(57)【要約】【課題】センサ出力の変動を抑制したガスセンサ素子及びその製造方法を提供すること。【解決手段】酸素イオン伝導性の固体電解質体１３と、固体電解質体１３の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極１４及び基準ガス側電極１５と、被測定ガス側電極１４を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層１２とを有するセンサ素子本体１０における、少なくとも拡散抵抗層１２の外側面１２０に、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％以下のトラップ層形成用スラリーを塗布するトラップ層塗布工程と、センサ素子本体１０に塗布したトラップ層形成用スラリーを焼成してトラップ層２を形成するトラップ層焼成工程とを有する、ガスセンサ素子１の製造方法。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記被測定ガス側電極を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層とを有するセンサ素子本体における、少なくとも上記拡散抵抗層の外側面に、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％以下のトラップ層形成用スラリーを塗布するトラップ層塗布工程と、
上記センサ素子本体に塗布した上記トラップ層形成用スラリーを焼成してトラップ層を形成するトラップ層焼成工程とを有することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【請求項２】
請求項１において、上記トラップ層形成用スラリーは、アルミニウムイオンの含有量が０．４８重量％以下であることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【請求項３】
請求項１又は２において、上記トラップ層形成用スラリーは、アルミナゾルを含有してなることを特徴とするガスセンサ素子の製造方法。
【請求項４】
酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記被測定ガス側電極を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層と、該拡散抵抗層の外側面に形成されたトラップ層とを有するガスセンサ素子において、
該ガスセンサ素子を大気中において温度９５０℃の状態にて１００時間維持する耐久を行ったとき、該耐久の前後におけるセンサ出力変化率が５％以下であり、
上記センサ出力変化率は、耐久前のセンサ出力をＡ、耐久後のセンサ出力をＢとしたとき、（Ｂ−Ａ）／Ｂ（％）によって求められる値であることを特徴とするガスセンサ素子。
【請求項５】
請求項４において、上記センサ出力変化率は２％以下であることを特徴とするガスセンサ素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、車両用エンジン等の内燃機関の燃焼制御等に用いることができるガスセンサ素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、車両用エンジン等の内燃機関の燃焼制御のために、内燃機関の排気系等は排気ガス中の酸素濃度等を検出するガスセンサが設置されている。
かかるガスセンサに内蔵されたガスセンサ素子は、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極とからなる検出部において被測定ガスのセンシングを行っている。ところが、被測定ガス中には、電極材料にとって有害な物質（例えば、Ｐｂ、Ｐ、Ｓ等の被毒物質）が混入している場合があり、この被毒物が被測定ガス側電極に接触することにより、電極が腐食してしまうという問題がある。
【０００３】
そこで、ガスセンサ素子の検出部の外周面に、多孔質のトラップ層を設け、被測定ガス側電極へと被毒物質が到達することを防いでいる。かかるトラップ層としては、例えば特許文献１に記載されているものがある。
しかしながら、このトラップ層を設けたガスセンサ素子において、使用中にセンサ出力が変動してしまうという現象が生じていた。
【０００４】
