(57)【要約】【課題】２種類以上の流体を所定の温度に調節する熱交換機構と、混合後の流体の圧力を該マイクロミキサー内部と出口以降で任意に調節できる背圧調節機構とを有するマイクロミキサーを提供する。【解決手段】プレートが積層されてなるマイクロミキサー１であって、プレートは、混合する流体のいずれかが流通される流体経路１１と、前記流体の熱交換を行う媒体が流通される媒体流路１２と、流体流路１１に連通してプレートの厚さ方向に貫通した貫通孔５とを有し、隣接する一対のプレートは、それぞれの貫通孔５が連通するように、かつ、一方のプレートの流体流路１１及び媒体流路１２と、他方のプレートの媒体流路１２及び流体流路１１とが積層されるように配置され、貫通孔５が連通されることにより流体混合部１６が形成され、流体混合部１６に、前記流体の流れ方向に移動可能な背圧弁１７が備えられていることを特徴とする。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
プレートが２以上積層されてなり、２種以上の流体を混合するためのマイクロミキサーであって、
前記プレートは、混合する前記流体のいずれかが流通する流体経路と、前記流体の熱交換を行うための媒体が流通する媒体流路と、前記流体流路に連通するとともに前記プレートの厚さ方向に貫通した貫通孔とを有し、
隣接する一対の前記プレートは、一方の前記プレートの前記貫通孔と他方の前記プレートの前記貫通孔とが連通するように、かつ、一方の前記プレートに形成された一の流体を流通する前記流体流路と他方の前記プレートに形成された前記媒体流路とが積層されるとともに、他方の前記プレートの他の流体を流通する前記流体流路と一方の前記プレートの前記媒体流路とが積層されるように配置され、
前記貫通孔が連通されることにより、これら一の流体と他の流体とが混合される流体混合部が形成され、該流体混合部には、前記流体の流れ方向に沿って移動可能な背圧弁が備えられていることを特徴とするマイクロミキサー。
【請求項２】
偶数枚の前記プレートが積層されて構成されている請求項１に記載のマイクロミキサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はマイクロミキサーに関し、さらに詳しくは、２種類以上の流体をマイクロミキサー内で加熱若しくは冷却して、所定の温度に調節した後に混合し、さらに背圧弁の開度を調節することにより、混合後の流体の圧力を該マイクロミキサー内部と出口以降で任意に制御可能な、熱交換機構および背圧調節機構を有するマイクロミキサーに関する。
【背景技術】
【０００２】
化学反応を実施するための液体若しくは気体成分の混合や水溶液と油状物質の乳化、分散などを目的として各種の静止ミキサーが提案されており、この中でも混合する２種類以上の成分をマイクロマシニング技術で加工されたマイクロ流路内に導入する構造を有するマイクロミキサーが、効率的な混合・分散用静止ミキサーとして注目されている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
このようなマイクロミキサーは、混合若しくは分散する液体若しくは気体状の物質を流路幅が０．０１ｍｍから３ｍｍ程度のマイクロ流路内で微小な流体要素に分割し、しかる後に混合、分散する機構を有しているため、従来の静止ミキサーに比べて短時間で効率的な混合、分散が達成されることから、広範囲にわたる化学プロセスへの適用が検討されている。その一例として、化学反応を実施するためのマイクロミキサー（特許文献２）や微粒子を製造するためのマイクロ反応器（特許文献３）、マイクロ乳化器（特許文献４）が挙げられる。
【特許文献１】特表平０９−５０６０３４号公報（図１から図３）
【特許文献２】特表平１１−５１４５７３号公報（図１から図６）
【特許文献３】特開２００３−１６４７４５号公報（図１から図３）
【特許文献４】特開２００２−３４６３５２号公報（図１から図５）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、これらの従来のマイクロミキサーは、同一の温度および同一の圧力での混合が前提となっているため、２以上の流体を任意の温度で混合し、かつ、混合後の流体に任意の差圧を持たせることにより、沸点以上の温度で液体を混合したり、混合後の流体の逆流を防止したりすることができなかった。
【０００５】
