(57)【要約】【課題】研磨テープの消費量が少ないテープ研磨装置を提供する。【解決手段】このテープ研磨装置では、研磨ヘッド５の先端の幅は研磨テープ２の幅の半分以下であり、研磨ヘッド５の先端は研磨テープ２の幅の片側半分以下の部分を基板の突起欠陥に押し付ける。したがって、研磨時は研磨テープ５の片側半分のみを使用するので、１本の研磨テープ５を２回使用することができ、研磨テープ５の消費量が半減する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物の突起に研磨テープを押し付ける研磨ヘッドと、前記突起と前記研磨ヘッドの間に前記研磨テープを供給するテープ送り機構とを備え、前記突起を研磨するテープ研磨装置において、
前記研磨ヘッドの先端は、前記研磨テープの幅の半分以下の幅を有し、前記研磨テープの幅を２分割する中心線よりも一方側の部分のみに押し当てられることを特徴とする、テープ研磨装置。
【請求項２】
前記テープ送り機構は、
第１および第２の回転軸と、
前記第１または第２の回転軸に着脱自在に装着される第１のリールと、
前記第２または第１の回転軸に着脱自在に装着される第２のリールとを含むことを特徴とする、請求項１に記載のテープ研磨装置。
【請求項３】
請求項２に記載のテープ研磨装置を用いて前記突起を研磨する方法であって、
前記第１のリールを前記第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた前記第２のリールを前記第２の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを同じ方向に回転させ、前記第２のリールから供給される研磨テープを前記第１のリールで巻き取りながら前記中心線よりも一方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第１のステップと、
前記第２のリールの研磨テープを前記第１のリールに巻き取った後、前記第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを同じ方向に回転させ、前記第１のリールから供給される研磨テープを前記第２のリールで巻き取りながら前記中心線よりも他方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第２のステップとを含むことを特徴とする、テープ研磨装置の使用方法。
【請求項４】
請求項２に記載のテープ研磨装置を用いて前記突起を研磨する方法であって、
前記第１のリールを前記第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた前記第２のリールを前記第２の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させ、前記第２のリールから供給される研磨テープを前記第１のリールで巻き取りながら前記中心線よりも一方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第１のステップと、
前記第２のリールの研磨テープを前記第１のリールに巻き取った後、前記第１および第２のリールをそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させて前記第１のリールに巻き取った研磨テープを前記第２のリールに巻き取る第２のステップと、
前記第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを同じ方向に回転させて前記第２のリールに巻き取った研磨テープを前記第１のリールに巻き取る第３のステップと、
前記第１および第２のリールをそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを異なる方向に回転させて前記第１のリールから供給される研磨テープを前記第２のリールで巻き取りながら前記中心線よりも他方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第４のステップとを含むことを特徴とする、テープ研磨装置の使用方法。
【請求項５】
前記第２および第３のステップにおける前記第１の回転軸の回転速度は、前記第１および第４のステップにおける前記第１の回転軸の回転速度よりも速いことを特徴とする、請求項４に記載のテープ研磨装置の使用方法。
【請求項６】
請求項２に記載のテープ研磨装置を用いて前記突起を研磨する方法であって、
