(57)【要約】【課題】顕微鏡の焦点を合わせる合焦点装置で、合焦点までに要する時間を短縮する。【解決手段】撮像手段６が顕微鏡により拡大された対象２１の画像を撮像し、高周波成分値検出手段１２が撮像された画像における対象の輝度波形の高周波成分に関する値を検出し、移動手段９、１０、１２が顕微鏡の焦点を調整する方向で顕微鏡を移動させ、変化量検出手段１２が顕微鏡を一方向に移動させて当該移動に伴って変化する前記高周波成分に関する値の変化量を検出し、判定手段１２が当該変化量の絶対値が所定の小さい値となった顕微鏡の位置を合焦点位置として判定する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
顕微鏡の焦点を合わせる合焦点装置において、
前記顕微鏡により拡大された対象の画像を撮像する撮像手段と、
前記撮像手段により撮像された画像における前記対象の輝度波形の高周波成分に関する値を検出する高周波成分値検出手段と、
前記顕微鏡の焦点を調整する方向で前記顕微鏡を移動させる移動手段と、
前記移動手段により前記顕微鏡を一方向に移動させ、当該移動に伴って変化する前記高周波成分値検出手段により検出される値の変化量を検出する変化量検出手段と、
前記変化量検出手段により検出される変化量の絶対値が所定の小さい値となった前記顕微鏡の位置を合焦点位置として判定する判定手段と、
を備えたことを特徴とする合焦点装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、撮像された画像に基づいて自動的に顕微鏡の焦点を合わせる合焦点装置に関し、特に、合焦点までに要する時間を短縮した合焦点装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置（ＬＣＤ：Ｌｉｑｕｉｄ  Ｃｒｙｓｔａｌ  Ｄｉｓｐｌａｙ）の基板における線幅を自動的に測定する測定装置では、合焦点装置の機能により、撮像された画像に基づいて自動的に顕微鏡の焦点を合わせること（画像オートフォーカスの動作）が行われている。
以下で、後述する本発明に係る実施例を説明するために用いる図１及び図２を参照して背景技術を説明するが、本発明を限定する意図は無い。
図１には、上記のような測定装置の一構成例を示してある。
図２（ａ）〜（ｇ）には、試料２１のパターン３２について、フォーカスエリア３３内における輝度波形の高周波成分の抽出の一例を示してある。
【０００３】
図５には、Ｚステージ９に取り付けられた顕微鏡ユニットをモータ１０により上下させたとき（本例では、Ｚ軸方向に移動させたとき）における、試料２１のパターン３２について検出される輝度波形の高周波成分値の積分値Ｄ１の変化の一例を示してある。なお、本例では、この高周波成分に関する値である積分値Ｄ１として、図２（ｄ）や図２（ｇ）に示されるような積分値の波形のうちの例えば最大値（一番右側の値）を用いている。
図５のグラフの横軸は、Ｚ軸方向の位置を表すカウンタ値（Ｚ値）を示しており、上側フォーカス範囲点（ＦＵＡＲ）と下側フォーカス範囲点（ＦＤＡＲ）との間の範囲を示してある。ここで、上側フォーカス範囲点は顕微鏡ユニットがフォーカス範囲で最も上側にあるときの位置に相当し、下側フォーカス範囲点は顕微鏡ユニットがフォーカス範囲で最も下側にあるときの位置に相当する。
図５のグラフの縦軸は、輝度波形の高周波成分値の積分値Ｄ１の大きさ（レベル）を示している。
顕微鏡ユニットを上下させたときにおける積分値Ｄ１は、合焦点位置で最大となる。
【０００４】
図６には、画像オートフォーカスの動作の処理手順の一例を示してある。
画像オートフォーカスの動作が開始されると、まず、第１ステップの処理として、上側フォーカス範囲点の位置から下側フォーカス範囲点の位置まで一定速度で顕微鏡ユニットを下降させながら、試料２１のパターン３２について輝度波形の高周波成分値の積分値Ｄ１を検出し、当該積分値Ｄ１が最大となる値Ｅ１をメモリに記憶する（ステップＳ１）。
次に、第２ステップの処理として、下側フォーカス範囲点の位置から上側フォーカス範囲点の位置へ向けて顕微鏡ユニットを一定速度で上昇させながら、試料２１のパターン３２について輝度波形の高周波成分値の積分値Ｄ１を検出し、第１ステップの処理でメモリに記憶した最大値Ｅ１を中心として所定の値だけプラスマイナスされる範囲（つまり、（最大値−所定の値）と（最大値＋所定の値）との間の範囲）であるノイズパラメータＥ２の範囲内に検出される積分値Ｄ１が収まった位置を合焦点位置と判断して、顕微鏡ユニットの上昇動作を停止させる（ステップＳ２）。これにより、画像オートフォーカスの動作を終了する。