従来のマイクロミキサー出口に別途、背圧弁を設置するなどして、混合後の流体に圧力勾配をつけることも可能ではあったが、該マイクロミキサー出口と該背圧弁の間には多少なりとも間隔が開いているので、混合直後に差圧を持たせることは困難であった。
【０００６】
また、背圧機構付きのマイクロミキサーの使用が好適なプロセスとして、液状製品中に混入している微量の反応溶媒などの不純揮発成分を加圧下で高温水と混合して該不純物を高温水に移行させ、その後、減圧して高温水を気化させて水蒸気とし、該水蒸気とともに該不純揮発成分を除去するフラッシュ蒸留するプロセスが挙げられる。
【０００７】
例えば、エポキシ樹脂などの高粘度の液状ポリマーまたはオリゴマーを製造する際には、不要な揮発性の溶媒や微量の揮発性原料成分を除去する必要があるが、従来の回分式の減圧蒸留法や高温水と接触させて揮発性成分の除去を促進させる水蒸気蒸留法を用いても、数ｐｐｍ程度までの除去が限界であった。ここで、背圧機構付きのマイクロミキサーを使用してフラッシュ蒸留することにより、揮発性成分の除去を効率的に行うことができるものである。このフラッシュ蒸留を行うマイクロミキサーにおいては、水を加圧して高温水にするためや、水蒸気の気化によって失われる気化熱のために操作温度が低下するのを防止する目的で加熱操作が必要であるため、熱交換機構を備えていることが好ましい。
【０００８】
このように背圧調節機構と熱交換機構の双方を有し、これを一体化したマイクロミキサーが求められていたが、従来のマイクロミキサーではこの要望に対応できず、例えば上記のフラッシュ蒸留プロセスや圧力および温度が精密に制御された環境での混合プロセスなどには適用できない場合もあった。
【０００９】
本発明は、このような実情に鑑みてなされたものであって、２種類以上の流体をマイクロミキサー内で加熱若しくは冷却して、所定の温度に調節する熱交換機構と、混合後の流体の圧力を該マイクロミキサー内部と出口以降で任意に調節できる背圧調節機構とを有するマイクロミキサーの提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明は、プレートが２以上積層されてなり、２種以上の流体を混合するためのマイクロミキサーであって、前記プレートは、混合する前記流体のいずれかが流通する流体経路と、前記流体の熱交換を行うための媒体が流通する媒体流路と、前記流体流路に連通するとともに前記プレートの厚さ方向に貫通した貫通孔とを有し、隣接する一対の前記プレートは、一方の前記プレートの前記貫通孔と他方の前記プレートの前記貫通孔とが連通するように、かつ、一方の前記プレートに形成された一の流体を流通する前記流体流路と他方の前記プレートに形成された前記媒体流路とが積層されるとともに、他方の前記プレートの他の流体を流通する前記流体流路と一方の前記プレートの前記媒体流路とが積層されるように配置され、前記貫通孔が連通されることにより、これら一の流体と他の流体とが混合される流体混合部が形成され、該流体混合部には、前記流体の流れ方向に沿って移動可能な背圧弁が備えられていることを特徴としている。
【発明の効果】
【００１１】
本発明のマイクロミキサーでは、従来のマイクロミキサーでは困難であった、精密な温度制御と同時に、混合直後の流体と該マイクロミキサー出口の間で任意の圧力差をつけることが可能となり、例えば液状製品中に混入している微量の反応溶媒などの除去すべき揮発成分を加圧下で高温水と混合して該揮発成分を高温水に移行させ、その後、減圧して高温水を気化させて水蒸気とし、該水蒸気とともに該揮発成分を除去するフラッシュ蒸留プロセスなどの構築が容易となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明の実施形態であるマイクロミキサーは、偶数枚の前記プレートが積層されて構成されたものである。この構成のマイクロミキサーによれば、同一形状をなすプレートを積層することで、流体流路とこれに隣接する媒体流路とがそれぞれ対になって配置されるため、混合する流体の熱交換を確実に行うことができる。
【実施例】
【００１３】
以下、本発明の実施例によるマイクロミキサー１について添付した図面を参照して説明する。本実施例に係るマイクロミキサー１は、流体Ａと流体Ｂの２種類の流体を混合させるものである。
【００１４】
