(57)【要約】【課題】  板厚が０．０７ｍｍ以下の薄い積層板において、ボイドやカスレが発生しにくく、安価にかつ効率的に製造することができる積層板の製造方法を提供する。【解決手段】  目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下の基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸して半硬化させてなる１枚ないし複数枚のプリプレグとその片面または両面側に配置されてなる金属箔あるいは離型シートとで構成される積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置し、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形して板厚が０．０７ｍｍ以下の積層板を製造する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下の基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸して半硬化させてなる１枚ないし複数枚のプリプレグとその片面または両面側に配置されてなる金属箔あるいは離型シートとで構成される積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置し、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形して板厚が０．０７ｍｍ以下の積層板を製造することを特徴とする積層板の製造方法。
【請求項２】
複数枚のプリプレグの片面または両面側に金属箔が配置されてなる請求項１に記載の積層板の製造方法において、金属箔の表面粗度の低い面同士を合わせてプリプレグとプリプレグとの間に２枚の金属箔を配置することを特徴とする積層板の製造方法。
【請求項３】
プリプレグとプリプレグとの間に銅箔−アルミ箔−銅箔（ＣＡＣ箔）の複合箔を配置することで、複数枚のプリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置するようようにしていることを特徴とする請求項１に記載の積層板の製造方法。
【請求項４】
金属箔あるいは離型シートの寸法をプリプレグよりも小さくするとともにこれをプリプレグの中央に配置して加熱加圧成形し、端部のプリプレグ同士を接着させて積層板を一体化させてなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項５】
クッションシートは、溶融層を中間層として備えその両側に離型層を備えた３層で構成されていることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項６】
クッションシートの溶融層の溶融温度が７０〜１１０℃の温度範囲であり、プリプレグの溶融温度が１１０〜１５０℃の温度範囲であることを特徴とする請求項５に記載の積層板の製造方法。
【請求項７】
プリプレグに無機フィラーが含有されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項８】
加熱加圧成形時におけるプリプレグの熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度最低値が１００００〜１０００００ポイズの範囲であることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項９】
基材がガラスクロスであることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項１０】
ガラスクロスは、扁平・開繊加工されたものであることを特徴とする請求項９に記載の積層板の製造方法。
【請求項１１】
プリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さが１０μｍ以下であることを特徴とする請求項１から１０のいずれかに記載の積層板の製造方法。
【請求項１２】
プリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置した積層物を、プリプレグの熱硬化性樹脂組成物が溶融可能な温度に加熱された２本の加熱ロール間に通した後、冷却することでプリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さを１０μｍ以下にすることを特徴とする請求項１１に記載の積層板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願発明は、プリント配線板の製造に用いられる積層板の製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、電子機器の軽薄短小化に伴うプリント配線板の薄物化のニーズの高まりとともに、このプリント配線板の製造に用いられる金属箔張り積層板について薄物化の要求が高まっている。そして、金属箔張り積層板の薄物化のために、例えば、銅箔を０．１ｍｍ以下、絶縁層を３５μｍ以下とし、さらにプリプレグの樹脂分が６０〜８０％で、プリプレグの厚さが０．１ｍｍ以下のものを用いることが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
