(57)【要約】【課題】製造システムの占有面積を小さくするとともに、汎用性を備えた製造システムを提供することを目的とする。【解決手段】搬出入装置が各工程に設けられた製造装置の動作状態を監視し、製造装置の動作状態に応じて、搬出入装置と製造装置とのインターフェースを搬出入装置から製造装置に材料や中間製造物を搬入する搬入モードと、製造装置から搬出入装置に材料や中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料や中間製造物を搬出入する搬出入装置と、複数の製造装置とからなる製造システムであって、
前記搬出入装置の動作モードを該製造装置に前記材料や前記中間製造物を搬入する搬入モードと、該製造装置から該搬出入装置に前記材料や前記中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造装置間で搬送することを特徴とする製造システム。
【請求項２】
前記搬出入装置が前記複数の製造装置の動作状態を検出する動作状態検出手段と、
該動作状態検出手段により検出された動作状態に応じて前記材料や前記中間製造物の搬出入を制御する搬出入制御手段と、
を備えたことを特徴とする請求項１に記載の製造システム。
【請求項３】
前記搬出入装置と前記複数の製造装置とのインターフェースがパラレルインターフェースであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の製造システム。
【請求項４】
前記複数の製造装置の各製造装置の搬出口と搬入口とが同一方向に配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の製造システム。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の製造システムを複数有し、当該複数の製造システムを制御する制御装置をさらに有し、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造システム間で搬送することを特徴とする製造ライン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、製造システムおよび製造ラインに関し、特に、各工程に材料や中間製造物を同一方向から搬出入することを特徴とする製造システムおよび製造ラインに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の製造システムにおけるライン構成は、材料や中間製造物をラインの上流側から下流側に受け渡してゆくように、各工程に配置された製造装置間での制御が行われている。このため、製造装置間の制御は、上流側をマスターとし、下流側をスレーブとするような制御が行われている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開昭５８−９９８２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の製造システムでは、上記のように、材料や中間製造物を各工程に配置された製造装置間でラインの上流側から下流側に受け渡すように制御していたため、各製造装置間にそれぞれ搬出入装置が必要であった。そのため、製造システムの占有面積が大きくなるという問題がある。
【０００４】
また、製造システム自体の規模が小さい場合には、走行ロボット等を用いることにより、上記の問題を解決することもできるが、こうした製造システムの場合には、汎用性に欠けるといった問題があった。
【０００５】
そこで、本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、製造システムの占有面積を小さくするとともに、汎用性を備えた製造システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明は、以下の事項を提案している。
本発明は、材料や中間製造物を搬出入する搬出入装置と、複数の製造装置とからなる製造システムであって、前記搬出入装置の動作モードを該製造装置に前記材料や前記中間製造物を搬入する搬入モードと、該製造装置から該搬出入装置に前記材料や前記中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造装置間で搬送することを特徴とする製造システムを提案している。
【０００７】
本発明によれば、搬出入装置の動作モードを製造装置に材料や中間製造物を搬入する搬入モードと、製造装置から搬出入装置に材料や中間製造物を搬出する搬出モードのいずれかに切り替えて、材料や中間製造物を複数の製造装置間で搬送する。すなわち、マスター装置である搬出入装置がスレーブ装置である複数の製造装置の動作状態、具体的には、搬出入装置と製造装置の接続が可能であるか否かを示すインライン信号や受取要求信号、取出し要求信号等を監視して、スレーブ装置の動作状態に応じてモードの切替を行う。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。そのため、製造ラインを構成する装置の数を削減し、製造ラインのレイアウト面積を小さくすることができる。また、マスター装置がスレーブ装置を制御する構成であることから、制御の標準化が可能であり、設計工数を削減することができる。
