(57)【要約】【課題】  低ノイズでかつ高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体【解決手段】  非磁性基板と、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層との間に、５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層及び非磁性層から構成される軟磁性積層体を設ける。【選択図】      図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
非磁性基板と、該非磁性基板上に形成された、５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層及び非磁性層から構成される軟磁性積層体と、該軟磁性積層体上に形成されたＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層とを具備することを特徴とする垂直磁気記録媒体。
【請求項２】
前記軟磁性層は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉより選ばれる少なくとも１元素を主成分とすることを特徴とする請求項１に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項３】
前記非磁性層は、Ｂ、Ｃ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｒｕ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａより選ばれる少なくとも１種以上の元素で構成されることを特徴とする請求項１または２に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項４】
前記非磁性層の厚さは、前記軟磁性層の厚さの１．５倍以下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体。
【請求項５】
前記軟磁性層１層当たりの飽和磁化の値は、バルクの状態における飽和磁化の９０％以下の値である請求項１ないし４のいずれか１項に記載の磁気記録媒体。
【請求項６】
非磁性基板上に形成した、５００オングストローム以下のＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性層を、非磁性層を介して積層したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体上に、少なくとも１層のＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系の磁性薄膜からなる垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体。
【請求項７】
請求項１ないし６のいずれか１項に記載の垂直磁気記録媒体と、前記垂直磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子、及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする垂直磁気記録再生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気記録再生装置及びこれに用いられる磁気記録媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年のコンピュータの高性能化、画像・音声のデジタル化，高画質化に伴い、特に計算機周辺記憶装置（ＨＤＤ）、画像・音声記録装置（ＤＶＴＲ）などの分野において、より高密度の記録・再生が可能な磁気記録媒体が要求されるようになっている。
【０００３】
例えば通常の面内記録において、記録ビットの微細化により、高記録密度を実現しようとすると、記録磁化の熱揺らぎやヘッドの記録能よりも保磁力が高くなりすぎるなどの問題が生じる。これらの問題を回避するために、近年、垂直異方性を有する垂直磁化膜を用いた垂直磁気記録方式が提案されている。
【０００４】
このような垂直磁気記録方式に使用される磁気記録媒体は、通常、軟磁性下地膜とその上に設けられた垂直磁化膜とから構成される。軟磁性下地膜としては、高透磁率かつ高飽和磁束密度のものが好ましいが、磁壁が生じるため、磁壁移動や磁壁の揺らぎによりノイズが発生し、Ｓ／Ｎｍの劣化の問題があった。
【０００５】
