(57)【要約】 【課題】  実用上の問題を発生させることなく装置設計の小型化および駆動制御系の設計簡略化が可能な、配管や配線による拘束がない油圧発生装置の提供。【解決手段】  リザーバタンクと超磁歪式油圧ポンプと電磁切換弁を有する油圧発生ユニットと、前記超磁歪式油圧ポンプおよび前記電磁切換弁を駆動制御する制御部と、を備えた油圧発生装置であって、該制御部と前記油圧発生ユニットとの間に、前記駆動制御のための電力伝送および制御信号伝送とを誘導電磁界を伝送媒体として非接触で行う電磁誘導伝送ユニットをさらに備えた。【選択図】      図１
2007182969.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
作動油供給・回収用のリザーバタンクと、駆動コイルへの通電によって発生する磁力により該コイル内で超磁歪素子を体積変化させて該体積変化に伴ってプランジャピストンをシリンダ内で往復駆動させることにより前記リザーバタンクからシリンダ内に吸引した作動油を負荷側へ吐出する超磁歪式油圧ポンプと、該超磁歪式油圧ポンプからの作動油の向きを電気信号により切り換える電磁切換弁と、を有する油圧発生ユニットと、
前記超磁歪式油圧ポンプと前記電磁切換弁とを駆動制御する制御部と、を備え、
該制御部と前記油圧発生ユニットとの間に、前記駆動制御のための電力伝送および制御信号伝送とを誘導電磁界を伝送媒体として非接触で行う電磁誘導伝送ユニットをさらに備えたことを特徴とする油圧発生装置。
【請求項２】
前記油圧超磁歪式油圧ポンプから供給される作動圧油によりシリンダロッドが前進および後退される油圧シリンダをさらに備え、該油圧シリンダと前記油圧発生ユニットと前記制御部と前記電磁誘導伝送ユニットとを単一ユニット構造内に搭載したことを特徴とする請求項１に記載の油圧発生装置。
【請求項３】
前記電磁誘導伝送ユニットは、互いに対向静止状態にて誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドを備え、この一対のコイルヘッドは、高周波磁性材料製ポット型コアにそれぞれ個別に一次巻線および二次巻線を巻いてなることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の油圧発生装置。
【請求項４】
前記電磁誘導伝送ユニットは、誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドを備え、この一対のコイルヘッドは、ヒンジを介して互いに開閉する一対の高周波磁性材料製コアの閉状態にて予め定められた相対位置関係に固定される一次コイルおよび二次コイルを有するヒンジ型コアであり、
該ヒンジ型コアコイルの一次コイルと二次コイルは、前記コアの閉状態において両コイル間に適正な伝送特性を確保するに充分な電磁結合が得られる相対位置関係に固定されるものであることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の油圧発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばアクチュエータ駆動用の油圧シリンダへ作動油を供給する油圧発生装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
工作機械、建設機械などの分野における油圧発生には、従来から対象機械と離れた位置に設置された汎用モータで油圧ポンプを駆動し発生した油圧を長距離にわたり配管を通して伝達するという形態で行われていた。
【０００３】
油圧発生装置としては、例えば図９に示すような、汎用モータからなる電動機により油圧ポンプが駆動され、油タンク内の油を汲み上げて油圧力を発生させ、この油圧力により油圧シリンダのロッドを前進させたりその逆方向に後退させたりするものが利用されていた（例えば、特許文献１参照。）。
【０００４】
この油圧発生装置では、ロッドの移動方向を切り換えるための電磁切換弁を有し、該電磁切換弁と油圧シリンダのロッド前進側油室との間の配管には、チェック弁とロッドの前進移動が完了したことを検知するための前進用圧力スイッチが設けられ、また電磁切換弁と油圧シリンダのロッド後退側油室との間の配管にはロッドの後退移動が完了したことを検知するための後退用圧力スイッチが設けられている。さらに油圧ポンプと電磁切換弁との間の配管にはリリーフ弁が設けられている。
【０００５】
