(57)【要約】【課題】  磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置に関し、突き出しが小さい条件でも、安定なテイクオフを可能にする。【解決手段】  流入端側に設けられて正圧を発生させる第１のパッド２と、流出端側に設けられて正圧を発生させる第２のパッド３と、第２のパッド３の流出側の後方に設けられた第３のパッド４とを少なくとも備えるとともに、第３のパッド４の流出側の後部に磁気ヘッド６を備えた磁気ヘッドスライダの第３のパッド４が平面形状において少なくとも１つの斜辺を有する形状とする。【選択図】          図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流入端側に設けられて正圧を発生させる第１のパッドと、流出端側に設けられて正圧を発生させる第２のパッドと、前記第２のパッドの流出側後方に設けられた第３のパッドとを少なくとも備えるとともに、前記第３のパッドの流出側の後部に磁気ヘッドを備えた磁気ヘッドスライダであって、上記第３のパッドが平面形状において少なくとも１つの斜辺を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
【請求項２】
上記第３のパッドの平面形状が略三角形形状であり、且つ、前記略三角形形状の一辺がスライダ長手方向に対して垂直になることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項３】
上記第３のパッドの斜辺が、スキュー角度に対して垂直以下になることを特徴とする請求項１または２に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項４】
上記第３のパッドの流出側の後部に加熱手段を備えていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダ。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の磁気ヘッドスライダを搭載したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置に関するものであり、特に、テイクオフ時の振動を少なくして、低い浮上量で安定した浮上を可能にするための構成に特徴のある磁気ヘッドスライダ及び磁気ディスク装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、磁気ディスク装置の高記録密度化の進展に伴って、磁気ヘッドを搭載したスライダと磁気ディスク間の浮上すきまが狭められる傾向にあるが、浮上すきまの狭小化が進むにつれ、スライダと磁気ディスクとの接触は避けがたいものとなっている。
【０００３】
一般にスライダの浮上面内で最小浮上量となる位置は、磁気ヘッドのギャップ部が形成されているレール面の流出端エッジ部となるように設計されており、したがって、レール面の流出端エッジ部でディスクに衝突することになる。
特に、ロール姿勢がついているときに流出端エッジ部でディスクに衝突する。
【０００４】
そこで、流出端エッジ部でディスクに衝突する現象をなるべく抑えて、低浮上を可能にするためのスライダー構造が提案されているので（例えば、非特許文献１参照）、ここで、図９を参照して、従来の磁気ヘッドスライダを説明する。
【０００５】
図９参照  
図９は、従来の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面の概略的平面図であり、ここでは、上記の非特許文献１に記載されたタイプの磁気ヘッドスライダのパッド構成を変更したものを示している。
【０００６】
図に示した磁気ヘッドスライダ４０は、１ｍｍ×１．２５ｍｍのサイズでＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣ（ＡｌＴｉＣ）からなるスライダ本体部４１の流入側にステップ部４２を介して正圧パッド４３を設けているとともに、流出側にも正圧を発生させるセンターパッド４４とセンターパッド４４から溝部４５を介して分離された最流出側パッド４６を設けている。  なお、正圧パッド４３、センターパッド４４及び最流出側パッド４６の高さは同一である。
