(57)【要約】【課題】加圧洗浄を行う場合であっても、被洗浄物（特に、薄板状のもの）が破損することなく、かつ、洗浄剤の流速が高められ高い洗浄性を実現するとこができる洗浄用治具を提供すること。【解決手段】治具Ｊは洗浄剤供給口Ｉと洗浄剤排出口Ｏ以外に連通孔がなく、治具Ｊ内部の収納空間部の壁面には被洗浄物を支持する支持部Ｄを設け、支持部Ｄと対抗する側に被洗浄物を押圧する手段Ｊ３を設けることにより、被洗浄物の両面が洗浄剤と接触可能となるような流路Ｓを形成した状態で被洗浄物を治具Ｊ内部に保持固定する。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
洗浄剤供給口、洗浄剤排出口及び薄板状の被洗浄物を収納しうる空間部を有し、前記洗浄剤供給口および前記洗浄剤排出口以外には通液孔を有しない洗浄用治具であって、前記空間部の内壁に、被洗浄物を支持する支持部と前記支持部と対抗する側に被洗浄物を押圧する手段とを設けることにより被洗浄物の両面が洗浄剤と接触可能となるような洗浄剤の流路を形成した状態で被洗浄物を固定することを特徴とする部品洗浄用治具。
【請求項２】
前記押圧手段が、薄板状であって、治具内壁から薄板状の被洗浄物の方向へ緩斜して形成されていることを特徴とする請求項１に記載の部品洗浄用治具。
【請求項３】
押圧手段が弾性を有する樹脂材料からなることを特徴とする請求項１または２に記載の部品洗浄用治具。
【請求項４】
前記支持部が、治具側壁に形成された一対の段差部であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の部品洗浄用治具。
【請求項５】
洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に配置され、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する容筒内に薄板状の被洗浄物を収納し、洗浄剤を前記容筒内に強制的に流通させる洗浄装置において、前記容筒内に請求項１〜４のいずれかに記載の部品洗浄用治具が嵌挿されていることを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
洗浄塔内に配置された胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する容筒に薄板状の被洗浄物を収納した請求項１〜５のいずれかに記載の治具を嵌挿し、当該容筒を洗浄剤の循環ラインに組み込んで容筒内に洗浄液を強制的に流通させることを特徴とする部品の洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は薄板状部品洗浄用冶具、洗浄装置、及び洗浄方法に関する。詳しくはシリコンウエハ、ガラスウエハなどの薄板状部品を洗浄するために用いる洗浄用冶具、当該冶具を用いた洗浄装置、および当該冶具を用いた洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、各種電気、電子製品の小型化に伴い各種部品の小型化が進んでいる。例えば、フリップチップＢＧＡ、ＨＤＤスピンドルモーターの流体軸受け部品、光コネクターのフェルールなどの電子部品や精密加工部品は小型化、高密度化し、当該部品全体のサイズと比較して、極端に狭い隙間や、極端に細い貫通穴や、袋穴が当該部品中に存在するようになってきている。しかし、これらの部品を、超音波、シャワーなどの方式による従来の洗浄装置で洗浄すると、その隙間や、袋穴に洗浄液が浸透せず、全く洗浄できない状態であった。そこで、本出願人はこのような部品を洗浄するため、直通式洗浄装置を用いた洗浄方法を提案した。直通式洗浄装置とは、洗浄剤等の流体を、流体の出入口以外に逃げ場がない限定された空間内に強制的に流し込み、当該空間に収納された被洗浄部品を加圧下のもと比較的速い流速で被洗浄部品と接触させることにより洗浄効果を高めることを特徴とするものである（特許文献１参照）。
