(57)【要約】【課題】  多室型真空熱処理装置のように炉体から排出される雰囲気ガス流量の変動巾が大きい場合でも、炉体内を所定圧力に維持して、ばらつきの少ない良好な品質の熱処理品を得ることができる真空熱処理装置の真空排気装置を提供する。【解決手段】  炉体２に排気管路３を介して接続した真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７）の回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、排気管路３に、開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃをそなえた流路抵抗の異なる複数本の分岐管路１２ａ，１２ｂ，１２ｃを並列状に配設した分岐部１１を設け、開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃを開閉制御して１本の分岐管路を排気流通路として選定し、真空ポンプの回転数が下限値に達したとき排気流通路を高抵抗側の分岐管路に切換え、前記回転数が上限値に達したとき排気流通路を低抵抗側の分岐管路に切換える切換制御手段（制御装置１０）を具備した。【選択図】      図１
2007315729.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁をそなえた流路抵抗の異なる複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達したとき前記排気流通路を高抵抗側の分岐管路に切換え、前記回転数が上限値に達したとき前記排気流通路を低抵抗側の分岐管路に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする真空熱処理装置の真空排気装置。
【請求項２】
炉体と真空ポンプとを接続する排気管路に設けた流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理炉の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、該排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする真空熱処理炉の真空排気装置。
【請求項３】
炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理炉の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記各流量制御弁のうちから選定される１個の流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう圧力制御手段と、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達し且つ前記排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記真空ポンプの回転数が上限値に達し且つ前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段とを具備したことを特徴とする真空熱処理炉の真空排気装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、真空熱処理装置の炉体内の雰囲気ガスを排気するための真空排気装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来鉄鋼材料等の処理材をたとえば真空浸炭する熱処理装置としては、バッチ炉形式あるいは連続炉形式の炉が一般に用いられていたが、前者は生産性が低く、後者は処理条件一定のもとでは生産性は高いが、処理条件変更や数量増減に迅速に対応できないという問題点があった。そこでこれらの問題点を解決するものとして、複数の炉体（処理室）と、この炉体に対して処理材の受渡しをおこなう搬送手段とをそなえた多室型真空熱処理装置が提案されている（たとえば、特許文献１，２参照。）。
【特許文献１】特開２００６−６３３６３号公報
【特許文献２】特開２００５−９７０２号公報
【０００３】
上記の多室型真空熱処理装置においては、上記特許文献１（その段落［００２８］）にも記載されているような各炉体（処理チャンバ）に接続した共通の真空排気ダクトを介して、各処理室内の空気や浸炭性ガスなどの雰囲気ガスを一括して排気するために、真空ポンプをそなえた一基の真空排気装置が用いられる。そしてこの真空排気装置としては、従来の一般の真空熱処理炉と同様に、真空ポンプの回転速度をインバータにより制御して炉体内圧力を所定の真空度に維持する制御方式（以下、回転数制御方式という）の真空排気装置（たとえば、特許文献３参照。）、または真空ポンプと炉体とを接続する排気管の途中に設けた流量調整弁の開度を制御して炉体内圧力を所定の真空度に維持する制御方式（以下、開度制御方式という）の真空排気装置（たとえば、特許文献４参照。）が用いられている。
【特許文献３】特開２００１−２１４８６８号公報
【特許文献４】特開２００５−３２５３７１号公報
【０００４】
ところが上記の多室型真空熱処理装置においては、各炉体内における均熱、浸炭、拡散などの真空浸炭の各工程がランダムに進行するため、各炉体から排出される雰囲気ガスの流量が大きく変動するのに対し、上記の回転数制御方式の場合は、回転数制御による排気能力可調整巾には限界があるので、真空ポンプの回転数が下限値到達状態あるいは上限値到達状態となって、排気量過多による炉内圧低圧（高真空度）化あるいは排気量過少による炉内圧高圧化により炉体内圧力が目標圧力からずれやすく、ロット間あるいは炉体間の浸炭品質にばらつきを生じるという問題点を有する。