【０００７】
また、最流出側パッド４６の大きさは、２０μｍ×５０μｍでクラウンはゼロであり、最流出側パッド４６を囲む溝部４５，４８は最流出側パッド４６より１〜５ｎｍ、例えば、３ｎｍ低くなっており、最流出側の溝部４５の両側には溝部４５よりさらに１〜５ｎｍ、例えば、３ｎｍ低い溝部４９が設けられている。
なお、溝部４８に磁気ヘッドが設けられている。
【０００８】
また、正圧パッド４３より０．１９５μｍ低いステップ部４２は中央部において正圧パッド４３より３．６μｍ低い深溝部４７によって「コ」字型になっており、流入端側で正圧を与えるきっかけを作り、また、「コ」字型部で負圧を作っている。
以上のパッド配置で低浮上を図っている。
【０００９】
一方、浮上を下げるために、磁気ヘッド近傍にヒータを備えつけて、ヒータに電力を供給して、磁気ヘッド部を突き出させて、磁気ヘッドとディスクの隙間を小さくすることも提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【非特許文献１】”Ｐａｒｔｉａｌ−Ｃｏｎｔａｃｔ  Ｈｅａｄ−Ｄｉｓｋ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ  Ａｐｐｒｏａｃｈ  ｆｏｒ  Ｈｉｇｈ−Ｄｅｎｓｉｔｙ  Ｒｅｃｏｒｄｉｎｇ”ＩＥＥＥ  ＴＲＡＮＳＡＣＴＩＯＮ  ＯＮ  ＭＡＧＮＥＴＩＣＳ，ＶＯＬ．４１，ＮＯ１０，ＯＣＴＯＢＥＲ  ２００５
【特許文献１】特開２００４−２５９３５１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、上記の構成の磁気ディスク装置について、本発明者が鋭意検討した結果、以下のことが明らかとなった。
例えば、前記非特許文献１に記載のスライダに磁気ヘッド近傍を突き出させて、減圧の解析を行ったところ、テイクオフ時に大きな振動が発生することが判明した。
【００１１】
その振動は、気圧を上げても続いてテイクオフを悪くする、即ち、突き出しによる浮上領域を小さくしてしまうという問題があるので、この事情を図１０乃至図１１を参照して説明する。
なお、ここでは、溝部４５，４８と溝部４９の深さは同じで最流出側パッド４６より３ｎｍ低いとし、また、溝部４８にヒータ５０を設けたものとして解析を行った。
【００１２】
図１０参照  
図１０は、ヒータに電力を供給して磁気ヘッド部を突き出した時の形状分布を示す図であり、ここでは、最大１６ｎｍ突き出させた時の形状分布を示している。
図に示すように、ヒータ５０を設け溝部４８が最も隆起し、最流出側パッド４６も５〜１１ｎｍ程度盛り上がることが確認された。
【００１３】
図１１参照  
図１１は、突出し量が４ｎｍの場合の磁気ヘッドスライダの姿勢の説明図であり、ここでは、最流出側パッド４６より後方の断面図として示しており、突き出し４ｎｍの時に磁気ヘッドスライダ４０の後端部に設けた最流出パッド４６の後端がディスク６０に接触している状態を示している。
【００１４】
図１２参照  
図１２は、減圧解析結果の説明図であり、上段図は最大突出し量が０ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示しており、中段図は最大突出し量が４ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示しており、また、最大突出し量が８ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示している。
なお、図における実線は１０１ｋＰａから２５ｋＰａへ減圧した場合の特性を示し、破線は２５ｋＰａから１０１ｋＰａに戻した場合の特性を示している。
【００１５】
上段図に示すように、突出し量が０ｎｍ場合、最流出側パッド４６のクラウンはゼロで、突き出しがないため、アルミナエッジ５１で接触を起こし、そのため、テイクオフが安定するのが７５ｋＰａとなり、安定動作が困難になる。
【００１６】
