(57)【要約】【課題】被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供すること。【解決手段】被測定ガスが導入される内部空間１１と、被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセル２とを有するガスセンサ素子１。センサセル２は、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体２０と、一方の電極が内部空間１１に面するようにセンサ用固体電解質体２０の表面に設けられた一対のセンサ用電極２１とを有する。該センサ用電極２１は、リード部２２ｂによって、素子表面に設けられた端子部１８１に電気的に接続されている。一対のセンサ用電極２１のうち内部空間１１に面したセンサ用電極２１ｂに接続されたリード部２２ｂは、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としている。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被測定ガスが導入される内部空間と、上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子であって、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のセンサ用電極とを有し、
該センサ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、
上記一対のセンサ用電極のうち上記内部空間に面したセンサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項２】
請求項１において、上記内部空間に面した上記センサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１重量％以上としていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を調整するポンプセルを有し、該ポンプセルは、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記ポンプ用固体電解質体の表面に設けられた一対のポンプセル用電極とを有し、該ポンプ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のポンプ用電極のうち上記内部空間に面したポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項４】
請求項３において、上記内部空間に面した上記ポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１重量％以上としていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を検出するモニタセルを有し、該モニタセルは、上記センサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のモニタ用電極とを有し、該モニタ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のモニタ用電極のうち上記内部空間に面したモニタ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としていることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項６】
被測定ガスが導入される内部空間と、上記被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子であって、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のセンサ用電極とを有し、
該センサ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、
上記一対のセンサ用電極のうち上記内部空間に面したセンサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有していることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項７】
請求項６において、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間へ酸素の出し入れを行うポンプセルを有し、該ポンプセルは、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記ポンプ用固体電解質体の表面に設けられた一対のポンプ用電極とを有し、該ポンプ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のポンプ用電極のうち上記内部空間に面したポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有していることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項８】
請求項６又は７において、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を検出するモニタセルを有し、該モニタセルは、上記センサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のモニタ用電極とを有し、該モニタ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のモニタ用電極のうち上記内部空間に面したモニタ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有していることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項において、上記リード部は、金属成分としてＲｈを含むことを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１０】
請求項１〜９のいずれか一項において、上記リード部は、膜厚が５μｍ以下であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１１】
