(57)【要約】【課題】大型のフォトマスク基板を収納しても、容易に搬送・保管できるだけでなく、輸送中の転倒を防ぐことができ、更には、集中荷重によるフォトマスク基板の欠けも防止できるマスク収容ユニットを提供する。【解決手段】フォトマスク基板Ｋを搬送及び／又は保管するためのマスク収容ユニット１であって、フォトマスク基板Ｋを収納する筐体１０と、フォトマスク基板Ｋを保持する保持手段とを備え、保持手段が、フォトマスク基板Ｋを所定の角度傾斜させた状態で保持する構成としてある。【選択図】  図２
2007233335.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フォトマスク基板を搬送及び／又は保管するためのマスク収容ユニットであって、
前記フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持する保持手段と、
前記フォトマスク基板を収容する筐体を備えた
ことを特徴とするマスク収容ユニット。
【請求項２】
前記フォトマスク基板の傾斜角度が、水平軸に対して４５〜８０°であることを特徴とする請求項１記載のマスク収容ユニット。
【請求項３】
前記保持手段が、前記筐体の内部に設けられ、前記筐体の内部で前記フォトマスクを保持することを特徴とする請求項１又は２記載のマスク収容ユニット。
【請求項４】
前記保持手段が、前記フォトマスク基板を仮置き状に載置する載置部材と、前記載置部材に載置された前記フォトマスク基板の端面を押える端面押え部材とを備えることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のマスク収容ユニット。
【請求項５】
前記保持手段が、前記フォトマスク基板の主表面を押える主表面押え部材を備えることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のマスク収容ユニット。
【請求項６】
前記筐体は、外箱と蓋を有し、前記フォトマスク基板の出し入れを行うため収納口を、前記外箱の上面、正面及び両側面にわたって形成した請求項１〜５のいずれかに記載のマスク収容ユニット。
【請求項７】
前記収納口は、前記外箱に対して傾斜して形成されており、その傾斜角度は、前記保持手段に保持された前記フォトマスク基板の傾斜角度とほぼ同じであることを特徴とする請求項６記載のマスク収容ユニット。
【請求項８】
前記保持手段が、前記筐体の外部に設けられ、前記フォトマスク基板を収容した筐体を傾斜させた状態で保持することを特徴とする請求項１又は２記載のマスク収容ユニット。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のマスク収容ユニットを用い、前記フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま搬送することを特徴としたフォトマスク基板の搬送方法。
【請求項１０】
少なくとも、フォトマスク基板の作成工程、基板形成工程及び検査工程を含むフォトマスク製品の製造方法において、
請求項１〜８のいずれかに記載のマスク収容ユニットにより、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま前記各工程間におけるフォトマスクの搬送及び／又は保管を行うことを特徴としたフォトマスク製品の製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜８のいずれかに記載のマスク収容ユニットに、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で収納する工程と、前記フォトマスク基板を前記所定の角度傾斜させた状態のまま露光・転写機まで搬送する工程と、前記フォトマスク基板を前記マスク収容ユニットから取り出し、前記露光・転写機に設置する工程と、を有することを特徴としたフォトマスクの露光・転写方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク基板を搬送及び／又は保管するためのマスク収容ユニットに関し、特に、液晶ディスプレイパネル（ＬＣＤＰ）やプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等の製造に使用する大型フォトマスク基板の搬送及び／又は保管に適したマスク収容ユニットに関する。
