(57)【要約】【課題】銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ設備・維持コストが安価にできる、銅板材に適しためっき装置とめっき方法を提供する。【解決手段】めっき装置１０は、電解脱脂槽１（脱脂用電極１ａ、電解脱脂浴１ｂ）と、電解溶解槽２（溶解用電極２ａ、電解溶解浴２ｂ）と、電解めっき槽３（めっき用電極３ａ、電解めっき浴３ｂ）と、銅板材１１を巻戻すアンコイラー４と、銅板材１１を巻取るリコイラー５と、脱脂用電極１ａと結線された第１の正極６ａ及び溶解用電極２ａと結線された第１の負極６ｂを有する第１の電源６と、溶解用電極２ａと結線された第２の負極７ｂ及びめっき用電極３ａと結線された第２の正極７ａを有する第２の電源７とを備え、銅板材１１と直接接触するコンタクトローラを備えていない。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
脱脂用電極が配置され、電解脱脂浴を収容している電解脱脂槽と、溶解用電極が配置され、電解溶解浴を収容している電解溶解槽と、めっき用電極が配置され、電解めっき浴を収容している電解めっき槽とがこの順序で直列に配置された銅板材のめっき装置であって、
銅板材と直接接触する通電電極を備えておらず、かつ、前記脱脂用電極と結線された第１の正極及び前記溶解用電極と結線された第１の負極を有する第１の電源、並びに前記溶解用電極と結線された第２の負極及び前記めっき用電極と結線された第２の正極を有する第２の電源を備えることを特徴とする銅板材のめっき装置。
【請求項２】
前記電解溶解浴は、酸化剤を含有していないことを特徴とする請求項１記載の圧延銅板材のめっき装置。
【請求項３】
脱脂用電極が配置され、電解脱脂浴を収容している電解脱脂槽と、無電解溶解浴を収容している無電解溶解槽と、めっき用電極が配置され、電解めっき浴を収容している電解めっき槽とがこの順序で直列に配置された銅板材のめっき装置であって、
銅板材と直接接触する通電電極を備えておらず、かつ、電源として、前記めっき用電極と結線された正極及び前記脱脂用電極と結線された負極を有する電源のみを備えることを特徴とする銅板材のめっき装置。
【請求項４】
前記めっき用電極は不溶性電極であり、前記電解めっき浴は硫酸ニッケルを１００ｇ／Ｌ以上２００ｇ／Ｌ未満およびクエン酸ナトリウムを１０ｇ／Ｌ以上３０ｇ／Ｌ未満含み、ｐＨが２以上４未満であり、塩化ニッケルおよびホウ酸を含有しないめっき浴であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の銅板材のめっき装置。
【請求項５】
無接触給電状態で銅板材の電解脱脂、電解溶解及び電解めっきをこの順で実施する銅板材のめっき方法であって、
前記電解脱脂は、電解脱脂槽を通過する銅板材がカソードとして作用することで前記銅板材から発生する水素ガスにより脱脂を実施するものであり、電解溶解は、電解溶解槽を通過する前記銅板材がアノードとして作用することで前記銅板材の表層を溶解活性化するものであり、かつ、電解めっきは、電解めっき槽を通過する前記銅板材がカソードとして作用して金属めっきを実施するものであることを特徴とする銅板材のめっき方法。
【請求項６】
無接触給電状態で銅板材の電解脱脂、無電解溶解及び電解めっきをこの順で実施する銅板材のめっき方法であって、
前記電解脱脂は、電解脱脂槽を通過する銅板材がアノードとして作用することで前記銅板材から発生する酸素ガスにより脱脂を実施するものであり、無電解溶解は、無電解溶解槽において酸化剤の作用により前記銅板材の表層を溶解活性化するものであり、かつ、電解めっきは、電解めっき槽を通過する前記銅板材がカソードとして作用して金属めっきを実施するものであることを特徴とする銅板材のめっき方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、銅または銅合金板材（以下、単に「銅板材」という）のめっき装置およびめっき方法に関し、特に、連続的なめっきを実施する場合に好適に使用できる銅板材のめっき装置およびめっき方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
