(57)【要約】【課題】簡易な構成で、比較的高い推力及び応答性が得られると共に高精度な位置検出が可能なソレノイドアクチュエータを提供する。【解決手段】電気的に直列に接続された一対のコイル１０Ａ，１０Ｂと、一対のコイルコイル１０Ａ，１０Ｂにそれぞれ挿入される一対の磁石３０Ａ,３０Ｂと、一対の磁石３０Ａ,３０Ｂを共通に保持する保持部材４０とを有し一対のコイル１０Ａ，１０Ｂにより一対の磁石磁石３０Ａ,３０Ｂがそれぞれ同じ方向の磁気力を受けてコイル１０Ａ，１０Ｂに対して移動するコア体２０とを有するものとした。これによれば、簡易な構成で、比較的高い推力及び応答性が得られる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気的に直列に接続された一対のコイルと、
前記一対のコイルにそれぞれ挿入される一対の磁石と前記一対の磁石を共通に保持する保持部材とを有し、前記一対のコイルより前記一対の磁石がそれぞれ同じ方向の磁気力を受けて前記コイルに対して移動するコア体と、
を有することを特徴とするソレノイドアクチュエータ。
【請求項２】
前記一対のコイルは、巻き線方向が互いに逆であり、
前記一対の磁石は、前記コア体の前記コイルに対する移動方向において着磁方向が同じになるように配置されていることを特徴とする請求項１に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項３】
前記磁石は、その全長が前記コイルの全長と略等しい、あるいは、前記コイルの全長よりも長く、基準位置においてその着磁面が前記コイルの略中央位置に位置していることを特徴とする請求項１又は２に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項４】
前記コア体の前記コイルに対する位置を検出するために、前記磁石の発生する磁気を電気信号に変換する磁電変換素子を有することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項５】
前記磁電変換素子は、前記保持部材に対向配置されており、
前記保持部材は、強磁性体又は磁性体で形成されていることを特徴とする請求項４に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項６】
前記保持部材は、前記コア体の前記コイルに対する移動により、前記磁電変換素子との距離が変化する形状に形成されていることを特徴とする請求項４又は５に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項７】
前記保持部材は、前記磁電変換素子に対向する対向面が前記コア体の前記コイルに対する移動方向に対して傾斜する傾斜面となっていることを特徴とする請求項５又は６に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項８】
前記保持部材は、前記磁電変換素子に向けて凹状に湾曲する湾曲面を有することを特徴とする請求項５又は６に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項９】
前記磁電変換素子は、複数の磁電変換素子からなり、前記複数の磁電変換素子の出力を用いて前記コア体の位置が検出されることを特徴とする請求項５又は６に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項１０】
前記磁電変換素子は、前記保持部材の両側にそれぞれ対向配置された第1及び第２の磁電変換素子からなり、
前記第1及び第２の磁電変換素子の出力電圧を用いて前記コア体の位置が検出されることを特徴とする請求項９に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項１１】
前記磁電変換素子は、前記保持部材の両側にそれぞれ対向配置された第1及び第２の磁電変換素子からなり、
前記保持部材は、前記第1及び第２の磁電変換素子に対向する対向面が前記コア体の前記コイルに対する移動方向に対してそれぞれ略同じ角度で略同じ向きに傾斜する傾斜面となっていることを特徴とする請求項９に記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項１２】
前記保持部材と前記一対の磁石とを連結するための、非磁性体で形成されて移動自在に案内された連結部材をさらに有する請求項５ないし１１のいずれかに記載のソレノイドアクチュエータ。
【請求項１３】
直交する２方向に移動自在に案内された第1及び第２のスライダにより保持された操作子と、
前記第1及び第２のスライダをそれぞれ駆動するソレノイドアクチュエータとを有し、
前記ソレノイドアクチュエータは、電気的に直列に接続された一対のコイルと、
