(57)【要約】【課題】  本発明は、機械等の異常検出の精度を従来に比べ向上する逆フィルタ係数決定方法を提供する。【解決手段】  バッファ部１０６に記録された正常音信号を可視化した信号波形を表示部１１３が表示し、入力受付部１１４が利用者による特徴部分を含む範囲指示を受け付け、フィルタ係数演算部１０９が、前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する。【選択図】図１
2007107908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する逆フィルタの逆フィルタ係数を算出する逆フィルタ係数決定方法であって、
正常振動信号を記録する記録ステップと、
前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示ステップと、
表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定ステップと、
前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出ステップと
を含むことを特徴とする逆フィルタ係数決定方法。
【請求項２】
前記特定ステップは、
前記指示を受け付ける受付ステップと、
前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定ステップと、
前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新ステップと、
前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定ステップと
を含むことを特徴とする請求項１に記載の逆フィルタ係数決定方法。
【請求項３】
入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する逆フィルタの逆フィルタ係数を算出する逆フィルタ係数決定装置であって、
正常振動信号を記録する記録手段と、
前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示手段と、
表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定手段と、
前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出手段と
を備えることを特徴とする逆フィルタ係数決定装置。
【請求項４】
前記特定手段は、
前記指示を受け付ける受付部と、
前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定部と、
前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新部と、
前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定部と
を含むことを特徴とする請求項３に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項５】
前記仮特定部は、
前記信号波形における振幅が最大である点を選出する第１選出部と、
前記仮範囲として、前記信号波形における前記最大点を含む所定範囲を選出する第２選出部と
を含むことを特徴とする請求項４に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項６】
前記仮特定部は、
前記信号波形における所定の大きさ以上の振幅が所定長以上連続する前記仮範囲を選出する
ことを特徴とする請求項４に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項７】
前記仮特定部は、
記録された正常振動信号を順に読み出す読出部と、
信号が読み出される毎に、読み出された当該信号が所定値を超えるか否かを判定する判定部と、
連続して所定値を超えると判定された回数を計数する計数部と、
前記回数が所定数を超えた場合に、前記正常振動信号における連続して所定値を超えると判定された前記仮範囲を出力する出力部と
を含むことを特徴とする請求項６に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項８】
前記特定手段は、
前記信号波形のうち所定条件を満たす第１仮範囲を選出する第１仮特定部と、
前記信号波形の表示に前記第１仮範囲を示す表示を付する第１表示更新部と、
前記指示に基づき前記第１仮範囲を増減する第１本特定部と、
前記第１仮特定部により選出された範囲と異なる、前記信号波形のうち前記所定条件を満たす第２仮範囲を選出する第２仮特定部と、
前記信号波形の表示に前記第２仮範囲を示す表示を付する第２表示更新部と、
前記指示に基づき前記第２仮範囲を増減する第２本特定部と、
前記第１仮範囲と前記第２仮範囲とを合わせた前記仮範囲を出力する出力部と
を含むことを特徴とする請求項３に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項９】
前記特定手段は、
前記信号波形のうち所定条件を満たす第１範囲を特定する第１特定部と、
前記信号波形のうち所定条件を満たし、前記第１範囲と異なる第２範囲を特定する第２特定部と、
前記第１範囲及び前記第２範囲のいずれかを選択する選択部と、
前記信号波形の表示に、前記選択部により選択された範囲を示す表示を付する表示更新部と、
前記選択部により選択された範囲を前記指示に基づき増減し、当該範囲を前記仮範囲として出力する出力部と
を含むことを特徴とする請求項３に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項１０】
前記記録手段は、前記正常振動信号として、正常音信号を記録する
ことを特徴とする請求項３に記載の逆フィルタ係数決定装置。
【請求項１１】
入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する異常振動検出装置であって、
正常振動信号を記録する記録手段と、
前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示手段と、
表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定手段と、
前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出手段と、
入力振動信号を受信する受信手段と、
前記逆フィルタ係数に基づく逆フィルタを用いて前記入力振動信号から正常振動信号を除去し、当該入力振動信号に含まれる異常振動信号を検出する検出手段と
を備えることを特徴とする異常振動検出装置。
【請求項１２】
前記特定手段は、
前記指示を受け付ける受付部と、
前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定部と、
前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新部と、
前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定部と
を含むことを特徴とする請求項１１に記載の異常振動検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、入力振動から正常振動を除去し異常振動を検出する技術に関し、特に、正常振動を除去するための逆フィルタ係数を決定する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
機械等の異常の発生を検出するために、前記機械等の正常動作時の音である正常音信号を予め計測し、音響信号から当該正常音信号を除去するフィルタの係数である逆フィルタ係数を算出しておき、当該算出の後、異常の有無の判定対象である入力音を受け付けて、入力音信号に対して逆フィルタを適用し入力音信号から正常音信号を除去して異常音信号のみを抽出し、当該異常音信号を用いて異常の有無を判定する手法が用いられている。
【０００３】
ここで、前記逆フィルタ係数を算出するには複雑な演算を行う必要があるので、正常音信号を短時間分（一例としては２５ｍ秒程度）記録して逆フィルタ係数の算出に用いることにより、演算時間の長期化を防いでいる。
【非特許文献１】現代ディジタル信号処理理論とその応用  青山友紀監訳  丸善株式会社  平成４年１２月３０日発行  Ｐ．１６〜Ｐ．１９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前述のように短時間分の正常音信号を記録した場合に、当該記録の終了後に、パルス信号などの特徴的な信号が発生し、当該特徴的な部分が逆フィルタ係数の算出に用いられない場合が想定される。このような想定の下では、パルス信号に対応し高周波を重点的に除去するような逆フィルタ係数を算出すべきであるにも関わらず、低周波を重点的に除去する逆フィルタ係数が算出され、算出された逆フィルタ係数を用いると、入力音信号の低周波部分が異常音である場合に除去されてしまい、このような異常音の検出漏れが生じ得る。また、高周波部分は除去されずに残ってしまい、異常音として検出されてしまう。特徴的な部分が、のこぎり波等パルス波以外であっても、同様の理由から異常音の検出漏れ、誤検出が生じ得る。また、上記の問題は、音のみに係るものではなく、異常音を含め異常振動を検出するための逆フィルタ係数の算出についても同様に生じうる。
