(57)【要約】【課題】液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の量を各ノズルごとに測定する。【解決手段】液状材料を液滴として吐出するノズル２５を複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する。ノズル２５から液滴を吐出して、複数のノズル２５毎に設けられた溝３２内に充填する充填工程と、液状材料が溝３２内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、充填工程と計測工程とを複数回繰り返し、計測した複数の長さから所定条件で選択した長さに基づいて、各ノズル２５の液滴吐出量を推定する。【選択図】図３
2007125514.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定
する液滴吐出量測定方法であって、
前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられ
た溝内に充填する充填工程と、
前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、
前記充填工程と前記計測工程とを複数回繰り返し、計測した複数の長さから所定条件で
選択した長さに基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とする液滴吐出
量測定方法。
【請求項２】
請求項１記載の液滴吐出量測定方法において、
前記溝は、前記複数のノズル毎に設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定方法
。
【請求項３】
請求項１または２記載の液滴吐出量測定方法において、
前記選択した長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関する情報と、該溝へ
吐出された液滴の数とに基づいて、各ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの量を算出
することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
前記複数回の充填工程では、前記液滴を互いに異なる溝内にそれぞれ吐出することを特
徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項５】
請求項１記載の液滴吐出量測定方法において、
前記溝は、複数の前記ノズルで構成されるノズル群毎に設けられていることを特徴とす
る液滴吐出量測定方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
前記所定条件による選択では、誤差要因を含んで充填された液状材料の長さを排除する
ことを特徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
前記溝の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径よりも大きいことを特
徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項８】
請求項１から７のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
前記溝は、底面及び側面が前記液状材料に対して親液性を有し、前記溝以外の部分は、
前記液状材料に対する撥液性を有することを特徴とする液滴吐出量測定方法。
【請求項９】
請求項１から８のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法において、
前記溝は、ガラス基板またはシリコン基板に形成されることを特徴とする液滴吐出量測
定方法。
【請求項１０】
液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整
する液滴吐出量調整方法であって、
請求項１から９のいずれかに記載の液滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴
吐出量に基づいて、前記各ノズル毎に前記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整すること
を特徴とする液滴吐出量調整方法。
【請求項１１】
請求項１０記載の液滴吐出量調整方法において、
測定された前記液滴吐出量が所定値以上のノズルのみを液滴吐出に用いることを特徴と
する液滴吐出量調整方法。
【請求項１２】
請求項１０または１１記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料が塗布された
ことを特徴とするデバイス。
【請求項１３】
請求項１２記載のデバイスを備えることを特徴とする電気光学装置。
【請求項１４】
請求項１３記載の電気光学装置を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１５】
液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出された液状材料を貯留可能な溝が形成された液
滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であって、
前記溝は、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられ、前記ノズルから前記液滴
を吐出されて充填され、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測し、前記充填と
前記計測とを複数回繰り返し、計測した複数の長さから所定条件で選択した長さに基づい
て、前記ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であること
を特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項１６】
請求項１５記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記溝は、前記複数のノズル毎に設けられていることを特徴とする液滴吐出量測定用治
具。
【請求項１７】
請求項１６記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記液滴受容部として、液滴吐出ヘッドの構成部材が用いられることを特徴とする液滴
吐出量測定用治具。
【請求項１８】
請求項１５記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記溝は、複数の前記ノズルで構成されるノズル群毎に設けられていることを特徴とす
る液滴吐出量測定用治具。
【請求項１９】
請求項１５から１８のいずれかに記載の記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記溝の幅は、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径よりも大きいことを特
徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項２０】
請求項１５から１９のいずれかに記載の記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記溝は、底面及び側面が前記液状材料に対して親液性を有し、前記溝以外の部分は、
前記液状材料に対する撥液性を有することを特徴とする液滴吐出量測定用治具。
【請求項２１】
請求項１５から２０のいずれかに記載の液滴吐出量測定用治具において、
前記溝は、ガラス基板またはシリコン基板に形成されることを特徴とする液滴吐出量測
定用治具。
【請求項２２】
液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定
