(57)【要約】【課題】  動圧作用を発生させるための動圧発生部の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図る。【解決手段】  軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、先ず、素材２ａ’表面にインク１２を供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターン１を形成する。次いで、非マスク部１ｂの素材表面を化学エッチングで表面粗さＲａ０．３以内となるように除去し、その後、マスキングパターン１を除去する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、
軸部材の素材表面にインクを供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成し、非マスク部の素材表面を化学エッチングで表面粗さＲａ０．３以内となるように除去し、その後、マスキングパターンを除去することを特徴とする動圧発生部の形成方法。
【請求項２】
インクとして、光硬化性のものを用いる請求項１記載の動圧発生部の形成方法。
【請求項３】
塩化第二鉄の４６±２Ｂｅ’溶液をエッチング液として使用する請求項１記載の動圧発生部の形成方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、動圧軸受装置に使用する軸部材の外周および端面に設けられる動圧発生部の形成方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
動圧軸受装置は、軸部材と、軸部材の外周に位置する軸受部材の相対回転により軸受隙間に生じた潤滑油の動圧作用で圧力を発生させ、この圧力で軸部材を非接触支持する軸受装置である。この動圧軸受装置は、高速回転、高回転精度、低騒音等の特徴を備えるものであり、近年ではその特徴を活かして、情報機器、例えばＨＤＤ、ＦＤＤ等の磁気ディスク装置、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ／ＲＷ、ＤＶＤ−ＲＯＭ／ＲＡＭ等の光ディスク装置、ＭＤ、ＭＯ等の光磁気ディスク装置などのスピンドルモータ用の軸受、レーザービームプリンタ（ＬＢＰ）のポリゴンスキャナモータ用の軸受、あるいは電気機器、例えばプロジェクタのカラーホイール、軸流ファンなどの小型モータ用の軸受として、その用途を拡大しつつある。
【０００３】
この種の動圧軸受装置では、例えば軸部材の外周面に、ヘリングボーン形状やスパイラル形状等に配列した動圧溝が形成される。この特殊かつ複雑な形状の動圧発生部を精度良く形成するための方法として、以下に述べる方法が知られている。
【０００４】
（１）軸部材の素材表面にマスキングのための皮膜を形成し、レーザー光により前記皮膜の動圧溝に対応する部分を除去した後、エッチング処理、皮膜除去作業を経て動圧溝を形成する（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
（２）動圧溝形状に対応する印刷型を、軸部材の素材外周面と接触させながら軸部材の回転に応じて移動させることにより、軸部材の素材外周に動圧溝以外の部分を耐食インクで印刷すると共に、軸部材の印刷型との接触部以外の位置に光線を照射してインクを硬化させる。その後、非印刷部のエッチング処理、印刷部の除去作業を行い、動圧溝を形成する（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−２００４００号公報
【特許文献２】特公昭６２−４９３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
上記（１）の動圧発生部形成方法によれば、有機バインダ（インク）からなる皮膜層を動圧発生部形成領域全面にわたって形成した後、レーザー光による動圧溝形成のための皮膜除去（パターニング）が必要となるため、インク使用量と形成工程が増加し、かつレーザー光照射設備が必要となるため、高コスト化するとともに高額投資が必要となる。
【０００７】
一方、上記（２）の方法によれば、印刷型が軸部材の外周面と接触して移動するため、接触部での摩耗が生じやすく、量産時には印刷型の摩耗や変形等による印刷精度の低下が懸念される。さらにインク供給装置から供給された耐食インクは、印刷型を経て軸部材の外周面に到達し、さらにスキージにより圧迫されて軸部材外周面に定着するから、溝形成に関与しない余分な耐食インクが必要であり、高価な耐食インクの使用量が増して不経済である。また、動圧溝および素材形状に対応した印刷型が必要となるため、近年の多種多様な要求に対応しづらい。
