(57)【要約】【課題】フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力する。【解決手段】可撓性基板１１と、可撓性基板１１に線状に設けられた導電膜１２とを有し、液晶パネル２０に形成された入力端子２２に導電膜１２を介して検査信号を入力して、液晶パネル２０の点灯検査を行うためのフレキシブル配線基板１０であって、導電膜１２の延びる方向に沿った両側には、導電膜１２に沿って互いに並行に延びると共に液晶パネル２０の入力端子２２の近傍にそれぞれ当接する一対の当接部１５が設けられ、各当接部１５の高さは、入力端子２２の高さと導電膜１２の膜厚との和である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
可撓性基板と、
上記可撓性基板に線状に設けられた導電膜とを有し、
液晶パネルに形成された入力端子に上記導電膜を介して検査信号を入力して、該液晶パネルの点灯検査を行うためのフレキシブル配線基板であって、
上記導電膜の延びる方向に沿った両側には、該導電膜に沿って互いに並行に延びると共に上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接する一対の当接部が設けられ、
上記各当接部は、上記液晶パネルの入力端子の近傍に押し当てられたときに、上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように構成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項２】
請求項１に記載されたフレキシブル配線基板において、
上記各当接部の高さは、上記入力端子の高さと上記導電膜の膜厚との和であることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項３】
請求項１に記載されたフレキシブル配線基板において、
上記各当接部は、絶縁材料により構成されていることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項４】
請求項１に記載されたフレキシブル配線基板において、
上記導電膜は、互いに並行に延びる複数の配線を有していることを特徴とするフレキシブル配線基板。
【請求項５】
液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査装置であって、
可撓性基板と、該可撓性基板に線状に設けられた導電膜とを有し、該導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に検査信号を入力するためのフレキシブル配線基板と、
上記液晶パネルの入力端子と上記フレキシブル配線基板の導電膜とを導通させるように、上記フレキシブル配線基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てるための基板押し当て部とを備え、
上記フレキシブル配線基板は、上記導電膜の延びる方向に沿った両側に、該導電膜に沿って互いに並行に延びると共に上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接する一対の当接部を有し、
上記各当接部は、上記基板押し当て部によって上記液晶パネルの入力端子の近傍に押し当てられたときに、上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように構成されていることを特徴とする液晶パネルの検査装置。
【請求項６】
可撓性基板と、該可撓性基板に線状に設けられた導電膜と、該導電膜の延びる方向に沿った両側に該導電膜に沿って互いに並行に延びる一対の当接部とを有し、該導電膜を介して液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力するためのフレキシブル配線基板を用いて点灯検査を行う液晶パネルの検査方法であって、
上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように上記フレキシブル配線基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てることにより、上記フレキシブル配線基板の導電膜と上記液晶パネルの入力端子とを導通させると共に、上記フレキシブル配線基板の各当接部を上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接させる基板押し当て工程と、
上記フレキシブル配線基板の導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に対し検査信号を入力する検査信号入力工程とを備えることを特徴する液晶パネルの検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フレキシブル配線基板、液晶パネルの検査装置、及び液晶パネルの検査方法に関し、特に、液晶パネルの点灯検査技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、例えば、複数の画素電極がマトリクス状に配設されたアクティブマトリクス基板と、そのアクティブマトリクス基板に対向して配置され共通電極を有する対向基板と、それらの両基板の間に設けられた液晶層とを備えている。この液晶パネルは、上記アクティブマトリクス基板及び対向基板をそれぞれ作製した後に、例えば、それらの両基板を貼り合わせて空のパネルを作製し、その空のパネルを構成する基板の間に液晶材料を注入・封止することにより製造される。そして、その製造された液晶パネルに周辺部品を実装する前に、その液晶パネルに対して点灯検査が行われる。
