(57)【要約】【課題】押下力によらずデバイスとの接触面積を安定させることで特性バラツキを改善する。【解決手段】LAND接触ブロック１を有し、このLAND接触ブロック１がテストフィクスチャのアース台に設けられたアースブロック２と斜めに接し、かつこの両ブロックの間には弾性体３を挟む構成を有している。デバイスがLAND接触ブロック１の上部に設置された場合、LAND接触ブロック１はアースブロック２に対しスライド式に稼動するため、デバイスに加わる押下力によらず接触面積が一定となり、接触バラツキが改善される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
高周波デバイスを測定する場合のテストフィクスチャのアース接点部構造において、高周波デバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックを有し、このブロックがテストフィクスチャのアース台に設けられた第２の形状のブロックと斜めに接し、かつこの第１の形状のブロックと第２の形状のブロックの間には弾性体を挟み、デバイスが設置され押下力された際に、この第１の形状のブロックが、第２の形状のブロックに対しスライド式に稼動することを特徴としたテストフィクスチャのアース接点部構造。
【請求項２】
請求項１のアース接点部構造において、第１の形状のブロックに、デバイスLANDに対し点接点もしくはこれに準じた接触面積となる小型のものを用い、さらにこの小型とした第１の形状のブロックを複数設け、多数の接触点によりデバイスのアースLANDと接することを特徴としたアース接点部構造。
【請求項３】
請求項１および請求項２のアース接点部構造について、デバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックを球体としたアース接点部構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は高周波デバイスを測定する際の、テストフィクスチャのアース接点構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
高周波デバイス測定用テストフィクスチャのアース接点部構造としては、例えば、特許文献１に記載されるものがある。
【０００３】
図７は、特許文献１に記載されるアース接点部(従来例)の構造を示す図である。
【０００４】
図７に示すように、このアース接点部構造では、被測定デバイス１８の最押下点であるストッパ部１９と、アース接点プレート２０の中途部分での支点の役割をする段差部２１とをもつ基台部２２に、アース接点プレート２０を固定する構造である。
【０００５】
アース接点プレート２０の先端にデバイス１８を設置し、押下力した際、アース接点プレート２０のアース接点に「たわみ２３」を発生させることで接点部の位置ずれによるワイピング効果を得、デバイスのアースLAND２４との接触機能を向上させている。
【特許文献１】実用新案登録第２６０３８７５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の構造では「たわみ」を利用する構造がゆえに、押下力の大きさ、デバイスの微小な接地位置のずれにより「たわみ」の度合いが変わり、デバイスとの接触面積が変動する。このため、大量のデバイスを測定する際などは、この「たわみ」による接触面積のバラツキから、アースのインピーダンスが測定ごとに変化し、特に数GHz以上の周波数において特性のバラツキを引き起こす。
【０００７】
さらに、リードレスMMICでは、チップ裏面に広いアースLANDを有するものもあり、従来例のように、アース接地プレートを用いた構造では、接点が少なく、かつ「たわみ」の量にも限界があることから、十分な接触面積を確保できず、デバイス本来の特性そのものが引き出されないことが生じる。
【０００８】
本発明は、押下力によらずデバイスとの接触面積を安定させることで特性バラツキを改善し、かつ広いアースLAND面を有するデバイスに対しても、むらのない確実な接触と広い接触面積を両立できるアース接点部構造を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明のアース接点部構造は、高周波デバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックを有し、このブロックがテストフィクスチャのアース台に設けられた第２の形状のブロックと斜めに接し、かつこの第１の形状のブロックと第２の形状のブロックの間には弾性体を挟む構成を有している。
