(57)【要約】【課題】電解液の漏れを防止することのできる定電位電解式ガスセンサを提供する。【解決手段】定電位電解式ガスセンサ１００は、電解液が収容される凹部１３及び該凹部１３の開口部１３ａを取り囲む台部１９を備えるケース本体１と、第１の電極担持膜３Ａと、第２の電極担持膜３Ｂと、第３の電極担持膜３Ｃと、第１、第２、第３のリード２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃと、シール部材５と、押さえ部材６、７と、を有し、第１の電極担持膜３Ａは、シール部材５で凹部１３の開口部を取り囲む台部１９に押圧され、凹部１３内に積層状態で配置された第１、第２、第３の電極３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃと第１、第２、第３のリード２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃとは、第１の電極担持膜３Ａがシール部材５で台部１９に押圧されることによりそれぞれ圧接する構成とする。【選択図】図２
2007248313.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電解液により電気的に接続された電極間に流れる被検ガスの電解電流を検知する定電位電解式ガスセンサにおいて、
電解液が収容される凹部を備えるケース本体と、
前記凹部内に配置される第１の電極を備え、前記凹部の開口部を覆うように前記ケース本体に配置される第１の電極担持膜と、
第２の電極を備え、前記凹部内に前記第１の電極担持膜に対して積層状態で配置される第２の電極担持膜と、
第３の電極を備え、前記凹部内に前記第１、第２の電極担持膜に対して積層状態で配置される第３の電極担持膜と、
前記凹部内で前記第１、第２、第３の電極のそれぞれに対して積層状態で接触するように配置される第１、第２、第３のリードと、
前記第１の電極担持膜の前記凹部側とは反対側の側面上に配置されるシール部材と、
前記シール部材を前記第１の電極担持膜に押し付けて前記ケース本体に取り付ける押さえ部材と、
を有し、
前記第１の電極担持膜は、前記シール部材で前記凹部の前記開口部を取り囲む台部に押圧され、前記凹部内に積層状態で配置された前記第１、第２、第３の電極と前記第１、第２、第３のリードとは、前記第１の電極担持膜が前記シール部材で前記台部に押圧されることによりそれぞれ圧接することを特徴とする定電位電解式ガスセンサ。
【請求項２】
更に、前記第１の電極担持膜と前記第２の電極担持膜との間に、電解液を吸収した第１の電解液保持部材を有し、前記第２の電極担持膜と前記第３の電極担持膜との間に、電解液を吸収した第２の電解液保持部材を有することを特徴とする請求項１に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項３】
前記ケース本体は更に、前記第１、第２、第３のリードのそれぞれと電気的に接続され、前記ケース本体の外部との電気信号の授受を行うための第１、第２、第３のコンタクト部材と、前記第１、第２、第３のコンタクト部材から前記第１、第２、第３の電極へとそれぞれ前記第１、第２、第３のリードを導くための第１、第２、第３の通路と、を有し、該第１、第２、第３の通路のそれぞれの少なくとも一部を液密的に封止するように充填材が充填されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項４】
前記充填材は、耐薬品性の樹脂から成ることを特徴とする請求項３に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項５】
前記第１、第２、第３の通路のうち少なくとも１つ又は全ては、前記台部上に開口していることを特徴とする請求項３又は４に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項６】
前記第１の電極担持膜は、前記台部の全周にわたって、直接前記シール部材と前記台部との間に狭持されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかの項に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項７】
更に、被検ガスの測定に干渉する干渉ガスを除去するための着脱可能なフィルタを有し、該干渉ガス除去フィルタは、該干渉ガス除去フィルタの着脱により前記押さえ部材による前記シール部材の押さえ付け状態が変化しないように前記ケース本体に対して取り付けられていることを特徴とする請求項１〜６のいずれかの項に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項８】
前記干渉ガス除去フィルタは、前記ケース本体に対する前記押さえ部材の固定部とは別の位置で前記ケース本体に接続された取り付け具を介して前記ケース本体に対して取り付けられることを特徴とする請求項７に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【請求項９】
前記ケース本体に対する前記押さえ部材の固定部は、前記ケース本体における前記押さえ部材による前記第１の電極担持膜の押し付け方向の上流側端部近傍に設けられ、前記ケース本体に対する前記取り付け具の接続部は、前記ケース本体における前記方向の下流側端部近傍に設けられることを特徴とする請求項８に記載の定電位電解式ガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、定電位電解式ガスセンサに関するものであり、より詳細には、電極が形成された薄膜を積層した構成を有する定電位電解式ガスセンサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば、廃棄物焼却炉、ボイラー炉、エンジンなどの排ガス中の二酸化硫黄（ＳＯ2）、窒素酸化物（ＮＯｘ）、一酸化炭素（ＣＯ）などの被検ガスを検知し、その量を測定するのに用いられる定電位電解式ガスセンサがある。
【０００３】
定電位電解式ガスセンサは、被検ガスを検出する作用極と、作用極との間で電流を流す対極と、作用極の電位を制御するための参照極とを有する。これら作用極、対極、参照極は、隔膜としての多孔性のガス透過性膜（ガス拡散膜）で仕切られた空間内に配置され、この空間には電解液が収容される。隔膜は、一般に、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などのフッ素樹脂系の撥水性（疎水性）多孔質膜から成る。被検ガスは、隔膜を透過して電解液に溶解し、作用極に接触する。被検ガスは、参照極との間の電位差が一定に保たれた作用極において電気分解され、作用極と対極との間に電気化学反応に応じて流れる電解電流が測定される。定電位電解式ガスセンサは、電解電流値が被検ガスの濃度に比例するように構成されており、この電解電流値を測定することで、被検ガスの濃度に変換することができる。
