(57)【要約】【課題】有限直動転がり案内装置の軌道溝と転動体との間への粉塵の侵入を防止する手段を提供する。【解決手段】対向配置された一対のレールと、レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向のＶ字溝と、対向配置されたＶ字溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数のローラと、ローラを個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置において、それぞれのＶ字溝の外側に、保持器を案内する案内溝を設け、それぞれの案内溝の底面と保持器とを可能な限り狭い隙間Ｓを介して近接対向配置すると共に、案内溝の外側のそれぞれの対向面を近接対向配置する。【選択図】        図１
2007051687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置において、
前記それぞれの軌道溝の外側に、前記保持器を案内する案内溝を設け、
該それぞれの案内溝と前記保持器とを近接対向配置すると共に、前記案内溝の外側のそれぞれの対向面を近接対向配置して対向部を形成したことを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項２】
対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置において、
前記それぞれの軌道溝の外側の対向面と前記保持器とを近接対向配置したことを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項３】
対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置において、
前記それぞれの軌道溝の外側に、前記保持器を案内する案内溝を設け、
該それぞれの案内溝の底面の間で前記保持器を案内すると共に、前記案内溝の外側に近接対向配置した対向部を形成したことを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記対向部が、前記それぞれの軌道溝の外側の対向面であることを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項５】
請求項３において、
前記対向部が、前記それぞれの軌道溝の外側の対向面に形成した円弧状突条であることを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項６】
請求項３において、
前記対向部が、一方の前記レールの前記軌道溝の外側の対向面に形成した三角形状突条の外側の斜面と、他方の前記レールの前記軌道溝の外側の対向面に前記斜面に沿うように形成した傾斜面とで構成されていることを特徴とする有限直動転がり案内装置。
【請求項７】
対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器と、前記それぞれの軌道溝の外側に形成した前記保持器を案内する案内溝とを備えた有限直動転がり案内装置の製造方法であって、
前記レールに前記対向面と、前記軌道溝と、前記案内溝とを粗加工により形成する工程と、
前記粗加工した対向面と軌道溝と案内溝の底面とを同時に仕上加工する工程とを備えることを特徴とする有限直動転がり案内装置の製造方法。
【請求項８】
対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置の製造方法において、
前記レールに対向面と軌道溝とを粗加工により形成する工程と、
前記粗加工した対向面と軌道溝とを同時に仕上加工する工程とを備えることを特徴とする有限直動転がり案内装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造設備等の機械装置のステージ等の移動台の直動案内に用いられる有限直動転がり案内装置およびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来の有限直動転がり案内装置としてのクロスローラガイドは、角柱状の一対のレールを左右または上下に対向配置し、一対のレールのそれぞれの対向面に軸方向に形成された互いに対向するＶ字状の軌道溝の間に保持器により個別に保持され、交互に交差させて配列された１列のローラを挟持し、保持器をその軸方向に沿った両側の縁部の平面と対向配置されたそれぞれのレールの対向面との間に形成した隙間により案内している（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】実開昭５４−１５０７５０号公報（第３頁１８行−第５頁１９行、第１図、第２図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、半導体装置の製造に用いる半導体製造設備は、その高速化に伴ってワイヤボンダやその他の半導体製造設備のタクト時間が短縮される傾向にあり、そのステージの直動案内に用いられるクロスローラガイド等の有限直動転がり案内装置は急加減速運転で使用されることが多くなってきている。
