(57)【要約】【課題】光学部品の汚れやくもりを検査者が見逃すことなく検査することができる光学部品検査装置を提供する。【解決手段】固定冶具６に反射ミラー３を固定して光源装置２からの光を検査冶具４に取り付けた光学部品９の下面側に略４５度の入射角で照射すると共に、固定冶具６により光学部品９の鉛直上方にカメラ装置５を固定して光学部品９を鉛直上方から撮影する。そして、カメラ装置５により撮影した画像をパソコン８のディスプレイ１６に表示することで、検査者はディスプレイ１６に表示された画像を見て光学部品９に汚れやくもりが無いかどうかの検査を行うようにした。【選択図】図１
2007248339.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学部品を被検査部品として検査を行う光学部品の検査装置であって、
前記被検査部品を取り付け可能な検査冶具と、
前記検査冶具に取り付けられた前記被検査部品を一方の面から略４５度の入射角で且つ
前記被検査部品の位置において所定以上の照度が得られるように配置された照明手段と、
前記検査冶具に取り付けられた前記被検査部品の光学領域を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段により撮影した撮影画像を表示する表示手段と、を備えたことを特徴とす
る光学部品検査装置。
【請求項２】
前記照明手段により前記被検査部品の位置において得られる照度を１５０００Ｌｕｘ以
上に設定したことを特徴とする請求項１に記載の光学部品検査装置。
【請求項３】
前記撮影手段により撮影画像を記録する記録手段を備えたことを特徴とする請求項１に
記載の光学部品検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光学部品を検査する光学部品検査装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ビデオカメラやデジタルスチルカメラ等の電子光学機器においては各種光学部品が用い
られている。例えば、光学ヘッドを構成する固体撮像素子（Charge Coupled Device：以
下「ＣＣＤ」という）の前方には光学ローパスフィルタ（Optical Low Pass Filter：以
下「ＯＬＰＦ」という）等の光学部品が用いられている。そして、これらの光学部品を製
造して出荷するにあたっては、図５に示すように光学部品１００に汚れ１０１やくもり１
０２がないかどうか検査者が目視により検査を行っていた。
【０００３】
なお、先行文献として、特許文献１には、共通欠陥による多くの不良品を出すことなく
、また被検査物のサイズが製品によって異なっても、これらに対処して欠陥検査を行うこ
とができ、さらに異なる種類の欠陥も確実に検出して不良の発生を防止できるようにした
カラー試料の検査装置が開示されている。
また特許文献２には、複数色の直色画像が規則的に多数配列された被検査カラーフィル
タ基板の色ムラを容易に精度良く検査することができる検査装置が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１２８０２６公報
【特許文献２】特開２００５−１４８６３７公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した従来の検査方法は、検査者が検査冶具に光学部品を取り付け、
光学部品に照明をあてながら目視によって検査を行っているため、照明装置の位置や検査
者の目線位置等によっては、光学部品の汚れやくもりを見逃してしまうことがあり、検査
者によって検査の精度にバラツキが生じるという問題点があった。
また上記した従来の検査方法では、検査時の光学部品の状態を検査後において確認する
ことができなかった。
【０００５】
そこで、本発明は上記したような点を鑑みてなされたものであり、光学部品の汚れやく
もりを検査者が見逃すことなく検査を行うことができる光学部品検査装置を提供すること
を目的とする。また、検査時の光学部品の状態を検査後においても確認可能な光学部品検
査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明は、光学部品を被検査部品として検査を行う光学部品
の検査装置であって、被検査部品を取り付け可能な検査冶具と、検査冶具に取り付けられ
た被検査部品を一方の面から略４５度の入射角で且つ前記被検査部品の位置において所定
以上の照度が得られるように配置された照明手段と、検査冶具に取り付けられた被検査部
品の光学領域を撮影する撮影手段と、撮影手段により撮影した撮影画像を表示する表示手
段と、を備えるようにした。
このような本発明によれば、被検査部品を常に同じ条件で検査することができるので、
照明手段の位置や検査者の目線位置などにより、検査者が被検査部品の汚れやくもりを見