なお、気圧を上昇させた場合の特性が劣るのは、接触状態にあり分子間力等の吸引力が発生していた状態の磁気ヘッドスライダ４０が浮上するためには、吸引力を打ち消すある程度以上の浮上力が必要となり、その浮上力が得られるまで浮上できずにいた磁気ヘッドスライダ４０がその浮上力を得て急に浮上するためと考えられる。
【００１７】
また、中段図に示すように、突出し量が４ｎｍの場合、突き出しでアルミナエッジ５１が丸みを帯びて、最流出側パッド４６のＡｌＴｉＣ端５４でディスク６０と接触し、テイクオフに振動が発生する。
【００１８】
しかし、下段図に示すように、突出し量が８ｎｍの場合、アルミナエッジ５１よりも溝部４８に設けたヒータ５０が出っ張ってディスク６０と接触する。
ヒータ５０でディスク６０と接触すると、最流出側パッド４６はディスク６０より離れるので、最流出側パッド４６の影響は受けなくなる。
【００１９】
ヒータ５０の加熱による熱膨張によって突き出した部分は非常に小さい面積なので、分子間力の影響をあまり受けず、その結果、テイクオフ時の振動は発生しないことが理解される。
【００２０】
次に、図１３を参照して、テイクオフ時に発生する振動の要因を説明する。
図１３参照  
図１３は、最流出側パッド近傍における気流の説明図であり、上図は最流出側パッド４６の頂面に平行な上面図であり、また、下図は接触状態における断面図である。
上図に示すように、ディスクの回転によって発生した気流５２は最流出側パッド４６の壁面に垂直にあたり、淀み点５３が発生し不安定になる。
【００２１】
また、下図に示すように、気流６１は最流出側パッド４６に垂直に当たり、最流出側パッド４６では大きな圧力を発生する。
しかも、ディスク６０と最流出側パッド４６との間隔があまりにも狭いため、大きな圧力となり、そのため、ロール、ピッチ、浮上が少し変化すると、ディスク６０と最流出側パッド４６の間隔が変化し、圧力変化に現われる。
【００２２】
このように、最流出側パッド４６の壁面が気流５２に対して垂直になっているため、圧力などの変化が大きくなり、振動を起こす原因となる。
特に、テイクオフでは今まで分子間力等の吸引力が作用していた状態から、分子間力等の吸引力の影響を受けない状態になるので、圧力変化や淀みの影響を受けやすくなる。
【００２３】
したがって、本発明は、突き出しが小さい条件でも、安定なテイクオフを可能にすることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
図１は本発明の原理的構成図であり、ここで図１を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図１参照
上記課題を解決するために、本発明は、磁気ヘッドスライダにおいて、流入端側に設けられて正圧を発生させる第１のパッド２と、流出端側に設けられて正圧を発生させる第２のパッド３と、第２のパッド３の流出側後方に設けられた第３のパッド４とを少なくとも備えるとともに、第３のパッド４の流出側の後部に磁気ヘッド６を備えた磁気ヘッドスライダであって、第３のパッド４が平面形状において少なくとも１つの斜辺を有することを特徴とする。
【００２５】
このように、最流出側の第３のパッド４の形状を斜辺を持つ形状にし、なおかつ、長手方向に延ばすことによって風の流れがスムーズになり、風の淀みが発生しにくくなるとともに、急激な圧力を発生せず、圧力の発生開始地点がディスク接触地点より遠くにあるため、スライダの姿勢変化を受けにくく、テイクオフ時の振動を小さくすることができる。
【００２６】
また、テイクオフ時に必要な気圧が低下するので、ヒータ等の加熱手段７による突き出しを小さくても安定に浮上することができ、浮上の安定性を確保できる。
また、ヒータ等の加熱手段７による突き出しを小さくても良いので、ヒータに供給する電力を下げることができる。
【００２７】
この場合、第３のパッド４の平面形状としては、略三角形形状であり、且つ、略三角形形状の一辺がスライダ長手方向に対して垂直になる形状が望ましく、風の流れをよりスムーズにすることができる。
【００２８】
また、第３のパッド４の角部５に１μｍ以上の曲率を持たせることが望ましく、それによって、第３のパッド４の角部５が流線型になるので、風の流れをさらにスムーズにすることができる。