プリント配線板の製造部材として、例えば、特許文献１には、「厚さが３５μｍから２１０μｍの厚銅層からなる突起形成用金属層と、厚さが０．１μｍから３．０μｍのニッケル層からなるエッチングバリヤ層と、厚さが１μｍから１０μｍの薄銅層からなる配線回路形成用金属箔」が記述されている。
【０００３】
その製造方法として、例えば、厚さが８０μｍの圧延銅板材（突起形成用金属層）に厚さが１μｍのニッケルをめっきする方法がある。この場合のニッケルめっき層は、エッチングバリヤ層として機能するため、貫通穴（以下、ピンホールという）の無いことが重要な特性となる。
【０００４】
一方、フレキシブルプリント配線板の分野では、厚さが１５〜２０μｍ程度の銅板材にニッケルめっき（ニッケル合金めっきの場合もある）等の表面処理を施し、ポリイミド系樹脂フィルムとラミネート（積層）したり、あるいはポリイミド系樹脂の前駆体であるポリアミック酸を主成分とするワニスを塗布したりすることにより、フレキシブルプリント配線板が製造される（例えば、特許文献２、特許文献３参照）。
【０００５】
ここで、フレキシブルプリント配線板の表面処理においては、ニッケルめっき処理層の厚みが５〜２０ｎｍ程度と、上述のプリント配線板の製造部材の場合よりも１〜３桁も薄いことから、処理層の欠陥部（ピンホール等）を低減することは極めて重要な課題である。また、将来の環境への負荷軽減を考慮した場合、ニッケルめっきにおいて不溶性陽極の使用、排水規制の項目に加えられたホウ酸や塩素ガスを発生する可能性のある塩化ニッケルの使用量削減は、望ましい方向と考えられる。
【０００６】
図３は、従来のめっき装置の基本構成を示す概略図である。銅板材への長尺連続めっきは、図３で示すようなめっき装置３０で実施される（特許文献４、図２参照）。めっき装置３０は、電解脱脂槽１、無電解溶解槽２２、電解めっき槽３がこの順序で配置され、電解脱脂槽１と電解めっき槽３の前後にはそれぞれ銅板材への通電電極となるコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄが設置されている。このコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄはいずれも銅板材１１の表面と接触し、第３の電源３６及び第４の電源３７から供給される電流を銅板材１１に給電する。また、電解脱脂槽１と無電解溶解槽２２の中間位置、無電解溶解槽２２と電解めっき槽３の中間位置及び電解めっき槽３の下流側には、それぞれ水洗槽がある（図示せず）。めっき装置３０の前後には、電解脱脂槽１側で銅板材１１を巻きもどすアンコイラー４と、電解めっき槽３側で銅板材１１を巻き取るリコイラー５が設置されている。
【０００７】
図３を用いて、電解めっきの工程を説明する。初めに、電解脱脂槽１で、カソード電解により銅板材１１の表面から発生する水素ガスによって脱脂を行い、次に、無電解溶解槽２２において、酸化剤を添加した硫酸溶液により銅板材１１の表面を溶解活性化する。最後に、電解めっき槽３で、銅板材１１の表面に電解めっきを実施する。
【０００８】
銅板材１１への給電は、これと接触するコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄにより実施するが、銅板材１１の板形状は反りやうねり等のために長手方向、幅方向で微妙に変化しているため、銅板材１１とコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄ間に局所的な離反が発生し、両者間の微小な空隙箇所でスパークが発生することがある。
【０００９】
銅板材１１でスパークの発生した個所は、凹状又は凸状の表面欠陥となるため、この上に厚さが１μｍ程度のニッケルめっきを実施しても、スパーク個所がニッケルめっき層におけるピンホール発生の原因の1つとなる。
【００１０】
このスパーク対策としては、コンタクトローラ３８ａ〜３８ｄからの給電を板幅全体からでなく、板材幅方向の両端から実施する方法が考えられる。この場合、板材幅方向の両端でスパークした個所は、後工程においてスリッター等で切断除去する。しかし、この方法では材料の歩留が悪化すると同時に処理槽の幅も広くする必要があり、設備コストが上昇する等の短所がある。
【００１１】