積層板は、例えばガラス織布（ガラスクロス）等の基材にエポキシ樹脂等の熱硬化性樹脂組成物を含浸させ乾燥して半硬化させて製造したシート状のプリプレグと、金属箔または離型シートとを重ね、これらを加熱加圧成形して製造されている。具体的には、複数枚重ねたクラフト紙やゴム系のクッションボード等のクッション材の間に複数のステンレスプレート等の金属プレートを配置し、さらに金属プレートの間に金属箔または離型シートを配置し、その間にプリプレグを入れ加熱加圧して製造している。そして、積層板を安価にかつ効率的に製造するために、１ｍ×１ｍ以上のサイズで成形することが行われてもいる。前記サイズの積層板を製造する場合、使用する金属プレートもそのサイズが大きくなり、これにより金属プレートの厚さ精度が制限され厚さ偏差が生じる。通常、板厚が０．０７ｍｍ以下の薄い積層板を製造する場合、成形時に積層板が受ける圧力分布が均一でないときにはボイドやカスレが発生しやすくなる。前記の製造方法によれば、プレス熱盤や搬送用の金属盤等の凹凸は、クッション材でその凹凸差を吸収し圧力分布を均一にすることができるものの、前記金属プレートの厚さ偏差に対しては、前記クッション材では吸収し難くプリプレグ自身の樹脂流れ性で吸収する必要があった。しかしながら、製造される積層板の板厚が０．０７ｍｍ以下の場合には、全体の樹脂量が少ないため金属プレートの厚さ偏差をプリプレグ自身の樹脂流れ性で吸収することができず、結果として圧力分布が不均一になりボイドやカスレが発生しやすくなってしまうという問題があった。
【特許文献１】特開平０８−１１８５４１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明は、以上の通りの背景から、板厚が０．０７ｍｍ以下の薄い積層板において、ボイドやカスレが発生しにくく、安価にかつ効率的に製造することができる積層板の製造方法を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本願発明は、前記の課題を解決するものとして、第１には、目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下の基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸して半硬化させてなる１枚ないし複数枚のプリプレグとその片面または両面側に配置されてなる金属箔あるいは離型シートとで構成される積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置し、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形して板厚が０．０７ｍｍ以下の積層板を製造することを特徴とする。
【０００６】
そして、第２には、上記の積層板の製造方法において、金属箔の表面粗度の低い面同士を合わせてプリプレグとプリプレグとの間に２枚の金属箔を配置することを特徴とする。
【０００７】
また、第３には、上記第１の積層板の製造方法において、プリプレグとプリプレグとの間に銅箔−アルミ箔−銅箔（ＣＡＣ箔）の複合箔を配置することで、複数枚のプリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置するようにしていることを特徴とする。
【０００８】
本願発明は、第４には、上記の積層板の製造方法において、金属箔あるいは離型シートの寸法をプリプレグよりも小さくするとともにこれをプリプレグの中央に配置して加熱加圧成形し、端部のプリプレグ同士を接着させて積層板を一体化させてなることを特徴とする。
【０００９】
また、第５には、上記の積層板の製造方法において、クッションシートは、溶融層を中間層として備えその両側に離型層を備えた３層で構成されていることを特徴とし、第６には、上記第５の積層板の製造方法において、クッションシートの溶融層の溶融温度が７０〜１１０℃の温度範囲であり、プリプレグの溶融温度が１１０〜１５０℃の温度範囲であることを特徴とする。
【００１０】
そして、第７には、上記の積層板の製造方法において、プリプレグに無機フィラーが含有されていることを特徴とする。
【００１１】
さらに、第８には、上記の積層板の製造方法において、加熱加圧成形時におけるプリプレグの熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度最低値が１００００〜１０００００ポイズの範囲であることを特徴とする。
