(57)【要約】【課題】  収納容器の交換頻度を低減するとともに、装置の停止頻度を低減することができる分類収納装置および分類収納方法を提供する。【解決手段】  制御部８は、同じ特性ランク情報に対応する収納スリーブ１６群に含まれる各収納容器に、収納すべき順番を表す収納順番情報を対応させ、物体を、この物体の種類情報に対応する収納容器群のうち、これらの収納容器群に含まれる各収納容器に対応する収納順番情報が表す順番が早い方から、各収納容器に１種類のみの物体が所定の数収納されるように搬送手段を制御する。これによって、複数の物体の種類が、所定の種類に集中していても、フレキシブルに収納容器を振り分けて、集中した種類の物体の収納に自動的に多くの収納容器が使われるようになるので、収納容器が満杯になることによって生じる収納容器の交換の頻度を低減することができ、また作業者が収納容器を交換する場合には、収納容器が満杯になることによって生じる装置の停止頻度を軽減して、装置の停止時間を短縮することができる。【選択図】      図１
2007320745.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の種類からなる複数の物体を、複数の収納容器に前記種類毎に分類して収納する分類収納装置であって、
各物体の種類を表す種類情報を取得する取得手段と、
各物体を、前記複数の収納容器のいずれかに搬送する搬送手段と、
前記取得手段によって取得した種類情報に基づいて、各物体を前記複数の収納容器のいずれかに搬送させる制御手段とを含み、
前記制御手段には、
前記各収納容器のうち少なくとも一部の収納容器に複数の種類情報が重複して対応するように、すべての収納容器に種類情報が対応付けて設定され、かつ
同じ種類の収納容器に、物体が収納されるべき順番を表す収納順番情報が対応付けて設定され、
前記制御手段は、
前記複数の物体を、収納順番情報が表す順番で、各収納容器に順次的に収納されるように、前記搬送手段を制御することを特徴とする分類収納装置。
【請求項２】
複数の収納容器は、列状に配置され、
前記制御手段には、
複数の収納容器から成る収納容器群の配列方向の一方の端部に設けられる複数の収納容器に、少なくとも第１種類情報を対応付けて設定され、この第１種類情報に対応付けして設定される各収納容器に、配列方向一方から他方に向かって収納すべき順番が遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定され、
複数の前記収納容器から成る収納容器群の配列方向の他方の端部に設けられる複数の収納容器に、少なくとも第２種類情報を対応付けて設定され、この第２種類情報に対応付けして設定される各収納容器に、配列方向他方から一方に向かって収納すべき順番が遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定され、
複数の前記収納容器の配列方向の中間部に設けられる複数の収納容器には、少なくとも第１および第２種類情報とは異なる種類情報を対応付けして設定され、第１および第２種類情報とは異なり、かつ互いに同じ種類情報に対応付けして設定される収納容器に、前記配列方向の中央部に配置された収納容器から、配列方向の一方および他方に向かって収納すべき順番がそれぞれ遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定されることを特徴とする請求項１記載の分類収納装置。
【請求項３】
前記制御手段は、未収納で、かつ複数の種類情報に対応付けして設定された収納容器に物体を収納させたとき、この収納容器が設けられる位置に、収納した物体に対応付けして設定される種類を対応付けて設定し、以後、所定の指令が与えられるか、または分類処理が終了するまでは、前記位置に設けられる収納容器には、所定の位置に対応する種類情報のみを対応付けして設定することを特徴とする請求項１記載の分類収納装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記物体を収納すべき収納容器に、他の種類の物体が収納されていると、収納順番情報に応じて次に収納すべき収納容器に物体を収納させることを特徴とする請求項１記載の分類収納装置。
【請求項５】
各収納容器のそれぞれについて、収納される物体の種類を表す識別情報を表示する表示手段をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の分類収納装置。
【請求項６】
各収納容器のそれぞれに、収納される物体の種類を表す識別情報を付加する識別情報付加手段をさらに含むことを特徴とする請求項１記載の分類収納装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、物体を分類して収納する分類収納装置および分類収納方法に関し、特に電気特性測定結果に基づいて特性ランク別に分類された収納用スリーブに、半導体装置を自動で分類収納し、作業者が手作業で収納用スリーブの供給および取出しを行うセミオートテストハンドラに好適に適用される分類収納装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトカプラおよびＳＳＲ（Solid State Relay）などの半導体装置においては、製造された半導体装置の全てに対して電気特性の測定を行っている。これらの半導体装置の多くは、電気特性の測定結果に基づいてランク分けされ、ランク別に区分された収納用スリーブに分類して収納される。たとえばフォトカプラでは光電流Ｉｃ、ＳＳＲでは最小トリガ電流Ｉｆｔなどの電気特性の測定結果を用いてランクの分類が行われる。
【０００３】
また実際の生産では、ある電気特性が特定のランクに分類されることを狙って半導体装置を製造しているので、半導体装置をランク分けしたときに、各ランクに分類される半導体装置の割合は均一ではなく、特定のランクに集中することが多い。たとえば電気特性の測定結果に基づいて良品とされた半導体装置の数の９９％以上が特定のランクに集中することも珍しくない。
【０００４】
従来の技術のテストハンドラ、および半導体装置の分類収納作業は自動で行い、作業者が手作業で収納用スリーブの供給および取出しを行うセミオートテストハンドラにおいては、投入される半導体装置のランクの分布に関係なく、各収納用スリーブに対応して、１つのランクが予め定められて固定されているか（たとえば特許文献１参照）、あるいは、各収納用スリーブに対応するランクを作業者がマニュアル操作によって生産ロット投入前に設定している（たとえば特許文献２参照）。
