(57)【要約】【課題】複数の測定対象について一度に漏れを測定できるようにすること。【解決手段】流量計積層体１０は、複数の流量計本体１００を積層化することにより、一体的に構成される。各流量計本体１００は、大径部１２１及び小径部１２２を備えたピストン１２０と、ピストン１２０を摺動可能に収容するシリンダケース１１０と、ストロークセンサ１６０等を備える。切替弁４０が位置（ａ）になると、ポンプ２０からの圧油が第１室１４０に流入し、ピストン１２０が上方に変位する。これにより、第２室１５０で加圧された圧油は、測定対象ポート９１に供給される。ストロークセンサ１６０は、測定対象ポート９１での漏れ量に応じて移動するピストン１２０の変位を検出し、制御部５０に出力する。積層体１０を構成する複数の流量計本体１００により、一度に複数の測定対象を測定することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の流量計本体（１００）と、
前記各流量計本体へ圧油を供給する油圧源（２０）と、
前記油圧源から前記各流量計本体に供給される圧油を所定圧に調整するための圧力調整手段（３０）と、
前記圧力調整手段によって所定圧に調整された圧油を、前記各流量計本体内にそれぞれ設けられた第１室（１４０）または第２室（１５０）のいずれか一方に供給させるための切替弁（４０）と、
前記切替弁と前記各第２室との間に設けられ、前記切替弁から前記各第２室への圧油の流入を許可し、逆向きの流れを遮断するチェック弁（８４）と、
を備え、
前記各流量計本体（１００）は、
前記第１室（１４０）及び該第１室よりも小径に形成される前記第２室（１５０）が設けられたシリンダケース（１１０）と、
前記第１室に配置される大径部（１２１）及び前記第２室に配置される小径部（１２２）を備え、前記シリンダケース（１１０）内に摺動可能に設けられたピストン（１２０）と、
前記ピストンの摺動方向の変位を計測して出力する変位量検出手段（１６０）と、
前記第２室を漏れの測定対象物（９０）に連通させる油路（８２）と、
を備えており、
前記切替弁は、前記測定対象物の漏れを測定する場合には、前記油圧源と前記各第１室とを連通させ、前記漏れ測定が終了した場合には、前記各第１室をタンク（６０）に連通させると共に前記各第２室と前記油圧源とを連通させるように動作し、かつ、
前記複数の流量計本体を積層して構成することを特徴とする漏れ流量計。
【請求項２】
前記各流量計本体のシリンダケース（１１０）には、隣接する他の流量計本体と積層するための連結部（１１２）が設けられている請求項１に記載の漏れ流量計。
【請求項３】
前記小径部の外周側と前記第２室の周面との間に、前記第２室内の圧油が前記第１室内に流入するのを防止するためのシール部材を設けた請求項１に記載の漏れ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、油圧機器等の漏れ測定に使用可能な漏れ流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
油圧弁等の油圧機器の性能を測定したり、油圧系統のポンプロスを測定等するために、漏れ流量計が使用される。漏れ流量計としては、油圧モータ式やシリンダ式のものが知られている。油圧モータ式の漏れ流量計は、測定対象物に存在する微少な圧油の漏れによって油圧モータを回転させ、この回転量に基づいて漏れ量を測定する。シリンダ式の漏れ流量計は、シリンダによって測定対象物に液体を送り込み、漏れに応じたピストンの変位に基づいて漏れ量を測定する（特許文献１）。
【特許文献１】特開平１１−１３２８９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
