(57)【要約】【課題】吐出ヘッドの交換を行う場合にも、稼動率等の低下を抑えることができる液滴吐出装置を提供する。【解決手段】液滴吐出装置は、基板Ｐ上に機能液の液滴を吐出可能な複数の吐出ヘッドと、複数の吐出ヘッドを支持する支持部材と、複数の吐出ヘッドのうち所定の吐出ヘッドを基板上に液滴を吐出可能な所定位置に配置したときに所定の吐出ヘッド以外の吐出ヘッドが所定位置から離れるように、支持部材を駆動する駆動装置とを備えている。【選択図】図１
2007136408.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に機能液の液滴を吐出可能な複数の吐出ヘッドと、
前記複数の吐出ヘッドを支持する支持部材と、
前記複数の吐出ヘッドのうち所定の吐出ヘッドを前記基板上に液滴を吐出可能な所定位置に配置したときに前記所定の吐出ヘッド以外の吐出ヘッドが前記所定位置から離れるように、前記支持部材を駆動する駆動装置と、を備えた液滴吐出装置。
【請求項２】
前記吐出ヘッドのそれぞれは、前記所定位置に配置されたときに、前記基板の表面と対向する吐出孔が形成された所定面を有し、
前記支持部材は、前記複数の吐出ヘッドのうち所定の吐出ヘッドの所定面と前記基板の表面とが対向しているときに、前記所定の吐出ヘッド以外の吐出ヘッドの所定面が、前記所定の吐出ヘッドの所定面とは異なる方向を向くように、前記複数の吐出ヘッドを支持する請求項１記載の液滴吐出装置。
【請求項３】
前記所定の吐出ヘッドと前記基板とを所定の基準に対して位置決めするアライメント装置を備えた請求項１又は２記載の液滴吐出装置。
【請求項４】
前記アライメント装置は、前記吐出ヘッドに設けられたアライメントマークを検出し、前記検出結果に基づいて、前記位置決めする請求項３記載の液滴吐出装置。
【請求項５】
前記吐出ヘッドの状態を検出する検出装置を備え、
前記駆動装置は、前記検出装置の検出結果に基づいて、前記支持部材を駆動する請求項１〜４のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項６】
前記駆動装置は、前記所定位置に配置されている吐出ヘッドが異常であるとき、前記異常が生じた吐出ヘッドを前記所定位置から退かし、他の吐出ヘッドを前記所定位置に配置するように、前記支持部材を駆動する請求項１〜５のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項７】
前記支持部材は、前記基板の表面に対して傾斜する軸を回転中心として回転可能な支持面を有し、
前記複数の吐出ヘッドは、前記支持面の互いに異なる複数の位置のそれぞれに設けられている請求項１〜６のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【請求項８】
前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、前記支持部材に対して着脱可能に支持される請求項１〜７のいずれか一項記載の液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶デバイスや有機ＥＬデバイス等の各種デバイスを製造する際の膜パターン形成工程において、機能液の液滴を基板上に吐出する液滴吐出装置（インクジェット装置）が知られている。
【特許文献１】特開平１１−２７４６７１号公報
【特許文献２】特開２０００−２１６３３０号公報
【特許文献３】特開２００５−１２１８１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
液滴吐出装置に設けられている機能液の液滴を吐出するための吐出ヘッドは、使用頻度や時間経過等に応じて、その性能が劣化する可能性がある。そのため、所定のタイミングで劣化した吐出ヘッドを新たなものと交換する作業が必要となる可能性がある。液滴吐出装置の稼動率やスループットの低下を抑制するためには、吐出ヘッドの交換作業を素早く行うことが望ましい。
【０００４】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、吐出ヘッドの交換を行う場合にも、稼動率等の低下を抑えることができる液滴吐出装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の課題を解決するため、本発明は以下の構成を採用する。
