(57)【要約】【課題】基板に向けてノズルから流動性材料を連続的に吐出して塗布する塗布装置のノズルの目詰まりを確実に防止する。【解決手段】塗布装置のノズルの洗浄では、界面活性剤を含む洗浄液にノズルが浸漬されて洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル表面から異物が除去される。続いて、ノズルが純水に浸漬されて純水に超音波振動が付与されることにより、ノズル表面から界面活性剤が除去される。次に、ノズルがアルコールに浸漬されてアルコールに超音波振動が付与されることにより、ノズル表面の純水がアルコールに置換される。そして、流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液にノズルが浸漬され、洗浄液に超音波振動が付与されることにより、ノズル表面のアルコールが流動性材料の主溶媒に置換される。その結果、ノズルを使用して行う流動性材料の塗布において、ノズルの目詰まりを確実に防止することができる。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
正孔輸送材料または有機ＥＬ材料を含む流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、
ａ）界面活性剤を含む洗浄液に塗布装置に装着前のノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｂ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｃ）流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
を備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項３】
正孔輸送材料または有機ＥＬ材料を含む流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、
ａ）塗布装置からノズルを取り外す工程と、
ｂ）流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｃ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｄ）界面活性剤を含む洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｅ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
を備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項４】
請求項３に記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ｄ）工程と前記ｅ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項５】
請求項３または４に記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ｅ）工程よりも後に、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程をさらに備え、
前記ノズルが乾燥する前に前記ノズルを使用した前記次の流動性材料の塗布が行われることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項６】
正孔輸送材料を含むとともに純水を主溶媒とする流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、
ａ）塗布装置からノズルを取り外す工程と、
ｂ）純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程と、
ｃ）界面活性剤を含む洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
ｄ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、
を備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項７】
請求項６に記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ｃ）工程と前記ｄ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備えることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項８】
請求項６または７に記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ｄ）工程よりも後に、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程をさらに備え、
前記ノズルが乾燥する前に前記ノズルを使用した前記次の流動性材料の塗布が行われることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれかに記載のノズルの洗浄方法であって、
前記ノズルが分解された状態で洗浄が行われることを特徴とするノズルの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズルから基板に向けて流動性材料を連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、基板上にレジスト液等の流動性材料を塗布する装置として、ノズルから基板に向けて流動性材料を吐出する塗布装置が知られている。このような吐出装置では、塗布作業の中断時にノズルが大気中に放置されると、ノズル先端部において流動性材料が乾燥してしまい、流動性材料の粘性が所定の粘度よりも高くなったり流動性材料が硬化してしまうことがある。そして、塗布作業が再開された際に、高粘度となった（あるいは、硬化した）流動性材料が基板上に吐出され、基板上に形成された塗布膜にムラ等が生じてしまう恐れがある。そこで、ノズル先端部の乾燥を防止するために、例えば、特許文献１の塗布装置では、塗布作業の中断時に流動性材料の溶媒をノズル先端部に継続的に吹き付けることが行われている。
【０００３】
