(57)【要約】【課題】圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極を形成した２枚の圧電基板の溝同士を位置合わせして接着してヘッドチップとする場合に、チャネル内部の駆動電極同士の導通を簡単且つ確実に図り得るようにする。【解決手段】圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極を形成した２枚の圧電基板１０の溝同士を位置合わせして接着し、駆動壁３とチャネル２とが交互に並設されるヘッドチップ１を形成し、駆動電極に電圧を印加して駆動壁３をせん断変形させてチャネル２内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、圧電基板１０同士を接着した後、各チャネル２内部に配される各圧電基板１０の駆動電極の両方に導通する金属膜４ａを、チャネル２の入口又は出口が臨む圧電基板１０の端面における少なくとも２枚の圧電基板１０同士の境界線ａを跨ぐようにチャネル２毎に独立して形成する。【選択図】      図５
2007076062.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極をそれぞれ形成した２枚の圧電基板を、前記溝同士が相対するように位置合わせして接着することで、駆動壁とチャネルとが交互に並設されるヘッドチップを形成し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクを該チャネルの出口側に配置したノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、
前記圧電基板同士を接着した後、各チャネル内部に配される各圧電基板の駆動電極の両方に導通する駆動電極接続用の金属膜を、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面における少なくとも２枚の圧電基板同士の境界線を跨ぐようにチャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記金属膜を、各チャネルの入口及び／又は出口の周りを囲むように形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記ヘッドチップは、前記溝を各圧電基板の一方の端から他方の端に亘って形成することにより、該ヘッドチップの前面と後面に各チャネルの出口と入口が対向するように配置されるものであり、
前記チャネルの入口又は出口が臨む圧電基板の端面に、前記金属膜の形成と同時に、該金属膜によって各チャネル内部の駆動電極に駆動回路からの駆動電圧を印加するための引き出し電極を形成することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記ヘッドチップは、前記溝を各圧電基板の一方の端から他方の端に亘って形成することにより、該ヘッドチップの前面と後面に各チャネルの出口と入口が対向するように配置されるものであり、
前記金属膜を、前記チャネルの１つおきに、前記チャネルの出口が臨む圧電基板の前端面と前記チャネルの入口が臨む圧電基板の後端面に交互に形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記金属膜を、蒸着法又はスパッタ法により形成することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記蒸着法又はスパッタ法は、前記金属膜が各チャネル内部の駆動電極の表面に覆い被さるように、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面に垂直な線に対して斜めの方向から行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記蒸着法又はスパッタ法は、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面に垂直な線に対して斜めの方向からほぼ対称に、２回以上行うことを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳しくは、圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