前記文献に記載の従来技術では、装置にワークをセットした後、空圧によって液体を加圧し、この加圧した液体をワーク内に送り込む。そして、ワーク内の圧力が所定値を維持するように液体の加圧を続けて、ピストンロッドの変位量を検出し、ワークからの漏れ量を検出する。そして、他のワークの漏れ測定を行う場合は、測定済のワーク内から液体を抜いてから取り外し、新たなワークを装置にセットして前記のプロセスを繰り返す。
【０００４】
このように、前記文献に記載の従来技術では、装置構造が複雑であるため、小型化するのが難しい。また、この従来技術では、一回の測定作業で一つの測定対象物のみを検査可能であるため、測定対象物が多い場合や、一つの測定対象物内に多数の測定ポイントが存在するような場合、あるいは、複数の測定ポイントのそれぞれに対して異なる圧力をかける必要がある場合には、測定作業の効率が大幅に低下する。
【０００５】
そこで、本発明の目的は、測定作業の効率を改善できるようにした漏れ流量計を提供することにある。本発明の他の目的は、高精度の測定を効率的に行うことができるようにした漏れ流量計を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に従う漏れ流量計は、複数の流量計本体と、各流量計本体へ圧油を供給する油圧源と、油圧源から各流量計本体に供給される圧油を所定圧に調整するための圧力調整手段と、圧力調整手段によって所定圧に調整された圧油を、各流量計本体内にそれぞれ設けられた第１室または第２室のいずれか一方に供給させるための切替弁と、切替弁と各第２室との間に設けられ、切替弁から各第２室への圧油の流入を許可し、逆向きの流れを遮断するチェック弁とを備える。そして、各流量計本体は、第１室及び該第１室よりも小径に形成される第２室が設けられたシリンダケースと、第１室に配置される大径部及び第２室に配置される小径部を備え、シリンダケース内に摺動可能に設けられたピストンと、ピストンの摺動方向の変位を計測して出力する変位量検出手段と、第２室を油漏れの測定対象物に連通させる油路と、を備えている。切替弁は、測定対象物の漏れを測定する場合には、油圧源と各第１室とを連通させ、漏れ測定が終了した場合には、各第１室をタンクに連通させると共に各第２室と油圧源とを連通させるように動作する。さらに、複数の流量計本体を積層して構成する。
【０００７】
これにより、流量計本体を積層化して構成するため、一回の測定作業で複数の測定点について漏れを測定することができ、作業効率が向上する。また、第１室と第２室の面積比を調整するだけで、複数種類の圧力を得ることができるため、流量計本体を積層化することにより、一回の測定作業で種々の圧力による漏れ測定を行うことができる。
【０００８】
一つの実施形態では、各流量計本体のシリンダケースには、隣接する他の流量計本体と積層するための連結部が設けられている。この連結部により、比較的容易な組み立て作業で、各流量計本体を連結させて一体的に連設することができ、この結果、全体サイズを小型化することができる。
【０００９】
一つの実施形態では、小径部の外周側と第２室の周面との間に、第２室内の圧油が第１室内に流入するのを防止するためのシール部材を設けている。これにより、第２室内の圧油が第１室内に漏れるのを防止することができる。従って、チェック弁と相まって、測定誤差の原因となる漏れを抑制し、より高精度に漏れ測定を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１は、漏れ流量計の全体構成を示す説明図である。漏れ流量計は、例えば、複数の流量計本体１００等を連設してなる流量計積層体１０と、油圧ポンプ２０と、圧力調節弁３０と、切替弁４０と、制御部５０と、タンク６０等を備えて構成される。
【００１１】
