(57)【要約】【課題】簡単な回路、装置および処理工程で、発熱体の温度を高精度に、かつ高信頼性で調整することのできる熱式流量センサを得る。【解決手段】ブリッジ回路を構成する少なくとも１つの抵抗３、４、５の両端電圧を増幅する増幅手段７と、増幅手段７の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段９と、電流制御手段９により通電制御される発熱体１の一端に接続された出力端子１４とを備え、増幅手段７は、増幅率をコンピュータからの電気信号により制御するための増幅率制御手段を含み、増幅後の出力電圧をオペアンプ８の入力電圧に印加して使用する。【選択図】図１
2007139692.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上の発熱体と流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、
前記発熱体および前記流体温度検出体を流体中に配置するとともに、前記発熱体からの熱の影響を受けない位置に前記流体温度検出体を配置し、
前記流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記発熱体の温度を保持した状態で、前記発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、
前記電流制御手段を介して通電制御される前記発熱体の一端に接続されて前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記増幅手段は、前記増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記増幅率制御部は、前記増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項２】
前記増幅部および前記増幅率制御部は、ＩＣ内に集積化されていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量センサ。
【請求項３】
前記増幅率制御部は、ＩＣ内に集積化され、
前記増幅部は、前記ＩＣに接続された回路基板上に形成されていることを特徴とする請求項１に記載の熱式流量センサ。
【請求項４】
前記増幅部は、抵抗アレイにより構成され、
前記増幅率制御部は、スイッチにより構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の熱式流量センサ。
【請求項５】
前記増幅部は、容量アレイと、前記容量アレイのそれぞれの容量に接続された任意のクロック周波数で動作するスイッチアレイとにより構成され、
前記増幅率制御部は、スイッチにより構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の熱式流量センサ。
【請求項６】
前記増幅部は、積分器により構成され、
前記増幅率制御部は、スイッチにより構成されていることを特徴とする請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の熱式流量センサ。
【請求項７】
前記増幅率制御部の一部は、ＩＣに接続された半導体スイッチにより構成されていることを特徴とする請求項４から請求項６までのいずれか１項に記載の熱式流量センサ。
【請求項８】
１つ以上の発熱体の近傍に温度検出体を配置し、前記温度検出体と流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、
前記発熱体および前記流体温度検出体を流体中に配置するとともに、前記発熱体からの熱の影響を受けない位置に前記流体温度検出体を配置し、
前記流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記発熱体の温度を保持した状態で、前記発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、
前記電流制御手段を介して通電制御される前記発熱体の一端に接続されて前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記増幅手段は、前記増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記増幅率制御部は、前記増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項９】
流体の順方向の流れに対して上流側に配置された第１の発熱体と、前記第１の発熱体からの熱の影響を受けない位置に配置された第１の流体温度検出体と、第１の複数の抵抗とにより第１のブリッジ回路を構成し、
流体の順方向の流れに対して下流側に配置された第２の発熱体と、前記第２の発熱体からの熱の影響を受けない位置に配置された第２の流体温度検出体と、第２の複数の抵抗とにより第２のブリッジ回路を構成し、
前記第１および第２の流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記第１および第２の発熱体の温度を保持した状態で、前記第１および第２の発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記第１の複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する第１の増幅手段と、
前記第１の増幅手段の出力電圧に基づいて制御される第１の電流制御手段と、
前記第１の電流制御手段を介して通電接続される前記第１の発熱体の一端からなる第１の接続点と、
前記第２の複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する第２の増幅手段と、
前記第２の増幅手段の出力電圧に基づいて制御される第２の電流制御手段と、
前記第２の電流制御手段を介して通電接続される前記第２の発熱体の一端からなる第２の接続点と、
前記第１および第２の接続点に接続されて、前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記第１および第２の増幅手段は、ぞれぞれ、前記第１および第２の増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記第１および第２の増幅手段内の各増幅率制御部は、前記第１および第２の増幅手段内の各増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項１０】
発熱体の温度を検出する２つの温度検出体を、流体の順方向の流れに対して上流側および下流側となるように前記発熱体の近傍に配置し、前記２つの温度検出体と第１の複数の抵抗とにより第１のブリッジ回路を構成し、
前記発熱体と、前記発熱体からの熱の影響を受けない位置に配置された流体温度検出体と、第２の複数の抵抗とにより第２のブリッジ回路を構成し、
前記流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記発熱体の温度を保持した状態で、前記発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記第２の複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、
前記２つの温度検出体の各一端に接続されて、前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記増幅手段は、前記増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記増幅率制御部は、前記増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項１１】
２つの発熱体と２つの流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、
前記２つの発熱体と前記２つの流体温度検出体とを流体中に配置するとともに、前記２つの発熱体からの熱の影響を受けない位置に前記２つの流体温度検出体を配置し、
前記２つの流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記２つの発熱体の温度を保持した状態で、前記２つの発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗と前記２つの流体温度検出体の一方とからなる直列回路の両端電圧を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、
前記電流制御手段を介して通電制御される前記２つの発熱体の一端に接続されて前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記増幅手段は、前記増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記増幅率制御部は、前記増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項１２】
２つの発熱体と２つの流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、
前記２つの発熱体と前記２つの流体温度検出体とを流体中に配置するとともに、前記２つの発熱体からの熱の影響を受けない位置に前記２つの流体温度検出体を配置し、
前記２つの流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記２つの発熱体の温度を保持した状態で、前記２つの発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記２つの流体温度検出体の一方の両端電圧を増幅する増幅手段と、
