(57)【要約】【課題】組付け性に優れると共にコストの低減を図り、検出精度に優れた回転センサを提供する。【解決手段】周方向に沿って幅が変化するセンシング部が設けられ、回転中心を有して回転する検出回転体１０と、励磁コイル２２，３２と、絶縁磁性材から形成され、励磁コイルを保持するコア本体２１，３１とを有し、保持部材４０に取り付けられて、検出回転体に対してシャフトの軸線方向に所定間隔を隔てて対向配置される固定コア２０，３０と、励磁コイルと接続され、特定周波数の発振信号を発振する発振手段と、を備えた回転センサにおいて、検出回転体は、中央にシャフト貫通孔１２ａを有する円盤状の絶縁性部材１２により構成され、センシング部１３は、円盤状の絶縁性部材の表面に所定形状の導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられて形成されて形成されている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
周方向に沿って幅が変化するセンシング部が設けられ、回転中心を有して回転する検出回転体と、
励磁コイルと、絶縁磁性材から形成され、前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、保持部材に取り付けられて、前記検出回転体に対して前記シャフトの軸線方向に所定間隔を隔てて対向配置される固定コアと、
前記励磁コイルと接続され、特定周波数の発振信号を発振する発振手段と、を備えた回転センサにおいて、
前記検出回転体は、前記中央にシャフト貫通孔を有する円盤状の絶縁性部材により構成され、
前記センシング部は、前記円盤状の絶縁性部材の表面に所定形状の導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられて形成されることを特徴とする回転センサ。
【請求項２】
前記検出回転体は、前記検出回転体以外の回転体の回転ごとに間欠送りされるゼネバ歯車を備え、
前記センシング部は、前記ゼネバ歯車の上面又は下面の少なくとも一部が絶縁性部材でできた平坦部をなし、かつ当該平坦部上に所定形状の導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられて形成されていることを特徴とする、請求項１に記載の回転センサ。
【請求項３】
前記センシング部は、前記円盤状の絶縁性部材の表面または前記平坦部上に導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられ、その後前記円盤状の絶縁性部材の表面または前記平坦部の所定位置に当該センシング部に対応する形状の打ち抜き型によって打ち抜かれて切り出し形成されることを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の回転センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転体に取付けてこの回転体の回転角度を検出するのに使用される回転センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、自動車のステアリングシャフトなどの回転シャフトに取付けてこのシャフトと一体になったハンドルの回転角度を検出するのにいわゆる回転センサが使用される。
【０００３】
かかる回転センサの一例として、回転する軸体等の回転角を検出する回転センサが知られている。（例えば、特許文献１参照）
この回転センサは、回転するシャフトに取り付けられ、周方向に沿って幅が変化するセンシング部を有する検出回転体（ロータ）と、交流励磁電流が流され、ロータとの間に磁気回路を形成する第１の励磁コイルと、絶縁磁性材から成形され、第１の励磁コイルを保持する第１のコアとを有し、固定部材に取り付けられ、センシング部に対してシャフトの軸線方向に所定間隔を隔てて対向配置される固定コアとを備えている。
【０００４】
そして、特許文献１に記載の回転センサは、円筒状のロータ本体の周囲の周方向に沿ってセンシング部が設けられている。センシング部は、最小の幅とこの最小の幅の位置から周方向１８０°回転した位置で最大の幅を有し、ロータの回転角度に対応して半径方向の幅が変化する導電性の板材として形成され、交流磁界によって回転に伴う幅に対応した大きさの渦電流が誘起されるようになっている。