前記第１のリールを前記第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた前記第２のリールを前記第２の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させ、前記第２のリールから供給される研磨テープを前記第１のリールで巻き取りながら前記中心線よりも一方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第１のステップと、
前記第２のリールの研磨テープを前記第１のリールに巻き取った後、前記第１および第２のリールを前記第１のステップと逆の方向に回転させて前記第１のリールに巻き取った研磨テープを前記第２のリールに巻き取る第２のステップと、
前記第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着し、前記第１および第２のリールを同じ方向に回転させて前記第２のリールに巻き取った研磨テープを前記第１のリールに巻き取る第３のステップと、
前記第１および第２のリールをそれぞれ前記第２および第１の回転軸に装着した状態で、前記第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させて前記第１のリールから供給される研磨テープを前記第２のリールで巻き取りながら前記中心線よりも他方側の部分のみを用いて前記突起を研磨する第４のステップとを含むことを特徴とする、テープ研磨装置の使用方法。
【請求項７】
前記第２および第３のステップにおける前記第２の回転軸の回転速度は、前記第１および第４のステップにおける前記第１の回転軸の回転速度よりも速いことを特徴とする、請求項６に記載のテープ研磨装置の使用方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はテープ研磨装置およびその使用方法に関し、特に、対象物の突起を研磨テープで研磨するテープ研磨装置およびその使用方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、カラーフィルタ基板のような基板の表面に発生した突起欠陥を研磨して平坦にするためテープ研磨装置が使用されている（たとえば特許文献１参照）。このテープ研磨装置では、供給リールから供給される研磨テープを所定の速度で巻き取りリールで巻き取りながら、研磨ヘッドによって研磨テープの中央部を突起欠陥に押し付けて突起欠陥を研磨除去していた。
【特許文献１】特開平８−２２９７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、従来のテープ研磨装置では、研磨テープの幅に比べて突起欠陥の幅（たとえば０．１〜５ｍｍ程度）が狭いので、研磨テープの中央部のみが使用されて両端部が研磨に使用されない状態で廃棄され、研磨テープが無駄に消費されるという問題があった。この対策として、研磨テープの幅を狭くすることも考えられるが、５〜１０ｍｍ程度が限度であり、それ以上狭くすると研磨テープが捩れたり切れ易くなってしまう。
【０００４】
それゆえに、この発明の主たる目的は、研磨テープの消費量が少ないテープ研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
この発明に係るテープ研磨装置は、対象物の突起に研磨テープを押し付ける研磨ヘッドと、突起と研磨ヘッドの間に研磨テープを供給するテープ送り機構とを備え、突起を研磨するテープ研磨装置において、研磨ヘッドの先端は、研磨テープの幅の半分以下の幅を有し、研磨テープの幅を２分割する中心線よりも一方側の部分のみに押し当てられることを特徴とする。したがって、研磨時は研磨テープの片側半分のみを使用するので、１本の研磨テープを２回使用することができ、研磨テープの消費量が半減する。
【０００６】
好ましくは、テープ送り機構は、第１および第２の回転軸と、第１または第２の回転軸に着脱自在に装着される第１のリールと、第２または第１の回転軸に着脱自在に装着される第２のリールとを含む。この場合は、たとえば研磨テープの片側半分の使用が終了した後、第１および第２のリールの表裏を反転させて交換することにより、研磨テープの残りの片側半分を使用することができる。
【０００７】