【００１２】
本願発明は、第９には、上記の積層板の製造方法において、基材がガラスクロスであることを特徴とし、第１０には、上記第９の積層板の製造方法において、ガラスクロスは扁平・開繊加工されたものであることを特徴とする。
【００１３】
また、第１１には、上記の積層板の製造方法において、プリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さが１０μｍ以下であることを特徴とする。
【００１４】
そして、第１２には、上記第１１の積層板の製造方法において、プリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置した積層物を、プリプレグの熱硬化性樹脂組成物が溶融可能な温度に加熱された２本の加熱ロール間に通した後、冷却することでプリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さを１０μｍ以下にすることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
前記のとおりの上記の第１の発明によれば、目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下の基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸して半硬化させてなる１枚ないし複数枚のプリプレグとその片面または両面側に配置されてなる金属箔あるいは離型シートとで構成される積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置し、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形して板厚が０．０７ｍｍ以下の積層板を製造することにより、ボイドやカスレが発生しにくく、安価にかつ効率的に製造することができる。
【００１６】
上記の第２の発明によれば、金属箔の表面粗度の低い面同士を合わせてプリプレグとプリプレグとの間に２枚の金属箔を配置することにより、金属プレートを増やさずに生産枚数を増やすことができ安価にかつ効率的に製造することができる。
【００１７】
上記の第３の発明によれば、プリプレグとプリプレグとの間に銅箔−アルミ箔−銅箔（ＣＡＣ箔）の複合箔を配置することにより、第２の発明と同様に金属プレートを増やさずに生産枚数を増やすことができ安価にかつ効率的に製造することができる。
【００１８】
上記の第４の発明によれば、金属箔あるいは離型シートの寸法をプリプレグよりも小さくするとともにこれをプリプレグの中央に配置して加熱加圧成形し、端部のプリプレグ同士を接着させて積層板を一体化させてなることにより、一体化された積層板を同時にワークサイズに鋸刃等で切断することでハンドリング性が向上し、取り扱い時に発生し易い折れを防止することができる。
【００１９】
上記の第５の発明によれば、クッションシートが、溶融層を中間層として備えその両側に離型層を備えた３層で構成されていることにより、加熱加圧成形時に積層物が受ける圧力の低い部分にこのクッションシートが溶融層の溶融により充填されるため、積層物が受ける圧力分布を均一にすることができ、ボイドやカスレの発生をより一層低減することができる。
【００２０】
上記の第６の発明によれば、クッションシートの溶融層の溶融温度が７０〜１１０℃の温度範囲であり、プリプレグの溶融温度が１１０〜１５０℃の温度範囲であることにより、上記第５の発明の効果をより一層向上させることができる。
【００２１】
上記の第７の発明によれば、プリプレグに無機フィラーが含有されていることにより、熱膨張を低減し導通信頼性を向上させることができる。
【００２２】
上記の第８の発明によれば、加熱加圧成形時におけるプリプレグの熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度最低値が１００００〜１０００００ポイズの範囲であることにより、プリプレグ自身の樹脂流れ性が好適に制御され、積層板の板厚の精度を向上させることができる。
【００２３】
上記の第９の発明によれば、基材がガラスクロスであることにより、積層板の耐熱性、耐湿性、弾性率および剛性を高くすることができる。
【００２４】
上記の第１０の発明によれば、ガラスクロスは扁平・開繊加工されたものであることにより、上記第９の発明の効果に加え、ボイドやカスレの発生をさらに低減することができる。
【００２５】
上記の第１１の発明によれば、プリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さが１０μｍ以下であることにより、加熱加圧成形後において積層板に樹脂突起を残りにくくすることができる。
【００２６】
