(57)【要約】【課題】新規な発想に基づくアクチュエータにおいて、ガタや衝撃音を発生させずに加工コストを低減する。【解決手段】特定方向に運動する出力板１０４と、出力板１０４の運動方向と非平行に往復運動する２以上のキャリア１０６と、出力板１０４に形成された所定の繰り返し数で振幅する形状の段差部１０５と、段差部１０５に付勢されつつキャリア１０６と共に往復運動するローラ１０８と、キャリア１０６の各々を独立して所定の一方向にのみ駆動する電磁石１１２を有し、キャリア１０６の往復運動のうち、いずれか一方の運動は電磁石１１２により直接駆動され、他方の運動は段差部１０５から受ける反力により駆動されるようにアクチュエータを構成する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特定方向に運動する出力部材と、
前記出力部材の運動方向と非平行に往復運動する２以上の入力部材と、
前記出力部材に形成された所定の繰り返し数で振幅する形状の段差部と、
前記段差部に付勢されつつ前記入力部材と共に往復運動する移動体と、
前記入力部材の各々を独立して所定の一方向にのみ駆動する動力源を有し、
前記入力部材の往復運動のうち、いずれか一方の運動は前記動力源により直接駆動され、他方の運動は前記段差部から受ける反力により駆動される
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
請求項１において、
前記移動体がローラである
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記出力部材が前記入力部材の往復運動方向と平行な平面を有する板状体であって、
前記段差部が前記平面に形成されている
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項４】
請求項３において、
前記板状体が所定の半径を有する円弧に沿って湾曲している
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項５】
請求項１又は２において、
前記出力部材が前記入力部材の往復運動方向と平行な回転軸を中心に回転運動する円筒体であって、
前記段差部が前記円筒体の周方向に形成されている
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１又は２において、
前記出力部材が所定の半径を有する円弧に沿って湾曲した板状体であって、
前記段差部が前記板状体の湾曲面に形成されている
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれかにおいて、
前記段差部の振幅が前記所定の繰り返し数における１／２単位の繰り返しに必要な前記出力部材の運動方向の距離よりも大である
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかにおいて、
前記段差部の少なくとも一部が直線状である
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかにおいて、
前記動力源が電磁石であって、その構成要素の一部が永久磁石である
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１０】
請求項１乃至８のいずれかにおいて、
前記動力源がリニア振動アクチュエータである
ことを特徴とするアクチュエータ。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかにおいて、
前記入力部材が３の整数倍の数設けられており、
前記動力源が３相モータドライバにより電流制御されている
ことを特徴とするアクチュエータ。  
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクチュエータ、より詳しくは入力部材の往復運動を特定の運動へと変換して出力可能な運動変換装置一体型のアクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アクチュエータの一部として機能する様々な種類の運動変換装置が開発され、市場で使用されている。例えば、回転運動を直線運動へと変換する運動変換装置として、ボールネジやラックピニオンが存在する。
【０００３】
