(57)【要約】【課題】レーザー媒質内で発生する周回光路内にコアにかからないようにして、寄生発振を防止し、入射された光の光路がコアにかからないようにして、レーザーの所望方向の出力を増大させ、レーザーの高効率化を図ることができる固体レーザー装置を提供する。【解決手段】円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に等間隔に設けた４箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置であって、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離ＲとしたときにＲ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 を満足する。【選択図】図１
2007134560.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周面に等間隔に設けた４箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
を満足することを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項２】
請求項１記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質に設けられた４箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を粗面にすることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項３】
請求項２記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が略円形であることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項４】
請求項２記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が四角形であることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項５】
請求項２記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が八角形であることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項６】
円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周面に等間隔に設けた５箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 
ただし
ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／５）
ｂ＝ｗ／（２×ｃｏｓ（π／５））
を満足することを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項７】
請求項６記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の外周の５箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を粗面にすることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項８】
請求項６記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が略円形であることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項９】
円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に等間隔に設けたｎ箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 
ただし
ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／ｎ）
ｂ＝ｗ／（２×ｃｏｓ（π／ｎ））
を満足することを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項１０】
請求項９記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の外周のｎ箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を粗面にすることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項１１】
円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の断面が円形状であって、該円形状の外周面のウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、非レーザー発振媒質の外周半径をＲとしたときに
Ｒ≧２×ｒ
を満足することを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項１２】
請求項１〜１１の何れか一項記載の固体レーザー装置において、前記コア及び非レーザー発振媒質の厚さが１ｍｍ以下の薄膜であることを特徴とする固体レーザー装置。
【請求項１３】
請求項１２項記載の固体レーザー装置において、コア及び非レーザー発振媒質の少なくとも一面がヒートシンクに固着されていることを特徴とする固体レーザー装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に直線形ウィンドウを有する固体レーザー装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に直線形ウィンドウを有する固体レーザー装置としては、図１３に示すように、中央にレーザー発振媒質（Ｙｂ：ＹＡＧ）のコア２０１を有し、そのコア２０１の外周には非レーザー発振媒質（アンドープＹＡＧ）２０２を有し、この非レーザー発振媒質（アンドープＹＡＧ）２０２の水平方向から励起光を照射して、レーザー光を上方に発振させて出力するようにしたエッジ励起Ｙｂ：ＹＡＧマイクロチップレーザーが開示されている（非特許文献１）。
【非特許文献１】電子情報通信学会論文誌  Ｃ，Ｖｏｌ．Ｊ８４−Ｃ，Ｎｏ．１０，ｐｐ．９１８−９２５，２００１年１０月
