(57)【要約】【課題】  光ファイバの出射端部にロッドレンズが取付けられこのロッドレンズの出射端面に対向して反射板が設置され、ロッドレンズと反射板との相対距離の圧力に応じた変化を検知して圧力を検出する光学式圧力センサであって、ロッドレンズそのものの温度特性による測定精度の悪化が抑制されるようになされた光学式圧力センサを提供する。【解決手段】  ロッドレンズ７を支持扞部１１ａにおいて把持するレンズガイド１１と基端側をレンズガイド１１に固定されるとともに先端側において反射板８を支持する外筒１２とにより測定部１３を構成し、レンズガイド１１の支持扞部１１ａの長さの温度変化及び外筒１２の長さの温度変化の差と、ロッドレンズ７の温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量との合計を０とすることにより、ロッドレンズの温度特性を補償する。【選択図】      図２
2007078551.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源と、
前記光源から出射された光が一端側に入射され、この光を他端側に伝搬する光ファイバと、
前記光ファイバの他端部に取付けられ、該光ファイバにより伝搬された光を出射するロッドレンズと、
前記ロッドレンズの出射端面に対向して設置され該ロッドレンズからの出射光を反射するとともに該ロッドレンズの出射端面との相対距離が圧力に応じて変化する反射板を有する測定部とを備え、
前記測定部は、前記ロッドレンズを支持扞部において把持するレンズガイドと、基端側を前記レンズガイドに固定されるとともに先端側において前記反射板を支持する外筒とを有して構成され、
前記レンズガイドの支持扞部の長さの温度変化及び前記外筒の長さの温度変化の差と、前記ロッドレンズの温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量との合計が０であることにより、前記ロッドレンズの温度特性が補償されることを特徴とする光学式圧力センサ。
【請求項２】
前記レンズガイドと、前記外筒とは、互いに異種の材料により形成されており、該レンズガイドをなす材料と該外筒をなす材料との線膨張係数の差が、７×１０−６／°Ｃ以下であることを特徴とする請求項１記載の光学式圧力センサ。
【請求項３】
前記レンズガイドと前記外筒との間には、極低熱膨張金属材料により形成されたスペーサが介在されており、このスペーサの長さによって、前記ロッドレンズの出射端面と前記反射板との間の相対距離が調整されていることを特徴とする請求項１、または、請求項２記載の光学式圧力センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧力によって位置変動する反射板によって反射された反射光の強度変化を測定することによって圧力を検出する光学式圧力センサに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、光学式圧力センサとして、光ファイバの出射端面に対向して、圧力によって位置変動する反射板（ダイアフラム、ベローズなど）を対向させて配置したものが提案されている。この光学式圧力センサにおいては、光ファイバの出射端面から出射され反射板によって反射された光を測定することにより、反射板の位置変動を検知し、この検知結果から圧力を検出するものである。
【０００３】
反射板の位置変動を検知する方法としては、この反射板からの反射光の強度変化を測定する方法がある。この方法による光学式圧力センサは、安価に構成することが可能であり、また、測定された信号の処理も容易に行うことができる。
【０００４】
また、このような光学式圧力センサとしては、特許文献１に記載されているように、光ファイバ及び反射板を保持するハウジングの温度変化による熱膨張の影響を回避するようにしたものも提案されている。この光学式圧力センサは、光束を出射する２本の光ファイバを有し、これらのうちの一方の光ファイバの出射端面に対向して反射板（ダイアフラム）が設置されている。これら２本の光ファイバ及び反射板は、ハウジングに収納されて保持されている。一方の光ファイバの出射端面は、反射板の中心部に対向しており、圧力を受けて位置変動する反射板の位置変位ｄＸが測定される。他方の光ファイバは、反射板に対向しない位置に配置されており、温度変化によるハウジングの熱膨張による位置変化ｄＸｔのみを測定する。そして、この光学式圧力センサにおいては、〔ｄＸ−ｄＸｔ〕という演算によって、反射板の位置変位量からハウジングの熱膨張による位置変化量を差し引いて、圧力のみによる位置変位ｄＸｐを得ることができ、温度補償がなされた高精度の測定が可能となっている。
