(57)【要約】【課題】内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供する。【解決手段】軌道部に沿って往復移動する移動体２、移動体を往復移動及び所定の位置で停止させる位置決め機構、位置決め機構を駆動する駆動装置６を備え、移動体の移動経路を成すハウジング１０のスリット１２を塞ぐシールベルト１６が設けられたアクチュエータＡであって、ハウジングには、軌道部、移動体の少なくとも一部、位置決め機構の少なくとも一部、及びシールベルトを収容した主収容部５０、駆動装置の少なくとも一部を収容した駆動装置収容部５２、その内部に所定のスペースを有する空隙部５４が、貫通孔56a,58aを少なくとも１つ有する隔壁56,58によって相互に隔てられて設けられており、駆動装置収容部及び空隙部の一方若しくは双方には、主収容部の内気を貫通孔を通して吸引する吸引口60,62が少なくとも１つ設けられている。【選択図】    図１
2007270881.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハウジング内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、当該移動体を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、当該位置決め機構を駆動するための駆動装置とを備え、移動体の移動経路を成すハウジングのスリットを塞ぐための可動式のシールベルトが設けられたアクチュエータであって、
ハウジングには、軌道部、移動体の少なくとも一部、位置決め機構の少なくとも一部、及びシールベルトを収容した主収容部と、主収容部の一端側に連続して駆動装置の少なくとも一部を収容した駆動装置収容部と、主収容部の他端側に連続してその内部に所定のスペースを有する空隙部とが、貫通孔を少なくとも１つ有する隔壁によって相互に隔てられて設けられており、当該駆動装置収容部及び空隙部の一方若しくは双方には、当該主収容部の内気を当該貫通孔を通して吸引する吸引口が少なくとも１つ設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
貫通孔は、シールベルトがスリットの両端部でアクチュエータの内部から引き出されるとともに、当該アクチュエータの内部へ引き込まれる位置の近傍に設けられており、主収容部と駆動装置収容部、並びに主収容部と空隙部は、その内部が当該貫通孔によってのみ連通されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
【請求項３】
ハウジングの主収容部には、前記一端側から前記他端側までを貫通する通気孔が、隔壁の貫通孔と連通して形成されていることを特徴とする請求項１又は２に記載のアクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、製造や検査などで各種の製品を移動するアクチュエータに関し、特に半導体などの精密部品の製造や検査等に用いられるアクチュエータの発塵防止に関する。
【背景技術】
【０００２】
かかるアクチュエータは、細長い矩形状の筐体(ハウジング)内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、当該移動体を往復移動させるとともに所定の位置で停止させるための位置決め機構(例えば、ボールねじ機構など)を駆動するための駆動装置とを備えている。なお、かかる軌道部としては、例えば、直動案内装置のガイドレールがその一例として挙げられる。この直動案内装置は、例えば、ハウジングの長手方向に沿って延出したガイドレールと、当該ガイドレールに沿って往復移動可能なスライダとを備えるものである。この場合、スライダは、移動体の本体に固定され、移動体の一部を構成している。
【０００３】
例えば、図３(ａ)〜(ｄ)、図４(ａ)〜(ｃ)及び図５には、２つの直動案内装置(２本のガイドレール４)を配設し、当該２つの直動案内装置に１つの移動体２を設けているとともに、当該移動体２の位置決め機構として、ボールねじ機構を適用したアクチュエータＣの構成が一例として示されている。なお、図５には、アクチュエータＣ全体の構成例が示されているが、同図において、直動案内装置及び位置決め機構(ボールねじ機構)の構成は、その記載を省略している。かかるアクチュエータＣにおいて、ボールねじ機構は、２本のガイドレール４の間に、当該ガイドレール４の延出方向に沿って平行に延出したねじ軸２２と、送りねじとしてのボールナット(図示しない)とを備えており、当該ねじ軸２２が駆動装置(例えば、モータ)６によって回転する。また、ねじ軸２２の外周面及びボールナットの内周面には、相互に対向する螺旋状のボール溝(図示しない)がそれぞれ設けられており、当該ねじ軸２２及びボールナットの双方のボール溝により形成される螺旋状転動空間(図示しない)には、複数のボール(図示しない)が転動自在に配置されている。そして、ボールナットは、移動体２の一部を構成するブラケット部に固定され、当該移動体２は、直動案内装置のスライダ８に固定されている。なお、図４(ｃ)において、２２ｘは、ねじ軸２２をモータ６側の端部付近(同図の左端部付近)で、軸受(図示しない)を介して支持する軸受支持部を示しており、２２ｙは、モータ６の回転軸６ａとねじ軸２２とを連結する継手を示している。
【０００４】
このようなボールねじ機構によれば、モータ６によりねじ軸２２を回転させると、このときの回転運動が複数のボールに伝達され、これら複数のボールが螺旋状転動空間に沿って循環することにより、ボールナットをねじ軸２２に沿って往復運動させることができる。これにより、ボールナットに固定された移動体２をスライダ８を介してガイドレール４(ねじ軸２２)に沿って往復移動させることができるとともに、モータ６を停止することで移動体２を所定の位置で停止させることができる。
【０００５】
このような構成において、ハウジング１０には、その上面(図３(ａ)〜(ｄ)の上側の面)に移動体２の移動経路を成すスリット(開口)１２が設けられている。また、移動体２には、その上部(図３(ａ)〜(ｄ)の上側の部分)に、所定の長さ(図３(ａ)の左右方向の距離)、所定の幅(図３(ｂ)〜(ｄ)の左右方向の距離)、及び所定の高さ(図３(ａ)〜(ｄ)の上下方向の距離)で突出する凸状部２ａが、各ガイドレール４のスライダ８の略上方(図３(ａ),(ｄ)の上方向)の位置へ設けられている。
【０００６】
この場合、移動体２は、その凸状部２ａがスリット１２からハウジング１０の外部に突出するように、ハウジング１０の底部(図３(ｄ)の下側の部分)の肉厚に合わせて、直動案内装置のガイドレール４及びスライダ８とともにその高さを調整して構成されている(図３(ｄ))。これにより、移動体２は、その凸状部２ａをスリット１２からハウジング１０の外部に突出させて、ハウジング１０に接触することなくガイドレール４に沿って往復移動することができる。なお、移動体２は、その凸状部２ａの上面が平坦面状を成して形成されており、当該平坦面(ワーク取付面)に取り付けたワーク(図示しない)上に、例えば、半導体ウエハーなどを載置することで、検査等の作業を行うことができる。
