(57)【要約】【課題】  記録効率を大きく保ちつつ、磁極からの漏れ磁界を防止して記録性能の向上を図ることが可能な記録型磁気ヘッドを提供する。【解決手段】  主磁極層２８とリターンパス層３４との間に、主磁極層２８と磁気的に接続されたヨーク層２９が形成されている。リターンパス層３４には、主磁極層２８に向かって延びる延出先端部３４ｃが形成され、ヨーク層２９が延出先端部３４ｃのハイト方向奥側に位置するように形成されている。主磁極層２８は、トラック幅寸法で対向面Ｈ１ａからハイト方向奥側に延びる先端部２８ｂと、基端部２８ｃから幅寸法が広がってハイト方向奥側に延びる後方部２８ｄとが形成されており、主磁極層２８のリターンパス層３４側の表面には、基端部２８ｃを覆うようにヨーク層２が形成されている。【選択図】  図１
2007087546.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録媒体との対向面で膜厚方向に間隔をあけて対向する主磁極層およびリターンパス層と、前記主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を有し、
前記主磁極層と前記リターンパス層との間に、前記主磁極層と磁気的に接続されたヨーク層が形成されており、
前記リターンパス層には、前記主磁極層に向かって延びる延出先端部が形成され、前記ヨーク層が前記延出先端部のハイト方向奥側に位置するように形成されており、
前記主磁極層は、トラック幅寸法で前記対向面からハイト方向奥側に延びる先端部と、前記先端部のハイト方向奥側に形成された基端部から幅寸法が広がってハイト方向奥側に延びる後方部とが形成されており、
前記主磁極層の前記リターンパス層側の表面には、前記基端部を覆うように前記ヨーク層が形成されていることを特徴とする記録型磁気ヘッド。
【請求項２】
記録媒体との対向面から前記ヨーク層の先端までの間隔が、前記記録媒体との対向面から前記基端部までの間隔よりも小さい請求項１記載の記録型磁気ヘッド。
【請求項３】
前記ヨーク層の前端面が、前記主磁極層に向かうにしたがって記録媒体との対向面側に傾斜する傾斜面が形成されている請求項１または２記載の記録型磁気ヘッド。
【請求項４】
前記ヨーク層の上面は、前記延出先端部の下面よりも前記主磁極から離れる方向に位置している請求項１ないし３のいずれかに記載の記録型磁気ヘッド。
【請求項５】
前記ヨーク層の少なくとも一部と、前記延出先端部の少なくとも一部は、前記ギャップ層を挟んで膜厚方向で対向している請求項１ないし４のいずれかに記載の記録型磁気ヘッド。
【請求項６】
前記主磁極層と前記リターンパス層とに与えられた記録磁界によって記録媒体に垂直磁界を与え、前記記録媒体を垂直方向に磁化させる請求項１ないし５のいずれかに記載の記録型磁気ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は記録型磁気ヘッドに関し、特に記録能力を大きく保ちつつ、磁極からの漏れ磁界を防止して記録性能の向上を図ることが可能な記録型磁気ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
図６は、後記する特許文献１に記載された従来の記録型磁気ヘッドの構造を示す縦断面図を示す図である。
【０００３】
図６に示す従来の記録型磁気ヘッドＨ５００は、基板上に形成された非磁性絶縁層６１２のトレーリング側（図示Ｚ１方向側）に形成されている。なお、特許文献１では読み取り用の再生ヘッドが形成された構造が開示されているが、図６では説明を解かり易くするために、この再生ヘッドを省略して図示している。
【０００４】
図６に示すように、従来の前記記録型磁気ヘッドＨ５００は、図示しない基板上に主磁極層５２４が形成され、この主磁極層５２４と接して形成されたヨーク層５３６が形成されている。
【０００５】
前記ヨーク層５３６の上方（図示Ｚ１方向）にはリターンパス層５２１が形成されている。このリターンパス層５２１には下方（図示Ｚ２方向）に向かって形成された接続部５２１ａが形成されており、前記ヨーク層５３６の奥側（ハイト方向、図示Ｙ２方向側）で、前記接続部５２１ａが前記ヨーク層５３６と磁気的に接続されている。
【０００６】
図６に示すように、前記記録型磁気ヘッドＨ５００は、前記主磁極層５２４と前記リターンパス層５２１との間で、前記接続部５２１ａの周囲を周回するように巻き回されたコイル層５２７が形成されている。そして、前記コイル層５２７の周囲には、絶縁層５３３が形成されている。
【０００７】
図８は、後記する特許文献２に記載された従来の記録型磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、図９は図８に示す記録型磁気ヘッドを示す部分平面図である。
【０００８】
図８に示す従来の記録型磁気ヘッドＨ６００は、図示しないスライダ上に形成された非磁性絶縁層６１２のトレーリング側（図示Ｚ１方向側）に形成されている。なお、特許文献２では読み取り部が形成された構造が開示されているが、図８では説明を解かり易くするために、この読み取り部を省略して図示している。
【０００９】
前記記録型磁気ヘッドＨ６００では、強磁性材料がメッキされてリターンパス層６２１が形成されている。非磁性絶縁層６１２は、リターンパス層６２１の下方（図示Ｚ２方向）およびリターンパス層６２１の周囲に形成されている。
【００１０】
図８に示すように、対向面Ｈ１ａよりも奥側（ハイト方向、図示Ｙ２方向）では、リターンパス層６２１の表面６２１ａの上に接続層６２５が形成されている。
【００１１】
