(57)【要約】【課題】有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造する方法およびその方法により製造されたマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを提供する。【解決手段】１種類以上の流体を流通させるための流路を有するマイクロチャネル構造体１０を製造する方法であって、流体の腐食作用に対する耐性を有するまたは不活性である第１基板１および第２基板５のうち、少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部６が設けられており、第１基板１と第２基板５とを流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シート３により接着結合することによって、溝部６を閉じて上記流路を形成する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１種類以上の流体を流通させるための流路を有するマイクロチャネル構造体を製造する方法であって、
流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である一対の基板のうち、少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部が設けられており、
上記一対の基板を、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートを用いて接着結合することによって、上記溝部を閉じて上記流路を形成することを特徴とするマイクロチャネル構造体の製造方法。
【請求項２】
１種類以上の流体を流通させるための流路を有するマイクロチャネル構造体を製造する方法であって、
流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である一対の基板のうち少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートを接着させた後、
上記接着シートを接着させた基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部を形成し、該溝部を閉じるように上記一対の基板を上記接着シートを用いて接着接合することによって、上記流路を形成することを特徴とするマイクロチャネル構造体の製造方法。
【請求項３】
上記溝部は、上記一対の基板のそれぞれについて、他方の基板と対向する面に設けられていることを特徴とする請求項２に記載のマイクロチャネル構造体の製造方法。
【請求項４】
上記一対の基板は、ガラス、テフロンなどのプラスチック、金属、セラミックスのうちのいずれか１つまたは２つ以上からなるものであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のマイクロチャネル構造体の製造方法。
【請求項５】
上記接着シートは、熱可塑性を有するフィルム状のシートであり、上記接着シートの融点は、ガラス、プラスチックおよび金属の融点よりも低いことを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のマイクロチャネル構造体の製造方法。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載のマイクロチャネル構造体の製造方法によって製造されたマイクロチャネル構造体。
【請求項７】
請求項６に記載のマイクロチャネル構造体を備えるマイクロリアクタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属あるいはテフロン（登録商標）などの耐性の高いプラスチック基板や、ガラス基板などの表面にマイクロチャネルを持つマイクロチャネル構造体とその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、ガラス、セラミック、シリコン、プラスチックまたは金属等の基板上に、１０〜１０，０００マイクロメートルの幅および深さと、１０マイクロメートル〜１メートルの長さとからなる流路（マイクロチャネル）を形成し、そこに少なくとも１つの流体を流し込んで、化学反応を起こしたり化学分析を行なうマイクロリアクタが知られている。特許文献１はその一例を示すものである。
【０００３】
このようなマイクロチャネルを有するマイクロリアクタを利用することによって、高い比表面積効果を活かした高効率な化学反応、分離・抽出や、高い流体制御性を利用した高性能な化学反応や分析が可能となる。
【０００４】
このマイクロチャネルは、一対の基板における対向する面に溝部を設け、互いの基板を接着して溝部を包囲することによって形成される。そして、このマイクロチャネルを備えた構造体がマイクロチャネル構造体である。
【０００５】