【０００３】
ところで、上記アクティブマトリクス基板には、表示用配線として、上記各画素電極の間に、互いに平行に延びるように複数のゲート線と、各ゲート線に直交する方向に互いに平行に延びるように複数のソース線とがそれぞれ設けられている。
【０００４】
そして、上記点灯検査では、上記各ゲート線及び各ソース線に対して設けられた各入力端子に検査信号を直接入力する方式や、赤色表示用の各ソース線（Ｒ）・緑色表示用の各ソース線（Ｇ）・青色表示用の各ソース線（Ｂ）毎に、及び奇数本目の各ゲート線・偶数本目の各ゲート線毎にまとめて検査信号が入力できるショートバーを設けて、そのショートバーを介して検査信号を入力する方式などがよく知られている。
【０００５】
例えば、特許文献１には、各ソース線を端部で露出させて、その露出部分をソース線（Ｒ）、ソース線（Ｇ）及びソース線（Ｂ）毎に直線状に配列させた複数の入力端子を有する液晶パネルにおいて、その入力端子に柔軟性のある導電ゴムからなる３本のショートバーを押し当てることにより、各ソース線に検査信号を入力する検査方法が記載されている。
【０００６】
ここで、上記導電ゴムからなるショートバーによって検査信号を入力する検査方法について説明する。
【０００７】
図９は、一般的なＣＯＧ（Chip On Glass）実装に対応した液晶パネル１２０を示す平面模式図である。この液晶パネル１２０は、複数の画素電極がマトリクス状に配設された表示領域Ｄと、ドライバ（駆動回路）としてＬＳＩチップを実装するためのＣＯＧパッド部Ｐとを備えている。
【０００８】
ＣＯＧパッド部Ｐでは、図１０に示すように、赤色表示用の各ソース線（Ｒ）をその端部で露出させた複数の入力端子１２２Ｒと、緑色表示用の各ソース線（Ｇ）をその端部で露出させた複数の入力端子１２２Ｇと、青色表示用の各ソース線（Ｂ）をその端部で露出させた複数の入力端子１２２Ｂとが互いに重ならないように配列されている。
【０００９】
そして、点灯検査する際には、各入力端子１２２Ｒ、１２２Ｇ及び１２２Ｂに対して、導電ゴムからなるショートバー１１２Ｒｒ、１１２Ｇｒ及び１１２Ｂｒをそれぞれ押し当てることにより、信号発生器１４０からの検査信号を各ショートバー及び入力端子を介して各ソース線に入力することになる。
【００１０】
しかしながら、上記のような導電ゴムからなるショートバーによる検査信号の入力方法では、ショートバー１１２Ｒｒ、１１２Ｇｒ及び１１２Ｂｒの幅Ｗ1が導電ゴムの加工上、１ｍｍ程度になってしまうので、各入力端子１２２Ｒと各入力端子１２２Ｇとの間、及び各入力端子１２２Ｇと各入力端子１２２Ｂとの間の距離がそれぞれ１ｍｍ以上必要になる。そのため、ＣＯＧパッド部Ｐがソース線に延びる方向（図中の上下方向）に大きくなるおそれがある。
【００１１】
そこで、上記のような導電ゴムからなるショートバーの代わりとして、可撓性基板上に形成された導電膜からなるショートバーを用いたフレキ検査プローブが提案されている。
【００１２】
以下に、上記フレキ検査プローブによる検査方法について説明する。ここで、図１１は、従来のフレキ検査プローブ１１０ａによる検査方法を示す平面模式図であり、図１２は、図１１中のXII−XII線に沿った断面模式図である。
【００１３】
このフレキ検査プローブ１１０ａは、例えば、樹脂製の可撓性基板１１１上に線状の導電膜１１２Ｒａ、１１２Ｇａ及び１１２Ｂａが形成されたフレキシブル配線基板（ＦＰＣ：Flexible Printed Circuit）などにより構成されている。
【００１４】
また、被検査体の液晶パネル１２０ａでは、例えば、アクティブマトリクス基板を構成するガラス基板１２１上のＣＯＧパッド部Ｐに、赤色表示用の各ソース線（Ｒ）の端部である複数の入力端子１２２Ｒａ、緑色表示用の各ソース線（Ｇ）の端部である複数の入力端子１２２Ｇａ、及び青色表示用の各ソース線（Ｂ）の端部である複数の入力端子１２２Ｂａがそれぞれ設けられている。
【００１５】
このフレキ検査プローブ１１０ａでは、導電膜１１２Ｒａ、１１２Ｇａ及び１１２Ｂａがそれぞれフォトリソグラフィー技術により形成されるので、図１１に示すように、導電膜１１２Ｒａ、１１２Ｇａ及び１１２Ｂａの幅Ｗ2を０．１ｍｍ程度にすることができる。そのため、各入力端子（１２２Ｒａ・１２２Ｇａ・１２２Ｂａ）自体のソース線に延びる方向の長さ、各入力端子１２２Ｒａが並んだ列と各入力端子１２２Ｇａが並んだ列との間隔、及び各入力端子１２２Ｇａが並んだ列と各入力端子１２２Ｂａとの間隔をそれぞれ短くすることができるので、ＣＯＧパッド部Ｐのサイズを小さく抑えて、各入力端子と各導電膜とを導通させることができる。
【００１６】
また、特許文献２には、上記入力端子に対応する液晶パネルの端部に設けられた電極膜に、検査信号が入力される導電膜を備えたフレキシブル配線基板を押し当てる際に、その基板背面から弾性チューブによって押圧して、電極膜と導電膜とを導通させることにより、液晶パネルの電極膜に検査信号を入力する検査用コンタクト装置が開示されている。
