(57)【要約】【課題】懸垂式昇降搬送台車等の駆動手段にて移送され、複数枚のウエハ等の基板を挿脱自在に支持する棚部材を備えたＦＯＵＰ等の容器は、移送中、加減速時の慣性力による振動に加えて駆動源から受ける微振動を受ける。これら複合された振動の棚部材への伝達を抑制し、棚部材に支持される基板の損傷を防止すること。【解決手段】 ＦＯＵＰ本体３ａと、当該ＦＯＵＰ本体３ａに備えられる棚部材３ｅとは別体とし、ＦＯＵＰ本体３ａと棚部材３ｅとの間に弾性体３ｇを介在させ、棚部材３ｅがＦＯＵＰ本体３ａに対して弾性支持されるように構成する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送され、被搬送物品と、当該被搬送物品を支持する棚部材を収納する容器において、
前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動の前記棚部材への伝達を抑制する弾性部材を、前記容器が前記棚部材を支持する適所に配置し、前記容器が前記棚部材を、前記弾性部材を介して支持するようにしたことを特徴とする物品収納用容器の防振機構。
【請求項２】
前記被搬送物品がウエハであり、前記棚部材が前記ウエハを水平方向に挿脱自在に保持する構成をなし、当該棚部材を収納した容器がＦＯＵＰであることを特徴とする請求項１に記載の物品収納用容器の防振機構。
【請求項３】
棚部材の上下各端面に複数個の突起を設け、当該各突起が遊嵌できる大きさの一連の孔を、容器の上下各面の所定個所に形成し、前記各突起が弾性部材を介して夫々対応する孔に支持されるようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の物品収納用容器の防振機構。
【請求項４】
弾性部材が棚部材の上下端面部に介在し容器に対し棚部材を弾性支持するようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の物品収納用容器の防振機構。
【請求項５】
弾性部材が板ばねであることを特徴とする請求項４に記載の物品収納用容器の防振機構。
【請求項６】
搬送手段が工程内乃至工程間の環状軌道を走行する懸垂式昇降搬送装置であることを特徴とする請求項１乃至５の何れかに記載の物品収納用容器の防振機構。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、懸垂式昇降搬送台車（以下、ＯＨＴ台車という）、ローラコンベアほかこれに準ずる搬送手段によって所定の経路に沿って移送されるＦＯＵＰ等の容器が移送過程において受ける振動を、内部に挿脱自在に多数枚収納したウエハ、液晶等の物品に伝達することを抑制するための物品収納用容器の防振機構に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、クリーンルーム内の工程内乃至工程間環状軌道に沿って配置され、ウエハの各種処理（薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等）を行う一連の処理ステーションで必要な処理を行うため、ＯＨＴ台車を用い、前記ウエハを収納した容器（ＦＯＵＰ）を搬送することが多い。
基板の処理工程は基板が収納されるＦＯＵＰに取り付けられたタグで管理され、タグの内容も基板処理工程の進行に従い逐次更新される。基板処理の工程はＦＯＵＰに付されたタグの情報により特定され、以降の必要な処理はこのタグ情報に基づきコンピュータによって管理される。
【０００３】
このように複数の処理ステーションにて、異なる種類の処理を順次１枚ずつ受ける基板の搬送には、移送中は気密状態が保持され、処理ステーションにて所定の処理を受けるために前面の扉が開放され、一枚ずつ基板がロボットによって挿脱できるように構成されたＦＯＵＰが用いられている。
従来から汎用されているＦＯＵＰの構成は図５に示す通りである。この図５において、３１は本体で、開放面３１ａを有し、当該開放面３１ａから見て両側に位置する両側面には、人手による搬送を可能とするサイドフランジ３１ｂが設けられる。３１ｃはフランジで、後述するＯＨＴ台車のフィンガ部にて把持され、これによって本体３１及び前記開放面３１ａに装着される蓋体３２が一体に昇降・搬送される。
【０００４】
