(57)【要約】【課題】作動流体動作室への空気混入をなくし、常に安定して動作できる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ、およびこれを備えたインキ吐出印刷装置を提供する。【解決手段】上記ダイヤフラムポンプ４０では：弁ハウジング２２においてダイヤフラム１８により塗布液室１４と隔離された作動流体動作室２０と連通したピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において、ピストン移動方向に離間した２つの位置でピストンの外周面を密封状態で往復動可能に支持する２つの支持手段２８ａ，２８ｂの間に密封流体供給孔４６が設けられている。この供給孔に密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧して供給されていて、上記内周面において２つの密封支持手段の間には、密封流体供給時に、上記内周面とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔５０が備えられている。【選択図】    図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
塗布液入口と塗布液出口を備えた塗布液室と、
塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、を含む弁ハウジングと；
この弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
を備えたダイヤフラムポンプにおいて、
このピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を支持する少なくとも２つのピストン支持手段と；
このピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、前記ピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段とを備えていることを特徴とするダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、密封流体が前記２つの密封手段の間に密封されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において前記２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初にこの密封流体供給孔に供給された時に、前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；を含んでいることを特徴とする請求項２に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
前記ブリーザ孔は、隙間中の気体が前記密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により完全に追い出された後に密封されていることを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項５】
前記密封流体加圧供給源が、密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクに連通されていることを特徴とする請求項４に記載のダイヤフラムポンプ。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のダイヤフラムポンプの塗布液出口を、インキ吐出部に連通し、該ダイヤフラムポンプの塗布液入口を塗布液供給源に連通したことを特徴とするインキ吐出印刷装置。
【請求項７】
塗布液を供給する塗布液供給装置と；
塗布液供給装置に連通されており、インキ吐出部を備え、塗布液供給装置から供給された塗布液の一定量をインキ吐出部から印刷対象物上に吐出しつつ印刷対象物に対し相対的に移動することにより印刷対象物上に均一な厚さの塗膜を形成するインキ吐出部と；を備えているインキ吐出印刷装置であって、
塗布液供給装置が：
塗布液供給源に連通された塗布液入口とインキ吐出部に連通された塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていて、
ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
ことを特徴とするインキ吐出印刷装置。
【請求項８】
前記作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの前記密封流体加圧供給源が密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクを有している、ことを特徴とする請求項７に記載のインキ吐出印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置、及び作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置から供給された塗布液を開口部から印刷対象物上に塗布し印刷対象物上に均一な厚さの塗膜を形成する印刷装置、塗布装置に関係している。例えば、塗布液供給装置を用いたインキ吐出印刷装置、スリットコータ、ダイコータ、ディスペンサ、スピンコータ等の塗工装置や、凸版印刷装置、凹版印刷装置、平版印刷装置、反転印刷装置等の印刷装置を例示することができる。この発明の塗布液供給装置は、特に、インキ吐出部を有するインキ吐出印刷装置に好適に用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
このようなインキ吐出印刷装置は、例えばフラットパネルディスプレイのためのカラーフィルタを製造するのに使用されている。ここにおいて作動流体駆動式ダイヤフラムポンプは、インキ吐出印刷装置に対し塗布液に異物を混ぜる可能性なしで塗布液を安定して定量的に供給することが出来ることが優れている。
【０００３】