【０００８】
また、本発明において、前記搬出入装置が前記複数の製造装置の動作状態を検出する動作状態検出手段と、該動作状態検出手段により検出された動作状態に応じて前記材料や前記中間製造物の搬出入を制御する搬出入制御手段と、を備えている。
【０００９】
本発明によれば、搬出入装置が動作状態検出手段により複数の製造装置の動作状態を検出し、検出された動作状態に応じて搬出入制御手段が材料や中間製造物の搬出入を制御する。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。
【００１０】
また、本発明において、前記搬出入装置と前記複数の製造装置とのインターフェースがパラレルインターフェースであることが望ましい。
この発明によれば、パラレルインターフェースを用いていることから、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができる。すなわち、デジタル信号（Ｈｉｇｈ／Ｌｏｗ）を入力、或いは出力できる制御装置であればそれぞれの機能を持つ信号線ごとに制御可能なため汎用性がある。但し、この場合、機器同士の信号の電圧レベルをあわせることが必要となる。
【００１１】
また、本発明において、前記複数の製造装置の各製造装置の搬出口と搬入口とが同一方向に配置されていることが望ましい。
この発明によれば、各製造装置の搬出口と搬入口とが同一方向に配置されているため、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。
【００１２】
また、本発明の製造ラインは、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の製造システムを複数有し、当該複数の製造システムを制御する制御装置をさらに有し、前記材料や前記中間製造物を前記複数の製造システム間で搬送することを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図１から図５を参照して説明する。
図１は、本実施形態に係る製造システムの一例であるガラス基板の切断分離システムを示している。図１に示すように、本実施形態に係る製造システムは、給材ステージ１と、アライメント装置２と、スクライバー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）３と、アライメントユニット付反転装置（製造装置に相当、スレーブ装置）４と、ブレーカー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）５と、除材ステージ６と、仮置きステージ７と、スクライバー用トランスポータ（搬出入装置に相当）１０と、ブレーカー用トランスポータ（搬出入装置に相当）２０とから構成されている。
【００１４】
なお、本実施形態においては、給材ステージ１、アライメント装置２およびスクライバー用トランスポータ１０を含めて１つのマスター装置とし、除材ステージ６、仮置きステージ７およびブレーカー用トランスポータ２０を含めて１つのマスター装置として説明する。また、図中の点線部分は、スクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０の可動範囲を示しており、本実施形態においては、スクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０は、図示しないＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ  Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ  Ｕｎｉｔ）等の制御装置でコントロールされている。
【００１５】
給材ステージ１は、材料を供給するステージであり、本実施形態においては、ガラスが張り合わされた２層のガラス基板の分割ラインを想定していることから、ガラス基板がスクライバー用トランスポータ１０により材料として供給される。なお、給材ステージ１には、供給されるガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
【００１６】
アライメント装置２は、給材ステージ１から供給されるガラス基板に対して、機械的あるいは光学的な方法で次工程における処理に必要な位置決め処理を行う。なお、アライメント装置２には、供給されるガラス基板を検出するガラス基板検出センサが設けられている。
【００１７】
