(57)【要約】【課題】従来の押力及び引力の双方を必要とするアクチュエータは、押引アクチュエータ長（アクチュエータの稼動方向の長さ）が長くなるという問題があった。【解決手段】固定架台及び前記固定架台に対峙する可動架台と、前記固定架台の中央に設けられた押出しアクチュエータと、前記固定架台の端部に取付けられた複数の固定側収納枠と、前記可動架台の端部に取付けられた複数の可動側収納枠と、前記複数の固定側収納枠と前記複数の可動側収納枠とにより囲まれた各内部空間に各々配置された複数の引込みアクチュエータとを備えて構成した。これにより、押力と引力とを有すると共に、アクチュエータの稼動方向の長さが短く、且つ、コンパクトで押引力が強く高性能の押引アクチュエータ装置を得ることができる。【選択図】図１
2007113687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
固定架台及び前記固定架台に対峙する可動架台と、
前記固定架台の中央に設けられた押出しアクチュエータと、
前記固定架台の端部に取付けられた複数の固定側収納枠と、
前記可動架台の端部に取付けられた複数の可動側収納枠と、
前記複数の固定側収納枠と前記複数の可動側収納枠とにより囲まれた各内部空間に各々配置された複数の引込みアクチュエータとを備えたことを特徴とする押引アクチュエータ装置。
【請求項２】
前記複数の引込みアクチュエータの引込みピストンの合計断面積を前記押出しアクチュエータの押出しシリンダの断面積と同じにしたことを特徴とする請求項１に記載の押引アクチュエータ装置。
【請求項３】
前記固定架台に前記可動側収納枠の頂部が進入する可動側収納枠進入穴が設けられ、前記可動架台に前記固定側収納枠の頂部が進入する固定側収納枠進入穴が設けられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の押引アクチュエータ装置。
【請求項４】
前記押出しアクチュエータの前記押出しシリンダは前記固定架台に一体的に形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の押引アクチュエータ装置。
【請求項５】
前記押出しアクチュエータの押出しピストンの頂部は前記可動架台の下面に固定されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の押引アクチュエータ装置。
【請求項６】
前記可動架台の上面は、球面片形状に形成されていることを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の押引アクチュエータ装置。
【請求項７】
構造物の床上に配置された防振床と、
前記構造物の床と前記防振床との間に配置された請求項１乃至６のいずれかに記載の押引アクチュエータ装置とを備えたことを特徴とする防振床装置。
【請求項８】
請求項１乃至６のいずれかに記載の押引アクチュエータ装置を制振対象物の下面、或いは側面に配置し、
前記押出しアクチュエータに作動流体を供給して対象物を押し、
前記複数の引込みアクチュエータに作動流体を供給して対象物を引くことにより制振対象物の揺れを抑制することを特徴とする制振方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、アクティブ無振動台、防振床、振動台、制振装置等に使用される押引アクチュエータ装置、及び押引アクチュエータ装置を採用した防振床装置及び制振方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、アクティブ無振動台、防振床、振動台等（以下、防振床と称する）に使用されるアクチュエータとしては、複動片ロッド型、複動両ロッド型、ジャッキ型のアクチュエータが採用されている。
複動片ロッド型のアクチュエータは、最も一般的であるが、押し引きにおいて推力及び作動油量に差があり、押力と引力とに差が生じるという問題がある。
また、複動両ロッド型のアクチュエータは、押引力に差はないものの、アクチュエータ長が長くなり、防振床の床下に配置した場合、無駄なスペースが生じるという問題がある。
