(57)【要約】【課題】樹脂層を少なくとも有する板材に対し貫通穴群を複数のステージで形成する際に、各貫通穴の開口寸法を揃えて貫通穴群を精度良く形成することが可能なプレス加工方法を提供する。【解決手段】接着剤層とセパレータから成る接着フィルム基材に対し、パンチとダイスからなる順送プレス用金型を用いて、複数の連通開口部５２を列設して成る貫通穴群５６を、複数のステージで形成するプレス加工方法であって、先のステージで形成する連通開口部５２ｅの内径ｄ１を、後のステージで形成する連通開口部５２ｏの内径ｄ２よりも大きく設定し、後のステージにおける連通開口部５２ｏの加工時の樹脂層の流動に基づく先の連通開口部５２ｅの開口寸法の減少により、各連通開口部の最終的な開口寸法を揃えるようにした。【選択図】図１２
2007320185.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
樹脂層を少なくとも有する板材に対し、パンチとダイスからなる順送プレス用金型を用いて、複数の貫通穴を列設して成る貫通穴群を、複数のステージで形成するプレス加工方法であって、
先のステージで形成する貫通穴の内径を、後のステージで形成する貫通穴の内径よりも大きく設定し、後のステージにおける貫通穴の加工時の樹脂層の流動に基づく先の貫通穴の開口寸法の減少により、各貫通穴の最終的な開口寸法を揃えるようにしたことを特徴とするプレス加工方法。
【請求項２】
先のステージで形成する貫通穴の開口形状を、貫通穴列設方向に長尺な楕円に設定し、後のステージにおける貫通穴の加工時の樹脂層の流動により、先の貫通穴の開口形状を真円に近づけたことを特徴とする請求項１に記載のプレス加工方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、液体噴射ヘッドの構成部材を接着するための接着フィルム等の樹脂層を少なくとも有する板材に対して、順送プレス用金型で複数の貫通穴を列設して貫通穴群を形成するプレス加工方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を代表とする液体噴射ヘッドには、リザーバから圧力室を経てノズル開口に至る一連の液体流路をノズル開口に対応して複数備え、圧力発生手段の駆動によって圧力室内の液体に生じた圧力変動を利用してノズル開口から液滴を吐出させるように構成されたものがある。
【０００３】
上記の液体噴射ヘッドは複数の構成部品（プレート部材）を積層して構成されている。例えば、特許文献１に開示されている記録ヘッドは、圧力発生手段としてのアクチュエータユニットと、液体流路を形成する流路ユニットとから成り、アクチュエータユニットと流路ユニットとを重ね合わせた状態で一体化して構成されている。アクチュエータユニットは、複数の圧力室を形成した圧力室プレート、ノズル連通口や供給側連通口を形成した連通口基板、及び、圧電振動子を実装した振動板とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。
【０００４】
上記流路ユニットは、インク供給口を形成した供給口プレート、複数のリザーバを形成したリザーバプレート、及び、複数のノズル開口を列設してノズル列が形成されたノズルプレートから成るプレート部材を積層して一体化することで構成されている。そして、供給口プレートとリザーバプレートとの間に第１接着フィルム（以下、適宜、ＳＲフィルムと称する。）を介在し、リザーバプレートとノズルプレートとの間に第２接着フィルム（以下、適宜、ＮＲフィルムと称する。）を介在した状態で、これらの接着フィルムによって各プレート部材を一体的に接合している。さらに、アクチュエータユニットと流路ユニットについても、アクチュエータユニットと流路ユニットとの間に介在させた第３接着フィルム（以下、適宜、ＳＡフィルムと称する。）によって一体的に接合している。
【０００５】
