(57)【要約】【課題】各アクチュエータ毎のポンプ制御部に個別に制御特性の異なるポンプレギュレータを配置することなく、限られた小さなタンク容量で可変ピストンポンプの特性と利便性を損なわずに油圧制御に汎用性を持たせることを目的とする。【解決手段】油圧源分散型油圧ユニットにおいて、油圧ポンプとして圧力補償形可変ピストンポンプ１１を用いてポンプレギュレータ２ととも一体に油タンク１内に油浸状態に装着し、油圧回路内の圧力を圧力センサ（又は圧力スイッチ）でもって検出し電気信号として演算装置のシーケンサ６に入力して、予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁４に出力することで油圧アクチュエータの駆動制御を行うようにした可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの構成を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
油圧アクチュエータ毎に必要な油圧ユニットを分散して個別に装備する油圧源分散型油圧システムにおける油圧ユニットにおいて、
前記油圧ユニットを構成する油圧ポンプとして圧力補償形可変ピストンポンプを用いてポンプレギュレータとともに油圧ユニットを構成する油タンク内に油浸状態に装着し、油圧回路内圧力を検出して電気信号として演算装置に入力し、予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁に出力することで油圧アクチュエータの駆動制御を行うことを特徴とする可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニット。
【請求項２】
内部に作動油が貯蔵された油タンクと、該油タンクの端面に配設された電動機と、該電動機の回転駆動力により油タンク内の作動油を吸入吐出する油圧ポンプと、作動油の流れ方向や圧力，流量を制御する電磁方向流量制御弁を使用した油圧回路と、油圧ポンプによって駆動制御される油圧アクチュエータとから構成される油圧源分散型油圧ユニットにおいて、
前記油圧ポンプとして圧力補償形可変ピストンポンプを用いてポンプレギュレータとともに油タンク内に油浸状態に装着し、油圧回路内圧力を検出して電気信号として演算装置に入力して、予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁に出力することで油圧アクチュエータの駆動制御を行うことを特徴とする可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニット。
【請求項３】
内部に作動油が貯蔵された油タンクと、該油タンクの端面に配設された電動機と、該電動機の回転駆動力により油タンク内の作動油を吸入吐出する油圧ポンプと、作動油の流れ方向や圧力，流量を制御する電磁方向流量制御弁を使用した油圧回路と、油圧ポンプによって駆動制御される油圧アクチュエータとから構成される油圧源分散型油圧ユニットにおいて、
前記油圧ポンプとして圧力補償形可変ピストンポンプを用いてポンプレギュレータとともに油タンク内に油浸状態に装着し、油圧回路内圧力を検出して電気信号として演算装置に入力して、予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁に出力することにより、個別に制御特性の異なるポンプレギュレータ部を付加することなく、圧力補償形可変ピストンポンプの制御に汎用性を持たせた可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニット。
【請求項４】
