(57)【要約】【課題】ピンホールを正確に検出することが可能なピンホール検出装置を提供する。【解決手段】光ファイバ束３は、光ファイバ３ａ〜３ｆを含むファイバ群３１、光ファイバ３ｇ〜３ｍを含むファイバ群３２、および光ファイバ３ｎ〜３ｓを含むファイバ群３３からなる。これらのファイバ群３１，３２，３３の一端面側が直線状に配列されて受光部材２に取り付けられる。ファイバ群３１，３２，３３の他端面側は、これらが収束された状態が円３４となるように束ねられる。ファイバ群３１，３２，３３の他端面側、すなわちフレネルレンズの取り付け側において、各ファイバ群３１，３２，３３に含まれる複数の光ファイバの位置が、円３４内で集中的に偏らずに分散されて配置されるよう複数の光ファイバが規則的に束ねられる。【選択図】図５
2007171137.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査物体のピンホールを検出するピンホール検出装置であって、
検査物体に光を照射する線状光源と、
検査物体を介して前記線状光源に対向するように配置される一端面を有するとともに他端面を有する受光手段と、
前記受光手段の他端面に対向する受光領域を有し、前記受光手段からの光を電気信号に変換する変換手段と、
前記変換手段により得られる電気信号と予め定められた基準値とに基づいて検査物体のピンホールの有無を判定する判定手段とを備え、
前記受光手段は、各々が複数の光ファイバからなる複数のファイバ群を含み、
前記一端面において前記複数のファイバ群の各々に含まれる複数の光ファイバが線状に配列され、前記他端面において前記ファイバ群ごとに前記複数の光ファイバが集中的に偏ることなく分散されて配置された状態で束ねられたことを特徴とするピンホール検出装置。
【請求項２】
前記受光手段の他端面と前記変換手段との間に設けられる集光手段をさらに備え、
前記集光手段は、前記変換手段の受光領域よりも小さくかつ受光領域内の外周部を除く領域に前記受光手段からの光を集光することを特徴とする請求項１記載のピンホール検出装置。
【請求項３】
前記集光手段は、フレネルレンズを含むことを特徴とする請求項２記載のピンホール検出装置。
【請求項４】
前記判定手段は、
任意の基準値を設定するための設定手段と、
前記変換手段により得られる電気信号と前記設定手段により設定された基準値とを比較し、比較結果を出力する比較手段とを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のピンホール検出装置。
【請求項５】
前記変換手段は、光電子増倍管を含むことを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のピンホール検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状物体のピンホールを検出するピンホール検出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば、金属箔、鉄板、またはフィルム等からなるシート状物体に存在するピンホールを検出するために、ピンホール検出装置が用いられている（例えば、特許文献１参照）。なお、ピンホールとは、直径約１０００μｍ以下の微小な孔をいう。
【０００３】
このピンホール検出装置は、蛍光灯、線状のライトガイド、または線状に配置された発光ダイオード（ＬＥＤ）等からなる線状光源と、当該線状光源から発せられ、シート状物体のピンホールを透過した光を受光するライン状ライトガイド（例えば、特許文献２参照）と、ライン状ライトガイドからの光を収束し、光電変換する光電子増倍管とを有する。そして、光電子増倍管の出力電圧からピンホールの有無等が判定される。
【特許文献１】特開平２−１０７９５１号公報
【特許文献２】特開平９−２９２５５０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記光電子増倍管は、ライン状ライトガイドからの光を受ける入射窓を有する。一般的に、この入射窓の材料には、硼硅酸ガラス、紫外線透過ガラス、合成石英、またはフッ化マグネシウム（ＭｇＦ２  ）結晶等が用いられる。
【０００５】
また、光電子増倍管には、入射窓からの光を電子に変換する光電面（陰極）が設けられている。この光電面の材料には、仕事関数が低いアルカリ金属を主成分とする化合物半導体（ＧａＡｓ等）が用いられる。
【０００６】
しかしながら、上記のような光電面の材料の特性、または光電面の感度ムラ等によって、受光精度が低下していた。その結果、ピンホールの有無等を正確に判定することが困難な場合があった。
