(57)【要約】【課題】  ノッチの面取り加工を行なう際に筋や段差が入らない良好な加工面を得られるウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置を提供する。【解決手段】  ノッチを有するウェーハの面取り方法において、θスピンドル３３により回転するウェーハテーブル３４へ回転自在に支持されたウェーハＷを、ノッチＮの直線部Ａが下段移動軸７１の移動方向と平行になるように合わせられ、下段移動軸７１の移動方向にのみウェーハＷを移動させてノッチＮの面取りを行ない、直線部Ｂは上段移動軸７４の移動方向にのみウェーハＷを移動させて研削を行なう。これにより、ノッチＮの直線部Ａ、又は直線部Ｂは平行に合わせられた１軸のみの移動で研削されるため、筋や段差が加工面に発生することがなく、良好な加工面を得ることが出来る。【選択図】図４
2007044853.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに交差する複数の直線移動軸を有するウェーハ面取り装置を用い、ウェーハに形成された交差する２個の直線部を有するノッチ部を面取りするにあたり、
前記ノッチの一方の直線部を面取りするときは、該一方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの１軸と平行に合わせ、該１軸のみの移動で該一方の直線部を面取りし、前記ノッチの他方の直線部を面取りするときは、該他方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの他の１軸と平行に合わせ、該他の１軸のみの移動で該他方の直線部を面取りすることを特徴とするウェーハ面取り方法。
【請求項２】
前記複数の直線移動軸のうちいずれかを、前記ノッチの直線部の交差角度と等しい角度で交差して設け、前記ノッチの直線部と平行に前記ウェーハを移動させることを特徴とする請求項１に記載のウェーハ面取り方法。
【請求項３】
前記複数の直線移動軸のうちの１軸と平行に合わせられた前記ノッチの一方の直線部の面取りが該ノッチの最深部まで行なわれた際には、ノッチ部の面取り加工を行なうノッチ用砥石の回転中心を中心にして前記ウェーハを回転させ、該ノッチの他方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの他の１軸と平行に合わせ、該他の１軸のみの移動で該他方の直線部を面取りすることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のウェーハ面取り方法。
【請求項４】
ノッチを有するウェーハを載置してθ回転軸により回転するウェーハテーブルと、
前記ノッチを回転しながら面取りするノッチ用砥石と、
前記ノッチの直線部の交差角度と等しい角度で交差した２つの直線移動軸を有し、前記ウェーハを前記ノッチ用砥石に対して相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするウェーハ面取り装置。
【請求項５】
前記２つの直線移動軸は、該２つの直線移動軸の間に設けられた回転機構により任意の角度に交差角度を変更可能であることを特徴とする請求項４に記載のウェーハ面取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体装置や電子部品等の素材となるウェーハの面取り方法において、特に外周部にノッチを有するウェーハのノッチ部分の面取り方法及び面取り装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置や電子部品等の素材となるシリコン等のウェーハは、インゴットの状態から内周刃やワイヤーソー等のスライシング装置でスライスされた後、その周縁の割れや欠け等を防止するために外周部に面取り加工が施される。面取り加工に使用される面取り装置では、面取り形状や工程に合わせて各種砥石が複数取り付けられており、ウェーハ外周部に設けられている方位の基準位置となるＶ字状のノッチ（図７に示すＮ部）には、外周部を面取りする場合とは異なるノッチ用の砥石が用いられる。
