(57)【要約】【課題】基板処理装置の生産工程を発注者が即座に確認することができる基板処理装置の生産工程管理システムを提供する。【解決手段】半導体製造装置の受注を受けた半導体製造装置生産工場１００では、その生産工程計画を確定した後に生産工程認識サーバ２０にデータベースとして登録する。その後、生産進捗に関する情報は生産作業者用コンピュータ５０から入力される。また、生産工程計画を変更したときには、その情報が生産管理者用コンピュータ４０から入力され、データベースが修正される。データベースが新規に登録されたとき、またはデータベースが修正されたときには、生産工程認識サーバ２０から発注者宛に電子メールによる通知が行われる。発注者はコンピュータ１０から生産工程計画のデータベースを任意の時点で閲覧することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板に所定の処理を行う基板処理装置を生産するときの生産工程を管理する生産工程管理システムであって、
基板処理装置の生産工程計画をデータベースとして登録する登録手段と、
前記データベースを記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶されている前記データベースをネットワークを介して当該基板処理装置の発注者に閲覧可能に開示する開示手段と、
を備えることを特徴とする基板処理装置の生産工程管理システム。
【請求項２】
請求項１記載の生産工程管理システムにおいて、
生産工程計画が変更されたときに、前記記憶手段に記憶されている前記データベースを修正する修正手段をさらに備えることを特徴とする基板処理装置の生産工程管理システム。
【請求項３】
請求項２記載の生産工程管理システムにおいて、
前記記憶手段にデータベースが新規に登録されたとき、または前記記憶手段に記憶されているデータベースが修正されたときに、そのデータベースの内容を基板処理装置の発注者に電子メールにて通知する通知手段をさらに備えることを特徴とする基板処理装置の生産工程管理システム。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれかに記載の生産工程管理システムにおいて、
基板処理装置の生産現場を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段によって取得された画像データを当該基板処理装置の発注者に送信する送信手段と、
をさらに備えることを特徴とする基板処理装置の生産工程管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示装置用ガラス基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等（以下、単に「基板」と称する）に所定の処理を行う基板処理装置を生産するときの生産工程を管理する生産工程管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
周知にように、半導体デバイスはレジスト塗布現像装置や洗浄装置等の専用の半導体製造装置によってシリコンのウェハに所定の基板処理を行うことにより製造される。同様に、液晶表示装置は専用の液晶製造装置によってガラス基板に所定の処理を行うことにより製造される。通常、これら半導体製造装置や液晶製造装置等の基板処理装置は、ユーザからの発注を受け、該ユーザの希望する仕様を満たすように組立製造される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
装置の発注を行ったユーザが発注後にその生産工程や進捗状況を確認したい場合もある。このような場合、従来にあっては、発注者が生産工程を確認するする手段は、装置メーカの営業担当者に問い合わせを行い、営業担当者が装置工場に確認してその結果を発注者に報告していた。すなわち、発注者の側から見れば、生産工程や進捗状況を確認したいときに即座に確認することができなかった。その結果、例えば納期変更等の不測の事態に対する対応が遅れたりする問題が生じていた。
【０００４】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、基板処理装置の生産工程を発注者が即座に確認することができる基板処理装置の生産工程管理システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、請求項１の発明は、基板に所定の処理を行う基板処理装置を生産するときの生産工程を管理する生産工程管理システムにおいて、基板処理装置の生産工程計画をデータベースとして登録する登録手段と、前記データベースを記憶する記憶手段と、前記記憶手段に記憶されている前記データベースをネットワークを介して当該基板処理装置の発注者に閲覧可能に開示する開示手段と、を備える。
【０００６】
また、請求項２の発明は、請求項１の発明に係る生産工程管理システムにおいて、生産工程計画が変更されたときに、前記記憶手段に記憶されている前記データベースを修正する修正手段をさらに備える。
【０００７】
