(57)【要約】【課題】プローブの交換が容易に行え、被検査体の検査点の微細化に対応できる検査治具及び検査治具へのプローブの固定方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の検査冶具１００は、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブの通し孔１１が形成されたプライマリプレート１０とセカンダリプレート２０とが保持枠３０で固定されたプローブ保持治具５０と、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプローブ固定板６０とから構成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の配線の電気的良否を検査するための検査治具において、少なくとも同じ位置にプローブ用の通し孔（１１）が形成されたプライマリプレート（１０）とセカンダリプレート（２０）とが保持枠（３０）で固定されたプローブ保持治具（５０）と、同じ位置にプローブ用の通し孔（１１）が形成されたプローブ固定板（６０）とから構成されていることを特徴とする検査治具。
【請求項２】
請求項１記載の検査冶具であって、前記プローブ保持治具（５０）のセカンダリプレート（２０）上に、セカンダリプレート（２０）と同じ位置にプローブ用の通し孔（１１）が形成されたプローブ固定板（６０）を載置し、プライマリプレート（１０）、セカンダリプレート（２０）及びプローブ固定板（６０）の各プローブ用の通し孔（１１）にプローブを挿入した後、プローブ固定板（６０）をずらすことによってプローブをプローブ保持治具（５０）に固定することを特徴とする検査冶具へのプローブの固定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の電気検査に使用される検査治具のうち、プローブを使った検査治具及び検査治具へのプローブの固定方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の電気検査治具のひとつにリジッドプローブを使ったものがある。
【０００３】
リジッドプローブを使った検査治具を用いてプリント配線板や各種半導体パッケージ基板の電気検査を行う検査方法について説明する。
図４は、リジッドプローブを使った検査治具の一例を示す検査治具２００の模式構成図である。
まず、検査治具２００のプライマリプレート１０及びセカンダリプレート２０の所定の位置に形成されたプローブ用の通し孔１１にリジッドプローブ７１を挿入する(図５参照)。
【０００４】
リジッドプローブ７１の一方の側には、ターミナル８２を有する中継板８１があり、ターミナル８２の一方の側からはケーブル８３が出ており、図示せぬ測定器につながっている。リジッドプローブ７１の他方の側には、披検査体９０があり、ここでは、リジッドプローブ７１と披検査体９０の検査点９１とはまだ接触していない状態を示す(図６参照)。
【０００５】
この状態から検査治具２００を被検査体９０へ徐々に近づけていき、被検査体９０の検査点９１とリジッドプローブ７１の先端とを接触させる。
【０００６】
更に、検査治具２００を被検査体９０に近づけていくと、図７に示すようにリジッドプローブ７１が湾曲し、検査点９１に対するリジッドプローブ７１の圧力が発生する。それによって両者の間に電気的に十分に安定した接触状態が得られる。
【０００７】
中継板８１は電気的な中継をするだけでなく、リジッドプローブ７１が湾曲することによって検査点９１に対する圧力を発生させるための受け板の役目を果たす。
【０００８】
この状態で、図示せぬ電源から所定のリジッドプローブ７１に電圧を供給し、その時の導通状態を図示せぬ測定器で測定することによって、被検査体の所定の配線の導通状況を検査することができる。
【０００９】
しかしながら、上記した検査治具は、中継板８１を有することに起因するいくつかの問題を有している。
中継板８１の構造としては、例えば、ガラスエポキシ基材の所定の位置にドリル等で孔を開け、孔に金属を充填したり、金属部材を圧入したりしたものが使用される。
【００１０】
問題の一つは、中継板８１を作製するために発生する加工費用である。加工費用としては、選択する材料や加工方法にもよるが、およそ数万円から十数万円の費用がかかり、検査冶具ごとに発生し問題である。
【００１１】
問題の二つめは、中継板８１を作製するために発生する加工時間である。自身で加工できる場合は別として、加工業者を使った場合は２〜３日から１週間程度要し、短納期対応の製品に対応する場合は問題となる。
