(57)【要約】【課題】狭小幅配線パターンの断線欠陥の修正を配線基板にダメージを与えることなく、簡便で精度よく行うこと。【解決手段】先端部が柔軟性を有する先細の毛の軸を、配線基板１に対し略直交する面上で配線基板１に対して傾けて配設した修正筆１０を作製する。この修正筆１０の毛の先端が配線基板１に接するように保持し、毛の先端に導電性ペースト３が供給された状態で修正筆１０を、配線基板１に対し平行かつ毛の軸が傾けられた方向に直線移動させる。これにより、断線欠陥部分に導電性ペースト３が塗布されるので導電性ペースト３の塗布時に線幅が不用意に大きくなるのを抑えることができる。また、毛の先端径と略同じ程度の非常に細い線を描くことができるので、修正作業での毛先の接触によるダメージを回避できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
配線基板に形成された配線パターンの断線欠陥部分を修正する配線基板修正方法において、
先端部が柔軟性を有する先細の毛を設け、該毛の軸を前記配線基板に対し略直交する面上で前記配線基板に対して傾けて配設した修正筆を、前記毛の先端が前記配線基板に接するように保持し、
前記毛の先端に導電性ペーストが供給された状態で前記修正筆を、前記配線基板に対し平行かつ前記毛の軸が傾けられた方向に直線移動させ、前記断線欠陥部分に前記導電性ペーストを塗布する
ことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項２】
請求項１記載の配線基板修正方法において
複数の前記毛を具え、前記複数の毛の軸を前記配線基板に略直交する同一面内で略平行に保持し、かつ前記毛の軸の方向に対して前記複数の毛の先端の並びが斜め方向となるように前記複数の毛を配設した修正筆を、前記同一面上で傾け前記複数の毛の先端が略同時に前記配線基板に接するように保持し、
前記断線欠陥部分に前記導電性ペーストを塗布する
ことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項３】
請求項２記載の配線基板修正方法において、
前記修正筆の複数の毛の先端への前記導電性ペーストの供給を、前記複数の毛に設けられた間隙による毛細管現象により行う
ことを特徴とする配線基板修正方法。
【請求項４】
配線基板に形成された配線パターンの断線欠陥部分を修正する配線基板修正装置において、
先端部が柔軟性を有する先細の毛を設け、該毛の軸を前記配線基板に対し略直交する面上で前記配線基板に対して傾けて配設した修正筆と、
前記毛の先端が前記配線基板に接するように前記修正筆を保持する保持手段と、
前記毛の先端に導電性ペーストを供給するペースト供給手段と、
前記導電性ペーストが供給された状態で前記修正筆を前記配線基板に対し略平行かつ前記毛の軸が傾けられた方向に直線移動させる移動手段と、を備え、
前記断線欠陥部分に前記導電性ペーストを塗布する
ことを特徴とする配線基板修正装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＴＦＴ型液晶表示パネルのＴＦＴ基板におけるマトリックス配線などの断線欠陥の修正に好適な配線基板修正方法及び配線基板修正装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、配線基板の配線パターンの欠陥箇所の修正について種々の方法が行われている。ここで、配線パターンの欠陥は、主に短絡（ショート）モードと断線（オープン）モードに分けられる。
前者の短絡モードは、隣り合う配線パターン間に必要な間隙（スペース）に、配線材料自体が余分に形成されたり導電性の異物が付着したりして、短絡や絶縁性が阻害されたりするものであり、修正方法としては、例えば金属の細径ピンにより機械的に除去する方法、レーザ照射による熱的に除去する方法、当該短絡部をマスキングしたのち局所的にエッチングする方法などが採られる。
【０００３】
後者の断線モードは、配線パターン自体が断線するもので、これには虫食いやくびれなど局所的に配線パターンが細く形成されるものも含まれる。虫食い状の配線が不都合なのは、実使用時に細くなっている箇所では電流密度が大きくなりマイグレーションなどにより断線する可能性が大きくなるためである。この断線モードでは、修正方法としては、当該断線部をマスキングしたのち局所的にめっきなどでパターン形成する方法や、導電性ペーストを当該断線部に塗布し硬化させる方法などが採られている。