接続層６２５の周囲において、リターンパス層６２１の表面６２１ａおよび非磁性絶縁層６１２の表面６１２ａ上に、非磁性絶縁層６２６が形成されて、この非磁性絶縁層６２６の上に導電性材料からなるコイル層６２７が形成されている。
【００１２】
前記コイル層６２７は絶縁層６３２で被覆されており、さらに絶縁層６３３で覆われている。
【００１３】
前記記録型磁気ヘッドＨ６００では、前記絶縁層６３３の上に、メッキ下地層６２４ｂを介して主磁極層６２４が形成されている。
【００１４】
絶縁層６３３の上には、無機絶縁層６３５を介してヨーク層６３６が形成されている。ヨーク層６３６はメッキ下地層６３６ｄ上にメッキ形成されている。主磁極層６２４の後方部６２４ｃとヨーク層６３６の先部領域６３６ｂが磁気的に接続され、またヨーク層６３６の後方領域６３６ｃは接続層６２５の上面６２５ａに磁気的に接続された状態になっている。
【００１５】
そして、記録型磁気ヘッドＨ６００は無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層６１３により被覆されている。
【００１６】
図９は前記したように前記記録型磁気ヘッドＨ６００の部分平面図であるが、図９では前記主磁極層６２４と前記ヨーク層６３６のみを示している。
【００１７】
図９に示すように、前記記録型磁気ヘッドＨ６００では、主磁極層６２４に形成された基端部６２４ｄから奥側であるハイト方向側（図示Ｙ２方向側）の後方部６２４ｃが、幅寸法が徐々に広がる形状であり、この後方部６２４ｃにヨーク層６３６が重ねられている。
【００１８】
図９に示すように、前記記録型磁気ヘッドＨ６００では、前記ヨーク層６３６の前端面６３６ａが、前記主磁極層６２４に形成された前記基端部６２４ｄよりも対向面Ｈ１ａ側に位置するように形成され、前記基端部６２４ｄが前記ヨーク層６３６によって覆われる構造となっている。
【特許文献１】特開平１０−２６９５３３号公報
【特許文献２】特開２００２−１９７６１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
前記特許文献１に開示された記録型磁気ヘッドＨ５００では、前記主磁極層５２４と前記ヨーク層５３６の平面形状については明確に記載されていない。しかし一般的に、前記主磁極層５２４は、図７に示すように、主磁極層５２４に形成された基端部５２４ｂから奥側であるハイト方向側（図示Ｙ２方向側）の後方部５２４ｃが、幅寸法が徐々に広がる形状であり、この後方部５２４ｃにヨーク層６３６が重ねられた構造とされるのが一般的である。
【００２０】
特許文献１に開示された発明の構造、すなわち図７に示す記録型磁気ヘッドでは、ヨーク層５３６の前端面５３６ａと主磁極層５２４の基端部５２４ｂの位置関係が明確になされていないが、記録磁界の磁束を先端側に集中させることによって磁気記録能力を向上させるために、主磁極層５２４の前記基端部５２４ｂをヨーク層５３６の前端面５３６ａよりも対向面Ｈ１ａ側に形成した場合（ヨーク層５３６を図示実線で示す位置に形成した場合）には、前記基端部５２４ｂでの磁気飽和に伴い、漏れ磁束φｍ１が発生し、この漏れ磁束φｍ１が記録媒体Ｍに漏れてしまう。
【００２１】
また、ヨーク層５３６の前端面５３６ａが基端部５２４ｂよりも対向面Ｈ１ａ側に位置するように、前記基端部５２４ｂを前記対向面Ｈ１ａから充分な間隔を空けて形成した場合には、基端部５２４ｂからの漏れ磁束φｍ１が記録媒体Ｍに漏れてしまうことを抑制することはできる。しかし、前記記録型磁気ヘッドＨ５００では、図６に示すように、リターンパス層５２１がハイト方向（図示Ｙ１−Ｙ２方向）に直線状に延びるように形成されているため、ヨーク層５３６の前記前端面５３６ａが前記リターンパス層５２１によって覆われておらず、ヨーク層５３６からの漏れ磁束φｍ２が記録媒体に漏れてしまう。
【００２２】
すなわち、記録能力向上のために前記基端部５２４ｂをヨーク層５３６の前端面５３６ａよりも対向面Ｈ１ａ側に位置するように形成した場合には、基端部５２４ｂからの漏れ磁束φｍ１によって、記録媒体Ｍの隣接トラックに記録されている記録信号の消去が発生してしまう。
【００２３】
一方、前記基端部５２４ｂからの漏れ磁束φｍ１が記録媒体Ｍへ漏れてしまうのを防ぐとともに、主磁極層５２４に記録磁界をヨーク層５３６によって効率的に対向面Ｈ１ａ側に導くことを目的として、ヨーク層５３６の前端面５３６ａを基端部５２４ｂよりも対向面Ｈ１ａ側に位置するように形成した場合（ヨーク層５３６を図示一点鎖線で示す位置に形成した場合）には、前記ヨーク層５３６の前端面５３６ａがリターンパス層５２１によって遮蔽されていないため、ヨーク層５３６からの漏れ磁束φｍ２が記録媒体Ｍに漏れてしまう。
【００２４】
すなわち、記録磁界の磁束を集中させることによる記録能力の維持と、漏れ磁界の抑制という効果は、相反するものとなっており、図６に示す従来の記録型磁気ヘッドＨ５００では、同時に達成することが出来なかった。
【００２５】
特許文献２に開示された構造、すなわち図８に示す記録型磁気ヘッドＨ６００では、図９に示すようにヨーク層６３６の前端面６３６ａが主磁極層６２４の基端部６２４ｄよりも対向面Ｈ１ａ側に形成されているが、図８に示すように主磁極層６２４に対してヨーク層６３６がリターンパス層６２１側と反対側（図示Ｚ１方向側）に形成されており、前記ヨーク層６３６の前記前端面６３６ａが前記リターンパス層６２１によって遮蔽されていないため、図９に示すように、ヨーク層６３６からの漏れ磁束φｍ２が記録媒体Ｍに漏れやすい。したがって、記録媒体Ｍに記録された隣接トラックの記録信号の消去が発生し、記録性能の向上を図ることができない。
