(57)【要約】【課題】ヘッドプレートに搭載した機能液滴吐出ヘッドの位置調整を、自己完結で行うことができるヘッドユニット、およびこれを備えた液滴吐出装置等を提供する。【解決手段】ヘッド保持部材３１の両端部３１ａ，３１ａに当接し、機能液滴吐出ヘッド２２をＸ軸方向およびＹ軸方向に微少移動させる一対の圧電素子ユニット３３，３３と、ヘッド保持部材３１をヘッドプレート３２に固定する一対のヘッド固定機構３４，３４と、を備え、各ヘッド固定機構３４は、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａをヘッドプレート３２に固定する固定子５８と、固定子５８を、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａをヘッドプレート３２に固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段５９と、を有している。【選択図】図２
2007136254.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドを、これに固定したヘッド保持部材を介してヘッドプレートに位置調整自在に取り付けたヘッドユニットであって、
前記ヘッド保持部材の両端部に当接し、前記機能液滴吐出ヘッドを、前記ヘッドプレートの平面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に微少移動させる一対の圧電素子ユニットと、
前記ヘッド保持部材の両端部に臨み、前記ヘッド保持部材を前記ヘッドプレートに固定する一対のヘッド固定機構と、を備え、
前記各ヘッド固定機構は、前記ヘッド保持部材の各端部を前記ヘッドプレートに固定する固定子と、前記固定子を、前記ヘッド保持部材の各端部を前記ヘッドプレートに固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段と、を有していることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項２】
前記各圧電素子ユニットは、前記ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する当接ヘッドと、
前記当接ヘッドに組み込まれ、前記当接ヘッドをＸ軸方向に振動させるＸ軸圧電素子と、
前記当接ヘッドに組み込まれ、前記当接ヘッドをＹ軸方向に振動させるＹ軸圧電素子と、
前記当接ヘッドに組み込まれ、前記当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、
前記Ｘ軸圧電素子、前記Ｙ軸圧電素子および前記Ｚ軸圧電素子を個別に駆動するコントローラと、を有し、
前記コントローラは、前記ヘッド保持部材に対し、前記Ｚ軸圧電素子と前記Ｘ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＸ軸方向の正逆の移動調整を行うと共に前記Ｚ軸圧電素子と前記Ｙ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＹ軸方向の正逆の移動調整を行うことを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項３】
前記各圧電素子ユニットは、前記ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する第１当接ヘッドと、前記第１当接ヘッドに組み込まれ、前記第１当接ヘッドをＸ軸方向に振動させるＸ軸圧電素子と、前記第１当接ヘッドに組み込まれ、前記第１当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、を含むＸ軸圧電素子ユニットと、
前記ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する第２当接ヘッドと、前記第２当接ヘッドに組み込まれ、前記第２当接ヘッドをＹ軸方向に振動させるＹ軸圧電素子と、前記第２当接ヘッドに組み込まれ、前記第２当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、を含むＹ軸圧電素子ユニットと、
前記Ｘ軸圧電素子、前記Ｙ軸圧電素子および前記両Ｚ軸圧電素子を個別に駆動するコントローラと、を有し、
前記コントローラは、前記ヘッド保持部材に対し、前記Ｘ軸圧電素子ユニットの前記Ｚ軸圧電素子と前記Ｘ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＸ軸方向の正逆の移動調整を行うと共に前記Ｙ軸圧電素子ユニットの前記Ｚ軸圧電素子と前記Ｙ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＹ軸方向の正逆の移動調整を行うことを特徴とする請求項１に記載のヘッドユニット。
【請求項４】
前記固定子移動手段は、アクチュエータを有し、
前記コントローラは、前記固定子移動手段の駆動を更に制御し、
前記固定子移動手段により、前記固定子を前記半固定位置とした状態で、前記両圧電素子ユニットを駆動することを特徴とする請求項２または３に記載のヘッドユニット。
【請求項５】
機能液滴吐出ヘッドを、これに固定したヘッド保持部材を介してヘッドプレートに位置調整自在に取り付けたヘッドユニットであって、
前記ヘッド保持部材を介して前記機能液滴吐出ヘッドを、前記ヘッドプレートの平面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に微少移動させる微少移動機構と、
前記ヘッド保持部材の両端部に臨み、前記ヘッド保持部材を前記ヘッドプレートに固定する一対のヘッド固定機構と、を備え、
前記微少移動機構は、前記ヘッド保持部材の一方の長辺の両端部に当接し、前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に微少移動させる一対のＸ軸圧電モジュールと、前記ヘッド保持部材の他方の長辺の両端部に当接し、前記各Ｘ軸圧電モジュールに抗して前記ヘッド保持部材を付勢する一対のＸ軸ばねと、前記ヘッド保持部材の一方の短辺に当接し、前記機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に微少移動させるＹ軸圧電モジュールと、前記ヘッド保持部材の他方の短辺に当接し、前記Ｙ軸圧電モジュールに抗して前記ヘッド保持部材を付勢するＹ軸ばねと、前記両Ｘ軸圧電モジュールおよび前記Ｙ軸圧電モジュールを個別に駆動すると共に、前記両Ｘ軸圧電モジュールの変位量および前記Ｙ軸圧電モジュールの変位量をそれぞれ制御するコントローラと、を有し、
前記各ヘッド固定機構は、前記ヘッド保持部材の各端部を前記ヘッドプレートに固定する固定子と、前記固定子を、前記ヘッド保持部材の各端部を前記ヘッドプレートに固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段と、を有していることを特徴とするヘッドユニット。
【請求項６】
前記固定子移動手段は、アクチュエータを有し、
前記コントローラは、前記固定子移動手段の駆動を更に制御し、
前記固定子移動手段により、前記固定子を前記半固定位置とした状態で、前記一対のＸ軸圧電モジュールおよび前記Ｙ軸圧電モジュールを駆動することを特徴とする請求項５に記載のヘッドユニット。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドの駆動に同期して、ワークに対し前記ヘッドユニットを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
前記機能液滴吐出ヘッドを画像認識する画像認識手段と、
画像認識の認識結果を前記機能液滴吐出ヘッドの基準位置データと比較して、前記機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向のズレ量を求めるズレ量取得手段と、を更に備え、
前記一対の圧電素子ユニットは、前記ズレ量に基づいて前記機能液滴吐出ヘッドを位置補正することを特徴とする請求項７に記載の液滴吐出装置。
【請求項９】
前記画像認識手段は、相互に位置決めされ、前記機能液滴吐出ヘッドにおける離間した２点を同時に画像認識する一対の撮像カメラで構成されていることを特徴とする請求項７または８に記載の液滴吐出装置。
【請求項１０】
前記機能液滴吐出ヘッドの短辺方向がＸ軸方向であって長辺方向がＹ軸方向であり、
θ方向の位置補正では、一方の前記圧電素子ユニットの前記Ｚ軸圧電素子および前記Ｘ圧電素子を駆動すると共に他方の前記圧電素子ユニットの前記Ｚ軸圧電素子のみ駆動することを特徴とする請求項７ないし９のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１１】
