(57)【要約】【課題】形状記憶合金線を架設し固定して駆動装置に組み付けた後に、その張力を容易に調整できるようにする。【解決手段】第１の固定体１１と可動体２の転回部２１との間には形状記憶合金線３が架設され、第２の固定体１２と可動体との間にはバイアスバネ４が架設されている。形状記憶合金線３には、バイアスバネ４により所定の張力が与えられている。形状記憶合金線３の反転部３３と転回部２１との間には、熱可塑性樹脂からなる張力調整部材５が備えられている。張力調整部材５は形状記憶合金線３と接する接触部５１を有し、形状記憶合金線３の反転部３３は、この接触部５１において所定の張力調整値に応じて張力調整部材５に食い込まされている。【選択図】図１
2007092556.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
形状記憶合金線と、
前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する固定体と、
前記形状記憶合金線が架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体と、
前記可動体に作用し前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材とを備える駆動装置において、
前記形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記形状記憶合金線と接する接触部を有し、
前記形状記憶合金線は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする駆動装置。
【請求項２】
第１及び第２の形状記憶合金線と、
前記第１及び第２の形状記憶合金線の少なくとも一端をそれぞれ保持する第１及び第２の固定体と、
前記第１及び第２の形状記憶合金線がそれぞれ架設され、前記第１の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで第１の方向に移動し、前記第２の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動することが可能とされた可動体とを有し、
前記第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで、それぞれが所定の張力を有するよう組み付けられてなる駆動装置において、
前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線と接する接触部を有し、
前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする駆動装置。
【請求項３】
前記張力調整部材が、下記（ａ）〜（ｃ）からなる群のいずれか、若しくは複数の箇所に備えられていることを特徴とする請求項１又は２に記載の駆動装置。
（ａ）可動体の所定位置
（ｂ）固定体の所定位置
（ｃ）可動体と固定体との中間位置
【請求項４】
形状記憶合金線と、
線状部を備え前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材と、
前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する第１の固定体と、
前記補助部材の一端を保持する第２の固定体と、
前記形状記憶合金線及び前記補助部材の線状部がそれぞれ架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体とを備える駆動装置において、
前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部と接する接触部を有し、
前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする駆動装置。
【請求項５】
前記張力調整部材が、下記（ｄ）〜（ｉ）からなる群のいずれか、若しくは複数の箇所に備えられていることを特徴とする請求項４に記載の駆動装置。
（ｄ）可動体の所定位置であって形状記憶合金線と接する位置
（ｅ）可動体の所定位置であって補助部材の線状部と接する位置
（ｆ）第１の固定体の所定位置
（ｇ）第２の固定体の所定位置
（ｈ）可動体と第１の固定体との中間位置
（ｉ）可動体と第２の固定体との中間位置
【請求項６】
前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、
前記形状記憶合金線が可動体に架設された後、前記張力調整部材が加熱軟化されることで、前記形状記憶合金線が前記張力調整部材に所定深さだけ食い込まされていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項７】
前記張力調整部材が、少なくとも前記形状記憶合金線がオーステナイト相へ逆変態する第１の温度では軟化せず、前記第１の温度よりも所定温度だけ高い第２の温度において軟化する熱可塑性樹脂からなることを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項８】
前記可動体に、前記形状記憶合金線が略１８０度反転されて架け渡される転回部が備えられており、
前記張力調整部材が、前記転回部において、前記形状記憶合金線の反転部と接するように設けられていることを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項９】
前記可動体に、前記形状記憶合金線が略１８０度反転されて架け渡される転回部が備えられており、
前記転回部において、前記形状記憶合金線の反転部と接するように設けられている第１の張力調整部材と、
前記形状記憶合金線の反転部の前後において該形状記憶合金線と接するように設けられている第２の張力調整部材と
を具備することを特徴とする請求項６に記載の駆動装置。
【請求項１０】
前記補助部材が、バイアスバネからなることを特徴とする請求項１又は４に記載の駆動装置。
【請求項１１】
前記形状記憶合金線が、前記固定体にかしめ方式又は圧入ピン方式で保持されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載の駆動装置。
【請求項１２】
形状記憶合金線と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する固定体と、前記形状記憶合金線が架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体と、前記可動体に作用し前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材とを備える駆動装置の製造方法であって、
前記形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を、前記形状記憶合金線と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、
所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記形状記憶合金線を当該張力調整部材に食い込ませることで前記形状記憶合金線の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項１３】
第１及び第２の形状記憶合金線と、前記第１及び第２の形状記憶合金線の少なくとも一端をそれぞれ保持する第１及び第２の固定体と、前記第１及び第２の形状記憶合金線がそれぞれ架設され、前記第１の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで第１の方向に移動し、前記第２の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動することが可能とされた可動体とを有し、前記第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで、それぞれが所定の張力を有するよう組み付けられてなる駆動装置の製造方法であって、
前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を、前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、
所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線を当該張力調整部材に食い込ませることで前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項１４】
形状記憶合金線と、線状部を備え前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する第１の固定体と、前記補助部材の一端を保持する第２の固定体と、前記形状記憶合金線及び前記補助部材の線状部がそれぞれ架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体とを備える駆動装置の製造方法であって、
前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の張力を調整するための張力調整部材を、前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、
所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部を当該張力調整部材に食い込ませることで前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする駆動装置の製造方法。
【請求項１５】
前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段としてレーザー光照射手段が用いられ、
前記レーザー光照射手段から発せられるレーザー光を前記張力調整部材の接触部に照射することで、前記接触部を加熱軟化させることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれかに記載の駆動装置の製造方法。
【請求項１６】
前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段として熱線若しくは熱風発生手段が用いられ、
前記熱線若しくは熱風発生手段から発せられる熱線若しくは熱風により、前記張力調整部材を加熱軟化させることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれかに記載の駆動装置の製造方法。
【請求項１７】
前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段として前記形状記憶合金線への通電加熱手段が用いられ、
