(57)【要約】      （修正有）【課題】複数の露光データ製作オーダを適切に且つ最適に複数の露光データ生成装置に割り当てることができる露光データ製作オーダの分配装置を提供する。【解決手段】この分配装置は，オーダの複数の露光データ生成ジョブについて，露光データ生成処理の標準処理予測時間を求め，標準処理予測時間から露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて個別処理予測時間を求め，現在の稼働状況下で個別処理予測時間で納期を満足できるように露光データ生成ジョブデータを複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成し，複数の生成装置条件のもとで生成された処理タイムチャートデータのうち，露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する。【選択図】図３
2007142069.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数層の設計パターンデータにそれぞれ対応する露光データ生成ジョブデータを有し，当該露光データ生成ジョブデータにはそれぞれ納期データが割り当てられた露光データ製作オーダデータが与えられ，当該露光データ製作オーダデータの前記複数の露光データ生成ジョブデータを，前記設計パターンデータから露光データを生成処理する露光データ生成装置に分配する露光データ製作オーダの分配方法において，
前記露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブデータについて，前記露光データ生成処理の標準処理予測時間を求める工程と，
前記複数の露光データ生成ジョブデータの標準処理予測時間から，前記露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置毎に個別処理予測時間を求める工程と，
前記複数の露光データ生成装置の現在の稼働状況下で，前記個別処理予測時間で前記納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように前記複数の露光データ生成ジョブデータを前記複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成する工程と，
前記複数の露光データ生成装置の単一または組み合わせ，及び処理ユニット数を少なくとも含む複数の生成装置条件のもとで生成された前記処理タイムチャートデータのうち，前記露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する分配決定工程と
を有することを特徴とする露光データ製作オーダの分配方法。
【請求項２】
複数層の設計パターンデータにそれぞれ対応する露光データ生成ジョブデータを有し，当該露光データ生成ジョブデータにはそれぞれ納期データが割り当てられた露光データ製作オーダデータを供給され，当該露光データ製作オーダデータの前記複数の露光データ生成ジョブデータを，前記設計パターンデータから露光データを生成処理する露光データ生成装置に分配する露光データ製作オーダの分配装置において，
前記露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブデータについて，前記露光データ生成処理の標準処理予測時間を求める標準処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成ジョブデータの標準処理予測時間から，前記露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置毎に個別処理予測時間を求める個別処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の現在の稼働状況下で，前記個別処理予測時間で前記納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように前記複数の露光データ生成ジョブデータを前記複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成する処理タイムチャート生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の単一または組み合わせ，及び処理ユニット数を少なくとも含む複数の生成装置条件のもとで生成された前記処理タイムチャートデータのうち，前記露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する分配決定手段と
を有することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【請求項３】
請求項２において，
前記分配決定手段は，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理終了条件を最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【請求項４】
請求項２において，
前記分配決定手段は，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足することに加えて前記納期に対する前倒し合計時間が最大のものを最良の処理タイムチャートデータと判断し，前記全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理タイムチャートデータが存在しない場合は，前記納期に対する遅れ合計時間が最小のものを前記最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【請求項５】
請求項２において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータの分配先を決定し，当該露光データ生成ジョブデータの分配先決定のための前記チェックを処理能力の高い露光データ生成装置から優先的に行うことを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は，半導体集積回路の設計パターンデータから露光データを生成する露光データ生成装置への露光データ製作オーダの分配方法及びその分配装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路（ＬＳＩ）の製造工程では，設計工程で生成されたパターンデータをもとにして露光工程での露光データが生成され，その露光データを荷電粒子ビームなどの露光装置に供給して半導体ウエハの露光処理が行われる。設計パターンデータは，ＬＳＩの各層において加工または形成すべきパターンのデータであり，配線層の配線パターン，層間絶縁膜のビアパターン，半導体基板内のイオン注入領域パターンなどが含まれる。それに対して，荷電粒子ビーム露光装置では，可変矩形マスクや複数パターンを有するブロックマスクを介して荷電粒子ビームをウエハに照射し，マスクパターンに対応する領域を露光する。したがって，設計パターンを細分化し露光装置のマスクパターンに対応した露光パターンに変換することが求められる。しかも，パターンの微細化に伴って近接露光効果による現像パターンの変形を回避するために，設計パターンに対してパターン幅を増減したりパターンを追加したりする近接露光補正（ＯＰＣ）が必要になる場合もある。