【０００７】
本発明の目的は、ピンホールを正確に検出することが可能なピンホール検出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係るピンホール検出装置は、検査物体のピンホールを検出するピンホール検出装置であって、検査物体に光を照射する線状光源と、検査物体を介して線状光源に対向するように配置される一端面を有するとともに他端面を有する受光手段と、受光手段の他端面に対向する受光領域を有し、受光手段からの光を電気信号に変換する変換手段と、変換手段により得られる電気信号と予め定められた基準値とに基づいて検査物体のピンホールの有無を判定する判定手段とを備え、受光手段は、各々が複数の光ファイバからなる複数のファイバ群を含み、一端面において複数のファイバ群の各々に含まれる複数の光ファイバが線状に配列され、他端面においてファイバ群ごとに複数の光ファイバが集中的に偏ることなく分散されて配置された状態で束ねられたものである。
【０００９】
本発明に係るピンホール検出装置においては、線状光源により光が検査物体に照射される。受光手段の一端面は、検査物体を介して線状光源に対向するように配置される。変換手段は受光手段の他端面に対向する受光領域を有する。受光手段からの光は変換手段により電気信号に変換される。また、変換手段により得られる上記電気信号と予め定められた基準値とに基づいて検査物体のピンホールの有無が判定手段により判定される。さらに、受光手段は、各々が複数の光ファイバからなる複数のファイバ群を含んでいる。
【００１０】
このような構成において、受光手段の一端面において複数のファイバ群の各々に含まれる複数の光ファイバが線状に配列され、受光手段の他端面においてファイバ群ごとに複数の光ファイバが集中的に偏ることなく分散されて配置された状態で束ねられていることにより、変換手段の受光領域の感度ムラに影響しない一定性を有する電気信号を得ることができる。それにより、ピンホールの有無を単に検出するだけでなく、ピンホールの大きさ（直径）に基づいて基準値を予め定めることにより、所望の大きさを有するピンホールを正確に検出することができる。
【００１１】
ピンホール検出装置は、受光手段の他端面と変換手段との間に設けられる集光手段をさらに備え、集光手段は、変換手段の受光領域よりも小さくかつ受光領域内の外周部を除く領域に受光手段からの光を集光してもよい。
【００１２】
このように、変換手段の受光領域よりも小さくかつ受光領域内の外周部を除く領域に光が集光手段により集光されることによって、変換手段の受光領域の外周部の感度ムラの影響を除去することができる。それにより、一定性を有する電気信号を得ることができ、所望の大きさを有するピンホールをより正確に検出することができる。
【００１３】
集光手段は、フレネルレンズを含んでもよい。この場合、効率よく光の集光性を向上することができる。
【００１４】
判定手段は、任意の基準値を設定するための設定手段と、変換手段により得られる電気信号と設定手段により設定された基準値とを比較し、比較結果を出力する比較手段とを含んでもよい。
【００１５】
この場合、任意の基準値が設定手段により設定される。そして、変換手段により得られる電気信号と設定手段により設定された基準値とが比較手段により比較され、比較結果が比較手段により出力される。したがって、所望の基準値を設定手段により設定できるとともに、設定された所望の基準値と上記電気信号との比較結果を得ることができる。
【００１６】
変換手段は、光電子増倍管を含んでもよい。この場合、受光手段からの光が光電子増倍管によって正確に電気信号に変換される。
【発明の効果】
【００１７】
本発明に係るピンホール検出装置によれば、ピンホールを正確に検出することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本実施の形態に係るピンホール検出装置について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
（１）ピンホール検出装置を含む全体構成
図１は、ピンホール検出装置を含むピンホール検出システムを示すブロック図である。
【００２０】
図１に示すように、ピンホール検出システムは、線状光源１、ライトレシーバ２０および制御部５０からなるピンホール検出装置１００、インバータＩ、入力装置５１、表示装置５２、ならびに印刷装置５３を含む。
【００２１】
線状光源１は、制御部５０の制御に基づいてインバータＩにより高周波で点灯される。線状光源１により発生された光は検査物体Ｗに照射される。
【００２２】