極をそれぞれ形成した２枚の圧電基板を、前記溝同士が相対するように位置合わせして接着することによってヘッドチップを形成するものにおいて、チャネル内部の駆動電極同士の導通を簡単且つ確実に図り得るようにしたインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電素子からなる駆動壁とチャネルとが交互に並設され、各チャネル内に臨む駆動壁の壁面に形成した駆動電極に電圧を印加することによって各駆動壁をせん断変形させることにより、チャネル内のインクをノズルから吐出させるせん断モードタイプのインクジェットヘッドは、図１５中の矢印で示すように分極方向を反対方向とした圧電素子１００ａ、１００ｂを積層することによって各駆動壁１００を作成することで、該駆動壁１００の壁面に形成される駆動電極１０１に駆動電圧を印加した際、各駆動壁１００をくの字形に大きくせん断変形させることができ、チャネル１０２内のインクに吐出のための大きなエネルギーを付与することができる。
【０００３】
このようなインクジェットヘッドを作成するには、例えば図１６に示すように、分極方向が反対方向となるように２枚の圧電素子２００ａ、２００ｂを積層して圧電基板２００を形成し、この圧電基板２００の圧電素子２００ａの側から圧電素子２００ｂの中途部に至るようにチャネルとなる多数の溝２０１を平行に研削することで駆動壁２０２を並設した後、各溝２０１内部に駆動電極２０３を形成し、各溝２０１の上方をカバー基板２０４で閉蓋するようにしてヘッドチップを形成する方法と、図１７に示すように、分極処理した圧電素子からなる圧電基板３００に多数の溝３０１を平行に研削した後、各溝３０１内部に駆動電極３０２を形成した同じものを２枚用意し、それらを溝３０２同士が相対するように位置合わせして接着することで、チャネル３０３と駆動壁３０４とが交互に並設されるヘッドチップを形成する方法とがある。
【０００４】
図１６に示す前者の例では、分極方向が反対方向となる駆動壁とチャネルを、２枚の圧電素子を積層した圧電基板に対してダイシングソー等を用いて研削することで形成できるので、駆動壁を形成するために分極処理された圧電素子同士の位置合わせが不要であり、しかも、駆動壁の壁面を平坦面に形成できる利点がある。
【０００５】
一方、図１７に示す後者の例では、溝を形成した圧電基板に駆動電極を形成したもの同士を接着して駆動壁とチャネルとを形成するので、各圧電基板の溝内部に駆動電極を形成する際、溝の深さはチャネルの半分の深さとなるため、溝内部全面に亘って均一な金属膜を形成し易い利点がある。
【０００６】
ところで、図１７に示す後者のヘッドチップを有するインクジェットヘッドの場合、圧電基板同士を接着する際、一方の圧電基板の駆動電極と他方の圧電基板の駆動電極とが接続して導通している必要がある。一般に、圧電基板同士は接着剤を用いて接着されるため、図１８に示すように、駆動壁３０４を構成する圧電素子３０４ａ、３０４ｂ間には接着剤層３０５が存在し、上下の駆動電極３０２、３０２同士の接続を妨げている。
【０００７】
このため、従来では、圧電基板同士を接着した後、各駆動壁３０４の壁面に、駆動電極３０２の上にＡｌ等の金属を蒸着すること等によって更に金属膜３０６を積み重ねるように形成し、上下の駆動電極３０２を接続して導通を図るようにしている（特許文献１）。
【特許文献１】特開平８−２７６５８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
溝を形成した圧電基板同士を接着したものでは、溝加工時の寸法誤差や接着時の位置合わせ誤差等によって、図１９（ａ）に示すように、上下の圧電素子３０４ａ、３０４ｂ間に位置ずれが生じ、段差Ａが発生することがある。また、接着剤の塗布量が多すぎることによって、図１９（ｂ）に示すように、接着時に接着剤層３０５がチャネル内部に溢れ出して硬化してしまい、内部に突出するはみ出し部Ｂが発生することもある。
【０００９】
このような段差Ａやはみ出し部Ｂが発生している場合、上下の駆動電極３０２を接続する金属膜３０６を形成するために金属を蒸着しても、段差Ａやはみ出し部Ｂの部分によって蒸着金属が行き渡らない影の部分が生じ、上下の駆動電極３０２がうまく接続しないおそれがある。
