(57)【要約】【課題】記録装置で起きる紙ジャム現象によって、電気配線テープが支持板から剥がれたり、電気配線テープの破壊するのを防止する。【解決手段】支持板Ｈ１２０４に溝Ｈ１３０５を設け、記録素子基板Ｈ１１００周囲の封止剤Ｈ１３０７を電気配線テープＨ１３００の角部まで導入、封止する。【選択図】図１
2007320230.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する吐出口群を具備する記録素子基板と、記録素子基板に電気的に接続される電気配線テープと、前記記録素子基板及び前記電気配線テープをマウント保持固定する支持部材と、前記記録素子基板が前記支持部材と接するための開口部を有する記録素子ユニットを備え、前記記録素子ユニットの電気配線テープと前記支持部材との間に介在することにより、前記電気配線テープを保持固定する支持板を具備し、前記電気配線テープの開口部および前記支持板の開口部と前記記録素子基板の周囲との間に形成される凹部に封止樹脂が充填されるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記凹部と前記支持板に固定される前記電気配線テープの外周に連通する溝を設け、前記支持板に接着固定される電気配線テープの少なくとも外周角部が封止樹脂にて覆われていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
インクを吐出する吐出口群を具備する記録素子基板と、記録素子基板に電気的に接続される電気配線テープと、前記記録素子基板及び前記電気配線テープをマウント保持固定する支持部材と、前記記録素子基板が前記支持部材と接するための開口部を有する記録素子ユニットを備え、前記記録素子ユニットの電気配線テープと前記支持部材との間に介在することにより、前記電気配線テープを保持固定する支持板を具備し、前記電気配線テープの開口部および前記支持板の開口部と前記記録素子基板の周囲との間に形成される凹部と前記支持板に固定される前記電気配線テープの外周に連通する溝を設けられ、前記凹部より、封止樹脂が充填されるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記凹部から前記支持板に固定される前記電気配線テープの少なくとも外周角部へ封止剤を充填することを特徴としたインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録装置に用いるインクジェット記録ヘッド、及び、インクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録メディアに対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を有している。このようなことから、インクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
この種のインクジェット記録装置で用いられるインクジェット記録方式は、代表的な例としては、吐出エネルギー発生素子として電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微少な吐出口から記録液の液滴を吐出させ、記録媒体に対し記録を行うものであって、一般に、液滴を形成する為の吐出ノズルを持つ記録ヘッドと、この記録ヘッドに対して記録液を供給する記録液供給系とから構成されている。電気熱変換素子を用いた液体噴射記録ヘッドは、電気熱変換素子を加圧室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを印加する事により記録液に熱エネルギーを与え、その時の記録液の相変化により生じる記録液の発泡時（沸騰時）の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。
【０００４】
さらに、電気熱変換方式を用いた液体噴射記録ヘッドには、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシューター）のものと、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシューター）のものとがある。最近では、インクジェット記録ヘッドの小型化と同時に多色化、印刷速度の高速化が進み、例えば１つのインクジェット記録ヘッドで、イエロー、マゼンダ、シアン、ブラック等その他複数の色を含め、最大８色の記録液を吐出するものなどが製品化されてきている。
