(57)【要約】【課題】  設備効率のよいＯＰＣ検査システムを提供する。【解決手段】  ＯＰＣ補正・検証サーバ１は、通信回線４で接続されたＦＴＰサーバ３１およびメールサーバ３２とを介して複数の利用者端末２と接続されている。ライブラリ１３に格納されている複数のＯＰＣ補正用のパラメータ、リソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピ、ルールの中から１つをＯＰＣ補正・検証実行指示部２１で指示して、ＯＰＣ補正・検証制御部１２へ読み出し、実行開始を指示すると、ＯＰＣ補正・検証実行部１１は、ＯＰＣ補正済みレイアウトパターンに対してＯＰＣ検証を実行し、実行結果を実行結果格納部１６へ格納する。実行監視部１５は、実行終了を実行状況表示部２２へ通知する。エラーがある場合は、実行結果をＯＰＣ検証結果格納部２３へ転送し、ＯＰＣ検証結果表示部２４にＯＰＣ処理前パターンと重ね合わせて表示する。【選択図】  図１
2007248596.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＯＰＣ補正・検証サーバと、複数の利用者端末と、前記ＯＰＣ補正・検証サーバと前記複数の利用者端末とを通信回線を介して接続する通信手段とを有するＯＰＣ検査システムであって、
前記ＯＰＣ補正・検証サーバは、
入力されたレイアウトパターンに対するＯＰＣ補正の実行、およびＯＰＣ処理済みレイアウトパターンに対するＯＰＣ検証の実行を行なうＯＰＣ補正・検証実行手段と、
前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行を制御するＯＰＣ補正・検証制御手段と、
前記ＯＰＣ補正・検証制御手段へ与えるＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを格納するライブラリと、
前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を監視する実行監視手段と、
前記ＯＰＣ補正・検証手段から出力されたＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行結果を格納する実行結果格納手段と
を備え、
前記複数の利用者端末のそれぞれは、
前記通信手段を介して、前記ＯＰＣ補正・検証制御手段へ、前記ライブラリから読み出すべきＯＰＣ補正用のパラメータ、リソグラフィ・モデル、またはＯＰＣ検証用のレシピ、ルールを指定し、前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正あるいはＯＰＣ検証の実行の開始を指示するＯＰＣ補正・検証実行指示手段と、
前記通信手段を介して前記実行監視手段から送信された、前記ＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を表示する実行状況表示手段と、
前記実行結果格納手段から前記通信手段を介して送信された、前記ＯＰＣ検証結果を格納するＯＰＣ検証結果格納手段と、
前記ＯＰＣ検証結果格納手段に格納された前記ＯＰＣ検証結果を表示するＯＰＣ検証結果表示手段と、
を備えることを特徴とするＯＰＣ検査システム。
【請求項２】
前記ＯＰＣ検証結果表示手段は、前記ＯＰＣ検証結果に含まれるエラー発生位置マーカおよびエラー発生パターンの両方、または前記エラー発生位置マーカのみを、ＯＰＣ処理前のレイアウトパターン上に重ねて表示することを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ検査システム。
【請求項３】
前記実行監視手段は、前記ＯＰＣ検証の実行に異常が発生したときは警告メッセージを、前記ＯＰＣ検証の実行が終了したときは終了メッセージを、前記ＯＰＣ検証の実行を指示した利用者端末へ送信することを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ検査システム。
【請求項４】
前記実行監視手段が、前記終了メッセージの中に前記ＯＰＣ検証結果の概要を記載することを特徴とする請求項３に記載のＯＰＣ検査システム。
【請求項５】
