(57)【要約】      （修正有）【課題】インクジェット記録ヘッドにおいて、電気配線基板を支持部材に安定した状態で支持固定させ、外力が電気配線基板に働いても悪影響の出ないようにする。【解決手段】電気配線基板２００が電気接合部と電気信号入力部２１１の間で屈曲部を有し、電気配線基板の開孔が支持部材３００の突起で熱加締めされ、電気信号入力部が、電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向と、支持部材の電気信号入力部を支持する面に鉛直な方向で固定されていることを特徴とする。【選択図】図１
2007320229.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
電気信号に応じてインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子基板と、
該記録素子基板に接続する電気接合部と、本体からの電気信号入力部と、該電気信号入力部周囲に複数の開孔を有する電気配線基板と、
複数の溶融可能な突起を有し、かつ、該記録素子基板と該電気配線基板を支持固定する支持部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、
該電気配線基板が該電気接合部と該電気信号入力部の間で屈曲部を有し、該電気配線基板の開孔が該支持部材の突起で熱加締めされ、該電気信号入力部と該屈曲部の間で該電気配線基板の屈曲部から該電気信号入力部への方向と、該支持部材の該電気信号入力部を支持する面に鉛直な方向が該支持部材に固定されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記電気配線基板に設けた開孔は、前記支持部材の突起に対して定められた距離を有する開孔であり、かつ、該開孔に該支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物が介在していることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記電気配線基板に設けた開孔は、該電気配線基板の屈曲部から該電気信号入力部への方向と、該方向に交差する方向に開孔した形状であることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記電気配線基板に設けた開孔近傍に微細な孔が開いていることを特徴とする請求項１または２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記電気配線基板が、該電気配線基板の屈曲部と電気信号入力部の間で前記支持部材に対して該電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向を規制する開孔を、熱加締めをする前記開孔とは別に有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
電気信号に応じてインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子基板と、
該記録素子基板に接続する電気接合部と、本体からの電気信号入力部と、該電気信号入力部周囲に複数の開孔を有する電気配線基板と、
複数の溶融可能な突起を有し、かつ、該記録素子基板と該電気配線基板を支持固定する支持部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
該電気配線基板が該電気接合部と該電気信号入力部の間で屈曲部を有する状態で該支持部材の突起を該電気配線基板の開孔に熱加締めをして、該電気信号入力部と該屈曲部の間で該電気配線基板の屈曲部から該電気信号入力部への方向と、該支持部材の該電気信号入力部を支持する面に鉛直な方向において該支持部材に固定することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記電気配線基板に設けた開孔は、該電気配線基板の屈曲部から該電気信号入力部への方向と、該方向に交差する方向に開孔した形状とし、かつ、該開孔に該支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物を介在させることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記電気配線基板に設けた開孔近傍に微細な孔が開いており、該微細な孔に前記支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物を介在させることを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記電気配線基板が、該電気配線基板の屈曲部と電気信号入力部の間で前記支持部材に対して該電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向を規制する開孔を、熱加締めをする前記開孔とは別に有し、該開孔により該電気配線基板を該支持部材に対して固定することを特徴とする請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録や、様々な記録メディアに対する記録が可能であるとともに、記録時における騒音がほとんど生じないという特徴を有するため、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、複写機等の記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
