(57)【要約】【課題】  経年劣化を防止して、シール性を維持、向上及び安定させる。【解決手段】  容器本体２３と蓋体２４の間に介在してこれらの間をシールするシール部材である。蓋体２４に設けられた嵌合溝２９に嵌合するエンドレス部３１と、このエンドレス部３１から延ばして形成されてその先端部が当接することでその当接部分をシールする突片３２とを備えた。上記突片３２は、上記容器本体２３と蓋体２４の当接面２３Ａ，２４Ａにそれぞれ当接してそれらの間をシールする当接片３３を備えた。この当接片３３は、断面二股形状の２枚のリップ部３３Ａ，３３Ｂによって構成した。【選択図】    図１
2007062804.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするシール部材であって、
上記嵌合体又は被嵌合体のいずれか一方に設けられた嵌合溝に嵌合するエンドレス部と、当該エンドレス部から延ばして形成されてその先端部が当接することでその当接部分をシールする突片とを備え、
上記突片が、上記嵌合体及び被嵌合体の当接面にそれぞれ当接してそれらの間をシールすることを特徴とするシール部材。
【請求項２】
請求項１に記載のシール部材であって、
上記突片が、上記嵌合体及び被嵌合体の当接面にそれぞれ当接してシールする当接部を備えて構成されたことを特徴とするシール部材。
【請求項３】
請求項２に記載のシール部材であって、
上記当接部が、上記各当接面にそれぞれ当接する、断面二股形状の２枚のリップ部によって構成されたことを特徴とするシール部材。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間をシールするためのシール部材に関し、特に半導体ウエハ、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を輸送、保管等するために、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器に用いて好適なシール部材に関する。
【背景技術】
【０００２】
互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体としては、例えば、半導体ウエハ等の薄板を輸送、保管する際に使用する薄板収納容器がある。このような薄板収納容器としては、例えば特許文献１のように、キャリヤ、容器本体、蓋体、押え部材、シール部材などを備えて構成されたものである。そして、シール部材は、図２に示すように構成されている。
【０００３】
このシール部材１は、エンドレス部２と、突片３と、嵌合リブ４と、位置決め用突起５とから構成されている。シール部材１のエンドレス部２は、蓋体６の嵌合保持溝７に嵌合されて支持されている。このエンドレス部２で突片３が容器本体８側へ延出して支持され、突片３の先端が容器本体８に当接して支持されている。
【特許文献１】特開２００２−６８３６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１のシール部材１の場合は、エンドレス部２と突片３でシールする構成になっている。具体的には、エンドレス部２の嵌合リブ４が嵌合保持溝７内の内壁面に弾性的に当接することで、嵌合リブ４自身の持つ弾力性によってエンドレス部２が嵌合保持溝７内で支持されている。この状態で、突片３の先端が容器本体８に当接して蓋体６と容器本体８との間がシールされている。このため、エンドレス部２にも嵌合リブ４を設けて、エンドレス部２と嵌合保持溝７との間のシール性を向上させなければならない。
【０００５】
しかし、経年劣化や熱等によって嵌合リブ４の弾力性が弱くなると、嵌合リブ４を嵌合保持溝７内に押さえつける力が弱くなり、支持力やシール性が低下してしまうという問題点がある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の点に鑑みてなされたもので、経年劣化等によるシール性の低下を抑えることができるシール部材を提供することを目的とする。特に、エンドレス部にシール機能を持たせる場合は、エンドレス部が嵌合溝に嵌合されて長期間強く圧接されることになるため、突片の弾性力は劣化しやすくなる。一方、突片の容器本体への押圧力は嵌合リブの嵌合保持溝への押圧力よりも弱く、また容器の開閉時には開放されるために、突片の弾性力の経時劣化は嵌合リブの弾性力の経時変化に比べて著しく少なくなる。このため本発明は、突片側の改良によってシール性を維持、向上させたものである。即ち、本発明は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするシール部材であって、上記嵌合体又は被嵌合体のいずれか一方に設けられた嵌合溝に嵌合するエンドレス部と、当該エンドレス部から延ばして形成されてその先端部が当接することでその当接部分をシールする突片とを備え、上記突片が、上記嵌合体及び被嵌合体の当接面にそれぞれ当接してそれらの間をシールすることを特徴とする。