【０００４】
そして、従来、電解液と被検ガスとの接触面に隔膜が設けられ、この隔膜の電解液側に作用極が形成された定電位電解式ガスセンサがある。この作用極は、隔膜上に、導電体（貴金属など）をスッパッタリング法や蒸着法により付着させる方法、或いは導電体（貴金属など）を樹脂で固める方法等の成膜方法により形成される（例えば、特許文献１参照。）。参照極及び対極についても、上記隔膜と同様の膜の上に形成されたものがある。本明細書では、作用極、参照極又は対極が表面に付着形成された薄膜を総称して「電極担持膜」という。又、作用極、参照極、対極が表面に付着形成された薄膜を、それぞれ「作用極担持膜」、「参照極担持膜」、「対極担持膜」という。
【０００５】
ところで、従来、上述のような電極担持膜を用いる定電位電解式ガスセンサにおいて、図５に示すように、作用極担持膜２０３Ａと参照極担持膜２０３Ｂと対極担持膜２０３Ｃとを、電解液を吸収した電解液保持部材２０４Ａ、２０４Ｂを介して交互に挟み込んだ積層構造でセンサケース２０１内に収納したものがある。
【０００６】
即ち、図６により詳しく示すように、撥水性の膜２３１Ａ、２３１Ｂ、２３１Ｃ上にそれぞれ作用極２３２Ａ、参照極２３２Ｂ、対極２３２Ｃが形成されて、作用極担持膜２０３Ａ、参照極担持膜２０３Ｂ、対極担持膜２０３Ｃが構成される。そして、これら作用極担持膜２０３Ａ、参照極担持膜２０３Ｂ、対極担持膜２０３Ｃが、第１、第２の電解液保持部材２０４Ａ、２０４Ｂを介して積層される。このように、作用極、参照極、対極について電極担持膜を用いる構成では、センサ間で電極の性能を比較的に均質に揃えることが容易であり、又これら電極担持膜群を積層する構成では、構造が簡単で製造が容易であるなどの利点を有する。
【０００７】
このような従来の定電位電解式ガスセンサでは、作用極２３２Ａ、参照極２３２Ｂ及び対極２３２Ｂのそれぞれに対するリード線２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃは、積層構造の各層の間から引き出されて、定電位電解式ガスセンサの外部との電気信号の授受のためのコンタクトピン２２２Ａ、２２２Ｂ、２２２Ｃとそれぞれ接続されている。
【０００８】
そして、これらのリード線２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃは、それぞれが引き出される層間から電解液が漏れないように、作用極担持膜２０３Ａ、参照極担持膜２０３Ｂ、対極担持膜２０３Ｃを構成する撥水性の薄膜２３１Ａ、２３１Ｂ、２３１Ｃで挟まれている。又、被検ガスが作用極担持膜２０３Ａを通してのみ供給されるように限定して測定精度を維持するために、作用極担持膜２０３Ａとセンサケースとの間に隙間ができないように、作用極担持膜２０３ＡはＯリングやゴムパッキン等の弾性シール部材２０５でセンサケース２０１に圧接されていた。
【特許文献１】特開平９−４３１９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、本発明者らの検討により、従来の定電位電解式ガスセンサでは、次のような問題があることが分かった。
【００１０】
先ず、上述のように、作用極担持膜２０３Ａと参照極担持膜２０３Ｂと対極担持膜２０３Ｃとを用い、これらを積層構成でセンサケース２０１に収容した定電位電解式ガスセンサでは、電極担持膜を構成する弾性のある高分子膜を積層して、その最上部の隔膜（通常、作用極担持膜）をＯリングやゴムパッキン等の弾性シール部材２０５で押さえてシールを行っている。
【００１１】
そのため、Ｏリングやゴムパッキンによる電極担持膜２０３Ａ、２０３Ｂ、２０３Ｃのセンサケース２０１に対する締め付け方が悪くなり易く、撥水性の薄膜間からのそれぞれのリード線２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃの引き出し部のシールが不十分になることがある。そのため、センサケース２０１内に収容された電解液が漏れる原因となっていた。
【００１２】
又、従来、干渉ガスの除去の目的で、干渉ガスを吸収する吸収剤などを備えるフィルタ（干渉ガス除去フィルタ）２０９をセンサケース２０１に装着することが行われている。そして、使用環境によっては、定電位電解式ガスセンサ自体の寿命よりも早く干渉ガス除去フィルタ２０９の交換が必要になることがある。
【００１３】
しかしながら、従来、干渉ガス除去フィルタ２０９は、センサケース２０１に装着されているため、この干渉ガス除去フィルタ２０９を交換する際にセンサケース２０１に歪みが生じ易い場合がある。そして、この歪みがセンサケース２０１に圧接されているＯリングやゴムパッキン等のシール部材２０５のシール性を低下させ、センサケース２０１内の電解液の漏れを生じさせることがあった。
【００１４】
電解液が漏れて、センサケース２０１内の電解液の量が減少すると、電極間が電気的に断線され、指示値異常が発生する原因になる。或いは、リード線２２１Ａ、２２１Ｂ、２２１Ｃを伝ってしみ出た電解液がコンタクトピン２２２Ａ、２２２Ｂ、２２２Ｃまで達して、腐食電位を生じてしまい、指示値異常を引き起こすことがあった。
【００１５】
従って、本発明の目的は、電解液の漏れを防止することのできる定電位電解式ガスセンサを提供することである。
【００１６】
本発明の他の目的は、電解液量の減少による電極間の電気的断線を防止して、安定した指示値を得ることのできる定電位電解式ガスセンサを提供することである。
【００１７】
本発明の更に他の目的は、漏れた電解液によるコンタクトピンの腐食電位の発生を防止して、安定した指示値を得ることのできる定電位電解式ガスセンサを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記目的は本発明に係る定電位電解式ガスセンサにて達成される。要約すれば、本発明は、電解液により電気的に接続された電極間に流れる被検ガスの電解電流を検知する定電位電解式ガスセンサにおいて、電解液が収容される凹部を備えるケース本体と；前記凹部内に配置される第１の電極を備え、前記凹部の開口部を覆うように前記ケース本体に配置される第１の電極担持膜と；第２の電極を備え、前記凹部内に前記第１の電極担持膜に対して積層状態で配置される第２の電極担持膜と；第３の電極を備え、前記凹部内に前記第１、第２の電極担持膜に対して積層状態で配置される第３の電極担持膜と；前記凹部内で前記第１、第２、第３の電極のそれぞれに対して積層状態で接触するように配置される第１、第２、第３のリードと；前記第１の電極担持膜の前記凹部側とは反対側の側面上に配置されるシール部材と；前記シール部材を前記第１の電極担持膜に押し付けて前記ケース本体に取り付ける押さえ部材と；を有し、前記第１の電極担持膜は、前記シール部材で前記凹部の前記開口部を取り囲む台部に押圧され、前記凹部内に積層状態で配置された前記第１、第２、第３の電極と前記第１、第２、第３のリードとは、前記第１の電極担持膜が前記シール部材で前記台部に押圧されることによりそれぞれ圧接することを特徴とする定電位電解式ガスセンサである。
