(57)【要約】【課題】  ドアシェルの金属による汚れを除去できるドアシェル洗浄装置及びドアシェル洗浄方法を提供する。【解決手段】  本発明に係るドアシェル洗浄装置は、ドアシェル８３の内面の金属汚染部分を覆うシャワーボックス３１と、前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に薬液を噴射する薬液シャワーノズル３４と、前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に純水を噴射する純水シャワーノズル３５と、を具備することを特徴とする。【選択図】      図５
2007123770.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ドアシェルの内面の金属汚染部分を覆うシャワーボックスと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に薬液を噴射する薬液シャワーノズルと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に純水を噴射する純水シャワーノズルと、
を具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項２】
請求項１において、前記薬液シャワーノズルを回転させる第１の回転機構と、前記純水シャワーノズルを回転させる第２の回転機構と、をさらに具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項３】
ドアシェルを洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽の上部に前記ドアシェルの内面を該洗浄槽の底部に向けて保持する保持機構と、
前記洗浄槽内に配置され、前記ドアシェルの内面の金属汚染部分を覆うシャワーボックスと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に薬液を噴射する薬液シャワーノズルと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に純水を噴射する第１の純水シャワーノズルと、
前記洗浄槽内で且つ前記シャワーボックス外に配置され、前記ドアシェルの内面に純水を噴射する第２の純水シャワーノズルと、
を具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項４】
請求項３において、前記薬液シャワーノズルを回転させる第１の回転機構と、前記第１の純水シャワーノズルを回転させる第２の回転機構と、前記第２の純水シャワーノズルを回転させる第３の回転機構と、をさらに具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項５】
請求項３又は４において、前記シャワーボックスを前記洗浄槽内で上下に昇降させる昇降機構をさらに具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一項において、前記シャワーボックス内に繋げられた薬液及び純水を排出する排液配管をさらに具備することを特徴とするドアシェル洗浄装置。
【請求項７】
ドアシェルの内面の金属汚染部分をシャワーボックスで覆い、
前記シャワーボックスで覆われた前記金属汚染部分に薬液を噴射することにより前記ドアシェルの内面の金属汚染を除去し、
前記シャワーボックスで覆われた前記金属汚染部分に純水を噴射することにより前記金属汚染部分に付着した薬液を純水で洗い流すことを特徴とするドアシェル洗浄方法。
【請求項８】
請求項７において、前記薬液を純水で洗い流した後に、前記シャワーボックスを前記ドアシェルの内面から離し、前記ドアシェルの内面に純水を噴射することにより前記ドアシェルの内面をリンスすることを特徴とするドアシェル洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドアシェル洗浄装置及びドアシェル洗浄方法に係わり、特に、薬液洗浄によってドアシェルの金属による汚れを除去できるドアシェル洗浄装置及びドアシェル洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の製造は多数の工程を極めて高いクリーン度のもとで行わなければならないが、全ての工程におよぶ広大な環境を高いクリーン度に保つのはコスト面で限界がある。このため、局所環境（ミニ・エンバイロメント）だけを高いクリーン度に保つ手段の開発が進められている。例えば、ウエハをＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）と呼ばれる密閉型容器で搬送し、密閉型容器ごとウエハを半導体製造工程に入れ、密閉型容器を直接製造装置とドッキングさせて作業を進めるもので、密閉型容器内部の環境を管理することで製造工程内におけるウエハの高いクリーン度を維持することができることになる。
【０００３】