【０００５】
図３は一般的なインクジェット記録装置の外観図、図４は図に示す一般的なインクジェット記録装置の側面断面図を示し、図５は、一般的なインクジェット記録装置の概略構成図である。
【０００６】
このインクジェット記録装置は、記録シートを一枚ずつ給紙する給紙部、この給紙部から給紙された記録シートを記録部へ搬送する搬送部、この搬送部によって搬送された記録シートにインクを吐出して記録を行う記録ヘッド２０６よりなる記録部、記録部に搬送された記録シートを装置外へ排出する排出ローラ２０７よりなる排紙部から構成されている。給送部は、複数枚の記録シート２０１が積載された用紙積載部２００と、この用紙積載部２００から記録シート２０１を１枚ずつ分離搬送する給紙ローラ２０２とを有する。搬送部は、給紙ローラ２０２によって分離搬送された記録シート２０１を記録部へ送り込むＬＦローラ２０３と、記録ヘッド２０６と対向配置され、記録ヘッド２０６の記録位置での記録シート２０１の位置を規定するプラテン２０４とを有する。記録ヘッド２０６は、複数のノズルが記録シート２０１の搬送方向に沿って設けられたノズル列を有し、各ノズルからインクが吐出されるようになっている。
【０００７】
上記のインクジェット記録装置では、給紙ローラ２０２が回転することで、用紙積載部２００から記録シート２０１が１枚ずつ送り出される。この送り出された記録シート２０１は、ＬＦローラ２０３に到達し、そこでシート先端方向が揃えられた後に、ＬＦローラ２０３によってプラテン２０４上に送り出される。プラテン２０４上に送り出された記録シート２０１の先端が所定の位置にくると、記録ヘッド２０６による記録が開始される。記録ヘッド２０６による記録が行われた記録シート２０１は、排出ローラ２０７に到達し、この排出ローラ２０７によって装置外へ排出される。通常の記録では、記録シート２０１のふち（先端及び後端を含む４辺）に余白が設けられるが、最近では、フィルムに記録した画像のプリントサービスで一般的に行われている全辺余白なしプリントのように、余白をなくして記録を行うことも可能な記録装置が現在では主流となっている。
【０００８】
図８は一般的な電気熱変換素子が配列され液滴を吐出させる機能を有する記録素子基板を示す図であり、同図（ａ）はその平面図、（ｂ）は底面図、（ｃ）は側面図である。
【０００９】
図８に示すように、記録素子基板Ｈ１１００にはその裏面から記録液を供給するための貫通穴（記録液供給口）Ｈ１１０１が形成され、表面には記録液に吐出エネルギーを付与するための電気熱変換素子（不図示）が貫通穴Ｈ１１０１の両側にそれぞれ複数配列され、また、基板Ｈ１１００上には複数の吐出口Ｈ１１０３が形成されている。そして、基板Ｈ１１００の表面の両端部には複数の電気熱変換素子にそれぞれ電気的に接続された複数の電極Ｈ１１０２が配されている。
【００１０】
また、図９は図８に示した記録素子基板が設けられた従来のインクジェット記録ヘッドの一構成例を示す図であり、同図（ａ）は外観斜視図、同図（ｂ）は図（ａ）に示すＡ−Ａ線断面の部分拡大図である。
【００１１】
記録素子基板Ｈ１１００に設けられた複数の電極Ｈ１１０２と電気配線テープＨ１３００に設けられた複数のインナーリードとが、例えばＴＡＢ技術等によって電気的に接続されて記録素子ユニットＨ１００２が構成される。
【００１２】
支持部材Ｈ１２００の上面には支持板Ｈ１２０４が接着固定され、さらに支持板Ｈ１２０４の上面には、電気配線テープＨ１３００を成すベースフィルム（不図示）を介して接着固定されている。電気配線テープＨ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００と電気的に接続されている。そして、支持板Ｈ１２０４と記録素子基板Ｈ１１００との間にできる凹部Ｈ１３０５が、記録液による腐食および記録液を介してのショートを防止するために第１の封止樹脂Ｈ１３０７により被覆保護されている。さらに、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０２と電気配線テープＨ１３００のインナーリードとの電気的接続部が第２の封止樹脂Ｈ１３０８により被覆保護されている。
