(57)【要約】 【課題】  装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報を、正確かつ迅速に収集して記憶し、出力することができる生産装置を提供する。【解決手段】  ＣＰＵ１１は、たとえばセンサ１４１，１５１，１６１によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動部１４２，１５２，１６２への駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産した半導体製品などの生産物に関する生産物情報、操作パネル１３によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、検出された異常を示す異常発生情報を含む装置稼動情報を収集し、装置稼動情報として生産装置用メモリ１２に記憶する。生産装置用メモリ１２に記憶された装置稼動情報は、ＣＰＵ１１によって、通信ケーブルに接続される他の装置に送信される。【選択図】      図１
2007102561.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
生産物を生産する装置であって、
装置を操作するための操作手段と、
生産物の生産に係る駆動手段と、
駆動手段を駆動信号によって制御する制御手段と、
装置内部の状態を検出する状態検出手段と、
装置に発生した異常を検出する異常検出手段と、
記憶手段と、
記憶手段に記憶された情報を出力するための出力手段とを含み、
制御手段は、さらに状態検出手段によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産物に関する生産物情報、操作手段によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、および異常検出手段によって検出された異常に関する異常発生情報を含む装置稼動情報を収集して記憶手段に記憶させ、予め定められた出力条件が成立すると、記憶手段に記憶された装置稼動情報を出力手段に出力させることを特徴とする生産装置。
【請求項２】
前記状態検出手段および前記駆動手段を含む複数のブロックに分けられ、
前記内部状態情報は、前記状態検出手段によって検出された装置内部の状態をブロック毎に表すブロック別内部状態情報と、ブロック別内部状態情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック状態情報を含み、
前記駆動信号情報は、前記制御手段によって制御される駆動信号の状態をブロック毎に表すブロック別駆動信号情報と、ブロック別駆動信号情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック駆動情報とを含むことを特徴とする請求項１に記載の生産装置。
【請求項３】
前記制御手段は、ブロック状態情報が正常であるブロックについては、収集する内部状態情報を制限し、さらにブロック駆動情報が正常であるブロックについては、収集する駆動信号情報を制限することを特徴とする請求項２に記載の生産装置。
【請求項４】
前記制御手段は、ブロック状態情報が正常であるブロックについては予め定める第１のサンプリング間隔で、およびブロック状態情報が正常でないブロックについては第１のサンプリング間隔より短い第２のサンプリング間隔で、内部状態情報を収集し、さらにブロック駆動情報が正常であるブロックについては第１のサンプリング間隔で、およびブロック駆動情報が正常でないブロックについては第２のサンプリング間隔で、駆動信号情報を収集することを特徴とする請求項２に記載の生産装置。
【請求項５】
前記制御手段は、内部状態情報および駆動信号情報を予め定める第１のサンプリング間隔で収集し、前記異常検出手段が異常を検出すると、サンプリング間隔を第１のサンプリング間隔より短い第２のサンプリング間隔として、異常に関連するすべての装置稼動情報を収集し、さらに異常検出手段によって異常が検出された後予め定める時間が経過すると、サンプリング間隔を第１のサンプリング間隔に戻して、元の装置稼動情報を収集することを特徴とする請求項１に記載の生産装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記異常検出手段が複数の異常を検出すると、検出された異常のうち、予め定める優先順位の最も高い異常に関連するすべての装置稼動情報を収集することを特徴とする請求項５に記載の生産装置。
【請求項７】
生産物の生産に係る複数のブロックに分けられ、
各ブロックに少なくとも１台設置され、ブロック内の画像を撮像する画像撮像手段をさらに含み、
前記制御手段は、前記異常検出手段が異常を検出すると、異常が検出されたブロックに設置された画像撮像手段によって撮像された画像情報を収集し、収集された画像情報を、前記異常検出手段が検出した異常を識別するための異常識別情報と関連付け、装置稼動情報に含めて記憶手段に記憶させることを特徴とする請求項５に記載の生産装置。
【請求項８】
前記制御手段は、内部状態情報および駆動信号情報を予め定める第１のサンプリング間隔で収集し、生産物情報、操作履歴情報および異常発生情報を第１のサンプリング間隔より長い第３のサンプリング間隔で収集することを特徴とする請求項１に記載の生産装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載の複数の生産装置と、
生産装置から装置稼動情報を取得する取得手段と、
取得手段によって取得された装置稼動情報を記憶する第２の記憶手段と、
入力手段と、
第２の出力手段と、
入力手段から装置稼動情報の出力要求があると、第２の記憶手段に記憶された装置稼動情報を読み出し、編集して第２の出力手段に出力させる第２の制御手段とを含むことを特徴とする生産装置管理システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製品などの生産物を生産する生産装置および生産装置管理システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
生産装置、たとえば半導体製品を生産する生産装置は、高機能化と、並列処理化による高タクト化が進んでいる。それに伴い、生産装置のトラブル内容も、複雑化している。
【０００３】
生産装置にトラブルが発生した場合、生産装置のオペレータは、生産装置に表示されたアラーム表示内容などを確認し、備え付けられているトラブルシューティングマニュアルなどに規定された手順に従って、装置の復旧作業を行う。しかしながら、トラブル内容の複雑化によって、規定された手順だけでは、装置を復旧させることが難しくなってきている。装置を復旧させることができなかった場合、オペレータは、工場内のメンテナンス部門などにトラブル内容を連絡して、装置の復旧を依頼する。
【０００４】
メンテナンス部門などの専門スタッフは、連絡を受けると、トラブル内容、装置状態、およびオペレータの操作内容などを確認し、原因究明および対策など装置を復旧するための作業を行う。原因究明の過程で、必要があれば、オペレータに対する聞き取り調査、あるいはトラブルが発生した生産装置の目視確認、ならびに装置の内部状態、たとえばトラブルに関連するセンサあるいはシリンダの状態、およびカウンタなどの表示情報を確認する。
【０００５】