請求項５又は８において、上記モニタセルの信号により、上記ポンプセルの印加電圧を制御するよう構成してあることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項において、上記ガスセンサ素子は、上記特定ガス濃度を上記センサセルに流れる電流値により検出するよう構成してあることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項１３】
請求項１〜１２のいずれか一項において、上記特定ガスは、窒素酸化物であることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、自動車用内燃機関の排気系等に使用され、被測定ガス中の特定ガスの検知に利用されるガスセンサ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車用内燃機関等から排出される排ガスを原因とする大気汚染は、現代社会に深刻な問題を引き起こしており、排ガス中の公害物質に対する浄化基準法規が年々厳しくなっている。例えば、排ガス中の窒素酸化物等を検出し、検出結果をエンジン燃焼制御モニタ、触媒モニタ等にフィードバックすれば、より効率良く排ガス浄化を行なうことができると考えられる。このような背景から、排ガス中の窒素酸化物等の濃度を精度良く検出可能なガスセンサ素子が求められている。
【０００３】
かかるガスセンサ素子として、例えば、次に示す構成のガスセンサ素子９が知られている。
該ガスセンサ素子９は、図１１に示すごとく、排ガスを導入する第１内部空間９１１及び第２内部空間９１２を有すると共に、排ガス中の窒素酸化物濃度を測定するためのセンサセル９２を有する。そして、一方の電極が第１内部空間９１１と対面するようポンプセル９３が配置されている。該ポンプセル９３に電圧を印加することで、第１内部空間９１１内にある酸素を基準ガス空間９２２へポンピング、又は第１内部空間９１１内へ基準ガス空間９２２から酸素をポンピングする。
【０００４】
また、図１２に示すごとく、ガスセンサ素子９は、第２内部空間９１２内の酸素濃度を検知可能なモニタセル９４を設けてなる。そして、図１１、図１２に示すごとく、このモニタセル９４により検出される第２内部空間９１２内の酸素濃度が一定となるように、ポンプセル９３が回路９７５により、フィードバック制御される。
また、図１１、図１２に示すごとく、第２内部空間９１２には、窒素酸化物から生成された酸素イオンを測定することで窒素酸化物濃度を測定できるようなセンサセル９２を設けてある。ここで、上述したごとく、第２内部空間９１２内の酸素濃度は一定に制御されている。したがって、センサセル９２を移動する酸素イオンの量の変化、即ち、センサセル９２における酸素イオン電流の大きさの変化が窒素酸化物濃度に対応する。
これにより、被測定ガス中の酸素濃度の増減にかかわらず、正確な窒素酸化物濃度を測定することができる。
【０００５】
しかしながら、例えば、窒素酸化物濃度を検出するセンサセル９２の電流値は、μＡオーダーの微小な値であるため、第２内部空間９１２内の酸素濃度を充分に低濃度に制御しなければ、特定ガス濃度の検出精度が低下するおそれがある。
図１１〜図１３に示すごとく、ガスセンサ素子９は、電極９５１と、素子表面に設けられた端子部９８１と、これらを接続するリード部９５２とを有し、これらは、多孔度の高いサーメット材料、即ち、セラミック成分と金属成分との混合材料からなる。そして、大気中の酸素ガスが、端子部９８１からリード部９５２を介して、わずかながら内部空間９１内に侵入し、その影響で窒素酸化物濃度の検出精度を低下してしまうおそれがある。
【０００６】
そこで、リード部９５２にＰｔ−Ａｕを含有させることにより、リード部９５２を緻密化して窒素酸化物の検出精度を向上させることができるガスセンサ素子９が提案されている（特許文献１参照）。
しかしながら、このガスセンサ素子９においても、酸素ガスが端子部９８１を介して外部から侵入してくることを充分に防ぐことが困難となるおそれがある。
【０００７】
【特許文献１】特開２００４−９３１９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明は、被測定ガスが導入される内部空間と、上記被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子であって、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のセンサ用電極とを有し、
該センサ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、
上記一対のセンサ用電極のうち上記内部空間に面したセンサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としていることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項１）。
【００１０】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記内部空間に面したセンサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としている。これにより、上記リード部の少なくとも一部の多孔度を低減することができるため、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部からの酸素ガスの侵入を抑制することができる。
【００１１】
即ち、酸素ガスを含む空気が、素子表面に設けられた上記端子部から上記リード部を介して上記内部空間に達することを防ぐことができる。その結果、実際に上記内部空間に上記特定ガスが存在しない場合にも上記センサセルに発生する微弱な出力電流、即ち、オフセット電流を低減することができ、上記ガスセンサ素子により、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
【００１２】
以上のごとく、本発明によれば、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供することができる。
【００１３】
第２の発明は、被測定ガスが導入される内部空間と、上記被測定ガス中の特定ガス成分濃度を検出するセンサセルとを有するガスセンサ素子であって、
上記センサセルは、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のセンサ用電極とを有し、
該センサ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、
上記一対のセンサ用電極のうち上記内部空間に面した電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有していることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項６）。