また、ジャッキ型のアクチュエータでは、コンパクト且つ大きな推力を発生することができるものの、押力のみであり、引力を発生させることができず、押力及び引力の双方を必要とする防振床には採用できないという問題がある。
【０００３】
例えば、振動試験機に採用したものとしては、図８に図示のものが提案されている。
図８に図示のものは、固定外側フレーム１００と、該外側フレーム１００の内部で振動エネルギーを伝える剛性構造体の形態の振動テーブル１０２と、該外側フレーム１００によって支持され、該振動テーブル１０２の一方の側に連結された駆動予荷重ピストンと、該外側フレーム１００によって支持され、該駆動予荷重ピストンと反対側の側部で該振動テーブル１０２に連結された受動的予荷重ピストンと、該外側フレーム１００の外側にあり、高周波数の振動エネルギーを駆動ピストンにもたらし、その振動エネルギーを該振動テーブルに伝えるように、該駆動予荷重ピストンに連結された外力生成装置１０４とを含む振動試験機械を備えている。
なお、１０１は内部空所、１０３は外部コネクタである（例えば、特許文献１。）。
しかしながら、図８に図示のものは、駆動予荷重ピストン（アクチュエータ）と受動的予荷重ピストン（アクチュエータ）とが直列（同一直線上）に配置されており、押引アクチュエータ長（アクチュエータの稼動方向の長さ）が長くなるという問題がある。
【０００４】
【特許文献１】特表２００５−５２４０６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記問題点を解決するために提案されたものであって、押力と引力とを有すると共にアクチュエータの稼動方向の長さが短く、更には押力と引力とに差が生じることがない押引アクチュエータ装置、防振床装置及び制振方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は上記従来の課題を解決するためになされたもので、特許請求の範囲に記載された各発明は、押引アクチュエータ装置、防振床装置及び制振方法として、それぞれ以下に述べる各手段を採用したものである。
【０００７】
（１）第１の手段の押引アクチュエータ装置は、固定架台及び前記固定架台に対峙する可動架台と、前記固定架台の中央に設けられた押出しアクチュエータと、前記固定架台の端部に取付けられた複数の固定側収納枠と、前記可動架台の端部に取付けられた複数の可動側収納枠と、前記複数の固定側収納枠と前記複数の可動側収納枠とにより囲まれた各内部空間に各々配置された複数の引込みアクチュエータとを備えたことを特徴とする。
【０００８】
（２）第２の手段の押引アクチュエータ装置は、前記第１の手段において、前記複数の引込みアクチュエータの引込みピストンの合計断面積を前記押出しアクチュエータの押出しシリンダの断面積と同じにしたことを特徴とする。
【０００９】
（３）第３の手段の押引アクチュエータ装置は、前記第１又は２の手段において、前記固定架台に前記可動側収納枠の頂部が進入する可動側収納枠進入穴が設けられ、前記可動架台に前記固定側収納枠の頂部が進入する固定側収納枠進入穴が設けられていることを特徴とする。
【００１０】
（４）第４の手段の押引アクチュエータ装置は、前記第１乃至３のいずれかの手段において、前記押出しアクチュエータの前記押出しシリンダは前記固定架台に一体的に形成されていることを特徴とする。
【００１１】
（５）第５の手段の押引アクチュエータ装置は、前記第１乃至４のいずれかの手段において、前記押出しアクチュエータの押出しピストンの頂部は前記可動架台の下面に固定されていることを特徴とする。
【００１２】
（６）第６の手段の押引アクチュエータ装置は、前記第１乃至５のいずれかの手段において、前記可動架台の上面は、球面片形状に形成されていることを特徴とする。
【００１３】
（７）第７の手段の防振床装置は、構造物の床上に配置された防振床と、前記構造物の床と前記防振床との間に配置された前記第１乃至６のいずれかの手段の押引アクチュエータ装置とを備えたことを特徴とする。
【００１４】
