(57)【要約】【課題】高い検査精度を維持しつつ検査効率を向上し得る検査装置を提供する。【解決手段】負帰還経路に接続される複数のコンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを有して検査用信号の印加によって回路基板１００における所定部位間に流れる電流を検出するフィードバック方式の電流検出回路２と、各コンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄを負帰還経路に接続するコンデンサ接続回路２５と、コンデンサ接続回路２５を制御して、回路基板１００における所定部位間の浮遊容量値Ｃｓおよびその所定部位の少なくとも一方に対応付けられたコンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのうちの１つ以上を負帰還経路に接続させる制御部とを備えて回路基板１００に対する絶縁検査を実行可能に構成されている。【選択図】図２
2007051966.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負帰還経路に接続されるコンデンサを有して検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間に流れる電流を検出するフィードバック方式の電流検出回路を備えて、前記検査対象体に対する絶縁検査を実行可能に構成された検査装置であって、
前記電流検出回路は、前記コンデンサを複数備えて構成され、
前記各コンデンサの１つ以上を前記負帰還経路に接続する第１接続回路と、当該第１接続回路を制御して前記所定部位間の容量値、および当該所定部位の少なくとも一方に対応付けられた１つ以上の前記コンデンサを前記負帰還経路に接続させる制御部とを備えている検査装置。
【請求項２】
前記少なくとも一方と前記コンデンサとの対応付けが可能な対応付けデータを記憶する記憶部を備え、
前記制御部は、前記接続すべき前記コンデンサを前記対応付けデータに基づいて特定する請求項１記載の検査装置。
【請求項３】
前記所定部位間の容量値を測定する測定部を備え、
前記制御部は、前記測定部によって測定された前記容量値と前記コンデンサとの対応付けが可能なデータを前記対応付けデータとして生成して前記記憶部に記憶させる請求項２記載の検査装置。
【請求項４】
前記電流検出回路は、前記負帰還経路に接続されるレンジ切替用の抵抗を複数備えて構成され、
前記各抵抗の１つ以上を前記負帰還経路に接続させる第２接続回路を備え、
前記制御部は、前記第２接続回路を制御して前記所定部位間の抵抗値、および当該所定部位の少なくとも一方に対応付けられた前記抵抗を前記負帰還経路に接続させる請求項１から３のいずれかに記載の検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負帰還経路に接続されるコンデンサを有するフィードバック方式の電流検出回路を備えて検査対象体に対する絶縁検査を実行可能に構成された検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
この種の検査装置として、特開２００１−９１５６２号公報において出願人が開示した検査装置が知られている。この検査装置は、複数のレンジ抵抗を有してプローブ間を流れる電流を電圧変換するレンジ抵抗回路、およびレンジ抵抗の切り替えによる入力レンジの切替制御（オートレンジ機能）や絶縁良否の判定処理などを実行する制御回路などを備えて、回路基板等に対する絶縁検査を実行可能に構成されている。この検査装置を用いて、例えば、回路基板における一対の導体パターンに対する絶縁検査を行う際には、これらの導体パターンにプローブを介して電圧を印加して、導体パターン間に流れる電流値を測定して、その電流値に基づいて絶縁抵抗値を演算する。この場合、この検査装置では、制御回路が、まず、レンジ抵抗回路を切替制御して最大の入力レンジに切り替えて、次いで、プローブ間を流れる電流値がその入力レンジの下限値よりも低電流である所定の基準値まで低下したときに、レンジ抵抗回路を切替制御して、次の入力レンジに切り替えさせる。以下、制御回路は、測定に適した低い入力レンジとなるまでレンジ抵抗回路に対する切替制御を繰り返して実行する。この検査装置では、制御回路がこのような切替制御を実行することにより、電流が各入力レンジの下限値に達した時点で次の入力レンジに切替制御する方式と比較して、大きな電流が流れる時間が長い分、導体パターン間が短時間で充電されるため、絶縁抵抗値を演算可能な状態により短時間で到達させることが可能となる。この結果、この検査装置では、回路基板の導体パターンに対する絶縁検査を短時間でしかも高精度に行うことが可能となっている。
