(57)【要約】【課題】  スラスト軸受部において発生する動圧のバランスを安定化させることで信頼性の向上を図ることが可能な流体軸受装置を提供する。【解決手段】  スピンドルモータ１では、シャフト４１と、スリーブ４２と、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃと、第１・第２スラスト軸受部７２・７３と、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａとを備えた流体軸受装置４を搭載している。スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、複数の溝部分が互いにつながっており、個々の溝部分が独立しないように形成されているとともに、内周側から外周側に向かって溝深さが大きくなるように形成されている。【選択図】      図４
2007092799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転軸となるシャフトと、
前記シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されているスリ−ブと、
前記シャフトの一方の端部付近に取り付けられているフランジと、
前記フランジにおける前記回転軸方向に直交する面と、前記フランジ部における前記回転軸方向に直交する面に対向する面との間に形成されているスラスト軸受部と、
前記スラスト軸受部を構成する前記フランジにおける前記回転軸方向に直交する面、もしくはその面に対向する面のうちのいずれか一方の面に複数形成され、かつその面の全体において互いにつながっており、前記回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて溝深さが大きくなるスラスト動圧発生溝と、
を備えている流体軸受装置。
【請求項２】
円環状のロ−タハブと、
前記ロ−タハブに取り付けられており、回転軸となるシャフトと、
前記シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されているスリ−ブと、
前記ロ−タハブにおける前記回転軸方向に直交する面と、これに対向する前記スリ−ブにおける前記回転軸方向に直交する面との間に形成されるスラスト軸受部と、
前記ロータハブおよび前記スリーブにおける前記回転軸方向に直交する面のいずれか一方に形成され、かつその面の全体において互いにつながっており、前記回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて溝深さが大きくなるスラスト動圧発生溝と、
を備えている流体軸受装置。
【請求項３】
回転軸となるシャフトと、
前記シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されているスリ−ブと、
前記シャフトの一方の端部付近に取り付けられているフランジと、
前記フランジにおける前記回転軸方向に直交する面と、前記フランジ部における前記回転軸方向に直交する面に対向する面との間に形成されているスラスト軸受部と、
前記スラスト軸受部を構成する前記フランジにおける前記回転軸方向に直交する面およびこれに対向する面のいずれか一方の面に形成されているスラスト動圧発生溝と、
前記スラスト動圧発生溝が形成されている面における最内周側と最外周側とにそれぞれ形成されており、その高さは前記スラスト動圧発生溝の深さ以上である円環状の凸部と、
を備えている流体軸受装置
【請求項４】
円環状のロ−タハブと、
前記ロ−タハブに取り付けられており、回転軸となるシャフトと、
前記シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されているスリ−ブと、
前記ロ−タハブにおける前記回転軸方向に直交する面と、これに対向する前記スリ−ブにおける前記回転軸方向に直交する面との間に形成されるスラスト軸受部と、
前記ロータハブおよび前記スリーブにおける前記回転軸方向に直交する面のいずれか一方の面に形成されているスラスト動圧発生溝と、
前記スラスト動圧発生溝が形成されている面における最内周側と最外周側とにそれぞれ形成されており、その高さは前記スラスト動圧発生溝の深さ以上である円環状の凸部と、
を備えている流体軸受装置。
【請求項５】
前記スラスト動圧発生溝が形成されている面における内周側および外周側には、その高さが前記スラスト動圧発生溝の深さ以上である円環状の凸部がそれぞれ形成されている、
請求項１または２に記載の流体軸受装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スラスト動圧軸受部を有する流体軸受装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、スリーブおよびシャフトのいずれか一方の面にスラスト動圧発生部が形成され、回転側であるスリーブまたはシャフトを回転させることで、スラスト動圧発生部において動圧を発生させて、両者の間に所定隙間を空けた非接触状態で回転側を回転させる流体軸受装置が用いられている。
例えば、特許文献１には、シャフトの端面に形成されたフランジの端面に、ヘリングボ−ン形の動圧発生溝が周方向に所定の間隔を隔てて複数個形成されたスラスト動圧軸受が開示されている。
【０００３】
このスラスト動圧軸受に形成された動圧発生溝は、径方向における最も外側の外周部から中央部に向かって徐々に浅くなっており、かつ径方向における最も内側の内周部から中央部に向かって徐々に浅くなっている。また、径方向の最も外側の外周部の溝深さは、径方向の最も内側の内周部の溝深さよりも深くなっている。
一方、特許文献２には、軸部の軸方向端面に、複数のアキシャル支持用の動圧溝が周方向にスパイラル状に並ぶように形成されており、この端面の外周縁が湾曲形状になっているスラスト動圧軸受が開示されている。
【０００４】
このスラスト動圧軸受では、この外周縁と上記動圧溝との間には１ｍｍ以下、好ましくは０．５ｍｍ以下の幅の平坦部が設けられている。
【特許文献１】特開２０００−３４６０５６号公報（平成１２年１２月１２日公開）
【特許文献２】特開平９−３０３３８１号公報（平成９年１１月２５日公開）
【特許文献３】特開平１０−２１７０３５号公報（平成１０年８月１８日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記従来の流体軸受装置では、以下に示すような問題点を有している。
すなわち、特許文献１に開示されたスラスト動圧軸受の構成では、モータつまり軸受が回転し始める際等において、スラスト面が対向面と金属接触することにより所定の溝深さを確保することができなくなるおそれがある。
つまり、スラスト軸受部において回転が開始される際には、ハウジングの平坦な面とフランジとの間に動圧が発生するが、その際、フランジはすりこぎ運動しながら浮上する。ここで、フランジがすりこぎ運動しながら浮上するということは、フランジの面とこれに対向する外周面近傍が、互いに金属接触することで金属磨耗によって削られることになる。そして、フランジのスラスト軸受面の外周部分近傍が削られた場合には、動圧発生溝の深さが浅くなってしまい、動圧発生溝の径方向中央部に効率よく潤滑流体を集めることができなくなる。
【０００６】
