(57)【要約】【課題】２枚の薄型シートを貼り合わせて面ぶれの低減された薄型基板を製造する容易かつ安価な方法を提供する。【解決手段】空気流入用の貫通孔を有するターンテーブルにスペーサーを組み込みんだ装置を用いて薄型基板シートの貼り合わせ工程を行う。薄型基板シートをターンテーブル上で回転して、貼り合わせ用接着剤を振り切りかつ硬化を行う。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造する方法であって、
１枚の薄型基板材料を回転可能なターンテーブル上にスペーサーを挟んで配置し、
前記薄型基板材料上に接着剤を塗布し、
他の１枚の薄型基板材料を前記薄型基板材料上に重ね合わせ、
前記ターンテーブルを回転させて接着剤を硬化させることを含む方法。
【請求項２】
前記ターンテーブルは内周付近に設けられた貫通孔を有することを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記貫通孔は複数個あって、前記ターンテーブルの回転中心対称に円周状に配置されていることを特徴とする請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記２枚の薄型基板材料の内周部同士を熱圧着によって接着することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
製造される薄型基板の厚さをＴとし、各薄型基板材料の厚さをｔとするとき、
２×ｔ×１．０３＜Ｔ＜２×ｔ×１．１０
となるようにして薄型基板を製造することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造するための装置であって、
薄型基板材料を保持する回転可能なターンテーブルと、
前記薄型基板材料と前記ターンテーブルとの間の内周近傍に配置されるスペーサーと、
前記薄型基板材料及び前記スペーサーを前記ターンテーブルに対して固定するクランプと、
前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して接着剤を塗布する手段と、
前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して他の薄型基板材料を重ね合わせる手段と、
前記ターンテーブルを回転させながら、前記ターンテーブル上の薄型基板材料に塗布された接着剤を硬化させる手段とを有する装置。
【請求項７】
前記ターンテーブルは内周付近に設けられた貫通孔を有することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記貫通孔は複数個あって、前記ターンテーブルの回転中心対称に円周状に配置されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記ターンテーブルの径は、前記薄型基板材料の径とほぼ同じであるか、あるいは５％以下小さいことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光記録媒体等の材料となる薄型基板の製造方法及び製造方法に関し、特に、２枚の薄型シートを貼り合わせて薄型基板を製造する方法及び装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、光ディスクの高容量化を図る様々な試みがなされており、中でも効率的な方法として、光ディスク基板の厚みを薄くして体積当たりの容量を増やすことが注目されている。例えば、特許文献１では、薄型光ディスクとその薄型光ディスクの面ぶれが少なく安定に回転させるためのスタビライザーとを組み合わせることにより、体積当たりの記録容量を増加させた記録再生システムが提案されている。
【０００３】
一方、光ディスクの基板が単板であると、バイメタル効果によって基板が大きく変形してしまうため、情報記録媒体としての信頼性に欠けるという問題がある。これに対処するため、従来、基板を２枚貼り合わせて上下対象構造の光ディスクを製造するのが一般的である。上記の薄型光ディスクについても、２枚の薄型シートを貼り合わせる製造方法が採用されている。例えば、特許文献２、３には、エアを吹き付けて薄型シートを平坦に保持しながら貼り合わせる技術が提案されている。
【０００４】
また、他の光ディスク基板の貼り合わせ技術として、２Ｐ法（光硬化法）による多層膜の形成方法が知られている。例えば、特許文献４には、２Ｐ法に用いる樹脂をあらかじめ基板上に拡げておき、基板を回転させて振り切り、硬化させる技術が提案されている。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−９１９７０号公報
【特許文献２】特開２０００−０４８４１９号公報
【特許文献３】特開２００５−２１６４２６号公報