また、請求項３の発明は、請求項２の発明に係る生産工程管理システムにおいて、前記記憶手段にデータベースが新規に登録されたとき、または前記記憶手段に記憶されているデータベースが修正されたときに、そのデータベースの内容を基板処理装置の発注者に電子メールにて通知する通知手段をさらに備える。
【０００８】
また、請求項４の発明は、請求項１から請求項３のいずれかの発明に係る生産工程管理システムにおいて、基板処理装置の生産現場を撮影する撮影手段と、前記撮影手段によって取得された画像データを当該基板処理装置の発注者に送信する送信手段と、をさらに備える。
【発明の効果】
【０００９】
請求項１の発明によれば、基板処理装置の生産工程計画を登録したデータベースをネットワークを介して当該基板処理装置の発注者に閲覧可能に開示しているため、発注者は希望するときに即座に基板処理装置の生産工程を確認することができる。
【００１０】
また、請求項２の発明によれば、生産工程計画が変更されたときにデータベースを修正するため、発注者は変更後の生産工程計画を確認することができる。
【００１１】
また、請求項３の発明によれば、データベースが新規に登録されたとき、またはデータベースが修正されたときに、そのデータベースの内容を基板処理装置の発注者に電子メールにて通知するため、発注者は生産工程計画の確定や変更を直ちに知ることができる。
【００１２】
また、請求項４の発明によれば、生産現場を撮影した画像データを基板処理装置の発注者に送信するため、発注者は基板処理装置の生産風景を確認することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１４】
図１は、本発明に係る生産工程管理システムの全体構成を示す概念図である。半導体ウェハを処理する半導体製造装置を生産する半導体製造装置生産工場１００には生産工程認識サーバ２０が設置されている。この生産工程認識サーバ２０は、ファイアーウォール等の接続装置（図示省略）を介してインターネット１に接続されている。周知のように、インターネット１には世界各国の多数のコンピュータが相互に接続されており、半導体製造装置を発注した発注者のコンピュータ１０も接続されている。
【００１５】
また、半導体製造装置生産工場１００の内部においては、ＬＡＮ(Local Area Network)５を介して生産工程認識サーバ２０と生産管理者用コンピュータ４０および生産作業者用コンピュータ５０とが接続されている。生産管理者用コンピュータ４０は、半導体製造装置の生産工程を管理する管理者用のコンピュータであり、例えば半導体製造装置生産工場１００のオフィスに置かれている。一方、生産作業者用コンピュータ５０は、半導体製造装置の生産作業に携わる作業者用のコンピュータであり、本実施形態では半導体製造装置生産工場１００内の生産現場１１０に設置されている。なお、生産管理者用コンピュータ４０および生産作業者用コンピュータ５０の設置場所がこれらに限定されるものでないことは勿論である。
【００１６】
また、半導体製造装置生産工場１００内の生産現場１１０にはカメラ６０が設置されている。カメラ６０は、組立途中の半導体製造装置を撮影可能な位置に設置されている。なお、通常、半導体製造装置は一箇所にて組み立てられるため、そこを撮影可能な位置にカメラ６０を固定的に設置すれば良い。カメラ６０も所定のインターフェイスを介してＬＡＮ５に接続されており、カメラ６０によって撮影された静止画または動画はディジタルの画像データに変換されて生産工程認識サーバ２０に転送される。
【００１７】
図２は、図１の生産工程管理システムの構成を示すブロック図である。発注者のコンピュータ１０、生産管理者用コンピュータ４０、生産作業者用コンピュータ５０および生産工程認識サーバ２０は、いずれもハードウェア構成としては一般的なコンピュータと同様のものを備えている。すなわち、各コンピュータは、各種演算処理を行うＣＰＵ、基本プログラムを記憶する読み出し専用のメモリであるＲＯＭ、各種情報を記憶する読み書き自在のメモリであるＲＡＭ、ネットワーク接続のためのインターフェイスおよび制御用アプリケーションやデータなどを記憶しておく磁気ディスク等を備えている。また、各コンピュータには、画面表示を行うディスプレイ、入力装置としてのキーボードやマウスおよび外部記録媒体（ＣＤ−ＲＯＭやＤＶＤ）を読み取るための読み取りユニットも付設されている。
【００１８】
発注者のコンピュータ１０においては、ＣＰＵによって所定のアプリケーションソフトウェアが実行されることによりメール受信部１１およびブラウザ１２が実現されている。メール受信部１１は、いわゆるメーラの機能の一部であり、電子メールの受信および管理を行う。ブラウザ１２は、インターネット１に存在しているコンテンツ（ＨＴＭＬファイル、画像ファイル、音楽ファイル等）をダウンロードしてディスプレイ（図示省略）に表示する。
【００１９】
生産管理者用コンピュータ４０の入力部４１はキーボードやマウスによって構成されており、生産管理者は入力部４１からデータやコマンドを入力して生産工程認識サーバ２０に与えることができる。生産作業者用コンピュータ５０の入力部５１もキーボードやマウスによって構成されており、生産作業者は入力部５１からデータやコマンドを入力して生産工程認識サーバ２０に与えることができる。なお、生産作業者としては、実際に半導体製造装置の組み立て作業を行う者の他に、例えば設計者や部品の手配を担当する者も含まれる。