油圧回路内圧力を圧力センサ又は圧力スイッチで検出する請求項１，２又は３記載の可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は各アクチュエータ毎に必要な油圧ユニットを分散して個別に装備する油圧源分散型油圧システムにおける油圧ユニットであって、油タンク内に油圧ポンプを油浸状態にコンパクトに収納するとともに多機能な制御を可能とした可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来から油圧装置を活用した各種産業用機械等の各種機構作動部にはアクチュエータが配備されている。このアクチュエータに作動油を供給するための手段として、油圧源集中型システムと油圧源分散型システムとが知られている。油圧源集中型システムは、複数の油圧アクチュエータに対して、各アクチュエータが必要とする油圧の流れ方向や圧力・流量を１つの油圧ユニットから、該油圧ユニットと各アクチュエータを接続する配管を介して供給するシステムである。この油圧源集中型システムでは、配管距離に準じた管路損失を生むのみならず、複数のアクチュエータの運転を考慮したシステムとなり、油圧源となる油圧ポンプ等に多くの設計余裕が必要となる。そのため、負荷の運転状況によっては損失が大きくなる欠点がある。
【０００３】
また、この油圧源集中型システムでは、図１３の油圧源集中型システムの要部構成図に示すように、油タンク３１上面に配置された可変ピストンポンプ３２と、ポンプレギュレータ３３，３４等の複数のポンプレギュレータの中から行いたい制御に合わせた専用ポンプレギュレータを選択使用することによって制御が行われている。よって、制御内容が異なる毎に専用のポンプレギュレータを交換することが必要となる。また、各アクチュエータから離れた場所に設置されるため、スペース的な制約が少なく、油タンク３１の外面に配置した可変ピストンポンプ３２，ポンプレギュレータ３３（或いは３４），電磁弁３５等の各種制御機構に張り出し部等があったとしても、油タンク３１を大型化することによって対応することが可能である。そのため、必要以上に設置スペースが大きくなり、又油タンク３１の大型化に伴って作動油量も多くなるという問題がある。なお、図１３において、メッシュ部分３６は油タンク３１の設置スペースを表している。
【０００４】
一方、油圧源分散型システムは、各アクチュエータ毎に必要な油圧ユニットを分散して個別に装備し、各アクチュエータにそれぞれ専用の油圧ユニットから、該油圧ユニットと各アクチュエータを接続する配管を介して供給するシステムである。そのため、油圧源である油圧ポンプと制御弁がアクチュエータと一対となり、アクチュエータの要求エネルギに応じて、油圧源側の運転が一意に決定できるため、油圧源の効率的な運転が行え、損失の発生も最小限に留めることが可能となる。また、油圧源がアクチュエータ直近に配置可能であり、油圧配管長も短く、管路損失も集中型のシステムと比べると小さくなる利点がある。そして、この油圧源分散型システムには油圧ユニットをアクチュエータに一体的に装着するタイプと、別体に装備するタイプとがあるが、各アクチュエータに応じて制御機構を個別に設計していることは同じである。
【０００５】
近時は、アクチュエータとしての油圧シリンダに油圧源及び制御部を一体に構成した油圧源分散型システムが注目されており、本発明者は先に油圧ユニットを油圧シリンダに一体的に結合した油圧源分散型システムにおける油圧シリンダ装置を提供した（特許文献１を参照）。
【０００６】
さらに、本発明者はかかる油圧源分散型システムにおける油タンクを必要最小限に小型化するために、動作時の油の増減量、油タンク内の残油量、油タンク内の空気だまり等を考慮して油圧シリンダが動作したときの油量増減量の約３倍程度の容量の油タンクを使用することを提供した（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００１−１２４０１３号公報
【特許文献２】特開２００１−３１７５０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
前記したように油圧源分散型油圧ユニットは、アクチュエータとしての油圧シリンダに油圧源及び制御部を一体に構成した独立分散型の油圧システムであり、油圧システムそのものが自己完結した形で独立しているため、従来のように大型の油圧ユニットから各々の油圧シリンダへの配管が不要で配管工事やフラッシング作業から解放され、配管路の圧力損失や油漏れ等のトラブルが発生しないという利点がある。更に、作動油が貯蔵された油タンク内に油圧ポンプを油浸状態で収納することによって省スペースとともに低騒音化をはかることができるという利点がある。
【０００８】
