(57)【要約】【課題】小型化および軽量化を図れるポンプ、冷却システム、および電子機器を提供する。【解決手段】ポンプ４１は、伸縮可能に構成され内部に流体を流通可能とし互いに連接される２つのベローズ４１１と、各ベローズ４１１の連接位置に取り付けられ、各ベローズ４１１間を流体が流通可能とする開口部４１２１を有し、各ベローズ４１１を伸縮させる移動部材４１２と、流体の流れ方向により流体抵抗が異なる逆止弁４１３と、移動部材４１２を移動させる駆動装置４１４とを備える。駆動装置４１４は、相対位置を変更可能とする固定子４１４１および磁性体リング４１４２を備える。磁性体リング４１４２は、移動部材４１２に取り付けられる。固定子４１４１および磁性体リング４１４２は、互いに非接触の状態で相対的に移動する。【選択図】図１
2007120324.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体を圧送するポンプであって、
伸縮可能に構成され内部に流体を流通可能とし互いに連接される複数のベローズと、
前記複数のベローズの連接位置のうち少なくともいずれかの連接位置に取り付けられ、前記複数のベローズ間を流体が流通可能とする開口部を有し、移動可能に構成され移動することで前記複数のベローズを伸縮させる移動部材と、
前記開口部に設けられ、流体の流れ方向により流体抵抗が異なる流体抵抗要素と、
前記移動部材を移動させる駆動装置とを備え、
前記駆動装置は、相対位置を変更可能とする固定子および可動子を備え、
前記可動子は、前記移動部材に設けられ、
前記固定子および前記可動子は、互いに非接触の状態で相対的に移動することを特徴とするポンプ。
【請求項２】
請求項１に記載のポンプにおいて、
前記駆動装置は、電磁アクチュエータで構成され、
前記固定子は、電流が通流されるコイルを含んで構成され、前記ベローズ外部に配設されていることを特徴とするポンプ。
【請求項３】
請求項１に記載のポンプにおいて、
前記駆動装置は、電磁アクチュエータで構成され、
前記固定子は、電流が通流されるコイルを含んで構成され、前記ベローズ内部に配設されていることを特徴とするポンプ。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載のポンプにおいて、
前記流体抵抗要素は、デフューザで構成されていることを特徴とするポンプ。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれかに記載のポンプにおいて、
前記複数のベローズは、熱伝導性を有する部材で構成されていることを特徴とするポンプ。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれかに記載のポンプにおいて、
前記移動部材は、少なくとも２つの前記連接位置に取り付けられた第１移動部材および第２移動部材を備え、
前記固定子は、前記第１移動部材に設けられ、
前記可動子は、前記第２移動部材に設けられ、
前記固定子および前記第１移動部材の総重量と、前記可動子および前記第２移動部材の総重量とが同一に設定されていることを特徴とするポンプ。
【請求項７】
発熱体を冷却する冷却システムであって、
請求項１から請求項６のいずれかに記載のポンプと、
冷却流体を内部に流通可能とし、前記ポンプから圧送された冷却流体を再度、前記ポンプに導く流体流通部材と、
前記流体流通部材による冷却流体の流路中に設けられ、前記発熱体および前記冷却流体を熱伝達可能に接続する接続部材とを備えていることを特徴とする冷却システム。
【請求項８】
請求項７に記載の冷却システムにおいて、
前記ポンプを構成する複数のベローズは、熱伝導性を有する部材で構成され、
前記複数のベローズに向けて冷却空気を送風、あるいは、前記複数のベローズ近傍の空気を吸入する冷却ファンを備えていることを特徴とする冷却システム。
【請求項９】
請求項７または請求項８に記載の冷却システムを備えていることを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ポンプ、冷却システム、および電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パーソナルコンピュータ等の電子機器において、ＣＰＵ(Central Processing Unit)等の半導体素子を循環する液体で冷却する構成が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載の電子機器は、半導体素子を冷却する冷却システムとして、液体を循環させるポンプと、半導体素子に接続し該半導体素子の熱を内部を流通する液体に伝達させる水冷ジャケットと、金属放熱板に接続し内部を流通する液体の熱を金属放熱板に放熱する放熱パイプと、液体の貯水用のリザーバタンクと、ポンプ、水冷ジャケット、放熱パイプ、およびリザーバタンクを接続するフレキシブルチューブとを備えている。
このような冷却システムの構成では、部品点数が多くなり、小型化および軽量化を図れない、という問題がある。
【０００３】
また、以下に示す熱交換器兼用ポンプ装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。
特許文献２に記載の熱交換器兼用ポンプ装置は、伸長することで内部へ液体を導入し収縮することで内部から液体を吐出するベローズ部と、ベローズ部を伸縮させる往復駆動装置と、ベローズ部が収納されベローズ部が冷却液中に浸漬されるようにその冷却液を貯留する液体貯留槽とを備えている。このような構成により、熱交換器兼用ポンプ装置は、ベローズ部を伸縮させることで液体を圧送するポンプとしての機能と、ベローズを介して該ベローズ内部の液体の熱を冷却液に伝達させる放熱部材としての機能とを有する。そして、この熱交換器兼用ポンプ装置を特許文献１に記載の電子機器に搭載すれば、冷却システムの部品点数を低減させることができる。
【０００４】
【特許文献１】特開２００３−７８２７１号公報
【特許文献２】特開平１０−３０６７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献２に記載の熱交換器兼用ポンプ装置では、ベローズ部を駆動する往復駆動装置として、シリンダ装置や電動モータを採用しているため、装置自体が大型化するとともに軽量化を図れない。このため、特許文献１に記載の冷却システムに特許文献２に記載の熱交換器兼用ポンプ装置を搭載した場合でも、冷却システムの部品点数を低減できるが、小型化および軽量化を図れない、という問題がある。
【０００６】
本発明の目的は、小型化および軽量化を図れるポンプ、冷却システム、および電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のポンプは、流体を圧送するポンプであって、伸縮可能に構成され内部に流体を流通可能とし互いに連接される複数のベローズと、前記複数のベローズの連接位置のうち少なくともいずれかの連接位置に取り付けられ、前記複数のベローズ間を流体が流通可能とする開口部を有し、移動可能に構成され移動することで前記複数のベローズを伸縮させる移動部材と、前記開口部に設けられ、流体の流れ方向により流体抵抗が異なる流体抵抗要素と、前記移動部材を移動させる駆動装置とを備え、前記駆動装置は、相対位置を変更可能とする固定子および可動子を備え、前記可動子は、前記移動部材に設けられ、前記固定子および前記可動子は、互いに非接触の状態で相対的に移動することを特徴とする。
【０００８】
ここで、駆動装置としては、固定子および可動子が互いに非接触の状態で相対的に移動する構成であれば、いずれの構成も採用でき、例えば、電磁アクチュエータや、その他の駆動方式（静電等）のアクチュエータ等を採用できる。
また、可動子および移動部材を別々の部材とする構成の他、可動子および移動部材を双方の機能を有する同一の部材で構成してもよい。
【０００９】
本発明では、駆動装置が固定子および可動子を相対的に移動させることで、可動子が設けられる移動部材を移動させる。そして、移動部材の移動に伴い複数のベローズが伸縮することで、ベローズ内部に流体が吸入されるとともに、ベローズ内部の流体が外部に圧送される。この際、流体抵抗要素が複数のベローズ間を連通する開口部に設けられているので、流体は、複数のベローズ内を所定方向にのみ流通する。
そして、駆動装置は、固定子および可動子が互いに非接触の状態で相対的に移動する構成であるので、従来のシリンダ装置や電動モータ等を用いた構成と比較して、ギアやリンク等の摩擦部が無いため静粛性を確保でき、また、大きさを小さくした場合であっても比較的に大きい力を出すことができ、移動部材を円滑に移動させることができる。このため、駆動装置の小型化および軽量化を図れ、ひいては、ポンプの小型化および軽量化を図れる。また、駆動応答特性を良好にでき、移動部材を高速に移動させて流体を圧送する流量の多いポンプを実現できる。
また、流体抵抗要素が移動部材に形成された開口部に設けられているので、移動部材の移動とともに流体抵抗要素を移動させることができる。このため、開口部を介した流体の所定方向に流通する流速よりも大きい所定の移動速度で移動部材が移動している状態でのみ、流体を前記所定方向に駆動する構成を実現できる。したがって、駆動装置の駆動力を低減でき、低消費電力化を図れる。
【００１０】
本発明のポンプでは、前記駆動装置は、電磁アクチュエータで構成され、前記固定子は、電流が通流されるコイルを含んで構成され、前記ベローズ外部に配設されていることが好ましい。