一方、直線運動を回転方向の運動へと変換するものとして、特許文献１に記載の運動変換装置が知られている。特許文献１に記載される運動変換装置を図１２乃至図１４に示す。図１２は公知の運動変換装置１の斜視図である。この運動変換装置１は、ケーシングである支持部材２と、該支持部材の長手方向に貫通する形で往復運動する溝カム板６と、該溝カム板６に設けられた溝５と、この溝カム板６が往復運動（直線運動）するに伴って回転運動する回転軸４とを有している。
【０００４】
図１３に、この運動変換装置１の回転軸４に沿う断面図を示す。
【０００５】
溝カム板６に設けられた溝５には、ボール８が嵌合しており、該ボール８を介して回転軸４の底面と接触している。このボール８は溝カム板６に設けられた溝５の本数と同じ数だけ存在している。
【０００６】
図１４に示すように、溝カム板６には、所定の曲線を描いた溝５が複数本設けられている。ここでは溝５は６本設けられている。このそれぞれの溝５に対応するようにボール８も６つ設けられている。このボール８は溝カム板６が往復運動することによって、溝５内を移動することが可能である。一方、このボール８は回転軸４との関係においてはその位置は固定されている。即ち、この運動変換装置１においては、溝カム板６が往復運動することによって、曲線を描いた溝５に沿って移動するボール８と共に、回転軸４が回転するように構成されている。
【０００７】
【特許文献１】特開平７−２２４９１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
上述したボールネジの場合には、変換後の運動（出力される運動）が直線運動のみに限定され、例えば円弧に沿って揺動するような運動を出力することはできず、又、長ストローク化を図る場合には、ネジ部の撓み等によって精度が悪化してしまう。一方、ラックピニオンの場合には、歯車を使用するという機構上、ガタの問題が発生し、高精度の駆動には適していない。更に、ボールネジ及びラックピニオンいずれの場合にも、運動の変換比率（例えば減速比）を場所により変えることは不可能である。更に、上記で説明した運動変換装置１においては、確かに溝カム板６の往復運動を、回転軸４の回転運動に変換することはできても、その回転は、最大でも約３６０°までしか回転することができず、連続した回転を出力し続けることはできない。又、出力軸として機能する回転軸４の軸方向の一方には、溝カム板６が位置して往復運動していることから、この回転軸４を中空とした場合でも、その中空部分に配線等を貫通して通すことは不可能である。
【０００９】
出願人はこれらの問題点を解消するべく、既に新規な発想のアクチュエータを出願済みである（特願２００５−２８１４１４号）。
【００１０】
本件出願人が既に出願したアクチュエータは、回転運動する出力部材と、前記出力部材の回転軸と平行に往復運動する２以上の入力部材と、前記出力部材の周方向に形成された所定の繰り返し数で振幅するガイド溝と、前記入力部材と共に往復運動しながら前記ガイド溝内を移動する移動体と、前記入力部材の各々を独立して駆動する動力源を有してなる回転アクチュエータである。この既出願のアクチュエータは、出力部材に所定のガイド溝が形成されており、当該ガイド溝内に嵌合する移動体（例えばボール）を溝の振幅方向の双方向に入力部材を介して駆動することで、出力部材の出力を得ているものである。
【００１１】
更に、既出願のアクチュエータにおいては、ガイド溝と移動体の形状（大きさ）を調整することで、ガタなく運動を変換して出力することが可能であるが、調整には熟練した技術も必要であり、かかる側面においても、時間やコストが増大する要因となることが考えられる。
【００１２】
本発明は、このような問題点を解決したアクチュエータを提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、特定方向に運動する出力部材と、前記出力部材の運動方向と非平行に往復運動する２以上の入力部材と、前記出力部材に形成された所定の繰り返し数で振幅する形状の段差部と、前記段差部に付勢されつつ前記入力部材と共に往復運動する移動体と、前記入力部材の各々を独立して所定の一方向にのみ駆動する動力源を有し、前記入力部材の往復運動のうち、いずれか一方の運動は前記動力源により直接駆動され、他方の運動は前記段差部から受ける反力により駆動されるようにアクチュエータを構成することで、上記課題を解決するものである。
【００１４】