生産装置が海外など遠隔地の工場にあって、現地の専門スタッフだけではトラブルを復旧することができない場合、電子メールあるいはファクシミリなどを使って、それまでの調査内容を日本の専門部門へ送り、指示を待つ。日本の専門部門のスタッフは、連絡を受けると、送られてきた調査内容を基に、原因究明を行い、復旧手順および対策方法などを現地スタッフに連絡する。もし、現地スタッフから送られてきた調査内容に不足があるために、装置状態を把握あるいは原因を究明することができない場合、現地スタッフへの聞き取り調査あるいは追加の確認作業などを現地スタッフへ依頼して、より詳しい情報を収集して調査にあたる。
【０００６】
さらに、生産装置の稼働率の維持あるいは向上のために、生産数量、検査工程での不良数の推移、およびトラブルの発生を知らせるアラーム発生情報などの装置情報は、オペレータが、たとえば１日１回予め決められた時刻に、生産装置の数量カウンタあるいはアラームカウンタを確認して記録する。
【０００７】
不具合に関連する情報を収集して表示する第１の従来の技術として、組立・調整・検査工程の情報管理装置がある。この情報管理装置は、組立・調整・検査工程で発生した製品の不具合に対して、「現象」、「原因」、「処置」、「対策」に関する不具合情報およびそれら各不具合情報の付帯情報を含む不具合情報セット、ならびにユニークで自動採番される「故発ＩＤ」、「製品名」、「不具合部位」を含むその不具合情報セットの付帯情報を、「故発ＩＤ」をキーとして関連付けて、不具合情報データベースに一元保管し、保管されている情報を閲覧、検索、あるいは集計して表示することができるようにしたものである。不具合情報データベースへの情報の登録は、ライン作業者などによって入力される。予め定められた条件が成立したときに電子メール等によって、集計結果が送信されるので、スタッフ部門は、迅速に不具合発生を知ることができ、原因究明、対策を早期に行うことができる（たとえば特許文献１参照）。
【０００８】
不具合に関連する情報を収集して表示する第２の従来の技術として、生産装置の稼動情報収集表示システムがある。この稼動情報収集表示システムは、複数の生産装置を、ホストコンピュータに接続されている複数のＬＡＮ（Local Area Network）コンバータに、分散して接続したものである。各ＬＡＮコンバータが、自分に接続されている生産装置からの運転状態、たとえば正常状態、停止状態、待ち状態、および故障状態などを表す情報を収集して、運転状態の判定を行い、判定結果に基づく運転状態データを日時データとともに一時的に保存し、生産装置の稼動状態が変化したとき、保存していた稼動データを日時データとともに、ホストコンピュータに送信する。ホストコンピュータがトラブルあるいはメンテナンスなどで機能停止しても、機能が回復したときに、ＬＡＮコンバータから生産装置の運転状態データが日時データとともに送信されるので、ホストコンピュータは、正確な稼働データに基づいた生産装置の稼動情報を表示することができ、ユーザは正確な稼動状況を把握することができる（たとえば特許文献２参照）。
【０００９】
【特許文献１】特開２００３−２１６２２２号公報
【特許文献２】特開２００１−２７３０１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
半導体製品の生産装置では、高タクト化が進んでいるので、生産装置のトラブルによる装置停止時間の短縮は、重要課題である。上述した従来の技術による不具合に関連する情報を管理する装置およびシステムは、以下のような問題があるので、トラブル復旧までの装置停止時間が長くなり、生産性の低下を招く可能性がある。
【００１１】
第１の従来の技術は、発生した不具合に関して、現象、原因、処置、および対策などの情報を、ライン作業者などが不具合情報データベースに登録して、それらの情報を適時スタッフ部門に送信することができるようにしたものである。しかしながら、不具合情報データベースへの情報の登録は、ライン作業者などによって行われるので、不具合が発生してから、ライン作業者が不具合に関連する情報を不具合情報データベースに登録するまで、時間遅れがあり、タイムリーに専門スタッフに情報が伝わらないという問題がある。さらに発生した不具合を解決するために、スタッフが利用することができる情報としては、ライン作業者が不具合情報データベースに登録した現象に関する情報のみであり、不具合を解決するための情報としては不十分であることが多いという問題がある。
【００１２】
第２の従来の技術は、ＬＡＮコンバータが生産装置の情報を収集して、ホストコンピュータに送信するので、ホストコンピュータにトラブルがあっても、ホストコンピュータはＬＡＮコンバータから受信した生産装置の情報に基づいて生産装置の正確な運転状態を表示することができるようにしたものである。しかしながら、生産装置の運転状態を把握するための情報しか収集していないので、生産装置に不具合が発生しても、不具合が発生したことは認識することはできるが、その不具合を解決するための情報は収集されていないという問題がある。
【００１３】
このように、不具合が発生したときに、不具合に関する情報が収集されていないあるいは不足していると、迅速に装置状態を把握あるいは原因を究明することができないことがある。この場合、現地スタッフへの聞き取り調査あるいは追加の確認作業を現地スタッフへ依頼する必要があるので、現地との情報のやり取りに多大の時間を要し、装置停止時間が長引いてしまう。
【００１４】
さらに、トラブルへの対処方法、たとえば現地スタッフへの聞き取り調査あるいは追加の確認作業の現地スタッフへ依頼は、専門スタッフ個人のスキルあるいはノウハウに依存するところが大きい。したがって、収集される情報がいつも十分なものであるとは限らないという問題があり、同じトラブルが発生しても、それにあたる専門スタッフによっては、トラブル復旧までの時間が長くなることがある。
【００１５】
さらにまた、オペレータあるいは現地スタッフなどからの情報が間違いを含んでいることがあるという問題がある。情報に間違いがあると情報全体の信憑性が低くなり、その情報の検証作業から行わねばならず、装置停止時間が長引くことになる。
【００１６】
さらに生産装置の稼働率の維持あるいは向上のために、生産数量、検査工程での不良数の推移、およびトラブルの発生を知らせるアラーム発生情報などの装置情報は、オペレータが手作業で確認して記録するので、記録を付け忘れるミスあるいは情報を間違って記録するミスなどが発生するという問題がある。オペレータが手作業で情報を記録するので、手間と時間がかかる。
【００１７】
本発明の目的は、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報を、正確かつ迅速に収集して記憶し、出力することができる生産装置および生産装置管理システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
本発明は、生産物を生産する装置であって、
装置を操作するための操作手段と、
生産物の生産に係る駆動手段と、
駆動手段を駆動信号によって制御する制御手段と、
装置内部の状態を検出する状態検出手段と、
装置に発生した異常を検出する異常検出手段と、
記憶手段と、
記憶手段に記憶された情報を出力するための出力手段とを含み、
制御手段は、さらに状態検出手段によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産物に関する生産物情報、操作手段によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、および異常検出手段によって検出された異常に関する異常発生情報を含む装置稼動情報を収集して記憶手段に記憶させ、予め定められた出力条件が成立すると、記憶手段に記憶された装置稼動情報を出力手段に出力させることを特徴とする生産装置である。