【０００７】
ところで、上述したように、ハウジング１０の上面(図３(ａ)〜(ｄ)の上側の面)にスリット１２を設けただけでは、当該スリット１２によりアクチュエータＣの内部が外部に対して常時開放状態となってしまい、アクチュエータＣの内部に外部から塵埃が侵入してしまうとともに、アクチュエータＣの内部から外部へ塵埃が散出してしまう。
【０００８】
このような塵埃の侵入や散出を防止するための対策として、例えば、特許文献１には、スリットによる開口を塞ぐ可動式のシールベルトを設けたアクチュエータの構成が一例として示されている。例えば、図３(ａ)〜(ｄ)、図４(ａ)〜(ｃ)及び図５に示す構成において、アクチュエータＣには、移動体２の移動方向(図３(ａ)の左右方向)の両端部に上下２つずつ、合計４つのプーリ１４が、軸受(図示しない)を介して回転可能に設けられており、当該プーリ１４と移動体２との間に所定の幅及び所定の長さのシールベルト１６を架けてスリット１２による開口を塞いでいる。この場合、シールベルト１６は、その一端が移動体２の一端側(図３(ａ)の右側)に固定され、その他端が一端側(図３(ａ)の右側)のプーリ１４を経てアクチュエータＣの一端側(図３(ａ)の右側)で折り返し(図３(ｃ)参照)、当該アクチュエータＣの他端側(図３(ａ)の左側)に至り、さらに他端側(図３(ａ)の左側)のプーリ１４を経て再度折り返し(図３(ｂ)参照)、移動体２の他端側(図３(ａ)の左側)に固定されている。
【０００９】
この場合、ハウジング１０には、その底部(図３(ｄ)の下側の部分)にシールベルト１６を収容するための貫通孔(シールベルト収容孔)１８が設けられている。図３(ａ),(ｄ)に示す構成において、シールベルト収容孔１８は、一例として、その長さが一端側(図３(ａ)の右下側)のプーリ１４から他端側(図３(ａ)の左下側)のプーリ１４までの距離と略同一の所定の長さであって、その内周部がシールベルト１６に接触しない所定の大きさを成す角孔として構成されている。
なお、図３(ａ)〜(ｄ)、図４(ａ)〜(ｃ)及び図５に示す構成において、アクチュエータＣには、移動体２の凸状部２ａの数(２つ)に合わせて、２つのスリット１２が設けられているとともに、プーリ１４一式、シールベルト１６及びシールベルト収容孔１８も、それぞれ２つずつ設けられている。
【００１０】
これにより、シールベルト１６は、可動ループを形成し、移動体２の移動に伴ってプーリ１４に案内されて移動体２と同一の移動方向へ、スリット１２による開口を塞いだ状態で移動する。この結果、アクチュエータＣの外部から内部への塵埃の侵入及び内部から外部への塵埃の散出を防止することができる。なお、シールベルト１６は、その幅がスリット１２による開口を塞ぐことが可能となるように所定の値に設定され、その長さが当該シールベルト１６をプーリ１４と移動体２との間に架けた状態で、撓みがないように所定の値に設定されている。
【００１１】
また、図３(ａ)〜(ｄ)、図４(ａ)〜(ｃ)及び図５に示す構成において、アクチュエータＣには、装置の内気を吸引して減圧し、その内部を負圧に保つための吸引機構(図示しない)が設けられている。このように、吸引機構によりアクチュエータＣの内部を負圧に保つことによっても、当該アクチュエータＣの内部から外部へ塵埃が散出することを防止している。この場合、一例として、ハウジング１０には、その長手方向(図３(ａ)の左右方向)の一端側(モータ６側(図３(ａ)の左側))の端部、及び他端側(モータ６とは反対側(図３(ａ)の右側))の側面部の２箇所に、吸引機構へ連結された吸引チューブ３０の吸引口３２が開口されており、吸引機構は、当該２箇所の吸引口３２からアクチュエータＣの内気を吸引している。なお、図５には、アクチュエータＣ全体の構成例が示されているが、同図において、吸引チューブ３０及び吸引口３２は、その記載を省略している。
【００１２】
しかしながら、アクチュエータＣの内部を負圧に保った状態であっても、シールベルト１６は、移動体２の移動に伴って移動するため、当該シールベルト１６がアクチュエータＣの内部から外部へその内気を外表面(シールベルト１６がアクチュエータＣの外部に露出する面)１６ａに沿って押し出してしまう場合がある。このように、アクチュエータＣの内気が装置の外部へ押し出されると、それに伴って、当該アクチュエータＣの内部から外部へ塵埃が散出してしまう場合がある。なお、このようなシールベルト１６によるアクチュエータＣの内気の押し出し作用は、当該シールベルト１６の移動速度、すなわち移動体２の移動速度が高速になるに従って大きくなるため、例えば、移動体２を高速移動させて製品の製造、検査などを行う際に、アクチュエータＣから発塵してしまう場合がある。
【特許文献１】実開平７−７８３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明は、このような課題を解決するためになされており、その目的は、内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
このような目的を達成するために、本発明のアクチュエータは、ハウジング内に配設された軌道部に沿って往復移動する移動体と、当該移動体を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、当該位置決め機構を駆動するための駆動装置とを備え、移動体の移動経路を成すハウジングのスリットを塞ぐための可動式のシールベルトが設けられている。このような構成において、ハウジングには、軌道部、移動体の少なくとも一部、位置決め機構の少なくとも一部、及びシールベルトを収容した主収容部と、主収容部の一端側に連続して駆動装置の少なくとも一部を収容した駆動装置収容部と、主収容部の他端側に連続してその内部に所定のスペースを有する空隙部とが、貫通孔を少なくとも１つ有する隔壁によって相互に隔てられて設けられており、当該駆動装置収容部及び空隙部の一方若しくは双方には、当該主収容部の内気を当該貫通孔を通して吸引する吸引口が少なくとも１つ設けられている。
この場合、貫通孔は、シールベルトがスリットの両端部でアクチュエータの内部から引き出されるとともに、当該アクチュエータの内部へ引き込まれる位置の近傍に設けられており、主収容部と駆動装置収容部、並びに主収容部と空隙部は、その内部が当該貫通孔によってのみ連通されている。
また、ハウジングの主収容部には、前記一端側から前記他端側までを貫通する通気孔が、隔壁の貫通孔と連通して形成されている。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シールベルトの外部への露出部近傍で内気を吸引することで、内部からの発塵を防止する効果に優れたアクチュエータを提供することが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータについて、添付図面を参照して説明する。なお、その際、上述した従来のアクチュエータＣ(図３(ａ)〜(ｄ)、図４(ａ)〜(ｃ)及び図５)と同一若しくは類似の構成については、図面上で同一の符号を付して、その説明を省略する。