【００１９】
本発明の一実施態様によると、定電位電解式ガスセンサは更に、前記第１の電極担持膜と前記第２の電極担持膜との間に、電解液を吸収した第１の電解液保持部材を有し、前記第２の電極担持膜と前記第３の電極担持膜との間に、電解液を吸収した第２の電解液保持部材を有する。
【００２０】
又、本発明の一実施態様によると、前記ケース本体は更に、前記第１、第２、第３のリードのそれぞれと電気的に接続され、前記ケース本体の外部との電気信号の授受を行うための第１、第２、第３のコンタクト部材と、前記第１、第２、第３のコンタクト部材から前記第１、第２、第３の電極へとそれぞれ前記第１、第２、第３のリードを導くための第１、第２、第３の通路と、を有し、該第１、第２、第３の通路のそれぞれの少なくとも一部を液密的に封止するように充填材が充填されている。前記充填材は、耐薬品性の樹脂から成っていてよい。又、前記第１、第２、第３の通路のうち少なくとも１つ又は全ては、前記台部上に開口していてよい。
【００２１】
本発明の好ましい一実施態様によると、前記第１の電極担持膜は、前記台部の全周にわたって、直接前記シール部材と前記台部との間に狭持される。
【００２２】
又、本発明の一実施態様によると、定電位電解式ガスセンサは更に、被検ガスの測定に干渉する干渉ガスを除去するための着脱可能なフィルタを有し、該干渉ガス除去フィルタは、該干渉ガス除去フィルタの着脱により前記押さえ部材による前記シール部材の押さえ付け状態が変化しないように前記ケース本体に対して取り付けられている。好ましい一実施態様によると、前記干渉ガス除去フィルタは、前記ケース本体に対する前記押さえ部材の固定部とは別の位置で前記ケース本体に接続された取り付け具を介して前記ケース本体に対して取り付けられる。前記ケース本体に対する前記押さえ部材の固定部は、前記ケース本体における前記押さえ部材による前記第１の電極担持膜の押し付け方向の上流側端部近傍に設けられ、前記ケース本体に対する前記取り付け具の接続部は、前記ケース本体における前記方向の下流側端部近傍に設けられていてよい。
【発明の効果】
【００２３】
本発明によれば、電解液の漏れを防止することができる。又、本発明によれば、電解液量の減少による電極間の電気的断線を防止して、安定した指示値を得ることができる。更に、本発明によれば、漏れた電解液によるコンタクトピンの腐食電位の発生を防止して、安定した指示値を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明に係る定電位電解式ガスセンサを図面に則して更に詳しく説明する。
【００２５】
実施例１
図１は、本発明に係る定電位電解式ガスセンサの一実施例の概略断面を示す。又、図２は、定電位電解式ガスセンサの一実施例の組立部分断面を示す。
【００２６】
本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００は、大別して電解セル部１１０と、フィルタ部１２０とを有する。電解セル部１１０は、被検ガスの測定を行う定電位電解式ガスセンサ本体を構成し、フィルタ部１２０は、被検ガスの測定に対する干渉ガスの除去を行う。
【００２７】
先ず、電解セル部１１０について説明する。本実施例では、電解セル部１１０は、概略、電解液Ｓの収容部を構成する凹部１３を備えたケース本体１と、ケース本体１に配置される電極担持膜群３Ａ、３Ｂ、３Ｃと、シール部材としての弾性部材であるＯリング５と、シール部材５をケース本体１に押圧して取り付ける押さえ部材としてのワッシャー６及びケース蓋７とを有する。電解セル部１１０は更に、電極担持膜群３Ａ〜３Ｃが備える電極から引き出される第１、第２、第３のリード２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃと、これら第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃが接続されてケース本体１の外部との電気信号の授受を行うためのコンタクト部材としての第１、第２、第３のコンタクトピン２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃとを有する。そして、ケース本体１には、第１〜第３のリード２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃが挿通され、又第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃが取り付けられる通路としての第１、第２、第３の貫通孔１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃが形成されている。
【００２８】
尚、図３は本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００のケース本体１の上面を示す。
【００２９】
図１及び図２におけるケース本体１は、図３中のＡ−Ａ線断面を示しており、図１及び図２には、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃのうち第１の貫通孔１５Ａ、又第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃのうち第１のコンタクトピン２２Ａが示されている。
【００３０】
更に説明すると、電解セル部１１０のケース本体１は、図１及び図２において下側の大径部１１と上側の小径部１２とを有する。大径部１１は概略円柱形状を有し、小径部１２は大径部１１と同心の概略円筒形状を有する。
【００３１】
ケース本体１の大径部１１には、小径部１２との会合面に開口部１３ａを有する凹部１３が形成されている。凹部１３は概略円柱状の穴として形成されている。凹部１３の内径は、小径部１２の中空部１４の内径よりも小さい。従って、大径部１１と小径部１２との会合面には、凹部１３の開口部１３ａを取り囲む概略円環状の台部１９が形成されている。又、凹部１３の底部の略中心には、圧力調整部として、凹部１３の内径よりも小さい内径を有する空間１８が更に形成されている。
