(57)【要約】【課題】  構造および製造工程を簡略化して、太陽電池モジュールの軽量化、部品点数の削減、および低コスト化が可能となる薄膜太陽電池モジュールおよびその製造方法を提供する。【解決手段】  薄膜太陽電池モジュール１は、透光性基板２の裏面に形成された薄膜太陽電池セル３の周囲で透光性基板２に接着して形成された枠状のスペーサ４と、スペーサ４の枠内に充填され薄膜太陽電池セル３を被覆する低反発性樹脂部５と、低反発性樹脂部５の表面（外側）を被覆する裏面シート６を備える。なお、裏面シート６は低反発性樹脂部５およびスペーサ４に接着してあり、薄膜太陽電池セル３の電極（出力端子）を外部に導出するための端子用穴６ｈが設けてある。【選択図】  図１
2007067001.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
透光性基板と、該透光性基板の裏面に形成された薄膜太陽電池セルと、該薄膜太陽電池セルを被覆する低反発性樹脂部と、低反発性樹脂部を被覆する裏面シートとを備えることを特徴とする薄膜太陽電池モジュール。
【請求項２】
前記透光性基板と前記裏面シートとの間の外周部に前記低反発性樹脂部を囲むスペーサを備えることを特徴とする請求項１に記載の薄膜太陽電池モジュール。
【請求項３】
前記スペーサは、防湿性素材で形成してあることを特徴とする請求項２に記載の薄膜太陽電池モジュール。
【請求項４】
前記防湿性素材は、ブチルゴムであることを特徴とする請求項３に記載の薄膜太陽電池モジュール。
【請求項５】
前記低反発性樹脂部は、アクリル系樹脂を主成分としてあることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一つに記載の薄膜太陽電池モジュール。
【請求項６】
透光性基板と、該透光性基板の裏面に形成された薄膜太陽電池セルと、該薄膜太陽電池セルを被覆する低反発性樹脂部と、低反発性樹脂部を被覆する裏面シートと、前記透光性基板と前記裏面シートとの間の外周部で前記低反発性樹脂部を囲むスペーサとを備える薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、
前記スペーサを介して前記裏面シートを前記透光性基板に接着する工程と、
前記スペーサの一端面に設けた注入孔から前記薄膜太陽電池セルと前記裏面シートの間に低反発性樹脂を注入する工程と、
前記低反発性樹脂を硬化して前記低反発性樹脂部を形成する工程と
を備えることを特徴とする薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項７】
前記低反発性樹脂を注入する工程は、前記透光性基板を立てて、前記注入孔が設けられた前記一端面に排気孔を設けた状態で行われることを特徴とする請求項６に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項８】
前記低反発性樹脂はアクリル系樹脂を主成分とし、硬化温度を５０℃前後としてあることを特徴とする請求項６または請求項７に記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項９】
前記低反発性樹脂を注入する工程および前記低反発性樹脂部を形成する工程は、前記透光性基板と平行な平面を構成する平行板を前記裏面シートに当接した状態で行われることを特徴とする請求項６ないし請求項８のいずれか一つに記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１０】
前記低反発性樹脂は脱泡処理を施してあることを特徴とする請求項６ないし請求項９のいずれか一つに記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【請求項１１】
前記裏面シートは前記透光性基板と対向する面にコロナ処理を施してあることを特徴とする請求項６ないし請求項１０のいずれか一つに記載の薄膜太陽電池モジュールの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、透光性基板に形成した薄膜太陽電池セルを備える薄膜太陽電池モジュールおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
図７は、従来例に係る太陽電池モジュールの構造を示す分解斜視図である。
【０００３】