従来の方式では、上記のように汎用モータによりこれに直結された油圧ポンプを高速で回転させ、油圧タンク内の作動油を吸い上げ加圧する。モータによりポンプが回転し始めてから所定時間が経過すると油圧力が上昇し始めるので電磁切換弁のクランプ側バルブをオンにすることによって加圧された作動油は油圧管路を通じて油圧シリンダに供給され、シリンダロッドを前進させ、この前進力がワーククランプ力となる。
【０００６】
クランプ完了の検証はより確実には、アクチュエータ埋め込みのロードセルで行うが、簡便な方法としてクランプ力に相当する圧力設定がなされている油圧回路中の圧力スイッチのオン確認で行うこともできる。圧力スイッチが設定値に達すると、オンしていたクランプ側バルブはオフになるが、シリンダロッドの前進圧力はクランプ用パイロットチェック弁により保持されるため、モータを停止し油圧ポンプを停止してもワーククランプ状態は維持される。従って、以後、アンクランプを行うまでの工程、例えばワーク切削、研磨加工や溶接組み付けなどでは、状態監視やインプロセスクランピング補正しない限り電力や制御情報の伝送は不要である。
【０００７】
アンクランプ動作は、クランプ動作と同様に、但し別流路を通して行われる。まず汎用モータを駆動して油圧ポンプを回転させ、所定時間経過後に電磁切換弁のアンクランプ側バルブをオンする。これにより油圧シリンダのロッドが後退し始め、前進側油室内の油は油タンクに戻るが、後退完了の確認は油圧回路のアンクランプ用圧力スイッチのオン確認によって行える。この圧力スイッチオン確認後、アンクランプ側バルブをオフするが、シリンダロッドの後退圧力はアンクランプ用パイロットチャック弁により保持されるため、クランプ時と同様にモータ駆動を停止しても圧力状態は保持され、ワークを取り外すアンクランピング作業が可能となる。
【０００８】
【特許文献１】特開平９−７７３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
一方、最近では省エネルギー化を目指し、サーボモータ駆動による分散油圧発生が採用されつつあるが、上記のような従来のモータ駆動型油圧発生装置では、モータや周辺電気装置の体格、重量が過大であり、装置全体の小型軽量化のためには、油圧タンクを油圧ポンプと一体形成型としたり、さらには駆動用汎用モータも極力小さくして油圧ポンプとシャフト軸を一体化する、配管レス等の設計を行なわなければならないが、このような設計では実用に適さないものとなってしまうため、実際にはこのような小型化や軽量化は困難であった。
【００１０】
本発明の目的は、上記問題点に鑑み、実用上の問題を発生させることなく装置設計の小型化および駆動制御系の設計簡略化が可能な油圧発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明に係る油圧発生装置は、作動油供給・回収用のリザーバタンクと、駆動コイルへの通電によって発生する磁力により該コイル内で超磁歪素子を体積変化させて該体積変化に伴ってプランジャピストンをシリンダ内で往復駆動させることにより前記リザーバタンクからシリンダ内に吸引した作動油を負荷側へ吐出する超磁歪式油圧ポンプと、該超磁歪式油圧ポンプからの作動油の向きを電気信号により切り換える電磁切換弁と、を有する油圧発生ユニットと、前記超磁歪式油圧ポンプと前記電磁切換弁とを駆動制御する制御部と、を備え、該制御部と前記油圧発生ユニットとの間に、前記駆動制御のための電力伝送および制御信号伝送とを誘導電磁界を伝送媒体として非接触で行う電磁誘導伝送ユニットをさらに備えたものである。
【００１２】
また、請求項２に記載の発明に係る油圧発生装置は、請求項１に記載の油圧発生装置において、前記油圧超磁歪式油圧ポンプから供給される作動圧油によりシリンダロッドが前進および後退される油圧シリンダをさらに備え、該油圧シリンダと前記油圧発生ユニットと前記制御部と前記電磁誘導伝送ユニットとを単一ユニット構造内に搭載したものである。
【００１３】
また、請求項３に記載の発明に係る油圧発生装置は、請求項１または請求項２に記載の油圧発生装置において、前記電磁誘導伝送ユニットは、互いに対向静止状態にて誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドを備え、この一対のコイルヘッドは、高周波磁性材料製ポット型コアにそれぞれ個別に一次巻線および二次巻線を巻いてなることを特徴とするものである。
【００１４】