このマイクロミキサー１を構成するプレート２は、図１に示すように、概略長方形平板状をなしており、その長手方向中央部には、幅方向外側に膨らんだ幅広部３が形成されている。この幅広部３の中央部分には、プレート２の厚さ方向に凹んだ平面視円形をなす凹部４が形成されている。
この凹部４の中央には、プレート２の厚さ方向に貫通した断面円形をなす中央貫通孔５が穿設されている。この中央貫通孔５の縁部には、上方に凸となる環状凸部６が形成され、この環状凸部６には、外周側から内周側へ向けて延びる複数の排出溝７が形成されている。本実施例では、複数の排出溝７が周方向に等間隔に配置されており、すべての排出溝７が、内周面に向かうにしたがい径方向に対して所定角度をなすように傾斜して配列されている。
【００１５】
また、このプレート２の４つのコーナ部には、プレート２の厚さ方向に貫通し、断面円形をなす挿通孔８が、ひとつのコーナ部にひとつずつ穿設されている。これら４つの挿通孔８は、プレート２の長手方向の２等分線に対して対称に、かつ、プレート２の幅方向の２等分線に対しても対称に配置されている。この４つの挿通孔８のうちのひとつが、混合される流体が流通する流体連絡口９とされ、後述する流体流路１１に連通されている。また、この流体連絡口９とプレート２の長手方向の２等分線に対して対称となる位置に配置された挿通孔８が、媒体が流通する媒体連絡口１０とされ、後述する媒体流路１２に連通されている。
【００１６】
このプレート２の表面のうち前記幅広部３の一端側から延びる表面には、混合される流体のいずれかが流通する流体流路１１が形成され、前記幅広部３の他端側から延びる表面には、熱交換を行うための熱交換用媒体が流通する媒体流路１２が形成されている。
流体流路１１は、プレート２の表面を凹溝状に切り欠くことにより形成されており、その一端が前記流体連絡口９に連通されるとともに、他端がプレート２中央に形成された凹部４に連通され、プレート２表面を大きく蛇行するように形成されている。
【００１７】
また、媒体流路１２は、プレート２表面に大きく広がる幅広溝１３と、この幅広溝１３の底面から屹立する複数の遮蔽壁１４とからなり、本実施例では、図１に示すように、プレート２長手方向に延びる３つの遮蔽壁１４が互いに平行に配置されている。この媒体流路１２の一端は、コーナ部に穿設された前記媒体連絡口１０に連通され、他端側は、前記凹部４がなす円の半周分を囲うように円弧状に形成されており、この円弧の両端部分にプレート２の厚さ方向に貫通した連絡孔１５がそれぞれ穿設されている。
ここで、前記中央貫通孔５の中心及び媒体流路１２に形成された２つの連絡孔１５の中心は、プレート２の長手方向の２等分線上に並ぶように配置されている。
【００１８】
このプレート２は、ステンレス鋼によって構成されており、上述した流体流路１１、媒体流路１２及び凹部４等は、切削工具による切削加工、エッチング加工及び放電加工等によって成形される。ここで、プレート２の厚さは、熱交換効率及び混合効率の観点から、０．０１ｍｍから５ｍｍの範囲が好ましく、同様に流体流路１１、媒体流路１２は、幅を０．０１ｍｍ〜２０ｍｍの範囲とし、かつ、流路深さを０．００５ｍｍ〜３ｍｍの範囲とすることが好ましく、特に流路幅は０．０２ｍｍ〜１０ｍｍとし、かつ、流路深さは０．０１ｍｍ〜１ｍｍとすることが好ましい。各遮蔽壁１４の幅は、流体流路１１等の幅と略同等〜略１／２程度とすること好ましい。
また、ステンレス鋼で構成されたプレート２は、拡散接合等によって接合することにより、プレート２同士を強固に接合でき、接合部分からの液モレを防止できる。
【００１９】
流体Ａと流体Ｂの２種類の流体を混合させるマイクロミキサー１では、このようなプレート２が２枚１組として使用される。図２に示すように、流体流路１１及び媒体流路１２が形成された面が同一方向を向くように、かつ、一方のプレート２Ａと他方のプレート２Ｂとが互い違いに１８０°回転させた状態で積層され、一方のプレート２Ａの流体流路１１の積層方向に隣接するように他方のプレート２Ｂの媒体流路１２が配置され、また、他方のプレート２Ｂの流体流路１１の積層方向に隣接するように一方のプレート２Ａの媒体流路１２が配置される。
【００２０】
このように積層することにより、一方のプレート２Ａの中央貫通孔５と他方のプレート２Ｂの中央貫通孔５とが連通されるとともに、プレート２の長手方向の２等分線上に並ぶように配置された２つの連絡孔１５も、一方のプレート２Ａと他方のプレート２Ｂとで連通されることになる。
【００２１】
