(57)【要約】【課題】安価な構成で、温度変化に対しても信頼性が高い、インクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】インクジェット記録ヘッドは、インクジェット記録基板１０１にケース内のインク収容部のインクを供給するための流路を形成する樹脂製の流路部材１０５を有する。流路部材１０５の、インクジェット記録基板１０１の搭載面には凹部が形成されている。この凹部の底面に、アルミナ製の支持基板１０４を介して、シリコン製のインクジェット記録基板１０１が固定される。そして、インクジェット記録基板１０１の側面と流路部材１０５に形成された凹部の側面との隙間１０７に、熱硬化性樹脂の封止材１０２が充填されている。【選択図】図１
2007320067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出させるためのエネルギー発生素子と液滴吐出口を有する液体吐出基板と、前記液体吐出基板が固定され、前記液体吐出基板へ液体を供給するための少なくとも一つの液体供給路を持つ樹脂製の流路部材と、前記液体吐出基板の周囲を封止するための樹脂封止材と、を含む液体吐出ヘッドにおいて、
前記流路部材に形成された、前記液体吐出基板を収容する凹部と、
前記凹部の底面に接着固定され、かつ、前記液体吐出基板の前記液滴吐出口とは反対側の面を支持、接着する支持基板と、をさらに備え、
前記支持基板が、少なくとも前記液体吐出基板よりヤング率が高く、前記樹脂製の流路部材より線膨張係数が低い材料で作られ、
前記流路部材の前記凹部の側面と前記液体吐出基板の側面との隙間に前記樹脂封止材が充填されており、前記液体吐出基板の少なくとも相対する２側面が前記樹脂封止材により圧縮応力がかかっていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記液体吐出基板の中心から前記流路部材の前記凹部の側面までの距離Aと、前記樹脂封止材が充填された部分である前記液体吐出基板の側面から前記流路部材の前記凹部の側面までの距離Bがあり、前記樹脂製の流路部材の線膨張係数をｘ、前記樹脂封止材の線膨張係数をｙとすると、
A×ｘ  ＞  B×ｙ
であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記流路部材は前記液体吐出基板及び前記支持基板より線膨張率が高い樹脂からなることを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記液体吐出基板はシリコン基板を用いて構成され、前記支持基板はアルミナを用いて構成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記樹脂封止材は熱硬化性の樹脂であることを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記支持基板は、前記液体吐出基板の前記流路部材への投影面積と同等の大きさであることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記液体吐出基板に外部装置から電気信号を送るための電気配線部材と、
前記液体吐出基板の端辺付近に設けられた、前記電気配線部材を電気的に接合する電気接合部と、をさらに備え、
前記電気配線部材の少なくとも前記電気接合部が前記支持基板上で固定されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記液体吐出基板に形成された、前記エネルギー発生素子に液体を供給するための少なくとも一つの液体供給口と、
前記支持基板に前記液体吐出基板の前記液体供給口に対応して設けられた液体供給路と、
前記支持基板の前記液体供給路内に設けられた少なくとも一本の梁部と、をさらに備えたことを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
前記支持基板の前記梁部が、前記支持基板における前記液体吐出基板との接着面、および前記支持基板における前記流路部材との接着面の少なくとも一方で、前記接着面より前記液体供給路内側に凹状になっていることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記液体吐出基板の前記液体供給口が少なくとも３つ並んで配置されており、前記支持基板は前記液体吐出基板の前記液体供給口に対応した液体供給路を備え、両側の前記液体供給路内にのみ梁が設けられていることを特徴とする請求項８または９に記載の液体吐出ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を吐出する液体吐出ヘッドに関し、特に、紙やフィルムなどの記録媒体に液滴を吐出させて記録を行うインクジェット記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録ヘッドは、一般に、記録液滴を吐出する液体吐出基板（以下、インクジェット記録基板と呼ぶ）と、このインクジェット記録基板にインクを供給するインク供給系を有している。
