(57)【要約】【課題】マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときに出力の低下を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法を提供する。【解決手段】受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタがバスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅よりも広く、バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法である。【選択図】図１
2007266262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタが前記バスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅よりも広く、
前記バスバー電極の上面の幅方向の前記インターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることを特徴とする、インターコネクタ付き太陽電池。
【請求項２】
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１２０％以上であることを特徴とする、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項３】
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１４０％以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池が複数接続されており、充填材により封止されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項４に記載の太陽電池モジュールを製造する方法であって、半導体基板の一主面上に前記バスバー電極および前記集電用電極をそれぞれ形成する工程と、前記インターコネクタを前記バスバー電極に接続して前記インターコネクタ付き太陽電池を形成する工程と、前記インターコネクタ付き太陽電池を複数接続して充填材により封止する工程と、を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インターコネクタ付き太陽電池、太陽電池モジュールおよび太陽電池モジュールの製造方法に関し、特に、マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときの出力の低下を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、エネルギ資源の枯渇の問題や大気中のＣＯ2の増加のような地球環境問題などからクリーンなエネルギの開発が望まれており、特に太陽電池を用いた太陽光発電が新しいエネルギ源として開発、実用化され、発展の道を歩んでいる。
【０００３】
図９（Ａ）に従来の太陽電池の受光面の模式的な平面図を示し、図９（Ｂ）に図９（Ａ）に示す受光面を有する従来の太陽電池の裏面の模式的な平面図を示し、図９（Ｃ）に、図９（Ａ）および図９（Ｂ）のＩＸＣ−ＩＸＣに沿った模式的な断面図を示す。ここで、従来の太陽電池の受光面においては、図９（Ａ）に示すように、ｐ型シリコン基板３上に受光面接続用バスバー電極１と受光面集電用電極２とが備えられている。ここで、従来の太陽電池は、受光面接続用バスバー電極１の上面に、インターコネクタ４が接続されている。
【０００４】
また、従来の太陽電池の裏面においては、図９（Ｂ）に示すように、ｐ型シリコン基板３上に裏面接続用バスバー電極５と裏面集電用電極６とが備えられている。ここで、裏面接続用バスバー電極５の上面にも、インターコネクタ４が接続されている。
【０００５】
図９（Ｃ）に示すように、従来の太陽電池においては、ｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面にはｎ型不純物拡散層８が形成されており、ｎ型不純物拡散層８上に反射防止膜７が形成されている。また、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面にはｐ型不純物拡散層９が形成されている。
【０００６】
上記の従来の太陽電池を複数接続してストリングを形成し、そのストリングをＥＶＡ（エチレンビニルアセテート）などの充填材に封止することによって、太陽電池モジュールが得られる。
【０００７】
図１０（Ａ）に、従来の太陽電池モジュールの受光面の模式的な平面図を示し、図１０（Ｂ）に、図１０（Ａ）に示すＸＢ−ＸＢに沿った模式的な断面図を示す。ここで、従来の太陽電池モジュールは、図１０（Ａ）に示すように、インターコネクタ４同士をバスバーインターコネクタ７２で接続して構成されている。また、従来の太陽電池モジュールは、図１０（Ｂ）に示すように、上記の従来の太陽電池が複数接続されたストリングがガラス板２１と保護フィルム２４との間にＥＶＡからなる充填材２２によって封止された構成となっている。
【０００８】
また、図１１（Ａ）に、図１０（Ａ）に示すＸＩＡ−ＸＩＡに沿った模式的な断面図を示し、図１１（Ｂ）に図１１（Ａ）に示す太陽電池モジュールを上面から見た模式的な平面図を示す。ここで、図１１（Ａ）に示すように、従来の太陽電池モジュールにおいては、受光面接続用バスバー電極１によるシャドウロスに起因する変換効率の低下を防止するために、金属導体２６とその周囲を被覆するはんだ２７とからなるインターコネクタ４の幅ｄと受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄとが同一になっている。
【特許文献１】特許第３７４３７４３号公報
【特許文献２】特開２００５−３１７９０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
近年、低コストで太陽電池を生産するため、ｐ型シリコン基板３の薄型化が必要とされている。しかしながら、図１１（Ａ）に示すように、インターコネクタ４の幅ｄと受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄとが同一である場合には、インターコネクタ４の接続時において、ｐ型シリコン基板３とインターコネクタ４との熱膨張の違いから受光面接続用バスバー電極１のエッジに沿った部分に応力が集中し、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、ｐ型シリコン基板３の受光面にマイクロクラック５１が発生するという問題があった。また、ｐ型シリコン基板３の厚さが厚い場合にはマイクロクラック５１はほとんど発生しないが、ｐ型シリコン基板３の薄型化を進める中で、ｐ型シリコン基板３の厚さが特に１６０μｍ以下となった場合にはマイクロクラック５１の発生量が増加することがわかった。
