(57)【要約】【課題】重い定盤を使用することなく、平面ステージ表面を高い精度で平面に保つことができ、装置重量が軽く、かつ製作コストも安い平面ステージ装置を提供すること。【解決手段】ワークを載置する平面板１を支持部材１０で３ヵ所以上で支持する。また、この平面板１をＸＹ軸方向に移動させる駆動機構を設ける。上記支持部材１０は、平面板１と対向して配置されるエアベアリングを備え、該支持部材１０により上記平面板１を浮上させるとともに、平面板１を、該平面板１の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させる。そして、平面板の変位状態を、選択された変位状態に保持させ、上記平面板のワークが載置される面を水平かつ平面に保つ。【選択図】          図１
2007171015.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークを載置する平面板と、
該平面板を３ヵ所以上で支持する支持部材と、
上記平面板を、少なくとも該平面に平行に移動させる移動機構とを備えた平面ステージ装置において、
上記支持部材には、平面板と対向して配置されたエアベアリングが設けられ、
上記支持部材は、上記平面板を、該平面板の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させるとともに、選択された変位状態を保持する
ことを特徴とする平面ステージ装置。
【請求項２】
上記移動機構は、
上記支持部材のエアベアリングに設けられた、移動磁界を発生する磁極を有する移動子と、上記平面板の裏面に、上記エアベアリングに対向して設けられた碁盤目状もしくはストライプ状に凸極が配置された平面状のプラテンから構成される駆動機構を有する
ことを特徴とする請求項１記載の平面ステージ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークなどを載置する平面板をＸＹ方向に移動させる平面ステージ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
平面板をＸＹ方向（平面板の面に平行な平面上の直交する２軸方向）に移動させるＸＹ平面ステージ装置として、例えば特許文献１に記載のものが知られている。
このようなステージは、例えば露光装置のワークステージとして使われる。近年、液晶パネルやプリント基板は年々大型化し、それにともない、それらを露光する露光装置のワークステージも大型化している。
ＸＹ平面ステージの、ワークを吸着する平面ステージは、精度よく加工された１枚の金属板である。大型化するとその分重量が増え、位置合せ等でＸＹ方向に移動する時、大きな力をかける必要がある。
平面ステージが大型化し重量が増えても、小さな力で移動させられるステージとして、例えば特許文献２に記載のものが知られている。同公報図４には平面ステージをエアにより浮上させて移動させる構造が示されている。
【０００３】
図９に、エアにより浮上して移動するステージの概略構成を示す。
ワークＷが載置される平面ステージ１００には、３ヵ所以上のエアベアリング１０１が取り付けられており、表面が精度良く加工された定盤１０２の上を浮上して移動する。
平面ステージの移動機構は例えば前記特許文献１に示されるような、２個のＸ軸移動機素と１個のＹ軸移動機素を平面ステージ１００に取り付けたものが利用される。
また、平面ステージの駆動機構として、例えば特許文献３に記載されるサーフェスモータステージ（ソーヤモータステージともいう）が知られており、上記図９に示すステージの駆動機構としてサーフェスモータを用いることも考えられる。
サーフェスモータステージは、碁盤目状もしくはストライプ状に強磁性体の凸極が設けられた平面状のプラテンと、エアなどで浮上させた移動体（フォーサ）から構成され、移動体に移動磁界を発生させ、移動体をプラテン上で移動させるようにしたものである。
