(57)【要約】【課題】複数の電子部品を同時に吸着または実装することにより実装効率が向上する表面実装機を提供する。【解決手段】２台のヘッドユニット４，５を備える。これらのヘッドユニット４，５に、少なくとも一つの吸着ヘッド（第１の吸着ヘッド４３）をＹ方向に移動させる第１の駆動装置６１を備える。ヘッドユニット４，５に、少なくとも一つの吸着ヘッド（第２の吸着ヘッド４４または第３の吸着ヘッド４５）をＸ方向に移動させる第２の駆動装置７１を備えた。【選択図】  図４
2007123668.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プリント配線板を搬送するコンベアを有する基台と、
前記コンベアの側方において所定の第１の方向に並ぶ複数の部品供給位置を有する部品供給部と、
吸着ノズルを有する複数の吸着ヘッドと、
前記複数の吸着ヘッドを前記第１の方向に並べて支持するヘッドユニットと、
このヘッドユニットを前記部品吸着位置と前記プリント配線板との間で移動させる移動装置とを備えた表面実装機において、
前記ヘッドユニットは、一つの基台に２台装備され、
これらのヘッドユニットのうち少なくとも一方は、吸着ヘッドを前記第１の方向とは交差する水平な第２の方向に移動させる第１の駆動装置と、吸着ヘッドを前記第１の方向に移動させる第２の駆動装置とをそれぞれ装備していることを特徴とする表面実装機。
【請求項２】
請求項１記載の表面実装機において、
２台のヘッドユニットを第１の方向にそれぞれ移動可能に支持する支持部材を備え、
前記支持部材とプリント配線板とを第２の方向に相対的に移動可能に構成してなる表面実装機。
【請求項３】
請求項２記載の表面実装機において、
コンベアの途中においてプリント配線板を第１の方向に移動可能とする基板テーブルを備え、
前記基板テーブルの両側にそれぞれ複数の部品供給位置を配置してなる表面実装機。
【請求項４】
請求項２記載の表面実装機において、
コンベアの途中において基板を位置決め固定可能に構成し、支持部材を第２の方向に移動可能に構成して、両ヘッドユニットを第２の方向に一体的に移動させることで、複数の部品供給位置で吸着した部品を、プリント配線板が位置決めされたプリント配線板上方に移動可能としてなる表面実装機。
【請求項５】
請求項４記載の表面実装機において、
コンベアは、一方のヘッドユニットに対応する第１の実装位置と、他方のヘッドユニットに対応する第２の実装位置とにプリント配線板をそれぞれ位置決め可能に構成されている表面実装機。
【請求項６】
請求項５記載の表面実装機において、
前記部品供給部は、第１の実装位置に位置するプリント配線板に電子部品を供給する多数のテープフィーダーからなる第１のテープフィーダー群と、第２の実装位置に位置するプリント配線板に電子部品を供給する多数のテープフィーダーからなる第２のテープフィーダー群とから構成され、
前記第１のテープフィーダー群と、第２のテープフィーダー群とは、互いに近接する位置にあるテープフィーダーを共用テープフィーダー群とし、
この共用テープフィーダー群は、第１の実装位置に位置するプリント配線板と第２の実装位置に位置するプリント配線板とに供給する電子部品を有するテープフィーダーを備えている表面実装機。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２台のヘッドユニットを装備した表面実装機に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来の表面実装機としては、たとえば特許文献１に開示されているように、吸着ノズルを有する吸着ヘッドをヘッドユニットに支持させ、このヘッドユニットをプリント配線板の上方で水平な２方向へ平行移動させる構成のものがある。前記ヘッドユニットを移動させるための移動装置は、プリント配線板を搬送するコンベアの上方に設けられており、前記コンベアとともに基台の上に装備されている。以下においては、前記水平な２方向のうちプリント配線板の搬送方向と平行な方向をＸ方向といい、他方、すなわちＸ方向とは交差する方向をＹ方向という。
【０００３】
前記移動装置は、Ｘ方向送り機構およびＹ方向送り機構と、Ｘ・Ｙ方向に移動可能なヘッドユニットから構成される。前記Ｙ方向送り機構は、基台の両側部に位置付けられＹ方向に延びる一対のＹ方向ガイドレールと、このＹ方向ガイドレールに移動自在に支持され、一対のＹ方向ガイドレール間に横架されてＸ方向に延びる支持部材と、この支持部材をＹ方向ガイドレールに沿って往復動させるＹ方向駆動装置とからなる。前記Ｘ方向送り機構は、前記支持部材にＸ方向に延びるように設けられたＸ方向ガイドレールと、このＸ方向ガイドレールに移動自在に支持された前記ヘッドユニットを、Ｘ方向ガイドレールに沿って往復動させるＸ方向駆動装置とによって構成されている。
【０００４】
前記ヘッドユニットに設けられた吸着ヘッドは、上下方向に延びるように形成されており、下端部に吸着ノズルが取付けられている。また、この吸着ヘッドは、前記吸着ノズルを昇降させる昇降装置と、吸着ノズルを上下方向の軸線回りに回転させる回転駆動装置とを備えている。
近年の表面実装機は、実装効率を向上させるために、例えば特許文献２に開示されているように、一つのヘッドユニットに複数の吸着ヘッドが装備されている。
【特許文献１】特開２００２−１３４９９４号公報（第１図）
【特許文献２】特開２００３−１６３４９７号公報（第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したように構成された従来の表面実装機においては、電子部品をプリント配線板に実装する際の実装効率をより一層向上させることが要請されている。しかしながら、従来の表面実装機では、ヘッドユニットに複数の吸着ヘッドを設けたとしても、電子部品を１個ずつ実装する必要があるために、実装効率を高めるにも限界があった。
【０００６】
本発明はこのような問題点を解消するためになされたもので、複数の電子部品を同時に吸着または実装することにより実装効率が向上する表面実装機を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この目的を達成するために、本発明に係る表面実装機は、プリント配線板を搬送するコンベアを有する基台と、前記コンベアの側方において所定の第１の方向に並ぶ複数の部品供給位置を有する部品供給部と、吸着ノズルを有する複数の吸着ヘッドと、前記複数の吸着ヘッドを前記第１の方向に並べて支持するヘッドユニットと、このヘッドユニットを前記部品吸着位置と前記プリント配線板との間で移動させる移動装置とを備えた表面実装機において、前記ヘッドユニットは、一つの基台上方に２台装備され、これらのヘッドユニットのうち少なくとも一方は、吸着ヘッドを前記第１の方向とは交差する水平な第２の方向に移動させる第１の駆動装置と、吸着ヘッドを前記第１の方向に移動させる第２の駆動装置とをそれぞれ装備しているものである。