また、プレート２のコーナ部に形成された４つの挿通孔８が、プレート２の長手方向の２等分線に対して対称に、かつ、プレート２の幅方向の２等分線に対しても対称に配置されているので、積層した２つのプレート２の挿通孔８が一致することになる。ここで、一方のプレート２Ａの流体連絡口９が他方のプレート２Ｂの挿通孔８に連通され、一方のプレート２Ａの媒体連絡口１０が他方のプレート２Ｂの挿通孔８に連通されるとともに、他方のプレート２Ｂの流体連絡口９が一方のプレート２Ａの挿通孔８に連通され、他方のプレート２Ｂの媒体連絡口１０が一方のプレート２Ａの挿通孔８に連通される。
【００２２】
ここで、本実施例では、図３に示すように、２つのプレート２が積層されたプレート対が２組、つまり、第１プレート２Ａａ、第２プレート２Ｂａ、第３プレート２Ａｂ、第４プレート２Ｂｂの４つのプレート２が積層されているのである。
これら４つのプレート２を積層することにより、それぞれの中央貫通孔５が連通されて、プレート２の厚さ方向に延びる流体混合部１６が形成される。ここで、中央貫通孔５が断面円形であるためにこの流体混合部１６も断面円形とされる。
【００２３】
この流体混合部１６に、外形がニードル状をなして流体混合部１６の内径よりも小さな外径を有する背圧弁１７が挿入される。図４に本実施例で使用される背圧弁１７を示す。図４（ａ）は背圧弁１７の上面図であり、図４（ｂ）は背圧弁１７の側面図である。本実施例で使用される背圧弁１７は、その外周面に螺旋溝１８が形成されており、流体混合部１６に供給された流体は、この螺旋溝１８と流体混合部１６の内壁面との間に形成された混合流体流通部を流通することになる。本実施例では、この混合流体流通部の幅は、プレート２に形成した流体流路１１と同程度の幅とされ、具体的には０．０１ｍｍ〜２０ｍｍの間に設定されている。
【００２４】
そして、図５に示すように、第４プレート２Ｂｂの流体流路１１等が構成された面に当接されるように出側カバー部材１９が配置される。出側カバー部材１９には、前記流体混合部１６に挿通された混合流体排出口２０が形成されている。この混合流体排出口２０には、図８に示すように、第４プレート２Ｂｂから離れるにしたがい漸次内径が小さくなるようなテーパ孔部２１が形成され、このテーパ孔部２１に、前記背圧弁１７の先端部が配置される。
【００２５】
また、第１プレート２Ａａの前記流体流路１１等が構成されていない面に当接するように入側カバー部材２２が配置される。この入側カバー部材２２には、図５及び図６に示すように、第１プレート２Ａａの流体連絡口９に連通された第１流体入口２３と、第１プレート２Ａａの挿通孔８のうち第２プレート２Ｂａの流体連絡口９に連通されている挿通孔８に連通された第２流体入口２４と、第１プレート２Ａａの媒体連絡口１０に連通された媒体入口２５と、第１プレート２Ａａの挿通孔８のうち第２プレート２Ｂａの媒体連絡口１０に連通されている挿通孔８に連通された媒体出口２６とが形成されている。
【００２６】
この入側カバー部材２２の第１プレート２Ａａと当接された面の反対側には、図６及び図８に示すように、前記反対側に向けて突出して、前記流体混合部１６に連通されるとともに前記背圧弁１７が進退可能な内周孔２８を有する円筒凸部２７が形成されている。この円筒凸部２７の外周面には雄ネジが形成されており、この雄ネジ部に、一端が閉止された底部を有するナット２９が螺着されている。
【００２７】
背圧弁１７の後端側にはスプリング３０が配置されており、このスプリング３０の一端がナット２９の底部に押圧されており、ナット２９の締め込み量を調整することにより、背圧弁１７が流体混合部１６内を移動し、出側カバー部材１９のテーパ孔部２１と前記背圧弁１７との空隙の大きさが変化して、混合流体を排出する際の背圧が調整されるとともに、各プレート２の流体流路１１内の圧力が調整されることになる。
また、この背圧弁１７の後端側外周面には、流体混合部１６を流通する混合流体の液漏れを防止するためのＯリング３１が備えられている。
【００２８】
このように構成されたマイクロミキサー１では、第１流体入口２３から流体Ａが、第２流体入口２４から流体Ｂが、それぞれ供給される。すると、流体Ａは、第１プレート２Ａａ及び第３プレート２Ａｂの流体流路１１を流通してそれぞれの中央貫通孔５へと排出され、流体Ｂは、第２プレート２Ｂａ及び第４プレート２Ｂｂの流体流路１１を流通してそれぞれの中央貫通孔５へと排出される。
