(57)【要約】【課題】収納空間に送り込まれるエアから化学汚染物質も適切に除去できるようにすると共に、収納空間から送り出されるエアの一部を効率的に循環させて化学汚染物質および粒子汚染物質の除去フィルタにかかる負担を軽減させる。【解決手段】吸気部１と排気部２との間の流路中に、換気手段３により常時エアが通り抜けるようにされた収納空間４を有すると共に、この収納空間４の二次側４ｂが吸気部１と排気部２とに共に連通した混合室５に連通され、この混合室５と収納空間４の一次側４ａとの間に化学汚染物質の除去フィルタ６及び粒子汚染物質の除去フィルタ７が介装されている。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
吸気部と排気部との間の流路中に、換気手段により常時エアが通り抜けるようにされた収納空間を有すると共に、
この収納空間の二次側が吸気部と排気部とに共に連通した混合室に連通され、
この混合室と収納空間の一次側との間に化学汚染物質の除去フィルタ及び粒子汚染物質の除去フィルタが介装されていることを特徴とするクリーンルーム内と同様の雰囲気の収納空間を持った搬送装置。
【請求項２】
粒子汚染物質の除去フィルタの一次側に化学汚染物質の除去フィルタが位置づけられていることを特徴とする請求項１記載の搬送装置。
【請求項３】
収納空間の下方に混合室があり、混合室の下方に送られたエアが側部流路を通って上方から収納空間に送り込まれるようになっていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の搬送装置。
【請求項４】
主流路の一次側を塞ぐように装填される粒子汚染物質の除去フィルタによって収納空間の上面が形成されていることを特徴とする請求項３記載の搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、クリーンルーム内と同様の雰囲気の収納空間を有しており、この収納空間を利用してクリーンルーム内での荷物の移動や、クリーンルーム間での荷物の移動に用いられる搬送装置の改良に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内での荷物の移動などに用いられる搬送装置として、特許文献１および特許文献２に示されるものがある。
【０００３】
しかるに特許文献１記載のクリーン台車にあっては、エア取り入れ口から取り入れられたエアの全てをＵＬＰＡフィルタを通してクリーンルームに送り込ませ、そしてエア取り出し口から流出させるものである。このため、ＵＬＰＡフィルタの負担を大きくさせるものであった。
【０００４】
一方、特許文献２記載のクリーンキャリアにあっては、クリーン収納空間に送り込まれたエアの一部は下部圧力調整ダンパを通じて再びクリーン収納空間内に送り込まれるようになってはいるが、化学汚染物質（ガス）を除去する手段の開示が無く、また、クリーン収納空間にエアを整流化して送り込み難い構造のものであった。
【特許文献１】特開平７−６６０９５号公報
【特許文献２】登録実用新案第３０５９３５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
この発明が解決しようとする主たる問題点は、この種の搬送装置において、収納空間に送り込まれるエアから化学汚染物質も適切に除去できるようにすると共に、収納空間から送り出されるエアの一部を効率的に循環させて化学汚染物質および粒子汚染物質の除去フィルタにかかる負担を軽減させる点にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記課題を達成するために、この発明にあっては、クリーンルーム内と同様の雰囲気の収納空間を持った搬送装置を、以下の（１）〜（３）の構成を備えたものとした。
（１）吸気部と排気部との間の流路中に、換気手段により常時エアが通り抜けるようにされた収納空間を有すると共に、
（２）この収納空間の二次側が吸気部と排気部とに共に連通した混合室に連通され、
（３）この混合室と収納空間の一次側との間に化学汚染物質の除去フィルタ及び粒子汚染物質の除去フィルタが介装されている。
【０００７】
かかる搬送装置にあっては、収納空間を通過するエアよりこの通過に先立って化学汚染物質と粒子汚染物質の双方を効果的に取り除くことができ、この収納空間に納められている荷物へのこれらの物質の付着を阻止する。収納空間の二次側から送り出されるエアはその一部が排気部より外部に排出され、その残りは吸気部から吸い込まれてきた外気と混合室において混合され、前記両フィルタに通され収納空間に送り込まれる。このように、収納空間の二次側から送り出されるエアの一部を再度循環させることで、前記両フィルタに通されるエア中の除去すべき物質の量を減らしながら、収納空間をクリーン化させることが可能とされる。この結果、かかる両フィルタの寿命（破過までの時間）を長期化させることができる。