【０００５】
また、特許文献２及び特許文献３に記載されているように、光ファイバ及び反射板を保持する測定部の構造によって温度補償が行われるようにした光学式圧力センサが提案されている。この光学式圧力センサにおいては、光ファイバの出射端面にロッドレンズが融着されており、このロッドレンズに対向されて反射板が設置されている。そして、ロッドレンズの端面から出射されて反射板によって反射された反射光を測定することにより、反射板の位置変動が検知されるようになっている。このとき、ロッドレンズの距離依存性を利用し、反射光の強度の変動により、圧力が算出できるようになっている。
【０００６】
この光学式圧力センサの測定部は、支持扞部においてロッドレンズを把持するレンズガイドと、基端側をレンズガイドに固定されるとともに先端側において反射板を支持する外筒とを有して構成されている。これらレンズガイドの支持扞部及び外筒は、等しい線膨張係数を有する材料により形成され、等しい長さとなされている。また、これらレンズガイドと外筒との間には、極低熱膨張係数を有する材料により形成されたスペーサが介在されており、ロッドレンズと反射板との間の相対距離が調整されている。
【０００７】
この光学式圧力センサにおいては、温度変化による測定精度の悪化が抑制されるようになっている。ここで、レンズガイドの支持扞部及び外筒の長さをＬ１，Ｌ２とし、これらをなす材料の線膨張係数をαとする。レンズガイドと外筒との間に配置されたスペーサをなす材料の線膨張係数βが、１０−７／°Ｃ以下となっており、このスペーサの長さがＸであるとする。すると、周囲温度がｄＴ変化した場合におけるロッドレンズと反射板との間の相対距離の変化量ｄＤは、以下のように示される。
ｄＤ＝ｄＴ｛（αＬ１＋βＸ）−αＬ２｝
【０００８】
ここで、レンズガイドの支持扞部及び外筒の長さは等しく、〔Ｌ１＝Ｌ２〕であるので、変化量ｄＤは、以下のように示される。
ｄＤ＝ｄＴ・βＸ
【０００９】
そして、〔β≦１０−７／°Ｃ〕であるため、変化量ｄＤは極めて小さな値となり、温度変化に対するロッドレンズと反射板との間の相対距離の変化が極めて小さく抑制されていることがわかる。
【００１０】
【特許文献１】特開平８−６２０８０号公報
【特許文献２】米国特許５８４４６６７号明細書
【特許文献３】米国特許６８２３７３８号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
前述のようにロッドレンズの距離依存性を利用した光学式圧力センサにおいては、レンズガイド、外筒及びスペーサの材料や長さを適切に設定することによって温度補償が行われ、周囲温度の変化による測定精度の悪化が抑制されているようにみえる。
【００１２】
しかしながら、このような光学式圧力センサにおいては、周囲温度が変化すると、ロッドレンズそのものの屈折率に変化が生じてしまい、ロッドレンズから出射される光の焦点距離が変化してしまう。ロッドレンズの焦点距離が変化してしまうと、ロッドレンズと反射板との間の相対距離が一定に維持されていても、反射板における反射光の強度変動が生じて、測定精度の悪化につながってしまう。
【００１３】
そこで、本発明は、光ファイバの出射端部にロッドレンズが取付けられこのロッドレンズの出射端面に対向して反射板が設置され、ロッドレンズと反射板との相対距離の圧力に応じた変化を検知して圧力を検出する光学式圧力センサであって、ロッドレンズそのものの温度特性による測定精度の悪化が抑制されるようになされた光学式圧力センサを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
前述の課題を解決し、前記目的を達成するため、本発明に係る光学式圧力センサは、以下の構成のいずれか一を有するものである。
【００１５】
〔構成１〕