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の固体レーザー装置では、一般に直線形のウィンドウで折り返され非レーザー媒質内を周回する様な光路が存在しており、その光路内にコアの一部がかかると光路内に利得が発生し、いわゆる寄生発振と呼ばれる共振器ミラーを介さない自己内部発振が起こる。この寄生発振が生じると、コア内のエネルギーが媒質内部で消費されるため、本来取り出したい方向であるレーザー共振器の構成に対して垂直方向にレーザーが出難くなり、レーザー出力や効率が低下するといった問題があった。
【０００４】
本発明は、上記状況に鑑みて、非レーザー媒質内の周回光路がコアにかかることがないようにして、レーザーの所望方向の出力を増大させ、レーザーの高効率化を図ることができる固体レーザー装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔１〕円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周面に等間隔に設けた４箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置であって、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
を満足することを特徴とする。
【０００６】
〔２〕上記〔１〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の外周の４箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を粗面にすることを特徴とする。
【０００７】
〔３〕上記〔２〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が略円形であることを特徴とする。
【０００８】
〔４〕上記〔２〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が四角形であることを特徴とする。
【０００９】
〔５〕上記〔１〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が八角形であることを特徴とする。
【００１０】
〔６〕円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周面に等間隔に設けた５箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 
ただし
ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／５）
ｂ＝ｗ／（２×ｃｏｓ（π／５））
を満足することを特徴とする。
【００１１】
〔７〕上記〔６〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の外周の５箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を粗面にすることを特徴とする。
【００１２】
〔８〕上記〔６〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の断面形状が略円形であることを特徴とする。
【００１３】
〔９〕円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に等間隔に設けたｎ箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 
ただし
ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／ｎ）
ｂ＝ｗ／（２×ｃｏｓ（π／ｎ））
を満足することを特徴とする固体レーザー装置。
【００１４】
〔１０〕上記〔９〕記載の固体レーザー装置において、前記非レーザー発振媒質の外周のｎ箇所の直線形ウィンドウの間の外周面である非ウィンドウ領域を祖面にすることを特徴とする固体レーザー装置。
【００１５】
〔１１〕円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の断面が円形状であって、この円形状の外周面のウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置において、コアの半径をｒ、非レーザー発振媒質の外周半径をＲとしたときに
Ｒ≧２×ｒ
を満足することを特徴とする。
【００１６】
〔１２〕上記〔１〕〜〔１１〕の何れか一項記載の固体レーザー装置において、前記コア及び非レーザー発振媒質の厚さが１ｍｍ以下の薄膜であることを特徴とする。
【００１７】
〔１３〕請求項１２項記載の固定レーザー装置において、コア及び非レーザー発振媒質の少なくとも一面がヒートシンクに固着されていることを特徴とする固体レーザー装置。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、固体レーザー装置において、非レーザー媒質内でウィンドウで折り返されて周回する光路がコアにかからないように設計製作することで、寄生発振によるエネルギー損失を防止することができる。それにより、薄膜型レーザー媒質を搭載したレーザー出力、効率、安定性に優れた固体レーザー装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
本発明の固体レーザー装置は、円筒形のレーザー発振媒質をコアに有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質の外周に等間隔に設けた４箇所の直線形ウィンドウを通してコアに励起光を伝搬させる固体レーザー装置であって、コアの半径をｒ、直線形ウィンドウの幅をｗ、コアの中心点と直線形ウィンドウの端部との距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
を満足する。
【実施例】
【００２０】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００２１】
図１は本発明の第１実施例を示す固体レーザー装置の平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。
【００２２】
この図において、固体レーザー装置は、図２に示すように、コアを含む媒質一面がヒートシンク１１上に固定されるようになっており、中央にコア（例えば、Ｙｂ：ＹＡＧ）１を有し、その周囲に形成された非レーザー発振媒質（例えばアンドープＹＡＧ）２の外周面に等間隔に４箇所の直線形ウィンドウ（鏡面）３〜６を形成して、この４箇所の直線形ウィンドウ３〜６を通してコア１に励起光７〜１０を伝搬させるようにしている。ここでは、コア１及び非レーザー発振媒質２の厚さは１ｍｍ以下の薄膜を用いるようにしている。４箇所の直線形ウィンドウ３〜６の側面は外部から導入される励起光が散乱せず効率よく非レーザー媒質２内に入るように平面（鏡面）加工されており、また、４箇所の直線形ウィンドウ３〜６の間の非レーザー発振媒質２の外周面である４箇所の非ウィンドウ領域１２〜１５の側面は粗面（砂面）加工されている。
