(57)【要約】【課題】給電部材の撓み抵抗力を低下させるとともに引っ張り強度を向上させた圧電バイモルフ形アクチュエータの提供。【解決手段】圧電バイモルフ形アクチュエータを構成する給電部材１９を、第１および第２の導電シート２２，２３と、各導電シート２２，２３に装着され、各導電シート２２，２３を相互に離間させて固定する樹脂シート２１とから構成した。これにより、給電部材１９をシート状にすることができ、給電部材１９の厚み方向への寸法を小さくして撓み抵抗力を低下させることができるとともに、給電部材１９の幅方向への寸法を確保して引っ張り強度を十分なものとすることができる。【選択図】図２
2007166841.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属板の両面に圧電素子が装着され、前記圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータであって、
前記圧電素子の前記金属板と対向する面と反対側の面に設けられ、前記圧電素子に電圧を印加する電極と、
一端側が前記金属板および前記電極に接続され、他端側が電源に接続される給電部材とを有し、
前記給電部材は、一端側が前記電極に接続され、他端側が前記電源に接続される第１の導電シートと、
一端側が前記金属板に接続され、他端側が前記電源に接続される第２の導電シートと、
前記第１および第２の導電シートに装着され、前記第１および第２の導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとを備えたことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。
【請求項２】
請求項１記載の圧電バイモルフ形アクチュエータにおいて、前記第１および第２の導電シートからなる導電体を少なくとも２つ設け、当該各導電体と前記樹脂シートとを、当該樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着したことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。
【請求項３】
請求項１または２記載の圧電バイモルフ形アクチュエータにおいて、前記圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着したことを特徴とする圧電バイモルフ形アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータに係り、特に、監視カメラ等に装着されるワイパ装置や車載用メータなどの計器類の指針等を駆動するのに用いて好適な圧電バイモルフ形アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、電灯の柱や建築構造物の壁面等に設置される監視カメラにおいては、埃や雨滴等から監視が妨げられないようにするために、撮像レンズを保護する透明の保護カバーを払拭するワイパ装置を備えたものが知られている。この監視カメラに装着されるワイパ装置としては、アクチュエータとして電動モータを用いており、操作スイッチや雨滴センサ等からの入力信号に応じて電動モータを駆動し、電動モータに装着されたワイパブレードを連動させて保護カバーを払拭するようにしている。
【０００３】
また、車載用メータとしてのスピードメータにおいては、車速センサ等からの車速データを受けて所定の角度に回転駆動されるステッピングモータを用いたものが知られており、このステッピングモータの回転駆動によって、ステッピングモータの回転軸に装着された指針が、車速に応じて目盛板に印刷された所定の速度を指すようにしている。
【０００４】
このようなワイパ装置や車載用メータに用いられる電動モータやステッピングモータは、いずれも電磁式の駆動源であり、その構成部品としては、永久磁石やコイル、回転軸およびそれらを収容するケーシング等を備えており、重量が嵩むばかりかコストが増大するといった問題がある。
【０００５】
そこで、上記課題を解決すべく電磁式の駆動源（電磁モータ）を使用しない簡易構造のアクチュエータが、例えば、特許文献１に開示されている。この特許文献１に開示されたアクチュエータは、所謂、圧電バイモルフ形アクチュエータであり、このアクチュエータは、所定の大きさの回転抵抗力を有する回転軸に、圧電素子の端部を固定した構造を採っている。そして、アクチュエータの駆動においては、圧電素子に対してプラス側電圧およびマイナス側電圧をそれぞれ交番して印加することによって、振動するように変形駆動させており、この時に生じる回転軸への一方向への回転力の大きさを、回転軸の回転抵抗力の大きさよりも上回るように印加電圧を調整して、回転軸を一方向へ回転駆動させるようにしている。