【００１０】
たとえば、特許文献１には、インターコネクタ４と受光面接続用バスバー電極１との接着強度を向上させるために、受光面接続用バスバー電極１を分割または幅広にし、はんだフィレットを形成しやすくすることが提案されている。しかしながら、この方法においては、インターコネクタ４と受光面接続用バスバー電極１との接着強度を向上させる効果しかなく、マイクロクラック５１の発生を抑制することはできない。
【００１１】
また、特許文献２には、受光面接続用バスバー電極１のエッジ部と太陽電池モジュールの充填材２２とを接触させることによってマイクロクラック５１の発生を抑制する方法が開示されている。これは、受光面接続用バスバー電極１のエッジ部を充填材若しくははんだレジストなどで被覆することで応力を緩和するものである。しかしながら、この方法においては、ｐ型シリコン基板３の厚さが１６０μｍ以下の薄型になると、インターコネクタ４とｐ型シリコン基板３との熱膨張の差により、はんだ付けするときのｐ型シリコン基板３とインターコネクタ４の熱膨張の違いによる応力でマイクロクラック５１が発生することが明らかとなった。はんだレジストなどを受光面接続用バスバー電極１の周辺に塗布する場合は、その分追加工程が必要となり、製造コストが高くなる。また、特許文献２には、受光面接続用バスバー電極１のエッジ部を剛性の高いはんだで被覆しないため応力が緩和されると記載されているが、ｐ型シリコン基板３の厚さを１６０μｍ以下としたときは、受光面接続用バスバー電極１のエッジ部をはんだで被覆しない場合でも受光面接続用バスバー電極１の周辺にマイクロクラック５１が発生することが判明した。
【００１２】
上記事情に鑑みて、本発明の目的は、マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときに出力の低下を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタがバスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅よりも広く、バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることを特徴とするインターコネクタ付き太陽電池である。
【００１４】
ここで、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅の１２０％以上であることが好ましい。
【００１５】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅の１４０％以下であることが好ましい。
【００１６】
また、本発明は、上記のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池が複数接続されており、充填材により封止されていることを特徴とする太陽電池モジュールである。
【００１７】
さらに、本発明は、上記の太陽電池モジュールを製造する方法であって、半導体基板の一主面上にバスバー電極および集電用電極をそれぞれ形成する工程と、インターコネクタをバスバー電極に接続してインターコネクタ付き太陽電池を形成する工程と、インターコネクタ付き太陽電池を複数接続して充填材により封止する工程と、を含む、太陽電池モジュールの製造方法である。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときの出力の低下を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
【００２０】
図１（Ａ）に本発明のインターコネクタ付き太陽電池の一例の受光面の模式的な平面図を示し、図１（Ｂ）に図１（Ａ）に示す受光面を有する本発明のインターコネクタ付き太陽電池の裏面の模式的な平面図を示し、図１（Ｃ）に、図１（Ａ）および図１（Ｂ）のＩＣ−ＩＣに沿った模式的な断面図を示す。
【００２１】
ここで、本発明のインターコネクタ付き太陽電池の受光面においては、図１（Ａ）に示すように、たとえば半導体基板の一例であるｐ型シリコン基板３上に受光面接続用バスバー電極１と受光面集電用電極２とが備えられている。また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、受光面接続用バスバー電極１の上面にインターコネクタ４が接続されている。
【００２２】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池の裏面においては、図１（Ｂ）に示すように、ｐ型シリコン基板３上に裏面接続用バスバー電極５と裏面集電用電極６とが備えられている。ここで、裏面接続用バスバー電極５の上面にもインターコネクタ４が接続されている。
【００２３】
図１（Ｃ）に示すように、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、ｐ型シリコン基板３の受光面にはｎ型不純物拡散層８が形成されており、ｎ型不純物拡散層８上に反射防止膜７が形成されている。また、ｐ型シリコン基板３の裏面にはｐ型不純物拡散層９が形成されている。このｐ型不純物拡散層９はＢＳＦ（Ｂａｃｋ  Ｓｕｒｆａｃｅ  Ｆｉｅｌｄ；裏面電界）層と呼ばれ、ｐ型シリコン基板３の裏面近傍にｐｐ＋層の障壁を形成する。これにより、ｐ型シリコン基板３内で生成された少数キャリアがｐ型シリコン基板３の裏面に向かわないようにすることができるため、ｐｎ接合部に到達するものが増加し、光電流を増加させる。さらに、ｐｐ＋層間のエネルギ差が開放電圧の増大をもたらす。
【００２４】
図２に、図１（Ａ）のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な拡大断面図を示す。本発明のインターコネクタ付き太陽電池の受光面において、受光面接続用バスバー電極１の上面に接続されているインターコネクタ４は、金属導体２６とそれを被覆する導電体としてのはんだ２７とから構成されている。ここで、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄがインターコネクタ４の幅ｄよりも広く、受光面接続用バスバー電極１の上面の幅方向のインターコネクタ４が接続されていない領域Ｒに、はんだ２７が形成されていない箇所がある（すなわち、受光面接続用バスバー電極１の上面の幅方向のインターコネクタ４が接続されていない領域Ｒの少なくとも一部が露出している）ことを特徴としている。これは、本発明者が鋭意検討した結果、受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄをインターコネクタ４の幅ｄよりも広くすることで受光面接続用バスバー電極１のエッジ部にかかる応力を分散してマイクロクラックの発生を抑制することができることを見いだしたことによるものである。
【００２５】
