(57)【要約】  【課題】  高感度で、塗布均一性、現像性、耐熱性、保存安定性等重合体組成物に対して一般的に求められている特性を満足し、かつ、プロキシミティー露光においてマスクサイズと同じ大きさのパターンを形成でき、また、圧縮特性が良好な高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイのスペーサー、透明膜、およびこれらを含む液晶表示素子に用いられる感光性組成物の提供。  【解決手段】  アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性組成物であって、アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルである、感光性組成物。  【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性組成物であって、アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルである、感光性組成物。
【請求項２】
感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、および光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部含有する、請求項１に記載の感光性組成物
【請求項３】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、並びに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）を含有する感光性組成物であって、アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルである、感光性組成物。
【請求項４】
感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部含有する、請求項３に記載の感光性組成物。
【請求項５】
ラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）またはラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）に含まれる熱架橋性官能基が、エポキシ基またはオキセタニル基である、請求項３または４に記載の感光性組成物。
【請求項６】
ラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）が、グリシジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体である、請求項３〜５のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項７】
熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーが、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、および３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタンから群から選ばれる１種以上である、請求項３〜６のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項８】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）の全重量に対して酸無水物を１０〜１００重量％、多価ヒドロキシ化合物を１〜５０重量％および１価アルコールを１０〜１００重量％反応させて得られたポリエステルである、請求項１〜７のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項９】
酸無水物が酸無水物基を２〜２０個有する化合物である、請求項１〜８のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１０】
酸無水物が、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２−［ビス（３，４ージカルボキシフェニル）］ヘキサフルオロプロパン二無水物、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメリテート）、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、エタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、およびスチレン−無水マレイン酸共重合体からなる群から選ばれる１種以上である、請求項１〜８のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１１】
酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体、またはスチレン−無水マレイン酸共重合体と他の酸無水物との混合物である、請求項１〜８のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１２】
酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体とブタンテトラカルボン酸二無水物との混合物である、請求項１〜８のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１３】
多価ヒドロキシ化合物が、ヒドロキシル基を２〜６個有する化合物である、請求項１〜１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１４】
多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、重合度が４〜１０のポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、重合度が４〜１０のポリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，２−ブタンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパンのエチレンオキシド付加物、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホンのエチレンオキシド付加物、および下記式（３）
【化１】
2007171320.tif 000011
（式中、Ｒ1、Ｒ3は互いに独立して任意のメチルが酸素原子に置き換わってもよい炭素数１〜２０のアルキルであり；Ｒ2は炭素数１〜５のアルキルであり、ｎが１〜１００の整数である。）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、請求項１〜１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１５】
多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、および下記式（３）
【化２】
2007171320.tif 000012
（式中、Ｒ1、Ｒ3は互いに独立して任意のメチルが酸素原子に置き換わってもよい炭素数１〜２０のアルキルであり；Ｒ2は炭素数１〜５のアルキルであり、ｎが１〜１００の整数である。）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、請求項１〜１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１６】
多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、および下記式（３）
【化３】
2007171320.tif 000013
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、請求項１〜１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１７】
多価ヒドロキシ化合物が、１，４−ブタンジオールおよび下記式（３）
【化４】
2007171320.tif 000014
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群から選ばれる１種以上である、請求項１〜１２のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１８】
１価アルコールが、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、アリルアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコールのカプロラクトン付加物、シクロヘキサノール、３−シクロヘキセン−１−メタノール、ベンジルアルコール、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリドン、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、およびジプロピレングリコールモノアルキルエーテルからなる群から選ばれる１種以上である、請求項１〜１７のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項１９】
１価アルコールが、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ベンジルアルコールおよびジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上である、請求項１〜１７のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２０】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物としてスチレン−無水マレイン酸共重合体を含み、多価ヒドロキシ化合物として１，４−ブタンジオールを含み、並びに、１価アルコールとしてベンジルアルコール、ペンタエリスリトールトリアクリレートもしくはジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを含む混合物を反応させて得られたポリエステルである、請求項１〜７のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２１】
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、（メタ）アクリロイル基の二重結合を有する、請求項１〜２０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２２】
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を２〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有する、請求項１〜２０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２３】
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有する、請求項１〜２０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２４】
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有するウレタン（メタ）アクリレートを５０重量％以上含有する、請求項１〜２０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２５】