【０００８】
前記粒子汚染物質の除去フィルタの一次側に化学汚染物質の除去フィルタを位置づけさせておけば、化学汚染物質の除去フィルタから発生した塵埃が収納空間に入り込むことがないようにすることができる。
【０００９】
前記収納空間の下方に混合室があり、混合室の下方に送られたエアが側部流路を通って上方から収納空間に送り込まれるようにしておけば、搬送装置の平面投影面積を最小にするようにして搬送装置を構成させることができる。
【００１０】
主流路の一次側を塞ぐように装填される粒子汚染物質の除去フィルタによって収納空間の上面を形成させるようにしておけば、収納空間内に前記両フィルタを通って清浄化されたエアをよどみなく（つまり、整流化して）送り込むことができる。
【発明の効果】
【００１１】
この発明にかかる搬送装置によれば、化学汚染物質の除去フィルタによって収納空間に送り込まれるエアから化学汚染物質も適切に除去することができると共に、収納空間から送り出されるエアの一部と外気とを混合室で混合してこれを除去フィルタを介して収納空間に送り込むことにより、このような循環をさせない場合に比し化学汚染物質および粒子汚染物質の除去フィルタにかかる負担を軽減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、図１ないし図４に基づいて、この発明を実施するための最良の形態について説明する。
【００１３】
なお、ここで図１は、実施の形態にかかる搬送装置を前面側から見て、また、図２は、右側から見て、それぞれ示している。また、図３および図４は、かかる搬送装置の主要部を断面の状態として、それぞれ示しており、図３における矢印はエアの流れを示している。
【００１４】
この実施の形態にかかる搬送装置は、クリーンルーム内と同様の雰囲気の収納空間４を有しており、クリーンルームで製造される荷物（被収納物Ｍ）のクリーンルーム内での移動、例えば、半導体製造工場などにあっては、その前工程を実施する装置から後工程を実施する装置への製品ないしは半製品の移動や、製造装置から保管庫への製品ないしは半製品の移動に用いられたり、あるいはまた、クリーンルーム間での荷物の移動に用いられるものである。
【００１５】
かかる被収納物Ｍとしては、典型的には、フォトマスク、シリコンウエハー、液晶パネル、各種の電子部品など、クリーンルーム内で製造され、また、クリーンルーム内で取り扱われる物品を予定するものである。
【００１６】
かかる搬送装置は、吸気部１と排気部２との間の流路中に、吸気部１からのエアの流入側を一次側４ａとして換気手段３により常時エアが通り抜けるようにされた収納空間４を有している。そして、この収納空間４の二次側４ｂ（エアの流出側）が吸気部１と排気部２とに共に連通した混合室５に連通されていると共に、この混合室５と収納空間４の一次側４ａとの間に化学汚染物質（ガス）の除去フィルタ６及び粒子汚染物質（粉塵など）の除去フィルタ７を介装させている。
【００１７】
これにより、かかる搬送装置にあっては、収納空間４を通過するエアよりこの通過に先立って化学汚染物質と粒子汚染物質の双方を効果的に取り除くことができ、この収納空間４に納められている荷物へのこれらの物質の付着を阻止する。収納空間４の二次側４ｂから送り出されるエアはその一部が排気部２より外部に排出され、その残りは吸気部１から吸い込まれてきた外気と混合室５において混合され、前記両フィルタ６、７に通され収納空間４に送り込まれる。このように、収納空間４の二次側４ｂから送り出されるエアの一部を再度循環させることで、前記両フィルタ６、７に通されるエア中の除去すべき物質の量を減らしながら、収納空間４をクリーン化させることが可能とされる。この結果、かかる両フィルタ６、７の寿命（破過までの時間）を長期化させることができる。
【００１８】
また、かかる搬送装置にあっては、粒子汚染物質の除去フィルタ７の一次側７ａに化学汚染物質の除去フィルタ６が位置づけられている。
【００１９】
