(57)【要約】【課題】検査対象となる製品に対応する検査図を選び出す作業には、多くの工数が必要であり、検査者にとって多大な負担となっていた。【解決手段】検索システム１は、記憶部１０、入力受付部２０、検索部３０、表示部４０、および作成部５０を備えている。記憶部１０は、特性検査図を記憶する記憶手段である。特性検査図は、チップ位置情報、電極位置情報、および検査順序情報を含む。入力受付部２０は、上記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの識別情報の入力を受け付ける入力受付手段である。検索部３０は、入力受付部２０から入力された識別情報と関連付けられた特性検査図を、記憶部１０に記憶された特性検査図の中から検索する検索手段である。表示部４０は、検索部３０により検索された特性検査図を表示する表示手段である。【選択図】図１
2007134623.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索するシステムであって、
複数の半導体チップのそれぞれについて、前記各半導体チップのウエハ内での配置を表すチップ位置情報と、前記各半導体チップに含まれるトランジスタのうち検査対象となる複数のトランジスタの電極の当該半導体チップ内での配置を表す電極位置情報と、検査対象となる前記複数のトランジスタについての検査順序を表す検査順序情報とを含む特性検査図を、前記各半導体チップを識別する識別情報と関連付けて記憶する記憶手段と、
前記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの前記識別情報の入力を受け付ける入力受付手段と、
前記入力受付手段から入力された前記識別情報と関連付けられた前記特性検査図を、前記記憶手段に記憶された前記特性検査図の中から検索する検索手段と、
前記検索手段により検索された前記特性検査図を表示する表示手段と、
を備えることを特徴とする特性検査図の検索システム。
【請求項２】
請求項１に記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記入力受付手段は、バーコード読み取り機を有する特性検査図の検索システム。
【請求項３】
請求項１または２に記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記記憶手段および前記表示手段は、相異なる端末装置に設けられている特性検査図の検索システム。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記特性検査図を電子データとして作成する作成手段を備える特性検査図の検索システム。
【請求項５】
請求項４に記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記作成手段は、イメージスキャナを有する特性検査図の検索システム。
【請求項６】
請求項４または５に記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記記憶手段、前記表示手段および前記作成手段は、相異なる端末装置に設けられている特性検査図の検索システム。
【請求項７】
請求項１乃至６いずれかに記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記チップ位置情報は、前記各半導体チップの前記ウエハ内での配置を図示したものである特性検査図の検索システム。
【請求項８】
請求項１乃至７いずれかに記載の特性検査図の検索システムにおいて、
前記電極位置情報は、検査対象となる前記複数のトランジスタの電極の前記各半導体チップ内での配置を図示したものである特性検査図の検索システム。
【請求項９】
半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索する方法であって、
複数の半導体チップのそれぞれについて、前記各半導体チップのウエハ内での配置を表すチップ位置情報と、前記各半導体チップに含まれるトランジスタのうち検査対象となる複数のトランジスタの電極の当該半導体チップ内での配置を表す電極位置情報と、検査対象となる前記複数のトランジスタについての検査順序を表す検査順序情報とを含む特性検査図を、前記各半導体チップを識別する識別情報と関連付けて記憶手段に記憶させる記憶ステップと、
前記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの前記識別情報の入力を受け付ける入力受付ステップと、
