(57)【要約】      （修正有）【課題】大形物品用の搬送システムと小形物品用の搬送システムとの間で小形物品用の搬送システムを待たせることなく小形物品を搬送できる搬送システムを提供する。【解決手段】  レチクルカセット１８を搬送するコンベヤ４を設け、有軌道台車１４のリフタ１６でレチクルカセット１８をリフトさせて、ダミーＦＯＵＰ２２の内部とコンベヤ４との間で受け渡しする。【効果】  ＦＯＵＰ搬送用の搬送システムとレチクル搬送用の搬送システムを接続できる。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
小形物品を搬送するための第１の搬送システムと、大形物品を搬送するための第２の搬送システムとの間で、小形物品を搬送するシステムであって、
前記小形物品を収納するための、第２の搬送システムで搬送自在な容器であって、前記小形物品の出入りを許容する開口を備えたものを設けると共に、
第１の搬送システム側と第２の搬送システム側との間で、前記小形物品を搬送するためのコンベヤと、
第２の搬送システムとの間で前記容器を受け渡し自在なステーションと、
該ステーションの前記容器と前記コンベヤとの間で、前記小形物品を受け渡しするための移載手段とを設け、
該移載手段は、前記小形物品をリフトアップするための昇降手段と、リフトアップされた小形物品を前記開口を通して前記容器内と前記コンベヤとの間で移動させるための移動手段、とを備えたものであることを特徴とする、搬送システム。
【請求項２】
前記容器の側面に前記開口を設けると共に、前記移載手段を、前記移動手段としてのレールにガイドされる台車と、前記昇降手段としての昇降台とで構成したことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
前記コンベヤを前記小形物品のバッファに兼用することを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、レチクルカセットなどの小形物品を、半導体カセット（ＦＯＵＰ）などの大形物品の搬送システムで搬送するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体工場等では、ＦＯＵＰなどの大形物品の搬送システムと、レチクルカセットなどの小形物品の搬送システムとを別個に設ける例が多い。ここでレチクルは露光用のマスクで、例えばレチクルマガジンと露光装置との間で搬送される。ここで品種の変更などでレチクルマガジンに無いレチクルが必要になると、人手などでレチクルを搬送する必要が生じる。これはＦＯＵＰに比べて搬送量の少ないレチクルカセットの搬送システムは搬送ルートがベイ内などに限られ、長距離搬送ができるようにされていないからである。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、大形物品用の搬送システムと小形物品用の搬送システムとの間で、小形物品を搬送することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、小形物品の姿勢を変えずに、かつ比較的小さな開口から、容器とコンベヤとの間で小形物品を移載できるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、小形物品用の搬送システムを待たせることを少なくすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明の搬送システムは、小形物品を搬送するための第１の搬送システムと、大形物品を搬送するための第２の搬送システムとの間で、小形物品を搬送するシステムであって、前記小形物品を収納するための、第２の搬送システムで搬送自在な容器であって、前記小形物品の出入りを許容する開口を備えたものを設けると共に、第１の搬送システム側と第２の搬送システム側との間で、前記小形物品を搬送するためのコンベヤと、第２の搬送システムとの間で前記容器を受け渡し自在なステーションと、該ステーションの前記容器と前記コンベヤとの間で、前記小形物品を受け渡しするための移載手段とを設け、該移載手段は、前記小形物品をリフトアップするための昇降手段と、リフトアップされた小形物品を前記開口を通して前記容器内と前記コンベヤとの間で移動させるための移動手段、とを備えたものであることを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記容器の側面に前記開口を設けると共に、前記移載手段を、前記移動手段としてのレールにガイドされる台車と、前記昇降手段としての昇降台とで構成する。
