(57)【要約】【課題】様々な装置に対して最適な所要電力量、排気性能で運転される油拡散ポンプを提供する。【解決手段】ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプに使用する消費電力量削減装置において、予め入力された制御信号に基づいて、ヒータに供給する電力を断続的に遮断する構成とした。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプにおいて、
予め入力された制御信号に基づいて、該ヒータに供給する電力を断続的に遮断することを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項２】
請求項１記載の油拡散ポンプの消費電力量削減装置であって、
該ヒータに接続する電力調整器、および該電力調整器に接続するタイマを備え、
該タイマの発信するＯＮ／ＯＦＦ比に基づいて、該ヒータに周期的に断続電力を投入することを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項３】
請求項２記載の消費電力量削減装置であって、
該タイマに入力するＯＮ／ＯＦＦ比は、予め実測したデータに基づいて設定されることを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項４】
請求項３記載の消費電力量削減装置において、該予め実測したデータは、少なくとも該油拡散ポンプの排気性能に関するデータを含むことを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項５】
請求項２記載の消費電力量削減装置であって、
該油拡散ポンプの排気性能が所定値を満たす範囲で該ＯＮ／ＯＦＦ比を最小にするように該タイマを設定したことを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項６】
請求項５記載の消費電力量削減装置において、
該油拡散ポンプの排気性能は、該油拡散ポンプの臨界背圧、最大排気量、排気速度及び到達圧力の少なくとも１つ以上であることを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項７】
請求項３から請求項６いずれか一項に記載の消費電力量削減装置であって、
該油拡散ポンプの油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比を該タイマに設定したことを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項８】
請求項２記載の消費電力量削減装置であって、
該油拡散ポンプは断熱手段を搭載し、該断熱手段により昇温した油温分の投入電力量を削減するＯＮ／ＯＦＦ比を該タイマに設定したことを特徴とする油拡散ポンプの消費電力量削減装置。
【請求項９】
ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプであって、
該ヒータに対する投入電力を予め入力された信号比でＯＮ／ＯＦＦ制御する制御装置を備えたことを特徴とする油拡散ポンプ。
【請求項１０】
ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプに用いる消費電力量削減方法であって、
該ヒータに投入する電力のＯＮ／ＯＦＦ比と該油拡散ポンプの排気性能との関係について、該油拡散ポンプの排気性能が所定値を満たす最小のＯＮ／ＯＦＦ比を導出するステップ、及び
該最小のＯＮ／ＯＦＦ比で該ヒータに周期的に断続電力を投入するステップ
からなることを特徴とする消費電力量削減方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は油拡散ポンプの消費電力量を削減するための手段および装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に油拡散ポンプは図５に示すように構成され、ヒータ５により加熱された油４が蒸気化され、ジェット３から油拡散ポンプ本体１の内壁面に吹き付けられ、この油４の噴射により気体が噴流の進行方向へはね飛ばされ排気口８より排気される。
油拡散ポンプ本体１の外壁面は水冷パイプ２により冷却されているので内壁に付着した油４は凝縮され油拡散ポンプ本体１の下方へ戻り、再加熱され再度蒸気化し、循環する仕組みである。
