(57)【要約】【課題】Ｙステージの移動制御を良好に実施できるＹ軸中央駆動手段の提供。【解決手段】Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃに、円柱状の固定子１５２と、固定子１５２の側面を覆いかつ固定子１５２との間に隙間が形成される状態で設けられた円筒状の可動子１５３と、を設けている。固定子１５２を、強磁性型制振合金により円柱状に形成された芯部１５２Ｃと、マグネット１５２Ｂ１により芯部１５２Ｃの側面を覆う円筒状に形成された外周部１５２Ｂと、にて円柱状に形成している。このため、固定子１５２の芯部１５２Ｃを強磁性型制振合金により形成しているので、固定子１５２に撓みが生じたとしても可動子１５３の移動に伴う振動を抑制することができる。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
柱状に形成された固定子と、
コイルを螺旋状に屈曲させることにより筒状に形成され、前記固定子の側面を囲みかつ前記固定子との間に隙間が形成される状態で設けられた可動子と、
を備え、
前記固定子は、制振材料および一方向に並設された複数の磁性体のうちいずれか一方にて柱状に形成された芯部と、いずれか他方にて前記芯部の側面を覆う筒状に形成された外周部と、により前記柱状に形成されている
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項２】
請求項１に記載のリニアモータにおいて、
前記制振材料は、制振合金である
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項３】
請求項２に記載のリニアモータにおいて、
前記制振合金は、双晶の運動により振動を抑制する合金である
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項４】
請求項２に記載のリニアモータにおいて、
前記制振合金は、磁壁での吸収により振動を抑制する合金であり、
前記芯部は、前記複数の磁性体により柱状に形成され、
前記外周部は、前記磁壁での吸収により振動を抑制する合金により筒状に形成されている
ことを特徴とするリニアモータ。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のリニアモータと、
このリニアモータの前記固定子の長手方向一端および他端をそれぞれ保持する一対の保持部と、
前記リニアモータの前記可動子に取り付けられたステージと、
を備えていることを特徴とするステージ駆動装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、リニアモータ、および、ステージ駆動装置に関する。例えば、工作機械や半導体製造装置などに使用されるリニアモータ、および、ステージ駆動装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、工作機械や半導体製造装置などのステージを駆動させる構成として、磁石を内蔵したシャフトに沿って、コイルを内蔵したスライダを移動させてステージを駆動させる構成が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
この特許文献１に記載のものは、ウエハステージの底面に固定された可動子と、この可動子の中央部近傍に形成された丸孔の内部に挿入された状態でＸ軸方向に延びる円柱状の固定子と、を備えている。これら固定子の長手方向の両端部は、一対の保持機構にて保持されている。
そして、可動子を固定子との間の電磁相互作用により発生するローレンツ力によりＸ軸方向に駆動させて、ウエハステージを移動させる構成が採られている。
【０００４】
【特許文献１】特開２００１−２３８９４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述したような特許文献１のような構成では、固定子の長手方向両端部を一対の保持部材により保持する構成としているため、固定子に撓みが発生してしまうおそれがある。このため、可動子の移動に伴い振動が発生してしまい、ステージの移動制御を良好に実施できないおそれがあるという問題が一例として挙げられる。
【０００６】
本発明の目的は、このような実情などに鑑みて、良好に駆動可能なリニアモータ、および、ステージ駆動装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明のリニアモータは、柱状に形成された固定子と、コイルを螺旋状に屈曲させることにより筒状に形成され、前記固定子の側面を囲みかつ前記固定子との間に隙間が形成される状態で設けられた可動子と、を備え、前記固定子は、制振材料および一方向に並設された複数の磁性体のうちいずれか一方にて柱状に形成された芯部と、いずれか他方にて前記芯部の側面を覆う筒状に形成された外周部と、により前記柱状に形成されていることを特徴とする。
