(57)【要約】【課題】微粒子測定の信頼性を低下させることなく、且つ排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる排気浄化機能付き微粒子測定装置の提供を課題とする。【解決手段】空気中の微粒子４０にアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子４０が測定される凝縮核カウンター３０と、この凝縮核カウンター３０の排気が浄化される排気浄化手段１３とを備えている。この排気浄化手段１３は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれるアルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルター１４、上記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター１５、上記アルコールが溶融されて除去される水式フィルター１７、及び上記排気に含まれる微粒子４０が濾過されて除去される濾過フィルター１６を有する。【選択図】図１
2007248229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気が浄化される排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルターを有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項２】
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターから排出された排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項３】
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有する排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項４】
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを更に有する請求項１または３に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項５】
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを更に有する請求項１に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項６】
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを更に有する請求項１に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項７】
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを更に有する請求項１から６の何れかに記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項８】
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを有し、
前記光触媒式フィルター、前記ケミカルフィルター、前記濾過フィルター、前記水式フィルターが、この順に前記凝縮カウンターの排気口に直列に接続されている請求項１に記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項９】
前記水式フィルターの水には、石灰が含まれる請求項４、６または８の何れかに記載の排気浄化機能付き微粒子測定装置。
【請求項１０】
凝縮核カウンターによって、空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定され、
前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが、光触媒式フィルター、水式フィルターまたはケミカルフィルターによって除去される微粒子測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、排気浄化機能付き微粒子測定装置に係り、更に詳細には、半導体製造環境中などに浮遊する粒径が０．１μ未満の微粒子を測定するのに好適な排気浄化機能付き微粒子測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、半導体の配線ルールは０．１μを下回り、０．０６５μをも下回ろうとしている。しかし、半導体工場で使用される微粒子測定器の主流は、０．１μ以上の微粒子を測定するレーザ式パーティクルカウンターであり、上記配線ルールを上回るため、半導体製造環境のモニタとしては、適用困難になっている。
【０００３】
一方、０．０１μの微粒子を測定可能な凝縮核カウンター（ＣＮＣ：Condensation Nucleus Counter）が知られている。
【０００４】
図１２は、従来の凝縮核カウンター３０を示す。この凝縮核カウンター３０は、アルコール貯蔵部３１、パーティクル（微粒子）凝縮部３２、コンデンサー部（冷却用電子クーラ）３３、レーザ光照射部３４、真空吸引部３５を有している。
【０００５】
上記パーティクル凝縮部３２には、アルコール貯蔵部３１内を通過する吸引パイプ３６が接続されている。この吸引パイプ３６の先端は外部の大気中に開口されている。また、吸引パイプ３６のアルコール貯蔵部３１内を通過する部分には、微粒子４０が漏れない程度の適宜な大きさを有する孔が多数設けられている。
【０００６】
上記レーザ光照射部３４の両側には、レーザダイオード３７、フォトデテクタ３８が配置されている。レーザダイオード３７から発射されたレーザ光は、レーザ光照射部３４を通過する空気中の微粒子４０に照射される。
【０００７】
このレーザ光は、微粒子４０で反射されてフォトデテクタ３８に入射される。これにより、微粒子４０が測定される。また、真空吸引部３５には、外部に排気するための排気パイプ３９が接続されている。
【０００８】
この凝縮核カウンター３０では、吸引パイプ３６の開口から微粒子４０を含む空気が吸引される。吸引された空気が吸引パイプ３６内を流れる際に、空気に含まれる微粒子４０とアルコール貯蔵部３１内のアルコール蒸気とが混合される。
【０００９】
アルコールと混合された微粒子４０は、パーティクル凝縮部３２で冷却される。これにより、微粒子４０にアルコールが凝縮されて肥大化される。この肥大化された微粒子４０を含む空気は、レーザ光照射部３４に供給される。
【００１０】
レーザ光照射部３４では、肥大化された微粒子４０にレーザ光が照射される。このレーザ光は、微粒子４０で反射されてフォトデテクタ３８に入射される。これにより、微粒子４０が測定される。
【００１１】