【０００８】
請求項２に記載した発明に係る表面実装機は、請求項１に記載した表面実装機において、２台のヘッドユニットを第１の方向にそれぞれ移動可能に支持する支持部材を備え、前記支持部材とプリント配線板とを第２の方向に相対的に移動可能に構成したものである。
【０００９】
請求項３に記載した発明に係る表面実装機は、請求項２に記載した表面実装機において、コンベアの途中においてプリント配線板を第１の方向に移動可能とする基板テーブルを備え、前記基板テーブルの両側にそれぞれ複数の部品供給位置を配置したものである。
【００１０】
請求項４に記載した発明に係る表面実装機は、請求項２に記載した表面実装機において、コンベアの途中において基板を位置決め固定可能に構成し、支持部材を第２の方向に移動可能に構成して、両ヘッドユニットを第２の方向に一体的に移動させることで、複数の部品供給位置で吸着した部品を、プリント配線板が位置決めされたプリント配線板上方に移動可能としたものである。
【００１１】
請求項５に記載した発明に係る表面実装機は、請求項４に記載した表面実装機において、コンベアは、一方のヘッドユニットに対応する第１の実装位置と、他方のヘッドユニットに対応する第２の実装位置とにプリント配線板をそれぞれ位置決め可能に構成されているものである。
【００１２】
請求項６に記載した発明に係る表面実装機は、請求項５に記載した表面実装機において、部品供給部は、第１の実装位置に位置するプリント配線板に電子部品を供給する多数のテープフィーダーからなる第１のテープフィーダー群と、第２の実装位置に位置するプリント配線板に電子部品を供給する多数のテープフィーダーからなる第２のテープフィーダー群とから構成され、前記第１のテープフィーダー群と、第２のテープフィーダー群とは、互いに近接する位置にあるテープフィーダーを共用テープフィーダー群とし、この共用テープフィーダー群は、第１の実装位置に位置するプリント配線板と第２の実装位置に位置するプリント配線板とに供給する電子部品を有するテープフィーダーを備えているものである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、第１の駆動装置によって吸着ヘッドを駆動するとともに、第２の駆動装置によって吸着ヘッドを駆動することにより、複数の吸着ヘッドを同時に所定の吸着位置または実装位置に位置決めすることができる。このため、ヘッドユニットを所定の位置に停止させた状態で前記複数の吸着ヘッドを第１および第２の駆動装置によって吸着位置または実装位置に位置決めすることができ、２台のヘッドユニットを１台の移動装置に支持させた状態で少なくとも一方のヘッドユニットの複数の吸着ヘッドにより同時に電子部品の吸着または実装を行うことができる。
【００１４】
したがって、本発明に係る表面実装機によれば、１組のヘッドユニット用の移動装置により２台のヘッドユニットをそれぞれ駆動し、これらのヘッドユニットのうち少なくとも一方のヘッドユニットによってプリント配線板に複数の電子部品を同時に実装することができる。このため、本発明によれば、実装効率がより一層高い表面実装機を提供することができる。
【００１５】
請求項２記載の発明によれば、部品吸着位置での部品吸着及びプリント配線板上方に移動しての実装を、２個のヘッドユニットで交互に実施可能とするとともに、少なくとも一方のヘッドユニットで少なくとも２つの部品の同時吸着を可能とし、あるいは同時装着を可能とするので、実装効率を向上することができる。
【００１６】
請求項３記載の発明によれば、部品吸着位置での部品吸着及びプリント配線板上方に移動しての実装を、２個のヘッドユニットを交互にＸ方向に移動することで実施可能とするとともに、少なくとも一方のヘッドユニットで少なくとも２つの部品の同時吸着を可能とし、あるいは同時装着を可能とするので、実装効率をより向上することができる。
【００１７】
請求項４記載の発明によれば、２個のヘッドユニットを両方とも部品供給位置上方に移動させ、同じ吸着タイミング中に部品吸着動作が可能になる。すなわち、この各ヘッドユニットにおいて少なくとも２つの部品を同時吸着が可能となる。プリント配線板１枚に対して２個のヘッドユニットを使って部品実装するに当たっては、ヘッドユニットを順次プリント配線板上方に移動して実装を行うが、少なくとも一方のヘッドユニットで少なくとも２つの部品の同時装着を可能とする。これらにより実装効率を向上することができる。
【００１８】
請求項５記載の発明によれば、２個のヘッドユニットをそれぞれ１枚のプリント配線板上方に移動させ、少なくとも一方のプリント配線板において同じ装着タイミングで実装が可能とすることができるので、さらに実装効率を向上することができる。なお、両方のヘッドユニットにおいて、第１の駆動装置と第２の駆動装置を装備させる場合には、それぞれのプリント配線板に対して、同じように同時装着が可能となり、実装効率がさらに向上する。
【００１９】
請求項６に記載した発明に係る表面実装機によれば、テープフィーダーを２枚のプリント配線板毎に装備するに当たって、共用テープフィーダー群のテープフィーダーは１組用意するだけでよい。このため、全てのテープフィーダーをプリント配線板毎にそれぞれ用意する場合に較べてテープフィーダーの数量を低減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明に係る表面実装機の一実施の形態を図１ないし図１６によって詳細に説明する。
図１は本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図、図２は同じく側面図、図３はコンベアの構成を示す平面図、図４はヘッドユニットの構成を示す平面図、図５はヘッドユニットの側面図である。図６〜図８は第３の駆動装置の構成を示す断面図で、図６は図５におけるVI−VI線断面図、図７は図５におけるVII−VII線断面図、図８は図５におけるVIII−VIII線断面図である。
【００２１】
図９は吸着ヘッドの縦断面図で、同図は図４におけるIX−IX線断面図である。図１０は本発明に係る表面実装機の斜視図、図１１はヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図、図１２は部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。図１３は部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図、図１４は４本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図、図１５は５本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。図１６は吸着ヘッドを移動させる方向の変形例を示す構成図である。
