(57)【要約】【課題】電子部品のより確かな同時吸着か、同時載置かの少なくとも一方を可能にし、効率化が可能な電子部品移載装置を提供する。【解決手段】複数の吸着ヘッド４３〜４５を所定の方向に並ぶ状態で支持し、基台２の上で水平方向に移動するヘッドユニット４，５を備える。第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に移動させる第１の駆動装置６１と、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向に移動させる第２の駆動装置７１とを装備した。【選択図】  図４
2007115982.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の吸着ヘッドを所定の方向に並ぶ状態で支持し、基台の上で水平方向に移動するヘッドユニットと、
吸着ヘッドどうしの間の距離を変化させる駆動装置とを備えた電子部品移載装置であって、
前記駆動装置は、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向とは交差する方向に移動させる第１の駆動装置と、
少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向に移動させる第２の駆動装置とを備えていることを特徴とする電子部品移載装置。
【請求項２】
請求項１記載の電子部品移載装置において、
第１の駆動装置と第２の駆動装置によって駆動される吸着ヘッドとは別の、第１の駆動装置か第２の駆動装置のいずれか一方、あるいは両方により駆動される少なくとも一つの吸着ヘッドが配置されている電子部品移載装置。
【請求項３】
複数の吸着ヘッドを所定の方向に並ぶ状態で支持し、基台の上で水平方向に移動するヘッドユニットと、
吸着ヘッドどうしの間の距離を変化させる駆動装置とを備えた電子部品移載装置であって、
前記駆動装置は、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向とは交差する方向に移動させる第１の駆動装置と、
少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向に移動させる第２の駆動装置とを備え、複数の吸着ヘッド相互間の距離を変化させることを特徴とする電子部品移載装置。
【請求項４】
請求項３記載の電子部品移載装置において、
第１の駆動装置によって駆動される吸着ヘッドの両側に、第１の駆動装置と第２の駆動装置とによって駆動される吸着ヘッドが配設されている電子部品移載装置。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のうち何れか一つに記載の電子部品移載装置において、
ヘッドユニットは、一つの基台に２台装備されている電子部品移載装置。
【請求項６】
請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置は、基台上に電子部品を供給する部品供給部を備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降することで、基台上に配置されるプリント配線板上の所定位置へ電子部品を移載実装する表面実装機を構成する電子部品移載装置。
【請求項７】
請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置は、基台上に未検査の電子部品を供給する未検査部品供給部と、検査済みの電子部品を受け取る検査済み品受け部とが配置され、未検査部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、基台上所定位置に配置された検査ソケットに未検査部品を移載するとともに、検査を終えた後検査済み品を吸着ノズルにより検査済み品受け部に移動させるＩＣハンドラーを構成する電子部品移載装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ヘッドユニットに複数設けられた吸着ノズルの相互の距離を変えるための駆動装置を装備した電子部品移載装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品を移載させるための電子部品移載装置の一つとして、電子部品をプリント配線板の所定位置に載置し実装する表面実装機がある。従来の表面実装機としては、たとえば特許文献１に開示されているように構成されたものがある。この特許文献１に開示されている表面実装機は、前記プリント配線板を搬送するためのコンベアが装備された基台と、この基台の前部に装備された多数のテープフィーダーと、前記基台の上に移動装置によって支持されて前記テープフィーダーとプリント配線板との間で水平移動するヘッドユニットなどによって構成されている。
【０００３】
前記ヘッドユニットは、下端部に吸着ノズルを有する複数の吸着ヘッドをプリント配線板の搬送方向と平行に並ぶ状態で支持している。これらの吸着ヘッドは、前記吸着ノズルを上下方向の軸線回りに回転させる回転駆動装置を備えており、ヘッドユニットに昇降装置を介して支持されている。この吸着ヘッドは、テープフィーダー上の実装用部品を吸着するときと、プリント配線板に実装用部品を実装するときに前記昇降装置によって昇降さする。
【０００４】
前記多数のテープフィーダーは、プリント配線板の搬送方向と平行な方向に並べられている。従来の表面実装機は、複数のテープフィーダーの設置ピッチに対し、吸着ノズルの設置ピッチを一致可能とされている。これは、複数のテープフィーダー上の実装用部品を複数の吸着ノズルによって同時に吸着できるようにするためである。
【０００５】
この種の従来の表面実装機において、実装用部品をプリント配線板に実装するためには、先ず、実装する実装用部品を吸着した吸着ヘッドがプリント配線板の上方に位置するように、ヘッドユニットを移動装置によって水平方向に移動させる。しかる後、昇降装置により吸着ヘッドを下降させて実装用部品をプリント配線板のすぐ直近に位置させ、次に、吸着ノズルに正圧を付与し、実装用部品を吸着ノズルから離間させてプリント配線板上に載置させる。その後、吸着ノズルを実装用部品から離間させる。この水平移動と昇降および吸着状態の解消からなる一連の実装動作は、吸着ヘッド毎に行われる。
【０００６】
また、電子部品を移載させるための電子部品移載装置としては、未検査部品を吸着ノズルによって吸着し、検査用ソケットに載置するＩＣハンドラーがある。この種のＩＣハンドラーにおいても一つのヘッドユニットに吸着ヘッドを複数設けることがある。