有限直動転がり案内装置を急加減速運転で使用するときには、転動体の落下や転動体同士の干渉を避けるために設けられた保持器の円滑な動きが要求される。
【０００４】
また、半導体装置の微細化、小型化に伴い半導体装置の端子を接続する金線等のワイヤが極細（例えば直径２０μｍ）になり、ワイヤの切断片や切断紛等の微細な粉塵が有限直動転がり案内装置の稼動雰囲気となってきている。
しかしながら、上述した従来の技術においては、一対のレールのそれぞれの対向面と保持器との間に比較的広い隙間を形成して保持器を案内しているため、微細な粉塵が一対のレールのそれぞれの対向面と保持器との隙間から軌道溝と転動体との間に侵入し、有限直動転がり案内装置の円滑な移動を妨げるという問題がある。
【０００５】
また、レール軸とスライド軸のそれぞれの対向面と保持器との隙間が広いと、急加減速時に案内される保持器が傾きやすくなり、保持器の円滑な動きが困難になるという問題がある。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、有限直動転がり案内装置の軌道溝と転動体との間への粉塵の侵入を防止する手段を提供することを目的とする。
【０００６】
また、有限直動転がり案内装置の急加減速時においても保持器を円滑に案内する手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するために、対向配置された一対のレールと、該レールのそれぞれの対向面に形成された軸方向の軌道溝と、該対向配置された軌道溝により形成された転動体走行溝の間を転動する複数の転動体と、該転動体を個別に保持する平板状の保持器とを備えた有限直動転がり案内装置において、前記それぞれの軌道溝の外側に、前記保持器を案内する案内溝を設け、該それぞれの案内溝の底面と前記保持器とを近接対向配置すると共に、前記案内溝の外側のそれぞれの対向面を近接対向配置したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
このように、本発明は、一対のレールの対向する軌道溝の外側に設けた案内溝の底面と保持器の縁部の平面とを可能な限り狭い隙間で対向させて近接対向配置すると共に、それぞれの対向面も近接対向配置するようにしたことによって、対向面により形成した狭い隙間により軌道溝と転動体との間への微細な粉塵の侵入を防止して有限直動転がり案内装置を円滑に移動させることができると共に、それぞれの案内溝の底面と保持器との間を近接対向配置した狭い隙間により保持器を案内することによって、有限直動転がり案内装置の急加減速時においても保持器の傾きを防止して円滑に案内することができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下に、図面を参照して本発明による有限直動転がり案内装置の実施例について説明する。
【実施例１】
【００１０】
図１は実施例１の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
図１において、１は有限直動転がり案内装置としてのクロスローラガイドである。
２ａ、２ｂはクロスローラガイド１の一対のレールであり、合金鋼等の鋼材で製作された角柱状部材であって、それぞれの対向面３ａ、３ｂを対向させて配置される。
本実施例のレール２ａ、２ｂは図１に示すように左右に対向配置されている。
【００１１】
４は段付ボルト孔であり、レール２ａ、２ｂの軸方向（単に軸方向という。）の直交方向にレール２ａ、２ｂを対向面３ａ、３ｂと平行に貫通して複数設けられている。
５は軌道溝としてのＶ字溝であり、レール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂの略中央部に軸方向に沿って形成された挟み角９０度のＶ字状の溝である。
６は転動体としてのローラであり、合金鋼等の鋼材を円柱状に成形して製作され、その軸芯方向に沿った長さは、ローラ６の直径より短く形成されている。
【００１２】
８は保持器であり、金属材料や樹脂材料等で製作された平板部材であって、その軸方向にはローラ６を個別に保持する複数の図示しないポケットが所定のピッチで設けられている。
１０は案内溝であり、レール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂのＶ字溝５の両方の外側を保持器８の板厚の略半分に掘り込んで形成された矩形断面の溝であって、その底面１０ａにより保持器８の軸方向に沿った縁部の平面を案内する。
【００１３】