つまり、上記公報の構成では、スラスト方向の動圧バランスが崩れてしまい、スラスト軸受部にて必要な動圧バランスを得ることができなくなってしまう。
一方、特許文献２に開示されたスラスト動圧軸受の構成においても同様に、モータが回転し始める際等において、スラスト軸受部での金属接触により所定の溝深さを確保することができないという課題を有している。
【０００７】
具体的には、スラスト軸受部は、モ−タが停止している状態において軸受面と軸方向端面とが接触した状態にある。この状態からモ−タが回転すると、動圧溝にある潤滑剤により動圧が発生するが、動圧溝にある潤滑剤だけでは浮上しきれずに軸受面と軸方向端面とが金属接触しながら浮上して、軸受面と軸方向端面の間に隙間が形成された際に、外周縁を経由して潤滑剤がスラスト軸受部に流入してくる。すると、その金属接触によって軸方向端面が削られて動圧溝の溝深さが浅くなってしまう。さらに、軸方向端面はすりこぎ運動しながら浮上するため、軸方向端面における外周面近傍がさらに削られてしまった結果、動圧溝全体の深さが不均一になり、スラスト軸受部にて発生する動圧にアンバランスが生じる。
【０００８】
つまり、この公報に開示された構成においても、スラスト方向の動圧バランスが崩れてしまい、スラスト軸受部にて必要な動圧バランスを得ることができなくなってしまう。
本発明の課題は、スラスト軸受部において発生する動圧のバランスを安定化させることで信頼性の向上を図ることが可能な流体軸受装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
第１の発明に係る流体軸受装置は、回転軸となるシャフトと、スリーブと、フランジと、スラスト軸受部と、スラスト動圧発生溝と、を備えている。スリーブは、シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されている。フランジは、シャフトの一方の端部付近に取り付けられている。スラスト軸受部は、フランジにおける回転軸方向に直交する面と、フランジ部における回転軸方向に直交する面に対向する面との間に形成されている。スラスト動圧発生溝は、スラスト軸受部を構成するフランジにおける回転軸方向に直交する面、もしくはその面に対向する面のうちのいずれか一方の面に複数形成されている。そして、スラスト動圧発生溝は、その面の全体において互いにつながっており、回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて溝深さが大きくなる。
【００１０】
ここでは、フランジとスリーブあるいは下部プレートとの間にスラスト動圧発生部が形成される流体軸受装置において、シャフトおよびスリーブ（あるいはスリーブに取り付けられた環状部材）のいずれか一方の面に形成される複数のスラスト動圧発生溝が、スラスト動圧発生面の全体において互いにつながっているとともに、溝深さが回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて深くなるように形成されている。
【００１１】
ここで、スラスト動圧発生溝は、例えば、スラスト動圧発生面において、回転軸を中心とするスパイラル形状、あるいはヘリングボーン形状になるように形成された凸部の間に形成される。また、上記フランジにおける回転軸方向に直交する面とは、例えば、スリーブの一部であってもよいし、スリーブに取り付けられた環状部材の一部であってもよい。そして、このスラスト動圧発生溝の中に潤滑剤を充填することで、回転時にはフランジとスリーブ（あるいは環状部材）との間に動圧を発生させることができる。さらに、シャフトに対して取り付けられているフランジは、シャフトに対して一体成形によって固定されていてもよいし、レーザ溶接等によって固定されていてもよい。
【００１２】
通常、スラスト軸受部においては、回転していない時には、スラスト軸受部を構成する２部品の間で金属接触している。そして、モ−タが回転し始めると、初期的には金属接触が生じるが、スラスト軸受部の潤滑剤と動圧発生溝とによって動圧が発生して、２部品間には隙間が形成されて回転体側が浮上する。
本発明の流体軸受装置では、回転が開始されると、スラスト動圧発生溝の深さが外周側の方が内周側よりも大きく、各溝がスラスト動圧発生面の全体において互いにつながっている。
【００１３】
これにより、スラスト動圧発生溝内へ潤滑剤が流れ込み易くなって回転体側を容易に浮上させることができるため、上記２部品が金属接触している時間を極端に短くできる。
また、各溝は、スラスト動圧発生面全体において互いにつながっているため、回転開始当初に金属接触してから回転体側が浮上するまでの間に、潤滑剤が途切れたりすることがない。
【００１４】
これにより、回転開始、停止を繰り返したとした場合でも、スラスト動圧発生部において常に必要な動圧を発生させることができる。この結果、金属接触が生じる時間を短縮して、金属接触によって生じるコンタミの発生を抑えて信頼性の高い流体軸受装置を得ることが可能となる。
さらに、スラスト動圧発生溝の溝深さが外周側に向かって大きくなっているため、回転開始当初にはフランジの外径部近辺が接触してスラスト動圧発生溝の凸部が金属接触により磨耗していくが、常に、動圧が一定方向（ここでは、回転軸中心方向）に働き、スラスト軸受の動圧バランスを長時間、一定方向に保つことが可能となる。
【００１５】
なお、本発明の流体軸受装置は、スリーブの一端が開放された流体軸受装置、スリーブの両端が開放された流体軸受装置のいずれに対しても適用することが可能である。
第２の発明に係る流体軸受装置は、円環状のロ−タハブと、シャフトと、スリーブと、スラスト軸受部と、スラスト動圧発生溝と、を備えている。シャフトは、ロ−タハブに取り付けられており、回転軸となる。スリーブは、シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されている。スラスト軸受部は、ロ−タハブにおける回転軸方向に直交する面と、これに対向するスリ−ブにおける回転軸方向に直交する面との間に形成される。スラスト動圧発生溝は、ロータハブおよびスリーブにおける回転軸方向に直交する面のいずれか一方に形成され、かつその面の全体において互いにつながっている。そして、スラスト動圧発生溝は、回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて溝深さが大きくなるように形成されている。
【００１６】
ここでは、ロータハブとスリーブとの間にスラスト動圧発生部が形成され、回転軸となるシャフトがロータハブに固定されている流体軸受装置において、シャフトおよびスリーブのいずれか一方の面に形成される複数のスラスト動圧発生溝が、スラスト動圧発生面の全体において互いにつながっているとともに、溝深さが回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて深くなるように形成されている。
【００１７】
ここで、スラスト動圧発生溝は、例えば、スラスト動圧発生面において、回転軸を中心とするスパイラル形状、あるいはヘリングボーン形状になるように形成された凸部の間に形成される。そして、このスラスト動圧発生溝の中に潤滑剤を充填することで、回転時にはロータハブとスリーブとの間に動圧を発生させることができる。
これにより、スラスト動圧発生溝内へ潤滑剤が流れ込み易くなって回転体側を容易に浮上させることができるため、上記２部品が金属接触している時間を極端に短くできる。