【００２６】
本発明は前記従来の課題を解決するものであり、記録能力を大きく保ちつつ、磁極基端部からの漏れ磁界を防止して記録性能の向上を図ることが可能な記録型磁気ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
本発明は、記録媒体との対向面で膜厚方向に間隔をあけて対向する主磁極層およびリターンパス層と、前記主磁極層及びリターンパス層に記録磁界を与えるためのコイル層と、を有し、
前記主磁極層と前記リターンパス層との間に、前記主磁極層と磁気的に接続されたヨーク層が形成されており、
前記リターンパス層には、前記主磁極層に向かって延びる延出先端部が形成され、前記ヨーク層が前記延出先端部のハイト方向奥側に位置するように形成されており、
前記主磁極層は、トラック幅寸法で前記対向面からハイト方向奥側に延びる先端部と、前記先端部のハイト方向奥側に形成された基端部から幅寸法が広がってハイト方向奥側に延びる後方部とが形成されており、
前記主磁極層の前記リターンパス層側の表面には、前記基端部を覆うように前記ヨーク層が形成されていることを特徴とするものである。
【００２８】
この場合、記録媒体との対向面から前記ヨーク層の先端までの間隔が、前記記録媒体との対向面から前記基端部までの間隔よりも小さいものとして構成することができる。
【００２９】
また、前記ヨーク層の前端面が、前記主磁極層に向かうにしたがって記録媒体との対向面側に傾斜する傾斜面が形成されているものとして構成することが好ましい。
【００３０】
また、前記ヨーク層の上面は、前記延出先端部の下面よりも前記主磁極から離れる方向に位置しているものとして構成することが好ましい。
【００３１】
また、前記ヨーク層の少なくとも一部と、前記延出先端部の少なくとも一部は、前記ギャップ層を挟んで膜厚方向で対向しているものとして構成することができる。
【００３２】
また、前記主磁極層と前記リターンパス層とに与えられた記録磁界によって記録媒体に垂直磁界を与え、前記記録媒体を垂直方向に磁化させるものとして
構成することができる。
【発明の効果】
【００３３】
本発明の記録型磁気ヘッドでは、主磁極層とリターンパス層との間に、ヨーク層が形成されており、主磁極層のリターンパス層側の表面に、主磁極層の基端部を覆うようにヨーク層が形成されている。
【００３４】
したがって、基端部での磁気飽和に伴う漏れ磁束φの発生は、ヨーク層により抑制され、漏れ磁界の磁束φが記録媒体に流れ難くすることができるとともに、基端部を記録媒体との対向面から大きく離した位置に形成しても、ヨーク層を前記主磁極層の基端部よりも相対的に対向面に近づいた位置に形成することができるので、記録磁界の磁束φを、ヨーク層によって主磁極層の先端部に効果的に導くことがでる。そのため、先端部に記録磁界の磁束φを効果的に集中させることができ、記録能力の向上を図ることが可能となる。したがって、記録効率向上のために主磁極層の基端部を対向面から大きく離して形成しても、ヨーク層により記録能力の向上を図ることができる。
【００３５】
また、ヨーク層が、リターンパス層に形成された延出先端部のハイト方向奥側に位置するように形成されており、ヨーク層が対向面には露出していない構造とされている。
【００３６】
したがって、本発明の記録型磁気ヘッドを対向面から見た場合、ヨーク層が、リターンパス層の延出先端部のハイト方向奥側に隠れる構造となっている。
【００３７】
したがって、ヨーク層の前端面やその周囲から漏れ磁束φが前記対向面に向かった場合でも、この漏れ磁束φがリターンパス層の延出先端部によって遮られるため、前記漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体に到達することを効果的に抑制することができる。
【００３８】
そのため、隣接トラックの記録信号を消去してしまうことを効果的に抑制することができるのである。
【００３９】
このように、本発明の記録型磁気ヘッドでは、記録磁界の磁束φを前記主磁極層の先端部に集中させて記録能力の向上を図ることができるとともに、ヨーク層からの漏れ磁束φが記録媒体に到達してしまうことを抑制できることから、隣接トラックの記録信号消去を効果的に抑制することができ、記録能力の向上と隣接トラック信号の消去抑制という両者を同時に達成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
図１は、本発明の記録型磁気ヘッドの第１実施形態である垂直磁気記録ヘッドの構造を示す部分縦断面図である。
【００４１】
図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１は記録媒体Ｍに垂直磁界を与え、記録媒体Ｍのハード膜Ｍａを垂直方向に磁化させるものである。
【００４２】
記録媒体Ｍは例えばディスク状であり、その表面に保磁力の高いハード膜Ｍａが、内方に磁気透過率の高いソフト膜Ｍｂを有しており、ディスクの中心が回転軸中心となって回転させられる。
【００４３】
スライダ２１はＡｌ２Ｏ３・ＴｉＣなどの非磁性材料で形成されており、スライダ２１の対向面２１ａが記録媒体Ｍに対向し、記録媒体Ｍが回転すると、表面の空気流によりスライダ２１が記録媒体Ｍの表面から浮上し、またはスライダ２１が記録媒体Ｍに摺動する。
【００４４】
スライダ２１のトレーリング側端面２１ｂには、Ａｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による非磁性絶縁層２２が形成されて、この非磁性絶縁層２２の上に読取り部Ｈｒが形成されている。