前記一対のコイルにそれぞれ挿入される一対の磁石と、前記一対の磁石を共通に保持する保持部材とを有し、前記一対のコイルにより前記一対の磁石がそれぞれ同じ方向の磁気力を受けて前記コイルに対して移動するコア体とを有することを特徴とする２軸アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コイルと磁石との間に作用する電磁力を利用したソレノイドアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ソレノイドは、一般的には、コイルに電圧を印加することで、コイルに挿入された可動鉄心に磁気力によって機械的な直線運動を生じさせるものであるが、可動鉄心に代えて永久磁石を使用したものが知られている（例えば、特許文献１，２等参照）。
【特許文献１】特開２００３−３０６１４９号公報
【特許文献２】特開２００４−２９６１２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、上記のようなソレノイドでは、推力をさらに高めるためには、コイルに通電する電流を増加させればよいが、実際に通電できる電流はある程度制限される。
一方、上記のようなソレノイドでは、可動部の位置を検出しようとすると、光学式のエンコーダ等が新たに必要であり、装置が大型化すると共にコストも高くなる。
【０００４】
本発明は、上記の事情に鑑みて成されたものであり、その目的とするところは、簡易な構成で、比較的高い推力及び応答性が得られると共に高精度な位置検出が可能なソレノイドアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係るソレノイドアクチュエータは、電気的に直列に接続された一対のコイルと、一対のコイルにそれぞれ挿入される一対の磁石と、一対の磁石を共通に保持する保持部材とを有し、一対のコイルより一対の磁石がそれぞれ同じ方向の力を受けてコイルに対して移動するコア体と、を有することを特徴としている。
この構成によれば、一対のコイルからの電磁力がコア体に共通に作用するため、高い推力及び応答性が得られる。
【０００６】
上記構成において、一対の磁石は、コア体のコイルに対する移動方向において着磁方向が同じになるように配置されている、ことを特徴としている。
この構成によれば、一対のコイルに電流を流すと、一対の磁石には相対移動方向において同じ向きの力が作用する。
【０００７】
上記構成において、磁石は、その全長がコイルの軸線方向の全長と略等しい、あるいは、コイルの軸線方向の全長よりも長く、基準位置においてその着磁面がコイルの軸線方向の略中央位置に位置している、構成を採用できる。
この構成によれば、最も効率よく推力を発生できる。
【０００８】
上記構成において、コア体のコイルに対する位置を検出するために、磁石の発生する磁気を電気信号に変換する磁電変換素子を有する、構成を採用できる。
この構成によれば、磁石の発生する磁気を検出して、コア体のコイルに対する位置を検出するので、構成を簡素化できる。
【０００９】
上記構成において、磁電変換素子は、保持部材に対向配置されており、保持部材は、強磁性体又は磁性体で形成されている、構成を採用できる。
この構成によれば、強磁性体又は磁性体で形成された保持部材に磁電変換素子を対向配置することにより、磁石の磁気を間接的に検出でき、これにより位置検出が可能となる。
【００１０】
上記構成において、保持部材は、コア体のコイルに対する移動により、磁電変換素子との距離が変化する形状に形成されている、構成を採用できる。
また、上記構成において、保持部材は、磁電変換素子に対向する対向面が移動方向に対して傾斜する傾斜面となっている、構成を採用できる。
さらに、上記構成において、保持部材は、磁電変換素子に向けて凹状に湾曲する湾曲面を有する、構成を採用できる。
【００１１】
上記構成において、磁電変換素子は、保持部材の両側にそれぞれ対向配置された第1及び第２の磁電変換素子からなり、第1及び第２の磁電変換素子の出力電圧を用いてコア体の位置が検出される、構成を採用できる。
【００１２】
上記構成において、磁電変換素子は、複数の磁電変換素子からなり、複数の磁電変換素子の出力電圧を用いて前記コア体の位置が検出される、構成を採用できる。また、磁電変換素子は、保持部材の両側にそれぞれ対向配置された第1及び第２の磁電変換素子からなり、保持部材は、第1及び第２の磁電変換素子に対向する対向面が相対移動方向に対してそれぞれ同じ角度で同じ向きに傾斜する傾斜面となっている、構成を採用できる。さらに、磁電変換素子は、保持部材の両側にそれぞれ対向配置された第1及び第２の磁電変換素子からなり、保持部材は、第1及び第２の磁電変換素子に対向する対向面が相対移動方向に対してそれぞれ略じ角度で略じ向きに傾斜する傾斜面となっている、構成を採用できる。
