(57)【要約】【課題】インクジェットヘッドと基板すなわち固体撮像素子側との重ね合わせ精度を、±１μｍ以下で制御し、低コストで高品質のカラーフィルタを形成することのできる製造装置を提供する。【解決手段】基台と、前記基台の表面に、カラーフィルタの形成ピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材を注入するように配列された注入ノズルとを備えたノズルユニットと、前記注入ノズルが、カラーフィルタを形成すべき基板の所定の位置に対向配置されるように、前記基台と前記基板とを位置合わせして、前記基板の位置を調整する位置調整手段とを備え、前記複数の注入ノズルから前記基板表面に、一度に前記カラーフィルタ材料を充填可能に形成される。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基台と、前記基台の表面に、カラーフィルタの形成ピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材を注入するように配列された複数の注入ノズルとを備えたノズルユニットと、
前記注入ノズルが、カラーフィルタを形成すべき基板の所定の位置に対向配置されるように、前記基台と前記基板とを位置合わせして、前記基板の位置を調整する位置調整手段とを備え、
前記複数の注入ノズルから前記基板表面に、一度に前記カラーフィルタ材料を充填可能に形成されたカラーフィルタ製造装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記位置調整手段は、
前記基板をＸＹ方向に移動可能な搬送ステージと、
前記基台に配設され、透光性材料で構成されたアライメントマークと、
前記基台の上方に配設された赤外線ランプと、
前記基台に設けられたアライメントマークと、
前記基板に設けられたアライメントマークとを透過した前記赤外線ランプからの光を検出する検出手段とで構成されたカラーフィルタ製造装置。
【請求項３】
請求項２に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記位置調整手段は、
前記検出手段は赤外線透過光に基づく透過画像を検出する画像生成手段を含むカラーフィルタ製造装置。
【請求項４】
請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記基板が固体撮像素子基板であり、固体撮像素子の画素ピッチにあわせて前記ノズルユニットを交換可能に構成されたカラーフィルタ製造装置。
【請求項５】
請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記注入ノズルは充填量調整手段を備え、
前記カラーフィルタ材料の充填量は個々に調整可能であるカラーフィルタ製造装置。
【請求項６】
請求項５に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記充填量調整手段は、圧電素子により、前記注入ノズルからの噴射量を制御可能に構成したカラーフィルタ製造装置。
【請求項７】
請求項５に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記充填量調整手段は、加熱手段を具備し、温度による泡の膨張を用いたバブル方式の調整手段であるカラーフィルタ製造装置。
【請求項８】
請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記ノズルユニットは、各色のカラーフィルタ材料を貯液する貯液タンクを備え、前記貯液タンクと、各注入ノズルとが着脱可能に構成されたカラーフィルタ製造装置。
【請求項９】
請求項８に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記貯液タンクは、残量を検出する残量検出手段を具備したカラーフィルタ製造装置。
【請求項１０】
請求項１に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
さらに塗布されたカラーフィルタ材料を乾燥する乾燥手段を具備したカラーフィルタ製造装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記乾燥手段は加熱手段であるカラーフィルタ製造装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記乾燥手段は真空乾燥手段であるカラーフィルタ製造装置。
【請求項１３】
請求項１０乃至１２のいずれかに記載のカラーフィルタ製造装置であって、
前記乾燥手段は前記注入ノズル毎に配設されたカラーフィルタ製造装置。
【請求項１４】
