とすると、共振電極１１，１２と補助電極１３，１４とが接合される位置から補助電極１３，１４の方向のインピーダンスをみると、（１）式で表される。
Ｚ＝ｊＺ0ｔａｎ（βｌ）……（１）
ここで、βｌは値が小さいので、近似的には、Ｚ≒ｊＺ0βｌで表すことができる。
【００２８】
切断工程において切断位置がずれると、補助電極１３，１４の長さｌの値が変化するので、当然インピーダンスＺが変化する。しかし、特性インピーダンスＺ0を小さくすれば、その変化量はＺ0との掛け算になるのでインピーダンスＺを小さくすることができる。切断ずれによる特性変化を小さくするためには、
Ｚ＝ｊＺ0βｌ≦１
であることが望ましい。これを満足するように補助電極１３，１４の長さｌを決めることが望ましい。
【００２９】
なお、特性インピーダンスＺ0は、補助電極１３，１４の単位長さ当たりのグランドに対する容量Ｃと、補助電極１３，１４の単位長さ当たりのインダクタンス成分Ｌとの比で表現される。すなわち次の式（２）で表される。この（２）式より、インダクタンスＬを小さくすれば、すなわち補助電極１３、１４の幅を広くすれば、特性インピーダンスＺ0を小さくすることができ、切断ずれによる特性変化を小さくすることができる。同様に、グランドに対する容量Ｃを増やしてやれば、特性インピーダンスＺ0を小さくすることができ、切断ずれによる特性変化を小さくすることができる。
Ｚ0＝√（Ｌ／Ｃ）  ……（２）
なお、√は、（Ｌ／Ｃ）全体の平方根を取ることを示す。
【００３０】
なお、実際の設計時には、以上のことを考慮して共振電極１１，１２および補助電極１３，１４の形状や大きさを決定する。なお、図５では、共振電極１１，１２の長さをλ／４としているが、実際の設計時には、補助電極１３，１４も含めた特性を考慮して共振電極１１，１２の長さを決定するので、共振電極１１，１２を単体で設計した場合におけるλ／４の長さとはわずかに異なる。
【００３１】
以上説明したように、本実施の形態によれば、一対の共振電極１１，１２のそれぞれの短絡端に共振電極１１，１２の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ２を有する補助電極１３，１４を形成するようにしたので、製造時の切断工程において、その補助電極１３，１４となる導体パターンが形成されている部分を切断するようにすれば、切断時に位置ずれが生じたとしても、共振電極部分の長さは変わらないので、切断時の位置ずれによる共振電極１１，１２の長さのずれを防止することができる。これにより、製造時に共振電極１１，１２の長さを調整するための特別な工程を増やす必要が無くなり、量産性にも優れている。また、共振電極１１，１２の幅Ｗ１よりも広い幅Ｗ２を有する補助電極１３，１４を共振電極１１，１２の短絡端に設けるようにしたので、補助電極１３，１４を設けたことによる共振器１としての特性変動を小さく抑えることができる。このようにして、量産性を確保しつつ、インターディジタル結合型の共振器部分における特性変動を抑えることができる。
［第２の実施の形態］
【００３２】
次に、本発明の第２の実施の形態を説明する。なお、上記第１の実施の形態と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００３３】
上述の式（２）から分かるように、特性インピーダンスＺ0を小さくするためには、補助電極部分における容量成分を増やしてやれば良い。本実施の形態は、補助電極部分における容量成分を増やして、切断ずれによる上述のインピーダンスＺの変動をより抑えるようにしたものである。
【００３４】
図６は、本実施の形態に係る積層型電子部品に積層されるインターディジタル結合型の共振器の一構成例を示している。この共振器は、図１に示した共振器１と、共振器１に対して上下に積層された他の誘電体ブロック２，３を備えたものである。他の誘電体ブロック２，３は、誘電体基板２０，３０を備えている。下側の他の誘電体基板２０上には、誘電体基板１０上の補助電極１３，１４に対応する位置に、一端が短絡される他の補助電極２１，２２が形成されている。上側の他の誘電体基板３０も同様の構成であり、誘電体基板１０上の補助電極１３，１４に対応する位置に、一端が短絡される他の補助電極３１，３２が形成されている。なお、上側または下側の一方にのみ、他の誘電体基板を積層した構成であっても良い。
【００３５】