する液滴吐出量測定装置であって、
液状材料を貯留可能な溝が前記複数のノズルのぞれぞれに対応して形成された液滴受容
部と、
前記ノズルから前記液滴を吐出して、前記溝内にそれぞれ充填させるとともに、前記液
状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測部と、
前記充填及び前記長さの計測を複数回繰り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐
出量を推定する推定部とを有することを特徴とする液滴吐出量測定装置。
【請求項２３】
液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐出ヘッドと、ワークとを相対
的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに着弾させることにより描画を
行う描画装置であって、
請求項２２記載の液滴吐出量測定装置と、前記推定部の推定結果に基づいて前記各ノズ
ル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部とを有することを特徴とする描画装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐
出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器に関するものである
。
【背景技術】
【０００２】
液晶表示装置のカラーフィルタ基板や、有機ＥＬ（Electro-Luminescence）表示装置の
ような色要素付き基板の色要素膜（フィルタ膜、発光膜等）を形成する方法として、イン
クジェット描画装置を用いる方法が知られている。この方法では、基板上に形成されたバ
ンクによって囲まれてなる色要素領域（サブピクセル）の各々に対し、インクジェット描
画装置によって色要素膜形成用の液状材料を付与する。すなわち、インクジェット描画装
置によって、液状材料を液滴として吐出し、この液滴を各色要素領域に着弾させる。そし
て、各色要素領域に付与された液状材料を固化または硬化させて色要素膜を形成する。
【０００３】
この場合、形成される色要素膜の膜厚を正確に管理するためには、各色要素領域に付与
される液状材料の量を正確に制御する必要があり、そのためには、液滴吐出ヘッド（イン
クジェットヘッド）から吐出される液滴１滴当たりの量を知る必要がある。
【０００４】
従来、液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する方法としては、液滴吐出ヘッドの全ノズ
ルから液滴を吐出し、吐出された液滴を受け容器で受け、液滴を受けた前後での受け容器
の重量を測定することにより、受け容器に吐出された液滴の総重量を測定し、これを液滴
の数で除算することにより、１滴当たりの重量を測定している（例えば特許文献１参照）
。
【特許文献１】特開２００４−１７７２６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記の液滴吐出量測定方法では、液滴吐出ヘッドの全ノズルの平均値し
か分からない。実際には、ノズルごとに吐出量のバラツキがあるので、各ノズルごとの１
滴の吐出量を知ることができないという問題があった。
【０００６】
そこで、受け容器に液滴を吐出する際に一つのノズルのみから液滴を吐出して、その前
後で受け容器の重量を測定すれば、そのノズルからの１滴の吐出量が分かるようにも思え
るが、同じノズルでも、全ノズルから液滴を吐出しているときと、そのノズルのみから液
滴を吐出しているときとでは、１滴の吐出量が異なるので、この方法では、全ノズルから
吐出している場合における各ノズルごとの吐出量を正確に知ることはできない。また、こ
の方法の場合、全ノズルについてそれぞれ受け容器の重量測定を行わなければならないの
で、測定に多大な時間と手間がかかるという問題もある。
【０００７】
また、例えばカラーフィルタを形成する際には、１画素に対して複数のノズルで構成さ
れるノズル群から液滴が吐出されるが、このような場合には、画素間の吐出量バラツキを
抑えるために各ノズル群毎に液滴吐出量を把握する必要がある。
【０００８】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたもので、液滴吐出ヘッドから吐出される
液滴の量を、ノズル毎またはノズル群毎に対応して測定することができる液滴吐出量測定
方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液滴吐出量測定装置、描画装置、及
びこの描画装置用いて製造されるデバイス及び電気光学装置並びに電子機器を提供するこ
とを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の目的を達成するために本発明は、以下の構成を採用している。
【００１０】
本発明の液滴吐出量測定方法は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液
滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定方法であって、前記ノズルから前記
液滴を吐出して、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられた溝内に充填する充填
工程と、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測する計測工程とを有し、前記充
填工程と前記計測工程とを複数回繰り返し、計測した複数の長さから所定条件で選択した
長さに基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定することを特徴とするものである。
【００１１】
前記溝としては、前記複数のノズル毎に設けられている構成や、複数の前記ノズルで構
成されるノズル群毎に設けられている構成を採用できる。
【００１２】
従って、本発明の液滴吐出量測定方法では、溝が前記複数のノズル毎に設けられている
場合には、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに測定すること
ができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでなく、特定のノ
ズルの測定値として正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴
を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。一般に、同じ
ノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルのみから液滴を
吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているときは、液滴吐出
ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描画状態に近い
状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である。
【００１３】
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出
ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。
【００１４】
また、本発明では、複数回繰り返して計測した複数の長さから所定条件で選択した長さ
に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を推定するため、各ノズル毎の液滴吐出量をより高精
度に測定することが可能になる。
【００１５】
特に、前記所定条件による選択では、誤差要因を含んで充填された液状材料の長さを排
