(57)【要約】【課題】迅速に検出することができる基準マーク，基準マーク位置検出方法および装置を提供する。【解決手段】ガイドバー１２２の位置決め面１２４の任意の位置にＬ形定規１３０を密着させ、Ｙ軸方向に位置決めさせるとともに、Ｘ軸方向の任意の位置に取り付け、トレイ収容器１１８を介してトレイ１１０をＸ軸，Ｙ軸方向に位置決めさせる。第１定規部１３２と第２定規部１３４とが交差する角部に第１基準マーク１４０を設け、第１定規部１３２に３本の直線図形１４６，１４８，１５０を形成する。マークカメラをＸ軸方向に低速で移動させつつ直線図形１４６，１４８，１５０を撮像させ、その間隔を取得して第１基準マーク１４０の位置を距離により推定した後、マークカメラを推定された距離、高速で一挙に移動させ、第１基準マーク１４０を撮像させて位置を取得する。第１基準マーク１４０の位置は座標値により推定してもよい。【選択図】図２
2007189053.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
平面に、(a)撮像装置により撮像可能な基準マークと、(b)その基準マークから延びる一直線に沿って形成され、その一直線と直交する方向の間隔が、前記一直線に沿った方向の前記基準マークからの距離に対して一義的に決まる状態で変化する２本以上の補助線を規定する補助線図形とが形成されたことを特徴とする補助線図形付き基準マーク。
【請求項２】
前記補助線が直線であることを特徴とする請求項１に記載の補助線図形付き基準マーク。
【請求項３】
前記２本以上の補助線の間隔が前記基準マークからの距離が小さいほど小さくされたことを特徴とする請求項２に記載の補助線図形付き基準マーク。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の補助線図形付き基準マークにおける前記基準マークの位置を検出する方法であって、
前記補助線図形の、前記２本以上の補助線の少なくとも２本を含む部分を撮像装置により撮像することと、
その撮像の結果得られた画像のデータを処理することにより、前記少なくとも２本の補助線間の間隔を取得することと、
その取得した間隔に基づいて前記基準マークの位置を推定することと、
その推定した位置において前記撮像装置に基準マークを撮像させ、基準マークの位置を取得することと
を含むことを特徴とする基準マーク位置検出方法。
【請求項５】
請求項１ないし３のいずれかに記載の補助線図形付き基準マークにおける前記基準マークの位置を検出する装置であって、
前記補助線図形と前記基準マークとを撮像可能な撮像装置と、
前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとを、少なくとも前記一直線に沿って相対移動させるとともに、それら補助線図形と基準マークとの相対位置を取得する移動装置と、
それら撮像装置と移動装置とを制御する制御装置と
を含み、その制御装置が、
前記移動装置に前記撮像装置を前記補助線図形の前記２本以上の補助線の少なくとも２本以上を含む部分を撮像可能な位置へ移動させ、撮像装置にその部分を撮像させ、その撮像の結果に基づいて前記２本以上の補助線の少なくとも２本の間の間隔を取得する間隔取得部と、
その取得された間隔に基づいて前記基準マークの位置を推定するマーク位置推定部と、
推定された基準マーク位置において前記撮像装置に前記基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークの位置を取得するマーク位置取得部と
を含むことを特徴とする基準マーク位置検出装置。
【請求項６】
前記マーク位置推定部が、前記間隔取得部によって取得された間隔と、前記基準マークからの任意の距離とその距離の位置における前記少なくとも２本の補助線の間隔との関係とに基づいて、前記基準マークの位置を推定する単数間隔依拠推定部を含むことを特徴とする請求項５に記載の基準マーク位置検出装置。
【請求項７】
前記間隔取得部が、前記一直線に平行な方向において互いに隔たった複数位置における前記少なくとも２本の補助線の間隔を取得する複数間隔取得部を含み、前記マーク位置推定部が、前記複数間隔取得部により取得された前記複数の間隔と、それら複数の間隔が取得された複数の位置の情報とに基づいて、前記基準マークの位置を推定する複数間隔依拠推定部を含むことを特徴とする請求項５または６に記載の基準マーク位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基準マークならびに基準マーク位置検出方法および装置に関するものであり、特に、基準マークの検出の迅速化に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
基準マークは、その位置の取得により、基準マークが設けられた部材について位置に関する情報を取得することができるものである。そのため、例えば、下記の特許文献１に記載されているように、回路基板に基準マークを設けることが行われている。この回路基板には複数のパッドが２列に並んで設けられ、複数のリードが２列に設けられた電子回路部品が装着される。電子回路部品は回路基板に対して、複数のパッドと複数のリードとの位置が一致するように位置決めされた状態で載置され、リードがパッドに接合される。そのため、複数ずつのパッドとリードとの位置合わせのために回路基板に基準マークが設けられている。基準マークは十字形を成し、パッド列に平行な方向においてはパッド列から外れ、パッド列に直角な方向においては２列の中間の位置に設けられ、マークカメラによる撮像に基づいて検出される。回路基板にはまた、ガイドマークが設けられ、マークカメラを基準マークへ導くようにされている。ガイドマークは、基準マークからパッド列に直角な方向に延び出させられた一直線状を成す。また、マークカメラは、電子回路部品を把持して搬送する搬送チャックと共に移動させられ、基準マークを撮像するのであるが、搬送チャックに対して、撮像中心が基準マークの中心と一致する状態において、複数のパッドと複数のリードとの位置が一致する状態となる位置に設けられている。
【０００３】
電子回路部品の回路基板への装着時には、搬送チャックにより把持された電子回路部品が、パッド列に直角な方向において回路基板の側方に位置させられるとともに、マークカメラが、パッド列に平行な方向においてガイドマークから、パッド列とは反対側に外れた位置に位置させられる。その状態から搬送チャックと共にマークカメラがパッド列に直角な方向へ所定距離移動させられ、マークカメラが回路基板の上方に位置させられる。その状態からマークカメラがパッド列に平行に、かつガイドマーク側へ移動させられる。この移動中、マークカメラは回路基板の撮像を行い、それにより得られる画像データが処理されるとともに、ガイドマークの有無の判定が行われる。ガイドマークが検出されるまで、撮像，画像処理および判定が繰り返し行われ、ガイドマークが検出されれば、マークカメラはガイドマークに沿って移動させられる。この移動中、ガイドマークの撮像，画像処理および基準マークの有無の判定が繰り返し行われ、マークカメラが基準マークに到達し、基準マークが撮像されて検出されれば、その検出結果に基づいて基準マークと撮像中心とが一致する位置まで移動させられてマークカメラが停止させられる。その状態では電子回路部品と回路基板との位置が合っており、搬送チャックが下降させられれば、複数のリードが複数のパッド上に載置され、接合される。
【特許文献１】特開平６−２３２５９８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の電子回路部品装着装置においては、ガイドマークの検出後、基準マークの検出時に、ガイドマークの撮像，画像処理および基準マークの有無の判定を繰り返し行うことが必要であり、基準マークの検出に時間がかかる問題がある。
本発明は、上記の事情を背景として為されたものであり、迅速に検出することができる基準マーク，基準マーク位置検出方法および基準マーク位置検出装置の提供を課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る基準マークは、上記の課題を解決するために、平面に、(a)撮像装置により撮像可能な基準マークと、(b)その基準マークから延びる一直線に沿って形成され、その一直線と直交する方向の間隔が、上記一直線に沿った方向の基準マークからの距離に対して一義的に決まる状態で変化する２本以上の補助線を規定する補助線図形とが形成されたことを特徴とする。
補助線が直線とされれば、利用時における処理が容易になる場合が多いが、曲線とされてもよい。基準マークからの距離と補助線間の間隔との関係が既知であれば目的を達し得るのである。
基準マークおよび補助線図形が形成される平面は、基準マークの位置の検出に基づいて位置が検出される部材の平面であればよく、例えば、上記一直線に平行な方向において任意の位置に位置させられる可動部材の表面や、上記一直線に平行な方向および直角な方向においてそれぞれ任意の位置へ移動させられる可動部材の表面等、種々の部材の表面を利用し得る。
【０００６】
また、本発明に係る基準マーク位置検出方法は、本発明に係る補助線図形付き基準マークにおける基準マークの位置を検出する方法であり、(A)補助線図形の、２本以上の補助線の少なくとも２本を含む部分を撮像装置により撮像することと、(B)その撮像の結果得られた画像のデータを処理することにより、少なくとも２本の補助線間の間隔を取得することと、(C)その取得した間隔に基づいて基準マークの位置を推定することと、(D)その推定した位置において撮像装置に基準マークを撮像させ、基準マークの位置を取得することとを含むことを特徴とする。
【０００７】
さらに、本発明に係る基準マーク位置検出装置は、本発明に係る補助線図形付き基準マークにおける基準マークの位置を検出する装置を、(I)補助線図形と基準マークとを撮像可能な撮像装置と、(II)撮像装置と補助線図形付き基準マークとを、少なくとも前記一直線に沿って相対移動させるとともに、それら補助線図形と基準マークとの相対位置を取得する移動装置と、(III)それら撮像装置と移動装置とを制御する制御装置とを含み、その制御装置が、(i)前記移動装置に前記撮像装置を前記補助線図形の前記２本以上の補助線の少なくとも２本以上を含む部分を撮像可能な位置へ移動させ、撮像装置にその部分を撮像させ、その撮像の結果に基づいて前記２本以上の補助線の少なくとも２本の間の間隔を取得する間隔取得部と、(ii)その取得された間隔に基づいて基準マークの位置を推定するマーク位置推定部と、(iii)推定された基準マーク位置において撮像装置に基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークの位置を取得するマーク位置取得部とを含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る基準マークにおいては、撮像装置による２本以上の補助線の撮像に基づいて基準マークの位置が推定され、基準マークが撮像される。
２本の補助線の基準マークから延びる一直線と直交する方向の間隔が、一直線に沿った方向の基準マークからの距離に対して一義的に決まる状態で変化するため、撮像に基づいて２本の補助線の間隔が取得されることにより、基準マークの位置が、例えば撮像装置からの距離により推定され、あるいは撮像装置と基準マークとが相対移動させられる座標面内における座標値により推定される。基準マークの位置が推定されれば、撮像装置と補助線図形付き基準マークとを、それらが推定位置に位置する状態となるように一挙に相対移動させ、撮像装置に基準マークを撮像させることができ、基準マークが検出されるまで撮像，画像処理および基準マークの有無の判定が繰り返し行われる場合に比較して迅速に基準マークの位置を検出することができる。
【０００９】
本発明に係る基準マーク位置検出方法および本発明に係る基準マーク位置検出装置によれば、補助線図形付き基準マークの補助線を撮像し、撮像結果に基づいて２本以上の補助線の間隔を取得して基準マークの位置を推定することにより、撮像装置と補助線図形付き基準マークとを推定された位置に位置するように迅速に相対移動させ、撮像装置に基準マークを撮像させることができる。例えば、補助線図形付き基準マークの製造誤差等により基準マークや補助線の一直線に平行な方向における位置に誤差があることもあり、一義的に対応付けられた２本以上の補助線の一直線に直交する方向の間隔と距離とは、基準マークの位置の推定には十分であるが、基準マークの正確な位置は基準マークの撮像により取得される。