【０００６】
本発明の第１の観点によると、基板上に機能液の液滴を吐出可能な複数の吐出ヘッドと、前記複数の吐出ヘッドを支持する支持部材と、前記複数の吐出ヘッドのうち所定の吐出ヘッドを前記基板上に液滴を吐出可能な所定位置に配置したときに前記所定の吐出ヘッド以外の吐出ヘッドが前記所定位置から離れるように、前記支持部材を駆動する駆動装置と、を備えた液滴吐出装置が提供される。
【０００７】
本発明によれば、駆動装置を用いて支持部材を駆動することで、液滴を吐出可能な吐出ヘッドを所定位置に素早く配置することができ、液滴吐出装置の稼動率等の低下を抑えることができる。
【０００８】
本発明の液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドのそれぞれは、前記所定位置に配置されたときに、前記基板の表面と対向する吐出孔が形成された所定面を有し、前記支持部材は、前記複数の吐出ヘッドのうち所定の吐出ヘッドの所定面と前記基板の表面とが対向しているときに、前記所定の吐出ヘッド以外の吐出ヘッドの所定面が、前記所定の吐出ヘッドの所定面とは異なる方向を向くように、前記複数の吐出ヘッドを支持する構成を採用できる。これにより、液滴吐出装置の稼動率等の低下を抑えつつ、所望のデバイスを製造できる。
【０００９】
本発明の液滴吐出装置において、前記所定の吐出ヘッドと前記基板とを所定の基準に対して位置決めするアライメント装置を備えた構成を採用できる。これにより、精度良く基板上に液滴を吐出することができる。
【００１０】
本発明の液滴吐出装置において、前記アライメント装置は、前記吐出ヘッドに設けられたアライメントマークを検出し、前記検出結果に基づいて、前記位置決めする。これにより、吐出ヘッドと基板とを精度良く位置決めできる。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置において、前記吐出ヘッドの状態を検出する検出装置を備え、前記駆動装置は、前記検出装置の検出結果に基づいて、前記支持部材を駆動する。これにより、良好な状態の吐出ヘッドを用いて基板上に液滴を吐出することができる。
【００１２】
本発明の液滴吐出装置において、前記駆動装置は、前記所定位置に配置されている吐出ヘッドが異常であるとき、前記異常が生じた吐出ヘッドを前記所定位置から退かし、他の吐出ヘッドを前記所定位置に配置するように、前記支持部材を駆動する。これにより、異常な吐出ヘッドを他の吐出ヘッドに素早く交換することができる。
【００１３】
本発明の液滴吐出装置において、前記支持部材は、前記基板の表面に対して傾斜する軸を回転中心として回転可能な支持面を有し、前記複数の吐出ヘッドは、前記支持面の互いに異なる複数の位置のそれぞれに設けられている。これにより、支持部材を回転することで、基板と対向する吐出ヘッドの交換を素早く行うことができる。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置において、前記複数の吐出ヘッドのそれぞれは、前記支持部材に対して着脱可能に支持される。これにより、支持部材に対する吐出ヘッドの交換を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。なお、以下の説明においては、必要に応じて、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。
【００１６】
図１は、本実施形態に係る液滴吐出装置（インクジェット装置）ＩＪを示す図である。図１において、液滴吐出装置ＩＪは、基台３０と、基台３０上に設けられ、基板Ｐを保持可能なステージ３１と、基台３０上でステージ３１を移動するステージ駆動装置３２と、ステージ３１の位置を検出する位置検出装置３３と、ステージ３１に保持されている基板Ｐ上に機能液Ｌの液滴を吐出可能な複数の吐出ヘッド１と、複数の吐出ヘッド１を支持する支持部材２と、支持部材２を駆動する駆動装置１０（１０Ａ、１０Ｂ）と、液滴吐出装置ＩＪの動作を制御する制御装置６とを備えている。
【００１７】
