(57)【要約】【課題】回転中心軸線から周縁部にかけての軸対称非球面の研磨除去量が過剰傾向又は不足傾向を示していても、研磨加工目標値を簡便、かつ、短時間に補正して研磨することができ、軸対称非球面を良好な光学面とすることができる軸対称非球面研磨方法を提供すること。【解決手段】研削後の軸対称非球面１を軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃ回りに回転させ、回転する球状のポリッシャー６を軸対称非球面１の法線方向から押圧し、かつ、子午線方向に走査して軸対称非球面１を全体研磨する軸対称非球面研磨方法において、軸対称非球面１の全体研磨の後、軸対称非球面１の回転数及びポリッシャー６の回転数の比率を変更して研磨を行う修正研磨工程を備えている。【選択図】図１
2007136623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
研削後の軸対称非球面を該軸対称非球面の回転中心軸線回りに回転させ、回転する球状のポリッシャーを前記軸対称非球面の法線方向から押圧し、かつ、子午線方向に走査して前記軸対称非球面を全体研磨する軸対称非球面研磨方法において、
前記軸対称非球面の全体研磨の後、前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数の比率を変更して研磨を行う修正研磨工程を備えていることを特徴とする軸対称非球面研磨方法。
【請求項２】
研磨前の前記軸対称非球面の研磨加工目標値に対して、研磨除去量が、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線から周縁部にかけて直線状に過剰又は不足傾向である場合、前記修正研磨工程が、
前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数から前記研磨除去量を算出するための直線状の関数から、前記研磨除去量の過剰傾向又は不足傾向を解消させる方向の直線状の傾きを有する近似式を算出する工程と、
前記近似式から前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数を逆算して補正後の研磨加工目標値を作成する工程とを備えていることを特徴とする請求項１に記載の軸対称非球面研磨方法。
【請求項３】
補正前の研磨加工目標値における前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数をそれぞれＮｗo及びＮｐoとし、補正後の研磨加工目標値における前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数をそれぞれＮｗｉ、Ｎｐｉとしたとき、
前記関数が、
Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも小さいときには、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線近傍から前記周縁部に向かって研磨除去量を漸次増加させ、
Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも大きいときには、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線近傍から前記周縁部に向かって研磨除去量を漸次減少させる傾向を有することを特徴とする請求項２記載の軸対称非球面研磨方法。
【請求項４】
前記関数が、プレストンの式を利用していることを特徴とする請求項２に記載の軸対称非球面研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レンズやミラー等の光学的な非球面を有する光学素子、或いは、光学素子を成形するための成形用型等の被加工物（ワーク）において、良好な光学面を加工するための軸対称非球面研磨方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
光学的な軸対称非球面を加工する研磨方法としては、軸対称非球面を有するワークの非球面軸を回転中心軸回りに回転させ、さらに回転するポリッシャーをワークの軸対称非球面の法線方向から押圧しつつ、子午線上に沿って走査して、両者の相対運動により軸対称非球面の全体を研磨するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
