(57)【要約】【課題】表示パネル基板の付着している異物を粘着ローラにより除去する際、粘着ローラが表示パネル基板の幅よりも大きい場合においても、粘着ローラの偏摩耗を防止する。【解決手段】テーブル面１１の面積が表示パネル基板（例えば液晶パネル）Ｐよりも大きなワークテーブル１と、テーブル面１１の幅とほぼ同じ軸長を有し、テーブル面１１に対し軸線と直交する方向に相対的に移動可能な粘着ローラ２とを含み、粘着ローラ２を表示パネル基板Ｐに所定の圧力で押し付けながら移動させることにより、表示パネル基板Ｐの表面に付着している異物を除去する表示パネル基板の異物除去装置において、テーブル面１１のうちの表示パネル基板Ｐが載置されない基板非載置面に、粘着ローラ２の移動方向に沿って分割された複数のスペーサ１４を配置し、スペーサ１４の各上面により、基板非載置面に表示パネル基板Ｐの表面とほぼ同一の平面を提供する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル面の面積がワークとして載置される表示パネル基板よりも大きく、かつ、上記表示パネル基板に対する位置決め手段を有するワークテーブルと、上記テーブル面の幅とほぼ同じ軸長を有し、上記テーブル面に対し軸線と直交する方向に相対的に移動可能な粘着ローラとを含み、上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けながら移動させることにより、上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する表示パネル基板の異物除去装置において、
上記テーブル面のうちの上記表示パネル基板が載置されない基板非載置面に、上記粘着ローラの移動方向に沿って分割された複数のスペーサが配置され、上記スペーサの各上面により、上記基板非載置面に上記表示パネル基板の表面とほぼ同一の平面が提供されることを特徴とする表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項２】
上記各スペーサが、上記テーブル面を最下降位置として昇降手段により高さ調整可能であることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項３】
上記昇降手段として、ステッピングモータにより駆動される送りねじ軸が用いられることを特徴とする請求項２に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項４】
上記各スペーサ間の間隔が５ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項５】
上記表示パネル基板と、上記表示パネル基板に隣接する上記スペーサとの間隔が上記粘着ローラの軸長の１／５以下であることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【請求項６】
上記位置決め手段は上記表示パネル基板の隣接する２辺に当接するストッパーを備え、上記各ストッパーが昇降手段により高さ調整可能であり、少なくとも上記粘着ローラによる異物除去時に、上記各ストッパーの上面が上記表示パネル基板の表面とほぼ同一高さに揃えられることを特徴とする請求項１に記載の表示パネル基板の異物除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルなどの表示パネル基板に付着している異物を粘着ローラにより取り除く表示パネル基板の異物除去装置に関し、さらに詳しく言えば、粘着ローラの偏摩耗を防止する技術に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶パネルは、一方の面に透明電極が形成された２枚の電極基板をそれらの間にシール材を挟んで透明電極同士を対向させて貼り合わせ、その空セル内に液晶を封入することにより構成されるが、これに至るまでには、例えば配向膜の形成やラビング処理などの各工程が実施される。また、例えば、ＴＮ型やＳＴＮ型の液晶パネルの場合には、その表面に偏光板を貼り付ける工程が加わる。
【０００３】
