(57)【要約】【課題】  被検査基板の電気的特性を検査するために使用される基板検査用治具及び検査用プローブの提供。【解決手段】  第一端部２３が被検査基板１００の検査位置１０１と導電接触する検査用プローブ２と、検査用プローブ２の第二端部２４と導電接触する電極部４１を有する接続電極体４と、検査用プローブ２を保持する保持体３とからなる基板検査用治具１であって、保持体３は、検査位置１０１へ第一端部２３を案内する第一案内孔３１１が形成される第一案内部３１と電極部４１へ第二端部２４を案内する第二案内孔３２１が形成される第二案内部３２を有し、検査用プローブ２は、第一端部２３と第二端部２４を有し、可撓性を有する線状の導体部２１と第一端部２３と第二端部２４を除く導体部２１の外周に絶縁被覆された絶縁部２２からなり、第二端部２４の長さが、第二案内孔３２１の長さよりも短く形成されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成される第二案内部を有し、
前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、
前記第二端部の長さが、前記第二案内孔の長さよりも短く形成されていることを特徴とする基板検査用治具。
【請求項２】
前記電極部が、前記接続電極体の表面と同一面になるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具。
【請求項３】
前記接続電極体と前記第二案内部は、密接して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具。
【請求項４】
前記検査用プローブの最大直径は、前記第二案内部の直径よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具。
【請求項５】
前記電極部が、円筒形の導線から形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用治具。
【請求項６】
前記絶縁部が、ポリウレタン樹脂から形成されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の基板検査用治具。
【請求項７】
検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、
保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触する第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触する第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、
前記検査用プローブの第二端部の長さは、前記案内孔の長さよりも短く形成されていることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項８】
前記絶縁部は、ポリウレタン樹脂から形成されていることを特徴とする請求項７に記載の検査用プローブ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象である被検査基板の電気的特性を検査するために使用される基板検査用治具及び検査用プローブに関する。
尚、本発明は、プリント配線基板に限らず、例えば、フレキシブル基板、多層配線基板、液晶ディスプレイやプラズマディスプレイ用の電極板、及び半導体パッケージ用のパッケージ基板やフィルムキャリアなど種々の基板における電気的配線の検査に適用でき、本明細書では、それら種々の配線基板を総称して「基板」という。
【背景技術】
【０００２】
基板には、複数の配線からなる配線パターンが形成されており、配線パターンが設計通りに仕上がっているか否かを検査するために、従来から種々の基板検査装置が提案され、実用化されている。
このような基板検査装置として、例えば、配線パターンを構成する複数の配線から任意の２組の配線上の検査位置を選択し、これらの検査位置同士が電気的に断線しているか又は導電しているか等の電気的特性を検査する装置が存在している。
【０００３】
このような装置の中には、複数の検査用プローブを保持する基板検査用治具を利用して、検査用プローブの一端を被検査基板の検査点に接触させ、他端を電極部に接触させて、検査装置と検査対象基板を電気的に接続する構造を有したものが知られている。
このような検査用プローブを保持する基板検査用治具は、検査用プローブと被検査基板又は基板検査用治具の電極部との接触問題を解消するために、検査用プローブを軸方向外側に付勢するために、検査用プローブの軸方向に伸縮するバネを取り付けたり、又は、検査用プローブそれ自体に弾性を持たせたり、検査用プローブがこの軸方向に撓むように構成されていた。
このような構成とすることによって、検査用プローブが接触部に接触する際に接触圧が発生することになり、この接続不良の問題を解消していた。
【０００４】
