(57)【要約】【課題】  プラズマディスプレイパネルの各単位セルを囲う井桁状の隔壁に蛍光体層をスクリーン印刷法により形成する場合の歩留及び品質を向上させるスクリーンマスクを提供する。【解決手段】スクリーンマスク２０Ｂの開口部２２Ｂの面放電電極対が延びる方向（ｘ−ｘ方向）の隔壁１３上に該当する箇所に、蛍光体材料の吐出を所定量抑制するための吐出抑制部２４，…，２４が設けられているので、ｘ−ｘ方向の隔壁１３上への同蛍光体材料の溢れが抑制されると共に、蛍光体材料の吐出量の不足が生じにくくなり、表示画面の品質の良いプラズマディスプレイパネル及びプラズマ表示装置が提供される。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
放電ギャップを隔てて互いに平行に配置された走査電極及び維持電極からなる複数の面放電電極対と、前記各面放電電極対と交差する複数のデータ電極と、前記面放電電極対と前記データ電極との交差領域に形成された複数の単位セルと、少なくとも前記データ電極が延びる方向に形成されて前記各単位セルを囲う隔壁とを有するプラズマディスプレイパネルの製造に用いられ、前記隔壁の前記各単位セルを囲う面に対し、前記データ電極が延びる方向に連続した所定幅の開口部を経てペースト状の所定の蛍光体材料を吐出して蛍光体層を形成するためのスクリーンマスクであって、
前記開口部は、
前記データ電極が延びる方向の前記各単位セルの境界となる箇所に、前記蛍光体材料の吐出を所定量抑制するための吐出抑制手段が設けられていることを特徴とするスクリーンマスク。
【請求項２】
前記隔壁は、
前記面放電電極対及びデータ電極が延びる方向の井桁状に形成され、
前記吐出抑制手段は、
前記面放電電極対が延びる方向の前記隔壁上に該当する箇所に設けられていることを特徴とする請求項１記載のスクリーンマスク。
【請求項３】
前記吐出抑制手段は、
前記面放電電極対が延びる方向の前記隔壁上に該当する箇所の前記開口部の幅を所定量狭くすることにより形成されていることを特徴とする請求項１又は２記載のスクリーンマスク。
【請求項４】
請求項１、２又は３記載のスクリーンマスクを用いることを特徴とするプラズマディスプレイパネルの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載の製造方法により製造されたプラズマディスプレイパネルを用いることを特徴とするプラズマ表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、スクリーンマスク、該スクリーンマスクを用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法及び該プラズマディスプレイパネルを用いるプラズマ表示装置に係り、特に、プラズマディスプレイパネルの各単位セルを囲う井桁状の隔壁に蛍光体層をスクリーン印刷法により形成する場合に用いて好適なスクリーンマスク、該スクリーンマスクを用いるプラズマディスプレイパネルの製造方法及び該プラズマディスプレイパネルを用いるプラズマ表示装置
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（Prasma Display Panel、以下、「ＰＤＰ」という）を主要部として含むプラズマ表示装置は、従来から広く用いられているＣＲＴ（Cathode Ray Tube）あるいは液晶表示装置などのディスプレイ装置と比較して、ちらつきが少なく、表示コントラスト比が大きいこと、薄型で大画面表示が可能であること、応答速度が速いことなど、多くの利点を有している。このため、近年では、プラズマ表示装置は、公共の表示装置や大型平面テレビジョンなどのディスプレイ装置として利用されることが多くなっている。
【０００３】
このプラズマ表示装置は、動作方式により、ＰＤＰの表示電極（後述する走査電極と維持電極とからなる面放電電極対）が透明誘電体層で被覆されて間接的に交流放電の状態で動作させるＡＣ型のものと、同表示電極が放電空間に露出されて直流放電の状態で動作させるＤＣ型のものとに略大別される。特に、前者は、比較的簡単な構造で、上述したような大画面化が容易に実現されるので、近年、広く用いられている。このようなＰＤＰでは、それぞれガラスなどの透明電極からなる前面基板と背面基板とが対向するように配置され、両基板間にプラズマを発生させる放電空間が形成されている。
【０００４】