また同様に上記の開度制御方式の場合も、開度制御により排気流量を精度よく調節できる流量調整巾も限られているので、流量制御弁が開度下限値到達状態あるいは開度上限値到達状態となって、上記と同様な排気量過多あるいは過少による炉内圧低圧化あるいは高圧化により炉体内圧力が目標圧力からずれやすく、浸炭品質にばらつきを生じるという問題点を有するものであった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明は上記従来の問題点を解決しようとするもので、多室型真空熱処理装置のように炉体から排出される雰囲気ガス流量の変動巾が大きい場合でも、炉体内を所定圧力に維持して、ばらつきの少ない良好な品質の熱処理品を得ることができる真空熱処理装置の真空排気装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、請求項１記載の真空熱処理装置の真空排気装置は、炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、前記排気管路に、開閉弁をそなえた流路抵抗の異なる複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達したとき前記排気流通路を高抵抗側の分岐管路に切換え、前記回転数が上限値に達したとき前記排気流通路を低抵抗側の分岐管路に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする。
【０００７】
この請求項１記載の発明によれば、流路抵抗の差により真空ポンプの回転数可調整巾に対して異なる排気流量制御可能範囲が得られる分岐管路を切換えて排気流通路とすることにより、排気流量制御可能範囲が拡張され、炉体内からの雰囲気ガス流量の大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を設定値に維持することができる。
【０００８】
また請求項２記載の真空熱処理装置の真空排気装置は、炉体と真空ポンプとを接続する排気管路に設けた流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理炉の真空排気装置において、前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、該排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする。
【０００９】
この請求項２記載の発明によれば、流路抵抗の差により異なる排気流量制御可能範囲が得られる流量制御弁を切換えて該流量制御弁を開度制御することにより、排気流量制御可能範囲が拡張され、炉体内からの雰囲気ガス流量の大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を設定値に維持することができる。
【００１０】
また請求項３記載の真空熱処理装置の真空排気装置は、炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理炉の真空排気装置において、前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、前記各流量制御弁のうちから選定される１個の流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう圧力制御手段と、前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達し且つ前記排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記真空ポンプの回転数が上限値に達し且つ前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段とを具備したことを特徴とする。
【００１１】
この請求項３記載の発明によれば、流路抵抗の異なる流量制御弁をそなえた分岐管路を切換えることにより異なる流量制御可能範囲が得られる真空ポンプの回転数制御に組合わせて、流路抵抗の差により異なる排気流量制御可能範囲が得られる流量制御弁を切換えて該流量制御弁を開度制御することにより、排気流量制御可能範囲が大きく拡張され、炉体内からの雰囲気ガス流量の大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を設定値に維持することができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したようにこの発明によれば、多室型真空熱処理装置のように炉体から排出される雰囲気ガス流量の変動巾が大きい場合でも、炉体内を所定圧力に維持して、ばらつきの少ない良好な品質の熱処理品を得ることができる。
【００１３】
上記の効果に加えて、請求項１記載の発明によれば、流路抵抗の異なる複数本の分岐管路を開閉弁により切換えるという簡潔で低コストの装置により、炉体内圧力を所定圧力に維持することができる。
【００１４】
また上記の効果に加えて、請求項２記載の発明によれば、一般にモータの制御できる回転数範囲に制限がある真空ポンプの回転数制御により得られる排気流量制御可能範囲に比べて、流量制御弁の開度制御により得られる排気流量制御可能範囲の方が広いので、分岐管路の本数、従って流量制御弁の個数の少ない装置によって、炉体内圧力を所定圧力に維持することができる。
【００１５】
また上記の効果に加えて、請求項３記載の発明によれば、真空ポンプの回転数制御と流量制御弁の開度制御の組合わせにより、大きな排気流量制御可能範囲が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下図１〜図３に示す第１例により、請求項１に係る発明の実施の形態を説明する。図１において、１は処理材の真空浸炭処理をおこなう多室形の真空熱処理装置で、２は浸炭室を内蔵する複数個の炉体、３はこれらの各炉体にそれぞれ開閉弁４を介して接続した排気管路、５はこの排気管路３に接続した真空排気装置で、真空排気手段として油回転ポンプ６とその前段側に設けたメカニカルブースタポンプ７とをそなえている。８はメカニカルブースタポンプ７の回転速度制御用のインバータ、９は炉体２寄りの排気管路３に接続した真空計、１０は制御装置である。
【００１７】
排気管路３は、各炉体２内において別個に進行する真空浸炭工程に従って個別に開弁される開閉弁４を介して各炉体２内に連通するので、真空計９によりこの連通状態の炉体内圧力が検出される。そして制御装置１０は、この真空計９の圧力検出値Ｐと、真空浸炭工程における均熱期〜拡散期（均熱期と浸炭期と拡散期）の炉体内圧力設定値Ｐ０とに基いて、インバータ８を介してメカニカルブースタポンプ７の回転数を制御（この例では同期電動機を駆動機とするメカニカルブースタポンプ７の給電周波数を制御）することにより、炉体内圧力の制御をおこなう圧力制御部をそなえている。また制御装置１０は、後述する開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃの開閉制御もおこなうものであり、それについては後述する。