【０００７】
上記構成により、上記突片が上記嵌合体及び被嵌合体の当接面にそれぞれ当接してそれらの間をシールすることで、上記嵌合溝とエンドレス部との間をシールする必要が無くなる。
【発明の効果】
【０００８】
以上詳述したように、上記突片が上記嵌合体及び被嵌合体の当接面にそれぞれ当接してそれらの間をシールすることで、上記嵌合溝とエンドレス部との間をシールする必要が無くなる。このため、従来のようなエンドレス部での経年劣化によるシール性の低下という事態を防止できる。この結果、シール性を維持、向上させることができる。さらに、突片によるシール作用は、突片自体の持つ弾性力に加えて、突片が当接面に当接した状態で作用する外気圧によっても生じるため、シール部材の長寿命化、ひいては容器内に収納される半導体ウエハ等の品質を確実に保つことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて説明する。本発明のシール部材は、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体の間に介在してこれらの間をシールするためのシール部材である。特に、内部をクリーンな状態に保つ必要のある薄板収納容器等に用いて好適なシール部材である。また、薄板収納容器は、半導体ウエハ、記憶ディスク、液晶ガラス基板、マスクガラス等の、塵埃等の侵入を嫌う薄板を収納して、保管、輸送等における使用に供するための容器である。ここでは、半導体ウエハなどの薄板を収納する薄板収納容器に、本発明のシール部材を用いた例を説明する。
【００１０】
まず、本発明のシール部材を使用した薄板収納容器について、図１、図３及び図４に基づいて説明する。
【００１１】
図３に示すように本実施形態の薄板収納容器２１は主に、溝板２２、容器本体２３、蓋体２４、シール部材２５を備えて構成されている。
【００１２】
溝板２２は、容器本体２３内に収納された半導体ウエハなどの薄板を両側から支持するための部材である。溝板２２は、容器本体２３内の対向する側壁にそれぞれ設けられている。この溝板２２に並列に多数の半導体ウエハなどの薄板が支持される。
【００１３】
容器本体２３は、半導体ウエハなどの薄板を複数枚収納するための容器である。この容器本体２３内に複数の薄板が収納された状態で内部が密封されて、外部からの塵埃等の侵入が防止される。即ち、容器本体２３内に２つの溝板２２が取り付けられ、複数の薄板がこれら２つの溝板２２間に支持されて容器本体２３内に収納された状態で内部が密封されて、外部からの塵埃等の侵入が防止される。なおここでは、溝板２２を、容器本体２３と分離した別部品として構成しているが、溝板２２と容器本体２３とを一体的に構成してもよいことはいうまでもない。
【００１４】
容器本体２３の開口端部には蓋体２４が嵌合するための蓋体受け部２７が設けられている。この蓋体受け部２７は容器本体２３の開口端部を、蓋体２４の寸法まで広げて形成されている。これにより、蓋体２４は、蓋体受け部２７の垂直板部２７Ａの内側に嵌合し、水平板部２７Ｂに当接することで、蓋体受け部２７に取り付けられるようになっている。さらに、水平板部２７Ｂには、その全周にシール面（図示せず）が設けられ、蓋体２４に取り付けられたシール部材２５が当接して薄板収納容器２１の内部を密封するようになっている。
【００１５】
蓋体２４は、容器本体２３を塞ぐための部材である。蓋体２４は、容器本体２３内になどの薄板が収納された状態で、容器本体２３を塞いでその内部を密封する。蓋体２４内には、蓋体２４を容器本体２３に固定する簡易着脱機構（図示せず）が設けられている。この簡易着脱機構は、蓋体２４の周縁部から突出する蓋体係止爪（図示せず）を備えている。蓋体２４の内側面（容器本体２３側の面）には、容器本体２３内で２つの溝板２２内に支持された薄板を蓋体側から支持するための押え部材（図示せず）が設けられている。
