(57)【要約】【課題】配列間隔の狭小化に対応可能とし、検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能とし、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能とする。【解決手段】導電性接触子の長手方向の縁端部をそれぞれ保持する第１ガイド溝および第２ガイド溝を複数個ずつ有する導電性接触子ホルダと、互いに異なる回路構造と物理的に接触する第１接触部および第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から外部へ突出する第２接続部を有する複数の導電性接触子と、前記複数の導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、を備える。【選択図】        図４
2007139711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、
前記導電性接触子の長手方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１ガイド溝、および前記第１ガイド溝と対向して位置し、前記第１ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２ガイド溝をそれぞれ複数個有する導電性接触子ホルダと、
前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から前記導電性接触子ホルダの外部へ突出する第２接続部を有し、板状をなす複数の前記導電性接触子と、
複数の前記導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、
を備えたことを特徴とする導電性接触子ユニット。
【請求項２】
前記第２接触部の少なくとも一部は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側に前記第１ガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出していることを特徴とする請求項１記載の導電性接触子ユニット。
【請求項３】
前記第２接触部が前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触したときに前記第２接触部に加わる荷重の向きは、前記第１ガイド溝および前記第２ガイド溝がそれぞれ延伸する方向と交差することを特徴とする請求項１記載の導電性接触子ユニット。
【請求項４】
前記棒状部材の長手方向に垂直な断面積は、前記導電性接触子に形成された前記開口部の面積よりも小さいことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項記載の導電性接触子ユニット。
【請求項５】
異なる回路構造間を電気的に接続し、各回路構造との間で電気信号の入出力を行う導電性接触子であって、
前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、
前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、
前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、
前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、
前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、
を備え、
前記第２接触部は、前記第２接続部の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出していることを特徴とする導電性接触子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルや半導体集積回路などの電子部品における導通状態検査や動作特性検査を行う際に、その電子部品の電極や端子に接触して電気信号の送受信を行う導電性接触子ユニットおよび導電性接触子に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体集積回路等の検査対象の電気特性検査に関する技術分野において、半導体集積回路の接続端子に対応して複数の導電性接触子を配設し、導電性接触子を接続端子に物理的に接触させることによって電気的導通を確保する機能を有する導電性接触子ユニットに関する技術が知られている。かかる導電性接触子ユニットは、複数の導電性接触子と、導電性接触子を保持する導電性接触子ホルダとを少なくとも備えた構造を有する。このような導電性接触子ユニットにおいては、検査対象たる半導体集積回路等の微細化傾向に伴う接続端子の配列間隔の狭小化に対応可能とするために、複数の導電性接触子の配列間隔を狭小化するさまざまな技術が提案されている。
【０００３】
例えば、配列間隔の狭小化を実現する導電性接触子として、検査対象等と接触する接触部およびその接触部に対して弾発付勢する弾性部を板状の導電性部材によって一体的に形成した構造が提案されている。この技術では、板状の導電性接触子を板厚方向に配列することによって狭い領域に多数の導電性接触子を配置することが理論上可能となり、検査対象に備わる接続端子の配列間隔の狭小化に対応した導電性接触子を実現することが可能である（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−３４３３９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述した板状の導電性接触子を備えた従来の導電性接触子ユニットは、導電性接触子ホルダにガイド孔が形成され、かかるガイド孔に導電性接触子を収容する構造を有している。この場合には、導電性接触子の本数に対応したガイド孔の配列間隔によって導電性接触子の配列間隔が規定されることになるが、ガイド孔は、形成対象である導電性接触子ホルダの物理的強度等の条件に応じてその形成間隔の最小値が制限される。このため、導電性接触子自体は配列間隔の狭小化に好適な構成を有しているにもかかわらず、導電性接触子ホルダの構造に関して十分な工夫が施されていないため、導電性接触子ユニット全体として見た場合、導電性接触子の配列間隔を狭小化することが困難な場合があった。