前記増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、
前記電流制御手段を介して通電制御される前記２つの発熱体の一端に接続されて前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記増幅手段は、前記増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記増幅率制御部は、前記増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【請求項１３】
１つ以上の発熱体と流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、
前記発熱体および前記流体温度検出体を流体中に配置するとともに、前記発熱体からの熱の影響を受けない位置に前記流体温度検出体を配置し、
前記流体温度検出体により検出される前記流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に前記発熱体の温度を保持した状態で、前記発熱体から前記流体に伝達される熱量が前記流体の流量に依存することを利用して、前記流体の流量を検出する熱式流量センサであって、
前記ブリッジ回路内のグランド側に挿入されて、前記複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する第１の増幅手段と、
前記ブリッジ回路内の電源側に挿入されて、前記複数の抵抗のうちの少なくとも他の１つの抵抗の両端電圧を増幅する第２の増幅手段と、
前記発熱体の一端の電圧と前記流体温度検出体の一端の電圧とに基づいて制御される電流制御手段と、
前記電流制御手段および前記第２の増幅手段を介して通電制御される前記発熱体の一端に接続されて前記流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、
前記第１および第２の増幅手段は、それぞれ、前記第１および第２の増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、前記増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、
前記第１および第２の増幅手段内の増幅率制御部は、前記第１および第２の増幅手段内の増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、前記発熱体の温度を前記制御温度に調整することを特徴とする熱式流量センサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、流体中に配置された発熱体から流体に伝達される熱量を電気的に検出することにより流体の流量を検出する熱式流量センサに関し、特に発熱体の温度を調整する回路構成の新規な改良に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、熱式流量センサにおいては、流体中に発熱体および流体温度検出体を配置するとともに、発熱体と流体温度検出体と複数の抵抗によりブリッジ回路を構成して、ブリッジ回路が常に平衡状態を保つように発熱体に供給する加熱電流を制御している。
これにより、発熱体の温度は、流体温度検出体により検出される流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に保たれる。
【０００３】
しかしながら、発熱体、流体温度検出体、抵抗およびセンサ構造などには、それぞれ、ばらつきが存在するため、個々の熱式流量センサごとに所定温度の調整が必要となる。
従来の熱式流量センサにおいては、発熱体を制御温度に調整するために、ブリッジ回路を構成する抵抗のうち、少なくとも１つの抵抗値を調整している。
【０００４】
このような抵抗値の調整方法としては、所定温度を得るために必要な抵抗値を算出し、この抵抗値に近い固定抵抗をブリッジ回路に半田付けする方法や、ドライバなどで抵抗値を変更できる可変抵抗を使用する方法、または、膜抵抗の一部をレーザにより焼き切り、抵抗値を変化させるレーザトリミングなどが広く使用されている（たとえば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】特開２０００−３１４６４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
従来の熱式流量センサでは、たとえば固定抵抗を半田付けした場合には、最適抵抗値の計算、抵抗の選定、および、半田付け作業が必要となるので、工程数が多く調整に時間がかかるという課題があった。
また、可変抵抗を使用した場合には、振動などにより抵抗値が変化する可能性があり、精度に欠けるという課題があった。
また、レーザトリミングを適用した場合には、装置が大掛かりとなるうえ、小抵抗値から大抵抗値への方向にしか調整することができないので、発熱体の温度を高温側から低温側の方向に変化させる場合を考慮すると、初期温度が高くなりすぎる可能性があり、さらに、最適値を一旦越えてしまうと再調整することができないという課題があった。
【０００７】
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、簡単な回路、装置および工程により、熱式流量センサの発熱体の温度を高精度に、かつ高信頼性で調整可能な調整回路を備えた熱式流量センサを得ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
この発明による熱式流量センサは、１つ以上の発熱体と流体温度検出体と複数の抵抗とによりブリッジ回路を構成し、発熱体および流体温度検出体を流体中に配置するとともに、発熱体からの熱の影響を受けない位置に流体温度検出体を配置し、流体温度検出体により検出される流体の温度よりも常に所定温度だけ高い制御温度に発熱体の温度を保持した状態で、発熱体から流体に伝達される熱量が流体の流量に依存することを利用して、流体の流量を検出する熱式流量センサであって、複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する増幅手段と、増幅手段の出力電圧に基づいて制御される電流制御手段と、電流制御手段を介して通電制御される発熱体の一端に接続されて流体の流量に対応した検出結果を出力する出力端子とを備え、増幅手段は、増幅手段への入力信号を増幅する増幅部と、増幅部の増幅率を制御するための増幅率制御部とにより構成され、増幅率制御部は、増幅部の増幅率を電気信号によって変化させて、発熱体の温度を制御温度に調整するものである。
【発明の効果】
【０００９】
この発明によれば、簡単な回路、装置および工程で、熱式流量センサの発熱体の温度を高精度にかつ高信頼性で調整することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
実施の形態１．
図１はこの発明の実施の形態１に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、特に発熱体の温度調整回路の構成を具体的に示している。
図１において、ブリッジ回路は、流体中に配置された発熱体１と、流体中に配置され、かつ発熱体１からの熱の影響を受けない位置に形成された流体温度検出体２と、抵抗３、４、５とにより構成されている。
【００１１】
発熱体１および抵抗５からなる第１の直列回路と、流体温度検出体２および抵抗３、４からなる第２の直列回路とは、互いに並列接続されて、電源１０に接続されたトランジスタ９とグランドとの間に挿入されている。
発熱体１および流体温度検出体２は、たとえば白金やニッケルなどのように温度によって抵抗値が変化する感温抵抗体材料により形成されている。
【００１２】
ブリッジ回路には、バッファ回路６、増幅手段７およびオペアンプ８が接続され、オペアンプ８の出力端子は、トランジスタ９のベース端子に接続されている。
抵抗４の両端電圧は、バッファ回路６を介して、増幅手段７の入力端子１７、１８に印加されている。
【００１３】
増幅手段７の入力端子１８は、グランドに接続され、増幅手段７の出力端子１９は、オペアンプ８の反転入力端子１６に接続されている。
なお、図１には示されていないが、調整時には、増幅手段７に対して、センサ調整用の外部機器として、パソコンなどのコンピュータ２２（後述する）が接続される。
【００１４】
オペアンプ８の非反転入力端子１５には、発熱体１と抵抗５との接続点１２の電圧が印加されている。
また、発熱体１と抵抗５との接続点１２は、熱式流量センサの出力端子１４に接続されている。出力端子１４は、流体の流量に対応した検出結果を出力する。
【００１５】
この場合、増幅手段７は、増幅手段７への入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧して出力するように設計されている。
増幅手段７の出力電圧に基づくオペアンプ８の出力電圧は、トランジスタ９のベース端子に印加され、トランジスタ９は、ベース端子への入力電圧に基づいて、発熱体１に供給する電流を制御する。これにより、発熱体１は、オペアンプ８により電流制御されるトランジスタ９（能動領域で動作する）を介して、通電制御される。
【００１６】
図２は図１内の増幅手段７とコンピュータ２２（調整用外部機器）とを接続した状態を具体的に示す回路構成図である。
図２において、増幅手段７は、増幅部２０および増幅率制御部２３により構成され、入力端子１７、１８と出力端子１９との間に配置されている。
