(57)【要約】【課題】熱損失がほとんど無く、高いクリーン性能を持ち、さらに設備負担を低減するクリーンオーブンを実現する。【解決手段】本発明のクリーンオーブン１は、炉外に設けられているダクト１１と炉内が、互いに雰囲気ガスの圧力の等しい接続部Ｂと接続部Ｃにおいて、該接続部Ｂと接続部Ｃとをつなぐように接続されており、ダクト１１は内部に冷却器６と冷却器用ファン１２とを備えている。冷却器６が炉外にもうけられているため熱損失がほとんどなく、さらにダンパーが設けられていないので、発塵せず高いクリーン性能を持つ。また、加熱中に冷却水の供給が停止した場合、冷却器用ファン１２が停止するので、クリーンルーム外に蒸気を排出するためのダクトが不要である。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
外部と断熱された炉内に加熱部とオーブン用送風手段とオーブン用フィルターとを備え、上記加熱部によって加熱された雰囲気ガスを、上記オーブン用送風手段が上記オーブン用フィルターを通して熱処理物に吹き付け、上記炉内を循環させるクリーンオーブンであって、
冷却部と冷却器用送風手段とを備えるダクトが、上記炉内の第１接続部と第２接続部とにおいて、第１接続部と第２接続部とをそれぞれつなぐように接続され、
炉内の雰囲気ガスは、上記冷却器用送風手段によって上記第１接続部において上記ダクト内に流入し、上記ダクト内の雰囲気ガスは、上記冷却器用送風手段によって上記第２接続部において炉内に流入し、
上記第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに等しく、
上記ダクトが、炉外に設けられていることを特徴とするクリーンオーブン。
【請求項２】
上記冷却部への冷却水の供給が停止した場合に、上記冷却器用送風手段の駆動を停止させることを特徴とする請求項１に記載のクリーンオーブン。
【請求項３】
外部と断熱された炉内に加熱部とオーブン用送風手段とオーブン用フィルターとを備え、上記加熱部によって加熱された雰囲気ガスを、上記オーブン用送風手段が上記オーブン用フィルターを通して熱処理物に吹き付け、上記炉内を循環させるクリーンオーブンであって、
冷却部とダンパーとを備えるダクトが、上記炉内の第１接続部と第２接続部とにおいて、第１接続部と第２接続部とをそれぞれつなぐように接続され、
炉内の雰囲気ガスは、上記ダンパーを開けた場合のみ上記第１接続部において上記ダクト内に流入し、上記ダクト内の雰囲気ガスは、上記ダンパーを開けた場合のみ上記第２接続部において炉内に流入し、
上記第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに異なり、
上記ダクトが、炉外に設けられていることを特徴とするクリーンオーブン。
【請求項４】
上記ダンパーは、上記冷却部と第２接続部との間に設けられ、上記ダンパーの弁部がゴム製であることを特徴とする請求項３に記載のクリーンオーブン。
【請求項５】
上記ダクトがさらにダクト用フィルターを備え、
該ダクト用フィルターは上記ダンパーと第２接続部との間に設けられていることを特徴とする請求項３または４に記載のクリーンオーブン。
【請求項６】
上記ダクト用フィルターがＨＥＰＡフィルターであることを特徴とする請求項５に記載のクリーンオーブン。
【請求項７】
上記冷却部への冷却水の供給が停止した場合に、上記ダンパーを閉じることを特徴とする請求項３〜６のいずれか１項に記載のクリーンオーブン。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、特定の雰囲気ガス中で被熱処理物の熱処理を行うクリーンオーブンに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
クリーンオーブンとは、半導体デバイスや液晶ディスプレイデバイスなどを熱処理するための装置であり、断熱材で囲まれた炉内に、熱処理される試料を収容する処理室、ヒーターなどの加熱手段、ファンなどの送風手段、およびフィルターを備えている。フィルターは処理室の入り口に設けられ、高温に加熱されフィルターを通って清浄化された雰囲気ガスは、試料に吹き付けられ炉内を循環する。