【特許文献１】特開平７−５４８１号公報
【特許文献２】特開平７−２７０８１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１７】
ところで、近年の液晶パネルの狭額縁化に伴って、ＣＯＧパッド部のサイズが益々小さくなる傾向がある。そのため、上述した従来のフレキ検査プローブでは、フレキ検査プローブの導電膜と液晶パネルの入力端子との間の導通が不良になって、液晶パネルの入力端子に検査信号が確実に入力されないおそれがある。
【００１８】
具体的には、図１３に示すように、液晶パネル１２０ｂを構成するガラス基板１２１上に形成される入力端子１２２Ｒｂ、１２２Ｇｂ及び１２２Ｂｂの間隔が狭くなると、フレキ検査プローブ１１０ｂ全体を液晶パネル１２０ｂに押し当てたとしても、導電膜（１１２Ｒｂ・１１２Ｇｂ・１１２Ｂｂ）及び入力端子（１２２Ｒｂ・１２２Ｇｂ・１２２Ｂｂ）が集中して配設された部分では、それらの厚みによってフレキ検査プローブ１１０ｂが膨らんだ状態になり易くなる。そうなると、フレキ検査プローブ１１０ｂの膨らんだ部分の導電膜パターン１１２Ｒｂ、１１２Ｇｂ及び１１２Ｂｂが液晶パネル１２０ｂの入力端子１２２Ｒｂ、１２２Ｇｂ及び１２２Ｂｂから浮き上がってしまうので、液晶パネル１２０ｂの各入力端子１２２Ｒｂ、１２２Ｇｂ及び１２２Ｂｂとフレキ検査プローブ１１０ｂの各導電膜１１２Ｒｂ、１１２Ｇｂ及び１１２Ｂｂとの間における導通が不良になる。
【００１９】
また、特許文献２の検査用コンタクト装置では、フレキシブル配線基板の背面から当接する弾性チューブによって導電膜と電極膜との接触区間の一部を押圧するので、上記のような液晶パネルの入力端子とフレキ検査プローブの導電膜との間における導通不良を一応解消することができるものの、フレキシブル配線基板の一部が集中的に押圧されるので、その局所的なストレスが繰り返されることによって、フレキシブル配線基板の損傷が懸念される。そして、フレキシブル配線基板が損傷すると、液晶パネルの入力端子とフレキシブル配線基板の導電膜との間における導通が不安定になるので、やはり、液晶パネルの入力端子に検査信号が確実に入力されないおそれがある。
【００２０】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
上記目的を達成するために、本発明は、フレキシブル配線基板の導電膜の両側に一対の当接部を設けるようにしたものである。
【００２２】
具体的に本発明にかかるフレキシブル配線基板は、可撓性基板と、上記可撓性基板に線状に設けられた導電膜とを有し、液晶パネルに形成された入力端子に上記導電膜を介して検査信号を入力して、該液晶パネルの点灯検査を行うためのフレキシブル配線基板であって、上記導電膜の延びる方向に沿った両側には、該導電膜に沿って互いに並行に延びると共に上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接する一対の当接部が設けられ、上記各当接部は、上記液晶パネルの入力端子の近傍に押し当てられたときに、上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように構成されていることを特徴とする。
【００２３】
上記の構成によれば、点灯検査を行うためにフレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に押し当てたときに、導電膜の両側に設けられた一対の当接部は、可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接するので、フレキシブル配線基板に局所的なストレスがかかり難くなる。そのため、フレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に繰り返し押し当てたとしても、フレキシブル配線基板の損傷が抑制されるので、液晶パネルの入力端子とフレキシブル配線基板の導電膜との間が安定して導通する。したがって、フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力することが可能になる。
【００２４】
上記各当接部の高さは、上記入力端子の高さと上記導電膜の膜厚との和であってもよい。
【００２５】
上記の構成によれば、各当接部の高さが入力端子の高さと導電膜の膜厚との和であるので、点灯検査を行うためにフレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に押し当てたときに、フレキシブル配線基板の導電膜が液晶パネルの入力端子に当接すると共に、フレキシブル配線基板の各当接部が液晶パネルの入力端子の近傍に当接して、可撓性基板及び液晶パネルが具体的に互いに対向して配置することになる。そのため、入力端子の高さや導電膜の膜厚に起因する局所的なストレスがフレキシブル配線基板にかかり難くなる。
【００２６】
上記各当接部は、絶縁材料により構成されていてもよい。
【００２７】
上記の構成によれば、各当接部と導電膜との間における電気的絶縁性が保持される。
【００２８】
上記導電膜は、互いに並行に延びる複数の配線を有していてもよい。
【００２９】
上記の構成によれば、各配線が、例えば、同じ種類の各表示用配線に一斉に検査信号を入力するためのショートバーとなり、本発明の作用効果が具体的に奏される。