また、図３の太陽電池モジュールの模式的拡大断面図に示すように、本発明のインターコネクタ付き太陽電池を受光面保護部材の一例であるガラス板２１と裏面保護部材の一例である保護フィルム２４との間にたとえばＥＶＡなどからなる充填材２２によって封止して太陽電池モジュールを作製した場合には、受光面接続用バスバー電極１の上面の幅方向のインターコネクタ４が接続されていない領域Ｒで反射した入射光２５を再度ガラス板２１で反射させることによって本発明のインターコネクタ付き太陽電池に入射させることができる。これにより、本発明のインターコネクタ付き太陽電池を太陽電池モジュールに適用した場合には、出力の低下を抑制することができる。
【００２６】
ここで、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄがインターコネクタ４の幅ｄの１２０％以上であることが好ましい。受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄがインターコネクタ４の幅ｄの１２０％以上である場合には、マイクロクラックの発生をより抑制することができる傾向にある。
【００２７】
また、受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄはインターコネクタ４の幅ｄの１４０％以下であることが好ましい。受光面接続用バスバー電極１の幅Ｄがインターコネクタ４の幅ｄの１４０％以下である場合には、マイクロクラックの発生を特に抑制することができるとともに、本発明のインターコネクタ付き太陽電池を太陽電池モジュールに適用したときのシャドウロスによる出力の低下を特に抑制することができる傾向にある。
【００２８】
図４（Ａ）〜（Ｈ）に、本発明のインターコネクタ付き太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図を示す。以下、図４（Ａ）〜（Ｈ）を参照して、本発明のインターコネクタ付き太陽電池の製造方法の一例について説明する。
【００２９】
まず、図４（Ａ）に示すように、たとえばワイヤーソーなどを用いて多結晶のｐ型シリコンインゴットをたとえば１６０μｍ程度の厚さに切り出すことによって、ｐ型シリコン基板３を形成する。ここで、ｐ型シリコン基板３の表面にはワイヤーソーなどによってダメージ層１０が形成される。なお、ｐ型シリコン基板３としては単結晶シリコンを用いることもできる。
【００３０】
次に、図４（Ｂ）に示すように、たとえばフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いたエッチングによって、ダメージ層１０を除去するとともに、ｐ型シリコン基板３の受光面および裏面に大きな段差を有する凹凸（図示せず）を形成する。なお、ｐ型シリコン基板３としては単結晶シリコンを用いた場合には、ＫＯＨ（水酸化カリウム）またはＮａＯＨにイソプロピルアルコールを添加したアルカリ溶液を用いた異方性エッチングを行なって凹凸を形成することもできる。
【００３１】
次いで、図４（Ｃ）に示すように、ｐｎ接合分離を目的として、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面の周縁部にたとえばシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材１１をスピンコータにより塗布する。
【００３２】
そして、図４（Ｄ）に示すように、ｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面に、拡散源としてたとえばＰ2Ｏ5（五酸化二リン）を含むドーパント液１２をスピンコータにより塗布する。続いて、このｐ型シリコン基板３を拡散炉で８００〜９００℃程度に加熱することによって、ｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面にｎ型ドーパントが拡散して、図４（Ｅ）に示すようにｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面に不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層８を形成する。このとき、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面のマスク材１１が塗布された領域にはマスク材１１が加熱されて生じたＴｉＯ2（酸化チタン）とＳｉＯ2（酸化シリコン）とが混在したマスク膜１１ａが形成されるとともに、ドーパント液１２が加熱されて生じたＰＳＧ（リンシリケートガラス）層１２ａが形成される。
【００３３】
そして、ｐ型シリコン基板３をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜１１ａとＰＳＧ層１２ａとを除去することによって、図４（Ｆ）に示すｐ型シリコン基板３を得る。次いで、図４（Ｇ）に示すように、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面上にたとえば厚さ７０ｎｍ〜１００ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜７を形成する。
【００３４】
次に、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面に裏面接続用バスバー電極５用の銀ペーストをスクリーン印刷し、１５０〜２００℃程度で乾燥させる。さらに、この銀ペーストと一部が重なるように裏面集電用電極６用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷して、１５０〜２００℃程度で乾燥させる。次いで、受光面接続用バスバー電極１と受光面集電用電極の形成のために銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１５０〜２００℃程度で乾燥させた後に７００〜７５０℃程度で焼成する。
【００３５】
これにより、図４（Ｈ）に示すように、ｐ型シリコン基板３の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層８とオーミック接触をとる受光面接続用バスバー電極１および受光面集電用電極がファイヤースルーにより形成され、ｐ型シリコン基板３の裏面となる方の主面にはアルミニウムを多量に含んだｐ型不純物拡散層９が形成されるとともにｐ型不純物拡散層９上に裏面接続用バスバー電極５と裏面集電用電極６とが形成される。なお、図示はしていないが、裏面集電用電極６とｐ型不純物拡散層９との間にはアルミニウムとシリコンの合金層が形成される。
【００３６】