【００３２】
図３に示すように、大径部１１の台部１９上には、凹部１３の開口部１３ａの縁部に沿って、好ましくは等間隔に、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃが開口している。第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃはそれぞれ、ケース本体１の大径部１１を、軸方向に貫通している。第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃのそれぞれの、台部１９とは反対側の端部を封止するように第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃが取り付けられる。そして、第１〜第２の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃ内で、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃのそれぞれの一方の端部が、第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃに電気的に接続される。
【００３３】
図４は、ケース本体１に対する電極担持膜群３Ａ〜３Ｃの積層構成をより詳しく示す。本実施例では、電極担持膜群３Ａ〜３Ｃは、第１の電極担持膜としての作用極担持膜３Ａと、第２の電極担持膜としての参照極担持膜３Ｂと、第３の電極担持膜としての対極担持膜３Ｃとを、凹部１３の外側から底部に向けてこの順序で有する。作用極担持膜３Ａ、参照極担持膜３Ｂ、対極担持膜３Ｃはそれぞれ、多孔性のガス透過性膜（第１、第２、第３のガス透過性膜）３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ上に導電性材料から成る作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃが形成されて構成される。
【００３４】
又、作用極担持膜３Ａと参照極担持膜３Ｂとの間には第１の電解液保持部材としての第１の保水シート４Ａが配置され、参照極担持膜３Ｂと対極担持膜３Ｃとの間には第２の電解液保持部材としての第２の保水シート４Ｂが配置される。
【００３５】
作用極担持膜３Ａは、ケース本体１における被検ガスと電解液Ｓとの界面に、電解液Ｓの収容部たる凹部１３の開口部１３ａを覆うように配置されて隔膜を構成する。そして、作用極３２Ａは、第１のガス透過性膜３１Ａの凹部１３側、即ち、第１の保水シート４Ａに接触する側の面に形成されている。又、参照極３２Ｂは、第２のガス透過性膜３１Ｂの第１の保水シート４Ａに接触する側の面に形成されている。更に、対極３２Ｃは、第３のガス透過性膜３１Ｃの第２の保水シート４Ｂに接触する側の面に形成されている。
【００３６】
尚、本実施例では、定電位電解式ガスセンサ１００は一酸化炭素（ＣＯ）センサとして構成されている。本実施例では、第１〜第３のガス透過性膜３１Ａ〜３１ＣとしてＰＴＦＥ製の薄膜を用いた。ガス透過性膜としては、シリコーン膜などのその他の多孔性高分子膜を使用することもできる。本実施例では、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃとしては白金の薄膜を用いた。又、本実施例では、この作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃは、高分子膜に膜形成材と電極材料（導電性微粒子）との混合物を塗布して加熱焼成することによって形成される。即ち、本実施例では、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃは、高分子膜としての第１〜第３のガス透過性膜（ＰＴＦＥ膜）上に、導電性微粒子としての白金粉末を、膜形成材としてのＰＴＦＥ樹脂粉末を用いて薄膜状に固める方法により形成した。作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２の薄膜は、蒸着、スパッタリングなどのその他の製膜方法を用いて形成することもできる。又、作用極３２Ａとしては、通常、白金が使用されるが、パラジウム、金、銀などの貴金属、或いはカーボンも使用することができる。参照極３２Ｂとしては、白金、金、パラジウムなどの貴金属、銀又は塩化銀メッキした銀、或いはカーボンなどを使用することができる。又、対極３２Ｃとしては、通常、白金が使用されるが、パラジウム、金、銀などの貴金属も使用することができる。又、電解液Ｓとしては５Ｍ（＝ｍｏｌ／Ｌ）の硫酸（Ｈ2ＳＯ4）を用いた。電解液Ｓとしては、燐酸Ｈ2ＰＯ4などのその他の酸、又はアルカリ溶液を使用することもできる。電解液Ｓの濃度は、通常、１〜１０Ｍとされる。第１、第２の電解液保持部材４Ａ、４Ｂとしては、ポリエステル繊維から成る不織布のシートを用いた。第１、第２の電解液保持部材４Ａ、４Ｂとしては、スポンジ、濾紙などを用いることもできる。
【００３７】
このように、電極担持膜群３Ａ〜３Ｃは、定電位電解式ガスセンサ１００を組み立てた状態で作用極担持膜３Ａと参照極担持膜３Ｂと対極担持膜３Ｃとを、第１、第２の保水シート４Ａ、４Ｂを介して積層した積層構造を有する。そして、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃの一方の端部は、この積層構造において、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃにそれぞれ接触するように層間に挟み込まれて保持される。
【００３８】
つまり、作用極３２Ａと第１の保水シート４Ａとの間に第１のリード２１Ａの一方の端部が配置される。又、第１の保水シート４Ａと参照極３２Ｂとの間に第２のリード２１Ｂの一方の端部が配置される。更に、第２の保水シート４Ｂと対極３２Ｃとの間に第３のリード２１Ｃの一方の端部が配置される。層間から引き出された第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃはそれぞれ、所望により凹部１３の内壁に沿って折り返されて、ケース本体１の台部１９上に開口した第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃ内に導入される。そして、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃの台部１９とは反対側の端部に取り付けられた第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｂに至る。尚、本実施例では、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃとしては、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃと同一材料である白金から成る平坦リードを使用した。又、第１〜第３のコンタクトピンとしては、金メッキした真鍮製のものを使用した。