【０００８】
本発明の課題は、動圧溝を始めとする、動圧作用を発生させるための動圧発生部の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図ることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するため、本発明では、軸部材の表面に、軸受隙間に動圧作用を発生させるための動圧発生部を形成するに際し、軸部材の素材表面にインクを供給して、微量インクの集合体で動圧発生部の形状に対応したマスキングパターンを形成し、非マスク部の素材表面を化学エッチングで表面粗さＲａ０．３以内となるように除去し、その後、マスキングパターンを除去することを特徴とする動圧発生部の形成方法を提供する。
【００１０】
この方法によれば、高精度のマスキングパターン形成が可能となる一方、ノズルと素材表面が非接触となるので、従来方法で問題となる接触部での摩耗による精度低下を回避することができる。また本方法ではスキージが不要で必要箇所にのみインクが使用されるので、インクはマスキングパターンの形成に関与するだけの使用量で足り、インクの使用量を削減することができる。さらには、印刷型や印刷型を保持するための保持部材や、従来別方法で必要であった素材表面を被覆する皮膜のマスキングパターン成形工程が不要であり、成形装置を簡略化することができ、低コスト化を図ることができる。
【００１１】
非マスク部の素材表面を化学エッチングで除去する際、エッチング進行中の除去部分の表面粗さは略一定に維持される。除去部分の表面粗さ（ＪＩＳ  Ｂ０６０１に規定の中心線平均粗さ）がＲａ０．３以内となるようにエッチングを行えば、例えば回転槽や振動槽内に多量の軸部材を収容して同時にエッチングする場合でも、除去部分のエッジがマスクを削ってそのマスキング機能を低下させるような事態を防止することができる。これにより軸部材の大量エッチングが可能となり、軸部材の製作コストの低減を図ることができる。また、Ｒａ０．３以内であれば、軸受の使用時も、動圧発生部の底部分が、これと対向する相手部材に接触して傷付けるような事態を回避でき、所定の動圧効果が安定して得られる。
【００１２】
Ｒａ０．３以下の表面粗さは、エッチング液として塩化第二鉄の４６±２Ｂｅ’溶液を使用することにより得ることができる。
【００１３】
マスキングパターンを形成するインクには、種々のエネルギー付加により硬化する樹脂が使用できるが、コスト面や作業環境等を考慮すると、光硬化性樹脂を使用し、光線の照射によりこの樹脂を硬化させるのが好ましい。光硬化性樹脂としては、紫外線硬化樹脂や赤外線硬化樹脂の他、可視光硬化樹脂なども使用することができるが、低コストでかつ短時間で硬化可能な紫外線硬化樹脂が特に好ましい。
【００１４】
以上に述べた動圧発生部の形成方法は、軸部材の外周のみならず、軸部材の端面に動圧
発生部を形成する際にも適用することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、動圧発生部の形成工程を簡略化して、その加工コストの低減を図ることができる。また、大量エッチング処理が可能となるので、軸部材の製造コストを低減して流体軸受装置の低コスト化を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明方法の実施形態を図１〜図６に基づいて説明する。
【００１７】
本発明方法は、素材表面にマスキングパターンを形成する第１工程と、非マスク部を化学エッチングにより除去する第２工程と、マスキングパターンを除去する第３工程とからなる。
【００１８】
図１は、第１工程を示すもので、軸部材２（図６参照）を構成する軸部２ａの素材２ａ’の外周に樹脂組成物を供給してマスキングパターンを形成する装置、ここではインクジェット方式の印刷装置の概要を示すものである。素材２ａ’はステンレス鋼等の金属材料で形成される。図示のように、この印刷装置は、回転駆動される素材２ａ’の外周面２ａ１と対向させた一又は複数のノズルヘッド１０と、ノズルヘッド１０に対してその円周方向位置を異ならせて配置した硬化部３とを主要な構成要素とする。ノズルヘッド１０には、微小液滴状態のインク１２を吐出する複数のノズル１４が軸方向に配設されている。インク１２は、耐エッチング性を有するもので、例えば光硬化性インク、好ましくは紫外線硬化樹脂をベース樹脂とする紫外線硬化インクが使用される。必要に応じて適当な割合で有機溶媒を配合される。硬化部３は、樹脂組成物を硬化させるための光を照射する光源で、例えば紫外線ランプが使用される。