光源と、この光源から出射された光が一端側に入射されこの光を他端側に伝搬する光ファイバと、光ファイバの他端部に取付けられ該光ファイバにより伝搬された光を出射するロッドレンズと、ロッドレンズの出射端面に対向して設置され該ロッドレンズからの出射光を反射するとともに該ロッドレンズの出射端面との相対距離が圧力に応じて変化する反射板を有する測定部とを備え、測定部は、ロッドレンズを支持扞部において把持するレンズガイドと、基端側をレンズガイドに固定されるとともに先端側において反射板を支持する外筒とを有して構成され、レンズガイドの支持扞部の長さの温度変化及び外筒の長さの温度変化の差と、ロッドレンズの温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量との合計が０であることにより、ロッドレンズの温度特性が補償されることを特徴とするものである。
【００１６】
〔構成２〕
構成１を有する光学式圧力センサにおいて、レンズガイドと外筒とは、互いに異種の材料により形成されており、該レンズガイドをなす材料と該外筒をなす材料との線膨張係数の差が、７×１０−６／°Ｃ以下であることを特徴とするものである。
【００１７】
〔構成３〕
構成１、または、構成２を有する光学式圧力センサにおいて、レンズガイドと外筒との間には、極低熱膨張金属材料により形成されたスペーサが介在されており、このスペーサの長さによって、ロッドレンズの出射端面と反射板との間の相対距離が調整されていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１８】
本発明に係る光学式圧力センサにおいては、測定部が、ロッドレンズを支持扞部において把持するレンズガイドと、基端側をレンズガイドに固定されるとともに先端側において反射板を支持する外筒とを有して構成され、レンズガイドの支持扞部の長さの温度変化及び外筒の長さの温度変化の差と、ロッドレンズの温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量との合計が０であることにより、ロッドレンズの温度特性が補償される。
【００１９】
そのため、この光学式圧力センサは、簡素な構造を有し、極めて低コストで製造することができ、かつ、ロッドレンズの温度特性による測定精度悪化を抑制することができるものである。
【００２０】
また、この光学式圧力センサにおいて、レンズガイドと外筒とを互いに異種の材料により形成し、該レンズガイドをなす材料と該外筒をなす材料との線膨張係数の差を７×１０−６／°Ｃ以下とした場合には、ロッドレンズの温度特性の補償を特に良好に行うことができる。
【００２１】
さらに、この光学式圧力センサにおいて、レンズガイドと外筒との間に、極低熱膨張金属材料により形成されたスペーサを介在させ、このスペーサの長さによって、ロッドレンズの出射端面と反射板との間の相対距離を調整することにより、ロッドレンズの温度特性の補償を良好に行いながら、ロッドレンズの出射端面と反射板との間の相対距離を自由に設定することができる。
【００２２】
すなわち、本発明は、光ファイバの出射端部にロッドレンズが取付けられこのロッドレンズの出射端面に対向して反射板が設置され、ロッドレンズと反射板との相対距離の圧力に応じた変化を検知して圧力を検出する光学式圧力センサであって、ロッドレンズそのものの温度特性による測定精度の悪化が抑制されるようになされた光学式圧力センサを提供することができるものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
【００２４】
図１は、本発明に係る光学式圧力センサの構成を示すブロック図である。
【００２５】
本発明に係る光学式圧力センサは、図１に示すように、光源１を有し、この光源１から出射された光が、光ファイバ２の入射端面より入射される。この光は、光カプラ３を経て、光ファイバ２の出射端面側に伝送される。光カプラ３においては、光ファイバ２を伝送される光の一部が分岐され、参照光として、第１の受光部４によって受光される。この第１の受光部４における光検出出力は、増幅器５によって増幅されて、演算処理回路６に送られる。
【００２６】
そして、光ファイバの出射端面には、石英製のロッドレンズ７が融着されている。光ファイバ２により伝送された光は、このロッドレンズ７を経て、このロッドレンズ７の出射端面（先端面）より出射される。ロッドレンズ７の出射端面に対向して、反射板（ダイヤフラム）８が設置されている。ロッドレンズ７からの出射光は、反射板８によって反射されて、ロッドレンズ７に戻る。
【００２７】
ロッドレンズ７に戻った反射板８からの反射光は、光ファイバ２中を戻り、光カプラ３に至る。この反射光は、この光カプラ３において分岐され、第２の受光部９によって受光される。この第２の受光部９における光検出出力は、増幅器１０によって増幅されて、演算処理回路６に送られる。