前記入力受付ステップにおいて入力された前記識別情報と関連付けられた前記特性検査図を、前記記憶手段に記憶された前記特性検査図の中から検索する検索ステップと、
前記検索ステップにおいて検索された前記特性検査図を表示する表示ステップと、
を含むことを特徴とする特性検査図の検索方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索するシステムおよび方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の特性を検査するためには特性検査図が必要である。従来、特性検査図は、検査者に対して、紙媒体として配布されるのみであった。
【０００３】
図９は、従来の特性検査工程の一例を示すフローチャートである。まず、技術部門において特性検査図が紙媒体として作成され（Ｓ１０１）、その複写が特性検査部門に配布される（Ｓ１０２）。すると、特性検査部門において、配布された特性検査図が製品群毎に整理された上で保管される（Ｓ１０３）。その後、特性検査が行われるときには、検査者は、検査対象となる製品（半導体チップ）に対応する特性検査図を人手で検索する（Ｓ１０４）。そして、検査者は、検索された特性検査図を見て特性検査を行う（Ｓ１０５）。
【０００４】
なお、本発明に関連する先行技術文献として、特許文献１が挙げられる。同文献には、ウエハ内の各半導体チップについてユーザに所望の測定条件を選択させた上で、測定条件毎に色分けされた半導体チップのレイアウト図を表示する等して、その選択結果をユーザに視覚的に知らせる装置が記載されている。
【特許文献１】特開平８−３７２１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、一般に、特性検査図の種類は膨大である（例えば約１５００種類）。それゆえ、検査図が製品群毎に整理されていたとしても、検査対象となる製品に対応する検査図を選び出す作業には、多くの工数が必要であり、検査者にとって多大な負担となっていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明による特性検査図の検索システムは、半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索するシステムであって、（ａ）複数の半導体チップのそれぞれについて、上記各半導体チップのウエハ内での配置を表すチップ位置情報と、上記各半導体チップに含まれるトランジスタのうち検査対象となる複数のトランジスタの電極の当該半導体チップ内での配置を表す電極位置情報と、検査対象となる上記複数のトランジスタについての検査順序を表す検査順序情報とを含む特性検査図を、上記各半導体チップを識別する識別情報と関連付けて記憶する記憶手段と、（ｂ）上記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの上記識別情報の入力を受け付ける入力受付手段と、（ｃ）上記入力受付手段から入力された上記識別情報と関連付けられた上記特性検査図を、上記記憶手段に記憶された上記特性検査図の中から検索する検索手段と、（ｄ）上記検索手段により検索された上記特性検査図を表示する表示手段と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
このシステムにおいては、ある半導体チップの識別情報が入力受付手段から入力されると、記憶手段に記憶された特性検査図の中からその識別情報に対応する特性検査図が検索手段により検索される。そして、その検索された特性検査図は、表示手段により表示される。したがって、検査者は、特性検査の対象となる半導体チップの識別情報を入力受付手段に入力することにより、必要な特性検査図を容易に見つけ出すことができる。
【０００８】
また、本発明による特性検査図の検索方法は、半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索する方法であって、（ａ）複数の半導体チップのそれぞれについて、上記各半導体チップのウエハ内での配置を表すチップ位置情報と、上記各半導体チップに含まれるトランジスタのうち検査対象となる複数のトランジスタの電極の当該半導体チップ内での配置を表す電極位置情報と、検査対象となる上記複数のトランジスタについての検査順序を表す検査順序情報とを含む特性検査図を、上記各半導体チップを識別する識別情報と関連付けて記憶手段に記憶させる記憶ステップと、（ｂ）上記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの上記識別情報の入力を受け付ける入力受付ステップと、（ｃ）上記入力受付ステップにおいて入力された上記識別情報と関連付けられた上記特性検査図を、上記記憶手段に記憶された上記特性検査図の中から検索する検索ステップと、（ｄ）上記検索ステップにおいて検索された上記特性検査図を表示する表示ステップと、を含むことを特徴とする。