【００２０】
生産工程認識サーバ２０においては、ＣＰＵによって所定のアプリケーションソフトウェアが実行されることにより、登録部２１、修正部２２、メール送信部２３、配信部２４および開示部２５が実現されている。これら諸処理部の機能及び役割については後に詳述する。
【００２１】
次に、上記の生産工程管理システムにおける処理手順について説明する。図３は、生産工程管理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。まず、ユーザから半導体製造装置の発注がなされた後、或いは受注予定が明らかとなった後、半導体製造装置生産工場１００の担当者が生産工程計画を定める（ステップＳ１）。そして、受注した半導体製造装置の生産工程計画が確定した後、生産管理者が生産管理者用コンピュータ４０を使用して生産工程認識サーバ２０に当該生産工程計画を入力する。生産工程計画の入力を受け付けた生産工程認識サーバ２０においては、登録部２１が当該生産工程計画をデータベースとして登録する（ステップＳ２）。具体的には、生産管理者用コンピュータ４０から入力された生産工程計画を登録部２１が図４に例示するような生産工程データベース３１として登録し、それを生産工程認識サーバ２０の磁気ディスク３０に記憶させるのである。
【００２２】
図４に示す生産工程データベース３１では、登録データの項目を示すフィールドとして「完了予定日」、「工程」、「進捗」が設けられている。これらのうち「工程」は作業工程の名称であり、「完了予定日」は対応する工程が完了する予定日であり、「進捗」は対応する工程の進捗状況である。生産工程データベース３１に登録された生産工程計画では、”設計期間”、”部品手配”、”ユニット組み”、”総組み”、”検査”、”解体”、”梱包”の各工程が対応する完了予定日に作業完了する予定となっている。例えば、”部品手配”工程は７月２０日に完了する予定である。なお、”ユニット組み”とは半導体製造装置を構成する処理ユニット（熱処理ユニット、レジスト塗布処理ユニット、現像処理ユニット等）を組み立てる工程である。また、”総組み”とは、処理ユニットから装置全体を組み立てる工程である。また、”解体”および”梱包”というのは、輸送のために半導体製造装置を一度解体してその解体した単位にて梱包する工程である。
【００２３】
磁気ディスク３０に記憶されている生産工程データベース３１は、インターネット１を介して発注者のコンピュータ１０から閲覧可能なように開示部２５によって開示されている。具体的には、開示部２５が生産工程データベース３１をＷｅｂコンテンツとしてインターネット１に公開しているのであるが、発注者以外からは閲覧できないように閲覧用のＩＤおよびパスワード等を設定しておく方が好ましい。
【００２４】
生産工程データベース３１が新規に登録された後、ステップＳ３に進み、メール送信部２３が発注者宛に電子メールを送信する。この電子メールには生産工程データベース３１と同様の内容が記述されている。これに代えて又はこれと併せて、開示部２５によってインターネット１に公開されている生産工程データベース３１のＵＲＬ(Uniform Resource Locator)を電子メールに記載するようにしても良い。
【００２５】
上記の電子メールはインターネット１を経由して発注者のコンピュータ１０のメール受信部１１によって受信される。これによって、半導体製造装置の発注者は発注した装置の生産工程計画が確定したことを知る。そして、発注者が電子メールの記述内容を見る、或いは生産工程認識サーバ２０に保持される生産工程データベース３１をブラウザ１２を用いて閲覧することにより、発注した半導体製造装置の生産工程計画を希望するときに即座に確認することができる。
【００２６】
一度確定した生産工程計画についてはなるべく変更することなく、その計画に沿って作業を進めることが好ましいが、生産工程計画を変更せざるを得ない場合もある。例えば、部品業者からの部品納入が予定よりも遅れたような場合や、発注者側から仕様変更があって生産工程計画の見直しを迫られたような場合が該当する。また、組み立て作業が予定よりも早く完了するような場合もある。このような場合は、生産工程計画を再検討して変更し（ステップＳ４）、しかる後生産管理者が生産管理者用コンピュータ４０からその変更内容を入力する。変更内容の情報は生産管理者用コンピュータ４０から生産工程認識サーバ２０に伝達され、修正部２２がその変更内容情報に基づいて磁気ディスク３０に記憶されているデータベース３１を修正する（ステップＳ５）。
【００２７】
修正後の生産工程データベース３１も磁気ディスク３０に記憶され、インターネット１を介して発注者のコンピュータ１０から閲覧可能なように開示部２５が開示している。また、図３のステップＳ５からステップＳ３に進み、メール送信部２３が発注者宛に生産工程計画変更を通知する電子メールを送信する。これによって、半導体製造装置の発注者は発注した装置の生産工程計画が変更になったことを知り、修正後の生産工程データベース３１をブラウザ１２を用いて閲覧することにより、変更後の生産工程計画を希望するときに即座に確認することができる。
【００２８】