【特許文献１】特開２０００−１１４７８７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従来、表面実装機においては、実装用部品を吸着するときにテープフィーダーの設置ピッチと異なっている場合、ヘッドを個別にテープフィーダーの並びの方向にヘッドを個別に移動調整することで、同時に吸着することが可能となる。しかしながら、テープの送り精度によっては、テープフィーダー上の実装用部品収納部の位置が、テープ送り方向に正しい位置から大きく離れている場合がある。このような場合は、部品吸着時にヘッドユニットを水平方向に移動させて吸着ノズルを個々の実装用部品に位置決めしなければならない。すなわち、この場合は、複数の吸着ノズルにより実装用部品を同時に吸着することはできないから、部品の吸着に要する時間が長くなってしまう。また、表面実装機においては、プリント配線板における複数の実装位置の並びの方向あるいはピッチが、複数の吸着ノズルの設置の方向やピッチと一致しないのが一般的であり、複数の吸着ノズルに吸着されている実装用部品は、１個毎にヘッドユニットを水平方向に移動させて実装するので、部品の実装に時間が掛かっていた。
【０００８】
さらに、複数の吸着ヘッドを一つのヘッドユニットに支持させたＩＣハンドラーにおいても、上述した表面実装機と同様な問題がある。すなわち、複数の吸着ヘッドが配置方向において相互に移動可能なＩＣハンドラーがあると想定しても、複数の未検査部品の位置が複数ノズルの配置方向には並ばず、別の方向に並んでいる場合については、ヘッドユニットを順々に移動させて吸着する必要がある。また、複数の検査用ソケットの位置がヘッドの並び方向とは別の方向にずれているものでは、複数の検査用ソケットを同時に装填しての部品検査ができない問題があった。
【０００９】
本発明はこのような要請に応えるためになされたもので、電子部品のより確かな同時吸着か、同時載置かの少なくとも一方を可能にし、効率化が可能な電子部品移載装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
この目的を達成するために、本発明に係る電子部品移載装置は、複数の吸着ヘッドを所定の方向に並ぶ状態で支持し、基台の上で水平方向に移動するヘッドユニットと、吸着ヘッドどうしの間の距離を変化させる駆動装置とを備えた電子部品移載装置であって、前記駆動装置に、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向とは交差する方向に移動させる第１の駆動装置と、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向に移動させる第２の駆動装置とを装備させたものである。
【００１１】
請求項２に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１に記載した電子部品移載装置において、第１の駆動装置と第２の駆動装置によって駆動される吸着ヘッドとは別の、第１の駆動装置か第２の駆動装置のいずれか一方、あるいは両方により駆動される少なくとも一つの吸着ヘッドが配置されているものである。
【００１２】
請求項３に記載した発明に係る電子部品移載装置は、複数の吸着ヘッドを所定の方向に並ぶ状態で支持し、基台の上で水平方向に移動するヘッドユニットと、吸着ヘッドどうしの間の距離を変化させる駆動装置とを備えた電子部品移載装置であって、前記駆動装置に、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向とは交差する方向に移動させる第１の駆動装置と、少なくとも一つの吸着ヘッドを吸着ヘッドが並ぶ方向に移動させる第２の駆動装置とを装備させ、複数の吸着ヘッド相互間の距離を変化させる構成としたものである。
【００１３】
請求項４に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項３に記載した電子部品移載装置において、第１の駆動装置によって駆動される吸着ヘッドの両側に、第１の駆動装置と第２の駆動装置とによって駆動される吸着ヘッドを配設したものである。
【００１４】
請求項５に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項４のうち何れか一つに記載した電子部品移載装置において、ヘッドユニットを、一つの基台に２台装備したものである。
【００１５】
請求項６に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載した電子部品移載装置において、基台上に電子部品を供給する部品供給部を備え、電子部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降することで、基台上に配置されるプリント配線板上の所定位置へ電子部品を移載実装する表面実装機を構成したものである。
【００１６】
請求項７に記載した発明に係る電子部品移載装置は、請求項１ないし請求項５のうちいずれか一つに記載の電子部品移載装置において、基台上に未検査の電子部品を供給する未検査部品供給部と、検査済みの電子部品を受け取る検査済み品受け部とが配置され、未検査部品を吸着ノズルで吸着し、ヘッドユニットを所定位置まで移動するとともに、昇降装置により吸着ノズルを下降させることで、基台上所定位置に配置された検査ソケットに未検査部品を移載するとともに、検査を終えた後検査済み品を吸着ノズルにより検査済み品受け部に移動させるＩＣハンドラーを構成したものである。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１ないし請求項３記載の発明によれば、第１の駆動装置によって吸着ヘッドを駆動するとともに、第２の駆動装置によって吸着ヘッドを駆動することにより、これらの吸着ヘッドを同時に所定の吸着位置または載置位置に位置決めすることができる。このため、本発明によれば、複数の吸着ヘッドにより電子部品を同時に吸着したり、あるいは複数の吸着ヘッドによって電子部品を同時に被載置部に載置することができるから、従来の電子部品移載装置に較べて部品の吸着から載置までの時間が短縮された電子部品移載装置を提供することができる。また、本発明によれば、少なくとも２つの吸着位置のＸ方向の間隔が、事前の吸着ヘッドのＸ方向の間隔と異なり、かつこの２つの吸着位置がＹ方向に違いがあっても、この２つの吸着位置で同時吸着が可能となる。さらに、少なくとも２つの載置位置のＸ方向の間隔が、事前の吸着ヘッドのＸ方向の間隔と異なり、かつこの２つの載置位置がＹ方向に違いがあっても、この２つの載置位置で同時載置が可能となる。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、吸着ヘッドどうしの間隔を吸着位置の間隔に一致させるに当たり、中央の吸着ヘッドに対して両側の吸着ヘッドを接離させることによって行うことができる。このため、吸着時やあるいは載置時に各吸着ヘッドを位置決めするために必要な時間をより一層短縮することができる。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、２台のヘッドユニットにおいて、電子部品を複数の吸着ヘッドによって同時に吸着したり、あるいはこれらの電子部品を複数の吸着ヘッドによって同時に被載置位置に載置することができる。
このため、この発明によれば、２台のヘッドユニットによって電子部品を同時に移載することができ、電子部品の移載に要する時間をさらに短縮することができる。
【００２０】
請求項６記載の発明によれば、実装用部品の吸着からプリント配線板への実装までに要する時間が短縮された表面実装機を提供することができる。