図９においてサーフェスモーターを適用する場合、定盤１０２上にプラテンが設けられ、平面ステージ１００の裏面に移動体が取り付けられる。
【特許文献１】特開平８−２５１６３号公報
【特許文献２】特開２００２−３２１２９号公報
【特許文献３】特開平９−２３６８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
図９に示したステージ装置は次のような問題がある。
（１）ワークが載置される平面ステージの表面だけでなく、定盤の表面も高い平面精度で加工しなければならない。図９に示したものでは、平面ステージをエアベアリングにより浮上させて定盤上を移動させており、定盤表面の平面度が低いと、平面ステージは傾いたり上下動する。  このため、定盤の表面も、高い平面精度で加工しなければならない。
（２）上述したように定盤の表面を高い精度で平面に保つ必要があるが、定盤の設置面、最終的には、平面ステージが置かれる工場の床面は必ずしも平坦ではない。したがって、定盤表面を高い平面精度で加工しても、定盤の剛性が低いと、定盤を設置したとき、定盤が撓むなどしてその表面を高い精度で平面に保つことが困難となる。すなわち、定盤の表面を高い精度で平面に保つためには、定盤の剛性を高くする必要があり、定盤の重量が増加する。
ワークサイズが大きい液晶パネルやプリント基板の露光装置のステージとして使用する場合、例えば重量が１ｔ〜１０ｔにもなる。
このため、装置重量が大変重くなるとともに、装置コストも高くなる。
本発明は上述した従来の問題点を解消するためになされたものであって、その目的は、重量の重い定盤を使用することなく、平面ステージ表面を高い精度で平面に保つことができ、装置重量が軽く、かつ製作コストも安い平面ステージ装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は上記課題を次のように解決する。
（１）ワークを載置する平面板と、該平面板を３ヵ所以上で支持する支持部材と、上記平面板を、少なくとも該平面に平行に移動させる移動機構とを備えた平面ステージ装置において、上記支持部材に、平面板と対向して配置されるエアベアリングを設け、該支持部材により上記平面板を浮上させ、平面板を、該平面板の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させる。そして、平面板の変位状態を、選択された変位状態に保持させ、上記平面板のワークが吸着固定される面を水平かつ平面に保つ。
（２）上記移動機構を、上記支持部材のエアベアリングに設けられた、移動磁界を発生する磁極を有する移動子と、上記平面板の裏面に、上記エアベアリングに対向して設けられた碁盤目状もしくはストライプ状に凸極が配置された平面状のプラテンから構成される駆動機構から構成する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明においては、以下の効果を得ることができる。
（１）平面板を、支持部材により平面板の平面に対して直交する方向に任意の推力で変位させるようにしたので、高い平面精度を有する定盤を用いることなく、平面板の表面を水平かつ平面に保つことができ、また定盤が不要となるので、装置の重量を軽くすることができる。
（２）定盤が不要であり、高い平面精度で加工する必要のある面が、ワークを載置する平面板の表面のみとなるので、装置コストが低くなる。
（３）平面板をエアで浮上させるようにしたので、平面板を小さな力で移動させることができる。
