(57)【要約】【課題】ウエハを検知するセンサが正常でない場合でも、ウエハの破損を防止できる半導体製造方法を提供する。【解決手段】搭載台２１１（２２１）にウエハ６００を載置するステップと、センサ２１９（２２９）が正常状態か否かを判断するステップと、搭載台を移動後、センサがウエハの位置ズレを判断するステップと、センサがウエハの位置が正常であると判断したとき、隣接チャンバにウエハを挿入するステップと、ウエハを処理するステップと、を備える。【選択図】        図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
搭載台にウエハを載置するステップと、
センサが正常状態か否かを判断するステップと、
前記搭載台を移動後、前記センサがウエハの位置ズレを判断するステップと、
前記センサがウエハの位置が正常であると判断したとき、隣接チャンバにウエハを挿入するステップと、
前記ウエハを処理するステップと、
からなる半導体製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造方法に関し、特に、半導体ウエハの位置ズレを検知するセンサを備える半導体製造装置を使用する半導体製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウエハの位置ズレを検知するセンサを備える半導体製造装置としては、例えば、特開２００２−２７０６７１号公報に記載されたものがある。
【０００３】
この種の半導体製造装置を使用する半導体製造方法では、センサが正常に働いていればウエハの位置ズレを検知し、それによってウエハの破損を防止しているが、センサ自体が正常に働いていない場合には、ウエハの位置ズレを検知できず、それによって、ウエハを破損してしまっていた。
【特許文献１】特開２００２−２７０６７１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、本発明の主な目的は、ウエハを検知するセンサが正常でない場合でも、ウエハの破損を防止できる半導体製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明によれば、
搭載台にウエハを載置するステップと、
センサが正常状態か否かを判断するステップと、
前記搭載台を移動後、前記センサがウエハの位置ズレを判断するステップと、
前記センサがウエハの位置が正常であると判断したとき、隣接チャンバにウエハを挿入するステップと、
前記ウエハを処理するステップと、
からなる半導体製造方法が提供される。
【０００６】
好ましくは、センサは投光部と受光部とを備える。
【０００７】
また、好ましくは、投光部から投光された光が投光部から受光部までの光路で遮光されていればセンサはＯＮの状態である。
【０００８】
また、好ましくは、搭載台を移動後、センサがウエハの位置ズレを判断する場合には、センサがＯＦＦになればウエハの位置が正常であり、センサがＯＮであればウエハの位置ズレ、もしくはセンサの故障であると判断する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、ウエハを検知するセンサが正常でない場合でも、ウエハの破損を防止できる半導体製造方法が提供される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
次に、本発明の好ましい実施例を説明する。
本発明の好ましい実施例においては、ウエハを検知するセンサを使用する半導体製造装置を使用する。そして、ウェーハを検知するセンサが故障したかどうかの確認を実施し、ウエハを検知するセンサが故障した時に、ウエハを破損する前に搬送動作を停止し、ウェーハ破損を回避する。
【００１１】
次に、本発明の好ましい実施例を、図面を参照してより詳細に説明する。
図１は、本発明の好ましい実施例のアッシャー装置を説明するための概略横断面図であり、図２、図３は、本発明の好ましい実施例のアッシャー装置を説明するための概略縦断面図である。図４は、本発明の好ましい実施例のアッシャー装置のロードロックチャンバー部を説明するための概略縦断面図であり、図５は、図５のロードロックチャンバー部の動作を説明するためのフローチャートである。図６は、比較のために、ウエハ検知センサ２１７（２２７）の故障を判断しない場合のアッシャー装置のロードロックチャンバー部を説明するための概略縦断面図であり、図７は、図６のロードロックチャンバー部の動作を説明するためのフローチャートである。
【００１２】
本発明の好ましい実施例においては、半導体製造装置としてアッシャー装置を使用する。図１、図２を参照すると、アッシャー装置１０は、カセットトランスファー部１００と、ロードロックチャンバー部２００と、トランスファーチャンバー部３００と、プロセスチャンバー部４００とを備えている。
【００１３】