３１ｄは棚部材で、開放面３１ａにおいて図示しないロボット（処理ステーションに設置）によって挿脱される基板（ウエハ、液晶等）を水平に多数枚（例えば、２４枚）保持できる凹凸状棚部を形成している。
そして、この棚部材３１ｄは、ＦＯＵＰ本体３１に対し一体的に固定されるか、あるいは、ＦＯＵＰ本体３１と一体成形される。
【０００５】
なお、前記蓋体３２は、ＦＯＵＰ本体３１の搬送時において、当該ＦＯＵＰ本体３１の開放面３１ａに対して気密状態にて保持されており、処理ステーションにて収納されている基板の処理に先だって、当該処理ステーションに備えられている図示しない施錠乃至解錠手段によって鍵部材３２ａが解錠（図示の状態）され、ＦＯＵＰ本体３１と分離される。
次いで、前記処理ステーションにて、全ての基板の処理が完了し、処理済みの基板を収納したＦＯＵＰ本体３１は移送に先だって開放面３１ａを蓋体３２で覆い、前記鍵部材３２ａは施錠乃至解錠手段によって施錠される。
【０００６】
ところで、ウエハ等の基板を移送するに当っては、基板搬送用容器の基板支持部において基板が移動して支持部材と基板とが、衝突、摩擦などを生じ、基板の不良化を来す恐れが多い。
このため、例えば、処理装置間の運搬や次工程に送る前のウエハの保管等に利用される下記特許文献１に開示のウエハキャリアが開発されている。
即ち、このウエハキャリアは、特許文献１における図１に示されるように、先ず、図１（ｂ）に示されるように、キャリア本体２の内壁に形成された一連の溝部３に一枚ずつウエハ９の周縁部が挟み込まれる。
次に、図１（ｃ）に示されるように、可撓性のある素材で形成される舌片５がウエハ９を前記溝部３の一方の側面に押圧し、ウエハ９とキャリア本体２とを一体化させ、ウエハ９が溝部３内で変位しない安定な姿勢を維持する構成を示している。
【０００７】
一方、走行台車によって基板を搬送するに際して、基板に対する防振を目的とした先行技術として下記特許文献２がある。
この特許文献２に開示の技術は、図１〜図３とこれらの関連説明から明らかのように、特に大形化の傾向にある基板の搬送に関して、基板１を収納する支持部８に対して、当該支持部８を吊下支持する走行台車部７から伝達される振動を抑制することを特徴としている。
即ち、被搬送基板１の大形化に対応して、当該基板１を、図２のように支持部８内において縦方向に配置し、走行台車部７と支持部８とは弾性的に支持される。
このための具体的手段は、走行台車部における鉛直、走行、走行直交の３次元を構成する３方向夫々に振動を吸収する防振機構２２を設けている。
【特許文献１】特許第３２１２８９０号
【特許文献２】特開２００４−３５９４３６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来、処理ステーションにて異なる処理を一枚ずつ受けるウエハ等の基板の搬送において、例えば、図６に示すＦＯＵＰが用いられる。
このＦＯＵＰにおいて、本体３１と棚部材３１ｄとは、所定の配置で固着されているため、搬送時においてＦＯＵＰ本体３１が受ける振動はそのまま棚部材３１ｄに伝達される。  
従って、棚部材３１ｄに水平状態にて一枚ずつ挿脱自在に載置される複数枚の基板もＦＯＵＰ本体３１が搬送時に受ける振動をそのまま受ける。
この振動は、ＦＯＵＰ本体の加減速時に生じる慣性力によって受ける振動、及び駆動部から発生する微振動等が複合して生ずるもので、その発生は避けることができない。
このように棚部材３１ｄに与えられる振動は、当該棚部材３１ｄの基板載置面から基板を跳ね上げ、あるいは基板載置面と基板との摩擦を発生させ、基板の不良化を来す恐れがある。
【０００９】
次に、本願発明の先行技術としての特許文献１に開示のウエハキャリアは、ウエハの搬送過程において受ける諸振動に対して、ウエハと、その支持面との衝突乃至摩擦は防止できるにしても、本願発明に対しての適用は困難である。
即ち、本願発明は、多数枚の基板（ウエハほか）を水平方向に挿脱自在に収納させるように棚部材をＦＯＵＰ等の容器に設置する構成を基礎としており、ウエハ搬送過程においては、縦方向にウエハを多数枚、各支持面に対し変位できないようにし、ウエハ搬送過程以外はウエハを個々に容器から取り出す特許文献１の技術とは用途を異にしている。