スクライバー装置３は、スクライバー用トランスポータ１０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー用トランスポータ１０から供給されるアライメント装置２において位置決めされたガラス基板に対して、機械的な方法で分割を行うための溝をガラス基板上に形成する。なお、スクライバー装置３には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
【００１８】
アライメントユニット付反転装置４は、スクライバー用トランスポータ１０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー用トランスポータ１０から供給されるアライメント装置２において一方の面（例えば、Ａ面という）に関してスクライバー処理されたガラス基板に対して、これを反転、移動して、他方の面（例えば、Ｂ面という）について、機械的あるいは光学的な方法で次工程における処理に必要な位置決め処理を行う。なお、反転・移動装置およびアライメント装置には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとスクライバー用トランスポータ１０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
【００１９】
ブレーカー装置５は、ブレーカー用トランスポータ２０等のマスター装置に対するスレーブ装置であり、スクライバー処理されたガラス基板の一方の面について分割の処理を実行する。なお、ブレーカー装置５には、ガラス基板を検出するガラス基板検出センサとブレーカー用トランスポータ２０のヘッドの動きを検出するトランスポートヘッド検出センサとが設けられている。
【００２０】
本実施形態のシステムにおけるガラス基板の流れを説明すると、まず、スクライバー用トランスポータ１０がアライメント装置２におけるアライメント処理の終了後に、ガラス基板をスクライバー装置３に搬入する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー用トランスポータ１０、下流側がスクライバー装置３となる。
【００２１】
次に、スクライバー装置３における処理が終了すると、スクライバー用トランスポータ１０がガラス基板をスクライバー装置３から搬出する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー装置３、下流側がスクライバー用トランスポータ１０となる。
【００２２】
さらに、スクライバー用トランスポータ１０は、搬出したガラス基板をそのままアライメントユニット付反転装置４に搬入する。すなわち、このときのガラス基板の流れは、上流側がスクライバー用トランスポータ１０、下流側がアライメントユニット付反転装置４となる。
【００２３】
すなわち、本実施形態における製造システムにおいては、ガラス基板を搬入する場合と搬出する場合とで、その都度、上流、下流を入れ替えながらガラス基板が搬送されている。つまり、マスター装置とスレーブ装置とがスレーブ装置の動作状態に応じてハンドシェークを行い、順次、上流、下流を入れ替えながらガラス基板を搬送している。
【００２４】
次に、図２を用いて、マスター装置であるスクライバー用トランスポータ１０およびブレーカー用トランスポータ２０の構成について説明する。マスター装置は、図２に示すように、受信部３０と、スレーブ装置状態判別部（動作状態検出手段に相当）３１と、搬入搬出制御部（搬出入制御手段に相当）３２と、送信部３３とを備えている。
【００２５】
受信部３０は、スレーブ装置からの受取要求信号や取出し要求信号等を受信し、スレーブ装置状態判別部３１に出力する。スレーブ装置状態判別部３１は、受信部３０から入力した受取要求信号や取出し要求信号等からスレーブ装置の要求内容や状態等を検出する。搬入搬出制御部３２は、スレーブ装置状態判別部３１が検出したスレーブ装置の要求内容や状態等に応じて、搬入および搬出を制御する。送信部３３は、スレーブ装置に対して、搬出動作中、搬入動作中等の情報を送信する。すなわち、受信部３０と送信部３３とがマスター装置とスレーブ装置との間のインターフェースを構築している。
【００２６】
マスター装置とスレーブ装置との間のインターフェースは、例えば、図３のようになっている。図３において、左側がマスター装置側のインターフェースラインであり、右側がスレーブ装置のインターフェースラインである。また、各信号ラインには、その信号が入力信号であるのか出力信号であるのかを識別するために、「Ｉｎ」あるいは「Ｏｕｔ」の表記がなされている。
【００２７】