【００１０】
また、金属膜３０６をめっきによって形成する場合、段差Ａやはみ出し部Ｂによって気泡の抜けが悪くなり、金属膜３０６にピンホールが形成され易い問題がある。金属膜３０６にピンホールが発生すると、インク吐出時にチャネル内に気泡が残留し易くなり、インク吐出の障害となるおそれがある。
【００１１】
特に問題となるのは、このような段差Ａやはみ出し部Ｂの有無やその程度が、各チャネルで必ずしも一様ではないことである。しかし、金属膜３０６の形成具合を確認するためにチャネル内部を観察することは困難であり、仮に観察できたとしても、段差Ａやはみ出し部Ｂの有無やその程度によってチャネル毎に金属膜３０６の形成条件を変えることは現実的に不可能である。また、全チャネルに同一の形成条件で金属膜３０６を形成すると、段差Ａやはみ出し部Ｂの有無やその程度がばらばらであることによって、上下の駆動電極３０２が接続しないチャネルが発生してしまい、不良品となって歩留まりを悪くする問題があった。
【００１２】
そこで、本発明は、圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極をそれぞれ形成した２枚の圧電基板を、溝同士が相対するように位置合わせして接着することによってヘッドチップを作成する場合に、チャネル内部の駆動電極同士の導通を簡単且つ確実に図り得るようにすることを課題とする。
【００１３】
本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記課題は、以下の各発明によって解決される。
【００１５】
請求項１記載の発明は、圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極をそれぞれ形成した２枚の圧電基板を、前記溝同士が相対するように位置合わせして接着することで、駆動壁とチャネルとが交互に並設されるヘッドチップを形成し、前記駆動電極に電圧を印加することによって前記駆動壁をせん断変形させて前記チャネル内のインクを該チャネルの出口側に配置したノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法において、前記圧電基板同士を接着した後、各チャネル内部に配される各圧電基板の駆動電極の両方に導通する駆動電極接続用の金属膜を、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面における少なくとも２枚の圧電基板同士の境界線を跨ぐようにチャネル毎に独立して形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法である。
【００１６】
請求項２記載の発明は、前記金属膜を、各チャネルの入口及び／又は出口の周りを囲むように形成することを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００１７】
請求項３記載の発明は、前記ヘッドチップは、前記溝を各圧電基板の一方の端から他方の端に亘って形成することにより、該ヘッドチップの前面と後面に各チャネルの出口と入口が対向するように配置されるものであり、前記チャネルの入口又は出口が臨む圧電基板の端面に、前記金属膜の形成と同時に、該金属膜によって各チャネル内部の駆動電極に駆動回路からの駆動電圧を印加するための引き出し電極を形成することを特徴とする請求項１又は２記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００１８】
請求項４記載の発明は、前記ヘッドチップは、前記溝を各圧電基板の一方の端から他方の端に亘って形成することにより、該ヘッドチップの前面と後面に各チャネルの出口と入口が対向するように配置されるものであり、前記金属膜を、前記チャネルの１つおきに、前記チャネルの出口が臨む圧電基板の前端面と前記チャネルの入口が臨む圧電基板の後端面に交互に形成することを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００１９】
請求項５記載の発明は、前記金属膜を、蒸着法又はスパッタ法により形成することを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２０】
