(57)【要約】【課題】温度勾配に起因して、管内での流量が比較的少ない場合に測定信号に不正確さが生じることを抑制する熱型流量センサ装置を提供することを課題とする。【解決手段】ハウジングは、凹部が形成された内側表面、および外側表面のそれぞれを有する、熱良導材料の第一および第二のハウジング部材を含んでいて、ハウジング部材は該ハウジング部材の内側表面が互いに対向して位置しており、Ｕ字形のセンサ管６は、上記内側表面に平行に延びる主面を有し、ハウジング部材がＵ字形のセンサ管６の連結管９と脚管とを包囲しており、上記センサ管６は、二箇所、すなわち、入口部１９と上流の抵抗素子１０との間の第一の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていて、かつ、出口部２０と下流の抵抗素子１１との間の第二の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされている。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｕ字形のセンサ管（６）と、ハウジングとを備え、センサ管（６）が二つの脚管（７，８）と、該二つの脚管を連結する連結管（９）とにより形成され、該連結管（９）に二つの隣接した電気抵抗素子（１０，１１）が設けられたセンサ管（６）が、流入のための入口部（１９）と流出のための出口部（２０）とを有する熱型質量センサ装置において、
上記ハウジングは、凹部が形成された内側表面（４，５）、および外側表面のそれぞれを有する、熱良導材料の第一および第二のハウジング部材（２，３）を含んでいて、ハウジング部材は該ハウジング部材の内側表面（４，５）が互いに対向して位置しており、Ｕ字形のセンサ管（６）は、上記内側表面（４，５）に平行に延びる主面を有し、ハウジング部材（２，３）がＵ字形のセンサ管（６）の連結管（９）と脚管（７，８）とを包囲しており、上記センサ管（６）は、入口部（１９）と上流の抵抗素子（１０）との間の第一の位置におけるハウジング部材（２，３）同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていて、かつ、出口部（２０）と下流の抵抗素子（１１）との間の第二の位置におけるハウジング部材（２，３）同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていることを特徴とする熱型流量センサ装置。
【請求項２】
Ｕ字形のセンサ管（６）が、入口部（１９）と上流の抵抗素子（１０）との間、および出口部（２０）と下流の抵抗素子（１１）との間にて、熱的にクランプされている部分を除いては、ハウジング部材（２，３）と接触していないこととする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項３】
第一のハウジング部材（２）の内側表面（４）の凹部および第二のハウジング部材（３）の内側表面（５）の凹部は互いに対応する溝を形成しており、該溝は、センサ管（６）が熱的にクランプされている位置で、他の位置よりも浅くなっていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項４】
抵抗素子（１０，１１）が設けられているＵ字形のセンサ管（６）の連結管（９）が、ハウジング部材（２，３）の内側表面の互いに対向する凹部である溝によって狭く囲まれていることとする請求項１から請求項３のいずれか一つに記載の熱型流量センサ装置。
【請求項５】
Ｕ字形のセンサ管（６）が、脚管（７，８）から連結管（９）への移行部分（１４，１５）（湾曲部）にて、または該移行部分（１４，１５）に隣接した位置にて、ハウジング部材（２，３）同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項６】
Ｕ字形のセンサ管（６）は、入口部（１９）および出口部（２０）に隣接した位置にて、ハウジング部材（２，３）同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項７】
さらに、Ｕ字形のセンサ管（６）の連結管（９）が二つの電気抵抗素子（１０，１１）の間の位置におけるハウジング部材（２，３）同士の間で熱的にクランプされていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項８】
Ｕ字形のセンサ管（６）が、脚管（７，８）から連結管（９）への移行部分（１４，１５）にて、または該移行部分（１４，１５）に隣接した位置にて、局所的かつ熱的にクランプされていることとする請求項７に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項９】
