(57)【要約】【課題】  本発明は、ターンテーブル移動型又は光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする。【解決手段】  本発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）（但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によって生成する。【選択図】        図１
2007134045.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生成方法において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）
（ｊ＝１，２，３，…）
（但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数）
によって生成することを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
【請求項２】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）
（ｊ＝１，２，３，…）
（但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数）
によって生成し、前記情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項３】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生成方法において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、
２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）２×ＶＬ）
（ｄ＝１，２，３，…）
（但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ）
によって生成することを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
【請求項４】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、
２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）２×ＶＬ）
（ｄ＝１，２，３，…）
（但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ）
によって生成し、前記情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項５】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生成方法において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ２)／ＶＬ
（但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）
によって生成することを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
【請求項６】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビーム移動手段を有し、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ２)／ＶＬ
（但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）
によって生成し、前記情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、前記露光ビーム移動手段によって露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）で移動させ、（但し、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）
光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項７】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生成方法において、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)２）／ＶＬ
（但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）
によって生成することを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
【請求項８】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビーム移動手段を有し、
情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、
（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)２）／ＶＬ
（但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）
によって生成し、前記情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、前記露光ビーム移動手段によって露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）で移動させ、（但し、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）
光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項９】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り移動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り移動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線速度一定となるように情報トラックを、形成露光ビームを照射しながらＣＡＶディスクフォーマットを露光する光ディスク原盤露光装置の、基本クロックと複数の遅延パルスから所望のパルスを選択的に出力し、分周データとパルス選択データをパルス毎に設定し、ターンテーブル回転駆動指令パルス列と、横送り駆動指令パルス列と、ＣＡＶディスクフォーマット信号生成装置動作の基準クロックとなるフォーマッタ駆動指令パルス列とを生成するフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法において、
前記基本クロックの周波数を、
［（２×π×Ｒ０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]sec
が、（但し、Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；ＣＬＶ駆動時の露光線速）
前記基本クロックの整数倍個相当の時間に等しくなるように設定することを特徴とするフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法。
【請求項１０】
前記横送り駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ０／（Ｎｓ×ＶＬ）＋（２×ｉ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｓ）２×ＶＬ）
（但し、Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｓ；横送り駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｉ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ）
を、ｉ番目の前記横送り駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、
前記ターンテーブル回転駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｔ）２×ＶＬ）
（但し、Ｎｔ；ターンテーブル回転駆動指令パルス数、ｊ＝１，２，３，…）
を、ｊ番目の前記ターンテーブル回転駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、
前記フォーマッタ駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）
（但し、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ｋ＝１，２，３，…）
を、ｋ番目の前記フォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、
実際に生成されるパルス列の発生時間誤差を求める請求項９記載のフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法。
【請求項１１】
前記フォーマッタ駆動指令パルス列は、
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π×Ｐ）／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）
（Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｋ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ、Δθ；ターンテーブルの回転追従誤差によって生じる現在露光位置と理想位置の回転角差、θcb；理想的なフォーマッタ駆動パルスに相当する回転角）
を、ｋ番目の前記フォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置とする請求項１０記載のフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法。
【請求項１２】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、ＣＬＶ駆動開始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差を計数する計数回路と、Tfbパルス列信号の周期を計測する周期計測回路と、Tfbパルス信号入力から次に入力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間間隔測定回路と、計数値や測定値データをラッチするラッチ回路と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号とTclkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔データから回転追従誤差データを得る演算回路とを有し、
該演算回路から得られる全回転追従誤差角の内のTfbパルス信号１パルス相当角以下の回転角差情報（Δθａ）と、前記計数回路から得られる回転角差情報（Δθｎ）から得られる全追従回転角差情報（Δθ）と、理想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角情報（θcb）とから追従誤差情報（Δθ／θcb）を得、該追従誤差情報に基づいてフォーマット駆動パルス周期を補正することを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項１３】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置におけるフォーマッタ駆動クロック生成方法において、
ターンテーブル回転がターンテーブル回転追従誤差を有しながらＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列周期をPTfb、ターンテーブル回転駆動指令パルス列周期をPTclk、理想的なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディスクフォーマット露光のための理想的なフォーマッタ駆動パルス周期をPFclkとしたとき、
（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclk
から、フォーマッタ駆動パルス周期補正データを得ることを特徴とするフォーマッタ駆動クロック生成方法。
【請求項１４】
光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、該ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、前記光ディスク原盤を搭載した前記ターンテーブルを前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を前記光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、前記回転駆動手段と前記第１、第２の横送り駆動手段の制御により、前記光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成するＣＬＶ駆動露光する光ディスク原盤露光装置において、
ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及びTclkそれぞれの周期を計測する周期計測回路と、Tfbパルスに同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PTfb）データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）データをラッチするラッチ回路と、PFclkデータを入力データとしTclkとFclkの比データ（Ptf）を用いてPTclkを求める演算回路とを有し、
PTclkデータとPTfbデータからターンテーブル回転誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk補正データを得ることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項１５】
ターンテーブル回転駆動指令パルス列のＣＬＶ駆動指令開始に対して、フォーマッタ駆動パルス列のＣＬＶ駆動開始時間を異ならせる請求項１４記載の光ディスク原盤露光装置。
【請求項１６】
請求項２，４，６，８，１２，１４のいずれかに記載の光ディスク原盤露光装置によって形成されたＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマット情報ピットあるいはトラックを搭載したことを特徴とする光記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はフォーマッタ駆動クロック生成方法、フォーマッタ駆動指令パルス列生成方法、光ディスク原盤露光装置及び光記録媒体に関し、詳細には光ビームあるいは電子ビームを用いて等線速等ピッチスパイラル情報トラックを有する光ディスク原盤製作を行う光ディスク原盤露光装置に関連し、ＣＬＶ駆動（Constant Linear Velocity；線速度一定）状態で、ＣＡＶ（Constant Angular Velocity；角速度一定）またはＭＣＡＶフォーマット搭載の光ディスク原盤を形成可能にする方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、大容量光ディスクメディアとして、ＤＶＤの約３０倍の記録密度（１００Ｇｂｉｔ／ｉｎ２）の光ディスクシステムを実表するための、超高密度マスタリング装置の開発が検討されている。このような密度においては、最短ピット長、ピット幅とも７０ｎｍ以下となることが予想され、この時、マスタリング装置に必要とされる記録位置精度はサブナノメートルと見積もられている。当然、情報ピット形状あるいは情報トラック形状についても同様の精度が要求されることになる。
【０００３】
ところで、現在、光ディスクには、情報トラックに沿って線速度一定に情報搭載されるＣＬＶフォーマット、情報トラック上の各セクタ位置がディスク半径線上に整列するＣＡＶフォーマット、及び情報領域を半径方向に幾つかのゾーンに分け、ゾーン内はＣＡＶフォーマットが形成され、かつ内周から外周ゾーンに向かって情報の線密度がほぼ一定となるように構成されたＭＣＡＶフォーマットがある。また、これらのフォーマットを搭載した光ディスク原盤を作成方法には、露光ビーム照射点の露光線速が一定となるようにターンテーブル回転速度と半径方向の移動速度を変えて駆動するＣＬＶ駆動と、ターンテーブル回転速度、及び半径方向の移動速度一定駆動するＣＡＶ駆動がある。通常、ＣＬＶフォーマットはＣＬＶ駆動、ＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマットはＣＡＶ駆動で露光が行われる。ＣＬＶ駆動においては、情報トラックを形成するための露光ビーム強度は露光期間中一定とすることにより内外周にわたり均一な形状の情報トラックを形成できる。ＣＶＡ駆動においては、露光点が外周へ移動するにつれ露光ビーム強度を強めていかなければならない。更に、ＭＣＡＶフォーマットの場合は、情報トラック形成のためのフォーマッタ駆動クロック周波数を高めていかなければならない。この、内周から外周へ向かっての露光点移動にあわせた、露光ビーム強度の制御精度誤差、及びフォーマッタ駆動クロックの高周波数化に伴う、形成される情報トラック（情報ピットあるいは情報トラック溝）の形状劣化が問題となっている。ところで、電子ビーム露光においては、情報ピットあるいは情報トラックの形状は、ドーズ量に依存する。このドーズ量の変化させることは電子ビーム形状（径）の変化を意味し、形成される情報ピットあるいは情報トラックの形状が異なってくることを意味する。従って、電子ビームによる情報ピットあるいは情報トラック形成はＣＬＶ駆動によって行われている。その従来例の一つとして、特許文献１には、光ディスク原盤作製用ディスクの各ピット形成部分における単位面積当たりのドーズ量が光ディスク原盤作製用ディスクの半径方向の位置によらず、かつ近接するビットパターン描画部分の疎密によらず、かつ各ピットパターン描画部分の長さによらず、一定となるように電子ビームを照射し、位置的に高精度のピットを形成でき、高品質の光ディスク原盤を得ることができる電子ビーム照射法が提案されている。
【特許文献１】特開２０００−１１４６４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１は２回の露光工程によって情報トラック形成を行おうとする方法であり、工程設計上望ましくない。
【０００５】
本発明はこの問題点を解決するためのものであり、ターンテーブル移動型又は光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法、フォーマッタ駆動指令パルス列生成方法、光ディスク原盤露光装置及び光記録媒体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
前記問題点を解決するために、光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置における、本発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）（但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によって生成することに特徴がある。よって、ターンテーブル移動型又は光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を提供できる。