【００２３】
この固体レーザー装置は、コア１の半径をｒ、直線形ウィンドウ３〜６の幅をｗ、非レーザー発振媒質２の外周半径をＲ（コア１の中心点と直線形ウィンドウの端部との距離）としたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
を満足するようにする。
【００２４】
レーザー媒質（コア１）とヒートシンク１１の間にはレーザー光の波長に対し高い反射率を有する膜が形成されており、レーザーの出力光１６のレーザー発振方向は、上方となる。
【００２５】
ここで、比較例として、図３に本発明の請求項の条件を満足しない従来の固体レーザー装置の平面図を、図４に図３のウィンドウ領域Ａ部の光の反射角の説明図を示している。
【００２６】
図３に示すように、非レーザー発振媒質２２に等間隔で４箇所に直線形ウィンドウ２３〜２６を有する場合、直線形ウィンドウ２３〜２６で折り返され周回する複数の光路が存在し、その直線形ウィンドウ２３〜２６で折り返され周回する光路は折り返しの入射角が４５°と全反射角３３°より大きいため全反射し、反射によるエネルギーの損失がない（図４に示すように、Ａ部では、ＹＡＧの屈折率がｎ＝１．８、大気の屈折率がｎ＝１とすると、周回する光路３３のウィンドウでの折り返しの入射角が４５°と、全反射角３３°より大きいため全反射する）。この状態において中央に配置されるコア２１の半径が本発明の請求項の条件より大きく、一部の周回光路内にコア２１がかかる（図３の光路２７，２８）と、光路内に利得が発生し、しかも周回時の損失がないため寄生発振が容易に生じてしまう。なお、２９〜３２は励起光である。
【００２７】
このように、寄生発振が生じると、コア内のエネルギーが光路に沿って媒質内を周回することになり、本来取り出したい媒質の外部にレーザーが出なくなり、レーザー出力や効率が低下するといった問題が発生する。
【００２８】
そのため、本発明の固体レーザー装置では、コア２１を小さくするか、非レーザー発振媒質２２を大きくする。あるいは、直線形ウィンドウ２３〜２６を小さくすれば、非レーザー媒質２２内に存在できるどの折り返し光路でも、コア２１内を通らないために利得が発生せず寄生発振が生じない。このような設計で媒質を製作することにより、レーザー出力の高効率化を図ることができる。
【００２９】
図５にさらにその原理の詳細な説明図を示す。寄生発振が発生する可能性のある周回光路通過領域は、４１〜４４であり、寄生発振の光路は結局、直線形ウィンドウの幅ｗで折り返される帯状のものと考えられるので、その最もコアに近い光路にコアが接しないようにすればよい。
【００３０】
図６は本発明の固体レーザー装置の幾何学的構成の説明図である。
【００３１】
コア５１の半径をｒ、非レーザー発振媒質（透明ガイド）５２の直線形ウィンドウ５３〜５６の幅をｗ、コア５１の中心点と直線形ウィンドウの端部との距離（非レーザー発振媒質５２の外周半径）をＲとしたときに、
Ｒ2 ＝ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 のとき、コアは光路に接する。
【００３２】
上記関係式のうち２つのパラメータを固定したとき、残りのパラメータが次の条件のとき、光路にコアがかからず寄生発振が起こらない。
【００３３】
（１）Ｒが大きいとき
（２）ｒが小さいとき
（３）ｗが小さいとき
すなわち、本発明の固体レーザー装置では、
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
を満足するようにする。
【００３４】
図７は本発明の第２実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【００３５】
この図において、６１は中央に配置されるコア、６２はその周囲に形成される断面四角形状の非レーザー発振媒質、６３〜６６はその非レーザー発振媒質６２の外周面に形成される４箇所の直線形ウィンドウである。
【００３６】
ここでも、非レーザー発振媒質（透明ガイド）６２の外周面に形成される４箇所の直線形ウィンドウ６３〜６６の間の外周面である４箇所の非ウィンドウ領域６７〜７０の側面は粗面（砂面）加工を行うようにしている。また、コア６１の半径をｒ、非レーザー発振媒質（透明ガイド）６２の直線形ウィンドウ６３〜６６の幅をｗ、コア６１の中心点と直線形ウィンドウの端部の距離をＲとしたときに、
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
の条件を満たせば、寄生発振が起こらない。
【００３７】
図８は本発明の第３実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【００３８】
この実施例では、７１は中央に配置されるコア、７２はその周囲に形成される断面八角形状の非レーザー発振媒質、７３〜７６はその非レーザー発振媒質７２の外周面に形成される４箇所の直線形ウィンドウ、７７〜８０はその４箇所の直線形ウィンドウの間に形成される外周面である４箇所の非ウィンドウ領域である。この４箇所の非ウィンドウ領域７７〜８０の側面は粗面（砂面）加工を行うようにしている。
【００３９】
同様に、コア７１の半径をｒ、非レーザー発振媒質（透明ガイド）７２の直線形ウィンドウ７３〜７６の幅をｗ、コア７１の中心点と直線形ウィンドウの端部の距離をＲとしたときに
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ｗ／√２＋ｒ）2 
の条件を満たせば寄生発振が起こらない。
【００４０】
図９は本発明の第４実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【００４１】
この図において、８１は中央に配置されるコア、８２はその周囲に形成される断面略五角形状の非レーザー発振媒質、８３〜８７はその非レーザー発振媒質８２の外周面に形成される５箇所の直線形ウィンドウである。
【００４２】
ここでも、非レーザー発振媒質８２の外周面に形成される５箇所の直線形ウィンドウ８３〜８７の間の外周面である５箇所の非ウィンドウ領域８８〜９２の側面は粗面（砂面）加工を行うようにしている。また、９３〜９７は励起光である。
【００４３】
コア８１の半径をｒ、非レーザー発振媒質８２の直線形ウィンドウ８３〜８７の幅をｗ、非レーザー発振媒質８２の外周半径をＲとしたときに、
Ｒ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 