【０００９】
この方法においては、ある半導体チップの識別情報が入力受付ステップにおいて入力されると、記憶手段に記憶された特性検査図の中からその識別情報に対応する特性検査図が検索ステップにおいて検索される。そして、その検索された特性検査図は、表示ステップにおいて表示される。したがって、検査者は、特性検査の対象となる半導体チップの識別情報を入力受付ステップにおいて入力することにより、必要な特性検査図を容易に見つけ出すことができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、検査者の負担を軽減することが可能な特性検査図の検索システムおよび検索方法が実現される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、図面を参照しつつ、本発明による特性検査図の検索システムおよび検索方法の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
【００１２】
図１は、本発明による特性検査図の検索システムの一実施形態を示すブロック図である。検索システム１は、半導体装置の特性検査に用いられる特性検査図を検索するシステムであり、記憶部１０、入力受付部２０、検索部３０、表示部４０、および作成部５０を備えている。
【００１３】
記憶部１０は、特性検査図を記憶する記憶手段である。この特性検査図の一例を図２に示す。同図に示すように、特性検査図は、チップ位置情報４２、電極位置情報４４、および検査順序情報４６を含む。
【００１４】
チップ位置情報４２は、複数の製品（半導体チップ）のそれぞれについて、上記各半導体チップのウエハ内での配置を表す情報である。電極位置情報４４は、上記各半導体チップに含まれるトランジスタのうち検査対象となる複数のトランジスタの電極の当該半導体チップ内での配置を表す情報である。また、検査順序情報４６は、検査対象となる上記複数のトランジスタについての検査順序を表す情報である。
【００１５】
記憶部１０は、これらの情報を含む特性検査図を、上記各半導体チップを識別する識別情報と関連付けて記憶する。すなわち、記憶部１０は、特性検査図の画像データと併せて、当該データと製品のキー名称との組合せ表を記憶している。かかる組合せ表の一例を図３に示す。同図において「製品名称」が上記識別情報に相当する。
【００１６】
本例においてチップ位置情報４２は、上記各半導体チップの上記ウエハ内での配置を図示したものである。また、電極位置情報４４は、検査対象となる上記複数のトランジスタの電極の上記各半導体チップ内での配置を図示したものである。
【００１７】
入力受付部２０は、上記複数の半導体チップのうち検査対象となる半導体チップの識別情報の入力を受け付ける入力受付手段である。検索部３０は、入力受付部２０から入力された識別情報と関連付けられた特性検査図を、記憶部１０に記憶された特性検査図の中から検索する検索手段である。表示部４０は、検索部３０により検索された特性検査図を表示する表示手段である。また、作成部５０は、特性検査図を電子データとして作成する作成手段である。
【００１８】
図４は、検索システム１のハードウエア構成の一例を示す模式図である。同図において検索システム１は、ＬＡＮ（Local Area Network）９０に接続された端末装置６０，７０，８０を備えている。端末装置６０は、コンピュータ６１、モニタ６２、キーボード６３、マウス６４、およびバーコード読み取り機６５を有している。これらのうちコンピュータ６１およびモニタ６２がそれぞれ上述の検索部３０および表示部４０として機能する。また、キーボード６３、マウス６４およびバーコード読み取り機６５が上述の入力受付部２０として機能する。ただし、キーボード６３、マウス６４およびバーコード読み取り機６５の全てが設けられていることは必須ではなく、これらのうち少なくとも１つが設けられていればよい。
【００１９】
端末装置７０は、コンピュータ７１、モニタ７２、キーボード７３、およびマウス７４を有している。これらのうちコンピュータ７１（具体的にはその中のメモリ）が上述の記憶部１０として機能する。なお、モニタ７２、キーボード７３、およびマウス７４が設けられていることは必須ではない。
【００２０】