【００１８】
１１は排気管路３に設けた分岐部で、複数本（この例では３本）の分岐管路１２ａ〜１２ｃを並列状に配設して成り、分岐管路１２ａには開閉弁Ａと流量調節弁１３ａが、分岐管路１２ｂには開閉弁Ｂと流量調節弁１３ｂが、分岐管路１２ｃには開閉弁Ｃと流量調節弁１３ｃが、それぞれ設けてある。開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃは、後述するようにメカニカルブースタポンプ７の回転数に応じて分岐管路１２ａ〜１２ｃのうちの１本の分岐管路が開路状態の排気流通路となるように、制御装置１０の切換制御部により開閉制御される。
【００１９】
また流量調節弁１３ａ〜１３ｃは手動調節式のもので、その流量調節により、開路状態における各分岐管路１２ａ〜１２ｃの流路抵抗は、分岐管路１２ａが最も低抵抗（小抵抗）、分岐管路１２ｂがこれより高抵抗（大抵抗）、分岐管路１２ｃはさらにこれより高抵抗となるように、設定されている。これらの流路抵抗についてさらに説明すると、図２は炉体内圧力が前記炉体内圧力設定値Ｐ０に維持されている状態におけるメカニカルブースタポンプ７の回転数と該ポンプ（および油回転ポンプ６）による排気流量（＝炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑ）との関係を略示する線図で、前記各分岐管路１２ａ〜１２ｃの流路抵抗の差により、メカニカルブースタポンプ７の回転数（以下ＭＢ回転数という）が、そのポンプの排気速度が実用的に制御可能な上限値と下限値の間で変化したとき、小抵抗の分岐管路１２ａ開路時の排気流量は曲線Ｊ（直線で近似。以下他の曲線も同様。）に従って変化するのに対し、これより流路抵抗の大きい分岐管路１２ｂ開路時には低流量側の曲線Ｋ、さらにこれより流路抵抗の大きい分岐管路１２ｃ開路時にはさらに低流量側の曲線Ｌに従って、それぞれ排気流量が変化する。
【００２０】
そして図２に示すように、上記各分岐管路１２ａ〜１２ｃの流路抵抗を、曲線Ｋ上の最大流量値（ＭＢ回転数上限値到達時流量）が曲線Ｊ上の最小流量値（ＭＢ回転数下限値到達時流量）以上となるように、また曲線Ｌ上の最大流量値が曲線Ｋ上の最小流量値以上となるように、各分岐管路１２ａ〜１２ｃの流路抵抗値を選定することにより、開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃの開閉制御による分岐管路の開路状態切換え時における排気流量変動に伴う炉体内圧力の変動巾を少量に抑制できる。
【００２１】
次に上記構成の装置による真空浸炭時における炉体内圧力制御方法について、図３に示すフローチャートおよび図２に従って説明する。真空熱処理装置１の複数個の各炉体２には、図示しない搬送手段により処理材が搬入・送出されて、各炉体２内の浸炭室では別個に真空浸炭処理が施され、その均熱期〜拡散期において各炉体から排出される雰囲気ガスが真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７および油回転ポンプ６）により排気される。
【００２２】
そこで真空熱処理装置１の稼働開始時に、真空排気装置５においては、開閉弁Ａを開いて分岐管路１２ａのみを開路状態とし（ステップ２１）、インバータ８を介して制御装置１０によりメカニカルブースタポンプ７の回転速度（以下ＭＢ回転数）を制御して、炉体内圧力を設定圧力Ｐ０に維持し、ＭＢ回転数ｎはインバータ８から制御装置１０にフィードバックされる。この炉体内圧力の制御は、図２に示す曲線Ｊに従って炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑに対応する排気流量が得られるようにＭＢ回転数を制御しておこなわれる。
【００２３】
この分岐管路１２ａの開路状態での圧力制御中に、上記雰囲気ガス流量Ｑが減少してＭＢ回転数が下限値に到達したとき（ステップ２２）は、開閉弁Ａが開状態であることを確認して（ステップ２３）、開閉弁Ａを閉じ開閉弁Ｂを開く（ステップ２４）。これによって高流路抵抗側の分岐管路１２ｂが開路状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図２の曲線Ｋ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの分岐管路１２ｂの開路状態（開閉弁Ｂ開状態）でさらに雰囲気ガス流量Ｑが減少してＭＢ回転数が下限値に到達したとき（ステップ２２）は、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ｃを開く（ステップ２３，２５，２６）。これによってさらに高流路抵抗側の分岐管路１２ｃが開路状態となり、排気流量の制御可能範囲は図２の曲線Ｌ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑのさらなる減少状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。  
【００２４】
一方、上記の分岐管路１２ｃの開路状態（開閉弁Ｃ開状態）で、炉体２からの雰囲気ガス流量Ｑが増加して、ＭＢ回転数が上限値に到達したとき（ステップ２８）は、開閉弁Ｃを閉じ開閉弁Ｂを開く（ステップ２９，３０）。これにより分岐管路１２ｂが開路状態となり排気流量制御可能範囲は図２の曲線Ｋ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの増加状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。また分岐管路１２ｂの開路状態（開閉弁Ｂ開状態）で、さらに雰囲気ガス流量Ｑが増加してＭＢ回転数が上限値に到達したとき（ステップ２８）は、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ａを開く（ステップ２９，３１，３２）。これにより分岐管路１２ａが開路状態となり、排気流量制御可能範囲は図２の曲線Ｊ上に移行し、雰囲気ガス流量のさらなる増加状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００２５】