基台の表面に、カラーフィルタの形成ピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材を注入するように配列された複数の注入ノズルを備えたノズルユニットを、
前記注入ノズルが、カラーフィルタを形成すべき基板の所定の位置に対向配置されるように、前記基台と前記基板とを位置合わせして、前記基板の位置を調整する位置調整工程と、
前記注入ノズルから、前記基板に対して一度にカラーフィルタ材を供給する供給工程と、
供給されたカラーフィルタ材を乾燥し、カラーフィルタを形成する工程とを含むカラーフィルタの製造方法。
【請求項１５】
請求項１４に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記位置調整工程は、
前記基板をＸＹ方向に移動可能な搬送ステージに載置し、
前記基台に配設され、透光性材料で構成されたアライメントマークに対し、
前記基台の上方に配設された赤外線ランプで赤外線を照射し、
前記基台に設けられたアライメントマークと、前記基板に設けられたアライメントマークとを透過した前記赤外線ランプからの光を検出することにより、光量が最大となるように位置調整を行うカラーフィルタの製造方法。
【請求項１６】
請求項１５に記載のカラーフィルタの製造方法であって、
前記位置調整工程は、前記基台に設けられたアライメントマークと、前記基板に設けられた前記アライメントマークとを透過した光に基づく画像を調整することにより位置あわせを行う工程を含むカラーフィルタ製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタ製造装置およびこれを用いたカラーフィルタの製造方法にかかり、特に固体撮像素子へのカラーフィルタの形成に関する。
【背景技術】
【０００２】
エリアセンサ等に用いられるＣＣＤを用いた固体撮像素子は、フォトダイオードなどからなる光電変換部と、この光電変換部からの信号電荷を転送するための電荷転送電極を備えた電荷転送部とを有する。電荷転送電極は、半導体基板に形成された電荷転送路上に複数個隣接して配置され、順次駆動される。
【０００３】
近年、カメラの小型化に伴い、固体撮像素子においては、高解像度化、高感度化への要求は高まる一方であり、ギガピクセル以上まで撮像画素数の増加が進んでいる。
【０００４】
そこで、感度を向上させるために、画素表面にマイクロレンズを設け、フォトダイオードへの集光効率を高める構造が種々提案されている。
【０００５】
そのひとつに例えば、光電変換部を構成するフォトダイオード部の直上位置の平坦化層上にパッシベーション膜を兼ねた層内レンズを形成し、さらにその上層に平坦化膜(透光性膜)、カラーフィルタ、平坦化膜、オンチップレンズとを順次形成した構造が提案されている。
【０００６】
一般に、ＭＯＳ型やＣＣＤ型の固体撮像素子等に用いられているカラーフィルタは、３色もしくは４色の着色されたレジストを使用し、レジストコートプロセス及び現像プロセスによって、平坦面上にパターン形成されている（例えば、下記特許文献１参照）。
【０００７】
カラーフィルタは次のようにして製造される。まず、平坦面上に例えばＢ（青色）のカラーフィルタ材料である、感光基を含む着色レジストを塗布し、露光及び現像処理を行ってパターニングした後、熱処理又は紫外線照射を行って固着させることで、Ｂのカラーフィルタを形成する。次に、Ｂのカラーフィルタ及び平坦面上に、例えばＧ（緑色）のカラーフィルタ材料である着色レジストを塗布し、露光及び現像処理を行ってパターニングした後、熱処理又は紫外線照射を行って固着させることで、Ｇのカラーフィルタを形成する。最後に、Ｂ，Ｇのカラーフィルタ及び平坦面上に、例えばＲ（赤色）のカラーフィルタ材料である着色レジストを塗布し、露光及び現像処理を行ってパターニングした後、熱処理又は紫外線照射を行って固着させることで、Ｒのカラーフィルタを形成する。
【０００８】
このように、従来、固体撮像素子におけるカラーフィルタ層としては、感光基を有する顔料分散レジストが用いられており、露光・現像により、各色のパターン形成を行っている。この場合、各色のカラーフィルタを形成するために、各色に対して同一工程を３回繰り返す必要があり、マスクのあわせずれによる境界部の盛り上がりなど、品質維持が困難であるという問題があった。また工数が多く、歩留まりも低下し、コスト増となるという問題もある。
【０００９】
そこで、近年、インクジェット方式を採用したカラーフィルタの製造方法が提案されている。インクジェット方式のカラーフィルタの製造方法は、インクジェットヘッドのノズルからＲＧＢの各色を基板上に吐き出させて着色層を形成する方法である。この方法によれば必要な場所に必要な量のインクを必要なときに付着させることができるため、インクが無駄にならず、Ｒ，Ｇ，Ｂの各着色層を同時に形成することができ、コストの低減をはかることのできる技術として注目されている（特許文献２）。
