(57)【要約】      （修正有）【課題】光記憶媒体の母材に薄膜をつけるマグネトロンスパッタ装置において、プラズマから逃げ出した電子が母材に入射することを防止可能なスパッタ装置を提供する。【解決手段】光記憶媒体の母材１に薄膜をつけるマグネトロンスパッタ装置において、電子トラップ中心磁石３はターゲット５中心と光記憶媒体中心を通る線上、かつターゲット５と光記憶媒体の中間または光記憶媒体の裏側に置かれる。電子トラップ周辺磁石４はターゲット５外周の外周線の内側、または外側、外周線上に位置し、かつターゲットと光記憶媒体の中間に置かれる構成とする。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光記憶媒体の母材に薄膜をつけるマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石と電子トラップ周辺磁石を具備する事を特徴とするマグネトロンスパッタ装置
【請求項２】
請求項１に記載するマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石がターゲット中心と光記憶媒体中心を通る線上、かつターゲットと光記憶媒体の中間、または光記録媒体の裏側、または、中間より光記憶媒体側、または中間よりターゲット側に置かれ、
電子トラップ周辺磁石がターゲット外周の外周線の内側、または外側、外周線上に位置し、かつターゲットと光記憶媒体の中間または、中間より光記憶媒体側、または光記録媒体の裏側、または中間よりターゲット側に置かれていている事を特徴とするマグネトロンスパッタ装置
【請求項３】
請求項１または２に記載するマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石が作り出す磁場の強さがターゲット裏側の中心磁石の作り出す磁場の強さの１／４から４倍であり、
電子トラップ周辺磁石が作り出す磁場の強さがターゲット裏側の周辺磁石の作り出す磁場の強さの１／４から４倍である事を特徴とするマグネトロンスパッタ装置
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】本発明は光記憶媒体の母材に薄膜をつけるマグネトロンスパッタ装置にかかわり、特に、マグネトロンスパッタ装置が作り出すプラズマから電子が逃げ出し光記憶媒体の母材に入射すのを防ぐ磁石に関する。
【背景技術】
【０００２】従来、マグネトロンスパッタ装置において、プラズマから逃げ出した電子が光記憶媒体の母材に届かないようにする為、中心磁石からの磁力線が光記憶媒体の母材に届かないよう、電子トラップ磁石を基板外周部に設け電子が基板に逃げるのを防いでいた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】しかし、このような磁石では全ての磁力線を電子トラップ磁石に吸収させる事はできず、一部の電子が基板に入射する事を避けられないという問題を抱えていた。【０００４】特に光記憶媒体の母材にポリカーボネイトなどの熱に弱いプラスチックが使われた場合、電子の流入による温度上昇が母材の曲がりを引き起こし記録層のうねりとなって情報を引き出せないと言う問題が深刻であった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】本発明はかかる課題を克服する為になされたものである。【０００６】すなわち、請求項１に記載の発明においては次のような構成とした。【０００７】光記憶媒体の母材に薄膜をつけるマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石と電子トラップ周辺磁石を具備するマグネトロンスパッタ装置を備える構成とした。【０００８】このようにすると、電子が光記憶媒体に入っていかないので好ましい。【０００９】請求項２に記載の発明においては次のような構成とした。【００１０】請求項１に記載するマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石がターゲット中心と光記憶媒体中心を通る線上、かつターゲットと光記憶媒体の中間または、中間より光記憶媒体側、または光記録媒体の裏側、または中間よりターゲット側に置かれ、
電子トラップ周辺磁石がターゲット外周の外周線の内側、または外側、外周線上に位置し、かつターゲットと光記憶媒体の中間または、中間より光記憶媒体側、または光記録媒体の裏側または中間よりターゲット側に置かれていているマグネトロンスパッタ装置を備える構成とした。【００１１】この様にすると、電子が光記憶媒体にさらに入射しにくくなるので好ましい。【００１２】すなわち、請求項３に記載の発明においては次のような構成とした。【００１３】請求項１または２に記載するマグネトロンスパッタ装置において、
電子トラップ中心磁石が作り出す磁場の強さがターゲット裏側の中心磁石の作り出す磁場の強さの１／４から４倍であり、
電子トラップ周辺磁石が作り出す磁場の強さがターゲット裏側の周辺磁石の作り出す磁場の強さの１／４から４倍であるマグネトロンスパッタ装置を備える構成とした【００１４】この様にすると、電子が光記憶媒体にさらに入射しにくくなるので好ましい。
【発明の効果】
【００１５】上述した構成にすることにより、電子が電子トラップ中心磁石と周辺磁石が作り出す磁場、すなわち磁気ポテンシャルにより押し戻され光記憶媒体もしくは光記憶媒体の母材に届かないという効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】以下、本発明を図面に示す実施例に基づいて説明する。
【実施例】
【００１７】本願発明の実施例を図１を用いて説明する。【００１８】図１はポリカーボネイト製光記録媒体の母材１とターゲット５の中間に、電子トラップ中心磁石３および電子トラップ周辺磁石４が配置されている。【００１９】６は裏板でターゲット５がボンディングされている。【００２０】プラズマ１０は、中心磁石８、周辺磁石９が作るつくる磁力線７によりトラップされ密度が濃くなる。【００２１】プラズマ１０から逃げ出した電子は、電子トラップ中心磁石３電子トラップ周辺磁石４がつくる磁力線２が示す磁場により、磁場に押し戻される電子１１となってポリカーボネイト製光記録媒体の母材１に届かず、横方向に逃げる。【００２２】中心方向に逃げた迷走電子１２はふらつきながら最後は磁場に押し戻される電子１１となって同じ様に横方向に逃げ、アース電極１５に吸収される。【００２３】このようにして電子は電子トラップ中心磁石３電子トラップ周辺磁石４がつくる磁力線２に押し戻されポリカーボネイト性光磁気記録媒体の母材１の温度は上昇しない。【００２４】なお中心磁石８と周辺磁石９の磁気極性は逆方向を向き、中心磁石８と電子トラップ中心磁石３の極性も互いに逆、周辺磁石９と電子トラップ周辺磁石３の極性も互いに逆となるように配置する。【００２５】その一例として図１にはＮＳ極を書き加えてある。【００２６】中心磁石８と周辺磁石９は軟磁性体１３でつながり、電子トラップ中心磁石３と電子トラップ周辺磁石４も軟磁性体１４でつなげてある。
【産業上の利用可能性】
【００２７】ここで開示した磁場による電子トラップの方式を使えば、電子がコンパクトディスク、ＤＶＤ、ＨＩ−ＤＶＤ、ブルーレイなどの光記録媒体の薄膜をスパッタでつけている時、温度が上昇して曲がるような事はないため、品質の向上、不良品の低減等が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】図１は、本発明にかかわる実施例をしめしたものである。
【符号の説明】
【００２９】１ポリカーボネイト製光記録媒体の母材
２電子トラップ中心及び周辺磁石がつくる磁力線
３電子トラップ中心磁石
４電子トラップ周辺磁石
５ターゲット
６裏板
７中心磁石及び周辺磁石がつくる磁力線
８中心磁石
９周辺磁石
１０プラズマ
１１磁場に押し戻される電子
１２迷走電子
１３軟磁性体
１４軟磁性体
１５アース電極
【図１】
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