【００４５】
読取り部Ｈｒは下部シールド層２３と上部シールド層２６と、下部シールド層２３と上部シールド層２６との間の無機絶縁層（ギャップ絶縁層）２５内に位置する読取り素子２４とを有している。読取り素子２４は、ＡＭＲ、ＧＭＲ、ＴＭＲなどの磁気抵抗効果を利用した素子である。
【００４６】
読取り部Ｈｒの上にＡｌ２Ｏ３またはＳｉＯ２などの無機材料による分離層２７が形成されて、分離層２７の上に記録用の垂直磁気記録ヘッドＨ１が設けられている。垂直磁気記録ヘッドＨ１の対向面Ｈ１ａは、スライダ２１の対向面２１ａとほぼ同一面である。
【００４７】
なお、読取り部Ｈｒを設けず、スライダ２１のトレーリング側端部に垂直磁気記録用の垂直磁気記録ヘッドＨ１のみを搭載してもよい。
【００４８】
前記分離層２７の上には、主磁極層２８がメッキで形成されている。主磁極層２８はＣｏＦｅＮｉ合金、ＦｅＮｉ合金、ＣｏＦｅ合金などの磁性材料がメッキされて形成されたものである。
【００４９】
前記主磁極層２８の上には、パーマロイ（Ｎｉ−Ｆｅ）などの軟磁性材料でヨーク層２９が形成されている。前記ヨーク層２９は前記主磁極層２８と磁気的に接続されている。前記ヨーク層２９の前端面２９ａは、前記対向面Ｈ１ａからハイト方向側（図示Ｙ２方向側）に所定間隔を空けて位置しており、前記対向面Ｈ１ａには露出していない。
【００５０】
図１に示すように、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａは、上面から下面に向かって、前記対向面Ｈ１ａ側に傾斜する傾斜面として形成されている。
【００５１】
前記主磁極層２８上から前記ヨーク層２９上にかけて、非磁性材料で形成されたギャップ層３０が形成されている。そして、前記ギャップ層３０上に、コイル絶縁下地層３１を介してコイル層３２が形成されている。前記コイル層３２の周囲はレジスト等によるコイル絶縁層３３によって覆われている。
【００５２】
前記主磁極層２８の後端部上から前記対向面Ｈ１ａにかけてリターンパス層３４が形成されている。リターンパス層３４は、ハイト方向奥側に形成されて前記ヨーク層２９および前記主磁極層２８と磁気的に接続される接続部３４ａと、前記接続部３４ａから前記対向面Ｈ１ａ側に延びる平坦部３４ｂと、先端側（前記対向面Ｈ１ａ側）に形成されて前記平坦部３４ｂから前記主磁極層２８側に向かって延びる延出先端部（スロートハイト部）３４ｃが形成されている。図１に示す実施形態では、前記延出先端部３４ｃの後端面３６は、ハイト方向奥側へ向かうにしたがって、前記対向面Ｈ１ａから離れる方向に傾斜する傾斜面として形成されている。
【００５３】
そして、前記対向面Ｈ１ａで、膜厚方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）にギャップ層３０を介して、すなわち所定の間隔を空けて、前記主磁極層２８とリターンパス層３４の前記延出先端部３４ｃとが対向している。
【００５４】
前記主磁極層２８の前記対向面Ｈ１ａ側に向く前端面２８ａは、前記リターンパス層３４の前記対向面Ｈ１ａ側に向く前端面３７に比べて十分に小さい面積であり、前記コイル層３２に記録電流が与えられると、コイル層３２を流れる電流の電流磁界によってリターンパス層３４とヨーク層２９、主磁極層２８に記録磁界が誘導される。そして前記主磁極層２８の前端面２８ａに漏れ記録磁界の磁束φが集中し、この集中している磁束φにより前記ハード膜Ｍａが垂直方向へ磁化されて、磁気データが記録される。
【００５５】
前記リターンパス層３４の上方には無機非磁性絶縁材料などで形成された保護層３５が形成されている。
【００５６】
以下に本願発明の特徴を説明する。図２は、図１に示す前記垂直磁気記録ヘッドＨ１を示す部分平面図である。図２では前記垂直磁気記録ヘッドＨ１の特徴的構造を解かり易くするために、前記主磁極層２８と前記ヨーク層２９のみを図示している。
【００５７】
まず図１に示すように、前記ヨーク層２９は、前記主磁極層２８の前記リターンパス層３４側の表面である前記上面２８ｅ上に形成されており、前記主磁極層２８と前記リターンパス層３４との間に位置するように形成されている。そして、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａは、前記延出先端部３４ｃの後端面３６よりもハイト方向側（図示Ｙ２側）に位置するように形成されている。
【００５８】
図１に示す実施形態では、前記ヨーク層２９の上面２９ｂは、前記延出先端部３４ｃの下面３８よりも、前記主磁極層２８から離れる方向（図示Ｚ１方向）側に位置するように形成されている。
【００５９】
図２に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ１では、前記主磁極層２８は、前記対向面Ｈ１ａからハイト方向奥側にトラック幅Ｔｗで延びる先端部２８ｂと、この先端部２８ｂのハイト方向奥側に形成された基端部２８ｃから幅寸法が広がってハイト方向奥側に延びる後方部２８ｄを有して形成されている。
【００６０】
図２に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ１は、前記上面２８ｅに、前記基端部２８ｃを覆うように、前記ヨーク層２９が形成されている。
【００６１】
図２に示す実施形態では、前記対向面Ｈ１ａから前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａまでの間隔Ｌ１は、前記対向面Ｈ１ａから前記基端部２８ｃまでの間隔Ｌ２よりも、小さく形成されており、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａの方が、前記対向面Ｈ１ａから近い位置に形成されている。