従来例に係る太陽電池モジュール１０１は、強化ガラスで構成された透光性基板１０２、接着シート１０３、結晶太陽電池セルを多数連結して構成した多連太陽電池セル１０４、接着シート１０５、裏面シート１０６を互いに積層、接着して形成される。
【０００４】
多連太陽電池セル１０４は、一般的に厚さが数百μｍ程度であり、極めて薄いことから、機械的強度が弱いという問題があり、外力により多連太陽電池セル１０４が破損して飛散することを防止するために強化ガラスで構成された透光性基板１０２により保持する構造として、機械的強度を確保している。
【０００５】
したがって、透光性基板１０２（強化ガラス）の板厚は、充分な機械的強度を確保する必要があることから、要求される仕様強度に対応させて充分な厚さのものが採用されるので、重量的に大きなものになるという問題がある。
【０００６】
多連太陽電池セル１０４は、両面を接着シート１０３および接着シート１０５で挟まれ、両側で対向する透光性基板１０２および裏面シート１０６にそれぞれ接着される。接着シート１０３および接着シート１０５は、接着性、耐湿性を考慮して一般的にＥＶＡ（エチレン／酢酸ビニル重合体）シートが使われる。また、裏面シート１０６としては、耐湿性を考慮して一般的にＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムが用いられる。
【０００７】
このような積層構造を有する太陽電池モジュールは例えば、特許文献１、特許文献２に開示されている。
【特許文献１】特開２００１−７３７６号公報
【特許文献２】特開平１１−３１８３４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の技術には以下のような問題があった。
【０００９】
上述したとおり、強化ガラスを用いることから、太陽電池モジュールの重量が大きなものとなり、また、多連太陽電池セルを両面から接着することから部品点数が多くなっていた。
【００１０】
また、ＥＶＡシートは、溶かして架橋させるために１２０℃から１５０℃という高温状態で数時間の熱処理（高温プロセス）を施す必要がある。したがって、多連太陽電池セル１０４は、高温状態で数時間という長時間の熱ストレスに曝されることから、製造プロセスでの多連太陽電池セル１０４の経時変化や特性変化が無視できないものとなる。
【００１１】
また、強化ガラス（透光性基板１０２）、ＰＥＴ（裏面シート１０６）、およびＥＶＡシート（接着シート１０３および接着シート１０５）を加圧しながら加熱するラミネータや、ＥＶＡシートをキュアーする加熱オーブンが必要となり、設備費用、装置占有面積、消費電力が膨大となることから太陽電池モジュールは高コストとなっていた。
【００１２】
本発明はこのような状況に鑑みてなされたものであり、透光性基板の裏面に形成された薄膜太陽電池セルを低反発性樹脂と裏面シートで被覆することにより、構造および製造工程を簡略化して、太陽電池モジュールの軽量化、部品点数の削減、および低コスト化が可能となる薄膜太陽電池モジュールおよびその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールは、透光性基板と、該透光性基板の裏面に形成された薄膜太陽電池セルと、該薄膜太陽電池セルを被覆する低反発性樹脂部と、低反発性樹脂部を被覆する裏面シートとを備えることを特徴とする。
【００１４】
この構成により、低反発性樹脂部が薄膜太陽電池セルを機械的に安定した状態で保持（被覆、接着）することとなるから、薄膜太陽電池セルが外力により飛散することを防止でき、透光性基板を軽量化することができるので、軽量で耐湿性が良く、信頼性の高い薄膜太陽電池モジュールとすることができる。
【００１５】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールでは、前記透光性基板と前記裏面シートとの間の外周部に前記低反発性樹脂部を囲むスペーサを備えることを特徴とする。
【００１６】
この構成により、低反発性樹脂部の形状（厚さおよび領域）を正確に画定することが可能となり、安定性の良い低反発性樹脂部とすることが可能となる。
【００１７】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールでは、前記スペーサは、防湿性素材で形成してあることを特徴とする。
【００１８】
この構成により、低反発性樹脂部への水分の浸入を防止することができ、薄膜太陽電池セルへの水分の侵入を防止して、信頼性の高い薄膜太陽電池モジュールとすることができる。