本発明においては、入力部材を往復方向の双方に駆動するのではなく、常に一方向（移動体が段差部に付勢される方向）にのみ駆動することとし、常に移動体を段差部に付勢させ、移動体と段差部の接触・離反を防止している。又、入力部材の駆動力を場所によって変化させることによって出力部材も運動可能である。この構成は、２以上の入力部材を独立して駆動することによって初めて可能となるものである。
【００１５】
なお、段差部の所定の「繰り返し数」とは、サイン波等の周期的に振幅するラインに沿った段差が、出力部材の運動方向（出力部材が円柱体や円筒体のような場合には、一周、即ち３６０度の間）に、繰り返される回数（最大値又は最小値の回数）のことを意味している。
【００１６】
又、本発明では、段差部に常に移動体を付勢させているため、段差のような所謂「片溝」で十分であるが、通常の溝（両溝）を排除する趣旨のものではない。
【発明の効果】
【００１７】
本発明により、ガタや衝撃音を発生させることなく、新規な発想のアクチュエータの製造コストを低減できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下添付図面を用いて、本発明に係る実施形態の一例を詳細に説明する。
【００１９】
図１は、本発明の実施形態の一例であるアクチュエータ１００の主要部分のみを模式的に示した全体斜視図である。このアクチュエータ１００は、ベースとなるフレーム１０２と、直線運動する出力部材としての出力板１０４と、この出力板１０４の運動方向と非平行（本実施形態においては出力板の運動方向と直交する方向）に往復運動する複数のキャリア（入力部材）１０６と、この複数のキャリア１０６を駆動させるための電磁石（図１においては図示していない。）を有している。
【００２０】
アクチュエータ１００においては、キャリア１０６は、出力板１０４の側面に出力板１０４の運動方向に沿って３つ設けられている。この３つのキャリア１０６はそれぞれが、独立した電磁石１１２によって駆動され、出力板１０４の運動方向と非平行（図１においては上下方向）に往復運動可能とされている。
【００２１】
又、出力板１０４はキャリア１０６の往復運動方向と平行な平面を有する板状体であって、当該平面（側面）には、一定の幅且つ所定の繰り返し数で振幅する形状の段差部１０５が形成されている。当該段差部は、見方を変えれば、片方のみ壁面を有する「片溝」である。このような片溝として構成することによって、出力部材の加工が容易となり、出力部材の加工に要する時間・コストが低減できる（図１においてはこの段差部１０５を図示していない）。
【００２２】
次に図２及び図３を用いて説明する。
【００２３】
図２は、アクチュエータ１００の構造図である。又、図３（Ａ）は、図２におけるIIIＡ−IIIＡ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、電磁石１１２の構成をより詳細に示した図である。
【００２４】
出力板１０４は、ガイド１１６を介してフレーム１０２に支持されており、この出力板１０４はフレーム１０２に対して左右方向（図２における左右方向）にスライド可能とされている。なお、本実施形態においては、出力板１０４の一方の側面側にのみガイド１１６が設けられて支持されているが、他方側からも支持するように構成してもよく、そのようにすれば出力板１０４の支持剛性を向上させることができる。
【００２５】
フレーム１０２には、１つのキャリア１０６に対して、２本の固定ヨーク１１４Ｌが立設されている。それぞれの固定ヨーク１１４Ｌには、導電性を有する材料が巻かれており、コイル１１３が形成されている。又、２本の固定ヨーク１１４Ｌを架橋するように、永久磁石１１５が架設されている。又、各キャリア１０６の底部には、導電性を有する材料によって可動ヨーク１１４Ｈが一体的に付設されている。これらコイル１１３、固定ヨーク１１４Ｌ、可動ヨーク１１４Ｈ、永久磁石１１５によって、電磁石１１２が形成されている。
【００２６】
一方、出力板１０４の運動方向に沿って、位置を異ならせて配置される各キャリア１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃのそれぞれの間には、フレーム１０２と一体的に形成されたガイドバー１０３が配置されている。又、このガイドバー１０３と、各キャリア１０６Ａ、１０６Ｂ、１０６Ｃとの間には、それぞれ、複数のころ１１０が備わっており、当該ころ１１０は、各キャリアが出力板１０４と非平行に往復運動する際の、往復運動方向のガイドとして機能している。
