(57)【要約】【課題】予め複数の処理プログラムを備えることなく、検出対象に応じた処理を行うことが可能な物理量検出装置等を提供する。【解決手段】流体が流れる流路の状態検知に先立って行われるティーチングモード時に、流体の圧力及び流量をサンプリングするとともに、流路の状態を検知する検出モード時にも流体の圧力及び流量をサンプリングし、検出モード時に得られる圧力におけるティーチングモード時の流量と検出モード時の流量との差が所定値以上である場合には、流路に目詰まりが生じていると判断する。【選択図】図６
2007271382.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出対象の物理量に応じた検出信号を出力する検出手段と、
処理プログラムを記憶可能な記憶手段と、
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記処理プログラムに応じた処理を行う処理手段と、を備え、
前記記憶手段に複数の異なる処理プログラムから選択された処理プログラムが書き込まれることを特徴とする物理量検出装置。
【請求項２】
前記記憶手段に外部から前記処理プログラムを書き込み可能とする外部入力手段を備えることを特徴とする請求項１記載の物理量検出装置。
【請求項３】
表示手段を備え、
前記処理プログラムは、言語種類に関するプログラムであり、
前記処理手段は、前記言語種類に応じて前記表示手段への表示処理を行うことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の物理量検出装置。
【請求項４】
前記記憶手段が、書換え可能に構成されていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の物理量検出装置。
【請求項５】
前記検出対象は、流体であるとともに、前記物理量は、前記流体の圧力及び流量であり、前記流体が通過する流路の状態を検知する物理量検出装置であって、
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記流路の状態検知に先立って行われる前記流体の圧力及び流量のサンプリングにより得られる前記圧力及び流量の関係を示すサンプリングデータと、状態検知の際に得られる前記流体の圧力及び流量の関係を示す検出データと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれかに記載の物理量検出装置。
【請求項６】
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記サンプリングデータにおける前記流体の圧力及び流量の傾きと、前記検出データにおける前記流体の圧力及び流量の傾きと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせることを特徴とする請求項５に記載の物理量検出装置。
【請求項７】
前記検出手段が備えられるヘッドユニットと、前記処理手段が備えられるコントロールユニットと、を備えることを特徴とする請求項５又は請求項６に記載の物理量検出装置。
【請求項８】
前記コントロールユニットには、前記検出対象が異なる場合に各検出対象に応じて前記ヘッドユニットから出力される検出信号を入力可能な複数の検出入力手段が備えられていることを特徴とする請求項７に記載の物理量検出装置。
【請求項９】
前記サンプリングが行われるティーチングモードと、前記処理手段により流路の状態検知の処理プログラムが実行される検出モードと、のいずれかを選択可能なモード選択手段を備えることを特徴とする請求項５ないし請求項８のいずれかに記載の物理量検出装置。
【請求項１０】
前記流体の温度を測定する温度測定手段を備え、
前記処理プログラムは前記処理手段に、前記圧力、前記流量及び前記温度の関係から前記流路の状態検知の処理を行わせることを特徴とする請求項５ないし請求項９のいずれかに記載の物理量検出装置。
【請求項１１】
前記検出手段が備えられるヘッドユニットと、前記処理手段が備えられるコントロールユニットと、を備え、
前記検出対象は、流体であるとともに、前記物理量は、前記流体の圧力、流量及び温度であり、前記流体の流路内の状態を検知する物理量検出装置であって、
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記流路の状態検知に先立って、前記流体の圧力、流量及び温度のサンプリングにより得られる前記流体の圧力、流量及び温度の関係を示すサンプリングデータと、状態検知の際の前記流体の圧力、流量及び温度との関係を示す検出データと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の物理量検出装置。
【請求項１２】
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記サンプリングデータにおける前記流体の圧力、流量及び温度の傾きと、前記検出データにおける前記流体の圧力、流量及び温度の傾きと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせることを特徴とする請求項１１に記載の物理量検出装置。
【請求項１３】
検出対象の物理量を検出する物理量検出装置に接続されることにより情報を送信可能な格納ユニットであって、
前記物理量検出装置における処理手段の処理を行うための処理プログラムを、前記検出対象ごとに、前記物理量と対応付けて記憶するプログラム記憶手段を備え、
前記物理量検出装置と接続されることにより、前記プログラム記憶手段に記憶されている処理プログラムが読み出され、前記物理量検出装置に送信されることを特徴とする格納ユニット。
【請求項１４】
検出対象の物理量に応じた検出信号を出力する検出手段が備えられるヘッドユニットを接続可能なコントロールユニットであって、
処理プログラムを記憶可能な記憶手段と、
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記処理プログラムに応じた処理を行う処理手段と、
前記記憶手段に外部から前記処理プログラムを書き込み可能な外部入力手段と、
を備えて構成されるコントロールユニット。
【請求項１５】
物理量の変化に応じた検出信号に基づき記憶手段に記憶されている処理プログラムに応じた処理を行う処理手段を備える物理量検出装置に与えられる当該処理プログラムが物理量の対象ごとに対応付けて複数記憶されており、
読み込み指令に応じて、前記複数の処理プログラムの中から少なくとも１の処理プログラムが選択されて前記物理量検出装置に与えられることを特徴とするプログラム記憶媒体。
【請求項１６】
物理量の変化に応じた検出信号に基づき記憶手段に記憶されている処理プログラムに応じた処理を行う処理手段を備える物理量検出装置に与えられる当該処理プログラムが記憶されるとともに、
当該処理プログラムは、複数の処理プログラムから選択された１つのアプリケーションに対応するプログラムとして記憶されていることを特徴とするプログラム記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物理量検出装置、格納ユニット、コントロールユニット及びプログラム記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、圧力、流量等の物理量を検出可能な物理量検出装置が知られている。
この種の物理量検出装置には、検出対象の物理量に応じた検出信号を出力するための検出手段が備えられている。そして、検出手段から出力された検出信号に、物理量の検出原理等に応じた対応する処理プログラムにより所定の演算・判定等の処理が行われることにより、物理量の検出が行われるようになっている。
【０００３】
具体的には、例えば、圧力と流量を検出する場合には、予め圧力の検出に対応した処理プログラムや、流量の検出に対応した処理プログラムを記憶しておく必要がある。
したがって、物理量検出装置が複数の検出対象について物理量の検出を行うためには、検出する可能性のある物理量に応じた全ての処理プログラムを備えておく必要があった。
【特許文献１】特開２０００−１３７５２８公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、検出する可能性のある物理量に応じた全ての処理プログラムを備えておくには、予めかかる処理プログラムを記憶させる必要があるだけでなく、物理量検出装置が全ての処理プログラムを記憶可能な記憶手段を備える必要があり、製造コスト等の面から望ましくない。
