(57)【要約】【課題】限外濾過装置から取外した状態の、濾液流量が低下した限外濾過モジュールを、確実に洗浄して再使用を可能にする限外濾過モジュールの洗浄装置を提供する。【解決手段】純水からなる第１洗浄液を貯留する第１貯槽１１と、カルボン酸の水溶液からなる第２洗浄液を貯留する第２貯槽１２と、無機酸または無機塩基の水溶液からなる第３洗浄液を貯留する第３貯槽１３と、排液槽１４と、ポンプとフィルタとをそなえ前記各洗浄液の中から選ばれた洗浄液を限外濾過モジュール６０の原液流路内に送給する給液手段と、限外濾過モジュールの原液流路を流過した第１洗浄液を排液槽に、第２洗浄液を第２貯槽に、第３洗浄液を第３貯槽に、それぞれ導入する洗浄液流出路３０と、限外濾過モジュールの濾液出口から流出する第１洗浄液の濾液を排液槽に、第２洗浄液の濾液を第２貯槽に、第３洗浄液の濾液を第３貯槽に、それぞれ導入する濾液流路４０とを具備した。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
限外濾過装置から取外した状態の限外濾過モジュールを洗浄する限外濾過モジュールの洗浄装置であって、
純水からなる第１洗浄液を貯留する第１貯槽と、
カルボン酸の水溶液からなる第２洗浄液を貯留する第２貯槽と、
無機酸または無機塩基の水溶液からなる第３洗浄液を貯留する第３貯槽と、
排液を貯留する排液槽と、
前記限外濾過モジュールの原液流入口に着脱自在に接続されるとともに前記各貯槽に接続され、ポンプとフィルタとをそなえ前記各洗浄液の中から選ばれた洗浄液を前記限外濾過モジュールの原液流路内に送給する給液手段と、
前記限外濾過モジュールの原液流出口に着脱自在に接続され該限外濾過モジュールの原液流路を流過した第１洗浄液を排液槽に、第２洗浄液を第２貯槽に、第３洗浄液を第３貯槽に、それぞれ導入する洗浄液流出路と、
前記限外濾過モジュールの濾液出口に着脱自在に接続され該濾液出口から流出する第１洗浄液の濾液を排液槽に、第２洗浄液の濾液を第２貯槽に、第３洗浄液の濾液を第３貯槽に、それぞれ導入する濾液流路とを、
具備したことを特徴とする限外濾過モジュールの洗浄装置。
【請求項２】
前記給液手段が、洗浄液流に脈動を発生させる脈動発生器をそなえていることを特徴とする請求項１記載の限外濾過モジュールの洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、電着塗装装置において用いられる限外濾過モジュールの洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
電着塗装装置においては、電着槽の電着塗料の一部をポンプにより限外濾過装置に供給して限外濾過モジュールの濾過膜により濾過し、濾液を水洗槽に送給して被塗面に付着した余剰塗料を回収してオーバーフロー槽に戻し、濃縮塗料もオーバーフロー槽に戻すことにより、電着塗料の回収をおこなっている。
【０００３】
このような電着塗装装置においては、塗料回収率や濾液品質の維持のためには、限外濾過モジュールの濾過性能、特に濾液流量（濾過流量）を安定値に維持する必要があるが、濾過時間の経過に伴い限外濾過モジュールの濾過膜（以下単に濾過膜という）においては、樹脂や顔料の付着，炭酸鉛やリン酸鉛の結晶析出などにより目づまりを生じ、濾液流量の低下は避けられない。
【０００４】
そこでこの濾過膜の目づまり防止のために、限外濾過装置の一時休止時に限外濾過装置の原液側にカルボン酸（有機カルボン酸）の水溶液を加圧封入する膜処理方法（たとえば特許文献１参照）や、限外濾過モジュールを濾液で逆洗洗浄後、純水で逆洗洗浄する洗浄方法（たとえば特許文献２参照）などが提案されている。
