(57)【要約】【課題】  移動する電気絶縁性シート全面に対し、帯電の正負を平衡させ、表裏それぞれで正負がバランスした電気絶縁性シートを安定して製造しうる装置、方法を提供する。【解決手段】（１）少なくとも１つの除電ユニットＳＵにおいて、対向する第１の電極ユニットＥＵｄおよび第２の電極ユニットＥＵｆが「イオン生成電極露出型」である構成であり、（２）第１のイオン生成電極５ｄと第２のイオン生成電極５ｈとの間に直流および／または交流のイオン生成電極間電位差が付与されており、（３）除電ユニットＳＵの総数をｎとするとき（ｎは、２以上の整数）、ｎ／４個以上の除電ユニットＳＵにおけるイオン生成電極間電位差が、他の除電ユニットＳＵにおけるイオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差を付与されている。【選択図】  図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気絶縁性シートの移動経路に対し、該シートの移動方向に間隔をおいて設けられた少なくとも２個の除電ユニットを有し、該各除電ユニットは、前記シートの第１の面側に配置された第１の電極ユニットと、前記シートの第２の面側に配置された第２の電極ユニットを有し、前記第１の電極ユニットは、第１のイオン生成電極を有し、前記第２の電極ユニットは、前記第１のイオン生成電極と対向して配置された第２のイオン生成電極を有する電気絶縁性シートの除電装置であり、
（１）少なくとも１つの前記除電ユニットは、前記第１の電極ユニットおよび前記第２の電極ユニットがともにイオン生成電極露出型である構成であり、
（２）前記各ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間に直流および／または交流のイオン生成電極間電位差が付与されており、
（３）前記除電ユニットの総数をｎとするとき（ｎは、２以上の整数）、ｎ個の前記除電ユニットのうち、ｎ／４個以上（小数点以下切り上げ）の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、他の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差であることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項２】
前記除電ユニットの総数ｎが偶数であって、ｎ／２個の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、前記他の除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差であることを特徴とする、請求項１に記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項３】
すべての前記除電ユニットにおいて、前記シートの移動方向に隣接する前記除電ユニット同士の前記イオン生成電極間電位差が、互いに逆極性の電位差であることを特徴とする、請求項１または２に記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項４】
前記シートの移動方向に隣接する、少なくとも１組の前記除電ユニットにおいて、前記少なくとも１組の除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差が互いに逆極性であって、前記少なくとも１組の除電ユニットの前記シートの移動方向における前記除電ユニットの間隔が、前記少なくとも１組の除電ユニットのうちいずれかの前記除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍以上、かつ、２倍以下となるよう構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項５】
前記各除電ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極は前記シートの幅方向に配列された多数の第１の部分電極を備えてなるものであり、前記シートの幅方向に隣接して配置された前記第１の部分電極同士の前記シートの幅方向における間隔は、当該除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍より小さいことを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項６】
前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差の絶対値が、他の前記除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差の絶対値より小さいことを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項７】
前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの法線方向電極間距離が、他の前記除電ユニットの法線方向電極間距離より大きいことを特徴とする、請求項１〜６のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項８】
前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの電極ずれ量が、他の除電ユニットの電極ずれ量より大きいことを特徴とする、請求項１〜７のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項９】
前記各除電ユニットにおいて、前記各除電ユニットのうち少なくとも１つ以上の除電ユニットにおいて、シートの移動速度、及び／または、シートの厚みに応じて各イオン生成電極間電位差を制御する手段を有することを特徴とする、請求項１〜８のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項１０】
所定の共通電位に対し、すべての前記除電ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極とが逆極性の電位となるように構成されていることを特徴とする、請求項１〜９のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項１１】
前記各除電ユニットは、直流電位差が付与された前記第１のイオン生成電極、及び、前記第２のイオン生成電極で構成される直流除電ユニットが少なくとも１つ含まれ、前記少なくとも１つの直流除電ユニットよりも前記シートの移動方向の下流側に、前記シートを挟んで対向して配置され、交流電位差が付与された第１の交流イオン生成電極と第２の交流イオン生成電極とを有する交流除電ユニットを、少なくとも１つ有することを特徴とする請求項１〜１０のいずれかに記載の電気絶縁性シートの除電装置。
【請求項１２】
電気絶縁性シートの移動経路に対し、該シートの移動方向に間隔をおいて設けられた少なくとも２個の除電ユニットを有し、該各除電ユニットは、前記シートの第１の面側に配置された第１の電極ユニットと、前記シートの第２の面側に配置された第２の電極ユニットを有し、前記第１の電極ユニットは、第１のイオン生成電極を有し、前記第２の電極ユニットは、前記第１のイオン生成電極と対向して配置された第２のイオン生成電極を有する電気絶縁性シートの除電装置を用いて電気絶縁性シートを除電する除電済み電気絶縁性シートの製造方法であって、
（１）前記除電ユニットの少なくとも１つの前記除電ユニットにおいて、前記第１の電極ユニットおよび前記第２の電極ユニットをともにイオン生成電極露出型で構成し、
（２）前記各ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間に直流および／または交流のイオン生成電極間電位差を付与し、
（３）前記除電ユニットの総数をｎとするとき（ｎは、２以上の整数）、ｎ個の除電ユニットのうち、ｎ／４個以上（小数点以下切り上げ）の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、他の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差となるよう前記各除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差を付与し、
もって電気絶縁性シートを除電する除電済み電気絶縁性シートの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気絶縁性シートの除電装置および製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラスチックフィルム等の電気絶縁性シートにおける帯電は、シートを加工する工程において所望の加工を阻害することがある。その結果、加工製品の品質が期待通りのものとならない場合がある。例えば、静電気放電に起因するスタチックマークと呼ばれる局所的に強い帯電や放電痕が存在するシートに印刷や被膜剤塗布の加工を施した場合、得られた加工製品は、インクや被膜剤のムラを有するものとなる。コンデンサ用や包装用等の金属被覆フィルムの製造工程においては、真空蒸着やスパッタリング等の被膜加工後に、加工製品にスタチックマークが現れることがある。スタチックマークなどの強い帯電は、静電気力によるフィルムの他部材への密着をもたらし、搬送不良や位置あわせ、カットシートのつきそろえ不良など様々な問題を発生させる原因となる。
【０００３】
かかる問題を回避するために、従来、接地されたブラシ状の導電体を、帯電した電気絶縁性シートに接近させ、ブラシ先端でコロナ放電を発生させて除電する自己放電式除電器や、針状電極に商用周波数の高電圧や直流高電圧を印加してコロナ放電を発生させて除電する交流式や直流式の電圧印加式除電器が使用されている。これら自己放電式の除電器や、電圧印加式除電器においては、コロナ放電によるによるイオンを、電気絶縁性シートの帯電による電界によって引き寄せ、電気絶縁性シートの帯電を中和（除電）するものである。これにより、高い電位に帯電しているシートの電位を下げることが可能とされている。
【０００４】
しかし、電気絶縁性シートにおける帯電は、（シート上での静電気放電などにより）シートの片面、あるいは、両面に、狭いピッチで正極性と負極性の帯電領域が混在していることが多い。特に、シートの両面が帯電している場合、各面が逆極性に帯電していることが多く、これを「両面両極性帯電」と呼ぶ。このような帯電をもつ電気絶縁性シートにおける電界は、シートの内部（厚み方向）や、シートの表面近傍のみに集中する。そのため、電気絶縁性シートから少し離れた位置にある除電器のイオン生成部分（ブラシ先端や針状電極の針先）から十分なイオンを引き寄せられず、このような細かな帯電模様を持つシートに対する除電効果はほとんど得られなかった。
【０００５】
これに対し、電気絶縁性シートを挟んで離間配置されたイオン生成電極とイオン吸引電極とに逆位相の交流電圧を印加することを特徴とする、図１および、図２に示すシートの除電装置１、２が開示されている（例えば、特許文献１、及び、特許文献２、参照。）。特許文献１や特許文献２の除電装置によれば、電気絶縁性シートＳの帯電による電界に依存せず、イオン生成用電極１ｂとイオン吸引用電極間１ｄとの間の電界や、イオン生成用電極２ｂとイオン加速用電極２ｄとの間の電界、イオン生成用電極２ｆとイオン加速用電極２ｈとの電界によって強制的にシートＳにイオンを照射するため、帯電模様を持つシートにおいても除電効果が高いとされている。
【０００６】
しかし、特許文献１に開示された図１に示す除電装置１のように、強制的に、シートの片側からイオンを強制的に照射した場合、強制的に照射されたイオンの極性に、シートが帯電し、以下の２つの問題を引き起こす。
（１）強制的に照射されたイオンの極性に、シート電位が上昇する。シートの帯電が、わずか１μＣ／ｍ２オーダーの電荷密度であっても、シートが空中を搬送されている状態であり、シートの片面から一方の極性のイオンを照射するため、シートの接地構造物に対する電位は、数１０ｋＶ以上に上昇する。これは、接地構造物との距離が大きいほど、シートの静電容量が小さくなり、同じ電荷密度であっても、電位が高くなるためである。言い換えると、強制照射によって最初にわずかなイオンがシート上に達しただけで電位(絶対値)が高くなるので、続けて同じ極性のイオンが強制的に照射されてもそれ以上シートが受け止められなくなるのである。このように、シートが空中を搬送されている状態において測定された電位を、以後、架空時電位と呼ぶ。このように、架空時電位が上昇すると、イオンはシートの帯電によってクーロン力による反発力をうけ、イオンのシートへの到達が妨げられる。すなわち、イオン生成電極で多量のイオンを生成しても、シートへ十分なイオンを照射することができない。照射できるイオンの量はたかだかわずか１μＣ／ｍ２程度である。
（２）交流電圧を使用しているため、シートの移動方向に、強制的に照射されたイオンの極性に応じた正負の帯電のムラが生じる。このムラを除去するために、除電装置の下流に、さらに直流および交流の除電器１ｅおよび１ｆが必要である場合が少なくない。
【０００７】
また、特許文献１の除電装置においては、イオンが照射されるのは、シートの片面（除電面）のみである。そのため、シートが両面両極性帯電している場合、除電面の逆面（非除電面）に存在する電荷を除電（中和）することができない。これは、絶縁性のシートにおいて、その厚さ方向に（面内方向にもであるが）電荷が容易に移動できないためである。非除電面に電荷が存在していたシート上の部分については、非除電面の帯電は維持されたまま、非除電面の帯電と面内方向の位置が同じ部位の逆面（除電面）に、等量で逆極性のイオンが付着する。これは、照射されたイオンが、シートの表裏（除電面と非除電面）の電荷を区別することなく、クーロン力により引き寄せられるためである。
【０００８】
特許文献１の除電装置による除電によって、最終的に（下流の直流および交流の除電器１ｅおよび１ｆを使用した後で）得られるシートは、シートの面内方向の位置が同じ部位の両面の局所的な電荷密度の和（見かけ上の電荷密度）が実質的にゼロとなっている状態のシートである。しかし、実際には、この状態は、電気絶縁性シートの面内方向の位置が同じ部位の両面が等量で逆極性に帯電している状態である。このようなシートの状態を「見かけ上の無帯電」状態と呼び、このような除電を「見かけ上の除電」と呼ぶこととする。
【０００９】
一方、特許文献２に開示された図２に示すような除電装置２においては、両面からイオンを照射している。しかし、特許文献２における除電装置では、両面から同時にではなく、交互にイオンを照射するため、一回毎のイオン照射の際には特許文献１に開示されたものと同様に、（１）や（２）の問題が生じる。また、（１）の問題により、イオン照射量が少ないため各面の電荷を減少させる能力はほとんどない。そのため、特許文献１に開示された除電装置と同様に、「見かけ上の無帯電」状態以上に除電することはほとんどできない。