なお図３のフローチャートにおいて、ステップ２７に到達するのは開閉弁Ｃ開状態でＭＢ回転数が下限値に到達したときで、炉体からの実排気量が当初の想定最小流量を下回ったときであり、またステップ３３に到達するのは開閉弁Ａ開状態でＭＢ回転数が上限値に到達したときで、炉体からの実排気流量が当初の想定最大流量を上回ったときである。これらのエラーが頻発するようであれば、流量調節弁１３ｃ，１３ａの流量調節などにより、分岐管路１２ｃの流路抵抗のさらなる高抵抗化あるいは分岐管路１２ａの流路抵抗のさらなる低抵抗化などの対策をとればよい。
【００２６】
以上のフローチャート（図３）に従っておこなう開閉弁Ａ〜Ｃの開閉制御による分岐管路の切換えは、制御装置１０の切換制御部によっておこなわれる。そして図２に示すように、排気流通路を高流路抵抗を有する分岐管路へ切換えることにより、この切換えをおこなわない１本の分岐管路１２ａのみによる排気流量制御可能範囲は範囲Ｖ０であるのに対し、上記の分岐管路の切換えにより範囲Ｖという大きな排気流量制御可能範囲が得られ、雰囲気ガス流量Ｑの大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を所定の設定圧力に維持することができるのである。
【００２７】
次に図４〜図６に示す第２例により、請求項２に係る発明の実施の形態を説明する。この第２例は、前記第１例におけるメカニカルブースタポンプ７の回転数制御のかわりに、流量制御弁による流量制御をおこなうものであるが、複数個の分岐管路の開路切換をおこなう点などの具体的構成は第１例と共通するものであり、図１と同一部分には同一符号を付して図示し、それらの部分の詳細な説明は省略する。
【００２８】
図４において、４１は処理材の真空浸炭処理をおこなう多室形の真空熱処理装置で、各炉体２に接続した排気管路３に、メカニカルブースタポンプ７と油回転ポンプ６を真空排気手段としてそなえた真空排気装置４２を接続して成る。
【００２９】
４３は、メカニカルブースタポンプ７の前段側の排気管路３に設けた分岐部で、複数本（この例では３本）の分岐管路４４ａ〜４４ｃを並列状に配設し、分岐管路４４ａには開閉弁Ａと流量制御弁Ｄが、分岐管路４４ｂには開閉弁Ｂと流量制御弁Ｅが、分岐管路４４ｃには開閉弁Ｃと流量制御弁Ｆが、それぞれ設けてある。開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃは、後述するように流量制御弁の開度に応じて１本の分岐管路が開路状態の排気流通路となるように、制御装置４５の切換制御部により開閉制御される。
【００３０】
また流量制御弁Ｄ〜Ｆは異なる流路抵抗を有するものであり、流量制御弁Ｄが最も流路抵抗の小さい低抵抗（大流量制御用）の流量制御弁、流量制御弁Ｅはこれより流路抵抗の大きい流量制御弁、流量制御弁Ｆはこれよりさらに流路抵抗の大きい高抵抗（小流量制御用）の流量制御弁である。そして前記開閉弁Ａ〜Ｃの開閉制御により開路状態となった１本の分岐管路の流量制御弁は、真空計９の圧力検出値Ｐと、真空浸炭工程における炉体内圧力設定値Ｐ０とに基いて、制御装置４５の圧力制御部により開度制御され、炉体内圧力の制御がおこなわれる。
【００３１】
上記の流量制御弁Ｄ，Ｅ，Ｆの流路抵抗についてさらに説明すると、図５は炉体内圧力が前記炉体内圧力設定値Ｐ０に維持されている状態における各流量制御弁の開度と、真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７および油回転ポンプ６）による排気流量（＝炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑ）との関係を略示する線図で、各流量制御弁（以下、制御弁と略称する）の開度を、開度制御により排気流量を精度よく調節できる開度の上限値と下限値の間で変化させたとき、低抵抗の制御弁Ｄによる排気流量は曲線Ｍ（直線で近似、以下他の曲線も同様。）に従って変化するのに対し、これより高抵抗の制御弁Ｅでは低流量側の曲線Ｎ、さらにこれより高抵抗の制御弁Ｆではさらに低流量側の流量曲線Ｏに従って、それぞれ排気流量が変化する。
【００３２】
そして図５に示すように、各制御弁Ｄ，Ｅ，Ｆの流路抵抗は、曲線Ｎ上の最大流量値（制御弁Ｅ開度上限値到達時流量）が曲線Ｍ上の最小流量値（制御弁Ｄ開度下限値到達時流量）以上となるように、また曲線Ｏ上の最大流量値が曲線Ｎ上の最小流量値以上となるように、各制御弁Ｄ〜Ｆの流路抵抗値を選定することにより、開度制御対象の制御弁切換え時における排気流量変動に伴う炉内圧力の変動巾を少量に抑制できる。
【００３３】
次に上記構成の装置による真空浸炭時における炉体内圧力制御方法について、図６に示すフローチャートおよび図５に従って説明する。真空熱処理装置４１の複数個の各炉体２には、図示しない搬送手段により処理材が搬入・送出されて、各炉体２内の浸炭室では別個に真空浸炭処理が施され、その均熱期〜拡散期において各炉体から排出される雰囲気ガスが真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７および油回転ポンプ６）により排気される。
【００３４】
そこで真空熱処理装置４１の稼働開始時に、真空排気装置４２においては、開閉弁Ａを開いて分岐管路４４ａを開路状態とし（ステップ５１）、該管路の制御弁Ｄを開度制御対象の制御弁として、制御装置４５（の圧力制御部）による炉体内圧力制御を開始する（ステップ５２，５３）。この炉体内圧力の制御は、図５に示す曲線Ｍに従って炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑに対応する排気流量が得られるように制御弁Ｄを開度制御しておこなわれる。
【００３５】
