(57)【要約】    【課題】  銀ペースト６３を回路基板６５の所定の位置に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、スクリーン２０の下面に回込んだ銀ペースト６３のみを除去し、スクリーン２０の開口６２内の銀ペーストはそのままの状態で残すようにする。    【解決手段】  供給ロール４５によって供給されて巻取りロール４６によって巻取られるクリーニング布４４を回転しない押圧部材４９によってスクリーン２０の下面に圧着しながら、クリーニングユニット３８の全体をスクリーン２０の長さ方向に移動させる。そしてクリーニング布４４による拭取りを終った後に、フラットエアノズル５６によってスクリーン２０の下面に空気を噴射し、クリーニング布４４によって発生した繊維を吹飛ばして吸引ノズル６０によって吸引除去する。    【選択図】    図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有するスクリーンをワーク上に重ねて配し、前記スクリーン上をスキージを移動させることにより、ペースト状物質を前記ワークの表面に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、
前記スクリーンの下側に昇降自在に配される押圧部材と、
前記押圧部材によって前記スクリーンの下面に押付けられて該スクリーンの下面を拭うクリーニング布と、
前記押圧部材の移動方向後方に配され、前記クリーニング布によるクリーニングで発生した繊維を除去する繊維除去装置と、
を具備するスクリーン印刷装置。
【請求項２】
前記ワークが導電性の接続部を有する回路基板であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３】
前記ワークが半導体チップの電極と接続される導電性の接続部を有するインターポーザ基板であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項４】
前記ペースト状物質が、導電性金属の微粒子を樹脂中に分散させた導電性接着剤であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項５】
前記ペースト状物質が、銀の微粒子をエポキシ樹脂中に分散させた銀ペーストであることを特徴とする請求項１または請求項４に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項６】
前記押圧部材が、回転しない角型ロールであって、ある稜線部分が摩耗したら、他の稜線部分を用いることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項７】
前記押圧部材がエアシリンダの出力ロッドに支持され、前記エアシリンダによって昇降動作することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項８】
前記クリーニング布がセルロース系の不織布であることを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項９】
前記繊維除去装置が、前記クリーニング布で拭われたスクリーンの下面に空気を吹付けるエアノズルと、該エアノズルからの空気によって吹飛ばされた繊維を吸引する吸引手段と、を有することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１０】
前記エアノズルが、前記スクリーンの幅方向に延びるスリットから空気を吹出すフラットエアノズルであることを特徴とする請求項９に記載のスクリーン印刷装置。
【請求項１１】