このようなノイズを低減する技術として、非磁性基板と垂直記録層との間に例えば１μｍ厚のＣｏ−Ｍｏ−Ｚｒからなる軟磁性層と非磁性層とを設けることにより、スパイクノイズを低減する技術が開示されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、この技術では、スパイクノイズの低減を図ることはできても、ホワイトノイズの低減には効果がなく、また、スパイクノイズの低減も十分ではなかった。したがって、十分なＳ／Ｎｍが得られなかった。
【特許文献１】特開昭５８−１６６５３１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明の第１の目的は、低ノイズでかつ高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体を提供することにある。
【０００７】
本発明の第２の目的は、低ノイズでかつ高密度記録が可能な磁気記録再生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、第１に、非磁性基板と、該非磁性基板上に形成された、５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層及び非磁性層から構成される軟磁性積層体と、該軟磁性積層体上に形成されたＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層とを具備することを特徴とする垂直磁気記録媒体を提供する。
【０００９】
本発明は、第２に、非磁性基板、該非磁性基板上に形成された、５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層と非磁性層から構成される軟磁性積層体、及び該軟磁性積層体上に形成されたＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層を有する垂直磁気記録媒体と、前記垂直磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子、及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする垂直磁気記録再生装置を提供する。
【００１０】
本発明は、第３に、非磁性基板上に形成した、５００オングストローム以下の厚さのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性層を、非磁性層を介して積層したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体上に、少なくとも１層のＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系の磁性薄膜からなる垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を提供する。
【００１１】
本発明は、第４に、非磁性基板と、非磁性基板上に形成した、５００オングストローム以下の厚さのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性層を、非磁性層を介して積層したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体上に、少なくとも１層のＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系の磁性薄膜からなる垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体とを有する垂直磁気記録媒体と、前記垂直磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、前記垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子、及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、前記磁気ヘッドを前記垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを具備することを特徴とする垂直磁気記録再生装置を提供する。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、軟磁性層の磁壁の発生を防ぐことにより、軟磁性層からのノイズの発生を低減し、低ノイズでかつ高密度記録が可能な垂直磁気記録媒体が得られる。
【００１３】