また、この発明に係るテープ研磨装置の使用方法は、上記テープ研磨装置を用いて突起を研磨する方法であって、第１のリールを第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた第２のリールを第２の回転軸に装着し、第１および第２のリールを同じ方向に回転させ、第２のリールから供給される研磨テープを第１のリールで巻き取りながら中心線よりも一方側の部分のみを用いて突起を研磨する第１のステップと、第２のリールの研磨テープを第１のリールに巻き取った後、第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ第２および第１の回転軸に装着し、第１および第２のリールを同じ方向に回転させ、第１のリールから供給される研磨テープを第２のリールで巻き取りながら中心線よりも他方側の部分のみを用いて突起を研磨する第２のステップとを含むことを特徴とする。この場合は、第１のステップで研磨テープの片側半分を使用し、第２のステップで残りの片側半分を使用することができる。
【０００８】
また、この発明に係る他のテープ研磨装置の使用方法は、上記テープ研磨装置を用いて突起を研磨する方法であって、第１のリールを第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた第２のリールを第２の回転軸に装着し、第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させ、第２のリールから供給される研磨テープを第１のリールで巻き取りながら中心線よりも一方側の部分のみを用いて突起を研磨する第１のステップと、第２のリールの研磨テープを第１のリールに巻き取った後、第１および第２のリールをそれぞれ第２および第１の回転軸に装着し、第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させて第１のリールに巻き取った研磨テープを第２のリールに巻き取る第２のステップと、第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ第２および第１の回転軸に装着し、第１および第２のリールを同じ方向に回転させて第２のリールに巻き取った研磨テープを第１のリールに巻き取る第３のステップと、第１および第２のリールをそれぞれ第２および第１の回転軸に装着し、第１および第２のリールを異なる方向に回転させて第１のリールから供給される研磨テープを第２のリールで巻き取りながら中心線よりも他方側の部分のみを用いて突起を研磨する第４のステップとを含むことを特徴とする。この場合は、第１のステップで研磨テープの片側半分を使用し、第４のステップで残りの片側半分を使用することができる。また、第１のステップにおいて第１のリールに巻き取られた研磨テープの研磨面と第２のリールに巻き取られた研磨テープの研磨面が異なる側を向くので、研磨に使用したかどうかを容易に判別することができる。
【０００９】
好ましくは、第２および第３のステップにおける第１の回転軸の回転速度は、第１および第４のステップにおける第１の回転軸の回転速度よりも速い。この場合は、研磨テープを迅速に巻き直すことができる。
【００１０】
また、この発明に係るさらに他のテープ研磨装置の使用方法は、上記テープ研磨装置を用いて突起を研磨する方法であって、第１のリールを第１の回転軸に装着するとともに未使用の研磨テープが巻き付けられた第２のリールを第２の回転軸に装着し、第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させ、第２のリールから供給される研磨テープを第１のリールで巻き取りながら中心線よりも一方側の部分のみを用いて突起を研磨する第１のステップと、第２のリールの研磨テープを第１のリールに巻き取った後、第１および第２のリールを第１のステップと逆の方向に回転させて第１のリールに巻き取った研磨テープを第２のリールに巻き取る第２のステップと、第１および第２のリールの表裏を反転させてそれぞれ第２および第１の回転軸に装着し、第１および第２のリールを同じ方向に回転させて第２のリールに巻き取った研磨テープを第１のリールに巻き取る第３のステップと、第１および第２のリールをそれぞれ第２および第１の回転軸に装着した状態で、第１および第２のリールを互いに異なる方向に回転させて第１のリールから供給される研磨テープを第２のリールで巻き取りながら中心線よりも他方側の部分のみを用いて突起を研磨する第４のステップとを含むことを特徴とする。この場合は、第１のステップで研磨テープの片側半分を使用し、第４のステップで残りの片側半分を使用することができる。また、第１のステップにおいて第１のリールに巻き取られた研磨テープの研磨面と第２のリールに巻き取られた研磨テープの研磨面が異なる側を向くので、研磨に使用したかどうかを容易に判別することができる。
【００１１】
好ましくは、第２および第３のステップにおける第２の回転軸の回転速度は、第１および第４のステップにおける第１の回転軸の回転速度よりも速い。この場合は、研磨テープを迅速に巻き直すことができる。