【特許文献４】特開平０９−１６１３２９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記した光ディスク基板の貼り合わせによる製造方法には、従来用いているスピンコート装置などを利用することができず、特別な装置が必要となるという問題があった。また、後述するように、２Ｐ法などの基板貼り合わせ技術で製造した薄型光ディスクは、面ぶれ特性及び面ぶれ加速度特性が十分ではないことが本発明者らの実験により明らかとなっている。
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、２枚の薄型シートを貼り合わせて薄型基板を製造する方法であって、容易かつ安価であり、薄型基板の面ぶれが低減されるような製造方法及び製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記解決課題に鑑みて、本発明者らは、従来のスピンコート装置を用いて面ぶれが低減された薄型基板を安価に製造できる方法を模索した。
【０００９】
まず、従来から用いてきたスピンコート装置に、薄型基板を支持するためのターンテーブルを別に用意し、そのターンテーブル上に薄型基板を載置して種々の実験を繰り返した。ところが、薄型基板は従来の厚い基板とは異なる挙動を示し、面ぶれ特性及び面ぶれ加速度特性が良好な薄型基板を貼り合わせて作製するのが困難であった。本発明者らは、この原因を、薄型基板自身の剛性が低くかつ静電気を持ちやすいためであることを見抜き、その改善を図った。
【００１０】
本発明者らは、厚さ１００μｍ程度の薄型基板を、これとほぼ同じ直径のアルミニウム製のターンテーブルの上に載せて、このターンテーブルで薄型基板を支持することを試みた。すると、次のような現象が現れた。
(イ)ターンテーブルと薄型基板で、その一部の領域だけが吸着してしまった。
(ロ)その吸着部分は他の部分を次々に巻き込んで吸着領域が拡がっていくのが観察された。
(ハ)ところが吸着領域の拡大はある範囲で落ち着いてそれ以上は拡がらなかった。
(ニ)結局、ターンテーブルと薄型基板は一様に吸着せず、所々にエア噛み部分が残った。
(ホ)このエア噛み部分が残ったまま貼り合わせを行うと、面ぶれを低減することができなかった。
【００１１】
このことから、本発明者らは、エア噛み現象が面ぶれ加速度を阻害する原因と見て、まず、このエア噛み現象がなぜ起こるのかの原因を確認し、回避する方策を考えた。まず、上記吸着部分が常に局所的に生成する現象に着目した。そして、薄型基板が不導体でできていることに注目し、現象に静電気が関与していることをつきとめた。静電気はある帯電した部分同士が接触し中和されると、吸着部分はそれ以上に拡がらず、帯電部分に応じて吸着部分が局所的に生成する。この結果、薄型基板には部分的にひずみができるから、中和が済んでいない部分同士の領域に過不足が生じ、吸着することなく取り残された島状部が残存する。このような理由でエア噛み現象が起こるものと考えた。また、面ぶれ加速度に関しては、従来の厚い基板で見られたような正弦波状の低周波面ぶれではなく、上記局所的に現れるエア噛みが特に高周波の面ぶれを起こしており、これが面ぶれ加速度を悪化させているものと考えた。エア噛みが取り除けないまま薄型基板の貼り合わせ及び接着剤の硬化を行ってしまうと、薄型基板上にエア噛みがそのまま転写され半永久的に残存してしまい、その後のプロセスで取り除くことが非常に困難となる。
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の薄型基板の製造方法及び製造方法では、ターンテーブルの中央付近にスペーサーを組むこととしている。さらにターンテーブルに空気流入用の孔を開けたものを用いることとしている。ターンテーブルを構成するドーナツ板に直接貫通孔を開けることとした。上記のように、スペーサーを設けることにより薄型基板とターンテーブルとの間に間隙を確保し、該間隙を通してターンテーブル回転時に空気流入用の貫通孔から空気を導入する。スペーサーは剛体で構成され、薄型基板と接当する上面と、ターンテーブルと接当する下面とが平行になっており、上面と下面との間が一定の高さになっている。
【００１３】
すなわち、本発明は、２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造する方法であって、１枚の薄型基板材料を回転可能なターンテーブル上にスペーサーを挟んで配置し、前記薄型基板材料上に接着剤を塗布し、他の１枚の薄型基板材料を前記薄型基板材料上に重ね合わせ、前記ターンテーブルを回転させて接着剤を硬化させることを含む方法を提供するものである。好適には、前記ターンテーブルは、内周付近に設けられた貫通孔を有し、さらに好適には、前記貫通孔は複数個あって、前記ターンテーブルの回転中心対称に円周状に配置されていることを特徴とする。