【０００３】
近年の大集積化にともなって，上記の露光データ生成はコンピュータの膨大な処理工数を必要としている。特に，近接露光補正工程を伴う場合は通常の露光データ生成処理の数倍の処理時間を要する場合もある。
【０００４】
上記の露光データの生成については，例えば以下の特許文献１，２に記載されている。
【特許文献１】特開平６−３３２１５０号公報
【特許文献２】特開２００１−４２５０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
露光データ生成工程の処理工数の増大にともなって，設計パターンデータから露光データを生成するコンピュータシステム（露光データ生成装置）を有効に利用して，露光データ製作オーダが希望する納期に対応可能にすることが求められている。しかしながら，従来は露光データ製作オーダを既存の露光データ生成装置に適宜割り当てることでオーダに応えようとするだけであった。そのため，複数の露光データ生成装置を保有している場合でも，露光データ作成オーダのジョブをそれら露光データ生成装置に適切に配分することができず，露光データ作成オーダが求める納期に対応できない可能性がでてきた。
【０００６】
そこで，本発明の目的は，複数の露光データ製作オーダを適切に且つ最適に複数の露光データ生成装置に割り当てることができる露光データ製作オーダの分配方法及びその分配装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するために，本発明の第１の側面によれば，複数層の設計パターンデータにそれぞれ対応する露光データ生成ジョブデータを有し，当該露光データ生成ジョブデータにはそれぞれ納期データが割り当てられた露光データ製作オーダデータを供給され，当該露光データ製作オーダデータの前記複数の露光データ生成ジョブデータを，前記設計パターンデータから露光データを生成処理する露光データ生成装置に分配する露光データ製作オーダの分配装置において，
前記露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブデータについて，前記露光データ生成処理の標準処理予測時間を求める標準処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成ジョブデータの標準処理予測時間から，前記露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置毎に個別処理予測時間を求める個別処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の現在の稼働状況下で，前記個別処理予測時間で前記納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように前記複数の露光データ生成ジョブデータを前記複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成する処理タイムチャート生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の単一または組み合わせ，及び処理ユニット数を少なくとも含む複数の生成装置条件のもとで生成された前記処理タイムチャートデータのうち，前記露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する分配決定手段と
を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
露光データ製作オーダの生成ジョブデータを複数の露光データ生成装置のうち最適な組合せで装置に分配することができ，複数の露光データ生成装置により複数の露光データ製作オーダを納期内に完了することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下，図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し，本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず，特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。
【００１０】
図１は，設計パターンデータから露光データを生成する露光データ生成工程のフローチャート図である。ＬＳＩは，複数の層において露光・現像することでそれぞれの材料をパターニングする工程を繰り返して製造される。したがって，設計パターンデータＤＰは，複数の層の設計パターンデータを有する。この設計パターンデータに対して，露光工程は可変矩形やその他の基本図形のパターンによる露光を繰り返すことで，設計パターン領域の露光を行う。したがって，露光データ生成工程では，設計パターンを細分化して露光データを生成する。
【００１１】
また，近年の微細化に伴い，露光時の近接露光効果により現像パターンが変形する。そのため，パターンの変形を見越して設計パターンを補正する近接露光補正（ＯＰＣ補正）が行われる。かかるＯＰＣ補正工程は，全ての層の設計パターンには必要ないが，配線パターンなどの微細化パターンを含む場合には必要になる。一般に，ＯＰＣ補正が必要な場合は，露光データ生成には多大な工数が必要になる。
【００１２】
このように露光データ生成工程は，必要に応じて行われるＯＰＣ補正工程（Ｓ１，Ｓ２）や，パターンの細分化工程や所定の論理演算工程や露光量演算工程などを含む露光データ生成工程（Ｓ３）が含まれる。これらの露光データ生成工程に含まれる複数の処理工程は，順番に処理されることが求められる。一方，露光データ製作オーダ内の複数層の設計パターンデータに対する生成ジョブは，必ずしも所定の順番で処理することは必要なく，各層の設計パターンデータは独立して処理することができる。
【００１３】
図２は，本実施の形態における露光データ製作オーダの分配方法の概略フローチャート図である。この分配方法では，不定期に追加される露光データ製作オーダデータ１０を取得し，そのオーダデータに含まれる複数層の設計パターンデータに対する露光データ生成ジョブデータと各ジョブの納期データとをジョブ及び納期データファイル１２に追加する（Ｓ４）。さらに，露光データ生成装置群１４内の各装置の状態データを取得し，全ての装置の現在の状況データを有する現在状況データファイル１６に格納する（Ｓ５）。そして，追加されたジョブデータに対して，現在状況データファイル１６の状況データに基づいて，ジョブデータをどの生成装置に分配することが各ジョブデータの納期を満足する効率的な分配かをシミュレーションする分配シミュレーションを行い，分配データ１８を出力する（Ｓ６）。
【００１４】
上記の追加オーダデータの取得と登録工程Ｓ４と，現在の装置状況データ取得と更新工程Ｓ５と，分配シミュレーション工程Ｓ６とが，定期的に繰り返し行われる。これにより，新たな露光データ製作オーダが発生するたびに，そのオーダのジョブをいずれの露光データ生成装置に分配すればその納期を満足して露光データの生成処理を行うことができるかを決定することができる。
【００１５】
