(57)【要約】【課題】マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を視覚的に的確に行うことができる基板の処理装置および処理方法を提供することを目的とする。【解決手段】マガジン５に積層して収納した未処理の基板８を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板８’をマガジン５に順次回収する基板の処理装置において、処理済の基板８’が未処理の基板８が収納されていた元の位置と変位した位置に回収され、処理済の基板８’と未処理の基板８が互いにずれた位置にマガジン５内に収納されるようにした。これにより両者の判別を視覚的に的確に行うことができる。【選択図】図１０
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構とを備え、
前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項２】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記基板搬送機構が、前記処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収することを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項３】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第１の鉛直線上に直線状に揃えた第１の位置に収納されており、前記基板搬送機構が、処理済の基板をそれぞれの一端部を第１の鉛直線上から水平方向へ変位した第２の鉛直線上に揃えた第２の位置に回収することを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項４】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を処理部に搬送する搬出工程と、未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、処理済の基板を前記マガジンに回収する回収工程とを含み、
前記回収工程が、前記処理済の基板を未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送する動作を含むことを特徴とする基板の処理方法。
【請求項５】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記回収工程において、処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収することを特徴とする請求項４記載の基板の処理方法。
【請求項６】
前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第１の鉛直線上に直線状に揃えた第１の位置に収納されており、前記回収工程において、処理済の基板をそれぞれの一端部を第１の鉛直線上から水平方向へ変位した第２の鉛直線上に揃えた第２の位置に回収することを特徴とする請求項４記載の基板の処理方法。
【請求項７】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックと異なるラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項８】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何
れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記マガジンの最上段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を降順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項９】
マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、
未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、
前記マガジンの最下段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を昇順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収することを特徴とする基板の処理装置。
【請求項１０】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、
少なくとも最上段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、
前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、
前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、
所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、
前記マガジンの最下段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行うことを特徴とする基板の処理方法。
【請求項１１】
マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、
