(57)【要約】【課題】  動作マージンの確認ができる自己診断機能を備えた半導体試験装置を実現する。【解決手段】  本発明は、電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置に改良を加えたものである。本装置は、電源部に設けられ、給電電圧を変動させる給電電圧変更手段と、試験部の診断時に、給電電圧を変動させる指令を給電電圧変更手段に出力する制御部と、を備える装置である。【選択図】                    図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、
前記電源部に設けられ、給電電圧を変更する給電電圧変更手段と、
前記試験部の診断時に、前記給電電圧を変動させる指令を前記給電電圧変更手段に出力する制御部と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。
【請求項２】
前記試験部は、被試験対象の電源電圧を供給するデバイス電源部、被試験対象に信号を出力する信号出力部、被試験対象の出力を計測する信号計測部のいずれかであることを特徴とする請求項１記載の半導体試験装置。
【請求項３】
前記給電電圧変更手段は、給電電圧をステップ的に切り換えることを特徴とする請求項１または２記載の半導体試験装置。
【請求項４】
前記試験部は、前記電源部からの給電電圧を受けて、自身の給電電圧を変更する内部給電手段を備え、前記制御部が、診断時に前記内部給電手段の給電電圧を変動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置における試験部の自己診断機能に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体試験装置に関連する先行技術文献としては、次のようなものがある。
【０００３】
【特許文献１】特開平９−３０４４８２号公報
【０００４】
図４は、半導体試験装置の一般的な構成例を示す機能ブロック図である。１は半導体試験装置、２は被試験対象のデバイス（以下、ＤＵＴ）である。半導体試験装置１は、点線のブロックで示す試験部Ａ及びこれに給電する電源部Ｂよりなる。
【０００５】
試験部Ａにおいて、１１はＤＵＴ２に所定の動作電圧を供給するデバイス電源部、１２はＤＵＴ２に試験用の信号を与える信号出力部、１３はＤＵＴ２からの出力を計測する信号計測部である。１４は制御部であり、これらデバイス電源部１１、信号出力部１２、信号計測部１３と通信し、所定のシーケンスでＤＵＴ２の試験を実行する。
【０００６】
電源部Ｂにおいて、１５は第１電源部であり、デバイス電源部１１に電源電圧Ｅ１を給電する。１６は第２電源部であり、信号出力部１２に電源電圧Ｅ２を給電する。１７は第３電源部であり、信号計測部１３に電源電圧Ｅ３を給電する。
【０００７】
このような構成をとる半導体試験装置１では、試験部Ａの正常動作を診断するための自己診断機能は、ＤＵＴ２への接続を切り離し、デバイス電源部１１の出力または信号出力部１２の出力を、ジャンパＪ１またはＪ２により信号計測部１３に接続して測定し、その値が正しいか否かで正常動作を判断している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
アナログ信号による試験の場合には、正常動作の判定は、計測値がある範囲内にあれば正常と判断する。このとき、計測値が判定値ぎりぎりであった場合は、正常ではあるが動作マージンがないと判断でき、異常になる前に予防保全作業を行うことができる。ところが、ロジック的な動作確認の場合は、このような手法では動作マージンの確認を行うことができない。また、アナログ試験の場合であっても、電源電圧変動に対する動作マージンの確認はできなかった。
【０００９】
従って本発明が解決しようとする課題は、動作マージンの確認ができる自己診断機能を備えた半導体試験装置を実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
このような課題を達成するために、本発明の構成は次の通りである。
（１）電源部より給電される試験部により、被試験対象の試験を行なう半導体試験装置において、
前記電源部に設けられ、給電電圧を変更する給電電圧変更手段と、
前記試験部の診断時に、前記給電電圧を変動させる指令を前記給電電圧変更手段に出力する制御部と、
を備えることを特徴とする半導体試験装置。
【００１１】
（２）前記試験部は、被試験対象の電源電圧を供給するデバイス電源部、被試験対象に信号を出力する信号出力部、被試験対象の出力を計測する信号計測部のいずれかであることを特徴とする（１）記載の半導体試験装置。
【００１２】
（３）前記給電電圧変更手段は、給電電圧をステップ的に切り換えることを特徴とする（１）または（２）記載の半導体試験装置。
【００１３】
（４）前記試験部は、前記電源部からの給電電圧を受けて、自身の給電電圧を変更する内部給電手段を備え、前記制御部が、診断時に前記内部給電手段の給電電圧を変動させることを特徴とする（１）乃至（３）のいずれかに記載の半導体試験装置。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば、動作マージンを、電源電圧を変動させることで確認することができる。即ち、本来使用する電源電圧では正常に動作したとしても、それが動作の臨界点であった場合は、電源電圧を変動させることで異常状態となり、動作マージンがないことを確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図１は本発明を適用した半導体試験装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。図４で説明した従来装置と同一要素には同一符号を付して説明を省略する。以下、本発明の特徴部につき説明する。