前記押圧部材によって押圧されるクリーニング布によって、前記スクリーンの下面であって前記ワークに接する面に回込んだペースト状物質を拭うとともに、前記スクリーンの開口内のペースト状物質の引張り出しを回避することを特徴とする請求項１に記載のスクリーン印刷装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はスクリーン印刷装置に係り、とくに開口を有するスクリーンをワーク上に重ねて配し、スクリーン上をスキージを移動させることにより、ペースト状物質をワークの表面に塗布するようにしたスクリーン印刷装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば半導体のベアチップをインターポーザ基板に実装する場合に、従来はインターポーザ基板の接続用ランドの部分にクリーム半田を印刷し、半導体のベアチップを該インターポーザ基板上に静かに載置した状態でリフロー炉に導入し、このリフロー炉内において加熱することによってクリーム半田中の半田粒子を溶融させ、これによって半導体チップの電極とインターポーザ基板の接続用ランドとを半田付けして接続していた。
【０００３】
ところが回路の小型化の要請に伴って、半導体のベアチップの電極がファインピッチ化し、あるいはまたインターポーザ基板の接続用ランドのピッチが狭くなっている。従って粒子が比較的大きなクリーム半田では対応することができず、このために銀ペーストをクリーム半田に代えて用いるようにしている。銀ペーストはいわゆる導電性接着剤のカテゴリに含まれる接続手段であって、例えばエポキシ樹脂中に銀の微粒子を分散させたものである。なお銀以外に、銅、ニッケル、金等の微粉末を用いた導電性接着剤が提供されている。とくにこれらの中で、銀の微粒子を用いた銀ペーストがファインピッチの接続手段として広く用いられている。
【０００４】
銀ペーストは、銀の１〜１０μ程度の大きさの粒子を、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコン樹脂等の各種のマトリックス樹脂中に分散させたものであって、上記の分散された導電性金属の粒子によって半導体のベアチップの電極とインターポーザ基板の接続用ランドとの接続を行なうことが可能になる。しかもここでクリーム半田のように、リフローを行なうことなく、マトリックス樹脂を硬化させることによって接続を行なうことができる利点がある。
【０００５】
図１はこのような銀ペーストを用いた半導体装置の製造方法を示しており、インターポーザ基板１上に半導体ベアチップ２を実装して半導体装置を組立てるようにしている。インターポーザ基板１上には、図１Ａに示すように、接続用ランド３が予め形成されており、この接続用ランド３の上に重なるように、スクリーン印刷によって銀ペースト４を塗布する。そして半導体ベアチップ２の電極５を上記銀ペースト４が塗布されたインターポーザ基板１の接続用ランド３に重合わせ（図１Ｂ、図１Ｃ参照）、この状態で上記銀ペースト４を固化させることによって、インターポーザ基板１上に半導体ベアチップ２が実装され、半導体装置が組立てられる。
【０００６】
銀ペーストに代表される導電性接着剤は、クリーム半田と組成が違い、導電性フィラーとエポキシ樹脂系接着剤とが使用されるために、タック力（粘着力）が非常に強く、硬化剤も添加されている。そのためにスクリーンを使用して極小開口・ファインピッチの印刷を行なう場合に、従来のこの種の印刷機に装備されている自動クリーニング装置で、スクリーンの下面に回込んだ上記の銀ペーストのクリーニングを行なうと、不具合が発生し、印刷品質を確保できない問題がある。
【０００７】
図２は従来のクリーニング装置の構成を示しており、支持枠８に支持されているスクリーン９は印刷用開口１０を備え、この開口１０の下側に接するようにクリーニング布１１を供給部１２から供給し、巻取り部１３で巻取る。そしてまず溶剤塗布ノズル１５によって溶剤の塗布を行ない、その後にバキュームノズル１４によって吸引するようにしている。
【０００８】
アルコール系溶剤を溶剤塗布ノズル１５によってクリーニング布１１に塗布し、この部分とバキュームノズル１４とをスクリーン９に密着させ、溶剤をスクリーン９の裏面の開口１０の内部に供給しつつ銀ペーストを吸引する方式になっている。なおスクリーン印刷装置の種類によって吸収能力に差はあるものの、クリーム半田をクリーニングする際には、このクリーニング装置によるクリーニングに問題はない。
【０００９】
