(57)【要約】【課題】貯蔵安定性、機械的液安定性に優れ、またそれにより形成された電着塗膜も、露光前の未硬化状態では非粘着性が高く、さらに露光後の硬化状態でも良好な耐めっき液性を示すネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を提供する。【解決手段】ネガ型カチオン性フォトレジスト用電着液を構成する樹脂成分が、（Ａ）共重合性ビニル系単量体を１８．０〜９３．９重量部と、（Ｂ）側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を０．１〜２０．０重量部とを共重合してなる共重合体と、さらに（Ｃ）多官能型共重合性ビニル系単量体を５．０〜５０．０重量部、（Ｄ）光重合開始剤を１．０〜１２．０重量部の合計１００重量部からなる樹脂組成物であるネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。                      【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
ネガ型カチオン性フォトレジスト用電着液を構成する樹脂成分が、（Ａ）共重合性ビニル系単量体を１８．０〜９３．９重量部と、（Ｂ）側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を０．１〜２０．０重量部とを共重合してなる共重合体と、さらに（Ｃ）多官能型共重合性ビニル系単量体を５．０〜５０．０重量部、（Ｄ）光重合開始剤を１．０〜１２．０重量部の合計１００重量部からなる樹脂組成物であることを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
【請求項２】
上記（Ａ）共重合性ビニル系単量体１８．０〜９３．９重量部が、（ａ）アミノ基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を３．０〜１６．６重量部、（ｂ）アミノ基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を１．４〜９０．９重量部、であることを特徴とする請求項１記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物。
【請求項３】
請求項１または２に記載のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を用いた電着液により形成されたことを特徴とする電着塗膜。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物、及びこれを用いて構成した電着液、並びにこれにより形成された電着塗膜に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、エッチング用途やめっきマスク用途、さらにはプリント配線板等の微細加工用途には、アニオン性及びカチオン性のネガ型、ポジ型のフォトレジスト電着液が用いられてきた（特許文献１〜４参照）。
ネガ型フォトレジストは、析出した塗膜を紫外線照射により硬化し不溶化させる。そのため、紫外線照射前では塗膜が粘着性を有するため、フォトマスクを張り合わせる際に、レジスト塗膜とフォトマスクが密着していまうといった問題があった。この問題を解決する方法としてフォトレジスト電着液を構成する樹脂のガラス転移温度を高くする等の方法が採用されている（特許文献５、６参照）。しかしながら、この場合、電着時に塗膜の電気抵抗が大きくなり塗膜を厚くすることが出来ない。また、紫外線照射時に塗膜の硬化性が低下する等の問題があった。
また一方、非粘着性のポリビニルアルコールやポリアクリル酸などで電着塗膜を再度コートする方法も取られている（特許文献７）。しかしながら、これらの方法においてもスルーホールのある銅張積層板を用いた場合、スルーホール内にたまりができ紫外線の透過性が低下してスルーホール内の塗膜の硬化が不十分になっていた。また、基板のエッジ部に再コートに由来する溜りができ、乾燥不良やフォトマスクの密着性が悪くなり解像度が上がらない等の問題があった。
さらに、電着液を長期間循環させるとエマルションが破壊し、その凝集物が被塗物に付着したり、槽底に蓄積するなどの液の貯蔵安定性やエマルションのせん断や摩擦に対する機械的液安定性にも問題があった。
【０００３】
【特許文献１】特開昭６１−０８０２４０号公報
【特許文献２】特開昭６２−２６２８５５号公報
【特許文献３】特開平０１−１９１７９９号公報
【特許文献４】特開平０４−２２８５９８号公報
【特許文献５】特開２０００−２５６４２８号公報
【特許文献６】特開平０８−３３９０８５号公報
【特許文献７】特開平０１−２７９２５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明は、前記したような背景技術における諸問題を解決することを目的としてなされたものである。すなわち、本発明の目的は、貯蔵安定性及び機械的液安定性に優れた電着液並びにこれを用いて形成された電着塗膜が露光前には非粘着性を示すネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記問題を解決するために鋭意研究した結果、共重合性ビニル系単量体と、側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体との共重合体に、多官能型共重合性ビニル系単量体と、光重合開始剤とを配合した樹脂組成物を用いてカチオン性電着フォトレジスト液を作製し、それにより電着を行なうことによって、上記の諸問題が克服できることを知見し、本発明を完成するに至った。
