(57)【要約】【課題】真空蒸発物回収後の処理品の冷却処理を効率よく短時間の内に行うことができ、以て再利用のための金属の生産効率を大幅に向上させることができる扉を提供することを課題とする。【解決手段】第１の減圧領域とこれに連設された第２の減圧領域との間に開閉可能に設けられた扉であって、当該第１の減圧領域側を密閉可能に閉じる第１の真空扉と、第２の減圧領域側を密閉可能に閉じる第２の真空扉とを具備することとしたので、各減圧領域の減圧状態を効果的に維持できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の減圧領域とこれに連設された第２の減圧領域との間に開閉可能に設けられた扉であって、
前記第１の減圧領域側を密閉可能に閉じる第１の真空扉と、
前記第２の減圧領域側を密閉可能に閉じる第２の真空扉と
を具備することを特徴とする扉。
【請求項２】
請求項１に記載の扉であって、
前記第１及び第２の真空扉は、扉本体と、密閉用のパッキンとを有することを特徴とする扉。
【請求項３】
請求項２に記載の扉であって、
前記第１及び第２の真空扉は、互いに対向するように配置され、
前記各パッキンは、前記各扉本体の前記対向する面に設けられていることを特徴とする扉。
【請求項４】
請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の扉であって、
前記第１の減圧領域とこれに連設された前記第２の減圧領域との間を連通させるバイパスと、当該バイパスに介挿された真空バルブとを更に具備することを特徴とする扉。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は真空蒸発処理品冷却装置及びそこにおける処理品の室間移送装置、より詳細には、自動車、家電製品、ＯＡ機器等の廃棄品の表面付着物を真空蒸発させて回収すると共に、再利用する金属を得る真空蒸発回収装置において、真空加熱処理した処理品を効率よく冷却し、金属の生産効率を向上させ得る真空蒸発処理品冷却装置及びそこにおける処理品の室間移送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
自動車、ＯＡ機器等の廃棄物を真空加熱して蒸発処理し、再利用可能な金属を生産することが行われている。その場合、真空加熱によってカドミニウム、鉛、亜鉛等を真空蒸発させた後の金属は、できるだけ酸化しないような状態で回収する必要がある。その回収に当っては冷却処理がなされるが、ロット当りの処理量が１〜３トンと多くなると、通常９０〜１５０分もの冷却時間が必要となり、真空蒸発回収処理が短時間の内に済んだとしても、冷却処理に長時間とられるため、結果的に生産効率が悪いことになる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上述したように、従来の真空蒸発回収装置においては、真空蒸発物回収後の処理品冷却のために多くの時間を取られるために、再利用のための金属の生産効率が悪い。
【０００４】
そこで本発明は、真空蒸発物回収後の処理品の冷却処理を効率よく短時間の内に行うことができ、以て再利用のための金属の生産効率を大幅に向上させることができる真空蒸発処理品冷却装置及びそこにおける処理品の室間移送装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、真空蒸発回収装置における真空加熱室に、断熱扉を介して第１冷却室を設置し、前記第１冷却室に真空扉を介して第２冷却室を設置し、更に必要に応じ前記第２冷却室に真空扉（好ましくは二重真空扉）を介して第３並びにそれ以下の冷却室を連設し、前記真空加熱室に、処理品を前記第１冷却室へ移動させるための処理品搬出手段を設けると共に、前記各冷却室に冷却手段、減圧手段及び処理品搬送手段を設けて、前記真空加熱室から最後段の前記冷却室まで処理品の移動を可能にし、以て前記処理品を、前記冷却室間移動に伴って段階的に冷却していくことを可能にした真空蒸発処理品冷却装置、を以て上記課題を解決した。
【０００６】
