(57)【要約】【課題】角度を有する２ポート間の流路を基本的に気密封止する、メンテナンス容易で、コンパクトなバルブを提供する。【解決手段】軸に沿って移動可能で、その閉じた面が流路を閉じる第一ポートのバルブシートと接触可能であって、流路を閉じるために離脱可能である、バルブシートに配されたバルブポートは、閉じた面を形成する端面を有する円柱状ピストンとピストンの外表面とで形成される。バルブハウジングは、軸に沿ってバルブシートと反対方向に延在する円柱状の経路を有し、そこを通ってピストンが通過し、移動可能であり、そこの内側にシーリング又はガイド部材が配される。ピストン外部表面が調整距離に沿って経路のシーリング又はガイド部材によって密に囲まれるような寸法にピストンと経路は形成されている。【選択図】図１
2007078175.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一軸方向に第一ポートと、
基本的に第一軸と垂直な第二軸方向に第二ポートと、
第一ポートを囲み、第一ポートと第二ポートとを連結する流路空間の流路に配されるバルブシートと、
基本的にバルブシートの反対側に配される開口部と、
を有するバルブハウジングと、
少なくとも部分的に前記流路空間の内側に、基本的に特に前記バルブシートの表面と垂直な第一軸に対応する軸に沿って、調整距離分だけ、軸方向に移動可能にガイドされ、前記バルブシートと対向するバルブパートの閉じた面が、特に第一シール部材が基本的に気密に流路Ｆを閉じるように接触可能で、流路Ｆを開放するように離脱可能であるようなバルブパートと、
前記バルブパートを移動するための第一ポートと反対側に配される駆動機構と、
直接的又は間接的に前記バルブポートと前記バルブハウジングとの間に配され、流路空間が基本的に気密に前記開口部と前記駆動機構とから分離される、少なくとも一つの二次シール部材と、からなる基本的に気密に流路を閉じるためのバルブであって、
前記バルブパートが、閉じた面を構成する端面とピストンの外表面を形成する側面とからなる円筒形のピストン形状であって、
前記バルブハウジングが、バルブシートの反対側に流路空間と隣接して軸方向に延在する円筒状の経路を有し、そこからピストンが通過し移動可能であり、その内側にシーリング又はガイド部材が配され、
前記ピストンと前記経路とが、ピストンの外表面が調整距離に沿って経路のシーリング又はガイド部材によって密に囲まれることを特徴とする基本的に気密に流路を閉じるためのバルブ。
【請求項２】
前記ピストンがピストンの側壁に、前記バルブシートから遠い側に形成されたピストン段差を備え、その外径はピストン外径と異なり、
前記バルブハウジングが、経路に繋がり軸方向に延在し、ピストン室内面を有する円筒状のピストン室を有し、前記ピストン室内面はピストンの調整距離に沿って密に第三シール部材によって基本的に気密にピストン段差を囲み、
よって前記調整距離とリンクした外部ピストン空間が前記ピストン段差と前記経路とによって結ばれ、
前記ピストンは前記外部ピストン空間に相対的に過度の圧力又は減じた圧力を加えることで移動され、
前記駆動機構は、少なくとも部分的に前記外部ピストン空間によって形成されることを特徴とする請求項１記載のバルブ。
【請求項３】
前記ピストン段差の外径が、前記ピストン外表面の外径より大きく、前記ピストン室内面の内径が、前記経路の内径より大きいことを特徴とする請求項２記載のバルブ。
【請求項４】
前記調整距離とリンクした基本的に気密な内部ピストン空間が、バルブシートから離れて対向するピストンの側面に、前記開口部を閉じるバルブカバーと前記ピストンとの間に形成され、
前記ピストンが前記内部ピストン空間に比較的過度の圧力又は減じた圧力を加えることで移動し、
前記駆動機構が少なくとも部分的に前記内部ピストン空間によって形成されることを特徴とする請求項３記載のバルブ。
【請求項５】
バネ力の下で流通経路を開放するための軸方向に作用する外部バネが、軸方向に前記ピストン段差と前記経路の間の前記外部ピストン空間に配されることを特徴とする請求項３記載のバルブ。
【請求項６】
バネ力の下で流通経路を開放するための軸方向に作用する内部バネが、軸方向に前記ピストンと前記バルブカバーの間の前記内部ピストン空間に配されることを特徴とする請求項４記載のバルブ。