撮像装置と基準マークとの相対移動速度は、基準マークの位置推定の前は、撮像，画像処理および判定を繰り返し実行する必要上、移動速度を大きくすることはできない。補助線図形を検出するために相対移動を止めて撮像装置に撮像を行わせる場合、短い距離の移動と停止とを繰り返すため、移動速度を大きくすることができず、相対移動中に撮像を行わせる場合であっても、ぶれなく撮像を行うために、また、画像処理に時間を要するために移動速度を大きくすることができないのであるが、推定後は撮像，画像処理および判定を行うことなく基準マークと撮像装置とを一挙に、できる限り大きい速度で推定位置へ移動させることができ、基準マークを迅速に検出することができる。
【発明の態様】
【００１０】
以下に、本願において特許請求が可能と認識されている発明（以下、「請求可能発明」という場合がある。請求可能発明は、少なくとも、請求の範囲に記載された発明である「本発明」ないし「本願発明」を含むが、本願発明の下位概念発明や、本願発明の上位概念あるいは別概念の発明を含むこともある。）の態様をいくつか例示し、それらについて説明する。各態様は請求項と同様に、項に区分し、各項に番号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で記載する。これは、あくまでも請求可能発明の理解を容易にするためであり、請求可能発明を構成する構成要素の組み合わせを、以下の各項に記載されたものに限定する趣旨ではない。つまり、請求可能発明は、各項に付随する記載，実施例の記載等を参酌して解釈されるべきであり、その解釈に従う限りにおいて、各項の態様にさらに他の構成要素を付加した態様も、また、各項の態様から構成要素を削除した態様も、請求可能発明の一態様となり得るのである。
【００１１】
なお、以下の各項において、(1)項が請求項１に相当し、(2)項が請求項２に、(5)項が請求項３に、(16)項が請求項４に、(17)項が請求項５に、(20)項が請求項６に、(21)項と(22)項とを合わせたものが請求項７に、それぞれ相当する。
【００１２】
（１）平面に、(a)撮像装置により撮像可能な基準マークと、(b)その基準マークから延びる一直線に沿って形成され、その一直線と直交する方向の間隔が、前記一直線に沿った方向の前記基準マークからの距離に対して一義的に決まる状態で変化する２本以上の補助線を規定する補助線図形とが形成された補助線図形付き基準マーク。
（２）前記補助線が直線である(1)項に記載の補助線図形付き基準マーク。
（３）前記補助線図形が、間隔が前記基準マークからの距離の一次関数で表される２本以上の直線図形を含む(2)項に記載の補助線図形付き基準マーク。
２本の直線図形の間隔は、各直線図形の中心線同士の間隔として取得されるようにしても、各直線図形の両縁のうち予め定められた側の縁同士の間隔として取得されるようにしてもよい。前者の場合は中心線が、後者の場合は予め定められた縁がそれぞれ補助線であることになる。
（４）前記補助線図形が、前記一直線と直交する方向の寸法である幅が前記基準マークからの距離の関数で表される幅徐変図形を含む(1)項ないし(3)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マーク。
幅徐変図形の両縁が補助線であることになる。上記関数には一次関数のみならず、二次関数以上の複次関数は勿論、指数関数等他の関数も含まれる。幅徐変図形により規定される２本の補助線は、共に直線あるいは曲線とされてもよく、一方が直線で他方が曲線とされてもよい。
本項が(3)項に従属する場合、２本以上の直線図形と幅徐変図形とが形成される場合と、幅徐変図形も直線図形の一種と考え、２本以上の直線図形の１本以上が幅徐変図形とされる場合とが含まれる。
（５）前記２本以上の補助線の間隔が前記基準マークからの距離が小さいほど小さくされた(1)項ないし(4)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マーク。
補助線間の間隔を逆にしても、基準マークまでの距離を取得することはできるが、本項の構成にする方が使い勝手の良い補助線図形付き基準マークとなる。補助線の間隔を取得するために使用される撮像装置の視野の不足により、基準マークから遠い領域では撮像ができない場合でも、基準マークに近い領域では必ず撮像ができることがその一例である。
（６）前記補助線が３本以上である(1)項ないし(5)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マーク。
補助線は２本あれば目的を達し得るが、３本以上設ければ補助線図形付き基準マークの使い勝手が向上する。例えば、補助線の間隔を取得するために使用される撮像装置の視野に応じて、間隔を取得する２本の補助線を選択できる。あるいは、常に複数対の補助線間の間隔が取得され、複数の間隔データに基づいて基準マークまでの距離が取得されるようにすれば、取得された距離の信頼性を高め得る。また、すべての対の補助線の間隔が取得できない場合でも、少なくとも一対の補助線間の間隔が得られれば基準マークまでの距離を取得することができる。
本項が(4)項に従属する場合、幅徐変図形が複数形成され、あるいは幅徐変図形と幅が一定の直線図形とが少なくとも１つずつ形成される。
（７）前記補助線図形が、各々前記一直線と直交し、各々の長さが前記基準マークからの距離の関数で表される複数本の直線図形を含む(1)項ないし(6)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マーク。
本項の補助線図形においては、複数本の直線図形の各々の両端の点（直線図形を細長い矩形と考えた場合の２つの短辺の各々の中点あるいは両端の点のいずれか）を結ぶ２本の直線または曲線が補助線である。２本の補助線は、基準マークから延びる一直線に沿って点在する複数の点の集合によって規定されるのであり、少なくとも１本の直線図形の撮像に基づいて２本の補助線の間隔が取得され、基準マークの位置が推定される。
複数本の直線図形は、撮像装置により補助線図形付き基準マークが撮像されるとき、基準マークから延びる一直線に平行な方向のいずれの位置において直線図形の撮像が行われても、少なくとも１本が撮像視野内に含まれ、撮像される本数、設けられる。
（８）(1)項ないし(7)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マークが表面に形成された可動部材と、
前記一直線に平行に延びる案内部を備え、その案内部に沿った任意の位置において前記可動部材を支持する支持部材と
を含み、少なくとも前記可動部材により対象物を前記一直線に平行な方向における任意の位置に位置決めして支持する位置決め装置。
可動部材は単独で対象物を位置決めして支持するものとしてもよく、支持部材と共同して位置決めして支持するものとしてもよい。前者の場合、可動部材は、例えば、対象物を支持する支持面を備え、その支持面に位置決めピンが対象物を互いに直交する２方向に位置決め可能に３本、立設されるとともに、補助図形付きの基準マークが形成されたものとされる。後者の場合、可動部材が対象物を少なくとも一直線に平行な方向において位置決めし、支持部材が対象物を支持するものとされる。
可動部材は、支持部材により、案内部に沿った任意の位置において支持されるが、基準マークの位置の取得により、可動部材の案内部に沿った方向における位置が得られ、可動部材により位置決めされる部材の位置も得ることができる。
（９）前記可動部材が、互いに直角な方向に延びる第１定規部と第２定規部とを備えた定規であり、前記第１定規部に前記補助線図形付き基準マークが形成された(8)項に記載の位置決め装置。
定規は、例えば、Ｌ形あるいはＴ形とされる。
対象物は、第１定規部と第２定規部とにより、案内部に平行な方向と直角な方向との２方向において位置決めされつつ、基準マークから延びる一直線に平行な方向において任意の位置に位置決めされる。
定規は、補助線図形付き基準マークが形成された第１定規部が案内部に沿って配置され、第２定規部は案内部から直角に延び出させられる。第１定規部が案内部に案内されることにより、定規の傾きが防止され、対象物を安定して位置決めすることができる。
定規は、対象物を一直線に平行な方向における任意の位置にのみ位置決めするＩ形としてもよい。Ｉ形定規は、補助線図形付き基準マークを形成するのに十分な幅あるいは長さを有し、一辺が案内部により位置決めされた状態で支持部材に支持される定規部を１つ備えたものとされる。対象物はＩ形定規と案内部との共同で位置決めされた状態で支持部材に支持される。Ｉ形定規が幅方向に平行な一辺において案内部により位置決めされる場合には、対象物はＩ形定規の長手方向に平行な一辺と案内部とで位置決めされ、Ｉ形定規が長手方向に平行な一辺において案内部により位置決めされる場合には、対象物はＩ形定規の幅方向に平行な一辺と案内部とで位置決めされる。
（１０）前記案内部が前記支持部材の支持面より上の位置において前記一直線に平行な方向に延び、前記第１定規部と密着して第１定規部の前記一直線と直角な方向の位置決めを行う位置決め面である(9)項に記載の位置決め装置。
第１定規部の位置決め面に対する密着により、定規の姿勢が安定して決められ、支持部材の支持面により安定して支持される。
第１定規部には補助線図形付き基準マークが形成されていて、基準マークの位置の検出により定規の位置を検出することができるため、定規を、第１定規部を位置決め面に密着させて支持部材に支持させる場合、案内部に平行な方向において任意の位置に支持させることができ、作業者による定規を支持部材に支持させる作業が容易である。
（１１）前記基準マークが、前記第１定規部と前記第２定規部とが互いに交差する部分に形成された(9)項または(10)項に記載の位置決め装置。
本基準マークは、案内部に平行な方向においても、直角な方向においても、第１，第２定規部により位置決めされる対象物から外れた位置に位置することとなり、定規により位置決めされた対象物内の特定個所の位置を、基準マークの位置を基準として特定することが容易である。
（１２）第１基準マークとしての前記基準マークとは別の第２基準マークが、第１基準マークから前記一直線に直角な方向に隔たって前記第２定規部に形成され、かつ、第１基準マークに近接して、第１基準マークのみならず第２基準マークの位置も検出すべきことを表す付属マークが形成された(11)項に記載の位置決め装置。
第２基準マークが形成されていれば、その位置の取得により、定規の傾きを取得することができ、対象物内の特定個所の位置をより正確に取得することができるため、付属マークは設けず、第１，第２基準マークのみを設けても有効である。しかし、第２定規部に第２基準マークが形成されていても、必ず、その位置を検出することは必要ではなく、付属マークが形成されていれば、必要な場合にのみ、すなわち対象物内の特定個所の位置の正確な取得が要求される場合にのみ第２基準マークの位置を検出すればよいこととなり、基準マークの位置検出に要する時間を短縮することができる。
（１３）前記基準マークに近接して設けられて、その基準マークにより位置が検出される対象物の基準位置以外の特性を規定する付属マークを含む(8)項に記載の位置決め装置。
（１４）前記可動部材が、互いに直角な方向に延びる第１定規部と第２定規部とを備え、それら第１定規部と第２定規部とにより、矩形の対象物の互いに直角な２辺に密着してその対象物を位置決めする定規であり、前記付属マークが、その定規により位置決めされる対象物の種類に対応付けられた種類表示マークを含む(13)項に記載の位置決め装置。
付属マークの撮像に基づいて対象物の種類が得られることにより、例えば、複数の可動部材によって複数種類の対象物が位置決めされる場合、可動部材が案内部に沿って任意の順序で配置されても、その配置順を取得し、対象物の配置データを作成することができる。
（１５）前記対象物が、マトリックス状に形成された複数の収容部の各々に電子回路部品を収容する部品供給トレイであり、前記種類表示マークがその部品供給トレイの寸法規格に対応付けられた寸法規格表示マークを含む(14)項に記載の位置決め装置。
電子回路部品は、電子回路を構成する部品であり、ＩＣ，抵抗，コイル，コンデンサ等の電子部品の他、リレー，スイッチ等を含む。
