(57)【要約】【課題】液滴吐出手段の移動性能を向上させて、液滴からなるパターンの生産性を向上させた液滴吐出装置を提供する。【解決手段】装置本体としての基台に設けられた制御装置２２に無線送信部４３ｂを設けて、液滴の吐出タイミングを規定する吐出タイミング信号ＬＰと圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給するか否かを規定する吐出制御信号ＳＩを無線送信するようにした。そして、ヘッドユニット３０に無線受信部５５ａを設けて、制御装置２２から送信される吐出タイミング信号ＬＰと吐出制御信号ＳＩを受信して、所定のタイミングで圧電素子ＰＺを選択駆動するようにした。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
対象物を載置する装置本体と、加圧手段の加圧によって前記対象物に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有した液滴吐出ユニットと、前記装置本体に設けられて前記液滴吐出ユニットを前記対象物上で移動する移動手段と、前記装置本体に設けられて前記加圧手段を駆動制御する制御手段と、を備えた液滴吐出装置において、
前記制御手段に設けられて、前記加圧手段を制御する制御信号を無線送信する無線送信部と、
前記液滴吐出ユニットに設けられて、前記無線送信部からの前記制御信号を受信する無線受信部と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項２】
請求項１に記載の液滴吐出装置において、
前記制御信号は、前記液滴の吐出するタイミングを規定した信号であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液滴吐出装置において、
前記制御信号は、複数の前記加圧手段のそれぞれに対して前記液滴を吐出するか否かを規定する信号であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１つに記載の液滴吐出装置において、
前記制御手段に設けられて、前記加圧手段の駆動量を規定する駆動信号を有線送信する有線送信部と、
前記液滴吐出ユニットに設けられて、前記有線送信部からの前記駆動信号を受信する有線受信部と、
前記有線送信部からの有線通信路に接続された第１端子と、
前記有線受信部からの有線通信路に接続された第２端子と、を備え、
少なくとも前記第１端子と前記第２端子のいずれか一方が、前記第１端子と前記第２端子との電気的接続を維持する摺動接続面を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１つに記載の液滴吐出装置において、
前記液滴吐出ユニットは、前記対象物に着弾した前記液滴の領域にレーザ光を照射するレーザ照射手段を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出装置において、
前記制御信号は、前記レーザ光の照射するタイミングを規定した信号であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の液滴吐出装置において、
前記制御信号は、複数の前記レーザ照射手段のそれぞれに対して前記レーザ光を照射するか否かを規定する信号であることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれか１つに記載の液滴吐出装置において、
前記移動手段は、前記液滴吐出ユニットを前記対象物上で少なくとも２次元方向に移動する多関節ロボットであることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、液晶表示装置やエレクトロルミネッセンス表示装置等の表示装置には、画像を表示するための基板が備えられている。この種の基板には、品質管理や製造管理を目的として、その製造元や製品番号等の製造情報をコード化した識別コード（例えば、２次元コード）が形成されている。こうした識別コードは、配列された多数のパターン形成領域（データセル）の一部に、パターンとしてのコードパターン（例えば、有色の薄膜や凹部等のドット）を備え、そのコードパターンの有無によって製造情報を再現可能にしている。
【０００３】
識別コードの形成方法には、金属箔にレーザ光を照射してコードパターンをスパッタ成膜するレーザスパッタ法や、研磨材を含んだ水を基板等に噴射してコードパターンを刻印するウォータージェット法が提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【０００４】
しかし、上記レーザスパッタ法では、所望するサイズのコードパターンを得るために、金属箔と基板の間隙を、数〜数十μｍに調整しなければならない。つまり、基板と金属箔の表面に対して非常に高い平坦性が要求され、しかも、これらの間隙をμｍオーダの精度で調整しなければならない。その結果、識別コードを形成できる対象基板が制限されて、その汎用性を損なう問題を招いていた。また、ウォータージェット法では、基板の刻印時に、水や塵埃、研磨剤等が飛散するため、同基板を汚染する問題があった。
【０００５】
近年、こうした生産上の問題を解消する識別コードの形成方法として、インクジェット法が注目されている。インクジェット法では、金属微粒子を含む液滴を液滴吐出ヘッドのノズルから吐出して、その液滴を乾燥させることによってコードパターンを形成する。そのため、識別コードを形成する基板の対象範囲を拡大することができ、同基板の汚染等を回避して識別コードを形成することができる。
【特許文献１】特開平１１−７７３４０号公報
【特許文献２】特開２００３−１２７５３７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記する表示装置の製造方法では、その生産性を向上させるために、一般的に、１枚のマザー基板から複数の前記基板を製造するようにしている。そして、各基板に対応するマザー基板上の位置に、それぞれ対応する識別コードを形成するようにしている。そのため、上記するインクジェット法を利用して識別コードを形成すると、点在する識別コード上でのみ液滴吐出動作を実行するようになる。その結果、識別コードを形成するための工程時間の大半が、液滴吐出動作を実行しない状態での液滴吐出ヘッドの移動時間に費やされる。
【０００７】
そこで、液滴吐出ヘッドを多関節ロボット等の移動手段に搭載して、液滴吐出動作を実行しない状態で高速移動させることができれば、識別コードの工程時間を短縮させることができ、識別コードの生産性を向上させることができる。
【０００８】
しかしながら、液滴吐出ヘッドを多関節ロボット等の移動手段に搭載すると、液滴吐出ヘッドを駆動制御するための電源ケーブルや信号ケーブル等、各種ケーブルが移動手段に絡まって、各種ケーブルの断線や液滴吐出ヘッドの移動不良を招く虞があった。