それぞれのプレート２の中央貫通孔５へと排出された流体Ａ及び流体Ｂは、中央貫通孔５が連通して形成された流体混合部１６の内壁面と背圧弁１７の螺旋溝１８との間に形成された混合流体流通部を流通しながら混合され、出側カバー部材１９の混合流体排出口２０から、流体Ａと流体Ｂの混合流体が排出される。
【００２９】
このとき、入側カバー部材２２の媒体入口２５から熱交換用媒体が供給されると、熱交換用媒体は、第１プレート２Ａａ及び第３プレート２Ａｂの媒体連絡口１０から媒体流路１２を流通した後に、連絡孔１５を通じて第２プレート２Ｂａ及び第４プレート２Ｂｂの媒体流路１２へと供給され、第２プレート２Ｂａ及び第４プレート２Ｂｂの媒体連絡口１０を通じて入側カバー部材２２の媒体出口２６から外部へ排出される。
【００３０】
本実施例であるマイクロミキサー１によれば、熱交換用媒体及び混合する流体Ａ、流体Ｂを流通させることによって、混合される流体Ａ、流体Ｂはそれぞれを流通させるプレート２において、該プレート２の積層方向に隣接するプレート２を流通する熱交換用媒体によって熱交換されるので、流体Ａ及び流体Ｂの温度を所定温度に保持した状態で流体の混合を行うことができる。
【００３１】
ここで、流体流路１１がプレート２表面を大きく蛇行するように配置されるとともに、媒体流路１２がプレート２表面に大きく広がる幅広溝１３と、この幅広溝１３の底面から屹立する複数の遮蔽壁１４とから構成されているので、積層方向に隣接するプレート２同士の流体流路１１及び媒体流路１２との接触面積を確保することができ、効率良く熱交換を行うことができる。
【００３２】
また、流体Ａを流通する第１プレート２Ａａ及び第３プレート２Ａｂと、流体Ｂを流通する第２プレート２Ｂａ及び第４プレート２Ｂｂとが、それぞれ交互に配置されているので、流体混合部１６において流体Ａと流体Ｂとが互い違いに合流することになり、流体Ａと流体Ｂとの混合を促進させることができる。
【００３３】
また、ナット２９を締め付けたり緩めたりすることにより、混合流体を排出する際の背圧及び各プレート２の流体流路１１内の圧力を調整することができるので、混合する流体Ａ及び流体Ｂの粘性係数等の物性値を考慮して、流体流路１１内を所定の圧力に維持することができる。  
例えば、ナット２９の締め付け量を調整して、流体流路１１内の圧力と混合流体排出口２０での圧力とに大きな圧力勾配を取ることにより、混合後の流体に大きな縮流効果を作用させて、流体Ａと流体Ｂとの混合をさらに促進させることができる。
【００３４】
また、各プレート２の中央貫通孔５の縁部に環状凸部６が形成され、この環状凸部６の外周側から内周側へ向けて径方向に対して傾斜する方向に延びる複数の排出溝７が形成されているので、流体が中央貫通孔５へと排出される際に、流体に旋回流が生じることになる。さらに、背圧弁１７の外周に螺旋溝１８が形成されており、中央貫通孔５へと排出された流体は、この螺旋溝１８と流体混合部１６の内壁面との間に形成された混合流体流通部を流通することになる。
よって、この螺旋溝１８に沿った旋回流も生じることになる、流体Ａ及び流体Ｂの混合を一層促進させることができる。
【００３５】
また、流体混合部１６と混合流体排出口２０との間で任意の圧力差をつけることが可能となるため、例えば、液状製品中に混入している微量の反応溶媒などの除去すべき揮発成分を加圧下で高温水と混合して該揮発成分を高温水に移行させ、その後、減圧して高温水を気化させて水蒸気とし、該水蒸気とともに該揮発成分を除去するフラッシュ蒸留プロセス等に使用することができる。
したがって、例えば、エポキシ樹脂などの高粘度の液状ポリマーまたはオリゴマーの製造において、揮発性溶媒や揮発性原料成分をｐｐｂ以下レベルまで除去することができ、高品質の製品を製造することができる。
【００３６】
以上、本発明の実施例であるマイクロミキサー１について説明したが、本発明はこれに限定されることはなく、その発明の技術的思想を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。
例えば、混合する流体を流体Ａと流体Ｂの２種類とし、２枚のプレート対を２層、合計４枚のプレート２を積層したものとして説明したが、これに限定されることはなく、２枚のプレート対を１層あるいは３層以上積層したものであっても良く、その混合する流体Ａ及び流体Ｂの処理量に応じて積層数を調整することが好ましい。
【００３７】
