(57)【要約】【課題】洗浄対象物の大きさや形状等に対応させて装置を作り替える必要がなく、低コストで確実に洗浄することができる洗浄装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】洗浄装置１０は、各々が略水平方向に延びるローラ軸３４とローラ軸３４に軸支されたローラ本体３５とを備えると共に上下に併設され、液晶表示パネル６０を上側及び下側から挟んで搬送する上側及び下側ローラ３２，３３からなるローラ対３１が複数設けられた搬送ユニット３０と、搬送ユニット３０で搬送される液晶表示パネル６０の表面を洗浄する洗浄ユニット４０と、を備える。【選択図】図３
2007175653.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
各々が略水平方向に延びるローラ軸と該ローラ軸に軸支されたローラ本体とを備えると共に上下に併設され、板状体を上側及び下側から挟んで搬送する上側及び下側ローラからなるローラ対が複数設けられた搬送ユニットと、
上記搬送ユニットで搬送される板状体の表面を洗浄する洗浄ユニットと、
を備えた洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載された洗浄装置において、
上記複数のローラ対は、ローラ軸直方向に等間隔に設けられている洗浄装置。
【請求項３】
請求項１に記載された洗浄装置において、
上記上側及び下側ローラのそれぞれは、上記ローラ軸に上記ローラ本体が複数軸支されて構成されている洗浄装置。
【請求項４】
請求項３に記載された洗浄装置において、
上記複数のローラ本体は、上記ローラ軸に等間隔に軸支されている洗浄装置。
【請求項５】
請求項１に記載された洗浄装置において、
上記ローラ対は、ローラ表面が弾性体で形成されている洗浄装置。
【請求項６】
請求項１に記載された洗浄装置において、
上記洗浄ユニットは、上記ローラ対で挟んで搬送される板状体の上側に設けられた上側洗浄部と板状体の下側に設けられた下側洗浄部とを備え、板状体を両側から洗浄するように構成されている洗浄装置。
【請求項７】
各々のローラ軸が略水平方向に延びるように上下に並設された複数のローラ対で板状体を上側及び下側から挟んで搬送しながら、板状体を洗浄する表示装置の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載された表示装置の製造方法において、
上記複数のローラ対は、各々板状体を上側及び下側から挟んで搬送する上側ローラ及び下側ローラで構成されると共に、上記上側及び下側ローラのすべてが同一の径となるように形成され且つ同一の回転速度で回転するように構成されている表示装置の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば表示装置に用いられる基板や偏光板等の洗浄装置及びそれを用いた表示装置の製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶表示装置の製造工程においては、表示パネルに用いるガラス基板や偏光板等の表面に付着した皮脂、樹脂又は処理液等の汚れを、その表面から除去する洗浄工程が設けられている。
【０００３】
このような基板等の洗浄工程に用いる洗浄装置として、例えば、特許文献１には、液晶パネルを保持する保持部材と、保持部材により保持された液晶パネルの表面に蒸気を噴出するための蒸気噴出ノズルと、保持部材と蒸気噴出ノズルとの間を所定の方向に沿って相対的に移動させる手段としての搬送ローラ及び基板抑え用ローラを具備するものが開示されている。そして、これによれば、汚れの再付着のない基板洗浄方法及びこれに用いる基板洗浄装置、並びに電気光学装置の製造方法を提供することができる、と記載されている。
【０００４】
また、特許文献２には、超音波振動が伝播される洗浄液によって基板を洗浄処理する超音波洗浄装置において、一端に搬入口、他端に搬出口が形成された洗浄槽と、上記基板を上記搬入口から搬入して上記搬出口から搬出する搬送ローラと、上記洗浄槽に洗浄液を供給してその液面を上記搬送手段によって搬送される基板の上面よりも高く維持するとともに上記搬入口と搬出口とから流出した洗浄液を回収する洗浄液の循環ポンプと、上記搬送ローラによって搬送される基板の上面側に配置されこの基板の上面側の洗浄液に一部を浸漬して設けられた超音波振動を発振する超音波発振器とを具備したことを特徴とすることが開示されている。そして、これによれば、搬送される基板の上面を効率よく確実に超音波洗浄することができるようにした超音波洗浄装置を提供することができる、と記載されている。
【特許文献１】特開2004-258368号公報
【特許文献２】特開2001-170583号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示された洗浄装置は、搬送ローラ及び基板抑え用ローラを独立させて設け、基板をその大きさや形状等に対応した保持手段により保持させなければならない。このため、大きさや形状等がそれぞれ異なる基板を洗浄する場合、それぞれ対応する保持手段を新たに設ける必要があり、洗浄工程にかけるコストが高くなるという問題がある。