本実施例のレール２ａ、２ｂに対向面３ａ、３ｂ、並びにそこに形成されるＶ字溝５および案内溝１０を形成する工程は、予めそれらの原形を粗加工する工程と、その後に対向面３ａ、３ｂとＶ字溝５と案内溝１０の底面１０ａとを図２に示す溝加工部１２をＶ字溝５および案内溝１０の底面１０ａに倣うように整形した総形砥石１３によって同時に研削加工により仕上加工する工程とに分けて構成される。
【００１４】
このように、同時加工された対向面３ａ、３ｂとＶ字溝５および案内溝１０の底面１０ａは、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
なお、総形砥石１３の整形は、総形ロータリドレッサまたはＮＣドレッサ等を用いて行う。
【００１５】
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、その一方のレール２ａが段付ボルト孔４により機械装置の基台等に固定され、他方のレール２ｂは段付ボルト孔４により機械装置の移動台等に固定され、対向面３ａ、３ｂを対向させて配置される。
このとき、保持器８の縁部は対向する案内溝１０の底面１０ａの間に配置され、対向配置されたＶ字溝５により形成される四角形の転動体走行溝には、保持器８の複数の図示しない個別のポケットに交互にローラ６の軸芯方向を交差させて保持されたローラ６が１列に配列されて嵌合し、転動体走行溝を転動するローラ６により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
【００１６】
そして、他方のレール２ｂに負荷された荷重によりローラ６が転動体走行溝を構成する２つのＶ字溝５の対向する２面（図１においてレール２ａのＶ字溝５の下側の面とレール２ｂのＶ字溝５の上側の面）に挟持されたときに、精度よく加工された一対のレール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂとが可能な限り接近した狭い隙間（図１にＳで示す隙間）を介して対向配置（近接対向配置という。）された対向部１５が形成され、それぞれの案内溝１０の底面１０ａとこれに対向する保持器８の縁部の平面との間も可能な限り狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて保持器８を案内する。
【００１７】
この近接対向配置される狭い隙間Ｓは、ワイヤボンダ等の稼動雰囲気の粉塵の粒子の大きさが約２０μｍ程度であるので、２０ミクロン以下に設定される。
以上説明したように、本実施例では、一対のレールの対向する軌道溝の外側に設けた案内溝の底面と保持器の縁部の平面とを可能な限り狭い隙間Ｓで対向させて近接対向配置すると共に、それぞれの対向面も近接対向配置するようにしたことによって、対向面により形成した狭い隙間ＳによりＶ字溝とローラとの間への微細な粉塵の侵入を防止してクロスローラガイドを円滑に移動させることができる。
【００１８】
また、案内溝の底面と保持器との間を近接対向配置した狭い隙間Ｓにより保持器を案内することによって、クロスローラガイドの急加減速時においても保持器の傾きを防止して円滑に案内することができる。
更に、レールの対向面とＶ字溝および案内溝の底面を同時に仕上加工するようにしたことによって、各部に形成する狭い隙間Ｓを介した近接対向配置を実現することができる。
【実施例２】
【００１９】
図３は実施例２の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例のクロスローラガイド１は、対向配置された一対のレール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂの間にそれぞれ狭い隙間Ｓを介して保持器８の縁部の平面を近接対向配置して保持器８を案内する。
【００２０】
本実施例のレール２ａ、２ｂに対向面３ａ、３ｂおよびそこに形成されるＶ字溝５を形成する工程は、予めそれらの原形を粗加工する工程と、その後に対向面３ａ、３ｂとＶ字溝５とを図４に示す溝加工部１２をＶ字溝５に倣うように整形した総形砥石１３によって同時に研削加工により仕上加工する工程とに分けて構成される。
このように、同時加工された対向面３ａ、３ｂとＶ字溝５は、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
【００２１】
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、実施例１と同様にそれぞれ機械装置の基台等と移動台等に固定され、対向面３ａ、３ｂを対向させて配置される。
このとき、保持器８の縁部は対向する対向面３ａ、３ｂの間に配置され、実施例１と同様に対向配置されたＶ字溝５により形成される転動体走行溝に、保持器８に保持されたローラ６が嵌合し、転動体走行溝を転動するローラ６により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
【００２２】