請求項７記載の発明によれば、未検査部品の吸着から検査用ソケットへの装填に要する時間が短縮されたり、あるいは検査完了部品の検査ソケットから検査完了品収納部への移載に要する時間が短縮されたＩＣハンドラーを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
（第１の実施の形態）
以下、本発明に係る電子部品移載装置の一実施の形態を図１ないし図１６によって詳細に説明する。ここでは、本発明に係る電子部品移載装置を表面実装機に適用した場合の形態について説明する。
図１はこの実施の形態による表面実装機の構成を示す平面図、図２は同じく側面図、図３はコンベアの構成を示す平面図、図４はヘッドユニットの構成を示す平面図、図５はヘッドユニットの側面図である。図６〜図８は第３の駆動装置の構成を示す断面図で、図６は図５におけるVI−VI線断面図、図７は図５におけるVII−VII線断面図、図８は図５におけるVIII−VIII線断面図である。
図９は吸着ヘッドの縦断面図で、同図は図４におけるIX−IX線断面図である。図１０は本発明に係る表面実装機の斜視図、図１１はヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図、図１２は部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。図１３は部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図、図１４は４本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図、図１５は５本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。図１６は吸着ヘッドを移動させる方向の変形例を示す構成図である。
【００２２】
これらの図において、符号１で示すものは、この実施の形態による表面実装機を示す。この表面実装機１は、図１、図２および図１０に示すように、基台２と、この基台２上に設けられたコンベア３と、後述する２台のヘッドユニット４，５を図１において左右方向（以下においては、この方向を単にＸ方向という）と、図１において上下方向（以下においては、この方向を単にＹ方向という）とに移動させるための移動装置６とを備えている。
【００２３】
前記基台２は、Ｘ方向の両端部に位置する側部支持台７，７と、これらの側部支持台７，７どうしの間に相対的に低くなるように形成された主支持部８とを備えている。
前記コンベア３は、前記主支持部８に搭載されており、側部支持台７に形成された搬送口７ａ（図１０参照）を通してプリント配線板９（図１０参照）を図１において右側から左側へ搬送する。すなわち、コンベア３は、Ｘ方向にプリント配線板９を搬送する。このＸ方向が本発明でいう第１の方向に相当し、Ｙ方向が本発明でいう第２の方向に相当する。
【００２４】
この実施の形態によるコンベア３は、図３に示すように、一対のコンベア本体３ａ，３ｂとを備え、駆動用モータ１０を有する駆動装置１１によってコンベア本体３ａ，３ｂ毎のベルト（図示せず）を回転させる構造が採られている。これらのコンベア３ａ，３ｂにおけるＸ方向の中央部には、搬送路の上方に臨む状態で固定されたクランプ用プレート３ｃと、プリント配線板９を下方から押し上げ、前記クランプ用プレート３ｃに下方から押し付けるためのプリント配線板用昇降装置（図示せず）とが設けられている。
【００２５】
前記一対のコンベア本体３ａ，３ｂのうち図３において上側に位置するコンベア本体３ａは、他方のコンベア本体３ｂとの間の間隔を変更するための間隔変更装置１２が接続されている。この間隔変更装置１２は、Ｙ方向に延びる複数のボールねじ軸１２ａと、このボールねじ軸１２ａを駆動するためのモータ１２ｂと、前記ボールねじ軸１２ａに螺合する状態でコンベア本体３ａに取付けられたボールねじナット１２ｃなどによって構成されている。このコンベア３は、この間隔変更装置１２によってコンベア本体３ａ，３ｂ間の間隔を拡げることにより、図３中に符号９Ａで示す大型のプリント配線板を搬送することができ、前記間隔を狭くすることによって、同図中に符号９Ｂで示す小型のプリント配線板を搬送することができる。
【００２６】
この実施の形態によるコンベア３においては、大型のプリント配線板９Ａと小型のプリント配線板９Ｂとをそれぞれ複数の停止位置に停止させることができるように構成されている。すなわち、このコンベア３は、図３において右側（搬送方向上流側）の端部に位置する実装待機位置１３と、Ｘ方向の中央に位置する実装位置１４と、図３において左側（搬送方向下流側）の端部に位置する搬出待機位置１５とにプリント配線板９Ａ，９Ｂを停止させることができるようにストッパー１６が設けられている。
【００２７】
。前記ストッパー１６は、プリント配線板９の搬送路に対して下方から出没するロッド（図示せず）を備え、このロッドにプリント配線板９の端縁を当接させることによりプリント配線板を停止させる構造のものである。このストッパー１６は、大型のプリント配線板９Ａを前記三箇所の停止位置にそれぞれ１枚ずつ停止させることができるとともに、小型のプリント配線板９Ｂを前記三箇所の停止位置にそれぞれ２枚ずつ停止させることができるような位置に合計６台装備されている。このようにストッパー１６を装備することにより、実装位置１４は、小型のプリント配線板９Ｂを保持するときに実質的に第１の実装位置１４ａと第２の実装位置１４ｂとに分けられることになる。
【００２８】
前記実装位置１４に保持されたプリント配線板９は、後述する２台のヘッドユニット４，５によって電子部品２１（図１２参照）が実装される。２枚の小型のプリント配線板９Ｂに電子部品２１を実装する場合、図３において左側に位置する第１の実装位置１４ａに保持されている小型のプリント配線板９Ｂは、２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４によって電子部品２１が実装される。第２の実装位置１４ｂに保持されている他方のプリント配線板９Ｂは、他方の第２のヘッドユニット５によって電子部品２１が実装される。
【００２９】
前記基台２の主支持部８上であってＹ方向の両端部には、図１に示すように、部品供給部２２がそれぞれ設けられている。これらの部品供給部２２，２２は、多数のテープフィーダー２２ａによって構成されている。前記移動装置６は、このテープフィーダー２２ａの部品供給位置２２ｂ（図１０参照）と、前記実装位置１４にあるプリント配線板９との間でヘッドユニット４，５を移動させるように構成されている。
【００３０】
前記部品供給部２２は、図１において左側に位置する多数のテープフィーダー２２ａ，２２ａ‥‥からなる第１のテープフィーダー群２２Ａと、図１において右側に位置する多数のテープフィーダー２２ａ，２２ａ‥‥からなる第２のテープフィーダー群２２Ｂとから構成されている。これらの第１のテープフィーダー群２２Ａと、第２のテープフィーダー群２２Ｂとは、互いに近接する位置にある複数のテープフィーダー２２ａを共用テープフィーダー群２２Ｃとして構成されている。
【００３１】
