(57)【要約】      （修正有）【課題】被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を、簡便で高精度に分別回収するとともに、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染の発生を防止することができる洗浄装置および洗浄液の分別回収方法を提供する。【解決手段】被洗浄基板９に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する洗浄装置１であって、少なくとも、被洗浄基板９の保持手段４と、被洗浄基板９を取り囲むように配設し、洗浄後の洗浄液を分別回収するリング状の洗浄液分別回収手段５と、前記洗浄液を吸引するポンプ１４を具備し、前記洗浄液分別回収手段５は、洗浄後の洗浄液が飛び散るのを防止し、洗浄液を集める洗浄液収集壁を有し、該洗浄液収集壁の下部に洗浄液を吸引するための洗浄液吸引孔１０を複数形成し、該洗浄液吸引孔１０に対応して洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブ１１を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する洗浄装置であって、少なくとも、被洗浄基板を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被洗浄基板を取り囲むように配設され、被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を分別回収するためのリング状の洗浄液分別回収手段と、前記洗浄液を吸引するためのポンプを具備し、前記洗浄液分別回収手段は、前記被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液が飛び散るのを防止するとともに、前記洗浄後の洗浄液を集めるための洗浄液収集壁を有し、該洗浄液収集壁の下部に前記洗浄後の洗浄液を吸引するための洗浄液吸引孔が複数形成され、該洗浄液吸引孔に対応して前記洗浄後の洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブが設けられたものであって、前記吸引バルブの開閉により、前記洗浄後の洗浄液を分別して回収できるものであることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
前記洗浄液収集壁は、前記保持手段に保持された被洗浄基板の洗浄面に対して垂直または前記被洗浄基板の中心方向に鋭角に形成されたものであることを特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
前記複数の洗浄液吸引孔は、前記洗浄液収集壁より前記洗浄液分別回収手段の外周方向に水平に延びた後に段差を有するものであり、前記吸引バルブが閉のとき、前記段差より中に洗浄液が進入するのを防ぐものであることを特徴とする請求項１または２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
前記吸引バルブの開閉を自動制御するシステムを具備するものであることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項５】
前記保持手段に保持された被洗浄基板および／または前記洗浄液分別回収手段を回転させる回転手段を具備するものであることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の洗浄装置。
【請求項６】
被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する方法であって、洗浄液を吐出し前記被洗浄基板を洗浄する時、一部または全ての吸引バルブを開け、ポンプで、前記開けられたバルブに対応する洗浄液吸引孔を通して、洗浄液収集壁により集められた洗浄液を吸引して回収し、次に前記洗浄液とは異なる洗浄液を吐出し洗浄する時に、一部または全ての吸引バルブを開け、前記ポンプで、前記開けられた吸引バルブに対応する洗浄液吸引孔を通して、前記洗浄液収集壁により集められた異なる洗浄液を吸引して回収することにより、洗浄液ごとに分別して回収する洗浄液の分別回収方法。