しかしながら、可変容量式ピストンポンプを使用する場合には、油圧ポンプを制御するために行いたい制御に合わせた各種ポンプレギュレータの装備が不可欠であり、前記した必要最小限に小型化した油タンク内には、スペース的に各種制御機構を付加したポンプレギュレータを収納することができない。図１１はアクチュエータが動作したときの油量増減量の約３倍程度の容量の油タンク３７を使用した油圧源分散型システムの要部構成図であり、可変ピストンポンプ３８をポンプレギュレータ３９と一体で油タンク３７内に装備すると、ポンプレギュレータ３９等の張り出しによって、油タンク３７内に収納できないことが判る。４０は電磁方向流量制御弁及び積層バルブ、４１は電動機、４２はマニホールド、４３はフロントカバー、メッシュ部分４４は油タンク３７の設置スペースを表している。
【０００９】
そのため、これらを油タンク内に収納するためには、油圧ポンプとポンプレギュレータを収納するスペースを油タンク内に確保する必要性から、油タンクとして必要な作動油の量を超えた大容量の油タンクを選択しなければならないという課題がある。図１２は油圧ポンプ等を収納するための容量を持つ油タンクを使用した場合の油圧源分散型システムの一部を破断した要部構成図であり、図１１と同一構成の構成要素については同一の符号を付してその説明を省略する。可変ピストンポンプ３８はポンプレギュレータ３９と一体で油タンク４５内に収納するため、油タンク４５は必要な油量を超えて大容量化する必要があり、油タンク４５の設置スペースである部分４６は、図１１に示す油タンク３７の設置スペース４４の５倍以上のスペースを必要とする。
【００１０】
そのため、従来は固定容量ポンプを使用してインバータやサーボモータによって油圧ポンプ入力軸の回転数やトルクを制御することにより、流量と圧力を電気的にコントロールする方法が採られていたが、これらの方法はコスト高や高度な電気的知識等を必要とすることや、騒音が高くなるとともに電気的ノイズの発生という厄介な問題も有る。
【００１１】
そこで本発明は各アクチュエータ毎のポンプ制御部に個別に制御特性の異なるポンプレギュレータを配置することなく、限られた小さなタンク容量で油圧システム自体の特性と利便性を損なわずに油圧制御に汎用性を持たせた多機能な可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットを提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は上記目的を達成するために、油圧アクチュエータ毎に必要な油圧ユニットを分散して個別に装備する油圧源分散型油圧システムにおける油圧ユニットにおいて、具体的には、内部に作動油が貯蔵された油タンクと、該油タンクの端面に配設された電動機と、該電動機の回転駆動力により油タンク内の作動油を吸入吐出する油圧ポンプと、作動油の流れ方向や圧力，流量を制御する電磁方向流量制御弁を使用した油圧回路と、油圧ポンプによって駆動制御される油圧アクチュエータとから構成される油圧源分散型油圧ユニットにおいて、前記油圧ポンプとして圧力補償形可変ピストンポンプを用いてポンプレギュレータとともに油タンク内に油浸状態に装着し、油圧回路内圧力を検出して電気信号として演算装置に入力して、予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁に出力することで油圧アクチュエータの駆動制御を行うようにした可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの構成にしてある。また、個別に制御特性の異なるポンプレギュレータ部を付加することなく、圧力補償形可変ピストンポンプの制御に汎用性を持たせた可変ピストンポンプを油浸状態で使用し、油圧回路内圧力を圧力センサ又は圧力スイッチで検出するようにしている。
【発明の効果】
【００１３】
本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットによれば、油圧タンク内に油浸状態に配置されたポンプ調整部に触れること無く外部からポンプレギュレータの外部パイロット圧力を電気的に制御することによって任意の制御特性や作動油の流量，圧力の設定を行うことが可能となる。従って油圧ポンプを制御するためのそれぞれのポンプレギュレータを必要としない、油タンク内に各種の制御特性を有するポンプレギュレータの張り出し部を収納するスペースを確保する必要がないため、大容量の油タンクを使用しなくてもよく、コンパクト化に伴う省スペース効果とともにコストの低廉化と省エネ効果及び騒音の低減作用が得られる。
