(57)【要約】【課題】直動装置の冷却構造を簡素なものとしてその小型化を図る手段を提供する。【解決手段】ねじ軸またはナットの一方を回転させて他方を軸方向に移動させる直動装置において、ねじ軸およびナットの少なくとも一方に放射率５０％以上の熱放射性被膜を形成する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ねじ軸またはナットの一方を回転させて他方を軸方向に移動させる直動装置において、
前記ねじ軸およびナットの少なくとも一方に、熱放射性被膜を形成したことを特徴とする直動装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記熱放射性被膜の放射率が、５０パーセント以上であることを特徴とする直動装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
前記熱放射性被膜の膜厚が、３μｍ以上、１００μｍ以下であることを特徴とする直動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マシニングセンタ等の工作機械や、射出成形機、プレス成形機等の機械装置の送り機構等に用いられるボールねじ装置や遊星ローラねじ装置等のねじ軸またはナットの一方を回転させて他方を軸方向に移動させる直動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、機械装置の送り機構に用いられる直動装置は、高い位置決め精度が要求され、これを満足させるために直動装置は予圧をかけて使用するのが一般的である。
この予圧をかけた状態や軸方向の荷重が負荷された状態で直動装置を運転すると、ねじ軸、転動体、ナット間の摩擦により熱が発生して各部品の温度を上昇させ、送り機構の各部品に熱変形が生じて位置決め精度を低下させることになり、直動装置を冷却することが求められる。
【０００３】
このような冷却を行う場合に、従来の直動装置としてのボールねじ装置は、ボール軸の軸芯に沿って設けられた冷却液流通孔の両端部に冷却液供給ジャケット部およびサーボモータとボール軸のカップリング部に冷却液回収ジャケット部を設け、それぞれのジャケット部に冷却液タンク、チラーユニット、ポンプ等からなる冷却液供給ユニットと冷却液回収ユニットを接続して循環式の冷却構造を有するボールねじ装置を構成し、ボール軸の短縮化を図っている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１０−４３９９１号公報（第４頁段落００１５−第５頁段落００２０、第１図、第３図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上述した従来の技術においては、ボール軸に設けられた冷却液流通孔に、ボール軸の両端部に設けられたジャケット部を用いて冷却液供給ユニットと冷却液回収ユニットにより冷却液を循環させてボールねじ装置のボール軸を冷却しているため、冷却液の供給ユニット等の付属設備が必要であり、冷却構造が複雑となって大型化するという問題がある。
【０００５】
このことは、冷却構造の設置場所の設定の難しさや冷却構造の製作費用の増大という問題を生じさせる他、ボール軸に設けられた冷却液流通孔を通過する冷却液により振動が生じやすくなり、ストロークの大きな長尺のボールねじ装置への適用が困難になるという問題を生じさせる。
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたもので、直動装置の冷却構造を簡素なものとしてその小型化を図る手段を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記課題を解決するために、ねじ軸またはナットの一方を回転させて他方を軸方向に移動させる直動装置において、前記ねじ軸およびナットの少なくとも一方に熱放射性被膜を形成したことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
これにより、本発明は、付属設備を用いなくても優れた冷却性能を発揮させることができ、直動装置の冷却機構の小型化および簡素化を図ることができると共に、ねじ軸の温度上昇に伴う熱変形を抑制して位置決め精度を高精度に保つことができるという効果が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
以下に、図面を参照して本発明による直動装置の実施例について説明する。
【実施例１】
【０００９】