【０００３】
しかし、図１１に示すような従来の治具にシリコンウエハ等の薄板状の部品類等を収納し、直通式洗浄装置を用いて、０．０１ＭＰａを超えて加圧洗浄を行うと、洗浄効果は向上するものの、治具と被洗浄部品とのクリアランスＳ２があるため、被洗浄部品が振動し、被洗浄物が破損するという問題が懸念されていた。また、近年、開発が進められているＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ  Ｅｌｅｃｔｒｏ  Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｓｙｓｔｅｍｓ）、マイクロマシンなどと称される部品は、ＩＣとしての機能に加え、機械的な機能が加えられているため、より複雑で微細な加工が施されており、例えば、前記フリップチップ等の部品よりも狭い隙間や、流体軸受け部品よりも開口部が狭く細長い貫通穴等を有している。従ってこれらの部品洗浄では、直通式洗浄装置などを用い、ある程度の加圧条件下で強制的に洗浄液を被洗浄物に接触させて、洗浄剤の化学的洗浄力にのみ依拠するのではなく物理的効果を加えて洗浄することが必要になると考えられる。
【０００４】
【特許文献１】特開平７−３２８５６５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記したような洗浄液を被洗浄物に強制的に流通させて行う洗浄装置により洗浄する場合やその他の加圧して洗浄を行う場合であっても、薄板状の被洗浄物が破損することなく、高度に洗浄することができる洗浄用治具を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者は前記課題を解決すべく鋭意検討したところ、治具の内部に、特定の薄板状の被洗浄物を支持する支持部と前記被洗浄物を押圧する手段とを設けることにより、前記課題を解決しうることを見出した。
【０００７】
すなわち、本発明は、洗浄剤供給口、洗浄剤排出口及び薄板状の被洗浄物を収納しうる空間を有し、洗浄剤供給口及び洗浄剤排出口以外には通液孔を有しない洗浄用治具であって、前記空間部内壁に、被洗浄物を支持する支持部と前記支持部と対抗する側に被洗浄物を押圧する手段とを設けることにより被洗浄物の両面が洗浄剤と接触可能となるような洗浄剤の流路を形成した状態で被洗浄物を固定することを特徴とする部品洗浄用治具、；
洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔内に配置され、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する容筒に被洗浄物を収納し、洗浄剤を前記容筒内に強制的に流通させる洗浄装置において、前記容筒内に前記記載の部品洗浄用治具が嵌挿されていることを特徴とする洗浄装置、；
洗浄塔内に配置された胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する容筒に薄板状の被洗浄物を収納した前記記載の洗浄用治具を嵌挿し、当該容筒を洗浄剤の循環ラインに組み込んで容筒内に洗浄液を強制的に流通させることを特徴とする薄板状部品の洗浄方法、を内容とするものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明による薄板状部品の洗浄用治具によれば、加圧洗浄などを行う場合であっても、洗浄用治具内部に薄板状の被洗浄物を支持する支持部と前記支持部に対抗する側に押圧手段とを設け、これらにより薄板状被洗浄物を狭持して固定するようにしたので、洗浄時に発生する薄板状被洗浄物の振動を抑制することができ、その破損を起こすことなく、部品洗浄を行うことができる。また、当該治具は、洗浄剤供給口及び洗浄剤排出口以外には通液孔を有しておらず、かつ、被洗浄物の両面が洗浄剤と接触可能となるような洗浄液の流路を形成した状態で被洗浄物を固定するようにしたので洗浄剤が確実に被洗浄物表面を通過し、高い洗浄効果を実現できる。したがって、被洗浄物は、高清浄度のものが得られ、特に電子部品等として用いることが好ましいものである。
