(57)【要約】【課題】形状記憶合金から成るワイヤの収縮を利用してオリフィスを封止するようにした小型バルブにおいて、形状記憶合金から成るワイヤの寿命を長くする。【解決手段】小型バルブ１は、オリフィス２５を有する固定構造物２と、固定構造物２に対して可動自在な可動構造体３と、形状記憶合金から成るワイヤ４と、ワイヤ４にバイアスの引っ張り応力を付与するバイアス弾性体５とを備える。ワイヤ４は、バイアス弾性体５に係合され、第１電極６と第２電極７によって保持されている。また、可動構造体３の突出部３３がバイアス弾性体５に係合されている。第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、ワイヤ４が加熱されて収縮し、バイアス弾性体５が変形することにより可動構造体３が移動して、オリフィス２５が封止される。オリフィス２５が封止されているときにワイヤ４に働く応力は、バイアス弾性体５が変形することにより低減される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
オリフィスを有する筒形状の固定構造物と、前記固定構造物に内挿されて可動自在に前記オリフィスを封止する可動構造体とを備える小型バルブにおいて、
通電用の第１電極と第２電極とによって保持された形状記憶合金から成るワイヤと、
前記ワイヤに対して、前記ワイヤが収縮するときの応力を緩和するバイアスの引っ張り応力を付与するバイアス弾性体と、を備え、
前記バイアス弾性体とワイヤが係合してなり、前記可動構造体が前記バイアス弾性体の変形によって可動するように設けられてなり、
前記第１電極と第２電極とを介して前記ワイヤに通電し、前記ワイヤを加熱して形状記憶合金を収縮させて前記バイアス弾性体を変形させることにより、前記可動構造体を可動させて前記オリフィスを封止するようにしたことを特徴とする小型バルブ。
【請求項２】
前記オリフィスを封止するように前記可動構造体を押圧する封止用弾性体を備えたことを特徴とする請求項１に記載の小型バルブ。
【請求項３】
前記固定構造物に、前記可動構造体が前記オリフィスと反対側に移動するのを規制するように前記可動構造体の一端を係止する停止部を備えたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の小型バルブ。
【請求項４】
前記バイアス弾性体とワイヤが２箇所で係合してなることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の小型バルブ。
【請求項５】
前記固定構造物は、分割される２つの片を接合してなるものであり、
一方の片に前記可動構造体、ワイヤ、及びバイアス弾性体を配設し、次いで、他方の片を一方の片に接合することにより構成されることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の小型バルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、形状記憶合金を使用した気体や液体などの各種流体を制御する小型バルブに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の流体調整を行う小型バルブとして、例えば、特許文献１に示されるように、オリフィスを有する筒形状の固定構造物内に可動構造体を内挿すると共に、形状記憶合金から成るワイヤを可動構造体に係合させ、ワイヤを通電過熱して収縮させて、可動構造体をワイヤにより引っ張ってオリフィスに押圧することにより、オリフィスを封止するようにした小型バルブが知られている。
【特許文献１】特開平１１−１５３２３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、形状記憶合金は、通常、ある温度以上の高温になると予め形状記憶された収縮形状となり、そして、初期の温度の低温に戻れば、元の形状に回復する性質を持っている。しかしながら、形状記憶合金は、過剰な応力（過負荷）が加えられると、元の形状に回復しなくなり、回復形状の再現性が劣化する。
【０００４】