増幅部２０および増幅率制御部２３は、いわゆるＤＡコンバータを構成している。
増幅率制御部２３は、コンピュータ２２（調整用外部機器）からの電気信号Ｑにより調整動作を行う。また、増幅率制御部２３には、メモリ２１が接続されており、メモリ２１は、調整完了後の電気信号Ｑをデータとして格納し、調整後の電気信号Ｑを増幅率制御部２３に供給する。
【００１７】
増幅部２０は、増幅手段７の入力端子１７、１８と出力端子１９との間に接続された複数の抵抗２Ｒ０〜２Ｒ４と、各抵抗２Ｒ１〜２Ｒ４の接続点の間に挿入された抵抗Ｒ１０〜Ｒ３０とからなる抵抗アレイにより構成される。
抵抗２Ｒ０の一端は、入力端子１８に接続され、抵抗２Ｒ４の他端は、出力端子１９に接続されている。
【００１８】
増幅率制御部２３は、電気的に制御可能なスイッチＳ１〜Ｓ４により構成されている。
増幅率制御部２３内の各スイッチＳ１〜Ｓ４は、コンピュータ２２からの電気信号Ｑに応答して、増幅部２０内の各抵抗２Ｒ１〜２Ｒ４の一端を、入力端子１７、１８のいずれか一方に接続する。
【００１９】
図２において、増幅手段７は、増幅手段７への入力電圧を分圧（１倍以下に増幅）して、出力端子１９から出力電圧として出力する。
また、増幅部２０内において、各抵抗２Ｒ０〜２Ｒ４の抵抗値は「２Ｒ」で表され、抵抗Ｒ１０〜Ｒ３０の抵抗値は「Ｒ」で表されるものとする。
【００２０】
なお、図２においては、増幅手段７の構成例として、４ビットのＤＡコンバータを示しているが、ＤＡコンバータのビット数は、必要に応じて任意に変更可能なことは言うまでもない。
また、増幅手段７をＲ−２Ｒ型のＤＡコンバータで構成した場合を示しているが、他の型式のＤＡコンバータで構成してもよい。このことは、以降の各実施の形態においても同様である。
【００２１】
図３は、増幅部２０の一例を示す回路構成図であり、たとえば、図２内のスイッチＳ１〜Ｓ３により抵抗２Ｒ１〜２Ｒ３が入力端子１８に接続され、スイッチＳ４により抵抗２Ｒ４のみが入力端子１７に接続された場合の等価回路を示している。図３において、各抵抗値または合成抵抗値を「２Ｒ」で示している。
この場合、出力端子１９からの出力電圧Ｖ１９は、入力端子１７、１８の各入力電圧Ｖ１７、Ｖ１８を用いて、以下の式（１）で表される。
【００２２】
【数１】
2007139692.tif 000003
【００２３】
式（１）から分かるように、増幅手段７の分圧比率ｘは、抵抗値の比率（＝２Ｒ／４Ｒ＝１／２）によって決定するので、抵抗値の絶対精度は必要なく、相対精度を保っていれば高精度の分圧が可能となる。
なお、出力電圧Ｖ１９の一般式は、式（２）のようになる。
【００２４】
【数２】
2007139692.tif 000004
【００２５】
式（２）において、ＮはスイッチＳ１〜Ｓ４の接続状態を１０進数のデジタル値で表した値である。
すなわち、スイッチが入力端子１７側に接続されているときは「１」とし、スイッチが入力端子１８側に接続されているときは「０」とし、スイッチＳ１が「ＬＳＢ」、スイッチＳ４を「ＭＳＢ」とする。
【００２６】
上記の例のように、スイッチＳ４のみが入力端子１７側に接続されている場合には、Ｎ＝１０００（２進数）＝８（１０進数）となる。
したがって、式（２）に、Ｎ＝８を代入すると、出力電圧Ｖ１９は、Ｖ１９＝（Ｖ１７＋Ｖ１８）／２で表される。
【００２７】
また、図１に示すように、増幅手段７が入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧して出力するものとすると、オペアンプ８の反転入力端子１６への入力電圧Ｖ１６は、流体温度検出体２と抵抗４との接続点１３の電圧Ｖ１３を用いて、以下の式（３）のように表される。
【００２８】
【数３】
2007139692.tif 000005
【００２９】
また、電圧Ｖ１３は、発熱体１と抵抗３との接続点１１の電圧Ｖ１１を用いて表すと、以下の式（４）のようになる。
【００３０】
【数４】
2007139692.tif 000006
【００３１】
式（４）において、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４は、流体温度検出体２、抵抗３、４の各抵抗値である。
また、オペアンプ８の非反転入力端子１５への入力電圧Ｖ１５は、以下の式（５）で表される。
【００３２】
【数５】
2007139692.tif 000007
【００３３】
式（５）において、Ｒ１、Ｒ５は、発熱体１、抵抗５の各抵抗値である。
ここで、オペアンプ８の入力端子１５、１６を仮想的に短絡とすると、Ｖ１５＝Ｖ１６となるので、式（５）は、以下の式（６）で表される。
【００３４】
【数６】
2007139692.tif 000008
【００３５】
したがって、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、以下の式（７）で表される。
【００３６】
【数７】
2007139692.tif 000009
【００３７】
式（７）から分かるように、増幅手段７の分圧比率ｘを変化させることにより、発熱体１の抵抗値、つまり温度を調整することができる。
分圧比率ｘは、図２内の増幅率制御部２３に入力される電気信号Ｑにより変化する。
【００３８】
増幅率制御部２３の調整時においては、コンピュータ２２から電気信号Ｑを送信して各スイッチＳ１〜Ｓ４を調整し、最適調整値が確定した時点で、調整確定後の電気信号Ｑを調整信号としてメモリ２１に保存する。
調整後は、メモリ２１から調整用の電気信号を読み出して増幅率制御部２３に送ることにより、最適調整された増幅率を再現することができる。このことは、以降の各実施の形態においても同様である。
なお、増幅手段７の出力電圧Ｖ１９は、オペアンプ８への入力電圧としてのみに使用されるのではなく、ブリッジ回路の他辺に印加する電圧としても使用され得る。
【００３９】
以上のように、この発明の実施の形態１によれば、熱式流量センサの温度調整回路として、ブリッジ回路を構成する複数の抵抗のうちの少なくとも１つの抵抗の両端電圧を増幅する増幅手段７を備え、増幅手段７は、増幅部２０と、増幅部２０の増幅率をコンピュータ２２からの電気信号Ｑにより制御する増幅率制御部２３とを含み、増幅後の出力電圧Ｖ１９をオペアンプ８の入力電圧として使用したので、コンピュータ２２から調整用の電気信号Ｑを送信するのみで、発熱体１の温度を調整することができ、簡単な装置構成で、短時間の調整を実現することができる。
【００４０】
すなわち、個々にばらつきを持つ熱式流量センサごとに、増幅手段７の増幅率をコンピュータ２２からの電気信号Ｑによって変化させることにより、発熱体１の温度を所定の制御温度に調整することができるので、機械的な加工（半田付けやレーザトリミングなど）のための装置が不要となるうえ、発熱体１の温度（または、温度を表す指標）をモニタしながら調整することができるので、調整工程が簡単になる。
また、前述のように、増幅手段７の分圧比率ｘが抵抗値の比率によって決定するので、調整精度が抵抗値の絶対精度に影響されず、相対精度が維持されていればよく、高精度で高価な素子を用いなくても、高精度の調整を実現することができる。
【００４１】
さらに、電気的に開閉可能なスイッチＳ１〜Ｓ４により増幅率制御部２３を構成し、調整完了後の増幅率を実現する電気信号Ｑのデータをメモリ２１に保存しておき、以降はメモリ２１からデータを読み出して使用することにより、簡単な回路構成で発熱体１の温度を正確に調整することができ、高精度かつ高信頼性の熱式流量センサを実現することができる。
【００４２】
実施の形態２．
なお、上記実施の形態１では、抵抗アレイからなる増幅部２０を用いたが、図４のように、容量アレイからなる増幅部２０Ａを用いてもよい。
図４はこの発明の実施の形態２に係る増幅手段７Ａを示す回路構成図であり、前述（図２参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ａ」を付して詳述を省略する。また、センサ全体の回路構成は、図１に示した通りである。
【００４３】
図４において、増幅部２０Ａは、増幅手段７Ａの入力端子１７、１８と出力端子１９との間に接続された複数のコンデンサＣ０、Ｃ１、２Ｃ、４Ｃ、８Ｃからなる容量アレイにより構成されている。
コンデンサＣ０の一端は入力端子１８に接続され、コンデンサＣ１、２Ｃ、４Ｃ、８Ｃの一端は、それぞれ、増幅率制御部２３内のスイッチＳ１〜Ｓ４に接続されている。
【００４４】
また、各コンデンサＣ０、Ｃ１、２Ｃ、４Ｃ、８Ｃの共通端子は、オペアンプ２４の非反転入力端子（＋）に接続され、オペアンプ２４を介して出力端子１９に接続されている。オペアンプ２４の出力端子は、自身の反転入力端子（−）に接続されている。
なお、コンデンサＣ０、Ｃ１の静電容量値は「Ｃ」で表され、コンデンサ２Ｃの静電容量値は「２Ｃ」で表され、コンデンサ４Ｃの静電容量値は「４Ｃ」で表され、コンデンサ８Ｃの静電容量値は「８Ｃ」で表されるものとする。
図４に示す増幅部２０Ａおよび増幅率制御部２３は、いわゆる電荷分配型のＤＡコンバータと同様の構成を有している。
【００４５】
図５は増幅部２０Ａの一例を示す回路構成図であり、たとえば、図４内のスイッチＳ１〜Ｓ３によりコンデンサＣ１、２Ｃ、４Ｃが入力端子１８に接続され、スイッチＳ４によりコンデンサ８Ｃのみが断続的に（任意のクロック周波数で）入力端子１７に接続された場合の等価回路を示している。図８において、静電容量値または合成静電容量値を「８Ｃ」で示している。
このとき、出力端子１９からの出力電圧Ｖ１９は、以下の式（８）で表される。
【００４６】
【数８】
2007139692.tif 000010
【００４７】
式（８）から分かるように、増幅手段７Ａの分圧比率ｘは、静電容量値の比率（＝８Ｃ／１６Ｃ＝１／２）によって決定し、静電容量の絶対精度が要求されないので、相対精度を保っていれば、高精度の分圧が可能となる。