ステージ駆動装置３２は、基台３０上で、基板Ｐを保持したステージ３１をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、θＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。ここで、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とは、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向である。位置検出装置３３は、例えばリニアエンコーダを含み、所定の基準位置に対するステージ３１の位置を検出可能である。本実施形態においては、位置検出装置３３は、ステージ３１の６自由度の方向の位置を検出可能である。
【００１８】
図２は支持部材２を下から見た図である。図１及び図２に示すように、支持部材２は、ほぼ円板状の部材であり、基板Ｐの表面（ＸＹ平面）に対して傾斜する軸Ｇを回転中心として回転可能な吐出ヘッド１を支持する支持面２Ａを有している。本実施形態においては、支持部材２は、円錐状の部材の頂点部分を切り取った形状を有しており、その円錐状の部材の側面が支持面２Ａとなっている。支持面２Ａは、軸Ｇに対して傾斜している。
【００１９】
支持部材２は、支持機構７を介して、所定の架台５の下面５Ａに支持されている。支持機構７は、支持部材２に接続された第１支持軸３と、第１支持軸３を回転する第１駆動装置１０Ａと、第１駆動装置１０Ａを支持する第２支持軸４と、第２支持軸４と架台５の下面５Ａとを接続する第２駆動装置１０Ｂとを備えている。
【００２０】
第１駆動装置１０Ａは、第１支持軸３を回転可能である。第１支持軸３は、基板Ｐの表面（ＸＹ平面）に対して傾斜した軸Ｇを回転中心として回転可能である。制御装置６は、第１駆動装置１０Ａを用いて、第１支持軸３を回転することにより、その第１支持軸３に支持されている支持部材２の支持面２Ａを、軸Ｇを回転中心として回転する。
【００２１】
架台５の下面５Ａは、ＸＹ平面とほぼ平行であり、第２駆動装置１０Ｂは、下面５Ａに沿って、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。したがって、第２駆動装置１０Ｂに接続されている第２支持軸４も、第２駆動装置１０Ｂの移動に伴って、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に移動可能である。また、第２駆動装置１０Ｂは、第２支持軸４を、Ｚ軸方向、θＸ、θＹ、及びθＺ方向に移動可能である。すなわち、第２駆動装置１０Ｂは、第２支持軸４を、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、θＸ、θＹ、θＺ方向の６自由度の方向に移動可能である。制御装置６は、第２駆動装置１０Ｂを用いて、第２支持軸４を駆動することにより、その第２支持軸４に、第１駆動装置１０Ａ及び第１支持軸３を介して接続されている支持部材２（支持面２Ａ）を６自由度の方向に移動可能である。したがって、制御装置６は、第２駆動装置１０Ｂを用いて、支持部材２の支持面２Ａに支持されている吐出ヘッド１を６自由度の方向に移動可能である。
【００２２】
複数の吐出ヘッド１は、支持部材２の支持面２Ａの互いに異なる複数の位置のそれぞれに設けられている。吐出ヘッド１は、複数の吐出ノズル（吐出孔）２５を備えたマルチノズルタイプの吐出ヘッドであり、吐出ノズル２５は、吐出ヘッド１の下面１Ａの長手方向に沿って複数並んで設けられている。本実施形態においては、吐出ヘッド１は３つ設けられており、支持部材２の支持面２Ａにおいて、互いにほぼ等間隔で放射状に配置されている。また、複数の吐出ヘッド１のそれぞれは、支持部材２の支持面２Ａに対して着脱可能に支持されている。
【００２３】
図３は、本実施形態に係る吐出ヘッド１を示す図である。吐出ヘッド１は、電気機械変換方式（ピエゾ方式）で機能液Ｌの液滴を吐出する。電気機械変換方式は、ピエゾ素子（圧電素子）がパルス的な電気信号を受けて変形する性質を利用したもので、ピエゾ素子が変形することによって機能液を貯留した空間に可撓性の部材を介して圧力を与え、この空間から機能液を押し出してノズルから吐出させるものである。
【００２４】