好ましくは、前記冷却室同志を、真空バルブを備えたバイパスで連通させる。また、前記処理品搬出手段をプッシャ−駆動とすると共に、前記処理品搬送手段をロ−ラ−駆動とし、前記ロ−ラ−駆動として、搬送ロ−ラ−を前記冷却室の下部を横切らせ、その両端を前記冷却室外に出してそこに添設された真空シ−ルケ−ス内に収めたものを用いる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の実施の形態を添付図面に依拠して説明する。図１は本発明に係る冷却室付き真空蒸発回収装置の概略平面図であり、図中１は真空加熱室、２は第１冷却室、３は第２冷却室、４は第３冷却室である。この例では冷却室の数は３室であるが、増減することもある。即ち、第３冷却室４がなくて、第２冷却室が最後段となる場合や、第３冷却室４に更に第４冷却室が連設される場合があり得る。真空加熱室１と第１冷却室２間には、断熱性能を備えた断熱扉６が配備され、各冷却室２〜４間には真空保持性能を備えた真空扉７、８が配備される。また、最後段の第３冷却室４とそれに連設される炉外搬出路５との間にも真空扉９が設置される。
【０００８】
第２冷却室３から最終段冷却室に至る間の冷却室間に設置される真空扉、即ち図示した例では第２冷却室３と第３冷却室４間に設置される真空扉８は、図７に示すように、真空性保持のためのパッキン８ｃを備えた真空扉８ａ、８ｂを二重に配置した二重真空扉とすることが好ましい。
【０００９】
その理由は次の通りである。第１冷却室２は常時真空状態に保持されているために、第２冷却室３との間に設置される真空扉７は常に第１冷却室２側に引かれた状態となる。そのため、真空扉７は第２冷却室３側に１枚設置すれば足りる（図７に示す真空扉８ｂに相当するもの１枚で足りる。）。これに対し真空扉８の場合は、その両側（第２冷却室３と第３冷却室４）において真空度が変化するため、その変化に伴っていずれかの方向に引かれることになる。そのため、両方向からの吸引力に対処するため、図７に示すように、各室側に真空扉８ａ、８ｂを設置する必要があるのである。
【００１０】
なお、真空扉を１枚のみとし、これに吸引力に対処するためのストッパ−を設置することも考えられるが、耐久性の点で問題が残る。
【００１１】
各冷却室２〜４には真空ポンプ１０が設置され、また各冷却室間は、真空バルブ（真空用電磁弁）１３を備えたバイパス１１、１２で連通される。最終段の第３冷却室４にはリ−クバルブ１４が取り付けられる。１５は処理品を示している。冷却室３、４には、処理品冷却のための冷却ガス（普通チッ素ガス）が供給される。なお、第１冷却室２内は真空冷却される。
【００１２】
上記構成のように冷却室が複数ある場合、各冷却室間を仕切る真空扉７、８の開閉に当っては、その両側の冷却室の圧力を同一にしておく必要がある。そこで本発明では、各冷却室２〜４間を連通させるバイパス１１、１２を設け、各バイパス１１、１２の途中に真空バルブ１３を配置した。
【００１３】
これにより、真空扉７、８の開閉に先立ち、真空バルブ１３を開いてバイパス１１、１２を開通させることにより冷却室２、３間並びに冷却室３、４間を連通させ、以て冷却室２、３間並びに冷却室３、４間を同圧にすることが可能となった。また、冷却室３、４間においては、前段の冷却室３の冷却ガスを後段の冷却室４に導入して再利用することになるため、冷却ガスの使用量が半減し、前段側の冷却室３内の残存冷却ガス量も半減するので、真空引きに要する時間が短縮される。
【００１４】
一番外側の第３冷却室４においては、冷却された処理品が外部に搬出されるが、その際に外気が室内に流入して冷却ガスに混入する。その状態のままで冷却すると酸化物を生成する虞があるので、真空ポンプ１０の作用で流入外気を排出した後、チッ素ガスを供給してから冷却することが行われる。
【００１５】
次に、上記装置における処理品の処理工程について説明する。真空加熱室１で真空加熱され、蒸発物を回収された処理品１５は、断熱扉６を開けて第１冷却室２に搬送される。その際真空扉７は閉じ、また、真空バルブ１３が閉じてバイパス１１は閉鎖されている。断熱扉６には真空シ−ルがなく、真空加熱室１と第１冷却室２は同圧となっている。処理品１５の搬入後断熱扉６が閉じ、第１冷却室２内が真空にされることにより処理品１５の一次冷却が行われる。
【００１６】
一次冷却終了後、冷却室２、３間の真空バルブ１３が開いてバイパス１１が開通すると共に真空扉７が開くが、それに先立ち、第２冷却室３においては、バイパス１１、１２が閉じると共に真空扉７及び二重真空扉８が閉じた状態において真空ポンプ１０が動作し、室内が所定の真空度にされる。ここにおいて真空扉８が第２冷却室３側に１枚のみであると、上述したようにそれが負圧によって第２冷却室３側に引張られ、室間の真空シ−ルが達成できず、真空引を行うことができない。
【００１７】
次いで、バイパス１１が開くと共に真空扉７が開き、処理品１５が第１冷却室２より第２冷却室３に搬送される。処理品１５が第２冷却室３に搬送された後、バイパス１１が閉鎖されると共に真空扉７が閉じ、第２冷却室３内に冷却ガスが供給されて処理品１５の二次冷却が行われる。