また、ＡＣ型のＰＤＰは、３電極面放電型の構成のものが多く用いられる。この３電極面放電型のＰＤＰでは、ＰＤＰの単位セル（放電セル）を形成する上記一対の基板のうちの前面基板の内面に、水平方向（行方向）に沿って互いに平行に走査電極と維持電極（一般には、電気的に連結されているので、「共通電極」ともいう）とからなる面放電電極（「表示電極」、「行電極」ともいう）群が配置されている。また、背面基板の内面に、上記行電極群と直交するように、垂直方向（列方向）にデータ電極（「アドレス電極」ともいう）からなる列電極が配置されている。このＰＤＰは、前面基板側の放電空間で行われる面放電時に発生する高エネルギのイオンが背面基板の内側に形成されている蛍光体層を衝撃することが少ないので、長寿命化がはかれ、最も広く採用されている。また、上記蛍光体層は、背面基板の内側に赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の各色のものが配置され、加法混色により多色発光が可能となっている。
【０００５】
図１は、上記３電極面放電型のＰＤＰの要部の構成を示す分解斜視図である。
このＰＤＰは、同図に示すように、ガラスからなる前面基板１及び背面基板２を備えている。前面基板１上には、放電ギャップＧを隔てて互いに平行に配置された透明の走査電極３及び維持電極４（面放電電極対）が設けられ、かつ、バス電極５及びバス電極６が同走査電極３及び維持電極４にそれぞれ重なるように配置されている。バス電極５及びバス電極６は、Ａｌ（アルミニウム）、Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）などの金属材料で構成され、走査電極３及び維持電極４の抵抗値を小さくする。さらに、これらの電極を覆う透明誘電体層１０、及び同透明誘電体層１０を放電から保護するための酸化マグネシウムなどからなる保護層１１が形成されている。また、背面基板２上には、走査電極３及び維持電極４と直交するように配置されたデータ電極７、及び同データ電極７を覆うための白色誘電体層１２が形成されている。また、上記面放電電極対とデータ電極７との交差領域に単位セルが形成される。さらに、白色誘電体層１２の表面には、隣接する単位セルとの間を分離するための隔壁１３が設けられ、かつ白色誘電体層１２の表面及び隔壁１３の側面に緑（Ｇ），青（Ｂ），赤（Ｒ）に対応する各蛍光体層９が順次繰り返して塗布されている。
【０００６】
ここで、近年では、ＰＤＰに高精細化が要求されており、行電極である走査電極３及び維持電極４のピッチを狭くする必要がある。ところが、単純に行電極のピッチを狭くすると、垂直方向（すなわち、データ電極が延びる方向）に隣り合う単位セル間で放電が干渉し合って誤放電が発生し、これに伴って画質が劣化することがある。このため、上記隔壁１３は、垂直方向にのみに延びるのではなく、水平方向（すなわち、走査電極３及び維持電極４が延びる方向）にも延びて垂直方向に隣接する単位セルを区切る部分をも備えた井桁状に形成され、同単位セルが閉セル構造とされたＰＤＰが主流となっている。
【０００７】
前面基板１と背面基板２との間には、Ｈｅ（ヘリウム）、Ｎｅ（ネオン）、Ｘｅ（キセノン）などの放電用ガスが単独あるいは混合して充填され、隔壁１３により形成された放電空間８では、上記放電ガスの放電により発生する真空紫外光が蛍光体層９に照射されることにより可視光に変換され、前面基板１から表示発光が観測される。蛍光体層９は、様々な色を表現するために、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の３原色に塗り分けて配列されている。
【０００８】
図２は、図１のＰＤＰの概略の製造工程図である。
このＰＤＰの製造工程では、同図２に示すように、工程Ａ１において、前面基板１が洗浄される。工程Ａ２において、スパッタ法などにより前面基板１の内面にＩＴＯなどが成膜された後、フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングされて走査電極３及び維持電極４が形成される。この後、スパッタ法などにより走査電極３及び維持電極４上にＡｌなどが成膜された後、フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングされてバス電極６が形成される。工程Ａ３において、スクリーン印刷法などにより走査電極３及び維持電極４を覆うようにＰｂＯなどの透明誘電体層１０が形成される。工程Ａ４において、ＥＢ（Electron Beam 、電子ビーム）蒸着法により透明誘電体層１０上にＭｇＯなどの材料を蒸着して保護層１１が形成される。
