(57)【要約】【課題】同等な処理を行うことが可能な複数の装置で並列に生産を実施させる場合において、装置の仕掛りロット数が少ない場合の生産リードタイムの短縮を図る。【解決手段】任意の装置から次に処理するべきロットを割り付ける旨の要求があった場合（Ｓ０１）、要求装置に割付可能なロットを選択する仕掛りロット択処理を行う（Ｓ０２）。次に、要求装置と同種の装置群において、ロット割付要求のある装置を選択し(Ｓ０３)、装置稼動情報部から装置稼動状況を受け取り（Ｓ０４）、工程仕掛り情報部から各装置の処理中ロットの残りワーク数、ポートに引き当て中のロット数、仕掛りロット数およびタクト情報を受け取り（Ｓ０５）、これらの情報から各装置における割付候補ロットの処理着手時刻を推定する（Ｓ０６）。その後、各装置の割付候補ロット処理着手時刻を比較し、最も早い時刻の装置を選択し（Ｓ０７）、この装置にロットを割り付ける（Ｓ０８）。【選択図】図２
2007102281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
並列に同種の生産を実施する複数の製造装置を含む製造ラインにおけるロット引当てを行う工程管理方法であって、
割付可能な仕掛りロットを選択するステップと、
前記複数の製造装置の中で、ロット割付要求のある製造装置を選択するステップと、
選択された製造装置の装置稼動状況を取得するステップと、
前記複数の製造装置から、前記選択された製造装置と同種の生産を実施する製造装置を少なくとも１つ選択し、この少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数を取得するステップと、
前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれにおける割付候補ロットの処理着手時刻の推定を行うステップと、
前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置の中で、割付候補ロットの処理着手推定時刻が最も早い製造装置を選択するステップと、
処理着手推定時刻が最も早い製造装置として選択された製造装置にロットを割り付けるステップと、を含むことを特徴とする工程管理方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置の稼働状況と、前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数とから、各製造装置において現在ある仕掛りロットのワークの処理が全て終了する時刻を推定するステップをさらに含む請求項１記載の工程管理方法。
【請求項３】
前記割付候補ロットが各製造装置に到着する時刻を推定するステップと、
前記現仕掛りロット処理終了時刻と前記製造装置到着時刻とのうち時刻の遅い方を選択し、処理着手推定時刻とするステップと、をさらに含む請求項２記載の工程管理方法。
【請求項４】
前記複数の製造装置それぞれに使用優先度が予め設定されており、この使用優先度の高い製造装置を選択するステップをさらに含み、使用優先度の高い製造装置に対してロットの引当てを行う請求項１記載の工程管理方法。
【請求項５】
前記割付候補ロットが各製造装置に到着する時刻を推定するステップと、
前記現仕掛りロット処理終了時刻と前記製造装置到着時刻とのうち時刻の遅い方を選択し、処理着手推定時刻とするステップと、をさらに含む請求項４記載の工程管理方法。
【請求項６】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の最も高いロットを選択するステップをさらに含み、処理優先度の高いロットに関して各ステップを実施する請求項１記載の工程管理方法。
【請求項７】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の最も高いロットを選択するステップをさらに含み、処理優先度の高いロットに対して各ステップを実施する請求項３記載の工程管理方法。
【請求項８】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の最も高いロットを選択するステップをさらに含み、処理優先度の高いロットに対して各ステップを実施する請求項４記載の工程管理方法。
【請求項９】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の最も高いロットを選択するステップをさらに含み、処理優先度の高いロットに対して各ステップを実施する請求項５記載の工程管理方法。
【請求項１０】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の高いロット群を選択するステップをさらに含み、処理優先度の高いロット群に対して各ステップを実施する請求項３記載の工程管理方法。
【請求項１１】
前記割付可能な仕掛りロットの処理優先度が予め設定されており、この処理優先度の高いロット群を選択するステップを含み、処理優先度の高いロット群に対して各ステップを実施する請求項５記載の工程管理方法。
