(57)【要約】【課題】プロジェクタの組立工程において使用されるクリーンルーム構造であって、市場要求に応じて迅速に配備することができ、かつ、前室からクリーンルームへの汚染空気の流入を防止することができるクリーンルーム構造を提供すること。【解決手段】プロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造１０であって、クリーンルーム２０は、外部から積極的に空気を取り入れ、異物を除去してクリーンルーム２０内に送風する送風装置２２Ａ等と、送風装置２２Ａ等による送風量よりも多くの排気を行う排気装置２４と、を有し、前室４０は、外部との気圧差によって外部から空気を取り入れ、異物を除去するための第１フィルタ４４ａを備える第１空気通路４４を有し、第１空気通路４４の近傍には、クリーンルーム２０と前室４０との間を空気が自由に通過する第２空気通路２８が配置されている。【選択図】図１
2007248033.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造であって、
クリーンルームと、
前記クリーンルームに隣接して配置される前室と、
を有し、
前記クリーンルームは、
外部から積極的に空気を取り入れ、異物を除去して前記クリーンルーム内に送風する送
風装置と、
前記送風装置による送風量よりも多くの排気を行う排気装置と、
を有し、
前記前室は、
外部との気圧差によって外部から空気を取り入れ、異物を除去するための第１フィルタ
を備える第１空気通路を有し、
前記第１空気通路の近傍には、前記クリーンルームと前記前室との間を空気が自由に通
過する第２空気通路が配置されていることを特徴とするプロジェクタの組立工程用のクリ
ーンルーム構造。
【請求項２】
前記前室と外部との境界であるゲートには、エアカーテンが配置されていることを特徴
とする請求項１に記載のプロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造。
【請求項３】
前記第２空気通路は、空気から異物を除去する第２フィルタを備えることを特徴とする
請求項１に記載のプロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロジェクタの組立工程に必要な清浄度を確保することができるクリーンル
ーム構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、プロジェクタ等の精密機械の製造工程において、各部品に粉塵等の異物が付着し
て製品の品質低下を生じることを防止するために、クリーンルームが使用されている。ク
リーンルームは、空気清浄度が所定範囲に確保された部屋である。
製造担当者は、クリーンルームに隣接して配置されている前室（エアシャワー室とも呼
ぶ）を経て出入りするようになっている。これにより、異物を含んだ空気（以後、「汚染
空気」と呼ぶ）が外部からクリーンルームに流入することを防止している。
そして、高度な清浄度が要求されるクリーンルームにおいては、クリーンルーム内の気
圧を前室よりも高くすることによって、前室からクリーンルームへ空気が流入することを
防止している。さらに、クリーンルーム内に天井から床方向の気流を生じさせたうえで、
床のグレーチング構造によって粉塵等の異物を除去するようになっている（例えば、特許
文献１）。
【０００３】
【特許文献１】実開昭５９−１６８６４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、現在の激しく変動する市場要求に応じるために、製造ラインを迅速に増設す
る必要がある場合がある。このとき、精密機械の場合には、クリーンルームも増設する必
要がある場合がある。
しかし、上述の技術においては、例えば、床をグレーチング構造にする工事が必要であ
る等、構造が複雑であり、迅速にクリーンルームを増設することができない場合があると
いう問題がある。
一方で、精密機械の組み立て工程において要求される清浄度は、電子回路の製造工程等
において要求される清浄度よりも低くてもよい。
【０００５】
そこで、本発明は、プロジェクタの組立工程において使用されるクリーンルーム構造で
あって、市場要求に応じて迅速に配備することができ、かつ、前室からクリーンルームへ