上記の露光データ生成装置群１４は，たとえば複数の製造拠点に設置された露光データ生成装置からなり，いずれかの製造拠点で追加された露光データ製作オーダの複数の露光データ生成ジョブが，それら複数の露光データ生成装置に効率的に分配される。また，露光データ生成装置は，単一で使用される場合を原則として，例外的に複数でクラスタ構成して使用される場合もある。さらに，露光データ生成装置は，複数の処理ユニット（ＣＰＵ）を有し，その処理ユニット数を１個または複数個にして露光データ生成ジョブを処理する。露光データ生成装置が複数台でクラスタ構成されるほど処理能力が向上し，露光データ生成装置の処理ユニット数を複数個にするほど処理能力が向上する。
【００１６】
図３は，本実施の形態における露光データ製作オーダの分配装置の構成図である。中央処理ユニット２０には，バスＢＵＳを介して，入力手段２１，モニタ手段２２，メモリ２３が接続され，更に，分配シミュレーションプログラムファイル２４と，露光データ生成装置のデータベースファイル２５と，標準処理予測時間データベースファイル２６とが接続される。中央処理ユニット２０には，次々に露光データ製作オーダデータ１０が与えられる。中央処理ユニット２０は，露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブを露光データ生成装置に分配する分配シミュレーションプログラムを実行して，製作オーダの処理終了条件が最も良い分配を探索し，その探索した分配に基づいてジョブデータ２９を露光データ生成装置群１４内の装置に供給する。この分配シミュレーションプログラムの実行により，中央処理ユニット２０は，標準処理予測時間データベース２６と露光データ生成装置データベース２５とに基づいて個別処理予測時間データ２７を生成し，現在の装置状況データ１６と個別処理予測時間データ２７とに基づいて，処理タイムチャートデータ２８を生成する。この処理タイムチャートは，納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするようにできるように複数のジョブデータを露光データ生成装置へ分配した場合のタイムチャートである。そして，複数の生成装置条件のもとで生成された複数の処理タイムチャートのうち製作オーダデータの処理終了条件が最良のものに対応する分配データを選択する。
【００１７】
図４は，本実施の形態における露光データ製作オーダの分配装置の概略処理フローチャート図である。図５，図６は，分配シミュレーションにおける各データの一例を示す図である。これらのデータ例を示しながら分配装置による分配シミュレーションを以下に説明する。
【００１８】
分配装置は，露光データ製作オーダデータ１０を受領する（Ｓ１１）。図５に製作オーダデータの一例が記載されている。製作オーダデータＤ１は，Ａ層，Ｂ層，Ｃ層，Ｄ層と複数層の設計データに対する露光データ生成ジョブデータを有し，各露光データ生成ジョブデータには図示しない設計データに加えて納期データＸ／Ｘ（例えばＸ月Ｘ日）が属性データとして含まれる。ＬＳＩは，複数層の露光，現像，エッチングやイオン注入などにより製造されるので，各層の設計データに基づく露光データが必要な納期はそれぞれ異なっている。したがって，露光データ製作オーダデータ１０に含まれる個々の生成ジョブの異なる納期が満たされれば良く，必ずしも生成ジョブが時系列的に処理される必要はない。
【００１９】
分配装置は，露光データ製作オーダデータの各層の処理工程を抽出する（Ｓ１２）。図５の例では，製作オーダデータＤ１は，Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ層の生成ジョブを有し，各層の生成ジョブは単一の又は複数の処理工程を有する。例えば，Ａ層の生成ジョブには工程ａ，ｂ，ｃが含まれ，Ｂ層の生成ジョブには工程ａ，ｂ，ｃ，ｄが含まれ，Ｃ層の生成ジョブには工程ａが含まれ，Ｄ層の生成ジョブには工程ａ，ｂが含まれる。
【００２０】
これらの露光データ生成ジョブは，図１で説明したとおり，ＯＰＣ補正処理工程，配線パターン層の平坦化のための配線パターン間にダミーパターンを生成するダミーパターン発生工程，設計パターンの細分化工程，細分化されたパターンの露光量決定工程などである。ＬＳＩの特定の層にはＯＰＣ補正処理工程が必要であり，別の層にはダミーパターン発生工程が必要である。したがって，露光データ製作オーダデータに含まれる複数の露光データ生成ジョブ（複数層に対応）に必要な処理工程が抽出される。
【００２１】
次に，各層に対応する露光データ生成ジョブの標準処理予測時間が算出される（Ｓ１３）。標準処理予測時間とは，露光データ生成ジョブを標準的な露光データ生成装置（処理マシン）で処理した場合に要する処理時間である。この時間算出は，例えば過去に処理済みの製品から改変された製品の場合は，その過去の処理時間データを蓄積した標準処理予測時間データベースから対応する時間データを抽出することにより行われる。過去に処理された履歴がない場合は，類似する製品の過去の処理時間データが参照される。また，標準処理予測時間データベースには，設計データの容量に対応した処理予測時間データが含まれ，その時間データが参照される。
【００２２】
図５に例示するとおり，製作オーダＤ１では，Ａ層の生成ジョブの標準処理予測時間は，工程ａが１．０時間，工程ｂが８．０時間，工程ｃが１２．０時間で，合計で２１．０時間になっている。同様に，Ｂ，Ｃ，Ｄ層は，それぞれ７５．５時間，０．５時間，５．８時間となっている。
【００２３】
次に，標準処理予測時間から，露光データ生成装置（処理マシン）の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置（処理マシン）毎に個別処理予測時間が算出される（Ｓ１４）。ここで，処理能力とは標準的な処理マシンの能力に対する処理能力の比率であり，図５に例示するとおり，処理マシンＡは２．０倍の処理能力を有し，処理マシンＢは１．５倍の処理能力を有し，処理マシンＣは標準的な処理能力を有し，処理マシンＤは０．５倍の処理能力を有する。さらに，処理機能とは露光データ生成装置にインストールされている処理プログラムのライセンス状況など，各生成装置が有する処理機能のことである。図５の例示によれば，処理マシンＡ，Ｂは全ての処理工程に対応可能であるが，処理マシンＣは処理工程ａ，ｂのみしか処理できず，処理マシンＤは処理工程ａのみしか処理できない。
【００２４】
これらの処理能力と処理機能とに基づいて，各露光データ製作オーダについて，各層毎に全ての処理マシンＡ〜Ｄにおける個別処理予測時間が算出される。その結果，図５の処理Ｓ１４に示されるとおり，Ａ層の処理ジョブについては，処理マシンＡが１０．５時間，処理マシンＢが１３．９時間，処理マシンＣ，Ｄは処理不能と算出される。Ｂ層，Ｃ層，Ｄ層の処理ジョブについても図示されるとおりである。Ｃ，Ｄ層は，全ての処理マシンで処理可能である。
【００２５】
次に，複数の露光データ生成装置（処理マシン）の現在の稼働状況データ１６のもとで，露光データ製作オーダの複数の生成ジョブを所定の処理マシンに分配して処理した場合の処理タイムチャートデータを作成する（Ｓ１５）。この処理タイムチャートデータは，複数の露光データ生成装置条件のもとで生成ジョブデータを分配した場合における予測処理タイムチャートデータであり，現在の稼働状況下で個別処理予測時間により各処理マシンの処理時間帯が求められる。さらに，処理タイムチャートデータの生成工程Ｓ１５では，各生成ジョブがそれぞれの納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように処理マシンに分配して，その分配に基づく処理タイムチャートが生成される。
【００２６】
複数の露光データ生成装置条件とは，図６に示すように複数のケースCase1，Case2．．．に対応し，例えば以下のとおりである。