カセットトランスファー部１００は、カセットトランスファーユニット１１０、１２０を備え、カセットトランスファーユニット１１０、１２０は、カセット５００を載置するカセットテーブル１１１、１２１と、カセットテーブル１１１、１２１のＹ軸１３０、Ｚ軸１４０をそれぞれ動作させるＹ軸アセンブリ１１２、１２２、Ｚ軸アセンブリ１１３、１２３をそれぞれ備えている。
【００１４】
ロードロックチャンバー部２００は、ロードロックチャンバー２５０、２６０と、カセットテーブル１１１、１２１に載置されたカセット５００からウエハ６００をそれぞれ受け取り、ウエハ６００をロードロックチャンバー２５０、２６０内でそれぞれ保持するバッファユニット２１０、２２０を備えている。バッファユニット２１０、２２０は、バッファフィンガーアセンブリ２１１、２２１とその下部のインデックスアセンブリ２１２、２２２とを備えている。バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）とその下部のインデックスアセンブリ２１２（２２２）はθ軸２１４（２２４）により同時に回転する。
バッファユニット２１０、２２０が、本発明の搭載台に相当する。
【００１５】
図４を参照すると、ロードロックチャンバー部２５０、２６０には、半導体ウエハ６００の位置ズレを検知するウエハ検知センサ２１７、２２７がそれぞれ設けられている。ウエハ検知センサ２１７、２２７は、投光部２１５、２２５、受光部２１６、２２６をそれぞれ有している。ウエハ検知センサ２１７、２２７は、制御部２１９、２２９にそれぞれ接続され、制御部２１９、２２９でそれぞれ制御される。ウエハ検知センサ２１７、２２７は、投光部２１５、２２５からそれぞれ投光された光が投光部２１５、２２５から受光部２１６、２２６までの光路で遮光されていればＯＮの状態であり、ＯＮ表示を行い、遮光されていればＯＦＦの状態であり、ＯＦＦ表示を行う。
【００１６】
バッファユニット２１０、２２０のインデックスアセンブリ２１２、２２２には、光透過部２１８、２２８がそれぞれ設けられている。バッファユニット２１０（２２０）のバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）が、カセットトランスファーユニット１１０（１２０）のカセットテーブル１１１（１２１）の方を向いている場合には、光透過部２１８（２２８）はカセットテーブル１１１（１２１）側にある。一方、ウエハ検知センサ２１７、２２７はゲートバルブ３１１（３１２）側にあるので、投光部２１５（２２５）から投光された光が投光部２１５（２２５）から受光部２１６（２２６）までの光路でインデックスアセンブリ２１２、２２２によって遮光される。
【００１７】
再び、図１、２を参照すると、トランスファーチャンバー部３００は、トランスファーチャンバー３１０を備えており、ロードロックチャンバー２５０、２６０は、ゲートバルブ３１１、３１２をそれぞれ介してトランスファーチャンバー３１０に取り付けられている。トランスファーチャンバー
３１０には、真空アームロボットユニット３２０が設けられている。
【００１８】
プロセスチャンバー部４００は、プロセスチャンバー４１０、４２０と、その上部に設けられたプラズマ発生室４３０、４４０とを備えている。プロセスチャンバー４１０、４２０は、ゲートバルブ３１３、３１４をそれぞれ介してトランスファーチャンバー３１０に取り付けられている。
【００１９】
プロセスチャンバー４１０、４２０は、ウエハ６００を載置するサセプタテーブル４１１、４２１を備えている。サセプタテーブル４１１、４２１をそれぞれ貫通してリフターピン４１３、４２３が設けられている。サセプタテーブル４１１、４２１は、Ｚ軸４１２、４２２により、それぞれ上下する。
【００２０】
ロードロックチャンバー２５０（２６０）内にバッファユニット２１０（２２０）によって、保持されているウエハ６００を、真空アームロボットユニット３２０のフィンガー３２１に搭載し、θ軸３２５により真空アームロボットユニット３２０を回転し、Ｙ軸３２６により、プロセスチャンバー４１０（４２０）内のサセプタテーブル４１１（４２１）上に移載する。真空アームロボットユニット３２０のフィンガー３２１とリフターピン４１３（４２３）との協働により、ウエハ６００をサセプタテーブル４１１（４２１）上に移載する。また、逆の動作により、処理が終了したウエハ６００をサセプタテーブル４１１（４２１）から、真空アームロボットユニット３２０によって、ロードロックチャンバー２５０（２６０）内のバッファユニット２１０（２２０）にウエハ６００を移載する。
【００２１】
プラズマ発生室４３０、４４０は、チャンバー４３１、４４１をそれぞれ備え、チャンバー４３１、４４１の外部には、高周波コイル４３２、４４２がそれぞれ設けられている。高周波コイル４３２、４４２に高周波電力を印加して、ガス導入口４３３、４４３から導入されたアッシング処理用のガスをプラズマ化し、そのプラズマを利用してサセプタテーブル４１１、４２１上に載置されたウエハ６００上のレジストをアッシングする。
【００２２】