マイクロチャネル構造体に用いられる基板の材料としては、薬剤に対する耐腐食性と分析に供する際の透過性との観点からガラスが用いられることが多い。しかし、ガラス同士を接着するには高温・高圧での加工を必要とするため、加熱が大きすぎると流路が潰れてしまう危険性がある。
【０００６】
そこで、この加熱温度を下げてマイクロチャネル構造体を製造する方法が特許文献２に開示されている。具体的には、ガラス基板を用いてマイクロチャネル構造体を製造する際に、比較的低融点のホウケイガラスを挟み、熱融着する方法である。しかし、低融点とは言っても６５０℃程度とかなりの高温であること、またガラスは破損しやすいため扱いに注意を要するという問題点がある。
【０００７】
また、加熱などによる接着法を用いず、ビス留めなどによって固定する方法も報告されている。しかし、この場合には対向する基板を完全に密閉するのは非常に困難であり、僅かでも隙間が生じてしまうと流路から流体が漏れ出す危険性がある。
【０００８】
また、基板の材料としてシリコン基板とガラス基板とを使用した場合には、陽極接合により接着することができる。しかし、シリコン基板は透過性がなく高価であるという問題点がある。
【０００９】
さらに、アクリルなどの透明度の高いプラスチックを使用してマイクロチャネル構造体を製造する方法が試みられている。アクリルなどの融点が低い材料であれば、加圧して加熱することにより融着が可能である。ところが、アクリルは耐熱性および耐薬品性が低いため、化学合成および分析の用途が限られてしまう。
【００１０】
このように、容易な接着により、耐熱性、耐薬品性があり透過性の高いマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを製造することは容易ではない。したがって、マイクロチャネル構造体を容易に製造するためには、基板材料の選定、さらにはその基板材料同士の加工および接着方法の工夫が必要となる。
【００１１】
そこで、種々の基板材料の接着を可能としたマイクロチャネル構造体の製造方法の一例が特許文献３および４に開示されている。上記特許文献３および４は、接着剤を使用して基板を接合することによって、マイクロチャネル構造体を製造する方法である。具体的には、初期状態が液体である接着剤を基板の片面にスピンコートなどの手法により塗布し、溶媒を焼成などにより除去あるいは蒸発などにより硬化させた後、別の基板と対向させて熱融着により接合を行うものである。この方法によれば、ガラス基板に限らず他の材料との接着が可能となる。
【特許文献１】特表２００１−５２１８１６号（２００１年１１月１３日公表）
【特許文献２】特開２００１−３４９８２６（２００１年１２月２１日公開）
【特許文献３】特表平９−５０２７９５（１９９７年３月１８日公表）
【特許文献４】特表２００１−５１９９０７（２００１年１０月２３日公表）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
ところが、上記従来の構成では、接着剤が液状であるため、塗布の厚みにむらが生じるという問題点がある。また、溶媒の除去または蒸発という工程が加わるためマイクロチャネル構造体の製造時間が長くなるという問題点もある。
【００１３】
近年、マイクロチャネル構造体は、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であり透過性のあるガラス基板を用いて容易に製造することが望まれている。また、ガラスに限らず、同じく液体の腐食作用に対して耐性があり、ガラスに比べて弾性があり破壊されにくいテフロン（登録商標）などのプラスチックや、熱伝導性の高い金属などの材料によってマイクロチャネル構造体を製造することが望まれている。
【００１４】
本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造する方法とその方法により製造されたマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、上記の課題を解決するために、１種類以上の流体を流通させるための流路を有するマイクロチャネル構造体を製造する方法であって、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である一対の基板のうち、少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部が設けられており、上記一対の基板を、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートを用いて接着結合することによって、上記溝部を閉じて上記流路を形成することを特徴としている。
【００１６】
マイクロチャネル構造体とは、反応流体を流通及び／又は化学反応させるための微小な筒状の経路（流路）を有するものである。
【００１７】
上記の構成によれば、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートにより接着結合される一対の基板の間に、密閉された流路が形成される。
【００１８】