【００１９】
紫外線硬化インクのベース樹脂としては、例えばラジカル重合性モノマーやラジカル重合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーの他、イミドアクリレート、あるいは環状ポリエン化合物やポリチオール化合物に代表されるエン・チオール化合物が挙げられるが、この中でもラジカル重合性モノマーやラジカル重合性オリゴマー、カチオン重合系モノマーを好ましく使用することができる。ラジカル重合性モノマーとしては、例えば単官能、２官能あるいは多官能のアクリレート系モノマーや、メタクリレート系モノマーが使用でき、ラジカル重合性モノマーとしては、例えばウレタンアクリレートや、エポキシアクリレート、ポリエステルアクリレート、あるいは不飽和ポリエステルなどが使用できる。また、カチオン重合系モノマーとしては、例えばビスフェノールＡ系エポキシ樹脂や、フェノールノボラックエポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂の他、３−エチル−３−ヒドロキシメチルオキセタン、１，４−ビス｛［（３−エチル−３−オキセタニル）メトキシ］メチル｝ベンゼン、３−エチル−３−（フェノキシメチル）オキセタン、ジ［１−エチル（３−オキセタニル）］メチルエーテル、３−エチル−３−（２−エチルへキシロキシメチル）オキセタン、３−エチル−３−｛［３−（トリエトキシシリル）プロポキシ］メチル｝オキセタン等のオキセタン樹脂が使用できる。これら紫外線硬化樹脂は、単体で使用する他、２種類以上を混合したものをベース樹脂として使用することもできる。
【００２０】
これらベース樹脂には、紫外線照射により重合反応を起こさせるためのラジカル系光重合開始剤や、カチオン系光重合開始剤等の光重合開始剤が配合される。ラジカル系光重合開始剤としては、例えばベンゾフェノンや、オルソベンゾイン安息香酸メチル、４−ベンゾイル−４‘−メチルジフェニルサルファイド、ベンゾフェノンのアンモニウム塩、イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、チオキサントンのアンモニウム塩に代表される水素引抜型の光重合系開始剤が使用でき、あるいはベンゾイン誘導体や、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシアルキルフェノン、α−アミノアルキルフェノン、アシルホスフィンオキサイド、モノアシルホスフィンオキサイド、ビスアシルホスフィンオキサイド、アクリルフェニルグリオキシレート、ジエトキシアセトフェノン、チタノセン化合物に代表される分子内開裂型の光重合開始剤が使用できる。また、カチオン系光重合開始剤としては、例えばトリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネートや、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロフォスフェート、ＳＰ−１７０やＳＰ−１５０（共に旭電化（株）製）、ＦＣ−５０８やＦＣ−５１２（共に３Ｍカンパニー社製）、ＵＶＥ−１０１４（ゼネラルエレクトリックカンパニー社製）に例示されるポリアリールスルホニウム塩、Ｕｖａｃｕｒｅ１５９０やＵｖａｃｕｒｅ１５９１（共にダイセル・ユーシービー社製）に例示されるトリアリルスルフォニュムヘキサフルオロフォスフェード塩の混合物、Ｉｒｇ−２６１（チバ・ガイギー社製）に例示されるメタロセン化合物、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートやＰ−ノニルフェニルフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート、４，４‘−ジエトキシフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネート等のポリアリールヨードニウム塩が使用できる。これら光重合開始剤は、１種類であるいは２種類以上を組み合わせて使用することもできる。
【００２１】
以上の例示では、インクとして紫外線硬化タイプを例示したが、熱硬化タイプのインクを使用することもできる。
【００２２】