【特許文献１】特開平４−３５８０９７号公報（第２−３頁、図１−図２）
【特許文献２】特開平９−７５６８５号公報（第２−４頁、図１、図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが上記の特許文献１記載の方法では、限外濾過装置は定期的（たとえば２４時間ごと）に休止させる必要があり、さらに上記加圧封入されたカルボン酸は上記休止後の電着塗装開始時に電着槽に流入してカチオン塗料中の酸成分濃度を変化させ塗装品質に悪影響を及ぼす。また上記の特許文献２に記載の方法では、３０分毎に１分間などのひんぱんな酢酸による逆洗洗浄が必要であり、このときの酢酸はオーバーフロー槽に送り込まれ、また長期間ライン停止時には濾液で逆洗洗浄後の純水による逆洗洗浄時に純水がオーバーフロー槽に送り込まれるので、上記と同様な塗料中の酸成分濃度を変化させるという問題点を有する。
【０００６】
また一般に電着塗装装置は、休日以外は長時間のライン停止はおこなわれず、平日は２４時間連続稼働しているケースが多いので、上記のような限外濾過装置のひんぱんな休止は不可能であり、このため短期間で濾過膜の目づまりにより濾液流量が低下して限外濾過モジュールの交換が必要となる。またたとえ上記のような限外濾過装置のひんぱんな休止のもとで酢酸封入や逆洗などをおこなっても、濾液流量が経時的に低下していくことは避けられず、たとえば６カ月後や１年後には濾液流量が初期流量に比べて大巾に低下していくことは、上記両特許文献の実施例データからも明らかであり、使用期間の経過により限外濾過モジュールは交換が必要となる。そして上記のような濾液流量の低下した限外濾過モジュールは、従来は廃棄して新品と交換するより他なかったので、限外濾過装置の保守費用がかさみ、不経済であった。
【０００７】
この発明は上記従来の問題点を解決しようとするもので、限外濾過装置をそなえた電着塗装ラインのひんぱんな休止や長期停止が不要であり、電着槽への酸や純水の混入がなく、使用期間の経過により濾液流量が低下した限外濾過モジュールを確実に洗浄して再使用を可能にする限外濾過モジュールの洗浄装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１記載の限外濾過モジュールの洗浄装置は、限外濾過装置から取外した状態の限外濾過モジュールを洗浄する限外濾過モジュールの洗浄装置であって、純水からなる第１洗浄液を貯留する第１貯槽と、カルボン酸の水溶液からなる第２洗浄液を貯留する第２貯槽と、無機酸または無機塩基の水溶液からなる第３洗浄液を貯留する第３貯槽と、排液を貯留する排液槽と、前記限外濾過モジュールの原液流入口に着脱自在に接続されるとともに前記各貯槽に接続され、ポンプとフィルタとをそなえ前記各洗浄液の中から選ばれた洗浄液を前記限外濾過モジュールの原液流路内に送給する給液手段と、前記限外濾過モジュールの原液流出口に着脱自在に接続され該限外濾過モジュールの原液流路を流過した第１洗浄液を排液槽に、第２洗浄液を第２貯槽に、第３洗浄液を第３貯槽に、それぞれ導入する洗浄液流出路と、前記限外濾過モジュールの濾液出口に着脱自在に接続され該濾液出口から流出する第１洗浄液の濾液を排液槽に、第２洗浄液の濾液を第２貯槽に、第３洗浄液の濾液を第３貯槽に、それぞれ導入する濾液流路とを、具備したことを特徴とする。
【０００９】
この発明において、カルボン酸としては、酢酸，ギ酸，グリコール酸，乳酸等を用いることができる。また無機酸または無機塩基としては、硝酸，塩酸，水酸化ナトリウム，アンモニア等を用いることができる。
