(57)【要約】【課題】  高純度のルテニウム粉末をグロー放電質量分析法（GDMS）で分析する試料を作製する方法を提供すること。【解決手段】  ルテニウム粉末の品位をグロー放電質量分析装置で分析する工程において、材質がイットリウム安定化ジルコニアであるプレス成型用の型を用いてルテニウム粉末を成型し、還元性ガスを用いた雰囲気中にて焼成するルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ルテニウム粉末の品位をグロー放電質量分析装置で分析する工程において、材質がイットリウム安定化ジルコニアであるプレス成型用の型を用いてルテニウム粉末を成型し、還元性ガスを用いた雰囲気中にて焼成することを特徴とするルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。
【請求項２】
請求項１記載の還元性ガスが水素ガスあるいは１Vol%以上の水素を含む水素とアルゴンの混合ガスであることを特徴とするルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ルテニウム粉末をグロー放電質量分析法（GDMS）で分析する試料を作製する方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
高純度のルテニウム粉末は、半導体あるいはハードディスクの製造に用いるターゲット材や、電気抵抗体用のルテニウムペーストの原料に用いられる。このため、ルテニウム中に含まれる微量の不純物を分析することが必要である。高純度金属の分析方法は大きく別けて、湿式分析による方法と、乾式分析による方法に別けられる。
【０００３】
まず、前者の湿式分析により分析する方法としては、金属を分解した水溶液を誘導結合プラズマ発光分光分析法（ICP-AES）や誘導結合プラズマ質量分析法（ICP-MS）で定量分析する方法がある。しかし、ルテニウムは酸化性を有する酸や王水にゆっくり溶解する程度で、あらゆる酸に侵されにくい性質を有する。このため、高純度酸で分解するという一般的な微量分析技術を適用できない。
ルテニウム分解する方法は、例えば文献  新実験科学講座  358 ページから359ページ（非特許文献1）のように、ルテニウムを酸化剤併用アルカリ塩融解法が一般的である。これはルテニウムを水酸化ナトリウムに硝酸カリウムのような酸化剤を加えて加熱融解し、ルテニウムを可溶性の塩にする方法である。しかし、ルテニウムは耐食性が強く反応性に乏しいこと、ルテニウムを酸化する時に高級酸化物である四酸化ルテニウム（RuO4）が生成することがあるが、四酸化ルテニウムが高い揮発性を有することから、ルテニウムを安定して分解することが難しい問題がある。
【０００４】
また、後者の乾式方法により高純度金属を分析するは、グロー放電質量分析法（GDMS）やスパークソース質量分析法（SSMS）がある。これらは放電によって分析物を分解・イオン化して質量分析で定量する方法で、多元素を高感度、広ダイナミックレンジで分析が可能である。
しかし、基本的にバルクの導電性材料を分析する方法であり、直接に粉末試料を分析することができない問題がある。このため、粉末試料を分析する場合は、軟らかい高純度インジウム等のバルクメタル中に粉末試料を埋め込み、バルクメタルごと測定する方法がある。この方法では、バルクメタルも同時に分解されるので、測定したい粉末試料の分析感度が低くなる。また、粉末試料の粒子が細かいと測定中に粉末試料が飛散して、高感度の分析装置を汚染する問題がある。
金属の粉末あるいは粒子状の試料をグロー放電質量分析法で分析可能な形状にする方法に、金属を溶解して鋳造する方法がある。特願2005-088006号（特許文献１）においては、ショット状の銀を融解鋳造した塊を圧延と切り出しにより一定の形状に成型して、グロー放電質量分析法の試料とすることが示されている。この方法は融点が比較的低い銀（融点961℃）では有効であるが、ルテニウムの融点が2,250℃と高いために融解することが困難である。
また、金属の粉末は金型で分析可能な形状にプレス成型して、強度を増すために融点よりも低い温度で焼結することでグロー放電質量分析装置にて測定できるようになる。粉末試料を成型するときの金型は鉄が主成分である工具鋼や超硬合金で作製するが、ルテニウムが硬いために粉末を成型するときに、金型とルテニウム粉末が擦れて金型の磨耗粉によって分析サンプルが汚染される問題があった。
磨耗粉による汚染は表面に留まるため、機械的な研削で除去することを試みたが、粉末の成型体および焼結体が多孔質であるため、研削粉が試料内に残ること、ルテニウムが硬く脆いため研削が難しい課題がある。また、金型の磨耗粉は鉄が主成分であるが、鉄とルテニウムは元素の周期律表で同じ８族元素であり、互いに親和性が高く、焼結すると表面の鉄が容易に試料内部に拡散して深く入り込むため、グロー放電質量分析装置で試料の表面を放電で除去することも困難であった。このため、金型からの汚染による表面汚染であることがわからず、原因の特定に苦慮した。