ところが銀ペースト等の導電性接着剤を印刷する場合には、従来のクリーニング装置でスクリーン９のクリーニングを行なうと、図３に示すような不具合が発生する。すなわち溶剤塗布ノズル１５によって供給される溶剤と銀ペーストの硬化剤との混合反応や、溶剤の残留によって、スクリーン９の開口１０が目詰まりや滲みの不具合を引起こし、さらに溶剤の混入によって銀ペーストの接着強度を低下させる問題がある。またスクリーン９の裏面や開口１０の内部の導電性接着剤を総て吸引することができず、クリーニングユニットの移動によってスクリーン９の下面に銀ペーストが糸を引く状態を発現する問題がある。
【００１０】
この対策として、粘着ロールタイプの自動クリーニング装置であって、溶剤を使用せず、しかもバキュームを行なわないクリーニング装置の利用の検討も考察される。しかるに低粘着ロールを使用すると、スクリーン９の裏面に回った導電性接着剤は全く除去できず、逆に粘着力の強い物質に変えていくと、バキューム式と同様に開口１０の内部の導電性接着剤を引張り出し、スクリーン９の下面であって開口１０の周囲に再付着してしまう等の問題を生じ、安定したクリーニングが行なわれない問題がある。
【００１１】
特開平８−２３０１７２号公報や、特許第３４９３１６４号公報には、開口を有するスクリーンの下面のクリーニングの方法あるいは装置が開示されている。しかるにこのような装置は、何れもクリーム半田を対象とするスクリーン印刷装置のスクリーンの下面のクリーニングに関するものである。このような方法あるいは装置を応用しても、銀ペーストのような導電性接着剤を用いるスクリーン印刷装置における上記の問題は解消されない。
【特許文献１】特開平８−２３０１７２号公報
【特許文献２】特許第３４９３１６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
本願発明の課題は、スクリーンの裏面に回込んだ銀ペースト等の導電性接着剤を確実に除去できるようにしたスクリーン印刷装置を提供することである。
【００１３】
本願発明の別の課題は、スクリーンの開口内に残存する銀ペースト等の導電性接着剤はそのままの状態で残しておき、しかもスクリーンの下面に回込んだ銀ペースト等の導電性接着剤を確実に除去できるようにしたスクリーン印刷装置を提供することである。
【００１４】
本願発明のさらに別の課題は、銀ペースト等の導電性接着剤の混合反応を含む溶剤による不具合を一切引起こさないようにしたスクリーン印刷装置を提供することである。
【００１５】
本願発明のさらに別の課題は、スクリーンの下面を拭うクリーニング布から発生した繊維を確実に除去できるようにしたスクリーン印刷装置を提供することである。
【００１６】
本願発明のさらに別の課題は、安定した印刷品質を確保することが可能な銀ペースト等の導電性接着剤のスクリーン印刷装置を提供することである。
【００１７】
本願発明の上記の課題および別の課題は、以下に述べる本願発明の技術的思想、およびその実施の形態によって明らかにされよう。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本願の主要な発明は、開口を有するスクリーンをワーク上に重ねて配し、前記スクリーン上をスキージを移動させることにより、ペースト状物質を前記ワークの表面に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、
前記スクリーンの下側に昇降自在に配される押圧部材と、
前記押圧部材によって前記スクリーンの下面に押付けられて該スクリーンの下面を拭うクリーニング布と、
前記押圧部材の移動方向後方に配され、前記クリーニング布によるクリーニングで発生した繊維を除去する繊維除去装置と、
を具備するスクリーン印刷装置に関するものである。
【００１９】
