(57)【要約】【課題】複数の半導体デバイスの検査を行う場合に、検査時間の短縮を図る。【解決手段】検査装置３０は、半導体ウエハ１０に形成された半導体デバイスとしての固体撮像素子の電気的特性を検査する。検査装置３０は、プローバ３２と照明部３４とを制御して検査結果を取得するテスタ３６を有する。テスタ３６は、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って各検査項目に応じた測定を行い、その測定結果の良否を測定結果判定部６０で判定することによって、固体撮像素子の不良の有無を検査する。テスタ３６に設けられた検査順序設定部６２は、複数の固体撮像素子を検査することによって得られた複数の検査結果を基に、検査項目毎の不良率を算出して、この不良率の高い順に各検査項目の検査順序を並べ替え、テストパターンを再設定する。【選択図】図３
2007115836.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体デバイスと電気的に接続し、
複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施し、
前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての前記各検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了し、
前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得する検査方法において、
複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出し、
前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えて前記テストパターンを再設定し、
この再設定された前記テストパターンに従って、以降の前記半導体デバイスに対する検査を実施することを特徴とする検査方法。
【請求項２】
前記テストパターンは、前記半導体デバイスに付与される検査条件が同じ前記各検査項目を大項目として一まとめにしており、
前記各検査項目毎の前記不良率を基に前記各大項目の前記不良率を算出して、この不良率の高い順に前記各大項目を並べ替えた後、
前記各大項目に含まれる前記各検査項目を前記不良率の高い順に並べ替えて前記テストパターンを再設定することを特徴とする請求項１記載の検査方法。
【請求項３】
半導体デバイスと電気的に接続する接続部と、
複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施するとともに、前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての前記各検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了することにより、前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得するテスタとを備えた検査装置において、
複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出して、前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えることにより前記テストパターンを再設定する検査順序設定手段を、前記テスタに設けたことを特徴とする検査装置。
【請求項４】
前記接続部は、前記半導体デバイスに形成された電極に接触して前記半導体デバイスとの導通を得るプローブピンが設けられたプローブカードであることを特徴とする請求項３記載の検査装置。
【請求項５】
前記テストパターンは、前記半導体デバイスに付与される検査条件が同じ前記各検査項目を大項目として一まとめにしており、
前記検査順序設定手段は、前記各検査項目毎の前記不良率を基に前記各大項目の前記不良率を算出して、この不良率の高い順に前記各大項目を並べ替えた後、前記各大項目に含まれる前記各検査項目を前記不良率の高い順に並べ替えて前記テストパターンを再設定することを特徴とする請求項３又は４記載の検査装置。
【請求項６】
前記半導体デバイスは、入射光量に応じた電荷を出力する複数の受光素子がマトリクス状に配列された受光面を有する固体撮像素子であって、
前記検査時に前記受光面に照明光を入射させる照明部が設けられていることを特徴とする請求項３から５のいずれか１項に記載の検査装置。
【請求項７】