なお、出力電圧Ｖ１９の一般式は、前述の式（２）と同様に、式（９）のようになる。
【００４８】
【数９】
2007139692.tif 000011
【００４９】
このように、分圧比率ｘを電気信号Ｑによって変更することができる。
以上のように、この発明の実施の形態２によれば、コンピュータ２２から調整用の電気信号Ｑを送信するのみで、発熱体１（図１参照）の温度を調整することができ、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、増幅手段７Ａの分圧比率ｘは、静電容量値の比率によって決定し、調整精度が静電容量値の絶対精度に影響されないので、高精度で高価な素子を用いなくても高精度の調整が可能となる。
【００５０】
実施の形態３．
なお、上記実施の形態１、２では、抵抗アレイまたは容量アレイからなる増幅部２０、２０Ａを用いたが、図６のように、積分器からなる増幅部２０Ｂを用いてもよい。
図６はこの発明の実施の形態３に係る増幅手段７Ｂを示す回路構成図であり、前述（図２、図４参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｂ」を付して詳述を省略する。また、センサ全体の回路構成は、図１に示した通りである。
【００５１】
図６において、増幅部２０Ｂは、ＣＲ積分回路からなる積分器により構成されている。
増幅部２０Ｂを構成する抵抗ＲおよびコンデンサＣの接続点は、オペアンプ２４の非反転入力端子（＋）に接続されている。
なお、積分器としては、ＣＲ積分回路に限らず、他の積分器であってもよい。このことは、以降の各実施の形態においても同様である。
【００５２】
増幅率制御部２３Ｂは、入力端子１７に接続されたオペアンプ２３ａと、入力端子１８に接続されたオペアンプ２３ｂと、抵抗Ｒ２３を介してオペアンプ２３ａの出力端子に接続されたオペアンプ２３ｃと、オペアンプ２３ｂの出力端子とオペアンプ２３ｃの入力端子との間に挿入されたスイッチＳ０とを備えている。
【００５３】
各オペアンプ２３ａ〜２３ｃの出力端子は、それぞれ、自身の反転入力端子（−）に接続されている。
増幅率制御部２３Ｂは、コンピュータ２２からの電気信号Ｑ（任意周波数のクロック信号）により間欠動作しており、スイッチＳ０の開閉時間のデューティ比率を変化させることによって、積分器からなる増幅部２０Ｂの増幅率を制御するようになっている。
【００５４】
図６において、スイッチＳ０の開時間（デューティ比）をｔｘ、スイッチＳ０の閉時間を１−ｔｘとすると、出力電圧Ｖ１９は、以下の式（１０）で表される。
【００５５】
【数１０】
2007139692.tif 000012
【００５６】
式（１０）から分かるように、増幅手段７Ｂの分圧比率ｘは、スイッチＳ０が開閉する時間のデューティ比率ｔｘによって決定する。
このように、分圧比率ｘを電気信号Ｑによって変更することができる。
したがって、増幅部２０Ｂを構成する抵抗Ｒ、コンデンサＣ、および、増幅率制御部２３Ｂを構成する抵抗Ｒ２３などの回路要素や、増幅率制御部２３Ｂに対するクロック周波数の絶対精度が要求されないので、スイッチＳ０の開閉時間の相対精度を保っていれば、高精度の分圧が可能となる。
【００５７】
以上のように、この発明の実施の形態３によれば、コンピュータ２２から調整用の電気信号Ｑを送信するのみで、発熱体１の温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、分圧比率ｘは、スイッチＳ０の開閉時間の比率によって決定し、調整精度が抵抗Ｒ、Ｒ２３やコンデンサＣ、クロック周波数の精度に影響されないので、高精度の調整が可能となる。
【００５８】
実施の形態４．
なお、上記実施の形態１〜３では、増幅部２０、２０Ａ、２０Ｂの増幅率を１倍以下に設定する場合について説明したが、図７のように、増幅部２０Ｃを、１倍以上の増幅率に設定可能に構成してもよい。
図７はこの発明の実施の形態４に係る増幅手段７Ｃを示す回路構成図であり、前述（図２参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｃ」を付して詳述を省略する。また、センサ全体の回路構成は、図１に示した通りである。
【００５９】
図７において、増幅部２０Ｃは、前述（図２参照）の抵抗アレイに加えて、オペアンプ２５、２６と、抵抗Ｒ４０、Ｒ５０とを備えており、増幅率を１倍以下のみならず、１倍以上にも設定可能に構成されている。
この場合、前述の抵抗アレイの一端は、入力端子１７とオペアンプ２５の反転入力端子（−）とに接続され、抵抗アレイの他端は、増幅率制御部２３（スイッチＳ１〜Ｓ４）を介して、オペアンプ２５の出力端子２７に接続されている。
これにより、抵抗アレイは、オペアンプ２５とともに、反転増幅器を構成している。
【００６０】
抵抗２Ｒ０の一端は入力端子１７に接続され、抵抗２Ｒ１〜２Ｒ４の一端は、スイッチＳ１〜Ｓ４を介して、入力端子１７またはオペアンプ２５の出力端子２７に接続される。
増幅手段７Ｃの他方の入力端子１８は、オペアンプ２５、２６の非反転入力端子（＋）に接続されている。
【００６１】
オペアンプ２５の出力端子２７は、抵抗Ｒ４０を介してオペアンプ２６の反転入力端子（−）に接続されている。
また、オペアンプ２６の出力端子は、増幅手段７Ｃの出力端子１９に接続されるとともに、抵抗Ｒ５０を介して自身の反転入力端子（−）に接続されている。
【００６２】
図８は増幅部２０Ｃの一例を示す回路構成図であり、たとえば、図７内のスイッチＳ１、Ｓ２により、抵抗２Ｒ１、２Ｒ２が入力端子１７に接続され、スイッチＳ３、Ｓ４により、抵抗２Ｒ３、２Ｒ４がオペアンプ２５の出力端子２７に接続された場合の等価回路を示している。図８において、各抵抗値または合成抵抗値を「Ｒ」、「２Ｒ」で示している。
このとき、オペアンプ２５の出力端子２７の電圧Ｖ２７は、以下の式（１１）で表される。
【００６３】
【数１１】
2007139692.tif 000013
【００６４】
また、式（１１）から、増幅手段７Ｃの出力電圧Ｖ１９は、以下の式（１２）で表される。
【００６５】
【数１２】
2007139692.tif 000014
【００６６】
この場合、出力電圧Ｖ１９の一般式は、以下の式（１３）のようになる。
【００６７】
【数１３】
2007139692.tif 000015
【００６８】
式（１３）から分かるように、デジタル値Ｎの設定次第で、１倍以上の増幅率を得ることができる。
図８の例では、Ｎ＝１１００（２進数）＝１２（１０進数）であるから、出力電圧Ｖ１９は、以下の式（１４）のようになる。
【００６９】
【数１４】
2007139692.tif 000016
【００７０】
よって、式（１４）から、上記の式（１２）が得られる。
ここで、図９（図１に対応）に示すように、増幅手段７Ｃの増幅率をＧで表すと、増幅手段７Ｃの出力端子１９からの出力電圧Ｖ１９は、以下の式（１５）で表される。
【００７１】
【数１５】
2007139692.tif 000017
【００７２】
式（１５）において、接続点１３の電圧Ｖ１３は、前述の式（４）のように表されるので、式（１５）は、以下の式（１６）のようになる。
【００７３】
【数１６】
2007139692.tif 000018
【００７４】
ここで、オペアンプ８の非反転入力端子１５への入力電圧Ｖ１５は、前述の式（５）のように表され、また、入力電圧Ｖ１５と出力電圧Ｖ１９とが等しくなるので、以下の式（１７）の関係が成り立つ。
【００７５】
【数１７】
2007139692.tif 000019
【００７６】
よって、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、以下の式（１８）で表される。
【００７７】
【数１８】
2007139692.tif 000020
【００７８】
式（１８）から分かるように、増幅手段７Ｃの増幅率Ｇを変化させることにより、発熱体１の抵抗値、つまり発熱体１の温度を調整することができる。
このとき、増幅率Ｇは、増幅率制御部２３（図７参照）に入力される電気信号Ｑにより変化することになる。
【００７９】
以上のように、この発明の実施の形態４によれば、コンピュータ２２から調整用の電気信号Ｑを送信するのみで、発熱体１の温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、増幅率Ｇ（分圧比率ｘに相当）は、抵抗アレイを構成する抵抗の比率によって決定し、調整精度が各抵抗の絶対精度に影響されないので、高精度の調整が可能となる。
【００８０】
実施の形態５．
なお、上記実施の形態１〜４では、熱式流量センサの実装構造について特に言及しなかったが、図１０のように、回路基板２９に対して各回路要素を配置接続してもよい。
図１０はこの発明の実施の形態５に係る熱式流量センサの回路実装構成を示す説明図であり、前述（図１、図２参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。
【００８１】
図１０において、回路基板２９上にはＩＣ２８が実装されており、ＩＣ２８には、増幅部２０、メモリ２１および増幅率制御部２３が集積化されている。
また、回路基板２９上には、ブリッジ回路を構成する抵抗３、４、５と、オペアンプ８と、トランジスタ９とが実装されている。
発熱体１および流体温度検出体２は、ワイヤボンディングなどによりＩＣ２８に接続されている。
【００８２】
ＩＣ２８内に集積化される増幅部２０は、抵抗アレイ（図２参照）の場合に限らず、容量アレイ（図４参照）、積分器（図６参照）、または、反転増幅器（図７参照）のいずれの場合に置き換えても、適用可能である。
以上のように、この発明の実施の形態５によれば、増幅部２０、メモリ２１および増幅率制御部２３がＩＣ２８内に集積化されているので、増幅手段７を小型化することができる。
