(57)【要約】【課題】ガラス基板を平面に近い形状に確実に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送できる信頼性が高い薄板状材料の搬送方法及び装置を提供する。【解決手段】搬送装置１０は、略平坦な上面部１６の複数の部位から上方に気体を噴射可能であり該上面部１６が搬送面１４の下側に近接するように配置された下側エアガイド１８と、略平坦な下面部２０の複数の部位から下方に気体を噴射可能であり該下面部２０が搬送面１４の上側に近接するように下側エアガイド１８の上方に配置された上側エアガイド２２と、を有してなるエアガイドユニット２４が備えられ、ガラス基板１２の動きを上下方向の両側において非接触で規制するように構成されている。【選択図】図１
2007051001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
薄板状材料を所定の搬送面に沿う搬送方向に搬送する薄板状材料の搬送方法において、
略平坦な上面部の複数の部位から上方に気体を噴射可能である下側エアガイド及び略平坦な下面部の複数の部位から下方に気体を噴射可能である上側エアガイドを有してなるエアガイドユニットを、前記下側エアガイドの上面部が前記薄板状材料の下面に近接し、且つ、前記上側エアガイドの下面部が前記下側エアガイドの上方において前記薄板状材料の上面に近接するように配置し、前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部から前記薄板状材料に気体を噴射して該薄板状材料の動きを上下方向の両側において非接触で規制しつつ該薄板状材料を前記搬送面に沿って搬送することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項２】
請求項１において、
前記エアガイドユニットを前記薄板状材料の前記搬送方向の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間して複数配置し、前記薄板状材料の動きを前記搬送方向に離間した複数の位置において規制することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項３】
請求項２において、
前記複数のエアガイドユニットよりも前記搬送方向の上流側及び下流側において前記薄板状材料を前記搬送方向に駆動することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項４】
請求項３において、
前記薄板状材料の下面に駆動部材を接触させて該薄板状材料を前記搬送方向に駆動することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項５】
請求項３において、
下方から前記薄板状材料の下面に向けて、且つ、前記搬送方向に傾斜した方向に気体を噴射して該薄板状材料を非接触で前記搬送方向に駆動することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項６】
請求項２乃至５のいずれかにおいて、
前記複数のエアガイドユニットのうちのいずれかのエアガイドユニットとこれに隣り合う他のエアガイドユニットとの間において、前記薄板状材料を加工する加工処理及び前記薄板状材料を検査する検査処理の少なくとも一方を行うことを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項７】
請求項１又は２において、
前記搬送面を水平面に対して前記搬送方向と垂直な幅方向に１５度以内の傾斜角だけ傾斜させて設定し、前記エアガイドユニットの前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部も水平面に対して前記幅方向に前記傾斜角だけ傾斜させて配置し、且つ、前記薄板状材料における前記幅方向の下側の側端に駆動部材を接触させて該薄板状材料を前記搬送方向に駆動することを特徴とする薄板状材料の搬送方法。
【請求項８】
薄板状材料を所定の搬送面に沿う搬送方向に搬送するための薄板状材料の搬送装置において、
略平坦な上面部の複数の部位から上方に気体を噴射可能であり該上面部が前記搬送面の下側に近接するように配置された下側エアガイドと、略平坦な下面部の複数の部位から下方に気体を噴射可能であり該下面部が前記搬送面の上側に近接するように前記下側エアガイドの上方に配置された上側エアガイドと、を有してなるエアガイドユニットが備えられ、前記薄板状材料の動きを上下方向の両側において非接触で規制するように構成されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記エアガイドユニットが前記搬送方向の前記薄板状材料の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間して複数備えられたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項１０】