前記機能液滴吐出ヘッドの基準位置データは、前記ヘッドプレートに代えてセットされると共に、前記機能液滴吐出ヘッドの基準位置をパターン形成したアライメントマスクを画像認識して、取得されることを特徴とする請求項７ないし１０のいずれかに記載の液滴吐出装置。
【請求項１２】
請求項５または６に記載のヘッドユニットと、
前記機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドの駆動に同期して、ワークに対し前記ヘッドユニットを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１３】
前記機能液滴吐出ヘッドを画像認識する画像認識手段と、
画像認識の認識結果を前記機能液滴吐出ヘッドの基準位置データと比較して、前記機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向のズレ量を求めるズレ量取得手段と、を更に備え、
前記微少移動機構は、前記ズレ量に基づいて前記機能液滴吐出ヘッドを位置補正することを特徴とする請求項１２に記載の液滴吐出装置。
【請求項１４】
請求項７ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１５】
請求項７ないし１３のいずれかに記載の液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１６】
請求項１４に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１５に記載の電気光学装置を搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを、これに固定したヘッド保持部材を介してヘッドプレートに位置調整自在に取り付けたヘッドユニット、およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のヘッドユニットとして、複数の機能液滴吐出ヘッドを単一のサブキャリッジ（ヘッドプレート）に固定したものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このヘッドユニットは、専用の組立装置で組み立てられるようになっており、この組立装置は、ヘッドプレートを支持する設置台と、機能液滴吐出ヘッドに係合し機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向・Ｙ軸方向・θ方向に移動させるモータ駆動のヘッド部位置調整手段と、機能液滴吐出ヘッドを撮像する画像取得手段と、を備えている。
機能液滴吐出ヘッドをヘッドプレートに組み付ける場合には、予め設置台上にアライメントされたヘッドプレートに対し、機能液滴吐出ヘッドを仮固定しておいて、画像取得手段により、機能液滴吐出ヘッドの２つの基準点を撮像し、この撮像結果とデータ上の基準位置とが合致するように、ヘッド部位置調整手段を駆動する。これにより、位置決めされたサブキャリッジに機能液滴吐出ヘッドが位置決めされる。さらにこの状態で、接着剤により機能液滴吐出ヘッドをサブキャリッジに仮固定した後、ねじ止めにより本固定するようになっている。
【特許文献１】特開２００１−１６２８９２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、このような従来のヘッドユニットでは、ヘッドプレートに対する機能液滴吐出ヘッドの位置調整は、組立装置でしか行うことができないため、例えばヘッドユニットを液滴吐出装置に搭載した後に、ヘッドプレートの熱膨張等により、機能液滴吐出ヘッドの位置に狂い（特にθ方向）が生じた場合、対処のすべがなかった。
【０００４】
本発明は、ヘッドプレートに搭載した機能液滴吐出ヘッドの位置調整を、自己完結で行うことができるヘッドユニット、およびこれを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のヘッドユニットは、機能液滴吐出ヘッドを、これに固定したヘッド保持部材を介してヘッドプレートに位置調整自在に取り付けたヘッドユニットであって、ヘッド保持部材の両端部に当接し、機能液滴吐出ヘッドを、ヘッドプレートの平面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に微少移動させる一対の圧電素子ユニットと、ヘッド保持部材の両端部に臨み、ヘッド保持部材をヘッドプレートに固定する一対のヘッド固定機構と、を備え、各ヘッド固定機構は、ヘッド保持部材の各端部をヘッドプレートに固定する固定子と、固定子を、ヘッド保持部材の各端部をヘッドプレートに固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段と、を有していることを特徴とする。
【０００６】
この場合、固定子移動手段は、アクチュエータを有し、コントローラは、固定子移動手段の駆動を更に制御し、固定子移動手段により、固定子を半固定位置とした状態で、両圧電素子ユニットを駆動することが、好ましい。
【０００７】
この構成によれば、固定子移動手段の固定子を半固定位置に移動させ、ヘッド保持部材を半固定としておいて、一対の圧電素子ユニットを同時或いは交互に駆動し、ヘッド保持部材の両端部をＸ軸方向およびＹ軸方向に適宜微小移動させる。これにより、外部装置を用いることなく、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向に自在に位置調整することができる。すなわち、ヘッドプレートに搭載した機能液滴吐出ヘッドの位置調整を自己完結的に行うことができる。したがって、これを液滴吐出装置等に搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッドの位置補正や、機能液滴吐出ヘッドの積極的な角度変更等を自在に行うことができる。
【０００８】
なお、固定子移動手段のアクチュエータとしては、モータ、ソレノイド、空気圧シリンダ、油圧シリンダのいずれかであることが、好ましい。より具体的には、
固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させるリードねじと、リードねじを正逆回転させるモータと、で構成すること、
或いは、固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させるソレノイド、で構成すること、
或いは、固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させる空気圧シリンダまたは油圧シリンダ、で構成することが、好ましい。
【０００９】
この場合、各圧電素子ユニットは、ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する当接ヘッドと、当接ヘッドに組み込まれ、当接ヘッドをＸ軸方向に振動させるＸ軸圧電素子と、当接ヘッドに組み込まれ、当接ヘッドをＹ軸方向に振動させるＹ軸圧電素子と、当接ヘッドに組み込まれ、当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、Ｘ軸圧電素子、Ｙ軸圧電素子およびＺ軸圧電素子を個別に駆動するコントローラと、を有し、コントローラは、ヘッド保持部材に対し、Ｚ軸圧電素子とＸ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＸ軸方向の正逆の移動調整を行うと共にＺ軸圧電素子とＹ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＹ軸方向の正逆の移動調整を行うことが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、Ｚ軸圧電素子を駆動すると同時にＸ軸圧電素子を駆動し、且つ両者の振動周期の位相差を調整することにより、当接ヘッドに微小な正逆の推進力が付与される。このため、当接ヘッドが当接するヘッド保持部材の各端部は、Ｘ軸方向の正逆に微少移動することになる。すなわち、当接ヘッドは、Ｚ軸圧電素子の駆動によりＺ軸方向に振動してヘッド保持部材に離接することになるが、この接触したタイミングで、Ｘ軸圧電素子による振動の正方向の変位を作用させると、ヘッド保持部材は当接ヘッドにより正方向に変位分微少移動する。続く離間のタイミングで、Ｘ軸圧電素子による振動の逆方向の変位を作用させると、ヘッド保持部材にはこの変位は伝達されず、ヘッド保持部材は同位置を維持する。この動作が振動周期として繰り返されるため、ヘッド保持部材は正方向に微少に間欠移動する。また、この状態から位相を９０°ずらせば、ヘッド保持部材は逆方向に微少に間欠移動する。同様に、Ｚ軸圧電素子を駆動すると同時にＹ軸圧電素子を駆動し、且つ両者の振動周期の位相差を調整することにより、当接ヘッドが当接するヘッド保持部材の各端部は、Ｙ軸方向に正逆の微少な間欠移動することになる。これにより、機能液滴吐出ヘッドの位置調整を精度良く且つ自在に行うことができる。なお、当接ヘッドにバランス良く振動を付与するためには、当接ヘッドの対向位置にそれぞれＸ軸圧電素子およびＹ軸圧電素子を一対ずつ組み込むことが、好ましい。また、コントローラは、振動周期や振幅、印加電圧等を可変可能とし、間欠移動の移動量（変位量）や速度を制御できるようにすることが、好ましい。