このようなインクジェット記録装置に搭載される記録ヘッドは、インクを吐出する方式として、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によってインクを加熱し、膜沸騰の作用によりインク滴を吐出させるものなどが知られている。
【０００４】
また、上述した記録液の吐出方式においては、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシューター）と、電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシューター）とがある。
【０００５】
図１３（ａ）〜図１３（ｃ）、熱作用部面から垂直に吐出するタイプの一般的なインクジェット記録ヘッドの構成を示したものである。図１３（ａ）は、分解斜視図であり、図１３（ｂ），（ｃ）は、それぞれ組立図、組立完成図である。
【０００６】
また、図１４は、図１３（ａ）〜（ｃ）に示すインクジェット記録ヘッドの断面構造を説明する図である。（ａ）は、Ｃ−Ｃ断面拡大図であり、（ｂ）は、Ｄ−Ｄ断面拡大図である。
【０００７】
即ち、図１３（ａ），（ｂ）、及び図１４（ａ），（ｂ）に示すように、一般的なインクジェット記録ヘッドは、液体吐出基板１００、電気配線基板２００、支持部材３００から構成されている。
【０００８】
液体吐出基板１００は、シリコン製の基板の中央にインク供給口１０４が長穴の形状で開いており、この基板上には複数の発熱抵抗体１０８がほぼ等間隔でインク供給口１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１０８を形成した基板はヒーターボード１０１と呼ばれている。そして、インクはヒーターボード１０１のインク供給口１０４から供給される。ヒーターボード１０１の外部には発熱抵抗体１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒーターボード１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッド１０２と結線されている。そして、このようなヒーターボード１０１上に複数の吐出口１０６を有するオリフィスプレート１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド１０２上には、電極となるバンプ１０３が形成されて、図１３に示すような液体吐出基板１００が完成する。
【０００９】
電気配線基板２００は、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム２０１下に銅箔２０３を接着剤２０２により接着し、パターニングし、銅箔２０３をリード線とする。そして、液体吐出基板１００のバンプ１０３を電気接続する電極端子２０４と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部２１１を有し、電極端子２０４以外はカバーフィルム２０６により被覆している。
【００１０】
支持部材３００は、液体吐出基板１００のインク供給口１０４と、該支持部材３００のインク供給口３０２が連通するように液体吐出基板１００の吐出口が並ぶ面に対向する面全域と支持部材とを接着剤１０７を用いて接着する。また、液体吐出基板１００の電極部に対して、電気配線基板２００がほぼ水平に接続できる構造となっており、電気配線基板２００は接着剤２０５により接着固定した後、図１３（ｂ）のように屈曲させ、電気配線基板２００に設けた開孔２１６〜２１９に支持部材３００上の対応した位置にある突起３０５を合わせ、その上方より突起を熱で加締めることにとって図１３（ｃ）のように支持部材３００に支持させることができる。
【００１１】
液体吐出基板１００の外部取り出し電極パッドと電気配線基板配線を結線する方法としては、一般的に液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子である配線リード２０４を超音波と熱により金属接合する（インナーリードボンディング）ことにより両電極間を電気的に接続固定している。そして、液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子２０４のボンディング部は、図１４（ａ），（ｂ）に示すように、電極端子２０４上に接着剤４００ａを、液体吐出基板１００周囲に接着剤４００ｂを用いて封止をすることで周囲から絶縁し、固定している。また、電気配線基板２００の開孔２１６〜２１９は上記したように支持部材３００に対して支持させるためのものであり、図１３（ａ）〜（ｃ）のように例えば４箇所の開孔を設けることが一般に知られている。さらにこの開孔は、電気配線基板を支持部材に対して位置決め支持する必要から、例えば４箇所の開孔のうち、位置決め孔以外の箇所に長孔を用いることがある。ここで、本従来例では電気配線基板を図１３（ｂ）のように曲げることを鑑み、支持部材３００に対して電気配線基板２００の位置決めをする際に長さ方向のたるみに関する余裕を持たせる目的で、４箇所の開孔のうち、電気配線基板２００の曲げ部に近い開孔２１６、２１８の二箇所を長孔としている。また、電気配線基板と支持部材の固定方法に関しては、液体吐出基板裏面と、本体とのコンタクト部裏面の双方を接着剤により固定する構成が一般に知られている。