【００１４】
上記内部空間に面したセンサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、ガラス成分を含有している。そのため、上記リード部により、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部からの酸素ガスの侵入を抑制することができる。即ち、上記ガスセンサ素子の焼成前に上記リード部に細孔が形成されていたとしても、ガスセンサ素子の焼成時にガラス成分が溶融して細孔内を埋めることができる。
【００１５】
これにより、上記リード部の多孔度を低減することができ、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部からの酸素ガスの侵入を抑制することができる。その結果、実際に上記内部空間に上記特定ガスが存在しない場合にも上記センサセルに発生する微弱な出力電流、即ち、オフセット電流を低減することができ、上記ガスセンサ素子により、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
【００１６】
以上のごとく、本発明によれば、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
上記第１の発明（請求項１）及び上記第２の発明（請求項６）において、上記ガスセンサ素子として、例えば、ＮＯｘセンサ、酸素センサ、及び空燃比センサ等がある。
また、上記金属成分として、例えば、Ｐｔ、Ａｕ等がある。
また、上記セラミック成分として、例えば、ＺｒＯ2、Ａｌ2Ｏ3等がある。
【００１８】
上記第１の発明（請求項１）において、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量が７重量％を超える場合は、上記特定ガス濃度を精密に検出することが困難となるおそれがある。即ち、上記リード部の多孔度が高くなってしまい、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部から上記リード部を介して侵入した酸素ガスが、上記内部空間に達するおそれがある。この場合には、上記センサセルにおいてオフセット電流が増加するため、上記ガスセンサ素子により上記特定ガス濃度の検出を精度良く行うことが困難となるおそれがある。
【００１９】
また、上記内部空間に面した上記センサ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１重量％以上としていることが好ましい（請求項２）。
【００２０】
この場合には、上記リード部と上記センサ用固体電解質体との焼成時の収縮率の差やガスセンサ使用時の膨張率の差を抑制して上記リード部と上記センサ用固体電解質体との剥離を防ぐことができる。
一方、上記含有量が１重量％未満である場合には、焼成時における上記収縮率の差が増大したり、ガスセンサ使用時における上記膨張率の差が増大したりすることにより、上記リード部と上記センサ用固体電解質体とが剥離してしまうおそれがある。
【００２１】
また、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を調整するポンプセルを有し、該ポンプセルは、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記ポンプ用固体電解質体の表面に設けられた一対のポンプセル用電極とを有し、該ポンプ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のポンプ用電極のうち上記内部空間に面したポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を７重量％以下としていることが好ましい（請求項３）。
【００２２】
この場合には、上記内部空間に面したポンプ用電極に接続された上記リード部の少なくとも一部の多孔度を低減することができ、上記リード部を介して上記内部空間に酸素ガスが侵入することを防ぐことができる。その結果、上記ガスセンサ素子により、上記特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
尚、上記含有量が７重量％を超える場合には、上記リード部の多孔度を充分に低減することが困難となるため、上記ガスセンサ素子により、特定ガス濃度の検出を精密に行うことが困難となるおそれがある。
【００２３】
また、上記内部空間に面した上記ポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１重量％以上としていることが好ましい（請求項４）。
この場合には、上記リード部と上記ポンプ用固体電解質体との剥離を防ぐことができる。
一方、上記含有量が１重量％未満の場合には、上記ポンプ用電極と上記ポンプ用固体電解質体との焼成時における収縮率の差が増大したり、ガスセンサ使用時における膨張率の差が増大したりすることにより、上記リード部と上記ポンプ用固体電解質体とが剥離してしまうおそれがある。
【００２４】
また、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を検出するモニタセルを有し、該モニタセルは、上記センサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のモニタ用電極とを有し、該モニタ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のモニタ用電極のうち上記内部空間に面したモニタ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部が、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としていることが好ましい（請求項５）。
この場合には、上記リード部を介して上記内部空間に酸素ガスが侵入することを防ぐことができると共に、上記リード部と上記センサ用固体電解質体との剥離を防ぐことができる。
【００２５】
一方、上記含有量が１重量％未満である場合には、上記モニタ用電極と上記センサ用固体電解質体との焼成時における収縮率の差が増大したり、ガスセンサ使用時における膨張率の差が増大したりすることにより、上記リード部と上記センサ用固体電解質体とが剥離してしまうおそれがある。
また、上記含有量が７重量％を超える場合には、上記リード部の多孔度を低減することが困難となるおそれがあるため、上記ガスセンサ素子により、特定ガス濃度の検出を精密に行うことが困難となるおそれがある。
【００２６】