【００１１】
同様に、各圧電素子ユニットは、ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する第１当接ヘッドと、第１当接ヘッドに組み込まれ、第１当接ヘッドをＸ軸方向に振動させるＸ軸圧電素子と、第１当接ヘッドに組み込まれ、第１当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、を含むＸ軸圧電素子ユニットと、ヘッド保持部材の各端部に対しＺ軸方向に当接する第２当接ヘッドと、第２当接ヘッドに組み込まれ、第２当接ヘッドをＹ軸方向に振動させるＹ軸圧電素子と、第２当接ヘッドに組み込まれ、第２当接ヘッドをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子と、を含むＹ軸圧電素子ユニットと、Ｘ軸圧電素子、Ｙ軸圧電素子および両Ｚ軸圧電素子を個別に駆動するコントローラと、を有し、コントローラは、ヘッド保持部材に対し、Ｘ軸圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子とＸ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＸ軸方向の正逆の移動調整を行うと共にＹ軸圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子とＹ軸圧電素子とを同時に駆動させその位相差でＹ軸方向の正逆の移動調整を行うことが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、Ｘ軸圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子を駆動すると同時にＸ軸圧電素子を駆動し、且つ両者の振動周期の位相差を調整することにより、第１当接ヘッドが当接するヘッド保持部材の各端部は、Ｘ軸方向に正逆の微少な間欠移動することになる。同様に、Ｙ軸圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子を駆動すると同時にＹ軸圧電素子を駆動し、且つ両者の振動周期の位相差を調整することにより、第２当接ヘッドが当接するヘッド保持部材の各端部は、Ｙ軸方向に正逆の微少な間欠移動することになる。これにより、機能液滴吐出ヘッドの位置調整を精度良く且つ自在に行うことができる。なお、当接ヘッドにバランス良く振動を付与するためには、各当接ヘッドの対向位置にそれぞれＸ軸圧電素子およびＹ軸圧電素子を一対ずつ組み込むことが、好ましい。また、コントローラは、振動周期や振幅、印加電圧等を可変可能とし、間欠移動の移動量（変位量）や速度を制御できるようにすることが、好ましい。
【００１３】
本発明の他のヘッドユニットは、機能液滴吐出ヘッドを、これに固定したヘッド保持部材を介してヘッドプレートに位置調整自在に取り付けたヘッドユニットであって、ヘッド保持部材を介して機能液滴吐出ヘッドを、ヘッドプレートの平面内においてＸ軸方向およびＹ軸方向に微少移動させる微少移動機構と、ヘッド保持部材の両端部に臨み、ヘッド保持部材をヘッドプレートに固定する一対のヘッド固定機構と、を備え、微少移動機構は、ヘッド保持部材の一方の長辺の両端部に当接し、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向に微少移動させる一対のＸ軸圧電モジュールと、ヘッド保持部材の他方の長辺の両端部に当接し、各Ｘ軸圧電モジュールに抗してヘッド保持部材を付勢する一対のＸ軸ばねと、ヘッド保持部材の一方の短辺に当接し、機能液滴吐出ヘッドをＹ軸方向に微少移動させるＹ軸圧電モジュールと、ヘッド保持部材の他方の短辺に当接し、Ｙ軸圧電モジュールに抗してヘッド保持部材を付勢するＹ軸ばねと、両Ｘ軸圧電モジュールおよびＹ軸圧電モジュールを個別に駆動すると共に、両Ｘ軸圧電モジュールの変位量およびＹ軸圧電モジュールの変位量をそれぞれ制御するコントローラと、を有し、各ヘッド固定機構は、ヘッド保持部材の各端部をヘッドプレートに固定する固定子と、固定子を、ヘッド保持部材の各端部をヘッドプレートに固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段と、を有していることを特徴とする。
【００１４】
この場合、固定子移動手段は、アクチュエータを有し、コントローラは、固定子移動手段の駆動を更に制御し、固定子移動手段により、固定子を半固定位置とした状態で、一対のＸ軸圧電モジュールおよびＹ軸圧電モジュールを駆動することが、好ましい。
【００１５】
この構成によれば、固定子移動手段の固定子を半固定位置に移動させ、ヘッド保持部材を半固定としておいて、微少移動機構を同時或いは交互に駆動し、ヘッド保持部材の両端部をＸ軸方向およびＹ軸方向に適宜微小移動させる。具体的には、設定した変位量に基づいて両Ｘ軸圧電モジュールを駆動することにより、Ｘ軸ばねにより或いはＸ軸ばねに抗して、ヘッド保持部材をＸ軸方向に正逆微少移動させる。同様に、設定した変位量に基づいてＹ軸圧電モジュールを駆動することにより、Ｙ軸ばねにより或いはＹ軸ばねに抗して、ヘッド保持部材をＹ軸方向に正逆微少移動させる。また、両Ｘ軸圧電モジュール相互の変位量を変えることにより、ヘッド保持部材をθ方向に角度変更させる。これにより、外部装置を用いることなく、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向に自在に位置調整することができる。すなわち、ヘッドプレートに搭載した機能液滴吐出ヘッドの位置調整を自己完結的に行うことができる。したがって、これを液滴吐出装置等に搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッドの位置補正や、機能液滴吐出ヘッドの積極的な角度変更等を自在に行うことができる。
【００１６】
なお、固定子移動手段のアクチュエータとしては、モータ、ソレノイド、空気圧シリンダ、油圧シリンダのいずれかであることが、好ましい。より具体的には、
固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させるリードねじと、リードねじを正逆回転させるモータと、で構成すること、
或いは、固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させるソレノイド、で構成すること、
或いは、固定子移動手段を、固定子を固定位置と半固定位置との間で移動させる空気圧シリンダまたは油圧シリンダ、で構成することが、好ましい。
【００１７】
本発明の液滴吐出装置は、上記したヘッドユニットと、機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動手段と、機能液滴吐出ヘッドの駆動に同期して、ワークに対しヘッドユニットを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１８】
この構成によれば、液滴吐出装置にヘッドユニットを搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向の位置調整が可能であるため、適宜位置調整を行うことにより、機能液滴吐出ヘッドを高精度に搭載することができる。このため、機能液滴吐出ヘッドによる描画精度を高めることができ、生産性を向上させることができる。
