(57)【要約】【課題】オリフィスプレートを効率よく確実に接合できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。また、所定位置に所定精度でインクジェット印刷装置に取り付けることができるインクジェットヘッドを効率よく製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】このインクジェットヘッド１の製造方法では、所定の角度θをなすように保持された２つの独立した研磨面を持つ研磨装置９を用い、一方の研磨面９１に前記インク吐出口形成面２Ｂを、他方の研磨面９２に前記インクジェットヘッド部材の所定の基準面２Ｃを、ほぼ同時に圧接することにより、インクジェットヘッド部材２のインク吐出口形成面２Ｂと所定の基準面２Ｃとが所定の角度θになるように研磨してから、インクジェットヘッド部材２とオリフィスプレート３とを接合する。【選択図】図７
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にインク溜めが形成され所定の面にインク供給口とインク吐出口が形成されたインクジェットヘッド部材と、前記インク吐出口に対応するインク吐出孔の形成されたオリフィスプレートとを、前記インクジェットヘッド部材のインク吐出口と前記オリフィスプレートのインク吐出孔の流入口とを位置合わせして一体に接合するインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記インクジェットヘッド部材の前記インク吐出口が形成されたインク吐出口形成面を平坦になるように研磨する研磨工程と、
前記インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとを前記研磨されたインク吐出口形成面を面一にして接合する工程と、
を有することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２】
前記インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとは、ともに金属で構成されており、前記インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとを前記研磨されたインク吐出口形成面を面一にして接合する工程は、拡散接合によることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記研磨工程は、所定の角度をなすように保持された２つの独立した研磨面を持つ研磨装置を用い、一方の研磨面に前記インク吐出口形成面を、他方の研磨面に前記インクジェットヘッド部材の所定の基準面を、ほぼ同時に圧接することにより、前記インクジェットヘッド部材の前記インク吐出口形成面と前記所定の基準面とが所定の角度になるように研磨することを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記インクジェットヘッド部材が、複数枚の金属平板を積層して加圧加熱することで一体化された積層部材であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記積層される複数枚の金属平板の前記オリフィスプレートとの被接合面となる縁部が、エッチングにより加工されていることを特徴とする請求項４に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット印刷装置に装着されるインクジェットヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット印刷装置に装着されるインクジェットヘッドのインク吐出側の端面には、インク吐出孔が微小間隔に複数配置されている。その各インク吐出孔には、微量のインクを導くためのインク流路が接続されている。
【０００３】
インク吐出孔とインク流路とは同一の部材で構成することも可能であるが、一般には、オリフィスとなるインク吐出孔を具備するオリフィスプレートと、インク流路を具備するインク流路部材とを別々に構成して、両者を位置合わせして接合している。このインク流路部材は、内部にインク溜めが形成され互いに対向する面にインク流入口とインク吐出口が形成されたインクジェットヘッド構成部材でもある。このインクジェットヘッド構成部材のインク吐出口とオリフィスプレートのインク吐出孔の流入口とが一致するように位置合わせをして接合している。
【０００４】
このインクジェットヘッド構成部材は、たとえば、所定位置に所定形状の開口が形成された金属平板を複数枚積層し、加圧加熱して拡散接合することで作製される（たとえば特許文献１参照。）。
【０００５】