【０００５】
センシング部は、例えば、非磁性金属（導電性材料）、絶縁磁性材、絶縁材或いは導電性材料をそれぞれ適宜組み合わせて構成され、導電性材料としては、アルミニウム、銅、銀等の導電性を有する金属や、導電性カーボン（炭素繊維を含む）入り合成樹脂等を使用している。
【０００６】
このような構成の回転センサを用いて、この渦電流の発生に伴う励磁コイルのインピーダンス変動を利用してロータの０°〜３６０°の回転角度を検出するようになっている。
【０００７】
また、かかる回転センサの他の例として、回転体の回転数を検出する回転数センサが知られている（例えば、特許文献２参照）。
【０００８】
この回転センサは、上述した特許文献１の構成と同等の構成を有し、特にセンシング板が、内筒に取り付けられるリング状の取付部と、取付部の外側に配置され、周方向に沿って幅が変化するセンシング部と、取付部とセンシング部との間を接続する２つの接続部が一体に形成されている。センシング部は、一方の接続部における幅が最小で、１８０°回転した他方の接続部において最大の幅を有し、ロータの回転角度に対応して半径方向の幅が変化するように形成され、後述する交流磁界によって回転に伴う幅に対応した大きさの渦電流が誘起されるようになっている。
【０００９】
そして、この回転センサは、上述した構成に加えてロータの回転ごとに間欠送りされるゼネバ歯車を備えている。ゼネバ歯車は、周方向に沿って等間隔に５つの歯が形成されると共に中央にねじ孔が設けられ、このねじ孔を利用して上ケースの下面に回転自在にねじ止めされている。また、ゼネバ歯車の下面には周方向に沿って幅が５段階に変化するアルミニウム、銅、銀、真鍮等の導電性を有する金属からなる導体層が形成され、また、この導体層に所定間隔隔てて上述した固定コアと等価的な固定コアが下ケースの上面に固定されている。
【００１０】
このような構成の回転センサを用いて、この渦電流の発生に伴う励磁コイルのインピーダンス変動を利用してロータの０°〜３６０°の回転角度を検出することに加えて、ゼネバ歯車の作用によりロータの回転数を検出して−９００°〜＋９００°の範囲でロータの絶対回転角度を検出するようになっている。
【特許文献１】特開２００３−２０２２４０号公報（第２頁、図２）
【特許文献２】特開２００３−３３７０４９号公報（第２−４頁、図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
しかしながら、特許文献１に記載のセンシング部は、導電性の板材を上述した位置の幅が最小で、１８０°回転した位置で最大の幅を有し、ロータの回転角度に対応して半径方向の幅が変化するような形状に形成されているため、センシング部自体がある程度の厚みを有する必要があり、材料コストが必要以上にかかると共に、センシング部自体の導電性の板材でできているので組み付け過程でセンシング部が変形してしまう恐れがある。
【００１２】
また、材料コストを下げる為にセンシング部の板材を薄くすると、センシング部自体が周方向に撓んでしまったり、センシング部の半径方向も変形してしまったりして、精度の高い検出特性を得るのが困難となる恐れがある。
【００１３】
また、特許文献２に記載のゼネバ歯車はゼネバ歯車に備わった導体層を簡易な方法で形成することが望まれるが、特許文献２にはこの点について何ら記載されていない。一般にこのような導体層は予め所定形状に打ち抜かれたシールド材をゼネバ歯車に貼り付けることで形成されているが、ゼネバ歯車に対するシールドの貼り付け位置の公差が厳しく、手作業で所定の位置に正確に貼ることは困難である。
【００１４】
本発明の目的は、組付け性に優れると共にコストの低減を図り、検出精度に優れた回転センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上述の課題を解決するために、本発明にかかる回転センサは、
周方向に沿って幅が変化するセンシング部が設けられ、回転中心を有して回転する検出回転体と、
励磁コイルと、絶縁磁性材から形成され、前記励磁コイルを保持するコア本体とを有し、保持部材に取り付けられて、前記検出回転体に対して前記シャフトの軸線方向に所定間隔を隔てて対向配置される固定コアと、
前記励磁コイルと接続され、特定周波数の発振信号を発振する発振手段と、を備えた回転センサにおいて、