【００１８】
二次冷却終了後バイパス１２が開通し、第２冷却室３内の冷却ガスの約２分の１が第３冷却室４内に流入するが、それに先立ち、第３冷却室４のリ−クバルブ１４と真空扉９は共に閉じられ、第３冷却室４内は真空ポンプ１０の作用で設定真空度に減圧されている。このように冷却ガスが流通することにより、第２冷却室３と第３冷却室４とが同一条件下になったところで二重真空扉８が開き、処理品１５が第２冷却室３から第３冷却室４へと搬送される。その後バイパス１２が閉鎖されると共に真空扉８が閉じ、第３冷却室４に冷却ガスが供給されて処理品１５の三次冷却が行われる。
【００１９】
三次冷却終了後リ−クバルブ１４が開くことにより、第３冷却室４内が外気圧と同圧になったところで真空扉９が開き、処理品１５が炉外搬出路５から炉外へ搬出される。処理品１５の搬出後、リ−クバルブ１４が閉じると共に真空扉９が閉じ、第３冷却室４は真空ポンプ１０の作用で再び設定真空度に減圧される。以後上記工程が繰り返される。この工程によった場合は、１ロット当たりの各冷却室における冷却時間が従来の約３分の１となる。
【００２０】
次に、本発明に係る装置における処理品搬送手段について説明する。一般に連続炉の駆動装置としては、ロ−ラ−駆動とプッシャ−駆動が考えられる。この内ロ−ラ−駆動は炉内の処理室が多い場合に使用され、プッシャ−駆動は単室の場合に使用されている。しかるに、これらの駆動装置を高温炉内で使用する場合、種々故障の原因となる事態が発生する。
【００２１】
即ち、ロ−ラ−駆動においては、高温下にある炉内において故障が発生してロ−ラ−駆動が停止した場合、処理品の荷重によりロ−ラ−に荷重歪みが生じ、ロ−ラ−自身も長年の内には歪みを起こす。この歪みが生ずると、処理品が直進せずに炉壁に当たり、停止するようなことが起こる。このことは、プッシャ−駆動において、処理品を載せるトレ−やトレ−を滑動させるスキットレ−ルを金属製とした場合にも起こる。
【００２２】
また、ロ−ラ−駆動においては駆動部が炉外に出ているため、炉内温度が熱伝導により駆動部チェ−ンやスプロケットに伝達され、それらが伸縮する。そのため、駆動部に故障が起きやすい。更に、炉外ロ−ラ−部の真空シ−ルを完全に行うことができないため、空気の吸い込みが多くなり、真空度の保持ができない。
【００２３】
現在これらの問題を解決する手段としては、ロ−ラ−シャフトを管状にし、その中に水を供給して水冷し、真空シ−ル部にはチッ素ガスを供給することが行われている。この方法の欠点としては、水冷による加熱エネルギ−のロスが大きくなる点、チッ素ガスが真空度を阻害して金属蒸発温度を高める点、ランニングコストが大幅にアップする点等が挙げられる。しかも、これらの対策を講じても、熱歪みや荷重歪みによる駆動装置の故障の発生を回避することはできない。従って、このような故障発生時には炉を冷却し、修理に４日位かけなければならないこととなり、その間処理量が低下し、定期納入ができなくなる等のために客の信用を失う等の損害を蒙りやすい。
【００２４】
以上のような点を踏まえ、本発明においては、処理品１５は、処理品１５を載せる容体（治具）を備えたカ−ボントレ−１８に載せて移動させることとし、その移動は、真空加熱炉１内においてはプッシャ−駆動によることとし、各冷却室２〜４内においてはロ−ラ−駆動によることとした。以下、これらの構成について詳述する。
【００２５】
図２はカ−ボントレ−１８の形状例を示すもので、カ−ボントレ−１８にはその全面に亘って多数の透孔１９が形成される。カ−ボントレ−は一般に衝撃に弱く、熱伝導性が悪いといった欠点があり、１０００ｋｇ以上の重量物には使用されていない。本発明においては、この欠点を補うためにカ−ボントレ−１８を従来のものより約 倍厚くし、更に多数の透孔１９を設けることにより、熱歪みを防止すると共に、熱の通りを良くして冷却効率が高まるよう配慮してある。
【００２６】
また、装置のサイズが数１０ｍ単位と非常に大きいため、室内の温度分布を良好に取ることができず、水平度を出すことが難しい。このような装置に対応させるため、カ−ボントレ−１８を２〜３枚に分割し、それらをカ−ボンピン２０で止めることも行われる。この継ぎ合わせ方式とした場合、各カ−ボントレ−構成部がそれぞれ個別に上下に動いて衝撃吸収し、以て耐衝撃性を高めることができる。仮に衝撃吸収し切れない状況が起こっても、カ−ボンピン２０の損傷だけで済む。
【００２７】
真空加熱室１内には、レンガ状のカ−ボンブロックを前後左右に十分な間隔を置いて放熱可能な状態に敷き詰めて成るスキットレ−ル２１が敷かれ（図１参照）、その上に処理品１５を載せたカ−ボントレ−１８が置かれる。そこにおけるカ−ボントレ−１８、１８ａの移動は、油圧プッシャ−２２による。
