(57)【要約】【課題】  基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができる非接触支持装置を得る。【解決手段】  静圧気体スラスト軸受１０は、固定ガイド体１２と可動テーブル１４との間に空気を供給することで、可動テーブル１４を固定ガイド体１２に対し非接触で保持する。この静圧気体スラスト軸受１０は、可動テーブル１４に設けられ長溝２６Ａから供給された空気を固定ガイド体１２との対向面に分散して排出するガス分散部材２６と、一端をガス分散部材２６の長溝２６Ａに向けて開口させて固定ガイド体１２に設けられたガス流路１６と、ガス流路１６を通じてガス分散部材２６の長溝２６Ａに空気を供給するためのガス供給手段と、ガス流路１６に設けられたオリフィス３０とを備える。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と被支持体との間にガスを供給することで、前記被支持体を前記基部に対し非接触で支持する非接触支持装置であって、
前記被支持体に設けられ、給気口から供給されたガスを前記基部との対向面に分散して排出するガス分散部と、
一端を前記ガス分散部の給気口に向けて開口させて前記基部に設けられたガス流路を通じて、前記ガス分散部の給気口にガスを供給するためのガス供給手段と、
前記基部のガス流路又は前記ガス供給手段のガス流路に設けられた流体抵抗となる絞り手段と、
を備えた非接触支持装置。
【請求項２】
前記基部は、前記被支持体を非接触で支持しつつ所定方向にガイドし得るガイド形状を有し、
前記ガス分散部は、前記給気口が前記所定方向に沿って長手に形成されている請求項１記載の非接触支持装置。
【請求項３】
前記被支持体は、前記基部を挿通させる筒状に形成されて内面側に前記ガス分散部が設けられている請求項２記載の非接触支持装置。
【請求項４】
前記被支持体には、複数の前記ガス分散部が周方向に沿って設けられており、
前記基部の前記ガス流路は、前記複数のガス分散部の給気口に向けてそれぞれ開口するように分岐しており、
前記絞り手段は、前記ガス流路の分岐部よりも下流側の各分岐流路にそれぞれ配置されている請求項３記載の非接触支持装置。
【請求項５】
前記ガス分散部は、多孔体における前記給気口との連通面及び前記基部との対向面以外の面をシールして構成されている請求項１乃至請求項４の何れか１項記載の非接触支持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被支持体を基部に対し非接触で支持するための非接触支持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体露光工程において、ウェハの高い位置決め精度を得るために静圧気体軸受を用いることが知られている。このような静圧気体軸受において、多孔体より成り給気用の長溝を有するガス分散部を移動テーブルに設け、長溝から供給された気体を多孔体内を通じて固定ガイド体との対向面に分散して排出させ、該気体の圧力で移動テーブルを固定ガイド体に対し非接触でかつ長溝の長手方向に移動可能支持した深溝付多孔質静圧気体スラスト軸受が考えられている（例えば、非特許文献１参照）。
【非特許文献１】宮武、吉本、八木、「深溝付多孔質静圧気体スラスト軸受に関する研究」、日本機械学会論文集（Ｃ編）、７１巻、７０２号、２００５年２月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記の如き従来の深溝付多孔質静圧気体スラスト軸受では、移動テーブルの固定ガイド体に対する支持剛性が低く、移動テーブルと固定ガイド体との間の軸受隙間が変化した場合に十分な復元力が得られず、移動テーブルの固定ガイド体に対する位置ずれが解消されない不具合が生じる恐れがある。
【０００４】