なお、側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を共重合させることで、樹脂粒子の表面にフッ素原子が多く配向した結果、電着液の安定性並びに塗膜の非粘着性が改良されたと推測される。
本発明のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物は、（Ａ）共重合性ビニル系単量体を１８．０〜９３．９重量部と、（Ｂ）側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体を０．１〜２０．０重量部とを共重合してなる共重合体と、さらに（Ｃ）多官能型共重合性ビニル系単量体を５．０〜５０．０重量部、（Ｄ）光重合開始剤を１．０〜１２．０重量部の合計１００重量部からなることを特徴とするネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物である。
【発明の効果】
【０００６】
本発明のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を用いた電着液は、貯蔵安定性、機械的液安定性に優れ、またそれにより形成された電着塗膜も、露光前の未硬化状態では非粘着性が高く、さらに露光後の硬化状態においても良好な耐めっき液性を示すという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下に本発明の構成と作用を具体的に説明するが、本発明はこれにより何ら限定されるものではない。本発明においては、（Ａ）共重合性ビニル単量体、（Ｂ）側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体とを共重合してなる共重合体と、（Ｃ）多官能型アクリル単量体、（Ｄ）光重合開始剤の各成分は、ネガ型電着フォトレジスト液を得るための必須構成成分である。
（Ａ）共重合性ビニル系単量体１８．０〜９３．９重量部は、（ａ）アミノ基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を３．０〜１６．６重量部、（ｂ）アミノ基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を１．４〜９０．９重量部から構成される。
【０００８】
（Ａ）共重合性ビニル単量体中の水溶性または水分散性の樹脂を構成する（ａ）アミノ基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体としては、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸ジメチルアミノプロピル、アクリルアミド等が挙げられる。（ｂ）アミノ基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体としては、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、ｎ−プロピルアクリレート、ｎ−プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、ｎ−ブチルアクリレート、ｎ−ブチルメタクリレート、ｎ−ヘキシルアクリレート、ｎ−ヘキシルメタクリレート、２−エチルヘキシルアクリレート、２−エチルヘキシルメタクリレート、ヘプチルアクリレート、ヘプチルメタクリレート、ラウリルアクリレート、ラウリルメタクリレート、ステアリルアクリレート、ステアリルメタクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアクリレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、３−ヒドロキシプロピルメタクリレート、４−ヒドロキシブチルメタクリレート、ジエチレングリコールモノアクリレート、ジエチレングリコールモノメタクリレート等の１種または２種以上が挙げられる。
【０００９】
（Ｂ）側鎖に炭素数１〜７のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体としては、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート、２，２，２−トリフルオロエチルメタクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルアクリレート、２，２，３，３−テトラフルオロプロピルメタクリレート、２−（パーフルオロエチル）エチルアクリレート、２−（パーフルオロエチル）エチルメタクリレート、１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ−オクタフルオロペンチルアクリレート、１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ−オクタフルオロペンチルメタクリレート、２−（パーフルオロオクチル）エチルメタクリレート、２−（パーフルオロオクチル）エチルアクリレート等が挙げられ、市販品としてはフルオレスター（東ソーエフテック社製：商品名）、ビスコート３Ｆ、ビスコート３ＦＭ（大阪有機化学社製：商品名）、ライトエステルＭ−３Ｆ（共栄社化学社製：商品名）等の１種または２種以上が使用できる。しかし、８以上のフルオロアルキル基を有する共重合性ビニル系単量体の使用については、非常に高価なため産業利用上、問題がある。