このような液晶パネルの製造工程では、ガラス基板の表面に配線や電極などを形成する前処理として、配線や電極間が短絡したり、配線や電極が電触しないように、ガラス基板の表面に付着した埃や塵などの異物を除去する必要がある。なお、この種の異物には人体から分泌される皮脂なども含まれることがある。
【０００４】
また、ラビング処理を施した後のガラス基板の表面には、その処理時に発生する静電気より塵埃が多数付着しており、ラビング処理後には、ガラス基板の表面に付着した塵埃などを除去する必要もある。
【０００５】
さらに、液晶パネルが組み立てられた後にも、液晶パネルの表面には塵や埃それに皮脂などの異物が付着しているため、液晶パネルに偏光板を貼付する前にも、偏光板の光学特性を損なうことのないよう、液晶パネルの表面に付着した異物を除去する必要がある。
【０００６】
本明細書では、ガラス基板（電極基板）の状態と、液晶パネル，有機ＥＬパネルおよびプラズマディスプレイパネルなどの表示パネルとされた状態とを含めて表示パネル基板というが、このように表示パネル基板に付着した異物の除去方法としては、例えばオゾン水などに基板を浸漬させて洗浄するウェット処理法，紫外線（ＵＶ）を放射して有機物を分解除去するドライ処理法，粘着テープや粘着ローラを用いて異物を除去する粘着処理法などが知られている。特許文献１には、粘着処理法のうちの粘着テープによる処理法の一例が開示されている。
【０００７】
しかしながら、オゾン水などにより表示パネル基板を洗浄する方法では、基板表面に付着した有機物が十分に分解されるための反応時間を長く必要とするばかりでなく、洗浄処理後に行う乾燥時間が必要であり生産性の面で問題がある。
【０００８】
また、紫外線によるドライ洗浄を行う方法では、水分除去などの乾燥が必要でない分、時間を短縮することができるが、紫外線光源の発熱により表示パネル基板がうねるのを防止するため、紫外線光源と基板表面との間隔を大きくとる必要があり、そうすると基板表面における紫外線強度が低下し、十分な洗浄効果が得られないといった問題がある。
【０００９】
これに対して、粘着処理法は、オゾン水を用いたウェット処理法に比べて処理効率が高く、また、紫外線によるドライ洗浄に比べて塵埃などの除去効率が高いという利点がある。さらに、粘着層処理法は、ウェット処理法やドライ処理法などに比べて大がかりな設備を必要とせず、コストの点でも有利である。
【００１０】
図４および図５により、粘着処理法のうちの粘着ローラによる処理法の従来例について説明する。図４は従来の表示パネル基板の異物除去装置を示す模式的な正面図、図５はその平面図である。なお、ここでの説明では、表示パネル基板を偏光板が貼着する前の液晶パネルとしている。
【００１１】
これらの図に示すように、この異物除去装置は、液晶パネルＰが載置されるワークテーブル１と、液晶パネルＰの表面上を回転移動して液晶パネルＰの表面に付着した塵埃などの異物を除去する粘着ローラ２とを備えている。
【００１２】
ワークテーブル１のテーブル面１１には、液晶パネルＰの隣接する２つの側面Ｐ１，Ｐ２と当接する第１および第２のストッパー１２，１３が突設されている。この例において、第１ストッパー１２は、液晶パネルＰ１の長辺側の側面Ｐ１と面接触可能な角柱形状からなり、第２ストッパー１３は、液晶パネルＰの短辺側の側面Ｐ２と線接触可能な円筒形状からなり、これら２つのストッパー１２，１３により、液晶パネルＰをワークテーブル１の所定位置に位置決めするようにしている。
【００１３】
なお、図示はしていないが、ワークテーブル１には負圧吸着手段が設けられており、これにより、液晶パネルＰを第１および第２のストッパー１２，１３で位置決めした後、テーブル面１１上に強固に固定するようにしている。
【００１４】
粘着ローラ２は、図６（ａ）に示すように、シリコーンゴムなどの弾性材料からなるロール体２１の表面に粘着面２２が形成された円筒体からなり、図示しない可動ヘッドに支持されて、図５に示すテーブル面１１の長さ方向１１ａに沿って回転移動する。
【００１５】
汎用性を持たせてサイズの異なる液晶パネルＰに対応可能とするため、テーブル面１１は処理する液晶パネルＰのもっとも大きなサイズよりも大きな面積を有し、また、粘着ローラ２はその軸長がテーブル面１１の幅方向１１ｂの長さとほぼ同じに形成されており、これにより、ワークテーブル１上に載置される各種の液晶パネルＰの外形寸法に対応できるようにしている。
【００１６】