例えば、図６に示される如き基板検査用治具Jは、可撓性の検査用プローブＰを被検査基板１００と電極部Ｅとの間で撓むように保持することによって、検査用プローブＰの軸方向外側に向かって付勢が働き、被検査基板１００の検査位置１０１と電極部Ｅに対して接触圧が発生する。この接触圧を利用して、検査用プローブＰの被検査基板１００又は電極部Ｅとの接触問題の解決を図っている（例えば、特許文献１又は２参照）。
【０００５】
しかしながら、特許文献１又は２に開示される如き基板検査用治具Ｊでは、検査用プローブＰが接触圧を発生して電極部に接触する場合に、検査用プローブ２が電極部Ｅ表面に対して斜めに傾斜することになり、荷重が負荷される毎に、電極部表面で検査用プローブの先端が滑り、配線上に掻痕が発生したり、電極部Ｅと検査用プローブＰの接触位置が移動したりするため、安定した接触ではなかった。
【特許文献１】特許第３６９０７９６号公報
【特許文献２】特許第３６９０８０１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、検査用プローブを被検査基板と基板検査用治具の電極部を導電可能に接続するために使用する場合に於いて、検査用プローブに荷重が負荷されて導電接触状態となる場合に、安定した接触状況を提供することのできる検査用プローブ及び基板検査用治具を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
請求項１記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成される第二案内部を有し、前記検査用プローブは、前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、前記第二端部の長さが、前記第二案内孔の長さよりも短く形成されていることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
【０００８】
請求項２記載の発明は、前記電極部が、前記接続電極体の表面と同一面になるように形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板検査用治具を提供する。
【０００９】
請求項３記載の発明は、前記接続電極体と前記第二案内部は、密接して配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具を提供する。
【００１０】
請求項４記載の発明は、前記検査用プローブの最大直径は、前記第二案内部の直径よりも小さく形成されていることを特徴とする請求項１乃至３いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
【００１１】
請求項５記載の発明は、前記電極部が、円筒形の導線から形成されていることを特徴とする請求項１乃至４いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
【００１２】
請求項６記載の発明は、前記絶縁部が、ポリウレタン樹脂から形成されていることを特徴とする請求項１乃至５いずれかに記載の基板検査用治具を提供する。
【００１３】
請求項７記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触する第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触する第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、前記検査用プローブの第二端部の長さは、前記案内孔の長さよりも短く形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する。
【００１４】
請求項８記載の発明は、前記絶縁部は、ポリウレタン樹脂から形成されていることを特徴とする請求項７に記載の検査用プローブを提供する。
これらの発明を提供することによって、上記課題を解決する。
【発明の効果】
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接続電極体の電極部に接触し、検査用プローブの第二端部の長さが第二案内孔の長さよりも短く形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、検査用プローブが撓んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるように接触する基板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【００１６】
請求項２記載の発明によれば、接続電極体の電極部が接続電極体表面と同一面に形成されているので、製造工程に於いて容易に形成される電極部を利用することができるとともに、第二端部が電極部の表面とより直角になるように接触する電極部を形成することになるので第二端部の滑りを防止することができ検査用プローブと電極部をより安定して接触させることを可能にする。
【００１７】
請求項３記載の発明によれば、接続電極体と第二案内部が密接して配置されることになるので、第二端部の電極部接触面が第二案内部の表面と略同一面で接触することを可能にし、検査用プローブと電極部をより安定して接触させることを可能にする。