【特許文献１】特開平５−２２９１２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、上述したインクジェット記録ヘッドには、以下のような課題がある。
【００１３】
すなわち、電気信号に応じてインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子基板と、記録素子基板と電気的に接続する電気接合部及び本体からの電気信号入力部と、後述する支持部材に対し支持するための開孔と、を有する電気配線基板と、記録素子基板と電気配線基板を支持する支持部材と、からなるインクジェット記録ヘッドにおいて、電気配線基板を屈曲した状態で支持部材に支持させていると、外力Ｗがこの屈曲部（図１３（ｃ）中Ｐ部）にかかった場合に、支持部材と接着固定していない図中Ｑ領域で力を受けてしまうことになる。
【００１４】
このとき、電気配線基板に設けた４ヶ所の開孔のうち、背景技術にて述べたように屈曲部に近い二つの開孔２１６，２１８は電気配線基板を位置決めする際に長さ方向のたるみに関する余裕を持たせる目的で長孔としており、位置決め用の開孔を除くこの長孔部においては支持部材は電気配線基板を支持するのみで固定がなされていないため、その結果電気配線基板の屈曲部に外力Ｗが加わると図１３（ｃ）中Ｒ部のように電気配線基板に歪が生じ、電気配線基板内の配線に悪影響があったり、また、電気信号入力部を介した本体とのコンタクトにおいてコンタクト不良等の問題から吐出に悪影響を及ぼすことがあった。また、さらにこの長孔開孔部において支持部材に対する固定がなされていないことにより、インクジェット記録ヘッドを高温保管した際に電気配線基板が歪んだり、電気配線基板自身の内部応力により生じる面変形が電気信号入力部を介した本体とのコンタクトにおいてコンタクト不良等に繋がり吐出に悪影響を及ぼすことがあった。
【００１５】
本発明は、上述の問題点に鑑みて成されたものであって、インクジェット記録ヘッで尾において、電気配線基板を支持部材に安定した状態で支持固定をさせ、外力が電気配線基板に働いても悪影響の出ないようにすることのできるインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明は、上記課題を達成するために、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を次のように構成したことを特徴とするものである。
【００１７】
（１）電気信号に応じてインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子基板と、記録素子基板に接続する電気接合部と、本体からの電気信号入力部と、電気信号入力部周囲に複数の開孔を有する電気配線基板と、複数の溶融可能な突起を有し、かつ、記録素子基板と電気配線基板を支持固定する支持部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、電気配線基板が電気接合部と電気信号入力部の間で屈曲部を有し、電気配線基板の開孔が支持部材の突起で熱加締めされ、電気信号入力部が、電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向と、支持部材の電気信号入力部を支持する面に鉛直な方向で固定されていることを特徴とする。
【００１８】
（２）前記（１）において、電気配線基板に設けた開孔は、支持部材の突起に対して定められた距離を有する開孔であり、かつ、開孔に支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物が介在していることを特徴とする。
【００１９】
（３）前記（１）または（２）において、電気配線基板に設けた開孔は、電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向と、該方向に交差する方向に開孔した形状であることを特徴とする。
【００２０】
（４）前記（１）または（２）において、の電気配線基板に設けた開孔近傍に微細な孔が開いていることを特徴とする。
【００２１】
（５）前記（１）において、電気配線基板が、電気配線基板の屈曲部と電気信号入力部の間で支持部材に対して電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向を規制する開孔を、熱加締めをする開孔とは別に有することを特徴とする。
【００２２】
（６）電気信号に応じてインクを吐出するエネルギー発生手段を備えた記録素子基板と、記録素子基板に接続する電気接合部と、本体からの電気信号入力部と、電気信号入力部周囲に複数の開孔を有する電気配線基板と、複数の溶融可能な突起を有し、かつ、記録素子基板と電気配線基板を支持固定する支持部材と、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、電気配線基板が電気接合部と電気信号入力部の間で屈曲部を有する状態で支持部材の突起を電気配線基板の開孔に熱加締めをして、電気信号入力部を、電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向と、支持部材の電気信号入力部を支持する面に鉛直な方向において固定することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２３】
