(57)【要約】【課題】適切な時期にセッターを研磨して再利用することができるセッターの管理方法及び装置を提供する。【解決手段】セッターは、判定装置３から熱処理炉５を有したディスプレイ基板製造装置４へ送られる。セッター上にディスプレイ基板が載せられ、熱処理炉５を通過した後、ディスプレイ基板がセッター上から取り出される。セッターは、その後、判定装置３へ戻され、熱処理炉通過回数、反り、欠けの判定が行われる。セッターにはＩＤ手段が設けられているので、判定装置３に設けられた記憶装置に熱処理炉通過回数が積算される。熱処理炉通過回数が規定回数であり、また反りや欠けも規定範囲内であると判定された合格品は、再びディスプレイ基板製造装置４へ送られる。不合格品の発生個数をセッターメーカー１０に向けてインターネット等の通信手段を介して送信する。この信号に基づいて受入設備１１から検査装置１２を経て研磨装置１３へ送られるセッターの数を制御する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、
該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを該熱処理ラインから分離する分離手段と
を備えてなるセッターの管理装置によってセッターを管理する方法において、
該検出手段は、セッターの研磨の必要性に対応した特性値を検出するものであり、研磨の必要性があると判定されるときに、該熱処理ラインから分離したセッターを研磨工程へ送ることを特徴とするセッターの管理方法。
【請求項２】
請求項１において、前記特性値はセッターの熱処理炉を通過した回数であり、
該セッターが研磨されたことがある場合には、前回の研磨後からの熱処理炉の通過回数であり、
該セッターが研磨されたことがない場合には、通算の熱処理炉の通過回数であることを特徴とするセッターの管理方法。
【請求項３】
被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、
該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを熱処理ラインから分離する分離手段と
を備えてなるセッターの管理装置において、
該分離手段でセッターをラインから分離した場合に、セッター分離信号をセッター研磨部門に向けて出力する信号出力手段を備えたことを特徴とするセッターの管理装置。
【請求項４】
セッターの貯蔵手段と、該貯蔵手段から送られてくるセッターを研磨する研磨手段とを有するセッター研磨設備において、
被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、
該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを熱処理ラインから分離する分離手段と、
該分離手段でセッターを熱処理ラインから分離した場合に、セッター分離信号をセッター研磨部門に向けて出力する信号出力手段と
を備えてなるセッターの管理装置が設けられると共に、
該信号出力手段からのセッター分離信号を受信し、この受信信号に基づいて研磨手段へのセッター供給を制御する制御手段が設けられていることを特徴とするセッター研磨設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被熱処理物を載せて熱処理するためのセッターの管理方法及び装置に係り、特にフラットパネルディスプレイ基板を載せて熱処理する用途に好適に用いられるセッターの管理方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイ等の表示部のフラットなディスプレイ基板は、ガラス基板上に電極、絶縁体、発光体等が複数積層された一体構造となっている。このディスプレイ基板を製作する工程の一つとして、ディスプレイ基板をセッター（棚板と称されることもある。）に載せて熱処理炉を通過させて熱処理（例えば、電極や絶縁体の焼付け処理）する工程がある。
【０００３】
このフラットパネルディスプレイ基板は、反りが小さいこと、及び表面の凹凸が小さいことが求められ、その製造のためのセッターにも同様に反り・うねりが小さいこと、表面の凹凸が小さいことが求められる。特開２００２−１１４５３７号には、熱膨張係数が１５×１０−７／Ｋ以下であり、表面の平坦度が０．３％以下であり、表面粗さＲａが０．１〜１μｍであるガラス基板熱処理用セッターが記載されている。
【０００４】
特開２００４−１４３９９号には、セッターにＩＤ識別手段を設けておき、セッターの熱履歴（熱処理炉通過回数）を管理し、所定回数に達したセッターを熱処理ラインから排除するシステムが記載されている。