【０００６】
また、従来の導電性接触子ユニットを用いて検査を行う際には、操作を行うオペレータが導電性接触子の先端と検査対象との接触を目視できることが望ましいが、従来の導電性接触子ユニットの場合、上方から見たときに下方側の導電性接触子の先端が導電性接触子ホルダの側面よりも内側に位置するため、導電性接触子の先端部付近における検査対象との接触状況を観察する場合、オペレータ自身が姿勢を屈ませるなどして接触箇所付近を覗き込んだりしなければならず、観察回数が増加するにしたがってオペレータへの負担も大きくなっていた。
【０００７】
さらに、従来の導電性接触子ユニットでは、導電性接触子の先端が弾性体の伸縮方向とほぼ平行な方向にストロークするため、検査対象の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れなどを十分に除去することができず、安定した電気的接触を得ることができない場合があった。この場合には、導電性接触子に対して過度の荷重を加えてしまう恐れもあった。
【０００８】
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能な導電性接触ユニットおよび導電性接触子を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、請求項１記載の発明は、回路構造との間で電気信号の入出力をそれぞれ行う複数の導電性接触子を収容し、異なる回路構造間を電気的に接続する導電性接触子ユニットであって、前記導電性接触子の長手方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１ガイド溝、および前記第１ガイド溝と対向して位置し、前記第１ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２ガイド溝をそれぞれ複数個有する導電性接触子ホルダと、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から前記導電性接触子ホルダの外部へ突出する第２接続部を有し、板状をなす複数の前記導電性接触子と、複数の前記導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記導電性接触子が有する前記第２接触部の少なくとも一部は、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側に前記第１ガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出していることを特徴とする。
【００１１】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記第２接触部が前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触したときに前記第２接触部に加わる荷重の向きは、前記第１ガイド溝および前記第２ガイド溝がそれぞれ延伸する方向と交差することを特徴とする。
【００１２】
請求項４記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項記載の発明において、前記棒状部材の長手方向に垂直な断面積は、前記導電性接触子に形成された前記開口部の面積よりも小さいことを特徴とする。
【００１３】
請求項５記載の発明は、異なる回路構造間を電気的に接続し、各回路構造との間で電気信号の入出力を行う導電性接触子であって、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、を備え、前記第２接触部は、前記第２接続部の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出していることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係る導電性接触子ユニットによれば、導電性接触子の長手方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１ガイド溝、および前記第１ガイド溝と対向して位置し、前記第１ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２ガイド溝をそれぞれ複数個有する導電性接触子ホルダと、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から前記導電性接触子ホルダの外部へ突出する第２接続部を有し、板状をなす複数の前記導電性接触子と、複数の前記導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、を備えたことにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能となる。
【００１５】