【００１６】
蓋体２４の容器本体２３側端部には、その全周に亘って環状の嵌合溝２９（図１参照）が設けられている。この嵌合溝２９は、蓋体２４の下端縁部に全周に亘って設けられ、内側壁２９Ａと外側壁２９Ｂとを有して構成されている。内側壁２９Ａと外側壁２９Ｂは、テーパ状に僅かに傾斜させて形成されている。
【００１７】
シール部材２５は、容器本体２３と蓋体２４との間に介在してこれらの間をシールすることで容器本体２３内を密封するための部材である。このシール部材２５は具体的には図１に示すように、蓋体２４側の環状の嵌合溝２９に嵌合されるエンドレス部３１と、エンドレス部３１から外方へ延ばして形成されてその先端部が上下の当接面２３Ａ，２４Ａにそれぞれ当接することでその当接部分をシールする突片３２とを備えて構成されている。このシール部材２５は、合成樹脂等の弾性部材で構成され、全体が柔軟に撓むことができるようになっている。
【００１８】
エンドレス部３１は、蓋体２４側の環状の嵌合溝２９に嵌合される環状部材として構成されている。このエンドレス部３１は、嵌合溝２９と同じ形状に形成されて、嵌合溝２９に堅固に嵌まり込むようになっている。このエンドレス部３１は嵌合溝２９に嵌合して全体を支持することを目的としており、それらエンドレス部３１と嵌合溝２９との間のシール性については特に考慮していない。
【００１９】
突片３２は、容器本体２３及び蓋体２４の当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接してそれらの間をシールするための部分である。突片３２は、エンドレス部３１に一体的に設けられていると共にエンドレス部３１から外方へ延ばして形成されている。突片３２の先端部には、各当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接してその当接部分をシールする当接部３３が設けられている。この当接部３３は、２枚のリップ部３３Ａ、３３Ｂによって構成されている。各リップ部３３Ａ、３３Ｂは、各当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接するように、断面が二股形状に形成されている。上側のリップ部３３Ａは、蓋体２４側の当接面２４Ａが無ければその先端部が当接面２４Ａよりも上方に位置するように（図１中の点線で示した状態のように）形成されている。下側のリップ部３３Ｂは、容器本体２３側の当接面２３Ａが無ければその先端部が当接面２３Ａよりも下方に位置するように（図１中の点線で示した状態のように）形成されている。各リップ部３３Ａ、３３Ｂは、合成樹脂等の弾性部材で構成されているため、容器本体２３に蓋体２４が取り付けられると、図１の点線のように、各当接面２３Ａ、２４Ａに沿って変形して張り付くようになっている。この状態で、容器内の圧力が高いと、容器内の気体が各リップ部３３Ａ、３３Ｂを押し開いて外部に流出し、外気圧が高いと、各リップ部３３Ａ、３３Ｂが押されて各当接面２３Ａ、２４Ａに押し付けられて、容器本体２３と蓋体２４との間が密封されるようになっている。
【００２０】
以上のように構成された薄板収納容器２１のシール部材２５は、次のようにして使用される。
【００２１】
まず、シール部材２５を蓋体２４に取り付ける。具体的には、シール部材２５のエンドレス部３１を嵌合溝２９に押し込む。これにより、突片３２の当接部３３が各当接面２３Ａ、２４Ａ側へ延出される。これにより、当接部３３の上側のリップ部３３Ａは蓋体２４の当接面２４Ａに沿って変形して当接する（図１の点線の状態）。
【００２２】
この状態で、容器本体２３に蓋体２４が取り付けられると、当接部３３の下側のリップ部３３Ｂは容器本体２３の当接面２３Ａに沿って変形して当接する（図１の点線の状態）。
【００２３】
ここでは、互いに嵌合する嵌合体及び被嵌合体が、半導体ウエハを収納する薄板収納容器であるため、半導体ウエハが容器本体２３に収納された状態で蓋体２４が取り付けられて、内部が密封される。そして、薄板収納容器が搬送される。
【００２４】