ところで、近年、有機ＥＬ（Electro Luminescence）材料を利用した有機ＥＬ表示装置の開発が行われている。高分子有機ＥＬ材料を用いたアクティブマトリックス駆動方式の有機ＥＬ表示装置の製造では、ガラス基板（以下、単に「基板」という。）に対して、ＴＦＴ（Thin Film Transistor）回路の形成、陽極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）電極の形成、隔壁の形成、正孔輸送材料を含む流動性材料の塗布、加熱処理による正孔輸送層の形成、有機ＥＬ材料を含む流動性材料の塗布、加熱処理による有機ＥＬ層の形成、陰極の形成、および、絶縁膜の形成による封止が順次行われる。
【０００４】
このような有機ＥＬ表示装置の製造においても、正孔輸送材料や有機ＥＬ材料を含む流動性材料を塗布する塗布装置では、塗布作業が中断された後に再開された際に、塗布の質が低下することを防止する技術が提案されている。例えば、特許文献２の塗布装置では、塗布作業が中断された際にノズル先端部が挿入される待機ポッドが設けられる。当該塗布装置では、待機ポッドの内部空間を流動性材料に応じた溶媒雰囲気とすることにより、ノズルに付着した流動性材料やノズル内部の流動性材料の固化が防止される。また、塗布作業の再開時に待機ポッドの内部空間を減圧することにより、ノズル内部の流動性材料を速やかに吐出する技術も開示されている。
【０００５】
一方、特許文献３では、有機ＥＬ塗布装置のノズル内部にフィルタを設けることにより、ノズルの目詰まりを防止する技術が開示されている。
【特許文献１】特開平６−２０９３６号公報
【特許文献２】特開２００３−１０７５６号公報
【特許文献３】特開２００４−４１９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、正孔輸送材料や有機ＥＬ材料を含む流動性材料を塗布する塗布装置では、塗布される流動性材料のパターンが非常に微細であるため、流動性材料を吐出するノズルの開口も非常に小さい。このため、仮に使用前のノズル内部に異物が付着していたとすると、その異物が空気中に浮遊しているような微小なパーティクルであったとしても、流動性材料の吐出時にノズルの開口に詰まってしまう可能性がある。しかしながら、このような塗布装置では、装置の製造の際にはノズルの洗浄等が行われるが、装置の納品先において使用前のノズルを洗浄することは行われていないため、製造時の洗浄後にノズルに付着した異物によりノズルの開口が詰まってしまう恐れがある。
【０００７】
また、装置のメンテナンス時等のように塗布作業を長時間に亘って中断する場合や、使用後のノズルを保管する場合、ノズルをそのまま放置しておくと、ノズルの内部および外部に付着した流動性材料が硬化してしまい、ノズルを再使用する際に正常な吐出が行われなくなってしまう。また、硬化した流動性材料がノズルから剥離してノズルが詰まってしまったり、基板上に落下して塗布の質が低下してしまう可能性もある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、ノズルの目詰まりを確実に防止することを主な目的としており、また、使用後のノズルに付着した流動性材料を確実に除去することも目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
請求項１に記載の発明は、正孔輸送材料または有機ＥＬ材料を含む流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、ａ）界面活性剤を含む洗浄液に塗布装置に装着前のノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｂ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｃ）流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程とを備える。
【００１０】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のノズルの洗浄方法であって、前記ａ）工程と前記ｂ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備える。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、正孔輸送材料または有機ＥＬ材料を含む流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、ａ）塗布装置からノズルを取り外す工程と、ｂ）流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｃ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｄ）界面活性剤を含む洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｅ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程とを備える。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のノズルの洗浄方法であって、前記ｄ）工程と前記ｅ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備える。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項３または４に記載のノズルの洗浄方法であって、前記ｅ）工程よりも後に、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程をさらに備え、前記ノズルが乾燥する前に前記ノズルを使用した前記次の流動性材料の塗布が行われる。
【００１４】
請求項６に記載の発明は、正孔輸送材料を含むとともに純水を主溶媒とする流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する塗布装置において使用されるノズルの洗浄方法であって、ａ）塗布装置からノズルを取り外す工程と、ｂ）純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程と、ｃ）界面活性剤を含む洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程と、ｄ）アルコールを主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程とを備える。
【００１５】
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載のノズルの洗浄方法であって、前記ｃ）工程と前記ｄ）工程との間に、純水に前記ノズルを浸漬して前記純水に対して超音波振動を付与する工程をさらに備える。