寸法規格表示マークが撮像されることにより、部品供給トレイの寸法規格が得られる。そのため、例えば、複数枚の部品供給トレイが案内部に沿って並べて位置決めされる場合、各部品供給トレイに収容される電子回路部品の種類および並び順が指示されているが、寸法が指示されていない場合、部品供給トレイの寸法を、部品供給トレイが供給する電子回路部品の種類および並び順と対応付けたデータが得られ、部品取出具による部品供給トレイからの電子回路部品の取出し作業の参考にすることができる。また、複数枚の部品供給トレイによりそれぞれ供給される電子回路部品の種類は指示されているが、並び順が指示されていない場合、部品供給トレイの寸法と電子回路部品の種類とが対応付けられているのであれば、電子回路部品の種類と並び順とを対応付けるデータが得られる。付属マークが、電子回路部品の種類そのものを表すものとしてもよい。この場合、部品供給トレイの位置決めには、電子回路部品の種類を表す付属マークが設けられた定規が使用される。
(12)項〜(15)項に記載の各特徴は、補助線図形が形成されていない基準マークを有する可動部材にも適用することができる。
（１６）(1)項ないし(7)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マークにおける前記基準マークの位置を検出する方法であって、
前記補助線図形の、前記２本以上の補助線の少なくとも２本を含む部分を撮像装置により撮像することと、
その撮像の結果得られた画像のデータを処理することにより、前記少なくとも２本の補助線間の間隔を取得することと、
その取得した間隔に基づいて前記基準マークの位置を推定することと、
その推定した位置において前記撮像装置に基準マークを撮像させ、基準マークの位置を取得することと
を含む基準マーク位置検出方法。
下記(18)項ないし(26)項の各特徴は、本項の基準マーク位置検出方法にも適用することができる。
（１７）(1)項ないし(7)項のいずれかに記載の補助線図形付き基準マークにおける前記基準マークの位置を検出する装置であって、
前記補助線図形と前記基準マークとを撮像可能な撮像装置と、
前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとを、少なくとも前記一直線に沿って相対移動させるとともに、それら補助線図形と基準マークとの相対位置を取得する移動装置と、
それら撮像装置と移動装置とを制御する制御装置と
を含み、その制御装置が、
前記移動装置に前記撮像装置を前記補助線図形の前記２本以上の補助線の少なくとも２本以上を含む部分を撮像可能な位置へ移動させ、撮像装置にその部分を撮像させ、その撮像の結果に基づいて前記２本以上の補助線の少なくとも２本の間の間隔を取得する間隔取得部と、
その取得された間隔に基づいて前記基準マークの位置を推定するマーク位置推定部と、
推定された基準マーク位置において前記撮像装置に前記基準マークを撮像させ、その撮像結果に基づいて基準マークの位置を取得するマーク位置取得部と
を含む基準マーク位置検出装置。
（１８）前記間隔取得部が、
前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとを、撮像装置が補助線図形の前記２本以上の補助線の少なくとも２本を含む部分を撮像可能な相対位置に位置決めする位置決め部と、
その位置決め部による位置決めの後、前記撮像装置に前記補助線図形の前記一部を撮像させる補助線撮像制御部と
を含み、補助線撮像制御部の制御により撮像された補助線図形の画像データを処理することによって前記少なくとも２本の補助線の間隔を取得するものである(17)項に記載の基準マーク位置検出装置。
（１９）前記マーク位置取得部が、前記マーク位置推定部による前記基準マークの推定位置の情報に基づいて前記撮像装置と前記基準マークとが対向する状態とし、その状態において前記撮像装置に基準マークを撮像させる基準マーク撮像制御部を含み、その基準マーク撮像制御部の制御により取得された前記基準マークの画像データを処理することにより基準マークの位置を取得するものである(17)項または(18)項に記載の基準マーク位置検出装置。
（２０）前記マーク位置推定部が、前記間隔取得部によって取得された間隔と、前記基準マークからの任意の距離とその距離の位置における前記少なくとも２本の補助線の間隔との関係とに基づいて、前記基準マークの位置を推定する単数間隔依拠推定部を含む(17)項ないし(19)項のいずれかに記載の基準マーク位置検出装置。
撮像装置による補助線の撮像が１回で済み、基準マークの位置の推定を簡易にかつ迅速に行うことができる。
（２１）前記間隔取得部が、前記一直線に平行な方向において互いに隔たった複数位置における前記少なくとも２本の補助線の間隔を取得する複数間隔取得部を含む(17)項ないし(19)項のいずれかに記載の基準マーク位置検出装置。
（２２）前記マーク位置推定部が、前記複数間隔取得部により取得された前記複数の間隔と、それら複数の間隔が取得された複数の位置の情報とに基づいて、前記基準マークの位置を推定する複数間隔依拠推定部を含む(21)項に記載の基準マーク位置検出装置。
少なくとも２本の補助線の間隔は、基準マークからの距離に対して一義的に決まるため、複数の間隔が取得されれば、それら間隔がそれぞれ取得された複数の位置の各々について、基準マークに対する距離がわかり、それらに基づいて基準マークの位置を推定することができる。
（２３）前記マーク位置推定部が、前記基準マークの位置を表す値として、前記一直線に平行な方向における前記基準マークの位置の座標値を推定する座標値推定部を含む(17)項ないし(22)項のいずれかに記載の基準マーク位置検出装置。
基準マークの位置が座標値で推定される場合には、基準マークの撮像が座標値推定部により推定された座標値の位置で行われるようにすることが望ましい。その撮像時に撮像装置と補助線図形付き基準マークとは相対移動中であってもよいが、基準マークの位置検出精度を高める上で、相対移動停止中に行われるようにすることが望ましい。
（２４）前記マーク位置推定部が、前記基準マークの位置を表す値として、現位置から、前記一直線に平行な方向における前記基準マークまでの距離を推定する距離推定部を含む(17)項ないし(23)項のいずれかに記載の基準マーク位置検出装置。
基準マークの位置が現位置から基準マークまでの距離で推定される場合には、現位置からの相対移動量が、推定された距離に等しくなったとき、基準マークの撮像が行われるようにすることが望ましい。その撮像時に撮像装置と補助線図形付き基準マークとは相対移動中であってもよいが、基準マークの位置検出精度を高める上で、相対移動停止中に撮像が行われるようにすることが望ましい。
（２５）前記距離推定部が、前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとの前記一直線に平行な方向の移動中に前記基準マークまでの距離の推定を行う移動中距離推定部を含み、その移動中距離推定部が、前記間隔取得のための撮像が行われた位置を記憶する撮像位置記憶部と、前記撮像の実行時と前記基準マーク位置推定の実行時との間における前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとの相対移動距離を取得する相対移動距離取得部とを含み、前記間隔取得部により取得された間隔の他、前記相対移動距離取得部により取得された相対移動距離にも基づいて、前記現位置たる基準マーク位置推定実行位置から前記基準マークまでの距離を推定するものである(24)項に記載の基準マーク位置検出装置。
基準マークまでの距離の推定が撮像装置と補助線図形付き基準マークとの相対移動中に行われるため、撮像により得られた補助線図形の像データが処理され、間隔が取得されるときには、撮像の実行時より撮像装置と補助線図形付き基準マークとの距離が短くなっており、撮像の実行時と基準マーク位置推定の実行時の間における撮像装置と補助線図形付き基準マークとの相対移動距離が取得され、それにも基づいて基準マーク位置推定実行位置から基準マークまでの距離が推定される。
撮像装置と補助線図形付き基準マークとの相対移動を停止させることなく、基準マークの位置を推定することができ、基準マークの位置検出時間を短縮することができる。
（２６）前記マーク位置推定部が、前記撮像装置と前記補助線図形付き基準マークとの前記一直線に平行な方向の相対移動中に前記基準マーク位置の推定を行う移動中位置推定部を含む(17)項ないし(25)項のいずれかに記載の基準マーク位置検出装置。
基準マークの位置検出開始から検出までに要する時間を短くし、基準マークの位置検出能率を向上させることができる。
【実施例】
【００１３】
以下、請求可能発明のいくつかの実施例を、図を参照しつつ詳しく説明する。なお、請求可能発明は、下記実施例の他、上記〔発明の態様〕の項に記載された態様を始めとして、当業者の知識に基づいて種々の変更を施した態様で実施することができる。
【００１４】
図１に、請求可能発明の一実施例としての基準マーク位置検出装置を備えた電子回路部品装着システムが図示されている。図１において１０は、電子回路部品装着システムの本体を構成するベッドである。ベッド１０上には、回路基板１２を搬送する基板搬送装置１４，回路基板１２を保持する基板保持装置１６，回路基板１２に電子回路部品２０（図２参照）を装着する部品装着装置２２および部品装着装置２２に電子回路部品２０を供給する部品供給装置２４，２６等が設けられている。
【００１５】
本装着システムにおいて回路基板１２は基板搬送装置１４により、その電子回路部品２０が装着される部品装着面が水平な姿勢で搬送され、図示を省略する停止装置によって予め定められた作業位置において停止させられるとともに、ベッド１０の作業位置に対応する部分に設けられた基板保持装置１６により保持される。本装着システムにおいて回路基板１２は、基板保持装置１６により、部品装着面が水平な姿勢で支持される。基板保持装置１６は位置を固定して設けられ、図示は省略するが、例えば、複数の支持部材を備え、回路基板１２を下方から支持するとともに、クランプ部材を備え、回路基板１２の搬送方向に平行な両縁をクランプする装置とされる。基板搬送装置１４による回路基板１２の搬送方向（図１においては左右方向）をＸ軸方向とする。
【００１６】
部品装着装置２２は、装着ヘッド３０および装着ヘッド移動装置３２を含む。装着ヘッド移動装置３２は、装着ヘッド３０と、基板保持装置１６に保持された回路基板１２とを、部品装着面に平行な方向に相対移動させる相対移動装置であり、本装着システムにおいては、部品装着面に平行な一平面内において互いに直交する２方向であって、Ｘ軸方向および水平面内においてＸ軸方向と直交するＹ軸方向に装着ヘッド３０を移動させる。そのため、装着ヘッド移動装置３２は、Ｘ軸方向移動装置３４およびＹ軸方向移動装置３６を含む。
【００１７】
Ｘ軸方向移動装置３４は、図１に示すように、可動部材としてのＸ軸スライド４０およびＸ軸スライド移動装置４２を含む。Ｘ軸スライド移動装置４２は、駆動源たるＸ軸移動用モータ４４，送りねじたるボールねじ４６およびナット（図示省略）を含み、Ｘ軸スライド４０をＸ軸方向に平行な任意の位置へ移動させる。Ｙ軸方向移動装置３４は、Ｘ軸スライド４０上に設けられ、可動部材としてのＹ軸スライド５２およびＹ軸スライド移動装置５４を含む。Ｙ軸スライド移動装置５４は、駆動源たるＹ軸移動用モータ５６，ボールねじおよびナット（図示省略）を含み、Ｙ軸スライド５２をＹ軸方向に平行な任意の位置へ移動させる。Ｘ軸移動用モータ４４およびＹ軸移動用モータ５６は、電動モータの一種であり、回転角度の精度の良い制御が可能な電動回転モータであるサーボモータであって、エンコーダ付きのサーボモータにより構成されている。サーボモータに代えてステップモータを用いてもよい。また、駆動源としてリニアモータを用いてもよい。
【００１８】
装着ヘッド３０はＹ軸スライド５２上に設けられ、装着ヘッド移動装置３２により水平面内の任意の位置へ移動させられる。装着ヘッド３０は、部品保持具としての吸着ノズル５８を保持し、装着ヘッド昇降装置６０（図８参照）により昇降させられるとともに、装着ヘッド回転装置６２（図８参照）により、その軸線まわりに回転させられる。
【００１９】
Ｙ軸スライド５２にはまた、回路基板１２に設けられた複数の基準マーク６８（図１参照）を撮像する撮像装置たるマーク撮像装置７０（図１参照）が設けられ、装着ヘッド移動装置３２により水平面内の任意の位置へ移動させられる。装着ヘッド移動装置３２は、撮像装置移動装置でもある。マーク撮像装置７０は、本装着システムにおいては、撮像デバイスとしてのマークカメラ７２と、照明装置７４とを含む。マークカメラ７２は、例えば、ＣＣＤカメラにより構成されるとともに面撮像装置とされ、下向きに設けられている。また、Ｘ軸スライド４０には、吸着ノズル５８により吸着された電子回路部品２０を撮像する部品撮像装置８０が設けられている。部品撮像装置８０は部品カメラ８２（図８参照）および照明装置（図示省略）を備え、２組設けられ、部品供給装置２４により供給された電子回路部品２０と、部品供給装置２６により供給された電子回路部品とがそれぞれ撮像される。