上記の第１２の発明によれば、プリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置した積層物を、プリプレグの熱硬化性樹脂組成物が溶融可能な温度に加熱された２本の加熱ロール間に通した後、冷却することにより、容易に樹脂突起の高さを１０μｍ以下にすることができるとともに、熱硬化性樹脂組成物の加熱ロールへの転写を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
本願発明は前記のとおりの特徴をもつものであるが、以下に、発明を実施するための最良の形態を説明する。
【００２８】
本願発明は、基材に熱硬化性樹脂組成物を含浸して半硬化させてなる１枚ないし複数枚のプリプレグとその片面または両面側に配置されてなる金属箔あるいは離型シートとで構成される積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置している。すなわち、積層物の片面または両面側にクッションシートを配置するようにし、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形して板厚が０．０７ｍｍ以下の積層板を製造しているのである。
【００２９】
本願発明における基材は、板厚０．０７ｍｍ以下の積層板とするために目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下のものを用いることを必須としている。目付け重量５０ｇ／ｃｍ２を超える場合には、製造される積層板の板厚が０．０７ｍｍを超えてしまい積層板を薄物化することができない。この基材の目付け重量の下限値としては、基材として生産可能な１５ｇ／ｃｍ２である。
【００３０】
本願発明における金属箔としては、金属製の箔であれば特に限定するものではなく、例えば、銅もしくは銅合金、ニッケルもしくはニッケル合金、アルミニウムもしくはアルミニウム合金等の箔を用いることができる。そしてこの金属箔の厚みとしては、一般的には9〜35μｍである。
【００３１】
本願発明における離型シートとしては、フッ素系シートもしくは、表面にシリコンを含む樹脂をコーティングした金属箔を用いることができる。
【００３２】
本願発明は、複数枚のプリプレグを用いる場合、プリプレグとプリプレグとの間に、金属箔の表面粗度の低い面同士があわさるように２枚の金属箔を配置するようにしてもよい。また、本願発明では、複数枚のプリプレグを用いる場合、プリプレグとプリプレグとの間に銅箔−アルミ箔−銅箔（ＣＡＣ箔）の複合箔を配置するようにしてもよい。
【００３３】
本願発明における金属箔あるいは離型シートは、その寸法をプリプレグよりも小さくするとともにこれをプリプレグの中央に配置して加熱加圧成形するようにしてもよい。これによって、端部のプリプレグ同士が接着することになり複数の積層板が一体化されることになる。そして、この一体化された積層板についてその端部すなわちプリプレグ同士が接着している部分を鋸刃等で切断するとともに所望のワークサイズで切断するようにすることで、積層板の製造に際してハンドリング性が向上し、取り扱い時に発生し易い折れを防止することができるのである。
【００３４】
本願発明におけるクッションシートとしては、クラフト紙、フッ素離型シート、フェルト材、芳香族ポリアミド紙等が挙げられるが、溶融層を中間層として備えその両側に離型層を備えた３層で構成されるクッションシートであってもよい。
【００３５】
上記の３層構造のクッションシートは、加熱加圧成形時に積層物が受ける圧力の低い部分にこのクッションシートが溶融層の溶融により充填されるため、積層物が受ける圧力分布を均一にすることができ、ボイドやカスレの発生をより一層低減することができるのである。この溶融層は、加熱加圧成形時にプリプレグが溶融する前に溶融することが好ましく、例えば、プリプレグの溶融温度が１１０〜１５０℃の温度範囲のときに溶融層の溶融温度が７０〜１１０℃の温度範囲であることが好ましい。溶融層の材質としては、エポキシ樹脂系・ポリオレフィン系等が挙げられ、離型層としては、製品の金属箔と接着しないフッ素系フィルムや金属シート等が挙げられる。
【００３６】
本願発明におけるプリプレグに含浸される熱硬化性樹脂組成物としては、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フッ素樹脂、ポリフェニレンオキシド樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、フェノ−ル樹脂の単独、及びこれらをベース樹脂とした変性樹脂、これら樹脂の組み合わせ樹脂などを用いることができる。必要に応じて、硬化剤、硬化促進剤、各種添加剤、無機フィラー等を用いることができる。無機フィラーとしては、例えば、アルミナ、シリカ、炭酸カルシウム、タルク、クレー、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム等が挙げられる。これら材料を例えばメチルエチルケトン（ＭＥＫ）、メトキシプロパノール（ＭＰ）、ジメチルフォルムアミド（ＤＭＦ）等の溶剤を用いてミキサーやブレンダーなどで混合し、樹脂ワニスを調製している。