【０００３】
また、上記インクジェット記録ヘッドはインクタンクとインクジェットヘッド部が着脱可能であるタンク交換式のものや、インクジェットヘッド部とインクを収容するインク容器部とが一体となったインクジェット記録カートリッジの形態のものなどがある。
【０００４】
次に、従来のインクジェット記録ヘッドについて、図９を用いて説明する。ここでは、イエロー、マゼンタ、シアンのインクを吐出させ印刷を行うためのカラーカートリッジを例にあげて説明する。
【０００５】
図９に示すインクジェット記録ヘッド６０１は、インクジェット記録基板７０２を含むインクジェットヘッド部と、インクを収容したインク容器部が一体となった形態である。インクジェット記録基板（液体吐出基板）７０２は、インクを吐出させるためのエネルギー発生素子としてのヒーター及び、そのヒーターに不図示のインクジェット記録装置から供給される電気エネルギーを伝えるための配線を備えた基板（素子基板）を有する。基板上には、インクをヒーターに供給するための流路と、インクを吐出させるためのインク吐出口とを備えたノズルプレート（流路構成部材）が設けられている。
【０００６】
この従来例のインクジェット記録基板７０２のノズルプレートは、イエロー、マゼンタ、シアンの３色のインクを吐出させるための吐出口列７０３、７０４、７０５を持っている。
【０００７】
さらに、インクジェット記録ヘッド６０１は、インクジェット記録装置からインクジェット記録基板７０２に電気信号を伝えるための電気配線テープ７０６を備える。インクジェット記録基板７０２は、外部信号入力端子７０７を介しインクジェット記録装置から電気信号を入力される。
【０００８】
インクジェット記録基板７０２は、インクジェット記録基板７０２の２つの端面で電気配線テープ７０６と電気的に接続されており、このような電気接続部は封止材７０８で覆われインクから保護されている。
【０００９】
インクジェット記録基板７０２に供給されるインクは、ケース部７０９とフタ７１０で仕切られた各色のインクを保持収納するためのインク収納部（不図示）に収納されている。インク収納部の中にはインクを保持するためのインク吸収体が収納されている。また、ケース部７０９の内部には、インクジェットヘッド部にインクを供給するためのインク供給路部が設けられている。インク供給路部には、インクジェット記録基板７０２に設けられたインク吐出口に異物が入らないようにフィルタが備えられている。
【００１０】
次に、インクジェットヘッド部におけるインクジェット記録基板７０２の周囲の一般的な構成を、図１０を用いて説明する。
【００１１】
図１０は図９のＣ−Ｃ断面図である。図１０を参照すると、インクジェット記録基板８０１は、支持基板８０２上に支持されている。支持基板８０２は、カートリッジ６０１のインク容器部に収納されたインクをインクジェット記録基板８０１に供給するためのインク供給口８０３を持つ。また、支持基板８０２は、インクジェット記録基板８０１を精度良く貼り付け固定するため、アルミナ等の材料を成形、研磨したものである。
【００１２】
また、支持基板８０２の、インクジェット記録基板８０１の周囲面には、インクジェット記録基板８０１が入る開口部を有する支持板８０４が貼り付けられている。支持板は、支持基板８０２と同じ材質で構成されている。支持板８０４には電気配線テープ７０６が固定支持されている。インクジェット記録基板８０１の横側面と支持板８０４の横側面との間が、樹脂等の封止材８０５を用いて封止している。封止している理由の一つとしては、インクジェット記録基板８０１の切断面である側面をインクから保護する目的がある。
【００１３】
また、他の一般例としては、図１０に示した支持基板８０２と支持板８０４が樹脂製のものがある。この形態は、アルミナ等を用いる形態よりインクジェット記録基板８０１の貼り付け精度は悪くなるものの、安価に製造できるという利点がある。
【００１４】
封止材８０５には製造工程での取り扱いが比較的容易な熱硬化型樹脂を使用するのが一般的である。
【００１５】
なお、図１０を用いて上述したような構成部は特許文献１において開示されている。
【特許文献１】特開平１０−４４４２０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１６】
しかし、図１０に示した従来構成において、次のような課題があった。