【００１０】
請求項１記載の発明によれば、限外濾過モジュールから取外した状態の限外濾過モジュールを、その原液流入口，原液流出口，濾液出口に給液手段，洗浄液流出路，濾液流路をそれぞれ接続して洗浄するので、限外濾過装置をそなえた電着塗装ラインのひんぱんな休止や長期停止が不要である。また洗浄後の限外濾過モジュールは上記接続を解除し、内部の洗浄液を排液した状態で限外濾過装置へ組込んで再使用でき、洗浄による電着槽への酸や純水の混入がない。そして第１〜第３貯槽から給液手段より限外濾過モジュールの原液流路内に送給される第１〜第３洗浄液による３種類の各洗浄工程の組合せ、および洗浄時間の選定（限外濾過装置から取外した状態なので、長時間の洗浄が可能）によって、濾過膜に付着した樹脂や顔料および炭酸鉛やリン酸鉛などの金属化合物を充分除去して、所定の濾液流量を有する限外濾過モジュールとして再生し、再使用可能な限外濾過モジュールを得ることができる。
【００１１】
この発明において給液手段は、ポンプとしてたとえばベーンポンプなどの吐出液の脈動の少ないタイプのポンプを用い洗浄液を脈動の少ない状態で送給するものとしてもよいが、請求項２記載の発明のように、前記給液手段が、洗浄液流に脈動を発生させる脈動発生器をそなえている構成とすれば、洗浄液は脈動のある流通状態で限外濾過モジュールの原液流路内を流過するとともにその一部は脈動流として濾過膜を通過するので、この脈動により限外濾過モジュールの濾過膜に強固に付着した樹脂や顔料などの堆積物や炭酸鉛やリン酸鉛などの金属化合物を効率よく分離・除去することができる。
【００１２】
この脈動発生器としては、ポンプとして前述の吐出液の脈動の少ないタイプのポンプを用いる場合は、このポンプに直列に接続され洗浄液流を断続的に開閉する電磁開閉弁などを用いることができ、またポンプを吐出液の脈動の大きいダイヤフラム式ポンプを用いて、脈動発生器を兼ねさせる構成としてもよい。
【発明の効果】
【００１３】
この発明によれば、限外濾過装置をそなえた電着塗装ラインのひんぱんな休止や長期停止が不要であり、電着槽への酸や純水の混入がなく、使用期間の経過により濾液流量が低下した限外濾過モジュールを確実に洗浄して、再使用可能な限外濾過モジュールを得ることができる。
【００１４】
上記の効果に加えて、請求項２記載の発明によれば、洗浄液流に生じる脈動によって、限外濾過モジュールの濾過膜に強固に付着した樹脂や炭酸鉛などの金属化合物を、効率よく分離・除去することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図１〜図３に示す第１例により、この発明の実施の形態を説明する。図１は、図示しない限外濾過装置から取外した限外濾過モジュール６０を接続した状態の、洗浄装置１０を示し、１１は第１洗浄液である純水１を貯留する第１貯槽、１２は第２洗浄液である酢酸水溶液２を貯留する第２貯槽、１３は第３洗浄液である希硝酸水溶液３を貯留する第３貯槽である。また１４は排液を貯留する排液槽である。また１５は純水製造装置、１６は第１貯槽１１への純水供給あるいは補給時に開弁する開閉弁である。
【００１６】
２０は、各貯槽と限外濾過モジュール６０を接続する洗浄液供給路で、三つに分岐した各基端部は、開閉弁２１ａ，２１ｂ，２１ｃを介して第１貯槽１１，第２貯槽１２，第３貯槽１３に、それぞれ接続されている。洗浄液供給路２０の中間部にはポンプ２２とフィルタ２３とが直列に設けられ、フィルタ２３から限外濾過モジュール６０の原液流入口６３ａに至る流路部分は、一部が並列状の二つの流路２０Ａ，２０Ｂに分岐し、流路２０Ａには開閉弁２４ａが、流路２０Ｂには開閉弁２４ｂと脈動発生器である電磁開閉弁２５が設けてある。