【００１４】
また、各アクチュエータ毎のポンプ制御部に個別に制御特性の異なる専用のポンプレギュレータを配置する必要がないので、構造上及びメンテナンスの点からも好ましく、しかも各アクチュエータ毎に専用の制御部を選定・付加する必要がなくなり、限られた小さなタンク容量で油圧システム自体の特性と利便性を損なわずに多機能で汎用性を持たせた可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットが提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下図面に基づいて本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの最良の実施形態を説明する。本発明では圧力補償形可変ピストンポンプを採用したことにより、回路内圧力を圧力センサ又は圧力スイッチで検出し、電気信号として演算装置に入力して予め設定された圧力と流量との関係に基づいて圧力に対して流量を制御する信号を電磁方向流量制御弁に出力することにより、ポンプ制御部に個別に制御特性の異なる専用のポンプレギュレータ部を付加することなく、油圧制御に汎用性を持たせた可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットを実現したことが大きな特徴となっている。
【００１６】
図１は本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの要部構成図であり、主要な構成要素として、１は油タンク、１１は可変ピストンポンプ、２はポンプレギュレータ、３は圧力センサ（又は圧力スイッチ）、４は電磁方向流量制御弁、５は制御盤、６は演算装置としてのシーケンサである。油圧ポンプとして圧力補償形の可変ピストンポンプ１１を用いており、ポンプレギュレータ２とともに油タンク１内に油浸状態に装着されている。メッシュ部分２０は油タンク１の設置スペースを表している。
【００１７】
図２は制御の流れを示すブロック図であり、圧力センサ３（又は圧力スイッチ）の検出した圧力値７をシーケンサ６に入力して演算処理され、予め設定された設定値でもって、該シーケンサ６の出力信号８によって電磁方向流量制御弁４の開閉制御を行う。図３は、図４及び図６に示す油圧制御回路が有する可変ピストンポンプ１１から吐出される作動油の流量と圧力の関係を示す基本制御特性図であり、９は電気制御特性を、１０はロードセンシング特性を示している。
【００１８】
本発明で採用した可変ピストンポンプ１１は前記したように圧力補償形であり、更にポンプレギュレータ２はリモートコントロール方式のレギュレータであって、油圧ポンプ一体でともに油タンク１内に油浸状態で収納装着されている。そして油タンク１外の油圧制御回路内に圧力センサ３（又は圧力スイッチ）やシャトル弁１５と電磁方向流量制御弁４を組み込み、各種の油圧制御時には圧力センサ３（又は圧力スイッチ）の検出した信号をシーケンサ６で読み込んで作動油の流量の調整を行うことによって任意の各種ポンプ制御特性を得ている。
【００１９】
図４は油圧制御回路図であり、主要な回路構成を先ず説明すると、１１は可変ピストンポンプ、１２は電動機、１は油タンク、２はポンプレギュレータ、３は圧力センサ（又は圧力スイッチ）、４は電磁方向流量制御弁、１３，１４はチェック弁、１５はシャトル弁、１８はメインリリーフ弁、１９は油圧アクチュエータである。
【００２０】
かかる油圧制御回路によれば、初期設定として前記図３の圧力−流量特性を決定し、シーケンサ６に設定値もしくは、演算式として記憶させておく。実稼働時において電磁方向流量制御弁４が中立の場合には、電動機１２により可変ピストンポンプ１１を駆動するとポンプレギュレータ２のパイロット圧力はチェック弁１４を通してシャトル弁１５と通じており、電磁方向流量制御弁４のＡ，Ｂポートから油タンク１へ開放されているため、可変ピストンポンプ１１はポンプレギュレータ２の制御最低圧力でアンロード（非動作時）カットオフされる。そのためメインリリーフ弁１８の設定圧力に関係なくアンロード運転が可能となる。