この発明によれば、リニアモータに、柱状の固定子と、固定子の側面を覆いかつ固定子との間に隙間が形成される状態で設けられた筒状の可動子と、を設けている。そして、固定子を、制振材料および磁性体のうちいずれか一方により柱状に形成された芯部と、いずれか他方により芯部の側面を覆う筒状に形成された外周部と、にて柱状に形成している。
このため、固定子の芯部または外周部を制振材料により形成しているので、固定子に撓みが生じたとしても可動子の移動に伴う振動を抑制することが可能となる。
したがって、良好に駆動可能なリニアモータを提供することが可能となる。
【０００８】
本発明のリニアモータにおいて、前記制振材料は、制振合金である構成が好ましい。
この発明によれば、制振材料として、制振合金を適用している。
このため、制振材料として樹脂を適用する構成と比べて、固定子の剛性を高めることが可能となり、可動子の移動に伴う振動をさらに抑制することが可能となる。
【０００９】
本発明のリニアモータにおいて、前記制振合金は、双晶の運動により振動を抑制する合金である構成が好ましい。
この発明によれば、制振合金として、双晶の運動により振動を抑制する合金（以下、双晶型制振合金と称す）を適用している。
このため、結晶の転位により振動を抑制する合金（以下、転位型制振合金と称す）や、磁壁での吸収により振動を抑制する合金（以下、強磁性型制振合金と称す）を用いる構成と比べて、振動をより抑制することが可能となり、さらに良好に駆動可能なリニアモータを提供することが可能となる。
【００１０】
本発明のリニアモータにおいて、前記制振合金は、磁壁での吸収により振動を抑制する合金であり、前記芯部は、前記複数の磁性体により柱状に形成され、前記外周部は、前記磁壁での吸収により振動を抑制する合金により筒状に形成されている構成が好ましい。
この発明によれば、制振合金として、強磁性型制振合金を適用している。さらに、固定子の芯部を磁性体により柱状に形成するとともに、外周部を強磁性型制振合金により筒状に形成している。
このため、強磁性型制振合金、双晶型制振合金、転位型制振合金を芯部、磁性体を外周部として固定子を構成する場合、あるいは双晶型制振合金や転位型制振合金を外周部、磁性体を芯部として固定子を構成する場合と比べて、固定子の磁力を大きくすることが可能となる。したがって、固定子の推進力を高めることが可能となる。
【００１１】
本発明のステージ駆動装置は、上述したリニアモータと、このリニアモータの前記固定子の長手方向一端および他端をそれぞれ保持する一対の保持部と、前記リニアモータの前記可動子に取り付けられたステージと、を備えていることを特徴とする。
この発明によれば、ステージ駆動装置に、上述したように良好に駆動可能なリニアモータと、このリニアモータの両端を保持する保持部と、リニアモータの可動子に取り付けられたステージと、を設けている。
このため、可動子の移動に伴う振動の発生が抑制されるので、ステージの移動制御を良好に実施可能なステージ駆動装置を提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下に、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
＜実施形態の構成＞
図１は、本発明のステージ駆動装置を適用した工作機械の斜視図、図２は、工作機械の正面図、図３は、Ｙステージ駆動用のＹ軸側面駆動手段、Ｙ軸中央駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大正面図、図４は、Ｙ軸中央駆動手段の要部の部分断面斜視図、図５は、Ｘステージ駆動用の駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大側面図、図６は、Ｚステージ駆動用の駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大平面図である。
図１〜３、図５，６に示すように、本実施形態の工作機械は、ベッド１と、このベッド１上に前後方向（Ｙ軸方向）へ移動可能に支持されたＹステージ１１と、このＹステージ１１上にＹステージ１１の移動方向に対して直交する左右方向（Ｘ軸方向）へ移動可能に支持されたＸステージ３１と、このＸステージ３１上にＹステージ１１およびＸステージ３１の移動方向に対して直交する上下方向（Ｚ軸方向）へ移動可能に支持されたＺステージ５１とを備える。