次に、カセットテーブル１１１（１２１）からロードロックチャンバー２５０（２６０）までのウエハ６００の搬送について説明する。
【００２３】
図２、図３を参照すると、カセットテーブル１１１（１２１）にカセット５００を搭載してＺ軸１４０が下方向に動作する。Ｚ軸１４０が下にある状態でバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）のＹ軸１３０がカセット５００の方向に動作する。Ｉ軸２３０の動作により２５枚のウエハ６００をバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）のバッファフィンガー２１３（２２３）がカセット５００から受け取る。受け取った状態でＹ軸１３０がもとの位置まで下がる。
【００２４】
再び、図４を参照すると、この状態では、バッファユニット２１０（２２０）のバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）が、カセットトランスファーユニット１１０（１２０）のカセットテーブル１１１（１２１）の方を向いているので、図４の左図に示すように、光透過部２１８（２２８）はカセットテーブル１１１（１２１）側にある。一方、ウエハ検知センサ２１７（２２７）はゲートバルブ３１１（３１２）側にあるので、投光部２１５（２２５）から投光された光が投光部２１５（２２５）から受光部２１６（２２６）までの光路でインデックスアセンブリ２１２（２２２）によって遮光される。
【００２５】
図５を参照すれば、この状態で、ウエハ検知センサ２１７（２２７）がＯＮになっているかを制御部２１９（２２９）で確認する（Ｓ１１）。ＯＮになっていれば、ウエハ検知センサ２１７（２２７）が正常であると判断して、θ軸２１４（２２４）を回転して、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）を、ゲートバルブ３１１（３１２）の方に向ける（Ｓ１２）。ＯＦＦになっていれば、ウエハ検知センサ２１７（２２７）が故障であると判断して、搬送動作を停止する。
【００２６】
バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）とその下部のインデックスアセンブリ２１２（２２２）はθ軸２１４（２２４）により同時に回転するので、光透過部２１８（２２８）もゲートバルブ３１１（３１２）の方を向き、投光部２１５（２２５）から投光された光が投光部２１５（２２５）から受光部２１６（２２６）までの光路で光透過部２１８（２２８）を通過することになり、インデックスアセンブリ２１２（２２２）によって遮光されなくなる。
【００２７】
この状態で、ウエハ検知センサ２１７（２２７）がＯＦＦになっているかを制御部２１９（２２９）で確認する（Ｓ１３）。ＯＦＦになっていれば、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出しているウエハ６００はないと判断して（ウエハ６００が飛び出していると、投光部２１５（２２５）から投光された光が投光部２１５（２２５）から受光部２１６（２２６）までの光路で遮光されＯＮとなる）、Ｚ軸２４０を上方向に動作させてバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）をロードロックチャンバー２５０（２６０）に入れる（Ｓ１４）。
【００２８】
ＯＮになっていれば、ウエハ検知センサ２１７（２２７）が故障しているか、ウエハ６００がバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出している（ウエハ６００が飛び出していると、投光部２１５（２２５）から投光された光が投光部２１５（２２５）から受光部２１６（２２６）までの光路で遮光されＯＮとなる）と判断して、搬送動作を停止する。搬送動作を停止しないで、その後Ｚ軸を上方向に動作させて、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）を上昇させると、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出しているウエハ６００が、上昇の途中でロードロックチャンバー２５０（２６０）の底部等に衝突し、破損してしまうからである。
【００２９】
次に、図６、図７を参照して、比較のために、ウエハ６００をバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）のバッファフィンガー２１３（２２３）がカセット５００から受け取り、受け取った状態でＹ軸１３０がもとの位置まで下がり、バッファユニット２１０（２２０）のバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）が、カセットトランスファーユニット１１０（１２０）のカセットテーブル１１１（１２１）の方を向いている状態で、ウエハ検知センサ２１７（２２７）が故障しているかを判断しない場合について説明する。