の汚染空気の流入を防止することができるクリーンルーム構造を提供することを目的とす
る。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記目的は、第１の発明によれば、プロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造で
あって、クリーンルームと、前記クリーンルームに隣接して配置される前室と、を有し、
前記クリーンルームは、外部から積極的に空気を取り入れ、異物を除去して前記クリーン
ルーム内に送風する送風装置と、前記送風装置による送風量よりも多くの排気を行う排気
装置と、を有し、前記前室は、外部との気圧差によって外部から空気を取り入れ、異物を
除去するための第１フィルタを備える第１空気通路を有し、前記第１空気通路の近傍には
、前記クリーンルームと前記前室との間を空気が自由に通過する第２空気通路が配置され
ていることを特徴とするプロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造により達成され
る。
【０００７】
第１の発明の構成によれば、前記クリーンルームの前記排気装置は、前記送風装置によ
る送風量よりも多くの排気を行うことができる。このため、確実に一定方向の気流を形成
することができる。また、微細な粉塵等の異物を気流に乗せて外部に排出することができ
る。これにより、前記クリーンルームを常に清浄な空気で満たすことができる。
また、前記前室は、前記第１空気通路を有するから、外部との気圧差によって外部から
空気を取り入れ、前記第１フィルタによって異物を除去して外部から空気を取り入れるこ
とができる。このため、前記前室に、清浄な空気を取り入れることができる。
さらに、前記前室の前記第１空気通路の近傍には、前記第２空気通路が配置されている
から、前記クリーンルームと前記前室との間を、前記第１空気通路から取り入れられた清
浄な空気が自由に通過することができる。上述のように、前記クリーンルームの前記排気
装置は、前記送風装置による送風量よりも多くの排気を行うから、前記クリーンルームの
気圧は低下する。そして、前記クリーンルームの気圧が、前記前室の気圧よりも低くなっ
た場合には、前記前室の空気が前記空気通路を介して前記クリーンルームに流入する。こ
のため、前記クリーンルームと前記前室の気圧差は解消され続ける。
このため、製造担当者が前記クリーンルームから前記前室への出口を空けたときに、前
記前室から前記クリーンルームへ空気が流入することはない。
これにより、前記クリーンルームの気流が乱されることを防止することができる。
また、前記前室内において、前記第１空気通路近傍以外の空気は異物を含む汚染空気で
ある場合があるが、その汚染空気が前記クリーンルームへ流入することも防止することが
できる。
上述のように、前記クリーンルーム構造においては、前記クリーンルームに前記送風装
置と前記排気装置を設け、前記前室に前記第１空気通路と前記第２空気通路を設けるだけ
で足り、床にグレーチング構造を設ける等の複雑な構成は必要がない。このため、市場要
求に応じて迅速に配備することができる。
そして、プロジェクタの組立工程において要求される清浄度は、気流制御を行いつつ清
浄空気でクリーンルームを満たすことによって達成可能な程度で十分である。
これにより、前記クリーンルーム構造によれば、プロジェクタの組立工程において使用
されるクリーンルーム構造であって、市場要求に応じて迅速に配備することができ、かつ
、前室からクリーンルームへの汚染空気の流入を防止することができる。
【０００８】
第２の発明は、第１の発明の構成において、前記前室と外部との境界であるゲートには
、エアカーテンが配置されていることを特徴とするプロジェクタの組立工程用のクリーン
ルーム構造である。
【０００９】
第２の発明の構成によれば、前記ゲートには前記エアカーテンが配置されているから、
汚染空気が前室に流入することを防止することができる。この結果、前記前室から前記第
２空気通路を介して前記クリーンルームに流入する空気の清浄度を確実に確保することが
できる。
【００１０】
第３の発明は、第１の発明の構成において、前記第２空気通路は、空気から異物を除去
