(57)【要約】      （修正有）【課題】密閉性に優れたデバイス冷却用平板式伝熱管の製造方法とパッケージユニットを提供する。【解決手段】冷却用パッケージユニット２は、第一フレーム２１及び第二フレーム２２からなり、第一フレームは作動区域２１１を囲む第一接合部２１２及び作動区域と第一接合部との間に隆起する支持部２１３を具え、第二フレームは第一フレーム上に被せられて作動区域上に毛細構造体３と冷却流体を収容する収容室を形成するカバー部２２１と第一接合部上に位置する第二接合部２２２を具える。第一接合部と第二接合部との間クリーム半田などの結合物をおいて、第一、第二フレームを合わせて加熱し、第一接合部と第二接合部で接合すると、溶融したクリーム半田や溶剤は突状の支持部により遮られて収容室に侵入することはない。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
パッケージユニット、及び結合物より構成され、
該パッケージユニットは、第一フレーム及び第一フレームの形状に合わせた第二フレームからなり、第一フレームは作動区域、作動区域の外周を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部との間に隆起する支持部を具有してなり、第二フレームは第一フレーム上に被せられてなると共に、作動区域上に収容室となる空間を形成する間隔をおいて位置するカバー部と第一接合部上に位置する第二接合部を具有してなり、
該結合物は、第一接合部と第二接合部との間にあって、第一接合部と第二接合部を接合することを特徴とした、平板式伝熱管。
【請求項２】
前記第一フレームの支持部は作動区域の周縁から上方に立設する第一段、第一段の上端から作動区域から離れる方向に曲がって延長する第二段、及び第二段の末端から下に向かって下垂する第三段からなることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項３】
前記第一接合部と第二接合部は、それぞれ水平な面からなることを特徴とした、請求項１或いは２に記載の平板式伝熱管。
【請求項４】
前記カバー部は、作動区域を越えてその上面周囲から上記支持部の外側に下垂する直立壁を具有してなることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項５】
前記第一フレームの作動区域は、第一接合部と同一平面上にあることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項６】
前記第一フレームの作動区域は、第一接合部と同一平面上に位置しないことを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項７】
前記第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つは、その周縁に沿って延びる凹溝を具有することを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項８】
前記第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つは、その周縁に沿って延びる凹溝及び凹溝内に載置される密封リングを具有することを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項９】
前記第一接合部は、その周縁外周から作動区域内に通じる第一スロット及び第一スロット内に嵌合される充填管を具有してなり、充填管の作動区域外の一端は密封端であることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１０】
前記第二接合部は、第一スロットに合わせて充填管を嵌合する第二スロットを具有することを特徴とした、請求項９に記載の平板式伝熱管。
【請求項１１】
上記収容室内に毛細構造を配置してなることを特徴とした、
請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１２】
更に収容室内に位置する作動流体を充填してなることを特徴とした、請求項１１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１３】
前記第一フレームと第二フレームの材質は、アルミニウム又は銅からなることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１４】
前記結合物は、ワイヤー半田或いはゴム或いは接着剤であることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１５】
前記結合物は、クリーム半田であることを特徴とした、請求項１に記載の平板式伝熱管。
【請求項１６】