【０００５】
上記の問題に鑑み、本発明は、異常振動の検出漏れ、誤検出を防ぎ、異常振動の検出精度を従来に比べ向上し得る逆フィルタ係数決定方法、逆フィルタ係数決定装置、異常振動検出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する逆フィルタの逆フィルタ係数を算出する逆フィルタ係数決定方法であって、正常振動信号を記録する記録ステップと、前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示ステップと、表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定ステップと、前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出ステップとを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の逆フィルタ係数決定方法は、上述の構成を備えることにより、信号波形の特徴部分である特徴振動を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出するので、入力振動に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用した場合に、入力振動中の前記特徴振動を除去することができ、前記特徴振動を異常振動として誤検出するのを防ぐことができる。
【０００８】
例えば、入力振動信号にパルス信号が含まれている場合、当該パルス信号を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出すると、高周波成分を低減する逆フィルタ係数を得るが、前記パルス信号を含まない部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出すると、低周波成分を重点的に低減する逆フィルタ係数を得る。入力振動信号に対し、低周波成分を重点的に低減する逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを用いると、当該入力振動信号に含まれるパルス信号が低減されず、当該パルス信号が異常振動として検出されてしまう。
【０００９】
また、前記特定ステップは、前記指示を受け付ける受付ステップと、前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定ステップと、前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新ステップと、前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定ステップとを含んでもよい。
この構成によれば、仮特定ステップにより、信号波形において、特徴部分が含まれるとみなされる仮範囲を特定し、本特定ステップにより、当該仮範囲を変更することにより、特徴部分を含む前記範囲を特定するので、前記範囲を従来よりも迅速に特定することができる。
【００１０】
例えば、仮特定ステップにより、パルス信号を含む仮範囲を特定しておき、本特定ステップにおいて、前記信号波形を見た利用者が前記仮範囲をユーザ操作により変更し、前記範囲を特定することとした場合、仮特定ステップにより前記仮範囲を特定することなく前記利用者が前記範囲を特定する場合に比べて、前記ユーザ操作の工数が少なくて済む。
本発明の逆フィルタ係数決定装置は、入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する逆フィルタの逆フィルタ係数を算出する逆フィルタ係数決定装置であって、正常振動信号を記録する記録手段と、前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示手段と、表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定手段と、前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出手段とを備える。
【００１１】
この構成によれば、信号波形の特徴部分である特徴振動を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出するので、入力振動に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用した場合に、入力振動中の前記特徴振動を除去することができ、前記特徴振動を異常振動として誤検出するのを防ぐことができる。
例えば、入力振動信号にパルス信号が含まれている場合、当該パルス信号を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出すると、高周波成分を低減する逆フィルタ係数を得るが、前記パルス信号を含まない部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出すると、低周波成分を重点的に低減する逆フィルタ係数を得る。入力振動信号に対し、低周波成分を重点的に低減する逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを用いると、当該入力振動信号に含まれるパルス信号が低減されず、当該パルス信号が異常振動として検出されてしまう。
【００１２】
また、前記特定手段は、前記指示を受け付ける受付部と、前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定部と、前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新部と、前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定部とを含んでもよい
また、前記仮特定部は、前記信号波形における振幅が最大である点を選出する第１選出部と、前記仮範囲として、前記信号波形における前記最大点を含む所定範囲を選出する第２選出部とを含んでもよい。
【００１３】
また、前記仮特定部は、前記信号波形における所定の大きさ以上の振幅が所定長以上連続する前記仮範囲を選出してもよい。
また、前記仮特定部は、記録された正常振動信号を順に読み出す読出部と、信号が読み出される毎に、読み出された当該信号が所定値を超えるか否かを判定する判定部と、連続して所定値を超えると判定された回数を計数する計数部と、前記回数が所定数を超えた場合に、前記正常振動信号における連続して所定値を超えると判定された前記仮範囲を出力する出力部とを含んでもよい。
【００１４】
この構成によれば、仮特定部により、信号波形において、特徴部分が含まれるとみなされる仮範囲を特定し、本特定部により、当該仮範囲を増減することにより、特徴部分を含む前記範囲を特定するので、前記範囲を従来よりも迅速に特定することができる。
例えば、仮特定部により、パルス信号を含む仮範囲を特定しておき、本特定ステップにおいて、前記信号波形を見た利用者が前記仮範囲をユーザ操作に基づき増減し、前記範囲を特定することとした場合、仮特定部により前記仮範囲を特定することなく前記利用者が前記範囲を特定する場合に比べて、前記ユーザ操作の工数が少なくて済む。
【００１５】
また、前記特定手段は、前記信号波形のうち所定条件を満たす第１仮範囲を選出する第１仮特定部と、前記信号波形の表示に前記第１仮範囲を示す表示を付する第１表示更新部と、前記指示に基づき前記第１仮範囲を増減する第１本特定部と、前記第１仮特定部により選出された範囲と異なる、前記信号波形のうち前記所定条件を満たす第２仮範囲を選出する第２仮特定部と、前記信号波形の表示に前記第２仮範囲を示す表示を付する第２表示更新部と、前記指示に基づき前記第２仮範囲を増減する第２本特定部と、前記第１仮範囲と前記第２仮範囲とを合わせた前記仮範囲を出力する出力部とを含んでもよい。
【００１６】
この構成によれば、前記正常振動信号において、特徴部分が複数ある場合に、複数の特徴に対応する逆フィルタ係数を算出できるので、入力振動に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用した場合に、入力振動中の複数の特徴振動を含む正常振動を除去することができ、複数の特徴振動それぞれを異常振動として誤検出するのを防ぐことができる。
【００１７】
また、前記特定手段は、前記信号波形のうち所定条件を満たす第１範囲を特定する第１特定部と、前記信号波形のうち所定条件を満たし、前記第１範囲と異なる第２範囲を特定する第２特定部と、前記第１範囲及び前記第２範囲のいずれかを選択する選択部と、前記信号波形の表示に、前記選択部により選択された範囲を示す表示を付する表示更新部と、前記選択部により選択された範囲を前記指示に基づき増減し、当該範囲を前記仮範囲として出力する出力部とを含んでもよい。
【００１８】
この構成によれば、前記正常振動信号において、特徴部分が複数ある場合に、複数の特徴のうち１の特徴に対応する逆フィルタ係数を算出できるので、入力振動に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用した場合に、選択した特徴振動を異常振動として誤検出するのを防ぐことができる。