【００３９】
ここで、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃはそれぞれ概略円盤状に形成されており、その径は凹部１３の内径と同等又はそれよりも小さい。又、第２のガス透過性膜３１Ｂ、第３のガス透過性膜３１Ｃ、第１の保水シート４Ａ、第２の保水シート４Ｂもそれぞれ概略円盤状に形成されており、その径は凹部１３の内径と同等又はそれよりも小さい。本実施例では、作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃの径は、第２、第３のガス透過性膜３１Ｂ、３１Ｃの径よりも小さくされており、又第１、第２の保水シート４Ａ、４Ｂの径は第２、第３のガス透過性膜３１Ｂ、３１Ｃの径とほぼ同じである。一方、第１のガス透過性膜３１Ａは、凹部１３の内径よりも大きく、且つ、小径部１２の中空部１４の内径と同等又はそれよりも小さい径を有する概略円盤形状に形成されている。そして、これらの円盤状部の各部材は、互いに略同心的に、又凹部１３と略同心的に配置される。
【００４０】
これにより、作用極３２Ａ、参照極担持膜３Ｂ（即ち、第２のガス透過性膜３１Ｂ及び参照極３２Ｂ）、対極担持膜３Ｃ（即ち、第３のガス透過性膜３１Ｃ及び対極３２Ｃ）、第１の保水シート４Ａ及び第２の保水シート４Ｂは凹部１３内に収容されるが、第１のガス透過性膜３１Ａは凹部１３内には配置されず、この第１のガス透過性膜３１Ａの外縁部より内側の所定範囲がケース本体１の台部１９上に配置される。
【００４１】
電極担持膜群３Ａ〜３Ｃ及び第１、第２の保水シート４Ａ、４Ｂをケース本体１に配置する際には、先ず、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃを第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃに挿通し、それぞれの一方の端部が電気的に接続されるように、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃの台部１９とは反対側の端部に第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃを取り付ける。次に、対極担持膜３Ｃを凹部１３に配置し、その後、第３のリード２１Ｃの一方の端部が対極３２Ｃに接触するように、台部１９上に開口した第３の貫通孔１５Ｃから外部に伸長している第３のリード２１Ｃを凹部１３の内壁に沿って屈曲させる。次に、第２の保水シート４Ｂを、対極３２Ｃとの間で第３のリード２１Ｃを挟むように、対極担持膜３Ｃ上に配置する。次に、参照極担持膜３Ｂを第２の保水シート４Ｂ上に配置し、その後、第２のリード２１Ｂの一方の端部が参照極３２Ｂに接触するように、台部１９上に開口した第２の貫通孔１５Ｂから外部に伸長している第２のリード２１Ｂを凹部１３の内壁に沿って屈曲させる。次に、第１の保水シート４Ａを、参照極３２Ｂとの間で第２のリード２１Ｂを挟むように、参照極担持膜３Ｂ上に配置する。次に、第１のリード２１Ａの一方の端部が、次に配置する作用極担持膜３Ａの作用極３２Ａに接触するように、台部１９上に開口した第１の貫通孔１５Ａから外部に伸長している第１のリード２１Ａを屈曲させる。作用極３２Ａは、台部１９とほぼ同一平面に配置されるので、第１のリードＡは、凹部１３の内壁に沿ってはほとんど屈曲させる必要はない。そして、最後に作用極担持膜３Ａを、作用極３２Ａと第１の保水シート４Ａとの間に第１のリード２１Ａを挟むように、台部１９上に配置する。尚、作用極担持膜３Ａは、第１、第２の保水シート４Ａ、４Ｂに十分に電解液Ｓが含浸されると共に、凹部１３内に所定量の電解液Ｓが充填された状態で、台部１９上に配置される。
【００４２】
電極担持膜群３Ａ〜３Ｃ及び第１、第２の保水シート４Ａ、４Ｂをケース本体１に配置した状態で、Ｏリング５が取り付けられたワッシャー６がケース本体１上に配置される。そして、ケース蓋７が、ワッシャー６をケース本体１に押圧するようにして、ケース本体１に取り付けられる。
【００４３】
即ち、ワッシャー６は、概略円柱状の中心穴部６１を有するリング状部材であり、ケース本体１側の外縁部が切り欠かれてシール部材保持部（段部）６２が形成されている。ワッシャー６の中心穴部６１の内径は、ケース本体１の凹部１３の内径と同等又はそれよりも大きい。一方、ワッシャー６の最大外径は、ケース本体１の小径部１２の中空部１４及びその開口部１４ａの内径と同等又はそれよい小さい。そして、このワッシャー６は、Ｏリング５が設けられた側から、ケース本体１の小径部１２の中空部１４内に配置される。
【００４４】
これにより、Ｏリング５が、台部１９上に配置された作用極担持膜３Ａの外縁部近傍に配置される。本実施例では、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃは、台部１９上において、凹部１３の縁部よりに開口している。従って、作用極担持膜３Ａの第１のガス透過性膜３１Ａは、台部１９の全周にわたって、直接Ｏリング５と台部１９との間に狭持される。又、Ｏリング５は、ケース本体１の小径部１２の中空部１４の内壁に圧接する。尚、Ｏリング５の他にゴムパッキンなどのその他の弾性部材をシール部材として用いてもよい。
【００４５】
ケース蓋７は袋ナット状部材であり、内周面に、ケース本体１の小径部１２の外周に形成されたネジ部１８に噛合するネジ部７３が形成されている。ケース蓋７は、中心開口部７１を有する。この中心開口部７１は、ワッシャー６の中心穴部６１と略同径で、ケース蓋７をケース本体１に取り付けた状態でワッシャー６の中心穴部６１と同心に配置される。ワッシャー６をケース本体１に配置した後に、ケース蓋７をケース本体１の小径部１２に螺合することにより、ケース蓋７の中心開口部７１を取り巻くフランジ部７２により、ワッシャー６をケース本体１に押圧することができる。
【００４６】