また、上記第２の発明（請求項６）において、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間へ酸素の出し入れを行うポンプセルを有し、該ポンプセルは、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記ポンプ用固体電解質体の表面に設けられた一対のポンプ用電極とを有し、該ポンプ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のポンプ用電極のうち上記内部空間に面したポンプ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有するよう構成することもできる（請求項７）。
【００２７】
この場合には、上記ガスセンサ素子の焼成前に上記リード部に細孔が形成されていても、焼成時にガラス成分によって細孔内を埋めることができるため、上記リード部の多孔度を低減して、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部から上記内部空間への酸素ガスの侵入を抑制することができる。それ故、上記ガスセンサ素子により、上記特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
【００２８】
また、上記ガスセンサ素子は、上記内部空間の酸素濃度を検出するモニタセルを有し、該モニタセルは、上記センサ用固体電解質体と、一方の電極が上記内部空間に面するように上記センサ用固体電解質体の表面に設けられた一対のモニタ用電極とを有し、該モニタ用電極は、リード部によって、素子表面に設けられた端子部に電気的に接続されており、上記一対のモニタ用電極のうち上記内部空間に面したモニタ用電極に接続された上記リード部は、その少なくとも一部がガラス成分を含有するよう構成することもできる（請求項８）。
【００２９】
この場合には、上記リード部に細孔が形成されていても、ガラス成分によって細孔内を埋めることができるため、上記リード部の多孔度を低減することができる。それ故、上記ガスセンサ素子の外部に露出した端子部から上記リード部及び上記モニタ用電極を通じて上記内部空間へ酸素ガスが侵入することを抑制することができる。それ故、上記ガスセンサ素子により、上記特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
【００３０】
また、上記リード部は、金属成分としてＲｈを含むことが好ましい（請求項９）。
この場合には、上記リード部と、上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体とが剥離することを防ぐことができる。特に上記第１の発明（請求項１）のように、上記リード部の少なくとも一部のセラミック成分の含有量を上記の範囲となるように少なくすると、焼成時における上記リード部と上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体との収縮率の差が増大するおそれがある。
【００３１】
ここで、上記リード部に金属成分としてＲｈを含有させることにより、上記リード部と、上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体との焼成時の収縮率の差を充分に小さくすることができる。これにより、上記リード部と、上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体とが剥離することを充分に防ぐことができる。
また、上記リード部において、金属成分の総重量に対するＲｈの含有量は、１重量％以上とすることが好ましい。
【００３２】
また、上記リード部は、膜厚が５μｍ以下であることが好ましい（請求項１０）。
この場合には、上記リード部と上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体とが剥離することを防ぐことができる。尚、上記膜厚は、３μｍ以下であることがより好ましい。
一方、上記リード部の膜厚が５μｍを超える場合は、上記リード部と上記センサ用固体電解質体又は上記ポンプ用固体電解質体とが剥離してしまうおそれがある。
【００３３】
また、上記モニタセルの信号により、上記ポンプセルの印加電圧を制御するよう構成してあることが好ましい（請求項１１）。
この場合には、上記モニタセルにより検出した上記内部空間の酸素濃度に応じて、上記ポンプセルを適切に作動させ、上記内部空間の被測定ガス中の酸素濃度を精度良く調整することができる。そのため、上記ガスセンサ素子により、上記特定ガス濃度をより一層精密に検出することができる。
【００３４】
また、上記ガスセンサ素子は、上記特定ガス濃度を上記センサセルに流れる電流値により検出するよう構成してあることが好ましい（請求項１２）。
この場合には、上記特定ガス濃度を容易に検出することができる。
【００３５】
また、上記特定ガスは、窒素酸化物であることが好ましい（請求項１３）。
この場合には、自動車の排ガス中等に含有される有害な窒素酸化物の濃度を正確に検出することができるガスセンサ素子を得ることができる。
【実施例】
【００３６】
（実施例１）
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図１〜図４を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子１は、図１〜図３に示すごとく、被測定ガスが導入される内部空間１１と、被測定ガス中の特定ガスの濃度を検出するセンサセル２と、内部空間１１の酸素濃度を調整するポンプセル３と、内部空間１１の酸素濃度を検出するモニタセル４と、第１基準ガス空間１２１と、第２基準ガス空間１２２とを有する。
【００３７】
センサセル２は、図１〜図３に示すごとく、酸素イオン伝導性のセンサ用固体電解質体２０と、一方の電極が内部空間１１に面するようにセンサ用固体電解質体２０の表面に設けられた一対のセンサ用電極２１とを有する。
また、センサ用電極２１は、図３に示すごとく、リード部２２によって、素子表面に設けられた端子部１８１、１８３に電気的に接続されている。
そして、一対のセンサ用電極２１のうち内部空間１１に面したセンサ用電極２１ｂに接続されたリード部２２ｂは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量が１〜７重量％である。
【００３８】
ポンプセル３は、図１〜図３に示すごとく、酸素イオン伝導性のポンプ用固体電解質体３０と、一方の電極が内部空間１１に面するようにポンプ用固体電解質体３０の表面に設けられた一対のポンプセル用電極３１とを有する。