流量計積層体１０は、複数の流量計本体１００を一体的に連結することにより、構成される。各流量計本体１００は、例えば、シリンダケース１１０と、ピストン１２０と、ピストン１２０によってシリンダケース１１０内に画成される第１室１４０及び第２室１５０と、ピストン１２０の軸方向の変位を検出するストロークセンサ１６０と、各油路７２，８３等をそれぞれ備えて構成される。流量計本体１００の具体例は、図２，図７と共に後述する。
図１では、第１の流量計本体１００（１）は、第１の測定対象ポート９１（１）に対応し、第２の流量計本体１００（２）は、第２の測定対象ポート９１（２）に対応する。なお、流量計積層体１０を構成する流量計本体１００の数は２個に限られない。
【００１２】
ピストン１２０は、図中下側に位置する大径部１２１と、大径部１２１の上側に一体的に設けられ、大径部１２１よりも小径に形成された小径部１２２とから、段付円柱状（または段付円筒状）に形成されている。
【００１３】
シリンダケース１１０には、その下側に位置する大径な第１室１４０と、第１室１４０の上側に位置して第１室１４０よりも小径に形成された第２室１５０とが、それぞれ形成されている。ピストン１２０は、大径部１２１が第１室１４０内に位置し、小径部１２２が第２室１５０内に位置するようにして、シリンダケース１１０内に摺動可能に設けられている。
【００１４】
第１室１４０には、第１内部油路７２が連通している。また、第２室１５０には、第２内部油路８３及び測定用油路８２がそれぞれ連通している。そして、第２内部油路８３の途中には、チェック弁８４が設けられている。第１内部油路７２は、切替弁４０を介して、第１室１４０と油圧ポンプ２０とを連通させるものである。第２内部油路８３は、チェック弁８４及び切替弁４０を介して、第２室１５０と油圧ポンプ２０とを連通させるものである。これら各内部油路７２，８３は、例えば、各シリンダケース１１０に形成された穴部を油路として連結することにより構成される。
【００１５】
測定用油路８２は、その一部がシリンダケース１１０内に形成され、他の一部は、別体の配管として構成されている。測定用油路８２は、第２室１５０と測定対象物９０の測定対象ポート９１とを連通させる。
【００１６】
チェック弁８４は、油圧ポンプ２０から第２室１５０に向かう圧油の流れを許可し、その逆向きの流れ、即ち、第２室１５０からタンク６０側へ向かう圧油の流れを遮断させるものである。チェック弁８４は、図示のように、各内部油路８３毎にそれぞれ設けることもできるし、あるいは、第２内部油路８３と切替弁４０とを連通させる第２配管８１に１個だけ設けることもできる。
【００１７】
ピストン１２０の小径部１２２の上端側には、小径な棒状のロッド１３０の下端側が固定されており、このロッド１３０の上端側は、ストロークセンサ１６０に取り付けられている。ピストン１２０がシリンダケース１１０内を軸方向（図中の上下方向）に移動すると、ピストン１２０に取り付けられたロッド１３０も軸方向に移動する。ストロークセンサ１６０は、ロッド１３０を介して、ピストン１２０の軸方向変位を検出し、この検出した変位量を電気信号として制御部５０に出力する。
【００１８】
油圧ポンプ２０の吐出口は、吐出管路７０を介して、例えば、リリーフ弁として構成される圧力調節弁３０に接続されている。圧力調節弁３０は、油圧ポンプ２０の吐出圧を所定圧に維持させる。
【００１９】
また、油圧ポンプ２０の吐出口は、吐出管路７０を介して、切替弁４０の一方の入力ポートに接続されている。従って、油圧ポンプ２０からの圧油は、圧力調節弁３０によって調圧された状態で、切替弁４０に流入する。
【００２０】
切替弁４０は、例えば、４ポート２位置の方向切替弁として構成される。ここでは、油圧ポンプ２０から第１室１４０への圧油の流れを基準として、図中下側の各ポートを入力ポートと、図中上側の各ポートを出力ポートと呼ぶことにする。
【００２１】
