(57)【要約】【課題】肉厚が極めて薄く強度の低いワークであってもワークが損傷することがなく、ベアリングのような寿命に限界のある部品を使用することのない処理槽の液漏れ防止装置を提供する。【解決手段】処理槽３３の側壁３６、３７に垂直方向のワーク入出口３８、３９を設け、該ワーク入出口３８、３９に近接して断面をコ字形状としたシールローラーケース１、２を２個一組として開口部を対向させて設け、シールローラーケース１、２にそれぞれシールローラー３、４を収納し、シールローラー３、４の上端部及び下端部に当接もしくは係合して各シールローラー３、４のワーク面に平行な面内での処理槽３３の外側方向への移動を各シールローラー３、４とシールローラーケース１、２の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限する移動制限機構を設け、各シールローラー３、４にワークの移送方向と同方向の回転力を与える駆動装置を設けた。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
平板状のワークを処理する処理槽のワークが入出する側壁に垂直方向のワーク入出口を設け、該ワーク入出口に近接して断面をコ字形状としたシールローラー収納部を２個一組として開口部を対向させて設け、シールローラー収納部にそれぞれシールローラーを収納し、シールローラーの上端部及び下端部に当接もしくは係合して各シールローラーのワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動を各シールローラーとシールローラー収納部の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限する移動制限機構をシールローラー収納部あるいは処理槽に設け、各シールローラーにワークの移送方向と同方向の回転力を与える駆動装置を設けたことを特徴とする処理槽の液漏れ防止装置。
【請求項２】
シールローラーの上端部及び下端部に当接もしくは係合して各シールローラーのワーク面から垂直に離れる方向への移動をシールローラー相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲に制限する移動制限機構を設けたことを特徴とする請求項１に記載の処理槽の液漏れ防止装置。
【請求項３】
駆動装置が回転速度に関係なく一定の回転力を発生するものとしたことを特徴とする請求項１又は２に記載の処理槽の液漏れ防止装置。
【請求項４】
駆動装置からシールローラーに与えられる回転力が移動制限機構の抵抗力より大きく、シールローラーに与えられる回転力と移動制限機構の抵抗力の差がシールローラーとワークとの間の摩擦力を超えないものとしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の処理槽の液漏れ防止装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、平板状のワークを垂直な姿勢で移送しながらめっきするめっき装置において、処理槽のワーク入出口から処理液が漏出することを防止する処理槽の液漏れ防止装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
プリント基板のような平板状ワークをめっきする装置としては種々の方式のものが提供されている。これらの装置のなかでも、平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送するめっき装置は、治具が不要であり、浴液の噴流機構を装備することにより高速のめっきができるというような特徴があることから多く使用されている。こうした平板状ワークを垂直な姿勢で連続的に移送するめっき装置においては、平板状ワークが処理液面より下方で処理槽に入出することから、ワークの入出口から処理液が漏出することが問題となり、例えば特許文献１に示される処理装置が備えるようなワーク入出口からの処理液の漏出を防止する機構が装備されている。
【０００３】
この特許文献１に開示されている処理装置に装備される処理槽の液漏れ防止機構は、処理区画室の端壁にワークを通過させるための垂直なスリットを設け、このスリットに対応して垂直な向きでルーズに処理浴内に対をなして配置したロッド又は管をシールとして配置し、これらのロッド又は管が液圧により互いに、又はその都度通過するワークと処理区画室の端壁とに圧着されるように構成されている。この機構において、ロッド又は管は一般に円筒形状の横断面を有するローラーであり、ローラーは通過するワークにより回転させられるのでローラーの駆動装置を省くことができ、摩擦に対して極めて敏感なワークの処理が可能になる効果がある。