この構成によれば、磁電変換素子を複数用いることにより、高精度に位置検出ができる。
【００１３】
上記構成において、保持部材と一対の磁石とを連結するための、非磁性体で形成されて移動自在に案内された連結部材をさらに有する、構成を採用できる。
【００１４】
本発明に係る２軸アクチュエータは、直交する２方向に移動自在に案内された第1及び第２のスライダにより保持された操作子と、第1及び第２のスライダをそれぞれ駆動するソレノイドアクチュエータとを有し、ソレノイドアクチュエータは、電気的に直列に接続された一対のコイルと、一対のコイルにそれぞれ挿入される一対の磁石と、一対の磁石を共通に保持する保持部材とを有し、一対のコイルにより一対の磁石がそれぞれ同じ方向の磁気力を受けてコイルに対して移動するコア体と、を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、簡易な構成で、比較的高い推力及び応答性が得られると共に高精度な位置検出が可能なソレノイドアクチュエータが得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の最良の実施形態について、図１ないし図４を参照して説明する。
図１は本発明の一実施形態に係るソレノイドアクチュエータの外観斜視図、図２はソレノイドアクチュエータの長手方向の断面図、図３はコイルと磁石との配置関係を示す図、及び図４はコイルに対する磁石の位置と推力との関係を示すグラフである。
このソレノイドアクチュエータは、図１に示すように、一対のコイル１０Ａ，１０Ｂ、コア体２０等から構成される。
【００１７】
コイル１０Ａ，１０Ｂは、図１に示すように、断面が矩形状に成形されていると共に、導電線１５により互いに電気的に直列に接続されている。
また、コイル１０Ａ，１０Ｂは、図２に示すように、巻線方向が互いに逆である。
尚、コイル１０Ａ，１０Ｂは、図示しない保持機構などにより固定されている。
【００１８】
コア体２０は、コイル１０Ａに挿入される磁石３０Ａ及びコイル１０Ｂに挿入される磁石３０Ｂ、磁石３０Ａ及び磁石３０Ｂをその両端部に保持する保持部材４０とを有する。
コア体２０は、図示しない保持機構により、図１に示す直動方向Ｍ１及びＭ２に移動可能に保持されている。
【００１９】
磁石３０Ａと磁石３０Ｂとは、断面が矩形状に形成されていると共に図１に示す直動方向Ｍ１及びＭ２において、着磁方向が同じになるように配置されている。すなわち、磁石３０Ａ及び磁石３０Ｂは、直動方向Ｍ１において、Ｎ極、Ｓ極の順に着磁されており、コア体２０の磁石３０Ａ側の端面（着磁面）はＮ極となっており、コア体２０の磁石３０Ｂ側の端面（着磁面）はＳ極となっている。
【００２０】
保持部材４０は、断面が矩形状に形成されていると共に、例えば、磁性体、強磁性体、非磁性体等の材料で形成できる。磁石３０Ａ，３０Ｂと保持部材４０との間は、接着剤等を用いて接合しても良いし、磁力により連結しても良いし、連結部材を用いて連結しても良い。
【００２１】
上記したような巻線方向と着磁方向との関係により、コイル１０Ａ及びコイル１０Ｂに電流を通電すると、コイル１０Ａと磁石３０Ａとの間及びコイル１０Ｂと磁石３０Ｂとの間には、同じ方向の磁気力が作用し、コア体２０は、コイル１０Ａ、１０Ｂへの通電方向に応じて、直動方向Ｍ１及びＭ２のいずれかに直動する。このように、コイル１０Ａと磁石３０Ａとの間及びコイル１０Ｂと磁石３０Ｂとの間の双方で同じ方向に磁気力が作用するので、大きな推力が得られると共に、応答性を高めることができる。
【００２２】
ここで、コイルと磁石との寸法及び位置関係を説明すると、図３に示すように、コイル１０Ａの全長と磁石３０Ａの全長とはＬ１で等しくなっているが、磁石３０Ａの全長はコイル１０Ａの全長と略等しい、あるいは、長ければよい。
図４は、磁石３０Ａの着磁面３０ｆのコイル１０Ａに対する位置と発生する推力との関係を示している。図４から分かるように、磁石１０Ａの着磁面３０ｆがコイル１０Ａの中央位置にあるときに一番大きな推力が発生し、この位置から外れるほど推力が小さくなる。このことは、磁石３０Ｂとコイル１０Ｂとの関係においても同様である。
したがって、磁石３０Ａ,３０Ｂは、基準位置においてその着磁面３０ｆがコイル１０Ａ，１０Ｂの略中央位置に位置していることが好ましい。ここで、基準位置とは、コア体２０が駆動される前に位置すべき、初期位置あるいは原点位置をいう。
【００２３】
図５は、本発明の他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