また、一般に、銅板材１１は圧延と焼鈍を繰り返すことにより製造するため、表面には細かい傷が存在する。この細かい傷の上に厚さが１μｍ程度のニッケルめっきを実施しても傷の個所がニッケルめっき層のピンホール原因の1つとなることもある。そのため、めっき前に銅板材１１の表面を溶解して表面傷を除去することが重要である。
【００１２】
一方、ステンレス鋼部材のめっき装置として、コンタクトローラを使用しないめっき装置が知られている（特許文献４参照）。コンタクトローラを使用しないため、給電時におけるスパーク発生が皆無にできる旨が記載されている。
【特許文献１】特開２００４−３１３７５号公報
【特許文献２】特公平６−５４８２９号公報
【特許文献３】特開２００５−８９７２号公報
【特許文献４】特開平５−３３１９５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
しかし、特許文献４記載のめっき装置は、ステンレス鋼部材用に限定され、銅材（例えば圧延銅板材）に用いた場合には、電解脱脂槽において銅材がアノード電解により溶解することになるため、脱脂と溶解を異なる槽で管理する方式には使用できない。
【００１４】
従って、本発明の目的は、銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ設備コストが安価にできる、銅板材に適しためっき装置とめっき方法を提供することにある。
【００１５】
また、本発明の目的は、銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ設備コストが安価にでき、かつ脱脂と溶解を異なる槽で管理する方式に使用できる、銅板材に適しためっき装置とめっき方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上記目的を達成するため、脱脂用電極が配置され、電解脱脂浴を収容している電解脱脂槽と、溶解用電極が配置され、電解溶解浴を収容している電解溶解槽と、めっき用電極が配置され、電解めっき浴を収容している電解めっき槽とがこの順序で直列に配置された銅板材のめっき装置であって、銅板材と直接接触する通電電極（コンタクトローラ）を備えておらず、かつ、前記脱脂用電極と結線された第１の正極及び前記溶解用電極と結線された第１の負極を有する第１の電源、並びに前記溶解用電極と結線された第２の負極及び前記めっき用電極と結線された第２の正極を有する第２の電源を備えることを特徴とする銅板材のめっき装置を提供する。
【００１７】
また、本発明は、上記目的を達成するため、脱脂用電極が配置され、電解脱脂浴を収容している電解脱脂槽と、無電解溶解浴を収容している無電解溶解槽と、めっき用電極が配置され、電解めっき浴を収容している電解めっき槽とがこの順序で直列に配置された銅板材のめっき装置であって、銅板材と直接接触する通電電極（コンタクトローラ）を備えておらず、かつ、電源として、前記めっき用電極と結線された正極及び前記脱脂用電極と結線された負極を有する電源のみを備えることを特徴とする銅板材のめっき装置を提供する。
【００１８】
また、本発明は、上記目的を達成するため、無接触給電状態で銅板材の電解脱脂、電解溶解及び電解めっきをこの順で実施する銅板材のめっき方法であって、前記電解脱脂は、電解脱脂槽を通過する銅板材がカソードとして作用することで前記銅板材から発生する水素ガスにより脱脂を実施するものであり、電解溶解は、電解溶解槽を通過する前記銅板材がアノードとして作用することで前記銅板材の表層を溶解活性化するものであり、かつ、電解めっきは、電解めっき槽を通過する前記銅板材がカソードとして作用して金属めっきを実施するものであることを特徴とする銅板材のめっき方法を提供する。
【００１９】
また、本発明は、上記目的を達成するため、無接触給電状態で銅板材の電解脱脂、無電解溶解及び電解めっきをこの順で実施する銅板材のめっき方法であって、前記電解脱脂は、電解脱脂槽を通過する銅板材がアノードとして作用することで前記銅板材から発生する酸素ガスにより脱脂を実施するものであり、無電解溶解は、無電解溶解槽における酸化剤の作用により前記銅板材の表層を溶解活性化するものであり、かつ、電解めっきは、電解めっき槽を通過する前記銅板材がカソードとして作用して金属めっきを実施するものであることを特徴とする銅板材のめっき方法を提供する。