端末装置８０は、コンピュータ８１、モニタ８２、キーボード８３、マウス８４、およびイメージスキャナ８５（画像電子化装置）を有している。これらのうちコンピュータ８１が上述の作成部５０として機能する。電子データとしての特性検査図は、例えば、一旦紙媒体として作成された特性検査図がイメージスキャナ８５により電子データに変換されることにより作成される。あるいは、特性検査図は、コンピュータ８１により初めから電子データとして作成されてもよい。
【００２１】
このように図４において、記憶部１０、表示部４０および作成部５０は、相異なる端末装置に設けられている。
【００２２】
図５〜図８を参照しつつ、本発明による特性検査図の検索方法の一実施形態として、検索システム１における動作の一例を説明する。図５は、検索システム１における動作フローの一例を示すフローチャートである。まず、技術部門において、製品に対応した特性検査図が紙媒体として作成される（Ｓ１１）。次に、その特性検査図は、イメージスキャナ８５により電子化され、その画像データは記憶部１０に記憶される（記憶ステップ）（Ｓ１２）。このとき、記憶部１０には、図３で説明した組合せ表も併せて記憶される（Ｓ１３）。
【００２３】
その後、特性検査部門において、特性検査が開始されると、モニタ６２上に表示された製品Ｎｏ入力画面に、検査対象となる製品の製品Ｎｏ（識別情報）が入力される（入力ステップ）（Ｓ１４）。この入力は、例えば、製品に添付されている製品Ｎｏのバーコードをバーコード読み取り機６５に読み取らせることにより、行うことができる。製品Ｎｏ入力画面の一例を図６に示す。この入力画面は、コンピュータ６１のメモリに格納されたプログラム（以下、特性検査図検索ツールと呼ぶ）によって提供される。
【００２４】
特性検査図検索ツールにより、上記入力画面に入力された製品Ｎｏと関連付けられた特性検査図が記憶部１０に記憶された特性検査図の中から検索される（検索ステップ）。検索された特性検査図は、図７に示すように、特性検査図検索ツールによりモニタ６２上に表示される（表示ステップ）（Ｓ１５）。その後、検査者は、モニタ６２上に表示された特性検査図を見ながら特性検査を行う（Ｓ１６）。以上により、特性検査が終了する。
【００２５】
図８は、特性検査図検索ツールによる動作フローを示すフローチャートである。モニタ６２上に入力画面（図６参照）を表示した状態で待機する（Ｓ２１）。製品Ｎｏが入力される（Ｓ２２）と、組合せ表の読み込みが行われる（Ｓ２３）。次に、組合せ表にその入力された製品Ｎｏがあるか否かが判定される（Ｓ２４）。判定結果が肯であれば、次のステップへ進む。一方、判定結果が否であれば、上記ステップＳ２１に戻り、再び入力待ちとなる。
【００２６】
次のステップにおいては、組合せ表に製品Ｎｏに対応した特性検査図名称があるか否かが判定される（Ｓ２５）。判定結果が肯であれば、次のステップに進む。一方、判定結果が否であれば、上記ステップＳ２１に戻り、再び入力待ちとなる。次のステップにおいては、記憶部１０に特性検査図が記憶されているか否かが判定される（Ｓ２６）。判定結果が肯であれば、特性検査図表示画面（図７参照）に特性検査図を表示する（Ｓ２７）。一方、判定結果が否であれば、上記ステップＳ２１に戻り、再び入力待ちとなる。
【００２７】
本実施形態の効果を説明する。本実施形態においては、ある半導体チップの識別情報が入力受付部２０から入力されると、記憶部１０に記憶された特性検査図の中からその識別情報に対応する特性検査図が検索部３０により検索される。そして、その検索された特性検査図は、表示部４０により表示される。したがって、検査者は、特性検査の対象となる半導体チップの識別情報を入力受付部２０に入力することにより、必要な特性検査図を容易且つ迅速に見つけ出すことができる。よって、検査者の負担を軽減することが可能な特性検査図の検索システム１および検索方法が実現されている。
【００２８】
さらに、本実施形態によれば、特性検査図を紙媒体として配布する必要がなくなる。そのため、技術部門において特性検査図の配布に要していた工数を削減することができる。一方の特性検査部門においても特性検査図の受入に要していた工数を削減することができる。また、紙媒体としての特性検査図を保管するための場所が不要となる。紙媒体としての特性検査図を扱うことによるゴミの発生を防ぐこともできる。また、特性検査部門以外の様々な部門でも、特性検査図に容易にアクセスすることができる。
【００２９】
かかる効果を奏する本実施形態の検索システムおよび検索方法は、特性検査が自動化されていない場合、すなわち検査者自身が特性検査図を見ながら検査装置を操作する場合に、特に有用である。ところで、この場合には、特性検査が自動化されたライン（または設備）に切り替えることも考えられる。そうすれば、オンラインで指定した測定条件に従って、検査装置に自動で検査を実行させることができる。しかしながら、特性検査を自動化するには、膨大なコストが掛かってしまうという問題がある。