（１）生成ジョブを処理能力の高い処理マシンに優先的に分配する条件，
（２）生成ジョブの工程を処理能力の高い処理マシンに分配する条件，
（３）生成ジョブまたは工程を非クラスタ処理（単独装置による処理）かクラスタ処理（複数装置による処理）かに順次分配する条件，
（４）生成ジョブまたは工程毎に処理マシンの処理ユニット数を増加した処理に順次分配する条件，
（５）生成ジョブ毎に複雑な処理工程を有するか否かを示すキーワードに対応する処理マシン及び処理マシン形態（処理ユニット数など）に優先的に分配する条件，
（６）上記キーワードの種類や数に対応する処理マシン及び処理マシン形態に優先的に分配する条件
つまり，複数の処理マシンの条件で（Ｓ１６），上記の処理タイムチャートの作成を繰り返す（Ｓ１５）。その結果，図６に示すように，生成ジョブや工程を処理マシンに分配して得られた処理タイムチャートデータが複数の処理マシン条件毎に生成される。この工程Ｓ１６については後で詳述する。
【００２７】
図６の工程Ｓ１６でのケース１（Case1）は，製作オーダD1のＡ層の生成ジョブが処理マシンＢに，Ｂ層の生成ジョブが処理マシンＡに，Ｃ層の生成ジョブが処理マシンＣに，Ｄ層の生成ジョブが処理マシンＤにそれぞれ分配された場合の処理タイムチャートである。この処理タイムチャートには各層の生成ジョブの納期日が記入されているが，全ての納期が満足される。ケース２（Case2），ケース３（Case3）も同様に別の条件で分配された場合の処理タイムチャートである。
【００２８】
そして，図４に示すように，複数の処理マシン条件で求められた処理タイムチャートのうち，製作ジョブの全ての生成ジョブが納期を満たすケースのなかから，納期に対する前倒し合計時間が最も多い処理タイムチャートの分配を選択する（Ｓ１７のＹ，Ｓ１８）。また，製作ジョブに全ての生成ジョブが納期を満たすケースが存在しない場合は，納期遅れの合計時間が最も少ない処理タイムチャートの分配を選択する（Ｓ１７のＮ，Ｓ１９）。図６に例示されるように，最良の処理タイムチャートとしてケース１が選択されている。
【００２９】
［処理タイムチャートの作成］
次に，図４の処理タイムチャートの作成工程Ｓ１５について具体的に説明する。
【００３０】
［（１）生成ジョブを処理能力の高い処理マシンに優先的に分配する条件］
図７は，本実施の形態における第１の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。分配装置は，現在の処理マシンの状態を現在状況データ１６から確認する（Ｓ２０）。現在状況データ１６は，前述のとおり逐一アップデートされており，複数の処理マシンが処理中か，処理待ちか，処理中であればいつまで処理中かのデータを含む。そして，分配装置は，既存の処理ジョブを納期順に並び替える（Ｓ２１）。この並び替えの対象は，処理待ちの処理ジョブと追加作成オーダの処理ジョブとを含む。
【００３１】
次に，分配装置は，最初の処理ジョブから処理マシンの分配先を決定する処理マシン探索ルーチンを実行する。処理ジョブの分配先は，納期を満足する処理マシンか，いずれの処理マシンでも納期を満足できない場合は納期遅れ時間が最も少ない処理マシンが選ばれる。分配される処理マシンの探索順は，処理能力の高い処理マシンが優先的に行われる。
【００３２】
つまり，最初の生成ジョブから順に（Ｓ２２），処理能力が最も高い処理マシンでの処理終了時刻が計算される（Ｓ２３）。この処理終了時刻の計算は，処理マシンの現在状況データと個別処理予測時間とから求められる。そして，その処理終了時刻がその生成ジョブの納期内の場合は（Ｓ２４のＹ），その処理マシンに最初の処理ジョブが分配される（Ｓ２７）。もし処理終了時刻が納期内でない場合は（Ｓ２４のＮ），次に処理能力の高い処理マシンでの処理終了時刻が計算される（Ｓ２６）。そして，その処理終了時刻が納期内であればその処理マシンに処理ジョブが分配され（Ｓ２４のＹ，Ｓ２８），納期内でなければ次に処理能力の高い処理マシンについてチェックされる（Ｓ２４のＮ，Ｓ２６）
このように，処理能力の高い処理マシンを優先的に分配先にすれば，処理終了時刻が納期内になる確率が高くなるので，処理マシンの探索処理工数を少なくすることができる。全ての処理マシンのチェックが終了すると（Ｓ２５のＹ），チェック済みの処理マシンのうち納期遅れが最も少ない処理マシンに生成ジョブが割り当てられる。ただし，処理能力の高い処理マシンでも現在の稼働状況が別の生成ジョブを処理中であれば，処理完了時刻が遅くなり納期を満たすことができなくなる。よって，その場合は次に処理能力が高い処理マシンについて納期を満たすか否かのチェックが行われる。
【００３３】
以上の生成ジョブを分配すべき処理マシンの探索処理（Ｓ２３〜Ｓ２８）が，全ての生成ジョブに対して実行される（Ｓ２９）。その結果，露光データ製作オーダについて，全ての生成ジョブが納期を満たすかまたは納期遅れを最小限にするような処理マシンへ分配した場合の処理タイムチャートデータが生成される。この処理タイムチャートデータの生成工程は図７において省略されている。
【００３４】
［（２）生成ジョブの工程を処理能力の高い処理マシンに分配する条件］
図８は，本実施の形態における第２の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。図７とは工程Ｓ２２Ａ，Ｓ２３Ａ，Ｓ２９Ａが追加または変更されている点で異なるが，それ以外は図７と同じである。工程Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２で処理すべき生成ジョブデータのうち納期が最も早い生成ジョブデータを抽出し，その生成ジョブデータの最初の工程データを抽出し（Ｓ２２Ａ），工程データを分配すべき処理マシンの探索を開始する。まず，処理能力が最も高い処理マシンを最優先として，その工程データの処理終了時刻の計算を行う（Ｓ２３Ａ）。この工程データの処理終了時刻の計算では，同じ生成ジョブの前工程の終了時刻後に処理を開始することを条件にして，処理マシンの現在状況と個別処理予測時間とに基づいて行われる。つまり，露光データ製作オーダの各層の生成ジョブは一連の複数の工程からなるが，この一連の複数の工程は，通常，前工程での処理結果を利用して次の工程が行われる。したがって，各層の生成ジョブの複数の工程データを異なる処理マシンに分配することを許可するが，その場合に，複数の工程が時系列的に行われることが制約条件として加えられることになる。つまり，工程データの処理完了時刻は前工程の処理後に開始されることを条件として計算される。これは露光データ生成ジョブにおける特殊性の一つである。
【００３５】
分配される処理マシンの探索工程Ｓ２３Ａ〜Ｓ２９Ａは，全ての工程データに対して実行され，さらに全ての生成ジョブデータに対して実行される。その結果，理想的には全ての生成ジョブデータの処理が納期を満たすように工程データの分配先が決定される。または，納期遅れが最も少なくなるように工程データの分配先が決定される。分配先が決定すれば，その分配先で処理された場合の処理タイムチャートデータの生成が行われる。かかる処理タイムチャートデータの生成工程は図８において省略されている。
【００３６】
［（３）生成ジョブまたは工程を非クラスタ処理（単独装置による処理）かクラスタ処理（複数装置による処理）かに順次分配する条件］
