(57)【要約】      【課題】  周縁の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置は無く、手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。      【解決手段】  本発明は、対向基板に研削研磨加工する第１の研削研磨加工手段３と、テープ貼着手段７と、基板に研削研磨加工する第２の研削研磨加工手段９と、テープ剥離手段１３と、送出側カセット手段１と第１の加工前仮置き台２と第１の加工後仮置き台４と第１の洗浄乾燥手段５とテープ貼着手段７と第２の加工前仮置き台８と第２の加工後仮置き台１２と剥離後仮置き台１４と収納側カセット手段１５との間で移送をさせる第１の移送手段１６と、第２の移送手段１７と、第３の移送手段１８と、を備えた。      【選択図】      図１
2007136640.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスと、該液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、加工前の液晶用ガラスを単品毎に仮置きする第１の加工前仮置き台と、前記液晶用ガラスをチャックするチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブルと該チャック機構の上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスの対向基板に研削研磨加工する第１の研削研磨加工手段と、加工後の液晶用ガラスを一時的に載置させる第１の加工後仮置き台と、加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる第１の洗浄乾燥手段と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを反転させる第１の反転手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを仮置きする第２の加工前仮置き台と、前記液晶用ガラスをチャックするチャック機構を等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブルと該チャック機構の上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスの基板に研削研磨加工する第２の研削研磨加工手段と、加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる第２の洗浄乾燥手段と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを反転させる第２の反転手段と、反転後の液晶用ガラスを一時的に載置させる第２の加工後仮置き台と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、剥離後の液晶用ガラスを一時的に載置させる剥離後仮置き台と、加工後の液晶用ガラスを複数枚収納させる収納側カセット手段と、前記液晶用ガラスを前記送出側カセット手段と前記第１の加工前仮置き台と前記第１の加工後仮置き台と前記第１の洗浄乾燥手段と前記テープ貼着手段と前記第２の加工前仮置き台と前記第２の加工後仮置き台と前記剥離後仮置き台と前記収納側カセット手段との間で予め設定した移送をさせる第１の移送手段と、前記第１の加工前仮置き台と前記第１の研削研磨加工手段と前記第１の加工後仮置き台との間で予め設定した移送をさせる第２の移送手段と、前記第２の加工前仮置き台と前記第２の研削研磨加工手段と前記第２の洗浄乾燥手段と前記剥離後仮置き台との間で予め設定した移送をさせる第３の移送手段と、を備えたことを特徴とする液晶用ガラスの両面研削研磨装置。
【請求項２】
前記テープ剥離手段で保護用テープを剥離させた剥離後の液晶用ガラスを複数枚収納する第２の収納側カセット手段を備えたことを特徴とする請求項１に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨装置に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスを研削研磨加工する夫々研削研磨加工用テーブル手段と研削又は研磨装置とを備えた第１と第２との２軸の研削研磨加工手段と、液晶用ガラスの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段と第２の移送手段と第３の移送手段とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の周縁の若干巾の回路部用段部にプリント印刷を施し積層された液晶用ガラスの両面を全自動で研磨加工をする装置は無く、又、片面毎に研磨加工をする装置においても、液晶用ガラスの片面の周縁の若干巾の回路部用段部に施したプリント印刷を傷つけたり、断線させたりするため保護テープを貼着させるために一旦外に出して貼着させており手間暇係る作業となっており、苦慮している実情である。