除することにより、溝に異物や残渣が存在したり、液滴の飛行曲がり等が生じる等の異常
を伴って液滴を充填した際の液状材料の長さを排除することができ、各ノズル毎の液滴吐
出量をより高精度に測定することが可能になる。
【００１６】
また、本発明では、前記選択した長さの計測値と、前記溝の単位長さ当たりの容積に関
する情報と、該溝へ吐出された液滴の数とに基づいて、各ノズルから吐出された液滴の１
滴当たりの量を算出することが好ましい。
【００１７】
これにより、本発明では、各ノズルから吐出された液滴の１滴当たりの体積を簡単かつ
正確に算出することができる。
【００１８】
前記複数回の充填工程では、前記液滴を互いに異なる溝内にそれぞれ吐出することが好
適である。
【００１９】
これにより、本発明では、溝内に存在する異物や残渣等、長さの計測結果の誤差要因が
特定のノズルに対して集中することを回避でき、全てのノズルの液滴吐出量を測定するこ
とが可能になる。
【００２０】
前記溝の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径よりも大きいこ
とが好ましい。
【００２１】
これにより、本発明では、吐出した液滴が溝内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出
量の測定に支障を来すことを防止できる。
【００２２】
前記溝としては、底面及び側面が前記液状材料に対して親液性を有し、前記溝以外の部
分は、前記液状材料に対する撥液性を有することが好適である。
【００２３】
これにより、本発明では、液状材料が溝内に隙間を残さずに充填されていくとともに、
液状材料が溝外へ溢れ出ることを確実に防止することができるので、液滴吐出量の測定を
より高精度に行うことができる。
【００２４】
また、前記溝としては、ガラス基板またはシリコン基板に形成されることが好ましい。
特に溝がシリコン基板に形成される場合には、エッチングを施すことにより、極めて平滑
な平面を得ることができ、より高精度の液滴吐出量測定が可能になる。
【００２５】
一方、本発明の液滴吐出量調整方法は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有
する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を調整する液滴吐出量調整方法であって、先に記載の液
滴吐出量測定方法で測定された前記ノズルの液滴吐出量に基づいて、前記各ノズル毎に前
記液滴の吐出滴数または駆動波形を調整することを特徴とするものである。
【００２６】
従って、本発明の液滴吐出量調整方法では、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの
吐出量を均一化することができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜
の膜厚を高精度に制御することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極め
て簡単な方法で達成することができる。
【００２７】
また、本発明の液滴吐出量調整方法では、測定された前記液滴吐出量が所定値以上のノ
ズルのみを液滴吐出に用いることが好ましい。
【００２８】
これにより、本発明では、液滴吐出量が少ない吐出不良のノズルを使用しないため、高
精度の液滴吐出量制御が可能になる。
【００２９】
そして、本発明のデバイスは、先に記載の液滴吐出量調整方法により基板上に液状材料
が塗布されたことを特徴とするものである。
【００３０】
従って、本発明では、描画される膜の膜厚が高精度に制御され、製品の品質向上が図ら
れたデバイスを得ることができる。
【００３１】
また、本発明の電気光学装置は、先に記載のデバイスを備えることを特徴とするもので
ある。
【００３２】
そして、本発明の電子機器は、先に記載の電気光学装置を備えることを特徴とするもの
である。
【００３３】
従って、本発明では、品質向上が図られた電気光学装置及び電子機器を得ることができ
る。
【００３４】
また、本発明の液滴吐出量測定用治具は、液滴吐出ヘッドの複数のノズルから吐出され
た液状材料を貯留可能な溝が形成された液滴受容部を有する液滴吐出量測定用治具であっ
て、前記溝は、前記複数のノズルのぞれぞれに対応して設けられ、前記ノズルから前記液
滴を吐出されて充填され、前記液状材料が前記溝内に充填された長さを計測し、前記充填
と前記計測とを複数回繰り返し、計測した複数の長さから所定条件で選択した長さに基づ
いて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する液滴吐出量測定方法の実施に使用可能であるこ
とを特徴とするものである。
【００３５】
前記溝としては、前記複数のノズル毎に設けられている構成や、複数の前記ノズルで構
成されるノズル群毎に設けられている構成を採用できる。
【００３６】
従って、本発明の液滴吐出量測定方法では、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴
の量を、ノズルごとに測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズ
ルの平均値としてでなく、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。特に、
液滴吐出ヘッドの全ノズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測
定することができる。一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している
場合と、そのノズルのみから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに
対し描画しているときは、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、
本発明では、実際の描画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することがで
き、極めて有用である。
【００３７】
また、溝が複数のノズルで構成されるノズル群毎に設けられている場合には、液滴吐出
ヘッドから吐出される液滴の量を、ノズル群毎に測定することができる。
【００３８】
また、本発明では、複数回繰り返して計測した複数の長さから所定条件で選択した長さ
に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を推定するため、各ノズル毎の液滴吐出量をより高精
度に測定することが可能になる。
【００３９】
特に、前記所定条件による選択では、誤差要因を含んで充填された液状材料の長さを排
除することにより、溝に異物や残渣が存在したり、液滴の飛行曲がり等が生じる等の異常
を伴って液滴を充填した際の液状材料の長さを排除することができ、各ノズル毎の液滴吐
出量をより高精度に測定することが可能になる。
【００４０】
前記溝の幅としては、前記液滴が当該溝に着弾して変形した際の最大径よりも大きいこ
とが好ましい。
【００４１】
これにより、本発明では、吐出した液滴が溝内から飛び出してしまい、正確な液滴吐出
量の測定に支障を来すことを防止できる。
【００４２】
前記溝としては、底面及び側面が前記液状材料に対して親液性を有し、前記溝以外の部
分は、前記液状材料に対する撥液性を有することが好適である。
【００４３】
これにより、本発明では、液状材料が溝内に隙間を残さずに充填されていくとともに、
液状材料が溝外へ溢れ出ることを確実に防止することができるので、液滴吐出量の測定を
より高精度に行うことができる。
【００４４】
また、前記溝としては、ガラス基板またはシリコン基板に形成されることが好ましい。
特に溝がシリコン基板に形成される場合には、エッチングを施すことにより、極めて平滑
な平面を得ることができ、より高精度の液滴吐出量測定が可能になる。