【０００９】
一方、工程Ｂ１において、背面基板２が洗浄される。工程Ｂ２において、スパッタ法などにより背面基板２の内面にＡｌなどが成膜された後、フォトリソグラフィ法により所望の形状にパターニングされてデータ電極７が形成される。工程Ｂ３において、スクリーン印刷法によりデータ電極７を覆うように白色誘電体層１２が形成される。工程Ｂ４において、サンドブラスト法などによりデータ電極７上に隔壁１３が形成される。工程Ｂ５において、白色誘電体層１２及び隔壁１３を覆うように蛍光体層９が形成される。次に、工程Ｃ１において、前面基板１と背面基板２とが対向した状態で固定されて組み立てられる。工程Ｃ２において、前面基板１及び背面基板２の周辺部がシールフリット（封着材）により封着される。工程Ｃ３において、前面基板１と背面基板２との間の空間が排気されてガス封入が行われ、ＰＤＰが完成する。
【００１０】
上記工程Ｂ５における蛍光体層９の形成については、従来より印刷法やフォトリソグラフィ法などの様々な手法が試みられてきたが、現在では、生産性及びコスト共に利点の大きいスクリーン印刷法により行われることが多い。
【００１１】
図３及び図４は、図２中の工程Ｂ５における蛍光体層９のスクリーン印刷法による形成を説明する図である。
スクリーン印刷法では、同図３に示すように、スクリーンマスク２０が用いられる。スクリーンマスク２０は、枠２１内にメッシュ（網目）が張設され、同メッシュに乳剤でパターニングすることにより、図４中に示す開口部２２が開口幅ａでデータ電極７が延びる方向に連続して形成されて構成されている。このスクリーンマスク２０を押さえながらスキージ（Squeege ）２３をｙ−ｙ方向に走行させることにより、たとえば緑（Ｇ）に対応したペースト状の蛍光体材料Ｐが開口部２２を経て隔壁１３の緑色発光用の単位セルを囲う面に吐出される。また、スクリーンマスク２０と同様の図示しないスクリーンマスクにより、青（Ｂ）に対応した蛍光体材料Ｐが開口部を経て隔壁１３の青色発光用の単位セルを囲う面に吐出される。同様に、赤（Ｒ）に対応した蛍光体材料Ｐが開口部を経て隔壁１３の赤色発光用の単位セルを囲う面に吐出される。これにより、図１中の蛍光体層９が形成される。
【００１２】
図５は、図４中のスクリーンマスク２０の要部の構成を示す平面図である。
このスクリーンマスク２０の開口部２２は、同図５に示すように、隔壁１３のｙ−ｙ方向（すなわち、データ電極７が延びる方向）に沿った開口幅ａのストライプ状に形成されている。また、スクリーンマスク２０に代えて、図６に示すスクリーンマスク２０Ａが用いられることもある。スクリーンマスク２０Ａでは、同図６に示すように、単位セルに対応する部分のみが開口された開口幅ａのドット状の開口部２２Ａが形成されている。
【００１３】
上記のスクリーンマスクの他、従来、この種の技術としては、たとえば、次のような文献に記載されるものがあった。
特許文献１に記載されたカラープラズマディスプレイのスクリーン版（スクリーンマスク）では、スクリーン版のパターン部が表示領域より長さ方向に大きく広げられることにより、同表示領域の最外周部におけるペースト起因のスクリーン版の目詰まりが抑えられ、連続印刷性の向上を図ることができる。
【特許文献１】特開２００４−０８２３８４号公報（要約書、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１４】
しかしながら、上記従来のスクリーンマスクでは、次のような問題点があった。
すなわち、図５に示すストライプ状の開口部２２を有するスクリーンマスク２０を用いた場合、ｘ−ｘ方向（すなわち、走査電極３及び維持電極４が延びる方向）に延びる方向の隔壁１３上に該当する箇所に同開口部２２があるため、同隔壁１３上に蛍光体材料Ｐが付着したり、同蛍光体材料Ｐが隣接する他の色に対応した単位セル側に溢れ、完成後のＰＤＰの表示画面に混色を招くことがあるという問題点がある。
【００１５】
また、図６に示すドット状の開口部２２Ａを有するスクリーンマスク２０Ａを用いた場合、上記スクリーンマスク２０のような問題点は発生しないが、同開口部２２Ａが非連続に形成されているので、ストライプ状の開口部２２と比べて、蛍光体材料Ｐの吐出量の不足が生じやすい。このため、隔壁１３の単位セルを囲う面に対して十分な蛍光体材料Ｐが吐出されず、完成後のＰＤＰの各画素の点灯状態が不均一になるという問題点がある。この発明が解決しようとする課題としては、これらの問題点が一例として挙げられる。