また、本発明に係る導電性接触子によれば、異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、を備え、前記第２接触部を、前記第２接続部の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出させることにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、導電性接触子ホルダで保持したときに検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の形態（以後、「実施の形態」と称する）を説明する。なお、図面は模式的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、それぞれの部分の厚みの比率などは現実のものとは異なる場合もあることに留意すべきであり、図面の相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれる場合があることは勿論である。
【００１７】
（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。同図に示す導電性接触子ユニット１は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行うものであり、複数の導電性接触子２と、複数の導電性接触子２を収容保持する導電性接触子ホルダ３と、導電性接触子ホルダ３に固着され、複数の導電性接触子２を支持する棒状部材４とを備える。
【００１８】
まず、導電性接触子２について説明する。図２は、本実施の形態１に係る導電性接触子２の構成を示す図である。以下の説明では、図２における鉛直方向を「導電性接触子２の長手方向」、図２における水平方向を「導電性接触子２の幅方向」、これら長手方向と幅方向とに直交する方向を「導電性接触子２の板厚（厚さ）方向」とそれぞれ称することにする。
【００１９】
図２に示す導電性接触子２は、異なる回路構造間の電気的な接続を確立するものであり、所定の回路構造（具体的には検査用回路を含む回路構造）と物理的に接触する第１接触部２１と、第１接触部２１とは別の回路構造（具体的には液晶パネル等の検査対象）と物理的に接触する第２接触部２２と、第１接触部２１および第２接触部２２の間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部２３と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第１接触部２１および弾性部２３を接続する第１接続部２４と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第２接触部２２および弾性部２３を接続し、板厚方向に貫通する開口部２６が形成された第２接続部２５と、を備える。第２接触部２２は、第２接続部２５の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出している。この導電性接触子２は導電性材料を用いて板状をなすように形成されている。
【００２０】
なお、導電性接触子２の表面の一部または全部に絶縁層を形成してもよい。また、第１接続部２４および第２接続部２５が、弾性部２３と異なる幅および／または厚さを有していてもよい。
【００２１】
次に、導電性接触子ホルダ３について説明する。導電性接触子ホルダ３は、図１に示すように、略直方体状の外観形状をなし、上面部３ａと底面部（図１では図示せず）を貫通して複数の導電性接触子２を保持する保持部３１と、保持部３１を介して互いに対向する側面部３ｂの所定位置にそれぞれ形成され、棒状部材４の端部を固着する固着用孔部３２とを有する。図３は、導電性接触子ホルダ３の上面部３ａの部分拡大斜視図である。図３に示すように、保持部３１には、導電性接触子２を装着する際にその導電性接触子２の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状の第１ガイド溝３１ａと、この第１ガイド溝３１ａと対向して位置し、その第１ガイド溝３１ａにはめ込まれた導電性接触子２の幅方向の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状の第２ガイド溝３１ｂとが複数対形成されている。対をなす第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂは、導電性接触子２をその長手方向と垂直な面方向に対して位置決めする機能を有するとともに、導電性接触子２の伸縮動作をガイドする機能を有している。また、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂのなす対のうち隣接する対同士の間隔は全て等しく、かつ互いに平行である。
【００２２】
第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂの各々は同じ溝幅（ｗとする）を有するとともに、同じ溝深さ（ｄとする）を有する。このうち溝深さは、導電性接触子２が外れることなく確実に保持できればよく、この意味では、第１ガイド溝３１ａの溝深さと第２ガイド溝３１ｂの溝深さとが異なっていても構わない。
【００２３】
図４は、導電性接触子ホルダ３の保持部３１内部の構成を含む導電性接触子ユニット１の内部構成を示す図である。同図に示す導電性接触子ホルダ３は、図３のＡ−Ａ線断面に相当している。図４に示すように、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂは、図４のｚ軸方向（溝幅方向に垂直な方向）に沿って互いに平行に延伸した構造を有する。第１ガイド溝３１ａが図４のｚ軸方向に延伸する長さは、第２ガイド溝が同じｚ軸方向に延伸する長さよりも短く、第２ガイド溝３１ｂは導電性接触子ホルダ３の底面部３ｄまで到達しているが、第１ガイド溝３１ａは底面部３ｄよりも鉛直上方の位置までしか到達していない。