上記実施形態では、コイル１０Ａ，１０Ｂ及びコア体２０の断面形状を矩形としたが、図５に示すソレノイドアクチュエータは、断面形状が円形のコイル１１０Ａ，１１０Ｂ及び、磁石１３０Ａ、１３０Ｂと保持部材１４０からなるコア体１２０を備えている。このように、ソレノイドアクチュエータは種々の形状を採用できる。また、磁石表面に潤滑剤を塗布してコイルとの摺動性を高めたり、コイルをボビン形状にして摺動性を高めることも可能である。
【００２４】
次に、本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを図６ないし図９を参照して説明する。
ここで、図６は磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図、図７は保持部材の形状の一例を示す図、図８はコア体と磁電変換素子との位置関係を示す図、及び図９は各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
本実施形態に係るソレノイドアクチュエータは、図６及び図７に示すように、子値２０Ａのコイル１０Ａ，１０Ｂに対する位置を検出するための磁電変換素子５０を備えると共に保持部材４０Ａを備える点において上記実施形態と異なり、他の構成については同様である。
【００２５】
保持部材４０Ａは、両端部に磁石３０Ａ，３０Ｂを保持していると共に、例えば、酸化鉄、酸化クロム、フェライト、ニッケル、コバルト等の強磁性体あるいは磁性体で形成されている。
この保持部材４０Ａは、磁電変換素子５０に対向する対向面がコア体２０Ａのコイルに対する直動方向Ｍ１及びＭ２に対して傾斜する傾斜面４０ｆとなっている。これにより、コア体２０Ａがコイル１０Ａ，１０Ｂに対して移動したときに、保持部材４０Ａと磁電変換素子５０との距離が変化する。
【００２６】
磁電変換素子５０は、コア体２０Ａのコイル１０Ａ，１０Ｂに対する位置を検出するために、磁石３０Ａ，３０Ｂの発生する磁気を電気信号に変換するものであり、傾斜面４０ｆに対向して配置されている。なお、磁電変換素子５０は、ホール素子や磁気抵抗素子で形成されている。
また、磁電変換素子５０は、図７に示すように、ｘ方向（コア体２０Ａの直動方向Ｍ１，Ｍ２）における磁界強度を検出する。
【００２７】
ここで、図８（Ａ）〜図８（Ｃ）に示すように、磁電変換素子５０とコア体２０Ａとの位置をそれぞれＰｘ１，Ｐｘ２，Ｐｘ３とすると、磁電変換素子５０の検出する磁界強度は、例えば、図９に示すようになる。
図９に示すように、磁電変換素子５０の検出する磁界強度は、位置Ｐｘ１から位置Ｐｘ３にかけて単調に増加する。すなわち、磁電変換素子５０の検出する磁界強度は、コア体２０Ａの変位に応じて変化するので、この磁界強度からコア体２０Ａの位置を特定することが可能となる。
【００２８】
次に、本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを図１０ないし図１４を参照して説明する。
ここで、図１０は磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図、図１１は保持部材の形状の他の例を示す図、図１２はコア体と磁電変換素子との位置関係を示す図、図１３は各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフ、及び図１４は２つの磁電変換素子を用いた場合の位置検出の手順の一例を示すフローチャートである。
【００２９】
本実施形態に係るソレノイドアクチュエータは、図６ないし図９を参照して説明したソレノイドアクチュエータとは、磁電変換素子の個数及び保持部材の形状が異なる。
図１１に示すように、強磁性体からなる保持部材４０Ｂの両側には、第１の磁電変換素子５０Ａと第２の磁電変換素子５０Ｂとがそれぞれ対向配置されている。
保持部材４０Ｂは、図１１に示すように、第１の磁電変換素子５０Ａに対向する傾斜面４０ｆ１と第２の磁電変換素子５０Ｂに対向する傾斜面４０ｆ２とを備えている。
傾斜面４０ｆ１と傾斜面４０ｆ２とは、ｘ方向に対してそれぞれ略同じ角度で略同じ向きに傾斜している。
【００３０】
ここで、図１２（Ａ）〜図１２（Ｃ）に示すように、第１及び第２の磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂとコア体との位置をそれぞれＰｘ１，Ｐｘ２，Ｐｘ３とすると、磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂの検出する磁界強度は、例えば、図１３に示すようになる。
【００３１】
磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂの検出した磁界強度を用いてコア体の位置を検出するには、例えば、図１４に示すように、先ず、第１及び第２の磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂの検出する磁界強度を比較し（ステップＳＴ１）、第１の磁電変換素子５０Ａの検出する磁界強度が大きい場合には、第１の磁電変換素子５０Ａの検出する磁界強度を用いて位置を検出する（ステップＳＴ２）。一方、第２の磁電変換素子５０Ｂの検出する磁界強度が大きい場合には、第２の磁電変換素子５０ｂの検出する磁界強度を用いて位置を検出する（ステップＳＴ３）。
【００３２】
このように、第１及び第２の磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂの検出する磁界強度を比較して、大きいほうの磁界強度を用いて位置検出することにより、位置検出が容易になる。すなわち、磁界強度が大きい領域では、図１３から分かるように、位置に対する変化量も大きいので、位置検出が容易になる。
尚、本実施形態では、第１及び第２の磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂのいずれか一方の検出値を用いてコア体の位置を検出する場合について説明したが、第１及び第２の磁電変換素子５０Ａ，５０Ｂの検出値の差分値を算出し、この差分値から位置を検出することも可能である。
【００３３】
次に、本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを図１５ないし図１８を参照して説明する。
ここで、図１５は磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図、図１６は保持部材の形状のさらに他の例を示す図、図１７はコア体と磁電変換素子との位置関係を示す図、及び図１８は各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
【００３４】
図１５及び図１６に示すように、強磁性体からなる保持部材４０Ｃは、磁電変換素子５０Ｃに対して凸状でかつ互いに逆向きに傾斜する２つの傾斜面４０ｆａ及び傾斜面４０ｆｂを有している。
磁電変換素子５０Ｃは、基準位置において、保持部材４０Ｃのｘ方向の略中央部に対向して配置されている。この磁電変換素子５０Ｃは、ｘ方向に垂直なｙ方向（磁電変換素子５０Ｃが保持部材４０Ｃに対向する方向）の磁界強度を検出する。
【００３５】
ここで、図１７（Ａ）〜図１７（Ｃ）に示すように、磁電変換素子５０Ｃとコア体との位置をそれぞれＰｘ１，Ｐｘ２，Ｐｘ３とすると、磁電変換素子５０Ｃの検出する磁界強度は、例えば、図１８に示すようになる。
すなわち、図１８に示すグラフでは、磁界強度は、磁電変換素子５０Ｃが傾斜面４０ｆａに対向する位置Ｐｘ１では、プラスの値を示し、磁電変換素子５０Ｃが傾斜面４０ｆｂに対向する位置Ｐｘ３では、マイナスの値を示す。このように変化する磁界強度から、ア体の位置を検出することが可能となる。
【００３６】
本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを図１９ないし図２１を参照して説明する。
ここで、図１９は保持部材のさらに他の形状例を示す図、図２０はコア体と磁電変換素子との位置関係を示す図、及び図２１は各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
図１９に示すように、強磁性体で形成された保持部材４０Ｄは、磁電変換素子５０Ｃに対して凹状に湾曲する湾曲面４０ｆｃを備えている。
【００３７】
ここで、図２０（Ａ）〜図２０（Ｃ）に示すように、磁電変換素子５０Ｃとコア体との位置をそれぞれＰｘ１，Ｐｘ２，Ｐｘ３とすると、磁電変換素子５０Ｃの検出する磁界強度は、例えば、図２１に示すようになる。
図２１に示すグラフでは、磁界強度が略線形に変化するのが分かる。このように、磁電変換素子５０Ｃに対する対向面を凹状に湾曲する湾曲面４０ｆｃとすることにより、磁界強度を略線形に変化させることができ、より高精度な位置検出が可能である。
【００３８】
図２２は、保持部材のさらに他の形状例を示す図である。
図２２に示すように、保持部材４０Ｅは、磁電変換素子５０Ｃに対して凹状にかつ互いに逆向きに傾斜する傾斜面４０ｆｄ１及び傾斜面４０ｆｄ２を備えている。このような形状にすることにより、図２１に示したように、磁界強度を略線形に変化させることができる。
【００３９】
図２３は、本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを示す斜視図である。