【００１０】
【特許文献１】特開平６−２７３６１１号公報
【特許文献２】特開２００１−２７２５２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
このような状況の中で、インクジェット方式によるインクジェットヘッドと固体撮像素子基板側との重ね合わせは、重要であり、近年高画素化および微細化が進み、数ミクロンピッチで画素が設けられているため、高精度の重ね合わせ技術が要求される。従来の技術としてインクジェットプリンターのように、座標データをパルス制御方式のステッピングモータにてステージ移動する方法が考えられるが、現状のパルス波形精度やモータ駆動制御の性能では数ミクロンレベルの位置あわせは困難であった。
【００１２】
本発明は前記実情に鑑みてなされたもので、インクジェットヘッドと基板すなわち固体撮像素子側との重ね合わせ精度を、±１μｍ以下で制御し、低コストで高品質のカラーフィルタを形成することのできる製造装置を提供することを目的とする。
また、取り扱いが容易で、短時間でカラーフィルタを提供することの可能なカラーフィルタの形成方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
そこで本発明のカラーフィルタ製造装置は、基台と、前記基台の表面に、カラーフィルタの形成ピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材を注入するように配列された複数の注入ノズルとを備えたノズルユニットと、前記注入ノズルが、カラーフィルタを形成すべき基板の所定の位置に対向配置されるように、前記基台と前記基板とを位置合わせして、前記基板の位置を調整する位置調整手段とを備え、前記複数の注入ノズルから前記基板表面に、一度に前記カラーフィルタ材料を充填可能に形成されたことを特徴とする。
この構成により、高精度の位置あわせが可能となり、また、ステッピングモータなどでステージ移動を行うことなく一度に供給可能であるため、短時間で高精度のカラーフィルタ形成が可能となる。
【００１４】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記位置調整手段が、前記基板をＸＹ方向に移動可能な搬送ステージと、前記基台に配設され、透光性材料で構成されたアライメントマークと、前記基台の上方に配設された赤外線ランプと、前記基台に設けられたアライメントマークと、前記基板に設けられたアライメントマークとを透過した前記赤外線ランプからの光を検出する検出手段とで構成されたものを含む。
この構成により、赤外線ランプからの透過光を用いたアライメントにより位置合わせを行うようにしているため、極めて容易に位置あわせが可能となり、信頼性の高いカラーフィルタの形成が可能となる。なお前記検出手段は、前記透過光に基づき画像を形成する画像形成手段を含むようにすればより効率よいアライメントが実現可能となる。
【００１５】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記基板が固体撮像素子基板であり、固体撮像素子の画素ピッチにあわせて前記ノズルピッチが調整可能に構成されたものを含む。
この構成により、種々の固体撮像素子に対し、適用可能となる。
【００１６】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記注入ノズルは充填量調整手段を備え、前記カラーフィルタ材料の充填量は個々に調整可能であるものを含む。
この構成により、容易に所望のフィルタ形成が可能となる。
【００１７】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記充填量調整手段が、圧電素子により、前記注入ノズルからの噴射量を制御可能に構成したものを含む。
この構成により、圧電素子を用いて電気的に噴射量制御が可能あり、高精度の制御が可能となる。
【００１８】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記充填量調整手段は、加熱手段を具備し、温度による泡の膨張を用いたバブル方式の調整手段であるものを含む。
この構成により、容易に高精度の噴射量制御が可能となる。
【００１９】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記ノズルユニットは、各色のカラーフィルタ材料を貯液する貯液タンクを備え、前記各貯液タンクと、各注入ノズルユニットとが着脱可能に構成されたものを含む。
この構成により、材料の取替えが容易となり、色の取替えも可能である。