また、本発明によれば、上述の垂直磁気記録媒体を使用することにより、垂直磁気記録装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の垂直磁気記録媒体は、基本的に、非磁性基板と、非磁性基板上に形成された所定の軟磁性積層体と、この軟磁性積層体上に形成された垂直磁気記録層とを有する。軟磁性積層体としては、以下の第１または第２の軟磁性積層体のいずれかが使用される。
【００１５】
第１の軟磁性積層体は、５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層及び非磁性層から構成される。
【００１６】
また、第２の軟磁性積層体は、第１の軟磁性層及び第１の軟磁性層と異なる結晶構造を有する第２の軟磁性層から構成される。
【００１７】
また、本発明の垂直磁気記録再生装置は、上述の磁気記録媒体を適用した装置であって、非磁性基板、非磁性基板上に設けられた第１または第２の軟磁性積層体、及び軟磁性積層体上に形成された垂直磁気記録層を有する垂直磁気記録媒体と、垂直磁気記録媒体を支持及び回転駆動する駆動手段と、垂直磁気記録媒体に対して情報の記録を行うための素子、及び記録された情報の再生を行うための素子を有する磁気ヘッドと、磁気ヘッドを垂直磁気記録媒体に対して移動自在に支持したキャリッジアッセンブリとを有する。
【００１８】
本発明によれば、非磁性基板と垂直磁気記録層との間に、所定の軟磁性積層体を設けることにより、磁壁の発生を抑制し、軟磁性層からのノイズを低減することができる。
【００１９】
第１の軟磁性積層体において、この軟磁性層と非磁性層は、必要に応じて交互に複数層積層され得る。
【００２０】
また、第２の軟磁性積層体において、第１の軟磁性層と第２の軟磁性層は、必要に応じて交互に複数層積層され得る。また、隣り合う第１または第２の軟磁性層とは異なる結晶構造を有する他の軟磁性層を種々使用することができる。
【００２１】
非磁性基板と垂直磁気記録層との間に、軟磁性層間の結晶構造のつながりを絶ちながら積層された所定の軟磁性積層体が設けられることにより、各軟磁性層の特性が保たれ、磁壁の発生を抑制し、軟磁性層からのノイズを低減することができる。
【００２２】
さらに、第２の軟磁性積層体は、第１の軟磁性積層体において軟磁性層と非磁性層を同じ数だけ積層したときよりも、そのＭｓｔが大きくなるという利点を有する。
【００２３】
第１の軟磁性積層体において、軟磁性層の厚さは、５００オングストロームを越えると、良好なＳ／Ｎｍが得られず、十分にノイズを低減できない。軟磁性層の好ましい厚さは、５０ないし２００オングストロームである。
【００２４】
また、第１の軟磁性積層体において、非磁性層の厚さは、好ましくは、軟磁性層の厚さの１．５倍以下である。より好ましくは０．２倍ないし１．０倍である。非磁性層が軟磁性層の１．５倍を越えると、磁壁が生じない効果を得るのが困難となる。
【００２５】
軟磁性層が５００オングストーム以下であるのは、磁壁がネール磁壁となる厚さであり、非磁性層の厚さが軟磁性層の厚さの１．５倍以下であると、特に、非磁性層と軟磁性層を多層積層した場合、軟磁性層間が離れすぎない。このような厚さであると、軟磁性層間におけるネール磁壁カップリングが生じ、内部エネルギーが減少して磁壁がシャープでなくなるため、Ｒ／Ｗ特性を測定したときのノイズを低減することができる。
【００２６】
また、第２の軟磁性積層体においても、軟磁性層間におけるネール磁壁カップリングが生じ、内部エネルギーが減少して磁壁がシャープでなくなり、ノイズを低減することができる。
【００２７】
第１または第２の軟磁性積層体全体の厚さは、好ましくは、５００ないし４０００オングストロームであり、さらに好ましくは、約２０００オングストロームである。
【００２８】
また、第１または第２の軟磁性積層体に用いられる軟磁性層の一層当たりの飽和磁化の値は、バルクの状態における軟磁性層の飽和磁化の９０％以下の値であることが好ましい。このとき、各軟磁性層が磁性粒子が分離された構造に近い状態となり、分離されていることにより、保磁力が小さくなり、磁壁が発生しにくい。
【００２９】
軟磁性層は、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉより選ばれる少なくとも１元素を主成分とすることが好ましい。
【００３０】
非磁性層は、Ｂ、Ｃ、Ｔｉ、Ｓｉ、Ａｌ、Ｃｒ、Ｒｕ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔａより選ばれる少なくとも１種以上の元素で構成されることが好ましい。
【００３１】
