(57)【要約】【課題】組立て時における作業性を向上させることができる光電センサを提供する。【解決手段】センサヘッドは、ベース部材１２及びベース部材１２に嵌め合わされるカバー部材とから構成される筐体１１を備え、該筐体１１内には、投光部２１、受光部２２、及び筐体１１内に配置される部品に接続されると共に筐体１１外に引き出されるケーブル４の一端が収容されている。投光部２１は、その位置調整のためにベース部材１２の側方から操作される調整螺子３５を備えている。また、ベース部材１２は、筐体１１内に配置される全ての部品が配置される平板状のベース板１４と、該ベース板１４の周縁部の一部に立設されてケーブル４の一端側を保持するケーブル保持壁１６と、カバー部材をベース部材１２に嵌め合わせる前の状態の時にベース部材１２の側方に調整螺子３５を露出させる露出部１９とを備えている。【選択図】図３
2007271512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベース部材及び該ベース部材に嵌め合わされるカバー部材とから構成される筐体内に、被測定物に光を照射する投光部と、前記投光部からの照射に基づく前記光の前記被測定物における反射光を受光可能に配置される受光部と、前記筐体内に配置される部品に接続されると共に前記筐体外に引き出されるケーブルの一端とが収容されてなる光電センサであって、
前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方は、前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方の位置調整のために前記ベース部材の側方から操作される調整部を備え、
前記ベース部材は、前記筐体内に配置される全ての部品が配置される平板状のベース板と、該ベース板の周縁部の一部に立設されて前記ケーブルの一端側を保持するケーブル保持壁と、前記カバー部材を前記ベース部材に嵌め合わせる前の状態の時に前記ベース部材の側方に前記調整部を露出させる露出部とを備えていることを特徴とする光電センサ。
【請求項２】
請求項１に記載の光電センサであって、
前記ベース板に固定されて前記投光部及び前記受光部の制御を行う制御部を備え、
前記ベース部材は、前記ベース板の周縁部の一部に立設されると共に前記制御部の制御に基づいて表示動作を行う表示灯を保持する表示灯保持壁を備えていることを特徴とする光電センサ。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載の光電センサであって、
前記ベース板に固定されて前記投光部及び前記受光部の制御を行う制御部を備え、
前記筐体内に配置される電子部品の少なくとも１つは、前記制御部に設けられた第１の接続端子に係合されて当該電子部品と前記制御部とを電気的に接続する第２の接続端子を有することを特徴とする光電センサ。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の光電センサであって、
前記投光部は、レーザ光を照射する投光素子を備え、
前記受光部は、前記投光素子からの前記レーザ光の照射に基づく前記被測定物の反射光を、前記被測定物との間の距離に応じた位置で受光する受光素子を備え、
前記投光素子及び前記受光素子の少なくとも一方は、前記ベース板に固定される固定台上の任意の位置に配置され、
前記調整部は、その締め具合により前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方の位置を調整する調整螺子であることを特徴とする光電センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光透過性を有する被測定物に光を照射してその反射光を受光することにより該被測定物の表裏面間距離（厚み）や複数の被測定物間の隙間距離等の各距離を測定する、若しくは、被測定物に光を照射してその反射光を受光することにより該被測定物の有無や表面状態等を検出するための光電センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
被測定物に光を照射してその反射光を受光することにより、被測定物の表裏面間距離等を測定したり、被測定物の有無や表面状態等を検出したりするための光電センサは、例えば特許文献１に記載されているものがある。特許文献１の光電センサは、被測定物に光を照射する投光部（投光ファイバ）と、投光部からの光であって被測定物にて反射した反射光を受光する受光部（受光ファイバ）と、これら投光部及び受光部を収容する筐体とを備えている。筐体は、略四角形の平板状の底部及び該底部の周囲に一体に立設された側壁部を有し箱形をなすベース部材と、ベース部材の開口部及び側壁部の外周側を覆うように該ベース部材に嵌め合わせられるカバー部材とから構成されている。そして、投光部及び受光部は、ベース部材の底部上に保持されている。また、この光電センサは、ケーブルによって投光部及び受光部がアンプ部に電気的に接続されている。