【００３０】
また、本発明にかかる液晶パネルの検査装置は、液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力して点灯検査を行う液晶パネルの検査装置であって、可撓性基板と、該可撓性基板に線状に設けられた導電膜とを有し、該導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に検査信号を入力するためのフレキシブル配線基板と、上記液晶パネルの入力端子と上記フレキシブル配線基板の導電膜とを導通させるように、上記フレキシブル配線基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てるための基板押し当て部とを備え、上記フレキシブル配線基板は、上記導電膜の延びる方向に沿った両側に、該導電膜に沿って互いに並行に延びると共に上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接する一対の当接部を有し、上記各当接部は、上記基板押し当て部によって上記液晶パネルの入力端子の近傍に押し当てられたときに、上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように構成されていることを特徴とする。
【００３１】
上記構成によれば、点灯検査を行うために基板押し当て部によってフレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に押し当てたときに、導電膜の両側に設けられた一対の当接部は、可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接するので、フレキシブル配線基板に局所的なストレスがかかり難くなる。そのため、フレキシブル配線基板を基板押し当て部によって液晶パネルの入力端子に繰り返し押し当てたとしても、フレキシブル配線基板の損傷が抑制されるので、液晶パネルの入力端子とフレキシブル配線基板の導電膜との間が安定して導通する。したがって、フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力することが可能になる。
【００３２】
また、本発明にかかる液晶パネルの検査方法は、可撓性基板と、該可撓性基板に線状に設けられた導電膜と、該導電膜の延びる方向に沿った両側に該導電膜に沿って互いに並行に延びる一対の当接部とを有し、該導電膜を介して液晶パネルに形成された入力端子に検査信号を入力するためのフレキシブル配線基板を用いて点灯検査を行う液晶パネルの検査方法であって、上記可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように上記フレキシブル配線基板を上記液晶パネルの入力端子に押し当てることにより、上記フレキシブル配線基板の導電膜と上記液晶パネルの入力端子とを導通させると共に、上記フレキシブル配線基板の各当接部を上記液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接させる基板押し当て工程と、上記フレキシブル配線基板の導電膜を介して上記液晶パネルの入力端子に対し検査信号を入力する検査信号入力工程とを備えることを特徴する。
【００３３】
上記方法によれば、基板押し当て工程において、フレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に押し当てたときに、導電膜の両側に設けられた一対の当接部は、可撓性基板及び液晶パネルが互いに対向して配置するように液晶パネルの入力端子の近傍にそれぞれ当接するので、フレキシブル配線基板に局所的なストレスがかかり難くなる。そのため、フレキシブル配線基板を液晶パネルの入力端子に繰り返し押し当てたとしても、フレキシブル配線基板の損傷が抑制されるので、液晶パネルの入力端子とフレキシブル配線基板の導電膜との間が安定して導通する。そして、検査信号入力工程では、その安定した導通状態で導電膜を介して液晶パネルの入力端子に検査信号が入力される。したがって、フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力することが可能になる。
【発明の効果】
【００３４】
本発明によれば、フレキシブル配線基板の導電膜の両側に一対の当接部が設けられているので、フレキシブル配線基板の損傷を抑制して、液晶パネルの入力端子に検査信号を確実に入力することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、本発明は、以下の各実施形態に限定されるものではない。
【００３６】
《発明の実施形態１》
図１及び図２は、本発明に係るフレキシブル配線基板、それを用いた液晶パネルの検査方法の実施形態１を示している。ここで、図１は、本実施形態の液晶パネルの検査方法を示す斜視図であり、点灯検査の検査プローブとして用いられるフレキシブル配線基板１０、及び点灯検査の対象である液晶パネル２０を示している。なお、図２は、図１中のII−II線に沿ったフレキシブル配線基板１０及び液晶パネル２０の断面図である。
【００３７】