また、本発明では、垂直二層磁気記録媒体の軟磁性層から発せられるノイズを減じるために、非磁性基板上に、５００オングストローム以下の厚さのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜層を非磁性薄膜層を介して積層したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体を用いることができる。
【００３２】
元来、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜は、外乱磁場の影響を受けづらいため出力が安定し、また、磁壁を生じない性質を持つため、スパイクノイズが発生しないという利点があった。しかし、大きな磁壁は生じないものの、１ないし１０μｍ程度の細かな磁壁から生じるノイズがホワイトノイズとして発生するため実用的ではなかった。本発明によれば、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜を積層構造とすることにより、細かな磁壁も消去してノイズを抑えることができるため、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜の持つ特性と合わせて、より低ノイズ化可能な軟磁性層を提供する。
【００３３】
さらに、本発明では、非磁性基板上に形成した、５００オングストローム以下の厚さのＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜層を、非磁性薄膜層を介して積層したＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体上に、少なくとも１層のＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系の磁性薄膜からなる垂直磁気記録層を形成した垂直磁気記録媒体を提供し得る。
【００３４】
Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層は、記録減磁が少なく熱揺らぎ耐性に優れた媒体である（The 2000 IEEE International Magmetic Conference DP-05）。Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金軟磁性積層体との組み合わせにより、記録効率が向上し、高ＫｕのＣｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏの本来の特性をより引き出すことができる。また、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性薄膜は、積層することにより、より表面が平坦化するので、軟磁性裏打ち層をＦｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性積層体とすることにより、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ垂直磁性記録層の表面もより平坦化する。さらに、Ｃｏ−Ｐｔ−Ｃｒ−Ｏ系垂直磁気記録層と、Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ合金磁性積層体は、ともに熱処理を施すことなく、その優れた特性を得ることができる。この２つを組み合わせることにより、熱処理により表面平坦性を悪化させることなく、ヘッド低浮上可能な垂直二層磁気記録媒体を容易に提供する。また、熱処理の必要がないために、たとえば、より安価ではあるが耐熱性のない非磁性樹脂基板上への成膜も可能となる。
【００３５】
以下、図面を参照し、本発明をより詳細に説明する。
【００３６】
図１は、第１の軟磁性積層体を用いた磁気記録媒体の一例を表す図である。
【００３７】
図１に示すように、磁気記録媒体４０は、非磁性基板４１と、非磁性基板４１上に設けられた５００オングストローム以下の厚さを有する軟磁性層４２及び非磁性層４３からなる軟磁性積層体４５と、軟磁性積層体４５上に設けられた垂直記録層４４とを有する。
【００３８】
軟磁性層４２、非磁性層４３、及び垂直記録層４４は、スパッタにより形成することができる。
【００３９】
図２は、第２の軟磁性積層体を用いた磁気記録媒体の一例を表す図である。
【００４０】
図２に示すように、磁気記録媒体５０は、非磁性基板５１と、非磁性基板５１上に設けられた第１の軟磁性層５２及び第２の軟磁性層５３からなる軟磁性積層体５５と、軟磁性積層体５５上に設けられた垂直記録層５４とを有する。
【００４１】
軟磁性層５２、非磁性層５３、及び垂直記録層５４は、スパッタにより形成することができる。
【００４２】