【非特許文献１】社団法人日本化学会編  丸善株式会社発行  新実験科学講座9  1976年  358 ページから359ページ
【特許文献１】特願2005-088006号  （出願日2005年3月25日）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、ルテニウム粉末を汚染することなくグロー放電質量分析法で分析する試料を作製する方法を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ルテニウム粉末を金型で成型するときに金型が摩耗する問題は、金型で成型するときに、金型の隙間にルテニウム粉末が入り込み、プレス機で加圧するときに摺動部で硬いルテニウム粉が金型を摩耗させることが原因と判明した。これはルテニウムがモース硬さ6.5と、鉄の4.5、一般的な工具鋼の5〜6よりも硬いため、金型の摩耗量が多いことによる。そこで、ルテニウムよりも硬いイットリウム安定化ジルコニウムでプレス成型用の型を用いてルテニウム粉末をプレス成型することで、成型時に汚染することがなくなる。
プレス成型したルテニウム試料は、脆いためにこのままではグロー放電質量分析装置で測定できない。このためプレス成型したルテニウム試料を高温の電気炉中で焼結して強度を増すが、雰囲気ガス中に酸素が含まれると試料が酸化したり、定量性が悪くなったりすることがある。プレス成型したルテニウム試料を水素ガスあるいは1Vol%以上の水素を含む水素とアルゴンの混合ガスを用いた雰囲気ガス中にて焼成することでルテニウムを酸化することなく焼結でき、安定して分析できることを見出した。
【０００７】
すなわち本発明は、
（１）ルテニウム粉末の品位をグロー放電質量分析装置で分析する工程において、材質がイットリウム安定化ジルコニアであるプレス成型用の型を用いてルテニウム粉末を成型し、還元性ガスを用いた雰囲気中にて焼成するルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。
（２）上記（１）記載の還元性ガスが水素ガスあるいは1Vol%以上の水素を含む水素とアルゴンの混合ガスであるルテニウム粉末の分析試料を作製する方法。
を提供するものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の方法を用いて、
（１）高純度のルテニウム粉末を汚染することなくグロー放電質量分析装置用の測定試料を成型することが可能になる。
（２）試料を焼結するときに酸化を抑制でき、正確に高純度のルテニウム粉末の品位を測定できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の詳細について述べる。本発明の目的は高純度ルテニウムの品位をグロー放電質量分析法で測定するために、ルテニウム粉末を汚染することなくプレス成型し、測定可能な強度を有し、正確に品位を測定できる試料を得ることである。
ルテニウム粉末をプレス成型する型の材質は、モース硬さが6.5であるルテニウムよりも硬いことが必要である。しかし、材料が硬くなると、脆くて割れやすくなり、加工も難しくなる。グロー放電質量分析用の試料形状は、装置メーカーや測定ホルダーによって異なるが、世界最大のグロー放電質量分析装置メーカーであるF.I.Elemental
Analysis社の標準的な試料形状は、2mm×2mm×20mm以下のピン状である。また、ルテニウム粉末の粒子サイズは80メッシュ（約180ミクロン）以下であり、プレス成型時に型に隙間が大きいと粉末が逃げることがある。このため、型の材質は強靭で精密に型の加工ができること、型の加工や試料のプレス成型時に加わる不均一な応力で割れにくいことが必要である。
ルテニウムよりも硬く、一般的に入手しやすい材料は、石英（モース硬さ7）、ジルコニア（モース硬さ8.5）、アルミナ（モース硬さ9）などがあるが、いずれも脆くて割れやすい性質がある。本発明では、ジルコニアにイットリウムを添加することで強度や靭性などの機械的特性が優れるイットリウム安定化ジルコニアを選定した。イットリウム安定化ジルコニアは機械加工が可能で精密な型の加工が可能である。また、プレス成型時にルテニウム粉末によって摩耗することがなく、分析試料を汚染することがなくなる。
【００１０】
ルテニウム粉末をプレス成型した試料は、粉を押し固めただけであるので弱く、粉落ちする。グロー放電質量分析装置は高真空にした後に希ガスを放電して高感度の測定をするため、粉体による汚染を避けなければならない。このためプレス成型したルテニウム試料を高温の電気炉中で焼結して強度を増す。焼結温度は特に規定されるものではないが、ルテニウムの融点が2,250℃と高く焼結しにくいこと、焼結温度が高くなると炉材から汚染しやすくなることから、900℃〜1,200℃の温度で1〜2時間の焼成を行うことが望ましい。