また、ポンプ用電極３１は、図３に示すごとく、リード部３２によって、素子表面に設けられた端子部１８５、１８６に電気的に接続されている。
そして、一対のポンプ用電極３１のうち内部空間１１に面したポンプ用電極３１ａに接続されたリード部３２ａは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量が１〜７重量％である。
【００３９】
モニタセル４は、図２、図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０と、一方の電極が内部空間１１に面するようにセンサ用固体電解質体２０の表面に設けられた一対のモニタ用電極４１とを有する。
また、モニタ用電極４１は、図３に示すごとく、リード部４２によって、素子表面に設けられた端子部１８２、１８４に電気的に接続されている。
そして、一対のモニタ用電極４１のうち内部空間１１に面したモニタ用電極４１ｂに接続されたリード部４２ｂは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量が１〜７重量％である。
【００４０】
次に、本例のガスセンサ素子１を、以下に詳細に説明する。
本例のガスセンサ素子１が検出する被測定ガス中の窒素酸化物は、例えば、自動車の排ガス中の窒素酸化物である。
そして、ガスセンサ素子１は、図１〜図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０と、内部空間１１を形成するためのスペーサ１３と、ポンプ用固体電解質体３０と、第１基準ガス空間１２１を形成するためのスペーサ１５と、第２基準ガス空間１２２を形成するためのスペーサ１４と、これらを加熱するためのセラミックヒータ１９とが順次積層されて構成される。
【００４１】
被測定ガスが導入される内部空間１１は、図１〜図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０とポンプ用固体電解質体３０とスペーサ１３との間に形成されている。
また、本例のガスセンサ素子１の内部空間１１は、図１に示すごとく、第１内部空間１１ａと第２内部空間１１ｂとからなる。
また、スペーサ１３には、第１内部空間１１ａと第２内部空間１１ｂとの間に絞り部１３０が形成されている。
【００４２】
また、図１、図３に示すごとく、第１内部空間１１ａは、センサ用固体電解質体２０に設けられた導通孔２００を介して外部に連通する。
尚、上記導通孔２００の大きさは、これを通過して内部空間１１に導入される被測定ガスの拡散速度が所望の速度となるように、適宜設定される。
【００４３】
また、本例のガスセンサ素子１は、図１、図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０の導通孔２００を覆うＡｌ2Ｏ3よりなる多孔質拡散抵抗層１７を有する。そして、多孔質拡散抵抗層１７は、内部空間１１に面する電極の被毒や、導通孔２００の目詰まりを防止している。
【００４４】
また、ガスセンサ素子１は、図１に示すごとく、第１基準ガス空間１２１と第２基準ガス空間１２２とを有し、第１基準ガス空間１２１及び第２基準ガス空間１２２には、一定の酸素濃度を持つ基準ガスとしての大気が導入される。
また、第１基準ガス空間１２１は、図１、図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０とスペーサ１５と絶縁板１６とによって形成され、第２基準ガス空間１２２は、ポンプ用固体電解質体３０とスペーサ１４と被覆板１９２とによって形成される。
また、センサ用固体電解質体２０及びポンプ用固体電解質体３０はジルコニア、セリア等の酸素イオン伝導性の固体電解質体よりなる。
【００４５】
センサセル２は、図１〜図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０と、第２内部空間１１ｂと対面するセンサ用電極２１ｂと、第１基準ガス空間１２１と対面するセンサ用電極２１ａとよりなる。
【００４６】
そして、一対のセンサ用電極２１（２１ａ、２１ｂ）は、図２に示すごとく、電源７２及び電流計６２を備えたセンサ回路７２０に接続されている。
また、センサ用電極２１は、電極内部へのガス拡散、及びセンサ用電極２１とセンサ用固体電解質体２０との間での反応を促進することができる多孔質の電極とするために、Ｐｔを主成分とした金属成分とＺｒＯ2を主成分とするセラミック成分とを主成分として含有するサーメット材料で構成されている。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、１０〜２０重量％とすることができる。
【００４７】
また、内部空間１１に面したセンサ用電極２１ｂは、窒素酸化物に対して活性なＰｔ−Ｒｈ電極よりなる。そして、その金属成分の総重量に対するＲｈの含有量を、例えば、１０〜５０重量％とすることができる。
【００４８】
また、図３に示すごとく、センサ用電極２１ａは、導電性のリード部２２ａを介して、外部の端子部１８３に電気的に接続されている。一方、センサ用電極２１ｂは、リード部２２ｂを介して、センサ用固体電解質体２０に形成されたスルーホール２０１を通じて、端子部１８１に電気的に接続されている。
【００４９】
リード部２２ｂには、金属成分としてＲｈを含ませてある。尚、含有させるＲｈの量は、Ｐｔを主成分とする金属成分の総重量に対して１重量％以上とすることが好ましい。
また、リード部２２ｂの膜厚は、５μｍ以下である。
【００５０】
ポンプセル３は、図１、図３に示すごとく、ポンプ用固体電解質体３０と、第１内部空間１１ａと対面するポンプ用電極３１ａと、第２基準ガス空間１２２と対面するポンプ用電極３１ｂとよりなる。
【００５１】
そして、一対のポンプ用電極３１（３１ａ、３１ｂ）は、図１に示すごとく、電源７３を備えたポンプ回路７３０に接続されている。
また、ポンプ用電極３１も、センサ用電極２１と同様、Ｐｔを主成分とした金属成分とＺｒＯ2を主成分とするセラミック成分とを主成分として含有するサーメット材料で構成されている。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、１０〜２０重量％とすることができる。
【００５２】
また、内部空間１１に面したポンプ用電極３１ａは、窒素酸化物に対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。そして、その金属成分の総重量に対するＡｕの含有量を、例えば、１〜１０重量％とすることができる。
【００５３】