【発明の効果】
【００１２】
以上のように、本願発明によれば、研磨時は研磨テープの片側半分のみを使用するので、１本の研磨テープを２回使用することができ、研磨テープの消費量を半減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
[実施の形態１]
図１（ａ）は、この発明の実施の形態１によるテープ研磨装置の構成を示す正面図であり、同図（ｂ）はその側面図である。図１（ａ）（ｂ）において、このテープ研磨装置では、着脱かつ交換自在に設けられたカセットテープ状のテープユニット１が用いられる。このテープユニット１は、それぞれが回転自在に設けられた２つのリールＲ１，Ｒ２と、それらに巻回された研磨テープ２とを含む。未使用の研磨テープ２は、研磨面を内側にして図中右側のリールＲ２に図中反時計方向に巻回され、その一方端は図中左側のリールＲ１に接続されている。
【００１４】
四角形のベース板３は垂直に設けられ、ベース板３表面の上部には２つの回転軸Ｓ１，Ｓ２が左右に設けられている。２つの回転軸Ｓ１，Ｓ２はベース板３表面から突出しており、テープユニット１のリールＲ１，Ｒ２の中央の孔はそれぞれ回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込まれている。一方の回転軸Ｓ１は、研磨時には、ベース板３に設けられたモータ、ギアなどからなる回転駆動機構(図示せず)によって図中反時計方向に回転される。他方の回転軸Ｓ２は、ベース板３に設けられた張力制御機構４に結合されている。張力制御機構４は、研磨テープ２が弛むことなく安定に巻き取られるように研磨テープ２の張力を制御する。
【００１５】
ベース板３表面の下端中央部には研磨ヘッド５が垂直方向に移動可能に設けられており、研磨ヘッド５はスプリングなどからなる押付機構６によって図中下方向に付勢されている。研磨時には、研磨ヘッド５の先端面５ａは、研磨テープ５の裏面（研磨面の反対側の面）側から研磨テープ２を介して突起欠陥に押し付けられる。研磨ヘッド５の先端部は、研磨対象の突起欠陥のサイズよりも少し大きな直径の円柱状に形成されている。研磨ヘッド５の先端面５ａの直径は研磨テープ５の幅の半分以下に形成されており、先端面５ａは研磨テープ５の幅を２分割する中心線よりも一方側（図ではベース板３側）の部分のみに押し当てられる。
【００１６】
ベース板３表面の下部には、研磨テープ２を研磨ヘッド５の先端（下端）に導くための複数（図では５個）のローラ７が回転自在に設けられている。研磨テープ２は、図中右側のリールＲ２から右側の２つのローラ７、研磨ヘッド５の先端、左側の３つのローラ７を介して左側のリールＲ１に巻き取られる。
【００１７】
ベース板３の裏面は、上下動テーブル８に固定されている。上下動テーブル８は、駆動機構(図示せず)により、垂直に設けられたテーブルガイド９に沿って上下方向に微動可能になっている。
【００１８】
このテープ研磨装置は、位置決め機構(図示せず)により、修正対象の基板に対してＸ，Ｙ，Ｚ方向に相対移動可能に設けられている。研磨時には、まず位置決め機構を駆動させて、研磨対象の突起欠陥の上方に研磨ヘッド５の先端面５ａを位置させる。次に回転軸Ｓ１を所定の回転速度で回転させて研磨テープ２を巻き取りながら上下動テーブル８を下降させ、突起欠陥を研磨して除去する。このとき研磨ヘッド５の先端面５ａは、図２（ａ）に示すように、研磨テープ２の幅の中心線よりもベース板３側の領域２ａのみに押し付けられているので、研磨テープ２は片側半分の領域２ａのみが使用され、残りの片側半分の領域２ｂは未使用のまま残る。
【００１９】
図１（ａ）（ｂ）に戻って、図中右側のリールＲ２に巻回されていた未使用の研磨テープ２が全て消費されて図中左側のリールＲ１に巻き取られた場合は、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２から外すとともに研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５から外し、テープユニット１の表裏および左右を反転させて、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込むとともに研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５に張り渡す。これにより、リールＲ１，Ｒ２の各々の表裏が反転されてリールＲ１，Ｒ２がそれぞれ回転軸Ｓ２，Ｓ１に嵌め込まれ、研磨テープ２の図中手前側と奥側が逆にされる。このとき研磨ヘッド５の先端面５ａは、図２（ｂ）に示すように、研磨テープ２の幅の中心線よりもベース板３側の領域２ｂのみに押し付けられるので、研磨テープ２は未使用の片側半分の領域２ｂが使用され、使用済みの領域２ａは使用されない。右側のリールＲ１に巻回されていた研磨テープ２が全て消費されて左側のリールＲ２に巻き取られた場合は、研磨テープ２は使用済みにされる。