図３において、吐出ヘッド１は、機能液を収容する液体室２１と、液体室２１と隣接する位置に設けられ、液滴を吐出させるためのピエゾ素子２２とを備えている。ピエゾ素子２２は、液滴を吐出させるために、図中、矢印Ｈで示すように、所定のストロークで変形する。
【００２５】
液体室２１には、機能液Ｌを収容するタンク２３から、供給系２３Ａを介して機能液Ｌが供給される。また、ピエゾ素子２２には、駆動回路２４が接続されている。制御装置６は、駆動回路２４を介してピエゾ素子２２に電圧を印加し、ピエゾ素子２２を変形させることにより、液体室２１を変形させ、吐出ノズル２５から機能液Ｌの液滴を吐出する。この場合、制御装置６は、印加電圧の値を変化させることにより、ピエゾ素子２２の歪み量を制御する。また、制御装置６は、印加電圧の周波数を変化させることにより、ピエゾ素子２２の歪み速度を制御する。
【００２６】
図１に戻って、支持部材２の支持面２Ａに支持されている複数の吐出ヘッド１のうち、基板Ｐの表面と対向している吐出ヘッド１の下面１Ａに設けられている吐出ノズル２５から、その基板Ｐ上に液滴が吐出される。すなわち、制御装置６は、吐出ヘッド１より基板Ｐ上に機能液Ｌの液滴を吐出するとき、駆動装置１０Ａ、１０Ｂを駆動し、支持部材２の支持面２Ａに支持されている複数の吐出ヘッド１のうち、所定の吐出ヘッド１を、基板Ｐ上に液滴を吐出可能な位置、すなわち、その吐出ヘッド１の下面１Ａが基板Ｐの表面と対向する位置に配置し、その所定の吐出ヘッド１の下面１Ａに形成されている吐出ノズル２５より基板Ｐ上に液滴を吐出する。
【００２７】
以下の説明においては、基板Ｐ上に液滴を吐出可能な吐出ヘッド１の位置を適宜、第１の位置ＰＪ１、と称する。すなわち、第１の位置ＰＪ１に配置された吐出ヘッド１の下面１Ａと、ステージ３１に保持されている基板Ｐの表面とは対向する。
【００２８】
上述のように、支持面２Ａは、軸Ｇに対して傾斜しており、支持面２Ａに支持されている複数の吐出ヘッド１のうち、所定の吐出ヘッド１が第１の位置ＰＪ１に配置されているときに、その所定の吐出ヘッド１以外の他の吐出ヘッド１は、基板Ｐの表面と対向する位置から離れた第２の位置ＰＪ２に配置される。支持部材２は、複数の吐出ヘッド１のうち、所定の吐出ヘッド１の下面１Ａと基板Ｐの表面とが対向しているときに、所定の吐出ヘッド１以外の他の吐出ヘッド１の下面１Ａが、所定の吐出ヘッド１の下面１Ａとは異なる方向を向くように、複数の吐出ヘッド１を支持する。このように、制御装置６は、第１、第２駆動装置１０Ａ、１０Ｂを用いて、複数の吐出ヘッド１のうち所定の吐出ヘッド１を第１の位置ＰＪ１に配置したときに、他の吐出ヘッド１を第１の位置ＰＪ１から離れるように、支持部材２を駆動する。
【００２９】
また、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、吐出ヘッド１の状態を検出する検出装置３５を備えている。検出装置３５は、吐出ヘッド１の液滴の吐出状態を検出する。本実施形態の検出装置３５は、ＣＣＤ等の撮像素子を含み、基板Ｐ上に吐出された機能液Ｌの液滴の画像を取得可能である。検出装置３５は、基板Ｐの上方に配置されており、基板Ｐの表面に吐出された機能液Ｌの液滴の画像を、基板Ｐの上方から観察する。また、検出装置３５は、所定の基準位置に対する基板Ｐ上の液滴の位置を検出可能である。
【００３０】
図４は、検出装置３５が吐出ヘッド１の液滴の吐出状態を検出（観察）する動作を模式的に示す図である。なお図４では模式的に示しているが、検出装置３５は、図１に示すように、吐出ヘッド１と並んだ位置に配置されている。検出装置３５を用いて、吐出ヘッド１の吐出状態を検出する際、制御装置６は、吐出ヘッド１より、基板Ｐ上に液滴を吐出する。吐出ヘッド１の吐出状態が正常である場合、基板Ｐ上に供給された後の液滴の間隔Ｄ２は、吐出ノズル２５の間隔Ｄ１に応じた値となり、Ｘ軸方向にほぼ一定間隔で複数並んで配置される。一方、吐出ヘッド１の吐出状態が異常である場合、例えば、所謂飛行曲がり等が生じた場合、基板Ｐ上に供給された後の液滴の間隔Ｄ２は、吐出ノズル２５の間隔Ｄ１とは異なる値となったり、不均一（不等間隔）で複数並んで配置される。検出装置３５は、基板Ｐ上に供給された液滴の画像を取得し、その液滴どうしの間隔、あるいは所定の基準位置に対する基板Ｐ上の各液滴の位置を検出することで、吐出ヘッド１の吐出状態が正常であるか異常であるかを判断することができる。