【００１７】
まず、図１０に示す支持基板８０２及び支持板８０４にアルミナを使用した場合の課題を説明する。
【００１８】
インクジェット記録基板８０１の周囲を封止するための封止材８０５は熱硬化性樹脂を用いているが、支持基板８０２及び支持板８０４はアルミナを用いているため線膨張率が低いものとなっている。このため、封止材８０５は、一般的にインクジェット記録基板８０１や支持基板８０２、支持板８０４より線膨張率が高い値になってしまう。熱硬化性樹脂の封止材８０５は一般に１００℃以上の高温で硬化させるため、高温時に硬化した樹脂が常温に戻った場合硬化収縮が発生する。また、低温環境に置かれた場合など、樹脂は更に収縮する方向に変形する。このような場合、インクジェット記録基板８０１や、支持基板８０２、支持板８０１なども収縮するが、封止材８０５との線膨張率が異なるため、図１０に示したような矢印方向に引っ張り応力が発生する。その結果、その応力により、インクジェット記録基板８０１が割れてしまうなどの不具合が発生する場合があった。この現象は、例えばコストダウンのため、インクジェット記録基板をできる限り小さくしたい場合において、インクジェット記録基板製造の障害になってしまう。
【００１９】
次に、図１０に示す支持基板及び支持板に樹脂を使用した場合の課題を説明する。
【００２０】
インクジェット記録基板８０１は一般にシリコン基板を用いて作られている。このため、インクジェット記録基板８０１が接着固定される樹脂製の支持基板８０２は、インクジェット記録基板８０１と比べ、線膨張率が非常に大きい。したがって、インクジェット記録基板８０１が樹脂製の支持基板８０２に固定された時の温度と極端に異なる温度環境にさらされた場合、樹脂の変形応力をインクジェット記録基板８０１が受け、変形、破壊などの不具合が生じてしまうことがある。
【００２１】
この課題を解決するために、支持基板８０２のインク供給口８０３に梁構造を設けて、支持基板の剛性を高めようとする試みが考えられる。しかし、この構成では、インクジェット記録基板８０１を接着剤で支持基板８０２に貼り付け固定した場合、余分な接着剤がはみ出し、これが梁を伝って、インクジェット記録基板に設けられたインク供給口中に入り込む場合がある。最悪の場合、インクジェット記録基板に設けられたインク吐出口を詰まらせてしまうおそれがあった。
【００２２】
本発明の目的は、上述した実情に鑑み、インクジェット記録ヘッドに用いられるインクジェット記録基板の周囲を熱硬化型樹脂で封止した場合にも、基板割れが無く、安価で信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２３】
本発明の液体吐出ヘッドは、液滴を吐出する液体吐出基板と、前記液体吐出基板を搭載し、前記液体吐出基板へ液体を供給するための少なくとも一つの液体供給路を持つ樹脂製の流路部材と、前記液体吐出基板の周囲を封止するための樹脂封止材と、を含む。このようなヘッドにおいて、流路部材には液体吐出基板を収容する凹部が形成されている。この凹部の底面には支持基板が接着固定されている。支持基板は、液体吐出基板の液滴吐出口とは反対側の面を支持、接着している。この支持基板は、少なくとも液体吐出基板よりヤング率が高く、樹脂製の流路部材より線膨張係数が低い材料で作られている。そして、流路部材の凹部の側面と液体吐出基板の側面との隙間に樹脂封止材が充填されており、前記液体吐出基板の少なくとも相対する２側面が前記樹脂封止材により圧縮応力がかかっている。このような構成により上記の課題が解決される。
【発明の効果】
【００２４】
本発明によれば、安価な構成で、温度変化に対しても信頼性が高い、インクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００２６】
（第一の実施形態）
図１は本発明の第一実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインクジェットヘッド部を示す部分断面概略図であり、図２のＡ−Ａ断面を示している。図２は本実施形態のインクジェットヘッドの斜視図である。なお、図２中のＢ−Ｂ線に沿った方向はインクジェット記録ヘッドの吐出口列を構成するインク吐出口の並び方向と平行な方向であり、図２中のＡ−Ａ線に沿った方向は前記Ｂ−Ｂ線と直交する方向である。
【００２７】