このような方法では、実際加工やサンプル研磨加工から作成した、ＮＣやＣＮＣの研磨加工データとなる研磨加工目標値に基づいて、研削後の軸対称非球面をポリッシャーが法線方向から押圧するように姿勢制御及び速さ制御されている。即ち、軸対称非球面とポリッシャーとの当接部において、ポリッシャーによる研磨除去量が軸対称非球面上の任意の位置において均等となるように、ワーク及びポリッシャーのそれぞれの回転数や、ポリッシャーの送り速さが決められている。
【０００４】
こうして、軸対称非球面を回転中心軸線回りに回転させるとともに、ポリッシャーを軸対称非球面に押圧した状態で軸対称非球面の子午線に沿って移動させて全体を研磨する。このような全体研磨を、一回から必要に応じて複数回繰り返して行い、良好な光学的非球面を加工している。
【０００５】
ここで、軸対称非球面の研磨実施前の形状に対して、均等除去深さを目的にした全体研磨を実施した後、回転中心軸線近傍の研磨除去深さ（以下、研磨除去量と称する。）が、周縁部に比べて多い又は少ない不具合が発生する頻度が高い。この際、実際加工やサンプル研磨加工の結果を破棄して、形状誤差から、研磨除去深さが軸対称非球面のどの部位でも均等になるように、演算装置を用いてポリッシャーの送り速さ（以下、滞留時間と称する。）を算出し、研磨加工データとなる研磨加工目標値を補正している。
【特許文献１】特開２０００−２５４８４８号公報
【特許文献２】特開２００３−６８６８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記従来の軸対称非球面研磨方法によれば、研磨加工目標値の補正を演算装置を用いてポリッシャーの滞留時間に対して行うので、研磨前の研磨加工目標値との比較演算も必要となり、補正前よりも補正後の研磨加工目標値の作成のほうが、手間が大きく、時間がかかる。
本発明は上記事情に鑑みて成されたものであり、回転中心軸線から周縁部にかけての軸対称非球面の研磨除去量が過剰傾向又は不足傾向を示していても、研磨加工目標値を簡便、かつ、短時間に補正して研磨することができ、軸対称非球面を良好な光学面とすることができる軸対称非球面研磨方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用する。
本発明に係る軸対称非球面研磨方法は、研削後の軸対称非球面を該軸対称非球面の回転中心軸線回りに回転させ、回転する球状のポリッシャーを前記軸対称非球面の法線方向から押圧し、かつ、子午線方向に走査して前記軸対称非球面を全体研磨する軸対称非球面研磨方法において、前記軸対称非球面の全体研磨の後、前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数の比率を変更して研磨を行う修正研磨工程を備えていることを特徴とする。
【０００８】
この発明は、回転中心軸線から周縁部にかけての軸対称非球面の研磨除去量が過剰傾向又は不足傾向を示していても、軸対称非球面の回転数及びポリッシャーの回転数の比率を変更することによって、ポリッシャーの軸対称非球面に対する滞留時間や角度を変更しなくても、回転中心軸線からの距離に応じた研磨除去量を変更することができ、研磨加工目標値を補正することができる。
【０００９】
また、本発明に係る軸対称非球面の研磨方法は、前記軸対称非球面の研磨方法であって、研磨前の前記軸対称非球面の研磨加工目標値に対して、研磨除去量が、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線から周縁部にかけて直線状に過剰又は不足傾向である場合、前記修正研磨工程が、前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数から前記研磨除去量を算出するための直線状の関数から、前記研磨除去量の過剰傾向又は不足傾向を解消させる方向の直線状の傾きを有する近似式を算出する工程と、前記近似式から前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数を逆算して補正後の研磨加工目標値を作成する工程とを備えていることを特徴とする。
【００１０】
この発明は、研磨前における軸対称非球面の形状測定結果と研磨後における形状測定結果とを対比した際、回転中心軸線から周縁部にかけて研磨除去量が直線状に過剰傾向又は不足傾向していた場合には、この傾向を逆転させるような近似式を算出することにより、補正すべき軸対称非球面の回転数及びポリッシャーの回転数を算出することができる。
【００１１】