半導体デバイスと電気的に接続する接続部と、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施するとともに、前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての前記各検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了することにより、前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得するテスタとを備えた複数の検査装置と、
前記各検査装置の前記検査結果を記憶するデータベースと、
前記各検査装置と前記データベースとの相互通信を可能にするネットワークとからなる検査システムにおいて、
前記データベースは、複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出して、前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えることにより前記テストパターンを再設定する検査順序設定手段を有し、
前記各検査装置は、前記検査順序設定手段が設定した前記テストパターンに従って前記検査を実施することを特徴とする検査システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施する検査方法、及びこの検査方法を利用した検査装置と検査システムとに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスの製造においては、ウエハに成形された状態、もしくはウエハから個別のダイに切り出されたチップの状態などで電気的特性を検査する検査工程が行われている（例えば、特許文献１参照）。これらの検査工程では、プローバと呼ばれる装置にプローブカードを装着し、このプローブカードに設けられているプローブピンを半導体デバイスの電極に接触させる。そして、このプローブピンを介して前記電極から電気信号を入力することによって、半導体デバイスの電気的特性を検査する。
【０００３】
検査工程には、条件などが異なる複数の検査項目が設定されており、前記プローバを含む検査装置は、予め決められた順序に従って各検査を実施していく。また、検査装置は、各検査項目が終了する毎に、その検査結果の良否の判定を行い、全ての検査項目が正常と判定された時点、もしくは、いずれかの検査項目が不良と判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了する。
【特許文献１】特開２００２−２１７２５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、同一ウエハ内の半導体デバイスや、同一ロットの半導体デバイスでは、同じ検査項目で不良が表れることが多い。このため、複数の半導体デバイスの検査を行う場合に、各検査項目の終わりの方に不良率の高い検査項目があると、不良を検出するまでに時間が掛かってしまい、検査時間を無意味に費やしてしまうということがあった。
【０００５】
本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであって、複数の半導体デバイスの検査を行う場合に、検査時間の短縮を図ることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を達成するため、本発明の検査方法は、半導体デバイスと電気的に接続し、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施し、前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了し、前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得する際に、複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出し、前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えて前記テストパターンを再設定し、この再設定された前記テストパターンに従って、以降の前記半導体デバイスに対する検査を実施することを特徴とする。
【０００７】
なお、前記テストパターンを、前記半導体デバイスに付与される検査条件が同じ前記検査項目毎に大項目として一まとめにし、前記各検査項目毎の前記不良率を基に前記各大項目の前記不良率を算出して、この不良率の高い順に前記各大項目を並べ替えた後、前記各大項目に含まれる前記各検査項目を前記不良率の高い順に並べ替えて前記テストパターンを再設定することが好ましい。
【０００８】