【特許文献１】特開平９−１９６８４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、光電センサは、組立ての際に、投光部の位置調整（角度調整）を行うことがある。そのため、特許文献１の光電センサのように、受光部を収容保持するベース部材が箱形をなしていると、ベース部材の側方から螺子を回す等して投光部の位置調整を行う場合には、側壁部によって投光部の位置調整が困難となってしまう。
【０００４】
そこで、ベース部材を側壁部の無い平板状に形成すると共に、カバー部材を側壁部のある箱形に形成することが考えられる。この場合、投光部及び受光部がベース部材上に保持される。このようにすると、投光部の位置調整を行う際に、例えばベース部材の側方から螺子を回す等の作業を容易に行うことができる。しかしながら、投光部及び受光部をアンプ部に接続するためのケーブルは、一般的に筐体の側方へ引き出されることから、筐体の側壁を構成するカバー部材の側壁部にて保持されることになる。そのため、ベース部材とカバー部材とを嵌め合わせる前の状態では、ベース部材からカバー部材にケーブルが渡ることになり、ベース部材とカバー部材とを嵌め合わせる際に、ベース部材とカバー部材とが当接する部位にケーブルが噛み込まれてしまう虞がある。また、筐体内でのケーブルの位置調整が困難となる虞もある。このように、光電センサの組付けの作業性が低下されてしまうという問題があった。
【０００５】
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであって、その目的は、組立て時における作業性を向上させることができる光電センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、ベース部材及び該ベース部材に嵌め合わされるカバー部材とから構成される筐体内に、被測定物に光を照射する投光部と、前記投光部からの照射に基づく前記光の前記被測定物における反射光を受光可能に配置される受光部と、前記筐体内に配置される部品に接続されると共に前記筐体外に引き出されるケーブルの一端とが収容されてなる光電センサであって、前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方は、前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方の位置調整のために前記ベース部材の側方から操作される調整部を備え、前記ベース部材は、前記筐体内に配置される全ての部品が配置される平板状のベース板と、該ベース板の周縁部の一部に立設されて前記ケーブルの一端側を保持するケーブル保持壁と、前記カバー部材を前記ベース部材に嵌め合わせる前の状態の時に前記ベース部材の側方に前記調整部を露出させる露出部とを備えていることをその要旨とする。
【０００７】
上記構成によれば、筐体内に収容される全ての部品は、ベース部材を構成するベース板に配置されると共に、ケーブルの一端側は、ベース部材を構成するケーブル保持壁によって保持される。従って、ベース部材にカバー部材を嵌め合わせる前の状態において、従来のようにベース部材からカバー部材にケーブルが渡らない。その結果、ベース部材とカバー部材とを嵌め合わせる際に、ベース部材とカバー部材とが当接する部位にケーブルが噛み込んでしまうことを抑制することができる。また、ケーブル保持壁によってケーブルが保持されることにより、筐体内に配置されるケーブルの一端の位置が決定し易い。その結果、カバー部材をベース部材に嵌め合わせる際に、筐体内におけるケーブルの位置決めを行わなくてもよい。更に、ベース部材に露出部が設けられていることから、投光部及び受光部の少なくとも一方の位置調整を行うためにベース部材の側方から操作される調整部は、ベース部材にカバー部材が嵌め込まれる前の状態では、側方に露出している。従って、ケーブル保持壁等によって調整部の操作が妨げられることが防止され、投光部及び受光部の少なくとも一方の位置調整を容易に行うことができる。これらのことから、光電センサの組立て時における作業性を向上させることができる。
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の光電センサであって、前記ベース板に固定されて前記投光部及び前記受光部の制御を行う制御部を備え、前記ベース部材は、前記ベース板の周縁部の一部に立設されると共に前記制御部の制御に基づいて表示動作を行う表示灯を保持する表示灯保持壁を備えていることをその要旨とする。
【０００９】
上記構成によれば、筐体内に収容される部品は、全てベース板に配置されることから、表示灯もベース板に配置されることになる。そして、筐体の外部から視認可能とする必要がある表示灯を、ベース板の周縁部の一部に立設された表示灯保持壁によって保持することにより、該表示灯を外部から視認可能としつつ、安定して保持することができる。
【００１０】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の光電センサであって、前記ベース板に固定されて前記投光部及び前記受光部の制御を行う制御部を備え、前記筐体内に配置される電子部品の少なくとも１つは、前記制御部に設けられた第１の接続端子に係合されて当該電子部品と前記制御部とを電気的に接続する第２の接続端子を有することをその要旨とする。
【００１１】