【００３１】
また、本実施形態の液滴吐出装置ＩＪは、第１の位置ＰＪ１に配置された吐出ヘッド１と基板Ｐとを所定の基準位置に対して位置決めするアライメント装置４０を備えている。本実施形態のアライメント装置４０は、ステージ３１の上面の所定位置に設けられており、吐出ヘッド１に設けられたアライメントマークを検出可能である。図２に示すように、吐出ヘッド１の下面１Ａにはアライメントマーク８が複数形成されており、ステージ３１上に設けられたアライメント装置４０は、そのアライメント装置４０と対向する位置に配置された吐出ヘッド１の下面１Ａのアライメントマーク８の画像を取得可能である。
【００３２】
図５は、アライメント装置４０がアライメントマーク８を検出する動作を模式的に示す図である。制御装置６は、アライメント装置４０と吐出ヘッド１の下面１Ａとを対向させ、アライメント装置４０を用いて、吐出ヘッド１の下面１Ａに設けられたアライメントマーク８を検出し、その検出結果に基づいて、所定の吐出ヘッド１と基板Ｐとを所定の基準位置に対して位置決めする。
【００３３】
所定の吐出ヘッド１と基板Ｐとを所定の基準位置に対して位置決めする場合、まず、制御装置６は、位置検出装置３３の検出結果をモニタしつつ、ステージ駆動装置３２を用いて、所定の基準位置にステージ３１を位置決めする。これにより、ステージ３１上のアライメント装置４０も所定の基準位置に対して所定の位置に配置される。そして、制御装置６は、ステージ３１の位置、ひいてはアライメント装置４０の位置を停止（固定）した状態で、アライメント装置４０の検出領域（検出視野）に、アライメントマーク８が配置されるように、駆動装置１０Ａ、１０Ｂを駆動して、吐出ヘッド１を移動する。制御装置６は、アライメント装置４０の検出領域にアライメントマーク８が配置されるように、駆動装置１０Ａ、１０Ｂを駆動して、吐出ヘッド１をＸＹ方向に移動することにより、吐出ヘッド１のＸＹ方向の位置調整を行うことができる。また、アライメント装置４０は、アライメント装置４０の検出基準面と吐出ヘッド１の下面１Ａ（アライメントマーク８）との距離（Ｚ軸方向の距離）を検出する機能も有している。制御装置６は、アライメント装置４０の検出結果をモニタしつつ、駆動装置１０Ａ、１０Ｂを駆動して、吐出ヘッド１をＺ軸方向に移動することにより、吐出ヘッド１のＺ軸方向の位置調整を行うことができる。また、図２に示したように、アライメントマーク８は、１つの吐出ヘッド１について複数（図では３つ）設けられており、各アライメントマーク８のそれぞれを検出することにより、制御装置６は、第１の位置ＰＪ１に配置された所定の吐出ヘッド１のθＸ、θＹ、及びθＺ方向の位置調整を行うことが可能である。このように、制御装置６は、アライメント装置４０の検出結果に基づいて、所定の基準位置に位置決めされているステージ３１に対して、所定の吐出ヘッド１の６自由度の方向に関する位置調整を行うことができる。
【００３４】
次に、上述の構成を有する液滴吐出装置ＩＪの動作について説明する。制御装置６は、基板Ｐ上に液滴を吐出するために、図５を参照して説明したように、アライメント装置４０を用いて、所定の基準位置に位置決めされたステージ３１に対する吐出ヘッド１の位置調整を行う。これにより、吐出ヘッド１は、ステージ３１に保持されている基板Ｐに対して所定の位置に配置される。また、制御装置６は、必要に応じて、図４を参照して説明したように、吐出ヘッド１の吐出状態を検出し、吐出状態が正常であると判断した場合、基板Ｐ上に液滴を吐出する動作を開始する。吐出ヘッド１は、吐出ノズル２５より、ステージ３１に支持されている基板Ｐに対して機能液Ｌの液滴を吐出する。本実施形態においては、制御装置６は、第２駆動装置１０Ｂとステージ駆動装置３２とを制御し、吐出ヘッド１と基板Ｐを保持するステージ３１とをＸＹ方向に相対的に移動しつつ、基板Ｐ上に機能液Ｌの液滴を供給する。
【００３５】
基板Ｐの表面と対向する位置に配置されている所定の吐出ヘッド１は、基板Ｐの表面に対して最適な位置に配置されているので、液滴を基板Ｐ上の所望の位置に吐出することができる。また、他の吐出ヘッド１は、基板Ｐとは離れた第２の位置ＰＪ２に配置されているので、他の吐出ヘッド１から基板Ｐ上に不要な機能液の滴や異物等が落下して付着する等といった不具合が生じることを抑制することができる。