【０００３】
従来、ノッチの面取り加工においては、直線軸であるＹ軸と回転軸であるθ軸、又は直交する２つの直線軸であるＹ軸とＸ軸とにより、ウェーハとノッチ用砥石とを相対的に移動させて面取り加工を行なっていた（例えば、特許文献１、又は特許文献２参照。）。
【特許文献１】特開平６−１０４２２８号公報
【特許文献２】特開平１０−２４９６８９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１、又は特許文献２に記載されているノッチの面取り方法では、どちらも２軸同期制御により斜め方向の直線移動を行なうため、Ｖ字状に開いたノッチの両直線部面取り加工時の直線性が悪くなり、筋や段差が面取り面に入りやすい。また、Ｙ軸はノッチの最深部（ノッチボトムと称する）で反転動作があり、バックラッシュ等で段差が発生しやすいという問題があった。
【０００５】
本発明はこのような問題を解決する為、ノッチの面取り加工を行なう際に筋や段差が入らない良好な加工面を得られるウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、互いに交差する複数の直線移動軸を有するウェーハ面取り装置を用い、ウェーハに形成された交差する２個の直線部を有するノッチ部を面取りするにあたり、前記ノッチの一方の直線部を面取りするときは、該一方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの１軸と平行に合わせ、該１軸のみの移動で該一方の直線部を面取りし、前記ノッチの他方の直線部を面取りするときは、該他方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの他の１軸と平行に合わせ、該他の１軸のみの移動で該他方の直線部を面取りすることを特徴としている。
【０００７】
請求項１の発明によれば、ウェーハ面取り装置に備えられた直線移動軸、又は回転軸により、ウェーハに形成された交差する２個の直線部を有するノッチの一方の直線部が複数の直線移動軸の１軸と平行に合わせられる。この状態で平行に合わせられた直線移動軸のみが移動してノッチの直線部を面取り加工する。他方の直線部を面取り加工するときは、他方の直線部を複数の直線移動軸の別の直線移動軸と平行になるように合わせ、合わせられた別の直線移動軸のみが移動して他方の直線部の面取り加工を行なう。
【０００８】
これにより、ウェーハは平行に合わせられた１軸のみで移動するため、ノッチの直線部がノッチ用砥石に対して高い直線性を保ちながら移動して面取り加工される。よって、筋や段差が加工面に発生することがなく、良好な加工面を得ることが出来る。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１の発明において、前記複数の直線移動軸のうちいずれかを、前記ノッチの直線部の交差角度と等しい角度で交差して設け、前記ノッチの直線部と平行に前記ウェーハを移動させることを特徴としている。
【００１０】
請求項２の発明によれば、Ｖ字状に開いたノッチの直線部の交差角度と等しい角度に交差した２つの直線移動軸によりノッチの直線部が加工される。
【００１１】
これにより、９０度以外の任意の角度に開いているノッチの直線部の面取り加工においても、直線部と直線移動軸が平行に合わせられて移動し、高い直線性を保った面取り加工が実現される。
【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２の発明において、前記複数の直線移動軸のうちの１軸と平行に合わせられた前記ノッチの一方の直線部の面取りが該ノッチの最深部まで行なわれた際には、ノッチ部の面取り加工を行なうノッチ用砥石の回転中心を中心にして前記ウェーハを回転させ、該ノッチの他方の直線部を前記複数の直線移動軸のうちの他の１軸と平行に合わせ、該他の１軸のみの移動で該他方の直線部を面取りすることを特徴としている。
【００１３】