前記検出回転体は、前記中央にシャフト貫通孔を有する円盤状の絶縁性部材により構成され、
前記センシング部は、前記円盤状の絶縁性部材の表面に所定形状の導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられて形成されることを特徴としている。
【００１６】
このようなセンシング部を形成することで従来のような板厚の厚い導電性のセンシング板を用いなくて済み、その分、材料コストの低減が図れる。
【００１７】
また、センシング部が厚さの厚い導電性部材又は軟磁性部材でできていてもそれ自体が円盤状の絶縁性部材に貼り付けられているので、変形することがなく、検出特性を安定させることができる。
【００１８】
また、本発明の請求項２に記載の回転センサは、請求項１に記載の回転センサにおいて、
前記検出回転体は、前記検出回転体以外の回転体の回転ごとに間欠送りされるゼネバ歯車を備え、
前記センシング部は、前記ゼネバ歯車の上面又は下面の少なくとも一部が絶縁性部材でできた平坦部をなし、かつ当該平坦部上に所定形状の導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられて形成されていることを特徴としている。
【００１９】
このような平坦部に寸法精度に優れた導体層の形成されたゼネバ歯車を用いることで検出精度を高めることができる。
【００２０】
又、本発明の請求項３に記載の回転センサは、請求項１又は請求項２に記載の回転センサにおいて、
前記センシング部は、前記円盤状の絶縁性部材の表面または前記平坦部上に導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられ、その後前記円盤状の絶縁性部材の表面または前記平坦部の所定位置に当該センシング部に対応する形状の打ち抜き型によって打ち抜かれて切り出し形成されることを特徴としている。
【００２１】
このようにしてセンシング部を形成することで、センシング部の製造コストを下げることができる。又、センシング部が円盤上または平坦部の所望の位置にセンシング部に対応する形状の打ち抜き型によって打ち抜かれて切り出し形成されるので、円盤上または平坦部におけるセンシング部の寸法精度に優れ、検出精度が向上する。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によると、組付け性に優れると共にコストの低減を図り、かつ検出精度に優れた回転センサを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の一実施形態にかかる回転センサ１を図面に基づいて説明する。なお、この説明においては自動車のステアリング装置においてこの回転センサ１をステアリングシャフトに取付けてハンドルの回転角度を検出する場合について説明する。
【００２４】
本発明の一実施形態にかかる回転センサ１は、図１及び図２に示すように、回転するシャフトＳに取付けられ、一部に絶縁性部材からなり中央部にシャフト貫通孔１２ａを有した円盤１２と円盤上に貼り付けられた導電性部材又は軟磁性部材からなるセンシング部１３を備えた検出回転体（ロータ）１０と、絶縁磁性材からなるコア本体２１，３１及びコア本体内に収容される少なくとも１つの励磁コイル２２，３２を有する固定コア２０，３０と、固定コア２０，３０を保持する保持部材４０と、保持部材４０の一部に備わった回路基板４５と、これらを収容するケース５０とを備えている。また、保持部材４０には、固定コア２０を対向配置させるコイルコアホルダ４２と、固定コア３０を対向配置させるコイルコアホルダ４３が備わっている。そして、保持部材４０は、コイルコアホルダ４２，４３がシャフトＳの軸に対して中心角９０度をなすように回転センサ１に組付けられている。
【００２５】
ロータ１０は、シャフトＳに嵌合されたロータ本体１１，１４よりも径が大きい絶縁性樹脂でできた円盤１２と、円盤１２を挟むように円盤両面に固定された上側ロータ本体１４及び下側ロータ本体１１を有している。また、円盤中央部にはシャフト貫通孔１２ａが形成されると共に、周方向に幅が異なる厚さの薄い導電性シールド層からなるセンシング部１３が形成されている。
【００２６】