請求項６記載の発明は、前記蒸着法又はスパッタ法は、前記金属膜が各チャネル内部の駆動電極の表面に覆い被さるように、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面に垂直な線に対して斜めの方向から行うことを特徴とする請求項５記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【００２１】
請求項７記載の発明は、前記蒸着法又はスパッタ法は、前記チャネルの入口及び／又は出口が臨む圧電基板の端面に垂直な線に対して斜めの方向からほぼ対称に、２回以上行うことを特徴とする請求項６記載のインクジェットヘッドの製造方法である。
【発明の効果】
【００２２】
請求項１記載の発明によれば、チャネル内部の駆動電極同士の導通を、圧電基板の端面の金属膜によって確保することができる。この金属膜は、各チャネル内部の段差や接着剤のはみ出し具合に関わらず、圧電基板の端面において全チャネルに共通の条件で形成することができるため、簡単に駆動電極同士を接続することができ、確実な導通を図ることができる。
【００２３】
請求項２記載の発明によれば、金属膜を、各チャネルの入口及び／又は出口の周りを囲むように形成するので、該金属膜と各圧電基板の駆動電極のそれぞれとを３辺ずつで接続させることができ、金属膜と駆動電極との接続状態を最も確実にすることができる。
【００２４】
請求項３記載の発明によれば、工数を増加することなく、チャネル内部の各駆動電極に駆動回路からの駆動電圧を印加するための引き出し電極の形成とチャネル内部の駆動電極同士の導通の確保とを同時に行うことができる。
【００２５】
請求項４記載の発明によれば、チャネルが極めて微細ピッチである場合でも、隣接するチャネル間で金属膜同士が接触してしまう危険性を低減することができる。
【００２６】
請求項５記載の発明によれば、蒸着法又はスパッタ法によって圧電基板の端面に対して金属膜を簡単に形成することができる。
【００２７】
請求項６記載の発明によれば、蒸着法又はスパッタ法によって金属膜とチャネル内部の駆動電極との確実な接続を図ることができる。
【００２８】
請求項７記載の発明によれば、蒸着法又はスパッタ法によって金属膜とチャネル内部の駆動電極とのより確実な接続を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。
【００３０】
図１は１枚の圧電基板の斜視図である。図中、１０は圧電基板であり、矢印で示す方向に分極処理された比較的大判なＰＺＴ等の圧電素子からなる。
【００３１】
この圧電基板１０の一面に、ダイシングソー等によって複数の平行な溝１１を、圧電基板１０の一端から他端に亘って形成する。溝１１の数は図示するものに限定されない。この溝１１の形成によって、各溝１１の間に後に駆動壁となる壁部１２が形成される。
【００３２】
次に、図２に示すように、この圧電基板１０の各溝１１内部に駆動電極１３を形成する。駆動電極１３の形成方法は、蒸着法、スパッタ法、めっき法等のいずれでもよい。駆動電極１３は、隣接する溝１１内部の駆動電極１３同士の接触を避けるため、各溝１１間の壁部１２の上面には形成されないように、各溝１１の内部全面に形成する。
【００３３】
駆動電極１３を各溝１１の内部全面に選択的に形成するには、例えば、圧電基板１０の一面にドライフィルム等を貼着してマスクした後に、該マスクの上から溝１１を加工し、駆動電極１３を形成した後、各溝１１間のマスクを除去する方法等を採用することができる。
【００３４】
このようにして溝１１、壁部１２及び駆動電極１３を形成した同様の圧電基板１０を２枚用意し、図３に示すように、その圧電基板１０、１０の溝１１、１１同士が相対するように位置合わせして接着剤を用いて接着する。上下の圧電基板１０、１０の溝１１、１１が位置合わせされることによってチャネル２が形成され、壁部１２、１２が位置合わせされることによって分極方向が反対方向となる圧電素子からなる駆動壁３が形成される。
【００３５】
次に、圧電基板１０、１０に亘って、チャネル２の長さ方向と直交する方向に延びる平行なカットラインＣ、Ｃ・・・に沿ってフルカットすることにより、圧電基板１０、１０の積層体から多数のヘッドチップ１、１・・・を作成する。
【００３６】