【００１０】
この構成により、デバイスが設置され押下力された際に、この第１の形状のブロックが、デバイスLANDと一定の接触面積を保ちながら擦れ、一方で第２の形状のブロックに対しスライド式に稼動することとなる。
【００１１】
また、本発明のアース接点部構造は、第１の形状のブロックに、デバイスのアースLANDに対し点接点もしくはこれに準じた接触面積となる小型のものを用い、さらにこの小型とした第１の形状のブロックを複数設け、多数の接触点によりデバイスのアースLANDと接する構成を有している。
【００１２】
この構成により、複数設けられた小型の第１の形状のブロック各々は、デバイスLANDに対し点接点、もしくはこれに準じた接点となることで接触むらがなくなり、かつこれらを複数設けることで、アース接点部全体としては広い接触面積を有することとなる。
【００１３】
さらに本発明のアース接点部構造は、前記複数設けられた小型の第１の形状のブロックを球体とした構造を有している。
【００１４】
この構成により、小型の球体とした第１の形状のブロックはデバイスのアースLANDに対し点接点により接し、かつアース台のブロックとも点接点により接することとなる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明は、デバイスが設置され押下力された際に、このデバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックが、デバイスのアースLANDと擦れながらかつ接触面積を常に一定に保ち、一方でアース台に設けられた第２の形状のブロックに対しスライド式に稼動することで、デバイスのアースLANDと、第１の形状のブロックとのワイピング効果を得、加えてこの第１の形状のブロックと第２の形状のブロックとのワイピング効果を得ながらも、押下力によらずデバイスのアースLANDと、第１の形状のブロックとの接触面積を一定にすることで、接触バラツキを大きく改善できる効果を有するアース接点部構造を提供することができるものである。
【００１６】
さらに本発明のアース接点部構造は、デバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックが、テストフィクスチャのアース台に設けられた第２の形状のブロックと斜めに接し、この第１の形状のブロックと第２の形状のブロックの間に挟む弾性体の反発力により、スライド式に稼動するシンプルな構造がゆえに、デバイスのアースLANDに対し外部に支点を設ける必要がなく、アース接点部として小型化が可能である。またLAND接触ブロックはアースLAND面積内に容易に複数設けることができる。
【００１７】
さらに本発明のアース接点部構造は、デバイスのアースLANDに接する第１の形状のブロックを複数設けることを前提に、複数設ける各第１の形状のブロックを、デバイスのアースLANDに対し点接点、もしくはこれに準じた接し方になるよう小型のものを用い、各第１の形状のブロックにおいてむらのない確実な接触を確立することで、アース接点部全体として、どの部分にも接触むらがなく、かつ第１の形状のブロックを複数設けているので接触点が多く全体として広い接触面積を確保することができる。
【００１８】
さらに本発明のアース接点部構造は、デバイスのアースLANDに接する複数かつ小型の第１の形状のブロックを球体とすることで、アース台の第２の形状のブロックとの接点とも点接点となり、加工バラツキによる第１の形状のブロックと第２の形状のブロック間の接触むらがなくなり、加工精度が望めない場合の接触の安定性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態のアース接点部構造について、図面を用いて説明する。
【００２０】
本発明の第１の実施の形態のアース接点部構造を図１に示す。また、図２にデバイスLANDパターン例を示す。
【００２１】
図１において、アース接点部構造は、上部はデバイス４のアースLAND６に接し、下部は斜めにカットされた形状のLAND接触ブロック１と、同様に上部が斜めにカットされた形状とすることでLAND接触ブロック１と接するアースブロック２と、この両ブロックの間に挟まれ、弾性によりLAND接触ブロック１の反発力を生ずる弾性体３とを有する構成である。
【００２２】