【特許文献１】特開２００１−９１５６２号公報（第４−５頁、第１図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところが、上記の検査装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、この種の検査装置では、微少電流に基づいて絶縁抵抗を演算するため、ノイズの影響を極力低減させる必要がある。このため、この種の検査装置では、ノイズ低減用のコンデンサが各レンジ抵抗にそれぞれ並列に接続されたフィードバック方式のレンジ抵抗回路が用いられる。この場合、コンデンサの容量値をＣｆ、レンジ抵抗の抵抗値をＲｆ、検査対象の導体パターン間における絶縁抵抗値をＲｓ、検査対象の導体パターン間における浮遊容量値をＣｓ、およびノイズの周波数をｆｎとすると、レンジ抵抗回路から出力される出力ノイズは、次の式で表される。
出力ノイズ＝入力ノイズ×（Ｚｆ／Ｚｓ）
Ｚｆ＝Ｒｆ／((２×π×ｆｎ×Ｒｆ×Ｃｆ)２＋１)１／２
Ｚｓ＝Ｒｓ／((２π×ｆｎ×Ｒｓ×Ｃｓ)２＋１)１／２
つまり、この種のレンジ抵抗回路は、容量値Ｃｆが大きいほどノイズに対するゲインが減少するという特性を有している。
【０００４】
一方、レンジ抵抗回路の時定数τ、および立ち上がり時間ｔｒ（１０％→９０％）は、次の式で表される。
τ＝Ｒｆ×Ｃｆ
ｔｒ＝２．２×Ｒｆ×Ｃｆ
つまり、この種のレンジ抵抗回路は、容量値Ｃｆが大きいほど立ち上がり時間が長くなって応答速度が遅くなるという特性を有している。このため、ノイズに対するゲインを十分に減少させつつレンジ抵抗回路の適正な応答速度を確保するためには、レンジ抵抗の抵抗値Ｒｆ、絶縁抵抗値Ｒｓ、および浮遊容量値Ｃｓに応じて容量値Ｃｆを適正な値に規定するのが好ましい。しかしながら、絶縁抵抗値Ｒｓや浮遊容量値Ｃｓが未知であるため、容量値Ｃｆを適正な値に規定するのは困難である。このため、このレンジ抵抗回路に用いられるコンデンサの容量値Ｃｆは、一般的に、ノイズに対するゲインの十分な減少を優先して、想定される適正値よりも大きく規定されている。したがって、従来の検査装置には、容量値Ｃｆを小さくしてノイズに対するゲインを十分に減少させることができるにも拘わらず、容量値Ｃｆが必要以上に大きいためにレンジ抵抗回路の応答速度が遅くなることがあり、その分、検査効率のさらなる向上が困難となっているという課題が存在する。
【０００５】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、高い検査精度を維持しつつ検査効率を向上し得る検査装置を提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成すべく請求項１記載の検査装置は、負帰還経路に接続されるコンデンサを有して検査用信号の印加によって検査対象体における所定部位間に流れる電流を検出するフィードバック方式の電流検出回路を備えて、前記検査対象体に対する絶縁検査を実行可能に構成された検査装置であって、前記電流検出回路は、前記コンデンサを複数備えて構成され、前記各コンデンサの１つ以上を前記負帰還経路に接続する第１接続回路と、当該第１接続回路を制御して前記所定部位間の容量値、および当該所定部位の少なくとも一方に対応付けられた１つ以上の前記コンデンサを前記負帰還経路に接続させる制御部とを備えている。
【０００７】
また、請求項２記載の検査装置は、請求項１記載の検査装置において、前記少なくとも一方と前記コンデンサとの対応付けが可能な対応付けデータを記憶する記憶部を備え、前記制御部は、前記接続すべき前記コンデンサを前記対応付けデータに基づいて特定する。