ライトレシーバ２０は、検査物体Ｗに存在するピンホール（図示せず）を透過した光を受光し、受光した光を電気信号に変換して制御部５０に出力する。
【００２３】
制御部５０は、増幅器、比較器、出力回路、表示部等を含み、各構成部を制御するとともに、ライトレシーバ２０から出力された電気信号と予め設定された基準電圧（しきい値）とを比較することによりピンホールの有無等を判定する。
【００２４】
入力装置５１は、キーボードおよびマウス等からなり、各種指令およびデータ等を入力するために用いられる。
【００２５】
また、表示装置５２は、液晶表示パネルまたはＣＲＴ（陰極線管）等からなり、各種情報および画像等を表示する。印刷装置５３は、ピンホールに関する情報等を印刷する。
【００２６】
図２は、本実施の形態に係るピンホール検出装置１００を示す模式図である。
【００２７】
図２に示すように、本実施の形態に係るピンホール検出装置１００は、例えば蛍光灯、線状ライトガイド、複数の発光ダイオード（ＬＥＤ）、またはナトリウム灯からなる線状光源１、受光部材２、光ファイバ束３、フレネルレンズ４、および光電子増倍管５を含む。なお、受光部材２、光ファイバ束３、フレネルレンズ４、および光電子増倍管５が図１のライトレシーバ２０を構成する。なお、図２においては、ピンホール検出装置１００を構成する制御部５０については図示を省略している。
【００２８】
線状光源１から発せられた光は、例えば金属箔、鉄板、またはフィルム等からなるシート状不透明体である検査物体Ｗに照射される。受光部材２は、検査物体Ｗに存在するピンホール（図示せず）を透過した光を受光する。なお、検査物体Ｗにピンホールが存在しない場合には、線状光源１から発せられた光は検査物体により遮られるため、受光部材２には光は達しない。
【００２９】
ここで、受光部材２は、複数の光ファイバからなる光ファイバ束３の一方の端面により構成される受光面２ａを有する。すなわち、受光部材２は、複数の光ファイバの端面を直線的に並べることにより直線状の受光面２ａを形成するためのものである。本実施の形態における光ファイバ束３の構成の詳細については後述する。
【００３０】
このような構成において、受光部材２の受光面２ａにより受光された光は光ファイバ束３によりフレネルレンズ４に導かれる。
【００３１】
光ファイバ束３の他方の端面はフレネルレンズ４に密接するように取り付けられている。なお、フレネルレンズ４の詳細については後述する。
【００３２】
また、フレネルレンズ４には受光素子である光電子増倍管５が取り付けられている。なお、光電子増倍管５の構成の詳細については後述する。
【００３３】
このような構成において、光ファイバ束３により導かれた光は、フレネルレンズ４により集光され、光電子増倍管５へ導かれる。
【００３４】
（２）フレネルレンズの構成
次に、フレネルレンズ４の構成について図面を参照しながら説明する。なお、フレネルレンズ４は、光を集光させるためのものである。
【００３５】
図３は、通常の球面レンズ４０およびフレネルレンズ４の構成をそれぞれ示す模式図である。
【００３６】
図３（ａ）に示すように、集光レンズとしての球面レンズ４０は球面４０ａと、これに対向する裏面４０ｂとを有する。
【００３７】
図３（ｂ）に示すように、フレネルレンズ４は薄板状に形成され、複数の環状の凸部４ａと、これらに対向する裏面４ｂとを有する。
【００３８】
球面レンズ４０においては、球面４０ａに入射した光は、球面４０ａで屈折する。この屈折光は、球面レンズ４０内を直進し、球面レンズ４０外へ出射される際に、裏面４０ｂで再び屈折する。
【００３９】
一方、フレネルレンズ４においては、複数の凸部４ａにそれぞれ入射した光は、凸部４ａでそれぞれ屈折した後、裏面４ｂから出射される。
【００４０】
このように、フレネルレンズ４では、球面レンズ４０と比べ、光が内部を直進する部分が比較的小さい。それにより、フレネルレンズ４は、集光の効果を有しつつ、平板状レンズに類似する形状を有することにより、軽量化および小型化が実現される。
【００４１】
フレネルレンズ４は、例えばガラス、またはアクリル樹脂、ポリカーボネート、および高密度ポリエチレン等を含むプラスチック等により形成される。フレネルレンズ４をプラスチックにより形成した場合、プラスチックの比重はガラスの１／２以下であるので、著しく軽量化を図れるとともに、耐衝撃性等も向上することができる。
【００４２】
（３）光電子増倍管の構成
次に、光電子増倍管５の構成について図面を参照しながら説明する。
【００４３】
図４は、光電子増倍管５の構成を示す模式図である。
【００４４】
図４に示すように、光電子増倍管５は、入射窓６１、光電面（陰極）６２、集束電極６３、電子増倍部（ダイノード）６４、陽極６５、ステムピン６６、および管状構造を有する容器Ｋを含む。