【００１０】
一方、正極性の直流電圧を印加した第1のイオン生成用電極３ａをシートＳの片面にシートＳから間隔をおいて配置し、負極性の直流電圧を印加した第2のイオン生成用電極３ｃをシートＳの反対面にシートＳから間隔をおいて配置し、シートの両面に、同時に、逆極性のイオンを照射する図３に示すような除電装置３が開示されている（例えば、特許文献３、参照。）。
【００１１】
特許文献３には記載されていないが、本発明者らの知見によると、この除電装置３では、特許文献２に開示された除電装置２と異なり、両面から同時に逆極性のイオンを照射するため、上記（１）（２）の問題は生じにくい。すなわち、特許文献３における除電装置３では、シートの「架空時電位」は上昇せず、シートへ十分イオンを照射することが出来る。また、シートの移動方向に正負の帯電のムラは生じず、シートの移動方向下流に、直流および交流の除電器を設けなくてもよい。しかし、特許文献３に開示された除電装置３においては、シートＳの片面には正イオンのみ、反対面には負イオンのみが照射されるため、例えば、第１の面１００が負、第２の面２００が正に帯電しているシート上の部位に対しては、除電効果が得られるが、第１の面１００が正、第２の面２００が負に帯電しているシート上の部位に対する除電効果は得られない。また、むしろ、シートＳの各面の帯電の極性と、各面に照射されるイオンの極性が同じ場合には、各面の電荷を増加させることもあった。
【００１２】
また、逆極性の交流電圧を印加した一組のイオン生成電極４ａおよび４ｃを、シートＳの両面に、シートＳから間隔をおいて配置し、シートの両面に、同時に、経時的に極性が変化する逆極性のイオンを照射する、図４Ａに示すような除電装置４Ａが開示されている（例えば、特許文献３、特許文献４、参照。）。交流電圧を使用した場合、シートの第１の面１００、第２の面２００のそれぞれに、一見、正負両極性のイオンが照射されているようであるが、移動するシートの各部を見ると、第１の面１００に正イオンが照射され（第２の面２００に負イオンが照射され）ている部位と、第１の面１００に負イオンが照射され（第２の面２００に正イオンが照射され）ている部分とがシートの移動方向に周期的に繰り返されているだけとなる。すなわち、理想的な場合であっても、フィルムの各部位においては、各面から片極性ずつのイオンが照射されているのみであって、フィルムの移動方向の各部位で見ると、任意の位置のフィルム表裏の帯電はその極性が逆極性であり、「架空時電位」はほぼゼロであるが、フィルム表裏の各面の付着イオン量を見ると周期的に正負交互に付着、つまり、フィルムの移動方向の各部位で付着イオンの極性も含めてイオンの付着ムラが発生し、これだけでは、各面に正負の帯電が混在しているフィルムを十分除電することはできず、せいぜい「見かけ上の無帯電」にすることしかできなかった。
【００１３】
特許文献３においては、シートの各面に配置するイオン生成電極の形態として、同極性の直流電圧を印加される３本のワイヤ電極をシートの移動方向に平行して配置する形態や、交流電圧を印加される１本のワイヤ電極があげられているが、これらはいずれも、フィルムの各部位に、各面から片極性ずつのイオンの照射を行なうにすぎないものであった。
【００１４】
また、特許文献６には、特許文献３や特許文献４に開示されたような、逆極性の交流電圧を印加した一組のイオン生成電極をシートＳから間隔をおいて配置し、シートの両面に、同時に、経時的に極性が変化する逆極性のイオンを照射する除電装置４ＡをシートＳの移動方向に複数並設した場合の装置が開示されている。この場合、各除電装置において、フィルムの移動方向の各部位で付着イオンの極性も含めてイオンの付着ムラが発生する。そのため、シートの移動速度、交流電源の印加電圧や周波数、各除電装置のシートの移動方向の並設間隔などの条件によっては、特許文献６にも記載されているとおり、シートの各面の各部位におけるイオンの付着ムラが増長されることもあり、除電装置を使用する際のシートの移動速度を選ぶ必要があった。
【００１５】
一方、逆極性の直流電圧を印加した一組のイオン生成電極を、２枚の重ねられたシートを挟んで配置し、シートの両面に、同時に逆極性のイオンを照射し、シートの貼り合わせを行なう、図４Ｂに示すような装置４Ｂが開示されている（例えば、特許文献５、参照。）。しかし、このような貼り合わせ装置においては、それぞれのシートＳ１、Ｓ２を逆極性に帯電させることを目的としているのみであって、それぞれの面（それぞれのシート）の除電については何ら検討されていなかった。
【００１６】
このような見かけ上無帯電であるが、各面が帯電している状態の電気絶縁性シートにおいては、その加工時に、シートに金属蒸着や塗布等を行うと、元の帯電模様が再度発現することが知られている（例えば、特許文献６、参照）。
【００１７】
例えば、このような見かけ上の無帯電のフィルムに対して、導電性被覆加工である金属蒸着を行なうと、フィルムの蒸着面の電荷に対し、フィルムとの界面である金属蒸着膜表面に、逆極性の電荷が誘導され、界面における電位がゼロとなる。フィルムの非蒸着面には電荷が存在するため、フィルムの非蒸着面の外側近傍には、非蒸着面の電荷による電界が生じ、スタチックマークを発現させる。また、例えば、被膜剤の塗布の場合、導電性ロールである金属ロールをバックアップロールとしてこのロール上で塗布を行うと、フィルムの金属ロールとの接触面の電荷に対し、金属ロール表面に逆極性の電荷が誘導され、接触面における電位がゼロとなる。フィルムの非接触面（塗布面）には電荷が存在するため、塗布面の外側近傍には塗布面の電荷による電界が生じ、塗布ムラをひきおこす。前述のように、従来技術は、いずれもせいぜい電気絶縁性シートに「見かけ上の除電」を行なうだけであるから、真空蒸着やスパッタリング等の被膜加工後のスタチックマークの発生、スベリ不良によるカットシートのつきそろえ不良、またインクや被膜剤のムラ等の問題を解消することができなかった。
【００１８】
このような問題に対し、本発明者らは、イオン生成電極近傍に配置され、イオン生成電極との間に適当な電位差を与えることで、イオン生成電極先端でのコロナ放電を補助するシールド電極を有する除電ユニットをシート移動方向に２つ以上配置し、各除電ユニットにおいて、シートを挟んで対向配置する第１と第２のイオン生成電極には、互いに逆極性の直流電圧を印加し、シート移動方向に隣接する各除電ユニットの第１のイオン生成電極にも、互いに逆極性の直流電圧を印加する直流電圧を印加する除電装置を提案することで、「見かけ上の無帯電」のみならず、シート各面の電荷を大幅に低減し、シートの移動速度によらず、シート各面の各部位におけるイオンの付着ムラを緩和出来ることを確認した（本出願人による特願２００５−０２０９３２参照。）。
また、特許文献７には、図４Ｃに示すような直流除電装置４Ｃを用いたときに、シールド電極を有する場合と有さない場合とで、一定電位を与えるときに必要とするイオン電流を比較した結果および除電効果を比較した結果が開示されている。この除電装置４Ｃでは、隣接するプラス放電針４ｊ、マイナス放電針４ｋに互いに逆極性の直流電圧を印加し、各針の先端におけるコロナ放電を発生させている。特許文献７に記載の直流除電装置４Ｃでは、各針先のコロナ放電を安定して継続するために接地電極４ｍ、接地電極４ｎを有しているが、接地電極４ｍ、接地電極４ｎがない場合、経時的に初期段階において、除電対象物に到達するイオン量が増加することも開示されている。しかし、この除電装置４Ｃをシートの片側に配置した場合、シールド電極を有する電極ユニットをシートを挟んで対向配置した場合に比べると、シート表面に付着するイオン量は断然小さく、満足する除電効果は得られなかった。また、隣接するプラス放電針４ｊとマイナス放電針４ｋに互いに逆極性の直流電圧を印加するため、接地電極４ｍ、接地電極４ｎからアースに漏洩するイオンがなくなる反面、隣接するプラス放電針４ｊとマイナス放電針４ｋとの距離が小さい場合、各放電針から生成された正、負のイオンが結合、中和され、シート表面に到達するイオン量が減少するため、満足する除電効果は得られないと考えられた。
【特許文献１】特許第２６５１４７６号公報
【特許文献２】特開２００２−３１３５９６号公報
【特許文献３】特開２００４−０３９４２１号公報
【特許文献４】米国特許第３４７５６５２号明細書
【特許文献５】米国特許第３８９２６１４号明細書
【特許文献６】米国特許出願公開第０００３０６９４号明細書
【特許文献７】特開２００１−０３５６８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
発明者らの知見によれば、本出願人による特願２００５−０２０９３２に記載の除電装置では、各イオン生成電極から生成されたイオンの一部が、シールド電極を経由してアースに漏洩し、シート表面に到達するイオン量が少なくなるため、大きな除電効果を得るためには、シート移動方向に多数の除電ユニットを配置する必要があるため、除電装置が大型化し、設置するスペースを選ぶ必要があった。同時に、各イオン生成電極に接続する電源において、主に、シート表面に付着するイオン量に相当する電流とシールド電極を経由してアースに漏洩するイオン量に相当する電流（言い換えると、除電に寄与しない無効な電流）とをイオン生成電極に対して供給する必要があるため、高電流出力の電源が必要であった。
【００２０】
本発明の目的は、上述した従来の技術の上記問題点を解決し、電気絶縁性シートの片面、あるいは、両面に、狭いピッチで混在する正極性と負極性の帯電領域を容易に除去すると同時に、従来に比べ、効率よく多くのイオンをシート両面に供給することが出来る除電装置を提供することにある。特に、幅広い速度領域において使用できる除電装置及び除電方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するため、本発明の電気絶縁性シートの除電装置は下記の構成を有する。
【００２２】
すなわち、電気絶縁性シートの移動経路に対し、該シートの移動方向に間隔をおいて設けられた少なくとも２個の除電ユニットを有し、該各除電ユニットは、前記シートの第１の面側に配置された第１の電極ユニットと、前記シートの第２の面側に配置された第２の電極ユニットを有し、前記第１の電極ユニットは、第１のイオン生成電極を有し、前記第２の電極ユニットは、前記第１のイオン生成電極と対向して配置された第２のイオン生成電極を有する電気絶縁性シートの除電装置であり、
（１）少なくとも１つの前記除電ユニットは、前記第１の電極ユニットおよび前記第２の電極ユニットがともにイオン生成電極露出型である構成であり、
（２）前記各ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間に直流および／または交流のイオン生成電極間電位差が付与されており、
（３）前記除電ユニットの総数をｎとするとき（ｎは、２以上の整数）、ｎ個の前記除電ユニットのうち、ｎ／４個以上（小数点以下切り上げ）の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、他の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差であることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２３】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記除電ユニットの総数ｎが偶数であって、ｎ／２個の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、前記他の除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差であることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２４】
また、本発明の好ましい形態によれば、すべての前記除電ユニットにおいて、前記シートの移動方向に隣接する前記除電ユニット同士の前記イオン生成電極間電位差が、互いに逆極性の電位差であることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２５】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記シートの移動方向に隣接する、少なくとも１組の前記除電ユニットにおいて、前記少なくとも１組の除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差が互いに逆極性であって、前記少なくとも１組の除電ユニットの前記シートの移動方向における前記除電ユニットの間隔が、前記少なくとも１組の除電ユニットのうちいずれかの前記除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍以上、かつ、２倍以下となるよう構成されていることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２６】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極は前記シートの幅方向に配列された多数の第１の部分電極を備えてなるものであり、前記シートの幅方向に隣接して配置された前記第１の部分電極同士の前記シートの幅方向における間隔は、当該除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍より小さいことを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２７】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差の絶対値が、他の前記除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差の絶対値より小さいことを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２８】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの法線方向電極間距離が、他の前記除電ユニットの法線方向電極間距離より大きいことを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００２９】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットのうち、少なくとも前記シートの移動方向の最下流における除電ユニットの電極ずれ量が、他の除電ユニットの電極ずれ量より大きいことを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００３０】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットにおいて、前記各除電ユニットのうち少なくとも１つ以上の除電ユニットにおいて、シートの移動速度、及び／または、シートの厚みに応じて各イオン生成電極間電位差を制御する手段を有することを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００３１】