【請求項７】
前記洗浄液を吐出し前記被洗浄基板を洗浄する時と前記異なる洗浄液を吐出し洗浄する時とで、それぞれ異なる吸引バルブを開けることを特徴とする請求項６に記載の洗浄液の分別回収方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被洗浄基板、例えば半導体基板やガラス基板等の精密基板の洗浄工程において、被洗浄基板に吐出して洗浄した後の洗浄液を分別回収する洗浄装置および洗浄液の分別回収方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
被洗浄基板の洗浄にあたって、被洗浄基板に吐出し洗浄した後の洗浄液は、廃液を回収する槽等に回収された後に廃液されていた。
しかしながら、近年、環境保全の観点から、この洗浄後の洗浄液を、例えば再利用できるように洗浄液ごとに分別して回収する研究がすすめられている。また、最終的に廃液として洗浄液を処理する場合においても、分別して回収することができれば、洗浄液ごとに処理をすることが可能であり、そのため、処理が容易になる。
【０００３】
このような背景のもと、洗浄後の洗浄液を分別して回収するための洗浄装置が開発され、公開されている。
特許文献１には、被洗浄基板を回転させ、該被洗浄基板に吐出されて洗浄後に遠心力によって被洗浄基板の外へ飛散した洗浄液を、被洗浄基板の周囲に、上下に複数配置したリング状のカップによって収集する洗浄装置が開示されている。この洗浄装置には被洗浄基板を上下方向に移動させる昇降装置が設けられており、被洗浄基板を回転させ、かつ上下動させることにより、上下に配置された異なるカップに飛散した洗浄液を収集できるようになっている。
【０００４】
このような従来の洗浄装置では、他のカップの開口部が開いたまま洗浄液の収集を行うため、例えば飛散した洗浄液や、ミスト化、ガス化した洗浄液が別のカップに収集されて、収集している洗浄液とは別の洗浄液が混ざることにより分別の精度が低下したり、ミスト化、ガス化した洗浄液によって被洗浄基板が再汚染されてしまう可能性があった。  
【０００５】
また、特許文献２には、上記のカップの替わりに複数のフェンスを並べて設け、各フェンスを上下動させることによりフェンス同士の間に開口部を形成し、該開口部から、洗浄後の飛散した洗浄液を収集する洗浄装置が開示されている。
【０００６】
このような従来の上記の両洗浄装置においては、洗浄液を分別して収集するには、被洗浄基板を回転させるとともに、少なくとも被洗浄基板またはフェンスを上下動させる手段を設け、洗浄時に上下動させる必要があり、このため、装置の構成や洗浄液の分別回収における手順が複雑化するという問題があった。
【０００７】
【特許文献１】特開平５−２８３３９５号公報
【特許文献２】特開２００４−３１４００号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を、簡便で高精度に分別回収するとともに、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染の発生を防止することができる洗浄装置および洗浄液の分別回収方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するため、本発明は、被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する洗浄装置であって、少なくとも、被洗浄基板を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被洗浄基板を取り囲むように配設され、被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を分別回収するためのリング状の洗浄液分別回収手段と、前記洗浄液を吸引するためのポンプを具備し、前記洗浄液分別回収手段は、前記被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液が飛び散るのを防止するとともに、前記洗浄後の洗浄液を集めるための洗浄液収集壁を有し、該洗浄液収集壁の下部に前記洗浄後の洗浄液を吸引するための洗浄液吸引孔が複数形成され、該洗浄液吸引孔に対応して前記洗浄後の洗浄液の吸引および吸引停止を切り替える吸引バルブが設けられたものであって、前記吸引バルブの開閉により、前記洗浄後の洗浄液を分別して回収できるものであることを特徴とする洗浄装置を提供する（請求項１）。