ところで、このような密閉型容器は、多数のウエハを収納して搬送するのであるが、その際にウエハと容器内面とが擦れて内部にパーティクル等の汚れが生じ、また容器はクリーン度の低いところを移送されるため外面が汚染され易く、蓋を外したときに内部に収納したウエハを汚染するおそれがある。そこで、容器を定期的に洗浄する必要がある。
【０００４】
図７に示すように、ＦＯＵＰ８０は、その前面に開口部８１を有して基板を水平状態で収納する容器本体であるポッドシェル８２と、開口部８１をシール可能に閉鎖してポッドシェル８２に係合する蓋体であるドアシェル８３を備えたものである。尚、ドアシェル８３は、開口部８１をシール可能に閉鎖するためのパッキン８４を備えている。
ドアシェル８３とポッドシェル８２を結合して組み立てる際は、ドアシェルの内面８５がポッドシェルの内面に対向するように設置し、ロック部（留め具）８６によってドアシェルとポッドシェルを留めることでＦＯＵＰとする。ＦＯＵＰ８０は必要に応じて、ポッドシェル８２とドアシェル８３に分解されて、それぞれ別々に洗浄される。
【０００５】
図８は、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図９は、図８に示す矢印１０１の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図１０は、図８に示す矢印１０２の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図１１は、図８に示す矢印１０３の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【０００６】
図８〜図１１に示すように、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は、ドアシェル洗浄槽１０４、ドアシェル乾燥槽１０５、ポッドシェル洗浄槽１０６、ポッドシェル乾燥槽１０７、ポッドシェル搬送機１０８、ドアシェル搬送機１０９、電装ボックス１１０及びクリーンユニット１１１を有している。
【０００７】
まず、ポッドシェルの洗浄方法について説明する。開口部を下に向けたポッドシェルをポッドシェル洗浄槽１０６内に収容し、ポッドシェル洗浄槽１０６に洗浄用の純水を導入しながらポッドシェル内の空気を排気する。これにより、開口部からポッドシェルの内部に純水が効率よく導入されつつ洗浄槽１０６内も純水で満たされ、ポッドシェルが洗浄槽内の洗浄水に浸漬される。次に、ポッドシェル及び洗浄水に超音波振動を印加することにより超音波洗浄が行われる。
【０００８】
次に、ポッドシェルの乾燥方法について説明する。ポッドシェル洗浄槽１０６によって洗浄されたポッドシェルを、ポッドシェル搬送機１０８によってポッドシェル乾燥槽１０７に搬送し、乾燥槽１０７内に収容する。次いで、ポッドシェル乾燥槽１０７において、洗浄後のポッドシェルの外側面及び内面に熱風を吹きかけて熱風乾燥を行う。所定時間乾燥させた後、ポッドシェル乾燥槽内を減圧して減圧乾燥を行う。所定時間減圧した後、ポッドシェル乾燥槽を大気開放し、常圧に戻してから再び熱風乾燥及び減圧乾燥を繰り返す。（例えば特許文献１参照）。
【０００９】
次に、ドアシェルの洗浄方法について説明する。ドアシェルの内面をドアシェル洗浄槽１０４側に向けて固定し、ドアシェルの内面に洗浄用の純水を吹き付ける。これにより、ドアシェルの内面、パッキン及びその近傍が洗浄される。
【００１０】
次に、洗浄後のドアシェルを、ドアシェル搬送機１０９によってドアシェル洗浄槽１０４からドアシェル乾燥槽１０５に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽１０５において、ドアシェルの内面に清浄な高圧空気を吹き付け、ドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして除去する（例えば特許文献２参照）。その他のドアシェルの乾燥方式として、空気を加熱して乾燥させる熱風発生器を用いた熱風乾燥なども用いられている。
【００１１】
図１２は、図９及び図１１に示すドアシェル洗浄槽の構成を示す上面図である。図１３は、図１２に示す矢印１１２の方向から視たドアシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。図１４は、図１２に示す矢印１１３の方向から視たドアシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。
【００１２】
図１２〜図１４に示すように、ドアシェル洗浄槽１０４には、該洗浄槽１０４の内部にドアシェル８３の内面が向くように設置するためのドアシェルの押さえアーム１１４が配置されている。また、ドアシェル洗浄槽１０４の内部にはシャワー状の純水をドアシェルに噴出する純水シャワーノズル１１５が複数配置されている。純水シャワーノズル１１５はシリンダー１１６に接続されている。
【００１３】
次に、上記ドアシェル洗浄槽１０４の動作の詳細について説明する。
ドアシェル８３を立てた状態で押さえアーム１１４によってドアシェル洗浄槽１０４に設置する。この際、ドアシェル８３の内面はドアシェル洗浄槽１０４の内部に向けて配置される。次いで、純水シャワーノズル１１５からシャワー状の純水をドアシェル８３の内面に吹き付ける。これにより、ドアシェルの内面が純水によって洗浄される（例えば特許文献２参照）。