請求項３の発明によれば、複数の直線移動軸のうちの１軸と平行に合わせられた一方のノッチ直線部の面取り加工を進め、加工がノッチボトムまで達した場合、他方のノッチ直線部が複数の直線移動軸のうちの他の１軸と平行に合う位置まで、ノッチ用砥石の回転中心を中心としてウェーハ面取り装置に備えられた直線移動軸、又は回転軸によりウェーハを回転させる。回転後は合わせられた他の直線移動軸のみが移動して他方の直線部の面取り加工を行なう。
【００１４】
これにより、ノッチ直線部を加工するために移動する軸は一方向にのみ動けばよく、反転動作が生じないため、バックラッシュ等を原因とする加工面の段差が発生しなくなる。
【００１５】
請求項４に記載の発明は、ノッチを有するウェーハを載置してθ回転軸により回転するウェーハテーブルと、前記ノッチを回転しながら面取りするノッチ用砥石と、前記ノッチの直線部の交差角度と等しい角度で交差した２つの直線移動軸を有し、前記ウェーハを前記ノッチ用砥石に対して相対的に移動させる移動機構とを備えたことを特徴としている。
【００１６】
請求項４の発明によれば、ノッチ直線部の交差角度と等しい角度で交差している直線移動軸を有する移動機構とθ回転軸により、ノッチ用砥石の加工位置において、ノッチ直線部と直線移動軸とが平行に合わせられる。この状態で平行に合わせられた直線移動軸のみが移動してノッチ直線部の面取り加工が行なわれる。
【００１７】
これにより、高い直線性を保った状態でノッチ直線部の面取り加工が行なわれ、筋や溝が発生しない良好な加工面を得ることが可能となる。
【００１８】
請求項５に記載の発明は、請求項４の発明において、前記２つの直線移動軸は、該２つの直線移動軸の間に設けられた回転機構により任意の角度に交差角度を変更可能であることを特徴としている。
【００１９】
請求項５によれば、回転機構により２つの直線移動軸の交差角度が任意に変更可能であるため、ノッチ直線部の交差角度が変更されても容易に直線移動軸の交差角度をノッチ直線部の交差角度に合わせることができる。
【発明の効果】
【００２０】
以上説明したように、本発明のウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置によれば、高い直線性を保ちながらノッチ直線部の面取り加工が行なわれるので、加工面に筋や段差が生じない。また、１方向にのみ軸を移動させて面取り加工が行なわれるので、軸のバックラッシュ等による段差がノッチボトムなどで発生しない。これにより、筋や段差の無い良好な加工面を得ることが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下添付図面に従って本発明に係るウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置の好ましい実施の形態について詳説する。
【００２２】
最初に、本発明に係るウェーハ面取り装置について説明する。図１は、面取り装置の主要部を示す正面図である。面取り装置１０は、ウェーハ送りユニット２０、砥石回転ユニット５０、図示しないウェーハ供給／収納部、ウェーハ洗浄／乾燥部、ウェーハ搬送手段、及び面取り装置各部の動作を制御するコントローラ等から構成されている。
【００２３】
ウェーハ送りユニット２０は、本体ベース１１上に載置されたＸ軸ベース２１、２本のＸ軸ガイドレール２２、２２、４個のＸ軸リニアガイド２３、２３、…、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＸ軸駆動手段２５によって図のＸ方向に移動されるＸテーブル２４を有している。
【００２４】
Ｘテーブル２４には、２本のＹ軸ガイドレール２６、２６、４個のＹ軸リニアガイド２７、２７、…、図示しないボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＹ軸駆動手段によって図のＹ方向に移動されるＹテーブル２８が組込まれている。
【００２５】