上記構成によれば、第１の接続端子と第２の接続端子とを係合させるだけで、電子部品と制御部とを容易に電気的に接続することができる。よって、光電センサの組立て時における作業性をより向上させることができる。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３の何れか１項に記載の光電センサであって、前記投光部は、レーザ光を照射する投光素子を備え、前記受光部は、前記投光素子からの前記レーザ光の照射に基づく前記被測定物の反射光を、前記被測定物との間の距離に応じた位置で受光する受光素子を備え、前記投光素子及び前記受光素子の少なくとも一方は、前記ベース板に固定される固定台上の任意の位置に配置され、前記調整部は、その締め具合により前記投光部及び前記受光部の少なくとも一方の位置を調整する調整螺子であることをその要旨とする。
【００１３】
上記構成によれば、光電センサは、投光素子からのレーザ光の照射に基づく被測定物の反射光を、被測定物との間の距離に応じた位置で受光する受光素子を備えたレーザ変位センサである。このようなレーザ変位センサは、被測定物に対する照射スポット位置や受光スポット位置の微妙な調整を行うことが望ましい。従って、投光素子及び受光素子の少なくとも一方を固定台上の任意の位置に配置可能であると、照射スポット位置や受光スポット位置の微妙な調整を行うことができ、より好適な位置に投光素子及び受光素子を配置することができる。また、調整部が調整螺子であることから、螺子を回すだけの簡単な作業で投光部及び受光部の位置調整を行うことができる。従って、光電センサ（レーザ変位センサ）の組立て時における作業性を更に向上させることができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、組立て時における作業性が向上される光電センサを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図面に従って説明する。
図１は、本実施形態の距離測定装置１を示す。距離測定装置１は、液晶やプラズマ等のフラットパネルディスプレイに用いられる２枚のガラス基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせた貼合せ基板Ｗにおいて、各ガラス基板Ｗ１，Ｗ２の厚みＤ１，Ｄ２や各ガラス基板Ｗ１，Ｗ２間の隙間距離Ｌを測定する場合等に用いられるものである。この距離測定装置１は、使用時に被測定物、即ち貼合せ基板Ｗの上方に配置されるセンサヘッド２と、各種制御を行うコントローラ３とを備えている。このセンサヘッド２とコントローラ３とは、ケーブル４にて電気的に接続されている。
【００１６】
図２に示すように、センサヘッド２は、該センサヘッド２を構成する各種部品（図２では図示略）を収容する筐体１１を備えている。筐体１１は、略板状のベース部材１２と、該ベース部材１２に対して嵌め合わせられるカバー部材１３とから構成されている。
【００１７】
図３に示すように、ベース部材１２は、略五角形の平板状をなすベース板１４と、ベース板１４の周縁部の一部に立設された保持壁１５とを備えている。保持壁１５は、ベース板１４における隣り合う２つの辺から該ベース板１４と直角をなすように立設されている。この保持壁１５は、前記ベース板１４における隣り合う２つの辺のうち一方の辺から立設され前記ケーブル４を保持するためのケーブル保持壁１６と、他方の辺から立設されると共に長方形の板状をなす銘板１７を保持する表示灯保持壁としての銘板保持壁１８とが一体に形成されてなるものである。そして、ベース板１４上には、投光部２１、受光部２２及び回路基板２３等、筐体１１内に収容される全ての構成部品が配置されている。尚、ベース部材１２において、筐体１１の側壁に該当する部位であって保持壁１５が形成されていない部位は、ベース部材１２にカバー部材１３が嵌め合わせられる前の状態の時に、投光部２１、受光部２２及び回路基板２３等、筐体１１内に収容される各種部品を側方に露出する露出部１９となる。
【００１８】
前記投光部２１は、前記ベース板１４上において、前記保持壁１５と略対角となる位置に配置されている。この投光部２１は、ベース板１４上に固定された固定台３１を備えている。この固定台３１は、略長方形の板状をなすと共に、その長手方向が前記銘板保持壁１８と直交するようにしてベース板１４上に配置されている。そして、固定台３１は、その四隅に、ベース板１４の厚さ方向と同方向から絶縁ブッシュ３２を介して固定螺子３３が螺合されることにより、ベース板１４に対して固定されている。また、この固定台３１には、ベース板１４の外側に向かって開口する矩形状（ベース板１４の厚さ方向から見た形状）の固定凹部３１ａが形成されている。この固定凹部３１ａの底面には、ベース板１４と平行な平面に沿って延びるように固定用螺子穴（図示略）が２つ形成されている。これら２つの固定用螺子穴は平行に形成されている。そして、この固定台３１上に固定ブロック３４が固定されている。
【００１９】