特許文献１の技術を本願発明に応用することを検討すると、ウエハの保持／開放機構のために容器全体の大きさの増加、あるいは機構上の複雑化更には、現行のＦＯＵＰ仕様を前提として成り立つ移載機器とミスマッチを生じ、実用化は困難である。
【００１０】
一方、特許文献２に開示の搬送装置は、材料（基板）支持部８において縦方向に向けて複数枚の材料（基板）１を収納し、走行台車部７と材料（基板）支持部８との間に、走行台車部７の走行方向に対して前後、左右、上下の３方向において夫々振動を吸収する防振機構２２を備えている。
この構成によって、材料（基板）支持部８に収納され、搬送される材料（基板）に対して走行台車部７の走行時において発生する下記（イ）〜（ハ）各項記載の諸振動は防振機構２２によって的確に抑制され、基板が受ける振動による基板の損傷は防止できる。
（イ）走行台車部７の駆動部が発生する微振動
（ロ）走行台車部７の加減速時に生じる慣性力によって生じる振動
（ハ）走行台車部７の走行に伴い発生する風圧によって生じる振動
【００１１】
確かに、前記特許文献２に開示の技術は、搬送装置において基板を移送させる過程において搬送装置の搬送台車部７から発生する諸振動の被搬送基板１への伝達が抑制され、基板１の振動に起因する損傷は防止される。
しかし、当該特許文献２の技術は、駆動源を有する搬送台車部７と、材料（基板）１を保持する材料（基板）支持部８とは防振機構２２を介して連結状態にあり、この連結状態を解除することはできない。
従って、材料（基板）１は特定個所で複数枚まとめて材料（基板）支持部８に装着し、搬送台車部７にて他の特定個所にて材料（基板）支持部８から取り出されることになり、一枚ずつ挿脱することを基礎とする本願発明に応用することはできない。
【００１２】
そこで、本発明の目的は、ＯＨＴ台車等の駆動手段にて移送され、複数枚のウエハ等の基板を、水平状態を保って一枚ずつ挿脱自在に支持する棚部材を備えたＦＯＵＰ等の容器において、当該容器の移送中、加減速時の慣性力による振動に加えて駆動源から受ける微振動を受けた際、これらの振動の棚部材への伝達を抑制し棚部材に支持されるウエハ等の基板を含む諸物品の損傷を防止するための手段として、容器が棚部材を弾性的に支持する技術を提供することである。
【課題を解決するための手段及び効果】
【００１３】
前記課題を解決するため、請求項１に記載の物品収納用容器の防振機構は、所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送され、被搬送物品と、当該被搬送物を支持する棚部材を収納する容器において、前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動の前記棚部材への伝達を抑制する弾性部材を、前記容器が前記棚部材を支持する適所に配置し、前記容器が前記棚部材を、前記弾性部材を介して支持するようにしたことを特徴とする。
【００１４】
この請求項１に係る発明によれば、被搬送物品を載置する棚部材は、当該棚部材を内部に保有する容器がＯＨＴほかの搬送手段によって諸振動を受けても、この諸振動をそのまま受けることなく抑制された状態で受ける。
従って、容器に対して棚部材を弾性的に支持し、容器と棚部材との間にて振動伝達抑制作用を及ぼす弾性体の仕様を適切に定めることによって、被搬送物を損傷する恐れのないように規制するのみにて被搬送物に損傷を与えることなく安全に搬送させることができる。
しかも、搬送手段から受ける振動の被搬送物品への伝達を抑制するに当り、容器内に施されるごく簡単な防振手段を採用するだけであるので、現行のＦＯＵＰ仕様を前提として成り立つ移載機器とマッチングが採り易く実現が容易である。
【００１５】
請求項２に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項１に記載の物品収納用容器の防振機構において、被搬送物がウエハであり、棚部材がウエハを水平方向に挿脱自在に保持する構成をなし、当該棚部材を収納した容器がＦＯＵＰであることを特徴とする。
この請求項２に係る発明によれば、引用先の請求項１に係る発明の効果は元より、搬送手段からＦＯＵＰに伝達された振動がそのままウエハに伝達されると、当該ウエハが損傷を受ける程度に及んだ場合においても、ＦＯＵＰ内の棚部材に挿脱自在な状態に載置されているウエハは、その不良化を来す恐れのある振動を受けることを的確に防止できる。