【００２９】
また、第３のパッド４の斜辺がスキュー角度に対して垂直以下になるように設計することによって、第３のパッド４の壁面に風が垂直に当たることがなく、風の淀みが発生することがない。
【００３０】
また、第３のパッド４の流出側の後部に加熱手段７を設けることが望ましく、それによって、ディスクとの接触面積を小さくすることができ、テイクオフ時の振動を小さくすることができる。
【００３１】
上述の磁気ヘッドスライダを搭載することによって、低浮上量でも安定なテイクオフがが可能な磁気ヘッドスライダを備えた磁気ディスク装置の実現が可能になる。
【発明の効果】
【００３２】
本発明においては、最流出側の第３のパッド壁面に垂直に風が当たらないように第３のパッドの平面形状を考慮しているので、安定なテイクオフが可能になり、信頼性の高い磁気ディスク装置の実現が可能になる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３３】
本発明は、流入端側に正圧を発生させる第１のパッドと、流出端側に正圧を発生させる第２のパッドと、第２のパッドの流出側後方に設けられた第３のパッドとを少なくとも設けた磁気ヘッドスライダであって、最流出側の第３のパッドの平面形状を斜辺を持つ形状、特に、一辺がスライダ長手方向に対して垂直になる略三角形形状の形状とし、好適には第３のパッドの角部に１μｍ以上の曲率を持たせ、且つ、第３のパッドの斜辺がスキュー角度に対して垂直以下になるように設計するとともに、第３のパッドの流出側の後部に磁気ヘッドとその近傍にヒータ等の加熱手段を設け、加熱手段に電力を供給して、加熱手段を熱し、その熱による膨張を利用して、突出部を形成し、この突出部でディスクと接触するように制御するものである。
【実施例１】
【００３４】
ここで、図２乃至図７を参照して、本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダを説明する。
図２参照  
図２は、本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面の概略的平面図であり、磁気ヘッドスライダ１０は、１ｍｍ×１．２５ｍｍのサイズでＡｌ2 Ｏ3 −ＴｉＣからなるスライダ本体部１１の流入側にステップ部１２を介して正圧パッド１３を設けているとともに、流出側にも正圧を発生させるセンターパッド１４とセンターパッド１４から溝部１５を介して分離された最流出側パッド１６を設ける。
なお、スライダ本体１１のクラウンは０〜３０ｎｍ、例えば、０ｎｍとする。
また、ここでも、後述する加熱による隆起をシミュレーションするのを容易にするために、溝部１８の流出側にも深溝部１７が薄く設けられている構成として図示している。
【００３５】
図３参照  
図３は、最流出側パッド近傍の説明図であり、上図は最流出側パッド近傍の拡大図であり、下図は最流出側パッド先端部の説明図であり、最流出側パッド１６の大きさは、例えば、底辺が５０μｍの略三角形状で、４０μｍ×５０μｍとする。
即ち、幅は従来と同じにするともに、従来よりも長手方向に伸ばした略三角形状とすることにより、上述の従来の最流出側パッド１６と同じ面積にしている。
【００３６】
最流出側パッド１６がディスクに接近し最流出側パッド１６にも分子間力などの吸引力が働くので、その影響をなるべく小さくするために最流出側パッド１６の平面形状を略三角形状とした。
【００３７】
また、図に示すように、頂角部には１μｍ以上、例えば、１０μｍの曲率を持つように加工が施してあり、また、スキュー角度をθ1 ，θ2 とすると、気流が最流出側パッド１６の壁面に垂直に当たらないように、頂角部の角度を垂線によりα1 ，α2 とした場合、  α1 ＜９０°−θ1 ，
α2 ＜９０°−θ2 
を満たすようにすることによって、風の流れがスムーズになる。
例えば、スキュー角度がθ1 ＝１４°、θ2 ＝１２°となる場合、α1 ＜７６°、α2 ＜７８°を満足しなければならない。ここでは、α1 ，α2 はそれぞれ、例えばα1 ＝３２°，α2 ＝３２°とする。
【００３８】