図２を参照すると、本実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インクを収納したインク収納部からインクをインクジェット記録基板１０１へと供給するための流路部材１０５を有する。インクジェット記録基板１０１はシリコン基板を用いて作られ、流路部材１０５上に接着固定されている。インクジェット記録基板１０１の周囲が封止材１０２で封止されている。さらに、インクジェット記録基板１０１は、不図示のインクジェット記録装置からの電源、信号等をインクジェット記録基板１０１に伝えるための電気配線テープ１０３と電気接続されている。この電気接続部は図２のＡ−Ａ線と平行なインクジェット記録基板１０１の端辺付近に配設されていて、電極部封止材２０１により封止されている。
【００２８】
本実施形態において、インクジェット記録基板１０１周囲を封止する封止材１０２は熱硬化性のエポキシ樹脂を使用した。
【００２９】
なお、図示しないが、インクジェット記録基板１０１は、複数の電気熱変換素子が形成されたシリコン基板と、このシリコン基板上に形成された流路構成部材（ノズルプレートとも呼ぶ。）とを備える。この流路構成部材は、各電気熱変換素子を包囲する液室を含む複数のインク流路と、各液室に連通する複数のインク吐出口とを形成している。さらに、流路構成部材には複数のインク流路に共通する共通液室が形成され、シリコン基板には、共通液室にインクを供給するため細長い矩形の開口形状を持つインク供給口が貫通している。これらの構成要素については図１では簡略化してある。また、前記インク供給口の開口形状は図２のＢ−Ｂ線に沿った方向に長い。
【００３０】
以下に、図１を参照して本実施形態のインクジェット記録ヘッドの構成を詳しく説明する。
【００３１】
図１において、インクジェット記録基板１０１は、流路部材１０５上に支持基板１０４を介して、接着固定されている。流路部材１０５には、インクジェット記録基板１０１にインクを供給するためのインク流路１０６が設けられている。支持基板１０４は、焼結したアルミナを研磨して形成した基板である。
【００３２】
本実施形態では、流路部材１０５のインク流路１０６は、インクジェット記録基板１０１を構成する前記シリコン基板に前記インク供給口（貫通孔）の位置及び形状に対応するように設けられている。さらに、支持基板１０４においても、流路部材１０５のインク流路１０６とインクジェット記録基板１０１のインク供給口とを繋ぐインク流路が設けられている。
【００３３】
また、本実施形態においては、流路部材１０５はインクジェット記録ヘッドのケース部１０８を形成するものと同じ樹脂材料により、金型を用いた射出成形で作られている。本実施形態においてはＧＥプラスチックス社製のノリル（Ｒ）を用いて流路部材１０５及びケース部１０８を成形した。
【００３４】
また、アルミナ製の支持基板１０４は、インクジェット記録基板１０１の貼り付け精度を出すための支持基板である。支持基板１０４は、前記インクジェット記録ヘッドに大きな温度変化が生じた場合に、線膨張率の違いにより、シリコン製のインクジェット記録基板１０１が樹脂である流路部材１０５の変形応力を受けて破壊されないための保護部材の役割も果たす。この支持基板１０４は特に、コストダウンのためインクジェット記録基板１０１を小型化するときに大きな役割を果たす。支持基板１０４については後で更に詳細に説明する。
【００３５】
図１に示したように、流路部材１０５の、インクジェット記録基板１０１及び支持基板１０４の搭載面には凹部が形成されている。この凹部の底面に、支持基板１０４を介してインクジェット記録基板１０１が固定される。そして、インクジェット記録基板１０１の側面と流路部材１０５に形成された凹部の側面との隙間１０７に、封止材１０２が充填されている。封止材１０２は、インクジェット記録基板１０１の切断面（インクジェット記録基板１０１の側面）をインクから保護するために充填される。さらに、この封止材１０２は、図２に示した電極部封止材２０１の下側に回りこみ、インクジェット記録基板１０１と電気配線テープ１０３との電気接続部をも保護する。
【００３６】
本実施形態において、インクジェット記録基板周囲を封止する封止材１０２の硬化は、封止材１０２の塗布後１００℃のオーブンに１時間以上入れることで硬化させる。この封止材の硬化条件は耐インク性、接着強度を考慮したものであり、この温度、時間に限ったものではない。
【００３７】
このような構成をとった場合の、温度変化におけるインクジェット記録基板１０１の側面方向にかかる応力の概要を図３を用いて説明する。図３は図２のＡ−Ａ断面を示している。
【００３８】