【０００９】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、その目的は、液滴吐出手段の移動性能を向上させて、液滴からなるパターンの生産性を向上させた液滴吐出装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の液滴吐出装置は、対象物を載置する装置本体と、加圧手段の加圧によって前記対象物に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを有した液滴吐出ユニットと、前記装置本体に設けられて前記液滴吐出ユニットを前記対象物上で移動する移動手段と、前記装置本体に設けられて前記加圧手段を駆動制御する制御手段とを備えた液滴吐出装置において、前記制御手段に設けられて、前記加圧手段を制御する制御信号を無線送信する無線送信部と、前記液滴吐出ユニットに設けられて、前記無線送信部からの前記制御信号を受信する無線受信部と、を備えた。
【００１１】
本発明の液滴吐出装置によれば、制御手段の無線送信部と液滴吐出ユニットの無線受信部によって、制御信号を無線送信することができる。従って、制御信号を送信するための信号配線を配設しない分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。その結果、液滴吐出ユニットの移動速度の高速化や移動範囲の拡大を図ることができ、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる。
【００１２】
この液滴吐出装置において、前記制御信号は、前記液滴の吐出するタイミングを規定した信号であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、吐出タイミングを規定する信号を、装置本体と液滴吐出ユニットとの間で無線通信することができる。従って、少なくとも吐出タイミングを規定する信号用の配線を省略できる分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。
【００１３】
この液滴吐出装置において、前記制御信号は、複数の前記加圧手段のそれぞれに対して前記液滴を吐出するか否かを規定する信号であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴を吐出させるか否かを規定する信号を、装置本体と液滴吐出ユニットとの間で無線通信することができる。従って、液滴を吐出させるか否かを規定する信号用の配線を省略できる分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。
【００１４】
この液滴吐出装置において、前記制御手段に設けられて、前記加圧手段の駆動量を規定する駆動信号を有線送信する有線送信部と、前記液滴吐出ユニットに設けられて、前記有線送信部からの前記駆動信号を受信する有線受信部と、前記有線送信部からの有線通信路に接続された第１端子と、前記有線受信部からの有線通信路に接続された第２端子と、を備え、少なくとも前記第１端子と前記第２端子のいずれか一方が、前記第１端子と前記第２端子との電気的接続を維持する摺動接続面を備えるようにしてもよい。
【００１５】
この液滴吐出装置によれば、加圧手段の駆動信号に高い電位の信号を要する場合であっても、有線通信路に摺動接続面を設ける分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。
【００１６】
この液滴吐出装置において、前記液滴吐出ユニットは、前記対象物に着弾した前記液滴の領域にレーザ光を照射するレーザ照射手段を備えるようにしてもよい。
この液滴吐出装置によれば、レーザ照射手段を備えた液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。その結果、液滴の領域にレーザ光を照射して、液滴の乾燥速度を増加させる場合や、液滴の形状を制御させる場合に、液滴吐出ユニットの移動速度の高速
化や移動範囲の拡大を図ることができる。ひいては、液滴を乾燥して形成するパターンや液滴の形状を制御して形成するパターンの生産性を向上させることができる。
【００１７】
この液滴吐出装置において、前記制御信号は、前記レーザ光の照射するタイミングを規定した信号であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、照射タイミングを規定する信号を、装置本体と液滴吐出ユニットとの間で無線通信することができる。従って、照射タイミングを規定する信号用の配線を省略できる分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。
【００１８】
この液滴吐出装置において、前記制御信号は、複数の前記レーザ照射手段のそれぞれに対して前記レーザ光を照射するか否かを規定する信号であってもよい。
この液滴吐出装置によれば、レーザ光の照射と非照射を規定する信号を、装置本体と液滴吐出ユニットとの間で無線通信することができる。従って、レーザ光の照射と非照射を規定する信号用の配線を省略できる分だけ、液滴吐出ユニットの移動性能を向上させることができる。
【００１９】
この液滴吐出装置において、前記移動手段は、前記液滴吐出ユニットを前記対象物上で少なくとも２次元方向に移動する多関節ロボットであってもよい。
この液滴吐出装置によれば、液滴吐出ヘッドを多関節ロボットに搭載して移動させるため、液滴吐出ユニットの移動速度の高速化や移動範囲の拡大を、より容易に図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を具体化した一実施形態を図１〜図６に従って説明する。まず、本発明の液滴吐出装置を利用して形成した識別コードを有する液晶表示装置１について説明する。
図１において、基板２の一側面（表面２ａ）には、その略中央位置に液晶分子を封入した四角形状の表示部３が形成されるとともに、その表示部３の外側に、走査線駆動回路４及びデータ線駆動回路５が形成されている。液晶表示装置１は、これら走査線駆動回路４が供給する走査信号と、データ線駆動回路５が供給するデータ信号に基づいて、前記表示部３内の液晶分子の配向状態を制御するようになっている。そして、液晶表示装置１は、図示しない照明装置からの平面光を液晶分子の配向状態によって変調して、表示部３の領域に所望の画像を表示するようになっている。
【００２１】
表面２ａの左側下隅には、一辺が約１ｍｍの正方形からなるコード領域Ｓが区画形成されるとともに、そのコード領域Ｓ内には、１６行×１６列のデータセルＣが仮想分割されている。そのコード領域Ｓの選択されたデータセルＣの領域には、それぞれパターンとしてのドットＤが形成されるとともに、これら複数のドットＤによって、液晶表示装置１の識別コード１０が構成されている。