【００２２】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機１は、図１、図２および図１０に示すように、基台２と、この基台２上に設けられたコンベア３と、後述する２台のヘッドユニット４，５を図１において左右方向（以下においては、この方向を単にＸ方向という）と、図１において上下方向（以下においては、この方向を単にＹ方向という）とに移動させるための移動装置６とを備えている。
【００２３】
前記基台２は、Ｘ方向の両端部に位置する側部支持台７，７と、これらの側部支持台７，７どうしの間に相対的に低くなるように形成された主支持部８とを備えている。
前記コンベア３は、前記主支持部８に搭載されており、側部支持台７に形成された搬送口７ａ（図１０参照）を通してプリント配線板９（図１０参照）を図１において右側から左側へ搬送する。すなわち、コンベア３は、Ｘ方向にプリント配線板９を搬送する。このＸ方向が本発明でいう第１の方向に相当し、Ｙ方向が本発明でいう第２の方向に相当する。
【００２４】
この実施の形態によるコンベア３は、図３に示すように、一対のコンベア本体３ａ，３ｂとを備え、駆動用モータ１０を有する駆動装置１１によってコンベア本体３ａ，３ｂ毎のベルト（図示せず）を回転させる構造が採られている。これらのコンベア３ａ，３ｂにおけるＸ方向の中央部には、搬送路の上方に臨む状態で固定されたクランプ用プレート３ｃと、プリント配線板９を下方から押し上げ、前記クランプ用プレート３ｃに下方から押し付けるためのプリント配線板用昇降装置（図示せず）とが設けられている。
【００２５】
前記一対のコンベア本体３ａ，３ｂのうち図３において上側に位置するコンベア本体３ａは、他方のコンベア本体３ｂとの間の間隔を変更するための間隔変更装置１２が接続されている。この間隔変更装置１２は、Ｙ方向に延びる複数のボールねじ軸１２ａと、このボールねじ軸１２ａを駆動するためのモータ１２ｂと、前記ボールねじ軸１２ａに螺合する状態でコンベア本体３ａに取付けられたボールねじナット１２ｃなどによって構成されている。このコンベア３は、この間隔変更装置１２によってコンベア本体３ａ，３ｂ間の間隔を拡げることにより、図３中に符号９Ａで示す大型のプリント配線板を搬送することができ、前記間隔を狭くすることによって、同図中に符号９Ｂで示す小型のプリント配線板を搬送することができる。
【００２６】
この実施の形態によるコンベア３においては、大型のプリント配線板９Ａと小型のプリント配線板９Ｂとをそれぞれ複数の停止位置に停止させることができるように構成されている。すなわち、このコンベア３は、図３において右側（搬送方向上流側）の端部に位置する実装待機位置１３と、Ｘ方向の中央に位置する実装位置１４と、図３において左側（搬送方向下流側）の端部に位置する搬出待機位置１５とにプリント配線板９Ａ，９Ｂを停止させることができるようにストッパー１６が設けられている。
【００２７】
。前記ストッパー１６は、プリント配線板９の搬送路に対して下方から出没するロッド（図示せず）を備え、このロッドにプリント配線板９の端縁を当接させることによりプリント配線板を停止させる構造のものである。このストッパー１６は、大型のプリント配線板９Ａを前記三箇所の停止位置にそれぞれ１枚ずつ停止させることができるとともに、小型のプリント配線板９Ｂを前記三箇所の停止位置にそれぞれ２枚ずつ停止させることができるような位置に合計６台装備されている。このようにストッパー１６を装備することにより、実装位置１４は、小型のプリント配線板９Ｂを保持するときに実質的に第１の実装位置１４ａと第２の実装位置１４ｂとに分けられることになる。
【００２８】
前記実装位置１４に保持されたプリント配線板９は、後述する２台のヘッドユニット４，５によって電子部品２１（図１２参照）が実装される。２枚の小型のプリント配線板９Ｂに電子部品２１を実装する場合、図３において左側に位置する第１の実装位置１４ａに保持されている小型のプリント配線板９Ｂは、２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４によって電子部品２１が実装される。第２の実装位置１４ｂに保持されている他方のプリント配線板９Ｂは、他方の第２のヘッドユニット５によって電子部品２１が実装される。
【００２９】
前記基台２の主支持部８上であってＹ方向の両端部には、図１に示すように、部品供給部２２がそれぞれ設けられている。これらの部品供給部２２，２２は、多数のテープフィーダー２２ａによって構成されている。前記移動装置６は、このテープフィーダー２２ａの部品供給位置２２ｂ（図１０参照）と、前記実装位置１４にあるプリント配線板９との間でヘッドユニット４，５を移動させるように構成されている。
【００３０】
前記部品供給部２２は、図１において左側に位置する多数のテープフィーダー２２ａ，２２ａ‥‥からなる第１のテープフィーダー群２２Ａと、図１において右側に位置する多数のテープフィーダー２２ａ，２２ａ‥‥からなる第２のテープフィーダー群２２Ｂとから構成されている。これらの第１のテープフィーダー群２２Ａと、第２のテープフィーダー群２２Ｂとは、互いに近接する位置にある複数のテープフィーダー２２ａを共用テープフィーダー群２２Ｃとして構成されている。
【００３１】
第１のテープフィーダー群２２Ａの各テープフィーダー２２ａからの電子部品２１の移載は、第１のヘッドユニット４が担当し、第２のテープフィーダ群２２Ｂの各テープフィーダ２２ａからの電子部品２１の移載は、第２のヘッドユニット５が担当する。この実施の形態による表面実装機においては、２枚の小型のプリント配線板９Ｂ，９Ｂを使用する場合、第１の実装位置１４ａにあるプリント配線板９Ｂは、第１のヘッドユニット４によって第１のテープフィーダー群２２Ａのテープフィーダー２２ａから電子部品２１が移載される。また、この場合、第２の実装位置１４ｂにあるプリント配線板９Ｂは、第２のヘッドユニット５によって第２のテープフィーダー群２２Ｂのテープフィーダー２２ａから電子部品２１が移載される。
【００３２】
２枚のプリント配線板９Ｂ，９Ｂに上述したように二つのヘッドユニット４，５によって電子部品２１を実装するためには、小型のプリント配線板９Ｂに使用する全ての電子部品２１を２組用意しておく必要がある。しかし、この実施の形態による表面実装機１においては、共用テープフィーダー群２２Ｃにある複数のテープフィーダー２２ａを両方のヘッドユニット４，５によって共用することができるから、２組用意しなければならないテープフィーダー２２ａは、共用テープフィーダー群２２Ｃのテープフィーダー２２ａを除いただけのものでよい。
【００３３】