【０００７】
また、別の発明としての光ディスク原盤露光装置は、光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、光ディスク原盤を搭載したターンテーブルを光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り駆動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り駆動手段とを有し、回転駆動手段と第１、第２の横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線密度一定となるように情報トラックを形成する。そして、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）  （但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によって生成し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【０００８】
更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）２×ＶＬ）  （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，３，…）、Ｐ；トラックピッチ）によって生成することに特徴がある。よって、ターンテーブル移動型あるいは光学系移動型の光ビームあるいは電子ビームを用いた光ディスク原盤露光装置においてＭＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、露光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロックの生成方法を提供できる。
【０００９】
また、別の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒzn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（（Ｎfzn）２×ＶＬ）  （但し、Ｒzn；各ゾーンの開始半径位置、Ｎfzn；各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、ｄ；ゾーン開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｄ＝１，２，３，…）、Ｐ；トラックピッチ）によって生成し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【００１０】
更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ２)／ＶＬ  （但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）によって生成することに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする、露光ピット情報を生成出力するフォーマッタ装置のフォーマッタ駆動クロック生成方法を提供できる。
【００１１】
また、別の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ２)／ＶＬ  （但し、Ｒｔ；トラックの開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、露光ビーム移動手段によって露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）  （但し、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。よって、ＣＡＶフォーマット情報を露光する際に、露光光量一定のまま、即ちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【００１２】
更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)２）／ＶＬ  （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成することに特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とするフォーマッタ駆動クロック生成方法を提供できる。
【００１３】
また、別の発明の光ディスク原盤露光装置によれば、露光ビームを情報トラック形成方向に移動する露光ビーム移動手段を有し、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、トラック毎に、（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)２）／ＶＬ  （但し、Ｒzn；ＭＣＡＶフォーマット露光におけるあるゾーンにおける現トラックの半径位置、Ｎfzn；トラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；露光線速）によって生成し、情報トラック生成の基本クロック列に従って情報トラック信号を出力させながら、露光ビーム移動手段によって露光ビームを情報トラック形成方向に移動速度２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）  （但し、Ｌｎ；現在のトラックの線路長）で移動させ、光ディスク原盤上にＣＡＶフォーマットを形成することに特徴がある。よって、露光光量一定のまま、すなわちＣＬＶ駆動状態で、安定したピットあるいはトラック溝形状形成を可能とする光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【００１４】
更に、別の発明として、光ディスク原盤を搭載するターンテーブルと、ターンテーブルを回転させる回転駆動手段と、情報トラックとして搭載する情報記録信号に基づいて記録用露光ビームを収束照射させる収束照射手段と、光ディスク原盤を搭載したターンテーブルを光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第１の横送り移動手段と、記録用露光ビームの収束照射手段を光ディスク原盤と平行な平面内で横移動させる第２の横送り移動手段とを有し、回転駆動手段と第１、第２の横送り駆動手段の制御により、光ディスク原盤上に線速度一定となるように情報トラックを、形成露光ビームを照射しながらＣＡＶディスクフォーマットを露光する光ディスク原盤露光装置の、基本クロックと複数の遅延パルスから所望のパルスを選択的に出力し、分周データとパルス選択データをパルス毎に設定し、ターンテーブル回転駆動指令パルス列と、横送り駆動指令パルス列と、ＣＡＶディスクフォーマット信号生成装置動作の基準クロックとなるフォーマッタ駆動指令パルス列とを生成するフォーマッタ駆動指令パルス列生成方法によれば、基本クロックの周波数を、［（２×π×Ｒ０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]sec  （但し、Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｐ；トラックピッチ、ＶＬ；ＣＬＶ駆動時の露光線速）が、基本クロックの整数倍個相当の時間に等しくなるように設定することに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、整数個の基本クロックから整数個のターンテーブル回転駆動指令パルス列とフォーマッタ駆動指令パルス列を生成するので、累積誤差を発生を考慮する必要無く、ターンテーブル回転駆動指令パルス列及びフォーマッタ駆動指令パルス列生成を行うことができる。
【００１５】
また、横送り駆動指令パルス列は、２×π×Ｒ０／（Ｎｓ×ＶＬ）＋（２×ｉ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｓ）２×ＶＬ）  （但し、Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｓ；横送り駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｉ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ）を、ｉ番目の横送り駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、ターンテーブル回転駆動指令パルス列は、２×π×Ｒ０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｔ）２×ＶＬ）  （但し、Ｎｔ；ターンテーブル回転駆動指令パルス数、ｊ＝１，２，３，…）を、ｊ番目のターンテーブル回転駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、フォーマッタ駆動指令パルス列は、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）  （但し、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ｋ＝１，２，３，…）を、ｋ番目のフォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置として、実際に生成されるパルス列の発生時間誤差を求める。よって、横送り駆動指令パルス列、ターンテーブル回転駆動指令パルス列、フォーマッタ駆動指令パルス列のパルス発生時間誤差情報取得方法において正確な発生時間誤差情報を取得できるので、露光ビーム照射位置補正情報として使用できる。
