(57)【要約】【課題】電子ビームの走査軌跡の歪曲現象によって発生する蛍光層の非発光領域を最小化することができる、電子放出ディスプレイを提供する。【解決手段】開示された電子放出ディスプレイは、互いに対向配置される第１基板及び第２基板と、第１基板及び第２基板のうちのいずれか一基板に形成される蛍光層と、第１基板及び第２基板のうちの他の一基板に蛍光層に対応して単位領域ごとに形成される電子放出部と、単位領域の間に配置されて、第１基板及び第２基板の間隔を維持する複数のスペーサとを含む。この時、スペーサと隣接する単位領域内の電子放出部の個数（Ｍ１）が、スペーサと隣接しない単位領域内の電子放出部の個数（Ｍ２）より多く形成される。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；
前記第１基板及び前記第２基板のうちのいずれか一基板に形成される蛍光層と；
前記第１基板及び前記第２基板のうちの他の一基板に前記蛍光層に対応して単位領域ごとに形成される電子放出部と；
前記単位領域の間に配置されて、前記第１基板及び前記第２基板の間隔を維持する複数のスペーサと；を含み、
前記電子放出部は下記の条件を満たす、電子放出ディスプレイ。
Ｍ１＞Ｍ２
ここで、Ｍ１は前記スペーサと隣接する単位領域内の電子放出部の個数であり、Ｍ２は前記スペーサと隣接しない単位領域内の電子放出部の個数である。
【請求項２】
前記スペーサと隣接する単位領域内に、メイン電子放出部に加えて少なくとも１つの追加電子放出部が形成される、請求項１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項３】
前記追加電子放出部は、前記メイン電子放出部と同一な形状及び間隔を維持して追加される、請求項２に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項４】
前記追加電子放出部は、前記スペーサと隣接する部位に追加される、請求項３に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項５】
前記追加電子放出部は、前記スペーサと隣接する部位の他側に追加される、請求項３に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項６】
前記蛍光層は、赤色、緑色、及び青色蛍光層の各々が黒色層によって前記単位領域に対応して分離されて形成される、請求項２に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項７】
前記追加電子放出部は、前記第１基板の厚さ方向に前記黒色層に対応する位置に追加される、請求項６に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項８】
前記スペーサは、壁体型に形成される、請求項１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項９】
前記スペーサは、柱型に形成される、請求項１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１０】
前記電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン、及びシリコンナノワイヤーからなる群から選択される少なくとも１つの物質を含む、請求項１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１１】
互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；
前記第１基板上に互いに絶縁状態を維持して交差するように配置されるカソード電極及びゲート電極と；
前記カソード電極及び前記ゲート電極の交差領域で前記カソード電極に連結される電子放出部と；
前記カソード電極及びゲート電極の上部に形成され、前記カソード電極及び前記ゲート電極の交差領域に対応して前記電子放出部を露出させる開口部が形成されている集束電極と；
前記第１基板に対向する前記第２基板の一面に形成される蛍光層と；
前記開口部の間に配置されて、前記第１基板及び前記第２基板の間隔を維持する複数のスペーサと；を含み、
前記スペーサと隣接する開口部内の電子放出部の個数が、前記スペーサと隣接しない開口部内の電子放出部の個数より多い電子放出ディスプレイ。
【請求項１２】
前記スペーサと隣接する前記開口部内に、メイン電子放出部に加えて少なくとも１つの追加電子放出部が形成される、請求項１１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１３】
前記追加電子放出部は、前記メイン電子放出部と同一な形状及び間隔を維持して追加される、請求項１２に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１４】
前記追加電子放出部は、前記スペーサと隣接する部位に追加される、請求項１３に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１５】
前記追加電子放出部は、前記スペーサと隣接する部位の他側に追加される、請求項１３に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１６】
