(57)【要約】【課題】大型の基板を検査する場合においても、構成が簡単で高コスト化を招くことなく、検査者が基板に近づいて観察可能な外観検査装置を提供する。【解決手段】光を基板２に照射するマクロ照明部１と、光が基板２に照射されるように基板２を保持する基板保持部４とを備える外観検査装置Ａにおいて、基板保持部４は、基板２の表面２ａが略垂直となるように基板２を保持するものとされ、マクロ照明部１は、検査者７が基板２からの反射光または透過光を観察可能な観察台３が設けられ、基板保持部４に基板１が略垂直に保持された状態で、マクロ照明部２と観察台３とが基板面に沿って二次元方向に相対移動可能とされている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光を基板に照射するマクロ照明部と、前記光が基板に照射されるように該基板を保持する基板保持部とを備える外観検査装置において、
前記基板保持部は、基板面が略垂直となるように前記基板を保持するものとされ、前記マクロ照明部は、検査者が前記基板からの反射光または透過光を観察可能な観察台が設けられ、前記基板保持部に前記基板が略垂直に保持された状態で、前記マクロ照明部と前記観察台とが前記基板面に沿って二次元方向に相対移動可能とされていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項２】
請求項１記載の外観検査装置において、
前記マクロ照明部と前記観察台とが、前記基板面に平行する垂直面内で上下方向と左右方向の両方向に相対移動可能とされていることを特徴とする外観検査装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の外観検査装置において、
前記マクロ照明部が前記基板面に対して任意の入射角度に調整できるように回動可能とされていることを特徴とする外観検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば液晶ディスプレイ等のＦＰＤ（Flat Panel Display）を製造するためのガラス基板を検査する外観検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、例えば液晶ディスプレイ等のＦＰＤを製造するマザーガラス基板（以下、基板という）は、外観検査装置により基板を観察に適した角度に傾斜させた状態で基板表面にマクロ照明光を照射して、基板からの反射光を検査者が目視観察し、異常な反射光を検知することによって基板表面に塗布されたレジストの膜むらやパターンの欠陥、塵埃付着の有無など（以下、欠陥という）が確認されている。
【０００３】
従来の外観検査装置は、基板に光を照射するためのマクロ照明部と、基板に対するマクロ照明光の入射角を可変するため揺動可能に基板を保持する基板保持部とを主な構成要素とするものであった。この外観検査装置のマクロ照明部は、マクロ照明光を出射する光源と、光源から出射されたマクロ照明光を収束させるフレネルレンズと、このフレネルレンズにより収束されたマクロ照明光をそのまま透過させる透明な状態、またはマクロ照明光を散乱させる不透明な状態に切替える液晶散乱板とから構成されている。例えば検査者が反射光を観察して検査を行う際、欠陥が生じている場合には、欠陥部で乱反射が生じるために、基板表面の欠陥部を容易に目視で観察することができる。また、基板を保持する基板保持部が揺動可能とされていることによって、基板に対するマクロ照明光の入射角を変化させて、見え難い欠陥部からの乱反射を強調させることが可能となり、基板表面の全ての欠陥を確実に検知することが可能になる（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２０００−２８５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、近年、例えば液晶ディスプレイなどＦＰＤの大型化に伴い、ＦＰＤを製造するマザーガラス基板も大型化し、２０００ｍｍを超えるものが出現している。このような大型のマザーガラス基板を上記の外観検査装置によって検査する場合には、外観検査装置のマクロ照明部や基板保持部を基板サイズに応じて大きくする必要が生じる。また、基板が大型化すると、基板保持部を４５°に傾斜させて上方からマクロ照明光を照射させて目視観察する際に、検査者に対して基板の上方側または下方側が遠方に位置され、この遠方位置の基板の検査が困難になる場合がある。