(57)【要約】      （修正有）【課題】サイズが異なる３種類のウエハを横すべりを防止しながら選択的に搬送する。【解決手段】回転軸４の軸方向中心を中心にしてその両側には、中心から外側に向かうに従って漸次大径とされた４組の第１〜第４のローラ９〜１０が設けられている。５インチのウエハ１を搬送する場合には、５インチのウエハ１は、一対の第２のローラ８間における第１のローラ７上のみに載置され、一対の第２のローラ８によって横すべりを防する。６インチのウエハ２を搬送する場合には、６インチのウエハ２は、内側の一対の第３のローラ９間における第２のローラ８上のみに載置され、内側の一対の第３のローラ９によって横すべりを防する。８インチのウエハ３を搬送する場合には、８インチのウエハ３は、一対の第４のローラ１０間における第３のローラ９上のみに載置され、一対の第４のローラ１０によって横すべりを防する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
サイズが異なる複数の板状体を選択的に搬送する板状体搬送装置であって、並列に設けられた複数の回転軸と、前記回転軸にその軸方向中心を中心にしてその両側に設けられ、且つ、中心から外側に向かうに従って漸次大径とされた複数組のローラとを有し、隣り合う各組のローラの半径は少なくとも搬送する板状体の厚み以上の差があり、、各組の外側に隣接するローラはその内側の組のローラにより搬送される板状体のガイド用として機能することを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項２】
請求項１に記載の発明において、最大径の組のローラ以外の各組のローラは２個以上であることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項３】
請求項１に記載の発明において、前記板状体は円形状または方形状であることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項４】
請求項１に記載の発明において、前記板状体はウエハであることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項５】
請求項１に記載の発明において、搬送用ローラの外側に支持用ローラがあることを特徴とする板状体搬送装置。
【請求項６】
請求項１に記載の発明において、搬送用ローラの外側に支持板があることを特徴とする板状体搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は板状体搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の板状体搬送装置には、ガラス基板を搬送するものであって、並列に設けられた複数の回転軸の少なくとも各両端部に搬送ローラが設けられ、これらの搬送ローラの内側にそれよりも小径の小径部が設けられ、これらの小径部上に方形状のガラス基板の両端部が載置され、小径部の上方に設けられた押圧ローラでガラス基板の両端部を小径部に押し付け、この状態で回転軸と共に搬送ローラ及び小径部が回転することにより、ガラス基板を搬送するようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開２００３−５１５２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記従来の板状体搬送装置では、回転軸の両端部に設けられた搬送ローラの内側に設けられた小径部上にガラス基板の両端部を載置するようにしているので、ガラス基板の両端部が搬送ローラでガイドされ、ガラス基板の搬送方向に対して直交する方向への横すべりを防止することができるが、搬送可能なガラス基板のサイズが限定され、サイズが異なる複数のガラス基板等の板状体を選択的に搬送するような場合には、対応することができないという問題があった。
【０００５】
そこで、この発明は、サイズが異なる複数の板状体を横すべりを防止しながら選択的に搬送することができる板状体搬送装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、請求項１記載の発明は、サイズが異なる複数の板状体を選択的に搬送する板状体搬送装置であって、並列に設けられた複数の回転軸と、前記回転軸にその軸方向中心を中心にしてその両側に設けられ、且つ、中心から外側に向かうに従って漸次大径とされた複数組のローラとを有し、隣り合う各組のローラの半径は少なくとも搬送する板状体の厚み以上の差があり、各組の外側に隣接するローラはその内側の組のローラにより搬送される板状体のガイド用として機能することを特徴とするものである。
【発明の効果】
【０００７】
この発明によれば、回転軸にその軸方向中心を中心にしてその両側に、中心から外側に向かうに従って漸次大径とされた複数組のローラを設け、内側の組のローラによって搬送される板状体をその外側の組のローラ（または一対の支持板）でガイドするようにしているので、サイズが異なる複数の板状体を横すべりを防止しながら選択的に搬送することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図１はこの発明の一実施形態としての板状体搬送装置の要部の平面図を示し、図２はその正面図を示す。この板状体搬送装置は、一例として、半導体装置製造ラインにおいてウエハに対して現像、エッチング、剥離等を行う際に、サイズが異なる複数のウエハ（円形状の板状体）、例えば、１２５ｍｍ（５インチ）型、１５０ｍｍ（６インチ）型、２００ｍｍ（８インチ）型の３種類のウエハ１、２、３を選択的に搬送するためのものである。  
【０００９】