【０００４】
このように、短絡モードにおける修正は、余分な導体の除去作業であるため比較的簡便に実施することができるものの、断線モードでの修正は、配線パターンを接続したり、線幅の不足を補う作業であるため、より微細な作業を必要とするものとなっている。そして、この断線モードの修正には、上述した導電性ペーストを用いる方法が従来から行われており、種々の例が知られている。
従来の導電性ペーストを用いた配線パターンの断線の修正について、特許文献１〜３に開示されているものが知られている。
【０００５】
特許文献１には、特に、電子機器の配線基板の製造工程において、回路導体に断線が発生した場合の配線基板の断線修正方法に関するものが記載されている。
この配線基板の断線修正方法は、配線基板の断線部分を修正する方法であって、断線部分を含む回路パターン以外の部分にレジストを形成する工程と、レジストを形成した上から断線部分に導電ペーストを塗布する工程と、導電ペーストを固化させる工程と、配線基板からレジストを除去する工程と、を含むものである。
このように、配線基板の製造工程中にゴミや異物の付着を原因とする断線不良が生じた場合に、予め断線以外の部分にレジストを形成し、その上から導電ペーストを塗布して断線箇所を橋絡させた後、レジストパターン上の余分に塗布した導体ペーストを除去するようにしているため、高密度・狭ピッチ化されたパターン環境の配線基板においても、隣接する回路導体パターンと短絡させることなく断線を修正するようにしている。
【０００６】
特許文献２には、特に、ＬＣＤ（液晶ディスプレイ）、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）、マスクなどの基板のパターン欠陥を修正するような表示基板の欠陥修正方法および欠陥修正装置に関するものが記載されている。
この表示基板の欠陥修正方法は、その先端の形状が平坦に形成された針にペーストを付着して表示基板の配線の断線箇所に接触させ、微少部分にペーストを塗布することにより導電性膜のパターニングを行う表示基板の欠陥修正方法において、塗布針の近傍でこの針に沿って補助部材を上下に相対移動させ、ペーストを連続して塗布させるようにしたものである。
これにより、ペースト補給のために針をペーストタンクまで移動させる必要がなくなり、数回ないし数十回の連続塗布を行うことができ、塗布時間の短縮を図ることができる。また、高粘度ペーストを使用することにより、塗布の膜厚を厚くすることもできる。
【０００７】
特許文献３には、インクジェット方式により導電性材料を含む溶液の液滴を吐出して例えば回路基板における電気的接続不良部を補修する導電部の欠陥修正方法に関するものが記載されている。
この導電部の欠陥修正方法は、インクジェット方式により導電性材料を含む液体をノズルの吐出孔から液滴として吐出し、この液滴を導電部における欠陥部に付与する導電部の欠陥修正方法において、吐出孔の径が液滴の径よりも小さい静電吸引型インクジェット装置を使用し、このインクジェット装置のノズルから１滴の量が１ｐｌ以下の液滴を吐出するようにしたものである。
これにより、微細な導電部（配線パターン）に対して、微小な液滴を塗布する場合でも、空気抵抗による減速が抑えられ、十分な着弾精度が得られ、また、液滴は着弾後に移動し難く、正確な位置に液滴による導電層が形成されるので、液滴が拡がって他の導電部に悪影響を及ぼす事態が生じないようにしている。
【特許文献１】特開２０００−１５１０８１号公報（第２頁左欄，図２）
【特許文献２】特開２００２−３２１９９６号公報（第２頁左欄，図５）
【特許文献３】特開２００４−１３４５９６号公報（第２頁，図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
一般にＴＦＴ型液晶表示パネルのＴＦＴ基板や有機ＥＬ（Electro-Luminescence）パネルにおけるマトリックス配線の配線パターンでは、例えばラインとスペースが最小５μｍ程度にもなり小さいため、欠陥部の修正もこれに対応する精度が求められている。
しかしながら、特許文献１〜３に記載の技術には以下の欠点がある。