なお、センシング部１３は、アルミニウム、銅、銀、真鍮等の導電性を有する金属でできている。また、センシング部１３は、後述するように、円盤状の絶縁性部材の表面全体に導電性部材又は軟磁性部材が貼り付けられ、その後所定形状に切り出されて形成されている。そして、ロータ１０の回転角度に対応して半径方向の幅が変化するように形成され、ロータ回転に伴い後述する交流磁界によってセンシング幅の、各コイルに対応した領域の面積に基く大きさの渦電流が誘起されるようになっている。
【００２７】
保持部材４０は、例えば合成樹脂（例えば、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ナイロン、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等ガラス繊維にエポキシ樹脂を含浸させたＦＲＰ（繊維強化プラスチック）等）でできた矩形状の板部材５３であって下ケースに取付けられるベース部４１と、このベース部の一側端部に備わったコイルコアホルダ４２，４３とからなる。
【００２８】
一方、保持部材４０の一方のコイルコアホルダ４２には、固定コア２０ａ，２０ｂが互いに同芯度を保ちながら対向配置された状態で備わり、保持部材４０の他方のコイルコアホルダ４３には固定コア３０ａ，３０ｂが互いに同芯度を保ちながら対向配置されている。また、一方の組の各固定コア２０が他方の組の固定コア３０に対してシャフトＳの軸に関して中心角９０°をなして配置されている。これによって、一側の固定コア２０ａ（３０ａ）は、センシング部１３を挟んで他側の固定コア２０ｂ（３０ｂ）との間に所定間隔Ｇ（図２参照）を隔てて対向配置されている。
【００２９】
また、保持部材４０の一部には回路基板４５が備わり、当該回路基板４５に回転角度検出部４６が実装されている。回転角度検出部４６は、内部に特定周波数の発振信号を発振する発振回路やその他の電子回路を備え、ケース５０から外部に延出させた複数の電線（図示せず）を介して電源や信号伝送用のワイヤハーネスと接続されると共に、ケース５０の外部に設けられた外部装置と接続されるようになっている。
【００３０】
また、固定コア２０ａと固定コア２０ｂはロータ１０のセンシング部１３を挟んで同芯度を維持しながら対向配置され、固定コア３０ａと固定コア３０ｂもロータ１０のセンシング部１３を挟んで同芯度を維持しながら対向配置される。
【００３１】
なお、一側の固定コア２０ａ，２０ｂは、図２に示すように、絶縁磁性材（例えば、Ｎｉ−Ｚｎ系、Ｍｎ−Ｚｎ系、Ｍｇ−Ｚｎ系のフェライトに、ナイロン、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリフェニレンスルフィド（ＰＰＳ）、ＡＢＳ樹脂等の電気絶縁性を有する熱可塑性合成樹脂を混合したもの、あるいはセラミック等）からなり、円柱状に形成され、上面側に励磁コイル２２ａ，２２ｂが収容されるリング状の空隙部を有するコア本体２１ａ，２１ｂとコア本体内に収容される励磁コイル２２ａ，２２ｂを有している。また、他側の固定コア３０ａ，３０ｂも同様に、絶縁磁性材からなるコア本体３１とコア本体内に収容される励磁コイル３２を有している。そして、励磁コイル２２ａと励磁コイル２２ｂは、それぞれ直列に接続され、保持部材４０の回転角度検出部４６と電気的に接続され、交流励磁電流が流されることでコイル周囲に交流磁界を形成し、それぞれ対となっている固定コア間で磁気回路を形成するようになっている。
【００３２】
また、固定コア２０，３０が備わった保持部材４０、回転角度検出部４６が備わった回路基板４５、及びロータ１０は、交流磁界の遮蔽性を有する金属又は絶縁磁性材からなるケース５０に収容されている。なお、ケース５０は下ケース５１と上ケース５２とからなり、シャフトＳの近傍に位置する固定部材（図示せず）に図示しないブラケット等を介して取付けられている。
【００３３】
そして、各励磁コイル２２ａ，２２ｂに交流励磁電流が流されると、各励磁コイル２２ａ，２２ｂは周囲に交流磁界を形成し、対向するコア本体２１ａとコア本体２１ｂは協働して磁気回路を形成し、同様に、対向するコア本体３１ａとコア本体３１ｂも協働して磁気回路を形成する。このとき、磁束がセンシング部１３を横切ると、該センシング部１３の表面には渦電流が誘起され、各励磁コイル２２ａ，２２ｂのインピーダンスを変動させる。同じく、各励磁コイル３２ａ，３２ｂのインピーダンスも変動させる。このインピーダンスの変動量は、センシング部１３の表面に誘起される渦電流量に対応して変動する。