本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、予め複数の処理プログラムを備えることなく、検出対象に応じた処理を行うことが可能な物理量検出装置等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するための手段として、請求項１の発明の物理量検出装置は、検出対象の物理量に応じた検出信号を出力する検出手段と、
処理プログラムを記憶可能な記憶手段と、
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記処理プログラムに応じた処理を行う処理手段と、を備え、
前記記憶手段に複数の異なる処理プログラムから選択された処理プログラムが書き込まれる構成としたところに特徴を有する。
なお、「物理量」は、検出対象の種類（カテゴリー）や分類等に基づく量であり、例えば、物、圧力、静電容量、流量、応力、位置、距離、速度、加速度、温度、湿度、硬さ、形状、振動量（数）、重量、ガス量、ガス種、電磁気量（強さ）、匂い等が含まれる。
また、「物理量」は、検出対象の種類（カテゴリー）に応じて異なるものが含まれるが、これに限られず、検出対象の種類（カテゴリー）が共通する場合に、検出対象の物質（分類）に応じて異なるものが含まれる。例えば、検出対象の種類（カテゴリー）が圧力で、物質（分類）がアルゴン、窒素、二酸化炭素等のように異なる場合には、当該物質（分類）に応じて物理量が異なる場合が含まれる。
【０００６】
請求項２の発明は、請求項１に記載のものにおいて、前記記憶手段に外部から前記処理プログラムを書き込み可能とする外部入力手段を備えるところに特徴を有する。
【０００７】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載のものにおいて、表示手段を備え、
前記処理プログラムは、言語種類に関するプログラムであり、
前記処理手段は、前記言語種類に応じて前記表示手段への表示処理を行うところに特徴を有する。
なお、言語種類は、各国ごとに対応する言語の種類であり、日本語や英語といった言語自体の種類に限られず、単位系の種類も含まれる。例えば、圧力単位の言語種類として「ｋＰ：キロパスカル」を使う国（日本等）、「ｂａｒ：バール」を使う国（米国等）がある場合に、かかる単位系の種類も言語種類に含まれる。
【０００８】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記記憶手段が、書換え可能に構成されているところに特徴を有する。
【０００９】
請求項５の発明は、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のものにおいて、前記検出対象は、流体であるとともに、前記物理量は、前記流体の圧力及び流量であり、前記流体が通過する流路の状態を検知する物理量検出装置であって、
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記流路の状態検知に先立って行われる前記流体の圧力及び流量のサンプリングにより得られる前記圧力及び流量の関係を示すサンプリングデータと、状態検知の際に得られる前記流体の圧力及び流量の関係を示す検出データと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせるところに特徴を有する。
【００１０】
請求項６の発明は、請求項５に記載のものにおいて、前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記サンプリングデータにおける前記流体の圧力及び流量の傾きと、前記検出データにおける前記流体の圧力及び流量の傾きと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせるところに特徴を有する。
【００１１】
請求項７の発明は、請求項５又は請求項６に記載のものにおいて、前記検出手段が備えられるヘッドユニットと、前記処理手段が備えられるコントロールユニットと、を備えるところに特徴を有する。
【００１２】
請求項８の発明は、請求項７に記載のものにおいて、前記コントロールユニットには、前記検出対象が異なる場合に各検出対象に応じて前記ヘッドユニットから出力される検出信号を入力可能な複数の検出入力手段が備えられているところに特徴を有する。
【００１３】
請求項９の発明は、請求項５ないし請求項８のいずれかに記載のものにおいて、前記サンプリングが行われるティーチングモードと、前記処理手段により流路の状態検知の処理プログラムが実行される検出モードと、のいずれかを選択可能なモード選択手段を備えるところに特徴を有する。
【００１４】
請求項１０の発明は、請求項５ないし請求項９のいずれかに記載のものにおいて、前記流体の温度を測定する温度測定手段を備え、
前記処理プログラムは前記処理手段に、前記圧力、前記流量及び前記温度の関係から前記流路の状態検知の処理を行わせるところに特徴を有する。
【００１５】
請求項１１の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、前記検出手段が備えられるヘッドユニットと、前記処理手段が備えられるコントロールユニットと、を備え、
前記検出対象は、流体であるとともに、前記物理量は、前記流体の圧力、流量及び温度であり、前記流体の流路内の状態を検知する物理量検出装置であって、
前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記流路の状態検知に先立って、前記流体の圧力、流量及び温度のサンプリングにより得られる前記流体の圧力、流量及び温度の関係を示すサンプリングデータと、状態検知の際の前記流体の圧力、流量及び温度との関係を示す検出データと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせるところに特徴を有する。
【００１６】
請求項１２の発明は、請求項１１に記載のものにおいて、前記処理プログラムは前記処理手段に、
前記サンプリングデータにおける前記流体の圧力、流量及び温度の傾きと、前記検出データにおける前記流体の圧力、流量及び温度の傾きと、の比較に基づいて前記流路の状態を検知する処理を行わせるところに特徴を有する。
【００１７】
請求項１３の発明のは、検出対象の物理量を検出する物理量検出装置に接続されることにより情報を送信可能な格納ユニットであって、
前記物理量検出装置における処理手段の処理を行うための処理プログラムを、前記検出対象ごとに、前記物理量と対応付けて記憶するプログラム記憶手段を備え、
前記物理量検出装置と接続されることにより、前記プログラム記憶手段に記憶されている処理プログラムが読み出され、前記物理量検出装置に送信されるところに特徴を有する。
【００１８】
請求項１４の発明は、検出対象の物理量に応じた検出信号を出力する検出手段が備えられるヘッドユニットを接続可能なコントロールユニットであって、
処理プログラムを記憶可能な記憶手段と、
前記検出手段から出力された検出信号に基づいて前記処理プログラムに応じた処理を行う処理手段と、
前記記憶手段に外部から前記処理プログラムを書き込み可能な外部入力手段と、
を備えて構成されるところに特徴を有する。
【００１９】
請求項１５の発明のプログラム記憶媒体は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のものにおいて、物理量の変化に応じた検出信号に基づき記憶手段に記憶されている処理プログラムに応じた処理を行う処理手段を備える物理量検出装置に与えられる当該処理プログラムが物理量の対象ごとに対応付けて複数記憶されており、
読み込み指令に応じて、前記複数の処理プログラムの中から少なくとも１の処理プログラムが選択されて前記物理量検出装置に与えられるところに特徴を有する。
【００２０】
請求項１６の発明のプログラム記憶媒体は、物理量の変化に応じた検出信号に基づき記憶手段に記憶されている処理プログラムに応じた処理を行う処理手段を備える物理量検出装置に与えられる当該処理プログラムが記憶されるとともに、
当該処理プログラムは、複数の処理プログラムから選択された１つのアプリケーションに対応するプログラムとして記憶されているところに特徴を有する。
【発明の効果】
【００２１】
＜請求項１の発明＞