少なくとも最下段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、
前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、
前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、
所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、
前記マガジンの最上段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行うことを特徴とする基板の処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに処理を施した処理済の基板を元のマガジンに回収する基板の処理装置および処理方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
複数の基板に連続的に処理を行う装置として、未処理の基板を積層して収納したマガジンから未処理の基板を順次処理工程に搬送し、所定の処理を施した後の処理済の基板をマガジンに搬送して回収する基板の処理装置が用いられている（例えば特許文献１参照）。
【特許文献１】特許第２５９３６８３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献に開示された装置においては、未処理の基板を搬出するローダ用のマガジンと処理済の基板を回収するアンローダ用のマガジンを一つのマガジンで共用しており、処理済の基板を元の位置と同じ場所に回収することにより未処理の基板と処理済の基板が一つのマガジンの中に混在することとなっていた。
【０００４】
処理工程で施される処理がワイヤボンディング処理やダイボンディング処理のように処理前後において外観に変化があるものであれば、処理済の基板と未処理の基板を視覚的に的確に判別することが可能である。しかしながら、プラズマ処理や品質検査、性能検査のように処理前後において外観に変化がない場合、処理済の基板と未処理の基板を視覚的に的確に判別することが不可能であった。そのため、停電や故障等のトラブルにより基板の処理装置が稼働中に停止した場合等に、処理済の基板と未処理の基板の判別を容易に視認して両者を分別することができず、処理装置の稼動再開後に未処理の基板に対してのみ処理作業を行うことができないという問題があった。
【０００５】
そこで本発明は、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を視覚的に的確に行うことができる基板の処理装置および処理方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構とを備え、前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送して前記マガジンに回収する。
【０００７】
請求項２記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記基板搬送機構が、前記処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収する。
【０００８】
請求項３記載の発明は、請求項１記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第１の鉛直線上に直線状に揃えた第１の位置に収納されており、前記基板搬送機構が、処理済の基板をそれぞれの一端部を第１の鉛直線上から水平方向へ変位した第２の鉛直線上に揃えた第２の位置に回収する。
【０００９】
請求項４記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を処理部に搬送する搬出工程と、未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、処理済の基板を前記マガジンに回収する回収工程とを含み、前記回収工程が、前記処理済の基板を未処理の基板が収納されていた元の位置から水平方向へ変位した位置に搬送する動作を含む。
【００１０】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、前記マガジンの一方の側部寄りに収納されており、前記回収工程において、処理済の基板を前記マガジンの他方の側部寄りに回収する。
【００１１】
請求項６記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記複数段のラックに収納された未処理の基板が、それぞれの一端部を第１の鉛直線上に直線状に揃えた第１の位置に収納されており、前記回収工程において、処理済の基板をそれぞれの一端部を第１の鉛直線上から水平方向へ変位した第２の鉛直線上に揃えた第２の位置に回収する。
【００１２】
請求項７記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記基板移送機構が、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックと異なるラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【００１３】