【００４５】
上記容器Ｋは、光電面６２、集束電極６３、電子増倍部（ダイノード）６４、および陽極６５を収納する。なお、容器Ｋ内は、１０−４  Ｐａ以下の真空状態となっている。
【００４６】
また、容器Ｋの一方の端面に光が入射する入射窓６１が形成され、他方の端面に複数のステムピン６６が取り付けられている。
【００４７】
入射窓６１から入射した光は、光電子増倍管５内に設けられた光電面６２により光電子に変換される。
【００４８】
光電子は、光電面６２から容器Ｋ内の真空中に放出される。そして、放出された光電子は、集束電極６３により電子増倍部６４に導かれる。
【００４９】
電子増倍部６４に導かれた光電子は、電子増倍部６４により約１０４  〜１０５  倍程度増倍される。すなわち、電子増倍部６４で二次電子の放出が行われることにより光電子が増倍される。
【００５０】
増倍された光電子は、陽極６５に収集される。そして、陽極６５から光電子の量に応じた電流が、制御部５０に与えられる。
【００５１】
そして、制御部５０では、増幅器が光電子増倍管５から与えられた電流を電圧に変換し、比較器が増幅器の出力電圧と予め定められた基準電圧（しきい値）とを比較することによりピンホールの有無等を判定する。判定結果は、制御部５０の出力回路から２値化信号として出力される。
【００５２】
制御部５０には、図１の入力装置５１等を用いて任意の１または複数の基準電圧を設定することができる。
【００５３】
このように、二次電子の放出による光電子の増倍が行われているため、光電子増倍管５は、紫外光、可視光、近赤外光等の測定に用いられる受光素子の中では、際立った感度特性と低ノイズ性とを有している。
【００５４】
（４）光ファイバ束の構成
続いて、本実施の形態に係るピンホール検出装置１００の光ファイバ束３の構成について図面を参照しながら説明する。
【００５５】
図５は、ピンホール検出装置１００の光ファイバ束３の構成を示す模式図である。
【００５６】
図５に示すように、光ファイバ束３は、光ファイバ３ａ〜３ｆを含むファイバ群３１、光ファイバ３ｇ〜３ｍを含むファイバ群３２、および光ファイバ３ｎ〜３ｓを含むファイバ群３３からなる。
【００５７】
これらのファイバ群３１，３２，３３の一端面側が直線状に配列されて受光部材２に取り付けられる。
【００５８】
また、上記のファイバ群３１，３２，３３の他端面側は、これらが収束された状態が円３４となるように束ねられる。このように、フレネルレンズ４の円形状に対応して、ファイバ群３１，３２，３３の収束形態を円３４とすることで、光の伝達効率が向上される。
【００５９】
ここで、本実施の形態では、上記のファイバ群３１，３２，３３の他端面側、すなわちフレネルレンズ４の取り付け側において、各ファイバ群３１，３２，３３に含まれる複数の光ファイバの位置が、円３４内で集中的に偏らずに分散されて配置されるよう複数の光ファイバが規則的に束ねられている。
【００６０】
図５においては、例えば、ファイバ群３１を構成する光ファイバ３ａ〜３ｆを便宜的にＡ〜Ｆで示し、フレネルレンズ４の取り付け側において当該Ａ〜Ｆが円３４内で分散されて配置されていることがわかる。
【００６１】
本実施の形態では、フレネルレンズ４が光ファイバ束３の他端面から出射された光を光電子増倍管５の光電面６２内の外周部を除く領域に集光するように光ファイバ束３、フレネルレンズ４および光電子増倍管５が配置される。それにより、光電子増倍管５の光電面６２の外周部の感度ムラの影響を除去することができる。
【００６２】
（５）本実施の形態における効果
本実施の形態においては、光ファイバ束３におけるファイバ群３１，３２，３３のフレネルレンズ４の取り付け側において、各ファイバ群３１，３２，３３に含まれる光ファイバ３ａ〜３ｓの位置が、円３４内で集中的に偏らずに分散されて配置されるよう各光ファイバが規則的に束ねられている。
【００６３】
一般的に、光電子増倍管５の光電面６２には受光の感度ムラがある。特に、光電面６２の外周部（周縁部）等では感度特性の著しい低下が確認される。
【００６４】
このような光電面６２を用いた場合でも、上記のような光ファイバ束３を用いることにより、光電面６２の感度ムラに影響しない一定性を有する出力電圧を得ることができる。それにより、ピンホールの有無を単に検出するだけでなく、ピンホールの大きさ（直径）に基づいて基準電圧（しきい値）を予め定めることにより、所望の大きさを有するピンホールを正確に検出することができる。
【００６５】
（６）請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応関係