【０００６】
また、特許文献２に開示された洗浄装置は、複数の搬送ローラ上に直接処理対象の基板を載置して搬送し、これに洗浄処理を施しているが、搬送ローラは基板の下面に設けられているのみである。このため、搬送速度や基板の種類によっては、搬送中に搬送ローラ上を基板が滑るおそれがあり、このような場合、確実に基板を搬送して洗浄することが困難となってしまうという問題がある。
【０００７】
本発明は、斯かる諸点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、洗浄対象物の大きさや形状等に対応させて装置を作り替える必要がなく、低コストで確実に洗浄することができる洗浄装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る洗浄装置は、各々が略水平方向に延びるローラ軸とローラ軸に軸支されたローラ本体とを備えると共に上下に併設され、板状体を上側及び下側から挟んで搬送する上側及び下側ローラからなるローラ対が複数設けられた搬送ユニットと、搬送ユニットで搬送される板状体の表面を洗浄する洗浄ユニットと、を備えたことを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、洗浄処理を施す板状体の上下方向からローラにより挟んで搬送するため、ローラ上で板状体が滑らず、確実に所定経路上を搬送することができる。また、大きさや形状が異なる板状体でも、それぞれに対応するように搬送ユニットを作り替える必要がないため洗浄装置の低コスト化が可能となる。さらに、上下に設けられた複数のローラのみが板状体に接触した状態で搬送するため、搬送ユニットによる二次的な汚染を抑制することができる。
【００１０】
また、本発明に係る洗浄装置は、複数のローラ対がローラ軸直方向に等間隔に設けられていてもよい。
【００１１】
このような構成によれば、複数のローラ対がローラ軸直方向に等間隔に設けられているため、搬送ユニットに複数の板状体を次々と送り込んでも、それらが均一な間隔を保って搬送される。従って、洗浄処理をそれぞれの板状体に対して確実に行うことができる。
【００１２】
さらに、本発明に係る洗浄装置は、上側及び下側ローラのそれぞれがローラ軸にローラ本体が複数軸支されて構成されていてもよい。
【００１３】
このような構成によれば、上側及び下側ローラのそれぞれがローラ軸にローラ本体が複数軸支されて構成されているため、板状体を挟持する狭持点がローラ軸方向に複数形成されている。従って、板状体をより確実に狭持して搬送することができる。
【００１４】
また、本発明に係る洗浄装置は、複数のローラ本体がローラ軸に等間隔に軸支されていてもよい。
【００１５】
このような構成によれば、複数のローラ本体がローラ軸に等間隔に軸支されているため、板状体を軸方向にバランス良く均等に狭持して搬送することができる。従って、板状体が搬送方向から曲がって進むことを抑制し、搬送経路上を確実に直進させることができる。
【００１６】
さらに、本発明に係る洗浄装置は、ローラ対のローラ表面が弾性体で形成されていてもよい。
【００１７】
このような構成によれば、ローラ対のローラ表面が弾性体で形成されているため、搬送中に板状体の表面を傷つけて損傷させることを抑制することができる。
【００１８】
また、本発明に係る洗浄装置は、洗浄ユニットが、ローラ対で挟んで搬送される板状体の上側に設けられた上側洗浄部と板状体の下側に設けられた下側洗浄部とを備え、板状体を両側から洗浄するように構成されていてもよい。
【００１９】
このような構成によれば、板状体を上側洗浄部と下側洗浄部とで同時に洗浄することができるため、洗浄効率が高くなる。
【００２０】
本発明に係る表示装置の製造方法は、各々のローラ軸が略水平方向に延びるように上下に並設された複数のローラ対で板状体を上側及び下側から挟んで搬送しながら、板状体を洗浄することを特徴とする。
【００２１】
このような構成によれば、洗浄処理を施す板状体の上下方向からローラにより挟んで搬送するため、ローラ上で板状体が滑らず、確実に所定経路上を搬送することができる。また、大きさや形状が異なる板状体でも、それぞれに対応するように搬送ユニットを作り替える必要がないため洗浄装置の低コスト化が可能となる。さらに、上下に設けられた複数のローラのみが板状体に接触した状態で搬送するため、搬送ユニットによる二次的な汚染を抑制することができる。
【００２２】
また、本発明に係る表示装置の製造方法は、複数のローラ対が、各々板状体を上側及び下側から挟んで搬送する上側ローラ及び下側ローラで構成されると共に、上記上側及び下側ローラのすべてが同一の径となるように形成され且つ同一の回転速度で回転するように構成されていてもよい。
【００２３】