本構成によれば、複数の異なる処理プログラムから選択された処理プログラムが記憶手段に書き込まれることにより、処理手段は、検出手段から出力された検出信号に処理プログラムに応じた処理を行うことができる。したがって、予め必要とされる処理プログラムが備えられていなくても、必要に応じて適切な処理プログラムを書き込むことにより、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置に備えておく必要がないから、記憶手段における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【００２２】
＜請求項２の発明＞
本構成によれば、外部入力手段を介して処理プログラムが記憶手段に書き込むことができる。
【００２３】
＜請求項３の発明＞
本構成によれば、言語種類に関する処理プログラムが記憶手段に書き込まれることにより、処理手段は、言語種類に応じて表示手段への表示処理を行うことができる。したがって、予め必要とされる言語種類に関する処理プログラムが備えられていなくても、適切な言語種類に関する処理プログラムを書き込むことにより、認識可能な言語種類で表示手段への表示を行うことができる。
【００２４】
＜請求項４の発明＞
本構成によれば、必要に応じて、その都度、適切な処理プログラムを書き込むことが可能になる。
【００２５】
＜請求項５の発明＞
本構成によれば、簡易な構成で流路の状態を検知することができる。
【００２６】
＜請求項６の発明＞
本構成によれば、圧力及び流量の傾きを比較するという簡易な構成で、流路内の状態を検知することができる。
【００２７】
＜請求項７の発明＞
本構成によれば、ヘッドユニットを移動させることにより、コントロールユニットから離れた場所の検出対象について、物理量の検出を行うことが可能になる。
【００２８】
＜請求項８の発明＞
本構成によれば、複数の検出対象における物理量の検出を行うことが可能になる。
【００２９】
＜請求項９の発明＞
本構成によれば、モード選択手段によりモードの選択を行うことができる。
【００３０】
＜請求項１０の発明＞
流路の状態が温度による影響をうける場合があるが、本構成によれば、かかる場合であっても、より確実に流路の状態検知を行うことができる。
【００３１】
＜請求項１１の発明＞
本構成によれば、検出手段から出力される流体の圧力、流量及び温度に基づいて、流体の流路の状態を検知することができる。
【００３２】
＜請求項１２の発明＞
本構成によれば、流体の圧力、流量及び温度の傾きを比較するという簡易な構成で、流路の状態を検知することができる。
【００３３】
＜請求項１３の発明＞
本構成によれば、予め必要とされる処理プログラムが物理量検出装置に備えられていなくても、必要に応じて適切な処理プログラムが読み出されて物理量検出装置に送信されるから、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置に備えておく必要がないから、物理量検出装置における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【００３４】
＜請求項１４の発明＞
本構成によれば、外部入力手段を介して処理プログラムが記憶手段に書き込まれることにより、処理手段は、検出手段から出力された検出信号に処理プログラムに応じた処理を行うことができる。したがって、予め必要とされる処理プログラムが備えられていなくても、必要に応じて適切な処理プログラムを書き込むことにより、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置に備えておく必要がないから、記憶手段における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【００３５】
＜請求項１５の発明＞
本構成によれば、予め必要とされる処理プログラムが物理量検出装置に備えられていなくても、読み込み指令に応じて、必要な処理プログラムを読み出して物理量検出装置に送信することができるから、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置に備えておく必要がないから、記憶手段における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【００３６】
＜請求項１６の発明＞
本構成によれば、予め必要とされる処理プログラムが物理量検出装置に備えられていなくても、必要な処理プログラムを用いて検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、複数の処理プログラムは、１つのアプリケーションに対応するプログラムとして記憶されているから、物理量検出装置に与えられた処理プログラムの利用が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１〜図６を参照しつつ説明する。
本実施形態の物理量検出装置１０は、気体や液体等の流体が流れる配管４０等の流路内の圧力や流量の変化に基づいて、配管４０内部に生じる目詰まりを検出可能となっている。
【００３８】
１．物理量検出装置の構成
物理量検出装置１０は、図１に示すように、流路内の気体の圧力を検出する圧力センサヘッド２１（本発明の「ヘッドユニット」に相当）と、流路内の気体の流量を検出する流量センサヘッド２２（本発明の「ヘッドユニット」に相当）と、センサヘッド２１,２２と通信ケーブルＣ２等を介して接続されるコントロールユニット３０と、を備えて構成されている。
コントロールユニット３０の背面側には、検出対象が異なる場合に各検出対象に応じて複数の通信ケーブルＣ２を接続可能な複数のコネクタ部６２，６３（本発明の「検出入力手段」に相当）や、後述する格納ユニット５０と接続するための接続コネクタが備えられている。
そして、各センサヘッド２１，２２に接続された通信ケーブルＣ２の端部をコネクタ部６２，６３にはめ込むことにより、センサヘッド２１，２２とコントロールユニット３０との間で情報の伝送が可能となっている。
【００３９】
圧力センサヘッド２１は、配管４０の支持孔４１Ａに固定されるようになっており、配管４０の内部の流体の移動方向の反対側に導入口２８Ａが向けられる圧力導入ポート２８と、圧力導入ポート２８と連通し、流体の圧力に応じた検出信号を出力する圧力検出部２３（本発明の「検出手段」に相当）と、を備えて構成されている。
【００４０】
圧力検出部２３は、半導体ダイヤフラムを用いた感圧素子から構成されている。
ここで、圧力検出部２３における圧力の検出は、周囲温度の影響をうけるため、圧力センサヘッド２１内における圧力検出部２３の近傍には、サーミスタ等からなる温度検知部２４（本発明の「検出手段」に相当）が圧力センサヘッド２１内にワンパッケージ化されている。そして、圧力検出部２３からの圧力に応じた検出信号（アナログ信号）に加えて、温度検知部２４からの温度に応じた検出信号（アナログ信号）がコントロールユニット３０に与えられるようになっており、コントロールユニット３０にセンサヘッド２１，２２からの検出信号が与えられると、圧力検出部２３にて検出された圧力に、温度検知部２４にて検出される温度に応じた補正を行った値を、流路内の気体（流体）の圧力として検出するようになっている。
【００４１】
流量センサヘッド２２は、配管４０の支持孔４１Ｂに固定されるようになっており、流量検知部２６（本発明の「検出手段」に相当）は、流路内の気体の流量に応じた検出信号（アナログ信号）をコントロールユニット３０に出力する。
【００４２】
具体的には、流体が流れる流路と直交する方向に、流体の流量導入ポート２９が備えられおり、流体の流量が多いほど流量導入ポート２９に流入する流体の圧力が大きくなるから、流量導入ポート２９に流入する流体の圧力に応じた検出信号を流量検知部２６が出力することにより、配管内を流れる気体の流量が検出されるようになっている。なお、流量センサとしては、流体の圧力に基づいて流量を検出するものに限らず、例えば、熱式、電磁式、機械式の流量センサ等の他の方式の流量センサを用いてもよい。
【００４３】
また、コントロールユニット３０の前面には、後述するモード切り替えを行うためのモード切替手段３６と、ＬＣＤや７セグメントＬＥＤ等からなる表示手段３７と、ユーザが操作可能な操作部３９と、が備えられている。
【００４４】
操作部３９は、表示手段３７の表示内容を切り替え可能なアップダウンスイッチや、後述するティーチングモードにおけるティーチングの開始や、検出モードにおける検出動作の開始の指示を行うことができるようになっている。