【発明の効果】
【００２０】
本発明によれば、銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ設備コストが安価にできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
〔本発明の第１の実施の形態〕
（めっき装置の構成）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係るめっき装置の基本構成を示す概略図である。めっき装置１０は、脱脂用電極１ａが配置され、電解脱脂浴１ｂを収容している電解脱脂槽１と、溶解用電極２ａが配置され、電解溶解浴２ｂを収容している電解溶解槽２と、めっき用電極３ａが配置され、電解めっき浴３ｂを収容している電解めっき槽３と、電解脱脂槽１側で銅板材１１を巻きもどすアンコイラー４と、電解めっき槽３側で銅板材１１を巻き取るリコイラー５と、脱脂用電極１ａと結線された第１の正極６ａ及び溶解用電極２ａと結線された第１の負極６ｂを有する第１の電源６と、溶解用電極２ａと結線された第２の負極７ｂ及びめっき用電極３ａと結線された第２の正極７ａを有する第２の電源７とを備える。電解脱脂槽１と電解溶解槽２の中間位置、電解溶解槽２と電解めっき槽３の中間位置及び電解めっき槽３の下流側には、それぞれ水洗槽がある（図示せず）。
【００２２】
めっき装置１０には、銅板材１１に接触給電する電極となるコンタクトローラ（図３で示したコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄ）が存在していない。
【００２３】
第１の電源６の第１の正極６ａと電解脱脂槽１の脱脂用電極１ａとを結線し、かつ、第１の電源６の第１の負極６ｂと電解溶解槽２の溶解用電極２ａとを結線することにより、［第１の正極６ａ］−［脱脂用電極１ａ］−［銅板材１１］−［溶解用電極２ａ］−［第１の負極６ｂ］からなる給電回路が形成されている。
【００２４】
また、第２の電源７の第２の正極７ａと電解めっき槽３のめっき用電極３ａとを結線し、かつ、第２の電源７の第２の負極７ｂと電解溶解槽２の溶解用電極２ａとを結線することにより、［第２の正極７ａ］−［めっき用電極３ａ］−［銅板材１１］−［溶解用電極２ａ］−［第２の負極７ｂ］からなる給電回路が形成されている。
【００２５】
電解脱脂浴１ｂとしては、例えば水酸化ナトリウムを用い、電解溶解浴２ｂとしては、例えば硫酸を用いる。また、電解めっき浴３ｂとしては、例えば硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ほう酸を用いる。
【００２６】
アンコイラー４から巻き戻された銅板材１１は、リコイラー５で巻き取られるまで連続走行し、その間に、直列に配列された電解脱脂槽１、電解溶解槽２、電解めっき槽３の各槽にて、この順に無接触給電状態で処理される。
【００２７】
電解脱脂槽１におけるカソード電解により銅板材１１の表面から発生する水素ガスによって脱脂を実施し、次に電解溶解槽２におけるアノード電解によって銅板材１１の表層を溶解活性化し、最後に電解めっき槽３で電解めっきを行う。電解溶解槽２を通過する銅板材１１の表層はアノード電解により溶解するため、電解溶解浴２ｂには酸化剤が不用である。
【００２８】
〔第１の実施の形態の効果〕
（１）銅板材に接触給電する電極（コンタクトローラ）が存在していないため（間接給電であるため）、給電時のスパーク発生を皆無にできる。
（２）銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ接触や回転する部品数を低減できることから設備費および維持管理費が安価なめっき装置を提供できる。
（３）電解溶解浴に酸化剤が不用となり、酸化剤消耗による銅板材表面の品質劣化（経時変化）が解消される。
（４）銅板材の脱脂と溶解を異なる槽で管理できる。
【００２９】
〔本発明の第２の実施の形態〕
（めっき装置の構成）