（７）前記（６）において、電気配線基板に設けた開孔は、電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向と、方向に交差する方向に開孔した形状とし、かつ、開孔に支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物を介在させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２４】
（８）前記（６）において、電気配線基板に設けた開孔近傍に微細な孔が開いており、微細な孔に支持部材の突起を熱加締めた時の溶融物を介在させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２５】
（９）前記（６）において、の電気配線基板が、電気配線基板の屈曲部と電気信号入力部の間で支持部材に対して電気配線基板の屈曲部から電気信号入力部への方向を規制する開孔を、熱加締めをする開孔とは別に有し、開孔により電気配線基板を支持部材に対して固定することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、図面を参照して本発明の記録装置に係る実施形態の基本的構成及び作用を説明する。また、本明細書において、「プリント」（「記録」と言う場合もある）とは、文字、図形等、有意の情報を形成する場合のみならず、有意無意を問わず、また人間が視覚で知覚し得るように顕在化したものであるか否かを問わず、広くプリント媒体上に画像、模様、パターン等を形成する、また、媒体の加工を行う場合も言うものとする。
【００２７】
ここで、「プリント媒体」（「記録メディア」と言う場合もある）とは、一般的なプリント装置で用いられる紙のみならず、広く、布、プラスチック・フィルム、金属板等、ガラス、セラミックス、木材、皮革等、インクを受容可能な物も言うものとする。
【００２８】
さらに、「インク」（「液体」と言う場合もある）とは、上記「プリント」の定義と同様広く解釈されるべきもので、プリント媒体上に付与されることによって、画像、模様、パターン等の形成またはプリント媒体の加工、或いはインクの処理（例えばプリント媒体に付与されるインク中の色材の凝固または不溶化）に供され得る液体を言い、記録に関して用いる全ての液体を含むものとする。
【実施例１】
【００２９】
図１〜図５は第一の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【００３０】
図１は、支持部材３００が、液体吐出基板１００と電気配線基板２００を支持固定している斜視図であり、図２は支持部材３００が電気配線基板２００を支持する様子を示す図である。また、電気配線基板２００に設けた図２中Ｓ部の開孔は、電気配線基板２００の屈曲部から電気信号入力部への方向に延びる長孔である。
【００３１】
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシューター型とされる記録ヘッドである。
【００３２】
インクジェット記録ヘッドは、図１に示すように、液体吐出基板１００、電気配線基板２００、支持部材３００から構成されており、図中のＤ−Ｄ断面を図１４に示す。
【００３３】
液体吐出基板１００の基板上には複数の発熱抵抗体１０８がほぼ等間隔でインク供給口１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１０８を形成した基板はヒーターボード１０１と呼ばれている。そして、インクはヒーターボード１０１のインク供給口１０４から供給される。ヒーターボード１０１の外部には発熱抵抗体１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒーターボード１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッド１０２と結線されている。これらの配線は、一般に、数百から数千Åの厚さを有する窒化絶縁膜（ＳｉＮ）で保護されている。そして、このようなヒーターボード１０１上に、フォトリソグラフィー技術により形成された複数の吐出口１０６を有するオリフィスプレート１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド１０２上には、電極となるバンプ１０３が形成されて、図１に示す液体吐出基板１００が完成する。なお、前記バンプ１０３は、例えば、スタッドバンプ工法により形成された５〜３０μｍ程度の金バンプである。
【００３４】
電気配線基板２００は従来と同様に、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム２０１下に銅箔２０３を接着剤２０２により接着し、パターニングし、銅箔２０３をリード線とする。そして、液体吐出基板１００のバンプ１０３を電気接続する配線リード（電極端子）２０４と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部２１１以外をカバーフィルム２０６により被覆している。なお、ベースフィルム２０１、及びカバーフィルム２０６は、例えば、厚みが２５μｍのレジストフィルムである。電極端子（配線リード）２０４は、例えば、厚み３０μｍの銅箔に金メッキが施されている。また、接着剤２０２、２０７は、例えば、１０μｍの厚みを有している。また、電気配線基板２００には、貫通した開孔がコンタクト部２１１を囲むように４箇所あり、うち電気配線基板２００の曲げ部に近い２箇所が支持部材３００に対して位置決めをするための丸穴２１７，２１９であり、残りの２箇所は上述した長孔形状となっている（２２０，２２１）。