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびウレタン（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上を、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して５０重量％以上含有する、請求項１〜２０のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２６】
光重合開始剤（Ｃ）が、下記式（１）
【化５】
2007171320.tif 000015
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は互いに独立して炭素数１〜１３のアルキル、Ｘ1とＸ2は互いに独立して−Ｏ−、−Ｏ−Ｏ−、または−ＮＨ−である。）
で表される化合物、下記式（２）で表される化合物、
【化６】
2007171320.tif 000016
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は互いに独立して水素または炭素数１〜５のアルキルであり；Ｒ4は炭素数１〜１５のアルキルである。）、
２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、請求項１〜２５のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２７】
光重合開始剤（Ｃ）が、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、および４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、請求項１〜２５のいずれかに記載の感光性組成物。
【請求項２８】
酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルであるアルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、並びに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）を含有する感光性組成物であって、
酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体、またはスチレン−無水マレイン酸共重合体と他の酸無水物との混合物であり、
多価ヒドロキシ化合物が、１，４−ブタンジオールおよび下記式（３）
【化７】
2007171320.tif 000017
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群から選ばれる１種以上であり、
１価アルコールが、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ベンジルアルコールおよびジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上であり、
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびウレタン（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上を、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して５０重量％以上含有し、
光重合開始剤（Ｃ）が、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、および４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、感光性組成物。
【請求項２９】
感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部含有する、請求項２８に記載の感光性組成物。
【請求項３０】
請求項１〜２９のいずれかに記載の感光性組成物を用いて製造した透明膜。
【請求項３１】
請求項１〜２９のいずれかに記載の感光性組成物を用いて製造したスペーサー。
【請求項３２】
請求項３０に記載の透明膜を含む表示素子。
【請求項３３】
請求項３１に記載のスペーサーを含む表示素子。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液晶表示素子やＥＬ表示素子などを製造するための感光性組成物、該組成物から製造した透明膜またはスペーサー、および該透明膜または該スペーサーを含む表示素子に関する。
【背景技術】
【０００２】
パターン化された透明膜は、スペーサー、絶縁膜、保護膜など液晶表示素子の多くの部分で使用されており、これまでに多くの感光性組成物がこの用途に提案されてきた（たとえば、特許文献１（特開２００４−２８７２３２号公報）を参照）。特に近年では、高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイの需要が高まっていることにより、スペーサーの用途において直径１０μｍ以下の小さなパターンが求められるようになっている。液晶ディスプレイの生産ラインで一般的に使用されるプロキシミティー露光機は、光の平行度が悪いためマスクサイズよりもパターンサイズの方が大きくなってしまう（パターン太り）という欠点があり、このため小さなパターンを形成することが難しかった。また、高感度の感光性組成物ではこの傾向がよりいっそう顕著であり、高感度と小さなパターンを両立させることは非常に難しい問題であった。また、荷重をかけたときのパターンの縮み具合と荷重を除去したときの復元率（以下、この特性を「圧縮特性」という）が、液晶ディスプレイの不良と大きくかかわっていることが明らかになってきた。このため、よく縮み、復元率の高い、つまり圧縮特性が良好である材料が求められるようになっている。
【特許文献１】特開２００４−２８７２３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記状況から、高感度で、塗布均一性、現像性、耐熱性、保存安定性等重合体組成物に対して一般的に求められている特性を満足し、かつ、プロキシミティー露光においてマスクサイズと同じ大きさのパターンを形成でき、また、圧縮特性が良好な高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイのスペーサー、透明膜、およびこれらを含む液晶表示素子に用いられる感光性組成物が求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明者等は、ポリエステルのアルカリ現像液への溶解性と、紫外線を照射することにより生じる光重合開始剤と重合性二重結合を有する化合物の硬化反応をうまくバランスさせることで、パターン太りを解消し、マスクサイズと同じ大きさのパターンを得ることができ、この微妙なバランスを発現させるためには、特定の材料を用いて製造されたポリエステルを用い、ポリエステルの構造を特定することが重要であることを見出した。  すなわち、本発明者等は、アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）の構造を特定することにより、比較的高感度で、比較的小さなパターン形成を両立させることができ、さらに、圧縮特性に比較的優れることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成した。
本発明は、以下のような感光性組成物、それを用いて製造される透明膜、スぺーサーおよびこれらを含む表示素子を提供する。
なお、本明細書中、アクリル酸とメタクリル酸の両者を示すために「（メタ）アクリル酸」のように表記することがある。
【０００５】
［１］  アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性組成物であって、アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルである、感光性組成物。
［２］  感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、および光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部含有する、［１］に記載の感光性組成物
［３］  アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、並びに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）を含有する感光性組成物であって、アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルである、感光性組成物。
［４］  感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部含有する、［３］に記載の感光性組成物。
【０００６】
［５］  ラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）またはラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）に含まれる熱架橋性官能基が、エポキシ基またはオキセタニル基である、［３］または［４］に記載の感光性組成物。
［６］  ラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）が、グリシジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体である、［３］〜［５］のいずれかに記載の感光性組成物。
［７］  熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーが、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、および３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタンから群から選ばれる１種以上である、［３］〜［６］のいずれかに記載の感光性組成物。
【０００７】
［８］  アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）の全重量に対して酸無水物を１０〜１００重量％、多価ヒドロキシ化合物を１〜５０重量％および１価アルコールを１０〜１００重量％反応させて得られたポリエステルである、［１］〜［７］のいずれかに記載の感光性組成物。
［９］  酸無水物が酸無水物基を２〜２０個有する化合物である、［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１０］  酸無水物が、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２−［ビス（３，４ージカルボキシフェニル）］ヘキサフルオロプロパン二無水物、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメリテート）、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、エタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、およびスチレン−無水マレイン酸共重合体からなる群から選ばれる１種以上である、［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１１］  酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体、またはスチレン−無水マレイン酸共重合体と他の酸無水物との混合物である、［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１２］  酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体とブタンテトラカルボン酸二無水物との混合物である、［１］〜［８］のいずれかに記載の感光性組成物。
【０００８】