以上のように構成されたアース接点部構造について、図３を用いてその動作を説明する。
【００２３】
まず、デバイス４が本アース接点部に設置され、押下力が加えられる。デバイス４を本アース接点部に設置した場合の上面よりの透視図を図４に示す。このとき、LAND接触ブロック１は、デバイスのアースLAND６と擦れながら(接点１０)、かつアースブロック２と擦れながら(接点１１)、スライド式に矢印８方向に稼動し、弾性体３を圧迫する。弾性体３はこの押下力に対し弾性により反発し、矢印９方向の力を生ずる。デバイス４は押さえによる押下力と、前記弾性体との反発力が釣り合う位置で固定される。
【００２４】
この際、LAND接触ブロック１とアースブロック２はスライド式の稼動が確保されればよく、LAND接触ブロック１とアースブロック２の接触部は例えば歪曲させることもできる。
【００２５】
また、スライドする方向、アースブロック２の傾斜の方向、角度はどのようなものでもよく、例えばLAND接触ブロック１を複数設けた場合も、互いにスライドする方向が異なるようにすることもできる。
【００２６】
このLAND接触ブロック１とアースブロック２の素材としては、例えばタングステン、ベリリウム銅およびこれらをメッキしたものが有用である。
【００２７】
また、弾性体３の材質をより硬質なもの、もしくは軟質なものに変更すれば、LAND接触ブロックの反発力９を調整することができる。
【００２８】
このような本発明の第１の実施の形態のアース接点部構造によれば、LAND接触ブロック１をスライド式稼動としたことで、押下力によらずデバイス４のアースLAND６に対する接触面積を一定にすることができ、かつアースLAND６とLAND接触ブロック１、およびLAND接触ブロック１とアースブロック２との間にワイピング効果を発揮することができるため、きわめて確実かつ安定した接触を確立することができる。
【００２９】
さらに、スライド稼動時の反発力を生じさせる方法として、弾性体を挟むシンプルな構造がゆえに、デバイス４のアースLAND６に対して外部に別途支点、固定点を設ける必要がなく、例えばデバイス４のアースLAND６の四方が信号のLANDに囲まれたパターンであっても、問題なく構成することができる。加えて、外部に別途支点、固定点が必要ないためアース接点部全体として小型化できる。
【００３０】
次に、本発明の第２の実施の形態のアース接点部構造を図５に示す。
【００３１】
図５において、アース接点部構造は、上部はデバイス４のアースLAND６に接し、下部は斜めにカットされた形状のLAND接触小型ブロック１２と、同様に上部が斜めにカットされることでLAND接触小型ブロック１２と接するアースブロック１３と、この両ブロックの間に挟まれ、弾性によりLAND接触小型ブロック１２の反発力を生じる弾性体１４とを有し、かつLAND接触小型ブロック１２各々はデバイス４のアースLAND６と点接点もしくはこれに準じた接触となる程度に小型化した構成である。
【００３２】
まず、デバイス４がアース接地部に設置され、押下力が加えられる。このとき、LAND接触ブロック１２各々は、デバイス４のアースLAND６と擦れながら、かつアースブロック１３と擦れながら、スライド式に稼動し、弾性体１４を圧迫する。弾性体１４はこの押下力に対し弾性により反発し、反発力を生ずる。LAND接触小型ブロック１２各々は反発力を受ける。そしてデバイス４は押さえによる押下力と、弾性体１４との反発力が釣り合う位置で固定される。また、複数のLAND接触小型ブロック１２によりデバイス４のアースLAND６に接触することで、アース接点部全体としては広い面積でデバイス４のアースLAND６に接触する。
【００３３】
このような本発明の第２の実施の形態のアース接点部構造によれば、LAND接触小型ブロック１２各々をデバイス４のアースLAND６に対し接触むらのない点接点、及び接触むらの生じない程度の点接点に準じた接触面積とすることで、デバイス４のアースLAND６のどの部分に対しても接触むらのないさらに確実で安定した接触を確立することができる。
【００３４】
さらに、アースLAND６がさらに広い場合、もしくは狭い場合、また、アースLAND６の形状が長方形でない場合、さらに信号LAND５に対しても、LAND接触小型ブロック１２の大きさ、数量を増減することで、確実かつ安定な接触を維持したまま、柔軟に対応することができる。
【００３５】
次に、本発明の第３の実施の形態のアース接点部構造を図６に示す。
【００３６】