【００１６】
請求項３に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項１又は２に記載の物品収納用容器の防振機構において、棚部材の上下各端面に複数個の突起を設け、当該各突起が遊嵌できる大きさの一連の孔を、容器の上下各面の所定個所に形成し、前記各突起が弾性部材を介して夫々対応する孔に支持されるようにしたことを特徴とする。
この請求項３に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、
ＦＯＵＰ等の容器に対する棚部材の位置決めが棚部材側に設けられる突起と、容器側に形成される孔との相対位置関係に規制されて的確になされ、併せて、前記孔と突起間に位置する弾性部材の材質、大きさ等の選択により必要な防振効果も得られる。
【００１７】
請求項４に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項１又は２に記載の物品収納用容器の防振機構において、弾性部材が棚部材の上下端面部に介在し容器に対し棚部材を弾性支持するようにしたことを特徴とする。
この請求項４に係る発明によれば、引用先の請求項１又は２に係る発明の効果は元より、
汎用の棚部材の上下端部と、これに対向する容器の上下端部との間に必要な防振機能を有する弾性部材を介在させるというごく簡単な構成にてウエハ等の被搬送物品の不良化を的確に防止できる。
【００１８】
請求項５に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項４に記載の物品収納用容器の防振機構において、弾性部材が板ばねであることを特徴とする。
この請求項５に係る発明によれば、引用先の請求項４に係る発明の効果は元より、容器に対する棚部材の固定に要する工数を削減できる。
【００１９】
請求項６に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項１乃至５の何れかに記載の物品収納用容器の防振機構において、搬送手段が工程内乃至工程間の環状軌道を走行する懸垂式昇降搬送装置であることを特徴とする。
この請求項６に係る発明によれば、引用先の請求項１乃至５の何れかに係る発明の効果は元より、とりわけ高速搬送に伴い、始動、制動時に発生する慣性力が大となる傾向にあり、且つ、駆動部と、ＦＯＵＰ等の容器とが、着脱自在のため、これらの間に吸振部材を介在させることができないＯＨＴ台車によって搬送される物品が受ける振動を抑制することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。
先ず、この実施の形態に関連する図面の概要を述べると、図１は本発明が適用されるＦＯＵＰと当該ＦＯＵＰを搬送するＯＨＴ台車との関連を説明するための側面図、図２は本発明を実施したＦＯＵＰ本体部の内部構成を表示する斜視図、図３はＦＯＵＰの本発明の要部構成を示す断面図である。
【００２１】
次に、本発明を適用するＦＯＵＰと、当該ＦＯＵＰの搬送手段としてのＯＨＴ台車との関係を、図１を参照して説明する。
図１において、１は走行レールで、ＯＨＴ台車２の工程内乃至工程間環状軌道の一部を示している。このＯＨＴ台車２は、その案内・駆動部２ａにおいて図示しない走行輪と案内輪とで走行レール１に規制されて走行する。
この際、必要とされる動力は、走行輪に駆動モータを備えること、或いはレール１側とＯＨＴ台車２側に夫々二次側、一次側を設ける直流リニアモータを備えること等周知の手段によって得られる。
【００２２】
２ｂは位置合せ機構で、後述する容器（ＦＯＵＰ）の前記走行レール１におけるＯＨＴ台車の走行方向と直交する方向及び回転方向の変位調整を図る。２ｃは帯状ベルトで、ＯＨＴ台車２の走行方向の前後左右に４本設けられ、ＯＨＴ台車２内に備えられる昇降機構２ｄにより伸縮自在に制御され、昇降体２ｅを昇降させるように構成される。そして、この帯状ベルト２ｃは内部に昇降体２ｅへの電力供給及び制御信号を授受する電線（図示せず）を埋設している。
【００２３】