【００１０】
このような洗浄装置であれば、洗浄液収集壁により集められた洗浄後の洗浄液を、吸引バルブの開閉を切り替えることにより、前記吸引バルブと対応する洗浄液吸引孔を通し、ポンプで吸引または吸引停止することができるので、吸引のタイミングや吸引する洗浄液吸引孔を選択することで、高精度で洗浄後の洗浄液を分別して回収することができる。そして、上記のように、各吸引バルブの開閉を切り替えるだけで分別回収することができるので簡便である。
【００１１】
また、洗浄液分別回収手段は保持手段に保持された被洗浄基板を取り囲むように配設されており、洗浄後の洗浄液を被洗浄基板から離れ、洗浄液収集壁により集められた後、すぐに洗浄液吸引孔を通してポンプで吸引し、回収することができるし、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や被洗浄基板周囲のミスト化、ガス化した洗浄液を含む雰囲気を吸引することができるので、洗浄後の洗浄液により引き起こされる被洗浄基板の再汚染を効果的に防止することが可能である。
【００１２】
このとき、前記洗浄液収集壁は、前記保持手段に保持された被洗浄基板の洗浄面に対して垂直または前記被洗浄基板の中心方向に鋭角に形成されたものであるのが好ましい（請求項２）。
【００１３】
このように、前記洗浄液収集壁が、前記保持手段に保持された被洗浄基板の洗浄面に対して垂直または前記被洗浄基板の中心方向に鋭角に形成されていれば、被洗浄基板から飛散した洗浄後の洗浄液を効率良く集めることができるし、また、被洗浄基板周囲のミスト化、ガス化した洗浄液を含む雰囲気を吸引しやすい。
【００１４】
また、前記複数の洗浄液吸引孔は、前記洗浄液収集壁より前記洗浄液分別回収手段の外周方向に水平に延びた後に段差を有するものであり、前記吸引バルブが閉のとき、前記段差より中に洗浄液が進入するのを防ぐものであるのが好ましい（請求項３）。
【００１５】
このように、前記複数の洗浄液吸引孔が、前記洗浄液収集壁より前記洗浄液分別回収手段の外周方向に水平に延びた後に段差を有していれば、前記洗浄液吸引孔に対応する吸引バルブが閉のときに、前記段差より中に洗浄液が進入するのを防ぐことができる。
【００１６】
また、前記吸引バルブの開閉を自動制御するシステムを具備するのが望ましい（請求項４）。
このように、前記吸引バルブの開閉を自動制御するシステムを具備していれば、吸引バルブの開閉の切り替えを正確に行うことができ、洗浄後の洗浄液の吸引のタイミング等を誤ることなく、確実に分別回収することが可能である。
【００１７】
そして、前記保持手段に保持された被洗浄基板および／または前記洗浄液分別回収手段を回転させる回転手段を具備することができる（請求項５）。
【００１８】
このように、前記保持手段に保持された被洗浄基板および／または前記洗浄液分別回収手段を回転させる回転手段を具備するものであっても、例えば被洗浄基板の回転により洗浄後の洗浄液が被洗浄基板の縁から飛散しても、洗浄液収集壁により飛び散りを防ぎ、確実に洗浄液を集めることが可能である。
【００１９】
また、本発明は、被洗浄基板に洗浄液を吐出して洗浄し、洗浄後の洗浄液を分別回収する方法であって、洗浄液を吐出し前記被洗浄基板を洗浄する時、一部または全ての吸引バルブを開け、ポンプで、前記開けられたバルブに対応する洗浄液吸引孔を通して、洗浄液収集壁により集められた洗浄液を吸引して回収し、次に前記洗浄液とは異なる洗浄液を吐出し洗浄する時に、一部または全ての吸引バルブを開け、前記ポンプで、前記開けられた吸引バルブに対応する洗浄液吸引孔を通して、前記洗浄液収集壁により集められた異なる洗浄液を吸引して回収することにより、洗浄液ごとに分別して回収する洗浄液の分別回収方法を提供する（請求項６）。
【００２０】
このような洗浄液の分別回収方法であれば、一部または全ての吸引バルブの開閉を切り替えるだけで、洗浄液収集壁により集められた洗浄後の洗浄液を、前記吸引バルブと対応する洗浄液吸引孔を通してポンプで吸引または吸引停止し、洗浄液ごとに吸引のタイミング等を分けて吸引し、回収することができるので、簡便かつ簡単に、精度良く分別回収することができる。