【００２７】
各キャリア１０６には、移動体であるローラ１０８が備わっている。このローラ１０８は、キャリア１０６に対して回転自由とされている。このローラ１０８は、キャリア１０６と共に往復運動するように構成されている。又、このローラ１０８は、出力板１０４の側面に形成されている段差部１０５側に配置されており、当該ローラ１０８の転動面が段差部１０５に接触可能とされている。
【００２８】
なお、図示はしないが、アクチュエータ１００には、出力板１０４の位置（突出量）を検出可能なエンコーダが備わっている。
【００２９】
続いて、アクチュエータ１００の作用について説明する。
【００３０】
アクチュエータ１００の電源が入れられると、図示せぬドライバによって制御された電磁石１１２のコイル１１３に電流が流れる。これによりコイル１１３に磁界（磁力）が発生し、可動ヨーク１１４Ｈを吸引する。即ち、可動ヨーク１１４Ｈ、キャリア１０６を介してローラ１０８をコイル１１３側へと引き付ける力が発生する。各キャリア１０６に対応するそれぞれの電磁石１１２のコイル１１３に流れる電流の大きさ（交流電源の場合は電流の方向も変化する）は、出力板１０４の位置を監視するエンコーダからの情報を基にドライバにより適宜切り替えられる。その切り替えに応じてコイル１１３が発生する磁界の強さは変化する。なお、本実施形態におけるアクチュエータ１００は、電源として交流電源を用いるものであるが、駆動源である電磁石１１２は、その一部に永久磁石１１５を備えていることから、電流の方向が反転する際にも、常に可動ヨーク１１４Ｈに対する吸引力が作用している。
【００３１】
次に、上記各電磁石１１２の発生する磁界が変化することによって、出力板１０４が運動（スライド）する作用について図４を用いて説明する。図４は、出力板１０４の側面に形成された段差部１０５と、各ローラ１０８の位置関係を示したものである。
【００３２】
第１ローラ１０８Ａは第１キャリア１０６Ａと一体化しており、第２ローラ１０８Ｂは第２キャリア１０６Ｂと一体化しており、第３ローラ１０８Ｃは第３キャリア１０６Ｃと一体化している（図２参照）。各キャリア１０６がコイル１１３側へと引き寄せられることによって、各キャリア１０６に備わっている各ローラ１０８もそれに伴い引き寄せられる。このとき各ローラ１０８の転動面は、出力板１０４の側面に形成された段差部１０５に当接するため、結果としてコイル１１３の磁界によって段差部１０５に付勢される。各コイル１１３の発生する磁界の大きさは適宜コントロールされて一様ではないため、例えば図４のように、第２ローラ１０８Ｂが段差部１０５に押し付けられる力Ｆ２が、第３ローラ１０８Ｃが段差部１０５に押し付けられる力Ｆ３よりも大きくなるように制御すれば、力Ｆ２によって出力板１０４を矢示した運動方向に作用する分力Ｆｒ２が、力Ｆ３によって出力板１０４を反運動方向に作用する分力Ｆｒ３に打ち勝って、結果として出力板１０４を矢示した運動方向に動かすこととなる。なお、図４の状態において、本実施形態における第３ローラ１０８Ｃに生じている力Ｆ３は、永久磁石１１５に起因する力のみであり、当該永久磁石１１５の磁力は、ローラ１０８が段差部１０５から離反しない程度の最小限の磁力に適宜調整されている。これをキャリア（入力部材）１０６の動きを中心にして換言すると、キャリア１０６の往復運動のうち、コイル１１３側へと引き寄せられる運動（いずれか一方の運動）は電磁石（動力源）１１２により直接駆動され、コイル１１３側から離れる方向の運動（他方の運動）は段差部１０５から受ける反力により駆動されている。又、上記では説明していないが、第１ローラ１０８Ａにも、第３ローラ１０８Ｃと同様に、永久磁石１１５に起因する力（吸引力）が働いている。しかし、第１ローラ１０８Ａが、ちょうど振幅する段差部の頂点に位置しているため、第１ローラ１０８Ａが図４における下方向に駆動されたとしても、出力板１０４に対する運動方向への分力は発生し得ない。
【００３３】
このようにして出力板１０４が運動（スライド）すると、その直後には第２ローラ１０８Ｂが段差部１０５のちょうど底辺のところに位置することになる。このときは、第２ローラ１０８Ｂに働く力Ｆ２が小さくなるようにコイル１１３に流れる電流を制御し、一方で、第１ローラ１０８Ａに作用する力Ｆ１を大きくすることで、出力板１０４は運動し続けることが可能である。
【００３４】