以下、請求項の各構成要素と実施の形態の各部との対応の例について説明するが、本発明は下記の例に限定されない。
【００６６】
本実施の形態においては、受光部材２および光ファイバ束３が受光手段に相当し、光電子増倍管５が変換手段に相当し、制御部５０が判定手段および比較手段に相当し、フレネルレンズ４が集光手段に相当し、入力装置５１が設定手段に相当し、入射窓６１および光電面６２が変換手段の受光領域に相当する。
【実施例】
【００６７】
（ａ）実施例
以下の実施例では、上記実施の形態と同じピンホール検出装置１００を作製した。そして、作製したピンホール検出装置１００を用いて、検査物体Ｗに存在するピンホールによる出力電圧の感度分布を調査した。
【００６８】
検査物体Ｗには、受光面２ａの長さ方向において所定の間隔を設けて複数の直径１０００μｍのピンホールを予め設けておいた。
【００６９】
本実施例では、上記と同様に、直径８００μｍ、直径５００μｍ、直径４００μｍ、直径３００μｍ、および直径２００μｍをそれぞれ予め設けておいた。
【００７０】
図６は、実施例のピンホール検出装置１００によるピンホールの感度分布を示すグラフである。
【００７１】
図６の縦軸は出力電圧（Ｖ）を示し、横軸は受光面２ａの長さ方向における検査物体Ｗ上の位置を示す。
【００７２】
また、図６において、直径１０００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白丸（○）により示し、直径８００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白三角（△）により示し、直径５００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白四角（□）により示し、直径４００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒三角（▲）により示し、直径３００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒四角（■）により示し、直径２００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒菱形（◆）により示す。
【００７３】
図６に示すように、出力電圧は、いずれの直径を有するピンホールにおいても、ほぼ一定値となった。
【００７４】
（ｂ）比較例
比較例のピンホール検出装置が上記実施例のピンホール検出装置１００と異なる点は、光ファイバ束の構成が異なる点である。以下、図面を参照しながら説明する。
【００７５】
図７は、比較例のピンホール検出装置における光ファイバ束３０の構成を示す模式図である。
【００７６】
図７に示すように、比較例の光ファイバ束３０は、実施例の光ファイバ束３と同様に、光ファイバ３ａ〜３ｆを含むファイバ群３１、光ファイバ３ｇ〜３ｍを含むファイバ群３２、および光ファイバ３ｎ〜３ｓを含むファイバ群３３からなる。
【００７７】
これらのファイバ群３１，３２，３３の一端面側が直線状に配列されて受光部材２に取り付けられる。また、上記のファイバ群３１，３２，３３の他端面側は、これらが収束された状態が円３４となるように束ねられる。
【００７８】
ここで、本比較例では、上記のファイバ群３１，３２，３３の他端面側、すなわちフレネルレンズ４の取り付け側において、各ファイバ群３１，３２，３３に含まれる複数の光ファイバの位置が、円３４内でファイバ群ごとに集中的に偏って配置されるよう複数の光ファイバが規則的に束ねられている。
【００７９】
図７においては、例えば、ファイバ群３１を構成する光ファイバ３ａ〜３ｆを便宜的にＡ〜Ｆで示し、フレネルレンズ４の取り付け側において当該Ａ〜Ｆが円３４内の所定の領域に集中的に偏って配置されていることがわかる。
【００８０】
続いて、上記の光ファイバ束３０を用いて比較例のピンホール検出装置を作製した。そして、作製したピンホール検出装置を用いて、検査物体Ｗに存在するピンホールによる出力電圧の感度分布を上記実施例と同様に調査した。
【００８１】
検査物体Ｗには、受光面２ａの長さ方向において所定の間隔を設けて複数の直径１０００μｍのピンホールを予め設けておいた。
【００８２】
本実施例では、上記と同様に、直径８００μｍ，直径５００μｍ，直径４００μｍ，直径３００μｍ，直径２００μｍをそれぞれ予め設けておいた。
【００８３】
図８は、比較例のピンホール検出装置によるピンホールの感度分布を示すグラフである。
【００８４】
図８の縦軸は出力電圧（Ｖ）を示し、横軸は受光面２ａの長さ方向における検査物体Ｗ上の位置を示す。