前記ＯＰＣ補正・検証サーバが、前記ライブラリの更新をライブラリ管理者のみに許可する管理者認証手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のＯＰＣ検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＯＰＣ（Optical  Proximity  Correction：光近接効果補正）処理されたレイアウトパターンを検査するＯＰＣ検査システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
ＬＳＩの微細化に伴い、マスクパターンの光学式露光では光近接効果の影響が顕著になってくる。そこで、描画用マスクパターンを生成する際に、予め光近接効果を考慮して、設計上のレイアウトパターンを補正するＯＰＣ処理が行われる。
【０００３】
このＯＰＣの方式の１つにモデルベースＯＰＣがある。モデルベースＯＰＣでは、リソグラフィ・シミュレーションをベースとしたリソグラフィ・モデルを生成し、このリソグラフィ・モデルを利用して、オリジナルのレイアウトパターンに近い露光像がウェーハ上に形成されるように補正を行なう。
【０００４】
このようなＯＰＣ処理を行なうＯＰＣ補正ツールへは、レイアウトパターンデータとＯＰＣ用の各種パラメータが記述されたファイルが入力される。ＯＰＣ補正ツールは、ＯＰＣ処理終了後に、ＯＰＣ処理済みレイアウトパターンを出力する。
【０００５】
このＯＰＣ処理済みレイアウトパターンに対して、露光シミュレーションを利用したＯＰＣ検証が行なわれる。このＯＰＣ検証により、所望のパターンに対する露光像のずれが規定値より大きくなると考えられるＯＰＣ処理済みレイアウトパターンが検出される。
【０００６】
このようなＯＰＣ検証を行なうＯＰＣ検証ツールへは、どのようなずれを検出すべきかを記述したレシピ、そのずれの許容値を記述したルール、ＯＰＣ補正で使用された各種パラメータ、モデルベースＯＰＣ補正で使用されたリソグラフィ・モデルなどが入力される。ＯＰＣ検証ツールは、入力されたルールに従ってＯＰＣ処理済みレイアウトパターンを検査し、製造工程上問題を起こす（エラー）パターンが発生している座標等をファイルに出力する。
【０００７】
エラーが発生したレイアウトパターンに対しては、ＯＰＣ補正におけるパラメータやリソグラフィ・モデルなどを修正して再度ＯＰＣ処理を行ない、ＯＰＣ検証のレシピなどを必要に応じて修正して、再度ＯＰＣ検証処理を行なう。
【０００８】
あるいは、エラーが発生したレイアウトパターンに対して、そのエラー対策のレイアウトパターンの修正を行ない、再度ＯＰＣ補正および検証を行なう。
【０００９】
このようなＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証処理は、通常、ＬＳＩ設計担当者によって行なわれる。そこで、ＬＳＩ設計担当者によるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行を支援するためのレイアウト設計支援装置が提供されている（例えば、特許文献１参照。）。ＬＳＩ設計担当者は、このようなレイアウト設計支援装置を用いて、所望の補正結果が得られるまでＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証を繰り返し実行する。
【００１０】
従来、上述のようなレイアウト設計支援装置は、スタンドアローン型のＥＷＳ（Engineering  Work  Station）として提供されることが多く、それぞれのＬＳＩ設計担当者は、それぞれに用意されたＥＷＳを用いてＯＰＣ補正およびＯＰＣ結果の検証を実行していた。
【００１１】
しかし、近年のＬＳＩの微細化に伴い、ＯＰＣ補正およびＯＰＣ結果の検証に要する演算量が膨大になり、実用的な実行時間で処理を行なうには高価な高性能のＥＷＳが必要となり、このような高性能のＥＷＳをＬＳＩ設計担当者ごとに用意することが設備投資上の負担になっている。
【特許文献１】特開２０００−２６０８７９号公報  （第３−４ページ、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