【０００８】
また、請求項３記載の検査装置は、請求項２記載の検査装置において、前記所定部位間の容量値を測定する測定部を備え、前記制御部は、前記測定部によって測定された前記容量値と前記コンデンサとの対応付けが可能なデータを前記対応付けデータとして生成して前記記憶部に記憶させる。
【０００９】
また、請求項４記載の検査装置は、請求項１から３のいずれかに記載の検査装置において、前記電流検出回路は、前記負帰還経路に接続されるレンジ切替用の抵抗を複数備えて構成され、前記各抵抗の１つ以上を前記負帰還経路に接続させる第２接続回路を備え、前記制御部は、前記第２接続回路を制御して前記所定部位間の抵抗値、および当該所定部位の少なくとも一方に対応付けられた前記抵抗を前記負帰還経路に接続させる。
【発明の効果】
【００１０】
請求項１記載の検査装置によれば、負帰還経路に接続されるコンデンサを複数備えて電流検出回路を構成したことにより、容量が適正値よりも大きく規定されたコンデンサを１つしか備えていない従来の検査装置とは異なり、検査対象体における所定部位間の容量値やその所定部位に対応付けられた１つ以上のコンデンサを複数のコンデンサの中から選択して負帰還経路に接続することで、コンデンサの容量値が必要以上に大きいことに起因する電流検出回路の応答速度の低下を回避することができる。また、ノイズに対するゲインを下げるのに十分な大きさの容量値を有するコンデンサを対応付けることで測定精度を高精度に維持することができる。また、制御部が第１接続回路を制御して所定部位間の容量値やその所定部位に対応付けられた１つ以上のコンデンサを負帰還経路に接続に接続させることにより、例えば、これらを人手で行う構成と比較して、絶縁検査を開始するまでの時間を十分に短縮することができる。したがって、この検査装置によれば、高い検査精度を維持しつつ検査効率を十分に向上させることができる。
【００１１】
また、請求項２記載の検査装置によれば、制御部が、負帰還経路に接続すべきコンデンサを対応付けデータに基づいて特定することにより、検査対象体における所定部位間の容量値とコンデンサとの対応付けが可能な対応付けデータを記憶部に記憶させることで、検査対象体についての絶縁検査する毎に複雑な演算等を行うことなく、負帰還経路に接続すべきコンデンサを直ちに特定することができる。したがって、この検査装置よれば、検査効率をさらに向上させることができる。
【００１２】
また、請求項３記載の検査装置によれば、制御部が、測定部によって測定された容量値とコンデンサとの対応付けが可能なデータを対応付けデータとして生成して記憶部に記憶させることにより、例えば、検査対象体の種類に応じた対応付けデータを外部から入手して記憶部に記憶させるような煩雑な作業を不要とすることができるため、検査効率を一層向上させることができる。
【００１３】
また、請求項４記載の検査装置によれば、制御部が第２接続回路を制御して検査対象体における所定部位間の抵抗値や所定部位に対応付けられた抵抗を負帰還経路に接続させることにより、絶縁検査を高精度かつ短時間で実行するのに適する抵抗を負帰還経路に自動的に接続させることができる。したがって、この検査装置によれば、レンジ切替を短時間でしかも容易に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明に係る検査装置の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
【００１５】
最初に、検査装置１の構成について、図面を参照して説明する。
【００１６】
図１に示す検査装置１は、本発明に係る検査装置の一例であって、電流検出回路２、電源部３、電圧検出部４、Ａ／Ｄ変換部５、制御部６、ＲＡＭ７およびＲＯＭ８を備え、例えば、回路基板１００（本発明における検査対象体）における導体パターン（本発明における所定部位）１０１，１０１間の絶縁検査を実行可能に構成されている。なお、実際には、回路基板１００には複数組の導体パターン１０１が形成されているが、発明の理解を容易とするため、同図では、一対の導体パターン１０１，１０１だけを図示している。