Ｙテーブル２８には、２本のＺ軸ガイドレール２９、２９と図示しない４個のＺ軸リニアガイドによって案内され、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る直線移動軸であるＺ軸駆動手段３０によって図のＺ方向に移動されるＺテーブル３１が組込まれている。
【００２６】
Ｚテーブル３１には、２つの移動方向が交差している軸と回転軸によって構成され、ノッチ部直線部分を、ノッチ用研削砥石に対して、高い直線性を保ちながら移動させるノッチ用移動機構７０が組込まれている。
【００２７】
ノッチ用移動機構７０には、θ軸モータ３２、θ回転軸であるθスピンドル３３が組込まれ、θスピンドル３３にはウェーハＷを吸着載置するウェーハテーブル（載置台）３４が取り付けられており、ウェーハテーブル３４はウェーハテーブル回転軸心ＣＷを中心として図のθ方向に回転される。
【００２８】
また、ウェーハテーブル３４の下部には、ウェーハＷの周縁を仕上げ面取りする砥石のツルーイングに用いるツルーイング砥石４１（以下ツルアー４１と称する）が、ウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心に取り付けられている。
【００２９】
このウェーハ送りユニット２０によって、ウェーハＷ及びツルアー４１は図のθ方向に回転されるとともに、Ｘ、Ｙ、及びＺ方向に移動され、更に希望するウェーハのノッチ部直線部分と平行に移動される。
【００３０】
砥石回転ユニット５０は、外周加工砥石５２が取り付けられ、図示しない外周砥石モータによって軸心ＣＨを中心に回転駆動される外周砥石スピンドル５１、外周加工砥石５２の上方に配置されたターンテーブル５３に取付けられた外周精研スピンドル５４及び外周精研モータ５６、ノッチ粗研スピンドル６０及びノッチ粗研モータ６２、ノッチ精研スピンドル５７及びノッチ精研モータ５９を有している。
【００３１】
外周精研スピンドル５４は、回転軸がウェーハＷの接線方向（図１に示すＸ軸方向）に向かって（本実施例においては８度）傾斜している。外周精研スピンドル５４にはウェーハＷの外周を仕上げ研削する面取り用砥石である外周精研削砥石５５が取付けられている。
【００３２】
ノッチ粗研スピンドル６０にはノッチ粗研削砥石６１が、またノッチ精研スピンドル５７には、ノッチ部を仕上げ研削する面取り砥石であるノッチ精研削砥石５８が取付けられている。ノッチ精研削砥石５８は、任意の方向に所定量傾斜させることができるように保持されている。
【００３３】
図２は、ウェーハテーブル３４に取付けられたツルアー４１を表わしている。ツルアー４１は、図２に示すように、ウェーハテーブル３４の下部にウェーハテーブル回転軸心ＣＷと同心で取付けられ、θ軸モータ３２によってθ回転される。また、ウェーハテーブル３４の上面は、図示しない真空源と連通する吸着面になっており、面取り加工されるウェーハＷが載置されて吸着固定される。
【００３４】
図３は、外周加工砥石５２の構成を表わしたものである。外周加工砥石５２は２段構成になっており、下段はツルアー４１の外周形状を形成するマスター溝５２ａを有するマスター砥石５２Ａで、上段はウェーハＷの外周粗研削用溝５２ｂが形成された外周粗研削砥石５２Ｂになっている。
【００３５】
図４は、ノッチ用移動機構７０の構成を表した側面斜視図である。ノッチ用移動機構７０には、移動方向が交差している直線移動軸である下段移動軸７１と、上段移動軸７４とを備え、間に下段移動軸７１と、上段移動軸７４との交差角度を変更する回転機構としての回転テーブル７３が備えられている。
【００３６】
下段移動軸７１は、ガイドレール７６、７６と、図示しないリニアガイドによりガイドされ、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る駆動手段７２によって矢印Ｅ方向へ移動可能に取り付けられている。
【００３７】
上段移動軸７４は、下段移動軸７１と同様に、ガイドレール７７、７７と、図示しないリニアガイドによりガイドされ、ボールスクリュー及びステッピングモータから成る駆動手段７５によって矢印Ｃ方向へ移動可能に取り付けられている。
【００３８】