まず、アルミナ製支持基板１０４を樹脂製の流路部材１０５に接着剤（不図示）を用いて貼り付ける。また、インクジェット記録基板１０１をアルミナ製支持基板１０４に接着剤（不図示）を用いて貼り付ける。この貼り付け順序はこれに限ったものではない。次に、封止材１０２を、インクジェット記録基板１０１と流路部材１０５の隙間１０７に流し込む。その後、封止材１０２を硬化させるため１００℃のオーブンに投入する。すると、インクジェット記録ヘッドの各構成部材が、室温から１００℃までの温度変化により膨張する。このとき、各構成部材の膨張する割合は各構成部材の線膨張率により異なる。本実施形態に用いた材料の線膨張率は以下のとおりである。シリコン製のインクジェット記録基板１０１の線膨張係数は約３ppm程度、アルミナ製の支持基板１０４の線膨張係数は約７ppm程度であり、ノリル製の流路部材１０５及び樹脂製の封止材１０２の線膨張係数は約２０〜６０ppm程度である。このため、封止材１０２の硬化前の室温が２５℃のときにインクジェット記録基板１０１の幅（図面左右方向の長さ）が４ｍｍである場合、１００℃にて封止材１０２が硬化した状態では、線膨張により前記インクジェット記録基板１０１の幅は０．９μｍ伸びる。これに対し、図３中の、流路部材１０５までの距離Cが室温２５℃時に３ｍｍである場合、流路部材の線膨張係数を４０ppmとすると、１００℃の温度にて９μｍ伸びることとなる。この状態で封止材１０２及び、インクジェット記録基板１０１と支持基板１０４と流路部材１０５を固定する接着材が硬化することとなる。つまり、膨張した状態でそれぞれの部品が固定された状態になる。これをオーブンから取り出すと、インクジェット記録ヘッド周囲の温度が２５℃となり、それぞれの構成部品が元の寸法に戻ろうとする。すると、インクジェット記録基板１０１に対し、流路部材１０５が縮もうとする力と、更には封止材１０２が縮もうとする力が加わる。封止材１０２の縮む寸法は、封止材１０２の線膨張係数を４０ppm、隙間１０７にある封止材幅を１ｍｍとすると、３μｍとなる。
【００３９】
インクジェット記録基板１０１の側面にかかる力の方向に関しては、流路部材１０５が縮もうとする斜線矢印方向（前記インクジェット記録基板の側面を押す方向）に９μｍある。前記インクジェット記録基板の側面を引っ張る方向は封止材１０２が縮む縦線矢印方向と、前記インクジェット記録基板が縮む方向（不図示）の２つがあり、３＋（０．９／２）＝３．４５μｍとなる。
【００４０】
従って、このような構成であれば、流路部材１０５の凹部の壁は封止材１０２を介し、インクジェット記録基板１０１の側面を９−３．４５＝５．５５μｍ分押すこととなる。つまり、インクジェット記録基板１０１の側面は封止材１０２を介して圧縮応力がかかっている。これに対し、インクジェット記録基板の側面の対岸が収縮方向に移動しない構成のものの場合、封止材１０２の収縮する力が全てインクジェット記録基板１０１の側面を引っ張る方向にかかってしまう。このため、前記インクジェット記録基板１０１が割れるなどの不具合が発生する場合があった。本発明者が確認したところ、本実施形態で用いた形状のインクジェット記録基板１０１は、その基板側面を引っ張る方向では１ｋｇ程度で破壊してしまったが、押す方向に関しては３ｋｇ程度かけても破壊しないという結果も得ている。本発明では、図２の少なくともＡ−Ａ線に沿った方向に関して、流路部材１０５の、インクジェット記録基板１０１の側面の対岸となる部分の線膨張の伸びが、封止材１０２の線膨張の伸びより大きいことが望ましい。
【００４１】
さらに、図２のＡ−Ａ断面を示した図４を参照すると、流路部材１０５はインクジェット記録基板１０１の底面に沿った方向でも、図４中の矢印に示すような収縮が発生する。
【００４２】
インクジェット記録基板１０１が直接、流路部材１０５に接着固定されている場合は、その流路部材１０５の変形力（図４中矢印の収縮力）が直接インクジェット記録基板１０１にかかる。その結果、インクジェット記録基板１０１が変形し、インクジェット記録基板１０１から吐出されるインクの着弾位置がずれてしまう場合がある。この問題は特にインクジェット記録基板１０１の厚み寸法を小さくした場合に生じやすい。何故なら、インクジェット記録基板にはインク供給孔が設けられているため、インクジェット記録基板の厚み寸法を小さくすると、インク供給孔の側面壁の厚み（高さ）が薄くなり、この側面壁の剛性が低下するからである。
【００４３】
従って、本実施形態においてはインクジェット記録基板１０１を、インクジェット記録基板１０１を構成するシリコンよりヤング率の高いアルミナ製の支持基板１０４を介し、流路部材１０５に貼り付ける構成になっている。
【００４４】
本実施形態に使用した各部品のヤング率はシリコンが約１７０Gpa、アルミナが約３２０Gpa、であり、シリコン基板のほぼ倍のヤング率になっている。アルミナのヤング率が高いため、インクジェット記録基板のシリコン基板厚を厚くすることなく、かつ、アルミナ製支持基板１０４の厚みを薄くできる。よって、インク供給路の長さを不必要に長くすること無くインク供給路中の泡抜け性も向上し、かつインクジェット記録基板１０１の変形を抑えることが可能となる。