【００２８】
上述したように、トレ−及びスキットレ−ルを金属製とした場合は、熱歪みが大きくなって駆動部が故障しやすくなり、また、スキットレ−ルに酸化ケイ素等を使用する場合は、非常に硬質となり、高温状況下においてトレ−が部分的に削られて駆動部の故障を招く虞があり、また、摩擦係数が大きいために強力な油圧プッシャ−が必要となる。
【００２９】
そのため本発明においては、スキットレ−ル２１とその上を移動するカ−ボントレ−１８、１８ａの材質を共にカ−ボンとすることにより、摩擦係数を９００℃で０．３８程度の低いものとすることができる。これにより、油圧プッシャ−２２による押圧力は少なくて済むことになり、装置を小型化、低コスト化することができる。
【００３０】
また、カ−ボンは非金属のため熱歪みが小さく、変形が少ない。そのため、カ−ボントレ−１８、１８ａが真空加熱炉１内を移動しても、スキットレ−ル２１、カ−ボントレ−１８、１８ａ共に水平度の変化が少なく、衝撃にも耐えられ、しかも移動動作（進行方向等）も正確なため、故障が少ない。
【００３１】
次に、図４乃至図６に拠って、本発明において冷却室２〜４に採用されているロ−ラ−駆動による処理品の搬送手段について説明する。そこにおいて符号２５、２５ａは搬送用ロ−ラ−で、円筒形の冷却室２〜４の下部に外向きに突設された支持筒２６に挿通され、室内下部を横切るように配置される。ロ−ラ−２５は処理品搬送方向に多数並設されるが、各冷却室２〜４における一端部（中間部でもよい。）のロ−ラ−２５ａ、２５ｂ、２５ｃは駆動用で、駆動用モ−タ３６に直結される。
【００３２】
図４、図５は駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃの室外突出部の支持部の構成を示すもので、駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃの室外突出部は、箱状の真空シ−ルケ−ス２７内において軸支され、そのロ−ラ−端は更に真空シ−ルケ−ス２７外に延長され、そこに駆動用モ−タ３６に直結されるスプロケット２８が取り付けられる。
【００３３】
真空シ−ルケ−ス２７は支持筒２６に固定され、各冷却室２〜４についてそれぞれほぼその全長に亘って延びる。駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃを軸支する軸受２９は、真空シ−ルケ−ス２７の内壁に設置された軸受取付ブロック３０に固定される。軸受取付ブロック３０には駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃが回転可能に挿通されるが、その駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃ摺接部及び真空シ−ルケ−ス２７の内壁当接部に、真空シ−ル３１、３２が配備される。真空シ−ル３１は二重に配置することが好ましい。
【００３４】
駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃの真空シ−ル３１内に位置する部分には更に、後続の搬送ロ−ラ−２５に回転動力を伝達するためのスプロケット３３が取り付けられる。また、真空シ−ルケ−ス２７に、軸受２９及び軸受取付ブロック３０の駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃ摺接部と真空シ−ル３１との間にグリ−スを供給するための、グリ−スニップル３４が設置される。そして、真空シ−ルケ−ス２７に、真空バルブ３７を備えた真空引パイプ３８が設置される。かくして、真空シ−ルケ−ス２７内の真空度保持が可能となる。
【００３５】
駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃは全長に亘って中空とされて水路が形成され、端部にロ−タリ−ジョイント４０を介して冷却水の給水管３９が接続される。
【００３６】
駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃの他端部も支持筒２６に挿通されて室外に出され、やはり真空シ−ルケ−ス２７ａ内において軸受取付ブロック３０ａに固定された軸受２９ａに軸支される。そして、先端にロ−タリ−ジョイント４０を介して、駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃを通流した冷却水の流出管４１が接続される。また、真空シ−ルケ−ス２７ａにも真空引パイプ３８ａが設置される。