【００１９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドを画像認識する画像認識手段と、画像認識の認識結果を機能液滴吐出ヘッドの基準位置データと比較して、機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向およびＹ軸方向のズレ量を求めるズレ量取得手段と、を更に備え、一対の圧電素子ユニットは、ズレ量に基づいて機能液滴吐出ヘッドを位置補正することが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、画像認識により求めた機能液滴吐出ヘッドのズレ量に対し、一対の圧電素子ユニットを同時或いは交互に駆動して、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に適宜微少移動させることで、機能液滴吐出ヘッドの位置補正を精度良く行うことができる。また、位置補正に伴う能液滴吐出ヘッドの微少移動は、振動に基づくものであるため、圧電素子ユニットをはじめ各構成装置に高い精度が要求されることがなく、装置全体を単純且つコンパクトに構成することができる。なお、ズレ量の補正は、リアルタイムで画像認識しながら行うようにしてもよいし、認識初期のズレ量に基づいて補正を行った後、再度画像認識して補正結果を確認するようにしてもよい。
【００２１】
これらの場合、画像認識手段は、相互に位置決めされ、機能液滴吐出ヘッドにおける離間した２点を同時に画像認識する一対の撮像カメラで構成されていることが、好ましい。
【００２２】
この構成によれば、画像認識を迅速に且つ精度良く行うことができ、結果、機能液滴吐出ヘッドの位置決め精度を高めることができる。
【００２３】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドの短辺方向がＸ軸方向であって長辺方向がＹ軸方向であり、θ方向の位置補正では、一方の圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子およびＸ圧電素子を駆動すると共に他方の圧電素子ユニットのＺ軸圧電素子のみ駆動することが、好ましい。
【００２４】
この構成によれば、他方の圧電素子ユニットがＺ方向に振動するため、機能液滴吐出ヘッドに対するこの圧電素子ユニットの当接ヘッドの摩擦力が軽減されるため、機能液滴吐出ヘッドの位置補正（θ補正）を円滑且つ効率良く行うことができる。
【００２５】
これらの場合、機能液滴吐出ヘッドの基準位置データは、ヘッドプレートに代えてセットされると共に、機能液滴吐出ヘッドの基準位置をパターン形成したアライメントマスクを画像認識して、取得されることが好ましい。
【００２６】
この構成によれば、単一のヘッドプレートに複数の機能液滴吐出ヘッドを精度良く位置決めする場合等に、特に有用である。
【００２７】
本発明の他の液滴吐出装置は、上記したヘッドユニットと、機能液滴吐出ヘッドを駆動するヘッド駆動手段と、機能液滴吐出ヘッドの駆動に同期して、ワークに対しヘッドユニットを相対的に移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする。
【００２８】
この構成によれば、液滴吐出装置にヘッドユニットを搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向の位置調整が可能であるため、適宜位置調整を行うことにより、機能液滴吐出ヘッドを高精度に搭載することができる。このため、機能液滴吐出ヘッドによる描画精度を高めることができ、生産性を向上させることができる。
【００２９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドを画像認識する画像認識手段と、画像認識の認識結果を機能液滴吐出ヘッドの基準位置データと比較して、機能液滴吐出ヘッドのＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向のズレ量を求めるズレ量取得手段と、を更に備え、微少移動機構は、ズレ量に基づいて前記機能液滴吐出ヘッドを位置補正することが、好ましい。
【００３０】
この構成によれば、画像認識により求めた機能液滴吐出ヘッドのズレ量に対し、微少移動機構の一対のＸ軸圧電モジュールおよびＹ軸圧電モジュールを適宜駆動して、機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向、Ｙ軸方向、θ方向に適宜微少移動させることで、能液滴吐出ヘッドの位置補正を精度良く行うことができる。また、位置補正に伴う能液滴吐出ヘッドの微少移動は、微少な変位に基づくものであるため、一対のＸ軸圧電モジュールおよびＹ軸圧電モジュールをはじめ各構成装置に高い精度が要求されることがなく、装置全体を単純且つコンパクトに構成することができる。なお、ズレ量の補正は、リアルタイムで画像認識しながら行うようにしてもよいし、認識初期のズレ量に基づいて補正を行った後、再度画像認識して補正結果を確認するようにしてもよい。
【００３１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００３２】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００３３】
これらの構成によれば、生産性を向上させ得る液滴吐出装置を用いることで、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００３４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００３５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３６】
以下、添付の図面を参照して、本発明に一実施形態に係るヘッドユニットを適用した液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイ等の製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００３７】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、Ｘ軸テーブル８およびＸ軸テーブル８に直交するＹ軸テーブル９から成るＸＹ移動機構（移動手段）３と、Ｙ軸テーブル９に移動自在に取り付けられ、機能液滴吐出ヘッド２２を搭載した描画ユニット４と、機台２上で描画ユニット４に添設された吸引ユニット５と、これら構成装置を統括制御する制御装置６（図２参照）と、を備えている。
【００３８】
この場合、吸引ユニット５は、機能液滴吐出ヘッド２２のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行い、描画ユニット４は、基板Ｗ（ワーク）上に描画データに基づいて、機能液滴を吐出させる描画動作を行う。また、制御装置６は、機能液滴吐出ヘッド２２の駆動（ヘッド駆動手段）を含む描画ユニット４の駆動、ＸＹ移動機構３の駆動および吸引ユニット５の駆動を制御する他、後述するヘッドユニット２１に搭載した駆動系を制御する（図２参照）。
【００３９】
Ｘ軸テーブル８は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１０を有し、これに吸着テーブル１１および基板θテーブル１２等から成るセットテーブル１３を移動自在に搭載して、構成されている。Ｙ軸テーブル９は、Ｙ軸方向の駆動系を構成し、描画ユニット４を移動自在に搭載するモータ駆動のＹ軸スライダ１４と、で構成されている。Ｘ軸テーブル８は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル９は、機台２上に立設した左右の支柱１６，１６に支持されており、Ｘ軸テーブル８および吸引ユニット５を跨ぐように延在している。
【００４０】
そして、Ｙ軸テーブル９は、これに搭載した描画ユニット４を、Ｘ軸テーブル８の直上部に位置する描画エリア１７と、吸引ユニット５の直上部に位置するメンテナンスエリア１８との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル９は、Ｘ軸テーブル８に導入した基板Ｗに描画動作を行う場合には、描画ユニット４を描画エリア１７に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド２２のメンテナンス処理を行う場合には、描画ユニット４をメンテナンスエリア１８に臨ませる。
【００４１】
描画ユニット４は、Ｙ軸テーブル９に移動自在に取り付けられたキャリッジ２０と、キャリッジ２０に垂設したヘッドユニット２１とを有している。そして、ヘッドユニット２１には、機能液滴吐出ヘッド２２が搭載されている。なお、本実施形態では、単一の機能液滴吐出ヘッド２２を搭載しているが、その個数は任意である。
【００４２】
一方、図１では省略したがＸ軸テーブル８の端部には、基板Ｗを上側から位置認識する基板認識装置が搭載され、基板認識装置は、相互に位置決めされた一対の基板認識カメラで構成されている。一対の基板認識カメラは、基板Ｗの２つの基準位置（アライメントマーク）に対応する位置に配設され、２つの基準位置を画像認識することにより、基板Ｗを位置認識する。