この対策として、基板保持部を傾斜させた状態で上下動させる機構を設けて、基板の上方側または下方側を検査者の視野範囲に移動させることも考えられる。しかしながら、このように基板保持部を傾斜させた状態で上下方向に移動させても、基板保持部が４５°に傾斜しているために、基板保持部の大型化に比例して基板と検査者の距離が遠くなり、依然として基板の検査が困難となる。また、大型の基板保持部を上下方向に移動させると、その移動構成が複雑化し外観検査装置の高コスト化を招くばかりか、基板保持部を上下方向に移動させるスペースが必要となり外観検査装置の高さ寸法が大きくなって装置が大型化するという問題が生ずる。
【０００５】
また、外観検査装置では、目視観察により基板上の欠陥を検出した際に、検査者が基板に近づき欠陥部を詳細に観察したいという要望があるが、基板保持部が４５°に傾斜しているために、基板に近づいて詳細観察を行えないという問題があった。これに対し、基板保持部を垂直に立ち上げて、検査者側に移動させることが考えられるが、この場合にはマクロ照明光を照射することができず、基板を立ち上げている間に欠陥位置を見失ってしまという問題が生ずる。
【０００６】
さらに、大型で薄肉の基板を検査する場合には、矩形枠状に形成された基板保持部に基板を保持する際に、基板の周縁部と矩形枠の開口部内の基板を複数箇所で支持するため、基板にたわみが生じ検査精度が低下してしまうという問題が生ずる。
【０００７】
本発明は、上記事情を鑑み、大型の基板を検査する場合においても、装置の大型化を抑制し、検査者が基板に近づいて観察可能な外観検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の目的を達するために、この発明は以下の手段を提供している。
【０００９】
本発明では、光を基板に照射するマクロ照明部と、前記光が基板に照射されるように該基板を保持する基板保持部とを備える外観検査装置において、前記基板保持部は、基板面が略垂直となるように前記基板を保持するものとされ、前記マクロ照明部は、検査者が前記基板からの反射光または透過光を観察可能な観察台が設けられ、前記基板保持部に前記基板が略垂直に保持された状態で、前記マクロ照明部と前記観察台とが前記基板面に沿って二次元方向に相対移動可能とされている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の外観検査装置によれば、マクロ照明部と観察台とが、基板保持部に対して相対移動可能とされていることにより、基板の表面（基板面）に照射される光の照射位置を相対移動させて検査を行うことができる。これにより、大型の基板に対しても光の照射位置を随時変えながら全面の検査を行うことが可能になる。
【００１１】
また、この場合には、基板が略垂直に保持されるため、検査者が基板表面に近づいて観察を行うことができる。これにより、検査者と基板との離間を大きくせずに検査を行うことができる。また、基板が略垂直に保持されていることにより、検査者が基板に近づいた場合においても、ゴミなどが落下し基板表面の欠陥を増加させることなく、検査を行うことが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図１から図５を参照し、本発明の第１実施形態に係る外観検査装置について説明する。
【００１３】
本発明の第１実施形態は、例えば液晶ディスプレイ等のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）を製造するマザーガラス基板２（以下、基板という）の検査を行う外観検査装置Ａに関するものである。この外観検査装置Ａは、図１から図２に示すように、基板２に部分的にマクロ照明光を照射するマクロ照明部１と、マクロ照明部１が設置された観察台３と、基板２を略垂直に保持する基板保持部４とが主な構成要素とされている。ここで、略垂直とは、外観検査装置Ａが設置される略水平な設置面５に対する基板２の軸線Ｏ１または基板２の表面（基板面）２ａに沿う面の交差角が８０°から９０°となる状態を意味し、好ましくは８５°から９０°となる状態を意味する。また、本実施形態では、略垂直を前記交差角が８５°であるものとして説明を行なう。
【００１４】
