(57)【要約】【課題】マガジンを搭載数を向上しつつ、マガジンのセットを容易にすることができるボンディング装置を提供する。【解決手段】供給工程にてローダーユニット６１のマガジン７１を上部ハンド１１２で取り出し、リードフレームをパスラインへ移動してボンディングユニットへ押し出す。総てのリードフレームの供給を終えたマガジン７１をバッファーユニット６２に移動する。回収工程にてバッファーユニット６２のマガジン７１を下部ハンド１１３で取り出してリードフレーム収容部をパスライン３２へ移動し、ボンディング後のリードフレームをリードフレーム収容部に収容する。総てのリードフレーム収容部にリードフレームを回収した際には、マガジン７１をアンローダーユニット６３に移動し、バッファーユニット６２のマガジン７１をリードフレームの回収用として使用する。【選択図】図２
2007134529.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットと、該ボンディングユニットの一側部に配置されたマガジンユニットとを備えたボンディング装置において、
前記マガジンユニットに、ボンディングが行われるリードフレームを収容したマガジンが配置されるローダーユニットと、前記マガジンが一時的に配置されるバッファーユニットと、ボンディングが行われたリードフレームを回収したマガジンが配置されるアンローダーユニットとを上下に配置し、
前記ローダーユニットに投入されたマガジンを前記ボンデングユニットへの前記リードフレームの供給位置に合わせて昇降するとともに、前記アンローダーユニットに移動されるマガジンを、前記ボンデングユニットから排出された前記リードフレームの回収位置に合わせて昇降するエレベーションを前記マガジンユニットの奥側に配置する一方、
前記エレベーションは、前記ローダーユニットからのマガジンに収容された前記リードフレームの供給を終えた際に、当該マガジンを前記バッファーユニットに移動するとともに、前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収を終えたマガジンを前記アンローダーユニットへ移動した際に、前記バッファーユニットに配置されたマガジンを前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収に使用することを特徴としたボンディング装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、短冊状のリードフレームにチップをボンディングする際には、図３に示すように、ボンディング装置８０１が用いられている。
【０００３】
このボンディング装置８０１は、ボンディングを行うボンディングユニット８１１を中心に構成されている。該ボンディングユニット８１１の上流側には、リードフレーム８１２を供給するローダーユニット８１３が設けられており、該ローダーユニット８１３は、前記リードフレーム８１２を収容した供給マガジン８１４を保持するマガジンローダー８１５を備えている。
【０００４】
また、前記ボンディングユニット８１１の下流側には、アンローダーユニット８５１が設けられている。該アンローダーユニット８５１は、前記リードフレーム８１２を上下に離間して収容する回収マガジン８５２を備えており、前記ボンディングユニット８１１から排出されたリードフレーム８１２を前記収容マガジン８５２に順次収容できるように構成されている。
【０００５】
このボンディング装置８０１にあっては、ボンデングユニット８１１の上流側にローダーユニット８１３が設けられており、前記ボンデングユニット８１１の下流側には、アンローダーユニット８５１が設けられている。このため、装置全体としての幅寸法Ｗ１が大きくなるという問題があった。
【０００６】
これを解決するために、本願出願人において、ボンデングユニット９０１の側部奥側にローダーユニット９０２を設けるとともに、その手前側にアンローダーユニット９０３を設けて、当該ボンディング装置９０４の幅寸法Ｗ２を小さくする構造を提案するに至った。
【０００７】
これにより、当該ボンディング装置９０４でボンディングする際には、図４にも示すように、前記ローダーユニット９０２の投入部９１１に投入された供給マガジン８１４を、エレベーション９１２のハンド９１３でパスラインまで移動することによって、当該供給マガジン８１４に保持されたリードフレーム８１２を前記ボンデングユニット９０１に順次供給できるように構成されている。また、ボンディングが完了したリードフレーム８１２を回収する際には、前記アンローダーユニット９０３の投入部９１５に投入された空の回収マガジン８５２をエレベーション９１２のハンド９１６でパスラインまで移動することによって、前記リードフレーム８１２を当該回収マガジン８５２に回収できるように構成されている。
【０００８】