前記通電加熱手段による通電によって前記形状記憶合金線が発するジュール熱により、前記張力調整部材の接触部を加熱軟化させることを特徴とする請求項１２〜１４のいずれかに記載の駆動装置の製造方法。
【請求項１８】
前記張力調整部材を前記加熱手段にて加熱軟化させるに際し、
前記形状記憶合金線に振動を与えると共にその振動数を検出することで、当該形状記憶合金線の張力をモニタしつつ加熱軟化させることを特徴とする請求項１２〜１７のいずれかに記載の駆動装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、固定体に相対的に移動可能とされている可動体の駆動源として、形状記憶合金線を使用した駆動装置及びその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
予め所定の形状が記憶された形状記憶合金線を用いた線アクチュエータと、この線アクチュエータに駆動電圧を印加して通電加熱し記憶形状に復元させる駆動手段とを備えた駆動装置が知られている。このような駆動装置は、例えば特許文献１に開示されているように、自動車エンジンのクランク軸やカム軸等の回転軸を相互連結するベルトの張力を調整する用途等に用いることが知られている。
【０００３】
また、形状記憶合金線を用いた線アクチュエータを、例えばデジタルカメラ等の撮像装置における手振れ補正機構に適用することが検討されている。この場合、例えば形状記憶合金線を用いた線アクチュエータを、可動体としてのレンズ鏡筒等と本体ボディ等の固定体との間に架設し、形状記憶合金線に適宜通電加熱して前記レンズ鏡筒を振れ補正駆動させる手段を取ることができる。具体的には、形状記憶合金線とバイアスバネ等を組み合わせ、前記形状記憶合金線に張力を付与する構成、或いは２本の形状記憶合金線を拮抗させて互いに張力を付与する構成等を採用することができる。
【特許文献１】特開平８−３３４１５４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
形状記憶合金線からなる線アクチュエータを用いた駆動装置においては、可動体に架設された前記線アクチュエータの張力を所定の値に設定することが必要となる。しかしながら、形状記憶合金線の架設時における張力調整のばらつきや固定体への端部固定の際における張力変動等により、各々の駆動装置において形状記憶合金線の張力を一定化させることが困難であるという問題があった。
【０００５】
また、形状記憶合金線を可動体に架設し、端部を固定体に固定した後に、前記形状記憶合金線の張力を調整しようとする場合、駆動装置内に張力調整機構を具備させる必要があるが、例えば撮像装置の手振れ補正機構に用いられるような小型の駆動装置の場合、そのような張力調整機構を設置することがスペース的に困難であり、また張力調整自体も困難であるという問題があった。
【０００６】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたもので、形状記憶合金線を架設し固定して駆動装置に組み付けた後に、前記形状記憶合金線の張力を容易に調整することができる駆動装置、及びその製造方法（張力調整方法）を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の請求項１にかかる駆動装置は、形状記憶合金線と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する固定体と、前記形状記憶合金線が架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体と、前記可動体に作用し前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材とを備える駆動装置において、前記形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記形状記憶合金線と接する接触部を有し、前記形状記憶合金線は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、前記補助部材により張力を与えられた前記形状記憶合金線は、前記張力調整部材に対する食い込みの度合いにより架設経路が変更されるようになる。例えば、前記補助部材により張力を与えられることで所定の伸びが前記形状記憶合金線に与えられている場合、前記張力調整部材の接触部において前記形状記憶合金線が食い込めば、その食い込み量に応じて架設経路が短くなり、つまり前記「伸び」が緩和され、その分だけ前記形状記憶合金線の張力を低下させることができる。従って、前記張力調整部材を加熱軟化させる等して前記形状記憶合金線の前記接触部における食い込み量を調整することで、架設後においても前記形状記憶合金線の張力を調整することが可能になる。なお、形状記憶合金線は、断面円形、断面楕円形、断面矩形のものの他、箔状のもの等も含み、複数の線状体を編み込んだり撚り合わせたりしたものも含む。
【０００９】
本発明の請求項２にかかる駆動装置は、第１及び第２の形状記憶合金線と、前記第１及び第２の形状記憶合金線の少なくとも一端をそれぞれ保持する第１及び第２の固定体と、前記第１及び第２の形状記憶合金線がそれぞれ架設され、前記第１の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで第１の方向に移動し、前記第２の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動することが可能とされた可動体とを有し、前記第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで、それぞれが所定の張力を有するよう組み付けられてなる駆動装置において、前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線と接する接触部を有し、前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする。
【００１０】
この構成によれば、第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで、それぞれが所定の張力を与えられている前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線は、前記張力調整部材に対する食い込みの度合いにより架設経路が変更されるようになる。すなわち、この場合は第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで各々の形状記憶合金線に所定の伸びが与えられていることになるが、例えば前記張力調整部材の接触部においていずれか一方の形状記憶合金線が食い込めば、食い込まされた方の形状記憶合金線の架設経路がその食い込み量に応じて短くなり、これにより前記「伸び」が緩和され、その分だけ形状記憶合金線の張力を低下させることができる。これにより、架設後においても前記形状記憶合金線の張力を調整することが可能になる。
【００１１】
上記請求項１又は２にかかる駆動装置において、前記張力調整部材が、下記（ａ）〜（ｃ）からなる群のいずれか、若しくは複数の箇所に備えられている構成とすることができる（請求項３）。
（ａ）可動体の所定位置
（ｂ）固定体の所定位置
（ｃ）可動体と固定体との中間位置
【００１２】
本発明の請求項４にかかる駆動装置は、形状記憶合金線と、線状部を備え前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する第１の固定体と、前記補助部材の一端を保持する第２の固定体と、前記形状記憶合金線及び前記補助部材の線状部がそれぞれ架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体とを備える駆動装置において、前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の張力を調整するための張力調整部材を備えると共に、該張力調整部材は前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部と接する接触部を有し、前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部は、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記張力調整部材に食い込まされていることを特徴とする。
【００１３】
この構成によれば、前記補助部材により張力を与えられた前記形状記憶合金線は、前記張力調整部材に対する食い込みの度合いにより架設経路が変更されるようになる。また、前記補助部材も同様に、その線状部の張力調整部材に対する食い込みの度合いにより架設経路が変更されるようになる。従って、前記張力調整部材を加熱軟化させる等して前記形状記憶合金線の前記接触部における食い込み量を調整することで、若しくは補助部材の線状部の前記接触部における食い込み量を調整することで、架設後においても前記形状記憶合金線の張力を調整することが可能になる。
【００１４】
上記請求項４にかかる駆動装置において、前記張力調整部材が、下記（ｄ）〜（ｉ）からなる群のいずれか、若しくは複数の箇所に備えられている構成とすることができる（請求項５）。
（ｄ）可動体の所定位置であって形状記憶合金線と接する位置
（ｅ）可動体の所定位置であって補助部材の線状部と接する位置
（ｆ）第１の固定体の所定位置
（ｇ）第２の固定体の所定位置
（ｈ）可動体と第１の固定体との中間位置
（ｉ）可動体と第２の固定体との中間位置
【００１５】
上記構成において、前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記形状記憶合金線が可動体に架設された後、前記張力調整部材が加熱軟化されることで、前記形状記憶合金線が前記張力調整部材に所定深さだけ食い込まされていることが望ましい（請求項６）。この構成によれば、熱可塑性樹脂からなる張力調整部材を加熱軟化させるという簡便な手段で前記形状記憶合金線の張力調整が行えるようになる。
【００１６】
この場合、前記張力調整部材が、少なくとも前記形状記憶合金線がオーステナイト相へ逆変態する第１の温度では軟化せず、前記第１の温度よりも所定温度だけ高い第２の温度において軟化する熱可塑性樹脂からなることが望ましい（請求項７）。この構成によれば、形状記憶合金線を加熱しマルテンサイト相〜オーステナイト相へ相変化させて駆動させても熱可塑性樹脂からなる張力調整部材は加熱軟化することはなく、前記形状記憶合金線の張力を所定の値に維持できる。
【００１７】