【特許文献１】特開２００３−１０２１８４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１に係るアクチュエータにあっては、回転軸を中心に回転する圧電素子と電源（ドライバ）とがリード線等の配線（給電部材）を介して接続されているため、圧電素子の変形駆動力（振動力）に対して配線の撓み抵抗力が負荷されることになる。特に、圧電素子の変形駆動力によって回転される回転軸の回転トルクは小さく、このような配線の撓み抵抗力が回転軸の回転トルクを低下させたり、回転ムラを発生させたりする原因となっていた。
【０００７】
そこで、できる限り配線を極細化することにより、配線によって負荷される撓み抵抗力を低下させることも考えられるが、配線の極細化を優先させた構造にすると、所望の供給電力を圧電素子に供給できなかったり、配線の強度（引っ張り強度）が低下して配線接続の際に断線して作業性が低下したりする。このように配線を極細化することにより撓み抵抗力を低下させるには限界があり、アクチュエータの設計自由度が低いものとなっていた。
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、導電シートと樹脂シートとを張り合わせて給電部材を形成し、給電部材の撓み抵抗力を低下させるとともに引っ張り強度を向上させた圧電バイモルフ形アクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、金属板の両面に圧電素子が装着され、前記圧電素子に電圧を印加することで変形駆動される圧電バイモルフ形アクチュエータであって、前記圧電素子の前記金属板と対向する面と反対側の面に設けられ、前記圧電素子に電圧を印加する電極と、一端側が前記金属板および前記電極に接続され、他端側が電源に接続される給電部材とを有し、前記給電部材は、一端側が前記電極に接続され、他端側が前記電源に接続される第１の導電シートと、一端側が前記金属板に接続され、他端側が前記電源に接続される第２の導電シートと、前記第１および第２の導電シートに装着され、前記第１および第２の導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとを備えたことを特徴とする。
【００１０】
本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、前記第１および第２の導電シートからなる導電体を少なくとも２つ設け、当該各導電体と前記樹脂シートとを、当該樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着したことを特徴とする。
【００１１】
本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータは、前記圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着したことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明の圧電バイモルフ形アクチュエータによれば、給電部材を、第１および第２の導電シートと、各導電シートに装着され、各導電シートを相互に離間させて固定する樹脂シートとから構成したので、給電部材をシート状にすることができ、給電部材の厚み方向への寸法を小さくして撓み抵抗力を低下させることができるとともに、給電部材の幅方向への寸法を確保して引っ張り強度を十分なものとすることができる。
【００１３】
この場合、撓み抵抗力を低下させつつ所望の給電電力を供給できるように、第１および第２の導電シートからなる導電体を少なくとも２つ設け、各導電体と樹脂シートとを、樹脂シートが最外面に配置されるよう交互に積層して装着することもでき、また、圧電バイモルフ形アクチュエータの本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレードを装着することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づき詳細に説明する。図１は本発明の一実施の形態である圧電バイモルフ形アクチュエータの外観を示す斜視図であり、図２は図１における給電部材の斜視図を、図３は図２における給電部材の分解図をそれぞれ示し、図４および図５は、給電部材が接続された駆動体を一方側および他方側からそれぞれ見た斜視図を示している。
【００１５】
図１に示すように、圧電バイモルフ形アクチュエータ１０は、平板状のベース部材１１を有し、このベース部材１１の図中上方には、回転軸１２が回転自在に設けられている。回転軸１２の図中下端側は、ベース部材１１に設けられた軸受（図示せず）を介して回転自在に支持され、回転軸１２の図中上端側は、軸受けとしてのスチールボール（図示せず）を介して板ばね１３によって回転自在に支持されている。