図１は実施例１のボールねじ装置を示す断面図、図２は実施例１のボールねじ装置を示す側面図である。
図１、図２において、１は直動装置としてのボールねじ装置である。
２は直動装置のねじ軸としてのボール軸であり、合金鋼等の鋼材で製作された棒状部材であって、その外周面には略半円弧形状の軸軌道溝３が所定のリードで螺旋状に形成されている。
【００１０】
ボール軸２の両端部には、軸軌道溝３の谷径と略同等の外径を有する支持部４が設けられており、この支持部４に図示しない転がり軸受の内輪が嵌合してボール軸２を回転自在に支持する。
５は直動装置のナットとしてのボールナットであり、合金鋼等の鋼材で製作された円筒状部材であって、その内周面には軸軌道溝３と対向する略半円弧形状のナット軌道溝６が軸軌道溝３と同じリードで形成されている。
【００１１】
７は直動装置の転動体としてのボールであり、合金鋼等の鋼材等で製作された球体であって、軸軌道溝３とナット軌道溝６の間に複数装填されてボール軸２とボールナット５を螺合させる。本実施例では２つのボールナット５が一本のボール軸に間座８を介して螺合している。
間座８は、合金鋼等の鋼材等で製作された円環状部材であって、２つのボールナット５の間に配置され、２つのボールナット５を締付けて間座８を押圧することによりボール７が軸軌道溝３とナット軌道溝６の間に挟持され、ボールねじ装置１に適切な予圧が付与される。
【００１２】
９はボールねじ装置１の連結路としてのリターンチューブであり、鋼材や樹脂材料等で製作され、ボール７が循環できる内径を有する略Ｕ字形に曲折した管であって、ボールナット５の一部を軸方向に切欠いた平面５ａに設けられた穴にその端部が嵌合して、ナット軌道溝６を連結する。
１０はチューブ固定具であり、鋼材や樹脂材料等により製作された固定具であって、小ねじ等によりボールナット５の平面５ａに締結してリターンチューブ９をボールナット５に固定する。
【００１３】
１１はフランジ部であり、一方のボールナット５の外周部に設けられ、フランジ部１１に設けたボルト穴により図示しない機械装置の移動体にボルト等で固定される。
１５は熱放射性被膜であり、熱放射により熱を放出する機能を有する被膜であって、例えばコーディエライト（２ＭｇＯ・２Ａｌ２Ｏ３・５ＳｉＯ２）７５重量パーセントに、２５重量パーセントのマンガン、鉄、銅、コバルト等の酸化物を添加したものを３００〜１２００℃で焼結させて３〜１００μｍ程度の被膜厚さ（膜厚という。）に形成する。このようにして形成した熱放射性被膜１５は８０パーセント程度の放射率を示す。
【００１４】
本実施例の熱放射性被膜１５は、ボールナット５の内周面を除く全面（間座８の外周面を含む。）、つまりボールナット５等の外表面に形成されている。
上記のボール軸２の軸軌道溝３とこれに対向するボールナット５のナット軌道溝６およびこれを連結するリターンチューブ９の内径面により循環路が形成され、この循環路に複数のボール７と所定の量の潤滑剤、例えばグリースが封入される。
【００１５】
これにより、軸軌道溝３とナット軌道溝６とがボール７を介して螺合し、ボール軸２を回転させることによってボール７が循環路を循環しながらボールナット５を軸方向に移動させる。これによりボール軸２の回転運動がボールナット５の直線運動に変換され、ボールねじ装置１が直動装置として機能する。
上記の構成の作用について説明する。
【００１６】
図２のように組立てたボールねじ装置１のボール軸２を図示しないモータ等の駆動装置によって回転させると、間座８により与えられた予圧およびボールナット５に負荷された軸方向の荷重に応じて軸軌道溝３、ボール７、ナット軌道溝６の間で摩擦により発熱し、その熱は熱伝導によりボールナット５を介して熱放射性被膜１５に伝導する。
この熱放射性被膜１５に伝導した熱は、熱放射性被膜１５により温度の低いときは赤外線および／もしくは遠赤外線等の比較的波長の長い電磁波に変換され、温度の上昇に伴って波長の短い電磁波に変換されて熱放射性被膜１５の表面から外部へ放射により放出され、ボールナット５、ボール７、ボール軸２の温度を低下させる。
【００１７】
この熱の放射は、ボールナット５等の材質には依存せず、熱放射性被膜１５の表面状態にのみ依存するので、母材の熱伝導率等の熱的特性には関わりなく効率的に外部へ熱を放出することができる。また熱の放射は電磁波により熱を放出する熱の移動形式であるので、ボールねじ装置１が設置されている環境に関わりなく、例えば真空中であっても効率的に外部へ熱を放出することができる。
【００１８】