【０００３】
例えば、先に開示されている、送出側移送手段で移送させた半導体ウエハを取着するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置へ第１の研磨手段を配設し、第１の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の下方へ第２の研磨手段を配設し、第２の研磨手段の上方に位置するヘッドの位置のコラムの回動方向の直角位置のヘッドの位置の近傍に洗浄用移送手段を配設し研磨加工後の半導体ウエハを取外すもの（特許文献１参照）や、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するもの（特許文献２参照）や、本発明は、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置で、板ガラス１と略同寸法の板状体５ｂと、研磨パッド２の板ガラス１との接触面全体に当接する領域に埋設された所定の粗面を有するドレッサー５ａとを具備するドレッシングプレート５を準備して、ドレッシングプレート５を搬送コンベヤー２０に載置して移送し、回転する研磨パッド２に接触させることにより研磨パッド２をドレッシングするもの（特許文献３参照）等が開示されている。
【特許文献１】特開２００１−２１７２１４号公報
【特許文献２】特開２００４−１５４８９３号公報
【特許文献３】特開２００５−１２５４２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
然し乍ら、先に開示された特許文献１のものは、本件出願人が出願人と共に共同開発したもので、全自動２プラテン研磨装置であるが、被加工物は半導体ウエハであり、半導体ウエハには片面の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を有しておらず、従って、保護テープのテープ貼着手段やテープ剥離手段は備えていないもので、その移送動作は大差するものである。
【０００５】
更に、特許文献２に記載のものでは、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード移載機１で搬入し、この板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するロード台車２で研磨処理ラインＬ３上の着脱位置Ｌ３ａに移送し、この着脱位置Ｌ３ａの板硝子Ｇを上定盤３の吸着面３２ｃに保持させ、上定盤３を研磨処理ラインＬ３に沿う下定盤上に移動して板硝子Ｇの表面を研磨してから上定盤３を着脱位置Ｌ３ａに移動し、この着脱位置Ｌ３ａの研磨後の板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード台車５で搬出ラインＬ２側に移送してから、板硝子Ｇをその表面を間接的に支持するアンロード移載機６によって搬出ラインＬ２に搬出するものであり、搬入ラインＬ１上の板硝子Ｇを研磨処理ラインＬ３に移送し、研磨処理ラインＬ３で研磨後に搬出ラインＬ２に移送させるだけのものである。
【０００６】
更には、特許文献３では、搬送コンベヤー２０の所定位置に板ガラス１を載置して移送し、搬送コンベヤー２０の上方に設けられた回転する研磨具により搬送コンベヤー上の板ガラスを押圧研磨する連続研磨装置であるが、板ガラス１を載置して移送させるのは搬送コンベヤー２０であり、片面の研磨は可能なものであるが、両面の研磨には適応しにくいものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、前述の課題に鑑み、鋭意研鑽の結果、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスと、液晶用ガラスの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段と、加工前の液晶用ガラスを仮置きする第１の加工前仮置き台と、液晶用ガラスをチャックするチャック機構を配設した研削研磨加工用テーブルと研削又は研磨装置で液晶用ガラスの対向基板に研削研磨加工する第１の研削研磨加工手段と、加工後の液晶用ガラスを載置させる第１の加工後仮置き台と、加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる第１の洗浄乾燥手段と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを反転させる第１の反転手段と、液晶用ガラスの回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスを仮置きする第２の加工前仮置き台と、液晶用ガラスをチャックするチャック機構を配設した研削研磨加工用テーブルと研削又は研磨装置で液晶用ガラスの基板に研削研磨加工する第２の研削研磨加工手段と、加工後の液晶用ガラスを洗浄乾燥させる第２の洗浄乾燥手段と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスを反転させる第２の反転手段と、反転後の液晶用ガラスを載置させる第２の加工後仮置き台と、液晶用ガラスの回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段と、剥離後の液晶用ガラスを載置させる剥離後仮置き台と、剥離後の液晶用ガラスを複数枚収納させる収納側カセット手段と、液晶用ガラスを送出側カセット手段と第１の加工前仮置き台と第１の加工後仮置き台と第１の洗浄乾燥手段とテープ貼着手段と第２の加工前仮置き台と第２の加工後仮置き台と剥離後仮置き台と収納側カセット手段との間で移送をさせる第１の移送手段と、第１の加工前仮置き台と第１の研削研磨加工手段と第１の加工後仮置き台との間で移送をさせる第２の移送手段と、第２の加工前仮置き台と第２の研削研磨加工手段と第２の洗浄乾燥手段と剥離後仮置き台との間で移送をさせる第３の移送手段と、を備えたものであり、加えて、第２の収納側カセット手段を備えたものである。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスの対向基板を上方にして収納させた送出側カセット手段と、第１と第２との加工前仮置き台と、第１と第２との研削研磨加工手段と、第１と第２との加工後仮置き台と、第１と第２との洗浄乾燥手段と、第１と第２との反転手段と、テープ貼着手段と、テープ剥離手段と、剥離後仮置き台と、収納側カセット手段と、第１と第２と第３との移送手段とを備えたことにより、基板の周縁にプリント印刷された回路部用段部を形成した液晶用ガラスを全自動で且つ高効率で両面研削研磨加工を可能とするものであり、極めて画期的で実用性の高い発明である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の図面を用いて詳細に説明すると、図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の全体の概要説明図である。
【００１０】
本発明は、矩形状の板体の基板と対向基板とを積層し、該基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を備えた液晶ディスプレーに用いる液晶用ガラスＡの両面に研削研磨加工を施すための両面研削研磨装置に関するものであって、更に詳細には、液晶用ガラスＡを研削研磨加工する夫々研削研磨加工用テーブル手段３ａ．９ａと研削又は研磨装置とを備えた第１と第２との２軸の研削研磨加工手段３．９と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部のプリント印刷を保護する保護用テープを貼着するテープ貼着手段７と、該保護用テープを剥離させるテープ剥離手段１３と、夫々間を予め設定された移送をさせる第１の移送手段１６と第２の移送手段１７と第３の移送手段１８とを備えた全自動の液晶用ガラスの両面研削研磨装置に関するものであり、請求項１に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、液晶ディスプレーに用いる基板の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて対向基板を積層した液晶用ガラスＡと、該液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１と、加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きする第１の加工前仮置き台２と、前記液晶用ガラスＡをチャックするチャック機構３ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブル３ａと該チャック機構３ｂの上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスＡの対向基板に研削研磨加工する第１の研削研磨加工手段３と、加工後