このとき、前記ローダーユニット９０２において、前記供給マガジン８１４に保持された総てのリードフレーム８１２の供給を完了した際には、空になった前記供給マガジン８１４をエレベーション９１２によって排出部９２１へ移動するとともに、前記アンローダーユニット９０３において、リードフレーム８１２が満載された回収マガジン８５２を前記エレベーション９１２によって排出部９２５へ移動できるように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、このようなボンディング装置９０４にあっては、リードフレーム８１２を出し入れするパスライン位置の都合上、該パスラインより奥側に設置されるローダーユニット９０２の設置スペースが狭くなる。このため、当該ローダーユニット９０２への供給マガジン８１４の搭載数が少なくなってしまう。
【００１０】
また、前記ローダーユニット９０２が奥側に配置されているため、該ローダーユニット９０２に供給マガジン８１４をセットし難かった。
【００１１】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、マガジンを搭載数を向上しつつ、マガジンのセットを容易にすることができるボンディング装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
前記課題を解決するために本発明のボンディング装置にあっては、短冊状のリードフレームにボンディングを行うボンディングユニットと、該ボンディングユニットの一側部に配置されたマガジンユニットとを備えたボンディング装置において、前記マガジンユニットに、ボンディングが行われるリードフレームを収容したマガジンが配置されるローダーユニットと、前記マガジンが一時的に配置されるバッファーユニットと、ボンディングが行われたリードフレームを回収したマガジンが配置されるアンローダーユニットとを上下に配置し、前記ローダーユニットに投入されたマガジンを前記ボンデングユニットへの前記リードフレームの供給位置に合わせて昇降するとともに、前記アンローダーユニットに移動されるマガジンを、前記ボンデングユニットから排出された前記リードフレームの回収位置に合わせて昇降するエレベーションを前記マガジンユニットの奥側に配置する一方、前記エレベーションは、前記ローダーユニットからのマガジンに収容された前記リードフレームの供給を終えた際に、当該マガジンを前記バッファーユニットに移動するとともに、前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収を終えたマガジンを前記アンローダーユニットへ移動した際に、前記バッファーユニットに配置されたマガジンを前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収に使用する。
【００１３】
すなわち、ボンディングユニットの一側部には、リードフレームを収容したマガジンが配置されるローダーユニットと、リードフレームを回収したマガジンが配置されるアンローダーユニットとが上下に配置されたマガジンユニットが設けられている。
【００１４】
このため、ボンデングユニットの上流側にローダーユニットが配置されるとともに、ボンデングユニットの下流側にアンローダーユニットが配置された従来のボンディング装置と比較して、幅寸法を小さくすることができる。
【００１５】
また、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットは上下に配置されており、当該マガジンユニットの奥側には、前記ローダーユニットに投入されたマガジンをリードフレームの供給位置に合わせて昇降するとともに、前記アンローダーユニットに移動されるマガジンをリードフレームの回収位置に合わせて昇降するエレベーションが配置されている。
【００１６】
このため、エレベーションを境にした手前側及び奥側に前記ローダーユニットと前記アンローダーユニットとが分けて配置された従来と比較して、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットの設置スペースが広げられ、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットへのマガジンの搭載数が増大される。
【００１７】
さらに、アンローダーユニットの奥側にエレベーションが設けられ、該エレベーションのさらに奥側にローダーユニットが配置された従来と比較して、ローダーユニットへのマガジンのセット作業を容易に行うことができる。
【００１８】
そして、前記ローダーユニットからのマガジンに収容された前記リードフレームの供給を終えた際には、当該マガジンは、バッファーユニットに移動される。一方、前記ボンディングユニットからのリードフレームの回収を終えたマガジンを前記アンローダーユニットへ移動した際には、前記バッファーユニットに配置されたマガジンが、前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収に使用される。
【００１９】