逃すことがなく被検査部品の検査精度のバラツキを最小限に抑えることができる。
【０００７】
また、本発明は、照明手段により被検査部品の位置において得られる照度を１５０００
Ｌｕｘ以上に設定した。このようにすると、従来の検査では、検査者が見逃してしまうこ
とがあった被検査部品のくもりを確実に判別することが可能になる。
また本発明は、撮影手段により撮影画像を記録する記録手段を備えるようにした。この
ようにすると、検査後において検査時の被検査部品の検査画像を確認することができ、例
えば製造ロッド毎の品質を比較することが可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下、図面を参照しながら本発明に係る光学部品検査装置の実施形態を説明する。
図１は本実施形態の光学部品検査装置の概略構成を示した図である。なお、本実施形態
では被検査部品としてＯＬＰＦを用いた場合を例に挙げて説明する。
この図１に示す光学部品検査装置１は、光源装置２、反射ミラー３、検査冶具４、カメ
ラ装置５、固定冶具６、ビデオキャプチャ７、及びパーソナルコンピュータ（以下、「パ
ソコン」という）８を備えて構成される。
【０００９】
光源装置２は光源としてハロゲンランプを備え、反射ミラー３と共に照明手段を構成し
ている。
光源装置２は、光学部品９の位置において例えば１５０００Ｌｕｘ以上の照度が得られ
る位置に取り付けられている。
反射ミラー３は、光源装置２からのハロゲン光によって検査冶具４に取り付けた光学部
品（被検査部品）９を下面側から略４５度の入射角度で照明するように固定冶具６に取り
付けられている。また、光源装置２は、光学部品９の位置において、例えば１５０００Ｌ
ｕｘ以上の照度が得られる位置に取り付けられている。
検査冶具４は、光学部品９を取り付け可能に構成されている。また検査冶具４は、光学
部品９を取り付けたときに、少なくとも光学部品９の光学領域を下面側から照明できるよ
うに開口部が形成されている。
【００１０】
カメラ装置（撮影手段）５は、ビデオカメラ等により構成され、固定冶具６により光学
部品９の鉛直上方に取り付けられて光学部品９の光学領域を撮影する。
ビデオキャプチャ７は、カメラ装置５により撮影した撮影データをパソコン８において
取り込み可能な画像データに変換（圧縮）して出力する。画像データの圧縮方式としては
、Ｃｉｎｅｐａｋ、Ｍｏｔｉｏｎ、ＪＰＥＧ、ＭＰＥＧ、ＤＶなどがある。なお、ビデオ
キャプチャ７は、パソコン８に内蔵するようにしても良い。
パソコン８は、ビデオキャプチャ７から伝送されてくる画像データを表示したり、或い
は記録したりする。
【００１１】
図２はパソコン８のハードウェア構成を示した図である。
この図２において、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１は、全体の制御処理を司
る。
ＲＯＭ（Read Only Memory）１２は、プログラムデータ等が記憶されており、必要に応
じてバス１０を介してＣＰＵ１１が読み出しを行うことで、ここに格納されたプログラム
に従った処理を実行する。
ＲＡＭ（Random Access Memory）１３には、ＣＰＵ１１が各種処理を実行するのに必要
なデータやプログラム等が適宜保持される。
【００１２】
記録手段であるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１４は、記憶媒体としてハードディ
スク（ＨＤ）１５を備えており、ＣＰＵ１１がＨＤ１５に対してデータやプログラム等の
記録又は読み出しを行う。この場合、ＣＰＵ１１は、ＨＤＤ１４のＨＤ１５に記憶されて
いるアプリケーションプログラムを読み出しＲＡＭ１３に展開することで、そのアプリケ
ーションプログラムに従った各種処理を実行する。
内部バス１０には、ディスプレイ１６が接続されると共に、入力手段であるキーボード
１７とマウス１８とが接続されている。また内部バス１０には、ローカルエリアネットワ
ークインターフェース（ＬＡＮＩ／Ｆ）１９が接続されており、このＬＡＮＩ／Ｆ１９を
介して図示しないローカルエリアネットワークに接続される。
また内部バス１０にはプリンタＩ／Ｆ２０が接続されており、このプリンタＩ／Ｆ２０
を介して図示しないプリンタに接続される。
シリアルＩ／Ｆ２１は、例えばＩＥＥＥ１３９４やＵＳＢ（universal serial bus）で
あり、このシリアルＩ／Ｆ２１を介して上記したビデオキャプチャ７に接続される。
【００１３】
このように構成される本実施形態の光学部品検査装置においては、固定冶具６に反射ミ
ラー３を固定して光源装置２からの光を検査冶具４に取り付けた光学部品９の下面側に略
４５度の入射角で照射すると共に、固定冶具６により光学部品９の鉛直上方にカメラ装置
５を固定して光学部品９を鉛直上方から撮影する。そして、カメラ装置５により撮影した