また、本発明の検査装置は、半導体デバイスと電気的に接続する接続部と、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施するとともに、前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての前記各検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了することにより、前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得するテスタとを備え、複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出して、前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えることにより前記テストパターンを再設定する検査順序設定手段を、前記テスタに設けたことを特徴とする。
【０００９】
さらに、前記接続部は、前記半導体デバイスに形成された電極に接触して前記半導体デバイスとの導通を得るプローブピンが設けられたプローブカードであることが好ましい。
【００１０】
なお、前記テストパターンを、前記半導体デバイスに付与される検査条件が同じ前記検査項目毎に大項目として一まとめにし、前記検査順序設定手段は、前記各検査項目毎の前記不良率を基に前記各大項目の前記不良率を算出して、この不良率の高い順に前記各大項目を並べ替えた後、前記各大項目に含まれる前記各検査項目を前記不良率の高い順に並べ替えて前記テストパターンを再設定することが好ましい。
【００１１】
また、前記半導体デバイスは、入射光量に応じた電荷を出力する複数の受光素子がマトリクス状に配列された受光面を有する固体撮像素子であって、前記検査時に前記受光面に照射光を入射させる照明部が設けられていることが好ましい。
【００１２】
さらに、本発明の検査システムは、半導体デバイスと電気的に接続する接続部と、複数の検査項目が所定の順序で設定されたテストパターンに従って、前記半導体デバイスの電気的特性にかかる検査を順次実施するとともに、前記各検査項目毎に良否の判定を行って、全ての前記各検査項目について正常と判定されるか、あるいはいずれかの前記検査項目で異常が判定された時点で、その半導体デバイスに対する検査を終了することにより、前記各検査項目の異常の有無を検査結果として取得するテスタとを備えた複数の検査装置と、前記各検査装置の前記検査結果を記憶するデータベースと、前記各検査装置と前記データベースとの相互通信を可能にするネットワークとからなり、前記データベースは、複数の前記半導体デバイスを検査することによって得られた複数の前記検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を前記検査項目毎に算出して、前記不良率の高い順に前記各検査項目を並べ替えることにより前記テストパターンを再設定する検査順序設定手段を有し、前記各検査装置は、前記検査順序設定手段が設定した前記テストパターンに従って前記検査を実施することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明では、複数の半導体デバイスを検査することによって得られた複数の検査結果を基に、不良の発生頻度を示す不良率を検査項目毎に算出し、この不良率の高い順に各検査項目を並べ替えてテストパターンを再設定し、この再設定されたテストパターンに従って、以降の半導体デバイスに対する検査を実施するようにした。これにより、不良率の高い検査項目から順に検査が行われるようになるので、不良を検出するまでの時間を短縮して検査時間の短縮を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
図１は、検査対象となる半導体ウエハ１０の外観形状を示す斜視図である。半導体ウエハ１０は、円柱状のインゴットをスライスして成形されるものであり、薄い円板状の外観をなしている。半導体ウエハ１０の直径は、例えば、１２０〜３００ｍｍ程度であり、その厚さは、例えば、３０〜３００μｍ程度である。また、半導体ウエハ１０の材料には、例えば、シリコン（Ｓｉ）、ゲルマニウム（Ｇｅ）、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）などが用いられる。これら半導体ウエハ１０の直径、厚さ、材料などは、例えば、半導体ウエハ１０に形成されるデバイスの種類などに応じて決められる。
【００１５】
半導体ウエハ１０には、所定のダイサイズに定められた複数の固体撮像素子（半導体デバイス）１２が形成されている。各固体撮像素子１２は、例えば、マトリクス状に配列された複数の受光素子と、これらの受光素子に蓄積された電荷を水平及び垂直方向に転送する電荷結合素子とからなるＣＣＤイメージセンサであり、各受光素子の上には、ＲＧＢのカラーフィルタやマイクロレンズなどが積層される。各固体撮像素子１２は、半導体ウエハ１０の状態で種々の検査が行われた後にダイシングされ、個々の半導体チップに切り分けられる。なお、図１では、見やすくするために各固体撮像素子１２を大きめに記載しているが、周知のように、１枚の半導体ウエハ１０には、数百単位の固体撮像素子１２が成形される。