【００１６】
請求項８に記載の発明は、請求項６または７に記載のノズルの洗浄方法であって、前記ｄ）工程よりも後に、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に前記ノズルを浸漬して前記洗浄液に対して超音波振動を付与する工程をさらに備え、前記ノズルが乾燥する前に前記ノズルを使用した前記次の流動性材料の塗布が行われる。
【００１７】
請求項９に記載の発明は、請求項１ないし８のいずれかに記載のノズルの洗浄方法であって、前記ノズルが分解された状態で洗浄が行われる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明では、ノズルの目詰まりを確実に防止することができる。請求項２，４および７の発明では、ノズルから界面活性剤を確実に除去することができる。請求項３および６の発明では、ノズルに付着した流動性材料を確実に除去することができる。請求項５および７の発明では、次の流動性材料に不純物が混入することを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
図１は、本発明の一の実施の形態に係るノズルの洗浄方法により洗浄されるノズルを備える塗布装置１の構成を示す平面図であり、図２は塗布装置１の正面図である。塗布装置１は、正孔輸送材料または有機ＥＬ材料を含む流動性材料を有機ＥＬ表示装置用の基板９に向けてノズルから連続的に吐出して塗布する装置である。ここで、「正孔輸送材料」とは、有機ＥＬ表示装置の正孔輸送層を形成する材料であり、「正孔輸送層」とは、有機ＥＬ材料により形成された有機ＥＬ層へと正孔を輸送する狭義の正孔輸送層のみを意味するのではなく、正孔の注入を行う正孔注入層も含む。
【００２０】
図２に示すように、塗布装置１は、基板９を保持する基板保持部１１、および、基板保持部１１を所定の移動方向（すなわち、図１中における上下方向）に水平移動するとともに垂直方向に向く軸を中心として回転する基板移動機構１２を備える。基板保持部１１は、内部にヒータによる加熱機構（図示省略）を備える。
【００２１】
塗布装置１は、また、図１および図２に示すように、基板９上に形成されたアライメントマーク（図示省略）を撮像して検出するアライメントマーク検出部１３、基板保持部１１上の基板９に向けて流動性材料を吐出して塗布する塗布ヘッド１４、塗布ヘッド１４を基板保持部１１の移動方向とは垂直な水平方向（すなわち、図１中における左右方向）に移動するヘッド移動機構１５、塗布ヘッド１４の移動方向に関して基板保持部１１の両側に設けられるとともに塗布ヘッド１４からの流動性材料を受ける２つの受液部１６、塗布ヘッド１４に流動性材料を供給する流動性材料供給部１８、および、これらの構成を制御する制御部を備える。
【００２２】
塗布ヘッド１４は、流動性材料をそれぞれ吐出する３本のノズル１７ａ，１７ｂ，１７ｃを備える。ノズル１７ａ〜１７ｃは、図１中における左右方向（すなわち、塗布ヘッド１４の移動方向であり、以下、ノズル１７ａ〜１７ｃの「主走査方向」という。）に略直線状に配列されるとともに図１中における上下方向（すなわち、基板９の移動方向であり、以下、「副走査方向」という。）に僅かにずれて配置される。図１中における上下方向（すなわち、副走査方向）に関し、ノズル１７ａとノズル１７ｂとの間の距離、および、ノズル１７ｂとノズル１７ｃとの間の距離は、基板９上に予め形成されている図１中の左右方向（すなわち、主走査方向）に伸びる隔壁間のピッチ（以下、「隔壁ピッチ」という。）と等しくされる。
【００２３】
流動性材料供給部１８は、流動性材料を貯溜する貯溜タンク、貯溜タンクから流動性材料を吸引するポンプ、および、流動性材料の流量を検出する流量計を３組備え、ノズル１７ａ〜１７ｃのそれぞれに各１つの貯溜タンク、ポンプおよび流量計が接続される。塗布装置１では、流量計からの出力に基づいてポンプが制御部により制御されることにより、流動性材料が予め設定された設定流量にてノズル１７ａ〜１７ｃに供給されて基板９に向けて吐出される。
【００２４】
塗布装置１により有機ＥＬ材料を含む流動性材料（以下、「有機ＥＬ液」という。）が塗布される場合、塗布ヘッド１４では、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、青色（Ｂ）と互いに色が異なる３種類の有機ＥＬ材料をそれぞれ含む３種類の有機ＥＬ液が３本のノズル１７ａ〜１７ｃに供給される。また、正孔輸送材料を含む流動性材料（以下、「正孔輸送液」という。）が塗布される場合、３本のノズル１７ａ〜１７ｃには同一種類の正孔輸送液が供給される。なお、塗布ヘッド１４では、３本のノズル１７ａ〜１７ｃに同色（すなわち、同一種類）の有機ＥＬ液が供給されてもよい。この場合、隣接する２本のノズルの間の距離は、隔壁ピッチの３倍と等しくされる。
【００２５】
図３は、ノズル１７ａの構成を示す縦断面図であり、図４は、ノズル１７ａの分解図である。以下、図３および図４を参照しつつ塗布装置１において使用されるノズル１７ａの構造について説明する。ノズル１７ｂ，１７ｃの構造はノズル１７ａと同様であるため、説明を省略する。
【００２６】
図３および図４に示すように、ノズル１７ａは、下方に向けて開口する略有底円筒状のノズル本体１７１を備え、ノズル本体１７１の上底部（すなわち、図３中の上側の底部）には、ノズル本体１７１の内部空間１７０に連通する貫通穴１７０ａが形成されている。ノズル１７ａは、また、略円筒状のスペーサ１７２，１７４、円形のシート状のフィルタ１７３、中心に微小な吐出口１７５ａが形成された円板状のオリフィス部材１７５、および、蓋部材１７６を備える。
【００２７】
ノズル１７ａは、図３に示すように、ノズル本体１７１の内部空間１７０にスペーサ１７２、フィルタ１７３、スペーサ１７４およびオリフィス部材１７５が順に挿入された状態で、蓋部材１７６がノズル本体１７１の下端部に設けられたネジ山に螺合することにより形成される。フィルタ１７３は、フッ素系樹脂（例えば、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）樹脂）により形成されており、スペーサ１７２，１７４により上下から外周部を挟まれることにより内部空間１７０において所定の位置に保持される。なお、フィルタ１７３とフィルタ１７３を内部空間１７０において保持する構造（本実施の形態では、スペーサ１７２，１７４）とは、後述するノズル１７ａの洗浄において、フィルタ部として一体的に取り扱われてもよい。
【００２８】
ノズル１７ａでは、流動性材料供給部１８からの流動性材料が、貫通穴１７０ａを介してノズル本体１７１の内部空間１７０に供給され、フィルタ１７３を透過することにより異物が除去された後、オリフィス部材１７５の吐出口１７５ａから吐出される。