（４）平面板の駆動手段として、移動磁界を発生する磁極を有する移動子と、碁盤目状もしくはストライプ状に凸極が配置された平面状のプラテンから構成されるソーヤモータを利用することにより、機械的なＸＹθ駆動機構が不要になり、ステージの構造を簡素化させることができる。また、部品点数が減って組み立て容易になり、装置のコスト低減が図れる。また、駆動機構の動作にともなう機構部品の磨耗や、そこからの発塵をなくすこともできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１、図２は本発明の第１の実施例のＸＹ平面ステージの構成を示す図であり、図１は側断面図であり、図２は平面図である。
なお、図１は図２のＡ−Ａ断面図であり、図１には図２の平面板をその平面に平行な直交するＸＹ方向に移動させる移動機構であるＸ軸移動機素およびＹ軸移動機素は示されていない。
図１、図２において、ワークＷが載置される平面板１は、表面が精度良く平面加工され、ワークＷを吸着保持する真空吸着溝１ａが形成されている。平面板１の大きさは例えば、２２００ｍｍ×２６００ｍｍ×３００ｍｍである。
平面板１は、平面ステージが取り付けられる装置、例えば露光装置のベースプレート２０に対して、３ヵ所以上に設けられた支持部材１０により支持されている。なお、図１、図２では６ヵ所に設けられた支持部材１０により、平面板１を支持した例が示されているが、支持部材１０の設置数は平面板１の大きさ等に応じて適宜設定する。
【０００８】
支持部材１０の上部にはエアベアリング１１が設けられている。また、平面板１の裏面のエアベアリング１１に対向する部分には、エアベアリング１１から噴き出すエアが漏れるのを防ぐため表面が平坦な平面補償板１ａが取り付けられている。平面板１はエアベアリング１１から噴き出すエアにより浮上する。
そして、平面板１は、図２に示すＸ軸移動機素３１，３２およびＹ軸移動機素３３によりＸＹ方向に移動する。
例えば、Ｘ軸駆動機素３１，３２を同時に同方向に同量駆動することで、平面ステージ１をＸ方向（図２の縦方向）に移動させることができ、Ｙ軸駆動機素３３を駆動することで、平面ステージ１をＹ方向（図２の横方向）に移動させることができる。
さらに、上記２つのＸ軸駆動機素３１，３２の移動量を変え、それに合わせてＹ軸駆動機素３３を駆動することで、平面板１を平面板１に直交する軸のまわりに必要角度だけ回転させ、θ方向の位置決めを行うことができる。
【０００９】
図３に、支持部材１０の構成を示す。同図は断面図である。
装置のベースプレート２０上にエアシリンダ１５が設けられる。エアシリンダ１５は、供給するエアの圧力を変化させることにより、シャフト１５ａが任意の推力で上下する。  エアシリンダ１５のシャフト１５ａは中間台１２に接続され、エアシリンダ１５と中間台１２の間にはばね１４が設けられている。
中間台１２の両側には、固定ディスク１３（例えば板ばね）が下方向に伸びて取り付けられ、固定ディスク１３の両側には固定ディスク１３を固定するためのパッド１６ａが設けられ、パッド１６ａはエアロック機構１６ｂにより駆動される。
エアロック機構１６ｂにエアが供給されると、パッド１６ａは図中矢印方向に移動し、固定ディスク１３が挟み込まれ固定されることにより、エアシリンダ１５のシャフト１５ａの上下方向の位置が固定される。
中間台１２の上部にはエアベアリング１１が設けられている。エアベアリング１１は、多孔質、またはオリフィスが設けられた表面からエアが噴き出すパッド１１ａ（エア噴出部という）を備えた市販のものを使用することができる。
エアベアリング１１のパッド１１ａは自由に首振り移動するように回転軸受１１ｂを介して中間台１２に取り付けられている。
【００１０】
次に、本実施例のＸＹ平面ステージ装置を、設置する手順について説明する。
まず支持部材１０の数を決める。支持部材１０は、平面板１の表面が平面になるように平面板１の各部を高さ方向に位置決めするものであるから、最低３個は必要である。