また、所定量のインクを所定の方向へ正しく吐出するためには、所定位置に所定精度で取り付けることができるようにインクジェットヘッドを製造する必要がある。
【特許文献１】特開２００３−２７７７１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
インクジェットヘッド構成部材のインク吐出口が形成された面（インク吐出口形成面）とオリフィスが形成されたオリフィスプレートとを接合する場合、被接合面がエッチング等により外形加工されていると、確実かつ効率よく接合することが困難であるという問題がある。
【０００７】
オリフィスプレートとの被接合面となるインク吐出口形成面のみを研磨したのでは、所定位置に所定精度でインクジェット印刷装置に取り付けることが困難であるという問題もある。
【０００８】
本発明はこのような問題を解決するためになされたもので、オリフィスプレートを効率よく確実に接合できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的としている。また、所定位置に所定精度でインクジェット印刷装置に取り付けることができるインクジェットヘッドを効率よく製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明によるインクジェットヘッドの製造方法は、内部にインク溜めが形成され所定の面にインク供給口とインク吐出口が形成されたインクジェットヘッド部材と、前記インク吐出口に対応するインク吐出孔の形成されたオリフィスプレートとを、前記インクジェットヘッド部材のインク吐出口と前記オリフィスプレートのインク吐出孔の流入口とを位置合わせして一体に接合するインクジェットヘッドの製造方法であって、前記インクジェットヘッド部材の前記インク吐出口が形成されたインク吐出口形成面を平坦になるように研磨する研磨工程と、前記インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとを前記研磨されたインク吐出口形成面を面一にして接合する工程と、を有することを特徴とする。
【００１０】
この製造方法は、インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとが、ともに金属で構成されており、前記インクジェットヘッド部材と前記オリフィスプレートとを前記研磨されたインク吐出口形成面を面一にして拡散接合により接合する場合に好適である。
【００１１】
また、この研磨工程は、所定の角度をなすように保持された２つの独立した研磨面を持つ研磨装置を用い、一方の研磨面に前記インク吐出口形成面を、他方の研磨面に前記インクジェットヘッド部材の所定の基準面を、ほぼ同時に圧接することにより、前記インクジェットヘッド部材の前記インク吐出口形成面と前記所定の基準面とが所定の角度になるように研磨することが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、オリフィスプレートを効率よく確実に接合できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。さらに、外形精度よくインクジェット印刷装置に取り付けることができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
【００１４】
（第１の実施の形態）
図１は、本発明に係る一実施の形態のインクジェットヘッドの製造方法によって製作されたインクジェットヘッド１の全体の概略構成を示す斜視図である。図２は、図１のインクジェットヘッド１の上面の構成を示す平面図であり、図３は、図１のインクジェットヘッド１の底面の構成を示す平面図であり、図４は、図１のインクジェットヘッド１の構造を分解して示す斜視図である。
【００１５】
図１に示すように、インクジェットヘッド１は、金属製のインクジェットヘッドマニホールド２を具備している。このインクジェットヘッドマニホールド２の上面には、図１，２に示すように、１つのインク供給孔２ａが形成されている。
【００１６】
このインクジェットヘッドマニホールド２は、図４に示すように、複数種（図４に示す例では大別して９種）の金属製の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９（それぞれ平板ともいう）を複数枚（例えば、２５〜２５０枚）積層して構成されている。これらの第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９は、厚さが例えば０．０２ｍｍ〜０．２ｍｍの金属製（例えば、ＳＵＳ３０４等）の板材から構成されており、これらを拡散接合等によって互いを圧着することにより一体化され、ブロック状に形成されている。また、第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９に開口されたインク流路は、例えば、エッチング加工やブラスト加工によって形成されている。第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９の外形は、エッチング加工やブラスト加工のほか、打ち抜き加工によっても形成することができる。