本発明は上記事実を考慮して、基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができる非接触支持装置を得ることが目的である。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的を達成するために請求項１記載の発明に係る非接触支持装置は、基部と被支持体との間にガスを供給することで、前記被支持体を前記基部に対し非接触で支持する非接触支持装置であって、前記被支持体に設けられ、給気口から供給されたガスを前記基部との対向面に分散して排出するガス分散部と、一端を前記ガス分散部の給気口に向けて開口させて前記基部に設けられたガス流路を通じて、前記ガス分散部の給気口にガスを供給するためのガス供給手段と、前記基部のガス流路又は前記ガス供給手段のガス流路に設けられた流体抵抗となる絞り手段と、を備えている。
【０００６】
請求項１記載の非接触支持装置では、ガス供給手段からのガスが基部のガス流路を通じて被支持体に設けられたガス分散部の給気口に供給されると、このガスはガス分散部によって該ガス分散部（被支持体）と基部との間に分散して排出され、このガス圧によって被支持体が基部に対し非接触で支持される。
【０００７】
ここで、基部又はガス供給手段のガス流路には絞り手段が設けられているため、基部と被支持体との隙間（ガスが供給される対向面間）が大きくなると、該隙間が小さい場合と比較して該隙間内圧が低下する。すなわち、絞り手段を設けることで、基部と被支持体との隙間の大きさの変化量に応じた該隙間内圧の変化幅が増大する。これにより、基部に対し被支持体を所定隙間で支持しようとする支持剛性が高くなる。
【０００８】
このように、請求項１記載の非接触支持装置では、基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができる。
【０００９】
請求項２記載の発明に係る非接触支持装置は、請求項１記載の非接触支持装置において、前記基部は、前記被支持体を該基部に対し所定方向に移動可能に非接触で支持するガイド形状を有し、前記ガス分散部は、前記給気口が前記所定方向に沿って長手に形成されている。
【００１０】
請求項２記載の非接触支持装置では、ガス分散部の給気口が、基部が被支持体をガイドする方向に長手とされているため、基部に対する被支持体の非接触状態を維持しつつ、該被支持体を基部に対し所定方向に移動させることができる。
【００１１】
請求項３記載の発明に係る非接触支持装置は、請求項２記載の非接触支持装置において、前記被支持体は、前記基部を挿通させる筒状に形成されて内面側に前記ガス分散部が設けられている。
【００１２】
請求項３記載の非接触支持装置では、筒状に形成された被支持体は、内部を挿通した基部にガイドされつつ軸線方向に移動可能である。
【００１３】
請求項４記載の発明に係る非接触支持装置は、請求項３記載の非接触支持装置において、前記被支持体には、複数の前記ガス分散部が周方向に沿って設けられており、前記基部の前記ガス流路は、前記複数のガス分散部の給気口に向けてそれぞれ開口するように分岐しており、前記絞り手段は、前記ガス流路の分岐部よりも下流側の各分岐流路にそれぞれ配置されている。
【００１４】
請求項４記載の非接触支持装置では、周方向に分割された複数のガス分散部が、それぞれの給気口から供給されたガスを基部におけるそれぞれの対向面に向けて排出する。そして、各ガス分散部に空気を供給するための分岐路にそれぞれ絞り手段が配置されているため、それぞれのガス分散部と基部との間の内圧を隙間に応じて変化させることができる。これにより、本非接触支持装置は、被支持体が基部に対して並列のガスばねにて支持する構成に相当し、基部に対する被支持体の支持剛性を一層高めることができる。
【００１５】
請求項５記載の発明に係る非接触支持装置は、請求項１乃至請求項４の何れか１項記載の非接触支持装置において、前記ガス分散部は、多孔体における前記給気口との連通面及び前記基部との対向面以外の面をシールして構成されている。
【００１６】
請求項５記載の非接触支持装置では、ガス分散部として多孔体を用いるため、ガス分散流路の形成（加工）が不要となり、構造の簡素化、製造の容易化が図られる。
【発明の効果】
【００１７】
以上説明したように本発明に係る非接触支持装置は、複基部に対する被支持体の支持剛性を高めることができるという優れた効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
本発明の実施形態に係る非接触支持装置としての静圧気体スラスト軸受１０について、図１乃至図６に基づいて説明する。
【００１９】