同様に、図１では省略したがＸ軸テーブル８には、ホーム位置に移動したヘッドユニット２１の直下に位置して、基板Ｗを下側から位置認識するヘッド認識装置（画像認識手段）２４が搭載されている。ヘッド認識装置２４は、相互に位置決めされ且つ近接して配置した一対のヘッド認識カメラ（撮像カメラ）２５，２５で構成されている（図２参照）。一対のヘッド認識カメラ２５，２５は、後述する機能液滴吐出ヘッド２２の２つのアライメントマーク５２，５２を画像認識することにより、機能液滴吐出ヘッド２２を位置認識する。なお、ヘッドユニット２１に複数個の機能液滴吐出ヘッド２２が搭載されている場合には、ヘッド認識装置２４を移動自在とする。
【００４３】
基板認識装置の認識結果およびヘッド認識装置２４の認識結果は、上記の制御装置６のメモリ６ａに記憶されている基準位置データと比較され、それぞれ基板Ｗのズレ量および機能液滴吐出ヘッド２２のズレ量が、取得される。そして、これらズレ量に基づいて、基板Ｗでは、基板θテーブル１２のよる物理的な角度補正と描画データのＸ軸方向およびＹ軸方向の補正が行われる。同様に、機能液滴吐出ヘッド２２では後述する一対の圧電素子ユニット３３，３３によるＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向の物理的な位置補正が行なわれる。
一方、制御装置６に記憶されている基準位置データは、ヘッドユニット２１に代えてキャリッジ２０に搭載したアライメントマスクのアライメントパターンから取得するようになっている。
【００４４】
このように構成した液滴吐出装置１では、上記の基板認識装置およびヘッド認識装置２４により、基板Ｗおよび機能液滴吐出ヘッド２２の位置補正を実行して駆動待機状態となる。基板Ｗへの描画動作では、基板Ｗを搭載したセットテーブル１３をＸ軸方向に移動させると共に、これに同期して機能液滴吐出ヘッド２２を駆動させることにより、基板Ｗに描画データに基づく主走査（機能液滴の吐出）を行う。次に、キャリッジ２０をＹ軸方向に移動させることにより、機能液滴吐出ヘッド２２の副走査を行う。そして、この主走査と副走査とを繰り返すことにより、基板Ｗに描画データに基づく所望の描画が行われる。
【００４５】
次に、図２および図３を参照して、ヘッドユニット２１について詳細に説明する。ヘッドユニット２１は、機能液滴吐出ヘッド２２と、機能液滴吐出ヘッド２２が固定されたヘッド保持部材３１と、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２を位置調整自在に取り付けたヘッドプレート３２と、を備えると共に、ヘッドプレート３２に対し機能液滴吐出ヘッド２２をＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させる一対の圧電素子ユニット３３，３３と、ヘッド保持部材３１をヘッドプレート３２に固定する一対のヘッド固定機構３４，３４と、を備えている。
【００４６】
図４に示すように、機能液滴吐出ヘッド２２は、２連の接続針４１，４１を有する機能液導入部４２と、機能液導入部４２に連なる２連のヘッド基板４３と、機能液導入部４２の下方に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。各接続針４１は、図示しない給液チューブを介して給液タンクに接続されており、機能液滴吐出ヘッド２２のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド基板４３には、フレキシブルフラットケーブルにより制御装置６に接続される一対のコネクタ４５，４５が設けられている。
【００４７】
ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部４７と、２本のノズル列４８を相互に平行に形成したノズル面４９ａを有するノズルプレート４９とを備えている。各ノズル列４８には、複数の吐出ノズル５１が等ピッチで配設され、且つ両ノズル列４８の吐出ノズル５１は、相互に半ピッチ位置ずれして配設されている。そして、コネクタ４５を介してポンプ部４７に、制御装置６で生成した駆動波形を印加することにより、各吐出ノズル５１から機能液滴が吐出される。また、ノズルプレート４９は、ステンレス等で構成されており、そのノズル面４９ａには、各吐出ノズル５１が開口すると共に、一方のノズル列４８の両端部近傍に位置して２つのアライメントマーク５２，５２が形成されている。そして、この２つのアライメントマーク５２，５２を、ヘッド認識装置２４の一対のヘッド認識カメラ２５，２５で画像認識することにより、機能液滴吐出ヘッド２２の位置認識が行われる。もっとも、アライメントマーク５２を設けない場合には、ノズル列４８の最外端部に位置する２つの吐出ノズル５１，５１を画像認識するようにしてもよい。なお、図中の符号５３は、機能液滴吐出ヘッド２２をヘッド保持部材３１に固定するための一対のねじ孔（一方のみ図示）である。
【００４８】
図２および図３に示すように、ヘッド保持部材３１は、長辺方向の中間部を「Ｕ」字状に屈曲させた上面視方形のステンレス板等で形成され、「Ｕ」字状部分５５の中央には、機能液滴吐出ヘッド２２が遊嵌される方形開口５６が形成されている。機能液滴吐出ヘッド２２は、この方形開口５６に下向きに遊嵌された状態で、ヘッド保持部材３１にねじ止め固定されている。
ヘッドプレート３２は、ステンレス等の方形の厚板で形成され、その中央にヘッド保持部材３１の「Ｕ」字状部分５５が装着される装着開口５７が形成されている。ヘッド保持部材３１は、機能液滴吐出ヘッド２２が下向きとなるようにこの装着開口５７に装着され、その両端部３１ａ，３１ａで上記の一対のヘッド固定機構３４，３４により、ヘッドプレート３２の上面に固定されている。
【００４９】
一対のヘッド固定機構３４，３４は、ヘッド保持部材３１の両端部３１ａ，３１ａを押さえるように配設されており、上記の制御手段６により両者同期して駆動されるようになっている。各ヘッド固定機構３４は、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａをヘッドプレート３２に固定する固定子５８と、固定子５８を、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａをヘッドプレート３２に固定する固定位置と移動可能に半固定する半固定位置との間で移動させる固定子移動手段５９と、で構成されている。
【００５０】
固定子移動手段５９は、いずれも図示しないが、例えば固定子５８を固定位置と半固定位置との間で移動させるリードねじと、リードねじを正逆回転させるモータと、で構成されている。なお、固定子移動手段５９を、固定子５８を固定位置と半固定位置との間で移動させるソレノイド、で構成し、或いは、固定子移動手段５９を、固定子５８を固定位置と半固定位置との間で移動させる空気圧シリンダまたは油圧シリンダ、で構成するようにしてもよい。この場合、固定子５８が固定位置に移動した状態では、ヘッド保持部材３１がヘッドプレート３２に不動に固定され、半固定位置に移動した状態では、ヘッド保持部材３１がヘッドプレート３２に対し移動可能に仮固定される。そして、この仮固定の状態で、上記の一対の圧電素子ユニット３３，３３を駆動することにより、ヘッド保持部材３１の位置調整が可能となる。
【００５１】
一対の圧電素子ユニット３３，３３は、上記の装着開口５７の近傍に位置してヘッドプレート３２の上面に埋め込まれており、ヘッド保持部材３１の両端部３１ａ，３１ａに下側から当接している。図５に示すように、各圧電素子ユニット３３は、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａに対し下側（Ｚ軸方向）から当接するヘッド本体６２および振動体６３から成る当接ヘッド６１と、振動体６３に組み込まれ当接ヘッド６１をＸ軸方向に振動させる一対のＸ軸圧電素子６４，６４と、振動体６３に組み込まれ当接ヘッド６１をＹ軸方向に振動させる一対のＹ軸圧電素子６５，６５と、振動体６３に組み込まれ当接ヘッド６１をＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子６６と、これら圧電素子６４，６５，６６および当接ヘッド６１を収容する筐体６７と、両Ｘ軸圧電素子６４、両Ｙ軸圧電素子６５およびＺ軸圧電素子６６を個別に駆動する上記の制御装置（の一部）６と、で構成されている。
【００５２】