（Ａ）第一フレーム及び第一フレームの形状に合わせた第二フレームを準備し、第一フレームは作動区域、作動区域の外部を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部との間に隆起する支持部を具有してなり、第二フレームは第一フレーム上に被せられてなると共に、作動区域上に収容室となる空間を形成する間隔をおいて位置するカバー部と第一接合部上に位置する第二接合部を具有してなるものであり、
（Ｂ）結合物を第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つに塗布し、
（Ｃ）第二フレームを第一フレーム上に被せ、第二フレームを第一フレーム上に固定する、
上記のステップにより構成されることを特徴とした、平板式伝熱管の製造方法。
【請求項１７】
前記ステップ（Ｂ）において、結合物を第一接合部と第二接合部上に塗布することを特徴とする請求項１６に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項１８】
前記ステップ（Ｂ）において、更に第一フレームの作動区域に毛細構造体を配置することを特徴とした、請求項１６に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項１９】
前記ステップ（Ｃ）において、更に固定具により既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームの両者の位置を固定することを特徴とした、請求項１６に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２０】
前記結合物は、クリーム半田であり、ステップ（Ｃ）において更に既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームを加熱することを特徴とした、請求項１６或いは１９に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２１】
前記ステップ（Ｃ）において、高温炉により既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームを加熱することを特徴とした、請求項２０に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２２】
前記既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームの作動区域とカバー部は収容室を構成し、第一フレームの第一接合部はその周縁外から作動区域内に通じる第一スロット及び充填管を具有してなり、充填管は第一スロット内に嵌合され、その長さは第一スロットより大きく、その一端と他端は収容室から外部まで貫通してなることを特徴とした、請求項１６に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２３】
更に（Ｄ）充填管を経由し作動流体を収容室に充填し、
（Ｅ）充填管の外部に露出した一端を密封する、
上述のステップからなることを特徴とした、請求項２２に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２４】
更に（Ｄ）第一接合部と第二接合部の密封を確認し、充填管を経由して作動流体を収容室に充填し、
（Ｅ）充填管の外部に露出した一端を密封する、
上述のステップからなることを特徴とした、請求項２２に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２５】
前記ステップ（Ｅ）において、先に収容室内の気体を吸引した後、充填管の外部に露出する一端を密封することを特徴とした、請求項２３或いは２４に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２６】
前記ステップ（Ｅ）において、充填管を経由して収容室内の圧力を下げ収容室内の気体を吸引することを特徴とした、請求項２５に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２７】
前記ステップＥにおいて、溶接方式により充填管の外部に露出した一端を密封することを特徴とした、請求項２３或いは２４に記載の平板式伝熱管の製造方法。
【請求項２８】
第一フレーム、第二フレームより構成され、
該第一フレームは、作動区域、作動区域の外周を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部の間に隆起する支持部より構成され、
該第二フレームは、第一フレームと相互に組み合う形状にて第一フレーム上に被せられてなり、作動区域上に収容室となる空間を形成する間隔をおいて位置するカバー部及び第一接合部上に位置する第二接合部より構成されてなることを特徴とした、平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項２９】