この構成の場合には、補助電極１３，１４と他の補助電極２１，２２および３１，３２とで容量成分が形成され、補助電極部分での特性インピーダンスＺ0が小さくなる。これにより、補助電極１３，１４を設けたことによる共振器としての特性変動がより小さく抑えられる。
【００３６】
この共振器を製造する場合、図７に示したように、上記第１の実施の形態で説明した共振器１を形成するための誘電体シート１００のほかに、他の誘電体ブロック２，３を形成するための他の誘電体シート１２０を用意する。他の誘電体シート１２０上に、他の補助電極２１，２２または３１，３２となる導体パターンを形成する。この場合において、量産性を高めるために、誘電体シート１００と同様に、複数の共振器に対応する導体パターンを縦横に並列的に複数形成する。
【００３７】
次に、誘電体シート１００に対し上下に他の誘電体シート１２０を積層する。このとき、誘電体シート１００上の補助電極１３，１４の導体パターンと他の誘電体シート１２０上の補助電極２１，２２または３１，３２の導体パターンとが対向するようにして積層する。その後、誘電体シート１００と他の誘電体シート１２０とが積層された状態で、例えば長方形状に切断して個々の共振器に対応する大きさの共振器ブロックに分割する。このとき、上記第１の実施の形態と同様に、共振電極１１，１２の幅方向の切断は、少なくとも補助電極１３，１４となる導体パターンと他の補助電極２１，２２または３１，３２となる導体パターンとが形成されている部分が含まれるようにして切断する。
【００３８】
このような製造方法により、製造後の積層型電子部品において補助電極１３，１４と他の補助電極２１，２２または３１，３２とで容量成分が形成され、補助電極部分での特性インピーダンスが小さくなる。これにより、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動がより小さく抑えられる。
［第３の実施の形態］
【００３９】
次に、本発明の第３の実施の形態を説明する。なお、上記第１および第２の実施の形態と実質的に同一の構成部分には同一の符号を付し、適宜説明を省略する。
【００４０】
上記第１および第２の実施の形態では、基板面内で互いにインターディジタル結合された帯状の一対の共振電極１１，１２を有する共振器１を例に説明したが、本実施の形態では、一対の共振電極１１，１２を積層方向にインターディジタル結合させるようにしたものである。
【００４１】
図８は、本実施の形態に係る積層型電子部品に積層されるインターディジタル結合型の共振器の一構成例を示している。この共振器は、互いにインターディジタル結合されるように対向配置された共振器１−１，１−２と、共振器１−１，１−２に対して上下に積層された他の誘電体ブロック２Ａ，３Ａを備えたものである。
【００４２】
一方の共振器１−１は、誘電体基板１０−１と、誘電体基板１０−１上に形成された帯状の一方の共振電極１１と、誘電体基板１０−１上において一方の共振電極１１の短絡端に形成され、一方の共振電極１１の幅よりも広い幅を有する補助電極１３とを備えている。他方の共振器１−２は、誘電体基板１０−２と、誘電体基板１０−２上に形成された帯状の他方の共振電極１２と、誘電体基板１０−２上において他方の共振電極１２の短絡端に形成され、他方の共振電極１２の幅よりも広い幅を有する補助電極１４とを備えている。
【００４３】
共振器１−１，１−２は、一方の共振電極１１の開放端と他方の共振電極１２の短絡端とが対向すると共に、一方の共振電極１１の短絡端と他方の共振電極１２の開放端とが対向するように積層配置されることで、積層方向で互いにインターディジタル結合型に電磁結合されている。
【００４４】
他の誘電体ブロック２Ａ，３Ａは、上記第２の実施の形態における他の誘電体ブロック２，３と同様の目的で設けられたものである。他の誘電体ブロック２Ａは誘電体基板２０を備え、他方の共振器１−２の下側に対向配置されている。この下側の他の誘電体基板２０上には、誘電体基板１０−２上の補助電極１４に対応する位置に、一端が短絡される他の補助電極２２が形成されている。また、他の誘電体ブロック３Ａは誘電体基板３０を備え、一方の共振器１−１の上側に対向配置されている。この上側の他の誘電体基板３０上には、誘電体基板１０−１上の補助電極１３に対応する位置に、一端が短絡される他の補助電極３１が形成されている。なお、上側または下側の一方にのみ、他の誘電体ブロックを積層した構成であっても良い。
【００４５】