ヘッド本体６２と振動体６３とは、振動を伝播し易い金属等で一体にまたは別体で構成されており、ヘッド本体６２の当接面６２ａは、ヘッド保持部材３１との間で移動のための十分な摩擦力を発揮させるべく、粗面に仕上げられている。振動体６３は直方体ブロック状に形成され、Ｘ軸方向の両側面に一対のＸ軸圧電素子６４，６４が、Ｙ軸方向の両側面に一対のＹ軸圧電素子６５，６５が、そして下面にＺ軸圧電素子６６が、それぞれ添設されている。この場合、各Ｘ軸圧電素子６４、各Ｙ軸圧電素子６５およびＺ軸圧電素子６６は、いずれも厚板状に形成されており、厚み方向の変位（振幅）による振動を振動体６３に印加するようになっている。なお、各Ｘ軸圧電素子６４、各Ｙ軸圧電素子６５およびＺ軸圧電素子６６を、それぞれ複数の圧電素子で構成することも可能である。また、一対のＸ軸圧電素子６４，６４の一方および一対のＹ軸圧電素子６５，６５の一方を、それぞれ省略することも可能である。
【００５３】
この場合、Ｚ軸圧電素子６６を所定の周期で駆動することにより、当接ヘッド６１がＺ軸方向（上下方向）に振動する。これにより、当接ヘッド６１の当接面６２ａは、ヘッド保持部材３１の表面に微小に離接する。また、両Ｘ軸圧電素子６４，６４を所定の周期で且つ同期させて駆動することにより、当接ヘッド６１がＸ軸方向に振動する。同様に、両Ｙ軸圧電素子６５，６５を所定の周期で且つ同期させて駆動することにより、当接ヘッド６１がＹ軸方向に振動する。
【００５４】
ここで、Ｚ軸圧電素子６６と両Ｘ軸圧電素子６４，６４とを、その周期に適宜位相差を持たせて同時に駆動すると、当接ヘッド６１に当接しているヘッド保持部材３１の各端部３１ａをＸ軸方向に正逆微少移動（間欠移動）させることができる。具体的には、Ｚ軸振動する当接ヘッド６１がヘッド保持部材３１に接触するタイミングに合わせて、Ｘ軸振動の正方向の変位を同期させ、離れるタイミングに合わせて、Ｘ軸振動の逆方向の変位を同期させる。当接ヘッド６１のヘッド保持部材３１への動力の伝達は、接触時のみとなるため、ヘッド保持部材３１は、Ｘ軸の正方向に微少な間欠移動をすることになる。また、上記に対しＸ軸振動に９０°の位相差を持たせれば、ヘッド保持部材３１は、Ｘ軸の逆方向に微少な間欠移動をすることになる。全く同様に、Ｚ軸圧電素子６６と両Ｙ軸圧電素子６５，６５とを、その周期に適宜位相差を持たせて同時に駆動すると、当接ヘッド６１に当接しているヘッド保持部材３１の各端部３１ａをＹ軸方向に正逆微少移動（間欠移動）させることができる。
【００５５】
そこで、実施形態の制御装置６は、ヘッド保持部材３１をＸ軸方向に移動調整する場合には、両圧電素子ユニット３３，３３のＺ軸圧電素子６６および両Ｘ軸圧電素子６４，６４を駆動し、かつその位相を調整することにより正逆の方向を制御している。同様に、ヘッド保持部材３１をＹ軸方向に移動調整する場合には、両圧電素子ユニット３３，３３のＺ軸圧電素子６６および両Ｙ軸圧電素子６５，６５を駆動し、かつその位相を調整することにより正逆の方向を制御している。また、ヘッド保持部材３１をθ方向に角度調整する場合には、一方の圧電素子ユニット３３を駆動停止とした状態で、他方の圧電素子ユニット３３のＺ軸圧電素子６６およびＸ軸圧電素子６４を駆動するようにしている。もっとも、角度調整が円滑に行うべく、一方の圧電素子ユニット３３を駆動停止とすることなくそのＺ軸圧電素子６６のみ駆動するようにしてもよい。また、Ｚ軸圧電素子６６、Ｘ軸圧電素子６４およびＹ軸圧電素子６５を同時に駆動すれば、ヘッド保持部材３１を、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）と４５°を為す方向に移動調整できることは、いうまでもない。なお、移動速度や間欠移動のピッチ等を調整すべく、振動周期、振幅、印加電圧等を調整可能とすることが、より好ましい。
【００５６】
次に、上記のヘッドユニットを液滴吐出装置１に搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッド２２のアライメントを行う場合について説明する。図２に示すように、予めヘッドユニット２１をヘッド認識装置２４の直上部に移動しておく。この状態で、先ず一対のヘッド固定機構３４，３４を駆動して、ヘッド保持部材３１を本固定の状態から仮固定の状態とする。次に、一対のヘッド認識カメラ２５，２５で機能液滴吐出ヘッド２２の２つのアライメントマーク５２，５２を画像認識する。この認識結果は、制御装置６に入力し、ＣＰＵ（ズレ量取得手段）６ｂによりそのメモリ６ａに記憶されているアライメントマーク５２，５２の基準位置データと比較され、機能液滴吐出ヘッド２２のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向におけるズレ量が、把握される。
【００５７】
そして、これらズレ量に基づいて、制御装置６は適宜一対の圧電素子ユニット３３，３３を上記の要領で駆動し、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２の位置補正を行う。位置補正が完了したら再度、両ヘッド認識カメラ２５，２５による確認の画像認識が行われ、位置補正の結果が目標値と合致していれば補正動作を完了する。また、位置補正の結果が目標値と合致していなければ、上記の動作を繰り返す。このようにして、補正動作を完了したら再度、一対のヘッド固定機構３４，３４を駆動して、ヘッド保持部材３１を仮固定の状態から本固定の状態に戻す。
【００５８】
このような構成では、一対の圧電素子ユニット３３，３３により、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２を精度良く位置決め（アライメント）することができる。また、位置補正に伴う能液滴吐出ヘッド２２の微少移動は、振動に基づくものであるため、圧電素子ユニット３３をはじめ各構成装置自身に高い精度が要求されることがなく、装置全体を単純且つコンパクトに構成することができる。しかも、ヘッドプレート３２に搭載した機能液滴吐出ヘッド２２の位置決めを、ヘッドユニット２１における作業として自己完結的に行うことができるため、別途、ヘッドプレート３２に機能液滴吐出ヘッド２２を組み込むヘッド組立装置を必要とすることがない。
【００５９】
次に、図６を参照して、第１実施形態の変形例に係る圧電素子ユニット３３について説明する。この圧電素子ユニット３３は、Ｘ軸圧電素子ユニット３３Ａと、Ｙ軸圧電素子ユニット３３Ｂと、両圧電素子ユニット３３Ａ，３３Ｂを収容する筐体６７と、両圧電素子ユニット３３Ａ，３３Ｂを個別に駆動する上記の制御装置（の一部）６と、で構成されている。
Ｘ軸圧電素子ユニット３３Ａは、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａに対し下側（Ｚ軸方向）から当接するヘッド本体６２および振動体６３から成る第１当接ヘッド６１Ａと、振動体６３に組み込まれ第１当接ヘッド６１ＡをＸ軸方向に振動させる一対のＸ軸圧電素子６４，６４と、振動体６３に組み込まれ第１当接ヘッド６１ＡをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子６６と、で構成されている。
同様に、Ｙ軸圧電素子ユニット３３Ｂは、ヘッド保持部材３１の各端部３１ａに対し下側（Ｚ軸方向）から当接するヘッド本体６２および振動体６３から成る第２当接ヘッド６１Ｂと、振動体６３に組み込まれ第２当接ヘッド６１ＢをＹ軸方向に振動させる一対のＹ軸圧電素子６５，６５と、振動体６３に組み込まれ第２当接ヘッド６１ＢをＺ軸方向に振動させるＺ軸圧電素子６６と、で構成されている。
【００６０】
この場合には、Ｘ軸圧電素子ユニット３３ＡのＺ軸圧電素子６６と両Ｘ軸圧電素子６４，６４とを同時に駆動させその位相差でＸ軸方向の正逆の移動調整を行うと共に、Ｙ軸圧電素子ユニット３３ＢのＺ軸圧電素子６６と両Ｙ軸圧電素子６５，６５とを同時に駆動させその位相差でＹ軸方向の正逆の移動調整を行うようになっている。
このような構成でも、上記第１実施形態の圧電素子ユニット３３と同様に、一対の圧電素子ユニット３３，３３を用いることにより、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２を精度良く位置決め（アライメント）することができる。
【００６１】
次に、図７および８を参照して、第２実施形態に係るヘッドユニット２１Ａについて説明する。この実施形態のヘッドユニット２１Ａは、第１実施形態と同様の、機能液滴吐出ヘッド２２、ヘッド保持部材３１、ヘッドプレート３２および一対のヘッド固定機構３４，３４を備えると共に、第１実施形態の一対の圧電素子ユニット３３，３３に代えて、微少移動機構７０を備えている。この場合の各ヘッド固定機構３４は、ヘッド保持部材３１の端部３１ａを横断方向（Ｘ軸方向）に跨ぐように配設されおり、第１実施形態と同様の固定子５８および固定子移動手段５９が内蔵されている。