【００２８】
この光学式圧力センサにおいては、反射板８によって反射されて再びロッドレンズ７に入射（結合）する反射光の強度は、ロッドレンズ７の出射端面と反射板８との間の相対距離に依存している。そのため、ロッドレンズ７を経て光ファイバ２に戻る反射光の強度と、ロッドレンズ７及び反射板８間の相対距離との関係をあらかじめ確認しておくことにより、反射板８の位置変動を検知することが可能である。さらに、反射板８として、圧力によって変形するダイアフラムやベローズなどを使用することにより、反射光強度と圧力との関係を確認することができ、圧力を検出することが可能となる。
【００２９】
この光学式圧力センサにおいては、第１の受光部４からの参照光強度に応じた出力と、第２の受光部９からの反射光強度に応じた出力とを、演算処理回路６において比較することにより、光源１からの出射光強度の変動を補正しつつ、反射光強度を測定することが可能となる。
【００３０】
この光学式圧力センサにおいて、光ファイバ２の出射端面に石英製のロッドレンズ７を融着しているのは、光ファイバ２の出射端面のみを設置する場合に比較して反射光強度を大きくとることができるようにして、測定を容易に行えるようにするため、及び、ロッドレンズ７及び反射板８間の相対距離に対する反射光強度の依存性を大きくして、測定感度を良くするためである。なお、ロッドレンズ７は、石英製のものに限定されないが、石英製のものとすることにより、光ファイバ２に直接融着することが可能となり、信頼性、耐久性を向上させることができる。
【００３１】
図２は、本発明に係る光学式圧力センサの測定部の構成を示す断面図である。
【００３２】
この光学式圧力センサにおいて、ロッドレンズ７は、図２に示すように、レンズガイド１１及び外筒１２を有する測定部１３内に配置されている。この測定部１３において、ロッドレンズ７は、レンズガイド１１の支持扞部１１ａによって把持されている。この支持扞部１１ａは、円盤状に形成されたレンズガイド１１の中央部より突設された円筒状に形成されており、先端側にロッドレンズ７を挿入させて把持している。この支持扞部１１ａの後方側には、出射端面にロッドレンズ７が融着された光ファイバ２が引き出されている。
【００３３】
外筒１２は、円筒状に形成され、基端側をレンズガイド１１に固定されるとともに、先端側において反射板８を支持している。外筒１２とレンズガイド１１との間には、円環状のスペーサ１４が介在されている。これらレンズガイド１１、スペーサ１４及び外筒１２は、固定ネジ１５によって固定されている。スペーサ１４は、極低熱膨張金属材料により形成されており、このスペーサ１４の長さによって、ロッドレンズ７の出射端面と反射板８との間の相対距離が調整されるようになっている。
【００３４】
そして、レンズガイド１１と外筒１２とは、同一の材料、または、線膨張係数が等しい材料によって形成することに限定されず、異種の材料であって線膨張係数が異なる材料によって形成しても良い。この場合においては、これらレンズガイド１１及び外筒１２をなす材料の線膨張係数の差が小さいほうが好ましく、これら材料の線膨張係数の差は、７×１０−６／°Ｃ以下であることが好ましい。これら材料の線膨張係数の差が大きくなると、後述する温度補償の効果が減少することが考えられるからである。レンズガイド１１及び外筒１２をなす材料としては、耐腐食性や加工容易性などを考慮すると、ステンレス（ＳＵＳ）などが考えられるが、これに限定されるものではない。
【００３５】
また、スペーサ１４をなす材料の線膨張係数βは、１０−７／°Ｃ以下であることが好ましい。このような材料としては、インバーなどが考えられるが、これに限定されるものではなく、他の材料でも、熱膨張係数が十分に小さいものであればよい。
【００３６】
この光学式圧力センサにおいて、周囲温度の変化量がｄＴである場合のロッドレンズ７と反射板８との間の相対距離変化量ｄＤは、レンズガイド１１をなす材料の線膨張係数をα１とし、レンズガイド１１の支持扞部１１ａの長さをＬ１とし、外筒１２をなす材料の線膨張係数をα２とし、外筒１２の長さをＬ２とし、スペーサ１４をなす材料の線膨張係数をβとし、スペーサ１４の長さをＸとしたとき、以下のように示される。
ｄＤ＝ｄＴ（α２Ｌ２＋βＸ−α１Ｌ１）
【００３７】
ここで、〔α１＝α２〕、〔Ｌ１＝Ｌ２〕とすると、以下が成立する。
ｄＤ＝ｄＴ・βＸ