このような構成によれば、板状体を搬送する複数のローラ対のすべてのローラが同一の径で形成されており且つ同一の回転速度で回転するように構成されているため、搬送ユニットに複数の板状体を次々と送り込んでも、それらが同一の速度で搬送されるため、均一な間隔を保って搬送される。従って、洗浄処理をそれぞれの板状体に対して確実に行うことができる。
【発明の効果】
【００２４】
以上説明したように、本発明によれば、洗浄対象物の大きさや形状等に対応させて装置を作り替える必要がなく、低コストで確実に洗浄することができる洗浄装置及びそれを用いた表示装置の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
（実施形態１）
本発明の実施形態１として、液晶表示装置に用いる液晶表示パネルの洗浄装置及びそれを用いた液晶表示装置の製造方法について図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００２６】
（洗浄装置の構成）
図１は、本発明の実施形態１に係る洗浄装置１０を、各構成ユニットごとに示した概略図である。洗浄装置１０は、パネル載置ユニット２０、パネル搬送ユニット３０、パネル洗浄ユニット４０、パネル引上げユニット５０及びこれらの動作を制御する不図示の制御部で構成されている。
【００２７】
パネル載置ユニット２０は、図２に示すように、ガイド２１、アーム基部２２、アーム２３、吸着部２４及びコンベア２５で構成されている。
【００２８】
ガイド２１は、長尺状に形成されており、液晶表示パネル６０がセットされたトレー６１の上方から、取り出したパネルを載置するコンベア２５の上方に亘って水平に設けられている。
【００２９】
アーム基部２２は、長尺状に形成されており、ガイド２１に対して垂直に交わるように設けられている。アーム基部２２は、ガイド２１との当接部において、ガイド２１に対して上下移動及び水平移動するための機能が備えられている。アーム基部２２は、その下方先端にアーム２３及び吸着部２４が設けられている。
【００３０】
アーム２３は、アーム基部２２から一旦水平方向に延びるように形成されており、途中で下方へ曲がるように形成されている。下方へ曲げられたアーム２３は、その先端内側でパネルを狭持するように内向きの押圧力を奏するように構成されている。また、先端が内側へ曲げられたアーム２３は、再度もとの水平方向へ戻るように構成されている。
【００３１】
吸着部２４は、アーム基部２２の下方先端に形成されている。吸着部２４は、その内部が内空に形成されており、その上面に内空まで到達する不図示の複数の吸引孔が形成されている。吸着部２４は、アーム基部２２の先端に形成された連通孔により、不図示の真空ポンプ等の減圧吸引装置と連通されている。
【００３２】
尚、吸着部２４は、吸着チャックをさらに形成することにより、パネルをより強固に吸引固定するように構成されていてもよい。
【００３３】
コンベア２５は、駆動軸２６及びコンベアベルト２７で構成されており、パネル搬送ユニット３０に隣接して設けられている。コンベア２５は、その上に載置されたパネルを水平方向へ搬送させ、パネル搬送ユニット３０へ送り込むように構成されている。
【００３４】
パネル搬送ユニット３０は、図３に示すように、パネル搬送方向に等間隔に配置された複数のローラ対３１で構成されている。
【００３５】
ローラ対３１は、それぞれ液晶表示パネル６０を上側及び下側から挟んで搬送する上側及び下側ローラ３２，３３で構成されており、上側及び下側ローラ３２，３３は、図４及び図５に示すように、それぞれ水平方向に延びるローラ軸３４とローラ軸３４に軸支された複数のローラ本体３５とで構成されている。ローラ対３１は、それらすべてが不図示の制御部に接続されている。
【００３６】
ローラ軸３４は、長尺の円柱状に形成されている。ローラ軸３４は、パネル搬送方向と水平面内において垂直な方向に等間隔に配置されている。ローラ軸３４は、鉄や鋼、又は、オーステナイト系、フェライト系、マルテンサイト系、析出硬化系等のステンレス等で形成されている。ローラ軸３４は、その先端で不図示の支持台に支持及び固定されている。
【００３７】
ローラ本体３５は、それぞれローラ軸３４に等間隔に軸支されている。ローラ本体３５は、例えば、シリコンゴム、熱可塑性エラストマー及びその他の合成ゴム等の任意の弾性ゴム材等で形成されている。ローラ本体３５は、所定厚のローラ幅となるように且つすべてが同一の径となるように形成されている。ローラ対３１の上側ローラ３２及び下側ローラ３３のそれぞれのローラ本体３５は、搬送するパネルの厚さと略同一かそれ以下の間隔を空けて互いに対向するように設けられている。
【００３８】
尚、ローラ本体３５は、それぞれローラ軸３４上に複数形成されていなくてもよい。即ち、ローラ本体３５がローラ軸３４の表面を長さ方向に連続して覆うように形成されていてもよい。
【００３９】
パネル洗浄ユニット４０は、図３に示すように、スチーム供給部４１、中圧シャワー供給部４２及びエアー供給部４３で構成されている。
【００４０】