液晶パネル２０は、図１及び図２に示すように、パネル本体部２１と、パネル本体部２１の表面に設けられた入力端子２２とを備えている。ここで、入力端子２２は、パネル本体部２１の表示領域Ｄ（図９参照）に配設された赤色表示用のソース線（不図示）に接続された入力端子２２Ｒ、同じく緑色表示用のソース線（不図示）に接続された入力端子２２Ｇ、及び同じく青色表示用のソース線（不図示）に接続された入力端子２２Ｂを有している。また、各入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂは、図１中の上下方向に沿って、例えば、６０（＝３０×２）μｍピッチで配列されている。そして、各入力端子２２Ｒの並んだ列、各入力端子２２Ｇの並んだ列、及び各入力端子２２Ｂの並んだ列は、例えば、１４０μｍピッチで互いに平行に配列されている。具体的には、図１において、各入力端子２２Ｒが各入力端子２２Ｇに対し左１４０μｍ及び下３０μｍの左斜め下に配置されると共に、各入力端子２２Ｂが各入力端子２２Ｇに対し右１４０μｍ及び上３０μｍの右斜め上に配置されることにより、各入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂは、左右方向に沿って互いに重ならないように配列されている。なお、各入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂの高さは、例えば、１μｍである。
【００３８】
フレキシブル配線基板１０は、図２に示すように、可撓性基板１１と、可撓性基板１１の表面（図２中下面）に線状に形成された導電膜１２と、可撓性基板１１の表面に導電膜１２の延びる方向に沿った両側に互いに平行に（並行に）延びる一対の当接部１５とを備えている。
【００３９】
可撓性基板１１は、ポリイミド樹脂や液晶ポリマーなどにより形成され、その厚さが５０μｍ程度である。
【００４０】
導電膜１２は、銅などの金属膜により構成され、例えば、２０μｍの膜厚を有している。
【００４１】
また、導電膜１２は、互いに平行に（並行に）延びるソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂを有している。そして、ソース第１検査配線１２Ｒは、入力端子２２Ｒの列に当接することにより、それらの各入力端子２２Ｒを介して赤色表示用の各ソース線に点灯検査の検査信号が入力されるように構成されている。また、ソース第２検査配線１２Ｇは、入力端子２２Ｇの列に当接することにより、それらの各入力端子２２Ｇを介して緑色表示用の各ソース線に点灯検査の検査信号が入力されるように構成されている。さらに、ソース第３検査配線１２Ｂは、入力端子２２Ｂの列に当接することにより、それらの各入力端子２２Ｂを介して青色表示用の各ソース線に点灯検査の検査信号が入力されるように構成されている。なお、ソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂは、可撓性基板１１に金属膜を成膜した後に、その金属膜に対し、レーザー加工やフォトリソグラフィー技術などを利用して形成される。
【００４２】
各当接部１５は、ポリイミド樹脂などの絶縁材料により形成され、例えば、２１μｍの高さを有している。なお、各当接部１５は、可撓性基板１１に、所定形状の絶縁材料を貼り付けたり、絶縁膜を塗布した後にその絶縁膜に対し、レーザー加工やフォトリソグラフィー技術などを利用して形成される。さらに、可撓性基板１１に線状の溝を削り出しで形成した後に、その溝の底面にソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂを形成して、その溝の両側壁を当接部１５としてもよい。
【００４３】
次に、上記構成のフレキシブル配線基板１０を用いた液晶パネル２０の検査方法について説明する。なお、本実施形態の液晶パネル２０の検査方法は、基板押し当て工程と検査信号入力工程とを備えている。
【００４４】
＜基板押し当て工程＞
まず、図１に示すように、液晶パネル２０の各入力端子２２が配設された領域の上方に、フレキシブル配線基板１０をその導電膜１２が下側を向くように配置する。
【００４５】
続いて、フレキシブル配線基板１０を下降させて、フレキシブル配線基板１０を液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てる。これによれば、導電膜１２の両側に設けられた一対の当接部１５は、液晶パネル２０の入力端子２２の近傍に押し当てられたときに、可撓性基板１０及び液晶パネル２０が互いに対向して配置するように構成されているので、すなわち、各当接部１５の高さ（２１μｍ）が入力端子２２の高さ（１μｍ）と導電膜１２の膜厚（２０μｍ）との和になっているので、フレキシブル配線基板１０のソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂが液晶パネル２０の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂにそれぞれ当接すると共に、各当接部１５が液晶パネル２０の入力端子２２の近傍にそれぞれ当接することになる。そのため、液晶パネル２０の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂの高さやフレキシブル配線基板１０のソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂの膜厚に関係することなく、フレキシブル配線基板１０に局所的なストレスがかかり難くなる。