本発明によれば、固定子がベローズ外部に配設されているので、例えば、固定子がベローズ内部に配設されている構成と比較して、固定子を構成するコイルへの配線も容易に実施でき、ポンプを容易に製造できる。また、固定子の形状の自由度も向上し、ポンプの設計の自由度を向上できる。
【００１１】
本発明のポンプでは、前記駆動装置は、電磁アクチュエータで構成され、前記固定子は、電流が通流されるコイルを含んで構成され、前記ベローズ内部に配設されていることが好ましい。
本発明によれば、固定子がベローズ内部に配設されているので、例えば、固定子がベローズ外部に配設されている構成と比較して、より小型化したポンプを構成できる。
【００１２】
本発明のポンプでは、前記流体抵抗要素は、デフューザで構成されていることが好ましい。
ところで、流体抵抗要素としては、流体の流れ方向により流体抵抗が異なる構成であれば、いずれの構成でもよく、例えば、逆止弁等の弁機構を採用できる。
しかしながら、流体抵抗要素として弁機構を採用した場合には、変形量が大きいため耐久性を良好にすることが難しい。また、流体内にゴミ等の異物が混入し、弁機構に異物が挟まれた場合には、弁機構の性能が低下してしまう虞がある。
本発明によれば、流体抵抗要素がデフューザで構成されているので、耐久性を良好にし、ポンプの長寿命化を図れる。また、流体内にゴミ等の異物が混入している場合であっても、性能が低下することがない。
【００１３】
本発明のポンプでは、前記複数のベローズは、熱伝導性を有する部材で構成されていることが好ましい。
本発明によれば、複数のベローズが熱伝導性を有する部材で構成されているので、複数のベローズ内部を流通する流体の熱を、ベローズを介して外部に放熱できる。このため、ポンプに放熱部材としての機能を持たせることができ、例えば、冷却システムや電子機器に該ポンプを搭載することで、放熱部材を省略でき、冷却システムや電子機器の部品点数を低減し小型化および軽量化を図れる。
【００１４】
本発明のポンプでは、前記移動部材は、少なくとも２つの前記連接位置に取り付けられた第１移動部材および第２移動部材を備え、前記固定子は、前記第１移動部材に取り付けられ、前記可動子は、前記第２移動部材に取り付けられ、前記固定子および前記第１移動部材の総重量と、前記可動子および前記第２移動部材の総重量とが同一に設定されていることが好ましい。
本発明によれば、上述した構成で固定子および第１移動部材の総重量と可動子および第２移動部材の総重量とを同一に設定することで、固定子および第１移動部材の移動量と、可動子および第２移動部材の移動量とを等しくすることができる。このため、ポンプの動作時において、重心位置の移動がなくなり、ポンプ自体の振動を低減できる。したがって、例えば、冷却システムや電子機器に、振動が低減されたポンプを搭載することで、冷却システムや電子機器の静粛性を確保できかつ、冷却システムや電子機器の機能を良好に維持できる。
【００１５】
本発明の冷却システムは、発熱体を冷却する冷却システムであって、上述したポンプと、冷却流体を内部に流通可能とし、前記ポンプから圧送された冷却流体を再度、前記ポンプに導く流体流通部材と、前記流体流通部材による冷却流体の流路中に設けられ、前記発熱体および前記冷却流体を熱伝達可能に接続する接続部材とを備えていることを特徴とする。
本発明によれば、冷却システムは、上述したポンプを備えているので、上述したポンプと同様の作用および効果を享受できる。
また、冷却システムは、圧送する冷却液体の流量が多いポンプを備えているので、接続部材近傍の冷却液体に熱が滞留することがない。このため、接続部材を効果的に冷却でき、すなわち、発熱体を効果的に冷却できる。
【００１６】
本発明の冷却システムでは、前記ポンプを構成する複数のベローズは、熱伝導性を有する部材で構成され、前記複数のベローズに向けて冷却空気を送風、あるいは、前記複数のベローズ近傍の空気を吸入する冷却ファンを備えていることが好ましい。
本発明によれば、冷却ファンにより、複数のベローズに向けて冷却空気を送風、あるいは、複数のベローズ近傍の空気を吸入するので、例えば、複数のベローズの熱を自然冷却により放熱する構成と比較して、複数のベローズを効果的に冷却して内部を流通する冷却液体を効果的に冷却でき、発熱体を効果的に冷却できる。
【００１７】
本発明の電子機器は、上述した冷却システムを備えていることを特徴とする。
本発明によれば、電子機器は、上述した冷却システムを備えているので、上述した冷却システムと同様の作用および効果を享受できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
[第１実施形態]
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
〔プロジェクタの構成〕
図１は、本発明に係る電子機器としてのプロジェクタ１の概略構成を模式的に示す図である。
プロジェクタ１は、光源から射出される光束を画像情報に応じて変調して光学像を形成し、形成した光学像をスクリーン（図示略）上に拡大投射するものである。このプロジェクタ１は、外装筐体２と、光学装置３と、冷却システム４とで大略構成されている。
なお、図１において、図示は省略するが、外装筺体２内において、光学装置３および冷却システム４以外の空間には、プロジェクタ１の構成部材に電力を供給する電源ユニットや、プロジェクタ１全体を制御する制御装置等が配置される。
【００１９】
外装筺体２は、光学装置３および冷却システム４等を内部に収納配置する筐体である。
なお、図示は省略するが、この外装筺体２には、プロジェクタ１外部の空気を内部に導入するための吸気口や、プロジェクタ１内部で温められた空気を排出するための排気口が形成されている。
【００２０】
光学装置３は、光源から射出された光束を光学的に処理して画像情報に対応した光学像（カラー画像）を形成し、形成したカラー画像を拡大投射する。この光学装置３は、図１に示すように、発熱体としての光源装置３１と、光変調装置としての３つの液晶ライトバルブ３２と、色合成光学装置としてのクロスダイクロイックプリズム３３と、投射光学装置としての投射レンズ３４等を備える。
光源装置３１は、前記制御装置による制御の下、点灯し、液晶ライトバルブ３２に向けて光束を射出する。これら光源装置３１は、図１に示すように、Ｒ色光を射出するＲ色光用ＬＥＤ(Light Emitting Diode)モジュール３１Ｒと、Ｇ色光を射出するＧ色光用ＬＥＤモジュール３１Ｇと、Ｂ色光を射出するＢ色光用ＬＥＤモジュール３１Ｂとで構成される。
これらＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂは、略同様の構成であり、具体的な図示は省略するが、Ｓｉ基板上に固体発光素子である複数のＬＥＤ素子が配列形成されている。なお、ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを構成するＬＥＤ素子は、結晶の種類および添加物等が異なるように形成されたものであり、それぞれＲ色光、Ｇ色光、Ｂ色光を発する。
なお、光源装置３１としては、上述したＬＥＤモジュールに限らず、その他の構成、例えば、レーザダイオードや、有機ＥＬ(Electro Luminescence)素子、シリコン発光素子等の各種固体発光素子を採用してもよい。
【００２１】
３つの液晶ライトバルブ３２は、透過型の液晶パネルであり、前記制御装置からの駆動信号に基づいて、液晶セル（図示略）に封入された液晶分子の配列を変化させ、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂから射出された各色光を、それぞれ透過若しくは遮断することにより画像情報に応じた各光学像をクロスダイクロイックプリズム３３に射出する。
クロスダイクロイックプリズム３３は、各液晶ライトバルブ３２から射出された色光毎に変調された光学像を合成してカラー画像を形成する光学素子である。このクロスダイクロイックプリズム３３は、４つの直角プリズムを貼り合わせた平面視略正方形状をなし、直角プリズム同士を貼り合わせた界面には、２つの誘電体多層膜が形成されている。これら誘電体多層膜は、互いに対向する各液晶ライトバルブ３２から射出された各色光を反射し、投射レンズ３４に対向する液晶ライトバルブ３２から射出された色光を透過する。このようにして、各液晶ライトバルブ３２にて変調された各色光が合成されてカラー画像が形成される。
投射レンズ３４は、複数のレンズが組み合わされた組レンズとして構成される。そして、この投射レンズ３４は、クロスダイクロイックプリズム３３から射出されたカラー画像を図示しないスクリーン上に拡大投射する。
【００２２】
なお、光源装置３１と液晶ライトバルブ３２との間に、他の光学素子、例えば、光源装置３１から射出された色光の偏光方向を略一方向の直線偏光に揃える偏光変換素子や、光源装置３１から射出された色光の面内照度を均一化するロッドインテグレータや複数の小レンズがマトリクス状に配設されたレンズアレイ等の均一照明光学素子等を配設しても構わない。
【００２３】
冷却システム４は、具体的には後述するが、冷却液体を循環させ、該冷却液体により各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを冷却する装置である。なお、本実施形態では、ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを冷却する構成としているが、これに限らず、液晶ライトバルブ３２等のプロジェクタ１内部の他の構成部材を冷却する構成としても構わない。