その後、半導体製造装置生産工場１００の側においては、確定した生産工程計画に沿って作業が進行する。そして、一つの作業工程が完了（ステップＳ６）するごとに当該作業を担当する生産作業者が生産作業者用コンピュータ５０から作業が完了した旨の情報を入力する。作業完了情報は生産作業者用コンピュータ５０から生産工程認識サーバ２０に伝達され、登録部２１がその作業完了情報に基づいて生産工程データベース３１の「進捗」欄に進捗状況を登録する。本実施形態では、図４に示すように、作業が完了した工程については黒丸を登録し、仕掛かり中の工程（作業が完了した最終の工程の次工程）については白丸を登録している。図４の例では、”設計期間”および”部品手配”が完了し、現状”ユニット組み”の工程が進行中である旨が登録されている。
【００２９】
データベース３１に登録された進捗状況については、発注者がコンピュータ１０から閲覧して確認することができる。コンピュータ１０のブラウザ１２は、データベース３１をそのまま図４の如き表形式にてディスプレイに表示するようにしても良いし、例えば図５のようにグラフィカルな形式に変更して表示するようにしても良い。これにより、半導体製造装置の発注者は発注した装置の生産工程進捗状況を希望するときに即座に把握することができる。また、データベース３１の工程が一つ完了するごとに、メール送信部２３がその旨の内容を記述した電子メールを発注者宛に送信する（ステップＳ７）。
【００３０】
以降、上記と同様の手順が繰り返され、生産工程計画が変更されるごとにデータベース３１が修正され、その旨が電子メールにて発注者に通知される。また、データベース３１の一つの工程が完了するごとに、その旨が電子メールにて発注者に通知される。これらの手順は半導体製造装置の生産が完了（ステップＳ８）するまで続行される。そして、発注者は、希望する任意の時点でコンピュータ１０のブラウザ１２を用いてデータベース３１を閲覧することにより、生産工程計画およびその進捗状況を即座に確認することができる。その結果、例えば納期変更等の不測の事態に対しても迅速に対応することが可能となる。
【００３１】
以上、本発明の実施の形態について説明したが、この発明はその趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したもの以外に種々の変更を行うことが可能である。例えば、開示部２５が生産工程データベース３１を開示するのと併せて、半導体製造装置を組み立てている風景の画像を配信部２４がインターネット１を介して発注者のコンピュータ１０に配信するようにしても良い。すなわち、カメラ６０によって撮影された生産現場１１０の画像データを一旦生産工程認識サーバ２０の磁気ディスク３０に蓄積し、その蓄積した画像データを発注者からの要求に応じて配信部２４がコンピュータ１０に配信する。その結果、発注者はコンピュータ１０を用いてデータベース３１だけでなく、実際に半導体製造装置を組み立てている風景の静止画または動画を見ることができる。
【００３２】
また、生産工程計画を登録するデータベースとしては図４の例に限定されるものではなく、工程、期日、進捗状況を相互に関連づけた形態であれば良い。発注者のコンピュータ１０における生産工程計画の表示形式も図４のような表形式や図５の形式に限定されるものではなく、生産工程計画の全体と期日および進捗が把握できる形式であれば良い。
【００３３】
また、インターネット１に代えて他の広域ネットワークを利用しても良い。また、半導体製造装置生産工場１００内におけるシステム構成は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば生産管理者や生産作業者が情報を直接生産工程認識サーバ２０に入力する形態であっても良いし、データベース３１を生産工程認識サーバ２０以外のコンピュータに保持されるようにしても良い。さらに、本発明に係る生産工程管理システムによって管理対象となるのは半導体製造装置の生産に限定されるものではなく、液晶製造装置の生産であっても良い。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明に係る生産工程管理システムの全体構成を示す概念図である。
【図２】図１の生産工程管理システムの構成を示すブロック図である。
【図３】図１の生産工程管理システムにおける処理手順を示すフローチャートである。
【図４】生産工程データベースの一例を示す図である。
【図５】生産工程計画の表示形式の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３５】
１  インターネット
１０  コンピュータ
２０  生産工程認識サーバ
２１  登録部
２２  修正部
２３  メール送信部
２４  配信部
２５  開示部
３０  磁気ディスク
３１  データベース
４０  生産管理者用コンピュータ
５０  生産作業者用コンピュータ
６０  カメラ
１００  半導体製造装置生産工場
１１０  生産現場
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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