図９および図１０は、この共振器を製造する場合に用いる誘電体シートの構成例を示している。特に図９には、図８における下側２層（他方の共振器１−２および他の誘電体ブロック２Ａ）を形成するための誘電体シート１２０Ａ，１０２の構成例を示し、図１０には、図８における上側２層（一方の共振器１−１および他の誘電体ブロック３Ａ）を形成するための誘電体シート１０１，１２０Ｂの構成例を示す。
【００４６】
この共振器を製造する場合、誘電体シート１０１上に一方の共振電極１１となる導体パターンと補助電極１３となる導体パターンとを形成する。また、誘電体シート１０２上に他方の共振電極１２となる導体パターンと補助電極１４となる導体パターンとを形成する。また、他の誘電体シート１２０Ａ，１２０Ｂ上に、他の補助電極２２，３１となる導体パターンを形成する。この場合において、量産性を高めるために、各誘電体シートに、複数の共振器に対応する導体パターンを縦横に並列的に複数形成する。
【００４７】
次に、各誘電体シートを図８の積層構造に対応するように積層する。その後、各誘電体シートが積層された状態で、例えば長方形状に切断して個々の共振器に対応する大きさの共振器ブロックに分割する。このとき、上記第１の実施の形態と同様に、共振電極１１，１２の幅方向の切断は、少なくとも補助電極１３，１４となる導体パターンと他の補助電極２２，３１となる導体パターンとが形成されている部分が含まれるようにして切断する。
【００４８】
このような製造方法により、製造後の積層型電子部品において補助電極１２と他の補助電極２２、および補助電極１３と他の補助電極３１とで容量成分が形成され、補助電極部分での特性インピーダンスが小さくなる。これにより、補助電極を設けたことによる共振器としての特性変動がより小さく抑えられる。
【００４９】
本発明は、上記各実施の形態に限定されず種々の変形実施が可能である。例えば、上記各実施の形態では、同一平面内に一対の１／４波長共振器（一対の共振電極１１，１２）が１組のみ形成された共振器を例に説明したが、本発明は、同一平面内に一対の１／４波長共振器が２組以上形成された多段構成の共振器にも適用可能である。
【００５０】
また、上記各実施の形態では、インターディジタル結合型の共振器を積層した積層型電子部品を例として説明したが、本発明は、帯状の共振器を有する電子部品全般に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る積層型電子部品に積層される共振器の基本構成を示す外観斜視図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態に係る積層型電子部品の構成例を示す外観斜視図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態に係る積層型電子部品の製造方法の説明図である。
【図４】本発明の第１の実施の形態に係る積層型電子部品の製造方法の利点を示す説明図である。
【図５】本発明の第１の実施の形態に係る積層型電子部品における補助電極の作用を示す説明図である。
【図６】本発明の第２の実施の形態に係る積層型電子部品に積層される共振器の基本構成を示す分解斜視図である。
【図７】本発明の第２の実施の形態に係る積層型電子部品の製造方法の説明図である。
【図８】本発明の第３の実施の形態に係る積層型電子部品に積層される共振器の基本構成を示す分解斜視図である。
【図９】本発明の第３の実施の形態に係る積層型電子部品の製造方法の第１の説明図である。
【図１０】本発明の第３の実施の形態に係る積層型電子部品の製造方法の第１の説明図である。
【図１１】インターディジタル結合型の共振器の基本構成を示す構成図である。
【図１２】インターディジタル結合型の共振器の具体的な構成例を示す外観斜視図である。
【図１３】従来の共振器の製造方法の説明図である。
【図１４】従来の共振器の製造方法の問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
【００５２】
１…共振器、１０，２０，３０…誘電体基板、１１，１２…共振電極、１３，１４，２１，２２，３１，３２…補助電極、５０…積層型電子部品、５１…外部端子電極、１００，１２０…誘電体シート、１１１，１１２…切断線。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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