【００２４】
〔冷却システムの構成〕
冷却システム４は、図１に示すように、ポンプ４１と、接続部材としての３つの受熱部材４２と、リザーバタンク４３と、複数の流体流通部材４４と、冷却ファン４５とを備える。
複数の流体流通部材４４は、内部に冷却液体が流通可能に管状部材で構成され、冷却液体が循環可能に各部材４１〜４３を接続する。そして、循環する冷却液体により各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂに生じる熱を冷却する。この流体流通部材４４としては、金属等で構成してもよいし、ゴムチューブ等でとしても構わない。
なお、本実施形態では、冷却液体として、透明性の不凍液（例えば、エチレングリコール水溶液等）を採用する。冷却液体としては、前記不凍液に限らず、その他の液体を採用してもよい。
【００２５】
ポンプ４１は、具体的には後述するが、複数のベローズを伸縮させることにより複数のベローズ内に冷却液体を流通させ、該冷却液体を吸入および圧送する。
３つの受熱部材４２は、複数の流体流通部材４４による冷却液体の流路中にそれぞれ配設され、金属等の熱伝導性を有する部材から構成され各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂと熱伝達可能に接続し、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂに生じた熱を内部を流通する冷却液体に放熱する。より具体的に、各受熱部材４２は、図１に示すように、内部に冷却液体を流通可能とし、熱伝導性を有する管状部材で構成され、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂと接続する接続面の裏面から内部に向けて突出する複数のフィン４２１を有する。このような構成により、各フィン４２１間を冷却液体が流通し、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂから伝達された熱を各フィン４２１を介して効果的に冷却液体に放熱させている。
【００２６】
リザーバタンク４３は、金属等の熱伝導性を有する部材から構成され、複数の流体流通部材４４による冷却液体の流路中に配設され、内部に冷却液体を一時的に蓄積する。また、リザーバタンク４３は、冷却液体を内部に補充可能に構成されている。このように構成することで、プロジェクタ１の動作中に、冷却液体が蒸発した場合であっても、冷却液体の蒸発分を補充することができる。また、プロジェクタ１の動作中に、リザーバタンク４３に冷却液体が一時的に蓄積されることで、リザーバタンク４３内で冷却液体を滞留させることができ、該滞留期間で冷却液体を冷却することもできる。
【００２７】
冷却ファン４５は、図１に示すように、ポンプ４１の近傍位置に配設され、ポンプ４１を構成する後述する複数のベローズに向けて冷却空気を送風する。そして、前記複数のベローズ内を流通する冷却液体の熱を冷却する。
【００２８】
〔ポンプの構成〕
ポンプ４１は、図１に示すように、ベローズ４１１と、移動部材４１２と、流体抵抗要素としての逆止弁４１３と、駆動装置４１４とを備える。
ベローズ４１１は、図１に示すように、伸縮自在に構成され、互いに同一形状を有する第１ベローズ４１１１および第２ベローズ４１１２の２つで構成される。
各ベローズ４１１１，４１１２は、金属等の熱伝導性を有する部材から構成され、図１に示すように、伸縮方向（図１中、左右方向）に沿う中心軸に対して回転対称形状を有する。また、各ベローズ４１１１，４１１２は、図１に示すように、内部に冷却液体を流通可能とし、移動部材４１２を介して互いに連接される。さらに、各ベローズ４１１１，４１１２は、図１に示すように、移動部材４１２を介して内部が連通された状態となり、各ベローズ４１１１，４１１２間を冷却液体が流通可能に構成されている。さらにまた、各ベローズ４１１１，４１１２は、図１に示すように、移動部材４１２を介して互いに連接される端部と逆の各端部側が流体流通部材４４に接続するとともに、プロジェクタ１内部に固定される。そして、プロジェクタ１内部に各ベローズ４１１１，４１１２が固定された状態では、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸が、ポンプ４１の自重が掛かる鉛直方向に直交する水平方向に略平行な状態となる。
【００２９】
移動部材４１２は、各ベローズ４１１１，４１１２を接続するとともに、図１中、左右に移動可能に構成され移動することで各ベローズ４１１１，４１１２を伸縮させる部材である。この移動部材４１２は、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸に対して回転対称となる円盤状に形成され、図１に示すように、略中央部分に開口部４１２１を有し、該開口部４１２１周縁部分にて各ベローズ４１１１，４１１２とそれぞれ接続する。そして、各ベローズ４１１１，４１１２間を流通する冷却液体は、開口部４１２１を介して流通する。
【００３０】
逆止弁４１３は、移動部材４１２の開口部４１２１に設けられ、開口部４１２１を介して流通する冷却液体の流れ方向により流体抵抗が異なるものである。より具体的に、逆止弁４１３は、開口部４１２１における図１中、左側に設けられ、移動部材４１２とともに図１中、左右に移動する。また、逆止弁４１３は、開口部４１２１を介して図１中、右から左方向（順方向）に流れる冷却液体の流速よりも移動部材４１２の図１中、右から左方向への移動速度が大きい場合に開口部４１２１を閉塞し、逆に小さい場合に開放する。
そして、逆止弁４１３の上述した流体抵抗により、第１ベローズ４１１１は、移動部材４１２が移動して伸長することで第２ベローズ４１１２内部の冷却液体を吸入し、第１ベローズ４１１１が収縮することで内部の冷却液体を流体流通部材４４に向けて吐出する。同様に、第２ベローズ４１１２は、移動部材４１２が移動して伸長することで流体流通部材４４内の冷却液体を吸入し、収縮することで内部の冷却液体を第１ベローズ４１１１内部に吐出する。すなわち、逆止弁４１３の上述した流体抵抗により、開口部４１２１を介して左から右方向（逆方向）への冷却液体の流れが抑制され、開口部４１２１を介して右から左方向（順方向）へと冷却液体が流れることとなる。
【００３１】
図２は、駆動装置４１４の概略構成を示す分解斜視図である。
駆動装置４１４は、電磁アクチュエータで構成され、図１または図２に示すように、所定位置に固定される固定子４１４１と、固定子４１４１に対して移動可能に構成される可動子としての磁性体リング４１４２とを備え、前記制御装置による制御の下、固定子４１４１に対して磁性体リング４１４２を移動させ、移動部材４１２を移動させるものである。
磁性体リング４１４２は、図１または図２に示すように、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する磁性材料で構成され、移動部材４１２の外周端部に固着されている。
【００３２】
固定子４１４１は、図１または図２に示すように、コイル４１４３とヨーク４１４４とを備え、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸に対して回転対称となる全体略リング形状を有し、磁性体リング４１４２の外周を囲うように磁性体リング４１４２に対して所定の隙間を空けてプロジェクタ１内部に固定される。
コイル４１４３は、図１または図２に示すように、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する２つの第１コイル４１４３Ａおよび第２コイル４１４３Ｂで構成される。各コイル４１４３Ａ，４１４３Ｂは、リング形状の周方向に巻回されたものであり、前記制御装置と電気的にそれぞれ接続され、電流が通流される。
【００３３】
ヨーク４１４４は、図１または図２に示すように、各ベローズ４１１１，４１１２の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する磁性材料で構成される３つの第１ヨーク４１４４Ａ、第２ヨーク４１４４Ｂ、および第３ヨーク４１４４Ｃを有し、各コイル４１４３Ａ，４１４３Ｂからの磁界の磁路を形成するものである。
第１ヨーク４１４４Ａは、図１または図２に示すように、ヨーク４１４４におけるリング形状の軸方向各端部の一方側（図１中、左側）に配設される。この第１ヨーク４１４４Ａは、図１または図２に示すように、リング形状を有しヨーク４１４４の外周端部を構成する第１基部４１４４Ａ１と、第１基部４１４４Ａ１におけるリング形状の軸方向の各端部の一方側（図１中、左側）から前記軸に向けて突出する第１突出部４１４４Ａ２とを備え、断面略Ｌ字形状を有する。
【００３４】
第２ヨーク４１４４Ｂは、図１または図２に示すように、第１ヨーク４１４４Ａおよび第３ヨーク４１４４Ｃの間に配設される。この第２ヨーク４１４４Ｂは、図１または図２に示すように、リング形状を有しヨーク４１４４の外周端部を構成する第２基部４１４４Ｂ１と、第２基部４１４４Ｂ１におけるリング形状の軸方向略中央部分から前記軸に向けて突出する第２突出部４１４４Ｂ２とを備え、断面略Ｔ字形状を有する。