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、検査用プローブの最大直径が第二案内孔の直径よりも小さく形成されているので、検査用プローブを基板検査用治具の保持体から容易に抜き差しすることができ、検査用プローブを容易に交換することを可能にする。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、電極部が円筒形状の導線から形成されているので、検査用プローブが電極部に接触した場合に、この電極部の孔部に検査用プローブの一部が嵌入され、検査用プローブと電極部を安定して接触させることを可能にする。
【００２０】
請求項６記載の発明によれば、絶縁部がポリウレタン樹脂から形成されることによって、絶縁部の形状を細部に至るまで確実に形成することを可能にする。
【００２１】
請求項７記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接続電極体の電極部に接触し、検査用プローブの第二端部の長さが第二案内孔の長さよりも短く形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、検査用プローブが撓んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるように接触する検査用プローブを提供する。
このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【００２２】
請求項８記載の発明によれば、絶縁部がポリウレタン樹脂から形成されることによって、絶縁部の形状を細部に至るまで詳細に形成することを可能にする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
本発明の実施例の基板検査用治具１の構成を図面を参照しつつ説明する。
図１は、本発明の実施例の基板検査用治具の断面図を示し、図１（ａ）は検査用プローブに荷重が負荷される前の状態を示し、図１（ｂ）は検査用プローブに荷重が負荷された状態を示している。図２（ａ）は、本発明の実施例の基板検査用治具の保持体の断面図を示しており、図２（ｂ）は検査用プローブが挿入された状態を拡大して示している。図３は、本発明の実施例の検査用プローブの側面図を示す。図４（ａ）は、本発明の実施例の基板検査用治具の接続電極体の断面図を示し、図４（ｂ）は他の実施例の電極部の斜視図を示し、図４（ｃ）は（ｂ）の電極部に検査用プローブが接触する状況を示す。
尚、本明細書中で説明される基板検査用治具の各構成は、一本の検査用プローブを対象として説明を行っているが、実際には、検査点に応じた本数の検査用プローブが利用され、数本から数万本程度の検査用プローブが設けられている。
【００２４】
基板検査用治具１は、検査用プローブ２と保持体３と接続電極体４を有してなる。
検査用プローブ２は、被検査基板１００の検査位置１０１に導電接触するとともに、接続電極体４の電極部４１に導電接触する。保持体３は、検査用プローブ２を所定の検査位置１０１及び電極部４１に案内して保持する。接続電極体４は、検査装置（図示せず）へ検出された信号を伝達する。
【００２５】
保持体３は、被検査基板１００と接続電極体４との間に配置され、検査用プローブ２を保持する。この保持体３は、検査用プローブ２の第一端部２３を案内して、被検査基板１００の所定検査位置１０１へ接触させる第一案内孔３１１を有する第一案内部３１と、検査用プローブ２の第二端部２４を案内して、電極部４１へ接触させる第二案内孔３２１を有する第二案内部３２を有している。
本明細書の実施例中で示される保持体３は、図２に示す如く、第一案内部３１と第二案内部３２と支柱３３から構成されている。この第一案内部３１と第二案内部３２は夫々別の部材から形成され、これら部材が支柱３３で一体となるように固定されている。この支柱３３が設けられる数、形状や長さは、必要に応じて決定される。尚、この支柱３３の長さにより保持体３の厚み（図２で示す縦方向の長さ）が決定されることになるので、検査治具の設計上の要請に応じて設定される。
【００２６】
第一案内部３１は、上記の如く、検査用プローブ２の第一端部２３を検査位置１０１へ案内するための第一案内孔３１１を有している。この第一案内孔３１１の直径３１１Ｗは、検査用プローブ２の絶縁部２２が有する最大直径（検査用プローブ２の直径２２Ｗ）よりも小さく形成されており、検査用プローブ２が図面に向かって上方向に飛び出すことを防止する。
図２で示される第一案内部３１は、後述する３種類の機能を有するために３枚の板状体から形成されているが、この枚数に限定されるものではなく、一枚の板状体から形成されていても良いし、２枚以上の板状体から形成されていても良い。
この図２で示される第一案内部３１は、３枚の板状体３１２，３１３，３１４を有しており、板状体３１２は検査位置１０１へ検査用プローブ２（の第一端部２３）を案内するための板状体であり、板状体３１３は第一案内部３１の厚みを調整するための板状体であり、板状体３１４は支柱３３を固定するためのネジ穴が形成されている。