その後、受光面接続用バスバー電極１の上面および裏面接続用バスバー電極５の上面にそれぞれインターコネクタ４が接続される。ここで、インターコネクタ４として金属導体２６がはんだ２７で被覆されたものを用い、インターコネクタ４または受光面接続用バスバー電極１および裏面接続用バスバー電極５にフラックスを塗布し、インターコネクタ４でｐ型シリコン基板３を挟み込んで、リフロー炉にて２００〜２５０℃の熱処理を行なうことでインターコネクタ４をはんだ付けすることにより、インターコネクタ４を接続する。このようにインターコネクタ４を接続することによって、インターコネクタ４の接続に用いられるはんだ量をできるだけ少なくすることができる。そのため、受光面接続用バスバー電極１の上面においてインターコネクタ４が接続されない領域Ｒにはんだ２７を広げることなくインターコネクタ４を接続することができる。
【００３７】
このようにして図１および図２に示す本発明のインターコネクタ付き太陽電池を製造することができる。
【００３８】
そして、たとえば背景技術の欄で説明したように、本発明のインターコネクタ付き太陽電池のインターコネクタ４同士がバスバーインターコネクタで接続されてストリングが形成され、そのストリングをガラス板２１と保護フィルム２４との間に充填材２２によって封止することによって本発明の太陽電池モジュールを製造することができる。
【００３９】
このようにして得られた本発明の太陽電池モジュールにおいては、上述したように、本発明の太陽電池モジュールを構成する本発明のインターコネクタ付き太陽電池の受光面接続用バスバー電極のエッジ部におけるマイクロクラックの発生を抑制することができる。また、受光面接続用バスバー電極の上面のインターコネクタが接続されていない領域で反射した入射光が再度ガラス板で反射することによって本発明のインターコネクタ付き太陽電池に入射するため出力の低下を抑制することができる。したがって、本発明の太陽電池モジュールにおいては、マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときに出力の低下を抑制することができる。
【００４０】
なお、上記において、受光面接続用バスバー電極、受光面集電用電極および裏面接続用バスバー電極の材料としては銀が用いられており、裏面集電用電極の材料としてはアルミニウムが用いられているが、本発明においては、受光面接続用バスバー電極、受光面集電用電極、裏面接続用バスバー電極および裏面集電用電極の材料はこれらに限定されるものではない。
【００４１】
また、上記においては、本発明のインターコネクタ付き太陽電池を構成する半導体基板としてｐ型シリコン基板が用いられているが、本発明においては、半導体基板としてｐ型シリコン基板を用いることに限定されず、太陽電池に用いることができる他の半導体基板を用いてもよいことは言うまでもない。
【００４２】
また、本発明においてはんだとしては、たとえば従来から公知のはんだを用いることができる。また、本発明において、金属導体としては、たとえば銅箔などの従来から公知のものなどを用いることができる。
【００４３】
また、上記においては、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面に裏面接続用バスバー電極用の銀ペーストをスクリーン印刷した後に裏面集電用電極用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷して電極を形成しているが、本発明においては、ｐ型シリコン基板の裏面に裏面集電用電極用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷した後に裏面接続用バスバー電極用の銀ペーストをスクリーン印刷して電極を形成してもよい。この場合には、図５の模式的断面図に示す構成の太陽電池モジュールを作製することができる。
【００４４】
また、上記においては、銀ペーストおよびアルミニウムペーストをそれぞれスクリーン印刷した後にこれらを同時に焼成しているが、本発明においては、アルミニウムペーストをスクリーン印刷して乾燥させた後にこれを７００〜７５０℃程度で焼成し、その後、銀ペーストをスクリーン印刷して乾燥させた後に６００〜６５０℃程度で焼成してもよい。この場合にも、図５の模式的断面図に示す構成の太陽電池モジュールを作製することができる。
【００４５】
また、上記においては、本発明の太陽電池モジュールの受光面側の受光面保護部材としてガラス板が用いられているが、本発明においては、ガラス板以外にも太陽光を透過する透明な材質の受光面保護部材を用いてもよい。
【００４６】
また、本発明においては、本発明の太陽電池モジュールに用いられる充填材の材料もＥＶＡに限定されず、たとえば、従来から公知の材料などを用いることができる。
【００４７】
また、上記においては、本発明の太陽電池モジュールの裏面側の裏面保護部材として保護フィルムが用いられているが、本発明においては、保護フィルム以外の裏面保護部材を用いてもよい。
【実施例】
【００４８】
（実施例１）
まず、多結晶のｐ型シリコンインゴットをワイヤーソーを用いて、幅１５５ｍｍ、長さ１５５ｍｍおよび厚さ１６０μｍの平板状に切り出した。次に、この平板状のｐ型シリコン基板の表面をフッ酸と水と硝酸とからなる酸溶液を用いてエッチングして、微細な凹凸を形成した。
【００４９】
次いで、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面の周縁部にシリコンおよびチタンを含む溶液からなるマスク材をスピンコータにより塗布した。そして、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に、拡散源としてＰ2Ｏ5を含むドーパント液をスピンコータにより塗布した。続いて、このｐ型シリコン基板を拡散炉で８５０℃に加熱することによって、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面にリンが拡散して、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面の全面に表面抵抗率が約５０Ωの不純物拡散層であるｎ型不純物拡散層を形成した。
【００５０】
そして、ｐ型シリコン基板をフッ酸に浸漬させることで、上記のマスク膜と、ドーパント液が加熱されて生じたＰＳＧ層とを除去した。次いで、太陽光の反射防止およびパッシベーションを目的として、プラズマＣＶＤ法により、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にたとえば厚さ８０ｎｍの窒化シリコンからなる反射防止膜を形成した。
【００５１】
次に、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面に裏面接続用バスバー電極用の銀ペーストをスクリーン印刷し、１７５℃で乾燥させた。さらに、この銀ペーストと一部が重なるように裏面集電用電極用のアルミニウムペーストをスクリーン印刷して、１７５℃で乾燥させた。次いで、受光面接続用バスバー電極と受光面集電用電極の形成のために銀ペーストをスクリーン印刷し、これを１７５℃で乾燥させた後に７２５℃で焼成した。これにより、ｐ型シリコン基板の受光面となる方の主面上にｎ型不純物拡散層とオーミック接触をとる受光面接続用バスバー電極および受光面集電用電極をファイヤースルーにより形成し、ｐ型シリコン基板の裏面となる方の主面にはアルミニウムを多量に含んだｐ型不純物拡散層を形成するとともにｐ型不純物拡散層上に裏面接続用バスバー電極と裏面集電用電極とを形成した。なお、裏面集電用電極とｐ型不純物拡散層との間にはアルミニウムとシリコンの合金層が形成された。