【００１４】
【特許文献１】特許３４９４２９３号（図１）
【特許文献２】特開２００２−３３４８６３号公報（００２８〜００３０段落）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
ところで、従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置のドアシェル洗浄槽では、ドアシェルの洗浄を純水によって行っているため、金属による汚れを除去することが困難である。また、従来のドアシェル洗浄槽において金属による汚れを除去するために薬液を用いた場合、薬液による洗浄時にドアシェル洗浄槽から薬液が漏れてしまい、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置が薬液で汚染されてしまう。
【００１６】
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、ドアシェルの金属による汚れを除去できるドアシェル洗浄装置及びドアシェル洗浄方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
上記課題を解決するため、本発明に係るドアシェル洗浄装置は、ドアシェルの内面の金属汚染部分を覆うシャワーボックスと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に薬液を噴射する薬液シャワーノズルと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に純水を噴射する純水シャワーノズルと、
を具備することを特徴とする。
尚、前記金属汚染部分とは、ＦＯＵＰを使用した際にドアシェルに実際にウエハが接触した部分をいう。
【００１８】
また、本発明に係るドアシェル洗浄装置において、前記薬液シャワーノズルを回転させる第１の回転機構と、前記純水シャワーノズルを回転させる第２の回転機構と、をさらに具備することが好ましい。
【００１９】
本発明に係るドアシェル洗浄装置は、ドアシェルを洗浄する洗浄槽と、
前記洗浄槽の上部に前記ドアシェルの内面を該洗浄槽の底部に向けて保持する保持機構と、
前記洗浄槽内に配置され、前記ドアシェルの内面の金属汚染部分を覆うシャワーボックスと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に薬液を噴射する薬液シャワーノズルと、
前記シャワーボックス内に配置され、前記金属汚染部分に純水を噴射する第１の純水シャワーノズルと、
前記洗浄槽内で且つ前記シャワーボックス外に配置され、前記ドアシェルの内面に純水を噴射する第２の純水シャワーノズルと、
を具備することを特徴とする。
【００２０】
また、本発明に係るドアシェル洗浄装置において、前記薬液シャワーノズルを回転させる第１の回転機構と、前記第１の純水シャワーノズルを回転させる第２の回転機構と、前記第２の純水シャワーノズルを回転させる第３の回転機構と、をさらに具備することが好ましい。
【００２１】
また、本発明に係るドアシェル洗浄装置において、前記シャワーボックスを前記洗浄槽内で上下に昇降させる昇降機構をさらに具備することが好ましい。
【００２２】
また、本発明に係るドアシェル洗浄装置において、前記シャワーボックス内に繋げられた薬液及び純水を排出する排液配管をさらに具備することが好ましい。
【００２３】
本発明に係るドアシェル洗浄方法は、ドアシェルの内面の金属汚染部分をシャワーボックスで覆い、
前記シャワーボックスで覆われた前記金属汚染部分に薬液を噴射することにより前記ドアシェルの内面の金属汚染を除去し、
前記シャワーボックスで覆われた前記金属汚染部分に純水を噴射することにより前記金属汚染部分に付着した薬液を純水で洗い流すことを特徴とする。
【００２４】
また、本発明に係るドアシェル洗浄方法において、前記薬液を純水で洗い流した後に、前記シャワーボックスを前記ドアシェルの内面から離し、前記ドアシェルの内面に純水を噴射することにより前記ドアシェルの内面をリンスすることが好ましい。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように本発明によれば、ドアシェルの金属による汚れを除去できるドアシェル洗浄装置及びドアシェル洗浄方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図１は、本発明の実施の形態によるＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。図２は、図１に示す矢印２１の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。図３は、図１に示す矢印２２の方向から視たＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【００２７】