また、請求項４に記載の発明に係る油圧発生装置は、請求項１または請求項２に記載の油圧発生装置において、前記電磁誘導伝送ユニットは、誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドを備え、この一対のコイルヘッドは、ヒンジを介して互いに開閉する高周波磁性材料製コアと該コアの閉状態にて前記電磁結合状態を得る予め定められた相対位置にそれぞれ固定される一次コイル及び二次コイルを有するヒンジ型コアであることを特徴とするものである。
【発明の効果】
【００１５】
本発明による油圧発生装置は、アクチュエータ駆動用油圧シリンダへ作動油を供給するための油圧ポンプとして、超磁歪素子の通電の有無による体積変化を利用した超磁歪式油圧ポンプを用いるものであり、これによって電動機を使用することなく、コンパクトで電圧のオン・オフの周波数制御によって流量制御が可能な油圧ユニットが構築できると共に、油圧ポンプおよび電磁切換弁を駆動制御する制御部と油圧発生ユニットとの間に電磁誘導伝送ユニットを備え、超磁歪駆動部と電磁切換弁の駆動制御のための電力伝送および制御信号伝送とを誘導電磁界を伝送媒体として非接触で行うことができる。このように、超磁歪アクチュエータによる油圧発生と誘導型無接触伝送技術の組合せの採用により、従来の配管、配線、接点伝送システムでは実現できなかった分散油圧治具（例えば油圧治具パレット）の自律分散制御化が実現し、切削や溶接などの悪環境において無敗間、無配線にでき、環境に強いだけでなく、加工、組み付け工程の自動化と柔軟な変更が可能となる。
また、特に油圧治具パレットなどでは、クランプ力発生のためのシーケンス情報（例えば圧力スイッチやクランプ力測定ロードセル）に加えて、ワーク自体やパレットの位置をはじめとする状態量センサデータや周囲環境に左右されずにリアルタイムのフィードバックできるので、ＮＣ加工機やロボットにこれらの情報を渡すことによってワーク切削反力や機械熱歪の影響を補正した適応型の精密加工や組み付けが可能となる。
従って、本願発明は分散油圧治具に搭載したＣＰＵによるインテリジェントな駆動制御、自己診断機能や、同治具上センサで検出したワーク状態のリアルタイムフィードバックによる閉ループ加工・組み付け作業の実現へと大きく拡大していくことが可能となるという効果がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明は、油圧発生ユニットにて、油圧ポンプにより加圧された作動油が電磁切換弁を介して、例えばアクチュエータを駆動させる油圧シリンダ等の負荷配管へ供給するための油圧発生装置において、油圧ポンプとして、超磁歪駆動部の駆動コイル内の超磁歪素子に対して駆動コイルへの通電により磁力を発生して体積変化させ、それに伴ってポンプ部のプランジャポンプがシリンダ内で往復駆動して加圧リザーバからの作動圧油を吐出する超磁歪式油圧ポンプを採用したものである。
【００１７】
これにより、本発明の油圧発生装置においては、電動機を使用することなく、コンパクトで電圧のオン・オフの周波数制御によって流量制御が可能な油圧ユニットが構築でき、装置全体の小型化が可能となる。
【００１８】
さらに本発明は、図６に示すように、超磁歪式油圧ポンプおよび電磁切換弁を駆動制御する制御部から、油圧発生ユニット側への電力および情報信号を配線なしで非接触通信によって伝送するために電磁誘導伝送方式を用いるものであり、制御部と油圧発生ユニットとの間に、前記超磁歪駆動部と電磁切換弁の駆動制御のため電力伝送および制御信号伝送とを誘導電磁界を伝送媒体として伝送する電磁誘導伝送ユニットを介在させたものである。
【００１９】
従って、本発明においては、従来の接触伝送型で必要であった制御部と油圧ポンプユニット間の配線や配管を省くことができるために、油圧発生装置全体の小型化が図れると同時に、この無配管、無配線によって切削や溶接などのアクチュエータ駆動環境からの悪影響を受け難く、さらに前述の如く油圧ポンプとして超磁歪式のものを採用することからも自律分散型の駆動制御が可能となり、アクチュエータ駆動時の分散処理による作業効率の向上が図れる。
【００２０】
よって、以上のように装置設計が簡略化して小型化が可能で且つ分散型駆動制御が可能な油圧発生ユニットおよび制御部および電磁誘導伝送ユニットは、超磁歪式油圧ポンプからの作動圧油の供給によってアクチュエータ駆動用のシリンダロッドが前進および後退される油圧シリンダと共に、単一のユニット構造内に搭載して一つの小型油圧発生装置に構成することができるため、各種自動治具や自動ロボットの駆動源として容易に組み込むことができ、これら治具の自律分散制御化の実現に寄与する。なおこの場合、リザーバタンクを超磁歪式油圧ポンプと同一ハウジング内に一体的に形成すれば、一つの小型油圧発生装置を構成する際の各部の組合せがより容易となる。
