(57)【要約】【課題】  フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３を採用して、ポンプの耐薬品性及び定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして使用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム（定量）ポンプを提供する。【解決手段】  ローリングダイヤフラムポンプは、シリンダ１、ピストン２及びローリングダイヤフラム３により画成され、液体の吸込口６及び吐出口７が開口された圧力室４を備える。そして、ポンプ駆動源としてリニアアクチュエータ８を備え、この出力軸１８をピストン２に結合すると共に、ピストン２とシリンダ１間にピストン２の往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段１９，２０を設け、ピストン２を往復駆動する。【選択図】図１
2007023935.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリンダ内に収容されて往復駆動されるピストンと、このピストンにその内周部が取付けられ、ピストン外周の折返部を経てその外周部がシリンダに取付けられたローリングダイヤフラムと、これらシリンダ、ピストン及びローリングダイヤフラムにより画成された圧力室と、圧力室にそれぞれ連通する流体の吸込口及び吐出口とを備えたローリングダイヤフラムポンプにおいて、ポンプ駆動源としてモータ部の回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータを備え、このリニアアクチュエータの出力軸をピストンに結合すると共に、ピストンとシリンダ間にこのピストンの往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段を設けたことを特徴とするローリングダイヤフラムポンプ。
【請求項２】
ピストンの回り止め手段は、シリンダに開口形成された長孔と、ピストンにその一端が取付けられ、シリンダの長孔を通してその他端がシリンダ外に突出されたピストンと一体に動作する係合ピンとで構成する請求項１記載のローリングダイヤフラムポンプ。
【請求項３】
シリンダ外に突出された係合ピンによりピストンの所定の位置を検知するセンサを備える請求項２記載のローリングダイヤフラムポンプ。
【請求項４】
シリンダとピストンの摺動面間にシール部材を設けると共に、シリンダに、圧力室の容積を拡大する側のピストンストローク終端位置におけるローリングダイヤフラムの折返部の背後近傍に位置する空気吸出口を設け、シリンダ内に、圧力室と反対側に負圧室を備える請求項１乃至請求項３の何れか１記載のローリングダイヤフラムポンプ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローリングダイヤフラムポンプに関し、特に半導体や液晶プロセスに好適に使用可能なローリングダイヤフラムポンプに関する。
【背景技術】
【０００２】
ローリングダイヤフラムポンプは、シリンダ内に収容されて往復駆動されるピストンに、ローリングダイヤフラムの内周部が取付けられ、その外周部がシリンダに取付けられ、このローリングダイヤフラム、シリンダ、及びピストンにより画成された圧力室に、流体の吸込口及び吐出口をそれぞれ開口し、流体の吸込口及び吐出口は、それぞれ逆止弁を介して流体タンク及び吐出流体供給部に連なっている。ピストンを往復駆動すると、圧力室の容積が変化し、容積が拡大する過程で吸込口から流体が吸込まれ、縮小する過程で吐出口から流体が吐出される。
【０００３】
このポンプには、ゴムからなるローリングダイヤフラムが用いられ、液圧や空気圧シリンダがポンプ駆動源として用いられる（例えば、「特許文献１」参照。）。
【特許文献１】特開昭６１−１９７７７９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして従来のローリングダイヤフラムポンプを適用することはできなかった。その理由は、ゴムからなるローリングダイヤフラムを用いているため、レジスト液等によりゴムからなるローリングダイヤフラムに劣化を生じる上に、ゴムからなるローリングダイヤフラムの伸縮性によりポンプの定量性を確保し難いことにある。そこで、ゴムからなるローリングダイヤフラムに代えてポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムを採用することで、ローリングダイヤフラムに耐食性や耐薬品性が得られると共に、ローリングダイヤフラムに伸縮性がなくポンプの定量性も確保し易くなるので、ローリングダイヤフラムポンプの半導体や液晶プロセス用ポンプとしての使用が期待できる。
【０００５】