【０００３】
さらに、熱処理後の冷却を速やかに行うための冷却器（水冷フィンクーラ）を炉内に備え、熱処理時の熱損失を抑えるため、ダンパー（切替板）を設けて、冷却時のみ冷却器へ炉内の雰囲気ガスが流れ込むクリーンオーブンが従来から提案されている（例えば、特許文献１および２参照）。例えば、低温ポリシリコンＴＦＴ（ＬＴＰＳ）等の熱処理では、通常窒素ガスを炉内に導入し、酸素濃度１００ｐｐｍ以下の特定の雰囲気にして、３００℃〜５００℃で熱処理を行うが、熱処理後に温度を下げ、試料を取り出すまでの間、炉内を熱処理時の特定の雰囲気に維持する必要がある。上記のクリーンオーブンでは、冷却器が炉内にあり、炉内の雰囲気ガスは閉じ込められたまま冷却されるので、炉内は特定の雰囲気を維持できる。
【０００４】
図７（ａ）および（ｂ）は、特許文献１に記載されているクリーンオーブン１０１の構成を示す断面図である。クリーンオーブン１０１は、外部と断熱された炉内に、ヒーター１０２、ファン１０３、フィルター１０４、冷却器１０６および２つのダンパー１０７ａ・１０７ｂを備え、試料１０５が熱処理室１０８内に収容されている。ヒーター１０２によって熱せられた雰囲気ガスは、ファン１０３によって熱処理室１０８側へ送り出され、フィルター１０４を通って試料１０５に吹き付けられ、炉内を循環する。
【０００５】
図７（ａ）は、加熱時の状態を示しており、ダンパー１０７ａ・１０７ｂが冷却室１１０の入り口を塞いでいるため、ヒーター１０２で熱せられた雰囲気ガスは、冷却器１０６をほとんど通らなくなり、熱損失を抑えることができる。図７（ｂ）は、冷却時の状態を示しており、ヒーター１０２への通電を停止した後、ダンパー１０７ａを時計回りに９０°回転させ、ダンパー１０７ｂを反時計回りに９０°回転させて、冷却室１１０を開放する。これにより、循環する雰囲気ガスが冷却器１０６を通るようになり、炉内を特定の雰囲気に維持したまま冷却することができる。
【０００６】
また図８は、特許文献２に記載されているクリーンオーブン２０１の構成を示している。クリーンオーブン２０１は、外部と断熱された炉内に、ヒーター２０２、ファン２０３、フィルター２０４、冷却器２０６および２つのダンパー２０７ａ・２０７ｂを備え、熱処理される試料（図示せず）は熱処理室２０８に収容される。ヒーター２０２によって熱せられた雰囲気ガスは、ファン２０３によって熱処理室２０８側へ送り出され、フィルター２０４を通って試料に吹き付けられ、整流板２０９を通って炉内を循環する。
【０００７】
図８は加熱時の状態を示しており、冷却器２０６に雰囲気ガスが通らないようにダンパー２０７ａ・２０７ｂが閉じられているため、熱損失を抑えることができる。冷却時は、ダンパー２０７ａを時計回りに９０°回転させ、ダンパー２０７ｂを反時計回りに９０°回転させることにより、雰囲気ガスが冷却器２０６を通過し、炉内は特定の雰囲気を維持したまま冷却される。
【特許文献１】特許第３５２５０７４号（平成１２年１１月３０日公開）
【特許文献２】特開２００４−３５３９２８号公報（平成１６年１２月１６日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、ダンパーは通常、ステンレス等の金属の板であり断熱構造にはなっていない。したがって、上記従来の構成では、加熱室内の熱がダンパーから冷却器側へ伝わってしまうため、熱損失が生じる。
【０００９】
また熱処理中は、ダンパーの冷却器側と炉内側とで雰囲気温度が異なるので、ダンパーの熱膨張が、冷却器側の面と炉内側の面とで変わり、ダンパーは炉内の温度上昇に伴って湾曲してしまう。よって、熱処理中に炉内の雰囲気ガスが冷却器へ流れないように完全に遮断することができず、熱損失を無くすことができないという問題を生じる。
【００１０】