さらに、本発明による部品洗浄用治具をいわゆる直通式洗浄装置に備え付けること、具体的には、洗浄剤の循環ライン中に組み入れられた洗浄塔（容器）内に配置され、胴部通液孔がなく底部にのみ通液孔を有する被洗浄物収納用の容筒内に、本発明の洗浄治具が１個を単層で又は複数個を積層して嵌挿されている装置とすることによって、当該容筒の内部は隙間なく治具で占有されるので、循環ラインによって導入される洗浄剤のほぼ全量が確実に部品洗浄面を通過することとなり、直通式洗浄装置による洗浄をより効果的なものとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。図１は、本実施形態に係る洗浄用治具を備えた直通式洗浄装置の概略全体を示す。
【００１０】
当該洗浄装置は、洗浄剤２を貯留した液槽１と、液槽１内に形成されている液出口１ａから洗浄剤２を送り出す送液手段の１種である送液ポンプ５と、被洗浄物が収納された後に詳述する洗浄治具Ｊを収納した容筒７を洗浄剤２により洗浄する洗浄塔４と、この洗浄塔４からの洗浄残液を再度液槽１の液戻り１ｂに戻す循環経路３等を備えて構成されている。
【００１１】
洗浄塔４内には、胴部通液孔が設けられておらず、底部にのみ通液孔を有する治具収納用の容筒７が遊挿状態で収納されている。つまり、容筒７はフランジ部８を有していて、このフランジ部８が、洗浄塔４の内周面の上端から内方に向けて突出している環状部材９に係合され、懸架されて遊挿状態となっている。この容筒７には後に詳述する部品用洗浄治具が備えられている。
また、図１では、洗浄塔４内に容筒７が１個のみ収納されている例を示すが、その個数は特に限定なく、仕様に応じて適宜変更可能である。
【００１２】
容筒７のフランジ部８と環状部材９とは、面接触シール部１０を形成しており、この面接触シール部１０を境として、洗浄塔４は上室４ａと下室４ｂとに区画されている。
【００１３】
上記循環経路３を通して、洗浄塔４内に配置された容筒７の被洗浄物を洗浄するには、送液ポンプ５を作動して、液槽１内の洗浄剤２を送り出し、強制循環させるのであるが、その際、バルブＶ１、Ｖ２を開状態とし、バルブＶ３〜Ｖ５を閉鎖する。
【００１４】
更に、本実施状態の洗浄装置は、被洗浄物を液切りし、乾燥するため、循環経路３の途中から分岐する風または熱風供給ライン１１と排気ライン１２とを夫々循環経路３の往路３ａと復路３ｂとに設けている。風または熱風供給ライン１１には、送風機１３とその下流側にヒーター１４とを備えている。もっとも、送風機１３は、ヒーター１４の下流側に設けてもよく、排気ライン１２に設けられている気液分離装置１５の下流側に設けてもよい。
【００１５】
乾燥時には、風または熱風が、バルブＶ１、Ｖ３の切り換え操作により、供給ライン１１を通して洗浄塔４の上室ａに導入され、更に容筒７の下端へと送られ、被洗浄物の液切りおよび乾燥と付着洗浄剤の剥離が行われる。また、排気ライン１２に設けられている気液分離装置１５の下流側に真空装置を設けて、液切りおよび乾燥処理を減圧状態で行うこともできる。
【００１６】
風または熱風は、その後、排気ライン１２を通して気液分離装置１５に送られ、分離された液体は返送ライン１６を通ってバルブＶ６の開状態により液槽１に戻され、気体は大気に放出される。洗浄を終えると、送液ポンプ５を停止して洗浄剤２の循環を止め、バルブＶ１、Ｖ２を閉鎖すると共に、バルブＶ３〜Ｖ５を開いて、洗浄塔４、容筒７の洗浄残液を、返送ライン６を通して液槽１に戻す。
【００１７】