支持部１３にて素材２ａ’を両端支持しつつ回転させながらノズルヘッド１０を軸方向に往復スライドさせ、ノズル１４からインク１２を吐出することにより、インク１２の微小液滴が素材２ａ’の外周面２ａ１の所定位置に着弾する。この微小液滴が多数集合することで、素材２ａ’の外周面２ａ１にマスク部（マスカント）１ａが形成され、このマスク部１ａと非マスク部１ｂとでマスキングパターン１が形成される。マスキングパターン１の印刷は軸部材２の回転に伴って徐々に円周方向に進行する形で行われ、印刷部分が硬化部３の対向領域に達すると、紫外線の照射を受けたインク１２が重合反応を起こして順次硬化する。最終的には、各ノズルからのインクの供給・停止を適宜切換えながら素材２ａ’を１〜数十回転させて、素材２ａ’の全周にマスキングパターン１を形成する。印刷したマスキングパターン１は、図２（ａ）に示すように、素材表面から盛り上がったマスク部１ａと非マスク部１ｂとで凹凸断面を形成している。
【００２３】
図３は、同じく第１工程を示すもので、軸部材２を構成するフランジ部２ｂの素材２ｂ’の上側端面２ｂ１または下側端面２ｂ２にマスキングパターンを形成するインクジェット方式の印刷装置の概要を示すものである（下側端面２ｂ２に形成する場合は上側端面２ｂ１に成形する場合と上下の差以外は全くの同様であるので、以下説明は省略する）。主要な構成要素は図１の印刷装置と同様であるが、異なる点としては、ノズルヘッド１０および硬化部３が回転駆動される素材２ｂ’の上側端面２ｂ１と対向させて配置され、かつノズルヘッド１０と硬化部３を上側端面２ｂ１上で円周方向の位置を異ならせて配置した点である。
【００２４】
以上に述べた印刷装置では、インク１２の微小液滴の吐出を制御することで印刷後のインク膜厚およびマスキングパターンの形状を精度良く管理することができる。よって従来のように、パターン形成領域全面にわたりマスキング層を形成する場合と比較すると、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足り、さらにレーザー等を用いるマスキングパターン形成工程が不要となり、印刷したマスキングパターン１をそのまま利用して、エッチング工程に移ることができるため、かかる製造コストを低減することができる。
【００２５】
また、本発明によるマスキングパターンの形成方法では、従来の印刷機のように印刷型と軸部材２との接触部を持たないから、接触部での摩耗による印刷精度の低下を回避することができ、量産時にも安定してマスキングパターン精度を確保することができる。さらに印刷型や印刷型を保持するための印刷用スクリーン等が不要であり、かつ軸部材２の回転に応じて印刷型を移動させる機構も不要となるので、印刷装置の構造を簡素化することができる。また、上記と同様に、インク１２はマスキングパターン１の形成に関与するだけの使用量で足りるので、スキージを必要とする従来装置に比べ、インク１２の使用量を低減して低コスト化を図ることができる。
【００２６】
なお、インク１２の定着方式としては、上述のインクジェット方式のみならず、例えば電気泳動を利用して液滴を吐出する方法、いわゆるノズルレスタイプの液滴吐出方式、あるいはマイクロピペットを介してインク１２を液滴の状態ではなく連続的に素材２ａ’の表面に吐出する方式、あるいは素材表面までの距離を短縮し、インク１２を吐出と同時に定着面に接触させる方式などを使用することもできる。また、インクジェット印刷機の印刷方法は、連続（コンティニュアス）式、オンデマンド式の何れでもよい。
【００２７】
上記第１工程でのマスキングパターンの形成後、素材２ａ’は第２工程に移送される。
【００２８】
図２（ｂ）に示すように、第２工程では、外周面２ａ１の非マスク部１ｂの表面が化学エッチングにより規定の深さ分（数μｍ）だけ除去される。電解エッチングの場合、電解電源を必要とし、処理装置が高価かつ複雑なものとなるが、化学エッチングであればこれらの問題点を解消することができる。
【００２９】
非マスク部１ｂをエッチングする際、エッチング進行中のエッチング面の表面粗さは略一定に保持される。この時のエッチング面の表面粗さがＲａ０．３以内であれば、例えばエッチングに際し、回転槽や振動槽内に多量の素材２ａ’を入れてバレル処理するような場合でも、エッチング面のエッジが他の素材２ａ’のマスク部１ａ削ってそのマスキング機能を低下させるような事態を防止することができる。これにより素材２ａ’の大量エッチングが可能となり、軸部材の製作コストのさらなる低減を図ることができる。また、Ｒａ０．３以内であれば、軸受の使用時も、動圧発生部の底部分が、これと対向する相手部材に接触して傷付けるような事態を回避でき、所定の動圧効果が安定して得られる。Ｒａ０．３以内の表面粗さは、エッチング液として、例えば比重４０〜５０Ｂｅ’、望ましくは４６±２Ｂｅ’程度の塩化第二鉄溶液を使用することで得られる。