図１に示すように、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置はドアシェル洗浄リンス槽１を有しており、このドアシェル洗浄リンス槽１の隣にはドアシェル水切り槽２が配置されている。このドアシェル水切り槽２の隣にはドアシェル乾燥槽３が配置されている。これら洗浄リンス槽１、水切り槽２及び乾燥槽３は横一列に配置されており、洗浄しようとするドアシェルをドアシェル搬送機８によって洗浄リンス槽１、水切り槽２及び乾燥槽３の相互間を搬送されるように構成されている。
【００２８】
前記ドアシェル洗浄リンス槽１は、ドアシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ドアシェル水切り槽２は、洗浄後のドアシェルの水切りを行う槽である。前記ドアシェル乾燥槽３は、水切り後のドアシェルの乾燥を行う槽である。
【００２９】
また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置はポッドシェル洗浄槽４を有しており、このポッドシェル洗浄槽４はドアシェル洗浄リンス槽１に対向する位置に配されている。ポッドシェル洗浄槽４の隣にはポッドシェル水切り槽５が配置されており、このポッドシェル水切り槽５はドアシェル水切り槽２に対向する位置に配されている。ポッドシェル水切り槽５の隣にはポッドシェル乾燥槽６が配置されており、このポッドシェル乾燥槽６はドアシェル乾燥槽３に対向する位置に配されている。これら洗浄槽４、水切り槽５及び乾燥槽６は横一列に配置されており、洗浄しようとするポッドシェルをポッドシェル搬送機７によって洗浄槽４、水切り槽５及び乾燥槽６の相互間を搬送されるように構成されている。
【００３０】
前記ポッドシェル洗浄槽４は、ポッドシェルを薬液で洗浄し純水でリンスする槽である。前記ポッドシェル水切り槽５は、洗浄後のポッドシェルの水切りを行う槽である。前記ポッドシェル乾燥槽６は、水切り後のポッドシェルの乾燥を行う槽である。
【００３１】
また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は二つのドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９を有しており、一方の搬送機９はドアシェル洗浄リンス槽１とポッドシェル洗浄槽４との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものであり、他方の搬送機９はドアシェル乾燥機３とポッドシェル乾燥機６との間のドアシェル又はポッドシェルの搬送を行うものである。
【００３２】
ドアシェル洗浄リンス槽１の近傍には、洗浄しようとするＦＯＵＰをドアシェルとポッドシェルに分解する分解手段（図示せず）が配置されている。また、ドアシェル乾燥機３の近傍には、洗浄が終了したポッドシェルとドアシェルを結合させてＦＯＵＰを組み立てる組み立て手段（図示せず）が配置されている。
【００３３】
ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は薬液供給ユニット１０を備えており、この薬液供給ユニット１０は、ドアシェル洗浄リンス槽１及びポッドシェル洗浄槽４それぞれに薬液を供給するものである。また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は各槽及び各搬送機などに電力を供給する電源ボックス１１を有している。また、ＦＯＵＰ洗浄乾燥装置は、図２に示すように該装置内の雰囲気をクリーンにするクリーンユニット１２を有している。
【００３４】
次に、図１〜図３に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を用いたＦＯＵＰ洗浄乾燥方法について説明する。
まず、洗浄しようとするＦＯＵＰを用意し、このＦＯＵＰを分解手段によりドアシェルとポッドシェルに分解する。詳細には、ドアシェルとポッドシェルを結合している留め具を外してドアシェルとポッドシェルを分解する。
【００３５】
次いで、ドアシェル搬送機８によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽４内に搬送する。
【００３６】
次に、ドアシェル洗浄リンス槽１においてドアシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ドアシェルを薬液で洗浄し、この後、ドアシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ドアシェルを純水でリンスする。また、ポッドシェル洗浄槽４においてポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に薬液を吹き付けることにより該ポッドシェルを薬液で洗浄し、この後、ポッドシェルを回転させながらポッドシェルの内面に純水を吹き付けることにより該ポッドシェルを純水でリンスする。ポッドシェルを回転させることにより、ポッドシェルの内面に純水をむら無く吹き付けることができる。また、ポッドシェル内面に純水を吹き付ける方法を採用することにより、従来技術のように純水に浸漬させるのに比べて純水使用量を少なくすることができる。