【００１７】
また３０は、基端部が限外濾過モジュール６０の原液流出口６３ｂに接続された洗浄液流出路で、その先端側部分は三つに分岐し、一つの分岐流路３１は開閉弁３２ａを経てその先端は排液槽１４の液面上に開口し、他の二つの分岐流路は開閉弁３２ｂ，３２ｃを経て第２貯槽１２，第３貯槽１３の各液面上に開口している。３３は限外濾過モジュール６０の近傍部に設けた開閉弁である。
【００１８】
次に４０は、基端部が限外濾過モジュール６０の濾液出口６７に接続された濾液流路で、三つの流路４１，４２，４３に分岐し、流路４１の先端部は排液槽１４の液面上に、流路４２，４３の先端部は第２貯槽１２，第３貯槽１３の各液面上に、それぞれ開口している。４４ａ，４４ｂ，４４ｃは、各流路４１，４２，４３に設けた開閉弁である。
【００１９】
また５１は、フィルタ２３の出口側と洗浄液流出路３０とを接続する排液路、５２は開閉弁である。また５３，５４は洗浄液供給路２０と分岐流路３１とを接続する排液路、５５ａ，５５ｂは開閉弁であり、５６，５７は流路２０Ｂと分岐流路３１とを接続する排液路、５８ａ，５８ｂは開閉弁である。
【００２０】
次に図２は、上記の洗浄液供給路２０、洗浄液流出路３０、および濾液流路４０の、限外濾過モジュール６０との接続部の構成を示す。先ずこの例の限外濾過モジュール６０は、円筒状のケーシング６１内に多数本の細管状の濾過膜６２を充填して成り、そのケーシング６１の上下端部に形成された原液流入口６３ａおよび原液流出口６３ｂは、図２に鎖線で略示する短円筒状のカップリング６４ａ，６４ｂを介して、図示しない限外濾過装置の原液流路に接続される構造となっている。
【００２１】
そこでこの限外濾過装置から取外した限外濾過モジュール６０の大きく開口する原液流入口６３ａおよび原液流出口６３ｂを洗浄装置１０の洗浄液流路に組込むため、この例では、先ず洗浄液供給路２０の先端部を、円板状の蓋板２６に設けた給液口２６ａにホース２７の先端部をねじ込んだ構成（ホース基端部は洗浄液供給路２０の図示しない鋼管部に接続）とした。そして蓋板２６の外周部に形成した傾斜面部と、ケーシング６１下端のフランジ部６５の傾斜面部とに内周面が嵌脱される二つ割状のリング２８ａ（図３参照）とボルト２８ｂとから成る連結具２８を用い、図３に示すようにボルト２８ｂの締付けにより、蓋板２６（従って洗浄液供給路２０）をケーシング６１の下端（従って原液流入口６３ａ）に接続し、ボルト２８ｂをゆるめリング２８ａを取外すことにより蓋板２６（洗浄液供給路２０）とケーシング６１（原液流入口６３ａ）との接続を解除するようにした。２９はシール用のＯリングである。
【００２２】
また洗浄液流出路３０の原液流出口６３ｂとの接続構造も、上記と同様に洗浄液流出路３０の基端部を、蓋板２６と同形状の蓋板３６に設けた排液口３６ａにホース３７の基端部をねじ込んだ構成とし、上記と同じ連結具２８を用いて蓋板３６部をケーシング６１上端のフランジ部６６に着脱することにより、洗浄液流出路３０を原液流出口６３ｂに着脱自在に接続するようにしたものである。
【００２３】
また濾液流路４０に関しては、この例ではケーシング６１の側方に２個ある濾液出口６７のひとつはキャップ６８により閉鎖し、上側の濾液出口６７に、濾液流路４０の基部に設けたホース４５を着脱自在に接続する構成としてある。
【００２４】