ハウジング部材（２，３）はそれぞれベース部分（３０，３０’）を含んでおり、センサ管の脚管（７，８）が、該ベース部分にて互いに二つずつ対向して設けられた凹部（２１，２２，２１Ａ，２２Ａ）を通って外部へ抜けていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【請求項１０】
第一および第二のハウジング部材（２，３）がダイキャスティングにより合金から作られていることとする請求項１に記載の熱型流量センサ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｕ字形のセンサ管と、ハウジングとを備え、センサ管が二つの脚管と、該二つの脚管を連結する連結管とにより形成され、該連結管に二つの隣接する電気抵抗素子が取り付けられたセンサ管が流れに対しての入口部および出口部とを有している熱型流量センサ装置に関する。
【０００２】
このような流量センサ装置は、特許文献１で知られている。この文献に記載の流量センサ装置は、Ｕ字形の（毛細管の）センサ管とこれを支持するハウジングとを有し、該Ｕ字形のセンサ管の両端の脚管が貫通するため二つの孔を有するベース部上に上記脚管が取り付けられる。該ハウジングは、抵抗素子が取り付けられているＵ字形のセンサ管の連結管の部分を収容するチャンバを形成している。
【０００３】
毛細管を有する流量センサ装置を備える熱型の流量計は、流動管内を流れる流体（気体または液体）への管の壁面からの熱の移動が、質量流量、流体温度と壁面の温度との差、および流体の特定の熱容量の関数であるという事実を利用している。流量センサ装置の広く様々な形態が質量流量制御装置に利用されている。例えば、一つの特定の型の構成としては、流動管と熱伝導接触する二つ以上の抵抗素子が設けられた、ステンレス鋼製の該流動管を利用している。抵抗素子は、一般的には、高温度係数の抵抗を有する材料から作られている。それぞれの素子は、ヒータとして、温度検出器として、あるいはその両方として作動する。管を通る流体の流れに熱を供給するために、少なくとも一つの抵抗素子（ヒータ）に電流が与えられる。二つのヒータに一定の電力が与えられると、管内を流れる流体の質量流量が、抵抗素子間の温度差から得られる。他の方法では、第一の位置の第一の抵抗素子がヒータそして温度検出器として作動し、第一の位置に対して上流における第二の位置に配置された第二の抵抗素子が温度検出器として作動する。制御回路は抵抗素子間の温度差を予め定められた固定値に維持し、管内を流れる流体の質量流量が、該制御回路のデータから得られる。この測定法は、ＣＴ（Constant Temperature）法として知られている。
【０００４】
しかしながら、この発明は、特許文献２に記載されているＴＢ（Thermal Balancing）法の利用にも適している。
【特許文献１】国際公開第０３／０５８１８０号
【特許文献２】欧州特許出願公開第１４７７７７９号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述の測定法およびシステムでは、管内での流量が比較的少ない場合に測定信号に不正確さが生じ得るという問題がある。発明者はこれが、センサ管（の部分）または抵抗素子にわたって、あるいはその双方で温度勾配が生じて得る環境において質量流量計がしばしば使用されていることによると考えている。例えば、上述の特許文献１で知られている構成では、脚管と該脚管を連結管に連結する湾曲部とがハウジング外へ延びている。
【０００６】
本発明は、その目的のために、作動中において、作動部分、すなわち、互いに離れた側に位置している抵抗素子の端部同士間範囲にわたってそしてそれのみならず脚管（および脚管を連結管に連結する湾曲部）にわたっても、温度勾配の発生をなくすか、できる限り小さくするべく、外的な温度勾配の影響に対処できる、冒頭に述べた形式の流量センサ装置を有する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、冒頭で述べたような流量センサ装置では、この目的のために、上記ハウジングは、凹部が形成された内側表面、および外側表面のそれぞれを有する、熱良導材料の第一および第二のハウジング部材を含んでいて、ハウジング部材は該ハウジング部材の内側表面が互いに対向して位置しており、Ｕ字形のセンサ管は、上記内側表面に平行に延びる主面を有し、ハウジング部材がＵ字形のセンサ管の連結管と脚管とを包囲しており、上記センサ管は、入口部と上流の抵抗素子との間の第一の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていて、かつ、出口部と下流の抵抗素子との間の第二の位置におけるハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされていることを特徴としている。