尚、ケース蓋７は、螺合によりケース本体１に固定することに限定されるものではなく、例えば、圧入嵌合によってケース本体１に固定されるものであってもよい。又、本実施例では、押さえ部材は、シール部材たるＯリング５を直接押圧するワッシャー６と、このワッシャー６を押圧してケース本体１に取り付けるケース蓋７との２個の部材に分かれている。これにより、螺合によりケース蓋７をケース本体１に固定する場合には、シール部材を押しつける動作と、螺合のための回転動作とを簡易な構成で分離し、電極担持膜にしわ等が発生するのを好適に防止することができる。但し、本発明はこれに限定されるものではなく、所望により押さえ部材は単一の部材であってもよいし、或いは更に多数（３個以上）の部材に分かれて構成されていてもよい。
【００４７】
このように、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００では、作用極担持膜３Ａは、ケース本体１の凹部１３の開口部１３ａを取り囲む台部１９に、ワッシャー６及びケース蓋７を用いてＯリング５で押圧される。そして、図中作用極担持膜３Ａより下層に積層されて凹部１３内に配置された第１の保水シート４Ａ、参照極担持膜３Ｂ、第２の保水シート４Ｂ及び対極担持膜３Ｃは、凹部１３内で作用極担持膜３Ａにより押圧される。これにより、凹部１３は液密的に封止され、且つ、凹部１３内に積層状態で配置された作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ、対極３２Ｃと、第１、第２、第３のリード２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃとのそれぞれは互いに圧接される。
【００４８】
即ち、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００では、積層された電極担持膜のうち最上部の作用極担持膜３Ａだけを押し付けてシールする台部１９が設けられている。これにより、電解液Ｓの収容部に対して最外部に配置される作用極担持膜３Ａの第１のガス透過性膜３１Ａ、即ち、隔膜を、この台部１９にしっかりと押し付けることができる。従って、凹部１３は、作用極担持膜３ＡのＯリング５が設けられた側に対して液密的に封止され、凹部１３から小径部１２側に電解液Ｓが漏れないようにすることができる。
【００４９】
又、凹部１３内に配置された第１の保水シート４Ａ、参照極担持膜３Ｂ、第２の保水シート４Ｂ及び対極担持膜３Ｃは、上述のようにしっかりと台部１９に押し付けられた作用極担持膜３Ａによって、凹部１３内で圧縮される。これにより、層間に配置された第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃの一方の端部はそれぞれ、確実に作用極３２Ａ、参照極３２Ｂ又は対極３２Ｃに圧接されて電気的に接続される。このように層間に挟み込むことで第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃとそれぞれの電極との電気的接続を得ることにより、定電位電解式ガスセンサ１００の構造が簡易となり、製造が容易であるだけではなく、典型的には同一の材料（白金）で形成される第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｂとそれぞれの電極とが単に接触により電気的に接続されるので、異種金属間の接触による望ましくない電流の発生を防止することができる。
【００５０】
上述のように、本実施例では、撥水性のＰＴＦＥ膜から成る第１のガス透過性膜３１Ａを直接ケース本体１の台部１９にしっかりと押し付けてシールする。そのため、この撥水性の第１のガス透過性膜３１Ａと、台部１９の周方向において異なる位置で開口した第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃから凹部１３の内部へと伸長する第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃとの間は、通常の使用状態においてほぼ完全な液密状態を達成することができる。図５及び図６を参照して説明した従来の構成と比較して、リード線の引き出し部における液密性は格段に向上している。しかし、定電位電解式ガスセンサ１００の使用される環境の温度変化などにより凹部１３の内圧が変化するような場合には、この液密性が低下することが考えられる。
【００５１】
そこで、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００では更に、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃにおいて台部１９上の開口部から第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃまでの間のそれぞれの少なくとも一部、本実施例では全部を、液密的に封止するように、充填材２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃを充填する。充填材２３Ａ〜２３Ｃとしては、電解液Ｓに対して十分な耐性を有するものを用いる。又、充填材２３Ａ〜２３Ｃは、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃと接触しても望ましくない電流を発生することがないように絶縁性の材料であることが好ましい。充填材２３Ａ〜２３Ｃとしては、電解液Ｓとして用いられる硫酸に対して十分な耐性を有する耐薬品性の樹脂、例えば、接着剤を好適に用いることができる。本実施例では充填材２３Ａ〜２３Ｂとしてエポキシ樹脂接着剤を用いた。
【００５２】
このように、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００では、第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃは、積層された各電極から引き出された後、ケース本体１の台部１９上に開口した第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃを通って第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃと接合されるが、この第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃの中を充填材２３Ａ〜２３Ｃでそれぞれ充填することで、電解液Ｓが第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃに到達しないようにした。これにより、たとえ電解液Ｓが、第１のガス透過性膜３１Ａと台部１９との間を第１〜第３のリード２１Ａ〜２１Ｃを伝って第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃの開口部に到達したとしても、この開口部から第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃまでの間に充填された充填材２３Ａ〜２３Ｃによって、電解液Ｓが第１〜第３のコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃに接触することを防止することができる。