【００１０】
（Ｃ）多官能型共重合性ビニル系単量体としての多官能型アクリル単量体としては、ビスフェノールＦエポキシ変性ジアクリレート、ビスフェノールＡエポキシ変性ジアクリレート、イソシアヌル酸エポキシ変性ジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレートモノステアレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシドトリアクリレート、イソシアヌル酸エポキシ変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエポキシ変性トリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート等の１種または２種以上が挙げられる。
【００１１】
（Ｄ）光重合開始剤としては、ジメチルアミノ安息香酸誘導単量体、アセトフェノン誘導単量体、ベンゾフェノン誘導単量体、ベンゾイン誘導単量体、アルキルフェノン誘導単量体、チオキサントン誘導単量体、スルホニルアジド安息香酸、ジアゾジフェニルアミン誘導単量体、ナフトキノンジアゾスルホン誘導単量体等の１種または２種以上が挙げられる。
（Ｅ）共重合性ビニル単量体用の重合開始剤としては、２，２’−アゾビスイソブチルニトリル、２，２’−アゾビスシアノバレロニトリル等のアゾ系化合物、過酸化ベンゾイル、クメンハイドロパーオキサイド等のパーオキサイド系化合物が挙げられる。
（Ｆ）中和に必要な酸としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、乳酸、２−エチルブタン酸、オクチル酸などの有機酸、又は硫酸、リン酸などの鉱酸が挙げられる。
【００１２】
（Ｇ）有機溶剤としては、メタノール、エタノール、ｎ−プロパノール、イソプロパノール、ｎ−ブタノール、イソブタノール、ｓｅｃ−ブタノール、tert−ブタノール、ペンタノール等のアルコール類、エチレングリコールメチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテル、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、エチレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、エチレングリコール−ｔｅｒｔ−ブチルエーテル、エチレングリコール−ｎ−ヘキシルエーテル、エチレングリコール−２−エチルヘキシルエーテル等のセロソルブ類、エチレングリコール−ｎ−ブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコール−ｎ−ヘキシルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールエチルエーテル、プロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル、プロピレングリコールフェニルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールジアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテル、ジプロピレングリコールエチルエーテル、ジプロピレングリコール−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコール−ｎ−ブチルエーテル等の１種または２種以上が挙げられる。その他、着色のための染料、顔料や電着液の安定性をさらに向上させるノニオン系界面活性剤なども使用できる。
【００１３】
本発明のネガ型電着フォトレジスト用樹脂組成物において、各成分の配合割合は、上記成分（Ａ）１８．０〜９３．９重量部、（Ｂ）０．１〜２０．０重量部、（Ｃ）５．０〜５０．０重量部、（Ｄ）１．０〜１２．０重量部であることが必要である。さらに成分（Ａ）は、（ａ）アミノ基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を３．０〜１６．６重量部、（ｂ）アミノ基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を１．４〜９０．９重量部を含む。好ましい配合割合は、成分（Ａ）４７．０〜８１．０重量部、（Ｂ）１．０〜１０．０重量部、（Ｃ）１５．０〜３５．０重量部、（Ｄ）３．０〜８．０重量部の範囲である。この時、成分（Ａ）は（ａ）アミノ基を側鎖に有する共重合性ビニル系単量体を５．０〜１５．０重量部、（ｂ）アミノ基を側鎖に有しない共重合性ビニル系単量体を、３２．０〜７６．０重量部を含む。
【００１４】