また、混合する流体の種類も流体Ａ及び流体Ｂの２種類に限定されることはなく、例えば、混合する流体数が４種類であっても良い。この場合には、図９に示すように、６つの挿通孔８を有するプレート２を４枚１組として使用すれば良い。第１プレート２Ａに流体Ａを、第２プレート２Ｂに流体Ｂを、第３プレート２Ｃに流体Ｃを、第４プレート２Ｄに流体Ｄを流通させ、６つの挿通孔８のうちの４つをそれぞれの流体の流体連絡口９とする。そして、残りの２つの挿通孔８を媒体連絡口１０として使用することで、このマイクロミキサーに流体Ａ、流体Ｂ、流体Ｃ、流体Ｄおよび熱交換用媒体を流通させることができ、これら４つの流体を熱交換しながら混合することができる。
【００３８】
同様にして、混合する流体が３種類または５種類以上であっても本発明の熱交換機構および背圧調節機構を有するマイクロミキサー１を提供することができる。ただし、積層するプレート２の数が奇数の場合には、熱交換効率が不十分となる可能性があるため、偶数枚積層することが好ましい。また、混合する流体が奇数である場合に、プレート２を偶数枚積層させて、そのうちの１つのプレート２の流体流路１１に流体を流通させないように使用しても良い。
【００３９】
また、背圧弁１７として、外周面に螺旋溝１８を形成したもので説明したが、これに限定されることはなく、背圧弁１７の外周面と流体混合部１６の内壁面との間に空隙が形成されるものであれば良い。背圧弁１７の他の例を図１０及び図１１に示す。これらの図において（ａ）は背圧弁の上面図であり（ｂ）は背圧弁の側面図である。図１０に示す背圧弁は、先端に向けて縮径するような概略円錐状をなすものであり、また、図１１に示す背圧弁は、概略四角柱状をなすものであり、これら円錐及び四角柱の外周面と流体混合部１６の内壁面との間に空隙が形成されるように構成されている。
【００４０】
さらに、プレート２をステンレス鋼で構成したものとして説明したが、プレート２の材質に制限はなく、セラミックスや合成樹脂等で構成されていてもよく、流通する流体に対する耐久性等を考慮して選択することが好ましい。
また、マイクロミキサー１の各部位のサイズについても、本実施例に限定されることはなく、流体の性質や処理量によって適宜設定することができる。
【００４１】
また、流体流路１１や媒体流路１２の形状についても制限はなく、混合する流体や熱交換用媒体を流通できるものであれば良く、遮蔽壁１４や流路の側壁を例えば円柱状の突起で構成しても良い。複数の円柱状の突起を配置する場合には、これら突起同士の間隔は、０．０１ｍｍから２０ｍｍの範囲内とすることが好ましい。
さらに、中央貫通孔５を断面円形のものとして説明したが、これに限定されることはなく、四角形孔などであっても良い。また、中央貫通孔５の縁部に環状凸部６を形成したもので説明したが、このような環状凸部６が形成されていなくても良い。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の実施例であるマイクロミキサーを構成するプレートを示す斜視図である。
【図２】図１に示すプレートを２枚積層させたプレート対を示す斜視図である。
【図３】図２に示すプレート対を２組積層させた状態を示す斜視図である。
【図４】本発明の実施例であるマイクロミキサーに備えられた背圧弁を示す上面図及び側面図である。
【図５】本発明の実施例であるマイクロミキサーの組立図である。
【図６】本発明の実施例であるマイクロミキサーを入側カバー部材側から見た斜視図である。
【図７】本発明の実施例であるマイクロミキサーを出側カバー部材側から見た斜視図である。
【図８】本発明の実施例であるマイクロミキサーの断面図である。
【図９】４種類の流体を混合するためのマイクロミキサーを構成するプレートの積層状態を示す斜視図である。
【図１０】本発明の実施例であるマイクロミキサーに適用される背圧弁の他の例を示す上面図及び側面図である。
【図１１】本発明の実施例であるマイクロミキサーに適用される背圧弁の他の例を示す上面図及び側面図である。
【符号の説明】
【００４３】
１  マイクロミキサー
２  プレート
５  中央貫通孔（貫通孔）
１１  流体流路
１２  媒体流路
１６  流体混合部
１７  背圧弁
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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