そして、他方のレール２ｂに負荷された荷重によりローラ６が転動体走行溝を構成する２つのＶ字溝５の対向する２面に挟持されたときに、精度よく加工された一対のレール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂとこれに対向する保持器８の縁部の平面との間がそれぞれ可能な限り狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて保持器８を案内する。
以上説明したように、本実施例では、一対のレールの対向する軌道溝の外側の対向面と保持器の縁部の平面とを可能な限り狭い隙間Ｓを介して近接対向配置するようにしたことによって、対向面と保持器とにより形成した狭い隙間ＳによりＶ字溝とローラとの間への微細な粉塵の侵入を防止してクロスローラガイドを円滑に移動させることができると共に、対向面と保持器との間の狭い隙間Ｓによりクロスローラガイドの急加減速時においても保持器の傾きを防止して円滑に保持器を案内することができる。
【００２３】
更に、レールの対向面とＶ字溝とを同時に仕上加工するようにしたことによって、各部に形成する狭い隙間Ｓを介した近接対向配置を実現することができる。
【実施例３】
【００２４】
図５は実施例３の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図５において、２１は有限直動転がり案内装置としてのボールガイドである。
２２は軌道溝としてのゴシックアーク溝であり、２つの円弧を略Ｖ字状に配置して構成された溝であって、レール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂの略中央部に軸方向に沿って形成される。
【００２５】
２３は転動体としてのボールであり、合金鋼等の鋼材で製作された球体である。
２５は保持器であり、金属材料や樹脂材料等で製作された平板部材であって、その軸方向にはボール２３を個別に保持する複数の図示しないポケットが所定のピッチで設けられている。
本実施例のレール２ａ、２ｂに対向面３ａ、３ｂ、並びにそこに形成されるゴシックアーク溝２２および案内溝１０を形成する工程は、予めそれらの原形を粗加工する工程と、その後に対向面３ａ、３ｂとゴシックアーク溝２２と案内溝１０の底面１０ａとを図２に示す溝加工部１２をゴシックアーク溝２２および案内溝１０の底面１０ａに倣うように整形した総形砥石１３によって実施例１と同様に仕上加工する工程とに分けて構成される。
【００２６】
このように、同時加工された対向面３ａ、３ｂとゴシックアーク溝２２および案内溝１０の底面１０ａは、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、実施例１と同様にそれぞれ機械装置の基台等と移動台等に固定され、対向面３ａ、３ｂを対向させて配置される。
【００２７】
このとき、保持器２５の縁部は対向する案内溝１０の間に配置され、対向配置されたゴシックアーク溝２２により形成される略四角形の転動体走行溝には、保持器２５の複数の図示しない個別のポケットに保持されたボール２３が１列に配列されて嵌合し、転動体走行溝を転動するボール２３により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
【００２８】
そして、他方のレール２ｂに負荷された荷重によりボール２３が転動体走行溝を構成する２つのゴシックアーク溝２２の対向する２面（図５においてレール２ａのゴシックアーク溝２２の下側の円弧面とレール２ｂのゴシックアーク溝２２の上側の円弧面）に挟持されたときに、精度よく加工された一対のレール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂとが可能な限り接近させた狭い隙間Ｓを介して近接対向配置された対向部１５が形成され、それぞれの案内溝１０の底面１０ａとこれに対向する保持器２５の縁部の平面との間も可能な限り狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて保持器８を案内する。
【００２９】
以上説明したように、本実施例のボールガイドにおいても、上記実施例１と同様の効果を得ることができる。
【実施例４】
【００３０】
図６は実施例４の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の有限直動転がり案内装置はクロスローラガイド１である。
図６において、３１は保持片であり、保持器８の図示しないポケットに設けられ、ローラ６の円筒面を保持してローラ６の保持器８からの脱落を防止する。
【００３１】
３２はガイド溝であり、レール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂのＶ字溝５の両方の外側を保持器８の保持片の頂部の間隔の略半分に掘り込んで形成された矩形断面の溝であって、その底面３２ａにより保持器８の軸方向に沿った縁部を案内する。
本実施例の対向部１５は実施例１と同様に狭い隙間Ｓを介して近接対向配置された対向面３ａ、３ｂにより形成される。
