(57)【要約】【課題】回転軸に発生するトルクを非接触で検出すること。【解決手段】入力軸１と出力軸２とをトーションバー３を介して連結し、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材４を、出力軸２の外周面を包囲するように、入力軸１に回転方向一体に固定し、出力軸２の被包囲部１Ａを磁性材料で形成し、被包囲部１Ａに出力軸２の軸方向に延びる溝５ａ、５ｂを形成し、円筒部材４には出力軸２との相対回転位置に応じて溝５ａ、５ｂとの重なる具合が変化する窓４ａ、４ｂを形成し、窓４ａ、４ｂを包囲するようにコイル１０、１１を配設し、センサ回路基板２０に、コイル１０、１１と磁気結合された励磁コイル２１、２３と検出コイル２２、２４を配設し、コイル１０、１１のインピーダンスの変化を検出コイル２２、２４で検出し、検出コイル２２、２４の検出出力に基づいて入力軸１と出力軸２に発生するトルクをコントローラ３５で求める。【選択図】図８
2007139426.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の回転軸と、前記第１の回転軸を同軸に配設されてトーションバーを介して前記第１の回転軸に連結された第２の回転軸と、前記第１の回転軸の外周面を包囲するとともに、前記第２の回転軸に回転方向一体として固定されて、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材と、前記円筒部材に配設された主コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルに磁気結合され前記主コイルを励磁する励磁コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルに磁気結合され前記主コイルのインダクタンスの変化に応じて相互インダクタンスが変化する検出コイルと、前記検出コイルのインピーダンスの変化を基に前記第１の回転軸と前記第２の回転軸に発生するトルクを演算するトルク演算器とを備え、前記第１の回転軸の少なくとも前記円筒部材で包囲された被包囲部を磁性材料で形成し、前記被包囲部に前記第１の回転軸の軸方向に延びる複数の溝を形成し、前記円筒部材には前記第１の回転軸との相対回転位置に応じて前記溝との重なる具合が変化する窓を形成し、前記主コイルを前記窓を包囲する位置に配設してなるトルクセンサ。
【請求項２】
第１の回転軸と、前記第１の回転軸を同軸に配設されてトーションバーを介して前記第１の回転軸に連結された第２の回転軸と、前記第１の回転軸の外周面を包囲するとともに、前記第２の回転軸に回転方向一体として固定されて、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材と、前記円筒部材に配設された主コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルと磁気結合され前記主コイルのインダクタンスの変化に応じて自己インダクタンスが変化する検出コイルと、前記検出コイルのインピーダンスの変化を基に前記第１の回転軸と前記第２の回転軸に発生するトルクを演算するトルク演算器とを備え、前記第１の回転軸の少なくとも前記円筒部材で包囲された被包囲部を磁性材料で形成し、前記被包囲部に前記第１の回転軸の軸方向に延びる溝を形成し、前記円筒部材には前記第１の回転軸との相対回転位置に応じて前記溝との重なる具合が変化する窓を形成し、前記主コイルを前記窓を包囲する位置に配設してなるトルクセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回転軸に発生するトルクを検出するトルクセンサに関し、特に、発生するトルクを非接触で検出するためのコイルの取り付け構造の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のトルクセンサとしては、例えば、ステアリングホイールに連結された入力軸とピニオン軸に連結された出力軸を同軸に配設するとともに、入力軸と出力軸とをトーションバーを介して連結し、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材を、出力軸の外周面を包囲するように、入力軸に回転方向一体に固定し、出力軸の少なくとも円筒部材で包囲された被包囲部を磁性材料で形成し、被包囲部に出力軸の軸方向に延びる溝を形成し、この溝の周方向幅を被包囲部の溝でない部分の周方向幅よりも広くし、円筒部材には出力軸との相対回転位置に応じて溝との重なる具合が変化する窓を形成し、窓が形成された部分を包囲するようにコイルを配設し、コイルのインピーダンスの変化に基づいて入力軸と出力軸に発生するトルクを検出するようにしたもの提案されている（特許文献１参照）。このトルクセンサによれば、コイルのインピーダンス変化比を大きくすることで、センサ感度を向上させることができる。