【００１６】
図２は、固体撮像素子１２の外観形状を示す斜視図である。固体撮像素子１２は、半導体ウエハ１０に略正方形状に成形される。この固体撮像素子１２の上面中央には、入射光量に応じた電荷を出力する複数の受光素子がマトリクス状に配列された受光面１４が形成されている。また、固体撮像素子１２の外縁付近には、外部機器などとの電気的な接続に使用され、信号や電源の入出力端子となる複数の電極１６が設けられている。
【００１７】
図３は、半導体ウエハ１０に形成された各固体撮像素子１２の電気的特性を検査する検査装置３０の構成を概略的に示す説明図である。検査装置３０は、半導体ウエハ１０が着脱自在にセットされるプローバ３２と、このプローバ３２にセットされた半導体ウエハ１０に向けて照明光Ｌを照射する照明部３４と、プローバ３２と照明部３４とを制御して各固体撮像素子１２の検査結果を取得するテスタ３６とから構成されている。
【００１８】
プローバ３２は、半導体ウエハ１０がセットされるウエハテーブル４０と、セットされた半導体ウエハ１０を挟むようにウエハテーブル４０と対向して設けられたプローブカード（接続部）４２とを有している。プローブカード４２には、１つの固体撮像素子１２に含まれる各電極１６のそれぞれに対応した複数のプローブピン４４が設けられている。プローブカード４２は、これらの各プローブピン４４を各電極１６に接触させることによって、固体撮像素子１２との導通を得る。また、プローブカード４２は、テスタ３６と電気的に接続されており、各プローブピン４４を介してテスタ３６からの電力や制御信号などを固体撮像素子１２に供給するとともに、固体撮像素子１２からの出力信号をテスタ３６に送る。
【００１９】
このように、プローブカード４２は、半導体ウエハ１０に形成された複数の固体撮像素子１２に対して個別にアクセスし、種々の電気信号の送受を行うことによって各固体撮像素子１２の電気的特性の測定を可能にする。また、プローブカード４２の中央には、各プローブピン４４を接触させた検査すべき固体撮像素子１２の受光面１４に、照明部３４からの照明光Ｌを入射させる開口４２ａが形成されている。なお、プローバ３２は、照明光Ｌ以外の光（例えば、太陽光や室内光など）が受光面１４に入射しないように遮光されていることが好ましい。
【００２０】
ウエハテーブル４０には、移動機構４６と、昇降機構４８とが接続されている。移動機構４６は、図中左右方向と、紙面に直行する方向との２方向にウエハテーブル４０を水平移動させる。また、移動機構４６は、テスタ３６に電気的に接続されている。テスタ３６は、移動機構４６に駆動信号を送信してウエハテーブル４０を水平移動させることにより、セットされた半導体ウエハ１０内の所望の固体撮像素子１２とプローブカード４２との位置合わせを行う。一方、昇降機構４８は、図中上下方向にウエハテーブル４０を昇降移動させる。この昇降機構４８も同様にテスタ３６に接続されており、テスタ３６からの駆動信号に応じて固体撮像素子１２の各電極１６と各プローブピン４４とが接触する検査位置（図３に示す位置）と、各電極１６と各プローブピン４４との接触が解除された退避位置との間でウエハテーブル４０を移動させる。テスタ３６は、例えば、半導体ウエハ１０をウエハテーブル４０にセットする際や、移動機構４６を駆動して半導体ウエハ１０の位置を調整する際などにウエハテーブル４０を退避位置に移動させ、プローブピン４４が受光面１４などを傷付けることを防止する。
【００２１】
なお、移動機構４６や昇降機構４８には、モータ、ギア、ベルトなどからなる周知の機構を用いればよい。また、各固体撮像素子１２の向きが、半導体ウエハ１０内で揃えられていない場合には、移動機構４６、昇降機構４８に加えて、各電極１６と各プローブピン４４との位置関係を合わせるように半導体ウエハ１０を回転させる回転機構を設けるようにしてもよい。
【００２２】
照明部３４は、照明光Ｌを照射する光源５０と、この光源５０に電力を供給するドライバ５２と、照明光Ｌの一部を受光して、その光量に応じた電圧を出力する光センサ５４と、半導体ウエハ１０に照射される照明光Ｌの光量を調節する絞り機構５６とから構成されている。
【００２３】
光源５０は、検査すべき固体撮像素子１２の受光面１４に照明光Ｌが入射されるように、プローブカード４２の開口４２ａの鉛直上に配置されている。この光源５０には、検査に必要な光量や波長の照明光Ｌを照射できるものであれば、例えば、ＬＥＤやＬＤ、及び種々の電球など、如何なるタイプの光源を用いてもよい。また、複数種類の光源を予め設けておき、検査項目に応じて適切な光源に切り替るようにしてもよい。
【００２４】