【０００８】
センサ管あるいはその一部にわたって生じる温度勾配の問題は、二つの電気抵抗素子を有するセンサ管の連結管、そしてセンサ管の湾曲部および脚管をハウジングが包囲するように、熱良導材料で作られた二つのハウジング部材の間でセンサ管が局所的かつ熱的にクランプされることにより大幅に解決できることが分かった。良好な作動を達成するために、好ましい形態では、Ｕ字形のセンサ管は、入口部と上流の抵抗素子との間、および出口部と下流の抵抗素子との間にて、熱的にクランプされている部分を除いては、ハウジング部材に対して自由な状態で配置されている。
【０００９】
効果的で熱的なクランプの長所を有する形態では、第一のハウジング部材の内側表面の凹部および第二のハウジング部材の内側表面の凹部は互いに対応する溝を形成しており、該溝は、センサ管が熱的にクランプされている位置で、他の位置よりも浅くなっている。
【００１０】
二つの電気抵抗素子の互いに離れる端部の範囲でのセンサ管の部分（すなわち、センサ管の作動部分）は、（巻き線が設けられた）センサ管がハウジング部材の面から自由な状態で配置されるような寸法関係で上記内側表面の溝に面して位置されている。
【００１１】
しかしながら、もし、凹部（溝）が、作動中に空気の流れ（煙突効果）が作動部分のまわりで生ずるほど広い隙間を形成するときには、このセンサ管の部分を包囲する空間に発泡スチロールを設けることが適当であるかもしれない。しかしながら、これの欠点は、センサの速い作動を妨害することである。
【００１２】
それゆえに、さらなる形態では、抵抗素子が設けられているＵ字形のセンサ管の連結管が、ハウジング部材の内側表面の互いに対向する凹部である溝によって狭く囲まれていることを特徴としている。
【００１３】
巻き線が設けられたセンサ管を狭い隙間で囲むということは、作動中においてセンサ管の周囲の空気が静止しており、したがって、センサの周囲では熱の流れ（いわゆる煙突効果）が生じないようにするのに役立つ。
【００１４】
クランプの形態としては、Ｕ字形のセンサ管が、脚管から連結管への移行部分（湾曲部）にて、または、該移行部分に隣接した位置にて、ハウジング部材同士の間で局所的かつ熱的にクランプされている。換言すると、Ｕ字形のセンサ管のクランプは湾曲部または該湾曲部に隣接した領域でなされる。クランプが湾曲部に隣接した領域で行われるときには、これは作動部分に近い側の位置であってもよいが、好ましくはそのようなクランプは作動部分から離れた位置でなされる。
【００１５】
クランプの他の形態では、Ｕ字形のセンサ管は、入口部および出口部に隣接した位置にて、ハウジング部材の間で局所的かつ熱的にクランプされている。センサ管の入口部と出口部に隣接した位置での温度勾配の発生は、このようにして回避される。これは、特に、太いセンサ管が使用された場合に重要となる。
【００１６】
ＣＴ原理によって作動する測定システムにおける更なる問題は、比較的低い流量がセンサ管に流れているとき、測定信号に（望ましくない）ディップが生じることである。
【００１７】
このディップを防ぐために、さらなる形態では、さらに、Ｕ字形のセンサ管の連結管が二つの電気抵抗素子の間の位置におけるハウジング部材同士の間で熱的にクランプされている。この形態は、熱的なクランプが湾曲部または湾曲部に隣接する位置でなされた場合、特に、抵抗値が等しくない抵抗素子の組合せの場合に重要である。
【００１８】
二つの抵抗素子の間の位置におけるセンサ管とハウジング部材との間で熱的接触をさせると、この位置でヒータにより発生した熱もセンサ管の壁部を伝わる熱もハウジングに向かって放熱される。したがって、該熱は、上流の温度検出器には到達しない、すなわち、温度検出器には何の影響も与えない。上述したディップはこのようにしない場合の好ましくない事態により生ずる。
【００１９】
本発明のさらなる形態では、ハウジング部材はそれぞれベース部分を含んでおり、センサ管の脚管が、該ベース部分にて互いに二つずつ対向して設けられた凹部を通って外部へ抜けている。この形態は、質量流量制御装置のベース構造へのセンサ装置の設置の自動化と、センサ装置の製造の自動化を可能とする。
【００２０】
さらに自動化するには、第一および第二のハウジング部材がダイキャスティングにより合金から作られていることである。ハウジング部材のダイキャスティングは、ハウジング部材のいかなる研磨や機械加工をも不要とする。