【００５３】
尚、充填材２３Ａ〜２３Ｃを用いる場合には、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃは台部１９上に開口していなくてもよい。即ち、本実施例では第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃの全てが台部１９上で開口しているが、これら第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃのうち少なくとも１つ又は全てが凹部１３内で開口していてもよい。例えば、第１〜第３の貫通孔１５Ａ〜１５Ｃのうち少なくとも１つ又は全てが凹部１３の底面又は側壁にて開口しており、そこからリード線が電極へと導かれていてもよい。この場合も、充填材によって、コンタクトピンまで電解液が到達することを防止することができる。
【００５４】
次に、フィルタ部１２０について説明する。本実施例では、フィルタ部１２０は、フィルタ取り付け具８と、干渉ガス除去フィルタ９とを有する。ケース本体１に取り付けられたフィルタ取り付け具８に干渉ガス除去フィルタ９を装着することにより、干渉ガス除去フィルタ９はケース本体１に対して着脱自在に取り付けられる。
【００５５】
更に説明すると、取り付け具８は、中空部８１を有する円筒状部材であり、その軸線方向一方の端部（図中下側）の内周面には、ケース本体１の大径部１１の外周に形成されたネジ部１７に噛合するネジ部８２が形成されている。取り付け具８は、ケース蓋７を取り付けた後のケース本体１のケース蓋７側から被せて、大径部１１に螺合する。
【００５６】
尚、取り付け具８は、螺合によりケース本体１に固定することに限定されるものではなく、例えば、圧入嵌合によってケース本体１に固定されるものであってもよい。
【００５７】
そして、取り付け具８の軸線方向他方の端部（図中上側）に、干渉ガス除去フィルタ９が取り付けられる。干渉ガス除去フィルタはフィルタ本体９１と、このフィルタ本体９１の外周に取り付けられたフィルタシール部材９２とを有する。フィルタシール部９２を、上記取り付け具８の端部の内周面に対して圧入嵌合することによって、干渉ガス除去フィルタ９は、しっかりと取り付け具８に取り付けられる。フィルタ本体９１は通気性を有し、定電位電解式ガスセンサ１００の雰囲気ガスを電解セル部１１０に向けて通過させ、又電解セル部１１０からのガスを定電位電解式ガスセンサ１００の外部に向けて通過させるが、その通気経路に、電解セル部１１０における測定に影響を及ぼす干渉ガスを吸収する吸収剤が設けられている。本実施例では、定電位電解式ガスセンサ１００はＣＯセンサとして構成されているので、フィルタ本体９１には、干渉ガスであるＮＯ2を吸収して除去する吸収剤が設けられている。
【００５８】
尚、本実施例では、ケース本体１、ワッシャー６、ケース蓋７、取り付け具８はプラスチックによって成型されている。
【００５９】
このように、本実施例では、干渉ガス除去フィルタ９は、この干渉ガス除去フィルタ９の着脱によりワッシャー６及びケース蓋７によるＯリング５の押さえ付け状態が変化しないようにケース本体１に対して取り付けられている。より詳しくは、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００では、上述の台部１９におけるシール部と充填材２３Ａ〜２３Ｃの充填部とを含む電解セル部（電解セル形成部品）１１０と、干渉ガス除去フィルタ９を装着する取り付け具８とを独立させる。そして、干渉ガス除去フィルタ９は、電解セル部１１０におけるＯリング５による第１のガス透過性膜３１Ａの押さえ付けに直接に影響を与えない部分、本実施例ではケース本体１の基部（底部）である大径部１１に対して別部材として接続された取り付け具８を介して、電解セル部１１０に取り付けた。
【００６０】
即ち、本実施例では、干渉ガス除去フィルタ９は、ケース本体１に対するケース蓋７の固定部とは別の位置でケース本体１に接続された取り付け具８を介してケース本体１に対して取り付けられる。特に、本実施例では、ケース本体１に対するケース蓋７の固定部は、ケース本体１におけるワッシャー６及びケース蓋７による作用極担持膜３Ａの押し付け方向の上流側端部近傍に設けられ、ケース本体１に対する取り付け具８の接続部は、ケース本体１における同方向の下流側端部近傍に設けられる。この取り付け具８の接続部は、シール部材の押さえ部材であるワッシャー６及びケース蓋７とは別部材で、又これらワッシャー６及びケース７が取り付けられる比較的薄肉の小径部とは離隔されている、ケース本体１の基部である比較的厚肉の大径部１１に相当する。
【００６１】
これにより、干渉ガス除去フィルタ９の着脱に伴うケーシング、即ち、本実施例では取り付け具８の歪みが、電解セル部１１０のシール部におけるシール性に影響を与えない構造にした。又、このような干渉ガス除去フィルタ９の取り付け構造とする場合においても、被検ガスが作用極担持膜３Ａのみを透過して凹部１３内に至る構造を維持している。
【００６２】
本発明の効果を実証するために、本実施例の定電位電解式ガスセンサ１００を用いて以下の実験を行った。
【００６３】
（実験例１）
本実施例の定電位電解式ガスセンサ（ＣＯセンサ）１００を１０個用意した。そして、それぞれのセンサのＣＯゼロガス（ＣＯ濃度０ｐｐｍの空気）に対する電流（残余電流）値をポテンショスタット回路を用いて測定した。又、作用極３２Ａと参照極３２Ｂとの間の電位差を電位差計を用いて測定した。その結果、全てのセンサにおいて、残余電流は０〜０．１μＡであり、電位差は０〜０．６ｍＶであった。これらの測定は、２５℃の環境下で実施した。
【００６４】
次に、恒温恒湿度試験機に１０個の被検センサをセットして、ヒートサイクル試験を実施した。試験機の設定温度を−１０℃から一旦５０℃まで上げた後再度−１０℃まで下げるまでを２時間で行う動作を１サイクルとして、１０サイクルのヒートサイクル試験を行った。
【００６５】
そして、このヒートサイクル試験の後で、再び２５℃の環境下で、ＣＯゼロガスを用いた上記同様の残余電流測定及び電位差測定を実施した。その結果、１０個のセンサの全てで、残余電流値及び電位差値の測定結果は、ヒートサイクル試験前と同じであった。
【００６６】