【請求項７】
前記経路は、第一内部円周溝を有し、
前記シーリング又はガイド部材は、第二シール部材を形成し、第一シーリングリングの形状を有し、
前記第一シーリングリングは、前記第一円周溝の内側に配されて、基本的に気密の接触を前記経路と前記ピストン外表面との間で生じさせることを特徴とする請求項１記載のバルブ。
【請求項８】
前記経路が第一内部円周溝と平行な第二内部円周溝を有し、
第二シーリングリングが前記第二内部円周溝の内側に配されて基本的に気密の接触を前記経路と前記ピストン外部表面との間に生じさせ、
中間の雰囲気を導入する通気口が第一と第二内部円周溝間に設けられて、バルブハウジングの流路空間と外部ピストン空間との雰囲気分離がされることを特徴とする請求項７記載のバルブ。
【請求項９】
軸に沿って延在するベローズが外部ピストン空間に同軸上に前記ピストン段差と前記経路間に配され、
前記ベローズは、第二シール部材を形成し、
前記シーリング又はガイド部材が、ガス透過性のある軸方向に前記調整距離に沿って前記ピストン外部表面をガイドする軸方向ガイド部材の形状を有することを特徴とする請求項３記載のバルブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、角度を有する２ポート間の流路の気密封止バルブに関する。特に、封止面が封止時に第１ポートのバルブシートと当接可能であって、流路開放時に離脱可能なバルブ部分を備えたバルブに関する。上記バルブは、特に真空技術において用いられ、特に真空角度バルブと称される。
【背景技術】
【０００２】
上記タイプのバルブは、先行技術の種々の実施例で知られている。真空バルブが、できる限り汚染粒子の存在しない保護された雰囲気を必要とする、特にＩＣや半導体の生産分野で使用される。
【０００３】
先行技術や、例えば米国特許 6,772,989に記載されたバルブは、互いに直交した２つのポートと、２つのポートを連結する流路内の空間に設けられたバルブシートとバルブシートと対向する開ロ部とからなるバルブ本体を有する。バルブロッドを通してバルブシートの開閉をするバルブディスクを駆動する空気シリンダシステムのピストンが、開ロ部を閉じるバルブカバーに配される。バルブカバーは、べローズプレートによって開ロ部に気密に設けられる。バルブディスクとバルブカバー間の復元バネがバルブシートの開ロ部で圧縮されて、バネカによってバルブは閉じられる。バルブカバーは、べローズプレート側に存し、ピストンと結合する圧カ室に圧縮空気を供給し取り除くためのポートを有する。バルブロッドを取り囲むベローズの２端は、ベローズプレートの内側端面と、バルブディスクとに気密に締付けられている。バルブディスクは、バルブシートと対向する面に、シーリングリングが配された環状の保持溝を有する。
【０００４】
バルブハウジングは、概してアルミニウム又はエラストマーからなり、又はアルミニウム又は他の適切な材料によって内部をコーティングされており、一方バルブディスクとベローズは、全体的に鋼鉄からなる。ディスクの調整範囲内で長手方向に伸縮自在のベローズは、流路を保持用バネとバルブロッドと圧力室とから気密封止する。特に二種類のベローズが用いられる。第一に薄膜ベローズ、第二に折り畳みベローズであって、後者は溶接継ぎ目が無い点で薄膜ベローズと区別され、より容易に掃除されるが、より小さな最大ストロークを有する。
【０００５】
特にその波面構造によって表面が相対的に大きなベローズは流路空間内の不純物の影響を受けやすく、流路空間を流れるガスに曝されやすい表面を形成する。ベローズの拡張性は制限されており、ベローズ自身は圧縮状態においても軸方向に比較的大きな空間を必要とするため、バルブの流路は、バルブシートと対向し、実質的に２ポート間を単に連結するために必要なものより大きな断面において延在する必要がある。さもなければ、横方向ポートに経路を開放するのに不十分である。
【０００６】