する第２フィルタを備えることを特徴とするプロジェクタの組立工程用のクリーンルーム
構造である。
【００１１】
第３の発明の構成によれば、前記第２空気通路は前記第２フィルタを備えるから、前記
クリーンルームに流入する空気の清浄度を一層確実に確保することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、この発明の好適な実施の形態を添付図面等を参照しながら、詳細に説明する。
尚、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい
種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定す
る旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。
【００１３】
（実施の形態）
図１は、本発明の実施の形態に係るクリーンルームシステム１０を示す概略斜視図であ
る。
図２は、クリーンルームシステム１０を図１の矢印Ａ１方向から見た概略平面図である
。
図３は、クリーンルームシステム１０を図１の矢印Ａ２方向から見た概略側面図である
。
なお、図１乃至図３は、同じクリーンルームシステム１０を示す図であるが、説明の便
宜のため、適宜、一部の構成を省略して図示している。
クリーンルームシステム１０は、プロジェクタの組立工程用のクリーンルーム構造の一
例である。
図１、図２及び図３に示すように、クリーンルームシステム１０は、クリーンルーム２
０（以後、「ＣＲ２０」と呼ぶ）と前室４０を有する。ＣＲ２０はクリーンルームの一例
であり、前室４０は前室の一例である。前室４０は、ＣＲ２０に隣接して配置されている
。
【００１４】
ＣＲ２０は、組立ライン２６を有する。組立ライン２６においては、プロジェクタの組
立が行われる。
【００１５】
図４は、組立ライン２６において組み立てられるプロジェクタの一例を示す図である。
図４に示すように、プロジェクタ１００は、筐体１０２に格納された投射レンズ１０４
から画像を投射するようになっている。
筐体１０２には、投射レンズ１０４が投射する画像を生成するために、図示しない電源
装置、光源ランプ、及び、レンズ、偏光変換素子、ダイクロイックミラー、反射ミラー及
びクロスダイクロイックプリズム等の各種部品が格納されている（特開２００４−４５６
２号公報等参照）。
組み立てライン２６においては、例えば、上述の部品を使用して、プロジェクタ１００
が組み立てられる。
【００１６】
組み立てられたプロジェクタ１００を使用して、画像等を投射したときに、粉塵等の異
物の影が投射スクリーンに映ると製品不良となる。このため、ＣＲ２０においては、投射
スクリーンに映る程度の異物が部品に付着することを防止することができる程度の清浄度
が要求される。
すなわち、ＣＲ２０においては、極めて高精度の清浄度が要求されるのではなくて、例
えば、ＪＩＳ規格のクラス４で足りる。
ここで、クリーンルームの清浄度を表す清浄度クラスは、清浄度を粒径別の粒子濃度の
程度によって分けた等級である。清浄度クラスは、１ｍ3の空気中に含まれる粒径０．０
１μｍ以上の微粒子数を１０のべき乗で示す、べき指数で表される。なお、清浄度の規格
で用いられる用語の意味は、ＪＩＳ  Ｚ  ８１２２（コンタミネーションコントロール用
語）、ＪＩＳ  Ｚ  ８１０３（計測用語）及びＪＩＳ  Ｂ  ９９２１（光散乱式自動微粒
子計数機）等によって規定される。
【００１７】
図１及び図３に示すように、ＣＲ２０は、送風機２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２２Ｄ，２
２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｇ及び２２Ｈを有する。送風機２２Ａ等は、送風装置の一例である。
送風機２２Ａ等は、ＣＲ２０の天井に配置されている。
【００１８】
図５は、送風機２２Ａの構成の一例を簡略に示す概略図である。なお、送風機２２Ｂ乃
至２２Ｈの構成は、送風機２２Ａと同様であるから、説明を省略する。
図５に示すように、送風機２２Ａは、フィルタ２２ａ及びファン２２ｂを有する。