【００２０】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記貯液タンクは、残量を検出する残量検出手段を具備したものを含む。
この構成により、自動化が容易であり、残液量が少なくなると、貯液タンクを取り替えたり、カラーフィルタ材料の補填などの対応が容易となる。
【００２１】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、さらに塗布されたカラーフィルタ材料を乾燥する乾燥手段を具備したものを含む。
この構成により、カラーフィルタ材料の供給から乾燥まで一括してこの装置で対応できる。
【００２２】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記乾燥手段は加熱手段であるものを含む。
【００２３】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記乾燥手段は真空乾燥手段であるものを含む。
【００２４】
また、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記乾燥手段は前記注入ノズル毎に配設されたものを含む。
この構成により、損傷を防止し、製造歩留まりの向上を図ることが可能となる。
【００２５】
また、本発明は、基台の表面に、カラーフィルタの形成ピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材を注入するように配列された複数の注入ノズルを備えたノズルユニットを、前記注入ノズルが、カラーフィルタを形成すべき基板の所定の位置に対向配置されるように、前記基台と前記基板とを位置合わせして、前記基板の位置を調整する位置調整工程と、前記注入ノズルから、前記基板に対して一度にカラーフィルタ材を供給する供給工程と、供給されたカラーフィルタ材を乾燥し、カラーフィルタを形成する工程とを含む。
この構成により、短時間で位置ずれなしに一括形成が可能となる。
【００２６】
また、本発明は、前記位置調整工程は、前記基板をＸＹ方向に移動可能な搬送ステージに載置し、前記基台に配設され、透光性材料で構成されたアライメントマークに対し、前記基台の上方に配設された赤外線ランプで赤外線を照射し、前記基台に設けられたアライメントマークと、前記基板に設けられたアライメントマークとを透過した前記赤外線ランプからの光を検出することにより、光量が最大となるように位置調整を行う工程を含む。
この構成により、位置あわせが簡単である。
【００２７】
また、本発明は、前記位置調整工程は、前記基台に設けられたアライメントマークと、前記基板に設けられた前記アライメントマークとを透過した光に基づく画像を調整することにより位置あわせを行う工程を含む。
この構成により、極めて効率よく位置あわせを行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、インクジェットなどの供給ノズルと基板側の重ねあわせを、±１μｍ以下で制御できるため、低コストで高品質のカラーフィルタを提供が可能となる。
一旦位置合わせをすれば、そのまま供給が一括して行われるため、ステッピングモータを用いて順次供給していた場合のように、誤差を引きずらないことから、比較的位置あわせが容易となり、作業効率が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下本発明の実施の形態について図面を参照しつ説明する。
（実施の形態１）
このカラーフィルタ製造装置は、図１に原理説明図、図２にこの製造装置の外観図、図３にノズルユニットの要部図を示すように、固体撮像素子へのカラーフィルタの形成を行うための装置であり、ノズルユニット１００を用いて固体撮像素子基板１に設けられたカラーフィルタの形成領域ＣＲのピッチに符合するように所定の間隔で所定の色のカラーフィルタ材５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂを一度に注入するように構成したことを特徴とするものである。そして、ノズルユニット１００は、位置調整手段２００によって注入ノズル１０４が、カラーフィルタを形成すべき基板１の所定の位置に対向配置されるように、前記基台１０１と前記基板１とを位置合わせして、前記基板１の位置を調整する位置調整手段２００とを備え、前記複数の注入ノズル１０４から前記基板１表面に、一度に前記カラーフィルタ材料を充填可能に形成されたことを特徴とする。図４（ａ）はノズルユニットの下面図、図４（ｂ）はこのノズルユニットを用いて充填された後の基板１を示す図である。
【００３０】