【０００６】
また好ましくは、前記コンベヤを前記小形物品のバッファに兼用する。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、小形物品は、容器の開口を通じて移載手段により容器内とコンベヤとの間を移載される。この発明では、小形物品をリフトアップして移動させるので、プッシャーで押し込む場合などに比べ滑らかに移載できる。そして小形物品はコンベヤにより、移載手段と小形物品側の搬送システムとの間で搬送される。この発明では、小形物品を容器に収納して大形物品用の搬送システム（第２の搬送システム）で搬送できるので、小形物品用の搬送システム（第１の搬送システム）では物品を搬送できない区間を、大形物品用の搬送システムを利用して搬送できる。  
【０００８】
請求項２の発明では、小形物品は昇降台によりリフトアップされて、台車の移動により容器の側面の開口から容器内とコンベヤとの間を移動する。台車で移動させるので、スカラアームなどを用いる場合に比べて、比較的狭い開口から小形物品を出し入れできる。また台車で移動させるので、スライドフォークなどを用いる場合に比べて、容器への載置位置やコンベヤへの載置位置が正確になる。
【０００９】
請求項３の発明では、コンベヤを小形物品のバッファに兼用するので、小形物品用の搬送システムを待たせることが少ない。例えば小形物品の搬送システムで先に小形物品が搬送されてきた場合、バッファに小形物品を収容すれば良く、また小形物品の搬送システムが遅れた場合、バッファで小形物品を待たせればよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図７に、実施例の搬送システム２を示す。各図において、４はコンベヤで、レチクル側ステーション６とコンベヤユニット７並びにＦＯＵＰ側ユニット８の、３種類のユニットから成り、各ユニット６〜８は独立して動作し、ユニット６〜８の単位でレチクルカセット１８を１物品ずつ保持するバッファとして動作する。コンベヤ４のＦＯＵＰ側ユニット８に接続してステーション１０が設けられ、１２はステーション１０に設けた溝で、その内部を有軌道台車１４が走行する。有軌道台車１４は台車１５とリフタ１６とから成り、図４に示す走行レール３４にガイドされて走行し、モータを搭載して自走しても、チェーンなどで牽引走行してもよい。リフタ１６は昇降アーム１７により昇降し、実施例ではリフタ１６の走行方向中心部に昇降アーム１７を設けているが、ステーション１０とは反対側のコンベヤ４寄りに昇降アーム１７を設けても良い。
【００１２】
レチクルカセット１８は、半導体や液晶ディスプレイパネルなどの露光用のレチクルを収納したカセットで、搬送対象の小形物品はレチクルカセットに限らず、スパッタリング用のターゲットのカセットなどでも良い。レチクルカセット１８の上部にはフランジ２０を設けて、図４の天井走行車４２で把持して搬送できるようにする。２２はダミーＦＯＵＰで、ステーション１０に載置されて、図４の天井走行車５２でフランジ２４を把持して搬送する。ダミーＦＯＵＰ２２の外形は、半導体ウェハの搬送用の正規のＦＯＵＰに類似である。半導体ウェハ搬送用の正規のＦＯＵＰが特許請求の範囲での大形物品の例で、ダミーＦＯＵＰ２２が小形物品を収納して搬送するための容器の例である。
【００１３】
搬送システム２の各コンベヤユニット６〜８並びに有軌道台車１４は、制御部２６により制御され、制御部２６は通信部２８を介して上位コントローラ３０と通信する。そして上位コントローラ３０は、第１の搬送システムのコントローラであるレチクル搬送車コントローラ３２や、第２の搬送システムのコントローラであるＦＯＵＰ搬送車コントローラ３３と通信する。ここでは制御部２６は、通信部２８や上位コントローラ３０を介して、コントローラ３２，３３と通信する。これ以外にレチクル側ステーション６やステーション１０に、図４の天井走行車４２，５２と通信するための通信ユニットを設けて、天井走行車４２，５２とステーション６，１０が直接通信しても良い。
【００１４】
図２に搬送システム２の制御系を示すと、有軌道台車１４は台車１５とリフタ１６とから成り、コンベヤ４はＦＯＵＰ側ユニット８と複数のコンベヤユニット７並びにレチクル側ステーション６から成り、ユニット７，８並びにステーション６がそれぞれ独立に動作することによってアキュムレーションコンベヤとして動作する。
【００１５】