そこで、本発明の目的は、設備効率のよいＯＰＣ検査システムを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一態様によれば、ＯＰＣ補正・検証サーバと、複数の利用者端末と、前記ＯＰＣ補正・検証サーバと前記複数の利用者端末とを通信回線を介して接続する通信手段とを有するＯＰＣ検査システムであって、前記ＯＰＣ補正・検証サーバは、入力されたレイアウトパターンに対するＯＰＣ補正の実行、およびＯＰＣ処理済みレイアウトパターンに対するＯＰＣ検証の実行を行なうＯＰＣ補正・検証実行手段と、前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行を制御するＯＰＣ補正・検証制御手段と、前記ＯＰＣ補正・検証制御手段へ与えるＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを格納するライブラリと、前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を監視する実行監視手段と、前記ＯＰＣ補正・検証手段から出力されたＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行結果を格納する実行結果格納手段とを備え、前記複数の利用者端末のそれぞれは、前記通信手段を介して、前記ＯＰＣ補正・検証制御手段へ、前記ライブラリから読み出すべきＯＰＣ補正用のパラメータ、リソグラフィ・モデル、またはＯＰＣ検証用のレシピ、ルールを指定し、前記ＯＰＣ補正・検証実行手段におけるＯＰＣ補正あるいはＯＰＣ検証の実行の開始を指示するＯＰＣ補正・検証実行指示手段と、前記通信手段を介して前記実行監視手段から送信された、前記ＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を表示する実行状況表示手段と、前記実行結果格納手段から前記通信手段を介して送信された、前記ＯＰＣ検証結果を格納するＯＰＣ検証結果格納手段と、前記ＯＰＣ検証結果格納手段に格納された前記ＯＰＣ検証結果を表示するＯＰＣ検証結果表示手段と、を備えることを特徴とするＯＰＣ検査システムが提供される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、利用者が共通に使用するＯＰＣ補正・検証サーバ、および通信手段を通じてこのＯＰＣ補正・検証サーバに接続される複数の利用者端末を設けることにより、各利用者はそれぞれの利用者端末において、ＯＰＣ補正・検証サーバへのＯＰＣおよびＯＰＣ検証の実行の指示、ＯＰＣ補正・検証サーバからのＯＰＣ検証結果の受け取り、およびＯＰＣ検証結果の確認ができる。これにより、利用者個々に高価で高性能のＯＰＣ補正・検証処理用の設備を用意する必要がなく、ＯＰＣ処理済レイアウトパターンの検査に対する設備効率を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００１６】
本発明の実施例に係るＯＰＣ検査システムは、ＯＰＣ補正・検証サーバ１と、複数の利用者端末２と、ＯＰＣ補正・検証サーバ１と複数の利用者端末２との間でデータの転送を行うＦＴＰサーバ３１と、ＯＰＣ補正・検証サーバ１から複数の利用者端末２へ電子メールを送信するメールサーバ３２とを有し、ＯＰＣ補正・検証サーバ１に接続されたＦＴＰサーバ３１およびメールサーバ３２は、通信回線４により複数の利用者端末２と接続される。
【００１７】
図１は、複数の利用者端末２のうちの１台だけを図示し、本実施例のＯＰＣ検査装置の基本的な構成の例を示したブロック図である。
【００１８】
ＯＰＣ補正・検証サーバ１は、入力されたレイアウトパターンに対するＯＰＣの実行、およびＯＰＣ処理済みレイアウトパターンに対するＯＰＣ検証の実行を行なうＯＰＣ補正・検証実行部１１と、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行を制御するＯＰＣ補正・検証実行制御部１２と、ＯＰＣ補正・検証実行制御部１２へ与えるＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを格納するライブラリ１３と、ＯＰＣ補正・検証ＯＰＣ検証部１１におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を監視する実行監視部１４と、ＯＰＣ補正・検証実行部１１から出力されたＯＰＣ検証結果を格納する実行結果格納部１５と、ＯＰＣ処理対象のレイアウトパターンを格納する設計データ格納部１６とを備える。
【００１９】