【００１６】
更に、フォーマッタ駆動指令パルス列は、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π×Ｐ）／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）  （Ｒ０；ＣＬＶ駆動開始半径、Ｎｆ；フォーマッタ駆動指令パルス数、ＶＬ；露光線速、ｋ＝１，２，３，…、Ｐ；トラックピッチ、Δθ；ターンテーブルの回転追従誤差によって生じる現在露光位置と理想位置の回転角差、θcb；理想的なフォーマッタ駆動パルスに相当する回転角）を、ｋ番目のフォーマッタ駆動指令パルス列発生時刻の正確な位置とする。よって、ターンテーブル回転駆動制御誤差対応する露光ビーム照射位置誤差をフォーマッタ駆動指令パルス周期へ変換して、露光ビーム照射位置補正を行うので、フォーマッタ駆動指令パルス自体に含まれているパルス発生位置誤差とターンテーブル回転駆動指令パルス自体に含まれているパルス発生位置誤差に対応した補正だけとなり、露光ビーム照射位置補正範囲が小さくなり、ターンテーブル回転駆動制御誤差が大きい場合でも、低周波および高周波ジッタ特性の良い高精度な情報トラック形成が可能になる。
【００１７】
また、別の発明の光ディスク原盤露光装置は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、ＣＬＶ駆動開始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差を計数する計数回路と、Tfbパルス列信号の周期を計測する周期計測回路と、Tfbパルス信号入力から次に入力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間間隔測定回路と、計数値や測定値データをラッチするラッチ回路と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号とTclkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔データから回転追従誤差データを得る演算回路とを有する。そして、演算回路から得られる全回転追従誤差角の内のTfbパルス信号１パルス相当角以下の回転角差情報（Δθａ）と、計数回路から得られる回転角差情報（Δθｎ）から得られる全追従回転角差情報（Δθ）と、理想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角情報（θcb）とから追従誤差情報（Δθ／θcb）を得、追従誤差情報に基づいてフォーマット駆動パルス周期を補正する。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回転駆動誤差に伴う回転角誤差情報によりフォーマット駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディスクフォーマットを露光できる光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【００１８】
更に、別の発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、ターンテーブル回転がターンテーブル回転追従誤差を有しながらＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列周期をPTfb、ターンテーブル回転駆動指令パルス列周期をPTclk、理想的なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディスクフォーマット露光のための理想的なフォーマッタ駆動パルス周期をPFclkとしたとき、（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclkから、フォーマッタ駆動パルス周期補正データを得ることに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、ターンテーブル回転駆動誤差に伴うターンテーブル回転駆動指令パルス周期と実際に回転しているターンテーブルから得られるフィードバックパルス周期の比情報によりフォーマット駆動パルス周期の補正を行うので、正確なＣＡＶディスクフォーマット露光を実現できる。
【００１９】
また、別の発明の光ディスク原盤露光装置は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及びTclkそれぞれの周期を計測する周期計測回路と、Tfbパルスに同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PTfb）データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）データをラッチするラッチ回路と、PFclkデータを入力データとしTclkとFclkの比データ（Ptf）を用いてPTclkを求める演算回路とを有する。そして、PTclkデータとPTfbデータからターンテーブル回転誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk補正データを得ることに特徴がある。よって、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマット露光を行う際、Fclkパルス周期情報からTfbパルス発生時のTclkパルス周期情報を得て、ターンテーブル回転駆動誤差に伴うターンテーブル回転駆動指令パルス周期と実際に回転しているターンテーブルから得られるフィードバックパルス周期の比情報によりフォーマット駆動パルス周期の補正を行うので、より正確なＣＡＶディスクフォーマットを露光できる光ディスク原盤露光装置を提供できる。
【００２０】
更に、ターンテーブル回転駆動指令パルス列のＣＬＶ駆動指令開始に対して、フォーマッタ駆動パルス列のＣＬＶ駆動開始時間を異ならせることにより、簡単な方法でＣＬＶ駆動でＣＡＶディスクフォーマット露光を実現できる。
【００２１】
また、他の発明としての光記録媒体は、上記記載の光ディスク原盤露光装置によって形成されたＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマット情報ピットあるいはトラックを搭載したことに特徴がある。よって、大容量、高品質な光記録媒体を提供できる。
【発明の効果】
【００２２】
光ディスク原盤露光装置の、光ディスク原盤上に情報トラックを形成するための信号を生成するフォーマッタ装置における、本発明のフォーマッタ駆動クロック生成方法によれば、情報トラック生成の基本クロック列であるフォーマッタ駆動クロックを、２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ2×ＶＬ）（但し、Ｒ０；露光開始半径位置、Ｎｆ；各トラック当たりのフォーマット駆動クロック数、ＶＬ；露光線速、Ｐ；トラックピッチ、ｊ；露光開始からのフォーマッタ駆動クロック数（ｊ＝１，２，３，…））によって生成する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
はじめに、本発明の原理について説明する。
ＣＬＶ駆動によって形成される等ピッチのスパイラルトラックにおいて、その全トラック線路長（Ｌ）は式（１）で表される。
【００２４】
Ｌ＝π×（ｒ２−Ｒ０２）／Ｐ                                （１）
【００２５】
ｒ＝Ｒ０＋ｎ×Ｐ          （ｎ＝１，２，３，…）            （２）
【００２６】
但し、Ｒ０はＣＬＶ駆動の開始半径位置を、ｒは線路長を測定しようとしているスパイラル半径位置を、Ｐはスパイラルトラックピッチを、ｎはトラック数を各々表わす。
【００２７】
式（１）、式（２）から
Ｌ＝２×π×Ｒ０×ｎ×ｎ＋ｎ２×π×Ｐ  （ｎ＝１，２，３，…）      （３）
【００２８】
また、この式（３）から各トラックの線路長（Ｌｎ）は次の（４）式のように表される。
【００２９】
Ｌｎ＝２×π×Ｒ０＋（２×ｎ−ｎ１）×π×Ｐ
（ｎ＝１，２，３，…）                      （４）
【００３０】
この式（４）から、隣接トラック間の線路長差は、以下のように一定であることがわかる。
【００３１】
（隣接トラック間の線路長差）＝２×π×Ｐ＝一定              （５）
【００３２】
上記式（２）は、求めようとするスパイラル軌跡を、トラックを単位として、すなわちスパイラルの中心から線路に沿って軌跡の回転角が２πを周回する毎の半径位置を表現している。その結果、トラック毎に、２πＰづつトラックの線路長が増加していくということになる。これは、ＣＬＶ駆動において、線速をＶＬとすると１トラック毎に２πＰ／ＶＬづつ１トラック周回するに要する時間が増えることを意味している。
【００３３】
次に、ＣＬＶ駆動時のターンテーブル回転指令パルス列の生成について説明する。
ＣＬＶ駆動時、以下のように、ターンテーブル回転指令パルス列の１パルス毎に周期を更新することにより、理想的なＣＬＶ駆動ターンテーブル回転指令パルスを生成できる。
【００３４】
今、１トラック（ターンテーブル１回転相当長の情報トラック）に在るべき、ターンテーブル回転指令パルス数をＮｔ個とすると（ターンテーブル軸に取り付けられる回転位置検出器の分割数に等しい）、ｍ個のターンテーブル回転指令パルスに相当する線路長（Ｌｐ）は、上記式（３）のｎにｍ／Ｎｔを代入して、
【００３５】
Ｌｐ＝２×π×Ｒ０×ｍ／Ｎｔ＋（ｍ／Ｎｔ）２×π×Ｐ
（ｍ＝１，２，３，…）                          （６）
【００３６】
また、この式（６）から各ターンテーブル回転指令パルス相当の線路長（Ｌpｍ）は次の（７）式のように表される。
【００３７】
Ｌpｍ＝２×π×Ｒ０／Ｎｔ＋（２×ｍ−１）×π×Ｐ／Ｎｔ２
（ｍ＝１，２，３，…）                          （７）
【００３８】