また、ポンプで吸引して回収するので、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や、被洗浄基板周囲のミスト化、ガス化した洗浄液を吸引し、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染を効果的に防止することが可能である。
【００２１】
このとき、前記洗浄液を吐出し前記被洗浄基板を洗浄する時と前記異なる洗浄液を吐出し洗浄する時とで、それぞれ異なる吸引バルブを開けるのが好ましい（請求項７）。
【００２２】
このように、前記洗浄液を吐出し前記被洗浄基板を洗浄する時と、その後、前記異なる洗浄液を吐出し洗浄する時とで、それぞれ異なる吸引バルブを開ければ、洗浄液ごとに異なる洗浄液吸引孔を通して吸引することができる。従って、例えば、吸引する洗浄液を変えた時に、変える前に吸引していた洗浄液が洗浄液吸引孔内等に残留している場合でも、後に吸引する異なる洗浄液は別の洗浄液吸引孔を通して吸引されるために、前の洗浄液と混ざることはなく、より分別の精度を上げることが可能になる。
【発明の効果】
【００２３】
本発明の洗浄装置および洗浄液の分別回収方法であれば、被洗浄基板を洗浄した後の洗浄液を確実かつ簡便に分別回収することができる。また、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や被洗浄基板周囲の雰囲気に含まれるミスト化、ガス化した洗浄液を、被洗浄基板を洗浄した後すぐにポンプで吸引し回収することができることから、洗浄後の洗浄液による被洗浄基板の再汚染を防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明について実施の形態を説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
従来の被洗浄基板の洗浄装置では、回転する被洗浄基板の表面に吐出され、被洗浄基板を洗浄して振り飛ばされた洗浄液を複数のカップで分別収集していたが、他のカップの開口部が開いたまま洗浄液の回収を行うため、飛散した洗浄液や、ミスト化、ガス化した洗浄液が別のカップに収集されて洗浄液が混ざることで分別の精度が低下したり、ミスト化、ガス化した洗浄液によって被洗浄基板が再汚染されてしまう可能性があった。
【００２５】
また、例えばカップのかわりに複数のフェンスを設け、フェンスを上下動させてフェンス間に開口部を形成し、該開口部より飛散した洗浄液を収集する洗浄装置が開示されているが、上記の両洗浄装置は、洗浄液を分別回収するために、被洗浄基板を回転させる手段とともに、被洗浄基板またはフェンスを上下動させる手段を設け、洗浄時に上下動させることを必要とし、装置の構成や洗浄液の分別回収の手順が複雑化するという問題があった。
【００２６】
これに対して本発明者らは、洗浄後の洗浄液の分別回収について鋭意調査を行った結果、被洗浄基板を取り囲むように配設され、洗浄後の洗浄液を分別回収するリング状の洗浄液分別回収手段の洗浄液収集壁により集められた洗浄後の洗浄液を、洗浄液収集壁の下部に形成された洗浄液吸引孔を通し、該洗浄液吸引孔に対応する吸引バルブの開閉を切り替えることにより、ポンプで吸引または吸引停止するものであれば、確実に、高精度で洗浄後の洗浄液を分別して回収することができるとともに、吸引バルブの配設および開閉の切り替え操作をするだけで良いので、簡便に分別回収できることを見出した。また、洗浄液分別回収手段は保持手段に保持された被洗浄基板を取り囲むように配設されており、被洗浄基板を洗浄後に速やかに洗浄液吸引孔を通してポンプで吸引回収することができるので、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や、ミスト化、ガス化した洗浄液により引き起こされる被洗浄基板の再汚染を効果的に防止することが可能であることを見出し、本発明を完成させた。
【００２７】
以下では、本発明の実施の形態について、図を用いて具体的に説明する。