［１３］  多価ヒドロキシ化合物が、ヒドロキシル基を２〜６個有する化合物である、［１］〜［１２］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１４］  多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、重合度が４〜１０のポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、重合度が４〜１０のポリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，２−ブタンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）プロパンのエチレンオキシド付加物、２，２−ビス（４−ヒドロキシフェニル）スルホンのエチレンオキシド付加物、および下記式（３）
【化８】
2007171320.tif 000002
（式中、Ｒ1、Ｒ3は互いに独立して任意のメチルが酸素原子に置き換わってもよい炭素数１〜２０のアルキルであり；Ｒ2は炭素数１〜５のアルキルであり、ｎが１〜１００の整数である。）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、［１］〜［１２］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１５］  多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、および下記式（３）
【化９】
2007171320.tif 000003
（式中、Ｒ1、Ｒ3は互いに独立して任意のメチルが酸素原子に置き換わってもよい炭素数１〜２０のアルキルであり；Ｒ2は炭素数１〜５のアルキルであり、ｎが１〜１００の整数である。）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、［１］〜［１２］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１６］  多価ヒドロキシ化合物が、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、および下記式（３）
【化１０】
2007171320.tif 000004
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群より選ばれる１種以上である、［１］〜［１２］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１７］  多価ヒドロキシ化合物が、１，４−ブタンジオールおよび下記式（３）
【化１１】
2007171320.tif 000005
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群から選ばれる１種以上である、［１］〜［１２］のいずれかに記載の感光性組成物。
【０００９】
［１８］  １価アルコールが、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、アリルアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコールのカプロラクトン付加物、シクロヘキサノール、３−シクロヘキセン−１−メタノール、ベンジルアルコール、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリドン、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、およびジプロピレングリコールモノアルキルエーテルからなる群から選ばれる１種以上である、［１］〜［１７］のいずれかに記載の感光性組成物。
［１９］  １価アルコールが、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ベンジルアルコールおよびジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上である、［１］〜［１７］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２０］  アルカリ可溶性重合体（Ａ）が、酸無水物としてスチレン−無水マレイン酸共重合体を含み、多価ヒドロキシ化合物として１，４−ブタンジオールを含み、並びに、１価アルコールとしてベンジルアルコール、ペンタエリスリトールトリアクリレートもしくはジペンタエリスリトールヘキサアクリレートを含む混合物を反応させて得られたポリエステルである、［１］〜［７］のいずれかに記載の感光性組成物。
【００１０】
［２１］  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、（メタ）アクリロイル基の二重結合を有する、［１］〜［２０］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２２］  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を２〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有する、［１］〜［２０］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２３］  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有する、［１］〜［２０］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２４］  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有するウレタン（メタ）アクリレートを５０重量％以上含有する、［１］〜［２０］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２５］  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびウレタン（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上を、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して５０重量％以上含有する、［１］〜［２０］のいずれかに記載の感光性組成物。
【００１１】
［２６］  光重合開始剤（Ｃ）が、下記式（１）
【化１２】
2007171320.tif 000006
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3およびＲ4は互いに独立して炭素数１〜１３のアルキル、Ｘ1とＸ2は互いに独立して−Ｏ−、−Ｏ−Ｏ−、または−ＮＨ−である。）
で表される化合物、下記式（２）で表される化合物、
【化１３】
2007171320.tif 000007
（式中、Ｒ1、Ｒ2、Ｒ3は互いに独立して水素または炭素数１〜５のアルキルであり；Ｒ4は炭素数１〜１５のアルキルである。）、
２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、［１］〜［２５］のいずれかに記載の感光性組成物。
［２７］  光重合開始剤（Ｃ）が、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、および４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、［１］〜［２５］のいずれかに記載の感光性組成物。
【００１２】
［２８］  酸無水物、多価ヒドロキシ化合物および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルであるアルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、並びに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）を含有する感光性組成物であって、
酸無水物が、スチレン−無水マレイン酸共重合体、またはスチレン−無水マレイン酸共重合体と他の酸無水物との混合物であり、
多価ヒドロキシ化合物が、１，４−ブタンジオールおよび下記式（３）
【化１４】
2007171320.tif 000008
（式中、Ｒ1とＲ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜５０の整数である）
で表される化合物からなる群から選ばれる１種以上であり、
１価アルコールが、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ベンジルアルコールおよびジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上であり、
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートおよびウレタン（メタ）アクリレートからなる群から選ばれる１種以上を、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の全重量に対して５０重量％以上含有し、
光重合開始剤（Ｃ）が、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、および４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、および２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１からなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有する、感光性組成物。
［２９］  感光性組成物が、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部含有する、［２８］に記載の感光性組成物。
【００１３】
［３０］  ［１］〜［２９］のいずれかに記載の感光性組成物を用いて製造した透明膜。
［３１］  ［１］〜［２９］のいずれかに記載の感光性組成物を用いて製造したスペーサー。
［３２］  ［３０］に記載の透明膜を含む表示素子。
［３３］  ［３１］に記載のスペーサーを含む表示素子。
【発明の効果】
【００１４】
本発明の好ましい態様に係る感光性組成物は、高感度で、塗布均一性、現像性、耐熱性、保存安定性等重合体組成物に対して一般的に求められている特性を満足し、かつ、プロキシミティー露光においてマスクサイズと同じ大きさのパターンを形成できる。また、本発明の好ましい態様に係る感光性組成物は圧縮特性も良好である。さらに、本発明の好ましい態様に係る感光性組成物を用いて製造されたスぺーサーのスペーサー径は小さくすることができるため、細いブラックマトリクス上に形成してもブラックマトリクスからはみ出にくい。したがって、本発明の好ましい態様に係る感光性組成物を用いると、スペーサーに起因する液晶の配向ムラが生じにくく、光抜けのない高品位の表示素子を提供できるため、この感光性組成物は、高精細液晶ディスプレイや携帯電話用ディスプレイのスペーサー用として最適である。また、該スペーサーを用いることにより、光抜け等の欠陥が少なくなり、高精細な液晶パネル歩留まりよく製造することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
１  本発明の感光性組成物
本発明の第１の態様は、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物、および１価アルコールを反応させて得られたポリエステルであるアルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、および光重合開始剤（Ｃ）を含有する感光性組成物である。この感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、および光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部含有することが好ましい。また、この感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を３０〜２００重量部、および光重合開始剤（Ｃ）を１〜２０重量部含有することがさらに好ましい。
