(57)【要約】【課題】ねじ溝真空ポンプ部ロータの外周部及び内周部にそれぞれねじ溝真空ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、運転中に前記ロータの内周部にダスト等の微粒子が付着することがなく、ダスト等を多く含んだガスに対して安全に排気を行なうことができるような分子ポンプを提供する。【解決手段】ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの内周部の直径が、該ロータ２Ｂの前端部２Ｂ１から奥方へ向けて縮径する円錐台状とし、第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂを流入口側（反転室４Ｂ）から排気出口側（奥方）へ向けて縮径する円錐台状に形成した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
分子ポンプのねじ溝真空ポンプ部を筒状のロータの外周部の第１ねじ溝真空ポンプ部と該ロータの内周部の第２ねじ溝真空ポンプ部とで形成すると共に該ロータの筒状の前端部において前記第１ねじ溝真空ポンプ部から前記第２ねじ溝真空ポンプ部へと排気ガスが反転して流れるように形成した分子ポンプにおいて、該ロータは内周部の直径が該ロータの前端部から奥方へ向けて縮径する円錐台状とし、前記第２ねじ溝真空ポンプ部を流入口側から排出口側へ向けて縮径する円錐台状に形成したことを特徴とする分子ポンプ。
【請求項２】
前記ロータの外周部の直径を該ロータの前端部に向けて拡径する末広がり状とし、前記第１ねじ溝真空ポンプ部を流入口側から排出口側へ向けて拡径する円錐台状に形成したことを特徴とする請求項１に記載の分子ポンプ。
【請求項３】
前記分子ポンプは上段のターボ分子ポンプ部の下段に前記ねじ溝真空ポンプ部を有する複合分子ポンプであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の分子ポンプ。
【請求項４】
前記ねじ溝真空ポンプ部の下方にダストの集積部を具備したことを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１に記載の分子ポンプ。
【請求項５】
前記ロータの内周面に低摩擦表面処理を施した請求項１乃至請求項４のいずれか１に記載の分子ポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダスト等の微粒子を多く含んだガスの排気に最適な分子ポンプ、特にねじ溝真空ポンプ部を有する複合分子ポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
図５にターボ分子ポンプ部Ａとねじ溝真空ポンプ部Ｂとからなる複合分子ポンプの一例の縦断面図を示した。
【０００３】
Ｒは複合分子ポンプのロータであり、該ロータＲは、外周に多数の動翼Ｍを放射状に多段に突出させて有するターボ分子ポンプ部ロータＲ１と、円筒状のねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２とからなる。
【０００４】
前記ねじ溝真空ポンプ部Ｂは、ねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２の外周部にある第１ステータＳ１と該ねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２の外周部とで形成される第１ねじ溝真空ポンプ部Ｂ１と、ねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２の内周部にある第２ステータＳ２と該ねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２の内周面とで形成される第２ねじ溝真空ポンプ部Ｂ２とからなる。
【０００５】
ガスは吸気口Ｏより吸気され、ターボ分子ポンプ部Ａから第１ねじ溝真空ポンプ部Ｂ１を経て、ねじ溝真空ポンプ部ロータＲ２の前端部において矢印Ｘに示す如く反転し、第２ねじ溝真空ポンプ部Ｂ２を経て矢印Ｙの流路を通り、排気口Ｐより排気される。
【０００６】
しかし、このようにロータの内周部にねじ溝真空ポンプ部を有する分子ポンプにあっては、ダスト等の微粒子を多く含むガスを吸引して排気を行なう場合に、排気ガス中の微粒子が遠心力を受けて前記ロータの内周面に吹き付けられて付着し、これら付着した堆積物によって前記ロータにアンバランスを生じて事故につながることがあるという問題点があった。
【０００７】
尚、吸気口側にロータ翼とステータ翼を交互に配置してなる翼車群を具備し、排気口側に該排気口側に向けて拡径する遠心式ポンプのテーパロータを具備して、低真空領域においてターボ分子ポンプの排気性能が低下するのを補填するようにした例がある（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開昭６０−２４３３９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は前記の問題点を解消し、ロータの内周部にねじ溝真空ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ダスト等の微粒子を含むガスを安全に排気できるような分子ポンプを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は上記の目的を達成すべく、分子ポンプのねじ溝真空ポンプ部を筒状のロータの外周部の第１ねじ溝真空ポンプ部と該ロータの内周部の第２ねじ溝真空ポンプ部とで形成すると共に該ロータの筒状の前端部において前記第１ねじ溝真空ポンプ部から前記第２ねじ溝真空ポンプ部へと排気ガスが反転して流れるように形成した分子ポンプにおいて、該ロータは内周部の直径が該ロータの前端部から奥方へ向けて縮径する円錐台状とし、前記第２ねじ溝真空ポンプ部を流入口側から排出口側へ向けて縮径する円錐台状に形成した。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ロータの内周部にねじ溝真空ポンプ部を有する分子ポンプにおいて、ダスト等の微粒子を多く含んだガスを排気する時に、これら微粒子が遠心力により前記ロータの内周面に付着せずにガスの流れと逆のロータ前端方向に排除されて、ロータが微粒子の堆積によりアンバランスを生じることがないので、ダスト等の微粒子を多く含んだガスに対しても安全に運転できる効果を有する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
本発明を実施するための最良の形態の実施例を以下に示す。
【実施例１】
【００１２】
本発明の分子ポンプの実施例１を図１乃至図３により説明する。
【００１３】
図１は本実施例の複合分子ポンプ１の縦断面図である。
【００１４】
複合分子ポンプ１は、上部のターボ分子ポンプ部１Ａと、該ターボ分子ポンプ部１Ａの下部に連設されたねじ溝真空ポンプ部１Ｂとからなる。
【００１５】