【００１４】
本発明の薄型基板の製造方法では、前記２枚の薄型基板材料の内周部同士を熱圧着によって接着することを特徴とする。例えば、ホットメルトシートなどを用いる。
【００１５】
本発明の薄型基板の製造方法では、製造される薄型基板の厚さをＴとし、各薄型基板材料の厚さをｔとするとき、
２×ｔ×１．０３＜Ｔ＜２×ｔ×１．１０
となるようにして薄型基板を製造することを特徴とする。
【００１６】
本発明は、また、２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造するための装置であって、薄型基板材料を保持する回転可能なターンテーブルと、前記薄型基板材料と前記ターンテーブルとの間の内周近傍に配置されるスペーサーと、前記薄型基板材料及び前記スペーサーを前記ターンテーブルに対して固定するクランプと、前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して接着剤を塗布する手段と、前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して他の薄型基板材料を重ね合わせる手段と、前記ターンテーブルを回転させながら、前記ターンテーブル上の薄型基板材料に塗布された接着剤を硬化させる手段とを有する装置を提供するものである。
【００１７】
本発明の薄型基板の製造装置において、前記ターンテーブルの径は、前記薄型基板材料の径とほぼ同じであるか、あるいは５％以下小さいことを特徴とする。こうすることにより、接着剤のスピンコートの際、薄型基板とターンテーブル間に接着剤が流れ込むのを防ぐことができる。
【発明の効果】
【００１８】
以上、説明したように、本発明の薄型基板の製造方法及び製造方法によれば、容易かつ安価に、２枚の薄型シートを貼り合わせて面ぶれの低減された薄型基板を製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の薄型基板の製造方法及び製造方法を実施するための最良の形態を詳細に説明する。図１〜図９は、本発明の実施の形態を例示する図であり、これらの図において、同一の符号を付した部分は同一物を表わし、基本的な構成及び動作は同様であるものとする。
【００２０】
図１は、本発明の薄型基板の製造方法の一実施形態を示す図である。図１に示すように、ターンテーブル１０２上にフレキシブルシート１０１を配置し、クランプ１０３にて固定し、ターンテーブル１０２を回転させて、接着剤の振り切りやシート同士の貼り合わせを行う工程である。ターンテーブル１０２の内周部には、フレキシブルシート１０１の内周部を下方から持ち上げるためのスペーサー１０４を配置している。フレキシブルシート１０１は、上方のクランプ１０３と下方のスペーサー１０４とに挟まれて保持される。スペーサー１０４により、フレキシブルシート１０１とターンテーブル１０２の間には、間隙が確保される。
【００２１】
図２は、本発明の薄型基板の製造方法の他の実施形態を示す図である。図２に示すように、ターンテーブル１０２上にフレキシブルシート１０１を配置し、クランプ１０３にて固定し、ターンテーブル１０２を回転させて、接着剤の振り切りやシート同士の貼り合わせを行う工程である。ターンテーブル１０２の内周部には、フレキシブルシート１０１の内周部を下方から持ち上げるためのスペーサー１０４を配置している。フレキシブルシート１０１は、上方のクランプ１０３と下方のスペーサー１０４とに挟まれて保持される。また、ターンテーブル１０２の内周付近には、空気流入用の貫通孔１０５が形成されている。
【００２２】
この状態でターンテーブル１０２を回転させると、スペーサー１０４の外周端付近を起点として、フレキシブルシート１０１とターンテーブル１０２との間隙の空気が遠心力により内周から外周へと移動し、更に貫通孔１０５から流入する空気によって内周から外周への定常的な空気流が発生する。これにより静止時に静電気によってできた局所的なエア噛み現象が全面的に取り除かれる。スペーサー１０４によってできるフレキシブルシート１０１とターンテーブル１０２との間隔は通常０．０１〜０．５ｍｍであるのが望ましい。
【００２３】
尚、空気流入用の貫通孔１０５は、ターンテーブルのドーナツ板自体に設けられても良いが、ターンテーブルのドーナツ板中心に同芯に取り付けられたハブに設けても良い。これにより、空気の流れがよりスムーズに行われるようになるため、局所的な面ぶれを低減しかつ面ぶれがより少なく安定した状態を保つことができるようになる。貫通孔１０５を多数満遍なく設けることにより、均一な空気の流れを実現することができる。実際には、複数個、好ましくは３個〜５０個の貫通孔を回転中心対称に円周状に配置するのが望ましい。貫通孔１０５の直径は２ｍｍ〜７ｍｍであるのが望ましい。但し、ターンテーブル１０２の強度が極端に落ちない程度の径と数にする。図示しないが、貫通孔１０５の存在によって渦が発生したり基板が傷ついたりすることのないように、貫通孔１０５の周縁はアール加工しておくのが望ましい。