このため、ローダーユニットに、供給用のリードフレームが収容されたマガジンを投入する為の投入部と、空のマガジンを排出する為の排出部を設けるとともに、アンローダーユニットに、回収用の空のマガジンを投入する為の投入部と、リードフレームを回収したマガジンを排出する為の排出部を設けた従来と比較して、ローダーユニットの排出部から排出された空のマガジンを、アンローダーユニットの投入部へ移動するといった載せ替え作業が不要となる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように本発明のボンディング装置にあっては、ローダーユニットとアンローダーユニットとが上下に配置されたマガジンユニットをボンディングユニットの一側部に配置したため、ボンデングユニットの上流側にローダーユニットが配置されるとともに、ボンデングユニットの下流側にアンローダーユニットが配置された従来のボンディング装置と比較して、幅寸法を小さくすることができる。
【００２１】
したがって、幅方向の設置スペースを小さくすることができる。
【００２２】
また、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットが上下に配置された前記マガジンユニットの奥側に、前記ローダーユニットのマガジン及び前記アンローダーユニットのマガジンを昇降するエレベーションを配置したため、エレベーションを境にした手前側及び奥側に前記ローダーユニットと前記アンローダーユニットとが分けて配置された従来と比較して、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットの設置スペースを広げることができる。これにより、前記ローダーユニット及び前記アンローダーユニットへのマガジンの搭載数を増大することができる。
【００２３】
さらに、アンローダーユニットの奥側にエレベーションが設けられ、該エレベーションのさらに奥側にローダーユニットが配置された従来と比較して、ローダーユニットへのマガジンのセット作業を容易に行うことができる。これにより、作業性の向上を図ることができる。
【００２４】
そして、前記ローダーユニットからのマガジンに収容された前記リードフレームの供給を終えた際に、当該マガジンをバッファーユニットに移動する一方、前記ボンディングユニットからのリードフレームの回収を終えたマガジンを前記アンローダーユニットへ移動する際に、前記バッファーユニットに配置されたマガジンを前記ボンディングユニットからの前記リードフレームの回収に使用することができる。
【００２５】
このため、ローダーユニットに、供給用のリードフレームが収容されたマガジンを投入する為の投入部と、空のマガジンを排出する為の排出部を設けるとともに、アンローダーユニットに、回収用の空のマガジンを投入する為の投入部と、リードフレームを回収したマガジンを排出する為の排出部を設けた従来と比較して、ローダーユニットの排出部から排出された空のマガジンを、アンローダーユニットの投入部へ移動するといった載せ替え作業が不要となる。
【００２６】
これにより、オペレータによる作業効率を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の一実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるボンディング装置１を示す図であり、該ボンディング装置１は、短冊状のリードフレーム２にチップをボンディングする装置である。
【００２８】
このボンディング装置１は、ボンディングを行うボンディングユニット１１を中心に構成されている。該ボンディングユニット１１の手前側には、ウェーハリング１２がセットされるウェーハシートゾーン１３が設定されており、該ウェーハシートゾーン１３の奥側には、ボンディングゾーン１４が設定されている。これにより、当該ボンディング装置１の手前側から監視するオペレータによって前記ウェーハシートゾーン１３の前記ウェーハリング１２を容易に交換できるように構成されている。
【００２９】
このボンディング装置１では、前記ウェーハリング１２のウェーハシート１２ａ上に支持されたチップ２２をピックアップして、前記ボンディングゾーン１４に送られた前記リードフレーム２のボンディングポイントにボンディングするように構成されている。
【００３０】
前記ボンディングゾーン１３の図中右側には、前記リードフレーム２を移動するワーク送り装置２１が設けられており、該ワーク送り装置２１は、前記リードフレーム２を前記ボンディングゾーン１４と待機部３１との間で移動するとともに、当該ボンディングユニット１１の奥側寄りに設定されたパスライン３２を介して、前記リードフレーム２を前記待機部３１とマガジンユニット３３との間で移動できるように構成されている。
【００３１】
前記待機部３１は、前記ボンディングゾーン１４でボンディングされたリードフレーム２を待機させる回収用待機レール４１と、前記ボンディングゾーン１４でボンディングが行われるリードフレーム２を待機させる供給用待機レール４２とを備えており、両待機レール４１，４２は、当該ボンディング装置１の奥行き方向にスライドすることによって選択的に前記ボンディングゾーン１４に位置合わせできるように構成されている。