【０００５】
【特許文献１】実開平７−３２５８０号公報
【特許文献２】特開平８−３６０２５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
各収納用スリーブに対応して、１つのランクが予め定められて固定されている場合、収納される半導体装置が特定のランクに集中すると、その他のランクに対応する収納用スリーブは殆ど使われることがなく、分類が集中したランクの収納用スリーブの交換を頻繁に行わなければならないので効率が悪い。さらに、セミオートテストハンドラでは、特定のランクに対応する収納用スリーブが全て満杯になると動作を停止するので、作業者のスリーブ交換作業が追いつかないと、装置が停止してしまい、装置稼動率の低下の要因にもなっている。
【０００７】
また、各収納用スリーブに対応する特性ランクを作業者がマニュアル操作によって生産ロット投入前に設定する場合では、ある特定のランクを狙って半導体装置を製造しているので、集中が予想されるランクに対応する収納用スリーブを予め多く取るように設定しておくことが可能であるが、半導体装置のランクが何らかの原因で狙ったランクに集中しなかった場合、スリーブ交換作業をさらに頻繁に行わなければならなくなり、セミオートテストハンドラでは、装置の停止の頻度もさらに多くなってしまう。さらに、収納用スリーブに対応するランクの設定作業を、作業者が行う必要があるので、作業者の思い違いおよび作業ミスによって収納用スリーブに対応させるランクの誤設定によって、装置の停止の頻度が多くなるおそれがある。
【０００８】
したがって本発明の目的は、物体の種類情報に基づく収納容器への分類収納を高信頼性にて行うことができ、収納容器の交換頻度を低減するとともに、装置の停止頻度を低減することができる分類収納装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、複数の種類からなる複数の物体を、複数の収納容器に前記種類毎に分類して収納する分類収納装置であって、
各物体の種類を表す種類情報を取得する取得手段と、
各物体を、前記複数の収納容器のいずれかに搬送する搬送手段と、
前記取得手段によって取得した種類情報に基づいて、各物体を前記複数の収納容器のいずれかに搬送させる制御手段とを含み、
前記制御手段には、
前記各収納容器のうち少なくとも一部の収納容器に複数の種類情報が重複して対応するように、すべての収納容器に種類情報が対応付けて設定され、かつ
同じ種類の収納容器に、物体が収納されるべき順番を表す収納順番情報が対応付けて設定され、
前記制御手段は、
前記複数の物体を、収納順番情報が表す順番で、各収納容器に順次的に収納されるように、前記搬送手段を制御することを特徴とする分類収納装置である。
【００１０】
また本発明は、複数の収納容器は、列状に配置され、
前記制御手段には、
複数の収納容器から成る収納容器群の配列方向の一方の端部に設けられる複数の収納容器に、少なくとも第１種類情報を対応付けて設定され、この第１種類情報に対応付けして設定される各収納容器に、配列方向一方から他方に向かって収納すべき順番が遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定され、
複数の前記収納容器から成る収納容器群の配列方向の他方の端部に設けられる複数の収納容器に、少なくとも第２種類情報を対応付けて設定され、この第２種類情報に対応付けして設定される各収納容器に、配列方向他方から一方に向かって収納すべき順番が遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定され、
複数の前記収納容器の配列方向の中間部に設けられる複数の収納容器には、少なくとも第１および第２種類情報とは異なる種類情報を対応付けして設定され、第１および第２種類情報とは異なり、かつ互いに同じ種類情報に対応付けして設定される収納容器に、前記配列方向の中央部に配置された収納容器から、配列方向の一方および他方に向かって収納すべき順番がそれぞれ遅くなるように収納順番情報が対応付けして設定されることを特徴とする。
【００１１】
また本発明は、前記制御手段は、未収納で、かつ複数の種類情報に対応付けして設定された収納容器に物体を収納させたとき、この収納容器が設けられる位置に、収納した物体に対応付けして設定される種類を対応付けて設定し、以後、所定の指令が与えられるか、または分類処理が終了するまでは、前記位置に設けられる収納容器には、所定の位置に対応する種類情報のみを対応付けして設定することを特徴とする。
【００１２】
また本発明は、前記制御手段は、前記物体を収納すべき収納容器に、他の種類の物体が収納されていると、収納順番情報に応じて次に収納すべき収納容器に物体を収納させることを特徴とする。
【００１３】
また本発明は、各収納容器のそれぞれについて、収納される物体の種類を表す識別情報を表示する表示手段をさらに含むことを特徴とする。
【００１４】
また本発明は、各収納容器のそれぞれに、収納される物体の種類を表す識別情報を付加する識別情報付加手段をさらに含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、制御手段は、取得手段によって取得された物体の種類を表す種類情報に基づいて、搬送手段を制御して物体を複数の収納容器のいずれかに搬送させて収納させる。制御手段は、各収納容器のうち少なくとも一部の収納容器に複数の種類が重複して対応するように、すべての収納容器に対応させて種類情報を認識している。複数の種類が重複して対応付けられた１または複数の収納容器には、１つの種類の物体だけが収納される。
【００１６】
制御手段は、同じ種類の物体が収納されるべき各収納容器に、収納する順番を表す収納順番情報が対応付けで設定される。したがって、物体は、その種類に対応する収納容器に順番が早い方から収納されるように前記搬送手段を制御する。
【００１７】