【００６２】
一般的に、記録型磁気ヘッドでは、主磁極層２８の前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを効果的に導き、前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを集中させることによって、記録効率の向上を図っている。このように、先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを集中させるためには、前記基端部２８ｃの位置をできるだけ前記対向面Ｈ１ａに近づけることによって実現できる。
【００６３】
しかし、前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ１ａに近づけすぎると、前記基端部２８ｃから記録媒体Ｍに流れる漏れ磁界が発生し、この漏れ磁界が隣接する記録トラックの記録信号を消去してしまうといった問題が発生する。
【００６４】
一方、前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ１ａから大きく離して形成すれば、前記漏れ磁界による記録信号の消去の問題を抑制することができる。しかし、前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ１ａから大きく離した位置に形成すると、前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂにおける磁気飽和が著しく、記録磁界の磁束φを記録媒体Ｍのハード膜Ｍａに集中させる効果を大きくすることができず、記録能力の向上を図ることができない。
【００６５】
すなわち、前記主磁極層２８の記録能力の向上と隣接トラックの記録信号消去という問題とは、いわゆるトレードオフの関係にあり、前記主磁極層のみの設計では、記録能力の向上を図るとともに、隣接トラックの記録信号消去を抑制するという両者を同時に達成することができなかったのである。
【００６６】
図１および図２に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１では、前記したように、前記上面２８ｅに、前記基端部２８ｃを覆うように、前記ヨーク層２９が形成されている。
【００６７】
したがって、前記基端部２８ｃにおける磁気飽和に伴う漏れ磁界の磁束φの発生を前記ヨーク層２９によって抑制し、漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに流れ難くすることができるとともに、前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ１ａから大きく離した位置に形成しても、前記ヨーク層２９を前記主磁極層２８に対して相対的に前記対向面Ｈ１ａに近づいた位置に形成することができるので、前記主磁極層２８の前記後方部２８ｄに誘導された記録磁界の磁束φを、前記ヨーク層２９によって前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに効果的に導くことがでる。そのため、前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを効果的に集中させることができ、記録能力の向上を図ることが可能となる。したがって、記録能力向上のために主磁極層２８の前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ１ａから大きく離して形成しても、前記ヨーク層２９により記録能力の向上を図ることができるのである。
【００６８】
また前記垂直磁気記録ヘッドＨ１では、図１に示すように、前記ヨーク層２９の前端面２９ａが、前記リターンパス層３４に形成された前記延出先端部３４ｃの前記ハイト方向奥側に位置するように形成されており、前記前端面２９ａが前記対向面Ｈ１ａには露出していない構造とされている。
【００６９】
したがって、前記垂直磁気記録ヘッドＨ１を前記対向面Ｈ１ａから見た場合、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａが、前記リターンパス層３４の前記延出先端部３４ｃのハイト方向奥側に隠れる構造となっている。
【００７０】
したがって、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａやその周囲から漏れ磁界の磁束φが前記対向面Ｈ１ａに向かった場合でも、この漏れ磁界の磁束φが前記延出先端部３４ｃによって遮られるため、前記漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに到達することを効果的に抑制することができる。
【００７１】
そのため、隣接トラックの記録信号を消去してしまうことを効果的に抑制することができるのである。
【００７２】
このように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ１では、記録磁界の磁束φを前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに集中させて記録能力の向上を図ることができるとともに、前記ヨーク層２９からの漏れ磁界の磁束φが記録媒体Ｍに到達してしまうことを抑制できることから、隣接トラックの記録信号消去を効果的に抑制することができ、記録能力の向上と隣接トラック信号の消去抑制という両者を同時に達成することができるのである。