図３には、静圧気体スラスト軸受１０の概略全体構成が斜視図にて示されている。また、図１（Ａ）には、図３の１Ａ−１Ａ線に沿った断面が示されており、図１（Ｂ）には、図１（Ａ）の部分拡大図が示されている。さらに、図２には、図３の２−２線に沿った断面図が示されている。これらの図に示される如く、静圧気体スラスト軸受１０は、基部としての固定ガイド体１２と、被支持部としての可動テーブル１４とを備えている。
【００２０】
固定ガイド体１２は、図３に矢印Ａにて示す所定方向に長手とされた略直方体のブロック状に形成されている。固定ガイド体１２内には、ガス流路１６が形成されており、ガス流路１６の給気口１６Ａは、チューブ１８、レギュレータ２０を介してコンプレッサ２２の吐出部２２Ａに接続されている。チューブ１８、レギュレータ２０及びコンプレッサ２２は、本発明におけるガス供給手段に相当し、所定圧力のガス（空気）を固定ガイド体１２のガス流路１６に供給するようになっている。
【００２１】
図１（Ａ）及び図２に示される如く、固定ガイド体１２のガス流路１６は、該固定ガイド体１２の長手方向一端側における軸心部を通るヘッダ流路１６Ｂと、ヘッダ流路１６Ｂの末端から固定ガイド体１２の放射方向に分岐した４つの分岐流路１６Ｃとで構成されている。各分岐流路１６Ｃの末端は、それぞれ固定ガイド体１２の対応する周面１２Ａの長手方向及び幅（上下）方向の中央部で開口する排気口１６Ｄとされている。
【００２２】
図１（Ａ）に示される如く、可動テーブル１４は、矩形筒状に形成されて内部に固定ガイド体１２を挿通させている。より具体的には、図１（Ａ）に示される如く、可動テーブル１４は、断面視で略正方形枠状に形成されたテーブル本体２４と、テーブル本体２４の４つの平坦な内周面にそれぞれ固着された４つのガス分散部材２６とを含んで構成されている。テーブル本体２４は、図示しない半導体ウェハ等のワークが載置又は保持されるようになっている。
【００２３】
各ガス分散部材２６は、それぞれ多孔体にて略直方体状に形成されている。ガス分散部材２６を構成する多孔体は、セラミックや焼結金属などを採用することができる。この実施形態では、グラファイトにてガス分散部材２６を構成している。各ガス分散部材２６は、接着等によってテーブル本体２４の対応する内周面に固着されており、各端面がエッジシール部材２８にてシールされている。これにより、多孔体よりなるガス分散部材２６は、可動テーブル１４に挿通された固定ガイド体１２の対応する周面１２Ａと対向する内向きの面のみから供給されたガスを排出し得る構成とされている。
【００２４】
図４にも示される如く、各ガス分散部材２６の幅方向中央部には、可動テーブル１４に挿通された固定ガイド体１２の長手方向に沿って長手とされた長溝（スリット）２６Ａが形成されている。この実施形態では、図１及び図２に示される如く、長溝２６Ａは、ガス分散部材２６を厚み方向に貫通して形成されており、テーブル本体２４の内周面が溝底を構成している。
【００２５】
図１（Ａ）に示される如く、各長溝２６Ａは、それぞれガス流路１６における異なる排気口１６Ｄに臨んで位置している。したがって、コンプレッサ２２が排出した空気は、レギュレータ２０、チューブ１８、ガス流路１６を通じて各ガス分散部材２６の給気口としての各長溝２６Ａに供給されるようになっている。そして、図１（Ｂ）に示される如く、可動テーブル１４を構成する多孔体である各ガス分散部材２６は、各長溝２６Ａから供給された空気を固定ガイド体１２の対向面に向けて吹き出す構成である。図１（Ｂ）の白抜きの矢印は、空気の流れを概念的に示している。
【００２６】
このガス圧によって、各ガス分散部材２６と対応する固定ガイド体１２の周面１２Ａとの間に軸受隙間Ｃが形成され、可動テーブル１４が固定ガイド体１２に対し非接触で支持される構成である。また、可動テーブル１４の給気口である各長溝２６Ａが固定ガイド体１２の長手方向に長手とされているため、可動テーブル１４は、固定ガイド体１２に対し非接触で支持されつつ、該固定ガイド体１２の長手方向に移動可能とされている。なお、この実施形態では、各軸受隙間Ｃの間隔ｈ０の設計値は、片側で略４〜６μｍ（最大８〜１２μｍ）として設定されている。
【００２７】