【００２１】
なお、電磁誘導方式の伝送は、２つの電磁誘導コイル間で行われ、一方のコイル近傍に発生する高周波誘導電磁界を電力および情報信号の伝送媒体として使用するものである。即ち、一方のコイルに交流電流をかけて発生する電磁界を他方のコイルが受けて電力を誘導することにより電力供給が行われる。通常、コイル間距離は約２０ｃｍまで伝送可能である。
【００２２】
従って、本発明の電磁誘導伝送ユニットにおいても、互いに対向静止状態にて誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドを備えるが、このコイルヘッドとしては、高周波磁性材料製ポット型コアにそれぞれ個別に一次巻線および二次巻線を巻いて形成する形態が挙げられる。
【００２３】
本発明の高周波電力発生と伝送に用いるインバータには、漏れインダクタンスによる電圧降下を補償するために、共振型インバータを用いると良い。これは、伝送ユニットの二次側に直列に接続するキャパシタが挿入されたものであり、電流中の高周波成分を低減してスイッチング損失と電圧変化率および電流変化率を下げることができる。ただし、直列キャパシタンスはスイッチング周波数によって決定するため漏れインダクタンスの変化に伴って共振からのズレが懸念されるが、上記のようなポット型コアからなるコイルヘッドを用いれば、ギャップ長に対する漏れインダクタンスの変化が小さいため実質上問題とならない。
【００２４】
しかし、ポット型コア型の形態においては、コア間間隙および相対位置関係の設定を高精度で行わなければ、電力伝送効率や情報伝送速度等の良好な伝送特性を得ることができないが、コアの形状を、第１次コイルと第２次コイルとを前記電磁結合が得られる予め定められた相対位置関係に高精度で且つ再現性良く固定できる構成とすれば、常に良好な伝送特性を確保することができる。
【００２５】
このような構成としては、高周波磁性材料性コアを、ヒンジを介して互いに開閉する形状とし、このコアが閉状態にある時に、一次コイルと二次コイルが前記電磁結合状態を得る予め定められた相対位置にそれぞれ固定されるヒンジ型コアからなるコイルヘッドが簡便である。具体的には、例えば、ヒンジを介して開閉するコア部材の一方に一次巻線を巻いて一次コイルを構成し、別体の二次コイルをコアの開放端に挟むようにコアを閉じることによって、二次コイルが一次コイルに対して位置決め固定される構成が挙げられる。
【００２６】
なお、本発明の油圧発生装置においては、高周波インバータから供給されて伝送ユニットを介して油圧発生ユニット側へ伝送された高周波電圧は、整流および平滑回路で一旦直流にされた後、搭載型のインバータによって超磁歪駆動部の超磁歪素子が最大の変位を生じるような低周波の交流電力に変換されるものとする。
【００２７】
また、本油圧発生装置では、高周波信号発生と伝送特性として、サーボ制御レベルのモーション制御やリアルタイムセンサフィードバックも可能な伝送速度を考えると、ＨＤＬＣ（High-level Data Link Control）フォーマットでの半二重通信方式を採用することが望ましい。
【００２８】
このような情報伝送の周波数領域では、等価回路の検討には伝送ユニットに存在する等価的な抵抗や浮遊容量も加味しなければならない。また、伝送ユニットから信号源までの間のフィーダ線が長い場合は、伝送路に沿った信号減衰が存在する分布定数線路として取扱い、この等価回路に含めて応答特性を検討する必要がある。情報伝送での周波数特性における折線は、等価回路定数によって近似的に与えられるが、この特性から伝送可能な情報周波数帯域が判り、モーション制御に必要な伝送速度の要求（通常１MBps以上）からカップリング寸法に対する必要条件が求められる。以上のような要求仕様に基づいて、結合・分離型の電磁誘導伝送ユニットの外観寸法が決定される。
【００２９】
また、電力と情報の同時伝送において最も重要な課題は、可能な限り信号雑音比率を高く確保することであるが、電力伝送部と情報伝送部との幾何学的な距離が離れるほど、重畳するノイズ電圧レベルが下がるのは当然であっても、その距離を限りなく大きくすることはできない。そこで、前述のように共振型インバータを用いると共に、電磁シールドすることによって、信号雑音比率の向上を図り、伝送中に通信誤りの発生を防止することができる。