【００４５】
さらに、本発明では、前記液滴受容部として、液滴吐出ヘッドの構成部材が用いられる
構成も好適に採用できる。
【００４６】
これにより、本発明では、別途液滴受容部を製造する必要がなくなり、製造コストを抑
えることが可能になる。
【００４７】
そして、本発明の液滴吐出量測定装置は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数
有する液滴吐出ヘッドの液滴吐出量を測定する液滴吐出量測定装置であって、液状材料を
貯留可能な溝が前記複数のノズルのぞれぞれに対応して形成された液滴受容部と、前記ノ
ズルから前記液滴を吐出して、前記溝内にそれぞれ充填させるとともに、前記液状材料が
前記溝内に充填された長さを計測する計測部と、前記充填及び前記長さの計測を複数回繰
り返した結果に基づいて、前記ノズルの液滴吐出量を推定する推定部とを有することを特
徴とするものである。
【００４８】
従って、本発明では、液滴吐出ヘッドから吐出される１滴の液滴の量を、ノズルごとに
測定することができる。すなわち、１滴当たりの吐出量を、全ノズルの平均値としてでな
く、特定のノズルの測定値として正確に知ることができる。特に、液滴吐出ヘッドの全ノ
ズルから液滴を吐出している場合におけるノズルごとの吐出量を測定することができる。
一般に、同じノズルであっても、全ノズルから液滴を吐出している場合と、そのノズルの
みから液滴を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワークに対し描画しているとき
は、液滴吐出ヘッドのほぼ全部のノズルから液滴を吐出するので、本発明では、実際の描
画状態に近い状態でのそのノズルの液滴吐出量を測定することができ、極めて有用である
。また、本発明では、複数回繰り返して計測した複数の長さから所定条件で選択した長さ
に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を推定するため、各ノズル毎の液滴吐出量をより高精
度に測定することが可能になる。
【００４９】
特に、前記所定条件による選択では、誤差要因を含んで充填された液状材料の長さを排
除することにより、溝に異物や残渣が存在したり、液滴の飛行曲がり等が生じる等の異常
を伴って液滴を充填した際の液状材料の長さを排除することができ、各ノズル毎の液滴吐
出量をより高精度に測定することが可能になる。
【００５０】
また、本発明の描画装置は、液状材料を液滴として吐出するノズルを複数有する液滴吐
出ヘッドと、ワークとを相対的に移動させ、前記ノズルから液滴を吐出して前記ワークに
着弾させることにより描画を行う描画装置であって、先に記載の液滴吐出量測定装置と、
前記推定部の推定結果に基づいて前記各ノズル毎に前記液滴の吐出量を調整する調整部と
を有することを特徴としている。
【００５１】
従って、本発明では、液滴吐出ヘッドの各ノズルの１滴当たりの吐出量を均一化するこ
とができる。その結果、この液滴吐出ヘッドを用いて描画される膜の膜厚を高精度に制御
することができ、製品の品質向上が図れる。また、上記効果を極めて簡単な方法で達成す
ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
以下、本発明の液滴吐出量測定方法、液滴吐出量測定用治具、液滴吐出量調整方法、液
滴吐出量測定装置、描画装置、デバイス及び電気光学装置並びに電子機器の実施の形態を
、図１ないし図１０を参照して説明する。
【００５３】
図１は、本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置（インクジェット描画装置）
の実施形態を示す斜視図である。
【００５４】
同図に示すように、描画装置１は、液滴吐出ヘッド２を１個または複数個搭載したキャ
リッジ１０３と、キャリッジ１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動
させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、ワーク１０Ａを保持するステージ１０
６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う
）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている
。
【００５５】
描画装置１の近傍には、液状材料１１１を貯留するタンク１０１が設置されている。タ
ンク１０１と、キャリッジ１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１
１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧
縮空気の力によって、キャリッジ１０３に搭載された液滴吐出ヘッド２に送液（供給）さ
れる。
【００５６】
このような描画装置１は、ステージ移動機構１０８およびキャリッジ移動機構１０４を
作動させ、ステージ１０６とキャリッジ１０３とを相対的に移動させることにより、液滴
吐出ヘッド２をワーク１０Ａに沿って走査しつつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液
状材料１１１の液滴を吐出して、ワーク１０Ａ上に所定のパターンを描画する装置である
。
【００５７】
描画装置１は、各種の電気光学装置の製造装置として使用可能な装置であり、例えば液
晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素付き基板、電子放出
装置、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）装置、電気泳動表示装置等を製造したり、金属配
線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を行うのに用いることができる
。
【００５８】
また、本発明において、液状材料１１１は、例えば色要素付き基板の色要素膜のような
目的物を形成するための材料を含み、かつ、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能
な粘度を有するものである。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。ま
た、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散し
ていても全体として流動体であればよい。すなわち、液状材料は、色要素膜の構成材料が
溶媒中に溶解した溶液でも、分散した分散液（サスペンションやエマルション）でもよい
。
【００５９】
液状材料１１１に含有され得る材料としては、カラーフィルタのフィルタ材料、有機Ｅ
Ｌ装置におけるＥＬ発光層を形成するための蛍光材料、ＰＤＰ装置における蛍光体を形成
するための蛍光材料、電気泳動表示装置における泳動体を形成する泳動体材料、基板の表
面にバンクを形成するためのバンク材料、各種コーティング材料、電極を形成するための
液状電極材料、２枚の基板間に微小なセルギャップを構成するためのスペーサを構成する
粒子材料、金属配線を形成するための金属材料、マイクロレンズを形成するためのレンズ
材料、レジスト材料、光拡散体を形成するための光拡散材料等が挙げられる。
【００６０】
描画装置１におけるキャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御さ
れる。なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。本実施形態のキャリ
ッジ移動機構１０４は、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）をＺ軸方向（鉛直方
向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構