レーザ光照射部３４を通過した空気中及びその中に含まれる微粒子４０は、真空吸引部３５、及び排気パイプ３９を通過して外部に排気される。この微粒子４０には、アルコールが凝縮されている。
【特許文献１】特開２００１−３３３７７号公報
【特許文献２】特開２００４−３７３９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、従来の凝縮核カウンター３０は、微粒子４０にアルコールが凝縮したまま外部に排気されるので、環境に悪影響を与えるという問題があった。
【００１３】
また、アルコールに代えて水を微粒子に凝縮させて肥大化する凝縮核カウンターが提案されている。しかし、水はアルコールに比べて凝縮性が低い。このため、微粒子の測定の信頼性が低いという問題があった。
【００１４】
本発明は、このような問題に鑑みなされたもので、微粒子の測定の信頼性を低下させることなく、且つ排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる排気浄化機能付き微粒子測定装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明は、前記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
【００１６】
（１）本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気が浄化される排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが光触媒によって分解されて除去される光触媒式フィルターを有する。
【００１７】
本発明では、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールの凝縮によって肥大化された微粒子が光触媒式フィルターを通過する際に、微粒子に凝縮されたアルコールが光触媒によって二酸化炭素と水に分解される。これにより、上記排気からアルコールが除去されて脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
【００１８】
（２）また、本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを有する。
【００１９】
本発明では、凝縮核カウンターの排気が水式フィルターに通される。これにより、排気中に含まれるアルコールが水式フィルターで水に溶解されて除去され、脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。なお、水式フィルターには、水槽内に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式（水式スクラバーと呼ばれることもある）とがあり、本発明では、両方の方式を含む。
【００２０】
（３）また、本発明は、
空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定される凝縮核カウンターと、
前記凝縮核カウンターの排気を浄化する排気浄化手段とを備え、
前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有する。
【００２１】
本発明では、凝縮核カウンターの排気がケミカルフィルターに通されて、排気中のアルコールが、ケミカルフィルターに吸着されて除去され、脱臭される。従って、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
【００２２】
（４）前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されことにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルターを有するのが好ましい。
【００２３】
この構成によれば、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが、複数種類のフィルターで確実に除去される。
【００２４】
（５）前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有するのが好ましい。
【００２５】
この構成によれば、凝縮核カウンターの排気中に含まれるアルコールが、複数種類のフィルターで除去される。
【００２６】
（６）前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルターを有するのが好ましい。
【００２７】
この構成により、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが複数種類のフィルターで除去される。従って、上記排気の浄化機能が向上する。
【００２８】
（７）前記排気浄化手段は、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを有するのが好ましい。この構成により、凝縮核カウンターの排気中に含まれる微粒子を除去できる。
【００２９】
（８）前記排気浄化手段は、前記凝縮カウンターの排気が水に通されることにより、前記排気に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター、前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが吸着されて除去されるケミカルフィルター、及び前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記微粒子が濾過されて除去される濾過フィルターを更に有し、
前記光触媒式フィルター、前記ケミカルフィルター、前記濾過フィルター、前記水式フィルターが、この順に前記凝縮カウンターの排気口に直列に接続されている構成にできる。
【００３０】
この構成により、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが複数種類のフィルターで除去される。また、上記排気に含まれる微粒子が濾過フィルターで除去される。従って、上記排気の浄化機能が更に向上する。
【００３１】
（９）前記水式フィルターの水には、石灰を含めることができる。光触媒式フィルターでは、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。この光触媒式フィルターの後段に、石灰を含む水を使用する水式フィルターを配置することにより、上記二酸化炭素が石灰によって炭酸カルシウムに変化して除去される。
【００３２】
（１０）また、本発明は、
凝縮核カウンターによって、空気中の微粒子にアルコールが凝縮されて肥大化され、前記肥大化された微粒子にレーザ光が照射され、前記微粒子で反射された前記レーザ光が検出されることにより、前記微粒子が測定された後、前記微粒子及び前記アルコールが排気され、
前記凝縮核カウンターの排気に含まれる前記アルコールが、光触媒式フィルター、水式フィルターまたはケミカルフィルターによって除去される。