【００１７】
図１(ａ)〜(ｆ)には、本発明の第１実施形態に係るアクチュエータＡが示されている。かかるアクチュエータＡには、ハウジング１０内に配設されたガイドレール４に沿ってスライダ８が移動する直動案内装置と、当該直動案内装置に案内されて往復移動する移動体２と、当該移動体２を往復移動及び所定の位置で停止させるための位置決め機構と、当該位置決め機構を駆動するための駆動装置とが備えられている。この場合、アクチュエータＡのハウジング１０は、一例として、その内部に直動案内装置、位置決め機構及び駆動装置を配設可能な所定のスペースを有する細長い矩形状を成して構成されている。
【００１８】
図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、直動案内装置として、２本のガイドレール４がハウジング１０の長手方向(図１(ａ)の左右方向)に沿って延出しており、当該ガイドレール４には、各ガイドレール４に沿って往復移動可能なスライダ８が２つずつ、合計４つ設けられている。この場合、アクチュエータＡには、一例として、各ガイドレール４の２つのスライダ８に固定されるとともに、２本のガイドレール４にスライダ８を介して跨った状態で、１つの移動体２が設けられている(図３(ｄ)参照)。
【００１９】
なお、直動案内装置として配設するガイドレール４の本数は、特に限定されず、例えば、１本のみであってもよいし、３本以上であってもよい。また、各ガイドレール４に設けるスライダ８の数は、特に限定されず、例えば、１つのみであってもよいし、３つ以上であってもよい。さらに、複数のガイドレール４を配設する場合、各ガイドレール４に設けるスライダ８の数は、全てのガイドレール４において同数でなくともよい。なお、スライダ８に固定する移動体２の数は、特に限定されず、例えば、各スライダ８に１つずつであってもよいし、２つ以上であってもよい。また、複数のスライダ８を設ける場合、各スライダ８に固定する移動体２の数は、全てのスライダ８において同数でなくともよい。
【００２０】
さらにまた、直動案内装置は、ガイドレール４に沿ってスライダ８を往復移動させることが可能な機構であればよく、その形式は特に限定されない。例えば、直動案内装置として、軌道溝を転動可能な複数の転動体(玉やころ)を備えた直動軸受、カムフォロア及びローラフォロアや、すべり軸受、空気軸受等の静圧軸受などを任意に選択して適用することができる。
例えば、ガイドレールは、上向きに開口した略コ字状の断面形状を有する構成(例えば、所定の底部と、対向する一対の壁部とを有する構成)とし、壁部の内側に移動体の移動方向へ沿った一対あるいは複数対の軌道溝を設けるようにしてもよい。この場合、移動体には、その側面(ガイドレールの壁部に対する対向面)に、ガイドレールの軌道溝と対向して一対あるいは複数対の軌道溝を設け、さらに当該移動体内には、転動体循環路を設ければよい。そして、多数の転動体(例えば、ボール)をガイドレール及び移動体の軌道溝の間で転動するように組み込むとともに、転動体循環路で循環させることで、移動体をガイドレールに沿って往復移動させることができる。さらに、この場合、ガイドレールは、ハウジングの一部を成すように構成してもよい。また、移動体とボールナットを一体的に構成してもよい。
【００２１】
また、図１(ａ)〜(ｆ)には、位置決め機構として、ボールねじ機構が適用され、当該ボールねじ機構のねじ軸２２を駆動する(回転する)ための駆動装置として、モータ６が適用された構成が一例として示されている。これにより、移動体２をガイドレール４(ねじ軸２２)に沿って往復移動及び位置決めしている。なお、位置決め機構としては、移動体２を往復移動させるとともに、所定の位置で停止させることができる機構であれば特に限定されず、ボールねじ機構の他、例えば、リニアモータ機構やベルト機構などを適用することもできる。
【００２２】
また、アクチュエータＡには、移動体２の移動経路を成すスリット(開口)１２が、ハウジング１０の上部(図１(ａ)の上側部分)に形成されている。図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、スリット１２は、一例として、移動体２の２つの凸状部２ａの移動経路をそれぞれ成すように、２つ形成されている。なお、ハウジング１０に形成するスリット１２の数は、例えば、移動体２(凸状部２ａ)の数やその移動経路の数などに応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００２３】
この場合、アクチュエータＡには、当該スリット１２を塞ぐための可動式のシールベルト１６が設けられている。図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、シールベルト１６は、一例として、２つのスリット１２による開口を塞ぐため、各スリット１２に１本ずつ、合計２本設けられている。なお、アクチュエータＡに設けるシールベルト１６の本数は、スリット１２による開口の数に応じて任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。また、各シールベルト１６は、所定の材質、長さ及び幅の１本のベルト素材で構成してもよいし、複数のベルト素材を連結して構成してもよい。
なお、特に図示しないが、アクチュエータＡは、図１(ａ)のＸ−Ｘ断面、及びＹ−Ｙ断面が、上述した従来のアクチュエータＣにおける図３(ａ)のＣ３−Ｃ３断面、及びＤ３−Ｄ３断面と同様となるように構成されている(図３(ｃ),(ｄ)参照)。
【００２４】
本実施形態において、ハウジング１０には、主収容部５０と、当該主収容部５０の一端側(図１(ａ)の左端側)に連続した駆動装置収容部５２と、当該主収容部５０の他端側(図１(ａ)の右端側)に連続した空隙部５４とが設けられている。この場合、主収容部５０には、直動案内装置(ガイドレール４及びスライダ８)、移動体２、位置決め機構(ボールねじ機構)及びシールベルト１６がそれぞれ収容され、駆動装置収容部５２には、駆動装置(モータ)６が収容されている。なお、空隙部５４は、その内部に所定のスペースを有している。
【００２５】
また、主収容部５０と駆動装置収容部５２との間、及び主収容部５０と空隙部５４との間には、アクチュエータＡ(特に、主収容部５０)の内気吸引用の貫通孔58a,56aを少なくとも１つ有する隔壁58,56がそれぞれ設けられている。すなわち、ハウジング１０には、主収容部５０、駆動装置収容部５２及び空隙部５４が、２つの隔壁58,56によって相互に隔てられた状態で設けられている。
なお、図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、一例として、２つの隔壁56,58には、それぞれ２つずつ貫通孔56a,58aが設けられている。
【００２６】
この場合、隔壁56,58の貫通孔56a,58aは、シールベルト１６がアクチュエータＡの内部から引き出されるとともに、当該アクチュエータＡの内部へ引き込まれる位置(以下、シールベルト出入口p1,p2という)に近傍する位置へ設けられている。