スチーム供給部４１は、給水管に接続されたスチーム発生器（不図示）、スチーム発生器に接続された連結管４４及び連結管４４に接続されたスチームノズル４５で構成されている。スチーム発生器は、内部にボイラが設けられており、内部に導かれた水を加熱して高温の蒸気を生成する。
【００４１】
中圧シャワー供給部４２は、給水ポンプ（不図示）、給水ポンプに接続された連結管４６及び連結管４６に接続されたシャワーノズル４７で構成されている。
【００４２】
エアー供給部４３は、エアーポンプ（不図示）、エアーポンプに接続された連結管４８及び連結管４８に接続されたエアーノズル４９で構成されている。
【００４３】
スチーム供給部４１、中圧シャワー供給部４２及びエアー供給部４３のそれぞれの連結管４４，４６，４８は、スチーム発生器、給水ポンプ又はエアーポンプからそれぞれ延びて、図４に示すように、隣接する二つのローラ対３１のローラ軸３４間において、その上方及び下方にローラ対３１に並行するように設けられている。
【００４４】
スチームノズル４５、シャワーノズル４７及びエアーノズル４９は、それぞれそのノズル口が搬送されるパネルの表面に向かうように上下の連結管４４，４６，４８からそれぞれ延びるように設けられている。スチームノズル４５、シャワーノズル４７及びエアーノズル４９は、それぞれの連結管４４，４６，４８が延びる方向に各々等間隔に複数設けられている。スチームノズル４５、シャワーノズル４７及びエアーノズル４９のノズル口は、それぞれ、図６に示すように中央が盛り上がった形状に形成されており、先端に複数の噴出口が形成されている。従って、ノズル口から噴出されるスチームは放射状に広がって進む。
【００４５】
スチーム供給部４１、中圧シャワー供給部４２及びエアー供給部４３は、それぞれこの順に隣接するローラ対３１の間の上下に配置されている。
【００４６】
パネル引上げユニット５０は、図７に示すように、洗浄されてパネル搬送ユニット３０で搬送された液晶表示パネル６０が載置されるコンベア２５、コンベア２５上のパネルを吸着させて引き上げるアーム基部２２、アーム２３及び吸着部２４、パネルを狭持したアーム基部２２が伝って移動するためのガイド２１で構成されている。尚、これら各部の構成は、上述したパネル載置ユニット２０と同様である。
【００４７】
（液晶表示装置の製造方法）
次に、洗浄装置１０を用いた液晶表示装置の製造方法について説明する。
【００４８】
（パネル載置工程）
まず、図２に示すように、パネル載置ユニット２０に洗浄処理対象の液晶表示パネル６０を収容したトレー６１をセットする。液晶表示パネル６０は、液晶材料を狭持したＴＦＴ基板及びＣＦ基板で構成されている。次に、アーム基部２２がガイド２１に沿って水平に移動し、トレー６１上で止まる。次いで、アーム基部２２が下降して、トレー６１最上部の液晶表示パネル６０上に吸着部２４を押圧する。押圧した吸着部２４は真空引きによる吸引力で液晶表示パネル６０を吸着する。次に、アーム基部２２が上昇する。アーム基部２２が上昇すると吸着部２４で吸着された液晶表示パネル６０が持ち上げられる。次いで、アーム２３を下方へ曲げて、持ち上げた液晶表示パネル６０の端部を狭持する。次に、アーム基部２２の上昇を止める。次いで、液晶表示パネル６０を吸着保持したままアーム基部２２をコンベア２５の上方までガイド２１に沿って水平移動させる。次に、コンベア２５の上方まで移動させたアーム基部２２を下降させて、吸着保持している液晶表示パネル６０をコンベア２５上に載置する。次いで、パネル端部を狭持しているアーム２３を伸ばし、吸着部２４の真空引きによる吸引力を解除して液晶表示パネル６０を離す。次に、離した液晶表示パネル６０をコンベア２５でパネル搬送ユニット３０へ送る。
【００４９】
（パネル搬送工程及びパネル洗浄工程）
次に、パネル搬送ユニット３０へ送られた液晶表示パネル６０を、パネル上側及び下側ローラ３２，３３によるローラ対３１で狭持する。このとき、上側ローラ３２と下側ローラ３３とは、図３に示すように互いに逆方向に回転させているため、狭持した液晶表示パネル６０を搬送方向へと送り出す。一つのローラ対３１に狭持されて送り出された液晶表示パネル６０は、隣接するローラ対３１に狭持される前に、二つのローラ対３１の間に設けたスチーム供給部４１によって両表面がスチーム洗浄される。
【００５０】
スチーム洗浄は、まず、スチーム発生器内でヒータにより水を加熱することにより高温（１００℃）高圧（０．２Ｍｐａ程度）のスチームを生成する。次に、このスチームを連結管４４を通してスチームノズル４５からパネル両表面へと放射状に噴射させることにより行う。パネル両表面に同時に噴射された高温高圧のスチームは、パネル全面に広がることにより、液晶表示パネル６０の汚れを短時間で効率良く除去する。
【００５１】
スチーム洗浄された液晶表示パネル６０は、さらにローラ対３１で狭持されて送り出されることにより、今度は中圧シャワー供給部４２によりシャワー洗浄が施される。
【００５２】