【００３２】
なお、本実施の形態においては、リードフレーム２を待機させる回収用待機レールを図中の「４１」、ボンディングが行われるリードフレーム２を待機させる供給用待機レールを図中の「４２」とした場合を例に挙げて説明したが、これに限定されるものではなく、リードフレーム２を待機させる回収用待機レールを図中の「４２」とし、ボンディングが行われるリードフレーム２を待機させる供給用待機レールを図中の「４１」としても良い。
【００３３】
このボンデングユニット１１の図中右側には、前記マガジンユニット３３が近接して配置されており、該マガジンユニット３３の図中右側には、プッシャー５１が設けられている。
【００３４】
前記マガジンユニット３３には、図２にも示すように、ローダーユニット６１が設けられており、該ローダーユニット６１の下部には、バッファーユニット６２が設けられている。該バッファーユニット６２の下部には、アンローダーユニット６３が設けられており、当該マガジンユニット３３には、前記ローダーユニット６１と前記バッファーユニット６２と前記アンローダーユニット６３が上下に配置されている。
【００３５】
なお、本実施の形態では、前記マガジンユニット３３の上段を前記ローダーユニット６１とし、下段をアンローダーユニット６３とした場合を例に挙げて説明するが、これに限定されるものではなく、前記マガジンユニット３３の下段を前記ローダーユニット６３とするとともに、上段をアンローダーユニット６１としても良い。
【００３６】
前記ローダーユニット６１は、前記ボンディングユニット１１にてボンディングが行われるリードフレーム２を収容したマガジン７１が配置される投入マガジン載置部７２を備えており、該投入マガジン載置部７２は、前記マガジン７１を当該ボンディング装置１の奥行き方向に並べて配置できるように構成されている。また、このローダーユニット６１は、前記投入マガジン載置部７２に載置されたマガジン７１を、図中右方へ付勢する図外の付勢機構を備えている。
【００３７】
前記バッファーユニット６２は、空のマガジン７１が一時的に配置される空マガジン載置部８１を備えており、該空マガジン載置部８１は、前記マガジン７１を当該ボンディング装置１の奥行き方向に並べて配置できるように構成されている。また、このバッファーユニット６２は、前記空マガジン載置部８１に載置されたマガジン７１を、図中右方へ付勢する図外の付勢機構を備えている。
【００３８】
前記アンローダーユニット６３は、前記ボンディングユニット１１にてボンディングが行われたリードフレーム２を収容したマガジン７１が配置される排出マガジン載置部９１を備えており、該排出マガジン載置部９１は、前記マガジン７１を当該ボンディング装置１の奥行き方向に並べて配置できるように構成されている。また、このアンローダーユニット６３は、前記排出マガジン載置部９１に載置されたマガジン７１を、図中右方へ付勢する図外の付勢機構を備えている。
【００３９】
このマガジンユニット１１の奥側には（図中右方）、エレベーション１０１が配置されており、該エレベーション１０１は、スライドベース１０２に立設された昇降レール１０３を中心に構成されている。前記スライドベース１０２は、当該ボンディング装置１の奥行き方向に延設された図外のスライドレールにスライド自在に支持されており、前記昇降レール１０３を当該ボンディング装置１の奥行き方向へ移動できるように構成されている。
【００４０】
前記昇降レール１０３には、二台の昇降スライダ１１１，１１１がスライド自在に設けられており、上部の昇降スライダ１１１には、前記マガジン７１を上下から挟持して保持する上部ハンド１１２が設けられている。また、下部の昇降スライダ１１１には、前記マガジン７１を上下から挟持して保持する下部ハンド１１３が設けられている。
【００４１】
これにより、前記エレベーション１０１によって、前記ローダーユニット６１に投入されたマガジン７１を、前記ボンデングユニット１１に設定された供給位置である前記パスライン３２の高さ位置まで移動するとともに、前記アンローダーユニット６３に移動されるマガジン７１を、前記ボンデングユニット１１に設定された回収位置である前記パスライン３２の高さ位置まで移動できるように構成されている。
【００４２】
このボンディング装置１において、前記ボンディングユニット１１にリードフレーム２を供給する供給工程では、前記ローダーユニット６１に投入された奥側のマガジン７１を前記上部ハンド１１２によって前記投入マガジン載置部７２から取り出し、前記マガジン７１に収容されたボンディング前のリードフレーム２を前記パスライン３２の高さ位置まで移動する。この状態において、前記マガジン７１に収容されたリードフレーム２を、前記プッシャー５１によって前記ボンディングユニット１１側へ押し出した後、前記マガジン７１を前記パスライン３２から移動するとともに、前記リードフレーム２にチップ２２をボンディングする。