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させる第１の加工後仮置き台４と、加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥させる第１の洗浄乾燥手段５と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを反転させる第１の反転手段６と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に保護用テープを貼着するテープ貼着手段７と、保護用テープを貼着した液晶用ガラスＡを仮置きする第２の加工前仮置き台８と、前記液晶用ガラスＡをチャックするチャック機構９ｂを等間隔に複数配設して間欠的に回動停止を繰り返えす研削研磨加工用テーブル９ａと該チャック機構９ｂの上方に備えた研削又は研磨装置で液晶用ガラスＡの基板に研削研磨加工する第２の研削研磨加工手段９と、加工後の液晶用ガラスＡを洗浄乾燥させる第２の洗浄乾燥手段１０と、洗浄乾燥後の液晶用ガラスＡを反転させる第２の反転手段１１と、反転後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させる第２の加工後仮置き台１２と、液晶用ガラスＡの周縁の若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるテープ剥離手段１３と、剥離後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させる剥離後仮置き台１４と、剥離後の液晶用ガラスＡを複数枚収納させる収納側カセット手段１５と、前記液晶用ガラスＡを前記送出側カセット手段１と前記第１の加工前仮置き台２と前記第１の加工後仮置き台４と前記第１の洗浄乾燥手段５と前記テープ貼着手段７と前記第２の加工前仮置き台８と前記第２の加工後仮置き台１２と前記剥離後仮置き台１４と前記収納側カセット手段１５との間で予め設定した移送をさせる第１の移送手段１６と、前記第１の加工前仮置き台４と前記第１の研削研磨加工手段３と前記第１の加工後仮置き台４との間で予め設定した移送をさせる第２の移送手段１７と、前記第２の加工前仮置き台８と前記第２の研削研磨加工手段９と前記第２の洗浄乾燥手段１０と前記剥離後仮置き台１４との間で予め設定した移送をさせる第３の移送手段１８と、を備えたことを特徴とするものである。
【００１１】
加えて、請求項２に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨装置は、請求項１に記載の液晶用ガラスの両面研削研磨装置において、前記テープ剥離手段１３で保護用テープを剥離させた剥離後の液晶用ガラスＡを複数枚収納する第２の収納側カセット手段１５ａを備えたことを特徴とするものである。
【実施例】
【００１２】
即ち、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の液晶用ガラスＡは、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させたものであり、両面に高品質の平坦精度、平面精度を求められるもので、矩形状の液晶用ガラスＡの基板の少なくとも隣り合う２辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を露出させて形成しているものでも、二組の液晶用ガラスＡを一体に形成し基板の３辺の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に半分に切断したものでも、四組を一体に形成し基板の全周の周縁の若干巾にプリント印刷された回路部用段部を設け加工後に十字に切断したものでも構わないものであり、図示する実施例では四組の液晶用ガラスＡを一体にしたものである。
【００１３】
そして、送出側カセット手段１は、水平方向を複数の桟体で仕切られており、未加工の液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして、つまり、回路部用段部を設けた面を上方にして、複数の桟体の間に単品毎に収納させているものであり、下方に昇降自在なエレベーター台を設けて後述する第１の移送手段１６と共動させて液晶用ガラスＡを後述する第１の加工前仮置き台２に移送させるものであり、図示する実施例では２セットを配設して夫々送出が終わると交互に取り替えるものである。
【００１４】
次に、第１の加工前仮置き台２は、前記送出側カセット手段１と後述する第１の研削研磨加工手段３との間に設けられ、加工前の液晶用ガラスＡを単品毎に仮置きするもので、後述する第１の移送手段１６により送出側カセット手段１から単品毎に移送され載置されるものである。