さらに、従来技術より既知のバルブは、流路内のバルブを通り流れるガスが異なる材料に曝され、特に一方でバルブハウジングのアルミニウム、他方でベローズとディスクの鋼鉄に曝されるという欠点があった。多数のガスの場合において、ガスとバルブ材料との間で反応が生じる可能性があり、バルブの流路にはできる限り単一の材料を用いることが望ましい。幾つかのプロセスにおいて、鋼鉄の存在は、全く望ましくない。従って、この種のバルブの流路において、アルミニウムその他の適切な材料を各プロセスにおいて排他的に使用する試みがなされてきた。しかし、特にアルミニウムは、広く拡張するベローズの生産には全く適していない。
【０００７】
更なる欠点は、バルブ機構の前記構造が、バルブの相対的に延長された構成をもたらすということである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従って、本発明の目的は上記問題を解決することであって、僅かに汚染された、容易に清掃できる、任意に完全に開放可能なバルブを提供することであり、従って今日まで十分に解決されなかった目的の対立を解決することである。
【０００９】
本発明の更なる目的は、部品点数を減らすことによってできるだけコンパクトなバルブを作成することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本目的は、独立請求項の特徴を実現することで達成される。代替の、又は有利な手法は、従属請求項に記載される。
【００１１】
本発明に係る流路を本質的に気密封止するためのバルブは、第一軸方向に第一ポートを有し、第一軸と垂直な第二軸方向に第二ポートを有し、前記二つのポートが９０度で位置し、お互いに相手のコーナーを形成する。両ポートの軸は、その配置された継ぎ部の又は流路に導く面の長手方向で定義される。両ポートは、例えば円形の断面を有する。第一ポートは、第一ポートと第二ポートとを接続する流路空間の流路に配されたバルブシートに囲まれている。流路空間は、閉じた又は開放した状態のバルブにおいて、少なくとも二つのポートのうちの一つから流出したガスで満たされるバルブの部分である。バルブハウジングの開口部は、バルブシートの反対側にあり、通常のバルブ操作においては気密に閉じられている。
【００１２】
このバルブは、少なくとも部分的に流路空間内でバルブシート表面と垂直な軸に沿って距離の調整によって置換可能なように、軸方向にガイドされた円筒型のピストンを有する。この軸は、基本的に第一軸に相当する。しかし、その代わりとして少し異なる方向へ軸を走らせることも可能である。ピストンを移動することで、バルブシートと対向し特に例えば固定溝に存するＯ−リング状の第一シール部材を有するピストン封止面は、バルブシートと接触又は離脱可能である。結果として、流路は基本的に気密に閉じるか又は開放される。封止面は、ピストンの端面に形成される。封止面とバルブシート面とは、互いの先端に留まる。好ましくは、ピストンの移動軸は、二つの面と垂直である。しかし、代替的に二つの面は斜め又は非平坦に形成することができる。この場合、封止面とバルブシート面は、仮想的に平均的に軸と垂直な面とみなすことが理解される。
【００１３】
ピストンを移動するための駆動機構は、第一ポートと反対側に存する。少なくとも一つの第二シール部材が、ピストンとバルブハウジングの間に直接的又は間接的に設けられて、流路空間が基本的に気密に開口部と駆動機構とから分離される。
【００１４】
バルブハウジングは、更にバルブシートと反対側で流路空間に隣接した、軸に沿って延在し、ピストンが通過し移動する円筒形経路を備える。シール部材又はガイド部材が、経路の内側に配置される。ピストンと経路は、ピストンの外側面に形成されたピストンの外表面が、調整距離に沿って経路のシール又はガイド部材によって囲まれて閉じるような大きさである。例えば、基本的にピストンの総軸調整距離に沿ってバルブハウジングの経路とピストンの外表面との間に気密の接触をするシール部材としてのシーリングリングを保持する少なくとも一つの内周溝が経路に形成さる。この場合、シーリングリングは、流路空間が基本的に気密に開口部と駆動機構とから分離されるような方法で、ピストンとバルブハウジングとの間に配された上記第二シール部材としての機能を果たす。
【００１５】