これにより、かかる搬送装置にあっては、収納空間４に送り込まれるエアより先ず化学汚染物質を取り除いた後、これに続いて粒子汚染物質を取り除くようになっている。化学汚染物質の除去フィルタ６は、一般に、活性炭、イオン交換樹脂、セラミックなどを主体として構成されていることから、それ自体からの塵埃の発生があるところ、このようにしておけば、このように発生した塵埃が収納空間４に入り込むことがないようにすることができる。かかる化学汚染物質の除去フィルタ６は、典型的には、粒状をなす活性炭を前後に通気性シートを配したフィルタ枠内に充填させてなるものや、活性炭を主材料として成形されたハニカムフィルタなどが予定される。かかる活性炭を担持体として酸性物質を担持させればアルカリ性ガスの他に有機性ガスを、かかる活性炭を担持体としてアルカリ性物質を担持させれば酸性ガスの他に有機性ガスを、それぞれ除去フィルタを通過するエアから捕捉除去できる。担持させた物質を異ならせる活性炭をブレンドさせれば、数種のガスのいずれも除去することが可能となる。また、粒子汚染物質の除去フィルタ７としては、典型的には、不織布などで構成されたＵＬＰＡフィルタを用いることが予定される。
【００２０】
かかる搬送装置の構成は次のようにまとめられる。
【表１】
2007134543.tif 000003
【００２１】
また、この実施の形態にあっては、前記収納空間４の下方に混合室５があり、混合室５の下方に送られたエアが側部流路８を通って上方から収納空間４に送り込まれるようになっている。
【００２２】
また、主流路９の一次側９ｅを塞ぐように装填される粒子汚染物質の除去フィルタ７によって収納空間４の上面４ｃが形成されていると共に、
主流路９に配される後述するレール９ｈより上が収納空間４となり、これより下が混合室５となっている。
【００２３】
具体的には、図示の例にあっては、搬送装置は、外部筐体１０内に、主流路９と側部流路８を形成させて構成されている。外部筐体１０の底部１０ａは台車体１１の台盤１１ａによって構成されている。また、外部筐体１０は、鉛直な前板１０ｂと後板１０ｃとを有すると共に、上部に向かうに連れて次第に外部筐体１０内の空間を狭める向きに傾斜した左板１０ｄと右板１０ｅとを有している。外部筐体１０の後部側には台車体１１上に図示しないバッテリーおよび充電器を納めるボックス１２が備えられており、換気手段３を構成するファン３ａは１００Vの商用電源による他このバッテリーからの電力の供給によっても駆動されるようになっている。また、このボックス１２の上部には手押し用ハンドル１３が設けられており、搬送装置は、このハンドル１３を把持して押すことにより走行移動できるようになっている。
【００２４】
外部筐体１０内の空間は、前端を外部筐体１０の前板１０ｂに気密状態に接合させ、かつ、後端を外部筐体１０の後板１０ｃに気密状態に接合させた一対の仕切り板９ｂ、９ｂによって、左右方向において三つに区分されている。三つに区分された空間のうちの、真ん中の空間が主流路９となり、その左右の空間がそれぞれ側部流路８となっている。一対の仕切り板９ｂ、９ｂは、板面を鉛直に配しており、主流路９の断面積は、上下方向のどの位置においても略一様になっている。これに対して側部流路８は、外部筐体１０の左右板１０ｄ、１０ｅの傾斜によって上部に向かうに連れてその断面積を狭めるように構成されている。かかる仕切り板９ｂの上端と外部筐体１０の天板１０ｆとの間、および、かかる仕切り板９ｂの下端と外部筐体１０の底面１０ｇとの間にはぞれぞれ、隙間が形成されており、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの上端間が主流路９の一次側９ｅとなり、かつ、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの下端間が主流路９の二次側９ｆとなっている。
【００２５】
かかる一対の仕切り板９ｂ、９ｂの上端間は、粒子汚染物質の除去フィルタ７によって閉塞されている。図示の例では、外部筐体１０の天板１０ｆは取り外せるようになっており、この天板１０ｆを取り外すことで粒子汚染物質の除去フィルタ７の交換ができるようになっている。具体的には、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの上端には内向きの折り返し部９ｃが形成されており、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの一方の折り返し部９ｃ上に粒子汚染物質の除去フィルタ７の一方縁を、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの他方の折り返し部９ｃ上に粒子汚染物質の除去フィルタ７の他方縁を載置させて、主流路９の一次側９ｅを粒子汚染物質の除去フィルタ７によって閉塞させるようにしている。
【００２６】