また、図番１７は洗浄塔４の上蓋である。また、循環経路３ａの途中に、汚染した洗浄液を浄化するフィルター装置１９を接続してもよい。
【００１８】
以上の構成を有する洗浄装置において、容筒７は、本発明による洗浄治具Ｊが１個を単層で又は複数個を積層した状態で実質的に隙間なく嵌挿されるような形状・大きさに作られている。容筒７と洗浄治具Ｊとをこのような構成とすることにより、ある程度加圧されて容筒内に流入された洗浄剤のほぼ全量が治具Ｊの洗浄剤供給口（図６参照）から治具内に導入され、収納された薄板状の部品と治具Ｊ内壁の間に形成された狭い空間Ｓ（流路Ｓ）を速い流速で通過し、治具Ｊの洗浄剤排出口（同図参照）と、容筒の底部通液口を通して洗浄塔下室４ｂへ排出される。そのため、部品の洗浄面に高い物理的洗浄力が加わり、かつ洗浄剤のほぼ全量が確実に部品洗浄面を通過することとなり、直通式洗浄装置による洗浄効果をより効果的なものとすることができる。
【００１９】
なお、本発明の部品洗浄用治具Ｊの容筒７への装着は、図８に示すように、通常、洗浄剤供給口Ｉがある面を容筒の上側に（すなわち、フランジ側に）、洗浄剤排出口Ｏが下となるように容筒７内に嵌挿される。
【００２０】
次に、上記洗浄装置に用いられる治具Ｊについて説明する。本発明の治具Ｊは、被洗浄物を支持する支持部と前記支持部と対抗する側に被洗浄物を押圧する手段が設けられ被洗浄物を治具内部に固定し、洗浄時に発生する圧力変動や乱流などによって引き起こされる被洗浄物の振動を抑制するものである。
【００２１】
図２に示す治具Ｊは、薄板状の被洗浄物Ｂを支持できるようになっている治具部品Ｊ１と、治具部品Ｊ１とともに被洗浄物を固定するための、押圧手段Ｊ３を有する治具部品Ｊ２から構成されている。
【００２２】
治具部品Ｊ１は一対の支持部Ｄが治具内壁に沿って段差状に形成されており、被洗浄物Ｂを当該支持部Ｄに横架することで、被洗浄物Ｂと治具部品Ｊ１の内面との間に流路Ｓが形成される。
【００２３】
治具部品Ｊ２に設けられる押圧手段Ｊ３は、被洗浄物と接触するものであるため、通常、被洗浄物を傷つけないような素材であって、洗浄剤により侵されないものを用いることが好ましい。このようなものとしては、弾性を有する樹脂材料からなるものであることが好ましく、具体的には、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレン−ポリプロピレン等のポリオレフィン素材を用いることが好ましい。当該押圧手段Ｊ３は、直通式洗浄や他の加圧洗浄の液流に影響を与えないよう、その大きさはできるだけ小さくすることが好ましい。
【００２４】
押圧手段J３の形状は、例えば、図２に示すように、全体が薄板状であって、長手方向の途中に屈曲部を有する全体形状を呈し、屈曲部を境に治具Ｊ２へ固定するための取付け部と薄板状被洗浄物を適度な力で押圧保持するための押圧部とを有する。すなわち、取付け部により治具Ｊ２に固定された押圧手段は、被洗浄部品の方向へ緩斜して伸びており、治具部品Ｊ１と治具部品Ｊ２とを重ね合わせて治具Ｊを組み付ける際に、治具部品Ｊ１の支持部Ｄに載置された被洗浄物の表面を押圧部が弾性変形しながら適度な力で押圧する。これにより、治具内部に流入した加圧洗浄流体の通過によって発生する被洗浄部品の振動を抑制し、その破損を防止することができる。また、治具Ｊの組み付けの際、過剰な力が被洗浄部品に加わらず、組み付け時における被洗浄部品の破損も防止される。
緩斜の角度は、押圧手段が固定されている治具内壁に対し、鋭角であることが好ましく、特に１０〜３０°であることが好ましい。なお、押圧手段Ｊ３を治具部品Ｊ２に固定する際、ねじにより固定する場合には、押圧手段Ｊ３の２箇所以上を固定することにより押圧手段が外れることを防止することができる。押圧手段Ｊ３は、被洗浄物の周縁部を押さえつけ、被洗浄物の振動を防止できるように固定することができるものであれば、特に設置箇所、設置個数は限定されず、例えば、図３に示すような取り付け方を採用できる。具体的には、２箇所以上に押圧手段Ｊ３を設けることが好ましく、また、その設置箇所は後述する洗浄剤供給口Ｉ側と洗浄剤排出口Ｏ側に対称となるように設けることが好ましい。洗浄効果を高める点から、被洗浄物を対称に４箇所で固定することができるように設けられることが好ましい。