ここで、前記ワークが導電性の接続部を有する回路基板であってよい。また前記ワークが半導体チップの電極と接続される導電性の接続部を有するインターポーザ基板であってよい。また前記ペースト状物質が、導電性金属の微粒子を樹脂中に分散させた導電性接着剤であってよい。また前記ペースト状物質が、銀の微粒子をエポキシ樹脂中に分散させた銀ペーストであってよい。また前記押圧部材が、回転しない角型ロールであって、ある稜線部分が摩耗したら、他の稜線部分を用いてよい。また前記押圧部材がエアシリンダの出力ロッドに支持され、前記エアシリンダによって昇降動作してよい。また前記クリーニング布がセルロース系の不織布であってよい。また前記繊維除去装置が、前記クリーニング布で拭われたスクリーンの下面に空気を吹付けるエアノズルと、該エアノズルからの空気によって吹飛ばされた繊維を吸引する吸引手段と、を有してよい。また前記エアノズルが、前記スクリーンの幅方向に延びるスリットから空気を吹出すフラットエアノズルであってよい。また前記押圧部材によって押圧されるクリーニング布によって、前記スクリーンの下面であって前記ワークに接する面に回込んだペースト状物質を拭うとともに、前記スクリーンの開口内のペースト状物質の引張り出しを回避することが好ましい。
【００２０】
本願発明の好ましい態様は、スクリーンの開口の内部の導電性接着剤を引張り出さず、しかもスクリーンの下面に回込んだ導電性接着剤のみを確実に除去できるようにし、しかも溶剤を使用しないで、溶剤と導電性接着剤の混合反応や、溶剤の残留による不具合、すなわち目詰まり、滲み、強度低下等を起こさないようにしたスクリーン印刷装置を提供するものである。このようなスクリーン印刷装置は、吹出しムラが多いパイプ穴あけ方式のブローノズルに代えて、風量増幅タイプのフラットエアノズルを使用する。そのために、スクリーンの全幅に均一なエアが当り、スクリーンの下面に付着したクリーニングロールの繊維を確実に除去できるようにし、印刷不具合を起こさないようにしたものである。
【００２１】
このような態様によると、スクリーンの裏面に回込んだ導電性接着剤のみを確実に除去でき、スクリーンの開口の内部の導電性接着剤はそのままの状態で残ることになる。そして溶剤を使用しないことによって、溶剤と導電性接着剤の混合反応や、溶剤の残留による不具合を一切引起こさないようにすることができる。またスクリーンの裏面に付着したクリーニング布の繊維を確実に除去できるようになる。また導電性接着剤の安定した印刷品質が確保できるようになる。
【発明の効果】
【００２２】
本願の主要な発明は、開口を有するスクリーンをワーク上に重ねて配し、スクリーン上をスキージを移動させることにより、ペースト状物質をワークの表面に塗布するようにしたスクリーン印刷装置において、スクリーンの下側に昇降自在に配される押圧部材と、押圧部材によってスクリーンの下面に押付けられて該スクリーンの下面を拭うクリーニング布と、押圧部材の移動方向後方に配され、クリーニング布によるクリーニングで発生した繊維を除去する繊維除去装置と、を具備するものである。
【００２３】
従ってこのようなスクリーン印刷装置によれば、スクリーンの下面に回込んだペースト状物質が、押圧部材によってスクリーンの下面に押付けられるクリーニング布によって拭われて除去される。またクリーニング布から発生する繊維が、繊維除去装置によって除去される。従ってペースト状物質の安定した印刷品質が確保される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下本願発明を図示の実施の形態によって説明する。図４は本実施の形態のクリーニング装置を備えるスクリーン印刷装置の全体の構成を概略的に示している。この印刷装置は薄いニッケル板から成るスクリーン２０を備え、スクリーン２０がその４辺を矩形の支持枠２１によって張設された状態で支持されている。そしてスクリーン２０上に移動フレーム２２が配され、この移動フレーム２２によって一対のスキージ２３、２４が昇降自在に支持されている。上記移動フレーム２２はボールナット２５に取付けられ、ボールナット２５が送りねじ２６によってその長さ方向に移動されるようになっている。なお送りねじ２６はＡＣサーボモータ２７によって回転駆動されるようになっている。
【００２５】
上記スクリーン２０に対してその下側に移動可能にテーブルベース３０が配されている。テーブルベース３０は直立するロッド３１を備え、さらに昇降ねじ３２が直立して設けられている。そしてロッド３１によって昇降自在に案内される印刷テーブル３３がテーブルベース３０上に設けられ、この印刷テーブル３３が昇降ねじ３２によって昇降動作されるようになっている。昇降ねじ３２は、ＡＣサーボモータ３５によって駆動される。印刷テーブル３３上には例えば回路基板から成るワーク３４が載置されるようになっている。