ドライバ５２には、テスタ３６と光センサ５４とが接続されている。ドライバ５２は、テスタ３６からの指示に応じて光源５０に電圧を印加し、照明光Ｌを点灯させる。また、ドライバ５２は、光センサ５４の出力電圧に応じて光源５０への印加電圧にフィードバックをかけ、照明光Ｌの光量が一定となるように制御する。光センサ５４の出力電圧は、照明光Ｌの光量に応じたものであるから、具体的には、光センサ５４の出力電圧が一定となるように光源５０への印加電圧を制御すればよい。
【００２５】
絞り機構５６の中央部には、絞り開口５６ａが形成されている。絞り機構５６は、この絞り開口５６ａの面積を変化させることによって、半導体ウエハ１０に照射される照明光Ｌの光量を調節する。図４（ａ）に示すように、絞り機構５６は、くの字状の切り欠きを互いに対向させて配置された一対の絞り板５８ａ、５８ｂによって構成されている。各絞り板５８ａ、５８ｂには、それぞれ図示を省略したスライド移動機構が接続されている。各スライド移動機構は、テスタ３６からの指示の応じて各絞り板５８ａ、５８ｂを図中矢線で示す方向に移動させる。なお、スライド移動機構には、ラックアンドピニオンなどの周知の機構を用いればよい。
【００２６】
各絞り板５８ａ、５８ｂが、互いに離れる方向に移動すると、図４（ｂ）に示すように、絞り開口５６ａの面積が広がる。反対に、各絞り板５８ａ、５８ｂが、互いに近づく方向に移動すると、図４（ｃ）に示すように、絞り開口５６ａの面積が狭まる。絞り機構５６は、このように絞り開口５６ａの面積を変えて照明光Ｌの光量を調節する。なお、絞り機構５６は、絞り開口５６ａがなくなるまで各絞り板５８ａ、５８ｂを近づけることにより、照明光Ｌを完全に遮光することもできる。
【００２７】
テスタ３６は、検査を行う際、移動機構４６と昇降機構４８とを駆動して固体撮像素子１２とプローブカード４２との位置を合わせた後、光源５０を点灯させて照明光Ｌを受光面１４に入射させ、その際の固体撮像素子１２からの出力信号を測定する。テスタ３６は、この測定結果の良否を判定することによって固体撮像素子１２の不良の有無を調べる。また、テスタ３６は、照明光Ｌの光量などといった検査条件を変化させながら、各固体撮像素子１２に対して種々の検査を行う。テスタ３６が行う検査項目としては、例えば、各受光素子の欠陥に起因する点キズや、各垂直転送路の欠陥に起因する線キズ、及びカラーフィルタの膜厚差にともなう感度ムラ、さらには受光面１４の中心部と周辺部とで出力信号レベルに差が生じるシェーディング特性などがある。これらの検査項目は、図５に示すように、固体撮像素子１２に付与される検査条件が同一のもの毎に一まとめにされている。
【００２８】
各検査項目は、例えば、照明光Ｌの光量が高い検査、照明光Ｌの光量が中程度の検査、照明光Ｌを遮光した暗時の検査などのように分けられ、さらに各光量に合わせた検査が個別に設定される。また、テスタ３６は、これらの各検査項目が所定の順序で設定されたテストパターン（図５参照）に従って各検査を実施していく。なお、これ以降、検査条件が同一のもの毎に一まとめにされた部分を大項目ＢＩ、大項目ＢＩ毎に個別に設定された各検査項目を小項目ＬＩと称す。
【００２９】
テスタ３６には、測定結果判定部６０と検査順序設定部（検査順序設定手段）６２とが設けられている。測定結果判定部６０は、検査の際に取得される各固体撮像素子１２の出力信号と、予め小項目ＬＩ毎に設定された判定基準とを比較して、各小項目ＬＩ毎に測定結果の良否を判定する。テスタ３６は、測定結果判定部６０が全ての検査項目を正常と判定した際に、その固体撮像素子１２を良品と判断する。一方、テスタ３６は、いずれかの検査項目において測定結果判定部６０が不良を判定した時点で、その固体撮像素子１２に対する検査を終了し、その固体撮像素子１２を不良品と判断する。テスタ３６は、このように各固体撮像素子１２の不良の有無を検査結果として取得し、図示を省略したメモリなどに検査結果を記憶する。また、不良が有る際には、その不良が発生した検査項目を検査結果と合わせて記憶する。なお、不良品と判断された固体撮像素子１２は、例えば、マーキングや予め付与されたＩＤなどによって管理され、ダイシングの後に廃棄される。
【００３０】
検査順序設定部６２は、１枚の半導体ウエハ１０に含まれる各固体撮像素子１２の検査が終了した際に、測定結果判定部６０の判定結果に基づいて各大項目ＢＩの不良率を算出し、不良率の高い順に各大項目ＢＩの順序を並べ替える。不良率は、検査回数に対する不良の発生頻度を示すものであって、例えば、各検査項目毎に、不良と判定された固体撮像素子１２の数を、検査した固体撮像素子１２の総数で割って算出すればよい。また、検査順序設定部６２は、各大項目ＢＩに設定された各小項目ＬＩについても不良率の算出を行い、各大項目ＢＩ内の各小項目ＬＩの順序も不良率の高い順に並べ替える。すなわち、検査順序設定部６２は、以降の半導体ウエハ１０の検査を行う際に、不良率の高かった検査項目から順に検査が行われるように、各大項目ＢＩ、及び各小項目ＬＩの順序を並べ替える。