この出力変動の原因としては以下のことが考えられる。即ち、上記トラップ層を形成するに当っては、センサ素子本体の表面の一部にトラップ層形成用スラリーを塗布し、これを焼成する。ここで、トラップ層形成用スラリーには、粘度安定剤としてアルミニウムイオンが添加されている。
そして、センサ素子本体の表面にトラップ層形成用スラリーを塗布したとき、その下層に配置した拡散抵抗層にトラップ層形成用スラリー中のアルミニウムイオンが侵入する。この侵入したアルミニウムイオンが、トラップ層の焼成時においてアルミナとなって残存する。これにより、拡散抵抗層の抵抗が大きくなり、センサ出力が低下する。
【０００５】
その後、ガスセンサの使用時における加熱により、トラップ層に残存していたアルミナが凝集して、拡散抵抗層における隙間が再び広がり、センサ出力が向上する。このようにして、ガスセンサの製造直後と、その後の使用後との間において、センサ出力の変動が生じると考えられる。
以上のように、上記トラップ層形成用スラリーにアルミニウムイオンが多く含まれていることにより、センサ出力の変動が大きくなるものと考えられる。
【０００６】
【特許文献１】特開平６−１７４６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので、センサ出力の変動を抑制したガスセンサ素子及びその製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記被測定ガス側電極を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層とを有するセンサ素子本体における、少なくとも上記拡散抵抗層の外側面に、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％以下のトラップ層形成用スラリーを塗布するトラップ層塗布工程と、
上記センサ素子本体に塗布した上記トラップ層形成用スラリーを焼成してトラップ層を形成するトラップ層焼成工程とを有することを特徴とするガスセンサ素子の製造方法にある（請求項１）。
【０００９】
次に、本発明の作用効果につき説明する。
上記トラップ層形成用スラリーは、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％以下である。そのため、得られるガスセンサ素子におけるトラップ層の下層に配された拡散抵抗層に侵入するアルミニウムイオンの量を抑制することができる。これにより、トラップ層の形成時における拡散抵抗層へのアルミニウムイオンの侵入に起因するセンサ出力の低下を防ぐことができる。また、その後のガスセンサ素子の使用によるアルミニウムイオンの凝集に起因するセンサ出力の上昇を防ぐことができる。
それ故、ガスセンサ素子の出力変動を抑制することができる。
【００１０】
以上のごとく、本発明によれば、センサ出力の変動を抑制したガスセンサ素子の製造方法を提供することができる。
【００１１】
第２の発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質体と、該固体電解質体の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極及び基準ガス側電極と、上記被測定ガス側電極を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層と、該拡散抵抗層の外側面に形成されたトラップ層とを有するガスセンサ素子において、
該ガスセンサ素子を大気中において温度９５０℃の状態にて１００時間維持する耐久を行ったとき、該耐久の前後におけるセンサ出力変化率が５％以下であり、
上記センサ出力変化率は、耐久前のセンサ出力をＡ、耐久後のセンサ出力をＢとしたとき、（Ｂ−Ａ）／Ｂ（％）によって求められる値であることを特徴とするガスセンサ素子にある（請求項４）。
【００１２】
本発明のガスセンサ素子は、上記耐久の前後におけるセンサ出力変化率が５％以下である。そのため、通常の使用において、ガスセンサ素子の出力が大きく変動することはなく、特定ガス濃度を正確に検出することができる。即ち、所定の特定ガス濃度に対するセンサ出力の変動を小さくすることができるため、ガスセンサ素子のセンサ出力から、特定ガス濃度を正確に検出することができる。
【００１３】