請求項９において、
前記複数のエアガイドユニットよりも前記搬送方向の上流側及び下流側に前記薄板状材料を前記搬送方向に駆動するための駆動ユニットが備えられたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項１１】
請求項１０において、
前記駆動ユニットは、前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を前記搬送方向に駆動する駆動部材を有する構成であることを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項１２】
請求項１０において、
前記駆動ユニットは、下方から前記搬送面に向けて、且つ、前記搬送方向に傾斜した方向に気体を噴射して該薄板状材料を非接触で前記搬送方向に駆動する構成であることを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項１３】
請求項９乃至１２のいずれかにおいて、
前記複数のエアガイドユニットのうちのいずれかのエアガイドユニットとこれに隣り合う他のエアガイドユニットとの間に、前記薄板状材料を加工するための加工ユニット及び前記薄板状材料を検査するための検査ユニットの少なくとも一方が備えられたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【請求項１４】
請求項８又は９において、
前記搬送面は水平面に対して前記搬送方向と垂直な幅方向に１５度以内の傾斜角だけ傾斜して設定され、前記エアガイドユニットは前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部が水平面に対して前記幅方向に前記傾斜角だけ傾斜した構成であり、且つ、前記薄板状材料における前記幅方向の下側の側端に接触して該薄板状材料を前記搬送方向に駆動する駆動部材を有する駆動ユニットが備えられたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などの平面板ディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料を搬送する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示パネルやプラズマディスプレイパネルのガラス基板は僅かな傷や埃でも品質に大きく影響するため、このようなガラス基板の搬送においてはガラス基板の表面に傷が生じたり異物が付着しないようにガラス基板を平面に近い形状に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送することが要求されている。
【０００３】
又、ガラス基板は液状材料の塗布、紫外線や電子線による露光又は照射等の加工処理やガラス基板の表面の傷や異物の付着等を検査するための検査処理が行われることがある。このような加工処理や検査処理では特にガラス基板を平面に近い形状に保持することが要求されるため、専用の固定テーブルにガラス基板を移載して加工処理や検査処理が行われるが、生産性の向上のため、このようなガラス基板の加工処理や検査処理をガラス基板の搬送中に行いたいという要求がある。
【０００４】
一方、液晶表示パネルでは、ガラス基板のサイズがますます大型化しており、例えば第８世代においては、２２００ｍｍ×２５００ｍｍ、厚さが０．７ｍｍなどであって、大きさに比べて非常に薄いため、ガラス基板を水平に搬送する際に、その外周端部のみならず、これよりも内側の部分も支持しなければ中央部が大きく垂れ下がってしまう。
【０００５】
そこでガラス基板の搬送装置は、ガラス基板を全面においてできるだけ均等に支持し、平面に近い形状に保持して搬送するように工夫されている。
【０００６】
例えば、搬送面の搬送方向及び搬送方向に垂直な幅方向に適宜なピッチで複数のローラを設置し、これら複数のローラでガラス基板を下方から支持して駆動する搬送装置が知られている。
【０００７】
又、エアテーブルを用いてガラス基板を浮上させつつエアの圧力で駆動して非接触で搬送する搬送装置が知られている（例えば特許文献１、２、３参照）。
【０００８】
又、ガラス基板における搬送方向に垂直な幅方向の両端近傍をローラで下方から支持してガラス基板を駆動し、且つ、ガラス基板の幅方向の中央近傍にはエアテーブルを設置してガラス基板の中央部の垂れ下がりを抑制するようにした搬送装置が知られている（例えば特許文献４、５参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開平１０−１３９１６０号公報