切替弁４０の有する２つの入力ポートのうち、一方の入力ポートは、吐出管路７０を介して油圧ポンプ２０に接続されており、他方の入力ポートには、タンク６０に接続されている。切替弁４０の有する２つの出力ポートのうち、一方の出力ポートは、第１接続管路７１から第１内部油路７２を介して、第１室１４０に接続されており、他方の出力ポートは、第２接続管路８１から第２内部油路８３及びチェック弁８４を介して、第２室１５０に接続されている。
【００２２】
切替弁４０が第１切替位置（ａ）に切り替わっている場合、吐出管路７０と第１接続管路７１とが連通される。これにより、油圧ポンプ２０から吐出され調圧された圧油は、吐出管路７０から第１接続管路７１及び第１内部油路７２を介して、第１室１４０に供給される。これにより、ピストン１２０の大径部１２１の受ける圧力は、小径部１２２の受ける圧力よりも高くなり、ピストン１２０は上方に変位する。ピストン１２０の上方への変位によって第２室１５０の容積が低下し、第２室１５０内の圧油が加圧される。この加圧された圧油は、測定用油路８２を介して、測定対象ポート９１に供給される。このとき、チェック弁８４の弁体は弁座に着座し、第２内部油路８３の途中を遮断する。
【００２３】
測定が終了すると、切替弁４０は、制御部５０からの制御信号によって、第１切替位置（ａ）から第２切替位置（ｂ）に切り替えられる。この制御信号は、電気信号でもよいし、パイロット圧信号でもよい。切替弁４０が第２切替位置（ｂ）に切り替わると、第１接続管路７１とタンク６０とが接続される一方、第２接続管路８１と油圧ポンプ２０とが接続される。これにより、油圧ポンプ２０からの圧油は、吐出管路７０から第２接続管路８１と第２内部油路８３とチェック弁８４とを介して、第２室１５０に供給される。一方、第１室１４０は、第１内部油路７２から第１接続管路７１を介して、タンク６０に連通される。従って、ピストン１２０の小径部１２２の受ける圧力は、大径部１２１の受ける圧力よりも高くなり、ピストン１２０は下方に変位する。この下方への変位により、第１室１５０内の圧油は、タンク６０に戻される。
【００２４】
制御部５０は、例えば、マイクロコンピュータやディスプレイ装置等を備えた電子制御装置として構成される。制御部５０は、切替弁４０及び油圧ポンプ２０に制御信号をそれぞれ出力することにより、切替弁４０の切替と油圧ポンプ２０の作動を制御する。そして、制御部５０は、各ストロークセンサ１６０からの検出信号をそれぞれ取得し、漏れの測定値を出力する。
【００２５】
図２は、流量計本体１００の一つの具体例を示す断面図である。上述のように、流量計本体１００は、例えば、シリンダケース１１０と、ピストン１２０と、ロッド１３０と、第１室１４０と、第２室１５０と、ストロークセンサ１６０と、シール部材１７０，１７１とを備えて構成される。
【００２６】
シリンダケース１１０には、連結ボルト１８１（図３参照）を挿通するためのボルト通し穴１１２が複数設けられている。また、シリンダケース１１０の下側の開口部は、略平板状の蓋部１１１によって液密に施蓋されている。
【００２７】
ピストン１２０の大径部１２１は、第１室１４０内に位置して、摺動可能に設けられている。大径部１２１の外周面側には、シール部材１７０が設けられている。このシール部材１７０は、大径部１２１の外周側と第１室１４０の周面との間の隙間を介して、油が漏れないようにシールするものである。
【００２８】
ピストン１２０の小径部１２２は、小径に形成された第２室１５０内に位置して、摺動可能に設けられている。ピストン１２０の位置状況によっては、小径部１２２が第１室１４０内に侵入する場合もある。小径部１２２の外周面側には、別のシール部材１７１が設けられている。このシール部材１７１は、第２室１５０内の圧油が小径部１２２の外周面と第２室１５０の周面との間の隙間を介して、第１室１４０側に漏れるのを防止するものである。これにより、測定対象のポート９１から、測定用油路８２及び第２室１５０を介して、圧油が漏れるのを防止することができる。従って、チェック弁８４との相乗効果により、より高精度に測定対象ポート９１の漏れ量を測定することができる。