【００４５】
モード切替手段３６は、検出対象の検出に先立って行われる検出対象の圧力、流量等のサンプリングを行うティーチングモードと、ティーチングモードにて得られた圧力、流量の情報に基づいて、目詰まりの検出を行う検出モードと、の切替を行うものである。このモード切替手段３６を押すことにより、ティーチングモードと検出モードとの切り替えが行われるようになっている。
【００４６】
表示手段３７は、測定結果や検出用閾値などが表示される第１表示部３７Ａ及び第２表示部３７Ｂから構成されている。
【００４７】
具体的には、例えば、第１表示部３７Ａには、検出対象の圧力が表示されるとともに、第２表示部３７Ｂには、検出対象の流量が表示されるようになっている。
これらの表示は、設定されている検出対象の単位に応じて変換された数値が表示されるようになっている。例えば、設定されている単位が「Ｐａ」（パスカル）と「ｋＰａ」（キロパスカル）とでは、これらの単位に応じた異なる数値に、ＣＰＵ３３により変換された数値が表示されるようになっている。
なお、第１表示部３７Ａと第２表示部３７Ｂの表示は、他の表示に変更できるようになっており、例えば、物体の有無を検出する際には、第２表示部３７Ｂに閾値を表示することも可能である。
【００４８】
さらに、他の表示として、第１表示部３７Ａには、検出対象の圧力、流量、温度等の数値が設定されている単位に応じた数値にＣＰＵ３３により変換されて表示されるとともに、第２表示部３７Ｂには、第１表示部３７Ａに表示されている数値の単位（圧力としては、「Ｐａ」、「ｋＰａ」、「ｂａｒ」（バール）、「ｍｍＨｇ」（ミリメートルエイチジイ）、「ｉｎＨｇ」（インチエイチジイ）、「ｋｇＦ／ｃｍ２」（キログラム重/平方センチ）、「ＰＳＩ」（ピーエスアイ）、温度としては、℃（摂氏）、Ｆ（華氏）、流量としては、ｌ／ｍｉｎ、ｌ／ｓｅｃ、ｍｌ／ｍｉｎ等の単位）を表示することができる。
【００４９】
２．物理量検出装置の電気的構成
次に、物理量検出装置１０の電気的な構成について図２を参照して説明する。
物理量検出装置１０は、図２に示すように、検出対象の圧力に応じた検出信号を出力する圧力センサヘッド２１と、検出対象の流量に応じた検出信号を出力する流量センサヘッド２２と、コントロールユニット３０と、を備えて構成されている。
【００５０】
コントロールユニット３０には、モード切り替えを行うためのモード切替手段３６と、処理プログラムを記憶可能な記憶手段３５と、入力された検出信号に基づいて処理プログラムに応じた処理をＣＰＵ３３が行う処理手段３１と、表示手段３７と、外部からの情報を入力可能なネットワークＩ／Ｆ３８（本発明の「外部入力手段」に相当）と、を備えて構成されている。
【００５１】
記憶手段３５は、情報の書換え（書き込み・消去）を自由に行なうことができ、電源を切ってもデータが消えないフラッシュメモリにて構成されている。そして、後述する格納ユニット５０に格納された複数の異なる処理プログラムから選択された処理プログラムが記憶手段３５に書き込まれるようになっている。
【００５２】
処理手段３１は、圧力センサヘッド２１及び流量センサヘッド２２からの検出信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器３２と、Ａ／Ｄ変換器３２からのデジタル信号が入力されるＣＰＵ３３と、を備えて構成されている。
【００５３】
ネットワークＩ／Ｆ３８は、後述する複数の処理プログラムが格納された格納ユニット５０と通信ケーブル等の通信手段Ｃ１を介して接続されることにより、格納ユニット５０からの情報（処理プログラム）が入力され、格納ユニット５０内の処理プログラムが記憶手段３５に書き込まれるようになっている。
【００５４】
処理手段３１は、圧力センサヘッド２１から出力される検出信号と、流量センサヘッド２２から出力される検出信号と、がそれぞれ入力されるようになっており、これらの検出信号（アナログ信号）がＡ／Ｄ変換器３２によってデジタル信号に変換されてＣＰＵ３３に与えられる。そして、ＣＰＵ３３は、入力される検出信号に基づいて記憶手段３５に記憶されている処理プログラムに応じた処理を行う。
ここで、圧力センサや流量センサから出力される検出信号は、物理量の大きさの情報であり、実際に圧力や流量として表示手段３７に表示するためには、物理量を検出対象の種類（カテゴリー）等に応じた数値として認識する必要がある。例えば、圧力センサからの物理量についてはＣＰＵ３３（Central Processing Unit）が圧力の数値として認識するための処理プログラムが必要であり、流量センサからの物理量についてはＣＰＵ３３が流量の数値として認識するための処理プログラムが必要になる。
【００５５】
また、検出対象の種類（カテゴリー）が共通する場合であっても、検出対象の物質（分類）に応じた処理プログラムが必要になる場合がある。例えば、検出対象の種類（カテゴリー）が圧力で、物質（分類）がアルゴン、窒素、二酸化炭素等のように異なる場合には、当該物質（分類）に応じた処理プログラムが必要になる場合がある。
【００５６】
また、表示手段３７には、記憶手段３５に記憶されている処理プログラムに応じて、各国の言語種類に応じた表示も可能となっている。例えば、日本語表記に関する処理プログラムが記憶されていれば、表示手段３７に言語表示がされる際に日本語で表示され、英語表記に関する処理プログラムが記憶されていれば、表示手段３７に言語表示がされる際に英語で表示される。
【００５７】
なお、この言語種類としては、上記した日本語や英語といった言語自体の種類に限られず、単位系の種類も含まれる。例えば、圧力単位の言語種類として「ｋＰ：キロパスカル」を使う国（日本等）、「ｂａｒ：バール」を使う国（米国等）がある場合等には、日本国の単位表示のための処理プログラムが記憶手段３５に記憶されていれば、表示手段３７には日本国で用いられている単位表示が表示され、米国の単位表示のための処理プログラムが記憶手段３５に記憶されていれば、表示手段３７には米国で用いられている単位表示が表示される。
【００５８】
ここで、本実施形態では、出荷時には、これらの処理プログラムは、記憶手段３５に記憶されておらず、ユーザの使用目的に応じて、後述する物理量検出装置１０とは別体で設けられる格納ユニット５０から必要な処理プログラムのみをユーザの操作に応じて読み出し、物理量検出装置１０の記憶手段３５に記憶させるようになっている。
【００５９】
３．格納ユニットの構成
格納ユニット５０は、ＣＰＵ等からなる読み出し手段５１と、複数の処理プログラムが記憶されるＨＤＤ（ハードディスク）等からなるプログラム記憶手段５２と、プログラム記憶手段５２に記憶されている処理プログラムを記憶可能な表示パネル５４と、表示パネル５４に表示されている処理プログラムのうちからコントロールユニット３０に送出する処理プログラムを選択可能な操作部５５と、外部に処理プログラムを送出するためのネットワークＩ／Ｆ５３と、を備えて構成されている。
【００６０】
プログラム記憶手段５２に記憶されるプログラムとしては、図３に示すように、上記した物理量検出装置１０における処理に必要な処理プログラムが複数記憶されている。
【００６１】
具体的には、物理量を検出対象の種類（カテゴリー）等に応じた数値として認識するための処理プログラムとしては、例えば、圧力センサからの物理量については処理手段３１のＣＰＵ３３が圧力の数値として認識するための処理プログラムや、流量センサからの物理量についてはＣＰＵ３３が流量の数値として認識するための処理プログラムがプログラム記憶手段５２に記憶されている。
【００６２】
また、検出対象の種類（カテゴリー）が共通する場合に、物質（分類）がアルゴン、窒素、二酸化炭素等のように異なる場合には、当該物質（分類）に応じた処理プログラムが必要になるため、かかる処理プログラムもプログラム記憶手段５２に記憶されている。
【００６３】
さらに、各国の言語種類に応じた表示を行うための処理プログラムがプログラム記憶手段５２に記憶されている。例えば、日本語表記に関する処理プログラムや、英語表記に関する処理プログラムが記憶されている。また、この言語種類としては、単位系の種類に応じた処理プログラムが記憶されている。例えば、日本国の単位表示のための処理プログラムや、米国の単位表示のための処理プログラムが記憶されている。
【００６４】
そして、格納ユニットの操作部５５による操作や、コントロールユニット３０から必要な処理プログラムの情報が読み出し手段５１に与えられると、読み出し手段５１は、プログラム記憶手段５２に記憶された複数の処理プログラムのうちから対応する処理プログラムを読み出して、コントロールユニット３０に送出する。