【００１３】
ベッド１は、正面から見てＵ字形状に形成されている。つまり、底部連結壁部２と、この底部連結壁部２の両側から上方へ向かって互いに平行に立ち上がった立上壁部３とを有するＵ字形状に形成されている。底部連結壁部２の一端側には、ワークを載置するテーブル４が配置されている。テーブル４は、単なる台でもよいが、Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向へ移動可能な移動機構を備える構造であってもよい。
【００１４】
Ｙステージ１１は、ベッド１の両立上壁部３の上端面にガイド手段１２を介して移動可能に支持され、かつ、２つのＹ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂ、リニアモータとしてのＹ軸中央駆動手段１５Ｃを介してＹ軸方向へ移動されるとともに、３つのリニアスケール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃを介してＹ軸方向位置が検出される。
ガイド手段１２は、立上壁部３の上端面にＹ軸方向に沿って固定されたガイドレール１３と、このガイドレール１３に沿って摺動可能でかつＹステージ１１の下面に固定されたスライダ１４とから構成されている。
【００１５】
Ｙ軸側面駆動手段１５Ａ，１５ＢおよびＹ軸中央駆動手段１５Ｃは、Ｙステージ１１をＹ軸方向（同方向）へ駆動するもので、図３に示すように、ベッド１の両側にＹ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂが配置され、Ｙステージ１１の下面中央にＹ軸中央駆動手段１５Ｃが配置されている。
Ｙ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂは、図３に示すように、ベッド１の両立上壁部３の外面にＹ軸方向に沿って設けられた固定子１６と、Ｙステージ１１の両側面にブラケット１８を介して取り付けられかつ固定子１６に対して隙間を隔てて対向配置された可動子１７とを有するリニアモータによって構成されている。なお、固定子１６は図示しないコイルによって、可動子１７は図示しないマグネットによって構成されているが、これとは逆でもよい。
【００１６】
Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃは、ベッド１の立上壁部３間に設けられた支持台１９を介してＹ軸方向に沿って固定された固定子支持部材１５１と、この固定子支持部材１５１に支持される状態で設けられた固定子１５２と、Ｙステージ１１の下面中央にブラケット２０を介して取り付けられかつ固定子１５２に対して隙間が形成される状態で設けられた可動子１５３と、を有するリニアモータによって構成されている。
【００１７】
ここで、Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃの詳細な構成について説明する。
固定子支持部材１５１は、例えばＳＵＳ（ステンレス）により長方形板状に形成された基部１５１Ａと、この基部１５１Ａの一面における短手方向略中央かつ長手方向両端に立設された一対の保持部１５１Ｂとを備える。
基部１５１Ａにおける短手方向両端側には、長手方向に沿って図示しないボルトが挿通される図示しないボルト孔が一定間隔で開口形成されている。このボルト孔にボルトが挿通されて支持台１９の図示しない螺合部に螺合されることにより、固定子支持部材１５１が支持台１９に固定される。
保持部１５１Ｂは、長方形板状に形成され、長手方向が上下方向となる状態で立設されている。この保持部１５１Ｂの互いに対向する面には、固定子１５２の端部が嵌合される図示しない嵌合溝が開口形成されている。これら保持部１５１Ｂは、嵌合溝に固定子１５２の端部を嵌合させることにより、固定子１５２を保持する。
【００１８】
固定子１５２は、円柱状に形成され、上述したように長手方向両端が保持部１５１Ｂにて保持されている。この固定子１５２は、図４に示すように、円筒状の筒部１５２Ａと、この筒部１５２Ａの内部空間に設けられた円筒状の外周部１５２Ｂと、この外周部１５２Ｂの内部空間に設けられた円柱状の芯部１５２Ｃとを備える。
なお、この図４では、筒部１５２Ａ、外周部１５２Ｂ、芯部１５２Ｃの端部が同一面上に存在しない状態を示しているが、実際には、これらの端部が同一面上に存在する状態となっている。
【００１９】
筒部１５２Ａは、例えばＳＵＳにより、軸方向の長さ寸法が基部１５１Ａの長手方向寸法と等しい円筒状に形成されている。