前記第一フレームの支持部は、作動区域の周縁から上方に立設する第一段、第一段の上端から作動区域から離れる方向に曲がって延長する第二段、及び第二段の末端から下垂する第三段からなることを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３０】
前記第一接合部と第二接合部は、それぞれ水平面であることを特徴とした、請求項２８或いは２９に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３１】
前記カバー部は、作動区域を越えてその上面周囲から上記支持部の外側に下垂する直立壁を具有してなることを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３２】
前記第一フレームの作動区域は、第一接合部と同一平面上にあることを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３３】
前記第一フレームの作動区域は、第一接合部と同一平面上に位置しないことを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３４】
前記第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つはその周縁に沿って延伸する凹溝を具有することを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３５】
前記第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つはその周縁に沿って延伸する凹溝及び凹溝内に載置される密封リングを具有することを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３６】
前記第一フレームと第二フレームの材質は、アルミニウム又は銅からなることを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３７】
前記第一接合部は、その周縁外から作動区域内に通じる充填管を嵌合する第一スロットを具有してなることを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３８】
前記第二接合部は、第一スロットに合わせて充填管を嵌合する第二スロットを具有することを特徴とした、請求項２８に記載の平板式伝熱管のパッケージユニット。
【請求項３９】
（Ａ）第一フレーム及び第一フレームの形状に合わせた第二フレームを準備し、第一フレームは作動区域、作動区域の外部を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部との間に隆起する支持部を具有してなり、第二フレームは第一フレーム上に被せられてなると共に、作動区域上に間隔をおいて位置するカバー部と第一接合部上に位置する第二接合部を具有するものであって、
（Ｂ）結合物を、第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか一つに塗布し、
（Ｃ）第二フレームを第一フレーム上に被せ、第二フレームを第一フレーム上に固定する、
上述のステップにより構成されることを特徴とした、平板式伝熱管のパッケージ方法。
【請求項４０】
前記ステップ（Ｂ）において、結合物を第一接合部と第二接合部上に塗布することを特徴とした、請求項３９に記載の平板式伝熱管のパッケージ方法。
【請求項４１】
前記ステップ（Ｃ）において、更に固定具により予め被せ合わせられた第二フレームと第一フレームの両者の位置を固定することを特徴とした、請求項３９に記載の平板式伝熱管のパッケージ方法。
【請求項４２】
前記結合物はクリーム半田であって、ステップ（Ｃ）において更に既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームを加熱することを特徴とした、請求項３９或いは４１に記載の平板式伝熱管のパッケージ方法。
【請求項４３】
前記ステップ（Ｃ）において、高温炉により既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームを加熱することを特徴とした、請求項４２に記載の平板式伝熱管のパッケージ方法。
【請求項４４】