図１には、縦断面にされている従来のこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０を備えた塗布液供給装置が組み込まれている従来のインキ吐出印刷装置６が概略的に示されている。
【０００４】
インキ吐出印刷装置６は、塗布液（吐出液）溜まり８ａとインキ吐出口８ｂとを備えたインキ吐出部８を備えている。インキ吐出部８は、印刷対象物９において塗布液Ｌを塗布する所定の表面９ａに対しインキ吐出口８ｂを所定の距離離間させた状態で相対的に移動可能である。ここで相対的に移動可能とは、インキ吐出部８及び印刷対象物９のいずれか一方が静止した他方に対し移動可能であるか、あるいはインキ吐出部８及び印刷対象物９の両方が相互に正反対の方向に移動可能である、ことを意味している。
【０００５】
印刷対象物９は例えばフラットパネルディスプレイのカラーフィルタである。また、その他に、エレクトロルミネセンス素子、回路基板、薄膜トランジスタ、マイクロレンズ、バイオチップ等を印刷物として例示することができる。
【０００６】
そして、このようなインキ吐出部８の構成は公知である。例えば、後掲する特許文献１、２を掲げることができる。特許文献１では、ダイヤフラムポンプを用いて吐出量を制御するインキ吐出印刷装置が開示されている。
【０００７】
従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０は：塗布液タンクを含む塗布液供給源１２に接続された塗布液入口１４ａとインキ吐出部８の塗布液（吐出液）溜まり８ａに接続された塗布液出口１４ｂとを有した塗布液室１４と、塗布液室１４に隣接しておりダイヤフラム１８により塗布液室１４から隔離されている作動流体動作室２０と、含む弁ハウジング２２と；そして弁ハウジング２２の作動流体動作室２０に連通し、ピストン２４が往復動自在に収容されているピストン収容孔２６ａを有するピストンハウジング２６と；を備えている。
【０００８】
弁ハウジング２２はさらに、塗布液室１４に連通された抽気孔１４ｃを備えており、抽気孔１４ｃには開閉弁１４ｄが介在されている。開閉弁１４ｄは、通常は閉鎖されている。
【０００９】
ピストンハウジング２６のピストン収容孔２６ａの内周面においてピストン２４の往復移動方向に相互に離間した２つの位置には、ピストン２４の外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂが設けられている。
【００１０】
ピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、作動流体動作室２０に近い方の一方のピストン支持手段２８ａよりも作動流体動作室２０にさらに近い位置に、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間を塞ぎ、かつピストン２４の往復動作を許容する第１の密封部材３０が設けられている。
【００１１】
第１の密封部材３０は、例えばゴムのような弾性を有した材料により構成されていて、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間において作動流体動作室２０に向けて開いた凹所を有している。このような第１の密封部材３０は、作動流体動作室２０中の作動流体がピストン２４により加圧されたときに、作動流体動作室２０中からピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間に侵入して来た加圧された作動流体を上記凹所に受けて上記隙間でピストン２４の半径方向の外方及び内方に膨らみ、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに密着して上記隙間を封じる。
【００１２】
ピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、作動流体動作室２０から遠い方の他方のピストン支持手段２８ｂよりも作動流体動作室２０から遠い位置に、ピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間を塞ぎ、かつピストン２４の往復動作を許容する第２の密封部材３２が設けられている。
【００１３】
第２の密封部材３２もまた、例えばゴムのような弾性を有した材料により構成されていて、外部空間から水や埃等の種々の異物がピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間の隙間に侵入するのを防止する。
【００１４】
しかし、従来のダイヤフラムポンプにおいては、作動流体動作室２０に外部から空気が進入し、塗布液の供給初期において、塗布液の供給量が安定せず塗布膜厚が不安定となる問題があった。この点について詳述する。
【００１５】
図１を参照しながら上述した如く構成されている従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０においては、塗布液供給源１２から弁ハウジング２２の塗布液入口１４ａを介して塗布液室１４中に塗布液を吸引する為に、ピストン２４が作動流体動作室２０から遠ざかる方向に移動されると、作動流体動作室２０中の作動流体に負荷されている圧力が減少する。そして、この結果として、作動流体動作室２０に近い方の第１の密封部材３０が上記作動流体の圧力によりピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに対して押圧されていた力が弱まり、外部空間から第２の密封部材３２を潜り抜けてピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間のわずかな隙間中に入り込んでいる空気が第１の密封部材３０を潜り抜けして、作動流体動作室２０中に入り込んでしまうことがあった。さらに、このような第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入は、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の使用期間が伸び、そして第１の密封部材３０の磨耗が進むにつれて増大しやすくなる。
【００１６】