この分岐管路４４ａの開路状態（制御弁Ｄｏｎ状態）での圧力制御中に、上記雰囲気ガス流量Ｑが減少して制御弁Ｄの開度が下限値に到達したとき（ステップ５４）は、開閉弁Ａを閉じ開閉弁Ｂを開き、分岐管路４４ｂを開路状態として開度制御対象の制御弁を制御弁Ｄから制御弁Ｅに切換える（ステップ５５，５２，５７，５８）。これによって高流路抵抗側の制御弁Ｅによる開度制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図５の曲線Ｎ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少状態に対しても、制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの分岐管路４４ｂの開路状態（制御弁Ｅｏｎ状態）でさらに雰囲気ガス流量Ｑが減少して制御弁開度が下限値に到達したとき（ステップ５９）は、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ｃを開き、分岐管路４４ｃを開路状態として開度制御対象の制御弁を制御弁Ｅから制御弁Ｆに切換える（ステップ６０，５２，５７，６３，６４）。これによってさらに高流路抵抗側の制御弁Ｆによる開度制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図５の曲線Ｏ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑのさらなる減少状態に対しても、制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００３６】
一方、上記の制御弁Ｆによる圧力制御状態（開閉弁Ｃ開状態）で、炉体２からの雰囲気ガス流量Ｑが増加して、制御弁開度が上限値に到達したとき（ステップ６６）は、開閉弁Ｃを閉じ開閉弁Ｂを開き、分岐管路４４ｂを開路状態として開度制御対象弁を制御弁Ｆから制御弁Ｅに切換える（ステップ６７，５２，５７，５８）。これにより低流路抵抗側の制御弁Ｅによる開度制御状態となり排気流量制御可能範囲は図５の曲線Ｎ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの増加状態に対しても、制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御が可能となる。また制御弁Ｅによる圧力制御状態（開閉弁Ｂ開状態）で、さらに雰囲気ガス流量Ｑが増加して制御弁開度が上限値に到達したとき（ステップ６１）は、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ａを開き、分岐管路４４ａを開路状態として開度制御対象弁を制御弁Ｅから制御弁Ｄに切換える（ステップ６２，５２，５３）。これによりさらに低流路抵抗側の制御弁Ｄによる開度制御状態となり、排気流量制御可能範囲は図５の曲線Ｍ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑのさらなる増加状態に対しても、制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００３７】
なお図６のフローチャートにおいて、ステップ５６で制御弁Ｄの開度が上限値に到達するのは、炉体からの実排気流量が当初の想定最大流量を上回ったときであり、またステップ６５で制御弁Ｆの開度が下限値に到達するのは炉体からの実排気流量が当初の想定最小流量を下回ったときである。これらのエラーが頻発するようであれば、制御弁Ｄをさらに流路抵抗の小さい流量制御弁に交換し、あるいは制御弁Ｆをさらに流路抵抗の大きい流量制御弁に交換するなどの対策をとればよい。
【００３８】
以上のフローチャート（図６）に従っておこなう開閉弁Ａ〜Ｃの開閉制御による分岐管路の切換えおよび開度制御対象の制御弁の切換えは、制御装置４５の切換制御部によっておこなわれる。そして図５に示すように、排気流通路および開度制御対象の制御弁を高流路抵抗を有する制御弁へ切換えることにより、この切換えをおこなわない１本の分岐管路１２ａおよび制御弁Ｄのみによる排気流量制御可能範囲は範囲Ｖ０であるのに対し、上記の分岐管路および制御弁の切換えにより範囲Ｖという大きな排気流量制御可能範囲が得られ、雰囲気ガス流量Ｑの大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を所定の設定圧力に維持することができるのである。
【００３９】
次に図７〜図１１に示す第３例により、請求項３に係る発明の実施の形態を説明する。この第３例は、前記第１例におけるメカニカルブースタポンプ７の回転数制御と、前記第２例における流量制御弁による流量制御を組合わせておこなうものであり、複数個の分岐管路の開路切換をおこなう点や各分岐管路に設ける流量制御弁などの具体的構成は第１例および第２例と共通するものであり、図１および図４と同一部分には同一符号を付して図示し、それらの部分の詳細な説明は省略する。
【００４０】
図７において、７１は処理材の真空浸炭処理をおこなう多室形の真空熱処理装置で、各炉体２に接続した排気管路３に、メカニカルブースタポンプ７と油回転ポンプ６を真空排気手段としてそなえた真空排気装置７２を接続して成る。
【００４１】
４３は、メカニカルブースタポンプ７の前段側の排気管路３に設けた分岐部で、複数本（この例では３本）の分岐管路４４ａ〜４４ｃを並列状に配設し、分岐管路４４ａには開閉弁Ａと流量制御弁Ｄが、分岐管路４４ｂには開閉弁Ｂと流量制御弁Ｅが、分岐管路４４ｃには開閉弁Ｃと流量制御弁Ｆが、それぞれ設けてある。開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃは、後述するようにメカニカルブースタポンプ７の回転数および流量制御弁の開度に応じて１本の分岐管路が開路状態の排気流通路となるように、制御装置７３の切換制御部により開閉制御される。
【００４２】
また流量制御弁Ｄ〜Ｆは異なる流路抵抗を有するものであり、流量制御弁Ｄが最も流路抵抗の小さい低抵抗（大流量制御用）の流量制御弁、流量制御弁Ｅはこれより流路抵抗の大きい流量制御弁、流量制御弁Ｆはこれよりさらに流路抵抗の大きい高抵抗（小流量制御用）の流量制御弁である。そして前記開閉弁Ａ〜Ｃの開閉制御により開路状態となった１本の分岐管路の流量制御弁は、後述するようにメカニカルブースタポンプ７の回転数が下限値に達している状態で、真空計９の圧力検出値Ｐと、真空浸炭工程における炉体内圧力設定値Ｐ０とに基いて、制御装置４５の圧力制御部により開度制御され、炉体内圧力の制御がおこなわれる。
【００４３】