【特許文献１】特許第３３４６１５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来のトルクセンサにおいては、図１２に示すように、コイル１００の出力を、センサ回路基板１０２を介して演算装置（ＥＣＵ）１０４に転送するに際して、コイル１００のコイル端末１０６を、スルーホールを介してセンサ回路基板１０２に半田付けしなければならず、コイル１００とセンサ回路基板１０２との接続作業が面倒である。すなわち、アッセンブリ工程で取り付けられたセンサ回路基板１０２にコイル端末１０６を半田付けすることは、奥まった部分に対する半田付け作業が余儀なくされ、作業が面倒である。
【０００４】
本発明は、前記従来技術の課題に鑑みて為されたものであり、回転軸に発生するトルクを非接触で検出することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
前記目的を達成するために、本発明は、第１の回転軸と、前記第１の回転軸を同軸に配設されてトーションバーを介して前記第１の回転軸に連結された第２の回転軸と、前記第１の回転軸の外周面を包囲するとともに、前記第２の回転軸に回転方向一体として固定されて、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材と、前記円筒部材に配設された主コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルに磁気結合され前記主コイルを励磁する励磁コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルに磁気結合され前記主コイルのインダクタンスの変化に応じて相互インダクタンスが変化する検出コイルと、前記検出コイルのインピーダンスの変化を基に前記第１の回転軸と前記第２の回転軸に発生するトルクを演算するトルク演算器とを備え、前記第１の回転軸の少なくとも前記円筒部材で包囲された被包囲部を磁性材料で形成し、前記被包囲部に前記第１の回転軸の軸方向に延びる複数の溝を形成し、前記円筒部材には前記第１の回転軸との相対回転位置に応じて前記溝との重なる具合が変化する窓を形成し、前記主コイルを前記窓を包囲する位置に配設してなるトルクセンサを構成したものである。
【０００６】
前記した手段によれば、主コイルのインピーダンス（自己誘導起電力）の変化を検出コイルによって非接触で検出するようにしたため、主コイルのコイル端末を他の部材に半田付けする必要がなく、主コイルと他の部材との接続作業をなくすことができ、作業性向上および信頼性の向上に寄与することができる。
【０００７】
また、本発明は、第１の回転軸と、前記第１の回転軸を同軸に配設されてトーションバーを介して前記第１の回転軸に連結された第２の回転軸と、前記第１の回転軸の外周面を包囲するとともに、前記第２の回転軸に回転方向一体として固定されて、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材と、前記円筒部材に配設された主コイルと、前記円筒部材と相対向して配設されて前記主コイルと磁気結合され前記主コイルのインダクタンスの変化に応じて自己インダクタンスが変化する検出コイルと、前記検出コイルのインピーダンスの変化を基に前記第１の回転軸と前記第２の回転軸に発生するトルクを演算するトルク演算器とを備え、前記第１の回転軸の少なくとも前記円筒部材で包囲された被包囲部を磁性材料で形成し、前記被包囲部に前記第１の回転軸の軸方向に延びる溝を形成し、前記円筒部材には前記第１の回転軸との相対回転位置に応じて前記溝との重なる具合が変化する窓を形成し、前記主コイルを、前記窓を包囲する位置に配設してなるトルクセンサを構成したものである。