また、図３に示すごとく、ポンプ用電極３１ａは、導電性のリード部３２ａを介して、ポンプ用固体電解質体３０とスペーサ１４とヒータ基板１９１と被覆板１９２とに形成されたスルーホール１９６を通じて、外部の端子部１８６に電気的に接続されている。一方、ポンプ用電極３１ｂは、リード部３２ｂを介して、スペーサ１４とヒータ基板１９１と被覆板１９２とに形成したスルーホール１９５を通じて、外部の端子部１８５に電気的に接続している。
また、リード部３２ａには、金属成分の総重量に対して１重量％以上のＲｈを含ませてある。
また、リード部３２ａの膜厚は、５μｍ以下である。
【００５４】
モニタセル４は、図２、図３に示すごとく、センサ用固体電解質体２０と、第２内部空間１１ｂと対面するモニタ用電極４１ｂと、第１基準ガス空間１２１と対面するモニタ用電極４１ａとよりなる。
【００５５】
そして、一対のモニタ用電極４１（４１ａ、４１ｂ）は、図２に示すごとく、電源７４及び電流計６４を備えたモニタ回路７４０に接続されている。
また、モニタ用電極４１も、センサ用電極２１と同様、Ｐｔを主成分とした金属成分とＺｒＯ2を主成分とするセラミック成分とを主成分として含有するサーメット材料で構成されている。そして、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量は、例えば、１０〜２０重量％とすることができる。
【００５６】
また、内部空間１１に面したモニタ用電極４１ｂは、窒素酸化物に対して不活性なＰｔ−Ａｕ電極よりなる。そして、その金属成分の総重量に対するＡｕの含有量を、例えば、１〜１０重量％とすることができる。
【００５７】
また、図３に示すごとく、モニタ用電極４１ａは、導電性のリード部４２ａを介して、外部の端子部１８４に電気的に接続されている。一方、モニタ用電極４１ｂは、リード部４２ｂを介して、センサ用固体電解質体２０に形成したスルーホール２０２を通じて、端子部１８２に電気的に接続している。
また、リード部４２ｂには、金属成分の総重量に対して１重量％以上のＲｈを含ませてある。
また、リード部４２ｂの膜厚は、５μｍ以下である。
【００５８】
また、モニタセル４は、図１、図２に示すごとく、電流計６４からポンプセル３へとフィードバックするフィードバック回路７５０を有し、ポンプセル３の動作を制御することができるよう構成されている。
【００５９】
セラミックヒータ１９は、図３に示すごとく、ヒータ基板１９１と該ヒータ基板１９１上に設けた発熱体１９０と該発熱体１９０を覆う被覆板１９２とよりなる。
また、セラミックヒータ１９は、Ａｌ2Ｏ3よりなるシートに、通電発熱する発熱体１９０をパターニング形成すると共に、発熱体１９０に被覆板１９２を隣接配置してなる。この発熱体１９０には、例えば、ＰｔとＡｌ2Ｏ3等のセラミックとからなるサーメット材料が用いられる。
【００６０】
上記セラミックヒータ１９は、発熱体１９０を外部からの給電により発熱させ、センサセル２、ポンプセル３及びモニタセル４を活性化温度まで加熱するものである。
発熱体１９０に対する給電は、図３に示すごとく、発熱体１９０に一体的に形成されたリード部１９３と、スルーホール１９７、１９８と、端子部１８７、１８８とを介して行われる。
【００６１】
尚、センサ用固体電解質体２０、ポンプ用固体電解質体３０、スペーサ１３、１４、１５、被覆板１９２及びヒータ基板１９１は、ドクターブレード法や押し出し成形法等によりシート状体として形成することができる。
【００６２】
次に、本例のガスセンサ素子１の動作原理につき説明する。
まず、被測定ガスは、図１、図３に示すごとく、多孔質拡散抵抗層１７と導通孔２００とを通過して、第１内部空間１１ａに導入される。導入される被測定ガス量は、多孔質拡散抵抗層１７及び導通孔２００の拡散抵抗により決定される。
【００６３】
そして、ポンプセル３の一対のポンプ用電極３１に、第２基準ガス空間１２２側のポンプ用電極３１ｂが＋極となるように電圧を印加すると、内部空間１１側のポンプ用電極３１ａ上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり、ポンピング作用により第２基準ガス空間１２２側のポンプ用電極３１ｂ側に排出される。逆に、内部空間１１側のポンプ用電極３１ａが＋極となるように電圧を印加すると、第２基準ガス空間１２２側のポンプ用電極３１ｂ上で酸素が還元されて酸素イオンとなり、ポンピング作用により内部空間１１側のポンプ用電極３１ａ側に排出される。即ち、ポンプセル３は、ポンプ用電極３１間に電圧をかけることにより内部空間１１における酸素の出し入れを行い、内部空間１１における酸素濃度を調整するよう構成されている。
【００６４】
次に、第１内部空間１１ａを通過した被測定ガスは、第２内部空間１１ｂに導入される。
そして、モニタセル４の一対のモニタ用電極４１に、第１基準ガス空間１２１側のモニタ用電極４１ａが＋極となるように所定の電圧（例えば、０．４０Ｖ）を印加すると、内部空間１１側のモニタ用電極４１ｂ上で被測定ガス中の酸素が還元されて酸素イオンとなり、上記ポンピング作用により第１基準ガス空間１２１側のモニタ用電極４１ａ側に排出される。
【００６５】
ここで、モニタ用電極４１ｂは、窒素酸化物の分解に不活性なＰｔ−Ａｕからなるサーメット電極であるため、モニタ用電極４１間に流れる酸素イオン電流は、多孔質拡散抵抗層１７、導通孔２００及び内部空間１１等を介してモニタ用電極４１ｂに達する被測定ガス中の酸素量に依存し、窒素酸化物量には依存しない。そのため、このモニタセル４に流れた電流値を検出することにより第２内部空間１１ｂの酸素濃度を検出することができる。
【００６６】
更に、本例のガスセンサ素子１は、検出されたモニタセル４の電流値を元に、内部空間１１における酸素濃度が所望の一定値になるように、フィードバック回路７５０を介してポンプセル３を制御することができるよう構成されている。即ち、モニタ用電極４の電流値が所望の一定の値（例えば、０．２μＡ）になるように、モニタセル４の信号によりポンプ用電極３の印加電圧を制御すれば、第２内部空間１１ｂの酸素濃度を一定に制御することができる。
【００６７】
また、センサ用電極２１に、第１基準ガス空間１２１側のセンサ用電極２１ａが＋極となるように所定の電圧（例えば、０．４０Ｖ）を印加する。上記のごとく、センサ用電極２１ｂは、窒素酸化物の分解に活性なＰｔ−Ｒｈのサーメット電極であるため、センサ用電極２１ｂ上で第２内部空間１１ｂの被測定ガス中の酸素や窒素酸化物が還元されて酸素イオンとなり、ポンピング作用により第１基準ガス空間１２１側のセンサ用電極２１ａに排出されて、センサ用電極２１間に微弱電流が流れる。
【００６８】
尚、本例では、上記のごとく、モニタ用電極４１間の電流値が一定値（例えば、０．１μＡ）となるように、ポンプセル３を制御しているため、被測定ガス中に窒素酸化物が存在しなければ、センサ用電極２１間の電流値も一定値（例えば、０．１μＡ）に制御される。