また、本発明は、上記マスク収容ユニットを用いた、フォトマスク基板の搬送方法、フォトマスク製品の製造方法及びフォトマスクの露光・転写方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程において、パネル面付数の増加が製造コスト低減の手法として一般化され、パネル用マザー基板のサイズが大型化する傾向にある。これにともない、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の表示装置の製造工程においては、パターン転写に用いられるフォトマスク基板も大型化する傾向にある。この種の大型化したフォトマスク基板を納品する際には、通常、フォトマスク基板を一枚ずつマスクケースに収納し、トラック等で輸送される。
【０００３】
大型のフォトマスク基板を収納する従来のマスクケースとしては、縦置きタイプと横置きタイプが知られており、例えば、特許文献１には、横置きタイプのマスクケース（フォトマスク収納容器）が記載されている。横置きタイプのマスクケースは、フォトマスク基板の収納、輸送、取り出し等を横置き状態のままで行うことができるという利点があるものの、広い床面積を占有するので、輸送コストや保管コストを上昇させるという問題がある。
【０００４】
図８は、従来例に係るマスクケースの斜視図、図９は、従来例に係るマスクケースを側面方向から見た断面図、図１０は、従来例に係るマスクケースの内部正面図である。
これらの図に示されるマスクケース１００は、キャスタ付きの縦置きタイプであって、フォトマスク基板Ｋを収納する筐体１０１と、筐体１０１の内部でフォトマスク基板Ｋを保持する保持手段とを備えて構成されている。
筐体１０１は、収納口１０２を介してフォトマスク基板Ｋが出し入れされる外箱１０３と、収納口１０２を開閉する蓋１０４と、外箱１０３の底部に設けられる複数のキャスタ１０５とを備える。
また、保持手段としては、フォトマスク基板Ｋの四隅を保持する保持部材１０６や、フォトマスク基板Ｋの端面を押える端面押え部材１０７が設けられる。
【０００５】
つぎに、上記のマスクケース１００を用いたフォトマスク基板Ｋの収納、輸送、取り出しについて説明する。
フォトマスク基板Ｋは、通常、工場のクリーンルーム内でマスクケース１００に収納される。この作業は、横倒し状態のマスクケース１００にフォトマスク基板Ｋを収納し、その四隅を保持部材１０６で保持するとともに、端面を端面押え部材１０７で押えることにより行われる。
フォトマスク基板Ｋを収納したマスクケース１００は、収納口１０２を蓋１０４で閉じた後、横倒し姿勢から縦置き姿勢に起され、クリーンルーム外へ運ばれる。このとき、マスクケース１００は、キャスタ１０５によって容易に運ぶことができる。
【０００６】
フォトマスク基板Ｋを収納したマスクケース１００は、陸上輸送、航空輸送、海上輸送等の輸送方法を適宜選択して納品先まで輸送される。このとき、マスクケース１００を縦置き姿勢とすることにより、占有面積を小さくし、輸送コストが削減される。
納品されたフォトマスク基板Ｋの取り出しは、通常、工場のクリーンルーム内で行われる。この作業は、マスクケース１００を横倒しにした状態で、蓋１０４を開け、端面押え部材１０７による押えを解除した後に行われる。
【特許文献１】特開２００５−１１５０３３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、大型のフォトマスク基板Ｋを縦置きタイプのマスクケースで輸送する場合、マスクケースが背高になるので、マスクケースによって前方視界が遮られ、マスクケースの搬送が行いづらくなるだけでなく、輸送方法が制限される可能性がある。
また、縦置きタイプのマスクケースは、フォトマスク基板の大型化にともない、アスペクト比が大きくなるので、転倒しやすくなるという問題がある。
また、縦置きタイプのマスクケースは、主にフォトマスク基板の端面を支持するので、フォトマスク基板の下端面に荷重が集中し、フォトマスク基板が欠ける可能性がある。
また、縦置きタイプのマスクケースは、縦置き姿勢のままではフォトマスク基板を出し入れすることができないので、フォトマスク基板の収納や取り出しに際し、縦置き姿勢のマスクケースを横倒しにしたり、横倒し姿勢のマスクケースを起す作業が要求される。
【０００８】
本発明は、上記の事情にかんがみなされたものであり、大型のフォトマスク基板を収納しても、容易に搬送できるだけでなく、輸送中の転倒を防ぐことができ、更には、集中荷重によるフォトマスク基板の欠けも防止できるマスク収容ユニットの提供を目的とする。