【００１６】
板ばね１３の基端側は、ベース部材１１に一体的に設けられた支柱１４にねじ１５，１５によって固定されており、支柱１４の高さは回転軸１２の高さよりも若干低く設定されている。これにより、支柱１４に固定された板ばね１３の先端側が撓みつつ回転軸１２を支持するので、回転軸１２の軸方向に対して板ばね１３からの所定荷重（ばね力）が付与されるようになっている。そして、このばね力の付与によって、回転軸１２の回転方向に対して小さな抵抗力Ｆｓを発生するようになっている。
【００１７】
回転軸１２は、内部が中空となった筒状本体１２ａと、この筒状本体１２ａを図中上下方向から挟むようにして装着された一対の蓋体１２ｂとから構成されており、筒状本体１２ａには、径方向に対向するようにして軸方向に延びる一対のスリット１６が形成されている。そして、回転軸１２の筒状本体１２ａには、筒状本体１２ａに形成されたスリット１６に対して軸方向から挿入するようにして駆動体１７が装着されている。
【００１８】
駆動体１７は、金属板、圧電素子および電極皮膜を積層して形成され、圧電バイモルフ形アクチュエータ１０の本体を構成する駆動体本体１８と、この駆動体本体１８の圧電素子に所定の電圧を印加するためのシート状の給電部材１９とから構成されている。給電部材１９の一端側は、駆動体本体１８の金属板および電極皮膜に接続され、給電部材１９の他端側は、図示しない電源に接続されるようになっている。駆動体本体１８は、ワイパブレード２０ａが一体的に形成されたゴム等の樹脂材よりなるカバー２０によって覆われており、駆動体本体１８の図中下端側、つまり、駆動体本体１８の変形駆動方向に対する垂直部分に、被払拭対象物（図示せず）に付着した埃や雨滴等を払拭するためのワイパブレード２０ａが装着されるようになっている。
【００１９】
給電部材１９は、図２に示すようにシート状に形成されており、給電部材１９は、ポリアミド材（Co-Nh）よりなる樹脂シート２１、銅箔（Cu）よりなる第１の導電シート２２および第２の導電シート２３を相互に積層して、これらを例えば、フィルム状の接着剤によって接着するようにしている。
【００２０】
第１の導電シート２２の一端側端子２４は、第１の導電シート２２の他端側端子２５から２つに分岐して設けられ、この一端側端子２４，２４は、駆動体本体１８の最外面を形成する電極皮膜にそれぞれ接続されるようになっている。また、第１の導電シート２２の他端側端子２５は、図示しない電源に接続されるようになっている。第２の導電シート２３の一端側端子２６は、駆動体本体１８を構成する金属板に接続されるようになっており、第２の導電シート２３の他端側端子２７は、図示しない電源に接続されるようになっている。
【００２１】
給電部材１９を分解して詳細に説明すると、図３に示すように、樹脂シート２１は、上層樹脂シート２８，中層樹脂シート２９および下層樹脂シート３０より構成されている。そして、これらの各樹脂シート２８，２９および３０の間に、第１の導電シート２２ａおよび第２の導電シート２３ａからなる第１の導電体３１ａと、第１の導電シート２２ｂおよび第２の導電シート２３ｂからなる第２の導電体３１ｂとが、それぞれ各樹脂シート２８，２９および３０に対して交互に積層するようにして装着されている。
【００２２】
それぞれの樹脂シート２８，２９および３０は、例えば、１２．５μｍの厚みを有する薄膜状に形成されており、膜厚方向への変形に対して柔軟性に富むものとなっている。また、それぞれの第１および第２の導電シート２２ａ，２２ｂおよび２３ａ，２３ｂは、例えば、１８μｍの厚み（幅０．３ｍｍ）を有する薄膜状に形成されており、やはり、膜厚方向への変形に対して柔軟性に富むものとなっている。
【００２３】
ここで、樹脂シート２１は、第１の導電シート２２および第２の導電シート２３を、外部から絶縁する役割を果たすとともに、各導電シート２２，２３の変形に追従して各導電シート２２，２３を折損等の破損から保護する役割も果たしている。また、第１の導電シート２２と第２の導電シート２３とは、幅方向に所定間隔を持ってそれぞれ離間して設けられ、これらの各導電シート２２，２３は、樹脂シート２１によって、この状態を保持して固定されている。したがって、各導電シート２２，２３は、相互に接触して短絡することが防止される。
【００２４】
図４および図５に示すように、駆動体１７を構成する駆動体本体１８は、その中層をなす金属板３３と、この金属板３３の両面（図中上下面）に装着される第１および第２の板状の圧電素子３４ａ，３４ｂと、各圧電素子３４ａ，３４ｂの金属板３３と対向する面と反対側の面に装着される電極皮膜３５ａ，３５ｂとから構成されている。そして、金属板３３，圧電素子３４ａ，３４ｂおよび電極皮膜３５ａ，３５ｂは、それぞれ長手方向の寸法を異ならせており、金属板３３，圧電素子３４ａ，３４ｂおよび電極皮膜３５ａ，３５ｂの順で、段々と短くなる寸法に設定されている。