図３に実施例の搬送システム２の使用環境を示すと、３８はＦＯＵＰ搬送システムで、特許請求の範囲での、大形物品を搬送するための第２の搬送システムの例である。ＦＯＵＰ搬送システム３８は図４の天井走行車５２を用いたシステムで構成され、複数のイントラベイルート３８ａと、イントラベイルート３８ａ，３８ａ間を接続するインターベイルート３８ｂで構成され、天井走行車５２は図３の矢印の走行方向で走行する。レチクル搬送システム３６は、１つのベイ内で、レチクルマガジン３９と図示しない露光装置との間で、レチクルをレチクルカセットに収納して搬送するシステムで、特許請求の範囲での、小形物品を搬送するための第１の搬送システムの例である。レチクル搬送システム３６は、図４の天井走行車４２を用いたシステムで構成され、天井走行車４２は図３の矢印方向に周回走行し、異なるベイの間では、搬送システム２とＦＯＵＰ搬送システム３８を用いてレチクルカセットを搬送する。搬送システム３６，３８間には、実施例の搬送システム２を並列に少なくとも一対設けて、搬送システム２，２間でレチクルカセットの搬送方向を異ならせることが好ましい。
【００１６】
図４に移り、４０，５０は走行レールで、例えばクリーンルームの建屋などに支柱４１，５１により支持される。レチクル搬送用の天井走行車４２は、走行台車４４並びに走行レール４０から給電を受ける給電台車４５と、θドライブ４７及びそれよりも下側の部分を走行レール４０に対して横送りするための横送り部４６を備えている。θドライブ４７は、昇降駆動部４８を水平面内で旋回させて、レチクルカセット１８の姿勢を制御する。昇降駆動部４８は、レチクルカセット１８を把持した昇降台４９を昇降させて、露光装置やレチクルマガジンのステーション、あるいはレチクル側ステーション６との間で、レチクルカセット１８を受け渡す。なお横送り部４６やθドライブ４７は設けなくても良い。
【００１７】
ＦＯＵＰ搬送用の天井走行車５２では、走行台車５４が走行レール５０内を走行し、給電台車５５で給電を受け、横送り部５６でθドライブ５７及びそれよりも下側の部分を走行レール５０に対して横方向に移動させる。θドライブ５７は昇降駆動部５８及びそれよりも下側の部分を水平面内で旋回させる。昇降台５９は、ダミーＦＯＵＰ２２や半導体カセットを収納した正規のＦＯＵＰを、フランジ２４の部分でチャックし、昇降駆動部５８により昇降する。このようにして、ステーション１０との間でダミーＦＯＵＰ２２の受け渡しを行う。
【００１８】
図５〜図７にダミーＦＯＵＰ２２の形状を示すと、その形状は半導体ウェハの搬送用のＦＯＵＰに類似であり、側面に開口６０を設けると共に、底部に穴６２を設けてある。レチクルカセット１８は、ダミーＦＯＵＰ２２内の例えば４箇所に設けた台６４上に載置される。なお台６４間の隙間は、リフタの幅よりも広くしてある。
【００１９】
ダミーＦＯＵＰ２２とコンベヤとの間で、有軌道台車によりレチクルカセット１８を移載する場合、昇降アーム１７を上昇させてリフタ１６をリフトアップし、これによってコンベヤ上もしくはダミーＦＯＵＰ２２内のレチクルカセット１８をリフトアップする。そして昇降アームが穴６２を通過し、リフタやレチクルカセットが開口６０を通過して、ダミーＦＯＵＰ２２の内外へレチクルカセット１８を移動させる。
【００２０】
実施例では、図４の昇降アーム１７がリフタ１６の走行方向中心部にあるため、ダミーＦＯＵＰ２２に穴６２が必要である。しかし昇降アーム１７をリフタ１６のコンベヤ４寄りに設けると、穴６２を設ける必要が無く、あるいは穴６２の長さを短くできる。実施例では有軌道台車１４をコンベヤ４の下側に配置したが、コンベヤ４の上側に走行レール３４や有軌道台車１４を設け、フランジ２０を把持してリフトアップしながら、ダミーＦＯＵＰ２２の内外へレチクルカセット１８を横移動させても良い。さらに有軌道台車１４に代えて、スカラアームやスライドフォークを用いて、レチクルカセット１８を移載しても良い。この場合も、スカラアームやスライドフォークを図示しないリフタに取り付け、スカラアームやスライドフォークでフランジ２０を把持してリフトアップすると共に、横移動させる。但しスカラアームを用いると、ダミーＦＯＵＰ２２の開口６０内をアームが通過できるように、開口６０を広くする必要がある。またスライドフォークでは、レチクルカセット１８を受け渡しする位置が、有軌道台車１４やスカラアームに比べて不正確になりやすい。
【００２１】