なお、上記したように、粘着ローラ２は図示しない可動ヘッドによりテーブル面１１と平行となるように支持されており、例えばシリンダなどの駆動手段にてワークテーブル１のテーブル面１１に対する垂直方向・水平方向の移動が可能となっている。
【００１７】
この異物除去装置によれば、液晶パネルＰをテーブル面１１に位置決め固定した後、上記可動ヘッドを介して粘着ローラ２を液晶パネルＰの一端側から他端側に向けて転動させることにより、液晶パネルＰの表面に付着している異物を粘着ローラ２の粘着面２２によって除去することができる。
【００１８】
【特許文献１】特開平１０−１９７８５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
ところで、上記した粘着ローラ２による異物除去装置では、液晶パネルＰに付着している異物を確実に除去するには、粘着ローラ２を十分な押圧力で液晶パネルＰの表面に押し付ける必要がある。
【００２０】
しかしながら、上述したように、汎用性を考慮してサイズの異なる各種の液晶パネルＰに対応可能とするため、テーブル面１１の面積を処理する液晶パネルＰのもっとも大きなサイズよりも大きなものとし、また、粘着ローラ２をテーブル面１１の幅方向１１ｂの長さとほぼ同じとしている。
【００２１】
そのため、小さなサイズの液晶パネルＰの異物を除去するときは、図４に示すように、粘着ローラ２の粘着面２２には、液晶パネルＰに接触する部分と接触しない部分とが生じることになるが、粘着ローラ２はショア硬度が４０度前後で柔らかいものであるのに対し、液晶パネルＰは通常では硬質のガラス材からなる。
【００２２】
したがって、粘着ローラ２を液晶パネルＰの表面に対して異物を除去するのに十分な押圧力をもって転動させると、液晶パネルＰの特にエッジに接触する部分の粘着面に大きな負荷がかかり、図４に示すように、その部分が押し込まれた状態で粘着ローラ２が転動することになる。
【００２３】
このように、粘着ローラ２の一部分が液晶パネルＰの表面側に押し込まれた状態で転動することから、何度も使用するうちに接触頻度の多い部分が変形し、図６（ｂ）に誇張して示すように、粘着ローラ２が部分的に鼓状に偏摩耗してしまうことがある。
【００２４】
このような偏摩耗が発生すると、特に処理する液晶パネルＰが小判サイズから大判サイズのものに機種変更された場合、粘着ローラ２と液晶パネルＰとの間に隙間が生じ、その隙間部分で異物残りが生ずることがある。
【００２５】
また、粘着ローラ２が削られることにより発生する削りカスが、液晶パネルＰの表面やテーブル面１１上に付着してしまうこともある。さらには、粘着ローラ２の平行度にも徐々に狂いが生じることにより、被清掃面に対する押圧力が均一ではなくなり、異物除去にむらが出てしまうこともある。
【００２６】
したがって、本発明の課題は、表示パネル基板の付着している異物を粘着ローラにより除去するにあたって、粘着ローラが表示パネル基板の幅よりも大きく、したがって粘着ローラの一部分にて表示パネル基板の付着している異物を除去する場合においても、粘着ローラの偏摩耗を確実に防止することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２７】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、テーブル面の面積がワークとして載置される表示パネル基板よりも大きく、かつ、上記表示パネル基板に対する位置決め手段を有するワークテーブルと、上記テーブル面の幅とほぼ同じ軸長を有し、上記テーブル面に対し軸線と直交する方向に相対的に移動可能な粘着ローラとを含み、上記粘着ローラを上記表示パネル基板に所定の圧力で押し付けながら移動させることにより、上記表示パネル基板の表面に付着している異物を除去する表示パネル基板の異物除去装置において、上記テーブル面のうちの上記表示パネル基板が載置されない基板非載置面に、上記粘着ローラの移動方向に沿って分割された複数のスペーサが配置され、上記スペーサの各上面により、上記基板非載置面に上記表示パネル基板の表面とほぼ同一の平面が提供されることを特徴としている。
【００２８】
請求項２に記載の発明は、上記請求項１において、上記各スペーサが、上記テーブル面を最下降位置として昇降手段により高さ調整可能であることを特徴としている。