【００３０】
最後に、素材２ａ’を第３工程に移送し、素材２ａ’の水洗後、マスク部１ａをジクロロメタン溶液等の有機溶剤等で膨潤もしくは剥離等させて除去する。これにより、図２（ｃ）に示すように、動圧溝Ａｂと、動圧溝Ａｂを区画形成する部分（区画部）Ａａからなる動圧溝発生部Ａが形成される。
【００３１】
なお、手順としては全くの同一であるため、詳細な説明は省略するが、図２（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明した上記と同様の手段で、フランジ部２ｂの素材２ｂ’の上側端面２ｂ１に、例えば図４に示すスパイラル形状に配列した動圧溝Ｂｂおよび区画部Ｂａからなる動圧発生部Ｂが形成され、さらに下側端面２ｂ２に例えばスパイラル形状の動圧溝と区画部からなる動圧発生部Ｃ（図示省略）が形成される。なお、動圧発生部Ｂ、Ｃの何れか一方または双方は、プレス加工で成形することもできる。
【００３２】
このようにして、動圧発生部Ａ、Ｂ、Ｃを形成した軸部２ａとフランジ部２ｂを圧入等の方法で一体化することにより図５および図６に示す軸部材２が得られる。この他、軸部２ａの素材２ａ’とフランジ部２ｂの素材２ｂ’を予め鍛造等で一体成形し、これを図１および図３に示す第１工程の印刷装置に順次供給してそれぞれマスキングパターンを形成した後、第２工程、さらに第３工程を経て軸部材２を形成することもできる。この場合、エッチング処理工程は、軸部２ａとフランジ部２ｂで同時に行うことができるので、より一層効率的に動圧溝を形成することができる。
【００３３】
図５に、上記工程で製作された軸部材２を組み込んだ動圧軸受装置２１の一構成例を示す。この動圧軸受装置２１は、軸部材２と、スリーブ状の部分を有し、軸部２ａをその内周に挿入可能な軸受部材７と、軸受部材７の一端側開口を封口する蓋部材８と、軸受部材７の他端側に位置し、動圧軸受装置２１の内部を満たす潤滑油をシールするためのシール部９とを備えている。
【００３４】
軸受部材７は、略円筒状に形成され、その内周に軸部材２が挿入されている。図示例の軸受部材７は、スリーブ部７ａとその上方のシール装着部７ｂと、その下方の封口部７ｃとで構成され、封口部７ｃの内周面７ｃ１には軸受部材７とは別体の後述の蓋部材８が嵌合固定される。スリーブ部７ａの円筒状の内周面７ａ１は、シール装着部７ｂの内周面７ｂ１や封口部７ｃの内周面７ｃ１よりも小径で、軸部材２の二つの動圧発生部Ａと対向する。
【００３５】
蓋部材８は、軸受部材７の一端開口部を封口する部材で、軸受部材７とは別体の有底略円筒形状に形成される。この蓋部材８は、円筒状の側部８ａと側部８ａの下端開口を封口する底部８ｂとを備え、図示例では側部８ａと底部８ｂとは一体成形されている。蓋部材８は、例えば側部８ａの内周面８ａ１を軸受部材７の封口部７ｃの内周面７ｃ１に嵌合し、圧入、接着、溶着等の適宜の手段を施すことにより軸受部材７に固定される。蓋部材８の側部８ａの上側端面８ａ２は、軸受部材７のスリーブ部７ａの下側端面７ａ２と当接しており、これによってスラスト軸受隙間が規定幅に管理される。
【００３６】
シール部９は、金属材料や樹脂材料で環状に形成される。シール部９は、この実施形態では、軸受部材７とは別体に形成され、軸受部材７の上端側に位置するシール装着部７ｂの内周面７ｂ１に圧入、接着等の手段で固定される。シール部９の内周面９ａは上方に向かうにつれてテーパ状に拡径しており、この内周面９ａと、内周面９ａに対向する軸部２ａの外周面２ａ１との間には、上方に向かうにつれて半径方向寸法が漸次拡大する環状のシール空間Ｓが形成される。シール部９で密封された動圧軸受装置１の内部空間には、潤滑油が注油され、動圧軸受装置１内が潤滑油で満たされる。この状態では、潤滑油の油面はシール空間Ｓの範囲内に維持される。部品点数の削減および組立工数の削減のため、シール部９を軸受部材７と一体形成することもできる。
【００３７】