【００１６】
また、本発明の感光性組成物は、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）をさらに含有することができる。
この感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部含有することが好ましい。また、この感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を３０〜２００重量部、光重合開始剤（Ｃ）を１〜２０重量部、並びに、前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を１０〜１００重量部含有することが好ましい。
【００１７】
１．１  アルカリ可溶性重合体（Ａ）
アルカリ可溶性重合体（Ａ）において、酸無水物を１０〜１００重量部、多価ヒドロキシ化合物を１〜５０重量部、および１価アルコールを１０〜１００重量部反応させて得られたポリエステルであると、本発明の感光性組成物から得られるパターンのサイズがマスク寸法に近くなり、また塗膜の耐薬品性が高い。さらに、酸無水物を２０〜８０重量部、多価ヒドロキシ化合物を２〜４０重量部、および１価アルコールを２０〜８０重量部反応させて得られたポリエステルであると、現像性が良好であるため好ましい。
【００１８】
１．１．１  酸無水物
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる酸無水物は、そのような官能基を有すれば特に限定されるものではないが、たとえば、酸無水物基を２〜２０個有する化合物をいう。
【００１９】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる酸無水物の具体例としては、３，３'，４，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、３，３'，４，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２'，３，３'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，３，３'，４'−ジフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物、２，２−［ビス（３，４ージカルボキシフェニル）］ヘキサフルオロプロパン二無水物、エチレングリコールビス（アンヒドロトリメリテート）、シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、メチルシクロブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、エタンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、およびスチレン−無水マレイン酸共重合体等を挙げることができる。本発明の酸無水物は、１種の化合物であっても、２種以上の異なる化合物の混合物であってもよい。
これらの中でも、酸無水物として、スチレン−無水マレイン酸共重合体、またはスチレン−無水マレイン酸共重合体と他の酸無水物との混合物であると、圧縮特性が良好であるために好ましい。
特にスチレン−無水マレイン酸共重合体とブタンテトラカルボン酸二無水物を混合して用いると、現像性が良好であるためより好ましい。
【００２０】
１．１．２  多価ヒドロキシ化合物
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる多価ヒドロキシ化合物は、ヒドロキシル基を複数有すれば特に限定されるものではないが、たとえば、ヒドロキシル基を２〜２０個有する化合物をいう。
【００２１】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる多価ヒドロキシ化合物の具体例としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、重合度が４〜１０のポリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、重合度が４〜１０のポリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、１，２−ブタンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、１，４−シクロヘキサンジメタノール、ビスフェノールＡのエチレンオキシド付加物、ビスフェノールＳのエチレンオキシド付加物、上記式（３）で表される化合物等を挙げることができる。本発明の多価ヒドロキシ化合物は、１種の化合物であっても、２種以上の異なる化合物の混合物であってもよい。
これらの中でも、多価ヒドロキシ化合物として、エチレングリコール、プロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、上記式（３）で表される化合物から選ばれる一つであると、圧縮特性が良好であるために好ましい。また、式（３）で表される化合物のうちＲ1、Ｒ3がともに−（ＣＨ2）2−Ｏ−（ＣＨ2）3−であり、Ｒ2がメチルであり、ｎが２〜２０の整数である化合物を用いると、荷重をかけたときの変位が大きい（柔らかい）ために好ましい。また、多価ヒドロキシ化合物として、１，４−ブタンジオールを用いると、本発明の感光性組成物の現像性が良好になるために好ましい。
【００２２】
１．１．３  １価アルコール
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる１価アルコールは、ヒドロキシル基を１つ有すれば特に限定されるものではない。
【００２３】
アルカリ可溶性重合体（Ａ）を得るために用いられる１価アルコールの具体例としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、アリルアルコール、フルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコールのカプロラクトン付加物、シクロヘキサノール、３−シクロヘキセン−１−メタノール、ベンジルアルコール、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリドン、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
これらの中でも、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレートから選ばれる一つであると、圧縮特性が良好であるために好ましい。  また、ベンジルアルコールは現像性が良好であるために好ましい。
本発明の１価アルコールは、１種の化合物であっても、異なる種類の混合物であっても良い。
【００２４】
１．１．４  アルカリ可溶性重合体（Ａ）の合成方法
本発明のアルカリ可溶性重合体（Ａ）の合成方法は特に限定されないが、通常、酸無水物、多価ヒドロキシ化合物、および１価アルコールを有機溶媒と混合し、５０〜２００℃で２〜２０時間、反応させて得られる。反応を促進するために、ピリジンやトリエチルアミン等の３級アミンを少量添加してもよい。  上記の反応に使用する溶媒は、生成するアルカリ可溶性重合体（Ａ）を溶解する溶媒が好ましい。その具体例としては、メタノール、エタノール、１−プロパノール、２−プロパノール、テトラヒドロフルフリルアルコール、テトラヒドロフルフリルアルコールのカプロラクトン付加物、シクロヘキサノール、３−シクロヘキセン−１−メタノール、ベンジルアルコール、１−（２−ヒドロキシエチル）−２−ピロリドン、エチレングリコールモノアルキルエーテル、ジエチレングリコールモノアルキルエーテル、プロピレングリコールモノアルキルエーテル、ジプロピレングリコールモノアルキルエーテル、アセトン、２−ブタノン、酢酸エチル、酢酸プロピル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル、ジオキサン、トルエン、キシレン、シクロヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ−メチル−２−ピロリドン等を挙げることができる。これらの溶媒は、１種の化合物であっても、２種以上の異なる化合物の混合物であってもよい。
【００２５】
１．２  重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）
重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）は、重合性二重結合を１以上有すれば特に限定されるものではないが、（メタ）アクリロイル基を１以上有していることが好ましい。
本発明で用いる重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）の具体例としては、エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性エチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性トリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性テトラエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性テトラプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、プロピレンオキシド変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート、グリセロールアクリレートメタクリレート、グリセロールジ（メタ）アクリレート、グリセロールトリ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性グリセロールトリ（メタ）アクリレート、１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性１，６−ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、メトキシ化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ジグリセリンテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ステアリン酸変性ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、アルキル変性ジペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、アリル化シクロヘキシルジ（メタ）アクリレート、ビス[（メタ）アクリロキシネオペンチルグリコール]アジペート、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル]プロパン、（メタ）アクリレート、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル]プロパン、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル]メタン、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル]メタン、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシ）フェニル]スルホン、２，２−ビス[４−（（メタ）アクリロキシポリエトキシ）フェニル]スルホン、１，４−ブタンジオールジ（メタ）アクリレート、１，３−ブチレングリコール（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニルジアクリレート、エチレンオキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、エチレンオキシド変性リン酸トリ（メタ）アクリレート、カプロラクトン，エチレンオキシド変性リン酸ジ（メタ）アクリレート、カプロラクトン，エチレンオキシド変性リン酸トリ（メタ）アクリレート、エピクロルヒドリン変性フタル酸ジ（メタ）アクリレート、テトラブロモビスフェノールＡジ（メタ）アクリレート、トリグルセロールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジ（メタ）アクリレート、トリス[（メタ）アクリロキシエチル]イソシアヌレート、カプロラクトン変性トリス[（メタ）アクリロキシエチル]イソシアヌレート、（メタ）アクリル化イソシアヌレート、ウレタン（メタ）アクリレート等を挙げることがである。