【００２５】
図４に示すように、給電部材１９を構成する第１の導電シート２２の一方側の一端側端子２４は、電極皮膜３５ａに対して、例えば、エポキシ系のバインダーに銀粉等を混練して形成された比較的抵抗値の小さな導電性接着剤Ｓによって固着されており、図５に示すように、給電部材１９を構成する第１の導電シート２２の他方側の一端側端子２４についても、電極皮膜３５ｂに対して同様に導電性接着剤Ｓによって固着されている。また、図５に示すように、給電部材１９を構成する第２の導電シート２３の一端側端子２６は、金属板３３の露出した表面部分に対して、導電性接着剤Ｓによって固着されている。そして、接続されたこれらの駆動体本体１８および給電部材１９は、それぞれの厚さ方向，幅方向が一致している。
【００２６】
ここで、図１に示すように、駆動体１７を回転軸１２に対して組み付けた状態において、駆動体本体１８と給電部材１９との接続部分、すなわち、電極皮膜３５ａ，３５ｂおよび金属板３３と一端側端子２４，２６との接着部分は、筒状本体１２ａの内部に収容されるようになっている。
【００２７】
次に、以上のように構成された本発明における一実施の形態の作動について、図６ないし図８を参照して説明する。図６は図１における圧電バイモルフ形アクチュエータを駆動するための駆動回路図を、図７は図１における圧電バイモルフ形アクチュエータへ印加される電圧波形図を、図８は図１における圧電バイモルフ形アクチュエータの作動状態を説明する説明図を、それぞれ示している。
【００２８】
図６に示すように、給電部材１９の他端側端子２５，２７は、交流電源ＰＳに接続されており、この交流電源ＰＳからは、図７に示すような鋸歯状の電圧が圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加されるようになっている。この鋸歯状の電圧の大小や圧電素子３４ａ，３４ｂに対する供給時間の長短は、図示しないコントローラによって制御されるようになっている。
【００２９】
図７において、鋸歯状の電圧Ｖがプラス側（＋側：図中上方）である場合には、図６の実線で示すように、上側の圧電素子３４ａが縮み、下側の圧電素子３４ｂが伸びるので、駆動体本体１８は上方に反るようにして変形駆動され、一方、電圧Ｖがマイナス側（−側：図中下方）である場合には、図６の破線で示すように上側の圧電素子３４ａが伸びて、下側の圧電素子３４ｂが縮むので、駆動体本体１８は下方に反るようにして変形駆動される。
【００３０】
コントローラによって圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧を、図７のような実線で示す鋸歯状に制御すると、まず、時間ｔ０からｔ１においては、電圧Ｖがプラス側で所定の勾配でゆっくりと圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加される（Ａ→Ｂ）。すると、図８（ａ）に示すように、駆動体本体１８が基準位置Ｐ０（無印加状態）から図中上方へ矢印に示すようにゆっくりと変形駆動される。このとき、駆動体本体１８の変形駆動によって駆動体本体１８の基端側、つまり、回転軸１２には駆動体本体１８の慣性力Ｆｌが図中矢印の方向に作用するが、この慣性力Ｆｌは回転軸１２の抵抗力Ｆｓよりも小さく（Ｆｌ＜Ｆｓ）、回転軸１２は回転しない。したがって、給電部材１９は撓むことなく静止した状態が維持される。
【００３１】
次いで、時間ｔ１において、圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧Ｖを、プラス側からマイナス側へ急激に変化させると、駆動体本体１８が図８（ａ）に示す状態から図８（ｂ）に示す状態に矢印の方向に急激に、かつ、短時間で変形駆動される（Ｂ→Ｃ）。このとき、駆動体本体１８の変形駆動によって、回転軸１２には駆動体本体１８の慣性力Ｆｈが図中矢印の方向に作用する。この慣性力Ｆｈは回転軸１２の抵抗力Ｆｓよりも大きいため（Ｆｈ＞Ｆｓ）、回転軸１２は慣性力Ｆｈの方向へ回転する。この慣性力Ｆｈによる回転軸１２の回転によって駆動体本体１８は、基準位置Ｐ０から図中一点鎖線で示す第１移動位置Ｐ１へ回転する。
【００３２】
このとき、給電部材１９は、回転軸１２の基準位置Ｐ０から第１移動位置Ｐ１への回転に追従して撓むように変形するが、給電部材１９の厚み寸法は接着剤の厚み寸法を含めても７７．５μｍ（０．０７７５ｍｍ）と極めて薄いため、給電部材１９は柔軟に撓むことができる。このような給電部材１９の撓み変形による撓み抵抗力Ｆｔは、慣性力Ｆｈに対して無視することができるので（Ｆｔ≪Ｆｈ）、駆動体本体１８の変形駆動による回転軸１２の回転トルクは低下することなく、回転ムラなどが発生することもない。なお、給電部材１９による撓み抵抗力Ｆｔは、回転軸１２の抵抗力Ｆｓよりもかなり小さいものとなっている（Ｆｔ≪Ｆｓ）。