【００３８】
例えば、温度変化量ｄＴが６０°Ｃで、スペーサ１４の長さＸが１５００μｍである場合には、スペーサ１４をなす材料の線膨張係数βが、１０−７／°Ｃ以下であれば、相対距離変化量ｄＤは、約０．０５μｍ以下となり、温度変化に対する相対距離の変化を極めて小さく抑制することが可能となる。
【００３９】
例えば、この光学式圧力センサを、レンズガイド１１及び外筒１２の材料として、それぞれＳＵＳ３０４（線膨張係数：１７．３×１０−６／°Ｃ）を用い、スペーサ１４の材料として、インバー（線膨張係数：０．５×１０−６／°Ｃ）を使用し、圧力を０ｋＰａで一定とし、周囲温度を２０°Ｃから８０°Ｃに変化させた場合、測定偏差は、温度補償なしの場合に比較して、約１／１０の±０．１２％以下にできる。
【００４０】
そして、この光学式圧力センサにおいては、レンズガイド１１の支持扞部１１ａの長さＬ１の温度変化及び外筒１２の長さＬ２の温度変化の差と、ロッドレンズ７の温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量との合計が０であることにより、ロッドレンズ７の温度特性が補償されるようになっている。すなわち、周囲温度の変化量がｄＴである場合のロッドレンズ７の温度変化による屈折率変化の相対距離への換算量をΔＡとしたとき、以下の関係が成立している。
ｄＴ（α２Ｌ２＋βＸ−α１Ｌ１）＋ΔＡ＝０
【００４１】
ロッドレンズそのものの温度特性については、反射板８に対する相対距離が１７５０μｍの場合、温度変化が２０°Ｃから８０°Ｃであるときの反射光強度の変化は、ほぼ線形となる。そのときの反射光強度の変動は、±０．２であり、反射板８が２００μｍ位置変動した場合の最大反射光強度変化量に対する測定偏差は、約±０．１％である。
【００４２】
周囲温度の変化量ｄＴが６０°Ｃの場合において、ロッドレンズ７の温度変化に対する測定偏差から、仮想の相対距離変化量ΔＡを算出すると、約０．２μｍ程度となる。その温度係数ａは、３．３×１０−３μｍ／°Ｃとなる。よって、ロッドレンズ７の温度特性を考慮した場合の相対距離変化ｄＤＲは、以下のように示される。
ｄＤＲ＝ｄＴ（α２Ｌ２＋βＸ−α１Ｌ１＋ａ）
【００４３】
レンズガイド１１及び外筒１２の材料として、それぞれＳＵＳ３０４（線膨張係数：１７．３×１０−６／°Ｃ）を用い、スペーサ１４の材料としてインバー（線膨張係数：０．５×１０−６／°Ｃ）を用いた場合、相対距離変化ｄＤＲを０とするには、〔α１＝α２〕とした場合、〔Ｌ１＝Ｌ２＋２００μｍ〕とすればよい。
【００４４】
実際にレンズガイド１１の支持扞１１ａの長さＬ１を、外筒１２の長さＬ２よりも２００μｍ長くし、ロッドレンズ７そのものが有する温度特性を補正した結果、測定偏差は±０．０５％以下に改善することが可能となった。
【００４５】
前述のように、この光学式圧力センサにおいては、簡素な構造を有し、極めて低コストで製造することができ、かつ、ロッドレンズ７の温度特性による測定精度悪化を抑制することができる。
【００４６】
〔実施例１〕
前述した光学式圧力センサを作成し、光源として、１．３μｍ帯ＬＥＤを用い、受光部として、ＰＤを用いて、ロッドレンズ７と反射板８との相対距離Ｄに対する反射光強度の依存性を確認した。
【００４７】
図３は、この実施例における測定系の構成を示すブロック図である。
【００４８】
この実施例では、図３に示すように、反射板８に代えて、全反射ミラー８ａを設置し、この全反射ミラー８ａとロッドレンズ７との相対距離Ｄを変化させ、第１の受光部４及び第２の受光部９における受光強度比を測定した。
【００４９】
ここで、各受光部４，９において検知された光強度は、各増幅器５，１０によって増幅し、演算処理回路６によって光強度比を算出した。また、ロッドレンズ７は、出射光が集光される条件のものを使用した。
【００５０】
図４は、この実施例における測定結果を示すグラフである。
【００５１】
このようにして求められた反射光強度比は、図４に示すように、全反射ミラー８ａとロッドレンズ７との相対距離Ｄが大きくなるにつれて、反射光強度が増加し、相対距離Ｄが１５００μｍのときに反射光強度がピークとなり、その後減少するという結果が得られた。なお、図４においては、横軸が相対距離Ｄを、縦軸が反射光強度比を示している。
【００５２】
このように、ロッドレンズ７は、反射板８との相対距離Ｄが変化することにより、反射光強度が変化する距離依存性をもつことが確認できた。