例えば、飛行機によって薄板収納容器が搬送されると、飛行機が上空を飛行中に外気圧が低下すると、薄板収納容器内の圧力が外気圧よりも高くなって、薄板収納容器内の気体が各リップ部３３Ａ、３３Ｂを押し開いて外部に流出する。この状態で、飛行機が空港に着陸して外気圧が容器内の圧力よりも高くなると、各リップ部３３Ａ、３３Ｂが外気圧で押圧される。これにより、各リップ部３３Ａ、３３Ｂは、各当接面２３Ａ、２４Ａに押し付けられて、容器本体２３と蓋体２４との間を密封する。これにより、外気が容器本体２３内に直接的に流入するのを防止する。なお、外気圧の変化に応じて呼吸して、容器本体２３の内圧を調整するフィルタ(図示せず)が、必要に応じて設けられている。
【００２５】
以上のように、突片３２が、容器本体２３及び蓋体２４の当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接してそれらの間をシールするようにしたので、従来構造のように、エンドレス部３１に改良を加える必要がなくなり、嵌合溝２９に強く圧接されるエンドレス部３１の部分の経年劣化を考慮する必要がなくなる。
【００２６】
上記突片３２が、各当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接してシールする、断面が二股形状の２枚のリップ部３３Ａ、３３Ｂによって構成された当接部３３を備えたので、各リップ部３３Ａ、３３Ｂが各当接面２３Ａ、２４Ａにそれぞれ当接して、外気の流入を確実に防止することができる。特に、各リップ部３３Ａ、３３Ｂは、それら自身の弾性力、またはそれに加えて外気圧で各当接面２３Ａ、２４Ａに押し付けられるだけなので、経年劣化の問題がなくなり、長期間、良好な状態で容器本体２３と蓋体２４との間を確実にシールすることができる。この結果、薄板収納容器２１内への外気の侵入を確実に防止することができる。また、熱や外界からの何らかの影響によって各リップ部３３Ａ、３３Ｂがやわらかくなり過ぎる場合でも、外気圧や自身の弾性力で各リップ部３３Ａ、３３Ｂが各当接面２３Ａ、２４Ａに押し付けられるだけなので、蓋体２４と容器本体２３とで形成される内部空間を外界から確実にシールすることができる。即ち、経年劣化を防止してシール性を維持、向上及び安定させることができる。
【００２７】
なお、上記実施形態では、エンドレス部３１が嵌合する嵌合溝２９を蓋体２４側に設けたが、容器本体２３側に設けてもよいことは言うまでもない。
【００２８】
また、当接部３３を２枚のリップ部３３Ａ、３３Ｂで構成したが、例えば図５に示すように、各当接面２３Ａ、２４Ａに当接する各リップ部４１Ａ、４１Ｂと、各当接面２３Ａ、２４Ａの間に位置してこれら各リップ部４１Ａ、４１Ｂを各当接面２３Ａ、２４Ａに当接した状態で支持するリップ支持部４２とから構成してもよい。この場合も、上記実施形態と同様の作用、効果を奏することができる。
【００２９】
さらに、突片が当接部を有していない場合、当接部がリップでない場合でもよい。例えば、図６に示すように、リップ部を有さず、支持部４３から各当接面２３Ａ、２４Ａに直接に接触する当接部４４を設けてもよい。また、突片が当接部を有していない場合としては、図７に示すように、当接部を設けずに、支持部４５を各当接面２３Ａ、２４Ａに直接に接触させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３０】
【図１】本発明のシール部材を示す断面図である。
【図２】従来のシール部材を示す断面図である。
【図３】本発明のシール部材が用いられた薄板収納容器を示す分解斜視図である。
【図４】本発明のシール部材が用いられた薄板収納容器を示す斜視図である。
【図５】第１変形例を示す断面図である。
【図６】第２変形例を示す断面図である。
【図７】第３変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３１】
２１：薄板収納容器、２２：溝板、２３：容器本体、２３Ａ，２４Ａ：当接面、２４：蓋体、２５：シール部材、２７：蓋体受け部、２７Ａ：垂直板部、２７Ｂ：水平板部、２９：嵌合溝、２９Ａ：内側壁、２９Ｂ：外側壁、３１：エンドレス部、３２：突片、３３：当接部、３３Ａ，３３Ｂ：リップ部。
【図１】
2007062804.tif 000003
【図２】
2007062804.tif 000004
【図３】
2007062804.tif 000005
【図４】
2007062804.tif 000006
【図５】
2007062804.tif 000007
【図６】
2007062804.tif 000008
【図７】
2007062804.tif 000009