（８）第８の手段の制振方法は、前記第１乃至６のいずれかの手段の押引アクチュエータ装置を制振対象物の下面、或いは側面に配置し、前記押出しアクチュエータに作動流体を供給して対象物を押し、前記複数の引込みアクチュエータに作動流体を供給して対象物を引くことにより制振対象物の揺れを抑制することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
特許請求の範囲に記載の各請求項に係る発明の押引アクチュエータ装置、防振床装置及び制振方法は、上記の各手段を採用しているので、以下の効果を奏する。
【００１６】
固定架台と可動架台との間に押出しアクチュエータと複数の引込みアクチュエータとを並列的に配置したので、押力と引力とを有すると共に、アクチュエータの稼動方向の長さが短く、且つ、コンパクトで押引力が強く高性能の押引アクチュエータ装置を得ることができる。
【００１７】
また、複数の引込みアクチュエータの引込みピストンの合計断面積を押出しアクチュエータの押出しピストンの断面積と同じにしたことにより、押引アクチュエータ装置を稼動するときの押出し時の作動流体流量と引込み時の作動流体流量とが同じになるので、押引アクチュエータ装置を制御する制御弁等を簡素にすることができる。
【００１８】
また、固定架台に可動側収納枠の頂部が進入する可動側収納枠進入穴が設けられ、可動架台に固定側収納枠の頂部が進入する固定側収納枠進入穴が設けられているので、押引アクチュエータ装置が最も縮んだときの押引アクチュエータ装置の高さを更に低くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、図１〜図７に基づいて、本発明の実施の形態に係るにつき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る押引アクチュエータ装置の側面図、図２は、同押引アクチュエータ装置の分解斜視図、図３は、同押引アクチュエータ装置の押出用アクチュエータの詳細断面図、図４は、同押引アクチュエータ装置の引込用アクチュエータの詳細断面図、図５は、同押引アクチュエータ装置を縮めた時の状態を示す側面図である。
図６は、同押引アクチュエータ装置を採用した防振床の平面図、図７は、図６における押引アクチュエータ装置を配置した部分の側断面図である。
【００２０】
先ず、図１〜図４に基づき、本発明の実施の形態に係る押引アクチュエータ装置につき説明する。
図１、図２に図示のように、押引アクチュエータ装置１は、固定（下部）架台２と、可動（上部）架台４と、固定架台２と可動架台４との間に配置された１個の押出しアクチュエータ２０及び２個の引込みアクチュエータ３０と、各引込みアクチュエータ３０を収納する固定側収納枠１０及び可動側収納枠１４により構成されている。
【００２１】
先ず、可動架台４につき詳細に説明する。
図１、図２に図示のように、平板状の可動架台４の中央には、後述する押出しピストン取付けねじ２６が挿入されるねじ穴６が穿設されている。
また、可動架台４の左右には、後述する引込みアクチュエータ３０を収納する固定側収納枠１０の頂部が自由に進入（出入り）する固定側収納枠進入穴５が穿設されている。
【００２２】
可動架台４の下方には、可動架台４と上下方向に対峙するように、可動架台４と同じ幅の凸状の固定架台２が配置されている。
この固定架台２の中央の突出した部分は、固定架台２と一体的に形成されており、押出しアクチュエータ２０の押出しシリンダ２１を兼ねている。
押出しシリンダ２１の外形の幅は固定架台２と同じ幅であり、また、押出しシリンダ２１の頂部は平坦になっている。
【００２３】
そして、押引アクチュエータ装置１が縮んだときに、押出しシリンダ２１の頂部が可動架台４の下面に当接して可動架台４を支持するようになっている。
更に、固定架台２の左右には、後述する引込みアクチュエータ３０を収納する固定側収納枠１０の頂部が自由に進入（出入り）する可動側収納枠進入穴３が穿設されている。
【００２４】
次に、図３に基づき押出しアクチュエータ２０の詳細な構成につき説明する。
上述のように、固定架台２の中央の突出した部分の中央には、押出しアクチュエータ２０の押出しシリンダ２１が形成されている。
そして、押出しシリンダ２１内には、押出しピストン２２が挿入されている。