図６において、アース接点部構造は、デバイス４のアースLAND６に接し、かつ複数設けられた球体のLAND接触小型球体ブロック１５と、上部が斜めにカットされることでLAND接触小型球体ブロック１５と接するアースブロック１６と、このLAND接触小型球体ブロック１５を固定し、弾性によりLAND接触ブロック１５の反発力を生ずる弾性体１７とを有する構造である。
【００３７】
まず、被測定デバイスがアース接地部に設置され、押下力が加えられる。このとき、LAND接触小型球体ブロック１５各々は、デバイス４のアースLAND６と擦れながら、かつアースブロック１６と擦れながら、スライド式に稼動し、弾性体１７を圧迫する。弾性体D３はこの押下力に対し弾性により反発し、反発力を生ずる。LAND接触小型球体ブロック１５各々は個別に反発力を受け、デバイス４は押さえによる押下力と、前記弾性体との反発力が釣り合う位置で固定される。
【００３８】
このような本発明の第３の実施の形態のアース接点部構造によれば、LAND接触小型球体ブロック１５を用い、アースブロック１６とも点接点としたことで、アースブロック１６の加工精度が望めず、アースブロック１６の傾斜面がばらつく場合、また同様の理由から例えばアースブロック２とLAND接触ブロック１とで、またアースブロック１３とLAND小型接触ブロック１２に接触むらが生じるような場合も、接触安定性を確保することができる。
【００３９】
なお、以上の説明では、デバイス４をリードレスMMICで構成した例について説明したが、その他のリード付きMMICや単体デバイスについても同様に実施可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
以上のように、本発明にかかるアース接点構造は、押さえ時の押下力によらず、常に安定した接触面積を確立できるため、例えばデバイス量産時において大量のデバイス特性を検査する際に、アース接点部の接触面積のバラツキに起因する特性バラツキに対する合格判定ラインのマージンを小さくできる。そのため、このマージン間で本来合格となるべきデバイスが不合格と判定される確立が減少し、歩留まりの向上が期待できる。結果として、大量生産時の利益率の向上が期待できる。従って量産製造時の検査用テストフィクスチャに用いられるアース接点構造として有用である。
【００４１】
さらに、本発明にかかるアース接点部構造は、デバイスのアースLANDの広さ形状によらず、接触むらのない確実な接触を確立できるため、GND接触の弱さに起因する、デバイスを実装した場合の特性と、テストフィクスチャを用いて測定した場合の特性のずれを小さくでき、両者の相関を容易にとる事ができる。また小型化が容易であるため、テストフィクスチャ用基板においてアース接点部の占める面積を小さくでき、設計の自由度を向上させることができる。従って開発効率を向上させることができ、開発段階におけるデバイス評価用テストフィクスチャのアース接点構造としても有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるアース接点部の構造を示す図
【図２】デバイスのLANDパターンの一例を示す図
【図３】本発明の第１の実施の形態においてアース接点部にデバイスを設置した際の動作を説明するための図
【図４】本発明の第１の実施の形態においてアース接点部にデバイスを設置した際の上面からの透視図
【図５】本発明の第２の実施の形態におけるアース接点部の構造を示す図
【図６】本発明の第３の実施の形態におけるアース接点部の構造を示す図
【図７】比較例としての従来構造を示す図
【符号の説明】
【００４３】
１  LAND接触ブロック
２  アースブロック
３  弾性体
４  デバイス
５  信号LAND
６  アースLAND
７  テストフィクスチャアース台
８  LAND接触ブロック稼動方向
９  弾性体反発力
１０  接点
１１  接点
１２  LAND接触小型ブロック
１３  アースブロック
１４  弾性体
１５  LAND接触小型球体ブロック
１６  アースブロック
１７  弾性体
１８  デバイス
１９  ストッパ部
２０  アース接点プレート
２１  段差部
２２  基台部
２３  たわみ
２４  アースLAND
２５  ネジ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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