従来では、液状の接着剤を基板に塗布した後、接着剤を硬化させてから溝部の加工をしていたため加工時間を要した。また、液状の接着剤を使用した場合には、ムラが生じないように均一に塗布する必要がありその作業には注意を要した。
【００１９】
この点、上記構成によれば、接着シートを貼り付けた後、直ちに基板同士の接着結合処理を行うことができる。そのため、マイクロチャネル構造体を容易に製造することができ、その製造時間を従来と比較して短縮することができる。
【００２０】
また、密閉された流路の内壁面は、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である基板と接着シートとで構成されているため、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を製造することができる。
【００２１】
このように、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造することができる。
【００２２】
また、本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、上記の課題を解決するために、１種類以上の流体を流通させるための流路を有するマイクロチャネル構造体を製造する方法であって、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である一対の基板のうち少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートを接着させた後、上記接着シートを接着させた基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部を形成し、該溝部を閉じるように上記一対の基板を上記接着シートを用いて接着接合することによって、上記流路を形成することを特徴としている。
【００２３】
上記の構成によれば、基板に接着シートを接着させた後、その基板に溝部を形成し、該溝部を閉じるように一対の基板を接着接合することによって、流路を形成している。
【００２４】
これにより、一対の基板を容易に接着することができるため、流体の腐食作用に対する耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造することができる。
【００２５】
また、接着シートを基板面に接着させた後に、該基板面に溝部を形成しているため、一対の基板の間に形成される流路の内壁面を一対の基板のみで形成することができる。これにより、一対の基板を同じ材質で構成する場合には、流路内壁面での流体との相互作用、例えば親水度、吸着、触媒担持の有無などの特質を四方とも等しくすることができるため、流体の制御性を向上させることができる他、反応の効率化、定量的な評価が可能となる。また、一対の基板をそれぞれ別の材質、例えばガラスと金属など、で構成する場合には、流路内壁面での流体との相互作用を部分的に変化させることができる。
【００２６】
また、本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、上記記載のマイクロチャネル構造体の製造方法において、上記溝部は、上記一対の基板のそれぞれについて、他方の基板と対向する面に設けられていることが好ましい。
【００２７】
上記の構成によれば、一対の基板のそれぞれにおける他方の基板と対向する面に溝部が形成されているため、一方の基板の溝部と他方の基板の溝部とを合わせた流路を形成することができる。そのため、流路に注入される液体の体積に対する表面積の比率を大きくすることができる。
【００２８】
また、本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、上記記載のマイクロチャネル構造体の製造方法において、上記一対の基板は、ガラス、テフロン（登録商標）などのプラスチック、金属、セラミックスのうちのいずれか１つまたは２つ以上からなるものであることが好ましい。
【００２９】
上記の構成によれば、基板は、ガラス、テフロン（登録商標）などのプラスチック、金属、セラミックスのいずれかである。
【００３０】
これらの材料は、流体の腐食作用に対して耐性を有するものであり、従来から基板としての利用が試みられてきた。しかしながら、上記材料同士の接着は、高い加熱温度等が必要であり困難であった。
【００３１】
この点、上記構成によれば、接着シートを用いることによって、互いの接着が困難な基板であっても容易に接着することができる。したがって、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を容易に製造することができる。
【００３２】
また、特に、プラスチックを基板として使用した場合には、弾性を有するマイクロチャネル構造体を製造することができるため、マイクロチャネル構造体が破損する危険性を低減することができる。また、金属を基板として使用した場合には、熱伝導性を有するマイクロチャネル構造体を製造することができるため、その内部に流し込まれる反応流体を加熱することができる。さらに、マセライトのようなセラミックスを基板として使用した場合には、ガラスのように高い耐薬品性を有すると共に、ガラスよりも加工が容易であるため、掘削等の加工により仕上げ面の精度が高い壁面を有するマイクロチャネル構造体を製造することができる。