しかしながら、ポンプ駆動源として液圧や空気圧シリンダ等を用いた場合には、ローリングダイヤフラムに回転モーメント（ねじり力）が働かず、ローリングダイヤフラムをフッ素樹脂で成形しても亀裂や孔等を生じ難いが、この場合、ピストンの往復運動を一定の２位置間でしか行えないため、一定の吐出量及び吐出速度（吐出圧）は得られるとしても、それらを制御することはできず、汎用面で問題を生じる。一方、ポンプ駆動源としてモータ部の回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータを用いることにより、ピストンのストロークを制御できて、吐出量及び吐出速度を変更調節することができるが、この場合、ローリングダイヤフラムに回転モーメントが働き、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムでは亀裂や孔等を生じ易く、耐久性に問題を生じる。このため、ローリングダイヤフラムポンプの半導体や液晶プロセス用ポンプへの適用は現在に至っても実現されていない。
【０００６】
本発明の目的は、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムを採用して、ローリングダイヤフラムの耐食性及び耐薬品性、ポンプの定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等を生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして適用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム（定量）ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するために、シリンダ内に収容されて往復駆動されるピストンと、このピストンにその内周部が取付けられ、ピストン外周の折返部を経てその外周部がシリンダに取付けられたローリングダイヤフラムと、これらシリンダ、ピストン及びローリングダイヤフラムにより画成された圧力室と、圧力室にそれぞれ連通する流体の吸込口及び吐出口とを備えたローリングダイヤフラムポンプにおいて、ポンプ駆動源としてモータ部の回転運動を直線運動に変換して出力するリニアアクチュエータを備え、このリニアアクチュエータの出力軸をピストンに結合すると共に、ピストンとシリンダ間にこのピストンの往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段を設けたものである。
【０００８】
上記構成によれば、ピストンは、これとシリンダ間に設けた回り止め手段により、往復移動が許容されて回転が規制されているため、リニアアクチュエータによりピストンを往復駆動（直動）させることができる。このため、ピストンストロークを制御でき、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができるようになる。そして、ピストンの回り止め手段により、ローリングダイヤフラムに回転モーメントが働くことがなく、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムを採用してもこれに亀裂や孔等を生じ難くなる。
【０００９】
本発明において、ピストンの回り止め手段は、シリンダに開口形成された長孔と、ピストンにその一端が取付けられ、シリンダの長孔を通してその他端がシリンダ外に突出されたピストンと一体に動作する係合ピンとで構成することが望ましい。また、シリンダ外に突出された係合ピンによりピストンの所定の位置を検知するセンサを備えることが望ましい。
【００１０】
上記構成を採用することにより、ピストンのストローク制御（ポンプの吐出量及び吐出速度制御）を行う際の、ピストンの基準位置を回り止め手段を利用してセンサにより検知することができるようになる。このため、ピストン位置検知用の専用部品が不要となり、部品点数の削減を図ることができ、ポンプの小型化及びコスト低下を図ることができる。
【００１１】
また本発明においては、シリンダとピストンの摺動面間にシール部材を設けると共に、シリンダに、圧力室の容積を拡大する側のピストンストローク終端位置におけるローリングダイヤフラムの折返部の背後近傍に位置する空気吸出口を設け、シリンダ内に、圧力室と反対側に負圧室を備えることが望ましい。
【００１２】