また、この位置調整手段２００は、前記基板１をＸＹ方向に移動可能な搬送ステージ１１５と、前記基台１０１に配設され、透光性材料で構成されたアライメントマーク１１１と、前記基台１０１の上方に配設された赤外線ランプ１１０と、前記基台１０１に設けられたアライメントマーク１１１と、前記基板１に設けられたアライメントマーク１１２とを透過した前記赤外線ランプ１１０からの光や画像を検出する受光手段１１３と、この受光手段１１３の出力に応じて駆動手段１１４を駆動して搬送ステージ１１５を駆動するように構成される。
【００３１】
またノズルユニット１００はその要部拡大図を図３に示すように、基台１０１に対して着脱自在に配設された貯液タンク１０２と、供給量制御手段１０３を介してノズル１０４の開口が調整されるようになっている。ここで供給量制御手段１０３は圧電素子を用いて構成され供給量の制御が可能となっている。
【００３２】
位置あわせに際しては、赤外線ランプ１１０を点灯し、ノズルユニット１００の基台１０１に設けられたアライメントマーク１１１からの透過光を基板１に設けられたアライメントマーク１１２を介して受光手段１１３で受け、受光手段１１３上で２つのマークが重なり１つのマークに見えるまで駆動手段１１４を駆動して搬送ステージ１１５を動かしている。
【００３３】
この構成により、高精度の位置あわせが可能となり、一度に供給可能であるため、短時間で高精度のカラーフィルタの形成が可能となる。
また、赤外線ランプからの透過光を用いたアライメントにより位置合わせを行うようにしているため、極めて容易に位置あわせが可能となり、信頼性の高いカラーフィルタの形成が可能となる。
【００３４】
次にこのカラーフィルタ製造装置を用いて、固体撮像素子にカラーフィルタを形成する方法について説明する。ここでまずカラーフィルタの形成に先立ち固体撮像素子について説明する。
図５は断面概要図、図６は平面概要図であり、図５は図６のＡ−Ａ断面図である。カラーフィルタの形成工程を図７（ａ）および（ｂ）に示す。
本実施の形態の固体撮像素子は、図５および図６に示すように、光電変換部と、前記光電変換部で生起された電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部とを具備した光導波路構造の固体撮像素子であって、電荷転送電極が、電極間絶縁膜４を介して交互に並置して構成された、第１層導電性膜からなる第１の電極３ａと、第２層導電性膜からなる第２の電極３ｂとで構成され、前記電荷転送電極３の周りを、絶縁膜５を介して形成されたタングステン薄膜からなる遮光膜６を具備し、前記電荷転送電極の上層に、前記光電変換部上で光導波路を形成する開口部をもつ、反射面を形成するアルミニウム薄膜からなる金属膜７を備えている。ここで、金属膜７は、前記電荷転送部上に形成された平坦化膜１０を介して形成されており、互いに電気的に絶縁分離されており、この金属膜７は、前記開口部が、前記光電変換部上で、上方に行くに従って径大となる逆円錐台状をなすように形成され、表面が反射面を構成している。なおここで遮光性の膜である金属膜７に形成された開口部にカラーフィルタ材料を充填するようにしたが、必ずしも遮光膜を用いる必要はない。
【００３５】
カラーフィルタの形成に際しては、図７（ａ）に示すように、金属膜７の形成された固体撮像素子基板を用意する。
そして、図７（ｂ）に示すように、この開口部内に、図１乃至３を用いて説明したカラーフィルタ製造装置を用いてカラーフィルタ材料５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂが充填される。
【００３６】
他の構造は通例の固体撮像素子と同様であり、光電変換部３０と、前記光電変換部３０で生起せしめられた電荷を転送する電荷転送電極を備えた電荷転送部４０とを具備し、光電変換部に開口を持つように形成された金属膜７の下層に、表面がほぼ平坦となるように前記光電変換部に充填されたＢＰＳＧ（borophospho  silicate  glass）膜からなる平坦化膜１０が形成されており、また金属膜７およびフィルタ５０の上層には、有機系膜からなる透光性膜からなるフィルタ上平坦化膜６１を介して、レンズ６０を形成している。
【００３７】
上記構成によれば、電荷転送電極３が遮光膜６で被覆されると共に、光導波路が金属膜７で囲まれているため、集光性が高められ、この上に形成されるマイクロレンズ６０の位置ずれによる影響をうけることがなく、ケラレによる感度のばらつきがない、固体撮像素子を提供することが可能となる。また、金属膜が、平坦化膜上に形成されるためパターニング精度を高めることができ、高精度の開口形成が可能となり、この開口に位置あわせ手段を用いて高精度に位置あわせされたノズルユニットを用いてカラーフィルタ材料が充填される。従ってさらなる微細化も可能で高感度で信頼性の高い固体撮像素子の形成が可能となる。
これにより、良好に表面の平坦化をはかることができ、大幅に薄型化をはかることができる。
【００３８】