ここで、正圧パッド１３、センターパッド１４及び最流出側パッド１６の高さは同一とし、最流出側パッド１６を囲む溝部１５，１８を最流出側パッド１６より１〜５ｎｍ、例えば、３ｎｍ低くするとともに、最流出側の溝部１８の両側には溝部１８よりさらに１〜５ｎｍ、例えば、３ｎｍ低い溝部１９を設ける。
【００３９】
また、正圧パッド１３より０．１９５μｍ低いステップ部１２は中央部において正圧パッド１３より３．６μｍ低い深溝部１７によって「コ」字型になっており、流入端側で正圧を与えるきっかけを作り、また、「コ」字型部で負圧を作っている。
なお、正圧パッド１３の流入側に一対のＳＦパッド２０を設けており、このＳＦパッド２０は正圧パッド１３より例えば、４４ｎｍ高くなっていて、流入端下がりになったときのストッパーの役目をしている。
【００４０】
図４参照  
図４は、スライダ本体部の流出側端部近傍の概略的断面図であり、スライダ本体部１１の流出側端部には、Ａｌ2 Ｏ3 膜２１中に流出後端部側から順にＣｕ、ＮｉＦｅ、Ｔａ、Ｔｉ、ＣｏＮｉＦｅ、或いは、ＦｅＡｌＳｉ等からなるヒータ２２、ＭＲ素子２３を備えた再生ヘッド２４とライトコイル２５を備えた書込ヘッド２６とからなる磁気ヘッド２７が積層されて埋設された構成となっている。
なお、再生ヘッド及び書込ヘッドの構造自体は通常の構成であるので詳細な説明は省略するが、この２つによって通常の複合型の薄膜磁気ヘッドを構成する。
【００４１】
このヒータ２２、磁気ヘッド２７を設けた部分を図３においては溝部１８，１９として示しており、データの書き込み及び読み込みの際には、ヒータ２２に電力を供給して、ヒータ２２を熱し、その熱による熱膨張により磁気ヘッド２７の周辺を突き出す。
【００４２】
図５参照  
図５は、磁気ヘッドスライダの接触状態の説明図であり、上段図に示すように、ヒータ２２に電力を加えないと、磁気ヘッドスライダは最流出側後端のＡｌ2 Ｏ3 膜２１の端部のアルミナエッジ２８でディスク３５と接触する。
【００４３】
また、中段図に示すように、ヒータ２２を熱すると、ヒータ２２の周辺部３０が盛り上がり、最流出側パッド１６のエッジのＡｌＴｉＣ端２９とディスク３５が接触し、さらに、ある程度以上の熱を与えると、下段図に示すようにヒータ２２の周辺部３０が大きく盛り上がって、ヒータ２２とディスク３５が接触しやすくなる。
【００４４】
図６参照  
図６は、ヒータに電力を供給して磁気ヘッド部を突き出した時の形状分布を示す図であり、ここでは、最大１６ｎｍ突き出させた時の形状分布を示している。
図に示すように、ヒータ２２を設け溝部１８が最も隆起し、最流出側パッド１６も３〜１１ｎｍ程度盛り上がり、特に、最流出端部においては１１ｎｍ程度の盛り上がることが確認された。
【００４５】
図７参照  
図７は、減圧解析結果の説明図であり、上段図は最大突出し量が０ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示しており、中段図は最大突出し量が４ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示しており、また、最大突出し量が８ｎｍの場合のＡｌＴｉＣ端の浮上量の気圧依存性を示している。
なお、図における実線は１０１ｋＰａから２５ｋＰａへ減圧した場合の特性を示し、破線は２５ｋＰａから１０１ｋＰａに戻した場合の特性を示している。
また、ここでは、解析を簡単にするために、溝部１８と溝部１９とを同じ高さにしている。
【００４６】
上段図に示すように、突出し量が０ｎｍ場合、最流出側パッド１６のクラウンはゼロで、突き出しがないため、アルミナエッジ２８で接触を起こし、そのため、テイクオフが安定するのが７５ｋＰａとなり、従来と同様に安定動作が困難になる。
【００４７】
また、中段図に示すように、突出し量が４ｎｍの場合、突き出しでアルミナエッジ２８が丸みを帯びて、最流出側パッド１６のエッジのＡｌＴｉＣ端２９でディスク３５と接触するが、最流出側パッド１６の平面形状を長手方向に伸びた略三角形形状にして磁気ヘッドスライダ１０の姿勢、即ち、ロール、ピッチ、浮上の各姿勢の影響を受けにくい構造となっているため、テイクオフに振動が発生せず、安定な浮上が可能になる。
【００４８】