また、前記記録手段は、前記正常振動信号として、正常音信号を記録することとしてもよい。
【００１９】
この構成によれば、信号波形の特徴部分である特徴音を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出するので、入力音に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用した場合に、入力音中の前記特徴音を除去することができ、前記特徴音を異常音として誤検出するのを防ぐことができる。
本発明は、入力振動から正常振動を除去して異常振動を検出する異常振動検出装置であって、正常振動信号を記録する記録手段と、前記正常振動信号を可視化した信号波形を生成し、当該信号波形を表示する波形表示手段と、表示された前記信号波形を見た利用者からの指示に基づき、前記信号波形の特徴部分を含む範囲を特定する特定手段と、前記正常振動信号のうち前記範囲に対応する部分信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する算出手段と、入力振動信号を受信する受信手段と、前記逆フィルタ係数に基づく逆フィルタを用いて前記入力振動信号から正常振動信号を除去し、当該入力振動信号に含まれる異常振動信号を検出する検出手段とを備える。
【００２０】
この構成によれば、信号波形の特徴部分である特徴振動を含む部分信号を用いて逆フィルタ係数を算出し、入力振動に対し当該逆フィルタ係数を用いた逆フィルタを適用するので、入力振動中の前記特徴振動を除去することができ、前記特徴振動を異常振動として誤検出するのを防ぐことができる。
また、前記特定手段は、前記指示を受け付ける受付部と、前記信号波形のうち所定条件を満たす仮範囲を選出する仮特定部と、前記信号波形の表示に前記仮範囲を示す表示を付する表示更新部と、前記指示に基づき前記仮範囲を増減することにより前記範囲を特定する本特定部とを含んでもよい。
【００２１】
この構成によれば、仮特定部により、信号波形において、特徴部分が含まれるとみなされる仮範囲を特定し、本特定部により、当該仮範囲を増減することにより、特徴部分を含む前記範囲を特定するので、前記範囲を従来よりも迅速に特定することができる。
例えば、仮特定部により、パルス信号を含む仮範囲を特定しておき、本特定ステップにおいて、前記信号波形を見た利用者が前記仮範囲をユーザ操作に基づき増減し、前記範囲を特定することとした場合、仮特定部により前記仮範囲を特定することなく前記利用者が前記範囲を特定する場合に比べて、前記ユーザ操作の工数が少なくて済む。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
本発明の一実施形態として、振動の一具体例である音に係る異常音検出装置１について説明する。
本発明の異常音検出装置１は、機械等の異常を検出する装置であり、予め、機械等の正常動作時に記録した正常音信号のうち、逆フィルタ係数の演算に使用する信号を、ユーザ操作によって範囲指定し得る機能を備え、範囲指定された信号から、前記逆フィルタ係数の算出を行って、異常音の検出漏れを防ぎ、異常音の検出精度を向上する。
【００２３】
以下、本発明の実施の形態を図示例と共に説明する。
本発明の異常音検出装置１は、図１に示すように、マイクロフォン１０１、ＡＤ変換部１０２、スイッチ１０３、正常音除去部１０４、計時部１０５、バッファ部１０６、記録制御部１０７、記録部１０８、フィルタ係数演算部１０９、異常音判定部１１０、表示生成部１１１、表示制御部１１２、表示部１１３、入力受付部１１４、制御部１１５から構成される。
【００２４】
異常音検出装置１は、具体的には、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスク、ビデオアダプタ、液晶ディスプレイなどから構成されるコンピュータシステムであり、前記ＲＡＭには、コンピュータプログラムが記憶され、前記ＣＰＵが、前記コンピュータプログラムに従って動作することにより、異常音検出装置１は、その機能を達成する。
以下、前記各部について作用を交えて説明する。
＜入力受付部１１４＞
入力受付部１１４は、キーボードを備えており、利用者が前記キーボードを操作することにより入力する操作指示を取得し、取得した操作指示を制御部１１５に送信する。
【００２５】
前記操作指示には、一例として、フィルタ係数算出指示、選択カーソル変更指示、カーソル右移動指示、カーソル左移動指示、選択範囲決定指示、異常音検出開始指示、異常音検出終了指示などがある。
＜マイクロフォン１０１、ＡＤ変換部１０２、スイッチ１０３、計時部１０５＞
マイクロフォン１０１は、集音した音響信号を−５ボルト〜＋５ボルトの範囲の電気信号に変換し、ＡＤ変換部１０２に出力する。
【００２６】
ＡＤ変換部１０２は、１６ビットＡＤ変換素子であり、マイクロフォン１０１から入力される電気信号を、予め設定されたサンプリング周期毎に、−３２７６８〜３２７６７の範囲を示すデジタルデータへとＡＤ変換する。
本実施形態では、一例としてＡＤ変換部１０２のサンプリング周波数を、４３．４７８ＫＨｚとしている。
【００２７】
ＡＤ変換部１０２は、他モジュールから読み出されるＡＤ変換結果レジスタを備えており、ＡＤ変換の結果を前記ＡＤ変換結果レジスタに順次設定する。
スイッチ１０３は、制御部１１５からの選択指示に従い、正常音除去部１０４と記録制御部１０７とのうちのいずれかと、ＡＤ変換部１０２とを接続する。
計時部１０５は、１秒ごとにカウンタ値をカウントアップすることにより日時を計測する時計であり、具体的には、１９７０年１月１日からの秒数を計測する。
【００２８】
計時部１０５は異常音検出装置１の記録制御部１０７から読み出される時刻読出レジスタを備えており、前記カウントアップ毎に、カウント値を「年／月／日  時／分／秒」のフォーマットに変換し、時刻情報として、前記時刻読出レジスタに設定する。
例えば、前記時刻読出レジスタには、２００５年６月１４日１０時３１分４０秒を示す時刻情報「２００５／６／１４  １０：３１：４０」が設定され、記録制御部１０７は当該時刻情報を読み出す。
＜バッファ部１０６、記録部１０８＞
バッファ部１０６は、バッファメモリから構成されており、記録制御部１０７により正常音除去のための逆フィルタ係数算出時に書き込まれる信号データファイルや、異常音検出時に書き込まれる異常音検出対象データなどのデジタルデータを保持する。
【００２９】
信号データファイルは、信号データファイル名、タイムスタンプ、信号データ配列とを含む。
信号データファイル名は、信号データファイルを識別するための名前であり、タイムスタンプは、記録制御部１０７が計時部１０５から読み出した時刻情報であり、信号データ配列は、ＡＤ変換結果である１６ビットデータを格納する配列である。
【００３０】
一例として、バッファ部１０６は、図２に示すような信号データファイル２０１を記録する。
信号データファイル２０１は、信号データファイル名「データファイル１」２０２と、タイムスタンプ「２００５／６／１４  １０：３１：４０」（２０３）と、信号データ配列２０４とから成り、信号データ配列２０４は、（Ｎｍａｘ）個の１６ビットデータであるＳｉｇ［０］〜Ｓｉｇ［Ｎｍａｘ−１］からなる配列である。
【００３１】
本実施形態では、Ｎｍａｘは４３４７８である。
異常音検出対象データは、１６ビットデータを要素とするデータ配列であり、当該１６ビットデータは、正常音除去部１０４が、ＡＤ変換部１０２から読み出し、記録制御部１０７へ転送し、同制御部により格納されたものである。
前記異常音検出対象データは、当該データの保存領域が無限に増大することのないようリングバッファに保持される。
【００３２】
記録部１０８は、ハードディスクから構成される記録デバイスであり、記録制御部１０７により書き込まれる、異常と判定した異常音検出対象データから作成された異常データファイル、逆フィルタ係数及び逆フィルタ係数演算に使用した信号データファイルを保持する。
＜記録制御部１０７＞
記録制御部１０７は、制御部１１５から記録開始指示を受信すると、信号データファイルを生成して、当該信号データファイルをバッファ部１０６に記憶させる。
【００３３】
記録制御部１０７は、所定のサンプリング時間毎に、ＡＤ変換部１０２のＡＤ変換結果レジスタから、ＡＤ変換結果を読み出し、前記信号データファイルの信号データ配列に書き込んでいく。
また、記録制御部１０７は、制御部１１５から異常音検出指示を受信するとバッファ部１０６に異常音検出対象ファイルを作成し、正常音除去部１０４から送られてくる１６ビットデータを、異常音検出対象データであるデータ配列として順次リングバッファに格納する。さらに制御部１１５から異常信号保存指示を受信すると、それから一定期間経過後までのデータを記録した後、このデータを時系列順に並べ替えて作成した異常データファイルを記録部１０８に記憶させる。
＜表示生成部１１１＞
表示生成部１１１は、制御部１１５から指示を受け付けて、当該指示に応じた処理を行い、一例として図３に示す表示画像２３０のような表示画像を生成して、当該表示画像を示す画像データを表示制御部１１２が備える画像メモリに書き込む。表示画像２３０は、カーソル位置表示画像２３１と、カーソル幅表示画像２３２と、グラフ画像２３３とを含み、グラフ画像２３３は、グラフ２３４、開始カーソル２３５及び終了カーソル２３６を含む。
【００３４】
表示生成部１１１が行うカーソル位置決定処理について、図４〜図６を用いて説明する。