【００１３】
次に前述した第１の封止樹脂の充填方法について説明する。
【００１４】
前記第１の封止樹脂を使用した従来の樹脂封止方法がある（例えば、特許文献１参照。）。この従来技術に開示されたインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板の周囲に設けられる凹部を封止する内容であり、記録素子基板周囲に設けられる凹部へ第１の封止樹脂を充填し、その直後に封止樹脂の温度を室温よりやや高めにし、封止樹脂の粘度を低下させ流動化させることで、封止樹脂をくまなく充填する内容である。
【特許文献１】特開２００１−１３０００１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１５】
しかしながら、このような従来のインクジェット記録ヘッドにおいて、以下のような技術的課題がある。従来の記録素子ユニット製法において、電気配線テープは記録素子と電気接続する前工程で支持板へ熱硬化型エポキシ樹脂接着剤にて接着されるが、その接着剤の塗布方法として、現在は図１０で示す一般的な接着剤転写装置による接着剤転写方式を採用している。図中、ａは接着剤回転ステージ、ｂはスキージ、ｃは、接着剤転写ユニット、ｄは、転写位置決めステージ、ｅは、転写ユニット移載フィンガー、ｆは、接着剤転写部材、ｇは、転写部材固定ブロック、ｈは、転写部材上下フィンガー、ｉは、防護壁上下フィンガーを、それぞれ示している。
【００１６】
生産性の観点から、短時間で接着剤を塗布する方式としては非常に有効な手段であるが従来の記録素子ユニットの構成において、接着剤が塗布された支持板へ電気配線テープを接着した際、接着面全領域における接着剤広がりが不安定であり、特に支持板の外周端部においては接着剤転写の制御が困難となっている。
【００１７】
よって図１１−ａ〜図１１−ｃに示すとおり、接着剤が外周部よりはみ出してしまう場合、そのはみ出した接着剤が電気配線テープと支持部材を加熱圧着するツールに付着し、記録素子ヘッドの汚れ、傷の原因となってしまう。
【００１８】
（以上、接着剤はみ出し現象の作用解説は図１１−ａ〜図１１−ｃに示す。）
＊図１１−ａは、はみ出し現象前の支持部材上、接着剤塗布状態を示す。
＊図１１−ｂは、はみ出し現象による記録素子ユニットの斜視図を示す。
＊図１１−ｃは、図１１−ｂのＡ’−Ａ’断面図にて圧着時の状態を示す。
【００１９】
その一方、図１２に示す通り、接着剤が支持板の外周端部まで達してない場合は電気配線テープと支持板の接着面外周部において、電気配線テープが未接着の状態となり、電気配線テープの浮きが生じてしまう。さらにその状態にある記録ヘッドを背景技術で述べた従来の記録装置に搭載した場合、まれではあるが、搬送部より搬送された記録シートへ記録ヘッドがインクを吐出する記録部のプラテン面において、記録ヘッドのノズル列と対向する全範囲において、搬送ローラによって搬送されてきた記録シートの先端が引っ掛かる現象、いわゆる紙ジャムが発生した場合、記録シートが記録ヘッドの電気配線テープと支持板の界面へ侵入し、電気配線テープの外周角部より捲れる不具合を引き起こしてしまう。その場合、電気配線テープは破壊され、最終的に吐出機能を損なってしまう。
【００２０】
（以上、電気配線テープ捲れ現象の作用解説は図１２−ａ〜図１２−ｃに示す。）
＊図１２−ａは、捲れ現象前の支持部材上、接着剤塗布状態を示す。
＊図１２−ｂは、捲れ現象による記録素子ユニットの斜視図を示す。
＊図１２−ｃは、図１２−ｂのＡ”−Ａ”断面にて紙ジャムによる捲れ状態を示す。
【００２１】
よって、この問題を回避するには、例えとして電気配線テープの周囲封止を行う等が有効な手段であり、また製法としても電気配線テープ周囲より記録素子基板周囲に設けられる凹部へ封止樹脂を充填する内容が公知の技術として公開されている（特開２０００−１７７１３４号公報）。
【００２２】