図９は，本実施の形態における第３の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。工程Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２２Ａまでは，図８と同じである。そして，この処理タイムチャート作成工程における分配先処理マシンの探索は，処理マシンを非クラスタ構成（単独装置による処理）にして露光データ生成処理を行った場合に加えて，複数の処理マシンをクラスタ構成（複数装置による処理）して露光データ生成処理を行った場合についても行われる。工数が特に多い露光データ生成ジョブに対しては，複数の処理マシンをクラスタ構成して処理することで納期を満足することができる場合があるからである。複数処理マシンのクラスタ構成は，処理マシンを任意の数で任意に組合せた構成であり，その処理マシン数を順次増やしながら分配先処理マシンの探索が行われる。
【００３７】
まず，各工程データの標準的な予想処理時間が任意に決定された基準Ａ時間内か否かが判定される（Ｓ３０）。基準Ａ時間内であれば非クラスタ構成で処理可能か否かがチェックされる（Ｓ３１〜Ｓ３４）。基準Ａ時間内でない場合は，クラスタ構成で処理可能か否かがチェックされる（Ｓ３６〜Ｓ４１）。つまり，基準Ａ時間内か否かにより予備的に非クラスタ構成かクラスタ構成かが判別される。ただし，非クラスタ構成で納期を満たすことができない場合は，クラスタ構成で分配先が探索される。つまり，第３の方法では，生成ジョブまたはその工程毎に，非クラスタ処理かクラスタ処理かで分配先を探索する。
【００３８】
工程データの処理時間が基準Ａ時間内であれば（Ｓ３０のＹ），各処理マシン毎に処理の終了時刻を計算する（Ｓ３１）。この計算は，処理マシンの現在状況データと個別処理予測時間とから求められる。そして，もっと早く処理が完了する処理マシンを選択し（Ｓ３２），生成ジョブの納期内に処理が完了するか否かがチェックされる（Ｓ３３）。納期内の処理が完了する場合は，工程データの分配先処理マシンが決定される（Ｓ３４）。これらの探索工程Ｓ３０〜Ｓ３４が，全ての工程データについて及び全ての生成ジョブについて繰り返される（Ｓ２９Ａ，Ｓ２９）。全ての生成ジョブの分配先処理マシンが決定すると，その分配による処理タイムチャートが生成される。
【００３９】
工程データの処理時間が基準Ａ時間内でない場合（Ｓ３０のＮ），または最も早く処理が完了する処理マシンでも納期を満たすことができない場合（Ｓ３３のＮ）は，クラスタ処理する処理マシン数を増やしながら（Ｓ３６），各クラスタ構成された処理マシン毎に処理終了時刻を計算する（Ｓ３７）。この計算では，複数の処理マシンがクラスタ構成された場合の処理予測時間をクラスタ構成の能力に基づいて求めることが必要になる。クラスタ構成例は，２台の処理マシンによるクラスタ構成の場合は，処理マシンＡＢ，ＢＣ，ＣＤ，ＡＣ，ＡＤによるクラスタ構成である。３台の処理マシンによるクラスタ構成の場合は，処理マシンＡＢＣ，ＢＣＤ，ＣＤＡ，ＡＢＤ，ＡＣＤなどによるクラスタ構成である。
【００４０】
クラスタ化した処理マシン毎に工程データの処理終了時間が最も早く完了するクラスタ化マシンを選択し（Ｓ３８），生成ジョブの納期を満足するか否かチェックし（Ｓ３９），満足しない場合は，全処理マシン数でのクラスタ構成になるまで（Ｓ４０），クラスタ数を増加して（Ｓ３６）同様の探索を継続する。一方，生成ジョブの納期を満足する場合は（Ｓ３９のＹ），そのクラスタ化処理マシンへの分配が決定される（Ｓ４１）。上記の探索工程Ｓ３６〜Ｓ４１は，全ての工程データについて，及び全ての処理ジョブについて繰り返される（Ｓ４２，Ｓ４３）。そして，決定されたクラスタ構成の処理マシンに基づいて露光データ製作オーダの処理タイムチャートが生成される。
【００４１】
図１１（Ａ）は，クラスタ構成の処理マシンへ分配した場合の処理タイムチャート例を示す図である。この処理タイムチャートには，生成ジョブ単位でクラスタ構成の処理マシンへの分配が探索されている。生成ジョブJOB2について，処理マシンＣとＤによる２台のクラスタ構成に分配した時の処理完了時間は納期をクリアすることができないが（図中４１），処理マシンＡ，Ｂ，Ｃ，Ｄによる４台のクラスタ構成に分配した時の処理完了時間は納期をクリアすることができる（図中４０）。したがって，この場合は，生成ジョブJOB2は４台の処理マシンによるクラスタ構成に分配され，その場合の処理タイムチャート４０が採用される。
【００４２】
なお，図９のフローチャートでは工程データ毎に分配先を探索したが，生成ジョブ毎に分配先を探索してもよいことはいうまでもない。
【００４３】
以上のように，第３の方法によれば，処理マシンの非クラスタ構成と複数処理マシンによるクラスタ構成とについて納期を満たすまで順次探索し，納期を満たすクラスタ構成に生成ジョブデータまたは工程データが分配されて処理タイムチャートが作成される。また，基準Ａ時間内か否かの判定をして無駄に非クラスタ構成での探索を省略することができる。
【００４４】
［（４）生成ジョブまたは工程毎に処理マシンの処理ユニット数を増加した処理に順次分配する条件］
図１０は，本実施の形態における第４の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。工程Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２，Ｓ２２Ａまでは，図８と同じである。そして，この処理タイムチャート作成工程における分配先処理マシンの探索は，処理マシンの処理ユニット数を順次増加しながら行われる。工数が特に多い露光データ生成ジョブに対しては，処理マシンの処理ユニット数（ＣＰＵ数）を増加して処理することで納期を満足することができる場合があるからである。
【００４５】
最初の工程データの処理時間が基準Ａ時間内か否かが判定される（Ｓ５０）。処理時間が基準Ａ時間内の場合は複数処理ユニットで処理しないほうが処理効率が高いので，単一処理ユニットの処理マシンへの分配を探索する。一方，処理時間が基準Ａ時間を超える場合は複数処理ユニットで処理したほうが納期を満たす確率が高いので複数処理ユニットの処理マシンへの分配を探索する。これにより探索工程を短くすることができる。
【００４６】
工程データの処理時間が基準Ａ時間内である場合は（Ｓ５０のＹ），各マシン毎に単一ＣＰＵで処理した場合の処理完了時刻を計算する（Ｓ５１）。この計算は，図８の工程Ｓ２３Ａと同様に前工程の終了時刻後に処理開始されることを前提に処理完了時刻が計算される。そして，最も処理が早く完了する処理マシンが選択され（Ｓ５２），生成ジョブの納期を満たすか否かがチェックされる（Ｓ５３）。納期内に処理完了する場合は，その１ＣＰＵの処理マシンに工程データの分配先が決定される（Ｓ５４）。上記の探索処理Ｓ５０〜Ｓ５４が，全ての工程データと生成ジョブデータに対して繰り返される（Ｓ２９Ａ，Ｓ２９）。
【００４７】
次に，工程データの処理時間が基準Ａ時間内でない場合は（Ｓ５０のＮ），または単一処理ユニットの処理マシンで最も早く処理が完了する処理マシンでも納期内に処理が完了しない場合は（Ｓ５３のＮ），処理ユニット数を増加させながら（Ｓ５６），各処理マシン毎に処理の完了時刻を計算する（Ｓ５７）。この計算も図８の工程Ｓ２３Ａと同様である。最初は処理ユニット数を２つにした場合の各処理マシンでの処理完了時間が求められる。そしてそのうち最も早く処理完了する処理マシンが選択され（Ｓ５８），その処理マシンにより処理完了時刻が納期を満たすか否かがチェックされる（Ｓ５９）。満たさない場合は，処理マシンの処理ユニット数が最大になるまで（Ｓ６０），処理ユニット数を増加させながら（Ｓ５６）同様の探索工程（Ｓ５７〜Ｓ５９）が行われる。満たす場合は，その最も処理完了時刻が早い処理マシンへの分配が決定される（Ｓ６１）。上記の処理Ｓ５６〜Ｓ６１が，全ての工程データまたは全ての生成ジョブに対して繰り返される。そして，選択された処理ユニット数の処理マシンに工程データまたは生成ジョブデータを分配した時の処理タイムチャートが生成される。