図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、主収容部５０と空隙部５４との間に位置する隔壁５６の２つの貫通孔５６ａは、一例として、２本のシールベルト１６と１つずつ対向し、且つ、各シールベルト１６のシールベルト出入口ｐ１の手前(図１(ａ)において、シールベルト出入口ｐ１の右側)に位置付けて設けられている。また、主収容部５０と駆動装置収容部５２との間に位置する隔壁５８の２つの貫通孔５８ａは、一例として、２本のシールベルト１６と１つずつ対向し、且つ、各シールベルト１６のシールベルト出入口ｐ２の手前(図１(ａ)において、シールベルト出入口ｐ２の左側)に位置付けて設けられている。
これにより、主収容部５０と駆動装置収容部５２は、その内部が実質的に隔壁５８の２つの貫通孔５８ａによってのみ連通され、主収容部５０と空隙部５４は、その内部が実質的に隔壁５６の２つの貫通孔５６ａによってのみ連通されている。
【００２７】
なお、隔壁56,58の貫通孔56a,58aは、一例として、シールベルト１６の幅(図１(ｄ),(ｅ)の左右方向の距離)と略同一の幅で、当該シールベルト１６の厚さ(図１(ｃ)の上下方向の距離)よりも若干大きな高さの長方形を成すように構成されている(図１(ｃ)〜(ｅ)参照)。なお、隔壁56,58の貫通孔56a,58aの大きさや形状は、例えば、シールベルト１６の幅や厚さなどにより任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
また、隔壁56,58の貫通孔56a,58aは、当該隔壁56,58が対向するシールベルト１６の本数に応じて、当該シールベルト１６の本数と同じ数だけ設ければよい。なお、隔壁56,58の貫通孔56a,58aは、対向するシールベルト１６の本数と異なる数(例えば、図１(ｄ),(ｅ)に示す構成では、１つあるいは３つ以上)だけ設けてもよいが、後述するアクチュエータＡ(特に、主収容部５０)の内気をシールベルト出入口p1,p2の近傍で強力に吸引する効果を最大限に発揮させるためには、隔壁56,58が対向するシールベルト１６の本数に応じて、当該シールベルト１６の本数と同じ数だけ設けることが好ましい。
さらに、貫通孔56a,58aの形成方法も特に限定されず、例えば、隔壁56,58に打ち抜き加工や切削加工を施すなど任意の方法によって形成すればよい。
【００２８】
また、アクチュエータＡには、その内気(特に、主収容部５０の内気)を隔壁56,58の貫通孔56a,58aを通して吸引する吸引口62,60が、ハウジング１０の駆動装置収容部５２及び空隙部５４の一方若しくは双方に、少なくとも１つ設けられている。
なお、隔壁５６は、図１(ｅ)に示すように、ボールねじのねじ軸２２を軸受２２ａを介して支持する軸受支持部を兼ねているため、ねじ軸２２を支持する軸受２２ａを収容する貫通孔５６ｃを有する。しかしながら、軸受２２ａは、シールを備え、ねじ軸２２とのすきまも微小であるため、当該貫通孔５６ｃは、実質的に閉塞されている。また、隔壁５８は、モータ６の取付面を兼ね、モータ６の回転軸６ａを主収容部５０に臨ませる貫通孔５８ｃを有するが、モータ６本体が取り付けられることにより、当該貫通孔５８ｃも閉塞される。なお、図１(ｆ)に示すように、ねじ軸２２は、モータ６側端部付近(同図の左端部付近)で軸受(図示しない)を介して軸受支持部２２ｘにより支持され、軸端(同図の左端)は、モータ６の回転軸６ａと継手２２ｙを介して連結されている。
【００２９】
図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、一例として、アクチュエータＡには、ハウジング１０の駆動装置収容部５２及び空隙部５４の双方に、吸引口62,60がそれぞれ１つずつ設けられている。
この場合、吸引口62,60は、連結部材(例えば、連結チューブや連結管など)を介して、所定の吸引機構(図示しない)と連結されており、当該吸引機構によって、アクチュエータＡの内気を吸引することで、当該アクチュエータＡの内部を減圧するとともに、負圧に保つことができる。なお、吸引機構としては、アクチュエータＡの内部からその内気を連続的あるいは断続的に吸引することができる機構であれば特に限定されず、例えば、各種の吸引装置や吸引ポンプなどを適用することができる。
【００３０】
本実施形態において、ハウジング１０の空隙部５４には、一例として、その一端側(主収容部５０との連続側とは反対側(図１(ａ)の右端側))の端部に、所定の大きさの内径を成して当該空隙部５４の内側(図１(ａ),(ｃ)の左側)から外側(図１(ａ),(ｃ)の右側)までを貫通する貫通孔５４ａが形成されており、当該貫通孔５４ａには、吸引機構(図示しない)との接続用の環状部材(貫通孔側接続部材)７０が設けられている。また、吸引機構(図示しない)へ連結された連結部材(吸引チューブ６４)の先端部には、当該貫通孔５４ａとの接続用の環状部材(吸引機構側接続部材)７２が設けられている。
【００３１】
このような構成において、例えば、貫通孔側接続部材７０の外周部に所定の螺旋状溝(雌ねじ部(図示しない))を形成するとともに、吸引機構側接続部材７２の内周部に当該螺旋状溝(雌ねじ部)と螺合する所定の螺旋状溝(雄ねじ部(図示しない))を形成し、当該両螺旋状溝(雌ねじ部と雄ねじ部)を螺合させることで、空隙部５４の貫通孔５４ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ６４とを接続して連結させることができる。これにより、空隙部５４の内部において開口する吸引口６０を構成することができる。
【００３２】
この場合、吸引口６０は常時開口状態であってもよいし、例えば、タイマーなどにより開口状態と閉口状態とを所定間隔や所定時間により切り替えるようにしてもよい。なお、貫通孔側接続部材７０及び吸引機構側接続部材７２としては、例えば、各種の継手(隔壁ユニオン)などを適用すればよい。
また、この場合、ハウジング１０の空隙部５４は、その内部に開口した吸引口６０が、対向する隔壁５６との間に所定の間隔を空けて、当該隔壁５６と非接触状態に位置付けられるだけの空隙(スペース)を、当該隔壁５６との間に形成できるように構成されている。
【００３３】
また、空隙部５４の貫通孔５４ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ６４との連結位置、すなわち吸引口６０の開口位置は、例えば、ハウジング１０の大きさなどにより所定の位置に設定されるため、ここでは特に限定しない。図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、一例として、ハウジング１０(空隙部５４)の幅方向(図１(ｅ)の左右方向)距離の略中間位置であって、ハウジング１０(空隙部５４)の高さ方向(図１(ａ),(ｃ)及び(ｅ)の上下方向)の一端側(図１(ａ),(ｃ)及び(ｅ)の上端側)寄りの位置に、吸引口６０が開口されている。
【００３４】