尚、この第一案内部３１の厚みは、第一端部２３の長さ２３Ｌよりも短く形成されている。
【００２７】
第二案内部３２は、上記の如く、検査用プローブ２の第二端部２４を電極部４１へ案内するための第二案内孔３２１を有している。この第二案内孔３２１の直径３２１Ｗは、検査用プローブ２が有する最大直径よりも大きく形成されており、検査用プローブ２を抜き差しすることができる。
図２で示される第二案内部３２は、第一案内部３１と同様、３種類の機能を有するために３枚の板状体から形成されているが、この枚数に限定されるものではなく、一枚の板状体から形成されていても良いし、２枚以上の板状体から形成されていても良い。
この図２（ａ）で示される第二案内部３２は、３枚の板状体３２２，３２３，３２４を有しており、板状体３２２は支柱３３を固定するためのネジ穴が形成されるための板状体であり、板状体３２３は第二案内部３２の厚みを調整するための板状体であり、板状体３２４は電極部４１へ検査用プローブ２（の第二端部２４）を案内するための板状体である。
【００２８】
図２（ｂ）は、図２（ａ）で示される点線箇所の拡大図であり、検査用プローブ２が保持体３に挿入された状態を示している。
本発明の実施例の基板検査用治具１では、この第二案内孔３２１内に第二端部２４と絶縁部２２の境界２６が存在しているので、検査用プローブ２の撓みの影響を最小限に抑制することができる。
また、この第二端部２４の長さ２４Ｌ（図３参照）は、第二案内部３２の厚み３２Ｔよりも短く形成されているので、検査用プローブ２に荷重が負荷された場合にもこの境界２６が第二案内孔３２１内部に存在する。
このように絶縁部２２が第二案内部３２１内部に存在することになるため、第二案内部３２１の直径３２１Ｗとの隙間Ｓが小さくなり、検査用プローブ２が撓んだ場合であっても、第二端部２４が電極部４１の表面に対して略直角になるように接触するため、検査用プローブ２の滑りを防止したり、揺れ動きを抑制したりすることになる。このため、本基板検査用治具１は、従来の検査治具よりも安定的な電極部への接触状態を提供することができる。
【００２９】
第二案内孔３２１の直径３２１Ｗは、上記の如き検査用プローブ２が有する最大直径（図３で示される２２Ｗ）よりも大きく形成されることになる。この直径３２１Ｗは、検査用プローブ２の直径２２Ｗよりも、１〜５０μｍ、より好ましくは、１０〜３０μｍ大きくなるように形成されている。
例えば、検査用プローブ２の最大直径が０．０９ｍｍに形成されている場合には、第二案内孔３２１を直径０．１２ｍｍに形成することができ、検査用プローブ２と保持体３との間で、好適な保持力を有する。
【００３０】
図２で示される保持体３は、第一案内孔３１１と第二案内孔３２１が略垂直方向に一致するが、第一案内部３１又は第二案内部３２を平行方向に所定間隔ずらせて配置しても構わない。この場合、第一案内孔３１１と第二案内孔３２１が垂直方向の一直線上に一致していないので、検査用プローブ２を挿入した際に、検査用プローブ２が撓み、第一案内孔３１１又は第二案内孔３２１の側部に摩擦接触して係止されることになり、落下を防止することができる。
【００３１】
検査用プローブ２は、線状の導体部２１と導体部２１の外周に被覆される絶縁部２２からなる（図３参照）。
この導体部２１は、可撓性を有する素材で形成されており、導体部２１の軸方向からの荷重が負荷された場合には、軸方向に対して略直角方向に導体部２１が撓むように形成されている。この撓みにより、検査用プローブ２が検査位置と後述する電極部に接触するための接触力を生み出すことになる。
この導体部２１の素材は、上記の如き可撓性を有する素材であれば、適宜好適な素材を利用することができるが、例えば、ベリリウム銅（BeCu）やタングステン（W）を利用することができる。
尚、検査用プローブ２の軸方向長さ（導体部２１の長さ）は、図１で示す如く、保持体３により保持されるため、少なくとも保持体３の厚みよりも長く形成される必要があるとともに、下記の条件を満たすための長さが必要である。
この検査用プローブ２の導体部２１の長さ（軸方向長さ）は、保持体３の大きさや長さに応じて決定されるが、１０〜１００ｍｍ程度に形成されていればよく、検査基板用治具１の大きさに応じて適宜設定される。
【００３２】
検査用プローブ２の導体部２１は、被検査基板１００の検査位置１０１に接触する第一端部２３と、後述する接続電極体４の電極部４１と接触する第二端部２４とを有している。
第一端部２３と第二端部２４は、図３で示す如く、絶縁部２２から露出した導体部２１に形成される。
この第一端部２３は、図１で示される如く、第一案内部３１の第一案内孔３１１から外側（図面の上方向）に突出するように配置されている。また、後述する第二端部２４は第二案内部３２の第二案内孔３２１から外側（図面の下方向）に突出するように配置されている。検査用プローブ２は、保持体３の第一及び第二案内孔３１１、３２１を貫通して配置されていることになる。
また、第一及び第二端部２３、２４の保持体３（第一案内部３１及び第二案内部３２）からの夫々の突出量は、必要に応じて決定されるが、接続電極体４と被検査基板１００が接触して配置された際に、検査用プローブ２が撓み、接続電極体４と被検査基板１００が夫々保持体３に密着して固定することができることが必要である。