【００４８】
図１１（Ｂ）は，処理マシンの処理ユニットを複数個構成にして生成ジョブを分配した場合の処理タイムチャートを示す図である。生成ジョブJOB2について，処理マシンＡを１０個のＣＰＵ構成にした時の処理タイムチャート４２は，納期をクリアするが，処理マシンＡを４個のＣＰＵ構成にした時の処理タイムチャート４３は，納期をクリアすることができない。この場合は，処理マシンＡを１０個のＣＰＵ構成したものに生成ジョブデータJOB2が分配される。
【００４９】
以上のように，単一のＣＰＵ構成では生成ジョブの納期を満たすことができない場合は，ＣＰＵ数を増加させながら納期が満たされる処理マシンの構成を探索することができるので，生成ジョブの納期を満たす処理マシンの分配を見つける確率を高めることができる。
【００５０】
［（５）生成ジョブ毎に複雑な処理工程を有するか否かを示すキーワードに対応する処理マシン及び処理マシン形態（処理ユニット数など）に優先的に分配する条件］
図１２は，本実施の形態における第５の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。この方法では，生成ジョブに対応付けられたキーワード（処理の属性）に応じて，探索する分配先処理マシンを一定の範囲に絞り，納期を満足する処理マシンを見つける。キーワード（属性）の具体例は，処理時間が長い，ＯＰＣ補正が必要，特定の処理ツールのライセンスが必要などであり，通常生成ジョブの属性データとして生成ジョブデータに付加されている。
【００５１】
図１３は，キーワードとそのキーワードを持つ生成ジョブを処理できる処理マシンとの関係例を示す図である。この例では，キーワードＫ１〜Ｋ４に対して，処理可能な処理マシンＩＤと使用すべきＣＰＵ数とが示されている。キーワードに応じて，処理可能な処理マシンの種類が異なり，またＣＰＵ数が異なる。この対応表に示された処理可能なマシンとＣＰＵ数は，キーワードを有する生成ジョブを処理できる最低限のレベルを示すものであり，現在のマシン状況によってはこれ以上のスペックが必要になる。したがって，これらのキーワードに対応する処理マシンとＣＰＵ数から生成ジョブデータの分配先の探索を開始することで，予め処理不可能とわかっている処理マシンやＣＰＵ数についての探索工数を削減することができる。
【００５２】
図１２に戻り，工程Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２までは図８と同じである。次に，生成ジョブに付加されているキーワードを抽出し，そのキーワードに対応して定義された処理マシンとＣＰＵ数での処理時間と処理終了時刻を計算する（Ｓ７０）。例えば，キーワードＫ１の場合は，図１３に示されるとおり８ＣＰＵの処理マシンＡ，４ＣＰＵの処理マシンＢ，２ＣＰＵの処理マシンＣについて，処理時間と処理終了時刻の計算が行われる。なお，処理マシン毎に個別処理予測時間が求められているが，ここではＣＰＵ数に応じた係数に基づいて処理時間が計算される。
【００５３】
そして，計算したいずれかの処理終了時刻が納期内か否かがチェックされ（Ｓ７１），納期内にある場合は（Ｓ７１のＹ），最も処理終了時刻が早い処理マシンが分配先に決定される（Ｓ７４）。また，計算した全ての処理終了時刻が納期内にない場合は（Ｓ７１のＮ），対象処理マシンのＣＰＵ数を増大（＋１）して処理時間と処理終了時刻を計算し（Ｓ７３），それらが納期内にあるか否かが再度チェックされる（Ｓ７１）。工程Ｓ７３とＳ７１は処理マシンの最大ＣＰＵ数に達するまでＣＰＵ数を増大させて繰り返される。納期内に処理完了する処理マシンが見つかればその処理マシンが生成ジョブデータの分配先に決定される（Ｓ７４）。上記の処理は，露光データ製作オーダの全ての生成ジョブについてくりかえされる（Ｓ２９）。最後に，フローチャートに示されていないが，分配先に決定した処理マシンとＣＰＵ数に応じて，処理タイムチャートデータが生成される。
【００５４】
以上のように，露光データ生成ジョブによっては，特に処理工数が多く特定の処理マシンで特定数のＣＰＵ以上の能力が要求される場合があり，それを生成ジョブのキーワード（属性）に対応付けて図１３のようにあらかじめ抽出しておくことで，生成ジョブデータの分配先の探索をそれらの処理マシンから開始することができ，探索工数を削減することができる。
【００５５】
［（６）上記キーワードの種類や数に対応する処理マシン及び処理マシン形態に優先的に分配する条件］
図１４は，本実施の形態における第６の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。この方法では，生成ジョブのキーワード（属性）を抽出し，処理時間が長くなるキーワードの個数に応じて生成ジョブの処理工数を判別し，キーワードの個数が多い生成ジョブには，処理能力が最も高い処理マシンから分配先を探索する。また，キーワードの個数が少ないまたはない生成ジョブには，処理能力が最も低い処理マシンから分配先を探索する。そして，キーワードの個数が多くはないが少なくもない生成ジョブには，処理能力が中程度の処理マシンから分配先を探索する。このように，生成ジョブの処理工数をキーワード数に基づいて判別し，その処理工数に対応する処理能力の処理マシンから分配先を探索することで，効率的に処理マシンを見つけることができ，探索工数を削減することができる。
【００５６】
上記の処理能力は，処理マシンとそのＣＰＵ数によって，高いか低いかが分類される。したがって，例えば既存の処理マシンについて，処理能力順に処理マシンとＣＰＵ数のランク付けをあらかじめ行っておくことで，上記の探索開始レベルをより的確に見つけることができる。
【００５７】
図１４のフローチャートにおいて，工程Ｓ２０，Ｓ２１，Ｓ２２は図８と同じである。そして，生成ジョブのキーワードを抽出し，処理時間が長くなるキーワードの個数が多いか（Ｓ８０のＹ），中程度か（Ｓ８１のＹ），少ないかまたはゼロか（Ｓ８１のＮ）を判断する（Ｓ８０，Ｓ８１）。具体的には，キーワード数の個数を第１の個数とそれより少ない第２の個数とをあらかじめ定めておき，第１の個数より多ければキーワード数が多い（Ｓ８０のＹ）と，第１の個数より少なく第２の個数より多ければキーワード数が中程度（Ｓ８１のＹ）と，第２の個数より少なければキーワード数が少ないまたはゼロ（Ｓ８１のＮ）と判定する。
【００５８】
キーワード数が多い生成ジョブに対しては，処理能力が最も高い処理マシンでの処理時間と処理終了時刻が計算される（Ｓ８２）。処理時間は，既に求めている個別処理予測時間を利用することができる。また，処理終了時刻は，現在状況データと処理時間とから求められる。キーワード数が中程度の生成ジョブに対しては，処理能力が標準（中程度）の処理マシンでの処理時間と処理終了時刻が計算される（Ｓ８９）。そして，キーワード数が少ないまたはゼロの生成ジョブに対しては，処理能力が最も低い処理マシンでの処理時間と処理終了時刻が計算される（Ｓ９０）。
【００５９】