【００１７】
電流検出回路２は、図２に示すように、オペアンプ２１、抵抗２２ａ，２２ｂ（以下、区別しないときには「抵抗２２」ともいう）、抵抗接続回路２３、コンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ（以下、区別しないときには「コンデンサ２４」ともいう）、およびコンデンサ接続回路２５を備えて構成されている。オペアンプ２１は、導体パターン１０１，１０１に対する検査用信号の印加によって導体パターン１０１，１０１間に流れる電流を検出して、電流電圧変換することによって検出信号Ｓｉを出力する。抵抗２２ａ，２２ｂは、レンジ切替用の抵抗であって、抵抗接続回路２３によってこれらのうちの１つが負帰還経路に接続される。この場合、抵抗２２ａの抵抗値Ｒｆは、抵抗２２ｂの抵抗値Ｒｆ（一例として、１ＭΩ）に対して１０倍程度の大きさに規定されている。抵抗接続回路２３は、本発明における第２接続回路に相当し、制御部６の制御に従って抵抗２２ａ，２２ｂのうちの１つを負帰還経路に切り替えて接続させる。
【００１８】
コンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄは、例えばノイズ低減用のコンデンサであって、コンデンサ接続回路２５によってこれらのうちの１つが負帰還経路に接続される。この場合、コンデンサ２４ｃの容量値Ｃｆは、コンデンサ２４ｄの容量値Ｃｆ（一例として、１００ｐＦ）に対して１０倍程度の大きさに規定され、コンデンサ２４ｂの容量値Ｃｆは、コンデンサ２４ｃの容量値Ｃｆに対して１０倍程度の大きさに規定されている。また、コンデンサ２４ａの容量値Ｃｆは、コンデンサ２４ｂの容量値Ｃｆに対して１０倍程度の大きさに規定されている。コンデンサ接続回路２５は、本発明における第１接続回路に相当し、制御部６の制御に従ってコンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのうちの１つを負帰還経路に切り替えて接続させる。なお、抵抗接続回路２３およびコンデンサ接続回路２５としては、リレー、フォトモスおよびアナログスイッチ等の各種の接続手段を用いることができる。この場合、接続手段自体の絶縁抵抗や接続手段で発生するリーク電流に起因する絶縁検査への影響を少なく抑えられる点で、リレーを用いるのが好ましい。
【００１９】
電源部３は、制御部６の制御に従い、検査用信号をプローブ１１を介して出力する。電圧検出部４は、回路基板１００の導体パターン１０１，１０１間に検査用信号が印加されたときに（つまり検査用信号に基づく電流が流れたときに）生じる導体パターン１０１，１０１間の電圧を検出して、電圧データＤｖを出力する。Ａ／Ｄ変換部５は、電流検出回路２から出力される検出信号Ｓｉをアナログ−ディジタル変換することにより、電流データＤｉを生成して制御部６に出力する。制御部６は、本発明における制御部および測定部に相当し、電圧検出部４から出力される電圧データＤｖおよびＡ／Ｄ変換部５から出力される電流データＤｉに基づいて導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値Ｃｓ（本発明における容量値）を測定する。また、制御部６は、図３に示すデータ収集処理４０を実行することにより、導体パターン１０１，１０１間の絶縁抵抗値Ｒｓ（本発明における抵抗値）の測定（絶縁検査）を高精度かつ短時間で実行するのに適する負帰還経路における抵抗値（以下、「適正抵抗値Ｒｒ」ともいう）および容量値（以下、「適正容量値Ｃｒ」ともいう）を算出する。また、制御部６は、絶縁抵抗値Ｒｓ、浮遊容量値Ｃｓ、適正抵抗値Ｒｒ、適正容量値Ｃｒ、および導体パターン１０１，１０１の特定が可能なデータを互いに対応付けた対応付けデータＤｃ（本発明における対応付けデータの一例）を生成してＲＡＭ７に記憶させる。また、制御部６は、図４に示す検査処理５０を実行することにより、導体パターン１０１，１０１間の絶縁抵抗値Ｒｓを電流データＤｉおよび電圧データＤｖに基づいて算出してＲＡＭ７に記憶させる。また、制御部６は、検査処理５０において、電流検出回路２の抵抗接続回路２３による抵抗２２の接続を制御すると共に、コンデンサ接続回路２５によるコンデンサ２４の接続を制御する。さらに、制御部６は、図外の移動機構を制御することにより、回路基板１００における各導体パターン１０１，１０１・・のうちの一対の導体パターン１０１，１０１にプローブ１１，１１を接触させる。