このとき、支持基板１０４は封止材１０２からのインクジェット記録基板１０１にかかる応力を緩和させるためにも、コスト的にも、インクジェット記録基板１０１と同等な投影面積を持つものが好ましい。
【００４５】
（第二の実施形態）
図５は、図２に示したＢ−Ｂ断面の電気実装部周辺を示す図である。図５（Ａ）は従来構成図、図５（Ｂ）は本実施形態の構成図を示している。ここでは、第一の実施形態と同一の構成要素には同一符号を用い、インクジェット記録基板１０１がインクジェット記録装置からの電気信号を受け取るための電気配線テープ１０３と接合されているものの説明を行う。
【００４６】
これまでは電気配線テープ１０３としてTABを用いTABのフライングリード５０３と、インクジェット記録基板１０１の上面に設けられた電気パッド（不図示）がボンディングされている。この電気パッドとフライングリード５０３とからなるパッドからなる電気接合部は封止材１０２により封止され、インクから電気接合部を保護している。また、電気配線テープ（TAB）１０３は、動かないように樹脂製の流路部材１０５に貼り付け固定されている。このような形態のものにおいて、第一実施形態のような構成にするだけでは、樹脂の線膨張による変形で前記電気接合部が壊れてしまう場合が懸念される。
【００４７】
そこで本実施形態においては、第一の実施形態に示したようなアルミナ製の支持基板１０４を、少なくとも図２のＢ−Ｂ線に沿った方向において、図５（Ｂ）に示すように電気接合部側に延びた凸形状を持つ支持基板５０５に変えてある。例えば、流路部材１０５の一面に設けられた凹部の底面に支持基板５０５が接着固定される。支持基板５０５上にインクジェット記録基板１０１が固定される。支持基板５０５上の、インクジェット記録基板１０１の側面の対岸となる部分に凸部５０５ａが形成されている。この凸部５０５ａは、少なくとも図２のＢ−Ｂ線に沿った方向において配設されていればよい。そして、支持基板５０５の凸部５０５ａ上面に電気配線テープ１０３（少なくともフライングリード５０３の根元部分）が貼り付け固定され、電気配線テープ１０３のフライングリード５０３と、インクジェット記録基板１０１上の電気パッド（不図示）とが電気接合されている。このリード５０３の根元部分から電気パッド周辺までの電気接合部は電極部封止材で封止される。さらに、インクジェット記録基板１０１の側面と支持基板５０５及び流路部材１０５との隙間に、封止材１０２が充填されている。
【００４８】
このような構成をとることにより、樹脂製の流路部材１０５よりも支持基板５０５の方が封止材１０２の熱硬化処理における変形が非常に小さいため、電気接合部の破壊等の不具合が無い。その上、インクジェット記録基板の側面にかかる応力は第一の実施形態に述べたように緩和されるため、信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。
【００４９】
（第三の実施形態）
次に、図６を用いて、本発明の第３の実施形態を説明する。ここでも、上述した各実施形態と同一の構成要素には同一符号を用いて説明する。
【００５０】
図６を参照すると、インクジェット記録基板１０１が、アルミナ製の支持基板５０６を介し、樹脂製の流路部材１０５に接着剤にて貼り付け固定される。本実施形態においてケース１０８はインクを含浸させたインク吸収体（不図示）を収容したインク容器であり、流路部材１０５と樹脂の一体成形にて作られている。電気配線テープ１０３は、インクジェット記録基板１０１と電気的に接合されており、インクジェット記録装置（不図示）からの電気信号をインクジェット記録基板１０１に送るようになっている。
【００５１】
インクジェット記録基板１０１は、イエロー、マゼンタ、シアンの３色を吐出させるための３色用吐出口列をこの順番に持ち、それに対応した３つのインク供給口を持つ構成になっている。このインク供給口は第一の実施形態で説明したように細長い矩形の開口形状を持つ。支持基板５０６、流路部材１０５にもインクジェット記録基板１０１のインク供給口に対応したインク供給路（貫通孔）が３つずつ配置されている。
【００５２】
更に、本実施形態においては、流路部材１０５の３つのインク供給路の流路断面（図７参照）は、流路抵抗をより低くできるよう両側のシアン（Ｃ）、イエロー（Ｙ）に関しては広くとれるものの、中央のマゼンタ（Ｍ）に関しては広くとることが困難である。このため、中央のマゼンタ（Ｍ）に関しては、できる限り支持基板５０６のインク供給路で流路断面を広く確保することとなる。したがって、支持基板５０６の３つのインク供給路のうち中央のインク供給路には梁が無く、この両側（Ｃ、Ｙ部）のインク供給路内のみに梁部５０７が少なくとも一本形成されている。第一の実施形態で説明したような部材間の線膨張係数の違いでインクジェット記録基板にかかる応力は、その基板中心部に関しては小さいため、上記構成をとることにより剛性向上も十分達成することが可能となる。