【００２９】
請求項３に記載の発明は、上記請求項２において、上記昇降手段として、ステッピングモータにより駆動される送りねじ軸が用いられることを特徴としている。
【００３０】
請求項４に記載の発明は、上記請求項１ないし３のいずれか１項において、上記各スペーサ間の間隔が５ｍｍ以下であることを特徴としている。
【００３１】
請求項５に記載の発明は、上記請求項１ないし４のいずれか１項において、上記表示パネル基板と、上記表示パネル基板に隣接する上記スペーサとの間隔が上記粘着ローラの軸長の１／５以下であることを特徴としている。
【００３２】
請求項６に記載の発明は、上記請求項１において、上記位置決め手段は上記表示パネル基板の隣接する２辺に当接するストッパーを備え、上記各ストッパーが昇降手段により高さ調整可能であり、少なくとも上記粘着ローラによる異物除去時に、上記各ストッパーの上面が上記表示パネル基板の表面とほぼ同一高さに揃えられることを特徴としている。
【発明の効果】
【００３３】
請求項１に記載の発明によれば、ワークテーブルのテーブル面のうちの表示パネル基板が載置されない基板非載置面に、粘着ローラの移動方向に沿って分割された複数のスペーサが配置され、スペーサの各上面により、基板非載置面に表示パネル基板の表面とほぼ同一の平面が提供されることにより、粘着ローラの全面にわたってほぼ均一に負荷（圧力抵抗）がかけられることになるため、局所的に偏摩耗が生じることがない。したがって、粘着ローラの削りカスなどによる異物の再付着や、粘着ローラのテーブル面に対する平行度の狂いによる異物除去むらなどもほとんど発生することがない。
【００３４】
各スペーサをテーブル面を最下降位置として昇降手段により高さ調整可能とした請求項２に記載の発明によれば、表示パネル基板のサイズが異なる場合にも、その基板非載置面にスペーサの各上面により表示パネル基板の表面とほぼ同一の平面を提供することができる。
【００３５】
スペーサの昇降手段としてステッピングモータにより駆動される送りねじ軸を用いるようにした請求項３に記載の発明によれば、スペーサの高さ位置を例えば１ｍｍ以下の単位で高精度に制御することができる。
【００３６】
各スペーサ間の間隔を５ｍｍ以下とした請求項４に記載の発明によれば、各スペーサ部分での粘着ローラに対する負荷をほぼ均一とすることができる。
【００３７】
表示パネル基板と、表示パネル基板に隣接するスペーサとの間隔を粘着ローラの軸長の１／５以下とした請求項５に記載の発明によれば、表示パネル基板とスペーサとの間における粘着ローラの偏摩耗を防止することができる。
【００３８】
位置決め手段が表示パネルの隣接する２辺に当接するストッパーからなり、各ストッパーが昇降手段により高さ調整可能であり、少なくとも粘着ローラによる異物除去時に、各ストッパーの上面を表示パネル基板の表面とほぼ同一高さに揃えるようにした請求項６に記載の発明によれば、粘着ローラの位置決め手段側での偏摩耗をも防止できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
次に、図１ないし図３により、本発明の実施形態について説明する。図１は本発明による異物除去装置を示す図２のＩ−Ｉ線に沿った模式的な断面図，図２は本発明による異物除去装置を示す模式的な平面図，図３はスペーサの上下駆動機構を示す模式図である。なお、この実施形態の説明において、先に説明した従来例と変更を要しない構成要素には同じ参照符号を付している。
【００４０】
図１および図２に示すように、この異物除去装置においても、先に説明した従来例と同じく、被清掃物である表示パネル基板が載置されるワークテーブル１と、ワークテーブル１上で表示パネル基板に付着している塵埃などの異物を除去する粘着ローラ２とを備えている。この例においても、被清掃物である表示パネル基板を液晶パネルＰとしている。
【００４１】
ワークテーブル１のテーブル面１１は、サイズの異なる液晶パネルＰにも対応できるようにするため、すなわち汎用性を持たせるため、清掃が予定される最大サイズの液晶パネルＰよりも大きな面積を有している。
【００４２】