利用者端末２は、ＦＴＰサ−バ３１を介して、ＯＰＣ補正・検証実行制御部１２へ、ライブラリ１３から読み出すべきＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを指定し、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行の開始を指示するＯＰＣ補正・検証実行指示部２１と、メールサ−バ３２を介して実行監視部１４から送信された、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を表示する実行状況表示部２２と、実行結果格納部１５からＦＴＰサ−バ３１を介して送信された、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ検証結果を格納するＯＰＣ検証結果格納部２３と、ＯＰＣ検証結果格納部２３に格納されたＯＰＣ検証結果をＯＰＣ処理前レイアウトパターンに重ね合わせて表示するＯＰＣ検証結果表示部２４と、入力されたＯＰＣ処理前レイアウトパターンを格納する設計データ格納部２５とを備える。
【００２０】
ＯＰＣ補正・検証サーバ１のライブラリ１３には、利用者端末２によりＯＰＣおよびＯＰＣ検証を実行する利用者が使用すると想定される、ＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールが格納されている。
【００２１】
ライブラリ１３の登録内容は、利用者に公開され、利用者は、その中から自分の使用したいＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを選択する。
【００２２】
ＯＰＣ補正・検証サーバ１の実行監視部１４は、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行状況を監視し、ＯＰＣ補正あるいはＯＰＣ検証の実行に異常が発生したときは、警告メッセージの電子メールをメールサーバ３２を介して利用者端末２へ送信する。また、ＯＰＣ検証が正常に終了したときは、終了メッセージの電子メールをメールサーバ３２を介して利用者端末２へ送信する。なお、この終了メッセージのなかには、ＯＰＣ検証結果の概要も記載される。
【００２３】
利用者端末２では、受信した警告メッセージおよび終了メッセージを実行状況表示部２２に表示する。これにより、利用者端末２の利用者は、警告メッセージおよび終了メッセージの内容を確認することができる。
【００２４】
ＯＰＣ補正・検証サーバ１の実行結果格納部１５には、ＯＰＣ補正・検証実行部１１におけるＯＰＣ検証の実行によりエラーが検出された場合に、エラーの発生位置を示すエラー発生位置マーカ、およびエラーの発生したＯＰＣ処理済みパターンが格納される。実行結果格納部１５に格納されたデータは、ＦＴＰサーバ３１を介して利用者端末２へ送信され、利用者端末２の実行結果格納部２３に格納される。
【００２５】
利用者端末２では、実行結果格納部２３に格納されたエラー発生位置マーカをＯＰＣ検証結果表示部２４に表示する。このとき、ＯＰＣ検証結果表示部２４は、設計データ格納部２５に格納されているＯＰＣ処理前レイアウトパターンを読み出し、このＯＰＣ処理前レイアウトパターン上にエラー発生位置マーカを重ねて表示することができる。また、ＯＰＣ検証結果表示部２４は、これらにさらに重ねて、実行結果格納部２３から読み出したエラーの発生したＯＰＣ処理済パターンを表示することもできる。
【００２６】
ＯＰＣ補正・検証サーバ１の設計データ格納部１６には、利用者端末２の設計データ格納部２５に格納されているＯＰＣ処理前レイアウトパターンが、ＦＴＰサーバ３１を介して転送され、格納される。
【００２７】
図２は、利用者端末２のＯＰＣ補正・検証実行指示部２１で用いる実行指示入力画面の例である。この実行指示入力画面上で、対象データ、対象層、対象領域を指定し、対象条件、露光条件を指定することにより、ライブラリ１３に登録されているライブラリデータの中の１つが選択される。また、実行指示入力画面により、ＦＴＰサーバ３１に対するＯＰＣ検証結果の出力先の指定、メールサーバ３２に対する電子メール送信先の指定も行なう。
【００２８】
また、この実行指示入力画面上で、ＯＰＣ補正・検証実行指示部２１は、ＯＰＣ補正・検証サーバ１のＯＰＣ補正・検証実行制御部１２に対して、ＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行開始を指示する。
【００２９】