また、本発明の好ましい形態によれば、所定の共通電位に対し、すべての前記除電ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極とが逆極性の電位となるように構成されていることを特徴とする、電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００３２】
また、本発明の好ましい形態によれば、前記各除電ユニットには、直流電位差が付与された前記第１のイオン生成電極、及び、前記第２のイオン生成電極で構成される直流除電ユニットが少なくとも１つ含まれ、前記少なくとも１つの直流除電ユニットよりも前記シートの移動方向の下流側に、前記シートを挟んで対向して配置され、交流電位差が付与された第１の交流イオン生成電極と第２の交流イオン生成電極とを有する交流除電ユニットを、少なくとも１つ有することを特徴とする電気絶縁性シートの除電装置が提供される。
【００３３】
また、本発明の別の形態によれば、電気絶縁性シートの移動経路に対し、該シートの移動方向に間隔をおいて設けられた少なくとも２個の除電ユニットを有し、該各除電ユニットは、前記シートの第１の面側に配置された第１の電極ユニットと、前記シートの第２の面側に配置された第２の電極ユニットを有し、前記第１の電極ユニットは、第１のイオン生成電極を有し、前記第２の電極ユニットは、前記第１のイオン生成電極と対向して配置された第２のイオン生成電極を有する電気絶縁性シートの除電装置を用いて電気絶縁性シートを除電する除電済み電気絶縁性シートの製造方法であって、
（１）前記除電ユニットの少なくとも１つの前記除電ユニットにおいて、前記第１の電極ユニットおよび前記第２の電極ユニットをともにイオン生成電極露出型で構成し、
（２）前記各ユニットにおいて、前記第１のイオン生成電極と前記第２のイオン生成電極との間に直流および／または交流のイオン生成電極間電位差を付与し、
（３）前記除電ユニットの総数をｎとするとき（ｎは、２以上の整数）、ｎ個の除電ユニットのうち、ｎ／４個以上（小数点以下切り上げ）の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差が、他の前記除電ユニットにおける前記イオン生成電極間電位差とは逆極性の電位差となるよう前記各除電ユニットの前記イオン生成電極間電位差を付与し、
もって電気絶縁性シートを除電する除電済み電気絶縁性シートの製造方法が提供される。      
【００３４】
本発明が適用される電気絶縁性シートの代表的なものは、プラスチックフィルム、布帛、紙である。シートの形態には、通常、ロール状に巻かれた状態で取り扱われる長尺シートと、通常、多数枚積層された状態で取り扱われる枚葉シートがある。プラスチックフィルムとしては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、ポリフェニレンサルファイドフィルム、ナイロンフィルム、アラミドフィルム、ポリエチレンフィルム等がある。一般に、プラスチックフィルムは、他の材料からなるシートに比べ、電気絶縁性が高い。本発明により提供される除電技術は、プラスチックフィルムの除電、特に、フィルム表面に狭いピッチで混在する正極性と負極性の帯電領域の消失に、有効に用いられる。
【００３５】
本発明において、「イオン生成電極露出型」の電極ユニットとは、図６Ａに示すように、電極ユニットのイオン生成電極の先端を中心とし、電極ユニットによって構成される除電ユニットにおける法線方向電極間距離の１／２の半径の３次元仮想球体の中に、イオン生成電極およびこれに給電する導体以外の、主に金属などの導体が存在しない電極ユニットをいう。
本発明において、「電気絶縁性シートの移動経路」とは、電気絶縁性シートが除電のために通過する空間をいう。
【００３６】
本発明において、「電気絶縁性シートの法線方向」とは、移動経路を移動中の電気絶縁性シートが重力等の外力の影響を受けなかったものとして幅方向のたるみがない平面とみなし、かつ、電気絶縁性シートの移動に伴うシートの法線方向におけるシートの位置の変動がある場合には、時間的に平均した位置にシートがあるものとしたときの上記平面(以下、仮想平均面という)の法線方向をいう。
【００３７】
本発明において、「幅方向」とは、仮想平均面の面内の方向であって、電気絶縁性シートの移動方向に対して直交する方向をいう。また、「幅方向の各位置」という場合は、除電に実際に寄与する範囲内の各位置を意味することはいうまでもない。
【００３８】
本発明において、「イオン生成電極の先端」とは、イオン生成電極の各部のうち、イオンを生成する電界を形成する部位であって、かつ、仮想平均面に最も近い部位をいう。イオン生成電極は、幅方向に延在している場合が多い。この場合、幅方向の各位置において、イオン生成電極の先端が定義される。
【００３９】
例えば、イオン生成電極がシートの幅方向に延在するワイヤで形成されたワイヤ電極の場合は、幅方向の各部における仮想平均面に一番近いワイヤの部位が該当する。イオン生成電極が、幅方向に所定間隔に設けられた電気絶縁性シートの法線方向に延在する針電極の列の場合は、各針の、前記平面に最も近い部位（針先）が、その幅方向位置における「イオン生成電極の先端」である。針先が存在しない幅方向の各位置においては、「イオン生成電極の先端」は、図６Ｅに示すように、幅方向に所定間隔で設けられた針先同士を結ぶ折れ線８ａＬ上の位置により定義される。折れ線８ａＬを、イオン生成電極の先端の仮想線と呼ぶ。針先が存在する幅方向の位置においては、イオン生成電極の先端の仮想線上の位置と、針先とは一致する。
【００４０】
本発明において、「第１および第２のイオン生成電極が対向配置される」とは、第１および第２のイオン生成電極がシート移動の経路を挟んで向かい合っていて、かつ、幅方向各位置において、第１のイオン生成電極の先端から、第２のイオン生成電極の先端の位置を含み、仮想平均面に平行な平面に降ろした垂線の足の位置と第２のイオン生成電極の先端の位置との間に、シールド電極などの導体が存在せず、かつ、第２のイオン生成電極の先端から、第１のイオン生成電極の先端の位置を含み、仮想平均面に平行な平面に降ろした垂線の足の位置と第１のイオン生成電極の先端の位置との間に、シールド電極などの導体が存在しないことをいう。
【００４１】
本発明において、「イオン」とは、電子、電子を授受した原子、電荷をもった分子、分子クラスター、浮遊粒子等、さまざまな形態の電荷担体をいう。
【００４２】
本発明において、「イオン生成電極」とは、高電圧の印加によるコロナ放電等によって、電極先端近傍の空間において、イオンを生成する電極をいう。
【００４３】
本発明において、「シールド電極」とは、イオン生成電極近傍に配置され、イオン生成電極との間に適当な電位差を与えることで、イオン生成電極先端でのコロナ放電を補助する電極をいう。
【００４４】
本発明において、「部分電極」とは、図１０に示した例のように、電極ユニットのイオン生成電極が幅方向に区分された多数の導体の集合体として構成されているときの１つ１つの導体部分をいう。
【００４５】
本発明において、「所定の共通電位」とは、高圧電源から各イオン生成電極に接続された電源線の電位の基準となる電位であって、各除電ユニットに共通に定義される電位をいう。一般的には、除電装置近傍の大地やシート製造設備などのフレームの電位を接地点としてこの電位を０［Ｖ］とし、所定の共通電位とするが、基準電位が０［Ｖ］以外の電位を有する場合は、この基準電位を「所定の共通電位」という。本発明において、「イオン生成電極の電位」とは、上記「所定の共通電位」を基準に電源から各イオン生成電極に接続された電源線の電位をいう。
【００４６】
本発明において、「イオン生成電極間電位差」とは、各除電ユニットにおける第１のイオン生成電極の電位からこれに対向する第２のイオン生成電極の電位を引いた差をいう。
【００４７】
本発明において、「ある除電ユニットにおける「イオン生成電極間電位差」と他の除電ユニットにおける「イオン生成電極間電位差」が逆極性」とは、ある除電ユニットにおける「イオン生成電極間電位差」の極性と、他の除電ユニットにおける「イオン生成電極間電位差」の極性が逆極性であることをいう。  本発明において、「帯電模様」とは、電気絶縁性シートの少なくとも一部が、局所的に、正および／または負に帯電している状態をいう。
【００４８】
本発明において、「見かけ上の電荷密度」とは電気絶縁性シートの面内方向の位置が同じ部位の両面の局所的な電荷密度の和をいう。局所的な電荷密度とは、電気絶縁性シートの面上の、直径約６ｍｍ以下、より正確には直径２ｍｍ以下の範囲で測定した電荷密度をいう。
【００４９】
本発明において、「見かけ上の無帯電」とは、電気絶縁性シートの面内方向の各部において、見かけ上の電荷密度が実質的にゼロ（−２μＣ／ｍ２以上２μＣ／ｍ２以下）になっている状態をいう。
【００５０】
本発明において、電気絶縁性シートの第１の面の「背面平衡電位」とは、第２の面に接地導体を密着させて、電荷を接地導体に誘導させ、これによって、第２の面の電位を実質的にゼロ電位とした状態において、表面電位計の測定プローブを、第１の面との間隔が０．５以上２ｍｍ以下程度となるように、第１の面に十分近接させた状態で、測定される第１の面の電位をいう。表面電位計の測定プローブとしては、測定開口部直径が、２ｍｍ以下の微小なものが用いられる。このようなプローブとして、例えば、モンロー社製プローブ、１０１７（開口部直径：１．７５ｍｍ）や１０１７ＥＨ（開口部直径：０．５ｍｍ）がある。
【００５１】
本発明において、「電気絶縁性シートの背面（第２の面）を接地導体に密着させる」とは、絶縁シートと金属ロールの界面の間に明確な空気層がない状態にまで、両者をぴったりと接触させることをいう。この状態は、通常、両者間に残存する空気層の厚さが、シートの厚さの２０％以下、かつ、１０μｍ以下となる状態である。
【００５２】
第１の面上の背面平衡電位の分布状態は、表面電位計のプローブ、または、背面（第２の面）に接地導体を密着させた状態のシートのいずれか一方を、ＸＹステージなどの位置調整可能な移動手段を用いて、低速（５ｍｍ／秒程度）で移動させながら、背面平衡電位を順次測定し、得られたデータを、１次元もしくは２次元的にマッピングすることによって得られる。第２の面の背面平衡電位も、同様にして、測定される。
本発明において、電気絶縁性シートの「架空時電位」とは、電気絶縁性シートを空中に浮いた状態で測定した電位をいう。接地したアースとの距離に対して、シートの厚みが十分小さいため、電気絶縁性シートの第１の面の帯電と第２の面の帯電の総和における接地点からの電位となる。なお、本発明において、各電位は、特に断らない限り、接地点からの電位である。
【００５３】
本発明において、第ｍ番目の除電ユニットの「法線方向電極間距離ｄ１−ｍ」とは、シートの移動方向の上流から第ｍ番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端との間の、シートの法線方向における距離をいう。以下、「第ｋ番目の除電ユニット」とは、シート移動方向の上流から数えてｋ番目（ｋ＝１，２，・・・，ｎ）の除電ユニットをいう。
【００５４】
本発明において、第ｐ番目の除電ユニットと第ｐ＋１番目の除電ユニットとの「除電ユニット間隔ｄ２−ｐ」とは、図６Ｃに示す、シートの移動方向の第ｐ番目の除電ユニットの、第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点５ｘｐと、第ｐ＋１番目の除電ユニットの、第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点５ｘｐ＋１との間のシートの移動方向における間隔をいう。
【００５５】
本発明において、除電ユニットの「電極ずれ量ｄ０−ｍ」とは、図６Ｄに示すように、第ｍ番目の除電ユニットにおける第１のイオン生成電極５ｄｍの先端とこれに対向する第２のイオン生成電極５ｆｍの先端との間のシートの移動方向における間隔をいう。
【００５６】
本発明において、「直流電源」とは、出力電圧が接地点に対して極性が反転することなく1秒以上継続して同一の極性を維持する、脈動率２０％以下の電源をいう。好ましくは、２０秒以上、あるいは、さらに好ましくは、１つのシートの１回の除電操作（たとえば、１巻のシートロールの搬送の最初から最後までを１回の除電操作と考える）の間反転しないように構成する。ただし、ホワイトノイズ等の非周期的なノイズ成分による極性の反転はここでは極性の反転とはしない。かかる直流電源のある瞬間の直流電圧は、その瞬間からみて過去1秒間の電圧の平均値をもって定義する。
「脈動率」がｘ％の直流電位差とは、電位差の直流成分をＰ［kＶ］、周期的な変動成分の振れ幅をＰｒ［ｋＶ］とすると、Ｐｒ／Ｐ＝ｙ／１００である直流電位差をいう。
【発明の効果】
【００５７】
本発明によれば、帯電模様やシート表裏に正負の帯電が混在している電気絶縁性シートの帯電に対し、シート表面へのイオン付着効率を大幅に向上することにより、幅広いシート移動速度範囲において、「見かけ上無帯電」の状態にし、さらに、シートの各面の帯電量をシートの移動方向に対してムラが少なく、均一に低減することが出来る。これにより後加工工程における蒸着不良や被膜剤の不均質な分布等の不都合の発生を抑制可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５８】
以下、本発明の電気絶縁性シートの除電装置の好ましい実施形態例を図面を参照しながら説明する。電気絶縁性シートとしてプラスチックフィルム（以下、単に、フィルムという）を用いる場合を例にとって、説明する。本発明は、これらの例に限られるものではない。
【００５９】
図５は、本発明における除電装置の実施形態例の正面概略図である。この除電装置５はプラスチックフィルムの除電に好ましく用いられる。図５において、ガイドロール５ａとガイドロール５ｂとに走行するフィルムＳが掛け渡されている。ガイドロール５ａ、および、ガイドロール５ｂは、それぞれモータ−（図示せず）により、右廻りに回転される。フィルムＳは、ガイドロール５ａ、５ｂの回転により、矢印５ａｂの方向に、速度ｕ［単位：ｍｍ／秒］で連続的に移動する。ガイドロール５ａとガイドロール５ｂとの間には、ｎ個（ただし、ｎは２以上の整数）の除電ユニットＳＵ１、・・・、ＳＵｎがフィルムＳの移動方向（矢印５ａｂの方向）に間隔をおいて設けられ、これらの除電ユニットＳＵ１、・・・、ＳＵｎにより、除電装置５が構成されている。
【００６０】
第１番目の除電ユニットＳＵ１は、第１の電極ユニットＥＵｄ１と第２の電極ユニットＥＵｆ１とからなる。第１の電極ユニットＥＵｄ１は、フィルムＳの第１の面１００に向かい、第１の面１００に対し間隔をおいて設けられている。第２の電極ユニットＥＵｆ１は、フィルムＳの第２の面２００に向かい、第２の面２００に対し間隔をおいて設けられている。第１の電極ユニットＥＵｄ１と第２の電極ユニットＥＵｆ１とは、フィルムＳを挟んで、互いに対向している。