テーブル面１１には、液晶パネルＰの位置決め手段として、液晶パネルＰの隣接する２つの側面Ｐ１，Ｐ２に当接するように突設された第１および第２のストッパー１２，１３が設けられている。この場合、小判サイズから大判サイズの液晶パネルＰまでを載置可能とするため、第１および第２のストッパー１２，１３は、テーブル面１１の片隅（この例では、図２の右上隅）に配置される。
【００４３】
上記従来例と同じく、第１のストッパー１２は液晶パネルＰの長辺側の側面Ｐ１と面接触するように突設された角柱状で、第２のストッパー１３は液晶パネルＰの短辺側の側面Ｐ２と接触するように突設された円柱状であってよく、液晶パネルＰをこれらのストッパー１２，１３に突き当てることにより、その位置決めを行うことができる。
【００４４】
また、この例においても、ワークテーブル１には、図示しない負圧吸着手段が備えられており、第１および第２のストッパー１２，１３により液晶パネルＰを位置決めした後に、その負圧吸着手段により液晶パネルＰを確実に固定することができる。
【００４５】
粘着ローラ２は、シリコーンゴムなどの弾性材料からなるロール体２１の表面に粘着面２２が形成された円筒体からなり、テーブル面１１を横切るように、テーブル面１１の幅１１ｂと同じ長さ（軸長）を有している。
【００４６】
粘着ローラ２は、テーブル面１１と平行となるように図示しない可動ヘッドに支持されており、異物除去時には、テーブル面１１の図２における下端側の初期位置から上端側に向けてテーブル面１１の長さ方向１１ａに沿って移動する。異物除去後は、テーブル面１１から持ち上げられて、下端側の初期位置に戻される。
【００４７】
図示しないが、上記可動ヘッドには粘着ローラ２よりも強粘着の転写ローラが粘着ローラ２と接するように支持されており、粘着ローラ２に付着した異物は転写ローラ側に移されるようになっている。
【００４８】
ところで、テーブル面１１は液晶パネルＰよりも大きいため、テーブル面１１には液晶パネルＰが載置されないパネル非載置面（基板非載置面）が存在し、パネル載置面とパネル非載置面との間に粘着ローラ２が偏摩耗する原因となる段差が生ずる。
【００４９】
そこで、本発明では、パネル載置面とパネル非載置面との間に段差が生じないようにするため、パネル非載置面に粘着ローラ２の移動方向（矢印Ｘ方向）に沿って分割された複数，この例では４つのスペーサ１４ａ〜１４ｄが配置される。なお、各スペーサ１４ａ〜１４ｄを区別する必要がない場合には、単にスペーサ１４という。
【００５０】
図１に示すように、スペーサ１４の上面により、パネル非載置面にテーブル面１１上に載置される液晶パネルＰの表面とほぼ同一の平面が形成される。高さの異なる数種類のスペーサ１４を用意しておき、液晶パネルＰの厚さに応じて、適宜スペーサ１４を交換してもよいが、高精度の高さ調整を可能とし、また、液晶パネルＰのサイズに容易に対応できるようにするため、例えばサーボ機能を有する昇降手段（上下駆動機構）により、各スペーサ１４を高さ調整可能とすることが好ましい。
【００５１】
図３に、スペーサ１４の高さ調整に好適な昇降手段１５の一例を示す。この昇降手段１５は、ステッピングモータ（パルスモータ）１５ａと、所定のカプリング機構１５ｃを介してステッピングモータ１５ａに連結された送りねじ軸１５ｂとを含み、送りねじ軸１５ｂは、スペーサ１４側に形成されている図示しない雌ネジ穴に螺合する。
【００５２】
これによれば、ステッピングモータ１５ａの回転運動が、送りねじ軸１５ｂと上記雌ネジ穴とにより直線運動に変換され、スペーサ１４が上下方向に移動する。ステッピングモータ１５ａは、入力パルス数により回転角を高精度に制御可能なモータで、例えば０．５パルスでスペーサ１４を０．５ｍｍ（１パルスで１ｍｍ）移動させることができる。
【００５３】
なお、スペーサ１４の最下降位置はテーブル面１１と同一面とすることが好ましい。これによれば、液晶パネルＰにかかる部分のスペーサ１４（図１の例では、スペーサ１４ｄ）を最下降位置にまで下げることにより、サイズの異なる液晶パネルＰをテーブル面１１上に安定して載置することができる。
【００５４】
各スペーサ１４の高さ調整を自動化するには、ステッピングモータ１５ａの図示しない制御部に、パルス対回転角データ，テーブル面１１の大きさ，第１および第２のストッパー１２，１３による位置決め端点位置，各スペーサ１４の幅寸法および配列などの基本的なデータと、処理プログラムとをあらかじめ書き込んでおく。