【００４６】
なお、液晶パネル２０の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂの近傍とは、図１に示すように、入力端子２２Ｒの左側のフラットな表面の領域、及び入力端子２２Ｂの右側のフラットな表面の領域であり、入力端子２２Ｒ及び入力端子２２Ｂの周端から３０μｍ〜１４０μｍ程度離れた領域である。ここで、入力端子２２Ｒ及び入力端子２２Ｂの周端からの距離が３０μｍ未満の場合には、各当接部１５と入力端子２２Ｒ及び入力端子２２Ｂとの間の距離が短くなり、各当接部１５が入力端子２２Ｒ及び／又は入力端子２２Ｂに乗り上げるおそれがあり、また、入力端子２２Ｒ及び入力端子２２Ｂの周端からの距離が１４０μｍを超える場合には、フレキシブル配線基板１０が撓み易くなり、可撓性基板１１及び液晶パネル２０を互いに対向して配置させることが困難になる。
【００４７】
＜検査信号入力工程＞
さらに、フレキシブル配線基板１０のソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂを介して液晶パネル２０の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂに対し所定の検査信号をそれぞれ入力して点灯検査を行う。
【００４８】
以上説明したように、本実施形態のフレキシブル配線基板１０及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、点灯検査を行うためにフレキシブル配線基板１０を液晶パネル２０の入力端子２２に押し当てたときに、導電膜１２の両側に設けられた一対の当接部１５が、可撓性基板１１及び液晶パネル２０を互いに対向して配置させるように、液晶パネル２０の入力端子２２の近傍にそれぞれ当接するので、入力端子２２の高さや導電膜１２の膜厚に関係することなく、フレキシブル配線基板１０に局所的なストレスがかかり難くなる。そのため、フレキシブル配線基板１０を液晶パネル２０の入力端子２２に繰り返し押し当てたとしても、フレキシブル配線基板１０の損傷を抑制することができるので、液晶パネル２０の入力端子２２とフレキシブル配線基板１０の導電膜１２との間を安定して導通させることができる。したがって、フレキシブル配線基板１０の損傷を抑制して、液晶パネル２０の入力端子２２に検査信号を確実に入力することができる。
【００４９】
また、本実施形態のフレキシブル配線基板１０及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、液晶パネルの内部に予めショートバーがパターン形成された内部接続による点灯検査と同様の点灯検査ができるので、液晶パネルの表示領域の外側にある周辺部のサイズを小さくすることができる。
【００５０】
さらに、本実施形態のフレキシブル配線基板１０及びそれを用いた液晶パネル２０の検査方法によれば、入力端子２２の高さや導電膜１２の膜厚に関係することなく、液晶パネル２０の入力端子２２とフレキシブル配線基板１０の導電膜１２とを安定して導通させることができるので、両者間の導通に必要なフレキシブル配線基板１０を液晶パネル２０の入力端子２２に押し当てる力が小さくて済み、フレキシブル配線基板１０をいっそう長寿命化させることができる。
【００５１】
《発明の実施形態２》
図３〜図８は、本発明に係るフレキシブル配線基板、それを用いた液晶パネルの検査方法、及び液晶パネルの検査装置の実施形態２を示している。なお、以下の実施形態において、図１及び図２と同じ部分については同じ符号を付して、その詳細な説明を省略する。
【００５２】
図３は、本実施形態のフレキシブル配線基板１０ａの平面図である。なお、図３では、破線部が液晶パネル２０を示している。
【００５３】
液晶パネル２０は、互いに対向して配置されたアクティブマトリクス基板２０ａ及び対向基板２０ｂ、及びそれらの両基板２０ａ及び２０ｂの間に設けられた液晶層（不図示）を含むパネル本体部（２１）を備えている。なお、アクティブマトリクス基板２０ａ及び対向基板２０ｂの間には、上記液晶層を包囲するように、枠形状のシール部Ｓが設けられている。
【００５４】
アクティブマトリクス基板２０ａの表示領域Ｄには、それぞれが画素を構成する複数の画素電極（不図示）がマトリクス状に配設されている。そして、対向基板２０ｂの表示領域Ｄには、上記マトリクス状の画素電極の群に対向して配置される共通電極（不図示）が設けられている。また、アクティブマトリクス基板２０ａには、表示用配線として、上記各画素電極の間に、互いに平行に延びるように複数のゲート線（不図示）と、各ゲート線に直交する方向に互いに平行に延びるように複数のソース線（不図示）とがそれぞれ設けられている。さらに、アクティブマトリクス基板２０ａは、対向基板２０ｂと重ならない領域を有し、その重ならない領域には、図３に示すように、ドライバ（駆動回路）としてＬＳＩチップを実装するためのＣＯＧパッド部Ｐ１及びＰ２が配置されている。
【００５５】
図３における一番左側のＣＯＧパッド部Ｐ１には、図４に示すように、複数の入力端子２２ＧＯ及び２２ＧＥが配列されている。ここで、入力端子２２ＧＯは、例えば、液晶パネル２０の表示領域Ｄの上端から奇数番目のゲート線の端部に接続された導電部であり、入力端子２２ＧＥは、同じく偶数番目のゲート線の端部に接続された導電部である。