図１は、本発明の洗浄装置の一例を示す概略説明図であり、枚葉式の洗浄装置である。本発明の洗浄装置１は、図１に示すように、洗浄液を供給する洗浄液供給手段２と、ノズル等の洗浄液を被洗浄基板９の中心に向けて吐出する洗浄液吐出手段３と、被洗浄基板９を保持する保持手段４と、保持手段４に保持された被洗浄基板９の周りを取り囲むように配置されたリング状の洗浄液分別回収手段５と、保持手段４の下部に配置され、被洗浄基板９を回転させる回転手段６と、洗浄液分別回収手段５に接続された洗浄液回収配管１２（１２ａ、１２ｂ）と、該洗浄液回収配管１２につながれた洗浄液回収槽１３（１３ａ、１３ｂ）と、ポンプ１４とから構成されている。また、被洗浄基板９を洗浄する時に用いるブラシ等を配置することも当然可能である。
図１から判るように、保持手段４や洗浄液分別回収手段５等は、チャンバー８内に配置されており、該チャンバー８内で被洗浄基板９を洗浄し、洗浄後の洗浄液を洗浄液分別回収手段５で分別回収するようになっている。
【００２８】
上記の回転手段６は、図１のように、被洗浄基板９のみを回転させるものとすることもできるし、逆に洗浄液分別回収手段５を回転させるものでも構わない。また、被洗浄基板９および洗浄液分別回収手段５をともに回転させるものとすることもでき、特に限定されない。
このような回転手段６を具備する洗浄装置１であっても、例えば洗浄時に被洗浄基板９を回転させ、被洗浄基板９より洗浄液が振り飛ばされても、洗浄液分別回収手段５に形成された洗浄液収集壁１６（図４参照）により、洗浄液分別回収手段５外に飛び散るのを防ぎ、確実に集めることが可能である。
また、本発明の洗浄装置１においては、上記の回転手段６は必須の構成要素ではなく、被洗浄基板９を単に保持手段４で保持し、洗浄時に被洗浄基板９が回転しない形態とすることもできる。
【００２９】
また、洗浄液を供給する供給配管７や、上記の洗浄液供給手段２、洗浄液吐出手段３、保持手段４、洗浄液回収配管１２、洗浄液回収槽１３、ポンプ１４等の各部も特に限定されるものではなく、材質、形態等、従来の洗浄装置と同様のものを用いることが可能である。
なお、ポンプ１４により洗浄液回収槽１３内の雰囲気を吸引し、その吸引により生じる圧力差を利用して洗浄液吸引孔１０（１０ａ、１０ｂ）、洗浄液回収配管１２を通して洗浄液を吸引するようになっているが、ポンプ１４を用いた他の方法でも構わない。ポンプ１４や洗浄液回収槽１３の数等も、洗浄液を効率良く回収できるよう適宜決定すれば良く、限定されるものではない。
【００３０】
ここで、洗浄液分別回収手段５の一例について図２〜４を用いて詳しく説明する。
図２は洗浄装置１を上から見た場合の洗浄液分別回収手段５の上面の概略図である。図３は図２に示される洗浄液分別回収手段５の洗浄液吸引孔の部分（円Ｅの部分）を拡大した図であり、図４（Ａ）、（Ｂ）は、それぞれ図３のＣ−ＣおよびＤ−Ｄにおける洗浄液分別回収手段５の断面図である。
【００３１】
図２のように、洗浄液分別回収手段５は保持手段４に保持された被洗浄基板９を取り囲むように配置されている。また、図４から判るように洗浄液分別回収手段５は、上部に、被洗浄基板９を洗浄した後の洗浄液の飛び散りを防止し、また、洗浄液を捕集するための洗浄液収集壁１６を有している。そして、洗浄液収集壁１６の下部には、洗浄後の洗浄液を吸引するための洗浄液吸引孔１０（１０ａ、１０ｂ）が複数形成されている。
【００３２】
上記の洗浄液収集壁１６において、保持手段４に保持された被洗浄基板９の洗浄面に対する角度は特に限定されないが、洗浄後の洗浄液の飛び散りを防止するのに適した傾きであると良い。図４に示すように、例えば被洗浄基板９の中心方向に鋭角か、または被洗浄基板９の洗浄面に対して垂直に形成されていれば、洗浄液が飛び散るのを効果的に防ぎ、効率良く洗浄液を集めることが可能である。例えば、１０〜９０°とするのが好ましい。
また、このような角度であれば、ポンプ１４を作動させた時に、洗浄液収集壁１６に囲まれた被洗浄基板９周囲の雰囲気を吸引しやすくなる。このため、例えば、上記の被洗浄基板９の雰囲気中に含まれるミスト化、ガス化した洗浄液をより効率良く吸引することができ、被洗浄基板９の洗浄液による再汚染の発生の防止につなげることができる。
【００３３】
また、洗浄液収集壁１６の下部の洗浄液吸引孔１０は、図４のように、洗浄液収集壁１６より洗浄液分別回収手段５の外周方向に水平に延びた後に上方向に段差を有している。このとき、図４（Ａ）に示すように、上記の段差後に、さらに水平に延びて、洗浄液分別回収手段５の側面に抜けるよう形成されていても良いし、また、図４（Ｂ）に示すように、段差の位置で垂直方向にそのまま延び、洗浄液分別回収手段５の上面に抜けるように形成されていても構わない。このような、段差を有するものであれば、洗浄液吸引孔１０に対応する吸引バルブ１１（１１ａ、１１ｂ）が閉のとき、段差より中に洗浄液が進入するのを防ぐことが可能である。