【０００３】
ヒータ５はブレーカー７や電磁開閉器６を介して一次側電源より配線され、ヒータには所望の排気性能を得るために必要な電力が供給される。ヒータ電圧およびヒータ電流は一定であると共に最大電力であることが一般的であるが、例えば特許文献１乃至３に開示される様に、油温を熱電対などにより監視し、この信号によりヒータへの出力電力を調整する方法もある。
【０００４】
特許文献１は、作動液温度を測定する端子と、ノズル温度を測定する端子とを設け、検出信号に基づいてヒータに供給する電力を制御することにより、ポンプの起動時間および停止時間を正確に管理して無駄な電力消費を防止し、ポンプ性能を高めるものである。
【０００５】
特許文献２は、運転時のヒータへの供給電力を定温度制御方式により制御するとともに、外乱が生じても油汚染が生じないように、常に所定の最小電力以上に維持されるように供給電力を制御するものである。
【０００６】
特許文献３は、作動油の油温に対応してチャンバー内の到達圧力値および到達圧力値に到達するための運転時間に関するデータを対応する複数の油温についての複数のデータとして予め求めておき、目標とする真空度と到達時間条件に対応して複数のデータから適合するデータを求めて適合するデータに対応する作動油温で運転することにより、エネルギー消費を効率的に抑制させるものである。
【特許文献１】特開昭６２−２３６００号
【特許文献２】特開平９−８８８９９号
【特許文献３】特開２００３−９７５００号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ヒータ電力と油拡散ポンプの臨界背圧および最大排気量は比例関係にあり、ヒータ電力が高いほど臨界背圧が高く、最大排気量が大きいが、排気速度や到達圧力は必ずしもヒータ電力とは比例関係であるとは言えず、ジェット３の形状などに依存する傾向が強い。よって補助ポンプの性能が高く、かつ油拡散ポンプ使用時に導入するガス流量が油拡散ポンプの最大排気量より大幅に少ない場合においてはヒータ電力を下げること望ましい。しかしながら、油拡散ポンプはさまざまな装置に搭載可能となるように設計されるので、装置によっては不必要に大きな電力の投入を必要とすることとなっていた。ここで、補助ポンプとは油拡散ポンプの背圧を臨界値以下に維持するための真空ポンプであり粗引きポンプとしても使用される。
【０００８】
また、特許文献１乃至３に開示されるようにヒータに温度調整器を搭載し供給電力を制御する方法では、最適な油温を一義的に決定することができないという課題がある。これは、油温測定位置によって測定温度が異なるためであり、正確な油温を測定することそのものが困難であるということに起因している。さらに、油拡散ポンプのジェット３の個体差や経時変化、または油４の使用時間や経時変化などによっても油温は最大で±５℃程度の個体差を生じてしまうため、同型同用途の真空装置であっても温度設定を個別に行う必要があり、温度調整による消費電力量削減装置を量販することは困難であった。
【０００９】
加えて、油４の劣化が進むと油温は低くなる傾向があるので、油４の劣化が進むにつれて消費電力が増大するという問題も発生する。劣化した作動油は交換の必要があるが、油温を監視し供給電力を制御する方法では劣化に気付かず供給電力を増大させて油温を維持してしまうため、作動油の交換時期を見逃すばかりでなく不必要な電力を浪費してしまう。油拡散ポンプの運転中に油温のみでなく供給電力も監視していれば作動油の交換時期を適切に判断できるが、供給電力を常時監視するための計器が別途必要になる。
【００１０】
現在、あらゆる分野において環境問題が逼迫し省エネルギー化が要求されている。前述のように従来の油拡散ポンプはさまざまな装置に搭載可能となるように設計され、かつ多大な電力量が投入されていた。前述のように、この電力量は搭載される真空装置によっては過剰である場合が存在するという問題があった。
【００１１】
この発明は上記のような従来のものの持つ問題点を解決するもので、さまざまな装置にもっとも適した所要電力量、排気性能とすることが可能となる装置を提供する事を目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明は、従来の油拡散ポンプにおける投入電力量が、搭載される真空装置によっては過剰であるという問題に鑑み、これを油拡散ポンプの排気性能を考慮しながら油拡散ポンプへの投入電力を断続的に遮断し、この遮断した時間分の消費電力量を削減することで消費電力量という面の性能と排気性能のバランスを向上させようとするものである。