これによって、複数の種類にわたる物体が、所定の種類だけに集中して存在する場合であっても、物体の数に応じて重複した種類に対応付けられた収納容器を、いずれか一方の種類の物体を収納するための収納容器に振り分けて、特定の種類だけに集中して存在する物体を、円滑に連続して収納することができる。このようにして、物体の種類毎に割り当てられた１または複数の収納容器に、予め定める数の物体が収納されたとき、前記１または複数の収納容器の頻繁な交換を少なくして、収納容器の交換頻度を低減することができる。また収納容器の交換を作業者によって行う場合には、各種類毎に割り当てられた収納容器が満杯になると、その交換作業のために装置を停止させる必要が生じるが、前述のように複数の種類が重複して対応付けられた収納容器を、数が多い物体を収納するための収納容器として使用されるので、前記装置の頻繁な停止を少なくして停止頻度を軽減し、装置の停止時間を短縮することができる。
【００１８】
また収納容器を交換する頻度を軽減することができるので、作業者による作業量を低減することができ、作業者１人での多数台の分類収納装置の運転が可能になり、ひいては人件費の削減を図ることができる。
【００１９】
従来の技術では、分類処理前に各収納容器ごとに格納される物品の種類を１つに決定する必要があり、分類処理前に、作業者が手作業で各収納容器にそれぞれ１つの種類情報を対応付けして設定する必要があるが、本発明では、各収納容器への種類情報の対応付けは、予めデフォルト（標準の動作条件）として制御手段に設定されており、分類処理前に作業者が手作業で各収納容器に１つの種類情報を対応付けして設定する必要がなく、作業者の作業負担を軽減できると共に、作業者の思い違いおよび作業ミスによって生じる誤設定に起因する従来の技術の問題点を解決することができ、高信頼性を達成することができる。
【００２０】
また本発明によれば、複数の前記収納容器が列状に配置され、制御手段が、複数の前記収納容器の配列方向の一方の端部、他方の端部および中間部のそれぞれに設けられる各収納容器に、前述したように収納順番情報を対応付けして設定することによって、物体が収納された収納容器を、物体の種類ごとにまとめて配置することができ、物体が収納された収納容器を作業者が取り出す場合であっても、物体が収納された収納容器の区別が容易となる。
【００２１】
また本発明によれば、制御手段は、未収納で、かつ複数の種類情報に対応する収納容器に物体を収納させたとき、この収納容器が設けられる位置に、収納した物体に対応する種類情報を対応させ、以後、所定の指令が与えられるか、または分類処理が終了するまでは、前記位置に設けられる収納容器には、所定の位置に対応する種類情報のみを対応付けして設定するので、収納容器を交換しても、同じ位置に配置される収納容器には、交換前の収納容器に収納された種類と同じ種類の分類物を収納することができる。たとえば半導体装置などの物体を分類するときには、生産ロット単位で連続して収納処理を行うが、生産ロット単位では種類の分布が安定しているので、生産ロット単位で処理が終了するまでは、複数の半導体装置の各種類の割合はほぼ一定となる。このような場合では、所定の位置に設けられる収納容器に、所定の種類の物体を収納することを固定することによって、作業者が、たとえば半導体装置などの物体で満杯になった収納容器を分類収納装置から取り出し、種類別のコンテナに収容する際、作業者の勘違い、および間違った思い込みによって、互いに異なる種類の物体が収納された収納容器を混在させるという作業ミスを防止することができる。
【００２２】
また本発明によれば、制御手段は、収納順番情報に応じて物体を収納すべき収納容器に、他の種類情報に対応する物体が収納されていると、収納順番情報に応じて次に収納すべき収納容器に物体を収納させるので、収納容器が複数の種類情報に対応していても、それぞれの収納容器には、１種類のみの半導体装置を収納させることができる。
【００２３】
また本発明によれば、表示手段に、各収納容器のそれぞれについて、収納される物体の種類を表す識別情報が表示されるので、各収納容器がそれぞれどの種類の半導体装置を収納するのかを利用者に知らせることができる。これによって、物体が収納された収納容器を作業者が取り出す場合であっても、物体が収納された収納容器の区別が容易となり、装置から取り出した収納容器を区別するときに、作業者の思い違いおよび作業ミスによって、区別した収納容器群に、異なる種類の半導体装置が収納された収納容器が混在することを防止することができる。
【００２４】
また本発明によれば、識別情報付加手段によって、各収納容器のそれぞれに、収納される物体の種類を表す識別情報が付加されるので、各収納容器がそれぞれどの種類の半導体装置を収納するのかを利用者に知らせることができる。これによって、物体が収納された収納容器を作業者が取り出す場合であっても、物体が収納された収納容器の区別が容易となり、装置から取り出した収納容器を区別するときに、作業者の思い違いおよび作業ミスによって、区別した収納容器群に、異なる種類の半導体装置が収納された収納容器が混在することを防止することができる。
【００２５】
また本発明によれば、取得した物体の種類を表す種類情報に基づいて、物体を複数の収納容器のいずれかに搬送させて収納させる。各収納容器のうち少なくとも一部の収納容器に、複数の種類情報が対応するように、各収納容器に種類情報を対応させている。複数の種類情報に対応させている収納容器には、複数の種類情報のいずれか１つの種類情報に対応する物体が収納される。同じ種類情報に対応する収納容器群に含まれる各収納容器に、収納すべき順番を表す収納順番情報を対応させて、物体を、この物体の種類情報に対応する収納容器群のうち、これらの収納容器群に含まれる各収納容器に対応する収納順番情報が表す順番が早い方から、各収納容器に１種類のみの物体を所定の数収納する。これによって、複数の物体の種類が、所定の種類に集中していても、フレキシブルに収納容器を振り分けて、集中した種類の物体の収納に自動的に多くの収納容器が使われるようになるので、収納容器が満杯になることによって生じる収納容器の交換の頻度を低減することができ、また作業者が収納容器を交換する場合には、収納容器が満杯になることによって生じる装置の停止頻度を軽減して、装置の停止時間を短縮することができる。
【００２６】
また収納容器を交換する頻度を軽減することができるので、作業者が収納容器を交換する場合であっても、作業者１人での多数台の分類収納装置の運転が容易になり、ひいては人件費を削減することができる。
【００２７】