この式（７）から、隣接ターンテーブル回転指令パルス相当の線路長差は、以下のように一定であることがわかる。
【００３９】
（隣接ターンテーブル回転指令パルス相当の線路長差）＝２×π×Ｐ／Ｎｔ２＝一定                                              （８）
【００４０】
ここで、線速ＶＬは一定であるから
（隣接ターンテーブル回転指令パルスの周期長差）＝２×π×Ｐ／（Ｎｔ２×ＶＬ）＝一定                                          （９）
となる。
【００４１】
従って、
（ターンテーブル回転指令パルス周期）
＝２×π×Ｒ０／（Ｎｔ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｔ２×ＶＬ）
（ｋ＝１，２，３，…）                            （１０）
【００４２】
を満たす周期のパルス列を生成することにより、理想的なＣＬＶ駆動ターンテーブル回転指令パルスの生成が実現できる。
【００４３】
図１はターンテーブル回転指令パルスの周期の変化の様子を示す図である。同図において、縦軸が周期、横軸が経過時間である。スライダ駆動指令パルスもまた、同様に生成される。
【００４４】
ここで、光ディスク原盤上に形成される情報ピットあるいはアドレス情報等を含んだ蛇行溝（以後これらを合わせて情報トラックという）を形成するための露光ビーム強度の変調信号信号あるいは蛇行信号を出力するフォーマッタ（ここでのフォーマッタは情報トラック形成のための最小時間単位を有するフォーマッタ駆動クロックによって動作しているものとする。）のフォーマッタ駆動クロック（Fclk）を、上述したターンテーブル回転指令パルス列の生成方法と同様にして生成する。
【００４５】
今、１トラック（ターンテーブル１回転相当長の情報トラック）に在るべき、フォーマッタ駆動クロック数をＮｆ個とし、今ＣＡＶフォーマットを形成するのであるから想定しているのでＮｆは整数とすると、ｊ個のフォーマッタ駆動クロックに相当する線路長（Ｌｐ）は
【００４６】
Ｌｐ＝２×π×Ｒ０×ｊ／Ｎｆ＋（ｊ／Ｎｆ）２×π×Ｐ
（ｊ＝１，２，３，…）                  （１１）
【００４７】
また、この式（１１）から各フォーマッタ駆動クロック相当の線路長（Ｌpｊ）は次の（１２）式のように表される。
【００４８】
Ｌpｊ＝２×π×Ｒ０／Ｎｆ＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／Ｎｆ２
（ｊ＝１，２，３，…）                        （１２）
【００４９】
この式（１２）から、隣接フォーマッタ駆動クロック相当の線路長差は、以下のように一定であることがわかる。
【００５０】
（隣接フォーマッタ駆動クロック相当の線路長差）＝２×π×Ｐ／Ｎｆ２＝一定                                                （１３）
【００５１】
ここで、線速ＶＬは一定であるから、
（隣接フォーマッタ駆動クロックの周期長差）＝２×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）＝一定                                          （１４）
となる。
【００５２】
従って、
（フォーマッタ駆動クロック周期）＝２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｊ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）
（ｊ＝１，２，３，…）          （１５）
【００５３】
を満たす周期のパルス列を生成し、理想的なＣＬＶ駆動状態で式（１５）に示されるフォーマッタ駆動クロックに従って情報トラック信号を出力させることにより、ＣＡＶフォーマットを形成することができる。
【００５４】
図２はＣＡＶフォーマットに対するフォーマッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。上記式（１５）に従って、フォーマッタ駆動クロックを生成することによりＣＬＶ駆動状態でＣＡＶフォーマットを露光するためのフォーマッタ駆動クロックを生成できる。具体的には、２×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）時間長を基本クロックとする分周回路によって構成される。
【００５５】
また、ＣＬＶ駆動における、ＭＣＡＶフォーマット露光時のフォーマッタ駆動クロック周期は以下の式（１６）によって求められる。
【００５６】
（露光時のフォーマッタ駆動クロック周期）
＝２×π×Ｒｚn／（Ｎfzn×ＶＬ）＋（２×ｄ−１）×π×Ｐ／（Ｎfzn２×ＶＬ）
（ｄ＝１，２，３，…）                      （１６）
【００５７】
ここで、Ｒznは各ゾーンの開始半径位置、Ｎfznは各ゾーンにおけるトラック当たりのフォーマッタ駆動クロック数を示す。
【００５８】
図３はＭＣＡＶフォーマットに対応したフォーマッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。同図に示す例では、ゾーン毎に情報線密度が等しくなるようにフォーマッタ駆動クロックが生成されている。ＣＬＶ駆動状態において、上記式（１６）に従ってフォーマッタ駆動クロックを生成することにより光ディスク原盤上にＭＣＡＶフォーマットを形成することができる。また、上記式（１６）に従ってフォーマッタ駆動クロックを生成することによりＣＬＶ駆動状態でＭＣＡＶフォーマットを露光するためのフォーマッタ駆動クロックを生成できる。
【００５９】
本発明では、フォーマッタ駆動クロックはトラック毎に更新し、トラック内では一定の周期のクロックを生成する。同時に、トラック毎に露光ビーム照射位置をＣＡＶフォーマット形成方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に２×π×Ｐ相当長の等速移動（露光ビーム位置は直線的に変化）を繰り返す。この様子を図４に示す。次の式（１７）にトラック毎に更新されるフォーマッタ駆動クロック周期を示す。
上記式（１２）でｊ＝１として、
【００６０】
（フォーマッタ駆動クロック周期）
＝(２×π×Ｒｔ／Ｎｆ＋π×Ｐ／Ｎｆ２)／ＶＬ              （１７）
【００６１】
ここで、Ｒｔはこのトラックの開始半径位置で、Ｎｆは、このトラック上に対応したフォーマッタ駆動クロックの数である。
【００６２】
よって、露光ビーム照射位置を、次の式（１８）で与えられる速度で、ＣＡＶフォーマット形成方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に移動させることにより、ＣＬＶ駆動状態でＣＡＶフォーマットを形成することができる。
【００６３】
（露光ビーム移動速度）＝２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ）
（１８）
【００６４】
あるいは、
（露光ビーム位置）＝（２×π×Ｐ×ＶＬ／（Ｌｎ−２×π×Ｐ））×ｔ                                                        （１９）
【００６５】
ここで、Ｌｎは、現在のトラックの線路長で、上記式（４）で与えられる。ｔはトラック露光開始からの時間である。
【００６６】
次に、図４を用いて動作を説明する。露光ビームは、これから形成されるであろう情報トラックに沿って、２×π×Ｐ長移動した時点（ａ）で、１トラックの情報トラック形成を完了する。この時、同時にフォーマッタ出力信号も、ちょうど１トラック分の情報トラック形成信号出力を完了する。その後、露光ビームは移動開始前の位置に戻され、式（１７）及び式（１８）に従って、次のトラックに対してのフォーマッタ駆動クロック周期の更新、及び露光ビーム移動速度の更新が行われる。ターンテーブルが回転し、露光終端部が露光ビーム照射位置にきた時点から、再び１トラック分のフォーマット信号出力と、露光ビームの移動を開始する。
【００６７】
以上の動作をトラック毎に繰り返すことにより、ＣＬＶ駆動状態でのＣＡＶフォーマットを光ディスク原盤上に形成できる。
【００６８】
本発明でも、ＣＡＶの場合と同ように、フォーマッタ駆動クロックはトラック毎に更新し、トラック毎に露光ビーム照射位置をＭＣＡＶフォーマット形成方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に２×π×Ｐ相当長の等速移動を繰り返す。次の式（２０）にトラック毎に更新されるフォーマッタ駆動クロック周期を示す。
【００６９】
（フォーマッタ駆動クロック周期）＝（２×π×Ｒzn／（Ｎfzn）＋π×Ｐ／(Ｎfzn)２）／ＶＬ                                    （２０）
とする。
【００７０】
ここで、Ｒznはこのトラックの開始半径位置で、Ｎfznは、このトラック上に対応したフォーマッタ駆動クロックの数である。
【００７１】
ＣＡＶの場合と同ように、露光ビーム照射位置を、上記式（１８）で与えられる速度で、ＭＣＡＶフォーマット形成方向（ターンテーブル回転方向と逆方向）に移動させることにより、ＣＬＶ駆動状態でＭＣＡＶフォーマットを形成することができる。
【００７２】