【００３５】
支持部材３００は、液体吐出基板１００のインク供給口１０４と、支持部材３００のインク供給口３０２が連通するように接着材１０７を用いて図１４の通り接着される。また、液体吐出基板１００の電極部に対して、電気配線基板２００がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤２０５により、電気配線基板２００の配線リード側を支持部材３００に接着固定した後、電気配線基板２００を屈曲させて図２のように支持部材３００上の４本の突起３０５を電気配線基板２００に設けた開孔２１７，２１９，２２０，２２１に通す。
【００３６】
この後、支持部材３００上の突起３０５を溶融することが可能な溶融冶具を押し当てる工程を経ることで図１のＺのように電気配線基板２００を支持部材３００に支持固定することができる。
【００３７】
そして、液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子（配線リード）２０４を超音波と熱を用いて金属接合（インナーリードボンディング）し、両電極間を電気的に接続固定した後、電極端子２０４上に接着剤４００ａを、液体吐出基板１００周囲に４００ｂを用いて封止することで周囲からボンディング部を絶縁し、被覆する。
【００３８】
以上のように構成されたインクジェット記録ヘッドは、電気配線基板と支持部材との支持固定をする際に、電気配線基板の屈曲部に近い側の開孔部で支持部材に対して位置決めをし、かつ、長さ方向の組み付け性を考慮した長孔の開孔を設けることで電気配線基板の屈曲部に外力が加わった際も電気配線基板側に歪み等の生じない信頼性のあるインクジェット記録ヘッドを提供することが可能である。
【実施例２】
【００３９】
図３〜図１０は、本発明の第二の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【００４０】
実施例１では、支持部材と電気配線基板を支持固定する構成として、電気配線基板上に設けた開孔のうち、電気配線基板の屈曲部に近い方の開孔を支持部材に対する位置決めをするのに用い、かつ、他の開孔を、電気配線基板を支持部材に組み付ける際の組み付け性を考慮し、長孔とする構成にしていたが、本実施例では電気配線基板の屈曲部近傍の開孔に溶融した支持部材の一部が介在可能な複数の貫通孔を設けることで、支持部材が溶融した際に支持部材と電気配線基板を支持固定するものである。
【００４１】
図６は、支持部材３００が、液体吐出基板１００と電気配線基板２００を支持固定している斜視図であり、図７〜図９は支持部材３００が電気配線基板２００を支持する様子を示す図である。また、図７中Ｙ部を上からみた拡大を図８に示す。
【００４２】
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシューター型とされる記録ヘッドである。
【００４３】
インクジェット記録ヘッドは、図６に示すように、液体吐出基板１００、電気配線基板２００、支持部材３００から構成されており、図中のＤ−Ｄ断面を図１４に示す。
【００４４】
液体吐出基板１００の基板上には複数の発熱抵抗体１０８がほぼ等間隔でインク供給口１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１０８を形成した基板はヒーターボード１０１と呼ばれている。そして、インクはヒーターボード１０１のインク供給口１０４から供給される。ヒーターボード１０１の外部には発熱抵抗体１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒーターボード１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッド１０２と結線されている。これらの配線は、一般に、数百から数千Åの厚さを有する窒化絶縁膜（ＳｉＮ）で保護されている。そして、このようなヒーターボード１０１上に、フォトリソグラフィー技術により形成された複数の吐出口１０６を有するオリフィスプレート１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド１０２上には、電極となるバンプ１０３が形成されて、図６に示す液体吐出基板１００が完成する。なお、前記バンプ１０３は、例えば、スタッドバンプ工法により形成された５〜３０μｍ程度の金バンプである。
【００４５】
電気配線基板２００は従来と同様に、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム２０１下に銅箔２０３を接着剤２０２により接着し、パターニングし、銅箔２０３をリード線とする。そして、液体吐出基板１００のバンプ１０３を電気接続する配線リード（電極端子）２０４と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部２１１以外をカバーフィルム２０６により被覆している。なお、ベースフィルム２０１、及びカバーフィルム２０６は、例えば、厚みが２５μｍのレジストフィルムである。電極端子（配線リード）２０４は、例えば、厚み３０μｍの銅箔に金メッキが施されている。また、接着剤２０２、２０７は、例えば、１０μｍの厚みを有している。また、電気配線基板２００には、貫通した開孔がコンタクト部２１１を囲むように４箇所あり、うち２箇所が丸穴（２１７，２１９）であり、他の２箇所は図８のような形状となっている（２２０，２２１）。