【特許文献２】特開平１１−２６８８３０号公報
【特許文献３】特開平１１−２６８８３１号公報
【特許文献４】特開２００１−１９６４３８号公報
【特許文献５】特開２００３−６３６４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、複数のローラでガラス基板を下方から支持して駆動する搬送装置は、ガラス基板がローラとの接触とローラからの離間とを繰り返すため振動が生じ、これにより騒音や発埃が生じたり、ガラス基板の表面が欠損することがある。又、振動のため、この搬送装置においてガラス基板の加工処理や検査処理を行うことができないという問題がある。
【００１１】
一方、エアテーブルでガラス基板を搬送する搬送装置はガラス基板を全面において均一な圧力で、且つ、非接触で支持するので、搬送装置との接触によるガラス基板の振動やガラス基板の欠損、ガラス基板への異物の付着が抑制されるが、エアテーブルから噴出させる圧縮空気の制御が複雑で製造コスト及び運転コストが高く、又、エアテーブルから少なからぬ流量の空気を噴出するため、例えばクリーンルーム内の空気の乱れを生じさせるという問題がある。又、このような空気の乱れにより、却ってガラス基板に埃等の異物が付着しやすくなることもある。更に、ガラス基板は完全に浮上状態であるため不安定であり、他の周辺装置の振動等の外乱によりガラス基板に不規則な変位や変形が生じてガラス基板が欠損しうる。又、エアテーブルがガラス基板の全面を下方から支持する構造であるため、この搬送装置においてガラス基板の加工処理や検査処理を行うことは困難である。
【００１２】
又、ガラス基板における幅方向の両端近傍をローラで下方から支持してガラス基板を駆動し、ガラス基板の幅方向の中央近傍をエアテーブルで非接触で支持する搬送装置は、エアテーブルから噴出する空気の流量が比較的少なく、又、エアテーブルから噴出させる圧縮空気の制御が比較的容易であるが、ガラス基板の幅方向の両端近傍では局部的にガラス基板がローラとの接触とローラからの離間とを繰り返すため、ガラス基板が振動する。この振動は、ローラだけでガラス基板を支持する搬送装置よりは抑制されるものの、ガラス基板の幅方向の中央近傍は浮上状態で不安定であるため、ガラス基板は、幅方向の両端近傍だけでなく、全面が振動する。従って、ガラス基板の加工処理や検査処理を行うことは困難である。更に、エアテーブルがガラス基板の搬送方向の全長に亘ってガラス基板の幅方向の中央近傍の下面に近接しているので、この点でもガラス基板の加工処理や検査処理を行うことが困難である。
【００１３】
本発明は、以上の問題点に鑑みてなされたものであってガラス基板を平面に近い形状に確実に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送できる信頼性が高い薄板状材料の搬送方法及び装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本方法発明は、薄板状材料を所定の搬送面に沿う搬送方向に搬送する薄板状材料の搬送方法において、略平坦な上面部の複数の部位から上方に気体を噴射可能である下側エアガイド及び略平坦な下面部の複数の部位から下方に気体を噴射可能である上側エアガイドを有してなるエアガイドユニットを、前記下側エアガイドの上面部が前記薄板状材料の下面に近接し、且つ、前記上側エアガイドの下面部が前記下側エアガイドの上方において前記薄板状材料の上面に近接するように配置し、前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部から前記薄板状材料に気体を噴射して該薄板状材料の動きを上下方向の両側において非接触で規制しつつ該薄板状材料を前記搬送面に沿って搬送することを特徴とする薄板状材料の搬送方法により、上記目的を達成するものである。
【００１５】
前記薄板状材料の搬送方法において、前記エアガイドユニットを前記薄板状材料の前記搬送方向の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間して複数配置し、前記薄板状材料の動きを前記搬送方向に離間した複数の位置において規制してもよい。
【００１６】
又、前記複数のエアガイドユニットよりも前記搬送方向の上流側及び下流側において前記薄板状材料を前記搬送方向に駆動してもよい。
【００１７】
この場合、前記薄板状材料の下面に駆動部材を接触させて該薄板状材料を前記搬送方向に駆動してもよい。
【００１８】
又、この場合、下方から前記薄板状材料の下面に向けて、且つ、前記搬送方向に傾斜した方向に気体を噴射して該薄板状材料を非接触で前記搬送方向に駆動してもよい。
【００１９】
