(57)【要約】【課題】電子デバイスなどの製造装置の電源ノイズを正確に検出可能な電源ノイズ検出装置を提供する。【解決手段】主電源４より供給される交流電圧によって動作する電子デバイスの製造装置２の電源ノイズを検出するための電源ノイズ検出装置であって、第１の電源ライン１１及び第２の電源ライン１２に設けられた電流プローブ２０と、電流プローブ２０の出力２０ａを受けて検出信号２１ａを生成する制御回路２１と、検出信号２１ａを受けてこれを波形表示するモニター２２とを備える。本発明によれば、電流プローブ２０を電源ライン１１，１２に設けていることから、他の方法によっては検出困難な、電源ラインを介して侵入・放出される過渡波を正確に検出することが可能となる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製造装置の電源ノイズを検出するための電源ノイズ検出装置であって、前記製造装置に電力を供給するための電源ラインに設けられた電流プローブと、前記電流プローブの出力に基づいて検出信号を生成する制御回路とを備えることを特徴とする電源ノイズ検出装置。
【請求項２】
前記制御回路は、前記製造装置の動作シーケンスを示すシーケンス信号と前記検出信号を共通の時間軸上で表示可能な信号を生成することを特徴とする請求項１に記載の電源ノイズ検出装置。
【請求項３】
前記制御回路は、所定値を超える電源ノイズを検出したことに応答して、前記製造装置を停止させることを特徴とする請求項１又は２に記載の電源ノイズ検出装置。
【請求項４】
前記電源ラインは、互いに逆位相の電圧が供給される第１及び第２の電源ラインを含んでおり、前記電流プローブは、前記第１及び第２の電源ラインを共通に取り囲むように配置されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の電源ノイズ検出装置。
【請求項５】
前記製造装置が電子デバイスの製造装置であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の電源ノイズ検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電源ノイズ検出装置に関し、特に、電子デバイスなどの製造装置の電源ノイズを検出するための電源ノイズ検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップなどの電子デバイスは、ＣＶＤ装置、エッチング装置、露光装置、ボンディング装置、洗浄装置、搬送装置など多くの製造装置を用いて生産される。これらの製造装置には多くの配線が設けられているが、これらの配線には、周囲の電磁波によって誘導される電流が流れることがある。このような電磁波としては、連続波（ＣＷ波）の他、静電気放電やモーターノイズなど接点の断続によって放射される過渡波が存在し、これらにより誘導される電流によっては、製造中の電子デバイスが破壊されることがある。
【０００３】
このうち、連続波（特に１ＧＨｚ以下の連続波）については、法規制により対策がなされていることが多いため、連続波の誘導による電流で製造中の電子デバイスが破壊されることはほとんどない。しかしながら、過渡波については明確な法規制などがなく、また、静電気放電を完全に無くすこと自体がそもそも困難である。しかも、過渡波は放射時間がナノ秒オーダーからマイクロ秒オーダーと極めて短いため、エネルギーの総量は小さいものの、瞬間的なエネルギーは非常に大きく、放電電圧は数ｋＶに達する。このため、過渡波の誘導による過渡電流で製造中の電子デバイスが破壊されることがしばしばあった。
【０００４】
したがって、生産ラインにおいて過渡波の発生原因を特定しこれを低減することは、生産性を高める上で非常に重要である。このような背景から、本発明者は、プラズマ処理装置内の異常放電に伴って発生する電磁波を検出する技術を提案した（特許文献１参照）。
【０００５】
この方法によれば、より確実に異常放電の検出を行うことができることから、半導体デバイスなど、真空処理装置を用いて生産される各種デバイスの歩留まりを向上させるものと期待される。
【特許文献１】特許第３６３１２１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、電源ラインを介して侵入・放出される過渡波は、検出することが極めて困難であり、従来はフィルタを用いてこれを遮断するにとどまっていた。ところが、フィルタを用いた遮断は完全ではない上、この方法では過渡波の発生源を特定することはできない。このため、より生産性を高めるべく、電源ラインを介して侵入・放出される過渡波の原因を特定することが望まれている。
【０００７】
したがって、本発明の目的は、電子デバイスなどの製造装置の電源ノイズを正確に検出可能な電源ノイズ検出装置を提供することである。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、電源ラインを介して放出される過渡波によって他の製造装置に悪影響を与えることを防止可能な電源ノイズ検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明による電源ノイズ検出装置は、製造装置に電力を供給するための電源ラインに設けられた電流プローブと、電流プローブの出力に基づいて検出信号を生成する制御回路とを備えることを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、電流プローブを電源ラインに設けていることから、他の方法によっては検出困難な、電源ラインを介して侵入・放出される過渡波を正確に検出することが可能となる。