また、本発明に係る軸対称非球面の研磨方法は、前記軸対称非球面の研磨方法であって、補正前の研磨加工目標値における前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数をそれぞれＮｗo及びＮｐoとし、補正後の研磨加工目標値における前記軸対称非球面の回転数及び前記ポリッシャーの回転数をそれぞれＮｗｉ、Ｎｐｉとしたとき、前記関数が、Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも小さいときには、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線近傍から前記周縁部に向かって研磨除去量を漸次増加させ、Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも大きいときには、前記軸対称非球面の前記回転中心軸線近傍から前記周縁部に向かって研磨除去量を漸次減少させる傾向を有することを特徴とする。
【００１２】
この発明は、軸対称非球面の回転数及びポリッシャーの回転数を変更することによって、回転中心軸線近傍から前記周縁部に向かう研磨除去量を増減させることができ、研磨加工目標値を容易に補正することができる。
【００１３】
また、本発明に係る軸対称非球面の研磨方法は、前記軸対称非球面の研磨方法であって、前記関数が、プレストンの式を利用していることを特徴とする。
この発明は、研磨に関するシミュレーションによく用いられるプレストンの式に基づく関数を使用するので、ＮＣやＣＮＣデータの作成の際に違和感なく適用することができる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、回転中心軸線から周縁部にかけての軸対称非球面の研磨除去量が過剰傾向又は不足傾向を示していても、研磨加工目標値を簡便、かつ、短時間に補正して均等研磨除去量にて研磨することができ、軸対称非球面を良好な光学面とすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明に係る一実施形態について、図１から図４を参照して説明する。
本実施形態に係る軸対称非球面研磨方法では、図１に示すように、凸状の軸対称非球面１が形成された非球面ワーク２を、ワーク回転軸３によって回転可能なワークヤトイ５に固定した状態で行う。軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃ上のワーク回転軸３が、不図示の駆動部に接続されて回転されることによって、軸対称非球面１が、研磨加工動作データ（ＮＣ制御）に基づき、図中に示すＸＹθ方向に対して速さ自在に姿勢制御される。ポリッシャー６は先端が球状に形成され、不図示の駆動部とポリッシャー回転軸７を介して固定され、図１に示すように、軸対称非球面１に押圧された状態で駆動部によって回転可能とされている。
【００１６】
研磨加工工程は、図２に示すように、研削後に軸対称非球面１の全体を研磨する均一研磨工程（Ｓ０１）と、鏡面（光学的粗さ）を得た後の軸対称非球面１の形状測定工程（Ｓ０２）と、軸対称非球面１の全体研磨の後、軸対称非球面１の回転数及びポリッシャーの回転数の比率を変更して研磨を行う修正研磨工程（Ｓ０３）とを備えている。
【００１７】
均一研磨工程（Ｓ０１）では、予め設定した研磨加工目標値に基づいて研削後の非球面ワーク２を設定された回転数でワーク回転軸３の回りに回転させ、設定された回転数で回転する球状のポリッシャー６を軸対称非球面１の法線方向から押圧し、かつ、子午線方向に走査して、ＸＹθの姿勢制御により相対的な研磨除去運動を与えて軸対称非球面１を均等な研磨除去量となるように全体研磨する。
【００１８】
軸対称非球面１の形状測定工程（Ｓ０２）では、均一研磨後の軸対称非球面１の形状を測定し、均一研磨工程（Ｓ０１）で使用した研磨加工目標値と対比して研磨除去量を把握する。
この結果、研磨前の軸対称非球面１の研磨加工目標値に対して、研磨除去量が、軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃから周縁部にかけて過剰傾向又は不足傾向であるかどうか、そのときの傾向が直線状であるか否かを判断する。
【００１９】
修正研磨工程（Ｓ０３）では、さらに、軸対称非球面１の回転数及びポリッシャー６の回転数から軸対称非球面１の研磨除去量を算出する直線状の関数から、上述した研磨除去量の傾向を第一近似式で表す工程（Ｓ０３−１）と、第一近似式に対し、前記関数から研磨除去量の過剰傾向又は不足傾向を解消させる方向となる直線状の傾きを有する第二近似式（近似式）を算出する工程（Ｓ０３−２）と、第二近似式から軸対称非球面１の回転数及びポリッシャー６の回転数を逆算して補正後の研磨加工目標値を作成する工程（Ｓ０３−３）と、補正後の研磨加工目標値に基づき実際に研磨する工程（Ｓ０３−４）とを行う。