一方、被測定ガス中に窒素酸化物が存在する場合には、窒素酸化物による酸素イオン濃度が増加してセンサセル２に流れる電流値がモニタセル４に流れる電流値よりも大きくなる。
【００６９】
次に、本例の作用効果につき説明する。
内部空間１１に面したセンサ用電極２１ｂに接続されたリード部２２ｂは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としている。これにより、リード部２２ｂの多孔度を低減することができるため、ガスセンサ素子１の外部に露出した端子部１８１からの酸素ガスの侵入を抑制することができる。
【００７０】
即ち、酸素ガスを含む空気が、素子表面に設けられた端子部１８１からリード部２２ｂを介して内部空間１１に達することを防ぐことができる。その結果、実際に内部空間１１に特定ガスが存在しない場合にもセンサセル２に発生する微弱な出力電流、即ち、オフセット電流を低減することができ、ガスセンサ素子１により、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
更に、上記含有量が１重量％以上であるため、リード部２２ｂとセンサ用固体電解質体２０との焼成時の収縮率やガスセンサ使用時の膨張率の差を抑制してリード部２２ｂとセンサ用固体電解質体２０との剥離を防ぐことができる。
【００７１】
また、一対のポンプ用電極３１のうち内部空間１１に面したポンプ用電極３１ａに接続されたリード部３２ａは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としている。そのため、リード部３２ａを介して内部空間１１に酸素ガスが侵入することを防ぐことができると共に、リード部３２ａとポンプ用固体電解質体３０との剥離を防ぐことができる。したがって、ガスセンサ素子１により特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
【００７２】
一対のモニタ用電極４１のうち内部空間１１に面したモニタ用電極４１ｂに接続されたリード部４２ｂは、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としている。そのため、リード部４２ｂを介して内部空間１１に酸素ガスが侵入することを防ぐことができると共に、リード部４２ｂとセンサ用固体電解質体２０との剥離を防ぐことができる。
【００７３】
また、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂは、Ｐｔよりも融点が高く焼結し難いＲｈを金属成分として含むよう構成されているため、焼成前のリード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂとセンサ用固体電解質体２０又はポンプ用固体電解質体３０との焼成時の収縮率の差を充分に小さくすることができる。そのため、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂと、センサ用固体電解質体２０又はポンプ用固体電解質体３０とが剥離することを充分に防ぐことができる。
【００７４】
また、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂは、膜厚が５μｍ以下であるため、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂとセンサ用固体電解質体２０又はポンプ用固体電解質体３０とが剥離することを防ぐことができる。特に上記膜厚が３μｍ以下である場合には、上記作用効果を充分に発揮することができる。
また、モニタセル４の信号により、ポンプセル３の印加電圧を制御するよう構成してあるため、モニタセル４により検出した内部空間１１の酸素濃度に応じて、ポンプセル３を適切に作動させ、内部空間１１の被測定ガス中の酸素濃度を精度良く調整することができる。
【００７５】
また、ガスセンサ素子１は、特定ガス濃度をセンサセル２に流れる電流値により検出するよう構成してあるため、特定ガス濃度を容易に検出することができる。
また、特定ガスは、窒素酸化物であるため、自動車の排ガス中等に含有される有害な窒素酸化物の濃度を正確に検出することができるガスセンサ素子１を得ることができる。
【００７６】
以上のごとく、本例によれば、被測定ガス中の特定ガス濃度の検出を精密に行うことができるガスセンサ素子を提供することができる。
【００７７】
尚、上記実施例１では、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂは、その全ての部分を、金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を１〜７重量％としたが、例えば、図４に示すごとく、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂにおいて該含有量を１〜７重量％とする部位は、その一部分５２だけとすることもできる。
【００７８】
（実施例２）
本例は、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂがガラス成分を含有しているガスセンサ素子１の例である。即ち、本例のリード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂは、Ｐｔを主成分とする金属成分と、ＺｒＯ2を主成分とするセラミック成分と、例えば、ＳｉＯ2又はＢ2Ｏ3を主成分とするガラス成分とを含有する。
【００７９】
また、上記のごとく、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂにガラス成分を含有させる場合には、ガラス成分の含有量は、金属成分とセラミック成分とガラス成分との総体積に対して、１〜３０体積％程度、より好ましくは５〜１０体積％程度とすることができる。
その他は、実施例１と同様である。
【００８０】
この場合には、焼成前のリード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂに細孔が形成されていたとしても、ガスセンサ素子１の焼成時にガラス成分が溶融して細孔内を埋めることができ、その結果、リード部２２ｂ、３２ａ、４２ｂの多孔度を低減することができる。それ故、ガスセンサ素子１の外部に露出した端子部からの酸素ガスの侵入を抑制することができ、ガスセンサ素子１により、被測定ガス中の上記特定ガス濃度の検出を精密に行うことができる。
その他、実施例１と同様の作用効果を有する。
【００８１】
（実施例３）