表示生成部１１１は、制御部１１５から信号データファイル名を含む波形表示指示を取得する（ステップＳ１１）。
表示生成部１１１は、バッファ部１０６から、当該信号データファイル名で識別される信号データファイルを読み出す（ステップＳ１２）。
【００３５】
表示生成部１１１は、読み出した信号データファイル中の信号データ配列Ｓｉｇ［ｎ］を用いて、一例として図３に示すように、原点２３７を原点とするｘ軸、ｙ軸の直交座標上に、（ｘ座標，ｙ座標）として（ｎ，Ｓｉｇ［ｎ］）をプロットしたグラフ２３４を生成する（ステップＳ１３）。ここで、ｎは自然数であり、０〜Ｎｍａｘ−１の値を取る。
表示生成部１１１は、開始カーソル２３５及び終了カーソル２３６に関し、選択カーソルを示すＳｉｇＳｅｌｅｃｔ、開始カーソルのｘ座標を示すＳｉｇＳｔａｒｔ、終了カーソルのｘ座標を示すＳｉｇＥｎｄの３つの情報を管理する。
【００３６】
ＳｉｇＳｅｌｅｃｔは、移動対象となっているカーソルを識別するための変数であり、終了カーソルを示す値「０」か、開始カーソルを示す値「１」のいずれかの値を示す。
表示生成部１１１は、ＳｉｇＳｔａｒｔを０で初期化し、ＳｉｇＥｎｄをＮｍａｘで初期化し、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔを０で初期化する（ステップＳ１４）。
表示生成部１１１は、グラフ２３４に対し、一例として図３に示すように、ｘ座標がＳｉｇＳｔａｒｔである位置に、ｙ軸に平行な破線で示される開始カーソル２３５を重畳させ、ｘ座標がＳｉｇＥｎｄである位置に、ｙ軸に平行な破線で示される終了カーソル２３６を重畳させた画像であるグラフ画像２３３を生成する（ステップＳ１５）。ここで、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔにより示されるカーソルを、操作の対象であることを認識できるよう赤色で表示し、他方のカーソルは黒色で表示するよう表示画像を生成するものとする。
【００３７】
表示生成部１１１は、一例として図７に示すように、ＳｉｇＳｔａｒｔの値を表示するカーソル位置表示画像２３１を生成し、ＳｉｇＥｎｄ−ＳｉｇＳｔａｒｔの値を表示するカーソル幅表示画像２３２を生成し、グラフ画像２３３と併せた表示画像２３０を生成し、表示画像２３０を表示制御部１１２が備える前記画像メモリに書き込む（ステップＳ１６）。
【００３８】
例えば図７においては、開始カーソル２３５は、ｘ座標がＳｉｇＳｔａｒｔの値「１１０６０」の位置に表示されており、ＳｉｇＳｔａｒｔの値「１１０６０」が、カーソル位置表示画像２３１中に表示されている。
また、終了カーソル２３６は、ｘ座標がＳｉｇＥｎｄの値「１２０８４」の位置に表示されており、カーソル幅表示画像２３２として１２０８４−１１０６０の計算結果である値「１０２４」が表示されている。
【００３９】
表示制御部１１２は、前記画像メモリに書き込まれた表示画像２３０を表示するための映像信号を生成し、表示部１１３に対し出力し、表示部１１３は、前記映像信号を受信して、表示画像２３０を表示する（ステップＳ１７）。
表示制御部１１２は、制御部１１５からの指示を受け付ける（ステップＳ１８）。
前記指示が、カーソル右移動指示であり（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔが「０」である場合（ステップＳ３２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄがＮｍａｘ未満であれば（ステップＳ３３：ＮＯ）、ＳｉｇＥｎｄを１インクリメントし（ステップＳ３４）、Ｎｍａｘ以上であれば（ステップＳ３３：ＹＥＳ）、ステップＳ１８に移行する。
【００４０】
ＳｉｇＳｅｌｅｃｔが「０」でない場合（ステップＳ３２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔがＮｍａｘ以上であるか又はＳｉｇＳｔａｒｔがＳｉｇＥｎｄ以上であるか否かを判定する（ステップＳ３５）。
ステップＳ３５において否定的であると判定した場合（ステップＳ３５：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔを１インクリメントし（ステップＳ３６）、肯定的であると判定した場合（ステップＳ３５：ＹＥＳ）、ステップＳ１８に移行する。
【００４１】
前記指示が、カーソル左移動指示であり（ステップＳ４１：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔが「０」である場合（ステップＳ４２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄが０より大きくかつＳｉｇＥｎｄ＞ＳｉｇＳｔａｒｔであるか否かを判定する（ステップＳ４３）。ステップＳ３５において肯定的であると判定した場合（ステップＳ４３：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄを１デクリメントし（ステップＳ４４）、否定的であると判定した場合（ステップＳ４３：ＮＯ）、ステップＳ１８に移行する。
【００４２】
ＳｉｇＳｅｌｅｃｔが「０」でない場合（ステップＳ４２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔが０より大きければ（ステップＳ４５：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｔａｒｔを１デクリメントし（ステップＳ４６）、０以下であれば（ステップＳ３３：ＮＯ）、ステップＳ１８に移行する。
前記指示が選択カーソル変更指示であり（ステップＳ６１：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｌｅｃｔが「０」である場合（ステップＳ６２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔを値「１」で書換え、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔが「０」でない場合（ステップＳ６２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔを値「０」で書換えて、ステップＳ１５に移行する。
【００４３】
前記指示が選択範囲決定指示でない場合（ステップＳ６５：ＮＯ）、ステップＳ１８に移行し、前記指示が選択範囲決定指示である場合（ステップＳ６５：ＹＥＳ）、表示生成部１１１は、制御部１１５に対し、ＳｉｇＳｔａｒｔと、ＳｉｇＥｎｄと、前記信号データファイル名とを送信して処理を終了する。
＜表示制御部１１２、表示部１１３＞
表示制御部１１２は、前記画像メモリを備えるグラフィックアダプタであり、表示生成部１１１により当該画像メモリに書き込まれた画像データに基づき表示画像を表す映像信号を生成し、当該映像信号を表示部１１３に出力する。
【００４４】
表示部１１３は、液晶ディスプレイであり、表示制御部１１２が出力する映像信号を受信し、受信した映像信号に従い前記表示画像を液晶画面に表示する。
＜フィルタ係数演算部１０９＞
フィルタ係数演算部１０９は、自己相関関数演算処理、Ｌｅｖｉｎｓｏｎ法による演算により、正常音除去のためのフィルタ係数算出処理を行う。
【００４５】
フィルタ係数演算部１０９は、制御部１１５から、自己相関関数演算処理の開始指示として、信号データファイル名、ＳｉｇＳｔａｒｔ、ＳｉｇＥｎｄとを取得する。ＳｉｇＳｔａｒｔは、信号データ配列中で計算に用いる部分の先頭位置を示し、前記開始カーソル位置情報の値と同値であり、ＳｉｇＥｎｄは、信号データ配列中で計算に用いる部分の終了位置を示し、前記終了カーソル位置情報の値と同値である。
【００４６】
フィルタ係数演算部１０９は、定数Ｌに、初期値として、（ＳｉｇＥｎｄ−ＳｉｇＳｔａｒｔ）で算出される値を設定する。
フィルタ係数演算部１０９は、Ｌｅｖｉｎｓｏｎ法により、信号値Ｘ［０］〜Ｘ［Ｌ−１］から線形予測係数σ、ａ［１］〜ａ［ｍ］を求め、さらに、逆フィルタ係数ｂ［０］＝Ａ／σ、ｂ［ｉ］＝（Ａ／σ）ａ［ｉ］（但しｉは、１≦ｉ≦ｍ）を算出する。
【００４７】
フィルタ係数演算部１０９は、ｂ［０］〜ｂ［ｍ］を、正常音除去部１０４に送信すると共に、記録部１０８に逆フィルタ係数ファイルとして保存する。
＜正常音除去部１０４、異常音判定部１１０＞
正常音除去部１０４は、フィルタ係数演算部１０９からｂ［０］〜ｂ［ｍ］を受信し、受信したｂ［０］〜ｂ［ｍ］に基づき正常音除去フィルタ出力平均振幅ＰＮを算出し、ＰＮを異常音判定部１１０に送信する。
【００４８】
異常音判定部１１０は、正常音除去部１０４からＰＮを取得し、取得したＰＮが異常検出用閾値ＰＴＨ以上であるか否かを判定し、ＰＴＨ以上であるＰＮを、Ｔｍｉｎ回以上Ｔｍａｘ回以下検出した場合に、異常音が発生していると判断する。
逆フィルタ係数の算出に用いる自己相関関数演算処理、Ｌｅｖｉｎｓｏｎ法による演算については、前述した非特許文献１に詳述されているので、説明は省略する。
＜制御部１１５＞
制御部１１５は、入力受付部１１４から受信する操作指示に基づき、異常音検出装置１の全体動作を制御する。各操作指示に対する制御部１１５の処理は以下の通りである。
【００４９】
制御部１１５は、入力受付部１１４から、フィルタ係数算出指示を受信した場合に、スイッチ１０３に対し、ＡＤ変換部１０２と記録制御部１０７とを接続するよう選択指示を行い、記録制御部１０７に対し、記録開始指示を送信する。