フィルタ２２ａは、ファン２２ｂによって取り入れる空気から異物を除去することがで
きる除塵フィルタである。フィルタ２２ａは、例えば、ＨＥＰＡフィルタ（Ｈｉｇｈ  Ｅ
ｆｆｉｃｉｅｎｃｙ  Ｐａｒｔｉｃｌｅ  Ａｉｒ  Ｆｉｌｔｅｒ）である。
ファン２２ｂは、回転軸Ｘを中心に回転し、外部から積極的に空気を取り入れることが
できる。
送風機２２Ａは、以上の構成によって、外部から積極的に空気を取り入れ、異物を除去
してＣＲ２０内に送風することができる。
【００１９】
図１及び図２に示すように、ＣＲ２０は、排気装置２４を有する。排気装置２４は、排
気装置の一例である。
排気装置２４は、ＣＲ２０の壁に配置されている。
排気装置２４は、すべての送風機２２Ａ等の合計の送風量（外部から取り入れて、ＣＲ
２０内に送風する空気の総量）よりも多くの排気を行うことができる。
【００２０】
上述の送風機２２Ａ等によってＣＲ２０に清浄空気を取り入れ、ＣＲ２０内の空気を排
気装置２４によって外部に排出することによって、ＣＲ２０内を常に清浄な空気で満たす
ことができる。
また、送風機２２Ａ等と排気装置２４によって、一定方向の気流Ｓを生成することがで
きる。
ここで、排気装置２４の排気量はすべての送風機２２Ａ等の合計の送風量よりも多いか
ら、気流Ｓを確実に生成することができる。さらに、ＣＲ２０内の粉塵等の異物を排気装
置２４によって吸引し、ＣＲ２０外に排出することができる。
【００２１】
図１乃至図３に示すように、前室４０は、フィルタ装置４４を有する。フィルタ装置４
４は第１空気通路の一例である。前室４０の内部は、フィルタ装置４４を介して外部と通
じている。
【００２２】
図６は、フィルタ装置４４の構造の一例を簡単に示す概略図である。
図６に示すように、フィルタ装置４４は、フィルタ４４ａを有する。フィルタ４４ａは
、例えば、ＨＥＰＡフィルタである。フィルタ４４ａは、第１フィルタの一例である。
上述のように、前室４０の内部はフィルタ装置４４を介して外部と通じているから、前
室４０内の気圧が外部の気圧よりも低い場合には、外部から空気を取り入れ、異物を除去
した状態の清浄空気を前室４０内に満たすことができる。
【００２３】
図１及び図３に示すように、前室４０のフィルタ装置４４の近傍には、ＣＲ２０と前室
４０との間を空気が自由に通過する通風口２８が設けられている。通風口２８は、第２空
気通路の一例である。
上述のように、排気装置の２４の排気量はすべての送風機２２Ａ等の合計の送風量より
も多い。この排気量と送風量の差は、ＣＲ２０内部の気圧を低下させるように作用する。
ここで、ＣＲ２０内部の気圧が前室４０内部の気圧よりも低下した場合には、図３の矢
印Ｃ１に示すように、通風口２８を介して空気が前室４０からＣＲ２０に流入する。この
結果、ＣＲ２０の気圧と前室４０の気圧差は、解消され続ける。
なお、前室４０の空気がＣＲ２０に流入すると、前室４０の気圧が低下する。前室４０
の気圧が外部の気圧よりも低くなった場合には、図３の矢印Ｃ２に示すように、フィルタ
装置４４を介して外部から前室４０に空気が流入する。この結果、前室４０及びＣＲ２０
の気圧は、外部の気圧（大気圧）とほぼ等しい状態に維持される。
【００２４】
図１乃至図３に示すように、ＣＲ２０と前室４０の境界部には、エアシャワー室４２が
配置されている。
また、図２及び図３に示すように、前室４０には、前室ゲート４６が配置されている。
前室ゲート４６は、前室４０と外部との境界である。前室ゲート４６はゲートの一例であ
る。
図２に示すように、前室ゲート４６は、エアカーテン装置４６ａを有する。エアカーテ
ン装置４６ａはエアカーテン装置の一例である。
エアカーテン装置４６は、前室ゲート４６の開口全体を遮断するように、矢印Ｂ方向に
帯状の気流（以後、「エアカーテン」と呼ぶ）を発生させることができる。
【００２５】
以上が、クリーンルームシステム１０の構成である。
上述のように、ＣＲ２０の排気装置２４は、すべての送風気２２Ａ等による送風量より
も多くの排気を行うことができる。このため、確実に一定方向の気流Ｓ（図１参照）を形
成することができる。また、微細な粉塵等の異物を気流に乗せて外部に排出することがで
きる。これにより、ＣＲ２０を常に清浄な空気で満たすことができる。
また、前室４０は、フィルタ装置４４を有するから、外部との気圧差によって外部から