これらの重合性二重結合を有する化合物は１種の化合物であっても、２種以上の異なる種類の混合物であってもよい。
【００２６】
また、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、（メタ）アクリロイル基を２〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有していると、現像時の密着性が高いために好ましい。  
【００２７】
また、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有する化合物を５０重量％以上含有していると、感度が高いためによりいっそう好ましい。（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有する化合物の具体例としては、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジグリセリンテトラアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキシド変性トリアクリレート、ウレタン（メタ）アクリレート等を挙げることができる。
さらに、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）が、（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有するウレタン（メタ）アクリレートを５０重量％以上含有していると、圧縮特性が良好であるため、特に好ましい。（メタ）アクリロイル基を４〜２０個有するウレタン（メタ）アクリレートの具体例としては、新中村化学（株）製ＮＫオリゴ（商標）Ｕ−４ＨＡ、同Ｕ−６ＨＡ、同Ｕ−１５ＨＡ、同Ｕ−４Ｈ、同Ｕ−６Ｈを挙げることができる。
【００２８】
１．３  光重合開始剤（Ｃ）
本発明で用いる光重合開始剤（Ｃ）はそのような性質を有する限り特に限定されるものではない
【００２９】
本発明で用いる光重合開始剤（Ｃ）の具体例としては、ベンゾフェノン、ミヒラーズケトン、４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、キサントン、チオキサントン、イソプロピルキサントン、２,４−ジエチルチオキサントン、２−エチルアントラキノン、アセトフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−４’−イソプロピルプロピオフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、イソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾインエーテル、２,２−ジエトキシアセトフェノン、２,２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、カンファーキノン、ベンズアントロン、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４,４’−トリ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２,４,６−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、２−（４’−メトキシスチリル）−４,６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（３’,４’−ジメトキシスチリル）−４,６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２’,４’−ジメトキシスチリル）−４,６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（２’−メトキシスチリル）−４,６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４’−ペンチルオキシスチリル）−４,６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−［ｐ−Ｎ,Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）］−２,６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、１,３−ビス（トリクロロメチル）−５−（２’−クロロフェニル）−ｓ−トリアジン、１,３−ビス（トリクロロメチル）−５−（４’−メトキシフェニル）−ｓ−トリアジン、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズオキサゾール、２−（ｐ−ジメチルアミノスチリル）ベンズチアゾール、２−メルカプトベンゾチアゾール、３,３’−カルボニルビス（７−ジエチルアミノクマリン）、２−（ｏ−クロロフェニル）−４,４’,５,５’−テトラフェニル−１,２’−ビイミダゾール、２,２’−ビス（２−クロロフェニル）−４,４’,５,５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１,２’−ビイミダゾール、２,２’−ビス（２,４−ジクロロフェニル）−４,４’,５,５’−テトラフェニル−１,２’−ビイミダゾール、２,２’−ビス（２,４−ジブロモフェニル）−４,４’,５,５’−テトラフェニル−１,２’−ビイミダゾール、２,２’−ビス（２,４,６−トリクロロフェニル）−４,４’,５,５’−テトラフェニル−１,２’−ビイミダゾール、３−（２−メチル−２−ジメチルアミノプロピオニル）カルバゾール、３,６−ビス（２−メチル−２−モルホリノプロピオニル）−９−ｎ−ドデシルカルバゾール、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、ビス（η5−２,４−シクロペンタジエン−１−イル）−ビス（２,６−ジフルオロ−３−（１Ｈ−ピロール−１−イル）−フェニル）チタニウム、２−メチル−１−［４��（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１、上記式（１）で表される化合物、上記式（２）で表される化合物等が挙げられる。ここで、式（１）で表される化合物の具体例として、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３，３’，４，４’−テトラ（ｔ−ヘキシルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン等が挙げられる。また、式（２）で表される化合物の具体例としては、１，２−オクタンジオン，１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−，２−（ｏ−ベンゾイルオキシム）等が挙げられる。
【００３０】
これらの光重合開始剤は１種の化合物であっても、２種以上の異なる化合物の混合物であってもよい。
これらの中でも、光重合開始剤（Ｃ）が、式（１）で表される化合物、式（２）で表される化合物、２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１から選ばれる１つ以上を光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有すると、得られる感光性組成物が高感度となるため好ましい。
【００３１】
また、光重合開始剤（Ｃ）が、３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノンからなる群から選ばれる１種以上を、光重合開始剤（Ｃ）の全重量に対して２０重量％以上含有すると、得られる感光性組成物の密着性が良好で現像マージンが広くなるために好ましい。
【００３２】
１．４  熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）または熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）
本発明の感光性組成物には、アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）にさらに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）（以下、「重合体Ｄ」ともいう）、または熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる重合体（Ｄ’）（以下、「重合体Ｄ’」ともいう）を添加してもよい。これらの重合体を添加することで、感光性組成物から得られる透明膜の耐薬品性が向上する。
重合体Ｄまたは重合体Ｄ’はアルカリ可溶性重合体（Ａ）１００重量部に対し、５〜２００重量部、より好ましくは１０〜１００重量部用いると耐薬品性が良好である。
【００３３】
重合体Ｄと重合体Ｄ’を得るために用いられるモノマーに含まれる熱架橋性官能基は、そのような性質を有する官能基であれば特に限定されないが、がエポキシ基またはオキセタニル基であると、得られる感光性組成物の耐薬品性が高まり、好ましい。重合体Ｄと重合体Ｄ’を得るために用いられるエポキシ基またはオキセタニル基を有するラジカル重合性モノマーの具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、メチルグリシジル（メタ）アクリレート、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、３−メチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシエチルオキセタン、ｐ−ビニルフェニル−３−エチルオキセタ−３−イルメチルエーテル、２−フェニル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、２−トリフロロメチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン、４−トリフロロメチル−２−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン等が挙げられるである。
これらのラジカル重合性モノマーの中でも、グリシジル（メタ）アクリレート、３，４−エポキシシクロヘキシル（メタ）アクリレート、３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタンから選ばれる１つ以上を使用した共重合体を添加した感光性組成物は、透明性、耐熱性、耐薬品性が高く、膜の硬度も高いので好ましい。
【００３４】
これらのエポキシ基またはオキセタニル基を有するラジカル重合性モノマーは１種のモノマーであっても、２種以上の異なる化合物のモノマーの混合物であってもよい。