第１のテープフィーダー群２２Ａの各テープフィーダー２２ａからの電子部品２１の移載は、第１のヘッドユニット４が担当し、第２のテープフィーダ群２２Ｂの各テープフィーダ２２ａからの電子部品２１の移載は、第２のヘッドユニット５が担当する。この実施の形態による表面実装機においては、２枚の小型のプリント配線板９Ｂ，９Ｂを使用する場合、第１の実装位置１４ａにあるプリント配線板９Ｂは、第１のヘッドユニット４によって第１のテープフィーダー群２２Ａのテープフィーダー２２ａから電子部品２１が移載される。また、この場合、第２の実装位置１４ｂにあるプリント配線板９Ｂは、第２のヘッドユニット５によって第２のテープフィーダー群２２Ｂのテープフィーダー２２ａから電子部品２１が移載される。
【００３２】
２枚のプリント配線板９Ｂ，９Ｂに上述したように二つのヘッドユニット４，５によって電子部品２１を実装するためには、小型のプリント配線板９Ｂに使用する全ての電子部品２１を２組用意しておく必要がある。しかし、この実施の形態による表面実装機１においては、共用テープフィーダー群２２Ｃにある複数のテープフィーダー２２ａを両方のヘッドユニット４，５によって共用することができるから、２組用意しなければならないテープフィーダー２２ａは、共用テープフィーダー群２２Ｃのテープフィーダー２２ａを除いただけのものでよい。
【００３３】
前記移動装置６は、図１、図２および図１０に示すように、前記基台２の左右の側部支持台７，７に搭載されている。この各側部支持台７、７上にはそれぞれ、Ｙ方向に延びるＹ方向ガイドレール２３，２３が取り付けられている。このＹ方向ガイドレール２３，２３には、後述する支持部材２４がＹ方向に移動自在に支持されている。
【００３４】
支持部材２４は、図１に示すように、平面視において前記Ｙ方向ガイドレール２３と直交する方向（Ｘ方向）に延びる一対の第１の枠部材２５，２５と、これらの第１の枠部材２５，２５間を連結する一対の第２の枠部材２６，２６とによって額縁状に形成されている。前記一対の第１の枠部材２５，２５どうしは、これら第１の枠部材２５，２５どうしの間に後述するヘッドユニット４，５の一部を収容することができるように、所定の間隔を保つように離間させている。第１の枠部材２５は、Ｘ方向の両端部においてそれぞれＹ方向ガイドレール２３に支持されている。
【００３５】
前記第２の枠部材２６，２６はそれぞれ、Ｙ方向に延びるように形成され、第１の枠部材２５のＸ方向の端部どうしを接続しており、前記Ｙ方向ガイドレール２３に支持されている。
この第２の枠部材２６，２６はそれぞれ、支持部材２４をＹ方向に往復動させるためのＹ方向駆動装置３１，３１がそれぞれ接続されている。
【００３６】
前記Ｙ方向駆動装置３１，３１はそれぞれ、前記側部支持台７の上でＹ方向に延びる状態で側部支持台７に回転自在に支持されたボールねじ軸３２と、このボールねじ軸３２を回転させるモータ３３と、ボールねじ軸３２に螺合するボールねじナット３２ａ（図１０参照）を有し、さらにボールナット３２ａを固定保持し、前記第２の枠部材２６に接続されている連結部材３４とを備えている。
【００３７】
支持部材２４を構成する一対の第１の枠部材２５には、Ｘ方向に延びるＸ方向ガイドレール３５がそれぞれ取付けられている。これらのＸ方向ガイドレール３５，３５は、後述するヘッドユニット４，５の脚部材３６，３６（図５および図１０参照）をＸ方向に移動自在に支持している。また、前記第１の枠部材２５の上には、ヘッドユニット４，５をＸ方向に平行移動させるためのＸ方向駆動装置３７，３７が設けられている。
【００３８】
この実施の形態による表面実装機１においては、支持部材２４に２台のヘッドユニット４，５が搭載されているために、Ｘ方向駆動装置３７も２台設けられている。２台のヘッドユニット４，５のうち図１において左側に位置する第１のヘッドユニット４は、一対の第１の枠部材２５，２５のうち図１において上側に位置する第１の枠部材２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。図１において右側に位置する第２のヘッドユニット５は、図１において下側に位置する第１の枠部材２５に設けられたＸ方向駆動装置３７によって駆動する。
【００３９】
Ｘ方向駆動装置３７，３７はそれぞれ、第１の枠部材２５の上でＸ方向に延びる状態で第１の枠部材２５に回転自在に支持されたボールねじ軸３８と、このボールねじ軸３８を回転させるモータ３９と、ボールねじ軸３８に螺合するボールねじナット４０を有し、さらにボールナット４０を固定保持し、ヘッドユニット４あるいはヘッドユニット５の前記脚部材３６に接続されている連結部材４１（図５参照）とを備えている。前記ボールねじ軸３８におけるモータ３９とは反対側の端部は、図１に示すように軸受３８ａによって回転自在に支持されている。
【００４０】
第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５は、互いに同一の構造のものであり、図１に示すように、支持部材２４に前後方向が反対となるように搭載されている。このため、ここにおいては、第１のヘッドユニット４について詳細に説明し、第２のヘッドユニット５については、同一符号を付し詳細な説明は省略する。
【００４１】
第１のヘッドユニット４は、図４および図５に示すように、平面視において矩形状に形成された主フレーム４２と、この主フレーム４２の内側に設けられた第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５と、部品認識用カメラ４６などを備えている。前記主フレーム４２は、図４に示すように、装置前側（図４においては下側）に位置する前壁５１と、後壁５２と、左側壁５３および右側壁５４などによって構成されている。
【００４２】
このヘッドユニットを前記支持部材２４に搭載するための前記脚部材３６は、図４および図５に示すように、前記主フレーム４２の前壁５１と後壁５２とにおけるＸ方向の両端部にそれぞれ設けられている。これらの脚部材３６は、前壁５１および後壁５２からＹ方向に突出しており、先端部にスライダ５５を備えている。主フレーム４２はこのスライダ５５を介して前記Ｘ方向ガイドレール３５に移動自在に支持されている。
【００４３】
前記主フレーム４２における装置前側であって、Ｘ方向の中央部には、図６に示すように、Ｙ方向に延びる一対のガイド壁５６，５６が設けられている。このガイド壁５６，５６の間の空間に第１の吸着ヘッド４３が配置される。一方のガイド壁５６にはＹ方向に２個のガイド部材５８が固定され、このガイド部材５８、５８で吸着ヘッド４３の構成部品となるレール部材５７を移動自在に支持している。第１の吸着ヘッド４３は、前壁５１に固定保持されるモータ６２の出力軸６２ａと、ガイド部材５８，５８とにより主フレーム４２に保持される。なお、所謂ガイドレールとして機能するガイド部材５８と、所謂スライダとして機能するレール部材５７とによりＹ方向のスライド機構５９が構成される。
【００４４】