【０００５】
このＩＤ識別手段としては、セッターに１個以上の貫通孔を設け、該貫通孔を透過する光によってセッターを識別するようにしたものが記載されている。
【特許文献１】特開２００２−１１４５３７号公報
【特許文献２】特開２００４−１４３９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ディスプレイとして用いるガラス基板などのセッターは、その使用に伴って表面が歪んだり、異物が付着しても、表面を研磨すれば再利用できる。特開２００４−１４３９９号では、熱処理工程から排除したセッターは再利用されていない。
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点を解決し、適切な時期にセッターを研磨して再利用することができるセッターの管理方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１のセッターの管理方法は、被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを該熱処理ラインから分離する分離手段とを備えてなるセッターの管理装置によってセッターを管理する方法において、該検出手段は、セッターの研磨の必要性に対応した特性値を検出するものであり、研磨の必要性があると判定されるときに、該熱処理ラインから分離したセッターを研磨工程へ送ることを特徴とするものである。
【０００９】
請求項２のセッターの管理方法は、請求項１において、前記特性値はセッターの熱処理炉を通過した回数であり、該セッターが研磨されたことがある場合には、前回の研磨後からの熱処理炉の通過回数であり、該セッターが研磨されたことがない場合には、通算の熱処理炉の通過回数であることを特徴とするものである。
【００１０】
請求項３のセッターの管理装置は、被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを熱処理ラインから分離する分離手段とを備えてなるセッターの管理装置において、該分離手段でセッターをラインから分離した場合に、セッター分離信号をセッター研磨部門に向けて出力する信号出力手段を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
請求項４のセッター研磨設備は、セッターの貯蔵手段と、該貯蔵手段から送られてくるセッターを研磨する研磨手段とを有するセッター研磨設備において、被熱処理物を載せて熱処理ラインの熱処理炉を通過したセッターの特性値を検出する特性値検出手段と、該特性値検出手段で検出される特性値が基準範囲から外れるときには該セッターを熱処理ラインから分離する分離手段と、該分離手段でセッターを熱処理ラインから分離した場合に、セッター分離信号をセッター研磨部門に向けて出力する信号出力手段とを備えてなるセッターの管理装置が設けられると共に、該信号出力手段からのセッター分離信号を受信し、この受信信号に基づいて研磨手段へのセッター供給を制御する制御手段が設けられていることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明のセッターの管理方法及び装置並びに研磨設備によると、セッターの特性値を検出し、この特性値からセッターの研磨の必要性を判定し、研磨が必要であるときにはセッターをラインから取り出して研磨することができる。これにより、まだ使用できるセッターを廃棄したり、使用限界を超えてセッターを使用したりすることが防止される。
【００１３】
本発明では、セッターをラインから分離したことを示す信号をセッター研磨部門に向けて出力し、セッター研磨部門では、この信号を受信して研磨処理を管理することが好ましい。これにより、研磨設備の稼動効率を高めたり、分離されたセッターが研磨されて再使用するまでの遊休期間を短縮したりすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して実施の形態について説明する。
【００１５】
図１は実施の形態に係るセッターの管理方法を説明するシステム図である。
【００１６】
この実施の形態で用いられるセッターにはＩＤ手段が設けられている。
【００１７】
ディスプレイ基板メーカー１の工場敷地内に、新品あるいは研磨済みのセッターのストックヤード２が設けられている。このストックヤード２内のセッターは、判定装置３にて熱処理炉通過回数、反り、欠けが判定される。ストックヤード２からのセッターの熱処理炉通過回数はゼロとしてカウントされる。