重合体Ｄまたは重合体Ｄ’を得るために用いられる熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの具体例としては、グリシジル（メタ）アクリレート、スチレン、メチルスチレン、ビニルトルエン、クロルメチルスチレン、（メタ）アクリルアミド、トリシクロ［５．２．１．０2,6］デカニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、メチル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、Ｎ−フェニルマレイミド、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー、Ｎ−アクリロイルモルホリン、インデン、５−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチル（メタ）アクリレート、ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物の（メタ）アクリレート、無水マレイン酸、無水イタコン酸、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、α−クロルアクリル酸、ケイ皮酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸、メサコン酸、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、コハク酸モノ[２−（メタ）アクリロイロキシエチル] 、マレイン酸モノ[２−（メタ）アクリロイロキシエチル]、シクロヘキセン−３，４−ジカルボン酸モノ[２−（メタ）アクリロイロキシエチル]等が挙げられる。これらの中でも、グリシジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸を含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体を添加して得られた感光性組成物は、透明性、耐熱性、耐薬品性、膜の硬度が高く、現像性も良好であるので好ましい。
【００３５】
また、重合体Ｄまたは重合体Ｄ’の具体例としては、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／ベンジル（メタ）アクリレート／３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン／５−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート／３−エチル−３−（メタ）アクリロキシメチルオキセタン／ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物の（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／５−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチル（メタ）アクリレート共重合体、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート／ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物の（メタ）アクリレート共重合体等が挙げられる。これらの中でも、（メタ）アクリル酸／グリシジル（メタ）アクリレート共重合体を添加した感光性組成物から得られる透明膜は、圧縮特性が良好であるため好ましい。
【００３６】
２  溶媒
本発明で用いる溶媒は、沸点が１００℃〜２００℃である化合物、またはこの化合物を２０重量％以上含有する混合溶媒であることが好ましい。沸点が１００℃〜２００℃である化合物の具体例としては、水、酢酸ブチル、プロピオン酸ブチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、ジオキサン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，４−ブタンジオール、エチレングリコールモノイソプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロペンタノン、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、トルエン、キシレン、γ−ブチロラクトン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド等が挙げられる。
【００３７】
これらの溶媒の中でもプロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、および乳酸エチルから選ばれる少なくとも１つを用いると、塗布均一性が高くなるのでより好ましい。特にプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、および乳酸エチルから選ばれる溶媒を用いると、塗布均一性が高く、人体への安全性が高くなるため、より一層好ましい。
【００３８】
３  感光性組成物の組成
アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）および光重合開始剤（Ｃ）を含有する本発明の感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）を１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、および、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部が混合され、さらに溶媒で固形分濃度が５〜５０重量％となるように希釈されていることが好ましい。
また、アルカリ可溶性重合体（Ａ）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）、光重合開始剤（Ｃ）、並びに、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ’）を含有する感光性組成物において、アルカリ可溶性重合体（Ａ）を１００重量部に対し、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）を２０〜３００重量部、および、光重合開始剤（Ｃ）を０．５〜５０重量部、並びに、前記ラジカル重合性モノマーの重合体（Ｄ）もしくは前記ラジカル重合製モノマーの重合体（Ｄ’）を５〜２００重量部が混合され、さらに溶媒で固形分濃度が５〜５０重量％となるように希釈されていることが好ましい。
【００３９】
また、本発明の感光性組成物には、解像度、塗布均一性、現像性、接着性を向上させるために、各種の添加剤を添加することができる。添加剤の例は、アクリル系、スチレン系、ポリエチレンイミン系もしくはウレタン系の高分子分散剤、アニオン系、カチオン系、ノニオン系もしくはフッ素系の界面活性剤、シリコン樹脂等の塗布性向上剤、シランカップリング剤等の密着性向上剤、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤、ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤、エポキシ化合物、メラミン化合物もしくはビスアジド化合物等の熱架橋剤、有機カルボン酸等のアルカリ溶解性促進剤等である。
【００４０】
添加剤の具体例は、ＥＦＫＡ−７４５、ＥＦＫＡ−４６、ＥＦＫＡ−４７、ＥＦＫＡ−４７ＥＡ、ＥＦＫＡポリマー１００、ＥＦＫＡポリマー４００、ＥＦＫＡポリマー４０１、ＥＦＫＡポリマー４５０（商標、以上、森下産業製）、ソルスパーズ（商標）３０００、５０００、９０００、１２０００、１３２４０、１３９４０、１７０００、２００００、２４０００、２４０００ＧＲ、２６０００、２８０００、３２０００（以上、Lubrizol corporation社製）、ディスパースエイド６、ディスパースエイド８、ディスパースエイド１５、ディスパースエイド９１００（以上いずれも商標、サンノプコ製）、ポリフローＮｏ．７５、ポリフローＮｏ．９０、ポリフローＮｏ．９５（以上いずれも商標、共栄社化学工業製）、ディスパーベイク（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６２、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６３、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６４、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１６６、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１７０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８０、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８１、同（Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ）１８２（以上いずれも商標、ビックケミー・ジャパン製）、フルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩、ポリオキシエチレンノニルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンオクチルフェニルエーテル、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエーテル、ポリオキシエチレントリデシルエーテル、ポリオキシエチレンセチルエーテル、ポリオキシエチレンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンラウレート、ポリオキシエチレンオレレート、ポリオキシエチレンステアレート、ポリオキシエチレンラウリルアミン、ソルビタンラウレート、ソルビタンパルミテート、ソルビタンステアレート、ソルビタンオレエート、ソルビタン脂肪酸エステル、ポリオキシエチレンソルビタンラウレート、ポリオキシエチレンソルビタンパルミテート、ポリオキシエチレンソルビタンステアレート、ポリオキシエチレンソルビタンオレエート、ポリオキシエチレンナフチルエーテル、アルキルベンゼンスルホン酸塩、アルキルジフェニルエーテルジスルホン酸塩、ビックケミー・ジャパン製ＢＹＫ３００、同ＢＹＫ３１０、同ＢＹＫ３２０、同ＢＹＫ３３０、同ＢＹＫ３４６、共栄社化学工業製ポリフローＮｏ．４５、同ポリフローＫＬ−２４５等である。これら添加剤は単独でも、または２つ以上を混合しても使用することができる。
【００４１】
これらの添加剤の中でもフルオロアルキルベンゼンスルホン酸塩、フルオルアルキルカルボン酸塩、フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル、フルオロアルキルアンモニウムヨージド、フルオロアルキルベタイン、フルオロアルキルスルホン酸塩、ジグリセリンテトラキス（フルオロアルキルポリオキシエチレンエーテル）、フルオロアルキルトリメチルアンモニウム塩、フルオロアルキルアミノスルホン酸塩のなかから選ばれる添加剤を使用すると、塗布均一性が高くなるので好ましい。
【００４２】
本発明の感光性組成物は、温度−５℃〜２５℃の範囲で遮光して保存すると、組成物の経時安定性が良好である。保存温度が０℃〜１０℃であれば、経時安定性が一層良好である。
【００４３】
本発明の感光性組成物を露光後に現像する場合の現像液は、アルカリ水溶液が好ましい。アルカリの具体例は、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素カリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等であり、これらの水溶液が好適に用いられる。
【００４４】
現像液には現像残渣の低減やパターン形状の適性化を目的として、界面活性剤を添加してもよい。界面活性剤はアニオン系、カチオン系、ノニオン系から選択して使用することができる。特にノニオン系のポリオキシエチレンアルキルエーテルを添加すると、パターン形状が良好になるので好ましい。
【００４５】
現像方法は特に限定されない。ディップ現像、パドル現像、シャワー現像のいずれも用いることができる。
【００４６】
４  本発明の感光性組成物を用いて製造した透明膜