図５は本発明の一実施の形態に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示すブロック図である。同図に示す本実施の形態の光ディスク原盤露光装置において、露光レーザ５１はフォトレジストを塗布したガラス原盤５５を露光し、露光光学系５２は露光レーザ５１から出射されたレーザ光を整形し、フォーカスアクチュエータ５４へ露光光を導く。フォーカスアクチュエータ５４は、入射した露光レーザ光を極小スポットに集光させ、絶えず、そのビームウエスト位置をフォトレジスト位置に保つようにフォーカス制御する。光変調器５３は、ガラス原盤５５上にプリエンボスピットやグルーブを形成する信号を発生させるフォーマット信号発生器６５からの信号Foutに基づいて露光レーザ光をｏｎ／ｏｆｆする。基本クロック発生器６６はフォーマッタ６５を駆動するためのフォーマッタ基本クロック（CLK）を発生する。ガラス原盤５５はエアスピンドルモータ５６に吸着され回転させられる。これと同時に、フォーカスアクチュエータ５４はエアスライダモータ５８によって半径方向に移動する。また、エンコーダ５７はエアスピンドルモータ５６に取り付けられ、回転に応じパルス列を出力する。リニアエンコーダ６４は露光スポットの半径位置を検出し、リニアエンコーダ出力パルス（SLenc）を出力する。ドライバ５９，６１は、それぞれ、スライダ及びスピンドルを駆動するためのドライバである。制御回路６０，６２は、駆動系コントローラ６３によって指示される移動及び回転指令に対して、滑らかにそして精度良くスライダ及びスピンドルを追従させるための制御回路である。ここで、リニアエンコーダ６４の値をプリセットするための絶対位置を検出するためのセンサは省略してある。また、光ディスク原盤露光装置は各種ディスクフォーマットに対応して２ビーム露光、露光ビームの蛇行等々の設定が必要になるが、それらに要する各種露光光学系等は本発明に直接関係しないので省略している。
【００７３】
以上の構成によりＣＬＶ駆動は、先に述べた方法によりターンテーブル回転指令パルス列及びスライダ駆動指令パルスが、ターンテーブル駆動指令パルス生成回路６７及びスライダ駆動指令パルス生成回路６８によって生成される。フォーマッタ駆動クロック生成回路６９は、式（１５）あるいは式（１６）に従ってフォーマッタ駆動クロック（Fclk）を生成する。基本クロックの分周回路と、クロック生成毎に分周データを更新するように構成される。
【００７４】
このような構成を有する本実施の形態の光ディスク原盤露光装置によって、ＣＬＶ駆動を行い、フォーッマッタ駆動クロック生成装置によって、式（１５）あるいは式（１６）に従ってフォーマッタ駆動クロック（Fclk）を生成することによりＣＬＶ駆動でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマットを搭載した光ディスク原盤の製作が可能となる。
【００７５】
図６は本発明の別の実施の形態に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示すブロック図である。同図において、図５と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。異なる構成要素として、本実施の形態の光ディスク原盤露光装置は、露光ビーム偏向回路７０を有する。また、露光ビーム偏向回路７０にはフォーマット駆動クロック生成回路６９からの露光ビーム偏向信号Ｐｖが供給される。露光ビーム偏向信号Ｐｖには、式（１７）あるいは式（２０）に従って生成されるフォーマッタ駆動クロック生成と同期して、式（１９）に従った露光ビーム位置偏向信号である。
【００７６】
以上の構成により、ＣＬＶ駆動でのＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマットを搭載した光ディスク原盤の製作が可能となる。また、光ディスク原盤露光装置を用いれば、ＣＬＶ駆動状態で露光を行うことにより、高精度な情報トラック形状を有するＣＡＶフォーマットあるいはＭＣＡＶフォーマットを搭載したスタンパ、光ディスクメディアができる。
【００７７】
図７は各指令パルス発生回路の構成を示すブロック図である。同図において、基本クロック発生回路７１によって発生するフォーマッタ基本クロック（CLK）周波数を、［（２×π×Ｒ０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／ＶＬ]secが、フォーマッタ基本クロック（CLK）の整数倍個相当の時間に等しくなるように設定しているので、図８に示すように、１トラック毎（ターンテーブル１回転）の図７のフォーマッタ駆動指令パルス列発生回路７２と図７のターンテーブル回転駆動指令パルス列発生回路７３は、整数個のフォーマッタ基本クロック（CLK）から整数個のフォーマッタ駆動指令パルス列（Fclk）とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）を生成することができる。従って、正確なパルス発生位置を演算によって求める際に、トラック毎に累積誤差をキャンセルすることができる。また、ＭＣＡＶディスクフォーマットを形成する場合も、上記の条件を満たすフォーマッタ基本クロック（CLK）を用いて、ゾーン毎に、１トラック毎（ターンテーブル１回転）の生成フォーマッタ駆動指令パルス数を変えることにより同様の効果のもと、情報トラックの形成ができる。
【００７８】
また、フォーマッタ基本クロック（CLK）周波数を、［（２×π×Ｒ０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ［Ｍ×２×π×Ｐ／ＶＬ］secが、フォーマッタ基本クロック（CLK）の整数倍個相当の時間に等しくなるように設定、あるいは、［（２×π×Ｒ０＋π×Ｐ）／ＶＬ］sec、かつ[２×π×Ｐ／（ＶＬ×Ｍ）]secが、フォーマッタ基本クロック（CLK）の整数倍個相当の時間に等しくなるように設定であってもよい、演算の有効精度に応じてＭ（整数）を選ぶことにより効率的なシステム構成ができる。
【００７９】
更に、前述したように、ＣＬＶ駆動状態でＣＡＶディスクフォーマットを形成する際の正確なフォーマッタ駆動指令パルス列、正確なターンテーブル回転駆動指令パルス列、正確な横送り駆動指令パルス列の発生時間（基本クロック数に相当）は、式（１０）、式（１１）、式（１２）によって与えられる。これらの式に用いることにより、各指令パルス列の正確なパルス発生時間（基本クロック数に相当）を求めることができる。
【００８０】
本発明における各パルス生成回路は、離散的に設定される遅延パルス群からの選択的抽出によって得られるパルス列から構成されるので、特別な場合を除いてパルス発生時間は、正確なパルス発生時間に対し誤差を有する。その様子を図９に、フォーマッタ駆動指令パルス列を例に示す。同図中のd1，d2，d3，…は、正確なフォーマッタ駆動指令パルス列に対する、Fclkの発生時間誤差である。ここで、図１０に、本発明によるパルスジェネレートシステムの全体構成を示す。同図に示すように、パルス信号の出力と同時にその出力パルス信号（Sclk、Tclk、Fclk）が持っている正確な発生位置からの誤差情報（dSclk、dTclk、dFclk）が出力される。また、図１１に、フォーマッタ駆動指令パルス列を例にパルス信号と誤差情報出力のタイミングチャートを示す。誤差補正が可能なように、誤差情報はパルス信号に先だって出力される。更に、誤差情報を出力するための具体的な構成としては、図１２に示すように、予め誤差データを演算によって求め、誤差データ記憶回路７５に格納しておき、パルスカウンタ７６によりパルス信号出力に合わせ順次誤差データ（dFclk）を出力させる等の構成がある。ここで、誤差情報は、正確な指令パルス発生時間（基本クロック数に相当）に対する、実際に出力されるパルス信号の発生時間（基本クロック数に相当）の誤差時間（基本クロック数に相当）であり、またＣＬＶ駆動、すなわち線速一定での駆動であることから、線速（ＶＬ）×誤差時間によって位置誤差情報として得ることができる。
【００８１】
また、図１３に示す送り方向の露光ビーム照射位置補正装置７８によって、送り方向の露光ビーム照射位置補正に関連し、横送り駆動指令パルスの誤差情報と、送り駆動系の駆動制御誤差情報を用いることにより、正確な送り方向の露光ビーム照射位置を求めることができる。本発明の露光ビーム照射位置補正装置は、横送り駆動指令パルスの発生時間誤差を含めた送り方向の露光ビーム照射位置の補正を行う。
【００８２】
更に、図１４に示すトラック方向の露光ビーム照射位置補正装置７９によって、トラック方向の露光ビーム照射位置補正に関連し、フォーマッタ駆動指令パルスの誤差情報を用いることにより、フォーマッタ駆動指令パルスに含まれる高周波ジッタ成分について、正確なトラック方向の露光ビーム照射位置を求めることができる。よって、本発明の露光ビーム照射位置補正装置は、フォーマッタ駆動指令パルスの発生時間誤差のトラック方向の露光ビーム照射位置の補正を行うことができる。
【００８３】
また、図１５に示すトラック方向の露光ビーム照射位置補正装置８０によって、更にトラック方向の露光ビーム照射位置補正に関連し、ターンテーブル回転駆動指令パルスの誤差情報と、回転駆動系の駆動制御誤差情報を用いることにより、ターンテーブル回転駆動制御誤差に含まれる低周波ジッタ成分について、正確なトラック方向の露光ビーム照射位置を求めることができる。詳細には、図１５のトラック方向の露光ビーム照射位置補正装置８０は、図１６に示すように、偏差カウンタ８０−１により回転駆動指令パルス列（Tclk）と回転エンコーダのフィードバックパルス（Tfb）の偏差（Δθ）を演算し、露光半径位置情報（ｒ）からデータ変換テーブル８０−２、あるいは演算によってトラック方向の位置誤差（ｒ×Δθ）を求め、Ｄ／Ａ変換器８０−３によりトラック方向の露光ビーム照射位置補正信号を生成する。よって、本発明におけるトラック方向の露光ビーム照射位置補正装置は、フォーマッタ駆動指令パルスの発生時間誤差に加え、ターンテーブル回転駆動指令パルスの誤差及びターンテーブル回転駆動制御誤差のトラック方向の露光ビーム照射位置の補正を行うことができる。
【００８４】
次に、ターンテーブルの回転駆動制御誤差によって、露光ビーム照射位置に、情報トラックに沿ってΔＬの誤差を生じた場合、正確な露光ビーム照射時間としてはΔＬ／ＶＬ（sec）だけの誤差を生じていることになる。従って、上記式（１１）にこの項を加えた、
【００８５】
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×（２×π×Ｐ）／（（Ｎｆ）２×ＶＬ）
（ｋ＝１，２，３，…）                    （２１）
【００８６】