【００４６】
支持部材３００は、液体吐出基板１００のインク供給口１０４と、支持部材３００のインク供給口３０２が連通するように接着材１０７を用いて図１４の通り接着される。また、液体吐出基板１００の電極部に対して、電気配線基板２００がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤２０５により、電気配線基板２００の配線リード側を支持部材３００に接着固定した後、電気配線基板２００を屈曲させて図７のように支持部材３００上の突起３０５（４本）を電気配線基板２００に設けた開孔２１７，２１９，２２０，２２１に通す。ここで、図７中Ｙ部を上から見た図を図８に示す。図８において、鉛直上方より支持部材３００上の突起を溶融することが可能な溶融冶具５０１を押し当てる図９（ａ）〜（ｃ）の工程を経ることで図６のＸ（上からみた状態を図１０に、側面からみた状態を図９（ｃ）に示す）のように電気配線基板２００を支持部材３００に支持固定することができる。
【００４７】
そして、液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子（配線リード）２０４を超音波と熱を用いて金属接合（インナーリードボンディング）し、両電極間を電気的に接続固定した後、電極端子２０４上に接着剤４００ａを、液体吐出基板１００周囲に４００ｂを用いて封止することで周囲からボンディング部を絶縁し、被覆する。
【００４８】
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、支持部材と電気配線基板を支持固定する構成として、電気配線基板上に設けた開孔のうち、屈曲部に近い開孔を支持部材に対する位置決めに用い、かつ、他の開孔を電気配線基板を支持部材に組み付ける際の組み付け性を考慮して長孔とする構成とした実施例１に対して、電気配線基板の開孔部近傍に溶融した支持部材の一部が介在可能な複数の貫通孔５００（図８参照）を設けることで、支持部材が溶融した際に支持部材と電気配線基板を支持固定するものであり、貫通孔の径は電気配線基板において形成可能な径であれば問題なく溶融した支持部材の一部が介在可能である。また、さらに類似の構成として、本実施例にて貫通孔を設けた開孔を図３のような形状とし、この図中の突起３０５を図４の工程を経ることによって図５のように熱加締めることでも本実施例と同様、電気配線基板を支持部材に対して支持固定することができる。これらによって電気配線基板の屈曲部に外力が加わった際も電気配線基板側に歪み等の生じない信頼性のあるインクジェット記録ヘッドを提供することが可能である。
【実施例３】
【００４９】
図１１、図１２は、本発明の第三の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【００５０】
実施例１、２までに、支持部材と電気配線基板を支持固定する構成として、電気配線基板上に設けた開孔のうち、長孔部またはその近傍の形状を溶融した支持部材の一部が介在可能な形状とし、支持部材が溶融することで電気配線基板と支持部材を固定する構成、また、支持部材との位置決めに用いる電気配線基板の開孔位置を曲げ部に近い方にする構成としていたが、本実施例では図１１のように、支持部材と電気配線基板の固定を支持部材側に設けた突起３０６と、この突起径に合う電気配線基板の位置決め用開孔を用いて行っている。電気配線基板に設けた位置決め用開孔以外の他の開孔は、例えば実施例１にて用いた長孔形状と同じにしており、本実施例では電気配線基板の電気信号入力部において支持部材の支持面に鉛直な方向以外は位置決め部３０６のみで固定をする。
【００５１】
図１２は、支持部材３００が、液体吐出基板１００と電気配線基板２００を支持固定している斜視図であり、支持部材が電気配線基板を支持する様子を示す図である。
【００５２】
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシューター型とされる記録ヘッドである。
【００５３】
インクジェット記録ヘッドは、図１１に示すように、液体吐出基板１００、電気配線基板２００、支持部材３００から構成されており、図中のＤ−Ｄ断面を図１４に示す。
【００５４】
液体吐出基板１００の基板上には複数の発熱抵抗体１０８がほぼ等間隔でインク供給口１０４の両側に並んでいる。このような発熱抵抗体１０８を形成した基板はヒーターボード１０１と呼ばれている。そして、インクはヒーターボード１０１のインク供給口１０４から供給される。ヒーターボード１０１の外部には発熱抵抗体１０８に電力を供給するための配線（不図示）が引き回されていて、ヒーターボード１０１上の両端に設置されている外部取り出し電極パッド１０２と結線されている。これらの配線は、一般に、数百から数千Åの厚さを有する窒化絶縁膜（ＳｉＮ）で保護されている。そして、このようなヒーターボード１０１上に、フォトリソグラフィー技術により形成された複数の吐出口１０６を有するオリフィスプレート１０５を貼り付けて、さらに、電極パッド１０２上には、電極となるバンプ１０３が形成されて、図６に示す液体吐出基板１００が完成する。なお、前記バンプ１０３は、例えば、スタッドバンプ工法により形成された５〜３０μｍ程度の金バンプである。
【００５５】