即ち、図３に示すように、最流出側パッド１６が斜辺を持つことによって、風の流れに対して、最流出側パッド１６の壁面が垂直にならず、急激な圧力を発生せず、また、斜辺を持つことで流れに淀みが発生せず、淀みや圧力変化に対して改善されているため、テイクオフ時の振動が発生しにくくなっているためと考えられる。
【００４９】
また、最流出側パッド１６は長手方向に伸びて圧力発生位置がディスク接触位置より遠くにあるとともに、風の流れに対して斜辺は垂直になっていないため、急激な圧力を発生せず、そのため、スライダの姿勢変化による圧力の変化が小さくなる。
【００５０】
さらに、最流出側パッド１６もディスク３５に接近するので、最流出側パッド１６にも分子間力などの吸引力が働くが、斜辺を持つ構造にして分子間力等の吸引力を受ける面積を小さくしているので、分子間力等の吸引力の影響が小さくない、この点からもテイクオフ時の振動が発生しにくくなっている。
【００５１】
また、最流出側パッド１６は少なくとも１つの斜辺を持つため、溝１８にごみや潤滑剤が付着しにくい構造となっているので、この点からもスライダの姿勢変化を受けにくい構造となっている。
【００５２】
なお、下段図に示すように、突出し量が８ｎｍの場合は従来と同様に、ＡｌＴｉＣ端２９よりも溝部１８に設けたヒータ２２が出っ張ってディスク３５と接触し、最流出側パッド１６はディスク３５より離れるので、最流出側パッド１６の影響を受けない。
ヒータ２２の加熱による熱膨張によって突き出した部分は非常に小さい面積なので、分子間力等の吸引力の影響も受けず、そのため、テイクオフ時に振動が発生しない。
【００５３】
このように、本発明の実施例１においては、最流出側パッド１６の平面形状を少なくとも１つの斜辺を持つ形状として、テイクオフ時にスライダの姿勢が変化して圧力の変化を受ける際に、圧力変化が受けにくい構造にしているので、テイクオフ時の振動を小さくすることが可能となる。
【００５４】
また、振動を小さくすることで、安定に浮上する領域が広くなり、より低い浮上を行うことができる。
また、少ない突き出しでも安定な浮上が得られるため、突き出しに必要なヒータの電力を低減することができる。
【実施例２】
【００５５】
次に、図８を参照して、本発明の実施例２の磁気ディスク装置を説明する。
図８参照  
図８は、本発明の実施例２の磁気ディスク装置の概念的平面図であり、ディスク３５は、スピンドルモータ３１の回転軸に取り付けられるとともに、ディスククランプリング３２によって固定される。
【００５６】
また、ヘッドアーム３３の先端部にはサスペンション３４を介して上記の実施例１の磁気センサを備えた磁気ヘッドスライダ１０が取付けられており、ディスク３５の放射方向にシーク動作を行う。
【００５７】
以上、本発明の実施例を説明してきたが、本発明は実施例に記載した条件・構成に限られるものではなく、各種の変更が可能であり、例えば、実施例においては、サイドパッドを設けていないが、サイドパッドを設けても良いものである。
【００５８】
また、上記の実施例においては、最流出側パッドの平面形状を略三角形状にしているが、例えば、図３におけるα1 を０°として斜辺を有する四角形状にしても良く、さらには、五角形状でも良く、いずれにしても、少なくとも１つの斜辺を持つ形状であれば良い。
【００５９】
また、上記の実施例においては、頂角の部分に曲率を持たせているが、曲率は必ずしも必須のものではなく、尖頭状のままでも良いものである。
【００６０】
また、上記の実施例においては、ヒータをＡｌＴｉＣ基板の後端面と磁気ヘッドとの間に設けているが、磁気ヘッドの上（即ち、図３において磁気ヘッドの右側）に設けても良いものである。
【００６１】
ここで、再び図１を参照して、本発明の詳細な特徴を改めて説明する。
再び図１参照  
（付記１）  流入端側に設けられて正圧を発生させる第１のパッド２と、流出端側に設けられて正圧を発生させる第２のパッド３と、前記第２のパッド３の流出側の後方に設けられた第３のパッド４とを少なくとも備えるとともに、前記第３のパッド４の流出側の後部に磁気ヘッド６を備えた磁気ヘッドスライダであって、上記第３のパッド４が平面形状において少なくとも１つの斜辺を有することを特徴とする磁気ヘッドスライダ。