【請求項１２】
並列に同種の生産を実施する複数の製造装置を含む製造ラインにおいて使用される工程管理装置であって、
前記複数の製造装置それぞれの稼働状況を記憶する装置稼動情報部と、
前記複数の製造装置それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数を記憶する工程仕掛り情報部と、
割付可能な仕掛りロットを選択し、前記複数の製造装置の中で、ロット割付要求のある製造装置を選択し、前記複数の製造装置から、前記選択された製造装置と同種の生産を実施する製造装置を少なくとも１つ選択し、この少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれにおける割付候補ロットの処理着手時刻を推定し、割付候補ロットの処理着手推定時刻が最も早い製造装置を選択し、製造装置にロットを割り付けるロット割付部とを含んでおり、
前記ロット割付部が、前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置の稼働状況と、前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数とから、各製造装置において現在ある仕掛りロットのワークの処理が全て終了する時刻を推定するステップを実施することによって処理着手時刻を推定することを特徴とする工程管理装置。
【請求項１３】
前記ロット割付部が、請求項３記載の工程管理方法を実施する請求項１２記載の工程管理装置。
【請求項１４】
装置使用優先度を予め記録した装置使用優先度記憶部をさらに備えており、前記ロット割付部が、請求項４記載の工程管理方法を実施する請求項１２記載の工程管理装置。
【請求項１５】
前記ロット割付部が、請求項５記載の工程管理方法を実施する請求項１４記載の工程管理装置。
【請求項１６】
ロット処理優先度を予め記録したロット処理優先度記憶部をさらに備えており、前記ロット割付部が、請求項６記載の工程管理方法を実施する請求項１２記載の工程管理装置。
【請求項１７】
前記ロット割付部が、請求項７記載の工程管理方法を実施する請求項１６記載の工程管理装置。
【請求項１８】
前記ロット割付部が、請求項８記載の工程管理方法を実施する請求項１６記載の工程管理装置。
【請求項１９】
前記ロット割付部が、請求項９記載の工程管理方法を実施する請求項１６記載の工程管理装置。
【請求項２０】
ロット処理優先度を予め記録したロット処理優先度記憶部と、
装置使用優先度を予め記録した装置使用優先度記憶部とを備えており、
前記ロット割付部が、請求項１０記載の工程管理方法を実施する請求項１２記載の工程管理装置。
【請求項２１】
ロット処理優先度を予め記録したロット処理優先度記憶部と、
装置使用優先度を予め記録した装置使用優先度記憶部とを備えており、
前記ロット割付部が、請求項１１記載の工程管理方法を実施するものである請求項１２記載の工程管理装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体などの製造工程において生産指示を行う際に採用されるディスパッチング方法を用いた工程管理方法および工程管理装置に関し、さらに詳しくは、ワークに対して複数の製造装置により加工を行う場合に用いられる工程管理方法および工程管理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体装置や液晶表示装置などの製造工場では、製品のリードタイムを短縮すること、および製造装置の能力を最大限に活かすことが必要である。このため、製品のリードタイムを短縮するためのディスパッチング装置が種々提案されている（例えば、特許文献１〜３等参照）。これらのディスパッチング装置は、生産ロットのリアルタイム情報に基づき、予め決められた製造条件ルールに従って生産指示を行う構成となっている。このようなディスパッチング装置では、同種の加工を並列に生産できる複数の製造装置が存在する場合、生産指示可能数（最大生産指示数と現在生産指示数との差）が大きい製造装置に対して指示を行っている。このディスパッチング装置は、製造工程の間の仕掛りロット数を適切に保つように生産ロットの投入制御を行った生産工程で用いられている。このように、ある程度製造工程間の仕掛がある場合は、製造装置は、能力を最大限活かした状態で装置能力に比例した数のロットを処理している。
【特許文献１】特開２００２−９１５４２号公報
【特許文献２】特開２００２−１１６８１２号公報
【特許文献３】特開２０００−２８０１４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、前述したような従来のディスパッチング装置には、生産リードタイムがある程度短縮された生産工場では、製造工程間の仕掛りロット数が少ないため、上述のように予め決まっている各製造装置の装置能力や仕掛り数に基づいてロットをディスパッチングしても、ロットの待ち時間が最短になるとは限らず、生産リードタイムを短縮することはできないといった問題があった。