回転テーブル７３は、図示しない駆動手段により矢印Ｄ方向へ回転し、下段移動軸７１と、上段移動軸７４との交差角度を、加工を希望するウェーハＷのノッチＮの直線部Ａと直線部Ｂとの交差角度と等しくする。
【００３９】
これにより、下段移動軸７１と、上段移動軸７４とはノッチＮの直線部Ａと直線部Ｂとに対して平行に移動することが可能となり、直線部Ａと直線部Ｂとが、ノッチ用砥石であるノッチ粗研削砥石６１とノッチ精研削砥石５８とに対して高い直線性を保ちながら移動して面取り加工される。
【００４０】
なお、図３においては説明を簡略にするため、各砥石に夫々１個の溝が記載されているが、実際には摩耗による溝形状の変形に対処するため、各砥石には夫々複数個の溝が形成されている。
【００４１】
本実施の形態においては、ツルアー４１は、加工されるウェーハＷと同等以下の外径であり、同厚の円盤状ＧＣ（Ｇｒｅｅｎ  ｓｉｌｉｃｏｎ  ｃａｒｂｉｄｅ）砥石、又はＷＡ（Ｗｈｉｔｅ  ｆｕｓｅｄ  ａｌｕｍｉｎａ）砥石が用いられ、砥石の粒度は＃３２０である。
【００４２】
また、マスター砥石５２Ａは直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃６００とした。また外周粗研削砥石５２Ｂは、直径２０２ｍｍのダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石で、粒度＃８００である。
【００４３】
外周精研削砥石５５は、直径５０ｍｍのダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石で、粒度＃３０００とした。また、ノッチ粗研削砥石６１は直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のメタルボンド砥石、粒度＃８００が用いられ、ノッチ精研削砥石５８は、直径１．８ｍｍ〜２．４ｍｍの小径で、ダイヤモンド砥粒のレジンボンド砥石、粒度＃４０００が用いられている。
【００４４】
外周砥石スピンドル５１は、ボールベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度８，０００ｒｐｍで回転される。また、外周精研スピンドル５４はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度３５，０００ｒｐｍで回転される。
【００４５】
ノッチ粗研スピンドル６０は、エアーベアリングを用いたエアータービン駆動のスピンドルで、回転速度８０，０００ｒｐｍで回転され、ノッチ精研スピンドル５７はエアーベアリングを用いたビルトインモータ駆動のスピンドルで、回転速度１５０，０００ｒｐｍで回転される。
【００４６】
面取り装置１０のその他の構成部分については、一般的によく知られた機構であるため、詳細な説明は省力する。
【００４７】
次に、本発明に係わるウェーハ面取り装置の面取り方法について説明する。図５、及び図６はノッチ精研削砥石５８、又はノッチ粗研削砥石６１によりウェーハＷのノッチＮの研削を行なっている状態を示した側面斜視図である。
【００４８】
面取り装置１０では、まず外周加工砥石５２のマスター砥石５２Ａにより、目的とする面取り形状に加工されたツルアー４１を使い、外周精研削砥石５５、ノッチ精研削砥石５８に対してツルーイングが行なわれる。
【００４９】
ツルーイングによって各砥石に面取り加工用の溝が形成された後、ウェーハテーブル３４へウェーハＷが載置されて面取り加工が開始される。
【００５０】
面取り加工では、まず外周加工砥石５２の外周粗研削砥石５２ＢによりウェーハＷの外周が粗研削される。ウェーハＷの外周粗研削が終了すると、Ｘテーブル２４、Ｙテーブル２８、及びＺテーブル３１の各テーブルが移動してウェーハＷが外周精研削砥石５５の加工位置に合わせられ、ウェーハＷの外周精研削が開始される。
【００５１】
ウェーハＷの外周精研削が終了すると、Ｙテーブル２８が戻されてウェーハＷが外周精研削砥石５５から離れる。続いて、ターンテーブル５３が回転してノッチ粗研削砥石６１がノッチＮを加工する位置まで移動するとともに、Ｚテーブル３１によりウェーハＷがノッチ粗研削砥石６１の加工位置までＺ方向に移動する。