【００１９】
本発明に従えば、生産物を生産するにあたって、操作手段によって、装置が操作され、制御手段によって、生産物の生産に係る駆動手段が駆動信号によって制御され、状態検出手段によって、装置内部の状態が検出され、異常検出手段によって、装置に発生した異常が検出され、出力手段によって、記憶手段に記憶された情報が出力される。
【００２０】
さらに制御手段によって、状態検出手段によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産物に関する生産物情報、操作手段によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、および異常検出手段によって検出された異常に関する異常発生情報を含む装置稼動情報が収集されて記憶手段に記憶され、予め定められた出力条件が成立すると、記憶手段に記憶された装置稼動情報が出力手段に出力される。
【００２１】
このように、状態検出手段によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産物に関する生産物情報、操作手段によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、および異常検出手段によって検出された異常に関する異常発生情報を含む装置稼動情報を、収集して記憶しておき、予め定められた出力条件が成立したとき、記憶されている装置稼動情報を出力するので、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報を、正確かつ迅速に収集して記憶し、出力することができる。
【００２２】
また本発明は、前記状態検出手段および前記駆動手段を含む複数のブロックに分けられ、
前記内部状態情報は、前記状態検出手段によって検出された装置内部の状態をブロック毎に表すブロック別内部状態情報と、ブロック別内部状態情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック状態情報を含み、
前記駆動信号情報は、前記制御手段によって制御される駆動信号の状態をブロック毎に表すブロック別駆動信号情報と、ブロック別駆動信号情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック駆動情報とを含むことを特徴とする。
【００２３】
本発明に従えば、内部状態情報をブロック別内部状態情報とブロック駆動情報とに階層化し、および駆動信号情報をブロック別駆動信号情報とブロック駆動情報とに階層化して記憶するので、異常の有無をブロック単位で判断することができる。
【００２４】
また本発明は、前記制御手段は、ブロック状態情報が正常であるブロックについては、収集する内部状態情報を制限し、さらにブロック駆動情報が正常であるブロックについては、収集する駆動信号情報を制限することを特徴とする。
【００２５】
本発明に従えば、ブロックが正常であれば、そのブロックについて、収集する内部状態情報を制限するので、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。
【００２６】
また本発明は、前記制御手段は、ブロック状態情報が正常であるブロックについては予め定める第１のサンプリング間隔で、およびブロック状態情報が正常でないブロックについては第１のサンプリング間隔より短い第２のサンプリング間隔で、内部状態情報を収集し、さらにブロック駆動情報が正常であるブロックについては第１のサンプリング間隔で、およびブロック駆動情報が正常でないブロックについては第２のサンプリング間隔で、駆動信号情報を収集することを特徴とする。
【００２７】
本発明に従えば、ブロック状態情報あるいはブロック駆動情報が正常でないブロックについてはサンプリング間隔を短くするので、そのブロックについては、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができる。
【００２８】
また本発明は、前記制御手段は、内部状態情報および駆動信号情報を予め定める第１のサンプリング間隔で収集し、前記異常検出手段が異常を検出すると、サンプリング間隔を第１のサンプリング間隔より短い第２のサンプリング間隔として、異常に関連するすべての装置稼動情報を収集し、さらに異常検出手段によって異常が検出された後予め定める時間が経過すると、サンプリング間隔を第１のサンプリング間隔に戻して、元の装置稼動情報を収集することを特徴とする。
【００２９】
本発明に従えば、異常が検出されると、装置稼動情報を収集するサンプリング間隔を短くするとともに、異常に関連するすべての装置稼動情報を収集するので、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができる。さらに、サンプリング間隔を短くした後、一定時間が経過しても、エラーが再発しない場合は、サンプリング間隔および収集する装置稼動情報を元に戻すので、回復の処置が有効であった場合、収集する装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。
【００３０】
また本発明は、前記制御手段は、前記異常検出手段が複数の異常を検出すると、検出された異常のうち、予め定める優先順位の最も高い異常に関連するすべての装置稼動情報を収集することを特徴とする。
【００３１】
本発明に従えば、複数の異常が検出されると、検出された異常のうち、予め定める優先順位の最も高い異常に関連するすべての装置稼動情報を収集するので、優先度の高い異常から障害対策を行うことができる。
【００３２】
また本発明は、生産物の生産に係る複数のブロックに分けられ、
各ブロックに少なくとも１台設置され、ブロック内の画像を撮像する画像撮像手段をさらに含み、
前記制御手段は、前記異常検出手段が異常を検出すると、異常が検出されたブロックに設置された画像撮像手段によって撮像された画像情報を収集し、収集された画像情報を、前記異常検出手段が検出した異常を識別するための異常識別情報と関連付け、装置稼動情報に含めて記憶手段に記憶させることを特徴とする。
【００３３】
本発明に従えば、装置ブロックの画像を撮像した画像情報を装置稼動情報に含めて記憶しておくので、データ情報だけでは分かりにくかった装置状況を容易に把握することができる。
【００３４】
また本発明は、前記制御手段は、内部状態情報および駆動信号情報を予め定める第１のサンプリング間隔で収集し、生産物情報、操作履歴情報および異常発生情報を第１のサンプリング間隔より長い第３のサンプリング間隔で収集することを特徴とする。
【００３５】
本発明に従えば、生産物情報、操作履歴情報、および異常発生情報のサンプリング間隔を、内部状態情報および駆動信号情報のサンプリング間隔よりも短くするので、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。
【００３６】
また本発明は、前記複数の生産装置と、
生産装置から装置稼動情報を取得する取得手段と、
取得手段によって取得された装置稼動情報を記憶する第２の記憶手段と、
入力手段と、
第２の出力手段と、