【０００４】
ところが、特許文献１に示される発明ではローラーが処理区画室の端壁に圧着されてシールされており、その摩擦力が抵抗力になってローラーを回転させるワークには大きな引張り力が働くことになる。また、ローラーを完全に垂直な状態に保つことは困難であり、ローラーが僅かにでも傾いていれば通過するワークに上方向又は下方向の力が働くことになる。こうしたワークに働く力は従来のプリント回路基板のようにある程度の肉厚と強度のあるワークであれば特に問題になることはないが、近年電子機器の高密度実装の進展にともない使用されることが多くなっている肉厚が極めて薄く強度の低いフレキシブル回路基板のようなワークでは皺を生じる等ワークが損傷するという問題があった。
【０００５】
そうした問題点を解決するため、本願出願人はワークに働く引張り力を小さくすることにより、肉厚が極めて薄く強度の低いワークであってもワークが損傷することのない処理槽の液漏れ防止装置を特願２００６−９４８５２として出願中である。この特願２００６−９４８５２の発明は、処理槽のワークが入出する側壁に設けられたスリットに近接して配設される２本１組のシールローラーによりワークを挟んで液漏れを防止する処理槽の液漏れ防止装置において、各シールローラーの上端及び下端に外径がシールローラーの外径を上回らないベアリングをそれぞれ取り付け、処理槽に各ベアリングが当接する位置規制部材を設け、各シールローラーのワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動を各シールローラーと処理槽の側壁とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限するようにしたものである。
【０００６】
特願２００６−９４８５２の発明によれば、各シールローラーと処理槽の側壁とが接触せず僅かな間隙を形成するので、シールローラーと側壁とが接触することによる摩擦力が生じず、シールローラーはベアリングにより支承されるので極めて小さな力で回転することができ、ワークに大きな引張り力が働かないので肉厚が薄く強度の低いワークでも損傷することはなく、従来の問題点が解決されることになる。ところが、シールローラーに取り付けられるベアリングは処理液に浸漬され、あるいは触れることから処理液に耐えることのできる材質、構造のベアリングを使用してもなおその寿命には限界があり、一定期間ごとに交換しなければならず、そのための手間を要し、交換する間めっき装置の稼動を停止しなければならないという問題があった。
【特許文献１】特表平９−５０５６３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記の問題点を解決し、肉厚が極めて薄く強度の低いワークであってもワークが損傷することがなく、ベアリングのような寿命に限界のある部品を使用することのない処理槽の液漏れ防止装置を提供するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の問題を解決するためになされた本発明の処理槽の液漏れ防止装置は、平板状のワークを処理する処理槽のワークが入出する側壁に垂直方向のワーク入出口を設け、該ワーク入出口に近接して断面をコ字形状としたシールローラー収納部を２個一組として開口部を対向させて設け、シールローラー収納部にそれぞれシールローラーを収納し、シールローラーの上端部及び下端部に当接もしくは係合して各シールローラーのワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動を各シールローラーとシールローラー収納部の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限する移動制限機構をシールローラー収納部あるいは処理槽に設け、各シールローラーにワークの移送方向と同方向の回転力を与える駆動装置を設けたことを特徴とするものである。
【０００９】
ここにおいて、シールローラーの上端部及び下端部に当接もしくは係合して各シールローラーのワーク面から垂直に離れる方向への移動をシールローラー相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲に制限する移動制限機構を設けることが好ましく、駆動装置は回転速度に関係なく一定の回転力を発生するものとすることが好ましい。