しかし、近年のインクジェット記録ヘッドはインクの多色化、印刷速度の高速化に伴って、記録素子が巨大化する傾向にある。その場合、当然現状のインクジェット記録ヘッドの構成では、記録素子基板の周囲に設けられる凹部も巨大化し、凹部へ大量の封止樹脂を充填しなければならないため、電気配線テープの周囲より封止樹脂を充填していると記録素子基板周囲に設けられる凹部への封止樹脂の充填性に対し、非常に効率が悪く、生産性の低下を引き起こしてしまうことが十分に懸念される。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明は上記課題を達成するために、次の（１）〜（２）のように構成されたインクジェット記録ヘッド、及び、インクジェット記録ヘッドの製造方法を提供するものである。
【００２４】
（１）インクを吐出する吐出口群を具備する記録素子基板と、記録素子基板に電気的に接続される電気配線テープと、前記記録素子基板及び前記電気配線テープをマウント保持固定する支持部材と、前記記録素子基板が前記支持部材と接するための開口部を有する記録素子ユニットを備え、前記記録素子ユニットの電気配線テープと前記支持部材との間に介在することにより、前記電気配線テープを保持固定する支持板を具備し、前記電気配線テープの開口部および前記支持板の開口部と前記記録素子基板の周囲との間に形成される凹部に封止樹脂が充填されるインクジェット記録ヘッドにおいて、前記凹部と前記支持板に固定される前記電気配線テープの外周に連通する溝を設け、前記支持板に接着固定される電気配線テープの少なくとも外周角部が封止樹脂にて覆う。
【００２５】
（２）上記（１）に記載したインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記凹部から前記支持板に固定される前記電気配線テープの少なくとも外周角部へ封止剤を充填することを特徴としたインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の効果】
【００２６】
本発明は、以上に説明した通り、電気配線テープの改良、すなわちベースフィルム材料の耐インク性向上による電気配線テープの改良、及び、電気配線テープ改良時の外周封止充填工程の廃止時において、
記録装置で起きる紙ジャム現象によって、電気配線テープが支持板から捲れることがなく、電気配線テープの破壊、印字機能の低下を発生することがないインクジェット記録ヘッドの提供が可能となる。
【００２７】
また記録素子基板周囲に設けられた凹部と電気配線テープの周囲の間に連通する溝を設けることで、電気配線テープの少なくとも外周角部に封止樹脂を充填することが可能となるインクジェット記録ヘッドの提供が可能となる。
【００２８】
また上記に記載したインクジェット記録ヘッドにおいて、記録素子基板周囲に設けられる凹部への封止樹脂の充填により、電気配線テープの外周も一括で封止樹脂の充填が可能となり、短時間で効率の良いインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下に本発明の実施の形態を、添付図面に基づいて説明する。
【実施例】
【００３０】
図６及び図７において、記録ヘッドＨ１００１は、ヒーター基板の略垂直方向に液滴を吐出するサイドシューター型であるバブルジェット（登録商標）方式の記録ヘッドである。この記録ヘッドＨ１００１は、記録素子ユニットＨ１００２とインク供給ユニットＨ１００３とタンクホルダーＨ２０００から成り、図６の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００２は、第１の記録素子基板Ｈ１１００、支持部材Ｈ１２００、電気配線テープＨ１３００、電気コンタクト基板Ｈ２２００で構成されており、又、インク供給ユニットＨ１００３は、インク供給部材Ｈ１５００、流路形成部材Ｈ１６００、ジョイントゴムＨ２３００、フィルターＨ１７００、シールゴムＨ１８００から構成されている。記録素子ユニットＨ１００２は、記録素子基板の支持部材へのマウント、電気配線テープの積層と記録素子基板との電気接合、該電気接続部等の封止、の順に実装される。
【００３１】
滴の吐出方向に影響するため平面精度を要求される支持部材Ｈ１２００は、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材料で構成されている。支持部材Ｈ１２００には、第１の記録素子基板Ｈ１１００にブラックのインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１と第２の記録素子基板Ｈ１１０１Ａにシアン、マゼンタ、イエローのインクを供給するためのインク供給口１２０１が形成されている。