【００２９】
次に、塗布装置１による流動性材料の塗布の流れについて説明する。塗布装置１により流動性材料の塗布が行われる際には、まず、基板９が基板保持部１１に載置されて保持され、アライメントマーク検出部１３からの出力に基づいて基板移動機構１２が駆動されて基板９が図１中に実線にて示す塗布開始位置に位置する。塗布ヘッド１４は予め図１および図２中に実線にて示す待機位置（すなわち、図１および図２中の左側の受液部１６の上方）に位置している。
【００３０】
続いて、流動性材料供給部１８が制御されてノズル１７ａ〜１７ｃから流動性材料の吐出が開始されるとともに、ヘッド移動機構１５が駆動されて塗布ヘッド１４（すなわち、ノズル１７ａ〜１７ｃ）の主走査方向における移動が開始される。塗布装置１では、塗布ヘッド１４の３本のノズル１７ａ〜１７ｃから流動性材料を基板９に向けて連続的に吐出しつつ、ノズル１７ａ〜１７ｃを基板９に対して図１中の左側から右側へと相対的に移動することにより、流動性材料が基板９上にストライプ状に塗布される。基板９上の塗布領域には上述のように複数の隔壁が予め形成されており、ノズル１７ａ〜１７ｃからの流動性材料は隔壁間の隣接する３つの溝部に塗布される。また、塗布領域の周囲の非塗布領域は、図示省略のマスク部により覆われているため、流動性材料は塗布されない。
【００３１】
塗布ヘッド１４が図１および図２中に二点鎖線にて示す待機位置（すなわち、図１および図２中の右側の受液部１６の上方）まで移動すると、基板移動機構１２が駆動され、基板９が基板保持部１１と共に図１中の上側に隔壁ピッチの３倍の距離だけ移動する。このとき、塗布ヘッド１４では、ノズル１７ａ〜１７ｃから受液部１６に向けて流動性材料が連続的に吐出されている。基板９の副走査方向における移動が終了すると、塗布ヘッド１４が流動性材料を吐出しつつ図１中において右側から左側へと移動することにより、流動性材料が基板９上にストライプ状に塗布される。
【００３２】
塗布装置１では、基板９に対するノズル１７ａ〜１７ｃの主走査および副走査が高速に繰り返される。そして、基板９が図１中に二点鎖線にて示す塗布終了位置まで移動すると、ノズル１７ａ〜１７ｃからの流動性材料の吐出が停止されて基板９に対する流動性材料の塗布が終了する。
【００３３】
次に、塗布装置１の使用において様々な場面で行われるノズル１７ａの洗浄について説明する。ノズル１７ｂ，１７ｃの洗浄方法および洗浄に用いられる装置は、ノズル１７ａの洗浄と同様であるため説明を省略する。図５は、ノズル１７ａの洗浄に用いられる洗浄装置２の構成を示す図である。図５に示すように、洗浄装置２は、ノズル１７ａが浸漬される洗浄液が貯溜される貯溜槽２１、および、貯溜槽２１を介して貯溜槽２１内の洗浄液に超音波振動を付与する超音波発生機構２２を備える。
【００３４】
ノズル１７ａの洗浄では、ノズル１７ａが図４に示す複数の構成品（すなわち、ノズル本体１７１、スペーサ１７２，１７４、フィルタ１７３、オリフィス部材１７５、および、蓋部材１７６）に分解された状態で貯溜槽２１内の洗浄液に浸漬される。そして、超音波振動が所定の時間だけ洗浄液に付与されることにより、ノズル１７ａの各構成品に付着した異物や流動性材料が構成品の表面から除去される（すなわち、ノズル１７ａの洗浄が行われる。）。
【００３５】
本実施の形態では、洗浄液に付与される超音波振動の振動数は約４０ｋＨｚとされ、洗浄液に対する超音波振動の付与時間はおよそ１〜１０分間とされる。なお、洗浄液に付与される超音波振動の振動数および付与時間は、ノズル１７ａから除去すべき異物の種類等に合わせて適宜変更されてよい。
【００３６】
図６は、ノズル１７ａを初めて使用する場合や使用後に洗浄されて保管されていたノズル１７ａを再度使用する場合等、流動性材料が付着していないノズル１７ａを使用するに際して、塗布装置１による流動性材料の塗布が行われる前に実施されるノズル１７ａの洗浄の流れを示す図である。図６に示すノズル１７ａの洗浄では、４つの洗浄装置（以下、それぞれを区別するために「第１の洗浄装置」ないし「第４の洗浄装置」という。）２が用いられる。
【００３７】
使用前のノズル１７ａに対して図６に示す洗浄が行われる際には、まず、第１の洗浄装置２の貯溜槽２１に貯溜された界面活性剤を含む洗浄液に、塗布装置１に装着される前のノズル１７ａが分解された状態で浸漬される（ステップＳ１１）。本実施の形態では、洗浄液は界面活性剤を純水により希釈して生成されたものであり、洗浄液中の界面活性剤の体積濃度は約３％〜１０％とされる。続いて、超音波発生機構２２により貯溜槽２１内の洗浄液に対して超音波振動が約１０分間だけ付与されることにより、ノズル１７ａ（の各構成品）の表面に付着しているパーティクル等の異物や油脂成分が除去される（ステップＳ１２）。このとき、界面活性剤によりノズル１７ａの静電気が除去される（または、静電気による帯電状態が緩和される）ため、洗浄液中に浮遊するパーティクル等がノズル１７ａに引き寄せられて付着することが防止される。
【００３８】
界面活性剤を含む洗浄液による超音波洗浄（以下、「界面活性剤洗浄」という。）が終了すると、ノズル１７ａが第１の洗浄装置２から取り出され、第２の洗浄装置２の貯溜槽２１に貯溜された純水に分解された状態で浸漬される（ステップＳ１３）。そして、超音波発生機構２２により貯溜槽２１内の純水に対して超音波振動がおよそ１〜１０分間だけ付与されることにより、ノズル１７ａの表面に付着している界面活性剤を含む洗浄液が除去される（ステップＳ１４）。ステップＳ１３，Ｓ１４に示す純水による超音波洗浄工程（いわゆる、リンス工程）では、ノズル１７ａから界面活性剤を確実に除去することができるだけでなく、ステップＳ１１，Ｓ１２における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等も除去される。
【００３９】
純水による超音波洗浄（以下、「純水洗浄」という。）が終了すると、ノズル１７ａが第２の洗浄装置２から取り出され、第３の洗浄装置２の貯溜槽２１に貯溜されたアルコール（両親媒性を示す低分子アルコールであり、本実施の形態ではエタノール）を主成分とする洗浄液に分解された状態で浸漬され（ステップＳ１５）、超音波発生機構２２により貯溜槽２１内の洗浄液に対して超音波振動が約１０分間だけ付与される（ステップＳ１６）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している純水がアルコールに置換されるとともに、ステップＳ１１〜Ｓ１４における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。また、フィルタ１７３（図４参照）が疎水性である場合には、フィルタ１７３に対する親水処理も行われる。なお、洗浄液の主成分であるアルコールとしては、取り扱いが容易であり安全なエタノールが用いられることが好ましいが、ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）等の他のアルコールが用いられてもよい。