【００６５】
４．処理手段の処理
ティーチングモードでは、処理手段３１は以下の処理を行う。
＜ティーチングモード＞
処理手段３１のＣＰＵ３３は、図５に示すように、ティーチング開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ１１）、カウントｋを初期化し（Ｓ１２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ１３）。
【００６６】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１及び流路内の流量データＲ１からなるサンプリングデータを取得し（Ｓ１４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１５）。
【００６７】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１６）、カウントＫは１であるから（Ｓ１６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ１７で「Ｎ」）。このとき、ユーザにより、配管４０内の流量等を変化させる作業が行われる。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ１７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ１３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ２、流路内の流量データＲ２からなるサンプリングデータを取得し（Ｓ１４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１５）。
【００６８】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１６）、カウントＫは２であるから（Ｓ１６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータに基づいて、１次関数を求める（Ｓ１８。図４参照）。なお、３点以上のデータに基づいて、関数を求めるようにしてもよく（Ｓ１６のＮ≧３）、この場合、例えば、３点以上のデータの近似点を通過する１次関数や、曲線の関数（２次以上の関数）を求めるようにすればよい。
【００６９】
そして、求めた１次関数（ｙ＝αｘ＋ｂ）の情報をメモリに記憶し（Ｓ１９）、ティーチングモードが終了する。
【００７０】
次に、検出モードでは、以下の処理を行う。
＜検出モード＞
ＣＰＵ３３は、図６に示すように、検出開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ２１）、ティーチングモードのときに、メモリに記憶した流量、圧量の１次関数（ｙ＝αｘ＋ｂ）の情報を読み出す（Ｓ２２）。
【００７１】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ、流路内の流量データＲからなる検出データを取得する（Ｓ２３）。
【００７２】
次に、関数（ｙ＝αｘ＋ｂ）のｙに圧力データＰの値を代入して、ティーチングの際の同じ圧力に対する流量ｘ＝Ｒ’を求める（Ｓ２４）。
【００７３】
そして、現在の流量Ｒとティーチングの際の流量Ｒ’との差（Ｒ’−Ｒ）が予め設定されているＭ以上であるかどうか判断する（Ｓ２５。図４参照）。
【００７４】
このＭは、流量の変化が配管４０の目詰まりにより生じているかどうかを判断するための基準となる量であり、配管４０の大きさや、検出したい目詰まりの程度等に応じて定められる（任意の数値に設定できる）。
【００７５】
流量Ｒと流量Ｒ’との差（Ｒ’−Ｒ）がＭ以上である場合には（Ｓ２５で「Ｙ」）、かかる大きな流量の変化が生じている場合には、配管４０の内部に目詰まり等が生じているか、若しくは生じ始めている可能性が高いためエラーを出力する。
【００７６】
かかるエラーを認識したユーザは、配管４０内の流体の送出を停止させる等の対策を行うことができる。なお、本実施形態では、関数に圧力データＰの値を代入するものとしたが、これに限らず、関数（ｙ＝αｘ＋ｂ）のｙに流量データＲの値を代入して、ティーチングの際の同じ流量に対する圧力を求め、圧力の差を基準値と比較することにより、目詰まりを検出する構成も可能である。
【００７７】
一方、流量Ｒと流量Ｒ’との差（Ｒ’−Ｒ）がＭ以上でない場合には（Ｓ２５で「Ｎ」）、測定終了の指示があったかどうか判断し（Ｓ２７）、測定終了の指示がなければ（Ｓ２７で「Ｎ」）、Ｓ２３に戻り、流路内の圧力データＰ、流路内の流量データＲを取得する。
一方、Ｓ２７にて測定終了の指示があれば（Ｓ２７で「Ｙ」）、目詰まりの検出を終了する。
【００７８】
本実施形態の効果
（１）本実施形態によれば、ネットワークＩ／Ｆ３８（外部入力手段）を介して処理プログラムが記憶手段３５に書き込まれることにより、処理手段３１は、検出手段から出力された検出信号に処理プログラムに応じた処理を行うことができる。したがって、予め必要とされる処理プログラムが備えられていなくても、必要に応じて適切な処理プログラムを書き込むことにより、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置１０に備えておく必要がないから、記憶手段３５における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【００７９】
（２）本実施形態によれば、ネットワークＩ／Ｆ３８（外部入力手段）を介して言語種類に関する処理プログラムが記憶手段３５に書き込まれることにより、処理手段３１は、言語種類に応じて表示手段３７への表示処理を行うことができる。したがって、予め必要とされる言語種類に関する処理プログラムが備えられていなくても、適切な言語種類に関する処理プログラムを書き込むことにより、認識可能な言語種類で表示手段３７への表示を行うことができる。
【００８０】
（３）本実施形態によれば、ＣＰＵ３３（処理手段）は、状態検知に先立って行われる流体の圧力及び流量のサンプリングにより得られる圧力及び流量の関係を示すサンプリングデータと、状態検知の際に得られる流体の圧力及び流量の関係を示す検出データと、の比較に基づいて流路の状態を検知するから、簡易な構成で流路の状態を検知することができる。
【００８１】
＜実施形態２＞
次に、本発明の実施形態２（請求項５の発明に対応）を図７〜図９を参照して説明する。
【００８２】
上記実施形態では、ティーチングモードの際に、流量及び圧力の関係式を求め、検出モードのときには、この関係式に基づいて、目詰まりを検出する構成としたが、実施形態２では、ティーチングモードの際に、流量及び圧力の傾きを求め、検出モードのときには、この傾きに基づいて、目詰まりを検出する構成である。なお、上記実施形態と同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
【００８３】
＜ティーチングモード＞
ＣＰＵ３３は、図８に示すように、ティーチング開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ３１）、カウントｋを初期化し（Ｓ３２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ３３）。
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１及び流路内の流量データＲ１からなるサンプリングデータを取得し（Ｓ３４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ３５）。
【００８４】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ３６）、カウントＫは１であるから（Ｓ３６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ３７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ３７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ３３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１及び流路内の流量データＲ１からなるサンプリングデータを取得し（Ｓ３４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ３５）。