【００２０】
前記部品供給装置２４，２６は、図１に示すように、Ｙ軸方向に互いに隔たって、基板搬送装置１４の両側に設けられている。図示の例においては、部品供給装置２４がフィーダ型部品供給装置とされ、部品供給装置２６がトレイ型部品供給装置とされている。
【００２１】
フィーダ型部品供給装置２４は、部品供給具としての多数のフィーダ１００がフィーダ支持テーブル１０２上に、各部品供給部が、例えばＸ軸方向に平行な線に沿って並べて配列された部品供給テーブル１０４を有する。各フィーダ１００は、例えば、電子回路部品２０を部品保持テープに保持させ、テープ化電子回路部品とした状態で供給するテープフィーダとされており、部品送り装置としてのテープ送り装置を備え、部品保持テープを所定ピッチずつ送り、電子回路部品２０を順次部品供給部に位置決めする。フィーダ型部品供給装置はよく知られており、詳細な図示および説明を省略する。
【００２２】
トレイ型部品供給装置２６は、図２に示すように、電子回路部品２０を部品供給トレイ（以後、トレイと略称する）１１０に収容して供給する。トレイ１１０は板状に形成され、平面視の形状が概して長方形状あるいは正方形状を成し、複数の収容部たる収容凹部１１２がマトリックス状に形成され、それら収容凹部１１２の各々に電子回路部品２０が収容されている。形状，寸法，収容される電子回路部品２０の種類，最大収容数等を異にする複数種類のトレイ１１０が用意され、回路基板１２に装着される電子回路部品２０の種類，数等に応じて適宜のトレイ１１０が使用される。なお、図２においては、複数のトレイ１１０のうちの１つについて、複数の収容凹部１１２のうちの一部に代表的に電子回路部品２０が収容された状態が図示されている。電子回路部品２０は、図２に示す態様のものに限らず、リードを有さない電子回路部品、リードが部品本体の４辺にそれぞれ設けられた電子回路部品等、種々の態様のものがある。
【００２３】
図１に示すように、ベッド１０には支持部材としてのトレイボード１１６が設けられ、トレイ１１０がセットされる。トレイ１１０は、トレイ収容器１１８に収容され、トレイ収容器１１８がトレイボード１１６の支持面１２０により支持される。トレイ１１０はトレイ収容器１１８に幅方向および長さ方向においていずれも隙間なく収容され、両方向において位置決めされて収容される。このトレイ収容器１１８は、トレイ１１０を複数枚重ねた状態で収容し、位置決めする深さを有する。トレイボード１１６は板状を成し、その支持面１２０上には、図２に示すように、ガイドバー１２２がＸ軸方向に平行に設けられている。本基準マーク位置検出装置においてガイドバー１２２は横断面形状が正方形状を成し、水平な支持面１２０に直角でＸ軸方向に延び、支持面１２０より上の位置に位置する鉛直な面が位置決め面１２４を構成している。また、トレイボード１１６は磁性材料により作られている。
【００２４】
トレイ収容器１１８は、図２に示すように、Ｌ形定規１３０により、Ｘ軸方向に平行な方向およびＹ軸方向に平行な方向においてそれぞれ位置決めされる。Ｌ形定規１３０は、互いに直角な方向に延びる第１定規部１３２と第２定規部１３４とを備え、それら定規部１３２，１３４の底面ないし裏面には、図３に示すように、複数の永久磁石１３６が間隔を隔てて埋設されている。永久磁石１３６は、その端面がＬ形定規１３０の裏面内に位置する状態で設けてもよく、裏面から突出する状態で設けてもよく、裏面から僅かに引っ込んだ状態で設けてもよい。また、第１定規部１３２と第２定規部１３４との一方についてのみ永久磁石を設けてもよい。Ｌ形定規１３０は、底面の一部に限らず、全体に永久磁石を備えたものとし、底面の少なくとも一部に永久磁石を備えたものとしてもよく、Ｌ形定規１３０全体を永久磁石としてもよい。
【００２５】
Ｌ形定規１３０は、トレイボード１１６に磁力により着脱可能に固定される。したがって、Ｌ形定規１３０は、磁性材料製のトレイボード１１６の支持面１２０の任意の位置に取付け可能であり、第１定規部１３２がガイドバー１２２の位置決め面１２４に密着させられ、Ｙ軸方向において位置決めされるとともに、Ｘ軸方向に平行な方向においては、位置決め面１２４に沿った任意の位置に取り付けることができる。永久磁石１３６および磁性材料製のトレイボード１１６が固定装置を構成している。なお、トレイボード１１６は全部が磁性材料製であることは不可欠ではなく、支持面１２０の少なくとも一部に沿って磁性部が配設されればよい。磁性部は、支持面１２０の少なくとも一部を構成する状態で設けられてもよく、例えば、非磁性材料製の薄い板材等の支持面構成部材の下に配設されてもよい。磁性部は、支持面１２０のＬ形定規１３０の固定に必要な箇所に磁気吸引力が生じさせられる状態で配設されればよいのである。支持面１２０の一部が磁性部とされる場合、例えば、位置決め面１２４が設けられた部分およびその近傍部分のみが磁性材料製とされる。
【００２６】
図４に示すように、Ｌ形定規１３０の上面ないし表面には、第１定規部１３２と第２定規部１３４とが互いに交差する角部に第１基準マーク１４０が形成され、第２定規部１３４の、第１定規部１３２と交差する角部から隔たった先端部に第２基準マーク１４２が形成されている。これら第１，第２基準マーク１４０，１４２はそれぞれ、本Ｌ形定規１３０においては、平面視形状が正円を成し、例えば、塗装，印刷，シールの貼付等、種々の手段により形成される。
【００２７】
また、第１定規部１３２には、その上面ないし表面に、図４に示すように、３本の直線図形１４６，１４８，１５０が形成され、前記第１基準マーク１４０と共に補助線図形付き基準マーク１５２を構成している。これら直線図形１４６，１４８，１５０はいずれも幅が一定であり、それらのうち、直線図形１４６は、第１基準マーク１４０の中心を通り、第１定規部１３２に平行な一直線上に位置するように形成されている。Ｌ形定規１３０が、第１定規部１３２が位置決め面１２４に密着させられてトレイボード１１６に固定された状態では、上記一直線および直線図形１４６はＸ軸方向に平行となり、位置決め面１２４は、第１基準マーク１４０から延びる一直線に平行に延びることとなり、第１定規部１３２の一直線と直角な方向であるＹ軸方向の位置決めを行う。また、第１定規部１３２に対して直角に延びる第２定規部１３４の先端部に形成された第２基準マーク１４２は、第１基準マーク１４０から、上記一直線に直角な方向に隔たって形成され、Ｌ形定規１３０がトレイボード１１６に取り付けられた状態では、第１基準マーク１４０に対してＹ軸方向に離れた位置に位置することとなる。
【００２８】
直線図形１４８と直線図形１５０とはそれぞれ、図４に示すように、直線図形１４６と直交する方向の両側にそれぞれ形成されるとともに、第１基準マーク１４０に向かうに従って直線図形１４６に接近する向きに傾斜して形成されている。直線図形１４８，１５０の各々の直線図形１４６に対する傾斜角度は同じにされており、直線図形１４６，１４８，１５０の交点は、第１基準マーク１４０の中心を通り、第１定規部１３２に平行な直線上に位置する。直線図形１４８，１４６の、直線図形１４６と直交する方向の間隔および直線図形１５０，１４６の、直線図形１４６と直交する方向の間隔はそれぞれ、第１基準マーク１４０からの距離の一次関数で表され、第１基準マーク１４０からの距離が小さいほど小さくなる。
【００２９】
また、３本の直線図形１４６，１４８，１５０は、第１基準マーク１４０を超えた位置において交差するように形成されるとともに、第１基準マーク１４０には至らず、第１基準マーク１４０から小距離離れた位置で終わっている。したがって、直線図形１４６，１４８，１５０の間隔が狭くなっても、それらが重なって判別が容易ではなくなることが回避される。また、後述するように、第１基準マーク１４０を撮像して、その位置を検出する際、直線図形１４６，１４８，１５０が第１基準マーク１４０と共に撮像されても、両者の像が重なることがないため、画像処理により第１基準マーク１４０の像を容易に取得することができる。
【００３０】
さらに、複数のＬ形定規１３０のうち、例えば、小さい電子回路部品２０を収容するトレイ１１０用のトレイ収容器１１８を位置決めするＬ形定規１３０には、図５に示すように、第１基準マーク１４０に近接して付属マーク１５６が形成されている。この付属マーク１５６は円を１個含み、第２基準マーク１４２の位置も検出すべきことを表す。以後、付属マーク１５６を第２基準マーク位置検出指示マーク１５６と称する。
【００３１】
付属マークには、第２基準マーク位置検出指示マーク１５６の他、例えば、図６に示す付属マーク１５８のように、第１基準マーク１４０に近接して形成された２個の円を含むマークや、図７に示す付属マーク１６０のように、第１基準マーク１４０に近接して形成された３個の円を含むマークがある。付属マーク１５８，１６０はそれぞれ、トレイ１１０の種類、例えば、寸法規格と対応付けられている。以後、付属マーク１５８，１６０を寸法規格表示マーク１５８，１６０と称する。寸法規格表示マーク１５８，１６０が形成されたＬ形定規１３０を用いてトレイ１１０を位置決めする場合、トレイボード１１６により支持されるトレイ１１０の寸法規格を表す寸法規格表示マークが形成されたＬ形定規１３０がトレイボード１１６に取り付けられる。これら付属マークであるマーク１５６，１５８，１６０は、塗装，印刷，シールの貼付等、種々の手段により形成される。
【００３２】
Ｌ形定規１３０は、トレイ１１０のトレイボード１１６へのセットに先立って、作業者によりトレイボード１１６に取り付けられる。作業者は、Ｌ形定規１３０の第１定規部１３２をガイドバー１２２の位置決め面１２４のＸ軸方向における任意の位置に密着させ、Ｌ形定規１３０はＹ軸方向に位置決めされた状態で磁力によりトレイボード１１６に固定される。Ｌ形定規１３０は、第１定規部１３２の位置決め面１２４への密着により、第１定規部１３２がＸ軸方向に平行となり、第２定規部１３４がＹ軸方向に平行となる姿勢に安定して決められ、支持面１２０により安定して支持される。複数のトレイ１１０をＸ軸方向に複数、並べて電子回路部品２０を供給させる場合には、作業者は、複数のＬ形定規１３０の第１定規部１３２を、トレイ１１０の数およびトレイ収容器１１８のＸ軸方向に平行な方向の寸法に応じた間隔を隔てて位置決め面１２４に密着させ、トレイボード１１６に固定させる。トレイボード１１６にセットする電子回路部品２０の種類，Ｘ軸方向における載置順は、予め設定されていて指示されるが、その指示を満たしてトレイ１１０をトレイボード１１６に支持させることができるのであれば、Ｌ形定規１３０のＸ軸方向における位置は問われず、Ｘ軸方向における位置が指示される場合のように、Ｌ形定規１３０を指示された位置に配置するよう注意を払わなくてよく、容易にトレイボード１１６に固定することができる。本装置ではＬ形定規１３０の寸法は１種類であり、トレイ１１０はその大きさに関係なく、同じＬ形定規１３０により位置決めされる。そして、トレイ収容器１１８の互いに直角な２辺をそれぞれ、第１定規部１３２と第２定規部１３４とに密着させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向とにおいてそれぞれ位置決めされた状態でトレイボード１１６上に載置し、下方から支持させる。本実施例においては、Ｌ形定規１３０が位置決め部材、トレイボード１１６が支持板であり、トレイ１１０はトレイ収容器１１８を介してＬ形定規１３０によりＸ軸，Ｙ軸方向に位置決めされる。
【００３３】
トレイ収容器１１８はまた、図２に示すように、拘束部材１６４により拘束される。拘束部材１６４は少なくとも一部に永久磁石を備え、トレイボード１１６の支持面１２０の任意の位置に磁力によって固定される。拘束部材１６４は、Ｌ形定規１３０により位置決めされ、トレイボード１１６により支持されたトレイ収容器１１８の、第１，第２定規部１３２，１３４に密着させられる２辺以外の２辺にそれぞれ当てられ、トレイ１１０を第１，第２定規部１３２，１３４に押し付けてトレイ収容器１１８を拘束し、その支持面１２０に平行な方向の移動を規制する。
【００３４】
なお、ベッド１０に保持されたトレイボード１１６の支持面１２０の高さは、基板保持装置１６に保持された回路基板１２の部品装着面の高さとほぼ等しくされており、マークカメラ７２による回路基板１２の基準マーク６８の撮像も、Ｌ形定規１３０に形成された基準マーク１４０，１４２の撮像も、焦点距離がほぼ一致する状態で行われるようにされている。マークカメラ７２を接近・離間装置たる昇降装置により昇降可能に設け、マーク６８，１４０，１４２に対する焦点が合わされるようにしてもよい。また、マークカメラを焦点距離の調節可能なカメラとしてもよい。