また、前記可動体に、前記形状記憶合金線が略１８０度反転されて架け渡される転回部が備えられており、前記張力調整部材が、前記転回部において、前記形状記憶合金線の反転部と接するように設けられている構成とすることができる（請求項８）。この構成によれば、前記形状記憶合金線の反転部を前記張力調整部材に食い込ませることで、前記形状記憶合金線の張力調整が行われる。
【００１８】
さらに、前記可動体に、前記形状記憶合金線が略１８０度反転されて架け渡される転回部が備えられており、前記転回部において、前記形状記憶合金線の反転部と接するように設けられている第１の張力調整部材と、前記形状記憶合金線の反転部の前後において該形状記憶合金線と接するように設けられている第２の張力調整部材とを具備する構成とすることが望ましい（請求項９）。この構成によれば、前記形状記憶合金線の反転部の、前記第１の張力調整部材に対する食い込み量を変化させることで経路変化が大きくなり、形状記憶合金線の伸び度合いが比較的大きく変化することから、前記第１の張力調整部材において前記形状記憶合金線の全体張力の粗調整を行うことができる。また、前記形状記憶合金線の反転部の前又は後の部分において、前記第２の張力調整部材に対する食い込み量を変化させても、前記反転部における場合とは異なり経路変化は僅かであり、従って前記第２の張力調整部材において形状記憶合金線の張力の微調整を行うことができる。
【００１９】
上記請求項１又は４にかかる駆動装置において、前記補助部材が、バイアスバネからなる構成とすることができる（請求項１０）。
【００２０】
また、上記請求項１〜５のいずれかの駆動装置において、前記形状記憶合金線が、前記固定体にかしめ方式又は圧入ピン方式で保持されている構成とすることができる（請求項１１）。
【００２１】
本発明の請求項１２にかかる駆動装置の製造方法は、形状記憶合金線と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する固定体と、前記形状記憶合金線が架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体と、前記可動体に作用し前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材とを備える駆動装置の製造方法であって、前記形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を、前記形状記憶合金線と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記形状記憶合金線を当該張力調整部材に食い込ませることで前記形状記憶合金線の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の請求項１３にかかる駆動装置の製造方法は、第１及び第２の形状記憶合金線と、前記第１及び第２の形状記憶合金線の少なくとも一端をそれぞれ保持する第１及び第２の固定体と、前記第１及び第２の形状記憶合金線がそれぞれ架設され、前記第１の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで第１の方向に移動し、前記第２の形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記第１の方向とは異なる第２の方向に移動することが可能とされた可動体とを有し、前記第１及び第２の形状記憶合金線が拮抗することで、それぞれが所定の張力を有するよう組み付けられてなる駆動装置の製造方法であって、前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力を調整するための張力調整部材を、前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線を当該張力調整部材に食い込ませることで前記第１及び／又は第２の形状記憶合金線の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする。
【００２３】
さらに、本発明の請求項１４にかかる駆動装置の製造方法は、形状記憶合金線と、線状部を備え前記形状記憶合金線に所定の張力を与える補助部材と、前記形状記憶合金線の少なくとも一端を保持する第１の固定体と、前記補助部材の一端を保持する第２の固定体と、前記形状記憶合金線及び前記補助部材の線状部がそれぞれ架設され該形状記憶合金線が形状回復動作を行うことで前記固定体に対して相対的に移動可能とされた可動体とを備える駆動装置の製造方法であって、前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の張力を調整するための張力調整部材を、前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部と接する接触部を有するように所定の箇所に配置し、所定の加熱手段により前記張力調整部材を加熱軟化させ、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部を当該張力調整部材に食い込ませることで前記形状記憶合金線及び／又は前記補助部材の線状部の張力調整を行う張力調整ステップを具備することを特徴とする。
【００２４】
上記請求項１２〜１４にかかる駆動装置の製造方法によれば、前記張力調整部材を加熱軟化させることで、前記接触部において所定の張力調整値に応じて前記形状記憶合金線（第１、第２の形状記憶合金線）や前記補助部材の線状部を所定深さだけ食い込ませ、これにより前記形状記憶合金線や前記補助部材の線状部の架設経路を事後的に変更することができる。従って、例えば形状記憶合金線或いは補助部材の線状部に規定値以上の張力を与えて固定体及び可動体に組み付けた後に、前記張力調整部材を加熱軟化させて形状記憶合金線及び補助部材の線状部を適量だけ食い込ませて張力を規定値まで低下させるという手法で、これらを適正な張力に調整することができるようになる。
【００２５】
上記請求項１２〜１４の駆動装置の製造方法において、前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段としてレーザー光照射手段が用いられ、前記レーザー光照射手段から発せられるレーザー光を前記張力調整部材の接触部に照射することで、前記接触部を加熱軟化させる構成とすることができる（請求項１５）。この構成によれば、前記レーザー光のスポット径を絞ることで、前記張力調整部材の所要部位（接触部）のみを効果的に加熱軟化させることができる。
【００２６】
また、請求項１２〜１４の駆動装置の製造方法において、前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段として熱線若しくは熱風発生手段が用いられ、前記熱線若しくは熱風発生手段から発せられる熱線若しくは熱風により、前記張力調整部材を加熱軟化させる構成とすることができる（請求項１６）。この構成によれば、熱線若しくは熱風により前記張力調整部材を全体的に加熱軟化させることが可能となる。
【００２７】
さらに、請求項１２〜１４の駆動装置の製造方法において、前記張力調整部材が熱可塑性樹脂からなり、前記加熱手段として前記形状記憶合金線への通電加熱手段が用いられ、前記通電加熱手段による通電によって前記形状記憶合金線が発するジュール熱により、前記張力調整部材の接触部を加熱軟化させる構成とすることができる（請求項１７）。この構成によれば、形状記憶合金線自身を発熱源として前記張力調整部材の接触部を加熱軟化させることが可能となる。
【００２８】
上記請求項１２〜１７のいずれかにかかる駆動装置の製造方法において、前記張力調整部材を前記加熱手段にて加熱軟化させるに際し、前記形状記憶合金線に振動を与えると共にその振動数を検出することで、当該形状記憶合金線の張力をモニタしつつ加熱軟化させることが望ましい（請求項１８）。この構成によれば、張力をモニタしつつ加熱軟化させるので、その食い込み量を正確に制御でき、形状記憶合金線や補助部材の張力調整を一層正確に行えるようになる。
【発明の効果】
【００２９】
請求項１に係る発明によれば、形状記憶合金線に対して補助部材により所定の張力を与えるべく構成された駆動装置において、形状記憶合金線を固定体及び可動体に架設及び固定して駆動装置に組み付けた後であっても、前記形状記憶合金線の張力を事後的に調整することができるので、前記形状記憶合金線の張力を適切な値に容易に調整できるようになる。また、駆動装置を量産する場合においても、各駆動装置において形状記憶合金線の張力を一定化できるので、アクチュエータの動作性能を均質化できるという利点がある。
【００３０】
請求項２に係る発明によれば、２本の形状記憶合金線を拮抗させてなる駆動装置において、形状記憶合金線を固定体及び可動体に架設及び固定して駆動装置に組み付けた後であっても、前記形状記憶合金線の張力を事後的に調整することができるので、前記形状記憶合金線の張力を適切な値に容易に調整できるようになる。
【００３１】
請求項３に係る発明によれば、可動体や固定体の構造、大きさ、配置関係等に応じて張力調整部材を適正な箇所に配置することができる。
【００３２】
請求項４に係る発明によれば、形状記憶合金線に対して補助部材により所定の張力を与えるべく構成された駆動装置において、形状記憶合金線及び補助部材を固定体及び可動体に架設及び固定して駆動装置に組み付けた後であっても、形状記憶合金線及び／又は補助部材の張力を事後的に調整することができるので、前記形状記憶合金線及び／又は補助部材の張力を適切な値に容易に調整できるようになる。
【００３３】
請求項５に係る発明によれば、可動体や第１、第２固定体の構造、大きさ、配置関係等に応じて張力調整部材を適正な箇所に配置することができる。
【００３４】
請求項６に係る発明によれば、熱可塑性樹脂からなる張力調整部材を加熱軟化させるという簡便な手段で前記形状記憶合金線の張力調整が行えるので、当該駆動装置の生産性を向上させることができる。
【００３５】
請求項７に係る発明によれば、形状記憶合金線を実際に動作させても張力調整部材は加熱軟化することはなく、前記形状記憶合金線の張力を所定の値に維持できる。
【００３６】
請求項８に係る発明によれば、形状記憶合金線の反転部を張力調整部材に食い込ませることで、形状記憶合金線の張力調整を簡単且つ効果的に行うことができる。
【００３７】
請求項９に係る発明によれば、張力の粗調整と微調整とを選択的に行うことができるので、張力調整を効率良く、しかも正確に実施することができる。さらに、可動体に架け渡されている形状記憶合金線の反転部を境とした片側のみの張力調整も行うことができ、張力調整の自由度を格段に向上させることができる。
【００３８】
請求項１０に係る発明によれば、補助部材の構成を簡略化でき、駆動装置のコストダウンを図ることができる。
【００３９】
請求項１１に係る発明によれば、形状記憶合金線の固定体への保持構造を簡素化することができる。
【００４０】