【０００５】
このような画像オートフォーカスの動作では、例えば、上側フォーカス範囲点の位置と下側フォーカス範囲点の位置との中点付近に合焦点位置がある場合には、上側フォーカス範囲点の位置と下側フォーカス範囲点の位置との間の移動距離に対して約１．５倍の移動量だけ顕微鏡ユニットを上下に移動させることが必要となる。
【０００６】
【特許文献１】特開２００２−３４１２３４号公報
【特許文献２】特開２００５−２０２０９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記した図５や図６を用いて示したような画像オートフォーカスの動作を行う測定装置における合焦点装置の機能では、合焦点までに要する顕微鏡ユニットの移動量が大きく、合焦点までに要する時間が長くなってしまうといった問題があった。このような問題は、特に、多数の試料についての測定を順に行うような場合に顕著であった。
本発明は、このような従来の課題を解決するために為されたもので、撮像された画像に基づいて顕微鏡の焦点を合わせるに際して、合焦点までに要する時間を短くすることができる合焦点装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明に係る合焦点装置では、次のような構成により、顕微鏡の焦点を合わせる。
すなわち、撮像手段が、前記顕微鏡により拡大された対象の画像を撮像する。高周波成分値検出手段が、前記撮像手段により撮像された画像における前記対象の輝度波形の高周波成分に関する値を検出する。移動手段が、前記顕微鏡の焦点を調整する方向で、前記顕微鏡を移動させる。変化量検出手段が、前記移動手段により前記顕微鏡を一方向に移動させ、当該移動に伴って変化する前記高周波成分値検出手段により検出される値の変化量を検出する。判定手段が、前記変化量検出手段により検出される変化量の絶対値が所定の小さい値となった前記顕微鏡の位置を合焦点位置として判定する。
【０００９】
従って、顕微鏡を一方向に移動させながら、撮像される画像における対象の輝度波形の高周波成分に関する値について移動に伴う変化量を検出し、当該変化量の絶対値が所定の小さい値となったときに、顕微鏡の位置が合焦点位置（或いは、その付近）にあると判定することにより、例えば、顕微鏡を初期の位置から一方向に合焦点位置まで移動させるだけで、顕微鏡を合焦点位置に設定することができ、合焦点までに要する時間を短くすることができ、合焦点処理の効率化を図ることができる。
なお、このような合焦点装置は、対象の画像に基づいて当該対象に関する測定を行う測定装置などのように、顕微鏡の焦点を合わせることが必要な種々な装置に適用することが可能である。
【００１０】
ここで、顕微鏡としては、種々なものが用いられてもよい。
また、顕微鏡の焦点を調整する方向としては、例えば、顕微鏡のレンズと対象との距離を変化させる方向が用いられる。
また、撮像する対象としては、種々なものが用いられてもよく、例えば、ＬＣＤの基板などを用いることができる。
また、撮像手段としては、例えば、カメラを用いて構成することができる。
また、対象の輝度波形の高周波成分に関する値としては、種々な値が用いられてもよく、例えば、高周波成分の値や、又は、その値の時間的な積分値或いは時間的な平均値などを用いることができる。
【００１１】
また、顕微鏡を移動させる一方向としては、例えば、顕微鏡のレンズと対象とを遠い距離の状態から近付ける方向や、或いは、顕微鏡のレンズと対象とを近い距離の状態から遠ざける方向を用いることができる。なお、顕微鏡の初期の位置としては、任意の位置が用いられてもよい。
また、高周波成分に関する値の変化量の絶対値について設定される所定の小さい値としては、種々な値が用いられてもよく、例えば、ｐを正数値として、「０以上ｐ以下」又は「０以上ｐ未満」といった範囲を用いることができる。この場合、高周波成分に関する値の変化量については、「−ｐ以上ｐ以下」又は「−ｐより大きくｐより小さい」といった範囲に相当する。
【００１２】