また各収納容器に対応する種類情報を、分類処理前に作業者が手作業で行う必要がなく、作業者の作業負担を軽減できると共に、作業者の思い違いおよび作業ミスによって生じる誤設定に起因する従来の技術の問題点を解決することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
図１は、本発明の実施の一形態の分類収納装置を含むセミオートテストハンドラ１を有する分類収納システム２の構成を概略的に示すブロック図である。セミオートテストハンドラ１は、分類収納方法を実施する。セミオートテストハンドラ１は、物体であるフォトカプラおよびＳＳＲ（Solid State Relay）などの半導体装置を、後述する測定部５にセットし、電気的な特性の性能測定を行い、その測定結果に基づき半導体装置を電気特性に応じた複数の種類に分類して、収納容器である後述する収納用スリーブ１６に収納するものである。
【００２９】
分類収納システム２は、セミオートテストハンドラ１と、半導体装置の電気的な特性を測定する電気特性測定用テスタ３とを含んで構成される。セミオートテストハンドラ１は、ローダ部４と、測定部５と、分類搬送部６と、アンローダ部７と、制御部８と、表示部９と、識別情報付加部１１と、操作部１２とを含んで構成される。本実施の形態では、分類搬送部６と、アンローダ部７と、制御部８と、表示部９と、識別情報付加部１１とを含んで分類収納装置１が構成される。アンローダ部７は、収納容器である収納用スリーブ１６を所定の位置に載置される収納用スリーブ載置部を有する。収納用スリーブ載置部には、複数の収納用スリーブ１６を配置可能である。収納スリーブ載置部には、各収納用スリーブ１６が配置されているか否かを各収納用スリーブ１６について個別に検出する収納用スリーブ検出センサが設けられる。収納用スリーブ検出センサは、収納用スリーブ１６の有無によって接点が開閉する機械スイッチによって実現されてもよく、物体検出用の光電センサによって実現されてもよい。
【００３０】
ローダ部４には、分類すべき半導体装置が供給され、供給された半導体装置を、制御部８の指令に応じて、測定部５に搬送して供給する。ローダ部４には、半導体装置が供給トレイに整列収納された状態で供給される。ローダ部４には、供給トレイが載置される供給トレイ載置部が設けられ、この供給トレイ載置部に載置される供給トレイの交換は、作業者が手作業で行う。ローダ部４は、供給トレイに収納されている半導体装置を保持して、３次元的に半導体装置を移動させることができる第１ロボットアーム体を含んで構成される。第１ロボットアーム体は、半導体装置を保持して、供給トレイから測定部５に供給する。
【００３１】
測定部５は、測定用トレイを有し、制御部８からの指令に応じて、測定用トレイに収納された半導体装置の電気的な特性を測定するための測定準備処理を行う。前記ローダ部４は、測定用トレイに半導体装置を供給して、測定用トレイに半導体装置を収納する。たとえば半導体装置がフォトカプラである場合、測定部５では、フォトカプラの入力側である発光素子に所定の電流を流して発光させるとともに、出力側である受光素子に所定の電圧を印加し、電気特性として、このとき受光素子に流れる電流（＝光電流Ｉｃ）を得る。またたとえば半導体装置がＳＳＲである場合、測定部５では電気特性として最小トリガ電流Ｉｆｔを得るために、半導体装置に電圧を印加する。測定部５は、電気特性測定用テスタ３に接続される。
【００３２】
電気特性測定用テスタ３は、測定部５および制御部８にオンラインで電気的に接続されている。電気特性測定用テスタ３は、電流計測器を含んで構成され、測定部５から与えられる電流を測定する。また電気特性測定用テスタ３は、マイクロコンピュータを含んで構成され、測定結果に基づいて、この測定結果が得られた半導体装置の特性ランクを決定する。電気特性測定用テスタ３には、半導体装置の特性に関する特性情報と、この特性情報に応じた特性ランクを表す特性ランク情報とが複数組記憶されている。前記測定結果が電流値で表されるのであれば、半導体装置の特性情報は、電流値の範囲を表す。特性情報と、特性ランク情報とは、予め定められて記憶されている。前記特性ランクは、半導体装置の特性に応じた分類を表し、半導体装置の種類を表す。すなわち特性ランク情報は、種類情報である。電気特性測定用テスタ３は、各半導体装置の測定結果に対応する特性ランク情報をオンラインで制御部８に送信して与える。電気特性測定用テスタ３および測定部５は、取得手段を構成する。
【００３３】
分類搬送部６は、制御部８からの指令に応じて、測定部５において測定が終了した半導体装置をアンローダ部７に搬送する。分類搬送部６は、測定用トレイに収納されている半導体装置を保持して、３次元的に半導体装置を移動させることができる第２ロボットアーム体を含んで構成される。第２ロボットアーム体は、半導体装置を保持して、測定用トレイからアンローダ部７に半導体装置を搬送する。分類搬送部６は、制御部８からの指令に応じて、アンローダ部７に配置される複数の収納用スリーブ１６のうちのいずれかに半導体装置を搬送して収納する。アンローダ部７には、複数の収納用スリーブ１６が、列状に配置され、本実施の形態では所定の方向に、１列に配置される。
【００３４】
制御部８は、ローダ部４、測定部５、分類搬送部６、表示部９および識別情報付加部１１の各部を制御する。制御部８は、操作部１２からの指令に応じて、ローダ部４から測定部５に半導体装置を供給させ、半導体装置の電気的な特性を測定した後、測定の終了した半導体装置を分類搬送部６によってアンローダ部７に収納させる一連の分類収納処理を行わせたり、この分類収納処理を停止するように各部を制御する。
【００３５】
制御部８は、たとえばマイクロコンピュータによって実現され、電気特性測定用テスタ３から与えられる特性ランク情報をオンラインで受信して、この特性ランク情報を得た半導体装置に対応させて記憶する。制御部８は、電気特性測定用テスタ３から与えられる特性ランク情報に応じて、分類搬送部６を制御し、アンローダ部７に配置された収納用スリーブ１６のうち、この特性ランクに対応付けして設定される収納用スリーブ１６に、半導体装置を搬送させて、収納させる。
【００３６】
制御部８は、各収納用スリーブ１６のうち少なくとも一部の収納用スリーブ１６に複数の特性ランクが対応付けして設定されるように、前記各収納用スリーブ１６と特性ランク情報を対応させて記憶している。また同じ特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６群に含まれる各収納用スリーブ１６に、収納すべき順番を表す収納順番情報であるスリーブ番号情報を対応させて記憶する。