なお、本明細書において、フォトマスク基板とは、フォトマスク用のガラス基板、フォトマスクブランク、フォトマスク等を含めたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため本発明のマスク収容ユニットは、フォトマスク基板を搬送及び／又は保管するためのマスク収容ユニットであって、前記フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持する保持手段と、前記フォトマスク基板を収容する筐体を備えた構成としてある。
【００１０】
このようにすると、フォトマスク基板を垂直に保持する縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニットの高さを低くできるので、マスク収容ユニットの搬送・保管が容易になるだけでなく、輸送方法が制限される不都合も回避できる。また、マスク収容ユニットのアスペクト比が小さくなるので、輸送中の転倒も防止できる。また、フォトマスク基板の端面及び裏面を同時に支持するので、フォトマスク基板の支持荷重を分散し、フォトマスク基板の欠けを防止できる。
【００１１】
本発明のマスク収容ユニットは、前記フォトマスク基板の傾斜角度を、水平軸に対して４５〜８０°となるようにすることがこのましい。
このようにすると、マスク収容ユニットの高さ、アスペクト比及び占有面積（底面積）をバランス良く設定できる。
【００１２】
また、本発明のマスク収容ユニットは、前記保持手段を、前記筐体の内部に設け、前記筐体の内部で前記フォトマスクを保持する構成とすることが好ましい。
このようにすると、フォトマスク基板の収納や取り出しに際し、マスク収容ユニットを倒したり、起す必要がないので、フォトマスク基板の収納作業や取り出し作業を簡略化することができる。
【００１３】
また、本発明のマスク収容ユニットは、前記保持手段が、前記フォトマスク基板を仮置き状に載置する載置部材と、前記載置部材に載置された前記フォトマスク基板の端面を押える端面押え部材とを備えていることが好ましい。
このようにすると、フォトマスク基板を仮置きできるので、マスク収容ユニットに対するフォトマスク基板の収納が容易になる。また、端面押え部材でフォトマスク基板の端面を押えることにより、フォトマスク基板の主表面に沿う方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止できる。
【００１４】
また、本発明のマスク収容ユニットは、前記保持手段に、前記フォトマスク基板の主表面を押える主表面押え部材を備えた構成としてもよい。
このようにすると、主表面押え部材でフォトマスク基板の主表面を押えることにより、フォトマスク基板の主表面と直交する方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止できる。
【００１５】
また、本発明のマスク収納ユニットは、前記筐体が、外箱と蓋を有し、前記フォトマスク基板の出し入れを行うため収納口を、前記外箱の上面、正面及び両側面にわたって形成することができる。ここで、前記収納口は、前記外箱に対して傾斜して形成されており、その傾斜角度は、前記保持手段に保持された前記フォトマスク基板の傾斜角度とほぼ同じであることが好ましい。
このようにすると、フォトマスク基板を収納したり取り出したりするときに、フォトマスク基板が収納口と干渉することがなく、収納、取り出し作業をロボットによっても円滑に行うことが可能となる。
【００１６】
また、本発明のマスク収納ユニットは、前記保持手段を、前記筐体の外部に設け、前記フォトマスク基板を収容した筐体を傾斜させた状態で保持する構成とすることもできる。この場合には、前記筐体内部に、フォトマスク基板を固定する治具を取り付け、さらに、筐体事態を傾斜させた状態で、載置台等に固定する構成とすることができる。例えば、このようにすると、従来のマスクケースをそのまま利用することも可能である。
【００１７】
本発明のマスク収容ユニットを用い、フォトマスク基板の搬送方法、フォトマスク製品の製造方法及びフォトマスクの露光・転写方法の各発明をなすことができる。
すなわち、該フォトマスク基板の搬送方法は、マスク収容ユニットを用い、前記フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま搬送する方法である。