１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでキャリッジ１０３を回転させる機能も有しており、こ
れにより、キャリッジ１０３（及び液滴吐出ヘッド２）のＺ軸回りの角度を微調整するこ
とができる。
【００６１】
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステー
ジ１０６は、ワーク１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている
。
【００６２】
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿っ
てステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、
本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転
させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置されたワーク１０ＡのＺ軸
回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
【００６３】
上述のように、キャリッジ１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移
動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移
動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動
によって、ステージ１０６上のワーク１０Ａと、キャリッジ１０３との相対位置を変わる
ので、ワーク１０Ａに対し液滴吐出ヘッド２を相対的に走査することができる。
【００６４】
描画装置１は、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された
ワーク１０ＡをＹ軸方向に移動させ、キャリッジ１０３の下を通過させつつ、キャリッジ
１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出するように作
動する。この動作を「主走査」と言う。
【００６５】
キャリッジ１０３全体としてワーク１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向
の幅（以下、「全吐出幅」と言う）よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいもので
ある場合には、キャリッジ１０３とワーク１０Ａとの主走査を１回行うことにより、ワー
ク１０Ａの全体に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画を行うことができる。
【００６６】
これに対し、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大き
いものである場合には、キャリッジ移動機構１０４を作動してキャリッジ１０３をＸ軸方
向へ移動させることによって、キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相対位置
関係を変えた後、主走査を再度行う。キャリッジ１０３とワーク１０ＡとのＸ軸方向の相
対位置関係を変えることを「副走査」と呼ぶ。主走査および副走査を繰り返し行うことに
より、キャリッジ１０３の全吐出幅よりも、ワーク１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいもので
ある場合であっても、ワーク１０Ａの全面に対して液状材料１１１の付与、すなわち描画
を行うことができる。
【００６７】
図２は、図１に示す描画装置１における液滴吐出ヘッド２を示す図であり、（ａ）が斜
視図、（ｂ）が断面側面図である。以下、図２を参照して、液滴吐出ヘッド２の内部構成
について説明する。
【００６８】
図２に示す液滴吐出ヘッド２は、液滴を吐出する多数のノズル２５が列をなして並んだ
ノズル列を有するインクジェットヘッドである。この液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６
と、ノズル２５が形成されたノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノ
ズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料
１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
【００６９】
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置し
ている。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによっ
て囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設
けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ
１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から
液状材料１１１が供給される。
【００７０】
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に
充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する
。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４
Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与える
ことで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ
軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
【００７１】
具体的には、このピエゾ素子１２４Ｃに対して、図２（Ｃ）に示すように印加電圧Ｖｈ
を印加することで、図２（Ｄ），（Ｆ）及び（Ｅ）に示すようにして、ピエゾ素子１２４
Ｃを伸縮させることで、インクを加圧して所定量の液状材料１１１をノズル２５から吐出
させるようになっている。これらピエゾ素子１２４の駆動、即ち液滴吐出ヘッド２からの
液滴吐出は、制御手段１１２により制御される。
【００７２】
制御手段１１２は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように
構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される液状材料１１１の体積が、制
御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
【００７３】
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに
限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の
熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
【００７４】
また、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２が有する各ノズル２５の液滴吐出量を測定す
る液滴吐出量測定装置が設けられている。
【００７５】
図１に示すように、液滴吐出量測定装置５０は、治具用ステージ５１に保持された測定
治具（液滴吐出量測定用治具）３と、測定治具３に吐出された液滴の長さを画像処理によ
り計測するＣＣＤカメラ等の計測カメラ（計測部）５３と、計測カメラ５３の計測結果が
出力されて演算処理を行う推定部としての制御手段１１２から構成される。