【００６１】
第１の電極ユニットＥＵｄ１は、図６Ａに示すように、第１のイオン生成電極５ｄ１を有している。第２の電極ユニットＥＵｆ１は、第２のイオン生成電極５ｆ１を有している。
第１のイオン生成電極５ｄ１と第２のイオン生成電極５ｆ１とは、フィルムＳを挟んで、互いに対向している。
【００６２】
ｍを１以上ｎ以下の整数とするとき、第ｍ番目の除電ユニットＳＵｍは、第１番目の除電ユニットＳＵ１と同様に、第１のイオン生成電極５ｄｍを有しフィルムＳの第１の面１００に向かう第１の電極ユニットＥＵｄｍと、第２のイオン生成電極５ｆｍを有しフィルムＳの第２の面２００に向かう第２の電極ユニットＥＵｆｍとからなる。第１の電極ユニットＥＵｄｍと、第２の電極ユニットＥＵｆｍとは、それぞれフィルムＳに対し間隔をおいて設けられ、フィルムＳを挟んで互いに対向している。また、第１のイオン生成電極５ｄｍと第２のイオン生成電極５ｆｍとは、フィルムＳを挟んで、互いに対向している。
【００６３】
なお、第１、及び第２の電極ユニットを対向配置した構成の除電ユニットＳＵｍにおいて、第１の電極ユニットＥＵｄｍ、及び、第２の電極ユニットＥＵｆｍは、図６Ａに示すようにシールド電極５ｇｍ、５ｈｍがイオン生成電極近傍に配置されていない「イオン生成電極露出型」の電極ユニットである。
【００６４】
この理由は次の通りである。現在の当業界において、本発明の形態のようにフィルムＳを挟んで２つの電極ユニットが対向配置されておらず、電極ユニット個別で１つずつ使用する場合が多く、この場合は、図６Ｂに示すように、シールド電極５ｇｍ、及び、５ｈｍをそれぞれイオン生成電極５ｄｍ、イオン生成電極５ｆｍの先端の近傍に配置し、アースに接続することで、シールド電極５ｇｍとイオン生成電極５ｄｍの間、または、シールド電極５ｇｍとイオン生成電極５ｆｍとの間に安定した電位差を与えてイオンを生成するため、シールド電極が必須と考えられている。シールド電極がなければ放電が不安定となり、火花放電が発生するなど実用に耐えないとされてきたからである。
【００６５】
しかし、本発明者らの知見によると、第１の電極ユニットＥＵｄｍ、及び、第２の電極ユニットＥＵｆｍが対向配置されているという本形態においては、対向する第１のイオン生成電極５ｄｍと第２のイオン生成電極５ｆｍとの間には、後述のように、「所定の共通電位」を基準に互いに逆極性の電圧が印加されているため、イオン生成電極５ｄｍとイオン生成電極５ｆｍとの間に安定した電位差が得られ、シールド電極はなくてもよい。図６Ｂに示すように、シールド電極を有する電極ユニットを対向配置した場合でも、前述のように、第１のシールド電極５ｇｍと第１のイオン生成電極５ｄｍの間、及び、第２のシールド電極５ｇｍと第２のイオン生成電極５ｆｍとの間に安定した電位差が得られるため、シールド電極を有する電極ユニットを用いてもよいが、この場合、第１、及び、第２のイオン生成電極から生成したイオンの内訳として、おおよそ、フィルムＳの各面に付着する分と、シールド電極を介してアース等に漏洩する分に分類され、後者に関しては、フィルムＳの各面の除電に寄与しない。言い換えると、無駄なイオンを大量に生成することになってしまう。そのため、電源から各イオン生成電極に供給する出力電流についても、前者、及び、後者の両方に相当する電流を供給する必要があり、大容量の電源が必要となる。よって、このような無駄をなくし、イオン生成電極から生成したイオンの殆どをフィルムＳの各面に付着させ、効率よく（小さな出力電流で）フィルムＳの各面の除電に寄与させるためには、第１、及び、第２の電極ユニットを「イオン生成電極露出型」の電極ユニットとし、第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極をフィルムＳを挟んで対向配置する形態が好ましいのである。これにより、電源は小容量のものでよくなる。
【００６６】
図１０に示すように、電極ユニットにおいてイオン生成電極８ａが多数の針状電極のような部分電極８ａ１、８ａ２、・・などで構成され、フィルムＳの幅方向に隣接する部分電極の間隔ｄ５が小さい場合、フィルムＳの幅方向に隣接する各部分電極に大きな電位差（互いに逆極性の電圧を印加するなど）を付与すると、これらから生成された正、負のイオンが上記イオン生成電極間で結合、中和しやすくなり、フィルムＳの各面に付着するイオン量が減るため、フィルムＳの幅方向に隣接する各部分電極に印加される電圧は「所定の共通電位」（例えば、０［Ｖ］電位のアース）に対して互いに同極性にするなど電位差が小さくなるようにすることが好ましい。これによって、生成された正、負のイオンの結合、中和の影響による電源からの出力電流増加を抑え、小容量の電源で構成できる。また、フィルムＳの幅方向に隣接する部分電極に印加される電圧が「所定の共通電位」に対して、互いに逆極性でも、フィルムＳの幅方向に隣接する部分電極の間隔ｄ５が大きい場合、生成された正、負のイオンの結合、中和の影響は抑えることが出来るが、フィルムＳの幅方向全面に、均一なイオン付着が難しくなるため、やはり、フィルムＳの幅方向に隣接する部分電極の間隔ｄ５を小さくし、フィルムＳの幅方向に隣接する各部分電極に、互いに同極性の電圧を印加することが好ましい。なお、この場合、フィルムＳの幅方向に隣接する部分電極の間隔ｄ５は、除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍より小さくすることが好ましい。また、イオン生成電極は、部分電極の集合体ではなく、単一の導体とするワイヤ電極を用いてもよい。この場合の間隔ｄ５はゼロとみなすものとする。
【００６７】
第１番目の除電ユニットＳＵ１において、第１のイオン生成電極５ｄ１と第２のイオン生成電極５ｆ１とは、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対してそれぞれ互いに逆極性の第１の直流電源５ｃと第２の直流電源５ｅに接続されている。また、第２番目の除電ユニットＳＵ２における第１のイオン生成電極５ｄ２は、第１番目の除電ユニットＳＵ１における第１のイオン生成電極５ｄ１とは「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して逆極性の第２の直流電源５ｅに接続され、第２番目の除電ユニットＳＵ２における第２のイオン生成電極５ｆ２は、第２番目の除電ユニットＳＵ２における第１のイオン生成電極５ｄ２とは「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して逆極性の第１の直流電源５ｃに接続されている。従って、第１番目の除電ユニットＳＵ１における第２のイオン生成電極５ｆ１と、第２番目の除電ユニットＳＵ２における第２のイオン生成電極５ｆ２とは、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して互いに逆極性の直流電源（５ｅおよび５ｃ）に接続されている。
【００６８】
本実施形態においては、除電装置５の各除電ユニットＳＵｍにおいて、第１のイオン生成電極５ｄｍと第２のイオン生成電極５ｆｍとは「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して互いに逆極性の直流電源に接続され、隣接する第ｐ番目と第ｐ＋１番目の除電ユニット（但しｐは１以上ｎ−１以下の整数とする）において、第ｐ番目の除電ユニットＳＵｐにおける第１のイオン生成電極５ｄｐと、第ｐ＋１番目の除電ユニットＳＵｐ＋１における第１のイオン生成電極５ｄｐ＋１とは「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して互いに逆極性の直流電源に接続され、第ｐ番目の除電ユニットＳＵｐにおける第２のイオン生成電極５ｆｐと、第ｐ＋１番目の除電ユニットＳＵｐ＋１における第２のイオン生成電極５ｆｐ＋１とは「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して互いに逆極性の直流電源に接続されている。これによりすべての除電ユニットにおいて、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して、対向する第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極の各電位は互いに逆極性電位を有し、かつ、シートの移動方向に隣接する第１（第２）の各イオン生成電極どうしの電位も、互いに逆極性電位を有する。
【００６９】
本発明者らは、このように、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極に互いに逆極性の電圧を印加した除電ユニットを、フィルムＳの移動方向に２つ以上配置し、各除電ユニットの、フィルムＳの移動方向に隣接する第１のイオン生成電極に、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して互いに逆極性の電圧を印加する形態の場合と、上記のような除電ユニットが１つだけの場合とを同じ条件下で比較すると、以下の効果の違いが得られることを確認した。
（１）前者の場合の方が、後者に比べ、各イオン生成電極からフィルムＳの各面に付着するイオン量が多くなる。
（２）特に、フィルムＳの移動方向の各除電ユニット間隔が、除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍以上２倍以下の場合、各イオン生成電極からフィルムＳの各面に付着するイオン量が多くなる。
【００７０】
この理由は明確ではないが、フィルムＳの移動方向に配置された各除電ユニット間隔によっては、各イオン生成電極近傍の電界に、互いに何らかの影響を及ぼす結果、イオン生成が促進されてフィルムＳの各面へのイオン付着量が増加すると考えられる。一方、フィルムＳの移動方向に配置された各除電ユニット間隔が小さい場合は、各電極ユニットの間の空間において、正、負の生成イオンが結合、中和するため、フィルムＳの各面へのイオン付着量が減少すると考えられ、この２つの作用の最適な範囲が存在する。
【００７１】
このように、フィルムＳの移動方向に２つ以上の除電ユニットを配置し、隣接する第ｐ番目の除電ユニットのイオン生成電極間電位と第ｐ＋１番目（但し、ｐは１からｎ−１までの整数とする）の除電ユニットの、イオン生成電極間電位を互いに逆極性とした場合、フィルムＳの移動方向に隣接する第ｐ番目と第ｐ＋１番目の除電ユニット間隔ｄ２−ｐ［ｍｍ］は、前記各除電ユニットの法線方向電極間距離の最大値の０．８倍以上２倍以下が好ましく、このような形態により、特許文献１〜７に開示された技術では達成することができなかった、フィルムＳの各面における、正負両極性の電荷の効率的な低減、及び、シート各面の均一な電荷の低減が可能となる。各除電ユニットにおいて、フィルムＳの各面へのイオン付着量は、対向する第１と第２のイオン生成電極間電位の差で決まるため、例えば、第１のイオン生成電極に「所定の共通電位」（例えば０［Ｖ］）に対して正の電位を付与し、第２のイオン生成電極をアースし、電位を０［Ｖ］にした場合も、第１と第２のイオン生成電極間電位の差によって、フィルムＳの各面にそれぞれ逆極性のイオンを付着させることが可能であるが、特にすべてのイオン生成電極に対し、「所定の共通電位」を０［Ｖ］としてイオン生成電極間電位を付与することで、シート移動方向に隣接する除電ユニットの各第１（／第２）のイオン生成電極間の電位差により、より多くのイオンをフィルムに付着させることが出来、より好ましい。
【００７２】
本実施の形態では、２個の除電ユニットを使用し、第１番目の除電ユニットにおける第１のイオン生成電極への印加電圧を「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して正（第２のイオン生成電極への印加電圧を負）、第２番目の除電ユニットにおける第１のイオン生成電極への印加電圧を負（第２のイオン生成電極への印加電圧を正）としたが、印加電圧がすべてこの逆であっても、問題ない。さらに、除電ユニット同士のイオン生成電極間電位差が逆極性でありさえすればシートの両面に正負それぞれの電荷を確実に付与できるので十分である。
【００７３】
除電ユニットの全体の個数ｎは、除電したい帯電量（電荷密度）やフィルムの速度等により、２以上の任意の値をとりうる。ただし、その際、正のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数と、負のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数は、概ね等しいことが好ましい。これは、例えば、正のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数が、負のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数よりも多いと、この差分の数の除電ユニットは、除電に寄与するよりもむしろ、フィルムＳの第１の面を正にシフトさせる、帯電の働きが大きくなるためである（但し、この場合も、フィルムＳの各面の帯電は全体にシフトするが、細かな帯電の模様を有する部分には、選択的に多くのイオンが付着するため、細かな帯電の模様を低減する効果がある点については変わりない。また、見かけ上無帯電の状態も保たれる。）。ここで、正のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数と、負のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数が、概ね等しいとは、正のイオン生成電極間電位を付与される除電ユニットの数を、ｎ個の除電ユニットのうち、ｎ／４＜ｋ＜３ｎ／４を満たす整数、ｋ個とすることをいう。これは、たとえフィルムＳの各面の帯電をシフトさせる除電ユニットがあっても、全体の半数以上の除電ユニットは、フィルムＳの各面の帯電をシフトさせず、バランスよく正負両極性のイオンを付着するからである。
【００７４】
最もバランスよく正負両極性のイオンを付着するための機械的構成としては、除電ユニットの個数ｎを偶数とし、ｋ＝ｎ／２であるｋ個の除電ユニットにおいて、正のイオン生成電極間電位を付与し、残りの除電ユニットにおいて、負のイオン生成電極間電位を付与する構成があげられる。
【００７５】
ここで、隣接する除電ユニット同士において、互いのイオン生成電極間電位は、本実施の形態に示すように、互いに逆極性とするのが好ましい。この理由は、前述した、各イオン生成電極からの生成イオン量増加の効果以外に、例えば、同じ１０個の除電ユニットからなる除電装置において、フィルムＳの移動方向の上流５つの除電ユニットにおいて、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して、正のイオン生成電極間電位を付与し、フィルムＳの移動方向の下流５つの除電ユニットにおいて、「所定の共通電位」（ここでは、０［Ｖ］）に対して、負のイオン生成電極間電位を付与した場合、全ての除電ユニットを通過した後のフィルムＳの第１の面が負に帯電しやすくなるためである。この帯電の原因は、フィルムＳの各面へのイオンの付着量が、フィルムＳの各面の帯電量による影響をうけるためで、第１の面が強く正に帯電したフィルムに、負イオンを付着すると、第１の面が無帯電のフィルムに負イオンを付着する場合よりも、負イオンの付着量が多い傾向があるためである（逆の場合も同じ傾向がある）。このため、正負のイオンを交互に付着できるよう、本実施の形態に示すように、隣接する除電ユニット同士において、互いのイオン生成電極間電位は、互いに逆極性とするのが好ましいのである。