以上のごとく、本発明によれば、センサ出力の変動を抑制したガスセンサ素子を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
上記第１の発明（請求項１）及び上記第２の発明（請求項４）において、上記ガスセンサ素子として、例えば、Ａ／Ｆセンサ、Ｏ2センサ、ＮＯｘセンサ等に内蔵されるガスセンサ素子がある。
また、上記ガスセンサ素子は、例えば、板状の固体電解質体を有する積層型のガスセンサ素子であっても、有底筒状の固体電解質体を有するコップ型のガスセンサ素子であってもよい。
【００１５】
次に、上記第１の発明（請求項１）において、上記トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオンの含有量が１．２重量％を超える場合には、アルミニウムイオンに起因するセンサ出力の変動を充分に抑制することが困難となるおそれがある。その結果、精度の高いガスセンサ素子を得ることが困難となるおそれがある。
【００１６】
また、上記トラップ層形成用スラリーは、アルミニウムイオンの含有量が０．４８重量％以下であることが好ましい（請求項２）。
この場合には、アルミニウムイオンの影響を一層小さくして、センサ出力の変動を一層抑制したガスセンサ素子を得ることができる。
また、アルミニウムイオンの含有量が０重量％、即ちトラップ層形成用スラリーにアルミニウムイオンが含有されていなくてもよい。
【００１７】
また、上記トラップ層形成用スラリーは、アルミナゾルを含有してなることが好ましい（請求項３）。
この場合には、上記トラップ層形成用スラリーの粘度を容易に安定させ、トラップ層を安定して形成することが容易となる。即ち、本発明においては、上記トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオンの含有量を小さくするため、上記トラップ層形成用スラリーの粘度が不安定になるおそれがある。そこで、上記トラップ層形成用スラリーにアルミナゾルを添加することにより、スラリー粘度の安定を確保することができる。
【００１８】
次に、上記第２の発明（請求項４）において、上記センサ出力は、例えば、ガスセンサ素子における上記被測定ガス側電極と上記基準ガス側電極との間に流れる電流値、或いは、両電極間に生じる起電力値とすることができる。
また、上記センサ出力変化率が５％を超える場合には、通常の使用によるセンサ出力の変動を充分に小さくすることが困難となる。その結果、所定の特定ガス濃度に対するセンサ出力の変動を小さくすることが困難となるため、ガスセンサ素子のセンサ出力から、特定ガス濃度を正確に検出することが困難となるおそれがある。
【００１９】
また、上記センサ出力変化率は２％以下であることが好ましい（請求項５）。
この場合には、通常の使用におけるガスセンサ素子の出力の変動を一層小さくすることができ、特定ガス濃度をより正確に検出することができる。従って、センサ出力の変動を一層抑制したガスセンサ素子を得ることができる。
【実施例】
【００２０】
（実施例１）
本発明の実施例にかかるガスセンサ素子につき、図１〜図４を用いて説明する。
本例のガスセンサ素子１は、図１に示すごとく、センサ素子本体１０の表面の一部にトラップ層２を形成してなる。
センサ素子本体１０は、酸素イオン伝導性の固体電解質体１３と、該固体電解質体１３の一方の面と他方の面とにそれぞれ設けた被測定ガス側電極１４及び基準ガス側電極１５と、上記被測定ガス側電極１４を覆うと共に被測定ガスを拡散透過させる拡散抵抗層１２とを有する。
そして、拡散抵抗層１２の外側面に、上記トラップ層２が形成されている。
【００２１】
本例のガスセンサ素子１は、より具体的には、以下に示す構造を有する積層型のＡ／Ｆセンサ素子である。
即ち、固体電解質体１３はジルコニアよりなり、図１に示すごとく、その一方の面に白金よりなる被測定ガス側電極１４が設けてあり、他方の面に白金よりなる基準ガス側電極１５が設けられている。
【００２２】
そして、固体電解質体１３における基準ガス側電極１５を設けた側の面に、緻密でガスを透過させないアルミナセラミックスよりなる基準ガス室形成層１６が積層されている。該基準ガス室形成層１６と固体電解質体１３との間には基準ガス室１５０が形成され、基準ガス室１５０に基準ガスとしての大気が導入されるように構成されている。そして、基準ガス室１５０に基準ガス側電極１５が面している。
【００２３】