前記スペーサは、壁体型に形成され、その長さ方向が前記カソード電極及び前記ゲート電極のうちのいずれか一方の電極と平行である、請求項１１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１７】
前記スペーサは、柱型に形成され、２つの開口部が互いに対向する領域に配置される、請求項１１に記載の電子放出ディスプレイ。
【請求項１８】
前記電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン、及びシリコンナノワイヤーからなる群から選択される少なくとも１つの物質を含む、請求項１２に記載の電子放出ディスプレイ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子放出ディスプレイに関し、より詳細には、電子ビームの走査軌跡の歪曲現象を解消するように電子放出部の構造が改善された、電子放出ディスプレイに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電子放出素子（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｅｌｅｍｅｎｔ）は、電子源の種類によって、熱陰極（ｈｏｔ ｃａｔｈｏｄｅ）を利用する方式及び冷陰極（ｃｏｌｄ ｃａｔｈｏｄｅ）を利用する方式に分類される。
【０００３】
ここで、冷陰極を利用する方式の電子放出素子としては、電界放出アレイ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｔｔｅｒ Ａｒｒａｙ；以下、ＦＥＡという）型、表面伝導エミッション（Ｓｕｒｆａｃｅ−Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ；以下、ＳＣＥという）型、金属−絶縁層−金属（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｍｅｔａｌ；以下、ＭＩＭという）型、及び金属−絶縁層−半導体（Ｍｅｔａｌ−Ｉｎｓｕｌａｔｏｒ−Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ；以下、ＭＩＳという）型などが知られている。
【０００４】
前記ＭＩＭ型及びＭＩＳ型電子放出素子は、各々金属−絶縁層−金属（ＭＩＭ）及び金属−絶縁層−半導体（ＭＩＳ）構造からなる電子放出部を形成し、絶縁層を間において位置する２つの金属の間または金属及び半導体の間に電圧を印加する時に、金属や半導体から供給される電子がトンネリング（ｔｕｎｎｅｌｉｎｇ）現象によって絶縁層を通過して上部の金属に到達し、到達した電子のうちの上部の金属の仕事関数（ｗｏｒｋ ｆｕｎｃｔｉｏｎ）以上のエネルギーを有する電子が上部の電極から放出される原理を利用する。
【０００５】
前記ＳＣＥ型電子放出素子は、一基板上に互いに対向して配置された第１電極及び第２電極の間に導電薄膜を形成し、この導電薄膜に微細亀裂を形成することによって電子放出部を形成して、両電極に電圧を印加して導電薄膜の表面に電流が流れる時に電子放出部から電子が放出される原理を利用する。
【０００６】
前記ＦＥＡ型電子放出素子は、電子放出部、及びこの電子放出部の電子放出を制御する駆動電極として１つのカソード電極及び１つのゲート電極を含み、電子放出部として、仕事関数（ｗｏｒｋ ｆｕｎｃｔｉｏｎ）が低い物質や縦横比が大きい物質、一例としてモリブデン（Ｍｏ）またはシリコン（Ｓｉ）などを主材質とする先端がとがっているチップ構造物や、炭素ナノチューブ、黒鉛、及びダイヤモンド状炭素のような炭素系物質を使用して、真空中で電界によって簡単に電子が放出される原理を利用する。
【０００７】
一方、電子放出素子は、一基板にアレイをなして形成されて電子放出デバイス（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｄｅｖｉｃｅ）を構成し、電子放出デバイスは、蛍光層及びアノード電極などからなる発光ユニットが形成された他の基板と結合されて、電子放出ディスプレイ（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｅｍｉｓｓｉｏｎ ｄｉｓｐｌａｙ）を構成する。
【０００８】
つまり、通常の電子放出デバイスは、電子放出部、及びこれとともに走査電極及びデータ電極として機能する複数の駆動電極を含み、電子放出部及び駆動電極の作用によって画素別の電子放出のオン／オフ及び電子放出量を制御する。そして、電子放出ディスプレイは、電子放出部から放出された電子によって蛍光層を励起させて、所定の発光または表示作用を行う。
【０００９】
電子放出ディスプレイは、真空容器を構成する両基板の間隔を維持するように、内部に多数のスペーサを含む。このスペーサは、電子放出部から放出される電子を遮断しないように、黒色層が位置する非発光領域に位置する。
【００１０】
しかし、電子放出部から放出される電子ビームは進行方向に拡散する傾向があり、それによって電子ビームはスペーサと衝突するようになる。このような電子ビームの衝突及びスペーサの接触部の特性などによって、電子放出部の周囲の等電位線は歪曲され、歪曲された等電位線によって電子がスペーサ側に引張られたり押出されるようになる。
【００１１】