実施例の動作を示す。ＦＯＵＰ搬送システム３８側からレチクル搬送システム３６側へレチクルカセット１８を搬送する場合、レチクルカセットを収納したダミーＦＯＵＰ２２を天井走行車５２からステーション１０へ荷下ろしする。次いで有軌道台車１４が図４の右側に走行し、昇降アーム１７がダミーＦＯＵＰ２２の底面の穴６２を通過し、リフタ１６が開口６０を通過して、リフタ１６がダミーＦＯＵＰ２２の内部に進入する。ここでリフタ１６をリフトアップさせることにより、レチクルカセット１８を台６４からリフタ１６へ移し替える。その後、有軌道台車１４を復帰させ、リフタ１６を下降させると、コンベヤ４のＦＯＵＰ側ユニット８へ、レチクルカセット１８を受け渡しできる。コンベヤ４は複数のユニット７を備え、各ユニットをバッファとして、レチクル搬送システム３６の天井走行車４２へカセット１８を移載するまでの間、コンベヤ４上でカセット１８を待機させる。
【００２２】
レチクル搬送システム３６からＦＯＵＰ搬送システム３８へ、レチクルカセット１８を搬送する場合、コンベヤ４の各ユニット７をバッファとして、ステーション１０に空のダミーＦＯＵＰ２２が到着するまでレチクルカセット１８を待機させる。そしてＦＯＵＰ側ユニット８上で、リフタ１６をリフトアップさせてレチクルカセット１８をピックアップし、有軌道台車１４を図４の右側へ走行させて、リフタ１６をダウンさせて、ダミーＦＯＵＰ２２の台６４へレチクルカセット１８を荷下ろしする。
【００２３】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  レチクル搬送システム３６，３６間で、ＦＯＵＰ搬送システム３８を用いてレチクルカセット１８を搬送できる。
(2)  有軌道台車１４を用いると、ダミーＦＯＵＰ２２に設けた比較的小さな開口６０により、レチクルカセット１８を簡単かつ正確に移載できる。
(3)  コンベヤ４をレチクルカセット１８のバッファとして利用できる。
【００２４】
実施例では小形物品の例としてレチクルカセット１８を、大形物品の例としてＦＯＵＰを示したがこれに限るものではない。またレチクル搬送システム３６やＦＯＵＰ搬送システム３８の種類は任意で、天井走行車のシステム以外に、有軌道台車のシステムや長距離コンベヤのシステム、スタッカークレーンのシステムなどとしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施例の搬送システムのレイアウトを模式的に示す平面図
【図２】実施例の搬送システムを制御面から見たブロック図
【図３】実施例の搬送システムの使用環境を模式的に示す平面図
【図４】実施例の搬送システムをＦＯＵＰステーション側を切り欠いて示す正面図
【図５】実施例で用いるレチクル搬送用ダミーＦＯＵＰの平面図
【図６】図５のダミーＦＯＵＰの正面図
【図７】図６のVII−VII方向断面図
【符号の説明】
【００２６】
２            搬送システム
４            コンベヤ
６            レチクル側ステーション
７            コンベヤユニット
８            ＦＯＵＰ側ユニット
１０          ステーション
１２          溝
１４          有軌道台車
１５          台車
１６          リフタ
１７          昇降アーム
１８          レチクルカセット
２０，２４    フランジ
２２          ダミーＦＯＵＰ
２６          制御部
２８          通信部
３０          上位コントローラ
３２          レチクル搬送車コントローラ
３３          ＦＯＵＰ搬送車コントローラ
３４          走行レール
３６          レチクル搬送システム
３８          ＦＯＵＰ搬送システム
３９          レチクルマガジン
４０，５０    走行レール
４１，５１    支柱
４２，５２    天井走行車
４４，５４    走行台車
４５，５５    給電台車
４６，５６    横送り部
４７，５７    θドライブ
４８，５８    昇降駆動部
４９，５９    昇降台
６０          開口
６２          穴
６４          台
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2007287877.tif 000008
【図７】
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