第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入が繰り返されると、作動流体動作室２０中に入り込んでしまった圧縮性の空気の影響でピストン２４の移動に正確に対応してダイヤフラム１８が移動しなくなる。このことは、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０による塗布液供給源１２からインキ吐出部８への塗布液の正確な定量の供給が行われなくなることを意味する。そして、インキ吐出部８は、印刷対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの均等な吐出を行うことが出来なくなり、所定の表面９ａ上へ塗布液Ｌが塗布された印刷対象物９から作られる、例えばフラットパネルディスプレイの為のカラーフィルタに不良が発生する。
【００１７】
このような事象を調べる為に、図１中に示されている従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の弁ハウジング２２において作動流体動作室２０に連通している抽気孔２０ａに図示されていない圧力計を連結する。
【００１８】
インキ吐出部８に対しての塗布液の供給は作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０により行われ、このことはインキ吐出部８における塗布液の圧力は、動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の作動流体動作室２０における作動流体の圧力に対応していることを意味する。
【００１９】
そして図２には、図１の印刷対象物９の所定の表面９ａ上へのインキ吐出部８のインキ吐出口８ｂを介しての塗布液Ｌの塗布作業が開始される前後における作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０の作動流体動作室２０における作動流体の圧力の変化（これは、上述した如く、インキ吐出部８における塗布液の圧力の変化に対応する）の一例が示されており；
図３には、印刷対象物９の所定の表面９ａ上へのインキ吐出部８のインキ吐出口８ｂを介しての塗布液Ｌの塗布作業が開始された後における印刷対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの塗布距離と塗布膜の厚さとの関係を示す一例が示されている。
【００２０】
印刷対象物９の所定の表面９ａ上へのインキ吐出部８のインキ吐出口８ａを介しての塗布液Ｌの塗布作業（塗布作業とは、例えば、インキ吐出部からのインキが吐出される動作をいう。）が開始される前には、インキ吐出口８ｂが閉じられている間に作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０によって塗布液に所定の圧力が負荷されている。そして、インキ吐出口８ｂが開かれ上記塗布作業が開始されると、作動流体動作室２０に空気が混入していない正常な場合には、一旦急減に塗布液の圧力が低下した後にさらに塗布液の圧力が塗布のための所定の圧力まで急速に回復する。このことは、図２中に実線Ａにより作動流体動作室２０中の作動流体の圧力の変化として示されている。
【００２１】
そして、上述した如く塗布作業が開始されたときには、図３中に実線Ｂにより示されているように、インキ吐出部８から印刷対象物９の所定の表面９ａ上へと塗布される塗布液Ｌの膜厚が急激に所定の値にまで立ち上がる。
【００２２】
インキ吐出口８ｂが開かれ上記塗布作業が開始された時に、前述した如く作動流体動作室２０に空気が混入していた場合には、前述した如く作動流体動作室２０に空気が混入していなかった場合と比べると、塗布液の圧力の最初の低下が少なく、次に塗布液の圧力が塗布のための所定の圧力まで不安定に回復する。このことは、図２中に実線Ａ´により作動流体動作室２０中の作動流体の圧力の変化として示されている。
【００２３】
そして、上述した如く塗布作業が開始されたときには、図３中に実線Ｂ´により示されているように、インキ吐出部８から印刷対象物９の所定の表面９ａ上へと塗布される塗布液Ｌの膜厚が所定の値を超えて一旦急激に立ちあがった後に急激に所定の値にまで下降する。
【００２４】
塗布液Ｌの膜圧のこの急激な立ち上がりは、作動流体動作室２０中に混入されていて加圧されていた空気による押し出し効果と考えられている。
【００２５】
所定の値を超えてのこのような塗布液Ｌの膜厚の急激な立ち上がりは、塗布液Ｌの無駄使いとなり、また印刷対象物９の所定の表面９ａ上からの塗布液Ｌの溢れ出しともなる。特にインキ吐出印刷装置においては、隔壁からインキがあふれて不良を発生する原因となり、致命的である。そして、これら無駄使いやあふれ出しの量は、作動流体動作室２０中に混入された空気の量が増加するにつれて増加する。
【特許文献１】特開平１０−５２９２３号公報
【特許文献２】特開２００４−９８６１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２６】
この発明は上記課題を解決するためになされたものであり、この発明の目的は、作動流体動作室への空気の混入をなくすことが出来、インキ吐出印刷装置を常に安定して動作させることが出来る作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ、およびこれを備えた塗布液供給装置、及びこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたインキ吐出印刷装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
即ち、前記課題を解決するための請求項１に記載の発明は、
塗布液入口と塗布液出口を備えた塗布液室と、
塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、を含む弁ハウジングと；
この弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
を備えたダイヤフラムポンプにおいて、
このピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を支持する少なくとも２つのピストン支持手段と；
このピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、前記ピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段とを備えていることを特徴とするダイヤフラムポンプである。
請求項２に記載の発明は、前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において、密封流体が２つの密封手段の間に密封されていることを特徴とする請求項１に記載のダイヤフラムポンプである。
請求項３に記載の発明は、前記ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初にこの密封流体供給孔に供給された時に、前記ピストンハウジングの前記ピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていていることを特徴とする請求項２に記載のダイヤフラムポンプである。
請求項４に記載の発明は、前記ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封されていることを特徴とする請求項３に記載のダイヤフラムポンプである。
請求項５に記載の発明は、前記作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの前記密封流体加圧供給源が密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクを有していることを特徴とする請求項４に記載のダイヤフラムポンプである。
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれかに記載のダイヤフラムポンプの塗布液出口をインキ吐出部に連通し、該ダイヤフラムポンプの塗布液入口を塗布液供給源に連通したことを特徴とするインキ吐出印刷装置である。
請求項７に記載の発明は、塗布液を供給する塗布液供給装置と；
塗布液供給装置に連通されており、インキ吐出部を備え、塗布液供給装置から供給された塗布液の一定量をインキ吐出部から印刷対象物上に吐出しつつ印刷対象物に対し相対的に移動することにより印刷対象物上に均一な厚さの塗膜を形成するインキ吐出部と；を備えているインキ吐出印刷装置であって、
塗布液供給装置が：
塗布液供給源に連通された塗布液入口とインキ吐出部に連通された塗布液出口とを有した塗布液室と、塗布液室に隣接しておりダイヤフラムにより塗布液室から隔離されている作動流体動作室と、含む弁ハウジングと；
弁ハウジングの作動流体動作室に連通し、ピストンが往復動自在に収容されているピストン収容孔を有するピストンハウジングと；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、ピストンの往復移動方向に相互に離間した２つの位置に設けられピストンの外周面を往復動可能に支持する２つのピストン支持手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において、２つのピストン支持手段の間の両外側に設けられ、ピストンの外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段と；
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ密封流体が供給される密封流体供給孔と；
密封流体供給孔に連通され、密封流体供給孔に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源と；そして、
ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間に設けられ、密封流体加圧供給源から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔に供給された時に、ピストンハウジングのピストン収容孔の内周面において２つの密封手段の間とピストンの外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すブリーザ孔と；
を含んでいる作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えていて、
ブリーザ孔は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される、
ことを特徴とするインキ吐出印刷装置である。
請求項８に記載の発明は、前記作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの前記密封流体加圧供給源が密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンクを有している、ことを特徴とする請求項６に記載のインキ吐出印刷装置である。
【発明の効果】
【００２８】
上述した如く構成されているこの発明に従ったダイヤフラムポンプは、作動流体動作室への空気の混入をなくすことが出来、これを用いたインキ吐出印刷装置を常に安定して動作させることが出来る作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えることができ、そして上述した如く構成されているこの発明に従ったインキ吐出印刷装置はこのような作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置のダイヤフラムポンプが組み込まれたインキ吐出印刷装置について図４及び図５を参照しながら詳細に説明する。なお、本発明に係る塗布液供給装置及びダイヤフラムポンプは、インキ吐出印刷装置以外の塗工装置にも適用することが出来る。例えば、スピンコータ、ダイコータ、ディスペンサ、各種印刷装置（凸版印刷、凹版印刷、平版印刷、スクリーン印刷等）のインキ供給部、その他、一定量の塗工液を表面に適用する装置に適用することができる。
【００３０】