【００１５】
次いで、第１の研削研磨加工手段３は、第１の研削研磨加工用テーブル３ａと第１研削又は研磨装置とから成り、第１の加工前仮置き台２から後述する第２の移送手段１７により後述する第１のチャック機構３ｂに移送された未加工の液晶用ガラスＡの対向基板に研削研磨加工を施すものである。
【００１６】
更に、第１の研削研磨加工用テーブル３ａは、液晶用ガラスＡを吸着又は水張り等の手段でチャックする第１のチャック機構３ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しており、間欠的に回動停止を繰り返えすものであり、例えば、最初の位置での第１のチャック機構３ｂに前記第１の加工前仮置き台２から後述する第２の移送手段１７で液晶用ガラスＡを移送してチャックし、１／４回動させた位置で研削加工を施し、更に、１／４回動させた位置で粗研磨加工を施し、更に、１／４回動させた位置で仕上研磨加工を施すと共に後述する第２の移送手段１７で第１の洗浄乾燥手段５に移送するものであり、第１の研削研磨加工用テーブル３ａはエンドレスに回動停止を繰り返えすものである。
【００１７】
更には、第１の研削研磨加工用テーブル３ａの第１のチャック機構３ｂの上方には図示しない第１の研削又は研磨装置を配設しているもので、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けて、第１のチャック機構３ｂにチャックされた液晶用ガラスＡの上面に予め定められた研削又は研磨加工を施すものである。
【００１８】
そして、第１の加工後仮置き台４は、第１の研削研磨加工手段３で研削研磨加工された後の液晶用ガラスＡを後述する第２の移送手段１７により移送され一時的に載置させるものである。
【００１９】
更には、第１の洗浄乾燥手段５は、前記第１の加工後仮置き台４に載置された研削研磨加工後の液晶用ガラスＡを後述する第１の移送手段１６によって移送され水や純水により洗浄され、ドライヤー等の乾燥機で乾燥されるものである。
【００２０】
次いで、第１の反転手段６は、前記第１の洗浄乾燥手段５で洗浄乾燥された後の液晶用ガラスＡを吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ縦方向に回動させることで、対向基板と基板との面を反転させるもので、後述する第１の移送手段１６によりテープ貼着手段７に移送させるものである。
【００２１】
次に、テープ貼着手段７は、液晶用ガラスＡの基板の周縁の若干巾を対向基板より膨出させた回路部用段部に保護用テープを貼着するものであり、その自動的に保護用テープを貼着する構造は各種考慮され特に限定するものではなく、後述する第１の移送手段１６で前記第１の反転手段６から移送され、保護用テープを貼着された液晶用ガラスＡは後述する第１の移送手段１６で第２の加工前仮置き台８に移送されるものである。
【００２２】
更には、第２の加工前仮置き台８は、前記テープ貼着手段７で保護用テープを貼着された液晶用ガラスＡを後述する第１の移送手段１６で単品毎に移送され載置されるもので、前記テープ貼着手段７と後述する第２の研削研磨加工手段９との間に設けられるものである。
【００２３】
次いで、第２の研削研磨加工手段９は、第１の研削研磨加工手段３と同様なもので、第２の研削研磨加工用テーブル９ａと第２の研削又は研磨装置とから成り、第２の加工前仮置き台８から後述する第３の移送手段１８により後述する第２のチャック機構９ｂに移送された保護用テープを貼付された液晶用ガラスＡの基板に研削研磨加工を施すものである。
【００２４】
更に、第２の研削研磨加工用テーブル９ａは、液晶用ガラスＡの対向基板を吸着又は水張り等の手段でチャックする第２のチャック機構９ｂを等間隔に図示する実施例では４つ配設しているもので、間欠的に回動停止を繰り返えすものであり、例えば、最初の位置で第２のチャック機構９ｂに後述する第３の移送手段１８で液晶用ガラスＡを載置してチャックし、１／４回動させた位置で研削加工を施し、更に、１／４回動させた位置で粗研磨加工を施し、更に、１／４回動させた位置で仕上研磨加工を施すと共に後述する第３の移送手段１８で第２の洗浄乾燥手段１０に移送されるものであり、第２の研削研磨加工用テーブル９ａはエンドレスに回動停止を繰り返えすものである。
【００２５】
そして、第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂの上方には図示しない第２の研削又は研磨装置を配設しているもので、スピンドル軸の下端にカップホイール砥石や研磨パットや研磨クロス等を設けて、第２のチャック機構９ｂにチャックされた液晶用ガラスＡの基板に予め定められた研削又は研磨加工を施すものである。
【００２６】