上記の流量制御弁（以下、制御弁と略称する）Ｄ，Ｅ，Ｆの流路抵抗および真空ポンプの流量特性についてさらに説明すると、図８は炉体内圧力が前記炉体内圧力設定値Ｐ０に維持されている状態における、メカニカルブースタポンプ７の回転数および各制御弁の開度と、真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７および油回転ポンプ６）による排気流量（＝炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑ）との関係を略示する線図で、各制御弁Ｄ，Ｅ，Ｆの全開（開度上限）状態においてＭＢ回転数がそのポンプ作動上許容される上限値と下限値の間で変化したとき、小抵抗の制御弁Ｄをそなえた分岐管路４４ａ開路時の排気流量は曲線Ｊに従って変化するのに対し、これより大抵抗の制御弁Ｅをそなえた分岐管路４４ｂ開路時には低流量側の曲線Ｋ、さらにこれより大抵抗の制御弁Ｆをそなえた分岐管路４４ｃ開路時にはさらに低流量側の曲線Ｌに従って、それぞれ排気流量が変化する。そしてメカニカルブースタポンプ７の回転数が下限値に維持された状態で、各制御弁の開度を、開度制御により排気流量を精度よく調節できる開度の上限値と下限値の間で変化させたとき、低抵抗の制御弁Ｄによる排気流量は直線Ｍに従って変化するのに対し、これより高抵抗の制御弁Ｅでは低流量側の直線Ｎ、さらにこれより高抵抗の制御弁Ｆではさらに低流量側の直線Ｏに従って、それぞれ排気流量が変化する。
【００４４】
そして図８に示すように、各制御弁Ｄ，Ｅ，Ｆの流路抵抗は、曲線Ｋ上の最大流量値（ＭＢ回転数上限値到達時流量）が直線Ｍ上の最小流量値（制御弁Ｄ開度下限値到達時流量）以上となるように、また曲線Ｌ上の最大流量値が曲線Ｎ上の最小流量値以上となるように、各制御弁Ｄ〜Ｆの流路抵抗値を選定することにより、開閉弁Ａ，Ｂ，Ｃの開路状態切換えに伴う制御対象切換え時における排気流量変動による炉内圧力の変動巾を少量に抑制できる。
【００４５】
次に上記構成の装置による真空浸炭時における炉体内圧力制御方法について、図９〜図１１に示すフローチャートおよび図８に従って説明する。真空熱処理装置７１の複数個の各炉体２には、図示しない搬送手段により処理材が搬入・送出されて、各炉体２内の浸炭室では別個に真空浸炭処理が施され、その均熱期〜拡散期において各炉体から排出される雰囲気ガスが真空ポンプ（メカニカルブースタポンプ７および油回転ポンプ６）により排気される。
【００４６】
そこで真空熱処理装置７１の稼働開始時に、真空排気装置７２においては、開閉弁Ａを開いて分岐管路４４ａを開路状態とし（ステップ８１）、メカニカルブースタポンプ７の制御を開始し（ステップ８２）、インバータ８を介して制御装置７３によりメカニカルブースタポンプ７の回転速度（以下ＭＢ回転数）を制御して、炉体内圧力を設定圧力Ｐ０に維持し、ＭＢ回転数ｎはインバータ８から制御装置７３にフィードバックされる。この炉体内圧力の制御は、図８に示す曲線Ｊに従って炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑに対応する排気流量が得られるようにＭＢ回転数を制御しておこなわれる。
【００４７】
この分岐管路４４ａの開路状態での圧力制御中に、上記雰囲気ガス流量Ｑが減少してＭＢ回転数が下限値に到達したとき（ステップ８３）は、図１０に示すようにＭＢ回転数を下限値に固定し（ステップ８４）、開閉弁Ａが開状態であることを確認して（ステップ８５）、該管路の制御弁Ｄを開度制御対象の制御弁として、制御装置７３（の圧力制御部）による炉体内圧力制御を開始する（ステップ８６）。この炉体内圧力の制御は、図８に示す直線Ｍに従って炉体２から排出される雰囲気ガス流量Ｑに対応する排気流量が得られるように制御弁Ｄを開度制御しておこなわれ、これによって排気流量の制御可能範囲は上記図８の直線Ｍ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少に対しても炉体内圧力の制御が可能となる。
【００４８】
この分岐管路４４ａの開路状態（制御弁Ｄｏｎ状態）での圧力制御中に、上記雰囲気ガス流量Ｑが減少して制御弁Ｄの開度が下限値に到達したとき（ステップ８７）は、開閉弁Ａを閉じ開閉弁Ｂを開き、分岐管路４４ｂを開路状態として制御弁Ｄの開度制御を終了し（ステップ８８）、メカニカルブースタポンプ７の制御を再開する（ステップ８２）。これによって高流路抵抗側の分岐管路４４ｂ開路状態におけるＭＢ回転数制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図８の曲線Ｋ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの分岐管路４４ｂの開路状態での圧力制御中に、さらに雰囲気ガス流量Ｑが減少してＭＢ回転数が下限値に到達したとき（ステップ８３）は、ＭＢ回転数を下限値に固定し（ステップ８４）、開閉弁Ｂが開路状態であることを確認して（ステップ９１）、該管路の制御弁Ｅを開度制御対象の制御弁として、制御装置７３（の圧力制御部）による炉体内圧力制御を開始する（ステップ９２）。これによって排気流量の制御可能範囲は上記図８の直線Ｎ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少に対しても炉体内圧力の制御が可能となる。
【００４９】
またこの分岐管路４４ｂの開路状態（制御弁Ｅｏｎ状態）での圧力制御中に、上記雰囲気ガス流量Ｑがさらに減少して制御弁Ｅの開度が下限値に到達したとき（ステップ９３）は、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ｃを開き、分岐管路４４ｃを開路状態として制御弁Ｅの開度制御を終了し（ステップ９４）、メカニカルブースタポンプ７の制御を再開する（ステップ８２）。これによって高流路抵抗側の分岐管路４４ｃ開路状態におけるＭＢ回転数制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図８の曲線Ｌ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの分岐管路４４ｃの開路状態での圧力制御中に、さらに雰囲気ガス流量Ｑが減少してＭＢ回転数が下限値に到達したとき（ステップ８３）は、ＭＢ回転数を下限値に固定し（ステップ８４）、開閉弁Ｃが開路状態であることを確認して（ステップ９７）、該管路の制御弁Ｆを開度制御対象の制御弁として、制御装置７３（の圧力制御部）による炉体内圧力制御を開始する（ステップ９８）。これによって排気流量の制御可能範囲は上記図８の直線Ｏ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少に対しても炉体内圧力の制御が可能となる。