上述した従来の小型バルブにおいては、オリフィスの密閉性を維持するために、可動構造体がオリフィスに押圧された後も、形状記憶合金から成るワイヤの通電加熱を継続して、可動構造体のオリフィスへの押圧を持続する必要がある。しかしながら、このように可動構造体のオリフィスへの押圧を持続した状態では、可動構造体がそれ以上移動できないため、ワイヤは、収縮しようとするにも係わらず収縮することができずに、過剰な応力（過負荷）が加えられた状態となる。その結果、形状記憶合金から成るワイヤは、回復形状の再現性が劣化して、寿命が短くなる可能性があった。
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、形状記憶合金から成るワイヤの収縮を利用して可動構造体を可動させることによりオリフィスを封止するようにした小型バルブにおいて、形状記憶合金から成るワイヤの寿命を長くすることができる小型バルブを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、オリフィスを有する筒形状の固定構造物と、固定構造物に内挿されて可動自在にオリフィスを封止する可動構造体とを備える小型バルブにおいて、通電用の第１電極と第２電極とによって保持された形状記憶合金から成るワイヤと、ワイヤに対して、ワイヤが収縮するときの応力を緩和するバイアスの引っ張り応力を付与するバイアス弾性体と、を備え、バイアス弾性体とワイヤが係合してなり、可動構造体がバイアス弾性体の変形によって可動するように設けられてなり、第１電極と第２電極とを介してワイヤに通電し、ワイヤを加熱して形状記憶合金を収縮させてバイアス弾性体を変形させることにより、可動構造体を可動させてオリフィスを封止するようにしたものである。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の小型バルブにおいて、オリフィスを封止するように可動構造体を押圧する封止用弾性体を備えたものである。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項１又は請求項２に記載の小型バルブにおいて、固定構造物に、可動構造体がオリフィスと反対側に移動するのを規制するように可動構造体の一端を係止する停止部を備えたものである。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の小型バルブにおいて、バイアス弾性体とワイヤが２箇所で係合してなるものである。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項１乃至請求項４のいずれか一項に記載の小型バルブにおいて、固定構造物は、分割される２つの片を接合してなるものであり、一方の片に可動構造体、ワイヤ、及びバイアス弾性体を配設し、次いで、他方の片を一方の片に接合することにより構成されるものである。
【発明の効果】
【００１１】
請求項１の発明によれば、ワイヤが高温状態になって可動構造体がオリフィスを封止しているときにワイヤに働く応力が低減されるため、ワイヤの寿命を長くすることができる。
【００１２】
請求項２の発明によれば、可動構造体がオリフィスを封止するときの動作がスムーズとなる。
【００１３】
請求項３の発明によれば、ワイヤが低温状態にあって可動構造体がオリフィスの封止を解除しているときにワイヤに働く応力が低減されるため、ワイヤの寿命を長くすることができる。
【００１４】
請求項４の発明によれば、ワイヤのバイアス弾性体との係合箇所にかかる荷重を低減することができ、ワイヤの寿命を長くすることができる。
【００１５】
請求項５の発明によれば、小型バルブを容易に組立てることができ、生産性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を具体化した実施形態による小型バルブについて図面を参照して説明する。
＜第１の実施形態＞
まず、第１の実施形態について説明する。図１（ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）は、第１の実施形態に係る小型バルブの構成を示す。小型バルブ１は、気体や液体などの各種流体を制御するものであり、固定構造物２と、固定構造物２に対して可動自在に設けられた可動構造体３と、可動構造体３を可動させるためのワイヤ４及びバイアス弾性体５と、通電用の第１電極６及び第２電極７とを備える。
【００１７】