【００２０】
ここで、上記関数は、補正前の研磨加工目標値における軸対称非球面１の回転数及びポリッシャー６の回転数をそれぞれＮｗo及びＮｐoとし、補正後の研磨加工目標値における軸対称非球面１の回転数及びポリッシャー６の回転数をそれぞれＮｗｉ、Ｎｐｉとする。このとき、上述した関数としては、Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも小さいときには、軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃ近傍から周縁部に向かって研磨除去量を漸次増加させ、Ｎｐｉ／ＮｗｉがＮｐo／Ｎｗoよりも大きいときには、軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃ近傍から周縁部に向かって研磨除去量を漸次減少させる傾向を有する、以下に示す式（１）に基づく。
【００２１】
【数１】
2007136623.tif 000003
【００２２】
ここで、Ｄｐは、研磨除去量、ｒは回転軸中心軸線Ｃからポリッシャー６が軸対称非球面１に接触している位置までの距離、Δδはポリッシャー６の研磨波及範囲、即ち、実験や過去の加工結果から算出される研磨痕の径を示す。
【００２３】
また、ｈは、式（２）のように展開されるプレストンの式による研磨除去体積を示す。
【００２４】
【数２】
2007136623.tif 000004
【００２５】
ここで、ｋは実験や過去の加工結果から求められる係数、ｐは研磨押圧力、ｖは軸対称非球面１に対するポリッシャ−６の加工点における相対速度、Δｔはポリッシャー６の滞留時間（∝１／送り速度）を示す。なお、相対速度（ｖ）は式（３）で表される。  
【００２６】
【数３】
2007136623.tif 000005
【００２７】
ここで、Ｒｐはポリシャー６の外径、Ｒｗは回転軸中心軸線Ｃからポリッシャー６が軸対称非球面１に接触している位置までの距離、Ｎｐはポリッシャー６の回転数、Ｎｗは非球面ワーク２の回転数を示す。
【００２８】
次に、上述した研磨加工工程に基づく軸対称非球面研磨方法の作用・効果について説明する。
まず、例えば、研削によって、図３に示すような軸対称非球面１を得たとして、所定の研磨加工目標値に基づき均一研磨工程（Ｓ０１）を実施する。
【００２９】
続いて、形状測定工程（Ｓ０２）に移行して、例えば、図４に示すような軸対称非球面１の表面の形状測定結果を得たとする。
この形状測定結果を研磨加工を施す前の形状測定結果と相対比較し、回転中心軸線Ｃ近傍から周縁部にかけて、軸対称非球面１の研磨除去量が過剰傾向か不足傾向かを比較する。
【００３０】
ここでは、研磨実施前の形状精度に対し、周縁部側の研磨除去量が、回転中心軸線Ｃの近傍よりも直線状の勾配を有して不足傾向を示している。そこで、軸対称非球面１の全体の研磨除去量の均等化を図るために、研磨時の非球面ワーク２の回転数：Ｎｗoとポリッシャー６の回転数：Ｎｐoとの比を調整して、軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃの近傍から周縁部に向って、研磨除去量の傾向が研磨前の状態よりも増加傾向となるようにする。
【００３１】
修正研磨工程（Ｓ０３）に移行して、形状測定結果を直線状の第一近似式で表す工程（Ｓ０３―１）では、まず、図４に示す研磨傾向を図示しない直線状の第一近似式として近似する。
次に、第二近似式を算出する工程（Ｓ０３−２）では、第一近似式の傾きを反転させた直線状の第二近似式Ａをコンピュータにより算出して、図５に示すように、グラフ表示する。
【００３２】
そして、補正後の研磨加工目標値を作成する工程（Ｓ０３−３）では、補正後の非球面ワーク２の回転数：Ｎｗｉと補正後のポリッシャー６の回転数：Ｎｐｉとを変数としたとき、Ｎｐｉ／Ｎｗｉ＜Ｎｐｏ／Ｎｗｏを実現するためのＮｐｉ及びＮｗｉを第二近似式Ａから求める。
即ち、ＮｗｉをＮｗｏよりも大きくするか、ＮｐｉをＮｐｏよりも小さくするか、或いは、その両方とするかという観点から、グラフに表れた第二近似式Ａと式（１）とが一致するまで、Ｎｗｉ及びＮｐｉを式（１）に繰り返し当てはめる。その結果、式（１）と第二近似式Ａとが一致したときの非球面ワーク２の回転数：Ｎｗｉ、ポリッシャー回転数：Ｎｐｉをそれぞれ得る。
【００３３】