さらに、駆動装置からシールローラーに与えられる回転力が移動制限機構の抵抗力より大きく、シールローラーに与えられる回転力と移動制限機構の抵抗力の差がシールローラーとワークとの間の摩擦力を超えないものとすることが好ましい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、ワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動を制限する移動制限機構を設け、各シールローラーにワークの移送方向と同方向の回転力を与える駆動装置を設けたので、シールローラーがシールローラー収納部の内壁と接触することによる摩擦力が生じず、移動制限機構の抵抗力は駆動装置から与えられる回転力により打ち消されることになる。これにより、極めて小さな力で回転することができ、ワークに大きな引張り力が働くことがないので肉厚が薄く強度の低いワークでも損傷することはなく、ベアリングのような有限寿命の部品を使用しないので、交換のための手間を必要とせず、めっき装置の稼動を停止する必要がない利点がある。移動制限機構の抵抗力は非常に小さいので駆動装置は大きな力を必要としない利点がある。
【００１１】
また、各シールローラーのワーク面から垂直に離れる方向への移動範囲を規制する移動制限機構を設けた場合には、各シールローラーケースの断面を大きくすることができ、シールローラーのワークと接しない側に処理液を充分貯留させることができることになる。これによりその液圧によってシールローラーを相互に押し付ける力が大きくなるのでシールローラー相互ならびにシールローラーとワークの密着がよくなり、ここからの液漏れが少なくなるとともにシールローラーとワークとがスリップし難くなる利点がある。
【００１２】
さらに、駆動装置を回転速度に関係なく一定の回転力を発生するものとした場合には、ワークの移送速度を変化させた場合にも移動制限機構の抵抗力が確実に打ち消される利点があり、駆動装置からシールローラーに与えられる回転力を移動制限機構の抵抗力より大きく、シールローラーに与えられる回転力と移動制限機構の抵抗力の差がシールローラーとワークとの間の摩擦力を超えないものとした場合には、シールローラーからワークに進行方向の力が与えられることになり、ワークにシールローラーを回転させるための引張り力が働くことがないのでシールローラーが抵抗になることなくワークを移送できる利点がある。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、本発明を実施するための最良の形態について、図を参照しながら具体的に説明する。
図１乃至図３は本発明の処理槽の液漏れ防止装置の構成を示すものであって、断面をコ字形状とした２個一組のシールローラー収納部となるシールローラーケース１及び２が開口部を対向させて垂直方向に設けられており、該シールローラーケース１及び２にはそれぞれ円柱状のシールローラー３及び４が水平方向に移動可能な状態で収納され、シールローラー３及び４の移動範囲を規制する移動制限機構が設けられている。
【００１４】
シールローラー３及び４は移動制限機構により、ワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動は各シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限され、ワーク面から垂直に離れる方向への移動はシールローラー３及び４相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲に制限される。これらのシールローラーケース１及び２は処理槽のワーク入出口が設けられた側板の外側に取り付けられ、シールローラー３及び４はワークの通路を挟んでワーク入出口の両側に配置される。このときシールローラーケース１及び２にそれぞれ取り付け板部５、６を設け、これを側壁に取り付けるようにすれば位置の調整等が容易にできて便利である。
【００１５】
シールローラー３及び４の下端にはそれぞれ歯車７及び８が取り付けられており、該歯車７及び８は同一歯数として相互に噛合させられている。シールローラーケース１の近傍には駆動軸９が垂直方向に設けられ、該駆動軸９の上端にはプーリー１０が、下端には歯車１１がそれぞれ取り付けられており、歯車１１はシールローラー３の下端に取り付けられた歯車７と噛合させられている。図中１２及び１３は駆動軸９をそれぞれ上下で支持する支持腕であり、取り付け板部５に固定されている。処理槽上縁にはモーター１４が取り付けられており、該モーター１４の軸に取り付けられたプーリー１５と駆動軸９の上端に取り付けられたプーリー１０との間にはベルト１６が掛け渡されている。ここに使用されるモーター１４は回転速度と無関係に一定の回転力を発生するトルクモーターであることが好ましい。
【００１６】