また、顕微鏡を移動させながら、対象の輝度波形の高周波成分に関する値について変化量を検出するタイミングとしては、種々なタイミングが用いられてもよく、例えば、検出を行う時間間隔を設定する態様や、或いは、検出を行う顕微鏡の位置の間隔（移動距離の間隔）を設定する態様を用いることができる。また、例えば、高周波成分に関する値の変化分を顕微鏡の位置の変化分（或いは、一定速度で移動する場合に時間の変化分）で除算した結果を変化量として用いることも可能である。
【００１３】
本発明に係る合焦点装置では、一構成例として、次のような構成とした。
すなわち、前記判定手段は、前記高周波成分値検出手段により検出される値の絶対値が所定の値以上であり（又は、所定の値を超え）、且つ、前記変化量検出手段により検出される変化量の絶対値が所定の小さい値となった前記顕微鏡の位置を合焦点位置として判定する。
【００１４】
従って、対象の輝度波形の高周波成分に関する値について検出される変化量について判定するばかりでなく、当該高周波成分に関する値の絶対値が所定の値以上である（又は、所定の値を超える）場合にのみ合焦点位置を判定することにより、例えば、当該高周波成分に関する値の絶対値が小さいときに起こり得る誤検出を防止することができ、合焦点位置の判定の精度を向上させることができる。
ここで、対象の輝度波形の高周波成分に関する値の絶対値について設定される所定の値としては、種々な値が用いられてもよい。
【発明の効果】
【００１５】
以上説明したように、本発明に係る合焦点装置によると、顕微鏡を一方向に移動させながら、当該顕微鏡を通して撮像される画像における対象の輝度波形の高周波成分に関する値について変化量を検出し、検出される変化量の絶対値が所定の小さい値となったときに合焦点位置を判定するようにしたため、合焦点までに要する時間を短くすることができ、合焦点処理の効率化を図ることができる。また、例えば、高周波成分に関する値が所定の大きい値である場合にのみ合焦点位置を判定することにより、誤検出を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
本発明に係る実施例を図面を参照して説明する。
図１には、本発明の一実施例に係る測定装置の構成例を示してある。
本例の測定装置は、ＬＣＤ基板自動線幅測定装置であり、ＬＣＤ基板における線幅を自動的に測定する。また、本例の測定装置は、合焦点装置の機能を有しており、本例では、この機能について詳しく説明する。
本例の測定装置は、対物レンズ１とレボルバ２と投光管３と直筒４を構成部品としてなる顕微鏡ユニットと、自動調光ユニット５と、測定用のＣＣＴＶカメラ６と、反射照明光源ユニット７と、ライトガイド８と、Ｚステージ９と、モータ１０と、試料台１１と、制御部１２を備えている。ここで、顕微鏡ユニットは、Ｚステージ９に取り付けられている。
また、試料台１１の上部には、試料（サンプル）２１が載置されている。本例では、ＬＣＤ基板が試料２１として用いられている。
【００１７】
本例の測定装置において行われる動作の一例を示す。
顕微鏡ユニットに対して設けられた反射照明光源ユニット７は、射出口から光を出力する。この光が、ライトガイド８を通って投光管３に入力され、更に、当該投光管３及び対物レンズ１を通って試料台１１上の試料２１に照射される。
試料２１に照射された光の反射光が、対物レンズ１や直筒４や自動調光ユニット５を通ってＣＣＴＶカメラ６に入力される。
ここで、自動調光ユニット５は、ＣＣＴＶカメラ６に届く光量が規定量の値になるように自動的に調整する。
ＣＣＴＶカメラ６は、例えば、ＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ  Ｃｏｕｐｌｅｄ  Ｄｅｖｉｃｅ）の撮像素子を用いて構成されており、顕微鏡ユニットにより拡大された試料２１の画像を撮像する。この撮像された画像は、制御部１２に入力される。
【００１８】
制御部１２は、各種の処理や制御を行う機能を有しており、例えば、画像を処理して各種の値を検出或いは測定などする機能や、Ｚステージ９の移動を制御するためにモータ１０を制御する機能を有している。
モータ１０は、制御部１２からの制御により駆動されて、Ｚステージ９を上方向或いは下方向へ移動させる。この場合に、Ｚステージ９に取り付けられている顕微鏡ユニットも、Ｚステージ９の上下移動と同じように、上下に移動する。このように顕微鏡ユニットを上下させることで、顕微鏡の焦点（レンズの焦点）を調節して合わせることが可能である。