【００８５】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ３６）、カウントＫは２であるから（Ｓ３６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータに基づいて、流量及び圧力の傾きαを求める（Ｓ３８。図７参照）。
そして、求めた傾きαの情報をメモリに記憶し（Ｓ３９）、ティーチングモードが終了する。
【００８６】
次に、検出モードでは、以下の処理を行う。
＜検出モード＞
ＣＰＵ３３は、図９に示すように、検出開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ４１）、カウントｋを初期化し（Ｓ４２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ４３）。
【００８７】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１及び流路内の流量データＲ１からなる検出データを取得し（Ｓ４４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ４５）。
【００８８】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ４６）、カウントＫは１であるから（Ｓ４６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ４７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ４７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ４３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ２及び流路内の流量データＲ２からなる検出データを取得し（Ｓ４４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ４５）。
【００８９】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ４６）、カウントＫは２であるから（Ｓ４６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータに基づいて、流量及び圧力の傾きα’を求める（Ｓ４８。図７参照）。
【００９０】
次に、ティーチングモードのときに求めた傾きαをメモリから読み出し（Ｓ４９）、傾きα’と傾きαとの差（α’−α）がＳ以上（Ｓは定数）であるかどうかを判断する（Ｓ５０）。このＳは、流量の変化が配管４０の目詰まりにより生じているかどうかを判断するための基準となる量であり、配管４０の大きさや、検出したい目詰まりの程度等に応じて定められる（任意の数値に設定できる）。
【００９１】
傾きα’と傾きαとの差（α’−α）がＳ以上であれば（Ｓ５０で「Ｙ」）、かかる大きな流量の変化が生じている場合には、配管４０の内部に目詰まり等が生じているか、若しくは目詰まり等が生じ始めている可能性が高いためエラーを出力する。
【００９２】
かかるエラーを認識したユーザは、配管４０内の流体の送出を停止させる等の対策を行うことができる。
【００９３】
一方、傾きα’と傾きαとの差（α’−α）がＳ以上でない場合には（Ｓ５０で「Ｎ」）、測定終了の指示があったかどうか判断し（Ｓ５２）、測定終了の指示がなければ（Ｓ５２で「Ｎ」）、Ｓ４７に戻り、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ４７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ４７で「Ｙ」）、上記処理を繰り返す。
一方、Ｓ５２にて測定終了の指示があれば（Ｓ５２で「Ｙ」）、目詰まりの検出を終了する。
【００９４】
このように、本実施形態によれば、ＣＰＵ３３（処理手段）により圧力及び流量の傾きを比較するという簡易な構成で、流路内の状態を検知することができる。
【００９５】
＜実施形態３＞
次に、本発明の実施形態３を図１０〜図１２を参照して説明する。
上記実施形態では、ティーチングモードの際には、所定時間ごとに、圧力及び流量のデータを取得する構成としたが、実施形態３では、ユーザによるデータの取得のための操作が行われたときに、圧力及び流量のデータを取得する構成となっている。
【００９６】
＜ティーチングモード＞
ＣＰＵ３３は、図１１に示すように、ティーチング開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ６１）、カウントｋを初期化し（Ｓ６２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ６３）。
【００９７】
次に、ＣＰＵ３３は、操作部３９からの信号により、圧力及び流量のデータを取得する指令があるのを待つ（Ｓ６４で「Ｎ」）。
【００９８】
圧力及び流量のデータを取得する指令があった場合には（Ｓ６４で「Ｙ」）、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰｋ、流路内の流量データＲｋを取得し（Ｓ６５。図１０参照）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ６６）。
【００９９】
次に、ＣＰＵ３３は、測定終了の指示がなければ（Ｓ６７で「Ｎ」）、Ｓ６３にてカウントｋに１を加算して同様の処理を実行する。
一方、測定終了の指示があれば（Ｓ６７で「Ｙ」）、ティーチングモードが終了する。
【０１００】
次に、検出モードでは、以下の処理を行う。
＜検出モード＞
ＣＰＵ３３は、図１２に示すように、検出開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ７１）、カウントｋを初期化し（Ｓ７２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ７３）。
【０１０１】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰｋ’、流路内の流量データＲｋ’を取得する（Ｓ７４）。
【０１０２】
次に、ティーチングモードのときに記憶した圧力データ、流量データを読み出す（Ｓ７５）。
【０１０３】
そして、ティーチングモードのときに記憶した圧力データのうちに、圧力データＰｋ’と略同一（近似）の圧力データが存在するかどうかを判断する（Ｓ７６）。
【０１０４】
圧力データＰｋ’と略同一（近似）の圧力データが存在しなければ（Ｓ７６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ７７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ７７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算して上記処理を繰り返す（Ｓ７３〜Ｓ７７）。
【０１０５】
圧力データＰｋ’と略同一（近似）の圧力データが存在する場合には（Ｓ７６で「Ｙ」。図１０参照）、流量データＲｋ’と流量データＲｋとの差（Ｒｋ’−Ｒｋ）がＭ以上（Ｍは任意に設定可能な定数）であるかどうかを判断する（Ｓ７８）。
【０１０６】
流量データＲｋ’と流量データＲｋとの差がＭ以上である場合には（Ｓ７８で「Ｙ」）、かかる大きな流量の変化が生じている場合には、配管４０の内部に目詰まり等が生じているか、若しくは目詰まり等が生じ始めている可能性が高いためエラーを出力する。
【０１０７】
かかるエラーを認識したユーザは、配管４０内の流体の送出を停止させる等の対策を行うことができる。
【０１０８】
一方、流量データＲｋ’と流量データＲｋとの差がＭ以上でない場合には（Ｓ７８で「Ｎ」）、測定終了の指示があったかどうか判断し（Ｓ８０）、測定終了の指示がなければ（Ｓ８０で「Ｎ」）、Ｓ７７に戻り、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ７７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ７７で「Ｙ」）、上記処理（Ｓ７３〜Ｓ８０）を繰り返す。
【０１０９】