マクロ照明部１は、光源１ａと、光源１ａから出射される照明光を収束させて基板２の表面２ａに照射させる例えばフレネルレンズなどの収束レンズ１ｂと、収束レンズ１ｂにより収束されたマクロ照明光を透過させる透明状態及びマクロ照明光を散乱させる不透明状態に切替える液晶散乱板１ｃと、これらを１つに納める箱状のランプハウス１ｄとから構成されている。光源１ａは、メタルハライドランプやＬＥＤ又はナトリウムランプで構成してもよく、収束レンズ１ｂは、凸レンズや１枚のフレネルレンズもしくは平行光と収束光に成形する２枚のフレネルレンズで構成してもよい。また、マクロ照明部１は、ランプハウス１ｄの下面１ｅが円柱状の支持台６上に回転自在に支持されており、この支持台６の下端が観察台３に固定されている。支持台６には、例えばモータなどの駆動手段が取り付けられ、図５に示すようにランプハウス１ｄが基板２の垂直方向Ｚに平行する軸線Ｏ３回りに回動可能とされている。このランプハウス１ｄは、基板２で反射する照明光の反射角度θ２が観察者に適した角度になるようにランプハウス１ｄを左右に回転させ、照明光の光軸Ｏ２が基板２に対して入射角θ１になるように設定される。さらに、ランプハウス１ｄは、基板２側に向く側面に開口部１ｆが形成されており、この開口部１ｆに収束レンズ１ｂと液晶散乱板１ｃが取り付けられ、その後方に光源１ａが配置されている。
【００１５】
基板保持部４は、透過照明が可能に矩形枠の開口部を形成した矩形枠部４ａと、この矩形枠部４ａを垂直に支持する支持台４ｂとから構成されている。矩形枠部４ａの開口部の周縁には、基板２の周縁部の裏面を吸着保持する吸着パッド４ｃが分散配置され、各吸着パッド４ｃは配管を介して図示せぬ真空ポンプに接続されている。また、矩形枠部４ａの表面４ｅには、垂直方向Ｚの下方側４ｆに２つ、一方の側方側４ｇに１つの例えば円柱棒状の位置決めピン４ｈが取り付けられている。この位置決めピン４ｈは、矩形薄板状の基板２を基板保持部４に保持させる際に、基板２の下端２ｂ及び側端２ｃを当接させ基準位置に設置するためのものである。基板２は、図示せぬ多関節搬送ロボットにより垂直に立てた状態で基板保持部４に搬入され、基板２を各位置決めピン４ｈに接触させた状態で各吸着パッド４ｃにより吸着されて基板保持部４に保持される。一方、支持台４ｂは、その上面４ｉに矩形枠部４ａの下端４ｆが接続されて、矩形枠部４ａを垂直に支持している。
【００１６】
観察台３は、矩形盤状に形成されており、外観検査装置Ａの設置面５と平行するように設けられている。また、観察台３の下方には、観察台３に平行する矩形盤状に形成された移動部３ｂが設けられており、観察台３と移動部３ｂとの間には、観察台３を上下動可能とする例えば油圧ジャッキなどの上下動駆動手段３ｃが設けられている。また、外観検査装置Ａが設置される設置面５には、２条の平行する軌道部３ｄが設けられ、移動部３ｂには、軌道部３ｄ上を走行して移動部３ｂを左右の水平方向に移動させる水平駆動手段３ｅが取り付けられている。水平駆動手段３ｅは、例えばリニアモータで構成することができ、軌道部３ｄをリニアモータが走行するリニアガイドで構成することができる。これにより、観察台３とマクロ照明部１とは、移動部３ｂにより軌道部３ｄ上を水平方向Ｘに移動可能とされるとともに、上下動駆動手段３ｃにより垂直方向Ｚに上下動可能とされており、基板保持部４に対して、基板２の表面２ａに沿う水平方向Ｘおよび垂直方向Ｚに相対移動可能とされている。
【００１７】
ついで、図１から図５を参照し、上記の構成からなる外観検査装置Ａを用いて基板２の検査を行う方法について説明する。
【００１８】
はじめに、例えば図示せぬ多関節搬送ロボットを用いて基板２を垂直に保持させた状態で基板保持部４まで搬送する。基板保持部４の表面４ｅに沿うように基板２を搬送しながら、基板２の下端２ｂおよび一方の側端２ｃを基板保持部４に設けられた位置決めピン４ｈに当接させて基板２を基準位置に位置決めする。基板２の位置決めが終了した段階で、図示せぬ真空ポンプにより吸引を開始し、位置決めされた基板２の裏面２ｅの周縁部を基板保持部４の複数の吸着パッド４ｃにより吸着させて保持する。これにより、基板２は基板保持部４の基準位置に垂直状態で保持されることになる。
【００１９】