請求項１２〜１４に係る発明によれば、例えば形状記憶合金線或いは補助部材の線状部に規定値以上の張力を与えて固定体及び可動体に組み付けた後に、前記張力調整部材を加熱軟化させて形状記憶合金線及び補助部材の線状部を適量だけ食い込ませて張力を規定値まで低下させるという簡易な手法で張力調整を行うことができるので張力調整ステップを簡素化でき、当該駆動装置の生産性を向上させることができるようになる。
【００４１】
請求項１５に係る発明によれば、張力調整部材の所要部位（接触部）のみを狙って効果的に加熱軟化させることができるので、形状記憶合金線等の食い込み量の調整を的確に行うことができる。
【００４２】
請求項１６に係る発明によれば、熱線若しくは熱風により張力調整部材を全体的に加熱軟化させることが可能であるので、複数の張力調整部材を用いるような場合に、作業性を向上させることができる。
【００４３】
請求項１７に係る発明によれば、形状記憶合金線自身を発熱源として張力調整部材の接触部を加熱軟化させるので、別途の加熱手段の準備が不要となる。
【００４４】
請求項１８に係る発明によれば、張力をモニタしつつ加熱軟化させるので、その食い込み量を正確に制御でき、形状記憶合金線や補助部材の張力調整を一層正確に行えるようになる。従って、駆動装置の歩留まり等を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、図面に基づいて、本発明の各種実施形態につき説明する。
［第１実施形態］
図１は、本発明の第１実施形態にかかる駆動装置Ｓ１の構成を示す概略構成図であり、図２は、図１のＡ−Ａ線断面図である。この駆動装置Ｓ１は、第１の固定体１１及び第２の固定体１２、これら第１の固定体１１及び第２の固定体１２に揺動可能に支持される可動体２、該可動体２に駆動力を与える形状記憶合金線３、該形状記憶合金線３に所定の張力を与えるバイアスバネ４（補助部材）及び前記形状記憶合金線３の張力を調整するための張力調整部材５を備えて構成されている。
【００４６】
周知のように、形状記憶合金はオーステナイト相（母相）とマルテンサイト相とを有し、形状記憶合金を所定の温度以下（マルテンサイト変態終了温度以下）に冷却するとマルテンサイト変態が生じ、オーステナイト相からマルテンサイト相に変化する。逆に、所定の温度以上（逆変態終了温度以上）に加熱されると、マルテンサイト相からオーステナイト相に変化する。形状記憶合金は前記マルテンサイト相では弾性係数が低い状態であり、この状態で所定の張力を与えられると、全長に対して数％程度の伸び（塑性変形）が発生する。一方、伸びが発生している状態で逆変態終了温度以上に加熱しオーステナイト相に戻して弾性係数が高い状態にすることで、元の長さに形状回復させることができる。本実施形態にかかる駆動装置Ｓ１は、このような形状記憶合金の性質を利用し、形状記憶合金線３の形状回復力並びにバイアスバネ４の付勢力により、可動体２を第１の固定体１１及び第２の固定体１２に対して相対的に移動させるようにした駆動装置である。
【００４７】
第１の固定体１１及び第２の固定体１２は、所定の方向に移動される可動体２に対しての不動体であり、可動体２は第１の固定体１１及び第２の固定体１２のポジションに対して相対的に位置変動される。第１の固定体１１及び第２の固定体１２は、一体化された部材で構成することができ（勿論、別部材で構成しても良い）、例えば筐体内に可動部品（可動体２）を揺動自在に支持させた構造の駆動装置Ｓ１とする場合は、前記筐体の第１側壁部分を第１の固定体１１とし、前記第１側壁と対向する筐体の第２側壁部分を第２の固定体１２とすることができる。
【００４８】
具体的には、デジタルカメラやカメラ付携帯電話機等における撮影レンズユニットを手振れ補正駆動する手振れ補正機構に当該駆動装置Ｓ１を適用する場合は、前記デジタルカメラやカメラ付携帯電話機等の本体ボディの一部が第１の固定体１１及び第２の固定体１２とされる。そして、前記本体ボディに適宜な支持機構（ジンバル支持機構等）で支持される前記撮像レンズユニットが、可動体２として手振れを打ち消す方向に揺動駆動されることとなる。
【００４９】
形状記憶合金線３は、例えばＮｉ−Ｔｉ合金等の形状記憶合金（ＳＭＡ）製のワイヤからなり、線アクチュエータとして機能するものである。この形状記憶合金線３は、低温で弾性係数が低い状態（マルテンサイト相）においてバイアスバネ４から所定の張力を与えられることで伸長する。そして、前記伸長状態において熱が与えられると相変態して弾性係数が高い状態（オーステナイト相）に移行し、伸長状態から元の長さに形状回復するものである。なお、形状記憶合金線３は、断面円形、断面楕円形、断面矩形のものの他、箔状のもの等であっても良く、或いは複数の形状記憶合金線状体を編み込んだり撚り合わせたりしたものであっても良い。
【００５０】
ここで、形状記憶合金線３をオーステナイト相に移行させるために熱を与える方法には特に制限はないが、本実施形態では、形状記憶合金線３を通電加熱することで、上述の相変態を行わせる構成が採用されている（後記図６参照）。すなわち、形状記憶合金線３は所定の抵抗値を有する導体であることから、当該形状記憶合金線３自身に通電することでジュール熱を発生させ、該ジュール熱に基づく自己加熱によりマルテンサイト相からオーステナイト相へ変態させる構成とされている。このようにジュール熱により自己加熱させる方法は、温度制御の容易性、正確性に優れていることから好ましい。
【００５１】
形状記憶合金線３は、その端部が第１の固定体１１において保持（固定）された状態で、可動体２に架け渡されている。すなわち、形状記憶合金線３の一端である第１端部３１と、他端である第２端部３２は、第１の固定体１１に固着されている第１かしめ部材１１１、第２かしめ部材１１２により保持され、これにより形状記憶合金線３は１８０度反転するループを形成する態様で、可動体２に架設されている。なお、形状記憶合金線３は、反転ループを形成する態様ではなく、その第１端部３１が第１の固定体１１に保持され、第２端部３２が可動体２に保持されるように、直線状に架設される態様であっても良い。但し、可動体２の移動量を長くする観点からは、図１に示すように形状記憶合金線３を、反転ループを形成する態様で可動体２に架設することが望ましい。
【００５２】
図３は、形状記憶合金線３端部の第１の固定体１１における保持方法を示す説明図である。ここでは、形状記憶合金線３の第１端部３１を第１かしめ部材１１１で固定する方法（かしめ方式）を図示している。第１かしめ部材１１１は、図３（ａ）に示すように非圧着時においては側面視で折り曲げ部１１１ａとベース部１１１ｂとを有するＬ字型を呈している。なお、前記ベース部１１１ｂは、第１の固定体１１の表面に溶着或いはネジ止め等の方法で固定されている（図２参照）。
【００５３】
そして、形状記憶合金線３の第１端部３１を位置合わせした後、図３（ｂ）に示すように、プレス装置等を用い、前記折り曲げ部１１１ａをベース部１１１ｂに密着する方向に折り曲げて圧接する。これにより第１端部３１は、第１かしめ部材１１１に固着され、第１の固定体１１に保持されるようになる。なお、図３（ｃ）は、図３（ｂ）の圧接状態を上面から見た図である。第２かしめ部材１１２による、第２端部３２の保持方法も同様である。
【００５４】
図４は、形状記憶合金線３端部の第１の固定体１１における他の保持方法を示す説明図である。ここでは、形状記憶合金線３の第１端部３１を、圧入固定部材１１３と圧入ピン１１５とを用いて固定する方法（圧入ピン方式）を図示している。圧入固定部材１１３は、圧入ピン１１５を圧入可能な受容孔１１４を有し、その一面が第１の固定体１１の適所に固着される。図４（ａ）に示すように、形状記憶合金線３の第１端部３１を受容孔１１４の上を通るように位置合わせする。その後、図４（ｂ）、（ｃ）に示すように、受容孔１１４へ圧入ピン１１５を、形状記憶合金線３の第１端部３１の一部を受容孔１１４へ抱き込むように圧入する。これにより第１端部３１は、圧入固定部材１１３に固着され、第１の固定体１１に保持されるようになる。
【００５５】
このように、形状記憶合金線３の第１端部３１及び第２端部は第１の固定体１１に保持されるが、形状記憶合金線３の中間部、つまり形状記憶合金線３の延在方向が１８０度反転する反転部３３は、可動体２に引っ掛けられている。すなわち、図１、図２に示すように、可動体２に円筒状の転回部２１が突設され、第１端部３１から可動体２の方向に延びる形状記憶合金線３が、この転回部２１の外周を半周回して１８０度方向転換し、第２端部３２が第１の固定体１１に戻るようというように、形状記憶合金線３が可動体２の転回部２１に架け渡されている。なお、形状記憶合金線３の反転部３３と転回部２１との間には、張力調整部材５が介在されている。この点については後記で詳述する。
【００５６】
バイアスバネ４は、形状記憶合金線３に規定された張力を与える収縮コイルバネである。このバイアスバネ４の両端には、係止用の第１線状部４１及び第２線状部４２がそれぞれ延設されている。当該バイアスバネ４としては、マルテンサイト相にある形状記憶合金線に所定の伸長力を与えつつ拮抗する一方で、オーステナイト相では形状記憶合金線３の形状回復力により引き伸ばされるようなバネ力（収縮力）を有するものが選択される。なお、バイアスバネ４に代えて、形状記憶合金線３に対して張力を付与し得る適宜な張力付与機構を採用しても良い。
【００５７】
バイアスバネ４の第１線状部４１は、その終端部が第２の固定体１２に固定されている。具体的には、第２の固定体１２の適所に設けられている固定部１２１に、第１線状部４１の終端部が固定されている。また、バイアスバネ４の第２線状部４２は、その終端部が可動体２に固定されている。具体的には、可動体２が具備する前記転回部２１の頂面に設けられている固定部２２に、第２線状部４２の終端部が固定されている。
【００５８】
張力調整部材５は、可動体２に架設されている形状記憶合金線３の張力を、予め定められた規定値に調整するための部材である。該張力調整部材５は、略三日月型を呈する部材からなり、可動体２の転回部２１の外周面であって、形状記憶合金線３の反転部３３と対向する位置に取り付けられている。すなわち張力調整部材５は、形状記憶合金線３が転回部２１に架け渡されることにより形状記憶合金線３と接する円弧状の接触部５１を有している。
【００５９】
張力調整部材５は、熱可塑性樹脂から構成されている。そして、図５に示すように、形状記憶合金線３が可動体２（転回部２１）に架設された後に、この張力調整部材５が加熱軟化されることで、形状記憶合金線３の張力が設計通りの規定値になるように、形状記憶合金線３の反転部３３が、張力調整部材５に所定深さだけ食い込まされている。図５（ａ）において点線で示す接触部５１は、反転部３３が食い込んでいる状態を示す。また図５（ｂ）は、反転部３３における断面図である。
【００６０】