【００２４】
また、ターンテーブル１０２については、その外径をフレキシブルシート１０１の外径と同じか、フレキシブルシート１０１の外径より５％以下小さくすることにより、接着剤のスピンコートの際、フレキシブルシート１０１とターンテーブル１０２の間に接着剤が流れ込むのを防ぐことができる。
【００２５】
次に、図１又は２に示す設備を用いて薄型基板を製造する工程について、図３を参照しながら説明する。図３において、まず、フレキシブルシートＡをターンテーブル１０２上に設定する（ステップＳ２１）。フレキシブルシートＡ上に接着剤を付し、ターンテーブル１０２を回転させて所定のコート条件（例えば図４に示すコート条件Ａ）で接着剤を展開する（ステップＳ２２）。続いて、ターンテーブル１０２上のフレキシブルシートＡと中心軸を合わせながら、フレキシブルシートＢをその上に重ね合わせる（ステップＳ２３）。ターンテーブル１０２を回転させて所定のコート条件（例えば図４に示すコート条件Ｂ）でフレキシブルシートＡ及びＢの間の接着剤を振り切る。その後、紫外線照射装置を用いてフレキシブルシートＡ及びＢに紫外線を照射し、接着剤を固化させて、ターンテーブル１０２の回転を停止させる（ステップＳ２５）。
【００２６】
以上の工程により、本発明による面ぶれ特性及び面ぶれ加速度特性が向上した薄型基板を製造することができる。以下に、より具体的な実施例を記載する。
【実施例】
【００２７】
厚さ１００μｍ、内径１５ｍｍφ、外径１２０ｍｍφのポリカーボネートフィルムを用意し、ナノニクス（株）製のナノインプリント装置によってＤＶＤ−Ｒ仕様の溝及びピットを形成した。次に色素記録層、銀を主成分とする金属合金反射層を１５ｎｍ積層し光記録再生可能なフレキシブルシートを２枚作製した。ターンテーブルとして、厚さ１ｍｍのアルミニウム円板で内径１５ｍｍφ、外径をφ１１９ｍｍとしたものを用意し（これをａとする）、このほかに該ターンテーブル上に流入用貫通孔として、６ｍｍφのものを中心から１８ｍｍの位置に円周状に合計８個等間隔に配置したものを用意した（これをｂとする）。またＳＵＳ３０４製で外径３０ｍｍφ、内径１５ｍｍφ、厚さ０．２ｍｍのスペーサーを用意した。以下において、上記スペーサーと上記ａをそれぞれ同芯に固定したターンテーブルをターンテーブル１、上記スペーサーと上記ｂをそれぞれ同芯に固定したターンテーブルをターンテーブル２、上記ａのみのものを改めてターンテーブル３と呼ぶ。
【００２８】
本実施例において用いたターンテーブルは、ソーダガラス製であったが、以下のような処理を行うと、効果がより上がった。（１）ソーダガラス上に１ｎｍ以上の窒化シリコン、或いは酸化シリコン薄膜を形成する。（２）ソーダガラス表面を＃６０００以下、より好ましくは＃１０００以下のメッシュサイズに荒らす。または１ｍｍピッチ以下の微細な凹凸形状を形成する。（１）は主に薄膜基板の材料であるポリカーボネートとターンテーブル間の帯電を少なくする効果があり、（２）は主に、薄膜基板とターンテーブル間に空気層が入り易くする効果があった。上記（１）、（２）はそれぞれ単独で用いてもよいが、合わせて用いることにより、より大きな効果が発揮できた。
【００２９】
図５は、本実施例で用いたスピンコート装置の構成を概略的に示す図である。図５において、このスピンコート装置は、回転台４００、ターンテーブル４０１、シリンジ４０３、シリンジ移動支持機構４０４、紫外線照射機４０５、紫外線照射機移動支持機構４０６、真空チャック４０７、真空チャック支持移動機構４０８から構成されている。回転台４００の中心棒は、重ね合わせるフレキシブルシート同士の偏心を合わせるために用いるものであり、フレキシブルシートの中心穴φ１５．０５ｍｍ（±０．０２）を貫通すべくφ１５．１ｍｍ（±０．０２）とし、貫通しやすいように先端はテーパードコーン形状にした。真空チャック４０７は、日本タングステン（株）製多孔質セラミックで作製されたものであり、弁の切り替えにより吸着側とエジェクター側に切り替えが可能である。シリンジ４０３は、紫外線硬化接着剤（本実施例では大日本インキ（株）製ＳＤ３１８を用いた）をフレキシブルシート上に滴下量を調整しながら滴下するための装置である。
【００３０】
以下、このスピンコート装置によるフレキシブルシート貼り合わせの手順について説明する。まず、真空チャック４０７により１枚のフレキシブルシート４０２を保持し、スピンコート装置の上方からターンテーブル４０１上に配置した。以下、このフレキシブルシートをシートＡと呼ぶ。次に、シリンジ４０３により、シートＡの内周（ｒ＝１８〜２３ｍｍ）の位置に紫外線硬化接着剤を滴下し、図４に示すコート条件Ａに従って、接着剤をおおよそｒ＝３５ｍｍまで展開した。即ち、回転数３０ｒｐｍにおいて接着剤を４ｓ滴下し、次に５０ｒｐｍにして６ｓ接着剤を基板上で拡げ、最後に２ｓ間に回転を停止した。