また、静圧気体スラスト軸受１０は、コンプレッサ２２の吐出部２２Ａとガス流路１６の各排気口１６Ｄとの間に配設された絞り手段としてオリフィス３０を備えている。この実施形態では、オリフィス３０は、軸心部を貫通するオリフィス孔３２Ａを有し筒状に形成されたオリフィス部材３２を、各分岐流路１６Ｃにそれぞれ嵌合して構成されている。この実施形態では、オリフィス孔３２Ａは、円形断面を有し全長に亘り直径が略一定である円柱状空間とされており、その直径ｄ０が０．１５ｍｍ以下に設定されている。
【００２８】
次に、本実施形態の作用を説明する。
【００２９】
上記構成の静圧気体スラスト軸受１０では、コンプレッサ２２を作動すると、レギュレータ２０によって一定圧力に調整された空気は、チューブ１８、ガス流路１６を通じて可動テーブル１４の各ガス分散部材２６にそれぞれの長溝２６Ａから供給される。この空気は、多孔体であるガス分散部材２６の内部を通じて分散され、固定ガイド体１２の対応する周面１２Ａに向けて略均一に吹き出される。これにより、可動テーブル１４は、固定ガイド体１２に対し非接触で支持される。
【００３０】
ここで、静圧気体スラスト軸受１０では、ガス流路１６にオリフィス３０を設けたため、固定ガイド体１２と可動テーブル１４との軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が大きくなると、該軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が小さい場合と比較して、該軸受隙間Ｃの内圧が大きく低下する。すなわち、オリフィス３０を設けることで、固定ガイド体１２と可動テーブル１４との軸受隙間Ｃの間隔ｈ０に応じた該軸受隙間Ｃの内圧の変化幅が増大する。これにより、固定ガイド体１２に対し可動テーブル１４を所定間隔で支持しようとする支持剛性が高くなる。
【００３１】
このオリフィス３０の設置による支持剛性の向上効果について、図５及び図６に示す数値解析結果、実験結果を参照しつつ、さらに説明する。
【００３２】
図５（Ａ）には、静圧気体スラスト軸受１０を構成するガス分散部材２６を１つだけ用いて可動テーブル１４に相当する被支持体を支持した場合における、ガス分散部材２６の幅方向（長溝２６Ａの短手方向）に沿った軸受隙間Ｃの圧力分布の数値解析結果が示されている。一方、図５（Ｂ）には、比較例としてオリフィス３０を備えない構成における同条件での数値解析結果が示されている。
【００３３】
なお、これらの図において軸受隙間Ｃの幅方向の位置を表す横軸は、解析モデルの模式図にて示される。この解析モデルの符号は、静圧気体スラスト軸受１０の対応部品、部分の符号と一致している。また、これらの図に示す圧力は、絶対圧力を大気圧で除して無次元化したものであり、メモリ「１」は内圧（ゲージ圧力）０を表す。さらに、図５（Ａ）の解析では、オリフィス３０の直径ｄ０を０．２ｍｍとしている。
【００３４】
図５（Ａ）から、オリフィス３０を備える構成（静圧気体スラスト軸受１０）においては、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が極めて小さい場合（１μｍ以下）は、長溝２６Ａ内の圧力Ｐｓｌがレギュレータ２０による供給圧力Ｐｓ０にほぼ保たれて軸受隙間Ｃの圧力Ｐｓも高く支持され、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が１μｍを超えて大きくなると、間隔ｈ０の増大に応じて軸受隙間Ｃ内（オリフィス３０下流）の圧力Ｐｓｌが低下することがわかる（矢印Ｂ参照）。
【００３５】
一方、図５（Ｂ）から、オリフィス３０を備えない構成においては、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が極めて小さい場合（１μｍ以下）は、オリフィス３０を備える構成と同様の圧力分布となるものの、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が１μｍを超えて大きくなった場合には、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０の変化に対して該軸受隙間Ｃ内の圧力Ｐｓの変化が小さいことがわかる。
【００３６】