【００５０】
一方、上記の制御弁Ｆによる圧力制御状態（開閉弁Ｃ開状態）で、炉体２からの雰囲気ガス流量Ｑが増加して、制御弁開度が上限値に到達したとき（ステップ１００）は、制御弁Ｆの開度を上限値に固定し（ステップ１０１）、メカニカルブースタポンプ７の制御を再開する（ステップ８２）。これによって分岐管路４４ｃ開路状態におけるＭＢ回転数制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図８の曲線Ｌ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの増加状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００５１】
この分岐管路４４ｃの開路状態での圧力制御中に、さらに雰囲気ガス流量Ｑが増加して、ＭＢ回転数が上限値に到達したとき（ステップ１０２）は、図１１に示すようにＭＢ回転数を一旦上限に固定し（ステップ１０３）、開閉弁Ｃが開路状態であることを確認して（ステップ１０６）、開閉弁Ｃを閉じ開閉弁Ｂを開き分岐管路４４ｂを開路状態として、ＭＢ回転数を下限値に固定し、制御弁Ｆの開度制御を終了し制御弁Ｅの開度制御を開始する（ステップ１０７）。これによって排気流量の制御可能範囲は、図８の直線Ｎ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少に対しても炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの制御弁Ｅによる圧力制御中に、雰囲気ガス流量Ｑが増加して制御弁開度が上限値に到達したとき（ステップ１０８）は、制御弁Ｅの開度を上限値に固定し（ステップ１０９）、メカニカルブースタポンプ７の制御を再開する（ステップ８２）。これによって分岐管路４４ｂ開路状態におけるＭＢ回転数制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図８の曲線Ｋ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの増加状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００５２】
またこの分岐管路４４ｂの開路状態での圧力制御中に、さらに雰囲気ガス流量Ｑが増加して、ＭＢ回転数が上限値に到達したとき（ステップ１０２）は、ＭＢ回転数を一旦上限に固定し（ステップ１０３）、開閉弁Ｂが開路状態であることを確認して（ステップ１０５）、開閉弁Ｂを閉じ開閉弁Ａを開き分岐管路４４ａを開路状態として、ＭＢ回転数を下限値に固定し、制御弁Ｅの開度制御を終了し制御弁Ｄの開度制御を開始する（ステップ１１２）。これによって排気流量の制御可能範囲は、図８の直線Ｍ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの減少に対しても炉体内圧力の制御が可能となる。そしてこの制御弁Ｄによる圧力制御中に、さらに雰囲気ガス流量Ｑが増加して制御弁開度が上限値に到達したとき（ステップ１１３）は、制御弁Ｅの開度を上限値に固定し（ステップ１１４）、メカニカルブースタポンプ７の制御を再開する（ステップ８２）。これによって分岐管路４４ａ開路状態におけるＭＢ回転数制御状態となるので、排気流量の制御可能範囲は図８の曲線Ｊ上に移行し、雰囲気ガス流量Ｑの増加状態に対しても、ＭＢ回転数制御により炉体内圧力の制御が可能となる。
【００５３】
以上、図１０のフローチャートについては、炉体２からの雰囲気ガス流量Ｑの減少時について、図１１のフローチャートについては雰囲気ガス流量Ｑの増加時について、それぞれ説明したが、たとえば図１０のフローチャートにおいて雰囲気ガス流量Ｑが反転増加して、開度制御中の制御弁の開度が上限に達したとき（ステップ８９，９５）は、図１１のフローチャートで説明したように各制御弁の開度を上限に固定して（ステップ９０，９６）、同一分岐管路におけるＭＢ回転数制御に切換えればよい。また同様に図１１のフローチャートにおいて雰囲気ガス流量Ｑが反転減少して、開度制御中の制御弁の開度が下限に達したとき（ステップ１１０，１１５）は、図１０のフローチャートで説明したように開閉弁の切換えおよび制御弁の開度制御を終了して（ステップ１１１，１１６）、大流量抵抗側の分岐管路におけるＭＢ回転数制御に切換えればよい。
【００５４】
また図１０のフローチャートにおいて、ステップ９９で制御弁Ｆの開度が下限値に到達するのは、炉体からの実排気流量が当初の想定最小流量を下回ったときであり、また図１１のフローチャートにおいて、ＭＢ回転数が上限値に達したときステップ１０４で開閉弁Ａが開放状態にあるのは、炉体からの実排気流量が当初の想定最大流量を上回ったときである。これらのエラーが頻発するようであれば、制御弁Ｆをさらに流路抵抗の大きい流量制御弁に交換し、あるいはメカニカルブースタポンプ７をさらに排気流量の大きいポンプに交換するなどの対策をとればよい。
【００５５】
以上のフローチャート（図９〜図１１）に従っておこなう開閉弁Ａ〜Ｃの開閉制御による分岐管路の切換えおよび開度制御対象の制御弁の切換えおよびＭＢ回転数制御と制御弁の開度制御との切換えは、制御装置４５の切換制御部によっておこなわれる。そして図８に示すように、排気流通路および開度制御対象の制御弁を高流路抵抗を有する制御弁へ切換えることにより、この切換えをおこなわない１本の分岐管路４４ａにおけるＭＢ回転数制御のみによる排気流量制御可能範囲は範囲Ｖ０であるのに対し、上記の分岐管路および制御弁の切換えとＭＢ回転数制御の組合せにより、範囲Ｖという第１例および第２例に比べて特に大きな排気流量制御可能範囲が得られ、雰囲気ガス流量Ｑの大きな変動巾に対しても過不足なく排気をおこなって、炉体内圧力を所定の設定圧力に維持することができるのである。
【００５６】
この発明は上記の例に限定されるものではなく、たとえば上記第３例では、ひとつの分岐管路の開路状態における制御弁の開度制御は、ＭＢ回転数の下限値保持状態でおこなったが、この制御弁の開度制御は、ＭＢ回転数の上限値保持状態でおこなうようにしてもよく、またＭＢ回転数制御と制御弁の開度制御を同時に（並行して）おこなうようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】請求項１に係る発明の実施の形態の一例を示す真空熱処理装置の機器系統図である。