【００５２】
その後、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕからなるはんだとそのはんだで被覆された幅２．５ｍｍで厚さ０．２ｍｍの銅箔とから構成される２本のインターコネクタをフラックスが塗布された受光面接続用バスバー電極の上面および裏面接続用バスバー電極の上面にそれぞれ設置し、これら２本のインターコネクタでｐ型シリコン基板を挟み込んでリフロー炉にて２４０℃の熱処理を行なうことで受光面接続用バスバー電極の上面および裏面接続用バスバー電極の上面にそれぞれインターコネクタを接続した。これにより、実施例１のインターコネクタ付き太陽電池を１０枚作製した。
【００５３】
実施例１のインターコネクタ付き太陽電池においては、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄがインターコネクタの幅ｄよりも広く、その比（１００×Ｄ／ｄ）は１６０％であった。また、実施例１のインターコネクタ付き太陽電池の受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００５４】
続いて、実施例１のインターコネクタ付き太陽電池をすべて接続してストリングを形成し、その後、このストリングをガラス板とＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）からなる保護フィルムとの間にＥＶＡからなる充填材により封止した。これにより、実施例１の太陽電池モジュールを作製した。
【００５５】
（実施例２）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１４０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で実施例２のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００５６】
（実施例３）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１２０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で実施例３のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００５７】
（比較例１）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１００％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例１のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００５８】
（比較例２）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を８０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例２のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００５９】
（比較例３）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を６０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例３のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００６０】
（比較例４）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を４０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例４のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。ここで、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることが確認された。
【００６１】
（マイクロクラックの平均長の対比）
上記で作製した実施例１〜３および比較例１〜４のそれぞれのインターコネクタ付き太陽電池において、受光面接続用バスバー電極の周辺に発生しているマイクロクラックの平均長（ｍｍ）を顕微鏡により測定した。その結果を図６に示す。なお、図６において、横軸は受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を示し、縦軸はマイクロクラックの平均長を示している。
【００６２】
図６に示すマイクロクラックの平均長の値は、実施例１〜３および比較例１〜４のそれぞれのインターコネクタ付き太陽電池について、各１０枚のインターコネクタ付き太陽電池にそれぞれ発生しているマイクロクラックの長さを総和し、その総和を１０で割ることにより算出した。
【００６３】
図６に示すように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）が１００％以下である比較例１〜４のインターコネクタ付き太陽電池においては、その比が増加するにつれてマイクロクラックの平均長が増加する（特に、比較例４のインターコネクタ付き太陽電池では１０ｍｍを超えている）が、その比が１００％を超えている実施例１〜３のインターコネクタ付き太陽電池においては、その比が増加するにつれてマイクロクラックの平均長の値が大きく減少することが確認された。特に、その比が１２０％以上である場合にはマイクロクラックの平均長の値が大きく減少しており、その比が１４０％以上である場合にはマイクロクラックは全く発生していなかった。
【００６４】
（受光面接続用バスバー電極の剥がれの対比）
実施例１〜３および比較例１〜４のそれぞれのインターコネクタ付き太陽電池の作製時において、受光面接続用バスバー電極の剥がれが発生する率（％）についても調査した。その結果を図７に示す。なお、図７において、横軸は受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を示し、縦軸は受光面接続用バスバー電極の剥がれ発生率（％）を示している。
【００６５】
図７に示すように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）が１００％以下である比較例１〜４のインターコネクタ付き太陽電池の作製時においては、その比が減少するにつれて受光面接続用バスバー電極の剥がれ発生率が増加するが、その比が１００％を超えている実施例１〜３のインターコネクタ付き太陽電池の作製時においては、受光面接続用バスバー電極の剥がれは発生しなかった。