【００１８】
また、フォトマスク製品の製造方法は、少なくとも、フォトマスク基板の作成工程、基板形成工程及び検査工程を含み、マスク収容ユニットにより、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま前記各工程間におけるフォトマスクの搬送及び／又は保管を行う方法としてある。
【００１９】
また、フォトマスクの露光・転写方法は、マスク収容ユニットに、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で収納する工程と、前記フォトマスク基板を前記所定の角度傾斜させた状態のまま露光・転写機まで搬送する工程と、前記フォトマスク基板を前記マスク収容ユニットから取り出し、前記露光・転写機に設置する工程と、を有する方法としてある。
【発明の効果】
【００２０】
以上のように、本発明によれば、フォトマスク基板を垂直に保持する縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニットの高さを低くできるので、マスク収容ユニットの搬送時に視界を遮られることを抑止し、搬送が容易になるだけでなく、輸送方法が制限される不都合も回避できる。また、マスク収容ユニットのアスペクト比が小さくなるので、搬送中及び／又は保管中の転倒も防止できる。
また、フォトマスク基板の端面及び裏面を同時に支持するので、フォトマスク基板の支持荷重を分散し、フォトマスク基板の欠けを防止できる。また、フォトマスク基板の収納や取り出しに際し、マスク収容ユニットを倒したり、起したりする必要がないので、フォトマスク基板の収納作業や取り出し作業を簡略化することができる。
【００２１】
換言すれば、フォトマスク基板を、所定角度に傾斜させた状態で、マスクケースに収納し、この収納時の姿勢のままで、前記マスクケースを搬送したり保管したりすることができる。
さらに、フォトマスク製品の製造過程のいずれかの段階で、このような工程を設けることができる。また、フォトマスク製品を、露光・転写機に設置し、露光転写を行う際にも、フォトマスク基板を、所定角度に傾斜させた状態でマスクケース内に収納して搬送し、次いで、前記マスクケースを該搬送時の姿勢としたまま、内部より前記フォトマスク基板を取り出し、該フォトマスク基板を露光する露光・転写機に設置することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。
【００２３】
図１は、本発明のマスク収容ユニットの一実施形態を示す概略斜視図、図２は、本発明の実施形態に係るマスク収容ユニットを側面方向から見た断面図、図３は、本発明の実施形態に係るマスク収容ユニットの内部正面図、図４は、本発明の実施形態に係るマスク収容ユニットの重さを算出するための説明図、図５は、本発明の実施形態に係るマスク収容ユニットの重さを示すグラフである。
これらの図に示すように、マスク収容ユニット１は、長方形のフォトマスク基板Ｋを輸送する直方体状のケースであって、フォトマスク基板Ｋを収納する筐体１０と、筐体１０の内部でフォトマスク基板Ｋを保持する保持手段とを備えて構成されている。
【００２４】
マスク収容ユニット１に収納するフォトマスク基板Ｋとしては、主表面の短辺の長さが８００ｍｍを超えるような大型のものの場合に有利である。例えば、高さ（短辺）１２２０ｍｍ、長さ（長辺）１４００ｍｍ、幅（厚さ）１３ｍｍ又はそれ以上の大型フォトマスク基板を収納することができる。このように、フォトマスク基板Ｋが大型化するほど、本発明の効果が顕著になる。
また、フォトマスク基板Ｋは、フォトマスク用ガラス基板、フォトマスクブランク及びフォトマスクを含むものとする。
【００２５】
筐体１０は、外箱１１、蓋１２及びキャスタ１３を備えている。
外箱１１は、フォトマスク基板Ｋを収納する箱体であり、収納口１４を介してフォトマスク基板Ｋの出し入れが行われる。収納口１４は、外箱１１の上面、正面、側面のいずれか一つに形成することも可能であるが、上面、正面及び側面にわたり、側面方向から見て傾斜状に形成されることが好ましい。このようにすると、収納口１４を広く開口させ、フォトマスク基板Ｋの出し入れが容易になる。
【００２６】
また、この場合、フォトマスク基板Ｋが、外箱１１の内部で保持された角度のまま、作業者がフォトマスク基板に手が届き、支持して取り出すことが容易である。したがって、外箱１０の側面からみた、収容口の傾斜角度は、内部でフォトマスク基板を保持する角度と等しくすることができる。