これにより、特別な付属装置を設置することなくボールねじ装置１を有効に冷却することができ、ボールねじ装置１の小型化を図ることができると共に、ボール軸２を中空にして冷却液を流すことがないので振動が発生することもない。
また、ボールねじ装置１の温度上昇を抑制してその焼付きおよび潤滑剤（特にグリース）の劣化を防止してボールねじ装置１の寿命を向上させることができる他、ボール軸２の温度上昇に伴う熱変形を抑制して位置決め精度を高精度に保つことができる。
【００１９】
なお、本実施例では、ボールナット５等の外表面に熱放射性被膜１５を形成するとして説明したが、ボールナット５の外周面の一部に形成するようにしてもよい。
また、これらを併用するようにすれば、ボールねじ装置１の冷却性能を更に高めることができる。
このような熱放射性被膜１５の冷却性能の効果を確認するために、以下に示す確認試験を行った。
【００２０】
図３は実施例１の確認試験の確認試験装置を示す側面図、図４は実施例１の確認試験の循環冷却機構付き試験装置を示す側面図である。
上記図１および図２と同様の部分は同一の符号を付してその説明を省略する。
図３において、２０は確認試験装置であり、基台２１の両端部に設けられた支持板２２に設置した図示しない転がり軸受によりボール軸２の支持部４の一部を回転自在に支持するように構成されている。
【００２１】
確認試験装置２０においては、ボール軸２は一方の支持板２２の外側から図示しない駆動装置により正逆可能に回転駆動され、ボールナット５のフランジ部１１は図示しないブラケット等を介してリニアガイド装置等に接続してボールナット５の回転を停止させた状態でボールナット５の往復動を可能にしている。
また、ボールナット５のフランジ部１１の端面には、ボールナット５の表面温度を計測するための温度センサ２３が設置され、ボール軸２の図示しない駆動装置と接続された支持部４の反対側の支持部４の外周面にはボール軸２の振動を計測するための加速度ピックアップ２４が設置されている。
【００２２】
なお、温度センサ２３には柔軟性を有する信号線が接続されており、ボールナット５の移動を許容してその出力を計測することができるように構成されている。また加速度ピックアップ２４にはテレメトリシステムまたは非接触式のＩＣチップ等が設けられており、回転系からの信号を電波等により受信してその出力を計測することができるように構成されている。
【００２３】
図４において、２５は循環冷却機構付き試験装置であり、本実施例の確認試験装置２０による熱放射性被膜１５の冷却性能の比較のために試験に用いた装置である。なお図３に示す確認試験装置２０と同様の部分は同一の符号を付してその説明を省略する。
本循環冷却機構付き試験装置２５に用いたボール軸２には、その軸芯に沿って冷却孔２６が設けられている。
【００２４】
循環冷却機構付き試験装置２５においては、両方の支持板２２の内部にメカニカルシールやリップシール等を利用したジャケット部が設けられ、駆動装置側の支持板２２のジャケット部を貫通する支持部４にはその外周面から冷却孔２６に連通する連通孔が設けられてジャケット部と連通し、反対側の支持板２２のジャケット部には冷却孔２６の開口部が開口している。
【００２５】
２７は冷却装置であり、チラーユニットおよび冷却液タンク、ポンプ等により構成され、駆動装置側の支持板２２に設けられた冷却液排出口２８から冷却を終えた冷却液を回収すると共に反対側の支持板２２に設けられた冷却液供給口２９へチラ―ユニット等で温度を下げた冷却液を圧送する。
本試験においては、冷却液として水を用いている。またボール軸２およびボールナット５の材質はクロムモリブデン鋼（ＳＣＭ４２０）である。
【００２６】
上記の確認試験装置２０および循環冷却機構付き試験装置２５を用いて熱放射性被膜１５の放射率が異なる場合の冷却性能の確認試験を実施した。
確認試験には上記実施例で示したと同様にボールナット５等の外表面に放射率５０パーセント（放射率５０％品という。）、放射率４０パーセント（放射率４０％品という。）の熱放射性被膜１５（膜厚１０〜１５μｍ）を形成したものおよび熱放射性被膜１５を形成していないもの（熱放射性被膜なし品という。）を確認試験装置２０に取付けて用いた。また参考のために図４に示した中空のボール軸２を用いた循環冷却機構付き試験装置２５による冷却性能を測定した（中空軸冷却品という。）。
【００２７】
これらの試験においては、ボール軸２を正逆方向に回転させてボールナット５を往復移動させるときの平均回転速度を変化させ、ボールナット５の表面温度の温度上昇値を温度センサ２３により測定した。