【００６６】
なお、図６に示すように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）が１００％よりも小さい比較例２〜４のインターコネクタ付き太陽電池においては、その比が小さくなるにつれてマイクロクラックの平均長の値が小さくなっている。しかしながら、図７に示すように、比較例２〜４のインターコネクタ付き太陽電池においては、受光面接続用バスバー電極の幅が狭くなるために接着強度が低下し、インターコネクタの長手方向の応力に耐え切れずに、受光面接続用バスバー電極の剥がれが増加する傾向にあった。
【００６７】
（比較例５）
はんだディップによってインターコネクタを接続したこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例５のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００６８】
ここで、図８に、比較例５の太陽電池モジュールの模式的な断面図を示す。比較例５のインターコネクタ付き太陽電池の作製においては、はんだディップによりインターコネクタ４が接続されているので、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００６９】
（比較例６）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１４０％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例６のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００７０】
ここで、比較例６のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００７１】
（比較例７）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１２０％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例７のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００７２】
ここで、比較例７のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００７３】
（比較例８）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１００％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例８のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００７４】
ここで、比較例８のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００７５】
（比較例９）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を８０％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例９のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００７６】
ここで、比較例９のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００７７】
（比較例１０）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を６０％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例１０のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００７８】
ここで、比較例１０のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００７９】
（比較例１１）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を４０％としたこと以外は比較例５と同一の方法および同一の条件で比較例１１のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【００８０】
ここで、比較例１１のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィット６１が形成されていた。
【００８１】
（太陽電池モジュールの出力の対比）
実施例１〜３および比較例１〜１１のそれぞれの太陽電池モジュールの出力をそれぞれ同一の方法および同一の条件でソーラシミュレータを用いて測定した。その結果を表１および表２に示す。なお、表１において、太陽電池モジュールの出力は、比較例１の太陽電池モジュールの出力を１００％としたときの相対値（％）で示されている。また、表２において、太陽電池モジュールの出力は、比較例８の太陽電池モジュールの出力を１００％としたときの相対値（％）で示されている。
【００８２】
【表１】
2007266262.tif 000003
【００８３】
【表２】
2007266262.tif 000004
【００８４】
表１と表２を対比すればわかるように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）が１００％を超えて増加していく場合の実施例１〜３の太陽電池モジュールのシャドウロスによる太陽電池モジュールの出力の低下は、比較例５〜７の場合と比べて抑制できていることが確認された。これは、実施例１〜３の太陽電池モジュールにおいては、受光面接続用バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域において反射した入射光が再度ガラス板で反射してインターコネクタ付き太陽電池に入射したためと考えられる。
【００８５】
また、表１および図６に示すように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１２０％以上１４０％以下とした場合にはクラックの平均長が小さくなるとともにシャドウロスによる太陽電池モジュールの出力の低下を抑制することができることが確認された。
【００８６】
今回開示された実施の形態および実施例はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００８７】