【００６２】
微少移動機構７０は、ヘッド保持部材３１の一方の長辺の両端辺３１ｂ，３１ｂに当接し、機能液滴吐出ヘッド２２をＸ軸方向に微少移動させる一対のＸ軸圧電モジュール７１，７１と、ヘッド保持部材３１の他方の長辺の両端辺３１ｂ，３１ｂに当接し、各Ｘ軸圧電モジュール７１に抗してヘッド保持部材３１を付勢する一対のＸ軸ばね７２，７２と、ヘッド保持部材３１の一方の短辺３１ｃに当接し、機能液滴吐出ヘッド２２をＹ軸方向に微少移動させるＹ軸圧電モジュール７３と、ヘッド保持部材３１の他方の短辺に当接し、Ｙ軸圧電モジュール７３に抗してヘッド保持部材３１を付勢するＹ軸ばね７４と、両Ｘ軸圧電モジュール７１，７１およびＹ軸圧電モジュール７４を個別に駆動する上記の制御装置（一部）６と、で構成されている。
【００６３】
各Ｘ軸圧電モジュール７１およびＹ軸圧電モジュール７３は、それぞれモジュール本体７６とモジュール本体７６から突出するプッシュロッド７７とを有し、モジュール本体７６でヘッドプレート３２の上面に固定され、プッシュロッド７７の先端でヘッド保持部材３１に当接している。プッシュロッド７７の突出（変位量）は、上記の制御装置６により、所定の範囲内で制御されるようになっている。各Ｘ軸ばね７２およびＹ軸ばね７４は、コイルばね等で構成されており、一端でヘッドプレート３２の上面に固定され、他端でヘッド保持部材３１に当接している。
【００６４】
この場合、制御量となる変位量に基づいて両Ｘ軸圧電モジュール７１を駆動することにより、Ｘ軸ばね７２により或いはＸ軸ばね７２に抗して、ヘッド保持部材３１はＸ軸方向に正逆微少移動する。すなわち、各プッシュロッド７７の進退により、これに当接しているヘッド保持部材３１の端部３１ａをＸ軸方向に正逆微少移動させることができる。同様に、変位量に基づいてＹ軸圧電モジュール７３を駆動することにより、Ｙ軸ばね７４により或いはＹ軸ばね７４に抗して、ヘッド保持部材３１はＹ軸方向に正逆微少移動する。すなわち、プッシュロッド７７の進退により、これに当接しているヘッド保持部材３１の端部３１ａをＹ軸方向に正逆微少移動させることができる。また、両Ｘ軸圧電モジュール７１，７１相互の変位量を変えることにより、ヘッド保持部材３１をθ方向に角度変更させることができる。そして、この場合も、Ｘ軸圧電モジュール７１とＹ軸圧電モジュール７３を同時に駆動すれば、ヘッド保持部材３１を、Ｘ軸方向（Ｙ軸方向）と４５°を為す方向に移動調整することができる。
【００６５】
次に、第２実施形態のヘッドユニット２１Ａを液滴吐出装置１に搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッド２２のアライメントを行う場合について説明する。図７に示すように、先ず一対のヘッド固定機構３４，３４を駆動して、ヘッド保持部材３１を本固定の状態から仮固定の状態とし、一対のヘッド認識カメラ２５，２５で機能液滴吐出ヘッド２２の２つのアライメントマーク５２，５２を画像認識する。この認識結果は、制御装置６に入力し、ＣＰＵ（ズレ量取得手段）６ｂによりそのメモリ６ａに記憶されているアライメントマーク５２，５２の基準位置データと比較され、機能液滴吐出ヘッド２２のＸ軸方向、Ｙ軸方向およびθ方向におけるズレ量が、把握される。そして、これらズレ量に基づいて、制御装置６は適宜微少移動機構７０を上記の要領で駆動し、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２の位置補正を行う。そして、以降の作業は第１実施形態と同様となる。
【００６６】
このような構成では、Ｘ・Ｙ軸両圧電モジュール７１，７３を有する微少移動機構７０により、ヘッド保持部材３１を介して機能液滴吐出ヘッド２２を精度良く位置決め（アライメント）することができる。また、Ｘ・Ｙ軸両圧電モジュール７１，７３をはじめ各構成装置に高い精度が要求されることがなく、装置全体を単純且つコンパクトに構成することができる。しかも、ヘッドプレート２１Ａに搭載した機能液滴吐出ヘッド２２の位置決めを自己完結的に行うことができるため、別途、ヘッドプレート３２に機能液滴吐出ヘッド２２を組み込むヘッド組立装置を必要とすることがない。
【００６７】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００６８】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図９は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１０は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１０（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００６９】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１０（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１０（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド２２により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００７０】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００７１】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１０（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド２２によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド２２を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００７２】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１０（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００７３】
図１１は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１０に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００７４】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００７５】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１１において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００７６】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００７７】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００７８】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド２２で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド２２で行うことも可能である。
【００７９】
図１２は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００８０】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００８１】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００８２】
図１３は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００８３】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００８４】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００８５】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００８６】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００８７】