シャワー洗浄は、まず、給水ポンプから中圧の水流を連結管４６を通してシャワーノズル４７へと送り、シャワーノズル４７からパネル両表面へ中圧シャワーとして放射状に噴射することにより行う。パネル両表面に同時に噴射された中圧シャワーは、パネル全面に広がることにより、液晶表示パネル６０上に残ったスチーム洗浄による皮脂や樹脂等の残渣を短時間で効率良く除去する。
【００５３】
シャワー洗浄された液晶表示パネル６０は、さらにローラ対３１で狭持されて送り出されることにより、今度はエアー供給部４３によりエアー乾燥が施される。
【００５４】
エアー乾燥は、まず、エアーポンプから高圧のエアーを連結管４８を通してエアーノズル４９へと送り、エアーノズル４９からパネル両表面へ高圧エアーとして放射状に噴射することにより行う。パネル両表面に同時に噴射された高圧エアーは、パネル全面に広がることにより、液晶表示パネル６０上の水分を短時間で効率良く除去する。
【００５５】
ローラ対３１は引き続き液晶表示パネル６０を狭持して送り出すことにより、隣接して設けられたコンベア２５へ洗浄・乾燥を施した液晶表示パネル６０を搬送する。
【００５６】
また、液晶表示パネル６０は、パネル載置ユニット２０からパネル搬送ユニット３０へ次々と連続して送り出して、パネル搬送ユニット３０で次々と搬送しながら洗浄する。パネル搬送ユニット３０を構成するローラ対３１は、それぞれ同径のローラ本体３５を有し、同速で回転するため、液晶表示パネル６０は次々と同速で搬送される。従って、複数の液晶表示パネル６０を、互いに衝突せずにスムーズに搬送することができる。
【００５７】
（パネル引上げ工程）
次いで、図７に示すように、洗浄・乾燥を終えた液晶表示パネル６０を、ローラ対３１からパネル引上げユニット５０のコンベア２５上に送り出して載置する。次に、アーム基部２２がガイド２１に沿って水平に移動し、コンベア２５上で止まる。次いで、アーム基部２２が下降して、液晶表示パネル６０上に吸着部２４を押圧する。押圧した吸着部２４は真空引きによる吸引力で液晶表示パネル６０を吸着する。次に、アーム基部２２が上昇する。アーム基部２２が上昇すると吸着部２４で吸着された液晶表示パネル６０が持ち上げられる。次いで、アーム２３を下方へ曲げて、持ち上げた液晶表示パネル６０の端部を狭持する。次に、アーム基部２２の上昇を止める。次いで、液晶表示パネル６０を吸着保持したままアーム基部２２をガイド２１に沿って水平移動させて、次の工程へ移る。
【００５８】
以上のように液晶表示パネル６０を洗浄し、この液晶表示パネル６０を用いて液晶表示装置を作製する。
【００５９】
（実施形態２）
本発明の実施形態２として、液晶表示装置に用いる偏光板の洗浄装置７０及びそれを用いた液晶表示装置の製造方法について図面に基づいて詳細に説明する。尚、本発明は、以下の実施形態に限定されるものではない。
【００６０】
また、実施形態１と同様の構成物については、同符号を付し、その説明を省略する。
【００６１】
（洗浄装置７０の構成）
図８は、本発明の実施形態２に係る洗浄装置７０を各構成ユニットごとに示した概略図である。洗浄装置７０は、偏光板載置ユニット８０、偏光板搬送ユニット９０、偏光板洗浄ユニット１００、偏光板引上げユニット１１０及びこれらの動作を制御する不図示の制御部で構成されている。
【００６２】
偏光板載置ユニット８０は、図９に示すように、ガイド２１、支持部８１、吸着部２４、エアー供給部８２、厚さ測定部８３及びコンベア２５で構成されている。
【００６３】
支持部８１は、長尺状に形成されており、ガイド２１に対して垂直に交わるように２部が並列して設けられている。支持部８１は、ガイド２１との当接部において、ガイド２１に対して上下移動及び水平移動するための機能が備えられている。２つの支持部８１の上昇は、それぞれ交互に行われるように構成されている。支持部８１は、その下方先端に吸着部２４が設けられている。
【００６４】
エアー供給部８２は、エアーポンプ、エアーポンプに接続された連結管（以上不図示）及び連結管に接続されたエアーノズル８４で構成されている。エアーノズル８４は、そのノズル口が偏光板ホルダ１２０に重ねて載置された偏光板１２１の側方へ向くように設けられている。
【００６５】
厚さ測定部８３は、支持部８１の上昇位置の側方に設けられている。厚さ測定部８３は、一定の間隔を空けて並列する２本の棒状センサがそれぞれ水平方向に設けられている。
【００６６】
偏光板洗浄ユニット１００は、図１０に示すように、スチーム供給部４１及びエアー供給部４３で構成されている。スチーム供給部４１及びエアー供給部４３の各ノズルは、それぞれこの順に隣接するローラ対３１の間の上下に配置されている。
【００６７】
偏光板引上げユニット１１０は、図１１に示すように、洗浄されて偏光板搬送ユニット９０で搬送された偏光板１２１が載置されるコンベア２５、コンベア２５上の偏光板１２１を吸着させて引き上げる支持部８１及び吸着部２４、偏光板１２１を狭持した支持部８１が伝って移動するためのガイド２１で構成されている。
【００６８】
（液晶表示装置の製造方法）
次に、洗浄装置７０を用いた液晶表示装置の製造方法について説明する。
【００６９】
（偏光板載置工程）