これに対して、成分（Ａ）が１８．０重量部未満となった場合には、電着液の水溶性が低下するため、液安定性も低下してくる。また、９３．９重量部を超えると塗膜の露光感度が落ちる。成分（Ａ）を構成する（ａ）が３．０重量部未満となった場合には、電着塗膜の水溶性が落ち、現像性が落ちる。１６．６重量部を超えると、電着塗膜の耐水性が落ち、耐めっき液性が悪くなる。（ｂ）が１．４重量部未満になった場合には、電着塗膜の耐水性が落ち、耐めっき液性が悪くなる。９０．９重量部を超えると電着塗膜の水溶性が落ち、現像性が落ちる。
成分（Ｂ）が０．１重量部未満となった場合には、液の安定性が低下し、塗膜に粘着性が出てくる。また、２０．０重量部を超えると塗膜の耐めっき液性が低下する。成分（Ｃ）が、５．０重量部未満では架橋密度が低くなり現像時に塗膜が溶解する。また、５０重量部を超えると塗膜に粘着性が出てくるといった問題が生じる。（Ｄ）が１．０重量部未満の場合には、塗膜の露光感度が落ちる。但し、１２．０重量部を超えても露光感度は向上しない。
【００１５】
また、本発明の電着液を作製するには、成分（Ａ）と成分（Ｂ）の合計１００重量部に対して成分（Ｅ）０．５〜２．０重量部、アミノ基に対し有機酸（Ｆ）のモル比を０．３〜０．８、（Ｇ）１５．０〜３０．０重量部で使用することが必要である。
本発明の電着条件としては、通電工程において、被塗物を陰極とし、印加電圧を１５〜２５０Ｖ、好ましくは６０〜１６０Ｖとし、通電時間を１０〜１８０秒、好ましくは１０〜６０秒とし、浴温を２５〜４５℃、好ましくは３０〜４０℃とする。印加電圧は通電と同時に設定電圧をかけるハードスタート、あるいは徐々に設定電圧まで上げていくソフトスタートのいずれでもかまわない。
【００１６】
電着塗装された被塗装物は水洗され、次いで乾燥し、塗膜中の水分、溶剤成分を除去した後紫外線を照射し露光される。紫外線光源としては、高圧水銀ランプ、メタルハライドランプのいずれでもかまわない。露光のための光量は５０ｍＪ／ｃｍ2〜１０００ｍＪ／ｃｍ2で、望ましくは２００〜３００ｍＪ／ｃｍ2である。
露光はマスクパターン越しに行い、所定のパターンを塗膜に焼き付ける。また、パターンの解像度を上げるために、マスクパターンは直接塗膜に接触させる方が好ましい。
露光された塗膜は、有機酸系の現像液により現像し、未露光部分を溶解除去する。この現像液は、ギ酸、酢酸、乳酸等の有機酸を１〜５％程度の水溶液にしたものを室温から５０℃の範囲で、好ましくは３５〜４５℃の範囲で使用する。また、必要であれば、ノニオン性界面活性剤を添加して現像時間を短縮することも出来る。
【００１７】
現像後に、被塗装物をめっき処理又はエッチング処理を行う。その後、電着塗膜が不要であれば、剥離液で塗膜を剥離除去する。
本発明で適用できる被塗装物としては、プリント基板、リードフレーム、コネクター端子等の微細加工用途の電子部品のみでなく導電性を有する微細加工用途ものであれば特に限定されることなく、めっきレジスト、エッチングレジストとして使用できる。例えば、透明性と導電性とを同時に付与することができるＩＴＯ（Ｉｎｄｉｕｍ  Ｔｉｎ  Ｏｘｉｄｅ）を蒸着したガラス板上でもかまわない。
また、本発明電着液の使用に関して、用途によりこれ以外の電着液とブレンド使用しても構わない。
この工程にて作成した電着塗膜は、ＦＴ−ＩＲ測定によりフッ素原子が優先的に表面に存在していることがわかる。それを、図１〜５に示した。
なお、図２〜４の塗膜表面からの各深度は、塗膜表面を順に削って調整した。
【実施例】
【００１８】
本発明について、製造例、実施例および比較例によってさらに具体的に説明するが、本発明はこれら実施例などによって何ら限定されるものではない。なお、製造例、実施例および比較例中の部は、特に断りのない限り重量部を意味する。
（製造例１）
水溶性、または水分散性のビニル系共重合体の製造撹拌装置、還流装置及び窒素導入管を備えた３リットル４つ口フラスコに、重量部でイソプロピルアルコール３０部を仕込み、８０℃に昇温した。別にイソプロピルアルコール１０部、ジメチルアミノエチルメタクリレート１０部、２−エチルヘキシルアクリレート５部、２−エチルヘキシルメタクリレート５部、エチルアクリレート５部、ブチルアクリレート１８部、メチルメタクリレート５２部、２，２，２−トリフルオロエチルアクリレート５部、アゾビスイソブチロニトリル１部の混合液を滴下ロートに仕込み、前記フラスコ内に１２０分かけて滴下した。
滴下終了後、さらに、イソプロピルアルコール３部、アゾビスイソブチロニトリル０．５部を、３０分毎に３回添加した後、さらに９０℃で１８０分反応を続けた。反応終了後、ジペンタエリスリトールペンタ及びヘキサアクリレート（東亜合成（株）製、多官能型共重合性ビニル系単量体、アロニックスＭ−４００：商品名）２５部、２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モノフォリノプロパン−１−オン（チバ・ガイギー（株）製、光重合開始剤、イルガキュア９０７：商品名）５部、２，４−ジエチルチオキサントン（日本化薬（株）製、光重合開始剤、カヤキュアＤＥＴＸ−Ｓ：商品名）２部を加えアクリル重合体を得た。
【００１９】
（製造例２〜１１）
製造例２〜１１について、製造例１とメチルメタクリレート、アミノ基を側鎖に持つ単量体、フッ素モノマー、多官能型共重合ビニル系単量体、光重合開始剤の配合比が異なることを除いてあとは同じ方法で各々の電着樹脂を作製した。その配合を表１に示す。