これは、オリフィス３０を備えない構成では軸受隙間Ｃの間隔ｈ０に依らず長溝２６Ａ内が供給圧力Ｐｓ０に保たれる（空気流量が増加する）のに対し、オリフィス３０を備える構成では該オリフィス３０の絞り効果（圧力損失）によって長溝２６Ａへの供給空気量の増加が抑制されるため、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０の増大に伴って長溝２６Ａ内の圧力Ｐｓｌが低下し、その結果、軸受隙間Ｃ内の圧力Ｐｓが低下することによる。
【００３７】
そして、図６（Ａ）には、図５と同様のモデルにおける軸受隙間Ｃの間隔ｈ０に対する長溝２６Ａへの空気流量（供給空気量）Ｑ、長溝２６Ａ内の圧力Ｐｓｌの各実験値（プロット）及び計算結果（線図）が重ね合わされて示されている。この図から、オリフィス３０を備えない構成では、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０の増大に伴って、空気流量Ｑが指数関数的に増大することがわかる。このため、長溝２６Ａ内の圧力Ｐｓｌは、供給圧力Ｐｓ０に保たれる。
【００３８】
一方、オリフィス３０を備えた構成（静圧気体スラスト軸受１０）では、空気流量Ｑはオリフィス３０の直径ｄ０に応じた所定量に漸近して増大が抑制されることがわかる。また、これに伴って、オリフィス３０を備えた構成では、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０の増大に伴って長溝２６Ａ内の圧力Ｐｓｌが減少することがわかる。
【００３９】
以上により、図５に示される如き圧力分布が得られることが実験的にも確かめられた。また、図６（Ａ）からは、オリフィス３０の直径ｄ０が小さいほど、空気流量Ｑが小さく抑えられ、圧力Ｐｓｌの減少幅が大きくなることがわかる。
【００４０】
さらに、図６（Ｂ）には、図５と同様のモデルにおける軸受隙間Ｃの間隔ｈ０に対する無次元化した負荷容量Ｗ、無次元化した静剛性Ｋｓの各実験値（プロット）及び計算結果（線図）が重ね合わされて示されている。負荷容量Ｗは、実験的にはその間隔ｈ０で支持した負荷（質量）を基準負荷で除して無次元化したものであり、既知の質量を用いて感覚ｈ０を測定することにより得ることができる。また、数値解析的には軸受隙間Ｃ内の圧力Ｐｓの関数として算出される。静剛性Ｋｓは、実験的には負荷容量Ｗ（既知の質量）の微小変化量ΔＷを該微小変化に伴う間隔ｈ０の変化量Δｈ０で除したΔＷ／Δｈ０であり、数値解析的には負荷容量Ｗを間隔ｈ０で微分したものである。
【００４１】
この図６（Ｂ）から、オリフィス３０を備えない構成では、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が小さい領域（略５μｍ以下）においては、負荷容量が間隔ｈ０の増大に応じて減少することがわかり、また静剛性の最大値は間隔ｈ０が略２μｍの場合に得られることがわかる。そして、この比較例モデルでは、各構成部品の加工精度、組付精度の観点から実用的な間隔ｈ０＝５μｍ前後の領域では、実用的な静剛性が得られないことがわかる。
【００４２】
一方、オリフィス３０を備えた構成（静圧気体スラスト軸受１０）では、負荷容量Ｗはより広い領域で間隔ｈ０の増大に応じて減少することがわかる。そして、オリフィス３０を備えた構成においては、ガス分散部材２６の多孔質の絞りによる静剛性の極大値と、オリフィス３０の絞りによる静剛性の極大値が現れることがわかる。オリフィス３０の絞りによる静剛性の極大値は、直径ｄ０を小さくすると多孔質の絞りによる静剛性の極大値に近づき、このモデルではｄ０＝０．１５ｍｍ以下とすることで、多孔質及びオリフィス３０による絞り作用がほぼ重なることが確かめられた。
【００４３】
これにより、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０＝５μｍ前後の領域において高い静剛性を得ることができる。また、図６（Ａ）に示される如く、間隔ｈ０＝５μｍ前後の領域では空気流量Ｑが小さく抑えられており、上記した如き高い静剛性を得るために空気消費量が増大することもない。
【００４４】