このように電子ビームの走査軌跡が歪曲される現象によって、電子は蛍光層の一方向に偏って到達するようになり、これによって蛍光層の非発光領域が増加する。これは、電子放出ディスプレイの輝度及び発光均一度を低下させる原因になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本発明は、このような問題点を解決するためのものであって、本発明の目的は、電子ビームの走査軌跡の歪曲現象によって発生する蛍光層の非発光領域を最小化することができる、電子放出ディスプレイを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の一実施例によれば、互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；前記第１基板及び前記第２基板のうちのいずれか一基板に形成される蛍光層と；前記第１基板及び前記第２基板のうちの他の一基板に前記蛍光層に対応して単位領域ごとに形成される電子放出部と；前記単位領域の間に配置されて、前記第１基板及び前記第２基板の間隔を維持する複数のスペーサと；を含み、前記スペーサと隣接する単位領域内の電子放出部の個数が前記スペーサと隣接しない単位領域内の電子放出部の個数より多いことを特徴とする、電子放出ディスプレイが提供される。
【００１４】
前記スペーサと隣接する単位領域内に、メイン電子放出部に加えて少なくとも１つの追加電子放出部が形成される。
【００１５】
前記追加電子放出部は、前記メイン電子放出部と同一な形状及び間隔を維持して追加される。
【００１６】
前記追加電子放出部は前記スペーサと隣接する部位に追加される。
【００１７】
前記追加電子放出部は前記スペーサと隣接する部位の他側に追加される。
【００１８】
前記蛍光層は、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）蛍光層各々が黒色層によって前記単位画素領域に対応して分離されて形成される。
【００１９】
前記追加電子放出部は、前記第１基板の厚さ方向に前記黒色層に対応する位置に追加される。
【００２０】
前記スペーサは、壁体型または柱型に形成される。
【００２１】
前記電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン（Ｃ６０）、及びシリコンナノワイヤーからなる群から選択される少なくとも１つの物質を含む。
【００２２】
本発明の他の実施例によれば、互いに対向配置される第１基板及び第２基板と；前記第１基板上に互いに絶縁状態を維持して交差するように配置されるカソード電極及びゲート電極と；前記カソード電極及び前記ゲート電極の交差領域で前記カソード電極に連結される電子放出部と；前記カソード電極及びゲート電極の上部に形成され、前記カソード電極及び前記ゲート電極の交差領域に対応して前記電子放出部を露出させる開口部が形成されている集束電極と；前記第１基板に対向する前記第２基板の一面に形成される蛍光層と；前記開口部の間に配置されて、前記第１基板及び前記第２基板の間隔を維持する複数のスペーサと；を含み、前記スペーサと隣接する開口部内の電子放出部の個数が、前記スペーサと隣接しない開口部内の電子放出部の個数より多いことを特徴とする、電子放出ディスプレイが提供される。
【００２３】
前記スペーサと隣接する前記開口部内に、メイン電子放出部に加えて少なくとも１つの追加電子放出部が形成される。
【００２４】
前記追加電子放出部は、前記メイン電子放出部と同一な形状及び間隔を維持して追加される。
【００２５】
前記追加電子放出部は、前記スペーサと隣接する部位に追加されたり、前記スペーサと隣接する部位の他側に追加される。
【００２６】
前記スペーサは、壁体型に形成され、その長さ方向が前記カソード電極及び前記ゲート前極のうちのいずれか一方の電極と平行である。
【００２７】
前記スペーサは柱型に形成され、２つの開口部が互いに対向する領域に配置される。
【００２８】
前記電子放出部は、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン（Ｃ６０）、及びシリコンナノワイヤーからなる群から選択される少なくとも１つの物質を含む。
【発明の効果】
【００２９】
本発明の実施例による電子放出ディスプレイは、電子放出部を一部追加することによって、スペーサのチャ−ジングによって電子ビームが歪曲されて発生する蛍光層の非発光領域を減少させることができる。したがって、本発明の実施例による電子放出ディスプレイは、輝度及び発光均一度を向上させて、スペーサの周囲に異常発光現象が発生するのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
以下、添付した図面を参照して、本発明の実施例について、本発明が属する技術分野で通常の知識を有する者が容易に実施することができるように詳細に説明する。本発明は多様な相異した形態に具現され、ここで説明する実施例に限定されない。
【００３１】
図１は本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分分解斜視図であり、図２は本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分断面図であり、図３は本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図である。
【００３２】
図面を参照すれば、本発明の実施例による電子放出ディスプレイは、内部空間部を間において互いに平行に対向配置される第１基板２及び第２基板４を含む。この基板のうちの第１基板２には電子を放出する構成要素が形成され、第２基板４には電子によって可視光を放出して任意の発光または表示を行う構成要素が形成される。