図１５は、上記接着フィルムの構成の一例を示す平面図である。例示した接着フィルム７７は、例えば、ポリオレフィン系接着剤から成る粘着性のフィルムであり、同図に示すように、ノズル連通口に対応する部分や、リザーバに対応する部分等に貫通開口部が開設されている。この接着フィルム７７は、上記プレート部材に貼着される前の状態では、図１６に示すように、接着剤層７８とセパレータ７９とから成る２層構造の積層板材となっている。このセパレータ７９は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムから構成されている。以下、接着剤層７８からセパレータ７９を剥離する前の板材を接着フィルム基材という。そして、この接着フィルム基材に対し、ノズル連通口に対応する連通開口部やリザーバに対応するリザーバ開口部は、プレス加工による打ち抜きによって形成される。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３２８２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記連通開口部は、ノズル連通口よりも一回り大きい円形状の貫通穴であり、ノズル開口やノズル連通口と同ピッチ（例えば、１２０ｄｐｉ）で列状に複数並設されて貫通穴群を構成している。このように連通開口部は狭小なピッチで並べられているため、金型の強度等の関係から全ての連通開口部を一度に形成せずに、複数のステージで形成することが行われている。
【０００８】
図１７（ａ），（ｂ）は、接着フィルム基材に対し、貫通穴群を形成する工程を説明する拡大平面図である。なお、同図における破線は、打ち抜き予定部分を示している。この例では、連通開口部を奇数番号と偶数番号の２つに区分し、これらを異なるステージで形成する。まず、図１７（ａ）に示すように、所定のステージで偶数番号の連通開口部８０ｅを形成する。その後、当該ステージとは異なるステージで、図１７（ｂ）に示すように、偶数番号の連通開口部８０ｅの隣に奇数番号の連通開口部８０ｏを形成する。この際、奇数番号の連通開口部８０ｏに対応する部分にパンチを押し込むことにより、同図に矢印で示すように、接着剤層７８の一部が先に形成した連通開口部８０ｅ側に流動する。このため、連通開口部８０ｅの開口形状が開口部列設方向に潰れてしまい、その開口寸法が形成時点の寸法よりも小さくなってしまう。これにより、偶数番号の連通開口部８０ｅと奇数番号の連通開口部８０ｏとで開口寸法のばらつきが生じるという問題があった。
【０００９】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、樹脂層を少なくとも有する板材に対し貫通穴群を複数のステージで形成する際に、各貫通穴の開口寸法を揃えて貫通穴群を精度良く形成することが可能なプレス加工方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、樹脂層を少なくとも有する板材に対し、パンチとダイスからなる順送プレス用金型を用いて、複数の貫通穴を列設して成る貫通穴群を、複数のステージで形成するプレス加工方法であって、
先のステージで形成する貫通穴の内径を、後のステージで形成する貫通穴の内径よりも大きく設定し、後のステージにおける貫通穴の加工時の樹脂層の流動に基づく先の貫通穴の開口寸法の減少により、各貫通穴の最終的な開口寸法を揃えるようにしたことを特徴とする。
なお、「開口寸法を揃える」という文言は、全く同一の寸法には限らず、多少の相対的なずれを許容する意味である。
【００１１】
この構成によれば、先のステージで形成する貫通穴の内径を、後のステージで形成する貫通穴の内径よりも大きく設定し、後のステージにおける貫通穴の加工時の樹脂層の流動に基づく先の貫通穴の開口寸法の減少により、各貫通穴の最終的な開口寸法を揃えるので、各貫通穴のばらつきを抑えて貫通穴群を精度良く形成することが可能となる。
【００１２】
上記構成において、先のステージで形成する貫通穴の開口形状を、貫通穴列設方向に長尺な楕円に設定し、後のステージにおける貫通穴の加工時の樹脂層の流動により、先の貫通穴の開口形状を真円に近づけることが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、各貫通穴の開口寸法と開口形状を揃えることができるので、貫通穴により高い精度が求められる場合に好適である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、以下の説明は、本発明における板材として、インクジェット式記録装置（液体噴射装置の一種。以下、単にプリンタという）に搭載されるインクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッドの一種。以下、単に記録ヘッドという）の構成部材を接合するための接着フィルム（接着フィルム基材）を例に挙げて行う。