【００３０】
チップ位置情報４２、電極位置情報４４、および検査順序情報４６を含む特性検査図が用いられている。このため、本実施形態の検索システムおよび検索方法は、抜き取りで、半導体チップ内の検査対象となるトランジスタ（チェックトランジスタ）を所定の順番で検査する場合に、好適に適用することができる。
【００３１】
入力受付部２０にバーコード読み取り機が設けられている場合、検査者は、検査対象となる半導体チップの識別情報を容易に入力することができる。
【００３２】
特性検査図を電子データとして作成する作成部５０が設けられている。この作成部５０を用いることにより、特性検査図の作成者は、特性検査図の電子データを容易に作成することができる。また、作成部５０にイメージスキャナ８５が設けられている場合、紙媒体としての特性検査図を電子データ（画像データ）に容易に変換することができる。ただし、検索システム１に作成部５０を設けることは必須ではない。
【００３３】
記憶部１０、表示部４０および作成部５０は、相異なる端末装置に設けられている。表示部４０と作成部５０とが相異なる端末装置に設けられていることにより、特性検査図の作成者の作業場に作成部５０が設けられた端末装置（図４では端末装置８０）を配するとともに、検査者の作業場に表示部４０が設けられた端末装置（図４では端末装置６０）を配することが可能となる。これにより、作成者および検査者の双方にとって利便性の高い検索システム１が実現される。
【００３４】
また、記憶部１０と表示部４０とが相異なる端末装置に設けられていることにより、表示部４０が設けられた端末装置が複数存在する場合に、それらの端末装置の間で記憶部１０を共有するのに適した検索システム１が実現される。同様に、記憶部１０と作成部５０とが相異なる端末装置に設けられていることにより、作成部５０が設けられた端末装置が複数存在する場合に、それらの端末装置の間で記憶部１０を共有するのに適した検索システム１が実現される。
【００３５】
チップ位置情報４２は、各半導体チップのウエハ内での配置を図示したものである。これにより、検査者は、検査対象となる半導体チップの位置を容易に知ることができる。
【００３６】
電極位置情報４４は、チェックトランジスタの電極の半導体チップ内での配置を図示したものである。これにより、検査者は、チェックトランジスタの電極の位置を容易に知ることができる。
【００３７】
本発明による特性検査図の検索システムおよび検索方法は、上記実施形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明による特性検査図の検索システムの一実施形態を示すブロック図である。
【図２】特性検査図の一例を示す図である。
【図３】記憶部のデータベース構成の一例を示す図である。
【図４】図１の検索システムのハードウエア構成の一例を示す模式図である。
【図５】図１の検索システムにおける動作フローの一例を示すフローチャートである。
【図６】製品Ｎｏ入力画面の一例を示す図である。
【図７】特性検査図が表示された画面を示す図である。
【図８】特性検査図検索ツールによる動作フローを示すフローチャートである。
【図９】従来の特性検査工程の一例を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００３９】
１    検索システム
１０    記憶部
２０    入力受付部
３０    検索部
４０    表示部
４２    チップ位置情報
４４    電極位置情報
４６    検査順序情報
５０    作成部
６０    端末装置
６１    コンピュータ
６２    モニタ
６３    キーボード
６４    マウス
６５    バーコード読み取り機
７０    端末装置
７１    コンピュータ
７２    モニタ
７３    キーボード
７４    マウス
８０    端末装置
８１    コンピュータ
８２    モニタ
８３    キーボード
８４    マウス
８５    イメージスキャナ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007134623.tif 000009
【図８】
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【図９】
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