工程Ｓ８２に続いて，計算した処理終了時刻が生成ジョブの納期内であるか否かがチェックされ（Ｓ８３），納期内の場合はその処理マシンが生成ジョブデータの分配先に選ばれる（Ｓ８７）。また，納期内でない場合は次に処理能力が高い処理マシンについて処理時間と処理終了時刻が計算される（Ｓ８５）。そして，その処理終了時刻が納期内か否かがチェックされ（Ｓ８３），納期内でなければ全ての処理マシンについてチェックされる（Ｓ８４）。最も高い処理能力の処理マシンであっても，現在の状況が他の生成ジョブを処理中であれば処理終了時刻は遅くなる可能性があり，処理終了時刻は納期内にならない。その場合は，次に処理能力の高い処理マシンについてチェックすることで，比較的高い確率で納期内になることが確認できる。全ての処理マシンについてチェックしたがいずれも納期内に終了しない場合は，納期遅れ時間が最も少ない処理マシンを生成ジョブデータの分配先に選択する（Ｓ８６）。
【００６０】
生成ジョブのキーワード数が第１の数より少なく第２の数より多い場合（Ｓ８１のＹ）は，処理能力が標準の処理マシンでの処理時間と処理終了時刻が計算され（Ｓ８９），その処理終了時刻が希望納期内に完了するか否かがチェックされ（Ｓ９１），納期内であればその処理マシンが分配先に選択される（Ｓ８６）。納期内でない場合は（Ｓ９１のＮ），最初の標準の処理マシンより処理能力の高い処理マシンについて処理時間と処理終了時刻が計算される（Ｓ９３）。そして，処理終了時刻が納期内か否かがチェックされ（Ｓ９１），納期内でない限りは処理能力が最も高い処理マシンまで上記計算とチェックが繰り返される。処理終了時刻が納期内の処理マシンが見つかった段階で，その処理マシンが分配先に選択される。全ての処理マシンにおいて納期内に終了できないことが判明した場合は（Ｓ９１のＹ），納期遅れ時間が最も少ない処理マシンを分配先に選択する（Ｓ８６）。
【００６１】
以上のように，生成ジョブのキーワード数が中程度の場合は，分配先処理マシンの探索を標準的な処理能力マシンから開始し，納期内に終了できない場合は処理能力をより高いマシンについて探索を行う。これにより，無駄な探索工程を削減することができる。
【００６２】
生成ジョブのキーワード数が第２の数より少ない場合（Ｓ８１のＮ），最も処理能力の低い処理マシンの処理時間と処理終了時刻が計算され（Ｓ９０），その後同様の処理Ｓ９１，Ｓ９２，Ｓ９３，Ｓ８６，Ｓ８７が行われる。つまり，生成ジョブのキーワード数が少ないまたはゼロの場合は，分配先処理マシンの探索を処理能力が最も低いマシンから開始し，処理終了時刻が納期内でなければより能力の高い処理マシンについて探索を行う。
【００６３】
上記の工程が露光データ製作オーダの全ての生成ジョブについて繰り返し行われる（Ｓ８８）。そして，全ての生成ジョブについて分配先の処理マシンが決定すると，フローチャートに示されていないが，その処理マシンによる処理タイムチャートが生成される。
【００６４】
以上，第６の方法では，生成ジョブの処理工数のレベルをキーワード数に基づいて推測し，それぞれ最も適したレベルの処理マシンから納期内に処理可能か否かの探索を開始する。これにより，最も効率的に納期内に処理可能な処理マシンを見つけることができる。
【００６５】
図４に戻り，上記の第１〜第６のタイムチャートデータ生成工程を繰り返して，それぞれの方法で探索し見つけた処理マシンによるタイムチャートデータを生成する。そして，各露光データ作成オーダのタイムチャートのうち，全ての生成ジョブが納期を満たすタイムチャートのうち納期に対する前倒し合計時間が多いものを選択し，またはいずれも全ての生成ジョブが納期を満たさない場合にはその中で納期遅れの合計時間が少ないものを選択する（Ｓ１８，Ｓ１９）。
【００６６】
以上の通り，本実施の形態による露光データ作成オーダの分配方法及び分配装置によれば，複数の処理マシンに対して最も効率よく処理可能な組合せに生成ジョブデータを分配することができ，複数の処理マシンをかかえている場合に露光データ生成処理の処理マシンへの分配を最適化することができる。
【００６７】
以上の実施の形態をまとめると，次の付記のとおりである。
【００６８】
（付記１）複数層の設計パターンデータにそれぞれ対応する露光データ生成ジョブデータを有し，当該露光データ生成ジョブデータにはそれぞれ納期データが割り当てられた露光データ製作オーダデータが与えられ，当該露光データ製作オーダデータの前記複数の露光データ生成ジョブデータを，前記設計パターンデータから露光データを生成処理する露光データ生成装置に分配する露光データ製作オーダの分配方法において，
前記露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブデータについて，前記露光データ生成処理の標準処理予測時間を求める工程と，
前記複数の露光データ生成ジョブデータの標準処理予測時間から，前記露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置毎に個別処理予測時間を求める工程と，
前記複数の露光データ生成装置の現在の稼働状況下で，前記個別処理予測時間で前記納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように前記複数の露光データ生成ジョブデータを前記複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成する工程と，
前記複数の露光データ生成装置の単一または組み合わせ，及び処理ユニット数を少なくとも含む複数の生成装置条件のもとで生成された前記処理タイムチャートデータのうち，前記露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する分配決定工程と
を有することを特徴とする露光データ製作オーダの分配方法。
【００６９】
（付記２）付記１において，
前記分配決定工程では，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理終了条件を最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配方法。
【００７０】
（付記３）付記１において，
前記分配決定工程では，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足することに加えて前記納期に対する前倒し合計時間が最大のものを最良の処理タイムチャートデータと判断し，前記全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理タイムチャートデータが存在しない場合は，前記納期に対する遅れ合計時間が最小のものを前記最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配方法。
【００７１】
（付記４）複数層の設計パターンデータにそれぞれ対応する露光データ生成ジョブデータを有し，当該露光データ生成ジョブデータにはそれぞれ納期データが割り当てられた露光データ製作オーダデータを供給され，当該露光データ製作オーダデータの前記複数の露光データ生成ジョブデータを，前記設計パターンデータから露光データを生成処理する露光データ生成装置に分配する露光データ製作オーダの分配装置において，