【００１９】
なお、本例では、試料台１１上の試料２１とＣＣＴＶカメラ６とを結ぶ方向（図１における上下方向）を上下の方向と言っており、この方向をＺ軸の方向としている。
また、本例では、Ｚ軸方向に直交する平面（本例では、試料台１１の上面に平行な面）に、互いに直交するＸ軸方向及びＹ軸方向が設定されている。例えば、試料台１１をＸ軸方向に移動させる機構及びＹ軸方向に移動させる機構を設けて、ＸＹＺの全ての方向の位置調節を行うことが可能である。
【００２０】
次に、制御部１２により取得される画像について説明する。
図２（ａ）には、ＣＣＴＶカメラ６により撮像された画像（サンプル画像）３１の一例を示してあり、また、サンプル画像３１における試料２１のパターン３２の一例及び当該パターン３２上に設定されたフォーカスエリア３３の一例を示してある。本例では、フォーカスエリア３３は、制御部１２により設定される。なお、図２（ａ）のグラフの横軸はＸ軸方向を示しており、縦軸はＹ軸方向を示している。
図２（ｂ）には、例えば顕微鏡の焦点が合っている場合に、試料２１のパターン３２について得られる、フォーカスエリア３３内における輝度波形Ａ１の一例を示してある。この輝度波形Ａ１では、パターン３２が存在する所で輝度が高くなっており、パターン３２が存在する所と存在しない所とのエッジ（境界）において輝度の高さが大きく変化している。
なお、図２（ｂ）〜図２（ｇ）のグラフの横軸はＸ軸方向を示しており、縦軸はレベルを示している。
【００２１】
図２（ｃ）には、図２（ｂ）に示される輝度波形Ａ１の高周波成分値Ａ２を示してある。この高周波成分値Ａ２では、パターン３２が存在する所と存在しない所とのエッジとなる２箇所において、高い値（例えば、山状の波形）となっている。
図２（ｄ）には、図２（ｃ）に示される高周波成分値Ａ２を１フィールド内（本例では、１つのサンプル画像３１についてＸ軸方向の左から右への範囲）で積分した結果である積分値Ａ３を示してある。
【００２２】
また、図２（ｅ）、（ｆ）、（ｇ）には、顕微鏡の焦点がずれている場合について示してある。
図２（ｅ）には、顕微鏡の焦点がずれている場合に、試料２１のパターン３２について得られる、フォーカスエリア３３内における輝度波形Ａ４の一例を示してある。この輝度波形Ａ４では、顕微鏡の焦点が合っている場合と比べて、輝度が低くなり、エッジの部分がなだらかになる。
図２（ｆ）には、図２（ｅ）に示される輝度波形Ａ４の高周波成分値Ａ５を示してある。この高周波成分値Ａ５では、輝度波形Ａ４のエッジ部がなだらかになっていることにより、顕微鏡の焦点が合っている場合と比べて、値が低くなる。
図２（ｇ）には、図２（ｆ）に示される高周波成分値Ａ５を１フィールド内（本例では、１つのサンプル画像３１についてＸ軸方向の左から右への範囲）で積分した結果である積分値Ａ６を示してある。この積分値Ａ６についても、顕微鏡の焦点が合っている場合と比べて、値が低くなる。
【００２３】
図３には、顕微鏡ユニットをモータ１０により下降させたとき（本例では、Ｚ軸方向に下降移動させたとき）における、試料２１のパターン３２について検出される輝度波形の高周波成分値の積分値Ｂ１の変化の一例を示してあるとともに、今回（現在のフィールド）の測定位置における積分値Ｂ１から前回（１つ前のフィールド）の測定位置における積分値Ｂ１を減じた値（本例では、積分値Ｂ１の微分値或いはそれに比例する値）に相当する差分波形値Ｂ２の一例を示してある。
なお、この高周波成分に関する値である積分値Ｂ１としては、図２（ｄ）や図２（ｇ）に示されるような積分値の波形のうちの例えば最大値（一番右側の値）を用いている。図２（ｄ）に示される積分値Ａ３と図２（ｇ）に示される積分値Ａ６とは、焦点が合っているか否かが違うだけで、同じものを示している。
【００２４】
ここで、本例では、高周波成分に関する値として、上記のような積分値Ｂ１を用いて、焦点を合わせる処理を行うが、他の構成例として、図２（ｃ）や図２（ｆ）に示されるような輝度波形の高周波成分値のうちの例えば左右のいずれか一方の波形のピーク値を用いて焦点を合わせる処理を行う構成を用いることも可能であり、或いは、図２（ｄ）や図２（ｇ）に示されるような積分値のうちの例えば左右のうちで小さい方のピーク値（２段のピーク値のうちの左側のピーク値）を用いて焦点を合わせる処理を行う構成を用いることも可能である。また、輝度波形の高周波成分の大きさが反映されるような種々な値を用いることが可能である。