主フレーム４２の前記前壁５１には、図４および図６に示すように、第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に往復動させるための第１の駆動装置６１が設けられている。この第１の駆動装置６１は、主フレーム４２に軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ６２と、このモータ６２の出力軸６２ａに設けられたボールねじ軸６３と、このボールねじ軸６３に螺合する状態で第１の吸着ヘッド４３に固定されたボールねじナット６４などによって構成されている。すなわち、第１の吸着ヘッド４３は、主フレーム４２内におけるＹ方向の一端側であってＸ方向の中央部にＹ方向にのみ移動可能に装備され、前記第１の駆動装置６１によってＹ方向に往復動させられる。
【００４５】
前記主フレーム４２の後部には、図４および図９に示すように、Ｘ方向に延びるガイドレール６５と、このガイドレール６５に移動自在に支持されたスライダ６６とからなるＸ方向のスライド機構を介して二つの副フレーム６７，６８がそれぞれＸ方向に移動自在に設けられている。前記ガイドレール６５は、主フレーム４２の後壁５２に固定され、スライダ６６は副フレーム６７，６８の後述するＸ方向延在部６７ａ，６８ａに固定されている。
【００４６】
前記二つの副フレーム６７，６８は、図４、図７、図８および図９に示すように、主フレーム４２の後壁５２と平行にＸ方向と上下方向とに延びるＸ方向延在部６７ａ，６８ａと、このＸ方向延在部６７ａ，６８ａのＸ方向の一端からＹ方向であって前記後壁５２とは反対側へ延びるＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂとによってそれぞれ断面Ｌ字状に形成されている。これらの副フレーム６７，６８のうち図４において左側に位置する第１の副フレーム６７のＹ方向延在部６７ｂは、Ｘ方向延在部６７ａの左側の端部に接続されている。一方、図４において右側に位置する第２の副フレーム６８のＹ方向延在部６８ｂは、Ｘ方向延在部６８ａの右側の端部に接続されている。
【００４７】
前記二つの副フレーム６７，６８のＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂには、図７に示すように、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５を副フレーム６７，６８とともにＸ方向に移動させるための第２の駆動装置７１がそれぞれ設けられている。これらの第２の駆動装置７１は、主フレーム４２の左側壁５３または右側壁５４に軸線方向がＸ方向を指向するように取付けられたモータ７２と、このモータ７２の出力軸７２ａに設けられたボールねじ軸７３と、このボールねじ軸７３に螺合する状態で前記Ｙ方向延在部６７ｂ，６８ｂに固定されたボールねじナット７４などによって構成されている。
【００４８】
二つの副フレーム６７，６８のうち図４において左側に位置する第１の副フレーム６７を駆動する第２の駆動装置７１のモータ７２は、図４に示すように、主フレーム４２の左側壁５３から左側方に突出するように取付けられ、他方の第２の副フレーム６８を駆動する第２の駆動装置７１のモータ７２は、主フレーム４２の右側壁５４から右側方に突出するように取付けられている。
【００４９】
すなわち、前記モータ７２は、主フレーム４２におけるＹ方向の一端部から両側方（Ｘ方向）に突出するように設けられている。このため、２台のヘッドユニット４，５が互いに接近する場合、このモータ７２が他方のヘッドユニットに干渉することになる。この実施の形態においては、第１のヘッドユニット４と第２のヘッドユニット５とを支持部材２４に前後方向が反対となるように搭載しているから、ヘッドユニット４のモータ７２とヘッドユニット５のモータ７２とが干渉し合うことがなく、両ヘッドユニット４，５を接近させたときの間隔を狭めることができる。
【００５０】
前記第１の副フレーム６７のＹ方向延在部６７ｂにおける主フレーム４２の左側壁５３とは反対側には、図４および図８に示すように、Ｙ方向２箇所のガイド部材（所謂ガイドレールに相当）７６と、このガイド部材７６に移動自在に支持されたレール部材（所謂スライダに相当）７５とからなるＹ方向のスライド機構７７を介して第２の吸着ヘッド４４がＹ方向に移動自在に装着されている。
【００５１】
一方、第２の副フレーム６８のＹ方向延在部６８ｂにおける主フレーム４２の右側壁５４とは反対側には、図４に示すように、Ｙ方向２箇所のガイド部材（所謂ガイドレールに相当）７９と、このガイド部材７９に移動自在に支持されたレール部材（所謂スライダに相当）７８とからなるＹ方向のスライド機構８０を介して第３の吸着ヘッド４５がＹ方向に移動自在に装着されている。これら二つのスライド機構７７，８０のレール部材７５、７８は、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５に固定され、ガイド部材７６，７９はＹ方向延在部６７ｂ，６８ｂに固定されている。
【００５２】
前記第１の副フレーム６７のＸ方向延在部６７ａと、第２の副フレーム６８のＸ方向延在部６８ａとには、図８および図９に示すように、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＹ方向に移動させるための第１の駆動装置８１がそれぞれ設けられている。
これらの第１の駆動装置８１は、副フレーム６７，６８のＸ方向延在部６７ａ，６８ａに軸線方向がＹ方向を指向するように取付けられたモータ８２と、このモータ８２の出力軸８２ａに設けられたボールねじ軸８３と、このボールねじ軸８３に螺合する状態で第２または第３の吸着ヘッド４４，４５に固定されたボールねじナット８４などによって構成されている。前記モータ８２，８２の出力軸８２ａ、８２ａは、それぞれＸ方向延在部６７ａ，６８ｂを貫通する一方、前記モータ８２，８２のケーシングは、主フレーム４２の後壁５２に形成された開口部５２ａ（図８参照）を通り主フレーム４２から後方に突出している。前記開口部５２ａは、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５とともに前記モータ８２がＸ方向に移動するときにこのモータ８２と後壁５２との干渉を避けるためのものである。
【００５３】
すなわち、第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とは、主フレーム４２の内側にＸ方向とＹ方向とにそれぞれ移動自在に装備され、前記第２の駆動装置７１によって主フレーム４２に対してＸ方向に往復動させられるとともに、前記第１の駆動装置８１によって主フレーム４２に対してＹ方向に往復動させられる。
【００５４】
第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５は、図５、図９および図１１に示すように、前記第１の駆動装置６１，８１のボールねじナット６４，８４が取付けられた吸着ヘッド本体９１と、この吸着ヘッド本体９１に上下方向（以下においてはＺ方向という）のスライド機構９２を介して昇降自在に支持された昇降部材９３と、この昇降部材９３の下端部に取付けられた吸着ノズル９４などを備えている。
前記Ｚ方向のスライド機構９２は、吸着ヘッド本体９１に上下方向に延びるように固定されたガイドレール９５と、このガイドレール９５に昇降自在に支持されかつ昇降部材９３に固定されたスライダ９６とから構成されている。
【００５５】