次に上記構成の洗浄装置１０による洗浄方法を説明する。先ず図示しない電着塗装ラインに組込まれた限外濾過装置から、濾液流量の低下により取外された限外濾過モジュール６０に対して、図２に示すようにその原液流入口６３ａに蓋板２６を取付け、原液流出口６３ｂに蓋板３６を取付け、濾液出口６７にホース４５を接続することにより、限外濾過モジュール６０を洗浄装置１０内に組込む（…モジュール組込工程）。そしてこの組込状態において限外濾過モジュール６０は、洗浄装置１０の架台部に設けた図示しないクランプ具などによりそのケーシング６１部を保持して、長手方向を所定の方向（この例では上下方向）に向けた状態で、所定位置に保持しておく。
【００２５】
次に下記の（１），（２）の工程から成る第１洗浄工程を実施する。
（１）水洗工程
図１において開閉弁２１ａ，２４ａ，３３，３２ａ，４４ａを開き、他の開閉弁は閉じた状態で、ポンプ２２を運転する。これによって第１貯槽１１の純水１は、洗浄液供給路２０を流れてフィルタ２３を経て限外濾過モジュール６０の原液流入口６３ａに流入し、原液流路を流通し原液流出口６３ｂを流出した純水１は、洗浄液流出路３０の分岐流路３１を経て排液槽１４へ流入する。また原液流路内を流れる純水１の一部は濾過膜６２を通過して濾液出口６７から流路４１を経て排液槽１４へ流入する。
【００２６】
上記の限外濾過モジュール６０内の純水１の流通により、濾過膜６２の内面側を流通する純水１によって、該内面側に比較的剥離しやすい形で付着した塗料構成材である樹脂や顔料が分離・除去されて、原液流出口６３ｂから流出し排液槽１４内に流入し、このようにして濾過膜６２の予備洗浄がおこなわれれる。なお上記の第１貯槽１１の純水１内に粉粒物が混在している場合でも、この混在物はフィルタ２３により捕集され、限外濾過モジュール６０内へ流入することはない。
【００２７】
（２）水抜き工程
上記水洗工程（１）を所定時間（たとえば５分間）おこなったのちポンプ２２を停止し、開閉弁５５ａ，５５ｂ，２４ｂ，５８ａ，５８ｂを開き、他の開閉弁は閉じた状態とすれば、洗浄液供給路２０，洗浄液流出路３０，流路４１の各配管内、およびフィルタ２３，限外濾過モジュール６０の各機器内の純水１は、排液槽１４へ自重により流入し、水抜きされる。
【００２８】
次に下記の（３）〜（６）の工程から成る第２洗浄工程を実施する。
（３）酢酸洗浄工程
開閉弁２１ｂ，２４ａ，３３，３２ｂ，４４ｂを開き、他の開閉弁は閉じた状態で、ポンプ２２を運転する。これによって第２貯槽１２の酢酸水溶液２は、洗浄液供給路２０を経て限外濾過モジュール６０内を流れ、洗浄液流出路３０を経て第２貯槽１２に戻るという循環流が形成され、また濾過膜６２を通過した一部の酢酸水溶液２は、流路４２を経て第２貯槽１２へと還流される。
【００２９】
上記の限外濾過モジュール６０内の酢酸水溶液２の流通により、濾過膜６２の内面側を流通する酢酸水溶液２によって該内面側に付着した樹脂や顔料が、その一部が酢酸水溶液２に溶解する形で分離・除去されて、流路４２を経て第２貯槽１２へと還流される。また濾過膜６２を通過して濾過膜６２の膜内や外面側に付着した樹脂や顔料の溶解乃至微細成分を含む酢酸水溶液２も、流路４２を経て第２貯槽１２へと還流される。そしてこれらの還流成分のうち粉粒状のものは、第２貯槽１２の酢酸水溶液２と共に再度洗浄液供給路２０を通って限外濾過モジュール６０へ供給される際に、フィルタ２３により捕集されるので限外濾過モジュール６０内に流入することはなく、限外濾過モジュール６０の清浄化は進行する。
【００３０】
そしてさらに、濾過膜６２の目づまりの程度などに応じて、上記の酢酸洗浄工程中の所定の時間帯（たとえば洗浄工程の前期，中期，または後期、あるいは全時間帯）にわたって、開閉弁２４ａを閉じ、開閉弁２４ｂを開いた状態として、電磁開閉弁２５を所定の時間間隔で短時間閉じる開閉操作（たとえば５秒間隔で１秒間、閉弁）をおこなう。これによって限外濾過モジュール６０内に供給される酢酸流に脈動が生じ、濾過膜６２に強固に付着した樹脂や顔料などの堆積物や炭酸鉛やリン酸鉛などの金属化合物を、効率よく分離・除去して第２貯槽１２へ送出することができる。