固定構造物２は、端壁部２１と、端壁部２１から連続する周壁部２２と、周壁部２２から張出された張出部２３、２４とを有し、内部が中空で一方の側（端壁部２１と反対側）が開口された筒形状をしており、端壁部２１に、気体や液体などの各種流体を流通させるための小径の孔であるオリフィス２５が形成されている。固定構造物２は、樹脂などの非導電性材料から成っている。張出部２３には、第１電極６が固定され、張出部２４には、第２電極７が固定されている。
【００１８】
可動構造体３は、固定構造物２のオリフィス２５を封止、封止解除するために可動されるものであり、略真直ぐに伸びる軸部３１と、軸部３１の一端に設けられた頭部３２と、軸部３１の外周面に突出する突出部３３とを有し、軸部３１が、固定構造物２の周壁部２２に囲まれた空間内に可動自在に内挿されている。頭部３２の径は、軸部３１の径よりも大きく形成されている。可動構造体３は、樹脂などの非導電性材料から成っている。
【００１９】
ワイヤ４は、形状記憶合金から成っており、両端が各々第１電極６及び第２電極７によって保持されていると共に、略中間箇所で屈曲するように、略中間箇所がバイアス弾性体５に係合されている。ワイヤ４を成す形状記憶合金は、温度が上がると収縮し、温度が下がると伸長する性質を有するもの（例えばＴｉ−Ｎｉ系形状記憶合金）を用いている。従って、ワイヤ４は、第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、加熱されて高温状態になって収縮しようとし、ワイヤ４への通電を停止すると、冷却されて低温状態（常温状態）に戻って伸長しようとする。
【００２０】
バイアス弾性体５は、螺旋状のバネから成っており、固定構造物２の周壁部２２と可動構造体３の軸部３１との間であって、固定構造物２の端壁部２１と可動構造体３の頭部２２との間に設けられており、固定構造物２の周壁部２２に内接している。また、バイアス弾性体５は、可動構造体３の頭部２２付近の箇所にワイヤ４が係合されており、ワイヤ４の引っ張り応力により、固定構造物２の端壁部２１とワイヤ４との間で圧縮状態となっている。つまり、バイアス弾性体５は、バイアス弾性体５の弾性復元力により、ワイヤ４に対して、ワイヤ４が収縮するときの応力を緩和するバイアスの引っ張り応力を付与している。
【００２１】
このように設けられたバイアス弾性体５は、ワイヤ４の引っ張り応力とバイアス弾性体５の弾性復元力とが釣合った状態に保持される。従って、バイアス弾性体５は、ワイヤ４が高温状態になって収縮しようとする力が発生すると（ワイヤ４の引っ張り応力が大きくなると）、圧縮変形し、ワイヤ４が常温状態に戻って伸長しようとする力が発生すると（ワイヤ４の引っ張り応力が小さくなると）、伸展変形する。
【００２２】
上記可動構造体３は、このようなバイアス弾性体５の変形によって、可動されるようになっている。つまり、可動構造体３は、バイアス弾性体５が圧縮変形すると、バイアス弾性体５により突出部３３が押されることによって、オリフィス２５に近づく方向に移動し、バイアス弾性体５が伸展変形すると、バイアス弾性体５により頭部３２が押されることによって、オリフィス２５から遠ざかる方向に移動する。
【００２３】
次に、上記構成の小型バルブ１の動作について説明する。まず、ワイヤ４が常温状態にあるとき、可動構造体３の軸部３１は、固定構造物２の端壁部２１から離反しており、従って、オリフィス２５は、封止されていない状態にある（図１（ａ）参照）。
【００２４】
そして、第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、ワイヤ４が加熱されて高温状態になって、ワイヤ４に収縮しようとする力が発生し、これにより、ワイヤ４が収縮すると共にバイアス弾性体５が圧縮変形する。バイアス弾性体５が圧縮変形することにより、可動構造体３の突出部３３がバイアス弾性体５に押されて、可動構造体３がオリフィス２５に近づく方向に移動し、可動構造体３の軸部３１が固定構造物２の端壁部２１に押し付けられてオリフィス２５が封止された状態になる（図１（ｄ）参照）。
【００２５】
このようにオリフィス２５が封止された状態では、可動構造体３は、それ以上移動できないが、ワイヤ４は、バイアス弾性体５がさらに圧縮変形することが可能であるため、さらに収縮することが可能である。従って、オリフィス２５が封止された後、オリフィス２５の封止状態を維持するためにワイヤ４への通電を継続すると、ワイヤ４は、バイアス弾性体５がさらに圧縮変形することによって、さらに収縮することができ、これにより、ワイヤ４に働く応力が低減される。