前記吸着ヘッド本体９１は、主フレーム４２をＺ方向に貫通する長さに形成されており、昇降部材９３を昇降させるためのＺ方向駆動装置１０１を備えている。このＺ方向駆動装置１０１は、吸着ヘッド本体９１の上端部に軸線が下方を指向する状態で取付けられたモータ１０２と、このモータ１０２の出力軸１０２ａに接続されたボールねじ軸１０３と、このボールねじ軸１０３に螺合する状態で昇降部材９３に固定されたボールねじナット１０４などによって構成されている。
【００５６】
前記昇降部材９３は、吸着ノズル９４をＺ方向の軸線回りに回転自在に支持しており、この吸着ノズル９４を前記軸線回りに回転させるための回転駆動装置１０５と、吸着ノズル９４から空気を吸引するための空気吸引用パイプ１０６（図１１参照）とを備えている。前記回転駆動装置１０５は、昇降部材９３における吸着ノズル９４の上方の部位に軸線が下方を指向するように設けられたモータ１０７によって吸着ノズル９４を回転させる構成が採られている。
【００５７】
このように構成された第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５は、図４に示すように、吸着ノズル９４がＸ方向に並ぶように主フレーム４２に装備されている。詳述すると、第１の吸着ヘッド４３は、主フレーム４２の前部であってＸ方向の中央部に前壁５１から後方に延びるように設けられている。第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とは、主フレーム４２の後部であってＸ方向の両側部に後壁５２から前方に延びるようにそれぞれ設けられている。
【００５８】
第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５をこのように主フレーム４２に装着することによって、３個の吸着ノズル９４相互間のＸ方向の間隔を第２の駆動装置７１によって変えることができるとともに、各吸着ノズル９４の主フレーム４２に対するＹ方向の位置を第１の駆動装置６１，８１によって変えることができる。すなわち、この実施の形態による表面実装機１においては、吸着ノズル９４どうしのＸ方向の間隔を多数のテープフィーダー２２ａの設置間隔と一致させることができるから、３本の吸着ノズル９４によって一度に電子部品２１を吸着することができる。
【００５９】
すなわち、テープフィーダー２２ａのテープ送り量にばらつきが出る場合、あるいはテープフィーダ２２ａそのものの基台２へのＹ方向取り付け位置にばらつきが出る場合には、部品取り出し位置となるテープの部品収納凹部の位置がＹ方向にテープフィーダー２２ａ毎にばらついてしまうが、ヘッドユニット４、５に下方を撮像する不図示の撮像装置を搭載させ、取り出し位置近傍を撮像してテープフィーダー２２ａ毎の取り出し位置のＹ方向位置を検出し、その結果に基づいて各吸着ノズル９４の主フレームに対する位置を第１の駆動装置６１、８１によって変更することで、一度に複数の電子部品２１の吸着を可能としている。
【００６０】
吸着ノズル９４に電子部品２１を吸着したときの吸着ノズル９４に対する電子部品２１の位置は、主フレーム４２に設けられた部品認識用カメラ４６（図４、図５および図１２参照）により電子部品２１を下方から撮像し、画像処理によって検出する。
【００６１】
部品認識用カメラ４６は、図４、図５および図１２に示すように、主フレーム４２の右側壁５４から右方（図１２においては左方）に突出するとともに軸線がＸ方向を指向する状態で前記右側壁５４に支持されたモータ１１１と、このモータ１１１の出力軸１１１ａに設けられたボールねじ軸１１２と、このボールねじ軸１１２に螺合するボールねじナット１１３が固定された移動部材１１４と、この移動部材１１４に取付けられたカメラ本体１１５とから構成されている。
【００６２】
前記移動部材１１４は、前壁５１に固定されＸ方向に延びるガイドレール１１６（図１２参照）と、このガイドレール１１６に移動可能に支持され移動部材１１４に固定されたスライダ１１７とからなるＸ方向のスライド機構１１８によって主フレーム４２の下端部にＸ方向へ移動自在に支持されている。このスライド機構１１８は、図４に示すように、移動部材１１４が第２の吸着ヘッド４４より外側（左側）の位置と、第３の吸着ヘッド４５より外側（右側）の位置との間で移動できるように形成されている。また、前記移動部材１１４は、図１２に示すように、多数の発光素子１１９を備え、撮影時には、吸着ノズル９４に吸着された電子部品２１に下方から光を照射するように構成されている。
【００６３】
カメラ本体１１５は、リニアセンサやエリアセンサなどの撮像素子（図示せず）を備え、図５に示すように、Ｙ方向に延びるように移動部材１１４に取付けられている。この部品認識用カメラ４６による電子部品２１の撮像は、吸着ノズル９４に電子部品２１が吸着されている状態で前記モータ１１１を有するボールねじ式の駆動装置１２０によって移動部材１１４をＸ方向に移動させながら、移動部材１１４内に設けられたミラー（図示せず）を介して、発光素子１１９で照明された吸着ノズル９４側を下方から見上げるようにして行われる。
【００６４】
この実施の形態による部品認識用カメラ４６においては、図５に示すように、Ｘ方向駆動装置３７のボールねじ軸３８や、第２の駆動装置７１とはＹ方向において反対側に位置するようにヘッドユニット４，５に設けられている。このため、部品認識用カメラ４６がヘッドユニット４，５の駆動系の部材と干渉することがない。さらには、部品認識用カメラ４６を主フレーム４２の下部に配置することで、主フレーム４２の上部に配置するＸ方向駆動装置３７、第１の駆動装置６１および第２の駆動装置７１から、上下方向において離間するので、より干渉がない。
【００６５】
この部品認識用カメラ４６によって検出された電子部品２１の吸着位置ずれは、前記第２の駆動装置７１と第１の駆動装置６１，８１の駆動により各吸着ノズル９４の位置を変えることによって修正する。第１の吸着ヘッド４３に設けた吸着ノズル９４において生じた吸着位置ずれは、第１の駆動装置６１により第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に移動させるとともに、ヘッドユニット４，５をＸ方向駆動装置３７によってＸ方向に移動させることによって修正する。また、第１の吸着ヘッド４３において、電子部品２１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル９４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００６６】
第２の吸着ヘッド４４と第３の吸着ヘッド４５とに設けた吸着ノズル９４で生じた吸着位置ずれは、前記ヘッドユニット４，５のＸ方向への移動量を加算した状態で第２の駆動装置７１により第２，第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向に移動させ、かつ第１の駆動装置８１によって第２，第３の吸着ヘッド４４，４５をＹ方向に移動させることによって修正する。また、第２および第３の吸着ヘッド４４，４５において、電子部品２１がＺ方向の軸線回りに回されたような状態で吸着されている場合は、回転駆動装置１０５により吸着ノズル９４を回転させることによって上記回転方向の位置ずれを修正する。
【００６７】