上記構成の動圧軸受装置２１において、軸部材２を回転させると、軸部２ａの外周面２ａ１に形成された動圧溝発生部Ａとこれに対向する軸受部材７の内周面との間にラジアル軸受隙間が形成される。また、フランジ部２ｂの上側端面２ｂ１に形成された動圧発生部Ｂと、これに対向する軸受部材７の下側端面７ａ２との間に第一のスラスト軸受隙間が形成され、フランジ部２ｂの下側端面２ｂ２に形成された動圧発生部Ｃと、これに対向する蓋部材８の上側端面８ｂ１との間に第２のスラスト軸受隙間が形成される。そして、ラジアル軸受隙間およびスラスト軸受隙間に満たされた潤滑油に動圧作用が生じ、これにより、ラジアル軸受隙間には軸部材２をラジアル方向に非接触支持するラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２が形成され、スラスト軸受隙間には軸部材２をスラスト方向に非接触支持するスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２がそれぞれ形成される。
【００３８】
なお、動圧発生部Ｂ、Ｃの何れか一方又は双方を、フランジ部２ｂの両端面２ｂ１、２ｂ２に対向する部材、例えば軸受部材７の下側端面７ａ２や蓋部材８の上側端面８ｂ１に形成することもできる。
【００３９】
図６に上記軸部材２を使用した動圧軸受装置２１の他の構成例を示す。この動圧軸受装置２１が図５に示す第１構成例と大きく異なる点は、一部材であった軸受部材７が、ハウジング１７と軸受スリーブ１８の二部材で構成されている点である。軸受スリーブ１８は、例えば含油焼結金属で円筒形状に形成される。ハウジング７は、例えば樹脂の射出成形で略円筒形状に成形され、その内周面に接着等の手段で軸受スリーブ１８が固定される。軸部材２の回転時には、軸部材２の外周面２ａ１に形成された動圧発生部Ａと、これに対向する軸受スリーブ１８の内周面との間のラジアル軸受隙間にラジアル軸受部が形成される。この他の点については、同一構造であるため、同一符号を付与し、重複説明を省略する。
【００４０】
以上の説明では、ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２およびスラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２を構成する動圧発生部として、例えばヘリングボーン形状やスパイラル形状に配列した複数の動圧溝を例示しているが、動圧発生部の構成はこれに限定されるものではない。ラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２として、例えば円周方向複数箇所で、ラジアル軸受隙間を円周方向の一方又は双方にくさび状に縮小させた形状とした、いわゆる多円弧軸受を用い、あるいは、軸方向に延びた動圧溝を円周方向の複数箇所に形成した、いわゆるステップ軸受を用いることもできる。また、スラスト軸受部Ｔ１、Ｔ２として、複数の半径方向溝形状の動圧溝を円周方向等間隔に設けた、いわゆるステップ軸受、いわゆる波型軸受（ステップ型が波型になったもの）等で構成することもできる。なお、図５および図６では、軸方向に離隔して二つのラジアル軸受部Ｒ１、Ｒ２を配置した場合を例示しているが、ラジアル軸受部の数は任意であり、一つあるいは三つ以上設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】マスキングパターンの印刷装置を示す側面図である。
【図２】動圧発生部の形成工程を示す拡大断面図である。
【図３】マスキングパターンの印刷装置の他例を示す側面図である。
【図４】軸部材の端面に形成される動圧発生部の一例を示す平面図である。
【図５】動圧軸受装置の構成例を示す断面図である。
【図６】動圧軸受装置の構成例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１        マスキングパターン
１ａ      マスク部
１ｂ      非マスク部
２        軸部材
２ａ      軸部
２ｂ      フランジ部
３        硬化部
７        軸受部材
８        蓋部材
１０      ノズルヘッド
１２      インク（樹脂組成物）
１３      支持部
１４      ノズル
２１      動圧軸受装置
Ａ、Ｂ、Ｃ    動圧発生部
Ｒ１、Ｒ２    ラジアル軸受部
Ｔ１、Ｔ２    スラスト軸受部
【図１】
2007247806.tif 000003
【図２】
2007247806.tif 000004
【図３】
2007247806.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007247806.tif 000007
【図６】
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