更には、第２の洗浄乾燥手段１０は、前記第１の洗浄乾燥手段５と同様なもので、第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂにチャックされていた研削研磨加工後の液晶用ガラスＡを後述する第３の移送手段１８によって移送して、水や純水により洗浄されドライヤー等の乾燥機で乾燥されるものである。
【００２７】
次に、第２の反転手段１１は、前記第１の反転手段６と同様なもので、前記第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄乾燥された後の液晶用ガラスＡを吸盤又は挟持具等をアームの先端に取り付けてバキューム吸着又は挟持させ縦方向に回動させることで、基板と対向基板との面を反転させるもので、反転させて後述する第２の加工後仮置き台１２に一時的に載置させるものである。
【００２８】
更に、第２の加工後仮置き台１２は、前記第２の反転手段１１で反転後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるもので、後述する第１の移送手段１６によりテープ剥離手段１３に移送させるものである。
【００２９】
次いで、テープ剥離手段１３は、前記第２の加工後仮置き台１２に仮置きされた液晶用ガラスＡを後述する第１の移送手段１６で移送され、液晶用ガラスＡの基板の周縁の膨出させた若干巾の回路部用段部に貼着された保護用テープを剥離させるもので、剥離後の液晶用ガラスＡは後述する第１の移送手段１０で後述する剥離後仮置き台１４に移送されるか、後述する第２の収納側カセット手段１５ａに収納されるものである。
【００３０】
更に、剥離後仮置き台１４は、テープ剥離手段１３で剥離後の液晶用ガラスＡを一時的に載置させるものであり、剥離後の液晶用ガラスＡに再度洗浄が必要な場合に、後述する第１の移送手段１６で移送するものである。
【００３１】
更に、収納側カセット手段１５は、前記送出側カセット手段１と同様な構造であり、水平方向を複数の桟体で仕切られており、加工後の液晶用ガラスＡを複数の桟体の間に単品毎に収納させているもので、下方に昇降自在なエレベーター台を設けて後述する第１の移送手段１６と共動させて液晶用ガラスＡを第２の反転手段１１から後述する第１の移送手段１０で移送させるものであり、図示する実施例では２セットを配設して夫々収納が終わると交互に空のものと取り替えるものである。
【００３２】
そして、第１の移送手段１６は、前記送出側カセット手段１と前記収納側カセット手段１５との間にレールを敷設して左右方向にスライドすると共に、上下方向は伸縮自在の立設柱を設け、該立設柱の先端には旋回及び進退自在のアームを設け、先端に液晶用ガラスＡの把持具を備えているものであり、送出側カセット手段１と第１の加工前仮置き台２と第１の加工後仮置き台４と第１の洗浄乾燥手段５とテープ貼着手段７と第２の加工前仮置き台８と第２の加工後仮置き台１２と剥離後仮置き台１４との間を図示しない自動制御装置等で予め設定された移送をさせるものである。
【００３３】
更に、第２の移送手段１７は、旋回自在及び伸縮自在な立設柱の先端に旋回及び進退自在のアームを設け、先端に液晶用ガラスＡの把持具を備えているものであり、第１の加工前仮置き台４と第１の研削研磨加工手段３と第１の加工後仮置き台４との間で図示しない自動制御装置等で予め設定した移送をさせるものである。
【００３４】
更には、第３の移送手段１８は、前記第２の移送手段１７と同様なもので、第２の研削研磨加工手段９への又は第２の研削研磨加工手段９からの移送を主として行うもので、第２の加工前仮置き台８と第２の研削研磨加工手段９と第２の洗浄乾燥手段１０と剥離後仮置き台１４との間で図示しない自動制御装置等で予め設定した移送をさせるものである。
【００３５】
加えて、第２の収納側カセット手段１５ａは、前記収納側カセット手段１５と同様な構造であり、テープ剥離手段１３で保護用テープを剥離後の液晶用ガラスＡを洗浄の必要がない場合に、或いは、一時的に収納するものである。
【００３６】
そして、本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の動作を説明すると、先ず、液晶用ガラスＡの対向基板を上方にして複数枚収納させた送出側カセット手段１から一枚宛第１の移送手段１６で第１の加工前仮置き台２に載置され、第１の加工前仮置き台２に載置された液晶用ガラスＡは第２の移送手段１７で第１の研削研磨加工手段３の第１の研削研磨加工用テーブル３ａの第１のチャック機構３ｂの上に移送されてチャックされるものである。
【００３７】