得られるヘッドチップ１は、前端面（インク吐出側の端面）と後端面（インク吐出側と反対の端面）にチャネル２の出口と入口とが対向状に配置され、各チャネル２は出口から入口にかけて断面形状がほぼ変わらないストレート状となる所謂ハーモニカ型のヘッドチップとなる。
【００３７】
このようにして作成されたヘッドチップ１に対し、チャネル２の入口及び／又は出口が臨む端面に、各チャネル２内部に配される各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３の両方に導通する金属膜を、チャネル２の入口及び／又は出口が臨む圧電基板１０、１０の端面における少なくとも２枚の圧電基板１０、１０同士の境界線ａを跨ぐようにチャネル２毎に独立して形成する。
【００３８】
図４に、この金属膜の形成方法の一例を示す。この例では、チャネル２の入口が臨む後端面にマスク部材を用いて選択的に金属膜を形成する方法を示す。
【００３９】
図中、Ｆはヘッドチップ１の端面に貼着されたマスク部材としての感光性ドライフィルムである。感光性ドライフィルムＦには、ヘッドチップ１の各チャネル２に対応する位置に、それぞれチャネル２毎に独立した開口部ｆ１が形成されている。この開口部ｆ１は、チャネル２の入口の開口面積よりも若干大きな開口面積を有する矩形状に形成されている。従って、図４に示すように、感光性ドライフィルムＦをヘッドチップ１のチャネル２の入口が臨む後端面に貼着した状態で、この開口部ｆ１からはチャネル２の入口の全部とその周りを囲むように各圧電基板１０、１０の後端面の一部とが臨むようになる。
【００４０】
また、ハーモニカ型のヘッドチップ１は、チャネル２内部の駆動電極１３、１３に駆動回路（図示せず）からの駆動電圧を印加するための配線を外面に引き出す必要がある。このため、感光性ドライフィルムＦは、各開口部ｆ１に連続して、引き出し電極形成用の開口部ｆ２をそれぞれチャネル２毎に独立して形成している。この開口部ｆ２は、各開口部ｆ１の一辺からそれぞれチャネル２の並び方向と直交する方向に延びている。
【００４１】
この感光性ドライフィルムＦを、ヘッドチップ１のチャネル２の入口が臨む後端面に貼着した状態で、各開口部ｆ１、ｆ２を通してＡｌ等の金属を蒸着法又はスパッタ法によってヘッドチップ１の後端面に付着させる。蒸着法又はスパッタ法は、ヘッドチップ１の端面に対して簡単に金属膜を形成することができるため、本発明における金属膜の形成方法として好ましく採用できる。
【００４２】
このとき、付着させた金属粒子によって各チャネル２内部の駆動電極１３、１３の表面に覆い被さるように金属膜を形成するため、図６（ａ）の矢印で示すように、ヘッドチップ１におけるチャネル２の入口が臨む後端面に垂直な線Ｘに対して３０〜６０°程度斜めの方向から蒸着又はスパッタを行うことが好ましい。垂直な線Ｘに対して斜めの方向から照射された金属粒子は、感光性ドライフィルムＦの各開口部ｆ１、ｆ２を通してヘッドチップ１の後端面に付着すると共に、チャネル２の入口から内部に入り込み、該チャネル２内部の駆動電極１３、１３表面に達する。従って、ヘッドチップ１の後端面から各チャネル２の入口を経由して内部に連続する金属膜を形成することができ、この金属膜をチャネル２内部の駆動電極１３、１３と確実に接続させることができる。
【００４３】
また、この蒸着又はスパッタは、チャネル２の入口が臨む後端面に垂直な線Ｘに対して斜め方向からほぼ対称に、２回以上行うことが好ましい。斜め方向からほぼ対称に２回以上行うことで、金属膜を各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３の各々とより確実に接続させることができる。
【００４４】
チャネル２の入口が臨む後端面に垂直な線Ｘに対して斜め方向からほぼ対称に行う方向は、図６（ｂ）に示すように、圧電基板１０、１０同士の境界線ａに対して斜めに交叉する方向とすると、ヘッドチップ１の後端面にチャネル２の入口の周りを囲むように形成される金属膜の全周において該チャネル２内部の駆動電極１３、１３と接続させることができるため、より好ましい。
【００４５】
感光性ドライフィルムＦの開口部ｆ１、ｆ２内に所望の厚みの金属粒子を付着させた後、感光性ドライフィルムＦを除去すると、図５に示すように、ヘッドチップ１のチャネル２の入口が臨む後端面に選択的に金属膜４が形成される。金属膜４は、感光性ドライフィルムＦの開口部ｆ１によって各チャネル２の入口を囲むように形成される駆動電極接続用の金属膜４ａと、開口部ｆ２によって金属膜４ａと一体の金属膜によって形成される引き出し電極４ｂとからなる。