【００７３】
また、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａの方が、前記対向面Ｈ１ａから近い位置に形成されている。
【００７４】
したがって、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａが前記対向面Ｈ１ａ側に位置し、前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂの一部の上方（図示Ｚ１方向）が前記ヨーク層２９によって覆われることから、前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを効果的に集中させることができ、記録能力の向上を効果的に図ることが可能となる。
【００７５】
特に、前記垂直磁気記録ヘッドＨ１では、前記ヨーク層２９の上面２９ｂは、前記延出先端部３４ｃの下面３８よりも、前記主磁極層２８から離れる方向（図示Ｚ１方向）側に位置するように形成されているため、前記漏れ磁界の磁束φを前記延出先端部３４ｃによって遮り易くすることができるため、前記漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに到達することを効果的に抑制することが可能となる。
【００７６】
また、図１に示すように、前記ヨーク層２９の前端面２９ａは前記したように前記主磁極層２８に向かって傾斜する傾斜面として形成されている。したがって、前記ヨーク層２９に誘導された記録磁界の磁束φを前記主磁極層２８に効果的に送ることができるため、記録能力の向上を極めて効果的に達成することができるのである。
【００７７】
また、前記前端面２９ａが前記傾斜面として形成されていると、前記ギャップ層３０を成膜する際に均一な膜厚で形成し易くできる。
【００７８】
図３は、本発明の記録型磁気ヘッドの第２実施形態である垂直記録磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図である。
【００７９】
図３に示す垂直磁気記録ヘッドＨ２は、図１に示す垂直記磁気記録ヘッドＨ１と同じ構成要素を有して形成されている。したがって、図３に示す垂直磁気記録ヘッドＨ２の構成要素のうち、図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１と同じ構成要素には同じ符号を付して、その詳しい説明を省略する。
【００８０】
図３に示す垂直磁気記録ヘッドＨ２が、図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１と異なるのは、リターンパス層３４に形成された延出先端部３４ｃの形状である。図３に示すように、対向面Ｈ２ａで、膜厚方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）にギャップ層３０を介して、すなわち所定の間隔を空けて、前記主磁極層２８とリターンパス層３４の前記延出先端部３４ｃとが対向しているが、
図３に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ２では、前記延出先端部３４ｃに段差面４０を介して対向部４１が形成されている。そして、この対向部４１と前記ヨーク層２９とが、膜厚方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）に対向している。
【００８１】
このように、前記延出先端部３４ｃに前記対向部４１を形成し、前記対向部４１が前記ヨーク層２９とが膜厚方向で対向する構造とすると、前記ヨーク層２９の上面２９ｂに近づけて前記リターンパス層３４を膜厚方向で対向させることができるため、前記ヨーク層２９からの漏れ磁束φｍ２を、前記リターンパス層３４の前記延出先端部３４ｃで効果的に遮ることが可能となる。
【００８２】
図４は、本発明の記録型磁気ヘッドの第３実施形態である垂直記録磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図である。
【００８３】
図４に示す垂直磁気記録ヘッドＨ３は、図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１と同じ構成要素を有して形成されている。したがって、図３に示す垂直磁気記録ヘッドＨ３の構成要素のうち、図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１と同じ構成要素には同じ符号を付して、その詳しい説明を省略する。
【００８４】
図４に示す垂直磁気記録ヘッドＨ３が、図１に示す垂直磁気記録ヘッドＨ１と異なるのは、前記分離層２７の上方（図１に示すＺ１方向）に形成される、主磁極層２８、ヨーク層２９、ギャップ層３０、コイル層３２、およびリターンパス層３４の形成順序が、上下方向（図示Ｚ１−Ｚ２方向）で逆順序となっている点である。
【００８５】
すなわち、図４に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３では、前記分離層２７の上に、下から順に、リターンパス層３４、コイル絶縁下地層３１、コイル層３２、コイル絶縁層３３、ギャップ層３０、ヨーク層２９、および主磁極層２８が形成された構造である。
【００８６】
図４に示す実施形態では、前記コイル絶縁層３３が、前記コイル層３２を覆う有機材料層３３ａと、この有機材料層３３ａの上に形成された無機材料層３３ｂとで構成されている。このように、有機材料層３３ａで前記コイル層３２を覆うものとして構成すると、前記コイル層３２の周囲に巣が入るのを防止できる。