【００３２】
本実施例のレール２ａ、２ｂに対向面３ａ、３ｂおよびそこに形成されるＶ字溝５形成する工程は、予めそれらの原形を粗加工する工程と、その後に本実施例の対向部１５である対向面３ａ、３ｂとＶ字溝５とを図４に示す溝加工部１２をＶ字溝５に倣うように整形した総形砥石１３によって実施例２と同様に仕上加工する工程とに分けて構成される。
このように、同時加工された対向部１５とＶ字溝５は、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
【００３３】
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、実施例１と同様にそれぞれ機械装置の基台等と移動台等に固定され、対向部１５を対向させて対向配置される。
このとき、保持器８の縁部は対向するガイド溝３２の底面３２ａの間に配置され、対向配置されたＶ字溝５により形成される四角形の転動体走行溝には、保持器８の複数の図示しない個別のポケットに交互にローラ６の軸芯方向を交差させて保持片３１に保持されたローラ６が１列に配列されて嵌合し、転動体走行溝を転動するローラ６により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
【００３４】
そして、他方のレール２ｂに負荷された荷重によりローラ６が転動体走行溝を構成する２つのＶ字溝５の対向する２面（図６においてレール２ａのＶ字溝５の下側の面とレール２ｂのＶ字溝５の上側の面）に挟持されたときに、精度よく加工された一対のレール２ａ、２ｂの対向面３ａ、３ｂとが狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて対向部を形成し、それぞれのガイド溝３２の底面３２ａと保持器８の縁部の平面とが比較的広い隙間を介して対向配置されて案内される。
【００３５】
この近接対向配置された対向部に形成される狭い隙間Ｓは、ワイヤボンダ等の稼動雰囲気の粉塵の粒子の大きさが約２０μｍ程度であるので、２０ミクロン以下に設定される。
以上説明したように、本実施例では、一対のレールの対向する軌道溝の外側に設けたガイド溝の底面により保持器の縁部を比較的広い隙間を介して案内させると共に、対向部の対向面を近接対向配置するようにしたことによって、対向部に形成された狭い隙間ＳによりＶ字溝とローラとの間への微細な粉塵の侵入を防止してクロスローラガイドを円滑に移動させることができる。
【００３６】
また、レールの対向部としての対向面とＶ字溝を同時に仕上加工するようにしたことによって、各部に形成する狭い隙間Ｓを介した近接対向配置を実現することができる。
【実施例５】
【００３７】
図７は実施例５の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１および実施例４と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の有限直動転がり案内装置は上記実施例４と同様のクロスローラガイド１であり、ローラ６はガイド溝３２に案内される保持器８の保持片３１に保持される。
【００３８】
図７において、３５は円弧状突条あり、対向部１５の対向面３ａ、３ｂを軸方向に沿って円弧状の断面形状で盛り上げて形成され、その対向する先端部が狭い隙間Ｓを介して近接対抗配置される。
本実施例の対向部１５は、狭い隙間Ｓを介して対向する円弧状突条３５により構成される。
【００３９】
本実施例のレール２ａ、２ｂに対向部１５およびＶ字溝５を形成する工程は、予めそれらの原形を粗加工する工程と、その後に本実施例の対向部１５である円弧状突条３５とＶ字溝５とを円弧状突条３５およびＶ字溝５に倣うように整形した総形砥石１３によって同時に研削加工により仕上加工する工程とに分けて構成される。
このように、同時加工された対向部１５とＶ字溝５は、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
【００４０】
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、実施例１と同様にそれぞれ機械装置の基台等と移動台等に固定され、対向部１５を対向させて対向配置される。
このとき、保持器８の縁部は上記実施例４と同様に対向するガイド溝３２の間に配置され、対向配置されたＶ字溝５により形成される転動体走行溝に保持器８の保持片３１に保持されたローラ６が嵌合し、転動体走行溝を転動するローラ６により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
【００４１】
そして、実施例４と同様にローラ６が転動体走行溝に挟持されたときに、精度よく加工された一対のレール２ａ、２ｂの円弧状突条３５が狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて対向部１５を形成し、それぞれのガイド溝３２に保持器８が比較的広い隙間を介して案内される。