制御部１１５は、記録制御部１０７による信号データファイル作成完了を待ち、信号データファイル名を記録制御部１０７から取得し、表示生成部１１１に対し、当該信号データファイル名を含む波形表示指示を送信する。
【００５０】
制御部１１５は、入力受付部１１４から選択カーソル変更指示を受信した場合に、選択カーソル変更指示を、表示生成部１１１に送信し、カーソル右移動指示を受信した場合に、カーソル右移動指示を表示生成部１１１に送信し、カーソル左移動指示を受信した場合に、カーソル左移動指示を表示生成部１１１に送信する。
制御部１１５は、入力受付部１１４から、カーソル位置決定指示を受信すると、表示生成部１１１から、信号データファイル名と、ＳｉｇＳｔａｒｔとしての開始カーソル位置情報と、ＳｉｇＥｎｄとしての終了カーソル位置情報とを取得し、フィルタ係数演算部１０９に対し、当該信号データファイル名と、当該ＳｉｇＳｔａｒｔと、当該ＳｉｇＥｎｄとを送信する。
【００５１】
制御部１１５は、入力受付部１１４から、異常音検出開始指示を受信した場合に、スイッチ１０３に対し、ＡＤ変換部１０２と正常音除去部１０４とを接続するよう選択指示を行い、正常音除去部１０４及び記録制御部１０７に対し、異常音検出開始指示を送信する。
制御部１１５は、入力受付部１１４から、異常音検出終了指示を受信した場合には、正常音除去部１０４及び記録制御部１０７に対し、異常音検出終了指示を送信する。
＜動作＞
以下、異常音検出装置１の動作について、（１）音響信号から、正常音を除去するための逆フィルタの係数を算出するためのフィルタ係数算出処理、（２）前記逆フィルタ係数を適用した逆フィルタを用いて、検査対象である信号に含まれる異常音を検出する異常音検出処理の順に説明する。
（１）フィルタ係数算出処理
フィルタ係数算出処理の動作について、図１２、図１３を用いて説明する。
【００５２】
ユーザは、前記キーボードを用いて、入力受付部１１４に対し、フィルタ係数算出を指示する。
入力受付部１１４は、フィルタ係数算出の指示を取得し、制御部１１５に対し、フィルタ係数算出指示を送信する。
制御部１１５は、前記フィルタ係数算出指示を取得する（ステップＳ５０１）。
【００５３】
制御部１１５は、ＡＤ変換部１０２と、記録制御部１０７とを接続するようスイッチ１０３に指示し、スイッチ１０３は、当該指示を受信して、前記ＡＤ変換部１０２と、記録制御部１０７とを接続する（ステップＳ５０２）。
制御部１１５は、記録制御部１０７に対し、信号の記録開始指示を送信する（ステップＳ５０３）。
【００５４】
記録制御部１０７は、前記信号記録開始指示を受信し、バッファ部１０６中に、信号データファイルを生成する（ステップＳ５０５）。
記録制御部１０７は、変数として保持するサンプリング回数を値「０」で初期化する（ステップＳ５０６）。
記録制御部１０７は、サンプリング回数が、Ｎｍａｘ以下であるか否かを判定し（ステップＳ５０８）、Ｎｍａｘ以下である場合（ステップＳ５０８：ＹＥＳ）、ＡＤ変換部１０２のＡＤ変換結果レジスタから、ＡＤ変換結果を読み出し（ステップＳ５１０）、当該ＡＤ変換結果を信号データファイルの信号データ配列の未使用領域に記録する（ステップＳ５１１）。
【００５５】
記録制御部１０７は、前記サンプリング回数を、「１」インクリメントし（ステップＳ５１２）、ステップＳ５０８に戻る。
記録制御部１０７は、サンプリング回数が、Ｎｍａｘより大きい場合（ステップＳ５０８：ＮＯ）、信号記録を終了し、制御部１１５に終了を通知する（ステップＳ５２１）。
以上のステップＳ５０７からステップＳ５１２のループによって、信号データファイル中の信号データ配列として、Ｓｉｇ［０］＝８、Ｓｉｇ［１］＝８４、Ｓｉｇ［２］＝８４・・・Ｓｉｇ［４３４７７］＝１９２が記録されたものとする。
【００５６】
制御部１１５は、表示生成部１１１に対し、信号データファイル名を含む波形表示指示を送信する（ステップＳ５２３）。
表示生成部１１１は、前記波形表示指示を受信し、当該波形表示指示に含まれる信号データファイル名で識別され、バッファ部１０６に記録されている信号データファイル中の信号データ配列に基づき、前述した図６に示すような表示画像を生成し、前記画像メモリに書き込み、表示を指示する（ステップＳ５２４）。
【００５７】
次に、カーソル位置決定処理を行う（ステップＳ５３１）。
ステップ５３１の詳細は、図４〜図６を用いて既に説明したカーソル位置決定処理である。
次に、フィルタ係数演算部１０９は、制御部１１５から、自己相関関数演算処理の開始指示として、信号データファイル名、ＳｉｇＳｔａｒｔ、ＳｉｇＥｎｄとを取得し、バッファ部１０６に記録され、前記信号データファイル名で識別される信号データファイル中のＳｉｇ［ＳｉｇＳｔａｒｔ］〜Ｓｉｇ［ＳｉｇＥｎｄ−１］を用いて、フィルタ係数算出処理を実行する（ステップＳ５３２）。
【００５８】
ここで、Ｓｉｇ［ＳｉｇＳｔａｒｔ］〜Ｓｉｇ［ＳｉｇＥｎｄ−１］が、前述のＸ［０］〜Ｘ［Ｌ−１］に相当する。
フィルタ係数算出処理において、フィルタ係数演算部１０９は、Ｌｅｖｉｎｓｏｎ法により、信号値Ｘ［０］〜Ｘ［Ｌ−１］から線形予測係数σ、ａ［１］〜ａ［ｍ］を求め、さらに、逆フィルタ係数ｂ［０］＝Ａ／σ、ｂ［ｉ］＝（Ａ／σ）ａ［ｉ］（但しｉは、１≦ｉ≦ｍ）を算出する。
【００５９】
一例としては、前記フィルタ係数算出処理における自己相関関数演算処理の結果、フィルタ係数演算部１０９は、ｒ［０］＝１．２１４２９ｅ＋１０、ｒ［１］＝９．４５５２４ｅ＋９、・・・ｒ［１５］＝−９．０６４９１ｅ＋０８を得る（但し、ｍ＝１５）。また、フィルタ係数演算部１０９は、Ｌｅｖｉｎｓｏｎ法により一例として線形予測係数σ＝４８７２０．７、ａ［１］＝−０．９８５６５９・・・ａ［１５］＝−０．０２５１４８９を得る。
【００６０】
次に、フィルタ係数演算部１０９は、逆フィルタ係数決定処理を行い、その結果、フィルタ係数演算部１０９は、一例として、逆フィルタ係数ｂ［０］＝１．３４５７５、ｂ［１］＝−１．３２４４２、・・・、ｂ［１５］＝−０．０３２６４４１を得る（但し、ゲインＡ＝２．０）。
（２）異常音検出処理
前記フィルタ係数算出処理において算出された逆フィルタ係数を用いて行う異常音検出処理について、図９を用いて説明する。
【００６１】
正常音除去部１０４は、逆フィルタ係数を記憶しておくメモリ領域を備え、フィルタ係数演算部１０９からｂ［０］〜ｂ［ｍ］を受信して、前記メモリ領域に記憶する。
また、ＡＤ変換部１０２から取得するＡＤ変換結果を記録する異常音検出対象データを含む異常音検出対象ファイルをバッファ部１０６に生成する。
ここで、前記異常音検出対象ファイルは、一定の長さ（例えばＮｍａｘ）を持つリングバッファを構成しているものとする。
【００６２】
正常音除去部１０４は、制御部１１５から異常音検出開始指示を受信すると、以下に説明する異常音検出を開始する。
正常音除去部１０４は、配列ｗ［ｉ］（但し、０≦ｉ≦ｍ）、変数ＰＮを記憶するための一時的な記憶領域を確保し、ｗ［０］＝ｗ［１］＝・・・＝ｗ［ｍ］＝０，ＰＮ＝０を実行し（ステップＳ４０１）、ｉｗ＝０，ｎ＝０，ｑ＝０，Ｔｐ＝０を実行する（ステップＳ４０２）。
【００６３】
また、正常音除去部１０４は、ＡＤ変換部１０２によるＡＤ変換結果を、前記ＡＤ変換結果レジスタから読み出して記録制御部１０７に送り、記録制御部１０７はこれを前記異常音検出対象ファイルの異常音検出対象データ配列Ｓ［ｎ］に記憶する（ステップＳ４０３）。
次に、正常音除去部１０４は、ｗ［ｉｗ］＝ＡＤ変換結果を実行する（ステップＳ４０４）。
次に、
【００６４】
2007107908.tif 000003
を計算し（ステップＳ４０５）、次に、式
ｉｗ＝Ｍｏｄ（ｉｗ＋ｍ，ｍ＋１）
を計算し（ステップＳ４０６）、式
ＰＮ＝λＰＮ＋（１−λ）｜ＹＮ｜
を計算し（ステップＳ４０７）、ＰＮを、異常音判定部１１０に送信する。
【００６５】
ここで、Ｍｏｄ（Ａ，Ｂ）との記載は、ＡをＢで剰余演算した結果を示す。
異常音判定部１１０は、正常音除去部１０４からＰＮを取得し、取得したＰＮがＰＴＨ以上か否かを判定し（ステップＳ４０８）、ＰＴＨ以上であると判定した場合（ステップＳ４０８：ＹＥＳ）には、Ｔｐを１インクリメントし（ステップＳ４０９）、ＰＴＨより小さいと判定した場合（ステップＳ４０８：ＮＯ）には、ＴｐがＴｍａｘ以下か否かを判定する（ステップＳ４１０）。
【００６６】
ＴｐがＴｍａｘ以下でないと判定された場合（ステップＳ４１０：ＮＯ）、後述するステップＳ４１４に移行し、ＴｐがＴｍａｘ以下であると判定された場合（ステップＳ４１０：ＹＥＳ）、更に、ＴｐがＴｍｉｎ以上か否かを判定する。
ＴｐがＴｍｉｎ以上でないと判定された場合（ステップＳ４１１：ＮＯ）、後述するステップＳ４１２に移行し、ＴｐがＴｍｉｎ以上であると判定された場合（ステップＳ４１０：ＹＥＳ）、制御部１１５に異常音発生信号を送信する（ステップＳ４１２）。
【００６７】
この結果、制御部１１５は、記録制御部１０７に異常信号保存指示を送信する。これを受け、記録制御部１０７は、一定数のデータを取り込み、その時点でバッファ部１０６に記憶されている異常音検出対象ファイル中のリングバッファに保存されたデータから作成した異常データファイルを記録部１０８に記憶させる（ステップＳ４１３）。
本実施形態においては、ステップＳ４０７からステップＳ４１１により示したように、ＰＴＨ以上であるデータを、Ｔｍｉｎ回以上Ｔｍａｘ回以下検出した場合に、異常音が発生していると判断している。ＰＴＨ回以上検出した場合には、異常音の検出処理において、何らかの異常があると判断している。