【００８３】
実施の形態６．
なお、上記実施の形態５では、回路の小型化を優先させて、増幅部２０をＩＣ２８内に集積化したが、図１１のように、高精度で大型の増幅部２０ＤをＩＣ２８Ｄの外部の回路基板２９Ｄ上に実装してもよい。
図１１はこの発明の実施の形態６に係る熱式流量センサの回路実装構成を示す説明図であり、前述（図１０参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｄ」を付して詳述を省略する。
【００８４】
図１１において、回路基板２９Ｄ上にはＩＣ２８Ｄが実装されており、ＩＣ２８Ｄには、メモリ２１および増幅率制御部２３が集積化されている。
この場合、増幅部２０Ｄは、大型で高精度のものが用いられており、ＩＣ２８Ｄの外部の回路基板２９Ｄ上に実装されている。
【００８５】
回路基板２９Ｄ上に実装される増幅部２０Ｄは、前述の抵抗アレイの場合に限らず、容量アレイ、積分器または反転増幅器のいずれの場合にも適用可能である。
以上のように、この発明の実施の形態６によれば、増幅部２０ＤをＩＣ２８Ｄの外部の回路基板２９Ｄ上に実装したので、ＩＣ２８の内部に形成される増幅部よりも高精度のものを使用することができ、調整精度をさらに向上させることができる。
このことは、前述の実施の形態５と相反する作用効果であるが、高精度化を優先するか、またはサイズの小型化を優先するかによって、実施の形態５、６のいずれかを選択すればよい。
【００８６】
実施の形態７．
なお、上記実施の形態６（図１１参照）では、ＩＣ２８Ｄ内の増幅率制御部２３を構成するスイッチの耐圧について考慮しなかったが、過電圧保護用の抵抗回路が必要な場合（ＩＣ２８Ｄ内のスイッチの耐圧が低い場合）を考慮して、たとえば図１２のように、増幅率制御部２３Ｅの一部機能を構成するスイッチ回路３０を、増幅率制御部２３Ｅとは別に（ＩＣ２８Ｅの外部に）配置してもよい。
【００８７】
図１２はこの発明の実施の形態７に係る増幅手段７Ｅを示す回路構成図であり、前述（図２、図１１参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｅ」を付して詳述を省略する。
なお、この発明の実施の形態７に係る熱式流量センサの全体構成は、図１に示した通りであり、全体の実装構成は図１１に示した通りである。
【００８８】
図１２において、ＩＣ２８Ｅ内には、メモリ２１および増幅率制御部２３Ｅが集積化されている。
一方、ＩＣ２８Ｅの外部（回路基板上）には、増幅部２０と、高耐圧に優れた半導体スイッチＳａ〜Ｓｄからなるスイッチ回路３０と、増幅率制御部２３Ｅ内のスイッチＳ１〜Ｓ４を過電圧から保護するための抵抗Ｒａ〜Ｒｄからなる抵抗回路３１とが実装されている。
【００８９】
増幅率制御部２３Ｅ内の各スイッチＳ１〜Ｓ４の一端から出力されるスイッチ制御信号は、抵抗回路３１内の各抵抗Ｒａ〜Ｒｄを介して、スイッチ回路３０内の各半導体スイッチＳａ〜Ｓｄに印加される。
スイッチ回路３０は、増幅率制御部２３Ｅの一部を構成しており、増幅率制御部２３Ｅから抵抗回路３１を介して入力されるスイッチ制御信号により駆動されて、増幅部２０の増幅率を制御するようにしている。
【００９０】
一般に、増幅部２０のみをＩＣ２８Ｅの外部の回路基板に形成する場合、ＩＣ２８Ｅ内の増幅率制御部２３ＥからＩＣ２８Ｅの外部の増幅部２０までの間を配線で接続しなければならない。また、ＩＣ２８Ｅの製造方法によっては、増幅率制御部２３Ｅ内のスイッチＳ１〜Ｓ４を過電圧から保護するために、抵抗回路３１を接続しなければならない場合がある。
【００９１】
このとき、抵抗回路３１は、ＩＣ２８Ｅの製造プロセスで形成されるので、ばらつきや温度特性など精度面での問題が生じる場合がある。
そこで、図１２のように、ＩＣ２８Ｅの外部（回路基板上）に、増幅率制御部２３Ｅの一部機能として、耐圧に優れた半導体スイッチＳａ〜Ｓｄからなるスイッチ回路３０を実装し、ＩＣ２８Ｅ内の増幅率制御部２３Ｅからのスイッチ制御信号により、スイッチ回路３０を駆動して増幅率を制御する。
【００９２】
以上のように、この発明の実施の形態７によれば、ＩＣ２８Ｅ内の増幅率制御部２３Ｅにおいて、スイッチＳ１〜Ｓ４に耐圧の問題があって過電圧保護用の抵抗回路３１が必要な場合でも、保護用抵抗回路３１のばらつきや温度特性の影響を受けずに、発熱体１（図１参照）の温度を高精度に調整することができる。
【００９３】
実施の形態８．
なお、上記実施の形態１〜７では、発熱体１、流体温度検出体２および抵抗３〜５によりブリッジ回路を形成した直熱式の熱式流量センサに適用した場合について説明したが、たとえば図１３に示すように、発熱体１の温度を検出する温度検出体３２と、発熱体１に直列接続された抵抗３３と、ブリッジ回路に接続された定電圧源３４とを設け、温度検出体３２、流体温度検出体２および抵抗３〜５によりブリッジ回路を形成した傍熱式の熱式流量センサに適用してもよい。
【００９４】
図１３はこの発明の実施の形態８に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。
図１３において、電源１０とグランドとの間には、トランジスタ９、発熱体１および抵抗３３からなる直列回路が挿入されており、発熱体１と抵抗３３との接続点は、熱式流量センサの出力端子１４に接続されている。
【００９５】
また、定電圧源３４とグランドとの間には、温度検出体３２および抵抗５からなる直列回路と、抵抗３、流体温度検出体２および抵抗４からなる直列回路とが、並列に挿入されている。
流体温度検出体２と抵抗４との接続点は、バッファ回路６の非反転入力端子（＋）に接続され、温度検出体３２と抵抗５との接続点は、オペアンプ８の非反転入力端子１５に接続されている。
オペアンプ８の出力端子は、トランジスタ９のベース端子に接続されている。
【００９６】
図１３に示すように、ブリッジ回路は、発熱体１の温度検出体３２と、流体温度検出体２と、抵抗３〜５とにより構成され、定電圧源３４に接続されている。
温度検出体３２は、発熱体１の極めて近傍に形成されており、温度検出体３２による検出温度は、発熱体１の実際の温度とほぼ同等の値を示すようになっている。
【００９７】
図１３の回路構成によれば、発熱体１への供給電流は、ブリッジ回路が平衡状態を保つように制御されるので、発熱体１への供給電力は、温度検出体３２による発熱体１の検出温度が所定の制御温度と一致するように制御される。
したがって、傍熱式の熱式流量センサにおいても、抵抗４の両端電圧を増幅手段７によって増幅することにより、前述の各実施の形態１〜７と同様の作用効果を奏する。このことは、以降の実施の形態についても同様である。
【００９８】
以上のように、この発明の実施の形態８によれば、増幅手段７に対して外部のコンピュータから調整用の電気信号Ｑ（図２参照）を送信するのみで、発熱体１の温度を調整することができ、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、増幅手段７の分圧比率ｘは、増幅手段７内の抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【００９９】
実施の形態９．
なお、上記実施の形態１〜８では、１つの発熱体１に対応した１つのブリッジ回路を用いたが、たとえば図１４に示すように、２つの発熱体１ａ、１ｂに対応した２つのブリッジ回路を並列構成し、各ブリッジ回路の出力端子を、差動増幅器３５を介して熱式流量センサの出力端子１４に接続してもよい。
【０１００】
図１４はこの発明の実施の形態９に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１参照）と同様のものについては、前述と同一符号の後にそれぞれ「ａ」、「ｂ」を付して詳述を省略する。
図１４においては、前述（図１）の直熱式の熱式流量センサと同一構成の２つのブリッジ回路を並列に使用した場合の一例を示している。
【０１０１】
図１４において、発熱体１ａ、流体温度検出体２ａおよび抵抗３ａ〜５ａは、第１のブリッジ回路を構成しており、第１のブリッジ回路の出力端子となる発熱体１ａと抵抗５ａとの接続点１２ａは、差動増幅器３５の非反転入力端子（＋）に接続されている。
また、発熱体１ｂ、流体温度検出体２ｂおよび抵抗３ｂ〜５ｂは、第２のブリッジ回路を構成しており、第２のブリッジ回路の出力端子となる発熱体１ｂと抵抗５ｂとの接続点１２ｂは、差動増幅器３５の反転入力端子（−）に接続されている。
【０１０２】
発熱体１ａおよび発熱体１ｂは、流体の流れに対して順番に、かつ平行に並んで形成されており、流体の流れが順流の場合、第１のブリッジ回路内の発熱体１ａが上流側に位置するように配列されている。
【０１０３】
流体の流れが順流の場合、上流側に位置する発熱体１ａの方が冷却されやすいので、第１のブリッジ回路の発熱体１ａへの供給電流は、第２のブリッジ回路の発熱体１ｂへの供給電流よりも大きくなる。
この場合、第１のブリッジ回路から出力される接続点１２ａの電圧（抵抗５ａの両端電圧Ｖ５ａ）の方が、第２のブリッジ回路から出力される接続点１２ｂの電圧（抵抗５ｂの両端電圧Ｖ５ｂ）よりも大きくなる。
【０１０４】
差動増幅器３５は、第１のブリッジ回路の出力電圧（接続点１２ａの電圧Ｖ５ａ）と、第２のブリッジ回路の出力電圧（接続点１２ｂの電圧Ｖ５ｂ）との電圧偏差（＝Ｖ５ａ−Ｖ５ｂ）を求め、出力端子１４から後段回路（図示せず）に出力する。
【０１０５】
一方、流体の流れが逆流の場合には、第１のブリッジ回路の出力電圧（接続点１２ａの電圧Ｖ５ａ）が第２のブリッジ回路の出力電圧（接続点１２ｂの電圧Ｖ５ｂ）よりも小さくなるので、逆流状態を検出することができる。
【０１０６】