【発明の効果】
【００２１】
本発明によれば、熱型流量センサ装置を既述のごとく構成したので、センサ管あるいはその一部にわたって、温度勾配をなくすか、できる限り小さくすることができ、その結果、測定信号が不正確となることが抑制される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明のいくつかの実施形態を、添付図面を参照しつつ、詳細に説明する。
【００２３】
図１の分解図は、本発明による流量センサ１の主な構成を示している。流量センサ１は第一ハウジング部材２と第二ハウジング部材３を有している。該ハウジング部材２，３は、ダイキャスティング技術の手段によって、亜鉛−アルミニウム合金のような熱良導材料の合金から作ることができる。上記ハウジング部材２，３は、互いに嵌合されることにより、すなわち、内側表面４，５が互いに接して位置することにより、組み立てられる。それらは、ほぞ孔とほぞとの接合によって心出しされる。同図の場合、ほぞはハウジング部材２の内側表面の突部２６，２６Ａによって形成され、ほぞ孔は突部に適合するハウジング３の開口部によって形成される。これは、ハウジング部材をトレイに配置し、センサ管を一方の該ハウジング部材に配置して、該ハウジング部材をロボットによって互いに嵌合させる工程の自動化を可能とする。
【００２４】
参照番号６はセンサ管を示す。この例では、このセンサ管６は、一つの部材からなる、外径０．３ｍｍそして内径０．２ｍｍのステンレス鋼の毛細管である。センサ管６はＵ字形に湾曲されており、連結管９に連結される脚管７および８を一体に有する形態をなしている。脚管７は測定されるべき流れΦを受け入れる入口部を有し、脚管８は測定されるべき流れΦのための出口部を有する。連結管９は、該連結管と熱良導接触している抵抗素子１０および１１を支持している。図１では、抵抗素子は連結管９を巻くように設けられた電気巻き線として構成されている。しかしながら、本発明はこの実施形態に限定されない。組立ての際、センサ管６は、ハウジング部材２の内側表面４に設けられた溝に、電気抵抗素子１０，１１とともに配置される。このようにして、Ｕ字形のセンサ管の主面は、ハウジング部材２の内側表面と（そして組立後はハウジング３の内側表面とも）平行となる。ハウジング部材２における溝のパターンはＵ字形のセンサ管６に沿っている。溝のパターンは異なる幅および深さの溝で構成されている。これはすべて、図１のハウジング部材２の断面図である図２にて明確に示されている。
【００２５】
Ｕ字形の管の湾曲部１４および１５に適合する溝１２および１３は、ここで示される実施形態において重要である。該溝１２および１３は（そしてハウジング部材３の溝１２Ａおよび１３Ａも）底部を有しており、組立後、局所的かつ熱的にクランプするために湾曲部が該底部に配置されるように該溝１２，１３の底部は隣接した溝の底部よりも高くなっており（すなわち、溝が浅くなっており）、より広く深い溝１６が溝１２と１３との間に形成されている。この溝１６は組立後におけるＵ字形管６の作動部分、すなわち互いに離れた側に位置している電気巻き線１０および１１の端部同士間に位置する連結管９の部分を包囲する。この例では、該作動部分は溝１６の壁および底部とは隙間を形成していて完全に自由な状態で配置される。溝１６の幅および深さは、好ましくは、作動中、溝内の空気が静止した状態を可能な限り確保するために、上記作動部分が小さな隙間をもって包囲されている。抵抗素子と溝１６の壁との間の距離は、例えば、０．１ミリメートルのオーダである。センサ管６の脚管７，８は、それらの入口部１９，出口部２０が溝１２，１３よりも僅かに深い溝２１，２２で案内される。結果として、該端部間の距離が固定され、例えば、質量流量制御装置の他の要素との組立てが容易となる。入口部１９，出口部２０はシール部材（ガスケット）２３，２４を貫通して外部へ延びている（図２参照）。該シール部材２３，２４はエラストマー材料で作ることができる。
【００２６】
湾曲部がクランプされた溝１２，１３および１２Ａ，１３Ａは、好ましくは平坦な底部を有している。センサ管の端部が案内されている溝２１，２２および２１Ａ，２２Ａは、丸い底部を有していてもよい。しかしながら、本発明は、これに限定されない。
【００２７】