支持部材１０のエア噴出部１１ａの表面と、その上に載置する平面板１の裏面とのエアギャップの設定値を決める。エアギャップの設定値は、エア噴出部１１ａと対向する平面板１の裏面の面粗さ×１０倍が目安である。平面板１の裏面の平面補償板１ａはこの表面粗さを補償するために設ける。
エアギャップが大きくなるとエアベアリング１１の保持できる許容荷重量が小さくなる。許容荷重の変化はギャップの大きさの変化に対して大雑把には反比例の関係となる。ギャップの設定値は許容荷重の変化に対してギャップが大きく変化しない領域（すなわち剛性が高い領域）で設計するのが目安であり、ギャップは５から１０μｍ程度が一般的である。
【００１１】
また、エア噴出部１１ａに供給するエアの圧力を決める。エアの圧力は装置に供給されるユーティリティの圧力×０．７倍が目安である。
支持部材１０に載せる平面板１の重さ（積載重量）は、あらかじめ分かっているので、支持部材１０に取り付けたエアベアリング１１のギャップ・プリロード曲線（個々のエアベアリングにより決まっている曲線）から、プリロード（許容荷重）量を計算する。
図４は、エアベアリングのギャップ・プリロード曲線の一例を示す図である。同図の縦軸はエアギャップの大きさであり、横軸はプリロード（許容荷重）量である。
例えば、エア圧力４．１ｋｇ／ｃｍ2 のとき、１０μｍのギャップであれば約２０Ｎ（ニュートン）の荷重が許容され、エア圧力５．５ｋｇ／ｃｍ2 のときは、約４０Ｎの荷重が許容される。
積載重量（平面板１の重さ）を、上記で求めた許容荷重で割ると、支持部材１０の個数が求められる。ただし、計算上、支持部材の個数が３以下の場合であっても、支持部材１０は３個とする。
【００１２】
ここで、各支持部材１０のエアシリンダ１５に加える推力は、平面板１の表面が水平にかつ、平面に保たれるような大きさに設定する必要があり、例えば、平面板１の表面が精度よく平面に加工されている場合には、エアシリンダ１５に加える推力を「自重たわみをキャンセルする推力」とすることで、支持部材１０上に平面板１を載せたとき、平面板１の表面は水平かつ平面に保たれる。
「自重によるたわみをキャンセルするだけの推力」とは、実際には厳密な計算が必要であるが、次のように説明できる。
例えば６０ｋｇの平面板を、６ヶ所の支持の支持部材により支持する場合、理想的には、６０ｋｇ÷６＝１０ｋｇの１０ｋｇが「自重によるたわみをキャンセルするだけの推力」となる。
【００１３】
実際に「自重によるたわみをキャンセルするだけの推力」を求める方法としては解析ソフトを用いたシミュレーションにより、各支持部材１０にかかる重力を計算する方法が考えられる。すなわち、あらかじめ平面板１の大きさと重さおよび支持部材１０の位置に基づいて、各支持部材１０にかかる重力をコンピュータなどを用いて計算する。
例えば、支持部材１０の個数が６個で、計算により得られた各支持部材１０にかかる重力が、例えば２４．７ｋｇ、２１．６ｋｇ、２４．７ｋｇ、２４．６ｋｇ、２１．６ｋｇ、２４．６ｋｇであったとする。
支持部材１０のエアシリンダ１５には、その支持部材１０を設けた位置にかかる重力に相当する推力（保持力）が得られるように、エアを供給する。
エアの圧力は、各支持部材１０に接続されたエア配管に設けられたレギュレータ（図示せず）により調整する。
【００１４】
エアシリンダ１５は、供給するエア圧力に対して推力（保持力）は一義的に決まるので、対象となる支持部材１０にかかる重力が２４．７ｋｇであれば、シリンダに２４．７ｋｇの推力（保持力）が得られる圧力をかけ、重力が２１．６ｋｇであれば、２１．６ｋｇの推力（保持力）が得られる圧力をかける。
次に、支持部材１０の上に平面補償板１ａとエア噴出部１１ａの位置を合わせて平面板１を載せ、上記のようにして圧力を設定したエアを各支持部材１０のエア噴出部１１ａとエアシリンダ１５に供給し、エア吹出し部１１ａからはエアを噴き出させ、またシャフト１５ａを上昇させる。そして、各支持部材１０のエアシリンダ１５によりに平面板１の自重によるたわみをキャンセルする推力が平面板１に加えられている状態で、エアロック機構１６ｂを動作させて固定ディスク１６ａをパッド１６ａで挟み、各支持部材１０のシャフト１５ａの高さ方向の位置を固定する。