略直方体状をなす固定ブロック３４は、略直方体状をなすと共に、前記固定台３１と対向する側の面からベース板１４に向かって延設された延設固定部３４ａが一体に形成されている。延設固定部３４ａの延設方向の長さは、固定台３１の板厚と略等しいと共に、延設固定部３４ａにおける固定台３１の長手方向と同方向の長さは、前記固定凹部３１ａにおける固定台３１の長手方向と同方向の長さと略等しい。また、延設固定部３４ａには、その厚さ方向（固定台３１の短手方向に同じ）に貫通する固定用螺子孔（図示略）が２つ形成されている。２つの固定用螺子孔は、ベース板１４と平行な平面に沿って伸びると共に、互いに平行に形成されている。そして、これら２つの固定用螺子孔は、前記固定用螺子穴に対応して形成されており、互いの間隔が、前記固定用螺子穴間の間隔と等しい。
【００２０】
このような固定ブロック３４は、その長手方向が固定台３１の長手方向と一致した状態で延設固定部３４ａを固定台３１の固定凹部３１ａに係合させ、互いに対応する固定用螺子孔及び固定用螺子穴に対して固定用螺子孔側から調整螺子３５がそれぞれ螺合されることにより、固定台３１に固定されている。尚、固定凹部３１ａは、ベース板１４の外周側に向かって開口していることから、延設固定部３４ａは、固定凹部３１ａの底面よりもベース板１４の外周側に配置されている。そして、調整螺子３５は、ベース板１４の外周側から、ベース板１４と平行な面に沿って進むように固定用螺子孔及び固定用螺子穴にそれぞれ螺合されている。更に、ベース部材１２には、保持壁１５以外には側壁となるものが形成されていないことから、カバー部材１３をベース部材１２に嵌め合わせる前の状態では、投光部２１はベース部材１２の側方に露出している。従って、調整螺子３５の頭部３５ａは、ベース板１４の外周側から視認可能な位置にある。
【００２１】
また、固定ブロック３４の中央部には、その長手方向に貫通する貫通孔（図示略）が形成されている。そして、同固定ブロック３４における前記銘板保持壁１８側の端面には、投光素子基板３６が固定されている。投光素子基板３６は、前記貫通孔の銘板保持壁１８側の開口部を閉塞すると共に固定ブロック３４よりもベース板１４の中央部側に突出した形状をなしており、複数の固定螺子３７によって固定ブロック３４に固定されている。この投光素子基板３６には、投光素子３８、及び該投光素子３８を発光させるための投光素子駆動回路（図示略）が配置されている。投光素子３８は、例えば赤色半導体レーザダイオードであり、投光素子基板３６上において前記貫通孔内に挿入可能な位置に固定されると共に同貫通孔の内周面により保持されている。投光素子３８が発する光（レーザ光）は、固定ブロック３４の貫通孔内を通過して筐体１１外に配置される被測定物である貼合せ基板Ｗに照射される（図１参照）。
【００２２】
また、固定ブロック３４内、即ち前記貫通孔内には、円筒状の投光レンズホルダ３９が固定されていると共に、投光レンズホルダ３９は、その内部に投光レンズ４０を保持している。投光レンズ４０は、投光素子３８が発する光の行路上に配置されている。
【００２３】
更に、固定ブロック３４における投光素子基板３６が固定された側の端面と反対側の端面には、略四角形の板状をなすシリンドリカルレンズホルダ４１が複数の固定螺子４２により固定されている。このシリンドリカルレンズホルダ４１は、その中央部にシリンドリカルレンズ（図示略）を保持している。そして、前記投光レンズ４０と同様に、シリンドリカルレンズは、投光素子３８が発する光の行路上に配置されている。
【００２４】
前記受光部２２は、前記ベース板１４上において、ベース板１４の前記銘板保持壁１８と直交する方向に延びる２つの辺のうち固定ブロック３４から遠い方の辺の近傍に配置されている。受光部２２は、ベース板１４と一体に形成された受光レンズホルダ５１を備えている。受光レンズホルダ５１は、略直方体状をなすと共に、その中央部に長手方向に沿って貫通する保持孔（図示略）が形成されている。そして、この保持孔内に円柱状をなす受光レンズ５２が配置されている。このような受光レンズホルダ５１は、投光素子３８による光であって貼合せ基板Ｗにて反射した反射光の行路上に受光レンズ５２が配置されるように、その長手方向の中心線が前記固定ブロック３４の長手方向の中心線に対して傾斜するように配置されている。
【００２５】
受光レンズホルダ５１におけるケーブル保持壁１６側の端部側には、受光素子固定ブロック５３が配置されている。受光素子固定ブロック５３は、ベース板１４に対して立設するように配置される板状の受光素子固定部５３ａと、該受光素子固定部５３ａのベース板１４側の端部からベース板１４に沿うように伸びる固定鍔部５３ｂとを備えている。
【００２６】
受光素子固定部５３ａには、受光素子５４が固定されており、該受光素子５４は、ベース板１４上で受光素子固定部５３ａと平行に配置された受光素子基板５５に電気的に接続されている。尚、受光素子５４は、例えばＣＣＤである。また、受光素子基板５５には、受光素子５４の他、受光素子５４を駆動するための受光素子駆動回路（図示略）が配置されている。そして、受光素子固定ブロック５３は、投光素子３８からの光の照射に基づく貼合せ基板Ｗの反射光を受光素子５４が受光可能となる位置に配置されると共に、固定鍔部５３ｂに、複数の固定螺子５６がベース板１４の厚さ方向に沿って螺合されることにより、ベース板１４に固定されている。
【００２７】