本発明によれば、マイクロクラックの発生を抑制することができるとともに太陽電池モジュールに適用したときの出力の低下を抑制することができるインターコネクタ付き太陽電池、それを用いた太陽電池モジュールおよびその太陽電池モジュールの製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】（Ａ）は本発明のインターコネクタ付き太陽電池の一例の受光面の模式的な平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す受光面を有する本発明のインターコネクタ付き太陽電池の裏面の模式的な平面図であり、（Ｃ）は（Ａ）および（Ｂ）のＩＣ−ＩＣに沿った模式的な断面図である。
【図２】図１（Ａ）のＩＩ−ＩＩに沿った模式的な拡大断面図である。
【図３】本発明の太陽電池モジュールの一例の模式的な断面図である。
【図４】（Ａ）〜（Ｈ）は、本発明のインターコネクタ付き太陽電池の製造方法の一例を図解する模式的な断面図である。
【図５】本発明の太陽電池モジュールの他の一例の模式的な断面図である。
【図６】実施例１〜３および比較例１〜４のインターコネクタ付き太陽電池の受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比とマイクロクラックの平均長との関係を示す図である。
【図７】実施例１〜３および比較例１〜４のインターコネクタ付き太陽電池の受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比と受光面接続用バスバー電極の剥がれ発生率との関係を示す図である。
【図８】比較例５〜１１の太陽電池モジュールの模式的な断面図である。
【図９】（Ａ）は従来の太陽電池の受光面の模式的な平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す受光面を有する従来の太陽電池の裏面の模式的な平面図であり、（Ｃ）は（Ａ）および（Ｂ）のＩＸＣ−ＩＸＣに沿った模式的な断面図である。
【図１０】（Ａ）は従来の太陽電池モジュールの受光面の模式的な平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示すＸＢ−ＸＢに沿った模式的な断面図である。
【図１１】（Ａ）は図１０（Ａ）に示すＸＩＡ−ＸＩＡに沿った模式的な断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）に示す太陽電池モジュールを上面から見た模式的な平面図である。
【符号の説明】
【００８９】
１  受光面接続用バスバー電極、２  受光面集電用電極、３  ｐ型シリコン基板、４  インターコネクタ、５  裏面接続用バスバー電極、６  裏面集電用電極、７  反射防止膜、８  ｎ型不純物拡散層、９  ｐ型不純物拡散層、１０  ダメージ層、１１  マスク材、１１ａ  マスク膜、１２  ドーパント液、１２ａ  ＰＳＧ層、２１  ガラス板、２２  充填材、２４  保護フィルム、２５  入射光、２６  金属導体、２７  はんだ、５１  マイクロクラック、６１  はんだフィット、７２  バスバーインターコネクタ。
【図１】
2007266262.tif 000005
【図２】
2007266262.tif 000006
【図３】
2007266262.tif 000007
【図４】
2007266262.tif 000008
【図５】
2007266262.tif 000009
【図６】
2007266262.tif 000010
【図７】
2007266262.tif 000011
【図８】
2007266262.tif 000012
【図９】
2007266262.tif 000013
【図１０】
2007266262.tif 000014
【図１１】
2007266262.tif 000015
【手続補正書】
【提出日】平成19年3月13日(2007.3.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタが前記バスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅よりも広く、
前記バスバー電極の上面の幅方向の前記インターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることを特徴とする、インターコネクタ付き太陽電池。
【請求項２】
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１２０％以上であることを特徴とする、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項３】
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１４０％以下であることを特徴とする、請求項１または２に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項４】
前記インターコネクタは、導体と、前記導体を被覆するはんだと、から構成されていることを特徴とする、請求項１から３のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池が複数接続されており、充填材により封止されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項６】
請求項５に記載の太陽電池モジュールを製造する方法であって、半導体基板の一主面上に前記バスバー電極および前記集電用電極をそれぞれ形成する工程と、前記インターコネクタを前記バスバー電極に接続して前記インターコネクタ付き太陽電池を形成する工程と、前記インターコネクタ付き太陽電池を複数接続して充填材により封止する工程と、を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅の１４０％以下であることが好ましい。また、本発明のインターコネクタ付き太陽電池においては、インターコネクタは、導体と、導体を被覆するはんだと、から構成されていることが好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
（比較例１）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を１００％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例１のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
（比較例２）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を８０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例２のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５９】
（比較例３）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を６０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例３のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６０】