また、前述と同様に、増幅手段７ａ、７ｂは、各ブリッジ回路内の抵抗４ａ、４ｂの両端電圧を増幅して、各オペアンプ８ａ、８ｂの反転入力端子１６ａ、１６ｂに印加する。
これにより、オペアンプ８ａ、８ｂは、各トランジスタ９ａ、９ｂを制御して、発熱体１ａ、１ｂへの供給電流を制御する。
【０１０７】
このように、いわゆるダブルヒータ方式の熱式流量センサにおいても、各ブリッジ回路内の抵抗４ａ、４ｂの両端電圧を増幅手段７ａ、７ｂにより増幅し、各オペアンプ８ａ、８ｂを介してトランジスタ９ａ、９ｂを制御することにより、前述と同様の作用効果をそうすることができる。このことは、以降の実施の形態についても同様である。
【０１０８】
以上のように、この発明の実施の形態９によれば、増幅手段７ａ、７ｂに対して外部のコンピュータから調整用の電気信号を送信するのみで、発熱体１ａ、１ｂの温度を調整することができ、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。また、各増幅手段７ａ、７ｂの分圧比率ｘは、増幅手段７ａ、７ｂ内の抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１０９】
実施の形態１０．
なお、上記実施の形態９では、２つの発熱体１ａ、１ｂを流体の流れに対して上下に配列し、各発熱体１ａ、１ｂに対応した２つのブリッジ回路を構成したが、たとえば図１５に示すように、１つの発熱体１の上流側および下流側に温度検出体３６、３７を配置するとともに、温度検出体３６、３７および抵抗３８、３９により第２のブリッジ回路を構成して、第２のブリッジ回路の２つの接続点を、差動増幅器３５を介して熱式流量センサの出力端子１４に接続してもよい。
【０１１０】
図１５はこの発明の実施の形態１０に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１、図１４参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して詳述を省略する。
図１５においては、前述（図１）の直熱式の熱式流量センサと同様の発熱体１に対し、上流側および下流側において発熱体１の温度を検出する温度検出体３６、３７を形成し、温度検出体３６、３７および抵抗３８、３９により、第２のブリッジ回路を構成している。
【０１１１】
図１５において、温度検出体３６と抵抗３９との接続点は、差動増幅器３５の反転入力端子（−）に接続され、温度検出体３７と抵抗３８との接続点は、差動増幅器３５の非反転入力端子（＋）に接続されている。
【０１１２】
また、流体の流れが順流の場合、温度検出体３６は発熱体１の上流側に位置し、温度検出体３７は発熱体１の下流側に位置するように配列されている。
この場合、下流側に位置する温度検出体３７よりも、上流側に位置する温度検出体３６の方が冷却されやすいので、温度検出体３６の温度は、温度検出体３７の温度よりも低くなる。
【０１１３】
第２のブリッジ回路において、温度検出体３６による検出温度は、抵抗３９の両端電圧Ｖ３９として出力され、温度検出体３７による検出温度は、抵抗３８の両端電圧Ｖ３８として出力される。
差動増幅器３５は、抵抗３８の両端電圧Ｖ３８と抵抗３９の両端電圧Ｖ３９との電圧偏差（＝Ｖ３８−Ｖ３９）を求め、出力端子１４から後段回路に出力する。
差動増幅器３５の出力電圧は、温度検出体３６による検出温度と、温度検出体３７による検出温度との温度偏差を表している。
【０１１４】
一方、流体の流れが逆流の場合には、温度検出体３７による検出温度よりも、温度検出体３６による検出温度の方が高くなるので、逆流状態を検出することができる。
また、前述と同様に、増幅手段７は、第１のブリッジ回路内の抵抗４の両端電圧を増幅してオペアンプ８の反転入力端子１６に印加し、オペアンプ８は、トランジスタ９を制御して、発熱体１への供給電流を制御する。
【０１１５】
このように、いわゆる温度差検出方式の熱式流量センサにおいても、第１のブリッジ回路内の抵抗４の両端電圧を増幅手段７により増幅することにより、前述と同様の作用効果が得られる。このことは、以降の実施の形態についても同様である。
【０１１６】
以上のように、この発明の実施の形態１０によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号Ｑ（図２参照）を送信するのみで、発熱体１の温度を調整することができ、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。また、増幅手段７の分圧比率ｘは、増幅手段７内の抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１１７】
実施の形態１１．
なお、上記実施の形態１〜１０では、１つのブリッジ回路内に１つの発熱体のみを設けたが、たとえば図１６に示すように、１つのブリッジ回路内に２つの発熱体１Ａ、１Ｂを直列に設け、同様に２つの流体温度検出体２Ａ、２Ｂを直列に設けてもよい。
【０１１８】
図１６はこの発明の実施の形態１１に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ａ」、「Ｂ」を付して詳述を省略する。
図１６に示すブリッジ回路において、直列に接続された流体温度検出体２Ａ、２Ｂの接続点１３Ａは、バッファ回路６を介して増幅手段７の入力端子１７に接続されている。
また、直列に接続された発熱体１Ａ、１Ｂの接続点１２Ａは、オペアンプ８の非反転入力端子１５に接続されている。
【０１１９】
流体温度検出体２Ｂのグランド側の一端は、抵抗４の一端に接続され、抵抗４のグランド側の端子は、増幅手段７の入力端子１８に接続されている。
これにより、増幅手段７は、流体温度検出体２Ｂおよび抵抗４からなる直列回路の両端電圧を増幅するようになっている。
【０１２０】
前述と同様に、増幅手段７が入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧して出力するものとすると、オペアンプ８の反転入力端子１６への入力電圧Ｖ１６は、流体温度検出体２Ａ、２Ｂの接続点１３Ａの電圧Ｖ１３ａを用いて、式（１９）のように表される。
【０１２１】
【数１９】
2007139692.tif 000021
【０１２２】
また、電圧Ｖ１３は、発熱体１Ａと抵抗３の接続点１１の電圧Ｖ１１を用いて表すと、以下の式（２０）のようになる。
【０１２３】
【数２０】
2007139692.tif 000022
【０１２４】
式（２０）において、Ｒ２ａ、Ｒ２ｂは、それぞれ、流体温度検出体２Ａ、２Ｂの抵抗値である。
一方、オペアンプ８の非反転入力端子１５への入力電圧Ｖ１５は、以下の式（２１）で表される。
【０１２５】
【数２１】
2007139692.tif 000023
【０１２６】
式（２１）において、Ｒ１ａ、Ｒ１ｂは、それぞれ発熱体１Ａ、１Ｂの抵抗値である。
ここで、オペアンプ８の入力端子１５、１６を仮想短絡とすると、Ｖ１５＝Ｖ１６となるから、式（２１）は、以下の式（２２）のように表される。
【０１２７】
【数２２】
2007139692.tif 000024
【０１２８】
したがって、発熱体１Ａの抵抗値Ｒ１ａは、発熱体１Ｂの抵抗値Ｒ１ｂと関連して、以下の式（２３）で表される。
【０１２９】
【数２３】
2007139692.tif 000025
【０１３０】
式（２３）から分かるように、分圧比率ｘを変化させることにより、発熱体１Ａの抵抗値Ｒ１ａ、つまり温度を調整することができる。
また、式（２３）の右辺に発熱体１Ｂの抵抗値Ｒ１ｂが存在することから、発熱体１Ａの温度は、流体流量によって変化することになる。
【０１３１】
このように、直列接続された発熱体１Ａ、１Ｂおよび流体温度検出体２Ａ、２Ｂを用いた熱式流量センサは、公知（たとえば、特開２００２−５７１７号公報参照）であるが、センサの温度特性を改善させる効果が得られる方式である。
この種の熱式流量センサに適用した場合も、増幅手段７により増幅率を調整することにより、前述と同様の作用効果が得られる。このことは、以降の実施の形態についても同様である。
【０１３２】
以上のように、この発明の実施の形態１１によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号Ｑ（図２参照）を送信するのみで、発熱体１Ａ、１Ｂの温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、増幅手段７の分圧比率ｘが抵抗値の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１３３】
実施の形態１２．
なお、上記実施の形態１１では、流体温度検出体２Ｂおよび抵抗４の直列回路の両端電圧を増幅手段７に印加したが、たとえば図１７に示すように、流体温度検出体２Ｂの両端電圧を増幅手段７に印加してもよい。
図１７はこの発明の実施の形態１２に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１６参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ａ」、「Ｂ」を付して詳述を省略する。
【０１３４】
図１７において、流体温度検出体２Ｂの両端電圧は、各一端に接続されたバッファ回路６Ａ、６Ｂを介して増幅手段７に印加されている。
ここで、前述と同様に、増幅手段７が入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧して出力するものとすると、増幅手段７の出力電圧Ｖ１９は、以下の式（２４）で表される。
【０１３５】
【数２４】
2007139692.tif 000026
【０１３６】
増幅手段７の出力電圧Ｖ１９は、オペアンプ８の反転入力端子１６に印加される。