【００３５】
本電子回路部品装着システムは、図８に示す制御装置１７０により制御される。制御装置１７０は、ＣＰＵ１７２，ＲＯＭ１７４，ＲＡＭ１７６およびそれらを接続するバス１７８を含むコンピュータ１８０を主体とするものであり、入出力部１８２には、マーク撮像装置７０等の撮像によって得られた画像データを処理する画像処理コンピュータ１８４およびエンコーダ１８６が接続されている。エンコーダ１８６は、前記Ｘ軸移動用モータ４４等にそれぞれ設けられたエンコーダの１つを代表的に示すものである。入出力インタフェース１８２にはまた、駆動回路１９０を介してＸ軸移動用モータ４４等、種々のアクチュエータ等が接続されている。また、ＲＯＭ１７４には、図９にフローチャートで示す基準マーク位置検出プログラム等、種々のプログラムおよびデータ等が記憶させられている。
【００３６】
電子回路部品２０の回路基板１２への装着時には、装着ヘッド３０は、トレイボード１１６上にＬ形定規１３０によって位置決めされた複数のトレイ１１０のうちの１つの、複数の収容凹部１１２の１つから電子回路部品２０を取り出し、装着ヘッド移動装置３２によって回路基板１２へ移動させられて装着する。そのため、装着ヘッド３０が移動させられる座標面上における複数のトレイ１１０の各位置が取得され、複数の収容凹部１１２の各位置がわかることが必要であり、トレイ収容器１１８を位置決めするＬ形定規１３０の第１基準マーク１４０が撮像され、その位置が取得されることにより、間接的にトレイ１１０の位置が取得される。Ｌ形定規１３０は、ガイドバー１２２の位置決め面１２４によりＹ軸方向において位置決めされ、Ｙ軸方向における位置は設計上、得られるが、Ｘ軸方向においては任意の位置に固定されており、不明であり、第１基準マーク１４０を撮像して、その位置を検出する。基準マーク位置検出プログラムに基づいて、第１，第２基準マーク１４０，１４２の位置の検出および付属マーク１５６，１５８，１６０の検出を説明する。
【００３７】
基準マークの位置検出が指示されれば、基準マーク位置検出プログラムが実行され、ステップ１（以後、Ｓ１と略記する。他のステップについても同じ。）において、マークカメラ７２の移動開始が指令される。それにより、マークカメラ７２が装着ヘッド移動装置３２により、検出開始位置へ移動させられるとともに、Ｘ軸方向へ移動させられる。装着ヘッド移動装置３２は、マークカメラ移動装置でもある。検出開始位置は、Ｙ軸方向においてはＬ形定規１３０の第１定規部１３２の３本の直線図形１４６，１４８，１５０の全部を１度に撮像することができる位置であり、Ｘ軸方向においては、直線図形１４６，１４８，１５０の第１基準マーク１４０から離れる方向においてトレイボード１１６から外れた位置である。
【００３８】
Ｌ形定規１３０のＹ軸方向の位置は、一般的には不明であり、トレイボード１１６の撮像，画像処理および直線図形１４６，１４８，１５０の有無の判定を繰り返しつつ、マークカメラ７２をＹ軸方向へ移動させ、検出開始位置へ移動させることが必要であるが、ここではトレイボード１１６に位置決め面１２４が設けられ、Ｌ形定規１３０は位置決め面１２４に密着させられることによりＹ軸方向の位置が決められるため、設計上、位置決め面１２４のＹ軸方向の位置、すなわちＬ形定規１３０のＹ軸方向の位置が得られ、撮像，画像処理および判定を繰り返し行うことなく、マークカメラ７２を検出開始位置へ移動させることができる。検出開始位置のＸ軸方向の位置は、トレイボード１１６の寸法およびベッド１０における位置から設計上、得られる。
【００３９】
次いでＳ２が実行され、マークカメラ７２による撮像が行われる。この撮像はマークカメラ７２の移動を停止することなく行われ、マークカメラ７２は低速で移動させられる。Ｓ２においてはまた、Ｘ軸移動用モータ４４のエンコーダの出力値が読み込まれ、マークカメラ７２による撮像が行われた撮像位置Ｐ１がＲＡＭ１７６に記憶させられる。エンコーダの出力値に基づいて、マークカメラ７２の移動座標面内における位置が求められ、記憶される。撮像により得られた画像データは、画像処理コンピュータ１８４により処理され、それにより得られた画像処理データがＳ３においてコンピュータ１８０に読み込まれる。
【００４０】
そして、Ｓ４が実行され、画像処理データに基づいて直線図形１４６，１４８，１５０が撮像されたか否かの判定が行われる。直線図形１４６，１４８，１５０が撮像されていなければ、Ｓ４の判定結果はＮＯになり、基準マークの位置検出が終了であるか否かの判定が行われる。検出は、例えば、直線図形１４６，１４８，１５０が検出されない状態が第１設定距離以上続いたこと、あるいはマークカメラ７２の検出開始位置からのＸ軸方向における移動距離が第２設定距離以上に達したことを条件として終了される。第１設定距離は、トレイボード１１６上に複数のトレイ１１０がＸ軸方向に平行に並べて載置される場合に想定される隣接するＬ形定規１３０の間隔より大きい距離とされ、第２設定距離は、トレイボード１１６のＸ軸方向に平行な方向の寸法よりやや大きい距離とされる。
【００４１】
直線図形１４６，１４８，１５０が検出されない状態でのマークカメラ７２の移動距離は、例えば、Ｓ４の判定結果がＹＥＳの状態からＮＯになった後にＳ２〜Ｓ６が実行される回数，Ｓ２〜Ｓ６の１回の実行に要する時間およびマークカメラ７２の移動速度に基づいて得られ、あるいはＳ４の判定結果がＹＥＳからＮＯになった直後にＳ５が実行される際のＸ軸移動用モータ４４のエンコーダの出力値と、その後、Ｓ５が実行される際のＸ軸移動用モータ４４のエンコーダの出力値とに基づいて得られる。また、マークカメラ７２の検出開始位置からのＸ軸方向における移動距離は、本プログラムの開始時とＳ６の実行時とにおけるＸ軸移動用モータ４４のエンコーダの値に基づいて得られる。移動距離の取得態様に応じて、適宜のステップにおいてエンコーダの値が読み込まれ、記憶させられる。
【００４２】
直線図形１４６，１４８，１５０が検出されない状態での移動距離が第１設定距離より小さく、マークカメラ７２の検出開始位置からのＸ軸方向における移動距離が第２設定距離より小さい状態では、Ｓ５，Ｓ６の判定結果がいずれもＮＯになってルーチンの実行はＳ２に戻る。また、いずれかの移動距離が設定距離以上になれば、それ以上、Ｌ形定規１３０はなく、検出すべき第１基準マーク１４０はないとしてよく、Ｓ５あるいはＳ６の判定結果がＹＥＳになって基準マークの位置検出が終了する。
【００４３】
撮像は、マークカメラ７２を停止させることなく、移動しながら行われるため、Ｓ５およびＳ６の判定結果がいずれもＮＯになって次にＳ２が行われるとき、前回のＳ２の実行時における撮像位置より第１基準マーク１４０に近い位置において撮像が行われる。撮像，画像データの処理，直線図形１４６，１４８，１５０の有無の判定等が繰り返し実行されるうちに直線図形１４６，１４８，１５０が検出されれば、Ｓ４の判定結果がＹＥＳになってＳ７が実行され、直線図形１４６，１４８および直線図形１４８，１５０のそれぞれ、第１基準マーク１４０から延びる一直線と直交する方向であって、直線図形１４６と直交する方向の間隔Ｗ１，Ｗ１´（図４参照）が算出されるとともに、この間隔に基づいて第１基準マーク１４０までの距離Ｌが算出され、第１基準マーク１４０の位置が推定される。直線図形１４６，１４８，１５０は幅の狭い長方形状を成し、本装置においては、直線図形１４６，１４８，１５０の間隔は、各直線図形１４６，１４８，１５０の中心線同士の間隔として取得される。この中心線が補助線であり、直線である。また、直線図形１４６，１４８，１５０の撮像された部分のうち、マークカメラ７２の撮像面の撮像中心を通り、水平線（Ｘ軸方向に平行な線）と直交する直線であって、Ｙ軸方向に平行な直線上に形成された直線図形１４６，１４８，１５０の像に基づいて間隔が取得される。
【００４４】
そして、間隔Ｗ１，Ｗ１´の平均値ＷＡ１が求められ、図４に示すように、その平均値ＷＡ１と、直線図形１４８，１５０の直線図形１４６に対する傾斜角度θと、直線図形１４６，１４８，１５０が交差する点と第１基準マーク１４０の中心との距離Ｍとに基づいて、撮像位置Ｐ１から第１基準マーク１４０の中心までの距離Ｌが演算される。傾斜角度θおよび距離ＭはＬ形定規１３０の設計上、予め取得され、コンピュータ１８０のＲＡＭ１７６に記憶させられている。直線図形１４６，１４８，１５０がＸ軸方向において撮像中心から外れた位置において撮像されているのであれば、直線図形１４６，１４８，１５０の像のうち、撮像中心に最も近い部分の像に基づいて間隔Ｗ１，Ｗ１´が求められるとともに、その間隔Ｗ１，Ｗ１´が求められた位置と撮像中心とのＸ軸方向における位置のずれが求められ、この位置ずれを考慮して撮像位置Ｐ１から第１基準マーク１４０の中心までの距離Ｌが演算される。
【００４５】
距離Ｌが算出されたならば、Ｓ８が実行され、Ｘ軸移動用モータ４４のエンコーダの値が読み込まれ、マークカメラ７２の現位置Ｐ２が取得されるとともに、その位置Ｐ２と、Ｓ７において算出された距離Ｌおよび直線図形１４６，１４８，１５０が検出された撮像時のマークカメラ７２の位置Ｐ１とに基づいて、現位置たる基準マーク位置推定実行位置Ｐ２から第１基準マーク１４０までの距離{Ｌ−（Ｐ２−Ｐ１）}が演算される。撮像，画像処理，間隔の取得および現位置から第１基準マーク１４０までの距離の推定は、マークカメラ７２の移動を停止させることなく、移動中に行われるため、画像データが処理され、間隔が取得されたときには、マークカメラ７２は、直線図形１４６，１４８，１５０が検出された撮像時の位置より第１基準マーク１４０側へ移動している。そのため、撮像により得られた直線図形１４６，１４８，１５０の間隔に基づいて得られた距離Ｌから、撮像時から距離推定時までの相対移動距離を引くことにより、現にマークカメラ７２が位置する位置から第１基準マーク１４０までの距離が求められる。そして、Ｓ９が実行され、Ｓ８において演算された距離、マークカメラ７２がＸ軸方向に移動させられる。この移動時には、マークカメラ７２は撮像を行わず、第１基準マーク１４０上へ高速で一挙に移動させられるとともに、予め設定されている減速パターンで減速して停止させられる。現位置から第１基準マーク１４０までの距離が得られることにより、第１基準マーク１４０の近傍においてマークカメラ７２の移動速度を適切に減速させることができる。移動後、Ｓ１０が実行されてマークカメラ７２が移動を停止させられた後、Ｓ１１が実行され、第１基準マーク１４０を撮像する。そして、Ｓ１２が実行され、画像処理データの読込みおよびそれに基づく第１基準マーク１４０のＸ軸，Ｙ軸の各方向における位置の算出が行われる。第１基準マーク１４０の位置は、ＲＡＭ１７６に記憶させられる。直線図形１４６，１４８，１５０が検出されるまでの間は、マークカメラ７２が低速で移動させられるが、検出後は、高速で移動させることができ、第１基準マーク１４０の位置推定後、マークカメラ７２は高速で移動させられ、第１基準マーク１４０に迅速に到達する。直線図形１４６，１４８，１５０の検出後、マークカメラ７２の移動速度を直ちに高くしてもよい。
【００４６】
次いでＳ１３が実行され、付属マークが設けられているか否かが判定される。付属マークは第１基準マーク１４０に近接して設けられ、第１基準マーク１４０と同時に撮像され、Ｓ１３では、第１基準マーク１４０に近接して、付属マークを構成する少なくとも１つの円があるか否かが判定される。トレイボード１１６上に、図２に示すように、トレイ１１０が支持されているとすれば、マークカメラ７２の移動方向（図２において矢印で示す方向）において最も上流側に載置されたトレイ１１０を位置決めするＬ形定規１３０の第１基準マーク１４０に近接して第２基準マーク位置検出指示マーク１５６が設けられており、Ｓ１３の判定結果がＹＥＳになってＳ１４が実行され、付属マークが第２基準マーク位置検出指示マークであるか否かが判定されるが、この判定結果もＹＥＳになってＳ１５が実行され、マークカメラ７２が第２基準マーク１４２へ移動させられる。第２基準マーク１４２は第１基準マーク１４０に対してＹ軸方向に離れた位置に設けられており、それらマーク１４０，１４２の第２定規部１３４に平行な方向に隔たった距離はＬ形定規１３０の設計上、わかっており、マークカメラ７２は第１基準マーク１４０の撮像位置から第２基準マーク１４２の撮像位置へ高速で一挙に移動させられるとともに、予め設定されている減速パターンで減速して停止させられる。