【００１９】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールでは、前記防湿性素材は、ブチルゴムであることを特徴とする。
【００２０】
この構成により、成形性が良く、接着性および耐水性に優れたスペーサ４を容易に形成することが可能となる。
【００２１】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールでは、前記低反発性樹脂部は、アクリル系樹脂を主成分としてあることを特徴とする。
【００２２】
この構成により、低温プロセスでの形成が可能な低反発性樹脂部とすることができる。
【００２３】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、透光性基板と、該透光性基板の裏面に形成された薄膜太陽電池セルと、該薄膜太陽電池セルを被覆する低反発性樹脂部と、低反発性樹脂部を被覆する裏面シートと、前記透光性基板と前記裏面シートとの間の外周部で前記低反発性樹脂部を囲むスペーサとを備える薄膜太陽電池モジュールの製造方法であって、前記スペーサを介して前記裏面シートを前記透光性基板に接着する工程と、前記スペーサの一端面に設けた注入孔から前記薄膜太陽電池セルと前記裏面シートの間に低反発性樹脂を注入する工程と、前記低反発性樹脂を硬化して前記低反発性樹脂部を形成する工程とを備えることを特徴とする。
【００２４】
この構成により、薄膜太陽電池セルを機械的に安定した状態で保持（被覆、接着）することができる低反発性樹脂部を容易に形成することが可能となることから、軽量化が可能で耐湿性が良く、また、信頼性の高い薄膜太陽電池モジュールを容易に製造することができる。
【００２５】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記低反発性樹脂を注入する工程は、前記透光性基板を立てて、前記注入孔が設けられた前記一端面に排気孔を設けた状態で行われることを特徴とする。
【００２６】
この構成により、気泡の混入のない低反発性樹脂部を容易に安定性良く形成することができる。
【００２７】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記低反発性樹脂はアクリル系樹脂を主成分とし、硬化温度を５０℃前後としてあることを特徴とする。
【００２８】
この構成により、室温よりわずかに高い温度、つまり低温プロセスで薄膜太陽電池モジュールを製造することができ、加熱オーブンが不要となって製造上の加熱電力が少なくて済むことから製造コストが安く、また、製造工程で薄膜太陽電池セルに加わる熱ストレスが少ない製造方法となる。
【００２９】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記低反発性樹脂を注入する工程および前記低反発性樹脂部を形成する工程は、前記透光性基板と平行な平面を構成する平行板を前記裏面シートに当接した状態で行われることを特徴とする。
【００３０】
この構成により、裏面シートの変形を防止し、透光性基板に対する平行度を維持することができることから、注入樹脂量が安定し、凹凸のない安定した平面形状の裏面シートを有する薄膜太陽電池モジュールとすることができる。
【００３１】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記低反発性樹脂は脱泡処理を施してあることを特徴とする。
【００３２】
この構成により、気泡の巻き込み（混入）を防止できることから、気泡混入の少ない信頼性の高い低反発性樹脂部を形成することができる。
【００３３】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法では、前記裏面シートは前記透光性基板と対向する面にコロナ処理を施してあることを特徴とする。
【００３４】
この構成により、低反発性樹脂部との接着性（密着性）の良い裏面シートとなることから、気密性の良い信頼性の高い低反発性樹脂部を形成することができる。
【発明の効果】
【００３５】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールによれば、透光性基板の裏面に形成した薄膜太陽電池セルに低反発性樹脂部および裏面シートを接着（貼り合わせ）するという簡易な構造により、構造を簡略化でき、軽量で部品点数が少なく、耐湿性が良く機械的に安定した低コストで信頼性の高い薄膜太陽電池モジュールを実現できるという効果を奏する。
【００３６】