【００３０】
ウエハ６００をバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）のバッファフィンガー２１３（２２３）がカセット５００から受け取り、受け取った状態でＹ軸１３０がもとの位置まで下がる。そして、この状態でウエハ検知センサ２１７（２２７）が故障しているかを判断せずに、θ軸２１４（２２４）を回転して、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）を、ゲートバルブ３１１（３１２）の方に向ける（Ｓ２１）。
【００３１】
この状態で、ウエハ検知センサ２１７（２２７）がＯＦＦになっているかを制御部２１９（２２９）で確認する（Ｓ２２）。ウエハ検知センサ２１７（２２７）がＯＦＦになっていれば、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出しているウエハ６００はないと判断して、Ｚ軸２４０を上方向に動作させてバッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）をロードロックチャンバー２５０（２６０）に入れる（Ｓ２３）。
【００３２】
ウエハ検知センサ２１７（２２７）がＯＮになっていれば、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出しているウエハ６００があると判断して、搬送を停止する（Ｓ２４）。
【００３３】
しかしながら、θ軸２１４（２２４）を回転して、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）を、ゲートバルブ３１１（３１２）の方に向けた状態で（Ｓ２１）、ウエハ検知センサ２１７（２２７）が故障していると、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）からウエハ６００が飛び出していても、上述したステップＳ２２で、ＯＦＦ表示となってしまい、その後Ｚ軸を上方向に動作させて、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）を上昇させると、図６の右図に示すように、バッファフィンガーアセンブリ２１１（２２１）から飛び出しているウエハ６００が、上昇の途中でロードロックチャンバー２５０（２６０）の底部等に衝突し、破損してしまう。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の好ましい実施例のアッシャー装置を説明するための概略横断面図である。
【図２】本発明の好ましい実施例のアッシャー装置を説明するための概略縦断面図である。
【図３】本発明の好ましい実施例のアッシャー装置を説明するための概略縦断面図である。
【図４】本発明の好ましい実施例のアッシャー装置のロードロックチャンバー部を説明するための概略縦断面図である。
【図５】図５のロードロックチャンバー部の動作を説明するためのフローチャートである。
【図６】比較のために、ウエハ検知センサ２１７（２２７）の故障を判断しない場合のアッシャー装置のロードロックチャンバー部を説明するための概略縦断面図である。
【図７】図６のロードロックチャンバー部の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００３５】
１０…アッシャー装置
１００…カセットトランスファー部
１１０、１２０…カセットトランスファーユニット
１１１、１２１…カセットテーブル
１１２、１２２…Ｙ軸アセンブリ
１１３、１２３…Ｚ軸アセンブリ
１３０…Ｙ軸
１４０…Ｚ軸
２００…ロードロックチャンバー部
２１０、２２０…バッファユニット
２１１、２２１…バッファフィンガーアセンブリ
２１２、２２２…インデックスアセンブリ
２１３、２２３…バッファフィンガー
２１４、２２４…θ軸
２１５、２２５…投光部
２１６、２２６…受光部
２１７、２２７…ウエハ検知センサ
２１８、２２８…光透過部
２１９、２２９…制御部
２３０…Ｉ軸
２４０…Ｚ軸
２５０、２６０…ロードロックチャンバー
３００…トランスファーチャンバー部
３１０…トランスファーチャンバー
３１１、３１２、３１３、３１４…ゲートバルブ
３２０…真空アームロボットユニット
３２１…フィンガー
３２５…θ軸
３２６…Ｙ軸
４００…プロセスチャンバー部
４１０、４２０…プロセスチャンバー
４１１、４２１…サセプタテーブル
４１２、４２２…Ｚ軸
４１３、４２３…リフターピン
４３０、４４０…プラズマ発生室
４３１、４４１…チャンバー
４３２、４４２…高周波コイル
４３３、４４３…ガス導入口
５００…カセット
６００…ウエハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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