【００２２】
本実施形態では、ドットＤの形成されたデータセルＣの中心位置を「目標吐出位置Ｐ」とし、各データセルＣの一辺の長さをセル幅Ｗという。
各ドットＤは、その外径がデータセルＣの一辺の長さ（前記セル幅Ｗ）で形成された半球状のパターンである。このドットＤは、パターン形成材料としての金属微粒子（例えば、ニッケル微粒子やマンガン微粒子）を分散媒に分散させた液状体Ｆ（図４参照）の液滴ＦｂをデータセルＣに吐出させるとともに、データセルＣに着弾した液滴Ｆｂを乾燥及び焼成させることによって形成されている。着弾した液滴Ｆｂの乾燥・焼成は、レーザ光Ｂ（図４参照）を照射させることによって行われる。尚、本実施形態では、液滴Ｆｂを乾燥・焼成することによってドットＤを形成するようにしているが、これに限らず、例えばレーザ光Ｂの乾燥のみによって形成するようにしてもよい。
【００２３】
そして、識別コード１０は、各データセルＣ内のドットＤの有無によって、液晶表示装置１の製品番号やロット番号等を再現させるようになっている。本実施形態では、上記基板２の長手方向をＸ矢印方向とし、Ｘ矢印方向と直交する方向をＹ矢印方向という。
【００２４】
次に、前記識別コード１０を形成するための液滴吐出装置２０を図２〜図４に従って説明する。尚、本実施形態では、複数の前記基板２を切出し可能にした対象物としてのマザー基板２Ｍに、点在する複数の前記識別コード１０を形成する場合について説明する。
【００２５】
図２において、液滴吐出装置２０には、略直方体形状に形成された装置本体を構成する基台２１が備えられている。基台２１の内部には、液滴吐出装置２０の各部を駆動制御する制御手段としての制御装置２２が配設されている。その基台２１の一側（Ｘ矢印方向側）には、複数の前記マザー基板２Ｍを収容する基板ストッカ２３が配設されている。基板ストッカ２３は、図２における上下方向（Ｚ矢印方向及び反Ｚ矢印方向）に移動して、収容する各マザー基板２Ｍをそれぞれ基台２１上に搬出可能にするとともに、基台２１上のマザー基板２Ｍを対応するスロットに搬入可能にしている。
【００２６】
基台２１の上面２１ａであって、その基板ストッカ２３側（Ｘ矢印方向側）には、Ｙ矢印方向に延びる走行装置２４Ａが配設されている。走行装置２４Ａは、その内部に走行モータＭＡ（図６参照）を有して、走行モータＭＡの出力軸に駆動連結される搬送装置２４Ｂを、Ｙ矢印方向及び反Ｙ矢印方向に走行させるようになっている。搬送装置２４Ｂは、マザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂを吸着把持可能にした搬送アーム２４Ｈを有する水平多関節ロボットであって、その内部に設けられた搬送モータＭＢ（図６参照）の出力軸に駆動連結される搬送アーム２４Ｈを、ＸＹ平面上で伸縮自在に回動するとともに、上下方向に移動するようになっている。
【００２７】
基台２１の上面２１ａであって、そのＹ矢印方向両側には、マザー基板２Ｍの表面２Ｍａを上側にして同マザー基板２Ｍを載置する一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌが併設されている。一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌは、それぞれ載置するマザー基板２Ｍの裏面２Ｍｂ側に、前記搬送アーム２４Ｈを抜き出し可能にする空間（凹部２５ａ）を有して、同凹部２５ａ内で前記搬送アーム２４Ｈを上動及び下動することによりマザー基板２Ｍの搬送及び載置を可能にしている。
【００２８】
そして、走行モータＭＡ及び搬送モータＭＢに所定の駆動制御信号を供給すると、走行装置２４Ａ及び搬送装置２４Ｂは、前記基板ストッカ２３内の各マザー基板２Ｍを搬出して、搬出したマザー基板２Ｍを、載置台２５Ｒ，２５Ｌのいずれか一方に載置するようになっている。また、走行装置２４Ａ及び搬送装置２４Ｂは、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置したマザー基板２Ｍを、基板ストッカ２３内の所定のスロットに搬入して回収するようになっている。
【００２９】
尚、本実施形態では、図４に示すように、載置台２５Ｒ，２５Ｌに載置されたマザー基板２Ｍのコード領域Ｓであって、その最もＸ矢印方向側から順に、１行目コード領域Ｓ１、２行目コード領域Ｓ２、・・・、５行目コード領域Ｓ５という。
【００３０】
図２において、基台２１の上面２１ａであって、前記一対の載置台２５Ｒ，２５Ｌの間には、移動手段としての多関節ロボット（以下単に、スカラロボットという。）２６が配設されている。
【００３１】
スカラロボット２６には、基台２１の上面２１ａに固設されて上方（Ｚ矢印方向）に延びる主軸２７が備えられるとともに、その主軸２７の内部には、制御装置２２に接続される一対の本体配線ＬＢが配設されている。尚、本実施形態の本体配線ＬＢは、駆動信号と
しての圧電素子駆動電圧ＣＯＭ（図６参照）の供給される信号配線ＬＢｐと、制御装置２２で接地される接地配線ＬＢｇである。
【００３２】
図２及び図３に示すように、主軸２７の先端には、第１端子としての一対の摺接端子Ｐ０が配設されている。各摺接端子Ｐ０は、それぞれ主軸２７の中心軸Ｒを中心とする円形板状の端子であって、それぞれ信号配線ＬＢｐ及び接地配線ＬＢｇを介して、制御装置２２に接続されている。その主軸２７の先端には、同主軸２７に内設された第１モータＭ１（図６参照）の出力軸に駆動連結される第１アーム２８ａが、前記中心軸Ｒを回動中心にして水平方向（ＸＹ平面方向）に回動可能に連結されている。
【００３３】
第１アーム２８ａの基端（主軸２７側）には、第２端子としての一対の回動端子Ｔ１が配設されている。回動端子Ｔ１は、板ブラシ状の端子であって、第１アーム２８ａが回動するときに、それぞれ対応する前記摺接端子Ｐ０の上面（摺動接続面）を摺動するように形成されている。一方、第１アーム２８ａの先端には、図３に示すように、主軸２７の先端と同様に、円形板状に形成された一対の摺接端子Ｐ１が配設されて、それぞれ第１アーム２８ａに内設された一対の第１配線Ｌ１（第１信号配線Ｌ１ｖ及び第１接地配線Ｌ１ｇ）を介して、対応する前記回動端子Ｔ１に接続されている。
【００３４】
そして、第１モータＭ１に所定の駆動制御信号を供給して第１アーム２８ａを回動すると、主軸２７の各摺接端子Ｐ０上を、それぞれ対応する第１アーム２８ａの回動端子Ｔ１が回動（摺動接続）して、第１アーム２８ａの回動端子Ｔ１と制御装置２２との間の電気的接続を維持するようになっている。
【００３５】