【００３１】
次に、真空チャック４０７により、もう１枚のフレキシブルシート（以下、シートＢと呼ぶ）をターンテーブル４０１上のシートＡの上に重ねて配置した。シートＡ及びＢの上からマグネットクランプ（図示せず）を配置し、図４に示すコート条件Ｂに従って、シートＡとシートＢの間の接着剤を振り切ることにより、シートの内周部と外周部で接着剤の厚みむらができないようにした。即ち、回転数を３０００ｒｐｍまで６ｓ間で上昇させ、３０００ｒｐｍで４ｓ保持し、最後に４ｓの間に回転を停止した。
【００３２】
次に、紫外線照射機４０５により貼り合わせたシートに対して紫外線照射を行い、接着剤を硬化させた。接着剤が硬化したところでターンテーブル４０１の回転を停止し、クランプを外した。接着剤の硬化は、貼り合わせたシートの両面を均等にするため、まず一方の面を３０〜７０％程度硬化させるような紫外線照射強度で照射した後、他方の面に対して不足分の紫外線照射を行うのが好ましい。これにより、熱線に由来する基板変形や、硬化程度の偏りが低減するため、より面ぶれの小さい薄型基板が得られる。
【００３３】
上記プロセスで、基板厚１００μｍのフレキシブルシート２枚の間に接着層が形成された。これにより、内周（ｒ＝２０ｍｍ）で２１０μｍ厚、外周（ｒ＝５８ｍｍ）で２１５μｍ厚の薄型基板が作製された。また、２枚のフレキシブルシートをマグネットクランプで保持するに際しては、クランプとして外径φ２０のものを用いたため、そのクランプ外径であるおおよそｒ＝１０ｍｍまで接着層が形成され、一方外周では、振り切りプロセスにより基板最外周ｒ＝６０ｍｍまで接着層が形成された。ここで、上記クランプエリアに関しては、接着剤が行き渡らないため、図６に示すように、下記の３種類の方法のいずれかによって接着した。
【００３４】
（１）外径φ９、内径φ７．５にカットしたドーナツ状の厚さ２５μｍのポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート或いはポリカーボネートを用意し、これを張り合わせの際に基板Ａと基板Ｂの間に挟んだ（図６の上側の図）。
（２）あらかじめ上記クランプエリアのみに対して紫外線熱照射或いはコロナ放電処理を行って表面エネルギーを上げ、さらに処理をした部位のみ熱圧着（温度１４０度、圧力１ｔ）によって薄型基板同士を接着した（図６の中央の図）。
（３）別に用意したダイセルファインケム（株）製のホットメルトシート（型番３１００；厚み３０μｍ、融点１３０度）を外径φ９、内径φ７．５にカットし、これを貼り合わせの際に基板Ａと基板Ｂの間に挟んだ。接着層形成後、熱圧着（温度１４０度、圧力１ｔ）によって上記ホットメルトシートを介して基板Ａと基板Ｂの内周部を接着した（図６の下側の図）。
【００３５】
なお、上記した各種の条件は例であり、接着剤の種類や接着層の形成条件はこれに限定されるわけではない。但し、出来上がる薄型基板の情報エリアにおける厚さ（Ｔとする）に関しては、元のフレキシブルシート厚さをｔとするとき、
２ｘ（ｔ）ｘ１．０３＜Ｔ＜２ｘ（ｔ）ｘ１．１０
の範囲に有る限り、本実施例と同様の効果を得ることができた。
【００３６】
なお、上記プロセスでターンテーブルの外径を薄型基板の外径より大きくしてしまうと、接着剤の振り切り過程においてターンテーブルと薄型基板の間に接着剤が流れ込んでしまう。またターンテーブルの外径が薄型基板の外径より５％以上小さくなると、回転中、即ち接着層形成中の外周部の基板のぶれが特に大きくなる。このため、出来上がった薄型基板の外周部も結果的にひずみ量が顕著に大きくなる。従って、ターンテーブルの外径は薄型基板の外径と同じかまたは５％以下小さいことが望ましい。
【００３７】
本実施例（ターンテーブル１、２）において作製した薄型基板と、従来の製造方法（ターンテーブル３）で作製された薄型基板とを用意し、その性能を比較した。
【００３８】
まず、これら２種類の薄型基板について、別に用意したキーエンス（株）製ＣＣＤレーザー変位計によって、静止状態の基板変位を測定した。図７に、半径位置４０ｍｍにおける基板一周の変位結果を示す。従来の製造方法による薄型基板は、所々に大きな変位変化が見られるが、本実施例の製法による薄型は、ほとんど変位変化が見られない。即ち、従来の製法による薄型基板には特徴的な局所変位が残存しているが、本実施例の薄型基板にはそのような局所変位は存在しないことがわかる。
【００３９】