この確認試験の結果のグラフを図５に示す。図５において縦軸は温度上昇値、横軸は平均回転速度である。
【００２８】
図５に示すように、◇で示す熱放射性被膜なし品は、ほぼ平均回転速度に比例してボールナット５の表面温度が上昇し、平均回転速度１０２２ｒｐｍでその温度上昇値は約４０℃に達する。
△で示す放射率４０％品は、ほぼ平均回転速度に比例して表面温度が上昇し、平均回転速度１０２２ｒｐｍでその温度上昇値は約２０℃に達する。
【００２９】
○で示す放射率５０％品および□で示す中空軸冷却品は、平均回転速度に関わりなく２〜３℃程度の表面温度の温度上昇値に留まっている。
このように、放射率５０％品は高速回転においても温度上昇が抑えられ、優れた冷却性能を有することが判る。これに対して放射率４０％品は平均回転速度に応じて表面温度が上昇するので冷却性能が充分でなく、良好な冷却性能を得るためには熱放射性被膜１５の放射率は５０％以上であることが必要である。
【００３０】
次に、確認試験装置２０を用いて熱放射性被膜１５の膜厚が異なる場合の冷却性能および熱放射性被膜１５を形成する部位による冷却性能の相違について以下に示す試験品により確認試験を実施した。
このとき、温度上昇値の測定に加えて加速度ピックアップ２４による振動値の測定を行い、参考として循環冷却機構付き試験装置２５についても同様の測定を行った。
【００３１】
図６は実施例１の確認試験のサンプル１を示す説明図であり、上記実施例で示したと同様にボールナット５等の外表面に熱放射性被膜１５（図６に示す網掛け部。図７、図８において同様。）を形成したサンプルであって、主に熱放射性被膜１５の膜厚が異なる場合の温度上昇値の測定に用いた。
図７は実施例１の確認試験のサンプル２を示す説明図であり、ボール軸２の支持部４の露出部に熱放射性被膜１５を形成したサンプルである。
【００３２】
図８は実施例１の確認試験のサンプル３を示す説明図であり、ボールナット５等の外表面およびボール軸２の支持部４の露出部に熱放射性被膜１５を形成したサンプルである。
上記のサンプルに以下に示す熱放射性機膜１５を形成して試験品を製作した。
試験品１、サンプル１の熱放射性被膜１５の膜厚を２μｍとしたもの。
試験品２、サンプル１の熱放射性被膜１５の膜厚を３〜５μｍとしたもの。
【００３３】
試験品３、サンプル１の熱放射性被膜１５の膜厚を１０〜１５μｍとしたもの。
試験品４、サンプル１の熱放射性被膜１５の膜厚を９０〜１００μｍとしたもの。
試験品５、サンプル１の熱放射性被膜１５の膜厚を１２０μｍとしたもの。
試験品６、サンプル２の熱放射性被膜１５の膜厚を１０〜１５μｍとしたもの。
試験品７、サンプル３の熱放射性被膜１５の膜厚を１０〜１５μｍとしたもの。
【００３４】
試験品８、上記試験の熱放射性被膜なし品。
試験品９、上記試験の中空軸冷却品。
これらの試験品の熱放射性被膜１５の放射率は全て５０パーセントである。また確認試験の平均回転速度は１０２２ｒｐｍである。
確認試験における温度上昇値および試験品８（熱放射性被膜なし品）の振動値を１とした場合の各試験品の振動値の比率を表１に示す。
【００３５】
【表１】
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表１に示すように、熱放射性被膜１５の膜厚は３μｍ以上、１００μｍ以下（試験品２〜試験品４）であれば良好な冷却性能を示し、その範囲の外（試験品１、試験品５）になれば充分な冷却性能が得ることができなくなることが判る。
【００３６】
これは、熱放射性被膜１５からの放熱は、その最表面の部分の状態によって決まり、３μｍ未満では熱放射性被膜１５の特性を充分に発揮することができず、１００μｍを超えると熱放射性被膜１５自身による熱伝導が放射特性に影響を及ぼすからである。
また、熱放射性被膜１５を形成する部位は、試験品３、試験品６、試験品７より明らかなように、ボールナット５等の外表面のみに設けても、ボール軸２の支持部４の露出部に設けても、これら両方に設けるようにしても良好な冷却性能を得ることができる。
【００３７】
更に、振動値の比率を比較すると、ボール軸２が実軸である試験品１〜試験品８はその比率が１、つまり熱放射性被膜１５を形成していないボールねじ装置１と同等であるのに対して、中空軸である試験品９は５０％程度振動値が増加していることが判る。
これは、ボール軸２に設けた冷却孔２６を冷却液が通過するときに発生する振動がボール軸２に伝わった結果である。
【００３８】