【００７６】
ただし、これらの構成をとっていても、全ての除電ユニットを通過した後のフィルムＳの各面が正または負のいずれかの極性にやや強く帯電することがある。原因としては、以下の３点が考えられる。
（１）上述の理由により、フィルムＳの移動方向の最下流の除電ユニットから、フィルムＳの各面に付着するイオンの量が多くなりやすく、フィルムＳの各面がこの極性に帯電する。これは、フィルムＳの移動速度が遅いほど、強い傾向にある。また、電極ユニットにおいて「イオン生成電極露出型」の電極ユニットの場合の方が強い傾向にある。
（２）除電ユニット相互にイオン生成能力の差（例えば、第１番目の除電ユニットにおけるイオンの生成量が少なく、第２番目の除電ユニットにおけるイオンの生成量が多い場合、第２番目の除電ユニットから、フィルムＳの各面に付着するイオンの極性に帯電する）
（３）電源故障などによる個々の除電ユニットの機能停止（機能停止した除電ユニットから、各面に付着するはずであったイオンの極性と、逆極性に帯電する。なお、正直流電源または負直流電源の片側のみが故障した場合も、フィルムＳの片面側からのイオン付着が止まると、あわせて、フィルムＳの逆面側からのイオン付着も抑制されるため、その電源を使用している除電ユニットが機能停止するため、フィルムＳが見かけ上帯電することはほとんどない）
このような場合においても、（除電ユニットのほとんどが機能停止とならない限り）フィルムＳは見かけ上の無帯電状態である。また、フィルムＳの各面には細かな帯電のムラや、周期的な帯電がほとんどなく、フィルムＳの各面が直流的に逆極性に帯電している状態である。
【００７７】
このような帯電状態を持つフィルムであっても、この帯電自体が問題となることはまれである。これは、従来技術で述べたように、塗布ムラや蒸着後のスタチックマークの発現などは、帯電模様等が示すフィルムの局所的な帯電が問題となることが多いためである。
【００７８】
また、全ての除電ユニットを通過した後のフィルムＳの各面が、フィルムＳの移動方向の最下流の除電ユニットがイオン生成電極間電位差を直流電位差とする直流除電ユニットである場合におけるその除電ユニットの各イオン生成電極への「所定の共通電位」を基準にした印加電圧の極性に帯電しやすい場合には、あらかじめ、最下流の第ｎ番目における除電ユニットのイオン生成電極間電位差の絶対値を、他の直流除電ユニットのイオン生成電極間電位差の絶対値より小さくする、最下流の第ｎ番目における除電ユニットＳＵｎの法線方向電極間距離ｄ１−ｎを、他の除電ユニットの法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−（ｎ−１）よりも大きくする、最下流の第ｎ番目における除電ユニットの電極ずれ量を、他の除電ユニットのそれより大きくする、最下流の第ｎ番目を含む、１つ以上の除電ユニットの第１、及び、第２の電極ユニットにおいて、図１０の８Ａに示すような「イオン生成電極露出型」の電極ユニットではなく、図１０の８Ｂに示すようなシールド電極をイオン生成電極近傍に有する電極ユニットを使用するなどして、下流の除電ユニットにおける、フィルムＳの各面へのイオンの付着量を少なくしておくことも可能である。これらは、最下流の除電ユニットのみに対して行ってもよいし、除電ユニットの上流から下流にかけて、徐々に行ってもよい。
【００７９】
本発明者の知見によると、最下流の直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差の絶対値は、他の直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差の絶対値に対して、おおよそ５０〜９０％程度とするのが好ましい。その達成手段として、最下流の第ｎ番目における直流除電ユニットＳＵｎの法線方向電極間距離ｄ１−ｎは、他の直流除電ユニットの法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−（ｎ−１）のおおよそ１１０〜２００％とするのが好ましく、また、最下流の第ｎ番目における直流除電ユニットの電極ずれ量は、法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−（ｎ−１）のおおよそ４０〜１６０％程度が好ましい。これらの達成手段は単独で行っても良いし、組み合わせて行っても良いが、フィルムＳの除電条件（例えば、移動速度やフィルム厚みなど）毎にフィルムＳの各面の背面平衡電位を測定し、適宜調整するのが好ましい。
【００８０】
直流のイオン生成電極間電位差を付与される、２つ以上の除電ユニットの下流に、さらに、図７に示すように、フィルムＳを挟んで対向して配置され、互いに逆極性の交流電圧を交流電源５ｋ、５ｌより印加される第１の交流イオン生成電極５ｉと第２の交流イオン生成電極５ｊとを有する交流除電ユニットを１つ以上配置し、あえて、フィルムＳの各面に正負の弱い帯電ムラをつくることにより、フィルムＳの各面の帯電が片極性に偏らないようにする（フィルムＳの移動方向に平均すると、各面とも正負バランスがとれた状態にする）ことも可能である。
【００８１】
特に、フィルムＳの移動開始直後や、停止直前などフィルムＳの移動速度が遅い場合、あるいは、フィルムＳの厚みが厚い場合は積極的に交流除電ユニットを使用するのが好ましい。これは、直流電圧を用いた場合、前述したように、フィルムＳの移動速度が遅くなるほど、また、フィルムＳの厚みが厚いほど、フィルムＳの各面が正負どちらか片極性に帯電とかしたり、特にフィルムＳの移動方向の最下流に配置されたイオン生成電極から付着するイオンの極性に帯電したりする傾向があるのに対し、交流除電ユニットを用いれば、片極性に帯電せず、フィルムＳの移動方向に平均すると、フィルムＳの両面とも正負バランスがとれた状態にすることが可能であるためである。
【００８２】
フィルムＳの移動方向の最下流に交流除電ユニットを備えることにより、フィルムＳの移動速度が遅い範囲、あるいは、フィルムＳの厚みが厚い場合は、交流除電ユニットにおけるイオン生成電極にのみ交流のイオン生成電極間電位差を付与し、フィルムＳの移動方向の上流に備えた直流除電ユニットにおけるイオン生成電極への直流のイオン生成電極間電位差の付与は停止する、または、フィルムＳの移動速度が遅くなるに従って、直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差を降下させる、フィルムＳの厚みが厚くなるに従って、直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差を降下させる、フィルムＳの移動速度がある範囲以上であれば、直流除電ユニット、交流除電ユニットのそれぞれにおいてイオン生成電極間電位差を付与するなどの駆動方法も可能である。
【００８３】
また、直流電源の故障などにより、フィルムＳの各面が片極性に帯電（フィルムＳの各面は逆極性に帯電し、見かけ上は無帯電）した場合でも、最下流に交流除電ユニットを備えることにより、フィルムＳの各面の片極性の帯電を低減することも可能であるため、直流除電ユニットより下流に交流除電ユニットを備えることが好ましい。
【００８４】
更に、（特に「イオン生成電極露出型」の電極ユニットの場合、顕著であるが）各除電ユニットの第１、及び、第２のイオン生成電極が針状構造の部分電極の場合、フィルムＳの各面において、フィルムＳの幅方向に生成イオンの付着ムラが発生する場合がある。この理由は、次の通りと考えられる。
（１）対向配置された第１及び第２のイオン生成電極間の電界が強く、特に、対向する針状部分電極直下の電界が強いため、生成したイオンは針状部分電極直下のフィルムＳの各面に加速、付着しやすい。
（２）フィルムＳの幅方向に複数配列された隣接する針状部分電極どうしの間の範囲は、各針状部分電極直下よりも電界が弱まるため、生成イオンの加速力が弱まり、フィルムＳの各面への付着イオン量が少なくなる。
（３）特に、「イオン生成電極露出型」の電極ユニットの場合は、対向するイオン生成電極間の針状部分電極の中間点近傍の電界が強いため、各針状部分電極の中間点近傍と、隣接する針状部分電極どうしの間の範囲、つまり、フィルムＳの各面の幅方向におけるイオン付着量のムラがより一層大きくなる。
このような場合も、最下流に交流除電ユニットを備えることにより、フィルムＳの幅方
向のイオン付着ムラを緩和出来るため、直流除電ユニットより下流に交流除電ユニットを備えることが好ましい。さらには、下流に備える交流除電ユニットの電極ユニットには、図１０の８Ａに示すような「イオン生成電極露出型」の電極ユニットではなく、図１０の８Ｂに示すようなイオン生成電極の近傍にシールド電極を有する電極ユニットを使用する方が、フィルムＳの各面に対し、フィルムＳの幅方向に大きなムラなくイオンを付着させることが可能であるため、フィルムＳの移動方向の下流に配置する交流除電ユニットには図１０の８Ｂに示すようなイオン生成電極の近傍にシールド電極を有する構成の電極ユニットを用いる方が、より好ましい。シールド電極を用いるときは、シールド電極には所定の共通電位（ここでは、０［Ｖ］の電位）を付与するのがよい。なお、本発明における除電装置に印加する直流電圧絶対値としては、所定の共通電位を０［Ｖ］とした場合３ｋＶ以上１５kＶ以下程度、法線方向電極間距離は、１０ｍｍ以上１００ｍｍ以下が好ましく、各除電ユニットのイオン生成電極の先端は、完全対向、すなわち、シートの移動方向にずれなく対向していることが最も好ましい。但し、前述のように、フィルムＳの移動方向に配置した全ての直流除電ユニットを通過後のフィルムＳの各面において、正負どちらか片極性に帯電する場合は、最下流の直流除電ユニットの電極ずれ量を調整し、フィルムＳの各面の正負の帯電をバランスさせてもよい。
【実施例】
【００８５】
以上の除電装置を用いて、フィルムの除電を行った結果を説明する。
【００８６】
実施例および比較例における除電の効果は、次の方法により評価された。
[フィルムの各面の背面平衡電位、および、電荷密度の測定方法]
フィルムの被評価面とは逆の面を、直径１０ｃｍのハードクロムメッキロールからなる金属ロールに密着させ、電位を測定した。電位計として、モンロー社製モデル２４４を、そのセンサとして、開口部直径１．７５ｍｍを有するモンロー社製プローブ１０１７を用いた。電位計をフィルム上２ｍｍの位置に置いた。この位置での視野は、モンロー社カタログより、直径約６ｍｍの範囲である。金属ロールをリニアモータを使用し、約１ｍ／分の低速で回転させながら、電位計で背面平衡電位Ｖｆ［単位：Ｖ］を測定した。
【００８７】
また、次の方法で、背面平衡電位の絶対値の面内の最大値を求めた。すなわち、フィルム幅方向に、電位計を電極ユニット構造に応じた適当な距離（たとえば２０ｍｍ程度）だけスキャンさせて、絶対値の最大値が得られる幅方向の位置を決める。次いで、幅方向の位置を固定して、電位計をフィルムが除電処理されたときのフィルムの移動方向、すなわち、フィルムの長さ方向にスキャンさせて電位を測定する。フィルム面内の背面平衡電位は、２次元的にすべてのポイントを測定するのが理想であるが、前述の方法で、フィルム面内の電位の分布を近似する。フィルム幅が１ｍを越す場合には、フィルムの幅方向のほぼ中央部と端部において、２０ｍｍ程度を切り出し、スキャンさせ、最大値が得られる場所を探し、その後、フィルムが除電処理されたときのフィルムの移動方向に、スキャンさせて、電位を測定する。また、除電前のフィルムの幅方向の特定位置に、局所的に強い帯電箇所が見られた場合、除電前後のフィルムに対し、その幅方向の位置において、フィルムの移動方向に、スキャンさせて、電位を測定する。これにより、フィルム面内の絶対値の最大値を求めた。
【００８８】
この絶対値の最大値である背面平衡電位Ｖｆ［単位：Ｖ］により、センサ直下のフィルム被評価面の電荷密度σ［単位：Ｃ／ｍ２］を、関係式σ＝Ｃ×Ｖｆ（ただし、Ｃは、単位面積当たりの静電容量［単位：Ｆ／ｍ２］）により求めた。フィルム厚さが、測定視野より十分小さいことから、単位面積当たりの静電容量Ｃは、平行平板の静電容量Ｃ＝ε０×εｒ／ｄｆ（ただし、ｄｆは、フィルムの厚さ、ε０は真空中の誘電率８．８５４×１０−１２Ｆ／ｍ、εｒはフィルムの比誘電率）で近似した。ポリエチレンテレフタレートの比誘電率εｒは、３とした。
【００８９】
本実施例においてフィルムの各面の除電の効果を判定するに当たっては、以下の２つの観点から判定を行っている。
（１）除電前に、フィルムの各面（表面と裏面、あるいは、第１の面と第２の面）が、ともに正負に強く（かつ、両面が逆極性に）帯電していたフィルムにおいて、除電後の電荷密度の振れ幅を、大幅に低減できるか。
本判定には、除電前にフィルムの各面が振れ幅１９０μＣ／ｍ２以上の電荷密度で逆極性に帯電しているもの、及び、除電前にフィルムの各面が振れ幅７６０μＣ／ｍ２以上の電荷密度で逆極性に帯電しているものを使用し、以下の判定基準に従って判定する。
◎：除電後の電荷密度の振れ幅が３０μＣ／ｍ２以下のもの。
○：除電後の電荷密度の振れ幅が３０μＣ／ｍ２以上であるが、除電前後で３０μＣ／ｍ２以上低下しているもの。
×：除電前後での振れ幅の低下が３０μＣ／ｍ２より小さいもの。
【００９０】
電荷密度の振れ幅の基準を３０μＣ／ｍ２としたのは、従来の除電技術による除電である「見かけ上の除電」においては、両面両極性帯電の電荷密度の低下が、ゼロ、もしくは、高々絶対値で１μＣ／ｍ２であり、これよりも大きな量の電荷を除電できることが明確であることによる。
（２）除電前に、フィルムの各面が実質的に無帯電であったフィルムにおいて、除電後のフィルムに過剰な帯電を発生させないか。
本判定には、除電前に、フィルムの各面の電荷密度の絶対値が３０μＣ／ｍ２以下であったものを使用し、以下の４段階で判定を行う。
◎：除電後の電荷密度の絶対値が３０μＣ／ｍ２以下で、電荷密度の振れ幅が６０μＣ／ｍ２以下のもの。かつ、背面平衡電位の絶対値が１００Ｖ以下のもの。
○：除電後の電荷密度の絶対値が１００μＣ／ｍ２以下で、電荷密度の振れ幅が６０μＣ／ｍ２以下のもの。かつ、背面平衡電位の絶対値が１００〜３００Ｖのもの。
△：除電後の電荷密度の絶対値が１００μＣ／ｍ２以下で、電荷密度の絶対値の振れ幅が６０μＣ／ｍ２より大きく、９０μＣ／ｍ２以下のもの。かつ、背面平衡電位の絶対値が３００Ｖより大きいもの。
×：除電後の電荷密度の絶対値が１００μＣ／ｍ２以上、および／または、電荷密度の絶対値の振れ幅が９０μＣ／ｍ２より大きいもの。