外周部１５２Ｂは、複数の磁性体としてのマグネット１５２Ｂ１を備えている。これらマグネット１５２Ｂ１は、外径寸法が筒部１５２Ａの内径寸法と略等しい短尺かつ肉厚の円筒状を有し、磁化方向が厚さ方向に設定されている。そして、複数のマグネット１５２Ｂ１は、磁極が異なる面同士が連結されて長尺の円筒を形成する状態で筒部１５２Ａの内部空間に設けられている。
芯部１５２Ｃは、制振材料としての強磁性型制振合金、すなわち磁壁での吸収により振動を抑制する合金にて、長尺の円柱状に形成されている。具体的には、芯部１５２Ｃは、Ｆｅ（鉄）−Ｃｒ（クロム）−Ａｌ（アルミニウム）系の合金であるサイレンタロイ（登録商標）にて、円柱状に形成されている。
また、芯部１５２Ｃは、外径寸法が外周部１５２Ｂの内径寸法と略等しく、長さ寸法が外周部１５２Ｂの長さ寸法と略等しく、かつ、半径寸法が外周部１５２Ｂの肉厚寸法と略等しい円柱状に形成されている。
ここで、強磁性型制振合金としては、サイレンタロイに限らず、各種フェライト系ステンレス鋼を用いる構成としてもよい。
【００２０】
可動子１５３は、円筒状に形成され、固定子１５２の側面を囲みかつ固定子１５２との間に隙間が形成される状態で設けられている。
この可動子１５３は、螺旋状に屈曲されたコイル１５３Ａと、このコイル１５３Ａにより形成された筒状の周囲を覆う被覆部１５３Ｂとを備える。
コイル１５３Ａは、その両端が図示しない電力供給手段に接続されている。
そして、可動子１５３は、図３に示すように、筒状の軸がＹ軸と平行となる状態で、ブラケット２０に取り付けられている。
この可動子１５３は、電力供給手段からコイル１５３Ａに供給される電力によりＹ軸に沿って移動して、Ｙステージ１１を移動させる。
【００２１】
ここにおいて、Ｙステージ１１およびこれに搭載されるＸステージ３１やＺステージ５１等の構造物は、正面（図２の正面図）から見て中心軸に対して左右対称構造に構成されている。
【００２２】
リニアスケール２５Ａ，２５Ｂ，２５Ｃは、図３に示すように、対応するＹ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂ、Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃに近接した位置に設けられている。
リニアスケール２５Ａ，２５Ｂは、ベッド１の両立上壁部３の外面にＹ軸方向に沿って設けられたスケール部材２６と、Ｙステージ１１のブラケット１８に取り付けられかつスケール部材２６に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド２７とから構成されている。
リニアスケール２５Ｃは、固定子支持部材１５１の側面にＹ軸方向に沿って固定されたスケール部材２６と、ブラケット２０にブラケット１８を介して取り付けられかつスケール部材２６に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド２７とから構成されている。
【００２３】
Ｘステージ３１は、図５に示すように、Ｙステージ１１の上端面にガイド手段３２およびブラケット３８を介して移動可能に支持され、かつ、駆動手段３５を介してＸ軸方向へ移動されるとともに、リニアスケール４５を介してＸ軸方向位置が検出される。
Ｘステージ３１は（図１参照）、ブラケット３８に固定された本体部４１と、この本体部４１の前部に設けられたガイドブロック４２と、本体部４１の後部に設けられたバランスウエイト４３とを備える。バランスウエイト４３は、Ｘステージ３１およびこれに搭載されるＺステージ５１やこれに取り付けられる部材（主軸ヘッドなど）の重心位置がＸステージ３１の駆動手段３５の中心軸線上にくるように、重量設定されている。
【００２４】
ガイド手段３２は、Ｙステージ１１の上端面にＸ軸方向に沿って形成されたガイドレール３３と、このガイドレール３３に沿って摺動可能でかつブラケット３８の下面に固定されたスライダ３４とから構成されている。
駆動手段３５は、Ｙステージ１１の上面中央にＸ軸方向に沿って固定された固定子３６と、ブラケット３８の下面に取り付けられかつ固定子３６に対して隙間を隔てて対向配置された可動子３７とを有するリニアモータによって構成されている。
リニアスケール４５は、固定子３６の側面にＸ軸方向に沿って設けられたスケール部材４６と、ブラケット３８の下面にブラケット４８を介して取り付けられかつスケール部材４６に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド４７とから構成されている。
【００２５】
Ｚステージ５１は、図６に示すように、Ｘステージ３１のガイドブロック４２の正面にガイド手段５２およびブラケット５８を介してＺ軸方向へ移動可能に支持され、かつ、駆動手段５５を介してＺ軸方向へ移動されるとともに、リニアスケール６５を介してＺ軸方向位置が検出される。