請求項８記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記マガジンの最上段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を降順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【００１４】
請求項９記載の発明は、マガジンに収納された未処理の基板を順次搬出し、これに所定の処理を施した処理済の基板を前記マガジンに回収する基板の処理装置であって、未処理の基板に所定の処理を施す基板の処理部と、基板を収納するラックを上下に複数段備えたマガジンを保持するマガジン保持部と、前記処理部と前記マガジンの間で基板を搬送する基板搬送機構と、前記マガジン保持部を昇降させて前記マガジンに備えられた何れかのラックを前記基板搬送機構に位置合わせする昇降機構とを備え、前記マガジンの最下段から少なくとも一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されており、前記基板移送機構が、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を昇順に搬出し、前記処理部において所定の処理を施された処理済の基板を、未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに搬送して前記マガジンに回収する。
【００１５】
請求項１０記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処
理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、少なくとも最上段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、前記空ラックの下段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの上段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、前記マガジンの最下段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行う。
【００１６】
請求項１１記載の発明は、マガジンに上下に複数段備えられたラックに収納された未処理の基板を順次搬出して所定の処理を施す基板の処理方法であって、少なくとも最下段から一段のラックを空ラックにして他のラックに未処理の基板が収納されたマガジンを準備し、前記空ラックの上段のラックに収納された未処理の基板を処理部に搬出する搬出工程と、前記処理部において未処理の基板に所定の処理を施す処理工程と、所定の処理が施された処理済の基板を前記未処理の基板が収納されていた元のラックの下段の空ラックとなっているラックに回収する回収工程と、を含み、前記マガジンの最上段のラックが空ラックとなるまで前記搬出工程及び処理工程、回収工程を繰り返し行う。
【発明の効果】
【００１７】
請求項１乃至６記載の発明によれば、未処理の基板が収納されていた元の位置と変位した位置に処理済の基板が回収され、処理済の基板と未処理の基板が互いにずれた位置にマガジン内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【００１８】
請求項７乃至１１記載の発明によれば、未処理の基板が収納されていたラックと異なるラックに処理済の基板が回収され、処理済の基板と未処理の基板が分離してマガジン内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
（実施の形態１）
本発明の実施の形態１について図面を参照して説明する。図１は実施の形態１における基板の処理装置の側面図、図２は実施の形態１における基板の処理装置の部分側面図、図３は実施の形態１における基板の処理装置の制御系の構成を示すブロック図、図４乃至図９は実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図、図１０は実施の形態１における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【００２０】
まず、基板の処理装置について全体構成を説明する。図１において、基台１の側方にはマガジン保持部２が配設されており、基台１の側面に設けられたマガジン昇降機構３にブラケット４を介して取り付けられている。マガジン保持部２上にはマガジン５が配設されており、マガジン昇降機構３の駆動により昇降する。
【００２１】
基台１の上面には基板搬送ガイド１０が配設されている。基板搬送ガイド１０の上部には第１の基板搬送機構１１が備えられている（図２参照）。基板搬送ガイド１０の上方には第１の基板搬送機構１１と対向して第２の基板搬送機構１２が配設されている。第１の基板搬送機構１１と第２の基板搬送機構１２は協働してマガジン５から未処理の基板を搬出するとともに処理済の基板をマガジンに搬入する。
【００２２】
基台１の上面には基板の処理部２０が配設されている。基板搬送ガイド１０及び第２の基板搬送機構１２は処理部２０内に延伸しており、未処理の基板を処理部２０内に搬入す
るとともに処理済の基板を処理部２０内から搬出する。処理部２０は未処理の基板に所定の処理を行い、例えば、未処理の基板にプラズマクリーニングやワイヤボンディング、ダイボンディング等を施したり、基板の品質検査、性能検査等を行う。
【００２３】