なお、収容口の傾斜角度は、フォトマスク基板の保持角度に対して、±１０°以内、特に±５°以内であれば、収納、取り出し作業に支障はない。したがって、本発明において、収納口の外箱１１に対する傾斜角度がフォトマスク基板の傾斜角度Ｋとほぼ同じとは、フォトマスク基板Ｋの保持角度に対して±１０°以内のことを意味する。
【００２７】
蓋１２は、収納口１４の開閉を行う。外箱１１及び蓋１２には、インロー部１５を設け、互に嵌合させることが好ましい。また、外箱１１と蓋１２の間には、バックル等の連結手段１６が設けられており、フォトマスク基板Ｋを収納した後、連結手段１６を連結操作することにより、蓋１２が閉じられる。
キャスタ１３は、外箱１１の底部に複数設けられ、マスク収容ユニット１の移動を容易にする。
【００２８】
保持手段は、フォトマスク基板Ｋを側面方向から見て傾斜させた状態で保持する。フォトマスク基板Ｋの傾斜角度は、水平軸に対して４５〜８０°が好ましい。このようにすると、フォトマスク基板Ｋを垂直に保持する縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニット１の高さを低くできるので、マスク収容ユニット１の搬送が容易になるだけでなく、輸送方法が制限される不都合も回避できる。また、マスク収容ユニット１のアスペクト比が小さくなるので、搬送中あるいは保管中の転倒も防止できる。また、フォトマスク基板Ｋの収納や取り出しに際し、マスク収容ユニット１を倒したり、起す必要がないので、フォトマスク基板Ｋの収納作業や取り出し作業を簡略化することができる。
【００２９】
なお、図示した態様では、フォトマスク基板Ｋは側面から見てのみ傾斜する一次元方向の傾斜としてあり、したがって、フォトマスクの長辺は水平となっている。しかし、本発明はこの態様に限定されるものではなく、正面及び／又は平面から見ても傾斜する、二次元あるいは三次元方向へ傾斜させた場合にも適用することができる。これらの場合、正面及び／又は平面から見た傾斜角度は３０°以内とすることが好ましい。
【００３０】
本実施形態のマスク収容ユニット１は、保持手段として、載置部材２０、端面押え部材３０及び主表面押え部材４０を備えている。
載置部材２０は、フォトマスク基板Ｋの仮置きを可能にする。例えば、本実施形態の載置部材２０は、筐体１０の内部四箇所に設けられ、フォトマスク基板Ｋの四隅を、隙間Ｓを介して支えることにより、フォトマスク基板Ｋの仮置きを可能にする。載置部材２０には、フォトマスク基板Ｋの端面を支持する第一の支持面２１と、フォトマスク基板Ｋの裏面を支持する第二の支持面２２とが形成されている。フォトマスク基板Ｋを垂直に保持する従来のマスク収容ユニットでは、フォトマスク基板Ｋの荷重を、主に第一の支持面２１で支持し、第二の支持面２２は、フォトマスク基板Ｋの倒れを規制する程度であったが、フォトマスク基板Ｋを傾斜状態で保持する本発明のマスク収容ユニット１では、フォトマスク基板Ｋの荷重が第一の支持面２１と第二の支持面２２に適度に分散されるので、荷重の集中によるフォトマスク基板Ｋの欠けを防止できる。
【００３１】
端面押え部材３０は、フォトマスク基板Ｋの端面を押えることにより、フォトマスク基板Ｋの主表面に沿う方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止する。本実施形態のマスク収容ユニット１は、フォトマスク基板Ｋの上側端面を押える上側端面押え部材３０と、フォトマスク基板Ｋの下側端面を押える下側端面押え部材３０と、フォトマスク基板Ｋの左側端面を押える左側端面押え部材３０と、フォトマスク基板Ｋの右側端面を押える右側端面押え部材３０とをそれぞれ二つずつ備え、これらの端面押え部材３０によって、フォトマスク基板Ｋの主表面に沿う上下及び左右方向の揺れを抑制している。
【００３２】
本実施形態の端面押え部材３０は、ねじ孔を有する支持板３１と、支持板３１に螺入するねじ軸３２と、ねじ軸３２の先端に設けられる弾性部材３３と、ねじ軸３２を任意の位置で固定するダブルナット３４とを備えて構成されている。すなわち、ねじ軸３２を回して弾性部材３３の位置調節をし、弾性部材３３をフォトマスク基板Ｋの端面に当接させた状態で、ダブルナット３４を締め付けることにより、フォトマスク基板Ｋの端面が押えられる。ただし、下側端面押え部材３０は、荷重の集中を避けるために、下側載置部材２０の第一の支持面２１との面一性が求められるので、固定式としてもよい。