なお、吸引口６０の大きさや形状は、例えば、ハウジング１０の大きさや吸引チューブ６４の形状などにより任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。また、図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、ハウジング１０の空隙部５４には、吸引口６０を１つだけ設けたが、吸引口６０は、２つ以上設けてもよい。例えば、主収容部５０との間の隔壁５６に設けられた２つの貫通孔５６ａと対向する位置に、それぞれ１つずつ(合計２つ)設けてもよい。さらに、吸引口６０の形成方法も特に限定されず、例えば、ハウジング１０(空隙部５４)と一体的に成形してもよいし、成形後のハウジング１０(空隙部５４)に対して、切削加工などを施して形成してもよい。
【００３５】
また、本実施形態においては、一例として、ハウジング１０の駆動装置収容部５２には、その一端側(主収容部５０との連続側とは反対側(図１(ａ)の左端側))の端部に、所定の大きさの内径を成して当該駆動装置収容部５２の内側(図１(ａ),(ｆ)の右側)から外側(図１(ａ),(ｆ)の左側)までを貫通する貫通孔５２ａが形成されており、当該貫通孔５２ａには、吸引機構(図示しない)との接続用の環状部材(貫通孔側接続部材)７０が設けられている。また、吸引機構(図示しない)へ連結された連結部材(吸引チューブ６６)の先端部には、当該貫通孔５２ａとの接続用の環状部材(吸引機構側接続部材)７２が設けられている。
【００３６】
このような構成によれば、上述した空隙部５４の貫通孔５４ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ６４との連結の場合と同様に、駆動装置収容部５２の貫通孔５２ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ６６とを連結させることができる。これにより、駆動装置収容部５２の内部において開口する吸引口６２を構成することができる。
この場合、上述した空隙部５４に設けた吸引口６０の場合と同様に、駆動装置収容部５２の吸引口６２は、常時開口状態であってもよいし、開口状態と閉口状態とを任意に切り替えるようにしてもよい。また、ハウジング１０の駆動装置収容部５２は、その内部に開口した吸引口６２が、対向するモータ６との間に所定の間隔を空けて、当該モータ６と非接触状態に位置付けられるだけの空隙(スペース)を、当該モータ６との間に形成できるように構成されている。
【００３７】
なお、駆動装置収容部５２の貫通孔５２ａと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ６６との連結位置、すなわち吸引口６２の開口位置は、例えば、ハウジング１０の大きさなどにより所定の位置に設定されるため、ここでは特に限定しない。図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、一例として、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の幅方向(図１(ｄ)の左右方向、図１(ｆ)の上下方向)の一端側(図１(ｄ)の右端側、図１(ｆ)の下端側)寄りの位置であって、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の高さ方向(図１(ａ),(ｄ)の上下方向)の一端側(図１(ａ),(ｄ)の下端側)寄りの位置に、吸引口６２が開口されている。また、吸引口６２の大きさや形状は、例えば、ハウジング１０の大きさや吸引チューブ６６の形状などにより任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。
【００３８】
また、図１(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、ハウジング１０の駆動装置収容部５２には、吸引口６２を１つだけ設けたが、吸引口６２は、２つ以上設けてもよい。例えば、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の幅方向(図１(ｄ)の左右方向、図１(ｆ)の上下方向)の一端側(図１(ｄ)の右端側、図１(ｆ)の下端側)、及び他端側(図１(ｄ)の左端側、図１(ｆ)の上端側)に、それぞれ１つずつ(合計２つ)設けてもよい。また、駆動装置収容部５２に設ける吸引口６２の数は、上述した空隙部５４に設ける吸引口６０の数と同数であってもよいし、異なっていてもよい。さらに、吸引口６２の形成方法は、特に限定されず、例えば、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)と一体的に成形してもよいし、成形後のハウジング１０(駆動装置収容部５２)に対して、切削加工などを施して形成してもよい。
【００３９】
以上のような構成によれば、アクチュエータＡの内気を吸引機構(図示しない)によってハウジング１０の空隙部５４内の吸引口６０、及び駆動装置収容部５２内の吸引口６２からそれぞれ吸引すると、当該内気は、ハウジング１０の主収容部５０から隔壁56,58の貫通孔56a,58aを通って空隙部５４及び駆動装置収容部５２へ流動し、吸引口60,62から吸引チューブ64,66を経て、吸引機構を通してアクチュエータＡの外部へ排出される。その際、ハウジング１０の主収容部５０と空隙部５４、並びに主収容部５０と駆動装置収容部５２は、その内部が隔壁56,58の貫通孔56a,58aによってのみ連通されているため、ハウジング１０の主収容部５０から空隙部５４及び駆動装置収容部５２への内気の流動を当該貫通孔56a,58aに集中させ、当該内気の吸引口60,62への吸引速度を上げることができる。これにより、吸引口60,62からアクチュエータＡ(特に、主収容部５０)の内気を強力に吸引し、排出することができる。
【００４０】
また、本実施形態においては、特に、隔壁56,58の貫通孔56a,58aをシールベルト出入口p1,p2の近傍に位置付けて設けている。このため、隔壁56,58の貫通孔56a,58aをシールベルト出入口p1,p2の近傍、例えば、当該シールベルト出入口p1,p2の手前(図１(ａ)中に示すシールベルト出入口ｐ１の右側、及びシールベルト出入口ｐ２の左側))に位置付けて設けるだけで、当該シールベルト１６が、その外表面(シールベルト１６がアクチュエータＡの外部に露出する面)１６ａに沿って、塵埃を含んだ内気をアクチュエータＡ(特に、主収容部５０)の内部から外部へ押し出してしまう前に、確実に当該内気を吸引口60,62から強力に吸引し、排出することができる。
【００４１】
また、このような内気の吸引に伴って、シールベルト出入口p1,p2において、シールベルト１６と空隙部５４、並びにシールベルト１６と駆動装置収容部５２との間の隙間(一例として、図１(ｃ)には、シールベルト１６と空隙部５４との間の隙間ｓ１のみ示す)には吸引圧がかかり、当該隙間から外気(アクチュエータＡの設置場所の空気(雰囲気))がアクチュエータＡの内部へ吸引される。すなわち、アクチュエータＡの雰囲気は、当該アクチュエータＡの外部から内部へ入って吸引機構(図示しない)へ至る経路で流動する。