このとき観察台３は、図３に示す初期位置に待機し、マクロ照明部１によりマクロ照明光が基板２の他方の側端２ｄ側を照射する。検査者７が、収束されたマクロ照明光によるマクロ観察する際には、収束レンズ１ｂにより収束されたマクロ照明光を基板２の表面２ａに向けて照射し、基板２の表面２ａで反射したマクロ照明光の光束径から外れた位置に目の位置が来るように立ち、基板２表面２ａを目視して検査を開始する。なお、マクロ照明部１により照射されたマクロ照明光は、基板２の一部の範囲に照射されている。検査者７は、遠隔操作部を操作してマクロ照明部１を目視観察に適した入射角度θ１に設定した状態で、マクロ照明光が照射されている基板２表面２ａを目視しながら表面２の欠陥部を検出する。このとき、マクロ照明部１を微小な角度で左右方向に揺動させることにより、見え難い欠陥部からの乱反射が強調されて見え易くなる。ついで、図３から図４に示すように、観察台３を軌道部３ｄ上で水平方向Ｘに移動しつつ、検査者７は前述と同様に順次基板２表面２ａを観察する。この目視観察中に基板２表面２ａに欠陥部を確認した場合には、観察台３の移動を停止し、必要に応じて基板２表面２ａに近づき詳細観察を行う。また、検査者７は、例えばレーザーポインターなどを用いて検知された欠陥の位置座標の取得を行う。このように、検査途中で欠陥部が確認された場合には、観察台３の移動の停止とともに、詳細観察、位置座標の取得を順次行ってゆく。
【００２０】
マクロ照明部１から照射されるマクロ照明光が基板２の一方の側端２ｃまで到達したならば、上下動駆動手段３ｃを駆動し、基板２の検査されていない部分へ光の照射位置を移動させ、上記と同様の操作を行う。順次観察台３を垂直方向Ｚと水平方向Ｘに移動することで基板２全面２ａの検査を実施する。また、必要応じて、液晶散乱板１ｃを透明な状態から散乱させる不透明状態に切替えて、マクロ照明部１から照射されたマクロ照明光を均一なシャーカス照明（面照明）に変換し、上記と同様に基板２の表面２ａを二次元的に照射して、基板２の表面２ａを目視観察する。
【００２１】
したがって、上記の外観検査装置Ａによれば、基板保持部４および垂直に保持された基板２に対して、マクロ照明部１と観察台３とを垂直方向Ｚおよび水平方向Ｘの二次元方向に移動させることができ、基板２の短辺のサイズが２０００ｍｍを超える、例えば２１６０ｍｍ×２４００ｍｍ、２４００ｍｍ×２８００ｍｍの大型化した基板２であっても、この大型基板２の全面に対してマクロ照明光を走査させて目視観察することが可能になり、垂直に立てられた基板２に対して観察台３を平行に二次元方向に移動させることにより、常に基板２に対して近接した状態で目視観察することができ、目視検査の精度を高めることができる。これとともに、欠陥部が目視により確認された場合に、基板２に近づき詳細観察を容易に行うことができ、更に目視検査の精度を高めることができる。さらに、検査者７が基板２に近づいて詳細観察する場合において、基板２が垂直とされ、検査者７が基板２の垂直方向Ｚに平行して近づくことができるため、基板２表面２ａにゴミなどを落とすことなく詳細観察を行うことができる。
【００２２】
また、上記の外観検査装置Ａによれば、従来の外観検査装置のように基板保持部４を所定の角度に傾斜させたり、微小な角度で揺動させる必要がなく、マクロ照明部１と検査者７とを乗せる観察台３を基板２表面２ａに対して垂直方向Ｚと水平方向Ｘに移動可能とさせることにより、簡単な構成で大きな基板２を検査することができるため、外観検査装置Ａのコストの低減を図ることが可能である。また、従来の外観検査装置の場合には、基板２の受け渡しのために基板保持部を水平に戻す必要があり、この基板保持部を水平にするためのスペースが基板サイズに比例して大きくなるが、上記の外観検査装置Ａによれば、設置面５に対して基板保持部４を垂直に設けることにより、従来の外観検査装置に比べて設置面積を非常に小さくでき、かつ基板保持部４を上下方向に移動させる必要がなくなるため、装置の高さ寸法を低く抑え装置の小型化を図ることができる。また、従来の外観検査装置では、基板が大型化した際に、基板保持部を上下方向に移動させる必要があり、更に基板保持部の上方にマクロ照明装置が搭載されるとともに、基板の搬入のパスラインも例えば１５００ｍｍと高くなるため、２０００ｍｍを超えるような大型化基板を検査する場合には、外観検査装置の高さがクリーンルームの天井より高くなりクリーンルームに搬入できなくなる。これに対して、上記の外観検査装置Ａによれば、設置面５に基板保持部４を垂直に立てて、この基板保持部４に平行にマクロ照明部１を移動させることにより、外観検査装置Ａの高さ寸法を従来の外観検査装置に比べて低くすることができ、クリーンルームの天井を高くしなくても容易にクリーンルームに搬入することができる。