第３ヨーク４１４４Ｃは、図１または図２に示すように、ヨーク４１４４におけるリング形状の軸方向各端部の他方側（図１中、右側）に配設される。この第３ヨーク４１４４Ｃは、図１または図２に示すように、リング形状を有しヨーク４１４４の外周端部を構成する第３基部４１４４Ｃ１と、第３基部４１４４Ｃ１におけるリング形状の軸方向の各端部の他方側（図１中、右側）から前記軸に向けて突出する第３突出部４１４４Ｃ２とを備え、断面略Ｌ字形状を有する。
【００３５】
そして、第１ヨーク４１４４Ａ、第２ヨーク４１４４Ｂ、および第３ヨーク４１４４Ｃの各基部４１４４Ａ１，４１４４Ｂ１，４１４４Ｃ１を組み合わせることで、図１に示すように、各突出部４１４４Ａ２，４１４４Ｂ２，４１４４Ｃ２間に溝部４１４４Ｄ，４１４４Ｅが形成され、断面略Ｅ字形状を有することとなる。
溝部４１４４Ｄ，４１４４Ｅには、図１または図２に示すように、各コイル４１４３Ａ，４１４３Ｂがそれぞれ配設される。
【００３６】
〔ポンプの動作〕
次に、上述したポンプ４１の動作を説明する。
図３は、ポンプ４１の動作を説明するための図である。具体的に、図３（Ａ）〜図３（Ｄ）は、ポンプ４１の動作状態を時系列的に示した図である。また、図３（Ａ），（Ｃ）は、各ベローズ４１１１，４１１２が伸縮していない安定状態を示している。図３（Ｂ），（Ｄ）は、移動部材４１２が移動終端位置まで移動した状態を示している。
例えば、図３（Ａ）に示す状態において、前記制御装置が第１コイル４１４３Ａに通電すると、第１コイル４１４３Ａを囲む第１ヨーク４１４４Ａおよび第２ヨーク４１４４Ｂにて第１コイル４１４３Ａからの磁界の磁路が形成される。そして、磁性体リング４１４２は、図３（Ｂ）に示すように、第１ヨーク４１４４Ａおよび第２ヨーク４１４４Ｂの各突出部４１４４Ａ２，４１４４Ｂ２間の磁路を閉路する位置に移動する。すなわち、移動部材４１２は、図３（Ｂ）に示すように、磁性体リング４１４２とともに移動する。
【００３７】
また、図３（Ｂ）に示す状態において、前記制御装置が第１コイル４１４３Ａへの通電状態を停止し、第２コイル４１４３Ｂに通電すると、第２コイル４１４３Ｂを囲む第２ヨーク４１４４Ｂおよび第３ヨーク４１４４Ｃにて第２コイル４１４３Ｂからの磁界の磁路が形成される。そして、磁性体リング４１４２は、図３（Ｃ）に示すように、右方向に移動し、最終的に、図３（Ｄ）に示すように、第２ヨーク４１４４Ｂおよび第３ヨーク４１４４Ｃの各突出部４１４４Ｂ２，４１４４Ｃ２間の磁路を閉路する位置に移動する。すなわち、移動部材４１２は、図３（Ｃ），図３（Ｄ）に示すように、磁性体リング４１４２とともに移動する。
【００３８】
以上のように、前記制御装置は、第１コイル４１４３Ａおよび第２コイル４１４３Ｂへの通電状態を切り替えることで、図３（Ａ）〜図３（Ｄ）の状態を繰り返し実施させ、固定子４１４１に対して磁性体リング４１４２を正弦波振動させる。すなわち、移動部材４１２は、前記制御装置による駆動装置４１４の駆動制御により、図３（Ａ）〜図３（Ｄ）の状態を繰り返し実施し、正弦波振動する。
【００３９】
上述したように、逆止弁４１３は、開口部４１２１を介して図３中、右から左方向（順方向）に流れる冷却液体の流速よりも移動部材４１２の図３中、右から左方向への移動速度が大きい場合に開口部４１２１を閉塞し、逆に小さい場合に開放するように構成されている。そして、本実施形態では、図３（Ａ）に示す状態の前後、すなわち、移動部材４１２の正弦波振動において、図３中、左方向への移動速度が一番大きくなる状態の前後にて逆止弁４１３が閉塞するように設定されている。そして、移動部材４１２が図３（Ａ）に示す状態の前後、以外の状態（例えば、図３（Ｂ），（Ｃ），（Ｄ）等の状態）において、逆止弁４１３が開放するように設定されている。
【００４０】
このように設定することで、図３（Ａ）に示す状態の前後のみで逆止弁４１３が閉塞した状態となり、移動部材４１２の左方向への移動に伴う第１ベローズ４１１１の収縮により第１ベローズ４１１１内部の冷却液体が順方向へと駆動される。また、第２ベローズ４１１２の伸長により流体流通部材４４内の冷却液体が第２ベローズ４１１２内部へと吸入される。
また、図３（Ａ）に示す状態の前後、以外の状態では逆止弁４１３が開放した状態となり、図３（Ａ）に示す状態の前後の状態における冷却液体の順方向への移動が維持され、開口部４１２１を介して冷却液体が順方向に移動する。
すなわち、冷却液体は、図３（Ａ）に示す状態の前後における駆動により、順方向に複数の流体流通部材４４を介してポンプ４１〜受熱部材４２〜リザーバタンク４３の流路を慣性力により流通し続ける。そして、前記流路の抵抗により少しずつ冷却液体の流速が低下してくるが、この低下分を、図３（Ａ）に示す状態の前後における冷却液体の駆動で補うように構成されている。
【００４１】
上述した第１実施形態によれば、以下の効果がある。
駆動装置４１４は、固定子４１４１および磁性体リング４１４２が互いに非接触の状態で相対的に移動する電磁アクチュエータで構成されているので、従来のシリンダ装置や電動モータ等を用いた構成と比較して、ギアやリンク等の摩擦部が無いため静粛性を確保でき、また、駆動装置４１４自体の大きさを小さくした場合であっても比較的に大きい力を出すことができる。すなわち、駆動装置４１４自体の大きさを小さくした場合であっても、移動部材４１２を円滑に移動させ、所定の流量の冷却液体を圧送することができる。このため、駆動装置４１４の小型化および軽量化を図れ、ポンプ４１の小型化および軽量化により冷却システム４の小型化および軽量化、ひいては、プロジェクタ１の小型化および軽量化を図れる。
【００４２】
また、駆動装置４１４を電磁アクチュエータで構成することで、従来のシリンダ装置や電動モータ等を用いた構成と比較して、駆動応答特性を良好にでき、移動部材４１２を高速に移動させて冷却液体の流量の多いポンプ４１を実現できる。
さらに、逆止弁４１３が移動部材４１２に形成された開口部４１２１に設けられているので、移動部材４１２の移動とともに逆止弁４１３を移動させることができる。このため、開口部４１２１を介した冷却液体の順方向に流通する流速よりも大きい所定の移動速度で移動部材４１２が移動している状態（図３（Ａ）に示す状態の前後）でのみ、冷却液体を順方向に駆動する構成を実現できる。したがって、駆動装置４１４の駆動力を低減でき、低消費電力化を図れる。
【００４３】
ここで、固定子４１４１は、コイル４１４３およびヨーク４１４４で構成され、移動部材４１２の外周端部に固着された磁性体リング４１４２の外周を囲うように配設される。このことにより、例えば、固定子４１４１がベローズ４１１内部に配設される構成と比較して、コイル４１４３および前記制御装置の配線を容易に実施でき、ポンプ４１を容易に製造できる。また、固定子４１４１の形状の自由度も向上し、ポンプ４１の設計の自由度を向上できる。
また、固定子４１４１が前記制御装置と電気的に接続されるコイル４１４３を含んで構成されているので、例えば、固定子を磁性体リング４１４２とし、移動部材４１２に取り付けられる可動子をコイル４１４３およびヨーク４１４４とする構成と比較して、コイル４１４３がプロジェクタ１内部に固定された状態となるので、コイル４１４３の移動によりコイル４１４３と前記制御装置との配線に欠損が生じることがなく、駆動装置４１４を良好に動作させることができる。
【００４４】
そして、冷却システム４は、圧送する冷却液体の流量が多いポンプ４１を備えているので、複数の流体流通部材４４を介したポンプ４１〜３つの受熱部材４２〜リザーバタンク４３の流路内において、３つの受熱部材４２近傍の冷却液体に熱が滞留することがない。このため、３つの受熱部材４２を効果的に冷却でき、すなわち、３つの受熱部材４２を介して３つのＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを効果的に冷却できる。
【００４５】
また、各ベローズ４１１１，４１１２は、金属等の熱伝導性を有する部材で構成されているので、各ベローズ４１１１，４１１２内部を流通する冷却液体の熱を、各ベローズ４１１１，４１１２を介して外部に放熱できる。このため、ポンプ４１に放熱部材としての機能を持たせることができ、冷却システム４に放熱部材としての単体の機能を有する部材を取り入れる必要がなく、部品点数を低減し、冷却システム４の小型化および軽量化、ひいては、プロジェクタ１の小型化および軽量化を図れる。
ここで、冷却システム４は、冷却ファン４５を備えているので、冷却ファン４５により、各ベローズ４１１１，４１１２に向けて冷却空気を送風することができ、例えば、各ベローズ４１１１，４１１２の熱を自然冷却により放熱する構成と比較して、各ベローズ４１１１，４１１２を効果的に冷却して内部を流通する冷却液体を効果的に冷却でき、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを効果的に冷却できる。
【００４６】
[第２実施形態]
次に、本発明の第２実施形態を図面に基づいて説明する。
以下の説明では、前記第１実施形態と同様の構造および同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。
図４は、第２実施形態におけるポンプ５１の構造を模式的に示す図である。
前記第１実施形態では、ポンプ４１において、流体抵抗要素として逆止弁４１３を採用している。
これに対して第２実施形態では、ポンプ５１において、流体抵抗要素としてデフューザ５１３を採用している。流体抵抗要素としてデフューザ５１３を用いた点以外のポンプ５１の構成、および、プロジェクタ１の構成については、前記第１実施形態と同様のものである。