なお、図４は、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の縦断面で示された作動流体駆動式ダイヤフラムポンプが組み込まれたインキ吐出印刷装置を概略的に示す図であり、図５は、図４の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプのピストンハウジングの拡大された縦断面図である。
【００３１】
この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプが組み込まれたインキ吐出印刷装置の基本的な構成は、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたインキ吐出印刷装置６の基本的な構成と同じである。従って、図４及び図５中に示されているこの発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ及びそれが組み込まれたインキ吐出印刷装置の構成部材において図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたインキ吐出印刷装置６の構成部材と同様の構成部材には、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたインキ吐出印刷装置６において対応する構成部材に付されていた参照符号と同じ参照符号を付し、詳細な説明を省略する。
【００３２】
この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０が組み込まれたインキ吐出印刷装置３６の構成が、図１を参照しながら前述した従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０が組み込まれたインキ吐出印刷装置１６の構成と異なっているのは、以下の事項である。
【００３３】
ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において、２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの間の両外側に、ピストン２４の外周面と密封状態で摺接可能な２つの密封手段４２，４４が設けられている。
【００３４】
ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、２つの密封手段４２，４４の間に密封流体が供給される密封流体供給孔４６が設けられている。
【００３５】
密封流体供給孔４６には、密封流体供給孔４６に密封流体を加圧した状態で供給する密封流体加圧供給源４８が連通されている。
【００３６】
ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面にはさらに、２つの密封支持手段４２，４４の間で密封流体供給孔４６とは別の位置にブリーザ孔５０が設けられている。ブリーザ孔５０は、密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧された状態で最初に密封流体供給孔４６に供給された時に、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封支持手段４２，４４の間とピストン２４の外周面との間の隙間中の気体を外部に追い出すために使用される。そして、ブリーザ孔５０は上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源４８からの加圧された状態の密封流体により上述した如く完全に追い出された後に密封される。
【００３７】
より詳細には、この実施の形態では、２つの密封手段４２，４４の夫々は例えばゴムのような弾性材料により形成されている。そして、２つの密封手段４２，４４の中で作動流体動作室２０に近い方の密封手段４２は、図５中に拡大されて示されているように、作動流体動作室２０から遠ざかる方向に入り口を向けた凹所を有している。また、作動流体動作室２０から遠い方の密封手段４２は、図５中に拡大されて示されているように、作動流体動作室２０に近づく方向に入り口を向けた凹所を有している。
【００３８】
密封流体供給孔４６は、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封支持手段４２，４４の間で下端位置に配置されている。
【００３９】
密封流体加圧供給源４８は、ピストンハウジング２６´の上方に配置され密封流体を貯蔵する密封流体貯蔵タンク４８ａと、密封流体貯蔵タンク４８ａの下端部からピストンハウジング２６´の密封流体供給孔４６へと延びた配管４８ｂと、を含んでおり、密封流体貯蔵タンク４８ａの上端部には大気連通孔４８ｃが形成されている。
【００４０】
即ち、この実施の形態の密封流体加圧供給源４８は、大気連通孔４８ｃを介して密封流体貯蔵タンク４８ａ中の密封流体に大気圧を負荷し、大気圧による加圧を利用して密封流体貯蔵タンク４８ａ中の密封流体を密封流体供給孔４６へと加圧された状態で供給している。
【００４１】
ブリーザ孔５０は、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封手段４２，４４の間で上端位置に配置されている。そして、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つの密封手段４２，４４の間とピストン２４の外周面との間の隙間中に密封流体加圧供給源４８から密封流体が加圧された状態で密封流体供給孔４６を介して最初に密封流体が供給される時には、ブリーザ孔５０は開放されている。上記隙間中の気体が密封流体加圧供給源４８からの加圧された状態の密封流体によりブリーザ孔５０から完全に追い出された後に、ブリーザ孔５０は公知の閉塞部材に閉塞される。
【００４２】
密封流体は、作動流体と同じか、又は相互に混ざり合っても夫々の特性を損なわない材質であることが当然好ましい。
【００４３】