【００８７】
図４に示すように、前記コイル絶縁層３３を構成する前記無機材料層３３ｂの前記対向面Ｈ３ａ側には、下方（図示Ｚ２方向）に向かうにしたがって、前記対向面Ｈ３ａから離れる方向（ハイト方向）側（図示Ｙ２方向側）に傾斜する傾斜面３３ｃが形成されている。
【００８８】
図５は、図４に示す前記垂直磁気記録ヘッドＨ３を示す部分平面図である。図５では前記垂直磁気記録ヘッドＨ３の特徴的構造を解かり易くするために、前記主磁極層２８と前記ヨーク層２９のみを図示している。
【００８９】
まず図４に示すように、前記ヨーク層２９は、前記主磁極層２８の前記リターンパス層３４側の表面である下面２８ｆ下に形成されており、前記主磁極層２８と前記リターンパス層３４との間に形成されている。そして、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａは、前記延出先端部３４ｃの後端面３６よりもハイト方向側（図示Ｙ２側）に位置するように形成されている。
【００９０】
また、図４に示すように、前記ヨーク層２９の下面２９ｃは、前記延出先端部３４ｃの下面３８よりも、前記主磁極層２８から離れる方向（図示Ｚ２方向）側に位置するように形成されている。
【００９１】
図５に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３でも、前記主磁極層２８は、前記対向面Ｈ３ａからハイト方向奥側にトラック幅Ｔｗで延びる先端部２８ｂと、この先端部２８ｂに形成された基端部２８ｃから幅寸法が広がってハイト方向奥側に延びる後方部２８ｄを有して形成されている。
【００９２】
図５に示すように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３では、前記下面２８ｆに、前記基端部２８ｃを覆うように、前記ヨーク層２９が形成されている。
【００９３】
図５に示す実施形態では、前記対向面Ｈ３ａから前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａまでの間隔Ｌ１は、前記対向面Ｈ３ａから前記基端部２８ｃまでの間隔Ｌ２よりも、小さく形成されており、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａの方が、前記対向面Ｈ３ａから近い位置に形成されている。
【００９４】
図４および図５に示す垂直磁気記録ヘッドＨ３でも、前記したように、前記下面２８ｆに、前記基端部２８ｃを覆うように、前記ヨーク層２９が形成されている。
【００９５】
したがって、前記基端部２８ｃにおける磁気飽和に伴う漏れ磁界の磁束φの発生を前記ヨーク層２９によって抑制し、漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに流れ難くすることができるとともに、前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ３ａから大きく離した位置に形成しても、前記ヨーク層２９を前記主磁極層２８に対して相対的に前記対向面Ｈ３ａに近づいた位置に形成することができるので、前記主磁極層２８の前記後方部２８ｄに誘導された記録磁界の磁束φを、前記ヨーク層２９によって前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに効果的に導くことがでる。そのため、前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを効果的に集中させることができ、記録能力の向上を図ることが可能となる。したがって、記録効率向上のために主磁極層２８の前記基端部２８ｃを前記対向面Ｈ３ａから大きく離して形成しても、前記ヨーク層２９により記録効率の向上を図ることができるのである。
【００９６】
また前記垂直磁気記録ヘッドＨ３では、図４に示すように、前記ヨーク層２９の前端面２９ａが、前記リターンパス層３４に形成された前記延出先端部３４ｃの前記ハイト方向奥側に位置するように形成されており、前記前端面２９ａが前記対向面Ｈ３ａには露出していない構造とされている。
【００９７】
したがって、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３を前記対向面Ｈ３ａから見た場合、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａが、前記リターンパス層３４の前記延出先端部３４ｃのハイト方向奥側に隠れる構造となっている。
【００９８】
したがって、前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａやその周囲から漏れ磁界の磁束φが前記対向面Ｈ３ａに向かった場合でも、この漏れ磁界の磁束φが前記延出先端部３４ｃによって遮られるため、前記漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに到達することを効果的に抑制することができる。
【００９９】
そのため、隣接トラックの記録信号を消去してしまうことを効果的に抑制することができるのである。
【０１００】