一方、Ｓ８０にて測定終了の指示があれば（Ｓ８０で「Ｙ」）、目詰まりの検出を終了する。
【０１１０】
なお、本実施形態では、ティーチングモードのときに記憶したデータと略同一（近似）の圧力のデータにおける流量の差に基づいて目つまりを検出する構成としたが、ティーチングモードのときに記憶したデータと略同一（近似）の流量のデータにおける圧力の差に基づいて目つまりを検出する構成としてもよい。
【０１１１】
＜実施形態４＞
上記実施形態では、圧力及び流量に基づき流路の状態検知を行う構成としたがて、実施形態４（請求項９、１０の発明に対応）では、温度検知部２４（温度測定手段）から出力される検出信号、圧力センサから出力される圧力に応じた検出信号、流量センサから出力される流量に応じた検出信号が入力される、圧力、及び温度の関係から流路の状態検知を行う。
【０１１２】
＜ティーチングモード＞
処理手段３１のＣＰＵ３３は、図１４に示すように、ティーチング開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ８１）、カウントｋを初期化し（Ｓ８２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ８３）。
【０１１３】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１、流路内の温度データＴ１を取得し（Ｓ８４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ８５）。
【０１１４】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ８６）、カウントＫは１であるから（Ｓ８６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ８７で「Ｎ」）。このとき、ユーザにより、配管４０内の流量等を変化させる作業が行われる。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ８７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ８３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ２、流路内の流量データＲ２、流路内の温度データＴ２を取得し（Ｓ８４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ８５）。
【０１１５】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ８６）、カウントＫは２であるから（Ｓ８６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータ、温度及び流量に関して得られた２点のデータ、圧力及び温度に関して得られた２点のデータに基づいて、それぞれの１次関数（ｙ＝αｘ＋ｂ１、ｙ＝βｘ＋ｂ２、ｙ＝γｘ＋ｂ３）を求める（Ｓ８８。図１３参照）。なお、３点以上のデータに基づいて、関数を求めるようにしてもよく（Ｓ８６のＮ≧３）、この場合、例えば、３点以上のデータの近似点を通過する１次関数や、曲線の関数（２次以上の関数）を求めるようにすればよい。
【０１１６】
そして、求めた１次関数（ｙ＝αｘ＋ｂ１、ｙ＝βｘ＋ｂ２、ｙ＝γｘ＋ｂ３）の情報をメモリに記憶し（Ｓ８９）、ティーチングモードが終了する。
【０１１７】
次に、検出モードでは、以下の処理を行う。
＜検出モード＞
ＣＰＵ３３は、図１５に示すように、検出開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ９１）、ティーチングモードのときに、メモリに記憶した流量、圧量の１次関数（ｙ＝αｘ＋ｂ）の情報を読み出す（Ｓ９２）。
【０１１８】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ、流路内の流量データＲ、流路内の温度データＴを取得する（Ｓ９３）。
【０１１９】
次に、関数（ｙ＝αｘ＋ｂ１）のｙに圧力データＰの値を代入して、ティーチングの際の同じ圧力に対する流量ｘ＝Ｒ’を求め、関数（ｙ＝βｘ＋ｂ２）のｙに流量データＲの値を代入して、ティーチングの際の同じ流量に対する温度ｘ＝Ｔ’を求め、関数（ｙ＝γｘ＋ｂ３）のｙに温度データＴの値を代入して、ティーチングの際の同じ温度に対する圧力ｘ＝Ｐ’を求める（Ｓ９４）。
【０１２０】
そして、現在の流量Ｒとティーチングの際の流量Ｒ’との差（Ｒ’−Ｒ）が予め設定されているＭ以上、又は、現在の温度Ｔとティーチングの際の温度Ｔ’との差（Ｔ’−Ｔ）が予め設定されているＭ’以上、又は、現在の圧力Ｐとティーチングの際の圧力Ｐ’との差（Ｐ’−Ｐ）が予め設定されているＭ”以上であるかどうか判断する（Ｓ９５。図１３参照）。
【０１２１】
このＭ、Ｍ’Ｍ”は、流量等の変化が配管４０の目詰まりにより生じているかどうかを判断するための基準となる量であり、配管４０の大きさや、検出したい目詰まりの程度等に応じて定められる（それぞれ任意の数値に設定できる）。
【０１２２】
Ｍ、Ｍ’Ｍ”のいずれか以上の変化が生じた場合には（Ｓ９５で「Ｙ」）、かかる大きな変化が生じている場合には、配管４０の内部に目詰まり等が生じているか、若しくは生じ始めている可能性が高いためエラーを出力する。
【０１２３】
かかるエラーを認識したユーザは、配管４０内の流体の送出を停止させる等の対策を行うことができる。
【０１２４】
一方、Ｍ、Ｍ’Ｍ”の全てについて、かかる変化以下である場合には（Ｓ９５で「Ｎ」）、測定終了の指示があったかどうか判断し（Ｓ９７）、測定終了の指示がなければ（Ｓ９７で「Ｎ」）、Ｓ９３に戻り、流路内の圧力データＰ、流路内の流量データＲを取得する。
一方、Ｓ９７にて測定終了の指示があれば（Ｓ９７で「Ｙ」）、目詰まりの検出を終了する。
【０１２５】
＜実施形態５＞
実施形態２では、ティーチングモード時の流体の圧力及び流量の傾きと、検出モード時の流体の圧力及び流量の傾きと、の比較に基づいて流路の状態を検知する構成であったが、実施形態５では、ティーチングモード時の流体の圧力、流量及び温度の傾きと、検出モード時の流体の圧力、流量及び温度の傾きと、の比較に基づいて流路の状態を検知する構成である。
【０１２６】
＜ティーチングモード＞
ＣＰＵ３３は、図１７に示すように、ティーチング開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ１０１）、カウントｋを初期化し（Ｓ１０２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ１０３）。
【０１２７】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１、流路内の温度データＴ１を取得し（Ｓ１０４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１０５）。
【０１２８】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１０６）、カウントＫは１であるから（Ｓ１０６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ１０７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ１０７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ１０３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ２、流路内の流量データＲ２、流路内の温度データＴ２を取得し（Ｓ１０４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１０５）。
【０１２９】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１０６）、カウントＫは２であるから（Ｓ１０６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータに基づいて、流量及び圧力の傾きαを求め、温度及び流量に関して得られた２点のデータに基づいて、温度及び流量の傾きβを求め、圧力及び温度に関して得られた２点のデータに基づいて、圧力及び温度の傾きγを求める（Ｓ１０８。図１６参照）。
