(57)【要約】【課題】  集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドの設計段階の評価において、液滴の吐出および飛翔の簡便な最適化を可能にする。【解決手段】  液滴飛翔評価システムは、主要構成として、第１の位置調整機構１、第２の位置調整機構２、回転ドラム３、撮像装置４、集束超音波発生構造体５、インク保持室６を有する。第１の位置調整機構１の調整本体１ａ、第１の調整アーム１ｂ、第２の調整アーム１ｃおよび第３の調整アーム１ｄにより、インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５との位置関係を調整する。回転ドラム３により、上記液面から吐出した液滴の記録媒体への飛翔および着弾により形成される画点を測定する。撮像装置４により、上記液滴の飛翔状態を測定する。第２の位置調整機構２により、インク保持室６の液面を回転ドラム３の真下に配置させる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を備えて記録液を保持する記録液保持手段と、
前記開口部で露出する前記記録液の液面に前記記録液の内部より集束超音波を放射し、前記液面から前記記録液の液滴を吐出し飛翔させる集束超音波発生手段と、
前記集束超音波発生手段の前記記録液内部での配置を変化させて、前記集束超音波発生手段と前記液面の位置関係を調整する第１の位置調整手段と、
前記液面から吐出し飛翔する前記記録液の液滴を測定する飛翔液滴測定手段と、
を有することを特徴とする液滴飛翔評価システム。
【請求項２】
前記第１の位置調整手段は、前記記録液の液面に対する前記集束超音波の放射方向を調整することを特徴とする請求項１に記載の液滴飛翔評価システム。
【請求項３】
前記集束超音波発生手段は、前記記録液に音響的に接続される圧電素子と、前記圧電素子から発生する超音波を集束させる音響レンズと、を有することを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴飛翔評価方法。
【請求項４】
前記飛翔液滴測定手段は、ストロボ機能を有する撮像装置を含むことを特徴とする請求項１，２又は３に記載の液滴飛翔評価システム。
【請求項５】
前記液面から吐出し飛翔した液滴が着弾する記録媒体が巻き付けられる回転ドラムを備えていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか一項に記載の液滴飛翔評価システム。
【請求項６】
前記回転ドラムは、回転軸の方向に移動するようになっていることを特徴とする請求項５に記載の液滴飛翔評価システム。
【請求項７】
前記記録液保持手段と前記第１の位置調整手段との位置関係を固定したまま、前記記録液保持手段の前記開口部で露出する液面と前記回転ドラムの位置関係を調整する第２の位置調整手段を備えていることを特徴とする請求項５又は６に記載の液滴飛翔評価システム。
【請求項８】
記録液の液面に集束超音波を放射し、前記液面から前記記録液の液滴を吐出し飛翔させる集束超音波発生手段を前記記録液の内部に配置し、
前記集束超音波発生手段の前記記録液内部での配置を変化させて、前記液滴の飛翔状態を評価することを特徴とする液滴飛翔評価方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液体インクのような記録液を集束超音波の圧力によって小滴化し、その液滴を記録媒体上に飛翔させ画像を形成するインクジェット記録ヘッドの液滴飛翔評価システムおよび液滴飛翔評価方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インク液に圧力を及ぼすエネルギー（圧力エネルギーとも称す）を与えインク液を小滴化し、その液滴を記録媒体上に飛翔させて画像を形成するインクジェット記録装置は、インクジェットプリンタとして実用化され広く使用されている。そして、これまで数多くのインクジェット記録装置の方式が考案されている。その中で、特に発熱体の熱により発生する圧力エネルギーで液滴を飛翔させる方式や、圧電素子を用いその振動による超音波の圧力エネルギーで液滴を飛翔させる方式等が代表的である。
【０００３】