【００３１】
（４）酢酸回収工程
上記の酢酸洗浄工程においては、流路４２から第２貯槽１２の液面上へ流下する酢酸水溶液２を随時メスシリンダなどに受けるなどして、その流量（濾液流量に相当）を計測し、所定の濾液流量が得られたら、酢酸洗浄工程を終了する。濾過膜６２の目づまり状態やポンプ２２の吐出流量などにもよるが、通常たとえば１〜７０時間程度の酢酸洗浄により、目づまり状態にあった限外濾過モジュール６０を、所定の濾液流量を有する再使用可能な状態とすることができる。そこで酢酸回収のためにポンプ２２を停止し、開閉弁３２ｂ，５２，２４ａ，３３を開き、他の開閉弁を閉じた状態とすれば、洗浄液流出路３０やフィルタ２３，限外濾過モジュール６０内の酢酸水溶液２は、第２貯槽１２内に回収でき、その後さらに開閉弁５５ａ，５５ｂ，２４ｂ，５８ａ，５８ｂ等を開けば、他の配管内の酢酸水溶液２を排液槽１４内に排出することができる。
【００３２】
（５）水洗工程
上記酢酸回収工程の次に、前記第１洗浄工程の水洗工程（１）と同操作をおこなうことにより、限外濾過モジュール６０内を流通する純水１により濾過膜６２等のモジュール内部が水洗されて酢酸分は除去される。
【００３３】
（６）水抜き工程
次に前記第１洗浄工程の水抜き工程（２）と同操作をおこなうことにより、限外濾過モジュール６０内は水抜きされる。
【００３４】
そこで前記の最初のモジュール組込工程とは逆の手順で、ホース付きの蓋板２６，３６を限外濾過モジュール６０の原液流入口６３ａおよび原液流出口６３ｂから取外し、濾液出口６７からホース４５を取外せば、このモジュール取外し工程をもって１個の限外濾過モジュール６０の洗浄工程は終了するので、未洗浄の各限外濾過モジュール６０に対して上記と同工程を繰返せばよい。得られた限外濾過モジュール６０の洗浄済品は、濾液流量が回復した再生品として、限外濾過装置に組込んで再使用に供することができる。
【００３５】
次に限外濾過モジュール６０の濾過膜６２の目づまりの程度や、目づまり物質の種類などにより、上記の酢酸水溶液２による洗浄によっても濾過性能の回復が不充分な場合の洗浄方法について説明する。すなわち、上記のモジュール組込工程、第１洗浄工程を経て第２洗浄工程の酢酸洗浄工程（３）を所定時間実施しても、濾過性能の回復が不充分で所定の濾液流量が得られない場合は、第２洗浄工程の終了後に、下記の（７）〜（１０）の工程から成る第３洗浄工程を実施する。
【００３６】
（７）希硝酸洗浄工程
開閉弁２１ｃ，２４ａ，３３，３２ｃ，４４ｃを開き、他の開閉弁は閉じた状態で、ポンプ２２を運転する。これによって第３貯槽１３の希硝酸水溶液３は、洗浄液供給路２０を経て限外濾過モジュール６０内を流れ洗浄液流出路３０を経て第３貯槽１３に戻るという循環流が形成され、また濾過膜６２を通過した一部の希硝酸水溶液３は、流路４３を経て第３貯槽１３へと還流される。
【００３７】
上記の限外濾過モジュール６０内の希硝酸水溶液３の流通により、濾過膜６２の内面側を流通する希硝酸水溶液３によって該内面側に付着した樹脂や顔料および炭酸鉛やリン酸鉛などの金属化合物が、希硝酸水溶液３にほぼ溶解する形で分離・除去されて、流路４３を経て第３貯槽１３へと還流される。また濾過膜６２を通過して濾過膜６２の膜内や外面側に付着した樹脂や顔料および上記金属化合物を溶解した希硝酸水溶液３も、流路４３を経て第３貯槽１３へと還流される。そしてこれらの還流成分のうち粉粒状のものは、第３貯槽１３の希硝酸水溶液３と共に再度洗浄液供給路２０を通って限外濾過モジュール６０へ供給される際に、フィルタ２３により捕集されるので限外濾過モジュール６０内に流入することはなく、限外濾過モジュール６０の清浄化は進行する。