【００３７】
本願発明におけるプリプレグは、以上の熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂ワニスを基材に含浸して半硬化させたものであるが、この半硬化させた熱硬化性樹脂組成物は、加熱すると、いったん粘度が低下して樹脂が流れ、さらに加熱すると硬化して樹脂が流れなくなる。ここで、
加熱加圧成形時におけるプリプレグの熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度最低値が１００００〜１０００００ポイズの範囲であることが好ましい。これによって、加熱加圧成形時にはプリプレグ自身の樹脂流れ性が好適に制御されることになり、積層板の板厚の精度を向上させることができる。１００００ポイズ未満の場合には、樹脂が流れやすく板厚バラツキが大きくなるるため好ましくない。１０００００ポイズを超える場合には、ボイドが発生しやすくなるため好ましくない。
【００３８】
本願発明における基材は、上述の通り、目付け重量５０ｇ／ｃｍ２以下のものを用いるが、その種類としてはガラス繊維等の無機質繊維、アラミド繊維、ポリエステル繊維、ポリイミド繊維、ポリアクリル繊維等の有機繊維の織布あるいは不織布を用いることができる。なかでもガラス繊維の織布であるガラスクロスは、入手が容易であって、積層板の耐熱性、耐湿性、弾性率および剛性を高くすることができるため好適である。また、ガラスクロスを用いる場合には、ガラスクロスのヤーン間の隙間部分に圧力がかかり難くボイドが発生する場合があるため、扁平加工してヤーン間の隙間を小さくすることが好ましい。そして、扁平加工したものはフィラメント間へ樹脂が浸透し難くなるため開繊加工することが好ましい。
【００３９】
本願発明は、プリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さが１０μｍ以下になるようにする。この樹脂突起は、基材が紡糸や製織等の工程でこすれた場合、一般に「毛羽」と呼ばれる基材を構成するフィラメントが表面から突出した状態となり、熱硬化性樹脂組成物を基材に含浸してプリプレグを製造すると、その突出したフィラメントの部分に熱硬化性樹脂組成物が凝集して、得られるプリプレグの表面に熱硬化性樹脂組成物の突起として形成されるものである。このような突起のあるプリプレグを加熱加圧成形して積層板を製造した場合、特にその高さが１０μｍを超える突起である場合には平滑化されることなく残ってしまう場合がある。このため、プリプレグ表面の樹脂突起を予め除去するかあるいはその高さを１０μｍ以下にすることが好ましいのである。
【００４０】
そして、このような樹脂突起の高さを１０μｍ以下にする方法としては、２本のロール間にプリプレグを通して機械的に潰して平滑にする方法が挙げられるが、好ましくは、ロールの温度をプリプレグの熱硬化性樹脂組成物が溶融する温度、例えば８０〜１３０℃の温度にすることで、突起部分の樹脂を溶融させて平滑にすることができる。さらに樹脂の硬化を防止するために冷却工程を設けることが効果的でもある。冷却工程としては、例えば後述する実施例のように、プリプレグを１０℃程度の温度の２本のロール間に通すようにしてもよい。ここで、プリプレグの樹脂がロールに転写することを防ぐために、プリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置した積層物をロールに通すようにすることが好ましい。
【００４１】
以下に実施例を示し、さらに詳しく説明する。もちろん以下の例によって本願発明が限定されることはない。
【実施例】
【００４２】
＜樹脂ワニスの調整＞
ブロム化ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＹＤＢ−５００ＫＥＫ８０  東都化成（株）製）８０部（ここで「部」は「重量部」を表す。  以下同様。）にクレゾールノボラックエポキシ樹脂（ＹＤＣＮ−２２０ＥＫ７５  東都化成（株）製）１０部、ジシアンジアミド  １．８部、２エチル４メチルイミダゾール０．０４部、水酸化アルミニウム（ＣＬ３０３  住友化学工業（株）製）４０部をメチルエチルケトン３０部に溶解してエポキシ樹脂ワニスを得た。
＜プリプレグＡの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスをガラスクロスＡ（厚さ０．０６ｍｍ  目付け重量４８ｇ／ｍ２  ＷＥＡ  １０７８  日東紡績（株）製）に樹脂量が５６％となるように含浸、加熱してプリプレグＡを得た。このプリプレグＡの２．５℃／分での溶融粘度最低値は４３０００ポイズであった。この時の溶融粘度は、レオロジー製  ＭＲ−３００でパラレルプレートを使用して測定した。