【００４３】
この供給工程を繰り返すことによって、前記上部ハンド１１２で保持されたマガジン７１の総てのリードフレーム２の供給を終えた際には、前記エレベーション１０１によって当該マガジン７１を前記バッファーユニット６２に移動する。
【００４４】
一方、前記ボンディングユニット１１にてボンディングを終えたリードフレーム２を回収する回収工程では、前記バッファーユニット６２に配置されたマガジン７１を前記下部ハンド１１３によって前記空マガジン載置部８１から取り出し、当該マガジン７１のリードフレーム収容部を前記パスライン３２の高さ位置まで移動する。この状態において、前記ワーク送り装置２１によってボンディング後のリードフレーム２を前記マガジン７１のリードフレーム収容部に収容した後、当該マガジン７１を前記パスライン３２から移動する。
【００４５】
この回収工程を繰り返すことによって、前記下部ハンド１１３で保持されたマガジン７１の総てのリードフレーム収容部にリードフレーム２が回収された際には、前記エレベーション１０１によって当該マガジン７１を前記アンローダーユニット６３に移動する。そして、前記バッファーユニット６２に配置された前記マガジン７１を前記下部ハンド１１３によって前記空マガジン載置部８１から取り出すことによって、当該マガジン７１を前記ボンディングユニット１１からの前記リードフレーム２の回収用として使用する。
【００４６】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記ローダーユニット６１と前記アンローダーユニット６３とが上下に配置されたマガジンユニット３３を前記ボンディングユニット１１の右側部に配置したため、ボンデングユニットの上流側にローダーユニットが配置されるとともに、ボンデングユニットの下流側にアンローダーユニットが配置された従来のボンディング装置と比較して、ボンディング装置１の横幅寸法Ｗ３を小さくすることができる。
【００４７】
したがって、横幅方向の設置スペースを小さくすることができる。
【００４８】
また、前記ローダーユニット６１及び前記アンローダーユニット６３が上下に配置された前記マガジンユニット３３の奥側に、前記ローダーユニット６１のマガジン７１及び前記アンローダーユニット６３のマガジン７１を昇降するエレベーション１０１を配置したため、エレベーションを境にした手前側及び奥側に前記ローダーユニットと前記アンローダーユニットとが分けて配置された従来と比較して、前記ローダーユニット６１及び前記アンローダーユニット６３の設置スペースを当該ボンディング装置１の奥行き方向へ広げることができる。これにより、前記ローダーユニット６１及び前記アンローダーユニット６３へのマガジン７１の搭載数を増大することができる。
【００４９】
さらに、前記アンローダーユニットの奥側に前記エレベーションが設けられ、該エレベーションのさらに奥側にローダーユニットが配置された従来と比較して、前記ローダーユニット６１へのマガジン７１のセット作業を容易に行うことができる。これにより、作業性の向上を図ることができる。
【００５０】
そして、前記ローダーユニット６１からのマガジン７１に収容された前記リードフレーム２の供給を終えた際に、当該マガジン７１を前記バッファーユニット６２に移動する一方、前記ボンディングユニット１１からのリードフレーム２の回収を終えたマガジン７１を前記アンローダーユニット６３へ移動する際に、前記バッファーユニット６２に配置されたマガジン７１を前記ボンディングユニット１１からの前記リードフレーム２の回収用として使用することができる。
【００５１】
このため、ローダーユニットに、供給用のリードフレームが収容されたマガジンを投入する為の投入部と、空のマガジンを排出する為の排出部を設けるとともに、アンローダーユニットに、回収用の空のマガジンを投入する為の投入部と、リードフレームを回収したマガジンを排出する為の排出部を設けた従来と比較して、ローダーユニットの排出部から排出された空のマガジンを、アンローダーユニットの投入部へ移動するといった載せ替え作業が不要となる。
【００５２】
これにより、オペレータによる作業効率を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態の要部を示し側面図である。
【図３】従来のボンディング装置を示す平面図である。
【図４】同従来例の側面図である。
【符号の説明】
【００５４】
１    ボンディング装置
２    リードフレーム
１１    ボンディングユニット
３２    パスライン
３３    マガジンユニット
６１    ローダーユニット
６２    バッファーユニット
６３    アンローダユニット
７１    マガジン
１０１    エレベーション
【図１】
2007134529.tif 000003
【図２】
2007134529.tif 000004
【図３】
2007134529.tif 000005
【図４】
2007134529.tif 000006