前記移動装置６は、図１、図２および図１０に示すように、前記基台２の左右の側部支持台７，７に搭載されている。この各側部支持台７、７上にはそれぞれ、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール２３，２３が取り付けられている。このＹ方向ガイドレール２３，２３には、後述する支持部材２４がＹ方向に移動自在に支持されている。
【００３４】
支持部材２４は、図１に示すように、平面視において前記Ｙ方向ガイドレール２３と直交する方向（Ｘ方向）に延びる一対の第１の枠部材２５，２５と、これらの第１の枠部材２５，２５間を連結する一対の第２の枠部材２６，２６とによって額縁状に形成されている。前記一対の第１の枠部材２５，２５どうしは、これら第１の枠部材２５，２５どうしの間に後述するヘッドユニット４，５の一部を収容することができるように、所定の間隔を保つように離間させている。第１の枠部材２５は、Ｘ方向の両端部においてそれぞれＹ方向ガイドレール２３に支持されている。
【００３５】
前記第２の枠部材２６，２６はそれぞれ、Ｙ方向に延びるように形成され、第１の枠部材２５のＸ方向の端部どうしを接続しており、前記Ｙ方向ガイドレール２３に支持されている。
この第２の枠部材２６，２６はそれぞれ、支持部材２４をＹ方向に往復動させるためのＹ方向駆動装置３１，３１がそれぞれ接続されている。
【００３６】
前記Ｙ方向駆動装置３１，３１はそれぞれ、前記側部支持台７の上でＹ方向に延びる状態で側部支持台７に回転自在に支持されたボールねじ軸３２と、このボールねじ軸３２を回転させるモータ３３と、ボールねじ軸３２に螺合するボールねじナット３２ａ（図１０参照）を有し、さらにボールナット３２ａを固定保持し、前記第２の枠部材２６に接続されている連結部材３４とを備えている。
【００３７】
支持部材２４を構成する一対の第１の枠部材２５には、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール３５がそれぞれ取付けられている。これらのＸ方向ガイドレール３５，３５は、後述するヘッドユニット４，５の脚部材３６，３６（図５および図１０参照）をＸ方向に移動自在に支持している。また、前記第１の枠部材２５の上には、ヘッドユニット４，５をＸ方向に平行移動させるためのＸ方向駆動装置３７，３７が設けられている。
【００３８】
この実施の形態による表面実装機１においては、支持部材２４に２台のヘッドユニット４，５が搭載されているために、Ｘ方向駆動装置３７も２台設けられている。２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４は、一対の第１の枠部材２５，２５のうち図１において上側に位置する第１の枠部材２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。図１において右側に位置する第２のヘッドユニット５は、図１において下側に位置する第１の枠部材２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。
【００３９】
Ｘ方向駆動装置３７，３７はそれぞれ、第１の枠部材２５の上でＸ方向に延びる状態で第１の枠部材２５に回転自在に支持されたボールねじ軸３８と、このボールねじ軸３８を回転させるモータ３９と、ボールねじ軸３８に螺合するボールねじナット４０を有し、さらにボールナット４０を固定保持し、ヘッドユニット４あるいはヘッドユニット５の前記脚部材３６に接続されている連結部材４１（図５参照）とを備えている。前記ボールねじ軸３８におけるモータ３９とは反対側の端部は、図１に示すように軸受３８ａによって回転自在に支持されている。
【００４０】
第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５は、互いに同一の構造のものであり、図１に示すように、支持部材２４に前後方向が反対となるように搭載されている。このため、ここにおいては、第１のヘッドユニット４について詳細に説明し、第２のヘッドユニット５については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【００４１】
第１のヘッドユニット４は、図４および図５に示すように、平面視において矩形状に形成された主フレーム４２と、この主フレーム４２の内側に設けられた第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５と、部品認識用カメラ４６などを備えている。前記主フレーム４２は、図４に示すように、装置前側（図４においては下側）に位置する前壁５１と、後壁５２と、左側壁５３および右側壁５４などによって構成されている。
【００４２】
このヘッドユニットを前記支持部材２４に搭載するための前記脚部材３６は、図４および図５に示すように、前記主フレーム４２の前壁５１と後壁５２とにおけるＸ方向の両端部にそれぞれ設けられている。これらの脚部材３６は、前壁５１および後壁５２からＹ方向に突出しており、先端部にスライダ５５を備えている。主フレーム４２はこのスライダ５５を介して前記Ｘ方向ガイドレール３５に移動自在に支持されている。
【００４３】
前記主フレーム４２における装置前側であって、Ｘ方向の中央部には、図６に示すように、Ｙ方向に延びる一対のガイド壁５６，５６が設けられている。このガイド壁５６，５６の間の空間に第１の吸着ヘッド４３が配置される。一方のガイド壁５６にはＹ方向に２個のガイド部材５８が固定され、このガイド部材５８、５８で吸着ヘッド４３の構成部品となるレール部材５７を移動自在に支持している。第１の吸着ヘッド４３は、前壁５１に固定保持されるモータ６２の出力軸６２ａと、ガイド部材５８，５８とにより主フレーム４２に保持される。なお、所謂ガイドレールとして機能するガイド部材５８と、所謂スライダとして機能するレール部材５７とによりＹ方向のスライド機構５９が構成される。
【００４４】
主フレーム４２の前記前壁５１には、図４および図６に示すように、第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に往復動させるための第１の駆動装置６１が設けられている。この第１の駆動装置６１は、主フレーム４２に軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ６２と、このモータ６２の出力軸６２ａに設けられたボールねじ軸６３と、このボールねじ軸６３に螺合する状態で第１の吸着ヘッド４３に固定されたボールねじナット６４などによって構成されている。すなわち、第１の吸着ヘッド４３は、主フレーム４２内におけるＹ方向の一端側であってＸ方向の中央部にＹ方向にのみ移動可能に装備され、前記第１の駆動装置６１によってＹ方向に往復動させられる。
【００４５】
前記主フレーム４２の後部には、図４および図９に示すように、Ｘ方向に延びるガイドレール６５と、このガイドレール６５に移動自在に支持されたスライダ６６とからなるＸ方向のスライド機構を介して二つの副フレーム６７，６８がそれぞれＸ方向に移動自在に設けられている。前記ガイドレール６５は、主フレーム４２の後壁５２に固定され、スライダ６６は副フレーム６７，６８の後述するＸ方向延在部６７ａ，６８ａに固定されている。