【００３３】
この第一端部２３と絶縁部２２の境界２５は、第一案内部３１よりも内側に配置される。この第一端部２３の長さ２３Ｌは、上記の如き条件を満たすのであれば、保持体３との関係に応じて適宜設定されるが、１０〜５０ｍｍ、更に好ましくは、２０〜４０ｍｍ程度に形成されることが好ましい。この範囲の長さを有することによって、検査用プローブ２が撓んだ際に、検査位置１０１と第一端部２３が安定した接触状態を生み出すことができるからである。
【００３４】
第二端部２４は、接続電極体４の電極部４１と接触する。第二端部２４を形成する絶縁部２２との境界２６は、図１に示す如く、第二案内部３２の第二案内孔３２１内に配置される。この第二端部２４も、上記の如く、第二案内部３２からの突出量は、検査時に於ける検査用プローブ２の撓みの程度に応じて決定されるが、接続電極体４と被検査基板１００が接触した際に、検査用プローブ２が撓み、接続電極体４と被検査基板１００が夫々保持体３に密着して固定される。
この境界２６が、第二案内孔３２１内部に配置されることによって、電極部４１の表面に対して検査用プローブ２の第二端部２４が略直角に接触することができる。このため、従来のように検査用プローブに荷重が負荷された場合に検査用プローブが電極部４１に対して、傾斜した状態で接触することを防止することができ、検査用プローブが電極部４１上を滑ったり、電極部４１に掻痕を生じさせることを防止する。
また、この第二端部２４の長さ２４Ｌは、第二案内孔３２１の長さ（厚み）よりも短く形成されている。このように形成されることによって、検査用プローブ２に荷重が負荷された場合であっても、境界２６が第二案内孔３２１内部に配されていることになるからである。
尚、これら第一端部２３及び第二端部２４の先端は、半球状の如き丸みを帯びるよう又は、先細りしたテーパ形状を有するよう加工されていることが好ましい。
【００３５】
検査用プローブ２を形成する絶縁部２２は、上記の如く、第一端部２３及び第二端部２４が露出するよう導体部２１に被覆されることになるので、この絶縁部２２を形成する素材は、絶縁素材であり、加工性に優れた素材であることが好ましい。
上記の如き素材であれば、加工性に応じて適宜好適な素材が選択されるが、例えば、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）（所謂テフロン（登録商標））やポリウレタン樹脂を利用することができる。特に、微細加工に優れるポリウレタン樹脂を利用することにより、図３で示される境界２５，２６を導体部２１に対して略直角に形成することが可能となる。
尚、本明細書及び図面で説明される検査用プローブ２は円柱形状に形成されており、導体部２１及び絶縁部２２の直径は、被検査基板１００の検査位置１０１の大きさに応じて好適に決定されるが、検査用プローブ２を基板検査用治具１から抜き差しすることができるように、第二案内孔３２１を通過できる直径である。
【００３６】
接続電極体４は、電極部４１と基部４２と固着部４３とからなる。この接続電極体４は、検査用プローブ２から得られる電流や電圧等の電気信号を受信する。
この電極部４１は、図４で示される如く、接続電極体４の表面に対して、同一面となるように形成されている。このように形成されることによって、第二案内孔３２１内部にある第二端部２４が電極部４１で安定して接触することができるようになる。
この電極部４１は、図４で示される如く、導線で形成されており、この導線の一端が接続電極体４の表面上に位置し、導線の他端が検査装置に接続されている。基部４２は、電極部４１を保持する基材である。固着部４３は、電極部４１を配置するため固定材である。
尚、この接続電極体４が形成される方法は、例えば、基部４２に予め所望の位置に電極部４１を形成するための孔部が形成される。次に、電極部４１となる導線が配置され、この導線を固定するために固着部４３を形成する接着剤が充填される。固着部４３が形成された後、接続電極体４の表面（検査用プローブ２と接触する面）から突出している導線を取り除く。このようにして、接続電極体４が形成されることになる。
【００３７】
電極部４１は、図４（ｂ）で示す如く、円筒形の導線を利用することもできる。電極部４１に円筒形の導線を利用することによって、検査用プローブ２がこの電極部４１に接触する場合に、検査用プローブ２の第二端部２４の先端の一部が電極部４１内部に配置されるようになり、電極部４１の内径４１Ｗ２の周縁が第二端部２４に当接し、安定した接触状況を提供する（図４（ｃ）参照）。
このような接触状況を有するために、電極部４１の内径４１Ｗ２は、少なくとも第二端部２４（導体部２１）の直径２１Ｗよりも小さく形成されている。尚、電極部４１の外径４１Ｗ１は、検査用プローブ２の導体部２１の直径２１Ｗと略同じ長さが好ましい。
【００３８】
この接続電極体４は、使用時に於いて保持体３の第二案内部３２と密接して配置されることになるので、保持体３と接続電極体４は隙間無く当接している状態となり、第二端部２４と電極部４１の接触状況を更に安定的なものとすることができる。
【００３９】