【００４７】
移動後、Ｓ１６が実行されてマークカメラ７２が停止させられた後、Ｓ１７が実行され、第２基準マーク１４２が撮像される。そして、Ｓ１８が実行され、画像処理データが読み込まれるとともに、それに基づいて第２基準マーク１４２の中心のＸ軸，Ｙ軸方向における位置が算出され、第１基準マーク１４０の位置と対応付けて記憶させられる。電子回路部品２０が大きい場合には、Ｌ形定規１３０が傾むいて取り付けられ、トレイ１１０が傾いていて、収容凹部１１２の第１基準マーク１４０の位置のみに基づいて得られる位置と、実際の位置とにずれがあっても、吸着ノズル５８は電子回路部品２０を吸着することができるため、第２基準マーク１４２の位置検出は不可欠ではなく、第２基準マーク位置検出指示マークは不可欠ではない。それに対し、トレイ１１０に収容される電子回路部品２０が小さい場合には、収容凹部１２２の第１基準マーク１４０の位置のみに基づいて得られる位置と実際の位置とにずれがあれば、吸着ノズル５８が電子回路部品２０から外れて吸着ミスが生じ易い。そのため、小さい電子回路部品２０が収容されるトレイ１１０を位置決めするＬ形定規１３０に第２基準マーク位置検出指示マーク１５６が設けられ、第１基準マーク１４０に加えて第２基準マーク１４２の位置が検出されることにより、Ｌ形定規１３０の傾きが取得され、収容凹部１１２の位置が精度良く求められ、吸着ミスの発生が防止される。
【００４８】
第２基準マーク１４２の位置算出後、Ｓ１９が実行され、マークカメラ７２が第１基準マーク１４０の位置を検出する経路へ復帰させられる。この経路は、Ｙ軸方向において直線図形１４６，１４８，１５０の全部を同時に撮像し得る位置にあり、Ｘ軸方向に延びる経路であり、復帰後、Ｓ２０が実行され、マークカメラ７２がＸ軸方向への移動を開始させられてルーチンの実行はＳ２に戻る。この際、マークカメラ７２は低速で移動させられ、撮像を行ない、直線図形１４６，１４８，１５０が検出されれば、第１基準マーク１４０の位置の推定，撮像，位置検出等が行われる。
【００４９】
第１基準マーク１４０に近接して付属マークが設けられていなければ、Ｓ１３の判定結果がＮＯになってＳ２０が実行される。寸法規格表示マーク１５８，１６０が設けられたＬ形定規１３０によりトレイ１１０が位置決めされているのであれば、第１基準マーク１４０に近接して付属マークが設けられているが、第２基準マーク位置検出指示マーク１５６ではないため、Ｓ１４の判定結果がＮＯになってＳ２１が実行され、マーク１５８あるいは１６０が表すトレイ１１０の寸法規格がＬ形定規１３０と対応付けて、例えば、第１基準マーク１４０の位置と対応付けてＲＡＭ１７６に記憶させられる。マーク１５８，１６０の形状と、それが表すトレイ１１０の寸法規格とを対応付けるデータは、ＲＡＭ１７６に記憶させられている。
【００５０】
寸法規格表示マーク１５８，１６０が設けられたＬ形定規１３０によりトレイ１１０を位置決めすれば、トレイ１１０の寸法規格がわかる。したがって、寸法規格表示マーク１５８，１６０が設けられたＬ形定規１３０は、例えば、トレイボード１１６にセットする電子回路部品２０の種類，Ｘ軸方向における載置順は指示されるが、寸法規格が指示されない場合にトレイ１１０を位置決めするのに適している。第１基準マーク１４０および寸法規格表示マーク１５８，１６０の撮像により、トレイ１１０の位置と寸法規格とを対応付けたデータが得られ、例えば、電子回路部品２０を回路基板１２に装着するためのデータ作成の参考にすることができるからである。
【００５１】
そして、トレイボード１１６上に載置された全部のＬ形定規１３０について第１基準マーク１４０の位置が検出されれば、Ｓ５あるいはＳ６の判定結果がＹＥＳになってルーチンの実行は終了する。このように取得された第１基準マーク１４０の位置に基づいて（第２基準マーク１４２の位置が取得された場合にはその位置にも基づいて）トレイ１１０の位置が得られるとともに、トレイ１１０および収容凹部１１２の各形状，寸法等に基づいて収容凹部１１２の位置が得られ、装着ヘッド３０を収容凹部１１２へ移動させ、吸着ノズル５８に電子回路部品２０を吸着させることができる。
【００５２】
以上の説明から明らかなように、本実施例においては、制御装置１７０のＳ１，Ｓ１９を実行する部分が位置決め部を構成し、Ｓ２を実行する部分が補助線撮像制御部を構成し、Ｓ７の直線図形の間隔を算出する部分と共に間隔取得部を構成している。また、制御装置１７０のＳ２の撮像位置Ｐ１を記憶する部分が撮像位置記憶部を構成し、Ｓ８の撮像位置Ｐ２を取得する部分が相対移動距離取得部を構成し、Ｓ８の現位置Ｐ２から第１基準マーク１４０までの距離を推定する部分と共に移動中距離推定部を構成し、マーク位置推定部たる単数間隔依拠推定部を構成している。Ｓ８の距離を推定する部分は、移動中位置推定部でもある。さらに、制御装置１７０のＳ９〜Ｓ１１を実行する部分が基準マーク撮像制御部を構成し、Ｓ１２を実行する部分と共にマーク位置取得部を構成し、これらマーク位置取得部等が制御装置を構成している。さらに、制御装置１７０のマーク撮像装置７０の移動速度を制御する部分およびＸ軸移動用モータ４４のエンコーダの出力値を取得し、それに基づいてマーク撮像装置７０の移動を制御する部分が装着ヘッド移動装置３２と共に移動装置を構成している。
【００５３】
第１基準マークの位置の検出の別の態様を説明する。
本態様においては、３本の直線図形１４６，１４８，１５０が、Ｘ軸方向に平行な方向において互いに隔たった２つの撮像位置においてそれぞれ撮像され、各撮像位置における直線図形１４８，１５０，１５２の間隔が取得されるとともに、それら２つの撮像位置の各位置情報に基づいて、Ｘ軸方向に平行な方向における第１基準マーク１４０の位置の座標値が推定される。図１０にフローチャートで示す基準マーク位置検出プログラムに基づいて第１基準マーク１４０の位置の検出を説明する。
【００５４】
本プログラムのＳ３１〜Ｓ３６は前記基準マーク位置検出プログラムのＳ１〜Ｓ６と同様に実行される。但し、Ｓ３２では、マークカメラ７２による撮像のみが行われ、撮像位置の記憶は行われない。マークカメラ７２がＸ軸方向に低速で移動させられつつ撮像を行い、直線図形１４６，１４８，１５０が撮像されれば、Ｓ３７が実行され、マークカメラ７２が停止させられる。そして、Ｓ３８が実行され、マークカメラ７２による撮像が行われるとともに、Ｘ軸移動用モータ４４のエンコーダの出力値が読み込まれ、撮像位置Ｐ１が記憶させられる。
【００５５】
次いでＳ３９が実行され、画像処理データが読み込まれ、図１１に示すように、直線図形１４６，１４８，１５０の間隔Ｗ１，Ｗ１´が算出されるとともに、その平均値ＷＡ１が算出される。この間隔Ｗ１，Ｗ１´は、前記Ｓ７における間隔算出と同様に行われ、直線図形１４６，１４８，１５０の撮像された部分のうち、マークカメラ７２の撮像面の撮像中心を通り、水平線（Ｘ軸方向に平行な線）と直交する直線上に形成された直線図形１４６，１４８，１５０の像に基づいて間隔が取得される。また、直線図形１４６，１４８，１５０がＸ軸方向において撮像中心から外れた位置において撮像されているのであれば、直線図形１４６，１４８，１５０の像のうち、撮像中心に最も近い部分の像に基づいて間隔Ｗ１，Ｗ１´が求められるとともに、その間隔Ｗ１，Ｗ１´が求められた位置と撮像中心とのＸ軸方向における位置のずれが求められ、この位置ずれを考慮して第１基準マーク１４０の位置の推定が行われる。そして、Ｓ４０が実行され、マークカメラ７２が移動を再開させられ、Ｓ４１においてマークカメラ７２が設定距離移動したか否かの判定が行われる。第１基準マーク１４０の位置を推定するための２つめの間隔を取得するための撮像位置に到達したか否かが判定されるのである。設定距離は、第２撮像位置が第１撮像位置より第１基準マーク１４０側に位置するとともに、第１基準マーク１４０には到達しない位置となる距離に設定されている。この場合、直線図形１４６，１４８，１５０は既に検出され、マークカメラ７２の移動先がわかっており、マークカメラ７２は高速で移動させられる。
【００５６】
マークカメラ７２が第１撮像位置から設定距離移動させられ、第２撮像位置に到達すれば、Ｓ４１の判定結果がＹＥＳになってＳ４２が実行され、マークカメラ７２が停止させられた後、Ｓ４３が実行され、撮像が行われるとともに、その撮像位置である第２撮像位置Ｐ２が記憶させられる。そして、Ｓ４４が実行されて画像処理データが読み込まれ、図１１に示すように、第２撮像位置Ｐ２における直線図形１４６，１４８，１５０の間隔Ｗ２，Ｗ２´が取得されるとともに、その平均値ＷＡ２が算出される。次いでＳ４５が実行され、第１基準マーク１４０の位置ＰＭが座標値により推定される。例えば、間隔ＷＡ１，ＷＡ２，撮像位置Ｐ１，Ｐ２および第１基準マーク１４０の中心における直線図形１４６，１８４，１５０の間隔Ｗ０，Ｗ０´の平均値ＷＡ０に基づいて演算が行われ、第１基準マーク１４０のＸ軸方向における位置を表す座標値ＰＭが求められる。間隔ＷＡ０はＬ形定規１３０の設計上、取得され、記憶させられている。なお、直線図形１４６，１４８，１５０のＸ軸方向において撮像中心から外れた状態での撮像に基づいて間隔ＷＡ１が求められた場合、例えば、その間隔がＷＡ１である位置と撮像中心との位置ずれおよび撮像位置Ｐ１に基づいて、間隔がＷＡ１であるＸ軸方向の位置が求められ、その位置が撮像位置Ｐ１に代えて用いられ、基準マーク１４０の座標値ＰＭが求められる。そして、Ｓ４６が実行され、マークカメラ７２がＸ軸方向へ演算された座標値ＰＭで表される位置へ高速で移動させられ、移動後、停止させられて第１基準マーク１４０を撮像する。Ｓ４７〜Ｓ５８は、前記プログラムのＳ１０〜Ｓ２１と同様に実行されるため、説明は省略する。
【００５７】
本装置においては、制御装置１７０のＳ３９，Ｓ４４を実行する部分が複数間隔取得部を構成し、Ｓ４５を実行する部分が複数間隔依拠推定部，座標値推定部ないし移動中位置推定部を構成している。
【００５８】
補助線図形は、基準マークから延びる一直線と直交する方向の寸法である幅が基準マークからの距離の関数で表される幅徐変図形としてもよい。例えば、図１２に示す幅徐変図形２００は、直角三角形とされている。この幅徐変図形２００の場合、直角を挟む２辺のうち、長辺が、基準マーク２０２の中心から延びる一直線上に位置するように形成され、幅徐変図形２００の両縁である長辺と斜辺とがそれぞれ補助線を構成し、それらの間の寸法であり、幅徐変図形２００の、上記一直線と直交する方向の寸法である幅が基準マーク２０２からの距離の一次関数で表されることとなる。基準マーク２０２は、幅徐変図形２００の先端から設定距離離れた位置に形成される。幅徐変図形は、直角三角形の斜辺と長辺とが交差する角部が切り欠かれた形状を有するものとしてもよい。基準マーク２０２の位置は、幅徐変図形２００の撮像，斜辺と長辺との間の間隔の取得に基づいて、例えば、図１〜図９に基づいて説明した例あるいは図１０および図１１に基づいて説明した例と同様に距離あるいは座標値により推定される。
【００５９】
幅徐変図形は、図１３に示す幅徐変図形２１０のように、二等辺三角形としてもよい。この場合、幅徐変図形２１０は、二等辺三角形の２つの等辺の交点を通り、底辺に対して直角な直線が、基準マーク２１２の中心から延びる一直線上に位置するように設けられ、その両縁である２つの等辺が補助線を構成し、それらの間の寸法であり、上記一直線と直交する方向の寸法である幅が基準マーク２１２からの距離の一次関数で表される。幅徐変図形２１０の撮像，それによる２本の補助線間の間隔の取得に基づいて基準マーク２１２の位置が推定される。
【００６０】
定規は、図１４に示すように、Ｔ形定規２２０としてもよい。Ｔ形定規２２０は、第１定規部２２２と、第１定規部２２２の長手方向の中間部から直角に延び出させられた第２定規部２２４とを含み、第１定規部２２２と第２定規部２２４とが互いに交差する部分に基準マーク２２６が形成されている。また、第１定規部２２２の基準マーク２２６の両側にそれぞれ、例えば、前記Ｌ形定規１３０に形成された直線図形１４６，１４８，１５０と同様の補助線図形たる直線図形２３０，２３２，２３４が形成されている。図示は省略するが、第１，第２定規部２２２，２２４の裏面には、永久磁石が埋設されている。
【００６１】