ロータ２は、外周に多数の動翼２Ａ１を放射状に多段に突出させて有するターボ分子ポンプ部ロータ２Ａと、外周部を円筒状とし内周部を前端部２Ｂ１から奥方へ向けて縮径する円錐台状としたねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂとからなり、ターボ分子ポンプ部ロータ２Ａとねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂとはアルミ合金製で一体構造のロータ２を構成している。
【００１６】
前記ロータ２の縦断面図を図２に示した。
【００１７】
前記ねじ溝真空ポンプ部１Ｂは、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの外周部の第１ねじ溝真空ポンプ部３Ａと、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの内周部の第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂとから形成されている。
【００１８】
即ち、前記第１ねじ溝真空ポンプ部３Ａは、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの外周部に対向する第１ステータ３ＡＳと該ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの外周面とで形成されており、ねじ溝は前記第１ステータ３ＡＳの内周面に刻設されている。
【００１９】
又、前記第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂは、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの内周部に対向する第２ステータ３ＢＳと該ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの内周面とで形成されており、ねじ溝は前記第２ステータ３ＢＳの外周面に刻設されている。
【００２０】
このように第１ねじ溝真空ポンプ部３Ａは円筒状に形成されているのに対し、第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂは奥方へ向けて縮径する円錐台状に形成されている。
【００２１】
そして前記ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの前端部２Ｂ１が臨む前記第１ステータ３ＡＳと前記第２ステータ３ＢＳの連設部のリング状の空間５を反転室４Ｂに形成した。
【００２２】
次に本実施例の作動について説明する。
【００２３】
複合分子ポンプ１は、ロータ２を高速回転させて、吸気口４Ａより吸気をし、排気口４Ｄより排気を行なう。
【００２４】
この間、吸気口４Ａより吸気されたガスは、ターボ分子ポンプ部１Ａから第１ねじ溝真空ポンプ部３Ａを経て、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの前端部２Ｂ１が臨むリング状の反転室４Ｂにおいて反転をして、第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂを通り、円筒状の通路４Ｃを経て排気口４Ｄから排気される。
【００２５】
もし、このガス中にダスト等の微粒子Ｐが多く含まれている場合、これら微粒子Ｐはガスと共にターボ分子ポンプ部１Ａと第１ねじ溝真空ポンプ部３Ａを通過する。しかし、第２ねじ溝真空ポンプ部３Ｂに到ると、該微粒子Ｐは図３に示す如く、遠心力Ｆを受けてねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂの内壁面２Ｂ２に衝突するが、該内壁面２Ｂ２が円錐状で垂直に対して角度θを存しているため、前記微粒子Ｐの遠心力Ｆは該内壁面２Ｂ２に垂直な分力Ｆ１と、該内壁面２Ｂ２に平行な下向きの分力Ｆ２とに分かれる。この下向きの分力Ｆ２によって微粒子Ｐは下方へ落下し、前記反転室４Ｂの下部の集塵室５へ集められる。
【００２６】
このようにして集塵室５に集積されたダスト等は、定期的に除去される。
【００２７】
かくて本発明のターボ分子ポンプ１は、ダスト等の微粒子を多く含んだガスの排気においても安全に作動を続けることができる。
【実施例２】
【００２８】
本発明の分子ポンプの実施例２を図４により説明する。
【００２９】
図４は本実施例の複合分子ポンプ６の縦断面図である。
【００３０】
本実施例の複合分子ポンプ６は、ねじ溝真空ポンプ部６Ｂが、ねじ溝真空ポンプ部ロータ７の外周部の第１ねじ溝真空ポンプ部７Ａと、該ロータ７の内周部の第２ねじ溝真空ポンプ部７Ｂとからなり、該ロータ７の外周部の直径を、該ロータ７の前端部７Ｃに向けて拡径する末広がり状として、前記第１ねじ溝真空ポンプ部７Ａを流入口側から排出口側（反転室７Ｄ）へ向けて拡径する円錐台状に形成したことが前記実施例１の複合分子ポンプ１とは異なっている。
【００３１】
即ち前記ねじ溝真空ポンプ部ロータ７は、前端部７Ｃに向けて末広がり状に拡径する厚さ一様の筒状に形成されている。
【００３２】
本実施例の複合分子ポンプ６においても、第２ねじ溝真空ポンプ部７Ｂが奥方へ向けて縮径する円錐台状に形成されているので、前記実施例１の複合分子ポンプ１におけるのと同様の理由により、ダスト等の微粒子が多く含まれているガスの排気を安全に行なうことができる。
【００３３】
ここで、ねじ溝真空ポンプ部ロータ２Ｂ、７の内周面にテフロン（登録商標）等の低摩擦合成樹脂コーティングによる低摩擦表面処理を施すことによりダスト等の微粒子の落下が更に容易に行なわれる。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明はダスト等の微粒子を多く含んだガスの真空排気を行なう複合分子ポンプに使用される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】実施例１の複合分子ポンプの縦断面図である。
【図２】同上複合分子ポンプのロータの縦断面図である。
【図３】排気ガス中に含まれる微粒子とロータの内壁面との作用力の関係を示す説明図である。
【図４】実施例２の複合分子ポンプの縦断面図である。
【図５】従来の複合真空ポンプの一例の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１、６            複合分子ポンプ
１Ｂ、６Ｂ        ねじ溝真空ポンプ部
２Ｂ、７          ねじ溝真空ポンプ部のロータ
２Ｂ１、７Ｃ      ねじ溝真空ポンプ部のロータの前端部
３Ａ、７Ａ        第１ねじ溝真空ポンプ部
３Ｂ、７Ｂ        第２ねじ溝真空ポンプ部
５                ダストの集積部（集塵室）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2007107392.tif 000006
【図５】
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