【００３４】
なお、上記の段差のようなトラップは、吸引バルブ１１が開のときにポンプ１４での洗浄液の吸引を妨げることなく、吸引バルブ１１を閉としたときにトラップより中への洗浄液の進入を防ぐことができれば良く、特に限定されるものではない。
また、洗浄液吸引孔１０の直径、形状、配置位置、数等も特に限定されず、吸引時に洗浄液収集壁１６で集められた洗浄後の洗浄液をスムーズに排出することができれば構わない。
【００３５】
次に、吸引バルブ１１について述べる。この吸引バルブ１１は、図１、４に示すように、各洗浄液吸引孔１０の出口に配設されており、また、吸引バルブ１１の開閉を自動制御するコンピュータ１５に接続されている。もちろん、複数の洗浄液吸引孔１０をまとめて１つの吸引バルブ１１を配置するようにしてもよい。
この吸引バルブ１１は、例えば各洗浄液吸引孔１０の途中に設けても良い。また、各洗浄液吸引孔１０に接続された洗浄液回収配管１２ごとに配設することも可能である。各洗浄液吸引孔１０から、洗浄液の吸引および吸引停止を切り替えることが可能であれば、吸引バルブ１１の配置位置やさらにはバルブの種類等は特に限定されない。
【００３６】
そして、各吸引バルブ１１は上記のようにコンピュータ１５につながっており、吸引バルブ１１の開閉を自動制御できるシステムとなっている。このようなシステムのため、コンピュータ１５からの信号により吸引バルブ１１の開閉の切り替えを自動で行うことができるので、被洗浄基板９を洗浄した後の洗浄液を正確なタイミングで所望の洗浄液吸引孔１０を通して吸引または吸引停止をすることが可能で、確実に分別して回収することができる。
【００３７】
上記のような本発明の洗浄装置１であれば、吸引バルブ１１の開閉を切り替えることにより、各吸引バルブ１１ａ、１１ｂに対応する洗浄液吸引孔１０ａ、１０ｂを通し、洗浄液収集壁１６により集められた洗浄後の洗浄液を、ポンプ１４で吸引または吸引停止することができるので、吸引のタイミングや洗浄液吸引孔を選択し、確実に、高精度で洗浄後の洗浄液を分別して回収することができる。また、吸引バルブ１１の開閉を切り替えるだけで洗浄液を分別回収できるので非常に簡便である。
また、洗浄液分別回収手段５は保持手段４に保持された被洗浄基板９を取り囲むように配設されており、洗浄後の洗浄液を被洗浄基板９から離れた直後に、洗浄液収集壁１６により集められた後、すぐに洗浄液吸引孔１０を通してポンプ１４で吸引し、回収することができるし、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や被洗浄基板９周囲のミスト化、ガス化した洗浄液を含む雰囲気を吸引することができるので、洗浄後の洗浄液により引き起こされる被洗浄基板９の再汚染を効果的に防止することが可能である。
【００３８】
次に、このような本発明の洗浄装置１を用い、被洗浄基板９を洗浄した後の洗浄液を分別して回収する方法について述べる。
まず、洗浄液を洗浄液供給手段により供給し、洗浄液吐出手段３から保持手段４により水平に保持された被洗浄基板９の表面の中心に向けて吐出する。この時、被洗浄基板９は回転手段６により回転している。また、洗浄液分別回収手段５は静止している。
【００３９】
吐出された洗浄液は被洗浄基板９の表面を洗浄するとともに、中心から外周方向へと広がり、被洗浄基板９の縁より振り飛ばされる。従来装置では、洗浄液はそのまま飛散するが、本発明では、ここで、洗浄液分別回収手段５の洗浄液収集壁１６によって、洗浄後の洗浄液が洗浄液分別回収手段５の外へ飛び散るのを防ぐとともに洗浄液を捕捉して収集する。
【００４０】
そして、洗浄時には、上記のように洗浄液を吐出して洗浄後の洗浄液を収集するとともに、ポンプ１４を作動させ洗浄液吸引孔１０ａに対応する吸引バルブ１１ａを開け、洗浄液吸引孔１０ａ、洗浄液回収配管１２ａを通して洗浄液を吸引して洗浄液回収槽１３ａに回収する。
この時、洗浄液吸引孔１０ｂに対応する吸引バルブ１１ｂは閉じられており、洗浄液吸引孔１０ｂを通して洗浄液は吸引回収されない。