本Ｔ形定規２２０は、第１定規部２２２がガイドバー１２２の位置決め面１２４のＸ軸方向において任意の位置に密着させられ、磁力によりトレイボードに固定され、２つのトレイ１１０を同時に位置決めすることができる。基準マーク２２６の位置検出時には、マークカメラが、Ｙ軸方向において直線図形２３０，２３２，２３４を同時に撮像することができる位置へ移動させられた状態でＸ軸方向に移動させられるのであるが、直線図形２３０，２３２，２３４が基準マーク２２６の両側に形成されているため、マークカメラを、Ｘ軸方向において正逆いずれの方向に移動させても、直線図形２３０，２３２，２３４を撮像させ、それらの間隔を取得して基準マーク２２６の位置を推定し、マークカメラを基準マーク２２６へ移動させて撮像を行わせることができる。撮像に基づいて検出された基準マーク２２６の位置は、２つのトレイ１１０からの電子回路部品の取出しにそれぞれ使用される。
【００６２】
Ｔ形定規２２０によれば、２つのトレイ１１０を位置決めすることができるため、２つのトレイ１１０について定規が１つで済み、また、隣接する２つのトレイ１１０の位置決め間隔を短くし、トレイボード上にＸ軸方向に並べることができるトレイ１１０の数を増やすことが可能である。Ｔ形定規２２０はＬ形定規１３０と混用してもよく、Ｔ形定規２２０のみをトレイ１１０の位置決めに使用してもよい。また、第２定規部２２４の第１定規部２２２からの延出し端部に第２基準マークを設けるとともに、第１基準マークとしての基準マーク２２６に近接して第２基準マーク位置検出指示マークを設けてもよい。基準マーク２２６に近接して種類表示マーク等、別の付属マークを設けてもよい。
【００６３】
なお、Ｔ形定規２２０において直線図形２３０，２３２，２３４は、基準マーク２２６の一方の側のみに形成してもよい。
【００６４】
補助線図形は、各々基準マークから延びる一直線と直交する複数本の直線図形を含んでもよい。例えば、図１５に示す補助線図形付き基準マーク３００は、基準マーク３０２と、基準マーク３０２から延びる一直線と直交する複数本の直線図形３０４とを含み、それら直線図形３０４はそれぞれ、幅が一定の細長い矩形を成し、上記一直線に平行な方向において等間隔であって、基準マーク３０２から延びる一直線に平行な方向のいずれの位置において補助線図形付き基準マーク３００の撮像が行われても、複数本、例えば、少なくとも４本の直線図形３０４が撮像視野内に含まれ、マークカメラによって同時に撮像される間隔を隔てた本数、設けられている。これら直線図形３０４はそれぞれ、基準マーク３０２からの距離の一次関数で表される長さを有するとともに、基準マーク３０２から離れるほど長さが長くされている。また、複数本の直線図形３０４はそれぞれ、上記一直線に対して対称に設けられている。複数本の直線図形３０４の各々の２つの短辺の各々の中点を結ぶ各線は直線を成し、これら２本の直線３０６，３０８が補助線であり、基準マーク３０２から延びる一直線に対して同じ角度傾斜させられている。２本の補助線はそれぞれ、基準マーク３０２から延びる一直線に沿って点在する複数の点の集合によって規定される。
【００６５】
本補助線図形付き基準マーク３００の基準マーク３０２の位置は、直線図形３０４の撮像に基づいて推定される。マークカメラは撮像，画像処理および判定を繰り返しつつ、基準マーク３０２から延びる一直線に平行な方向に移動させられ、やがて直線図形３０４が検出されるが、図１５に示すように、複数本の直線図形３０４が撮像中心の両側に位置する状態で撮像され、少なくとも４本の直線図形３０４が同時に撮像される状態になれば、それら直線図形３０４の画像に基づいて直線３０６，３０８をそれぞれ規定する式が求められる。これら式は、例えば、複数本の直線図形３０４の各々の２つの短辺の各中点の座標に基づいて最小自乗法により求められる。そして、撮像中心を通り、基準マーク３０２から延びる一直線と直交する直線と、直線３０６，３０８との交点が求められ、それら交点間の間隔が２本の補助線の間隔として取得される。例えば、取得された間隔と、撮像時および間隔取得時におけるマークカメラの各位置とに基づいて、基準マーク３０２の位置が、例えば、距離で推定される。
補助線図形付き基準マーク３００全体が撮像中心から外れ、基準マーク３０２から最も離れた直線図形３０４が撮像中心に対して基準マーク３０２側へ外れた状態で撮像された場合でも、直線図形３０４が複数、撮像されていれば、上記のように複数の直線図形３０４の各２つの短辺の各々の中点の座標に基づいて２本の補助線を規定する式を求め、撮像中心における２本の補助線の間隔を取得してもよい。
【００６６】
補助線図形が、基準マークから延びる一直線と直交する複数の直線図形を含む場合、基準マークの位置は、２本の補助線の間隔と、直線図形と撮像中心との位置ずれとに基づいて推定してもよい。例えば、図１６に示す補助線図形付き基準マーク３３０のように、複数の直線図形３３２の間隔が広く、マークカメラにより直線図形３３２が１本のみ撮像されることが多い場合、その長さが求められるとともに、直線図形３３２と撮像中心との、基準マーク３３８から延びる一直線に平行な方向の位置ずれΔｘが求められる。この直線図形３３２の長さは、複数の直線図形３３２により規定される２本の補助線３３４，３３６の間隔であり、例えば、直線図形３３２の長さ，位置ずれΔｘ，直線図形３３２の撮像時および長さ取得時におけるマークカメラの各位置に基づいて基準マーク３３８の位置が、例えば、距離で推定される。
直線図形３３２が１本のみ撮像される場合、例えば、２本の補助線の各勾配が予め記憶させられているのであれば、それら勾配と、例えば、直線図形３３２の２つの短辺の各々の中点の座標とに基づいて２本の補助線をそれぞれ規定する式を求め、撮像中心における２本の補助線の間隔を取得してもよい。
補助線図形付き基準マーク３００のように、複数本の直線図形３０４が同時に撮像される場合でも、１本の直線図形３０４の長さおよびその直線図形３０４の像と撮像中心との位置ずれを用いて基準マーク３０２の位置が推定されてもよい。この１本の直線図形３０４は、補助線図形付き基準マーク３００全体が撮像中心から外れた状態で撮像された場合において、基準マーク３０２から最も離れた直線図形３０４でもよく、直線図形３０４が撮像中心の両側に位置する状態で撮像された複数本の直線図形３０４の１つでもよい。あるいは２本の補助線の勾配を予め記憶させておき、それら勾配と、１本の直線図形３０４の２つの短辺の各々の中点の座標とに基づいて２本の補助線をそれぞれ規定する式を求め、撮像中心における２本の補助線の間隔を求めてもよい。
補助図形付き基準マーク３００，３３０のいずれについても、２本の補助線の間隔を２つ取得して基準マーク３０２，３３８の位置を推定してもよい。
【００６７】
補助線図形付き基準マークは、対象物を位置決めする部材に限らず、例えば、ＸＹテーブルのように、対象物を任意の位置へ移動させる装置の可動部材に形成してもよい。ＸＹテーブルは、例えば、作業システムの一種である対回路基板作業システムたる電子回路部品装着システムにおいて、基板保持装置を、回路基板の部品装着面に平行な一平面、例えば、水平面内において直交する２方向であるＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる装置とされ、図１７に示すように、ベッド２５０上にＸ軸方向に移動可能に設けられたＸ軸テーブル２５２と、Ｘ軸テーブル２５２をＸ軸方向の任意の位置へ移動させるＸ軸テーブル移動装置（図示省略）と、Ｘ軸テーブル２５２上にＹ軸方向に移動可能に設けられたＹ軸テーブル２５４と、Ｙ軸テーブル２５４をＹ軸方向の任意の位置へ移動させるＹ軸テーブル移動装置（図示省略）とを含み、Ｙ軸テーブル２５４上に基板保持装置２５６が設けられる。これらＸ軸テーブル移動装置およびＹ軸テーブル移動装置がそれぞれ、サーボモータを駆動源とし、その回転角がインクリメンタルエンコーダにより検出される場合がある。
【００６８】
ＸＹテーブルは、基板保持装置２５６を移動させ、基板保持装置２５６に保持された回路基板を、その部品装着箇所が部品装着位置に位置する位置へ移動させ、その位置において装着ヘッドにより電子回路部品が装着される。Ｙ軸テーブル２５４のうち、電子回路部品の装着が予定された複数種類の回路基板のうち、最大の回路基板が占める範囲が使用有効範囲である。このＹ軸テーブル２５４に補助線図形付き基準マーク２６０が形成されている。補助線図形付き基準マーク２６０は、図１８に示すように、基準マーク２６２と、複数、例えば、５本の直線図形２６４，２６６，２６８，２７０，２７２とを含み、Ｙ軸テーブル２５４の使用有効領域からＹ軸方向に外れた部分に形成されている。
【００６９】
図１８に示すように、直線図形２６４〜２７２のうち、直線図形２６４は、Ｘ軸方向に平行に、かつ、基準マーク２６２の中心から延びる一直線上に形成され、他の４本の直線図形２６６〜２７２は直線図形２６４に対して傾斜させられるとともに、直線図形２６４〜２７２の基準マーク２６２側の端は一致させられている。４本の直線図形２６６〜２７２はそれぞれ、Ｙ軸方向の成分の長さは同じであるが、Ｘ軸方向の成分の長さは異ならされ、短い直線図形ほど直線図形２６４に対する傾斜角度が大きくされている。また、基準マーク２６２は、直線図形２６４〜２７２の交点から離れるとともに、使用有効領域からＸ軸方向に外れた位置に形成されている。
【００７０】
補助線図形付き基準マーク２６０は、マーク撮像装置２８０のマークカメラ２８２により撮像される。マークカメラ２８２は位置を固定してＸＹテーブルの上方に設けられており、基板保持装置２５６がＸＹテーブルによって移動させられることにより、基板保持装置２５６によって保持された回路基板の部品装着面の任意の箇所がマークカメラ２８２と対向する撮像位置へ移動させられ、撮像される。そのため、ＸＹテーブルは、基板保持装置２５６を、回路基板の部品装着面上の任意の位置を、部品装着位置と撮像位置とに移動させることができるように構成されている。
【００７１】
Ｘ軸テーブル２５２およびＹ軸テーブル２５４の各位置は、エンコーダの検出値に基づいて得られるが、エンコーダがインクリメンタルエンコーダとされているため、電源がＯＦＦにされた後、次に電源が投入されたとき、インクリメンタルエンコーダの出力値と、Ｘ軸テーブル２５２およびＹ軸テーブル２５４の各位置とが対応しなくなり、基板保持装置２５６の位置がわからなくなる。
【００７２】
そのため、マークカメラ２８２に補助線図形付き基準マーク２６０を撮像させ、基準マーク２６２の位置を取得することにより、Ｙ軸テーブル２５４の位置が取得される。撮像開始時にはＹ軸テーブル２５４の位置がＸ軸方向においてもＹ軸方向においても不明であり、そのため、まず、Ｙ軸テーブル２５４が作業者の手によって、図１７において基準マーク２６２が確実にマークカメラ２８２の真下の位置から右側へやや外れた状態となる位置へ移動させられる。すなわち、Ｙ軸テーブル２５４がサーボモータにより、図１７において上方あるいは下降へ移動させられれば、直線図形２６４〜２７２が確実にマークカメラ２８２により撮像されることとなる位置へ移動させられるのである。
【００７３】
上記撮像開始位置からＹ軸テーブル２５４がＹ軸方向に移動させられる。この移動中、マークカメラ２８２は低速で移動させられつつ撮像を行い、画像処理データに基づいて直線図形の有無の判定が行われる。撮像開始時には、直線図形２６４〜２７２が図１７においてマークカメラ２８２の真下の位置の上方にあるか下方にあるか（Ｙ軸方向において正方向にあるか逆方向にあるか）が不明であるため、例えば、予め設定された方向に設定距離移動させられる。この移動の間に直線図形２６４〜２７２が検出されなければ、Ｙ軸テーブル２５４がＹ軸方向において逆方向へ上記設定距離の２倍の距離移動させられる。この移動の間にもマークカメラ２８２による撮像が行われる。上記設定距離は、前記作業者の手によりＹ軸テーブル２５４が移動させられた位置が相当不適切であっても、上記正逆両方向の移動の間には必ずマークカメラ２８２により直線図形２６４〜２７２が検出されることとなる大きさに設定されているため、いずれかの移動中に必ず直線図形２６４〜２７２が検出される。
【００７４】
直線図形が撮像されれば、停止させられる。但し、直線図形はＹ軸方向において複数あり、補助線図形付き基準マーク２６０のマークカメラ２８２と対向する部分においてＹ軸方向に位置する全部の直線図形が撮像されることを保証するために、直線図形が撮像された後、再び撮像されなくなるまでＹ軸テーブル２５４のＹ軸方向における移動および撮像が行われる。撮像位置は、Ｙ軸テーブル移動用のサーボモータに設けられたエンコーダの出力値により記憶される。そして、複数、取得された画像のうち、直線図形の数が最も多く、かつ、撮像中心に近い位置において得られた画像に基づいて、直線図形２６４と、基準マーク２６２から延びる一直線と直交する方向において最も離れた直線図形との間隔が算出されるとともに、その画像が得られた撮像位置へＹ軸テーブル２５４が戻される。