［実施例１］
製造例１のアクリル共重合体１８３．５部に、プロピレングリコールモノメチルエーテル１６部、８０％乳酸３．０部を加えて十分撹拌した後、脱イオン水１１１７．５部を加えて加熱残分１０％の電着液を作製した。
［実施例２〜７］
製造例２、４、５、７、９、１１それぞれについて、実施例１と使用する共重合物が、実施例２では製造例２、実施例３では製造例５、実施例４では製造例６、実施例５では製造例７、実施例６では製造例９、実施例７では製造例１１である点を除いては実施例１と同じ方法で各々の電着液を作製した。
【００２０】
［比較例１〜４］
比較例１〜４について、実施例１と使用するアクリル共重合体が、比較例１では製造例３、比較例２では製造例４、比較例３では製造例８、比較例４では製造例１０である点を除いて、あとは同じ方法で各々の電着液を作製した。実施例１〜４および比較例１、２の電着液配合割合及びその評価並びに塗膜の評価を表２に示す。
〔樹脂組成物の評価法〕
実施例１〜７、比較例１〜４で作製した電着液を使用し、常法に従って陰極に厚さ０．２ｍｍの銅板を、陽極に１８−８ステンレス鋼板を用いて、浴温３５℃、両極間に直流電圧を６０秒間印加した。次いで電着塗布された銅板を取り出して充分に水洗したのち、６０℃の温度で１２０秒間乾燥した。印加電圧は、１０μｍの塗膜厚を得るために８０Ｖ〜１８０Ｖの間で任意に変更することが可能である。上記条件にて析出させた塗膜の硬化条件は３００ｍＪ／ｃｍ2 とした。
【００２１】
【表１】
2007248617.tif 000002
【００２２】
【表２】
2007248617.tif 000003
【００２３】
表２中の組成、物性試験、その評価方法は以下のとおりである。
（１）・＊：固形分１０％
（２）・貯蔵安定性：電着液を５ケ月間室温にて静置し、沈降物の有無を判定した。沈降物が発生すれば不良とし、無ければ良とした。
（３）・機械的液安定性：渦巻きポンプでのせん断力下における電着液の安定度を測定した。渦巻きポンプ（株式会社イワキ製ＭＤ−３０）にて、１０リットル／分の循環量で、電着液３リットルを４５℃で８時間連続循環を行う。試験後その液を用い５０×１００(mm)の銅板に電着を行い、実体顕微鏡の観察にて電着塗膜中に直径５０〜２００μｍの凝集物があれば不良、なければ良とした。
（４）・露光前の塗膜の非粘着性：乾燥後の電着塗膜とポリエチレンフィルムの密着力で評価した。５０×１００（ｍｍ）の銅板に上記電着方法で塗膜厚１０±１μｍにして、ポリエチレンフィルムを電着塗膜に貼り合わせ４０℃で２０ｇ／ｃｍ2 の荷重にて、３分間密着させ、１８０°の角度にて剥離荷重を測定した。剥離強度の極大値平均２０ｍＮ／ｃｍ以上で不良、未満で良とした。
（５）・耐めっき液性：銅板に上記方法で電着を行い温度６０℃で１２０秒間乾燥した後に、所定のパターンのあるフォトマスク越しにメタルハライドランプにて波長３６５ｎｍの光の強度が２００ｍＷ／ｃｍ2の紫外線にて２秒間電着塗膜を露光し、温度４０℃乳酸濃度１重量％の水溶液に２分間浸漬して未露光部分の電着塗膜を現像した。その後、シアン化銀めっき液（日本高純度化学株式会社製セレナブライトＮ−５０）による被塗物へのめっきを−３Ｖの電圧で６０Ｈｚの矩形波を１分間印加して電解めっきを行いめっきの染み込みを測定した。基材の銅板と現像後の電着塗膜界面に銀めっきが染み込み析出していれば不良、析出していなければ良とした。
【産業上の利用可能性】
【００２４】
本発明のネガ型カチオン性電着フォトレジスト用樹脂組成物を用いた電着液は、貯蔵安定性、機械的液安定性に優れ、またそれにより形成された電着塗膜も、露光前の未硬化状態では非粘着性が高く、さらに露光後の硬化状態でも良好な耐めっき液性を示しており、ネガ型カチオン性電着フォトレジストの技術分野において産業上極めて有用である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】塗膜表面（深度０μｍ）のＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図２】深度４μｍのＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図３】深度１２μｍのＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図４】深度１６μｍのＦＴ−ＩＲチャート図である。
【図５】塗膜表面からの各深度（Ｄ、μｍ）と吸光度比（Ｃ）の関係。
【符号の説明】
【００２６】
Ａ：１２８０ｃｍ-1のピークは主としてＣ−Ｆ結合の吸収を示す。すなわち、全（メタ）アクリル樹脂中のフッ素分を示す。
Ｂ：１７３０ｃｍ-1のピークは主としてカルボニルの吸収を示す。すなわち、全（メタ）アクリル樹脂分を示す。
Ｃ：Ｂに対するＡの吸光度比。すなわち、全（メタ）アクリル樹脂分に対するフッ素分の比率を示す。
Ｄ：塗膜表面からの深度（μｍ）を示す。
【図１】
2007248617.tif 000004
【図２】
2007248617.tif 000005
【図３】
2007248617.tif 000006
【図４】
2007248617.tif 000007
【図５】
2007248617.tif 000008