【００３７】
次いで、洗浄リンス後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル洗浄リンス槽１からドアシェル水切り槽２に搬送する。次いで、ドアシェル水切り槽２においてドアシェルにエアーなどの気体を吹き付けることによりドアシェルの内面に付着して残っていた純水を吹き飛ばして水を切る。また、洗浄リンス後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によってポッドシェル洗浄槽４からポッドシェル水切り槽５に搬送する。次いで、ポッドシェル水切り槽５においてポッドシェルを回転させるながらエアーなどの気体を吹き付けることによりポッドシェルに付着して残っていた純水を飛ばして水を切る。
【００３８】
次に、水切り後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル水切り槽２からドアシェル乾燥槽３に搬送する。次いで、ドアシェル乾燥槽３においてドアシェルに熱風を吹き付けて該ドアシェルを乾燥させる。また、水切り後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によってポッドシェル水切り槽５からポッドシェル乾燥槽６に搬送する。次いで、ポッドシェル乾燥槽６においてポッドシェルに加熱エアーを吹き付けて遠心乾燥させる。遠心乾燥の回転速度はおよそ６００ｒｐｍである。
【００３９】
次いで、乾燥後のポッドシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってポッドシェル乾燥槽６からドアシェル乾燥槽３の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のドアシェルをドアシェル搬送機８によってドアシェル乾燥槽３の上方又は近傍に搬送する。次いで、組み立て手段により前記ドアシェルと前記ポッドシェルを留め具によって結合してＦＯＵＰを組み立てる。
【００４０】
上記実施の形態によれば、ドアシェル洗浄リンス槽１によってドアシェルを薬液で洗浄でき、ポッドシェル洗浄槽４によってポッドシェルを薬液で洗浄することができる。従って、従来技術では困難であった金属による汚れを除去することができる。
【００４１】
また、本実施の形態では、ドアシェル洗浄リンス槽１、ドアシェル水切り槽２及びドアシェル乾燥槽３を横一列に配置し、ポッドシェル洗浄槽４、ポッドシェル水切り槽５及びポッドシェル乾燥槽６を横一列に配置し、ドアシェル洗浄リンス槽１をポッドシェル洗浄槽４と対向して配置し、ドアシェル水切り槽２をポッドシェル水切り槽５と対向して配置し、ドアシェル乾燥槽３をポッドシェル乾燥槽６と対向して配置している。このように配置することにより、分解後のドアシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥と分解後のポッドシェルの洗浄、リンス、水切り及び乾燥を無駄な動作無く平行して行うことができる。従って、装置を小フットプリントで小型化することができるとともに装置のスループットを向上させることができる。
【００４２】
また、従来技術のようにポッドシェルを純水に浸漬させて超音波洗浄する方法を採らないため、従来技術に比べて洗浄時間を短縮することができる。つまり、従来技術では純水の給排水に時間がかかってしまい、スループットを向上させることが困難であったが、本実施の形態では洗浄時間を短縮することができる。
【００４３】
また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽２及びポッドシェル水切り槽５を設けることにより、ドアシェル乾燥槽３及びポッドシェル乾燥槽６それぞれにおける乾燥時間を短縮することができる。
【００４４】
また、本実施の形態では、ドアシェル水切り槽２及びポッドシェル水切り槽５それぞれにおいて十分に水切りを行った後に乾燥を行うため、従来技術のように減圧乾燥を行わなくても容易に乾燥させることができる。減圧乾燥を行うには、肉厚な乾燥槽を設ける必要があるが、本実施の形態ではそのような肉厚な乾燥槽が不要となる。従って、装置のコストを低減することができる。
【００４５】
図４は、図１乃至図３に示すドアシェル洗浄リンス槽の具体的構成を示す上面図である。図５は、図４に示す矢印１３の方向から視たドアシェル洗浄リンス槽の構成を示す側面図である。図６は、図４に示す矢印１４の方向から視たドアシェル洗浄リンス槽の構成を示す側面図である。
【００４６】
図４〜図６に示すように、ドアシェル洗浄リンス槽１には、該洗浄リンス槽１内の底部にドアシェル８３の内面が向くように設置するためのドアシェルの押さえアーム３７が配置されている。また、ドアシェル洗浄リンス槽１の内部にはシャワーボックス３１が配置されており、このシャワーボックス３１は上部が開口した箱状のものである。シャワーボックス３１は、図５に示すようにガイド付薄型シリンダー３３に接続されている。シャワーボックス３１は上下に移動自在に構成されている。
【００４７】