【００１３】
本発明の第一の側面は、ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプにおいて、予め入力された制御信号に基づいて、ヒータに供給する電力を断続的に遮断する油拡散ポンプの消費電力量削減装置である。消費電力量削減装置は、ヒータに接続する電力調整器と電力調整器に接続するタイマとにより構成し、タイマの発信するＯＮ／ＯＦＦ比に基づいて、ヒータに周期的に断続電力を投入するようにした。
【００１４】
上記第一の側面において、タイマに入力するＯＮ／ＯＦＦ比は、予め実測したデータに基づいて設定する。ここで、予め実測したデータは、少なくとも油拡散ポンプの排気性能に関するデータを含むようにした。油拡散ポンプが使用上支障のない程度、即ち、排気性能が所定値を満たす範囲でＯＮ／ＯＦＦ比を最小にするようにタイマを設定するようにした。油拡散ポンプの排気性能は、油拡散ポンプの臨界背圧、最大排気量、排気速度及び到達圧力の少なくとも１つ以上とした。ここで、油拡散ポンプの油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比をタイマに設定するようにした。またさらに、油拡散ポンプは断熱手段を搭載し、断熱手段により昇温した油温分の投入電力量を削減するＯＮ／ＯＦＦ比をタイマに設定するようにしてもよい。
【００１５】
本発明の第二の側面は、ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプであって、ヒータに対する投入電力を予め入力された信号比で投入電力をＯＮ／ＯＦＦ制御する制御装置を備えた油拡散ポンプである。
【００１６】
本発明の第三の側面は、ヒータにより加熱した作動油の蒸気流をジェットから噴射して吸入気体を排気する油拡散ポンプに用いる消費電力量削減方法であって、ヒータに投入する電力のＯＮ／ＯＦＦ比と油拡散ポンプの排気性能との関係について、油拡散ポンプの排気性能が所定値を満たす最小のＯＮ／ＯＦＦ比を導出するステップ、及びその最小のＯＮ／ＯＦＦ比でヒータに周期的に断続電力を投入するステップからなる油拡散ポンプの消費電力量削減方法である。
【発明の効果】
【００１７】
本発明で油拡散ポンプに投入する電力を断続的に遮断することにより、油拡散ポンプの消費電力量を効率的に削減することが可能となる。また、本発明の電力調整器およびタイマをユニット化して搭載することのみで、既設の油拡散ポンプの消費電力量を大幅に削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、この発明の実施例を図面に基づいて説明する。図５と同様の部分には同一符号を付して説明を省略する。図１に於いて、９は電力調整器、１０はタイマである。投入電力は電力調整器９を介してヒータ５へ送られるようにする。タイマ１０は予め入力されたＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期を電力調整器９に発信するものであり、電力調整器９はタイマ１０の発生する信号に基づいてヒータ５に断続的に電力を供給する。タイマに入力するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期は自由に設定すればよく、電力調整器９はＯＮ信号においてヒータに電力を供給し、ＯＦＦ信号においてヒータに供給する電力を遮断するものとする。なお、図示していないが、予め入力するＯＮ／ＯＦＦ比を決定するためのデータを取得するために、必要に応じて、排気性能を測定するための検出器、及び、油４付近には油温を測定するための検出器の双方または一方が設けられる。
【００１９】
実施例は、油拡散ポンプにタイマ１０と電力調整器９を搭載することにより省エネルギー化を図るものであるが、本発明の消費電力量削減手段は油拡散ポンプに投入するエネルギーを断続的に遮断するものであればこれに限られるものではない。例えば、電力調整器９ではなく、電磁開閉器６をタイマおよびリレーなどを用いてＯＮ／ＯＦＦさせてもよいが、その際は電磁開閉器６の接点の寿命や作動時の騒音などを十分に考慮する必要がある。また、タイマ１０と電力調整器９をユニット化しこれを搭載することのみで既設の油拡散ポンプの省エネルギー化を図ることが可能となる。
【００２０】