（比較例４）
受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）を４０％としたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例４のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
図６に示すように、受光面接続用バスバー電極の幅Ｄとインターコネクタの幅ｄとの比（１００×Ｄ／ｄ）が１００％以下である比較例１〜４のインターコネクタ付き太陽電池においては、その比が増加するにつれてマイクロクラックの平均長が増加する（特に、比較例１のインターコネクタ付き太陽電池では１０ｍｍを超えている）が、その比が１００％を超えている実施例１〜３のインターコネクタ付き太陽電池においては、その比が増加するにつれてマイクロクラックの平均長の値が大きく減少することが確認された。特に、その比が１２０％以上である場合にはマイクロクラックの平均長の値が大きく減少しており、その比が１４０％以上である場合にはマイクロクラックは全く発生していなかった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６７】
（比較例５）
はんだディップしたこと以外は実施例１と同一の方法および同一の条件で比較例５のインターコネクタ付き太陽電池（１０枚）および太陽電池モジュールを作製した。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６８】
ここで、図８に、比較例５の太陽電池モジュールの模式的な断面図を示す。比較例５のインターコネクタ付き太陽電池の作製においては、はんだディップによりインターコネクタ４が接続されているので、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィレット６１が形成されていた。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
ここで、比較例６のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィレット６１が形成されていた。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７２】
ここで、比較例７のインターコネクタ付き太陽電池においても、図８に示すように、受光面接続用バスバー電極１の上面全体がはんだ２７により被覆されており、はんだフィレット６１が形成されていた。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
１  受光面接続用バスバー電極、２  受光面集電用電極、３  ｐ型シリコン基板、４  インターコネクタ、５  裏面接続用バスバー電極、６  裏面集電用電極、７  反射防止膜、８  ｎ型不純物拡散層、９  ｐ型不純物拡散層、１０  ダメージ層、１１  マスク材、１１ａ  マスク膜、１２  ドーパント液、１２ａ  ＰＳＧ層、２１  ガラス板、２２  充填材、２４  保護フィルム、２５  入射光、２６  金属導体、２７  はんだ、５１  マイクロクラック、６１  はんだフィレット、７２  バスバーインターコネクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成19年7月13日(2007.7.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタが前記バスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、
前記インターコネクタは、前記インターコネクタの長手方向が前記バスバー電極の長手方向に沿うようにして接続されるとともに、
前記インターコネクタの前記バスバー電極側の表面の全面が前記バスバー電極の上面と接続されており、
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅よりも広く、
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１２０％以上であって、
前記バスバー電極の幅は、前記バスバー電極の長手方向に直交する方向の前記バスバー電極の長さであり、
前記インターコネクタの幅は、前記インターコネクタの長手方向に直交する方向の前記インターコネクタの長さであって、
前記バスバー電極の上面の幅方向の前記インターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることを特徴とする、インターコネクタ付き太陽電池。
【請求項２】
前記バスバー電極の幅が前記インターコネクタの幅の１４０％以下であることを特徴とする、請求項１に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項３】
前記インターコネクタは、導体と、前記導体を被覆するはんだと、から構成されていることを特徴とする、請求項１または２に記載のインターコネクタ付き太陽電池。
【請求項４】
請求項１から３のいずれかに記載のインターコネクタ付き太陽電池が複数接続されており、充填材により封止されていることを特徴とする太陽電池モジュール。
【請求項５】
請求項４に記載の太陽電池モジュールを製造する方法であって、半導体基板の一主面上に前記バスバー電極および前記集電用電極をそれぞれ形成する工程と、前記インターコネクタを前記バスバー電極に接続して前記インターコネクタ付き太陽電池を形成する工程と、前記インターコネクタ付き太陽電池を複数接続して充填材により封止する工程と、を含む、太陽電池モジュールの製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明は、受光面にバスバー電極と集電用電極とが備えられており、インターコネクタがバスバー電極の上面に接続されたインターコネクタ付き太陽電池であって、インターコネクタはインターコネクタの長手方向がバスバー電極の長手方向に沿うようにして接続されるとともに、インターコネクタのバスバー電極側の表面の全面がバスバー電極の上面と接続されており、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅よりも広く、バスバー電極の幅がインターコネクタの幅の１２０％以上であって、バスバー電極の幅はバスバー電極の長手方向に直交する方向のバスバー電極の長さであり、インターコネクタの幅はインターコネクタの長手方向に直交する方向のインターコネクタの長さであって、バスバー電極の上面の幅方向のインターコネクタが接続されていない領域に、はんだが形成されていない箇所があることを特徴とするインターコネクタ付き太陽電池である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】