上記圧電素子を用いる方式の中に、該素子によって発生する超音波を音響レンズによりインク液面の近傍に集束させ、その集束超音波の圧力を用いて上記インク液面から小液滴を吐出させる方法がある（以下、集束超音波方式と呼称する）。通常の集束超音波方式以外のインクジェット記録ヘッドでは、インク液滴の吐出する細いノズルが必要となり、ノズル内のインク液滴が溶媒の蒸発等で濃縮してインクの目詰まりを起こし易い。それに対して、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドは、ノズルレスでありインクの目詰まりに対し極めて有効な構造になる（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
上記集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドについて図５を参照して説明する。図５は、上記インクジェット記録ヘッドの模式的な縦断面図である。図５に示すように、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドは、圧電素子１０より発生する超音波を集束する音響レンズ１１が圧電素子１０と結合する構造を有している。そして、上記圧電素子１０と音響レンズ１１とが、インク液１２の液面１３領域に集束超音波１４を集束させ、その液面１３からインク液１２の液滴を吐出するようになっている。
【０００５】
具体的に説明すると、図５（ａ）に示すインクジェット記録ヘッドでは、圧電素子１０が平板状の圧電体１０ａとその対向する上下両面の電極１０ｂおよび１０ｃにより構成される。圧電体１０ａは、例えばチタン酸鉛系セラミックの平板である。あるいは、その他に、ＺｎＯ、ＬｉＮｂＯ３等のセラミック圧電材料、フッ化ビニリデンと三フッ化エチレンとの共重合体等の高分子圧電材料から成る。そして、その電極１０ｂおよび１０ｃは、例えばＴｉ／Ａｕの積層電極から成る。その他に、Ｎｉ、Ａｌ、Ｃｕ等の電極材料から成る。この電極１０ｂおよび１０ｃに駆動回路１５が接続する。ここで、圧電体１０ａは、振動の共振周波数に合わせた厚さであり、電極１０ｂおよび１０ｃは、スパッタ法、蒸着法等で成膜された膜厚が例えば１μｍ未満の薄膜である。
【０００６】
そして、上記音響レンズ１１は、例えば厚さが１ｍｍ程度のガラス板、あるいは、エポキシ樹脂、ポリイミド等の高分子材料を基材としアルミナ、タングステンの粉末を混合したものから成り、凹面レンズの構造になっている。
【０００７】
また、上記インク液１２は、例えば金属製あるいはセラミックス製であり厚さが０．１ｍｍ程度になる上蓋１６を有するインク保持室に供給されるようになっている。ここで、上蓋１６の一部に開口部１７が形成され、この開口部１７にインク液１２の液面１３が露出するようになっている。
【０００８】
図５（ｂ）に示すインクジェット記録ヘッドの場合では、音響レンズ１１は、図５（ａ）の場合と異なり、フレネル輪帯理論に基づき所定のピッチの溝が上記ガラス板あるいは高分子材料に形成されたフレネルレンズから成る。そして、フレネルレンズからなる音響レンズ１１が圧電素子１０と一体に結合した構造になっている。その他の構造は、図５（ａ）の場合とほぼ同じになる。
【０００９】
そして、上記インクジェット記録ヘッドでは、圧電素子１０は、上記駆動回路１５により間欠的な高周波電圧（バースト波）が印加されて振動する。この振動により、音響レンズ１１とインク液１２液面との間に超音波の定在波が生成される。この定在波は、インク液１２の液面１３付近で集束する集束超音波１４である。そして、例えばインク液１２の上蓋１６に設けられた開口部１３のインク液１２の液面１３の集束超音波１４の収束点が円錐状に盛り上がりメニスカスが形成され、その頂点が分離吐出して液体インクの小さな液滴が飛翔する。この小滴化したインク液の液滴が記録媒体上に飛翔し画点を形成することになる。
【特許文献１】特開平１０−２５０１１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
上記集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドの製造設計では、集束超音波の共振周波数は、上述したような圧電素子１０の圧電材料およびその厚さ等の設計によって高精度に決めることができる。また、集束超音波の焦点距離は、上記音響レンズ１１の材質および形状等の設計により高精度に決められる。このように、集束超音波の特性は、上記結合した圧電素子と音響レンズ（以下、集束超音波発生構造体という）の設計により高精度に決定される。しかしながら、これまで、図５に示したようなインクジェット記録ヘッドの設計段階の評価において、該記録ヘッドからの液滴の吐出および液滴の飛翔の簡便な最適化が難しかった。そして、該記録ヘッド構造の評価データの精度が上がらず、上記記録ヘッドの製造設計におけるヘッド構造の最適化が充分にできないという問題が生じていた。