【０００４】
本発明は係る実情に鑑みてなされたもので、その目的は、製造装置での待ち時間を最小にすることによって、生産リードタイムを短縮することができる工程管理方法および工程管理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明の工程管理装置は、図１に示すように、前記複数の製造装置７それぞれの稼働状況を記憶する装置稼動情報部４と、前記複数の製造装置７それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数を記憶する工程仕掛り情報部５と、割付可能な仕掛りロットを選択し、前記複数の製造装置７の中で、ロット割付要求のある製造装置７を選択し、前記複数の製造装置７から、前記選択された製造装置７と同種の生産を実施する製造装置７を少なくとも１つ選択し、この少なくとも１つの製造装置７および前記選択された製造装置７それぞれにおける割付候補ロットの処理着手時刻を推定し、割付候補ロットの処理着手推定時刻が最も早い製造装置７を選択し、製造装置にロットを割り付けるロット割付部１とを含んでいる。
【０００６】
さらに、本発明の工程管理方法は、主にロット割付部１での処理によって実施されるものであり、いずれかの製造装置７から次に処理するべきロットを割り付ける旨の要求があったか否かの判断を行うステップと、要求があった場合に、割付可能な仕掛りロットを選択するステップと、前記複数の製造装置７の中で、ロット割付要求のある製造装置７を選択するステップと、選択された製造装置７の装置稼動状況を取得するステップと、前記複数の製造装置７から、前記選択された製造装置７と同種の生産を実施する製造装置７を少なくとも１つ選択し、この少なくとも１つの製造装置７および前記選択された製造装置７それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数を取得するステップと、前記少なくとも１つの製造装置７および前記選択された製造装置７それぞれにおける割付候補ロットの処理着手時刻の推定を行うステップ（このステップを「処理着手時刻推定方法」ともいう）と、前記少なくとも１つの製造装置７および前記選択された製造装置７の中で、割付候補ロットの処理着手推定時刻が最も早い製造装置７を選択するステップと、処理着手推定時刻が最も早い製造装置７として選択された製造装置７にロットを割り付けるステップとを含むものである。
【０００７】
前述したような工程管理方法および工程管理装置において、ロット割付部が、前記処理着手時刻推定方法を実施する際に、前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置の稼働状況と、前記少なくとも１つの製造装置および前記選択された製造装置それぞれの装置ポートに引当て中のロット数、仕掛りロット数および処理中ロットの残りワーク数とから、各製造装置において現在ある仕掛りロットのワークの処理が全て終了する時刻を推定するステップをさらに実施する構成であってもよい。この場合には、装置ポートに引き当てられたロット数や処理残りワーク数なども含めた装置処理状態から、割付候補ロットの処理着手時刻の最も早い製造装置を推定し、ロットをその製造装置に割り付けることができる。さらに、ロット割付部が、前記割付候補ロットが各製造装置に到着する時刻を推定するステップと、前記現仕掛りロット処理終了時刻と前記製造装置到着時刻とのうち時刻の遅い方を選択し、処理着手推定時刻とするステップを実施する構成であってもよい。この場合には、実際の処理着手時刻推定の精度を上げることができる。またさらに、割付可能な仕掛りロットのロット処理優先度が予め設定されており、このロット処理優先度を示す情報を記憶しているロット処理優先度記憶部を備えており、ロット割付部が、処理優先度の最も高いロット（またはロット群）を選択するステップを実施する構成であり、処理優先度の高いロット（またはロット群）に関して各ステップを実施する構成であってもよい。このような構成は、異なる機種のロット（またはロット群）を同時に生産するが、納期優先度が異なる場合などに有効である。
【０００８】
また、前述したような工程管理方法および工程管理装置において、複数の製造装置それぞれには装置使用優先度が予め設定されており、この装置使用優先度を示す情報を記憶している装置使用優先度記憶部をさらに備えており、ロット割付部が、使用優先度の高い製造装置を選択するステップをさらに実施し、使用優先度の高い製造装置に対してロットの引当てを行う構成であってもよい。さらに、ロット割付部が、割付候補ロットが各製造装置に到着する時刻を推定するステップと、前記現仕掛りロット処理終了時刻と前記製造装置到着時刻とのうち時刻の遅い方を選択し、処理着手推定時刻とするステップを実施する構成であってもよい。これらの場合には、実際の処理着手時刻推定の精度を上げることができる。またさらに、割付可能な仕掛りロットのロット処理優先度が予め設定されており、このロット処理優先度を示す情報を記憶しているロット処理優先度記憶部を備えており、ロット割付部が、処理優先度の最も高いロット（またはロット群）を選択するステップを実施する構成であり、処理優先度の高いロット（またはロット群）に関して各ステップを実施するものであってもよい。このような構成は、異なる機種のロット（またはロット群）を同時に生産するが、納期優先度が異なる場合などに有効である。