【００１６】
また、特許文献１に記載されたスクリーン版では、表示領域の最外周部におけるペースト起因のスクリーン版の目詰まりが抑えられるが、この発明とは主旨が異なり、上記の問題点は、改善されない。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するために、請求項１記載の発明は、放電ギャップを隔てて互いに平行に配置された走査電極及び維持電極からなる複数の面放電電極対と、前記各面放電電極対と交差する複数のデータ電極と、前記面放電電極対と前記データ電極との交差領域に形成された複数の単位セルと、少なくとも前記データ電極が延びる方向に形成されて前記各単位セルを囲う隔壁とを有するプラズマディスプレイパネルの製造に用いられ、前記隔壁の前記各単位セルを囲う面に対し、前記データ電極が延びる方向に連続した所定幅の開口部を経てペースト状の所定の蛍光体材料を吐出して蛍光体層を形成するためのスクリーンマスクに係り、前記開口部は、前記データ電極が延びる方向の前記各単位セルの境界となる箇所に、前記蛍光体材料の吐出を所定量抑制するための吐出抑制手段が設けられていることを特徴とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
開口部に設けられた吐出抑制手段により、データ電極が延びる方向の各単位セルの境界となる箇所において、蛍光体材料の吐出が所定量抑制されるので、蛍光体材料が隣接する他の色に対応した単位セル側に溢れることがなく、完成後のＰＤＰの表示画面に混色が発生しない。このため、ＰＤＰの歩留り及び表示画面の品質を向上できる。
【００１９】
また、隔壁が面放電電極対及びデータ電極が延びる方向の井桁状に形成され、吐出抑制手段が、同面放電電極対が延びる方向の同隔壁上に該当する箇所に設けられているので、同隔壁上に蛍光体材料が付着したり、蛍光体材料の吐出量が不足することがないため、完成後のＰＤＰの各画素の点灯状態が均一になる。このため、ＰＤＰの歩留り及び表示画面の品質を向上できる。
【実施例】
【００２０】
図７は、この発明の一実施例であるスクリーンマスクの要部の構成を示す平面図である。  この例のスクリーンマスク２０Ｂは、同図に示すように、隔壁１３のｙ−ｙ方向（すなわち、図１中のデータ電極７が延びる方向）に沿ったストライプ状に形成された開口幅ａの開口部２２Ｂを有し、かつ、ｘ−ｘ方向（すなわち、図１中の面放電電極対が延びる方向）の隔壁１３上に該当する箇所に、ペースト状の蛍光体材料Ｐの吐出を所定量抑制するための吐出抑制部２４，…，２４が設けられている。特に、この実施例では、吐出抑制部２４，…，２４は、図１中の面放電電極対が延びる方向の隔壁１３上に該当する箇所の開口部２２Ｂの幅が所定量狭くなって開口幅ｂとなる矩形状に形成されている。
【００２１】
通常、隔壁１３の頂部の開口幅に対するスクリーンマスク２０Ｂの開口部２２Ｂの開口率は、図８に示すように、３０〜４０％程度が実用範囲となり、同開口率が３０％程度よりも小さいと蛍光体材料Ｐの吐出量が少なくなって隔壁１３に対する充填不足が生じ、また、４０％程度よりも大きいと、スクリーンマスク２０Ｂと隔壁１３との位置ずれに対するマージンが圧迫されたり、蛍光体材料Ｐが隣接する他の色に対応した単位セル側に溢れることにより、完成後のＰＤＰの表示画面に混色が発生する。このため、たとえば４２型ＶＧＡ（Video Graphics Array）クラスのＰＤＰの場合、隔壁頂部の開口幅が約０．３０ｍｍなので、開口部２２Ｂの開口幅ａは１００μｍに設定される。また、５０型ＸＧＡ（eXtended Graphics Array ）クラスのＰＤＰの場合、隔壁頂部の開口幅が約０．２０ｍｍなので、開口部２２Ｂの開口幅ａは７５μｍに設定される。
【００２２】
ここで、開口幅ｂは、開口幅ａに対して、たとえば２０〜４０％程度狭く設定される。すなわち、開口幅ａが１００μｍの場合、開口幅ｂは６０〜８０μｍ、また、開口幅ａが７５μｍの場合、開口幅ｂは４５〜６０μｍとなる。
【００２３】