【００２５】
図３のグラフの横軸は、Ｚ軸方向の位置を表すカウンタ値（Ｚ値）を示しており、上側フォーカス範囲点（ＦＵＡＲ）と下側フォーカス範囲点（ＦＤＡＲ）との間の範囲を示してある。ここで、上側フォーカス範囲点は顕微鏡ユニットがフォーカス範囲で最も上側にあるときの位置に相当し、下側フォーカス範囲点は顕微鏡ユニットがフォーカス範囲で最も下側にあるときの位置に相当する。
図３のグラフの縦軸は、輝度波形の高周波成分値の積分値Ｂ１の大きさ（レベル）或いは差分波形値Ｂ２の大きさ（レベル）を示している。
【００２６】
本例では、上側フォーカス範囲点の位置から下側フォーカス範囲点の位置まで一定速度で顕微鏡ユニットを下降させながら、試料２１のパターン３２について輝度波形の高周波成分値の積分値Ｂ１や差分波形値Ｂ２を検出する。ここで、積分値Ｂ１を検出する時間間隔或いは顕微鏡の位置の間隔としては種々な間隔が用いられてもよく、また、差分波形値Ｂ２を検出する時間間隔或いは顕微鏡の位置の間隔としては種々な間隔が用いられてもよい。
顕微鏡ユニットを上下させたとき（本例では、下降させたとき）には、合焦点位置で、積分値Ｂ１は最大となり、差分波形値Ｂ２はゼロとなる（０基線と交差する）。
そこで、本例では、差分波形値Ｂ２が０になる位置を合焦点位置と判断（判定）して、顕微鏡の焦点を合わせる。
【００２７】
図４には、合焦点位置の付近における積分値Ｂ１及び差分波形値Ｂ２の様子を示してあるとともに、積分値Ｂ１に関して設定した高周波成分パラメータＣ１及び差分波形値Ｂ２に関して設定したノイズパラメータＣ２を示してある。なお、図４のグラフの横軸はＺ値を示しており、縦軸はレベルを示している。
本例の画像オートフォーカスの動作では、積分値Ｂ１が高周波成分パラメータＣ１以上であり、且つ、差分波形値Ｂ２が０を中心として所定の値だけプラスマイナスされる範囲（つまり、（０−所定の値）と（０＋所定の値）との間の範囲）であるノイズパラメータＣ２の範囲内となる顕微鏡ユニットの位置を合焦点位置と判断してその位置を設定する。
【００２８】
ここで、本例のようにノイズパラメータＣ２ばかりでなく高周波成分パラメータＣ１を設けた理由を説明しておく。
すなわち、本例のように差分波形値Ｂ２が０或いはその付近となる顕微鏡ユニットの位置を設定するように画像オートフォーカスの動作を行う場合には、顕微鏡の倍率にもよるが、合焦点位置から離れた位置である例えば上側フォーカス範囲点（又は、下側フォーカス範囲点）の付近では、画像の高周波成分値が小さいため（本例では、積分値Ｂ１が小さいため）、前フィールドとの差を求めたときにその値（差分波形値Ｂ２）が０近辺となって合焦点位置であると誤判断してしまう可能性が考えられる。
そこで、本例では、このような誤判断を防ぐために、差分波形値Ｂ２に基づいて合焦点位置であるか否かを判断する際に、積分値Ｂ１についても参照するようにした。具体的には、積分値Ｂ１として高周波成分パラメータＣ１で与えられた値以上の数値が得られ、且つ、前フィールドとの積分値Ｂ１の差である差分波形値Ｂ２がノイズパラメータＣ２の範囲内になる顕微鏡ユニットの位置を合焦点位置とする構成とした。
【００２９】
本例のような画像オートフォーカスの動作では、例えば、上側フォーカス範囲点の位置と下側フォーカス範囲点の位置との中点付近に合焦点位置がある場合には、上側フォーカス範囲点の位置と下側フォーカス範囲点の位置との間の移動距離に対して約０．５倍の移動量だけ顕微鏡ユニットを上又は下に移動すればよく、例えば、図５及び図６に示されるような画像オートフォーカスの動作と比べて、顕微鏡ユニットの移動距離が（１／３）程度となり、画像オートフォーカスの動作に要する時間を短縮することができる。
【００３０】
以上のように、本例の測定装置が有する合焦点装置の機能では、試料２１のパターン３２を撮像した画像に基づいて当該パターン３２の輝度波形の高周波成分に関する値（本例では、高周波成分値の積分値）を検出し、１フィールド前の高周波成分に関する値と現在のフィールドの高周波成分に関する値との差に基づいて、当該差が所定の閾値により定められる範囲内（所定のパラメータの範囲内）に収まった位置を合焦点位置であると判断する。また、本例の測定装置が有する合焦点装置の機能では、合焦点位置の誤検出を防止するために、更に、高周波成分に関する値（本例では、高周波成分値の積分値）についても、所定の閾値（所定のパラメータ）を設けて、合焦点位置を判断する際に用いることとした。