このように、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３では、記録磁界の磁束φを前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに集中させて記録能力の向上を図ることができるとともに、前記ヨーク層２９からの漏れ磁界の磁束φが記録媒体Ｍに到達してしまうことを抑制できることから、隣接トラックの記録信号消去を効果的に抑制することができ、記録能力の向上と隣接トラック信号の消去抑制という両者を同時に達成することができるのである。
【０１０１】
また、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａの方が、前記対向面Ｈ３ａから近い位置に形成されている。
【０１０２】
したがって、前記基端部２８ｃよりも前記ヨーク層２９の前記前端面２９ａが前記対向面Ｈ３ａ側に位置し、前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂの一部の下方（図示Ｚ２方向）が前記ヨーク層２９によって覆われることから、前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに記録磁界の磁束φを効果的に集中させることができ、記録能力の向上を効果的に図ることが可能となる。
【０１０３】
特に、前記垂直磁気記録ヘッドＨ３では、前記ヨーク層２９の下面２９ｃは、前記延出先端部３４ｃの下面３８よりも、前記主磁極層２８から離れる方向（図示Ｚ２方向）側に位置するように形成されているため、前記漏れ磁界の磁束φを前記延出先端部３４ｃによって遮り易くすることができるため、前記漏れ磁界の磁束φが前記記録媒体Ｍに到達することを効果的に抑制することが可能となる。
【０１０４】
また、図４に示すように、前記ヨーク層２９の前端面２９ａは前記したように前記主磁極層２８に向かって傾斜する傾斜面として形成されている。したがって、前記ヨーク層２９に誘導された記録磁界の磁束φを前記主磁極層２８に効果的に送ることができるため、記録能力の向上を極めて効果的に達成することができるのである。
【０１０５】
また、前記コイル絶縁層３３には傾斜面３３ｃが形成されているため、前記コイル絶縁層３３の上に前記ギャップ層３０を成膜する際に、均一な膜厚で形成し易くできる。
【０１０６】
なお、図４に示す垂直記録磁気ヘッドＨ３でも、図３に示す垂直記録磁気ヘッドＨ２と同様に、前記リターンヨーク層３４の前記延出先端部３４ｃに、前記段差面４０および前記対向部４１を形成し、前記対向部４１が前記ヨーク層２９の前記下面２９ｃと対向するように構成しても良い。
【０１０７】
なお、前記主磁極層２８の上下に、前記リターンパス層３４を形成し、この上下のそれぞれのリターンパス層３４と前記主磁極層２８との間に、それぞれ前記ヨーク層２９を形成したものとして構成し、その他の構造は、図１ないし図５に示す前記垂直記録磁気ヘッドＨ１、Ｈ２、Ｈ３と同様の構造として構成しても良い。
【０１０８】
このように構成しても、記録磁界の磁束φを前記主磁極層２８の前記先端部２８ｂに集中させて記録効率の向上を図ることができるとともに、前記ヨーク層２９からの漏れ磁界の磁束φを、上下それぞれに設けられた前記リターンパス層３４によって、遮ることができるため、前記ヨーク層２９からの漏れ磁界の磁束φが記録媒体Ｍに流れてしまうことを抑制でき、隣接トラックの記録信号消去を効果的に抑制することができる。
【０１０９】
この場合、前記主磁極層２８の下方に形成されたリターンパス層３４を、前記主磁極層２８と磁気的に接続されないものとし、主磁極層２８の下側に位置する磁気シールド層として構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】本発明の記録型磁気ヘッドの第１実施形態である垂直記録磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、
【図２】図１に示す垂直磁気記録ヘッドを示す部分平面図、
【図３】本発明の記録型磁気ヘッドの第２実施形態である垂直記録磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、
【図４】本発明の記録型磁気ヘッドの第３実施形態である垂直記録磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、
【図５】図４に示す垂直磁気記録ヘッドを示す部分平面図、
【図６】従来の記録型磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、
【図７】図６に示す垂直磁気記録ヘッドを示す部分平面図、
【図８】従来の記録型磁気ヘッドの構造を示す部分縦断面図、
【図９】図８に示す垂直磁気記録ヘッドを示す部分平面図、
【符号の説明】
【０１１１】
２８  主磁極層
２８ａ  前端面
２８ｂ  先端部
２８ｃ  基端部
２８ｄ  後方部
２８ｅ  上面
２８ｆ  下面
２９  ヨーク層
２９ａ  前端面
２９ｂ  上面
３０  ギャップ層
３２  コイル層
３４  リターンパス層
３４ａ  接続部
３４ｂ  平坦部
３４ｃ  延出先端部
３６  後端面
３７  前端面
３８  下面
４０  段差面
４１  対向部
【図１】
2007087546.tif 000003
【図２】
2007087546.tif 000004
【図３】
2007087546.tif 000005
【図４】
2007087546.tif 000006
【図５】
2007087546.tif 000007
【図６】
2007087546.tif 000008
【図７】
2007087546.tif 000009
【図８】
2007087546.tif 000010
【図９】
2007087546.tif 000011