又、これらの場合、前記複数のエアガイドユニットのうちのいずれかのエアガイドユニットとこれに隣り合う他のエアガイドユニットとの間において、前記薄板状材料を加工する加工処理及び前記薄板状材料を検査する検査処理の少なくとも一方を行うようにしてもよい。
【００２０】
又、前記薄板状材料の搬送方法において、前記搬送面を水平面に対して前記搬送方向と垂直な幅方向に１５度以内の傾斜角だけ傾斜させて設定し、前記エアガイドユニットの前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部も水平面に対して前記幅方向に前記傾斜角だけ傾斜させて配置し、且つ、前記薄板状材料における前記幅方向の下側の側端に駆動部材を接触させて該薄板状材料を前記搬送方向に駆動してもよい。
【００２１】
本装置発明は、薄板状材料を所定の搬送面に沿う搬送方向に搬送するための薄板状材料の搬送装置において、略平坦な上面部の複数の部位から上方に気体を噴射可能であり該上面部が前記搬送面の下側に近接するように配置された下側エアガイドと、略平坦な下面部の複数の部位から下方に気体を噴射可能であり該下面部が前記搬送面の上側に近接するように前記下側エアガイドの上方に配置された上側エアガイドと、を有してなるエアガイドユニットが備えられ、前記薄板状材料の動きを上下方向の両側において非接触で規制するように構成されたことを特徴とする薄板状材料の搬送装置により、上記目的を達成するものである。
【００２２】
前記薄板状材料の搬送装置において、前記エアガイドユニットが前記搬送方向の前記薄板状材料の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間して複数備えられた構成としてもよい。
【００２３】
更に、前記薄板状材料の搬送装置において、前記複数のエアガイドユニットよりも前記搬送方向の上流側及び下流側に前記薄板状材料を前記搬送方向に駆動するための駆動ユニットが備えられた構成としてもよい。
【００２４】
この場合、前記駆動ユニットは、前記薄板状材料の下面に接触して該薄板状材料を前記搬送方向に駆動する駆動部材を有する構成としてもよい。
【００２５】
又、この場合、前記駆動ユニットは、下方から前記搬送面に向けて、且つ、前記搬送方向に傾斜した方向に気体を噴射して該薄板状材料を非接触で前記搬送方向に駆動する構成としてもよい。
【００２６】
又、これらの場合、前記複数のエアガイドユニットのうちのいずれかのエアガイドユニットとこれに隣り合う他のエアガイドユニットとの間に、前記薄板状材料を加工するための加工ユニット及び前記薄板状材料を検査するための検査ユニットの少なくとも一方が備えられた構成としてもよい。
【００２７】
又、前記薄板状材料の搬送装置において、前記搬送面は水平面に対して前記搬送方向と垂直な幅方向に１５度以内の傾斜角だけ傾斜して設定され、前記エアガイドユニットは前記下側エアガイドの上面部及び前記上側エアガイドの下面部が水平面に対して前記幅方向に前記傾斜角だけ傾斜した構成であり、且つ、前記薄板状材料における前記幅方向の下側の側端に接触して該薄板状材料を前記搬送方向に駆動する駆動部材を有する駆動ユニットが備えられた構成としてもよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明においては、下側エアガイド及び上側エアガイドを有してなるエアガイドユニットにより薄板状材料の動きを上下方向両側において非接触で規制するので、ガラス基板を平面に近い形状に確実に保持しつつ所定の搬送面に沿って滑らかに搬送できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。
【００３０】
図１〜３に示されるように、本発明の第１実施形態に係る搬送装置１０は、例えば大型のＰＤＰ用のガラス基板（薄板状材料）１２を、搬送面１４に沿って略水平な搬送方向に搬送するものであり、略平坦な上面部１６の複数の部位から上方に空気（気体）を噴射可能であり該上面部１６が搬送面１４の下側に近接するように配置された下側エアガイド１８と、略平坦な下面部２０の複数の部位から下方に空気を噴射可能であり該下面部２０が搬送面１４の上側に近接するように下側エアガイド１８の上方に配置された上側エアガイド２２と、を有してなるエアガイドユニット２４が備えられ、ガラス基板１２の動きを上下方向の両側において非接触で規制するように構成されている。
【００３１】
下側エアガイド１８は、略直方体の中空の箱体で搬送方向と垂直な幅方向の幅がガラス基板１２の（幅方向の）幅よりも大きく、幅方向の両端において取付部材２６を介して支柱２８に支持されている。尚、取付部材２６は支柱２８に対して上下方向に摺動自在、且つ、支柱２８に固定／解放自在であり、これにより下側エアガイド１８は上下方向の位置が調整可能とされている。
【００３２】