入力手段から装置稼動情報の出力要求があると、第２の記憶手段に記憶された装置稼動情報を読み出し、編集して第２の出力手段に出力させる第２の制御手段とを含むことを特徴とする生産装置管理システムである。
【００３７】
本発明に従えば、取得手段によって、複数の生産装置から装置稼動情報が取得され、第２の記憶手段によって、取得手段によって取得された装置稼動情報が記憶され、入力手段から装置稼動情報の出力要求があると、第２の制御手段によって、第２の記憶手段に記憶された装置稼動情報が読み出され、編集されて第２の出力手段に出力される。
【００３８】
このように、内部状態情報、駆動信号情報、生産物情報、操作履歴情報、および異常発生情報を含む装置稼動情報を、複数の生産装置から取得て記憶しておくので、出力要求が入力されると、装置稼動情報を即座に出力することができる。さらに生産装置から装置稼動情報を取得して、第２の記憶手段に記憶しているので、装置稼動情報の情報量が少なくなると、生産装置から取得する情報量および第２の記憶手段に記憶する情報量を減らすことができる。
【発明の効果】
【００３９】
本発明によれば、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報を、正確かつ迅速に収集して記憶し、出力することができるので、早期に原因究明に着手することができ、トラブル復旧までに要する時間を短縮することができる。さらに、専門スタッフ個人のスキルおよびノウハウに依存せず、的確に装置稼動情報を収集するので、装置トラブル復旧までに要する時間を短縮することができる。
【００４０】
また本発明によれば、異常の有無をブロック単位で判断することができるので、データの解析を簡便化することができ、対策を早期に行うことができる。
【００４１】
また本発明によれば、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができるので、メモリを効率的に活用することができる。
【００４２】
また本発明によれば、正常でないブロックについては、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができるので、同じブロックで異常が再発すると、より詳細な情報に基づいて原因究明を行うことができ、再発時の障害の解決を早期化することができる。
【００４３】
また本発明によれば、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができるので、異常が再発すると、より詳細な情報に基づいて原因究明を行うことができ、再発時の障害の解決を早期化することができる。さらに、回復の処置が有効であった場合、収集する装置稼動情報の情報量を少なくすることができるので、一定時間が経過して、行われた回復の処置が有効であることが確認されると、メモリを有効活用することができる。
【００４４】
また本発明によれば、優先度の高い異常から障害対策を行うことができるので、優先度の高い異常を早く解決することができる。
【００４５】
また本発明によれば、データ情報だけでは分かりにくかった装置状況を容易に把握することができるので、処置および対策完了を早くすることができる。
【００４６】
また本発明によれば、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができるので、メモリを有効活用することができる。
【００４７】
また本発明によれば、出力要求が入力されると、装置稼動情報を即座に出力することができるので、専門スタッフは、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報をリアルタイムで参照することができ、処置および対策の完了時期を早くすることができ、ひいては仕損費を減少させ、コストを削減することができる。生産物情報については、集計して出力することができるので、集計業務などの間接業務を簡便化することができ、ひいては人件費を削減することができる。さらに生産装置から取得する情報量および第２の記憶手段に記憶する情報量を減らすことができるので、限られた通信能力、および限られたメモリ容量を有効に活用することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４８】
図１は、本発明の実施の一形態である生産装置１０の概略の構成を示す。生産装置１０は、たとえば半導体製品などの生産物を生産する装置であり、ＣＰＵ（Central
Processing Unit）１１、生産装置用メモリ１２、操作パネル１３、供給部１４、測定部１５、格納部１６、および図示しない通信部を含む。
【００４９】
制御手段であるＣＰＵ１１は、生産装置用メモリ１２に記憶されたプログラムを実行することによって、操作パネル１３、供給部１４、測定部１５、および格納部１６などを制御し、出力手段である図示しない通信部を介して、通信ケーブルに接続される他の装置と情報の送受信を行う中央処理装置である。記憶手段である生産装置用メモリ１２は、半導体メモリなどで構成される記憶装置であり、ＣＰＵ１１で実行されるプログラム、ならびにプログラムを実行するために必要な情報および後述する装置稼動情報などの情報を記憶する。これらの情報は、ＣＰＵ１１によって、書き込みあるいは読み出される。
【００５０】
操作手段である操作パネル１３は、たとえば操作者が装置に指示を与えるための操作ボタン、たとえば装置の運転を開始させるためのスタートボタン、装置の運転を停止させるためのストップボタン、装置をリセットするためのリセットボタン、および生産物に関する情報をクリアするためのカウンタクリアボタンなどの入力装置、ならびに操作者への情報を表示するための液晶ディスプレイなどの表示装置を含むパネルである。操作パネル１３からの指示は、ＣＰＵ１１に送られ、ＣＰＵ１１は、操作された操作ボタンに対応する処理を行い、操作者への情報を操作パネル１３に送って、表示させる。ＣＰＵ１１は、操作パネル１３によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報を収集して、生産装置用メモリ１２に記憶する。
【００５１】
生産装置１０は、生産物の生産に係るブロック（以下装置ブロックともいう）、たとえば供給部１４、測定部１５、および格納部１６などのブロックを含む。供給部１４は、たとえば半導体ウエハなどの材料を生産装置１０に供給するブロックであり、測定部１５は、たとえば生産物の特性などを測定するブロックであり、格納部１６は、たとえば生産物を格納するブロックである。供給部１４、測定部１５、および格納部１６は、それぞれ装置内部の状態を検出する状態検出手段であるセンサ１４１，１５１，１６１、およびＣＰＵ１１から駆動信号によって制御される駆動部１４２，１５２，１６２を含む。駆動手段である駆動部１４２，１５２，１６２は、たとえばモータなどで構成され、半導体ウエハを載置するステージを昇降させるためのシリンダなどを駆動する。
【００５２】
センサ１４１，１５１，１６１は、それぞれ複数のセンサを含み、駆動部１４２，１５２，１６２は、それぞれ複数の駆動部を含む。センサ１４１，１５１，１６１によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報および駆動部１４２，１５２，１６２への駆動信号の状態を示す駆動信号情報は、ＣＰＵ１１によって、予め定めるサンプリング間隔、たとえば１０秒に１回の頻度で収集され、生産装置用メモリ１２に記憶される。
【００５３】