２ｆはグリッパ部材で、昇降体２ｅの構成要素の一つであって、図示の左右方向に変位可能に支持されている。３は被搬送物としてのＦＯＵＰで、本体３ａ、蓋体３ｂ、前記グリッパ部材２ｆの動作によって把持又はその解除を受けるフランジ３ｃ、人手による搬送手段に利用されるサイドフランジ３ｄ及び複数枚のウエハ４を個々に本体開口部から挿脱自在に載置する棚部材３ｅから構成される。この棚部材３ｅにはウエハ４を互いに接触することなく一枚ずつ載置する一連の棚３ｅｘが上下方向に設けられている
次に、棚部材３ｅをＦＯＵＰ３の内部に弾性支持し、ＦＯＵＰ３がＯＨＴ台車２によって搬送・昇降制御を受けるに際して受ける振動の棚部材３ｅへの伝達を抑制する構成について図２及び図３を参照して説明する。
なお、図２及び図３において、図１に開示した構成要素に対応する部分は同一符号を付し、説明の重複を避ける。
【００２４】
図２に開示の構成は蓋体３ｂ（図１を参照）を取り外した状態にてＦＯＵＰ３の内部機構を含めて表示したもので、３ｆは一連の孔で、棚部材３ｅの上下端部が対向するＦＯＵＰの上下部に形成されている。
図３も併せ参照して３ｅｙは突起で、棚部材３ｅの上下端面から延び、前記一連の孔３ｆに対向する位置に設けられ、対応する孔に遊嵌できる太さを有している。
３ｇは環状弾性部材で前記一連の孔３ｆと対応する突起３ｅｙとの遊嵌によってできる間隙を周囲均等な厚さで気密に充填する。
【００２５】
なお、前記環状弾性部材３ｇはＦＯＵＰ３の組立て前後何れの時期にも一連の孔に充填できるが一連の孔３ｆに対する突起３ｅｙの嵌合は、ＦＯＵＰ３の組立て前に行う必要がある。
また、環状弾性部材３ｇの厚さ、即ち、突起３ｇとこれに対応する孔３ｆとの周囲の平均間隙相当の長さと、環状弾性部材３ｇの素材の弾性係数を適宜選択することによって、環状弾性部材３ｇにおける振動伝達抑制の度合いが決定される。
【００２６】
この環状弾性部材３ｇにおける振動伝達抑制の度合いは、ＦＯＵＰ３の搬送手段（ＯＨＴ台車２、ローラコンベア等）を考慮のもとに棚部材３ｅの棚３ｅｘに載置されたウエハ４が損傷する恐れのないことを基準とし、必要以上の振動伝達の抑制を得るためにコストアップとなることは得策ではない。
また、気密保持の必要性に応じて環状弾性部材３ｇの内外各表面に接着材等の充填材を塗布してもよい。
【００２７】
次に、前記図１及び図２に開示の実施の形態において、その作用を説明する。
先ず、例えば、図示しないストッカーにおいて、未処理のウエハ４を、内部に設置した棚部材３ｅの一連の棚３ｅｘ夫々に対して順次１枚ずつ載置のうえ、蓋体３ｂが本体３ａの開口部にて施錠状態にあるＦＯＵＰ３が、所定の処理ステーション（図示せず）に移送されるように待機状態にあるとする。
次に、待機状態のＦＯＵＰ３の位置まで走行してきたＯＨＴ台車２の帯状ベルト２ｃの繰出しによって昇降体２ｅがＦＯＵＰ３の直上まで降下し、クリッパ部材２ｆがＦＯＵＰ３のフランジ３ｃを把持する。
【００２８】
更に、このクリッパ部材２ｆがＦＯＵＰ３のフランジ３ｃを把持した状態を維持して帯状ベルト２ｃが巻き上げられ、ＦＯＵＰ３はＯＨＴ台車２の内部に移行し、所定の処理ステーションまで走行する。
この処理ステーション（図示せず）において、帯状ベルト２ｃが繰出され、グリッパ部材２ｆはＦＯＵＰ３のフランジ３ｃとの係合を解き、ＯＨＴ台車２は別のＦＯＵＰの搬送に移行する。
【００２９】
処理ステーションに搬送され、フランジ３ｃとの係合を解かれたＦＯＵＰ３は、蓋体３ｂが開錠され、上下に配列された一連の棚３ｅｘに一枚ずつ載置されたウエハ４を順次所定のステーション固有の処理を行い、所定の処理を終えたＦＯＵＰ４は再度所定の棚３ｅｘに戻される。
このようにして、全てのウエハ４が所定の処理を施され、棚３ｅｘに戻された後、蓋体３ｂの施錠が施され、ＦＯＵＰ３は再度、ＯＨＴ台車によって前記と同様な操作にて必要な別の処理ステーション乃至ストッカーに移送される。
【００３０】
ところで、各種処理ステーションにて、順次異なる処理を受けるウエハ４は棚部材３ｅの一連の棚３ｅｘに挿脱自在にしておく必要性があり、当該棚３ｅｘに載置されるのみである。
このため、仮に、ＯＨＴ台車２から発生する諸振動、とりわけ高速搬送処理において、走行・昇降に際しての加減速時に発生する慣性力に伴いＦＯＵＰ３に伝えられる振動がそのまま棚部材３ｅに伝達されると、当該棚部材３ｅの棚３ｅｘに載置されているウエハ４は跳ね上がりによる衝撃、あるいは棚３ｅｘとの摩擦が発生し、これらの度合いがある限度を超えるとウエハ４は不良化を来す程度に損傷する。
【００３１】