この構成によれば、バイアスバネ４により張力を与えられている形状記憶合金線３は、張力調整部材５に対する食い込みの度合いにより架設経路が変更されるようになる。すなわち、バイアスバネ４により張力を与えられることで所定の伸びが形状記憶合金線３に与えられている場合、張力調整部材５の接触部５１において形状記憶合金線３の反転部３３が食い込めば、その食い込み量に応じて形状記憶合金線３の架設経路が短くなり、つまり前記「伸び」が緩和され、その分だけ形状記憶合金線３の張力を低下させることができる。従って、張力調整部材５を外部加熱する等して軟化させ、反転部３３の接触部５１における食い込み量を調整することで、架設後においても形状記憶合金線３の張力調整が行えるようになる。
【００６１】
実際は、図７、図８に基づき後記でも説明するが、規定値よりも高い張力をもって形状記憶合金線３を転回部２１に架け渡し、形状記憶合金線３の張力をモニタしながら張力調整部材５に熱を与えて加熱軟化させて、反転部３３を張力調整部材５の接触部５１において徐々に食い込ませ、形状記憶合金線３の張力が規定値となった段階で張力調整部材５の加熱軟化を停止させることで、反転部３３が張力調整部材５に所定深さだけ食い込まされる。
【００６２】
張力調整部材５は、少なくとも形状記憶合金線３がオーステナイト相への逆変態が完了する第１の温度（逆変態温度；９０〜１００℃程度）では軟化せず、前記第１の温度よりも所定温度（例えば２０〜３０℃程度以上）だけ高い第２の温度において軟化する熱可塑性樹脂を用いることが望ましい。かかる熱可塑性樹脂からなる張力調整部材５を用いれば、形状記憶合金線３を加熱しマルテンサイト相〜オーステナイト相へ相変化させて駆動させても張力調整部材５は加熱軟化することはなく、前記形状記憶合金線３の張力を所定の値に維持できる。このような熱可塑性樹脂としては、例えばポリカーボネート、ポリアセタール、ポリイミド、変性ポリフェニレンエーテル、ポリブチレンテレフタレート、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルエーテルケトン、ポリイミド樹脂等を例示することができる。
【００６３】
次に、以上の通り構成された駆動装置Ｓ１の動作について、図６（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明する。ここでは、形状記憶合金線３の第１端部３１及び第２端部３２をそれぞれ第１の固定体１１に固定する第１かしめ部材１１１及び第２かしめ部材１１２を、形状記憶合金線３に対する通電電極として利用し、電源ＥからスイッチＳＷを介して駆動電圧が形状記憶合金線３の第１端部３１及び第２端部３２に印加される構成を例示している。なお、実際はスイッチＳＷの開閉動作のみによる通電制御ではなく、マイクロコンピュータ等を備えた駆動制御手段により、形状記憶合金線３に対する通電量が制御されるが、図６では簡略的にスイッチＳＷで表している。
【００６４】
図６（ａ）は、スイッチＳＷが「開」とされ、電源Ｅから形状記憶合金線３へ駆動電圧が与えられていない状態（通電ＯＦＦ）を示している。この場合、形状記憶合金線３は通電加熱されていないことからマルテンサイト相に変態しており、弾性係数が低く易変形性である。従って、バイアスバネ４の収縮力が可動体２を介して形状記憶合金線３に作用することで、形状記憶合金線３は所定長さだけ伸長された状態となっている。
【００６５】
一方、図６（ｂ）は、スイッチＳＷが「閉」とされ、電源Ｅから形状記憶合金線３へ所定の駆動電圧が与えられている状態（通電ＯＮ）を示している。この場合、形状記憶合金線３に電流ｉが流れ、形状記憶合金線３は自身の電流抵抗によってジュール熱を発生し、自己加熱されるようになる。これにより、形状記憶合金線３はオーステナイト相に逆変態して弾性係数が高くなり、伸長状態から元の長さの記憶形状に復帰する。すなわち、形状記憶合金線３は、バイアスバネ４の収縮力に打ち勝って形状回復し、結果として可動体２は図中矢印Ｆ１の方向へ移動されることとなる。
【００６６】
そして、図６（ｃ）に示すように、スイッチＳＷを再び「開」とし、電源Ｅから形状記憶合金線３へ駆動電圧が与えられていない状態にするとジュール熱の発生は止まり、形状記憶合金線３は外気等で冷却されマルテンサイト相に変態し、弾性係数が低い状態に戻るようになる。この場合、バイアスバネ４の収縮力が形状記憶合金線３に作用し、再び形状記憶合金線３は所定長さだけ伸長された状態になることから、結果として可動体２は図中矢印Ｆ２の方向へ移動されることとなる。このような動作が繰り返されることで、可動体２が所望の位置へ移動されるものである。
【００６７】
続いて、第１実施形態にかかる駆動装置Ｓ１の製造方法について説明する。図７（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ１を製造するに際しての、形状記憶合金線３の張力調整ステップを模式的に示す図である。この張力調整ステップは、形状記憶合金線３に規定値以上の張力を与えて第１の固定体１１及び可動体２に組み付けた後に、張力調整部材５を加熱軟化させて形状記憶合金線３を適量だけ食い込ませることで、その張力を規定値まで低下させるステップである。
【００６８】
先ず、図７（ａ）に示すように、可動体２を一時的に固定する適宜な固定部材６０により、可動体２を固定する。この状態で形状記憶合金線３を第１の固定体１１と可動体２との間に架設する。すなわち、先に図１に基づき説明した通り、形状記憶合金線３を可動体２の転回部２１へ１８０度反転するように架け渡し、その第１端部３１及び第２端部３２を第１かしめ部材１１１及び第２かしめ部材にて固定する。この際、形状記憶合金線３の架設張力として、設計値として規定されている規定値よりもやや大き目の張力（伸び量）が付与される。なお、転回部２１と形状記憶合金線３の反転部３３との間に張力調整部材５が介在される状態で、形状記憶合金線３を架設する。また、所定の収縮バネ力を有するバイアスバネ４も、第２の固定体１２と可動体２（転回部２１）との間に架設する。
【００６９】
次に、図７（ｂ）に示すように、形状記憶合金線３の張力調整のために、張力検出手段６１により形状記憶合金線３の張力をモニタしつつ、レーザー光照射手段６２（加熱手段）により張力調整部材５へレーザー光Ｌが照射され、張力調整部材５が加熱軟化される。このレーザー光照射手段６２から張力調整部材５に対するレーザー光Ｌの照射（張力調整部材５の加熱軟化）は、形状記憶合金線３が張力調整部材５に所定量だけ食い込み、形状記憶合金線３の張力が規定値になるまで継続される。
【００７０】
図８は、図７（ｂ）における張力調整部材５の部分を拡大して示す図であり、この図８に基づき、上記形状記憶合金線３の張力調整につき詳しく説明する。張力調整部材５が加熱軟化されていない状態では、形状記憶合金線３の反転部３３は、張力調整部材５の接触部５１に食い込むことなく接している。つまり、形状記憶合金線３は、図８の実線で示す架設経路にて、第１の固定体１１と可動体２との間に架設されている。
【００７１】
一方、レーザー光照射手段６２からレーザー光Ｌが、張力調整部材５の接触部５１に向けて照射され、張力調整部材５が接触部５１において加熱軟化されると、形状記憶合金線３は張力を保有していることから、張力調整部材５に食い込むようになり、図中矢印Ｃで示すように、接触部５１が張力調整部材５の内部へ没入するようになる。これにより形状記憶合金線３の架設経路は、図８の点線で示す架設経路に変更される。つまり、張力調整部材５の接触部５１において形状記憶合金線３の反転部３３が食い込んだことで、反転部３３の位置が第１の固定体１１寄りに移動し、形状記憶合金線３の架設経路が当初より短くなる。
【００７２】
かかる架設経路の短縮により、形状記憶合金線３に当初与えられた「伸び」が緩和され、その分だけ形状記憶合金線３の張力が低下するようになる。従って、レーザー光Ｌを接触部５１に照射して反転部３３を徐々に食い込ませつつ形状記憶合金線３の張力低下を張力検出手段６１にてモニタし、形状記憶合金線３の張力が規定値になった段階でレーザー光Ｌの照射を停止して反転部３３の食い込みを抑止することで、形状記憶合金線３の張力を規定値に調整することができる。
【００７３】
しかる後、図７（ｃ）に示すように、固定部材６０が取り除かれて可動体２の固定状態が解除されると、バイアスバネ４のバイアス力が可動体２に作用し、形状記憶合金線３とバイアスバネ４とは拮抗するようになる。このとき、バイアスバネ４は設計値に応じたバイアス力を発生し、また形状記憶合金線３の張力が規定値になるよう、反転部３３の張力調整部材５に対する食い込み量も調整されていることから、可動体２は所定の位置に落ち着くようになる。
【００７４】
以上のような張力調整を行うことにより、形状記憶合金線３の張力を、アクチュエータ動作を行わせるに際しての望ましい規定値に設定できるようになる。すなわち、形状記憶合金線３の張力が規定値から外れてしまうと、形状記憶合金線３を通電加熱し形状回復させるときの応答性が悪化したり、形状記憶合金線３とバイアスバネ４との張力バランスが崩れ、可動体２の初期位置に偏りが生じたりする不都合があるが、上述のような張力調整ステップを経ることでかかる不都合を回避できるようになる。
【００７５】
なお、形状記憶合金線３の張力を調整する方法として、第１の固定体１１における形状記憶合金線３の第１端部３１及び第２端部３２の固定位置を機械的にシフトさせる方法も考えられるが、機械的な機構を採用した場合、張力の経時変化や緩みズレが生じ易く、また特別な機械的機構を付加する必要があることから駆動装置Ｓ１が大型化するという問題がある。これに対し、本実施形態にかかる張力調整方法によれば、レーザー光照射手段６２から発せられるレーザー光Ｌで熱可塑性樹脂からなる張力調整部材５を加熱軟化させ、形状記憶合金線３の架設経路を変更させることで張力調整を行うものであるので、形状記憶合金線３を架設組み付けした後に部分的な加熱作業を行うだけで簡単且つ短時間で張力調整が行える。また、張力調整後（加熱停止後）に張力調整部材５は固化することから、形状記憶合金線３の張力の経時変化等が生じることはない。
【００７６】
張力検出手段６１としては、形状記憶合金線３の張力を非接触で計測出来る張力計を用いることが望ましく、例えば音波式の張力計（例えば、ゲイツ・ユニッタ・アジア株式会社製、音波式ベルト張力計Ｕ−５０７）を用いることができる。すなわち、形状記憶合金線３に音波（空気振動）を照射して形状記憶合金線３を振動させ、このときの張力と相関性のある振動音をマイクロフォンで拾い、その振動音信号を分析して振動数を求めることで形状記憶合金線３の張力を測定する方法を採用することが望ましい。なお、形状記憶合金線３に音波を照射する代わりに、形状記憶合金線３にパルス電圧を印加し、相変化を連続的に惹起させることで、形状記憶合金線３を振動させるようにしても良い。
【００７７】