第１アーム２８ａの先端には、第１アーム２８ａに内設された第２モータＭ２（図６参照）の出力軸に駆動連結される第２アーム２８ｂが、水平方向（ＸＹ平面方向）に回動可能に連結されている。
【００３６】
第２アーム２８ｂの基端には、前記第１アーム２８ａの基端と同様に、板ブラシ状に形成された一対の前記回動端子Ｔ２が配設されて、第２アーム２８ｂが回動するときに、それぞれ対応する前記摺接端子Ｐ１の上面（摺動接続面）を摺動するようになっている。一方、第２アーム２８ｂの先端には、第１アーム２８ａの先端と同様に、円形板状に形成された一対の摺接端子Ｐ２が配設されて、それぞれ第２アーム２８ｂに内設された一対の第２配線Ｌ２（第２信号配線Ｌ２ｖ及び第２接地配線Ｌ２ｇ）を介して、対応する前記回動端子Ｔ２に接続されている。
【００３７】
そして、第２モータＭ２に所定の駆動制御信号を供給して第２アーム２８ｂを回動すると、第１アーム２８ａの各摺接端子Ｐ１上を、それぞれ対応する第２アーム２８ｂの回動端子Ｔ２が回動（摺動接続）して、第２アーム２８ｂの回動端子Ｔ２と制御装置２２との間の電気的接続を維持するようになっている。
【００３８】
第２アーム２８ｂの先端には、第２アーム２８ｂに内設された第３モータＭ３（図６参照）の出力軸に駆動連結される円柱状の第３アーム２８ｃが、そのＺ矢印方向に沿う軸心を回動中心にして回動可能に連結されている。
【００３９】
第３アーム２８ｃの基端には、前記第２アーム２８ｂの基端と同様に、板ブラシ状に形成された一対の前記回動端子Ｔ３が配設されて、第３アーム２８ｃが回動するときに、それぞれ対応する前記摺接端子Ｐ２の上面（摺動接続面）を摺動するようになっている。一方、第３アーム２８ｃの下端には、液滴吐出ユニットとしてのヘッドユニット３０が配設されて、第３アーム２８ｃに内設された一対の第３配線Ｌ３（第３信号配線Ｌ３ｖ（図５参照）及び第３接地配線Ｌ３ｇ（図５参照））を介して、前記回動端子Ｔ３に接続されて
いる。
【００４０】
そして、第３モータＭ３に所定の駆動制御信号を供給して第３アーム２８ｃを回動すると、第２アーム２８ｂの各摺接端子Ｐ２上を、それぞれ対応する第３アーム２８ｃの回動端子Ｔ３が回動（摺動接続）して、ヘッドユニット３０と制御装置２２との間の電気的接続を維持するようになっている。
【００４１】
すなわち、スカラロボット２６は、各摺接端子Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２と対応する回動端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３との間の摺動接続によって、ヘッドユニット３０と制御装置２２との電気的接続を維持して、第１、第２、第３アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃ及びヘッドユニット３０を回動自在にしている。
【００４２】
本実施形態では、これら各摺接端子Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２、各回動端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３、第１配線Ｌ１、第２配線Ｌ２及び第３配線Ｌ３によって、有線通信路を構成している。
そして、第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３に所定の駆動制御信号を供給すると、スカラロボット２６は、対応する第１、第２及び第３アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を上面２１ａ上の所定領域（図４に示す２点鎖線の領域：走査領域Ｅ）内で走査するようになっている。
【００４３】
詳述すると、図４の矢印で示すように、スカラロボット２６は、まず、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を、１行目コード領域Ｓ１上のＹ矢印方向に沿って走査する。１行目コード領域Ｓ１上を走査すると、スカラロボット２６は、第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を１８０度だけ左回りに回転する。ヘッドユニット３０を回転すると、スカラロボット２６は、再び第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動して、ヘッドユニット３０を、２行目コード領域Ｓ２上の反Ｙ矢印方向に沿って走査する。
【００４４】
以後同様にして、スカラロボット２６は、３行目、４行目、５行目コード領域Ｓ３，Ｓ４，Ｓ５の順に、そのＹ矢印方向あるいは反Ｙ矢印方向に沿ってヘッドユニット３０を走査する。すなわち、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０の配置方向をヘッドユニット３０の移動する方向（走査方向Ｊ）に対応させながら、同ヘッドユニット３０を、各コード領域Ｓを結ぶ九十九折り状の走査経路に沿って走査するようになっている。
【００４５】
しかも、スカラロボット２６は、ヘッドユニット３０の走査速度を各コード領域Ｓに対応させて変更するようになっている。詳述すると、図５に示すように、スカラロボット２６は、各コード領域Ｓ直上でのみヘッドユニット３０を所定の速度（描画速度Ｖｄ）で走査し、各コード領域Ｓ直上に到達するまでの経路では、ヘッドユニット３０を前記描画速度Ｖｄよりも速い速度（移動速度Ｖｉ）で走査するようになっている。これによって、液滴吐出装置２０は、液滴吐出動作を実行しない経路上での走査時間を短くして、全ての識別コード１０の形成に要する時間の短縮を図っている。
【００４６】
図５において、ヘッドユニット３０には、箱体状に形成された液状体タンク３１が配設されている。液状体タンク３１は、前記液状体Ｆを導出可能に収容するとともに、収容する液状体Ｆを液滴吐出ヘッド３２に導出するようになっている。
【００４７】
ヘッドユニット３０であって前記液状体タンク３１のマザー基板２Ｍ側（下側）には、液滴吐出ヘッド３２（以下単に、吐出ヘッド３２という。）が配設されている。吐出ヘッド３２の下側には、ノズルプレート３３が備えられて、そのノズルプレート３３の下面（ノズル形成面３３ａ）には、マザー基板２Ｍの法線方向（Ｚ矢印方向）に沿う複数の円形孔（ノズルＮ）が貫通形成されている。各ノズルＮは、ヘッドユニット３０の走査方向Ｊ
と直交する方向（図４では紙面に垂直な方向）に沿って配列形成されるとともに、その形成ピッチが、前記セル幅Ｗと同じサイズで形成されている。
【００４８】
本実施形態では、マザー基板２Ｍの表面２Ｍａ上であって、各ノズルＮの直下（反Ｚ矢印方向）の位置を、それぞれ「着弾位置ＰＦ」という。