【００７６】
治具用ステージ５１は、ステージ１０６と同様に、Ｙ軸方向に沿って移動する。また、
計測カメラ５３は、キャリッジ１０３（液滴吐出ヘッド２）と同様に、制御手段１１２の
制御下でキャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に自在に移動する。つまり、キャリ
ッジ移動機構１０４および治具用ステージ５１の作動によって、ステージ５１上の測定治
具３と、キャリッジ１０３及び計測カメラ５３との相対位置を変わるので、測定治具３に
対して液滴吐出ヘッド２及び計測カメラ５３を相対的に走査することができる。
【００７７】
図３に示すように、測定用治具３は、平板状の部材であり、その上面である液滴受容部
３１には、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出された液状材料１１１を貯留可能な溝
（流路）３２が形成されている。溝３２は、液滴吐出ヘッド２の複数のノズル２５に対応
して、複数、並行して設けられている。すなわち、複数の溝３２は、ノズル２５毎に等間
隔に配置されており、その間隔は、液滴吐出ヘッド２のノズルピッチと同一となっている
。
【００７８】
溝３２の横断面形状は、特に限定されず、例えば、コ字状、Ｕ字状、Ｖ字状、半円状等
の形状とすることができる。
【００７９】
溝３２の近傍には、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さを示す目盛り３３が設
けられている。図示の構成では、図３中の左端の溝のみに目盛り３３が設けられているが
、各溝３２ごとに目盛り３３を設けてもよい。
【００８０】
これらの溝３２の内面（底面及び側面）は、液状材料１１１に対する親液性を有してい
るのが好ましい。これに対し、液滴受容部３１の溝３２以外の部分（表面）は、液状材料
１１１に対する撥液性を有しているのが好ましい。このようにすることにより、液状材料
１１１が溝３２内に隙間を残さずに充填されていくとともに、溝３２外へ液状材料１１１
が溢れ出ることを確実に防止することができるので、液滴吐出量の測定をより高精度に行
うことができる。
【００８１】
なお、溝３２の内面を親液性とし、それ以外の部分を撥液性とする方法として、撥液化
処理、あるいは親液化処理を施してもよい。撥液化処理としては、例えば、４フッ化メタ
ン（ＣＦ４）を用いたプラズマ処理が挙げられ、親液化処理としては、例えば、大気圧下
の酸素プラズマ処理が挙げられる。
【００８２】
また、測定用治具３の材料としては、ガラス基板やシリコン基板を用いることができる
。測定用治具３としてガラス基板を用いる場合には、例えばサンドブラスト等により溝３
２を形成することができ、測定用治具３としてシリコン基板を用いる場合にはエッチング
等により溝３２を形成することができる。また、基板自体に溝を形成するのではなく、基
板の表面にレジストを塗布し、溝に対応するマスクを用いてレジストを露光した後に現像
処理を施すことにより溝３２を形成してもよい。
【００８３】
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図４に示すように、制御手段１１２は、入力
バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘ
ッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３、
カメラ位置検出手段３０４とを備えている。
【００８４】
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２
０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動
部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは
相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、治具用ステージ５１、キ
ャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されてい
る。同様にヘッド駆動部２０８は、液滴吐出ヘッド２と相互に通信可能に接続されている
。
【００８５】
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出す
る位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータや、計測カメラ５３から出力された
画像データ等を受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータや画像
データを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータや画像データを記
憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等
で構成される。
【００８６】
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を
検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
【００８７】
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６（すなわちワーク１０Ａ）及び治具用
ステージ５１（すなわち測定用治具３）のＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検
出信号を処理部２０４へ入力する。
【００８８】
カメラ位置検出手段３０４は、計測カメラ５３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し
、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
【００８９】
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカメラ位置検出手段
３０４は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
【００９０】
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３及びカ
メラ位置検出手段３０４の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、計測カメラ５
３、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズド
ループ制御）し、キャリッジ１０３の位置と、ワーク１０Ａの位置、計測カメラ５３の位
置、測定用治具３の位置とを制御する。
【００９１】
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステ
ージ１０６すなわちワーク１０Ａの移動速度を制御する。
【００９２】
制御手段１１２としては、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよ
い。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフ
トウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハ
ードウェア）によって実現されてもよい。
【００９３】
本発明の液滴吐出量測定方法を実施する際には、まず治具用ステージ５１上に測定用治
具３を載置する。このとき、溝３２が液滴吐出ヘッド２のノズル２５の配列方向と垂直に
なるような向きで、液滴吐出量測定用治具３をセットする。
【００９４】
次いで、計測カメラ５３を測定用治具３と対向する位置から退避させるとともに、治具
用ステージ５１およびキャリッジ移動機構１０４を作動し、図５に示すように、各ノズル