【００３７】
続いて、図６に示された駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃ以外のロ−ラ−２５の構成について説明する。ロ−ラ−２５の構成は、駆動用モ−タ３６に直結されるスプロケット２８の構成を欠く点と、ロ−ラ−端が真空シ−ルケ−ス２７ｂ外に突出していない点で駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃと異なっているが、その他の点は大体同じである。駆動用ロ−ラ−２５ａ〜ｃの回転は、スプロケット３３、３３ａを介して全部のロ−ラ−２５に伝達され、全部のロ−ラ−２５が同時に同一方向に回転する。
【００３８】
処理品１５を載せたカ−ボントレ−１８、１８ａは、真空加熱室１内における処理品１５の真空加熱処理終了後、プッシャ−２２によってスキットレ−ル２１上を押送され、その際開状態にされる断熱扉６を通過してその前部が第１冷却室２内に送り込まれる。
【００３９】
このようにしてカ−ボントレ−１８、１８ａの前部が第１冷却室２のロ−ラ−２５上に乗ると、ロ−ラ−２５の回転に伴って第１冷却室２の中央部にまで搬送される。その位置は図示せぬセンサにより検出され、当該センサからの信号により駆動用モ−タ３６の動作が停止する。
【００４０】
第１冷却室２内における冷却処理終了後、真空扉７が開くと共に駆動用モ−タ３６が始動すると、カ−ボントレ−１８、１８ａはロ−ラ−２５によって搬送され、その前部が第２冷却室３内に臨む。そして、その前部が第２冷却室３内のロ−ラ−２５上に乗るに至り、第１冷却室２内のロ−ラ−２５から第２冷却室３内のロ−ラ−２５へ受け渡しされ、カ−ボントレ−１８、１８ａは第２冷却室３の中央部へと搬送される。以後同様にして搬送され、最終段の冷却室から炉外搬出路５へ送られ、そこから適宜手段によって搬出される。
【００４１】
カ−ボントレ−１８、１８ａが各冷却室２〜４内に留まっている間（約２０〜９０分間）、各ロ−ラ−２５、２５ａ〜ｃには冷却水が供給されて冷却され、熱歪みを生ずることが極力防止される。しかし、処理品が２００℃以上もの高温状態にて搬入される冷却室の場合は、この水冷方式だけではロ−ラ−２５が停止しているため、その熱歪みを十分に阻止することができない。
【００４２】
この問題に対処するため本発明では、ロ−ラ−２５に、処理品１５をカ−ボントレ−１８、１８ａごとロ−ラ−２５上に浮上させるリフタ−を設け、冷却処理中このリフタ−でカ−ボントレ−１８、１８ａを持ち上げてロ−ラ−２５から離し、ロ−ラ−２５への熱伝導を阻止し、且つロ−ラ−２５を空回りさせるという方法を採用した。次に、図８乃至図１０に拠ってこのリフタ−の構成について説明する。
【００４３】
図８乃至図１０において４５は、カ−ボントレ−１８、１８ａの裏面に当接してこれを押上げる押上部材で、各ロ−ラ−２５間に一対宛配置される。押上部材４５はロ−ラ−２５の下側に配置された支持フレ−ム４６上に固定され、支持フレ−ム４６の上下動に伴ってロ−ラ−２５間を上下動し、上昇端においてその上面がロ−ラ−２５の上面よりも上に出る。
【００４４】
支持フレ−ム４６を上下動させるための機構は任意であるが、図示した例では、例えば９０度宛正反回転するカム４７、４８を利用している。カム４７、４８は、ロ−ラ−２５と平行に配置されたカム軸４９、５０にそれぞれ一対設置される。カム軸４９とカム軸５０は、互いに反対方向に例えば９０度宛正反回転する。カム軸４９、５０の室外露出部は、ロ−ラ−２５の場合と同様にして真空シ−ルされる。
【００４５】
図１０はカム軸４９、５０を正反回転駆動する機構を示すもので、この機構は冷却室外に配置される。そこにおいて５１は端部を枢支された駆動シリンダ−であり、そのロッド先端は一方のカム軸５０に固定された駆動レバ−５２に枢着される。そして、駆動レバ−５２の中間部にコネクティングロッド５３の一端部が取り付けられ、コネクティングロッド５３の他端部は他方のカム軸４９に固定された駆動レバ−５４に取り付けられる。
【００４６】
駆動シリンダ−５１が図１０に示す状態から伸び動作をすると、駆動レバ−５２が図において時計回りに回動し始め、駆動シリンダ−５１の伸び動作端において９０度回動する。この駆動レバ−５２の動きはそのままカム軸５０及びそれに固定されたカム４８に伝達され、カム４８は図８に示す左向きの状態から上向きの状態に移行し、以て支持フレ−ム４６を押し上げる。
【００４７】