図３において、インライン信号とは、通信可能な状態を示す信号であり、具体的には、インライン／オフライン選択スイッチがＯＮ状態であり、自動起動モードであるときにマスター装置がこのインライン信号をアクティブにする。一方、スレーブ装置は、マスター装置からのインライン信号がアクティブのときにマスター装置に出力するインライン信号をアクティブとし、マスター装置からのインライン信号がノンアクティブのとき、あるいは自動起動モードが終了したときには、マスター装置に出力するインライン信号をノンアクティブにする。マスター装置は、スレーブ装置から出力されるインライン信号の状態を監視し、他の信号についてハンドシェーク通信を行うことができるか否かを判断する。なお、インライン信号をノンアクティブとする場合には、すべての信号をノンアクティブとする。
【００２８】
受取準備完了信号は、スレーブ装置がガラス基板を受け取ることができる状態になったことを示す信号であり、マスター装置は、スレーブ装置からのインライン信号がアクティブであり、受取準備完了信号がアクティブであるときに、ガラス基板搬入のための通信を開始する。
【００２９】
受取要求信号は、スレーブ装置がガラス基板の搬入を希望する場合にアクティブとなる信号であり、マスター装置は、ガラス基板搬入のための通信を開始した後、この信号がアクティブであるときに搬入搬出制御部３２を作動させて搬入動作を開始する。
【００３０】
受取完了信号は、スレーブ装置が自装置内にガラス基板があることを検出し、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０との機械的な干渉が無くなった場合にアクティブとなる信号であり、マスター装置は、受取完了信号の入力によりガラス基板を搬入する通信の終了準備が整ったことを検知する。
【００３１】
取出し準備完了信号は、スレーブ装置がガラス基板を搬出できる状態になった時点でアクティブとなる信号であり、マスター装置は、スレーブ装置からのインライン信号がアクティブであり、取出し準備完了信号がアクティブであるときに、ガラス基板搬出のための通信を開始する。
【００３２】
取出し要求信号は、スレーブ装置がガラス基板を搬出する状態になった時点でアクティブとなる信号であり、マスター装置は、ガラス基板の搬出処理の開始後、この取出し要求信号がアクティブであるときに搬入搬出制御部３２を作動させて搬出動作を開始する。
【００３３】
取出し完了信号は、マスター装置が、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０のヘッドがガラス基板を保持した状態で機械的な干渉のないスレーブ装置の外側にある待機点に移動したときにアクティブとなる信号であり、スレーブ装置は、この信号を入力すると搬出処理の終了の準備を完了する。
【００３４】
一時停止要求信号は、スレーブ装置が自装置内のトラブル等によりマスター装置を一時停止させたいときにアクティブとなる信号であり、スレーブ装置は、一時停止中は、この信号とインライン信号以外は出力しない。なお、処理中に、この信号をアクティブとする場合には、インターフェースの終了まで動作を継続した後、一時停止状態に移行する。一方で、マスター装置は、一時停止要求信号を入力すると、一時停止状態となる。なお、スレーブ装置と同様に、処理中に、一時停止要求信号を入力した場合には、インターフェースの終了まで動作を継続した後、一時停止状態に移行する。
【００３５】
非常停止要求信号は、処理中に、スレーブ装置がマスター装置との機械的な干渉あるいはオペレータの接触等により危険な状態を検出したときにアクティブとなる信号である。なお、非常停止状態で処理中の装置間にあるガラス基板については、手動またはハンドワークを用いてガラス基板を元に戻し、インターフェース開始直前から再起動する。したがって、装置の状態を示すフラグやデータについては保存をしておく。また、処理中でないときに、自装置のトラブル等で非常停止する場合やサイクル停止させる場合もアクティブとなる。一方で、マスター装置は、非常停止要求信号を入力すると、直ちに動作を停止させる。なお、スレーブ装置と同様に、非常停止状態で処理中の装置間にあるガラス基板については、手動またはハンドワークを用いてガラス基板を元に戻し、インターフェース開始直前から再起動する。
【００３６】
Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ１は、スレーブ装置が１番目のガラス基板についてＡ面のスクライブ処理が完了したときに、ガラス基板の受け渡しに際して、フラグを立てるものであり、スレーブ装置は、このフラグとガラス基板とを一緒に受取り、取り出し時にこれを受け渡す。また、Ｂ面のスクライブが完了してガラス基板を取り出すときには、フラグをクリアする。さらに、自装置内で、ガラス基板が割れた場合や抜き取られた場合には、このフラグをクリアする。これは、処理中に、ガラス基板が割れた場合も同様である。一方、マスター装置は、このフラグとガラス基板とを一緒に受取り、これをスレーブ装置に受け渡す。そして、このフラグのＯＮ／ＯＦＦによりガラス基板をスクライバーに戻すか、あるいはアンローダに排出するかを判断する。また、このフラグのＯＮ／ＯＦＦにより後述するレシピナンバーを選択し、スクライバーおよびブレーカにこの情報を受け渡す。また、自装置内でガラス基板が割れた場合あるいは処理中にガラス基板が割れた場合には、このフラグをクリアする。なお、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ２、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ３およびＢ面スクライブ要求フラグＮｏ４は、２番目のガラス基板、３番目のガラス基板等についてのフラグであり、その機能は、Ｂ面スクライブ要求フラグＮｏ１と同様である。