まず、図９に示すように、偏光板載置ユニット８０に洗浄処理対象の偏光板１２１を収容した偏光板ホルダ１２０をセットする。次に、支持部８１がガイド２１に沿って水平に移動し、偏光板ホルダ１２０上で止まる。次いで、支持部８１が下降して、偏光板ホルダ１２０最上部の偏光板１２１上にそれぞれの吸着部２４を押圧する。押圧した吸着部２４は真空引きによる吸引力で偏光板１２１を吸着する。次に、支持部８１が交互に上昇する。支持部８１が交互に上昇すると吸着部２４で吸着された偏光板１２１が段差をつけて持ち上げられる。偏光板１２１を持ち上げると同時に、エアーノズル８４から偏光板１２１の側方にエアーを噴射させる。偏光板１２１がもし静電気による引力等により２枚取りされていれば、このエアーによって吸着されていない下側の偏光板１２１が離れ、偏光板１２１の２枚取りを防ぐ。  次いで、支持部８１の上昇を止めて、側方から厚さ測定部８３を水平に移動させて、２本の棒状センサで持ち上げた偏光板１２１を上下から挟み込む。ここで、予め設定した一枚の偏光板１２１の厚さと、実際に棒状センサで検知した偏光板１２１の厚さが同一であれば、次のガイド２１による水平移動へ移行する。一方、予め設定した一枚の偏光板１２１の厚さよりも厚さが大きければ、２枚取りをしているものと見なして支持部８１を下降させて、一旦偏光板ホルダ１２０上に載置する。そして再度同様の動作を、厚さ測定部８３で一枚の偏光板１２１と見なされるまで繰り返す。
【００７０】
厚さ測定部８３で一枚の偏光板１２１であると見なされた偏光板１２１に対し、続いてガイド２１に沿って支持部８１によってコンベア２５の上方までガイド２１に沿って水平移動させる。次に、コンベア２５の上方まで移動させた支持部８１を下降させて、吸着保持している偏光板１２１をコンベア２５上に載置する。次いで、吸着部２４の真空引きによる吸引力を解除して偏光板１２１を離す。次に、離した偏光板１２１をコンベア２５で偏光板搬送ユニット９０へ送る。
【００７１】
（偏光板搬送工程及び偏光板洗浄工程）
次に、偏光板搬送ユニット９０へ送られた偏光板１２１を、偏光板１２１上側及び下側ローラ３２，３３によるローラ対３１で狭持する。このとき、上側ローラ３２と下側ローラ３３とは、図１０に示すように互いに逆方向に回転させているため、狭持した偏光板１２１を搬送方向へと送り出す。一つのローラ対３１に狭持されて送り出された偏光板１２１は、隣接するローラ対３１に狭持される前に、二つのローラ対３１の間に設けたスチーム供給部４１によって両表面が（１００℃）高圧（０．２Ｍｐａ程度）のスチームでスチーム洗浄される。偏光板１２１両表面に同時に噴射された高温高圧のスチームは、偏光板１２１全面に広がることにより、偏光板１２１の汚れを短時間で効率良く除去する。
【００７２】
スチーム洗浄された偏光板１２１は、さらにローラ対３１で狭持されて送り出されることにより、今度はエアー供給部８２により高圧エアーでエアー乾燥が施される。偏光板１２１両表面に同時に噴射された高圧エアーは、偏光板１２１全面に広がることにより、偏光板１２１上の水分を短時間で効率良く除去する。
【００７３】
ローラ対３１は引き続き偏光板１２１を狭持して送り出すことにより、隣接して設けられたコンベア２５へ洗浄・乾燥を施した偏光板１２１を搬送する。
【００７４】
また、偏光板１２１は、偏光板載置ユニット８０から偏光板搬送ユニット９０へ次々と連続して送り出して、偏光板搬送ユニット９０で次々と搬送しながら洗浄する。偏光板搬送ユニット９０を構成するローラ対３１は、それぞれ同径のローラ本体３５を有し、同速で回転するため、偏光板１２１は次々と同速で搬送される。従って、複数の偏光板１２１を、互いに衝突せずにスムーズに搬送することができる。
【００７５】
（偏光板引上げ工程）
続いて、図１１０に示すように、洗浄・乾燥を終えた偏光板１２１を、ローラ対３１から偏光板引上げユニット１１０のコンベア２５上に送り出して載置する。次に、２つの支持部８１がガイド２１に沿って水平に移動し、コンベア２５上で止まる。次いで、支持部８１が下降して、偏光板１２１上に吸着部２４を押圧する。押圧した吸着部２４は真空引きによる吸引力で偏光板１２１を吸着する。次に、支持部８１が上昇する。支持部８１が上昇すると吸着部２４で吸着された偏光板１２１が持ち上げられる。次に、支持部８１の上昇を止め、偏光板１２１を吸着保持したまま支持部８１をガイド２１に沿って水平移動させて、次の工程へ移る。
【００７６】
以上のように偏光板１２１を洗浄し、この偏光板１２１を用いて液晶表示装置を作製する。
【００７７】
また、本実施形態では、ＬＣＤ（liquid crystal display；液晶表示ディスプレイ）の製造工程における液晶表示パネル及び偏光板の洗浄装置７０及びその製造方法について示したが、ＰＤＰ（plasma display panel；プラズマディスプレイパネル）、有機ＥＬ（organic electroluminescence ）、ＦＥＤ（field emission display；電界放出ディスプレイ）、又は、ＳＥＤ（surface-conduction electron-emitter display；表面電界ディスプレイ）等に係る表示パネル等の洗浄及び製造に係るものであってもよい。