また、レーザー光照射手段６２としては、レーザー光Ｌを発生する半導体発光素子と、該半導体発光素子を駆動するドライバと、レーザー光Ｌを所定のスポット径で射出させる光学系等を有するものを用いることができる。このようなレーザー光照射手段６２を張力調整部材５の加熱手段として用いれば、レーザー光Ｌのスポット径を絞ることで、張力調整部材５の所要部位（接触部５１）のみを効果的に加熱軟化させることができる。なお、レーザー光Ｌは、張力調整部材５の所要部位に照射して直接的に加熱軟化させても、形状記憶合金線３（反転部３３）に照射して間接的に加熱軟化させても良い。
【００７８】
なお、上記レーザー光照射手段６２に代わる加熱手段として、熱線若しくは熱風発生手段を用い、この熱線若しくは熱風発生手段から発せられる熱線若しくは熱風により、前記張力調整部材５を加熱軟化させる構成としても良い。この構成によれば、熱線若しくは熱風により張力調整部材５を全体的に加熱軟化させることが可能となり、複数の張力調整部材５を用いるような場合に、作業性を向上させることができる。このような熱線若しくは熱風発生手段としては、マイクロヒータや温風ブロワー等を例示することができる。
【００７９】
或いは、加熱手段として形状記憶合金線３を通電加熱する通電加熱手段を用いることもできる。すなわち、通電加熱手段による通電によって形状記憶合金線３が発するジュール熱により、張力調整部材５の接触部５１を加熱軟化させる構成としても良い。この場合、例えば図６に示したような、形状記憶合金線３を駆動するための電源Ｅを含む回路を用いて形状記憶合金線３を通電加熱することができる。この構成によれば、形状記憶合金線３自身を発熱源として張力調整部材５の接触部５１を加熱軟化させるので、別途の加熱手段の準備が不要となるという利点がある。但し、張力調整部材５を加熱軟化させる程の熱を形状記憶合金線３が発するような通電を長時間行うと、形状記憶合金線３がダメージを受けてしまう場合があることから、瞬間的な通電を繰り返すようにすることが望ましい。
【００８０】
以上説明した実施形態では、張力調整部材５を、可動体２に設けた転回部２１に設置した例を示したが、可動体２の転回部２１以外の箇所に設けても良く、また第１の固定体１１と可動体２との間に架設されている形状記憶合金線３と接触できる位置であれば、可動体２以外の箇所に設置しても良い。また、張力調整部材５を一箇所だけではなく、複数箇所に設けるようにしても良い。すなわち、張力調整部材５は、下記（ａ）〜（ｃ）のいずれかの位置、若しくはこれらの位置の複数に配置することができる。なお、可動体２の転回部２１に張力調整部材５を設けた図１に示す駆動装置Ｓ１は、下記（ａ）の態様の一例を示すものである。
（ａ）可動体２の所定位置
（ｂ）第１の固定体１１の所定位置
（ｃ）可動体２と第１の固定体１１との中間位置
【００８１】
図９は、図１に示す駆動装置Ｓ１の変形実施形態であって、上記（ｂ）の態様を例示する概略構成図である。ここでは、張力調整部材５２を第１の固定体１１側に配置し、可動体２の転回部２１には張力調整部材を介在させない態様を例示している（勿論、転回部２１にも張力調整部材を介在させても良い）。
【００８２】
前記張力調整部材５２は、形状記憶合金線３の第１端部３１の近傍、及び第２端部３２の近傍において、それぞれ形状記憶合金線３と接する上端接触部５２１及び下端接触部５２２を備える熱可塑性樹脂からなる部材である。前記上端接触部５２１は、形状記憶合金線３の反転部３３を境とした前半部分３ａの張力を専ら調整するためのもので、前記下端接触部５２２は、その後半部分３ｂの張力を専ら調整するためのものである。なお、図９では、上端接触部５２１及び下端接触部５２２が一体化されている張力調整部材５２を例示しているが、上端接触部５２１と下端接触部５２２とが別離された態様としても良い。
【００８３】
図１０は、上端接触部５２１の部分を拡大して示す説明図である。張力調整部材５２（上端接触部５２１）が加熱軟化されていない状態では、図１０（ａ）に示すように、形状記憶合金線３は張力調整部材５２に食い込むことなく接する。一方、張力調整部材５２が加熱軟化されると、図１０（ｂ）に示すように、形状記憶合金線３は張力調整部材５２に食い込み、上端接触部５２１は張力調整部材５２の内部に没入するようになる。これにより、形状記憶合金線３の架設経路が食い込み量に応じて短くなり、その分だけ形状記憶合金線３の張力が低減されることとなる。下端接触部５２２も同様である。従って、上端接触部５２１及び下端接触部５２２における形状記憶合金線３の食い込み量を調整することで、形状記憶合金線３の張力を調整することができる。
【００８４】
図１１は、図１に示す駆動装置Ｓ１の他の変形実施形態であって、上記（ｃ）の態様を例示する概略構成図である。ここでは、張力調整部材５３を第１の固定体１１と可動体２の中間位置に配置し、可動体２の転回部２１や第１の固定体１１の近傍には張力調整部材を介在させない態様を例示している（勿論、転回部２１や第１の固定体１１の近傍にも張力調整部材を介在させても良い）。
【００８５】
前記張力調整部材５３は、第１の固定体１１と可動体２との間に１８０度反転して往復架設されている形状記憶合金線３の中間付近において、形状記憶合金線３と接する上端接触部５３１及び下端接触部５３２を備える熱可塑性樹脂からなる部材である。前記上端接触部５３１は、形状記憶合金線３の反転部３３を境とした前半部分３ａの張力を専ら調整するためのもので、前記下端接触部５３２は、その後半部分３ｂの張力を専ら調整するためのものである。この変形実施形態においても、図９、図１０の場合と同様に、上端接触部５３１及び下端接触部５３２における形状記憶合金線３の食い込み量を調整することで、形状記憶合金線３の張力を調整することができる。
【００８６】
［第２実施形態］
図１２は、本発明の第２実施形態にかかる駆動装置Ｓ２の構成を示す概略構成図であり、図１３は、図１２のＤ−Ｄ線断面図である。この駆動装置Ｓ２は、第１の固定体１３及び第２の固定体１４、これら第１の固定体１３及び第２の固定体１４に揺動可能に支持される可動体２０、該可動体２０に駆動力を与える第１の形状記憶合金線３１０及び第２の形状記憶合金線３２０、第１の形状記憶合金線３１０及び第２の形状記憶合金線３２０の張力をそれぞれ調整するための第１の張力調整部材５４及び第２の張力調整部材５５を備えて構成されている。
【００８７】
この駆動装置Ｓ２においても、第１の固定体１３及び第２の固定体１４は、所定の方向に移動される可動体２０に対しての不動体であり、可動体２０は第１の固定体１３及び第２の固定体１４のポジションに対して相対的に位置変動される点は、先の第１実施形態に係る駆動装置Ｓ１と同様であるが、形状記憶合金線３の形状回復力並びにバイアスバネ４の付勢力に基づくのではなく、２組の形状記憶合金線、つまり第１の形状記憶合金線３１０及び第２の形状記憶合金線３２０による所謂プッシュプル駆動により、可動体２０が移動される点において駆動装置Ｓ１と相違している。このため、可動体２０には、第１の形状記憶合金線３１０を架設するための第１転回部２０１と、第２の形状記憶合金線３２０を架設するための第２転回部２０２とが備えられている。
【００８８】
第１の形状記憶合金線３１０は、その端部が第１の固定体１３において保持（固定）された状態で、可動体２０に架け渡されている。すなわち、第１の形状記憶合金線３１０の一端である第１端部３１１と、他端である第２端部３１２は、第１の固定体１３に固着されている第１かしめ部材１３１、第２かしめ部材１３２により保持され、これにより第１の形状記憶合金線３１０は１８０度反転するループを形成する態様で、可動体２０に架設されている。具体的には、第１の形状記憶合金線３１０の延在方向が１８０度反転する反転部３１３が、可動体２０の第１転回部２０１に架け渡されている。そして、第１の形状記憶合金線３１０の反転部３１３と第１転回部２０１との間には、第１の張力調整部材５４が介在されている。かかる構成は、第１実施形態と実質的に同一である。
【００８９】
第２の形状記憶合金線３２０は、第１実施形態におけるバイアスバネ４に代替して配置されるもので、その端部が第２の固定体１４において保持（固定）された状態で、可動体２０に架け渡されている。すなわち、第２の形状記憶合金線３２０の一端である第１端部３２１と、他端である第２端部３２２は、第２の固定体１４に固着されている第１かしめ部材１４１、第２かしめ部材１４２により保持され、これにより第２の形状記憶合金線３２０は１８０度反転するループを形成する態様で、可動体２０に架設されている。具体的には、第２の形状記憶合金線３２０の延在方向が１８０度反転する反転部３２３が、可動体２０の第２転回部２０２に架け渡されている。そして、第２の形状記憶合金線３２０の反転部３２３と第２転回部２０２との間には、第２の張力調整部材５５が介在されている。この構成は、第１の形状記憶合金線３１０の架設態様と実質的に同一である。
【００９０】
第１の形状記憶合金線３１０と第２の形状記憶合金線３２０とは、所定の張力をもって可動体２０に架設されており、両者が拮抗している状態とされている。そして、図１４に基づき後述するが、可動体２０は、第１の形状記憶合金線３１０が形状回復動作を行うことで第１の固定体１３側（第１の方向）に移動し、第２の形状記憶合金線３２０が形状回復動作を行うことで第２の固定体１４側（第２の方向）に移動されるようになっている。
【００９１】
このような構成において、第１の形状記憶合金線３１０及び第２の形状記憶合金線３２０の張力は、それぞれ第１の張力調整部材５４及び第２の張力調整部材５５により予め定められた規定値に調整される。第１の張力調整部材５４は、略三日月型を呈する部材からなり、可動体２０の第１転回部２０１の外周面であって、第１の形状記憶合金線３１０の反転部３１３と対向する位置に取り付けられている。すなわち第１の張力調整部材５４は、第１の形状記憶合金線３１０が第１転回部２０１に架け渡されることにより第１の形状記憶合金線３１０と接する円弧状の接触部５４１を有している。第２の張力調整部材５５も同様に、略三日月型を呈する部材からなり、可動体２０の第２転回部２０２の外周面であって、第２の形状記憶合金線３２０の反転部３２３と対向する位置に取り付けられている。すなわち第２の張力調整部材５５は、第２の形状記憶合金線３２０が第２転回部２０２に架け渡されることにより第２の形状記憶合金線３２０と接する円弧状の接触部５５１を有している。
【００９２】
第１及び第２の張力調整部材５４、５５は、前述の通りポリカーボネート等の熱可塑性樹脂から構成されている。そして、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０が可動体２０（第１、第２転回部２０１、２０２）に架設された後に、第１及び第２の張力調整部材５４、５５が加熱軟化されることで、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の張力がそれぞれ設計通りの規定値になるように、各々の反転部３１３、３２３が、第１及び第２の張力調整部材５４、５５に所定深さだけ食い込まされている。
【００９３】