【００１１】
上述したように、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドでは、集束超音波発生構造体がインク液の液面領域に集束超音波を集束させる。そして、この集束超音波がインク液の液面からインク液の液滴を吐出させる構造になる。このような構造であると、インク液の液滴の吐出とその飛翔は、インク液の液面と上記集束超音波発生構造体との間の相対的な位置関係によって大きく変わってくる。このために、集束超音波発生構造体の微妙な調整が必須になっている。特に、液面と集束超音波の伝播方向の調整、上記液面位置と集束超音波の焦点距離の調整、そして、液面が露出する開口部と集束超音波の集束位置の調整が重要になる。しかも、これ等の調整は、インク液の種類（例えば、顔料インク、染料インク等）とくにその粘度によっても異なってくる。
【００１２】
本発明は、上述の事情に鑑みてなされたもので、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドの設計において、液滴の吐出及び飛翔の簡便な最適化を可能にする液滴飛翔評価システムおよび液滴飛翔評価方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明に係る液滴飛翔評価システムは、開口部を備えて記録液を保持する記録液保持手段と、前記開口部で露出する前記記録液の液面に前記記録液の内部より集束超音波を放射し、前記液面から前記記録液の液滴を吐出し飛翔させる集束超音波発生手段と、前記集束超音波発生手段の前記記録液内部での配置を変化させて、前記集束超音波発生手段と前記液面の位置関係を調整する第１の位置調整手段と、前記液面から吐出し飛翔する前記記録液の液滴を測定する飛翔液滴測定手段と、を有する構成になっている。
【００１４】
また、本発明に係る液滴飛翔評価方法は、記録液の液面に集束超音波を放射し、前記液面から前記記録液の液滴を吐出し飛翔させる集束超音波発生手段を前記記録液の内部に配置し、前記集束超音波発生手段の前記記録液内部での配置を変化させて、前記液滴の飛翔状態を評価する、という構成になっている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明の構成により、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドの設計段階の評価において、液滴の吐出および飛翔の最適化が簡便にできるようになる。そして、上記記録ヘッド構造の評価データの精度が向上し、上記記録ヘッドの製造設計におけるヘッド構造の最適化が容易になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を参照して説明する。図１は、本実施形態の液滴飛翔評価システムの一例を示す概略構成図である。図２は、インク液の液滴の吐出および飛翔の最適化を説明するための縦断面図である。図３は図２のＡ−Ａ矢視図である。図４は、上記液滴の吐出および飛翔の別の最適化を説明するための縦断面図である。ここで、図５も含めて互いに同一または類似の部分には共通の符号を付している。
【００１７】
図１に示すように、本実施形態の液滴飛翔評価システムは、主要構成として、第１の位置調整機構１、第２の位置調整機構２、回転ドラム３、撮像装置４、集束超音波発生構造体５、インク保持室６を有する。そして、この液滴飛翔評価システムは例えばパーソナルコンピュータ（ＰＣ）のような制御装置により一括制御するようになっている。
【００１８】
第１の位置調整機構１は、調整本体１ａ、第１の調整アーム１ｂ、第２の調整アーム１ｃおよび第３の調整アーム１ｄを備えている。これ等の調整アームは、例えば筒状のセラミックスから成る、そして、上記圧電素子と音響レンズから成る集束超音波発生構造体５を、第３の調整アーム１ｄにより固定保持して、記録液保持手段であるインク保持室６のインク液１２内でその配置を変化させて位置調整する。
【００１９】