【００４２】
この結果、アクチュエータＡの内部から外部への塵埃の散出を確実に防止することができ、アクチュエータＡの内部からの発塵を防止する効果を格段に向上させることができる。これにより、例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内であっても、アクチュエータＡを使用することができる。
【００４３】
なお、本実施形態においては、吸引口６０をハウジング１０の空隙部５４の一端側(主収容部５０との連続側とは反対側(図１(ａ)の右端側))の端部に設けるとともに、吸引口６２をハウジング１０の駆動装置収容部５２の一端側(主収容部５０との連続側とは反対側(図１(ａ)の左端側))の端部に設けている。すなわち、アクチュエータＡには、吸引口60,62がその長手方向(図１(ａ)の左右方向)に集約して設けられている。このため、アクチュエータＡは、その幅(図１(ｄ),(ｅ)の左右方向の距離、図１(ｆ)の上下方向の距離)を上述した従来のアクチュエータＣよりもコンパクトにすることができる。
【００４４】
また、図２(ａ)〜(ｆ)には、本発明の第２実施形態に係るアクチュエータＢが示されている。かかるアクチュエータＢにおいて、直動案内装置(ガイドレール４及びスライダ８)、移動体２、位置決め機構(ボールねじ機構)、駆動装置(モータ)６、シールベルト１６及びプーリ１４などの基本的な構成部材は、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡと同様に構成されている。このため、以下では、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡと異なる構成部材について説明し、同一若しくは類似の構成には、図面上で同一符号を付して、その説明を省略する。
【００４５】
本実施形態において、ハウジングの主収容部５０には、一端側(駆動装置収容部５２との連続側(図２(ａ)の左側))から他端側(空隙部５４との連続側(図２(ａ)の右側))までを貫通する通気孔８０が設けられている。図２(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、通気孔８０は、一例として、ハウジング１０(主収容部５０)の底部(図２(ａ),(ｄ)の下側の部分)に設けられた２つのシールベルト収容孔１８の間に、当該シールベルト収容孔１８の貫通方向(図２(ａ)の左右方向)に沿って平行に延出するように１つだけ設けられている。
この場合、通気孔８０は、その長さが一端側(図２(ａ)の左下側)のプーリ１４から他端側(図２(ａ)の右下側)のプーリ１４までの距離と略同一の所定の長さであって、その内径が所定の大きさを成す円孔として構成されている。
【００４６】
なお、通気孔８０の形状(全体形状及び断面形状)、大きさ、数及び位置などは、例えば、ハウジング１０の大きさやシールベルト収容孔１８の位置などによって任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。例えば、通気孔８０は、ハウジング１０(主収容部５０)の底部(図２(ａ),(ｄ)の下側の部分)に、ハウジング１０(主収容部５０)の幅方向(図２(ｄ)の左右方向)の一端側(例えば、図２(ｄ)の右側あるいは左側)に１つだけ設けてもよい。また、通気孔８０は、シールベルト収容孔１８の下方の位置(例えば、図２(ａ),(ｄ)において、シールベルト収容孔１８の下側)にそれぞれ１つずつ(合計２つ)、その内径が所定の大きさを成す円孔や当該シールベルト収容孔１８よりも小さな角孔として構成してもよい。
さらに、通気孔８０の形成方法も特に限定されず、例えば、ハウジング１０(主収容部５０)と一体的に成形してもよいし、成形後のハウジング１０(主収容部５０)に対して、切削加工などを施して形成してもよい。例えば、ハウジング１０を引抜きなどの塑性加工により形成し、その際、通気孔８０をハウジング１０と同時に形成すれば、加工コストの増加もほとんどなく、好ましい。
【００４７】
また、本実施形態において、主収容部５０と空隙部５４との間の隔壁５６及び主収容部５０と駆動装置収容部５２との間の隔壁５８には、シールベルト１６と対向するとともに、当該シールベルト１６のシールベルト出入口p1,p2の近傍に位置付けて設けられた貫通孔56a,58aに加えて、主収容部５０の通気孔８０と連通して貫通孔(通気用貫通孔)56b,58bが設けられている。
【００４８】
図２(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、通気用貫通孔５６ｂは、一例として、隔壁５６の底部(図２(ａ),(ｃ)及び(ｅ)の下側の部分)を主収容部５０側(図２(ａ)の左側)から空隙部５４側(図２(ａ)の右側)まで貫通して形成されており、その内径が主収容部５０の通気孔８０の内径と略同一の大きさを成す円孔として構成されている。また、通気用貫通孔５８ｂは、一例として、隔壁５８の底部(図２(ａ),(ｂ)の下側の部分)を主収容部５０側(図２(ａ)の右側)から駆動装置収容部５２側(図２(ａ)の左側)まで貫通して形成されており、その内径が主収容部５０の通気孔８０の内径と略同一の大きさを成す円孔として構成されている。
なお、通気用貫通孔56b,58bの形状(全体形状及び断面形状)、大きさ、数及び位置などは、通気孔８０と連通可能であれば特に限定されず、例えば、ハウジング１０や隔壁56,58の大きさなどによって任意に設定することができる。また、通気用貫通孔56b,58bの形成方法も特に限定されず、例えば、隔壁56,58に打ち抜き加工や切削加工を施すなど任意の方法によって形成すればよい。
【００４９】
これにより、ハウジング１０の空隙部５４と駆動装置収容部５２とは、その内部が隔壁５６の通気用貫通孔５６ｂ、主収容部５０の通気孔８０及び隔壁５８の通気用貫通孔５８ｂによって、主収容部５０の内部を介さずに、直接連通される。なお、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡの場合と同様に、ハウジング１０の主収容部５０と駆動装置収容部５２は、その内部が実質的に隔壁５８の２つの貫通孔５８ａによってのみ連通され、主収容部５０と空隙部５４は、その内部が実質的に隔壁５６の２つの貫通孔５６ａによってのみ連通されている。
【００５０】
また、本実施形態においては、ハウジング１０の駆動装置収容部５２にのみ、アクチュエータＢ(特に、主収容部５０)の内気を隔壁56,58の貫通孔56a,58aを通して吸引する吸引口60,62が設けられている。すなわち、シールベルト出入口ｐ１の近傍で内気を吸引するための吸引口６０を、空隙部５４へ設ける代わりに駆動装置収容部５２へ設けることで、吸引口60,62を駆動装置収容部５２に集約させた構成を成している。
【００５１】
図２(ａ)〜(ｆ)に示す構成において、アクチュエータＢには、一例として、ハウジング１０の駆動装置収容部５２に、吸引口60,62がそれぞれ１つずつ設けられている。かかる吸引口60,62からアクチュエータＢの内気を吸引することで、当該アクチュエータＢの内部を減圧するとともに、負圧に保つことができる。