以下に、本発明の実施例の検査基板用治具１と検査用プローブ２の一具体例を説明する。但し、本発明はこの具体例で示される寸法や形状に限定されるものではない。尚、この一具体例の概略を図５に示す。
検査用プローブ２の導体部２１を長さ約３０ｍｍ、直径０．０７ｍｍの円柱形又は円筒形（の線状）に、タングステンを加工して形成する。このとき、導体部２１の両先端が丸みを帯びるように加工しておく。
この導体部２１の外周を被覆するように絶縁部２２をポリウレタン樹脂で形成する。このとき、第一端部２３を３ｍｍに形成し、第二端部２４を０．０５ｍｍに形成する。絶縁部２２の直径２２Ｗは０．０９ｍｍに形成する。
尚、絶縁部２２が加工形成の容易なポリウレタン樹脂で形成されることになるので、境界２５，２６を導体部２１に対して略直角に微細加工することができる。
【００４０】
保持体３を形成する第一案内部３１と第二案内部３２には、上記の如く、夫々に第一案内孔３１１と第二案内孔３２１が形成される。この実施例では、第一案内部３１が２枚の板状体３１２、３１３から形成されている。第一案内孔３１１は、２枚の段差のある板状体の側部により形成されている。これは第一案内孔３１１を形成する場合に、第一案内孔３１１の上端部と下端部を所望する径を有するように形成することにより、所望長さを有する第一案内孔３１１を得ることができるためである。
【００４１】
第二案内部３２は、３枚の段差のある板状体３２２、３２３、３２４から形成されている。第一案内孔３１１を形成する場合と同様、第二案内孔３２１を形成するためにこれら３枚の板状体が利用されている。また、この実施例では、これら３枚の板状体３２２、３２３、３２４が所定の間隔でずれて配置されている。このことにより第二案内孔３２１が斜め方向の孔部と形成されることになり、検査用プローブ２が検査基板用治具１に挿入された場合に、一定の撓みを有して配置されることになる。このため、この基板検査用治具１に挿入される全ての検査用プローブ２は、略同じ方向に略同じ量だけ撓むことになる。
尚、この場合、第一案内孔３１１は、検査用プローブ２の導体部２１の直径２１Ｗよりも大きく且つ絶縁部２２の直径２２Ｗよりも小さい約０．０８ｍｍに形成されており、第二案内孔３２１は、上記の如き検査用プローブ２を作成した場合には、約０．１２ｍｍの直径に形成される。
【００４２】
接続電極体４の電極部４１は、上記の如き検査用プローブ２や保持体３を形成する場合には、検査用プローブ２と略同直径の約０．０９ｍｍの導線で形成される。尚、固着部４３の接続電極体４の表面側の直径は約０．１０ｍｍに形成される。
【００４３】
このような条件で作成した基板検査用治具１は、検査毎に検査用プローブ２を軸方向から荷重を負荷しても、第二端部２４が電極部４１に略直角を成すように接触することになるので、良好な接触状態を維持することが可能となる。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明の実施例の基板検査用治具及び検査用プローブは、複数回の荷重負荷による検査用プローブの接触位置の移動を防止することによって、安定した接触状態を提供することができ、基板検査に於いて有効な効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】本発明の実施例の基板検査用治具の断面図を示し、（ａ）は検査用プローブに荷重が負荷される前の状態を示し、（ｂ）は検査用プローブに荷重が負荷された状態を示す。
【図２】（ａ）は、本発明の実施例の基板検査用治具の保持体の断面図を示しており、（ｂ）は検査用プローブが保持体に挿入された状態を拡大して示している。
【図３】本発明の実施例の検査用プローブの側面図を示す。
【図４】（ａ）は、本発明の実施例の基板検査用治具の接続電極体の断面図を示し、（ｂ）は他の実施例の電極部の斜視図を示し、（ｃ）は（ｂ）の電極部に検査用プローブが接触する状況を示す。
【図５】本発明の具体例の基板検査用治具の一実施例を示す。
【図６】従来の基板検査用治具及び検査用プローブを示す。
【符号の説明】
【００４６】
１・・・・・基板検査用治具
２・・・・・検査用プローブ
２１・・・・導体部
２２・・・・絶縁部
２３・・・・第一端部
２４・・・・第二端部
２５・・・・境界
２６・・・・境界
３・・・・・保持体
３１・・・・第一案内部
３１１・・・第一案内孔
３２・・・・第二案内部
３２１・・・第二案内孔
４・・・・・接続電極体
４１・・・・電極部
１００・・・被検査基板
１０１・・・検査位置
【図１】
2007139524.tif 000003
【図２】
2007139524.tif 000004
【図３】
2007139524.tif 000005
【図４】
2007139524.tif 000006
【図５】
2007139524.tif 000007
【図６】
2007139524.tif 000008
【手続補正書】
【提出日】平成18年7月4日(2006.7.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、
前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されることを特徴とする基板検査用治具。