をフォーマッタ駆動指令パルスの正確な発生時間とし、フォーマッタ駆動指令パルス（Fclk）を生成し、Ｆ−ＰＧから出力されるパルス発生時間誤差情報を求める。ここで、Δθはターンテーブルの回転追従誤差によって生じる現在の露光位置と理想の位置の回転角差で、θcbは形成しようとしているＣＡＶフォーマット上の１個の理想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角である。よって、この時フォーマッタ駆動指令パルス列は、ターンテーブル回転駆動制御誤差に同期して、その周期を変化させることになるが、露光ビーム照射位置の補正としては、ターンテーブル回転駆動制御誤差の影響を補正する必要がなくなり、補正範囲を狭めることができることになる。
【００８７】
ここで、ターンテーブルに取り付けられ、ターンテーブルの回転角に応じてパルス信号を出力するエンコーダ製作にあたっては、その出力信号の位置誤差を全く無くすことは難しい。一般には、若干の位置誤差が含まれる。このような誤差は制御誤差を正しく評価することを妨げる。本発明では、このような、エンコーダの出力信号に元々組み込まれている誤差を、予めエンコーダ出力パルス毎に測定し、その情報を用いて、正確なターンテーブル回転駆動制御誤差情報を得ることにより、更に正確な、トラック方向の露光ビーム照射位置補正を実現する。図１７にエンコーダパルス位置誤差情報出力回路の例を示す。各エンコーダ出力パルス毎の回転位置誤差情報はエンコーダパルス位置誤差データ記憶回路８１に格納され、Ｚパルス（エンコーダ１回転に１パルス出力される原点パルス）でカウントクリアされ、エンコーダパルス（回転角に応じて出力されるパルス）でカウントされるカウンタ８２を用い、エンコーダ出力パルスに応じて順次エンコーダパルス位置誤差データ記憶回路８１から対応するエンコーダパルス位置誤差情報を出力される。トラック方向の露光ビーム照射位置補正信号生成装置において、このエンコーダパルス位置誤差情報を含めて、露光ビーム照射位置補正信号を生成することにより、より正確な情報トラックが形成される。
【００８８】
図１８は電子ビームを使った光ディスク原盤露光装置の基本構成を示す図である。電子ビーム鏡筒９０内に電子銃９１、ブランカー手段９２、トラック方向への電子ビーム照射位置偏向手段９３、送り方向への電子ビーム照射位置偏向手段９４、真空容器９５内のターンテーブル９６上に搭載された光ディスク原盤９７上に電子ビームを絞り込むフォーカス手段等によって構成される露光機本体、及びターンテーブル９６の回転駆動制御手段９８、横送り駆動制御手段９９、情報トラック信号を生成するフォーマッタ１００、そして各駆動指令パルス列及び各誤差情報を出力するパルスジェネレートシステム１０１、トラック方向の露光ビーム照射位置補正信号（Ｂt）を出力するトラック方向ビーム照射位置補正回路１０２、送り方向の露光ビーム照射位置補正信号（Ｂs）を出力する送り方向ビーム照射位置補正回路１０３を含んで構成されている。また、パルスジェネレートシステム１０１は、ＣＬＶ駆動状態でガラス原盤上にＣＡＶあるいはＭＣＡＶフォーマットの情報トラックを形成するための、上述の実施の形態に従ってFclkとdFclk（正確なFclkに対するFclkの誤差情報）、TclkとdTclk（正確なTclkに対するTclkの誤差情報）、SclkとdSclk（正確なSclkに対するSclkの誤差情報）を出力する。ターンテーブル駆動制御回路９８と横送り駆動制御回路９９は、それぞれTclk、Sclkを指令パルスとしてターンテーブルを回転させながら横移動させる。この時、同時に回転駆動制御誤差情報及び送り駆動制御誤差情報を出力する。トラック方向ビーム位置補正回路１０２は、FclkとdFclkを用い、あるいは更にTclkとdTclk、回転駆動制御誤差情報を用い、トラック方向の露光ビーム照射位置補正信号を生成しこれによってトラック方向のビーム照射位置偏向手段９３によってビーム照射位置の補正を行い、また送り方向ビーム位置補正回路１０３は、SclkとdSclk、及び送り駆動制御誤差情報を用い、送り方向の露光ビーム照射位置補正信号を生成しこれによって送り方向のビーム照射位置偏向手段９４によってビーム照射位置の補正を行い、高精度なＣＡＶあるいはＭＣＡＶディスクフォーマットの情報トラックを形成する。
【００８９】
ここで、一般にＣＬＶ駆動時の光ディスク原盤露光装置に搭載されるターンテーブルの回転は、図１９にTfbとして示すように、ターンテーブル回転駆動指令パルス列に対し定常的な回転角度誤差とターンテーブル回転に同期した回転変動含む回転駆動追従誤差を有している。また、図２０は、ＣＬＶ駆動開始時点から同一個数番目に相当するパルスTclk１/２/３とパルスTfb１、Tfb２、Tfb３の時間方向の位置関係を模式的に示している。同図では、ＣＬＶ駆動が内周から外周に向かって行われているので時間の経過と伴にTclkパルス周期（PTclk）はパルス毎に長くなる。すなわち、ターンテーブル回転指令速度が遅くなるが、ターンテーブル回転は、それに追従して回転することができずに定常的な回転角誤差（Ddc）と変動誤差（Dac）を有しながら回転している様子を示している。このようにターンテーブル回転追従誤差がある場合、フォーマッタ駆動パルスを従来通り理想的なパルス列Fclkとして露光してもガラス原盤上に正確なＣＡＶディスクフォーマットを形成することはできない。図２１に示すように、ターンテーブル回転誤差に合わせてフォーマッタ駆動パルス周期を補正する必要がある。図中、F'clkが補正されたフォーマッタ駆動パルス周期である。
【００９０】
図２２は本発明によるフォーマット駆動パルス生成回路の構成を示すブロック図である。同図に示すフォーマット駆動パルス生成回路によれば、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）と、ＣＬＶ駆動開始からのTfbパルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差
【００９１】
Δθn；回転角差のTfb相当角の整数値
【００９２】
を計数する計数回路１０４と、またTfbパルス列信号の周期を計測する周期計測回路１０５とTfbパルス信号入力から次に入力するTclkパルス信号までの時間間隔を測る時間間隔測定回路１０６と、それぞれの計数値、測定値データをラッチするラッチ回路１０７〜１１０と、Tfbパルス列周期データとTfbパルス信号とTclkパルス信号のTfbパルス信号周期以下の時間間隔データから回転追従誤差データ
【００９３】
Δθａ；回転角差のTfb相当角の小数値
【００９４】
を得る演算回路１１１と、この演算回路１１１から得られる全回転追従誤差角の内のTfbパルス信号１パルス相当角以下のデータ（Δθａ）と、Tfbパルス列信号とTclkパルス列信号の追従誤差（Δθn）を計数する計数回路から得られる全回転追従誤差角データ（Δθ＝Δθｎ＋Δθａ）と、
【００９５】
θcb；理想的なフォーマット駆動パルスに相当する回転角（ＣＡＶディスクフォーマットを形成するのであるから、θcbは露光期間中一定。）から、加算演算回路１１２によって追従誤差情報Δθ／θcbを得る。この情報を基に、式（１５）に補正項を加え、ｋ番目のフォーマット駆動パルス周期を
【００９６】
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）−（Δθ／θcb）×２×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）
（ｋ＝１，２，３，…）                                （２２）
から得る。
【００９７】
次に、図２３に示すように、理想的なターンテーブル駆動指令パルス周期（PTclk）とターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列周期（PTfb）の比と同じ比率で、理想的なフォーマット駆動パルスの周期が補正されれば、ターンテーブル回転追従誤差に関わらず露光されるＣＡＶディスクフォーマットの情報トラックは正確に露光される。
【００９８】
また、ターンテーブル回転駆動指令パルス列周期をPTclk、理想的なＣＬＶ駆動時にＣＡＶディスクフォーマット露光のための理想的なフォーマッタ駆動パルス周期をPFclkとしたとき、（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclkから、フォーマッタ駆動パルスの周期補正を行えば、すなわち、
【００９９】
２×π×Ｒ０／（Ｎｆ×ＶＬ）＋（２×ｋ−１）×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）−（（PTclk−PTfb）×PFclk／PTclk）×２×π×Ｐ／（Ｎｆ２×ＶＬ）
（ｋ＝１，２，３，…）                    （２３）
からｋ番目のフォーマット駆動パルスを生成する。
【０１００】
また、PTfb×PFclk／PTclkから直接、周期補正されたフォーマッタ駆動パルス周期（PF'clk）を求めても良い。
【０１０１】
図２４は本発明による、ターンテーブル回転駆動誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス生成のためのフォーマッタ駆動パルス周期補正データ取得回路の構成を示すブロック図である。同図に示すフォーマッタ駆動パルス周期補正データ取得回路は、ターンテーブル回転駆動系に付帯する回転エンコーダから得られるターンテーブル回転フィードバックパルス列（Tfb）信号とターンテーブル回転駆動指令パルス列（Tclk）信号と基本クロック（CLK）を用い、Tfb及びTclkそれぞれの周期を計測する周期計測回路１１３，１１４と、Tfbパルスに同期してターンテーブル駆動指令パルス周期（PTfb）データとフォーマッタ駆動パルス周期（PFclk）データをラッチするラッチ回路１１５〜１１７と、PFclkデータを入力データとしTclkとFclkの比データ（Ptf；理想的なＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット露光において、Ptf＝PTclk／PFclkは常に一定である。）を用いてPTclkを求めるデータ変換回路１１８と、PTclkデータとPTfbデータからターンテーブル回転誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス周期を得るためのPFclk周期補正データを得る演算回路１１９とを含んで構成されている。