【００１５】
図１は、記録ヘッドが取り付けられるヘッドユニットをノズルプレート側から見た斜視図、図２は記録ヘッドをアクチュエータユニット側から見た斜視図、図３は記録ヘッドの平面図、図４は図３のＡ−Ａ断面図、図５は図３のＢ−Ｂ断面図、図６は図３のＣ−Ｃ断面図である。
【００１６】
図１に示すように、例示したヘッドユニット１はフレーム２を備えており、フレーム２におけるベース板部３の上面にはインクカートリッジ４が取り付け可能なカートリッジホルダ部５が形成されている。一方、カートリッジホルダ部５とは反対側となるベース板部３の下面には、記録ヘッド６が下側から取り付けられている。この記録ヘッド６とカートリッジホルダ部５に保持されたインクカートリッジ４とはインク供給路７によって連通される。従って、記録ヘッド６には、対応するインク供給路７を通じて所定のインク（液体の一種）が供給される。そして、記録ヘッド６に供給されたインクは、記録ヘッド６の外側表面に複数形成されたノズル開口９から吐出される。このノズル開口９はドット形成密度に対応したピッチで列状に穿設されており、このノズル列が２列横並びに形成されている。これらのノズル列の内、一方のノズル列は同じインクを吐出可能な単一ノズル列１０であり、他方のノズル列はノズル開口９をノズル列方向に複数のブロック（ノズル群の一種）に分割した分割ノズル列１１である。本実施形態では、分割ノズル列１１を３つのブロックから構成しており、ブロック同士の間については１ピッチ分空けてノズル開口９を形成している。
【００１７】
図２に示すように、記録ヘッド６は、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５とから構成されており、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５とを重ね合わせた状態で一体化してある。アクチュエータユニット１４は、複数の圧力室１６を形成した圧力室プレート１７、第１ノズル連通口１８や供給側連通口１９を形成した連通口基板２０、及び、圧電振動子２１を実装した振動板２２とを積層し、焼成等により一体化することで構成されている。流路ユニット１５は、インク供給口２５を形成した供給口プレート２６、複数のリザーバ２７を形成したリザーバプレート２８、及び、ノズル列１０，１１が形成されたノズルプレート２９からなるプレート部材（ヘッド構成部材の一種）を積層して一体化することで構成されている。詳しくは、供給口プレート２６とリザーバプレート２８との間に第１接着フィルム３０（以下、ＳＲフィルム３０と称する。）を配設し、リザーバプレート２８とノズルプレート２９との間に第２接着フィルム３１（以下、ＮＲフィルム３１と称する。）を配設して、これらの接着フィルム３０，３１によって各プレート部材２６，２８，２９を一体的に接合している。さらに、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５についても、アクチュエータユニット１４と流路ユニット１５との間に介在させた第３接着フィルム３２（以下、ＳＡフィルム３２と称する。）によって一体的に接合する。なお、接着フィルム３０，３１の詳細については後述する。
【００１８】
圧力室プレート１７は、圧力室を形成するのに適した厚さのセラミックス材の薄板、例えば厚さが１００μｍ程度の板状のアルミナやジルコニア等によって構成され、複数の圧力室１６，３３がプレートの厚さ方向に貫通した状態で形成されている。これらの圧力室１６，３３は、ノズルプレート２９のノズル開口９のピッチと同じ一定のピッチで列状に開設され、列設方向と直交する左右方向に細長い長孔である。そして、これらの圧力室列を構成する圧力室のうち、圧力室列の端部に位置する圧力室はインク滴の吐出に関与しないダミー圧力室３３として構成されている。さらに、分割ノズル列１１側の圧力室列を構成する圧力室１６，３３については、ブロック同士の間に位置する圧力室もダミー圧力室３３として構成される。なお、これらの圧力室１６及びダミー圧力室３３は一定のピッチで形成されているので、圧力室１６，３３における圧力室列設方向の一側の区画壁部の厚さと、他側の区画壁部の厚さとは同じである。
【００１９】