【００４７】
デフューザ５１３は、図４に示すように、移動部材４１２の開口部４１２１に形成された拡大管である。より具体的に、デフューザ５１３は、図４に示すように、一方の端部側（図４中、右側）の管径が小さく、他方の端部側（図４中、左側）に向うにしたがって次第に管径が大きくなる形状を有している。
このようなデフューザ５１３を採用することで、冷却液体がデフューザ５１３を介して図４中、左から右方向（逆方向）に移動する際には、デフューザ５１３の出口部分において、冷却液体の流路が急拡大されて渦が発生する。このため、冷却液体がデフューザ５１３を介して逆方向に移動する際には、流路抵抗が大きくなる。
【００４８】
一方、冷却液体がデフューザ５１３を介して図４中、右から左方向（順方向）に移動する際には、デフューザ５１３内における流路が緩やかに拡大する。このため、冷却液体がデフューザ５１３を介して順方向に移動する際には、流路抵抗が小さい。
したがって、ポンプ５１の駆動により、前記第１実施形態で説明したポンプ４１と同様に、冷却液体は順方向に流通することとなる。
なお、ポンプ５１の動作については、前記第１実施形態で説明したポンプ４１の動作と同様であるため、説明を省略する。
【００４９】
上述した第２実施形態においては、前記第１実施形態と略同様の効果の他、以下の効果がある。
前記第１実施形態で説明したように流体抵抗要素として、逆止弁４１３を用いた場合には、冷却液体の流通により変形量が大きいため耐久性を良好にすることが難しい。また、冷却液体内にゴミ等の異物が混入し、逆止弁４１３に異物が挟まれた場合には、逆止弁４１３の性能が低下してしまう虞がある。
本実施形態では、流体抵抗要素としてデフューザ５１３を採用しているので、耐久性を良好にし、ポンプ５１の長寿命化を図れる。また、冷却液体内にゴミ等の異物が混入している場合であっても、デフューザ５１３の性能が低下することがない。
【００５０】
[第３実施形態]
次に、本発明の第３実施形態を図面に基づいて説明する。
以下の説明では、前記第１実施形態と同様の構造および同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。
図５は、第３実施形態におけるポンプ６１の構造を模式的に示す図である。
本実施形態は、図５に示すように、前記第１実施形態に対して、ポンプ６１の構造が異なるのみである。ポンプ６１以外の冷却システム４の構成、およびプロジェクタ１の構成は、前記第１実施形態と同様のものである。
【００５１】
ポンプ６１は、図５に示すように、ベローズ６１１と、移動部材６１２と、流体抵抗要素としての逆止弁６１３と、駆動装置６１４とを備える。
ベローズ６１１は、図５に示すように、伸縮自在に構成され、互いに同一形状を有する第１ベローズ６１１１、第２ベローズ６１１２、および第３ベローズ６１１３の３つで構成される。
各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３は、前記第１実施形態で説明した各ベローズ４１１１，４１１２と同様に、金属等の熱伝導性を有する部材から構成され、図５に示すように、伸縮方向（図５中、左右方向）に沿う中心軸に対して回転対称形状を有する。また、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３は、図５に示すように、内部に冷却液体を流通可能とし、移動部材６１２を介して互いに連接される。さらに、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３は、図５に示すように、移動部材６１２を介して内部が連通された状態となり、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３間を冷却液体が流通可能に構成されている。さらにまた、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３のうち連接方向の端部側に配設される第１ベローズ６１１１および第３ベローズ６１１３は、図５に示すように、移動部材６１２を介して互いに連接される端部と逆の各端部側が流体流通部材４４に接続するとともに、プロジェクタ内部に固定される。そして、プロジェクタ内部に各ベローズ６１１１，６１１３が固定された状態では、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸が、ポンプ６１の自重が掛かる鉛直方向に直交する水平方向に略平行な状態となる。
【００５２】
図６は、移動部材６１２および駆動装置６１４の概略構成を示す分解斜視図である。
移動部材６１２は、図５または図６に示すように、第１移動部材としてのヨーク支持アーム６１２１と、第２移動部材としてのリング支持アーム６１２２の２つの移動部材で構成される。
ヨーク支持アーム６１２１は、図５に示すように、第１ベローズ６１１１および第２ベローズ６１１２を接続するとともに、図５中、左右に移動可能に構成され移動することで各ベローズ６１１１，６１１２を伸縮させる部材である。このヨーク支持アーム６１２１は、図５または図６に示すように、接続部６１２１Ａと、４つのアーム部６１２１Ｂとで構成される。
【００５３】
接続部６１２１Ａは、図５または図６に示すように、略中央部分に開口部６１２１Ａ１を有し、開口部６１２１Ａ１周縁部分にて各ベローズ６１１１，６１１２（図５）を接続する部分である。そして、各ベローズ６１１１，６１１２間を流通する冷却液体は、開口部６１２１Ａ１を介して流通する。
４つのアーム部６１２１Ｂは、図５または図６に示すように、接続部６１２１Ａの外周部分から、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して略直交する平面に沿いかつ、互いに直交する方向に延出する。そして、４つのアーム部６１２１Ｂは、延出方向先端部分にて駆動装置６１４の後述する固定子を支持する。
以上の構成により、ヨーク支持アーム６１２１は、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３に対して９０°の回転対称形状を有している。
【００５４】
リング支持アーム６１２２は、図５に示すように、第２ベローズ６１１２および第３ベローズ６１１３を接続するとともに、図５中、左右に移動可能に構成され移動することで各ベローズ６１１２，６１１３を伸縮させる部材である。このリング支持アーム６１２２は、図５または図６に示すように、接続部６１２２Ａと、４つのアーム部６１２２Ｂとで構成される。
【００５５】
接続部６１２２Ａは、図５または図６に示すように、略中央部分に開口部６１２２Ａ１を有し、開口部６１２２Ａ１周縁部分にて各ベローズ６１１２，６１１３（図５）を接続する部分である。そして、各ベローズ６１１２，６１１３間を流通する冷却液体は、開口部６１２２Ａ１を介して流通する。
４つのアーム部６１２２Ｂは、図５または図６に示すように、接続部６１２２Ａの外周部分から、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して略直交する平面に沿いかつ、互いに直交する方向に延出するとともに、該延出方向先端部分が略９０°屈曲して前記中心軸に沿ってヨーク支持アーム６１２１側に向けて延出する。そして、４つのアーム部６１２２Ｂは、延出方向先端部分にて駆動装置６１４の後述する可動子を支持する。
以上の構成により、リング支持アーム６１２２は、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３に対して９０°の回転対称形状を有している。
【００５６】
逆止弁６１３は、前記第１実施形態で説明した逆止弁４１３と同様のものであり、ヨーク支持アーム６１２１の開口部６１２１Ａ１における図５中、左側に設けられる第１逆止弁６１３１と、リング支持アーム６１２２の開口部６１２２Ａ１における図５中、左側に設けられる第２逆止弁６１３２とで構成される。
【００５７】
駆動装置６１４は、電磁アクチュエータで構成され、図５または図６に示すように、ヨーク支持アーム６１２１に取り付けられる固定子６１４１と、リング支持アーム６１２２に取り付けられる可動子としての磁性体リング６１４２とを備え、前記制御装置による制御の下、固定子６１４１および磁性体リング６１４２を相対的に移動させ、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２を相対的に移動させるものである。
磁性体リング６１４２は、図５または図６に示すように、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する磁性材料で構成され、リング支持アーム６１２２の４つのアーム部６１２２Ｂの先端部分に固着されている。
【００５８】
固定子６１４１は、図５に示すように、コイル６１４３とヨーク６１４４とを備え、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して回転対象となる全体略リング形状を有し、ヨーク支持アーム６１２１の４つのアーム部６１２１Ｂの先端部分に固着されている。そして、固定子６１４１が４つのアーム部６１２１Ｂの先端部分に固着された状態では、図５または図６に示すように、固定子６１４１および磁性体リング６１４２が各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸の方向に所定の間隔を空けて対向した状態となる。