【０００８】
前記した手段によれば、主コイルのインピーダンス（自己誘導起電力）の変化を検出コイルによって非接触で検出するようにしたため、主コイルのコイル端末を他の部材に半田付けする必要がなく、主コイルと他の部材との接続作業をなくすことができ、作業性向上および信頼性の向上に寄与することができる。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、作業性向上および信頼性の向上に寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１実施例を示す図であって、本発明に係るトルクセンサを、車両用の電動パワーステアリング装置に適用したときの操舵系の部分断面図である。
【００１１】
図１において、鉄などの磁性材料で形成された入力軸（第１の回転軸）１と出力軸（第２の回転軸）２は同軸に配設されて、トーションバー３を介して互いに連結されている。入力軸１の軸方向一端側はステアリングホイールに回転方向一体に接続されており、出力軸３の軸方向一端側はラックアンドピニオン式ステアリング装置の構成するピニオン軸に連結されている。すなわち、操縦者がステアリングホイールを操舵することによって発生する操舵力は、入力軸１、トーションバー３、出力軸２およびピニオン軸を介して、転舵輪に伝達されるようになっている（図５参照）。
【００１２】
出力軸２の入力軸１側端面には、トーションバー３の挿入部からさらに径方向に延びた溝２ａが形成されており、この溝２ａには、入力軸１の出力軸２側端面に形成された凸部１ａが挿入されている。ただし、溝２ａの幅（周方向寸法）は、凸部１ａの幅よりも若干広くなっているので、入力軸１および出力軸２間の所定範囲、例えば、±５度程度以上の相対回転を防止している。
【００１３】
一方、入力軸１の出力軸２に近接した部分の外周面には、入力軸１と同軸の大径部（被包囲部）１Ａが形成されており、この大径部１Ａに近接してこれを包囲するように、肉薄の円筒部材４が配設されている。
【００１４】
円筒部材４は、導電性で且つ非磁性の材料、例えば、アルミニウムから形成されており、この円筒部材４の軸方向端部内面には小径部４Ａが形成され、小径部４Ａが出力軸２に同軸に外嵌している。これにより、円筒部材４は出力軸２と回転方向に一体となっている。さらに、円筒部材４の大径部１Ａを包囲する肉薄の部分のうち、小径部４Ａから遠い側には、周方向に等間隔離隔した長方形の複数の窓４ａが６個形成され、小径部４Ａに近い側には、各窓４ａと位相が１８０度ずれるように、周方向に等間隔離隔して長方形の窓４ｂが６個形成されている。
【００１５】
具体的には、各窓４ａは、円筒部材４の周面を周方向に１２等分し、その１２等分された領域を一つ置きに、長方形に開口するように形成されており、各窓４ｂは、窓４ａ同士の間の開口していない部分に対応する部分を開口するように形成されている。これに対して、入力軸１の円筒部材４で包囲される大径部１Ａのうち、窓４ａが形成された部分の内側には、周方向に等間隔離隔し開口が長方形の溝５ａが６個軸方向に沿って、窓４ａと同形状で形成されており、窓４ｂ形成された部分の内側には、溝５ａと同相に周方向に等間隔離隔し開口が長方形の溝５ｂが６個軸方向に沿って、溝５ａと同形状で形成されている。
【００１６】
ただし、入力軸１と出力軸２間に相対回転が生じていないとき、すなわち、操舵トルクが零のときには、図２に示すように、窓４ａと溝５ａが半分だけ重なるように、円筒部材４と溝５ａは位置合わせをされている。従って、図３に示すように、操舵トルクが零のときには、窓４ｂと溝５ｂも半分だけ重なるようになるが、窓４ａと窓４ｂとの間の位相が１８０度ずれているため、窓４ａと溝５ａの重なり状態と、窓４ｂと溝５ｂの重なり状態は、図４に示すように、周方向で逆になっている。
【００１７】
また、前記凸部と窓の数や幅は適宜変更可能である。例えば、図６のようにそれらの数を８個として幅を既述の例から狭めており、これらが半分ずつ重ならない場合もあり得る。
【００１８】