画像をパソコン８のディスプレイ１６に表示することで、検査者はディスプレイ１６に表
示された画像を見て光学部品９に汚れやくもりが無いかどうかの検査を行うようにしてい
る。このようにすれば、光学部品９を常に同じ条件で検査することができるので、光源装
置２からの光の入射角度や検査者の目線位置等により、検査者が光学部品９の汚れやくも
りを見逃すことがなく検査部品９の検査精度のバラツキを最小限に抑えることができる。
【００１４】
また本願発明者は、従来、検査者が見逃しやすかった光学部品９のくもりに関して鋭意
検討を行った結果、光源装置２からの照度が影響していることが分かった。
図３は、光源装置の種類と照度との関係、及び光源装置からの距離と照度の関係を示し
た図である。なお、図３に示す光源装置Ａは光源としてハロゲンランプを備えたスライド
映写機（メーカ名：ＣＡＢＩＮ、型式名ＣＳ−１５）、光源装置Ｂは光源としてハロゲン
ランプを備えた集光灯（メーカ名：ｓｅｎａ、型式名２４２５Ｄ ＭＫII）、光源装置Ｃ
は白熱灯（５４Ｗ）、光源装置Ｄは蛍光灯（メーカ名：ＮＡＴＩＯＮＡＬ、型式名ＦＰＬ
２７ＥＸ−Ｎ）、光源装置Ｅは光源としてハロゲンランプを備えたライトガイド（メーカ
名：ルミナエース、型式名ＬＡ−１００ＵＳＷ）を夫々示している。また、図３に示す距
離は、各光源装置Ａ〜Ｅの出射面からの距離を示している。
【００１５】
また、図４は光学部品９に付着しているくもりの判定結果を示した図である。
図４に示すように、光学部品９の位置における照度が夫々１０８００ＬＵＸ、１２５０
０ＬＵＸ、１２６００ＬＵＸの場合、つまり光学部品９から２７５ｍｍ離れた位置に光源
装置Ａ、光学部品９から７５ｍｍ離れた位置に光源装置Ｃ、光学部品９から２５０ｍｍ離
れた位置に光源装置Ａを夫々配置した場合は、いずれの検査者も光学部品９に付着してい
るくもりを判別することができなかった。
また、光学部品９の位置における照度が１３５００ＬＵＸの場合、つまり、光学部品９
から１００ｍｍ離れた位置に光源装置Ｄを配置した場合は検査者によっては光学部品９に
付着しているくもりを判別することができなかった。
【００１６】
これに対して、光学部品９の位置における照度が１５１００ＬＵＸ、１７１００ＬＵＸ
、１８２００ＬＵＸの場合、つまり、光学部品９から２２５ｍｍ離れた位置に光源装置Ａ
、光学部品９から５０ｍｍ離れた位置に光源装置Ｃ、光学部品９から２００ｍｍ離れた位
置に光源装置Ａを夫々配置した場合は、全ての検査者が光学部品９に付着しているくもり
を判別することができた。
そこで、本実施形態の光学部品検査装置１においては、光学部品９の位置において得ら
れる照度を１５０００Ｌｕｘ以上となるように光源装置２の種類や位置を設定することと
した。これにより、従来の検査では見逃してしまうことがあった光学部品９のくもりを確
実に判別することが可能になる。
【００１７】
さらに本実施形態の光学部品検査装置１においては、カメラ装置５により撮影してビデ
オキャプチャ７において圧縮変換した画像データをパソコン８の記録手段であるＨＤＤ１
４がＨＤ１５に記録しておくようにした。このようにすれば、検査後において検査時の光
学部品９の画像を確認することが可能になるので、例えば製造ロッド毎の品質を比較する
といったことが可能になる。また、本実施形態の光学部品検査装置を用いて各製造工程ご
と検査を行うようにすれば、例えば工程毎の品質を比較するといったことも可能になる。
【００１８】
なお、本実施形態では光学部品９としてＯＬＰＦを用いた場合を例に挙げたが、これは
あくまでも一例であり光学用途に用いる光学部品であれば、本発明の光学部品検査装置に
より検査可能であることはいうまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の実施形態に係る光学部品検査装置の概略構成を示した図。
【図２】パソコンのハードウェア構成を示した図。
【図３】光源装置の種類と照度の関係、及び光源装置からの距離と照度の関係を示した図。
【図４】光学部品に付着しているくもりの判定結果を示した図。
【図５】光学部品の汚れやくもりの一例を示した図。
【符号の説明】
【００２０】
１…光学部品検査装置、２…光源装置、３…反射ミラー、４…検査冶具、５…カメラ装
置、６…固定冶具、７…ビデオキャプチャ、８…パソコン、９…光学部品、１０…バス、
１１…ＣＰＵ、１２…ＲＯＭ、１３…ＲＡＭ、１４…ＨＤＤ、１５…ＨＤ、１６…ディス
プレイ、１７…キーボード、１８…マウス、１９…ＬＡＮＩ／Ｆ、２０…プリンタＩ／Ｆ
、２１…シリアルＩ／Ｆ、１００…光学部品
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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