すなわち、特許文献１に開示されている配線基板の断線修正方法は、断線部分以外をフォトリソグラフィ技術によりレジストでカバーしてから断線部分に導電ペーストを塗布するので、修正にともなう導電ペーストの当該断線部以外へのはみ出しによる２次的な短絡は避けられるものの、作業工数が多くなるという不都合がある。
【０００９】
特許文献２に開示されている表示基板の欠陥修正方法は、先端が平坦な極細の針を用いてペーストを欠陥部に直接塗布し修正するものなので、ペーストを針先に適宜補充する必要があるのに加え、針が非常に細いため修正作業のとき、基板に接触するなどして針が破損するおそれがある。
特許文献３に開示されている導電部の欠陥修正方法は、インクジェット方式で、導電性材料を含むインクを基板に塗布するため、インクの液滴自体の制御性は比較的よいものの、塗布のターゲット中心に膜厚の頂点を有する山形の分布が形成されるのみならず、修正される側の配線基板自体の帯電などのため液滴の着弾精度を十分に高めることが難しいという不都合がある。
【００１０】
本発明はかかる点に鑑み、ＴＦＴ型液晶表示パネルのＴＦＴ基板などにおけるマトリックス配線の断線欠陥の修正を配線基板自体にダメージを与えることなく、簡便で精度よく行うことができる配線基板修正方法を提案するものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決するため、本発明は配線基板に形成された配線パターンの断線欠陥部分を修正する配線基板修正方法において、先端部が柔軟性を有する先細の毛を設け、この毛の軸を配線基板に対し略直交する面上で配線基板に対して傾けて配設した修正筆を、毛の先端が配線基板に接するように保持し、毛の先端に導電性ペーストが供給された状態で修正筆を、配線基板に対し平行かつ毛の軸が傾けられた方向に直線移動させ、断線欠陥部分に導電性ペーストを塗布するものである。
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明は配線基板に形成された配線パターンの断線欠陥部分を修正する配配線基板修正装置において、先端部が柔軟性を有する先細の毛を設け、この毛の軸を配線基板に対し略直交する面上で配線基板に対して傾けて配設した修正筆と、毛の先端が配線基板に接するように修正筆を保持する保持手段と、毛の先端に導電性ペーストを供給するペースト供給手段と、導電性ペーストが供給された状態で修正筆を配線基板に対し略平行かつ毛の軸が傾けられた方向に直線移動させる移動手段と、を備え、断線欠陥部分に導電性ペーストを塗布するものである。
【００１３】
このように構成した本発明配線基板修正方法及び配配線基板修正装置によれば、修正筆の移動方向に毛の軸が傾けられて保持され、この状態で直線移動することにより修正筆の先細の毛の先端の径と同程度の幅で導電性ペーストを配線パターンの欠陥部に直接塗布して断線欠陥を修正することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明配線基板修正方法及び配線基板修正装置によれば、配線基板にダメージを与えることなく、簡便で精度よく配線パターンの断線欠陥の修正を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の一実施の形態の例による配線基板修正方法を、図１〜図４を参照して説明する。
【００１６】
斜視図である図２において１０は修正筆であり、この修正筆１０は、直方体の一角部が切り欠かれてカット面１１ｃを有する形状の本体１１と、本体１１のカット面１１ｃから突設される整列毛１２と、シャフト１３からなっている。
【００１７】
本体１１は、図２及び図４に示すように、略線対称で接着剤などで接合される２分割構造とされ、内部には液供給口１１ｂから供給される導電性ペースト３などの液材料の液溜り１１ａと、整列毛１２の結束板１２ｂ（後述）の図示しない固定突起が設けられている。
本体１１に立設される円柱状のシャフト１３は、修正筆１０を他の機構に取り付け固定するもので、図４に示すように、本体部材１１-1，１１-2の内の何れかに一体に設けてもよいし、本体部材１１-1及び１１-2が接合された状態での本体１１に雌ねじを設けるとともに、別部品とされたシャフト１３の一端側に雄ねじを形成して螺入するようにしてもよい。
【００１８】
整列毛１２は、例えば耐溶剤性のある樹脂材料で根元側の軸径が５０〜６０μｍで先細の先端径が２〜５μｍ程度とされた４本の毛１２-1〜１２-4が、図２に示すように、結束板１２ｂで根元部が束ねられ一体とされる。