以上説明したように、本実施例では、対向部の円弧状突条を近接対向配置するようにしても、上記実施例４と同様の効果を得ることができる。
【実施例６】
【００４２】
図８は実施例６の有限直動転がり案内装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１および実施例４と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
本実施例の有限直動転がり案内装置は上記実施例４と同様のクロスローラガイド１であり、ローラ６はガイド溝３２に案内される保持器８の保持片３１に保持される。
【００４３】
図８において、３７は三角形状突条あり、一方のレール２ａの対向部１５の対向面３ａを軸方向に沿って三角形状の断面形状で盛り上げて形成される。
３８は傾斜面であり、他方のレール２ｂの対向部１５の対向面３ｂを三角形状突条３７の外側の斜面３７ａに沿うようにして形成される。
本実施例の対向部１５は、狭い隙間Ｓを介して対向する三角形状突条３７の外側の斜面３７ａと傾斜面３８により構成される。
【００４４】
本実施例のレール２ａ、２ｂに本実施例の対向部１５およびＶ字溝５を形成する工程は、予めそれらの原形をレール２ａ、２ｂに粗加工する工程と、その後にレール２ａは三角形状突条３７とＶ字溝５とを三角形状突条３７およびＶ字溝５に倣うように整形した総形砥石１３によって同時に研削加工により仕上加工する工程とに分けて、レール２ｂは傾斜面３８とＶ字溝５とを傾斜面３８とおよびＶ字溝５に倣うように整形した総形砥石１３によって同時に研削加工により仕上加工する工程とに分けて構成される。
【００４５】
このように、同時加工された対向部１５とＶ字溝５は、それぞれを別に加工する場合に較べてそれぞれの寸法精度および加工毎の寸法差をほぼなくすことができ、各部位に形成する隙間を精度よく管理することが可能になる。
上記の一対のレール２ａ、２ｂは、実施例１と同様にそれぞれ機械装置の基台等と移動台等に固定され、対向部１５を対向させて対向配置される。
【００４６】
このとき、保持器８の縁部は上記実施例４と同様に対向するガイド溝３２の間に配置され、対向配置されたＶ字溝５により形成される転動体走行溝に保持器８の保持片３１に保持されたローラ６が嵌合し、転動体走行溝を転動するローラ６により移動台等を直線往復運動可能に支持してその移動を案内する。
そして、実施例４と同様にローラ６が転動体走行溝に挟持されたときに、精度よく加工されたそれぞれのレール２ａ、２ｂの三角形状突条３７の外側の斜面３７ａと傾斜面３８とが狭い隙間Ｓを介して近接対向配置されて対向部１５を形成し、それぞれのガイド溝３２に保持器８が比較的広い隙間を介して案内される。
【００４７】
以上説明したように、本実施例では、対向部の三角形状突条の斜面と傾斜面とを近接対向配置するようにしても、上記実施例４と同様の効果を得ることができる。
なお、上記実施例２または実施例４から実施例６の各実施例においては、転動体としてローラを用いたクロスローラガイドを例に説明したが、これらの転動体としてボールを用いた上記実施例３で説明したボールガイドとしても同様の効果を得ることができる。
【００４８】
また、上記各実施例においては一対のレールを左右に対向配置する場合を例に説明したが、一対のレールを上下に対向配置する場合も同様である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【図２】実施例１のレールの仕上加工の工程を示す説明図
【図３】実施例２の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【図４】実施例２のレールの仕上加工の工程を示す説明図
【図５】実施例３の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【図６】実施例４の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【図７】実施例５の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【図８】実施例６の有限直動転がり案内装置を示す断面図
【符号の説明】
【００５０】
１    クロスローラガイド
２ａ、２ｂ  レール
３ａ、３ｂ  対向面
４  段付ボルト孔
５  Ｖ字溝
６  ローラ
８、２５  保持器
１０  案内溝
１０ａ、３２ａ  底面
１２  溝加工部
１３  総形砥石
１５  対向部
２１  ボールガイド
２２  ゴシックアーク溝
２３  ボール
３１  保持片
３２  ガイド溝
３５  円弧状突条
３７  三角形状突条
３７ａ  斜面
３８  傾斜面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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