(57)【要約】【課題】多層化配線をよりシンプルに且つ優れた電気性能を得ることができる半導体素子検査装置を提供する。【解決手段】プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドを導電線により接続し、上記導電線によりボンディングパッド間を空中配線する。【選択図】図１
2007248064.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドを導電線により接続し、上記導電線によりボンディングパッド間を空中配線することを特徴とする半導体素子検査装置。
【請求項２】
プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記パッド間を各々導電線により接続し、上記導電線により上記パッド間を空中配線することを特徴とする半導体素子検査装置。
【請求項３】
プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記プローブに接続された上記第１のボンディングパッドと入力側あるいは出力側の上記第２のボンディングパッドを１本の導電線により接続し、１本の上記導電線をその中間部で上記中間パッドに接続させ、上記１本の導電線により各パッド間を空中配線することを特徴とする半導体素子検査装置。
【請求項４】
上記導電線が互いに立体交差していることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の半導体素子検査装置。
【請求項５】
上記導電線がウェッジボンド、リボンボンド、ボールボンドのいずれで上記各パッドに接続されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の半導体素子検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハに設けられた半導体素子を検査する際に使用されるプローブカードあるいは電気部品として完成された半導体素子を検査する際に使用される電気部品用ソケットなどの半導体素子検査装置に関するもので、特に半導体素子に接触されるプローブから出力側への配線構造に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、モバイル機器を中心として、小型化・軽量化が進んでおり、それに伴い、半導体素子の高集積化が急激に進んでいる。高集積化により電極パッドの狭ピッチ化が進み、半導体素子の測定に用いるプローブカードやソケットにも狭ピッチプローブや多ピンプローブが求められている。
【０００３】
このような狭ピッチ化に対応するために従来のプローブカードやソケットにおいては、基板の多層化と貫通電極の併用にて対応していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のように狭ピッチプローブや多ピンプローブからの配線引き回しにおいては、電源・グランド強化および抵抗低減といった課題が伴う。
【０００５】
また、従来のプローブカードにおける基板の多層化と貫通電極の併用では、配線引き回しが複雑になり、信頼性低下や歩留まりの悪化を招き、また汎用性の点でも不利になるという問題点がある。
【０００６】
本発明は、従来の半導体素子検査装置の有する問題点を解決するために、多層化配線をよりシンプルにし、且つ優れた電気性能を得ることができる半導体素子検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドを導電線により接続し、上記導電線によりボンディングパッド間を空中配線することを特徴とする。
【０００８】
また、本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記パッド間を各々導電線により接続し、上記導電線により上記パッド間を空中配線することを特徴とする。
【０００９】
あるいは、本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記プローブに接続された上記第１のボンディングパッドと入力側あるいは出力側の上記第２のボンディングパッドを１本の導電線により接続し、１本の導電線をその中間部で上記中間パッドに接続させ、上記１本の導電線により各パッド間を空中配線することを特徴とする。
【００１０】
また、上記導電線が互いに立体交差していることが好ましい。
【００１１】
さらに、上記導電線がウェッジボンド、リボンボンド、ボールボンドのいずれで各パッドに接続されていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドを導電線により接続し、上記導電線によりボンディングパッド間を空中配線することにより、基板上の配線がシンプルになり、優れた電気性能を得ることができる。
【００１３】
また、本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記パッド間を各々導電線により接続し、上記導電線により上記パッド間を空中配線することにより、中間パッドを利用してパッド間の距離を自由に調節可能となる。
【００１４】
あるいは、本発明の半導体素子検査装置は、プローブが実装された基板上に設けられた、上記プローブに接続された第１のボンディングパッドと、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッドの間に中間パッドを設け、上記プローブに接続された上記第１のボンディングパッドと入力側あるいは出力側の上記第２のボンディングパッドを１本の導電線により接続し、上記１本の導電線をその中間部で上記中間パッドに接続させ、上記１本の導電線により各パッド間を空中配線することにより、サブ基板上のパッド間の距離が離れている場合でも、確実な電気的接続を確保することができる。
【００１５】