即ち、この実施形態におけるアクチュエータ１００においては、常に全てのローラ１０８が出力板１０４の段差部１０５に付勢され、その付勢される力の大きさを変化させることによって、出力板１０４を運動させている。このように作用させることによって、アクチュエータ１００の作動時において、ローラ１０８が段差部１０５から離反することはなく、ガタも生じない。又、離反後に再接触することもないため、衝撃音の発生もない。加えて、全てのローラ１０８が段差部１０５に接触していることによって、出力板１０４のトルク特性も向上する。なお、アクチュエータ１００においては、運転時にローラを段差部に常時付勢させる目的で永久磁石１１５が利用されているが、この他にも、例えばコイルバネなどの機構的な作用によって、同様の効果を得ることも可能である。
【００３５】
なお、前記説明した段差部１０５は、説明等の便宜上、出力板１０４の側面にわたって繰り返し数１又は２の振幅として説明している。しかし実際には、図５に示す例のような段差部１０５が形成される。図５における符号Ｗは、段差部１０５の振幅幅を示しており、符号Ｍは段差部１０５の１繰り返し単位（例えば最小値から次の最小値まで）に必要な運動方向の距離を示している。実際に出力板１０４に形成される段差部１０５は、振幅幅Ｗの値が１繰り返し単位に要する運動方向の距離Ｍの１／２（即ち、Ｍ／２）よりも大きくなるように設計される。これは、段差部１０５内を移動するローラ１０８が出力板１０４の運動方向と非平行に駆動された際に、この段差部１０５との接触角αが４５度以下になることによって、出力板１０４の運動トルクを増幅させる作用が発揮できるからである。即ち、摩擦等の損失を考慮しなければ、キャリア１０６の駆動されるトルクよりも、出力板１０４の運動トルクを大きくして出力することができる。よって、この振幅幅Ｗの値は、段差部１０５の１繰り返し単位に要する運動方向の距離Ｍの１／２よりも大きいのが好ましい。この比率は、アクチュエータ１００の用途等により適宜変更して構成可能である。
【００３６】
なお、本実施形態においては、それぞれのキャリア１０６は、各々が独立した電磁石１１２によって直接駆動され、出力板１０４の運動方向と非平行に往復運動可能とされている。これにより、間接的に駆動された場合に比べて（例えば回転部材を介して駆動されるような場合に比べて）損失が少なく、装置全体としての伝達効率を向上させることができる。
【００３７】
次に、図６に示す例のように、１つのキャリア１０６に対して、複数のローラ１０８を設けるような構成としても良い。このようにすれば、個々のローラ１０８に係る負荷が分散されることによって、ローラ１０８や段差部１０５の耐久性を向上させることが可能であると共に、伝達容量を増大することが可能となる。図６における実施例においては、各キャリア１０６に対して２つのローラ１０８を設けているが、これに限られる趣旨のものではなく、３つ以上であれば更に上述のメリットは大きくなる。
【００３８】
なお、段差部１０５の振幅形状は、図４乃至図６で説明したような形状のものに限られるものではない。例えば、図７に示すように、波形の一部が直線状に形成されていても良い。このような形状の段差部とすれば、段差部自体の加工も更に容易となり、駆動時におけるローラに対する負荷変動を少なく抑えることが可能となる。又、キャリアの往復運動を制御しやすいというメリットもある。
【００３９】
又、移動体としてローラ１０８を例にして説明しているが、装置の使用目的や規模によっては、例えば球体や、回転しない円柱状（円筒状）のものを一体的に設けてもよい。
【００４０】
又、アクチュエータ１００のように、キャリア１０６の数を３の整数倍の数設けるようにすれば、広く一般に利用される三相モータドライバにより駆動源となる電磁石の電流制御を行なうことが可能となるため、別途ドライバを専用に用意する必要が無い。又、交流電源でなく、直流電源によって電磁石を駆動してもよい。
【００４１】
前述したアクチュエータ１００のようにキャリアの駆動源として電磁石を用いた場合には、単位体積当りの推力を大きくとることができる。
【００４２】
なお、出力板の形状は、上述した実施形態のように直線状のものに限定されるものではなく、図８に示したように、所定の半径を有する円弧に沿って湾曲している板状体を出力板３０４として構成してもよい。このように構成することにより、揺動運動（円弧に沿った運動）を出力することが可能となる。
【００４３】