【０１０２】
上述したフォーマット駆動パルス生成方法において、ターンテーブル回転駆動誤差に対応したフォーマッタ駆動パルス周期を求めるには、式（２２）あるいは式（２３）に示した演算、及び最終的にはパルス生成回路の分周データ及び遅延パルス選択データを算出しなければならない。これら演算を行うに際しては、ハードウェアで演算させるにしろ、ソフトウェアで演算するにしろ有効桁の設定に応じ誤差を伴う。１トラックあるいはセクタ長が最小設定周期分解能の整数倍相当長で構成されるＣＡＶディスクフォーマットでは、理想的にはトラック毎あるいはセクタ相当長毎にフォーマッタ駆動パルス生成回路における端数データ（パルス周期の最小設定周期分解能相当に満たない周期データ部分）が０になるはずであり、これは、ターンテーブル回転駆動誤差に対応して周期補正を行ったフォーマット駆動パルスにおいても同様である。図２６に示すように、図中のP0パルス発生位置を演算で求める（パルス周期を求める）際、端数データが値をもっていた場合は０にリセットする。
【０１０３】
本発明によるＣＡＶディスクフォーマットは、ターンテーブルに付帯している回転エンコーダの１パルスの回転角相当長の情報トラックが整数個のフォーマッタ駆動パルス相当長に等しく構成される。図２７中（Tenc）と（Fclk）は、理想的なＣＬＶ駆動時の時間方向の理想的ターンテーブル回転エンコーダパルスと理想的なフォーマッタ駆動パルスの配置を示す。図２８は、実際の回転エンコーダパルス（Tfb）とターンテーブル回転駆動誤差に対応して補正済みのフォーマッタ駆動パルス（F'clk）と、Tfbに同期して出力されるP0パルスを示す。P0パルス生成のための演算時に、端数データが生じた場合はこの時点で０にリセットされる。回転エンコーダパルス相当に同期して端数データのリセットが行えるので、図２６に示したリセットに比べ少数回のフォーマッタ駆動パルス周期演算毎にリセットすることができるる。従って、累積誤差伝播に対する安全性が増す。あるいは、演算時の有効桁数の減ずることができる。
【０１０４】
また、フォーマット駆動パルス生成方法において、パルス周期設定最小分解能以下の周期設定データをパルス位置誤差情報が、比較的頻繁に端数データのリセットが行われる場合、端数データにおける演算誤差の影響は少ない。従って、この端数データを用いてトラック方向の露光ビーム照射位置補正を行うことにより、高精度なＣＬＶ駆動によるＣＡＶディスクフォーマット露光が実現する。
【０１０５】
更に、ターンテーブル回転駆動誤差が定常的な誤差（一定回転角差）を有し、変動誤差が少ない場合、図２９に示すように、フォーマッタ駆動パルス生成のＣＬＫ生成開始時間を遅らせることにより、PTclkとPTfbの比に対応した、周期補正済みのフォーマッタ駆動パルスとすることができる。
【０１０６】
また、本発明において使用される横送り駆動指令パルス列、ターンテーブル回転駆動指令パルス列及びフォーマッタ駆動パルス列は図３０に示される構成のパルスジェネレータ回路によって生成されているものとする。パルス生成の基本動作を図３０及び図３１で説明する。図３０に示す生成回路は、分周データラッチ回路１２０、分周回路１２１、遅延回路１２２、遅延パルス選択回路１２３、遅延パルス選択データラッチ回路１２４を含んで構成されている。その動作は、図３１に示すように、基本クロック（ＣＬＫ）を図３０の分周回路１２１で分周し、その結果得られる分周パルスを遅延回路１２２へ入力し、そこで得られる微小時間分解能を有する遅延パルス群の中から、所望の発生時間にもっとも近いパルスを選んで出力パルスとするものである。分周データ及び遅延パルス選択データは、出力パルス毎に更新される。なお、分周データ及び遅延パルス選択データは、予め全出力パルスに対して求めておき分周データラッチ回路１２０及び遅延パルス選択データラッチ回路１２４に格納し、パルス番号カウンタ等により順次出力させても良いし、逐一演算によって求めても良い。このパルス生成回路においては図３１に示すように、遅延値が離散的に設定されるので、個々の生成パルスは特殊な場合を除いて、目的とした理想的なパルス発生位置に対して誤差を持って出力される。
【０１０７】
なお、上述したように、光ディスク原盤露光装置のＣＬＶ駆動によるターンテーブル回転駆動誤差を補正したＣＡＶディスクフォーマット露光が行われており、電子ビーム露光によれば、大容量、高精度、高速アクセス可能な光ディスクスタンパあるいはメディアを実現することができる。
【０１０８】
また、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲内の記載であれば多種の変形や置換可能であることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【０１０９】
【図１】ターンテーブル回転指令パルスの周期の変化の様子を示す図である。
【図２】ＣＡＶフォーマットに対するフォーマッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。
【図３】ＭＣＡＶフォーマットに対応したフォーマッタ駆動クロック周期の変化の様子を示す図である。
【図４】トラック毎に露光ビーム照射位置をＣＡＶフォーマット形成方向に２×π×Ｐ相当長の等速移動を繰り返す様子を示す図である。
【図５】本発明の一実施の形態に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示するブロック図である。
【図６】本発明の別の実施の形態に係る光ディスク原盤露光装置の構成を示すブロック図である。
【図７】各指令パルス発生回路の構成を示すブロック図である。
【図８】各指令パルスの発生の様子を示すタイムチャートである。
【図９】フォーマッタ駆動指令パルス列を示すタイムチャートである。
【図１０】本発明によるパルスジェネレートシステムの全体構成を示す図である。
【図１１】フォーマッタ駆動指令パルス列におけるパルス信号と誤差情報出力信号を示すタイムチャートである。
【図１２】誤差情報を出力するための具体的な構成を示すブロック図である。
【図１３】送り方向の露光ビーム照射位置補正装置を示すブロック図である。
【図１４】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置を示すブロック図である。
【図１５】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置を示すブロック図である。
【図１６】トラック方向の露光ビーム照射位置補正装置の構成を示すブロック図である。
【図１７】エンコーダパルス位置誤差情報出力回路の構成を示すブロック図である。
【図１８】電子ビームを使った光ディスク原盤露光装置の基本構成を示す図である。
【図１９】ターンテーブル回転駆動指令パルスとターンテーブル回転戻りパルスの周期の変化の様子を示す図である。
【図２０】ターンテーブル回転駆動指令パルスとターンテーブル回転戻りパルスを示すタイムチャートである。
【図２１】ターンテーブル回転変動に対応したフォーマッタ駆動パルスの周期の変換の様子を示す図である。
【図２２】本発明によるフォーマット駆動パルス生成回路の構成を示すブロック図である。
【図２３】周期比を用いた補正の様子を示す図である。
【図２４】本発明におけるフォーマッタ駆動パルス周期補正データ取得回路の構成を示すブロック図である。
【図２５】フォーマッタ駆動指令パルス補正データの獲得タイミングを示すタイムチャートである。
【図２６】フォーマッタ駆動指令パルス補正データの端数データリセットの様子を示す図である。
【図２７】ＣＡＶディスクフォーマットの様子を示す図である。
【図２８】エンコーダパルス毎の端数データリセットの様子を示す図である。
【図２９】フォーマッタ駆動パルス周期の補正の様子を示す図である。
【図３０】パルスジェネレータ回路の構成を示すブロック図である。
【図３１】パルス生成の動作を示すタイムチャートである。
【符号の説明】
【０１１０】
５１；露光レーザ、５２；露光光学系、５３；光変調器、
５４；フォーカスアクチュエータ、５５；ガラス原盤、
５６；エアスピンドルモータ、５７；エンコーダ、
５８；エアスライダモータ、５９，６１；ドライバ、
６０，６２；制御回路、６３；駆動系コントローラ、
６４；リニアエンコーダ、６５；フォーマット信号発生器、
６６；基本クロック発生器、
６７；ターンテーブル駆動指令パルス生成回路、
６８；スライダ駆動指令パルス生成回路、
６９；フォーマッタ駆動クロック生成回路、
７０；露光ビーム偏向回路。
【図１】
2007134045.tif 000003
【図２】
2007134045.tif 000004
【図３】
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【図４】
2007134045.tif 000006
【図５】
2007134045.tif 000007
【図６】
2007134045.tif 000008
【図７】
2007134045.tif 000009
【図８】
2007134045.tif 000010
【図９】
2007134045.tif 000011
【図１０】
2007134045.tif 000012
【図１１】
2007134045.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2007134045.tif 000016
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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