【００１７】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の底面には、図３および図４に示すように、複数のインク吐出孔３ａ（直径、例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍの孔）が形成されたオリフィスプレート３が拡散接合等によって接合されている。このオリフィスプレート３は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０５ｍｍ〜０．２ｍｍとされている。図３に示すように、インク吐出孔３ａはオリフィスプレート３上に例えば一列に配置されている。インク吐出孔３ａは、例えば、パンチング加工、レーザ加工、エッチング加工などによって形成されている。そして、インクジェットマニホールド２の底面とオリフィスプレート３とは、インク吐出部２０７の端部であるインク吐出口と、オリフィスプレート３に形成されたインク吐出孔３ａの流入口とが一致するように位置合わせして接合されている。
【００１８】
また、インクジェットヘッドマニホールド２の両面には、図４に示すように、振動板（箔）４が、拡散接合等によって接合されている。この振動板４は、インクジェットヘッドマニホールド２と同一の材料（例えば、ＳＵＳ３０４等）から構成されており、厚さが例えば０．０１ｍｍ〜０．０５ｍｍとされている。この振動板４は、レーザ加工やエッチング加工などによって形成されている。
【００１９】
振動板４の外側面には、接着剤（例えば、メチルシアノアクリレートやエポキシ系、アクリル系の接着剤）等によって、所定形状の導体パターンが形成されたフレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ（Flexible Printed Circuit））５が貼着されており、このＦＰＣ５には、圧電素子６が熱圧着接合等により接合されている。圧電素子６は、材質がＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）等から構成されており、厚さが例えば、０．５ｍｍ〜２ｍｍとされている。この圧電素子６には、各インク吐出孔３ａにそれぞれ対応した電極が、蒸着等の方法で形成されており、これらの電極は、ＦＰＣ５に形成された導体パターンと電気的に接続されている。
【００２０】
上述した第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９のうちで中央部に配置される第１流路形成積層板２１から一方の積層方向に積層される第２流路形成積層板２２〜第５流路形成積層板２５は、インク吐出孔３ａの例えば奇数列の流路を形成するように配置されている。また、中央の第１流路形成積層板２１から他方の積層方向に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９は、インク吐出孔３ａの例えば偶数列の流路を形成するように配置されている。
【００２１】
ここで、上記構成に代えて、中央の第１流路形成積層板２１から一方に積層される第２流路形成積層板２２〜第５流路形成積層板２５が、インク吐出孔３ａの偶数列の流路を形成し、中央の第１流路形成積層板２１から他方に積層される第６流路形成積層板２６〜第９流路形成積層板２９が、インク吐出孔３ａの奇数列の流路を形成するものであってもよい。そして、このようにして形成される奇数列の流路と偶数列の流路とで、図３に示すように、インク吐出孔３ａが、オリフィスプレート３上に一列に配置される。
【００２２】
上記中央部に配置される第１流路形成積層板２１には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２、インク吐出部２０７を形成するための開口部が設けられている。また、中央の第１流路形成積層板２１の外側に配置される第２流路形成積層板２２（及び第６流路形成積層板２６）には、インク供給流路２０１、インク溜め部２０２を形成するための開口部と、下側インク流路２０６ａ（２０６ｂ）を形成するための開口部が設けられている。
【００２３】