センシング部１３の表面に誘起される渦電流量は、固定コア２０，３０に対応するセンシング部１３の面積（センシング部１３のセンシング面と直交する方向から見てセンシング部の固定コア２０，３０に対する投影面積、すなわち「センシング部の固定コアへの投影面積」である。）により変動する。よって、ロータ１０が回転すると、各固定コア２０ａ，２０ｂ（３０ａ，３０ｂ）に対応するセンシング部１３の幅はロータ１０の回転角度に比例して変動し、これに伴い各励磁コイル２２ａ，２２ｂ（３２ａ，３２ｂ）におけるインピーダンスも変動する。この時の各励磁コイル２２ａ，２２ｂ（３２ａ，３２ｂ）からの出力信号を後述する回転角度検出部４６で検出するようになっている。
【００３４】
回転角度検出部４６は、ここでは図示しないが、分周回路と測定部との間に、位相シフト部、位相シフト量検出部、コンバータが接続されている。また、コンバータは、差動アンプを介してＡ／Ｄコンバータに接続されると共に、シフトレベル調整部に接続されている。
【００３５】
以上の構成を有する回転センサ１は、シャフトＳの回転による励磁コイル２２ａ，２２ｂ（３２ａ，３２ｂ）のインピーダンス変動を利用して出力を回転角度検出部４６で信号処理することで、ロータの０°〜３６０°の回転角度を正確に検出するようになっている。
【００３６】
続いて、上述した回転センサの作用について説明する。なお、上述した回転センサの作用を説明するに先立って、本発明特有の構成要素であるロータのセンシング部１３の形成方法について説明する。
【００３７】
まず、図３に示すように下側ロータ１１に絶縁性の円盤１２を固着する。次いで、これを下側ロータ１１に合致した形状の収容部を要する下型９１と円盤上にシールド層からなるセンシング部１３の輪郭を切り出し形成する型９３（ピナクル型）を有した上型９２との間に位置決めする。
【００３８】
具体的には、上型９２の下面には、図４に示すように、図３に示すシールド層からなる矩形状のシールドシート９９を打ち抜いて所定のセンシング部形状のシールド層を形成するピナクル型９３と呼ばれる打ち抜き部が形成されている。なお、センシング部１３の輪郭を切り出し形成する型９３としては、ピナクル型（腐蝕刃型）の他にトムソン型（ビク型）なども考えられるが、打ち抜かれた対象物の加工精度を確保する観点から、ピナクル型を使用することが望ましい。
【００３９】
次いで、下側ロータ本体１１を下型の収容部９１ａに収容すると共に下型上面の所定位置に円盤１２を位置決めする。そして、矩形状のシールドシート９９を円盤１２の全面に被せる。なお、円盤１２の全面又は矩形状のシールドシート９９には接着剤が塗布されており、両者が押し付けられることで互いに接着するようになっている。これと同時に上側から上型９２を下側ロータ本体１１の円盤上に押し付ける。この際、上型の四隅に形成されたテーパ付き位置決めピン９２ｂを下型９１に形成された位置決め孔９１ｂに挿入することで、上型下面に形成されたピナクル型９３を円盤上の所定位置に当てることができる。
【００４０】
これによって、シールドシート９９がロータ１０の円盤１２に接着すると共に、ピナクル型９３によってセンシング部１３の輪郭が打ち抜き形成される。
【００４１】
次いで、上型をシールドシート９９から離して、この円盤１２のセンシング部１３を形成するシールドシート９９の内側のシールドと外側のシールドを剥離して取り除く。
【００４２】
これによって、円盤上には薄いシールド材からなる寸法精度に優れた所望の形状のセンシング部１３が貼付けられた状態で残る。最後に、円盤１２の上面に上側ロータ本体１４を固着してロータ組付けを完了する。
【００４３】
なお、シールドシートの形状は円形その他の形状でもよく、シールドシート９９が貼り付けられる領域は、円盤１２の表面領域のうち、センシング部１３が配置される所定位置を含むような領域であればよい。
【００４４】
本実施形態にかかる回転センサ１は、このような製造方法でロータ１０のセンシング部１３を製造することで、予め所定形状に形成したセンシング部１３のシールドを後にロータ１０の円盤１２に貼り付けるのに比べてセンシング部１３のロータ１０の中心に対する寸法精度を出し易くなっている。
【００４５】
また、センシング部１３が上述したような構成を有しているので、従来のような板厚の厚い板材からなる導電性のセンシング部を用いなくて済み、その分、材料コストの低減が図れる。
【００４６】