【００３３】
より具体的に、第１基板２上には、カソード電極６が第１基板２の一方向（図１でｙ軸方向）に沿ってストライプパターンに形成され、カソード電極６を覆って第１基板２全体に第１絶縁層８が形成される。第１絶縁層８上には、ゲート電極１０がカソード電極６と直交する方向（図１でｘ軸方向）に沿ってストライプパターンに形成される。
【００３４】
そして、第１絶縁層８及びゲート電極１０の上部には、第２絶縁層１２及び集束電極１４が順に形成される。
【００３５】
本発明の実施例による電子放出ディスプレイにおいて、カソード電極６及びゲート電極１０の交差領域を一例として単位領域（Ａ、図３に点線で表記）と定義すれば、第２絶縁層１２及び集束電極１４には、前記単位領域に対応する開口部１２ａ、１４ａ、１４ｂが各々形成される。この開口部１２ａ、１４ａ、１４ｂは、ゲート電極１０の表面の一部を外部に露出させる。
【００３６】
集束電極１４は、図１に示されているように、第２絶縁層１２全体に位置するように形成されるが、所定のパターンに区分されて複数形成されることもある。
【００３７】
そして、前記第２絶縁層１２及び前記集束電極１４の開口部１２ａ、１４ａの内側に、第１絶縁層８及びゲート電極１０にカソード電極６を一部露出させるホール８ａ、１０ａが各々形成される。一例として、第１絶縁層８のホール８ａ及びゲート電極１０のホール１０ａは、互いに一対一に対応して形成されることができる。
【００３８】
次に、第１基板２に対向する第２基板４の一面には、前記単位領域に対応して赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）蛍光層１６が各々分離されて形成され、この蛍光層１６の間には、画面のコントラストの向上のために黒色層１８が形成される。前記赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、及び青色（Ｂ）蛍光層１６は、各々サブピクセルを構成する。そして、この蛍光層は、ストライプパターンに形成される。
【００３９】
次に、蛍光層１６及び黒色層１８上には、アルミニウムのような金属膜からなるアノード電極２０が形成される。アノード電極２０は、外部から電子ビームの加速に必要な高電圧の印加を受け、蛍光層１６から放出された可視光のうちの第１基板２に向かって放出された可視光を第２基板４側に反射させて、画面の輝度を高める役割を果たす。
【００４０】
一方、アノード電極は、金属膜でないＩＴＯ（ｉｎｄｉｕｍ ｔｉｎ ｏｘｉｄｅ）のような透明な導電膜からなることができる。この場合、アノード電極は、第２基板に向かった蛍光層及び黒色層の一面に位置して、所定のパターンに区分されて複数形成されることができる。
【００４１】
そして、第１基板２及び第２基板４の間には、多数のスペーサ２２が配置され、両基板２、４の間隔を一定に維持する。図１では、一例として壁体型スペーサを示した。
【００４２】
このスペーサ２２は、蛍光層１６に向かって進行する電子を遮断しないように、黒色層１８が位置する非発光領域に対応して配置される。このために、スペーサ２２は、集束電極１４の開口部１４ａの間の領域に位置する。このスペーサ２２は、カソード電極６またはゲート電極１０と平行に配置される。
【００４３】
そして、第１絶縁層８及びゲート電極１０のホール８ａ、１０ａ内には、電子放出部２４がカソード電極６に連結されて形成されるが、本発明の実施例で、スペーサ２２と隣接する集束電極１４の開口部１４ａ内に位置する電子放出部２４の個数（Ｍ１）は、スペーサ２２と隣接しない集束電極１４の開口部１４ｂ内に位置する電子放出部２４の個数（Ｍ２）より多い（Ｍ１＞Ｍ２）。
【００４４】
これを、図２を参照して詳細に見てみると、スペーサ２２と隣接しない集束電極１４の開口部１４ｂ内には、３つの電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃが形成される。このために、第１絶縁層８及びゲート電極１０には、各々３つのホール８ａ、１０ａが形成される。この電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、蛍光層１６に対応する位置に形成されることができる。
【００４５】
反面、スペーサ２２と隣接する集束電極１４の開口部１４ａ内には、スペーサ２２と隣接する部位に１つの追加電子放出部２４ｄが追加されて、総計で４つの電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄが形成される。追加電子放出部２４ｄは、メイン電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃの形状、大きさ、及び間隔をそのまま維持することができる。この時、追加電子放出部２４ｄを露出させるように、スペーサ２２と隣接する集束電極１４の開口部１４ａは、スペーサ２２と隣接しない集束電極１４の開口部１４ｂより大きく形成される。
【００４６】
また、追加電子放出部２４ｄは、第１基板２の厚さ方向に黒色層１８に対応する位置に形成される。
【００４７】
電子放出部２４ｄがスペーサ２２と隣接する部位に追加されるのは、スペーサ２２がマイナス（−）電荷にチャ−ジング（ｃｈａｒｇｉｎｇ）された場合に、電子ビームがスペーサ２２に押出されて打撃することができない蛍光層を発光させるためである。