【００２４】
以上の構成を有する導電性接触子ホルダ３は、導電性接触子２を、図１および図４に示す座標系（ｘｙｚ）において、幅方向がｘ軸方向と平行であり、板厚方向がｙ軸方向と平行であり、長手方向がｚ軸方向と平行であるように保持している。したがって、導電性接触子２は、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂの溝幅（ｗ）よりも若干小さい板厚を有している。また、導電性接触子２の長手方向の長さは、開口部２６が棒状部材４によって貫通可能であり、第１接触部２１および第２接触部２２に荷重が加わっていない状態（図４に示す状態）で第２接触部２２の先端が導電性接触子ホルダ３の側面部３ｃよりもｘ軸方向に所定量突出する（突出量をδ1とする）とともに、その先端が底面部３ｄからｚ軸負の方向に所定量突出する（突出量をｈとする）ように形成されている。また、第２接触部２２は弾性部２３や第１接続部２４の長手方向に平行な対称軸Ｏから所定距離オフセットした位置（オフセット量をΔ1とする）に形成されている。突出量δ1およびｈ、ならびにオフセット量Δ1は、導電性接触子２や導電性接触子ホルダ３の大きさ、検査対象に加えるべき荷重等の条件に応じて適宜定められる。
【００２５】
導電性接触子ホルダ３は、導電性接触子２と電気的に接続して短絡が発生することを防止する観点から、絶縁性材料によって形成されることが好ましい。一例をあげると、低熱膨張の合成樹脂を用いて導電性接触子ホルダ３を形成し、ダイシング等によって第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂを形成すればよい。他にも、例えばアルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、シリカ（ＳｉＯ2）等のセラミックス、シリコン、エポキシ等の熱硬化性樹脂、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックなどによって導電性接触子ホルダ３の母材を形成し、エッチング等の加工技術によって第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂを形成してもよい。また絶縁性材料を用いて導電性接触子ホルダ３を形成する代わりに、他の適当な材料（絶縁性の有無は問わない）を用いて母材を形成し、導電性接触子２と接触しうる部分（第１ガイド溝３１ａや第２ガイド溝３１ｂを含む部分）に対して適当な絶縁性塗料を塗布するような構成としてもよい。
【００２６】
棒状部材４は、複数の導電性接触子２を保持部３１に装着した後、各導電性接触子２の開口部２６を貫通した後、その両端部が導電性接触子ホルダ３の互いに対向する側面部３ｂにそれぞれ形成された固着用孔部３２に挿通され、導電性接触子ホルダ３に対して固着される。棒状部材４は、保持部３１で保持する複数の導電性接触子２の開口部２６を一括して貫通することによって導電性接触子２の保持部３１からの抜け止め機能を果たすとともに、導電性接触子２に対して初期たわみを付与する機能を果たす。
【００２７】
棒状部材４の長手方向に垂直な断面の面積は、長方形の角を面取りした形状をなし、導電性接触子２が有する開口部２６の面積よりも小さい。このような断面形状とすることにより、導電性接触子２に対して固着用孔部３２を形成する際の加工を容易にすることができる。また、前述した断面形状とすることにより、導電性接触子２に荷重を加えた際の導電性接触子２の動きを円滑にするとともに、導電性接触子２に所定の荷重を加えたときの棒状部材４における支持安定性を確保することも可能となる。さらに、導電性接触子２に検査対象を接触させたときに、開口部２６が棒状部材４から離間し、棒状部材４に対して自由に移動できるようになる。この結果、後述するように導電性接触子２が微小な回転を生じることが可能となる。
【００２８】
なお、棒状部材４の長手方向に垂直な断面形状は上述したものに限られるわけではなく、例えば多角形や正方形などでもよいし、円形でもよい。固着用孔部３２の形状が、棒状部材４の断面形状に応じて変わることは勿論である。
【００２９】
以上の構成を有する棒状部材４も絶縁性材料から形成される。この棒状部材４は、多数の導電性接触子２の開口部２６を貫通してそれら全ての導電性接触子２を支持することに鑑み、剛性が高く荷重が加わってもたわみが少ないセラミックスなどの絶縁性材料が特に好ましい。
【００３０】
図５は、導電性接触子ホルダ３の上方に、検査用信号を生成出力する信号処理回路との電気的な接続を確立する回路基板を取り付けた状態を示す部分拡大図であり、比較のため、図４に示す導電性接触子２の位置を１点鎖線によって図示している。同図に示す回路基板１００は、ポリイミドなどからなるシート状の基材の一方の表面に、ニッケル等からなる多数の配線および接続用の電極が形成されたものである。図５では、回路基板１００の電極が導電性接触子２の第１接触部２１と接触するように位置決めを行い、導電性接触子ホルダ３と同様の材料からなる固定部材１０１および導電性接触子ホルダ３によって回路基板１００を挟持して固定した状態を図示している。回路基板１００を導電性接触子ユニット１に固定する際には、導電性接触子ホルダ３と固定部材１０１とをねじ等によって締結すればよい（図示せず）。このようにして図４に示す状態から図５に示す状態に遷移すると、各導電性接触子２には自身に作用する重力以外の力に起因する荷重（初期荷重）が加わり、各弾性部２３が長手方向に収縮する。
【００３１】
回路基板１００の他端は、上述したように信号処理回路（図示せず）に接続されており、第２接触部２２に接触する検査対象との間で電気信号の送受信を行う。なお、図５では導電性接触子２に回路基板１００を接触させているが、この代わりとして、信号出力回路の接続用端子を導電性接触子２に対して直接接触させるような構成とすることも可能である。