下側エアガイド１８の上面部１６には上面部１６を上下方向に貫通し、下側エアガイド１８の外側及び内側に連通する多数の通気孔１６Ａが形成されている。下側エアガイド１８には給気管３２を介してブロア又はコンプレッサ等の給気ユニット３４及びエアフィルタ３６が連結されており、エアフィルタ３６で異物が除去された空気が上面部１６の通気孔１６Ａから上方に噴出されるようになっている。尚、下側エアガイド１８の上面部１６と搬送面１４上のガラス基板１２の下面との隙間は数ｍｍ程度以下であることが好ましい。
【００３３】
上側エアガイド２２は、下側エアガイド１８に対して上下方向に対称的な構造の略直方体の中空の箱体であり、下面部２０が下側エアガイド１８の上面部１６に対向するように配置されている。上側エアガイド２２も、幅方向の両端において取付部材２６を介して支柱２８に支持され、上下方向の位置が調整可能とされている。
【００３４】
又、上側エアガイド２２の下面部２０には下面部２０を上下方向に貫通し、上側エアガイド２２の外側及び内側に連通する多数の通気孔２０Ａが形成されている。上側エアガイド２２にも給気管３２を介して給気ユニット３４及びエアフィルタ３６が連結されており、エアフィルタ３６で異物が除去された空気が下面部２０の通気孔２０Ａから下方に噴出されるようになっている。尚、上側エアガイド２２の下面部２０と搬送面１４上のガラス基板１２の上面との隙間も数ｍｍ程度以下であることが好ましい。
【００３５】
エアガイドユニット２４よりも搬送方向の上流側及び下流側にはガラス基板１２を搬送方向に駆動するための駆動ユニット３８が備えられている。
【００３６】
駆動ユニット３８は、ガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動する複数のローラ（駆動部材）４０を有し、これらローラ４０は幅方向に適宜なピッチで配置され、幅方向に平行に配置された共通の軸４２に取付けられている。軸４２は図示しない回転駆動ユニットに連結され、軸４２と共に複数のローラ４０が回転することによりガラス基板１２を搬送方向に駆動するようになっている。
【００３７】
次に、搬送装置１０の作用について説明する。
【００３８】
搬送装置１０は、駆動ユニット３８の複数のローラ４０がガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動するが、下側エアガイド１８が非接触でガラス基板１２を支持しているので、ローラ４０との接触部においてガラス基板１２に作用する力が小さく、ローラ４０との接触による表面の欠損や異物の付着が抑制される。
【００３９】
更に、ガラス基板１２が局部的には複数のローラ４０との接触及びローラ４０からの離間を繰り返すが、ガラス基板１２は下側エアガイド１８により非接触で下方から支持されるだけでなく上側エアガイド２２により上側においても動きが非接触で規制されているので、ガラス基板１２は平面に近い形状に確実に保持され、又、ガラス基板１２の振動も抑制される。
【００４０】
即ち、搬送装置１０は、下側エアガイド１８及び上側エアガイド２２を有してなるエアガイドユニット２４によりガラス基板１２の動きを上下方向両側において非接触で規制するので、ガラス基板１２を平面に近い形状に確実に保持しつつガラス基板１２の表面に傷が生じたり異物が付着しないようにガラス基板１２を搬送面１４に沿って滑らかに搬送できる。
【００４１】
又、下側エアガイド１８及び上側エアガイド２２は単純な中空の箱体であり、それぞれ上面部１６、下面部２０に通気孔１６Ａ、２０Ａを形成すればよいので低コストで簡単に製造することができる。
【００４２】
特に、通気孔１６Ａ、２０Ａは搬送されてくるガラス基板１２と上面部１６、下面部２０との間に空気膜を形成できるものであればよく、その孔の方向、大きさ等の設計の自由度が大きい。
【００４３】
又、空気の圧力で駆動力を付与する従来の浮上搬送手段と比較すると、給気ユニット３４からガラス基板１２を保持するだけの低圧の空気を供給するのみで足りるので、給気ユニット３４を含めた装置の製造コストを大幅に低減させることができ、更に、エアの複雑な制御が不要であるので、構造が簡単である。
【００４４】
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
【００４５】
本第２実施形態に係る搬送装置５０は、図４に示されるように、エアガイドユニット２４が搬送方向のガラス基板１２の長さよりも短い間隔で搬送方向に離間して複数（本第２実施形態では２つ）備えられたことを特徴としている。他の構成については前記第１実施形態に係る搬送装置１０と同様であるので図１〜３と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。
【００４６】