前記既に被せ合わせられた第二フレームと第一フレームの作動区域とカバー部は合わせて収容室を形成し、第一フレームの第一接合部はその周縁外から作動区域内に通じる第一スロット及び充填管を具有してなり、充填管は第一スロット内に嵌合され、その長さは第一スロットより大きく、その一端と他端は収容室から外部までを貫通してなることを特徴とした、請求項３９に記載の平板式伝熱管のパッケージ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体デバイスなどの冷却装置として用いられる平板式伝熱管の製造方法とそのためのパッケージユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
図１及び図２に示すように、公知の平板式伝熱管１はパッケージユニット１１、クリーム半田１３、毛細構造１２、及び作動流体１４より構成される。
【０００３】
パッケージユニット１１は、第一フレーム１１１及び第一フレーム１１１の形状に合わせて形成される第二フレーム１１２より構成される。第一フレーム１１１は、作動区域１１３を具有し、作動区域１１３周囲には第一接合部１１４が形成されてなる。第一接合部１１４はその周縁に作動区域１１３に延伸する第一スロット１１５、及び第一スロット１１５内に嵌合する充填管１１６を具有してなる。
【０００４】
第二フレーム１１２は、第一フレーム１１１上に被せられてなり、作動区域１１３上に間隔をおいて位置するカバー部１１７及び第一接合部１１４上に位置する第二接合部１１８を具有してなる。第二接合部１１８は、第一スロット１１５に合わせて充填管１１６を挿入させる第二スロット１１９を具有してなる。
【０００５】
クリーム半田１３は、第一接合部１１４と第二接合部１１８との間に設けられ、第一接合部１１４と第二接合部１１８を接合する。
【０００６】
毛細構造１２と作動流体１４は、第一フレーム１１１の作動区域１１３と第二フレーム１１２のカバー部１１７とが形成する収容室１１０内に位置する。
【０００７】
平板式伝熱管１を組み合わせる時、まず溶剤を含むクリーム半田１３を第一接合部１１４と第二接合部１１８に塗布し、毛細構造１２を第一フレーム１１１の作動区域１１３と第二フレーム１１２のカバー部１１７との間に設置し、更に治具を用いて第一フレーム１１１と第二フレーム１１２を圧着し、第一接合部１１４と第二接合部１１８をクリーム半田１３により接合する。平板式伝熱管１は高温炉に入れて加熱後に冷却し、クリーム半田１３は第一フレーム１１１と第二フレーム１１２を気密結合させ、その後、充填管１１６を経由して作動流体１４を収容室１１０内に充填する。
【０００８】
第一フレーム１１１と第二フレーム１１２を圧着する際に、溶融したクリーム半田１３は圧力を受けて容易にパッケージ１１の収容室１１０内に進入して、毛細構造１２と作動流体１４の性質と作用に間接的に影響し、平板式伝熱管１の冷却能力を低下させる。
【０００９】
特にクリーム半田１３の溶剤は、接合部１１４，１１８上の酸化層を溶解させて半田自身の酸化を抑制する為、共晶反応（eutecitc  reaction）を十分に完了させることにより、第一フレーム１１１と第二フレーム１１２の気密結合を確保することができるが、溶剤が酸性であり流動性が強い為、毛細構造１２と作動流体１４の性質と効用に影響し易く、更に平板式伝熱管１の冷却能力を低下させる。
【特許文献１】特開２００５―２６０２３７号公報
【特許文献２】特開２００５−２２９１０２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、安定した冷却効果を備える平板式伝熱管を提供することを目的とする。
【００１１】
本発明は更に、安定した冷却効果を備える平板式伝熱管の製造方法を提供することを目的とする。
【００１２】
本発明は更に、結合物が収容室内に進入し毛細構造と作動流体の性質と効用に影響することがないように確保し、冷却能力を保持した平板式伝熱管及びそのパッケージ方法を提供することを目的とする。
【００１３】
本発明は更に、二つのフレーム間の密封効果を良好にした平板式伝熱管とそのパッケージユニットを提供することを目的とする。
本発明は更に、二つのフレーム間の密封効果を良好にした平板式伝熱管の製造方法とそのパッケージ方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
本発明の平板式伝熱管は、パッケージユニットと結合物より構成される。
パッケージユニットは、第一フレーム及び第一フレームと形状を合わせた第二フレームより構成される。第一フレームは作動区域、作動区域を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部との間に位置し隆起する支持部より構成される。第二フレームは第一フレーム上に被せられると共に、作動区域上に間隔をおいて位置するカバー部及び第一接合部上に位置する第二接合部を具有してなる。
【００１５】
結合物は第一接合部と第二接合部との間に位置してなり、第一接合部と第二接合部の接合に利用されてなる。
【００１６】
本発明の平板式伝熱管の製造方法は下記のステップより構成される。
【００１７】