【００３７】
制御部８は、半導体装置を、この半導体装置の特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６群のうち、これらの収納用スリーブ１６群に含まれる各収納用スリーブ１６に対応付けして設定されるスリーブ番号情報が表す順番で、各収容スリーブ１６に順次的に収容されるように分類搬送部６を制御する。また制御部８は、各収納用スリーブ１６にはそれぞれ１つの特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置のみが、所定の数収納されるように、分類搬送部６を制御する。すなわち同じ特性ランク情報に対応付けして設定される各収納用スリーブ１６には、収納順番を表すスリーブ番号が予め割り当てられており、その特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６のうちスリーブ番号が最も小さいスリーブ番号情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６から半導体装置を順番に収納する。制御部８は、１つの収納用スリーブ１６に、所定の数の半導体装置が収納されたか否かを判断し、たとえば１つの収納用スリーブ１６が満杯になれば、所定の数の半導体装置が収納されていない、たとえば満杯になっていない収納用スリーブ１６のうち、スリーブ番号が最も小さいスリーブ番号情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６に収納先を切り替えるように、分類搬送部６を制御する。
【００３８】
制御部８は、アンローダ部７の収納用スリーブ検出センサの検出結果に応じて、各位置に収納用スリーブ１６が設けられているか否かを判断する。制御部８は、収納用スリーブ１６が１つも設けられてない場合、および、収納すべきスリーブ番号情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６に、半導体装置を収容することができない場合には、分類収納処理を停止するように各部を制御する。また制御部８は、収納用スリーブ検出センサの検出結果に基づいて、収納用スリーブ１６が設けられていると判断した後、収納用スリーブ１６が設けられてないと判断し、再び収納用スリーブ１６が設けられていると判断すると、収納用スリーブ１６が交換されたと判断する。
【００３９】
表示部９は、制御部８からの指令に応じて、アンローダ部７に配置された個々の収納用スリーブ１６について、それぞれ収納される半導体装置に対応付けして設定される特性ランク情報に対応した表示を行う。複数の特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６については、複数の特性ランク情報のうち、いずれの特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置が収納されるのかを決定した時点で、この決定した特性ランク情報を表示させる。表示部９は、たとえば、特性ランク別に色分けされた可視光ＬＥＤ（Light Emitting Diode）、数字表示用７セグメントＬＥＤまたは液晶表示装置などによって実現される。これらの表示部９は、セミオートテストハンドラ１のアンローダ部７の各収納用スリーブ１６に近接する場所に設ける。これによって作業者にとって、どの収納用スリーブ１６にどの特性ランクの半導体装置が収容されているのかの識別がしやすい。
【００４０】
識別情報付加部１１は、各収納用スリーブ１６のそれぞれに、収納される半導体装置の特性ランクを表す特性ランク情報を付加する。アンローダ部７に配置された個々の収納用スリーブ１６が、どの特性ランク情報に対応しているかを作業者に知らせるために、収納用スリーブ１６そのものに、特性ランクを識別するための印を加工する加工手段、もしくは特性ランクを識別するための印を付加する印付加手段を備えている。
【００４１】
前記加工手段、もしくは印付加手段は、各収納用スリーブ１６に、この収納用スリーブ１６に対応付けして設定される特性ランクに対応した加工、もしくは印を付加するようにする。複数の特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６については、複数の特性ランク情報のうち、いずれの特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置が収納されるのかを決定した後に、加工手段によって前記印が加工されるか、印付加手段によって印が付加される。収納用スリーブ１６そのものに、特性ランクを識別するための具体的な加工手段、もしくは識別のための印を付加する具体的な手段としては、レーザマーキング装置、スタンプ式捺印装置、特性ランク別に色分けされたストッパを付加する装置、ＩＣ（Integrated Circuit）タグを付加する装置などによって実現される。
【００４２】
操作部１２は、制御部８に分類収納処理を開始する指令を与えたり、分類収納処理を停止する指令を与えたりするための操作指令キーを含んで構成される。また操作部１２は、セミオートテストハンドラ１を初期状態に戻すためのリセット指令を与えるためのリセット操作指令キーを含んで構成される。各収納スリーブ１６に対応付けして設定される特性ランク情報およびスリーブ番号情報は、制御部８に予めデフォルトとして設定されており、分類収納処理を行う毎に、分類収納処理前に作業者が操作部１２を操作して特性ランク情報およびスリーブ番号情報を制御部８に記憶させる作業は不要である。また操作部１２には、各収納スリーブ１６に対応付けして設定する特性ランク情報およびスリーブ番号情報を入力する情報入力キーを含んで構成され、分類収納処理前に、前記情報入力キーによって、制御部８に、各収納スリーブ１６に対応付けして設定される特性ランク情報およびスリーブ番号情報をデフォルトから変更して設定してもよい。
【００４３】