前記保持壁１５を構成する前記銘板保持壁１８は、ベース板１４における該銘板保持壁１８が立設された辺と略等しい長さに形成されている。この銘板保持壁１８における外側面には、銘板保持壁１８の厚さ方向から見た形状が隅丸四角形状をなす嵌込み凹部１８ａが形成されていると共に、該嵌込み凹部１８ａには、製造番号等が記載された前記銘板１７が嵌め込まれている。そして、銘板１７及び銘板保持壁１８には、銘板１７及び銘板保持壁１８を貫通すると共に銘板１７の長手方向に並ぶ挿通孔１８ｂが複数（例えば２つ）形成されている。そして、この挿通孔１８ｂには、ベース部材１２の内側から外側に向かって表示灯６１がそれぞれ挿通されていると共に、各表示灯６１は、銘板１７から外側（筐体１１の外側）に若干突出した状態で挿通孔１８ｂにて保持されている。尚、表示灯６１には、例えばＬＥＤが用いられる。また、各表示灯６１は、銘板保持壁１８の内側面と平行に配置された表示灯基板６２に電気的に接続されている。この表示灯基板６２には、前記表示灯６１の他、表示灯６１の点灯・消灯を行うための表示灯駆動回路（図示略）が配置されている。
【００２８】
また、銘板保持壁１８における前記ケーブル保持壁１６と逆側の端部には、銘板保持壁１８の基端（ベース板１４側の端部）から先端に向かうに連れて銘板保持壁１８の長手方向の幅を徐々に狭めるように傾斜した傾斜部１８ｃが形成されている。更に、銘板保持壁１８の傾斜部１８ｃ側の端部には、傾斜部１８ｃの板厚を薄くするように外側面側から凹設された係合凹部１８ｄが形成されている。係合凹部１８ｄは、銘板保持壁１８の厚さ方向から見ると傾斜部１８ｃを斜辺とする略直角三角形状をなしている。
【００２９】
前記保持壁１５を構成する前記ケーブル保持壁１６は、ベース板１４における該ケーブル保持壁１６が立設された辺と略等しい長さに形成されている。ケーブル保持壁１６の略中央部には、該ケーブル保持壁１６の厚さ方向に貫通したケーブル挿通孔１６ａが形成されている。このケーブル挿通孔１６ａの内径は、前記ケーブル４の直径よりも大きく形成されている。また、ケーブル保持壁１６の外側面には、ケーブル挿通孔１６ａを延長するように延設された円筒状のボス部１６ｂが形成されている。
【００３０】
そして、前記ケーブル４は、ボス部１６ｂの内側及びケーブル挿通孔１６ａからベース部材１２の内側に挿通される。本実施形態では、ケーブル４は、円筒状のゴムブッシュ６３が装着された状態で該ゴムブッシュ６３と共にボス部１６ｂ及びケーブル挿通孔１６ａに圧入されている。このように、ケーブル４は、ケーブル挿通孔１６ａを通ってベース部材１２の内側に挿通されることにより、ケーブル保持壁１６によって保持されると共に、該ケーブル４の一端側が筐体１１（図２参照）内に配置される。ケーブル４がケーブル保持壁１６に保持された状態では、ゴムブッシュ６３と共にケーブル４をケーブル挿通孔１６ａに圧入していることから、ケーブル４にはその径方向内側に向かう圧力が加えられる。従って、ケーブル４は、その長手方向に移動し難くなる。また、ケーブル保持壁１６にボス部１６ｂが形成されていることから、ケーブル挿通孔１６ａのみが形成されたケーブル保持壁にてケーブル４を保持する場合よりも、ゴムブッシュ６３やケーブル４の保持が安定する。
【００３１】
また、本実施形態では、ゴムブッシュ６３において、ケーブル挿通孔１６ａからベース板１４の中央部に向かって突出した部位に、Ｃリング６４が装着されている。従って、Ｃリング６４からゴムブッシュ６３及びケーブル４の径方向中央部に向かう圧力が加えられるため、ゴムブッシュ６３に対するケーブル４の軸方向の移動が抑制される。
【００３２】
前記回路基板２３は、ベース板１４上において、受光部２２以外の部位を覆うような形状をなしていると共に、センサヘッド２を動作させるための制御回路（図示略）を有している。そして、回路基板２３は、ベース板１４上の複数個所に該ベース板１４と一体に形成された円柱状の取付け部１４ａ上に配置され、当該回路基板２３側から取付け部１４ａに固定螺子６５をそれぞれ螺合することにより、取付け部１４ａに固定されている。複数の取付け部１４ａは、例えば、ケーブル保持壁１６の近傍、投光部２１と銘板保持壁１８との間、及び投光部２１と受光部２２との間に設けられている。
【００３３】
回路基板２３には、該回路基板２３と投光素子基板３６、受光素子基板５５、及び表示灯基板６２とをそれぞれ電気的に接続するための複数の接続部７１，７２，７３が設けられている。回路基板２３と投光素子基板３６とを電気的に接続するための接続部７１は、一端が回路基板２３に電気的に接続され（図３では接続されていない状態を図示している）、他端には直方体形状のコネクタ部（第１の接続端子）７１ａが設けられる導線部７１ｂを備えている。そして、コネクタ部７１ａには、投光素子基板３６に設けられた接続ピン（第２の接続端子）７１ｃに対応する穴（図示略）が形成されており、コネクタ部７１ａに設けられた前記穴に接続ピン７１ｃが係合されるようにコネクタ部７１ａを投光素子基板３６に取り付けることにより、投光素子３８と回路基板２３とが電気的に接続される。
【００３４】
同様に、回路基板２３と受光素子基板５５とを電気的に接続するための接続部７２は、一端が回路基板２３に電気的に接続され（図３では接続されていない状態を図示している）、他端には直方体形状のコネクタ部（第１の接続端子）７２ａが設けられる導線部７２ｂを備えている。そして、コネクタ部７２ａには、受光素子基板５５に設けられた接続ピン（図示略）に対応する穴（図示略）が形成されており、コネクタ部７２ａに設けられた前記穴に当該接続ピンが係合されるようにコネクタ部７２ａを受光素子基板５５に取り付けることにより、受光素子５４と回路基板２３とが電気的に接続される。