【００１２】
問題の三つめは、検査点９１の微細化に対する制限である。図７から分かるように、ターミナル８２とリジッドプローブ７１を確実に接触させるためには、ターミナル８２の径はプローブ用の通し孔１１の径よりもわずかながらも大きくしなければならない。したがって検査点９１のピッチの最小値は実際はターミナル８２の径で決まってしまう。
【００１３】
上記の問題を解決するために、長いリジッドプローブ（以下、ＬＲプローブと称する）を使った検査治具が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【００１４】
以下、ＬＲプローブを使った検査治具を用いてプリント配線板や各種半導体パッケージ基板の電気検査を行う検査方法について説明する。
図８は、ＬＲプローブ７２をセカンダリプレート２０のプローブ用の通し孔１１に挿入し、接着剤４１で固定した検査冶具３００を示す。
【００１５】
ＬＲプローブ７２の被検査体９０に対向しない側はケーブルの役割を果たし、コネクタ９２に接続され、フラットケーブル９３で図示せぬ測定器につながっている(図９参照)。
【００１６】
ＬＲプローブ７２の他方の側には、披検査体９０があり、この状態ではＬＲプローブ７２と披検査体９０の検査点９１とはまだ接触していない(図１０参照)。
【００１７】
更に、検査治具３００を被検査体９０に近づけていくと、図１１に示すようにＬＲプローブ７２が湾曲し、検査点９１に対するＬＲプローブ７２の圧力が発生する。それによって両者の間に電気的に十分に安定した接触状態が得られる。
【００１８】
このような構造とすることによって上記問題点を改善するとともに、リジッドプローブ７１とターミナル８２の接触点がなくなることによって接触不良が発生する確率も大きく低減する。
【００１９】
ＬＲプローブ７２を使った検査治具３００の場合はＬＲプローブ７２の交換が問題となる。ＬＲプローブ７２は、図８に示すように、セカンダリプレート２０のプローブ用の通し孔１１に接着剤４１で固定されている。
【００２０】
熱可塑性の接着剤を使うことにより、一旦固定した後も必要に応じて接着剤を溶かし、破損したＬＲプローブ７２を抜き取ることは可能である。
ただし、ＬＲプローブ７２のピッチが小さい場合は交換を要するＬＲプローブ７２だけではなく、その周辺のＬＲプローブ７２も抜けてしまい、再度組み立てなければならず、ＬＲプローブ７２の取替え、組み立てにかなりの時間を要し、検査点の微細化に対応できないという問題を有している。
【特許文献１】特開平１０−１７０５８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、リジッドプローブの交換が容易に行え、被検査体の検査点の微細化に対応できる検査治具及び検査治具へのリジッドプローブの固定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２２】
本発明において上記課題を解決するために、請求項１においては、プリント配線板や各種半導体パッケージ基板の配線の電気的良否を検査するための検査治具において、少なく
とも同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプライマリプレート１０とセカンダリプレート２０とが保持枠３０で固定されたプローブ保持治具５０と、同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプローブ固定板６０とから構成されていることを特徴とする検査治具としたものである。
【００２３】
また、請求項２においては、請求項１記載の検査冶具であって、前記プローブ保持治具５０のセカンダリプレート２０上に、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプローブ固定板６０を載置し、プライマリプレート１０、セカンダリプレート２０及びプローブ固定板６０の各プローブ用の通し孔１１にプローブを挿入した後、プローブ固定板６０をずらすことによってプローブをリジッドプローブ保持治具５０に固定することを特徴とする検査冶具へのプローブの固定方法としたものである。
【発明の効果】
【００２４】
本発明の検査冶具及びプローブの固定方法を使うことにより、リジッドプローブ及びＬＲプローブ等のプローブの交換を容易に行うことができるため、プローブが破損した場合などにおいて、復旧までの時間短縮が図られ、コスト削減が可能となる。