【００７８】
（作用効果）
次に作用効果について説明する。
【００７９】
本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、各々が略水平方向に延びるローラ軸３４とローラ軸３４に軸支されたローラ本体３５とを備えると共に上下に併設され、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を上側及び下側から挟んで搬送する上側及び下側ローラ３２，３３からなるローラ対３１が複数設けられた搬送ユニット３０，９０と、搬送ユニット３０，９０で搬送される液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の表面を洗浄する洗浄ユニット４０，１００と、を備えたことを特徴とする。
【００８０】
このような構成によれば、洗浄処理を施す液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の上下方向からローラにより挟んで搬送するため、ローラ上で液晶表示パネル６０又は偏光板１２１が滑らず、確実に所定経路上を搬送することができる。また、大きさや形状が異なる液晶表示パネル６０又は偏光板１２１でも、それぞれに対応するように搬送ユニット３０，９０を作り替える必要がないため洗浄装置１０，７０の低コスト化が可能となる。さらに、上下に設けられた複数のローラのみが液晶表示パネル６０又は偏光板１２１に接触した状態で搬送するため、搬送ユニット３０，９０による二次的な汚染を抑制することができる。
【００８１】
また、本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、複数のローラ対３１がローラ軸３４直方向に等間隔に設けられていてもよい。
【００８２】
このような構成によれば、複数のローラ対３１がローラ軸３４直方向に等間隔に設けられているため、搬送ユニット３０，９０に複数の液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を次々と送り込んでも、それらが均一な間隔を保って搬送される。従って、洗浄処理をそれぞれの液晶表示パネル６０又は偏光板１２１に対して確実に行うことができる。
【００８３】
さらに、本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、上側及び下側ローラ３２，３３のそれぞれがローラ軸３４にローラ本体３５が複数軸支されて構成されていてもよい。
【００８４】
このような構成によれば、上側及び下側ローラ３２，３３のそれぞれがローラ軸３４にローラ本体３５が複数軸支されて構成されているため、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を挟持する狭持点がローラ軸３４方向に複数形成されている。従って、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１をより確実に狭持して搬送することができる。
【００８５】
また、本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、複数のローラ本体３５がローラ軸３４に等間隔に軸支されていてもよい。
【００８６】
このような構成によれば、複数のローラ本体３５がローラ軸３４に等間隔に軸支されているため、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を軸方向にバランス良く均等に狭持して搬送することができる。従って、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１が搬送方向から曲がって進むことを抑制し、搬送経路上を確実に直進させることができる。
【００８７】
さらに、本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、ローラ対３１のローラ表面が弾性体で形成されていてもよい。
【００８８】
このような構成によれば、ローラ対３１のローラ表面が弾性体で形成されているため、搬送中に液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の表面を傷つけて損傷させることを抑制することができる。
【００８９】
また、本実施形態１及び２に係る洗浄装置１０，７０は、洗浄ユニット４０，１００が、ローラ対３１で挟んで搬送される液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の上側に設けられた上側洗浄部と液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の下側に設けられた下側洗浄部とを備え、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を両側から洗浄するように構成されていてもよい。