上述した如く構成されているこの発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０においては、ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの両外側に設けられている２つの密封手段４２，４４の間でピストン収容孔２６ａの内周面とピストン２４の外周面との間の隙間に密封流体が加圧された状態で常に充填されている。
【００４４】
したがって、図１を参照しながら前述した従来の塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０とは異なり、塗布液供給源１２から弁ハウジング２２の塗布液入口１４ａを介して塗布液室１４中に塗布液を吸引する為に、ピストン２４が作動流体動作室２０から遠ざかる方向に移動され、作動流体動作室２０中の作動流体に負荷されている圧力が減少し、この結果として、作動流体動作室２０に近い方の第１の密封部材３０が上記作動流体の圧力によりピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面とに対して押圧されていた力が弱まった場合でも、上述した如く密封流体が充填されているピストン２４の外周面とピストン収容孔２６ａの内周面との間のわずかな隙間には外部空間から第２の密封部材３２を潜り抜けて空気が入り込んでいることがないので、外部空間からの空気が第１の密封部材３０を潜り抜けして作動流体動作室２０中に入り込んでしまうことがない。
【００４５】
従って、第１の密封部材３０を潜り抜けた作動流体動作室２０中への空気の進入がないので、作動流体動作室２０中に入り込んでしまった圧縮性の空気の影響でピストン２４の移動に正確に対応してダイヤフラム１８が移動しなくなることがない。このことは、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０による塗布液供給源１２からインキ吐出部８への塗布液の正確な定量の供給が常に行われることを保障する。そして、インキ吐出部８は、印刷対象物９の所定の表面９ａ上への塗布液Ｌの均等な塗布を常に行うことが出来、塗布液Ｌが所定の表面９ａ上に塗布された印刷対象物９から作られる、例えばフラットパネルディスプレイの為のカラーフィルタの着色層を、インキ吐出印刷装置で形成する場合、着色インキの混色不良が従来よりも低減する。
【００４６】
ピストンハウジング２６´のピストン収容孔２６ａの内周面において２つのピストン支持手段２８ａ，２８ｂの両外側に設けられている２つの密封手段４２，４４の間でピストン収容孔２６ａの内周面とピストン２４の外周面との間の隙間に加圧された状態で常に充填されている密封流体は、２つの密封手段４２，４４の間の２つの軸支持手段２８ａ，２８ｂを潤滑するとともに、２つの密封手段４２，４４の両外側にも滲み出て第１の密封部材３０や第２の密封部材３２を潤滑し、第１の密封部材３０や第２の密封部材３２の磨耗を著しく低減させる。この結果、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ１０に比べ、この発明の実施の形態に従った塗布液供給装置の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ４０が正常に動作することが期間が著しく延びる。
【００４７】
なお上述した実施の形態では、密封流体加圧供給源４８は大気圧を利用して密封流体を加圧した状態で供給していたが、例えばポンプ等の公知の圧送手段を利用して密封流体を加圧した状態で供給することも出来る。
【００４８】
さらに、２つの密封手段４２，４４の夫々をＯ−リングにより構成することも出来る。
また、Ｏ−リングは、ピストン２４の往復動方向のいずれの方向においても等しく密封作用を生じさせるので、第１の密封部材３０及び第２の密封部材３２の夫々を省略することも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたインキ吐出印刷装置の構成を概略的に示す図である。
【図２】従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたインキ吐出印刷装置において印刷対象物の所定の表面上へのインキ吐出部のインキ吐出口を介しての塗布液の塗布作業が開始される前後における従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの作動流体動作室における作動流体の圧力の変化の一例を、作動流体動作室に空気が混入していない正常な場合と空気が混入している正常でない場合とで示す図である。
【図３】従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたインキ吐出印刷装置において印刷対象物の所定の表面上へのインキ吐出部のインキ吐出口を介しての塗布液の塗布作業が開始された後における基板上への塗布液の塗布距離と塗布膜の厚さとの関係を示す一例を、従来の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプの作動流体動作室に空気が混入していない正常な場合と空気が混入している正常でない場合とで示す図である。
【図４】この発明の実施の形態に従った作動流体駆動式ダイヤフラムポンプを備えた塗布液供給装置が組み込まれたインキ吐出印刷装置の構成を概略的に示す図である。
【図５】図４の作動流体駆動式ダイヤフラムポンプのピストンハウジングの拡大された縦断面図である。
【符号の説明】
【００５０】
６…インキ吐出印刷装置、８…インキ吐出部、８ａ…塗布液（吐出液）溜まり、８ｂ…インキ吐出口、９…印刷対象物、９ａ…所定の表面、１２…塗布液供給源、１４…塗布液室、１４ａ…塗布液入口、１４ｂ…塗布液出口、１８…ダイヤフラム、２０…作動流体動作室、２４…ピストン、２６´…ピストンハウジング、２６ａ…ピストン収容孔、２８ａ，２８ｂ…ピストン支持手段、４０…作動流体駆動式ダイヤフラムポンプ、４２，４４…密封手段、４６…密封流体供給孔、４８…密封流体加圧供給源、５０…ブリーザ孔、４８ａ…密封流体貯蔵タンク。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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