ただし
ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／５）
ｂ＝ｗ／（２×ｃｏｓ（π／５））
の条件を満たせば寄生発振が起こらない。
【００４４】
図１０にその詳細な説明図を示す。すなわち、寄生発振の周回光路通過領域は、９８〜１０２であり、寄生発振の光路は結局、直線形ウィンドウ８３〜８７の幅ｗで折り返される帯状のものと考えられるので、図１０に示すように、その最も内側の光路にコア８１が接しないようにすればよい。
【００４５】
図１１は図９に示した固体レーザー装置の幾何学的構成の説明図である。
【００４６】
この実施例のように、直線形ウィンドウが５箇所ある場合には、コア８１の半径をｒ、非レーザー発振媒質８２の直線形ウィンドウ８３〜８７の幅をｗ、非レーザー発振媒質８２の外周半径をＲとしたときに、ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／５），ｂ＝ｗ／〔２ｃｏｓ（π／５）〕，Ｒ2 ＝ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 のとき、コアが光路と接する。したがって寄生発振を防止するためにはＲ2 ≧ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 となるように各値を設定すればよい。
【００４７】
同様に、直線形ウィンドウがｎ箇所（ｎ回対称型）の場合は、ａ＝ｒ×ｔａｎ（π／ｎ），ｂ＝ｗ／〔２ｃｏｓ（π／ｎ）〕，Ｒ2 ＝ｒ2 ＋（ａ＋ｂ）2 のときコアが光路と接する。そこで、光路にコアがかからないようにするためには、上述の式を満たすようにＲ，ｒ，ｗそれぞれの長さを設定すればよい。例えば３回対称型の場合、ａ＝ｒ√３，ｂ＝ｗとなりＲ2 ≧ｒ2 ＋（ｒ√３＋ｗ）2 を満足するようにＲ，ｒ，ｗそれぞれの長さを設定すればよい。
【００４８】
なお、以上の実施例において側面が粗面加工された非ウィンドウ領域の外径形状は円形でも直線形でも、いかなるものでも寄生発振を防止する作用や効果に変わりなく、本発明の実施例の範疇に属するものである。
【００４９】
図１２は本発明の第５実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【００５０】
この実施例において、１１１は中央に配置されるコア、１１２はその周囲に形成される平面が極限状になった円形状の非レーザー発振媒質である。その非レーザー発振媒質１１２は、外周面の全面がウィンドウ１１３であり、いかなる方向からも励起することが可能である。
【００５１】
本実施例の固体レーザー装置を作製するにあたって、光が３回反射して周回する光路について考える。３回反射光路１１４の場合、側面での入射角は３０°となり、全反射より小さいために完全な全反射にならない（わずかに反射の際、損失が生じる）が、この光路も考えに入れると、この３回反射光路１１４がコア１１１に最も接近するので、この光路にコア１１１が接しなければそれ以上の回数で反射する光路（例えば、４回反射光路１１５、５回反射光路１１６）がコア１１１に接することはない。
【００５２】
幾何学的には、ｒ／Ｒ＝ｓｉｎ（３０°）よりもＲが大きいか、ｒが小さければよい。すなわちＲ≧２×ｒであればよい。                                  なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【産業上の利用可能性】
【００５３】
本発明の固体レーザー装置は、理化学用は勿論のこと加工などの産業分野においても、高効率のレーザー光を出力できる固体レーザー装置として利用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】図１は本発明の第１実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】比較例としての固体レーザー装置の平面図である。
【図４】図３のＡ部の光の反射角の説明図である。
【図５】図１に示す固体レーザー装置の詳細な説明図である。
【図６】本発明の第１実施例を示す固体レーザー装置の幾何学的構成の説明図である。
【図７】本発明の第２実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【図８】本発明の第３実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【図９】本発明の第４実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【図１０】図９に示す固体レーザー装置の詳細な説明図である。
【図１１】図９に示す固体レーザー装置の幾何学的構成の説明図である。
【図１２】本発明の第５実施例を示す固体レーザー装置の平面図である。
【図１３】従来の固体レーザー装置の断面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１，２１，５１，６１，７１，８１，１１１    コア
２，２２，５２    非レーザー発振媒質
３〜６，５３〜５６，６３〜６６，７３〜７６    ４箇所の直線形ウィンドウ（鏡面）
７〜１０，２９〜３２，９３〜９７    励起光
１１    ヒートシンク
１２〜１５，６７〜７０，７７〜８０    ４箇所の非ウィンドウ領域
１６    レーザー発振方向
２７，２８，３３    光路
４１〜４４，９８〜１０２    寄生発振の周回光路通過領域
６２    断面四角形状の非レーザー発振媒質
７２    断面八角形状の非レーザー発振媒質
８２    断面略五角形状の非レーザー発振媒質
８３〜８７    ５箇所の直線形ウィンドウ
８８〜９２    ５箇所の非ウィンドウ領域
１１２    円形状の非レーザー発振媒質
１１３    外周面の全面に形成されるウィンドウ
１１４    ３回反射光路
１１５    ４回反射光路
１１６    ５回反射光路
【図１】
2007134560.tif 000003
【図２】
2007134560.tif 000004
【図３】
2007134560.tif 000005
【図４】
2007134560.tif 000006
【図５】
2007134560.tif 000007
【図６】
2007134560.tif 000008
【図７】
2007134560.tif 000009
【図８】
2007134560.tif 000010
【図９】
2007134560.tif 000011
【図１０】
2007134560.tif 000012
【図１１】
2007134560.tif 000013
【図１２】
2007134560.tif 000014
【図１３】
2007134560.tif 000015