【００３１】
次に、図６、及び図７に示すフローチャートを参照しながら、大項目ＢＩ、及び小項目ＬＩが、それぞれ３つずつ設定されている場合を例に、上記構成による検査装置３０の作用について説明する。半導体ウエハ１０に形成された各固体撮像素子１２の検査を行う際には、半導体ウエハ１０をウエハテーブル４０にセットし、テスタ３６に検査の実行を指示する。
【００３２】
実行を指示されたテスタ３６は、所定の固体撮像素子１２とプローブカード４２とが対面するようにウエハテーブル４０の移動機構４６を駆動し、半導体ウエハ１０の位置合わせを行う。半導体ウエハ１０の位置を合わせたテスタ３６は、昇降機構４８を駆動させてウエハテーブル４０を検査位置にセットし、プローブカード４２の各プローブピン４４と、固体撮像素子１２の各電極１６とを接触させる。各プローブピン４４と各電極１６とを接触させたテスタ３６は、図７に示すように、予めテストパターンに設定された順序に従って３つの大項目ＢＩのそれぞれに設定された３つの小項目ＬＩの各検査を順次実施していく。
【００３３】
テスタ３６は、各小項目ＬＩの検査を実施する毎に、取得した測定結果を測定結果判定部６０に入力し、測定結果の良否を判定させる。測定結果判定部６０で全ての検査項目が正常と判定された固体撮像素子１２は、良品として扱われる。一方、測定結果判定部６０でいずれかの検査項目に不良があると判定された固体撮像素子１２は、不良品として扱われる。また、テスタ３６は、測定結果判定部６０が不良を判定した時点で、その固体撮像素子１２への検査を終了する。なお、図７では省略したが、各大項目ＢＩの最初の小項目ＬＩが行われる前には、例えば、照明光Ｌの光量などといった各大項目ＢＩ毎の検査条件が設定される。
【００３４】
１つの固体撮像素子１２に対する検査が終了すると、テスタ３６は、昇降機構４８を駆動してウエハテーブル４０を退避位置に移動させ、各プローブピン４４と各電極１６との接触を解除させるとともに、移動機構４６を駆動して次の固体撮像素子１２とプローブカード４２との位置を合わせる。位置合わせを行ったテスタ３６は、再び昇降機構４８を駆動してウエハテーブル４０を検査位置に移動させ、次の固体撮像素子１２の検査を開始する。テスタ３６は、このように位置を合わせながら半導体ウエハ１０に含まれる全ての各固体撮像素子１２に対して検査を行う。
【００３５】
全ての各固体撮像素子１２を検査したテスタ３６は、取得した各固体撮像素子１２の検査結果を基に、各大項目ＢＩと、各大項目ＢＩ内の各小項目ＬＩとの不良率を検査順序設定部６２に算出させる。各不良率を算出した検査順序設定部６２は、各大項目ＢＩの順序を不良率の高い順に並べ替えるとともに、各大項目ＢＩ内の各小項目ＬＩの順序を不良率の高い順に並べ替える。
【００３６】
例えば、図７に示す順序で１枚の半導体ウエハ１０の検査を行った結果、各大項目ＢＩの不良率が、検査３＞検査１＞検査２の順であり、各小項目ＬＩの不良率が、検査１では、検査１−３＞検査１−２、検査１−１、検査２では、検査２−１＞検査２−３＞検査２−２、検査３では、検査３−２＞検査３−３＞検査３−１の順であったとする。この際、検査順序設定部６２は、図８に示すように、各検査項目の順序を並べ替え、テストパターンを再設定する。テスタ３６は、次の半導体ウエハ１０がウエハテーブル４０にセットされた際に、この再設定された順序に従って各固体撮像素子１２の検査を行う。なお、２枚目以降の半導体ウエハ１０の検査を行う際には、各半導体ウエハ１０の検査が終了する毎に各不良率の平均を取るなどして、検査結果を随時テストパターンに反映させていくようにしてもよいし、１枚目の半導体ウエハ１０の検査結果に基づいて再設定されたテストパターンの順序に従って以降の検査を行うようにしてもよい。
【００３７】
このようにテストパターンを再設定することにより、不良率の高い検査項目から順に検査が行われるようになる。固体撮像素子１２などの半導体デバイスでは、同一ロットのデバイスで同じ検査項目に不良が表れることが多いため、上述のように並べ替えを行うことによって不良を早期に検出することができ、検査時間を短縮して検査効率を向上させることができる。
【００３８】
なお、上記実施形態では、１枚の半導体ウエハ１０の検査が終了した際にテストパターンの再設定を行うようにしているが、再設定を行うタイミングは、これに限るものではない。例えば、所定数の固体撮像素子１２の検査が終了した後、各検査結果から各検査項目の不良率を算出し、１枚の半導体ウエハ１０の中でテストパターンの再設定を行うようにしてもよい。
【００３９】