【００３６】
制御装置６は、所定のタイミングで、検出装置３５を用いて、吐出ヘッド１の吐出状態を検出する。制御装置６は、検出装置３５の検出結果に基づいて、駆動装置１０Ａ、１０Ｂを用いて、支持部材２を駆動する。具体的には、制御装置６は、検出装置３５の検出結果に基づいて、第１の位置ＰＪ１に配置されている吐出ヘッド１が異常であると判断したとき、その異常が生じた吐出ヘッド１を第１の位置ＰＪ１から退かし、他の吐出ヘッド１が第１の位置ＰＪ１に配置されるように、第１、第２駆動装置１０Ａ、１０Ｂを用いて、支持部材２を駆動する。例えば、制御装置６は、第１駆動装置１０Ａを用いて、軸Ｇを回転中心として支持部材２を回転し、第１の位置ＰＪ１に配置されている異常な吐出ヘッド１を、基板Ｐから遠ざけるように移動する。支持部材２が回転することにより、正常な他の吐出ヘッド１が、第１の位置ＰＪ１に配置される。制御装置６は、その第１の位置ＰＪ１に配置された吐出ヘッド１の位置調整を、アライメント装置４０を用いて実行した後、その吐出ヘッド１から機能液Ｌの液滴を基板Ｐ上に吐出する。
【００３７】
このように、第１の位置ＰＪ１に配置されている所定の吐出ヘッド１に異常が生じても、支持部材２を回転することで、その異常な吐出ヘッド１を第１の位置ＰＪ１から退かし、直ちに、正常な（新たな）吐出ヘッド１を第１の位置ＰＪ１に配置することができる。したがって、液滴吐出装置ＩＪの稼動率等の低下を抑制することができる。
【００３８】
そして、吐出ヘッド１は、支持部材２に対して着脱可能に支持されているので、液滴吐出装置ＩＪの稼動を妨げることなく、例えば装置のメンテナンス作業時等の所定のタイミングで、異常が生じた吐出ヘッド１を、新たな（正常な）吐出ヘッド１と交換することができる。
【００３９】
なお、上述の各実施形態において、機能液（インク）Ｌとしては、種々のものを用いることができる。機能液とは、液中に含まれる膜成分を膜化することによって所定の機能を有する膜（機能膜）を形成し得るものをいう。係る機能としては、電気・電子的機能（導電性、絶縁性、圧電性、焦電性、誘電性等）、光学的機能（光選択吸収、反射性、偏光性、光選択透過性、非線形光学性、蛍光あるいはリン光等のルミネッセンス、フォトクロミック性等）、磁気的機能（硬磁性、軟磁性、非磁性、透磁性等）、化学的機能（吸着性、脱着性、触媒性、吸水性、イオン伝導性、酸化還元性、電気化学特性、エレクトロクロミック性等）、機械的機能（耐摩耗性等）、熱的機能（伝熱性、断熱性、赤外線放射性等）、生体的機能（生体適合性、抗血栓性等）等の種々の機能がある。
【００４０】
なお、上述の各実施形態においては、吐出ヘッド１の吐出方式として、電気機械変換方式（ピエゾ方式）を例にして説明したが、液滴吐出法の吐出技術としては、帯電制御方式、加圧振動方式、電気熱変換方式（バブルジェット（登録商標）方式）、静電吸引方式などであってもよい。帯電制御方式は、機能液に帯電電極で電荷を付与し、偏向電極で機能液の飛翔方向を制御してノズルから吐出させるものである。また、加圧振動方式は、材料に３０ｋｇ／ｃｍ２ 程度の超高圧を印加してノズル先端側に機能液を送出するものであり、制御電圧をかけない場合には機能液が直進してノズルから吐出され、制御電圧をかけると機能液に静電的な反発が起こり、機能液が飛散してノズルから吐出されない。
【００４１】
また、電気熱変換方式（バブルジェット（登録商標）方式）は、機能液を貯留した空間内に設けたヒータにより、機能液を急激に気化させてバブル（泡）を発生させ、バブルの圧力によって空間内の機能液を吐出させるものである。静電吸引方式は、機能液を貯留した空間内に微小圧力を加え、ノズルに機能液のメニスカスを形成し、この状態で静電引力を加えてから機能液を引き出すものである。また、この他に、電場による機能液の粘性変化を利用する方式や、放電火花で飛ばす方式などの技術も適用可能である。
【００４２】