【００２６】
また、ワイヤ４への通電を停止すると、ワイヤ４が冷却されて常温状態に戻って、ワイヤ４に伸長しようとする力が発生し、これにより、ワイヤ４が伸長すると共にバイアス弾性体５が伸展変形する。バイアス弾性体５が伸展変形することにより、可動構造体３の頭部３２がバイアス弾性体５に押されて、可動構造体３がオリフィス２５から遠ざかる方向に移動し、可動構造体３の軸部３１が固定構造物２の端壁部２１から離反し、オリフィス２５の封止が解除された状態になる（図１（ａ）参照）。
【００２７】
このように、本実施形態の小型バルブ１によれば、第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電することにより、ワイヤ４が収縮してバイアス弾性体５が圧縮変形し、これにより、可動構造体３が可動されてオリフィス２５が封止される。そして、オリフィス２５が封止された後、ワイヤ４は、バイアス弾性体５がさらに変形することによって、さらに収縮することができる。従って、オリフィス２５が封止されているとき、ワイヤ４に働く応力は、バイアス弾性体５が変形することにより低減され、ワイヤ４に過剰な応力（過負荷）が加えられることがなく、これにより、ワイヤ４の寿命を長くすることができる。
【００２８】
なお、上記実施形態において、可動構造体３に突出部３３を設けずに、可動構造体３の一部をバイアス弾性体５の一部に接着することにより、バイアス弾性体５の変形に応じて可動構造体３が可動するようにしてもよい。また、バイアス弾性体５は、ワイヤ４が収縮したときに伸展変形することにより、可動構造体３を可動させてオリフィス２５を封止するようになっていてもよい。
【００２９】
＜第２の実施形態＞
次に、第２の実施形態について説明する。図２（ａ）（ｂ）は、第２の実施形態に係る小型バルブの構成を示す。本実施形態の小型バルブ１は、上記第１の実施形態の構成に加え、封止用弾性体８を備えている。
【００３０】
本実施形態では、固定構造物２は、上記第１の実施形態と同様の端壁部２１、周壁部２２、張出部２３、２４、オリフィス２５に加え、後端壁部２６と、後周壁部２７と、後張出部２８、２９とを有し、内部が中空で張出部２３と後張出部２８との間及び張出部２４と後張出部２９との間が開口された筒形状をしている。また、固定構造物２は、上記第１の実施形態と同様に、樹脂などの非導電性材料から成っており、張出部２３には、第１電極６が固定され、張出部２４には、第２電極７が固定されている。
【００３１】
封止用弾性体８は、螺旋状のバネから成っており、固定構造物２内に内挿され、固定構造物２の後端壁部２６と可動構造体３の頭部３２との間に圧縮状態で設けられており、固定構造物２の後周壁部２７に内接している。つまり、封止用弾性体８は、封止用弾性体５の弾性復元力により、オリフィス２５を封止するように可動構造体３を押圧している。本実施形態における他の構成については、上記第１の実施形態と同様である。
【００３２】
本実施形態の小型バルブ１では、可動構造体３は、ワイヤ４の引っ張り応力とバイアス弾性体５の弾性復元力と封止用弾性体８の弾性復元力とが釣合った状態に保持される。ワイヤ４が常温状態（低温状態）にあるときには、可動構造体３は、固定構造物２の端壁部２１から離反した位置に保持されており、オリフィス２５は、封止されていない状態にある（図２（ａ）参照）。
【００３３】
そして、第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、ワイヤ４が高温状態になって収縮することにより上記第１の実施形態と同様にバイアス弾性体５が圧縮変形し、これにより、バイアス弾性体５が可動構造体３の突出部３３を押す力と、封止用弾性体８が可動構造体３の頭部３２を押す力とによって、可動構造体３がオリフィス２５に近づく方向に移動し、可動構造体３の軸部３１が固定構造物２の端壁部２１に押し付けられてオリフィス２５が封止された状態になる（図２（ｂ）参照）。
【００３４】