この板状体搬送装置は、並列に設けられた複数の回転軸４を備えている。回転軸４の両端部は一対の支持板５に回転可能に支持されている。回転軸４の一端部は一方の支持板５の外側に突出され、この突出部には歯車６が設けられている。歯車６は、図示していないが、チェーン等の回転伝達手段を介して電動モータ等の駆動源に接続されている。回転軸４にはその軸方向中心を中心にしてその両側に、中心から外側に向かうに従って漸次大径とされた４組の第１〜第４のローラ７〜１０が設けられている。
【００１０】
この場合、最小径の第１のローラ７は、５個であり、回転軸４の軸方向中心部に一定の間隔をおいて取り付けられている。第２のローラ８は、２個であり、第１のローラ７の配置領域の両側における回転軸４に取り付けられている。第３のローラ９は、４個であり、第２のローラ８の配置領域の両側における回転軸４に間隔をおいて取り付けられている。最大径の第４のローラ１０は、２個であり、第３のローラ９の配置領域の両側における回転軸４に取り付けられている。
【００１１】
第１のローラ７の配置領域は、５インチのウエハ１の直径に対応する領域内である。第２のローラ８の配置領域は、５インチのウエハ１の直径に対応する領域の外側であって６インチのウエハ２の直径に対応する領域内である。第３のローラ９の配置領域は、６インチのウエハ２の直径に対応する領域の外側であって８インチのウエハ３の直径に対応する領域内である。第４のローラ１０の配置領域は、８インチのウエハ３の直径に対応する領域の外側である。
【００１２】
ここで、ウエハ１、２、３の厚さは、一般的に、０．３〜０．７ｍｍと比較的薄く、薄型化のため裏面（回路形成面とは反対側の面）を研磨された場合には、０．１ｍｍ以下とかなり薄くなることもある。図２では、５インチ、６インチ、８インチのウエハ１、２、３の直径はほぼ原寸で図示しているが、厚さは図示の都合上ある程度厚くしている。
【００１３】
また、一対の第２のローラ８の間隔は、５インチのウエハ１の直径よりもやや大きく、例えば２ｍｍ程度大きくなっている（図示の都合上、図２では４ｍｍ、図１では２ｍｍ、以下同じ）。内側の一対の第３のローラ９の間隔は、６インチのウエハ２の直径よりもやや大きく、例えば２ｍｍ程度大きくなっている。一対の第４のローラ１０の間隔は、８インチのウエハ３の直径よりもやや大きく、例えば２ｍｍ程度大きくなっている。
【００１４】
次に、この板状体搬送装置の動作について説明する。まず、５インチのウエハ１を搬送する場合には、５インチのウエハ１は、一対の第２のローラ８間における第１のローラ７上のみに載置される。そして、この状態で回転軸４と共に第１〜第４のローラ９〜１０が回転すると、５インチのウエハ１は、第１のローラ７の回転により、一対の第２のローラ８によって横すべりを防止されながら搬送される。
【００１５】
次に、６インチのウエハ２を搬送する場合には、６インチのウエハ２は、内側の一対の第３のローラ９間における第２のローラ８上のみに載置される。そして、この状態で回転軸４と共に第１〜第４のローラ９〜１０が回転すると、６インチのウエハ２は、第２のローラ８の回転により、内側の一対の第３のローラ９によって横すべりを防止されながら搬送される。
【００１６】
次に、８インチのウエハ３を搬送する場合には、８インチのウエハ３は、一対の第４のローラ１０間における第３のローラ９上のみに載置される。そして、この状態で回転軸４と共に第１〜第４のローラ９〜１０が回転すると、８インチのウエハ３は、第３のローラ９の回転により、一対の第４のローラ１０によって横すべりを防止されながら搬送される。
【００１７】
以上のように、第１〜第３のローラ７〜９によってそれぞれ対応するサイズのウエハ１〜３を搬送するとき、第２〜第４のローラ８〜１０がその内側の第１〜第３のローラ７〜９によって搬送されるウエハ１〜３のガイド用として機能するので、サイズが異なる３種類のウエハ１〜３を横すべりを防止しながら選択的に搬送することができる。この場合、隣り合う各組のローラの半径は少なくとも搬送するウエハの厚み以上の差があればよい。また、最大径の第４のローラ１０は、その内側の第３のローラ９によって搬送される８インチのウエハ３のガイド用としてのみ機能する。
【００１８】
ところで、この板状体搬送装置をレジスト現像装置に組み込んだ場合には、ウエハ１〜３を横すべりを防止して搬送することができるため、横すべりに起因する搬送時間つまり現像時間の増加が生じないようにすることができ、ひいてはレジスト膨潤に起因する現像後のパターン形状の崩れが生じにくいようにすることができる。
【００１９】
なお、回転軸４の回転速度が一定である場合には、第１〜第３のローラ７〜９の周速度はその径が大きくなるほど速くなる。したがって、第１〜第３のウエハ１〜３の搬送速度を同じとしたい場合には、例えば、電動モータ等の駆動源と回転軸４に設けられた歯車６との間に変速装置を設け、第１〜第３のローラ７〜９の周速度が同じとなるようにすればよい。
【００２０】
また、最大径の第４のローラ１０は、その内側の第３のローラ９によって搬送される最大サイズのウエハ１０のガイド用としてのみ機能するので、最大径の第４のローラ１０を省略し、一対の支持板５に最大サイズのウエハ１０のガイド用としての機能を持たせるようにしてもよい。
【００２１】
さらに、この板状体搬送装置の搬送対象は、ウエハに限らず、直径（サイズ）が異なる複数の他の円形状の板状体であってもよく、また、幅（サイズ）が異なる複数の方形状のガラス基板のような方形状の板状体であってもよい。また、図１及び図２に示す場合において、ローラは径が異なる５組以上であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】この発明の一実施形態としての板状体搬送装置の要部の平面図。
【図２】図１に示す板状体搬送装置の正面図。
【符号の説明】
【００２３】
１、２、３  ウエハ
４  回転軸
５  支持板
６  歯車
７  第１のローラ
８  第２のローラ
９  第３のローラ
１０  第４のローラ
【図１】
2007142304.tif 000003
【図２】
2007142304.tif 000004