本発明に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法によれば、薄膜太陽電池セルを機械的に安定した状態で保持（被覆、接着）することができる低反発性樹脂部を低反発性樹脂の注入、硬化により形成することから、製造工程を低温プロセスとすることが可能となり、低コストで熱ストレスが少なく信頼性の高い薄膜太陽電池モジュールを容易に製造することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３７】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。
【００３８】
＜実施の形態１＞
図１は、本発明の実施の形態１に係る薄膜太陽電池モジュールの構造を説明する説明図であり、（Ａ）は裏面に薄膜太陽電池セルを形成した透光性基板の側面図、（Ｂ）は薄膜太陽電池モジュールの分解斜視図である。
【００３９】
本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュール１は、透光性基板２の裏面に形成された薄膜太陽電池セル３を備えている（同図（Ａ））。透光性基板２は、例えばガラス基板であり、その表面から太陽光を入射して薄膜太陽電池セル３に導光照射すると共に外部環境から薄膜太陽電池セル３を保護する構成としてある。
【００４０】
透光性基板２は、製造プロセス上で薄膜太陽電池セル３を保持すれば十分であることから、例えば１ｍｍないし数ｍｍ程度の板厚で構成してあり、軽量化、低コスト化が可能となっている。
【００４１】
薄膜太陽電池セル３の製造は公知の技術を用いて行うことが可能であり、例えば非単結晶シリコン系の薄膜太陽電池セルで構成することが可能である。薄膜太陽電池セル３は、例えば図示しない単位セルを縦列接続した集積型セルで構成してあり、単位セルを直列および並列に接続することにより大容量の発電を可能にしている。なお、薄膜太陽電池セル３は図示しない端子を適宜外部に導出する構成としてある。
【００４２】
薄膜太陽電池モジュール１は、薄膜太陽電池セル３の周囲で透光性基板２に接着して形成された枠状のスペーサ４と、スペーサ４の枠内に充填され薄膜太陽電池セル３を被覆する低反発性樹脂部５と、低反発性樹脂部５の表面（外側）を被覆する裏面シート６を備える。なお、裏面シート６は低反発性樹脂部５およびスペーサ４に接着してあり、薄膜太陽電池セル３の電極（出力端子）を外部に導出するための端子用穴６ｈが設けてある。
【００４３】
低反発性樹脂部５は、薄膜太陽電池セル３を被覆（保持、接着）し、また、透光性基板２と裏面シート６を貼り合わせる接着剤（接着部材）となることから、薄膜太陽電池セル３が外力により飛散することを防止でき、機械的に安定した信頼性の高い薄膜太陽電池モジュール１を実現することができる。
【００４４】
つまり、透光性基板２は従来例での強化ガラスのように強度の大きいガラスで構成する必要がなくなり、強化ガラスに比較して比較的強度の弱いガラスで構成することが可能となるので、強化ガラスの重量に比較して軽量化を図ることが可能となる。また、ＥＶＡシートを用いないことから、ＥＶＡシートを熱圧着する必要もなく、低温の製造プロセスとなる。
【００４５】
スペーサ４は、例えばアクリル系両面テープで構成され、厚さは例えば１ｍｍ程度、枠の幅は例えば５ｍｍ程度としてある。スペーサ４の厚さは、適宜設定可能であり、薄膜太陽電池セル３の素子形状、低反発性樹脂部５に必要な膜厚（注入量）などを考慮して決定することができる。
【００４６】
スペーサ４は、透光性基板２と裏面シート６との間の外周部で低反発性樹脂５ｒ（図３参照）が注入される空間（低反発性樹脂部５）を画定することから、低反発性樹脂部５の形状を特定することとなる。つまり、スペーサ４は、透光性基板２と裏面シート６との間で、低反発性樹脂部５を囲む形状とされる。
【００４７】
スペーサ４は、防湿性樹脂またはゴムなどの防湿性素材で形成することができ、防湿性素材とすることにより、相互に積層接着した透光性基板２、低反発性樹脂部５、裏面シート６相互間での水分の浸入を防止し、また、低反発性樹脂部５に対する水分の浸入を防止することができるので、耐湿性が良く、薄膜太陽電池セル３への水分の浸入がない信頼性の高い薄膜太陽電池モジュール１とすることができる。特にブチルゴムで構成することにより、成形性が良く、また、接着性と耐水性を確実に向上することができる。
【００４８】