【００３２】
記録素子基板Ｈ１１００は、記録素子基板をマウントする支持部材Ｈ１２００の表面（図１（ｂ）のマウント部Ｈ１２０３）に位置精度良く接着固定される。
【００３３】
ノズル列Ｈ１１０４を有する記録素子基板Ｈ１１００は、サイドシューター型バブルジェット(登録商標)基板として公知の構造であり、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板にインク流路として長溝状の貫通口から成るインク供給口と、インク供給口を挟んだ両側にそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列された吐出手段であるヒーター列、該ヒーター列に直交する記録素子の辺には前記ヒーターに接続され基板の両外側に接続パッドが配列された電極部を有する。
【００３４】
電気配線テープＨ１３００として、電気配線テープが採用される。電気配線テープは、テープ基材（ベースフィルム）、銅箔配線、カバー層の積層体である。記録素子基板の電極部に対応する２つの辺（接続辺）には、接続端子としてインナーリードが延出し、記録素子基板Ｈ１１００とは熱超音波圧着法によるインナーリードボンディング（ＩＬＢ）にて電気接合される。電気配線テープの積層に設けられた電気配線は、ＩＬＢにより電気接合された記録素子基板へ記録装置から電気コンタクト基板を介して電気信号や電力を供給するためのものであり、そのため電気配線テープＨ１３００における電気配線のレイアウトは電気コンタクト基板端子Ｈ１３０１からインナーリードまで配線パターンがされている。電気配線テープＨ１３００は、カバー層の側を支持板Ｈ１２０４の表面（テープ接着面）に熱硬化型エポキシ樹脂接着層を介して接着固定され、電気配線テープＨ１３００のベースフィルムは、記録素子ユニットＨ１００２のキャッピング部材が当接する平滑なキャッピング面となる。電気配線テープと記録素子基板との電気接合の跡、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護するため、第１の封止剤Ｈ１３０７及び第２の封止剤Ｈ１３０８により封止される。第１の封止剤Ｈ１３０７は、主にマウントされた記録素子基板Ｈ１１００の外周部を封止し、第２の封止剤Ｈ１３０８は、記録素子基板Ｈ１１００と電極配線テープＨ１３００との電気接続部の表側を封止している。
【００３５】
図１は、本発明の実施例におけるインクジェット記録ヘッドの記録素子ユニットＨ１００２を示す図であり、図１（ａ）は組立斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示す記録素子ユニットの分解斜視図である。
【００３６】
また図２は図１（ａ）で示す記録素子ユニットＨ１００２のＡ−Ａ断面の部分拡大図である。
【００３７】
本実施例は、図１及び図２に示すように、記録液を吐出するための記録素子を有する吐出口がそれぞれ複数配列された記録素子基板Ｈ１１００および電気配線テープＨ１３００の開口部および前記支持板Ｈ１２０４の開口部に形成される凹部Ｈ１３０５と電気配線テープＨ１３００の外周１辺との間に連通する溝が設け、記録素子基板Ｈ１１００周囲の凹部Ｈ１３０５に充填する第１の封止剤Ｈ１３０７を溝を利用することで、電気配線テープＨ１３００外周まで封止樹脂を充填し、電気配線テープＨ１３００の外周角部を封止樹脂で覆う構成としている。
【００３８】
また本実施例に用いる封止樹脂としては、例えば、粘度が常温でおよそ５０ポイズであるものの、４０〜６０℃に加熱することにより１５ポイズ以下まで低下する特性を有するものが好ましい。
【００３９】
次に本実施例における製法について簡単に説明する。第１の封止剤Ｈ１３０７を充填する際には、製造装置に載置された記録素子ユニットＨ１００２の支持部材Ｈ１２００を４０〜６０℃にまず加熱し、その状況下において、第１の封止剤Ｈ１３０７を記録素子基板Ｈ１１００の周囲に設けられる凹部Ｈ１３０５へ充填する。それにより記録素子基板Ｈ１１００周囲に設けられる凹部Ｈ１３０５全域に第１の封止剤１３０７が浸透するまで約３〜５分程度であり、電気配線テープＨ１３００外周１辺まで封止樹脂が充填するには約５〜１０分程度となる。第１の封止剤Ｈ１３０７の充填が終了したところで、記録素子ユニットＨ１００２は、熱オーブンに入れられ、封止樹脂の硬化を行う。硬化温度としては１００〜１５０℃で１〜５時間の熱硬化を行う。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】本発明の実施例における記録素子ユニットの組立及び分解斜視図である。