これにより、各支持部材１０には、平面板１の各支持部材位置における自重に応じた力が加わった状態になり、平面板１の表面が精度よく加工されていれば、平面板１の表面が水平かつ平面になるように保持される。
【００１５】
このような構成をとることにより、仮に支持部材１０を取り付ける装置のベースプレート２０の平面度が図５に示すように十分に出ていない場合であっても、エアシリンダ１５のシャフト１５ａが伸縮して推力を維持するので、平面板１の表面が水平かつ平面になるように保持することができる。
この状態で、図２に示したＸ軸移動機素３１，３２およびＹ軸移動機素３３を駆動することにより、平面板１は、エアシリンダ１１のパッドに対向して設けられた平面補償板の範囲において、平面板１の平面に平行な直交する２軸方向、およびその平面に直行する軸のまわりの回転方向であるＸＹおよびθ方向に移動する。平面板１はエアで浮上しており、大型であっても小さな力でスムーズに移動する。
【００１６】
ここで平面板１の移動量が大きいと、移動後の平面板１の水平かつ平面性を維持するために、平面板１の裏面の表面精度に合わせて支持部材１０の高さを変える必要がでてくるが、本発明のステージ装置における平面板１の移動量は±１０ｍｍ以内であり、平面板１の裏面に取り付けられた平面補償板１ａの大きさもこの程度である。
平面板１の裏面側がある程度平坦に加工されており、かつ、移動量が上記の程度であれば、平面補償板１ａの水平面に対する取り付け角度の相対的なばらつきは、０．２°程度となり、平面補償板１ａの表面を精度よく加工しておけば平面板１が移動しても、水平板１の高さ方向（Ｚ軸方向）の変位は問題とならない。
なお、平面板１の表面を平面状に加工する際、支持部材により複数箇所で平面板１を支持した状態で、その表面を平面状に加工することも考えられる。
平面板１の表面をこのように複数箇所で支持して平面状に加工した場合には、この平面板をステージとして使用する際、加工時に支持した支持部材と同じ位置に上記支持部材１０を配置し、各エアシリンダ１５の推力を、この加工時に平面板を支持した支持部材による推力と同じ推力になるように設定する。このようにすれば、平面板１の表面を加工した状態が再現され、実装される装置において、加工時の平面精度で、平面板１を保持することができる。
【００１７】
上記実施例では、平面板の駆動機構としてＸ軸移動機素およびＹ軸移動機素を使用した場合を示したが、次に、上記駆動機構としてソーヤモータを利用した本発明の第２の実施例について説明する。
ソーヤモータステージ（サーフェスモータステージ）は、前記特許文献３に記載されるように、碁盤目状もしくはストライプ状に強磁性体の凸極が設けられた平面状のプラテン上で、移動磁界を発生する移動体（以下フォーサともいう) を移動させるようにしたものである。
本実施例のステージ装置の構成は、前記図１、図２に示したものと同様、平面板１が、エアベアリングを用いた支持部材により３点以上の複数個所で支持されているが、これらの支持部材のうち３個を選び、この３個の支持部材のパッド（エア噴出部）１１ａに、上記フォーサを設ける。また、平面板１の裏面のフォーサを設けたエア噴出部に対向する部分を平面状のプラテンとする。
【００１８】
図６に上記エア噴出部を有するフォーサ１７を備えた支持部材１０’と、裏面の対向する部分がプラテンである平面板１を示す。また、図７に上記フォーサ１７を有するパッド１１ａの断面図を示す。
図７に示すように、フォーサ１７には、永久磁石１７ａが取り付けられており、これにより磁極１７ｂ〜１７ｅには、ＮまたはＳの磁極が発生している。