また、図３は、本発明の磁気記録再生装置の一例を表す図である。
【００４３】
図１または図２に示す構成を有し、情報を記録するための剛構成の磁気ディスク１２１はスピンドル１２２に装着されており、図示しないスピンドルモータによって一定回転数で回転駆動される。磁気ディスク１２１にアクセスして情報の記録再生を行う磁気ヘッドを搭載したスライダー１２３は、薄板状の板ばねからなるサスペンション１２４の先端に取付けられている。サスペンション１２４は図示しない駆動コイルを保持するボビン部等を有するアーム１２５の一端側に接続されている。
【００４４】
アーム１２５の他端側には、リニアモータの一種であるボイスコイルモータ１２６が設けられている。ボイスコイルモータ１２６は、アーム１２５のボビン部に巻き上げられた図示しない駆動コイルと、それを挟み込むようにして配置された永久磁石および対向ヨークにより構成される磁気回路とから構成されている。
【００４５】
アーム１２５は、固定軸１２７の上下２カ所に設けられた図示しないボールベアリングによって保持され、ボイスコイルモータ１２６によって回転対向揺動駆動される。すなわち、磁気ディスク１２１上におけるスライダー１２３の位置は、ボイスコイルモータ１２６によって制御される。なお、図３中、１２８は蓋体を示している。
【００４６】
実施例
以下、実施例を示し、本発明を具体的に説明する。
【００４７】
実施例１
図４は、第１の軟磁性積層体の一例を適用した媒体Ａを説明するための図である。
【００４８】
媒体Ａを、以下の手順で作成した。
【００４９】
Ｆｅ−１１ａｔｍ％Ａｌ−１７ａｔｍ％Ｓｉ、Ｃ、Ｔｉ、Ｒｕ、Ｃｏ−２０ａｔｍ％Ｐｔ−１６ａｔｍ％Ｃｒの各ターゲットを２×１０-1Ｐａ以下の真空度に真空引きされた、各真空チャンバ内に用意した。
【００５０】
各チャンバは、媒体が大気に触れることなく行き来できる構造のものとした。まず、非磁性ガラス基板１をＦｅＡｌＳｉターゲットと対向させて設置し、Ａｒガスを０．５Ｐａの圧になるように流入し、ＤＣ１５００Ｗで放電、１秒で１００Åの厚さになるようＦｅＡｌＳｉ膜２を成膜した。
【００５１】
次に、非磁性ガラス基板１を真空を保ったまま移動、Ｃターゲットと対向させて設置し、やはりＡｒガスを０．５Ｐａの圧力になるように流入し、ＤＣ１０００Ｗで放電、５秒で４０Åの厚さになるようにＣ非磁性層３を成膜した。
【００５２】
以下、同様な成膜方法にて、ＦｅＡｌＳｉ膜２−１ないし２−４０と、Ｃ非磁性層３−１ないし３−４０を交互に、それぞれ２０層ずつ成膜した。
【００５３】
その後、非磁性ガラス基板１を真空を保ったまま移動、Ｔｉターゲットと対向させて設置し、Ａｒガスを０．５Ｐａの圧になるように流入し、ＤＣ１０００Ｗで放電し、１２０Åの厚さになるようにＴｉシード層４を成膜した。
【００５４】
さらに、非磁性ガラス基板１を真空を保ったまま移動、Ｒｕターゲットと対向させて設置し、Ａｒガスを０．５Ｐａの圧になるように流入、ＤＣ１０００Ｗで放電し、５００Åの厚さになるようにＲｕ下地層５を成膜した。
【００５５】
次に、非磁性ガラス基板１を真空を保ったまま移動し、ＣｏＰｔＣｒターゲットと対向させて設置し、Ｏ2０．０５％を含むＡｒガスを２０Ｐａの圧になるように流入し、ＤＣ２５０Ｗで放電し、１２０Åの厚さになるようにＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層６の下部を成膜した。
【００５６】
再度、非磁性ガラス基板１を真空を保ったままＲｕターゲットと対向する位置に移動し、Ａｒガスを０．５Ｐａの圧力になるように流入し、今度はＤＣ２５０Ｗで放電し、４０Åの厚さになるようにＲｕ非磁性層７を成膜、さらにＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層６下部と同様な方法でＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層６上部を成膜した。
【００５７】
最後に、非磁性ガラス基板１をＣターゲットと対向させて設置し、Ａｒガスを０．５Ｐａの圧になるように流入し、ＤＣ１０００Ｗで放電し、７０Åの厚さになるようにＣ保護層８を成膜した。成膜終了後、ディップ法により、ＰＦＰＥ潤滑剤を１０Åの厚さに塗布し、媒体Ａを得た。
【００５８】
比較例１
図５は、比較例１に係る媒体を説明するための図である。
【００５９】
媒体Ａと同様に準備された真空チャンバを用いて、１０００Åの厚さにする以外は実施例１と同様にして、ＦｅＡｌＳｉ膜１０ａを成膜した。
【００６０】
さらに、Ｃ非磁性層１１ａを実施例１と同様にして成膜した。
【００６１】
さらに、ＦｅＡｌＳｉ膜１０ｂとＣ非磁性層１１ｂとを交互に成膜した。