図２は、本発明の第２の実施の形態に係るめっき装置の基本構成を示す概略図である。めっき装置２０は、脱脂用電極１ａが配置され、電解脱脂浴１ｂを収容している電解脱脂槽１と、無電解溶解浴２２ｂを収容している無電解溶解槽２２と、めっき用電極３ａが配置され、電解めっき浴３ｂを収容している電解めっき槽３と、電解脱脂槽１側で銅板材１１を巻きもどすアンコイラー４と、電解めっき槽３側で銅板材１１を巻き取るリコイラー５と、めっき用電極３ａと結線された正極２６ａ及び脱脂用電極１ａと結線された負極２６ｂを有する電源２６とを備える。電解脱脂槽１と無電解溶解槽２の中間位置、無電解溶解槽２と電解めっき槽３の中間位置及び電解めっき槽３の下流側には、それぞれ水洗槽がある（図示せず）。
【００３０】
めっき装置２０には、めっき装置１０と同様に、銅板材１１に接触給電する電極となるコンタクトローラ（図３で示したコンタクトローラ３８ａ〜３８ｄ）が存在していない。
【００３１】
電源２６の正極２６ａと電解めっき槽３のめっき用電極３ａとを結線し、かつ、電源２６の負極２６ｂと電解脱脂槽１の脱脂用電極１ａとを結線することにより、［正極２６ａ］−［めっき用電極３ａ］−［銅板材１１］−［脱脂用電極１ａ］−［負極２６ｂ］からなる給電回路が形成されている。
【００３２】
電解脱脂浴１ｂとしては、例えば水酸化ナトリウムを用い、無電解溶解浴２２ｂとしては、例えば硫酸と酸化剤を用いる。また、電解めっき浴３ｂとしては、例えば硫酸ニッケル、塩化ニッケル、ほう酸を用いる。
【００３３】
アンコイラー４から巻き戻された銅板材１１は、リコイラー５で巻き取られるまで連続走行し、その間に、直列に配列された電解脱脂槽１、無電解溶解槽２２、電解めっき槽３の各槽にて、この順に無接触給電状態で処理される。
【００３４】
このめっき装置２０では、電解脱脂槽１におけるアノード電解により銅板材１１の表面から発生する酸素ガスによって脱脂を実施し、次に無電解溶解槽２２において銅板材１１の表層を溶解活性化し、最後に電解めっき槽３で電解めっきを行う。
【００３５】
この方法では電源１個で脱脂とめっきが可能となるが、アノード電解脱脂で発生する酸素はカソード電解で発生する水素ガスの１／２の量であるから、ガスによる表面からの汚れの洗い出し作用は弱くなる。また、溶解能力も酸化剤の消耗により変化するため、めっき装置２０に投入する銅板材１１の表面油脂汚れ、表面傷を事前にコントロールする工程を設けることが望ましい。
【００３６】
〔第２の実施の形態の効果〕
（１）銅板材に接触給電する電極（コンタクトローラ）が存在していないため（間接給電であるため）、給電時のスパーク発生を皆無にできる。
（２）銅板材に連続的なめっきを実施する場合に生じる品質的な欠陥を防止でき、かつ接触や回転する部品数を低減できることから設備費および維持管理費が安価なめっき装置を提供できる。
（３）電源１個で脱脂とめっきが可能となるため、装置を簡略化することができる。
【００３７】
〔他の実施の形態〕
上記の第１および第２の実施の形態においては、めっき用電極３ａとして可溶性電極を用いた場合について説明したが、めっき用電極３ａとして不溶性電極を用いることもできる。
【００３８】
めっき用電極３ａとして不溶性電極を用いる場合には、電解めっき浴３ｂとして望ましくは、硫酸ニッケル１００ｇ／Ｌ以上２００ｇ／Ｌ未満、クエン酸ナトリウム１０ｇ／Ｌ以上３０ｇ／Ｌ未満を添加しためっき液（めっき浴）を用いる。このときの処理条件としては、例えば、液温２０〜５０℃、電流密度１〜３Ａ／ｄｍ２、処理時間２秒〜５秒にて行う。
【００３９】
硫酸ニッケル濃度１００ｇ／Ｌ以上２００ｇ／Ｌ未満が良いのは、１００ｇ／Ｌ未満では液抵抗が非常に高くなるので、それに応じて電圧を高める必要が生じ、２００ｇ／Ｌ以上では使用する薬品量が多くなり（めっきに寄与しない余剰な薬品量が増大し）、どちらも非経済的であるからである。
【００４０】
また、ｐＨ緩衝剤としては、ホウ酸は用いずに、クエン酸塩、特にクエン酸ナトリウムを使用すると良い。クエン酸や他のクエン酸塩を使用することも可能であるが、ｐＨ緩衝性はクエン酸ナトリウムの方が高く、良好な結果が得られるからである。クエン酸ナトリウム濃度１０ｇ／Ｌ以上３０ｇ／Ｌ未満が良いのは、１０ｇ／Ｌ未満では必要なｐＨ緩衝力を示さず、３０ｇ／Ｌ以上ではクエン酸の錯体化による電流効率の低下によりニッケルめっき膜厚が減少してしまうからである。
【００４１】