【００２０】
ＲＡＭ７は、制御部６によって生成された対応付けデータＤｃや絶縁抵抗値Ｒｓを記憶する。ＲＯＭ８は、データ収集処理４０において制御部６によって実行される適正抵抗値Ｒｒや適正容量値Ｃｒの算出に必要な計算式等を記憶する。
【００２１】
次に、検査装置１を用いた回路基板１００に対する絶縁検査の方法について、図面を参照して説明する。
【００２２】
まず、検査対象の回路基板１００に対する絶縁検査（本検査）に先立ち、検査装置１を用いて、良品としての回路基板１００（以下、この回路基板１００を「基準回路基板１００Ａ」ともいう）に対して予備的な検査を行う。この場合、検査装置１の制御部６が図３に示すデータ収集処理４０を実行する。このデータ収集処理４０では、制御部６は、図外の移動機構を制御することにより、検査装置１の電源部３、電流検出回路２および電圧検出部４に接続されたプローブ１１，１１を、図１に示すように、基準回路基板１００Ａにおけるいずれか一対の導体パターン１０１，１０１（以下、この導体パターン１０１，１０１を「導体パターン１０１ａ，１０１ｂ」ともいう）にそれぞれ接触させる（ステップ４１）。次いで、制御部６は、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の絶縁抵抗値Ｒｓおよび浮遊容量値Ｃｓを測定する（ステップ４２）。具体的には、制御部６は、電流検出回路２の抵抗接続回路２３を制御して、抵抗２２ａ，２２ｂのうちの抵抗値Ｒｆが大きい抵抗２２（この場合、抵抗２２ａ）を負帰還経路に接続させると共に、コンデンサ接続回路２５を制御して、コンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄのうちの容量値Ｃｆが最も大きいコンデンサ２４（この場合、コンデンサ２４ａ）を負帰還経路に接続させる。また、制御部６は、電源部３を制御して各プローブ１１，１１を介して導体パターン１０１ａ，１０１ｂに検査用信号を印加する。この際に、電流検出回路２のオペアンプ２１が導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間を流れる電流を検出して検出信号Ｓｉを出力する。続いて、Ａ／Ｄ変換部５が、検出信号Ｓｉをアナログ−ディジタル変換することにより生成した電流データＤｉを制御部６に出力する。また、電圧検出部４が、検査用信号の印加によって導体パターン１０１ａ，１０１ｂ（プローブ１１，１１）間に生じる電圧を検出して電圧データＤｖを出力する。次いで、制御部６は、電流データＤｉおよび電圧データＤｖに基づき、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の絶縁抵抗値Ｒｓを算出する。また、制御部６は、電圧データＤｖによって特定される電圧値、Ａ／Ｄ変換部５から出力された電流データＤｉによって特定される電流値、および電圧データＤｖによって特定される位相と電流データＤｉによって特定される位相との位相差に基づき、導体パターン１０１ａ，１０１ｂ間の浮遊容量値Ｃｓを測定する。
【００２３】
次に、制御部６は、適正抵抗値Ｒｒの算出に必要な計算式等をＲＯＭ８から読み出すと共に、電圧データＤｖ、算出した絶縁抵抗値Ｒｓ、および読み出した計算式等に基づき、適正抵抗値Ｒｒを算出する（ステップ４３）。この場合、この検査装置１のＡ／Ｄ変換部５に入力する検出信号Ｓｉの値は、例えば、０．１Ｖ以上１Ｖ以下の範囲であるのが好ましい。このため、上記の計算式は、検出信号Ｓｉがこの範囲内となるのに適した適正抵抗値Ｒｒを電圧データＤｖや絶縁抵抗値Ｒｓから算出可能に構成されている。