低反発性樹脂部５は、例えばアクリル系樹脂を主成分としてあり、硬化促進用の触媒液を混入した樹脂を硬化して形成してある。低反発性樹脂５ｒ（低反発性樹脂部５）は接着性を有することから、薄膜太陽電池セル３および裏面シート６に強固に接着してあり、外力による破損が発生しても薄膜太陽電池セル３が飛散することを防止できる。硬化促進用の触媒液を混入したアクリル系樹脂とすることにより、低温での硬化が可能となり、低温プロセスで薄膜太陽電池モジュール１を形成することが可能となる。
【００４９】
裏面シート６は、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）／アルミニウム／ＰＥＴ３層膜（以下、ＰＡＰ３層膜と記載する）で構成することにより、高い耐湿性を有するので裏面外部から低反発性樹脂部５に対して水分が浸入することを防止することができ、耐湿性が良く、信頼性の高い薄膜太陽電池モジュール１とすることができる。
【００５０】
＜実施の形態２＞
図２ないし図５は、本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法を説明する説明図である。
【００５１】
図２は、薄膜太陽電池セルを形成した透光性基板、スペーサ、裏面シートを相互に位置合わせして接着する工程を示す説明図であり、（Ａ）は分解斜視図、（Ｂ）は接着後の斜視図である。
【００５２】
本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、まず、透光性基板２の裏面に薄膜太陽電池セル３を形成する工程を備える。
【００５３】
次に、薄膜太陽電池セル３の外周（透光性基板２の外周部）に対応して枠状に配置されたスペーサ４を挟むように、透光性基板２と裏面シート６を相互に対向させて位置合わせし、スペーサ４を介して透光性基板２と裏面シート６を接着して薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓを形成する工程を備える。
【００５４】
具体的には、透光性基板２にスペーサ４としてのゴムなど（好ましくはブチルゴム）を貼り付け（接着し）、さらに透光性基板２（薄膜太陽電池セル３）に対向するように裏面シート６としてのＰＡＰ３層膜をスペーサ４に貼り付ける（接着する）。スペーサ４の厚さは例えば数ｍｍ、幅は５ｍｍである。なお、後工程の樹脂注入時に樹脂漏れが生じないように、スペーサ４と透光性基板２、裏面シート６との接着端面（薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓの端面）に耐樹脂テープ（不図示）を貼り付けて適宜封止しておく。
【００５５】
裏面シート６の薄膜太陽電池セル３に対向する面は、コロナ処理を施してある。コロナ処理により表面が適度の粗さを有することとなり、また、カルボキシル基（ＣＯＯＨ）と化学結合しやすい構造となるので、後工程で注入される低反発性樹脂５ｒ（図３参照）との密着性を向上することができる。
【００５６】
薄膜太陽電池セル３の出力端子３ｅ（図６（Ｂ）参照）は、端子用穴６ｈを介して外部へ予め導出しておく。また、出力端子３ｅと端子用穴６ｈの間に生じる隙間は後工程の樹脂注入時に樹脂漏れが生じないように、耐樹脂テープ（不図示）を貼り付けて適宜封止しておく。
【００５７】
図３は、スペーサにより透光性基板（薄膜太陽電池セル）と裏面シートとの間に形成された空間に低反発性樹脂を注入して低反発性樹脂部を形成する工程を説明する斜視図である。
【００５８】
本実施の形態に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法は、透光性基板２、スペーサ４、裏面シート６を相互に接着して薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓを形成した後、裏面シート６と同一サイズで透光性基板２と平行な平面を構成する平行板７を裏面シート６に当接し、係止治具８を用いて透光性基板２、スペーサ４、裏面シート６、平行板７を相互に固定する工程を備える。
【００５９】
次に、低反発性樹脂５ｒを投入したシリンダ状の樹脂注入器１０の先端に設けた注入針１０ｉを用いて低反発性樹脂５ｒを薄膜太陽電池セル３（図３では不図示）と裏面シート６との間に形成された空間（低反発性樹脂部５に対応する空間）に供給（注入）する工程を備える。スペーサ４により低反発性樹脂５ｒの注入領域が画定されることから、正確な形状（厚さおよび領域）で安定性の良い低反発性樹脂部５を形成することができる。
【００６０】