【００４６】
前記二つの副フレーム６７，６８は、図４、図７、図８および図９に示すように、主フレーム４２の後壁５２と平行にＸ方向と上下方向とに延びるＸ方向延在部６７ａ，６８ａと、このＸ方向延在部６７ａ，６８ａのＸ方向の一端からＹ方向であって前記後壁５２とは反対側へ延びるＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂとによってそれぞれ断面Ｌ字状に形成されている。これらの副フレーム６７，６８のうち図４において左側に位置する第１の副フレーム６７のＹ方向延在部６７ｂは、Ｘ方向延在部６７ａの左側の端部に接続されている。一方、図４において右側に位置する第２の副フレーム６８のＹ方向延在部６８ｂは、Ｘ方向延在部６８ａの右側の端部に接続されている。
【００４７】
前記二つの副フレーム６７，６８のＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂには、図７に示すように、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５を副フレーム６７，６８とともにＸ方向に移動させるための第２の駆動装置７１がそれぞれ設けられている。これらの第２の駆動装置７１は、主フレーム４２の左側壁５３または右側壁５４に軸線方向がＸ方向を指向するように取付けられたモータ７２と、このモータ７２の出力軸７２ａに設けられたボールねじ軸７３と、このボールねじ軸７３に螺合する状態で前記Ｙ方向延在部６７ｂ，６８ｂに固定されたボールねじナット７４などによって構成されている。
【００４８】
二つの副フレーム６７，６８のうち図４において左側に位置する第１の副フレーム６７を駆動する第２の駆動装置７１のモータ７２は、図４に示すように、主フレーム４２の左側壁５３から左側方に突出するように取付けられ、他方の第２の副フレーム６８を駆動する第２の駆動装置７１のモータ７２は、主フレーム４２の右側壁５４から右側方に突出するように取付けられている。
【００４９】
すなわち、前記モータ７２は、主フレーム４２におけるＹ方向の一端部から両側方（Ｘ方向）に突出するように設けられている。このため、２台のヘッドユニット４，５が互いに接近する場合、このモータ７２が他方のヘッドユニットに干渉することになる。この実施の形態においては、第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５とを支持部材２４に前後方向が反対となるように搭載しているから、ヘッドユニット４のモータ７２とヘッドユニット５のモータ７２とが干渉し合うことがなく、両ヘッドユニット４，５を接近させたときの間隔を狭めることができる。
【００５０】
前記第１の副フレーム６７のＹ方向延在部６７ｂにおける主フレーム４２の左側壁５３とは反対側には、図４および図８に示すように、Ｙ方向２箇所のガイド部材（所謂ガイドレールに相当）７６と、このガイド部材７６に移動自在に支持されたレール部材（所謂スライダに相当）７５とからなるＹ方向のスライド機構７７を介して第２の吸着ヘッド４４がＹ方向に移動自在に装着されている。
【００５１】
一方、第２の副フレーム６８のＹ方向延在部６８ｂにおける主フレーム４２の右側壁５４とは反対側には、図４に示すように、Ｙ方向２箇所のガイド部材（所謂ガイドレールに相当）７９と、このガイド部材７９に移動自在に支持されたレール部材（所謂スライダに相当）７８とからなるＹ方向のスライド機構８０を介して第３の吸着ヘッド４５がＹ方向に移動自在に装着されている。これら二つのスライド機構７７，８０のレール部材７５、７８は、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５に固定され、ガイド部材７６，７９はＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂに固定されている。
【００５２】
前記第１の副フレーム６７のＸ方向延在部６７ａと、第２の副フレーム６８のＸ方向延在部６８ａとには、図８および図９に示すように、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＹ方向に移動させるための第１の駆動装置８１がそれぞれ設けられている。
これらの第１の駆動装置８１は、副フレーム６７，６８のＸ方向延在部６７ａ，６８ａに軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ８２と、このモータ８２の出力軸８２ａに設けられたボールねじ軸８３と、このボールねじ軸８３に螺合する状態で第２または第３の吸着ヘッド４４，４５に固定されたボールねじナット８４などによって構成されている。前記モータ８２，８２の出力軸８２ａ、８２ａは、それぞれＸ方向延在部６７ａ，６８ｂを貫通する一方、前記モータ８２，８２のケーシングは、主フレーム４２の後壁５２に形成された開口部５２ａ（図８参照）を通り主フレーム４２から後方に突出している。前記開口部５２ａは、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５とともに前記モータ８２がＸ方向に移動するときにこのモータ８２と後壁５２との干渉を避けるためのものである。
【００５３】
すなわち、第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とは、主フレーム４２の内側にＸ方向とＹ方向とにそれぞれ移動自在に装備され、前記第２の駆動装置７１によって主フレーム４２に対してＸ方向に往復動させられるとともに、前記第１の駆動装置８１によって主フレーム４２に対してＹ方向に往復動させられる。
【００５４】
第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５は、図５、図９および図１１に示すように、前記第１の駆動装置６１，８１のボールねじナット６４，８４が取付けられた吸着ヘッド本体９１と、この吸着ヘッド本体９１に上下方向（以下においてはＺ方向という）のスライド機構９２を介して昇降自在に支持された昇降部材９３と、この昇降部材９３の下端部に取付けられた吸着ノズル９４などを備えている。
前記Ｚ方向のスライド機構９２は、吸着ヘッド本体９１に上下方向に延びるように固定されたガイドレール９５と、このガイドレール９５に昇降自在に支持されかつ昇降部材９３に固定されたスライダ９６とから構成されている。
【００５５】