なお、上述した実施形態において、液滴吐出装置ＩＪを用いて製造されるデバイスとしては、電気光学装置が挙げられる。ここで、電気光学装置とは、電界により物質の屈折率を変化させて光の透過率を変化させる電気光学効果を有する装置、及び電気エネルギーを光学エネルギ−に変換する装置の少なくとも一方を含む。具体的には、電気光学装置としては、例えば、電気光学物質として液晶を用いる液晶装置、電気光学物質として有機ＥＬ(Electro-Luminescence)を用いる有機ＥＬ装置、無機ＥＬを用いる無機ＥＬ装置、電気光学物質としてプラズマ用ガスを用いるプラズマディスプレイ装置（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）等が挙げられる。更に、電気光学装置としては、例えば、電気泳動ディスプレイ装置（ＥＰＤ：Electrophoretic Display）、フィールドエミッションディスプレイ装置（ＦＥＤ：電界放出表示装置：Field Emission Display）等が挙げられる。
【００４３】
さらに、液滴吐出装置ＩＪは、電気光学装置を含む基板（基材）を有するデバイスであって、その基板（基材）に液滴（インク）を吐出する工程を用いることができる各種デバイスの製造工程において用いることができる。例えば、プリント回路基板の電気配線を形成するために、液状金属や導電性材料、金属含有塗料などをインクジェット方式にて吐出して金属配線などをする構成、基材上に形成される微細なマイクロレンズをインクジェット方式による吐出にて光学部材を形成する構成、基板上に塗布するレジストを必要な部分だけに塗布するようにインクジェット方式にて吐出する構成、プラスチックなどの透光性基板などに光を散乱させる凸部や微小白パターンなどをインクジェット方式にて吐出形成して光散乱板を形成する構成、ＤＮＡ（deoxyribonucleic acid：デオキシリボ核酸）チップ上にマトリクス配列するスパイクスポットにＲＮＡ（ribonucleic acid：リボ核酸）をインクジェット方式にて吐出させて蛍光標識プローブを作製してＤＮＡチップ上でハイブリタゼーションさせるなど、基材に区画されたドット状の位置に、試料や抗体、ＤＮＡなどをインクジェット方式にて吐出させてバイオチップを形成する構成などにも利用できる。
【００４４】
また、液晶装置としても、ＴＦＴなどのトランジスタやＴＦＤのスイッチング素子（アクティブ素子）を画素に備えたアクティブマトリクス液晶パネルなど、画素電極を取り囲む隔壁を形成し、この隔壁にて形成される凹部にインクをインクジェット方式にて吐出してカラーフィルタを形成するような構成のもの、画素電極上にインクとして色材および導電材を混合したものをインクジェット方式にて吐出して、画素電極上に形成するカラーフィルタを導電性カラーフィルタとして形成する構成、基板間のギャップを保持するためのスペーサの粒をインクジェット方式にて吐出形成する構成など、液晶装置の電気光学系を構成するいずれの部分にも適用可能である。
【００４５】
さらに、カラーフィルタに限られず、ＥＬ装置など、他のいずれの電気光学装置に適用でき、ＥＬ装置としても、Ｒ、Ｇ、Ｂの３色に対応するＥＬが帯状に形成されるストライプ型や、上述したように、各画素毎に発光層に流す電流を制御するトランジスタを備えたアクティブマトリックス型の表示装置、あるいはパッシブマトリックス型に適用するものなど、いずれの構成でもできる。
【００４６】
以上、本発明に係る実施形態について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本実施形態の液滴吐出装置を示す概略構成図である。
【図２】吐出ヘッド及び支持部材を下から見た図である。
【図３】吐出ヘッドを示す図である。
【図４】検出装置による吐出ヘッドの吐出状態の検出動作を説明するための図である。
【図５】アライメント装置により位置決め動作を説明するための図である。
【符号の説明】
【００４８】
１…吐出ヘッド、１Ａ…下面、２…支持部材、２Ａ…下面、８…アライメントマーク、１０（１０Ａ、１０Ｂ）…駆動装置、２５…吐出ノズル、３５…検出装置、４０…アライメント装置、Ｌ…機能液、Ｐ…基板
【図１】
2007136408.tif 000003
【図２】
2007136408.tif 000004
【図３】
2007136408.tif 000005
【図４】
2007136408.tif 000006
【図５】
2007136408.tif 000007