【００４０】
アルコールを主成分とする洗浄液による超音波洗浄（以下、「アルコール洗浄」という。）が終了すると、ノズル１７ａが第３の洗浄装置２から取り出され、第４の洗浄装置２の貯溜槽２１に貯溜された洗浄液に分解された状態で浸漬される（ステップＳ１７）。第４の洗浄装置２で用いられる洗浄液は、第４の洗浄装置２による洗浄後のノズル１７ａを用いて塗布される（すなわち、洗浄後のノズル１７ａが取り付けられた塗布装置１により塗布される）予定の流動性材料の主溶媒を主成分とする。具体的には、洗浄後のノズル１７ａを用いて有機ＥＬ液が塗布される場合には、有機ＥＬ液の主溶媒（例えば、メシチレン）が洗浄液の主成分とされ、正孔輸送液が塗布される場合には、正孔輸送液の主溶媒が洗浄液の主成分とされる。例えば、水溶性ＰＥＤＯＴ（ポリエチレンジオキシチオフェン）を正孔輸送材料として含む正孔輸送液が塗布される場合には洗浄液は純水とされ、有機溶媒可溶性のＰＥＤＯＴを正孔輸送材料として含む正孔輸送液が塗布される場合には洗浄液は有機溶媒を主成分とするものとされる。
【００４１】
第４の洗浄装置２では、超音波発生機構２２により貯溜槽２１内の洗浄液に対して超音波振動がおよそ１〜１０分間だけ付与されることにより、ノズル１７ａの表面に付着しているアルコールが流動性材料の主溶媒に置換されるとともに、ステップＳ１１〜Ｓ１６における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される（ステップＳ１８）。図６に示す洗浄方法では、流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液による超音波洗浄（以下、「溶媒洗浄」という。）に先立ち、ステップＳ１５，Ｓ１６に示すアルコール洗浄により、純水洗浄（ステップＳ１３，Ｓ１４）においてノズル１７ａの表面に付着した純水が両親媒性の（すなわち、分子内に親水基と疎水基とを併せ持ち、親水性および親油性の双方を示す）アルコールに置換される。このため、溶媒洗浄において、流動性材料の主溶媒の性質（すなわち、主溶媒が水性であるか油性であるか）に関わらず、ノズル１７ａの表面全体に流動性材料の主溶媒を速やかに行き渡らせることができる。
【００４２】
溶媒洗浄が終了すると、第４の洗浄装置２から取り出されたノズル１７ａの各構成品は、表面に付着した流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液が蒸発する前に（すなわち、ノズル１７ａが乾燥する前に）組み立てられ、同様に洗浄されて組み立てられたノズル１７ｂ，１７ｃと共に塗布装置１に装着される。そして、ノズル１７ａ〜１７ｃが乾燥する前にノズル１７ａ〜１７ｃを使用した塗布装置１による流動性材料の塗布が行われる。このとき、塗布装置１では、流動性材料の塗布が開始されるまでノズル１７ａ〜１７ｃの表面がウェットな状態とされているため、大気中に浮遊しているパーティクル等の異物が静電気等によりノズル１７ａ〜１７ｃに付着することを抑制することができる。また、ノズル１７ａ〜１７ｃの表面に付着している洗浄液が流動性材料の主溶媒を主成分とするため、ノズル１７ａ〜１７ｃから吐出される流動性材料にアルコールや界面活性剤等の不純物が混入することを防止することができる。
【００４３】
図６に示す洗浄方法では、ノズル１７ａ〜１７ｃに対して、界面活性剤洗浄、純水洗浄、アルコール洗浄および溶媒洗浄を順次行うことにより、ノズル１７ａ〜１７ｃに付着している異物や油脂成分等を確実に除去することができる。そして、塗布装置１による流動性材料の塗布が行われる前に当該洗浄方法によりノズル１７ａ〜１７ｃを洗浄することにより、ノズル１７ａ〜１７ｃを使用して行う流動性材料の塗布において、ノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まり（すなわち、図３に示すノズル１７ａの吐出口１７５ａに異物等が詰まってしまうこと）を確実に防止することができる。その結果、ノズル１７ａ〜１７ｃからの流動性材料の安定した吐出が実現され、膜厚の均一性を向上しつつ流動性材料を塗布することができる。また、ノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりに起因する塗布装置１の停止を防止し、ＣｏＯ（Cost of Ownership）を削減することもできる。
【００４４】
図６に示す洗浄方法では、ノズル１７ａ〜１７ｃが分解された状態で洗浄されることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃの内壁に付着している異物等をより確実に除去することができ、ノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりをより確実に防止することができる。
【００４５】
なお、上述の洗浄方法では、４つの洗浄装置２を用いてノズル１７ａ〜１７ｃの洗浄が行われるが、例えば、ステップＳ１７，Ｓ１８に示す溶媒洗浄において洗浄液が純水である場合には、溶媒洗浄は、ステップＳ１３，Ｓ１４に示す純水洗浄が行われた第２の洗浄装置２により行われてもよい。また、洗浄液を順次入れ替えることにより、１つの洗浄装置２においてステップＳ１１〜Ｓ１８に示す各洗浄が行われてもよい。
【００４６】
図７．Ａおよび図７．Ｂは、塗布装置１による流動性材料の塗布が行われた後に実施される、流動性材料の塗布に使用されたノズル１７ａの洗浄の流れを示す図である。図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄は、流動性材料の塗布作業中に何らかの異常等によりノズル１７ａが詰まってしまった場合、一の流動性材料の塗布に使用したノズル１７ａを異なる種類の流動性材料の塗布に使用する場合、または、使用後のノズル１７ａを保管する場合等、流動性材料が付着している使用途中または使用後のノズル１７ａに対して行われる。
【００４７】
図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄では、図６に示す洗浄工程（ステップＳ１１〜Ｓ１８）よりも前に、溶媒洗浄およびアルコール洗浄がさらに行われる。また、使用後のノズル１７ａを保管する場合には、図６中のステップＳ１７，Ｓ１８に示す溶媒洗浄が省略される。図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄にも、図６に示す洗浄にて使用される洗浄装置２が用いられる（後述の図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄においても同様）。
【００４８】
具体的には、まず、流動性材料の塗布が停止された塗布装置１からノズル１７ａが取り外され、図４に示す複数の構成品に分解される（ステップＳ２１）。続いて、当該流動性材料（すなわち、ノズル１７ａがその塗布に使用されていた流動性材料）の主溶媒を主成分とする洗浄液にノズル１７ａが分解された状態で浸漬され（ステップＳ２２）、当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることによりノズル１７ａに対する１回目の溶媒洗浄が行われる（ステップＳ２３）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している流動性材料が洗浄液中に溶け出して除去されるとともにノズル１７ａの表面に付着しているパーティクル等の異物も除去される。
【００４９】
１回目の溶媒洗浄が終了すると、ノズル１７ａがアルコールを主成分とする洗浄液に浸漬されて当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する１回目のアルコール洗浄が行われる（ステップＳ２４，Ｓ２５）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している流動性材料の主溶媒がアルコールに置換されるとともに、ステップＳ２２，Ｓ２３における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。
【００５０】
１回目のアルコール洗浄が終了すると、界面活性剤を含む洗浄液にノズル１７ａが浸漬されて当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する界面活性剤洗浄が行われる（ステップＳ２６，Ｓ２７）。これにより、ステップＳ２２〜Ｓ２５における洗浄により除去されずにノズル１７ａの表面に付着しているパーティクル等の異物や油脂成分が除去され、さらに、ノズル１７ａが除電されることにより、洗浄液中に浮遊するパーティクル等がノズル１７ａに付着することが防止される。
【００５１】
図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法では、界面活性剤洗浄の直前にステップＳ２４，Ｓ２５に示すアルコール洗浄が行われるため、１回目の溶媒洗浄（ステップＳ２２，Ｓ２３）において用いられる洗浄液の性質（すなわち、流動性材料の主溶媒の性質）に関わらず、ノズル１７ａの表面全体に界面活性剤を含む洗浄液を速やかに行き渡らせることができ、界面活性剤洗浄を効率的に行うことができる。
【００５２】
界面活性剤洗浄が終了すると、ノズル１７ａが純水に浸漬されて当該純水に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する純水洗浄が行われる（ステップＳ２８，Ｓ２９）。これにより、ノズル１７ａの表面から界面活性剤を確実に除去することができる。また、ステップＳ２２〜Ｓ２７における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等も除去される。
【００５３】
純水洗浄が終了すると、ノズル１７ａがアルコールを主成分とする洗浄液に浸漬されて当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する２回目のアルコール洗浄が行われる（ステップＳ３０，Ｓ３１）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している純水が両親媒性のアルコールに置換されるとともに、ステップＳ２２〜Ｓ２９における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。
【００５４】
ノズル１７ａが洗浄後すぐに次の流動性材料の塗布に使用されない場合には（ステップＳ３２）、２回目のアルコール洗浄後のノズル１７ａが乾燥されて所定の保管場所に保管される（ステップＳ３２１）。
【００５５】
また、ノズル１７ａが洗浄後すぐに次の流動性材料の塗布に使用される場合には（ステップＳ３２）、２回目のアルコール洗浄後のノズル１７ａが、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に浸漬され、当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する２回目の溶媒洗浄が行われる（ステップＳ３３，Ｓ３４）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着しているアルコールが次の流動性材料の主溶媒に置換されるとともに、ステップＳ２２〜Ｓ３１における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。
【００５６】
図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法においても、図６に示す洗浄方法と同様に、２回目の溶媒洗浄の直前に２回目のアルコール洗浄が行われるため、次の流動性材料の主溶媒の性質に関わらず、ノズル１７ａの表面全体に次の流動性材料の主溶媒を速やかに行き渡らせることができる。なお、次の流動性材料は、図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄が行われる前にノズル１７ａにより吐出されていた流動性材料と同一の種類であってもよく、異なる種類であってもよい。
【００５７】
２回目の溶媒洗浄が終了すると、ノズル１７ａの各構成品が組み立てらてノズル１７ｂ，１７ｃと共に塗布装置１に装着され、ノズル１７ａ〜１７ｃが乾燥する前にノズル１７ａ〜１７ｃを使用した塗布装置１による次の流動性材料の塗布が行われる。この場合も、上述のように、次の流動性材料の塗布が開始されるまでノズル１７ａ〜１７ｃの表面がウェットな状態とされているため、大気中に浮遊しているパーティクル等の異物がノズル１７ａ〜１７ｃに付着することを抑制することができる。また、ノズル１７ａ〜１７ｃの表面に付着している洗浄液が次の流動性材料の主溶媒を主成分とするため、ノズル１７ａ〜１７ｃから吐出される次の流動性材料にアルコールや界面活性剤等の不純物が混入することを防止することができる。
【００５８】