前記吸着ヘッド本体９１は、主フレーム４２をＺ方向に貫通する長さに形成されており、昇降部材９３を昇降させるためのＺ方向駆動装置１０１を備えている。このＺ方向駆動装置１０１は、吸着ヘッド本体９１の上端部に軸線が下方を指向する状態で取付けられたモータ１０２と、このモータ１０２の出力軸１０２ａに接続されたボールねじ軸１０３と、このボールねじ軸１０３に螺合する状態で昇降部材９３に固定されたボールねじナット１０４などによって構成されている。
【００５６】
前記昇降部材９３は、吸着ノズル９４をＺ方向の軸線回りに回転自在に支持しており、この吸着ノズル９４を前記軸線回りに回転させるための回転駆動装置１０５と、吸着ノズル９４から空気を吸引するための空気吸引用パイプ１０６（図１１参照）とを備えている。前記回転駆動装置１０５は、昇降部材９３における吸着ノズル９４の上方の部位に軸線が下方を指向するように設けられたモータ１０７によって吸着ノズル９４を回転させる構成が採られている。
【００５７】
このように構成された第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５は、図４に示すように、吸着ノズル９４がＸ方向に並ぶように主フレーム４２に装備されている。詳述すると、第１の吸着ヘッド４３は、主フレーム４２の前部であってＸ方向の中央部に前壁５１から後方に延びるように設けられている。第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とは、主フレーム４２の後部であってＸ方向の両側部に後壁５２から前方に延びるようにそれぞれ設けられている。
【００５８】
第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５をこのように主フレーム４２に装着することによって、３個の吸着ノズル９４相互間のＸ方向の間隔を第２の駆動装置７１によって変えることができるとともに、各吸着ノズル９４の主フレーム４２に対するＹ方向の位置を第１の駆動装置６１，８１によって変えることができる。すなわち、この実施の形態による表面実装機１においては、吸着ノズル９４どうしのＸ方向の間隔を多数のテープフィーダー２２ａの設置間隔と一致させることができるから、３本の吸着ノズル９４によって一度に電子部品２１を吸着することができる。
【００５９】
すなわち、テープフィーダー２２ａのテープ送り量にばらつきが出る場合、あるいはテープフィーダ２２ａそのものの基台２へのＹ方向取り付け位置にばらつきが出る場合には、部品取り出し位置となるテープの部品収納凹部の位置がＹ方向にテープフィーダー２２ａ毎にばらついてしまうが、ヘッドユニット４、５に下方を撮像する不図示の撮像装置を搭載させ、取り出し位置近傍を撮像してテープフィーダー２２ａ毎の取り出し位置のＹ方向位置を検出し、その結果に基づいて各吸着ノズル９４の主フレームに対する位置を第１の駆動装置６１、８１によって変更することで、一度に複数の電子部品２１の吸着を可能としている。
【００６０】
吸着ノズル９４に電子部品２１を吸着したときの吸着ノズル９４に対する電子部品２１の位置は、主フレーム４２に設けられた部品認識用カメラ４６（図４、図５および図１２参照）により電子部品２１を下方から撮像し、画像処理によって検出する。
【００６１】
部品認識用カメラ４６は、図４、図５および図１２に示すように、主フレーム４２の右側壁５４から右方（図１２においては左方）に突出するとともに軸線がＸ方向を指向する状態で前記右側壁５４に支持されたモータ１１１と、このモータ１１１の出力軸１１１ａに設けられたボールねじ軸１１２と、このボールねじ軸１１２に螺合するボールねじナット１１３が固定された移動部材１１４と、この移動部材１１４に取付けられたカメラ本体１１５とから構成されている。
【００６２】
前記移動部材１１４は、前壁５１に固定されＸ方向に延びるガイドレール１１６（図１２参照）と、このガイドレール１１６に移動可能に支持され移動部材１１４に固定されたスライダ１１７とからなるＸ方向のスライド機構１１８によって主フレーム４２の下端部にＸ方向へ移動自在に支持されている。このスライド機構１１８は、図４に示すように、移動部材１１４が第２の吸着ヘッド４４より外側（左側）の位置と、第３の吸着ヘッド４５より外側（右側）の位置との間で移動できるように形成されている。また、前記移動部材１１４は、図１２に示すように、多数の発光素子１１９を備え、撮影時には、吸着ノズル９４に吸着された電子部品２１に下方から光を照射するように構成されている。
【００６３】
カメラ本体１１５は、リニアセンサやエリアセンサなどの撮像素子（図示せず）を備え、図５に示すように、Ｙ方向に延びるように移動部材１１４に取付けられている。この部品認識用カメラ４６による電子部品２１の撮像は、吸着ノズル９４に電子部品２１が吸着されている状態で前記モータ１１１を有するボールねじ式の駆動装置１２０によって移動部材１１４をＸ方向に移動させながら、移動部材１１４内に設けられたミラー（図示せず）を介して、発光素子１１９で照明された吸着ノズル９４側を下方から見上げるようにして行われる。
【００６４】
この実施の形態による部品認識用カメラ４６においては、図５に示すように、Ｘ方向駆動装置３７のボールねじ軸３８や、第２の駆動装置７１とはＹ方向において反対側に位置するようにヘッドユニット４，５に設けられている。このため、部品認識用カメラ４６がヘッドユニット４，５の駆動系の部材と干渉することがない。さらには、部品認識用カメラ４６を主フレーム４２の下部に配置することで、主フレーム４２の上部に配置するＸ方向駆動装置３７、第１の駆動装置６１および第２の駆動装置７１から、上下方向において離間するので、より干渉がない。
【００６５】
この部品認識用カメラ４６によって検出された電子部品２１の吸着位置ずれは、前記第２の駆動装置７１と第１の駆動装置６１，８１の駆動により各吸着ノズル９４の位置を変えることによって修正する。第１の吸着ヘッド４３に設けた吸着ノズル９４において生じた吸着位置ずれは、第１の駆動装置６１により第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に移動させるとともに、ヘッドユニット４，５をＸ方向駆動装置３７によってＸ方向に移動させることによって修正する。また、第１の吸着ヘッド４３において、電子部品２１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル９４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００６６】
第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とに設けた吸着ノズル９４で生じた吸着位置ずれは、前記ヘッドユニット４，５のＸ方向への移動量を加算した状態で第２の駆動装置７１により第２，第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向に移動させ、かつ第１の駆動装置８１によって第２，第３の吸着ヘッド４４，４５をＹ方向に移動させることによって修正する。また、第２および第３の吸着ヘッド４４，４５において、電子部品２１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル９４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００６７】