【００２０】
この実施の形態１では、研磨テープ２を片側半分ずつ２回使用するので、研磨テープの中央部のみを１回だけ使用していた従来に比べ、研磨テープ２の消費量を半分に減らすことができる。
【００２１】
図３は、この実施の形態１の変更例を示す図であって、図１（ａ）と対比される図である。図３を参照して、この変更例が、実施の形態１と異なる点は、未使用の研磨テープ２が、研磨面を外側にして図中右側のリールＲ２に図中時計方向に巻回され、その一方端がリール７および研磨ヘッド５を介して図中左側のリールＲ１に接続され、回転軸Ｓ１，Ｓ２が図中時計方向に回転される点である。研磨テープ５の片側半分を使用した後にテープユニット１の表裏および左右を反転させてセットし、残りの片側半分を使用する点は実施の形態１と同じである。この変更例でも、実施の形態１と同じ効果が得られる。
【００２２】
[実施の形態２]
実施の形態１およびその変更例においては、未使用の研磨テープ２が巻回されたリールＲ２においても、使用された研磨テープ２を巻き取ったリールＲ１においても、研磨テープ２の研磨面がリールＲ１，Ｒ２に対して同じ方向である。すなわち、図１（ａ）（ｂ）のテープ研磨装置ではリールＲ１，Ｒ２の両方において研磨テープ２の研磨面は内側を向いており、図３のテープ研磨装置ではリールＲ１，Ｒ２の両方において研磨テープ２の研磨面は外側を向いている。この構成においては、巻き取った後のリールＲ１の研磨テープ２の表面を見ても、研磨に使用する前か使用した後かの判断が付き難く、使用済みの研磨テープ２を誤って使用してしまう可能性がある。
【００２３】
そこで、この実施の形態２では、図４に示すように、未使用の研磨テープ２が巻回されたリールＲ２と、使用された研磨テープ２を巻き取ったリールＲ１とを反対の方向に回転させる。未使用の研磨テープ２は、研磨面を内側にして図中右側のリールＲ２に図中反時計方向に巻回され、その一方端は図中左側のリールＲ１に接続され、図中左側の回転軸Ｓ１は回転駆動機構(図示せず)によって図中時計方向に回転される。したがって、図中右側のリールＲ２では研磨テープ２の研磨面が内側になり、図中左側のリールＲ１では研磨テープ２の研磨面が外側になるので、リールＲ１，Ｒ２に巻き取られた研磨テープ２の表面を見ることにより、その研磨テープ２が使用前か使用後かを容易かつ確実に判断することができる。
【００２４】
突起欠陥の研磨を行なって未使用の研磨テープ２の片側半分を使用し、図中右側のリールＲ２から図中左側のリールＲ１にすべての研磨テープ２を巻き取った場合は、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２から外すとともに研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５から外し、テープユニット１の表裏を反転させずに左右を入れ替えて回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込む。これにより、図５に示すように、リールＲ１，Ｒ２がそれぞれ回転軸Ｓ２，Ｓ１に嵌め込まれ、研磨テープ２の奥側半分が使用済みになっている。
【００２５】
ここで、回転軸Ｓ１の回転速度は研磨時と巻き取り時で切換え可能になっており、巻き取り時には回転軸Ｓ１を研磨時よりも高速で回転させることが可能になっている。回転軸Ｓ１を高速回転させることにより、リールＲ１に巻き取られた研磨テープ２をリールＲ２に能率良く巻き戻すことができる。
【００２６】
次に、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２から外し、テープユニット１の表裏および左右を反転させて回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込む。これにより、図６に示すように、リールＲ１，Ｒ２がそれぞれ回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込まれ、研磨テープ２の手前側半分が使用済みになっている。この状態で回転軸Ｓ１を高速回転させることにより、リールＲ２に巻き取られた研磨テープ２をリールＲ１に能率良く巻き戻すことができる。
【００２７】