次に、上記２種類の薄型基板について、ＳＯＮＹ製レーザードップラーメータを用いて、基板回転時の面ぶれ加速度を測定した。図８〜図１０は、それぞれ基板上の半径位置５７ｍｍ、４０ｍｍ及び２７ｍｍの面ぶれ加速度を測定した結果を示す図である。各図から明らかなように、いずれの半径位置においても、どのような回転数であっても、本実施例の製法による薄型基板の方が従来の製法による薄型基板よりも格段に面ぶれ加速度が低くなっていることが分かる。例えば、図８に示すように、半径位置５７ｍｍにおける５０００ｒｐｍでの面ぶれ加速度は、従来製法の薄型基板では３５０ｍ／ｓ２であるのに対して、本実施例の製法による薄型基板では６０ｍ／ｓ２と大幅に改善されている。これはＤＶＤ−Ｒ８ｘの仕様をクリアしたことを示しており、本実施例の製造方法が出来上がった薄型基板の面ぶれを低減させるのに有効であることが十分に示された。
【００４０】
以上、本発明の薄型基板の製造方法及び製造方法について、具体的な実施の形態を示して説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、上記各実施形態又は他の実施形態にかかる発明の構成及び機能に様々な変更・改良を加えることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明の薄型基板の製造方法の一実施形態を示す図である。
【図２】本発明の薄型基板の製造方法の他の実施形態を示す図である。
【図３】図１に示す設備を用いて薄型基板を製造する工程を示すフローチャートである。
【図４】薄型基板の製造工程におけるスピンコートの条件を例示する図である。
【図５】実施例で用いたスピンコート装置の構成を概略的に示す図である。
【図６】フレキシブルシート内周部のクランプエリアの接着方法を示す図である。
【図７】実施例において作製した薄型基板と、従来の方式で作製された薄型基板とについて、半径位置４０ｍｍにおける基板一周の変位結果を示す図である。
【図８】実施例において作製した薄型基板と、従来の方式で作製された薄型基板とについて、基板回転時の半径位置５７ｍｍにおける面ぶれ加速度を測定した結果を示す図である。
【図９】実施例において作製した薄型基板と、従来の方式で作製された薄型基板とについて、基板回転時の半径位置４０ｍｍにおける面ぶれ加速度を測定した結果を示す図である。
【図１０】実施例において作製した薄型基板と、従来の方式で作製された薄型基板とについて、基板回転時の半径位置２７ｍｍにおける面ぶれ加速度を測定した結果を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１０１  フレキシブルシート
１０２  ターンテーブル
１０３  クランプ
１０４  スペーサー
１０５  貫通孔
４００  回転台
４０１  ターンテーブル
４０２  フレキシブルシート
４０３  シリンジ
４０４  シリンジ移動支持機構
４０５  紫外線照射機
４０６  紫外線照射機移動支持機構
４０７  真空チャック
４０８  真空チャック支持移動機構
【図１】
2007287279.tif 000003
【図２】
2007287279.tif 000004
【図３】
2007287279.tif 000005
【図４】
2007287279.tif 000006
【図５】
2007287279.tif 000007
【図６】
2007287279.tif 000008
【図７】
2007287279.tif 000009
【図８】
2007287279.tif 000010
【図９】
2007287279.tif 000011
【図１０】
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【手続補正書】
【提出日】平成19年5月30日(2007.5.30)
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、光記録媒体等の材料となる薄型基板の製造方法及び製造装置に関し、特に、２枚の薄型シートを貼り合わせて薄型基板を製造する方法及び装置に関するものである。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００３】
一方、光ディスクの基板が単板であると、バイメタル効果によって基板が大きく変形してしまうため、情報記録媒体としての信頼性に欠けるという問題がある。これに対処するため、従来、基板を２枚貼り合わせて上下対称構造の光ディスクを製造するのが一般的である。上記の薄型光ディスクについても、２枚の薄型シートを貼り合わせる製造方法が採用されている。例えば、特許文献２、３には、エアを吹き付けて薄型シートを平坦に保持しながら貼り合わせる技術が提案されている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであり、２枚の薄型シートを貼り合わせて薄型基板を製造する方法及び装置であって、容易かつ安価であり、薄型基板の面ぶれが低減されるような製造方法及び製造装置を提供しようとするものである。