（Ａ）第一フレーム及び第一フレームと相互に形状を合わせた第二フレームを準備する。第一フレームは作動区域、作動区域を囲む第一接合部、及び作動区域と第一接合部との間に位置し隆起する支持部を具有する。第二フレームは作動区域に対応するカバー部及び第一接合部に対応する第二接合部を具有する。
【００１８】
（Ｂ）結合物を第一接合部と第二接合部の少なくともどちらか片方に塗布する。
（Ｃ）第二フレームを第一フレーム上に被せ、第二フレームを第一フレーム上に固定する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明の効果は、作動区域と第一接合部との間に隆起する支持部を形成したことにより、結合物を塗布する時に、支持部が結合物を塗布する範囲を制限し、更に第一フレームと第二フレームを圧着結合する時、支持部の接合物が収容室内へ進入することを防止し、毛細構造と作動流体の性質と作用に影響を与えないように確保し、平板式伝熱管の冷却能力を保持することを可能とする。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
上述の目的及び効果を達成する為に本発明が採用した技術手段及びその構造を図及び実施例を用いてその特徴と機能を以下に説明する。
【００２１】
図３，４に示すように、本発明の平板式伝熱管の第一実施例は、パッケージユニット２、結合物５、毛細構造３、及び作動流体４により構成される。
【００２２】
パッケージユニット２は、第一フレーム２１及び第一フレーム２１と形状を合わせた第二フレーム２２より構成される。本実施例の第一フレーム２１と第二フレーム２２の材質はアルミニウムと銅のどちらか一種にてなるが、その他の延展性と良好な熱伝導性を備える材質にてなることも可能である。
【００２３】
第一フレーム２１は、作動区域２１１、作動区域２１１を囲み作動区域２１１と同一平面上に位置する第一接合部２１２、及び作動区域２１１と第一接合部２１２との間に位置して隆起する支持部２１３より構成される。
【００２４】
支持部２１３は、作動区域２１１の周縁から上部に立設される第一段２１７、第一段２１７の上端から作動区域２１１から離れる方向に折れ曲がって延長する第二段２１８、及び第二段２１８の末端から下方向に下垂する第三段２１９を具有してなる。
【００２５】
本実施例において、第一フレーム２１は一体に鋳造形成されてなるが、電気鋳造或いはその他の加工方法により支持部２１３を作動区域２１１と第一接合部２１２の間に固定・固定することも可能である。
【００２６】
第一接合部２１２は、その周縁外から作動区域２１１内に通じる第一スロット２１４及び第一スロット２１４内に嵌合される充填管２１５を具有してなると共に、充填管２１５はパッケージされた後、溶接方式により作動区域２１１より離れた一端に密封端を構成する。本実施例の第一接合部２１２は水平面にてなるが、その他の形状にてなることも可能である。
【００２７】
第二フレーム２２は、第一フレーム２１上に被せられると共に、作動区域２１１上に収容室となる空間を形成する間隔をおいて位置するカバー部２２１及び第一接合部２１２上に位置する第二接合部２２２を具有してなる。カバー部２２１は、作動区域２１１上の上部２２３及び上部２２３の周囲から支持部外側に下垂する直立壁２２４を具有してなる。第二接合部２２２は、第一スロット２１４に合わせて充填管２１５を嵌合させる第二スロット２２５を具有してなる。本実施例において第二接合部２２２は水平な面にてなるが、第一接合部２１２を組み合わせることができるその他の形状にてなることも可能である。
【００２８】
結合物５は、第一接合部２１２と第二接合部２２２との間に置かれて第一接合部２１２と第二接合部２２２を接合する。本実施例において接合物５は溶剤を含むクリーム半田であるが、溶剤を含まないワイヤー半田或いはその他の第一接合部２１２と第二接合部２２２を気密させることができる接着剤にてなることも可能である。溶剤は接合部２１２，２２２上の酸化層の溶解、及び半田自身の酸化を抑制する為に、共晶反応を十分に完成させ、第一フレーム２１と第二フレーム２２の気密結合を確保することができる。
【００２９】
溶剤を含まないワイヤー半田を使用することも可能であり、溶接用保護ガスを利用し接合部２１２、２２２を保護し酸化を防止する。例えば窒素９５％と酸素５％の気体を溶接用保護ガスとして使用し、溶接用保護ガスは接合部２１２，２２２上の酸化物と還元反応し酸化物を除去し、溶剤の効用の代わりとなることができる。
【００３０】
毛細構造３と作動流体４は第一フレーム２１の作動区域２１１と第二フレーム２２のカバー部２２１間に形成される収容室２３内に位置する。本実施例において毛細構造３は作動流体４に浸潤した金属網であり、複数の相互に貫通する毛細孔３１より構成されるが、毛細構造３はその他の方式にてなることも可能であり、例えば毛細構造３は複数の直立した毛細管より構成されるか、或いは毛細構造３は作動区域２１１或いはカバー部２２１に直接形成されてなることができる。