なお、本実施形態の端面押え部材３０は、フォトマスク基板Ｋの端縁のみを押えるが、フォトマスク基板Ｋの表面や裏面を同時に押えるようにしてもよい。例えば、弾性部材３３の先端部に凹部を形成し、該凹部をフォトマスク基板Ｋの端部に嵌合させる。このようにすると、フォトマスク基板Ｋの主表面に直交する方向の揺れも同時に抑制することが可能になる。
【００３３】
主表面押え部材４０は、フォトマスク基板Ｋの主表面を押えることにより、フォトマスク基板Ｋの主表面と直交する方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止する。本実施形態のマスク収容ユニット１は、蓋１２の内側に四つの主表面押え部材４０を備えており、蓋１２の閉じ操作にともない、フォトマスク基板Ｋの主表面四隅が主表面押え部材４０で押えられる。
本実施形態の主表面押え部材４０は、蓋１２の内側に突設されるパイプ４１と、パイプ４１の先端部に出没自在に収納される弾性部材４２と、弾性部材４２を突出方向に付勢するバネ４３とを備えて構成され、弾性部材４２をフォトマスク基板Ｋの主表面に弾圧状に当接させることにより、フォトマスク基板Ｋの主表面と直交する方向の揺れを抑制している。
【００３４】
ところで、上記のように構成されたマスク収容ユニット１は、フォトマスク基板Ｋを傾斜状態で収納するため、表面積及び重量が増加するが、マスク収容ユニット１の重量（表面積にほぼ比例）は、縦置きタイプや横置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、最大でも二倍程度に抑えることができる。
つまり、図４に示すように、フォトマスク基板Ｋの高さをａ、幅をｂ、傾斜角度をθとした場合、マスク収容ユニット１の最小高さはａｓｉｎθ、最小幅はｂ、最小奥行きはａｃｏｓθであり、マスク収容ユニット１の表裏面、左右側面、上下面の面積Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３及びマスク収容ユニット１の表面積Ｓは、下記のように算出される。
Ｓ１＝ａｂｓｉｎθ
Ｓ２＝ａ２ｓｉｎθｃｏｓθ
Ｓ３＝ａｂｃｏｓθ
Ｓ＝２（Ｓ１＋Ｓ２＋Ｓ３）
そして、θを０〜９０°の範囲で変化させると、図５に示すように表面積（重量）が変化するが、最大となる４５°でも、二倍以下に抑えられることが判る。
ここで、θは、アスペクト非を適切にして安定度と基板の出し入れの容易さを考慮すると、４５〜８０°の範囲が好ましく、さらに、重量の増加を抑えるためには、６０°〜８０°が好ましい。
【００３５】
つぎに、上記のマスク収容ユニット１を用いたフォトマスク基板Ｋの収納、輸送、取り出しについて説明する。
フォトマスク基板Ｋは、通常、工場のクリーンルーム内でマスク収容ユニット１に収納される。マスク収容ユニット１にフォトマスク基板Ｋを収納する場合は、まず、蓋１２を開け、マスク収容ユニット１内の載置部材２０上にフォトマスク基板Ｋを仮置きする。このとき、フォトマスク基板Ｋは、側面方向から見て傾斜した状態となっている。その後、フォトマスク基板Ｋの端面を端面押え部材３０で押え、蓋１２を閉める。蓋１２を示すと、その内側に設けられた主表面押え部材４０の弾性部材４２がフォトマスク基板Ｋの主表面に弾圧状に当接される。
フォトマスク基板Ｋを収納したマスク収容ユニット１は、クリーンルーム外へ運ばれる。このとき、マスク収容ユニット１は、キャスタ１３によって容易に運ぶことができる。
【００３６】
フォトマスク基板Ｋを収納したマスク収容ユニット１は、陸上輸送、航空輸送、海上輸送等の輸送方法を適宜選択して納品先まで輸送される。このとき、マスク収容ユニット１は、フォトマスク基板Ｋを垂直に保持する縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニット１の高さを低くできるので、マスク収容ユニット１の搬送が容易になるだけでなく、輸送方法が制限される不都合も回避できる。また、マスク収容ユニット１のアスペクト比が小さくなるので、搬送中や保管中の転倒も防止できる。
納品されたフォトマスク基板Ｋの取り出しは、通常、工場のクリーンルーム内で行われる。この作業は、蓋１２を開け、端面押え部材３０による押えを解除した後に行われる。
【００３７】