好ましくは第一ハウジング部材２の溝のパターンに対応する溝のパターンを有する第二ハウジング部材３が、最終的な組立時に、第一ハウジング部材２上に配置されたとき、センサ管６は、湾曲部の領域にてハウジング部材２，３に熱的に接触するように、すなわち、熱的にクランプされるようにもたらされる。この目的のために両ハウジング部材は、ハウジング部材３を通ってハウジング部材２のタップ孔に螺入するボルト（図示せず）によって互いに締め付けられる。クランプされている間、Ｕ字形のセンサ管６の湾曲部は僅かに歪んでいても（扁平になっても）よい。組立後において、Ｕ字形のセンサ管６の入口部１９，出口部２０は組み立てられたハウジング部材２，３から僅かに突出する。入口部１９，出口部２０は、溝２１，２２と溝２１Ａ，２２Ａとの組み合わせによって案内されてハウジングの外部にて固定された相互の距離を保っている。したがって、センサ１は質量流量制御装置のベース部分に容易に取り付けることができる。ハウジング部材２，３における低位置にある部分３０，３０’はベース部分と一体としてもよい。それらは、質量流量制御装置のベース部分へのハウジング部材２，３の取付けを可能とするそれぞれの孔部が設けられた締付け要素３１，３１’を有する。図１において、ハウジング部材２の内側表面の溝１２，１３，１６，２１，および２２と対応する、ハウジング部材３の内側表面５の溝（「対応溝」）には、参照番号１２Ａ，１３Ａ，１６Ａ，２１Ａおよび２２Ａが付されている。
【００２８】
ハウジング部材２，３はそれぞれ、Ｕ字形センサ管に適合した溝のパターンの他に中央凹部２５，２５Ａが形成されている。これらの中央凹部は、接続箔または接続（プリント回路）板のような接続要素を設置するための空間を提供する。上記接続要素は図２に示す構成で見ることができる。一方の側では、電気巻き線と接続されている接続電線が接続されており、他方の側では、より太い電線２７，２８，２９が外部の回路との接続をもたらしている。プリント回路基板は脚管に固定されていてもよい。センサ管が比較的太い場合には、該センサ管は、ハウジング内にて、プリント回路基板の「下」の外部に近い位置で熱的にクランプされていてもよい。
【００２９】
図３は、図１および図２のハウジング部材２の他の実施形態を示す断面図である。
【００３０】
図２の構成との相違点は、図３の場合では、抵抗素子３６および３７の間の位置にてＵ字形のセンサ管３５の作動部分３４を包囲している溝３３に、作動部分３４を配置する立壁部３２Ａが設けられている点である。ハウジング部材３２が、対応する溝（図示せず）のパターンを有する対応ハウジング部材と組み立てられたとき、センサ管３５は電気抵抗素子３６と３７の間の位置にて熱的にクランプされる。
【００３１】
このようにして、作動中、巻き線３６および３７の間にて、熱はセンサ管からハウジングへ移動する。このことは、熱的流量センサ装置をＣＴ法によって作動させるときに正確な測定値を得るために重要である。もし抵抗素子３６をセンサ、そして抵抗素子３７をヒータとして使用するならば、ヒータ３７からセンサ３６への好ましくないいかなる影響をも妨げるためには、ハウジング部材３２および対応ハウジング部材における熱的な接触部分（立壁部）３２Ａが、ヒータ３７よりもセンサ３６の近く（好ましくは、センサ３６に可能な限り近く）に位置していることが重要である。このことは全て、図４を参照してさらに説明される。
【００３２】
「Ｕ字形の管」なる表現は、連結管によって連結された二つの脚管のいかなる構成をも意味している。例えば、脚管が、連結管の両端位置よりも短い距離で該脚管の端部が位置している構成である。
【００３３】
図１から図３では、Ｕ字形管の湾曲部の領域でのクランプを示したが、該クランプは、これに代えて、湾曲部と電気抵抗素子の端部との間におけるそれぞれの位置や、湾曲部と脚管の入口部および出口部との間におけるそれぞれの位置でなされてもよい。
【００３４】
図４Ａは、本発明による流量センサのための、二つの部分からなるハウジング３８の概要を示す縦断面図であり、図４Ｂは、図４ＡにおけるIV線断面図である。ハウジング部材３９は、二つの隣接する電気抵抗素子ＡおよびＢが設けられたＵ字形のセンサ管４０に適合する凹部（溝）が形成された形態で示されている。センサ管４０は、二つの湾曲部４１および４２を有している。これらの湾曲部は、ハウジング部材３９の内側表面に形成されたそれぞれの凹部（溝）４３，４４内で、本実施形態にて（上記内側表面と接触することなく）抵抗素子Ａ，Ｂが設けられたセンサ管４０の部分とともに自由な状態で配置されている。凹部４３と４４との間で、センサ管４０は、より浅い凹部４５の内側表面に配置される。そのようなより浅い凹部は対応ハウジング部材３９’（図４Ｂ）にも形成されており、したがって、センサ管４０は、ハウジング部材３９’がハウジング部材３９に対して組み立てられたとき、ハウジング部材の間で局所的にクランプされる。そして、ＣＴ法の改良で望まれるように、センサ管からの熱はハウジングへ直接移動することが可能となる。