図５において、各ノズルＮの上側には、前記液状体タンク３１に連通するキャビティ３４が形成されて、液状体タンク３１の導出する液状体Ｆを、それぞれ対応するノズルＮ内に供給するようになっている。各キャビティ３４の上側には、上下方向に振動可能な振動板３５が貼り付けられて、キャビティ３４内の容積を拡大・縮小するようになっている。
【００４９】
振動板３５の上側には、各ノズルＮに対応する加圧手段としての複数の圧電素子ＰＺが配設されている。各圧電素子ＰＺは、その駆動量を規定する信号（駆動信号としての圧電素子駆動電圧ＣＯＭ：図６参照）を受けて、対応する駆動量で収縮・伸張するとともに、振動板３５を上下方向に振動させて、前記駆動量に対応する容量の液滴Ｆｂを対応するノズルＮから吐出させるようになっている。
【００５０】
この圧電素子駆動電圧ＣＯＭは、各圧電素子ＰＺに共通する０〜４２Ｖのアナログ信号である。圧電素子駆動電圧ＣＯＭは、前記各摺接端子Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２、各回動端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３、第１配線Ｌ１、第２配線Ｌ２及び第３配線Ｌ３介して、制御装置２２から有線送信されるようになっている。また、各圧電素子ＰＺに対して圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給するか否かは、０〜５Ｖのデジタル信号（制御信号を構成する「吐出制御信号ＳＩ」（図６参照））に基づいて選択されるようになっている。「吐出制御信号ＳＩ」は、制御装置２２からヘッドユニット３０に無線送信されるようになっている。
【００５１】
そして、スカラロボット２６を駆動制御（ヘッドユニット３０を走査）して、各「着弾位置ＰＦ」がコード領域Ｓの「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、選択した圧電素子ＰＺに圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給する。すると、選択したノズルＮからの液滴Ｆｂは、反Ｚ矢印方向に沿って飛行して、対応する「着弾位置ＰＦ」（「目標吐出位置Ｐ」）に着弾する。「着弾位置ＰＦ」に着弾した液滴Ｆｂは、表面２Ｍａで濡れ広がって、乾燥するためのサイズ（本実施形態では、外径が前記セル幅Ｗになるサイズ）になる。
【００５２】
本実施形態では、液滴Ｆｂの吐出動作の開始時から、吐出した液滴Ｆｂの外径がセル幅Ｗになるまでの時間を「照射待機時間」とし、同「照射待機時間」の間に、ヘッドユニット３０が前記セル幅Ｗだけ走査されるようになっている。
【００５３】
ヘッドユニット３０であって前記吐出ヘッド３２の走査方向Ｊの反対側には、レーザヘッド３７が配設されて、そのレーザヘッド３７の内部には、前記ノズルＮに対応してレーザ照射手段を構成する複数の半導体レーザＬＤが、前記ノズルＮの配列方向に沿って配列されている。各半導体レーザＬＤは、それぞれ半導体レーザＬＤを駆動するための信号（レーザ駆動電圧ＶＬ：図６参照）を受けて、液滴Ｆｂの吸収波長に対応した波長領域のレーザ光Ｂを、その直下（反Ｚ矢印方向）に出射するようになっている。
【００５４】
このレーザ駆動電圧ＶＬを供給するか否かは、制御装置２２からヘッドユニット３０に無線送信される前記「吐出制御信号ＳＩ」（図６参照）に基づいて選択されるようになっている。
【００５５】
レーザヘッド３７の下端であって半導体レーザＬＤの直下（マザー基板２側）には、各半導体レーザＬＤに対応して光学系を構成する複数の反射ミラーＭが、前記ノズルＮの配列方向に沿って配列されている。反射ミラーＭは、対応する半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂを「着弾位置ＰＴ」側に全反射するとともに、全反射したレーザ光Ｂを対応する「
着弾位置ＰＦ」の移動経路上の位置（「照射位置ＰＴ」）に導くようになっている。
【００５６】
尚、本実施形態における「着弾位置ＰＦ」と「照射位置ＰＴ」との間の距離は、前記ヘッドユニット３０が「照射待機時間」の間に移動する距離、すなわち前記セル幅Ｗに設定されている。
【００５７】
そして、スカラロボット２６を駆動制御（ヘッドユニット３０を走査）して、各「照射位置ＰＴ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、選択した半導体レーザＬＤにレーザ駆動電圧ＶＬを供給する。すると、選択した半導体レーザＬＤからのレーザ光Ｂが、対応する反射ミラーＭに全反射されて、「照射位置ＰＴ」の液滴Ｆｂの領域に照射される。液滴Ｆｂの領域に照射されたレーザ光Ｂは、液滴Ｆｂの溶媒あるいは分散媒等を蒸発（乾燥）して、同液滴Ｆｂの金属微粒子を焼成する。これによって、「目標吐出位置Ｐ」には、データセルＣに対応して、セル幅Ｗの外径からなるドットＤが形成される。
【００５８】
次に、上記のように構成した液滴吐出装置２０の電気的構成を図６に従って説明する。
図６において、制御装置２２には、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等を備えた制御部４１が設けられて、ＲＯＭ等に格納された各種データと各種制御プログラムに従って、走行装置２４Ａ、搬送装置２４Ｂ及びスカラロボット２６を駆動するとともに、吐出ヘッド３２及びレーザヘッド３７を駆動するようになっている。
【００５９】
制御部４１には、起動スイッチ、停止スイッチ等の操作スイッチを有した入力装置５１が接続されて、識別コード１０の画像が既定形式の描画データＩａとして入力されるようになっている。そして、制御部４１は、入力装置５１からの描画データＩａに所定の展開処理と施して、二次元描画平面（マザー基板２Ｍの表面２ａ）の各位置に液滴Ｆｂを吐出するか否か（圧電素子ＰＺのオンあるいはオフ）を規定するビットマップデータＢＭＤを生成して格納するようになっている。また、制御部４１は、描画データＩａにビットマップデータＢＭＤと異なる展開処理を施して圧電素子ＰＺに印加する圧電素子駆動電圧ＣＯＭの波形データＷＤを生成して格納するようになっている。
【００６０】
制御部４１には、発振回路４２が設けられて、各種信号を同期するための基準クロック信号を生成するようになっている。
制御部４１には、変調部４３ａが設けられて、前記ビットマップデータＢＭＤを所定の基準クロック信号に同期させたシリアルデータ（「吐出制御信号ＳＩ」）を生成するとともに、生成した「吐出制御信号ＳＩ」を変調するようになっている。また、制御部４１には、無線送信部４３ｂが設けられて、前記変調部４３ａで変調した「吐出制御信号ＳＩ」を電波に変換して、アンテナ４３ｃを介して無線送信するようになっている。そして、制御部４１は、これら変調部４３ａと無線送信部４３ｂを駆動して、ビットマップデータＢＭＤをシリアルデータ（「吐出制御信号ＳＩ」）として順次ヘッドユニット３０に無線送信するようになっている。