【００１８】
また、各溝は、スラスト動圧発生面全体において互いにつながっているため、回転開始当初に金属接触してから回転体側が浮上するまでの間に、潤滑剤が途切れたりすることがない。
これにより、回転開始、停止を繰り返したとした場合でも、スラスト動圧発生部において常に必要な動圧を発生させることができる。この結果、金属接触が生じる時間を短縮して、金属接触によって生じるコンタミの発生を抑えて信頼性の高い流体軸受装置を得ることが可能となる。
【００１９】
また、スラスト動圧発生溝の溝深さが外周側に向かって大きくなっているため、回転開始当初には、スラスト動圧発生溝の凸部が金属接触により磨耗していくものの、常に、動圧が一定方向（ここでは、回転軸中心方向）に働き、スラスト軸受の動圧バランスを長時間、一定方向に保つことが可能となる。
さらに、内周側、外周側の少なくとも一方において、円環状の凸部とスラスト動圧発生溝を形成するヘリングボーン形状等を有する凸部とが離間している場合には、起動時にスラスト動圧発生溝が形成された面が傾斜しても、隙間の広い方から狭い方へ潤滑剤がすぐに供給されるために起動時においても動圧バランスをすぐに安定化させることができる。
【００２０】
第３の発明に係る流体軸受装置は、回転軸となるシャフトと、スリーブと、フランジと、スラスト軸受部と、スラスト動圧発生溝と、円環状の凸部と、を備えている。スリーブは、シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されている。フランジは、シャフトの一方の端部付近に取り付けられている。スラスト軸受部は、フランジにおける回転軸方向に直交する面と、フランジ部における回転軸方向に直交する面に対向する面との間に形成されている。スラスト動圧発生溝は、スラスト軸受部を構成するフランジにおける回転軸方向に直交する面およびこれに対向する面のいずれか一方の面に形成されている。円環状の凸部は、スラスト動圧発生溝が形成されている面における最内周側と最外周側とにそれぞれ形成されており、その高さはスラスト動圧発生溝の深さ以上である。
【００２１】
ここでは、フランジとスリーブあるいはスリーブの下端部に取り付けられた環状部材との間にスラスト動圧発生部が形成される流体軸受装置において、スラスト動圧発生溝が形成されたスラスト動圧発生面における回転軸を中心とする内周側の端部と外周側の端部とにそれぞれ円環状の凸部を設けている。そして、この円環状の凸部は、スラスト動圧面に形成されたスラスト動圧発生溝の深さ以上の高さを有するように形成されている。
【００２２】
ここで、スラスト動圧発生溝は、例えば、スラスト動圧発生面において、回転軸を中心とするスパイラル形状、あるいはヘリングボーン形状になるように形成された凸部の間に形成される。また、上記フランジにおける回転軸方向に直交する面とは、例えば、スリーブの一部であってもよいし、スリーブに取り付けられた環状部材の一部であってもよい。そして、このスラスト動圧発生溝の中に潤滑剤を充填することで、回転時にはフランジとスリーブとの間に動圧を発生させることができる。さらに、シャフトに取り付けられているフランジは、シャフトに対して一体成形によって固定されていてもよいし、レーザ溶接等によって固定されていてもよい。
【００２３】
通常、スラスト動圧発生溝が形成されている面における内周側および外周側のそれぞれの端部に環状凸部を設けていない構成では、エッチング工程においてスラストグルーブを形成するエッチング液がグルーブ形成と同時に、内周側および外周側から流出して面を侵す問題点がある。ここで、内周側は、シャフトとの嵌合部であるため、エッチング液の侵食による寸法変化を許容し難い部分である。また、外周部は、軸受のキャピラリーシール部であってシール構成の能力を発揮するためには、表面粗さや寸法、形状等が重要になるが、この部分をエッチング液によって侵食されるとその効果を発揮することができず、潤滑剤漏れ等の不具合を生じさせるおそれがある。このため、内周側および外周側の円環状凸部を設けていない構成では内周側および外周側をエッチング液によって侵されないようにマスキング処理を行う必要があった。
【００２４】
本発明の流体軸受装置では、スラスト動圧発生溝が形成された面におけるその内周側および外周側の端部にそれぞれスラスト動圧発生溝の溝深さ以上の高さを有する円環状の凸部を設けている。
これにより、内外の円環状の凸部によって、エッチング液の内周側および外周側への流出を防ぐことができるため、スラスト軸受の動圧バランスを安定化させることができる。さらに、従来の構成で必要であったマスキング処理が不要となり、コストダウンを図ることができる。
【００２５】
なお、本発明の流体軸受装置は、スリーブの一端が開放された流体軸受装置、スリーブの両端が開放された流体軸受装置のいずれに対しても適用することが可能である。
第４の発明に係る流体軸受装置は、円環状のロ−タハブと、シャフトと、スリーブと、スラスト軸受部と、スラスト動圧発生溝と、円環状の凸部と、を備えている。シャフトは、ロ−タハブに取り付けられており、回転軸となる。スリーブは、シャフトの外周面に対向する内周面にラジアル軸受部が形成されている。スラスト軸受部は、ロ−タハブにおける回転軸方向に直交する面と、これに対向するスリ−ブにおける回転軸方向に直交する面との間に形成される。スラスト動圧発生溝は、ロータハブおよびスリーブにおける回転軸方向に直交する面のいずれか一方の面に形成されている。円環状の凸部は、スラスト動圧発生溝が形成されている面における最内周側と最外周側とにそれぞれ形成されており、その高さはスラスト動圧発生溝の深さ以上である。
【００２６】
ここでは、ロータハブとスリーブとの間にスラスト動圧発生部が形成され、回転軸となるシャフトがロータハブに固定されている流体軸受装置において、スラスト動圧発生溝が形成されたスラスト動圧発生面における回転軸を中心とする内周側の端部と外周側の端部とにそれぞれ円環状の凸部を設けている。そして、この円環状の凸部は、スラスト動圧面に形成されたスラスト動圧発生溝の深さ以上の高さを有するように形成されている。
【００２７】
ここで、スラスト動圧発生溝は、例えば、スラスト動圧発生面において、回転軸を中心とするスパイラル形状、あるいはヘリングボーン形状になるように形成された凸部の間に形成される。そして、このスラスト動圧発生溝の中に潤滑剤を充填することで、回転時にはロータハブとスリーブとの間に動圧を発生させることができる。
通常、スラスト動圧発生溝が形成されている面における内周側および外周側のそれぞれの端部に環状凸部を設けていない構成では、エッチング工程においてスラストグルーブを形成するエッチング液がグルーブ形成と同時に内周側、外周側から流出して面を侵す問題点がある。ここで、内周側は、シャフトとの嵌合部になるため、エッチング液の侵食による寸法変化を許容し難い部分である。また、外周側は、軸受のキャピラリーシール部であってシール構成の能力を発揮するためには、表面粗さや寸法、形状等が重要になる。このため、この部分をエッチング液によって侵食されるとその効果を発揮することができず、潤滑剤漏れ等の不具合を生じさせるおそれがある。このため、内周側および外周側の円環状の凸部を設けていない構成では内周側および外周側をエッチング液によって侵されないようにマスキング処理が必要であった。