具体的には、薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓ（透光性基板２）を立てた状態として、薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓの上辺に位置するスペーサ４の一端面で幅方向の中心部に注入針１０ｉを差込むことにより、注入孔１０ｈを設ける。スペーサ４は上述したとおりゴムなどの弾力性のある素材で構成してあることから、スペーサ４に対して注入針１０ｉを容易に差込むことができる。なお、透光性基板２は、垂直方向に立てることが好ましい。
【００６１】
また、注入針１０ｉの先端をスペーサ４の壁面に当接（近接）するように差し込む（配置する）ことにより、低反発性樹脂５ｒはスペーサ４の壁面を伝って注入されることとなり、低反発性樹脂５ｆで示す状態で注入される。低反発性樹脂５ｆは、壁面を伝って注入されることから、気泡の巻き込み（混入）を防止することができる。この構成により、容易に低反発性樹脂５ｒを注入できることから、気泡の巻き込みのない低反発性樹脂部５を容易に形成することができ、信頼性の高い低反発性樹脂部５を形成できる。
【００６２】
なお、薄膜太陽電池モジュール中間体１ｓの上辺に位置するスペーサ４の一端面には、注入孔１０ｈとは異なる任意の位置に、排気治具１１に導出される排気孔１１ｈが設けてある。つまり、注入孔１０ｈが配置されたスペーサ４の一端面に排気孔１１ｈが配置される。排気孔１１ｈは、排気管１１ｔをスペーサ４に差し込むことにより設けてある。排気孔１１ｈの大きさを注入孔１０ｈの大きさより大きくすることにより確実に排気させることが可能となり、低反発性樹脂部５に気泡が巻き込まれることを防止することができる。なお、排気孔１１ｈは少なくとも１箇所設ければ良い。
【００６３】
低反発性樹脂５ｒは、アクリル系樹脂を主成分とし、硬化促進のための触媒液（アクリル系樹脂１００（容積）に対して、例えば、バナジウム系硬化促進剤０．７５（容積）、クメンヒドロペルオキド０．７５（容積）、および有機酸配合アジペート系可塑剤０．７５（容積）の３種類の触媒液を配合したもの）を攪拌装置（不図示）で攪拌、混合して調合した後、真空オーブンで温度２５℃、圧力１００ｈＰａの状態で１０分間放置して脱泡処理を施した。脱泡処理により視覚で認識できる程度の気泡の混入を確実に防止することができた。
【００６４】
また、低反発性樹脂５ｒは、５０℃前後（約４０℃ないし約６０℃）の硬化温度となるように触媒液を調合した。５０℃前後の硬化温度は、室温より若干高いが、加熱オーブンを用いるほどではないことから、薄膜太陽電池モジュール１（薄膜太陽電池セル３）への熱ストレスを低減することが可能となり、信頼性の高い薄膜太陽電池モジュール１とすることができる。
【００６５】
低反発性樹脂５ｒの注入は、排気治具１１から低反発性樹脂５ｒが吐出されるまで行う。排気治具１１から低反発性樹脂５ｒが吐出された時点で低反発性樹脂５ｒの注入を終了する。排気孔１１ｈを注入孔１０ｈと同一の平面に形成することから、充填漏れのない均等に充填された低反発性樹脂部５を形成することができる。
【００６６】
図４は、低反発性樹脂部に低反発性樹脂を充填した状態を示す説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）（Ｃ）は裏面シートに当接した平行板の効果を説明する側面模式図である。
【００６７】
低反発性樹脂５ｒの注入を終了した後、注入孔１０ｈおよび排気孔１１ｈを例えば接着フィルムなど適宜の封止部材１２で封止して、低反発性樹脂５ｒを硬化する前の薄膜太陽電池モジュール１とする（同図（Ａ））。
【００６８】
平行板７を用いずに、低反発性樹脂５ｒを注入した場合には、注入樹脂量が安定しないことから裏面シート６が低反発性樹脂５ｒの注入に伴い膨れてしまい、凹凸表面を有する低反発性樹脂部５および裏面シート６となる（同図（Ｂ））。
【００６９】
これに対し、平行板７を用いて低反発性樹脂５ｒを注入した場合には、平行板７が裏面シート６を補強して支持する形態となることから、注入樹脂量が安定し、透光性基板２に対して十分な平行度を有する平面形状の低反発性樹脂部５および裏面シート６とすることができる（同図（Ｃ））。
【００７０】
図５は、低反発性樹脂部に充填した低反発性樹脂を硬化する工程を説明する説明図である。
【００７１】
本実施の形態では、低反発性樹脂５ｒを硬化する前の薄膜太陽電池モジュール１をカセット２０に載置し、薄膜太陽電池モジュール１を搭載したカセット２０を温室２１に投入し、２時間ないし３時間程度放置することにより低反発性樹脂５ｒを硬化して低反発性樹脂部５を形成する工程を備える。