【００２６】
従ってテーブルベース３０がスクリーン２０の下側に移動した状態で、昇降ねじ３２によって印刷テーブル３３が上昇すると、回路基板から成るワーク３４がスクリーン２０の下面に接するようになる。この状態でＡＣサーボモータ２７によってスキージ２３、２４を図４において左右の方向に移動させると、銀ペースト６３が上記スクリーン２０の開口によって回路基板３４の所定の位置に印刷される。
【００２７】
上記テーブルベース３０が図４に示す位置に退避すると、スクリーン２０の下側にはクリーニングユニット３８が導入される。クリーニングユニット３８は図５および図６に示すように、一側端にアーム３９を備え、このアーム３９が送りねじ４０に係合されている。そして送りねじ４０がＡＣサーボモータ４１によって駆動されるようになっている。従ってこれにより、クリーニングユニット３８は、ＡＣサーボモータ４１によってスクリーン２０の下側の位置と、退避位置との間で移動される。
【００２８】
クリーニングユニット３８は図５および図６に示すように、スクリーン２０の下面を拭うクリーニング布４４を備えている。クリーニング布４４は供給ロール４５から供給され、巻取りロール４６によって巻取られる。なお巻取りロール４６は図５に示すＤＣパルスモータ４７によって巻取り方向に駆動される。
【００２９】
上記クリーニング布４４をスクリーン２０の下面に押圧するために、押圧部材４９が設けられている。押圧部材４９は断面がほぼ正方形であって稜線部分が曲線から成る非回転式のロールである。そしてこのような押圧部材４９が支持フレーム５０によって支持されるとともに、支持フレーム５０がエアシリンダ５１によって昇降動作される。従ってエアシリンダ５１のロッドを押出すと、支持フレーム５０が上方に移動し、押圧部材４９がクリーニング布４４をスクリーン２０の下面に押圧して拭取り動作を行なうことになる。
【００３０】
クリーニングユニット３８はさらにエアタンク５４を備えている。エアタンク５４は空気供給ホース５５と接続され、この空気供給ホース５５によってエアタンク５４内に空気が充填される。そしてエアタンク５４には、図５に示すように、スクリーン２０の幅方向に延びるスリットを有するフラットエアノズル５６を備え、このエアノズル５６によってスクリーン２０の幅方向に万遍なく空気を噴射するようになっている。
【００３１】
上記フラットエアノズル５６に対して、図５および図６において右方位置には、バキュームチャンバ５８が配されている。バキュームチャンバ５８はバキュームホース５９に接続され、これによってバキュームチャンバ５８内が負圧になり、吸引ノズル６０を通して空気を吸引するようにしている。
【００３２】
次にこのようなスクリーン印刷装置の制御系を図１０によって説明する。この制御系はコントロールユニット７０を備え、このコントロールユニット７０に対してその入力側にインターフェース７１を介して制御指令部７２が接続される。制御指令部７２は、各種の操作釦やキーボードを備え、これによってこのスクリーン印刷装置の制御のための指令信号を発生してインターフェース７１を介してコントロールユニット７０に供給することになる。これに対してコントロールユニット７０の出力側には、スキージ２３、２４を移動させるＡＣサーボモータ２７、スキージ２３、２４を昇降させるスキージ昇降シリンダ７５、印刷テーブル３３を昇降動作させるＡＣサーボモータ３５、クリーニングユニット３８の押圧部材４９を昇降動作させる支持フレーム昇降用エアシリンダ５１、エアタンク５４に対して空気供給ホース５５を介して空気を充填する空気供給モータ７７、バキュームチャンバ５８内の空気を吸引する真空吸引モータ７８、および上記クリーニングユニット３８を動作位置と退避位置との間で移動させるＡＣサーボモータ４１が接続されている。
【００３３】