この押出しシリンダ２１と押出しピストン２２との間には、作動油の流出を防止するＯリング２４、及び押出しピストン２２の前後左右の揺れを防止するウエアリング２５が配設されている。
【００２５】
また、押出しピストン２２の下面には、押出しピストン２２が引込まれたときに作動油が流入するスペースを確保するための突起が設けられている。
押出しシリンダ２１の側面には、上記のスペースに連通する押出しアクチュエータ給油穴２３（図１、図２も参照）が穿設されている。
更に、押出しピストン２２の上面中央には、押出しピストン取付けねじ２６（図１、図２も参照）が設けられている。
そして、この押出しピストン取付けねじ２６を、可動架台４のねじ穴６にねじ込むことにより、可動架台４を押出しピストン２２に固定するようになっている。
【００２６】
次に、図２、図４（図１も参照）に基づき引込みアクチュエータ３０及びその収納部材の詳細な構成につき説明する。
なお、図２において、右側に図示のものは後述する変形例であり、基本的には右側にも左側に図示のものと同じものが設けられている。
また、図４において、左半分は横方向垂直断面を示し、右半分は長手方向垂直断面を示している。
図２、図４、図１に図示のように、２個の引込みアクチュエータ３０は、各々固定架台２に固定された固定側収納枠１０と、可動架台４に固定され可動架台４と共に上下動する可動側収納枠１４（図２参照）とにより囲まれた内部空間に収納されている。
【００２７】
各固定側収納枠１０の固定側収納枠上蓋１３は、円盤形状をなしており、各固定側収納枠上蓋１３の下面左右側には、一対の１／４円筒形状の固定側収納枠側壁１２、１２が取付け、或いは一体的に形成されている。
この固定側収納枠側壁１２、１２の下端には、固定側収納枠上蓋１３及び固定側収納枠側壁１２、１２を固定架台２に図示略のねじ等により固定するために、１／４リング形状の固定側収納枠取付け台１１、１１が取付け、或いは一体的に形成されている。
このように、各固定側収納枠１０の縦断面形状は、下端に外側に延在する鍔（固定側収納枠取付け台１１、１１）を有する逆凹形状となっている。
【００２８】
また、固定側収納枠１０の頂部（固定側収納枠側壁１２、１２の上部及び固定側収納枠上蓋１３）の外形寸法は、上述のごとく、可動架台４の固定側収納枠進入穴５に自由に進入（出入り）可能な大きさとなっている。
更に、固定側収納枠側壁１２、１２の内側の寸法は、引込みアクチュエータ３０が自由に上下動可能な寸法となっている。
【００２９】
一方、各固定側収納枠１０と対峙する各可動側収納枠１４の可動側収納枠下蓋１７も、円盤形状をなしており、可動側収納枠下蓋１７の上面左右側にも、一対の１／４円筒形状の可動側収納枠側壁１６、１６が取付け、或いは一体的に形成されている。
この可動側収納枠側壁１６、１６の上端には、可動側収納枠下蓋１７及び可動側収納枠側壁１６、１６を可動架台４に図示略のねじ等により固定するために、１／４リング形状の可動側収納枠取付け台１５、１５が取付け、或いは一体的に形成されている。
このように、各可動側収納枠１４の縦断面形状は、上部端に外側に延在する鍔（可動側収納枠取付け台１５、１５）を有する凹形状となっている。
【００３０】
また、可動側収納枠１４の頂部（可動側収納枠側壁１６、１６の下部及び可動側収納枠下蓋１７）の外形寸法は、上述のごとく、固定架台２の可動側収納枠進入穴３に自由に進入（出入り）可能な大きさとなっている。
更に、可動側収納枠側壁１６、１６の内形寸法は、引込みアクチュエータ３０の引込みシリンダ３１が嵌め込み可能な寸法となっている。
【００３１】
各固定側収納枠１０の固定側収納枠側壁１２、１２と可動側収納枠１４の可動側収納枠側壁１６、１６とは、お互いにその間に移動自在に嵌め込まれるようになっており、収納枠側壁１２、１２と可動側収納枠側壁１６、１６とにより、分割された円筒が形成されている。
そして、縦断面形状が逆凹形状の各固定側収納枠１０及び縦断面形状が凹形状の各可動側収納枠１４により囲まれた空間には、各々引込みアクチュエータ３０が収納されている。
この各引込みアクチュエータ３０は、図４に図示のごとく、可動側収納枠側壁１６、１６及び可動側収納枠下蓋１７の内面に引込みシリンダ３１の側面及び下面が当接するように収納されている。