Ｚステージ５１には（図１参照）、テーブル４上に載置されたワークに対して加工を施す工具を備えた主軸ヘッド６１が搭載されているとともに、ブラケット６２を介してＸステージ３１のガイドブロック４２の上端に固定されたバランスシリンダ６３が連結されている。バランスシリンダ６３は、ブラケット５８や主軸ヘッド６１を含むＺステージ５１の重量をシリンダ内のエアー圧で保持できるように構成され、Ｚステージ５１を軽い力で昇降できるように構成されている。
【００２６】
ガイド手段５２は、Ｘステージ３１の正面にＺ軸方向に沿って形成されたガイドレール５３と、このガイドレール５３に沿って摺動可能でブラケット５８の裏面に固定されたスライダ５４とから構成されている。
駆動手段５５は、Ｘステージ３１のガイドブロック４２の正面にＺ軸方向に沿って固定された固定子５６と、ブラケット５８の裏面に取り付けられかつ固定子５６に対して隙間を隔てて対向配置された可動子５７とを有するリニアモータによって構成されている。
リニアスケール６５は、固定子５６の側面に設けられたスケール部材６６と、ブラケット５８の裏面にブラケット６８を介して取り付けられスケール部材６６に対して隙間を隔てて対向配置された検出ヘッド６７とから構成されている。
【００２７】
＜実施形態の効果＞
（１）Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃに、円柱状の固定子１５２と、固定子１５２の側面を覆いかつ固定子１５２との間に隙間が形成される状態で設けられた円筒状の可動子１５３と、を設けている。そして、固定子１５２を、制振材料により円柱状に形成された芯部１５２Ｃと、マグネット１５２Ｂ１により芯部１５２Ｃの側面を覆う円筒状に形成された外周部１５２Ｂと、にて円柱状に形成している。
このため、固定子１５２の芯部１５２Ｃを制振材料により形成しているので、固定子１５２に撓みが生じたとしても可動子１５３の移動に伴う振動を抑制することができる。
したがって、良好に駆動可能なＹ軸中央駆動手段１５Ｃを提供できる。
【００２８】
（２）芯部１５２Ｃに適用する制振材料として、強磁性型制振合金を適用している。
このため、制振材料として樹脂を適用する構成と比べて、固定子１５２の剛性を高めることができ、可動子１５３の移動に伴う振動をさらに抑制することができる。
【００２９】
（３）工作機械に、上述したように良好に駆動できるＹ軸中央駆動手段１５Ｃと、このＹ軸中央駆動手段１５Ｃの可動子１５３に取り付けられたＹステージ１１と、を設けている。
このため、可動子１５３の移動に伴う振動の発生が抑制されるので、Ｙステージ１１の移動制御を良好に実施できる。
【００３０】
＜変形例＞
本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれる。
【００３１】
前記実施形態では、本発明のリニアモータをＹ軸中央駆動手段１５Ｃのみに適用したが、これに限らずＹ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂ、駆動手段３５，５５に適宜適用してもよい。
さらに、本発明のリニアモータを、Ｙステージ１１、Ｘステージ３１、Ｚステージ５１にそれぞれ２つ以上設ける構成としてもよい。
これらのようにすれば、Ｙステージ１１、Ｘステージ３１、Ｚステージ５１に移動制御を良好に実施できる。
【００３２】
また、前記実施形態では、Ｙステージ１１を駆動するＹ軸側面駆動手段１５Ａ，１５Ｂ、Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃ、Ｘステージ３１を駆動させる駆動手段３５、Ｚステージ５１を駆動させる駆動手段５５を全てリニアモータで構成したが、Ｙ軸中央駆動手段１５Ｃ以外については、リニアモータでなくてもよい。ボールねじ軸を用いた送り機構であってもよい。
【００３３】
そして、図７に示すような固定子７５２を適用してもよい。
この図７に示す固定子７５２は、筒部１５２Ａと、この筒部１５２Ａの内部空間に設けられた円筒状の外周部７５２Ｂと、この外周部７５２Ｂの内部空間に設けられた円柱状の芯部７５２Ｃとを備える。
外周部７５２Ｂは、強磁性型制振合金であるサイレンタロイにて、外径寸法が筒部１５２Ａの内径寸法と略等しい短尺かつ肉厚の円筒状に形成されている。この外周部７５２Ｂの肉厚寸法は、上記実施形態の外周部１５２Ｂの肉厚寸法よりも小さい寸法とされている。