調整本体１ａ内にある駆動機構により、第１の調整アーム１ｂは、集束超音波発生構造体５を図１に示すＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動変位させ位置調整できるようになっている。同様に、第２の調整アーム１ｃは、Ｘ軸を回転軸とした回転方向αを集束超音波発生構造体５に与え回転変位させて位置調整するようになっている。そして、第３の調整アーム１ｄは、Ｙ軸を回転軸とした回転方向βを集束超音波発生構造体５に与え回転変位させて位置調整できるようになっている。ここで、第１の調整アーム１ｂは、公知のモータおよびボールネジ機構によりＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動変位し、その変位の精度は＋／−１μｍ程度になる。また、第２の調整アーム１ｃおよび第３の調整アーム１ｄは、公知のモータおよび回転調整機構により回転変位し、その回転変位の精度は＋／−１ｍｒａｄ（ミリラジアン）程度になる。
【００２０】
また、上記調整本体１ａ内には、集束超音波発生手段となる集束超音波発生構造体５の圧電素子１０の駆動回路１５が取り付けてある。そして、その駆動回路１５は、上記第１の調整アーム１ｂ、第２の調整アーム１ｃおよび第３の調整アーム１ｄの筒内に配設された配線により集束超音波発生構造体５に接続されている。
【００２１】
第２の位置調整機構２は、例えば金属板あるいはセラミックス板から成るテーブルであり、第１の位置調整機構１およびインク保持室６をその表面で固定保持するようになっている。この第２の位置調整機構２は、第１の位置調整機構１と一緒にインク保持室６を位置調整し、インク保持室６の上蓋に設けた開口部で露出するインク液の液面と回転ドラム３の位置関係を調整する。そして、インク液の液面が回転ドラムの真下にくるようにし、回転ドラム３に巻き付けた記録媒体との距離を調整する。
【００２２】
回転ドラム３は、所定の速度で回転すると共に図１に示したＹ軸方向に移動できるようになっている。そして、インク液１２表面から突出し飛翔して着弾する多数の液滴によって、回転ドラム３表面に巻き付けられた記憶媒体上に形成される画点は、上記回転ドラム３の回転と移動により記録媒体上でそれぞれ別の箇所に形成される。このようにして、それぞれの画点の形状が弁別されて測定できるようになり、液滴の記録媒体に着弾した後の画点形状が把握できて、最適な液滴の画点形成状態あるいは後述の飛翔状態を評価することが可能になる。
【００２３】
撮像装置４は、例えばストロボ機能を有するＣＣＤカメラ等から構成され、集束超音波発生構造体５によってインク液１２表面から吐出し、回転ドラム３表面の記録媒体に向かって飛翔する液滴を測定する。尚、ストロボ機能部とカメラ部は一体であっても、分離され観測対象を挟んで配置されても良い。この飛翔液滴測定手段を用いた測定により、液滴の粒径、単位時間当たりに飛翔する液滴の数、液滴の飛翔方向および飛翔速度等の飛翔状態が把握できて、最適な液滴の飛翔状態を評価することが可能になる。
【００２４】
上記液滴飛翔評価システムを用いた集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドの設計段階の評価では、上記第１の位置調整機構１を用いて、インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の間の相対的な位置関係が高精度にしかも自在に変えられる。そして、上記変えられたそれぞれの位置関係において、集束超音波発生構造体５が駆動し、インク液１２の液面から液滴が吐出・飛翔されて、上記回転ドラム３上の記録媒体に画点が形成される。
【００２５】
そして、上述したような回転ドラム３による画点形成状態の測定と、撮像装置４による液滴の飛翔状態の測定が行われ、インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の間の位置関係において精度の高い評価データが得られる。このようにして、集束超音波方式のインクジェット記録ヘッドにおける、インク液の液面と集束超音波発生構造体の間の最適な位置関係を得ることができる。
【００２６】
上記第１の位置調整機構１を用いたインク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の位置関係の調整、そして集束超音波発生構造体５による液滴の吐出とその飛翔等は、上記ＰＣのような制御装置により制御される。また、上記液滴の画点形成状態および飛翔状態の測定データは、上記ＰＣにより処理され評価される。
【００２７】
次に、上記インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の間の最適な位置関係を得るための本実施形態の液滴飛翔評価システムの動作機構について、図１ないし５を参照して説明する。
【００２８】