次に、以上の通り構成された駆動装置Ｓ２の動作について、図１４（ａ）〜（ｃ）に基づいて説明する。ここでは、第１の形状記憶合金線３１０の第１端部３１１及び第２端部３１２をそれぞれ第１の固定体１３に固定する第１かしめ部材１３１及び第２かしめ部材１３２を、第１の形状記憶合金線３１０に対する通電電極として利用し、第１電源Ｅ１から第１スイッチＳＷ１を介して駆動電圧が第１の形状記憶合金線３１０に印加される構成を例示している。同様に、第２の形状記憶合金線３２０に対しても、第１端部３２１及び第２端部３２２をそれぞれ第２の固定体１４に固定する第１かしめ部材１４１及び第２かしめ部材１４２を通電電極として利用し、第２電源Ｅ２から第２スイッチＳＷ２を介して駆動電圧が第２の形状記憶合金線３２０に印加される構成を例示している。
【００９４】
この駆動装置Ｓ２は、２組の形状記憶合金線のプッシュプル駆動により可動体２０が移動される。すなわち、この駆動装置Ｓ２は、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０を相対的に通電加熱して、一方の形状記憶合金線が形状回復するときは、他方の形状記憶合金線が前記形状回復力により伸ばされる関係で動作する。
【００９５】
図１４（ａ）は、第１スイッチＳＷ１及び第２スイッチＳＷ２が共に「開」とされ、第１電源Ｅ及び第２電源Ｅ２から第１の形状記憶合金線３１０及び第２の形状記憶合金線３２０へ駆動電圧が与えられていない状態（通電ＯＦＦ）を示している。この場合、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０は通電加熱されていないことからマルテンサイト相に変態しており、弾性係数が低く易変形性である。このときの第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の初期張力は、それぞれ若干の伸びが与えられる程度の張力とされている。
【００９６】
一方、図１４（ｂ）は、第１スイッチＳＷ１のみが「閉」とされ、第１電源Ｅ１から第１の形状記憶合金線３１０へ所定の駆動電圧が与えられている状態（通電ＯＮ）を示している。この場合、第１の形状記憶合金線３１０に電流ｉ１が流れ、第１の形状記憶合金線３１０は自身の電流抵抗によってジュール熱を発生し、自己加熱されるようになる。これにより、第１の形状記憶合金線３１０はオーステナイト相に逆変態して弾性係数が高くなり、伸長状態から元の長さの記憶形状に復帰する。他方、第２の形状記憶合金線３２０は通電加熱されていないことから弾性係数が低い状態であり、第１の形状記憶合金線３１０の形状回復力により伸長されるようになる。この結果、可動体２０は図中矢印Ｆ３の方向へ移動されることとなる。
【００９７】
次に、図１４（ｃ）は、第１スイッチＳＷ１が「開」とされると共に第２スイッチＳＷ２が「閉」とされ、第２電源Ｅ２から第２の形状記憶合金線３２０へ所定の駆動電圧が与えられている状態（通電ＯＮ）を示している。この場合、第２の形状記憶合金線３２０に電流ｉ２が流れ、第２の形状記憶合金線３２０はジュール熱により自己加熱されるようになる。これにより、第２の形状記憶合金線３２０はオーステナイト相に逆変態して弾性係数が高くなり、伸長状態から元の長さの記憶形状に復帰する。他方、第１の形状記憶合金線３１０は、通電加熱が停止され外気等で冷却されマルテンサイト相に変態し、弾性係数が低い状態に戻るようになる。従って、第２の形状記憶合金線３２０の形状回復力により、第１の形状記憶合金線３１０は伸長されるようになる。この結果、可動体２０は図中矢印Ｆ４の方向へ移動されることとなる。このような動作が繰り返されることで、可動体２が所望の位置へ移動されるものである。
【００９８】
続いて、第２実施形態にかかる駆動装置Ｓ２の製造方法について説明する。図１５（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ２を製造するに際しての、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の張力調整ステップを模式的に示す図である。この張力調整ステップは、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０を第１、第２の固定体１３、１４及び可動体２０に組み付けた後に、第１及び／又は第２の張力調整部材５４、５５を加熱軟化させて第１及び／又は第２の形状記憶合金線３１０、３２０を適量だけ食い込ませることで、その張力を規定値に調整するステップである。
【００９９】
先ず、図１５（ａ）に示すように、可動体２０を一時的に固定する適宜な固定部材６０により、可動体２０を固定する。この状態で、第１の形状記憶合金線３１０を第１の固定体１３と可動体２０の第１転回部２０１との間に架設すると共に、第２の形状記憶合金線３２０を第２の固定体１４と可動体２０の第２転回部２０２との間に架設する。なお、第１、第２転回部２０１、２０２と各々の反転部３１３、３１４との間に、第１及び第２の張力調整部材５４、５５が介在される状態で、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０を架設する。
【０１００】
そして、張力検出手段６１により、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の張力が規定値であるか否かを測定する。なお、前記架設の際に、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の架設張力として、設計値として規定されている規定値よりもやや大き目の張力（伸び量）を付与するようにして架設しても良い。
【０１０１】
ここで、例えば第１の形状記憶合金線３１０の張力が既定値よりも高いことが判明した場合、図１５（ｂ）に示すように、第１の形状記憶合金線３１０の張力調整のために、張力検出手段６１により第１の形状記憶合金線３１０の張力をモニタしつつ、レーザー光照射手段６２（加熱手段）により第１の張力調整部材５４へレーザー光Ｌが照射され、第１の張力調整部材５４が加熱軟化される。このレーザー光照射手段６２から第１の張力調整部材５４に対するレーザー光Ｌの照射（第１の張力調整部材５４の加熱軟化）は、第１の形状記憶合金線３１０が第１の張力調整部材５４に所定量だけ食い込み、その張力が規定値になるまで継続される。
【０１０２】
これにより、第１の形状記憶合金線３１０の架設経路が当初より短くなり、第１の形状記憶合金線３１０に当初与えられた「伸び」が緩和され、その分だけ第１の形状記憶合金線３１０の張力が低下する。もし、第２の形状記憶合金線３２０の張力も既定値よりも高い場合は、同様な張力調整作業が行われる。また、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の架設時に、予め設計値よりも高い張力を意図的に具備させるようにしている場合は、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０双方の張力調整作業が必然的に行われる。
【０１０３】
しかる後、図１５（ｃ）に示すように、固定部材６０が取り除かれて可動体２０の固定状態が解除されると、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の張力が可動体２０に作用し、両者は拮抗するようになる。すなわち、可動体２０は所定の初期位置に落ち着くこととなる。以上のような張力調整を行うことにより、第１及び第２の形状記憶合金線３１０、３２０の張力を、アクチュエータ動作を行わせるに際しての望ましい規定値に設定できるようになる。
【０１０４】
以上説明した実施形態では、第１、第２張力調整部材５４、５５を、可動体２０に設けた第１、第２転回部２０１、２０２に設置した例を示したが、可動体２０の第１、第２転回部２０１、２０２以外の箇所に設けても良く、また第１、第２の形状記憶合金線３１０、３２０と接触できる位置であれば、可動体２０以外の箇所に設置しても良い。また、第１、第２張力調整部材５４、５５と同様な役目を果たす張力調整部材を複数箇所に設けるようにしても良い。
【０１０５】
［第３実施形態］
図１６は、本発明の第３実施形態にかかる駆動装置Ｓ３の構成を示す概略構成図である。この駆動装置Ｓ３は、第１実施形態にかかる駆動装置Ｓ１の構成に加えて、バイアスバネ４（補助部材）についても張力調整が行えるようにしている点で、第１実施形態と相違している。以下、この相違点を中心に説明する。
【０１０６】
可動体２Ａには、先に説明した転回部２１に加えて、バイアスバネ４が架け渡される突起部２３が設けられている。バイアスバネ４の両端には、係止用の第１線状部４１及び第２線状部４２が備えられているが、このうち第２線状部４２は、前記突起部２３を経由して、その終端部が可動体２Ａの転回部２１の頂面に設けられている固定部２２に固定されている。このように突起部２３を経由することで、第２線状部４２には湾曲部４２１が形成されることになるが、この湾曲部４２１と突起部２３との間に、補助部材用張力調整部材５６が介在されている。
【０１０７】
これにより、補助部材用張力調整部材５６は、第２線状部４２との接触部５６１を有している。そして、前記接触部５６１において、第２線状部４２の湾曲部４２１が、バイアスバネ４に対する張力調整値に応じて所定深さだけ食い込まされている。
【０１０８】
図１７は、駆動装置Ｓ３を製造するに際しての、形状記憶合金線３及びバイアスバネ４の張力調整ステップを模式的に示す図である。この駆動装置Ｓ３の場合、可動体２を固定部材６０にて一時的に固定した状態で、可動体２を固定形状記憶合金線３の張力調整のために、図略の張力検出手段により形状記憶合金線３の張力をモニタしつつ、レーザー光照射手段６２により張力調整部材５を加熱軟化させて張力調整を行うと共に、第２線状部４２の張力をモニタしつつ、レーザー光照射手段６２により補助部材用張力調整部材５６を加熱軟化させてバイアスバネ４に対する張力調整も行う。これにより、形状記憶合金線３だけでなく、バイアスバネ４についても、架設後において適正な張力に調整することができるようになる。
【０１０９】
図１６に示す駆動装置Ｓ３では、可動体２の転回部２１に張力調整部材５を、また可動体２の突起部２３に補助部材用張力調整部材５６をそれぞれ設置した例を示したが、いずれか一方のみに張力調整部材を設けるようにしても良い。また、可動体２以外の箇所に張力調整部材を設置しても良く、張力調整部材を各々一箇所だけではなく、複数箇所に設けるようにしても良い。すなわち、張力調整部材は、下記（ｄ）〜（ｉ）のいずれかの位置、若しくはこれらの位置の複数に配置することができる。なお、図１６示す駆動装置Ｓ３は、下記（ｄ），（ｅ）を含む態様の一例を示すものである。
（ｄ）可動体２の所定位置であって形状記憶合金線３と接する位置
（ｅ）可動体２の所定位置であってバイアスバネ４の第２線状部４２と接する位置
（ｆ）第１の固定体１３の所定位置であって形状記憶合金線３と接する位置