本発明に係るバルブの長所は、基本的にバルブハウジングとピストンとのみが直接にバルブの流路空間に隣接することである。バルブを通して流れるガスは、従って滑らかに形成可能な封止面と、滑らかに形成可能なピストン外表面と、バルブハウジングの内側表面とのみに曝されるので、バルブはほとんど汚れることなく、ガスとの反応面も小さい。ピストンは、特にアルミニウム又は他の適切な材料から生産することができ、流路空間に単一の材料のみ用いることができる。従って、バルブ部材とガスとの間の望ましくない反応の危険が減少する。さらに、流路に直接含まれる流路空間の体積の割合は、相対的に大きく、流れの損失は小さい。
【００１６】
記載されたバルブは、複動式である。特に、第一ポートは、真空室と接続され、第二ポートは真空ポンプと接続されるので、バルブを閉じて真空ポンプを停止した後の相対的な圧力減少は、第一ポートの側面に勝り、その減少した圧力によってバルブは閉じた状態を保つ。この場合、駆動機構はバルブを閉じるための力を必要としないか、相対的に小さな力でよく、バルブを開くためには比較的大きな力をピストンに加える必要がある。
【００１７】
本発明に係るバルブの場合、また、ピストンの段差がピストン上に、バルブシートと反対側で開口部に向かって形成される。長手方向にピストンの断面と隣接し、ピストンの外表面を有するピストンの段差は、例えばピストンの外表面と同軸の円筒状外側面を有する。ピストンの段差の外径とピストン外表面の外径とは異なる。バルブハウジングは、軸方向に延在し、ピストン室内部面を有する、経路と結合した円柱状ピストン室を有する。このピストン室内部面は、第三のシール部材によって、特にシーリングリングによって、基本的に気密にピストンの調整距離に沿ってピストンの段差を密に囲む。結果的に、調整距離とリンクした外部ピストン空間が、互いに対向するピストン段差部の肩部と経路の肩部との間で定義される。外部ピストン空間に相対的に過剰な圧力を加えることで、又は任意で減圧することで、冒頭に記載したピストンの移動が行われる。過度の圧力は、好ましくはバルブハウジングの開口部を通じて空気の作用によって加えられる。この現象によって、圧力は直接的に空気の力によってピストンに作用する。先に記載の駆動機構は、従って少なくとも部分的に外部ピストン空間によって形成され、その結果ピストンは、バルブスロットを閉じるのみならず、駆動作用としても機能する。この場合の主要な長所は、駆動機構に含まれる構成部品がピストンに対して径方向に配置されて、軸に沿ったバルブの軸の延長が短く、バルブがコンパクトで省スペースに形成されることである。
【００１８】
一つの実施例において、ピストンの段差の外径は、ピストン外面の外径より大きく、結果としてピストン室内面の内径が、経路の内径よりも大きい。この場合、ピストンの段差はピストンの外表面を超えて突出し、経路の断面は、ピストン室内面を超えて突出する。この場合、相対的に過剰な圧力を外部ピストン空間に加えることで、バルブは閉じる。
【００１９】
逆の現象も代替的に可能であって、ピストンの外径がピストンの外側面の外径より小さい。この実施例の欠点は、大きな調整距離を許容するために、経路とピストンの段差を軸方向に相対的に延在して形成する必要があることである。外側ピストン空間に相対的に過剰な圧力を加えることで、バルブはこの場合開く。
【発明の効果】
【００２０】
本発明のバルブは、汚染が少なく、容易に清掃可能であり、任意に完全に開放可能なバルブである。また、部品点数が少なく、コンパクトなバルブを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
図１は、本発明に係る完全に開放した状態のバルブの実施例の縦断面図である。図２に、同じバルブの完全に閉じた状態の図を示す。このため、以下に図１と２に関し一緒に記載する。図１に使用される参照番号は、図２でも使用される。
【００２２】
バルブ１は、第一ポート３と第二ポート５とを備えたバルブハウジング２を有する。ポート３と５の両方とも、円形断面を有し、バルブ１の流路空間Ｒへ通じる連結片の形状である。ポート３と５は、角のところで互いに対して９０度になるように配され、第一ポート３の第一軸４は、第二ポート５の第二軸６に対して垂直である。第一軸４と第二軸６とは、ポート３と５との縦軸として定義される。流路空間Ｒの流通経路Ｆは、第一ポート３と第二ポート５とをバルブ１の開放状態において互いに接続する。第一ポート３を環状に囲み流路空間Ｒへ向かわせる、流通経路Ｆ内に配されたバルブシート７は、バルブハウジング２の内部に形成される。バルブシート７の反対側に、バルブハウジング２は開口部８を有する。