この例のスクリーンマスク２０Ｂを用いるＰＤＰの製造方法では、図２中の工程Ｂ５で行われる蛍光体層９のスクリーン印刷法による形成において、スクリーンマスク２０Ｂを押さえながら図３中のスキージ２３をｙ−ｙ方向に走行させることにより、赤（Ｒ），緑（Ｇ），青（Ｂ）の各色に対応するペースト状の蛍光体材料Ｐが開口部２２Ｂを経て隔壁１３の各単位セルを囲う面にそれぞれ吐出されて図１中の蛍光体層９が形成される。この場合、吐出抑制部２４，…，２４により、面放電電極対が延びる方向の隔壁１３上に該当する箇所の開口部２２Ｂの幅が狭くなっているので、蛍光体材料Ｐの吐出量が抑えられ、水平方向（ｘ−ｘ方向）の隔壁１３上への同蛍光体材料Ｐの溢れが抑制される。このため、完成後のＰＤＰの表示画面に混色を招くことがない。また、開口部２２Ｂは、非連続ではなく連続しているため、蛍光体材料Ｐの吐出量の不足が生じにくい。このため、完成後のＰＤＰの各画素の点灯状態が不均一になることがない。
【００２４】
図９は、図７のスクリーンマスク２０Ｂにより形成された蛍光体層を有するＰＤＰが用いられるプラズマ表示装置の電気的構成の一例を示す概略のブロック図である。
このプラズマ表示装置は、アナログインタフェース３０と、ＰＤＰモジュール４０とから構成されている。アナログインタフェース３０は、クロマ・デコーダを備えるＹ／Ｃ（輝度色）分離回路３１と、Ａ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換回路３２と、ＰＬＬ（位相ロック）回路を有する同期信号制御回路３３と、画像フォーマット変換回路３４と、逆γ変換回路３５と、システム・コントロール回路３６と、ＰＬＥ（Peak Luminance Enhancement）制御回路３７とから構成されている。ＰＤＰモジュール４０は、デジタル信号処理制御回路４１と、パネル部４２と、ＤＣ／ＤＣコンバータを内蔵するモジュール内電源回路４３とから構成されている。デジタル信号処理制御回路４１は、入力インタフェース信号処理回路４４と、フレームメモリ４５と、メモリ制御回路４６と、ドライバ制御回路４７とから構成されている。
【００２５】
パネル部４２は、ＰＤＰ５２と、同ＰＤＰ５２の走査電極を駆動する走査ドライバ４８Ａと、同ＰＤＰ５２の維持電極を駆動する維持ドライバ４８Ｂと、データ電極を駆動するデータドライバ４９Ａ，４９Ｂと、ＰＤＰ５２及び走査ドライバ４８Ａにパルス電圧を供給する高圧パルス回路５０Ａ，５０Ｂと、同高圧パルス回路５０Ａ，５０Ｂで発生する余剰電力を回収する電力回収回路５１とから構成されている。
【００２６】
このプラズマ表示装置では、概略的には、インタレースに対応したアナログ映像信号がアナログ・インタフェース３０でデジタル映像信号に変換され、同デジタル映像信号がＰＤＰモジュール４０に供給される。たとえば、図示しないテレビチューナなどから出力されたアナログ映像信号は、Ｙ／Ｃ分離回路３１でＲ，Ｇ，Ｂの各色の輝度信号に分離された後、Ａ／Ｄ変換回路３２でデジタル映像信号に変換される。
【００２７】
また、ＰＤＰ５２の入力信号に対する表示輝度の特性は線形的に比例するが、通常の映像信号はＣＲＴの特性に合わせて予め補正（γ変換）されている。このため、Ａ／Ｄ変換回路３２においてアナログ映像信号のＡ／Ｄ変換が行われた後、逆γ変換回路３５で逆γ変換が行われる。この逆γ変換において、線形特性に復元されたデジタル映像信号が生成される。このデジタル映像信号は、Ｒ，Ｇ，Ｂ映像信号としてＰＤＰモジュール４０へ出力される。
【００２８】
また、アナログ映像信号には、Ａ／Ｄ変換用のサンプリングクロック及びデータクロック信号が含まれていないため、同期信号制御回路３３に内蔵されているＰＬＬ回路で、アナログ映像信号と同時に供給される水平同期信号を基準としてサンプリングクロック及びデータクロック信号が生成され、ＰＤＰモジュール４０へ出力される。また、アナログインタフェース３０のＰＬＥ制御回路３７は、ＰＤＰモジュール４０に対して輝度の制御を行う。具体的には、平均輝度レベルが所定値以下である場合には表示輝度を上昇させ、平均輝度レベルが所定値を超える場合には表示輝度を低下させる。ＰＬＥ制御回路３７では、平均輝度レベルに応じて輝度制御データが設定され、入力インタフェース信号処理回路４４内の図示しない輝度レベル制御回路へ送出される。
【００２９】
システム・コントロール回路３６からは、各種制御信号がＰＤＰモジュール４０へ送出される。たとえば、入力インタフェース信号処理回路４４に入力されたＲ，Ｇ，Ｂ映像信号の平均輝度レベルは、同入力インタフェース信号処理回格４４内の図示しない入力信号平均輝度レベル演算回路により計算され、たとえば１０ビットデータとして出力される。デジタル信号処理制御回路４１では、入力インタフェース信号処理回路４４でこれらの各種信号が処理された後、制御信号がパネル部４２に送出される。同時に、メモリ制御回路４６及びドライバ制御回路４７からメモリ制御信号及びドライバ制御信号がパネル部４２に送出される。