【００５３】
ここで、インクジェット記録基板１０１と支持基板５０６、流路部材１０５が接着剤で貼り付け固定されたときの、梁部５０７について図７を用いて説明する。図７（Ａ）に示した図は、本実施形態の構成を示した断面図である。図７（Ｂ）は図７（Ａ）と比較するため、支持基板６０１に設けられた梁部６０２が支持基板両面よりへこんでいない形状のものの断面図を示す。なお、図７（Ａ）（Ｂ）は、インクジェットヘッド部についてインクジェット記録基板のインク供給口の短手方向（図２のＡ−Ａ方向）に沿って切断した断面を示す。
【００５４】
図７（Ａ）（Ｂ）ともインクジェット記録基板１０１は接着剤にて支持基板５０６に貼り付け固定されている。このとき接着剤の余分がはみ出したものを図７（Ａ）（Ｂ）中に符号Ｘとして示した。
【００５５】
図７（Ｂ）に示す構成では、はみ出した接着剤Ｘが、インクジェット記録基板１０１に設けられたインク供給口の中に位置する。このような状態になると、インクジェット記録基板１０１に供給されるべきインクの流れを阻害することがある。また、前記接着剤の硬化前状態が非常に粘度が低い場合、毛管力で前記接着剤がインクジェット記録基板１０１のインク供給口内を移動し、最悪の場合、インクを吐出させるためのインク吐出口（不図示）に詰まってしまうおそれがある。
【００５６】
そこで本実施形態においては、図７（Ａ）に示したように、支持部材５０６に設けられた梁部５０７の上下面が、インクジェット記録基板及び流路部材１０５と接着される支持部材５０６の上下両側の接着面よりもインク供給口内側方向に凹状にへこんでいる。このような構成をとることにより、図７（Ａ）に示すように、はみ出した接着剤Ｘはインクジェット記録基板１０１と支持基板５０６との間に保持されるので、上述したような不具合の発生を防ぐことが可能となる。図示しないが、支持基板５０６と流路部材１０５との接着においても同様のことが言え、図７（Ａ）に示した構成をとることにより信頼性の高いインクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。
【００５７】
本実施形態においては、支持基板５０６のインク供給口に設けられた梁部５０７の、インクジェット記録基板接着面側、流路部材接着面側の両方を、インク供給口内側に凹となるような形状にした。しかし、それぞれ使用される接着剤の性質により片側のみを凹形状にしても良い。一般的にはインクジェット記録基板１０１のインク供給口に接着剤が入り込むと、インクジェット記録基板１０１の吐出口に接着剤が入り込み、吐出不良の原因となることがある。そのため、少なくともインクジェット記録基板１０１との支持基板５０６の接着面側を凹としておくことが好ましい。
【００５８】
以上説明したように、上記各実施形態のインクジェット記録ヘッドは、インクジェット記録基板１０１が、前記インクジェット記録基板１０１よりヤング率の高い支持基板を介し、インク供給路を備えた樹脂製の流路部材１０５に接着固定されたものである。そして、インクジェット記録基板１０１の側面の対岸が流路部材１０５の樹脂であるため、インクジェット記録基板の周囲を熱硬化性の樹脂（封止材１０２）で封止した場合には、樹脂製の壁が熱膨張で変形し、封止材１０２の硬化収縮方向の応力を緩和する。また、封止材１０２が硬化した温度から、大きな温度変化をインクジェット記録ヘッドに与えた場合においても、周囲封止材の線膨張で発生する寸法変化により、インクジェット記録基板に与える応力を緩和する方向に前記流路部材１０５の樹脂が変形する。更に、前記インクジェット記録基板を固定するための接着剤が硬化した温度より極端に低い温度にさらされた場合においても、樹脂製の流路部材１０５の線膨張による変形を前記支持基板が抑え、インクジェット記録基板の変形、破壊を防ぐことが可能となる。また、前記支持基板のインク供給口に梁部５０７を持たせることで、更に前記支持基板の剛性をもたせることが可能となる。前記梁部５０７は前記支持基板の接着面よりインク供給口内側に凹となっていることにより、インク供給口への接着剤の入り込みを防止することも可能である。
【００５９】
このような構成をとることで、安価な構成で、温度変化に対しても信頼性が高い、インクジェット記録ヘッドを提供することが可能となる。
【００６０】
また、インクジェット記録基板１０１にインクジェット記録装置からの電気信号を伝えるための電気配線部材１０３を用いるものにおいては、電気配線部材１０３が前記支持部材に貼り付け固定される。このことにより、電気配線部材１０３とインクジェット記録基板１０１との電気接合部が、電気配線部材１０３の貼り付けられた部材の熱による寸法変化によって壊れたりすることがなくなる。