【００３０】
なお、上記のように互いに独立し近接した伝送路を通して電力伝送と情報伝送を行う場合に限らず、本発明においては、先に電力伝送と情報伝送との間で同期をとって重畳させてから同一の誘導路を通じて伝送する重畳伝送方式を採用することもできる。
【実施例】
【００３１】
本発明の一実施例による油圧発生装置の全体構成における制御系を図１に示す。本油圧発生装置は、アクチュエータ５を駆動するための油圧発生ユニット１と、この油圧発生ユニット１側を駆動制御するための制御部２０と、該制御部２０と油圧発生ユニット１との間に設置され、制御部２０から油圧発生ユニット１へ駆動制御のための電力と情報を非接触で誘導伝送するための電磁誘導伝送ユニット３０とから主に構成されるものである。
【００３２】
油圧発生ユニット１は、超磁歪式油圧ポンプ２により加圧された作動油を電磁切換弁３を介して油圧シリンダ４へ供給するものであり、これにより油圧シリンダ４のシリンダロッドが前進・後退することによってアクチュエータ５が駆動されるものである。このとき、制御部２０から伝送されてくる電力・情報により、超磁歪式油圧ポンプ２と電磁切換弁３が駆動制御される。
【００３３】
本実施例において用いられる超磁歪式油圧ポンプ２は、図２に示すように、同一ハウジング５内にて、駆動コイル６が外周に巻回されたボビン内に超磁歪素子７を伸縮可能に挿通してなる超磁歪駆動部と、この超磁歪素子７の端部に連結されたプランジャ８が、前記駆動コイル６へ通電することによって発生する磁力に反応して伸長すると共に通電解除による磁力の消滅に応じて元の寸法に縮むという超磁歪素子７の体積変化による伸縮運動に従ってポンプ室９内を往復摺動するように構成されてなるポンプ部とを備えたものである。
【００３４】
ポンプ室９は、リザーバタンク１１と連結しており、上記のような超磁歪素子７の伸縮運動に伴うプランジャ８の往復摺動に応じて、ポンプ室９内の容積が拡大した際にはリザーバタンク１１のバネ１４の付勢力によって押さえ板１３でその容積が加圧されているリザーバ室１２内からリザーバ油が導入され、ポンプ室９の容積が縮小する際にチェック弁１０を介して作動油が油圧シリンダ４側へ吐出される。
【００３５】
即ち、本油圧発生装置においては、超磁歪素子７の伸縮運動によりポンピング作用が得られる超磁歪式油圧ポンプ２を採用することによって、電動機を使用することなくコンパクトな油圧システムが構築できる。
【００３６】
また、以上のような超磁歪式油圧ポンプ２では、駆動コイル６への通電の有無によってポンピング作用が起こるものであるため、駆動コイル６に対する通電を所定周波数電流でオンオフ制御することによって超磁歪式油圧ポンプ２からの作動油吐出の流量制御をすることができる。さらに、この油圧ポンプ２の吐出口と油圧シリンダ４とは電磁切換弁３を介して連結されており、電磁切換弁３をオンオフ制御することによって油圧シリンダロッドの前進・後退を制御できる。従って、このような超磁歪式油圧ポンプ２を用いることによって、本油圧発生装置における自律分散型の駆動制御を実現可能とする。
【００３７】
また、本実施例における電磁誘導伝送ユニット３０は、互いに対向静止状態にて誘導伝送のための電磁結合を行う一対のコイルヘッドから主に構成されるものである。誘導伝送は、一方のコイルに交流電流をかけて発生する高周波誘導電磁界を伝送媒体として使用するものであり、その電磁界を他方のコイルが受けて電力を誘導することにより電力供給が行われるものである。
【００３８】
本実施例においては、高周波電力発生と伝送に用いるインバータとして、図３に示すような共振インバータを用いる。このインバータは、伝送ユニットの二次側に直列に接続するキャパシタの動作に特徴を有するものである。このインバータにより、電流中の高周波成分を低減してスイッチング損失と電圧変化率および電流変化率をさげて漏れインダクタンスによる電圧降下を補償する。
【００３９】
本実施例では、このような高周波インバータから供給されて伝送ユニット３０を介して油圧ユニット１側へ伝送された高周波電圧は、整流器で一旦直流にされた後、油圧ユニット１の搭載型インバータによって磁歪素子が最大の変位を生じるような低周波の交流電力に変換される。また、本実施例では、ＨＤＬＣフォーマットでの半二重通信を採用することによって、サーボ制御レベルのモーション制御やリアルタイムセンサフィードバックも可能な伝送速度が得られるものとした。
【００４０】