連通口基板２０は、圧力室プレート１７と同様のセラミックス材であって、第１ノズル連通口１８と供給側連通口１９とを形成した薄板によって構成されている。第１ノズル連通口１８は、圧力室１６の左右内側端部（即ち、ノズル開口９側の端部）に連通し、板厚方向を貫通する円形の孔であり、ノズル開口９や圧力室１６，３３と同じピッチで複数形成される。また、供給側連通口１９は、第１ノズル連通口１８とは反対側の圧力室１６の左右外側端部に連通し、板厚方向を貫通する円形の孔であり、ノズル開口９や圧力室１６，３３と同じピッチで複数形成される。
【００２０】
振動板２２は、厚さが６μｍ程度の弾性を有するセラミックス材の薄板であり、本実施形態ではアルミナやジルコニア等の薄板によって構成されている。圧力室１６とは反対側となる振動板２２の外側表面には、各圧力室１６に対応した状態で複数の圧電振動子２１が配設される。例示した圧電振動子２１は撓み振動モードの振動子であり、図示しない信号供給ケーブルから供給される駆動信号によって撓み、圧力室１６の容積を変化させる。
【００２１】
供給口プレート２６は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材であり、板厚方向を貫通するインク供給口２５を上記の供給側連通口１９に対応させて複数形成し、また、板厚方向を貫通する第２ノズル連通口３４を上記の第１ノズル連通口１８に対応させて複数形成している。この第２ノズル連通口３４は、第１ノズル連通口１８と同じ直径の円形の孔である。また、インク供給口２５は、インク流路内のインクに対して流体抵抗を付与する部分であり、その直径は、供給側連通口１９の直径よりも十分に絞られている。また、供給口プレート２６には大気連通口３５を開設してある。この大気連通口３５は、ダミー圧力室３３を大気開放するための大気開放路の出口である。供給口プレート２６における連通口列設方向の他側端部には、インク導入口３６を開設してある。
【００２２】
リザーバプレート２８は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材である。図７に示すように、このリザーバプレート２８には、単一ノズル列１０に対応する第１リザーバ２７ａと、分割ノズル列１１に対応する第２リザーバ２７ｂ、第３リザーバ２７ｃ、及び、第４リザーバ２７ｄとが形成されている。これらのリザーバ２７は、共通液室として機能する部分であり、板厚方向を貫通する開口部によって構成されている。そして、各リザーバ２７の端部は、対応するインク導入口３６の位置まで延設され、インク導入口３６と連通している。即ち、インク導入口３６を通じてリザーバ２７内にインクが導入されるようになっている。
【００２３】
また、リザーバプレート２８には、板厚方向を貫通する第３ノズル連通口４７を上記の第２ノズル連通口３４に対応させて複数形成している。さらに、分割ノズル列１１に対応する列には第１開放連通口４９も形成してある。この第１開放連通口４９は、ブロック間のダミー圧力室３３に対応して設けられ、このダミー圧力室３３を大気開放するために設けられる。この他に、リザーバプレート２８には、第２開放連通口５０と第３開放連通口５１とを形成してある。第２開放連通口５０は、ダミー圧力室３３を大気開放するために設けられる。第３開放連通口５１は、大気連通口３５と連通する部分であり、分割ノズル列１１側にのみ形成される。
【００２４】
ノズルプレート２９は、ステンレス材等の金属材料によって構成された薄い板状部材である。このノズルプレート２９には、２列のノズル列が横並びに形成されており、一方の列が単一ノズル列１０として構成され、他方の列が分割ノズル列１１として構成されている。本実施形態では、単一ノズル列１０は一定のピッチ（例えば、１２０ｄｐｉ）で開設された４８個のノズル開口９によって構成されている。分割ノズル列１１は、単一ノズル列１０側のノズル開口９と同じピッチで開設された１５個のノズル開口９で１つのブロック（ノズル群）を構成し、このブロックをノズル列方向に３つ並べている。さらに、各ブロックを、ブロック同士の間に１ノズル開口分（１ピッチ分）離隔させて配置している。即ち、ダミー圧力室３３に対応する位置にはノズル開口９を開設せずに塞いだ状態にしている。
【００２５】