【００４６】
駆動電極接続用の金属膜４ａは、ヘッドチップ１を構成する２枚の圧電基板１０、１０の各後端面に亘って一体に連続すると共に、図７に示すように、チャネル２内部の各駆動電極１３、１３とそれぞれ接続している。従って、チャネル２内部の駆動電極１３、１３は駆動電極接続用の金属膜４ａによって導通する。
【００４７】
よって、従来のようにチャネル２内部において各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３同士を接続させる必要がなく、駆動電極１３、１３相互間の段差や接着剤のはみ出し部分の有無に関わらず、ヘッドチップ１のチャネル２の入口（又は出口）が臨む後端面（又は前端面）に対して駆動電極接続用の金属膜４ａを形成するだけで駆動電極１３、１３の確実な導通を図ることができる。また、金属膜４ａは、ヘッドチップ１の後端面（又は前端面）に形成するので、金属膜４ａと各駆動電極１３、１３との接続状態の確認も容易である。
【００４８】
しかも、仮に、駆動電極１３、１３相互間に発生している段差や接着剤のはみ出し部分の程度が各チャネル２でばらばらであっても、全チャネル２に対して単一の形成条件で駆動電極接続用の金属膜４ａを形成するだけでよいので、極めて簡単に駆動電極１３、１３の確実な導通を図ることができ、歩留まりを極めて向上させることができる。特に、本実施形態に示すように、ヘッドチップ１を圧電基板１０、１０の積層体から切り出すようにすれば、金属膜４ａを形成する端面は平滑面となるため、金属膜４ａを安定して形成することができる。
【００４９】
また、金属膜４ａは、ハーモニカ型のヘッドチップ１に必要な引き出し電極４ｂの形成時に一体に形成することができるため、工数を増加することなく、引き出し電極４ｂの形成とチャネル２内部の駆動電極１３、１３同士の導通の確保とを同時に行うことができる。
【００５０】
更に、ここでは、駆動電極接続用の金属膜４ａをチャネル２の入口の周りを囲むように形成したので、該金属膜４ａと各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３のそれぞれとは、図７に示すように、チャネル２の入口を形成する各圧電基板１０、１０の両壁部１２、１２の辺１２ａ、１２ｂと、溝１１の底部の辺１２ｃの３辺ずつで接続させることができる。このため、仮にいずれか１辺又は２辺に駆動電極１３と金属膜４ａとの接続不良が発生していたとしても、残りの２辺又は１辺で接続を維持することができるので、駆動電極接続用の金属膜４ａと駆動電極１３、１３との接続状態を最も確実にすることができる。
【００５１】
このようにして作成されたヘッドチップ１には、図８、図９に示すように、前端面に、各チャネル２に対応する位置にノズル５ａが開設されたノズルプレート５を接着すると共に、後端面には、例えば各引き出し電極４ｂと対応する位置に各引き出し電極４ｂと同ピッチで配線６ａ、６ａ・・・が形成された配線基板６を、各引き出し電極４ｂと各配線６ａとが接続するように異方導電性フィルム等を用いて接着することによりインクジェットヘッドＨとすることができる。
【００５２】
配線基板６は、ヘッドチップ１の幅方向と同一の幅を有すると共に、ヘッドチップ１のチャネルの並び方向と直交する方向に延び、ヘッドチップ１の上下に大きく張り出しており、その張り出し部にまで延びた配線６ａに、ＦＰＣ７の各配線７ａを位置合わせして異方導電性フィルム等を用いて接着する。この配線基板６のほぼ中央部には、その幅方向に亘って延びる１本の凹部６ｂを、ヘッドチップ１のチャネル列方向に沿って全てのチャネル２の入口側を覆うことができる大きさに溝加工している。この凹部６ｂは、各チャネル２にインクを供給するためのインク共通室として機能させることができる。
【００５３】
以上の実施形態は、駆動電極接続用の金属膜４ａをヘッドチップ１の後端面に引き出し電極４ｂと一体に形成する好ましい例を挙げたが、本発明は必ずしもこれに限定されるわけではなく、駆動電極接続用の金属膜４ａは、ヘッドチップ１におけるチャネル２の出口が臨む前端面に形成するようにしてもよい。