【００３２】
そして、引込みシリンダ３１内には、引込みピストン３２が挿入されている。
この引込みシリンダ３１と引込みピストン３２との間には、作動油の流出を防止するＯリング３４、及び引込みピストン３２の前後左右の揺れを防止するウエアリング３５が配設されている。
なお、２個の引込みピストン３２の合計断面積と、押出しピストン２２の断面積とを同じにし、２個の引込みアクチュエータ３０による押引力の合計が押出しアクチュエータ２０による押引力と等しくなるように設定されている。
【００３３】
また、引込みピストン３２の下面には、引込みピストン３２が引込まれたときに作動油が流入するスペースを確保するための突起が設けられている。
引込みシリンダ３１及び可動側収納枠側壁１６の側面には、上記のスペースに連通する引込みアクチュエータ給油穴３３（図１も参照）が穿設されている。
【００３４】
本発明の実施形態に係る押引アクチュエータ装置１は上述のごとく構成されており、最も縮んだ状態は、図５に図示のようになる。
即ち、押出しシリンダ２１の頂部は、可動架台４の下面に当接し、可動架台４に固定され可動架台４と共に上下動する可動側収納枠下蓋１７は、固定架台２の可動側収納枠進入穴３内に進入し、固定架台２に固定された固定側収納枠上蓋１３は、可動架台４の固定側収納枠進入穴５内に進入した状態となる。
【００３５】
このとき、例えば、荷重が１４０ｋｇ／ｃｍ２、稼動ストロークが３０ｍｍの押引アクチュエータ装置１の場合、高さｔ１を８０ｍｍ、稼動ストロークが１５ｍｍの場合、高さｔ１を６５ｍｍとすることができる。
なお、押引アクチュエータ装置１全体の押引力は、押出しピストン２２及び引込みピストン３２の断面積に応じて、任意に設定することができる。
【００３６】
次に、図６、図７に基づき、上述の押引アクチュエータ装置１を採用した防振床４０につき説明する。
図６、図７に図示のように、例えば、上部に電子顕微鏡等の精密計測機械が載置される防振床４０の４隅の下面には、各々押引アクチュエータ収納壁４１が取付けられ、この各押引アクチュエータ収納壁４１内に対応する構造物の床４２上には、各々押引アクチュエータ装置１が固定されている。
このような構成にすることにより、構造物の床４２が地震等により上下動しても、この上下動と反対の方向に４個の押引アクチュエータ装置１を操作することにより、防振床４０の上下動を最小限に抑えることが可能となる。
【００３７】
なお、各々押引アクチュエータ装置１を同期して同じように駆動する場合は、可動架台４の上面は平面でも構わない。
しかしながら、構造物の床４２が傾くような場合には、可動架台４の一辺に防振床４０の荷重が集中する。
そこで、図５に点線で図示のように、可動架台４の上面を球面片形状４ａにすることにより可動架台４の一辺に防振床４０の荷重が集中するのを防止することができる。
例えば、構造物の床４２の一辺の長さを２０００ｍｍ、可動架台４の長さを２００ｍｍ、構造物の床４２が上下動する時の振幅の差を２０ｍｍとした場合、球面片形状４ａの高さｔ２は約２ｍｍ程度とすれば良い。
【００３８】
本発明の実施形態に係る押引アクチュエータ装置、或いは、押引アクチュエータ装置を採用した防振床装置は、上述のごとく構成されており、次のように作用する。
なお、押出しアクチュエータ２０の押出しアクチュエータ給油穴２３、及び引込みアクチュエータ３０の引込みアクチュエータ給油穴３３は、図示略の配管、サーボ弁を介して高圧ポンプ等の高圧作動流体供給源、戻りタンク等に接続されている。
【００３９】
先ず、押引アクチュエータ装置１が設置された構造物の床４２等が振動しない通常の静止状態においては、押出しアクチュエータ２０の押出しピストン２２、及び引込みアクチュエータ３０の引込みピストン３２は半分延びた状態になり、押引アクチュエータ装置１は中立点に位置している。
或いは、停止状態においては、押出しアクチュエータ２０の押出しピストン２２は最も縮み、引込みアクチュエータ３０の引込みピストン３２は最も延びて、図５に図示のように押引アクチュエータ装置１を下死点に位置させ、構造物の床４２等の振動を検知した時点、或いは構造物の床４２上に載置された精密計測機械を使用する前に、速やかに押引アクチュエータ装置１を中立点に上昇させる。