芯部７５２Ｃは、複数の磁性体としてのマグネット７５２Ｃ１を備えている。これらマグネット７５２Ｃ１は、外径寸法が外周部７５２Ｂの内径寸法と略等しい、すなわち外径寸法が上記実施形態の芯部１５２Ｃの外径寸法よりも大きい短尺の円柱状を有し、磁化方向が厚さ方向に設定されている。そして、複数のマグネット７５２Ｃ１は、磁極が異なる面同士が連結されて長尺の円柱を形成する状態で外周部７５２Ｂの内部空間に設けられている。
【００３４】
このような構成にすれば、強磁性型制振合金、双晶型制振合金、転位型制振合金を芯部、マグネットを外周部として固定子を構成する場合、あるいは双晶型制振合金や転位型制振合金を外周部、磁性体を芯部として固定子を構成する場合と比べて、固定子７５２の磁力を大きくすることができる。したがって、固定子７５２の推進力を高めることができる。
【００３５】
また、上記実施形態や変形例において、芯部１５２Ｃや外周部７５２Ｂを強磁性型制振合金により形成したが、これに限らず双晶型制振合金により形成してもよい。ここで、双晶型制振合金としては、Ｍｎ（マンガン）−Ｃｕ（銅）系、Ｎｉ（ニッケル）−Ｔｉ（チタン）系の合金が例示できる。
このような構成にすれば、転位型制振合金や強磁性型制振合金を用いる構成と比べて、振動をより抑制することができ、さらに良好に駆動できる。
【００３６】
さらに、芯部１５２Ｃや外周部７５２Ｂを転位型制振合金やいわゆる複合型制振合金により形成してもよい。ここで、転位型制振合金としては、マグネシウム合金が例示できる。また、複合型制振合金としては、片状黒鉛鋳鉄が例示できる。
このような構成にしても、上記実施形態と同様に、固定子１５２，７５２の剛性を高めることができ、可動子１５３の移動に伴う振動をさらに抑制できる。
【００３７】
また、芯部１５２Ｃや外周部７５２Ｂを制振合金ではなく、制振樹脂により形成してもよい。
【００３８】
そして、固定子１５２，７５２を円柱状としたが、これに限らず固定子１５２，７５２を断面正方形や断面長方形の柱状などとするとともに、可動子１５３を固定子１５２，７５２に対応する筒状とする構成としてもよい。
【００３９】
さらに、可動子１５３を円筒状としたが、断面円弧状の筒状に形成してもよい。
【００４０】
前記実施形態では、ベッド１に対してＹステージ１１をＹ軸方向へ移動可能に支持し、このＹステージ１１にＸステージ３１をＸ軸方向へ移動可能に支持し、このＸステージ３１にＺステージ５１をＺ軸方向へ移動可能に支持した構成であったが、少なくとも１つのステージを１軸方向へ移動可能に支持した構造であっても、本発明を適用することができる。
【００４１】
前記実施形態では、Ｚステージ５１に、ワークを加工する主軸ヘッド６１（工具）を取り付けたが、計測ヘッドやワークでもよい。計測ヘッドを取り付ければ、テーブル４上に載置したワークを計測するための計測機械を構成できる。また、ワークを取り付けた場合でも、別に主軸ヘッド（工具）を用意すれば、ワークを加工する加工機械として構成することができる。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明は、ワークに対して各種加工を行う工作機械や半導体製造装置のほか、計測装置などにも利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の実施形態に係る工作機械を示す斜視図。
【図２】同上実施形態の工作機械の正面図。
【図３】同上実施形態において、Ｙステージ駆動用のＹ軸側面駆動手段、Ｙ軸中央駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大正面図。
【図４】同上実施形態のＹ軸中央駆動手段の要部の部分断面斜視図。
【図５】同上実施形態において、Ｘステージ駆動用の駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大側面図。
【図６】同上実施形態において、Ｚステージ駆動用の駆動手段およびリニアスケールを示す部分拡大平面図。
【図７】本発明の変形例に係る固定子および可動子の部分断面斜視図。
【符号の説明】
【００４４】
１１…Ｙステージ
１５Ｃ…リニアモータとしてのＹ軸中央駆動手段
１５１Ｂ…保持部
１５２，７５２…固定子
１５２Ｂ，７５２Ｂ…外周部
１５２Ｂ１，７５２Ｃ１…磁性体としてのマグネット
１５２Ｃ，７５２Ｃ…芯部
１５３…可動子
１５３Ａ…コイル
【図１】
2007295690.tif 000003
【図２】
2007295690.tif 000004
【図３】
2007295690.tif 000005
【図４】
2007295690.tif 000006
【図５】
2007295690.tif 000007
【図６】
2007295690.tif 000008
【図７】
2007295690.tif 000009