【００５４】
更に、駆動電極接続用の金属膜４ａは、図１０に示すように、ヘッドチップ１におけるチャネル２の出口が臨む前端面と入口が臨む後端面、すなわちヘッドチップ１の前端面と後端面とにチャネル２の１つおきに交互に形成することもできる。図１０（ａ）はヘッドチップ１の前端面を示し、図１０（ｂ）はヘッドチップ１の後端面を示している。この場合は、チャネル２が極めて微細ピッチであっても、隣接するチャネル２間で駆動電極接続用の金属膜４ａ同士が接触してしまう危険性を低減することができる。なお、引き出し電極４ｂは、各チャネル２の幅とほぼ同幅に形成することで、隣接する引き出し電極４ｂ同士の接触を防ぐことができる。
【００５５】
また、ヘッドチップは、全チャネルがインク吐出用として機能するタイプに限らず、ヘッドチップのチャネルが、１つおきにインク吐出用のチャネルとインク吐出を行わない空チャネルとを配置した独立チャネルタイプのヘッドチップであってもよい。
【００５６】
図１１は、独立チャネルタイプのヘッドチップ１の後端面に、駆動電極接続用の金属膜４ａと引き出し電極（個別電極）４ｂ及び空チャネルの共通電極４ｃをパターニングした例を示している。図中、２ａはインク吐出用チャネル、２ｂは空チャネルである。
【００５７】
共通電極４ｃは、各空チャネル２ｂの入口の周りを囲むように形成した各金属膜４ａと一体に形成され、全空チャネル２ｂの金属膜４ａ同士を導通させる。この共通電極４ｃは、図示するように、圧電基板１０、１０の境界線ａを挟んで引き出し電極４ｂを形成した側とは反対側に形成すると、相互の接触防止を図り易いために好ましい。共通電極４ｃは、例えばヘッドチップ１の端部で該ヘッドチップ１の別の端面に引き出し、ＦＰＣ等に接続する。
【００５８】
このような独立チャネルタイプのヘッドチップの場合にも、駆動電極接続用の金属膜４ａは、図１２に示すように、インク吐出用チャネル２ａと空チャネル２ｂとでヘッドチップ１の前端面と後端面とに振り分けて形成してもよい。図１２（ａ）はヘッドチップ１の前端面を示し、図１２（ｂ）はヘッドチップ１の後端面を示している。全空チャネル２ｂの金属膜４ａ及び該金属膜４ａ同士を導通させる共通電極４ｃはヘッドチップ１の前端面に形成し、全インク吐出用チャネル２ａの金属膜４ａ及び各金属膜４ａと一体の引き出し電極４ｂはヘッドチップ１の後端面に形成している。
【００５９】
図１１、図１２に示すヘッドチップ１は、いずれも図４に示した場合と同様にして、ヘッドチップ１の各端面にパターニングされたマスク部材を貼着した後に、蒸着法又はスパッタ法によって駆動電極接続用の金属膜４ａ、引き出し電極４ｂ及び共通電極４ｃをそれぞれ形成することができる。
【００６０】
なお、駆動電極接続用の金属膜４ａは、各チャネル２の入口又は出口の周りを囲むように形成するものに限定されるわけではなく、チャネル２の入口又は出口が臨む圧電基板１０の端面における少なくとも２枚の圧電基板１０、１０同士の境界線ａを跨ぐようにチャネル２毎に独立して形成するようにすれば、各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３を接続して導通させることができる。
【００６１】
従って、例えば図１３に示すように、駆動電極接続用の金属膜４ａは、ヘッドチップ１における駆動壁３の端面（図１３では後端面を示す。）にのみ形成するようにしてもよい。図１３（ａ）は、各チャネル２の両側に位置する各駆動壁３の後端面にそれぞれ駆動電極接続用の金属膜４ａを形成した例を示し、図１３（ｂ）は、各チャネル２の一方の側に位置する駆動壁３の後端面に駆動電極接続用の金属膜４ａを形成した例を示している。
【００６２】
図１３（ａ）の場合、各圧電基板１０、１０の駆動電極１３、１３の導通が、各チャネル２の両側の金属膜４ａ、４ａによって確保できるため、図１３（ｂ）の場合に比べて確実な導通を行うことができる。また、図１３（ｂ）の場合は、図１３（ａ）の場合に比べて、隣接するチャネル２間の金属膜４ａ同士の接触を防止する効果が高い。
【００６３】
また、この図１３に示す態様においても、図１０に示した態様と同様に、チャネル２が極めて微細ピッチである場合や独立チャネルタイプのヘッドチップである場合に、駆動電極接続用の金属膜４ａは、チャネル２の１つおきにヘッドチップの前端面と後端面との交互に形成するようにして、隣接する金属膜４ａ同士のより確実な接触防止或いは引き出し電極４ｂと共通電極４ｃとの完全な振り分けを図るようにしてもよい。