さらに、ｐＨは２以上４未満とするのが良い（３．０以上３．８未満とするのがより良い）のは、ｐＨ２未満ではニッケルめっきの前に施した粗化処理によって銅箔表面に付着した銅めっきの凹凸がニッケルめっき液中で再溶解してしまう恐れがあり、ｐＨ４以上ではクエン酸ナトリウムのｐＨ緩衝能力が弱く、変動が大きくなるからである。
【００４２】
以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はそれらによって限定されるものではない。
【実施例】
【００４３】
（実施例１〜４）
上記の第１の実施の形態に係る図１のめっき装置１０において、脱脂用電極１ａの材質をＳＵＳ３０４、溶解用電極２ａの材質をチタン、電解めっき用電極３ａの材質をニッケル（可溶性陽極）とした。また、電解脱脂浴１ｂは水酸化ナトリウム４０ｇ／Ｌ、炭酸ナトリウム２０ｇ／Ｌ、電解溶解浴２ｂは硫酸５０ｇ／Ｌ、電解めっき浴３ｂは硫酸ニッケル３００ｇ／Ｌ、塩化ニッケル４５ｇ／Ｌ、ほう酸５０ｇ／Ｌを用いて、厚み０．０８ｍｍ、幅６２０ｍｍの圧延銅板材１１に電解脱脂および電解溶解の電流密度を３種類変化させてＮｉめっきを行った（実施例１〜３）。
【００４４】
次に、電解めっき用電極３ａの材質を白金めっきしたチタン板（不溶性陽極）とし、電解めっき浴３ｂとして硫酸ニッケル１５０ｇ／Ｌ、クエン酸ナトリウム２０ｇ／Ｌを用いた以外は実施例１〜３と同様にして、実施例２と同じ電解脱脂条件および電解溶解条件にて圧延銅板材１１にＮｉめっきを行った（実施例４）。
【００４５】
（比較例１〜４）
比較のために図３で示した従来のめっき装置３０を用いてＮｉめっきを行った。脱脂用電極１ａの材質はＳＵＳ３０４、電解めっき用電極３ａの材質はニッケル（可溶性陽極）とし、電解脱脂浴１ｂは水酸化ナトリウム４０ｇ／Ｌ、炭酸ナトリウム２０ｇ／Ｌ、無電解溶解浴２２ｂは硫酸５０ｇ／Ｌ、酸化剤（メルテックス株式会社製、商品名：エンプレートＡＤ４８５）２５ｇ／Ｌ、電解めっき浴３ｂは硫酸ニッケル３００ｇ／Ｌ、塩化ニッケル４５ｇ／Ｌ、ほう酸５０ｇ／Ｌを用いて、厚み０．０８ｍｍ、幅６２０ｍｍの圧延銅板材１１に電解脱脂の電流密度を３種類変化させてＮｉめっきを行った（比較例１〜３）。
【００４６】
次に、電解めっき用電極３ａの材質を白金めっきしたチタン板（不溶性陽極）とし、電解めっき浴３ｂとして硫酸ニッケル１５０ｇ／Ｌ、クエン酸ナトリウム２０ｇ／Ｌを用いた以外は比較例１〜３と同様にして、比較例２と同じ電解脱脂条件および電解溶解条件にて圧延銅板材１１にＮｉめっきを行った（比較例４）。
【００４７】
得られた各処理材の表面を目視観察し、単位面積当たりのニッケルめっき欠陥部の個数を計測した。
【００４８】
【表１】
2007092104.tif 000003
【００４９】
表１から明らかな通り、本発明の実施の形態に係るめっき装置１０で処理した銅板材の表面には、ニッケルめっき表面でピンホール等の欠陥部が観察されなかった。一方、従来のめっき装置３０で処理した銅板材の表面には、ニッケルめっき表面でピンホールや微小傷の欠陥部が多数観察された。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係るめっき装置の基本構成を示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施の形態に係るめっき装置の基本構成を示す概略図である。
【図３】従来のめっき装置の基本構成を示す概略図である。
【符号の説明】
【００５１】
１０，２０，３０：めっき装置
１：電解脱脂槽
１ａ：脱脂用電極
１ｂ：電解脱脂浴
２，２２：電解溶解槽
２ａ：溶解用電極
２ｂ，２２ｂ：電解溶解浴
３：めっき槽
３ａ：めっき用電極
３ｂ：めっき浴
４：アンコイラー
５：リコイラー
６：第１の電源
６ａ：第１の正極
６ｂ：第１の負極
７：第２の電源
７ａ：第２の正極
７ｂ：第２の負極
１１：銅板材
２６：電源
２６ａ：正極
２６ｂ：負極
３６：第３の電源
３７：第４の電源
３８ａ〜３８ｄ：コンタクトローラ
【図１】
2007092104.tif 000004
【図２】
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【図３】
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