ただし、押圧手段J３の形状は、上記した屈曲部を有する薄板状のものに限定されることはなく、他の例として、押圧により変形可能な全体形状が皿ばね状のものなども適宜採用することができる。
【００２５】
被洗浄部品が装着された治具Ｊは、図２（ｂ）に示すように、被洗浄物の両面が洗浄剤と接触可能となるように洗浄剤の流路S（隙間Ｓ）を形成した状態で被洗浄物を固定する構成となっているので、その流路を通過する洗浄剤により薄板状被洗浄用物の両面を確実に洗浄することができるようになっている。
なお、洗浄剤等が流入する方の隙間を洗浄剤供給口Ｉ、洗浄剤等が排出される方の隙間を洗浄剤排出口Ｏという。
【００２６】
また、洗浄時に、被洗浄物Ｂが、当該治具より洗浄剤排出口より流し出されることを防止するために、洗浄剤排出口Ｏの近傍にストッパーＦを設けておくことが好ましい。
例えば、図６においては、ストッパーＦは治具厚み方向に伸びた柱状に形成している。このストッパーＦは被洗浄物Ｂが当該ストッパーＦにより押さえつけられることとなることから、押圧手段Ｊ３と同様の材質とすることが好ましい。また、当該ストッパーＦは、大きすぎると洗浄液等の流れを妨げるため、ストッパーＦの直径は１〜５ｍｍ程度のものとすることが好ましい。なお、当該ストッパーＦは、排出口Ｏ近傍に、少なくとも２箇所以上設けることが好ましい。
【００２７】
さらに、洗浄剤供給口Ｉ、洗浄剤排出口Ｏ近傍に被洗浄物Ｂを支持する第二の支持部Ｐを設けることで、直通式洗浄や加圧洗浄時に発生する振動抑制効率を向上させることができる。
特に、被洗浄部品がシリコンウェハ等などの略円形の薄板状部品の場合、治具壁面に直線状に伸びた段差部からなる支持部Ｄのみでは、薄板状部品の周縁部と支持部とが重なりあう接触面が十分に確保できず、支持が不安定になることがあり、押圧手段により加えられる保持力のみでは洗浄の際の圧力変動や乱流などにより発生する力に抗いきれず、部品が振動してしまう場合がある。かかる場合には、薄板上部品の周縁領域を支持する第二の支持部Ｐを設けることにより、振動を効果的に抑制することができる。
例えば、図９においては、第二の支持部Ｐは、洗浄剤の流れを妨げないように、洗浄剤の流れ方向（洗浄剤供給口と洗浄剤排出口とを結ぶ線に平行となる方向）に沿った方向にリブ状に形成されている。このような第二の支持部Ｐを形成することにより、シリコンウェハなどの略円形の薄板状部品であっても、支持部Ｄと第二の支持部Ｐと押圧手段とで挟み込まれ、治具Ｊの収容空間内で安定した保持が可能となり、洗浄中の薄板状部品の振動を格段に抑制することができる。さらに、洗浄剤の流れを妨げることもなく、洗浄液を強制的に流通させる直通式洗浄装置による洗浄や他の加圧洗浄の利点を損なわずに、効率的な洗浄を実現することができる。
当該リブＰ（第二の支持部）は、洗浄液等の流れを妨げないように、できるだけ幅（厚み）を狭くすることが好ましく、通常、シリコンウェハを洗浄する場合には、幅１〜２ｍｍ程度とすることが好ましい。また、その長さは特に限定されず、当該リブＰ（第二の支持部）の一端が確実にシリコンウェハ周縁部に接し、押圧手段Ｊ３とで、被洗浄物を挟むことができる程度の長さであればよい。
【００２８】