【００３３】
また、本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、上記記載のマイクロチャネル構造体の製造方法において、上記接着シートは、熱可塑性を有するフィルム状のシートであり、上記接着シートの融点は、ガラス、プラスチックおよび金属の融点よりも低いことが好ましい。
【００３４】
これにより、熱可塑性を有する接着シートを基板間で熱融着などの方法を用いて貼り付けることによって、互いの接着が困難な基板、例えばガラスとテフロン（登録商標）等を容易に接着することができる。また、この接着シートの融点は接着すべき基板材料、例えば、ガラス、プラスチックおよび金属の融点よりも低いため、従来に比べて比較的低温での接着が可能となる。そして、接着シートはフィルム状であり流動しないため、基板に形成された溝部を塞いだり変形させることがない。
【００３５】
また、本発明のマイクロチャネル構造体は、上記記載のマイクロチャネル構造体の製造方法によって製造されることを特徴としている。
【００３６】
これにより、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造することができる。
【００３７】
また、本発明のマイクロリアクタは、上記記載のマイクロチャネル構造体を備えていることを特徴としている。
【００３８】
マイクロリアクタとは、反応流体の流路であるマイクロチャネルを有するマイクロチャンネル構造体を備えるものである。具体的には、ガラス等からなる基板上にマイクロチャネルを形成し、そこに１種類以上の反応流体を流して、反応流体同士が接する界面領域で化学反応を起こさせるための装置である。
【００３９】
なお、このマイクロリアクタは、単に流体をマイクロチャネル内に流通させるための装置であっても良い。このマイクロリアクタを利用することによって、その高い流体制御性と温度制御性により品質の揃った無機・有機材料を合成したり、単位体積当たりの高い比表面積効果を活かして高効率な分離・抽出をすることができる。
【００４０】
上記の構成によれば、一対の基板同士を容易に接着することができるため、マイクロリアクタを短時間で容易に製造することができる。また、液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロリアクタを製造することができるため、有機溶媒ならびに酸性・アルカリ性など腐食性の高い溶媒や、比較的高温環境を必要とする化学反応および分析を行うことができる。
【発明の効果】
【００４１】
本発明のマイクロチャネル構造体の製造方法は、以上のように、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である一対の基板のうち、少なくとも一方の基板における他方の基板と対向する面に、上記流路となる溝部が設けられており、上記一対の基板を、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である接着シートを用いて接着結合することによって、上記溝部を閉じて上記流路を形成する方法である。
【００４２】
また、本発明のマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタは、上記の製造方法によって製造される構成である。
【００４３】
これにより、流路となる溝部を塞ぐことなく、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性である基板同士を、接着シートを用いて容易に接着することができる。したがって、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロチャネル構造体を短時間で容易に製造する方法を提供することができるという効果を奏する。また、この方法により製造されたマイクロチャネル構造体およびマイクロリアクタを提供することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４４】
本発明の一実施形態について図１ないし図５に基づいて説明すると以下の通りである。
【００４５】
まず、本実施の形態におけるマイクロリアクタについて説明する。
【００４６】
マイクロリアクタとは、マイクロチャネルを有するマイクロチャンネル構造体を備えるものである。具体的には、ガラス等からなる基板上にマイクロチャネルを形成し、そこに１種類以上の反応流体を流して、反応流体同士が接する界面領域で化学反応を起こさせるための装置である。なお、このマイクロリアクタは、単に流体をマイクロチャネル内に流通させるための装置であっても良い。
【００４７】
また、マイクロチャネルとは、反応流体を流通及び／又は化学反応させるための微小な筒状の経路（流路）のことである。