２５が、各溝３２の一端部３２１の上空に位置するようにする。そして、各ノズル２５か
ら液状材料１１１の液滴１１３を繰り返し吐出する。この際、各ノズル２５からは、同じ
数の液滴１１３を吐出する。
【００９５】
溝３２の一端部３２１へ液状材料１１１の液滴１１３が付与されると、付与された液状
材料１１１は、一端部３２１から他端部３２２へ向かって溝３２内に充填されていく（充
填工程）。図６は、液滴吐出量測定用治具３の溝３２内に液状材料１１１が充填された状
態を示す平面図である。同図に示すように、液状材料１１１が溝３２内に充填された長さ
（以下、「充填長さ」と言う）Ｌは、通常、溝３２に付与された液状材料１１１の量に比
例する。よって、各溝３２ごとに充填長さＬを計測することにより、その溝３２に液滴１
１３を吐出したノズル２５の液滴吐出量を求めることができる。
【００９６】
充填長さＬを計測する方法は、いかなる方法であってもよいが、本実施形態では、目盛
り３３を設けたことにより、目視にて容易に充填長さＬを計測することができるが、作業
を容易にするために、計測カメラ５３で撮像した画像に基づいて制御手段１１２が各溝３
２における充填長さＬを計測する（計測工程）。
【００９７】
そして、全ての溝３２に対する充填長さＬの計測が完了したら、測定用治具３を交換し
、上述した充填工程と計測工程とを複数回繰り返す（各回毎に測定用治具３を交換する）
。図７（ａ）に、各ノズル２５に対応する溝３２における充填長さＬを５回に亘って計測
した結果を複数（ここでは１８０個）のノズル２５毎に示した図である。
【００９８】
図７（ａ）に示すように、同じノズルに対しても、充填長さＬが大きく変動する場合が
ある。これは、図６に示す溝３２ａのように、溝内にバンク形成時の残渣や異物が残存し
て液状材料１１１が充分に伸びなかったために充填長さＬが短くなった場合や、溝３２ｂ
のように、飛行曲がりや表面の撥液性不良で液状材料１１１が溝３２ｂからはみ出し、液
状材料１１１が溝３２ｂ内で充分に伸びなかったために充填長さＬが短くなった場合に生
じる。さらに、図６に示す溝３２ｃのように、対応するノズル２５の吐出不良により液状
材料が全く供給されなかった場合にも充填長さＬが極端に短くなる。逆に、溝３２ｄのよ
うに、溝内に付着した塵埃等よる毛細管現象で液状材料１１１が吸い寄せられることによ
り、充填長さＬが極端に伸びすぎる場合も生じる。
【００９９】
このように、誤差要因を含んで充填された液状材料の長さは、他の長さと比べて突出す
るため、分離することがが可能であるため、この突出した長さを排除して、他の長さを充
填長さＬとして選択する。より詳細には、例えば複数回の計測で得られた充填長さＬの平
均値に対して、所定の選択範囲（例えば±３０％）を超える充填長さＬは誤差要因を含む
溝で得られた結果として計測結果から排除する。これにより、図７（ｂ）に示すように、
誤差要因を含むデータが排除された充填長さＬが各ノズル毎に得られる。
【０１００】
充填長さＬを計測したら、その計測値と、溝３２の単位長さ当たりの容積に関する情報
と、溝３２へ吐出された液滴の数とに基づいて、そのノズル２５から吐出された液滴１１
３の１滴当たりの量を算出（推定）することができる。すなわち、充填長さＬと溝３２の
単位長さ当たりの容積とを乗算し、これを吐出液滴数で除算することにより、そのノズル
２５から吐出された液滴１１３の１滴当たりの体積及び重量を算出することができる。
【０１０１】
このように、本実施形態では、この計算を溝３２毎に行うことにより、液滴吐出ヘッド
２の各ノズル２５毎に、吐出される液滴１１３の１滴当たりの体積を求めることができる
。特に、本実施形態では、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５から液滴１１３を吐出してい
る場合における各ノズル２５の吐出量を測定することができる。一般に、同じノズル２５
であっても、全ノズル２５から液滴１１３を吐出している場合と、そのノズル２５のみか
ら液滴１１３を吐出している場合とでは、吐出量が異なる。ワーク１０Ａに対し描画して
いるときは、液滴吐出ヘッド２のほぼ全部のノズル２５から液滴１１３を吐出するので、
本実施形態では、実際の描画状態に近い状態での液滴吐出量を各ノズル２５毎に測定する
ことができ、極めて有用である。
【０１０２】
また、本実施形態では、上記溝３２への充填工程と計測工程とを複数回繰り返し、さら
に計測結果から所定条件に基づいた充填長さＬを選択するため、溝３２に残留した残渣や
塵埃、吐出不良等、誤差要因の影響を排除して、各ノズル毎の液滴吐出量をより高精度に
測定することが可能になる。しかも、本実施形態では、充填工程毎に測定用治具３を交換
するため、特定のノズルに誤差要因が集中してしまい、当該ノズルの充填長さＬが全く得
られないという自体を回避することが可能である。
（液滴吐出量調整方法）
描画装置１を用いて電気光学装置を製造するに際し、高品質の製品を得るためには、液
滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にすることが重要
となる。例えば、液晶表示装置のカラーフィルタ基板や有機ＥＬ表示装置のような色要素
付き基板の色要素（画素）に、フィルタ膜や発光膜のような色要素膜を形成する場合、色
ムラを防止すべく、色要素膜の膜厚を全色要素に渡って均一にするためには、全ノズル２
５の１滴当たりの吐出量をできるだけ均一にする必要がある。
【０１０３】
そこで、本実施形態では、複数の溝３２の各々の充填長さＬの計測値（液滴吐出量）に
基づき、制御手段１１２が調整部として複数のノズル２５の各々に対応するビットマップ
を調整する。
【０１０４】
具体的には、ノズル毎の液滴吐出数（ショット数）を調整（増減）することにより、液
状材料の塗布量をノズル間で均一化することができる。
【０１０５】
例えば、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度少ない場合には、
他のノズルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して１１滴の液状材料を吐出する。逆
に、あるノズルの液滴吐出量が他のノズルと比較して１０％程度多い場合には、他のノズ
ルが１０滴の液状材料を吐出する箇所に対して９滴の液状材料を吐出する。
【０１０６】
なお、さらに微調整が必要な場合には、図２に示した駆動波形について微小量の液状材
料を吐出するための微小ドット波形の駆動波形を設定しておき、この駆動波形を用いるこ
とで微小の吐出量調整が可能になる。
【０１０７】
このような調整を行うことにより、液滴吐出ヘッド２の全ノズル２５の総吐出量を均一
化することができ、その結果、描画装置１を用いて形成される膜の膜厚を高精度に制御す
ることができ、製品の品質向上が図れる。
（デバイス）
続いて、上記描画装置１を用いて製造されるデバイスとして、カラーフィルタ基板につ
いて説明する。
【０１０８】
図８に示すように、カラーフィルタ基板（デバイス）ＣＦは、長方形形状の基板４８上
に、生産性をあげる観点から複数個のカラーフィルタ領域１０５がマトリックス状に形成
されたものである。これらのカラーフィルタ領域１０５は、後でガラス４８を切断するこ
とで、液晶表示装置に適合するカラーフィルタとして用いることができる。
【０１０９】
カラーフィルタ領域１０５には、ＲのインクとＧのインクおよびＢのインクを所定のパ
ターンで形成して配置している。この形成パターンとしては、図に示すように従来公知の
ストライプ型のほかに、モザイク型やデルタ型あるいはスクウェアー型等がある。特に、
液滴吐出ヘッド２を傾けることで画素部の配列ピッチにノズル間隔を対応させる場合、ス
トライプ型では一度に吐出できるノズルの数が多いため効果的である。
【０１１０】
図９は、カラーフィルタ領域１０５におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式
図である。本実施形態では、画素の配列ピッチとノズルピッチとが異なっており、また液