【００６８】
次に、Ｔｐを０で初期化し（ステップＳ４１４）、正常音除去部１０４は、処理を継続するか否かを判定し、継続する場合（ステップＳ４１５：ＹＥＳ）、ｎ＝Ｍｏｄ（ｎ＋１，Ｎｍａｘ）を計算して（ステップＳ４１６）、ステップＳ４０３に移行し、継続しない場合（ステップＳ４１５：ＮＯ）、処理を終了する。
ステップＳ４１５における、処理を継続するか否かの判定については、一例として、制御部１１５から、異常音検出終了指示を受け付けている場合に処理終了と判定する。
＜補足＞
一方、本願と異なり、ユーザにフィルタ係数算出に使用するデータを選択させず、予め定めた、信号データ配列の先頭から１０２４個のデータ、即ち、Ｓｉｇ［０］＝８、Ｓｉｇ［１］＝８４、Ｓｉｇ［２］＝８４・・・Ｓｉｇ［１０２３］＝８０を用いて、演算を行った場合には、一例として、以下の結果を得る。
【００６９】
ｒ［０］＝１．６６３６５ｅ＋０８、ｒ［１］＝１．６４３３３ｅ＋０８、・・・、ｒ［１５］＝１．４０５３８ｅ＋０８。
σ＝１８４４．９２、ａ［１］＝１．１１１２９、・・・、ａ［１５］＝０．０７３９３４７。
ｂ［０］＝１．７８５６４、ｂ［１］＝−１．９６７１７、・・・、ｂ［１５］＝０．１５５８７６（但し、ゲインＡ＝０．１）。
【００７０】
図１０に、（ａ）本願手法により得た逆フィルタ係数のフィルタ特性図と、（ｂ）信号データ配列の先頭から１０２４個のデータを用いて得た逆フィルタ係数のフィルタ特性図を示す。フィルタ特性図の横軸は周波数を示し、縦軸は、本フィルタへの入力信号と出力信号との入出力比 （デシベル）を示す。
図１０（ｂ）においては、演算において、正常音中のパルス信号といった特徴的な信号を含まない部分を用いて演算を行ったため、特性曲線３０２は、正常音の特性を十分反映しておらず、低域部分で減衰率が大きくなっており、低周波成分の異常を見逃す危険がある。
【００７１】
これに対し、図１０（ａ）は、演算において、正常音中のパルス信号といった特徴的な部分を含む信号を用いて、演算を行ったため、特性曲線３０１は、正常音の特性を十分反映した特性を示しており、低域の異常も発見することができる。
＜変形例＞
なお、本発明を上記の実施形態に基づいて説明してきたが、本発明は、上記の実施の形態に限定されないのはもちろんである。以下のような場合も本発明に含まれる。
（１）上記の実施形態において、異常音を検出する装置について説明してきたが、本発明は、音に限らず、音以外の振動についても適用できるものである。
【００７２】
例えば、上記の実施形態におけるマイクロフォン１０１を、圧電体に加えられた力を電圧に変換する圧電素子へと変更してもよい。機械が動作することによって発生する振動により、圧電素子に力が加えられた場合に、当該圧電素子が前記力を電気信号に変換し、当該電気信号をＡＤ変換部１０２に出力する。当該圧電素子以外の構成は、上記実施形態と同構成とする。
【００７３】
上述の構成を用いて、異常振動の検出対象である機械が正常動作している間に、圧電素子が計測した振動を示す振動信号を正常振動信号として記録し、以降は、実施形態において説明したのと同様の手順で、当該正常振動信号を用いて、逆フィルタ係数を算出する。当該算出以降、異常振動の有無の判定を行う場合に、当該判定の対象である振動を圧電素子が計測し、以降は、実施形態において説明したのと同様の手順で、計測した振動を示す異常振動検出対象信号から前記正常振動信号を除いた信号を用いて、異常振動の有無を判定する。
【００７４】
また、前記圧電素子に替えて、加速度計又はジャイロ等、振動の測定が可能なデバイスを用いてもよい。
（２）上記の実施形態において、異常音検出装置１内で全ての処理を実現していたが、これに限らず、複数の装置に処理を分担させてもよい。
例えば、図１１に示すように、異常音検出装置１を、フィルタの逆フィルタ係数の演算処理及び異常音の検出処理などを担当する異常音検出ユニット４０１と、ユーザ操作指示の取得及び画像の表示を担当するパーソナルコンピュータ４０２とに分けて構成してもよい。異常音検出ユニット４０１とパーソナルコンピュータ４０２とは、ＩＥＥＥ１３９４等のネットワーク４０３を介して接続する。
【００７５】
異常音検出ユニット４０１は、図１２に示すように、マイクロフォン１０１、ＡＤ変換部１０２、スイッチ１０３、正常音除去部１０４、計時部１０５、バッファ部１０６、記録制御部１０７、記録部１０８、フィルタ係数演算部１０９、異常音判定部１１０、制御部１１５、通信部４１１とから構成される。
マイクロフォン１０１、ＡＤ変換部１０２、スイッチ１０３、正常音除去部１０４、計時部１０５、バッファ部１０６、記録制御部１０７、記録部１０８、フィルタ係数演算部１０９、異常音判定部１１０、制御部１１５については、上記実施形態の異常音検出装置１におけるものと、同じ動作を行うものとする。
【００７６】
通信部４１１は、ネットワーク４０３を介して、バッファ部１０６に記憶されている信号データファイルを、パーソナルコンピュータ４０２に送信する。
パーソナルコンピュータ４０２は、図１３に示すように、表示生成部１１１と、表示制御部１１２と、表示部１１３と、入力受付部１１４と、通信部４２１と、制御部４２２とから構成される。
【００７７】
表示生成部１１１と、表示制御部１１２と、表示部１１３と、入力受付部１１４については、上記実施形態の異常音検出装置１におけるものと、同じ動作を行うものとする。
通信部４２１は、ネットワーク４０３を介して、異常音検出ユニット４０１との間で、データの通信を行う。
実施形態において、制御部１１５が行っていた処理は、異常音検出ユニット４０１の制御部１１５と、パーソナルコンピュータ４０２の制御部４２２とが分担して行う。
【００７８】
実施形態において、制御部１１５は、ユーザのキーボード操作による操作指示を入力受付部１１４から直接受信していたが、本変形例では、入力受付部１１４は、ユーザがキーボードを操作することにより取得した操作指示を制御部４２２に送信し、前記操作指示を受信した制御部４２２は、当該操作指示を、通信部４２１、通信部４１１を介して、制御部１１５に送信する。
【００７９】
また、実施形態において、表示生成部１１１は、制御部１１５から信号データファイル名を含む波形表示指示を受信し、当該信号データファイル名で識別される、バッファ部１０６に記録されている信号データファイルの内容に基づき、表示画像を生成し、当該表示画像を示す画像データを、表示制御部１１２が備える画像メモリに書き込んでいたが、本変形例では、表示生成部１１１は、制御部１１５から、通信部４１１とネットワーク４０３と通信部４２１とを介して信号データファイル名を含む波形表示指示を受信し、信号データファイル名を含む信号データファイル読出要求を、通信部４２１、通信部４１１を介して制御部１１５に送信し、制御部１１５は通信部４１１に、信号データファイル読出要求に含まれる信号データファイル名で示される信号データファイルをパーソナルコンピュータ４０２に送信するよう指示する。通信部４１１は、バッファ部１０６から、前記信号データファイルを読み出して、ネットワーク４０３、通信部４２１を介して、表示生成部１１１に送信し、表示生成部１１１は、当該信号データファイルを取得する。
（３）逆フィルタ係数を決定した後、異常音検出装置１における、表示生成部１１１は、図１４に示すような、図７に示す表示画像２３０と、図１０に示す決定された逆フィルタ係数の特性を表すフィルタ特性図とを、重ねて表示することとしてもよい。
【００８０】
これにより、ユーザにとっては、キーボードを操作することにより、選択した開始カーソル位置と、終了カーソル位置との間の部分信号を用いて算出された逆フィルタ係数の特性が一目で分かるので、逆フィルタ係数の特性が、想定していたものと著しく乖離しているなどの理由により、再度、開始カーソル位置と、終了カーソル位置とを選択し直して逆フィルタ係数の算出を行うか否かを判定が容易になる。
（４）表示生成部１１１は、開始カーソルと終了カーソルとのカーソル組を１組、表示画像２３０中に表示することとしていたが、これに限らず、２個以上のカーソル組を表示することとしてもよい。
【００８１】
一例として、２個のカーソル組を表示画像２３０中に示す例について、図１５〜図１８を用いて説明する。
表示生成部１１１は、制御部１１５から信号データファイル名を含む波形表示指示を取得する（ステップＳ１１）。
表示生成部１１１は、バッファ部１０６から、当該信号データファイル名で識別される信号データファイルを読み出す（ステップＳ１２）。
【００８２】
表示生成部１１１は、読み出した信号データファイル中の信号データ配列Ｓｉｇ［ｎ］を用いて、一例として図１９に示すように、原点２３７を原点とするｘ軸、ｙ軸の直交座標上に、（ｘ座標，ｙ座標）として（ｎ，Ｓｉｇ［ｎ］）をプロットしたグラフ２３４を生成する（ステップＳ１３）。ここで、ｎは自然数であり、０〜Ｎｍａｘ−１の値を取る。
【００８３】
表示生成部１１１は、開始カーソル２３５のｘ座標を示すＳｉｇＳｔａｒｔ［０］、終了カーソル２３６のｘ座標を示すＳｉｇＥｎｄ［０］、開始カーソル２３５又は終了カーソル２３６のいずれかを示すＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［０］、開始カーソル２３８のｘ座標を示すＳｉｇＳｔａｒｔ［１］、終了カーソル２３９のｘ座標を示すＳｉｇＥｎｄ［１］、開始カーソル２３８又は終了カーソル２３９のいずれかを示すＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［１］を管理する。また、表示生成部１１１は、制御対象となっているカーソル組が、開始カーソル２３５と終了カーソル２３６との組である第１カーソル組と、開始カーソル２３８と終了カーソル２３９との組である第２カーソル組のうちのいずれであるかを示すＳｉｇＧｒｏｕｐを管理する。