次いで、制御部６は、適正容量値Ｃｒの算出に必要な計算式等をＲＯＭ８から読み出すと共に、ステップ４３において算出した適正抵抗値Ｒｒ、ステップ４２において算出した浮遊容量値Ｃｓ、および読み出した計算式等に基づき、適正容量値Ｃｒを算出する（ステップ４４）。この場合、例えば、適正抵抗値Ｒｒが１Ｍで浮遊容量値Ｃｓが１０ｐＦ以上１００ｐＦ未満の範囲内のときには、適正容量値Ｃｒが１００ｐＦ程度であるのが好ましく、適正抵抗値Ｒｒが１Ｍで浮遊容量値Ｃｓが１００ｐＦ以上１０００ｐＦ未満の範囲内のときには、適正容量値Ｃｒが１０００ｐＦ程度であるのが好ましいことが検査装置１に対する実験から明らかとなっている。このため、上記の計算式は、これらの実験データに基づき、適正抵抗値Ｒｒや浮遊容量値Ｃｓから適正容量値Ｃｒを算出可能に構成されている。
【００２４】
続いて、制御部６は、絶縁抵抗値Ｒｓ、浮遊容量値Ｃｓ、適正抵抗値Ｒｒ、適正容量値Ｃｒ、および導体パターン１０１ａ，１０１ｂを特定可能なデータ（例えば導体パターン１０１ａ，１０１ｂの番号等）を互いに対応付けた対応付けデータＤｃを生成してＲＡＭ７に記憶させる（ステップ４５）。次に、制御部６は、基準回路基板１００Ａにおける全ての導体パターン１０１についての対応付けデータＤｃをＲＡＭ７に記憶させたか（収集したか）否かを判別する（ステップ４６）。この場合、制御部６は、全ての導体パターン１０１についての対応付けデータＤｃを収集していないときには、ステップ４１からステップ４６を繰り返して実行し、全ての導体パターン１０１についての対応付けデータＤｃの収集を完了したときには、データ収集処理４０を終了する。
【００２５】
次に、検査装置１を用いて、検査対象の回路基板１００に対する絶縁検査（本検査）を実行する。この場合、制御部６は、図４に示す検査処理５０を実行する。この検査処理５０では、制御部６は、上記したデータ収集処理４０のステップ４１と同様にして、回路基板１００におけるいずれか一対の導体パターン１０１，１０１（以下、この導体パターン１０１，１０１を「導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ」ともいう）にプローブ１１，１１をそれぞれ接触させる（ステップ５１）。次いで、制御部６は、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄについての浮遊容量値Ｃｓに対応付けられている適正抵抗値Ｒｒおよび適正容量値ＣｒをＲＡＭ７から読み出す。次いで、制御部６は、読み出した適正抵抗値Ｒｒとその抵抗値Ｒｆとが等しい（または最も近い）抵抗２２を抵抗２２ａ，２２ｂの中から特定すると共に、読み出した適正容量値Ｃｒとその容量値Ｃｆとが等しい（または最も近い）コンデンサ２４をコンデンサ２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄの中から特定する（ステップ５２）。続いて制御部６は、電流検出回路２の抵抗接続回路２３による接続を制御して、特定した抵抗２２を負帰還経路に接続させると共に、電流検出回路２のコンデンサ接続回路２５による接続を制御して、特定したコンデンサ２４を負帰還経路に接続させる（ステップ５３）。
【００２６】
次に、制御部６は、電源部３を制御して各プローブ１１，１１を介して導体パターン１０１ｃ，１０１ｄに検査用信号を印加する。この際に、電流検出回路２のオペアンプ２１が導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間に流れる電流を検出して検出信号Ｓｉを出力し、Ａ／Ｄ変換部５が電流データＤｉを生成して制御部６に出力する。また、電圧検出部４が、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間に生じる電圧を検出して電圧データＤｖを出力する。次いで、制御部６は、電流データＤｉおよび電圧データＤｖに基づき、導体パターン１０１ｃ，１０１ｄ間の絶縁抵抗値Ｒｓを算出して（ステップ５４）、ＲＡＭ７に記憶させる。この場合、この検査装置１では、負帰還経路に接続されるコンデンサ２４を複数備えて電流検出回路２が構成されている。