【００２３】
加えるに、バルブ１は流路空間Ｒの内部でバルブシート７の表面１１と垂直な軸１０に沿って少なくとも部分的に移動可能なピストン９によって開閉可能なバルブポートを有する。実施例において、軸１０は第一ポート３の第一軸４と同一線上にある。ピストンは、特にバルブロッド２０によって軸方向にガイドされ、調整距離ａによって、バルブシート７と対向するバルブポート９の閉鎖面１３が図２の如く基本的に気密に流通経路Ｆを閉じるためにバルブシート７と接触可能であり、また図１の如く流通経路Ｆを開放するために離脱可能であるような方法によって、移動可能である。閉鎖面１３は、ピストン９の端面である。ピストン９の外側面は、ピストン外表面１６を形成する。閉じたバルブ１のバルブシート７上に静止する第一シール部材１２は、閉鎖面１３上に現れる。バルブハウジング２は、バルブシート７と反対側に流路空間Ｒと隣接して軸１０に沿って延在し、軸１０に沿って延在する円筒形のピストン室２２に続く円筒形の経路１７を有する。ピストン９は経路１７を通過し、軸方向に移動可能である。経路１７の内側には、第一内部円周溝２７と、これに平行な第二内部円周溝２８とが形成される。基本的に経路１７とピストン外表面１６との間の気密な接触を生み出すために、第一シーリングリング１５が第一円周溝２７の内側に固定され、第二シーリングリング１８が第二円周溝２８の内側に固定される。従って、ピストン９は経路１７に対して気密にシールされ、流路空間Ｒは、ピストン室２２と気密に分離される。ピストン９と経路１７とは、ピストン外表面１６が気密に調整距離ａに沿って第一シーリングリング１５と第二シーリングリング１８とによって囲まれるような寸法になっている。
【００２４】
外径Ｄ２１がピストン外表面１６の外径Ｄ１６より大きな円筒状のピストン段差２１は、ピストン９のバルブシート７から遠い側の面に形成され、開口部８へ向かっている。ピストン室内面２３の内径ｄ２３は、同様に経路１７の内径ｄ１７よりも大きく、内径ｄ２３は、外径Ｄ２１より僅かに大きく、内径ｄ１７も同様に外径Ｄ１６より僅かに大きい。
【００２５】
軸１０に沿って延在し、経路１７と結合するバルブハウジング２の円筒形ピストン室２２は、ピストン段差２１を密に囲み、第三シール部材２４によって、基本的に気密にピストン９の調整距離ａに沿ったピストン室内面２３を有する。第三シール部材２４は、例えばシーリングリングの形状を有し、ピストン７を軸方向にピストン室内面２３に対して気密に封止する。体積が調整距離ａとリンクし、バルブが完全に開放した時に最大となり（図１参照）完全に閉じた時に最小となる（図２参照）外部ピストン空間Ａが、ピストン段差２１と経路１７との対向する肩部によって結び付けられる。相対的に過度の圧力を外部ピストン空間Ａに与えることによって、ピストン９は流路空間Ｒに押出され、バルブ１が開く。逆のふるまいは、相対的に減じた圧力が外部流路空間Ｒに与えられた時に観測される。従って、ピストン９とピストン室２２と共に、外部ピストン空間Ａがピストン９を動かす駆動機構を形成している。
【００２６】
バルブ１は、特に真空応用に用いることができ、減圧環境が流路空間Ｒに広がる。一方、バルブ１の開放時には、外部ピストン空間Ａに過度の圧力が広がる。第一シーリングリング１５と第二シーリングリング１８との間の大きな圧力差を最小化するために、またシーリングリング１５又は１８の欠陥による過度の圧力領域から減圧領域への遷移を防止するために、中性雰囲気へ導く通気口２９が、第一と第二内部周辺溝２７と２８の間に設けられ、バルブハウジング２における流路空間Ｒと外側ピストン空間Ａとの雰囲気分離がなされる。
【００２７】
バルブロッド２０に囲まれ、体積が調整距離ａとリンクし、バルブ１が完全に閉じた時に最大となり、バルブ１が完全に開いた時に最小となる基本的に気密な内側ピストン空間Ｂが、バルブシート７から遠い側に対向し、開口部８を閉じるバルブカバー３２と、ピストン９との間のピストン９の側面に形成される。内部ピストン空間Ｂ内の相対的に過度の圧力又は減じた圧力の用途は、従ってピストン９の移動に帰する。バルブ１は、過度の圧力によって閉じられる。従って、内部ピストン空間Ｂは、ピストン９とピストン室２２とバルブカバー３２と共に、ピストン９を移動するための駆動機構１４を形成している。