【００６２】
さらに、実施例１と同様にして、Ｔｉシード層１２、Ｒｕ下地層１３、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層下部層１４ａ、Ｒｕ非磁性層１５、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層上部層１４ｂ、及びＣ保護層１６を成膜し、ＰＦＰＥ潤滑剤も同様に塗布し、従来の媒体Ｂを得た。
【００６３】
比較例２
さらに、図６に比較例２に係る媒体を説明するための図を示す。
【００６４】
まず、Ｆｅ−１１ａｔｍ％Ａｌ−１７ａｔｍ％Ｓｉターゲットの代わりに、Ｃｏ−６ａｔｍ％Ｚｒ−１０ａｔｍ％Ｎｂターゲットと対向させて、実施例１と同様に、ＣｏＺｒＮｂ膜１８を２０００オングストロームの厚さに成膜した。
【００６５】
さらに、実施例１と同様にして、Ｔｉシード層１９、Ｒｕ下地層２０、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直磁気記録層下部層２１ａ、Ｒｕ非磁性層２２、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直記録層上部層２１ｂ、及びＣ保護層２３を成膜し、ＰＦＰＥ潤滑剤も同様に塗布し、従来例の媒体Ｃを得た。
【００６６】
これら３つの媒体Ａ，Ｂ，Ｃについて、単磁極ヘッドを用いて信号を書き込み、ＭＲヘッドを用いて信号を読み取る方法により、Ｒ／Ｗテストを行い、Ｓ／Ｎｍ、Ｄ５０を測定した。測定条件は、半径位置２０ｍｍと一定の位置で、ディスクを４２００ｒｐｍに回転させて行った。
【００６７】
得られたＳ／Ｎｍ、Ｄ５０を下記表１に示す。
【００６８】
実施例１に係る媒体Ａでは、従来の媒体に比べて、Ｓ／Ｎｍ、Ｄ５０とも上回っていた。特に、媒体Ｂでは、信号波形全体におよぶ細かいノイズがホワイトノイズとなって発生しており、媒体Ｃでは、突発的なスパイクノイズが発生していることがわかった。一方、媒体Ａではノイズは発生していなかった。
【００６９】
媒体Ａ、媒体Ｂ、媒体Ｃは全て同じ記録層を用いているので、ノイズの発生原因は記録層下の軟磁性層にあると考えられる。そこで、それぞれ軟磁性層のみを成膜し、ＤＣイレーズ後のノイズを比較した。
【００７０】
図７ないし図９に、媒体Ａ、媒体Ｂ、媒体Ｃのノイズを測定した波形を示す。図示するように、媒体ＡのＦｅＡｌＳｉ薄膜２と非磁性層３の積層のみ行った場合には、ノイズが見られないが、媒体ＢのＦｅＡｌＳｉ薄膜１０とＣ非磁性層１１の積層のみ行った場合には、ホワイトノイズが見られ、媒体ＣのＣｏＺｒＮｂ膜１８の積層のみ行った場合には、スパイクノイズが観察された。
【００７１】
これらの軟磁性層のみ積層したものについて、磁化の状態をＭＦＭで観察したところ、媒体Ａでは磁壁は観察されなかったが、媒体Ｂでは０．３１μｍの磁区を形成するように磁壁が、また、媒体Ｃでは、観察範囲を超えるようなサイズの磁区を形成する磁壁が観察された。
【００７２】
また、媒体ＡのＦｅＡｌＳｉ薄膜２と非磁性層３を各１層ずつ積層した軟磁性層についても、同様にＤＣイレーズ後のノイズを比較した。図７に示すのと同様な波形を有し、１層だけでもノイズが発生しない効果があることが分かった。さらに、媒体ＡのＦｅＡｌＳｉ薄膜２と非磁性層３を各１層ずつ積層した軟磁性層について同様に、磁化の状態をＭＦＭで観察したところ、１層のみでも磁壁は発生していなかった。すなわち、軟磁性積層体は、１層だけですでにノイズは低く抑えられ、ノイズを増幅させることなく２０層ずつ積層することができた。
【００７３】
さらに、これら３つについて、媒体面全面へのレーザ光の反射を観測するＯＳＡ（Optical Surface Analyzer）装置を用いて、Ｋｅｒｒ効果の原理により、媒体面全体におよぶ磁壁観察を行ったところ、やはり媒体Ａに磁壁は観察されなかったが、媒体Ｃでは、媒体面を数分割するようなサイズの磁壁が観察された。これらの磁壁が、それぞれホワイトノイズ、スパイクノイズの原因となっていると考えられる。
【００７４】
また、これら３つの軟磁性膜部のみのＭｓを、非磁性である中間層を体積の計算に入れずにＭｓをＶＳＭ（Vibrating Sample Magnetometer）で測定したところ、媒体Ａでは５８０emu/ccで、ＦｅＡｌＳｉ理論バルク値の８０％程度であったが、媒体Ｂでは７２０emu/ccで、ＦｅＡｌＳｉのほぼ理論バルク値、媒体Ｃでは１０７０emu/ccで、やはりＣｏＺｒＮｂのほぼ理論であった。
【００７５】
以上示したように、実施例１にかかる媒体は、ノイズの発生しない軟磁性薄膜を備えていた。
【００７６】
実施例２