また、被検査体の検査点の微細化にも対応可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
図１は本発明の検査冶具の一実施例を示す模式構成図である。
本発明の検査冶具１００は、図１に示すように、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプライマリプレート１０とセカンダリプレート２０とが保持枠３０で固定されたプローブ保持治具５０と、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプローブ固定板６０とから構成されている。
このような構造とすることにより、プローブの検査治具へのセット、固定が容易にでき、被検査体の検査点の微細化にも対応可能な検査治具となっている。
【００２６】
以下、検査冶具１００へのプローブの固定方法についてリジッドプローブを例にとって説明するが、ＬＲプローグの場合も同様である。
まず、検査冶具１００のプローブ保持治具５０のセカンダリプレート２０上に、セカンダリプレート２０と同じ位置にプローブ用の通し孔１１が形成されたプローブ固定板６０を載置し、プライマリプレート１０、セカンダリプレート２０及びプローブ固定板６０の各プローブ用の通し孔１１にリジッドプローブ７１を挿入する（図２参照）。
【００２７】
さらに、プローブ固定板６０を横方向に押しずらすことにより、リジッドプローブ７１をプローブ保持治具５０に固定することができる（図３（ａ）参照）。
なお、押しずらしたプローブ固定板６０は、プローブ保持治具２０にネジ等で固定する。
【００２８】
通常、プローブ固定板６０は１枚で十分であるが、リジッドプローブ７１の径や孔４の径のばらつきが大きい場合は、１枚増やしてプローブ固定板６０ａを載置し、プローブ固定板６０及び６０ａを相互に異なる方向に押しずらすことによってリジッドプローブ７１を確実に固定することができる（図３（ｂ）参照）。
【００２９】
プローブ固定板６０及び６０ａについて、材質は特に制限はないが、当然絶縁材がよく、孔加工の便宜上、セカンダリプレート２０と同じ材料を選択することがよい。厚さについては、リジッドプローブ７１の径が１００μｍ、プローブ用の通し孔１１の径が１５０μｍの場合で１ｍｍ程度である。また、リジッドプローブ７１を挿入した後に押しずらすため、セカンダリプレート２０より２ｍｍ程度大きくしておく。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明の検査治具の一実施例を示す模式構成図である。
【図２】本発明の検査治具にリジッドプローブを挿入している状態を示す説明図である。
【図３】（ａ）は、プローブ固定板を押しずらしてリジッドプローブをプローブ保持治具に固定している状態の一例を示す説明図である。（ｂ）は、プローブ固定板を押しずらしてリジッドプローブをプローブ保持治具に固定している状態の他の例を示す説明図である。
【図４】従来の検査治具の一例を示す模式構成図である。
【図５】従来の検査治具にリジッドプローブを挿入している状態を示す説明図である。
【図６】従来の検査治具に中継板をセットした状態を示す説明図である。
【図７】従来の検査治具に中継板と被検査体をセットし、電気検査を行っている状態を示す説明図である。
【図８】従来の検査治具にＬＲプローブを接着剤でセットしている状態を示す説明図である。
【図９】ＬＲプローブをコネクタに接続した状態を示す説明図である。
【図１０】ＬＲプローブをコネクタに接続した状態の検査治具に被検査体をセットした状態を示す説明図である。
【図１１】ＬＲプローブが湾曲し、ＬＲプローブが検査点に対し電気的に十分に安定した接触が得られている状態を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３１】
１０……プライマリプレート
１１……プローブ用の通し孔
２０……セカンダリプレート
３０……保持枠
４１……接着剤
５０……プローブ保持治具
６０、６０ａ……プローブ固定板
７１……リジッドプローブ
７２……ＬＲプローブ
８１……中継板
８２……ターミナル
８３……ケーブル
９０……被検査体
９１……検査点
９２……コネクタ
９３……フラットケーブル
１００、２００、３００……検査治具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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