＜実験１：「イオン生成電極露出型」と、「シールド型」との間でのシートの帯電部分の除電能力とシートの無帯電部分への無影響の比較、及び、直流除電ユニットと交流除電ユニットを用いた場合のシートの帯電部分の除電能力とシートの無帯電部分への無影響の比較＞
［実施例１−１］
図１３に示される除電装置において、電気絶縁性シートＳとして、幅３００ｍｍ、厚さ３８μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー３８Ｓ２８  以下、原反Ａという）を用い、表１に示される速度ｕ［単位：ｍ／分］でフィルムＳを移動させた。原反Ａには、帯電量の大きさの異なる２種類の原反Ａ−１と原反Ａ−２があり、それぞれには、除電前に、図８に示すように、幅１０ｍｍの範囲に周期的な帯電があった。原反Ａ−１の周期的帯電部の帯電（図８のＡ−Ａ’の部分）の背面平衡電位は、図９に示すとおり、０Ｖを中心にピークピーク２７０Ｖ（各面の電荷密度の振れ幅は１９０μＣ／ｍ２）であり、原反Ａ−２の周期的帯電部の帯電（図８のＡ−Ａ’の部分）の背面平衡電位は、０Ｖを中心にピークピーク１０８０Ｖ（各面の電荷密度の振れ幅は７６０μＣ／ｍ２）であった。なお、周期的帯電部における正帯電部の背面平衡電位の絶対値のピーク部と、負帯電部の背面平衡電位の絶対値のピーク部との間隔は、おおよそ１〜１０ｍｍの間で混在している。また、帯電部分（幅１０ｍｍの部分）以外のフィルムＳの部分の背面平衡電位は、原反Ａ−１、原反Ａ−２とも絶対値で１５Ｖ以下（各面の電荷密度は−１０〜＋１０μＣ／ｍ２の範囲内）であり、ほぼ無帯電であることを確認した。
【００９１】
第１および第２の電極ユニットとしては、ＨＥＲ型電極（春日電機株式会社製）を使用し、図１０に示されるように、イオン生成電極５ｄ１〜５ｄｎ、イオン生成電極５ｆ１〜５ｆｎが針電極列８ａ（部分電極８ａ１、８ａ２、・・・の集合体）であり、シールド電極８ｂを有しない「イオン生成電極露出型」の電極ユニット８Ａ、及び、シールド電極８ｂをイオン生成電極近傍に有する「イオン生成電極露出型」でない電極ユニット８Ｂを併用した。この針電極列８ａの、フィルムＳの幅方向の間隔ｄ５は電極ユニット８Ａ、８Ｂともに、１０ｍｍであり、各電極ユニットの全ての針は導通状態、つまり、同じ電圧が印加され、同じ電位を有する状態である。イオン生成電極近傍にシールド電極を有する「イオン生成電極露出型」でない電極ユニット８Ｂに関しては、針電極列８ａとシールド電極８ｂは絶縁材料（塩化ビニル）８ｄ、８ｅで互いに絶縁されている。直流除電ユニットの総数ｎは６（後述の交流除電ユニットも含めると総数ｎは８）とし、フィルムＳの移動方向の上流６つの除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６は、「イオン生成電極露出型」の電極ユニット８Ａを用い、下流の２つのユニットＳＵ７、ＳＵ８は「イオン生成電極露出型」でない電極ユニット８Ｂを使用した。第１および第２の電極ユニットを、フィルムＳの移動方向に対して直交するように、かつ、フィルムＳの面と平行になるように、フィルムＳを挟んで、上下に設置し、除電ユニットとした。第１および第２の電極ユニットにおいて、針の先端のフィルム移動方向および幅方向位置はそれぞれ同じとした。但し、フィルムＳの移動方向の上流に配置した除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６のうち最下流の第６番目の除電ユニットＳＵ６に関してのみ、電極ずれ量ｄ０−６が２５ｍｍになるようフィルムＳの移動方向に第２の電極ユニットＥＵｆ６をフィルムＳの移動方向にずらして配置し、その他の除電ユニットは電極ずれ量ｄ０−ｎ（ｎ＝１、２、３、４、５、７、８）が０ｍｍになるように配置した。
【００９２】
各針電極列の針の先端、すなわち各除電ユニットの各イオン生成電極の先端は、フィルムＳの幅方向に直線状に並び、法線方向およびフィルムＳの移動方向に対する電極のたわみは、無視出来るほど小さかった。
【００９３】
法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−８は、全て４０ｍｍとし、除電ユニット間隔ｄ２−１〜ｄ２−４は、全て４０ｍｍ、ｄ２−５、ｄ２−６は５２．５ｍｍ、ｄ２−７は５５ｍｍとした。
【００９４】
フィルムＳの移動方向に対して上流に配置した６つの各除電ユニットにおいて、対向する第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極には、所定の共通電位（ここでは０［Ｖ］）に対して、互いに逆極性で、その絶対値の差は０．１ｋＶ以下である直流電圧を印加した。フィルムＳの移動方向最上流から奇数（第１，３，５）番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極に正の直流電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が正極性となるようにし、フィルムＳの移動方向最上流から偶数（第２，４，６）番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極に負の直流電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が負極性となるようにした。印加電圧の絶対値の時間平均値は、それぞれ８ｋＶ、つまり、各除電ユニットにおいてイオン生成電極間電位差の絶対値が１６kVになるようにした。脈動成分は、脈動率が正の直流電圧、負の直流電圧ともに０．１％以下ののこぎり波である。この脈動は、直流電圧を得るために６０Ｈｚの商用交流を整流し、平滑化していることに起因するものである。直流電圧の印加には、２台（正電圧印加用、負電圧印加用各１台）のファンクションジェネレータ（ともにＮＦ株式会社製ファンクションシンセサイザ１９１５）からの直流電圧出力を、２台（正電圧増幅用、負電圧増幅用各１台）の高圧電源（ともにＴＲｅｋ株式会社製ＭＯＤＥＬ２０／２０Ｂ）で増幅したものを使用した。また、直流印加電圧の脈動率は、電圧増幅前の波形をオシロスコープ（日本ヒューレットパッカード株式会社５４５４０Ｃ）確認し、０．１％であった。高圧電源の増幅率は、２０００倍であり、精度は０．１％である。
【００９５】
また、フィルムＳの移動方向に対して下流に配置した２つの各除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８において、対向する第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極には、所定の共通電位（ここでは０［Ｖ］）に対して、互いに逆極性の６０Ｈｚの交流電圧を交流高圧電源５ｋ、及び、５ｌ（春日電機株式会社製ＰＡＤ−１０１型）より印加し、その実効値は７ｋＶとした。またフィルムＳの移動方向に隣接する第１のイオン生成電極５ｄ７、５ｄ８には互いに逆極性の６０Ｈｚの交流電圧を印加し、その実効値は７ｋＶとした。
【００９６】
フィルムＳの移動方向の下流に配置した２つの除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８における各交流電極ユニットのシールド電極５ｇ７、５ｇ８、５ｈ７、５ｈ８は、全てアースに接地し、電位は０［Ｖ］である。２つの交流用除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８の各電極ユニットのシールド電極の開口幅ＳＯｇ７〜ＳＯｇ８、及び、ＳＯｈ７〜ＳＯｈ８は全て１８ｍｍ、各イオン生成電極の先端とシールド電極の最短距離は全て１２ｍｍ、フィルムＳは、各除電ユニットにおける第１および第２のイオン生成電極間の略中央を通るようにした。
除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−１および原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲［単位：μＣ／ｍ２］、とそれぞれの判定結果を表１に示す。
［比較例１−１］
図１１に示される除電装置６において、電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−１、及び、原反Ａ−２を用い、表１に示される速度ｕ［単位：ｍ／分］でフィルムＳを移動させた。
【００９７】
第１および第２の電極ユニットとしては、すべて図１２に示される針電極列７ａを備えたイオン生成電極を有する電極ユニット７を使用した。この針電極列７ａのフィルムＳの幅方向の間隔ｄＳは、１２．７ｍｍであった。針電極列７ａとシールド電極７ｂは絶縁材料（テフロン(登録商標)）７ｄで互いに絶縁されている。この第１および第２の電極ユニットを、フィルムＳの移動方向に対して直交するように、かつ、フィルムＳの面と平行になるように、フィルムＳを挟んで、上下に設置し、除電ユニットとした。第１および第２の電極ユニットにおいて、針の先端のフィルムＳの移動方向および幅方向位置はそれぞれ同じとした。除電ユニットの総数ｎは、８とした。
【００９８】
各針電極列の針の先端、すなわち各電極ユニットの各イオン生成電極の先端は、フィルムＳの幅方向に直線状に並び、電極のたわみは、無視出来るほど小さかった。
【００９９】
法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−８は、全て２５ｍｍとし、除電ユニット間隔ｄ２−１〜ｄ２−７は、全て３０ｍｍとし、各除電ユニットにおける針先端のフィルムＳの幅方向位置は、同じとした。
各除電ユニットの、第１のイオン生成電極同士は全て同相とし、全除電ユニットの第２のイオン生成電極同士も全て同相とし、第１および第２のイオン生成電極に接続する電源６ｃ、６ｅには、実効電圧４ｋＶ、周波数６０Ｈｚの交流電源を用い、互いに位相が逆になるよう、電源内部の昇圧トランスの入力を切り替えた。全除電ユニットの第１、及び第２の電極ユニットにおけるシールド電極７ｂは、全て接地した。フィルムＳは、各除電ユニットにおける第１および第２のイオン生成電極間のおおよそ中央を通るようにした。
【０１００】
除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−１、及び原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲［単位：μＣ／ｍ２］とそれぞれの判定結果を表１に示す。
［比較例１−２］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−１、及び、原反Ａ−２を用い、表１に示される速度ｕ［単位：ｍ／分］でフィルムＳを移動させた。第１および第２の電極ユニットとしては、春日電機株式会社製ＨＥＲ型電極を使用し、図１０に示されるように、イオン生成電極５ｄ１〜５ｄｎ、イオン生成電極５ｆ１〜５ｆｎが針電極列８ａであり、シールド電極を有する、「イオン生成電極露出型」でない電極ユニット８Ｂを使用した。除電ユニットの総数ｎは、８とし、全ての除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ８は、シールド電極を有する、「イオン生成電極露出型」でない電極ユニットで構成されている。第１および第２の電極ユニットにおいて、針の先端のフィルムＳの移動方向および幅方向位置はそれぞれ同じとした。除電ユニット間隔ｄ２−１〜ｄ２−７は、全て５５ｍｍとした。法線方向電極間距離ｄ１−１〜ｄ１−８は、全て４０ｍｍとした。
【０１０１】
全ての除電ユニットにおいて、対向する第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極には、所定の共通電位（ここでは０［Ｖ］）に対し、互いに逆極性で、その絶対値の差は０．１ｋＶ以下である直流電圧を印加した。フィルムＳの移動方向の最上流から奇数（第１，３，５、７）番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極に正の直流電圧を印加してイオン生成電極間電位差が正極性になるようにし、フィルムＳの移動方向の最上流から偶数（第２，４，６、８）番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極に負の直流電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が負極性になるようにした。印加電圧の絶対値の時間的平均値は、それぞれ８ｋＶ、つまり、イオン生成電極間電位差の絶対値が１６kVになるようにした。なお、交流電圧は印加せず、８つの除電ユニットのイオン生成電極には全て直流電圧を印加した。また、８つ全ての除電ユニットの第１、及び、第２のイオン生成電極は対向しており、全ての除電ユニットにおける電極ずれ量ｄ０−１〜ｄ０−８が０ｍｍになるよう配置した。
【０１０２】
全ての除電ユニットにおける各電極ユニットのシールド電極５ｇ１〜５ｇ８、５ｈ１〜５ｈ８は、全て接地して電位を０Ｖとし、各除電ユニットの各電極ユニットのシールド電極の開口幅ＳＯｇ１〜ＳＯｇ８、及び、ＳＯｈ１〜ＳＯｈ８は全て１８ｍｍ、各イオン生成電極の先端とシールド電極の最短距離は全て１２ｍｍ、フィルムＳは、各除電ユニットにおける第１および第２のイオン生成電極間の略中央を通るようにした。その他の条件は、実施例１−１と同じとした。除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−１、及び、原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲、とそれぞれの判定結果を表１に示す。
［比較例１−３］
比較例１−２の構成で、第６番目の除電ユニットＳＵ６における電極ずれ量ｄ０−６が２５ｍｍになるようフィルムＳの移動方向に第２の電極ユニットＥＵｆ６をフィルムＳの移動方向にずらして配置し、その他の除電ユニットは電極ずれ量ｄ０−ｎ（ｎ＝１、２、３、４、５、７、８）が０ｍｍになるように配置した。また、フィルムＳの移動方向に対して下流に配置した２つの各除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８において、対向する第１のイオン生成電極と第２のイオン生成電極には、互いに逆極性の６０Ｈｚの交流電圧を交流高圧電源（春日電機株式会社製ＰＡＤ−１０１型）より印加し、その実効値は７ｋＶとした。またフィルムＳの移動方向に隣接する第１のイオン生成電極５ｄ７、５ｄ８には互いに逆極性の６０Ｈｚの交流電圧を印加し、その実効値は７ｋＶとした。その他の条件は、比較例１−２と同じとした。除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−１、及び、原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲、とそれぞれの判定結果を表１に示す。
【０１０３】
【表１】
2007115559.tif 000003
【０１０４】
※１  帯電部電位の振れ幅には、無帯電部の帯電によるオフセット分は含まない