【０００９】
また、前述したような工程管理方法および工程管理装置において、割付可能な仕掛りロットのロット処理優先度が予め設定されており、このロット処理優先度を示す情報を記憶しているロット処理優先度記憶部をさらに備えており、ロット割付部が、処理優先度の最も高いロットを選択するステップをさらに実施するものであり、処理優先度の高いロットに関して各ステップを実施する構成であってもよい。このような構成は、異なる機種のロットを同時に生産するが、納期優先度が異なる場合などに有効である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明の工程管理方法および工程管理装置は、上記のように構成したので、装置ポートに引き当てられたロット数や、装置内での処理中ロットの残りワーク数も含め、実際の装置稼動状況にあわせてロットを搬送するので、生産リードタイムが短く、仕掛り数が少ない生産工場においても、装置故障など突発的な不具合に係らず最も処理着手時刻の早い装置に搬送でき、装置での待ち時間を最小にすることができる。よって、生産リードタイムを短縮することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１１】
以下、本発明の工程管理方法および工程管理装置の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００１２】
図１は、本発明の工程管理装置の一実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【００１３】
工程管理装置１００は、各工程で次に処理するロットを決定するためのロット割付部１と、工程ごとに必要な情報を定義する工程定義部２と、ロット割付部１で決定された結果に基づいて製造装置７等を制御する工程制御部３と、工程管理部６により受信した製造装置７の稼働状況を記憶する装置稼動情報部４と、工程ごとに仕掛り量を記憶する工程仕掛り情報部５と、製造装置７の状態を監視する工程管理部６とを含んでなる。
【００１４】
工程制御部３と工程管理部６とは、製造装置７とネットワークで接続されている。したがって、工程制御部３および工程管理部６は、製造装置７と通信することにより、種々の情報を送受信することができる。
【００１５】
工程定義部２は、工程ごとの使用装置および工程順序を記憶する。ここで、工程とは、ワークを加工処理するときの処理単位をいう。１つの工程は、少なくとも１つの製造装置による加工処理で構成される。また、１つの工程に複数の製造装置が用いられることもある。なお、図１の製造装置７を構成する製造装置Ａ１〜Ａ３と製造装置Ｂ１〜Ｂ３とは、それぞれ同種の生産を並列に処理可能な２個の装置群であるものとする。
【００１６】
工程管理部６は、製造装置７の状態を監視する。そして、製造装置７の状態が稼動から停止、または停止から稼動に変化したときに、その状態の変化を装置稼動情報として装置稼動情報部４に送る。装置稼動情報部４は、工程管理部６より受信した稼動情報を工程ごとまたは製造装置ごとに記憶する。
【００１７】
また、工程管理部６は、製造装置７における処理中ロットの残りワーク数、各製造装置のポートに引き当て中のロット数、各製造装置の仕掛りロット数、および各製造装置のタクトを示す情報をそれぞれの製造装置７から受信する。さらに、工程管理部６はこれらの情報を工程仕掛り情報部５に送信する。工程仕掛り情報部５は、これらの情報を工程および製造装置ごとに記憶する。
【００１８】
ロット割付部１は、工程定義部２に記憶されている各工程の定義を用いて、装置稼動情報部４および装置工程仕掛り情報部５に格納されている情報に基づいて、それぞれの製造装置で次に処理されるべきロットを決定する。
【００１９】
工程制御部３は、各製造装置７で処理するロットが、ロット割付部１で割り付けられたロットとなるように、各製造装置７と各製造装置７にワークを搬送する搬送ユニット（図示せず）とを制御する。
【００２０】
制御は、工程制御部３からそれぞれの製造装置７および搬送ユニットに制御コマンドが送信されることにより行われる。
【００２１】
次に、本実施の形態における工程管理装置１００のロット割付部１で行われる割付処理（工程管理方法）について、図２を参照しつつ説明する。
【００２２】
図２は、図１に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の一実施の形態を示すフローチャートであり、主にロット割付部１で行われる割付処理の流れを示すフローチャートである。