【００８４】
ここで、ＳｉｇＧｒｏｕｐが値「０」である場合、第１カーソル組を示し、値が「１」である場合、第２カーソル組を示すものとする。
表示生成部１１１は、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］、ＳｉｇＳｔａｒｔ［１］を０で初期化し、ＳｉｇＥｎｄ［０］、ＳｉｇＥｎｄ［１］をＮｍａｘで初期化し、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［０］、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［１］を０で初期化し、ＳｉｇＧｒｏｕｐを「０」で初期化する（ステップＳ１０１４）。
【００８５】
表示生成部１１１は、前記グラフ２３４に対し、一例として図１９に示すように、ｘ座標がＳｉｇＳｔａｒｔ［０］である位置に、ｙ軸に平行な破線で示される開始カーソル２３５を重畳させ、ｘ座標がＳｉｇＥｎｄ［０］である位置に、ｙ軸に平行な破線で示される終了カーソル２３６を重畳させ、ｘ座標がＳｉｇＳｔａｒｔ［１］である位置に、ｙ軸に平行な破線で示される開始カーソル２３８を重畳させ、ｘ座標がＳｉｇＥｎｄ［１］である位置に、ｙ軸に平行な破線で示される終了カーソル２３９を重畳させた画像であるグラフ画像２３３を生成する（ステップＳ１０１５）。
【００８６】
ここで、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］で示されるカーソルは操作の対象であることを認識できるよう赤色で表示し、他のカーソルは黒色で表示するよう表示画像を生成するものとする。
表示生成部１１１は、一例として図１５に示すように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］の値を表示するカーソル位置表示画像２３１を生成し、ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］−ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］の値を表示するカーソル幅表示画像２３２を生成し、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を表示するカーソル組番号表示画像２４０を生成し、グラフ画像２３３と併せた表示画像２３０を生成し、表示画像２３０を表示制御部１１２が備える前記画像メモリに書き込む（ステップＳ１０１６）。
【００８７】
例えば図１５においては、ＳｉｇＧｒｏｕｐが「０」であるとし、開始カーソル２３５は、ｘ座標がＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］の値「１１０６０」の位置に表示されており、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］の値「１１０６０」が、カーソル位置表示画像２３１中に表示されている。
また、終了カーソル２３６は、ｘ座標がＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］の値「１２０８４」の位置に表示されており、カーソル幅表示画像２３２として１２０８４−１１０６０の計算結果である値「１０２４」が表示されている。
【００８８】
表示制御部１１２は、前記画像メモリに書き込まれた表示画像２３０を表示するための映像信号を生成し、表示部１１３に対し出力し、表示部１１３は、前記映像信号を受信して、表示画像２３０を表示する（ステップＳ１７）。
表示制御部１１２は、制御部１１５からの指示を受け付ける（ステップＳ１８）。
前記指示が、カーソル右移動指示であり（ステップＳ３１：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」である場合（ステップＳ１０３２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］がＮｍａｘ未満であれば（ステップＳ１０３３：ＮＯ）、ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を１インクリメントし（ステップＳ１０３４）、Ｎｍａｘ以上であれば（ステップＳ１０３３：ＹＥＳ）、ステップＳ１８に移行する。
【００８９】
ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」でない場合（ステップＳ３２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］≧Ｎｍａｘ又はＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］≧ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］であるか否かを判定する（ステップＳ１０３５）。ステップＳ１０３５において、否定的であると判定された場合（ステップＳ１０３５：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を１インクリメントし（ステップＳ１０３６）、肯定的であると判定された場合（ステップＳ１０３５：ＹＥＳ）、ステップＳ１８に移行する。
【００９０】
前記指示が、カーソル左移動指示であり（ステップＳ４１：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」である場合（ステップＳ４２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］＞０かつＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］＞ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］であるか否かを判定する（ステップＳ１０４３）。ステップＳ１０４３において、肯定的であると判定された場合（ステップＳ１０４３：ＹＥＳ）、ＳｉｇＥｎｄ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を１デクリメントし（ステップＳ１０４４）、否定的であると判定された場合（ステップＳ１０４３：ＮＯ）、ステップＳ１８に移行する。
【００９１】
ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」でない場合（ステップＳ１０４２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が０より大きければ（ステップＳ１０４５：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｔａｒｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を１デクリメントし（ステップＳ１０４６）、０以下であれば（ステップＳ１０４５：ＮＯ）、ステップＳ１８に移行する。
【００９２】
前記指示が選択カーソル変更指示であり（ステップＳ１０６１：ＹＥＳ）、選択カーソル情報ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」である場合（ステップＳ１０６２：ＹＥＳ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を値「１」で書換え、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］が「０」でない場合（ステップＳ１０６２：ＮＯ）、ＳｉｇＳｅｌｅｃｔ［ＳｉｇＧｒｏｕｐ］を値「０」で書換えて、ステップＳ１０１５に移行する。
【００９３】
前記指示が選択範囲決定指示である場合（ステップＳ１０６５：ＹＥＳ）、処理を終了し、前記指示が選択範囲決定指示でない場合（ステップＳ１０６５：ＮＯ）、前記指示が選択カーソル組変更指示であれば（ステップＳ１０６７：ＹＥＳ）、表示生成部１１１は、ＳｉｇＧｒｏｕｐを、Ｍｏｄ（ＳｉｇＧｒｏｕｐ＋１，組数）で置き換えて（ステップＳ１０６８）、ステップＳ１０１５に移行する。ここで「組数」は、表示するカーソル組の数であり、本変形例では、組数＝２である。
（５）上述の変形例（４）のステップＳ１０１４において、開始カーソル２３５、２３８の初期位置を「０」とし、終了カーソル２３６、２３９の初期位置をＮｍａｘとしたが、これに限るものではなく、カーソルの初期位置は、一例として図１４に示したように、利用者が操作しやすいと推測される位置に移動させることとしてもよい。
【００９４】