そして、アクチュエータユニット１４と供給口プレート２６との間にＳＡフィルム３２を、供給口プレート２６とリザーバプレート２８との間にＳＲフィルム３０を、リザーバプレート２８とノズルプレート２９との間にＮＲフィルム３１をそれぞれ介在させた状態で、上記した各プレート部材を積層して一体化した記録ヘッド６では、図３及び図６に示すように、リザーバ２７と圧力室１６の外側端部とが、供給口プレート２６のインク供給口２５、及び、連通口基板２０の供給側連通口１９を通じて連通する。また、圧力室１６の内側端部とノズル開口９とが、連通口基板２０の第１ノズル連通口１８、供給口プレート２６の第２ノズル連通口３４、及びリザーバプレート２８の第３ノズル連通口４７を通じて連通する。これにより、リザーバ２７から圧力室１６を通ってノズル開口９に至る一連のインク流路がノズル開口９毎に形成される。
【００２６】
次に、上記のＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１について説明する。
図８は、ＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１の構成を説明する図である。両者は、ほぼ同一の形状及び構造であるため、便宜上、ＳＲフィルム３０を接着フィルムの代表として説明し、ＮＲフィルム３１の説明は省略する。同図に示すように、ＳＲフィルム３０は、ノズル連通口の列同士の間の部分や、リザーバ２７ａ〜２７ｄに対応する部分等に複数の貫通開口部を形成した粘着性のフィルムである。
【００２７】
このＳＲフィルム３０における第２ノズル連通口３４や第３ノズル連通口４７に対応する位置には、これらのノズル連通口３４，４７の直径よりも少し大きい直径の連通開口部５２（本発明における貫通穴に相当）を、ノズル連通口３４，４７やノズル開口９と同じピッチ（例えば１２０ｄｐｉ）で複数列設して貫通穴群５６を形成している。そして、この貫通穴群５６の列設方向両端部には、列設方向に長尺な長孔開口部５３を形成している。また、この連通開口部５２の列の左右外側には、この列に沿って細長い開放開口部５４を形成している。この開放開口部５４は、単一ノズル列１０側に２つ、分割ノズル列１１側に３つ、それぞれ縦方向に並べて形成してある。また、リザーバ２７ａ〜２７ｄに対応する部分には、それぞれ、リザーバ開口部５５ａ〜５５ｄを開設している。これらのリザーバ開口部５５ａ〜５５ｄは、それぞれ対応するリザーバ２７ａ〜２７ｄの開口形状を一回り大きくした形状に作製されている。
【００２８】
上記ＳＲフィルム３０は、図９に示すように、本発明における樹脂層としての接着剤層５７（即ち、ＳＲフィルム３０となる部分）とセパレータ５８とを積層して成る２層構造の板材（以下、接着フィルム基材５９という）から作製される。本実施形態における接着フィルム基材５９は、合計６０〜８０μｍの厚さの板材であり、接着剤層５７の厚さは２３μｍ、セパレータ５８の厚さは４０〜５０μｍとなっている。セパレータ５８は、例えばポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルムなどの高分子材から構成されており、プレート部材の接合時には接着剤層５７から剥離されるようになっている。そして、本実施形態においては、開口部形成工程において、図１０に示すように、接着フィルム基材５９に対し、上型に設けられたパンチ６１と下型に取り付けられたダイス６２（打ち抜き用雌型）を備える順送プレス用金型６３を用いたプレス加工によって上記各開口部５２〜５５等を形成する。
【００２９】
図１１は、順送プレス用金型６３におけるダイス６２の平面図である。同図に示すように、ダイス６２には、接着フィルム基材５９の搬送方向の上流側から下流側に向けて打ち抜き加工順に、第１ステージＳ１〜第６ステージＳ６までの合計６ステージが設けられている。接着フィルム基材５９は、接着剤層５７をダイス６２側に、セパレータ５８をパンチ６１側にそれぞれ向けた姿勢で、ダイス６２から上方へ僅かに浮き上がった状態で間欠的に第１ステージＳ１から順次送られる。そして、各ステージにおける打ち抜き加工時には、接着フィルム基材５９がダイス６２に向けて下降し、ダイス６２の各ステージに設けられた位置決めピン６４に、接着フィルム基材５９に設けられた位置決め穴（図示せず）が係合する。これにより、ダイス６２に対する接着フィルム基材５９の相対位置が規定された状態（位置決め状態）で接着フィルム基材５９がダイス６２上に載置される。この位置決め状態において上型のパンチ６１を、接着フィルム基材５９に向けて下降してセパレータ５８側から押し込むことで、打ち抜き加工が行われる。
【００３０】