【００８５】
また、図６と同様に、図８においても、直径１０００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白丸（○）により示し、直径８００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白三角（△）により示し、直径５００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を白四角（□）により示し、直径４００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒三角（▲）により示し、直径３００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒四角（■）により示し、直径２００μｍのピンホールを検出した場合における出力電圧を黒菱形（◆）により示す。
【００８６】
図８に示すように、ピンホールの直径が大きくなるにつれ、出力電圧に一定性がなくなり乱れが生じた。
【００８７】
（ｃ）総合評価
（ｃ−１）実施例の評価
各ファイバ群に含まれる複数の光ファイバの位置が、図５の円３４内で集中的に偏らずに分散されて配置されるよう複数の光ファイバが規則的に束ねられた光ファイバ束３を用いたことにより、光が分散されて光電子増倍管５に導かれたことを確認することができた。その結果、同じ直径を有するピンホールについて一定性を有する出力電圧を得ることができた。
【００８８】
（ｃ−２）比較例の評価
各ファイバ群に含まれる各光ファイバの位置が、図７の円３４内でファイバ群ごとに集中的に偏って配置されるよう各光ファイバが規則的に束ねられた光ファイバ束３０を用いたことにより、光電子増倍管５の光電面６２に感度ムラが生じていることが起因して、同じ直径を有するピンホールについて出力電圧にばらつきが生じた。
【００８９】
図８では、検査物体Ｗ上の位置２００ｍｍにおいて出力電圧に降下が確認された。
【００９０】
これは、当該２００ｍｍの位置に存在するピンホールを透過した透過光が光ファイバ束３０における１または複数の光ファイバへ導かれた後、光電子増倍管５に導かれる際に、光電面６２において感度ムラが生じている領域に上記１または複数の光ファイバが集中的に偏って配置されたためである。
【００９１】
（ｃ−３）まとめ
実施例の光ファイバ束３を用いることにより、光電面６２の感度ムラに影響しない一定性を有する出力電圧を得ることができることがわかった。それにより、ピンホールの有無を単に検出するだけでなく、基準電圧（しきい値）を任意に設定することにより、所望の大きさ（直径）のピンホールの検出を正確に行うことができることがわかった。
【産業上の利用可能性】
【００９２】
本発明は、ピンホール検出装置の他、光により被検出物の有無等を判定する場合に利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００９３】
【図１】ピンホール検出装置を含むピンホール検出システムを示すブロック図である。
【図２】本実施の形態に係るピンホール検出装置を示す模式図である。
【図３】通常のレンズおよびフレネルレンズの構成をそれぞれ示す模式図である。
【図４】光電子増倍管の構成を示す模式図である。
【図５】ピンホール検出装置の光ファイバ束の構成を示す模式図である。
【図６】実施例のピンホール検出装置によるピンホールの感度分布を示すグラフである。
【図７】比較例のピンホール検出装置における光ファイバ束の構成を示す模式図である。
【図８】比較例のピンホール検出装置によるピンホールの感度分布を示すグラフである。
【符号の説明】
【００９４】
１  線状光源
２  受光部材
２ａ  受光面
３  光ファイバ束
３ａ〜３ｓ  光ファイバ
４  フレネルレンズ
４ａ  凸部
５  光電子増倍管
２０  ライトレシーバ
３１，３２，３３  ファイバ群
５０  制御部
５１  入力装置
５２  表示装置
５３  印刷装置
６１  入射窓
６２  光電面（陰極）
６４  電子増倍部（ダイノード）
１００  ピンホール検出装置
Ｗ  検査物体
【図１】
2007171137.tif 000003
【図２】
2007171137.tif 000004
【図３】
2007171137.tif 000005
【図４】
2007171137.tif 000006
【図５】
2007171137.tif 000007
【図６】
2007171137.tif 000008
【図７】
2007171137.tif 000009
【図８】
2007171137.tif 000010