【００４８】
図面では、追加電子放出部２４ｄが集束電極１４の開口部１４ａ当たり１つずつ追加されることを示したが、電子ビームの歪曲の程度によって、その個数及び配置は変化することがある。
【００４９】
また、図面では、電子放出部２４が円形に形成され、開口部１４ａ、１４ｂ内にカソード電極６の長さ方向に沿って一列に配置される構成を示したが、電子放出部２４の平面形状、画素領域当たりの個数、及び配置形態などはこれに限定されない。
【００５０】
図３はスペーサ２２と隣接する開口部１４ａ（図面で左側６つの開口部）内の電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃ、２４ｄ、及びスペーサ２２と隣接しない開口部１４ｂ（図面で右側４つの開口部）内の電子放出部２４ａ、２４ｂ、２４ｃを示している。
【００５１】
そして、電子放出部２４は、真空中で電界が加えられると電子を放出する物質、例えばカーボン系物質またはナノメートル（ｎｍ）サイズの物質からなる。電子放出部２４に好ましく使用される物質としては、炭素ナノチューブ、黒鉛、黒鉛ナノファイバー、ダイヤモンド、ダイヤモンド状炭素、フラーレン（Ｃ６０）、シリコンナノワイヤー、またはこれらの組合わせからなる物質があり、電子放出部２４の製造方法としては、直接成長、スクリーン印刷、化学気相蒸着、またはスパッタリングなどを適用することができる。
【００５２】
一方、前記では、第１絶縁層８を間においてゲート電極１０がカソード電極６の上部に位置する構造を説明したが、その反対の場合、つまりカソード電極がゲート電極の上部に位置する構造も可能である。この構造では、電子放出部がカソード電極の一側面と接触して絶縁層上に形成されることができる。
【００５３】
また、本発明の実施例による電子放出ディスプレイは、集束電極を含まないことも可能である。
【００５４】
図４は本発明の第２実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図であって、追加電子放出部２４ｄがスペーサ２２と隣接する部位の他側に形成されたことを示している。これは、スペーサ２２がプラス（＋）電荷にチャ−ジングされる場合に、電子ビームがスペーサ２２に引張られて打撃することができない蛍光層の一部を発光させるためである。
【００５５】
図５は本発明の第３実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図であり、図６は本発明の第４実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図であって、柱型スペーサが適用された電子放出ディスプレイを示している。
【００５６】
図５はスペーサ２６がマイナス（−）電荷にチャ−ジングされた場合の追加電子放出部２４ｄを示し、図６はスペーサ２６がプラス（＋）電荷にチャ−ジングされた場合の追加電子放出部２４ｄを示している。このスペーサ２６は、一例として２つの開口部が対向する領域に配置される。
【００５７】
今までは、第１絶縁層８及びゲート電極１０には各々の電子放出部２４に一対一で対応するホールなどが各々形成されたが、これとは異なって、単位領域に位置する電子放出部２４を一括で露出させるように、スロット（ｓｌｏｔ）形態のホールなどが第１絶縁層８及びゲート電極１０に各々形成されることもある。
【００５８】
そして、本発明の実施例による電子放出ディスプレイは、電界放出アレイ（ＦＥＡ）型に適用されたが、これに限定されず、表面伝導エミッション（ＳＣＥ）型、金属−絶縁層−金属（ＭＩＭ）型、及び金属−絶縁層−半導体（ＭＩＳ）型などに多様に適用される。
【００５９】
また、前記では、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されず、特許請求の範囲、発明の詳細な説明、及び添付した図面の範囲内で多様に変形して実施することができ、これも本発明の範囲に属する。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分分解斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分断面図である。
【図３】本発明の第１実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図である。
【図４】本発明の第２実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図である。
【図５】本発明の第３実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図である。
【図６】本発明の第４実施例による電子放出ディスプレイの部分平面図である。
【符号の説明】
【００６１】
２  第１基板
４  第２基板
６  カソード電極
８  第１絶縁層
１０  ゲート電極
１２  第２絶縁層
１４  集電電極
１６  蛍光層
２０  アノード電極
２２  スペーサ
２４  電子放出部
【図１】
2007123263.tif 000003
【図２】
2007123263.tif 000004
【図３】
2007123263.tif 000005
【図４】
2007123263.tif 000006
【図５】
2007123263.tif 000007
【図６】
2007123263.tif 000008