又、図９に示すように、出力部材を回転する円筒状の部材として構成してもよい。このような構成を採れば、連続回転を出力でき、更に出力部材のホロー部分に配線等を通して使用することが可能となる。
【００４４】
更に、完全な円筒の出力部材ではなく、図１０に示したように、円筒の一部が出力板６０４となるように構成してもよい。即ち、当該出力板６０４を、所定の半径を有する円弧に沿って湾曲した板状体として構成し、当該板状体の湾曲面に段差部を形成することによって、所定の半径を有する円弧に沿って出力（揺動）するアクチュエータ６００を構成することができる。この実施形態を更に発展させて、図１１に示すように、アクチュエータ６００を対向に組み合わせ、それぞれの出力板６０４を連結部材６３０で連結すれば、連結部材６３０上に種々の物を配置して回転させることが可能となる。
【００４５】
なお、図示はしないが、上述の各実施形態の応用例として、電磁石の代わりに、電気的入力を機械的往復振動に直接変換可能な磁石可動形リニア振動運動変換装置（Moving-Magnet-Type Linear Oscillatory Actuator，ＬＯＡ）を動力源として用いれば、汎用ドライバを利用して制御性が良好となる。
【００４６】
又、各アクチュエータは、連続した運動（スライド運動、回転運動）を出力し続けるだけでなく、キャリアを制御することによって、例えばステッピングモータのように機能させることも可能である。このとき、出力部材に形成される段差部の繰り返し数を多くとることで、１繰り返し単位当りの運動方向（周方向）の距離を短くすることができ、より細かなステップで位置を制御することが可能となる。
【００４７】
なお、本明細書において今までに説明した各アクチュエータにおいては、キャリアは３つ設けられ、それに伴いローラ（移動体）も３つ設けられて構成されていたが、最低限２つずつ設けられていることによって、本発明の目的は達成し得る。即ち、常時最低限１つのローラ（移動体）が段差部を介して出力部材を運動（スライド運動、回転運動）させるための力（その他のローラが発生する反運動方向の分力に打ち勝つことができる分力）を発生している限りにおいて、出力部材の運動（回転運動）を維持しつつけることができるからである。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明は、アクチュエータとして広く一般に利用でき、特に、ロボットの関節部等への利用が適している。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明に係るアクチュエータの主要部品を示した全体斜視図
【図２】アクチュエータ１００の構造図
【図３】（Ａ）は、図２におけるIIIＡ−IIIＡ線に沿う断面図、図３（Ｂ）は、電磁石の構成をより詳細に示した図
【図４】図２における出力板、段差部、ローラの位置関係を示す図
【図５】現実的な段差部の構成例
【図６】１つのキャリアに対して複数のローラを配置した場合の出力板、段差部、ローラの関係図
【図７】段差部の一部を直線とした場合の構成例
【図８】本発明の他の実施形態（出力部材が所定の半径を有する円弧に沿って湾曲している板状体の実施形態その１）にかかるアクチュエータの主要部品を示した全体斜視図
【図９】本発明の更に他の実施形態（出力部材が回転する円筒体の実施形態）にかかるアクチュエータの主要部品を示した全体斜視図
【図１０】本発明の更に他の実施形態（出力部材が所定の半径を有する円弧に沿って湾曲している板状体の実施形態その２）にかかるアクチュエータの主要部品を示した全体斜視図
【図１１】図１０におけるアクチュエータの発展使用例
【図１２】特許文献１に記載される運動変換装置の全体斜視図
【図１３】図１２における回転軸に沿う断面図
【図１４】特許文献１記載の運動変換装置における溝カム板と回転軸との関係図
【符号の説明】
【００５０】
１００…アクチュエータ
１０２…フレーム
１０３…ガイドバー
１０４…出力板
１０５…段差部
１０６…キャリア
１０８…ローラ（移動体）
１１０…ころ
１１２…電磁石（駆動源）
１１３…コイル
１１４Ｈ…可動ヨーク
１１４Ｌ…固定ヨーク
１１５…永久磁石
１１６…ガイド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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