図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法では、洗浄後のノズル１７ａ〜１７ｃを保管する場合、ノズル１７ａ〜１７ｃに対して１回目の溶媒洗浄、１回目のアルコール洗浄、界面活性剤洗浄、純水洗浄および２回目のアルコール洗浄が順次行われることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃに付着している流動性材料や異物、油脂成分等を確実に除去することができ、ノズル１７ａ〜１７ｃを清浄な状態で保管することができる。さらには、保管されたノズル１７ａ〜１７ｃを再使用する場合、上述のように、図６に示す洗浄方法により洗浄するのみでよく、ノズル１７ａ〜１７ｃを速やかに再使用することができるとともにノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりを確実に防止することができる。
【００５９】
また、洗浄後のノズル１７ａ〜１７ｃをすぐに次の流動性材料の塗布に使用する場合、１回目の溶媒洗浄、１回目のアルコール洗浄、界面活性剤洗浄、純水洗浄および２回目のアルコール洗浄に加えて、２回目の溶媒洗浄（すなわち、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液による洗浄）が行われることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃに付着している流動性材料や異物、油脂成分等を確実に除去してノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりを確実に防止することができるとともに次の流動性材料にアルコールや界面活性剤等の不純物が混入することを防止することができる。
【００６０】
図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法でも、図６に示す洗浄方法と同様に、ノズル１７ａ〜１７ｃが分解された状態で洗浄されることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃの内壁に付着している流動性材料や異物等をより確実に除去することができ、ノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりをより確実に防止することができる。
【００６１】
図８．Ａおよび図８．Ｂは、水溶性の正孔輸送材料（例えば、水溶性ＰＥＤＯＴ）を含むとともに純水を主溶媒とする流動性材料（すなわち、正孔輸送液）の塗布に使用されたノズル１７ａに対して行われる洗浄の流れを示す図である。図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄は、図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄と同様に、塗布装置１による流動性材料の塗布が行われた後に行われるノズル１７ａの洗浄であるが、図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄では、流動性材料の主溶媒が純水であるため、図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法からステップＳ２４，Ｓ２５に示す１回目のアルコール洗浄工程を省略される。
【００６２】
使用途中または使用後のノズル１７ａに対して図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄が行われる際には、まず、塗布装置１からノズル１７ａが取り外されて分解される（ステップＳ４１）。続いて、ノズル１７ａが、使用されていた流動性材料の主溶媒である純水に分解された状態で浸漬され（ステップＳ４２）、当該純水に対して超音波振動が付与されることによりノズル１７ａに対する１回目の溶媒洗浄（純水洗浄ともいえる。）が行われる（ステップＳ４３）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している流動性材料が主溶媒である純水中に溶け出して除去されるとともにノズル１７ａの表面に付着しているパーティクル等の異物も除去される。
【００６３】
１回目の溶媒洗浄が終了すると、界面活性剤を含む洗浄液にノズル１７ａが浸漬されて当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する界面活性剤洗浄が行われる（ステップＳ４４，Ｓ４５）。これにより、ステップＳ４２，Ｓ４３における洗浄により除去されずにノズル１７ａの表面に付着しているパーティクル等の異物や油脂成分が除去され、さらに、ノズル１７ａが除電されることにより、洗浄液中に浮遊するパーティクル等がノズル１７ａに付着することが防止される。図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄方法では、ステップＳ４２，Ｓ４３に示すノズル１７ａに対する溶媒洗浄が純水により行われるため、溶媒洗浄後にノズル１７ａの表面に付着している流動性材料の主溶媒（すなわち、純水）をアルコールに置換することなく、ノズル１７ａの表面全体に界面活性剤を含む洗浄液を速やかに行き渡らせることができ、界面活性剤洗浄を効率的に行うことができる。
【００６４】
界面活性剤洗浄が終了すると、ノズル１７ａが純水に浸漬されて当該純水に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する純水洗浄が行われる（ステップＳ４６，Ｓ４７）。これにより、ノズル１７ａの表面から界面活性剤を確実に除去することができる。また、ステップＳ４２〜Ｓ４５における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等も除去される。
【００６５】
純水洗浄が終了すると、ノズル１７ａがアルコールを主成分とする洗浄液に浸漬されて当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対するアルコール洗浄が行われる（ステップＳ４８，Ｓ４９）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着している純水が両親媒性のアルコールに置換されるとともに、ステップＳ４２〜Ｓ４７における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。
【００６６】
ノズル１７ａが洗浄後すぐに次の流動性材料の塗布に使用されない場合には（ステップＳ５０）、アルコール洗浄後のノズル１７ａが乾燥されて所定の保管場所に保管される（ステップＳ５０１）。
【００６７】