【００１１】
制御回路は、製造装置の動作シーケンスを示すシーケンス信号と検出信号を共通の時間軸上で表示可能な信号を生成することが好ましい。これによれば、過渡波の放射源が当該製造装置であるのか、他の製造装置であるのかを特定することが可能となるだけでなく、過渡波の放射源が当該製造装置であれば、どのシーケンスで過渡波が発生するのか特定することも可能となる。
【００１２】
また、制御回路は、所定値を超える電源ノイズを検出したことに応答して、当該製造装置を停止させることが好ましい。これによれば、電源ノイズによって電子デバイスが破壊された可能性がある場合、製造装置を自動停止させることが可能となる。また、自らの製造装置が放射源である場合も、他の製造装置に対する影響を最小限にとどめることができる。
【００１３】
また、互いに逆位相の電圧が供給される第１及び第２の電源ラインを含んでいる場合、電流プローブは、第１及び第２の電源ラインを共通に取り囲むように配置されていることが好ましい。このように、製造装置の電源が交流である場合には、第１及び第２の電源ラインを共通に取り囲むように電流プローブを配置することにより、過渡波だけを選択的に検出することが可能となる。
【発明の効果】
【００１４】
このように、本発明によれば、他の方法によっては検出困難な、電源ラインを介して侵入・放出される過渡波を正確に検出することが可能となる。これにより、電源ラインを介して伝播する過渡波の発生原因を特定することが可能となることから、電子デバイスなどの生産ラインにおいて、生産性を高めることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の好ましい実施の形態について詳細に説明する。
【００１６】
図１は、本発明の好ましい第１の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【００１７】
本実施形態による電源ノイズ検出装置は、主電源４より供給される交流電圧によって動作する電子デバイスの製造装置２の電源ノイズを検出するための装置であり、第１の電源ライン１１及び第２の電源ライン１２に設けられた電流プローブ２０と、電流プローブ２０の出力２０ａを受けて検出信号２１ａを生成する制御回路２１と、検出信号２１ａを受けてこれを波形表示するモニター２２とを備えて構成されている。
【００１８】
製造装置２の種類については特に限定されず、ＣＶＤ装置、エッチング装置、露光装置、ボンディング装置、洗浄装置、搬送装置など、電子デバイスの製造に用いる各種製造装置を挙げることができる。
【００１９】
主電源４は、第１及び第２の電源ライン１１，１２を介して製造装置２に交流電圧を印加する回路である。したがって、第１及び第２の電源ライン１１，１２には、互いに逆位相の電圧が供給されることになる。
【００２０】
図１に示すように、電流プローブ２０は、第１及び第２の電源ライン１１，１２を共通に取り囲むように配置されている。電流プローブとは、図２に示すように、測定したい電流線路５２を筒状のコア５１に通し、コア５１に巻回したコイル５３に流れる電流を抵抗５４によって電流−電圧変換することにより、電流線路５２に流れる電流を測定する器具である。電流プローブは、特に高周波電流の検出に優れており、第１及び第２の電源ライン１１，１２の周囲に配置することにより、過渡波によって誘導された電源ノイズを感度良く検知することができる。
【００２１】
また、上述の通り、第１及び第２の電源ライン１１，１２には、互いに逆位相の電圧が供給されていることから、第１及び第２の電源ライン１１，１２を共通に取り囲むように配置された電流プローブ２０は、交流を検出しない。これに対し、第１及び第２の電源ライン１１，１２を伝播する過渡電流は同位相であるため、電流プローブ２０によって検出されることになる。
【００２２】
電流プローブ２０の出力２０ａは制御回路２１に供給されている。制御回路２１は、電流プローブ２０の出力２０ａをデジタル変換することによって検出信号２１ａを生成する回路であり、生成された検出信号２１ａはモニター２２によって波形表示される。これにより、生産ラインの管理者は電源ライン１１，１２に重畳している過渡電流を視覚的に認識することが可能となる。
【００２３】
また、制御回路２１は、電流プローブ２０の出力２０ａが所定値を超えたことに応答して、つまり、所定値を超える電源ノイズを検出したことに応答して、停止信号２１ｂを活性化させる。停止信号２１ｂは製造装置２に供給され、これが活性化すると製造装置２は動作を停止する。これは、大きな電源ノイズによって、製造中の電子デバイスが破壊された可能性がある場合、製造装置２を自動停止させるためである。これにより、不良品が次の工程に送られることを防止することが可能となる。さらに、製造装置２自体が過渡波の放射源である場合も、電源ライン１１，１２などを介して他の製造装置に過渡波が侵入することを防止することができる。
【００２４】