このため、容量が適正値よりも大きく規定されたコンデンサを１つしか備えていない従来の検査装置とは異なり、適正容量値Ｃｒとその容量値Ｃｆとが等しいかまたは最も近いコンデンサ２４を選択して負帰還経路に接続することで、容量値Ｃｆが必要以上に大きいことに起因する電流検出回路２の応答速度の低下が回避される。また、適正容量値Ｃｒがノイズに対するゲインを下げるのに十分な大きさのため、測定精度が高精度に維持される。この結果、検査対象の絶縁抵抗値Ｒｓの測定が高精度かつ短時間で実行される。また、制御部６がコンデンサ２４の特定およびコンデンサ接続回路２５による接続の制御を行うため、例えば、これらを人手で行う構成と比較して、絶縁抵抗値Ｒｓの測定を開始するまでの時間が十分に短縮される。
【００２７】
続いて、制御部６は、回路基板１００における全ての導体パターン１０１についての検査（絶縁抵抗値Ｒｓの算出）を完了したか否かを判別する（ステップ５５）。この場合、制御部６は、全ての導体パターン１０１についての検査を完了していないときには、ステップ５１からステップ５５を繰り返して実行し、全ての導体パターン１０１についての検査を完了したときには、検査処理５０を終了する。
【００２８】
このように、この検査装置１によれば、負帰還経路に接続されるコンデンサ２４を複数備えて電流検出回路２を構成したことにより、容量が適正値よりも大きく規定されたコンデンサを１つしか備えていない従来の検査装置とは異なり、適正容量値Ｃｒとその容量値Ｃｆとが等しいかまたは最も近いコンデンサ２４を選択して負帰還経路に接続することで、容量値Ｃｆが必要以上に大きいことに起因する電流検出回路２の応答速度の低下を回避することができる。また、適正容量値Ｃｒがノイズに対するゲインを下げるのに十分な大きさのため、測定精度を高精度に維持することができる。また、制御部６がコンデンサ２４の特定およびコンデンサ接続回路２５による接続の制御を行うことにより、例えば、これらを人手で行う構成と比較して、絶縁抵抗値Ｒｓの測定を開始するまでの時間を十分に短縮することができる。したがって、この検査装置１によれば、高い検査精度を維持しつつ検査効率を十分に向上させることができる。
【００２９】
また、この検査装置１によれば、制御部６が、負帰還経路に接続すべきコンデンサ２４を対応付けデータＤｃに基づいて特定することにより、各導体パターン１０１についての浮遊容量値Ｃｓと適正容量値Ｃｒとを対応付けた対応付けデータＤｃをＲＡＭ７に記憶させることで、各導体パターン１０１，１０１についての絶縁抵抗値Ｒｓを検査する毎に適正容量値Ｃｒを算出することなく、負帰還経路に接続すべきコンデンサ２４を直ちに特定することができる。したがって、この検査装置１よれば、検査効率をさらに向上させることができる。
【００３０】
また、この検査装置１によれば、制御部６が、電圧検出部４から出力された電圧データＤｖに基づいて導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値Ｃｓを測定し、その浮遊容量値Ｃｓに基づいて対応付けデータＤｃを生成してＲＡＭ７に記憶させることにより、例えば、回路基板１００の種類に応じた対応付けデータＤｃを外部から入手してＲＡＭ７に記憶させるような煩雑な作業を不要とすることができるため、検査効率を一層向上させることができる。
【００３１】
また、この検査装置１によれば、制御部６が抵抗接続回路２３による接続を制御して導体パターン１０１，１０１間の絶縁抵抗値Ｒｓに対応付けられた抵抗２２を負帰還経路に接続させることにより、絶縁抵抗値Ｒｓの測定を高精度かつ短時間で実行するのに適する抵抗２２を負帰還経路に自動的に接続させることができる。したがって、この検査装置１によれば、レンジ切替を短時間でしかも容易に行うことができる。
【００３２】