従って、本例の測定装置が有する合焦点装置の機能では、画像オートフォーカスの動作に要する時間を短縮することができ、当該動作による実質的な処理速度を向上させることができる。
【００３１】
なお、本例の測定装置が有する合焦点装置では、ＣＣＴＶカメラ６の機能により撮像手段が構成されており、制御部１２が画像処理を行って画像における試料２１のパターン３２について輝度波形の高周波成分に関する値を検出する機能により高周波成分値検出手段が構成されており、Ｚステージ９とモータ１０と制御部１２により制御部１２がモータ１０を制御してＺステージ９を移動させて当該Ｚステージ９に取り付けられた顕微鏡を移動させる機能により移動手段が構成されており、制御部１２が高周波成分に関する値の変化量を検出する機能により変化量検出手段が構成されており、制御部１２が検出結果に基づいて合焦点位置を判定する機能により判定手段が構成されている。
また、本例では、試料２１により撮像の対象が構成されており、対物レンズ１やレボルバ２や投光管３や直筒４により顕微鏡（顕微鏡ユニット）が構成されている。
【００３２】
ここで、本発明に係る測定装置や合焦点装置などの構成としては、必ずしも以上に示したものに限られず、種々な構成が用いられてもよい。また、本発明は、例えば、本発明に係る処理を実行する方法或いは方式や、このような方法や方式を実現するためのプログラムや当該プログラムを記録する記録媒体などとして提供することも可能であり、また、種々な装置やシステムとして提供することも可能である。
また、本発明の適用分野としては、必ずしも以上に示したものに限られず、本発明は、種々な分野に適用することが可能なものである。
また、本発明に係る測定装置や合焦点装置などにおいて行われる各種の処理としては、例えばプロセッサやメモリ等を備えたハードウエア資源においてプロセッサがＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）に格納された制御プログラムを実行することにより制御される構成が用いられてもよく、また、例えば当該処理を実行するための各機能手段が独立したハードウエア回路として構成されてもよい。
また、本発明は上記の制御プログラムを格納したフロッピー（登録商標）ディスクやＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）−ＲＯＭ等のコンピュータにより読み取り可能な記録媒体や当該プログラム（自体）として把握することもでき、当該制御プログラムを当該記録媒体からコンピュータに入力してプロセッサに実行させることにより、本発明に係る処理を遂行させることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の一実施例に係る測定装置の構成例を示す図である。
【図２】フォーカスエリア内における輝度波形の高周波成分の抽出を説明するための図である。
【図３】高周波成分値の積分値波形及び前フィールドとの差分波形の一例を示す図である。
【図４】合焦点位置付近における波形の一例を示す図である。
【図５】画像オートフォーカスの動作の一例を説明するための図である。
【図６】画像オートフォーカスの動作の処理手順の一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３４】
１・・対物レンズ、  ２・・レボルバ、  ３・・投光管、  ４・・直筒、  ５・・自動調光ユニット、  ６・・ＣＣＴＶカメラ、  ７・・反射照明光源ユニット、  ８・・ライトガイド、  ９・・Ｚステージ、  １０・・モータ、  １１・・試料台、  １２・・制御部、  ２１・・試料、  ３１・・サンプル画像、  ３２・・パターン、  ３３・・フォーカスエリア、
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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