この構成を採用することにより、ローリングダイヤフラムの内周部をピストンの外周面に、また外周部をシリンダの内周面に、それぞれ密着させることができるようになる。このため、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムを採用してもこのローリングダイヤフラムの内周部及び外周部の横断面形状が、例えば、多角形に変形してしわを生じるのを防止できるようになる。このことによっても、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等が生じ難くなる。また、空気吸出口をローリングダイヤフラムの折返部の背後近傍に設けることにより、ポンプ起動と略同時に上記機能を応答性よく発揮させることができ、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等を生じるのを効果的に抑えることができる。さらに、シリンダとピストンの摺動面間に設けたシール部材の摺動粉等を空気吸出口から吸塵して排出することができるようになる。このため、ローリングダイヤフラムの内周部とピストンの外周面との間やローリングダイヤフラムの外周部とシリンダの内周面との間に前記摺動粉等が入り込み付着堆積するのを防止でき、このことによっても、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等が生じ難くなる。この機能についても、空気吸出口をローリングダイヤフラムの折返部の背後近傍に設けることにより、効果的に発揮させることができ、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等を生じるのを効果的に抑えることができる。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムを採用して、ポンプの耐薬品性及び定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラムに亀裂や孔等が生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして適用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム（定量）ポンプを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の実施の形態を示すローリングダイヤフラムポンプの吸込状態の縦断面図、図２は同ローリングダイヤフラムポンプの吐出状態の縦断面図である。
【００１５】
このローリングダイヤフラムポンプにおいて、シリンダ１内には、ピストン２が軸方向に移動自在に収容され、このピストン２には、後述するポンプ駆動源と回り止め手段によって往復運動が与えられる。ピストン２は、シリンダヘッド側と反対側の略半部がシリンダ内径と略同径に形成され、シリンダヘッド側の略半部が、シリンダ１との間に所定の隙間を形成すべく、シリンダ内径より小径に形成され、大径部２ａと小径部２ｂを備えた段付き構造を有し、大径部２ａの外周面でシリンダ１の内周面に沿って軸方向に摺動案内されている。なお、大径部２ａと小径部２ｂのそれぞれの外周面は、大径部２ａから小径部２ｂに向かって順次縮径する傾斜面（テーパー面）２ｃにより繋がれている。
【００１６】
このローリングダイヤフラムポンプに備えられているローリングダイヤフラム３は、図３にも示すように、ピストン２の小径部２ｂの先端面に同軸的に設けられた有底のネジ孔２ｄに螺合するネジ軸部３ａと、ネジ軸部３ａの頭部側の一端外周面から半径方向に突出形成され、ピストン２の小径部２ｂの先端面外縁部に密着接合するフランジ部３ｂと、フランジ部３ａの端部からピストン２の小径部ｂの先端部外周面に沿って軸方向に延設され、ピストン２の小径部２ｂの先端部外周面に密着する薄膜状のローリングダイヤフラム内周部３ｃと、このローリングダイヤフラム内周部３ｃの端部からＵ字状の折返部３ｄを経てシリンダ１のシリンダヘッド側の内周面に沿って軸方向に延設され、シリンダ１のシリンダヘッド側の内周面に密着する薄膜状のローリングダイヤフラム外周部３ｅと、このローリングダイヤフラム外周部３ｅの端部から半径方向に延出され、シリンダ１とその一端のシリンダヘッド（ポンプヘッド）１ａとの間に挟持するリング部３ｆと、ネジ軸部３ａの頭部側の一端面に突出して設けられ、ネジ孔２ｄにネジ軸３ａを螺合する際にレンチ等の工具を嵌合させるための二面切欠き構造の頭部３ｇとを有し、このローリングダイヤフラム３（ピストン２）、シリンダ１により、シリンダ１内のシリンダヘッド側に、圧力室４が画成されている。なお、シリンダ１とリング部３ｆとの接合面間にはシール部材であるフッ素ゴムからなるＯリング５が設けられている。また、図３にはピストン２が吸込工程でのストローク終端位置に移動した時のローリングダイヤフラム３を示し、ローリングダイヤフラム外周部３ｅがローリングダイヤフラム内周部３ｃに対して大きく捲れ上がった状態になっている。この図３に示す状態が成形時の形態になるローリングダイヤフラム３を、ローリングダイヤフラムポンプに備えている。
【００１７】