【００５５】
そして、図示しない入力部から上記制御部に、液晶パネルＰの厚さおよび外形寸法（大きさ）の各データを入力する。これにより、上記制御部は所定の処理プログラムにしたがって、図１の例に示すように、液晶パネルＰの外形寸法からスペーサ１４ｄを最下降位置に留めておき、残りの各スペーサ１４ａ〜１４ｃを液晶パネルＰの厚さの高さにまで上昇させる。
【００５６】
このようにして、各スペーサ１４の上面が液晶パネルＰの表面に揃えられ、パネル載置部とパネル非載置部とが同一面となるため、粘着ローラ２の全面にわたってほぼ均一に圧力抵抗（負荷）がかけられることになる。
【００５７】
これにより、粘着ローラ２の変形や削れ消耗が防止され、また、平行度の狂いもなくなるため、削れカスの液晶パネルＰへの再付着や、削れカスによるテーブル面１１の汚れなどの問題が解消されるとともに、除去むらもほとんど発生しなくなる。
【００５８】
また、粘着ローラ２の取り替え頻度が少なくなり、その分コストダウンがはかれる。ちなみに、従来では偏摩耗により月に１回程度の頻度で取り替えが必要であったが、本発明によれば、その取り替え頻度を６ヶ月に１回程度にまで減らすことができる。
【００５９】
なお、各スペーサ１４での粘着ローラ２に対する負荷をほぼ均一にするため、各スペーサ１４間の間隔を５ｍｍ以下とすることが好ましい。
【００６０】
また、テーブル面１１上に載置される液晶パネルＰの大きさによっては、図１に例示するように、スペーサ１４ｄが最下降位置にまで下げられ、これにより、液晶パネルＰと次なるスペーサ１４ｃとの間に隙間が生ずるが、その間隔を貼付ローラの軸長の１／５以下とすることが好ましい。
【００６１】
すなわち、この程度の隙間であれば、粘着ローラ２の押圧力および弾性力などにもよるが、異物除去時に粘着ローラ２の一部分が液晶パネルＰとスペーサ１４ｃとの間にさほど入り込まないため、粘着ローラ２の偏摩耗を防止することができる。
【００６２】
以上図示の例に基づいて本発明の実施形態を説明したが、位置決め用の第１および第２のストッパー１２，１３についても、スペーサ１４と同じく高さ調整可能とすることもできる。これによれば、粘着ローラ２は、スペーサ１４のみでなく第１および第２のストッパー１２，１３にも接触して転動することになり、粘着ローラ２の押圧力による負荷を第１および第２ストッパー１２，１３にも分散させることができるため、粘着ローラ２の平行度をより一層正確に保つことができる。
【００６３】
また、ワークテーブル１に配置するスペーサ１４の数はテーブル面１１の大きさや、扱われる液晶パネルＰの外形寸法により適宜に設定されてよいが、スペーサ１４の数を多くすれば、スペーサ１４と液晶パネルＰとの隙間をより小さくでき、粘着ローラ２にかけられる負荷をより分散させることができる。
【００６４】
また、被清掃物は液晶パネルに限られず、ガラス基板（電極基板）や有機ＥＬパネルやプラズマディスプレイパネルなどであってもよい。また、粘着ローラ側を固定とし、ワークテーブル側を移動可能としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６５】
【図１】本発明による表示パネル基板の異物除去装置を示す図２のＩ−Ｉ線に沿った模式的な断面図。
【図２】上記表示パネル基板の異物除去装置のテーブル面を示す模式的な平面図。
【図３】スペーサの上下駆動機構を示す模式図。
【図４】従来の表示パネル基板の異物除去装置の一例を示す模式的な正面図。
【図５】上記従来の表示パネル基板の異物除去装置を示す模式的な平面図。
【図６】（ａ）異物除去装置に用いられる粘着ローラ示す模式的な斜視図，（ｂ）偏摩耗した粘着ローラ示す模式的な斜視図。
【符号の説明】
【００６６】
１  ワークテーブル
１１  テーブル面
１２，１３  ストッパー
１４（１４ａ〜１４ｄ）  スペーサ
１５  スペーサ昇降手段
１５ａ  ステッピングモータ
１５ｂ  送りねじ軸
２  粘着ローラ
２１  ロール体
２２  粘着面
Ｐ  液晶パネル（表示パネル基板）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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