この表面実装機１においては、上述した第２の駆動装置７１と第１の駆動装置６１，８１とによって３本の吸着ノズル９４相互間の間隔と、各吸着ノズル９４の主フレーム４２に対するＹ方向の位置とを変えることができるから、吸着ノズル９４毎に電子部品２１をプリント配線板９の所定の実装位置に位置決めすることができる。すなわち、この表面実装機１では、電子部品２１を３本の吸着ノズル９４によってプリント配線板９に同時に実装することができる。
【００６８】
なお、Ｘ方向やＹ方向の吸着ずれに対応して第１の吸着ヘッド４３をＹ方向、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向あるいはＹ方向に移動する場合だけでなく、各電子部品２１の実装位置がＸ方向に一列に均等間隔で並ばず、隣接はするが、相互にＸ方向に等間隔とはならず、また相互にＹ方向にも位置が異なる場合であっても、各吸着ヘッド４３〜４５を一列あるいは概略一列にして電子部品２１を同時吸着した後、プリント配線板９上方に移動途中において、メモリ中の実装位置データに基づいて、第１の吸着ヘッド４３をＹ方向、第２、第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向あるいはＹ方向に適宜移動することで、同時実装が可能となる。
【００６９】
また、電子部品２１の吸着後、部品認識用カメラ４６をＸ方向に移動することで各吸着ノズル９４〜９４の先端部を撮像するに当たり、部品認識用カメラ４６の撮像視野の範囲内に吸着された電子部品２１や各吸着ノズルが入る範囲で、第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５をＸ方向に一列あるいは概略一列に並べるようにする。
【００７０】
部品認識用カメラ４６は、図１３に示すように、支持部材２４の下面に取付けることもできる。図１３に示す部品認識用カメラ４６は、支持部材２４の一方の第１の枠部材２５にＸ方向のスライド機構１２１を介して支持されている。このスライド機構１２１は、第１の枠部材２５に固定されたガイドレール１２２と、このガイドレール１２２に移動自在に支持されかつ移動部材１１４に固定されたスライダ１２３とによって構成されている。この形態を採るに当たって、モータ１１１は、図示していないブラケットによって第１の枠部材２５に支持、固定されている。
【００７１】
上述したように構成された表面実装機１は、ヘッドユニット４，５に第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５をＸ方向に並ぶ状態で支持させるとともに、第１の吸着ヘッド４３をＹ方向（吸着ヘッドが並ぶ方向とは交差する方向）に移動させる第１の駆動装置６１と、第２および第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向に移動させる第２の駆動装置７１とを装備させ、３本の吸着ヘッド４３〜４５相互間の距離を変化させることができるように構成されている。
【００７２】
このため、この実施の形態による表面実装機１においては、第１の駆動装置６１によって第１の吸着ヘッド４３をＹ方向に駆動するとともに、第２の駆動装置７１によって第２，第３の吸着ヘッド４４，４５をＸ方向に駆動することにより、これらの第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５を同時に所定の吸着位置または実装位置に位置決めすることができる。
【００７３】
この実施の形態による表面実装機１においては、第１の吸着ヘッド４３の両側に、第１の駆動装置８１と第２の駆動装置７１とによって駆動される第２、第３の吸着ヘッド４４，４５が配設されている。このため、これら第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５どうしの間隔を吸着位置の間隔に一致させるに当たり、中央に位置する第１の吸着ヘッド４３に対して両側に位置する第２、第３の吸着ヘッド４４，４５を接離させることによって行うことができる。
【００７４】
また、この実施の形態による表面実装機１においては、２台のヘッドユニット４，５において、電子部品２１を３本の吸着ヘッド４３〜４５によって同時に吸着し、これらの電子部品２１を３本の吸着ヘッド４３〜４５によって同時にプリント配線板９に実装することができる。このため、この表面実装機１は、従来の表面実装機に較べて実装に要する時間をより一層短縮することができる。
【００７５】
ヘッドユニット４，５は、図１４に示すように、吸着ヘッドを４本設けることができるし、図１５に示すように、吸着ヘッドを５本設けることができる。
図１４に示すヘッドユニット４，５では、主フレーム４２の内部に４本の吸着ヘッド２００がそれぞれ第１、第２の駆動装置７１，８１によってＸ方向とＹ方向とに移動可能に設けられている。これらの吸着ヘッド２００は、平面視において四角形状に形成された主フレーム４２の角となる部位に配設されている。この実施の形態によるヘッドユニット４，５は、主フレーム４２の前壁５１に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００と、主フレーム４２の後壁５２に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００とがＸ方向に交互に並ぶように構成されている。
【００７６】
図１５に示すヘッドユニット４，５では、主フレーム４２が平面視において台形状に形成されており、台形の底辺に相当する前壁５１の中央部に固定式の吸着ヘッド２０１が設けられている。この固定式の吸着ヘッド２０１は、吸着ノズル９４を昇降させる機能と、上下方向の軸線回りに回転させる機能を有し、主フレーム４２にＸ方向とＹ方向への移動が規制された状態で取付けられている。なお、この吸着ヘッド２０１は、図３に示した第１の駆動装置６１を装備させ、主フレーム４２に対してＹ方向に移動する構成を採ることもできる。
【００７７】
図１５に示すヘッドユニット４，５においては、前記吸着ヘッド２０１を中心にして両側に２本ずつ可動式の吸着ヘッド２００が装備されている。これらの可動式の吸着ヘッド２００は、主フレーム４２に第１および第２の駆動装置７１，８１によってＸ方向とＹ方向とに移動可能に設けられている。この実施の形態によるヘッドユニット４，５は、主フレーム４２の前壁５１に支持された３本の吸着ヘッド２００，２０１の間に、後壁５２に支持された２本の吸着ヘッド２００，２００が臨む構成が採られている。
【００７８】
吸着ヘッドを第１および第２の駆動装置６１，７１，８１によって駆動するに当っては、吸着ヘッドの移動する方向を図１６（Ａ）〜（Ｃ）に示すように設定することができる。
図１６（Ａ）に示すヘッドユニット４，５は、３本の吸着ヘッド２００〜２０２を備えている。これらの吸着ヘッドのうち、同図において最も左側に位置する吸着ヘッド２００は、Ｘ方向とＹ方向とに移動するように構成され、中央に位置する吸着ヘッド２０１は、Ｙ方向のみに移動するように構成され、右側に位置する吸着ヘッド２０２は、Ｘ方向へもＹ方向へも移動することができないように構成されている。
【００７９】