【図２】本発明の実施例における記録素子ユニットの断面図である。
【図３】一般的なインクジェットプリンタの外観図である。
【図４】一般的なインクジェットプリンタの内部構造断面図である。
【図５】一般的なインクジェットプリンタ記録装置の概略構成図である。
【図６】記録素子ユニットの分解斜視図である。
【図７】記録ヘッドの分解斜視図である。
【図８】従来における一般的な記録素子基板を示す図である。
【図９】従来における記録素子ユニットを示す図である。
【図１０】接着剤転写装置の概略図である。
【図１１−ａ】従来における記録素子ユニットの接着剤はみ出し時の作用解説図であって、はみ出し現象前の支持部材上、接着剤塗布状態を示す。
【図１１−ｂ】従来における記録素子ユニットの接着剤はみ出し時の作用解説図であって、はみ出し現象による記録素子ユニットの斜視図を示す。
【図１１−ｃ】従来における記録素子ユニットの接着剤はみ出し時の作用解説図であって、図１１−ｂのＡ’−Ａ’断面図にて圧着時の状態を示す。
【図１２−ａ】従来における記録素子ユニットの電気配線テープ捲れの作用解説図であって、捲れ現象前の支持部材上、接着剤塗布状態を示す。
【図１２−ｂ】従来における記録素子ユニットの電気配線テープ捲れの作用解説図であって、捲れ現象による記録素子ユニットの斜視図を示す。
【図１２−ｃ】従来における記録素子ユニットの電気配線テープ捲れの作用解説図であって、図１２−ｂのＡ”−Ａ”断面にて紙ジャムによる捲れ状態を示す。
【符号の説明】
【００４１】
Ｈ１００１  インクジェット記録ヘッド
Ｈ１００２  記録素子ユニット
Ｈ１００３  インク供給ユニット
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１０１  貫通穴
Ｈ１１０２  電極
Ｈ１１０３  吐出口
Ｈ１１０４  ノズル列
Ｈ１２００  支持部材
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１２０２  電気配線の接着領域
Ｈ１２０３  マウント部
Ｈ１２０４  支持板
Ｈ１３００  電気配線テープ
Ｈ１３０１  電気コンタクト基板端子
Ｈ１３０３  電気配線テープの折り曲げ線（支持部材の外周辺）
Ｈ１３０５  凹部
Ｈ１３０７  第１の封止剤
Ｈ１３０８  第２の封止剤
Ｈ１３０９  第３の封止剤
Ｈ１４００  接着剤
Ｈ１５００  インク供給部材
Ｈ１６００  流路形成部材
Ｈ１７００  フィルター
Ｈ１８００  シールゴム
Ｈ２０００  タンクホルダー
Ｈ２２００  電気コンタクト基板
Ｈ２３００  ジョイントゴム
２００  用紙積載部
２０１  記録シート
２０２  給紙ローラ
２０３  ＬＦローラ
２０４  プラテン
２０６  記録ヘッド
２０７  排出ローラ
【図１】
2007320230.tif 000003
【図２】
2007320230.tif 000004
【図３】
2007320230.tif 000005
【図４】
2007320230.tif 000006
【図５】
2007320230.tif 000007
【図６】
2007320230.tif 000008
【図７】
2007320230.tif 000009
【図８】
2007320230.tif 000010
【図９】
2007320230.tif 000011
【図１０】
2007320230.tif 000012
【図１１−ａ】
2007320230.tif 000013
【図１１−ｂ】
2007320230.tif 000014
【図１１−ｃ】
2007320230.tif 000015
【図１２−ａ】
2007320230.tif 000016
【図１２−ｂ】
2007320230.tif 000017
【図１２−ｃ】
2007320230.tif 000018