【００３１】
毛細構造３は、液体の毛細管現象により毛細構造３の一部分と液体が接触する時、液体は毛細構造３を経由し毛細構造３のその他の部分に浸透拡散し、更にこの拡散過程と重力方向は無関係である。したがって、毛細構造３１の大きさは毛細構造の材質、及び毛細構造３が使用する作動流体４に合わせて決定される。
【００３２】
本実施例における作動流体４は水であるが、メチルアルコール或いはプロピルアルコール等のその他の材料にてなることも可能である。
【００３３】
パッケージユニット２は、更に吸熱端２４及び冷却端２５を設けてなり、その位置は交換することが可能である。収容室２３の圧力は作動流体４の飽和蒸気圧と等しく、作動流体４を液体状態と気体状態が共存した安定した平衡状態ある。
【００３４】
吸熱端２４は熱を受けて温度上昇する時、吸熱端２４の作動流体４の安定平衡状態が崩れ、吸熱端２４の液体状態の作動流体４が蒸発して気体状態の作動流体になる。吸熱端２４の蒸気圧が冷却端２５の蒸気圧より大きくなり、気体状態の作動流体４は吸熱端２４から冷却端２５に拡散する。冷却端２５の温度は比較的低いことにより、冷却端２５の気体状態の作動流体４は凝縮して液体状態の作動流体４になり、適量の液体状態の作動流体４が毛細構造３を経由して吸熱端２４に回流され、このようにして熱量を吸熱端２４から冷却端２５に伝導する熱伝導プロセスを完成する。
【００３５】
熱伝導プロセスは作動流体４の平衡状態の安定が崩れる為、吸熱端２４と冷却端２５との間の温度差を必要とし、熱伝導プロセスは熱量の伝導により常に循環する。但し、作動流体４により作動温度が異なる為、作動環境の温度が作動温度を超過する場合は、熱伝導プロセスを実行することが不可能となる。
【００３６】
以下に、図３，４，５に示すように、前述の構成ユニットによる本発明実施例の平板式伝熱管の製造方法を説明する。
【００３７】
ステップ６１において、第一フレーム２１及び第二フレーム２２を準備すると共に、充填管２１５を第一フレーム２１の第一スロット２１４内に嵌合し、この時、充填管２１４の長さは第一スロット２１４の長さよりも大きく、充填管２１５の一端は支持部２１３を挿通して作動区域２１１内に貫通し、他端は第一フレーム２１の外部に露出している。
【００３８】
ステップ６２において、結合物５を第一接合部２１２と第二接合部２２２の少なくともどちらか一方に塗布する。本実施例では、結合物５はクリーム半田であり、第一接合部２１２と第二接合部２２２上に塗布してなる。
【００３９】
ステップ６３において、第一フレーム２１の作動区域２１１は、毛細構造３を配置形成する。本実施例の毛細構造３は金属網からなる。当該技術を熟知する者なら誰でも、ステップ６２とステップ６３の実行順序を必要に応じて変更することができ、本実施例が本発明の範囲を制限するものではないことが明らかである。
【００４０】
ステップ６４において、第二フレーム２２を第一フレーム２１上に被せ、固定具７（図８参照）により合体された第二フレーム２２と第一フレーム２１の位置を固定し、第二フレーム２２を第一フレーム２１上に固定する。
【００４１】
本実施例の結合物５は、クリーム半田であり、ステップ６５において、高温炉或いは熱風機により加熱して組み合わされた第二フレーム２２と第一フレーム２１を加熱し、クリーム半田を融解して第一接合部２１２と第二接合部２２２を接合する。加熱が完了後、高温の第一、第二フレーム２１，２２を冷却して、結合物５により両者間を接合固定し、収容室２３は充填管２１５のみが外部と連通する空間となる。高温炉はリフロー装置でよい。もし結合物５が半田を含まない場合はステップ６５をスキップし、ステップ６６を実行するものとする。
【００４２】
第一接合部２１２と第二接合部２２２との間が完全に密封されていない場合、即ち収容室２３が充填管２１５以外に外部へ通じて作動流体の漏洩可能な箇所がある場合、平板式伝熱管は正常に動作することが出来なくなる。本実施例はステップ６６において、漏洩試験により前述のパッケージプロセス（ステップ６１乃至６５）を経た後の第一接合部２１２と第二接合部２２２が密封されているかを確認する。ステップ６６にて密封が不完全と判断される場合、即ち漏洩が発生する場合、平板式伝熱管はその後の製造プロセスを続けずに終了させ、不良品の製造を防止する。反対にステップ６６にて密封されていると判断された場合は、ステップ６７から後続のプロセスを継続させる。
【００４３】
ステップ６７において、排気充填機により充填管２１５を経由して作動流体４を収容室２３内に充填する。
【００４４】
ステップ６８において、排気充填機により充填管２１５を経由して収容室２３と充填管２１５内の圧力を下げ、収容室２３内の余分な気体を吸引してなり、収容室２３内の圧力は作動流体４の飽和蒸気圧と等しくなる。
【００４５】