空気を取り入れ、フィルタ装置４４によって異物を除去して外部から空気を取り入れるこ
とができる。このため、前室４０に、清浄な空気を取り入れることができる。
さらに、前室４０のフィルタ装置４４の近傍には、通風口２８が配置されているから、
ＣＲ２０と前室４０との間を、フィルタ装置４４から取り入れられた清浄な空気が自由に
通過することができる。上述のように、ＣＲ２０の排気装置２４は、すべての送風機２２
Ａ等による送風量よりも多くの排気を行うから、ＣＲ２０の気圧は低下する。そして、Ｃ
Ｒ２０の気圧が、前室４０の気圧よりも低くなった場合には、前室４０の空気が通風口２
８を介してＣＲ２０に流入する。このため、ＣＲ２０と前室４０の気圧差は解消され続け
る。
このため、組立担当者甲がＣＲ２０から前室４０への出口であるＣＲ出口３０を開けた
ときに、前室４０からＣＲ２０へ空気が流入することはない。
これにより、ＣＲ２０の気流が乱されることを防止することができる。
また、前室４０内において、フィルタ装置４４近傍以外の空気は異物を含む汚染空気で
ある場合があるが、その汚染空気がＣＲ２０へ流入することも防止することができる。
このように、クリーンルームシステム１０においては、ＣＲ２０に送風機２２Ａ等と排
気装置２４を設け、前室４０にフィルタ装置４４と通風口２８を設けるだけで足り、床に
グレーチング構造を設ける等の複雑な構成は必要がない。このため、市場要求に応じて迅
速に配備することができる。
そして、プロジェクタの組立工程において要求される清浄度は、気流制御を行いつつ清
浄空気でクリーンルームを満たすことによって達成可能な程度で十分である。
これにより、クリーンルームシステム１０によれば、プロジェクタの組立工程において
使用されるクリーンルーム構造であって、市場要求に応じて迅速に配備することができ、
かつ、前室からクリーンルームへの汚染空気の流入を防止することができる。
【００２６】
また、前室ゲート４６にはエアカーテン装置４６ａが配置されているから、組立担当者
甲（図示せず）は外部から前室４０内に入ることができるが、外部の空気が前室４０内に
入ることがない。
このため、組立担当者甲が前室ゲート４６を通って前室４０に入るときに、外部の空気
によって前室４０内の空気が汚染されることを防止することができる。
この結果、前室４０から通風口２８を介してＣＲ２０に流入する空気の清浄度を確実に
確保することができる。
なお、組立担当者甲が、ＣＲ２０の外部に出るときには、図２のＣＲ出口３０から前室
４０内に入る。上述のように、ＣＲ２０の気圧と前室４０の気圧とは、気圧差がない状態
に維持されるから、気圧差によって前室４０内の空気がＣＲ２０内に流入することはない
。
【００２７】
なお、本実施の形態とは異なり、通風口２８にもＨＥＰＡフィルタを配置してもよい。
これにより、ＣＲ２０に流入する空気の清浄度を一層確実に確保することができる。
【００２８】
本発明は、上述の各実施の形態に限定されない。さらに、上述の各実施の形態は、相互
に組み合わせて構成するようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】クリーンルームシステムを示す概略斜視図。
【図２】クリーンルームシステムの概略平面図。
【図３】クリーンルームシステムの概略側面図。
【図４】プロジェクタの一例を示す図。
【図５】送風機の構成の一例を簡略に示す概略図。
【図６】フィルタ装置の構造の一例を簡単に示す概略図。
【符号の説明】
【００３０】
１０…クリーンルームシステム、２０…クリーンルーム、２２Ａ，２２Ｂ，２２Ｃ，２
２Ｄ，２２Ｅ，２２Ｆ，２２Ｇ，２２Ｈ…送風機、２４…排気装置、２６…組立ライン、
２８…通風口、３０…ＣＲ出口、４０…前室、４２…エアシャワー室、４４…フィルタ装
置、４６…前室ゲート、４６ａ…エアカーテン装置、１００…プロジェクタ。
【図１】
2007248033.tif 000003
【図２】
2007248033.tif 000004
【図３】
2007248033.tif 000005
【図４】
2007248033.tif 000006
【図５】
2007248033.tif 000007
【図６】
2007248033.tif 000008