【００５３】
〔実施例２〕
次に、図３に示した測定系を用いて、ロッドレンズ７の出射端面と全反射ミラー８ａとの間の相対距離Ｄを１７５０μｍに固定し、温度を２０°Ｃから８０°Ｃに変化させた場合のロッドレンズ７そのものの温度特性を確認した。ロッドレンズ７と全反射ミラー８ａとの相対距離Ｄを固定することにより、ロッドレンズ７の屈折率変化の影響のみによる反射光強度変動を確認することができる。ここでロッドレンズ７は、出射光が集光される条件のものを使用した。
【００５４】
図５は、この実施例における測定結果を示すグラフである。
【００５５】
このようにして求められた反射光強度の変動は、図５に示すように、２０°Ｃから８０°Ｃの温度変化に対して、±０．２となり、測定偏差は、±０．１％となった。なお、図５においては、横軸がロッドレンズ７の温度、左縦軸が光強度変動、右縦軸が反射板８が２００μｍ変動した場合の最大反射光強度変化量に対する測定偏差を示している。
【００５６】
このようにして、ロッドレンズ７が温度特性をもつことが確認でき、温度の変化量ｄＴが６０°Ｃの場合において、このロッドレンズ７の温度変化に対する測定偏差から、仮想の相対距離変化量を算出すると約０．２μｍ程度となり、その温度係数は、３．３×１０−３μｍ／°Ｃとなった。
【００５７】
〔実施例３〕
レンズガイド１１及び外筒１２の材料として、それぞれＳＵＳ３０４（線膨張係数：１７．３×１０−６／°Ｃ）を用い、スペーサの材料としてＳＵＳ３０４、または、インバー（線膨張係数：０．５×１０−６／°Ｃ）を用い、反射板８としてダイアフラムを用いて、前述した光学式圧力センサを作成した。そして、温度によるロッドレンズ７の出射端面と反射板８との相対距離の変化のみを確認するため、印加圧力を０ｋＰａで一定とし、測定部の温度を２０°Ｃから８０°Ｃに変化させて、反射光強度変動を測定した。
【００５８】
図６は、この実施例における測定結果を示すグラフである。
【００５９】
このようにして求められた反射光強度の変動は、図６に示すように、スペーサ１４の材料をＳＵＳ３０４とし、レンズホルダ１１の支持扞１１ａの長さＬ１を外筒１２の長さＬ２に等しくし、スペーサ１４の長さＸを１５００μｍとして、温度補償が行われない構成とした場合には、測定偏差は±１．２％となった。なお、図６においては、横軸が測定部の温度を示し、左縦軸が反射光強度の変動を、右縦軸が反射板８が２００μｍ変動した場合の最大反射光強度変化量に対する測定偏差を示している。
【００６０】
そして、スペーサ１４の材料をインバーとし、レンズホルダ１１の支持扞１１ａの長さＬ１を外筒１２の長さＬ２に等しくし、スペーサ１４の長さＸを１５００μｍとして、温度補償が行われる構成とした場合には、測定偏差は、温度補償なし場合の約１／１０である±０．１２％以下にできることが確認できた。
【００６１】
さらに、ロッドレンズ７そのものの温度特性による測定精度の悪化を抑制するため、レンズホルダ１１の支持扞１１ａの長さＬ１を外筒１２の長さＬ２よりも２００μｍ長くした場合には、測定偏差は、±０．０５％以下と、より小さくなり、温度変化による測定精度の悪化をさらに抑制することが確認できた。
【図面の簡単な説明】
【００６２】
【図１】本発明に係る光学式圧力センサの構成を示すブロック図である。
【図２】前記光学式圧力センサの測定部の構成を示す断面図である。
【図３】前記光学式圧力センサの第１の実施例における測定系の構成を示すブロック図である。
【図４】前記光学式圧力センサの第１の実施例における測定結果を示すグラフである。
【図５】前記光学式圧力センサの第２の実施例における測定結果を示すグラフである。
【図６】前記光学式圧力センサの第３の実施例における測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００６３】
１      光源
２      光ファイバ
７      ロッドレンズ
８      反射板
１１    レンズガイド
１１ａ  支持扞部
１２    外筒
１３    測定部
１４    スペーサ
【図１】
2007078551.tif 000003
【図２】
2007078551.tif 000004
【図３】
2007078551.tif 000005
【図４】
2007078551.tif 000006
【図５】
2007078551.tif 000007
【図６】
2007078551.tif 000008