ここで、整列毛１２は、図３Ａに示すように、毛１２-1〜１２-4を例えば先端の先細とされる領域以外の軸径が略同じとなる部分を密着させて、図３Ｂに示すように縦一列に並べ、これら毛１２-1〜１２-4の軸心が同一面上に配されるようにする。そして、図３Ａに示すように、毛１２-1〜１２-4をその軸方向に先端をずらし、例えば毛１２-1〜１２-4の軸の方向に対して角度θとなるように並べ、この状態で結束板１２ｂに固定する。  
【００１９】
本体１１への整列毛１２の組み込みは、図４に示す２分割状態の本体部材１１-1，１１-2の液溜り１１ａの部分に結束板１２ｂを配するとともに、図２に示す本体１１のカット面１１ｃに設けられる貫通長孔１１ｄの部分に毛１２-1〜１２-4の軸部を配し、結束板１２ｂで根元が固定された状態で整列毛１２の先細の側をカット面１１ｃから突設させるように本体部材１１-1，１１-2を接合する。
ここで、毛１２-1〜１２-4軸部の方向とシャフト１３の軸方向は略平行とされる。なお、角度θは任意であるが、例えば３０°程度であれば十分である。
そして、図２に示す液供給口１１ｂから後述する導電性ペースト３を液溜り１１ａに注入する。
【００２０】
このように構成した修正筆１０は、毛１２-1〜１２-4の軸とシャフト１３の軸方向とが略平行となる。そして、図１Ａに示すように、４本の毛１２-1〜１２-4の軸心で形成される面を、図１Ｂに示すように、配線基板１に対し直交させると同時に、図１Ａに示すように、シャフト１３をこの面内で角度θだけ傾け、４本の毛１２-1〜１２-4の先端が軽く基板に接するように不図示の保持手段で保持する。
【００２１】
これにより、４本の毛１２-1〜１２-4の先端全てが、シャフト１３が傾けられた方向と反対の側で略同一の方向に向いて僅か撓むこととなる。このため、シャフト１３が傾けられた方向に修正筆１０を直線移動させることにより、毛１２-1〜１２-4の先端全てが同一直線上を倣うようにすることができる。
そして、液溜り１１ａに導電性ペースト３が供給されているとき、毛１２-1〜１２-4の先端から微少量の導電性ペースト３を配線基板１上に塗布することができる。
【００２２】
つまり、本体１１のカット面１１ｃに設けられた長孔１１ｄと毛１２-1〜１２-4の軸部との隙間から毛細管現象で導電性ペースト３が先端側に供給されるとともに自重で毛１２-1〜１２-4の先端に達することになるので配線基板１上の所定部に塗布することができる。
このとき、毛１２-1〜１２-4の先端の径が２〜５μｍと細くかつ配線基板１との設置面積も小さく、導電性ペースト３の供給量も微量なので、図７に示すように、細い配線パターン２の断線欠陥Ｆに対しはみ出すことなく修正することができる。
【００２３】
このように構成した本例の配線基板修正方法によれば、修正筆１０に先端の径が２〜５μｍの毛１２-1，…を先端の並びが斜めとなるように設け、この修正筆１０を所定の角度傾けて直線移動させることにより、配線基板１上の所定部に導電性ペースト３を塗布することができる。このとき、毛１２-1〜１２-4の先端が細くかつ配線基板１との設置面積も小さく、導電性ペースト３の供給量も微量なので、細い配線パターン２の断線欠陥Ｆに対しはみ出すことなく修正することができる。また先端が柔軟性を有する先細の毛を用いているため配線基板１にダメージを与えることがない。
【００２４】
次に、本発明の一実施の形態の例による配線基板修正装置を、図５〜図８を参照して説明する。
【００２５】
図５は、本例の配線基板修正装置１００の例を示す斜視図である。
配線基板修正装置１００は、図５に示すように、架台上に定盤１０１が設置され、この上に配線基板１の修正機構が組み立てられる。
定盤１０１の左右の側に、門型部材１０２をＹ軸（前後）方向に駆動するためのスライドユニット１０３ａ，１０３ｂが設けられる。このスライドユニット１０３ａ，１０３ｂの一方にボールねじと他方にリニアスライドシャフトが設けられ、ボールねじに連結されるパルスモータなどの駆動モータによって、スライドユニット１０３ａ，１０３ｂ上の門型部材１０２がＹ軸方向に移動自在に駆動される。
【００２６】