【００３５】
また同様に、回路基板２３と表示灯基板６２とを電気的に接続するための接続部７３は、一端が回路基板２３に電気的に接続され（図３では接続されていない状態を図示している）、他端には直方体形状のコネクタ部（第１の接続端子）７３ａが設けられる導線部７３ｂを備えている。そして、コネクタ部７３ａには、表示灯基板６２に設けられた接続ピン（図示略）に対応する穴（図示略）が形成されており、コネクタ部７３ａに設けられた前記穴に当該接続ピンが係合されるようにコネクタ部７３ａを表示灯基板６２に取り付けることにより、表示灯６１と回路基板２３とが電気的に接続される。
【００３６】
また、前記ケーブル４は、他端が前記コントローラ３に接続される複数の導線（図示略）を束にして、当該導線の束の外周を絶縁被膜にて被覆して形成されている。そして、筐体１１の内部に配置されるケーブル４の一端においては、ケーブル４を構成する複数の導線は、投光素子基板３６、受光素子基板５５、表示灯基板６２、及び回路基板２３のうち対応する基板にそれぞれ電気的に接続されている。各基板２３，３６，５５，６２と、ケーブル４を構成する導線との接続は、半田付け等により行われるものであってもよいし、雌雄一対の接続端子を用いて行われるものであってもよい。
【００３７】
図２に示すように、前記カバー部材１３は、前記ベース板１４と略等しい形状をなすカバー本体８１と、該カバー本体８１の周縁部からベース部材１２に向かって立設された側壁部８２とを備えている。側壁部８２は、前記保持壁１５と共に、ベース板１４上に配置される各種部品の周囲を囲うように形成されている。詳述すると、側壁部８２は、カバー部材１３がベース部材１２と嵌め合わせられた際に、保持壁１５が係合される係合部８３を備えている。この係合部８３は、保持壁１５の形状に応じて形成された凹部であり、保持壁１５の先端から基端（カバー本体８１側の端部）に向かって凹設されている。この係合部８３の深さは、保持壁１５の高さ（本実施形態では短手方向の長さ）と等しく、その幅（本実施形態では保持壁１５の長手方向の長さ）と等しく形成されている。このように、係合部８３が保持壁１５の形状に応じて形成されることから、側壁部８２は、前記露出部１９に応じた形状に形成されることになる。また、係合部８３において、銘板保持壁１８に設けられた傾斜部１８ｃ及び係合凹部１８ｄと対応する位置には、係合部８３の底面から開口部に向かうに連れて徐々に係合部８３の幅を広げるように側壁部８２の板厚を薄くして形成された傾斜凹部８３ａが設けられている。
【００３８】
また、側壁部８２において、カバー部材１３とベース部材１２とが嵌め合わせられた際にシリンドリカルレンズホルダ４１と対向する部位には、前記投光素子３８からの光を筐体１１内から筐体１１外に照射するための投光孔（図示略）が形成されている（図３参照）。この投光孔には、投光素子３８からの光が透過可能な投光フィルタ（図示略）が嵌め込まれている。また、側壁部８２において、カバー部材１３とベース部材１２とが嵌め合わせられた際に受光レンズ５２と対向する部位には、投光素子３８からの光の照射に基づく貼合せ基板Ｗの反射光を受光レンズ５２が受光可能とするために、受光孔（図示略）が形成されている（図３参照）。この受光孔には、投光素子３８からの光の照射に基づく貼合せ基板Ｗの反射光が透過可能な受光フィルタ（図示略）が嵌め込まれている。
【００３９】
上記のように構成されたカバー部材１３には、筐体１１内に配置される何れの部品も配置されない。そして、カバー部材１３は、筐体１１内に収容される部品（投光部２１、受光部２２、及び回路基板２３等）が配置された状態のベース部材１２に対して嵌め合わせられる。尚、カバー部材１３を嵌め合わせる前に、ベース板１４上に固定台３１を介して固定された固定ブロック３４の位置調整（角度調整）が行われる。固定ブロック３４の位置調整は、固定ブロック３４を固定台３１に固定している２つの調整螺子３５を回すことにより、投光素子３８からの光が好適な位置となるように固定ブロック３４の角度を調整して行われる。
【００４０】
固定ブロック３４の角度調整を行った後に、ベース部材１２とカバー部材１３とが嵌め合わせられる。この時、カバー部材１３は、露出部１９に側壁部８２が係合されるように且つ保持壁１５が係合部８３に係合されるようにして、筐体１１内に収容される各種部品が配置された状態のベース部材１２に対して嵌め合わせられる。この時、傾斜部１８ｃも傾斜凹部８３ａに係合される。そして、係合部８３に保持壁１５が係合されると、筐体１１内が閉塞された状態となり、保持壁１５及び側壁部８２によって筐体１１内に配置された部品の周囲が囲まれる。
【００４１】
嵌め合わせられたベース部材１２とカバー部材１３とは、図３に示すように、ベース板１４の外周寄りの位置にベース部材１２側から固定螺子８４を複数螺合することにより、当該固定螺子８４によって一体に固定される。
【００４２】