以上のような実験を、図５及び図６に示すような従来の電極担持膜群の積層構造を有する定電位電解式ガスセンサ（ＣＯセンサ）について同様に行った。その結果、ヒートサイクル試験前では、１０個の被検センサの全てで残余電流が０〜０．１μＡ、電位差が０〜０．６ｍＶであったのに対して、ヒートサイクル試験の後では、１０個の被検センサのうち３個で残余電流値が３μＡ（ＣＯ濃度１００ｐｐｍに相当）以上あり、電位差も３〜６ｍＶであった。これは、電解液の収容部の内圧の変化によりリード線の引き出し部の液密性が低下し、電解液がリークしたことにより、電極電位がずれたためであると考えられる。
【００６７】
このように、本実施例によれば、電解液Ｓの漏れを良好に防止することができ、電解液Ｓの量の減少による電極間の電気的断線を防止して、安定した指示値を得ることができる。
【００６８】
（実験例２）
本実施例の定電位電解式ガスセンサ（ＣＯセンサ）１００を１０個用意した。そして、それぞれのセンサの干渉ガス除去フィルタ９を、特にケーシングの歪みに気を遣うことなく繰り返し（１００回程度）着脱する試験を実施した。そして、この着脱試験の後で、実験例１と同様の残余電流及び電位差の測定を行った。その結果、残余電流及び電位差の測定値は、着脱試験後においても、全てのセンサで着脱試験前と同じ（残余電流０〜０．１μＡ、電位差０〜０．６ｍＶ）であった。
【００６９】
以上のような実験を、図５に示すような、干渉ガス除去フィルタの着脱によりシール部材の押さえ付け状態が変化し易い構造を有する従来の定電位電解式ガスセンサ（ＣＯセンサ）について同様に行った。図５に示す定電位電解式ガスセンサでは、干渉ガス除去フィルタ２０９の取り付け部と、シール部材たるＯリング２０５の押さえ部２０６とは同一のケーシング２０１に近接して設けられている。その結果、着脱試験前では、１０個の被検センサの全てで残余電流が０〜０．１μＡ、電位差が０〜０．６ｍＶであったのに対して、着脱試験後では、１０個の被検センサのうち５個で残余電流値が３μＡ以上あり、電位差も３〜６ｍＶであった。これは、干渉ガス除去フィルタの着脱動作により電解液収容部のシール部の液密性が低下し、電解液がリークしたことにより、電極電位がずれたためであると考えられる。
【００７０】
このように、本実施例によれば、干渉ガス除去フィルタ９の着脱動作を行った場合にも、電解液Ｓの漏れを良好に防止することができ、電解液Ｓの量の減少による電極間の電気的断線を防止して、安定した指示値を得ることができる。
【００７１】
（実験例３）
本実施例の定電位電解式ガスセンサ（ＣＯセンサ）１００から充填材２３Ａ〜２３Ｃを除いた構成のセンサを用意した。そして、上記実験例１、２と同様の試験を繰り返した。その結果、本実施例の定電位電解式センサ１００と同様の結果を得ることができた。
【００７２】
但し、充填材２３Ａ〜２３Ｃを除いたセンサ群では、試験後に長期保存した後で分解して各部品を観察したところ、コンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃに腐食が見られるものがあった。このようにコンタクトピンが電解液で腐食される状態でセンサが使用すると、コンタクトピンの腐食電位が発生して、指示値に影響する虞がある。
【００７３】
従って、漏れた電解液Ｓによるコンタクトピン２２Ａ〜２２Ｃの腐食電位の発生を防止して、定電位電解式ガスセンサ１００の信頼性を更に向上するためには、充填材２３Ａ〜２３Ｃを設けることにより、より確実に電解液Ｓのリークを防止することが好ましい。
【００７４】
以上、本発明を具体的な実施例に則して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではないことを理解されたい。
【００７５】
例えば、上述の実施例では、定電位電解式ガスセンサはＣＯセンサであるものとして説明したが、当業者には周知のように、定電位電解式ガスセンサは、二酸化硫黄（ＳＯ2）、二酸化窒素（ＮＯ2）、一酸化窒素（ＮＯ）などのその他のガスの測定のためにも用いられる。本発明は、このようなＣＯガス以外の他のガスを検出対象とする定電位電解式ガスセンサに対しても等しく適用することができ、上述したものと同じ効果を得ることができる。尚、被検ガスの種類に応じて干渉ガス除去フィルタの種類は変更されてよいし、又本発明の原理は干渉ガス除去フィルタを有しない定電位電解式ガスセンサにも適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】本発明に係る定電位電解式ガスセンサの一実施例の断面図である。
【図２】本発明に係る定電位電解式ガスセンサの一実施例の組立部分断面図である。
【図３】図１及び図２に示す定電位電解式ガスセンサが備えるケース本体の上面図である。
【図４】図１及び図２に示す定電位電解式ガスセンサにおける電極担持膜群及び電解液保持部材の積層構成を説明するための模式図である。
【図５】電極担持膜群の積層構成を有する従来の定電位電解式ガスセンサの一例の模式的断面図である。
【図６】図５に示す定電位電解式ガスセンサの電極担持膜群の積層構成を説明するための模式図である。
【符号の説明】
【００７７】
１                          ケース本体
３Ａ                        作用極担持膜（第１の電極担持膜）
３Ｂ                        参照極担持膜（第２の電極担持膜）
３Ｃ                        対極担持膜（第３の電極担持膜）
４Ａ、４Ｂ                  保水シート（電解液保持部材）
５                          Ｏリング（シール部材）
６                          ワッシャー（押さえ部材）
７                          ケース蓋（押さえ部材）
８                          取り付け具
９                          干渉ガス除去フィルタ
２１Ａ、２１Ｂ、２１Ｃ      リード
２２Ａ、２２Ｂ、２２Ｃ      コンタクトピン（コンタクト部材）
２３Ａ、２３Ｂ、２３Ｃ      充填材
３１Ａ、３１Ｂ、３１Ｃ      ガス透過性膜
３２Ａ                      作用極
３２Ｂ                      参照極
３２Ｃ                      対極
【図１】
2007248313.tif 000003
【図２】
2007248313.tif 000004
【図３】
2007248313.tif 000005
【図４】
2007248313.tif 000006
【図５】
2007248313.tif 000007
【図６】
2007248313.tif 000008