(57)【要約】  【課題】  大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供する。  【解決手段】  ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。【選択図】  図４
2007100776.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガイドレールと、
前記ガイドレールに対して移動可能に保持されたスライダと、
前記ガイドレールと前記スライダとの間に配置された静圧軸受と、
前記ガイドレールと前記スライダとの間において、前記静圧軸受より大気側に配置されたエアシールと、を有することを特徴とする直線案内。
【請求項２】
前記エアシールは、前記静圧軸受側に、気体が供給される供給溝を設け、大気側に、気体が吸引される排気溝を有していることを特徴とする請求項１に記載の直線案内。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク保持用のテーブルなどを移動可能に保持するのに好適な直線案内に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば工作機械や精密機械、或いは超精密機械などにおいて、ワークを保持したテーブルなどを高精度に移動させるために、エアスライダが用いられる場合がある。特許文献１に開示されたエアスライダは、ガイドレールに対して気体を吐出可能な多孔質状の静圧パッドを設け、それによりガイドレールに対して浮上することで、非接触的にテーブルの支持を行っている。
【特許文献１】特許第２８１１８６７号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここで、特許文献１のエアスライダにおいて、ガイドレールと静圧パッドとのスキマは微小となっている。しかるに、かかる静圧スライドをクリーンルーム内等で用いる場合には、特に問題はないが、例えばゴミなどが浮遊する大気環境で用いる場合、ガイドレールが露出している部分にゴミなどが付着し、静圧パッドに噛み込むなどすると、ガイドレールに対して引きずられて抵抗が増大し、場合によっては焼き付きに至るなどの恐れがある。
【０００４】
一方、特許文献１のエアスライダをクリーンルーム内等で用いたとしても、誤動作によりワークが破損するなど異常事態が発生した場合、或いはガイドレール上部の装置から異物が落下したような場合など、ガイドレールが露出している部分に破損物や異物が付着し、同様に静圧パッドに噛み込み焼き付きなどを招く恐れがある。
【０００５】
本発明は、かかる従来技術の問題に鑑みてなされたものであり、大気環境等で使用した場合や、異常事態が生じた場合でも、動作が阻害されることが抑制される直線案内を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の直線案内は、
ガイドレールと、
前記ガイドレールに対して移動可能に保持されたスライダと、
前記ガイドレールと前記スライダとの間に配置された静圧軸受と、
前記ガイドレールと前記スライダとの間において、前記静圧軸受より大気側に配置されたエアシールと、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の直線案内によれば、エアシールが、前記ガイドレールと前記スライダとの間において、前記静圧軸受より大気側に配置されているので、例えばガイドレールの露出した表面に異物が付着したような場合でも、かかる異物を排除することが可能となり、静圧軸受の静圧パッドに異物が噛み込むなどの不具合が抑制されることとなる。
【０００８】
前記エアシールは、前記静圧軸受側に、気体が供給される供給溝を設け、大気側に、気体が吸引される排気溝を有していると好ましい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態に付いて説明する。図１は、本実施の形態にかかる直線案内の側面断面図であり、図２は、図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図であり、図３は、図１の構成をIII-III線で切断して矢印方向に見た図である。図４は、図１の構成の矢印IV部を拡大して示す図である。
【００１０】
図１において、定盤１の上面に脚部２、２が植設されている。脚部２，２の上端のそれぞれには、水平方向に延在する角柱状のガイドレール３の両端が取り付けられている。ガイドレール３の周囲には、スライダ１０が配置されている。
【００１１】
図３において、スライダ１０は、上板１１と、下板１２と、上板１１と下板１２の側縁同士を連結する側板１３，１４とを有している。上板１１の下面には、２つの凹部１１ａが形成されており（図１，２参照）、その内部には、円板形状を有する多孔質状の静圧パッドＰＤが配置されている。また、上板１１の内部には、凹部１１ａと外部の正圧ポンプ（不図示）との間を接続する配管１１ｂが形成されている。
【００１２】
下板１２の上面には、２つの凹部１２ａが形成されており（図１参照）、その内部には、円板形状を有する多孔質状の静圧パッドＰＤが配置されている。また、上板１２の内部には、凹部１２ａと外部の正圧ポンプ（不図示）との間を接続する配管１２ｂが形成されている。