本実施例では、ＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行に対して、実行モードが２つあるものとする。１つを、ＯＰＣ補正とＯＰＣ検証を連続して実行する（ＯＰＣ補正＋検証）モードとし、もう１つを、ＯＰＣ検証のみを単独で実行するＯＰＣ検証モードとする。
【００３０】
ここで、（ＯＰＣ補正＋検証）モードは、例えば初めてＯＰＣ補正を実行するときに用い、ＯＰＣ検証モードは、ＯＰＣ処理済みパターンが既にあり、ＯＰＣ検証のレシピあるいはルールを変更して、再度ＯＰＣ検証を実行するときなどに用いるものである。このモードの選択も、図２に示す実行指示入力画面上で行う。
【００３１】
図３は、本実施例のＯＰＣ検査装置におけるＯＰＣ処理済みパターンに対する検査フローの例を示すフロー図である。
【００３２】
ＯＰＣ処理済みパターンに対する検査の開始にあたって、まず、利用者端末２のＯＰＣ補正・検証実行指示部２１からＯＰＣ補正・検証サーバ１のＯＰＣ補正・検証実行制御部１２へ、ライブラリ１３から読み出すデータを指定する（ステップＳ０１）。
【００３３】
ＯＰＣ補正・検証制御部１２は、指定されたＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールをライブラリ１３から読み出し、ＯＰＣ補正・検証実行部１１へ送る。
【００３４】
続いて、（ＯＰＣ補正＋検証）モードあるいはＯＰＣ検証モードのいずれかの実行モードを指定した上で、ＯＰＣ補正・検証実行指示部２１は、ＯＰＣ補正・検証制御部１２へ実行開始を指示する（ステップＳ０２）。この指示を受けて、ＯＰＣ検証制御部１２は、実行モードが（ＯＰＣ補正＋検証）モードであるかＯＰＣ検証モードであるかを判断し、ＯＰＣ補正・検証実行部１１に対して、（ＯＰＣ補正＋検証）モードのときはＯＰＣ補正の実行を指示し、ＯＰＣ検証モードのときはＯＰＣ検証の実行を指示する（ステップＳ０３）。
【００３５】
ＯＰＣ補正の指示を受けたときは、ＯＰＣ補正・検証実行部１１は、設計データ格納部１６に格納されているレイアウトパターンに対するＯＰＣ補正を実行する（ステップＳ０４）。ＯＰＣ補正の実行が開始されると、実行監視部１５は、ＯＰＣ補正・検証実行部１１の実行状況を監視し、ＯＰＣ補正が正常終了したかどうかをチェックする（ステップＳ０５）。
【００３６】
もし、ＯＰＣ補正の途中で異常が発生し、ＯＰＣ補正・検証実行部１１が異常終了した場合には（ＮＯ）、実行監視部１５は、メールサーバ３２を介して利用者端末２の実行状況表示部２２へ異常警告を送信し、ＯＰＣ補正が異常終了したことを通知する（ステップＳ０６）。図４（ａ）に、異常警告の電子メールの例を示す。このような異常警告の電子メールを受け取った利用者は、その原因を除去する対策をとってＯＰＣ補正を再実行するようにする。
【００３７】
図３に戻って、ステップＳ０５でＯＰＣ補正が正常に終了したときは（ＹＥＳ）、ＯＰＣ補正の実行結果が実行結果格納部１５へ格納される（ステップＳ０７）。
【００３８】
このようにしてＯＰＣ補正の実行が正常に終了したとき、または、ステップＳ０３でＯＰＣ検証の実行が指示されたときは、ＯＰＣ補正・検証実行部１１は、実行結果格納部１５へ格納されているＯＰＣ処理済みレイアウトパターンに対するＯＰＣ検証を実行する（ステップＳ０８）。
【００３９】
ＯＰＣ検証の実行が開始されると、実行監視部１４は、ＯＰＣ補正・検証実行部１１の実行状況を監視し、ＯＰＣ検証が正常終了したかどうかをチェックする（ステップＳ０９）。
【００４０】
もし、ＯＰＣ検証の途中で異常が発生し、ＯＰＣ補正・検証実行部１１が異常終了した場合には（ＮＯ）、実行監視部１４は、メールサーバ３２を介して利用者端末２の実行状況表示部２２へ、ＯＰＣ補正の場合と同様、図４（ａ）に示すような異常警告を送信し、ＯＰＣ検証が異常終了したことを通知する（ステップＳ０６）。異常警告の電子メールを受け取った利用者は、その原因を除去する対策をとってＯＰＣ検証を再実行するようにする。
【００４１】
図３に戻って、ステップＳ０９でＯＰＣ検証が正常に終了し（ＹＥＳ）、ＯＰＣ検証の実行結果が実行結果格納部１５へ格納されると（ステップＳ１０）、実行監視部１４は、メールサーバ３２を介して利用者端末２の実行状況表示部２２へ終了通知を送信し、ＯＰＣ検証が正常に終了したことを通知する（ステップＳ１１）。この終了通知には、ＯＰＣ検証結果の概要が記載される。
【００４２】