シャワーボックス３１内の中央には薬液シャワーノズル３４が配置されており、シャワーボックス３１内には、薬液シャワーノズル３４の両側に位置する内側純水シャワーノズル３５が配置されている。
【００４８】
薬液シャワーノズル３４は、ドアシェルの金属による汚染を除去するための薬液をシャワー状に噴出するノズルであって、ドアシェルに金属汚染が生じている部分にのみ薬液を吹き付けるように構成されている。つまり、ドアシェルを洗浄するドアシェル洗浄リンス槽では、ＦＯＵＰを使用した際にドアシェルに実際にウエハが接触した部分のみに金属汚染が発生すると考えられるため、そのウエハ接触部分のみに薬液を吹き付けるように薬液シャワーノズル３４を配置している。
【００４９】
内側純水シャワーノズル３５は、ドアシェルの内面に純水をシャワー状に噴出するノズルであって、前記薬液が吹き付けられる部分のみに純水を吹き付けるように構成されている。また、ドアシェルの内面に吹き付けられた薬液及び純水はほとんどすべてシャワーボックス３１内に落とされるようになっている。シャワーボックス３１の底部にはシャワーボックス排液配管３２が繋げられている。この排液配管３２は、シャワーボックス３１内に落とされた薬液及び純水をシャワーボックスから排出するための配管である。
【００５０】
ドアシェル洗浄リンス槽１の内部には、シャワーボックス３１の外側に位置する外側純水シャワーノズル３６が配置されている。この外側純水シャワーノズル３６は、ドアシェルの内面且つドアシェルの金属汚染部分以外の部分（即ち前記薬液シャワーノズル３４及び前記内側純水シャワーノズル３５それぞれによって薬液及び純水が吹き付けられる部分以外の部分）に純水を吹き付けるように構成されている。
【００５１】
ドアシェル洗浄リンス槽１には、薬液シャワーノズル３４、内側純水シャワーノズル３５及び外側純水シャワーノズル３６それぞれを回転させる回転機構（図示せず）が設けられている。これにより、ドアシェルの内面の金属汚染部分に薬液及び純水が薬液シャワーノズル３４及び内側純水シャワーノズル３５それぞれによって略均一に吹き付けられ、ドアシェルの内面の金属汚染部分以外の部分に純水が外側純水シャワーノズル３６によって略均一に吹き付けられる。
【００５２】
次に、上記ドアシェル洗浄リンス槽１によるドアシェルの洗浄リンス方法について説明する。
ドアシェル８３をその内面を下に向けてドアシェル洗浄リンス槽１の上面に置き、ドアシェル８３を押さえアーム３７によってクランプしてドアシェル洗浄リンス槽１に設置する。
【００５３】
次いで、ガイド付薄型シリンダー３３の駆動によってシャワーボックス３１を上昇させてドアシェルの内面に押し当てる。
【００５４】
次いで、薬液シャワーノズル３４からシャワー状の薬液（例えばフッ化水素を含む薬液）を噴射させることにより、ドアシェルの内面の金属汚染部分に薬液を吹き付ける。この際、ドアシェルの内面のシャワーボックスに覆われた部分全体に薬液が吹き付けられる程度の回転角だけ薬液シャワーノズル３４を回転させる。即ち、前記回転角だけ一方向に回転させ、次に前記一方向とは逆方向に前記回転角だけ回転させ、これを繰り返すことにより、ドアシェルの内面のシャワーボックスに覆われた部分全体に薬液を吹き付けることができ、ドアシェル内面の金属による汚染を除去することができる。そして、ドアシェル内面に吹き付けられた薬液は、シャワーボックス３１の底面に流れ落ち、シャワーボックス排液配管３２から排出される。なお、設定時間経過後に薬液の噴射及び薬液シャワーノズル３４の回転動作を停止する。
【００５５】
次いで、内側純水シャワーノズル３５からシャワー状の純水を噴射させることにより、ドアシェルの内面のシャワーボックス３１で覆われた部分に純水を吹き付ける。この際も薬液シャワーノズル３４から薬液を噴射させた場合と同様に、前記回転角だけ内側純水シャワーノズル３５を回転させる。これにより、ドアシェルの内面のシャワーボックスに覆われた部分全体に純水を吹き付けることができ、前記覆われた部分全体をリンスすることができる。そして、ドアシェル内面に吹き付けられた純水は、シャワーボックス３１の底面に流れ落ち、薬液が少量混入している純水がシャワーボックス排液配管３２から排出される。なお、設定時間経過後に純水の噴射及び内側純水シャワーノズル３５の回転動作を停止する。
【００５６】
次いで、ガイド付薄型シリンダー３３の駆動によってシャワーボックス３１を下降させてドアシェルの内面からシャワーボックス３１を離す。
【００５７】
次に、外側純水シャワーノズル３６からシャワー状の純水を噴射させることにより、ドアシェルとシャワーボックス３１との接触部に純水を吹き付けて、前記接触部に残留している微量の薬液を洗い流す。この際、ドアシェルの内面全体に純水が吹き付けられる程度の回転角だけ外側純水シャワーノズル３６を回転させる。即ち、前記回転角だけ一方向に回転させ、次に前記一方向とは逆方向に前記回転角だけ回転させ、これを繰り返すことにより、ドアシェルの内面全体に純水を吹き付けることができ、前記接触部に微量に残留している薬液を除去することができる。なお、設定時間経過後に純水の噴射及び外側純水シャワーノズル３６の回転動作を停止する。