また、ワイヤ４への通電を停止すると、ワイヤ４が常温状態に戻って伸長することにより上記第１の実施形態と同様にバイアス弾性体５が伸展変形し、これにより、可動構造体３が封止用弾性体８を圧縮変形させつつオリフィス２５から遠ざかる方向に移動し、可動構造体３の軸部３１が固定構造物２の端壁部２１から離反し、オリフィス２５の封止が解除された状態になる（図２（ａ）参照）。
【００３５】
このように、本実施形態の小型バルブ１によれば、可動構造体３は、バイアス弾性体５に押されることに加え、封止用弾性体８に押されることにより、オリフィス２５に近づく方向に移動してオリフィス２５を封止する。従って、本実施形態の小型バルブ１によれば、上記第1の実施形態と同様の作用、効果に加え、オリフィス２５を封止するときの可動構造体３の動作がスムーズとなる。
【００３６】
なお、上記実施形態において、封止用弾性体８は、固定構造物２内に内挿されて、固定構造物２の後端壁部２６と可動構造体３の頭部３２との間に圧縮状態で設けられるものに限られず、可動構造体３をオリフィス２５に向けて押圧するようになっていれば、どのような構造であってもよく、また、どのように設けられていてもよい。
【００３７】
＜第３の実施形態＞
次に、第３の実施形態について説明する。図３は、第３の実施形態に係る小型バルブの構成を示す。本実施形態の小型バルブ１は、固定構造物２の構成が上記第２の実施形態の構成と異なっている。
【００３８】
本実施形態では、固定構造物２は、可動構造体３が所定位置よりもオリフィス２５と反対側に移動するのを規制する停止部９を備えている。停止部９は、固定構造物２の後周壁部２７に形成された段差から成っており、可動構造体３の頭部３２（すなわち可動構造体３２の一端）を係止することにより、可動構造体３がそれ以上オリフィス２５と反対側に移動するのを規制するようになっている。本実施形態における他の構成については、上記第２の実施形態と同様である。
【００３９】
本実施形態の小型バルブ１では、ワイヤ４が常温状態（低温状態）にあるときには、可動構造体３は、バイアス弾性体５の弾性復元力により、停止部９に押し付けられた状態に保持されている。このとき、可動構造体３は、固定構造物２の端壁部２１から離反した位置に保持されており、オリフィス２５は、封止されていない状態にある（図３参照）。そして、第１電極６と第２電極７を介してワイヤ４に通電すると、上記第２の実施形態と同様にオリフィス２５が封止された状態になり、また、ワイヤ４への通電を停止すると、上記第２の実施形態と同様にオリフィス２５の封止が解除された状態になる。
【００４０】
本実施形態の小型バルブ１によれば、ワイヤ４が常温状態にあってオリフィス２５の封止が解除されているとき、可動構造体３が停止部９により係止されてそれ以上オリフィス２５と反対側に移動できないことにより、バイアス弾性体５のそれ以上の伸展変形が抑えられ、これにより、ワイヤ４がバイアス弾性体５から受ける荷重が低減され、ワイヤ４に働く応力が低減される。従って、本実施形態の小型バルブ１によれば、上記第２の実施形態と同様の作用、効果に加え、ワイヤ４が常温状態にあってオリフィス２５の封止を解除しているときに、ワイヤ４に過剰な応力（過負荷）が加えられることがなく、これにより、ワイヤ４の寿命を長くすることができる。
【００４１】
なお、上記実施形態において、停止部９は、固定構造物２の後周壁部２７に形成された段差から成るものや、可動構造体３の頭部３２を係止するものに限られず、可動構造体３が所定位置よりもオリフィス２５と反対側に移動するのを規制するようになっていれば、どのような構造であってもよい。
【００４２】
＜第４の実施形態＞
次に、第４の実施形態について説明する。図４（ａ）（ｂ）（ｃ）は、第４の実施形態に係る小型バルブの構成を示す。本実施形態の小型バルブ１は、ワイヤ４とバイアス弾性体５との係合構造が上記第３の実施形態の構成と異なっている。
【００４３】
本実施形態では、バイアス弾性体５とワイヤ４が２箇所で係合している。可動構造体３の軸部３１は、バイアス弾性体５とワイヤ４が２箇所で係合できるように、凹部３５を有している。本実施形態における他の構成については、上記第３の実施形態と同様である。
【００４４】
本実施形態の小型バルブ１によれば、ワイヤ４がバイアス弾性体５と２箇所で係合しているため、ワイヤ４がバイアス弾性体５から受ける荷重が２箇所に分散される。従って、本実施形態の小型バルブ１によれば、上記第３の実施形態と同様の作用、効果に加え、ワイヤ４のバイアス弾性体５との係合箇所にかかる荷重を低減することができ、ワイヤ４の寿命を長くすることができる。