図２において、マガジン５の内部は上下に複数段のラック６に区画されている。各ラック６には未処理の基板８が収納されている。第１の基板搬送機構１１には第１の水平移動機構１１ａと第１の可動部１３が備えられており、第１の可動部１３は第１の水平移動機構１１ａの駆動により第１の水平移動機構１１ａの上部を水平移動する。第１の可動部１３には、マガジン５側に延伸する第１のアーム１４が取り付けられている。第１のアーム１４の先端は上方に屈曲した爪部１４ａとなっている。第１の可動部１３は昇降機構を備えており、第１のアーム１４を昇降させる（矢印ａ）。
【００２４】
このように、本実施の形態では、第１の水平移動機構１１ａ及び第１の可動部１３、第１のアーム１４により第１の基板搬送機構１１は構成されており、第１のアーム１４は、第１の水平移動機構１１ａの駆動により水平移動し（矢印ｂ）、第１の可動部１３の駆動により昇降し（矢印ａ）、ラック６に収納された未処理の基板８に爪部１４ａを係合させて基板搬送ガイド１０上に引き出す。
【００２５】
第２の基板搬送機構１２には、処理部２０内へ延伸した第２の水平移動機構１２ａと第２の可動部１５、第３の可動部１６が備えられている。第２の可動部１５及び第３の可動部１６は、第２の水平移動機構１２ａの駆動により第２の水平移動機構１２ａの下部をそれぞれ独立して水平移動する。第２の可動部１５にはマガジン５側に延伸する第２のアーム１７が取り付けられている。また、第３の可動部１６には処理部２０側に延伸する第３のアーム１８が取り付けられている。第２のアーム１７、第３のアーム１８のそれぞれの先端は下方に屈曲した爪部１７ａ、１８ａとなっている。第２の可動部１５、第３の可動部１６はそれぞれ昇降機構を備えており、第２のアーム１７、第３の可動部１８をそれぞれ独立して昇降させる（矢印ｃ、ｄ）。
【００２６】
このように、本実施の形態では、第２の水平移動機構１２ａと第２の可動部１５、第３の可動部１６、第２のアーム１７、第３のアーム１８により第２の基板搬送機構１２は構成されており、第２のアーム１７と第３のアーム１８は、第２の水平移動機構１２ａの駆動によりそれぞれ独立して水平移動し（矢印ｅ、ｆ）、第２の可動部１５及び第３の可動部１６の駆動により昇降し（矢印ｃ、ｄ）、基板搬送ガイド１０上に引き出された未処理の基板８に爪部１７ａ、１８ａを係合させて処理部２０に搬送する。
【００２７】
すなわち、第１の基板搬送機構１１と第２の基板搬送機構１２は、処理部２０とマガジン５の間で基板を搬送する基板搬送機構となっている。
【００２８】
次に、基板の処理装置の制御系の構成について、図３を参照して説明する。図３において、制御部３０は演算や情報処理を行って処理装置の各種動作を制御する。処理部２０については、搬入された未処理の基板８に各種の処理を施す際の処理工程や処理時間等を制御して所定の処理動作を実行する。
【００２９】
第１の基板搬送機構１１については、第１の水平移動機構１１ａや第１の可動部１３の駆動を制御し、第１のアーム１４の水平移動動作及び昇降動作を管理する。これにより、第１の基板搬送機構１１は未処理の基板８をマガジン５から基板搬送ガイド１０上に引き出す。
【００３０】
第２の基板搬送機構１２については、第２の水平移動機構１２ａや第２の可動部１５、第３の可動部１６の駆動をそれぞれ独立して制御し、第２のアーム１７及び第３のアーム
１８の水平移動動作及び昇降動作を管理する。これにより、第２の基板搬送機構１２は、第１の基板搬送機構１１によって基板搬送ガイド１０上に引き出された未処理の基板８を処理部２０に搬送し、処理部２０において所定の処理が施された処理済の基板８’をマガジン５に搬送する。
【００３１】
マガジン昇降機構３については、昇降駆動を制御してマガジン保持部４の上下移動を管理する。これにより、マガジン５に上下に複数段備えられたラック６のうち任意のラック６と基板搬送機構との位置合わせを行う。
【００３２】
制御部３０には記憶部３１が内蔵されており、上述した各動作の制御パラメータ値やマガジン５の奥行きやラック６のピッチ等の数値データ、基板処理状況を示す情報等が記憶されている。
【００３３】
操作入力部３２は、キーボードやディスクドライブ等の外部入力手段からなり、各種データ情報や制御パラメータ値等の入力を行う。表示部３３は、液晶パネルやＣＲＴ等の可視表示手段からなり、操作入力画面を表示したり、処理状況を可視的に表示したりする。
【００３４】
基板の処理装置は以上のように構成され、以下、その処理動作について図４乃至図９を参照して説明する。図４において、マガジン５の各ラック６には未処理の基板８が収納されている。各未処理の基板８は、それぞれの一端部８ａを第１の鉛直線Ｐ１に直線状に揃えた第１の位置に収納されており、マガジン５内において処理部２０と反対側の側部５’寄りに収納されている。この状態において、マガジン５の最上段のラック６と基板搬送ガイド１０のレベル合わせを行い、ラック６に収納された未処理の基板８を第１の基板搬送機構１１により搬出できるようにラック６と第１の基板搬送機構１１の位置合わせを行う。次に、第１のアーム１４をマガジン５側に移動させ（矢印ｇ）、爪部１４ａを未処理の基板８の端面８ａより外側に位置させる。
【００３５】
図５において、アーム１４を上昇させて未処理の基板８の端面８ａに爪部１４ａを係合させ（矢印ｈ）、第１のアーム１４を収納部２０側に移動させる（矢印ｉ）。これにより未処理の基板８が基板搬送ガイド１０上に搬出される。
【００３６】
図６において、第２のアーム１７を下降させて爪部１７ａを未処理の基板８の端面８ａに係合させる（矢印ｊ）。このとき、第１のアーム１４を下降させて第２のアーム１７の下降を妨げないようにする（矢印ｋ）。次に、第２のアーム１７を処理部２０側に移動させて未処理の基板８を処理部２０の近傍まで移動させる（矢印ｌ）。
【００３７】