【発明の効果】
【００３３】
本発明によれば、凝縮核カウンターの排気に含まれるアルコールが光触媒式フィルター、ケミカルフィルター、水式フィルターのうち、一種類以上のフィルターで除去されて脱臭される。これにより、凝縮核カウンターの排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、本発明に係る排気浄化機能付き微粒子測定装置の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。
【００３５】
《第１の実施の形態》
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る排気浄化機能付き微粒子測定装置１を示す。この排気浄化機能付き微粒子測定装置１は、空気中の微粒子４０にブタンなどのアルコールが凝縮されて肥大化され、この肥大化された微粒子４０にレーザ光が照射され、上記微粒子４０で反射されたレーザ光が検出されることにより、微粒子４０が測定される凝縮核カウンター３０と、この凝縮核カウンター３０の排気が浄化される排気浄化手段１３とを備えている。
【００３６】
また、上記排気浄化手段１３は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれるアルコールが光触媒によって分解されることにより除去される光触媒式フィルター１４、上記排気中に含まれるアルコールが吸着されることにより除去されるケミカルフィルター１５、上記排気中に含まれる微粒子４０が精密濾過されることにより除去される濾過フィルター１６、排気中に含まれるアルコールが水に溶解されて除去される水式フィルター１７とを備えている。なお、水式フィルター１７には、水槽内の水に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式（水式スクラバーと呼ばれることもある）とがあり、本発明では両方式を含む。
【００３７】
上記光触媒式フィルター１４は、凝縮核カウンター３０の排気パイプ３９における排気口３９ａに接続されている。また、上記凝縮核カウンター３０、ケミカルフィルター１５、濾過フィルター１６及び水式フィルター１７は、この順に直列に接続されている。
【００３８】
次に、上記各構成要素について説明する。なお、上記凝縮核カウンター３０は、上記従来例（図１２）で説明したのと同様の構成を有しているので、その詳細な説明を省略する。
【００３９】
上記排気浄化手段１３の光触媒式フィルター１４には、紫外線ランプ１８が併設されている。この光触媒式フィルター１４には、二酸化チタン（ＴｉＯ２）などの光触媒が添着されたフィルターが設けられている。
【００４０】
上記光触媒は、光（紫外線）が当てられることによりＯＨラジカルが発生される。このＯＨラジカルは、強力な酸化力を有している。
【００４１】
そして、凝縮核カウンター３０の排気が、光触媒式フィルター１４に通過される際に、上記ＯＨラジカルによって排気１１中の微粒子４０に凝縮されたアルコールの電子が奪われて、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。
【００４２】
これにより、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれるアルコールが除去され、脱臭される。なお、上記光触媒式フィルター１４は、一般的に使用されている光触媒式フィルターを使用できる。
【００４３】
上記ケミカルフィルター１５では、光触媒式フィルター１４の排気中に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、内部のフィルターに吸着されて除去される。
【００４４】
このケミカルフィルター１５としては、粒状活性炭、繊維活性炭などが用いられたフィルターを例示できる。
【００４５】
上記濾過フィルター１６では、上記ケミカルフィルター１５の排気中に含まれる微粒子４０が精密濾過されて除去される。この濾過フィルター１６としては、平膜（プリーツ形状を含む）型フィルター、小型精密フィルターなどを例示できる。
【００４６】
上記水式フィルター１７は、貯水槽１７ａを有している。上記濾過フィルター１６の排気は、貯水槽１７ａ内の水に通されて、排気口１７ｂから排気される。
【００４７】
濾過フィルター１６の排気に含まれているアルコールは、上記水式フィルター１７を通過する際に、水に溶融されて除去される。この水式フィルター１７は、一般的に使用されているものを使用できる。
【００４８】
このように、本発明の排気浄化機能を有する微粒子測定装置１は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれるアルコールが、排気浄化手段１３の光触媒式フィルター１４、ケミカルフィルター１５及び水式フィルター１７によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。また、上記排気中の微粒子４０が、濾過フィルター１６によって濾過されて除去される。
【００４９】
従って、凝縮核カウンター３０の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。また、凝縮核カウンター３０を使用しているので、微粒子４０を正確に測定でき、測定の信頼性を維持できる。この排気浄化機能付き微粒子測定装置１は、クリーンルームなどに好適に使用できる。
【００５０】
なお、本実施形態では、濾過フィルター１６の後段に水式フィルター１７が設けられた場合について説明したが、上記のように、水式フィルター１７には水槽内の水に排気を通す方式と、水のシャワー内に排気を通す方式とがある。本発明では、上記両方式の水式フィルターを使用できる。
【００５１】
また、水式フィルター１７の水には、石灰を含めることができる。この石灰を用いた水式フィルター１７は、光触媒式フィルター１８と併用し、光触媒式フィルター１８の後段に配置するのが好ましい。
【００５２】
光触媒式フィルター１８では、アルコールが二酸化炭素と水に分解される。ここで生成された二酸化炭素は、水式フィルター１７の水に含まれる石灰によって炭酸カルシウムに変化して除去される。従って、排気の浄化効率が高くなる。
【００５３】
《第２の実施の形態》
図２は、本発明に係る第２の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置２を示す。なお、以下の説明では、上記と同様の部分には同一の符号を付けて、その詳細な説明を省略する。
【００５４】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置２は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４、濾過フィルター１６、水式フィルター１７を有している。光触媒式フィルター１４、濾過フィルター１６、水式フィルター１７は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００５５】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置２は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター１４及び水式フィルター１７によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。