搬送装置５０は、複数のエアガイドユニット２４が搬送方向のガラス基板１２の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間した位置でガラス基板１２の動きを規制するので、前記第１実施形態に係る搬送装置１０におけるよりもガラス基板１２は更に確実に平面に近い形状に保持され、更に確実にガラス基板１２の振動も抑制される。
【００４７】
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
【００４８】
本第３実施形態に係る搬送装置６０は、図５に示されるように、２つのエアガイドユニット２４の間に、ガラス基板１２を検査するための検査ユニット６２が備えられたことを特徴としている。他の構成については前記第２実施形態に係る搬送装置５０と同様であるので図４と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。
【００４９】
検査ユニット６２は、搬送面１４の下側に配置された光源６４と、光源６４の上方に配置されたカメラ６６と、を有し、ガラス基板１２の傷や異物の付着を検出するように構成されている。
【００５０】
搬送装置６０は、複数のエアガイドユニット２４が搬送方向のガラス基板１２の長さよりも短い間隔で該搬送方向に離間した位置でガラス基板１２の動きを規制し、ガラス基板１２はこれらエアガイドユニット２４の間において平面に近い形状に確実に保持されるので、ガラス基板１２を高精度で検査できる。このように、搬送装置６０においてガラス基板１２を検査することができるので、専用の固定テーブルにガラス基板を移載してガラス基板の検査を行う場合に対し、生産性を向上させることができる。
【００５１】
次に、本発明の第４実施形態について説明する。
【００５２】
本第４実施形態に係る搬送装置７０は、図６及び図７に示されるように、駆動ユニット７２が、ガラス基板１２における幅方向の両端近傍を下方から支持してガラス基板１２を駆動するローラ７４と、ガラス基板１２の幅方向の中央近傍を非接触で支持するエアテーブル７６と、を備えることを特徴としている。他の構成については前記第３実施形態に係る搬送装置６０と同様であるので図５と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。
【００５３】
ローラ７４は、ガラス基板１２の下面に接触するローラ部７４Ａとガラス基板１２の幅方向の動きを規制するフランジ部７４Ｂとを有している。
【００５４】
エアテーブル７６は、下側エアガイド１８と同様の構成の略直方体の中空の箱体であり、幅がガラス基板１２の（幅方向の）幅よりも若干小さく、略平坦な上面部７８がガラス基板１２の下面に近接するように配置されている。
【００５５】
エアテーブル７６の上面部７８には上面部７８を上下方向に貫通し、エアテーブル７６の外側及び内側に連通する多数の通気孔７８Ａが形成されている。エアテーブル７６には給気管を介してブロア又はコンプレッサ等の給気ユニット及びエアフィルタ（いずれも図示省略）が連結されており、エアフィルタで異物が除去された空気が上面部７８の通気孔７８Ａから上方に噴出されるようになっている。
【００５６】
駆動ユニット７２は、ガラス基板１２における幅方向の両端近傍を下方から支持してガラス基板１２を駆動するローラ７４と、ガラス基板１２の幅方向の中央近傍を非接触で支持するエアテーブル７６と、を備える構成であるので、ガラス基板１２における両端近傍以外の領域への異物の付着を抑制できると共に、ガラス基板１２の振動やこれに伴うガラス基板の欠損を抑制できる。
【００５７】
次に、本発明の第５実施形態について説明する。
【００５８】
本第５実施形態に係る搬送装置８０は、図８に示されるように、搬送面８２が水平面に対して搬送方向と垂直な幅方向に１５度以内の傾斜角δだけ傾斜して設定され、エアガイドユニット２４は下側エアガイド１８の上面部１６及び上側エアガイド２２の下面部２０が水平面に対して幅方向に傾斜角δだけ傾斜した構成であり、且つ、ガラス基板１２における幅方向の下側の側端に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動するローラ（駆動部材）８４を有する駆動ユニット８６が備えられたことを特徴としている。他の構成については前記第１実施形態に係る搬送装置１０と同様であるので図１〜３と同一符号を用いることとして説明を適宜省略する。
【００５９】
駆動ユニット８６は、ローラ８４の回転軸が鉛直方向に対して幅方向に傾斜角δだけ傾斜し、図示しない回転駆動機構に連結されている。ローラ８４の円周側面は軸方向の中央部から軸方向の両端部に向かって拡径する形状であり、外径が最も小さい中央部においてガラス基板１２における幅方向の下側の側端に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動するようになっている。