また、ダンパーはメカ機構であり、擦動のため開閉動作時に発塵する。さらにダンパーは、加熱時には湾曲し冷却時に元に戻ることを繰り返すが、ダンパーの各部品は形状の違いから熱容量が異なるため、温度変化時の各部の温度が異なり、湾曲の度合いも各部品でそれぞれ異なる。そのため各部品同士の擦動が起こり、ダンパーは開閉動作時だけでなく、加熱・冷却時も発塵することとなる。ここで、炉内のフィルターに捕集効率の高いＨＥＰＡフィルターを用いる場合、ダンパーの発塵による塵はほとんど加熱室内に流れ込まないが、ＨＥＰＡフィルターは耐熱温度が低いため、例えば低温ポリシリコンＴＦＴ（ＬＴＰＳ）等の３００℃〜５００℃の熱処理には使用できない。その場合、耐熱温度が５００℃程度の耐熱フィルターを使用することとなるが、耐熱フィルターはＨＥＰＡフィルターに比べて捕集効率が劣るので、ダンパーの発塵による塵を捕集しきれず、塵の一部が試料に吹き付けられてしまい、炉内のクリーン性能が悪化するという問題を生じる。
【００１１】
さらに、高温で運転中に冷却器への冷却水の供給が停止すると、冷却器が炉内にあるため熱伝導で冷却器内の水温が上昇、気化し、冷却器内の圧力が上昇する。よって、安全のため安全弁が必要となるが、クリーンオーブンはクリーンルーム内で使用するため、安全弁から放出する蒸気をそのままクリーンルーム内へ出すことはできない。そのため、安全弁から放出する蒸気をクリーンルームの外へ出す専用のダクトを施工する必要があり、設備負担が生じるという問題がある。
【００１２】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高いクリーン性能を持つクリーンオーブンを実現することにある。
【００１３】
また本発明の目的は、熱損失をさらに抑え消費電力の少ないクリーンオーブンを実現することにある。
【００１４】
また本発明の目的は、蒸気をクリーンルームの外へ排出する専用ダクトが不要で、設備負担の少ないクリーンオーブンを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明に係るクリーンオーブンは、上記課題を解決するために、外部と断熱された炉内に加熱部とオーブン用送風手段とオーブン用フィルターとを備え、上記加熱部によって加熱された雰囲気ガスを、上記オーブン用送風手段が上記オーブン用フィルターを通して熱処理物に吹き付け、上記炉内を循環させるクリーンオーブンであって、冷却部と冷却器用送風手段とを備えるダクトが、上記炉内の第１接続部と第２接続部とにおいて、第１接続部と第２接続部とをそれぞれつなぐように接続され、炉内の雰囲気ガスは、上記冷却器用送風手段によって上記第１接続部において上記ダクト内に流入し、上記ダクト内の雰囲気ガスは、上記冷却器用送風手段によって上記第２接続部において炉内に流入し、上記第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに等しく、上記ダクトが、炉外に設けられていることを特徴としている。
【００１６】
上記の構成によれば、ダクト内にダンパーを設けていないため、ダンパー部での発塵の問題が発生せず、炉内のフィルターが捕集効率の高いＨＥＰＡフィルターでなくても、高いクリーン性能を実現できるという効果を奏する。また、冷却部を備えるダクトが炉外に設けられており、さらに第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに等しいことにより、冷却時に冷却器用送風手段を動作させるとき以外には、ダクトに炉内の雰囲気ガスが流れ込まないため、熱損失がほとんど無いという効果を奏する。
【００１７】
本発明に係るクリーンオーブンでは、さらに上記冷却部への冷却水の供給が停止した場合に、上記冷却器用送風手段の駆動を停止させることが好ましい。
【００１８】
上記の構成によれば、処理中に冷却部への冷却水の供給が停止しても、冷却器用送風手段を駆動していなければ、上記第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに等しいため、ダクト内に炉内の雰囲気ガスが流れ込まなくなる。よって、冷却水が気化することがなく、蒸気をクリーンルームの外へ排出するための専用ダクトが不要となるので、設備負担を軽減することができるという効果を奏する。