【００７５】
一旦、直線図形が検出されたならば、その後は、図１８に示すように、Ｙ軸テーブル２５４はＸ軸方向へ設定距離ａ、移動させられては停止させられ、マークカメラ２８２により直線図形が撮像される。設定距離ａは、直線図形２６４〜２７２の各々のＸ軸方向における長さの差に等しい距離とされている。そのため、Ｙ軸テーブル２５４のＸ軸方向への設定距離ａの移動後、撮像が行われる際には、前回の撮像時より１本多く直線図形が撮像され、直線図形２６４と、それからＹ軸方向において最も離れた直線図形であって、直線図形２６４に対する傾斜角度が最も大きい直線図形との間の間隔が算出される。Ｙ軸テーブル２５４は、設定距離ａの移動時には移動先がわかっており、高速で移動させられる。
【００７６】
直線図形２６４〜２７２の全部が撮像されたならば、直線図形２６４と直線図形２７２との間の間隔が算出され、その間隔に基づいてマークカメラ２８２に対する基準マーク２６２の位置が距離あるいは座標値で推定される。推定後、Ｙ軸テーブル２５４が高速で基準マーク２６２がマークカメラ２８２に対向する位置へ移動させられ、停止後、撮像されて位置が検出される。
【００７７】
このようにして基準マーク２６２の位置を検出すれば、Ｙ軸テーブル２５４の位置がわからなくても、基準マーク２６２を撮像して位置を取得することができる。また、基準マーク２６２に近づくにつれて互いに成す角度が大きい２つの直線図形について間隔を取得できるため、基準マーク２６２の位置の推定精度が高くなる。本実施例においては、直線図形２６４〜２７２の撮像がＹ軸テーブル２５４を停止させて行われるため、鮮明な画像が得られ、直線図形間の間隔の算出が精度良く行われる。しかも、基準マーク２６２から遠い位置における撮像が、Ｙ軸テーブル２５４を比較的大きな距離ａずつ移動させて行われるため、短時間で基準マーク２６２を検出することができる。また、基準マーク２６２の位置が最も精度良く推定できる状況においてのみ推定が行われるため、このことによっても、検出に要する時間が短くて済み、かつ、基準マーク２６２の位置の推定を精度良く行うことができる。
【００７８】
図１７および図１８に示す補助線図形付き基準マーク２６０のように、互いに角度の異なる複数の直線図形を有する補助線図形付き基準マークは、Ｌ形定規やＴ形定規等の定規に設けてもよい。例えば、定規が、基準マークから延びる一直線に平行な方向の寸法が長いものである場合、補助線図形付き基準マーク２６０と同様の補助線図形付き基準マークを設ければ、定規が長くても、基準マークの位置を迅速にかつ正確に推定し、位置を検出することができる。
【００７９】
なお、定規は、トレイの大きさに応じて大きさを異ならせてもよい。例えば、トレイが大きいほど、第１定規部および第２定規部を長いものとするのである。定規をトレイの大きさに合わせたものとすれば、例えば、小さいトレイを位置決めする際に第１定規部がトレイからはみ出すことがなく、隣接するトレイの間隔を短くし、基準マークから延びる一直線に平行な方向においてトレイを無駄なく配置することができる。第１定規部のみをトレイの大きさに合わせた大きさとしてもよい。定規の基準マークから延びる一直線に平行な方向の長さが長いほど、補助線の長さを長くすることができ、補助線図形を早く検出して基準マークの位置を早く推定することが可能であるが、長過ぎれば、例えば、一平面上に複数のトレイを並べて配置する場合、配置面積が過大となり、あるいは配置するトレイの数が制限されるため、トレイの寸法，配置状況，基準マークの位置検出の迅速化等を考慮し、定規は、例えば、トレイの基準マークから延びる一直線に平行な方向の寸法よりやや短いものとされたりする。
【００８０】
また、補助線図形の撮像を１回行って基準マークの位置を推定する場合、基準マークの位置を表す値として、基準マークの位置の座標値を推定してもよく、補助線図形の撮像を複数回、例えば、２回行い、補助線図形の間隔を複数、例えば、２つ取得して基準マークの位置を推定する場合、基準マークの位置を表す値として現位置から基準マークまでの距離を推定してもよい。
【００８１】
さらに、補助線図形の間隔を複数取得して基準マークの位置を推定する場合、複数回の補助線図形の撮像は撮像装置の移動を停止させることなく、移動中に行ってもよい。また、補助線図形の間隔を１つ取得して基準マークの位置を推定する場合、撮像は撮像装置を停止させて行ってもよい。
【００８２】
また、前記直線図形１４８，１５０のように、基準マークから延びる一直線に対して傾斜した直線図形が複数、形成される場合、それらの傾斜角度は互いに異ならせてもよい。
【００８３】
さらに、２本以上の直線図形は、基準マークからの距離に比例して間隔が変化するものとしてもよく、幅徐変図形は、幅が基準マークからの距離に比例して幅が変化するものとしてもよく、基準マークから延びる一直線と直交する複数本の直線図形は、各長さが、基準マークからの距離に比例するものとしてもよい。
【００８４】
また、支持部材に位置決め面を設ける場合、位置決め面が延びる方向と直交する方向において複数、並列に設けてもよい。
【００８５】
さらに、トレイを、複数枚重ねられた状態で互いに位置決めし、収容凹部を含む平面に平行な方向の移動を規制する位置決め部を備えたものとし、複数枚のトレイが互いに位置決めされた状態でトレイ収容器に収容されるようにしてもよい。例えば、トレイの表面に嵌合突部を設けるとともに、裏面側に複数の位置決め突部を四方に設け、複数枚のトレイを重ねるとき、下側のトレイの嵌合突部を上側のトレイの位置決め突部の間に嵌合し、互いに位置決めされた状態で重ねるのである。また、トレイ収容器は、少なくとも最下のトレイを位置決めして収容するものとすればよい。
トレイ収容器は、トレイを１枚のみ、位置決めして収容するものとしてもよい。
また、未だ公開されていないが、本出願人に係る特願２００５−２９７４３５の明細書に記載されているように、トレイ収容器はトレイ収容部を複数備え、複数のトレイを平面状に並べた状態で位置決めして収容するものとしてもよい。この場合、複数のトレイ収容部はそれぞれ、トレイが１枚のみ収容されるものとしてもよく、複数枚重ねて収容されるものとしてもよい。複数枚のトレイの位置決めは、最下のトレイを除いてトレイ同士により為されてもよく、全部のトレイについてトレイ収容部により為されてもよい。この種のトレイ収容器には、例えば、小さいトレイが複数、収容され、まとめて位置決めされるようにされる。
さらに、トレイは、トレイ収容器に収容されることなく、直接、少なくとも可動部材により位置決めされて支持されるようにしてもよい。この場合、トレイは複数枚、重ねられてもよく、重ねられず、１枚ずつ支持されてもよい。トレイが複数枚、重ねられる場合、トレイに位置決め部を設け、互いに位置決めされ、最下のトレイが可動部材により位置決めされるようにしてもよく、全部のトレイが可動部材によって位置決めされるようにしてもよい。
また、複数のトレイが平面状に並べられて位置決めされ、支持される場合、トレイ収容器に収容されないトレイのみが支持されてもよく、トレイ収容器に収容されたトレイと、収容されないトレイとの両方が支持されてもよい。
いずれの態様によってトレイが位置決めされ、支持される場合でも、基準マークの位置の検出により、収容部から電子回路部品を精度良く取り出すことができる。
【００８６】
さらに、トレイ型部品供給装置は、電子回路部品装着システムに設けられるのに限らず、それ以外の作業システムに設けられて作業装置に電子回路部品を供給するものでもよい。
【００８７】
また、撮像装置は、面撮像装置に限らず、ライン撮像装置でもよい。例えば、ＣＣＤが１列に並ぶラインセンサを有するものとし、撮像対象物との相対移動により得られる複数の像に基づいて撮像対象物の二次元像を得る装置とされる。
【００８８】
さらに、補助線図形付き基準マークが形成されるＸＹテーブルは、電子回路部品装着システムにおいて基板保持装置を移動させるものに限らず、他の作業システム、例えば、接着剤塗布システムや装着検査システムにおいて作業対象物たる回路基板を保持する基板保持装置をＸ軸，Ｙ軸方向に移動させるものでもよく、回路基板以外の作業対象物を保持して移動させるものでもよい。
【００８９】
また、互いに直角な方向に延びる第１定規部および第２定規部を備え、対象物を互いに直交する２方向において位置決めする定規であって、支持部材の支持面上の任意の位置に固定装置によって取付け，取外し可能に固定することができる定規の特徴は、補助線図形付き基準マークの特徴とは関係なく、採用可能である。この定規は、Ｌ字形とされてもよく、Ｔ字とされてもよく、十字形とされてもよく、また、基準マークのみが形成されてもよい。基準マークは、１つのみ形成されてもよく、２つ形成されてもよい。基準マークが２つ形成される場合、一方の基準マークに近接して、その一方の基準マークのみならず、他方の基準マークの位置も検出すべきことを表す付属マークが形成されてもよい。固定装置は、例えば、磁力によって定規を支持面に固定するものとされる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】請求可能発明の一態様である基準マーク位置検出装置を備えた電子回路部品装着システムを概略的に示す平面図である。
【図２】上記電子回路部品装着システムのトレイ型部品供給装置を示す平面図である。
【図３】上記トレイ型部品供給装置においてトレイを位置決めするＬ形定規を示す底面図である。
【図４】上記Ｌ形定規を示す平面図であり、第１基準マークの位置の推定を説明する図である。
【図５】上記トレイの位置決めに使用される別の態様のＬ形定規を示す平面図である。
【図６】上記トレイの位置決めに使用されるさらに別の態様のＬ形定規を示す平面図である。
【図７】上記トレイの位置決めに使用されるさらに別の態様のＬ形定規を示す平面図である。
【図８】上記電子回路部品装着システムの制御装置を概念的に示すブロック図である。
【図９】上記制御装置の主体を成すコンピュータのＲＯＭに記憶させられた基準マーク位置検出プログラムを示すフローチャートである。
【図１０】別の態様である基準マーク位置検出装置により基準マークの位置を検出するための基準マーク位置検出プログラムを示すフローチャートである。
【図１１】図１０に示す基準マーク位置検出プログラムによる基準マークの位置の推定を説明する図である。
【図１２】補助線図形付き基準マークの別の態様を示す平面図である。
【図１３】補助線図形付き基準マークのさらに別の態様を示す平面図である。
【図１４】補助線図形付き基準マークが形成される定規の別の態様を示す平面図である。
【図１５】さらに別の態様である補助線図形付き基準マークを示す平面図であり、２本の補助線の間隔の取得を説明する図である。
【図１６】さらに別の態様である補助線図形付き基準マークを示す平面図であり、基準マークの位置の推定を説明する図である。
【図１７】さらに別の態様である補助線図形付き基準マークが形成されたＸＹテーブルを概略的に示す平面図である。
【図１８】図１７に示す補助線図形付き基準マークを示す平面図である。
【符号の説明】
【００９１】
１２：回路基板    ２０：電子回路部品    ２６：トレイ型部品供給装置    ３２：装着ヘッド移動装置    ７０：マーク撮像装置    ７２：マークカメラ    １１０：部品供給トレイ      １１２：収容凹部    １１６：トレイボード    １２４：位置決め面    １３０：Ｌ形定規    １３２：第１定規部    １３４：第２定規部    １４０：第１基準マーク    １４２：第２基準マーク    １４６，１４８，１５０：直線図形    １５２：補助線図形付き基準マーク    １７０：制御装置    ２００，２１０：幅徐変図形    ２２０：Ｔ形定規    ２２２：第１定規部    ２２４：第２定規部    ２２６：基準マーク    ２３０，２３２，２３４：直線図形    ２５２：Ｘ軸テーブル    ２５４：Ｙ軸テーブル    ２６０：補助線図形付き基準マーク    ２６２：基準マーク    ２６４，２６６，２６８，２７０，２７２：直線図形    ３００：補助線図形付き基準マーク    ３０２：基準マーク    ３０４：直線図形    ３０６，３０８：補助線    ３３０：補助線図形付き基準マーク    ３３２：直線図形    ３３４，３３６：補助線    ３３８：基準マーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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