【００５８】
この後、押さえアーム３７をリリースして洗浄リンス後のドアシェルをドアシェル水切り槽に搬送し、次に洗浄しようとするドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１の上面に置き、上記のドアシェル洗浄リンス槽１によるドアシェルの洗浄リンスを繰り返す。
【００５９】
上記ドアシェル洗浄リンス方法によれば、ドアシェルに金属汚染が生じている部分をシャワーボックス３１で覆った状態で、その部分のみに薬液を吹き付けて薬液による金属汚染の除去を行っている。このため、ドアシェルの内面全体に薬液を吹き付ける場合に比べて、薬液使用量を少なくすることができ、薬液による洗浄時間を短くすることができる。また、ドアシェルの内面に薬液が吹き付けられる部分を少なくすることができるため、その部分に付着した薬液を除去するための純水によるリンス処理も短時間化することができ、純水使用量も少なくすることができる。
【００６０】
また、シャワーボックス３１によってドアシェルの内面の金属汚染部分を覆っているため、薬液、薬液雰囲気及び薬液によって除去された金属汚染物がドアシェル内面の金属汚染部分以外の部分やドアシェルの外側にかからないようにすることができる。
【００６１】
尚、本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。例えば、上記実施の形態によるＦＯＵＰ洗浄乾燥方法を次のように変形して実施することも可能である。ドアシェルとポッドシェルを分解した後、ポッドシェル搬送機７によってポッドシェルの開口部を下に向けて該ポッドシェルをポッドシェル洗浄槽４内に設置し、ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってドアシェルの内面を下に向けて該ドアシェルをドアシェル洗浄リンス槽１に搬送する。また、乾燥後のドアシェルをドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機９によってドアシェル乾燥槽３からポッドシェル乾燥槽６の上方又は近傍に搬送し、乾燥後のポッドシェルをポッドシェル搬送機７によってポッドシェル乾燥槽６の上方又は近傍に搬送する。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明の実施の形態によるＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。
【図２】図１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【図３】図１に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【図４】図１乃至図３に示すドアシェル洗浄リンス槽の具体的構成を示す上面図である。
【図５】図４に示すドアシェル洗浄リンス槽の構成を示す側面図である。
【図６】図４に示すドアシェル洗浄リンス槽の構成を示す側面図である。
【図７】洗浄しようとするＦＯＵＰをドアシェルとポッドシェルに分解した状態を示す斜視図である。
【図８】従来のＦＯＵＰ洗浄乾燥装置を模式的に示す上面図である。
【図９】図８に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【図１０】図８に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【図１１】図８に示すＦＯＵＰ洗浄乾燥装置の側面図である。
【図１２】図９及び図１１に示すドアシェル洗浄槽の構成を示す上面図である。
【図１３】図１２に示すドアシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。
【図１４】図１２に示すドアシェル洗浄槽の構成を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６３】
１…ドアシェル洗浄リンス槽
２…ドアシェル水切り槽
３…ドアシェル乾燥槽
４…ポッドシェル洗浄槽
５…ポッドシェル水切り槽
６…ポッドシェル乾燥槽
７…ポッドシェル搬送機
８…ドアシェル搬送機
９…ドアシェル槽−ポッドシェル槽間搬送機
１０…薬液供給ユニット
１１，１１０…電源ボックス
１２，１１１…クリーンユニット
１３，１４，２１，２２，１０１〜１０３…矢印
３１…シャワーボックス
３２…シャワーボックス排液配管
３３…ガイド付薄型シリンダー
３４…薬液シャワーノズル
３５…内側純水シャワーノズル
３６…外側純水シャワーノズル
３７…押さえアーム
８０…ＦＯＵＰ
８１…開口部
８２…ポッドシェル
８３…ドアシェル
８４…パッキン
８５…内面
８６…ロック部
１０４…ドアシェル洗浄槽
１０５…ドアシェル乾燥槽
１０６…ポッドシェル洗浄槽
１０７…ポッドシェル乾燥槽
１０８…ポッドシェル搬送機
１０９…ドアシェル搬送機
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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