以上のように構成された本実施形態によれば、フォトマスク基板Ｋを搬送・保管するためのマスク収容ユニット１であって、フォトマスク基板Ｋを収納する筐体１０と、筐体１０の内部でフォトマスク基板Ｋを保持する保持手段とを備え、保持手段が、フォトマスク基板Ｋを側面方向から見て傾斜させた状態で保持する構成としたので、フォトマスク基板Ｋを垂直に保持する縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニット１の高さを低くできる。これにより、マスク収容ユニット１の搬送が容易になるだけでなく、輸送方法が制限される不都合も回避できる。また、マスク収容ユニット１のアスペクト比が小さくなるので、輸送中の転倒も防止できる。また、フォトマスク基板Ｋの端面及び裏面を同時に支持できるので、フォトマスク基板Ｋの支持荷重を分散し、フォトマスク基板Ｋの欠けを防止できる。また、フォトマスク基板Ｋの収納や取り出しに際し、マスク収容ユニット１を倒したり、起したりする必要がないので、フォトマスク基板Ｋの収納作業や取り出し作業を簡略化することができる。
【００３８】
また、フォトマスク基板Ｋの傾斜角度を、水平軸に対して４５〜８０°とした場合は、マスク収容ユニット１の高さ、アスペクト比及び占有面積（底面積）をバランス良く設定できる。
【００３９】
また、保持手段として、フォトマスク基板Ｋを仮置き状に載置する載置部材２０と、載置部材２０に載置されたフォトマスク基板Ｋの端面を押える端面押え部材３０とを備える場合は、フォトマスク基板Ｋを仮置きできるので、マスク収容ユニット１に対するフォトマスク基板Ｋの収納が容易になる。また、端面押え部材３０でフォトマスク基板Ｋの端面を押えることにより、フォトマスク基板Ｋの主表面に沿う方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止できる。
【００４０】
また、本保持手段として、フォトマスク基板Ｋの主表面を押える主表面押え部材４０を備える場合は、主表面押え部材４０でフォトマスク基板Ｋの主表面を押えることにより、フォトマスク基板Ｋの主表面と直交する方向の揺れを抑制し、擦れによる塵埃の発生を防止できる。
【００４１】
次に、本発明のマスク収容ユニットの他の一実施形態について説明する。
図６及び７は、他の一実施形態の概略斜視図と、側面方向から見た断面図を示す。
【００４２】
この実施形態における筐体１０１は、収納口１０２を介してフォトマスク基板Ｋが出し入れされる外箱１０３と、この外箱１０３の収納口１０２を開閉する蓋１０４を備えている。例えば、筐体は、図８〜１０に示す、従来の筐体１０１からキャスタ１０５を取り除いた構造とすることも可能である。
また、筐体１０１の内部には、保持手段として、フォトマスク基板Ｋの四隅を保持する保持部材１０６と、フォトマスク基板Ｋの端面を押える端面押え部材１０７が設けられている。これら保持部材１０６と端面押さえ部材１０７は、筐体１０１に対してフォトマスク基板Ｋを垂直に保持するよう配置してある。
この筐体１０１は、載置台１１０に傾斜した状態で載置されている。
【００４３】
載置台１１０は、横架部材１１１と、この二本の横架部材１１１の後部においてそれぞれ立設する二本の支柱１１２と、二本の横架部材１１１の前部間において架設された支持部材１１３と、二本の支柱１１２の上部においてそれぞれ前方に突設した保持片１１２ａと、この保持片１１２ａの間に架設された背面支持部材１１４と、二本の横架部材１１１及び支持部材１１３の下部に設けられたキャスタ１１５を備えている。
【００４４】
支持部材１１３は、筐体１０１の下部端面を支持する第一の支持面１１３ａと、筐体１０１の下部裏面を支持する第二の支持面１１３ｂを有している。また、背面支持部材１１４は、筐体１０１の上部背面を支持する支持面を有している。
これにより、筐体１０１を載置台１１０に固定し、又は載置したとき、筐体１０１の、底部と下部後面が支持部材１１３によって、底部後ろ角の左右側面が横架部材１１１の前部によって、上部背面が背面支持部材１１４によって、上部後ろ角の左右側面が保持片１１２ａによってそれぞれ支えられ、筐体１０１全体が堅固に保持される。
【００４５】
支持部材１１３及び背面支持部材１１４の各支持面は、筐体１０１を支持したときに、筐体１０１の傾斜角度が、水平軸に対して４５〜８０°となるように形成してある。このようにすると、縦置きタイプのマスク収容ユニットに比べ、マスク収容ユニット１の高さを低くできるので、マスク収容ユニット１の搬送が容易になるなど、上記実施形態のものと同様の効果を奏する。