【００１８】
合格と判定されたセッターは、判定装置３から熱処理炉５を有したディスプレイ基板製造装置４へ送られる。この熱処理ラインでは、セッター上にディスプレイ基板が載せられ、このセッターが熱処理炉５を通過した後、ディスプレイ基板がセッター上から取り出される。セッターは、その後、判定装置３へ戻され、熱処理炉通過回数、反り、欠けの判定が行われる。
【００１９】
なお、ディスプレイ基板製造装置４内の製造ライン上に設けた、複数のレーザー変位計により反り量を計測し、所定の基準値内にあるか否かで反りの合否判定を行う。また、ディスプレイ基板製造装置４内の製造ライン上に設けた画像処理装置により欠けの有無を読み取り、その有無で欠けの合否判定を行う。
【００２０】
セッターにはＩＤ手段が設けられているので、判定装置３に設けられた記憶装置に熱処理炉通過回数が積算される。ディスプレイ基板製造装置４内の製造ライン上に設置された耐火インクを用いた印字装置によって、熱処理炉５の通過のたびに、印（例えば、ドット等の記号や一の字等の文字）をセッターに印字し、その印の個数を画像処理によってカウントすることで熱処理炉通過回数を積算するようにしてもよい。この方法の場合、ＩＤ手段による熱処理炉通過回数の積算方法で用いた記憶装置を設置する必要がなくなる。
【００２１】
この実施の形態では、判定装置３→熱処理炉５→判定装置３の循環ループが熱処理ラインを構成している。
【００２２】
熱処理炉通過回数が規定回数であり、また反りや欠けも規定範囲内であると判定された合格品は、再びディスプレイ基板製造装置４へ送られる。
【００２３】
判定装置３で不合格と判定されたセッターは、熱処理ラインから分離され、不合格品ストックヤード７へ送られる。なお、判定装置３には信号出力手段としての発信装置６が設けられており、不合格品の発生個数をセッターメーカー１０に向けてインターネット等の通信手段を介して送信する。この送信においては、特性値ごとに不合格品の発生個数を送信できるようにしておくことが好ましい。
【００２４】
上記ストックヤード７に所定枚数の不合格セッターが溜ったならば、トラック、船などの物流手段によってセッターメーカー１０へ送る。
【００２５】
セッターメーカー１０では、送られてきた不合格セッターを受入設備１１にて受け入れる。セッターは、この受入設備１１から検査装置１２に送られ、研磨により再利用可能であるか否か判定する。再利用可能なセッターについては、研磨装置１３へ送って研磨し、発送設備１４へ送る。
【００２６】
研磨しても再利用が不可能と判定されたセッターについては、検査装置１２から破砕装置１５へ送って破砕し、セッター製造設備へ送ってセッター製造原料の一部に利用するリサイクルを行う。セッター製造設備１６で製造された新品のセッターは、発送設備１４へ送られる。
【００２７】
この発送設備１４から、新品のセッター及び研磨済みのセッターがディスプレイ基板メーカー１へ向けて発送される。
【００２８】
このセッターメーカー１０には、ディスプレイ基板メーカー１の前記発信装置６からの信号を受信する受信装置１７を有した制御設備１８が設けられている。発信装置６からの信号により、ディスプレイ基板メーカー１から近日中に送られてくる不合格セッターの数や時期を知ることができるので、制御設備１８は、それに合わせて受入設備１１から検査装置１２を経て研磨装置１３へ送られるセッターの数を制御すると共に、セッター製造設備１６でのセッター製造数をコントロールする。これにより、需要に素早く対応したセッター出荷を行うことが可能となる。
【００２９】
なお、検査装置１２で発見される不合格情報をセッター製造設備１６へ送り、セッターの品質改善や工程管理等の必要な対策を行う。
【００３０】
上記セッターのＩＤ手段としては、セッターに設けられたバーコードやＩＣタグなどが例示される。ＩＤ手段にはセッターの製造年月日などの製造情報や研磨の履歴情報を付加するようにしておいてもよい。ＩＣタグ等については断熱材で覆っておいてもよい。
【００３１】
図１ではディスプレイ基板メーカー１は１メーカーだけ図示されているが、通常は複数のメーカーに対しセッターを供給する。上記ディスプレイ基板メーカー１は、国内に限らず、海外に存在していてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】実施の形態に係るセッターの管理方法を説明するシステム図である。
【符号の説明】
【００３３】
１  ディスプレイ基板メーカー
５  熱処理炉
１０  セッターメーカー
【図１】
2007315703.tif 000003