【００４８】
ここで、本実施の形態におけるマイクロチャネル構造体１０の構成について図１を用いて説明する。図１（ａ）は本実施の形態におけるマイクロチャネル構造体１０の概略構成を示す横断面図であり、図１（ｂ）はマイクロチャネル構造体１０の概略構成を示す縦断面図である。
【００４９】
マイクロチャネル構造体１０は、第１基板１と、第２基板５と、接着シート３とを備えている。
【００５０】
第１基板１は、直方体状のガラス基板であり、後述の第２基板５と接着する側である第１基板表面２の中央付近に矩形状断面の溝部６が設けられている。なお、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるマイクロリアクタを製造するために、第１基板１に使用される材料としては、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるガラス、テフロン（登録商標）等のプラスチックおよびマセライト等のセラミックスであることが好ましい。また、反応流体を加熱する必要がある場合には、熱伝導性の高いアルミやステンレス等の金属が好ましい。また、溝部６の断面形状は矩形状に限定されるものではなく、例えば、半円状であっても良い。
【００５１】
第２基板５は、第１基板１と外形寸法を同じくするガラス基板である。なお、第２基板５も第１基板１と同様、上述した種々の材料を用いることができる。また、第１基板１と第２基板５とは、その材質が同じであっても異なっていても良い。
【００５２】
接着シート３は、流体の腐食作用に対して耐性を有するまたは不活性であるフィルム状のシートであり、熱可塑性を有するものである。この接着シート３は、市販のものを使用することができる。具体的には、例えば、低融点を実現したフッ素樹脂で作られたシートを用いることが好ましい。このシートは、ガラス、プラスチックおよび金属に対して熱融着により強固に接着することができるものである。また、このシートの融点は接着すべき基板材料の融点より低く、従来に比べて比較的低温での接着が可能である。さらに、このシートは透明度も高いため、マイクロリアクタの材質として適している。
【００５３】
次に、マイクロチャネル構造体１０の製造方法について図１（ａ）を用いて以下に説明する。
【００５４】
まず、第１基板１の第１基板表面２に微細機械加工やエッチング加工などの方法によって溝部６を形成する。次に、第１基板表面２と第２基板５の第２基板表面４とが対向するように位置決めする。そして、両基板１・５の間に接着シート３を挿入し、両基板と接着シート３とを密着させる。その後、熱融着などの方法を用いて第１基板１と第２基板５と接着シート３とを融着させる。これにより、少なくとも１つの包囲された溝部６すなわちマイクロチャネルを有するマイクロチャネル構造体を製造することができる。このとき、接着を確実に行うために、第１基板１と第２基板５と接着シート３とを重ねた後、治具などにより加圧することが好ましい。
【００５５】
このように、熱可塑性を有する接着シート３を基板の平らな面に熱融着などの方法を用いて貼り付けることによって、互いの接着が困難な基板、例えばガラスとテフロン（登録商標）等を容易に接着することができる。そして、接着シート３はフィルム状であり流動しないため、マイクロチャネル用の溝部６を塞いだり変形させることがない。
【００５６】
また、従来のように液状の接着剤を使用した場合には、ムラが生じないように均一に塗布する必要がありその作業には注意を要した。この点においても、本実施の形態における接着シート３を使用することによって、ムラを生じさせることなく容易に基板同士を接着することができる。そのため、マイクロチャネル構造体１０の製造時間の短縮を図ることができる。また、製造される複数のマイクロチャネル構造体１０における、完成度のばらつきを抑えることができる。
【００５７】
なお、本実施の形態では第１基板１のみに溝部６を形成した構成であるが、これに限定されるものではなく、第２基板５にも溝部６を形成した構成としても良い。
【００５８】
また、図２に示すように、複数の第１基板１に溝部６を形成し、それぞれの第１基板１の間に接着シート３を挟み、多段に重ねてマイクロチャネル構造体１０を製造する構成としても良い。
【００５９】
ここで、第１基板１の第１基板表面２にマイクロチャネル用の溝部６を加工する前に、予め接着シート３を熱融着する構成としても良い。
【００６０】
図３は第１基板表面２に接着シート３を融着させた状態を示す横断面図であり、図４は第１基板表面に接着シートを融着させた場合のマイクロチャネル構造体１０の概略構成を示す横断面図である。
【００６１】
第１基板表面２に予め固体状の接着シート３を熱融着し、その後、微細機械加工やエッチング加工などの方法によって、図４に示すようにマイクロチャネル用の溝部６を形成する。そして、上述の方法と同様に、第２基板５の第２基板表面４と接着シート３とが対向するように位置決めし、熱融着などの方法を用いて第１基板１と第２基板５と接着シート３とを融着させる。このような方法によってもマイクロチャネル構造体１０の製造を容易に行うことができる。また、この方法によれば、溝部６を包囲する流路、すなわちマイクロチャネルの内壁面を基板のみで形成することができる。