【００３２】
従来の導電性接触子ユニットでは、導電性接触子に初期荷重を付与するために平板状の蓋部材を用いていたが、かかる蓋部材を用いると、その蓋部材の厚み分だけ導電性接触子の先端の接触部の突起量を増加させる必要があった、このため、荷重が加わったときに不安定となる部分の占める割合が大きくなり、先端付近が曲がり易くなるという問題があった。本実施の形態１に係る導電性接触子ユニット１では、蓋部材を用いないため、前述した問題が生じる恐れがなく、第１接触部２１を従来よりも顕著に小さく形成することができる。
【００３３】
次に、導電性接触子ユニット１と検査対象との接触態様について説明する。図６−１は、検査対象２００が導電性接触子の第２接触部２２に接触した直後の導電性接触子２の下端部近傍の状態を示す図である。また、図６−２は、検査対象２００を検査時の位置まで上昇させたときの導電性接触子２の下端部近傍の状態を示す図である。図６−２においては、比較のために接触直後の導電性接触子２の位置を１点鎖線によって図示している。
【００３４】
第２接触部２２の先端は、図４を参照して説明したように、弾性部２３や第１接続部２４の長手方向の対称軸（中心軸）ＯからΔ1だけオフセットされている。このため、検査対象２００に接触した第２接触部２２の先端部に作用する荷重の作用線が導電性接触子２の重心を通過しないため、導電性接触子２にはモーメントが発生する。この結果、図６−１に示す状態から図６−２に示す状態に遷移する間、導電性接触子２は、弾性部２３が収縮するとともに開口部２６が棒状部材４から離間し、前述したモーメントによって微小に回転する。この回転は、弾性部２３の幅方向の縁端部と第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂの間に微小な隙間が存在していることによって生じうるものである。
【００３５】
上述した回転により、第２接触部２２は図６−２で時計回りに微小角だけ回転し、検査対象２００の表面上を接触状態を持続しながら移動する。より具体的には、第２接触部２２の先端は、初期接触点Ｐ1から最終接触点Ｐ2まで検査対象２００上を引っ掻いて滑りながらｘ軸方向にｘ1（＞０）だけ移動する。このようにして、第２接触部２２の先端が検査対象２００上を移動することにより、検査対象２００の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを除去し、検査対象２００との間で安定した電気的接触を得ることが可能となる。その際、検査対象２００の移動速度（上昇速度）を適切に制御すれば、第２接触部２２の先端が検査対象２００の表面を大きく傷付けることがなく、導電性接触子２にも過度の荷重を加えずに済むためより好ましい。
【００３６】
以上説明した導電性接触子ユニット１は、導電性接触子２の弾性部２３の伸縮方向に沿って延伸した第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂに一部を嵌め込んだ状態で導電性接触子２を保持している。このため、板状の導電性接触子２に特有な問題である弾性部２３の収縮時の座屈およびねじれの発生を防止し、それらに起因する弾性部２３のばね特性の劣化を生じさせずに済む。したがって、導電性接触子２に適切な範囲内で一定以上の荷重を加えても座屈やねじれを生じることなく大きなストロークを実現することができ、検査対象２００との間で所望の接触状態を得ることが可能となる。
【００３７】
また、導電性接触子ユニット１においては、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂによって導電性接触子２を保持することとしたため、導電性接触子２と導電性接触子ホルダ３（の保持部３１）との間の接触面積を低減して摺動抵抗を減少させることができ、導電性接触子２の伸縮動作をスムーズに行うことが可能となる。
【００３８】
さらに、導電性接触子ユニット１は、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂの溝幅（ｗ）が導電性接触子２の板厚と同程度の値でよく、互いに隣接する第１ガイド溝３１ａ間および第２ガイド溝３１ｂ間の各間隔は、隣接する導電性接触子２間の絶縁性が十分確保できる値であれば、任意の小さな値としてよい。したがって、複数の導電性接触子２の配列間隔を狭小化することが可能であり、接触対象の回路構造が有する接続用の電極や端子の配列間隔の狭小化にも十分に対応することができる。
【００３９】
加えて、導電性接触子ユニット１においては、導電性接触子２に棒状部材４を貫通することによって導電性接触子２に初期たわみを与えるとともに、抜け止めをしている。この結果、第２接触部２２の先端すなわち導電性接触子２の下端が導電性接触子ホルダ３の底面部３ｄから鉛直下方に突出する突出量ｈを小さくすることができる。換言すれば、第２接触部２２を小さくすることができ、導電性接触子２の先端の曲がりを防止し、安定して保持することが可能となり、導電性接触子２が下端部付近で第１ガイド溝３１ａおよび／または第２ガイド溝３１ｂから外れてしまうのを抑制することができる。この結果、導電性接触子２の位置精度が高くなり、導電性接触子ユニット１の信頼性および耐久性を向上させることができる。
【００４０】
ところで、導電性接触子ユニット１を組み立てる際に導電性接触子２を保持部３１に収容する工程は、第１接触部２１の側を先に保持部３１の内部に挿入し、幅方向の縁端部を第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂに嵌め込むことによって完了する。したがって、従来の導電性接触子ユニットと比較しても組み立てが容易であり、製造コストを低減すると言う効果を得ることもできる。