また、かかる一対の仕切り板９ｂ、９ｂの下端間は、化学汚染物質の除去フィルタ６によって閉塞されている。図示の例では、外部筐体１０の前板１０ｂの下部に取り外し可能な蓋板１０ｉで塞がれた下部窓穴１０ｈが設けられており、この蓋板１０ｉを取り外すことで化学汚染物質の除去フィルタ６の交換ができるようになっている。具体的には、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの下端には内向きの折り返し部９ｄが形成されており、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの一方の折り返し部９ｄ上に化学汚染物質の除去フィルタ６の一方縁を、一対の仕切り板９ｂ、９ｂの他方の折り返し部９ｄ上に化学汚染物質の除去フィルタ６の他方縁を載置させて、主流路９の二次側９ｆを化学汚染物質の除去フィルタ６によって閉塞させるようにしている。
【００２７】
かかる主流路９における粒子汚染物質の除去フィルタ７の直下に収納空間４が配されている。収納空間４の下限４ｄは、主流路９の上下方向略中程の位置において、外部筐体１０の前板１０ｂに１０ｂにレール前端を支持され、かつ、外部筐体１０の後板１０ｃにレール後端を支持されたレール９ｈによって画成されている。このレール９ｈの支持位置を上下方向に可変調整可能にさせておけば収納空間４の高さを一定の範囲で調整することができる。図示の例では、かかるレール９ｈは、前方から後方に向かうに連れて下方に次第に近づく向きに傾斜している。図示の例では、断面Ｌ字状をなす一対のレール９ｈ、９ｈが左右方向に間隔を開けて前後方向に沿って備えられており、この一対のレール９ｈ、９ｈのＬ字の内面間において被収納物Ｍを保持するようになっている。レール９ｈの傾斜によって被収納物Ｍは搬送装置の移動前方側を傾斜上とするように収納空間４内に斜めに保持されることから、搬送装置の前記走行移動のときに収納空間４内で被収納物Ｍを落ち着かせることができる。かかる収納空間４の前方に位置される外部筐体１０の前板１０ｂには開き戸１０ｋによって気密状態に閉塞された上部窓穴１０ｊが形成されており、この開き戸１０ｋを開くことで被収納物Ｍの出し入れができるようになっている。なお、図中符号１０ｍで示されるのは、この開き戸の操作用のハンドルである。
【００２８】
主流路９における前記収納空間４の下限４ｄを画成するレール９ｈの下方が混合室５となっている。混合室５の下面は、化学汚染物質の除去フィルタ６の装填空間の上方に張り込まれた仕切り板９ｉによって形成されている。換気手段３を構成するファン３ａはこの仕切り板９ｉの中央開放部９ｊに備え付けられている。図示の例では、混合室５は、この混合室５の上下方向略中程の位置に張り込まれたパンチングボード５ａによって上下に区分されている。そして、図示の例では、区分された混合室５の上部に面する外部筐体１０の後板１０ｃに排気部２となる複数の通気スリットを備えた板で塞がれた開口が、また、区分された混合室５の下部に面する外部筐体１０の前板１０ｂに吸気部１となる複数の通気スリットを備えた板で塞がれた開口が、それぞれ設けられている。かかる吸気部１および排気部２には図示しないダンパが備えられており、このダンパによって開口面積を調整して吸気エア量および排気エア量を可変調整できるようになっている。
【００２９】
この実施の形態にあっては、収納空間４の下方に混合室５があり、混合室５からは側部流路８を通ってエアが収納空間４に送り込まれるようになっていることから、搬送装置の平面投影面積を最小にするようにして搬送装置を構成させることができる。収納空間４の下部レベルは、クリーンルーム内に備えられている機器の高さなどを考慮すると、一般的には、床面から９００ｍｍ前後、具体的には、８００ｍｍ〜１０００ｍｍに位置されるようにしておくことが好ましい。
【００３０】
また、この実施の形態にあっては、収納空間４の上面４ｃが主流路９の一次側９ｅを塞ぐ粒子汚染物質除去フィルタによって形成されていることから、収納空間４内に前記両フィルタ６、７を通って清浄化されたエアをよどみなく（つまり、整流化して）送り込むことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】搬送装置の正面構成図
【図２】同側面構成図
【図３】同断面構成図
【図４】同断面構成図（図３と９０度異なる向き）
【符号の説明】
【００３２】
１  吸気部
２  排気部
３  換気手段
４  収納空間
４ａ  一次側
４ｂ  二次側
５  混合室
６  化学汚染物質の除去フィルタ
７  粒子汚染物質の除去フィルタ
【図１】
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【図２】
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【図３】
2007134543.tif 000006
【図４】
2007134543.tif 000007