しかし、図２に示されるように、棚部材３ｅはＦＯＵＰ本体３ａに対して環状弾性体３ｇを介して支持されることから、ＦＯＵＰ３がＯＨＴ台車にて走行・昇降動作を受けてもその振動は１００％遮断することは、困難としても、ＦＯＵＰ３が受ける予測される振動に応じて環状弾性体３の大きさ、材質などの選定によって、ウエハ４を損傷に至らないように振動の抑制を図ることができる。
【実施例１】
【００３２】
図４は前記実施の形態の変形例を示す要部模式図で、この図４において、ＦＯＵＰ１３は、基本構成として、ＦＯＵＰ本体１３ａ、フランジ１３ｃ、棚部材１３ｅを備えている。
そして、特徴ある構成は、ＦＯＵＰ本体１３ａに対する棚部材１３ｅの支持手段にある。
この支持手段について具体的に述べると、棚部材１３ｅの棚１３ｅｘを有しない上下両端部１３ｅｙが弾性体１３ｇにて保持されている。
また、この弾性体１３ｇは棚部材１３ｅの上下両端部１３ｅｙに対応する位置に形成されている支持部１３ａｘに固定される。
【００３３】
前記図４に開示の構成によってＦＯＵＰ１３がＯＨＴ台車ほかの搬送手段からフランジ１３ｃを通じて前記諸振動を受けた際、この諸振動は弾性体１３ｇにより、当該弾性体１３ｇの特性に応じた割合で減衰する。
従って、棚部材１３ｅの棚１３ｅｘに挿脱自在に載置されているウエハ（図１の符号４を参照）に伝達される振動は、完全に除去することは原理的に困難としても、弾性体１３ｇの適正なる選択によって前記ウエハの不良化を防止できる程度に抑制することができる。
【実施例２】
【００３４】
図５は前記実施の形態の変形例を示す要部模式図で、この図５において、ＦＯＵＰ２３は、基本構成として、ＦＯＵＰ本体２３ａ、フランジ２３ｃ、棚部材２３ｅを備えている。
そして、特徴ある構成は、ＦＯＵＰ本体２３ａに対する棚部材２３ｅの支持手段にある。この支持手段について具体的に述べると、棚部材２３ｅ上下両端部近傍に板ばね２３ｇ
を配置し、各板ばね２３ｇの両端部は夫々棚部材２３ｅとＦＯＵＰ本体２３ａの内周面に
接合されている。
【００３５】
前記構成において、棚部材２３ｅは、ＦＯＵＰ本体２３ａに対して、板ばね２３ｇを介
して弾性的に支持されることになり、ＦＯＵＰ本体２３ａがＯＨＴ台車ほかの搬送手段に
より走行昇降作用を受ける際、フランジ２３ｃを通じて受ける振動は、板ばね２３ｇの弾
性特性に応じた振動抑制作用を受けて棚部材２３ｅに伝達される。
従って、棚部材２３ｅの棚２３ｅｘに挿脱自在に載置されているウエハ（図１の符号４を参照）に伝達される振動は、完全に除去することは原理的に困難としても、板ばね２３ｇの適正なる選択によって前記ウエハの不良化を防止できる程度に抑制することができる。
なお、本願発明は、前記シリコン基板を収納する半導体基板収納容器以外に、レチクル搬送容器、液晶基板搬送容器など振動対策を必要とするその他の搬送容器にも適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明が適用されるＦＯＵＰと当該ＦＯＵＰを搬送するＯＨＴ台車との関連を説明するための側面図である。
【図２】本発明を実施したＦＯＵＰ本体部の内部構成を表示する斜視図である。
【図３】図３はＦＯＵＰの本発明の要部構成を示す断面図である。
【図４】本発明の実施例における要部構成を表示するための模式図である。
【図５】本発明の他の実施例における要部構成を表示するための模式図である。
【図６】本発明の実施の基礎となる汎用のＦＯＵＰの斜視図である。
【符号の説明】
【００３７】
２・・・・・・・・・・・・・・・・・・ＯＨＴ台車
３、１３、２３・・・・・・・・・・・・ＦＯＵＰ
３ｅ、１３ｅ、２３ｅ・・・・・・・・・棚部材
３ｅｘ、１３ｅｘ、２３ｅｘ・・・・・・棚
３ｅｙ・・・・・・・・・・・・・・・・突起
３ｇ、１３ｇ・・・・・・・・・・・・・弾性体
２３ｇ・・・・・・・・・・・・・・・・板ばね
【図１】
2007123673.tif 000003
【図２】
2007123673.tif 000004
【図３】
2007123673.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007123673.tif 000007
【図６】
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