（ｇ）第２の固定体１４の所定位置であってバイアスバネ４の第１線状部４１と接する位置
（ｈ）可動体２と第１の固定体１３との中間位置であって形状記憶合金線３と接する位置
（ｉ）可動体２と第２の固定体１４との中間位置であってバイアスバネ４の第１線状部４１又は第２線状部４２と接する位置
【０１１０】
［第４実施形態］
図１８は、本発明の第４実施形態にかかる駆動装置Ｓ４の構成を示す概略構成図である。この駆動装置Ｓ４は、固定体１００と、撮像レンズユニットのような可動体２００とを同心状に配置し、可動体２００をＸ軸方向、Ｙ軸方向に揺動可能に（手振れ補正駆動可能に）固定体１００にて支持させた駆動装置（例えば特開平１１−３３７９９６号公報に示されている）である。
【０１１１】
円筒状を呈する可動体２００の外周面には、第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７が、可動体２００を取り囲むように配置されている。第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７は、可動体２００の外周面とそれぞれ当接されて湾曲されており、また所定の張力（伸び量）を有する状態で、各々の両端部が固定体１００に取り付けられている。例えば第１形状記憶合金線３４は、可動体２００の外周面と正面視で「０時」の方向において接するようＹ軸方向に架設され、その両端部３４１、３４２が固定体１００に取り付けられている。以下、９０度単位で方位を変えて、第２〜第４の形状記憶合金線３５、３６、３７が架設され、その各両端部３５１、３５２、３６１、３６２、３７１、３７２がそれぞれ固定体１００に取り付けられている。
【０１１２】
そして、所定の伸びが与えられている第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７を適宜通電加熱することにより形状回復（縮小）させることで、可動体２００がＸ軸方向又はＹ軸方向に揺動されるものである。
【０１１３】
このような構成において、第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７と可動体２００の外周面との接触部には、第１〜第４の張力調整部材５７１、５７２、５７３、５７４が配置されている。そして、第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７の張力調整値に応じて、所定深さだけ各々が第１〜第４の張力調整部材５７１、５７２、５７３、５７４に食い込まされている。これにより、第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７を固定体１００及び可動体２００に架設した後であっても、第１〜第４の張力調整部材５７１、５７２、５７３、５７４を適宜加熱軟化させて各々の食い込み量を調整することで、第１〜第４の形状記憶合金線３４、３５、３６、３７の張力を調整することができる。
【０１１４】
［その他変形実施形態の説明］
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明はこれら実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような変形実施形態を取ることができる。
［１］図１他に示した実施形態では、転回部２１に１つの張力調整部材５（１つの接触部５１）を配置する例について説明したが、転回部２１に複数の張力調整部材（複数の接触部）を設けるようにしても良い。この場合、形状記憶合金線３に対する張力調整部材の当接位置を適宜選択し、形状記憶合金線３の張力を粗調整するための張力調整部材と、張力を微調整するための張力調整部材とを設置することが望ましい。
【０１１５】
図１９は、転回部２１に複数の張力調整部材を設けた例を示す構成図である。この転回部２１には、形状記憶合金線３が略１８０度反転されて架け渡されている。そして、該転回部２１と形状記憶合金線３との間には、形状記憶合金線３の張力を粗調整するための粗調整用張力調整部材５８１（第１の張力調整部材）と、張力を粗調整するための第１微調整用張力調整部材５８２及び第２微調整用張力調整部材５８３（第２の張力調整部材）とが介在されている。
【０１１６】
粗調整用張力調整部材５８１は、形状記憶合金線３の張力を全体的に調整するためのもので、形状記憶合金線３の反転部３３０と接する接触部５８１１を有するように転回部２１に取り付けられている。また第１微調整用張力調整部材５８２は、前記反転部３３０を境とした形状記憶合金線３の前半部分３ａの張力を専ら調整するためのもので、反転部３３０の前方側（図１の第１端部３１側）に位置する第１当接点３３１と接する接触部５８２１を有するように転回部２１に取り付けられている。さらに第２微調整用張力調整部材５８３は、反転部３３０を境とした形状記憶合金線３の後半部分３ｂの張力を専ら調整するためのもので、反転部３３０の後方側（図１の第２端部３２側）に位置する第２当接点３３２と接する接触部５８３１を有するように転回部２１に取り付けられている。
【０１１７】
このように構成すれば、図２０（ａ）に示すように、形状記憶合金線３の反転部３３０の、粗調整用張力調整部材５８１の接触部５８１１に対する食い込み量を変化させることで、比較的大きく形状記憶合金線３の架設経路を変化させる（短くさせる）ことができる。すなわち、形状記憶合金線３の伸び度合いを比較的大きく変化させることに適していることから、前記接触部５８１１においてその食い込み量を調整することで形状記憶合金線３の全体張力の粗調整を行うことができる。
【０１１８】
これに対し、図２０（ｂ）に示すように、第１微調整用張力調整部材５８２の接触部５８２１に対する食い込み量を変化させても、形状記憶合金線３の架設経路変化は僅かである。これは、第２微調整用張力調整部材５８３の接触部５８３１でも同様である。従って、形状記憶合金線３の伸び度合いを比較的小さく変化させることに適していることから、前記接触部５８２１、５８３１においてその食い込み量を調整することで形状記憶合金線３の前半部分３ａ又は後半部分３ｂの張力の微調整、ひいては全体張力の微調整を行うことができる。
【０１１９】
以上のことから、形状記憶合金線３の全体張力の粗調整を行う場合は粗調整用張力調整部材５８１を加熱軟化させて反転部３３０の食い込み度合いを調整し、形状記憶合金線３の前半部分３ａ又は後半部分３ｂの張力の微調整、或いは全体張力の微調整を行う場合は、第１微調整用張力調整部材５８２及び／又は第２微調整用張力調整部材５８３を加熱軟化させて第１当接点３３１及び／又は第２当接点３３２の食い込み度合いを調整することで、効率よく且つ精密に張力調整を行うことができる。
【０１２０】
［２］図７においては、形状記憶合金線３の張力を張力検出手段６１でモニタしつつ張力調整部材５を加熱軟化させる例を示したが、生産性を向上させるため、張力調整部材５の加熱時間と形状記憶合金線３の張力変動との関係を予めテーブル化しておき、形状記憶合金線３の架設後に初期張力のみを測定し、その初期張力に応じた時間だけ、レーザー光照射手段６２により張力調整部材５を加熱するようにしても良い。
【０１２１】
［３］可動体としては、各種の被駆動部材を対象とすることができる。上述の手振れ補正駆動される撮像レンズユニットの他、ズーミングやフォーカシングのために駆動されるレンズ等であっても良い。また撮像装置の構成部品に限らず、例えば配管路等において開閉動作を行う弁体、内視鏡等における首振りヘッド等を可動体としても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１２２】
【図１】本発明の第１実施形態にかかる駆動装置Ｓ１の構成を示す概略構成図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】形状記憶合金線３の保持方法を示す説明図であり、（ａ）は圧着前の側面図、（ｂ）は圧着後の側面図、（ｃ）は圧着後の上面図である。
【図４】形状記憶合金線３の他の保持方法を示す説明図であり、（ａ）は圧入ピン挿入前の側面図、（ｂ）は圧入ピン挿入後の側面図、（ｃ）は圧入ピン挿入後の側断面図である。
【図５】（ａ）は張力調整部材５の取り付け部分の拡大図、（ｂ）は、反転部３３における張力調整部材５の断面図である。
【図６】（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ１の動作を順次示す説明図である。
【図７】（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ１の製造手順を順次示す説明図である。
【図８】図７（ｂ）における張力調整部材５の部分を拡大して示す拡大図である。
【図９】駆動装置Ｓ１の変形実施形態を示す概略構成図である。
【図１０】図９の要部を拡大して示す説明図である。
【図１１】駆動装置Ｓ１の他の変形実施形態を示す概略構成図である。
【図１２】本発明の第２実施形態にかかる駆動装置Ｓ２の構成を示す概略構成図である。
【図１３】図１２のＤ−Ｄ線断面図である。
【図１４】（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ２の動作を順次示す説明図である。
【図１５】（ａ）〜（ｃ）は、駆動装置Ｓ２の製造手順を順次示す説明図である。
【図１６】本発明の第３実施形態にかかる駆動装置Ｓ３の構成を示す概略構成図である。
【図１７】駆動装置Ｓ３の製造方法を説明するための説明図である。
【図１８】本発明の第４実施形態にかかる駆動装置Ｓ４の構成を示す概略構成図である。
【図１９】転回部２１に複数の張力調整部材を設けた例を示す構成図である。
【図２０】（ａ）は張力の粗調整を示す説明図、（ｂ）は張力の微調整を示す説明図である。
【符号の説明】
【０１２３】
１１、１３  第１の固定体（固定体）
１２、１４  第２の固定体
２、２０  可動体
２１    転回部
３      形状記憶合金線
３１０  第１の形状記憶合金線
３２０  第２の形状記憶合金線
４      バイアスバネ（補助部材）
５      張力調整部材
５１    接触部
５４    第１の張力調整部材
５５    第２の張力調整部材
５６    補助部材用張力調整部材
５７１〜５７４  第１〜第４の張力調整部材
５８１  粗調整用張力調整部材
５８２  第１微調整用張力調整部材
５８３  第２微調整用張力調整部材
６１    張力検出手段
６２    レーザー光照射手段（加熱手段）
Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４  駆動装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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