磁極１７ｂ〜１７ｅには、コイル１７ｆ，１７ｇが巻かれており、電流が流されると各磁極１７ｂ〜１７ｅは電磁石となる。永久磁石１７ａの作る磁界と電磁石が作る磁界の方向が同じであれば、磁力は強め合う。永久磁石１７ａの作る磁界と電磁石が作る磁界が反対であれば、磁力は打ち消される。
図７に示すように、フォーサ１７を設けたパッド（エア噴出部）１１ａにはエアが噴き出す穴１７ｈが設けられており、エアが供給されることにより、平面板１を浮上させて保持する。なお、図７では、エアを噴出す穴をフォーサの周囲に設けているが、フォーサの真ん中当たりからエアーを噴き出すようにしてもよい。
図６に示すように、フォーサ１７が設けられたパッド（エア噴出部）１１ａに対応して、平面板１の裏面側にはプラテン１ａが埋め込まれ、強磁性体の凸極Ｐが平面板の移動方向に応じた配列で碁盤目状もしくはストライプ状に設けられ、凸極と凸極の間は非磁性体で埋められている。
【００１９】
以下、平面板１がフォーサ１７に対して図面左方向に移動する動作原理について説明する。図８は、平面ステージを構成する複数の凸極を有するプラテン１ａと、磁極を有するフォーサ１７の断面図であり、磁極１７ｂ〜１７ｅに巻かれた各コイル１７ｆ，１７ｇに図示しない駆動回路から、以下の順序で電流を流すことにより移動磁界が発生し、プラテン１ａ（平面板１）がフォーサ１７に対し、同図の左方向に移動する。
（１）ＳＴＥＰ１：フォーサ１７の磁極１７ｂ，１７ｃ側のコイル１７ｆに、磁極１７ｂの磁力を強めるように電流を流す。磁極１７ｄ，１７ｅのコイル１７ｇには電流を流さない。磁極１７ｂは磁力が強められるので、プラテン１ａの凸極Ｐ１と強く引き合い、磁極１７ｂと凸極Ｐ１とが対向する位置になる。
磁極１７ｃは磁力が打ち消され、凸極Ｐ２とＰ３の間の非磁性体上に位置する。磁極１７ｄと１７ｅは、それぞれ斜め方向の凸極Ｐ４、Ｐ６と引き合う。
（２）ＳＴＥＰ２：磁極１７ｂ，１７ｃのコイル１７ｆの電流を止め、磁極１７ｄ，１７ｅ側のコイル１７ｇに、磁極１７ｅの磁力を強めるように電流を流す。磁極１７ｅは凸極Ｐ６と強く引き合い、磁極１７ｄは磁力を打ち消され、凸極Ｐ４と引き合わなくなる。
したがって、磁極１７ｅが凸極Ｐ６と対向するように、プラテン１ａはフォーサ１７に対し同図左方向に移動する。磁極１７ｂと１７ｃは、それぞれ斜め方向の凸極Ｐ１、Ｐ３と引き合う。
【００２０】
（３）ＳＴＥＰ３：磁極１７ｄ，１７ｅのコイル１７ｇの電流を止め、磁極１７ｂ，１７ｃ側のコイル１７ｆに、今度は磁極１７ｃの磁力を強めるように電流を流す。磁極１７ｃは凸極Ｐ３と強く引き合い、磁極１７ｂは磁力を打ち消され、凸極Ｐ１と引き合わなくなる。
磁極１７ｃが凸極Ｐ３と対向するように、プラテン１ａはフォーサ１７に対し同図左方向に移動する。
（４）ＳＴＥＰ４：磁極１７ｂ，１７ｃのコイル１７ｆの電流を止め、磁極１７ｄ，１７ｅ側のコイル１７ｇに、磁極１７ｄの磁力を強めるように電流を流す。磁極１７ｄは凸極１５と強く引き合い、磁極１７ｅは磁力を打ち消され、凸極Ｐ６と引き合わなくなる。磁極１７ｄが凸極Ｐ５と対向するように、プラテン１ａはフォーサ１７に対し同図左方向に移動する。
なお、ＳＴＥＰ４の位置に移動後、ＳＴＥＰ４に示すようにコイル１７ｇに電流を流し続けることで、フォーサ１７をＳＴＥＰ４の位置に保持させることができる。
【００２１】
フォーサ１７が設けられる３個の支持部材１０’の内、２個の支持部材に設けるフォーサ１７は、図６のＡに示すように、磁極１７ｂがＸ軸方向に並べられ、１個の支持部材に設けるフォーサは、図６のＢに示すように磁極１７ｂがＹ軸方向に並べられる。
Ｙ軸方向に磁極が並べられたフォーサの磁極１７ｂの磁力を上述のように変化させると、平面板１はＹ軸方向に移動する。Ｘ軸方向に磁極が並べられた２個のフォーサの磁極１７ｂの磁力を、両方同じように変化させると、平面板１はＸ軸方向に移動する。Ｘ軸方向に磁極が並べられた２個のフォーサの磁極１７ｂの磁力を、互いに逆方向に変化させると、平面板１はＸＹ平面に直交する軸の回りを回転移動（θ移動）する。