第１ステージＳ１では、連通開口部５２のうち、例えば、長孔開口部５３や偶数番号の連通開口部５２（連通開口部５２ｅ）を形成し、続く第２ステージＳ２では、残りの奇数番号の連通開口部５２（連通開口部５２ｏ）と、位置決めピンが挿通される貫通穴を形成する（連通開口部５２の形成についての詳細は後述する）。第３ステージＳ３では、開放開口部５４を形成する。この開放開口部５４は、部材同士を圧着する時の記録ヘッド６内の空気を記録ヘッド６外へ開放するための開口部である。第４ステージＳ４では、リザーバ開口部５５ａ〜５５ｄを形成している。この第４ステージＳ４では、リザーバ開口５５ｃに関してはリザーバ開口５５ｃとなる領域を全て同時に貫通して形成するのではなく、一部のみを形成している。第５ステージＳ５では、第４ステージＳ４で貫通しなかったリザーバ開口５５ｃの残りの部分と、コンプライアンス部となる開口部を形成する。そして、最後の第６ステージＳ６では、ＳＲフィルム３０（ＮＲフィルム３１）の外形に沿った外枠開口部を形成する。以上の開口窓形成工程を経た後、接着フィルム基材５９から個々のＳＲフィルム３０（ＮＲフィルム３１）に分割される。
【００３１】
ところで、図８に例示した接着フィルム（ＳＲフィルム３０及びＮＲフィルム３１）における連通開口部５２は狭小なピッチで並べられるため、上述したように、金型の強度を確保する等の関係から、全ての連通開口部５２を一度に形成せずに、複数のステージ（第１ステージＳ１と第２ステージＳ２）に分けて形成している。以下、この点についてより詳しく説明する。
【００３２】
図１２（ａ）〜（ｃ）は、接着フィルム基材５９に対し、連通開口部５２を列設してなる貫通穴群５６を形成する工程を説明する拡大平面図である。なお、同図は、図８における領域Ａの拡大図であり、同図における破線は、打ち抜き予定部分を示している。本実施形態では、１つの貫通孔群５６を構成する各連通開口部５２に仮想的に通し番号を付して、これらを奇数番号の連通開口部５２ｏと偶数番号の連通開口部５２ｅの２つに区分し、連通開口部５２ｅと連通開口部５２ｏとを異なるステージで形成する。そして、この工程では、先のステージで形成する連通開口部５２の内径を、後のステージで形成する連通開口部５２の内径よりも大きく設定し、後のステージにおける連通開口部５２の加工時の接着剤層５７の流動による先の連通開口部５２の開口寸法の減少によって、各連通開口部５２の最終的な開口寸法を設計値に揃えるようにしている。
【００３３】
まず、図１２（ａ）に示すように、第１ステージＳ１では偶数番号の連通開口部５２ｅを形成する。このとき、連通開口部５２ｅの内径ｄ１は、第２ステージＳ２で形成される奇数番号の連通開口部５２ｏの内径ｄ２よりも大きく設定される。具体的には、先のステージで形成する連通開口部５２ｏの内径ｄ２を０．１５５ｍｍと設定した場合、連通開口部５２ｅの内径ｄ１を内径ｄ２よりも約６〜７％大きい０．１６５ｍｍに設定する。先に形成する連通開口部５２の開口寸法は、接着剤層５７の厚さ、後のステージで隣に形成される連通開口部との距離等に基づいて適宜設定する。
【００３４】
続いて、第２ステージＳ２で、図１２（ｂ）及び図１３に示すように、偶数番号の連通開口部５２ｅの隣に、内径ｄ２の奇数番号の連通開口部５２ｏを形成する。この際、図１３に示すように、奇数番号の連通開口部５２ｏに対応する部分にパンチ６１を押し込むことにより、セパレータ５８の縁部がこのパンチ６１によって下方に引っ張られる。これにより、先に形成した連通開口部５２ｅとの間にある接着剤層７８が、セパレータ５８とダイス６２との間で押し潰されて連通開口部５２ｅ側に流動し、この連通開口部５２ｅの開口形状が列設方向に潰れる。このため、連通開口部５２ｅの開口寸法が形成時の寸法よりも減少する。しかしながら、上記のように、連通開口部５２ｅの内径ｄ１を連通開口部５２ｏの内径ｄ２よりも大きく設定しているため、このときの開口形状の縮小により、各連通開口部５２の最終的な開口寸法を揃えることができる。これにより、各連通開口部５２のばらつきを抑えて貫通穴群５６を精度良く形成することができる。本実施形態の場合、接着フィルムによってヘッド構成部材同士を接合した状態で、インク流路において接着フィルムに対応する部分で生じる段差のばらつきを低減することが可能となる。
【００３５】