電気配線基板２００は従来と同様に、例えば、フレキシブル配線基板が使用され、ベースフィルム２０１下に銅箔２０３を接着剤２０２により接着し、パターニングし、銅箔２０３をリード線とする。そして、液体吐出基板１００のバンプ１０３を電気接続する配線リード（電極端子）２０４と、プリンタ本体からの駆動電力や電気信号を入力するためのコンタクト部２１１以外をカバーフィルム２０６により被覆している。なお、ベースフィルム２０１、及びカバーフィルム２０６は、例えば、厚みが２５μｍのレジストフィルムである。電極端子（配線リード）２０４は、例えば、厚み３０μｍの銅箔に金メッキが施されている。また、接着剤２０２、２０７は、例えば、１０μｍの厚みを有している。また、電気配線基板には、貫通した開孔がコンタクト部２１１を囲むように４箇所あり、うち２箇所が実施例２で示した長孔形状であり、他の２箇所は図１１に示すように長孔としている。
【００５６】
支持部材３００は、液体吐出基板１００のインク供給口１０４と、支持部材３００のインク供給口３０２が連通するように接着剤１０７を用いて図１４の通り接着される。また、液体吐出基板１００の電極部に対して、電気配線基板２００がほぼ水平に接続できる構造となっており、接着剤２０５により、電気配線基板２００の配線リード側を支持部材３００に接着固定した後、電気配線基板２００を屈曲させて図７のように支持部材３００上の突起３０５（４本）と位置決め用突起３０６を電気配線基板に設けた開孔２１７，２１９，２２０，２２１と位置決め用開孔３０６に通す。ここで、実施例１と同じように鉛直上方より支持部材上の突起を溶融することが可能な溶融冶具を押し当てる工程を経ることで電気配線基板を支持部材に支持固定することができる。
【００５７】
そして、液体吐出基板１００の電極部（バンプ１０３）と、電気配線基板２００の電極端子（配線リード）２０４を超音波と熱を用いて金属接合（インナーリードボンディング）し、両電極間を電気的に接続固定した後、電極端子２０４上に接着剤４００ａを、液体吐出基板１００周囲に４００ｂを用いて封止することで周囲からボンディング部を絶縁し、被覆する。
【００５８】
本実施例のインクジェット記録ヘッドは、支持部材と電気配線基板を支持固定する構成として、電気配線基板上に位置決め用開孔と、固定用開孔の二種類設け、この両者を用いて支持部材と電気配線基板を支持固定するものであり、固定用長孔の形状について、ここでは屈曲部に近い開孔二箇所を実施例２で述べた長孔形状としたが、固定用開孔は従来の熱加締めに用いる長孔形状でも差し支えない。これによって電気配線基板の屈曲部に外力が加わった際も電気配線基板側に歪み等の生じない信頼性のあるインクジェット記録ヘッドを提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】本発明の第一の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【図２】図１において、支持部材の突起を溶融する前の状態を示す図である。
【図３】図２のＳ部を拡大し上面から見た図である。
【図４】第一の実施例において、支持部材の突起を溶融し、電気配線基板を支持固定する状態を説明する図である。
【図５】図１のＵ部を拡大し上面から見た図である。
【図６】本発明の第二の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【図７】図６において、支持部材の突起を溶融する前の状態を示す図である。
【図８】図７のＹ部を拡大し上面から見た図である。
【図９】第二の実施例において、支持部材の突起を溶融し、電気配線基板を支持固定する状態を説明する図である。
【図１０】図６のＸ部を拡大し上面から見た図である。
【図１１】本発明の第三の実施例のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。
【図１２】図１１において、支持部材の突起を溶融する前の状態を示す図である。
【図１３】従来のインクジェット記録ヘッドを説明する図である。（ａ）は、分解斜視図、（ｂ）は、電気配線基板を組み付けた状態、（ｃ）は従来の課題を説明する組立完成図であり、電気配線基板に歪みが生じる状態を説明する図である。
【図１４】図１３に示す従来のインクジェット記録ヘッドの断面構造を説明する図である。（ａ）は、Ｃ−Ｃ断面拡大図。（ｂ）は、Ｄ−Ｄ断面拡大図である。
【符号の説明】
【００６０】
１００  液体吐出基板
１０１  ヒーターボード
１０２  電極パッド
１０３  バンプ
１０４  インク供給口
１０５  オリフィスプレート
１０６  吐出口
１０７  接着剤
１０８  発熱抵抗体
２００  電気配線基板
２０１  ベースフィルム
２０２  接着剤
２０３  銅箔
２０４  電極端子（配線リード）
２０５  接着剤
２０６  カバーフィルム
２０７  接着剤
２１１  コンタクト部
２１６  開孔（長孔）
２１７  開孔（丸穴）
２１８  開孔（長孔）
２１９  開孔（丸穴）
２２０  開孔
２２１  開孔
３００  支持部材
３０２  インク供給口
３０５  突起
３０６  突起（位置決め部）
４００ａ、４００ｂ  接着剤
５００  複数の貫通孔
５０１  溶融冶具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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