以上説明したように、オリフィス３０を備える静圧気体スラスト軸受１０では、オリフィス３０を備えない構成と比較して、軸受隙間Ｃの間隔ｈ０が大きくなると固定ガイド体１２に対する可動テーブル１４の支持力が大きく低下し、支持力が負荷に釣り合う状態すなわち間隔ｈ０が小さい状態に復帰しようとする復元作用が強く働くこととなる。すなわち、静圧気体スラスト軸受１０では、固定ガイド体１２に対し可動テーブル１４を所定間隔に保持するための支持剛性（静剛性Ｋｓ）が向上し、これにより位置決め精度が向上する。
【００４５】
特に、静圧気体スラスト軸受１０では、互いに対向する二対のガス分散部材２６が可動テーブル１４を構成しているため、換言すれば、可動テーブル１４は固定ガイド体１２に対し上下方向、幅方向共に一対の並列ばねで支持された如き支持状態となるため、各方向の支持剛性が一層高くなり、位置決め精度が一層向上する。
【００４６】
また、静圧気体スラスト軸受１０では、可動テーブル１４に長溝２６Ａを有するガス分散部材２６を設けため、可動側部材である可動テーブル１４に空気を供給することなく、また可動テーブル１４の可動方向に長手のガス分散部材２６を固定ガイド体１２に設けて空気消費量を増大することなく、可動テーブル１４を固定ガイド体１２に対し移動させる構成が実現された。
【００４７】
さらに、可動テーブル１４が固定ガイド体１２を挿通させる筒状に形成されているため、上記の通り複数の（互いに独立して空気ばねを構成する）ガス分散部材２６を周方向に並べて支持剛性を向上しつつ、可動テーブル１４を固定ガイド体１２に対して一方向にのみガイドする構成が実現された。特に、固定ガイド体１２、可動テーブル１４の軸直角断面が非円形すなわち回り止め形状とされているため、回り止め用のガイドを別途設ける必要もない。
【００４８】
さらにまた、静圧気体スラスト軸受１０では、ガス分散部材２６が多孔体にて構成されているため、空気分散用の溝等を設ける必要がなく、加工工数が少ない簡単な構造で供給された空気を略均一に分散させて軸受隙間Ｃに噴出す構成が実現された。
【００４９】
なお、上記実施形態では、多孔体より成るガス分散部材２６を備えた例を示したが、本発明はこれに限定されず、例えば、固定ガイド体１２の周面１２Ａとの対向面（軸受表面）すなわち軸受隙間Ｃに向けて開口する多数の分散溝（浅溝）を長溝２６Ａに相当する空気供給溝に連通させて構成されたガス分散部材を、ガス分散部材２６に代えて用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の実施形態に係る静圧気体スラスト軸受を示す図であって、（Ａ）は図３の１Ａ−１Ａ線に沿う断面図、（Ｂ）は空気の流れを示す図１（Ａ）の部分拡大図である。
【図２】本発明の実施形態に係る静圧気体スラスト軸受を示す、図３の２−２線に沿う断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係る静圧気体スラスト軸受の概略全体構成を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施形態に係る静圧気体スラスト軸受を構成するガス分散部材の斜視図である。
【図５】（Ａ）は本発明の実施形態に係る静圧気体スラスト軸受における軸受隙間の圧力分布を示す線図、（Ｂ）は本発明の実施形態との比較例における軸受隙間の圧力分布を示す線図である。
【図６】（Ａ）は軸受隙間の間隔と空気流量、長溝内圧力との関係を示す線図、（Ｂ）は軸受隙間の間隔と静圧気体スラスト軸受の負荷容量、静剛性との関係を示す線図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０    静圧気体スラスト軸受
１２    固定ガイド体（基部）
１４    可動テーブル（被支持体）
１６    ガス流路（基部のガス流路）
１６Ｃ  分岐流路
１８    チューブ（ガス供給手段のガス流路）
２２    コンプレッサ（ガス供給手段）
２６    ガス分散部材（ガス分散部）
２６Ａ  長溝（給気口）
３０    オリフィス（絞り手段）
【図１】
2007078126.tif 000003
【図２】
2007078126.tif 000004
【図３】
2007078126.tif 000005
【図４】
2007078126.tif 000006
【図５】
2007078126.tif 000007
【図６】
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