このように、本実施形態によれば、電流プローブ２０を用いて電源ライン１１，１２に重畳している過渡電流を検出し、これをモニター２２に波形表示している。このため、生産ラインの管理者は、どの程度の過渡電流がいつ発生したかを正確に把握することが可能となる。
【００２５】
次に、本発明の好ましい第２の実施形態について説明する。
【００２６】
図３は、本発明の好ましい第２の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【００２７】
本実施形態による電源ノイズ検出装置は、制御回路２１の機能が異なる他は、上記実施形態による電源ノイズ検出装置と同一である。したがって、上記実施形態による電源ノイズ検出装置と同一の構成要件には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００２８】
本実施形態では、制御回路２１が製造装置２に停止信号２１ｂを供給する代わりに、製造装置２の動作シーケンスを示すシーケンス信号２１ｃが制御回路２１に供給される。シーケンス信号２１ｃとは、製造装置２によって現在行われている工程を示す信号であり、例えば、製造装置２がボンディング装置であれば、ステージやキャピラリを駆動するための信号を利用することができる。
【００２９】
制御回路２１は、このようなシーケンス信号２１ｃ及び電流プローブ２０の出力２０ａを受けて、シーケンス信号２１ｃと検出信号（２１ａ）を共通の時間軸上で表示可能な合成検出信号２１ｄをモニター２２に供給する。図４は、モニター２２に表示される波形の一例であり、どのシーケンスでどの程度の過渡電流が観測されたかを知ることができる。このため、過渡波の放射源が製造装置２自体であるのか、或いは、他の製造装置であるのかを特定することが可能となる。また、過渡波の放射源が製造装置２自体であれば、どのシーケンスで過渡波が発生するのかを特定することも可能となることから、適切な対策を施すことが可能となる。
【００３０】
次に、本発明の好ましい第３の実施形態について説明する。
【００３１】
図５は、本発明の好ましい第３の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【００３２】
本実施形態による電源ノイズ検出装置は、制御回路２１が上記第１及び第２の実施形態における機能を併せ持っている。その他の点については、第１及び第２の実施形態による電源ノイズ検出装置と同一であることから、同一の構成要件には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
【００３３】
本実施形態では、第１の実施形態と同様、所定値を超える電源ノイズが検出された場合に製造装置２を自動停止させることができるとともに、第２の実施形態と同様、どのシーケンスでどの程度の過渡電流が観測されたかを知ることができる。
【００３４】
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、上記の実施形態に限定されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能であり、それらも本発明の範囲内に包含されるものであることはいうまでもない。
【００３５】
例えば、本発明による電源ノイズ検出装置は、電子デバイスの製造装置における電源ノイズを検出するためのものに限定されず、他の製造装置の電源ノイズを検出するものであっても構わない。但し、電子デバイスは、その特性上、過渡波によって誘導される電流で簡単に破壊されてしまうため、本発明による電源ノイズ検出装置の利用対象としては、電子デバイスの製造装置が最も相応しいと言える。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明の好ましい第１の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【図２】電流プローブの構成を示す図である。
【図３】本発明の好ましい第２の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【図４】モニター２２に表示される波形の一例を示す図である。
【図５】本発明の好ましい第３の実施形態による電源ノイズ検出装置の構成を概略的に示す模式図である。
【符号の説明】
【００３７】
２        製造装置
４        主電源
１１      第１の電源ライン
１２      第２の電源ライン
２０      電流プローブ
２０ａ    電流プローブの出力
２１      制御回路
２１ａ    検出信号
２１ｂ    停止信号
２１ｃ    シーケンス信号
２１ｄ    合成検出信号
２２      モニター
５１      コア
５２      電流線路
５３      コイル
５４      抵抗
【図１】
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【図２】
2007248107.tif 000004
【図３】
2007248107.tif 000005
【図４】
2007248107.tif 000006
【図５】
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