＜プリプレグＢの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスをガラスクロスＡに樹脂量が５６％となるように含浸、加熱して上記プリプレグＡと硬度の異なるプリプレグＢを得た。このプリプレグＢの１．５℃／分での溶融粘度最低値は３２００ポイズであった。
＜プリプレグＣの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスを毛羽のあるガラスクロスＣ（厚さ０．０６ｍｍ  目付け重量４８ｇ／ｍ２  ＷＥＡ  １０７８  日東紡績（株）製）に樹脂量が５６％となるように含浸、加熱してプリプレグＣを得た。このプリプレグＣの１．５℃／分での溶融粘度最低値は１５０００ポイズであった。また、毛羽部の表面突起の高さは５０μｍであった。
＜プリプレグＤの製造＞
プリプレグＣの両側にアルミ離型シートＡ（２０Ｍ２Ｓ  サン・アルミニウム工業（株）製）を配置した後、回転している１１０℃に加熱した線厚２５ｋｇ／ｃｍ２の２本のロール間を通した後、回転している１０℃の２本のロール間を通し、その後アルミ離型シートを剥離し、プリプレグＤを得た。このプリプレグＤの２．５℃／分での溶融粘度最低値は１６０００ポイズであった。また、毛羽部の表面突起の高さは３μｍであった。
＜プリプレグＥの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスをガラスクロスＤ（厚さ０．０６ｍｍ  目付け重量４８ｇ／ｍ２  ＷＥＡ  １０８０  日東紡績（株）製）に樹脂量が５６％となるように含浸、加熱してプリプレグＥを得た。このプリプレグＥの２．５℃／分での溶融粘度最低値は３６０００ポイズであった。
＜プリプレグＦの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスをガラスクロスＤ（厚さ０．０６ｍｍ  目付け重量４８ｇ／ｍ２  ＷＥＡ  １０８０  日東紡績（株）製）に樹脂量が５６％となるように含浸、加熱して上記プリプレグＥと硬度の異なるプリプレグＦを得た。このプリプレグＦの１．５℃／分での溶融粘度最低値は４５００ポイズであった。
＜プリプレグＧの製造＞
上記エポキシ樹脂ワニスを毛羽のあるガラスクロスＥ（厚さ０．０６ｍｍ  目付け重量４８ｇ／ｍ２  ＷＥＡ  １０８０  日東紡績（株）製）に樹脂量が５６％となるように含浸、加熱してプリプレグＧを得た。このプリプレグＧの１．５℃／分での溶融粘度最低値は２２００ポイズであった。また、毛羽部の表面突起の高さは６０μｍであった。
＜実施例１＞
ＳＵＳプレートの上部に中間層が７０℃で溶融する３層からなるＴＰＸフィルム（ＣＲ１０３１  三井化学（株）製）をクッションシートとして配置し、その上部に銅箔１８μｍ、プリプレグＡ、銅箔、前記ＴＰＸフィルムの順に配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置し、この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、製品昇温速度２．５℃／分、製品温度１７０℃以上６０分、圧力３ＭＰａで加熱加圧成形し、銅張積層板を得た。
＜実施例２＞
ＳＵＳプレートの上部にＴＰＸフィルムを配置し、その上部に銅箔１８μｍ、プリプレグＡ、銅箔（ＭＡＴ側下向き）１枚、銅箔（ＭＡＴ側上向き）１枚、プリプレグＡ、銅箔（ＭＡＴ側下向き）１枚、銅箔（ＭＡＴ側上向き）１枚、プリプレグＡ、銅箔１８μｍ、ＴＰＸフィルムの順に配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置した。
【００４３】
このときのＳＵＳプレートとプリプレグＡは同じサイズにし、プリプレグＡ間の銅箔はプリプレグＡに対し、タテ・ヨコサイズともに２ｃｍ短くし、プリプレグＡの中央部に配置した。この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形した。成形後は、３枚が一体化した積層板を鋸刃切断により分解し、３枚の銅張積層板を得た。
＜実施例３＞
ＳＵＳプレートの上部にＴＰＸフィルムを配置し、その上部にアルミ離型シート（２０Ｂ２Ｃ−Ｍ  サンアルミ（株）製）１枚、プリプレグＡ、アルミ離型シート１枚、プリプレグＡ、アルミ離型シート１枚、プリプレグＡ、アルミ離型シート１枚、ＴＰＸフィルムの順に配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置した。この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形した。成形後は、３枚が一体化した積層板を鋸刃切断後、アルミ離型シートを剥離し、３枚の銅張積層板を得た。
＜実施例４＞