この表面実装機１においては、上述した第１の駆動装置６１，８１と第２の駆動装置７１とによって３本の吸着ノズル９４の相互の間隔と、各吸着ノズル９４の主フレーム４２に対するＹ方向の位置とを変えることができるから、吸着ノズル９４毎に電子部品２１をプリント配線板９の所定の実装位置に位置決めすることができる。すなわち、この表面実装機１では、電子部品２１を３本の吸着ノズル９４によってプリント配線板９に同時に実装することができる。
【００６８】
なお、Ｘ方向やＹ方向の吸着ずれに対応して第１の吸着ヘッド４３をＹ方向、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向あるいはＹ方向に移動する場合だけでなく、各電子部品２１の実装位置がＸ方向に一列に均等間隔で並ばず、隣接はするが、相互にＸ方向に等間隔とはならず、また相互にＹ方向にも位置が異なる場合であっても、各吸着ヘッド４３〜４５を一列あるいは概略一列にして電子部品２１を同時吸着した後、プリント配線板９上方に移動途中において、メモリ中の実装位置データに基づいて、第１の吸着ヘッド４３をＹ方向、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向あるいはＹ方向に適宜移動することで、同時実装が可能となる。
【００６９】
また、電子部品２１の吸着後、部品認識用カメラ４６をＸ方向に移動することで各吸着ノズル９４〜９４の先端部を撮像するに当たり、部品認識用カメラ４６の撮像視野の範囲内に吸着された電子部品２１や各吸着ノズルが入る範囲で、第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５をＸ方向に一列あるいは概略一列に並べるようにする。
【００７０】
部品認識用カメラ４６は、図１３に示すように、支持部材２４の下面に取付けることもできる。図１３に示す部品認識用カメラ４６は、支持部材２４の一方の第１の枠部材２５にＸ方向のスライド機構１２１を介して支持されている。このスライド機構１２１は、第１の枠部材２５に固定されたガイドレール１２２と、このガイドレール１２２に移動自在に支持されかつ移動部材１１４に固定されたスライダ１２３とによって構成されている。この形態を採るに当たって、モータ１１１は、図示していないブラケットによって第１の枠部材２５に支持、固定されている。
【００７１】
上述したように構成された表面実装機１は、２台のヘッドユニット４，５の第１の吸着ヘッド４３を第１の駆動装置６１によってＹ方向に移動させることができ、第２および第３の吸着ヘッド４４，４５を第１および第２の駆動装置７１，８１によってＸ方向とＹ方向とに移動させることができることから、これらの吸着ヘッド４３〜４５を同時に所定の吸着位置または実装位置に位置決めすることができる。このため、この表面実装機１では、ヘッドユニット４，５を所定の位置に停止させた状態で前記複数の吸着ヘッド４３〜４５を第１および第２の駆動装置６１，７１，８１によって吸着位置または実装位置に位置決めすることができ、２台のヘッドユニット４，５を１台の移動装置６に支持させた状態でこれらのヘッドユニット４，５の複数の吸着ヘッド４３〜４５により同時に電子部品２１の吸着または実装を行うことができる。
【００７２】
また、上述した表面実装機においては、コンベア３の途中においてプリント配線板９を２箇所で位置決め固定可能としており、ヘッドユニット４、５でそれぞれのプリント配線板９への電子部品２１の実装を並行して実施させることができ、且つヘッドユニット４、５の少なくとも一方は、少なくとも２つの吸着ヘッドによりプリント配線板９上に少なくとも２つの部品を同時実装するので、一層実装効率が向上する。
【００７３】
なお、２台のヘッドユニット４、５の内一方のみにおいて、吸着ヘッド４３〜４５の内少なくとも一つを第１の駆動装置６１によってY方向に移動可能とし、吸着ヘッド４３〜４５の内少なくとも一つを第２の駆動装置７１あるいは８１相当でＸ方向に移動可能としても良い。この場合、一つの吸着ヘッドのみにおいてＹ方向及びＸ方向の両方向に移動可能としても、複数の吸着ヘッドそれぞれにおいては、Ｙ方向あるいはＸ方向のいずれか一方だけに移動可能としても良い。このいずれによっても、少なくとも２つの電子部品２１は同時に吸着、あるいは実装が可能となる。すなわち、部品供給部２２における複数の部品位置が、Ｘ方向あるはさらにＹ方向にずれている場合でも同時吸着が可能となり、プリント配線板９上の実装位置座標が、Ｘ方向のみでなくＹ方向に異なる場合でも同時実装が可能となり、実装効率が向上する。
【００７４】
また、上述した表面実装機は、２台のヘッドユニット４、５を移動可能に支持する支持部材２４が、Ｙ方向に移動可能とされているが、支持部材２４を基台２に固定するようにしても良い。この場合には、コンベア３を上流側コンベアと下流側コンベアで２分し、この２つのコンベアの間にプリント配線板９をコンベアから受け取った後、Ｙ方向に移動する基板テーブルを介装するようにしても良い。基板テーブルは上流側コンベアからプリント配線板９が搬入された後、プリント配線板９を固定しＸ方向のみに移動可能なヘッドユニット４，５の下方と同じ位置までＹ方向に移動し、電子部品２１の順次の実装に際しては、さらに実装位置に合わせてＹ方向に移動する。ヘッドユニット４、５のいずれかにおいては、少なくとも２つの吸着ヘッドにより部品供給部２２で少なくとも２つの部品を同時吸着する。そして、ヘッドユニット４、５は交互にＸ方向基板上方まで移動し、ヘッドユニット４、５の少なくとも一方は、少なくとも２つの吸着ヘッドによりプリント配線板９上に少なくとも２つの部品を同時実装する。この構成の表面実装機においても実装効率が向上する。
【００７５】
またこの発明は、複数の吸着ヘッドを複数の部品供給位置の並ぶ方向（第１の方向）に並べてヘッドユニット４あるいは５に支持させるに当たり、第１の方向に並ぶ吸着ヘッドの列を１列配置する場合のみでなくみでなく、Ｙ方向に位置をずらして２列や３列等の複数列配置する場合にも適用可能である。
【００７６】
またこの発明は、複数の吸着ヘッドを複数の部品供給位置の並ぶ方向（第１の方向）に並べてヘッドユニット４あるはヘッドユニット５に支持させるに当たり、第１の方向に並ぶ吸着ヘッドの列を１列配置する場合のみでなく、Ｙ方向に位置をずらして２列や３列等の複数列配置する場合にも適用可能である。
【００７７】