【００２３】
さらに、上記の外観検査装置Ａによれば、基板保持部４によって基板２が垂直に保持されるため、基板２を水平に保持した場合に比べて重力による基板２のたわみが小さくなり、検査精度の向上を図ることが可能である。この場合、基板２の上端を吸着パッド４ｃにより吸着保持するとともに、基板２を吊り下げることができるように基板２の上端側を機械的なチャックにより把持することにより、基板２を重力によって平らに張ることができ、かつ基板２を基板保持部４に確実に保持することができる。
【００２４】
なお、本発明は、上記の第１実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、観察台３は、水平駆動手段３ｅにより水平方向Ｘに移動可能とされ、上下動駆動手段３ｃにより垂直方向Ｚに移動可能とされる構成としたが、この限りではなく、例えば観察台３を箱状に形成したゴンドラとし、このゴンドラをクレーンで水平方向Ｘと垂直方向Ｚの二次元方向に移動させるようにしてもよい。ここで使用されるクレーンは、伸縮可能なアームの先端にゴンドラを常に水平姿勢に制御可能な支持アームを備えたものであればよい。また、垂直に立てられた基板保持部４の上方と下方に平行に一対のＸガイドを設け、これらのＸガイドに沿って自走するＺガイドをマクロ照明部１のマクロ照明光に照射領域の幅より若干広い間隔に平行に設け、観察台３となる箱状に形成したゴンドラを一対のＺガイドに沿って垂直方向Ｚに自走可能に設け、このゴンドラを基板保持部４の面内に平行に二次元方向に移動させるようにしてもよい。また、観察台３（ゴンドラ）とマクロ照明部１とは、基板保持部４に対して垂直方向Ｚと水平方向Ｘに移動されることに加え、基板２の表面２ａに直交する方向（Ｙ方向）に移動可能とされていてもよいものである。この場合、ゴンドラは、周囲を壁で囲んだ箱に形成され、その内部にシートベルトを備えた座席が設けられている。このゴンドラの一方の側壁には検査者が乗り降りするドアが設けられ、他方の側壁にはマクロ照明部１が揺動可能に設けられる。また、マクロ照明部１は、ゴンドラ内に設けることができるが、この場合、基板保持部４と対峙する前壁にマクロ照明部１が所定角度の範囲に回動できる程度の開口部を設ける必要がある。
【００２５】
また、上記の実施形態では、基板２を保持する基板保持部４が吸着手段と複数の吸着パッド４ｃを備え、基板２を吸着保持する構成としているが、これに限定される必要はなく、例えば基板２の端部を把持することによって基板２が保持されてもよいものであり、基板保持部４による基板２の保持方法が限定されるものではない。
【００２６】
また、上記の実施形態では、基板保持部４は垂直に固定されているものとしたが、例えば水平状態で基板２が搬入されてこれを保持し、検査時に垂直状態に移動される起倒可能な構成とされてもよいものである。この基板保持部４を水平姿勢から垂直姿勢に回転可能に設けた場合、装置の設置スペースは基板サイズに比例して大きくなるが、従来の外観検査装置のように基板保持部４を上下方向に移動させる必要がなくなるため、外観検査装置Ａの高さ寸法を従来の外観検査装置に比べて低くすることができ、クリーンルームの天井を高くしなくても容易にクリーンルームに搬入することができる。
【００２７】
また、上記の実施形態では、観察台３を水平駆動手段３ｅにより水平方向Ｘに移動可能とし、上下動駆動手段３ｃにより垂直方向Ｚに移動可能とする構成としたが、観察台３を上下動駆動手段３ｃにより垂直方向Ｚに移動可能とし、基板保持部４を水平駆動手段３ｅにより水平方向Ｘに移動可能とする構成にしてもよいものである。この基板保持部４を水平方向Ｘに移動可能とした場合、装置の幅寸法は基板サイズの２倍程度に長くなるが、奥行き寸法は従来の外観検査装置に比べて薄くでき、従来の外観検査装置のように基板保持部４を上下方向に移動させる必要がなくなるため、外観検査装置Ａの高さ寸法を従来の外観検査装置に比べて低くすることができ、クリーンルームの天井を高くしなくても容易にクリーンルームに搬入することができる。
【００２８】
さらに、基板保持部４を間にして観察台３と対向する基板２の裏面２ｅ側に、例えば蛍光灯などの光源（バックライト）を設け、この光源によって基板２裏面２ｅを照射し、その透過光を観察可能な構成としてもよいものである。