【００１９】
また本発明に係るクリーンオーブンでは、外部と断熱された炉内に加熱部とオーブン用送風手段とオーブン用フィルターとを備え、上記加熱部によって加熱された雰囲気ガスを、上記オーブン用送風手段が上記オーブン用フィルターを通して熱処理物に吹き付け、上記炉内を循環させるクリーンオーブンであって、冷却部とダンパーとを備えるダクトが、上記炉内の第１接続部と第２接続部とにおいて、第１接続部と第２接続部とをそれぞれつなぐように接続され、炉内の雰囲気ガスは、上記ダンパーを開けた場合のみ上記第１接続部において上記ダクト内に流入し、上記ダクト内の雰囲気ガスは、上記ダンパーを開けた場合のみ上記第２接続部において炉内に流入し、上記第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が互いに異なり、上記ダクトが、炉外に設けられていることを特徴としている。
【００２０】
上記の構成によれば、ダンパー部において塵が発生するが、加熱処理中は上記ダンパーを閉じることにより、炉内の雰囲気ガスがダクト内に流入するのを防ぐことができ、冷却器が炉外にあることから、熱損失をほとんど無くすことができるという効果を奏する。また、第１接続部と第２接続部とにおける雰囲気ガスの圧力が異なることから、冷却時にはダンパーを開けるだけでダクト内に雰囲気ガスを流すことができ、ダクト内の冷却器用送風手段が不要であるという効果を奏する。
【００２１】
本発明に係るクリーンオーブンでは、さらに上記ダンパーは、上記冷却部と第２接続部との間に設けられ、上記ダンパーの弁部がゴム製であることが好ましい。
【００２２】
上記の構成によれば、ダンパーの弁部がゴム製であることから、ダンパーを閉じると炉内の雰囲気ガスがダクト内に流入するのを確実に防ぐことができるので、さらに熱損失が無くすことができるという効果を奏する。また、金属製のダンパーに比べて、ダンパーでの発塵をさらに減らすことができるので、炉内の雰囲気をさらにクリーンにすることができるという効果を奏する。
【００２３】
また、本発明に係るクリーンオーブンでは、上記ダクトがさらにダクト用フィルターを備え、該ダクト用フィルターは上記ダンパーと第２接続部との間に設けられていることが好ましい。
【００２４】
上記の構成によれば、ダクト用フィルターがダンパーで発生した塵を捕集するので、さらに炉内の雰囲気をクリーンにすることができるという効果を奏する。
【００２５】
本発明に係るクリーンオーブンでは、上記ダクト用フィルターがＨＥＰＡフィルターであることがさらに好ましい。
【００２６】
上記の構成によれば、ＨＥＰＡフィルターは捕集効率が非常に高いため、ダンパーで発生した塵はほとんど炉内に流入しなくなるという効果を奏する。
【００２７】
本発明の係るクリーンオーブンでは、上記冷却部への冷却水の供給が停止した場合に、上記ダンパーを閉じることがさらに好ましい。
【００２８】
上記の構成によれば、加熱処理中に冷却部への冷却水の供給が停止しても、ダンパーを閉じていれば、ダクト内に炉内の雰囲気ガスが流れ込まなくなる。よって、冷却水が気化することがなく、蒸気をクリーンルームの外へ排出するための専用ダクトが不要となるので、設備負担を軽減することができるという効果を奏する。
【発明の効果】
【００２９】
本発明に係るクリーンオーブンは、以上のように、外部と断熱された炉内に加熱部とオーブン用送風手段とオーブン用フィルターとを備え、上記加熱部によって加熱された雰囲気ガスを、上記オーブン用送風手段が上記オーブン用フィルターを通して熱処理物に吹き付け、上記炉内を循環させるクリーンオーブンであって、冷却部を備えるダクトが、上記炉内の第１接続部と第２接続部とにおいて、該第１接続部と第２接続部とをそれぞれつなぐように接続され、上記ダクトが、炉外に設けられている。
【００３０】