【００２９】
ストロークセンサ１６０は、例えば、センサ本体１６１と、アーム１６２と、スリーブ１６３と、信号線１６４とを備えて構成される。センサ本体１６１は、例えば、ポテンショメータとして構成される。アーム１６２は、センサ本体１６１をロッド１３０に連結し、ロッド１３０の変位を回転運動に変換して伝達する。センサ本体１６１は、アーム１６２の回転位置に応じた電気信号を出力する。この電気信号は、信号線１６４を介して、制御部５０に入力される。
【００３０】
ストロークセンサ１６０は、スリーブ部材１６３を介して、シリンダケース１１０の上側に取り付けられている。スリーブ部材１６３は、円筒状に形成されており、その内部には、ロッド１３０が摺動可能に挿通されている。また、スリーブ部材１６３は、シリンダケース１１０に形成されたネジ穴に締着されており、液密に取り付けられている。なお、ストロークセンサ１６０の構造は、図示のものに限られず、後述のように、別のセンサを用いることもできる。要するに、ピストン１２０の軸方向の変位量を検出することができる構造であればよい。
【００３１】
図３は、流量計積層体１０の側面図である。流量計積層体１０は、例えば、複数の流量計本体１００を一直線に並べて配置し、その両端部にエンドプレート１８０をそれぞれ配置し、各ボルト通し穴１１２に連結ボルト１８１をそれぞれ挿通して連結することにより、これら１００，１８０を一体化して構成される。図４は、流量計積層体１０の上面図である。
【００３２】
図３，図４に示すように、流量計積層体１０は、その目的に応じた数の流量計本体１００から構成可能である。例えば、ｎ（ｎは２以上の自然数）個の測定対象ポート９１について漏れ検査を行う場合、少なくともｎ個の流量計本体１００を連結して流量計積層体１０を構成すればよい。
【００３３】
ｎ＋１個やｎ＋２個等のように、さらに多数の測定対象ポート９１について漏れ検査を行う場合、１個または２個の新たな流量計本体１００をさらに追加して連結することにより、流量計積層体１０の構成を変更させて、対応することができる。逆に、ｎ−１個やｎ−２個等のように、少数の測定対象ポート９１について漏れ検査を行う場合、組み立て済の流量計積層体１０から１個または２個の流量計本体１００を取り外すことにより、流量計積層体１０の構成を変更させて対応することができる。
【００３４】
次に、漏れ流量計の動作について説明する。まず最初に、図５の説明図を参照し、各流量計本体１００の動作を説明する。図５（ａ）は、測定開始前の状態を示す。第１室１４０と油圧ポンプ２０、第２室１５０と測定対象物９０の測定対象ポート９１は、それぞれ接続されている。
【００３５】
ここで、大径部１２１の横断面積Ａ１と、小径部１２２の横断面積Ａ２（より正確には、小径部１２２の横断面積からロッド１３０の横断面積を差し引いた値）との比α（α＝Ａ１／Ａ２）が、流量計本体１００における加圧倍率となる。例えば、調圧後のポンプ圧をＰｐとすると、第２室１５０から出力される圧油の圧力Ｐｒ２は、Ｐｐ×Ａ１／Ａ２となる。従って、大径部１２１と小径部１２２の寸法を適宜設定することにより、所望の測定用圧力を得ることができる。
【００３６】
そして、第１室１４０を取り囲むシリンダケース１１０の壁厚ｄ１は、主として油圧ポンプ２０からの最大吐出圧によって定まる。第２室１５０を取り囲むシリンダケース１１０の壁厚ｄ２は、上述の通り、加圧倍率αによって定まる。測定用圧力を小さく設定する場合は、加圧倍率αが小さくなるため、Ａ２の値が大きくなる。従って、第２室１５０の壁厚ｄ２も小さくなり、薄肉となる。これとは逆に、測定用圧力を大きく設定する場合は、加圧倍率αも大きくなり、Ａ２の値が小さくなる。従って、第２室１５０の壁厚ｄ２は大きくなり、厚肉となる。このように、本実施例では、より高い測定用圧力を得ようとするほど、高圧となる第２室１５０の壁厚ｄ２は必然的に厚くなり、高圧測定の安全性を向上させることができる。