【００６２】
ここで、図５に示すように、第２基板５にも溝部７を設けた構成としても良い。この構成によれば、第１基板１の溝部６と、第２基板５の溝部７とを合わせたマイクロチャネルを形成することができるため、マイクロチャネルに注入される液体の体積に対する表面積の比率を大きくすることができる。また、第１基板１と第２基板５とを異なる材質で構成した場合には、マイクロチャネルの内壁面における特有の効果を活かすことができる。すなわち、例えば、親水性を有する基板と疎水性を有する基板とによって構成した場合には、水油の安定した２層流および界面を形成することができる。
【００６３】
このように、本構成におけるマイクロチャネル構造体１０を備えるマイクロリアクタによれば、液体の単位体積当たりの高い比表面積効果を活かしたより高効率な分離・抽出を行うことができ、例えば、有機溶媒ならびに酸性・アルカリ性など腐食性の高いの溶媒や、比較的高温環境を必要とする化学反応および分析を行うことができる。
【００６４】
なお、上述したマイクロチャネル構造体１０をマイクロリアクタ２０として利用するためには、図６に示すように、第１基板１もしくは第２基板５のいずれか一方、または第１基板１および第２基板５の両方に、外部から溝部６・７に通じる液体の流通孔８を設ければ良い。
【実施例】
【００６５】
本実施の形態におけるマイクロチャネル構造体の製造方法の一例を以下に具体的に説明する。
【００６６】
まず、図１（ａ）のような断面形状を有するマイクロチャネル構造体を製造するために、第１基板および第２基板として、それぞれの外形寸法が３ｃｍ×７ｃｍ、厚さ０．７ｍｍのパイレックス（登録商標）ガラス基板を２枚用意する。上記ガラス基板（第１基板）には微細機械加工により幅、深さともに２００μｍのマイクロチャネル用の溝を掘削する。接着シートとしては、３ｃｍ×７ｃｍ、厚さ２５μｍのネオフロンＴＭＥＦＥＰ（商品名）のシートを用意する。
【００６７】
次に、上記ガラス基板をプラズマ処理し、ガラス基板の間にネオフロンシートを挟み、４０ｃＮ・ｍのトルクにて加圧し、２４０℃の乾燥機で３０分間加熱する。
【００６８】
上記方法によって接着されたガラス基板は、手でこすり合わせても超音波を照射しても剥がれなかった。また、形成されたマイクロチャネルに水を流しても剥がれなかった。
【００６９】
ここで、図５に示す形態を有するマイクロチャネル構造体を製造するために、まず図３に示すように、上記ガラス基板（第１基板）にネオフロンシートのみを貼り付け、その上に油を塗り、加圧器に挟み熱融着させる。なお、油を塗るのはネオフロンシートが加圧器に接着しないようにするためである。次に、油をアセトンで除去して微細機械加工により同様にマイクロチャネル用の溝を掘削する。その後、上記溝部と同形状の溝部が形成されているもう一方のガラス基板（第２基板）を重ね、同様に熱融着させることで、図５の形態を有するマイクロチャネル構造体を製造することができる。
【産業上の利用可能性】
【００７０】
本発明のマイクロリアクタは、有機溶媒または酸・アルカリなど腐食性の高い液体に対して耐性を有するため、無機・有機の材料合成、および生化学分野などに幅広く利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】図１（ａ）は本発明の一実施形態を示すものであり、マイクロチャネル構造体の概略構成を示す横断面図であり、図１（ｂ）は上記マイクロチャネル構造体の概略構成を示す縦断面図である。
【図２】上記マイクロチャネル構造体における第１基板を多段に重ねた場合のマイクロチャネル構造体の概略構成を示す横断面図である。
【図３】上記マイクロチャネル構造体における第１基板表面に接着シートを融着させた状態を示す横断面図である。
【図４】第１基板表面に接着シートを融着させた場合のマイクロチャネル構造体の概略構成を示す横断面図である。
【図５】上記マイクロチャネル構造体における第１基板および第２基板に溝部を設けた場合のマイクロチャネル構造体の概略構成を示す横断面図である。
【図６】図１（ａ）に示すマイクロチャネル構造体を備えるマイクロリアクタの概略構成を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００７２】
１  第１基板（基板）
２  第１基板表面
３  接着シート
４  第２基板表面
５  第２基板（基板）
６、７  溝部
８  流通孔
１０  マイクロチャネル構造体
２０  マイクロリアクタ
【図１】
2007136292.tif 000003
【図２】
2007136292.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007136292.tif 000006
【図５】
2007136292.tif 000007
【図６】
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