本発明の第２の態様は、本発明の感光性光重合性重合体組成物を用いて製造した透明膜に関するである。本発明の透明膜は、パターニングの際の解像度が高く、小さな径のスペーサーを形成するのに最適である。該透明膜は以下のようにして形成される。まず、感光性組成物をスピンコート、ロールコート、スリットコート等により、ガラス等の基板上に塗布する。基板としては、たとえば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガラスなどの透明ガラス基板、ポリカーボネート、ポリエステル、アクリル樹脂、塩化ビニール樹脂、芳香族ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド、ポリイミドなどの合成樹脂製シート、フィルムまたは基板、アルミニウム板、銅板、ニッケル板、ステンレス板などの金属基板、その他セラミック板、光電変換素子を有する半導体基板などが挙げることができる。これらの基板には所望により、シランカップリング剤などの薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着などの前処理を行うことができる。基板への感光性 樹脂組成物の塗布は、スピンコート法、ロールコート法、ディッピング法など従来からの公知の方法により行うことができる。
次に、ホットプレートまたはオーブンで通常６０〜１２０℃、１〜５分間乾燥する。乾燥した基板に、所望のパターン形状のマスクを介して紫外線を照射する。照射量はｉ線で５〜１０００ｍＪが適当である。紫外線の当たった部分はアクリルモノマーの重合により三次元化架橋体となり、アルカリ現像液に対して不溶化する。アルカリ現像液としては、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどの無機アルカリ類、およびテトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシドなどの有機アルカリ類などの水溶液を挙げることができる。また、上記アルカリ現像液にメタノール、エタノール、界面活性剤などを適当量添加して用いることもできる。
次いで、シャワー現像、スプレー現像、パドル現像、ディップ現像等により基板をアルカリ現像液に浸し、不要部分を溶解除去する。最後に１８０〜２５０℃で１０〜１２０分焼成すると、所望パターンの透明膜を得ることができる。
【００４７】
５  本発明の透明膜またはスペーサーを含む表示素子
本発明の第３の態様は、本発明の透明膜またはスペーサーを含む表示素子に関するである。また、スペーサーの形状は、真上から見た場合、正方形、長方形、円形、楕円形であることが好ましく、長方形、楕円形の場合、長軸方向が、ラビング方向と水平もしくは直交しているのが好ましい。また、樹脂塗膜中に従来から用いられてきたビーズを分散させ、固定させて使用することもできる。また、感光性 樹脂組成物をガラス基板上に塗布し、同様にパターニングを行い基板の周辺部のみ該組成物を残し、その上に別の基板を対向するように液晶セルを組み立て、圧着し、焼成することにより該組成物をシール材として液晶素子に組み込むことができる。さらに、該樹脂塗膜上に配向処理を行う膜を形成させても良い。
【００４８】
本発明の液晶表示素子は、上記のようにして形成された上下の素子基板の位置を合わせて圧着後、熱処理して組み合わせて後、液晶を注入し、注入口を封止することによって製作される。また、液晶素子基板上に液晶を散布した後、基板を重ね合わせ、液晶が漏れないように密封して液晶表示素子を製作してもよい。このようにして、本発明の感光性樹脂組成物で形成された優れた耐液晶性を有するスペーサーを液晶表示素子中に存在させることができる。なお、本発明の液晶表示素子に用いられる液晶、すなわち液晶化合物および液晶組成物については特に限定されず、いずれの液晶化合物および液晶組成物をも使用することができる。
【実施例】
【００４９】
以下、実施例により本発明をさらに説明するが、本発明はこれらによって限定されるものではない。
【００５０】
［合成例１］アルカリ可溶性重合体（Ａ１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに、酸無水物としてブタンテトラカルボン酸無水物とスチレン・無水マレイン酸共重合体（モル比１：１、分子量１，５００）、多価ヒドロキシ化合物として１，４−ブタンジオール、１価アルコールとしてペンタエリスリトールトリアクリレート等を下記の組成で仕込み、１００℃で１０時間加熱した。
ブタンテトラカルボン酸無水物                          １０ｇ
スチレン・無水マレイン酸共重合体
（モル比１：１、分子量１，５００）      ４０ｇ
１，４−ブタンジオール                                  ２ｇ
ペンタエリスリトールトリアクリレート                １００ｇ
ピリジン                                            ０．２ｇ
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート    １５２ｇ
反応液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体（Ａ１）の５０重量％プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（以後ＰＧＭＥＡと略す）溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ１）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は４，２００であった。
【００５１】
［合成例２］アルカリ可溶性重合体（Ａ２）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに、酸無水物としてブタンテトラカルボン酸無水物とスチレン・無水マレイン酸共重合体（モル比１：１、分子量１，５００）、多価ヒドロキシ化合物として１，４−ブタンジオール、１価アルコールとしてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート等を下記の組成で仕込み、１００℃で１０時間加熱した。
ブタンテトラカルボン酸無水物                            ５ｇ
スチレン・無水マレイン酸共重合体
（モル比１：１、分子量１，５００）      ３０ｇ
１，４−ブタンジオール                                  ２ｇ
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート            １００ｇ
ピリジン                                            ０．２ｇ
ＰＧＭＥＡ                                          １３７ｇ
反応液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体（Ａ２）の５０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ２）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は４，８００であった。
【００５２】
［合成例３］アルカリ可溶性重合体（Ａ３）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに、酸無水物としてスチレン・無水マレイン酸共重合体（モル比１：１、分子量１，５００）、多価ヒドロキシ化合物として１，４−ブタンジオール、１価アルコールとしてベンジルアルコール等を下記の組成で仕込み、１００℃で１０時間加熱した。
スチレン・無水マレイン酸共重合体
（モル比１：１、分子量１，５００）      ６０ｇ
１，４−ブタンジオール                                  ２ｇ
ベンジルアルコール                                    ３０ｇ
ＰＧＭＥＡ                                            ９２ｇ
反応液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体（Ａ３）の５０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ３）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は２，２００であった。
【００５３】
［合成例４］アルカリ可溶性重合体（Ａ４）の合成
攪拌器付４つ口フラスコに酸無水物としてスチレン・無水マレイン酸共重合体（モル比１：１、分子量１，５００）、多価ヒドロキシ化合物として式（３）の化合物であるチッソ（株）製サイラプレーン（商標）ＦＭ−４４１１（α,ω−ビス[3-(2'−ヒドロキシエトキシ)プロピル]ポリジメチルシロキサン）、１価アルコールとしてベンジルアルコール等を下記の組成で仕込み、１００℃で１０時間加熱した。
スチレン・無水マレイン酸共重合体
（モル比１：１、分子量１，５００）      ６０ｇ
式（３）の化合物であるチッソ（株）製
サイラプレーン（商標）ＦＭ−４４１１                  ２０ｇ
ベンジルアルコール                                    ３０ｇ
ＰＧＭＥＡ                                          １１０ｇ
反応液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体（Ａ４）の５０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ４）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は５，８００であった。
【００５４】
［合成例５］熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体（Ｄ’１）の合成
攪拌器付４つ口フラスコにラジカル重合性モノマーとしてグリシジルメタクリレートとメタクリル酸を仕込み、還流温度で６時間加熱した。
２−ブタノン                                          １５０．０ｇ
グリシジルメタクリレート                                ４５．０ｇ
メタクリル酸                                              ５．０ｇ
ジメチル２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオネート）    ２．０ｇ
反応液を室温まで冷却し、大量のヘキサンに投入した。生成した沈殿をＰＧＭＥＡに溶解し、１．３３×１０4Ｐａの減圧下１００℃にて重合溶媒、ヘキサンを留去し、共重合体（Ｄ’１）のＰＧＭＥＡ溶液を得た。溶液の一部をサンプリングし２２０℃で３０分乾燥して減量を求め、その結果をもとに重合体濃度が３０重量％となるようにＰＧＭＥＡを加えて溶液を調製した。ポリマーの収率は８５％であった。得られた共重合体（Ｄ’１）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は１６，０００であった。
【００５５】
［合成例６］熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体（Ｄ’２）の合成
攪拌器付４つ口フラスコにラジカル重合性モノマーとしてグリシジルメタクリレート、メタクリル酸、５−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチルアクリレート、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタンおよび２−ヒドロキシエチルメタクリレートを仕込み、還流温度で６時間加熱した。
２−ブタノン                                          １５０．０ｇ
グリシジルメタクリレート                                ２０．０ｇ
メタクリル酸                                              ２．０ｇ