図７において、第２のアーム１７をマガジン５側に移動させて元の位置に戻すとともに、第３のアーム１８をマガジン５側に移動させ（矢印ｍ）、下降させて爪部１８ａを未処理の基板８の端面８ａに係合させる（矢印ｎ）。この状態で第３のアーム１８を処理部２０側に移動させて未処理の基板８を処理部２０内に搬入する（矢印ｏ）。
【００３８】
図８において、処理部２０内で所定の処理が施された処理済の基板８’の他方の端面８ｂに第３のアーム１８の爪部１８ａを係合させてマガジン５の近傍まで移動させる（矢印ｐ）。
【００３９】
図９において、第２のアーム１７を処理部２０側に移動させ（矢印ｑ）、下降させ（矢印ｒ）、爪部１７ａを処理済の基板８’の端面８ｂに係合させて処理済の基板８’をマガジン５のラック６に回収する（矢印ｓ）。このとき、処理済の基板８’の一方の端面８ａが、元の位置である第１の鉛直線Ｐ１ではなく、第１の鉛直線Ｐ１から基盤搬送ガイド１０側に変位した第２の鉛直線Ｐ２に位置するように回収され、マガジン５内における処理
部２０側の側部５”寄りに回収される。
【００４０】
第１の鉛直線Ｐ１と第２の鉛直線Ｐ２は、それぞれの位置に揃えられた端面８ａを視覚的に区別できる程度に変位している。基板搬送機構１１、１２の搬送誤差は±１ｍｍ程度であるので、第１の鉛直線Ｐ１と第２の鉛直線Ｐ２との変位量は３ｍｍ以上は必要であり、好ましくは５ｍｍ以上変位していれば視認性に優れる。
【００４１】
上述した基板の処理動作を繰り返し、マガジン５の各ラック６に収納された各未処理の基板８を上段から下段に向けて降順に処理部２０に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板８’の端面８ａを第２の鉛直線Ｐ２に揃えて元のラック６に順次搬送して回収する。
【００４２】
図１０は、マガジン５内の複数の未処理の基板８のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン５内のラック６ａには処理済の基板８’が収納され、ラック６ｂには未処理の基板８収納されている。このように、処理済の基板８’と未処理の基板８が互いにずれた位置にマガジン５内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン５内に混在して収納された未処理の基板８と処理済の基板８’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【００４３】
本実施の形態においては、マガジン５に収納されている複数の未処理の基板６を、最上段のラック６に収納された未処理の基板６から下段に向けて降順に搬出して処理を施す例を説明しているが、最下段のラックに収納された未処理の基板６から上段に向けて昇順に搬出してもよく、あるいはこれらの順序以外の順序で搬出してもよい。
【００４４】
（実施の形態２）
次に、本発明の実施の形態２について、図面を参照して説明する。図１１乃至図１３は実施の形態２における基板の処理装置の動作説明図、図１４は実施の形態２における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【００４５】
以下、実施の形態１と同様の動作については説明を省略し、主として相違する動作について説明する。図１１において、マガジン５の最上段のラック６’を除く各ラック６には未処理の基板８が収納されている。最上段のラック６’は未処理の基板８が収納されない空ラックとなっている。この状態において、最上段のラック６’の下段のラック６と基板搬送ガイド１０のレベル合わせを行い、ラック６に収納された未処理の基板８を第１の基板搬送機構１１により搬出できるようにラック６と第１の基板搬送機構１１の位置合わせを行う。次に、上記の実施の形態１と同様の動作を行って未処理の基板８を処理部２０に搬入する。
【００４６】
図１２において、処理部２０で所定の処理を施された処理済の基板８’をマガジン５に回収するに際し、マガジン５を下降させ（矢印ｔ）、最上段のラック６’と基板搬送ガイド１０のレベル合わせを行い、処理済の基板８’を第２の基板搬送機構１２によりラック６’に回収できるようにラック６’と第２の基板搬送機構１２の位置合わせを行う。
【００４７】
図１３において、第２のアーム１７をマガジン５側に移動させて処理済の基板８’をラック６’に回収する（矢印ｕ）。これにより、処理済の基板８’は最上段のラック６’に収納され、当初収納されていたラック６は空ラックとなる。以上の動作を繰り返し、マガジン５の各ラック６に収納された各未処理の基板８を上段から下段に向けて降順に処理部２０に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板８’を元のラック６の一段上段のラック６に順次回収する。これにより、処理済の基板８’が収納されたラック６と未処理の
基板８が収納されたラック６の間には常に空ラックとなったラック６が存在することになる。
【００４８】
図１４は、マガジン５内の複数の未処理の基板８のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン５内のラック６ａには処理済の基板８’が収納され、ラック６ｂには未処理の基板８収納されている。両者の間には空ラックのラック６ｃが介在している。このように、処理済の基板８’と未処理の基板８は、両者の境界に空ラックを介在させることにより分離してマガジン５内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン５内に混在して収納された未処理の基板８と処理済の基板８’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【００４９】