【００２８】
本発明の流体軸受装置では、スラスト動圧発生溝が形成された面におけるその内周側および外周側の端部にそれぞれスラスト動圧発生溝の溝深さ以上の高さを有する円環状の凸部を設けている。
これにより、内外の円環状の凸部によって、エッチング液の内周側および外周側への流出を防ぐことができるため、スラスト軸受の動圧バランスを安定化させることができる。また、従来の構成で必要であったマスキング処理が不要となり、コストダウンを図ることができる。さらに、内周側、外周側の少なくとも一方において、円環状の凸部とスラスト動圧発生溝を形成するヘリングボーン形状等を有する凸部とが離間している場合には、起動時にスラスト動圧発生溝が形成された面が傾斜しても、隙間の広い方から狭い方へ潤滑剤がすぐに供給されるために起動時においても動圧バランスをすぐに安定化することができる。
【００２９】
第５の発明に係る流体軸受装置は、第１または第２の発明に係る流体軸受装置であって、スラスト動圧発生溝が形成されている面における内周側および外周側には、その高さがスラスト動圧発生溝の深さ以上である円環状の凸部がそれぞれ形成されている。
ここでは、シャフトおよびスリーブのいずれか一方の面に形成される複数のスラスト動圧発生溝が、スラスト動圧発生面の全体において互いにつながっているとともに、溝深さが回転軸を中心とする内周側から外周側にかけて深くなるように形成されている流体軸受装置において、スラスト動圧発生溝が形成されたスラスト動圧発生面における回転軸を中心とする内周側の端部と外周側の端部とにそれぞれ円環状の凸部を設けている。そして、この円環状の凸部は、スラスト動圧面に形成されたスラスト動圧発生溝の深さ以上の高さを有するように形成されている。
【００３０】
これにより、内外の円環状の凸部によって、潤滑剤の外周側への流れを低減することができるため、スラスト軸受の動圧バランスを安定化させることができる。
【発明の効果】
【００３１】
本発明の流体軸受装置によれば、スラスト軸受部にて発生する動圧バランスを常に安定化させることで、動圧軸受の信頼性を向上させることができるとともに、軸受設計を行う際に設計の幅が広がってコストダウンを図ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３２】
本発明の一実施形態に係る流体軸受装置を備えたスピンドルモータ１について、図１〜図１０を用いて説明すれば以下の通りである。
なお、本実施形態では、説明の便宜上、図面の上下方向を「軸方向上側」、「軸方向下側」等と表現するが、スピンドルモータ１の実際の取り付け状態を限定するものではない。
【００３３】
［スピンドルモータ１の全体構成］
スピンドルモータ１は、図１に示すように、主に、ベースプレート２と、ステータ５と、ロータ３と、流体軸受装置４とを備えている。なお、図１に示すＯ−Ｏは、スピンドルモータ１の回転軸線である。
ベースプレート２は、スピンドルモータ１の静止側の部分を構成しており、例えば、記録ディスク装置のハウジング（図示せず）に固定されている。また、ベースプレート２は、筒状部２１を有しており、筒状部２１の内周側には、流体軸受装置４のシャフト４１（図２参照）の一端が固定されている。
【００３４】
ロータ３は、スピンドルモータ１の回転側の部材であって、磁気回路で発生する回転力により回転駆動される。なお、ロータ３の構成については、後段にて詳述する。
流体軸受装置４は、図２に示すように、ベースプレート２およびステータ５に対して相対回転可能な状態で支持するための装置である。なお、流体軸受装置４については後段にて詳述する。
【００３５】
ステータ５は、後述するバックヨーク３３およびロータマグネット３４とともに磁気回路を構成しており、筒状部２１の外周側に固定されている。そして、この磁気回路により発生した回転方向の駆動力により、ベースプレート２およびステータ５に対してロータ３が回転駆動される。
［ロータ３の構成］
ロータ３は、図１に示すように、バックヨーク３３と、ロータマグネット３４と、ロータハブ３１と、を有している。
【００３６】
バックヨーク３３は、ロータハブ３１の軸方向下側に設けられた環状の部材であり、圧入等により固定されている。また、バックヨーク３３は、磁性体によって構成されている。
ロータマグネット３４は、ステータ５の半径方向における外周側において対向するように配置された環状の部材であって、バックヨーク３３の内周側に固定されている。
【００３７】
ロータハブ３１は、記録ディスクＭが装着される部材であり、後述するスリーブ４２（図２参照）の外周側に接着等により固定されている。また、ロータハブ３１は、図１に示すように、ロータハブ本体３５と、ディスク載置部３６とを有している。
ロータハブ本体３５は、記録ディスクＭを半径方向に支持する筒状の部分であって、スリーブ４２の外周側に固定されている。ロータハブ本体３５の外周側には、例えば、３枚の記録ディスクＭが挿嵌される。
【００３８】
ディスク載置部３６は、記録ディスクＭを載置するための環状の部分であり、ロータハブ本体３５の軸方向における下端部の外周側に形成されている。
なお、記録ディスクＭとしては、例えば、情報アクセス手段（図示せず）によって情報を読み書きできる磁気ディスク等が含まれる。また、記録ディスクＭは、クランパ３９によってロータハブ本体３５の側方に固定配置される。複数の記録ディスクＭを固定する場合には、スペーサ４０によって各記録ディスクＭを一定の距離を隔てて、各記録ディスクＭを挟持固定する。
【００３９】
［流体軸受装置４の構成］
流体軸受装置４は、図２に示すように、スリーブ４２の両端が開放された両端開放型の流体軸受装置であって、シャフト４１とスリーブ４２とを有している。また、この流体軸受装置４は、固定されたシャフト４１の周りを回転体が回転するシャフト固定型の流体軸受装置である。
【００４０】
（シャフト４１）
シャフト４１は、流体軸受装置４の固定側の部材であって、軸方向における下端部がベースプレート２の筒状部２１に固定されている。また、シャフト４１は、シャフト本体４１ａと、第１スラストフランジ４１ｂと、第２スラストフランジ４１ｃとを有している。
シャフト本体４１ａは、シャフト４１の主要部を構成する円柱状の部材であって、スリーブ４２の内周側にスリーブ４２との間に微小隙間を介して配置されている。
【００４１】
第１スラストフランジ４１ｂは、例えば、シャフト本体４１ａと一体成形された環状の部材であって、軸方向においてスリーブ４２の軸方向下側端面と微小隙間を介して対向するように第１筒状突出部４２ｂの内周側に配置されている。
第２スラストフランジ４１ｃは、スリーブ４２に対して軸方向の第１スラストフランジ４１ｂと反対側に配置された環状の部材であって、例えば、シャフト本体４１ａに対してレーザ溶接等によって固定されている。また、第２スラストフランジ４１ｃは、スリーブ４２の軸方向上側端面と軸方向に微小隙間を介して対向するように第２筒状突出部４２ｃの内周側に配置されている。
【００４２】
また、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃには、スリーブ４２の一部と対向する側の面に、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている。
スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、ヘリングボーン形状の凸部８１（図３参照）の間に形成されている。なお、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃに形成されたスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａについては、後段にて詳述する。
【００４３】
第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃは、外周部にテーパ形状を有している。具体的には、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃの外周面は、軸方向下側および上側に向かって第１・第２筒状突出部４２ｂ・４２ｃの内周面と離れる方向に傾斜している。
（スリーブ４２）
スリーブ４２は、流体軸受装置４に含まれる上下対称な回転側の筒状部材であって、シャフト４１に対して相対回転可能な状態で配置された筒状の部材である。そして、スリーブ４２は、例えば、外周面に複数のＤカット部分が形成されたインナースリーブ４３を、アウタースリーブ４４に圧入（嵌挿）して組み立てることによって、後述する連通孔４２ｅを有する筒状の部分を形成している。具体的には、スリーブ４２は、前述したように、インナースリーブ４３と、アウタースリーブ４４とによって構成され、複数のラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂと、凹部４２ａと、第１筒状突出部４２ｂと、第２筒状突出部４２ｃと、固定部４２ｄと、複数の連通孔４２ｅと、クランパ内接部４２ｆと、ロータハブ内接部４２ｇと、環状凸部４２ｈとを有している。
【００４４】
ラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂは、スリーブ４２の内周面に形成された円周方向に均等に配置された溝であって、図示しないスパイラル形状の凸部の間に形成されている。
凹部４２ａは、スリーブ４２の内周側に形成された環状の凹み部分であり、軸方向におけるラジアル動圧発生溝７１ａ・７１ｂ間に配置されている。
第１・第２筒状突出部４２ｂ・４２ｃは、スリーブ４２の両端部の外周部が軸方向外側に突出する筒状の部分である。第１・第２筒状突出部４２ｂ・４２ｃの内周部には、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃが配置されており、そのため第１・第２筒状突出部４２ｂ・４２ｃの内径は、スリーブ４２の内径よりも大きく設定されている。
【００４５】
固定部４２ｄは、第２筒状突出部４２ｃの端部から軸方向上側へさらに突出するスリーブ４２の筒状部分である。そして、固定部４２ｄの内径は、第２筒状突出部４２ｃの内径よりも大きく設定されており、固定部４２ｄの内周側にはカバー４５が接着等によって固定されている。
連通孔４２ｅは、インナースリーブ４３とアウタースリーブ４４との間に形成されており、スリーブ４２を軸方向に貫通するように、例えば、円周方向に均等に配置されている。
【００４６】
クランパ内接部４２ｆは、記録ディスクＭをロータハブ３１に固定するためのクランパ３９が、スリーブ４２に内接する部分であって、第２筒状突出部４２ｃの端部から軸方向上側へさらに突出する筒状部分である。なお、本実施形態では、固定部４２ｄと、クランパ内接部４２ｆとは、同じ部分を指している。
ロータハブ内接部４２ｇは、スリーブ４２にロータハブ３１（図１参照）が内接するようにして取り付けられる部分である。
【００４７】
環状凸部４２ｈは、軸方向におけるスリーブ４２のほぼ中央近傍に形成される環状の凸部分である。
（シャフト４１およびスリーブ４２の間の軸受部７１・７２・７３の構成）
また、シャフト４１およびスリーブ４２の間には、作動流体としての潤滑油（潤滑剤）４６が充填されている。そして、第１スラストフランジ４１ｂと第１筒状突出部４２ｂとの間および第２スラストフランジ４１ｃと第２筒状突出部４２ｃとの間には、テーパシール部４８ａ・４８ｂが形成されている。
【００４８】
そして、この流体軸受装置４では、ロータ３を半径方向に支持するラジアル軸受部７１が、ラジアル動圧発生溝７１ａ、７１ｂを有するスリーブ４２、シャフト４１およびその間に介在する潤滑油４６によって構成される。また、ロータ３を軸方向に支持する第１スラスト軸受部７２は、スラスト動圧発生溝７２ａを有する第１スラストフランジ４１ｂ、スリーブ４２およびその間に介在する潤滑油４６によって構成される。さらに、ロータ３を軸方向に支持する第２スラスト軸受部７３は、スラスト動圧発生溝７３ａを有する第２スラストフランジ４１ｃ、スリーブ４２およびその間に介在する潤滑油４６によって構成される。
【００４９】
ここで、回転側の部材（スリーブ４２等）が固定側の部材（シャフト４１等）に対して相対回転すると、各軸受部７１・７２・７３においてシャフト４１の半径方向および軸方向において、それぞれ回転側の部材と所定の隙間を空けた状態で支持する力（動圧）が発生する。これにより、回転側の部材と固定側の部材とを非接触状態として効率よくスピンドルモータ１における回転を開始することができる。
【００５０】
［第１・第２スラスト軸受部７２・７３の構成］
本実施形態のスピンドルモータ１では、図２に示すように、流体軸受装置４を構成するシャフト４１に含まれる第１スラストフランジ４１ｂおよび第２スラストフランジ４１ｃと、インナースリーブ４３との間に、第１・第２スラスト軸受部７２・７３を形成している。そして、この第１・第２スラスト軸受部７２・７３における第１スラストフランジ４１ｂ側および第２スラストフランジ４１ｃ側の面には、図２および図３に示すように、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａがそれぞれ形成されている。
【００５１】
スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃにおけるインナースリーブ４３の軸方向における両端の面に対向する面に形成された複数のへリングボーン形状の凸部８１の間に形成されている。そして、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、シャフト４１の回転軸を中心とする円の半径方向において、内周側から外周側に向かって徐々に溝深さが大きくなるように形成されている。具体的には、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、図４に示すように、回転中心に近いところから点Ａ，点Ｂ，点Ｃ，点Ｄとした場合、溝の深さが点Ａ＜点Ｂ＜点Ｃ＜点Ｄとなるように形成されている。なお、このスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａ（ヘリングボーン形状の凸部８１）は、高精度な加工が可能なエッチング工法や、高精度かつ短タクトである電解加工工法、製造コストが安価なプレス加工工法等の加工方法によって形成することができる。
【００５２】
また、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃにおけるスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面には、内径側の端部と外径側の端部とにそれぞれ円環状凸部８２・８３が形成されている。