一方、オペアンプ８の非反転入力端子１５には、前述の式（２１）で表される入力電圧Ｖ１５（接続点１２Ａの電圧）が印加されている。
したがって、発熱体１Ａの抵抗値Ｒ１ａは、発熱体１Ｂの抵抗値Ｒ１ｂと関連して、以下の式（２５）で表される。
【０１３７】
【数２５】
2007139692.tif 000027
【０１３８】
式（２５）から分かるように、分圧比率ｘを変化させることにより、発熱体１Ａの抵抗値、つまり温度を調整することができる。
このように、流体温度検出体２Ｂの両端電圧を増幅する回路構成としても、前述と同様の作用効果が得られる。このことは、以降の実施の形態についても同様である。
【０１３９】
以上のように、この発明の実施の形態１２によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号Ｑ（図２参照）を送信するのみで、発熱体１ａ、１ｂの温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、分圧比率ｘが抵抗の比率によって決定するため、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１４０】
実施の形態１３．
なお、上記実施の形態１〜１２では、１つのブリッジ回路に対して１つの増幅手段を用いたが、たとえば図１８に示すように、１つのブリッジ回路に対して２つの増幅手段７Ｆ、７Ｇを用いてもよい。
図１８はこの発明の実施の形態１３に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｃ」〜「Ｇ」を付して詳述を省略する。
【０１４１】
図１８において、ブリッジ回路には、２つの増幅手段７Ｆ、７Ｇが設けられている。
増幅手段７Ｆは、前述（図２参照）と同様のＤＡコンバータを構成しており、たとえば、抵抗アレイからなる増幅部２０と、電気的に制御可能なスイッチからなる増幅率制御部２３とを有している。
増幅手段７Ｇも、増幅手段７Ｆと同様に構成されている。
【０１４２】
流体温度検出体２と抵抗４との接続点１３は、バッファ回路６Ｃを介して、増幅手段７Ｆの入力端子１７Ｆに接続されている。
抵抗４のグランド側の端子は、増幅手段７Ｆの入力端子１８Ｆに接続されている。
増幅手段７Ｆの出力端子１９Ｆは、バッファ回路６Ｄを介して、抵抗５の一端（発熱体１と接続されていない方の一端）に接続されている。
抵抗４の両端電圧は、バッファ回路６Ｃを介して増幅手段７Ｆに印加されており、増幅手段７Ｆは、入力された電圧を分圧して（１倍以下に増幅して）出力する。
【０１４３】
一方、トランジスタ９と抵抗３との接続点１１は、バッファ回路６Ｅを介して、増幅手段７Ｇの入力端子１７Ｇに接続されている。
抵抗３と流体温度検出体２との接続点は、バッファ回路６Ｆを介して、増幅手段７Ｇの入力端子１８Ｇに接続されている。
増幅手段７Ｇの出力端子１９Ｇは、バッファ回路６Ｇを介して、発熱体１の一端（抵抗５と接続されていない方の一端）に接続されている。
抵抗３の両端電圧は、バッファ回路６Ｅ、６Ｆを介して、増幅手段７Ｇに印加されており、増幅手段７Ｇは、入力された電圧を分圧して出力する。
【０１４４】
前述と同様に、流体温度検出体２は、発熱体１からの熱の影響を受けない位置に形成されており、発熱体１および抵抗３、４、５とともにブリッジ回路を構成している。
オペアンプ８の反転入力端子１６には、流体温度検出体２と抵抗４との接続点１３の電圧が入力され、オペアンプ８の非反転入力端子１５には、発熱体１と抵抗５との接続点１２の電圧が入力されている。
また、オペアンプ８の出力電圧は、トランジスタ９のベース端子に印加され、トランジスタ９のエミッタが抵抗３の一端に接続されている。
【０１４５】
図１８において、増幅手段７Ｆが入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧し、増幅手段７Ｇが入力電圧を「１−ｙ：ｙ」に分圧して出力するものとすると、グランド側の増幅器７Ｆの出力電圧Ｖ１９ｆは、各抵抗値Ｒ２〜Ｒ４および接続点１１の電圧Ｖ１１を用いて、以下の式（２６）のように表される。
【０１４６】
【数２６】
2007139692.tif 000028
【０１４７】
また、電源１０側の増幅手段７Ｇの出力電圧Ｖ１９ｇは、以下の式（２７）で表される。
【０１４８】
【数２７】
2007139692.tif 000029
【０１４９】
よって、オペアンプ８の非反転入力端子１５への入力電圧Ｖ１５は、以下の式（２８）で表される。
【０１５０】
【数２８】
2007139692.tif 000030
【０１５１】
また、オペアンプ８の反転入力端子１６への入力電圧Ｖ１６は、式（２９）で表される。
【０１５２】
【数２９】
2007139692.tif 000031
【０１５３】
ここで、Ｖ１５＝Ｖ１６より、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、以下の式（３０）のように表される。
【０１５４】
【数３０】
2007139692.tif 000032
【０１５５】
一方、流体温度検出体２の抵抗値Ｒ２は、温度によって変化するので、以下の式（３１）のように置き換えられる。
【０１５６】
【数３１】
2007139692.tif 000033
【０１５７】
式（３１）において、Ｒ２０は、０℃のときの流体温度検出体２の抵抗値、α２は流体温度検出体２の抵抗温度係数、Ｔ２は流体温度検出体２の温度である。
式（３１）を式（３０）に代入して整理すると、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、式（３２）で表される。
【０１５８】
【数３２】
2007139692.tif 000034
【０１５９】
式（３２）の右辺括弧内のＲ２０／（Ｒ２０＋ｙＲ３）×α２は、抵抗値Ｒ１の温度係数を示しており、この係数値は、分圧比ｙにより調整することができる。
また、抵抗値Ｒ１は、分圧比率ｘにより調整することができる。
【０１６０】
したがって、式（３２）から分かるように、抵抗値Ｒ１と温度係数とを独立に調整することができる。
熱式流量センサにおいては、温度特性の調整のために、発熱体１の抵抗値Ｒ１とその温度係数とを独立に調整しなければならない場合が多いが、この発明の実施の形態１３によれば、このような場合に適用することができる。
【０１６１】
以上のように、この発明の実施の形態１３によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号を送信するのみで、発熱体１の温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、分圧比率ｘが抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
さらに、発熱体１の抵抗値Ｒ１とその温度係数とを独立に調整することができるので、センサの温度特性を簡単な装置および回路を用いて調整することができる。
【０１６２】
実施の形態１４．
なお、上記実施の形態１３では、流体温度検出体２の両端に各１個の抵抗３、４を直列接続したが、たとえば図１９に示すように、流体温度検出体２の両端に各２個の抵抗３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂをそれぞれ直列接続してもよい。
図１９はこの発明の実施の形態１４に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１８参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ａ」、「Ｂ」を付して詳述を省略する。
【０１６３】
図１９において、流体温度検出体２の両端には、各２個の抵抗３Ａ、３Ｂ、４Ａ、４Ｂが接続されている。
この場合、前述の抵抗３を抵抗３Ａと抵抗３Ｂとに分割し、前述の抵抗４を抵抗４Ａと抵抗４Ｂに分割し、抵抗３Ｂの両端電圧を増幅手段７Ｇにより「１−ｗ：ｗ」に分圧し、抵抗４Ｂの両端電圧を増幅手段７Ｆにより「ｚ：１−ｚ」に分圧している。
したがって、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、以下の式（３３）で表される。
【０１６４】
【数３３】
2007139692.tif 000035
【０１６５】
式（３３）を前述の式（３０）と比較すると、以下の式（３４）、式（３５）が成り立つ。
【０１６６】
【数３４】
2007139692.tif 000036
【０１６７】
【数３５】
2007139692.tif 000037
【０１６８】
式（３４）、式（３５）は、前述の実施の形態１３の調整項（ｘＲ４、ｙＲ３）を、固定成分（Ｒ４ａ、Ｒ３ａ）と、変動成分（ｚＲ４ｂ、ｗＲ３ｂ）とに分割した形となっている。
【０１６９】
各抵抗３Ａ、３Ｂの抵抗値Ｒ３ａ、Ｒ４ａは、それぞれ、ｙＲ３、ｘＲ４の最小値をとり、各抵抗３Ｂ、４Ｂの抵抗値Ｒ３ｂ、Ｒ４ｂは、それぞれ、ｙＲ３、ｘＲ４の変化幅の値をとる。
これにより、前述の抵抗Ｒ３、Ｒ４の調整成分（抵抗３Ｂ、４Ｂに対応）のみを分圧することができる。
【０１７０】
以上のように、この発明の実施の形態１４によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号を送信するのみで、発熱体１の温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、分圧比率ｗ、ｚが抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
また、発熱体１の抵抗値とその温度係数とを独立に調整することができるので、センサの温度特性を簡単な装置と回路で調整することができる。