上記第２流路形成積層板２２（及び第６流路形成積層板２６）の外側に配置される第３流路形成積層板２３（及び第７流路形成積層板２７）には、下側インク流路２０６ａ（２０６ｂ）と、上側共通インク流路２０３とを形成するための開口部が設けられている。また、この第３流路形成積層板２３（及び第７流路形成積層板２７）の外側に配置される第４流路形成積層板２４（及び第８流路形成積層板２８）には、下側インク流路２０６ａ（２０６ｂ）と、上側個別インク流路２０４ａ（２０４ｂ）とを形成するための開口部が設けられている。
【００２４】
そして、最も外側に配置される第５流路形成積層板２５（及び第９流路形成積層板２９）には、上下方向インク流路２０５ａ（２０５ｂ）を形成するための開口部が設けられている。
【００２５】
上記した構成の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を、所定の順序で、所定枚数積層し、拡散接合することにより、インクジェットヘッドマニホールド２内には、インク供給流路２０１からインク吐出部２０７に至るインク流路が、積層方向中央部から両側に向けて形成される。そして、図１および図２に示すように、インクジェットヘッドマニホールド２の上側に、インク供給孔２ａが開口した状態となる。図示されていないが、インクジェットヘッドマニホールド２の底面には、インク吐出部２０７の端部であるインク吐出口が、オリフィスプレート３の吐出孔３ａに対応するように形成された状態となる。
【００２６】
インクジェットヘッドマニホールド２へのインクの供給は、インク供給孔２ａから行われる。そして、このインク供給孔２ａから供給されたインクは、インク供給流路２０１を通って、インク溜め部２０２に導入され、このインク溜め部２０２から、上側共通インク流路２０３、上側個別インク流路２０４ａ（２０４ｂ）、上下方向インク流路２０５ａ（２０５ｂ）、下側インク流路２０６ａ（２０６ｂ）をこの順で通過して、インク吐出部２０７内にまで充填される。
【００２７】
そして、上記のようにインクジェットヘッドマニホールド２内にインクが充填された状態で、ＦＰＣ５を介して、圧電素子６に駆動信号が加わると、駆動信号が加わった部分の圧電素子６が変形することによって対応する部分の振動板４が振動し、対応する部分の上下方向インク流路２０５ａ（２０５ｂ）内のインクを押圧し、オリフィスプレート３の対応するインク吐出孔３ａから所定量のインクが吐出されるようになっている。
【００２８】
次に、上記したインクジェットヘッドマニホールド２の底面を研磨して、その底面にオリフィスプレート３を接合して、インクジェットヘッド１を製造する方法について、図５〜７を参照して説明する。
【００２９】
図５は、インクジェットヘッドマニホールド２とオリフィスプレート３を模式的に示した斜視図である。符号２Ｂは、このインクジェットヘッドマニホールド２の底面を表している。このインクジェットヘッドマニホールド２の底面２Ｂは、インク吐出部２０７の端部であるインク吐出口（図示せず）が形成された面であり、オリフィスプレート３との被接合面でもある。符号２Ｃは、このインクジェットヘッドマニホールド２が完成しインクジェットヘッド１となってインクジェット印刷機に装着される際に、位置決めする基準となる所定の基準面を示している。この例では、この面を基準面としているが、基準面はこの例と異なる場合がある。
【００３０】
図６は、インクジェットヘッドマニホールド２を作製する際に実際に積層される金属平板Ｐを示した斜視図である。上記の第１流路形成積層板２１〜第９流路形成積層板２９を直接積層しても良いが、流路の損傷を避ける等のため、図６に示すように、第１流路形成積層板２１の上部に捨て部材８１、下部に捨て部材８２をそれぞれ設けた金属平板Ｐを積層することが好ましい。捨て部材８１，８２との境目には、図６に示すようにハーフエッチングにより切れ込みを入れておくと、積層し熱圧着して一体化した後、捨て部材８１，８２を簡単に除去してインクジェットヘッドマニホールド２を取り出すことができるので好適である。図６には第１流路形成積層板２１の場合の金属平板Ｐの例しか示していないが、第２流路形成積層板２２〜第９流路形成積層板２９も同様である。
【００３１】
インクジェットヘッドマニホールド２は、上記のように、エッチングやブラスト等により外形加工された金属平板を、所定の順序で、所定枚数積層し、拡散接合することにより構成されるため、正確に位置決めしないと、インクジェットヘッドマニホールド２の端面は不揃いになる。また、エッチング等による外形加工の縁部にはミクロンオーダーの段差が生じてしまうので、正確に位置決めして積層しても、底面２Ｂは平坦かつ滑らかにはならない。
【００３２】