図２は、各収納用スリーブ１６に対応付けして設定するスリーブ番号情報、および特性ランク情報の割り当て方の一例を示す図である。図２には、セミオートテストハンドラ１のアンローダ部７に一列に配置された２０本の収納用スリーブ１６ａ〜１６ｔを示している。収納用スリーブ１６ａ〜１６ｔのうち、不特定のものを示すときに収納用スリーブ１６と記載する。半導体装置は、その電気的特性の測定結果によって、Ａランク、Ｂランク、ＣランクおよびＤランクの４つの特性ランクに分類される。また、図２に示す参照符号Ａ１〜Ａ７、Ｂ１〜Ｂ１１、Ｃ１〜Ｃ１１、Ｄ１〜Ｄ７は、それぞれＡランク、Ｂランク、ＣランクおよびＤランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６に割り当てられた収納すべき順番を表すスリーブ番号を示し、スリーブ番号の大小は添え字の数字の大小によって定められ、スリーブ番号が小さいほど収納すべき順番が早いことを表す。
【００４４】
制御部８は、複数の収納用スリーブ１６から成る収納容器群２０の配列方向Ｘの一方の端部２１に設けられる複数の収納用スリーブ１６には、少なくとも第１種類情報であるＡランクを表す特性ランク情報を対応させ、このＡランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される各収納用スリーブ１６ａ〜１６ｇに、配列方向Ｘ一方から他方に向かって収納すべき順番となるようにスリーブ番号Ａ１〜Ａ７を表す収納順番情報を対応させて、この対応させた情報を記憶する。
【００４５】
また制御部８は、複数の収納用スリーブ１６から成る収納容器群２０の配列方向Ｘの他方の端部２２に設けられる複数の収納用スリーブ１６には、少なくとも第２種類情報であるＤランクを表す特性ランク情報を対応させ、このＤランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される各収納用スリーブ１６ｎ〜１６ｔに、配列方向Ｘ他方から一方に向かって収納すべき順番となるようにスリーブ番号Ｄ１〜Ｄ７を表す収納順番情報を対応させて、この対応させた情報を記憶する。
【００４６】
また制御部８は、複数の収納用スリーブ１６から成る収納容器群２０の配列方向Ｘの両端を除く中間部２３に設けられる複数の収納用スリーブ１６ｂ〜１６ｓには、少なくともＡランクおよびＤランクを表す特性ランク情報とは異なる、ＢランクまたはＣランクを表す特性ランク情報を対応させ、ＡランクおよびＢランクを表す特性ランク情報とは異なり、かつ互いに同じ特性ランク情報に対応させた収納用スリーブ１６に、配列方向Ｘの中央部に配置された収納用スリーブ１６から、配列方向Ｘの一方および他方に向かって収納すべき順番がそれぞれ遅くなるように収納順番情報を対応させて、この対応させた情報を制御部８は記憶する。
【００４７】
すなわち制御部８は、Ｂランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ｂ〜１６ｌには、配列方向Ｘの中央部に配列された収納スリーブ１６ｈから、配列方向Ｘの一方および他方に向かって収納すべき順番がそれぞれ遅くなるようにスリーブ番号Ｂ１〜Ｂ１１を表す収納順番情報を対応付けして設定する。スリーブ番号Ｂ１を表す収納順番情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ｈに近接する各収納用スリーブ１６ｅ〜１６ｇ、１６ｉ〜１６ｌには、収納用スリーブ１６ｈを中心として配列方向Ｘの一方と他方とに交互に順番が入れ替わるように、すなわち配列方向Ｘの一方に奇数番目を表し、配列方向Ｘの他方に偶数番目を表す収納順番情報を対応させて、この対応させた情報を制御部８は記憶する。
【００４８】
また制御部８は、Ｃランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ｉ〜１６ｓには、配列方向Ｘの中央部に配列された収納スリーブ１６ｍから、配列方向Ｘの一方および他方に向かって収納すべき順番がそれぞれ遅くなるようにスリーブ番号Ｃ１〜Ｃ１１を表す収納順番情報を対応付けして設定する。スリーブ番号Ｃ１を表す収納順番情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ｍに近接する各収納用スリーブ１６ｉ〜１６ｌ、１６ｎ〜１６ｑには、収納用スリーブ１６ｍを中心として配列方向Ｘの一方と他方とに交互に順番が入れ替わるように、すなわち配列方向Ｘの一方に奇数番目を表し、配列方向Ｘの他方に偶数番目を表す収納順番情報を対応させ、対応させた情報を制御部８は記憶する。
【００４９】
さらに言い換えると、Ａランクを表す特性ランク情報は、収納用スリーブ群２０の配列方向Ｘの一方の端に配置される収納用スリーブ１６ａに最も小さいスリーブ番号Ａ１が割り当てられており、Ａランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される複数の収納用スリーブ１６では、配列方向Ｘの他方に向かうほど大きなスリーブ番号が割り当てられる。
【００５０】
Ｂランクを表す特性ランク情報は、収納用スリーブ群２０の配列方向Ｘの中間部に配置される収納用スリーブ１６ｈに最も小さいスリーブ番号Ｂ１が割り当てられており、配列方向Ｘの一方および他方に離れて行くほど大きなスリーブ番号が割り当てられる。図２に示す例では、収納用スリーブ１６ｈの配列方向Ｘの他方に隣接して配置される収納用スリーブ１６ｉに偶数番目のスリーブ番号Ｂ２を割り当てているが、収納用スリーブ１６ｈの配列方向Ｘの他方に隣接して配置される収納用スリーブ１６ｇに偶数番目のスリーブ番号Ｂ２を割り当ててもよい。
【００５１】
Ｃランクを表す特性ランク情報は、収納用スリーブ群２０の配列方向Ｘの中間部に配置される収納用スリーブ１６ｍに最も小さいスリーブ番号Ｃ１が割り当てられており、配列方向Ｘの一方および他方に離れて行くほど大きなスリーブ番号が割り当てられる。図２に示す例では、収納用スリーブ１６ｍの配列方向Ｘの他方に隣接して配置される収納用スリーブ１６ｎに偶数番目のスリーブ番号Ｃ２を割り当てているが、収納用スリーブ１６ｍの配列方向Ｘの一方に隣接して配置された収納用スリーブ１６ｌに偶数番目のスリーブ番号Ｃ２を割り当ててもよい。
【００５２】
Ｄランクを表す特性ランク情報は、収納用スリーブ群２０の配列方向Ｘの他方の端に配置される収納用スリーブ１６ｔに最も小さいスリーブ番号Ｄ１が割り当てられており、Ｄランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される複数の収納用スリーブ１６では、配列方向Ｘの一方に向かうほど大きなスリーブ番号が割り当てられる。