ステップ６９において、溶接方式により充填管２１５の外部に露出した一端を密封する。溶接方式は固定器により充填管２１５の管口を挟み固定し、切断機により充填管２１５を切断し、溶接機により充填管２１５を溶接し、充填管２１５を完全に気密させ、平板式伝熱管の製造を完成する。
【００４６】
更に、第一フレーム２１の作動区域２１１は第一接合部２１２と同一平面上に位置することが可能なだけでなく、作動区域２１１は第一接合部２１２と異なる平面状に位置することも可能であり、作動区域２１１の平面は第一接合部２１２の平面より高くなるか或いは低くしてもよく、収容室２３内の空間を調整することに利用する。図６に示すように、本発明の平板式伝熱管の第二実施例における第一フレーム２１’の作動区域２１１’の平面は第一接合部２１２’の平面より低くなり、収容室２３内の空間を増加させてなる。
【００４７】
更に、クリーム半田の顆粒が大きい場合、クリーム半田が収容室２３内に溢流しないように、より大きな管を利用しクリーム半田を塗布する必要があり、図７に示すように、本発明の平板式伝熱管の第三実施例の第一接合部２１２’’は更にその周縁に沿って延伸する凹溝２２８を具有してなり、パッケージ過程において、過度のクリーム半田がその中に溢流することによって収容室２３内にクリーム半田が進入することを防止する。又、第一、第二接合部２１２’’、２２２’’間の密封度を増加する為、本実施例の第二接合部２２２’’は更に周縁に沿って延伸する凹溝２２６及び凹溝２２６内に載置される密封リング２２７を具有してなる。凹溝２２８は第二接合部２２２’’上に設置することも可能であり、凹溝２２６を第一接合部２１２’’上に設置することも可能であり、本実施例の記載が本発明の範囲を制限するものではない。
【００４８】
上述のように、本発明の平板式伝熱管及びその製造方法とパッケージユニット２は作動区域２１１、２１１’と第一接合部２１２、２１２’、２１２’’の間に隆起する支持部２１３を増加することにより、結合部５を塗布する時に、支持部２１３を利用して結合物５を塗布する範囲を制限し、特に第一フレーム２１、２１’と第二フレーム２２を圧着結合して過熱する時に、支持部２１３により結合物５が収容室２３内に侵入することを阻止し、結合物５が収容室２３内に進入し毛細構造３と作動流体４の性質と作用に影響することがないように確保し、平板式伝熱管の冷却能力の効果を保持することを可能とする。又、第一接合部２１２’’の凹溝２２８の設計は顆粒が大きい或いはクリーム半田が過度に溢流することを補助し、及び第二接合部２２２’’が凹溝２２６及び凹溝２２６内の密封リング２２７を具有することにより、第一、第二接合部２１２’、２２２’’間の密封を確保し、融解後に溢流することなく、製品の良品率を向上させ、本発明の目的を確実に達成する。
【００４９】
本発明では好ましい実施例を前述の通り開示したが、これらは決して本発明に限定するものではなく、当該技術を熟知する者なら誰でも、本発明の精神と領域を脱しない範囲内で各種の変動や潤色を加えることができ、従って本発明の保護範囲は、特許請求の範囲で指定した内容を基準とする。
【図面の簡単な説明】
【００５０】
【図１】公知の平板式伝熱管の立体図である。
【図２】公知の平板式伝熱管の断面図である。
【図３】本発明の平板式伝熱管の第一実施例の立体分解図である。
【図４】本発明の平板式伝熱管の第一実施例の断面図である。
【図５】本発明の第一実施例の製造方法の工程図である。
【図６】本発明の平板式伝熱管の第二実施例の断面図である。
【図７】本発明の平板式伝熱管の第三実施例の断面図である。
【図８】第一実施例の製造方法において固定具により嵌合された第二フレームと第一フレームの説明図である。
【符号の説明】
【００５１】
１ 平板式伝熱管
１１ パッケージユニット
１１０ 収容室
１１１ 第一フレーム
１１２ 第二フレーム
１１３ 作動区域
１１４ 第一接合部
１１５ 第一スロット
１１６ 充填管
１１７ カバー部
１１８ 第二接合部
１１９ 第二スロット
１２ 毛細構造部
１３ クリーム半田
１４ 作動流体
２ パッケージユニット
２１ 第一フレーム
２１’ 第一フレーム
２１１ 作動区域
２１１’ 作動区域
２１２ 第一接合部
２１２’ 第一接合部
２１２’’ 第一接合部
２１３ 支持部
２１４ 第一スロット
２１５ 充填管
２１７ 第一段
２１８ 第二段
２１９ 第三段
２２ 第二フレーム
２２１ カバー部
２２２ 第二接合部
２２２’ 第二接合部
２２３ 上部
２２４ 直立壁面
２２５ 第二スロット
２２６ 凹溝
２２７ 密封リング
２２８ 凹溝
２３ 収容室
２４ 吸熱端
２５ 冷却端
３ 毛細構造
３１ 毛細孔
４ 作動流体
５ 結合物
６１〜６９ ステップ
７ 固定具
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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