【００５６】
また、図３における右側３つの各ＣＯＧパッド部Ｐ２には、図５に示すように、複数の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂが配列されている。ここで、入力端子２２Ｒは、赤色表示用のソース線（Ｒ）の端部に接続された導電部であり、入力端子２２Ｇは、緑色表示用のソース線（Ｇ）の端部に接続された導電部であり、入力端子２２Ｂは、青色表示用のソース線（Ｂ）の端部に接続された導電部である。
【００５７】
さらに、各入力端子２２ＧＯ、２２ＧＥ、２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂは、後述する線状の導電膜１２によって一度にコンタクトできるようにそれぞれ一列に並んで配置されている。
【００５８】
フレキシブル配線基板１０ａは、上記実施形態１のフレキシブル配線基板１０と同様に、可撓性基板１１と、可撓性基板１１の表面に線状に形成された導電膜１２と、可撓性基板１１の表面に導電膜１２の延びる方向に沿った両側に互いに平行に延びる一対の当接部１５とを備え、図３に示すように、液晶パネル２０の図中下辺に沿うように矩形状に形成されている。
【００５９】
また、フレキシブル配線基板１０ａには、それぞれ導電膜１２として、図３における上辺において、ＣＯＧパッド部Ｐ１の入力端子２２ＧＯ及び２２ＧＥに対応して、互いに平行に延びるゲート第１検査配線１２ＧＯ及びゲート第２検査配線１２ＧＥが図４に示すように設けられ、ＣＯＧパッド部Ｐ２の入力端子２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂに対応して、互いに平行に延びるソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂが図５に示すように設けられている。
【００６０】
さらに、ゲート第１検査配線１２ＧＯ及びゲート第２検査配線１２ＧＥからなる導電膜１２、並びに、ソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂからなる導電膜１２の延びる方向に沿った両側には、図４及び図５に示すように、互いに平行に延びる一対の当接部１５が設けられている。
【００６１】
また、フレキシブル配線基板１０ａの図３における下辺には、横方向に一列に配列するように複数の検査信号入力端子１４が設けられ、ゲート第１検査配線１２ＧＯ、ゲート第２検査配線１２ＧＥ、ソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂ（各導電膜１２）と各検査信号入力端子１４とをそれぞれ接続するように複数の引出配線１３が設けられている。なお、ゲート第１検査配線１２ＧＯ、ゲート第２検査配線１２ＧＥ、ソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂには、図４及び図５に示すように、各引出配線１３及び検査信号入力端子１４を介して、検査信号発生回路４０が接続されている。
【００６２】
次に、本実施形態に係る液晶パネルの検査装置について説明する。図６は、本実施形態の検査装置５０を示す上面図であり、図７は、図６の検査装置５０を図中下側からみた側面図であり、図８は、図中右側からみた側面図である。
【００６３】
検査装置５０は、ベースプレート３１と、ベースプレート３１上に設けられたパネルステージ３４、プローブステージ３５及び一対のエアシリンダー３２と、フレキシブル配線基板１０ａと、フレキシブル配線基板１０ａを液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てる基板押し当て部３３とを備えている。
【００６４】
パネルステージ３４は、その上面に位置決めピン（不図示）を有し、その位置決めピンに液晶パネル２０の端縁を当接させた状態で、その液晶パネル２０が上面に固定されるように構成されている。また、パネルステージ３４は、その上面に矩形状の開口部を有し、その開口部を介して、上面に固定された液晶パネル２０の表示領域Ｄに対し、パネルステージ３４の下方に位置するバックライト（不図示）からの光が供給されるように構成されている。
【００６５】
プローブステージ３５は、その上面にフレキシブル配線基板１０ａを固定するプローブホルダー３６が取り付けられ、液晶パネル２０の各入力端子２２とフレキ検査プローブ１０の各導電膜１２とを位置合わせするために、Ｘ方向、Ｙ方向に移動、及びθ方向に回動できると共に、ＣＣＤカメラ及びモニター（不図示）を介して、ステージの位置が確認できるように構成されている。
【００６６】
一対のエアシリンダー３２の各ロッド３２ａの上端には、フレキシブル配線基板１０ａを上方から押さえる基板押し当て部３３が取り付けられている。
【００６７】
なお、ベースプレート３１、パネルステージ３４及びプローブステージ３５は、例えば、黒アルマイト処理が施されたアルミニウム合金材により構成されている。
【００６８】
次に、上記構成の検査装置５０を用いた液晶パネル２０の点灯検査について、図６〜図８を用いて説明する。
【００６９】
まず、パネルステージ３４に被検査パネルである液晶パネル２０をセットする。
【００７０】