ＣＰＵ１１は、たとえば生産装置１０に投入された半導体ウエハの投入数総累計、測定された特性によって検査に合格した半導体製品の数を表す検査パス数、測定された特性によって検査に合格しなかった半導体製品の数を表す検査ＮＧ（Ｎｏ  Ｇｏｏｄ）数、および収納部１６へ収納された半導体製品の収納数などのカウンタ情報、すなわち生産した半導体製品などの生産物に関する生産物情報を収集して、生産装置用メモリ１２に記憶して管理する。
【００５４】
ＣＰＵ１１は、さらにセンサ１４１，１５１，１６１によって検出された装置内部の状態および駆動部１４２，１５２，１６２への駆動信号の状態などを監視して、異常を検出する異常検出手段でもある。検出した異常を示す異常発生情報つまりアラーム発生情報は、生産装置用メモリ１２に記憶される。
【００５５】
生産装置用メモリ１２に記憶された装置稼動情報、すなわちセンサ１４１，１５１，１６１によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報、駆動部１４２，１５２，１６２への駆動信号の状態を示す駆動信号情報、生産した半導体製品などの生産物に関する生産物情報、操作パネル１３によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報、および検出された異常を示す異常発生情報を含む装置稼動情報は、ＣＰＵ１１によって読み出され、図示しない通信部によって、通信ケーブルに接続される他の装置に出力される。
【００５６】
図２は、本発明の実施の他の形態である生産装置管理システム１の概略の構成を示す。生産装置管理システム１は、複数の生産装置１０、外部コントローラ２０、サーバ３０、パーソナルコンピュータ４０、通信ケーブル５０、および通信回線５１を含む。
【００５７】
生産装置１０は、図１に示した生産装置であり、複数の生産装置１０は、たとえば通信ケーブル５０などによって外部コントローラ２０に接続され、外部コントローラ２０と情報を送受信する。生産装置１０は、生産装置用メモリ１２に記憶された装置稼動情報を、図示しない通信部によって、通信ケーブルを介して、外部コントローラ２０に送信する。
【００５８】
外部コントローラ２０は、たとえば半導体メモリなどで構成される外部コントローラ用メモリ２１、およびＨＤＤ（Hard Disk Drive）２２などで構成される大容量の記憶装置を含む。外部コントローラ２０は、通信回線５１、たとえばインターネットなどを介して、ファイル管理用のサーバ３０と情報の送受信を行う。通信回線５１には、装置管理者あるいは専門スタッフが、生産装置１０に関する情報を入手するためのパーソナルコンピュータ（以下パソコンと略す）４０が接続されている。
【００５９】
外部コントローラ２０は、生産装置１０の生産装置用メモリ１２に記憶されている装置稼動情報を、各生産装置１０から取得し、一旦外部コントローラ用メモリ２１に記憶し、順次第２の記憶手段であるＨＤＤ２２に、装置稼動情報として追加記憶していく。さらに、ＨＤＤ２２に記憶された装置稼動情報を、随時、たとえば１時間に１回の頻度で、サーバ３０にアップロードする。パソコン４０は、図示しない制御部、キーボードおよびマウスなどの入力手段である図示しない入力装置、および液晶ディスプレイなどの第２の出力手段である図示しない出力装置を含む。第２の制御手段である制御部は、たとえばＣＰＵで構成され、装置管理者あるいは専門スタッフが入力装置から出力要求を入力すると、サーバ３０にアクセスして、装置稼動情報をダウンロードし、ダウンロードした情報を編集して、出力装置に出力する。
【００６０】
このように、外部コントローラ２０は、内部状態情報、駆動信号情報、生産物情報、操作履歴情報、および異常発生情報を含む装置稼動情報を、複数の生産装置１０から取得して、サーバ３０にアップロードして記憶しておくので、パソコン４０から出力要求が入力されると、生産装置１０の装置稼動情報を即座に出力することができる。したがって、専門スタッフは、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報をリアルタイムで参照することができ、処置および対策の完了時期を早くすることができる。
【００６１】
図３は、図１に示した生産装置用メモリ１２に記憶される装置稼動情報のデータ構成の一例を示す。装置稼動情報は、センサ出力信号６０、シリンダ等の駆動信号６１、カウンタ情報６２、操作履歴情報６３、アラーム発生情報６４、稼動情報６５、およびサンプリング日時６６を含み、生産装置用メモリ１２に記憶され、ＣＰＵ１１によって管理される。
【００６２】
センサ出力信号６０は、センサ１４１，１５１，１６１によって検出された装置内部の状態をブロック毎に表すブロック別内部状態情報と、ブロック別内部状態情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック状態情報を含む。たとえば供給部１４のブロック別内部状態情報は、センサ１４１の複数のセンサによって検出された内部状態を示すセンサ１ｓ〜センサ１００ｓであり、供給部１４のブロック状態情報は、供給部１４の内部の状態がすべて正常であることを表す供給部状態情報６０ｓである。すなわち供給部状態情報６０ｓは、センサ１４１の複数のセンサによって検出された状態、つまりセンサ１ｓ〜センサ１００ｓがすべて正常であるとき、正常であることを示す。
【００６３】
同様に、測定部１５のブロック別内部状態情報は、センサ１５１の複数のセンサによって検出された内部状態を示すセンサ１ｔ〜センサ１００ｔであり、測定部１５のブロック状態情報は、測定部１５の内部の状態がすべて正常であることを表す測定部状態情報６０ｔである。すなわち測定部状態情報６０ｔは、センサ１５１の複数のセンサによって検出された状態、つまりセンサ１ｔ〜センサ１００ｔがすべて正常であるとき、正常であることを示す。収納部１６のブロック別内部状態情報は、センサ１６１の複数のセンサによって検出された内部状態を示すセンサ１ｕ〜センサ１００ｕであり、収納部１６のブロック状態情報は、収納部１６の内部の状態がすべて正常であることを表す収納部状態情報６０ｕである。すなわち収納部状態情報６０ｕは、センサ１６１の複数のセンサによって検出された状態、つまりセンサ１ｕ〜センサ１００ｕがすべて正常であるとき、正常であることを示す。
【００６４】
内部状態情報であるセンサ出力信号６０は、ブロック別内部状態情報と、ブロック別内部状態情報によって決まるブロック状態情報とに階層化された情報である。ブロック状態情報は、たとえば供給部状態情報６０ｓ、測定部状態情報６０ｔ、および収納部状態情報６０ｕである。センサ出力信号６０の各状態は、たとえば１ビットつまりＯＮかＯＦＦかで表される。
【００６５】
シリンダ等の駆動信号６１は、ＣＰＵ１１によって制御される駆動信号の状態をブロック毎に表すブロック別駆動信号情報と、ブロック別駆動信号情報が示す状態がすべて正常であることをブロック毎に表すブロック駆動情報とを含む。たとえば供給部１４のブロック別駆動信号情報は、供給部１４の駆動部１４２の複数の駆動部への駆動信号の状態を示すシリンダ１ｓ〜シリンダ５０ｓであり、供給部１４のブロック駆動情報は、供給部１４の駆動信号の状態がすべて正常であることを表す供給部駆動情報６１ｓである。すなわち供給部駆動情報６１ｓは、駆動部１４２の複数の駆動部への駆動信号の状態、つまりシリンダ１ｓ〜シリンダ５０ｓがすべて正常であるとき、正常であることを示す。
【００６６】