また、ノズル１７ａが洗浄後すぐに次の流動性材料の塗布に使用される場合には（ステップＳ５０）、アルコール洗浄後のノズル１７ａが、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液に浸漬され、当該洗浄液に対して超音波振動が付与されることにより、ノズル１７ａに対する２回目の溶媒洗浄が行われる（ステップＳ５１，Ｓ５２）。これにより、ノズル１７ａの表面に付着しているアルコールが次の流動性材料の主溶媒に置換されるとともに、ステップＳ４２〜Ｓ４９における洗浄により除去されなかった異物等がノズル１７ａの表面に残存している場合には、当該異物等が除去される。
【００６８】
図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄方法においても、図６に示す洗浄方法と同様に、２回目の溶媒洗浄の直前にアルコール洗浄が行われるため、次の流動性材料の主溶媒の性質に関わらず、ノズル１７ａの表面全体に次の流動性材料の主溶媒を速やかに行き渡らせることができる。なお、次の流動性材料は、図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄が行われる前にノズル１７ａにより吐出されていた流動性材料（すなわち、水溶性の正孔輸送材料を含むとともに純水を主溶媒とする流動性材料）と同一の種類であってもよく、異なる種類であってもよい。なお、次の流動性材料の主溶媒も純水である場合（例えば、ノズル１７ａの洗浄の前後で塗布される流動性材料が同一の種類である場合）には、ステップＳ４８〜Ｓ５２は省略されてもよい。
【００６９】
２回目の溶媒洗浄が終了すると、ノズル１７ａの各構成品が組み立てらてノズル１７ｂ，１７ｃと共に塗布装置１に装着され、ノズル１７ａ〜１７ｃが乾燥する前にノズル１７ａ〜１７ｃを使用した塗布装置１による次の流動性材料の塗布が行われる。この場合も、上述のように、次の流動性材料の塗布が開始されるまでノズル１７ａ〜１７ｃの表面がウェットな状態とされているため、大気中に浮遊しているパーティクル等の異物がノズル１７ａ〜１７ｃに付着することを抑制することができる。また、ノズル１７ａ〜１７ｃの表面に付着している洗浄液が次の流動性材料の主溶媒を主成分とするため、ノズル１７ａ〜１７ｃから吐出される次の流動性材料にアルコールや界面活性剤等の不純物が混入することを防止することができる。
【００７０】
図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄方法では、洗浄後のノズル１７ａ〜１７ｃを保管する場合、ノズル１７ａ〜１７ｃに対して１回目の溶媒洗浄（すなわち、純水洗浄）、界面活性剤洗浄、純水洗浄およびアルコール洗浄が順次行われることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃに付着している流動性材料や異物、油脂成分等を確実に除去することができ、ノズル１７ａ〜１７ｃを清浄な状態で保管することができる。さらには、保管されたノズル１７ａ〜１７ｃを再使用する場合、図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法と同様に、ノズル１７ａ〜１７ｃを速やかに再使用することができるとともにノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりを確実に防止することができる。
【００７１】
また、洗浄後のノズル１７ａ〜１７ｃをすぐに次の流動性材料の塗布に使用する場合、１回目の溶媒洗浄、界面活性剤洗浄、純水洗浄およびアルコール洗浄に加えて、２回目の溶媒洗浄（すなわち、次の流動性材料の主溶媒を主成分とする洗浄液による洗浄）が行われることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃに付着している流動性材料や異物、油脂成分等を確実に除去してノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりを確実に防止することができるとともに次の流動性材料にアルコールや界面活性剤等の不純物が混入することを防止することができる。
【００７２】
図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄方法でも、図６並びに図７．Ａおよび図７．Ｂに示す洗浄方法と同様に、ノズル１７ａ〜１７ｃが分解された状態で洗浄されることにより、ノズル１７ａ〜１７ｃの内壁に付着している流動性材料や異物等をより確実に除去することができ、ノズル１７ａ〜１７ｃの目詰まりをより確実に防止することができる。
【００７３】
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変更が可能である。
【００７４】
例えば、図８．Ａおよび図８．Ｂに示す洗浄方法は、水溶性の有機ＥＬ材料を含むとともに純水を主溶媒とする流動性材料の塗布に使用されたノズル１７ａ〜１７ｃの洗浄に適用されてもよい。また、上記実施の形態に係る洗浄方法では、ノズル１７ａ〜１７ｃは必ずしも分解された状態で洗浄される必要はなく、異物等の付着の程度が軽い場合等、状況に応じて組み立てられた状態で洗浄されてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】塗布装置の平面図である。
【図２】塗布装置の正面図である。
【図３】ノズルの縦断面図である。
【図４】ノズルの分解図である。
【図５】洗浄装置の構成を示す図である。
【図６】ノズルの洗浄の流れを示す図である。
【図７．Ａ】ノズルの洗浄の流れを示す図である。
【図７．Ｂ】ノズルの洗浄の流れを示す図である。
【図８．Ａ】ノズルの洗浄の流れを示す図である。
【図８．Ｂ】ノズルの洗浄の流れを示す図である。
【符号の説明】
【００７６】
１    塗布装置
９    基板
１７ａ，１７ｂ，１７ｃ    ノズル
Ｓ１１〜Ｓ１８，Ｓ２１〜Ｓ３４，Ｓ４１〜Ｓ５２，Ｓ３２１，Ｓ５０１    ステップ
【図１】
2007123038.tif 000003
【図２】
2007123038.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７．Ａ】
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【図７．Ｂ】
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【図８．Ａ】
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【図８．Ｂ】
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