【００５９】
コイル６１４３は、図５に示すように、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する。そして、コイル６１４３は、リング形状の周方向に巻回されたものであり、前記制御装置と電気的に接続され、電流が通流される。
ヨーク６１４４は、図５または図６に示すように、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する磁性材料で構成され、コイル６１４３からの磁界の磁路を形成するものである。このヨーク６１４４は、図５または図６に示すように、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の中心軸に略直交する平面に沿って延出する基部６１４４Ａと、基部６１４４Ａの延出方向両端部から前記中心軸に沿って突出する一対の突出部６１４４Ｂとで構成され、断面略コ字形状を有する。
そして、ヨーク６１４４は、断面略コ字形状内側（一対の突出部６１４４Ｂ間）にコイル６１４３が配設され、コ字状先端部分が磁性体リング６１４２に対向するように、ヨーク支持アーム６１２１の４つのアーム部６１２１Ｂの先端部分に固定される。
【００６０】
以上説明したポンプ６１において、第２ベローズ６１１２の各端部側にそれぞれ取り付けられる各部材の総重量は、同一に設定されている。より具体的に、ヨーク支持アーム６１２１、第１逆止弁６１３１、および固定子６１４１の総重量と、リング支持アーム６１２２、第２逆止弁６１３２、および磁性体リング６１４２の総重量とは、同一に設定されている。
【００６１】
次に、上述したポンプ６１の動作を説明する。
図７は、ポンプ６１の動作を説明するための図である。具体的に、図７（Ａ）〜図７（Ｄ）は、ポンプ６１の動作状態を時系列的に示した図である。また、図７（Ａ）および図７（Ｃ）は、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３が伸縮していない安定状態を示している。図７（Ｂ）および図７（Ｄ）は、移動部材６１２が移動終端位置まで移動した状態を示している。
例えば、図７（Ａ）に示す状態において、前記制御装置がコイル６１４３に通電すると、コイル６１４３を囲むヨーク６１４４にてコイル６１４３からの磁界の磁路が形成される。そして、固定子６１４１および磁性体リング６１４２は、図７（Ｂ）に示すように、ヨーク６１４４の各突出部６１４４Ｂ間の磁路を閉路するように、互いに近接する方向に移動する。すなわち、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２は、図７（Ｂ）に示すように、固定子６１４１および磁性体リング６１４２とともに、互いに近接する方向に移動する。この状態では、ベローズ６１１１，６１１３が安定状態から伸長し、ベローズ６１１２が安定状態から収縮した状態である。
【００６２】
また、図７（Ｂ）に示す状態において、前記制御装置がコイル６１４３への通電状態を停止すると、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３の弾性力（ベローズ６１１１，６１１２の伸長した状態から安定状態に戻ろうとする力、およびベローズ６１１２の収縮した状態から安定状態に戻ろうとする力）により、図７（Ｃ）に示すように、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２が互いに離間する方向に移動し、最終的に、図７（Ｄ）に示す状態まで移動する。
【００６３】
以上のように、前記制御装置は、コイル６１４３への通電状態および非通電状態を切り替えることで、図７（Ａ）〜図７（Ｄ）の状態を繰り返し実施させ、固定子６１４１および磁性体リング６１４２の近接隔離する振動、すなわち、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２の近接隔離する振動を実施させる。
【００６４】
第１逆止弁６１３１は、前記第１実施形態で説明した逆止弁４１３と同様のもので構成しているため、開口部６１２１Ａ１を介して図７中、右から左方向（順方向）に流れる冷却液体の流速よりもヨーク支持アーム６１２１の図７中、右から左方向への移動速度が大きい場合に開口部６１２１Ａ１を閉塞し、逆に小さい場合に開放するように構成されている。同様に、第２逆止弁６１３２は、開口部６１２２Ａ１を介して図７中、右から左方向（順方向）に流れる冷却液体の流速よりもリング支持アーム６１２２の図７中、右から左方向への移動速度が大きい場合に開口部６１２２Ａ１を閉塞し、逆に小さい場合に開放するように構成されている。
【００６５】
ところで、冷却液体の慣性力は、ベローズ６１１１，６１１２，６１１３に接続されている流体流通部材４４の長さが長く、口径が小さく、剛性が高い方が大きくなる。冷却液体の慣性力が大きい場合は、冷却液体の速度が変化しにくくなるため、冷却液体の駆動を止めても冷却液体は流れ続けようとする。そのために各逆止弁６１３１，６１３２が開放した状態が長く続く。一方、冷却液体の慣性力が小さい場合には、ベローズ６１１１，６１１２，６１１３による冷却液体の駆動が停止すると直ちに冷却液体の流れが停止して各逆止弁６１３１，６１３２は閉塞する。
以下では、冷却液体の慣性力が小さい場合について説明する。
冷却液体の慣性力が小さい場合には、中心に位置する第２ベローズ６１１２の容積変化で冷却液体および各逆止弁６１３１，６１３２の動作が決定される。
すなわち、図７（Ｄ）から図７（Ｂ）にかけては、第２ベローズ６１１２の容積が縮小しているので、第１逆止弁６１３１が開放し、第２逆止弁６１３２が閉塞し、第２ベローズ６１１２から順方向に冷却液体が送出される。また、図７（Ｂ）から図７（Ｄ）にかけては、第２ベローズ６１１２の容積が拡大しているので、第１逆止弁６１３１が閉塞し、第２逆止弁６１３２が開放し、第２ベローズ６１１２へ順方向に冷却液体が吸入される。
本実施形態では、このように脈動的に冷却液体が送出され、前記第１実施形態と同様に、順方向に複数の流体流通部材４４を介してポンプ６１〜受熱部材４２〜リザーバタンク４３の流路を流通する。
【００６６】
上述した第３実施形態においては、前記第１実施形態と略同様の効果の他、以下の効果がある。
ヨーク支持アーム６１２１、第１逆止弁６１３１、および固定子６１４１の総重量と、リング支持アーム６１２２、第２逆止弁６１３２、および磁性体リング６１４２の総重量とが同一に設定されている。このことにより、各ベローズ６１１１，６１１２，６１１３が伸縮する際の、ヨーク支持アーム６１２１、第１逆止弁６１３１、および固定子６１４１の移動量と、リング支持アーム６１２２、第２逆止弁６１３２、および磁性体リング６１４２の移動量とを等しくすることができる。このため、ポンプ６１の動作時において、重心位置の移動がなくなり、ポンプ６１の振動を低減できる。したがって、プロジェクタ１の静粛性を確保できるとともに、プロジェクタ１の機能を良好に維持できる。例えば、スクリーン上の投影画像がポンプ６１の振動に伴って振動することがなく、観賞者に投影画像を良好に観賞させることができる。
【００６７】
また、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２は、４つのアーム部６１２１Ｂ，６１２２Ｂを含んで構成されているので、ヨーク支持アーム６１２１およびリング支持アーム６１２２で囲まれる第２ベローズ６１１２にも、前記第１実施形態と同様に、冷却ファン４５からの冷却空気を各アーム部６１２１Ｂ，６１２２Ｂ間の空隙を介して送風することができ、各ＬＥＤモジュール３１Ｒ，３１Ｇ，３１Ｂを効果的に冷却できる。
【００６８】
[第４実施形態]
次に、本発明の第４実施形態を図面に基づいて説明する。
以下の説明では、前記第１実施形態と同様の構造および同一部材には同一符号を付して、その詳細な説明は省略または簡略化する。
図８は、第４実施形態におけるポンプ７１の構造を模式的に示す図である。
本実施形態は、図８に示すように、前記第１実施形態に対して、ポンプ７１の構造が異なるのみである。ポンプ７１以外の冷却システム４の構成、およびプロジェクタ１の構成は、前記第１実施形態と同様のものである。
【００６９】
ポンプ７１は、図８に示すように、ベローズ７１１と、流体抵抗要素としての逆止弁７１３と、駆動装置７１４と、固定部材７１５とを備える。
ベローズ７１１は、図８に示すように、伸縮自在に構成され、互いに同一形状を有する第１ベローズ７１１１および第２ベローズ７１１２の２つで構成される。
各ベローズ７１１１，７１１２は、前記第１実施形態で説明した各ベローズ４１１１，４１１２と同様に、金属等の熱伝導性を有する部材から構成され、図８に示すように、伸縮方向（図８中、上下方向）に沿う中心軸に対して回転対称形状を有する。また、各ベローズ７１１１，７１１２は、図８に示すように、内部に冷却液体を流通可能とし、駆動装置７１４の後述する可動子を介して互いに連接される。さらに、各ベローズ７１１１，７１１２は、図８に示すように、前記可動子を介して内部が連通された状態となり、各ベローズ７１１１，７１１２間を冷却液体が流通可能に構成されている。さらにまた、各ベローズ７１１１，７１１２は、図８に示すように、前記可動子を介して互いに連接される端部と逆の各端部側が固定部材７１５に固定されている。
【００７０】