また、基準ガス室形成層１６における固体電解質体１３と反対側の面に、ヒータ基板１７が積層されている。該ヒータ基板１７には、通電により発熱する発熱体１８が基準ガス室形成層１６と対面するよう設けてある。そして、上記発熱体１８により固体電解質体１３を加熱することができる。
【００２４】
また、固体電解質体１３の被測定ガス側電極１４側には、アルミナよりなる緻密でガスを透過しない遮蔽層１１が積層されており、該遮蔽層１１と固体電解質体１３との間には、開口部１２１を有する拡散抵抗層１２が配設されている。そして、遮蔽層１１と拡散抵抗層１２と固体電解質体１３とにより覆われた状態で被測定ガス室１４０が形成されている。
また、上述したごとく、拡散抵抗層１２の外側面１２０には、多孔質のアルミナセラミックからなるトラップ層２が形成されている。
【００２５】
なお、本例においては、トラップ層２は、拡散抵抗層１２の外側面１２０とその周囲にのみ形成してあるが、本発明において、トラップ層２は、少なくとも上記外側面１２０に形成されていればよく、例えば、ガスセンサ素子１の検出部の全周を被覆するように形成してもよい。
【００２６】
次に、本例のガスセンサ素子１を製造するに当たっては、以下のトラップ層塗布工程とトラップ層焼成工程とを行うことにうより、トラップ層２を形成する。
即ち、トラップ層塗布工程においては、センサ素子本体１０における、少なくとも上記拡散抵抗層１２の外側面１２０に、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％（５００ｐｐｍ）以下のトラップ層形成用スラリーを塗布する。
【００２７】
また、上記トラップ層焼成工程においては、センサ素子本体１０に塗布したトラップ層形成用スラリーを焼成してトラップ層２を形成する。
なお、上記トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオンの含有量は、より好ましくは、０．４８重量％（２００ｐｐｍ）以下とする。また、トラップ層形成用スラリーは、アルミナゾルを含有してなる。
【００２８】
上記トラップ層塗布工程において、トラップ層形成用スラリーをセンサ素子本体１０に塗布するに当たっては、例えば、ディッピング、ディスペンサ塗布等、種々の方法を用いることができる。
【００２９】
また、得られるガスセンサ素子１は、以下の性質を有する。即ち、ガスセンサ素子１を大気中において温度９５０℃の状態にて１００時間維持する耐久を行ったとき、該耐久の前後におけるセンサ出力変化率が５％以下となる。また、より好ましくは、上記センサ出力変化率を２％以下とする。ここで、上記センサ出力変化率は、耐久前のセンサ出力をＡ、耐久後のセンサ出力をＢとしたとき、（Ｂ−Ａ）／Ｂ（％）によって求められる値である。
また、上記センサ出力は、Ａ／Ｆセンサ素子である本例のガスセンサ素子１の場合には、被測定ガス側電極１４と基準ガス側電極１５との間に流れる電流値である。なお、例えば、Ｏ2センサ素子等の場合には、両電極間に生じる起電力値が上記センサ出力である。
【００３０】
以下に、図２、図３を用いて、本例のガスセンサ素子の製造方法、及び得られたガスセンサ素子についての耐久試験、センサ出力の測定につき説明する。
まず、上述したように、被測定ガス側電極１４及び基準ガス側電極１５を設けた固体電解質体１０と、拡散抵抗層１２と遮蔽層１１と基準ガス室形成層１６と発熱体１８を設けたヒータ基板１７とを積層してなるセンサ素子本体１０を作製する（ステップＳ１）。
【００３１】
このセンサ素子本体１０について、センサ出力特性の測定を行う（ステップＳ２）。即ち、酸素（Ｏ2）濃度４％程度の排気ガスを、被測定ガスとしてトラップ層２及び拡散抵抗層１２を介して被測定ガス室１４０へ供給する。上記排気ガスの空燃比（Ａ／Ｆ）は１８である。また、センサ素子本体１０の温度は８００℃にしておく。この状態で、上記センサ素子本体１０の被測定ガス側電極１４と基準ガス側電極１５との間に所定の電圧を付与し、このとき流れる電流を測定する。
これにより、センサ出力が電流値として得られることとなる。このときのセンサ出力（電流値）をＢ０とする（図３）。
【００３２】
次いで、上記センサ素子本体１０を常温に戻した後、上述したトラップ層塗布工程を行い（ステップＳ３）、次いで、上記トラップ層焼成工程を行う（ステップＳ４）。トラップ層焼成工程においては、センサ素子本体１０にトラップ層形成用スラリーを塗布したものを、９００℃の炉において、１時間保持する。これにより、トラップ層２を焼成して、ガスセンサ素子１を得る。