さらに、調整成分のみを分圧調整するので、低い分解能で高い調整精度が得ることができる。
【０１７１】
実施の形態１５．
なお、上記実施の形態１３、１４では、ブリッジ回路内に２つの増幅手段７Ｆ、７Ｇを設けたが、たとえば図２０に示すように、ブリッジ回路の外に２つの増幅手段７、７Ｈを設けてもよい。
図２０はこの発明の実施の形態１５に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図１参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「Ｈ」、「Ｊ」を付して詳述を省略する。
【０１７２】
図２０において、ブリッジ回路は、前述の実施の形態１と同様に、発熱体１と、発熱体１からの熱の影響を受けない位置に形成された流体温度検出体２と、抵抗３、４、５とによって構成されており、抵抗４の両端電圧は、バッファ回路６を介して増幅手段７に印加されている。
また、増幅手段７の出力端子１９は、オペアンプ８の反転入力端子１６に接続されている。
【０１７３】
増幅手段７は、前述（図２）と同様のＤＡコンバータを構成しており、抵抗アレイからなる増幅部２０と、電気的に制御可能なスイッチからなる増幅率制御部２３とを有し、入力された電圧を分圧して（１倍以下に増幅して）出力する。
【０１７４】
発熱体１の両端電圧は、バッファ回路６Ｈ、６Ｊを介して、増幅手段７Ｈに印加されている。
増幅手段７Ｈは、増幅手段７と同様の構成を有し、入力された電圧を分圧して出力する。増幅手段７Ｈの出力端子１９Ｈは、オペアンプ８の非反転入力端子１５に接続されている。
オペアンプ８の出力電圧は、トランジスタ９のベース端子に印加され、トランジスタ９のエミッタは、発熱体１と抵抗３との接続点１１に接続されている。
【０１７５】
図２０に示すように、増幅手段７が入力電圧を「ｘ：１−ｘ」に分圧し、増幅手段７Ｈが入力電圧を「１−ｙ：ｙ」に分圧して出力するものとすると、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、以下の式（３６）のように表される。
【０１７６】
【数３６】
2007139692.tif 000038
【０１７７】
式（３６）から分かるように、分圧比率ｘ、ｙを変化させることにより、発熱体１の抵抗値、つまり温度を調整することができる。
【０１７８】
以上のように、この発明の実施の形態１５によれば、外部のコンピュータから調整用の電気信号を送信するのみで発熱体の温度の調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、分圧比率ｘ、ｙが抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１７９】
実施の形態１６．
なお、上記実施の形態１５では、各増幅手段７、７Ｈの増幅率を１倍以下に設定したが、たとえば図２１のように、各増幅手段７’、７Ｈ’の増幅率Ｇ１、Ｇ２を１倍以上に設定してもよい。
図２１はこの発明の実施の形態１６に係る熱式流量センサを示す回路構成図であり、前述（図２０参照）と同様のものについては、前述と同一符号を付して、または符号の後に「’」を付して詳述を省略する。
【０１８０】
図２１において、増幅手段７’および増幅手段７Ｈ’は、増幅率Ｇ１、Ｇ２が１以上となるように構成されている。
この場合、発熱体１の抵抗値Ｒ１は、増幅手段７’の増幅率Ｇ１と、増幅手段７Ｈ’の増幅率Ｇ２とを用いて、以下の式（３７）のように表される。
【０１８１】
【数３７】
2007139692.tif 000039
【０１８２】
式（３７）から分かるように、増幅率Ｇ１、Ｇ２を変化させることにより、発熱体１の抵抗値、つまり温度を調整することができる。
したがって、外部のコンピュータから調整用の電気信号を送信するのみで、発熱体１の温度調整が可能となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、各増幅手段７’、７Ｈ’の増幅率Ｇ１、Ｇ２が抵抗の比率によって決定するので、調整精度が抵抗の絶対精度に影響されず、高精度の調整が可能となる。
【０１８３】
以上のように、この発明によれば、前述と同様に、ばらつきを持つ熱式流量センサごとの増幅手段の増幅率を電気信号により変化させることにより、発熱体１の温度が所定の制御温度となるように調整することができるので、半田付けやレーザトリミングなど機械的な加工を行う処理および処理装置が不要となり、簡単な装置で、短時間の調整が可能となる。
また、発熱体１の温度や温度を表す指標をモニタしながら調整することができるので、調整工程が簡単になる。
さらに、増幅率（Ｇ１、Ｇ２）は、抵抗アレイ（または、容量アレイ、スイッチの開閉時間など）の比率で決定するので、各回路要素の絶対精度が要求されず、高精度な素子を用いなくても高精度の調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０１８４】
【図１】この発明の実施の形態１に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図２】図１内の増幅手段を示す回路構成図である。
【図３】図２に示す増幅手段の等価回路の一例を示す回路図である。
【図４】この発明の実施の形態２に係る増幅手段を示す回路構成図である。
【図５】図４に示す増幅手段の等価回路の一例を示す回路図である。
【図６】この発明の実施の形態３に係る増幅手段を示す回路構成図である。
【図７】この発明の実施の形態４に係る増幅手段を示す回路構成図である。
【図８】図７に示す増幅手段の等価回路の一例を示す回路図である。
【図９】この発明の実施の形態４に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１０】この発明の実施の形態５に係る熱式流量センサの実装状態を示す説明図である。
【図１１】この発明の実施の形態６に係る熱式流量センサの実装状態を示す説明図である。
【図１２】この発明の実施の形態７に係る増幅手段を示す回路構成図である。
【図１３】この発明の実施の形態８に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１４】この発明の実施の形態９に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１５】この発明の実施の形態１０に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１６】この発明の実施の形態１１に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１７】この発明の実施の形態１２に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１８】この発明の実施の形態１３に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図１９】この発明の実施の形態１４に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図２０】この発明の実施の形態１５に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【図２１】この発明の実施の形態１６に係る熱式流量センサを示す回路構成図である。
【符号の説明】
【０１８５】
１、１ａ、１ｂ、１Ａ、１Ｂ  発熱体、２、２ａ、２ｂ、２Ａ、２Ｂ  流体温度検出体、３、３ａ、３ｂ、３Ａ、３Ｂ、４、４ａ、４ｂ、４Ａ、４Ｂ、５、５ａ、５ｂ  抵抗、７、７ａ、７ｂ、７Ａ、７Ｂ、７Ｃ、７Ｅ、７Ｆ、７Ｇ、７Ｈ  増幅手段、８、８ａ、８ｂ  オペアンプ、９、９ａ、９ｂ  トランジスタ（電流制御手段）、１２、１２ａ、１２ｂ  接続点、１４  出力端子、２０、２０Ａ、２０Ｂ、２０Ｃ  増幅部、２１  メモリ、２２  コンピュータ、２３、２３Ｂ、２３Ｅ  増幅率制御部、２８、２３Ｄ、２８Ｅ  ＩＣ、３０  スイッチ回路、３２、３６、３７  温度検出体、３４  定電圧源、Ｃ０、Ｃ１、２Ｃ、４Ｃ、８Ｃ  コンデンサ、Ｃ  コンデンサ（積分器）、Ｒ  抵抗（積分器）、Ｑ  電気信号、２Ｒ０〜２Ｒ４、Ｒ１０、Ｒ２０、Ｒ３０  抵抗、Ｓ０〜Ｓ４  スイッチ、Ｓａ〜Ｓｄ  半導体スイッチ。
【図１】
2007139692.tif 000040
【図２】
2007139692.tif 000041
【図３】
2007139692.tif 000042
【図４】
2007139692.tif 000043
【図５】
2007139692.tif 000044
【図６】
2007139692.tif 000045
【図７】
2007139692.tif 000046
【図８】
2007139692.tif 000047
【図９】
2007139692.tif 000048
【図１０】
2007139692.tif 000049
【図１１】
2007139692.tif 000050
【図１２】
2007139692.tif 000051
【図１３】
2007139692.tif 000052
【図１４】
2007139692.tif 000053
【図１５】
2007139692.tif 000054
【図１６】
2007139692.tif 000055
【図１７】
2007139692.tif 000056
【図１８】
2007139692.tif 000057
【図１９】
2007139692.tif 000058
【図２０】
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【図２１】
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