【００２３】
はじめに、いずれかの製造装置から次に処理するべきロットを割り付ける旨の要求があったか否かの判断が行われる（ステップＳ０１）。製造装置からのロット割付要求は、工程制御部３で受信される。
【００２４】
要求があった場合には、要求をした製造装置（以下、「要求装置」という）に割付可能なロットを選択する仕掛りロット択処理が行われる（ステップＳ０２）。
【００２５】
さらに、要求装置と同種の装置群において、ロット割付要求のある製造装置を選択する(ステップＳ０３)。
【００２６】
続いて、ロット割付部１では、装置稼動情報部４から装置稼動状況を受け取り（ステップＳ０４）、工程仕掛り情報部５から、各製造装置の処理中ロットの残りワーク数、ポートに引き当て中のロット数、仕掛りロット数およびタクト情報を受け取る（ステップＳ０５）。これらの情報から、各製造装置における、割付候補ロットの処理着手時刻を推定する（ステップＳ０６）。
【００２７】
その後、各製造装置の割付候補ロット処理着手時刻を比較し、最も早い時刻の製造装置を選択する（ステップＳ０７）。そして、選択した製造装置にロットを割り付ける（ステップＳ０８）。
【００２８】
例えば、ステップＳ０１において、図１の製造装置Ａ１，Ａ２からロット割付要求があった場合を考える。ステップＳ０２において、仕掛りロット（ワーク）選択処理を行い、ステップＳ０３において、製造装置Ａ１と同種の製造装置である製造装置Ａ２，Ａ３について、割付要求の有無を調べる。この場合、要求装置は製造装置Ａ１と製造装置Ａ２とであるため、ステップＳ０４において、これらの製造装置に関する情報を装置稼動情報部４と工程仕掛り情報部５とから受け取る。ステップＳ０５での処理の結果、製造装置Ａ１，Ａ２のタクトがそれぞれ１０（ｍｉｎ／個），２０（ｍｉｎ／個）であり、装置ポートに引き当てたロット数がそれぞれ２（個），１（個）であり、処理中ロットの残りワーク数が３０（個），１０（個）であり、装置ポートに引き当てられていない仕掛りロット数が両製造装置とも０（個）であり、ロット入り数が３０（個）であることが分かったとすると、ステップＳ０６において、現在各製造装置がもっている仕掛りの処理を全て終わる時刻は、処理能力の低い方の製造装置である製造装置Ａ１が９００ｍｉｎ後であり、処理能力の高い方の製造装置である製造装置Ａ２が８００ｍｉｎ後であることが推定できる。よって、ステップＳ０７において、割付候補ロット処理着手時刻の早い製造装置として製造装置Ａ２が選択される。
【００２９】
なお、仕掛りロットが多数ある場合においては、各製造装置は常に装置能力を最大限発揮した状態で製造を行う。そのため、各装置能力に合った仕掛り数となるようロットを製造装置に割り当てることで、割付候補ロットを処理着手時刻の早い製造装置に引き当てさせることができる。しかしながら、仕掛りロットがほとんどない場合は、上述したように、割付候補ロット処理着手時刻の早い製造装置は、処理能力の高い方の製造装置であるとは限らない。ロットの処理待ち時間を最小にし、生産リードタイムを短縮するためには、装置ポートに引き当てられたロット数や処理残りワーク数も含めた装置処理状態から、割付候補ロットの処理着手時刻の最も早い製造装置を推定し、ロットをその製造装置に割り付けることが有効である。
【００３０】
また、割付候補ロット処理着手時刻の推定では、ロットの搬送時間も考慮にいれてもよい。
【００３１】
図３は、図１に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の他の実施の形態を示すフローチャートである。
【００３２】
この工程管理方法においては、ステップＳ０１からステップＳ０４までは、前述の図２を用いて説明した工程管理方法と同様の手順で処理を行った後、次に、割付候補ロットの現在位置と各製造装置の位置とから割付候補ロットが各製造装置に到着する時刻を推定し（ステップＳ０４ａ）、前述の図２を用いて説明した工程管理方法と同様の手順でステップＳ０５を実施する。続いて、各製造装置が現在もっている全仕掛ロットの処理が終了する時刻を推定するステップＳ０６ａを実施する。さらに、求めた割付候補ロット到着時刻と全仕掛ロット処理終了時刻とのうち遅い方を割付候補ロット処理着手時刻とするステップＳ０６ｂを実施する。
【００３３】
このような工程管理装置および工程管理方法を用いた場合には、実際の処理着手時刻推定の精度を上げることができる。
【００３４】
次に、本発明の工程管理装置の他の実施の形態について、図面を参照して説明する。
【００３５】
図４は、本発明の工程管理装置の他の実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【００３６】
本実施の形態の工程管理装置１１０と、図１に示す工程管理装置１００との間で異なっている点は、ロット割付部１に所望の情報を送信する装置使用優先度記憶部８とロット処理優先度記憶部９とをさらに備えていることである。
【００３７】