本例は、図５、図６に示すごとく、ポンプセル３への印加電圧とこれにより生じる電流との関係から、ポンプセル３に流れる電流が限界電流となるように、酸素濃度に応じた電圧をポンプ用電極３１に印加することにより、内部空間１１内の酸素濃度を所望の一定の低濃度に制御することができるよう構成されたガスセンサ素子１の例である。
【００８２】
また、本例のガスセンサ素子１は、図６に示すごとく、センサ用電極２１間に流れる電流値とモニタ用電極４１間に流れる電流値との差を電流検出回路６５によりセンサ信号として検知するように構成されている。これにより、内部空間１１内の酸素濃度変動の影響を低減することができるため、ガスセンサ素子１により、特性ガス（窒素酸化物）の濃度の検出を精密に行うことができる。
その他は、実施例１と同様の構成及び作用効果を有する。
【００８３】
（実施例４）
本例は、図７に示すごとく、実施例１のガスセンサ素子１について、窒素ガス雰囲気中で、センサセル２、ポンプセル３及びモニタセル４に０．４Ｖの電圧を印加したときに、センサ用電極２１間に流れるオフセット電流を、リード部２２ｂのセラミック成分の含有量を変化させて調べた例である。
尚、上記セラミック成分の含有量とは、内部空間１１に面したセンサ用電極２１ｂに接続されたリード部２２ｂにおける金属成分とセラミック成分との総重量に対するセラミック成分の含有量を示す。
【００８４】
図７より、上記含有量が減少するに伴い、オフセット電流も減少していることがわかる。特に上記含有量を７重量％程度まで減少させている場合には、オフセット電流の減少は顕著であることがわかる。
また、上記含有量が７重量％以下でも、上記含有量の減少に伴ってオフセット電流は減少している。
【００８５】
また、上記含有量が１重量％未満の場合には、焼成時のリード２２ｂ部とセンサ用固体電解質体２０との収縮率の差が増大して剥離し易くなり、０重量％では完全に剥離するという現象が観測された。
そのため、上記観測結果と図７とより、上記含有量としては、１〜７重量％が好ましく、更には、２〜５重量％がより好ましいといえる。
【００８６】
（実施例５）
本例は、図８に示すごとく、内部空間１１の酸素濃度をモニタセル４に発生する起電力により検出するよう構成したガスセンサ素子１の例である。
モニタセル４は、センサ用固体電解質体２０と、第１内部空間１１ａ側に面するモニタ用電極４１ａと、基準ガス空間１２においてセンサセル２と共有する共有電極５３とにより構成される。
【００８７】
そして、モニタセル４には、内部空間１１と基準ガス空間１２との酸素濃度の違いにより起電力が発生する。
ここで、基準ガス空間１２の酸素濃度は一定であるため、モニタセル４に発生する起電力は、第１内部空間１１ａの酸素濃度を反映することとなる。即ち、モニタセル４に発生する起電力が所望の一定の値（例えば、０．２Ｖ）となるようにポンプ用電極３１間の印加電圧を制御すれば、第２内部空間１１ｂへと流れ込む酸素濃度を一定に制御することができる。
【００８８】
また、図８に示すごとく、ポンプセル３には、第１ポンプセル３ａと第２ポンプセル３ｂとがあり、第１ポンプセル３ａで排出できずに第２内部空間１１ｂに流入した酸素を第２ポンプセル３ｂにより外部に排出するよう構成してある。これにより、第２内部空間１１ｂ内の酸素濃度はほぼ０とすることができるため、ガスセンサ素子１により、窒素酸化物濃度の検出を精密に行うことができる。
【００８９】
そして、図８に示すごとく、第１ポンプセル３ａは、多孔質拡散抵抗層１７側のポンプ用電極３１ａと、第１内部空間１１ａに面したポンプ用電極３１ｂとを有し、回路７３０に接続されている。一方、第２ポンプセル３ｂは、上記ポンプ用電極３１ａと、第２内部空間１１ｂに面したポンプ用電極３１ｃとを有し、回路７３１に接続されている。
【００９０】
また、センサセル２とモニタセル４とが軸方向に並列配置されている。
また、センサセル２は、図８に示すごとく、センサ用固体電解質体２０と、内部空間１１側のセンサ用電極２１ａと、基準ガス空間１２においてモニタセル４と共有する共有電極５３とにより構成される。そして、センサ用電極２１ａと共有電極５３とは、回路７２０に接続されている。
その他は、実施例１と同様の構成及び作用効果を有する。
【００９１】
（実施例６）
本例は、図９、図１０に示すごとく、モニタセル４が設けられていないガスセンサ素子１の例である。
本例においては、ポンプセル３への印加電圧とこれにより生じる電流との関係から、ポンプセル３に流れる電流が限界電流となるように、酸素濃度に応じた電圧をポンプ用電極３１に印加する。これにより、内部空間１１内の酸素濃度を所望の一定の低濃度に制御する。
【００９２】
ただし、本例においては、第２内部空１１ｂ間の酸素濃度を検出するモニタセル４を有しないため、ポンプセル３で内部空間１１内の酸素を充分に排気すると共に、リード部２２ｂ、３２ａ等、導通孔２００以外からの酸素ガスの侵入を充分に抑制する必要がある。
その他は、実施例１と同様の構成及び作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】実施例１における、ガスセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図２】実施例１における、ガスセンサ素子の図１におけるＡ−Ａ線断面図。
【図３】実施例１における、ガスセンサ素子の斜視展開図。
【図４】実施例１における、リード部においてセラミック成分の含有量を変化させた部分を示す斜視説明図。
【図５】実施例３における、ガスセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図６】実施例３における、ガスセンサ素子の図５におけるＢ−Ｂ線断面図。
【図７】実施例４における、測定結果を示す線図。
【図８】実施例５における、ガスセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図９】実施例６における、ガスセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図１０】実施例６における、ガスセンサ素子の図９におけるＣ−Ｃ線断面図。
【図１１】従来例における、ガスセンサ素子の軸方向の断面説明図。
【図１２】従来例における、ガスセンサ素子の図１１におけるＤ−Ｄ線断面図。
【図１３】従来例における、ガスセンサ素子の斜視展開図。
【符号の説明】
【００９４】
１  ガスセンサ素子
１１  内部空間
１８１  端子部
２  センサセル
２０  センサ用固体電解質体
２１  センサ用電極
２２  リード部
【図１】
2007107996.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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