ＳＵＳプレートの上部にＴＰＸフィルムを配置し、その上部に銅箔１８μｍ、プリプレグＡ、ＣＡＣ箔（銅箔−アルミ箔−銅箔、（株）日鉱マテリアルズ製）、プリプレグＡ、ＣＡＣ箔、プリプレグＡ、銅箔１８μｍ、ＴＰＸフィルムの順に配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置した。この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形した。成形後は、３枚が一体化した積層板を鋸刃切断後、ＣＡＣ箔のアルミ層と銅箔層を剥離し、３枚の銅張積層板を得た。
＜実施例５＞
実施例１においてプリプレグＡに代えてプリプレグＢを使用し、製品昇温速度１．５℃／分、製品温度１７０℃以上６０分、圧力３ＭＰａで加熱加圧成形した以外は、実施例１と同様にして銅張積層板を得た。
＜実施例６＞
実施例５においてＴＰＸシートに代えてフッ素フィルム８０μｍ（テドラーフィルム  米国デュポン社製）３枚を使用した以外は、実施例５と同様にして銅張積層板を得た。
＜実施例７＞
プリプレグＣの両側に銅箔１８μｍを配置した後、回転している１１０℃に加熱した線厚２５ｋｇ／ｃｍ２の２本のロール間を通した後、回転している１０℃の２本のロール間を通し、構成物Ａを得た。
【００４４】
ＳＵＳプレートの上部にＴＰＸフィルムを配置し、その上部に構成物Ａを配置し、さらにＴＰＸフィルムを配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置した。この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形し、銅張積層板を得た。
＜実施例８＞
実施例１においてプリプレグＡに代えてプリプレグＣを使用した以外は、実施例１と同様にして銅張積層板を得た。
＜実施例９＞
実施例１においてプリプレグＡに代えてプリプレグＤを使用した以外は、実施例１と同様にして銅張積層板を得た。
＜比較例１＞
ＳＵＳプレートの上部にＴＰＸフィルムを配置し、その上部に銅箔１８μｍ、プリプレグＥ、銅箔１８μｍを配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置し、この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形し、銅張積層板を得た。
＜比較例２＞
比較例１においてプリプレグＥに代えてプリプレグＦを使用し、製品昇温速度１．５℃／分、製品温度１７０℃以上６０分、圧力３ＭＰａで加熱加圧成形した以外は、実施例１と同様にして銅張積層板を得た。
＜比較例３＞
ＳＵＳプレートの上部に銅箔１８μｍ、プリプレグＦ、銅箔（ＭＡＴ側下向き）１枚、銅箔（ＭＡＴ側上向き）１枚、プリプレグＦ、銅箔（ＭＡＴ側下向き）１枚、銅箔（ＭＡＴ側上向き）１枚、プリプレグＦ、銅箔１８μｍの順に配置した後、最上部にＳＵＳプレートを配置した。この構成品をプレス機の熱盤の上にセットし、実施例１と同様に加熱加圧成形し、銅張積層板を得た。
＜比較例４＞
比較例２においてプリプレグＦに代えてプリプレグＧを使用した以外は、比較例２と同様にして銅張積層板を得た。
＜比較例５＞
比較例２においてプリプレグＦに代えてプリプレグＢを使用した以外は、比較例２と同様にして銅張積層板を得た。
【００４５】
以上で得られた積層板について、（１）ボイドの発生枚数、（２）板厚、（３）表面粗度、（４）突起高さを測定した。ただし、（４）突起高さについては、実施例８〜１０、比較例４の積層板のみ測定した。
各々の測定方法は以下の通りである。
（１）ボイドの発生枚数：銅張積層板については銅箔をエッチング除去し、Ｎ数＝１０枚のボイドの発生枚数を調べた。
（２）板厚：銅箔をエッチング除去し、Ｎ数＝５枚の中央部４点、端部４点をマイクロメーターで測定し、平均、Ｍａｘ、Ｍｉｎ、σｎ−１を算出した。
（３）表面粗度：（株）東京精密製  サーフコム５５０Ａの粗度計で測定した。
（４）突起高さ：（株）東京精密製  サーフコム５５０Ａの粗度計で測定した。
【００４６】
以上の結果を表１に示す。
【００４７】
【表１】
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表１の結果より、積層物の外側面に少なくとも１枚以上のクッションシートを配置し、これらを金属プレートで挟み加熱加圧成形する（実施例１〜９）ことで、クッションシートを配置しないで加熱加圧成形した比較例１〜５に比べてボイドの発生を抑えることができた。また、プリプレグの熱硬化性樹脂組成物の溶融粘度最低値が１００００〜１０００００ポイズの範囲であることにより、積層板の板厚の精度を向上させることができることが確認された。さらに、プリプレグの片面または両面側に金属箔あるいは離型シートを配置した積層物を、プリプレグの熱硬化性樹脂組成物が溶融可能な温度まで加熱された２本の加熱ロール間に通した後、冷却することでプリプレグの表面に形成される樹脂突起の高さを１０μｍ以下にすることにより、得られる積層板の突起高さも１０μｍ以下にすることができることも確認された。