【００５６】
また、微粒子４０は、濾過フィルター１６によって濾過されて除去される。従って、凝縮核カウンター３０の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
【００５７】
《第３の実施の形態》
図３は、本発明に係る第３の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置３を示す。
【００５８】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置３は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４、ケミカルフィルター１５、濾過フィルター１６を有している。光触媒式フィルター１４，ケミカルフィルター１５及び濾過フィルター１６は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００５９】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置３は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれるアルコールが、光触媒式フィルター１４及びケミカルフィルター１５によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。また、排気中の微粒子４０が濾過フィルター１６によって濾過されて除去される。
【００６０】
《第４の実施の形態》
図４は、本発明に係る第４の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置４を示す。
【００６１】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置４は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４、ケミカルフィルター１５、水式フィルター１７を有している。光触媒式フィルター１４，ケミカルフィルター１５，水式フィルター１７は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００６２】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置４は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれるアルコールが、光触媒式フィルター１４、ケミカルフィルター１５及び水式フィルター１７によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。
【００６３】
《第５の実施の形態》
図５は、本発明に係る第５の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置５を示す。
【００６４】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置５は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４，水式フィルター１７を有している。光触媒式フィルター１４，水式フィルター
１７は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００６５】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置５は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター１４及び水式フィルター１７によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。従って、凝縮核カウンター３０の排気が環境に悪影響を及ぼすのを抑制できる。
【００６６】
《第６の実施の形態》
図６は、本発明に係る第６の実施形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置６を示す。
【００６７】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置６は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４，ケミカルフィルター１５を有している。光触媒式フィルター１４，ケミカルフィルター１５は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００６８】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置６は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター１４及びケミカルフィルター１５で除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。なお、ケミカルフィルター１５の後段に濾過フィルター１６を配置できる。
【００６９】
《第７の実施の形態》
図７は、本発明に係る第７の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置７を示す。
【００７０】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置７は、その排気浄化手段１３が、光触媒式フィルター１４を有している。
【００７１】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置７は、凝縮核カウンター３０の排気中に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、光触媒式フィルター１４によって除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。なお、光触媒フィルター１４の後段に濾過フィルター１６を配置できる。
【００７２】
《第８の実施の形態》
図８は、本発明に係る第８の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置８を示す。