【００３０】
ＰＤＰ５２は、たとえば１３６５×７６８画素（単位セル）を有し、図１に示す構成になっている。同ＰＤＰ５２では、走査ドライバ４８Ａで走査電極が駆動され、維持ドライバ４８Ｂで維持電極が駆動され、かつデータドライバ４９Ａ，４９Ｂでデータ電極が駆動されることにより、これらの画素（単位セル）のうちの所定の画素（単位セル）の発光又は非発光が制御され、Ｒ，Ｇ，Ｂ映像信号に対応した表示が行われる。この場合、ドライバ制御回路４７により、表示画面の１フィールド期間が、階調レベルに基づいて重み付けされた複数のサブフィールドに分割され、かつ、同各サブフィールドに、走査期間、維持期間及び予備放電期間が設定される。
【００３１】
走査期間では、各走査電極に走査パルスが線順次に印加されると同時に各データ電極に同走査パルスに同期した表示データパルスが印加されることにより、選択された単位セルにアドレス放電が発生する。維持期間では、各維持電極と各走査電極とに維持パルスが交互に印加されて各単位セルが発光する。予備放電期間では、維持期間で発光した単位セルに対する維持消去放電、及び全ての単位セルに対するプライミング放電が行われる。また、ロジック用電源により、デジタル信号処理制御回路４１及びパネル部４２にロジック用電力が供給される。また、表示用電源からモジュール内電源回路４３に直流電力が供給され、この直流電力の電圧が所定の電圧に変換された後、パネル部４２に供給される。
【００３２】
以上のように、この実施例では、スクリーンマスク２０Ｂの開口部２２Ｂの面放電電極対が延びる方向の隔壁１３上に該当する箇所に、蛍光体材料Ｐの吐出を所定量抑制するための吐出抑制部２４，…，２４が設けられているので、ｘ−ｘ方向の隔壁１３上への同蛍光体材料Ｐの溢れが抑制されると共に、蛍光体材料Ｐの吐出量の不足が生じにくくなり、表示画面の品質の良いプラズマディスプレイパネル及びプラズマ表示装置が提供される。
【００３３】
以上、この発明の実施例を図面により詳述してきたが、具体的な構成は同実施例に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更などがあっても、この発明に含まれる。
たとえば、図７中の吐出抑制部２４，…，２４は矩形状に形成されているが、図１０に示す開口部２２Ｃのように、テーパ状の吐出抑制部２４Ａ，…，２４Ａを形成しても、上記実施例とほぼ同様の作用、効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】３電極面放電型のＰＤＰの要部の構成を示す分解斜視図である。
【図２】図１のＰＤＰの概略の製造工程図である。
【図３】図２中の工程Ｂ５における蛍光体層９のスクリーン印刷法による形成を説明する図である。
【図４】図２中の工程Ｂ５における蛍光体層９のスクリーン印刷法による形成を説明する図である。
【図５】図４中のスクリーンマスク２０の要部の構成を示す平面図である。
【図６】図４中のスクリーンマスク２０に代えて用いられるスクリーンマスク２０Ａの構成を示す平面図である。
【図７】この発明の一実施例であるスクリーンマスクの要部の構成を示す平面図である。
【図８】スクリーンマスクの開口率と蛍光体材料の吐出量との関係を示す図である。
【図９】図７のスクリーンマスク２０Ｂにより形成された蛍光体層を有するＰＤＰが用いられるプラズマ表示装置の電気的構成の一例を示す概略のブロック図である。
【図１０】スクリーンマスクの変形例を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
３      走査電極
４      維持電極
７      データ電極
９      蛍光体層
１３      隔壁
２０Ｂ      スクリーンマスク
２２Ｂ，２２Ｃ      開口部
２４，２４Ａ      吐出抑制部（吐出抑制手段）
Ｇ      放電ギャップ
Ｐ      蛍光体材料
【図１】
2007087706.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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