図１に示すように、前記コントローラ３は、表示と共にタッチパネル機能を有するディスプレイ９１と、ＣＰＵ（電子制御ユニット）９２とを有している。ディスプレイ９１は、操作者のタッチ操作に応じた各種設定信号をＣＰＵ９２に出力する。例えば、各ガラス基板Ｗ１，Ｗ２の厚みＤ１，Ｄ２やガラス基板Ｗ１，Ｗ２間の隙間距離Ｌを測定するモードをタッチ操作にて選択でき、これに対応した設定信号がＣＰＵ９２に出力される。ＣＰＵ９２は、この設定信号に基づいて、回路基板２３の有する制御回路を駆動する。回路基板２３は、ＣＰＵ９２の駆動に基づいて、投光素子基板３６の有する投光素子駆動回路の投光制御や、受光素子基板５５の有する受光素子駆動回路の駆動制御、表示灯基板６２の有する駆動回路の点灯制御を実施すると共に、各種の測定動作を実施する。各種の測定動作としては、例えば、投光素子３８からの光の照射に基づく貼合せ基板Ｗの反射光を受光素子５４にて受光すると、反射光の受光に基づく受光信号が受光部２２からケーブル４を介してＣＰＵ９２に出力される。ＣＰＵ９２は、入力された受光信号に基づいて受光素子５４の受光分布を取得し、この受光分布に基づいて各ガラス基板Ｗ１，Ｗ２の厚みＤ１，Ｄ２やガラス基板Ｗ１，Ｗ２間の隙間距離Ｌを算出する。そして、ＣＰＵ９２は、算出結果をディスプレイ９１に表示する。
【００４３】
上記したように、本実施形態によれば、以下の作用・効果を有する。
（１）筐体１１内に収容される全ての部品（投光部２１、受光部２２及び回路基板２３等）は、ベース部材１２を構成するベース板１４上に配置されると共に、ケーブル４の一端側は、ベース部材１２を構成するケーブル保持壁１６によって保持される。従って、ベース部材１２にカバー部材１３を嵌め合わせる前の状態において、従来のようにベース部材からカバー部材にケーブルが渡らない。その結果、ベース部材１２とカバー部材１３とを嵌め合わせる際に、ベース部材１２とカバー部材１３とが当接する部位にケーブル４が噛み込んでしまうことを抑制することができる。また、ケーブル保持壁１６によってケーブル４が保持されることにより、筐体１１内に配置されるケーブル４の一端の位置が決定し易い。その結果、カバー部材１３をベース部材１２に嵌め合わせる際に、筐体１１内におけるケーブル４の位置決めを行わなくてもよい。更に、ベース部材１２に露出部１９が設けられていることから、投光部２１の位置調整を行うためにベース部材１２の側方から操作される調整螺子３５は、ベース部材１２にカバー部材１３が嵌め込まれる前の状態では、露出部１９から側方に露出している。従って、保持壁１５等によって調整螺子３５の操作が妨げられることが防止され、投光部２１の位置調整を容易に行うことができる。これらのことから、センサヘッド２の組立て時における作業性を向上させることができる。
【００４４】
（２）筐体１１内に収容される部品は、全てベース板１４上に配置されることから、表示灯６１も表示灯基板６２を介してベース板１４上に配置されることになる。そして、筐体１１の外部から視認可能とする必要がある表示灯６１を、ベース板１４の周縁部の一部に立設された銘板保持壁１８によって保持することにより、該表示灯６１を筐体１１の外部から容易に視認可能としつつ、安定して保持することができる。
【００４５】
（３）導線部７１ｂを介して回路基板２３に接続されたコネクタ部７１ａと、投光素子基板３６上に配置された接続ピン７１ｃとを係合させるだけで、投光素子３８と回路基板２３の制御回路とを容易に電気的に接続することができる。同様に、導線部７２ｂ，７３ｂを介して回路基板２３に接続されたコネクタ部７２ａ，７３ａと、受光素子基板５５上及び表示灯基板６２上に配置された接続ピンとをそれぞれ係合させるだけで、受光素子５４及び表示灯６１と回路基板２３とをそれぞれ容易に電気的に接続することができる。従って、センサヘッド２の組立て時における作業性をより向上させることができる。
【００４６】
（４）カバー部材１３をベース部材１２に嵌め合わせた状態では、露出部１９に側壁部８２が係合されると共に、係合部８３に保持壁１５が係合されるため、露出部１９や係合部８３から筐体１１内へ異物等が侵入することが防止される。
【００４７】
尚、本発明の実施形態は、以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、筐体１１内に収容される回路基板２３は１枚であるが、複数枚の回路基板がベース板１４上に配置されるものであってもよい。
【００４８】
・上記実施形態では、投光素子３８、受光素子５４及び表示灯６１と、回路基板２３との接続は、それぞれコネクタ部７１ａ〜７３ａ及び各基板３６，５５，６２に設けられた接続ピンを係合させることにより行われる。しかしながら、回路基板２３に接続ピン（第１の接続端子）を設けると共に各基板３６，５５，６２に接続部７１〜７３をそれぞれ設けて、コネクタ部（第２の接続端子）７１ａ〜７３ａと接続ピンとを係合することにより、投光素子３８、受光素子５４及び表示灯６１と、回路基板２３とをそれぞれ接続してもよい。また、投光素子基板３６、受光素子基板５５、及び表示灯基板６２と、回路基板２３との接続は、半田付けにより行われるものであってもよい。
【００４９】
・上記実施形態では、表示灯６１にはＬＥＤが用いられているが、ＬＥＤに限らない。例えば、電球等を表示灯６１として用いてもよい。また、センサヘッド２は、表示灯６１を備えない構成であってもよい。センサヘッド２に表示灯６１を備えない場合には、銘板保持壁１８を省略し、該銘板保持壁１８を省略した分だけカバー部材１３の側壁部８２を延長してもよい。