次に上記クリーニングユニット３８によるクリーニングの動作について説明する。スクリーン印刷装置のテーブルベース３０を図４に示すように右方であって印刷エリアの外側へ退避させる。そしてＡＣサーボモータ４１によって、クリーニングユニット３８をスクリーン２０の下側に移動させる。クリーニングユニット３８は上述の如く、押圧部材４９、フラットエアノズル５６、吸引ノズル６０、およびクリーニング布４４の供給ロール４５および巻取りロール４６を設け、さらに上記フラットエアノズル５６の配管途中には、油分や水分、埃を除去するためのエアフィルタを取付けている。また吸引ノズル６０の吸引装置として、外置きタイプのブロワを用いるようにしている。
【００３４】
とくにクリーニング布４４をスクリーン２０の下面に押圧する押圧部材４９は、硬度が６０〜８０度のゴム製の角スキージを用いるようにし、支持フレーム５０によって固定支持している。そしてエアシリンダ５１で上記押圧部材４９を昇降動作させるようにし、クリーニング布４４を上記押圧部材４９の上に通し、これによってスクリーン２０の下面にクリーニング布４４を押付けている。またこのクリーニングユニット３８の全体をＡＣサーボモータ４１で駆動するようにし、これによってスクリーン２０の下面に回込んだ導電性接着剤のみを掻取るようにし、スクリーン２０の開口６２（図７参照）内の導電性接着剤はそのままの状態で残すようにしている。
【００３５】
クリーニング布４４から発生する繊維を除去する部分は、フラットエアノズル５６と吸引ノズル６０とを備えており、図８に示す構成になっている。クリーニング布４４による拭取り動作中は、クリーニング布４４から必ず繊維が発生し、この繊維がスクリーン２０の下面に付着する。とくに極小開口であってしかもファインピッチの印刷を行なう場合には、クリーニング布４４から発生した繊維が回路基板６５（図９参照）とスクリーン２０との間に存在していると、ギャップが発生し、スクリーン印刷の不具合を起こす。従ってそのような繊維を確実に除去する方法として、吹出しムラが多いパイプ穴あけ方式のノズルではなく、風量増量タイプのスリットから成るフラットエアノズル５６を用い、このフラットエアノズル５６の横に吸引ノズル６０を取付けた構造を採用する。
【００３６】
押圧部材４９によってクリーニング布４４をスクリーン２０の下面に押付けて拭取り動作を行なった後に、フラットエアノズル５６でエアブローすると同時に、吸引ノズル６０で吸引し、クリーニングユニット３８の全体をＡＣサーボモータ４１によって移動させると、スクリーン２０の下面であってクリーニング布４４で拭取られた部分に付着した繊維が確実に除去できる。なお従来のクリーニング装置は、導電性接着剤に限らず、スクリーンの開口６２内の銀ペースト６３を引出して印刷不具合を起こす。このスクリーン印刷装置は、とくにクリーニングユニット３８によって、スクリーン２０の下面に回込んだ銀ペースト６３のみを除去し、安定した印刷品質を確保することが可能になる。
【００３７】
クリーニングユニット３８によるクリーニングを終わった後に、図９に示すように、スクリーン２０上をスキージ２４を移動させながら、このスクリーン２０に供給される銀ペースト６３を回路基板６５の表面であって開口６２と対応する位置に塗布することによって、銀ペースト６３の回路基板６５に対するスクリーン印刷が行なわれる。このときに上述の如く、スクリーン２０の下面には銀ペースト６３が回込んでいないために、開口６２に一致する高精度のスクリーン印刷が可能になる。
【００３８】
図１１は図１０に示す制御ユニットによる制御動作のシーケンスを示しており、印刷動作を終了した後に、テーブルベース３０を退避させる。そしてクリーニングユニット３８をＡＣサーボモータ４１によって、スクリーン２０の下側に移動させる。この後エアシリンダ５１によって押圧部材４９を上昇させ、クリーニング布４４をスクリーン２０の下面に圧着する。この状態で拭取り動作を行なう。この拭取り動作は、クリーニングユニット３８の図６における左方への移動により行なわれる。この後エアシリンダ５１によって押圧部材を下降させ、クリーニング布４４を巻取りロール４６によって巻取る。そしてフラットエアノズル５６を作動させるとともに、吸引ノズル６０による吸引動作を行なう。これによってスクリーン２０の下面に付着した繊維を除去する。そしてその後にクリーニングユニット３８をＡＣサーボモータ４１によってスクリーン２０の下側から退避位置に移動させる。これによって一連のクリーニング動作が完了する。
【００３９】