続いて、実際に研磨する工程（Ｓ０３−４）に移行して、上述のようにして求めたＮｗｉ及びＮｐｉを補正後の研磨加工目標値としてこれに基づき研磨加工を行う。
その結果、補正前の研磨加工目標値では、研磨除去量の傾向が軸対称非球面１の周縁部で回転中心軸線Ｃの近傍よりも不足傾向であったのに対して、補正後の研磨加工目標値では増加傾向となり、軸対称非球面１の面全体で均等な研磨除去量を保つように作用する。
【００３４】
こうして、再び軸対称非球面１の面全体を均等な除去研磨量で研磨加工を続行し、形状精度を維持して良好な光学機能面（鏡面）を有する面性状（肌の粗さ）に加工し、軸対称非球面１の研磨加工（光学面全体の研磨）を終了する。
【００３５】
この軸対称非球面研磨方法によれば、非球面ワーク２の回転数及びポリッシャー６の回転数の比率を変更することによって、ポリッシャー６の軸対称非球面１に対する滞留時間や角度を変更しなくても、回転中心軸線Ｃからの距離に応じた研磨除去量を変更することができ、研磨加工目標値を補正することができる。従って、研磨加工目標値を簡便、かつ、短時間に補正して研磨することができ、軸対称非球面１を良好な光学面とすることができる。
【００３６】
この際、研磨前における軸対称非球面１の形状測定結果と研磨後における形状測定結果とを対比した際、回転中心軸線Ｃから周縁部にかけて研磨除去量が直線状に変化していた場合には、変化の状態を直線状の第一近似式に置き換えることによって、研磨除去量の変化を逆転させるような第二近似式Ａを算出することができる。そして、第二近似式Ａから補正すべき非球面ワーク２の回転数及びポリッシャー６の回転数を容易に算出することができる。
【００３７】
特に、研磨除去量の調整の際に、研磨に関するシミュレーションによく用いられるプレストンの式に基づく関数を使用するので、ＮＣやＣＮＣデータの作成の際に違和感なく適用することができる。
また、非球面ワーク２の回転数のみを用いて調整するほうが、軸対称非球面１の中心部に発生するヘソ（凹凸）への影響も小さくすることができる。
【００３８】
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【実施例１】
【００３９】
上記実施形態に基づき、非球面ワーク２の回転数（Ｎｗｏ）を２００回／分、ポリッシャー６の直径（Ｄ）を５ｍｍとして回転数（Ｎｐｏ）を１５０回／分とし、ポリッシャー６の軸対称非球面１に対する研磨押圧力（Ｐ）を１Ｎとして、実際に研磨加工を実施した。
【００４０】
まず、所定の研磨加工目標値に基づき均一研磨工程（Ｓ０１）を実施した。そして、形状測定工程（Ｓ０２）に移行して、図４に示すような測定結果を得た。この結果、周縁部の研磨除去量のほうが回転中心軸線Ｃ近傍よりも不足傾向であることがわかったので、周縁部の研磨除去量を増加させる必要があるとして、修正研磨工程（Ｓ０３）を実施した。この際、図示しない第一近似式から、図５に示すような第二近似式Ａを算出し、これを使用することによって、軸対称非球面１の研磨除去量の偏りを拡大させないことができると判断する。この第二近似式Ａに該当する式（１）から、補正後の研磨加工目標値として、ワーク回転軸３の回転数（Ｎｗｉ）を２４０回／分、ポリッシャー６の回転数（Ｎｐｉ）を１２０回／分という条件を得た。
こうして、この補正後の研磨加工目標値を用いて実際に研磨したところ、図６に示すような形状測定結果を得た。
【実施例２】
【００４１】
図７に示すような形状測定結果を有する研削後の軸対称非球面１に対し、実施例１と同様に、非球面ワーク２の回転数（Ｎｗｏ）を２００回／分、ポリッシャー６の直径（Ｄ）を５ｍｍとして回転数（Ｎｐｏ）を１５０回／分とし、ポリッシャー６の軸対称非球面１に対する研磨押圧力（Ｐ）を１Ｎとして、実際に研磨加工を実施した。
【００４２】
まず、所定の研磨加工目標値に基づき均一研磨工程（Ｓ０１）を実施して、形状測定工程（Ｓ０２）に移行して、図８に示すような測定結果を得た。
本実施例２でも、周縁部の研磨除去量のほうが回転中心軸線Ｃ近傍よりも不足傾向を示していたので、修正研磨工程（Ｓ０３）を実施し、図示しない第一近似式から図９に示すような第二近似式Ｂを算出する。この第二近似式Ｂから、軸対称非球面１の研磨除去量を変更することができると判断した後、補正後の研磨加工目標値として、ワーク回転軸３の回転数（Ｎｗｉ）を２８０回／分、ポリッシャー６の回転数（Ｎｐｉ）を１５０回／分という条件を得た。
こうして、この補正後の研磨加工目標値を用いて実際に研磨したところ、図１０に示すような形状測定結果を得た。
【実施例３】
【００４３】