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題を解決するため、本発明の薄型基板の製造方法及び製造装置では、ターンテーブルの中央付近にスペーサーを組むこととしている。さらにターンテーブルに空気流入用の孔を開けたものを用いることとしている。ターンテーブルを構成するドーナツ板に直接貫通孔を開けることとした。上記のように、スペーサーを設けることにより薄型基板とターンテーブルとの間に間隙を確保し、該間隙を通してターンテーブル回転時に空気流入用の貫通孔から空気を導入する。スペーサーは剛体で構成され、薄型基板と接当する上面と、ターンテーブルと接当する下面とが平行になっており、上面と下面との間が一定の高さになっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
以上、説明したように、本発明の薄型基板の製造方法及び製造装置によれば、容易かつ安価に、２枚の薄型シートを貼り合わせて面ぶれの低減された薄型基板を製造することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
以下、添付図面を参照しながら、本発明の薄型基板の製造方法及び製造装置を実施するための最良の形態を詳細に説明する。図１〜図９は、本発明の実施の形態を例示する図であり、これらの図において、同一の符号を付した部分は同一物を表わし、基本的な構成及び動作は同様であるものとする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
以上、本発明の薄型基板の製造方法及び製造装置について、具体的な実施の形態を示して説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。当業者であれば、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において、上記各実施形態又は他の実施形態にかかる発明の構成及び機能に様々な変更・改良を加えることが可能である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造する方法であって、
１枚の薄型基板材料を回転可能な貫通孔を有するターンテーブル上にスペーサーを挟んで配置し、
前記薄型基板材料上に接着剤を塗布し、
他の１枚の薄型基板材料を前記薄型基板材料上に重ね合わせ、
前記ターンテーブルを回転させて接着剤を硬化させることを含む方法。
【請求項２】
前記貫通孔は複数個あって、前記ターンテーブルの回転中心対称に円周状に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記２枚の薄型基板材料の内周部同士を熱圧着によって接着することを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
製造される薄型基板の厚さをＴとし、各薄型基板材料の厚さをｔとするとき、
２×ｔ×１．０３＜Ｔ＜２×ｔ×１．１０
となるようにして薄型基板を製造することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記薄型基板が、回転数が８０００ｒｐｍ以下において、面ブレ加速度が１００ｍ／ｓ２以下となるように、接着剤層の量を調節し、薄型基板を製造することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
２枚の薄型基板材料を貼り合わせて薄型基板を製造するための装置であって、
薄型基板材料を保持する回転可能な貫通孔を有するターンテーブルと、
前記薄型基板材料と前記ターンテーブルとの間の内周近傍に配置されるスペーサーと、
前記薄型基板材料及び前記スペーサーを前記ターンテーブルに対して固定するクランプと、
前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して接着剤を塗布する手段と、
前記ターンテーブル上の薄型基板材料に対して他の薄型基板材料を重ね合わせる手段と、
前記ターンテーブルを回転させながら、前記ターンテーブル上の薄型基板材料に塗布された接着剤を硬化させる手段とを有する装置。
【請求項７】
前記貫通孔は複数個あって、前記ターンテーブルの回転中心対称に円周状に配置されていることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記ターンテーブルの径は、前記薄型基板材料の径とほぼ同じであるか、あるいは５％以下小さいことを特徴とする請求項６又は７に記載の装置。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2007287279.tif 000013