【００４６】
ところで、二本の横架部材１１１は後方に向けて拡がるハの字形に配設してある。これにより、この二本の横架部材１１の後部にそれぞれ立設してある二本の支柱１１２も後方に向かってハの字型に拡がった形になっている。このような構成とした結果、図６に示すように、前方載置台の下部空間に後方の載置台の下半部が入り込むことができ、載置台１１０を前後方向に大きな隙間を取ることなく、密に重ねて並べることができ、輸送時及び保管時における省スペース化を可能とする。
【００４７】
筐体１０１からのフォトマスク基板Ｋの収納取り出しは、筐体１０１を載置台１１０に載置したまま、所定の角度傾斜させた状態で行うことができるが、収納時あるいは取り出し時の条件次第では、筐体１０１を載置台から降ろした状態で、行うことも可能である。
【００４８】
また、本発明は、フォトマスク基板の搬送方法としても具現化することができる。
すなわち、上記したマスク収容ユニットを用い、前記フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま搬送する方法とすることができる。このような搬送方法によれば、マスク収容ユニットの高さを低くできるので、マスク収容ユニットの搬送が容易になるだけでなく、輸送方法の選択肢も広がる。また、マスク収容ユニットのアスペクト比が小さくなるので、搬送中の転倒も防止することができる。
【００４９】
また、本発明は、フォトマスク製品の製造方法としても具現化することができる。
すなわち、少なくとも、フォトマスク基板の作成工程、基板形成工程及び検査工程を含むフォトマスク製品の製造方法において、上記したマスク収容ユニットにより、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で保持し、前記傾斜角度を維持したまま前記各工程間におけるフォトマスクの搬送及び／又は保管を行う方法とすることができる。
【００５０】
また、本発明は、フォトマスクの露光・転写方法としても具現化することができる。
すなわち、上記したマスク収容ユニットに、フォトマスク基板を所定の角度傾斜させた状態で収納する工程と、前記フォトマスク基板を前記所定の角度傾斜させた状態のまま露光・転写機まで搬送する工程と、前記フォトマスク基板を前記マスク収容ユニットから取り出し、前記露光・転写機に設置する工程を含み、これら工程を経ることフォトマスク基板にパターンを露光・転写する方法とすることができる。
【産業上の利用可能性】
【００５１】
本発明は、フォトマスク基板を搬送したり保管したりするためのマスク収容ユニットに適用でき、特に、ＬＣＤＰやＰＤＰ等の製造工程で使用する大型フォトマスク基板の輸送に好適である。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明の一実施形態に係るマスク収容ユニットの概略斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態に係るマスク収容ユニットを側面方向から見た断面図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るマスク収容ユニットの内部正面図である。
【図４】本発明の一実施形態に係るマスク収容ユニットの重さを算出するための説明図である。
【図５】本発明の一実施形態に係るマスク収容ユニットの重さを示すグラフである。
【図６】本発明の他の一実施形態に係るマスク収容ユニットの概略斜視図である。
【図７】本発明の他の一実施形態に係るマスク収容ユニットを側面方向から見た断面図である。
【図８】従来例に係るマスク収容ユニットの斜視図である。
【図９】従来例に係るマスク収容ユニットを側面方向から見た断面図である。
【図１０】従来例に係るマスク収容ユニットの内部正面図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  マスク収容ユニット
１０  筐体
１１  外箱
１２  蓋
１３  キャスタ
１４  収納口
２０  載置部材
２１  第一の支持面
２２  第二の支持面
３０  端面押え部材
４０  主表面押え部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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