また、上記実施形態では、各検査項目を大項目ＢＩと小項目ＬＩとに分類して、検査順序設定部６２に各大項目ＢＩと各小項目ＬＩとの順序の並べ替えを行わせているが、これに限ることなく、例えば、各大項目ＢＩの順序のみを並べ替えるものでもよいし、大項目ＢＩ毎に設定された各小項目ＬＩの順序のみを並べ替えるものでもよい。さらには、各検査項目を大項目ＢＩと小項目ＬＩとに分類することなく、任意に設定された複数の検査項目の並べ替えを行って、テストパターンを再設定するようにしてもよい。
【００４０】
さらに、上記実施形態では、１台の検査装置３０に本発明を適用した例を示したが、複数台の検査装置を用いて複数の半導体ウエハ１０の検査を同時に処理していく検査システムに本発明を適用してもよい。図９は、検査システム１００の構成を概略的に示す説明図である。検査システム１００は、複数台（本例では３台）の検査装置１１０と、各検査装置１１０の検査結果などを記憶するデータベース１２０と、各検査装置１１０とデータベース１２０との相互通信を可能にするネットワーク１３０とから構成されている。
【００４１】
各検査装置１１０には、プローバ１１２と照明部１１４とテスタ１１６とが設けられている。なお、各検査装置１１０の構成は、図３に示すものと同様であるから、詳細な説明は省略する。各検査装置１１０のテスタ１１６は、プローバ１１２と照明部１１４とを制御して半導体ウエハ１０に形成された各固体撮像素子１２の検査を行った後、ネットワーク１３０を介して取得した各検査結果をデータベース１２０に送信する。
【００４２】
データベース１２０には、各検査装置１１０からの検査結果や、データベース１２０の制御プログラム、及びテストパターンなどを記憶するメモリ１２２と、メモリ１２２から制御プログラムを読み出し、これに基づいてデータベース１２０の各部を統括的に制御する制御部１２４と、メモリ１２２に記憶された各検査結果に基づいて各検査項目の不良率を算出し、不良率の高い順に各検査項目の順序を並べ替えてテストパターンを再設定する検査順序設定部１２６とが設けられている。
【００４３】
制御部１２４は、例えば、各検査装置１１０から所定数の検査結果が送られてきた際に、それらの各検査結果をメモリ１２２から検査順序設定部１２６に送り、テストパターンの再設定を行わせる。テストパターンを再設定した制御部１２４は、そのテストパターンを各検査装置１１０に送信する。各検査装置１１０のテスタ１１６は、データベース１２０から受け取ったテストパターンに従って、以降の固体撮像素子１２の検査を行う。このように検査システム１００を構成することにより、前記検査装置３０と同様に、不良を早期に検出して検査時間の短縮を図ることができる。なお、この検査システム１００が検査順序の並べ替えに利用する検査結果は、複数の検査装置１１０から取得されるものでもよいし、１つの検査装置１１０から取得されるものでもよい。さらには、メモリ１２２に記憶された過去の検査結果を利用するようにしてもよい。
【００４４】
なお、上記各実施形態では、半導体デバイスとしての固体撮像素子１２を半導体ウエハ１０の状態で検査装置３０、１１０にセットして検査する例を示したが、セットされる半導体デバイスの状態は、これに限ることなく、例えば、半導体ウエハがダイシングされた半導体チップの状態でもよいし、セラミックや樹脂などにパッケージングされた状態でもよい。
【００４５】
また、上記各実施形態では、半導体デバイスとして固体撮像素子１２を示したが、検査される半導体デバイスは、これに限ることなく、他の如何なる半導体デバイスであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】半導体ウエハの外観形状を示す斜視図である。
【図２】固体撮像素子の外観形状を示す斜視図である。
【図３】検査装置の構成を概略的に示す説明図である。
【図４】絞り機構の構成を概略的に示す説明図である。
【図５】大項目と小項目との各検査項目の概念を示す説明図である。
【図６】検査の全体的な手順を示すフローチャートである。
【図７】テストパターンの一例を示すフローチャートである。
【図８】再設定後のテストパターンの一例を示すフローチャートである。
【図９】検査システムの構成を概略的に示す説明図である。
【符号の説明】
【００４７】
１０  半導体ウエハ
１２  固体撮像素子（半導体デバイス）
１４  受光面
１６  電極
３０  検査装置
３２  プローバ
３４  照明部
３６  テスタ
４０  ウエハテーブル
４２  プローブカード（接続部）
４４  プローブピン
６０  測定結果判定部
６２  検査順序設定部（検査順序設定手段）
１００  検査システム
１１０  検査装置
１２０  データベース
１２６  検査順序設定部（検査順序設定手段）
１３０  ネットワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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