同様に、測定部１５のブロック別駆動信号情報は、測定部１５の駆動部１５２の複数の駆動部への駆動信号の状態を示すシリンダ１ｔ〜シリンダ５０ｔであり、測定部１５のブロック駆動情報は、測定部１５の駆動信号の状態がすべて正常であることを表す測定部駆動情報６１ｔである。すなわち測定部駆動情報６１ｔは、駆動部１５２の複数の駆動部への駆動信号の状態、つまりシリンダ１ｔ〜シリンダ５０ｔがすべて正常であるとき、正常であることを示す。収納部１６のブロック別駆動信号情報は、収納部１６の駆動部１６２の複数の駆動部への駆動信号の状態を示すシリンダ１ｕ〜シリンダ５０ｕであり、収納部１６のブロック駆動情報は、収納部１６の駆動信号の状態がすべて正常であることを表す収納部駆動情報６１ｕである。すなわち収納部駆動情報６１ｕは、駆動部１６２の複数の駆動部への駆動信号の状態、つまりシリンダ１ｕ〜シリンダ５０ｕがすべて正常であるとき、正常であることを示す。
【００６７】
駆動信号情報であるシリンダ等の駆動信号６１は、ブロック別駆動信号情報と、ブロック別駆動信号情報によって決まるブロック駆動情報とに階層化された情報である。ブロック駆動情報は、たとえば供給部駆動情報６１ｓ、測定部駆動情報６１ｔ、および収納部駆動情報６１ｕである。シリンダ等の駆動信号６１の各状態は、たとえば１ビットつまりＯＮかＯＦＦかで表される。
【００６８】
このように、内部状態情報をブロック別内部状態情報とブロック駆動情報とに階層化し、および駆動信号情報をブロック別駆動信号情報とブロック駆動情報とに階層化して記憶するので、異常の有無をブロック単位で判断することができる。したがって、データの解析を簡便化することができ、対策を早期に行うことができる。
【００６９】
さらに、ブロックが正常であれば、そのブロックについて、収集する内部状態情報を制限するので、たとえばブロック別内部状態情報およびブロック別駆動信号情報を記憶しないので、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。したがって、メモリを効率的に活用することができる。
【００７０】
カウンタ情報６２は、半導体製品などの生産物に関する生産物情報であり、たとえば投入数総累計、検査良品数つまり検査パス数、検査ＮＧ数、および収納数などの情報を含む。これらの情報は、それぞれ１６ビット〜４０ビット程度で表されて記憶される。
【００７１】
操作履歴情報６３は、操作パネル１３によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情であり、たとえばスタートスイッチつまりスタートボタン、ストップボタン、リセットボタン、カウンタクリアボタン、機種切替スイッチ、および供給部モータパルスデータ変更などの操作ボタンが操作された履歴を示す。これらの情報は、たとえばサンプリング周期の間に操作されたか否かが、それぞれ１ビットで表されて記憶される。さらにサンプリング周期の間に操作された回数を操作ボタン毎に、８ビット〜１６ビット程度で表して記憶してもよい。または図５で後述するように、操作ボタンによる操作をコード化しておいて、操作ボタンが操作されたときに、操作された操作ボタンに対応するコードを順次記憶してもよい。
【００７２】
異常発生情報であるアラーム発生情報６４は、装置に発生したアラーム、たとえば位置決め機構動作不良、非常停止ＯＮ、あるいは収納部動作不良などの異常つまりアラームを表す情報であり、たとえばサンプリング周期の間に発生したか否かを、アラーム毎に１ビットで表して記憶される。さらにサンプリング周期の間に発生した回数を、アラーム毎に１６ビット程度で表して記憶してもよい。あるいは操作履歴情報と同様に、各アラームをコード化しておいて、アラームが発生したときに、そのアラームに対応するコードを、アラーム発生履歴情報として、順次記憶してもよい。
【００７３】
稼動情報６５は、たとえば稼動中、非常停止ＯＮ、あるいは収納部動作不良などの稼動状況を示す情報である。サンプリング日時６６は、サンプリングが行われた日時、つまりサンプリングされた日付および時刻を示す情報であり、たとえば「＊＊＊＊年＊＊月＊＊日  ００：００：００」のように表される。操作およびアラーム発生の履歴をとる場合は、それぞれ操作された日時およびアラームが発生した日時と対応付けて記憶してもよい。日時を記憶しておくことによって、装置状況の時間推移を把握することができる。
【００７４】
このように、状態検出手段によって検出された装置内部の状態を示す内部状態情報たとえばセンサ出力信号６０、駆動信号の状態を示す駆動信号情報たとえばシリンダ等の駆動信号６１、生産物に関する生産物情報たとえばカウンタ情報６２、操作手段によって操作された操作の履歴を示す操作履歴情報６３、および異常検出手段によって検出された異常に関する異常発生情報たとえばアラーム発生情報６４を含む装置稼動情報を、収集して記憶しておき、予め定められた出力条件が成立したとき、記憶されている装置稼動情報を出力するので、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報を、正確かつ迅速に収集して記憶し、出力することができる。したがって、早期に原因究明に着手することができ、トラブル復旧までに要する時間を短縮することができる。
【００７５】
さらに、専門スタッフ個人のスキルおよびノウハウに依存せず、的確に装置稼動情報を収集するので、装置トラブル復旧までに要する時間を短縮することができる。
【００７６】
図４は、図１に示したセンサの出力状態とその解析方法を示す。図４（ａ）は、正常動作時にサンプリングした１つの装置ブロックの各センサの出力状態および正常時の出力状態の一例を示す。センサＳ１〜センサＳｎは、１つの装置ブロックに含まれるすべてのセンサを示し、センサの出力状態、つまりセンサの出力信号のＯＮおよびＯＦＦの状態を、それぞれ「１」および「０」で表している。サンプリング時刻Ｔ１〜サンプリング時刻Ｔｍは、サンプリングを行った時刻である。
【００７７】
たとえばサンプリング時刻Ｔ１でのセンサＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓｉ，Ｓｋ，およびＳｎの出力状態は、それぞれ「１」、「０」、「１」、「１」、「０」、および「０」である。センサＳ３およびセンサＳｋは、時刻によって出力状態が変化し、たとえばサンプリング時刻Ｔ２では、センサＳｋの出力状態は、「１」に変化し、サンプリング時刻Ｔ３では、センサＳ３およびセンサＳｋの出力状態は、それぞれ「０」および「０」に変化している。すなわち、センサＳ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓｉ，Ｓｋ，およびＳｎの正常時の出力状態は、それぞれ「１」、「０」、「０または１」、「１」、「０または１」、および「０」である。
【００７８】
図４（ｂ）は、ある時刻にサンプリングしたセンサＳ１〜センサＳｎの出力状態の一例を示す。このときのセンサＳ１〜センサＳｎの出力状態は、正常時の出力状態に一致しているので、この装置ブロックには、異常はないと判断される。図４（ｃ）は、図４（ｂ）に示した時刻とは異なる時刻にサンプリングしたセンサＳ１〜センサＳｎの出力状態の一例を示す。センサＳｉの出力状態は「０」であり、正常時の出力状態「１」と異なるので、この装置ブロックには、異常があると判断される。
【００７９】
正常時の出力状態は、予め正常稼動時に各センサの出力状態をサンプリングすることによって決定され、決定された正常時の出力状態は、生産装置用メモリ１２に記憶される。各センサの出力状態を、生産装置用メモリ１２に記憶した正常時の出力状態と比較することによって、その装置ブロックに異常があるか否かを判断することができる。