【請求項２】
第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、
前記保持体は、
前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、
前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、
前記検査用プローブは、
前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二案内孔の最小径が、前記検査用プローブの絶縁部の外径よりも大きく形成されていることを特徴とする基板検査用治具。
【請求項３】
前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内する案内孔が形成される複数の板状部材が積層され、
前記第二案内孔は、前記板状部材の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配置されることにより板面の直角方向に対して傾斜して形成され、
前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続電極体と接する前記板状部材の案内孔内に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具。
【請求項４】
検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、
保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されていることを特徴とする検査用プローブ。
【請求項５】
検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、
保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、
前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、
前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、
前記検査用プローブの絶縁部の外径が、前記第二案内孔の最小径よりも小さく形成されていることを特徴とする検査用プローブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
請求項１記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、前記検査用プローブは、前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２記載の発明は、第一端部が検査対象である被検査基板の所定検査位置と導電接触する検査用プローブと、前記検査用プローブの第二端部と導電接触する電極部を有する接続電極体と、前記被検査基板と前記接続電極体との間に配置されるとともに前記検査用プローブを保持する保持体とからなる基板検査用治具であって、前記保持体は、前記検査位置へ前記検査用プローブの第一端部を案内する第一案内孔が形成される第一案内部と、前記電極部へ前記検査用プローブの第二端部を案内する第二案内孔が形成されるとともに前記第一案内部と所定間隔を有して配置される第二案内部を有し、前記検査用プローブは、前記第一端部と前記第二端部を有するとともに可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く前記導体部の外周に絶縁被覆された絶縁部からなり、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記第二案内孔の最小径が、前記検査用プローブの絶縁部の外径よりも大きく形成されていることを特徴とする基板検査用治具を提供する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項３記載の発明は、前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内する案内孔が形成される複数の板状部材が積層され、前記第二案内孔は、前記板状部材の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配置されることにより板面の直角方向に対して傾斜して形成され、前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続電極体と接する前記板状部材の案内孔内に配置されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の基板検査用治具を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項４記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記第二端部の長軸方向の長さが、前記検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