門型部材１０２は、図５に示すように、門の脚部の一方にスライドユニットのボールねじと係合する図示しないナット、他方にリニアスライドシャフトと摺動自在に係合する図示しないリニアスライドガイドが設けられる。そして、門型部材１０２の桁部の手前側面に、修正ユニット１１０（図６参照）をＸ軸（左右）方向に駆動するためのスライドユニット１０５が設けられる。
このスライドユニット１０５は、ボールねじ１０５ａとリニアスライドシャフト１０５ｂに係合するように設けられたスライドブロック１０４を、パルスモータなどによりＸ軸方向に駆動自在とする。
修正ユニット１１０には、モニタカメラ１１７と図示しないレーザ発振器と修正筆１０などが設けられる。
【００２７】
スライドブロック１０４に設けられる修正ユニット１１０は、図６に示すように、Ｚ軸スライドガイド１１２が設けられたベースプレート１１１と、このＺ軸スライドガイド１１２と摺動自在に設けられるスライドブロックに取り付けられるブラケット１１３と、このブラケット１１３に取り付けられる回転駆動モータ１１６と、この回転駆動モータ１１６の回転軸に固定されて設けられ、モニタカメラ１１７とレーザ発振器と修正筆１０が取り付けられる回転プレート１１４から構成される。
【００２８】
そして、ブラケット１１３は、ベースプレート１１１に設けられるＺ軸駆動モータ１１５で昇降自在とされ、回転プレート１１４は、修正筆１０を図７に示す配線パターン２の方向に合わせることができるように回転駆動モータ１１６で回転自在とされる。
また、モニタカメラ１１７は、図７に示す断線欠陥Ｆの修正のとき、図８Ａに示すように修正筆１０の毛先を画像モニタ１２０で観察できるように設けられ、図示しないレーザ発振器のレーザ出射口は、修正後の導電性ペースト３を加熱硬化できるように配設される。なお、図７で２は配線パターンを示している。
ここで、レーザ発振器としては、例えばＹＡＧレーザなどを用いることができ、このレーザ発振器を別置きとして、光ファイバーを介してレーザ光を回転プレート１１４下面側の照射口に導くようにしてもよい。
【００２９】
配線基板１は、図５に示すように、定盤１０１上でＹ軸スライドユニット１０３ａ，１０３ｂの間に、図示しない位置決め機構により位置決め固定される。ここで配線基板１は、予め欠陥検査装置により配線基板１の基準位置に対する欠陥位置の座標が欠陥情報として取得される。そして、配線基板修正装置１００では、欠陥検査装置で配線基板１を検査する際に用いたものと同じ基準位置とこれに対する座標系を適用することにより、欠陥検査装置で得られた欠陥情報から容易に修正における欠陥位置を見出すことができるようにしている。
また、配線基板修正装置１００には、例えば制御のためのデスクトップ型や図５に示すラップトップ型のパーソナルコンピュータ１０８が設置される。ここでパーソナルコンピュータ１０８の表示画面はモニタカメラ１１７の撮像画像を表示させる画像モニタ１２０として用いることができる（図８Ａ）。
【００３０】
このように構成された配線基板修正装置１００の動作を、図７に示す断線欠陥Ｆが配線基板１上の図５に示すＸ軸に平行な配線パターン２にあるときを例に説明する。
先ず、導電性ペースト３が供給された修正筆１０を、回転プレート１１４の固定治具１１８に固定する。このとき、整列毛１２の毛１２-1〜１２-4が、図１Ｂに示すように配線基板１に垂直で、修正筆のシャフト１３を図１Ａに示すようにθだけ傾けて回転プレート１１４に固定する（図５）。
そして、毛先が配線基板に接した状態が画像モニタ１２０で確認できるように、モニタカメラ１１７を所定位置に固定する（図８Ａ）。
【００３１】
次に、モニタカメラ１１７により撮像画像をモニタしながら修正筆１０を、図５に示す矢印のＸ軸方向に直線駆動し、配線パターン２の図７に示す断線欠陥Ｆ上に導電性ペースト３を塗布する（図８Ａ）。例えば、配線パターン２の幅が略５μｍのときは、毛の先端が２μｍ程度とし、複数回図５に示すＹ軸（前後）方向にずらしながら塗布する。
その後、配線パターン２の断線欠陥Ｆの塗布された導電性ペースト３をレーザ光の照射により加熱硬化する。図８Ｂは、断線欠陥Ｆ上の導電性ペースト３を硬化して接続された状態の配線パターン２を示すものである。
【００３２】
なお、複数回塗布するときは、必ず図５に示す左上側の移動始点から右下側の移動終点の方向、つまりＸ軸に平行な矢印の方向に修正筆１０を直線移動させるようにする。