【００４１】
以上説明した本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットによれば、収容する導電性接触子の長手方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１ガイド溝、および前記第１ガイド溝と対向して位置し、前記第１ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２ガイド溝をそれぞれ複数個有する導電性接触子ホルダと、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から前記導電性接触子ホルダの外部へ突出する第２接続部を有し、板状をなす複数の前記導電性接触子と、複数の前記導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、を備え、前記導電性接触子が有する前記第２接触部の少なくとも一部を、前記導電性接触子ホルダの外側面であって内側に前記第１ガイド溝が形成された部分の外側面よりも当該外側面の法線方向に突出させたことにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能となる。
【００４２】
また、本実施の形態１に係る導電性接触子によれば、異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部と、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部と、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部と、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部と、前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成された第２接続部と、を備え、前記第２接触部を、前記第２接続部の幅方向の縁端部よりも当該幅方向に突出させることにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、導電性接触子ホルダで保持したときに検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能となる。
【００４３】
このようにして、本実施の形態１によれば、実際の検査の際、導電性接触子ユニットの上方からの目視や顕微鏡による観察を容易に行い、導電性接触子の先端と検査対象の物理的な接触を確認しながら検査作業を行うことができるため、オペレータは姿勢を屈めたりして導電性接触子と検査対象との接触状況を観察する必要がなくなる。したがって、検査の作業性、信頼性を一段と向上させることができるとともに、オペレータの負担を軽減することができる。
【００４４】
ここで、検査対象２００が液晶パネルである場合に好適な導電性接触子ユニット１の一実施例を挙げておく。この実施例においては、導電性接触子２の板厚を２０μｍ、幅２.７ｍｍ、長さ１５ｍｍとした。導電性接触子ホルダ３は、前述した寸法を有する導電性接触子２を４００枚程度収容可能とし、第１ガイド溝３１ａおよび第２ガイド溝３１ｂの溝幅ｗを３０μｍ、溝深さｄを１５０μｍとした。棒状部材４の全長は２８ｍｍ程度であり、その長手方向に垂直な断面形状を０.８ｍｍ×１.５ｍｍの略長方形（面取りあり）とした。第２接触部２１の先端の側面部３ｃからの突出量δ1を０.４ｍｍ、第２接触部２１の先端の弾性部２３および第１接続部２４の対称軸からのオフセット量Δ1を２.２ｍｍ、第２接触部２２の先端部の導電性接触子ホルダ３の底面部３ｄからの突出量ｈを０.４ｍｍとした。
【００４５】
上記の如く導電性接触子ユニット１を構成することにより、導電性接触子２のばね定数を０.０１ｇ／μｍ程度とすることができ、５００μｍのたわみで５ｇの荷重を生じさせることが可能となった。この値は、ピン型の導電性接触子と同等の値であり、薄板状をなす導電性接触子２としてはかなりの大荷重、大ストロークを実現するものである。また、上記寸法を有する導電性接触子ユニット１を用いて検査対象２００に導電性接触子２を接触させ、所定の荷重を加えた結果、検査対象２００の表面に７０μｍ程度の引っ掻き痕が生じた。これにより、検査対象２００を過度に傷付けることなく、その表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを適確に除去できることが明らかになった。
【００４６】
（実施の形態２）
図７は、本発明の実施の形態２に係る導電性接触子の構成を示す図である。以下の説明では、図７における鉛直方向を「導電性接触子５の長手方向」、図７における水平方向を「導電性接触子５の幅方向」、これら長手方向と幅方向とに直交する方向を「導電性接触子５の板厚（厚さ）方向」とそれぞれ称することにする。
【００４７】
図７に示す導電性接触子５は、異なる回路構造間の電気的な接続を確立するものであり、所定の回路構造（具体的には検査用回路を含む回路構造）と物理的に接触する第１接触部５１と、第１接触部５１とは別の回路構造（具体的には液晶パネル等の検査対象）と物理的に接触する第２接触部５２と、第１接触部５１および第２接触部５２の間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部５３と、弾性部５３と同じ幅および厚さを有し、第１接触部５１および弾性部５３を接続する第１接続部５４と、弾性部２３と同じ幅および厚さを有し、第２接触部５２および弾性部５３を接続し、板厚方向に貫通する開口部５６を有する第２接続部５５と、を備える。この導電性接触子５は導電性材料を用いて板状に形成されており、第２接触部５２および第２接続部５５を除く各部の形状は、上記実施の形態１に係る導電性接触子２で対応する部位の形状と同じである。