５−テトラヒドロフルフリルオキシカルボニルペンチルアクリレート
５．０ｇ
３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン          １５．０ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート                        ８．０ｇ
ジメチル２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオネート）    ２．０ｇ
合成例１に記載の方法に準じた処理を行い、共重合体（Ｄ’２）の３０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。ポリマーの収率は７６％であった。得られた共重合体（Ｄ’２）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は８，６００であった。
【００５６】
［合成例７］熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体（Ｄ’３）の合成
攪拌器付４つ口フラスコにラジカル重合性モノマーとしてグリシジルメタクリレート、メタクリル酸、ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物のメタクリレート（日本乳化剤（株）製ＲＭＡ−２３１０）、３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタンおよび２−ヒドロキシエチルメタクリレートを仕込み、還流温度で６時間加熱した。
２−ブタノン                                          １５０．０ｇ
グリシジルメタクリレート                                ２０．０ｇ
メタクリル酸                                              ２．０ｇ
ラウリルアルコールのエチレンオキシド付加物のメタクリレート
（日本乳化剤（株）製ＲＭＡ−２３１０）                    ５．０ｇ
３−エチル−３−メタクリロキシメチルオキセタン          １５．０ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート                        ８．０ｇ
ジメチル２，２´−アゾビス（２−メチルプロピオネート）    ２．０ｇ
合成例１に記載の方法に準じた処理を行い、共重合体（Ｄ’３）の３０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。ポリマーの収率は７９％であった。得られた共重合体（Ｄ’３）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は７，４００であった。
【００５７】
［合成例８］アルカリ可溶性重合体（Ａ５）の合成（比較例）
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、１００℃で１０時間加熱した。
ブタンテトラカルボン酸無水物                          １０ｇ
スチレン・無水マレイン酸共重合体
（モル比１：１、分子量１，５００）      ４０ｇ
ペンタエリスリトールトリアクリレート                １００ｇ
ピリジン                                            ０．２ｇ
ＰＧＭＥＡ                            １５０ｇ
反応液を室温まで冷却し、アルカリ可溶性重合体（Ａ５）の５０重量％ＰＧＭＥＡ溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ５）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は３，１００であった。
【００５８】
［合成例９］バインダー樹脂（Ａ６）の合成（比較例）
攪拌器付４つ口フラスコに以下を仕込み、８５℃で２時間、さらに１００℃で１時間加熱した。
ジエチレングルコールジメチルエーテル（ＤＭＤＧ）          ２２０．０ｇ
ベンジルメタクリレート                                      １５．６ｇ
スチレン                                                    ３７．０ｇ
アクリル酸                                                  ３０．５ｇ
２−ヒドロキシエチルメタクリレート                          １６．９ｇ
２，２’−アゾビス（２−メチルブチロニトリル）                ０．８ｇ
さらに下記を加えた後、１００℃で５ｈｒ加熱した。
２−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート                １６．９ｇ
トリエチルアミン                                              ０．５ｇ
ハイドロキノン                                                ０．１ｇ
反応液を室温まで冷却し、バインダー樹脂（Ａ６）の３５重量％ＤＭＤＧ溶液を得た。得られたアルカリ可溶性重合体（Ａ６）のＧＰＣ分析（ポリエチレンオキシド標準）により求めた重量平均分子量は２６，０００であった。
【００５９】
［実施例１］
アルカリ可溶性重合体（Ａ１）、重合性二重結合を有する化合物（Ｂ）としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（東亜合成（株）製アロニックス（商標）Ｍ４０２；以下、「Ｍ４０２」という）、光重合開始剤（Ｃ）として１，２−オクタンジオン，１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−，２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）（チバスペシャリティーケミカルズ（株）製ＩＲＧＡＣＵＲＥ（商標）ＯＸＥ０１、以下、「ＯＸＥ０１」という）、熱架橋性官能基を有するラジカル重合性モノマーを含有するラジカル重合性モノマーの混合物を重合して得られる共重合体（Ｄ’１）、添加剤としてフッ素系界面活性剤であるネオス（株）製フタージェント（商標）ＤＦＸ−１８（以下、「ＤＦＸ−１８」という）、および溶媒としてＰＧＭＥＡを下記組成にて混合溶解し、感光性組成物を得た。
ＰＧＭＥＡ                                            １７．４７ｇ
アルカリ可溶性重合体（Ａ１）の５０重量％溶液          １０．００ｇ
Ｍ４０２（Ｂ）                                          ７．５０ｇ
ＯＸＥ０１（Ｃ）                                        ０．２５ｇ
共重合体（Ｄ’１）の３０重量％溶液                      ８．３３ｇ
ＤＦＸ−１８                                            ０．０２ｇ
【００６０】
この感光性組成物をガラス基板上に８００ｒｐｍで１０秒間スピンコートし、１００℃のホットプレート上で２分間乾燥した。この基板を空気中ドットパターンのマスクを介して、（株）トプコン製プロキシミティー露光機ＴＭＥ−４００ＰＲＣを使用し、波長カットフィルターを通して３５０ｎｍ以下の光をカットしてｇ、ｈ、ｉ線を取り出し、露光ギャップ１００μｍで露光した。露光量はウシオ（株）製積算光量計ＵＩＴ−１５０および受光器ＵＶＤ−Ｓ３６５で測定して５０ｍＪ／ｃｍ2とした。露光後のガラス基板を、０．４重量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液で６０秒間ディップ現像し、未露光部を除去した。現像後の基板を純水で２０秒間洗ってから１００℃のホットプレートで２分間乾燥した。現像後の残膜率（現像後膜厚×１００／現像前膜厚）は９５．８％であり、十分な感度を有していることを確認した。現像前後の膜厚は、それぞれKLA-Tencor Japan株式会社製触針式膜厚計αステップ２００を使用し、３箇所の測定の平均値を膜厚とした。
さらにオーブン中２２０℃で３０分ポストベイクした。膜厚は３．０４μｍであった。１０００倍の光学顕微鏡で観察したところ、１０μｍ角のドットパターンの大きさは、対角線長さが１０μｍであった。
このドットパターンに、島津製作所（株）製ダイナミック微小硬度計ＤＵＨ−Ｗ２０１Ｓで、平面圧子を用いて負荷−除荷試験を行った。負荷速度０．４ｍＮ／秒で荷重を増加させ、最大負荷を１０ｍＮ、最大負荷での保持時間を５秒とした後、除荷速度０．４ｍＮで荷重を減少させ、最終負荷は１ｍＮとした。最初に負荷が１ｍＮとなったときの変位をＬ０、最大荷重１０ｍＮで５秒保持したときの変位をＬ１、最終負荷１ｍＮでの変位をＬ２としたとき、最大変位量ＬＭＡＸ（μｍ）と復元率Ｒ（％）は、
ＬＭＡＸ＝Ｌ１−Ｌ０
Ｒ＝（Ｌ１−Ｌ２）×１００／（Ｌ１−Ｌ０）
で表される。
実施例１で得られたドットパターンの最大変位量ＬＭＡＸは０．２１μｍ、復元率Ｒは９１％であった。
【００６１】
［実施例２〜２０、比較例１〜５］
実施例１と同様に、下表組成にて感光性組成物を調製した。溶媒の添加量は、固形分濃度が３５％となるように調整した。
これらの感光性組成物を、ポストベイク後の膜厚が３．０〜３．１μｍになるような回転数でスピンコートし、実施例１と同様の評価を行った。残膜率と１０μｍマスクで形成されるパターンサイズの結果を表１に、最大変位と復元率の結果を表２に示す。
表１中のカッコ内の数字は固形分の重量比である。
表１中の略号は以下を表す。
Ｂ１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
Ｂ２：ペンタエリスリトールテトラアクリレート
Ｂ３：新中村化学（株）製ＮＫオリゴ（商標）Ｕ−１５ＨＡ
Ｃ１：ＯＸＥ０１
Ｃ２：３,３’−ジ（メトキシカルボニル）−４,４’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、３,４’−ジ（メトキシカルボニル）−４,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノン、および、４,４’−ジ（メトキシカルボニル）−３,３’−ジ（ｔ−ブチルペルオキシカルボニル）ベンゾフェノンの混合物（特開２０００−１５９８２７の実施例１に開示された方法により合成）
Ｃ３：４,４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
Ｃ４：２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルホリノプロパン−１−オン
（チバスペシャリティーケミカルズ（株）製ＩＲＧＡＣＵＲＥ（商標）９０７）
Ｃ５：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタノン−１
（チバスペシャリティーケミカルズ（株）製ＩＲＧＡＣＵＲＥ（商標）３６９）
【表１】
2007171320.tif 000009
【表２】
2007171320.tif 000010
【００６２】
以上の結果から明らかなように、実施例１〜１２はいずれも得られるパターンの大きさがマスクサイズに近く、小さなパターンを得ることができた。これに対し、ポリエステルの合成において多価ヒドロキシ化合物を使用しなかった比較例１は現像時にパターンが剥離してしまい、最大変位と復元率の測定はできなかった。また、バインダー樹脂を使用した比較例２のパターンの大きさはマスクサイズに比べ大きなものであった。圧縮特性も、最大変位が小さく、復元率も低かった。
【産業上の利用可能性】
【００６３】
本発明の感光性組成物は、たとえば液晶表示素子の製造工程に用いられることで、液晶パネルの製造に用いることができる。