また、雰囲気ガス中に酸素が含まれるとルテニウムが酸化して揮発性の四酸化ルテニウムになって定量性が悪くなること、試料表面に導電性の低い二酸化ルテニウム（RuO2）が生成することから、還元性雰囲気で焼結することが望ましい。プレス成型したルテニウム試料を水素ガスあるいは1Vol%以上の水素を含む水素とアルゴンの混合ガスを用いた雰囲気ガス中にて焼成することでルテニウムを酸化することなく焼結できる。水素ガスの濃度が1Vol%未満のアルゴンガスあるいは純窒素ガスでは、微量に含まれる酸素の影響で試料が変色することがある。
本発明では、水素ガスを含む還元性の雰囲気ガス中で焼成するため、反応してガス化しやすい成分（例えば、酸素、塩素）の分析はできない。これらは、粉末別の手法（例えば、熱分解法による酸素分析、水蒸気蒸留イオンクロマト法による塩素分析）で測定する。
【実施例】
【００１１】
（実施例1）
以下に本発明の実施例を説明する。実施例1を図１に示すフローで説明する。
ルテニウム粉は以下の方法で作製した。
銅電解澱物を原料にした白金族金属の水溶液に臭素酸ナトリウムを加えて、ルテニウムを揮発性の四酸化ルテニウムにして蒸留し、６mol/Lの塩酸溶液中に塩化ルテニウムとして回収した。
【００１２】
この塩化ルテニウムを含む塩酸溶液7リットルに塩化アンモニウムを加えて90℃で２時間加熱して室温に放冷後、晶析したヘキサクロロルテニウム酸アンモニウムをろ紙でろ過し、高純度アルミナ製の容器に入れ、管状炉を用いて窒素ガス雰囲気中で600℃にて2時間保持する第１段階の焼成を行い、スポンジ状の粗ルテニウムを得た。これを乳鉢で解砕して、目開き180μmの篩を通過したものを再び高純度アルミナ製の容器に入れ、管状炉を用いて5Vol%水素−アルゴン混合ガス雰囲気中で900℃にて2時間保持して、第２段階の焼成をした。目開き180μmの篩を通過したルテニウム粉末345gを得た。
【００１３】
このルテニウム粉末を図１に示すフローでグロー放電質量分析用の試料を作製した。表１に試料の作製条件を示す。ルテニウム粉末をイットリウム安定化ジルコニア製の型で荷重9.8kNでプレス成型し、5%水素-アルゴンガス中にて1000℃で1時間焼成した。分析用試料のサイズは、成型時で2mm×2mm×20mmであったが、焼結後は1.9mm×1.9mm×19mmに収縮したが、減量はなかった。表面は銀色で酸化物が生成した様子は見られない。これをフッ酸と硝酸を1対1で混合した酸で洗浄し、水洗、乾燥したものをグロー放電質量分析装置で70の元素について分析した。表２に分析結果を示す。成型に用いた型の主成分である、ジルコニウム（原子番号40）およびイットリウム（原子番号39）は１mass
ppm未満であった。成型に用いた型からの汚染は極めて少ない。
【００１４】
【表１】
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【００１５】
【表２】
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（実施例２）
【００１６】
実施例２はルテニウム粉末をイットリウム安定化ジルコニア製の型で成型し、これを焼結するときの雰囲気ガスに純水素を使用したこと以外は実施例１と同様の方法で分析試料を作製した。焼結後の分析試料表面は変色していなかった。これをグロー放電質量分析法で測定したが、ジルコニウム（原子番号40）およびイットリウム（原子番号39）は１mass
ppm未満で実施例１とほぼ同じ分析値が得られた。（表２参照）
（比較例1）
【００１７】
以下に比較例を説明する。比較例１はルテニウム粉末を鉄、炭素、マンガンを主成分とする工具鋼製の型で成型したこと以外は実施例と同様の方法で分析試料を作製した。焼結後の分析試料表面は変色していなかった。これをグロー放電質量分析法で測定した結果を表２に示す。鉄（原子番号26）が56mass
ppmと多く検出された。これは成型に用いた型からの汚染である。マンガン（原子番号25）は１mass ppm未満で変化が見られなかった。これは型に含まれるマンガンが2.5mass%と少なかったためである。
(比較例２)
【００１８】
比較例２はルテニウム粉末を純ニッケル製の型で成型したこと以外は実施例と同様の方法で分析試料を作製した。これをグロー放電質量分析法で測定した結果を表２に示す。ニッケル（原子番号28）が400mass
ppmと多く検出された。これは成型に用いた型からの汚染である。ニッケルはモース硬さが5と軟らかいために、摩耗量が多くなった。
（比較例３）
【００１９】
比較例３はルテニウム粉末をイットリウム安定化ジルコニア製の型で成型し、これを焼結するときの雰囲気ガスに純窒素を使用したこと以外は実施例と同様の方法で分析試料を作製した。焼結後の分析試料表面は僅かに変色しており、変色部を酸洗浄で除去できなかった。これをグロー放電質量分析法で測定したところ、グロー放電に異常放電が生じて分析することができなかった。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の実施例のフローシートである。
【図１】
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