【００４１】
次に、異なる洗浄液により洗浄を行う場合、同様にこの異なる洗浄液を洗浄液吐出手段３から被洗浄基板９に吐出し、洗浄し、洗浄液収集壁１６により洗浄後の異なる洗浄液を収集する。
この時、逆に吸引バルブ１１ａを閉じ、吸引バルブ１１ｂを開け、洗浄液吸引孔１０ｂ、洗浄液回収配管１２ｂを通して洗浄後の異なる洗浄液を吸引して洗浄液回収槽１３ｂに回収する。
なお、更に異なる洗浄液で被洗浄基板９を洗浄する時は、再び吸引バルブ１１ｂを閉じ、吸引バルブ１１ａを開けて、洗浄液吸引孔１０ａを通して洗浄液を吸引回収してもよいし、他に設けた洗浄液吸引孔から吸引するようにしてもよい。
【００４２】
なお、図１〜４に示すように、上記では２種類の形態の洗浄液吸引孔１０ａ、１０ｂを設けて、洗浄に使用する洗浄液が変わるごとに吸引バルブ１１ａと１１ｂの開閉を切り替えて、それぞれの吸引バルブ１１ａ、１１ｂが対応する洗浄液吸引孔１０ａまたは１０ｂから、洗浄液を吸引して回収しているが、このように吸引バルブ１１ａ、１１ｂを選択して開閉することにより、洗浄液ごとに吸引する洗浄液吸引孔１０ａ、１０ｂを分けるのではなく、全ての吸引バルブ１１を開けて、全ての洗浄液吸引孔１０から、収集された洗浄液を吸引し、その後吸引バルブ１１を一旦閉じ、例えば洗浄液吸引孔１０を通して吸引された洗浄液を回収する洗浄液回収槽１３を取り替え、その後に異なる洗浄液を吐出し、洗浄液収集壁１６で収集し、再度全ての吸引バルブ１１を開放し、全ての洗浄液吸引孔１０から異なる洗浄液を吸引回収しても良い。
【００４３】
また、逆に、例えば洗浄液吸引孔１０や対応する吸引バルブ１１等を更に多く備え、別の洗浄液用の回収経路を設け、洗浄液ごとに、洗浄液吸引孔１０から洗浄液回収槽１３まで、それぞれ独立した異なる経路で回収することもできる。
【００４４】
このように、本発明の洗浄液の分別回収方法であれば、一部または全ての吸引バルブ１１の開閉を切り替えるだけで、各吸引バルブ１１に対応する洗浄液吸引孔１０を通して、洗浄液収集壁１６により収集された洗浄液をポンプ１４で吸引または吸引停止し、洗浄液ごとに分けて回収することができるので、簡便で、精度良く分別回収することが可能である。
【００４５】
また、ポンプ１４で吸引して回収するので、洗浄液収集壁で集められた洗浄液や、ミスト化、ガス化した洗浄液を吸引して洗浄領域に進入するのを阻止し、被洗浄基板９を再汚染してしまうことを効果的に防止することができる。
【００４６】
そして、上述したように、洗浄液を吐出して被洗浄基板９を洗浄する時と、異なる洗浄液を吐出して洗浄する時とで、それぞれ異なる吸引バルブ１１を開ければ、洗浄液の切り替え前後で別々の洗浄液吸引孔１０を通して回収することができる。このため、例えば洗浄液回収槽１３まで一貫して異なる経路を通して回収することができるので、洗浄液吸引孔１０内等で異なる種類の洗浄液が混ざることにより分別の精度が低下するようなことがない。従って、より高精度に分別回収することが可能である。
【００４７】
なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明の洗浄装置の一例を示す概略説明図である。
【図２】洗浄液分別回収手段の上面を示す概略図である。
【図３】洗浄液吸引孔を示す拡大説明図である。
【図４】図３の（Ａ）洗浄液分別回収手段のＣ−Ｃにおける断面図である。（Ｂ）洗浄液分別回収手段のＤ−Ｄにおける断面図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…本発明の洗浄装置、  ２…洗浄液供給手段、  ３…洗浄液吐出手段、
４…保持手段、  ５…洗浄液分別回収手段、  ６…回転手段、  ７…供給配管、
８…チャンバー、  ９…被洗浄基板、  １０、１０ａ、１０ｂ…洗浄液吸引孔、
１１、１１ａ、１１ｂ…吸引バルブ、  １２、１２ａ、１２ｂ…洗浄液回収配管、
１３、１３ａ、１３ｂ…洗浄液回収槽、  １４…ポンプ、  １５…コンピュータ、
１６…洗浄液収集壁。
【図１】
2007053274.tif 000003
【図２】
2007053274.tif 000004
【図３】
2007053274.tif 000005
【図４】
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