【００７２】
温室２１は、温度を低反発性樹脂５ｒの硬化温度である５０℃前後（約４０℃ないし約６０℃）に設定してある。室温よりわずかに高い温度であることから特別な加熱装置としての加熱オーブンは不要となる。
【００７３】
低反発性樹脂５ｒを硬化する工程では、平行板７は裏面シート６に当接した状態としてあることから、低反発性樹脂部５および裏面シート６は透光性基板２に対して平行度の高い形状を確保して低反発性樹脂５ｒを硬化することが可能となる。つまり、本実施の形態では、平行板７を裏面シート６に当接して補強した状態で低反発性樹脂５ｒを注入し硬化することから、後工程で低反発性樹脂５ｒを注入する時の裏面シート６の変形を防止することができ、凹凸のない安定した平面形状の裏面シート６とすることができる。
【００７４】
低反発性樹脂５ｒの硬化温度は、加熱オーブンを必要とせず、低温であることから、薄膜太陽電池セル３への熱ストレスが大幅に低減できる。したがって、製造工程での消費電力を低減することができ、製造工程での省エネルギが可能となり、結果として薄膜太陽電池モジュール１の低コスト化が可能となる。
【００７５】
図６は、低反発性樹脂を硬化して低反発性樹脂部を形成した薄膜太陽電池モジュールを説明する説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はスペーサおよび低反発性樹脂部を透視的に示す側面透視図である。
【００７６】
低反発性樹脂５ｒを硬化した後、薄膜太陽電池モジュール１を温室２１から取り出す。薄膜太陽電池モジュール１の裏面シート６に当接していた平行板７を取り除き、封止部材１２を除去する。注入孔１０ｈおよび排気孔１１ｈは、硬化した低反発樹脂５ｒで封止され、それぞれ注入孔封止部１０ｈｃおよび排気孔封止部１１ｈｃを備えることとなる（同図（Ａ））。
【００７７】
また、スペーサ４と透光性基板２、裏面シート６との接着端面に貼り付けていた耐樹脂テープ（不図示）および出力端子３ｅと端子用穴６ｈ（図１参照）の間の隙間を封止するために貼り付けていた耐樹脂テープ（不図示）を除去する（同図（Ｂ））。
【００７８】
さらに、出力端子３ｅに端子ボックス（不図示）を接着樹脂で取り付けて、配線を形成した後端子ボックス内にシリコーン樹脂を注入し、シリコーン樹脂を硬化後端子ボックスの蓋を付けて薄膜太陽電池モジュール１を完成する。
【図面の簡単な説明】
【００７９】
【図１】本発明の実施の形態１に係る薄膜太陽電池モジュールの構造を説明する説明図であり、（Ａ）は裏面に薄膜太陽電池セルを形成した透光性基板の側面図、（Ｂ）は薄膜太陽電池モジュールの分解斜視図である。
【図２】本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法を説明する説明図である。
【図３】本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法を説明する説明図である。
【図４】本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法を説明する説明図である。
【図５】本発明の実施の形態２に係る薄膜太陽電池モジュールの製造方法を説明する説明図である。
【図６】低反発性樹脂を硬化して低反発性樹脂部を形成した薄膜太陽電池モジュールを説明する説明図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）はスペーサおよび低反発性樹脂部を透視的に示す側面透視図である。
【図７】従来例に係る太陽電池モジュールの構造を示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００８０】
１  薄膜太陽電池モジュール
１ｓ  薄膜太陽電池モジュール中間体
２  透光性基板
３  薄膜太陽電池セル
４  スペーサ
５  低反発性樹脂部
５ｒ  低反発性樹脂
６  裏面シート
６ｈ  端子用穴
７  平行板
８  係止治具
１０  樹脂注入器
１０ｉ  注入針
１０ｈ  注入孔
１０ｈｃ  注入孔封止部
１１  排気治具
１１ｈ  排気孔
１１ｈｃ  排気孔封止部
１１ｔ  排気管
１２  封止部材
２０  カセット
２１  温室
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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