【００６１】
（その他の実施形態）
次に、上述したようなインクジェット記録ヘッドを搭載可能な液体吐出記録装置（インクジェットプリンタ）について説明する。図８は、本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。
【００６２】
図８に示す記録装置において、上述した各実施形態によるインクジェット記録ヘッド６０２がキャリッジ６０３に位置決めして交換可能に搭載されている。インクジェット記録ヘッド６０２はイエロー、マゼンタ、シアンのカラーインクを吐出させるカラーカートリッジであるが、この記録ヘッドカートリッジの横にも、ブラックインクを吐出させるブラックカートリッジが搭載されている。
【００６３】
キャリッジ６０３には、インクジェット記録ヘッド６０２上の電気配線テープを介して各吐出口列に駆動信号等を伝達するための電気接続部（不図示）が設けられている。
【００６４】
キャリッジ６０３は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイドシャフト６０４に沿って往復移動可能に案内支持されている。
【００６５】
キャリッジのホームポジションには、インクジェット記録ヘッド６０２のインク吐出口が形成された前面を塞ぐキャップ（不図示）が配置される。キャップはインクジェット記録ヘッド６０２のインク吐出性能維持回復のための吸引回復を行うために用いられる。キャップの近傍には、インクジェット記録ヘッド６０２のインク吐出口が開口した面を摺擦してそこに付着しているインク等を除去するためのクリーニングブレード（不図示）が設けられている。
【００６６】
記録用紙やプラスチック薄板等の記録媒体６１１は、オートシートフィーダ（以後ＡＳＦ）６１４から一枚ずつ分離給紙され、インクジェット記録ヘッド６０２の吐出口面と対向する位置（記録位置）を通って搬送（副走査）される。
【００６７】
なお、記録媒体６１１は、記録位置において、その裏面をプラテン（不図示）により支持されている。この場合、キャリッジ６０３に搭載されたインクジェット記録ヘッド６０２は、それらの吐出口面がキャリッジ６０３から下方へ突出して上流側及び下流側にある２組の搬送ローラ対の間で記録媒体６１１と平行になるように保持されている。
【００６８】
インクジェット記録ヘッド６０２は、各吐出口列における吐出口の並び方向が上述したキャリッジ６０３の走査方向に対して交差する方向になるようにキャリッジ６０３に搭載されており、これらの吐出口列から液体を吐出して記録を行う。
【００６９】
上述の実施形態では、熱エネルギーを利用してインクを吐出するために、熱エネルギーを発生する電気熱変換素子を備えていたが、もちろん本発明は、振動素子によってインクを吐出する等、その他の吐出方式を適用したものであってもよい。
【００７０】
なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明の第一実施形態によるインクジェット記録ヘッドのインクジェットヘッド部を示す部分断面概略図である。
【図２】本発明の一実施形態によるインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図３】本発明の第一の実施形態によるインクジェット記録ヘッドを説明するための部分断面概略図である。
【図４】本発明の第一の実施形態によるインクジェット記録ヘッドを説明するための部分断面概略図である。
【図５】本発明の第二の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの電気接続部周辺を示す部分断面概略図である。
【図６】本発明の第三の実施形態によるインクジェット記録ヘッドの分解斜視図である。
【図７】第三の実施形態のインクジェット記録基板と支持基板と流路部材におけるインク供給路の構成を説明するための部分断面概略図である。
【図８】本発明のインクジェット記録ヘッドを備えた記録装置の模式図である。
【図９】従来の一般的なインクジェット記録ヘッドの斜視図である。
【図１０】図９のＣ−Ｃ断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１０１  インクジェット記録基板
１０２  封止材
１０３  電気配線部材
１０４、５０５、５０６  支持基板
１０５  流路部材
１０６  インク流路
１０７  隙間
５０７  梁部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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