【００６１】
制御部４１には、Ｄ／Ａ変換部４４ａが設けられて、前記波形データＷＤをデジタル／アナログ変換してアナログ信号として出力するようになっている。また、制御部４１には、有線送信部としての増幅部４４ｂと安定化電源回路４４ｃが設けられて、安定化電源回路４４ｃからの安定した直流電圧に基づいて、前記Ｄ／Ａ変換部４４ａからのアナログ信号を増幅するようになっている。
【００６２】
そして、制御部４１は、これらＤ／Ａ変換部４４ａ、増幅部４４ｂ及び安定化電源回路４４ｃを駆動して、波形データＷＤをアナログ信号に変換するとともに、そのアナログ信号を増幅して、前記圧電素子駆動電圧ＣＯＭを生成するようになっている。圧電素子駆動電圧ＣＯＭを生成すると、制御部４１は、同圧電素子駆動電圧ＣＯＭを所定の基準クロッ
ク信号に同期させて、前記第１配線Ｌ１、第２配線Ｌ２及び第３配線Ｌ３を介してヘッドユニット３０（有線受信部としての圧電素子スイッチ回路５５ｄ）に有線送信するようになっている。
【００６３】
制御部４１には、走行装置駆動回路５２が接続されて、走行装置駆動回路５２に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。走行装置駆動回路５２には、走行モータＭＡと走行モータ回転検出器ＭＡＥが接続されて、制御装置２２からの駆動制御信号に応答して走行モータＭＡを正転または逆転させるとともに、走行モータ回転検出器ＭＡＥからの検出信号に基づいて、搬送装置２４Ｂの移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【００６４】
制御部４１には、搬送装置駆動回路５３が接続されて、搬送装置駆動回路５３に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。搬送装置駆動回路５３には、搬送モータＭＢと搬送モータ回転検出器ＭＢＥが接続されて、制御装置２２からの駆動制御信号に応答して搬送モータＭＢを正転または逆転させるとともに、搬送モータ回転検出器ＭＢＥからの検出信号に基づいて、搬送アーム２４Ｈの移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【００６５】
制御部４１には、スカラロボット駆動回路５４が接続されて、スカラロボット駆動回路５４に対応する駆動制御信号を出力するようになっている。スカラロボット駆動回路５４には、第１モータＭ１、第２モータＭ２及び第３モータＭ３が接続されて、制御装置２２からの駆動制御信号に応答して第１、第２及び第３モータＭ１，Ｍ２，Ｍ３を正転または逆転させるようになっている。また、スカラロボット駆動回路５４には、第１モータ回転検出器Ｍ１Ｅ、第２モータ回転検出器Ｍ２Ｅ及び第３モータ回転検出器Ｍ３Ｅが接続されて、第１、第２及び第３モータ回転検出器Ｍ１Ｅ，Ｍ２Ｅ，Ｍ３Ｅからの検出信号に基づいて、ヘッドユニット３０の移動方向及び移動量を演算するようになっている。
【００６６】
そして、制御部４１は、スカラロボット駆動回路５４を介して、ヘッドユニット３０を走査方向Ｊに沿って九十九折り状に走査するとともに、スカラロボット駆動回路５４からの演算結果と発振回路４２の生成する基準クロック信号に基づいて各種制御信号を出力するようになっている。
【００６７】
詳述すると、制御部４１は、ヘッドユニット３０の走査によって移動する「着弾位置ＰＦ」がマザー基板２Ｍの各「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、液滴Ｆｂを吐出させるための信号（制御信号を構成する「吐出タイミング信号ＬＰ」）を生成するようになっている。そして、制御部４１は、生成した「吐出タイミング信号ＬＰ」を前記変調部４３ａで変調するとともに、変調した「吐出タイミング信号ＬＰ」を前記無線送信部４３ｂで電磁波に変換して、アンテナ４３ｃを介して無線送信するようになっている。
【００６８】
ヘッドユニット３０には、吐出ヘッド駆動回路５５が設けられて、その吐出ヘッド駆動回路５５には、無線受信部５５ａが設けられている。無線受信部５５ａは、アンテナ５５ｂを介して電磁波を受信して、前記制御装置２２（無線送信部４３ｂ）からの変調された「吐出制御信号ＳＩ」及び「吐出タイミング信号ＬＰ」を無線受信するようになっている。
【００６９】
また、吐出ヘッド駆動回路５５には、復調部５５ｃ及び圧電素子スイッチ回路５５ｄが設けられて、前記無線受信部５５ａの受信した「吐出制御信号ＳＩ」及び「吐出タイミング信号ＬＰ」を復調部５５ｃで復調して圧電素子スイッチ回路５５ｄに出力するようになっている。圧電素子スイッチ回路５５ｄは、復調した「吐出制御信号ＳＩ」を、各圧電素子ＰＺに対応させてシリアル／パラレル変換するようになっている。
【００７０】
そして、制御装置２２（無線送信部４３ａ）からの「吐出タイミング信号ＬＰ」が圧電素子スイッチ回路５５ｄに入力されると、圧電素子スイッチ回路５５ｄは、シリアル／パラレル変換した「吐出制御信号ＳＩ」に基づいて、選択された圧電素子ＰＺに、増幅部４４ｂからの圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給する。圧電素子ＰＺに圧電素子駆動電圧ＣＯＭが供給されると、対応するノズルＮから、一斉に液滴Ｆｂが吐出される。
【００７１】
尚、各圧電素子ＰＺの一端は、前記第１、第２，第３配線Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３を介して制御装置２２の安定化電源回路４４ｃに接続されて接地されている。これによって、各圧電素子ＰＺには、接地電位を基準とする安定した圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給することができる。
【００７２】
ヘッドユニット３０には、レーザヘッド駆動回路５６が設けられて、そのレーザヘッド駆動回路５６には、半導体レーザスイッチ回路５６ａが設けられている。半導体レーザスイッチ回路５６ａには、前記復調部５５ｃからの「吐出制御信号ＳＩ」が入力されて、その「吐出制御信号ＳＩ」を、各半導体レーザＬＤに対応させてシリアル／パラレル変換するようになっている。
【００７３】
そして、制御装置２２（無線送信部４３ａ）からの「吐出タイミング信号ＬＰ」が半導体レーザスイッチ回路５６ａに入力される。すると、半導体レーザスイッチ回路５６ａは、所定の時間（前記「照射待機時間」）だけ待機するとともに、前記レーザ駆動電圧ＶＬを生成して、シリアル／パラレル変換した「吐出制御信号ＳＩ」に基づいて、選択された半導体レーザＬＤに前記レーザ駆動電圧ＶＬを供給する。すなわち、レーザヘッド駆動回路５６は、「照射位置ＰＴ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、「目標吐出位置Ｐ」の液滴Ｆｂの領域に向かってレーザ光Ｂを照射する。