【００２８】
記載されたバルブ１は、過度の圧力を外部ピストン空間Ａ又は内部ピストン空間Ｂに供給することで、空気的に開いたり閉じたりすることができる。
【００２９】
バルブロッド２０の現在の位置と調整距離ａの電気的検出のためのピストンセンサシステム３１が、バルブロッドが通過するバルブカバー３２に設けられている。
【００３０】
図１と２からなる実施例と以下の実施例は非常に似た構造となっている。そのため、共通の部品の説明は省略する。
【００３１】
図３は、第一の追加の実施例である。内部ピストン空間Ｂにおいて、ピストン９をバネ力の下でバルブシート７方向に押圧し流路Ｆを閉じる、軸方向に作用する内部バネ２６が、流路空間Ｒから遠い側の閉鎖面１３の背面側のピストン９の側面と、バルブカバー３２との間に軸方向に配される。この実施例において、従ってもし外部ピストン空間Ａに圧力がかかっていない場合、バルブ１は自己閉鎖する。もしバネ力がバルブを閉じた状態に保つのに十分であれば、内部圧力空間Ｂは、完全に省略可能である。
【００３２】
図４に、第二の追加の実施例を示す。バネ力の下でバルブを開放し、流路Ｆを開くための軸方向に延在し軸方向に作用する外部バネ２５が、ピストン段差２１と経路１７との間の、外部ピストン空間Ａ内で互いに対向している肩部の間に配される。バネ力によって開放するこのバルブの場合において、外部ピストン空間は従って省略することができる。このバルブは、内部ピストン空間Ｂにおいて過度の圧力を加えた時に閉じる。
【００３３】
図５に、本発明に係るピストン段差２１と経路１７との間で外部ピストン空間Ａ内で互いに対向する肩部間で軸１０に沿って延在するベロース３０を備えたバルブの第三の追加実施例を示す。第一と第二内部円周溝２７、２８と、第一と第二シーリングリング１５、１８との代わりに、例えばブッシュからなる軸方向ガイド部材１９が経路１７の内側に配される。軸方向ガイド部材１９は、ピストン９をガス透過性の手法で軸方向にそのピストン外表面１６に沿って調整距離ａでガイドする。軸１０方向にフレキシブルなベロース３０は、気密にピストン段差２１と経路１７と結合し、ベローズ３０はピストン９とバルブハウジング２との間に配されるシール部材であって、流路空間Ｒが基本的に気密にベローズ３０を外側から囲む外部ピストン空間Ａから分離され、バルブを開放するための圧力に従う。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る完全に開放した状態のバルブの実施例の縦断面図である。
【図２】本発明に係る完全に閉じた状態のバルブの実施例である。
【図３】バルブを閉じるための内部バネを備えた本発明に係るバルブ実施例の第一の追加の実施例を示す図である。
【図４】バルブを開けるための外部バネを備えた本発明に係るバルブ実施例の第二の追加の実施例を示す図である。
【図５】ピストン段差と経路間にベローズを備えた本発明に係るバルブ実施例の第三の更なる展開図である。
【符号の説明】
【００３５】
１   バルブ
２   バルブハウジング
３   第一ポート
４   第一軸
５   第二ポート
６   第二軸
７   バルブシート
８   開口部
９   ピストン
１０   軸
１１   表面
１２   第一シール部材
１３   閉鎖面
１４   駆動機構
１５   第一シーリングリング
１６   ピストン外表面
１７   経路
１８   第二シーリングリング
１９   軸方向ガイド部材
２０   バルブロッド
２１   ピストン段差
２２   ピストン室
２３   ピストン室内面
２４   第三シール部材
２５   外部バネ
２６   内部バネ
２７   第一内部円周溝
２８   第二内部円周溝
２９   通気口
３０   ベローズ
３１   ピストンセンサシステム
３２   バルブカバー
【図１】
2007078175.tif 000003
【図２】
2007078175.tif 000004
【図３】
2007078175.tif 000005
【図４】
2007078175.tif 000006
【図５】
2007078175.tif 000007