シリンダヘッド１ａには、圧力室４に連通する流体の吸込口６及び吐出口７が開口され、吸込口６が、図示しない吸込側エアオペバルブを設けた管路を介して液体タンクに連通接続され、吐出口７が、図示しない吐出側エアオペバルブを設けた管路を介して吐出液供給部に連通接続されている。なお、吐出時は吐出側エアオペバルブのみ開き、吸入側エアオペバルブは閉じられ、吸込時は吐出側エアオペバルブは閉じ、吸入側エアオペバルブのみ開かれる。
【００１８】
以上の構成において、後述するポンプ駆動源と回り止め手段によってピストン２に往復運動が与えられ、ピストン２がシリンダ１内で往復駆動されると、圧力室４の容積が拡大するピストン２の吸込工程（図１，図２において右行工程）で、圧力室４に液体タンク内の液体が吸込まれ、圧力室４の容積が縮小するピストン２の吐出工程（図１，図２において左行工程）で、圧力室４内の液体が吐出液供給部に供給される。したがって、ピストン１の往復駆動によって、吐出液供給部に液体タンク内の液体を供給することができる。
【００１９】
以上のように構成されたローリングダイヤフラムポンプにおいて、少なくとも接液部、つまりシリンダヘッド１ａとローリングダイヤフラム３が、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂で成形されており、これによって、接液部に耐食性や耐薬品性を付与すると共に、ローリングダイヤフラム３に伸縮性がなくポンプの定量性を確保し易くして、このローリングダイヤフラムポンプを、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ（レジスト液をこの貯留タンクからレジスト噴出口に一定の吐出量及び吐出速度で供給するポンプ）等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして使用できるように構成している。
【００２０】
また、ピストン２のストローク制御により、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができるように、このローリングダイヤフラムポンプには、ポンプ駆動源として、リニアアクチュエータ８を備えている。このリニアアクチュエータ８は、多相(例えば、５相)ステッピングモータ部９と、このモータ部９の回転運動を直線運動に変換して出力する直動機構部１０とで構成されている。モータ部９は、中空状の回転軸１１と、この回転軸１１の外周面に取付けられた回転子１２と、この回転子１２の周囲に設けられた固定子１３とを備えている。回転軸１１は、ベアリング１４により支持された小径部１１ａと、スラスト荷重及びラジアル荷重の両方を受けるベアリング１５により支持された大径部１１ｂとを備える段付き構造を有し、小径部１１ａに回転子１２を取付けると共に、大径部１１ｂ内に後述するネジナット１６が配設されている。なお、ベアリング１５のインナーは、大径部１１ｂの端部外周面に螺合するロックナット１７により大径部１１ｂに固定されている。この構成において、モータ部９は、図示しない固定子巻線への通電に伴って回転軸１１が回転子１２と共に回転する。
【００２１】
回転軸１１の中空部には、出力用ネジ軸（ボールネジ軸）１８が同軸的に貫通され、大径部１１ｂ内には、出力用ネジ軸１８に螺合されたネジナット（ボールネジナット）１６が挿入されている。このネジナット１６は、回転軸１１の大径部１１ｂ側の開口端から半径方向に突出するフランジ部１６ａを有し、このフランジ部１６ａをボルト１８を介してロックナット１７に固定されている。この構成において、ネジナット１６は、回転軸１１と共に回転することができる。
【００２２】
出力用ネジ軸１８は、後述する回り止め手段によりその軸線を中心とする回転が規制されることで、ネジナット１６の回転に伴って軸方向に直線運動する。したがって、このリニアアクチュエータ８では、回転軸１１の回転運動が、出力用ネジ軸１８の直線運動に変換される。
【００２３】
そして、リニアアクチュエータ８はシリンダ１のシリンダヘッド側と反対側端部に同軸的に取付けられ、出力用ネジ軸１８の一端が、ピストン２の大径部２ａ側の先端に同軸的にネジ結合で一体連結されている。つまりリニアアクチュエータ８の出力用ネジ軸１８がピストンロッドとしての役目を果たすように構成されている。
【００２４】
ところで、ピストン２は、ローリングダイヤフラム３を介してシリンダ１に繋がれているため、ローリングダイヤフラム３でも、ピストン２とこれに結合された出力用ネジ軸１８の同一軸線を中心とする回転を規制することができるが、この場合、ローリングダイヤフラム３に回転モーメント（ねじり力）が働き、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じてしまう。
【００２５】