この円環状凸部８２・８３は、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面からの軸方向における高さが、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａの溝深さよりも大きくなるように形成されている。つまり、円環状凸部８２・８３は、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面において、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１よりも突出している。
【００５３】
通常、スピンドルモータ１が回転していない時には、スラスト軸受部７２・７３を構成する第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃとインナースリーブ４３とは接触している。
ここで、スピンドルモータ１が回転を開始すると、初期的には、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃとインナースリーブ４３とは金属接触するものの、その間に介在する潤滑油４６と、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃに形成されたスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａとによって動圧が発生し、両部材（第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃとインナースリーブ４３）間には隙間が形成される。これにより、スピンドルモータ１の回転時には、固定側のシャフト４１に対して、回転側のスリーブ４２だけを浮上させて、非接触状態へと移行することができる。
【００５４】
このとき、本実施形態のスピンドルモータ１では、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが、内周側から外周側に向かって溝深さが大きくなるように形成されている。ここで、スラスト軸受部７２・７３に存在する潤滑油４６は、スピンドルモータ１において回転を開始させると、狭い空間へ移動するという性質を有している。このため、潤滑油４６は、回転開始時には、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａにおける溝深さが小さい内周側へと効率よく流れ込んで回転側のスリーブ４２を効果的に浮上させることができる。この結果、回転開始時等において、固定側のシャフト４１と回転側のスリーブ４２とが金属接触する時間を大幅に短くすることができる。
【００５５】
また、複数のヘリングボーン形状の凸部８１の間に形成された複数のスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、スラスト軸受部７２・７３のスラスト動圧発生面において全てつながっている。これにより、固定側のシャフト４１と回転側のスリーブ４２とが金属接触している状態から、スリーブ４２がシャフト４１に対して相対移動して浮上するまでの間に、潤滑油４６が途切れたりすることがない。この結果、スピンドルモータ１において回転開始と停止とを繰り返し行った場合でも、効率よく必要な動圧を発生させることができるため、金属接触によるコンタミの発生を最小限に抑えることが可能となる。
【００５６】
また、スピンドルモータ１において回転開始時に金属同士が接触することによるすりこぎ運動により、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１が金属接触により磨耗した場合でも、上述のように、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａの溝深さが、内周側から外周部に向かって大きくなるように形成されているため、常に、潤滑油４６の流れる方向を一定方向（ここでは、回転軸中心方向）にすることができる。このため、スラスト軸受部７２・７３における動圧バランスを長期間、一定方向に保つことが可能になる。
【００５７】
さらに、複数のヘリングボーン形状の凸部８１と内外周側の円環状凸部８２・８３とは、少なくとも内周もしくは外周の少なくとも一方の側においてつながっておらず、隙間が空いている。これにより、スピンドルモータ１における回転開始時において、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面が、これに対向する第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃの面に対して傾いた場合でも、潤滑油４６が隙間の広い方から狭い方へとすぐに供給されるため、スピンドルモータ１における立ち上がり時間を短縮することができる。
【００５８】
また、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１は、複数のヘリングボーン形状のグルーブパターンによって構成されている。このヘリングボーン形状のグルーブパターンでは、グルーブ折り返し部分よりも内側のパターンは外周方向への圧力を発生させ、グルーブ折り返し部分よりも外側のパターンは内周側（シャフト４１方向）への動圧を発生させる（図５参照）。
【００５９】
ここで発生される動圧は、グルーブの形状（パターン形状、溝深さ）や浮上量、直角度等によって決定されるが、それらの形状等が内外で同じになることはほとんどなく、外周側への圧力と内周側への圧力とにアンバランスが生じる。このため、例えば、外周側への圧力が内周側への圧力よりも大きい場合には、図６に示すように、その差に相当する大きさの圧力が外周側に向かって付与される。一方、例えば、内周側への圧力が外周側への圧力よりも大きい場合には、図７に示すように、その差に相当する大きさの圧力が内周側に向かって付与される。
【００６０】
通常、スラストパターン外側には、図示しないキャピラリーシール部等が配置されているものの、その圧力差が過大になると、内周側あるいは外周側からオイル漏れ等の不具合が生じるおそれがある。
本実施形態のスピンドルモータ１では、上述のように、スラスト軸受部７２・７３における内周側および外周側の端部に、それぞれ円環状凸部８２・８３を形成している。
【００６１】
これにより、ヘリングボーン形状の凸部８１のようなパターンの内周側と外周側とで生じた圧力の差によって、内周側あるいは外周側へと付与される圧力を吸収して、オイル漏れ等の不具合の発生を防止することができる。
ここで、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａをエッチング工法によって形成する場合には、図８に示すように、エッチング工程においてヘリングボーン形状の凸部８１のグルーブパターンを形成するためのエッチング液がグルーブパターンを形成するのと同時に、内周側あるいは外周側から外部へ流出してしまうおそれがある。
【００６２】