【００３７】
図５（ｂ）は、漏れ測定を行っている状態を示す。油圧ポンプ２０からの圧油が第１室１４０に供給されると、ピストン１２０が上方に変位し、機械的に定まる加圧倍率αに従って、第２室１５０内の圧力が上昇する。この加圧された測定用の圧力は、測定対象ポート９１に入力される。測定対象ポート９１に漏れが生じていない場合、ピストン１２０の上昇は所定位置で停止する。測定対象ポート９１に漏れが生じている場合、漏れの分量に応じて、ピストン１２０は所定位置から徐々に上昇する。従って、所定位置からの上昇分ΔＬをストロークセンサ１６０で測定することにより、漏れた圧油の流量を測定することができる。この漏れ流量ΔＱは、Ａ２と上昇変位量ΔＬとの積として算出される（ΔＱ＝Ａ２×ΔＬ）。
なお、第１室１４０の上部には、大径部１２１の上面とシリンダケース１１０との間に画成される室１４１が形成されている。この室１４１は、ピストン１２０が上方に変位すると容積が減少し、ピストン１２０が下方に変位すると容積が増大する。
【００３８】
図５（ｃ）は、漏れ測定を終了した状態を示す。この場合は、切替弁４０を位置（ａ）から位置（ｂ）に切り替えることにより、第２室１５０に油圧ポンプ２０からの圧油を導くと共に、第１室１４０をタンク６０に連通させる。これにより、第１室１４０内の圧油はタンク６０に戻され、ピストン１２０は初期位置に復帰する。以上が各流量計本体１００の個別動作である。
【００３９】
図６は、漏れ流量計の全体動作を示す模式図である。まず、ユーザは、流量計積層体１０と測定対象物９０の各測定対象ポート９１とを、測定用油路８２を介してそれぞれ接続させる。これで、漏れ測定のためのセット作業が完了する。ここで、流量計積層体１０は、測定用圧力がＰ１〜Ｐ１０にそれぞれ予め設定された複数の流量計本体１００を積層化することにより構成されている。即ち、各流量計本体１００の加圧倍率α１〜α１０は、それぞれに対応する測定対象ポート９１の漏れ測定用に事前に設定されている。そして、ユーザは、例えば、制御部５０に接続された手動ボタン等を操作することにより、測定開始を制御部５０に指示する。
【００４０】
制御部５０は、ユーザからの測定開始指示を確認すると（Ｓ１）、油圧ポンプ２０を作動させて（測定開始指示を受領する前から作動させてもよい）、油圧ポンプ２０からの圧油を各流量計本体１００にそれぞれ供給させる（Ｓ２）。これにより、図５と共に述べたように、各ピストン１２０は、測定対象ポート９１の漏れ量に応じて、それぞれ上方に変位する。各ストロークセンサ１６０は、ピストン１２０の変位量を電気的に検出し、この検出した変位量を信号線１６４を介して、制御部５０にそれぞれ出力する。
【００４１】
制御部５０は、各ストロークセンサ１６０から出力された検出信号を取得すると（Ｓ３）、各測定対象ポート９１毎に、及び／または、測定対象物９０の全体として、漏れ量を解析する（Ｓ４）。制御部５０は、この解析結果をディスプレイ５１に画面表示させたり、記憶部５２に保存させる（Ｓ５）。そして、制御部５０は、次の測定に備えてリセットを指示する（Ｓ６）。即ち、切替弁４０の位置を切り替えさせて、第１室１４０内の圧油を排出させ、ピストン１２０を初期位置に復帰させる。
【００４２】
同一の測定対象物９０について、上述のステップＳ１〜Ｓ６を繰り返すことにより、漏れ測定を複数回連続的に行うことができる。また、別の測定対象物９０について漏れ測定を行う場合は、前回の測定対象物９０を取り外した後、別の測定対象物９０を流量計積層体１０に接続し、Ｓ１〜Ｓ６のステップを実行させる。
【００４３】