【００３３】
時間ｔ１からｔ３においては、電圧Ｖがマイナス側からプラス側へ、所定の勾配でゆっくりと圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加される（Ｃ→Ｄ）。すると、図８（ｃ）に示すように、駆動体本体１８が図中上方へ矢印に示すようにゆっくりと変形駆動される。このとき、駆動体本体１８の変形駆動によって駆動体本体１８の基端側、つまり、回転軸１２には、図８（ａ）の場合と同様に駆動体本体１８の慣性力Ｆｌが図中矢印の方向に作用するが、この慣性力Ｆｌは回転軸１２の抵抗力Ｆｓよりも小さく（Ｆｌ＜Ｆｓ）、回転軸１２は回転しない。したがって、給電部材１９は撓むことなく、図８（ｂ）の状態が維持される。
【００３４】
次いで、時間ｔ３において、圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧Ｖを、プラス側からマイナス側へ急激に変化させると、駆動体本体１８が図８（ｃ）に示す状態から図８（ｄ）に示す状態に矢印の方向に急激に、かつ、短時間で変形駆動される（Ｄ→Ｅ）。このとき、駆動体本体１８の変形駆動によって、回転軸１２には駆動体本体１８の慣性力Ｆｈが図中矢印の方向に作用し、図８（ｂ）の場合と同様に回転軸１２が回転して駆動体本体１８は、第１移動位置Ｐ１から図中一点鎖線で示す第２移動位置Ｐ２へ回転する。この場合においても、給電部材１９は柔軟に撓むことができるため、駆動体本体１８の変形駆動による回転軸１２の回転トルクは低下することなく、回転ムラなどが発生することもない。
【００３５】
その後、圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧Ｖを、Ｃ→Ｄ，Ｄ→Ｅ，Ｃ→Ｄ，Ｄ→Ｅ・・・のように繰り返し変化させて制御することにより、駆動体本体１８は、図８（ｄ）の一点鎖線に示すように、第２移動位置Ｐ２から所定の角度で第３移動位置Ｐ３，第４移動位置Ｐ４，第５移動位置Ｐ５・・・のように一方向へ回転する。これに合わせて、給電部材１９は、図８（ｄ）中の破線１９’に示すように柔軟に撓むことができ、駆動体本体１８の回転領域の全域で、Ｆｔ≪Ｆｈ，Ｆｔ≪Ｆｓの関係を維持することができる。
【００３６】
これとは反対に、駆動体本体１８を図中下方へ回転、つまり、第５移動位置Ｐ５側から基準位置Ｐ０側へ回転（他方向へ回転）させるには、図７の破線で示すような鋸歯状の電圧Ｖを、圧電素子３４ａ，３４ｂに印加するようにすれば良い。すなわち、時間ｔ０において、駆動体本体１８が第５移動位置Ｐ５（基準位置となる）にあるとすると、時間ｔ０からｔ１においてＡ→Ｃのように電圧Ｖを圧電素子３４ａ，３４ｂに印加し、時間ｔ１においてＣ→Ｂのように電圧Ｖを圧電素子３４ａ，３４ｂに印加し、時間ｔ１からｔ３においてＢ→Ｅのように電圧Ｖを圧電素子３４ａ，３４ｂに印加し、さらに、時間ｔ３においてＥ→Ｄのように電圧Ｖを圧電素子３４ａ，３４ｂに印加するようにすれば良い。
【００３７】
その後、圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧Ｖを、Ｂ→Ｅ，Ｅ→Ｄ，Ｂ→Ｅ，Ｅ→Ｄ・・・のように繰り返し変化させて制御することにより、駆動体本体１８は、図８（ｄ）に示すように、第３移動位置Ｐ３から所定の角度で第２移動位置Ｐ２，第１移動位置Ｐ１，基準位置Ｐ０のように他方向へ回転する。
【００３８】
このように、駆動体本体１８を構成する圧電素子３４ａ，３４ｂに対して印加する電圧Ｖを制御することによって、駆動体本体１８の変形駆動によって回転軸１２が所定の回転領域で回転し、ひいては、駆動体本体１８がワイパブレード２０ａを所定の払拭範囲で揺動させて、ワイパブレード２０ａを払拭動作させることができる。
【００３９】
以上のように構成した本発明における一実施の形態によれば、給電部材１９を、第１および第２の導電シート２２，２３と、各導電シート２２，２３に装着され、各導電シート２２，２３を相互に離間させて固定する樹脂シート２１とから構成したので、給電部材１９をシート状にすることができ、給電部材１９の厚み方向への寸法を小さくして撓み抵抗力を低下させることができるとともに、給電部材１９の幅方向への寸法を確保して引っ張り強度を十分なものとすることができる。
【００４０】