【００１６】
図１において、１００は本発明が適用された半導体試験装置である。試験部Ａにおいて、デバイス電源部１０１、信号出力部１０２、信号計測部１０３は、図４で説明した従来装置の構成要素１１乃至１３と同一である。１０４は制御部であり、デバイス電源部１０１、信号出力部１０２、信号計測部１０３と通信する。
【００１７】
電源部Ｂにおいて、１０５は第１電源部であり、デバイス電源部１０１に電源電圧Ｅ１を給電すると共に、この電源電圧を変更する給電電圧変更手段１０５ａを備える。１０６は第２電源部であり、信号出力部１０２に電源電圧Ｅ２を給電すると共に、この電源電圧を変更する給電電圧変更手段１０６ａを備える。１０７は第３電源部であり、信号計測部１０３に電源電圧Ｅ３を給電すると共に、この電源電圧を変更する給電電圧変更手段１０７ａを備える。
【００１８】
制御部１０４は、試験部Ａの自己診断を実行するときに、指令Ｃ１を給電電圧変更手段１０５ａに出力して電源電圧Ｅ１を所定の範囲で変動させる。同様に、指令Ｃ２を給電電圧変更手段１０６ａに出力して電源電圧Ｅ２を所定の範囲で変動させる。同様に、指令Ｃ３を給電電圧変更手段１０７ａに出力して電源電圧Ｅ３を所定の範囲で変動させる。
【００１９】
制御手段１０４は、デバイス電源部１０１、信号出力部１０２、信号計測部１０３が正常に動作できる範囲で各電源部１０５，１０６，１０７の電源電圧Ｅ１，Ｅ２，Ｅ３を変動させて、自己診断を実施する。電源電圧を変動させることで、その動作マージンの確認をすることができる。
【００２０】
図２は、第１電源部１０５内の給電電圧変更手段１０５ａの実施例を示した回路構成図である。電源変動の保障範囲が±５％であると想定したとき、定常電圧Ｅ１に加えて、１．０５×Ｅ１及び０．９５×Ｅ１のステップ的な電圧をＤＣ電圧源より出力させ、これら電圧を制御部からの指令Ｃ１で操作される切り換え手段で選択出力させる。
【００２１】
第２、第３電源部の給電電圧変更手段も同様の構成とすることができる。給電電圧変更手段は、制御部１０４からのディジタル値の指令をアナログ値に変換するＤＡコンバータを用いて給電電圧をプログラマブルに変動させることも可能である。
【００２２】
自己診断の手順は、まず第１電源１０５の電源圧Ｅ１を、指令Ｃ１により＋５％変動させ、デバイス電源部１０１の出力を信号計測部１０３で測定し、電源変動に対する動作マージンの評価を実行する。次に電源電圧Ｅ１を、指令Ｃ１により−５％変動させて同様の評価を実行する。
【００２３】
第２電源１０６の電源電圧Ｅ２を、指令Ｃ２により＋５％変動させ、信号出力部１０２の出力を信号計測部１０３で測定し、電源変動に対する動作マージンの評価を実行する。次に電源電圧Ｅ２を、指令Ｃ２により−５％変動させて同様の評価を実行する。
【００２４】
第３電源１０７の電源電圧Ｅ３を、指令Ｃ３により＋５％変動させ、デバイス電源部１０１及び出力信号出力部１０２の出力が正しく計測されるかをチェックして、電源変動に対する動作マージンの評価を実行する。次に給電電圧Ｅ３を、指令Ｃ３により−５％変動させて同様の評価を実行する。
【００２５】
図３は、本発明の他の実施形態を示す機能ブロック図である。デバイス電源部１０１、信号出力部１０２、信号計測部１０３の少なくともいずれかに、内部での電圧変更のためのＤＣ／ＤＣコンバータ等による内部給電手段１０１ａ、１０２ａ、１０３ａを備えている場合には、制御部１０４からの指令Ｃ１、Ｃ２，Ｃ３をこれら内部給電手段にも出力し、内部の給電電圧を同時に変動させて動作マージンの確認を行うことができる。
【００２６】
以上説明した実施形態では、信号出力部１０２と信号計測部１０３は、夫々別の第２電源部１０６及び第３電源部１０７より給電されている。ロジック的な試験装置では、信号出力部のドライバと信号計測部のコンパレータとが一体化され、同一の電源部より給電される構成をとる場合もある。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】本発明を適用した半導体試験装置の一実施形態を示す機能ブロック図である。
【図２】給電電圧変更手段の実施例を示した回路構成図である。
【図３】本発明の他の実施形態を示す機能ブロック図である。
【図４】半導体試験装置の一般的な構成例を示す機能ブロック図である。
【符号の説明】
【００２８】
２  試験対象デバイス（ＤＵＴ）
１００  半導体試験装置
Ａ  試験部
Ｂ  電源部
１０１  デバイス電源部
１０２  信号出力部
１０３  信号計測部
１０４  制御部
１０５  第１電源部
１０５ａ  給電電圧変更手段
１０６  第２電源部
１０６ａ  給電電圧変更手段
１０７  第３電源部
１０７ａ  給電電圧変更手段
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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