図７は、ストロークセンサの別の例を示す断面図である。この例では、ポテンショメータに代えて、高精度のストロークセンサ２００を用いることもできる。このストロークセンサ２００は、例えば、ホール素子等のような磁力を電気信号に変換する磁電変換素子を用い、ロッド１３０に取り付けられた永久磁石の位置を検出する。検出された位置は、電気信号として、信号線２０１から出力される。
【００４４】
本実施例は、上述のように構成されるため、以下の効果を奏する。本実施例では、複数の流量計本体１００を積層化して流量計積層体１０を構成する。従って、全体サイズを小型化することができ、また、複数の測定対象について同時に漏れを測定することができ、測定作業の効率が向上する。
【００４５】
本実施例では、ピストン１２０の段差形状を設定することにより、所望の測定用圧力を得られる構成とした。従って、複数の測定対象の測定用圧力がそれぞれ異なる場合でも、対応することができる。このため、高圧の油圧ポンプ２０を用いずに、比較的広い圧力範囲で漏れ測定を行うことができ、使い勝手が向上し、流量計のコストも低減する。
【００４６】
本実施例では、シリンダケース１１０にボルト通し穴１１２を形成し、ボルト１８１によって各流量計本体１００を一体化する構成とした。従って、流量計積層体１０を比較的簡単に組み立てることができ、その構成を簡単に変更することができる。
【００４７】
本実施例では、各シリンダケース１１０に各油路７２，８３，８２を構成するための流路をそれぞれ設け、流量計本体１００を積層化したときに、流量計積層体１０の内部に各油路７２，８３，８２を形成させる構成とした。従って、別体の配管等で各流量計本体１００を接続する必要がなく、組立作業や構成変更作業を簡単に行うことができる。
【００４８】
本実施例では、第２室１５０と切替弁４０との間にチェック弁８４を設け、第２室１５０側（測定対象側）からの漏れを防止する構成とした。これにより、スプール弁等を用いる場合に比べて、より確実に漏れを防止でき、測定精度を高めることができる。
【００４９】
本実施例では、小径部１２２の外周側にシール部材１７１を設ける構成とした。従って、チェック弁８４及びシール部材１７１の相乗効果により、第２室１５０側（測定対象側）の圧油漏れを防止して、測定精度を高めることができる。
【００５０】
なお、本発明は、上述した実施の形態に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施形態に係る漏れ流量計の全体構成説明図。
【図２】流量計本体の断面図。
【図３】流量計積層体の側面図。
【図４】流量計積層体の上面図。
【図５】流量計本体の作動を示す模式図。
【図６】一度に複数の測定対象について漏れを測定する様子を示すブロック図。
【図７】他の方式のストロークセンサを備えた流量計本体の断面図。
【符号の説明】
【００５２】
１０…流量計積層体、２０…油圧ポンプ、３０…圧力調節弁、４０…切替弁、５０…制御部、５１…ディスプレイ、５２…記憶部、６０…タンク、７０…吐出管路、７１…第１接続管路、７２…第１内部油路、８１…第２接続管路、８２…測定用油路、８３第２内部油路、８４…チェック弁、９０…測定対象物、９１…測定対象ポート、１００…流量計本体、１１０…シリンダケース、１１１…蓋部、１１２…ボルト通し穴、１２０…ピストン、１２１…大径部、１２２…小径部、１３０…ロッド、１４０…第１室、１５０…第２室、１６０…ストロークセンサ、１６１…センサ本体、１６２…アーム、１６３…スリーブ部材、１６４…信号線、１７０，１７１…シール部材、１８０…エンドプレート、１８１…連結ボルト、２００…ストロークセンサ、２０１…信号線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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