【００３７】
搬入動作中信号は、マスター装置が搬入動作を行っていることを示す信号であり、マスター装置はスレーブ装置からの受取準備完了信号を受信し、ハンドシェークを行って、この信号をアクティブにして搬入インターフェースを開始する。マスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０がガラス基板を搬入して戻るまでの間、この信号をアクティブとする。一方、スレーブ装置は、受取準備完了信号がアクティブであり、マスター装置からの搬入動作中信号がアクティブである場合に搬入インターフェースを開始する。そして、受取完了信号がアクティブで搬入動作中信号がノンアクティブになったときに搬入インターフェースを終了する。
【００３８】
搬出動作中信号は、マスター装置が搬出動作を行っていることを示す信号であり、マスター装置はスレーブ装置からの取出し準備完了信号を受信し、ハンドシェークを行って、この信号をアクティブにして搬出インターフェースを開始する。マスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０がガラス基板を取り出して戻るまでの間、この信号をアクティブとする。一方、スレーブ装置は、取出し準備完了信号がアクティブであり、マスター装置からの搬出動作中信号がアクティブである場合に搬出インターフェースを開始する。そして、取出し完了信号がアクティブで搬出動作中信号がノンアクティブになったときに搬出インターフェースを終了する。
【００３９】
レシピナンバー２０−７は、予め設定された機種ごとに割り振られたナンバーであり、Ａ面、Ｂ面ともに８ビットのデータで構成される。マスター装置は、このデータをスレーブ装置にガラス基板と一緒に受け渡す。
【００４０】
本実施形態においては、マスター装置とスレーブ装置とのインターフェースは、上記に示したように、パラレルインターフェースとなっている。このため、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができるという特徴を有している。
【００４１】
次に、図４および図５を用いて、搬入、搬出動作の流れについて説明する。
図４は、マスター装置（スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０）からスレーブ装置（スクライバー装置３、アライメントユニット付反転装置４、ブレーカー装置５）に材料や中間生産物を搬入する場合のタイミングチャートを示している。なお、図４にはスレーブ装置を基準とした入出力信号が示されており、図中、「ＯＵＴ」は、スレーブ装置の出力信号を示し、「ＩＮ」は、スレーブ装置の入力信号を示している。
【００４２】
図４によれば、マスター装置からスレーブ装置に材料や中間生産物を搬入する場合には、まず、マスター装置がインライン信号をアクティブとする。この信号を入力したスレーブ装置は、インライン信号をアクティブとしてマスター装置に出力する。
【００４３】
次に、スレーブ装置は、受取準備完了信号をマスター装置に出力する。受取準備完了信号を入力したマスター装置は、搬入動作中信号をスレーブ装置に出力する。なお、このとき、マスター装置は、Ｂ面スクライブ要求フラグを立て、スレーブ装置に対して、レシピナンバー２０−７を出力する。Ｂ面スクライブ要求フラグの状態は、搬入動作の完了まで保持される。
【００４４】
搬入動作中信号を入力したスレーブ装置は、受取要求信号を出力し、この信号を入力したマスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０を作動させて材料や中間生産物の搬入動作を開始させる。そして、スレーブ装置は、ガラス基板検出センサによりガラス基板を検出し、トランスポートヘッド検出センサによりトランスポートヘッドとのメカ的な干渉がなくなったと判断したとき、受取完了信号をマスター装置に対して出力する。
【００４５】
受取完了信号を出力したスレーブ装置は、受取準備完了信号をノンアクティブとする。一方、マスター装置が受取完了信号を入力すると、搬入動作中信号をノンアクティブとし、インライン信号をノンアクティブとすることにより、材料や中間生産物の搬入動作を終了する。なお、マスター装置から出力されるインライン信号がノンアクティブとなると、スレーブ装置もこれに応じて、インライン信号をノンアクティブとする。