【００３８】
そしてさらに濾過膜６２の目づまりの程度などに応じて、前記酢酸洗浄工程時と同様に、上記の希硝酸洗浄工程中の所定の時間帯に、開閉弁２４ａを閉じ開閉弁２４ｂを開いた状態で電磁開閉弁２５の開閉操作をおこなって、希硝酸流に脈動を生じさせることにより、主として炭酸鉛などの金属化合物を濾過膜６２から効率よく分離・除去でき、また濾過膜６２の内面側から外面側へ流通する濾過流にも脈動が付与されるので濾過膜６２の膜内および濾過膜６２の外面側に付着した金属化合物の除去も効率的におこなうことができるのである。
【００３９】
（８）希硝酸回収工程
上記の希硝酸洗浄工程においても、流路４３から第３貯槽１３の液面上へ流下する希硝酸水溶液３を随時メスシリンダなどに受けるなどして、その流量（濾液流量に相当）を計測し、所定の濾液流量が得られたら、希硝酸洗浄工程を終了する。濾過膜６２の目づまり状態やポンプ２２の吐出流量などにもよるが、通常たとえば１〜２４時間程度の希硝酸洗浄により、金属化合物等による重度の目づまり状態にあった限外濾過モジュール６０も、所定の濾液流量を有する再使用可能な状態とすることができる。そこで希硝酸回収のためにポンプ２２を停止し、開閉弁３２ｃ，５２，２４ａ，３３を開き、他の開閉弁を閉じた状態とすれば、洗浄液流出路３０やフィルタ２３，限外濾過モジュール６０内の希硝酸水溶液３は、第３貯槽１３内に回収でき、その後さらに開閉弁５５ａ，５５ｂ，２４ｂ，５８ａ，５８ｂ等を開けば、他の配管内の希硝酸水溶液３を排液槽１４内に排出することができる。
【００４０】
（９）水洗工程
上記希硝酸回収工程の次に、前記第１洗浄工程の水洗工程（１）と同操作をおこなうことにより、限外濾過モジュール６０内を流通する純水１により濾過膜６２等のモジュール内部が水洗されて希硝酸分は除去される。
【００４１】
（１０）水抜き工程
次に前記第１洗浄工程の水抜き工程（２）と同操作をおこなうことにより、限外濾過モジュール６０内は水抜きされる。
【００４２】
そこで前記の最初のモジュール組込工程とは逆の手順で、ホース付きの蓋板２６，３６を限外濾過モジュール６０の原液流入口６３ａおよび原液流出口６３ｂから取外し、濾液出口６７からホース４５を取外せば、このモジュール取外し工程をもって１個の限外濾過モジュール６０の希硝酸洗浄を含めた洗浄工程は終了するので、未洗浄の各限外濾過モジュール６０に対して上記と同工程を繰返せばよい。得られた限外濾過モジュール６０の洗浄済品は、濾液流量が回復した再生品として、限外濾過装置に組込んで再使用に供することができる。
【００４３】
上記の各洗浄工程において、限外濾過モジュール６０に送給された酢酸水溶液２および希硝酸水溶液３は、洗浄液流出路３０と流路４２，４３を経て第２貯槽１２および第３貯槽１３にそれぞれ還流されて循環使用されるので、これらの洗浄液の消費量は少なくて済み経済的である。また純水１の使用により第１貯槽１１の貯液量が減少したら、純水製造装置１５から随時純水１の補給をおこなう。なおこの純水製造装置１５は、洗浄装置１０専用のものを用いてもよいし、たとえば電着塗装ラインなど、別設備に設けた純水製造装置や純水供給管路からの純水を、本洗浄装置１０の純水１として使用するようにしてもよい。また排液槽１４内に貯留される排液は、随時排水処理後、廃棄すればよい。