【００４５】
＜第５の実施形態＞
次に、第５の実施形態について説明する。図５（ａ）〜（ｉ）は、第５の実施形態に係る小型バルブの組立て方法を示す。本実施形態では、固定構造物２は、分割される２つの片２ａ、２ｂ（図５（ｇ）（ｈ）（ｉ）参照）を接合してなるものである。本実施形態における他の構成については、上記第４の実施形態と同様である。
【００４６】
固定構造物２の一方の片２ａは、固定構造物２の端壁部２１、周壁部２２の一部、張出部２３、２４、オリフィス２５、後端壁部２６、後周壁部２７の一部、及び後張出部２８、２９を成しており、可動構造体３、ワイヤ４、バイアス弾性体５、及び封止用弾性体８を収納するための開放された収納空間を有している。また、固定構造物２の他方の片２ｂは、固定構造物２の周壁部２２の残りの一部、及び後周壁部２７の残りの一部を成しており、略平板状をしている。これら一方の片２ａ及び他方の片２ｂは、一方の片２ａの収納空間を他方の片２ｂで覆うように一方の片２ａに他方の片２ｂを接合することにより、固定構造物２となる。
【００４７】
本実施形態の小型バルブ１は、以下のようにして組立てられる。まず、固定構造物２の一方の片２ａを準備し（図５（ａ）（ｂ）（ｃ）参照）、一方の片２ａの張出部２３、２４に第１電極６及び第２電極７を取付け、一方の片２ａの収納空間に可動構造体３、ワイヤ４、バイアス弾性体５、及び封止用弾性体８を配設する（図５（ｄ）（ｅ）（ｆ）参照）。次いで、一方の片２ａの収納空間を他方の片２ｂで覆うように、他方の片２ｂを一方の片２ａに接合する（図５（ｇ）（ｈ）（ｉ）参照）。これにより、小型バルブ１が完成する。本実施形態によれば、小型バルブ１を容易に組立てることができ、生産性が向上する。
【００４８】
なお、上記実施形態において、固定構造物２は、端壁部２１、周壁部２２、及び張出部２３、２４を成す部分と、後端壁部２６、後周壁部２７、及び後張出部２８、２９を成す部分の２つの片に分割されるものであってもよく、また、可動構造体３の可動方向と平行でオリフィス２５を通るラインを中心にして２つの片に分割されるものであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】（ａ）は本発明の第１の実施形態に係る小型バルブのオリフィスを封止していないときの断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線断面図、（ｃ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図、（ｄ）はオリフィスを封止しているときの断面図。
【図２】（ａ）は本発明の第２の実施形態に係る小型バルブのオリフィスを封止していないときの断面図、（ｂ）はオリフィスを封止しているときの断面図。
【図３】本発明の第３の実施形態に係る小型バルブのオリフィスを封止していないときの断面図。
【図４】（ａ）は本発明の第４の実施形態に係る小型バルブのオリフィスを封止していないときの断面図、（ｂ）は同オリフィスのバイアス弾性体とワイヤとの係合構造を示す要部拡大図、（ｃ）は（ｂ）のＣ−Ｃ線断面図。
【図５】同小型バルブの組み立て方法を示す図であり、（ａ）は固定構造物の一方の片に部品を配設していない状態の平面図、（ｂ）は同側面図、（ｃ）は同断面図、（ｄ）は固定構造物の一方の片に部品を配設した状態の平面図、（ｅ）は同側面図、（ｆ）は同断面図、（ｇ）は固定構造物の一方の片に部品を配設して他方の片を接合した状態の平面図、（ｈ）は同側面図、（ｉ）は同断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１    小型バルブ
２    固定構造物
２ａ    第１の片
２ｂ    第２の片
３    可動構造体
４    ワイヤ
５    バイアス弾性体
６    第１電極
７    第２電極
８    封止用弾性体
９    停止部
２５    オリフィス
【図１】
2007315529.tif 000003
【図２】
2007315529.tif 000004
【図３】
2007315529.tif 000005
【図４】
2007315529.tif 000006
【図５】
2007315529.tif 000007