初めに、インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の位置関係において、図１に示すＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の移動とその位置調整について説明する。第１の位置調整機構１の調整本体１ａ内にある駆動回路１５により、所定の電圧値のバースト波が集束超音波発生構造体５の圧電素子１０に印加されて、インク液１２内に集束超音波１４が生成される。このように集束超音波１４が生じている状態において、図１において説明したように、第１の調整アーム１ｂのＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向の移動により集束超音波発生構造体５がμｍ単位で位置調整される。
【００２９】
図２に示すように、上記第１の調整アーム１ｂのＺ軸方向の移動により、第３の調整アーム１ｄ上に固定保持した集束超音波発生構造体５を構成する音響レンズ１１はＺ軸方向に位置変位する。そして、集束超音波１４の焦点位置と液面１３の位置関係が変化する。このために、集束超音波１４の圧力エネルギーにより液面１３から円錐状に盛り上がるメニスカス７において、その大きさあるいはその高さ等の形状が変わってくる。更に、このメニスカス７の形状変化に伴って、そのメニスカス７の頂点から分離吐出して飛翔する液滴８の飛翔状態（粒径、単位時間当たりに飛翔する液滴の数、液滴の飛翔方向および飛翔速度等）が変化するようになる。
【００３０】
そして、上記液滴８は、回転ドラム３に巻かれた例えば記録用紙のような記録媒体９上に着弾し画点を形成する。このようにして形成された画点は、上述したように回転ドラム３の回転と移動により、記録媒体９のことなった箇所に形成される。このために、それ等の画点の形状は弁別して測定でき、最適な液滴の画点形成状態あるいは飛翔状態を探し出すことができる。また、上述したように撮像装置４により、上記液滴の飛翔状態が測定される。このようにして、最適な液滴を形成するための上記音響レンズ１１と液面１３の間のＺ軸方向の距離が調整される。この最適なＺ軸方向の距離は、必ずしも集束超音波１４の焦点距離と一致するものではない。この距離は、インク液（記録液）の種類とくにその粘度により大きく異なってくる。
【００３１】
全く同様にして、上記第１の調整アーム１ｂのＸ軸およびＹ軸方向の移動により、図３に示すように、第３の調整アーム１ｄ上に固定保持した集束超音波発生構造体５を構成する音響レンズ１１はＸ軸およびＹ軸方向に変位する。そして、生成されるメニスカス７の開口部１７内でその位置が変化する。ここで、開口部１７の口径は上述したように例えば１．５ｍｍ以下である。この開口部１７におけるメニスカス７の位置の変化により、メニスカスの頂点から分離吐出して飛翔する液滴８の飛翔状態が変化するようになる。これは、インク液１２の液面１３における表面張力が上蓋１６の影響を受けて開口部１７内の位置で変わってくるからである。
【００３２】
そこで、図３に示す開口部１７が、その有効面の口径が上述したように例えば３ｍｍ程度になる音響レンズ１１に形成された凹面１１ａの中心領域に配置されるように、上記Ｘ軸およびＹ軸方向の移動調整をすると好適になる。このような調整は、上述したような回転ドラム３に巻かれた記録媒体９上に着弾し形成された画点の測定、上記撮像装置４による液滴の飛翔状態の測定を通して容易にできる。通常、メニスカス７が開口部１７の中心部に位置すると、上蓋１６の影響が最小になり液面での表面張力が最も低下して、液面から吐出し飛翔する液滴の飛翔速度が最も大きくなる。
【００３３】
次に、インク液１２の液面と集束超音波発生構造体５の位置関係において、図１又は３に示したＸ軸を回転軸とした回転方向αを集束超音波発生構造体５に与えて位置調整する場合について説明する。この場合も、第１の位置調整機構１の調整本体１ａ内にある駆動回路１５により、所定の電圧値のバースト波が集束超音波発生構造体５の圧電素子１０に印加されて、インク液１２内に集束超音波１４が生成される。このように集束超音波１４が生じている状態において、図１において説明したように、第２の調整アーム１ｃのＸ軸の回転駆動により集束超音波発生構造体５がｍｒａｄ単位で位置調整される。
【００３４】
図４に示すように、上記第２の調整アーム１ｃのＸ軸の回転駆動により、第３の調整アーム１ｄ上に固定保持した集束超音波発生構造体５を構成する音響レンズ１１の凹面１１ａは、インク液１２の液面１３に対する相対的な位置関係が変位する。そして、集束超音波１４の伝播方向と液面１３とのなす角度が変わってくるために、液面１３から吐出するメニスカス７の形状が変化する。このメニスカス７の形状変化に伴い、そのメニスカス７の頂点から分離吐出して飛翔する液滴８の飛翔状態のうち特に飛翔方向および飛翔速度が大きく変化するようになる。