また、センシング部１３が厚さの薄い導電性部材又は軟磁性部材でできていても、それ自体が円盤状の絶縁性部材に貼り付けられているので、変形することがなく、検出特性を安定させることができる。
【００４７】
また、円盤１２の全面に被せたシールド材９９を円盤上の所望の位置で打ち抜いてセンシング部１３を形成しているので、このようなセンシング部１３の形状を有するシールド層を予め作っておいてこれを円盤上に貼り付けるのに比べて、ロータ１０に対するセンシング部の寸法精度に優れ、回転角度の検出精度を高めることができる。
【００４８】
続いて、上述した実施形態の変形例にかかる回転センサについて説明する。なお、上述した実施形態と同等の構成については、対応する符号を付して詳細な説明を省略する。
【００４９】
この変形例にかかる回転センサ２は、図５（センシング部については図示せず）に示すように、ロータ１１０、４つのコイルコア１２０（１２１〜１２４）、ケース１５０に加えて、ロータ１１０の回転毎に間欠送りされるゼネバ歯車１３０と、このゼネバ歯車１３０に対応して設けられるコイルコア１６０を備えている。なお、この変形例においては、便宜上、検出回転体をゼネバ歯車１３０とし、検出回転体以外の回転体をロータ１１０として説明する。
【００５０】
そして、このゼネバ歯車１３０は、図６に示すように、歯車の下面が絶縁性部材でできた平坦部１３１をなし、かつ当該平坦部上に所定形状のセンシング部１４０が形成されている。なお、このセンシング部１４０は、導電性部材又は軟磁性部材の何れから形成されていても良い。
【００５１】
ゼネバ歯車１３０にはねじ孔１３２が形成され、このねじ孔１３２を利用してゼネバ歯車１３０は上ケース１５２の下面に回転自在にねじ止めされている。また、ゼネバ歯車１３０の下面には、図７に示すように、周方向に沿って幅がたとえば５段階に変化するセンシング領域１４１〜１４５からなるアルミニウム、銅、銀、真鍮等の導電性を有する金属または軟磁性材料でできており、センシング部１４０が形成されている。
【００５２】
また、ゼネバ歯車１３０のセンシング部１４０に一定間隔を隔てて、上述したコイルコア１６０が下側ケース１５１に固定された基板上に備わっている（図６及び図７参照）。なお、ロータ１１０の回転数とゼネバ歯車１３０の回転数の比は、ロータ１１０の１回転に対してコイルコア１６０がセンシング部１４０の隣接する領域に間欠送りされる程度の回転数比となっている。
【００５３】
そして、上述した実施形態と同様の原理により、ゼネバ歯車１３０の間欠送り毎に対応するセンシング部１４０の異なる領域において生じる渦電流の違いを検出して、ゼネバ歯車１３０の間欠送り度合い、即ちロータ１１０の回転数を検出するようになっている。
【００５４】
これによって、ロータ１１０の０°〜３６０°の範囲内の回転角度だけでなく、本変形例においてはロータ１１０の５回転分、すなわち１８００°（範囲の中心を０°として、−９００°〜＋９００°）の範囲のロータ１１０の絶対回転角度を検出可能としている。
【００５５】
一般にこのようなセンシング部１４０は予め所定形状に打ち抜かれたシールド材をゼネバ歯車１３０に貼り付けることが行われているが、ゼネバ歯車１３０に対するシールド材の貼り付け位置の公差が厳しく、所定形状に打ち抜かれたシールド材をゼネバ歯車１３０上の所定位置に正確に貼ることは困難である。
【００５６】
しかしながら、本変形例においては、以下に示すような手順でゼネバ歯車１３０にセンシング部１４０を形成している。具体的には上述したセンシング部１３の形成方法と同様であり、最初に矩形状のシールドシートとしてゼネバ歯車１３０の平坦部１３１の全面に貼り付けられ、その後平坦部の所定位置に打ち抜き型によって所定形状に打ち抜かれて所定形状の導電性部材又は軟磁性部材として、平坦部１３１に切り出し形成される。なお、シールドシートの形状は円形その他の形状でもよく、シールドシートが貼り付けられる領域は、ゼネバ歯車１３０の平坦部１３１のうちセンシング部１４０が配置される所定位置を含むような領域であればよい。
【００５７】
より詳細には、最初にゼネバ歯車１３０に合致した形状の収容部を要する下型と円盤上に導体層の輪郭を切り抜き形成する型（ピナクル型）を有した上型との間にゼネバ歯車１３０を位置決めする。
【００５８】
なお、上型の下面には矩形状のシールドシートを打ち抜いてゼネバ歯車１３０の平坦部１３１の所定位置に形成されるセンシング部１４０の輪郭に対応した形状のピナクル型と呼ばれる打ち抜き部が形成されている。