また、この場合、ハウジング１０の駆動装置収容部５２には、その一端側(主収容部５０との連続側とは反対側(図２(ａ)の左端側))の端部に、所定の大きさの内径を成して当該駆動装置収容部５２の内側(図２(ａ),(ｆ)の右側)から外側(図２(ａ),(ｆ)の左側)までを貫通する貫通孔52a,52bが形成されており、当該貫通孔52a,52bには、吸引機構(図示しない)との接続用の環状部材(貫通孔側接続部材)７０が設けられている。また、吸引機構(図示しない)へ連結された連結部材(吸引チューブ64,66)の先端部には、当該貫通孔52a,52bとの接続用の環状部材(吸引機構側接続部材)７２が設けられている。
【００５２】
また、本実施形態において、吸引口６０には、連結チューブ８２が接続されており、当該連結チューブ８２の先端部８４は、主収容部５０と駆動装置収容部５２との間の隔壁５８に設けられた通気用貫通孔５８ｂと連結されている。この場合、連結チューブ８２と通気用貫通孔５８ｂとの連結手段は特に限定されず、任意の手段により両者を連結させればよい。例えば、連結チューブ８２の先端部８４に上述した吸引機構側接続部材７２と同様の接続用の環状部材を設けるとともに、通気用貫通孔５８ｂに上述した貫通孔側接続部材７０と同様の接続用の環状部材を設けて、当該接続部材同士を接続してもよいし、連結チューブ８２の先端部８４を通気用貫通孔５８ｂへ接着剤などにより接合してもよい。
【００５３】
これにより、駆動装置収容部５２の吸引口６０は、連結チューブ８２を介して隔壁５８の通気用貫通孔５８ｂと連通され、さらに、主収容部５０の通気孔８０及び隔壁５６の通気用貫通孔５６ｂを経て空隙部５４まで連通される。この結果、アクチュエータＢには、空隙部５４から駆動装置収容部５２の吸引口６０まで至る、内気の流動経路を形成することができる。
【００５４】
このような構成によれば、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡの場合と同様に、駆動装置収容部５２の貫通孔52a,52bと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ66,64とを連結させることができる。これにより、駆動装置収容部５２の内部において開口する吸引口６２を構成することができる。さらに、連結チューブ８２、通気用貫通孔56b,58b、及び通気孔８０を介して、空隙部５４の内部と連通する吸引口６０を構成することができる。この場合、吸引口60,62は常時開口状態であってもよいし、例えば、タイマーなどにより開口状態と閉口状態とを所定間隔や所定時間により切り替えるようにしてもよい。
【００５５】
なお、駆動装置収容部５２の貫通孔52a,52bと吸引機構(図示しない)の吸引チューブ66,64との連結位置、すなわち吸引口62,60の開口位置は、例えば、ハウジング１０の大きさなどにより所定の位置に設定されるため、ここでは特に限定しない。
図２(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、一例として、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の幅方向(図２(ｆ)の上下方向)の一端側(図２(ｆ)の下端側)寄りの位置であって、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の高さ方向(図２(ａ)の上下方向)の一端側(図２(ａ)の下端側)寄りの位置に、吸引口６０が開口されている。また、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の幅方向(図２(ｆ)の上下方向)の他端側(図２(ｆ)の上端側)寄りの位置であって、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)の高さ方向(図２(ａ)の上下方向)の一端側(図２(ａ)の下端側)寄りの位置に、吸引口６２が開口されている。
【００５６】
なお、吸引口60,62の大きさや形状は、例えば、ハウジング１０の大きさや吸引チューブ64,66の形状などにより任意に設定されるため、ここでは特に限定しない。また、図２(ａ)〜(ｆ)に示す構成においては、ハウジング１０の駆動装置収容部５２には、吸引口60,62をそれぞれ１つずつ設けたが、２つずつ以上設けてもよい。この場合、吸引口６０及び吸引口６２の数は同数であってもよいし、異なっていてもよい。また、吸引口60,62の形成方法は、特に限定されず、例えば、ハウジング１０(駆動装置収容部５２)と一体的に成形してもよいし、成形後のハウジング１０(駆動装置収容部５２)に対して、切削加工などを施して形成してもよい。
【００５７】
なお、ハウジング１０の駆動装置収容部５２は、その内部に開口した吸引口６２が、対向するモータ６との間に所定の間隔を空けて、当該モータ６と非接触状態に位置付けられるとともに、吸引口６０に接続された連結チューブ８２を収容できるだけの空隙(スペース)を、当該モータ６及び隔壁５８との間に形成できるように構成されている。
また、ハウジング１０の空隙部５４は、隔壁５６(主収容部５０)との間に所定の空隙(スペース)を形成することができるように構成されている。この場合、当該スペースは、吸引口60,62を駆動装置収容部５２に集約したため、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡの場合よりも、小さく設定することができる。
【００５８】
以上のような構成によれば、アクチュエータＢの内気を吸引機構(図示しない)によってハウジング１０の駆動装置収容部５２内の吸引口60,62からそれぞれ吸引すると、当該内気は、ハウジング１０の主収容部５０から隔壁56,58の貫通孔56a,58aを通って空隙部５４及び駆動装置収容部５２へ流動し、吸引口60,62から吸引チューブ64,66を経て、吸引機構を通してアクチュエータＢの外部へ排出される。その際、ハウジング１０の主収容部５０と空隙部５４、並びに主収容部５０と駆動装置収容部５２は、その内部が実質的に隔壁56,58の貫通孔56a,58aによってのみ連通されているため、ハウジング１０の主収容部５０から空隙部５４及び駆動装置収容部５２への内気の流動を当該貫通孔56a,58aに集中させ、当該内気の吸引口60,62への吸引速度を上げることができる。これにより、吸引口60,62からアクチュエータＢ(特に、主収容部５０)の内気を強力に吸引し、排出することができる。
【００５９】
なお、本実施形態において、ハウジング１０の主収容部５０から隔壁５６の貫通孔５６ａを通って空隙部５４へ流動したアクチュエータＢ(特に、主収容部５０)の内気は、さらに、隔壁５６の通気用貫通孔５６ｂから主収容部５０の通気孔８０、隔壁５８の通気用貫通孔５８ｂ及び連結チューブ８２をそれぞれ通って、駆動装置収容部５２の吸引口６０まで至る経路で流動する。そして、駆動装置収容部５２の吸引口６０から吸引チューブ６４を経て、吸引機構(図示しない)を通してアクチュエータＢの外部へ排出されている。