【００４０】
そして、構造物の床４２の振動に応じて、図示略のサーボ弁を制御してこの振動を打消すように押引アクチュエータ装置１を上下動させる。
即ち、構造物の床４２が下降したときには、サーボ弁を制御して、下降した量に応じて、作動流体を押出しアクチュエータ給油穴２３から押出しシリンダ２１内に圧送して押出しピストン２２を伸ばすと共に、各引込みアクチュエータ給油穴３３から各引込みシリンダ３１内の作動流体を流出させて各引込みピストン３２を縮めることにより、押引アクチュエータ装置１を上昇させる。
【００４１】
一方、構造物の床４２が上昇したときには、サーボ弁を切り替えて、上昇した量に応じて、作動流体を各引込みアクチュエータ給油穴３３から各引込みシリンダ３１内に圧送して各引込みピストン３２を伸ばすと共に、押出しアクチュエータ給油穴２３から押出しシリンダ２１内の作動流体を流出させて押出しピストン２２を縮めることにより、押引アクチュエータ装置１を下降させる。
【００４２】
このとき、押出しアクチュエータ２０の伸長力は直接可動架台４に伝達され、各引込みピストン３２の伸長力は各々可動側収納枠１４を介して可動架台４に伝達される。
このようにして、構造物の床４２が振動（上下動）しても、その振動は押引アクチュエータ装置１により吸収されて、可動架台４、可動架台４上の防振床４０、或いは精密計測機械等をほぼ水平状態（無振動の状態）に保つことができる。
なお、押引アクチュエータ装置１を、防振床４０或いは精密計測機械等の前後左右にも設置しておけば、構造物の床４２の前後左右の振動も吸収することができる。
【００４３】
このように、本発明の実施形態に係る押引アクチュエータ装置１、押引アクチュエータ装置１を採用した防振床装置或いは、制振方法によれば、固定架台２と可動架台４との間に押出しアクチュエータを配置すると共に、押出しアクチュエータ２０の周囲に、固定側収納枠１０及び可動側収納枠１４を介して複数の引込みアクチュエータ３０を並列的に配置したので、押力と引力とを有すると共に、アクチュエータの稼動方向の長さが短く、且つ、コンパクトで押引力が強く高性能のアクティブ押引アクチュエータ装置１を得ることができる。
従って、従来設置が困難であったＯＡ機器用フロア並の床高さにて、アクティブな防振床の設置が可能となる。
【００４４】
また、複数の引込みアクチュエータ３０の引込みピストン３２の合計断面積を押出しアクチュエータ２０の押出しピストン２２の断面積と同じにしたことにより、押引アクチュエータ装置１を稼動するときの押出し時の作動流体流量と引込み時の作動流体流量とが同じになり、押引性能差が無くなるので、押引アクチュエータ装置１を制御するサーボ弁、流量制御装置等を簡素にすることができる。
【００４５】
また、固定架台２に可動側収納枠１４の頂部が進入する可動側収納枠進入穴３を設け、可動架台４に固定側収納枠１０の頂部が進入する固定側収納枠進入穴５を設けることにより、押引アクチュエータ装置１が最も縮んだときの押引アクチュエータ装置１の高さを更に低くすることができる。
【００４６】
また、防振床４０の下部に押引アクチュエータ装置１を複数個設置する場合、可動架台４の上面を球面片形状に形成することにより、構造物の床４２が傾斜したときに、防振床４０の荷重が押引アクチュエータ装置１の端部に集中しないようにすることができる。
【００４７】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されず、本発明の範囲内でその具体的構造に種々の変更を加えてよいことはいうまでもない。
【００４８】
例えば、固定架台２と可動架台４とを上下逆に配置することも可能である。
なお、防振床４０と構造物の床４２との間に、押引アクチュエータ装置１を配置し、防振床４０の振動（上下動）を吸収する場合、現象としては、防振床４０側に配置された可動架台４は殆ど振動せず、構造物の床４２側に配置された固定架台２の方が振動（上下動）する。
更には、防振床４０の側面に配置（防振床４０の側面に可動架台４を配置、構造物側に固定架台２を配置）して、横方向の振動（左右動）を防振（制振）するようにしても良い。