したがって、駆動体本体１８の変形駆動による回転軸１２における回転トルクの低下を抑えることができるので、回転ムラ等が発生せずワイパブレード２０ａによる払拭力の向上が図れるとともに、省電力化を図ることができる。また、給電部材１９を断線しにくくできるので、配線接続作業の作業性を向上させることができ、さらには、駆動体本体１８の変形駆動によって給電部材１９が断線することを未然に防ぎ、圧電バイモルフ形アクチュエータ１０の長寿命化が図れる。
【００４１】
さらに、給電部材１９を、撓み抵抗力Ｆｔを低下させつつ所望の給電電力を供給できるように、第１および第２の導電シート２２，２３からなる２つの導電体３１ａ，３１ｂを設け、各導電体３１ａ，３１ｂと樹脂シート２８，２９および３０とを、樹脂シート２８，３０が最外面に配置されるよう交互に積層して装着したので、給電部材１９の引っ張り強度をより向上させることができる。なお、導電体の積層数（上記実施の形態では２つ）は、給電部材１９を装着する圧電バイモルフ形アクチュエータ１０の仕様（回転トルク特性等）に応じて、給電部材１９の撓み抵抗力Ｆｔが小さい範囲で適宜設定すればよいものである。
【００４２】
また、圧電バイモルフ形アクチュエータ１０の本体における変形駆動方向に対する垂直部に、ワイパブレード２０ａを装着したので、従前のような電磁モータを用いるものに比してワイパ装置を大幅に小型化でき、ひいては、監視カメラの小型化を実現することができる。
【００４３】
さらに、給電部材１９を構成する第１および第２の導電シート２２，２３の長さ寸法を異ならせたので、駆動体本体１８に対して給電部材１９を誤組み付けすることなく正確に接続することができ、作業性の向上を図ることができる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。例えば、上記実施の形態においては、圧電バイモルフ形アクチュエータ１０を、監視カメラのワイパ装置を駆動するアクチュエータとして用いたものを示したが、本発明はこれに限らず、車載用メータなどの機器類における指針や、時計の指針等を駆動するアクチュエータとしても用いることができる。
【００４５】
また、上記実施の形態においては、駆動体本体１８と給電部材１９との接続に、導電性接着剤Ｓを用いたものを示したが、本発明はこれに限らず、半田等の他の接着手段を用いて接続するようにしても構わない。
【００４６】
さらに、上記実施の形態においては、給電部材１９を構成する第１および第２の導電シート２２，２３の長さ寸法を異ならせて、駆動体本体１８に対する給電部材１９の誤組み付けを防止するようにしたものを示したが、本発明はこれに限らず、第１および第２の導電シート２２，２３に形成される電極の形状を、例えば、三角形や四角形，半楕円形等にして駆動体本体１８に対する給電部材１９の誤組み付けを防止するようにしても良く、また、各電極に（＋），（−）なる標記をシルク印刷によって施すようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施の形態である圧電バイモルフ形アクチュエータの外観を示す斜視図である。
【図２】図１における給電部材の斜視図である。
【図３】図２における給電部材の分解図である。
【図４】給電部材が接続された駆動体を一方側から見た斜視図である。
【図５】給電部材が接続された駆動体を他方側から見た斜視図である。
【図６】図１における圧電バイモルフ形アクチュエータを駆動するための駆動回路図である。
【図７】図１における圧電バイモルフ形アクチュエータへ印加される電圧波形図である。
【図８】図１における圧電バイモルフ形アクチュエータの作動状態を説明する説明図である。
【符号の説明】
【００４８】
１０    圧電バイモルフ形アクチュエータ
１１    ベース部材
１２    回転軸
１２ａ    筒状本体
１２ｂ    蓋体
１３    板ばね
１４    支柱
１５    ねじ
１６    スリット
１７    駆動体
１８    駆動体本体（本体）
１９    給電部材
２０    カバー
２０ａ    ワイパブレード
２１    樹脂シート
２２    第１の導電シート
２３    第２の導電シート
２４    一端側端子
２５    他端側端子
２６    一端側端子
２７    他端側端子
２８    上層樹脂シート
２９    中層樹脂シート
３０    下層樹脂シート
３１ａ    第１の導電体（導電体）
３１ｂ    第２の導電体（導電体）
３３    金属板
３４ａ    圧電素子
３４ｂ    圧電素子
３５ａ    電極皮膜（電極）
３５ｂ    電極皮膜（電極）
ＰＳ    交流電源（電源）
Ｓ    導電性接着剤
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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