項５記載の発明は、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記検査用プローブの絶縁部の外径が、前記第二案内孔の最小径よりも小さく形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接続電極体の電極部に接触し、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが第二端部の長さより長く形成され、第二端部の長軸方向の長さが、検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、検査用プローブが撓んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるように接触する基板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項２記載の発明によれば、可撓性の検査用プローブの第一端部が保持体の第一案内部の第一案内孔に案内されて被検査基板の検査位置に接触するとともに、検査用プローブの第二端部が保持体の第二案内部の第二案内孔に案内されて接続電極体の電極部に接触し、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部は微小の間隔を有して該第二案内孔に挿入されるとともに、挿入される前記絶縁部の長さが第二端部の長さより長く形成され、第二案内孔の最小径が検査用プローブの絶縁部の外径よりも大きく形成されているので、検査用プローブが被検査基板と接続電極体の間に保持されて、検査用プローブが撓んだ場合であっても、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるように接触する基板検査用治具を提供する。
このため、本基板検査用治具は安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項３記載の発明によれば、前記第二案内部は、夫々に前記第二端部を案内する案内孔が形成される複数の板状部材が積層され、前記第二案内孔は、前記板状部材の案内孔が同一方向に所定量ずつずれて配置されることにより板面の直角方向に対して傾斜して形成され、前記第二端部と前記絶縁部の境界が、前記接続電極体と接する前記板状部材の案内孔内に配置されているので、検査を行う場合に検査用プローブが略同じ方向に略同じ量だけ撓むように制御することができる。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項４記載の発明によれば、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、前記検査用プローブの第二端部の長さは、前記案内孔の長さよりも短く形成され、且つ、使用時において、前記第二端部が前記電極部の表面に対して略直角になるように、前記第二案内孔内部にある前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さよりも長く形成され、第二端部の長軸方向の長さが検査用プローブの絶縁部の外径と略同じ又はより短くなるように形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する。
このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、検査対象となる被検査基板と該被検査基板の電気的特性を検査する検査装置を電気的に接続する検査基板用治具の保持体に保持されるとともに、該保持体が有する該被検査基板の検査点へ案内する第一案内孔と該検査基板用治具の電極部へ案内する第二案内孔に挿通され、該被検査基板と該検査基板用治具の電極部を電気的に接続する検査用プローブであって、保持体に保持される時、前記被検査基板の検査位置に導電接触するとともに前記第一案内孔に挿通される第一端部と、前記被検査基板用治具の電極部と導電接触するとともに前記第二案内孔に挿通される第二端部を備える、可撓性を有する線状の導体部と、前記第一端部と前記第二端部を除く導体部の外周に絶縁被覆する絶縁部からなり、前記第一端部が被検査基板に当接されて検査用プローブが湾曲する際に、前記第二端部が前記電極部に対して横ずれせずに当接するために、前記第二端部と該第二端部に隣接する前記絶縁部の一部が第二案内孔内に位置し、該絶縁部の一部が該第二案内孔に挿入された際に微小の間隔を有するとともに、挿入される前記絶縁部の長さが前記第二端部の長さより長く形成され、前記検査用プローブの絶縁部の外径が、前記第二案内孔の最小径よりも小さく形成されていることを特徴とする検査用プローブを提供する。
このため、本検査用プローブは安定した接触状況を提供する。また、第二端部が電極部の表面に対して略直角になるので、電極部表面上を滑ることによる掻痕を発生させることを防止するとともに第二端部と電極部の接触位置のずれを防止する。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】