油拡散ポンプに断続的エネルギーを投入することにより、過剰に加えられていた無駄な電力をカットすることができ、省エネルギー効果を促進することが可能となる。これは、作動油に投入するエネルギーを遮断しても油温が急激に低下することがないことを利用しているためであり、温度が低下する直前で再度一定時間のエネルギーを投入することにより、エネルギーの投入を断続的に省略しながらも一定温度を維持することを可能としている。
【００２１】
投入エネルギーを遮断する時間および間隔は省エネルギー効果と排気性能とのバランスから目的に応じて適宜決定すればよい。
【００２２】
以下、図１に示すタイマ１０および電力調整器９を用いて省エネルギー効果を得ようとする場合の具体的実施例について例示する。
第一の実施例は、油拡散ポンプの油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期を検出し、タイマ１０に設定するものである。
【００２３】
タイマ１０に設定するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期は図２のフローチャートに則った実験データから取得する。まず、従来の油拡散ポンプへ継続的一定電力を投入した際の油温ｔ１を測定する。また、温度が低下したと判断する油温ｔ２を予め設定しておく。油温が低下したと判断する温度単位としては百分の１℃単位あるいは十分の１℃単位等にする必要はなく、１〜３℃の低下を油温の低下として判断すればよい。但し、必要に応じてこの温度単位は適宜判断することが望ましい。
【００２４】
次に図１のタイマ１０および電力調整器９を接続し、ＯＮの時間を短くし、その分をＯＦＦ時間とする。このＯＮの時間を序々に短くしていくことでＯＮ／ＯＦＦ比を変化させ、投入電力量を削減していき、各段階で油温ｔｎを測定してｔ２と比較する。このとき、著しくＯＮの時間を短く、すなわちＯＦＦの時間を長くすると油拡散ポンプの排気性能が著しく低下するのは明白であるので、油の温度が低下するか否かを確認しながら調整するのが望まく効率的である。同図のフローチャートではＯＦＦ時間を１％ずつ増大させるものとするが、比率は適宜選択すればよい。また、ＯＮ／ＯＦＦ周期は百分の１秒単位あるいは十分の１秒単位等にする必要はなく、数秒単位あるいは数十秒単位でよい。立ち上がり時の投入電力の遅れを考慮し周期は短すぎないことが好ましい。但しこの時間単位を長くすることで油温に揺らぎが出ない程度に設定する必要があるので適宜調整することが望ましい。
【００２５】
ＯＮ時間を短く、すなわちＯＦＦ時間を長くしていくと、温度が低下したと判断する油温ｔ２より測定温度ｔｎが低下するＯＮ／ＯＦＦ比に到達する。このときの時間比では油温が低下していることから、排気性能に影響が顕著に出始める分岐点と考えられるので、この段階の前の時間比を最適と考えることとすると効率的である。同図のフローチャートでは測定油温ｔｎがｔ２以下となる際の測定温度ｔｍがｔ２に等しい場合はその時点のON/OFF比を、測定油温ｔｍがｔ２よりも小さい場合は１段階手前に測定したＯＮ／ＯＦＦ比を求めている。
【００２６】
上記のように油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比が求められたら、このＯＮ／ＯＦＦ比においての臨界背圧、最大排気量を実験により測定する。臨界背圧および最大排気量の著しい性能低下は油拡散ポンプを使用する上で、被排気系への油の逆流を招くこととなるので測定は必須であり、通常の油拡散ポンプ使用時の状況を把握し、余裕を見ておくことが望ましい。
【００２７】
臨界背圧および最大排気量を通常の油拡散ポンプ使用時の状況と比較し、使用上問題がなければ排気速度、到達圧力を測定する。一般に排気速度、到達圧力は投入電力との関係は浅く、油温の低下が１〜３℃程度では性能の著しい低下は考えにくいが、使用上問題がないことを確認することが望ましい。
【００２８】
臨界背圧、最大排気量、排気速度、到達圧力等の排気性能が使用上問題なければ、このときのヒータ５への投入電力のＯＦＦ時間をＯＮ時間とＯＦＦ時間とを加算したもので除し、１００を乗じたものが消費電力量削減率と考えることができる。
もし、油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比において臨界背圧、最大排気量、排気速度、到達圧力等の排気性能いずれかに使用上の問題が見られる場合はさらに前段階のＯＮ／ＯＦＦ比で排気性能を測定し、最適なＯＮ／ＯＦＦ比を求めればよい。