続いて、プローブステージ３５の位置をモニターで確認しながら、プローブステージ３５のプローブホルダー３６に固定されたフレキシブル配線基板１０ａとパネルステージ３４上の液晶パネル２０との位置合わせを行う。
【００７１】
さらに、エアシリンダー３２を作動させることにより、基板押し当て部３３を下降させて、フレキシブル配線基板１０ａをパネルステージ３４上の液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てる（基板押し当て工程）。これによれば、導電膜１２の両側に設けられた一対の当接部１５は、液晶パネル２０の入力端子２２の近傍に押し当てられたときに、可撓性基板１１及び液晶パネル２０が互いに対向して配置するように構成されているので、フレキシブル配線基板１０ａのゲート第１検査配線１２ＧＯ、ゲート第２検査配線１２ＧＥ、ソース第１検査配線１２Ｒ、ソース第２検査配線１２Ｇ及びソース第３検査配線１２Ｂが液晶パネル２０の入力端子２２ＧＯ、２２ＧＥ、２２Ｒ、２２Ｇ及び２２Ｂにそれぞれ当接すると共に、各当接部１５が液晶パネル２０の入力端子２２の近傍にそれぞれ当接することになる。そのため、液晶パネル２０の入力端子２２の高さやフレキシブル配線基板１０の導電膜１２の膜厚に関係することなく、フレキシブル配線基板１０に局所的なストレスがかかり難くなる。
【００７２】
次いで、検査信号発生回路４０を作動させることにより、フレキシブル配線基板１０ａの検査信号入力端子１４に検査信号を入力して、液晶パネル２０の表示領域Ｄの全ての画素を点灯状態にする（検査信号入力工程）。
【００７３】
最後に、バックライトを点灯させて液晶パネル２０の表面を観察することにより、輝点などを検出する。
【００７４】
以上のようにして、液晶パネル２０の点灯検査を行うことができる。
【００７５】
以上説明したように、本実施形態のフレキシブル配線基板１０ａ、それを用いた液晶パネル２０の検査方法及び検査装置５０によれば、点灯検査を行うために基板押し当て部３３によってフレキシブル配線基板１０ａを液晶パネル２０の各入力端子２２に押し当てたときに、導電膜１２の両側に設けられた一対の当接部１５は、可撓性基板１１及び液晶パネル２０が互いに対向して配置するように液晶パネル２０の入力端子２２の近傍にそれぞれ当接するので、入力端子２２の高さや導電膜１２の膜厚に関係することなく、フレキシブル配線基板１０ａに局所的なストレスがかかり難くなる。そのため、フレキシブル配線基板１０ａを基板押し当て部３３によって液晶パネル２０の入力端子２２に繰り返し押し当てたとしても、フレキシブル配線基板２０の損傷が抑制されるので、液晶パネル２０の入力端子２２とフレキシブル配線基板１０ａの導電膜１２との間を安定して導通させることができる。したがって、フレキシブル配線基板１０ａの損傷を抑制して、液晶パネル２０の入力端子２２に検査信号を確実に入力することができる。
【００７６】
なお、上記各実施形態では、液晶パネルの点灯検査について説明したが、本発明は、種々の電子装置の検査にも適用することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７７】
以上説明したように、本発明は、押し当てる力が小さくても液晶パネルの入力端子との良好なコンタクトを得ることができるので、可撓性基板により構成された検査プローブについて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】実施形態１に係る液晶パネルの検査方法を示す斜視図である。
【図２】図１中のII−II線に沿ったフレキシブル配線基板１０及び液晶パネル２０の断面図である。
【図３】実施形態２に係るフレキシブル配線基板１０ａの上面図である。
【図４】ＣＯＧパッド部Ｐ１におけるフレキシブル配線基板１０ａの導電膜１２を示す模式図である。
【図５】ＣＯＧパッド部Ｐ２におけるフレキシブル配線基板１０ａの導電膜１２を示す模式図である。
【図６】実施形態２に係る液晶パネル２０の検査装置５０を示す上面図である。
【図７】液晶パネル２０の検査装置５０を示す第１の側面図である。
【図８】液晶パネル２０の検査装置５０を示す第２の側面図である。
【図９】一般的なＣＯＧ実装に対応した液晶パネル１２０を示す平面模式図である。
【図１０】従来の導電ゴムからなるショートバーによる検査方法を示す平面模式図である。
【図１１】従来のフレキ検査プローブ１１０ａによる検査方法を示す平面模式図である。
【図１２】図１１中のXII−XII線に沿った断面模式図である。
【図１３】従来のフレキ検査プローブ１１０ｂによる検査方法を示す平面模式図である。
【符号の説明】
【００７９】
１０，１０ａ    フレキシブル配線基板
１１    可撓性基板
１２    導電膜
１２Ｒ    ソース第１検査配線
１２Ｇ    ソース第２検査配線
１２Ｂ    ソース第３検査配線
１２ＧＥ    ゲート第１検査配線
１２ＧＯ    ゲート第２検査配線
１５    当接部
２０    液晶パネル
２２，２２Ｒ，２２Ｇ，２２Ｂ，２２ＧＥ，２２ＧＯ    入力端子
３３    基板押し当て部
５０    検査装置
【図１】
2007271875.tif 000003
【図２】
2007271875.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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