図２３に示すソレノイドアクチュエータは、連結部材１００を備えている。この連結部材１００は、強磁性体からなる保持部材４０と磁石３０Ａ，３０Ｂとを挟むように保持することにより、保持部材４０と磁石３０Ａ，３０Ｂとを連結している。連結部材１００は、プラスチックやアルミニウム合金などの非磁性体で形成されていると共に、直動方向Ｍ１，Ｍ２方向に沿って設けられたレール１２０により移動自在にガイドされている。また、連結部材１００には、操作部１１０が突出して設けられている。この操作部１１０は、連結部材１００を直動方向Ｍ１及びＭ２に駆動した際に、オペレータ等が触ることにより動きを伝達する。
【００４０】
図２４は、本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを示す斜視図である。
図２４に示す２軸アクチュエータは、基本的には、図２３に示したソレノイドアクチュエータを互いに直交するＸ方向とＹ方向に配置すると共に、各アクチュエータの連結部１００Ｘ，１００ＹをＸスライダ３００とＹスライダ４００に連結したものである。なお、Ｘ方向に配置されたソレノイドアクチュエータの各構成部品の符号の最後にはＸ、Ｙ方向に配置されたソレノイドアクチュエータの各構成部品の符号の最後にはＹを付している。
【００４１】
Ｘスライダ３００は、Ｘ方向に沿って設けられたレール３１０により移動自在にガイドされている。
Ｙスライダ４００は、Ｙ方向に沿って設けられたレール４１０により移動自在にガイドされている。
そして、操作子５００は、Ｘスライダ３００に形成されたガイド溝３００ａとＹスライダ４００に形成されたガイド溝４００ａによりＸ及びＹ方向に移動可能に案内されている。この操作子５００は、Ｘスライダ３００及びＹスライダ４００を駆動した際に、オペレータ等が触ることにより２軸方向の動きを伝達する。
【００４２】
上記実施形態では、コイル１０Ａ，１０Ｂが固定でコア体２０が移動する場合について説明したが、これに限定されるわけではなく、コイル１０Ａ，１０Ｂを可動とし、コア体２０を固定することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の一実施形態に係るソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
【図２】ソレノイドアクチュエータの長手方向の断面図である。
【図３】コイルと磁石との配置関係を示す図である。
【図４】コイルに対する磁石の位置と推力との関係を示すグラフである。
【図５】本発明の他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
【図６】磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
【図７】保持部材の形状の一例を示す図である。
【図８】コア体と磁電変換素子との位置関係を示す図である。
【図９】各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
【図１０】磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
【図１１】保持部材の形状の他の例を示す図である。
【図１２】コア体と磁電変換素子との位置関係を示す図である。
【図１３】各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
【図１４】２つの磁電変換素子を用いた場合の位置検出の手順の一例を示すフローチャートである。
【図１５】磁電変換素子を備えたソレノイドアクチュエータの外観斜視図である。
【図１６】保持部材の形状のさらに他の例を示す図である。
【図１７】コア体と磁電変換素子との位置関係を示す図である。
【図１８】各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
【図１９】保持部材のさらに他の形状例を示す図である。
【図２０】コア体と磁電変換素子との位置関係を示す図である。
【図２１】各位置での磁電変換素子の検出する磁界強度を示すグラフである。
【図２２】保持部材のさらに他の形状例を示す図である。
【図２３】本発明のさらに他の実施形態に係るソレノイドアクチュエータを示す斜視図である。
【図２４】本発明のさらに他の実施形態に係る２軸アクチュエータの斜視図である。
【符号の説明】
【００４４】
１０Ａ，１０Ｂ…磁石
１５…導電線
２０…コア体
３０Ａ，３０Ｂ…コイル
４０，４０Ａ〜４０Ｅ…保持部材
５０…磁電変換素子
１００…連結部材
３００…Ｘスライダ
４００…Ｙスライダ
【図１】
2007123470.tif 000003
【図２】
2007123470.tif 000004
【図３】
2007123470.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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