（付記２）  上記第３のパッド４の平面形状が略三角形形状であり、且つ、前記略三角形形状の一辺がスライダ長手方向に対して垂直になることを特徴とする付記１記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記３）  上記第３のパッド４の角部５が、１μｍ以上の曲率を有することを特徴とする付記１または２に記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記４）  上記第３のパッド４の斜辺が、スキュー角度に対して垂直以下になることを特徴とする付記１乃至３のいずれか１に記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記５）  上記第３のパッド４の流出側の後部に加熱手段７を備えていることを特徴とする付記１乃至４のいずれか１に記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記６）  上記加熱手段７を、スライダ本体部１の流出側後端面と磁気ヘッドとの間に設けたことを特徴とする付記５記載の磁気ヘッドスライダ。
（付記７）  付記１乃至６のいずれか１に記載の磁気ヘッドスライダを搭載したことを特徴とする磁気ディスク装置。
【産業上の利用可能性】
【００６２】
本発明の活用例としては、再生ヘッドと書込ヘッドとを備えた複合型薄膜磁気ヘッドを搭載したスライダが典型的なものであるが、再生ヘッドのみを搭載したスライダ或いは書込ヘッドのみを搭載したスライダ（なお、この場合には、書込ヘッドが再生ヘッドを兼ねる）にも摘要されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明の原理的構成の説明図である。
【図２】本発明の実施例１の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面の概略的平面図である。
【図３】最流出側パッド近傍の説明図である。
【図４】スライダ本体部の流出側端部近傍の概略的断面図である。
【図５】磁気ヘッドスライダの接触状態の説明図である。
【図６】ヒータに電力を供給して磁気ヘッド部を突き出した時の形状分布を示す図である。
【図７】減圧解析結果の説明図である。
【図８】本発明の実施例２の磁気ディスク装置の概念的平面図である。
【図９】従来の磁気ヘッドスライダのＡＢＳ面の概略的平面図である。
【図１０】ヒータに電力を供給して磁気ヘッド部を突き出した時の形状分布を示す図である。
【図１１】突出し量が４ｎｍの場合の磁気ヘッドスライダの姿勢の説明図である。
【図１２】減圧解析結果の説明図である。
【図１３】最流出側パッド近傍における気流の説明図である。
【符号の説明】
【００６４】
１  スライダ本体部
２  第１のパッド
３  第２のパッド
４  第３のパッド
５  角部
６  磁気ヘッド
７  加熱手段
１０  磁気ヘッドスライダ
１１  スライダ本体部
１２  ステップ部
１３  正圧パッド
１４  センターパッド
１５  溝部
１６  最流出側パッド
１７  深溝部
１８  溝部
１９  溝部
２０  ＳＦパッド
２１  Ａｌ2 Ｏ3 膜
２２  ヒータ
２３  ＭＲ素子
２４  再生ヘッド
２５  ライトコイル
２６  書込ヘッド
２７  磁気ヘッド
２８  アルミナエッジ
２９  ＡｌＴｉＣ端
３０  周辺部
３１  スピンドルモータ
３２  ディスククランプリング
３３  ヘッドアーム
３４  サスペンション
３５  ディスク
４０  磁気ヘッドスライダ
４１  スライダ本体部
４２  ステップ部
４３  正圧パッド
４４  センターパッド
４５  溝部
４６  最流出側パッド
４７  深溝部
４８  溝部
４９  溝部
５０  ヒータ
５１  アルミナエッジ
５２  気流
５３  淀み点
５４  ＡｌＴｉＣ端
６０  ディスク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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