【００２９】
さらに、マクロ照明部１は、支持部６の軸線Ｏ３回りに回動可能とされるように構成したが、この軸線Ｏ３に直交する軸線を中心に回動可能にし、マクロ照明部１を左右方向と上下方向に自由に首振りできるようにしてもよい。
【００３０】
ついで、図６を参照し、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態の説明においては、第１実施形態に係る外観検査装置Ａと共通する構成について同一符号を付し、その詳細についての説明を省略する。
【００３１】
本発明の第２実施形態に係る外観検査装置Ｂは、第１実施形態と同様、基板２に部分的にマクロ照明光を照射するマクロ照明部１と、マクロ照明部１が設置された観察台３と、基板２を略垂直に保持する基板保持部４とが主な構成要素とされている。ここで、第１実施形態と異なる部分は、観察台３であり、その一端部３ｇが基板保持部４の裏面４ｄに向けて、同じ水平高さで基板保持部４を包含するように延出されている。
【００３２】
ついで、図６を参照し、上記の構成からなる外観検査装置Ｂを用いて基板２の検査を行う方法について説明する。
【００３３】
第１実施形態と同様に、基板２の表面２ａにマクロ照明光を照射して目視観察し、基板２の表面の検査を終えた段階で、検査者７は、観察台３の延出部３ｈを通り、基板２の裏面２ｅ側に移動する。検査者７が移動した段階で、基板２の表面２ａからマクロ照明光を照射し、基板２を透過した透過光によって基板２の検査を行う。この場合、マクロ照明部１の液晶散乱板１ｃを透明な状態から散乱させる不透明状態に切替えて、マクロ照明部１から照射されたマクロ照明光を均一なシャーカス照明（面照明）に変換してバックライトとして使用することができる。また、液晶散乱板１ｃを透明な状態に切替えて、マクロ照明部１からの照明光を収束させた状態で照射してもよい。
【００３４】
したがって、上記の外観検査装置Ｂによれば、基板保持部４によって基板２が垂直に保持されているため、基板保持部４の裏面４ｄ側に観察台３を延出させることができる。これにより、検査者７は、簡単に基板２の裏面２ｅ側に移動することができ、基板２に照射されるマクロ照明光の反射光と透過光の両方による基板２検査を行うことが可能となる。よって、基板２の高精度の外観検査を行うことが可能となる。
【００３５】
なお、本発明は、上記の第２実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。例えば、本実施形態では、反射光と透過光の両方により検査を行うものとされているが、透過光のみで検査されてもよいものである。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の第１実施形態に係る外観検査装置の平面図である。
【図２】図１に示した外観検査装置の正面図である。
【図３】図１に示した外観検査装置の観察台を基板保持部に対して相対移動させた状態を示す図である。
【図４】図１に示した外観検査装置の観察台を基板保持部に対して相対移動させた状態を示す図である。
【図５】図１に示した外観検査装置のマクロ照明部を回動させた状態を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態に係る外観検査装置の平面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１      マクロ照明部
１ａ    光源
２      基板
２ａ    基板表面（基板面）
３      観察台
４      基板保持部
６      支持部
７      検査者
Ａ      外観検査装置
Ｂ      外観検査装置
Ｘ      水平方向
Ｚ      垂直方向
Ｏ１    軸線
Ｏ２    光軸
Ｏ３    軸線
θ１    入射角
θ２    反射角
【図１】
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【図２】
2007248292.tif 000004
【図３】
2007248292.tif 000005
【図４】
2007248292.tif 000006
【図５】
2007248292.tif 000007
【図６】
2007248292.tif 000008