図４乃至図６は移動制限機構の第１の例を示すものであって、シールローラー３及び４の上端にはそれぞれ支軸部１７及び１８が設けられており、シールローラーケース１及び２の上端にはそれぞれ支軸部１７及び１８に当接してシールローラー３及び４の移動を制限するスペーサー１９、２０及び２１、２２が設けられている。図示していないがシールローラー３及び４の下端にも支軸部がそれぞれ設けられ、シールローラーケース１及び２の下端には同様に支軸部に当接するスペーサーが設けられている。
【００１７】
シールローラー３及び４のワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動は支軸部１７及び１８とスペーサー１９及び２１とが当接し、同時にシールローラー３及び４の下端の支軸部とシールローラーケース１及び２の下端のスペーサーとが当接することにより各シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限される。また、シールローラー３及び４のワーク面から垂直に離れる方向への移動は支軸部１７及び１８とスペーサー２０及び２２とが当接し、同時にシールローラー３及び４の下端の支軸部とシールローラーケース１及び２の下端のスペーサーとが当接することによりシールローラー３及び４相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲にそれぞれ制限される。
【００１８】
図７乃至図９は移動制限機構の第２の例を示すものであって、シールローラー３及び４の上端にはそれぞれ支持孔２３及び２４が設けられている。該支持孔２３及び２４にはそれぞれ支持孔２３及び２４より小径の支持ピン２５及び２６が挿入されており、該支持ピン２５及び２６はシールローラーケース１及び２の蓋に固定されている。図示していないがシールローラー３及び４の下端にも支持孔をそれぞれ設け、その支持孔には同様に支持孔より小径の支持ピンを挿入することが必要となるが、支持孔は歯車７及び８の下面に設けることができ、支持ピンはシールローラーケース１及び２あるいは処理槽の槽壁等に適宜固定することができる。
【００１９】
これによりシールローラー３及び４の移動範囲は支持孔２３及び２４と支持ピン２５及び２６との間に形成される隙間の範囲に制限されることとなり、シールローラー３及び４のワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動は各シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に、シールローラー３及び４のワーク面から垂直に離れる方向への移動はシールローラー３及び４相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲にそれぞれ制限される。
【００２０】
図１０乃至図１２は移動制限機構の第３の例を示すものであって、シールローラー３及び４の上端にはそれぞれシールローラー３及び４より小径のスリーブ２７及び２８が回動自在に取り付けられており、シールローラーケース１及び２の上端にはそれぞれスリーブ２７及び２８に当接してシールローラー３及び４の移動を制限するスペーサー２９、３０及び３１、３２が設けられている。図示していないがシールローラー３及び４の下端にもスリーブがそれぞれ取り付けられ、シールローラーケース１及び２の下端には同様にスリーブに当接するスペーサーが設けられている。
【００２１】
シールローラー３及び４のワーク面に平行な面内での処理槽の外側方向への移動はスリーブ２７及び２８とスペーサー２９及び３１とが当接し、同時にシールローラー３及び４の下端のスリーブとシールローラーケース１及び２の下端のスペーサーとが当接することにより各シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とが接触せず僅かな間隙を形成する範囲に制限される。また、シールローラー３及び４のワーク面から垂直に離れる方向への移動はスリーブ２７及び２８とスペーサー３０及び３２とが当接し、同時にシールローラー３及び４の下端のスリーブとシールローラーケース１及び２の下端のスペーサーとが当接することによりシールローラー３及び４相互の間隔がワークの最大厚さを大きく上回らない範囲にそれぞれ制限される。
【００２２】
このように構成された本発明の処理槽の液漏れ防止装置が装着される処理槽は、例えば図１３に示すような処理槽３３の入口側及び出口側に受液槽３４及び３５が一体に設けられ、処理槽３３のワーク入口側及び出口側の側壁３６及び３７にワーク入出口３８、３９が設けられたものである。シールローラーケース１及び２は側壁３６及び３７の外側にそれぞれの取り付け板部５、６により取り付けられている。シールローラーケース１及び２を側壁３６及び３７の内側に取り付けることや、側壁３６及び３７と一体にシールローラーケース１及び２を構成することも可能である。