【００７４】
次に、液滴吐出装置２０を使って識別コード１０を形成する方法について説明する。
まず、入力装置５１を操作して描画データＩａを制御装置２２に入力する。すると、制御装置２２は、走行装置駆動回路５２及び搬送装置駆動回路５３を介して、走行装置２４Ａ及び搬送装置２４Ｂを駆動制御し、基板ストッカ２３のマザー基板２Ｍを載置台２５Ｒ（載置台２５Ｌ）に搬送して載置する。
【００７５】
また、制御装置２２は、描画データＩａに基づくビットマップデータＢＭＤ及び波形データＷＤを生成して格納するとともに、圧電素子駆動電圧ＣＯＭを生成する。圧電素子駆動電圧ＣＯＭを生成すると、制御装置２２は、スカラロボット駆動回路５４を介してスカラロボット２６を駆動制御し、ヘッドユニット３０の走査を開始する。そして、制御装置２２は、スカラロボット駆動回路５４からの演算結果に基づいて、ヘッドユニット３０の走査とともに移動する「着弾位置ＰＦ」が、１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印方向側に位置するデータセルＣ（「目標吐出位置Ｐ」）に到達したか否かを判断する。
【００７６】
この間、制御装置２２は、ビットマップデータＢＭＤを基準クロック信号に同期させて「吐出制御信号ＳＩ」を生成するとともに、生成した「吐出制御信号ＳＩ」を変調して、無線送信部４３ｂからヘッドユニット３０（無線受信部５５ａ）に無線送信する。また、制御装置２２は、波形データＷＤをデジタル／アナログ変換して増幅することにより圧電素子駆動電圧ＣＯＭを生成し、生成した圧電素子駆動電圧ＣＯＭを基準クロック信号に同期させて、前記第１配線Ｌ１、第２配線Ｌ２及び第３配線Ｌ３を介してヘッドユニット３０（圧電素子スイッチ回路５５ｄ）に有線送信する。
【００７７】
そして、ヘッドユニット３０の走査によって、「着弾位置ＰＦ」が１行目コード領域Ｓ１の最も反Ｙ矢印側に位置するデータセルＣ（「目標吐出位置Ｐ」）に到達する。すると
、制御装置２２は、「吐出タイミング信号ＬＰ」を生成して、生成した「吐出タイミング信号ＬＰ」を変調するとともに、変調した「吐出タイミング信号ＬＰ」を無線送信部４３ｂからヘッドユニット３０（無線受信部５５ａ）に無線送信する。
【００７８】
「吐出タイミング信号ＬＰ」が無線送信されると、ヘッドユニット３０の無線受信部５５ａは、無線送信部４３ｂからの「吐出タイミング信号ＬＰ」を受信して、復調した「吐出タイミング信号ＬＰ」を圧電素子スイッチ回路５５ｄに出力する。無線受信部５５ａが「吐出タイミング信号ＬＰ」を出力すると、圧電素子スイッチ回路５５ｄは、復調部５５ｃからの「吐出制御信号ＳＩ」を各圧電素子ＰＺに対応させてシリアル／パラレル変換し、「吐出制御信号ＳＩ」によって選択された圧電素子ＰＺに、増幅部４４ｂからの圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給する。
【００７９】
すると、対応するノズルＮから一斉に液滴Ｆｂが吐出されて、吐出された液滴Ｆｂが、対応する「目標吐出位置Ｐ」に着弾して濡れ広がり、吐出動作の開始から「照射待機時間」だけ経過すると、その外径をセル幅Ｗにする。
【００８０】
さらに、「吐出タイミング信号ＬＰ」が無線送信されると、ヘッドユニット３０の無線受信部５５ａが「吐出タイミング信号ＬＰ」を受信して、復調した「吐出タイミング信号ＬＰ」を半導体レーザスイッチ回路５６ａに出力する。すると、半導体レーザスイッチ回路５６ａは、吐出動作の開始から「照射待機時間」だけ待機して、各「照射位置ＰＴ」を「目標吐出位置Ｐ」に相対させる。そして、半導体レーザスイッチ回路５６ａは、復調部５５ｃからの「吐出制御信号ＳＩ」を各半導体レーザＬＤに対応させてシリアル／パラレル変換し、「吐出制御信号ＳＩ」によって選択された半導体レーザＬＤに、レーザ駆動電圧ＶＬを供給する。
【００８１】
すると、対応する半導体レーザＬＤから一斉にレーザ光Ｂが出射されて、「照射位置ＰＴ」（「目標吐出位置Ｐ」）の液滴Ｆｂの領域、すなわちセル幅Ｗからなる液滴Ｆｂの領域に照射される。レーザ光Ｂの照射された液滴Ｆｂは、その溶媒あるいは分散媒の蒸発と金属微粒子の焼成によって、外径がセル幅ＷからなるドットＤとして表面２Ｍａに固着する。これによって、セル幅Ｗに整合したドットＤが形成される。
【００８２】
以後、同様に、制御装置２２は、ヘッドユニット３０を走査経路に沿って走査して、各「着弾位置ＰＦ」が「目標吐出位置Ｐ」に到達する毎に、選択したノズルＮから液滴Ｆｂを吐出し、着弾した液滴Ｆｂがセル幅Ｗになるタイミングで、液滴Ｆｂの領域にレーザ光Ｂを照射する。これによって、マザー基板２Ｍの各コード領域Ｓ内に、全てのドットＤを形成する。そして、全てのドットＤを形成すると、制御装置２２は、走行装置駆動回路５２及び搬送装置駆動回路５３を介して、走行装置２４Ａ及び搬送装置２４Ｂを駆動制御し、載置台２５Ｒ（載置台２５Ｌ）のマザー基板２Ｍを基板ストッカ２３に搬送して収容する。
【００８３】
次に、上記のように構成した本実施形態の効果を以下に記載する。
（１）上記実施形態によれば、基台２１に設けられた制御装置２２に無線送信部４３ｂを設けて、液滴Ｆｂの吐出タイミングを規定する「吐出タイミング信号ＬＰ」を無線送信するようにした。そして、ヘッドユニット３０に無線受信部５５ａを設けるとともに、制御装置２２からの「吐出タイミング信号ＬＰ」を受信して、圧電素子ＰＺを駆動させるようにした。
【００８４】
従って、「吐出タイミング信号ＬＰ」を送受信するための配線を省くことができ、同配線を省略する分だけ、ヘッドユニット３０の移動性能（移動範囲や移動測度等）を向上させることができる。その結果、液滴からなるパターンの生産性を向上させることができる
。
（２）しかも、ヘッドユニット３０に液滴Ｆｂを乾燥・焼成するためのレーザヘッド３７を設け、無線受信部５５ａの受信する吐出タイミング信号ＬＰに基づいて、レーザ光Ｂの照射するタイミングを規定するようにした。従って、レーザ光Ｂの照射タイミングを規定するための信号配線を省略することができ、レーザヘッド３７を搭載する場合であっても、ヘッドユニット３０の移動性能（移動範囲や移動測度等）を向上させることができる。（３）上記実施形態によれば、各圧電素子ＰＺに圧電素子駆動電圧ＣＯＭを供給するか否かを規定する吐出制御信号ＳＩを無線送信するようにした。従って、吐出制御信号ＳＩを送受信するための配線を省くことができ、同配線を省略する分だけ、ヘッドユニット３０の移動性能を、さらに向上させることができる。
（４）しかも、無線受信部５５ａの受信する吐出制御信号ＳＩに基づいて、各半導体レーザＬＤにレーザ駆動電圧ＶＬを供給するか否かを規定するようにした。従って、レーザ光Ｂの照射を選択するための信号配線を省略することができ、レーザ光Ｂを搭載する場合であっても、ヘッドユニット３０の移動性能を、さらに向上させることができる。