そして、求めた傾きα、β、γの情報をメモリに記憶し（Ｓ１０９）、ティーチングモードが終了する。
【０１３０】
次に、検出モードでは、以下の処理を行う。
＜検出モード＞
ＣＰＵ３３は、図１８に示すように、検出開始の信号をうけると、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２を駆動させるとともに（Ｓ１１１）、カウントｋを初期化し（Ｓ１１２）、カウントｋに１を加算する（Ｓ１１３）。
【０１３１】
そして、ＣＰＵ３３は、圧力センサヘッド２１、流量センサヘッド２２から、圧力、流量に応じて出力される検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ１’、流路内の流量データＲ１’、流路内の温度データＴ１’を取得し（Ｓ１１４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１１５）。
【０１３２】
次に、ＣＰＵ３３は、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１１６）、カウントＫは１であるから（Ｓ１１６で「Ｎ」）、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ１１７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ１１７で「Ｙ」）、カウントｋに１を加算するとともに（Ｓ１１３）、検出信号に基づいて、流路内の圧力データＰ２’、流路内の流量データＲ２’、流路内の温度データＴ２’を取得し（Ｓ１１４）、取得したデータをメモリに記憶する（Ｓ１１５）。
【０１３３】
次に、カウントＫが２であるか判断し（Ｓ１１６）、カウントＫは２であるから（Ｓ１１６で「Ｙ」）、流量及び圧力に関して得られた２点のデータに基づいて、流量及び圧力の傾きα’を求め、温度及び流量に関して得られた２点のデータに基づいて、温度及び流量の傾きβ’を求め、圧力及び温度に関して得られた２点のデータに基づいて、圧力及び温度の傾きγ’を求める（Ｓ１１８。図１６参照）。
【０１３４】
次に、ティーチングモードのときに求めた傾きαをメモリから読み出し（Ｓ１１９）、傾きα’と傾きαとの差（α’−α）がＳ以上、傾きβ’と傾きβとの差（β’−β）がＳ’以上、傾きγ’と傾きγとの差（γ’−γ）がＳ”以上、（Ｓ,Ｓ’,Ｓ”は定数）であるかどうかを判断する（Ｓ１２０）。このＳ,Ｓ’,Ｓ”は、流量の変化が配管４０の目詰まりにより生じているかどうかを判断するための基準となる量であり、配管４０の大きさや、検出したい目詰まりの程度等に応じて定められる（任意の数値に設定できる）。
【０１３５】
差（α’−α）がＳ以上、又は差（β’−β）がＳ’以上、又は差（γ’−γ）がＳ”以上であれば（Ｓ１２０で「Ｙ」）、かかる大きな流量の変化が生じている場合には、配管４０の内部に目詰まり等が生じているか、若しくは目詰まり等が生じ始めている可能性が高いためエラーを出力する。
【０１３６】
かかるエラーを認識したユーザは、配管４０内の流体の送出を停止させる等の対策を行うことができる。
【０１３７】
一方、いずれの傾きの差もそれぞれＳ，Ｓ’，Ｓ”以下である場合には（Ｓ１２０で「Ｎ」）、測定終了の指示があったかどうか判断し（Ｓ１２２）、測定終了の指示がなければ（Ｓ１２２で「Ｎ」）、Ｓ１１７に戻り、圧力データＰ１、流路内の流量データＲ１の取得から所定時間（配管４０内の流量が変化する時間）経過するのを待つ（Ｓ１１７で「Ｎ」）。そして、ＣＰＵ３３は、所定時間経過したと判断すると（Ｓ１１７で「Ｙ」）、上記処理を繰り返す。
一方、Ｓ１２２にて測定終了の指示があれば（Ｓ１２２で「Ｙ」）、目詰まりの検出を終了する。
【０１３８】
このように、本実施形態によれば、ＣＰＵ３３（処理手段）により傾きを比較するという簡易な構成で、流路内の状態を検知することができる。
【０１３９】
＜実施形態６＞
実施形態６では、格納ユニット５０に代えて、ＰＣ内のハードディスクや、ＣＤ−Ｒ等の記憶媒体に複数の処理プログラム書き込んでおき、ユーザが物理量検出装置１０と通信手段を介して接続されているＰＣ等から必要な処理プログラムの読み込み指令を行うことにより、記憶媒体の複数の処理プログラムの中から必要な処理プログラムのみが選択されて読み出され、物理量検出装置１０の記憶手段３５に記憶されるものである。
【０１４０】
これにより、予め必要とされる処理プログラムが物理量検出装置１０に備えられていなくても、読み込み指令に応じて、必要な処理プログラムを読み出して物理量検出装置１０に送信することができるから、検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、必要とされる可能性のある全ての処理プログラムを予め物理量検出装置１０に備えておく必要がないから、記憶手段３５における処理プログラムを記憶するために必要な記憶容量の低減を図ることができる。
【０１４１】
また、この記憶媒体に記憶される処理プログラムは、複数の処理プログラムから選択された１つのアプリケーションに対応するプログラムとして記憶されるものであってもよい。
【０１４２】
これにより、予め必要とされる処理プログラムが物理量検出装置１０に備えられていなくても、必要な処理プログラムを用いて検出対象に応じた処理を行うことが可能になる。また、複数の処理プログラムは、１つのアプリケーションに対応するプログラムとして記憶されているから、物理量検出装置１０に与えられた処理プログラムの利用が容易になる。
【０１４３】
＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれ、さらに、下記以外にも要旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することができる。
（１）上記実施形態では、圧力センサに備えられている温度センサを用いて温度の測定を行う構成としたが、温度センサを別体として設けて温度を測定する構成としてもよい。
【０１４４】
（２）上記実施形態では、流量、圧力及び温度から求められる関数は、流量、圧力の座標データの２点から求められる構成としたが、これに限られない。例えば、３点以上の座標データから関数や、傾きが定められるようにしてもよい。なお、このときの関数は、各点を直線で結ぶようにしてもよいが、３点以上を曲線で結ぶ関数としてもよい。
【０１４５】
（３）上記実施形態では、物理量検出装置１０は、コントロールユニット３０に、検出対象に応じたヘッドユニットが取り付けられるいわゆるヘッド分離型の物理量検出装置１０としたが、コントロールユニット３０に検出対象に応じたセンサ（流量センサや圧力センサ等）を取り付けられる一体型の物理量検出装置１０であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１４６】
【図１】物理量検出装置による検出を概略的に示す図
【図２】物理量検出装置及び格納ユニットのブロック図
【図３】格納ユニットに格納された複数の処理プログラムと検出対象との対応を示す図
【図４】目つまりの検出処理について説明する図
【図５】ティーチング時のフローチャート
【図６】検出時のフローチャート
【図７】実施形態２の目つまりの検出処理について説明する図
【図８】ティーチング時のフローチャート
【図９】検出時のフローチャート
【図１０】実施形態３の目つまりの検出処理について説明する図
【図１１】ティーチング時のフローチャート
【図１２】検出時のフローチャート
【図１３】実施形態４の目つまりの検出処理について説明する図
【図１４】ティーチング時のフローチャート
【図１５】検出時のフローチャート
【図１６】実施形態５の目つまりの検出処理について説明する図
【図１７】ティーチング時のフローチャート
【図１８】検出時のフローチャート
【符号の説明】
【０１４７】
１０…物理量検出装置
２１…圧力センサヘッド（検出手段）
２２…流量センサヘッド（検出手段）
２３…圧力検出部
２４…温度検知部（検出手段）
３０…コントロールユニット
３１…処理手段
３３…ＣＰＵ
３５…記憶手段
３６…モード切替手段
３７…表示手段
３８…ネットワークＩ／Ｆ（外部入力手段）
３９…操作部
５０…格納ユニット
５１…読み出し手段
５２…プログラム記憶手段
５４…表示パネル
５５…操作部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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