この終了通知に、図４（ｂ）に示すようにＯＰＣ検証のチェックによるエラーの数が０と記載されている場合（ステップＳ１２のＮＯ）、利用者はＯＰＣ検証結果を確認する必要がないので、そのままこの作業を終了する。
【００４３】
一方、図４（ｃ）に示すように、終了通知にエラーの数が記載されていた場合は（ステップＳ１２のＹＥＳ）、利用者はＯＰＣ検証結果を確認する必要がある。このとき、通知されたメールにエラーの概要が記載されているので、利用者はエラーの種類等の概要を知ることができる。
【００４４】
図３に戻って、ステップＳ１２でＯＰＣ検証結果にエラーがある場合（ＹＥＳ）、その詳細を確認するために、利用者は、ＯＰＣ補正・検証サーバ１に対して、ＯＰＣ検証結果のＦＴＰ転送を要求する。この要求を受けて、ＯＰＣ補正・検証サーバ１は、ＦＴＰサーバ３１を介して、実行結果格納部１５に格納しているＯＰＣ検証結果を利用者端末２へ転送する（ステップＳ１３）。
【００４５】
利用者端末２は、転送されたＯＰＣ検証結果をＯＰＣ検証結果格納部２３に格納する（ステップＳ１４）。
【００４６】
利用者は、ＯＰＣ検証結果格納部２３に格納されたＯＰＣ検証結果をＯＰＣ検証結果表示部２４の表示画面に表示させる（ステップＳ１５）。これにより、ＯＰＣ処理によって発生したエラーを視覚的に確認することができる。このとき、設計データ格納部２５に格納されているＯＰＣ処理前のレイアウトパターンを読み出して、ＯＰＣ検証結果と重ね合わせ表示することにより、設計データ上のどこでエラーが発生しているかを容易に知ることができ、エラーを解消するための対策が立てやすくなる。
【００４７】
ＯＰＣ検証結果のＯＰＣ処理前のレイアウトパターンへの重ね合わせ方には、次の３通りがある。すなわち、第１は、エラー発生位置マーカのみを重ね合わせる、第２は、エラー発生位置マーカおよびエラーの発生したＯＰＣ処理済みパターンを重ね合わせる、第３は、エラー発生位置マーカおよびエラーの発生したＯＰＣ処理済みパターンのうちのエラー発生位置マーカ周辺のみを重ね合わせる、の３通りである。この３通りの重ね合わせ方の例を図５から図７に示す。
【００４８】
図５は、ＯＰＣ処理前のレイアウトパターンに、エラー発生位置マーカのみを重ね合わせて表示したときのＯＰＣ検証結果表示部２４の表示画面の例である。
【００４９】
このような表示により、利用者は、設計データ上のどこでエラーが発生しているかを視覚的に把握することができる。
【００５０】
図６は、ＯＰＣ処理前のレイアウトパターンに、エラー発生位置マーカおよびエラーの発生したＯＰＣ処理済みパターンを重ね合わせて表示したときのＯＰＣ検証結果表示部２４の表示画面の例である。
【００５１】
このような表示により、利用者は、エラーの発生しているＯＰＣ処理済みパターンがどのような形状をしているかを確認することができる。
【００５２】
図７は、ＯＰＣ処理前のレイアウトパターンに、エラー発生位置マーカおよびエラーの発生したＯＰＣ処理済みパターンのうちのエラー発生位置マーカ周辺のみを重ね合わせて表示したときのＯＰＣ検証結果表示部２４の表示画面の例である。
【００５３】
この場合、エラー発生位置マーカ周辺のみのＯＰＣ処理済みパターンを表示することで、表示データ量を少なくすることができる。
【００５４】
以上により、ＯＰＣ処理済みパターンに対するＯＰＣ検証の実行から、その結果の確認までの一連の作業が終了する。
【００５５】
このような本実施例によれば、利用者が共通に使用するＯＰＣ補正・検証サーバ、および通信手段を通じてこのＯＰＣ補正・検証サーバに接続される複数の利用者端末を設けられるので、各利用者はそれぞれの利用者端末において、ＯＰＣ補正・検証サーバへのＯＰＣ補正およびＯＰＣ検証の実行の指示、ＯＰＣ補正・検証サーバからのＯＰＣ検証結果の受け取り、およびＯＰＣ検証結果の確認を行うことができる。これにより、利用者個々に高価で高性能のＯＰＣ補正・検証処理用の設備を用意する必要がなく、ＯＰＣ処理済レイアウトパターンの検査に対する設備効率を向上させることができる。
【００５６】
また、本実施例によれば、ＯＰＣ補正・検証サーバに標準化されたライブラリが提供されるので、利用者個々がＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールを作り込む必要がなく、ＯＰＣ処理済みパターンに対するＯＰＣ検証を効率よく実行することができる。
【００５７】