【００９０】
このような構成によれば、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を上側洗浄部と下側洗浄部とで同時に洗浄することができるため、洗浄効率が高くなる。
【００９１】
本実施形態１及び２に係る液晶表示装置の製造方法は、各々のローラ軸３４が略水平方向に延びるように上下に並設された複数のローラ対３１で液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を上側及び下側から挟んで搬送しながら、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を洗浄することを特徴とする。
【００９２】
このような構成によれば、洗浄処理を施す液晶表示パネル６０又は偏光板１２１の上下方向からローラにより挟んで搬送するため、ローラ上で液晶表示パネル６０又は偏光板１２１が滑らず、確実に所定経路上を搬送することができる。また、大きさや形状が異なる液晶表示パネル６０又は偏光板１２１でも、それぞれに対応するように搬送ユニット３０，９０を作り替える必要がないため洗浄装置１０，７０の低コスト化が可能となる。さらに、上下に設けられた複数のローラのみが液晶表示パネル６０又は偏光板１２１に接触した状態で搬送するため、搬送ユニット３０，９０による二次的な汚染を抑制することができる。
【００９３】
また、本実施形態１及び２に係る液晶表示装置の製造方法は、複数のローラ対３１が、各々液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を上側及び下側から挟んで搬送する上側ローラ及び下側ローラで構成されると共に、上記上側及び下側ローラ３２，３３のすべてが同一の径となるように形成され且つ同一の回転速度で回転するように構成されていてもよい。
【００９４】
このような構成によれば、液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を搬送する複数のローラ対３１のすべてのローラが同一の径で形成されており且つ同一の回転速度で回転するように構成されているため、搬送ユニット３０，９０に複数の液晶表示パネル６０又は偏光板１２１を次々と送り込んでも、それらが同一の速度で搬送されるため、均一な間隔を保って搬送される。従って、洗浄処理をそれぞれの液晶表示パネル６０又は偏光板１２１に対して確実に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００９５】
以上説明したように、本発明は、例えば表示装置に用いられる基板や偏光板等の洗浄装置及びそれを用いた表示装置の製造方法について有用である。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】本発明の実施形態１に係る洗浄装置１０を、各構成ユニットごとに示した概略図である。
【図２】本発明の実施形態１に係るパネル載置ユニット２０の模式図である。
【図３】本発明の実施形態１に係るパネル搬送ユニット３０及びパネル洗浄ユニット４０の側方側から見た模式図である。
【図４】本発明の実施形態１に係るパネル搬送ユニット３０及びパネル洗浄ユニット４０の上方側から見た模式図である。
【図５】本発明の実施形態１に係るパネル搬送ユニット３０及びパネル洗浄ユニット４０の各処理位置の拡大図である。
【図６】本発明の実施形態１に係るスチームノズル４５、シャワーノズル４７及びエアーノズル４９のノズル口の拡大図である。
【図７】本発明の実施形態１に係るパネル引上げユニット５０の模式図である。
【図８】本発明の実施形態２に係る洗浄装置７０を、各構成ユニットごとに示した概略図である。
【図９】本発明の実施形態２に係る偏光板載置ユニット８０の模式図である。
【図１０】本発明の実施形態２に係る偏光板搬送ユニット９０及び偏光板洗浄ユニット１００の側方側から見た模式図である。
【図１１】本発明の実施形態２に係る偏光板引上げユニット１１０の模式図である。
【符号の説明】
【００９７】
１０，７０  洗浄装置
２０  パネル載置ユニット
３０  パネル搬送ユニット
３１  ローラ対
３２  上側ローラ
３３  下側ローラ
３４  ローラ軸
３５  ローラ本体
４０  パネル洗浄ユニット
４１  スチーム供給部
４２  中圧シャワー供給部
４３  エアー供給部
４４，４６，４８  連結管
４５  スチームノズル
４７  シャワーノズル
４９  エアーノズル
５０  パネル引上げユニット
６０  液晶表示パネル
８０  偏光板載置ユニット
９０  偏光板搬送ユニット
１００  偏光板洗浄ユニット
１１０  偏光板引上げユニット
１２１  偏光板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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