【００２１】
次に電磁方向流量制御弁４が中立位置からソレノイドａ又はｂに励磁されると、可変ピストンポンプ１１から吐出された作動油は、チェック弁１３を通って電磁方向流量制御弁４のＰポートの圧油は励磁されたＡ又はＢポートへ流れ、その後シャトル弁１５で高圧側が選択されてＰ．Ｐラインのチェック弁１４を通じてポンプレギュレータ２のパイロットポートと連通する。その結果メインリリーフ弁１８の設定圧力内においては、可変ピストンポンプ１１はＰ．Ｐライン圧力に連動した一定圧力を付加した圧力でオンロード運転を行う。
【００２２】
回路内圧力が上昇してメインリリーフ弁１８の設定圧力を超えると、Ｐ．Ｐライン圧力はメインリリーフ弁１８を通じて油タンク１に開放される。そのためポンプレギュレータ２の働きによって可変ピストンポンプ１１はメインリリーフ弁１８の設定圧力でオンロードカットオフされる。
【００２３】
電磁方向流量制御弁４は、外部の電気信号によって方向制御と流量制御を行う機能を有しており、電気信号によって任意の流量を設定可能であることから、シャトル弁１５より選択された高圧二次側Ｐ．Ｐ圧力を圧力センサ３（又は圧力スイッチ）で検出し、予めシーケンサ６に設定もしくは演算される値でポンプ吐出量を任意に決定することができる。
【００２４】
作動油の流量制御は電磁方向流量制御弁４の開度に対してシャトル弁１５とポンプレギュレータ２の働きにより二次側負荷圧に対して常に一定差圧力に保持されることから二次側負荷圧力に対応した圧力補償された流量制御が可能となる。
【００２５】
図５は上記図４に示す油圧制御回路による作動油の吐出量と吐出圧の関係を示す特性グラフであり、（１）は圧力調整Ｐ１をメインリリーフ弁１８で行い、流量ｑ１の調整は電磁方向流量制御弁４のバルブ開度（メーターイン流量制御）で行った例である。（２）は流量ｑ１，ｑ２の調整は電磁方向流量制御弁４で設定し、ｑ１からｑ２への切替は圧力センサ３（又は圧力スイッチ）でＰ１を検出し、検出された値が電気信号としてシーケンサ６に入力され、このシーケンサ６から電磁方向流量制御弁４に電気信号を送り、その信号によって流量ｑ２に電磁方向流量制御弁４で制御した２圧２流量制御形の例である。
【００２６】
（３）は（１）にアンロードカットオフ機能を付加した制御形の例であり、本発明においてはソレノイドバルブ中立時においては自動的にアンロードカットオフする基本機能を有している。（４）はアンロードカットオフ付き２圧２流量制御形の例であり、（２）に（３）をプラスした制御形の例である。
【００２７】
（５）は２カットオフ制御形の制御とアンロードカットオフ機能を有する例であり、図６に示すように、図４の油圧制御回路のポンプレギュレータパイロットラインに新たに電磁チェック弁２１とリリーフ弁２２を付加することでオンロード時において２種類の圧力−流量特性が得られると同時に電磁方向流量制御弁４の中立時においてはアンロードカットオフ特性も有している。
【００２８】
図７は本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧アクチュエータ一体型の油圧源分散型油圧ユニットの具体例を示す正面図、図８は図７の左側面図であり、油圧アクチュエータ１９の上部に油タンク１の基部が固定され、油タンク１の端面に電動機１２が配設されている。該油タンク１の内部には可変ピストンポンプ１１とポンプレギュレータ２が一体に油浸状態で配置されており、油タンク１の基部のフロントカバー１６にはチェック弁１３，１４とメインリリーフ弁１８が配置され、更に油タンク１の基部、フロントカバー１６にはマニホールド１７を介してシャトル弁１５と圧力センサ３（又は圧力スイッチ）及び電磁方向流量制御弁４が積層で配置されている。油タンク１の内部には作動油が貯蔵されている。
【００２９】