【００５２】
ノッチ粗研削砥石６１とウェーハＷのＺ方向の加工位置が合ったところで、図４に示すように、θスピンドル３３とＸテーブル２４とによりウェーハＷのノッチＮがノッチ粗研削砥石６１へ向けられ、且つ下段移動軸７１の移動方向である矢印ＥとノッチＮの直線部Ａとが平行になるように合わせられる。平行に合わせられた後は、回転テーブル７３により、下段移動軸７１と上段移動軸７４との移動方向の交差角度が、ノッチＮの直線部Ａと直線部Ｂとの交差角度と等しくなるように調整される。調整終了後、ノッチ粗研削砥石６１が回転し、ノッチＮの粗研削が開始される。
【００５３】
ノッチＮの粗研削では、図５（ａ）に示すように、まずノッチＮの直線部Ａ側へノッチ粗研削砥石６１が当接され研削が開始される。この状態で、移動方向が直線部Ａと平行に合わせられた下段移動軸７１が、矢印Ｅ１方向へ移動して直線部Ａの研削が行なわれる。
【００５４】
図５（ｂ）に示すように、ノッチ粗研削砥石６１がノッチボトムＮＢまで到達したところで下段移動軸７１は停止する。続いて、上段移動軸７４が矢印Ｃ１方向へ移動して直線部Ｂの研削が行なわれる。
【００５５】
直線部Ｂの研削が終了しノッチ粗研削が終了すると、Ｙテーブル２８が戻されノッチ粗研削砥石６１からウェーハＷが離れ、ターンテーブル５３が回転してノッチ精研削砥石５８がノッチＮを加工する位置まで移動する。移動後は、ノッチ精研削砥石５８が回転し、Ｙテーブル２８とＸテーブル２４とにより、図５（ａ）に示すように、ノッチＮの直線部Ａ側へノッチ精研削砥石５８が当接されノッチ精研削が開始される。
【００５６】
ノッチ精研削では、ノッチ粗研削と同様に、移動方向が直線部Ａと平行に合わせられた下段移動軸７１が、矢印Ｅ１方向へ移動して直線部Ａの研削が行なわれ、ノッチ精研削砥石５８がノッチボトムＮＢまで到達したところで下段移動軸７１が停止し、上段移動軸７４が矢印Ｃ１方向へ移動して直線部Ｂの研削が行なわれる。
【００５７】
下段移動軸７１と上段移動軸７４との移動方向の交差角度と、直線部Ａと直線部Ｂとの交差角度は等しく調整されている為、直線部Ａと直線部Ｂとは高い直線性を保った面取り加工が行なわれる。これにより、ノッチＮは筋や段差が発生しない良好な加工面となる。
【００５８】
次に、本発明に係わるウェーハ面取り装置の面取り方法の別の実施の形態について説明する。
【００５９】
各砥石へのツルーイングと、ウェーハＷへの外周粗研削、及び外周精研削を終了した面取り装置１０では、ノッチＮの粗研削、及び精研削が行なわれる。
【００６０】
ターンテーブル５３が回転してノッチ粗研削砥石６１がノッチＮを加工する位置まで移動するとともに、Ｚテーブル３１によりウェーハＷがノッチ粗研削砥石６１の加工位置までＺ方向に移動する。続いて、θスピンドル３３とＸテーブル２４とによりノッチＮがノッチ粗研削砥石６１へ向けられ、且つ下段移動軸７１の移動方向である矢印ＥとノッチＮの直線部Ａとが平行になるように合わせられノッチＮの粗研削が開始される。
【００６１】
ノッチＮの粗研削では、図６（ａ）に示すように、ノッチ粗研削砥石６１がノッチＮの直線部Ａ側へ当接され、移動方向を直線部Ａと平行に合わせられた下段移動軸７１により、ウェーハＷが矢印Ｅ１方向へ移動して直線部Ａの研削が行なわれる。
【００６２】
図６（ｂ）に示すように、ノッチ粗研削砥石６１がノッチボトムＮＢまで到達したところで下段移動軸７１は停止する。ここで、ウェーハＷは、ノッチ粗研削砥石６１の回転中心を中心として、Ｘテーブル２４、Ｙテーブル２８、及びθスピンドル３３によりＸテーブル２４の移動方向と直線部Ｂとが平行になる位置まで矢印Ｆ方向へ回転する。
【００６３】
回転後、ウェーハＷは、Ｘテーブル２４により矢印Ｘ１方向へ移動し、直線部Ｂが研削されてノッチ粗研削が終了する。
【００６４】