固定部材７１５は、図８に示すように、各部材７１１〜７１４を支持するとともに、プロジェクタ１の内部に固定する部材であり、第１固定部材７１５１および第２固定部材７１５２の２つで構成される。
第１固定部材７１５１は、各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸に対して回転対称となる略円板形状を有し、第１ベローズ７１１１における前記可動子と接続する端部と逆の端部側を支持固定する部材である。
この第１固定部材７１５１において、略中央部分には、図８に示すように、第１ベローズ７１１１内部に冷却液体を流入させるための液体流入部７１５１Ａが形成されている。液体流入部７１５１Ａは、図８に示すように、管状部材で構成され、一方の端部が第１ベローズ７１１１から離間する方向に突出するとともに、他方の端部が第１ベローズ７１１１における前記可動子と接続する端部近傍まで突出するように形成されている。そして、液体流入部７１５１Ａの一方の端部には、流体流通部材４４が接続される。
また、第１固定部材７１５１には、図８に示すように、冷却液体を補充するための補充用孔７１５１Ｂおよび補充用孔７１５１Ｂに着脱自在に構成される蓋部材７１５１Ｃが設けられている。
【００７１】
第２固定部材７１５２は、第１固定部材７１５２と同様の略円板形状を有し、第２ベローズ７１１２における前記可動子と接続する端部と逆の端部側を支持固定するとともに、駆動装置７１４の後述する固定子を支持固定する部材である。
この第２固定部材７１５２において、略中央部分には、図８に示すように、前記固定子を支持固定するための固定用孔７１５２Ａが形成されている。
また、第２固定部材７１５２には、図８に示すように、第２ベローズ７１１２内部の冷却液体を外部に流出させるための液体流出部７１５２Ｂが形成されている液体流出部７１５２Ｂは、図８に示すように、管状部材で構成され、一方の端部が第２固定部材７１５２における第２ベローズ７１１２側の端面と略面一となるように第２固定部材７１５２に取り付けられ、他方の端部が第２固定部材７１５２から離間する方向に突出するように形成されている。そして、液体流出部７１５２Ｂの他方の端部には、流体流通部材４４が接続される。
以上の構成により、前記第１実施形態と同様に、複数の流体流通部材４４を介してポンプ７１〜受熱部材４２〜リザーバタンク４３の流路を冷却液体が循環する。
そして、上述した固定部材７１５により、ポンプ７１は、各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸が、ポンプ７１の自重が掛かる鉛直方向に略平行な状態でプロジェクタ１内部に固定される。
【００７２】
駆動装置７１４は、電磁アクチュエータで構成され、図８に示すように、第２固定部材７１５２に取り付けられる固定子７１４１と、各ベローズ７１１１，７１１２を互いに連接する可動子７１４２とを備え、前記制御装置による制御の下、固定子７１４１に対して可動子７１４２を移動させるものである。
可動子７１４２は、磁性材料で構成され、各固定部材７１５１，７１５２と同様の略円板形状を有する。そして、可動子７１４２は、固定子７１４１に対して図８中、上下に移動可能に構成され移動することで各ベローズ７１１１，７１１２を伸縮移動させる。すなわち、可動子７１４２は、本発明に係る可動子および移動部材の双方の機能を兼ねる。
この可動子７１４２において、略中央部分には、図８に示すように、開口部７１４２Ａが形成されている。そして、各ベローズ７１１１，７１１２間を流通する冷却液体は、開口部７１４２Ａを介して流通する。
逆止弁７１３は、前記第１実施形態で説明した逆止弁４１３と同様のものであり、可動子７１４２の開口部７１４２Ａにおける図８中、下側に設けられる。
【００７３】
固定子７１４１は、図８に示すように、コイル７１４３とヨーク７１４４とを備え、各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸に対して回転対称となる全体略円柱形状を有する。
コイル７１４３は、図８に示すように、各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸に対して回転対称となるリング形状を有する。そして、コイル７１４３は、リング形状の周方向に巻回されたものであり、前記制御装置と電気的に接続され、電流が通流される。
【００７４】
ヨーク７１４４は、図８に示すように、各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸に対して回転対称となる略円柱形状を有する磁性材料で構成され、コイル７１４３からの磁界の磁路を形成するものである。
このヨーク７１４４において、一方の端面側には、図８に示すように、該ヨーク７１４４の内側に窪み平面視円形枠状の溝部７１４４Ａが形成されている。そして、ヨーク７１４４は、図８に示すように、断面略Ｅ字形状を有する。
そして、ヨーク７１４４は、溝部７１４４Ａにコイル７１４３が配設され、一方の端面側が第２ベローズ７１１２内部に位置し円柱軸が各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸に一致するように、第２固定部材７１５２の固定用孔７１５２Ａに固定される。このように固定子７１４１が固定用孔７１５２Ａに固定された状態では、図８に示すように、固定子７１４１および可動子７１４２が各ベローズ７１１１，７１１２の中心軸の方向に所定の間隔を空けて対向した状態となる。
なお、具体的な図示は省略するが、溝部７１４４Ａには、冷却液体とコイル７１４３とが接触しないように、蓋部材等が設けられている。
【００７５】
次に、上述したポンプ７１の動作を説明する。
図９は、ポンプ７１の動作を説明するための図である。具体的に、図９（Ａ）〜図９（Ｄ）は、ポンプ７１の動作状態を時系列的に示した図である。また、図９（Ａ）および図９（Ｃ）は、各ベローズ７１１１，７１１２が伸縮していない安定状態を示している。図９（Ｂ）および図９（Ｄ）は、可動子７１４２が移動終端位置まで移動した状態を示している。
例えば、図９（Ａ）に示す状態において、前記制御装置がコイル７１４３に通電すると、コイル７１４３を囲むヨーク７１４４にてコイル７１４３からの磁界の磁路が形成される。そして、可動子７１４２は、図９（Ｂ）に示すように、ヨーク７１４４の断面略Ｅ字状の各先端部分間の磁路を閉路するように、固定子７１４１に対して近接する方向に移動する。この状態では、第１ベローズ７１１１が安定状態から伸長し、第２ベローズ７１１２が安定状態から収縮した状態である。
【００７６】
また、図９（Ｂ）に示す状態において、前記制御装置がコイル７１４３への通電状態を停止すると、各ベローズ７１１１，７１１２の弾性力（第１ベローズ７１１１の伸長した状態から安定状態に戻ろうとする力、および第２ベローズ７１１２の収縮した状態から安定状態に戻ろうとする力）により、図９（Ｃ）に示すように、可動子７１４２は、固定子７１４１に対して離間する方向に移動し、最終的に、図９（Ｄ）に示す状態まで移動する。
【００７７】
以上のように、前記制御装置は、コイル７１４３への通電状態および非通電状態を切り替えることで、図９（Ａ）〜図９（Ｄ）の状態を繰り返し実施させ、固定子７１４１に対して可動子７１４２を近接隔離する振動を実施させる。
【００７８】
逆止弁７１３は、前記第１実施形態で説明した逆止弁７１３と同様のもので構成しているため、開口部７１４２Ａを介して図９中、上から下方向（順方向）に流れる冷却液体の流速よりも可動子７１４２の図９中、上から下方向への移動速度が大きい場合に開口部７１４２Ａを閉塞し、逆に小さい場合に開放するように構成されている。そして、本実施形態では、逆止弁７１３は、図９（Ａ）に示す状態の前後、すなわち、可動子７１４２の移動状態において、図９中、下方向への移動速度が一番大きくなる状態の前後にて閉塞するように設定されている。また、逆止弁７１３は、可動子７１４２が図９（Ａ）に示す状態の前後以外の状態（例えば、図９（Ｂ）、（Ｃ）、（Ｄ）等の状態）において、開放するように設定されている。
【００７９】
このように設定することで、図９（Ａ）に示す状態の前後のみで逆止弁７１３が閉塞した状態となり、固定子７１４１に対する可動子７１４２の移動に伴う第２ベローズ７１１２の収縮により第２ベローズ７１１２内部の冷却液体が順方向へと駆動される。また、図９（Ａ）に示す状態の前後、以外の状態では逆止弁７１３が開放した状態となり、図９（Ａ）に示す状態の前後の状態における冷却液体の順方向への移動が維持され、開口部７１４２Ａを介して冷却液体が順方向に移動する。
すなわち、冷却液体は、図９（Ａ）に示す状態の前後における駆動により、前記第１実施形態と同様に、順方向に複数の流体流通部材４４を介してポンプ７１〜受熱部材４２〜リザーバタンク４３の流路を慣性力により流通し続ける。そして、前記流路の抵抗により少しずつ冷却液体の流速が低下してくるが、この低下分を、図９（Ａ）に示す状態の前後における冷却液体の駆動で補うように構成されている。
【００８０】
上述した第４実施形態においては、前記第１実施形態と略同様の効果の他、以下の効果がある。
駆動装置７１４が各ベローズ７１１１，７１１２内部に配設されているので、前記第１実施形態のポンプ４１の構成と比較して、より小型化したポンプ７１を構成できる。すなわち、冷却システム４およびプロジェクタ１をより小型化できる。