上記導電線が互いに立体交差していることにより、自由な配線のレイアウトが可能となる。
【００１６】
上記導電線がウェッジボンド、リボンボンド、ボールボンドのいずれで各パッドに接続されていることにより、より簡単で確実な配線が可能となる。
【本発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に図を用いて本発明の半導体素子検査装置について詳しく説明する。
【００１８】
図１は導電線を用いてパッド間を接続した半導体素子検査装置の一例であるプローブカードＡを示す概略図である。本実施形態では導電線としてＡｕワイヤ７を用いているが、特にこれに限定するものではなく他の導電線を用いてもよい。
【００１９】
本実施形態におけるプローブカードＡの基板はサブ基板１とメイン基板２からなり、サブ基板１にプローブ６が装着されている。プローブ６はサブ基板１に設けられた第１のボンディングパッド３、第２のボンディングパッド４およびメイン基板２に設けられた第３のボンディングパッド５および各パッドを接続するＡｕワイヤ７によりメイン基板２と電気的に接続され、各パッド間をＡｕワイヤ７により空中配線する。
【００２０】
第１のボンディングパッド３はプローブ６の近くに配置され、プローブ６と電気的に接続されており、入力側あるいは出力側の第２のボンディングパッド４はメイン基板２に近い位置に配置されている。第１のボンディングパッド３と第２のボンディングパッド４をＡｕワイヤ７により電気的に接続し、空中配線を行う。第３のボンディングパッド５はメイン基板２上に設置され、上記第２のボンディングパッド４とＡｕワイヤ７により電気的に接続されて空中配線により外部へと引き出される。これにより、プローブ６がメイン基板２と電気的に接続される。
【００２１】
上記Ａｕワイヤ７は、図１の左側２列の配線のようにボールボンドによって各パッドに接続される。又は図１の右側２列の配線のようにウェッジボンドまたはリボンボンドによるＡｕワイヤ７を各パッドに接続してもよい。
【００２２】
このように、Ａｕワイヤ７を、ボールボンド、ウェッジボンド、リボンボンドにより各パッドに接続することにより確実な接続を行い、優れた電気的性能を確保することができる。
【００２３】
第２のボンディングパッド４は図１の左から２列目および一番右側の配線に示すように、分割されたパッドでもよく、その間は基板上にプリントした配線により接続する。
【００２４】
図２は１本のＡｕワイヤ８で複数のパッドを接続した場合のプローブカードＡを示す概略図である。図２のサブ基板１には第１のボンディングパッド３と第２のボンディングパッド４の間に中間パッド９が設けられている。
【００２５】
パッド３，４および中間パッド９を１本のＡｕワイヤ８により接続する。上記Ａｕワイヤ８の両端を上記パッド３および上記パッド４に接続し、上記Ａｕワイヤ８の中間部を上記中間パッド９に接続する。これにより、１本のＡｕワイヤにより３個のパッドが接続可能となる。そして、１本のワイヤで各パッド間は空中配線される。この際、上記Ａｕワイヤ８はウェッジボンドまたはリボンボンドにより各パッドに接続される。
【００２６】
サブ基板１上のパッド４とメイン基板２上のパッド５は図１の配線方法と同様にＡｕワイヤ７にて接続する。上記Ａｕワイヤ７は、図２の左側２列の配線のようにボールボンドによる接続、または図１の左側２列の配線のようにウェッジボンドまたはリボンボンドによる接続を行う。
【００２７】
このように、１本のＡｕワイヤ８で複数のパッドを接続することにより、部品点数が少なくなるので、中間パッド９を用いても確実な電気的接続が可能となり、パッド３とパッド４との距離がある場合でも対応可能となる。
【００２８】
図３に示す配線方法は、中間パッド９を利用して配線の方向を変え、Ａｕワイヤ同士を立体交差させた場合のプローブカードＡの概略図である。
【００２９】
図３の右から２列目の配線は、第１のボンディングパッド３、第２のボンディングパッド４および中間パッド９を２本のＡｕワイヤ７により接続している。この中間パッド９から横方向の配線を引き出すためにさらに第４のボンディングパッド１０を設けている。
【００３０】
上記パッド１０と上記中間パッド９を上記Ａｕワイヤ７により接続し、空中配線を行う。このとき、上記Ａｕワイヤ７は一番右側の配線と交差する。一番右側の配線はパッド３，４および中間パッド９を接続するＡｕワイヤ８であり、上記Ａｕワイヤ８と、中間パッド９とパッド１０を接続している上記Ａｕワイヤ７が立体交差する。
【００３１】
このように、導電線によって各パッド間を空中配線し、中間パッドを利用することにより、配線同士を立体交差させ、横方向へと配線の方向を変えることも可能となる。
【００３２】
以上に述べたように、本発明の半導体素子検査装置は、導電線による空中配線が可能となることにより、多層化配線をシンプルにすることができ、かつ優れた電気的性能を得ることができる。
【００３３】
また、空中配線された導電線と中間パッドを利用することにより、様々な配線のレイアウトにも柔軟に対応可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】導電線を用いた半導体素子検査装置の一例であるプローブカードＡを示す概略図である。
【図２】１本の導電線で複数のパッドを接続した場合のプローブカードＡを示す概略図である。
【図３】中間パッドを利用して配線の方向を変え、立体交差させた場合のプローブカードＡを示す概略図である。
【符号の説明】
【００３５】
１    サブ基板
２    メイン基板
３    第１のボンディングパッド
４    第２のボンディングパッド
５    第３のボンディングパッド
６    プローブ
７    Ａｕワイヤ
８    Ａｕワイヤ
９    中間パッド
１０  第４のボンディングパッド
【図１】
2007248064.tif 000003
【図２】
2007248064.tif 000004
【図３】
2007248064.tif 000005