【００４４】
次に図４は、この発明の実施の形態の第２例を示し、前記第１例に比べて限外濾過モジュール７０のタイプが異なるものであり、原液流入口７１ａおよび原液流出口７１ｂがケーシングの側部に設けられ、濾液出口７２がケーシングの頂部に設けられている。このため洗浄液供給路２０の先端部と原液流入口７１ａとの接続部、および洗浄液流出路３０の基端部と原液流出口７１ｂとの接続部は、前記第１例のような蓋板２６，３６を用いずに、第１例のホース４５と同様な図示しないホースにより着脱自在に接続する構成とし、又濾液流路４０は第１例と同様に図示しないホースにより頂部の濾液出口７２に着脱自在に接続したものである。
【００４５】
その他の洗浄装置の構成は洗浄装置１０と同じであるので、同一部分には同一符号を付して図示し、それらの部分の詳細な説明は省略する。そして限外濾過モジュール７０の洗浄は、モジュール組込工程およびモジュール取外し工程時の作業が異なるだけで、他の工程は全て第１例と同様におこなうことにより、第１例と同様に限外濾過モジュール７０の洗浄をおこなうことができるのである。
【００４６】
この発明は上記の各例に限定されるものではなく、たとえばフィルタ２３をポンプ２２の吐出側ではなく吸込口側の管路に設けたり、排液路５１，５３，５４，５６，５７やそれらに設けた開閉弁を省略するなど、洗浄装置１０の各機器の具体的構成や配置などは上記以外のものとしてもよい。また対象とする限外濾過モジュールの濾過膜の目づまりの程度等によっては、脈動発生器（上記の例では電磁開閉弁２５）は省略してもよいし、あるいはこれとは逆にポンプ２２をダイヤフラムポンプなどの脈動流発生形式のものとして、常に脈動発生をおこないつつ洗浄液の送給をおこなうようにしてもよい。
【００４７】
また第２洗浄液および第３洗浄液としては、上記の酢酸水溶液および希硝酸水溶液以外のものを用いてもよく、さらに第１〜第３洗浄液を用いておこなう限外濾過モジュールの洗浄は、上記の各工程の組合わせ以外の工程でおこなってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】この発明の実施の形態の第１例を示す洗浄装置の機器系統図である。
【図２】図１における限外濾過モジュールの接続構造を示す要部断面図である。
【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】この発明の実施の形態の第２例を示す洗浄装置の部分系統図である。
【符号の説明】
【００４９】
１…純水（第１洗浄液）、２…酢酸水溶液（第２洗浄液）、３…希硝酸水溶液（第３洗浄液）、１０…洗浄装置、１１…第１貯槽、１２…第２貯槽、１３…第３貯槽、１４…排液槽、２０…洗浄液供給路、２１ａ…開閉弁、２１ｂ…開閉弁、２１ｃ…開閉弁、２２…ポンプ、２３…フィルタ、２５…電磁開閉弁（脈動発生器）、２６…蓋板、２７…ホース、２８…連結具、３０…洗浄液流出路、３１…分岐流路、３２ａ…開閉弁、３２ｂ…開閉弁、３２ｃ…開閉弁、３６…蓋板、３７…ホース、４０…濾液流路、４１…流路、４２…流路、４３…流路、４４ａ…開閉弁、４４ｂ…開閉弁、４４ｃ…開閉弁、４５…ホース、６０…限外濾過モジュール、６１…ケーシング、６２…濾過膜、６３ａ…原液流入口、６３ｂ…原液流出口、６７…濾液出口、７０…限外濾過モジュール、７１ａ…原液流入口、７１ｂ…原液流出口、７２…濾液出口。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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