※２  比較例１−１、速度２２０ｍ／分において、帯電部分の電荷密度は振れ幅が大きい部位と、小さい部位とが約６０ｍｍ周期であらわれたため、振れ幅の大きい部位における振れ幅と、振れ幅の小さい部位における振れ幅との両方の値を示す。
［実験１のまとめ］
表１の通り、実施例１−１においては、どの速度においても、帯電部の各面の電荷密度は（速度上昇とともに若干その低減量が低下するが）大幅に低下しており、無帯電部の新たな帯電もごくわずかである。一方、交流除電ユニットを主体とした比較例１−１においては、帯電部の電荷密度を大きく低下させ、無帯電部の新たな帯電も抑制できる速度条件はあるが、速度によっては、帯電部の電荷密度の低下が少ない部分が見られたり、大幅に無帯電部を帯電させる速度があることが判る。このため、比較例１−１においては、幅広い速度範囲において、帯電部の電荷密度低下と、無帯電部の新たな帯電抑制を両立することはできなかった。また、実施例１−１とシールド型の除電ユニットを用いた比較例１−２、及び、比較例１−３から、同数の８つの除電ユニットで構成しても、実施例１−１の方が除電能力が格段に向上しているのが判る。これは、シールド電極を有しないため、生成したイオンがシールド電極を介してアースに漏洩するのが防止され、生成した殆どのイオンがフィルムＳの各面に付着すること、及び、シールド電極を有する場合に比べ、対向するイオン生成電極間の電界が強くなり、生成したイオンにおいて、フィルムＳの法線方向への加速力が強くなり、たくさんのイオンがフィルムＳの各面に付着することが理由であると考える。なお、無帯電部分への新たな帯電に関しては、どちらの場合も問題ないレベルである。また、電源から供給されるイオン生成電極への出力電流も、実施例１−１の方が、比較例１−２の場合の半分以下となり、電源の出力電流容量も小さくて済む。＜実験２：隣接する除電ユニット同士のイオン生成電極間電位差の極性や除電ユニット間隔の除電能力への影響の実証＞
［実施例２−１］
実施例１−１の構成で、シールド電極を有しない除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６において、除電ユニット間隔ｄ２−１〜ｄ２−４は、全て３０ｍｍとし、ｄ２−５、ｄ２−６は４２．５ｍｍ、その他は実施例１−１と同じにした。除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲、とそれぞれの判定結果を表２に示す。
［実施例２−２］
実施例１−１の構成で、シールド電極を有しない除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６において、除電ユニット間隔ｄ２−１〜ｄ２−４は、全て７０ｍｍとし、ｄ２−５、ｄ２−６は８２．５ｍｍ、その他は実施例１−１と同じにした。除電されたフィルムＳの帯電分布について、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べ、電荷密度を求めた。原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲、とそれぞれの判定結果を表２に示す。
【０１０５】
【表２】
2007115559.tif 000004
【０１０６】
［実験２のまとめ］
表２に示す、除電ユニット間隔が異なる実施例１−１、２−１、２−２から、フィルムＳの移動方向に隣接するイオン生成電極間電位差が逆極性の場合は、フィルムＳの移動方向に隣接する除電ユニット間隔が、各除電ユニットの法線方向電極間距離の０．８倍よりも小さい場合、各イオン生成電極から生成したイオンが、フィルムＳを挟んで同一面側に配置され、フィルムＳの移動方向に隣接するイオン生成電極から生成する逆極性イオンと結合、中和しやすく、その分フィルムＳの各面に付着するイオン量が減ってしまうために、フィルムＳの移動方向に隣接する除電ユニット間隔は、各除電ユニットの法線方向電極間距離よりも大きい方が除電能力が高いことが確認される。実施例２−２のように除電ユニット間隔を大きくすると、実施例１−１に比べて若干除電能力が低下するが、問題ないレベルである一方、装置のシート移動方向の寸法が大きくなるため、装置の設置スペースを十分確保する必要がある。なお、無帯電部分への新たな帯電に関しては、どちらの場合も問題ないレベルである。
＜実験３：除電ユニット間隔と法線方向電極間距離の関係の除電能力への影響の実証＞
［実施例３−１］
実施例１−１の構成で、シールド電極を有しない「イオン生成電極露出型」の電極ユニットで構成された除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６において、ＳＵ１、ＳＵ２以外の除電ユニットに関しては、直流電圧印加を停止して、イオン生成電極間電位差を０Ｖとした。また、交流除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８に関しても、交流電圧印加を停止した。その他は実施例１−１と同じにした。なお、各電極ユニットのシート幅方向の長さは約５００ｍｍであり、そのうち、イオン生成電極が配置されている長さは、約４００ｍｍである。この状態で、除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２の除電ユニット間隔ｄ２−１を変動パラメータとして、原反Ａ−２を１０ｍ／分の速度で移動させ、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）に対し、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べた結果、及び、使用した直流電源に付随する出力電流メーターの指示値を調べた結果を図１４に示す。
【０１０７】
［実験３のまとめ］
図１４の結果から、除電ユニット間隔は、法線方向電極間距離（４０ｍｍ）付近が最も背面平衡電位の絶対値が大きくなり、言い換えると、フィルム表面へのイオン付着量が多くなり、除電ユニット間隔を更に大きくしていくと、多少背面平衡電位の絶対値、つまり、イオン付着量が低下するが、ほぼ一定のイオン付着量が得られる。また、除電ユニット間隔を小さくしていくと、背面平衡電位の絶対値、つまり、イオン付着量が低下していく一方で、直流電源からの出力電流が大幅に増加する、つまり生成イオンのフィルム表面への付着効率が悪化するため、好ましくないといえる。
＜実験４： イオン生成電極露出型とシールド型とのイオン付着効率の比較＞
［参考例１−１］
実施例３−１の構成で、「イオン生成電極露出型」の電極ユニットで構成される第１番目の除電ユニットのみを使用し、その他の除電ユニットにおける各イオン生成電極には直流電圧の印加を停止し、除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２の除電ユニット間隔ｄ２−１は、４０ｍｍで一定とした。また、対向するイオン生成電極の間にフィルムが存在しない部位におけるイオン生成電極（各部分電極）の部分については、そこから生成するイオンが対向するイオン生成電極に到達しないよう、全てフィルムを被せておいた。その他は実施例３−１と同じとした。この状態で、原反Ａ−２を１００ｍ／分の速度で移動させ、第１番目の除電ユニットにおける各イオン生成電極への直流印加電圧の絶対値の時間的平均値を変動パラメータとして、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）に対し、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べた結果、及び、使用した直流電源に付随する出力電流メーターの指示値を調べた結果を図１５に示す。
［参考例１−２］
参考例１−１の構成で、「イオン生成電極露出型」の電極ユニットで構成される第１番目の除電ユニットの各電極ユニットをシールド電極を有する、「イオン生成電極露出型」でない電極ユニットで構成した。シールド電極の配置は、比較例１−２に記載の配置とした。その他の条件は、参考例１−１と同じとした。この状態で、原反Ａ−２を１００ｍ／分の速度で移動させ、第１番目の除電ユニットにおける各イオン生成電極への直流印加電圧の絶対値の時間的平均値を変動パラメータとした際、原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）に対し、上記測定方法に基づいて第１の面の背面平衡電位を調べた結果、及び、使用した直流電源に付随する出力電流メーターの指示値を調べた結果を図１６に示す。
［実験４のまとめ］
図１５、図１６を比較すると、同じイオン生成電極間電位差であっても、「イオン生成電極露出型」の電極ユニットで構成した除電ユニットを用いる方が、アースされたシールド電極からの漏れ電流がなくなるため、電源からイオン生成電極に供給する出力電流が少ない状態で、約３０％の背面平衡電位（つまり、フィルム表面へのイオン付着量）の増加が可能となり、フィルム表面へのイオン付着効率、及び、電源容量の小型化が実現できるため、好ましいといえる。
【０１０８】
＜実験５：様々な実施形態におけるシートの無帯電部分の残留帯電量の比較＞
［実施例５−１］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例１−１の構成において下流に配置された２つの除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８に対し、第１、及び、第２のイオン生成電極への交流電圧印加を停止した。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−２］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例５−１の構成において、フィルムＳの移動方向における第６番目に配置された除電ユニットＳＵ６の電極ずれ量ｄ０−６を０ｍｍ、除電ユニット間隔ｄ２−５、ｄ２−６を４０ｍｍとし、その他は実施例５−１と同じ条件とした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−３］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例５−２の構成において、フィルムＳの移動方向の第６番目の除電ユニットＳＵ６の第１のイオン生成電極５ｄ６と第２のイオン生成電極５ｆ６に印加する直流印加電圧の絶対値の時間的平均値を５kＶとした以外は、実施例５−２と同じとした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−４］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例５−２の構成において、フィルムＳの移動方向の第６番目の除電ユニットＳＵ６の法線方向電極間距離ｄ１−６のみ６０ｍｍとした以外は、実施例５−２と同じとした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−５］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１―１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、フィルムＳの移動方向の最上流の２つの除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２の電極ユニットはシールド電極を有しない「イオン生成電極露出型」の電極ユニットとし、他の除電ユニットＳＵ３〜ＳＵ８はシールド電極を有する「イオン生成電極露出型」でない電極ユニットとし、その他は実施例５−２と同じとした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−６］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例５−２の構成において、フィルムＳの移動方向の下流に配置した２つの除電ユニットＳＵ７、ＳＵ８に対し、第１、及び、第２のイオン生成電極へ交流電圧を印加し、かつ、フィルムＳの移動方向の最上流から２つの除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２の各イオン生成電極への直流電圧印加を停止し、その他は実施例５−２と同じ条件とした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実施例５−７］
電気絶縁性シートＳとして、実施例１−１と同じ帯電を施した原反Ａ−２を用い、実施例１−１の構成において、フィルムＳの移動方向の最上流から２つの除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２の各イオン生成電極への直流電圧印加を停止し、その他は実施例１−１と同じ条件とした。この状態で、フィルムＳを１００ｍ／分で移動させ除電した後の原反Ａ−２の無帯電部分（帯電部分以外の部分）の電荷密度の範囲と判定結果を表３に示す。
［実験５のまとめ］
６つの同数の除電ユニットを用いてフィルムＳを除電しても、実施例５−２のように、問題ないレベルではあるが帯電が大きくなる場合があり、これに対し、実施例５−１、５−３〜５−７のようにフィルムＳの移動方向に配置した除電ユニットのうち下流の除電ユニットに対して、交流電圧を印加する、電極ずれ量を確保する、シールド電極を有する「イオン生成電極露出型」でない電極ユニットを配置する、直流印加電圧を下げる、法線方向電極間距離を大きくするなど、フィルムＳの各面へのイオン付着量を下げる工夫を施すことにより、フィルムＳの無帯電部分への新たな帯電のレベルを良化することが可能であることが確認できる。
【０１０９】
【表３】
2007115559.tif 000005
【０１１０】
＜実験６：各除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差の極性の配置による除電能力およびシートの無帯電部分への残留帯電量の比較＞
［実施例６−１］
フィルムＳの移動方向の上流から第１、２、３、４番目の除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ４の第１のイオン生成電極には直流の正電圧を印加した、イオン生成電極間電位差が正の状態とし、第５、６番目の除電ユニットＳＵ５、ＳＵ６の第１のイオン生成電極には直流の負電圧を印加した、イオン生成電極間電位差が負の状態とし、第７番目の除電ユニットＳＵ７、及び第８番目の除電ユニットＳＵ８の各イオン生成電極への交流電圧印加を停止した点以外は、実施例１―１と同じとした。フィルムＳを１００ｍ／分で移動させた時の原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分の電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表４に示す。
【０１１１】
なお、表４の「イオン生成電極間電位差の極性」の箇所には、フィルムＳの移動方向の上流から順に、表記の左側から右側に示したものである。例えば、「＋＋＋＋――――」という表記は、フィルムＳの移動方向の最上流から第４番目の除電ユニットまでは、イオン生成電極間電位差が正極性であり、以降（第５番目から第８番目）の４本の除電ユニットは、イオン生成電極間電位差が負極性であることを意味する。