【００３３】
次いで、得られたガスセンサ素子１について、上記ステップＳ２と同様の方法で、センサ出力特性を測定する（ステップＳ５）。このとき得られたセンサ出力（電流値）をＡとする（図３）。
次いで、ガスセンサ素子１の耐久を行う（ステップＳ６）。即ち、ガスセンサ素子１を大気中において温度９５０℃の状態にて１００時間維持する。
【００３４】
そして、耐久後のガスセンサ素子１について、上記ステップＳ２、Ｓ５と同様の方法で、センサ出力特性を測定する（ステップＳ７）。このとき得られたセンサ出力（電流値）をＢとする（図３）。
【００３５】
以上のように、各段階において測定したセンサ出力を、図３に示すごとく、グラフにプロットした。同図において、横軸に付した符号Ｓ２、Ｓ５、Ｓ７が、それぞれ測定した工程のステップＳ２，Ｓ５，Ｓ７に対応する。また、縦軸にはセンサ出力をとる。
同図に示すように、トラップ層２を形成する前のセンサ素子本体１０の状態（ステップＳ２）のセンサ出力Ｂ０に対し、トラップ層２を形成してガスセンサ素子１を作製した後であって耐久前の状態（ステップＳ５）のセンサ出力Ａは低下している。これは、トラップ層形成用スラリーに含有されたアルミニウムイオンが、拡散抵抗層１２に侵入して残留し、拡散抵抗層１２の抵抗が大きくなったことによる影響と考えられる。
【００３６】
また、上記耐久前の状態（ステップＳ５）のセンサ出力Ａに対し、耐久後の状態（ステップＳ７）のセンサ出力Ｂは、高くなっている。これは、拡散抵抗層１２に侵入したアルミニウムイオンが、耐久を行ったときの熱により凝集して、拡散抵抗層１２の抵抗が小さくなったためであると考えられる。
【００３７】
また、トラップ層２を形成する前のセンサ素子本体１０の状態（ステップＳ２）のセンサ出力Ｂ０と耐久後の状態（ステップＳ７）のセンサ出力Ｂとは略一致する。これは、拡散抵抗層１２に侵入したアルミニウムイオンが上記耐久によって充分に凝集して、アルミニウムイオンによる拡散抵抗層１２の抵抗への影響が殆どなくなることによるものであると考えられる。
そして、本例のガスセンサ素子１においては、上記のごとく測定されたセンサ出力ＡとＢとの間に、（Ｂ−Ａ）／Ｂ≦０．０５、より好ましくは（Ｂ−Ａ）／Ｂ≦０．０２の関係が成り立つ。
【００３８】
次に、本例の作用効果につき説明する。
上記トラップ層形成用スラリーは、アルミニウムイオンの含有量が１．２重量％以下である。そのため、得られるガスセンサ素子１におけるトラップ層２の下層に配された拡散抵抗層１２に侵入するアルミニウムイオンの量を抑制することができる。これにより、トラップ層２の形成時における拡散抵抗層１２へのアルミウムイオンの侵入に起因するセンサ出力の低下を防ぐことができる。また、その後のガスセンサ素子１の使用によるアルミニウムイオンの凝集に起因するセンサ出力の上昇を防ぐことができる。
それ故、ガスセンサ素子１の出力変動を抑制することができる。
【００３９】
また、上記トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオンの含有量を０．４８重量％以下とすることにより、アルミニウムイオンの影響を一層小さくして、センサ出力の変動を一層抑制したガスセンサ素子１を得ることができる。
【００４０】
また、トラップ層形成用スラリーは、アルミナゾルを含有してなるため、トラップ層形成用スラリーの粘度を容易に安定させ、トラップ層２を安定して形成することが容易となる。即ち、本発明においては、トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオンの含有量を小さくするため、トラップ層形成用スラリーの粘度が不安定になるおそれがある。そこで、トラップ層形成用スラリーにアルミナゾルを添加することにより、スラリー粘度の安定を確保することができる。
【００４１】
また、本例のガスセンサ素子１を大気中において温度９５０℃の状態にて１００時間維持する耐久を行ったとき、該耐久の前後におけるセンサ出力変化率が５％以下である。そのため、通常の使用において、ガスセンサ素子１の出力が大きく変動することはなく、特定ガス濃度（酸素濃度）を正確に検出することができる。即ち、所定の特定ガス濃度（酸素濃度）に対するセンサ出力の値の変動を小さくすることができるため、ガスセンサ素子１のセンサ出力から、特定ガス濃度（酸素濃度）を正確に検出することができる。