【００８０】
装置ブロックが正常であるときは、その装置ブロックのすべてのセンサの出力状態を記憶する必要はなく、装置ブロックが正常か否かを示す１ビットの情報、すなわちブロック状態情報のみ記憶すればよく、その装置ブロックのブロック別内部状態情報を記憶しなくてもよい。装置ブロックが異常であるときは、ブロック状態情報を「０」として、異常のある装置ブロックの各センサの出力状態を示すブロック別内部状態情報とともに記憶する。さらに異常があると判断した装置ブロックのサンプリング間隔を短くする。サンプリング間隔を短くすることによって、時間的により詳細な情報を収集する。
【００８１】
このように、正常に稼動しているときは、ブロック単位に異常の有無を判断することができる情報のみを収集して記憶し、異常が検出されたとき、必要な情報をより詳細に、かつ短いサンプリング間隔で収集するように切換えるので、正常稼動時に収集する情報量を減らすことができる。したがって、限られたメモリ容量を有効に活用することができる。
【００８２】
さらに  図２に示した生産装置管理システム１では、生産装置１０から装置稼動情報を取得して、外部コントローラ２０のＨＤＤ２２つまり第２の記憶手段に記憶しているので、装置稼動情報の情報量が少なくなると、通信ケーブル５０を介して送信する情報量つまり生産装置から取得する情報量および第２の記憶手段に記憶する情報量を減らすことができる。したがって、通信ケーブル５０の限られた通信能力、および限られたメモリ容量を有効に活用することができる。
【００８３】
図５は、図３に示した操作履歴情報６３の詳細の一例を示す。図５（ａ）は、操作内容とコードの対応を示す。操作内容を、８ビットでコード化したものであり、たとえば１６進コードで表したコード「００」に対応する操作内容は、「スタートボタン押下」であり、コード「０１」〜コード「０３」に対応する操作内容は、それぞれ「ストップボタン押下」、「リセットボタン押下」、および「カウンタクリア」である。
【００８４】
図５（ｂ）は、操作履歴情報の一例である。操作が行われたとき、その操作内容に対応するコードをアドレス「１」からアドレス「Ｎ」まで順次、生産装置メモリ１２の履歴情報記憶領域に記憶したものである。アドレス「１」〜アドレス「８」に、それぞれ「１８」、「１Ａ」、「０１」、「０３」、「０２」、「ＥＡ」、「０５」、および「００」が示され、アドレス「Ｎ」のコード「Ａ４」まで操作の履歴が記憶されている。このうち、コード「０１」はストップボタン押下、コード「０３」はカウンタクリア、コード「０２」はリセットボタン押下、およびコード「００」はスタートボタン押下が行われたことを示している。
【００８５】
Ｎ個のアドレスに履歴を記憶するので、アドレスＮまで履歴を記憶したときは、あらたな操作内容を示すコードをアドレスＮに記憶し、それまでアドレスＮに記憶されていたコードをアドレスＮ−１に記憶する。同様にそれまで記憶されていたコードを１つ少ないアドレスに記憶する。したがってアドレス「１」に記憶されていたコードは消滅する。すなわち最新の操作内容のコードが常にアドレスＮに記憶され、最大Ｎ個の最新の操作履歴が記憶される。
【００８６】
図６は、サンプリング間隔の変更を示すタイムチャートである。生産装置１０は、たとえば装置ブロック１〜装置ブロックＰのＰ個の装置ブロックを含み、横方向に時間の経過を示す。最初いずれの装置ブロックも同じサンプリング時刻Ｔ１およびＴ２でサンプリングが行われている。サンプリング間隔は、たとえば１０秒程度である。
【００８７】
時刻Ｔ２の直後の時刻Ｔｅに装置ブロック２および装置ブロックｊに関連するエラーが発生し、エラーに関連する障害が回復された後時刻Ｔｒに運転が再開される。運転が再開されると、装置ブロック２および装置ブロックｊを除く装置ブロックは、エラー発生前のサンプリング間隔と同じサンプリング間隔、つまり時刻Ｔ３，Ｔ４，・・・にサンプリングされ、装置ブロック２および装置ブロックｊは、エラー発生前のサンプリング間隔より短いサンプリング間隔、つまりサンプリング時刻ｔ１，ｔ２，ｔ３，・・・にサンプリングされる。この短いサンプリング間隔は、たとえば２秒程度のサンプリング間隔であり、次回同じエラーが発生するまで、または一定時間が経過するまで継続する。一定時間経過しても、エラーが再発しない場合は、サンプリング間隔を元のサンプリング間隔に戻す。
【００８８】
すなわち、エラー発生後、エラーに関連した装置ブロックに注目して、次回エラーが発生したときに、時間的により詳細な情報を収集することができるように、エラーに関連した装置ブロックのサンプリング間隔を短くする。さらに回復処置が有効であると、エラーの再発の可能性は非常に低いので、一定時間が経過すると、元のサンプリング間隔に戻す。エラーに関連した装置ブロックは、たとえばブロック状態情報あるいはブロック駆動情報が正常でないブロックである。
【００８９】
このように、ブロック状態情報あるいはブロック駆動情報が正常でないブロックについてはサンプリング間隔を短くするので、そのブロックについては、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができる。したがって、同じブロックで異常が再発すると、より詳細な情報に基づいて原因究明を行うことができ、再発時の障害の解決を早期化することができる。
【００９０】
図６に示した例では、サンプリング間隔の切換をブロック単位で行ったが、装置全体で切換えてもよい。具体的には、エラーが検出され、エラーに関連する障害が回復された後、すべての装置ブロックに対するサンプリング間隔を、エラー発生前のサンプリング間隔より短くするとともに、エラーに関連する装置稼動情報、たとえばブロック状態情報およびブロック駆動情報が正常であるブロックについても、エラーに関連する装置稼動情報があれば、ブロック別内部状態情報およびブロック別駆動信号情報をすべて収集する。この短いサンプリング間隔は、次回同じエラーが発生するまで、または一定時間が経過するまで継続する。一定時間経過しても、エラーが再発しない場合は、サンプリング間隔および収集する装置稼動情報を元に戻す。
【００９１】
このように、エラーつまり異常が検出されると、装置稼動情報を収集するサンプリング間隔を短くするとともに、異常に関連するすべての装置稼動情報を収集するので、より詳細な装置稼動情報を収集して記憶することができる。したがって、異常が再発すると、より詳細な情報に基づいて原因究明を行うことができ、再発時の障害の解決を早期化することができる。
【００９２】
さらに、サンプリング間隔を短くした後、一定時間が経過しても、エラーが再発しない場合は、サンプリング間隔および収集する装置稼動情報を元に戻すので、回復の処置が有効であった場合、収集する装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。したがって、一定時間が経過して、行われた回復の処置が有効であることが確認されると、メモリを有効活用することができる。
【００９３】
カウンタ情報、操作履歴情報、およびアラーム発生情報は、センサの出力信号およびシリンダ等の駆動信号に比べて、記憶すべき事象の発生頻度が少ないので、カウンタ情報、操作履歴情報、およびアラーム発生情報のサンプリング間隔を、センサの出力信号およびシリンダ等の駆動信号サンプリング間隔よりも短くしてもよい。
【００９４】