［実施例６−２］
フィルムＳの移動方向の上流から第１、２、５番目の除電ユニットＳＵ１、ＳＵ２、ＳＵ５の第１のイオン生成電極には正電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が正極性となるようにし、第３、４、６番目の除電ユニットＳＵ３、ＳＵ４、ＳＵ６の第１のイオン生成電極には負電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が負極性となるようにした以外は実施例６−１と同じとした。フィルムＳを１００ｍ／分で移動させた時の原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分の電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表４に示す。
［実施例６−３］
フィルムＳの移動方向の上流から第１、６番目の除電ユニットＳＵ１、ＳＵ５の第１のイオン生成電極に正電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が正極性となるようにし、第２、３、４、５番目の除電ユニットＳＵ２、ＳＵ３、ＳＵ４、ＳＵ５の第１のイオン生成電極に負電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が負極性となるようにした以外は実施例６−１と同じとした。フィルムＳを１００ｍ／分で移動させた時の原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分の電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表４に示す。
［比較例６−１］
フィルムＳの移動方向の上流から第１〜６番目の除電ユニットＳＵ１〜ＳＵ６の第１のイオン生成電極に正電圧を印加して、イオン生成電極間電位差が正極性となるようにした以外は実施例６−１と同じとした。フィルムＳを１００ｍ／分で移動させた時の原反Ａ−２の周期的帯電部分の電荷密度の振れ幅、および、原反Ａ−２の無帯電部分の電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表４に示す。
［実験６のまとめ］
実施例５−１、６−１、６−２、６−３および比較例６−１から、直流電圧を印加する除電ユニットの総数ｎ（本例ではｎ＝６）の１／４以上（本実施例では、２個以上）の除電ユニットにおいて、イオン生成電極間電位差が正負両極性ともに、同極性電位が存在する除電装置については、フィルムＳの無帯電部分を新たに帯電させることが少ないことが判る。
【０１１２】
逆に、比較例６−１のように、各除電ユニットにおいて、そのイオン生成電極間電位差が全て同極性の場合は、フィルムＳの無帯電部分を大幅に帯電させてしまうことが判り、好ましくない。また、除電能力に関しても、実施例５−１のようにシートの移動方向に隣接配置された各除電ユニットにおいて、イオン生成電極間電位差が互いに逆極性である構成が最も好ましいことも判る。
【０１１３】
【表４】
2007115559.tif 000006
【０１１４】
＜実験７：シートの移動速度および厚みに応じたイオン生成電極間電位差の制御の実証＞
［実施例７−１］
実施例１−１の構成で、図１３の構成の除電装置を用いて、電気絶縁性シートＳとして、幅３００ｍｍ、厚さ１８８μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー１８８Ｓ１０  以下原反Ｂという）、幅３００ｍｍ、厚さ７５μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー７５Ｔ１０  以下原反Ｃという）、幅３００ｍｍ、厚さ３８μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー３８Ｓ２８  以下、原反Ｄという）、幅３００ｍｍ、厚さ１２μｍの２軸延伸されたポリエチレンテレフタレートフィルム（東レ株式会社製ルミラー１２Ｐ６０  以下原反Ｅという）を用い、１０、３０、５０、１００、２００、３００ｍ／分の各速度で移動させた。
【０１１５】
原反Ｂ、Ｃ、Ｄ、Ｅには、各面の背面平衡電位絶対値が３０Ｖ（電荷密度が１０μＣ／ｍ２）以下であって、事実上、全面無帯電であるものを用いた。
【０１１６】
各速度で除電後の、原反Ｂ〜Ｅの背面平衡電位、及び、電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表５に示す。
［実施例７−２］
実施例７−１において、図１３の構成の除電装置を用いて、フィルムＳの厚みが５０μｍ以上の場合は、直流印加電圧の絶対値の時間的平均値を８ｋＶから５ｋＶに低下するよう設定、つまり、各直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差の絶対値を１６kVから１０kVに低下するように設定し、かつ、各フィルムＳの移動速度が５０ｍ／分以下の場合は、直流印加電圧の絶対値の時間的平均値がゼロｋＶ、つまり、各直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差の絶対値を０kVにするように設定して、直流印加電圧を停止するよう制御した。各速度で除電後の、原反Ｂ〜Ｅの背面平衡電位、及び、電荷密度の範囲と、それぞれの判定結果を表５に示す。
【０１１７】
［実験７のまとめ］
実施例７−１に示すように、同じ条件で除電装置を動作させても、フィルムＳの厚みやフィルムＳの移動速度によってフィルムＳの各面に付着するイオン量が変わる。そこで、フィルムＳの移動速度条件やフィルムＳの厚みによっては、実施例７−２のように直流印加電圧を制御（フィルムＳの移動速度やフィルムＳの厚みによって自動的に制御してもよいし、人間が手動で切り替えてもよい）、つまり、イオン生成電極間電位差を制御することによって、どのような条件下でも、フィルムＳの各面への新たな帯電を問題ないレベルに押さえることが可能であることが確認され、フィルムＳの移動速度やフィルムＳの厚みによっては、より好ましい形態である。（但し、直流印加電圧を下げたり、直流電圧印加を停止して、各直流除電ユニットにおけるイオン生成電極間電位差を減少することにより、除電能力は低下するため、新たな帯電の度合いと必要な除電能力との相互の判断は必要である。）
【０１１８】
【表５】
2007115559.tif 000007
【産業上の利用可能性】
【０１１９】
本発明は、除電装置に限らず、対象物を狭い間隙で挟んだ状態で、対象物の表裏、及び全面に等量の効果を効率よく付与することが必要な装置に応用できるが、その応用範囲がこれらに限られるものではない。
【図面の簡単な説明】
【０１２０】
【図１】従来の技術による除電装置の概略説明図である。
【図２】従来の技術による除電装置の概略説明図である。
【図３】従来の技術による除電装置の概略説明図である。
【図４Ａ】従来の技術による除電装置の概略説明図である。
【図４Ｂ】従来の技術によるシート貼り合わせ装置の概略説明図である。
【図４Ｃ】従来の技術による直流除電装置の概略説明図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る装置の概略説明図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態の除電ユニットの構成に関する概略説明図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態の除電ユニットの構成に関する概略説明図である。
【図６Ｃ】本発明の一実施形態の除電ユニット相互の配置に関する概略説明図である。
【図６Ｄ】本発明の一実施形態の除電ユニットの構成に関する概略説明図である。
【図６Ｅ】本発明の一実施形態の除電ユニットの構成に関する概略説明図である。
【図７】本発明の他の実施形態に係る装置の概略説明図である。
【図８】実施例１−１以下の除電に使用した原反（原反Ａ−１、原反Ａ−２）の帯電の様子を示す概略説明図である。
【図９】実施例１−１以下の除電に使用した原反（原反Ａ−１）の背面平衡電位の分布を示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態の電極ユニットの構造を示す概略説明図である。
【図１１】従来の技術による除電装置の概略説明図である。
【図１２】本発明の他の実施形態の電極ユニットの構造を示す概略説明図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る装置の概略説明図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係わるイオン付着量と除電ユニット間隔の相関の説明図である。
【図１５】本発明の「イオン生成電極露出型」の電極ユニットにおける、イオン付着量と出力電流の相関の説明図である。
【図１６】従来の技術による、「イオン生成電極露出型」でない電極ユニットにおける、イオン付着量と出力電流の相関の説明図である。
【符号の説明】
【０１２１】
１    除電装置
１ａ  交流電源
１ｂ  イオン生成用電極
１ｃ  交流電源
１ｄ  イオン吸引用電極
１ｅ  直流除電器
１ｆ  交流除電器
Ｓ    電気絶縁性シート
２    除電装置
２ａ  交流電源
２ｂ  イオン生成用電極
２ｃ  交流電源（２ａと逆位相）
２ｄ  イオン加速用電極
２ｅ  交流電源
２ｆ  イオン生成用電極
２ｇ  交流電源（２ｅと逆位相）
２ｈ  イオン加速用電極
１００  電気絶縁性シートの第１の面
２００  電気絶縁性シートの第２の面
３    除電装置
３ａ  イオン生成用電極
３ｂ  直流電源
３ｃ  イオン生成用電極
３ｄ  直流電源（３ｂと逆極性）
３ｅ  ガイドロール
４Ａ    除電装置
４ａ  イオン生成電極
４ｂ  交流電源
４ｃ  イオン生成電極
４ｄ  交流電源（４ｂと逆位相）
４ｅ  ガイドロール
４Ｂ    貼り合わせ装置
４ｆ  直流電源（正電圧印加）
４ｇ  直流電源（負電圧印加）
４ｈ  第１のイオン生成電極
４ｉ  第２のイオン生成電極
３００  正イオン
４００  負イオン
Ｓ１  貼り合わせシート
Ｓ２  貼り合わせシート
４Ｃ  直流除電装置
４ｊ  プラス放電針
４ｋ  マイナス放電針
４ｌ  エンドホルダー
４ｍ  接地電極
４ｎ  接地電極
４ｏ  絶縁ブロック
４ｐ  電源ケーブル
４ｑ  電源ケーブル
５    除電装置
５ａ  ガイドロール
５ｂ  ガイドロール
５ａｂ  シート移動方向
５ｃ  直流電源
５ｅ  直流電源（５ｃと逆位相）
５ｄｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極
５ｆｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第２のイオン生成電極
５ｇｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第１のシールド電極
５ｈｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第２のシールド電極
５ｄｐ  シート移動方向ｐ番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極
５ｆｐ  シート移動方向ｐ番目の除電ユニットの第２のイオン生成電極
５ｉ  第１の交流イオン生成電極
５ｊ  第２の交流イオン生成電極
５ｋ  交流電源
５ｌ  交流電源（５ｋと逆位相）
５ｘｐ  シートの移動方向の第ｐ番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点
５ｘｐ＋１  シートの移動方向の第ｐ＋１番目の除電ユニットの第１のイオン生成電極の先端と第２のイオン生成電極の先端とを結ぶ線分の中点
６    除電装置
６ａ  ガイドロール
６ｂ  ガイドロール
６ａｂ  シート移動方向
６ｃ  交流電源
６ｅ  交流電源（６ｃと逆位相）
７  電極ユニット
７ａ  針電極列
７ｂ  シールド電極
７ｄ  絶縁材料
８  電極ユニット
８Ａ  シールド電極を有しない電極ユニット
８Ｂ  シールド電極を有する電極ユニット
８ａ  針電極列
８ａ１  針電極列を構成する部分電極の１つ
８ａ２  針電極列を構成する部分電極の１つ
８ｂ  シールド電極
８ｄ  絶縁材料
８ｅ  絶縁材料
８ａＬ  シート幅方向に所定間隔で設けられた針先同士を結ぶ折れ線
ｄ５  針電極列のシート幅方向の間隔
ＳＯｇｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第１のシールド電極開口幅
ＳＯｈｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの第２のシールド電極開口幅
ｄ０−ｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットにおける電極ずれ量
ｄ０−６  シート移動方向６番目の除電ユニットにおける電極ずれ量
ｄ１−ｍ  シート移動方向ｍ番目の除電ユニットの法線方向電極間距離
ｄ２−ｐ  シート移動方向ｐ番目の除電ユニットとｐ＋１番目の除電ユニットの除電ユニット間隔
ＳＵ１  シートの移動方向１番目の除電ユニット
ＳＵ７  シートの移動方向７番目の除電ユニット
ＳＵ８  シートの移動方向８番目の除電ユニット
ＳＵｐ  シートの移動方向ｐ番目の除電ユニット
ＳＵｐ＋１  シートの移動方向ｐ＋１番目の除電ユニット
ＳＵｎ  シートの移動方向ｎ番目（最下流）の除電ユニット
ＥＵｄ１  シートの移動方向１番目の第１の電極ユニット
ＥＵｄｐ  シートの移動方向ｐ番目の除電ユニットの第１の電極ユニット
ＥＵｄｐ＋１  シートの移動方向ｐ＋１番目の除電ユニットの第１の電極ユニット
ＥＵｄｎ  シートの移動方向ｎ番目（最下流）の除電ユニットの第１の電極ユニット
ＥＵｆ１  シートの移動方向１番目の除電ユニットの第２の電極ユニット
ＥＵｆｐ  シートの移動方向ｐ番目の除電ユニットの第２の電極ユニット
ＥＵｆｐ＋１  シートの移動方向ｐ＋１番目の除電ユニットの第２の電極ユニット
ＥＵｆｎ  シートの移動方向ｎ番目（最下流）の除電ユニットの第２の電極ユニット
Ａ−Ａ’  周期的帯電部の矢視
Ｖｆ  背面平衡電位
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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【図６Ｅ】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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