図１０は、第２の軟磁性積層体を適用した媒体Ｄを説明するための図を示す。
【００７７】
非磁性層のためのＣターゲットの代わりに、軟磁性層のためのＣｏＺｒＮｂターゲットを用い、ＦｅＡｌＳｉ薄膜２５−１ないし２５−２０を各々１０ｎｍ、ＣｏＺｒＮｂ薄膜２６−１ないし２６−２０を各々４ｎｍになるように、各層を１０層ずつ交互に成膜する以外は、実施例１と同様にして軟磁性積層体を得た。
【００７８】
さらに、Ｔｉシード層２７、Ｒｕ下地層２８、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直記録層下部層２９ａ、Ｒｕ非磁性層３０、ＣｏＰｔＣｒＯ垂直記録層上部層２９ｂ、及びＣ保護層３１を成膜し、ＰＦＰＥ潤滑剤も同様に塗布し、媒体Ｄを得た。
【００７９】
得られた媒体Ｄが媒体Ａと大きく違うのは、ＦｅＡｌＳｉ薄膜２５−１ないし２５−２０もＣｏＺｒＮｂ薄膜２６−１ないし２６−２０も互いに結晶構造の異なる軟磁性層であることである。
【００８０】
この２つの層それぞれを単独に成膜し、ＸＲＤ（X-Ray Diffraction）パターンを調べた。Ｃｕ−Ｋαとし、２θ＝３０〜７０度で測定した。ＦｅＡｌＳｉ薄膜では４５度付近に立方格子の（２２０）面と見られるピークが現れたが、ＣｏＺｒＮｂ中間層では、４０度台にブロードなピークが現れただけであり、非晶質的であることを示した。
【００８１】
この様にして作成された媒体Ｄについて、実施例１と同様にＲ／Ｗテストを行った。結果を下記表１に示す。
【００８２】
実際のＲ／Ｗ波形、実施例１と同様な軟磁性積層膜のノイズ測定においても、ノイズは観測されなかった。
【００８３】
実施例３
以下、図面を参照しながら実施例３を説明する。
【００８４】
図１１は、第１の軟磁性積層体の他の例を適用した媒体Ｅを説明するための図である。
【００８５】
各々、２０ｎｍの厚さのＣｏＺｒＮｂ薄膜３３−１ないし３３−２０と、７ｎｍの厚さのＴｉ非磁性層３４−１ないし３４−１９を積層し、最後のＴｉ非磁性層はＴｉシード層３５とし、この上に垂直記録層としてＣｏＣｒＴａ垂直磁気記録層３６を成膜した。さらに、実施例１と同様にしてＣ保護層を形成し、媒体Ｅを得た。
【００８６】
得られた媒体Ｅについて、実施例１と同様にしてＲ／Ｗ測定を行った。
【００８７】
得られた結果を下記表１に示す。
【００８８】
表１
S/Nm(dB)      D50(kFCI)
実施例１  媒体Ａ      ３０．２      ３６１
比較例１  媒体Ｂ      １８．６      ２５３
比較例２  媒体Ｃ      ２１．４      ２４８
実施例２  媒体Ｄ      ３１．０      ３７０
実施例３  媒体Ｅ      ２９．７      ３４８
上記表１から、例えば実施例１では高いＳ／ＮｍとＤ５０を示す垂直磁気記録媒体が得られることがわかる。
【００８９】
また、実施例２では、媒体Ａをやや上回るＳ／ＮｍとＤ５０を示す垂直磁気記録媒体が得られ、さらに、積層した軟磁性層として、磁性薄膜と、結晶性の異なる磁性中間層を用いることにより、磁性薄膜と非磁性薄膜を用いたときよりも少ない積層数で、同等以上の高いＳ／ＮｍとＤ５０を示す垂直磁気記録媒体を提供することができた。
【００９０】
しかしながら、比較例１，２では、十分なＳ／Ｎｍ値、Ｄ５０値が得られなかった。
【図面の簡単な説明】
【００９１】
【図１】本発明の磁気記録媒体の第１の例を表す図
【図２】本発明の磁気記録媒体の第２の例を表す図
【図３】本発明の磁気記録再生装置の一例を表す図
【図４】本発明の磁気記録媒体の第３の例を表す図
【図５】比較のための磁気記録媒体の第１の例を表す図
【図６】比較のための磁気記録媒体の第２の例を表す図
【図７】軟磁性層のノイズを測定した波形
【図８】軟磁性層のノイズを測定した波形
【図９】軟磁性層のノイズを測定した波形
【図１０】本発明の磁気記録媒体の第４の例を表す図
【図１１】本発明の磁気記録媒体の第５の例を表す図
【符号の説明】
【００９２】
１…非磁性ガラス基板
２，１０，１８，３３…軟磁性層
３，７，１１，１５，１８，２２，２５，２６，３０，３４…非磁性層
４，１２，１９，２７，３５…シード層
５，１３，２０，２８…下地層
６，１４，２１，２９，３６…垂直磁気記録層
８，１６，２３，３１…保護層
７０，１２１…垂直磁気記録媒体
１２３…スライダー
１２４…サスペンション
１２５…アーム
１２６…ボイスコイルモータ
１２７…固定軸
１２８…蓋体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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