したがって、ダクト内にダンパーを設けていないため、ダンパー部での発塵の問題が発生せず、炉内のフィルターが捕集効率の高いＨＥＰＡフィルターでなくても、高いクリーン性能を実現できる。また、冷却部を備えるダクトが炉外に設けられているため、熱損失を抑えることができ、消費電力を削減することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
〔実施形態１〕
本発明の一実施形態について図１ないし図４に基づいて説明すると以下の通りである。
【００３２】
図１は、本実施形態１に係るクリーンオーブン１の構成を示すＡ−Ａ矢視図であり、図２はクリーンオーブン１の断面図である。クリーンオーブン１は、断熱壁よりなる天壁１ａ、側壁１ｂおよび底壁１ｃによって箱型に形成され、断熱壁よりなる扉１ｄが取り付けられている。炉内にはヒーター２（加熱部）、オーブン用ファン３(オーブン用送風手段)、フィルター４（オーブン用フィルター）を備えている。ヒーター２は、天壁１ａの内側に取り付けられ、炉内の雰囲気ガスを加熱する。オーブン用ファン３は、扉１ｄとは反対側の側壁１ｂの内側に取り付けられ、オーブン用ファン駆動モーター３ａにより動作する。フィルター４は、オーブン用ファン３の下部に備えられており、試料５（熱処理物）はフィルター４と扉１ｄとの間に収容されている。
【００３３】
さらに図１に示すように、クリーンオーブン１ではダクト１１（ダクト）が、炉内のオーブン用ファン３の近傍の接続部Ｂ（第１接続部）と接続部Ｃ（第２接続部）において接続されており、接続部Ｂと接続部Ｃにおけるそれぞれの雰囲気ガスの圧力は等しい。ダクト１１は、厚さ約１．０ｍｍ、直径約１２５ｍｍのステンレス製であり、ダクト１１の内部には、冷却器６（冷却部）および冷却器用ファン１２(冷却器用送風手段)が設けられている。冷却器用ファン１２は、冷却器用ファン駆動モーター１２ａにより動作する。ダクト１１と炉内の接続点から冷却器６までのダクト１１の長さは、約１０９０ｍｍである。冷却水は給水管６ａから供給され、冷却器６を通って排水管６ｂから排出される。給水管６ａには流量スイッチ６ｃが設けられ、冷却水の流量を制御している。
【００３４】
加熱時および熱処理時は図２に示すように、ヒーター２によって熱せられた雰囲気ガスは、オーブン用ファン３によってフィルター４を通過し、試料５に吹き付けられる。雰囲気ガスは試料５を通過後、ヒーター２で再び加熱され炉内を循環する。このとき、炉内を特定の雰囲気にする窒素ガス等は、ダクト１１内の冷却器６の近傍に設けられた導入口(図示せず)から導入し、炉内と接続されたダクト１１を通じて、炉内を特定の雰囲気にする。
【００３５】
加熱時および熱処理時は、冷却器用ファン１２は停止している。このとき、接続部Ｂと接続部Ｃにおけるそれぞれの雰囲気ガスの圧力が等しいため、ダクト１１の内部に雰囲気ガスの流入・流出を制御するダンパーを設けなくても、高温になっている炉内の雰囲気ガスがダクト１１に流れ込まない。このため加熱時および熱処理時の熱損失がなく、消費電力の削減ができる。
【００３６】
さらに従来のクリーンオーブンのように、炉内の雰囲気ガスが冷却器を通らないようにするためのダンパーを設ける必要がないので、ダンパーにおける発塵の問題は生じない。
【００３７】
よって、炉内のフィルター４がＨＥＰＡフィルターより捕集効率の劣る耐熱フィルターであっても、よりクリーンな雰囲気を簡単な構造で提供できる。したがって、高温のため炉内のフィルター４にＨＥＰＡフィルターを使用できない、低温ポリシリコンＴＦＴ（ＬＴＰＳ）等の熱処理においてもクリーンな熱処理が可能である。
【００３８】
冷却時は図１に示すように、ヒーター２への通電を停止し、冷却器用ファン１２を動作させる。炉内の雰囲気ガスは、接続部Ｂからダクト１１内に流れ込み、冷却器６を通過して冷却され、冷却器用ファン１２によって接続部Ｃへ送り出される。ダクト１１は外気と遮断されているため、特定の雰囲気を維持したまま炉内の雰囲気ガスを冷却することができる。
【００３９】
ここで、冷却時に冷却器６への冷却水の供給が停止した場合、供給の停止が流量スイッチ６ｃによって検知され、検知に基づいて冷却器用ファン１２が停止される。冷却器用ファンが停止すると、接続部Ｂと接続部Ｃにおけるそれぞれの雰囲気ガスの圧力は等しいため、ダクト１１内には炉内の高温の雰囲気ガスは流れ込まなくなる。