【００６０】
また、本実施形態においては、特に、隔壁56,58の貫通孔56a,58aをシールベルト出入口p1,p2の近傍に位置付けて設けている。このため、隔壁56,58の貫通孔56a,58aをシールベルト出入口p1,p2の近傍、例えば、当該シールベルト出入口p1,p2の手前(図２(ａ)中に示すシールベルト出入口ｐ１の右側、及びシールベルト出入口ｐ２の左側))に位置付けて設けるだけで、当該シールベルト１６が、その外表面(シールベルト１６がアクチュエータＢの外部に露出する面)１６ａに沿って、塵埃を含んだ内気をアクチュエータＢ(特に、主収容部５０)の内部から外部へ押し出してしまう前に、確実に当該内気を吸引口60,62から強力に吸引し、排出することができる。
【００６１】
また、このような内気の吸引に伴って、シールベルト出入口p1,p2において、シールベルト１６と空隙部５４、並びにシールベルト１６と駆動装置収容部５２との間の隙間(図示しない)には吸引圧がかかり、当該隙間から外気(アクチュエータＢの設置場所の空気(雰囲気))がアクチュエータＢの内部へ吸引される。すなわち、アクチュエータＢの雰囲気は、当該アクチュエータＢの外部から内部へ入って吸引機構(図示しない)へ至る経路で流動する。
【００６２】
この結果、アクチュエータＢの内部から外部への塵埃の散出を確実に防止することができ、アクチュエータＢの内部からの発塵を防止する効果を格段に向上させることができる。これにより、例えば、半導体などの精密機器の製造や検査を行うため、限りなく無塵状態に保つ必要のあるクリーンルーム内であっても、アクチュエータＢを使用することができる。
【００６３】
なお、本実施形態に係るアクチュエータＢにおいては、吸引口60,62を駆動装置収容部５２にのみ設けている(駆動装置収容部５２に集約させている)。このため、例えば、モータ６を制御するための配線と吸引機構(図示しない)の吸引チューブ64,66の配設をアクチュエータＢの駆動装置収容部５２側(図２(ａ),(ｆ)の左側)に集約させることができる。この結果、上述した第１実施形態に係るアクチュエータＡよりも、その長さ(図１(ａ)及び図２(ａ)の左右方向の距離)をコンパクトにすることができる。
【００６４】
また、本実施形態に係るアクチュエータＢにおいては、吸引口60,62を駆動装置収容部５２に集約させたが、当該吸引口60,62は、空隙部５４に集約させて設けてもよい。すなわち、シールベルト出入口ｐ２の近傍で内気を吸引するための吸引口６２を、駆動装置収容部５２へ設ける代わりに空隙部５４へ設けることで、吸引機構の吸引口60,62を空隙部５４に集約させた構成としてもよい。
この場合、例えば、吸引口６２と、ハウジング１０の主収容部５０と空隙部５４との間の隔壁５６に設けられた通気用貫通孔５６ｂとを、上述した連結チューブ８２と同様の連結チューブなどで接続し、連結させればよい。
【００６５】
ここで、第１実施形態及び第２実施形態に係るアクチュエータA,Bの発塵防止効果について所定の試験を行い、検証した。かかる試験においては、アクチュエータA,Bを低速から高速に至る複数の設定速度で運転させた場合における当該アクチュエータA,Bからの発塵量を測定した。なお、試験中は、吸引機構により、アクチュエータA,Bの内気を吸引し、当該アクチュエータA,Bの内部が負圧状態となるようにした。
この結果、移動体が１秒間に１２００ミリメートル移動する高速度でアクチュエータA,Bを運転させた場合であっても、当該アクチュエータA,Bは、米国連邦規格(USA Fed Std)の２０９Ｄに規格されたクラス１０相当のクリーン度(清浄度)を有することが検証により、確認できた。
【００６６】
なお、上述した第１実施形態及び第２実施形態においては、モータ６の本体全体が駆動装置収容部５２に収容され、その回転軸と本体の端面の一部のみが主収容部５０に位置するように構成したが(図１(ａ),(ｆ)及び図２(ａ),(ｆ))、必ずしもこのような構成には限定されない。例えば、駆動装置収容部５２の端面にモータ取付部を設け、モータ本体を駆動装置収容部５２の外側に固定するようにしてもよい。この場合、モータ取付部に設けた貫通孔を通して、モータの回転軸が駆動装置収容部５２に位置する。また、ねじ軸２２のモータ６側の軸受支持部を隔壁５８に設け、駆動装置収容部５２に臨むねじ軸２２の端部とモータ回転軸とが継手を介して連結されるようにする。この場合も、軸受支持部のすきまを微小にすることで、吸引により流動する空気(雰囲気)のほぼ大部分が、シールベルト出入口p1,p2の近傍を通るようにすることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の第１実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、(ａ)は、全体を示す縦断面図、(ｂ)は、吸引口の位置を説明するための平面図、(ｃ)は、シールベルト出入口近傍の拡大断面図、(ｄ)は、同図(ａ)のＤ１−Ｄ１線に沿う断面図、(ｅ)は、同図(ａ)のＥ１−Ｅ１線に沿う断面図、(ｆ)は、駆動装置近傍を一部断面で示した平面図。
【図２】本発明の第２実施形態に係るアクチュエータの構成を示す図であって、(ａ)は、全体を示す縦断面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＢ２−Ｂ２線に沿う断面図、(ｃ)は、同図(ａ)のＣ２−Ｃ２線に沿う断面図、(ｄ)は、同図(ａ)のＤ２−Ｄ２線に沿う断面図、(ｅ)は、同図(ａ)のＥ２−Ｅ２線に沿う断面図、(ｆ)は、駆動装置近傍を一部断面で示した平面図。
【図３】従来のアクチュエータの構成例を示す図であって、(ａ)は、全体を示す縦断面図、(ｂ)は、同図(ａ)のＢ３−Ｂ３線に沿う断面図、(ｃ)は、同図(ａ)のＣ３−Ｃ３線に沿う断面図、(ｄ)は、同図(ａ)のＤ３−Ｄ３線に沿う断面図。
【図４】従来のアクチュエータの構成例を示す図であって、(ａ)は、吸引口の位置を説明するための平面図、(ｂ)は、シールベルト出入口近傍の拡大断面図、(ｃ)は、駆動装置近傍を一部断面で示した平面図。
【図５】従来のアクチュエータの全体構成例を示す斜視図。
【符号の説明】
【００６８】
２  移動体
４  ガイドレール
６  駆動装置
８  スライダ
１０  ハウジング
１２  スリット
１４  プーリ
１６  シールベルト
１８  シールベルト収容孔
２２  ねじ軸
５０  主収容部
５２  駆動装置収容部
５４  空隙部
５６，５８  隔壁
５６ａ，５６ｂ，５６ｃ，５８ａ，５８ｂ，５８ｃ  貫通孔
６０，６２  吸引口
６４，６６  吸引チューブ
８０  通気孔
８２  連結チューブ
Ａ，Ｂ  アクチュエータ
ｐ1,ｐ2  シールベルト出入口
ｓ１  シールベルト−空隙部間の隙間
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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