【図２】図１の真空排気装置におけるポンプ回転数に対する排気流量の変化を示す線図である。
【図３】図１の真空排気装置における分岐管路切換制御動作のフローチャートである。
【図４】請求項２に係る発明の実施の形態の一例を示す真空熱処理装置の機器系統図である。
【図５】図４の真空排気装置における流量制御弁の開度に対する排気流量の変化を示す線図である。
【図６】図４の真空排気装置における分岐管路および流量制御弁切換制御動作のフローチャートである。
【図７】請求項３に係る発明の実施の形態の一例を示す真空熱処理装置の機器系統図である。
【図８】図７の真空排気装置におけるポンプ回転数および流量制御弁の開度に対する排気流量の変化を示す線図である。
【図９】図７の真空排気装置における分岐管路および流量制御弁切換制御動作のフローチャートの一部である。
【図１０】図７の真空排気装置における分岐管路および流量制御弁切換制御動作のフローチャートの一部である。
【図１１】図７の真空排気装置における分岐管路および流量制御弁切換制御動作のフローチャートの一部である。
【符号の説明】
【００５８】
１…真空熱処理装置、２…炉体、３…排気管路、５…真空排気装置、６…油回転ポンプ、７…メカニカルブースタポンプ、８…インバータ、９…真空計、１０…制御装置、１１…分岐部、１２ａ…分岐管路、１２ｂ…分岐管路、１２ｃ…分岐管路、１３ａ…流量調節弁、１３ｂ…流量調節弁、１３ｃ…流量調節弁、４１…真空熱処理装置、４２…真空排気装置、４３…分岐部、４４ａ…分岐管路、４４ｂ…分岐管路、４４ｃ…分岐管路、４５…制御装置、７１…真空熱処理装置、７２…真空排気装置、７３…制御装置、Ａ…開閉弁、Ｂ…開閉弁、Ｃ…開閉弁、Ｄ…流量制御弁、Ｅ…流量制御弁、Ｆ…流量制御弁。  
【図１】
2007315729.tif 000003
【図２】
2007315729.tif 000004
【図３】
2007315729.tif 000005
【図４】
2007315729.tif 000006
【図５】
2007315729.tif 000007
【図６】
2007315729.tif 000008
【図７】
2007315729.tif 000009
【図８】
2007315729.tif 000010
【図９】
2007315729.tif 000011
【図１０】
2007315729.tif 000012
【図１１】
2007315729.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月3日(2006.7.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁をそなえた流路抵抗の異なる複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達したとき前記排気流通路を高抵抗側の分岐管路に切換え、前記回転数が上限値に達したとき前記排気流通路を低抵抗側の分岐管路に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする真空熱処理装置の真空排気装置。
【請求項２】
炉体と真空ポンプとを接続する排気管路に設けた流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、該排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする真空熱処理装置の真空排気装置。
【請求項３】
炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、
前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、
前記各流量制御弁のうちから選定される１個の流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう圧力制御手段と、
前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達し且つ前記排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記真空ポンプの回転数が上限値に達し且つ前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段とを具備したことを特徴とする真空熱処理装置の真空排気装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
また請求項２記載の真空熱処理装置の真空排気装置は、炉体と真空ポンプとを接続する排気管路に設けた流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、該排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段を具備したことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また請求項３記載の真空熱処理装置の真空排気装置は、炉体に排気管路を介して接続した真空ポンプの回転数制御により、炉体内圧力の制御をおこなう真空熱処理装置の真空排気装置において、前記排気管路に、開閉弁と流路抵抗の異なる流量制御弁とをそなえた複数本の分岐管路を並列状に配設した分岐部を設け、前記各流量制御弁のうちから選定される１個の流量制御弁の開度制御により炉体内圧力の制御をおこなう圧力制御手段と、前記開閉弁を開閉制御して１本の前記分岐管路を排気流通路として選定し、前記真空ポンプの回転数が下限値に達し且つ前記排気流通路の前記開度制御中の前記流量制御弁の開度が下限値に達したとき、前記排気流通路および開度制御対象の流量制御弁を高抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換え、前記真空ポンプの回転数が上限値に達し且つ前記開度が上限値に達したとき、前記排気流通路および流量制御弁を低抵抗側の流量制御弁をそなえた分岐管路および該流量制御弁に切換える切換制御手段とを具備したことを特徴とする。