【００４６】
図５は、スレーブ装置（スクライバー装置３、アライメントユニット付反転装置４、ブレーカー装置５）からマスター装置（スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０）に材料や中間生産物を搬出する場合のタイミングチャートを示している。
【００４７】
図５によれば、スレーブ装置からマスター装置に材料や中間生産物を搬出する場合には、まず、マスター装置がインライン信号をアクティブとする。この信号を入力したスレーブ装置は、インライン信号をアクティブとしてマスター装置に出力する。
【００４８】
次に、スレーブ装置は、取出し準備完了信号をマスター装置に出力する。取出し準備完了信号を入力したマスター装置は、搬出動作中信号をスレーブ装置に出力する。そして、搬出動作中信号を入力したスレーブ装置は、取出し要求信号を出力し、この信号を入力したマスター装置は、スクライバー用トランスポータ１０あるいはブレーカー用トランスポータ２０を作動させて材料や中間生産物の搬出動作を開始させる。
【００４９】
そして、スレーブ装置は、トランスポートヘッド検出センサによりトランスポートヘッドとのメカ的な干渉がなくなったと判断したとき、取出し完了信号をマスター装置に対して出力する。
【００５０】
取出し完了信号を出力したスレーブ装置は、取出し準備完了信号をノンアクティブとする。一方、マスター装置が取出し完了信号を入力すると、搬出動作中信号をノンアクティブとし、インライン信号をノンアクティブとすることにより、材料や中間生産物の搬出動作を終了する。なお、マスター装置から出力されるインライン信号がノンアクティブとなると、スレーブ装置もこれに応じて、インライン信号をノンアクティブとする。
【００５１】
以上、説明したように、本実施形態によれば、マスター装置である搬出入装置がスレーブ装置である各工程に設けられた製造装置の動作状態、具体的には、インターフェースが可能であるか否かを示すインライン信号や受取要求信号、取出し要求信号等を監視して、スレーブ装置の動作状態に応じてインターフェースを切り替えることによりモードの切替を行う。したがって、従来のように、材料や製造中間物の搬入、搬出に関して、上流、下流といった概念がなくなり、同一の場所から材料や製造中間物の搬入、搬出を行うことができる。
【００５２】
また、図３から図５に示すように、マスター装置とスレーブ装置間のインターフェースがパラレルインターフェースになっていることから、装置を選ばず汎用性のあるシステムを構築することができる。
【００５３】
上記のように、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の構成等も含まれることは言うまでもない。例えば、本実施形態においては、マスター装置に相当するトランスポータを２つ有する比較的大規模な製造システムを例示して説明したが、トランスポータ１つから構成されるような比較的小規模な製造システムにも適用することができる。
【００５４】
また、本実施形態においては、ガラス基板のカッティング工程を例にとり説明を行ったが、これに限らず、材料や製造中間物の搬入、搬出を伴うすべての製造システムに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本実施形態に係る製造システムの構成図である。
【図２】本実施形態に係るマスターの構成図である。
【図３】本実施形態に係るインターフェースの一例を示す図である。
【図４】本実施形態に係るガラス基板搬入時のタイミングチャートである。
【図５】本実施形態に係るガラス基板搬出時のタイミングチャートである。
【符号の説明】
【００５６】
１・・・給材ステージ、２・・・アライメント装置、３・・・スクライバー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、４・・・アライメントユニット付反転装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、５・・・ブレーカー装置（製造装置に相当、スレーブ装置）、６・・・除材ステージ、７・・・仮置きステージ、１０・・・スクライバー用トランスポータ（搬出入装置に相当）、２０・・・ブレーカー用トランスポータ（搬出入装置に相当）、３０・・・受信部、３１・・・スレーブ装置状態判別部（動作状態検出手段に相当）、３２・・・搬入搬出制御部（搬出入制御手段に相当）、３３・・・送信部
【図１】
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【図２】
2007123387.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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