次に、第１の研削研磨加工手段３の第１の研削研磨加工用テーブル３ａでは、例えば、第１の研削研磨加工用テーブル３ａが１／４回動させた位置で上方から降下させた研削装置で研削加工を施し、更に、１／４回動させた位置で上方から降下させた研磨装置で粗研磨加工を施し、更に、１／４回動させた位置で仕上研磨加工を施すと共に、研削研磨加工後の液晶用ガラスＡは第１のチャック機構３ｂからチャックが解放され第２の移送手段１７で第１の加工後仮置き台４に移送されるものである。
【００３８】
次いで、液晶用ガラスＡは第１の加工後仮置き台４から第１の移送手段１６により第１の洗浄乾燥手段５に移送されるもので、第１の洗浄乾燥手段５では水や純水等を噴射され洗浄ブラシや洗浄パット等で洗浄されると共に、ドライヤー等よって乾燥され第１の反転手段６で対向基板と基板との面を反転して、第１の移送手段１６によりテープ貼着手段７に移送されるものである。
【００３９】
更に、テープ貼着手段７に移送された液晶用ガラスＡは、回路部用段部に保護用テープを貼着され、第２の加工前仮置き台８に第１の移送手段１６により移送され、第２の加工前仮置き台８に移送された液晶用ガラスＡは第３の移送手段１８で第２の研削研磨加工手段９の第２の研削研磨加工用テーブル９ａの第２のチャック機構９ｂの上に移送されてチャックされ、前述と同様に液晶用ガラスＡの基板を研削研磨加工を施されされ、第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄及び乾燥され、第２の反転手段１１で反転されて第２の加工後仮置き台１２に載置されるものである。
【００４０】
更には、第２の加工後仮置き台１２に載置された液晶用ガラスＡは第１の移送手段１６でテープ剥離手段１３に移送され保護テープを剥離され、第１の移送手段１６で剥離後仮置き台１４に移送され、剥離後仮置き台１４に移送された液晶用ガラスＡは、再び、第３の移送手段１８で前述と同様に第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄及び乾燥され、第２の反転手段１１で反転されて第２の加工後仮置き台１２に載置されるものである。
【００４１】
そして、第２の加工後仮置き台１２に載置された液晶用ガラスＡは、第１の移送手段１６で収納側カセット手段１５に収納されるものである。
【００４２】
加えて、テープ剥離手段１３で保護テープを剥離された液晶用ガラスＡの洗浄の必要が無い場合や、一時的に第１の移送手段１６で第２の収納側カセット手段１５ａに収納させるものであり、一時的に収納され洗浄が必要な液晶用ガラスＡは、第１の移送手段１６で第２の加工後仮置き台１４に移送載置され、第２の加工後仮置き台１４に移送載置された液晶用ガラスＡは、第３の移送手段１８で前述と同様に第２の洗浄乾燥手段１０で洗浄及び乾燥され、第２の反転手段１１で反転されて第２の加工後仮置き台１２に載置され、第２の加工後仮置き台１２に載置された液晶用ガラスＡは、第１の移送手段１６で収納側カセット手段１５に収納されるものである。
【００４３】
更には、送出側カセット手段１と収納側カセット手段１５及び第２の収納側カセット手段１５ａとは夫々２セットが用意されていて、収納されていた液晶用ガラスＡが空になったり、満杯に収納されたら随時取り替えるものであり、前述の工程を自動的に制御されエンドレスで行うことで液晶用ガラスＡの両面に全自動で研削研磨加工を施せるものである。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明は、液晶用のディスプレーとしてＴＦＴや液晶等を介装させるために基板の上に対向基板を積層させた液晶用ガラスの研削研磨加工を全自動で実施可能な両面研削研磨装置を提供するものである。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】図１は本発明の液晶用ガラスの両面研削研磨装置の実施例の全体の概要説明図である。
【符号の説明】
【００４６】
Ａ      液晶用ガラス
１      送出側カセット手段
２      第１の加工前仮置き台
３      第１の研削研磨加工手段
３ａ    研削研磨加工用テーブル
３ｂ    チャック機構
４      第１の加工後仮置き台
５      第１の洗浄乾燥手段
６      第１の反転手段
７      テープ貼着手段
８      第２の加工前仮置き台
９      第２の研削研磨加工手段
９ａ    研削研磨加工用テーブル
９ｂ    チャック機構
１０    第２の洗浄乾燥手段
１１    第２の反転手段
１２    第２の加工後仮置き台
１３    テープ剥離手段
１４    剥離後仮置き台
１５    収納側カセット手段
１５ａ  第２の収納側カセット手段
１６    第１の移送手段
１７    第２の移送手段
１８    第３の移送手段
【図１】
2007136640.tif 000003