【００７３】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置８は、その排気浄化手段１３が、ケミカルフィルター１５、濾過フィルター１６、水式フィルター１７を有している。これらのケミカルフィルター１５、濾過フィルター１６、水式フィルター１７は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００７４】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置８は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれるアルコールが、ケミカルフィルター１５及び水式フィルター１７で除去される。また、凝縮核カウンター３０の排気に含まれる微粒子４０が、濾過フィルター１６で除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が浄化される。
【００７５】
《第９の実施の形態》
図９は、本発明に係る第９の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置９を示す。
【００７６】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置９は、その排気浄化手段１３が、ケミカルフィルター１５、水式フィルター１７を有している。これらのケミカルフィルター１５、水式フィルター１７は、この順に凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直列に接続されている。
【００７７】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置９は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、ケミカルフィルター１５及び水式フィルター１７で除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。
【００７８】
《第１０の実施の形態》
図１０は、本発明に係る第１０の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置１０を示す。
【００７９】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置１０は、その排気浄化手段１３が、ケミカルフィルター１５を有している。このケミカルフィルター１５は、凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直接接続されている。
【００８０】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置１０は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、ケミカルフィルター１５で除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。なお、ケミカルフィルター１５の後段に濾過フィルター１６を配置できる。
【００８１】
《第１１の実施の形態》
図１１は、本発明に係る第１１の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置１１を示す。
【００８２】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置１１は、その排気浄化手段１３が、水式フィルター１７を有している。この水式フィルター１７は、凝縮核カウンター３０の排気口３９ａに直接接続されている。
【００８３】
この排気浄化機能付き微粒子測定装置１１は、凝縮核カウンター３０の排気に含まれる微粒子４０に凝縮されたアルコールが、水式フィルター１７で除去される。これにより、凝縮核カウンター３０の排気が脱臭される。なお、水式フィルター１７の前段に濾過フィルター１６を配置できる。また、上記第１〜１１の実施の形態の各構成要素は、可能な限り自由に組み合わせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８４】
【図１】本発明に係る第１の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図２】本発明に係る第２の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図３】本発明に係る第３の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図４】本発明に係る第４の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図５】本発明に係る第５の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図６】本発明に係る第６の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図７】本発明に係る第７の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図８】本発明に係る第８の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す断面図である。
【図９】本発明に係る第９の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図１０】本発明に係る第１０の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置示す図である。
【図１１】本発明に係る第１１の実施の形態における排気浄化機能付き微粒子測定装置を示す図である。
【図１２】従来例に係る微粒子測定装置を示す図である。
【符号の説明】
【００８５】
１〜１１  排気浄化機能付き微粒子測定装置
１３  排気浄化手段
１４  光触媒式フィルター
１５  ケミカルフィルター
１６  濾過フィルター
１７  水式フィルター
１７ａ  貯水槽
１７ｂ  排気口
１８  紫外線ランプ
３０  凝縮核カウンター
３１  アルコール貯蔵部
３２  パーティクル凝縮部
３４  レーザ光照射部
３５  真空吸引部
３６  吸引パイプ
３７  レーザーダイオード
３８  フォトデテクタ
３９  排気パイプ
３９ａ  排気口
４０  微粒子
【図１】
2007248229.tif 000003
【図２】
2007248229.tif 000004
【図３】
2007248229.tif 000005
【図４】
2007248229.tif 000006
【図５】
2007248229.tif 000007
【図６】
2007248229.tif 000008
【図７】
2007248229.tif 000009
【図８】
2007248229.tif 000010
【図９】
2007248229.tif 000011
【図１０】
2007248229.tif 000012
【図１１】
2007248229.tif 000013
【図１２】
2007248229.tif 000014