そこで、オリフィスプレート３との被接合面となるインクジェットヘッドマニホールド２の底面２Ｂを、オリフィスプレート３と接合する前に、平坦かつ滑らかになるように研磨する。滑らかの程度はたとえば鏡面仕上げのようである。研磨は、バフ研磨など周知の機械研磨手段により行うことができる。オリフィスプレート３との被接合面を、平坦かつ滑らかになるように研磨することにより、確実に接合することができるようになるという効果がある。
【００３３】
オリフィスプレート３との被接合面となる底面２Ｂを研磨することは、インクジェットヘッドマニホールド２とオリフィスプレート３とが金属同士であって、この金属同士を加圧加熱して拡散接合により接合する場合には、特に有効である。従来、被接合面が平坦かつ滑らかではないまま、加圧加熱して拡散接合により接合した場合に、加熱時間を多く要するので非効率であるという問題や、良好に接合できないという問題があったが、これらの問題が解消され、効率よく接合できるという効果が得られた。
【００３４】
ここで、オリフィスプレート３に形成された吐出孔３ａからインクを所定の方向に適切に吐出するには、インクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出部２０７とオリフィスプレート３の吐出孔３ａを合わせたインクジェットヘッド１のインク吐出部２０７が印字面に対して略垂直になっていることが望ましい。そのため、インクジェットヘッドマニホールド２の所定の基準面２Ｃとインク吐出孔の形成された底面２Ｂとを所定の角度θになるように製造することが必要とされる。より具体的には、（１）まず、インク吐出部２０７の中心線Ｌに対してインク吐出孔の形成された底面２Ｂを略垂直にする必要がある。（２）次に、底面２Ｂに対して、所定の基準面を所定の角度θに加工する必要がある。ここで、所定の角度θとは、インクジェットヘッド１が装着されるインクジェット印刷機の仕様等によって定められた所定の基準面と所定の精度に基づいて、オリフィスプレート３の吐出孔３ａの角度の誤差を考慮して定められた角度であり、たとえば、９０度±１度程度である。なお、本実施形態のインクジェットヘッド１のオリフィスプレート３の吐出孔３ａと印字面との距離は、たとえば０．５ｍｍとされている。
【００３５】
したがって、インクジェットヘッドマニホールド２のオリフィスプレート３との被接合面となる底面２Ｂのみを研磨したのでは、所定の基準面とインク吐出孔の形成された底面２Ｂとが所定の角度θにならないおそれがあり、外形精度よくインクジェットヘッド１をインクジェット印刷装置に取り付けることが困難であるという問題がある。そもそも、複数の平板が積層され熱圧着されて一体化されるインクジェットヘッドマニホールド２においては、所定の側面２Ｃと底面２Ｂとが所定の角度θになるとは限らず、インクジェットヘッド１のインク吐出部２０７が印字面に対して略垂直になっているとは限らないという問題もある。
【００３６】
そこで、本実施形態においては、次のような方法で、インクジェットヘッドマニホールド２の所定の基準面２Ｃとインク吐出口形成面が形成された底面２Ｂとを同時に研磨することで、インク吐出部２０７の中心線に対してインク吐出口形成面２Ｂを略垂直になるようにしつつ、基準面２Ｃと底面２Ｂとが所定の角度θになるようにする。
【００３７】
図７は、このような研磨をする方法の一例を示したもので、研磨装置９の要部およびその研磨装置９を用いてインクジェットマニホールド２を研磨している状態を模式的に示している。図８は、図７のさらに要部を拡大して模式的に示したものである。図７および図８に示すように、この研磨装置９は、所定の角度θをなすように保持された２つの独立した研磨面９１および９２を具備している。この研磨装置９の一方の研磨面９１にインク吐出口形成面２Ｂを、他方の研磨面９２に基準面２Ｃを、それぞれ接するようにインクジェットヘッドマニホールド２を配置し、インクジェットヘッドマニホールド２が移動しないように先端に板状の加圧板９３および９４が付された棒状の加圧治具などにより固定して、研磨面９１および研磨面９２の両方向に所定の圧力（ｐ）をほぼ同時に加えることで、インク吐出口形成面２Ｂと基準面２Ｃとが所定の角度θになるように研磨することができる。
【００３８】
研磨面９１、９２は、ＳＵＳ３０４等の金属の表面を鏡面仕上げできる程度の粗さの布、皮、紙など周知の材料で構成される。なお、インクジェットヘッドマニホールド２の配置は、インク吐出口形成面２Ｂと基準面２Ｃとを、図７と逆にしてもよい。研磨装置９の構成により、隅の部分が研磨されない部分が生じる場合には、たとえば、適宜途中で入れ替えることにより隅の部分まで研磨することが可能となる。
【００３９】