【００２３】
受液槽３４のワーク入口側の側壁及び受液槽３５のワーク出口側の側壁にはそれぞれワークの通路となるワーク入出口４０及び４１が設けられている。また、受液槽３４及び３５にはシールローラー３とシールローラー４との間等を通って処理槽３３から漏れ出して受液槽３４及び３５に滞留した処理液を汲み上げ、処理槽３３に戻す図示しないポンプが設けられている。さらに、処理槽３３が薬液槽の場合には処理液の噴流装置、循環装置、攪拌装置等が、めっき槽の場合にはそれに加えて陽極が、水洗槽の場合にはシャワー装置等がそれぞれ設けられる。
【００２４】
上記のような構成の処理槽３３を処理工程順に直線状に複数配置してめっきラインを構成し、ワークを移送する図示しない移送装置を設ける。移送装置としては例えばワークの上端をクランプして移送する機構のものが好ましいが、その他従来知られる機構のものを適宜使用することができる。各処理槽３３には処理工程にしたがって必要な処理液、洗浄水等をそれぞれ充填し、必要に応じて循環、撹拌等しておく。ワークＷは矢印で示すように入口側のワーク入出口４０から受液槽３４、ワーク入出口３８、処理槽３３、ワーク入出口３９、受液槽３５、ワーク入出口４１の経路を通って移送される。
【００２５】
ワークＷがシールローラー３とシールローラー４の間に入ってくるまでの間、シールローラー３及び４は処理槽３３から流入するシールローラーケース１及び２内の処理液の液圧によって相互に押し付けられ、相互に密着して処理液の漏出を抑止することとなる。同時にシールローラー３及び４はシールローラーケース１及び２の処理槽３３から遠い側の側壁方向に押されるが、シールローラー３及び４はいずれも移動制限機構によりシールローラーケース１及び２の側壁内面と接触せず僅かな間隙が形成される。
【００２６】
シールローラー３及び４の間にワークＷが進入して移送されるとシールローラー３及び４はそれぞれワークＷに密着して処理液の漏出が抑止され、シールローラー３及び４はワークＷの進行に伴って回転させられることになる。シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とは接触していないので、シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面の間では摩擦力を生じないが、移動制限機構の第１の例では支軸部１７及び１８とスペーサー１９及び２１とが接触して滑るのでここで摩擦力が生じる。
【００２７】
また、移動制限機構の第２の例では支持孔２３及び２４と支持ピン２５及び２６との間で、移動制限機構の第３の例ではシールローラー３及び４とスリーブ２７及び２８との間でそれぞれ摩擦力が生じる。なお、移動制限機構の第１の例では支軸部１７、１８が、移動制限機構の第３の例ではスリーブ２７、２８がそれぞれシールローラー３、４より小径となっているが、スペーサー１９、２１、２９、３１の厚さを調整すれば小径とする必要はない。但し、これらをシールローラー３、４より大径とすると、シールローラー３と４とが密着しなくなるので不都合である。移動制限機構はその他任意の構成とすることができるが、移動制限機構に摩擦力が生じることは避けられない。この摩擦力はシールローラー３及び４の全長が側壁内面に接触する場合の摩擦力に比べれば圧倒的に小さいが、シールローラー３及び４を回転させる際の抵抗力になってワークには一定の引張り力が働くことになる。
【００２８】
このときモーター１４に電源を供給しておけば、モーター１４の回転力はプーリー１５からベルト１６、プーリー１０を介して駆動軸９に伝えられ、さらに歯車１１、歯車７及び８を介してシールローラー３及び４に伝えられる。このモーター１４からシールローラー３及び４に伝えられる回転力を移動制限機構の抵抗力と同程度としておけばその抵抗力は打ち消され、シールローラー３及び４は極めて小さな力で回転することができるのでワークＷに働く引張り力は極めて小さなものとなり、肉厚が薄く強度の低いワークＷであっても損傷することはない。このモーター１４を回転速度と無関係に一定の回転力を発生するトルクモーターとしておけば、移送装置によるワークＷの移送速度を変化させた場合にも移動制限機構の抵抗力が確実に打ち消される利点がある。
【００２９】
さらにモーター１４からシールローラー３及び４に伝えられる回転力を移動制限機構の抵抗力より僅かに大きなものとしておけば、ワークＷにはシールローラー３及び４から逆に進行方向の力を与えられることになり、ワークＷにシールローラー３及び４を回転させるための引張り力が働くことがない。このような状態ではワークＷはシールローラー３及び４に影響されることなく移送装置により移送されることになる。シールローラー３及び４に伝えられる回転力を移動制限機構の抵抗力より大きくする場合、その力の差がシールローラー３及び４とワークＷとの間の摩擦力を上回るとシールローラー３及び４とワークＷとの間で滑りを生じるので、シールローラー３及び４に過大な回転力を伝えることは好ましくない。