上記のように、本実施例の放熱性被膜１５を用いた冷却機構は、放熱性被膜１５をボールナット５の一部および／もしくはボール軸２の一部に形成すれば優れた冷却性能を発揮する共に振動を増加させることがないので、長尺のボール軸２であってもその温度上昇に伴う熱変形を抑制して位置決め精度を高精度に保つことができると共にボール軸２の振動を抑制して円滑な送り機構を実現することができる。このことは高速回転による高速送りを必要とする工作機械等の機械装置の送り機構の高速化、高精度化、送りストロークの長尺化および長寿命化に特に有効である。
【００３９】
また、本実施例の熱放射性被膜１５によれば熱を電磁波に変換して外部に放出することができるので、真空中等の熱の伝導経路を設定できない環境に設置されたボールねじ装置１においても複雑な冷却機構を設置することなく前記と同様の冷却性能を発揮させることができる。
更に、簡素な構造で優れた冷却性能を発揮させることができ、冷却構造の製作費用の削減を図ることができる。
【００４０】
以上説明したように、本実施例では、直動装置としてのボールねじ装置のボール軸およびボールナットの少なくとも一方に熱放射性被膜を形成するようにしたことによって、付属設備を用いなくても優れた冷却性能を発揮させることができ、ボールねじ装置の冷却機構の小型化および簡素化を図ることができると共に、ボール軸の温度上昇に伴う熱変形を抑制して位置決め精度を高精度に保つことができる。
【００４１】
また、熱放射性被膜の放射率を５０パーセント以上にすることによって、ボール軸の回転速度に関わらず優れた冷却性能を発揮させることができる。
更に、熱放射性被膜の膜厚を、３μｍ以上、１００μｍ以下にすることによって、確実に優れた冷却性能を発揮させることができる。
更に、実軸のボール軸に熱放射性被膜を形成するようにしたことによって、冷却液を用いなくても優れた冷却性能を発揮させることができ、長尺の送りストロークを要するボールねじ装置への冷却機構の適用を容易に行うことができる。
【００４２】
更に、ボールねじ装置の温度上昇を抑制してその焼き付きや潤滑剤の劣化を防止することができ、ボールねじ装置の長寿命化を図ることができる。
なお、本実施例では、２つのボールナットをボール軸に螺合させて間座により予圧を与える形式のボールねじ装置を例に説明したが、１つのボールナットをボール軸に螺合させる形式のボールねじ装置の場合も同様である。この場合の発熱はボールねじ装置に負荷される軸方向の荷重によりボールがナット軌道溝と軸軌道溝とに挟持されることによって発生し、上記と同様にその熱は熱伝導によりボールナットを介して熱放射性被膜へ伝導し、熱放射性被膜により電磁波に変換されてその表面から外部へ放射により放出される。
【００４３】
また、本実施例においては、リターンチューブを連結路としてボールを循環させるチューブ式の循環方式を用いたボールねじ装置に本発明を適用した場合を例に説明したが、連結路は上記に限らず連結路をこま式やエンドキャップ式等とした循環方式のボールねじ装置に本発明を適用しても同様の効果を得ることができる。
更に、本実施例においては、ボールねじ装置のボール軸を回転させてボールナットを軸方向に移動させるとして説明したが、ボールナットを回転させてボール軸を軸方向に移動させる形式のボールねじに本発明を適用しても同様の効果を得ることができる。
【実施例２】
【００４４】
図９は実施例２の遊星ローラねじ装置を示す断面図である。
なお、上記実施例１と同様の部分は、同一の符号を付してその説明を省略する。
図９において、３１は直動装置としての遊星ローラねじ装置である。
３２は直動装置のねじ軸としての中央軸であり、合金鋼等の鋼材で製作された棒状部材であって、その外周面には軸ねじ３３が所定のピッチＰおよびリードで螺旋状に形成されている。
【００４５】
中央軸３２の両端部には、軸ねじ３３の谷径と略同等の外径を有する支持部４が実施例１と同様に設けられており、中央軸３２を回転自在に支持する。
３４は直動装置のナットとしてのローラナットであり、合金鋼等の鋼材で製作された円筒状部材であって、その内周面には多条のナットねじ３５が軸ねじ３３と同じピッチＰで形成されている。
【００４６】
３６は直動装置の転動体としての遊星ローラであり、合金鋼等の鋼材で製作された棒状部材であって、両端部に円柱状の軸部３７が形成されており、両方の軸部３７の間の外周面には軸ねじ３３と同じピッチＰでローラねじ３９が形成されている。
また、遊星ローラ３６の両方の軸部３７の内側に隣接して遊星ローラ３６と同軸に平歯車を形成した遊星ピニオンギヤ３８が設けられており、両方の遊星ピニオンギヤ３８の間のローラねじ３９が軸ねじ３３とナットねじ３５とに嵌合する。
【００４７】