【００４０】
このとき、ダクト１１内で高温になっているのは、接続部Ｂから冷却器６までのダクト１１の部分とその内側の雰囲気ガスのみであるが、冷却器６が炉外にあるため、冷却器６の熱容量は、ダクト１１の高温になっている部分とその内部の雰囲気ガスの熱容量よりも十分大きい。このため、冷却水の供給が停止しても、冷却器６内の冷却水の水温が上昇し気化するおそれはない。
【００４１】
したがって、安全弁が不要で、気化した冷却水をクリーンルーム外へ排気するための専用ダクトを施工する必要がない。
【００４２】
次に、本実施形態１の変形例を、図３および図４に示す。
【００４３】
図３は、本実施形態１の変形例に係るクリーンオーブン２０の構成を示すＡ−Ａ矢視図であり、図４はクリーンオーブン２０の断面図である。ダクトと炉内の接続位置は、互いに雰囲気ガスの圧力が等しければどこでもよく、クリーンオーブン２０ではダクト１１が、試料５の収容位置下部の接続部Ｄ（第１接続部）および接続部Ｅ（第２接続部）に接続されており、接続部Ｄおよび接続部Ｅにおける雰囲気ガスの圧力はそれぞれ等しい。クリーンオーブン２０の構成および作用は、ダクトと炉内との接続位置以外はクリーンオーブン１と略同様であり、図３および図４において、クリーンオーブン１と同じ部材には同じ番号を付しており、構成および作用についての説明は省略する。
【００４４】
〔実施形態２〕
本発明の他の実施形態について図５および図６に基づいて説明すると以下の通りである。
【００４５】
図５は、本実施形態２に係るクリーンオーブン３０の断面図である。クリーンオーブン３０の炉内は、実施形態１に係るクリーンオーブン１およびクリーンオーブン２０と略同様であり、クリーンオーブン１およびクリーンオーブン２０と同じ部材については同じ番号を付している。
【００４６】
クリーンオーブン３０では、オーブン用ファン３とフィルター４との間の位置（接続部Ｆ・第１接続部）と炉内のヒーター２とオーブン用ファン３との間の位置（接続部Ｇ・第２接続部）とをつなぐようにダクト３１が接続されている。ダクト３１の内部には、冷却器６およびモーターダンパー３２（ダンパー）が設けられており、冷却水は給水管６ａから供給され、冷却器６を通って排水管６ｂから排出される。排水管６ｂには、流量スイッチ６ｃが設けられ、冷却水の流量を制御している。
【００４７】
上記接続部Ｆと接続部Ｇにおける雰囲気ガスの圧力は互いに異なっており、接続部Ｆのほうが接続部Ｇよりも圧力が高い。そのため、実施形態１におけるダクト１１とは異なり、ダクト３１内には冷却器６の出口側にモーターダンパー３２が設けられており、加熱時および熱処理時に炉内の雰囲気ガスがダクト３１内に流れ込むのを防止している。一方、モーターダンパー３２を開くと、炉内の雰囲気ガスは接続部Ｆからダクト３１内に流れ込み、冷却器６を通って接続部Ｇにて炉内に送り出されるため、ダクト３１内の雰囲気ガスの流れはモーターダンパー３２の開閉によって制御できる。よって、ダクト３１内には実施形態１におけるダクト１１と異なり、冷却器用ファンは設けられていない。
【００４８】
加熱時および熱処理時は、モーターダンパー３２は閉じられており、炉内の雰囲気ガスはダクト３１内に流れ込まない。冷却時にモーターダンパー３２を開くことにより、炉内の雰囲気ガスは接続部Ｆから流れ込み、冷却器６、モーターダンパー３２を通って、接続部Ｇにて炉内へ還流する。
【００４９】
ここで、モーターダンパー３２は冷却器６の出口側にあるため、モーターダンパー３２を通過する雰囲気ガスの温度は低い。よって、モーターダンパー３２の弁部を耐熱性の低いシリコンゴム等のゴム製にすることが可能で、ダクト３１内の雰囲気ガスの流れを確実に遮断することができる。さらに、モーターダンパー３２の弁部がゴム製であるため、モーターダンパー３２での発塵は少なく、炉内の清浄度への影響は少ない。
【００５０】
また、冷却時に冷却器６への冷却水の供給が停止した場合、供給の停止が流量スイッチ６ｃによって検知され、検知に基づいてモーターダンパー３２が閉じられる。これにより、ダクト３１内には炉内の雰囲気ガスは流れ込まなくなる。