例えば、Ｓｉｇ［０］〜Ｓｉｇ［Ｎｍａｘ−１］のうち、最大値を保持している配列要素（例えばＳｉｇ［ｍ］）を含む所定個数（例えば１０２４個）の配列要素を範囲とするように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］とＳｉｇＥｎｄ［０］の組、又は、ＳｉｇＳｔａｒｔ［１］とＳｉｇＥｎｄ［１］の組を決定してもよい。最大値を持つ配列要素がＳｉｇ［ｍ］であったとすると、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］＝（ｍ−５１１）、ＳｉｇＥｎｄ［０］＝（ｍ＋５１２）のようになる。但し、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］、ＳｉｇＥｎｄ［０］は、０以上Ｎｍａｘ以下となるよう定める。ｍ＝５０のような場合には、ｍ−５１１は「０」より小さくなるので、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］＝０とし、ＳｉｇＥｎｄ［０］＝１０２４として、１０２４個のデータを用いるよう初期値を定めてもよいし、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］を０とし、ＳｉｇＥｎｄ［０］＝ｍ＋５１２＝５６２としてもよい。
【００９５】
また、Ｓｉｇ［０］〜Ｓｉｇ［Ｎｍａｘ−１］のうち、最大値ではなく、最小値を保持している配列要素（例えばＳｉｇ［ｍ］）を含む所定個数（例えば１０２４個）の配列要素を範囲とするように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］とＳｉｇＥｎｄ［０］の組、又は、ＳｉｇＳｔａｒｔ［１］とＳｉｇＥｎｄ［１］の組を決定してもよい。
（６）カーソルの初期位置は、上述の変形例（５）以外に、以下に示すようなものであってもよい。
【００９６】
例えば、Ｓｉｇ［０］〜Ｓｉｇ［Ｎｍａｘ−１］のうち、所定の閾値以上の値が所定数以上連続する範囲を示すように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］とＳｉｇＥｎｄ［０］の組、又は、ＳｉｇＳｔａｒｔ［１］とＳｉｇＥｎｄ［１］の組を決定してもよい。
例えば、Ｓｉｇ［２３００］〜Ｓｉｇ［２７００］の値が、所定の閾値（例えば４０００）を超えていた場合に、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］＝２３００、ＳｉｇＥｎｄ［０］＝２７００のように初期値を設定する。
【００９７】
また、所定範囲の中間（本変形例では、２３００〜２７００の中間である２５００）の前後、所定数個（例えば５００個）の信号データを使うように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］、ＳｉｇＥｎｄ［０］を設定してもよい。この場合、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］＝２０００、ＳｉｇＥｎｄ［０］＝３０００のようになる。
また、上述したように所定の閾値以上の値ではなく、Ｓｉｇ［０］〜Ｓｉｇ［Ｎｍａｘ−１］のうち、所定の閾値以下の値が所定数以上連続する範囲を示すように、ＳｉｇＳｔａｒｔ［０］とＳｉｇＥｎｄ［０］の組、又は、ＳｉｇＳｔａｒｔ［１］とＳｉｇＥｎｄ［１］の組を設定してもよい。
（７）上記の各装置は、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ハードディスクユニット、ディスプレィユニット、キーボード、マウスなどから構成されるコンピュータシステムである。前記ＲＡＭ又は前記ハードディスクユニットには、コンピュータプログラムが記憶されている。前記マイクロプロセッサが、前記コンピュータプログラムに従って動作することにより、各装置は、その機能を達成する。ここで、コンピュータプログラムは、所定の機能を達成するために、コンピュータに対する指令を示す命令コードが複数個組み合わされて構成されたものである。
（８）上記の各装置を構成する構成要素の一部又は全部は、１個のシステムＬＳＩ（Large Scale Integration：大規模集積回路）から構成されているとしてもよい。システムＬＳＩは、複数の構成部を１個のチップ上に集積して製造された超多機能ＬＳＩであり、具体的には、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどを含んで構成されるコンピュータシステムである。前記ＲＡＭには、コンピュータプログラムが記憶されている。前記マイクロプロセッサが、前記コンピュータプログラムに従って動作することにより、システムＬＳＩは、その機能を達成する。
（９）上記の各装置を構成する構成要素の一部又は全部は、各装置に脱着可能なＩＣカード又は単体のモジュールから構成されているとしてもよい。前記ＩＣカード又は前記モジュールは、マイクロプロセッサ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、などから構成されるコンピュータシステムである。前記ＩＣカード又は前記モジュールは、上記の超多機能ＬＳＩを含むとしてもよい。マイクロプロセッサが、コンピュータプログラムに従って動作することにより、前記ＩＣカード又は前記モジュールは、その機能を達成する。このＩＣカード又はこのモジュールは、耐タンパ性を有するとしてもよい。
（１０）本発明は、上記に示す方法であるとしてもよい。また、これらの方法をコンピュータにより実現するコンピュータプログラムであるとしてもよいし、前記コンピュータプログラムからなるデジタル信号であるとしてもよい。
【００９８】
また、本発明は、前記コンピュータプログラム又は前記デジタル信号をコンピュータ読み取り可能な記録媒体、例えば、フレキシブルディスク、ハードディスク、ＣＤ―ＲＯＭ、ＭＯ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＢＤ（Ｂｌｕ−ｒａｙ  Ｄｉｓｃ）、半導体メモリなど、に記録したものとしてもよい。また、これらの記録媒体に記録されている前記コンピュータプログラム又は前記デジタル信号であるとしてもよい。
【００９９】
また、本発明は、前記コンピュータプログラム又は前記デジタル信号を、電気通信回線、無線又は有線通信回線、インターネットを代表とするネットワーク、データ放送等を経由して伝送するものとしてもよい。
また、本発明は、マイクロプロセッサとメモリとを備えたコンピュータシステムであって、前記メモリは、上記コンピュータプログラムを記憶しており、前記マイクロプロセッサは、前記コンピュータプログラムに従って動作するとしてもよい。
【０１００】
また、前記プログラム又は前記デジタル信号を前記記録媒体に記録して移送することにより、又は前記プログラム又は前記デジタル信号を前記ネットワーク等を経由して移送することにより、独立した他のコンピュータシステムにより実施するとしてもよい。
（１１）上記実施の形態及び上記変形例をそれぞれ組み合わせるとしてもよい。
【産業上の利用可能性】
【０１０１】
本発明の逆フィルタ係数決定方法は、機械等を用いて製品を製造する製造業等において、機械等の異常検出に利用される。
【図面の簡単な説明】
【０１０２】
【図１】本発明の一実施形態である異常音検出装置の構成を示すブロック図である。
【図２】バッファ部に記録する信号データファイルの構造を示す図である。
【図３】表示部に表示する表示画像の一例を示す図である。
【図４】カーソル位置決定処理の動作を示すフローチャートである。
【図５】カーソル位置決定処理の動作を示すフローチャートである。
【図６】カーソル位置決定処理の動作を示すフローチャートである。
【図７】表示部に表示する表示画像の一例を示す図である。
【図８】フィルタ係数算出処理を示すフローチャートである。
【図９】異常音検出処理を示すフローチャートである。
【図１０】本発明により算出されたフィルタ係数を用いた逆フィルタの周波数特性と、従来の逆フィルタの周波数特性の一例を示す図である。
【図１１】異常音検出ユニットとパーソナルコンピュータから構成する異常音検出システムの概略図である。
【図１２】異常音検出ユニットの構成を示すブロック図である。
【図１３】パーソナルコンピュータの構成を示すブロック図である。
【図１４】フィルタ特性図と、信号波形とを併せて表示する表示画像を示す図である。
【図１５】開始及び終了カーソルの組を複数表示する表示画像を示す図である。
【図１６】カーソルの組を複数表示する場合のカーソル位置決定処理の動作を示す図である。
【図１７】カーソルの組を複数表示する場合のカーソル位置決定処理の動作を示す図である。
【図１８】カーソルの組を複数表示する場合のカーソル位置決定処理の動作を示す図である。
【符号の説明】
【０１０３】
１０１ マイクロフォン
１０２ 変換部
１０３ スイッチ
１０４ 正常音除去部
１０５ 制御部
１０５ 計時部
１０６ バッファ部
１０７ 記録制御部
１０８ 記録部
１０９ フィルタ係数演算部
１１０ 異常音判定部
１１１ 表示生成部
１１２ 表示制御部
１１３ 表示部
１１４ 入力受付部
１１５ 制御部
２０１ 信号データファイル
２０４ 信号データ配列
２３０ 表示画像
２３１ カーソル位置表示画像
２３２ カーソル幅表示画像
２３３ グラフ画像
２３４ グラフ
２３５ 開始カーソル
２３６ 終了カーソル
２３７ 原点
３０１ 特性曲線
３０２ 特性曲線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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