そのため、本実施の形態では、ローリングダイヤフラムポンプにおけるピストン２とシリンダ１間に、このピストン２の往復移動を許容して回転を規制する回り止め手段が設けられている。この回り止め手段は、具体的には、シリンダ１の側壁に軸線に沿って開口形成された長孔１９と、ピストン２の大径部２ａの先端側外周面に一端がねじ込み固定されて、ピストン２の大径部２ａの先端側外周面から半径方向に突出状に取付けられ、シリンダ１の長孔１９を通して他端がシリンダ１外に突出された係合ピン２０とで構成されている。この構成において、係合ピン２０は、ピストン２と一体に往復移動する。
【００２６】
以上の構成において、ピストン２は、この軸線を中心とする回転が規制されて長孔１９の範囲内で軸方向に往復移動可能となり、このピストン２に一体に結合された出力用ネジ軸１８及びフッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３の軸線を中心とする回転も同時に規制され、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に回転モーメントを与えることなく、このフッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じるのを防止しながら、リニアアクチュエータ８によりピストン２を往復駆動できる。このため、ピストンストロークを制御でき、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができる。
【００２７】
また、このローリングダイヤフラムポンプには、ピストン２のストローク制御（ポンプの吐出量及び吐出速度制御）を行う際の、ピストン２の基準位置を検知するためのセンサ２１が備えられている。このセンサ２１は、図４にも示すように、先端部がコ字状に分岐形成されたセンサ台２２の先端一端部に取付けられた発光素子２１ａと、センサ台２２の先端他端部に取付けられ、発光素子２１ａと所定の間隔を設けて対向配置された受光素子２１ｂとで光電式に構成されている。センサ２１は、ピストン２の吸入工程でのストローク終端位置のやや手前位置で、シリンダ１外に突出された係合ピン２０の先端部が発光素子２１ａと受光素子２１ｂの間を通過し、発光素子２１ａから受光素子２１ｂに向かって照射される光を遮るように、シリンダ１外に固定設置され、この遮光位置をピストン２の基準位置として検知するように構成されている。
【００２８】
以上の構成において、ピストン２のストローク制御（ポンプの吐出量及び吐出速度制御）を行う際の、ピストン２の基準位置を回り止め手段の係合ピン２０を利用してセンサ２１により検知することができる。このため、ピストン２の位置検知用の専用部品が不要となり、部品点数の削減を図ることができ、ポンプの小型化及びコスト低下を図ることができる。なお、ピストン２の基準位置を回り止め手段の係合ピン２０を利用して検知するためのセンサは、上記光電式のセンサ２１以外の、各種センサの他、リミットスイッチ等のスイッチ類を使用してもよい。
【００２９】
また、ポンプ駆動源として高精度な位置制御を行うことができるリニアアクチュエータ８を備えたローリングダイヤフラムポンプは、ピストン２の吐出工程終了直後に、吐出側エアオペバルブのみ開いたまま、ピストン２を吐出方向とは逆の吸込方向にわずかに移動させることにより、吐出側管路先端のノズルからの液のぼた落ちを防止する機能（サックバック機能）を備えることができる。このため、通常のポンプでは、ポンプとは別にサックバックバルブを用意しなければならないが、このローリングダイヤフラムポンプではそれが不要となり、ポンプシステムを構築する上で、部品点数の削減を図ることができると共に、通常のポンプとは別置きで使用されているサックバックバルブでは、サックバック量を調整するために、サックバックバルブに付いているネジでその都度手動で調整する必要があったが、このローリングダイヤフラムポンプはポンプ自身にサックバック機能を備えているため、サックバック量、サックバック速度共調整可能であり、サックバック機能が安定する。サックバック量は次の吐出工程にて吐出量に影響を与えるため、サックバック量が安定することになれば、吐出量もより安定することになり、高精度な定量吐出を実現できる。
【００３０】
さらに、このローリングダイヤフラムポンプにおいて、シリンダ１とピストン２の摺動面間、つまりシリンダ１の内周面とピストン２の大径部２ａの外周面との間には、ピストン２の大径部２ａの外周面で、傾斜面２ｃに隣接して設けられた環状のパッキン溝２ｅを介してシール部材であるフッ素ゴムからなるＯリング２３と、このＯリング２３の外周に配設されたポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等のフッ素樹脂からなるスリッパーリング２４とが設けられ、またシリンダ１の側壁には、ピストン２の吸込工程でのストローク終端位置におけるローリングダイヤフラム３の折返部３ｄの背後（図１，図２において右側）近傍に位置する空気吸出口２５が設けられている。これにより、シリンダ１内には、圧力室５と反対側に、ローリングダイヤフラム３、Ｏリング２３、シリンダ１の内周面、ピストン２の小径部２ｂにより画成されて、空気吸出口２５に連通する負圧室２６が備えられている。この負圧室２６は、空気吸出口２５に接続される図示しないアスピレータ（真空発生器）による吸気作用により、圧力が、圧力室４の圧力より十分低く維持されている。