【００３５】
図４Ａで示される形態では、さらに、ハウジング部材３９が対応ハウジング部材３９’と接合したとき（図４Ｂ）、それぞれの抵抗素子Ａ，Ｂから離れた側で浅い凹部４８，４９に適合するＵ字形のセンサ管４０の脚管４６，４７が湾曲部４１，４２の下側で熱的にクランプされている。その結果、外部の温度勾配は、抵抗素子ＡおよびＢの互いに離れて位置する端部同士の間に位置するセンサ管４０の作動部分に及ばない。比較のため、図１から図３に示されるセンサ管は熱的に湾曲部の領域でクランプされている。
【００３６】
図４Ａおよび図４Ｂに示されるように、ハウジング部材３９および３９’で形成されるハウジング３８はベース６１に配置される。自由な状態で中央凹部６２を貫通して延びる、センサ管４０の脚管４６，４７は、ベース６１の筒状部５０，５１を通って外部へ延出する。ベース６１は別体として分離形成された要素であってもよいし、ハウジング部材３９，３９’と一体となった要素であってもよい。ベース６１には、必要な回路が配されたプリント回路基板を内部に有する立壁部が設けられていてもよい。
【００３７】
図５Ａは、本発明による流量センサのためのハウジングの概要を示す縦断面図であり、図５Ｂは、図５ＡにおけるV線断面図である。これらの図は、図４Ａと図４Ｂに示された構成に代わる構成を示す。ここでは、脚管５２，５３は、図４Ａ，４Ｂの構成における溝４８，４９よりも長い範囲で、（浅い）溝５５，５６により保持されているので、Ｕ字形のセンサ管５４の脚管５２，５３が、より長い距離にわたって確実にクランプされる。
【００３８】
図５Ａでは、ハウジング部材６０の内側表面の溝５５，５６は湾曲部の下側からベース５９に向かってまっすぐに延びている。図４の構成と同様、この構成においても、センサ管５４の熱的なクランプは、抵抗素子Ａ’とＢ’との間でなされてもよい。
【００３９】
「Ｕ字形の管」なる表現は、連結管によって連結された二つの脚管のいかなる構成をも意味している。例えば、脚管が、連結管の両端位置よりも短い距離で該脚管の端部が位置している構成である。
【００４０】
図１から図３では、Ｕ字形管の湾曲部の領域でのクランプを示したが、該クランプは、これに代えて、湾曲部と電気抵抗素子の端部との間におけるそれぞれの位置や、湾曲部と脚管の入口部および出口部との間におけるそれぞれの位置でなされてもよい。
【００４１】
一般的に、センサ管は、温度のプロファイルがちょうど終わる部分で熱的にクランプされているのが好ましい。換言すると、センサ管のクランプはセンサ（実際には巻き線）の熱プロファイルに依存する。
【００４２】
さらに、本発明による流量センサの特定の形態では、連結管にて互いに隣り合っている、好ましくは連結管の中央に対して対称に位置している二つの巻き線（抵抗素子）が設けられている。ベースにおける温度勾配がセンサの作動部分に到達する前に該温度勾配を平らにするために、ハウジング部材は、作動中、連結管が最上位置に配置されるハウジングを形成する。
【００４３】
「局所的なクランプ」なる表現は、ここでは、適切で有効な経路の一部にわたるクランプ、例えば、センサ管の入口部と上流の抵抗素子との間の経路の一部にわたる、または、センサ管の出口部と下流の抵抗素子との間の経路の一部にわたるクランプを意味する。
【図面の簡単な説明】
【００４４】
【図１】本発明によるセンサ管および流量センサの二つのハウジング部材を示す分解斜視図である。
【図２】図１のセンサ管が取り付けられた図１のハウジング部材の一方を示す断面図である。
【図３】本発明による流量センサのためのハウジング部材に関する他の実施形態を示す断面図である。
【図４】（Ａ）は、本発明による流量センサのための、二つのハウジング部材からなるハウジングの概要を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）におけるIV線断面図である。
【図５】（Ａ）は、本発明の流量センサのための他のハウジングの概要を示す縦断面図であり、（Ｂ）は、（Ａ）におけるV線断面図である。
【符号の説明】
【００４５】
１  流量センサ
２  第一ハウジング部材
３  第二ハウジング部材
４，５  内側表面
６  センサ管
７，８  脚管
９  連結管
１０，１１  電気抵抗素子
１９  入口部
２０  出口部
【図１】
2007333735.tif 000003
【図２】
2007333735.tif 000004
【図３】
2007333735.tif 000005
【図４】
2007333735.tif 000006
【図５】
2007333735.tif 000007