円筒部材４は、同一規格のコイル１０、１１が巻き付けられたボビン１２を内周側に支持する磁性材料からなるヨーク９で包囲されている（図６参照）。コイル１０、１１は、主コイルとして、円筒部材４と同軸に配置されていて、コイル１０は、各窓４ａが形成された部分を包囲するようにボビン１２に巻き付けられ、コイル１１は、各窓４ｂが形成された部分を包囲するようにボビン１２に巻き付けられている。この場合、コイル１０、１１はそれぞれ巻き始めと巻き終わりがショートされた状態でボビン１２に巻き付けられている。
【００１９】
コイル１０は、図７〜図９に示すように、センサ回路基板２０に実装された励磁コイル２１と検出コイル２２と磁気結合するように配置され、コイル１１は、センサ回路基板２０に実装された励磁コイル２３と検出コイル２４と磁気結合するように配置されている。換言すれば、励磁コイル２１、２３と検出コイル２２、２４は、円筒部材４と相対向してセンサ回路基板２０に配設されて、励磁コイル２１と検出コイル２２がコイル１０に磁気結合され、励磁コイル２３と検出コイル２４がコイル１１に磁気結合されている。すなわち、コイル１０、１１のコイル端末をセンサ回路基板２０に半田付けすることなく、コイル１０、１１のインピーダンスの変化を非接触で検出するために、コイル１０、１１と近接して、励磁コイル２１、２３と検出コイル２２、２４が実装されたセンサ回路基板２０が配置されている。
【００２０】
励磁コイル２１、２３は、抵抗２５、２６を介して発振回路２７に接続されており、発振回路２７の発振に伴って、所定周波数の交流電流が抵抗２５、２６を介して励磁コイル２１、２３に供給されると、励磁コイル２１、２３に磁気結合されたコイル１０、１１には、励磁コイル２１とコイル１０の相互インダクタンスまたは励磁コイル２３とコイル１１の相互インダクタンスに基づいた励磁電流が流れるようになっている。各コイル１０、１１に励磁電流が流れると、各コイル１０、１１のインダクタンスの変化あるいはインピーダンスの変化に伴う電力が検出コイル２２、２４で検出されるようになっている。なお、励磁コイル２１、２３や検出コイル２２、２４は、面実装のチップインダクタで構成したり、あるいは探傷機用アモルファス針状コアのコイルとして構成したりすることができる。
【００２１】
検出コイル２２、２４の検出による電力（自己誘導起電力）はそれぞれ差動増幅回路２８、２９に入力され、差動増幅回路２８、２９において、検出コイル２２、２４の検出電力の差が増幅され、増幅された信号は全波整流回路３０、３１で全波整流された後、平滑・調整回路３２、３３で平滑化されるとともに、高調波成分が除去されるようになっている。平滑・調整回路３２の出力信号は、メインの信号として、ケーブル３４を介してコントローラ３５に転送され、平滑・調整回路３３の出力信号は、サブの信号として、ケーブル３４を介してコントローラ３５に転送されるようになっている。
【００２２】
コントローラ３５は、例えば、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭなどを有するマイクロコンピュータで構成されており、平滑・調整回路３２、３３の出力信号を取り込み、その平均値に基づいて入力軸１と円筒部材４の相対回転変位の方向及び大きさを演算し、その結果に、例えば、所定の比例定数を乗じて操舵系に発生している操舵トルクを演算するトルク演算部（トルク演算器）と、このトルク演算部の演算結果に基づいて操舵トルクを軽減するための操舵補助トルクに対応した駆動電流を電動モータに供給するモータ駆動部としての機能を備えて構成されている。
【００２３】
次に、本実施例の作用を説明する。まず、操舵系が直進状態にあり、操舵トルクが零であるときには、入力軸１と出力軸２間には相対回転は生じない。従って、入力軸１と円筒部材４との間にも、相対回転は生じない。
【００２４】
一方、ステアリングホイールの操舵に伴って、入力軸１に回転力が生じると、この回転力は、トーションバー３を介して出力軸２に伝達される。このとき、出力軸２には、転舵輪と路面間の摩擦力やピニオン軸に連なるギヤの噛み合い等の摩擦力に応じた抵抗力が生じるため、入力軸１と出力軸２間には、トーションバー３が捩れることによって出力軸２が遅れる相対回転が発生し、入力軸１と円筒部材４間にも相対回転が生じる。
【００２５】