また、電磁誘導伝送ユニット３０を構成するコイルヘッドの構成としては、図４に示すようなポット型コアを用いた構成を使うことができる。このポット型コアを用いたコイルヘッドにおいては、コア間間隙および相対位置関係の設定を高精度で行わなければ、電力伝送効率や情報伝送速度等の良好な伝送特性を得ることができない。
【００４１】
そこで、図５に示すようなヒンジ型コアを用いれば、第１次コイルと第２次コイルとを電磁結合が得られる予め定められた相対位置関係に高精度で且つ再現性良く固定でき、常に良好な伝送特性を確保することができる。このヒンジ型コアを用いたコイルヘッドでは、高周波磁性材料製コアを、ヒンジを介して互いに開閉する形状とし、この開閉するコア部材に一方に一次巻線を巻いて一次コイルを構成し、別体の二次コイルをコアの開放端で挟みこむようにコアを閉じることによって、一次コイルと二次コイルが電磁結合状態を得る予め定められた相対位置にそれぞれ固定されるものである。
【００４２】
上記の構成を備えた本実施例による油圧発生装置では、制御部２０から油圧発生ユニット１への電力および情報の伝送が電磁誘導ユニット３０を介した非接触伝送型であるため、制御部２０と油圧発生ユニット１との間の配線や配管を省くことができ、油圧発生装置全体の小型化が図れると同時に、この無配管、無配線によって切削や溶接などのアクチュエータ駆動環境からの悪影響を受け難く、さらに前述の如く油圧ポンプとして超磁歪式のものを採用することからも自律分散型の駆動制御が可能となり、アクチュエータ駆動時の分散処理による作業効率の向上が図れる。
【００４３】
以上のように無配管、無配線で装置設計の小型化が可能で且つ分散型駆動制御が可能な油圧発生ユニットおよび制御部および電磁誘導伝送ユニットは、同一ハウジング内に搭載して一つの小型油圧発生装置に構成することができ、各種自動治具への適用が可能となる。
【００４４】
例えば、油圧によるクランプ力発生のための圧力スイッチやクランプ力測定ロードセル等からのシーケンス情報に加えてワーク自体やパレットの位置、状態監視センサーデータを周辺環境に左右されずにリアルタイムでフィードバックできれば、パレット上にセンサを搭載してワークや治具の状態を検出する図７に示すようなＮＣ加工機等の自動治具や図８（国際加工技術プロジェクト（ＩＭＳ）レポートより引用）に示すような自動ロボットに本油圧発生装置を駆動源として組み込んで、ワーク切削反力や機械熱歪の影響を補正した適応型の精密加工が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の一実施例による油圧発生装置の全体構成を制御系で示したフロー図である。
【図２】本実施例において用いられる超磁歪式油圧ポンプの概略構成図である。
【図３】本実施例における高周波電力発生と伝送に用いるインバータの電気回路図である。
【図４】本実施例における電磁誘導伝送ユニットに用いられるコイルヘッドの一例としてのポットコア型コイルの概略構成を示す模式図であり、（ａ）は一方のコイルヘッドの正面図、（ｂ）は縦側断面図である。
【図５】本実施例における電磁誘導伝送ユニットに用いられるコイルヘッドの他の例としてのヒンジコア型コイルの概略構成を示す模式図であり、（ａ）が結合前の状態を示す説明図、（ｂ）は結合完了状態を示す説明図である。
【図６】本発明の電磁誘導伝送ユニットによる非接触伝送を説明する模式図である。
【図７】本実施例による油圧発生装置を用いた場合の自動治具の一例を示す説明図である。
【図８】また本実施例による油圧発生装置を搭載した自動治具の自動ロボットへの適用例を示す概略構成図である。
【図９】従来の油圧発生装置の一例を示す油圧回路図である。
【符号の説明】
【００４６】
１：油圧発生ユニット
２：超磁歪式油圧ポンプ
３：電磁切換弁
４：油圧シリンダ
５：アクチュエータ
６：駆動コイル
７：超磁歪素子
８：プランジャ
９：ポンプ室
１１：リザーバタンク
１２：リザーバ室
１３：押さえ板
１４：バネ
２０：制御部
３０：電磁誘導伝送ユニット
【図１】
2007182969.tif 000003
【図２】
2007182969.tif 000004
【図３】
2007182969.tif 000005
【図４】
2007182969.tif 000006
【図５】
2007182969.tif 000007
【図６】
2007182969.tif 000008
【図７】
2007182969.tif 000009
【図８】
2007182969.tif 000010
【図９】
2007182969.tif 000011