また、本発明の治具の異なる態様としては、図４に示すような治具Ｊが挙げられる。本実施態様の治具Ｊは、正面から見た場合にＨ型の治具部品Ｊ２´と被洗浄物を戴置する支持部を有する治具部品Ｊ１が組み合わさった治具部品Ｊ０と、治具部品Ｊ０の切欠部に嵌合させることができ、押圧手段Ｊ３が設けられた治具部品Ｊ５から構成されている。      この治具Ｊにおいては、被洗浄物Ｂは、治具部品Ｊ２´とＪ０との間に形成された洗浄剤供給口Ｉから挿入して、内部に収納されることとなる（なお、洗浄剤排出口Ｏ側は通常、ストッパＦが設けられているため、挿入ができなくなっている。）。しかる後に、２個の押圧手段Ｊ３を設けた治具部品Ｊ５をＪ０の切欠部分にそれぞれ嵌合させて被洗浄物Ｂを固定し、治具Ｊとする。この場合であっても、図２の治具と同様に、第二の支持部Ｐ、ストッパーＦを設けることが好ましい。
図５に示した治具Ｊは、図７に示すように積層することにより、洗浄工程における作業性を向上させることができる。すなわち、治具部品Ｊ０を治具の厚み方向に積層するとともに、あらかじめ積層された治具部品Ｊ０のそれぞれに対し、治具Ｊ５を嵌め合わせることができるように、連結部材Ｃを介して複数の治具Ｊ５が固定された治具Ｊ５´を作成する。このような治具Ｊ５´を使用すれば、一度の作業で複数の治具部品Ｊ０へ治具Ｊ５を嵌め込むことができ、容易に多数の被洗浄物を洗浄することができる。
【００２９】
本発明の治具の材質としては、特に限定されず、プラスチック、金属等を用いることができる。金属としては、ＳＵＳ等の合金やアルミニウム等を用いることができる。作業性の点から、アルミニウムのような軽量の金属やこれらの合金を用いることが好ましい。なお、プラスチックを用いる場合には、熱膨張、変形の問題があるため、それらの問題が生じない洗浄条件であれば用いることができる。
【００３０】
なお、本発明の洗浄に用いられる洗浄剤としては、特に限定されず、洗浄対象物の種類に応じて適宜選択すればよい。具体的には、水系洗浄剤、準水系洗浄剤、非水系（溶剤系）洗浄剤が挙げられる。
【実施例】
【００３１】
本発明の薄板状部品用の洗浄治具による洗浄効果を確認するため試験を行った結果を以下に記載する。
洗浄試験用テストサンプル
図１０に示すように、厚み０．６ｍｍの６インチシリコンウェハにレジスト液を積層し内部に３つの未硬化領域ＵＲ（長さ７０ｍｍ、直径約９０μｍ）を３箇所残してレジストを硬化させた。次に、各未硬化領域ＵＲの両端部にレジスト形成面から孔（直径約９０μｍ）をあけて、内部に未硬化のレジスト液が満たされた連通孔を形成させたものを用意し、これを洗浄試験用のテストサンプルとした。
【００３２】
実施例１
図９に示した治具Ｊ２の支持部Ｄにテストサンプルを載置し、治具Ｊ１を重ね合わせて、押圧手段Ｊ３により固定し、テストサンプルを収納した治具Ａを組み立てた。治具Ｊ０を洗浄装置の容筒に嵌挿し、直通式洗浄装置（商品名：ダイレクトパス、荒川化学工業（株）製）で、レジスト用純水系洗浄剤（商品名：パインアルファＳＴ−３８０、荒川化学工業（株）製）を用い、８０℃、０．０５ＭＰａで１０分間洗浄試験を行った後、５０℃、０．０５ＭＰａで、１０分間純水を用いてすすぎを行い、８０℃で１０分間乾燥を行った。結果を表１に示す。
なお、治具Ａの概略寸法と材質を下記に示す。
治具Ａ外形寸法  １９０ｍｍ×１７０ｍｍ×厚み２０ｍｍ、ＳＵＳ３０４製。
押圧手段  ８０ｍｍ×１５ｍｍ×厚み１ｍｍ、緩斜の角度２０°、ポリプロピレン製。
側壁に設けた支持部（段差部）  幅５ｍｍ、クリアランス１ｍｍ。
ストッパー  直径３ｍｍ、ＳＵＳ３０４製。
第二の支持部（リブ）  幅１ｍｍ、本体と一体的に加工成形した。
【００３３】
比較例１
図１１に示した治具Ｂ（ＳＵＳ製）を用い、実施例１と同様の洗浄装置、洗浄剤を用い８０℃、０．０１ＭＰａで１０分間洗浄試験を行った後、５０℃、０．０１ＭＰａで、１０分間純水を用いてすすぎを行い、８０℃で１０分間乾燥を行った。結果を表１に示す。
なお、治具Ｂの概略寸法と材質は、押圧手段と第二の支持部を有しない点を除いて治具Ａと同じである。
【００３４】
比較例２
図１１に示した治具Ｂ（ＳＵＳ製）を用い、実施例１と同様の洗浄装置、洗浄剤を用い８０℃、０．０５ＭＰａで１０分間洗浄試験を行ったところ、洗浄中にウエハが破損してしまったため試験を中止した。