ここで、例えば、右操舵トルク（右回転方向への操舵時に発生する操舵トルク）発生時には、操舵トルクが零の場合に比べて、窓４ａと溝５ａの重なり合った面積は小さくなり、窓４ｂと溝５ｂの重なり合った面積は大きくなる。逆に、左操舵トルク（左回転方向への操舵時に発生する操舵トルク）発生時には、操舵トルクが零の場合に比べて、窓４ａと溝５ａの重なり合った面積は大きくなるのに対して、窓４ｂと溝５ｂの重なり合った面積は小さくなる。
【００２６】
窓４ａと溝５ａが重なった部分と窓４ｂと溝５ｂが重なった部分は、大径部１Ａの表面ではなく、溝５ａ、５ｂの底面を露出させることになる。すなわち、大径部１Ａの表面のうち、窓４ａ、４ｂを通じて露出する部分と、導電性で且つ非磁性の材料からなる円筒部材４で覆われた部分との割合が、操舵トルクに応じて変化することになる。具体的には、右操舵トルク発生時には、その方向の操舵トルクが大きくなるに従って、コイル１０の内側では大径部１Ａ表面の露出割合が増大し、コイル１１の内側ではその表面の露出割合は減少する。逆に、左操舵トルク発生時には、その方向の操舵トルクが大きくなるに従って、コイル１０の内側では大径部１Ａ表面の露出割合が減少し、コイル１１の内側ではその表面の露出割合は増大する。
【００２７】
すなわち、大径部１Ａは、円筒部材４よりも磁束を通しやすい性質を有しているため、右操舵トルク発生時には、コイル１０の自己インダクタンスは増大し、コイル１１の自己インダクタンスは減少するから、コイル１０の自己誘導起電力は大きくなり、コイル１１の自己誘導起電力は小さくなる。逆に、左操舵トルク発生時には、コイル１０の自己インダクタンスは減少し、コイル１１の自己インダクタンスは増大するから、コイル１０の自己誘導起電力は小さくなり、コイル１１の自己誘導起電力は大きくなる。
【００２８】
従って、コイル１０、１１の自己誘導起電力を検出コイル２２、２４で検出し、両者の差を差動増幅回路２８、２９でそれぞれ増幅すると、差動増幅回路２８、２９の出力は、操舵トルクの方向及び大きさに従ってリニアに変化する。そして、トルク演算部において、全波整流された後、高調波成分の除去された、差動増幅回路２８、２９の出力の平均値を演算し、その値に、例えば、所定の比例定数を乗じることで、操舵トルクを求めることができる。操舵トルクが得られると、操舵トルクの方向と大きさに応じた駆動電流がモータ駆動部で生成され、生成された駆動電流が電動モータに供給される。
【００２９】
電動モータに駆動電流が供給されると、電動モータには、操舵系に発生している操舵トルクの方向と大きさに応じた回転力が発生し、その回転力がウオームギア等を介して出力軸２に伝達されるから、出力軸２に操舵補助トルクが付与されたことになり、操舵トルクが減少し、操縦者の負担を軽減することができる。
【００３０】
本実施例によれば、コイル１０、１１と近接して、励磁コイル２１、２３と検出コイル２２、２４が実装されたセンサ回路基板２０を配置し、コイル１０、１１のインピーダンス（自己誘導起電力）の変化を検出コイル２２、２４によって非接触で検出するようにしたため、コイル１０、１１のコイル端末をセンサ回路基板２０に半田付けする必要がなく、コイル１０、１１とセンサ回路基板２０との接続作業をなくすことができ、作業性向上および信頼性の向上に寄与することができる。
【００３１】
次に、本発明の第２実施例を図１０に従って説明する。本実施例は、センサ回路基板２０から励磁コイル２１、２３を取り除き、検出コイル２２、２４をそれぞれ差動増幅回路２８、２９に接続するとともに、抵抗２５、２６を介して発振回路２７に接続するようにしたものであり、他の構成は第１実施例と同様である。
【００３２】
この場合、コイル１０、１１はそれぞれ巻き始めと巻き終わりがショートされた状態でボビン１２に巻き付けられている。コイル１０は、センサ回路基板２０に実装された検出コイル２２と磁気的に結合するように配置され、コイル１１は、センサ回路基板２０に実装された検出コイル２４と磁気的に結合するように配置されている。すなわち、コイル１０、１１のコイル端末をセンサ回路基板２０に半田付けすることなく、コイル１０、１１のインピーダンスの変化を非接触で検出するために、コイル１０、１１と近接して、検出コイル２２、２４が実装されたセンサ回路基板２０が配置されている。
【００３３】