【００４２】
また、上記センサ出力変化率を２％以下とすることにより、通常の使用におけるガスセンサ素子１の出力の変動を一層小さくすることができ、特定ガス濃度をより正確に検出することができる。従って、センサ出力の変動を一層抑制したガスセンサ素子１を得ることができる。
【００４３】
以上のごとく、本例によれば、センサ出力の変動を抑制したガスセンサ素子及びその製造方法を提供することができる。
【００４４】
（実施例２）
本例は、図４に示すごとく、ガスセンサ素子１の耐久前後におけるセンサ出力変化率を、用いたトラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオン含有量との関係において調べた例である。
即ち、アルミニウムイオン含有量を、０〜２．４重量％の間で異ならせた５種類のトラップ層形成用スラリーを用意した。そして、これらのトラップ層形成用スラリーを用いてガスセンサ素子１を製造した。トラップ層形成用スラリーにおけるアルミニウムイオン含有量以外については、上記実施例１において示したガスセンサ素子の製造方法と同様である。なお、アルミニウムイオン含有量が２．４重量％のトラップ層形成用スラリーは、従来より用いられているものである。
【００４５】
そして、それぞれのトラップ層形成用スラリーを用いて、１０個ずつガスセンサ素子を製造した。各サンプルについて、耐久前後におけるセンサ出力を、上記実施例１において示した方法と同様の方法で測定した。そして、各サンプルごとにセンサ出力変化率を算出した。各水準におけるセンサ出力の平均値と最大値及び最小値を、図４に示すグラフにプロットした。
【００４６】
同図から分かるように、アルミニウムイオン含有量が大きいほど、センサ出力変動率が高くなっている。そして、アルミニウムイオン含有量が１．２重量％以下であれば、センサ出力変化率を５％以下に抑えることができる。また、アルミニウムイオン含有量が０．４８重量％以下であれば、センサ出力変化率を２％以下に抑えることができる。
【００４７】
（実施例３）
本例は、図５に示すごとく、有底筒状のコップ型のガスセンサ素子１の例である。
ガスセンサ素子１は、図５に示すごとく、有底筒状の固体電解質体１３と、該固体電解質体１３の内側表面に設けた基準ガス側電極１５と、外側表面に設けた被測定ガス側電極１４とを有する。また、固体電解質体１３の内側には、基準ガス空間１５０が形成され、該基準ガス空間１５０にヒータ１７０が挿入配置されている。
【００４８】
また、固体電解質体１３の外側面全体にわたって、拡散抵抗層１２が配設されており、更に、該拡散抵抗層１２の外側面１２０を覆うようにトラップ層２が設けられている。
そして、該トラップ層２は上記実施例１と同様のトラップ層形成用スラリーを用いて形成されている。また、本例のガスセンサ１も、上記の耐久前後のセンサ出力変化率を実施例１と同様に抑制したものとしている。
その他は、実施例１と同様の構成及び作用効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】実施例１における、ガスセンサ素子の断面図。
【図２】実施例１における、ガスセンサ素子の製造方法等のフロー図。
【図３】実施例１における、ガスセンサ素子のセンサ出力の変動を示す線図。
【図４】実施例２における、トラップ層形成用スラリー中のアルミニウムイオン含有量とガスセンサ素子のセンサ出力との関係を示す線図。
【図５】実施例３における、ガスセンサ素子の断面図。
【符号の説明】
【００５０】
１  ガスセンサ素子
１０  センサ素子本体
１２  拡散抵抗層
１２０  外側面
１３  固体電解質体
１４  被測定ガス側電極
１５  基準ガス側電極
２  トラップ層
【図１】
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【図２】
2007248144.tif 000004
【図３】
2007248144.tif 000005
【図４】
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【図５】
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