上記駆動レバ−５２の動きに伴ってコネクティングロッド５３が引張られ、駆動レバ−５４がコネクティングロッド５３に引かれて図１０において反時計回りに９０度回動する。その結果カム軸４９及びカム４７が９０度回動し、カム４７は図８に示す右向きの状態から上向きの状態に移行し、以て支持フレ−ム４６を押上げる。言うまでもなく、カム４７とカム４８の動きは同期する。
【００４８】
支持フレ−ム４６の昇降動作はガイドポスト５５により支持される。また、処理品１５からの熱伝達による各押上部材４５の過度の昇温を防止するために、支持フレ−ム４６の上面に、冷却水の循環するウォ−タ−ジャケット５６を配備することが好ましい。
【００４９】
本発明は上述した通りであって、本発明によれば、真空蒸発物回収後の処理品の冷却処理を効率よく短時間の内に行うことができ、以て再利用のための金属の生産効率を大幅に向上させることができる真空蒸発処理品冷却装置及びそこにおける処理品の室間移送装置が得られる効果がある。
【００５０】
また、本発明によれば、隣り合う冷却室同志を同圧にすることが容易であり、前段の冷却室の冷却ガスを後段の冷却室に導入して再利用することになるため、冷却ガスの使用量が半減し、前段側の冷却室内の残存冷却ガス量も半減するので、真空引きに要する時間が短縮される効果がある。
【００５１】
更に本発明によれば、ロ−ラ−駆動のみの場合に比較して搬送エネルギ−の損失が少なく（ロ−ラ−駆動の場合、ロ−ラ−水冷のためのコストが高くつく。）、設備コストも少なくて済み、真空度維持も容易で故障も少ないといった効果がある。
【００５２】
また、本発明によれば、扉の両側の冷却室の真空度の変化に際し、室間部の真空シ−ル性が損なわれることがない効果がある。
【００５３】
更に本発明によれば、処理品からロ−ラ−への熱伝導が極力回避されてロ−ラ−の熱歪みが防止され、以てロ−ラ−の熱歪みに起因する搬送トラブル等が起こらず、ロ−ラ−の寿命を延ばすことができる効果がある。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置の構成例を示す図である。
【図２】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるカ−ボントレ−の形状例を示す図である。
【図３】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるカ−ボントレ−の他の形状例を示す図である。
【図４】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるロ−ラ−駆動部の構成例を示す図である。
【図５】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるロ−ラ−駆動部の要部断面図である。
【図６】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるロ−ラ−駆動部の要部断面図である。
【図７】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置における二重真空扉の構成を示す図である。
【図８】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるリフタ−の構成を示す図である。
【図９】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるリフタ−の構成を示す平面図である。
【図１０】本発明に係る真空蒸発処理品冷却装置におけるリフタ−の駆動機構を示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１ 真空加熱室
２ 第１冷却室
３ 第２冷却室
４ 第３冷却室
５ 炉外搬出路
７ 真空扉
８ 二重真空扉
１１ バイパス
１２ バイパス
１５ 処理品
１８ カ−ボントレ−
２１ スキットレ−ル
２２ プッシャ−
２５ ロ−ラ−
２７ 真空シ−ルケ−ス
【図１】
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【図２】
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【図３】
2007107879.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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