【００３０】
本発明の処理槽の液漏れ防止装置では、シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面とが密着せず、僅かな間隙が形成されることから、従来の液漏れ防止装置に比べると処理液の漏出量は若干多くなるが、この種の液漏れ防止装置は液漏れがあることを前提としたものであり、特に問題となることはない。また、シールローラー３及び４とシールローラーケース１及び２の側壁内面との間隙から漏出する処理液の流れの方向はワークＷの面に垂直であり、直接間隙４０及び４１に向かうことがないので受液槽３４及び３５を長くする必要はない。
【００３１】
前記のようにシールローラー３及び４はシールローラーケース１及び２内の処理液の液圧によって相互に押し付けられるのであるが、処理槽３３、シールローラーケース１及び２に処理液が充填されてシールローラー３及び４が相互に押し付けられるまでの間はシールローラー３、４の間から処理液が漏れることになる。シールローラー３及び４のワーク面から垂直に離れる方向への移動範囲を規制する移動制限機構を設けておけば、シールローラー３、４相互の間隔が大きくなり過ぎることがなく、シールローラー３及び４が相互に押し付けられるまでの間にシールローラー３、４の間から漏れる処理液の量を減らすことができる利点がある。
【００３２】
このシールローラー３及び４のワーク面から垂直に離れる方向への移動範囲を規制する移動制限機構は、このシールローラー３及び４のワーク面に平行な処理槽の外側方向への移動を規制する移動制限機構とは別に設けることができる。また、移動制限機構の第２の例のように一つの機構でシールローラー３及び４の両方向への移動を制限可能なものとすることもできる。
【００３３】
以上の説明によっても明らかなように、シールローラー３及び４はシールローラーケース１及び２の側壁内面と接触しないので摩擦力は生じず、シールローラー３及び４には移動制限機構による抵抗力を打ち消す回転力を伝えるようにしたので、シールローラー３及び４は極めて小さな力で回転することができ、ワークＷに働く引張り力は極めて小さなものとなるので肉厚が薄く強度の低いワークＷであっても損傷することはない。なお、シールローラー３及び４は一定の範囲で移動するのであるが、その移動距離はワークの厚さを大きく上回らない程度であり、その移動により歯車７、８、１１の噛合が解かれることはなく、回転力の伝達に問題を生ずることはない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の処理槽の液漏れ防止装置の構成を示す要部の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ部における縦断面図である。
【図３】図１のＢ−Ｂ部における縦断面図である。
【図４】移動制限機構の第１の例を示す要部の平面図である。
【図５】図４のＣ−Ｃ部における要部の縦断面図である。
【図６】図４のＤ−Ｄ部における要部の縦断面図である。
【図７】移動制限機構の第２の例を示す要部の平面図である。
【図８】図７のＥ−Ｅ部における要部の縦断面図である。
【図９】図７のＦ−Ｆ部における要部の縦断面図である。
【図１０】移動制限機構の第３の例を示す要部の平面図である。
【図１１】図１０のＧ−Ｇ部における要部の縦断面図である。
【図１２】図１０のＨ−Ｈ部における要部の縦断面図である。
【図１３】処理槽の一例を示す平面図である。
【符号の説明】
【００３５】
１、２  シールローラーケース
３、４  シールローラー
５、６  取り付け板部
７、８  歯車
９  駆動軸
１０  プーリー
１１  歯車
１２、１３  支持腕
１４  モーター
１５  プーリー
１６  ベルト
１７、１８  支軸部
１９、２０、２１、２２  スペーサー
２３、２４  支持孔
２５、２６  支持ピン
２７、２８  スリーブ
２９、３０、３１、３２  スペーサー
３３  処理槽
３４、３５  受液槽
３６、３７  側壁
３８、３９、４０、４１  ワーク入出口
Ｗ  ワーク
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2007270299.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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