このように、生産物情報たとえばカウンタ情報６２、操作履歴情報６３、および異常発生情報たとえばアラーム発生情報６４のサンプリング間隔を、内部状態情報たとえばセンサの出力信号６０および駆動信号情報たとえばシリンダ等の駆動信号６１のサンプリング間隔よりも短くするので、記憶すべき装置稼動情報の情報量を少なくすることができる。したがって、メモリを有効活用することができる。
【００９５】
複数の装置エラーが検出されたときは、予め定めておいたエラーの優先順位に従って、優先順位の高いエラーから優先的に、そのエラーに関連するすべての装置稼動情報を収集して記憶する。
【００９６】
このように、複数の装置エラー、つまり複数の異常が検出されると、検出された異常のうち、予め定める優先順位の最も高い異常に関連するすべての装置稼動情報を収集するので、優先度の高い異常から障害対策を行うことができる。したがって、優先度の高い異常を早く解決することができる。
【００９７】
図７は、図２に示したパソコン４０によって出力される装置稼動情報の集計結果の一例を示す。図７（ａ）は、処理数つまり生産装置１０によって生産された生産物の数の時間推移を示す。縦軸が時間当たりの処理数（ヶ／Ｈ）、横軸が時刻を示す。たとえば００：００〜０１：００の１時間での処理数は、約１４，０００である。図７（ｂ）は、不良率の時間推移を示す。縦軸が特性ＮＧ比率（％）、横軸が時刻を示す。特性ＮＧ比率は、測定部１５で測定された特性が、予め定める合格基準の特性を満足しない生産物の数を総生産数で除算して、百分率で表したものである。たとえば００：００〜０１：００の１時間での特性ＮＧ比率は、約０．３３％である。
【００９８】
これらのグラフは、装置管理者あるいは専門スタッフがパソコン４０を操作して、出力要求を入力すると、パソコン４０に出力されるものであり、カウンタ情報６２あるいはアラーム発生情報６４などの時間推移も出力することができる。パソコン４０は、出力要求が入力されると、サーバ３０にアクセスして、生産装置１０の装置稼動情報を取得し、装置管理者あるいは専門スタッフから指示された情報を集計して、液晶ディスプレイなどの出力装置に出力する。この出力は、パソコン４０にインストールされた専用の集計ソフトウエアによって、出力することができる。
【００９９】
このように、生産物情報、たとえば生産数量あるいは不良数の推移など、装置稼動率の維持および向上に必要な生産物情報を収集して記憶するので、その生産情報を集計して出力することができる。したがって、集計業務などの間接業務を簡便化することができ、ひいては人件費を削減することができる。
【０１００】
さらに、不良数の推移をリアルタイムで表示することができるので、専門スタッフは、早期に原因究明に着手することができ、処置および対策の完了時期を早くすることができる。したがって、仕損費を減少させ、コストを削減することができる。
【０１０１】
図８は、図２に示したパソコン４０によって出力される装置状態およびアラーム状態の一例を示す。１日つまり２４時間の装置状態およびアラーム状態を、１分毎に編集したものである。時刻が左端の欄に１分刻みで示され、そのときの装置状態およびアラーム状態が右の欄に示される。装置状態には、「異常・警告」と「運転状態」との２つの欄があり、アラームの状態は、「発生中のアラーム状態」を示すものであり、３つの装置ブロック、具体的には、供給部１４、測定部１５、および収納部１６が示されている。
【０１０２】
たとえば時刻「００：００：００」には、運転状態は「自動運転中」であり、「異常・警告」および「発生中のアラーム状態」には、何も示されていない。時刻「００：０４：００」および時刻「００：０５：００」には、異常・警告は「異常発生」および運転状態は「停止」と示され、さらに「発生中のアラーム状態」の収納部に「３２」と示されている。これは、時刻「００：０３：００」および時刻「００：０４：００」の間に、収納部１６にエラーコード「３２」という異常が発生し、生産装置１０は停止していることを示している。
【０１０３】
図８に示した装置状態およびアラーム状態は、装置管理者あるいは専門スタッフがパソコン４０から出力要求を入力すると、パソコン４０に出力されるものであり、他にセンサの出力信号６０、シリンダ等の駆動信号６１、操作履歴情報６３などの情報についても、同じ形式で出力させることができる。パソコン４０は、出力要求が入力されると、図７に示した場合と同様に、サーバ３０にアクセスして、生産装置１０の装置稼動情報を取得し、装置管理者あるいは専門スタッフから指示された情報を編集して、液晶ディスプレイなどの出力装置に出力する。この出力は、パソコン４０にインストールされた専用の編集ソフトウエアによって、出力することができる。
【０１０４】
このように、内部状態情報たとえばセンサの出力信号６０、駆動信号情報たとえばシリンダ等の駆動信号６１、生産物情報たとえばカウンタ情報６２、操作履歴情報６３、および異常発生情報たとえばアラーム発生情報６４を含む装置稼動情報を、複数の生産装置から取得して記憶しておくので、出力要求が入力されると、装置稼動情報を即座に編集して出力することができる。したがって、専門スタッフは、装置の不具合を解決するために利用可能なすべての情報をリアルタイムで参照することができ、処置および対策の完了時期を早くすることができ、ひいては仕損費を減少させ、コストを削減することができる。
【０１０５】
上述した実施のいずれの形態でも、装置稼動情報は、データ情報であったが、監視用ビデオカメラを生産装置１０に設けて、関連する装置ブロックの内部の画像、たとえば可動部分の画像を撮像し、撮像した画像情報を、装置稼動情報に含めて、生産装置用メモリ１２に記憶してもよい。
【０１０６】
このように、装置ブロックの画像を撮像した画像情報を装置稼動情報に含めて記憶しておくので、データ情報だけでは分かりにくかった装置状況を容易に把握することができる。したがって、処置および対策完了を早くすることができる。
【図面の簡単な説明】
【０１０７】
【図１】本発明の実施の一形態である生産装置１０の概略の構成を示す。
【図２】本発明の実施の他の形態である生産装置管理システム１の概略の構成を示す。
【図３】図１に示した生産装置用メモリ１２に記憶される装置稼動情報のデータ構成の一例を示す。
【図４】図１に示したセンサの出力状態とその解析方法を示す。
【図５】図３に示した操作履歴情報６３の詳細の一例を示す。
【図６】サンプリング間隔の変更を示すタイムチャートである。
【図７】図２に示したパソコン４０によって出力される装置稼動情報の集計結果の一例を示す。
【図８】図２に示したパソコン４０によって出力される装置状態およびアラーム状態の一例を示す。
【符号の説明】
【０１０８】
１  生産装置管理システム
１０  生産装置
１１  ＣＰＵ
１２  生産装置用メモリ
１３  操作パネル
１４  供給部
１５  測定部
１６  格納部
２０  外部コントローラ
２１  外部コントローラ用メモリ
２２  ＨＤＤ
３０  サーバ
４０  パーソナルコンピュータ
５０  通信ケーブル
５１  通信回線
１４１、１５１、１６１  センサ
１４２、１５２、１６２  駆動部
【図１】
2007102561.tif 000003
【図２】
2007102561.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007102561.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007102561.tif 000009
【図８】
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