状材料の溢れ防止のため画素間には非吐出領域が存在するため、４番、１１番、１２番の
ノズルは非吐出である。
【０１１１】
例えば、７０ｋＨｚで吐出可能な吐出周波数を用いる場合には、１回の走査で１０ｎｇ
／回を１０回（以上）吐出できる。１画素あたりに９０回の吐出を行う場合、各画素には
３つのノズルで液滴を吐出するため、３回の走査で画素に液状材料を充填できる。
【０１１２】
ここで、上述した液滴吐出量の測定で、例えば９番のノズルの吐出量が少ない（充填量
Ｌが短い）際には、８番及び１０番のノズルからの吐出数を増やしたり、９番のノズルの
吐出量が顕著に少ない場合にはこのノズルを使用せずに１１番のノズルを用いてもよい。
【０１１３】
なお、ノズルピッチ等の理由で使用ノズルの変更が不可の場合には、ヘッドクリーニン
グを行った後に、上記液滴吐出量の測定を実行するシーケンスを採ることが好ましい。
【０１１４】
また、図９で示したカラーフィルタ領域１０５のように、各画素に対して３つのノズル
で液滴を吐出する場合には、各ノズル毎の液滴吐出量の他に、各画素に吐出する３つのノ
ズルで構成されるノズル群毎の液滴吐出量を測定し、この測定結果に基づいて各ノズルの
液滴吐出量を調整することも可能である。
【０１１５】
このような場合には、図１０に示すように、溝３２がノズル群（ここでは３つのノズル
）毎に設けられた測定用治具３を用いればよい。
【０１１６】
この場合、ノズル群毎に対応する溝３２に液滴を吐出し、充填長さを計測することによ
り、ノズル群毎に液滴吐出量を測定することができる。
【０１１７】
そのため、測定された液滴吐出量に基づいて、各ノズルの液滴吐出量を調整することに
より、画素間で生じる液滴充填量のばらつきを容易に抑制することが可能になる。
【０１１８】
また、本発明に係る描画装置１は、上述したカラーフィルタ基板ＣＦを有する液晶パネ
ルの製造のみに適用されるものではなく、例えば、電流を通すことによって発光する有機
機能層を画素として用いる有機ＥＬ装置等、他の電気光学装置の製造にも適用可能である
。なお、有機ＥＬ装置に本発明を適用した場合には、有機機能層が本発明に係る描画装置
によって形成される。
【０１１９】
さらに、液晶パネルや有機ＥＬ装置以外にも、金属配線や有機薄膜トランジスタ、レジ
ストやマイクロレンズアレイ、バイオ分野にも適用可能である。
（電子機器）
図１１（ａ）〜（ｃ）は、本発明の電子機器の実施の形態例を示している。
【０１２０】
本例の電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を有する液晶パネルを表示手段として備
えている。
【０１２１】
図１１（ａ）は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図１１（ａ）において、符号
１０００は携帯電話本体を示し、符号１００１は上記のカラーフィルタ基板を用いた表示
部を示している。
【０１２２】
図１１（ｂ）は、腕時計型電子機器の一例を示した斜視図である。図１１（ｂ）におい
て、符号１１００は時計本体を示し、符号１１０１は上記のカラーフィルタ基板を用いた
表示部を示している。
【０１２３】
図１１（ｃ）は、ワープロ、パソコンなどの携帯型情報処理装置の一例を示した斜視図
である。図１１（ｃ）において、符号１２００は情報処理装置、符号１２０２はキーボー
ドなどの入力部、符号１２０４は情報処理装置本体、符号１２０６は上記のカラーフィル
タ基板を用いた表示部を示している。
【０１２４】
図１１（ａ）〜（ｃ）に示すそれぞれの電子機器は、上記のカラーフィルタ基板を表示
手段として備えているので、表示品質に優れた電子機器を得ることができる。
【０１２５】
以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施形態について説明したが、本発
明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材
の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計
要求等に基づき種々変更可能である。
【０１２６】
例えば、上記実施形態では、測定用治具３における溝３２の底面及び側面が親液性を有
し、液滴受容部３１の表面が撥液性を有する構成としたが、これに限られず、全面が親液
性を有する構成であってもよい。撥液性のバンクが設けられた測定用治具３の場合には、
アッシング等が実施できないが、全面親液性の基板であれば、洗浄することにより液状材
料を除去することで再利用が可能であり、コスト削減に寄与できる。例えば、ＵＶ洗浄や
プラズマ洗浄を施すことにより、親液性も維持可能である。
【０１２７】
また、測定用治具３としては、ガラス基板やシリコン基板を好適に使用できる。また、
溝３２の深さは、着弾した液滴が乗り越えない大きさに設定することが好ましい。また、
溝３２の幅は、液滴が着弾して変形した際の最大径（着弾インパクト径）よりも大きくす
ることが好ましい。なお、着弾インパクト径とは、液滴が着弾後に数マイクロ秒程度で変
形するときの最大径であり、シミュレーションや、高速度カメラ、ストロボシステムで予
め計測することが可能である。
【０１２８】
全面が親液性の測定用治具３に液滴を吐出した場合には、溝３２の外部にはみ出した液
滴は溝３２に戻らないため、溝幅を着弾インパクト径＋着弾ばらつきの許容誤差程度に設
定することにより、飛行曲がりで溝内に着弾しなかった液滴は充填長さの計測に寄与しな
い。
【０１２９】
そのため、許容範囲を超える飛行曲がりのノズルについては、充填長さの計測から除外
することが可能になる。
【０１３０】
ここで、さらなるコスト削減を図る場合には、上述した液滴吐出ヘッド２からノズルプ
レート１２８を除いたキャビティ部品を測定用治具として用いればよい。通常、このキャ
ビティ部品は、シリコンで形成され、またキャビティのピッチもノズルピッチと同一であ
り、しかも表面は酸化処理で親液化されているため、測定用治具として好適に用いること
ができる。
【０１３１】
また、上記実施形態では、溝３２の一端に液滴を吐出して充填長さを計測する構成とし
ているが、これに限定されるものではなく、例えば中央部近傍に吐出して充填長さを計測
する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１３２】
【図１】本発明の液滴吐出量測定装置を搭載した描画装置の実施形態を示す斜視図である。
【図２】図１に示す描画装置における液滴吐出ヘッドを示す図である。
【図３】本発明の液滴吐出量測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す平面図である。
【図４】図１に示す描画装置における制御手段の構成を示すブロック図である。
【図５】測定用治具の実施形態と液滴吐出ヘッドとを示す側面図である。
【図６】測定用治具の溝内に液状材料が充填された図である。
【図７】ノズルとインク伸びとの関係を示す図である。
【図８】基板と基板上のカラーフィルタ領域の一部を示す図である。
【図９】カラーフィルタ領域におけるノズル番号と画素との対応関係を示す模式図である。
【図１０】液滴吐出量測定用治具の他の実施形態を示す図である。
【図１１】本発明の電子機器の具体例を示す図である。
【符号の説明】
【０１３３】
ＣＦ…カラーフィルタ基板（デバイス）、  １…描画装置、  ２…液滴吐出ヘッド、  
３…測定治具（液滴吐出量測定用治具）、  ２５…ノズル、  ３１…液滴受容部、  ３２
…溝、  ５３…計測カメラ（計測部）、  １１１…液状材料、  １１２…制御手段（推定
部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007125514.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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