特に、内周側へのエッチング液の流出は、内周側がシャフトとの嵌合部であることからエッチング液の侵食によって嵌合部が寸法変化してしまうために問題となる。一方、外周側へのエッチング液の流出は、外周側がスラスト軸受部７２・７３のキャピラリーシール部分であってシール能力を発揮するためには表面粗さや寸法、形状等が重要な部分であることから、エッチング液によって侵食されるとその効果を発揮することができなくなり、オイル漏れ等の不具合を生じさせるおそれがある。このため、内外周側の円環状凸部８２・８３を設けていない構成では、図９に示すように、内周側および外周側のそれぞれをエッチング液によって侵されないように、内周側および外周側の面にもマスキング部８５を形成する必要がある。
【００６３】
本実施形態のスピンドルモータ１では、上述したように、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成された面における内周側および外周側に、それぞれスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１よりも突出している円環状凸部８２・８３を設けている。
これにより、上記のような、エッチング工法による処理中に、エッチング液が内周側および外周側への流出を防ぐことができるため、図１０に示すように、従来の構成では必要であった内周側および外周側へのマスキング部８５の形成が不要となることから、マスキング処理工程を削減して生産コストを低減することができる。
【００６４】
［スピンドルモータ１の特徴］
（１）
本実施形態のスピンドルモータ１では、図２に示すように、シャフト４１と、スリーブ４２と、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃと、第１・第２スラスト軸受部７２・７３と、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａとを備えた流体軸受装置４を搭載している。そして、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａは、図４に示すように、複数の溝部分が互いにつながっており、個々の溝部分が独立しないように形成されているとともに、内周側から外周側に向かって溝深さが大きくなるように形成されている。
【００６５】
これにより、スラスト軸受部７２・７３において、内周側へ向かう動圧を効率よく発生させることができるため、スラスト軸受部７２・７３の回転中心付近における負圧の発生を防止して、回転側のスリーブ４２等を容易に浮上させることができる。この結果、固定側のシャフト４１と回転側のスリーブ４２とが金属接触している時間を従来よりも大幅に短縮することができるため、金属接触によって生じるコンタミの発生を抑えて信頼性の高い流体軸受装置を得ることが可能となる。
【００６６】
さらに、スラスト動圧発生溝の溝深さが外周側に向かって大きくなっているため、回転開始当初にはフランジの外径部近辺が接触してスラスト動圧発生溝の凸部が金属接触により磨耗していくが、常に、動圧が一定方向（ここでは、回転軸中心方向）に働き、スラスト軸受の動圧バランスを長時間、一定方向に保つことが可能となる。
（２）
本実施形態のスピンドルモータ１では、図２に示すように、シャフト４１と、スリーブ４２と、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃと、第１・第２スラスト軸受部７２・７３と、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａと、円環状凸部８２・８３とを備えた流体軸受装置４を搭載している。そして、円環状凸部８２・８３は、図３に示すように、スラスト軸受部７２・７３における内周側の端部と外周側の端部とにそれぞれ設けられており、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１よりも高さが大きくなるように形成されている。
【００６７】
これにより、例えば、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａ（ヘリングボーン形状の凸部８１）をエッチング処理によって形成する場合でも、処理に使用されるエッチング液が内周側および外周側から漏れてしまうことを防止することができる。この結果、エッチング液の漏れを防止するためのマスキング処理等を外周面および内周面に施す必要がなくなるため、従来よりも生産コストを低減することができる。
【００６８】
（３）
本実施形態のスピンドルモータ１では、流体軸受装置４のスラスト軸受部７２・７３における第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃ側の面に、内周側から外周側に向かって溝深さが大きくなるスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成している。さらに、このスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成された面の内周側および外周側の端部には、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａの溝深さよりも高さが大きい円環状凸部８２・８３が形成されている。
【００６９】
これにより、内外周側に形成された円環状凸部８２・８３によって、潤滑油４６の外周側への流れを低減することができるため、スラスト軸受部７２・７３における動圧バランスを安定化させることができる。
（４）
本実施形態のスピンドルモータ１では、流体軸受装置４のスラスト軸受部７２・７３における第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃの面に、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成する凸部８１をヘリングボーン形状のグルーブパターンによって形成している。
【００７０】
通常、ヘリングボーン形状の凸部によってスラスト動圧発生溝を形成した場合には、グルーブパターンの内周側と外周側とで発生する動圧の大きさのアンバランスが生じ易い。
本実施形態の流体軸受装置４では、内周側から外周側に向かって溝深さが大きくなるようにスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されているため、ヘリングボーン形状の凸部８１の内外周側においてそれぞれ発生する動圧の大きさにアンバランスが生じた場合でも、内周側に向かってより大きな動圧を発生させることができる。この結果、ヘリングボーン形状の凸部８１の近傍で生じた動圧のアンバランスを低減して、安定した動圧バランスを維持することが可能な流体軸受装置４を得ることができる。
【００７１】
［他の実施形態］
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
（Ａ）
上記実施形態では、シャフト４１が固定側となる流体軸受装置４を例として挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７２】
例えば、図１１あるいは図１２に示すように、シャフト１４１ａ・１４１ｂが回転側となるシャフト回転型の流体軸受装置１０４ａ・１０４ｂに対しても、本発明を適用することは可能である。