【００４８】
導電性接触子５の第２接触部５２の先端は、第１接続部５４から弾性部５３を介して第２接続部５５に至る幅方向の縁端部の終端位置（図７で最下端）に形成されている。この意味で、本実施の形態２に係る導電性接触子５では、第２接触部５２が第２接続部５５よりも幅方向に突出していない。
【００４９】
図８は、本実施の形態２に係る導電性接触ユニットの構成を示す図である。同図に示す導電性接触子ユニット１０は、検査対象である液晶パネル等の回路構造の導通状態検査や動作特性検査を行うものであり、上述した構成を有する複数の導電性接触子５と、複数の導電性接触子５を収容保持する導電性接触子ホルダ６と、複数の導電性接触子５に形成された開口部５６を貫通し、長手方向に垂直な断面積が開口部５６よりも小さく、両端が導電性接触子ホルダ６に固着された棒状部材７とを備える。
【００５０】
導電性接触子ホルダ６は、上面部６ａから導電性接触子ホルダ６の内部を所定方向に貫通して複数の導電性接触子５を保持する保持部６１を備える。この保持部６１の貫通方向は、図８の鉛直方向（ｚ軸方向）に対して所定角θだけ傾斜している。換言すれば、導電性接触子ホルダ６に保持される導電性接触子５の第１接触部５１および弾性部５３の対称軸（中心軸）Ｏ'が指向する方向は、図８のｚ軸方向に対して角度θだけ傾斜している。この傾斜角θの値は、少なくとも１度程度あればよい。
【００５１】
保持部６１には、導電性接触子５を装着する際にその導電性接触子５の幅方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する直線状の第１ガイド溝６１ａと、この第１ガイド溝６１ａと対向して位置し、その第１ガイド溝６１ａにはめ込まれた導電性接触子５の幅方向の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持し、第１ガイド溝６１ａよりも溝底面の延伸する方向の長さが長い直線状の第２ガイド溝６１ｂとが複数対形成されている。対をなす第１ガイド溝６１ａおよび第２ガイド溝６１ｂは、導電性接触子５をその長手方向と垂直な面方向に対して位置決めする機能を有するとともに、導電性接触子５の伸縮動作をガイドする機能を有している。また、第１ガイド溝６１ａおよび第２ガイド溝６１ｂのなす対同士のうち隣接する対同士の間隔は全て等しく、かつ互いに平行である。なお、図示はしないが、導電性接触子ホルダ６は、上記実施の形態１に係る導電性接触子ホルダ３と同様に、棒状部材７を挿通して固着する固着用孔部を有する。
【００５２】
以上の構成を有する導電性接触子ユニット１０においては、第２接触部５２が検査対象と物理的に接触したときにその第２接触部５２に加わる荷重の向き（図８のｚ軸方向）が、第１ガイド溝６１ａおよび第２ガイド溝６１ｂがそれぞれ延伸する方向と角度θ（＞０）をなして交差するように検査対象との位置関係が定められる。このため、第２接触部５２の先端は、第１ガイド溝６１ａの外側面である側面部６ｃよりもｘ軸方向に突出している（突出量をδ2とする）。したがって、図８の斜め左上方の位置から第２接触部５２の先端が見え、導電性接触子５の先端と検査対象との接触を容易に観察することができるので、オペレータは検査時に姿勢を屈めたりして接触状態を観察する必要がなくなる。
【００５３】
図９は、導電性接触子ユニット１０に検査対象３００が接触した状態を示す図である。同図においては、図８の下端部付近を拡大しており、比較のため、検査対象３００が第２接触部５２の先端に接触した直後の状態を１点鎖線によって図示している。この意味で、図９は図６−２に対応する図面である。
【００５４】
図９に示すように、第２接触部５２の先端に検査対象３００が底面部６ｄに近づくようにｚ軸方向に沿って上昇してきて接触すると、第２接触部５２の先端には図９でｚ軸方向の向きを有する荷重が加えられる（換言すれば、第２接触部５２から検査対象３００に対して、図９のｚ軸負の方向を向く荷重が加えられる）。この荷重の作用線は導電性接触子５の重心を通過しないため、導電性接触子５にはモーメントが発生する。この結果、導電性接触子５は、検査対象３００から荷重が加わることによって弾性部５３が収縮するとともに開口部５６が棒状部材７から離間し、前述したモーメントによって微小に回転し、検査対象３００の表面上をｘ軸方向へ移動する。
【００５５】
上述した回転により、第２接触部５２は図９−２で時計回りに微小角だけ回転し、初期接触点Ｐ3から最終接触点Ｐ4まで検査対象３００上を引っ掻きながらｘ軸方向にｘ2（＞０）だけ移動する。したがって、検査対象３００の表面に形成された酸化膜やその表面に付着した汚れを除去し、検査対象３００との間で安定した電気的接触を得ることが可能となる。本実施の形態２においても、検査対象３００の移動速度（上昇速度）を適切に制御すれば、第２接触部５２の先端が検査対象３００の表面を大きく傷付けることなく、導電性接触子５に過度の荷重を加えずに済むためより好ましい。
【００５６】
なお、導電性接触子５は、上記実施の形態１に係る導電性接触子と同様の導電性材料を用いて実現される。また、導電性接触子ホルダ６および棒状部材７は、上記実施の形態１に係る導電性接触子ホルダおよび棒状部材とそれぞれ同様の絶縁性材料を用いて実現される。
【００５７】