この場合、押引アクチュエータ装置１は押引力を備えているので、２方の面だけで良い。
【００４９】
また、図２の右側に図示のように、引込みアクチュエータ３０の引込みシリンダ３１と引込みピストン３２とを上下逆向きにし、固定側収納枠上蓋１３を省略して、固定側収納枠取付け台１１、１１、固定側収納枠側壁１２、１２及び引込みシリンダ３１を一体形成するようにしても良い。
このようにすることにより、部品点数を少なくすることができると共に、引込みシリンダ３１が固定架台２に固定された状態になり、引込みシリンダ３１自体は振動（上下動）しないので、引込みアクチュエータ給油穴３３に接続する図示略の給油管も固定配管することが可能となる。
【００５０】
なお、押出しピストン２２は押出しピストン取付けねじ２６により可動架台４に固定されているので、図５に図示のように押引アクチュエータ装置１が最も縮んだ状態でも、押出しピストン２２の下面が押出しシリンダ２１の内部上面に接することはなく作動油が流入するスペースは確保されるので、図３に図示の押出しピストン２２の下面の突起は必ずしも必要なものではない。
【００５１】
また、固定架台２を凹形状にし、左右に押出しアクチュエータ２０を配置し、中央に押出しアクチュエータ２０の内部断面積と２倍の断面積を有する引込みアクチュエータ３０を配置するようにしても良い。
この場合、最も荷重が掛かる中央部に、固定側収納枠１０及び可動側収納枠１４、更には、可動側収納枠進入穴３及び固定側収納枠進入穴５を配置することになるので、多少押引アクチュエータ装置１の強度が低下するものの、構造を簡素にすることができる。
【００５２】
更には、固定架台２及び可動架台４を三角形状、或いは四角形状、円形形状にして、押出しアクチュエータ２０の周囲に引込みアクチュエータ３０を３個以上配置、或いは引込みアクチュエータ３０の周囲に押出しアクチュエータ２０を３個以上配置するようにしても良い。
【００５３】
また、上述のものは、固定側収納枠側壁１２及び可動側収納枠側壁１６が各々２本の場合を例示しているが、これに限定されるものではなく、各々３本以上としても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明の実施形態に係る押引アクチュエータ装置の側面図である。
【図２】同押引アクチュエータ装置の分解斜視図である。
【図３】同押引アクチュエータ装置の押出用アクチュエータの詳細断面図である。
【図４】同押引アクチュエータ装置の引込用アクチュエータの詳細断面図である。
【図５】同押引アクチュエータ装置を縮めた時の状態を示す側面図である。
【図６】同押引アクチュエータ装置を採用した防振床の平面図である。
【図７】図６における押引アクチュエータ装置を配置した部分の側断面図である。
【図８】従来の駆動予荷重ピストン及び受動的予荷重ピストンを採用した振動試験機の斜視図である。
【符号の説明】
【００５５】
１      押引アクチュエータ装置
２      固定（下部）架台
３      可動側収納枠進入穴
４      可動（上部）架台
４ａ    球面片形状
５      固定側収納枠進入穴
６      ねじ穴
１０    固定側収納枠
１１    固定側収納枠取付け台
１２    固定側収納枠側壁
１３    固定側収納枠上蓋
１４    可動側収納枠
１５    可動側収納枠付け台
１６    可動側収納枠側壁
１７    可動側収納枠下蓋
２０    押出しアクチュエータ
２１    押出しシリンダ
２２    押出しピストン
２３    押出しアクチュエータ給油穴
２４    Ｏリング
２５    ウエアリング
２６    押出しピストン取付けねじ
３０    引込みアクチュエータ
３１    引込みシリンダ
３２    引込みピストン
３３    引込みアクチュエータ給油穴
３４    Ｏリング
３５    ウエアリング
４０    防振床
４１    押引アクチュエータ収納壁
４２    構造物の床
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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