例えば、図１１に示す流体軸受装置１０４ａでは、スリーブ１４２ａに形成されたスラスト動圧発生溝１７３ａと、シャフト１４１ａの下方に配置された下部プレート１８０ａに形成されたスラスト動圧発生溝１７２ａとにおいて動圧を発生させて動圧バランスをとることにより、上記と同様の効果を得ることができる。
【００７３】
一方、図１２に示す流体軸受装置１０４ｂについても同様に、スリーブ１４２ｂに形成されたスラスト動圧発生溝１７３ｂと、シャフト１４１ｂの下方に配置された下部プレート１８０ｂに形成されたスラスト動圧発生溝１７２ｂとにおいて動圧を発生させて動圧バランスをとることにより、上記と同様の効果を得ることができる。
（Ｂ）
上記実施形態では、へリングボーン形状の凸部８１の間にスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７４】
例えば、凸部の形状としては、へリングボーン形状に限らず、図１３に示すような、スパイラル形状の凸部２８１によってスラスト動圧発生溝２７２ａ・２７３ａが形成されたスラストフランジ２４１ｂ・２４１ｃであってもよい。
（Ｃ）
上記実施形態では、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃにおけるスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面に形成されている円環状凸部８２・８３が、スラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａを形成するヘリングボーン形状の凸部８１よりも高さが大きい例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７５】
例えば、円環状凸部８２・８３が、ヘリングボーン形状の凸部８１と同等の高さであってもよい。この場合でも、第１・第２スラストフランジ４１ｂ・４１ｃにおけるスラスト動圧発生溝７２ａ・７３ａが形成されている面の内径側と外径側とにおいて、円環状凸部８２・８３がオイルやグリス等の潤滑剤の漏れを効果的に防止することができる。
（Ｄ）
上記実施形態では、スリーブ４２の両端が開放している流体軸受装置４に対して本発明を適用した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７６】
例えば、スリーブの一方の端部のみが開放された流体軸受装置に対しても同様に本発明を適用することが可能である。
（Ｅ）
上記実施形態では、本発明の流体軸受装置を、スピンドルモータに対して搭載した例を挙げて説明した。しかし、本発明はこれに限定されるものではない。
【００７７】
例えば、スピンドルモータ以外にも、他のモータ等のような回転駆動装置に搭載される各種流体軸受装置に対して本発明を適用することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【００７８】
本発明の流体軸受装置は、スラスト軸受部にて発生する動圧バランスを常に安定化させることで、動圧軸受の信頼性を向上させることができるとともに、軸受設計を行う際に設計の幅が広がってコストダウンを図ることが可能となるという効果を奏することから、スラスト動圧発生部を有する流体軸受装置に対して広く適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の一実施形態に係る流体軸受装置を搭載したスピンドルモータの構成を示す断面図。
【図２】図１のスピンドルモータに含まれる流体軸受装置の構成を示す拡大図。
【図３】図２の流体軸受装置に含まれるシャフトのフランジ部分の構成を示す斜視図。
【図４】図３のスラスト動圧発生溝の構成を示す拡大図。
【図５】図４のスラスト動圧発生溝において発生した動圧の方向を示す拡大図。
【図６】図４のスラスト動圧発生溝においてヘリングボーン形状の凸部の内外周側において発生する動圧のアンバランスな状態を示す拡大図。
【図７】図４のスラスト動圧発生溝においてヘリングボーン形状の凸部の内外周側において発生する動圧のアンバランスな状態を示す拡大図。
【図８】図４のスラスト動圧発生溝の形成時においてエッチング液がこぼれ易い方向を示す斜視図。
【図９】従来の流体軸受装置において、スラスト動圧発生溝を形成する際におけるエッチング液とマスキング部との関係を示す断面図。
【図１０】図４のスラスト動圧発生溝を形成する際におけるエッチング液とマスキング部との関係を示す断面図。
【図１１】本発明の他の実施形態に係る流体軸受装置の構成を示す断面図。
【図１２】本発明のさらに他の実施形態に係る流体軸受装置の構成を示す断面図。
【図１３】本発明のさらに他の実施形態に係る流体軸受装置のスラスト軸受部に形成されたスラスト動圧発生溝を形成する凸部の形状を示す斜視図。
【符号の説明】
【００８０】
１      スピンドルモータ
２      ベースプレート
３      ロータ
４      流体軸受装置
５      ステータ
２１      筒状部
３１      ロータハブ
３３      バックヨーク
３４      ロータマグネット
３５      ロータハブ本体
３６      ディスク載置部
３９      クランパ
４０      スペーサ
４１      シャフト
４１ａ    シャフト本体
４１ｂ    第１スラストフランジ
４１ｃ    第２スラストフランジ
４２      スリーブ
４２ａ    凹部
４２ｂ    第１筒状突出部
４２ｃ    第２筒状突出部
４２ｄ    固定部
４２ｅ    連通孔
４２ｆ    クランパ内接部
４２ｇ    ロータハブ内接部
４２ｈ    環状凸部
４３      インナースリーブ
４４      アウタースリーブ
４５      カバー
４６      潤滑油（潤滑剤）
４８ａ    テーパシール部
４８ｂ    テーパシール部
７１      ラジアル軸受部
７１ａ    ラジアル動圧発生溝
７１ｂ    ラジアル動圧発生溝
７２      第１スラスト軸受部
７２ａ    スラスト動圧発生溝
７３      第２スラスト軸受部
７３ａ    スラスト動圧発生溝
８１      凸部
８２      円環状凸部
８３      円環状凸部
８５      マスキング部
１０４ａ  流体軸受装置
１０４ｂ  流体軸受装置
１４１ａ  シャフト
１４１ｂ  シャフト
１４２ａ  スリーブ
１４２ｂ  スリーブ
１７２ａ  スラスト動圧発生溝
１７２ｂ  スラスト動圧発生溝
１７３ａ  スラスト動圧発生溝
１７３ｂ  スラスト動圧発生溝
１８０ａ  下部プレート
１８０ｂ  下部プレート
２８１    凸部
２７２ａ  スラスト動圧発生溝
２７３ａ  スラスト動圧発生溝
【図１】
2007092799.tif 000003
【図２】
2007092799.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
2007092799.tif 000007
【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
2007092799.tif 000011
【図１０】
2007092799.tif 000012
【図１１】
2007092799.tif 000013
【図１２】
2007092799.tif 000014
【図１３】
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