【００２９】
また、ヒータ５をＯＮ／ＯＦＦ制御する際に、油温が低下するのを極力防止するため、図１の１１に示すような断熱材によって油拡散ポンプ本体１の下部を覆うと外部へ漏洩する熱を遮断できるため、消費電力量削減効果の向上が期待できる。
【００３０】
第二の実施例は、油拡散ポンプの排気性能が使用上支障のない程度まで投入電力量を削減するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期を検出し、タイマ１０に設定するものである。
タイマ１０に設定するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期は図３のフローチャートに則った実験データから取得する。ＯＦＦ時間を徐々に増大させて臨界背圧、最大排気量、排気速度、到達圧力等必要な排気性能を測定し、排気性能に影響が出る直前のＯＮ／ＯＦＦ比をタイマ１０に設定することで省エネルギー効果を増大させるものである。同図のフローチャートは図２同様ＯＦＦ時間を１％ずつ増大させるものとするが、比率は適宜選択すればよい。またＯＮ／ＯＦＦ周期も適宜選択すればよい。
【００３１】
第三の実施例は、油拡散ポンプに断熱手段を搭載し、断熱手段による作動油の温度上昇分の投入電力量を削減するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期を検出し、タイマ１０に設定するものである。例えば図１に示す断熱材１１を油拡散ポンプ本体１の下部に覆うと、外部へ漏洩する熱を遮断できるため、同じ投入電力であっても断熱材を用いない場合に比して高い作動油温が維持される。断熱材を用いない場合に得られる作動油温を通常得られる作動油温とすると、作動油の昇温分エネルギーが過剰に投入されているため、過剰に投入された電力量を断続的に供給電力を遮断することで削減する。
【００３２】
タイマ１０に設定するＯＮ／ＯＦＦ比およびＯＮ／ＯＦＦ周期は図４のフローチャートに則った実験データから取得する。まず、断熱手段を用いず従来同様継続的一定電力を供給した場合の油温ｔ１、および断熱手段を用いて継続的一定電力を供給した場合の油温ｔ３を測定する。次いで、タイマ１０のＯＦＦ時間を徐々に増加させて油温ｔｎを測定しｔ１と比較する。同図のフローチャートは図２同様ＯＦＦ時間を１％ずつ増大させるものとするが、比率は適宜選択すればよい。またＯＮ／ＯＦＦ周期も適宜選択すればよい。測定油温がｔ１以下になるまでこの作業を繰返し、この時の測定油温ｔｍがｔ１に等しい場合はその時点のＯＮ／ＯＦＦ比を、測定油温ｔｍがｔ１よりも小さい場合は１段階前に測定したＯＮ／ＯＦＦ比をタイマ１０に設定すればよい。上記手段により設定したＯＮ／ＯＦＦ比は過剰投入分の電力量を削減しているに過ぎないため、排気性能の確認の必要はないが念のため排気性能を確認してもよい。
【００３３】
次に、ヒータの最大電力を継続的に投入する既設の油拡散ポンプに図１に示す電力調整器９およびタイマ１０をユニット化して搭載し、油拡散ポンプを実際に省電力化した結果を例示する。
まず、図２に示すフローチャートに則って油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比を検出した。省電力ユニットを搭載せず従来同様に運転した際の油温ｔ１は２４９℃であり、温度が低下したと判断する油温ｔ２を２４７℃、ＯＮ／ＯＦＦ周期を５０秒に設定した結果、油温が低下する直前のＯＮ／ＯＦＦ比として４：１を検出した。図１１は油温の測定結果を示す。以下、省電力ユニットを搭載しない既設の油拡散ポンプによる運転データを標準時データとする。ジャケット付標準とは図５に示す油拡散ポンプに図１の１１に示す断熱材を用いた際の運転データであり、標準時より高い油温が維持されているため第三の実施例を利用して昇温分の投入電力量を削減してもよい。
【００３４】
次いで、ＯＮ／ＯＦＦ比４：１、ＯＮ／ＯＦＦ周期５０秒における排気性能を測定し、標準時の排気性能と比較した。この結果を図６乃至図８に示す。
図６は排気速度を、図７は最大排気量を、図８は到達圧力および臨界背圧を測定した結果である。図より、省電力ユニット使用時の排気速度、最大排気量、到達圧力は標準時にほぼ等しいが、臨界背圧のみが標準時と比較して低下していることがわかる。但し、油拡散ポンプの臨界背圧は一般に１３Ｐａ以上であればよく、油拡散ポンプに接続される補助ポンプの到達圧力は１３Ｐａよりもはるかに低いため、省電力ユニット使用時の臨界背圧として測定された２５．３Ｐａは全く問題のない値である。よって排気性能に問題はなく、タイマ１０にＯＮ／ＯＦＦ比４：１、ＯＮ／ＯＦＦ周期５０秒を設定し使用すればよい。