以上説明した本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットによれば、収容する導電性接触子の長手方向の一方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第１ガイド溝、および前記第１ガイド溝と対向して位置し、前記第１ガイド溝に嵌め込まれた前記導電性接触子の他方の縁端部を摺動自在に嵌合保持する第２ガイド溝をそれぞれ複数個有する導電性接触子ホルダと、前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触する第１接触部、前記第１接触部とは別の回路構造と物理的に接触する第２接触部、前記第１接触部と前記第２接触部との間に介在し、長手方向に伸縮自在な弾性部、前記弾性部と前記第１接触部とを接続する第１接続部、および前記弾性部と前記第２接触部とを接続し、厚さ方向に貫通する開口部が形成され、前記導電性接触子ホルダに収容されたとき前記第２ガイド溝の端部から前記導電性接触子ホルダの外部へ突出する第２接続部を有し、板状をなす複数の前記導電性接触子と、複数の前記導電性接触子がそれぞれ有する前記第２接続部に形成された前記開口部を貫通し、前記導電性接触子ホルダに固着されて成る棒状部材と、を備え、前記第２接触部が前記異なる回路構造のいずれかと物理的に接触したときに前記第２接触部に加わる荷重の向きを、前記第１ガイド溝および前記第２ガイド溝がそれぞれ延伸する方向と交差させることにより、配列間隔の狭小化に対応可能であるとともに、検査対象との接触状況を上方からでも容易に目視可能であり、過度の荷重を加えることなく安定した電気的接触を得ることも可能となる。
【００５８】
また、本実施の形態２においても、実際の検査の際、導電性接触子ユニットの上方からの目視や顕微鏡による観察を容易に行い、導電性接触子の先端と検査対象の物理的な接触を確認しながら検査作業を行うことができるため、オペレータは姿勢を屈めたりして導電性接触子と検査対象との接触状況を観察する必要がなくなる。したがって、検査の作業性、信頼性を一段と向上させることができるとともに、オペレータの負担を軽減することができる。
【００５９】
（その他の実施の形態）
ここまで、本発明を実施するための最良の形態として、実施の形態１および２を詳述してきたが、本発明はそれら二つの実施の形態によってのみ限定されるべきものではない。例えば、上記実施の形態１に係る導電性接触子を実施の形態２における導電性接触子ホルダで収容保持することによって導電性接触子ユニットを構成することも可能である。
【００６０】
また、導電性接触子の第２接触部の形状は、その導電性接触子の材質、その導電性接触子を収容保持する導電性接触子ホルダの形状、その導電性接触子ホルダに加えるべき荷重、検査対象の種類などさまざまな条件によって定められるべきものであり、本発明に係る技術的特徴を備えていれば、その形状の細部については適宜変更することが可能である。
【００６１】
さらに、本発明に係る導電性接触子ユニットは、液晶パネルを検査する以外にも、半導体チップを搭載したパッケージ基板やウェハレベルの検査に用いる高密度プローブユニットの検査にも適用可能である。
【００６２】
このように、本発明は、ここでは記載していないさまざまな実施の形態等を含みうるものであり、特許請求の範囲により特定される技術的思想を逸脱しない範囲内において種々の設計変更等を施すことが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態１に係る導電性接触子の構成を示す図である。
【図３】導電性接触子ホルダの上面部の部分拡大斜視図である。
【図４】本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。
【図５】導電性接触子ホルダの上方に、検査用回路に接続される回路基板を取り付けた状態を示す部分拡大図である。
【図６−１】本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに対して検査対象を接触させた直後の状態を示す図である。
【図６−２】本発明の実施の形態１に係る導電性接触子ユニットに対して検査対象を検査時の位置まで上昇させたときの状態を示す図である。
【図７】本発明の実施の形態２に係る導電性接触子の構成を示す図である。
【図８】本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットの内部構成を示す図である。
【図９】本発明の実施の形態２に係る導電性接触子ユニットに対して検査対象を検査時の位置まで上昇させたときの状態を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１、１０  導電性接触子ユニット
２、５  導電性接触子
３、６  導電性接触子ホルダ
３ａ、６ａ  上面部
３ｂ、３ｃ、６ｃ  側面部
３ｄ、６ｄ  底面部
４、７  棒状部材
２１、５１  第１接触部
２２、５２  第２接触部
２３、５３  弾性部
２４、５４  第１接続部
２５、５５  第２接続部
２６、５６  開口部
３１、６１  保持部
３２  固着用孔部
３１ａ、６１ａ  第１ガイド溝
３１ｂ、６１ｂ  第２ガイド溝
１００  回路基板
１０１  固定部材
２００、３００  検査対象
Ｐ1、Ｐ3  初期接触点
Ｐ2、Ｐ4  最終接触点
Δ1  オフセット量
δ1、δ2、ｈ  突出量
【図１】
2007139711.tif 000003
【図２】
2007139711.tif 000004
【図３】
2007139711.tif 000005
【図４】
2007139711.tif 000006
【図５】
2007139711.tif 000007
【図６−１】
2007139711.tif 000008
【図６−２】
2007139711.tif 000009
【図７】
2007139711.tif 000010
【図８】
2007139711.tif 000011
【図９】
2007139711.tif 000012