【００５３】
図２に示す矢符Ｆａ，Ｆｂ，Ｆｃ，Ｆｄは、収納用スリーブ１６への半導体装置の収納順序を示している。
【００５４】
それぞれの特性ランク情報に対応付けして設定される収納スリーブ１６のうち、最も小さいスリーブ番号が割り当てられる収納用スリーブ１６ａ、１６ｈ、１６ｍ、１６ｔ以外の収納用スリーブ１６ｂ〜１６ｇ，１６ｉ〜１６ｌ，１６ｎ〜１６ｓは、異なる複数の特性ランクに対応し、ここでは２つの特性ランクのスリーブ番号が重複して割り当てられている。たとえば、収納用スリーブ１６ｂについて見れば、Ａランクを表す特性ランク情報およびスリーブ番号Ａ２を表す収納順番情報と、Ｂランクを表す特性ランク情報およびスリーブ番号Ｂ１１を表す収納順番情報とが、割り当てられている。この場合、収納用スリーブ１６ｂには、Ａランクの特性ランク情報の半導体装置と、Ｂランクの特性ランク情報の半導体装置とのどちらかが収納される可能性があるが、制御部８は、複数の特性ランク情報のうち、１個目に収納される半導体装置に対応付けして設定される特性ランク情報のみを、収納スリーブ１６に対応させて、対応させた情報を記憶する。
【００５５】
制御部８は、未収納で、かつ複数の特性ランク情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６に半導体装置を収納させたとき、この収納用スリーブ１６が設けられる位置に、収納した半導体装置に対応付けして設定される特性ランク情報を対応させ、この対応させた情報を記憶し、以後、操作部１２から分類収納処理を停止させる指令が与えられたり、または分類処理が終了したりするまでは、前記位置に設けられる収納用スリーブ１６には、所定の位置に対応付けして設定される特性ランク情報のみを対応付けして設定する。操作部１２には、セミオートテストハンドラ１を初期状態に戻すためのリセットボタンが設けられる。制御部８には、分類収納した半導体装置の個数をカウントするカウンタが設けられる。制御部８は、分類処理が終了したか否かの判断を、作業者が、操作部１２を操作して、前記リセットボタンを押したり、カウンタをクリアするなどしたときに、制御部８に与えられる分類処理が終了したことを表す指令に基づいて判断する。制御部８は、分類処理が終了したことを表す指令が与えられると、ロットエンド処理を実行して、初期状態に戻し、各収納容器への種類情報の対応付けをデフォルトに設定する。
【００５６】
たとえば、収納用スリーブ１６ｂに最初に収納された半導体装置に対応付けして設定される特性ランク情報がＡランクを表していれば、収納用スリーブ１６ｂに最初の半導体装置を収容した後は、この収納用スリーブ１６ｂに対応付けして設定される特性ランク情報として、Ａランクを表す特性ランク情報を確定する。すなわち収納用スリーブ１６ｂに最初の半導体装置を収容した後、制御部８は、収納用スリーブ１６ｂに、Ａランクを表す特性ランク情報のみを対応させて記憶すると、リセット指令が操作部１２から与えられるか、あるいはエンドロット処理を実行しない限り、作業者が収納用スリーブ１６ｂの交換を行っても、収納用スリーブ１６ｂが設けられる位置に配置される収納用スリーブにはＡランクを除く他のランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置を収納させず、Ａランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置のみを収納させる。
【００５７】
作業者は、満杯になった収納用スリーブ１６を、手作業で、セミオートテストハンドラ１から取り出し、特性ランク別のコンテナに収容する。セミオートテストハンドラ１では、この特性ランク別のコンテナに収納する作業は作業者が手作業で行うため、作業者の勘違いによって、取り出した収納用スリーブ１６を間違った特性ランクのコンテナに収容してしまい、互いに異なる種類の半導体装置が収納された収納用スリーブ１６を混在させてしまうといった作業ミスが起こり得るが、前述したように所定の位置に設けられる収納スリーブ１６に収納される半導体装置に対応する特性ランク情報を、収納スリーブ１６を交換しても変わらないようにすることによって、前述したような作業ミスを抑制することができる。
【００５８】
また制御部８は、同じ特性ランク情報に対応、すなわち同じランクの特性ランク情報に対応付けして設定される複数の収納用スリーブ１６のうち、最も収納番号情報が表す順番が早い、すなわちスリーブ番号が最も小さい、収納用スリーブ１６ａ、１６ｈ、１６ｍ、１６ｔには、他のランクを表す特性ランク情報が対応せず、特性ランク情報を重複させて記憶しない。これによって収納用スリーブ１６ａ、１６ｈ、１６ｍ、１６ｔには、他の特性ランクを表す特性ランク情報に対応付けして設定される半導体装置が収納されることはない。このように、収納用スリーブ１６ａ、１６ｈ、１６ｍ、１６ｔ以外の収納用スリーブについては、収納される半導体装置に特性ランク情報が初期段階では複数対応付けして設定されることによって、ローダ部４に投入する半導体装置の生産ロットの特性ランクの分布によって、各収納用スリーブ１６に収納される半導体装置の特性ランクが、順次、フレキシブルに決定される。
【００５９】
このように各収納用スリーブ１６に特性ランクが決定されるので、各収納用スリーブ１６にそれぞれどの特性ランク情報に対応しているかを、表示部９および識別情報付加部１１によって作業者に知らせる。制御部８は、表示部９に、各収納用スリーブ１６のそれぞれについて、収納される半導体装置の特性ランクを表す識別情報を表示させる。これによって各収納用スリーブ１６がそれぞれどの特性ランクの半導体装置を収納するのかを作業者に知らせることができる。したがって半導体装置が収納された収納用スリーブ１６を作業者がアンローダ部から取り出す場合であっても、半導体装置が収納された収納用スリーブ１６の区別が容易となり、アンローダ部７から取り出した収納用スリーブ１６を区別するときに、作業者の思い違いおよび作業ミスによって、区別した収納スリーブ群に、異なる特性ランクの半導体装置が収納された収納用スリーブ１６が混在することを防止することができる。
【００６０】