【００６４】
ハーモニカ型のヘッドチップ１の各チャネル２の駆動電極１３から配線を引き出す方法は、ヘッドチップ１の端面に引き出し電極４ｂを形成すれば、駆動電極接続用の金属膜４ａの形成と引き出し電極４ｂの形成とを同時に行える利点を有するが、本発明はなんらこれに限定されない。例えば図１４に示すように、一方の圧電基板１０の各溝１２の底部から該圧電基板１０の外面まで貫通する貫通孔１４を開設し、該貫通孔１４内に導電性ペースト等を用いて貫通電極１５を形成することによって、各チャネル２内の駆動電極１３をヘッドチップ１の外面にまで引き出し形成することができる。この場合は、各貫通電極１５にＦＰＣを接続することによって駆動回路からの駆動電圧を各チャネル２に印加することができる。
【００６５】
また、以上の実施形態では、ハーモニカ型のヘッドチップ１を有するインクジェットヘッドの例を挙げたが、本発明は、圧電素子からなる基板に複数の平行な溝と各溝内部に駆動電極をそれぞれ形成した２枚の圧電基板を、溝同士が相対するように位置合わせして接着することで、駆動壁とチャネルとが交互に並設されるヘッドチップを有し、駆動電極に電圧を印加することによって駆動壁をせん断変形させてチャネル内のインクを該チャネルの出口側に配置したノズルから吐出させるようにするものであれば、なんらハーモニカ型のヘッドチップを有するものに限定されない。例えば、圧電基板の一方の端から他方の端の手前まで溝を研削することにより、溝の深さが他方の端に行くに従って徐々に浅くなるチャネルを有し、各チャネルへのインクの供給方向とインクの吐出方向とがほぼ直交するような所謂チョッパートラバース型のヘッドチップを有するインクジェットヘッドであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６６】
【図１】複数の溝を形成した圧電基板の斜視図
【図２】溝内部に駆動電極を形成した圧電基板の正面図
【図３】２枚の圧電基板を接着した積層体の斜視図
【図４】金属膜の形成方法の一例を示す正面図
【図５】金属膜を形成したヘッドチップの端面の部分拡大図
【図６】（ａ）（ｂ）は金属膜の形成方法の説明図
【図７】金属膜を形成したヘッドチップの端面の部分拡大斜視図
【図８】インクジェットヘッドの分解斜視図
【図９】インクジェットヘッドの断面図
【図１０】駆動電極接続用の金属膜の他の態様を示し、（ａ）はヘッドチップの前端面の部分正面図、（ｂ）はヘッドチップの後端面の部分正面図
【図１１】独立チャネルタイプのヘッドチップの後端面を示す部分正面図
【図１２】（ａ）は独立チャネルタイプのヘッドチップの前端面を示す部分正面図、（ｂ）は独立チャネルタイプのヘッドチップの後端面を示す部分正面図
【図１３】駆動電極接続用の金属膜の他の態様を示し、（ａ）は各チャネルの両側に金属膜を形成した例を示す部分正面図、（ｂ）は各チャネルの片側に金属膜を形成した例を示す部分正面図
【図１４】ヘッドチップの他の態様を示す断面図
【図１５】せん断変形モードのインクジェットヘッドの構造を示す部分正面図
【図１６】せん断変形モードのインクジェットヘッドの製造方法の一例の説明図
【図１７】せん断変形モードのインクジェットヘッドの製造方法の一例の説明図
【図１８】従来の駆動電極の接続方法の説明図
【図１９】（ａ）は駆動壁に段差が発生している状態の説明図、（ｂ）は駆動壁に接着剤のはみ出し部が発生している状態の説明図
【符号の説明】
【００６７】
１：ヘッドチップ
２：チャネル
２ａ：インク吐出用チャネル
２ｂ：空チャネル
３：駆動壁
４：金属膜
４ａ：駆動電極接続用の金属膜
４ｂ：引き出し電極
４ｃ：共通電極
５：ノズルプレート
５ａ：ノズル
６：配線基板
６ａ：配線
６ｂ：凹部
７：ＦＰＣ
７ａ：配線
１０：圧電基板
１１：溝
１２：壁部
１３：駆動電極
１４：貫通孔
１５：貫通電極
Ｆ：感光性ドライフィルム
ｆ１、ｆ２：開口部
Ｈ：インクジェットヘッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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