図１１に示すような形状測定結果を有する研削後の軸対称非球面１に対し、実施例１と同様に、非球面ワーク２の回転数（Ｎｗｏ）を２００回／分、ポリッシャー６の直径（Ｄ）を５ｍｍとして回転数（Ｎｐｏ）を１５０回／分とし、ポリッシャー６の軸対称非球面１に対する研磨押圧力（Ｐ）を１Ｎとして、実際に研磨加工を実施した。
【００４４】
まず、所定の研磨加工目標値に基づき均一研磨工程（Ｓ０１）を実施して、形状測定工程（Ｓ０２）に移行したところ、上記実施例と異なり、図１２に示すように、回転中心軸線Ｃ近傍よりも周縁部のほうが研磨除去量が過剰傾向を示す測定結果を得た。
この場合には、補正後の非球面ワーク２の回転数：Ｎｗｉ、変更後のポリッシャー６の回転数：Ｎｐｉとした場合、Ｎｐｉ／Ｎｗｉ＞Ｎｐo／Ｎｗoとすることよって、軸対称非球面１の回転中心軸線Ｃの近傍から周縁部に向って、研磨除去量の傾向が研磨前の状態よりも減少傾向とするように調整方針を決める。
【００４５】
そして、修正研磨工程（Ｓ０３）に移行する。ここでは、研磨後の光学面全体で形状誤差最小な研磨除去量とするために、回転中心軸線Ｃの近傍よりも周縁部のほうの研磨除去量を積極的に不足させることとした。即ち、第一近似式で表す工程（Ｓ０３―１）では、形状測定結果をそのまま当てはめるのではなく、周縁部のほうが、実際の結果よりもより研磨除去量が過剰となる傾向を示す図示しない第一近似式を算出した。この第一近似式に基づき、第二近似式を算出する工程（Ｓ０３−２）では、中心軸線Ｃの近傍よりも周縁部のほうが研磨除去量が過剰に不足する傾向を示す図示しない第二近似式を算出した。
【００４６】
この第二近似式から、補正後の研磨加工目標値として、ワーク回転軸３の回転数（Ｎｗｉ）を１２０回／分、ポリッシャー６の回転数（Ｎｐｉ）を１８０回／分という条件を得た。
こうして、この補正後の研磨加工目標値を用いて実際に研磨したところ、図１３に示すように、軸対称非球面全体で形状誤差最小な研磨結果となる形状測定結果を得た。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の一実施形態に係る軸対称非球面研磨方法における軸対称非球面の研磨状態を示す説明図である。
【図２】本発明の一実施形態に係る軸対称非球面研磨方法を示すフロー図である。
【図３】実施例１における研削後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図４】実施例１における均一研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図５】実施例１における第二近似式を示すグラフである。
【図６】実施例１における修正研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図７】実施例２における研削後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図８】実施例２における均一研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図９】実施例２における第二近似式を示すグラフである。
【図１０】実施例２における修正研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図１１】実施例３における研削後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図１２】実施例３における均一研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【図１３】実施例３における修正研磨後の軸対称非球面の形状測定結果を示すグラフである。
【符号の説明】
【００４８】
１  軸対称非球面
６  ポリッシャー
Ｃ  回転中心軸線
【図１】
2007136623.tif 000006
【図２】
2007136623.tif 000007
【図３】
2007136623.tif 000008
【図４】
2007136623.tif 000009
【図５】
2007136623.tif 000010
【図６】
2007136623.tif 000011
【図７】
2007136623.tif 000012
【図８】
2007136623.tif 000013
【図９】
2007136623.tif 000014
【図１０】
2007136623.tif 000015
【図１１】
2007136623.tif 000016
【図１２】
2007136623.tif 000017
【図１３】
2007136623.tif 000018