【００５１】
このとき、ダクト３１内で高温になっているのは、接続部Ｆから冷却器６までのダクト３１の部分とその内側の雰囲気ガスのみであるが、冷却器６が炉外にあるため、冷却器６の熱容量はダクト３１の高温になっている部分と、その内部の雰囲気ガスの熱容量よりも十分大きい。このため、冷却水の供給が停止しても、冷却器６内の冷却水の水温が上昇し気化することはない。
【００５２】
したがってダクト３１においても、実施形態１におけるダクト１１の場合と同様、安全弁が不要で、気化した冷却水をクリーンルーム外へ排気するための専用ダクトを施行する必要がない。
【００５３】
次に、モーターダンパー３２での発塵による炉内の清浄度への影響を問題にする場合について説明する。
【００５４】
図６は、本実施形態２に係るクリーンオーブン４０の断面図である。クリーンオーブン４０は、クリーンオーブン３０におけるモーターダンパー３２の出口側に、さらにＨＥＰＡフィルター４１を備えた構成であり、ＨＥＰＡフィルター４１以外の構成はクリーンオーブン３０の構成と同様である。
【００５５】
上記のように、モーターダンパー３２において若干の発塵があるが、モーターダンパー３２で発生した塵はＨＥＰＡフィルター４１によって捕集される。ＨＥＰＡフィルター４１は、捕集効率がａｔ０．３μｍで９９．９７％以上であり、モーターダンパー３２での発塵が炉内の清浄度に与える影響はほとんど無視できる。なお、ＨＥＰＡフィルター４１を通過する雰囲気ガスは、冷却器６を通過した直後であるので温度は低く、耐熱性の低いＨＥＰＡフィルター４１が破損することはない。
【００５６】
また、実施形態１のクリーンオーブン１および２０のように、ダクト内に冷却器用ファンを設けてもよく、これによりダクト内の雰囲気ガスの流れの制御がさらに容易になる。
【００５７】
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【産業上の利用可能性】
【００５８】
本発明に係るクリーンオーブンは、低温ポリシリコンＴＦＴ（ＬＴＰＳ）等の熱処理に好適に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン１の構成を示す図２のＡ−Ａ矢視図である。
【図２】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン１の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン２０の構成を示す図４のＡ−Ａ矢視図である。
【図４】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン２０の構成を示す断面図である。
【図５】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン３０の構成を示す断面図である。
【図６】本発明の実施形態を示すものであり、クリーンオーブン４０の構成を示す断面図である。
【図７】（ａ）および（ｂ）ともに従来技術を示すものであり、クリーンオーブン１０１の構成を示す断面図である。
【図８】従来技術を示すものであり、クリーンオーブン２０１の構成を示す断面図である。
【符号の説明】
【００６０】
１・２０・３０・４０      クリーンオーブン
２      ヒーター（加熱部）
３      オーブン用ファン(オーブン用送風手段)
４      フィルター(オーブン用フィルター)
５      試料（熱処理物）
６      冷却器（冷却部）
１１・３１    ダクト（ダクト）
１２    冷却器用ファン(冷却器用送風手段)
３２    モーターダンパー（ダンパー）
４１    ＨＥＰＡフィルター
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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