図４に示すように、複数ある製造装置の間に優先度（以下、「装置使用優先度」ともいう）を予め設け、この装置使用優先度を示す情報を装置使用優先度記憶部８に記録しておき、工程管理を行う際に、ロット割付部１において装置使用優先度を取得し、ロット割付に利用してもよい。
【００３８】
次に、図４に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の実施の形態について説明する。
【００３９】
図５は、図４に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の一実施の形態を示すフローチャートである。
【００４０】
ここでは、図４において、製造装置Ｂ１〜Ｂ３の３台の製造装置が要求装置であり、製造装置Ｂ１と製造装置Ｂ２との優先度が高であり、製造装置Ｂ３の優先度が低である場合について説明する。
【００４１】
まず、ステップＳ０１からステップＳ０３までは、前述の図２を用いて説明した工程管理方法と同様の手順で処理を行った後、次に、装置群（製造装置Ｂ１〜Ｂ３）から優先度が高である製造装置Ｂ１と製造装置Ｂ２とを、割付する製造装置として選択する（ステップＳ０３ａ）。その後、前述の図２を用いて説明した工程管理方法と同様の手順でステップＳ０４〜ステップＳ０８を実施して、ロット引き当てを行う。
【００４２】
このような工程管理方法を用いた場合には、同種の製造を行う複数の製造装置の中で、製造装置間で加工したワークの品質や歩留りに差がある場合や、製造したい機種によって要求する品質が異なる場合など、予め製造装置に使用優先度をつけることによって、より要求に合致した製品を高い歩留りで生産することができる。
【００４３】
なお、図４に示すような工程管理装置を用いて、図３に示した工程管理方法を実施することも可能である。
【００４４】
また、図４に示すように、複数ある仕掛ロットの間に優先度（以下、「ロット処理優先度」ともいう）を予め設け、このロット処理優先度を示す情報をロット処理優先度記憶部７に記録しておき、工程管理を行う際に、ロット割付部においロット処理優先度を取得し、装置引き当てに利用してもよい。この場合には、工程管理方法を実施する際に、図２に示すステップＳ０２の仕掛りワーク選択処理の中で、割付可能な仕掛りロット群の選択と、選択したロット群の中で優先度の最も高いロットの選択とを行う。
【００４５】
このような工程管理装置および工程管理方法によれば、異なる機種のロットを同時に生産するが、納期優先度が異なる場合などに有効である。
【００４６】
この場合においても、上述した全ての処理着手推定方法や装置割付方法（即ち、図２、図３および図５に示す工程管理方法）を用いることができる。この場合には、工程管理方法を実施する際に、ロット割付部１においてロット処理優先度を取得し、ステップＳ０２で割付可能な仕掛りロット群の選択と、選択したロット群の中で優先度の高いロット群の選択とを実施し、装置引き当てに利用するといった手順が用いられる。
【００４７】
なお、図３のステップＳ０４ａにおいて、選択したロット群の各ロットとステップＳ０３で選択した各製造装置との全ての組み合わせに対して到着時刻を推定し、割付ロット処理着手時刻推定に用いてもよい。この場合には、より広い選択の中から最良のロット引き当てを行うことができる。さらに、図５のステップＳ０２において、同様の処理を行うことも有効であり、同様の効果が得られる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明の工程管理方法および工程管理装置は、同一の処理を実施する複数の製造装置を備えており、複数の製造装置から選択された１つの製造装置にロットを割付した後、選択された製造装置において所定の処理を実施している生産工場においての使用に活用できる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の工程管理装置の一実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の一実施の形態を示すフローチャートである。
【図３】図１に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の他の実施の形態を示すフローチャートである。
【図４】本発明の工程管理装置の他の実施の形態の概略構成を示すブロック図である。
【図５】図４に示す工程管理装置を用いて実施される工程管理方法の一実施の形態を示すフローチャートである。
【符号の説明】
【００５０】
１  ロット割付部
２  工程定義部
３  工程制御部
４  装置稼動情報部
５  工程仕掛り情報部
６  工程管理部
７  製造装置
８  装置使用優先度記憶部
９  ロット処理優先度記憶部
【図１】
2007102281.tif 000003
【図２】
2007102281.tif 000004
【図３】
2007102281.tif 000005
【図４】
2007102281.tif 000006
【図５】
2007102281.tif 000007