また、例えば、ベローズ７１１１，７１１２を比較的大きく形成し、第１固定部材７１５１、第１ベローズ７１１１、第２ベローズ７１１２、および第２固定部材７１５２にて囲まれる空間を比較的大きく形成すれば、該空間に冷却液体を一時的に蓄積することが可能となる。また、第１固定部材７１５１には、補充用孔７１５１Ｂおよび蓋部材７１５１Ｃが設けられ、前記空間に冷却液体を補充可能に構成されている。すなわち、上述したように形成すれば、ポンプ７１をリザーバタンク４３としての機能も持たせることができ、リザーバタンク４３を省略することができる。このため、冷却システム４のより小型化および軽量化を図れ、ひいては、プロジェクタ１のより小型化および軽量化を図れる。
ここで、上述したように形成した場合であっても、前記第１実施形態の構成と異なり、駆動装置７１４が各ベローズ７１１１，７１１２内部に配設されているので、駆動装置７１４を大型化することがなく、ポンプ７１自体の小型化を阻害しない。
【００８１】
以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設計の変更が可能である。
前記各実施形態において、駆動装置４１４，６１４，７１４としては、固定子４１４１，６１４１，７１４１および可動子４１４２，６１４２，７１４２を互いに非接触の状態で相対的に移動させる構成であれば、いずれの構成でもよい。
例えば、前記各実施形態では、駆動装置４１４，６１４，７１４を電磁アクチュエータで構成していたが、これに限らず、その他の駆動方式（静電等）のアクチュエータを採用しても構わない。静電アクチュエータを採用する場合には、固定子および可動子にそれぞれ電極を形成し、制御装置から各電極に所定の電圧を印加することで、静電力により、固定子および可動子を非接触の状態で相対的に移動させる。
【００８２】
また、例えば、前記各実施形態において、固定子４１４１，６１４１，７１４１と可動子４１４２，６１４２，７１４２とを前記各実施形態で説明した各配設位置と逆の各配設位置に配設した構成を採用してもよい。
さらに、前記各実施形態では、電磁アクチュエータである駆動装置４１４，６１４，７１４の構成として、コイル４１４３，６１４３，７１４３、ヨーク４１４４，６１４４，７１４４、および磁性材料で構成された磁性体リング４１４２，６１４２、可動子７１４２を採用したが、電磁力により固定子および可動子を相対的に移動可能とする構成であれば、例えば、コイルおよび永久磁石のみで構成した電磁アクチュエータ等を採用しても構わない。
【００８３】
前記第１実施形態、前記第２実施形態、および前記第３実施形態では、移動部材４１２，６１２と可動子４１４２，６１４２とが別々の部材で構成されていたが、これに限らず、前記第４実施形態と同様に移動部材と可動子とを同一の部材で一体的に構成してもよい。
【００８４】
前記第４実施形態において、ポンプ７１と略同様の構成を有する以下のポンプ８１を採用しても構わない。
図１０は、第４実施形態の変形例を示す図である。
ポンプ８１は、図１０に示すように、前記第４実施形態で説明したポンプ７１に対して、固定子７１４１の配設位置、第２固定部材７１５２の形状、および逆止弁７１３の配設位置が異なるのみである。その他の構成は、ポンプ７１の構成と同様である。
具体的に、固定子７１４１は、図１０に示すように、第１固定部材７１５１に設けられている。また、固定子７１４１の略中央部分を貫通するように液体流入部７１５１Ａが配設されている。
【００８５】
第２固定部材７１５２には、図１０に示すように、略中央部分に第２ベローズ７１１２内部側に窪む略円筒状の凹部７１５２Ｃが形成されている。
逆止弁７１３は、図１０に示すように、可動子７１４２の開口部７１４２Ａにおける図１０中、上側に設けられる。
なお、ポンプ８１の動作は、ポンプ７１の動作と同様である。そして、ポンプ８１の動作により、冷却液体は、図１０中、下方側から上方側へと流通する。
以上のようなポンプ８１によれば、凹部７１５２Ｃ内部に他の発熱体、例えば、ポンプ８１を駆動するための制御装置（回路素子）等を配設すれば、該発熱体を冷却することも可能となる。また、凹部７１５２Ｃ内部に、固定子７１４１と同様の固定子を配設すれば、固定子７１４１による可動子７１４２の上方側への引っ張り力の他、凹部７１５２Ｃ内部に配設した固定子により可動子７１４２の下方側への引っ張り力も加えることができ、可動子７１４２の移動量を大きくできポンプ８１にて圧送される冷却液体の流量を増加させることができる。
【００８６】
前記第４実施形態および図１０に示す変形例において、液体流入部７１５１Ａおよび液体流出部７１５２Ｂの配設位置は、前記第４実施形態および図１０に示す配設位置に限らず、その他の配設位置に配設しても構わない。例えば、液体流入部７１５１Ａおよび液体流出部７１５２Ｂを冷却液体の流通方向に平面的に干渉する位置に配設すれば、ポンプ７１，８１内部での冷却液体の流路抵抗を抑制でき、冷却液体を慣性力で流通させることができる。
また、前記第４実施形態において、第２固定部材７１５２およびヨーク７１４４を同一材料で一体的に形成しても構わない。図１０に示す変形例でも同様に、第１固定部材７１５１およびヨーク７１４４を同一材料で一体的に形成しても構わない。
【００８７】
前記各実施形態および図１０に示す変形例では、ポンプ４１，５１，６１，７１，８１が冷却液体を圧送して循環させる冷却システム４に搭載された構成を説明したが、これに限らず、その他の流体を圧送するポンプとして用いても構わない。
前記第２実施形態では、デフューザ５１３を第１実施形態に採用した構成を説明したが、前記第３実施形態、前記第４実施形態、および図１０に示す変形例に採用しても構わない。
【００８８】
前記各実施形態において、冷却ファン４５を省略した構成を採用してもよい。すなわち、各ベローズ４１１，６１１，７１１の熱を自然冷却により放熱する構成としても構わない。この場合には、各ベローズ４１１，６１１，７１１をプロジェクタ１内部における通風状態の良いところに設置することが好ましい。
【００８９】
前記各実施形態では、透過型の液晶パネル（液晶ライトバルブ３２）を採用していたが、これに限らず、反射型の液晶パネルを採用してもよく、あるいは、ディジタル・マイクロミラー・デバイス（テキサス・インスツルメント社の商標）を採用してもよい。
前記各実施形態では、液晶ライトバルブ３２を３枚設けた構成としていたが、これに限らず、１枚のみの液晶ライトバルブ３２を設ける構成、２枚の液晶ライトバルブ３２を設ける構成、４枚以上の液晶ライトバルブ３２を設ける構成としてもよい。
前記各実施形態では、スクリーンを観察する方向から投射を行うフロントタイプのプロジェクタの例のみを挙げたが、本発明は、スクリーンを観察する方向とは反対側から投射を行うリアタイプのプロジェクタにも適用可能である。
前記各実施形態では、本発明に係る電子機器としてプロジェクタを採用したが、これに限らず、その他の電子機器、例えばＣＰＵ(Central Processing Unit)等を備えたパーソナルコンピュータに本発明に係るポンプおよび冷却システムを採用してもよい。
【００９０】
本発明を実施するための最良の構成などは、以上の記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
したがって、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
【産業上の利用可能性】
【００９１】
本発明のポンプは、小型化および軽量化を図れるため、冷却液体を循環させ該冷却液体により発熱体を冷却する冷却システムに用いられるポンプとして利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００９２】
【図１】第１実施形態における電子機器としてのプロジェクタの概略構成を模式的に示す図。
【図２】前記実施形態における駆動装置の概略構成を示す分解斜視図。
【図３】前記実施形態におけるポンプの動作を説明するための図。
【図４】第２実施形態におけるポンプの構造を模式的に示す図。
【図５】第３実施形態におけるポンプの構造を模式的に示す図。
【図６】前記実施形態における移動部材および駆動装置の概略構成を示す分解斜視図。
【図７】前記実施形態におけるポンプの動作を説明するための図。
【図８】第４実施形態におけるポンプの構造を模式的に示す図。
【図９】前記実施形態におけるポンプの動作を説明するための図。
【図１０】前記第４実施形態の変形例を示す図。
【符号の説明】
【００９３】
１・・・プロジェクタ（電子機器）、４・・・冷却システム、４１，５１，６１，７１，８１・・・ポンプ、４２・・・受熱部材（接続部材）、４４・・・流体流通部材、４５・・・冷却ファン、４１１，６１１，７１１，４１１１，４１１２，６１１１，６１１２，６１１３，７１１１，７１１２・・・ベローズ、４１２，６１２・・・移動部材、４１２１，６１２１Ａ１，６１２２Ａ１，７１４２Ａ・・・開口部、４１３，６１３，７１３・・・逆止弁（流体抵抗要素）、４１４，６１４，７１４・・・駆動装置、５１３・・・デフューザ（流体抵抗要素）、４１４１，６１４１，７１４１・・・固定子、４１４２，６１４２・・・磁性体リング、４１４３，６１４３，７１４３・・・コイル、６１２１・・・ヨーク支持アーム（第１移動部材）、６１２２・・・リング支持アーム（第２移動部材）、７１４２・・・可動子（移動部材）。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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