【００３５】
図９は油温の時間変化を示し、標準時と省電力ユニット使用時の立ち上がりを比較した結果である。標準時に比較して、省電力ユニット使用時は立ち上がりに多少の遅れが見られた。実際の油拡散ポンプの使用に際しては問題のない遅れであるが、立ち上がりを早めたい場合は運転開始後所定の油温になるまではＯＮ／ＯＦＦ制御は用いずヒータの最大電力を継続的に供給すればよい。
【００３６】
図１０はＯＮ／ＯＦＦ比同一でＯＮ／ＯＦＦ周期を変化させた際の油温の時間変化を示す。ＯＮ／ＯＦＦ比は４：１に設定した。図より、ＯＮ／ＯＦＦ周期が１０秒の場合に比較してＯＮ／ＯＦＦ周期が５０秒の場合の方が高い油温が維持されていることがわかる。これは、前述したような立ち上がり時の投入電力の遅れに起因していると見られるため、ＯＮ／ＯＦＦ周期も実測データから選択することが望ましい。
【００３７】
上記より、ＯＮ／ＯＦＦ比４：１、ＯＮ／ＯＦＦ周期５０秒の断続電力を供給することにより、既設の油拡散ポンプの排気性能を維持したまま２０％の消費電力量削減が可能となった。
【００３８】
本発明により油拡散ポンプにタイマ１０および電力調整器９を設けることでヒータ５への最適な電力投入量の調整が可能となる。これによって、油拡散ポンプを取り付ける真空装置の補助ポンプなどの性能や使用上の排気性能に最適な性能にすることで、消費電力量を可能な限り低減し、省エネルギー化を図ることができる。
【００３９】
温度調整器を用いたヒータ制御では計測油温の信頼性が高くないこと、或いは油温が経時変化すること等に起因し、所望の省エネルギー効果が得られない場合や、必要以上に省エネルギー化してしまい排気性能に支障が出てしまう場合があったが、本発明は油温の経時変化を電力制御にフィードバックせず予め設定した条件で供給電力をＯＮ／ＯＦＦ制御することにより所望の省エネルギー効果を得ることを可能とするものである。また、ポンプ内に配置させた熱電対等による測温結果をフィードバックする必要がないため、装置の簡略化および低コスト化にも貢献する。更に作動油の交換時期も適切に判断できるため、従来の温度調整制御に見られたような作動油の劣化に気付かずに消費電力を増大させて油温を維持してしまうといった不具合もない。加えて、実施例は油温の差分を測定しているため、作動油温の測定位置による計測誤差を無視できるという効果も奏する。
【００４０】
油温を設定する従来の方法では同型同用途の真空装置であっても適切な油温を個別に設定する必要があったが、本発明手段を用いることにより同型同用途の真空装置であれば一義的に同一のＯＮ／ＯＦＦ時間比で運転することが可能となるため、あらかじめ最適に設定したタイマ９および電力調整器１０をユニット化し、単体販売することも容易である。
【００４１】
また、上記実施例においては、ＯＮ／ＯＦＦ比とその周期を制御して運転するものを示したが、例えば、ＯＮ幅を一定としてＯＦＦ幅だけを制御する構成としてもよいし、逆にＯＦＦ幅を一定としてＯＮ幅だけを制御する構成としてもよい。さらに、上記に示した幾つかの制御を組み合わせてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】本発明の油拡散ポンプを示す図
【図２】本発明の第一の実施例のフローチャート
【図３】本発明の第二の実施例のフローチャート
【図４】本発明の第三の実施例のフローチャート
【図５】従来の油拡散ポンプを示す図
【図６】標準時と省電力ユニット使用時の排気速度比較を示す図
【図７】標準時と省電力ユニット使用時の最大排気量比較を示す図
【図８】標準時と省電力ユニット使用時の到達圧力と臨界背圧比較を示す図
【図９】標準時と省電力ユニット使用時の立ち上がり比較を示す図
【図１０】ＯＮ／ＯＦＦ周期比較を示す図
【図１１】油温を示す図
【符号の説明】
【００４３】
1  油拡散ポンプ本体
2  水冷パイプ
3  ジェット
4  油
5  ヒータ
6  電磁開閉器
7  ブレーカー
8  排出口
9  電力調整器
10 タイマ
11 断熱材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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