前記露光データ製作オーダデータの複数の露光データ生成ジョブデータについて，前記露光データ生成処理の標準処理予測時間を求める標準処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成ジョブデータの標準処理予測時間から，前記露光データ生成装置の処理能力と処理機能とに基づいて，複数の露光データ生成装置毎に個別処理予測時間を求める個別処理予測時間生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の現在の稼働状況下で，前記個別処理予測時間で前記納期を満足できるようにまたは納期遅れを最小限にするように前記複数の露光データ生成ジョブデータを前記複数の露光データ生成装置に分配した場合における処理タイムチャートデータを生成する処理タイムチャート生成手段と，
前記複数の露光データ生成装置の単一または組み合わせ，及び処理ユニット数を少なくとも含む複数の生成装置条件のもとで生成された前記処理タイムチャートデータのうち，前記露光データ製作オーダデータに対する処理終了条件が最良の処理タイムチャートデータに対応する露光データ生成装置の分配データを選択する分配決定手段と
を有することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７２】
（付記５）付記４において，
前記分配決定手段は，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理終了条件を最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７３】
（付記６）付記４において，
前記分配決定手段は，前記露光データ製作オーダデータの全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足することに加えて前記納期に対する前倒し合計時間が最大のものを最良の処理タイムチャートデータと判断し，前記全ての露光データ生成ジョブデータが前記納期を満足する処理タイムチャートデータが存在しない場合は，前記納期に対する遅れ合計時間が最小のものを前記最良の処理タイムチャートデータと判断することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７４】
（付記７）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータの分配先を決定し，当該露光データ生成ジョブデータの分配先決定のための前記チェックを処理能力の高い露光データ生成装置から優先的に行うことを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７５】
（付記８）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータ内の処理工程データの分配先を決定し，当該処理工程データの分配先決定のための前記チェックを処理能力の高い露光データ生成装置から優先的に行うことを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７６】
（付記９）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータまたはその工程データの分配先を決定し，当該分配先決定のための前記チェックを露光データ生成装置のクラスタ構成台数を増大させながら行うことを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７７】
（付記１０）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータまたはその工程データの分配先を決定し，当該分配先決定のための前記チェックを露光データ生成装置の処理ユニット数を増大させながら行うことを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７８】
（付記１１）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータまたはその工程データの分配先を決定し，当該分配先決定のための前記チェックを，前記露光データ生成ジョブデータに含まれる処理の属性データに対応する露光データ生成装置から開始することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【００７９】
（付記１２）付記４において，
前記処理タイムチャート生成手段は，前記露光データ生成装置による処理終了時刻が前記納期を満足するか否かのチェック結果に基づいて前記露光データ生成ジョブデータまたはその工程データの分配先を決定し，当該分配先決定のための前記チェックを，前記露光データ生成ジョブデータに含まれる処理の属性データに対応に対応して，当該属性データが第１の処理負荷以上の場合は第１の処理能力の露光データ生成装置から開始し，当該属性データが前記第１の処理負荷未満の場合は前記第１の処理能力より低い第２の処理能力の露光データ生成装置から開始することを特徴とする露光データ製作オーダの分配装置。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】設計パターンデータから露光データを生成する露光データ生成工程のフローチャート図である。
【図２】本実施の形態における露光データ製作オーダの分配方法の概略フローチャート図である。
【図３】本実施の形態における露光データ製作オーダの分配装置の構成図である。
【図４】本実施の形態における露光データ製作オーダの分配装置の概略処理フローチャート図である。
【図５】分配シミュレーションにおける各データの一例を示す図である。
【図６】分配シミュレーションにおける各データの一例を示す図である。
【図７】本実施の形態における第１の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【図８】本実施の形態における第２の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【図９】本実施の形態における第３の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【図１０】本実施の形態における第４の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【図１１】処理タイムチャートを示す図である。
【図１２】本実施の形態における第５の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【図１３】キーワードとそのキーワードを持つ生成ジョブを処理できる処理マシンとの関係例を示す図である。
【図１４】本実施の形態における第６の処理タイムチャート作成工程のフローチャート図である。
【符号の説明】
【００８１】
１０：露光データ製作オーダデータ      １４：露光データ生成装置群
２４：分配シミュレーションプログラム  ２５：露光データ生成装置データベース
２６：標準処理予測時間データベース    ２７：個別処理予測時間データ
２８：処理タイムチャートデータ        ２９：生成ジョブデータ
【図１】
2007142069.tif 000003
【図２】
2007142069.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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