４０は保持器であり、樹脂材料や金属材料で製作された円環状部材であって、遊星ローラ３６の軸部３７が嵌合する保持孔が所定の角度ピッチで複数設けられており、遊星ローラ３６の軸部３７を保持孔で保持して中央軸３２とローラナット３４の間に複数の遊星ローラ３６を所定の角度ピッチで配置する。
４１はリングギヤであり、保持器４０に保持された小径の平歯車である遊星ピニオンギヤ３８に噛合う内歯の平歯車であって、ローラナット３４の内側に圧入等により固定されており、遊星ピニオンギヤ３８がリングギヤ４１に噛合うことにより遊星ローラ３６を一定の速度で公転させる。
【００４８】
本実施例の熱放射性被膜１５は、ローラナット３４の内周面を除く全面、つまりローラナット３４の外表面に形成されている。
上記の中央軸３２の軸ねじ３３とローラナット３４のナットねじ３５とに、保持器４０に保持されてリングギヤ４１と遊星ピニオンギヤ３８により公転を案内された遊星ローラ３６のローラねじ３９が嵌合し、中央軸３２を回転させることによって遊星ローラ３６が中央軸３２の周りを自転しながら公転してローラナット３４を軸方向に移動させる。これにより中央軸３２の回転運動がローラナット３４の直線運動に変換され、遊星ローラねじ装置３１が直動装置として機能する。
【００４９】
このような構成の遊星ローラねじ装置３１のローラナット３４の外表面に熱放射性被膜１５を形成することにより、上記実施例１と同様に遊星ローラねじ装置３１に負荷された軸方向の荷重により軸ねじ３３、ローラねじ３９、ナットねじ３５の間でそれぞれ摩擦により発熱してその熱がローラナット３４を介して熱放射性被膜１５へ伝導し、熱放射性被膜１５により電磁波に変換されてその表面から外部へ放射により放出され、ローラナット３４、遊星ローラ３６、中央軸３２の温度を低下させる。
【００５０】
また、中央軸３２の支持部４の露出部のみに熱放射性被膜１５を形成した場合およびローラナット３４と中央軸３２の両方に熱放射性被膜１５を形成した場合も実施例１と同様である。
以上説明したように、本実施例では、直動装置としての遊星ローラねじ装置のローラナットの一部および／もしくは中央軸の一部に熱放射性被膜を形成するようにしても、上記実施例１と同様の効果を奏することができる。
【００５１】
なお、本実施例においては、遊星ローラねじ装置の中央軸を回転させてローラナットを軸方向に移動させるとして説明したが、ローラナットを回転させて中央軸を軸方向に移動させる形式の遊星ローラねじ装置に本発明を適用しても同様の効果を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】実施例１のボールねじ装置を示す断面図
【図２】実施例１のボールねじ装置を示す側面図
【図３】実施例１の確認試験の確認試験装置を示す側面図
【図４】実施例１の確認試験の循環冷却機構付き試験装置を示す側面図
【図５】実施例１の確認試験の結果を示すグラフ
【図６】実施例１の確認試験のサンプル１を示す説明図
【図７】実施例１の確認試験のサンプル２を示す説明図
【図８】実施例１の確認試験のサンプル３を示す説明図
【図９】実施例２の遊星ローラねじ装置を示す断面図
【符号の説明】
【００５３】
１    ボールねじ装置
２    ボール軸
３    軸軌道溝
４    支持部
５    ボールナット
５ａ  平面
６    ナット軌道溝
７    ボール
８    間座
９    リターンチューブ
１０  チューブ固定具
１１  フランジ部
１５  熱放射性被膜
２０  確認試験装置
２１  基台
２２  支持板
２３  温度センサ
２４  加速度ピックアップ
２５  循環冷却機構付き試験装置
２６  冷却孔
２７  冷却装置
２８  冷却液排出口
２９  冷却液供給口
３１  遊星ローラねじ装置
３２  中央軸
３３  軸ねじ
３４  ローラナット
３５  ナットねじ
３６  遊星ローラ
３７  軸部
３８  遊星ピニオンギヤ
３９  ローラねじ
４０  保持器
４１  リングギヤ
【図１】
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【図２】
2007051688.tif 000005
【図３】
2007051688.tif 000006
【図４】
2007051688.tif 000007
【図５】
2007051688.tif 000008
【図６】
2007051688.tif 000009
【図７】
2007051688.tif 000010
【図８】
2007051688.tif 000011
【図９】
2007051688.tif 000012