貫通穴群５６を形成したならば、その後のステージにおいて、他の開口部の形成が行われる。本実施形態においては、図１２（ｃ）に示すように、貫通穴群５６の両側にも開口部が形成される。この際、同図に矢印で示すように貫通穴群５６側に接着剤層７８の一部が流動し、これにより各連通開口部５２の開口寸法が縮小するが、このときの縮小量は全ての連通開口部５２で均等なため、奇数番号のものと偶数番号のものとでばらつきが生じることはない。なお、全てのステージを経て全ての開口部が接着フィルム基材５９に開設された状態での連通開口部５２の開口寸法が、ノズル連通口１８，３４，４７の開口寸法に可及的に揃うように、各連通開口部５２の形成時点の開口寸法を定めることが望ましい。これにより、接着フィルムによってヘッド構成部材同士を接合した状態で、インク流路において接着フィルムに対応する部分で生じる段差を低減することが可能となる。
【００３６】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。
【００３７】
図１４（ａ），（ｂ）は、本発明の第２実施形態における貫通穴群５６の形成工程を説明する図である。この第２実施形態では、図１４（ａ）に示すように、先のステージで形成する連通開口部５２ｅの開口形状を、開口部列設方向に長尺な楕円に設定してある。そして、図１４（ｂ）に示すように、後のステージにおける連通開口部５２ｏの加工時の接着剤層５７の流動により、先の連通開口部５２ｅの開口形状が真円に近づくようにしている。このようにすることにより、各連通開口部５２の開口寸法と開口形状を揃えることができるので、貫通開口部５２の開口形状により高い精度が求められる場合に好適である。
【００３８】
また、上記各実施形態では、１つの貫通孔群５６を構成する各連通開口部５２を奇数番号の連通開口部５２ｏと偶数番号の連通開口部５２ｅの２つに区分し、合計２つのステージで形成する例を示したが、これには限られない。例えば、各連通開口部５２を３つ以上に区分して、それぞれ異なる３つ以上のステージで形成することもできる。
【００３９】
なお、以上では、本発明における板材として、上記接着フィルム基材５９を例示したが、これには限らず、樹脂層を少なくとも有する板材であれば、他の板材にも本発明を適用することができる。例えば、所謂縦振動子型の圧電振動子を備える記録ヘッドにおいて、流路基板の一方の面上に接合されてインク流路の一部を区画する振動板は、ステンレス鋼等の金属製の支持板に樹脂製の弾性フィルムをラミネートして構成された複合板材であり、この封止板に貫通穴群を形成する場合にも本発明は好適である。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】ヘッドユニットをノズルプレート側から見た斜視図である。
【図２】記録ヘッドをアクチュエータユニット側から見た斜視図である。
【図３】記録ヘッドの平面図である。
【図４】図３のＡ−Ａ断面図である。
【図５】図３のＢ−Ｂ断面図である。
【図６】図３のＣ−Ｃ断面図である。
【図７】リザーバプレートの平面図である。
【図８】ＳＲフィルムの平面図である。
【図９】接着フィルム基材の断面図である。
【図１０】順送プレス用金型の構成を説明する模式図である。
【図１１】順送プレス用金型におけるダイスの平面図である。
【図１２】（ａ）〜（ｃ）は、接着フィルム基材に対し貫通穴群を形成する工程を説明する拡大平面図である。
【図１３】偶数番号の連通開口部を形成した後、奇数番号の連通開口部を形成する加工を説明する模式図である。
【図１４】（ａ），（ｂ）は第２実施形態における貫通穴群を形成する工程を説明する拡大平面図である。
【図１５】接着フィルムの構成を説明する平面図である。
【図１６】接着フィルムの構成を説明する断面図である。
【図１７】（ａ），（ｂ）は接着フィルム基材に対し貫通穴群を形成する工程を説明する拡大平面図である。
【符号の説明】
【００４１】
６…記録ヘッド，１４…アクチュエータユニット，１８…第１ノズル連通口，３０…ＳＲフィルム，３１…ＮＲフィルム，３４…第２ノズル連通口，４７…第３ノズル連通口，５２ｏ，５２ｅ…連通開口部，５６…貫通穴群，５７…接着剤層，５８…セパレータ，５９…接着フィルム基材，６１…パンチ，６２…ダイス，６３…プレス金型
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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