【００２２】
本実施例のステージ装置を設置する手順は、前記第１の実施例と同様であり、上記フォーサ１７を有する３個の支持部材１０’を含む支持部材１０に、平面板１の自重によるたわみをキャンセルする推力を与えておき、支持部材１０の上に平面板１を載せて、エアにより浮上させ平面板１の自重によるたわみをキャンセルする推力が平面板１に加えられている状態で、エアロック機構１６ｂを動作させて固定ディスク１６ａをパッド１６ａで挟み、各支持部材１０の高さ方向の位置を固定する。
これにより、各支持部材１０には、平面板１の各支持位置における自重に応じた力が加わった状態になり、平面板１の表面が精度よく加工されていれば、平面板１の表面が水平かつ平面になるように保持される。
この状態で、上述したように、フォーサの磁極の磁力を変化させて、平面板１をＸＹθ方向に移動させる。平面板１はエアで浮上しており、大型であっても小さな力でスムーズに移動する。
【００２３】
なお、通常のソーヤモータステージは、プラテン側は移動せず、フォーサ側が移動するが、本実施例ではその関係が逆になり、フォーサ側は固定されて移動せず、プラテン側が移動する。
本実施例のように、駆動機構としてソーヤモータを利用することにより、平面板を移動させるための機械的なＸＹθ駆動機構が不要になり、ステージの構造が簡素化する。また、部品点数が減って組み立て容易になり、装置のコスト低減が図れる。また、駆動機構の動作にともなう機構部品の磨耗や、そこからの発塵をなくすこともできる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の第１の実施例の平面ステージの構成を示す図（側面図）である。
【図２】本発明の第１の実施例の平面ステージの構成を示す図（上面図）である。
【図３】本発明の実施例の支持部材の構成を示す図である。
【図４】エアベアリングのギャップ・プリロード曲線の一例を示す図である。
【図５】ベースプレートの平面度が出ていない場合の動作を説明する図である。
【図６】本発明の第２の実施例のフォーサとプラテンを示す図である。
【図７】フォーサを有するパッドの断面構成を示す図である。
【図８】フォーサが移動する動作原理を説明する図である。
【図９】エアにより浮上して移動する従来のステージの概略構成を示す図である。
【符号の説明】
【００２５】
１          平面板
１ａ        平面補償板
１０，１０’支持部材
１１        エアベアリング
１１ａ      パッド（エア噴出部）
１１ｂ      回転軸受け
１２        中間台
１３        固定ディスク
１４        ばね
１５        エアシリンダ
１５ａ      シャフト
１６ａ      パッド
１６ｂ      エアロック機構
１７        フォーサ（移動子) 
１７ａ      永久磁石
１７ｂ〜１７ｅ  磁極
１７ｆ，１７ｇ  コイル
１７ｈ      エア噴出し穴
２０        ベースプレート
３１，３２  Ｘ軸移動機素
３３        Ｙ軸移動機素
【図１】
2007171015.tif 000003
【図２】
2007171015.tif 000004
【図３】
2007171015.tif 000005
【図４】
2007171015.tif 000006
【図５】
2007171015.tif 000007
【図６】
2007171015.tif 000008
【図７】
2007171015.tif 000009
【図８】
2007171015.tif 000010
【図９】
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