図９は油圧ユニットと油圧アクチュエータを別体に装着するタイプの具体例を示す正面図、図１０は図９の左側面図であり、油圧アクチュエータ１９が別途に配備されている以外は、図７の例と同様に油タンク１の内部に可変ピストンポンプ１１とポンプレギュレータ２が一体に油浸状態で配置されており、油タンク１の端面に電動機１２が配設され、油タンク１の基部のフロントカバー１６にはチェック弁１３，１４とメインリリーフ弁１８とが装着され、更にフロントカバー１６の上部にはマニホールド１７を介してシャトル弁１５と圧力センサ３（又は圧力スイッチ）及び電磁方向流量制御弁４とが積層で配置されている。尚、図９は横型の油圧ユニットの例であるが、縦型の油圧ユニットに構成にすることもできる（縦型の油圧ユニットの図示は省略）。
【産業上の利用可能性】
【００３０】
以上詳細に説明したように、本発明によれば油圧ポンプを制御するための個別のポンプレギュレータを不要とすることでオイルタンク内部のポンプ調整部に触れることなく任意のポンプ制御特性や作動油の流量と圧力の設定を行うことが可能となり、大容量の油タンクを使用することなく、作動油量の低減やシステムのコンパクト化に伴う省スペース効果とともにコストの低廉化と省エネ効果及び可変ピストンポンプを油浸状態で使用することによる騒音の低減効果が得られるので、利便性の向上とともにメンテナンス面での問題も発生しない。特に油圧源及び制御部を一体に構成した独立分散型の油圧システムを活用した各種産業用機械等の機構作動部に配備されているアクチュエータの油圧源として広く利用することができる。
【００３１】
即ち、油圧源分散型油圧ユニットにおいて、作動油が貯蔵された油タンク内に油圧ポンプを油浸状態で収納するようにすると省スペースを図ることができるが、多機能な可変容量式ピストンポンプを使用する場合において、油圧ポンプには制御のための各種ポンプレギュレータが不可欠であり、この場合油圧ポンプに一体に付加されたポンプレギュレータの張り出しのため、油圧ポンプとポンプレギュレータを収納するスペースを油タンク内に確保する必要性から、従来は油タンクは必要な作動油の量を超えて大容量の油タンクを選択する必要があった。また、油タンク内の油圧ポンプは油浸状態で収納されているため、ポンプレギュレータに電気的制御部を有するものを装着することは構造上及びメンテナンスの点からも好ましいものではなく、又ポンプレギュレータの各種調整部の設定に当たってはその都度油タンクを取り外す必要があって煩瑣である。また、必要とする制御特性に合わせた制御部をその都度、選定付加する必要があり、汎用性にも欠けている。そこで、本発明により、必要とする制御特性を有するポンプレギュレータを不要とし、外部パイロット方式の単一ポンプレギュレータでもって外部から任意のポンプ制御特性が構築できれば、油タンクをコンパクトにすることができて省スペースを実現するとともに、多機能な制御特性を有する可変ピストンポンプを油浸状態で使用することができ、ポンプレギュレータに汎用性を持たせることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの要部構成図。
【図２】本発明の制御の流れを示すブロック図。
【図３】作動油の流量と圧力の関係を示す基本制御特性図。
【図４】油圧制御回路図。
【図５】油圧制御回路による作動油の吐出量と吐出圧の関係を示す特性グラフ。
【図６】油圧制御回路図。
【図７】本発明にかかる可変ピストンポンプを油浸状態で使用した油圧源分散型油圧ユニットの具体例を示す正面図。
【図８】図７の左側面図。
【図９】油圧ユニットと油圧アクチュエータを別体に装着するタイプの具体例を示す正面図。
【図１０】図９の左側面図。
【図１１】油圧源分散型システムの要部構成図。
【図１２】従来の油圧源分散型システムの一部を破断した要部構成図。
【図１３】従来の油圧源集中型システムの要部構成図。
【符号の説明】
【００３３】
１…油タンク
２…ポンプレギュレータ
３…圧力センサ（又は圧力スイッチ）
４…電磁方向流量制御弁
５…制御盤
６…（演算装置としての）シーケンサ
１１…可変ピストンポンプ
１２…電動機
１３，１４…チェック弁
１５…シャトル弁
１６…フロントカバー
１７…マニホールド
１８…メインリリーフ弁
１９…油圧アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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