【００３５】
【表１】
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【００３６】
従来の洗浄条件である比較例１の場合には、ウエハは破損しないものの、レジストを完全に除去することはできなかった。また、従来の治具を用い強制流通加圧洗浄を行った比較例２では、洗浄中にウエハが破損してしまった。一方、本発明の治具を用いて加圧洗浄を行った場合には、ウエハを破損することなく、レジスト液を完全に除去することができた。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の一実施形態に係る洗浄用治具を備えた洗浄装置の概略全体構成図である。
【図２】（ａ）は同装置に用いる薄板状部品洗浄用の治具の斜視図、（ｂ）は同治具の側面図である。
【図３】薄板状部品洗浄用の治具への押圧手段の取り付け例であり、図の上方が洗浄液排出口、下方が洗浄剤供給口を示す。（ａ）洗浄液供給口側、洗浄剤排出口側の両方に一箇所ずつ押圧手段を取り付けた場合、（ｂ）洗浄液供給口側、洗浄剤排出口側の両方に三箇所ずつ押圧手段を取り付けた場合、（ｃ）洗浄液供給口側、洗浄剤排出口側の両方に一箇所ずつ、さらに洗浄液の流れと垂直方向に一箇所ずつ押圧手段を取り付けた場合を示す。
【図４】同セット治具の異なる実施例の（ａ）正面図および（ｂ）側面図である。
【図５】図４に示した治具に被洗浄物を装着する方法である。
【図６】本発明の治具を用いた洗浄の様子を示す図である。
【図７】図４に示した治具を積層して用いる場合の例である。
【図８】治具を容筒内に収納する状態を説明する斜視図である。
【図９】洗浄実験にて用いた洗浄用治具の（ａ）正面図、（ｂ）ａ−ａ´での断面図、（ｃ）側面図である。
【図１０】洗浄試験に用いたテストウエハの（ａ）正面図、（ｂ）ｂ−ｂ´での断面図および（ｃ）ｃ−ｃ´での断面図である。
【図１１】従来の洗浄用治具を示す図である。
【符号の説明】
【００３８】
１          液槽
１ａ        液出口
１ｂ        液戻り口
２          洗浄剤
３          循環経路
３ａ        往路
３ｂ        復路
４          洗浄塔
４ａ        上室
４ｂ        下室
５          送液手段
６          返送ライン
７          容筒
８          フランジ部
９          環状部材
１０        面接触シール部
１１        熱風供給ライン
１２        排気ライン
１３        送風機
１４        ヒーター
１５        気液分離装置
１６        返送ライン
１７        上蓋
１９        フィルター装置
Ｂ          被洗浄物
Ｄ          支持部（段差部）
Ｆ          ストッパー
Ｉ          洗浄剤等の供給口
Ｊ          薄板状部品洗浄用治具
Ｊ０〜Ｊ２  薄板状部品洗浄用治具部品
Ｊ２´      薄板状部品洗浄用治具部品
Ｊ３        押圧手段
Ｊ５        薄板状部品洗浄用治具部品
Ｊ５´      薄板状部品洗浄用治具部品
Ｈ          ストッパー固定用穴
Ｎ          保持手段固定用ねじ
Ｏ          洗浄剤等の排出口
Ｐ          第二の支持部（リブ）
Ｒ          レジスト硬化層
Ｓ          流路
Ｓ２        クリアランス
ＵＲ        レジスト非硬化領域
Ｖ１〜Ｖ６  バルブ
Ｗ          シリコンウェハ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
2007136248.tif 000014