【００５０】
・上記実施形態では、ケーブル保持壁１６と銘板保持壁１８とは、一体に形成されて保持壁１５を構成している。しかしながら、ケーブル保持壁１６と銘板保持壁１８とは、一体に形成されず、それぞれベース板１４の周縁部に立設されるものであっってもよい。
【００５１】
・上記実施形態では、受光レンズホルダ５１は、ベース板１４と一体に形成されているが、別体に形成して、螺子等により固定する構成としてもよい。
・上記実施形態では、カバー部材１３をベース部材１２に嵌め合わせる前に、固定ブロック３４の位置調整を行っている。しかしながら、投光素子３８が固定された固定ブロック３４の位置調整のみでなく、受光素子５４が固定された受光素子固定ブロック５３の位置調整も行ってもよい。ここで、受光素子固定ブロック５３の位置調整を行う場合であって、受光素子固定ブロック５３の位置調整用の調整螺子が、調整螺子３５と同様に、ベース板１４と平行な面に沿って進むように受光素子固定ブロック５３に螺合されている場合に着目する。この場合、ベース板１４の外縁には保持壁１５のみしか立設されていないことから、受光素子固定ブロック５３の位置調整用の調整螺子も露出部１９からベース部材１２の側方に露出することになる。従って、調整螺子による受光素子固定ブロック５３の角度調整を容易に行うことができる。尚、固定ブロック３４の角度調整は行わず、受光素子固定ブロック５３の角度調整のみを行ってもよい。
【００５２】
・上記実施形態では、投光素子３８を赤色半導体レーザダイオードとしたが、他の投光素子を用いてもよい。また、上記実施形態では、受光素子としてＣＣＤを用いたが、ＣＣＤ以外の受光素子を用いてもよい。
【００５３】
・保持壁１５及び露出部１９の形状、及び保持壁１５（露出部１９）に対応して形成される側壁部８２の形状は、上記実施形態の形状に限らない。保持壁１５及び露出部１９は、ケーブル４を保持する部位を有すると共に、ベース部材１２に配置される部品のうち側方から位置調整が行われる部品が、露出部１９からベース部材１２の側方に露出可能な形状に形成されていればよい。例えば、ベース板１４の周縁全てから保持壁を立設すると共に、当該保持壁において調整螺子３５と対応する位置に保持壁の先端から基端に向かって凹設された露出部１９を形成してもよい。そして、側壁部８２は、保持壁１５の形状に対応した形状、即ち露出部１９に対応した形状であればよい。
【００５４】
・上記実施形態では、被測定物は、２枚のガラス基板Ｗ１，Ｗ２を貼り合わせて形成された貼合せ基板Ｗであるが、これに限らない。例えば、被測定物は、光透過性を有する１枚の基板や、３枚以上のガラス基板を貼り合わせて形成された貼合せ基板であってもよい。
【００５５】
・上記実施形態では、センサヘッド２は、貼合せ基板Ｗに光を照射して貼合せ基板Ｗを構成するガラス基板Ｗ１，Ｗ２の厚みＤ１，Ｄ２やガラス基板Ｗ１，Ｗ２間の隙間距離Ｌを測定する距離測定装置１に備えられている。しかしながら、センサヘッド２は、被測定物に光を照射してその反射光を受光することにより該測定物の有無や表面状態等を検出するセンサ装置に備えられるものであってもよい。また例えば、センサヘッド２は、投光素子３８からのレーザ光の照射に基づく被測定物の反射光を、被測定物との間の距離に応じた位置で受光する受光素子５４を備えたレーザ変位センサとしてもよい。この場合、ＣＰＵ９２は、反射光の受光に基づいて受光素子５４が出力する信号に基づき、被測定物におけるレーザ光が照射された面の変位を算出してディスプレイ９１に表示する。このようなレーザ変位センサは、被測定物に対する照射スポット位置や受光スポット位置の微妙な調整を行うことが望ましい。従って、レーザ変位センサにおいては、投光素子３８及び受光素子５４をそれぞれ保持する固定ブロック３４，５３を、固定台３１のような固定台を介してベース板１４上に配置すると共に、固定ブロック３４及び受光素子固定ブロック５３の少なくとも一方を固定台上の任意の位置に配置可能な構成とする。すると、照射スポット位置や受光スポット位置の微妙な調整を行うことができ、より好適な位置に投光素子３８及び受光素子５４を配置することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】距離測定装置の斜視図。
【図２】センサヘッドの斜視図。
【図３】カバー部材が嵌め合わせられる前の状態のセンサヘッドを示す斜視図。
【符号の説明】
【００５７】
２…光電センサとしてのセンサヘッド、４…ケーブル、１１…筐体、１２…ベース部材、１３…カバー部材、１４…ベース板、１６…ケーブル保持壁、１８…表示灯保持壁としての銘板保持壁、１９…露出部、２１…投光部、２２…受光部、２３…制御部としての回路基板、３１…固定台、３５…調整部としての調整螺子、３８…電子部品としての投光素子、５４…電子部品としての受光素子、６１…表示灯、７１ａ〜７３ａ…第１の接続端子及び第２の接続端子としてのコネクタ部、７１ｃ…第１の接続端子及び第２の接続端子としての接続ピン、Ｗ…被測定物としての貼合せ基板。
【図１】
2007271512.tif 000003
【図２】
2007271512.tif 000004
【図３】
2007271512.tif 000005