（実施の形態３）
次に、本発明の実施の形態３について、図面を参照して説明する。図１５は実施の形態３における基板の処理装置の動作説明図、図１６は実施の形態３における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図である。
【００５０】
以下、実施の形態１、２と同様の動作については説明を省略し、主として相違する動作を説明する。上述した実施の形態２においては、当初、マガジン５の最上段のラック６’を空ラックにして未処理の基板８の処理を降順に行っているが、図１５に示すように、マガジン５の最下段のラック６ｃを空ラックにして未処理の基板８の処理を昇順に行うこともできる。
【００５１】
図１５において、最下段のラック６ｃは空ラックとなっており、他のラック６には未処理の基板８が収納されている。この状態において、ラック６ｄと基板搬送ガイド１０のレベル合わせを行い、ラック６ｄに収納された未処理の基板８を処理部２０に搬入する。処理部２０で所定の処理を施された処理済の基板８’をマガジン５に回収するに際し、最下段のラック６ｃと基板搬送ガイド１０のレベル合わせを行って処理済の基板８’をラック６ｃに回収する。これにより、処理済の基板８’は、当初収納されていたラック６ｄの一段下段のラック６ｃに回収され、ラック６ｄは空ラックとなる。
【００５２】
以上の動作を繰り返し、マガジン５の各ラック６に収納された各未処理の基板８を下段から上段に向けて昇順に処理部２０に搬送し、所定の処理を行った後の処理済の基板８’を元のラック６の一段下段のラック６に順次回収する。これにより、処理済の基板８’が収納されたラック６と未処理の基板８が収納されたラック６の間には常に空ラックとなったラック６が存在することになる。
【００５３】
図１６は、マガジン５内の複数の未処理の基板８のうち一部が処理されて回収された状態を示しており、マガジン５内のラック６ｅには未処理の基板８が収納され、ラック６ｆには処理済の基板８’収納されている。両者の間には空ラックのラック６ｇが介在している。このように、未処理の基板８と処理済の基板８’は、両者の境界に空ラックを介在させることにより分離してマガジン５内に収納されるので、両者の判別が視覚的に可能となり、マガジン５内に混在して収納された未処理の基板８と処理済の基板８’の判別を容易かつ的確に行うことができる。
【００５４】
なお、本発明の実施の形態は上記の各実施の形態に限定されるものではない。基板搬送機構についても上記の各実施の形態における構成に限定されるものではなく、本発明の目的とする効果を奏するものであれば様々な形態に構成してもよい。
【産業上の利用可能性】
【００５５】
本発明の基板の処理装置および処理方法によれば、処理済の基板と未処理の基板の判別が視覚的に可能となり、マガジン内に混在して収納された未処理の基板と処理済の基板の判別を容易かつ的確に行うことができ、マガジンに積層して収納した未処理の基板を順次搬出し、これに処理を施した処理済の基板をマガジンに順次回収する基板の処理分野において有用である。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】本発明の実施の形態１乃至３における基板の処理装置の側面図
【図２】本発明の実施の形態１乃至３における基板の処理装置の部分側面図
【図３】本発明の実施の形態１乃至３における基板の処理装置の制御系の構成を示すブロック図
【図４】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図５】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図６】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図７】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図８】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図９】本発明の実施の形態１における基板の処理装置の動作説明図
【図１０】本発明の実施の形態１における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【図１１】本発明の実施の形態２における基板の処理装置の動作説明図
【図１２】本発明の実施の形態２における基板の処理装置の動作説明図
【図１３】本発明の実施の形態２における基板の処理装置の動作説明図
【図１４】本発明の実施の形態２における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【図１５】本発明の実施の形態３における基板の処理装置の動作説明図
【図１６】本発明の実施の形態３における基板の処理装置のマガジン内に未処理の基板と処理済の基板が混在して収納された様子を示す斜視図
【符号の説明】
【００５７】
３  マガジン昇降機構
４  マガジン保持部
５  マガジン
５’  一方の側部
５”  他方の側部
６  ラック
８  未処理の基板
８’  処理済の基板
１１  第１の基板搬送機構
１２  第２の基板搬送機構
２０  処理部
Ｐ１  第１の鉛直線
Ｐ２  第２の鉛直線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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