（５）上記実施形態によれば、スカラロボット２６の各関節に、摺接端子Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２及び回動端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を設けた。そして、制御装置２２とヘッドユニット３０との間の電気的接続を維持して、第１アーム２８ａ、第２アーム２８ｂ及び第３アーム２８ｃを回動自在にした。従って、無線通信が困難となる高い電位の信号を制御装置２２からヘッドユニット３０に供給する場合であっても、ヘッドユニット３０の移動を制約することなく、同信号を供給することができる。
【００８５】
尚、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・上記実施形態では、「着弾位置ＰＦ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するタイミングで、吐出タイミング信号ＬＰを送信するようにした。これに限らず、例えば吐出タイミング信号ＬＰの送信から吐出動作の開始までの間に時間（送信遅延時間）を要する場合には、予め吐出タイミング信号ＬＰを送信遅延時間分だけ、先行して送信するようにしてもよい。
【００８６】
さらには、「着弾位置ＰＦ」が「目標吐出位置Ｐ」に位置するか否かを示す光を検出可能にした受光素子をヘッドユニット３０に設けて、同受光素子が前記光を検出した時に、吐出制御信号ＳＩに基づく吐出動作を開始させる構成にしてもよい。すなわち、ヘッドユニット３０の走査と液滴吐出動作を、別途光学的に同期させる構成にしてもよい。これによれば、吐出タイミングのズレを確実に回避することができる。
・上記実施形態では、加圧手段を圧電素子ＰＺに具体化した。これに限らず、加圧手段は、キャビティ３４内の液状体Ｆを加熱して、液状体Ｆの体積膨張によって同液状体Ｆを加圧する抵抗加熱素子であってもよく、液状体Ｆを加圧可能な手段であればよい。
【００８７】
これによれば、液滴Ｆｂを吐出するための駆動電圧を小さくすることができる。従って、駆動電圧を供給するための摺接端子Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２及び回動端子Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３を利用した有線送信路を省くことができる。
・上記実施形態では、レーザ光Ｂを出力するためのレーザ駆動電圧ＶＬを、レーザヘッド駆動回路５６で生成する構成にした。これに限らず、例えば圧電素子駆動電圧ＣＯＭと同様に、制御装置２２でレーザ駆動電圧ＶＬを生成し、スカラロボット２６の第１、第２、第３アーム２８ａ，２８ｂ，２８ｃを介して、制御装置２２から有線送信させる構成でもよい。
・上記実施形態では、復調部５５ｃからの「吐出制御信号ＳＩ」によって、レーザ駆動電圧ＶＬを供給するか否かを規定させる構成にした。これに限らず、例えばレーザ駆動電圧ＶＬを供給するか否か規定する信号（レーザ照射制御信号）を別途制御装置２２で生成し、同レーザ照射制御信号を、制御装置２２からヘッドユニット３０に無線あるいは有線送信して、レーザ駆動電圧ＶＬの供給を制御させる構成にしてもよい。
・上記実施形態では、ヘッドユニット３０にレーザヘッド３７を搭載する構成にしたが、
これに限らず、レーザヘッド３７を搭載しない構成であってもよい。これによれば、液滴吐出ヘッド３２の移動速度を、より高速で制御させることができる。
・上記実施形態では、移動手段を多関節ロボットに具体化したが、これに限らず、ヘッドユニット３０を対象物上で移動可能な手段であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによって、液滴Ｆｂを乾燥・焼成する構成にした。これに限らず、例えば照射するレーザ光Ｂのエネルギーによって、液滴Ｆｂを所望の方向に流動させる構成にしてもよく、あるいは液滴Ｆｂの外縁のみに照射して液滴Ｆｂをピニングする構成にしてもよい。すなわち、液滴Ｆｂの領域に照射するレーザ光Ｂによってパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、液滴Ｆｂによって半円球状のドットＤを形成する構成にしたが、これに限らず、例えば、楕円形状のドットや線状のパターンを形成する構成であってもよい。
・上記実施形態では、吐出した液滴Ｆｂによって識別コード１０のドットＤを形成する構成にした。これに限らず、例えば液晶表示装置１や、平面状の電子放出素子を備えて同素子から放出された電子による蛍光物質の発光を利用した電界効果型装置（ＦＥＤやＳＥＤ等）に設けられる各種薄膜、金属配線、カラーフィルタ等を形成する構成にしてもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する構成であればよい。
・上記実施形態では、対象物をマザー基板２Ｍに具体化したが、これに限らず、例えばシリコン基板やフレキシブル基板、あるいは金属基板等であってもよく、着弾した液滴Ｆｂによってパターンを形成する対象物であればよい。
【図面の簡単な説明】
【００８８】
【図１】本実施形態における液晶表示装置を示す平面図。
【図２】同じく、液滴吐出装置を示す概略斜視図。
【図３】同じく、スカラロボットを示す概略平面図。
【図４】同じく、液適吐出装置を示す概略平面図。
【図５】同じく、ヘッドユニットを説明する説明図。
【図６】同じく、液滴吐出装置の電気的構成を示す電気ブロック回路図。
【符号の説明】
【００８９】
２Ｍ…対象物としてのマザー基板、２０…液滴吐出装置、２１…装置本体としての基台、２２…制御手段としての制御装置、２６…移動手段としての多関節ロボット、３０…液滴吐出ユニットとしてのヘッドユニット、３２…液滴吐出ヘッド、４３ｂ…無線送信部、５５ａ…無線受信部、Ｂ…レーザ光、ＣＯＭ…駆動信号としての圧電素子駆動電圧、Ｆｂ…液滴、Ｌ１…有線通信路を構成する第１配線、Ｌ２…有線通信路を構成する第２配線、Ｌ３…有線通信路を構成する第３配線、ＬＤ…レーザ照射手段としての半導体レーザ、ＬＰ…制御信号を構成する吐出タイミング信号、Ｐ０，Ｐ１，Ｐ２…第１端子としての摺接端子、ＳＩ…制御信号を構成する吐出制御信号、Ｔ１，Ｔ２，Ｔ３…第２端子としての回動端子、ＰＺ…加圧手段としての圧電素子。
【図１】
2007136258.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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