また、ＯＰＣ検証の終了が電子メールで通知されるので、利用者はＯＰＣ検証の終了を即座に知ることができる。さらに、ＯＰＣ検証が正常に終了したときは、発見されたエラーの概要もその通知で知ることができる。
【００５８】
また、ＯＰＣ検証の実行結果をＯＰＣ処理前のレイアウトパターンと重ね合わせて表示させることができるので、利用者は、設計データ上のどこでエラーが発生しているかを容易に把握することができる。
【実施例２】
【００５９】
図８は、本発明の実施例２に係るＯＰＣ検査装置におけるＯＰＣ補正・検証サーバの構成の例を示すブロック図である。
【００６０】
本実施例のＯＰＣ補正・検証サーバ１Ａは、図１に示した実施例１のＯＰＣ補正・検証サーバ１に、さらに管理者認証部１７を追加したものである。なお、図８において、図１に示したブロックと同一の機能のブロックには、図１と同一の符号を付し、ここではその詳細な説明を省略する。
【００６１】
管理者認証部１７は、予め発行された管理者ＩＤを有するライブラリ管理者のみ、ライブラリ１３へのＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールの登録を許可する。
【００６２】
ライブラリ１３は、総ての利用者に共通に使用されるため、その内容を正確に保つことが重要である。また、内容を更新したときにバージョン管理も厳重に行う必要がある。そこで、管理者認証部１７により、ライブラリ１３へのアクセスを管理し、ライブラリ１３の信頼性を確保する。
【００６３】
このライブラリ１３の更新は、例えば、新しい製造工程が開発されたり、新しい製造装置が導入されたりしたときに行われる。このような場合、その工程や装置に合わせたＯＰＣ補正用のパラメータとリソグラフィ・モデル、およびＯＰＣ検証用のレシピとルールが作成され、十分な検証が行われた後に、管理者によってライブラリ１３へ登録される。その際、管理者認証部１４が、管理者に管理者ＩＤの入力を求め、正しい管理者ＩＤが入力されたときのみ、ライブラリ１３への新しいデータの登録を許可する。
【００６４】
このような本実施例によれば、ＯＰＣ補正・検証サーバに搭載されるライブラリが厳重に管理されるので、どの利用者がＯＰＣ処理済レイアウトパターンの検査を実行しても、その結果を一定の品質に保つことができる。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の基本構成の例を示すブロック図。
【図２】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の利用者端末の実行指示部の操作画面の例を示す図。
【図３】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置における処理フローの例を示すフロー図。
【図４】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の利用者端末のＯＰＣ検証状況表示部の表示画面の例を示す図。
【図５】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の利用者端末のＯＰＣ検証結果表示部の表示画面の例を示す図。
【図６】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の利用者端末のＯＰＣ検証結果表示部の表示画面の例を示す図。
【図７】本発明の実施例１に係るＯＰＣ検査装置の利用者端末のＯＰＣ検証結果表示部の表示画面の例を示す図。
【図８】本発明の実施例２に係るＯＰＣ検査装置のＯＰＣ補正・検証サーバの構成の例を示すブロック図。
【符号の説明】
【００６６】
１、１Ａ  ＯＰＣ補正・検証サーバ
１１  ＯＰＣ補正・検証実行部
１２  ＯＰＣ補正・検証実行制御部
１３  ライブラリ
１４  実行監視部
１５  実行結果格納部
１６  設計データ格納部
１７  管理者認証部
２  利用者端末
２１  ＯＰＣ補正・検証実行指示部
２２  実行状況表示部
２３  ＯＰＣ検証結果格納部
２４  ＯＰＣ検証結果表示部
２５  設計データ格納部
３１  ＦＴＰサーバ
３２  メールサーバ
４  通信回線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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