【００３５】
そして、これ等の液滴８は、図２で説明したのと全く同様にして、回転ドラム３に巻かれた例記録媒体９上に着弾し画点を形成する。このようにして形成された画点は、その形状が測定されて最適な液滴の画点形成状態かどうかの評価がなされる。また、上述したように撮像装置４により、上記液滴の飛翔状態が測定される。そして、最適な回転方向αは、液滴８が液面１３から垂直に飛翔する回転角度に調整される。
【００３６】
全く同様にして、上記第３の調整アーム１ｄによる回転方向βの駆動により、上記音響レンズ１１の凹面１１ａは、インク液１２の液面１３に対する相対的な位置関係が変位する。そして、回転方向αの駆動の場合と全く同様にして、集束超音波１４の伝播方向と液面１３とのなす角度が変わってくる。このために、液面１３から吐出するメニスカス７の形状が変化する。そして、そのメニスカス７の頂点から分離吐出して飛翔する液滴８の飛翔状態が大きく変化するようになる。
【００３７】
そこで、これ等の液滴８は、上記回転方向αの駆動の場合と同様にして、回転ドラム３に巻かれた記録媒体９上に着弾し形成された画点および撮像装置４により評価される。そして、最適な回転方向βは、液滴８が液面１３から垂直に飛翔する回転角度に調整される。
【００３８】
このようにして、液滴の粒径が所望の粒径になるように、そして、液滴の単位時間に飛翔する液滴の数が所望の数になるように位置調整する。また、液滴の飛翔方向が液面に対して垂直になるように、そして、液滴の飛翔速度が所定の範囲に入るように位置調整する。
【００３９】
上記実施形態では、音響レンズ１１が凹面レンズの場合について説明しているが、音響レンズ１１がフレネルレンズにより構成される場合も全く同様に可能である。また、上記インク液の液面１３と集束超音波構造体５の位置関係の調整では、図２に示した回転方向θの調整を行えるようにしてもよい。そして、第２の位置調整機構２は、Ｘ、Ｙ、Ｚ軸方向の移動変位および第１の位置調整機構１と同様な回転変位をする駆動テーブルであると好適である。
【００４０】
上記実施形態では、集束超音波を用いたインクジェット記録ヘッドの設計段階の評価において、集束超音波発生構造体５とインク液１２の液面１３との間の相対的配置を極めて容易に変化させることができる。そして、この配置を種々に変化させて、液面１３から吐出し飛翔する液滴８の飛翔状態を詳細に測定することができる。このようにして、上記記録ヘッド構造の評価データはその精度が大きく向上する。そして、上記記録ヘッドの製造設計におけるヘッド構造の最適化が簡便にできるようになる。
【００４１】
本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲でいろいろの変形を採ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施形態に係る液滴飛翔評価システムの一例を示す概略立面図。
【図２】本発明の実施形態に係る液滴の吐出および飛翔の最適化を説明するための縦断面図。
【図３】図２に記したＡ−Ａ矢視図。
【図４】本発明の実施形態に係る液滴の吐出および飛翔の別の最適化を説明するための縦断面図。
【図５】本発明を説明するためのインクジェット記録ヘッドの縦断面図であって、（ａ）は凹面の音響レンズが圧電素子に結合した集束超音波方式の記憶ヘッドの縦断面図、（ｂ）はフレネルレンズが圧電素子に結合した集束超音波方式の記憶ヘッドの縦断面図。
【符号の説明】
【００４３】
１…第１の位置調整機構，１ａ…調整本体，１ｂ…第１の調整アーム，１ｃ…第２の調整アーム，１ｄ…第３の調整アーム，２…第２の位置調整機構，３…回転ドラム，４…撮像装置，５…集束超音波発生構造体，６…インク保持室，７…メニスカス，８…液滴，９…記録媒体，１０…圧電素子，１０ａ，１０ｂ…電極，１１…音響レンズ，１１ａ…凹面，１２…インク液，１３…液面，１４…集束超音波，１５…駆動回路，１６…上蓋，１７…開口部
【図１】
2007062022.tif 000003
【図２】
2007062022.tif 000004
【図３】
2007062022.tif 000005
【図４】
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【図５】
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