【００１３】
図３で左側の側板１３の内側面には、２つの凹部１３ａが形成されており、その内部には、円板形状を有する多孔質状の静圧パッドＰＤが配置されている。また、側板１３の内部には、凹部１３ａと外部の正圧ポンプ（不図示）との間を接続する配管１３ｂが形成されている。
【００１４】
図４で右側の側板１４の内側面には、２つの凹部１４ａが形成されており、その内部には、円板形状を有する多孔質状の静圧パッドＰＤが配置されている。また、側板１４の内部には、凹部１４ａと外部の正圧ポンプ（不図示）との間を接続する配管１４ｂが形成されている。なお、ここでは静圧パッドＰＤが静圧軸受を構成する。
【００１５】
上板１１の長手方向の両側には、エアシール１５，１５が配置されている。図４に示すように、エアシール１５は、上板１１に取り付けられたケース１５ａを有しており、ケース１５ａのガイドレール３に対向する下面には、ガイドレール３の移動方向に対して直交する方向に沿って、大気に開放しない範囲でガイドレール３のほぼ全幅にわたって延在する供給溝１５ｂと排気溝１５ｃとが形成されている。排気溝１５ｃよりも静圧パッドＰＤ側に配置された供給溝１５ｂは、ケース１５ａの内部に形成された供給配管１５ｄを介して、外部の正圧ポンプＰ＋に接続されている。一方、供給溝１５ｂよりも大気側に配置された排気溝１５ｃは、ケース１５ａの内部に形成された排気配管１５ｅを介して、外部の負圧ポンプＰ−に接続されている。なお、ケース１５ａとガイドレール３とのスキマを、上板１１とガイドレール３とのスキマより大きくすることで、スライダ１０が傾いた場合でも、ケース１５ａがガイドレール３に接触することを回避できる。
【００１６】
本実施の形態の静圧案内の動作を説明すると、不図示の正圧ポンプから静圧パッドＰＤに空気が供給されることにより生じた静圧によって、上板１１，下板１２，側板１３，側板１４に対して、ガイドレール３の４面が非接触状態で支持され、それによりスライダ１０はガイドレール３に対して移動可能となっている。このとき、上板１１，下板１２，側板１３，側板１４と、ガイドレール３とのスキマは、十μｍ乃至数十μｍ程度であるので、ガイドレール３の上面に異物が落下した場合の処理が問題となる。
【００１７】
本実施の形態によれば、ガイドレール３の上面に異物が落下したような場合、ケース１５ａの下面に侵入しようとする異物を排気溝１５ｃで回収し、排気配管１５ｅを介して外部へと排出することができる。又、万が一排気溝１５ｃで異物が回収されなかった場合でも、供給溝１５ｂから吐出された空気によりエアカーテンを形成し、それ以上内部へと異物が侵入することを抑制できる。加えて、供給溝１５ｂから供給された気体の殆どは、排気溝１５ｃを介して吸引されるので、異物を外部に排出するのに都合が良く、更に供給溝１５ｂから供給された気体は、ケース１５ａから外部へと漏れ出ることが抑制され、例えば特殊ガスの環境下で用いられるような場合にも、かかる環境の破壊を抑制することができる。
【００１８】
図５は、本実施の形態の変形例にかかる図４と同様な拡大断面図である。本変形例は、図４の実施の液体に対して、上板１１の長手方向側面の下部を切り欠くことで、静圧パッドＰＤ（図１）と供給溝１５ｂとの間に、大気に開放した溝１１ｃを設けている点が異なっている。それ以外の構成に関しては、上述した実施の形態と同様であるので、同じ符号を付して説明を省略する。
【００１９】
例えばエアシールのシール度合いを高めるために、供給溝１５ｂの気体の圧力を増大させると、静圧軸受の排気圧力が上昇する傾向があるが、それにより静圧軸受の排気効率が低下し、軸受性能が低下する恐れがある。そこで、本変形例においては、大気に開放した溝１１ｃを設けることによって、ここを介して静圧軸受の排気を行わしめ、それにより静圧軸受の排気効率の低下を防ぐことができる。
【００２０】
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。本実施の形態では、重力による異物の落下を考慮して、エアシールはガイドレールの上面にのみ設けたが、例えば静電気が多い環境では、ガイドレールの側面や下面に異物が付着する恐れがあるので、エアシールを適宜側面や下面に設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本実施の形態にかかる直線案内の側面断面図である。
【図２】図１の構成をII-II線で切断して矢印方向に見た図である。
【図３】図１の構成をIII-III線で切断して矢印方向に見た図である。
【図４】図１の構成の矢印IV部を拡大して示す図である。
【図５】本実施の形態の変形例にかかる図４と同様な拡大断面図である。
【符号の説明】
【００２２】
１ 定盤
２，２ 脚部
３ ガイドレール
１０ スライダ
１１ 上板
１１ａ 凹部
１１ｂ 配管
１１ｃ 溝
１２ 下板
１２ａ 凹部
１２ｂ 配管
１３ 側板
１３ａ 凹部
１３ｂ 配管
１４ 側板
１４ａ 凹部
１４ｂ 配管
１５ エアシール
１５ａ ケース
１５ｂ 供給溝
１５ｃ 排気溝
１５ｄ 供給配管
１５ｅ 排気配管
Ｐ＋ 正圧ポンプ
Ｐ− 負圧ポンプ
ＰＤ 静圧パッド
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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