【００３１】
以上の構成において、ローリングダイヤフラム３は、ローリングダイヤフラム内周部３３ｃをピストン３の小径部２ｂの先端部外周面に、またローリングダイヤフラム外周部３ｅをシリンダ１のシリンダヘッド側の内周面に、それぞれ密着させることができるため、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３の内周部３ｃ及び外周部３ｅの横断面形状が、例えば、多角形に変形してしわを生じるのを防止できる。このことによっても、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じ難くなる。また、空気吸出口２５がローリングダイヤフラム３の折返部３ｄの背後近傍に設けることにより、ポンプ起動と略同時に上記機能を応答性よく発揮させることができ、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等を生じるのを効果的に抑えることができる。さらに、シリンダ１とピストン２の摺動面間に設けたシール部材であるＯリング２３外周のスリッパーリング２４の摺動粉等を空気吸出口２５から吸塵して排出することができるため、ローリングダイヤフラム内周部３ｃとピストン２の小径部２ｂの先端部外周面との間やローリングダイヤフラム外周部３ｅとシリンダ１のシリンダヘッド側の内周面との間に前記摺動粉等が入込み付着堆積するのを防止できる。このことによっても、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じ難くなる。この機能についても、空気吸出口２５をローリングダイヤフラム３の折返部３ｄの背後近傍に設けることにより、効果的に発揮させることができ、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等を生じるのを効果的に抑えることができる。
【００３２】
以上のように構成された本実施の形態のローリングダイヤフラムポンプは、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３を採用して、ポンプの耐薬品性及び定量性を確保しながら、フッ素樹脂からなるローリングダイヤフラム３に亀裂や孔等が生じ難く、且つ、ポンプの吐出量及び吐出速度を変更調節することができ、例えば、半導体のレジスト液塗布用ポンプ等、半導体や液晶プロセス用ポンプとして使用できる耐久性及び汎用性に優れたローリングダイヤフラム（定量）ポンプになっている。
【００３３】
以上、本実施の形態は本発明の好適な実施の形態の一例を示したが、本発明はそれに限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々変形実施することができる。
【００３４】
例えば、本実施の形態では、半導体のレジスト液供給ポンプを使用例としたが、その他の種々の液体定量供給用ポンプとして使用することができ、特に腐食性を有する液体定量供給用ポンプとして好適である。また図示の構造のリニアアクチュエータ８と構造が異なるリニアアクチュエータをポンプ駆動源として使用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態を示すローリングダイヤフラムポンプの吸込状態の縦断面図である。
【図２】同ローリングダイヤフラムポンプの吐出状態の縦断面図である。
【図３】押しタイプのローリングダイヤフラムの縦断面図である。
【図４】ピストンの基準位置検知部の説明図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  シリンダ
２  ピストン
３  ローリングダイヤフラム
３ｃ  ローリングダイヤフラム内周部
３ｄ  ローリングダイヤフラム折返部
３ｅ  ローリングダイヤフラム外周部
４  圧力室
６  吸込口
７  吐出口
８  リニアアクチュエータ（ポンプ駆動源）
１８  出力用ネジ軸１８
１９  長孔（回り止め手段）
２０  係合ピン（回り止め手段）
２１  センサ（ピストンの基準位置検知用）
２３  Ｏリング（シール部材）
２５  空気吸出口
２６  負圧室
【図１】
2007023935.tif 000003
【図２】
2007023935.tif 000004
【図３】
2007023935.tif 000005
【図４】
2007023935.tif 000006