次に、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２から外し、テープユニット１の表裏を反転させずに左右を入れ替えて回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込み、研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５に張り渡せば、研磨テープ２の奥側半分が未使用の状態になっており、再度テープ研磨が可能になる。
【００２８】
この実施の形態２では、実施の形態１と同じ効果が得られる他、使用前後においてリールＲ１，Ｒ２に対する研磨テープ２の研磨面が常に反対方向を向くため、リールＲ１，Ｒ２に巻かれた研磨テープ２の表面状態を見ることにより、未使用か研磨済みかを容易に判別することができる。
【００２９】
次に、この実施の形態２の変更例について説明する。この変更例のテープ研磨装置は、図４のテープ研磨装置の機能に加え、テープ巻き取り時に回転軸Ｓ２を高速に時計方向に回転させる機能を有する。この場合、回転軸Ｓ２の張力制御機構４は、モータ、ギアなどで構成されている。テープ巻き取り時における回転軸Ｓ２の回転速度は、研磨時における回転軸Ｓ１，Ｓ２の回転速度よりも十分に速い。
【００３０】
研磨工程において図中右側のリールＲ２に巻回されていた未使用の研磨テープ２が全て消費されて図中左側のリールＲ１に巻き取られた場合は、回転軸Ｓ２を図中時計方向に高速回転させてリールＲ１に巻き取られた研磨テープ２をすべてリールＲ２に巻き戻す。このとき、研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５から外して研磨テープ２をリールＲ１からリールＲ２に直接巻き戻してもよい。
【００３１】
次に、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２から外すとともに研磨テープ２をローラ７および研磨ヘッド５から外し、テープユニット１の表裏および左右を反転させて、テープユニット１を回転軸Ｓ１，Ｓ２に嵌め込む。これにより、図７に示すように、リールＲ１，Ｒ２の各々の表裏が反転されてリールＲ１，Ｒ２がそれぞれ回転軸Ｓ２，Ｓ１に嵌め込まれ、研磨テープ２の図中手前側と奥側が逆にされる。この状態で、回転軸Ｓ２を図中時計方向に高速回転させてリールＲ２に巻き取られた研磨テープ２をすべてリールＲ１に巻き戻す。次に、研磨テープ２を図４に示すように、ローラ７および研磨ヘッド５の先端に張り渡せば、再度研磨が可能になる。この変更例でも、実施の形態２と同じ効果が得られる。
【００３２】
なお、以上の実施の形態１，２および変更例では、研磨対象が基板表面の突起欠陥である場合について説明したが、これに限るものではなく、研磨対象は、テープ研磨装置で研磨することが可能なものであればどのようなものでもよいことは言うまでもない。
【００３３】
また、図５〜図７で示したテープの巻き取りは、テープ研磨装置を使用せずに巻き取り専用の装置で行なってもよい。
【００３４】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】この発明の実施の形態１によるテープ研磨装置の構成を示す図である。
【図２】図１に示したテープ研磨装置の使用方法を示す図である。
【図３】実施の形態１の変更例を示す図である。
【図４】この発明の実施の形態２によるテープ研磨装置の構成を示す図である。
【図５】図４に示したテープ研磨装置の使用方法を示す図である。
【図６】図４に示したテープ研磨装置の使用方法を示す他の図である。
【図７】実施の形態１の変更例を示す図である。
【符号の説明】
【００３６】
Ｒ１，Ｒ２  リール、Ｓ１，Ｓ２  回転軸、１  テープユニット、２  研磨テープ、３  ベース板、４  張力制御機構、５  研磨ヘッド、６  押付機構、７  ローラ、８  上下動テーブル、９  テーブルガイド。
【図１】
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【図２】
2007175800.tif 000004
【図３】
2007175800.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007175800.tif 000007
【図６】
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【図７】
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