【００６０】
このように搬送面８２を水平面に対して幅方向に傾斜させても、エアガイドユニット２４も下側エアガイド１８の上面部１６及び上側エアガイド２２の下面部２０が水平面に対して幅方向に傾斜角δだけ傾斜した構成であり、ガラス基板１２の動きを上下方向両側において非接触で規制するので、ガラス基板１２は平面に近い形状に確実に保持される。
【００６１】
更に、ローラ８４がガラス基板１２における幅方向の下側の側端に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動することで、ガラス基板１２の幅方向の挙動も安定する。
【００６２】
尚、上記第１〜第４実施形態において、駆動ユニット３８、７２は、ローラ４０、７４がガラス基板１２の下面に接触してガラス基板１２を搬送方向に駆動する構成であるが、例えばエアテーブルだけで構成される駆動ユニットのように、下方から搬送面に向けて、且つ、搬送方向に傾斜した方向に気体を噴射してガラス基板１２を非接触で搬送方向に駆動する構成としてもよい。
【００６３】
この場合も、エアガイドユニット２４によりガラス基板１２の動きを上下方向両側において非接触で規制するので、ガラス基板１２を平面に近い形状に確実に保持しつつ表ガラス基板１２を搬送面１４に沿って滑らかに搬送できる。
【００６４】
又、上記第１〜第５実施形態において、下側エアガイド１８は箱体であるが、上面部が略平坦で上面部の複数の部位から上方に気体を噴出可能であれば、下側エアガイドの形状や構造は特に限定されない。例えば、下側エアガイド１８は上面部１６に上面部１６を上下方向に貫通する通気孔１６Ａが形成された構造であるが、セラミック等の多孔質材料、フェルト状材料等の材料自体が通気性を有する材料で上面部を構成してもよい。上側エアガイド２２や駆動ユニットのエアテーブルについても同様である。
【００６５】
又、上記第１〜第５実施形態において、下側エアガイド１８、上側エアガイド２２から噴出する気体は空気であるが、下側エアガイド１８、上側エアガイド２２から、例えば、窒素ガス、希ガス等の他の気体を噴出させてもよい。
【００６６】
又、上記第３実施形態において、２つのエアガイドユニット２４の間にガラス基板１２の表面の傷や異物の付着を検査するための検査ユニット６２が備えられているが、２つのエアガイドユニット２４の間には他の検査を行うための検査ユニットを備えてもよい。又、２つのエアガイドユニット２４の間に、例えば、液状材料の塗布、紫外線や電子線の露光又は照射等の加工処理を行う加工ユニットを備えてもよい。
【００６７】
又、上記第２〜第４実施形態において、２つのエアガイドユニット２４が備えられているが、ガラス基板１２の長さ等に応じて３つ以上のエアガイドユニットを備えてもよい。
【００６８】
又、上記第１〜第５実施形態は、ガラス基板１２を搬送するためのものであるが、面積に比較して板厚の薄いいわゆる薄板状材料であれば、他の材料の搬送にも本発明は適用可能である。例えば、金属薄板状材料、樹脂の薄板状材料等の撓みを生じ易い材料の搬送の場合に適用される。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、液晶表示（ＬＣＤ）パネル、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）などの平面板ディスプレイに用いる大型で薄いガラス基板のような薄板状材料の搬送に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１実施形態に係る搬送装置を示す側面図
【図２】同平面図
【図３】同前面図
【図４】本発明の第２実施形態に係る搬送装置を示す側面図
【図５】本発明の第３実施形態に係る搬送装置を示す側面図
【図６】本発明の第４実施形態に係る搬送装置を示す側面図
【図７】図６におけるVII−VII線に沿う断面図
【図８】本発明の第５実施形態に係る搬送装置を示す前面図
【符号の説明】
【００７１】
１０、５０、６０、７０、８０…搬送装置
１２…ガラス基板（薄板状材料）
１４、８２…搬送面
１６…上面部
１６Ａ、２０Ａ、７８Ａ…通気孔
１８…下側エアガイド
２０…下面部
２２…上側エアガイド
２４…エアガイドユニット
３８、７２、８６…駆動ユニット
４０、７４、８４…ローラ（駆動部材）
【図１】
2007051001.tif 000003
【図２】
2007051001.tif 000004
【図３】
2007051001.tif 000005
【図４】
2007051001.tif 000006
【図５】
2007051001.tif 000007
【図６】
2007051001.tif 000008
【図７】
2007051001.tif 000009
【図８】
2007051001.tif 000010