すなわち、修正筆１０の動作としては、右下側の塗布の移動終点に到達したら、図６に示すＺ軸駆動モータ１１５でブラケットが僅か上昇駆動させ修正筆１０が配線基板１から離し、この状態でＸ軸のマイナス方向に駆動されるとともに、門型部材１０２が前後方向の所定の微小量だけＹ軸駆動される。その後、再度Ｚ軸駆動モータ１１５で下降駆動されたのち修正筆１０を、図６に示す矢印のＸ軸方向に直線駆動し、配線パターン２の断線欠陥Ｆ（図７）上に導電性ペースト３を塗布する。このように僅かずつ配線パターン２上の断線欠陥Ｆを導電性ペースト３で埋めるように塗布する。
【００３３】
また、断線欠陥Ｆが図５に示すＸ軸に平行な配線パターン２だけでなくＹ軸に平行な配線パターン２にもあるときは、上述修正作業の後、回転駆動モータ１１６で回転プレートを９０°所定方向に回動してから、毛先が配線基板１に接した状態でモニタカメラ１１７で撮像画像をモニタしながら上述と同様の修正作業を行う（図８Ａ及びＢ）。
【００３４】
本例の配線基板修正装置１００では、修正筆１０に用いる毛の本数がせいぜい４本程度と少なく、修正作業での取り付け状態では毛１２-1〜１２-4の先端が少しずつずらされた状態で垂直に並べられ、かつそれぞれの毛の先端が略同じ方向に撓むようにシャフト１３をθだけ傾けられた状態とし、この傾きの方向に直線駆動されるため、塗布時に線幅が不用意に大きくなるのを抑えることができ、毛の先端径と略同じ程度の非常に細い線を描くことができる。
【００３５】
また、修正筆１０の本体１１には液溜り１１ａを設け、この中に根元が配設された整列毛１２がカット面１１ｃから突設され、修正作業の取り付け状態では毛１２-1〜１２-4の先端が少しずつずらされた状態で垂直に並べられるため、充填された導電性ペースト３を毛細管現象によって徐々に筆先に供給することができる。これにより、導電性ペースト３の連続塗布ができるようになり、効率的に塗布することができる。
さらに、配線基板１と接触する部分が比較的柔らかい材質であるため、接触により配線基板１にダメージを与えることがない。
【００３６】
本例の配線基板修正方法及び配線基板修正装置によれば、修正筆１０に用いる整列毛１２を柔軟性の材料で本数がせいぜい４本と少なくし、その根元の結束板１２ｂと本体１１のカット面１１ｃとで毛１２-1〜１２-4の軸が略同一面上に配設されるように束ねられ直線駆動されているため、塗布時に線幅が不用意に大きくなるのを抑えることができ、修正作業の取り付け状態では毛１２-1〜１２-4の先端が少しずつずらされた状態で垂直に並べられるため、毛の先端径と略同じ程度の非常に細い線を描くことができる。また、修正作業での接触により配線基板１にダメージを与えることがない。
【００３７】
なお、液溜り１１ａには、保液性を有するスポンジ状の材料を具えるようにしてもよい。また、異なる種類のペーストを使う場合は、複数の修正筆を予め回転プレートなどに備えておき、切り替え機構を備えていればよい。
【００３８】
本発明の配線基板修正方法及び配線基板修正装置は、上述例に限ることなく本発明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成を採り得ることは勿論である。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の一実施の形態の例による配線基板修正方法に用いる修正筆の使用状態を説明する、Ａは正面図、Ｂは側面図である。
【図２】図１例の修正筆の構造の説明に供する斜視図である。
【図３】図２例の修正筆の要部を拡大して示す、Ａは正面図、Ｂは側面図である。
【図４】図２例の修正筆本体を分割した斜視図である。
【図５】本発明の一実施の形態の例による配線基板修装置の外観斜視図である。
【図６】図５例の配線基板修正装置に用いる修正ヘッドの一例を示す斜視図である。
【図７】配線基板上のパターンの断線欠陥の例を示す説明図である。
【図８】図５例の配線基板修正装置で修正作業時のモニタ画面上の画像の例を示す説明図である。
【符号の説明】
【００４０】
１…配線基板、１０…修正筆、１２…整列毛、１２-1〜１２-4…毛、１２ｂ…結束板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007123535.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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