上述したように、インク吐出部２０７が印字面に対して略垂直になるよう研磨するためには、図８に示すように、（１）まず、インク吐出部２０７の中心線Ｌを基準に、中心線Ｌと底面２Ｂとのなす角θ１を略垂直にする必要がある。（２）次に、底面２Ｂを基準に、底面２Ｂと所定の側面２Ｃとのなす角θ２を所定の角度θに加工する必要がある。したがって、例えば、インク吐出部２０７の中心線Ｌと２Ｂが略垂直になるように、所定の圧力ｐになるよう加圧する加圧冶具の加圧板９３および９４を工夫して最適な角度で加工できるようにする必要がある。図８は、そのように加圧板９３および９４が調整された例を示している。
【００４０】
このように、インク吐出部２０７の中心線に対してインク吐出口形成面２Ｂを略垂直になるようにしつつ、インク吐出口形成面２Ｂと基準面２Ｃとが所定の角度θになるようにインクジェットヘッドマニホールド２を構成できるので、所定位置に所定精度でインクジェット印刷装置に取り付けることができる。また、オリフィスプレート３に形成されたインク吐出孔３ａの角度の誤差も含めて、インク吐出部２０７を印字面に対して略垂直にすることができ、印字品質を高めることが可能となる。
【００４１】
また、このように、インク吐出口形成面２Ｂと基準面２Ｃとが所定の角度θになるように、両面を同時に研磨することができるので、研磨効率が良く、研磨に要する時間等のコストを削減することができる。
【００４２】
このようにして研磨されたインクジェットヘッドマニホールド２とオリフィスプレート３とを、インク吐出部２０７の端部であるインク吐出口とオリフィスプレート３に形成されたインク吐出孔３ａの流入口とが一致するように位置合わせして、研磨された底面２Ｂを面一にして、所定の圧力および所定の温度で加圧加熱して金属拡散接合により接合する。
【００４３】
以上のようにして、本実施形態によれば、オリフィスプレートを効率よく確実に接合できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。また、所定位置に所定精度でインクジェット印刷装置に取り付けることができるインクジェットヘッドを効率よく製造できるインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
【００４４】
なお、本発明は上記実施形態のみに限定されるものではない。特に、図示した形態のみに限定されるものと解してはならない。本発明の趣旨に反しない限り、上記実施形態をいろいろに変形したり組み合わせたりすることが可能である。
【００４５】
たとえば、上記の例で示した研磨装置９では、図７に示すように研磨面９１を面２Ｂに対して図面の下方向に動くように、そして、研磨面９２を面２Ｃに対して図面の左方向に動くように構成したが、動く方向は上下左右のどの方向にしてもよい。図７のような方向に動かした場合には、インクジェットヘッドマニホールド２には、両研磨面の移動に伴って角に押さえつけられる方向に力が加わるのでインクジェットヘッドマニホールド２の固定が楽になる点で好ましい。
【００４６】
また、図７に示す研磨装置９ではローラー機構を用いて研磨面９１，９２を動作させていたが、それぞれ回転軸を中心に動作する円盤状の研磨面にしてもよい。また、一方の研磨面がローラー状で、一方の研磨面が円盤状であってもよい。研磨面を双方とも円盤状にすると、動作安定性や耐久性が向上するという利点がある。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係るインクジェットヘッドの全体の概略構成を示す図。
【図２】図１のインクジェットヘッドの上面の構成を示す図。
【図３】図１のインクジェットヘッドの底面の構成を示す図。
【図４】図１のインクジェットヘッドの構造を分解して示す図。
【図５】インクジェットヘッドマニホールドとオリフィスプレートの外観を示す図。
【図６】捨て部材の付された金属平板を示す図。
【図７】本発明の実施形態に用いる研磨装置の側面の要部の概略構成を示す図。
【図８】図７に示した研磨装置のさらに要部の概略構成を示す図。
【符号の説明】
【００４８】
１……インクジェットヘッド、２……インクジェットヘッドマニホールド、３……オリフィスプレート、４……振動板（箔）、５……フレキシブルプリント配線板（ＦＰＣ）、６……圧電素子、２ａ……インク流入口、２Ｂ……インクジェットヘッドのインク流出路形成面（オリフィスプレートとの被接合面）、２Ｃ……所定の基準面となる側面、８１，８１……捨て部材、９…研磨装置、９１，９２……研磨面、９３，９４……加圧冶具の加圧板。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007062183.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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