ノッチ粗研削終了後は、同様にノッチ精研削が行なわれる。ターンテーブル５３が回転してノッチ精研削砥石５８がノッチＮを加工する位置まで移動するとともに、ウェーハＷが加工位置までＺ方向に移動する。続いて、ノッチＮがノッチ精研削砥石５８へ向けられ、且つ下段移動軸７１の移動方向である矢印ＥとノッチＮの直線部Ａとが平行になるように合わせられノッチＮの精研削が開始される。
【００６５】
ノッチＮの精研削では、図６（ａ）に示すように、ノッチ精研削砥石５８がノッチＮの直線部Ａ側へ当接され、下段移動軸７１により、ウェーハＷが矢印Ｅ１方向へ移動して直線部Ａの研削が行なわれる。ノッチ精研削砥石５８がノッチボトムＮＢまで到達したところで下段移動軸７１が停止し、ウェーハＷは、ノッチ精研削砥石５８の回転中心を中心として、Ｘテーブル２４の移動方向と直線部Ｂとが平行になる位置まで矢印Ｆ方向へ回転する。
【００６６】
回転後、ウェーハＷは、Ｘテーブル２４により矢印Ｘ１方向へ移動し、直線部Ｂが研削されてノッチ精研削が終了する。これにより、ノッチＮは筋や段差が発生しない良好な加工面となる。
【００６７】
なお、本別の実施の形態において、回転したウェーハＷの直線部Ｂを、Ｘテーブル２４の移動方向と平行になるように合わせているが、本発明はこれに限らず、直線部ＢをＹテーブル２８の移動方向に平行に合わせても実施可能である。
【００６８】
また、ウェーハテーブル３４と同様に、砥石が各種移動軸により移動可能に設けられ、砥石の移動により面取り加工が行なわれる装置においては、砥石を移動させる直線移動軸のうちの１軸をノッチＮの直線部へ平行に合わせ、合わせられた直線移動軸のみを移動させて面取り加工を行なうことにより、本発明の実施の形態と同等に実施可能である。
【００６９】
以上説明したように、本発明に係るウェーハ面取り方法及びウェーハ面取り装置によれば、ノッチ直線部に対して移動方向が平行に合わせられた軸のみによりウェーハＷが移動して研削されるため、高い直線性を保ちながらノッチ直線部の面取り加工が行なわれる。よって、加工面に筋や段差が生じない。また、１方向にのみ軸を移動させて面取り加工が行なわれるので、ノッチボトムなどで軸のバックラッシュ等による段差が発生しない。これらにより、加工面に筋や段差が生じないノッチの面取り加工が可能となる。
【００７０】
なお、本実施の形態の説明では砥石の回転数、砥石の個数、砥石の傾斜角度、加工手順等を特定した形で説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、ウェーハの形状や材質等、様々な加工条件に応じて変更が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７１】
【図１】本発明に係わる面取り装置の主要部を示す正面図。
【図２】ウェーハテーブル周りの拡大図。
【図３】外周加工砥石を示した側面図。
【図４】ノッチ用移動機構の構成を表した側面斜視図。
【図５】ノッチ用砥石によりノッチの研削を行なっている状態を示した側面斜視図。
【図６】別の実施の形態におけるノッチの研削を行なっている状態を示した側面斜視図。
【図７】ノッチ付きウェーハの上面図。
【符号の説明】
【００７２】
１０…面取り装置，２４…Ｘテーブル，２８…Ｙテーブル，３３…θスピンドル（θ回転軸），３４…ウェーハテーブル，４１…ツルーイング砥石（ツルアー），５２…外周加工砥石，５４…外周精研スピンドル，５５…外周精研削砥石（面取り用砥石），５８…ノッチ精研削砥石，６１…ノッチ粗研削砥石，７０…ノッチ用移動機構，７１…下段移動軸、７３…回転テーブル，７４…上段移動軸、Ｗ…ウェーハ
【図１】
2007044853.tif 000003
【図２】
2007044853.tif 000004
【図３】
2007044853.tif 000005
【図４】
2007044853.tif 000006
【図５】
2007044853.tif 000007
【図６】
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【図７】
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