【００５９】
次いで、下型にゼネバ歯車１３０を位置決め固定する。そして、矩形状のシールドシートをゼネバ歯車１３０の平坦部の全面に被せる。これと同時に上側から上型をゼネバ歯車１３０の平坦部上に押し付ける。
【００６０】
これによって、シールドシートがゼネバ歯車１３０の平坦部１３１上に接着すると共に、ピナクル型によってゼネバ歯車１３０の導体層の輪郭が打ち抜き形成される。
【００６１】
次いで、上型をシールドシートから離して、このゼネバ歯車１３０の平坦部１３１の上に形成されたセンシング部１４０の内側のシールドと外側のシールドを剥離して取り除く。
【００６２】
これによって、ゼネバ歯車１３０の平坦部１３１上には所望形状の薄いシールド材からなるセンシング部１４０が形成される。
【００６３】
本変形例によると、このような方法で寸法精度に優れたセンシング部１４０を平坦部１３１に備えたゼネバ歯車１３０を低コストで製造することができると共に、回転角度の検出精度を高めることができる。
【００６４】
なお、上述した実施形態にかかる回転センサ１は、周方向に９０°隔てたコイルコアを２つ有し、変形例にかかる回転センサ２では周方向に９０°隔てたコイルコアを４つ有していたが、本発明にかかる回転センサは必ずしもこのような構成に限定されるものではないことは言うまでもない。たとえば、変形例にかかる回転センサ２において、検出回転体１３０として例示したゼネバ歯車以外の構成は、上述した実施形態にかかる回転センサ１と同様の構成としてもよく、磁界検出素子（ＭＲ素子やホール素子など）を利用したものなどであってもよい。
【産業上の利用可能性】
【００６５】
本発明にかかる回転センサは、振動の影響をかなり受け易い車両用ステアリング装置の回転角度検出に特に適している。しかしながら、本発明にかかる回転センサは、例えば、ロボットアームのように振動しながら回転する回転軸間の相対回転角度や回転トルクを求めるものであれば、どのようなものにも適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】本発明の一実施形態にかかる回転センサを、上ケースを外して示す平面図である。
【図２】図１におけるII-IIに沿って示す断面図である。
【図３】図１の回転センサのセンシング部の形成方法を説明する斜視図である。
【図４】図３に関連して上型を斜め下方から示す斜視図である。
【図５】図１に示した回転センサの変形例を示す平面図であり、ロータ、ゼネバ歯車、及びコイルコアの位置関係を示している。
【図６】図５におけるVI-VIに示す断面図である。
【図７】図５に示した変形例にかかる回転センサのゼネバ歯車のセンシング部とコイルコアとの位置関係を示す平面図である。
【符号の説明】
【００６７】
１，２    回転センサ
１０    ロータ
１１    下側ロータ本体
１２    円盤
１２ａ    シャフト貫通孔
１３    センシング部
１４    上側ロータ本体
２０（２０ａ，２０ｂ）    固定コア
２１（２１ａ，２１ｂ）    コア本体
２２（２２ａ，２２ｂ）    励磁コイル
３０（３０ａ，３０ｂ）    固定コア
３１（３１ａ，３１ｂ）    コア本体
３２（３２ａ，３２ｂ）    励磁コイル
４０    保持部材
４１    ベース部
４２，４３    コイルコアホルダ
４５    回路基板
４６    回転角度検出部
５０    ケース
５１    下ケース
５２    上ケース
５３    板部材
９１    下型
９１ａ    下型の収容部
９１ｂ    位置決め孔
９２    上型
９２ｂ    位置決めピン
９３    ピナクル型
９９    シールドシート
１１０    ロータ
１２０（１２１〜１２４）    コイルコア
１３０    ゼネバ歯車
１３１    平坦部
１３２    ねじ孔
１４０    センシング部
１４１〜１４５    センシング領域
１５０    ケース
１５１    下側ケース
１５２    上ケース
１６０    コイルコア
Ｓ    シャフト
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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