検出コイル２２、２４は、抵抗２５、２６を介して発振回路２７に接続されており、発振回路２７の発振に伴って、所定周波数の交流電流が抵抗２５、２６を介して検出コイル２２、２４に供給されると、検出コイル２２、２４に磁気的に結合されたコイル１０、１１には、検出コイル２２とコイル１０の相互インダクタンスまたは検出コイル２４とコイル１１の相互インダクタンスに基づいた励磁電流が流れるようになっている。各コイル１０、１１に励磁電流が流れると、各コイル１０、１１のインダクタンスの変化あるいはインピーダンスの変化に伴う電力が自己誘導起電力として検出コイル２２、２４で検出されるようになっている。
【００３４】
検出コイル２２、２４の検出による電力（自己誘導起電力）はそれぞれ差動増幅回路２８、２９に入力され、差動増幅回路２８、２９において、検出コイル２２、２４の検出電力の差が増幅され、増幅された信号は全波整流回路３０、３１で全波整流された後、平滑・調整回路３２、３３で平滑化されるとともに、高調波成分が除去されるようになっている。平滑・調整回路３２の出力信号は、メインの信号として、ケーブル３４を介してコントローラ３５に転送され、平滑・調整回路３３の出力信号は、サブの信号として、ケーブル３４を介してコントローラ３５に転送されるようになっている。
【００３５】
本実施例によれば、コイル１０、１１と近接して、検出コイル２２、２４が実装されたセンサ回路基板２０を配置し、コイル１０、１１のインピーダンス（自己誘導起電力）の変化を検出コイル２２、２４によって非接触で検出するようにしたため、コイル１０、１１のコイル端末をセンサ回路基板２０に半田付けする必要がなく、コイル１０、１１とセンサ回路基板２０との接続作業をなくすことができ、作業性向上および信頼性の向上に寄与することができる。
【００３６】
なお、差動増幅回路２８、２９、全波整流回路３０、３１、平滑・調整回路３２、３３はセンサ回路基板２０に実装されているが、これらをコントローラ３５に実装することもできる。また、発振回路２７からサイン波を出力する代わりに、矩形波を出力することもできる。
【００３７】
前記実施例においては、出力軸２をピニオン軸に連結するピニオンタイプについて述べたが、本発明は、図１１に示すように、出力軸２をコラムに連結するコラムタイプのものにも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の一実施例を示すトルクセンサの操舵系の部分断面図。
【図２】図１のＡ-Ａ線に沿う円筒部材の断面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線に沿う円筒部材の断面図。
【図４】入出力軸に円筒部材を固定した状態を示す正面図。
【図５】本発明をピニオンタイプに適用したときの操舵系の正面断面図。
【図６】円筒部材とコイルの要部断面斜視図。
【図７】コイルとセンサ回路基板との関係を示す斜視図。
【図８】コイルとセンサ回路基板との関係を示す側面図。
【図９】センサ回路基板に実装された回路の一実施例を示す構成図。
【図１０】センサ回路基板に実装された回路の他の実施例を示す構成図。
【図１１】本発明をコラムタイプに適用したときの操舵系の正面断面図。
【図１２】従来のトルクセンサのコイルとセンサ回路基板との関係を示す側面図。
【符号の説明】
【００３９】
１  入力軸（第１の回転軸）
１Ａ  大径部（被包囲部）
２  出力軸（第２の回転軸）
３  トーションバー
４  円筒部材
４ａ、４ｂ  窓
５ａ、５ｂ  溝
１０、１１  コイル
２０  センサ回路基板
２１、２２  励磁コイル
２３、２４  検出コイル
２７  発振回路
２８、２９  差動増幅回路
３０、３１  全波整流回路
３２、３３  平滑・調整回路
３５  コントローラ
【図１】
2007139426.tif 000003
【図２】
2007139426.tif 000004
【図３】
2007139426.tif 000005
【図４】
2007139426.tif 000006
【図５】
2007139426.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007139426.tif 000009
【図８】
2007139426.tif 000010
【図９】
2007139426.tif 000011
【図１０】
2007139426.tif 000012
【図１１】
2007139426.tif 000013
【図１２】
2007139426.tif 000014