図１６（Ｂ）に示すヘッドユニット４，５は、４本の吸着ヘッド２００，２０１を備えている。これらの吸着ヘッドのうち、最も左側に位置する吸着ヘッド２００と、最も右側に位置する吸着ヘッド２００，２００は、Ｘ方向とＹ方向とに移動するように構成され、内側の２本の吸着ヘッド２０１，２０１は、Ｙ方向のみに移動するように構成されている。
【００８０】
図１６（Ｃ）に示すヘッドユニット４，５は、Ｘ方向とＹ方向とに移動可能な吸着ヘッド２００と、Ｙ方向にのみ移動可能な吸着ヘッド２０１とを備えている。
ヘッドユニット４，５を図１４〜図１６に示すように構成しても図１〜図１２に示す実施の形態を採る場合と同等の効果を奏する。
【００８１】
なおまた、図１６（Ｃ）に示すように、ヘッドユニット４、５が、２本の吸着ヘッド２００、２０１を持つものにおいて、一方の吸着ヘッド２００がＸ方向のみ、他方の吸着ヘッド２０１がＹ方向のみに移動可能となるように構成しても良い。この場合でも上記の実施の形態を採る場合と同様の効果を奏する。
【００８２】
（第２の実施の形態）
本発明に係る電子部品移載装置は、図１７に示すように、ＩＣハンドラーに適用することができる。
図１７は本発明に係る電子部品移載装置を用いたＩＣハンドラーの構成を示す平面図である。同図において前記図１〜図１２によって説明したものと同一もしくは同等の部材については、同一符号を付し詳細な説明は適宜省略する。
【００８３】
図１７に示すＩＣハンドラー２１０は、基台２１１の一端部（図１７においてはＹ方向の端部）に設けられた複数の検査用ソケット２１２と、基台２１１に設けられた４台のパレット用昇降テーブル２１３と、これらの昇降テーブル２１３と前記検査用ソケット２１２との間に設けられた部品認識カメラ２１４と、基台２１１の上方でヘッドユニット４を水平方向に移動させるための移動装置２１５などを備えている。
【００８４】
前記検査用ソケット２１２は、電子部品に対して電気的な検査を行うためのもので、電子部品が一つずつ装填されるように構成されている。
前記パレット用昇降テーブル２１３は、多数の電子部品を収納した複数のパレット２１６〜２１９を上下方向に重ねた状態で支持するとともに、これらのパレット２１６〜２１９を昇降させることができるように構成されている。
【００８５】
４台の昇降テーブル２１３のうち、図１７において最も右側に位置する昇降テーブル２１３は、未検査の電子部品が収納されたパレット２１６が装填され、図１７においてこの昇降テーブル２１３の左側に隣接する昇降テーブル２１３は、検査後に良品であると判定された電子部品を収納するためのパレット２１７が装填されている。さらに、この昇降テーブル２１３の左隣に位置する昇降テーブル２１３は、検査後に不良品であると判定された電子部品を収納するためのパレット２１８が装填され、最も左側に位置する昇降テーブル２１３は、空のパレット２１９が装填されている。この最も左側に位置する昇降テーブル２１３には、未検査の電子部品が全て搬出されたパレット２１６が後述するパレット移動用ヘッド２２０によって移載される。
【００８６】
前記部品認識カメラ２１４は、電子部品を下方から撮像し、吸着ノズル（図示せず）に対する電子部品の位置を画像処理によって検出するためのものである。
前記移動装置２１５は、基台２１１上でＹ方向に延びる一対のＹ方向ガイドレール２２１，２２１と、このＹ方向ガイドレール２２１に両端部が移動自在に支持された支持部材２４と、この支持部材２４をＹ方向に往復動させるボールねじ式のＹ方向駆動装置（図示せず）とを備えている。
【００８７】
前記Ｙ方向ガイドレール２２１には、支持部材２４の他に、パレット移動用ヘッド２２０がＹ方向に移動自在に装着されている。このパレット移動用ヘッド２２０は、未検査の電子部品が無くなったパレット２１６を吸着し空パレット用昇降テーブル２１３に移動させるとともに、良品用パレット２１７や不良品用パレット２１８が電子部品で満たされた場合に、これらのパレット２１７，２１８の上に空パレット用昇降テーブル２１３から空のパレットを移載するためのもので、パレットを上方から吸着するための吸着ノズル２２２を備えている。昇降テーブル２１３は、このようなパレットの移動に連動し、最も上にあるパレットの高さを一定に保つように構成されている。
【００８８】
この実施の形態によるヘッドユニット４は、第１〜第３の吸着ヘッド４３〜４５を備え、前記支持部材２４にＸ方向に移動自在に支持されている。また、このヘッドユニット４は、図示していないＸ方向駆動装置によって支持部材２４に対してＸ方向に往復動させられる。
【００８９】
このように構成されたＩＣハンドラー２１０においては、ヘッドユニット４に設けられた３本の吸着ヘッド４３〜４５によってパレット２１６の未検査の電子部品を３個同時に吸着し、これらの電子部品を部品認識カメラ２１４によって撮像し、吸着位置の補正を行った後に検査用ソケット２１２に同時に装填することができる。この電子部品は、検査終了後に吸着ヘッド４３〜４５によって良品用パレット２１７または不良品用パレット２１８に移載される。なお、前記吸着ヘッド４３〜４５と、検査用ソケット２１２と、部品認識カメラ２１４の数量は、この実施の形態で示したように３台に限定されることはなく、適宜変更することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】表面実装機の構成を示す平面図である。
【図２】表面実装機の構成を示す側面図である。
【図３】コンベアの構成を示す平面図、
【図４】ヘッドユニットの構成を示す平面図である。
【図５】ヘッドユニットの側面図である。
【図６】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図７】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図８】第３の駆動装置の構成を示す断面図である。
【図９】吸着ヘッドの縦断面図である。
【図１０】本発明に係る表面実装機１の斜視図である。
【図１１】ヘッドユニットの一部を拡大して示す斜視図である。
【図１２】部品認識用カメラの構成を示す斜視図である。
【図１３】部品認識用カメラを支持部材に装着した形態を示す図である。
【図１４】４本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。
【図１５】５本の吸着ヘッドによってヘッドユニットを構成した形態を示す平面図である。
【図１６】吸着ヘッドを移動させる方向の変形例を示す構成図である。
【図１７】本発明に係る電子部品移載装置を用いたＩＣハンドラーの構成を示す平面図である。
【符号の説明】
【００９１】
２，２１１…基台、４，５…ヘッドユニット、４２…主フレーム、４３…第１の吸着ヘッド、４４…第２の吸着ヘッド、４５…第３の吸着ヘッド、６１，８１…第１の駆動装置、７１…第２の駆動装置、９４…吸着ノズル、２００，２０１，２０２…吸着ヘッド、２１０…ＩＣハンドラー、２１２…検査用ソケット、２１６〜２１９…パレット。
【図１】
2007115982.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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