この実施の形態による表面実装機１は、部品供給部２２を、２枚のプリント配線板９Ｂ，９Ｂ毎の第１のテープフィーダー群２２Ａと第２のテープフィーダー群２２Ｂとから構成し、これらのテープフィーダー群２２Ａ，２２Ｂの互いに近接する位置にあるテープフィーダー２２ａを共用テープフィーダー群２２Ｃとして構成し、この共用テープフィーダー群２２Ｃに、第１の実装位置１４ａに位置するプリント配線板９Ｂと第２の実装位置１４ｂに位置するプリント配線板９Ｂとに供給する電子部品２１を有するテープフィーダー２２ａが装備されている。
【００７８】
このため、この実施の形態によれば、テープフィーダー２２ａを２枚のプリント配線板９Ｂ，９Ｂ毎に装備するに当たって、共用テープフィーダー群２２Ｃのテープフィーダー２２ａは１組用意するだけでよい。このため、全てのテープフィーダー２２ａをプリント配線板９Ｂ，９Ｂ毎にそれぞれ用意する場合に較べてテープフィーダー２２ａの数量を低減することができる。
【００７９】
ヘッドユニット４，５は、図１４に示すように、吸着ヘッドを４本設けることができるし、図１５に示すように、吸着ヘッドを５本設けることができる。
図１４に示すヘッドユニット４，５では、主フレーム４２の内部に４本の吸着ヘッド２００がそれぞれ第１、第２の駆動装置７１，８１によってＸ方向とＹ方向とに移動可能に設けられている。これらの吸着ヘッド２００は、平面視において四角形状に形成された主フレーム４１の角となる部位に配設されている。この実施の形態によるヘッドユニット４，５は、主フレーム４２の前壁５１に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００と、主フレーム４２の後壁５２に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００とがＸ方向に交互に並ぶように構成されている。
【００８０】
図１５に示すヘッドユニット４，５では、主フレーム４２が平面視において台形状に形成されており、台形の底辺に相当する前壁の中央部に固定式の吸着ヘッド２０１が設けられている。この固定式の吸着ヘッド２０１は、吸着ノズル９２を昇降させる機能と、上下方向の軸線回りに回転させる機能を有し、主フレーム４２にＸ方向とＹ方向への移動が規制された状態で取付けられている。なお、この吸着ヘッド２０１は、図３に示した第１の駆動装置６１を装備させ、主フレーム４２に対してＹ方向に移動する構成を採ることもできる。
【００８１】
図１５に示すヘッドユニット４，５においては、前記吸着ヘッド２０１を中心にして両側に２本ずつ可動式の吸着ヘッド２００が装備されている。これらの可動式の吸着ヘッド２００は、主フレーム４２に第１および第２の駆動装置７１，８１によってＸ方向とＹ方向とに移動可能に設けられている。この実施の形態によるヘッドユニット４，５は、主フレーム４２の前壁５１に支持された３本の吸着ヘッド２００，２０１の間に、後壁５２に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００が臨む構成が採られている。
【００８２】
吸着ヘッドを第１および第２の駆動装置６１，７１，８１によって駆動するに当っては、吸着ヘッドの移動する方向を図１６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように設定することができる。
図１６（Ａ）に示すヘッドユニット４，５は、３本の吸着ヘッド２００〜２０２を備えている。これらの吸着ヘッドのうち、同図において最も左側に位置する吸着ヘッド２００は、Ｘ方向とＹ方向とに移動するように構成され、中央に位置する吸着ヘッド２０１は、Ｙ方向のみに移動するように構成され、右側に位置する吸着ヘッド２０２は、Ｘ方向へもＹ方向へも移動することができないように構成されている。
【００８３】
図１６（Ｂ）に示すヘッドユニット４，５は、４本の吸着ヘッド２００，２０１を備えている。これらの吸着ヘッドのうち、最も左側に位置する吸着ヘッド２００と、最も右側に位置する吸着ヘッド２００，２００は、Ｘ方向とＹ方向とに移動するように構成され、内側の２本の吸着ヘッド２０１，２０１は、Ｙ方向のみに移動するように構成されている。
【００８４】
図１６（Ｃ）に示すヘッドユニット４，５は、Ｘ方向とＹ方向とに移動可能な吸着ヘッド２００と、Ｙ方向にのみ移動可能な吸着ヘッド２０１とを備えている。
ヘッドユニット４，５を図１４〜図１６に示すように構成しても図１〜図１２に示す実施の形態を採る場合と同等の効果を奏する。
【００８５】
なお、図１ないし図１６に示した実施の形態においては、コンベア３の搬送方向と平行な方向を第１の方向とする例を説明したが、本発明でいう第１の方向は、コンベア３の搬送方向とは直交する方向とすることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】本発明に係る表面実装機の構成を示す平面図である。
【図２】本発明に係る表面実装機の構成を示す側面図である。
【図３】コンベアの構成を示す平面図である。
【図４】ヘッドユニットの構成を示す平面図である。
【図５】ヘッドユニットの背面図である。
【図６】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図７】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図８】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図９】吸着ヘッドの縦断面図である。
【図１０】本発明に係る表面実装機１の斜視図である。
【図１１】ヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図である。
【図１２】部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。
【図１３】部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。
【図１４】４本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。
【図１５】５本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。
【図１６】吸着ヘッドを移動させる方向の変形例を示す構成図である。
【符号の説明】
【００８７】
２…基台、４，５…ヘッドユニット、６…移動装置、４２…主フレーム、４３…第１の吸着ヘッド、４４…第２の吸着ヘッド、４５…第３の吸着ヘッド、６１，８１…第１の駆動装置、７１…第２の駆動装置、９４…吸着ノズル、２００，２０１…吸着ヘッド。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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