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、回路基板１００の導体パターン１０１，１０１間における絶縁抵抗を検査する例について上記したが、リーク電流の検査に検査装置１を用いることもできる。また、回路基板１００に限定されず、コンデンサ等の各種の電気部品（本発明における検査対象体）に対する絶縁検査やリーク電流の検査に検査装置１を用いることができる。また、２つの抵抗２２を備えた例について上記したが、抵抗２２の数は任意に規定することができる。また、４つのコンデンサ２４を備えた例について上記したが、コンデンサ２４の数は、任意の複数に規定することができる。さらに、４つのコンデンサ２４の中の１つだけを負帰還経路に接続させる構成例について上記したが、複数のコンデンサ２４を組み合わせて負帰還経路に接続させることもでき、この構成によれば、適正容量値Ｃｒと同じ容量値のコンデンサ２４を備えていないときであっても、負帰還経路における容量値Ｃｆを適正容量値Ｃｒにより近づけることができる。
【００３３】
また、制御部６が、予備的な検査において測定または算出した絶縁抵抗値Ｒｓ、浮遊容量値Ｃｓ、適正抵抗値Ｒｒおよび適正容量値Ｃｒや、導体パターン１０１，１０１の番号等を互いに対応付けた対応付けデータＤｃを生成してＲＡＭ７に記憶させる例について上記したが、対応付けデータＤｃと同様のデータを外部から入手してＲＡＭ７やＲＯＭ８に記憶させておき、制御部６がそのデータに基づいて接続すべきコンデンサ２４を特定する構成を採用することもできる。また、予備的な検査（データ収集処理４０）において、制御部６が、適正抵抗値Ｒｒとその抵抗値Ｒｆとが等しい（または最も近い）抵抗２２を特定すると共に、適正容量値Ｃｒとその容量値Ｃｆとが等しい（または最も近い）コンデンサ２４を特定し、それらの部品番号等と、各値Ｒｓ，Ｃｓ，Ｒｒ，Ｃｒおよび導体パターン１０１，１０１の番号等とを互いに対応付けたデータを対応付けデータＤｃとして生成してＲＡＭ７に記憶させる構成を採用することもできる。この構成によれば、検査対象の回路基板１００に対する本検査（検査処理５０）において、制御部６が、導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値Ｃｓに基づき、接続すべきコンデンサ２４を直ちに特定することができる。また、この構成によれば、検査処理５０において、制御部６が、導体パターン１０１，１０１の番号（本発明における所定部位）に基づき、接続すべき抵抗２２およびコンデンサ２４を直ちに特定することができる。このため、上記の各構成によれば、例えば、同種類の回路基板１００を複数連続して検査する際の検査効率をさらに向上させることができる。
【００３４】
また、制御部６が、対応付けデータＤｃに基づいて接続すべきコンデンサ２４を特定する例について上記したが、導体パターン１０１，１０１に対する検査の都度、制御部６が導体パターン１０１，１０１間の浮遊容量値Ｃｓを測定すると共に、その浮遊容量値Ｃｓに基づいて適正容量値Ｃｒを算出して接続すべきコンデンサ２４を特定する構成を採用することもできる。さらに、一対のプローブ１１，１１を用いる構成の検査装置について説明したが、本発明はこれに限定されない。例えば、複数のプローブ１１を植設した治具型プローブを用いて検査する構成の検査装置に本発明を適用することができるのは勿論である。また、電源部３から出力される検査用信号の電圧値が一定値で既知のときには、電圧検出部４の配設を省略することができる。この構成では、制御部６は、この既知の電圧値を用いて絶縁抵抗値Ｒｓや浮遊容量値Ｃｓを測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】検査装置１の構成を示すブロック図である。
【図２】電流検出回路２の構成を示す回路図である。
【図３】データ収集処理４０のフローチャートである。
【図４】検査処理５０のフローチャートである。
【符号の説明】
【００３６】
１  検査装置
２  電流検出回路
６  制御部
７  ＲＡＭ
２２ａ，２２ｂ  抵抗
２３  抵抗接続回路
２４ａ，２４ｂ，２４ｃ，２４ｄ  コンデンサ
２５  コンデンサ接続回路
１００  回路基板
Ｃｆ  容量値
Ｃｓ  浮遊容量値
Ｄｃ  対応付けデータ
Ｒｆ  抵抗値
Ｒｓ  絶縁抵抗値
【図１】
2007051966.tif 000003
【図２】
2007051966.tif 000004
【図３】
2007051966.tif 000005
【図４】
2007051966.tif 000006