従来のスクリーン印刷装置におけるクリーニングで用いられていたアルコール系溶剤は、導電性接着剤と混合されると、潜在性の硬化剤が溶出すために、反応が早まって硬化する。このような硬化によってスクリーンの目詰まりを発生したり、接着強度の低下をもたらす。またグリコール系の溶剤は、揮発性が悪いために、スクリーンに残留し易く、これによって滲みが発生したり、接着強度が低下したりする。本実施の形態においては、溶剤塗布ノズルを用いてクリーニングを行なうようにしていないために、上記のような不具合が完全に解消される。
【００４０】
また本実施の形態に係るスクリーン印刷装置のクリーニングユニットによると、スクリーン２０の下面の導電性接着剤は完全に除去されるものの、スクリーン２０の開口６２内に残存する銀ペースト６３についてはそのまま残るようにしている。従ってクリーニングユニット３８をＡＣサーボモータ４１によって移動させても、付着した導電性接着剤の悪化（図３参照）を防止できる。
【００４１】
以上本願発明を図示の実施の形態によって説明したが、本願発明は上記実施の形態によって限定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の範囲内において各種の変更が可能である。例えば上記実施の形態は、銀ペーストを印刷するためのスクリーン印刷装置に関するものであるが、本願発明は、銅ペースト、ニッケルペースト、金ペースト等の他の種類の導電性接着剤の印刷のためのスクリーン印刷装置にも適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本願発明は、銀ペーストを回路基板上に印刷塗布するためのスクリーン印刷装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】銀ペーストを用いた半導体装置の製造方法を示す縦断面図である。
【図２】従来のスクリーン印刷装置のクリーニング装置を示す縦断面図である。
【図３】同要部拡大縦断面図である。
【図４】本願発明の一実施の形態に係るスクリーン印刷装置の全体の構成を示す側面図である。
【図５】同スクリーン印刷装置におけるクリーニングユニットの平面図である。
【図６】クリーニングユニットの側面図である。
【図７】クリーニング布による拭取り動作を示す要部拡大断面図である。
【図８】スクリーンの下面に残った繊維を取除く動作を示す要部拡大断面図である。
【図９】スキージによる印刷動作を示す拡大断面図である。
【図１０】制御系のシステム構成を示すブロック図である。
【図１１】制御系による制御シーケンスを示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００４４】
１…インターポーザ基板、２…半導体ベアチップ、３…接続用ランド、４…銀ペースト、５…電極、８…支持枠、９…スクリーン、１０…開口、１１…クリーニング布、１２…供給部、１３…巻取り部、１４…バキュームノズル、１５…溶剤塗布ノズル、２０…スクリーン、２１…支持枠、２２…移動フレーム、２３、２４…スキージ、２５…ボールナット、２６…送りねじ、２７…ＡＣサーボモータ、３０…テーブルベース、３１…ロッド、３２…昇降ねじ、３３…印刷テーブル、３４…ワーク（回路基板）、３５…ＡＣサーボモータ、３８…クリーニングユニット、３９…アーム、４０…送りねじ、４１…ＡＣサーボモータ、４４…クリーニング布、４５…供給ロール、４６…巻取りロール、４７…ＤＣパルスモータ、４９…押圧部材、５０…支持フレーム、５１…エアシリンダ、５４…エアタンク、５５…空気供給ホース、５６…フラットエアノズル、５８…バキュームチャンバ、５９…バキュームホース、６０…吸引ノズル、６１…繊維、６２…開口、６３…銀ペースト、６５…回路基板、７０…コントロールユニット、７１…インターフェース、７２…制御指令部、７５…スキージ昇降シリンダ、７６…支持フレーム昇降モータ、７７…空気供給モータ、７８…真空吸引モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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