また、シリコン基板１には、複数のフォトダイオード領域３０が形成され、フォトダイオード領域３０で検出した信号電荷を転送するための電荷転送部４０が、フォトダイオード領域３０の間に形成される。
【００３９】
電荷転送電極によって転送される信号電荷が移動する電荷転送チャネルは、図６では図示していないが、電荷転送部４０が延在する方向と交差する方向に、形成される。
【００４０】
なお、図６においては、電極間絶縁膜の内、フォトダイオード領域３０と電荷転送部４０との境界近傍に形成されるものの記載を省略してある。
【００４１】
また、シリコン基板１内には、フォトダイオード、電荷転送チャネル、チャネルストップ領域、電荷読み出し領域が形成される。
【００４２】
また、この例では、いわゆるハニカム構造の固体撮像素子を示しているが、正方格子型の固体撮像素子にも適用可能であることはいうまでもない。
【００４３】
この方法によれば、０．１μｍ程度の電極間距離をもつ微細化構造の固体撮像素子においても、集光効率を向上し、薄型化、高感度化をはかることができ、高精度で信頼性の高い固体撮像素子を得ることが可能となる。
【００４４】
なお、製造方法については前記実施の形態に限定されることなく適宜変更可能である。
【００４５】
また、上記カラーフィルタ製造装置は、固体撮像素子の画素ピッチにあわせて前記ノズルピッチを調整可能に構成される。
また、本発明は、注入ノズルは充填量調整手段を備え、前記カラーフィルタ材料の充填量は、温度による泡の膨張を用いたバブル方式の調整手段を用いて個々に調整可能である。
【００４６】
また、ノズルユニットは、各色のカラーフィルタ材料を貯液する貯液タンクを備えているが、この各色の貯液タンクと、注入ノズルユニットとが着脱可能に構成されていてもよく、これにより、材料の取替えが容易となり、色の取替えも可能である。
【００４７】
また、貯液タンクに、残量を検出する残量検出手段を設けることにより、自動制御が容易であり、残液量が少なくなると、貯液タンクを取り替えたり、カラーフィルタ材料の補填などの対応が容易となる。
【００４８】
また、本発明は、塗布されたカラーフィルタ材料を乾燥する乾燥手段を具備していてもよい。
【００４９】
さらに、本発明は、上記カラーフィルタ製造装置において、前記乾燥手段は前記注入ノズル毎に配設されるようにすれば、損傷を防止し、製造歩留まりの向上を図ることが可能となる。
【００５０】
加えて、前記実施の形態では、固体撮像素子へのカラーフィルタの形成について説明したが、ＣＭＯＳイメージセンサ、薄膜ＥＬ素子など他の電子デバイスへの適用が可能であることはいうまでもない。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
以上説明してきたように、本発明によれば、高精度で位置ずれのないカラーフィルタの形成が可能となるため、小型カメラなど、微細でかつ高感度の固体撮像装置の形成に有効である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の実施の形態１のカラーフィルタ製造装置の概念を示す図
【図２】同カラーフィルタ製造装置を示す図
【図３】同カラーフィルタ製造装置で用いられるノズルユニットの要部拡大図
【図４】同カラーフィルタ製造装置で用いられるノズルユニットと、カラーフィルタの形成される基板との対応を示す説明図
【図５】本発明の実施の形態１の装置で形成される固体撮像素子を示す断面図
【図６】本発明の実施の形態１の装置で形成される固体撮像素子を示す上面図
【図７】本発明の実施の形態１の装置を用いた固体撮像素子へのカラーフィルタの形成工程を示す断面図。
【符号の説明】
【００５３】
１      シリコン基板
２      ゲート酸化膜
３ａ    第１層多結晶シリコン膜
３ｂ    第２層多結晶シリコン膜
４      電極間絶縁膜
５      酸化シリコン膜（絶縁膜）
６      遮光膜
７      金属膜
１０    平坦化膜（ＢＰＳＧ膜）
３０    光電変換部
４０    電荷転送部
５０    カラーフィルタ
６０    マイクロレンズ
６１    平坦化膜
ＣＲ    カラーフィルタ形成領域
５０Ｒ，５０Ｇ，５０Ｂ  カラーフィルタ材
１００  ノズルユニット
１０１  基台
１０２  貯液タンク
１０３  注入量制御手段
１０４  注入ノズル
１１０  赤外線ランプ
１１１  アライメントマーク
１１２  アライメントマーク
１１３  受光手段
１１４  駆動手段
１１５  搬送ステージ
２００  位置調整手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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