また制御部８は、識別情報付加部１１に、各収納用スリーブ１６のそれぞれに、収納される半導体装置の特性ランクを表す識別情報を付加させる。これによって、各収納用スリーブ１６がそれぞれどの特性ランクの半導体装置を収納するのかを利用者に知らせることができる。これによって、物体が収納された収納用スリーブ１６を作業者が取り出す場合であっても、半導体装置が収納された収納用スリーブ１６の区別が容易となり、アンローダ部７から取り出した収納用スリーブ１６を区別するときに、作業者の思い違いおよび作業ミスによって、区別した収納用スリーブ１６の群に、異なる特性ランクの半導体装置が収納された収納用スリーブ１６が混在することを防止することができる。
【００６１】
収納用スリーブ１６のうち、各特性ランクにおいて最も早いスリーブ番号を表すスリーブ番号情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６（以下、基準収納用スリーブという）の間に配置される収納用スリーブ１６群は、この収納用スリーブ１６群を挟む２つの基準収納用スリーブに対応する各特性ランク情報を対応して記憶させる。たとえばスリーブ番号Ａ１が表す収納順番情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ａと、スリーブ番号Ｂ１が表す収納順番情報に対応付けして設定される収納用スリーブ１６ｈとの間の各収納用スリーブ１６ｂ〜１６ｇには、ＡランクおよびＢランクを表す特性ランク情報を対応付けして設定する。これによって、収納スリーブ１６に半導体装置が収容されたときに、同じ特性ランクの半導体装置が収納された収納スリーブ１６をまとまった状態で配置させることでき、半導体装置が収納された収容スリーブ１６をアンローダ部７から取り外してまとめるときに、他の特性ランクの半導体装置が収容された収容スリーブ１６が混在することを抑制することができる。
【００６２】
以上のようにセミオートテストハンドラ１では、制御部８は、各収納用スリーブ１６のうち少なくとも一部の収納用スリーブ１６に複数の種類が重複して対応するように、すべての収納用スリーブ１６に対応させて種類情報を認識している。複数の種類が重複して対応付けられた１または複数の収納用スリーブ１６には、１つの種類の物体だけが収納される。
【００６３】
制御手段は、同じ種類の物体が収納されるべき各収納用スリーブ１６に、収納する順番を表す収納順番情報が対応付けで設定される。したがって、物体は、その種類に対応する収納用スリーブ１６に順番が早い方から収納されるように前記搬送手段を制御する。
【００６４】
これによって、複数の種類にわたる物体が、所定の種類だけに集中して存在する場合であっても、物体の数に応じて重複した種類に対応付けられた収納用スリーブ１６を、いずれか一方の種類の物体を収納するための収納用スリーブ１６に振り分けて、特定の種類だけに集中して存在する物体を、円滑に連続して収納することができる。このようにして、物体の種類毎に割り当てられた１または複数の収納用スリーブ１６に、予め定める数の物体が収納されたとき、前記１または複数の収納用スリーブ１６の頻繁な交換を少なくして、収納用スリーブ１６の交換頻度を低減することができる。また収納用スリーブ１６の交換を作業者によって行う場合には、各種類毎に割り当てられた収納用スリーブ１６が満杯になると、その交換作業のために装置を停止させる必要が生じるが、前述のように複数の種類が重複して対応付けられた収納用スリーブ１６を、数が多い物体を収納するための収納用スリーブ１６として使用されるので、前記装置の頻繁な停止を少なくして停止頻度を軽減し、装置の停止時間を短縮することができる。
【００６５】
また収納用スリーブ１６を交換する頻度を軽減することができるので、作業者による作業量を低減することができ、作業者１人での多数台の分類収納装置の運転が可能になり、ひいては人件費の削減を図ることができる。
【００６６】
また各収納用スリーブ１６への特性ランク情報の対応付けは、制御部８に予めデフォルトとして設定されているので、分類処理前に作業者が手作業で設定する必要がなく、作業者の作業負担を軽減できると共に、作業者の思い違いおよび作業ミスによって生じる誤設定に起因する従来の技術の問題点を解決することができる。
【００６７】
また本発明によれば、複数の収納用スリーブ１６が列状に配置され、制御部８が、複数の収納用スリーブ１６に、前述したように収納順番情報を対応付けして設定することによって、物体が収納された収納用スリーブ１６を、半導体装置の特性ランクごとにまとめて配置することができ、セミオートテストハンドラ１のように半導体装置が収納された収納用スリーブ１６を作業者が取り出す必要があっても、半導体装置が収納された収納用スリーブ１６の区別が容易となる。
【００６８】
本発明の他の実施の形態では、制御部８は、前記収納順番情報に応じて物体を収納すべき収納スリーブ１６に、収納しようとする半導体装置に対応する特性ランクとは異なる特性ランク情報に対応する半導体装置が既に収納されていると、収納順番情報に応じて次に収納すべき収納スリーブ１６に半導体装置を収納させる構成としてもよい。このような構成とすると、収納用スリーブ１６が複数の特性ランク情報に対応していても、１種類のみの半導体装置を収納させることができる。
【００６９】
また本実施の形態では、測定部５および電気特性測定用テスタ３とによって、半導体装置の電気的な特性を測定しているが、これらは、物体の外観の特性を検査して、物体を分類する分類情報を取得するものであってもよく、この場合物体は、半導体装置に限らず、たとえば部品などであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の実施の一形態の分類収納装置を含むセミオートテストハンドラ１を有する分類収納システム２の構成を概略的に示すブロック図である。
【図２】各収納用スリーブ１６に対応付けして設定するスリーブ番号情報、および特性ランク情報の割り当て方の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００７１】
１  セミオートテストハンドラ
３  電気特性測定用テスタ
４  ローダ部
５  測定部
６  分類搬送部
７  アンローダ部
８  制御部
９  表示部
１１  識別情報付加部
１２  操作部
【図１】
2007320745.tif 000003
【図２】
2007320745.tif 000004