次に、図１４は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００８８】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００８９】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００９０】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００９１】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００９２】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００９３】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００９４】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００９５】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００９６】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００９７】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００９８】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００９９】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１５〜図２３を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１５に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【０１００】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１６に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１７に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【０１０１】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド２２を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【０１０２】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【０１０３】
図１８に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド２２から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１９に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【０１０４】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【０１０５】
そして次に、図２０に示すように、各色のうちのいずれか（図２０の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【０１０６】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２１に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【０１０７】
同様に、機能液滴吐出ヘッド２２を用い、図２２に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【０１０８】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【０１０９】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２３に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【０１１０】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【０１１１】
次に、図２４は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【０１１２】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【０１１３】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【０１１４】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１１５】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド２２により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１１６】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１１７】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド２２から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１１８】
次に、図２５は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１１９】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１２０】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１２１】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１２２】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１２３】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２６（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２６（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１２４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】実施形態に係るヘッドユニットの側面模式図である。
【図３】実施形態に係るヘッドユニットの平面模式図である。
【図４】液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図５】第１実施形態に係る圧電素子ユニットの構造図である。
【図６】第１実施形態の変形例に係る圧電素子ユニットの構造図である。
【図７】第２実施形態に係るヘッドユニットの側面模式図である。
【図８】第２実施形態に係るヘッドユニットの平面模式図である。
【図９】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１０】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１６】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２４】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２５】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２６】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１２６】
１  液滴吐出装置、３  ＸＹ移動機構、４  描画ユニット、６  制御装置、６ａ  メモリ、６ｂ  ＣＰＵ、１３  セットテーブル、２０  キャリッジ、２１  ，２１Ａヘッドユニット、２２  機能液滴吐出ヘッド、２４  ヘッド認識装置  ２５  ヘッド認識カメラ、３１  ヘッド保持部材、３１ａ  端部、３１ｂ  端辺、３１ｃ  短辺、３２  ヘッドプレート、３３  圧電素子ユニット、３３Ａ  Ｘ軸圧電素子ユニット、３３Ｂ  Ｙ軸圧電素子ユニット、３４  ヘッド固定機構、５１  吐出ノズル、５２  アライメントマーク、５８  固定子、５９  固定子移動手段、６１  当接ヘッド、６１Ａ  第１当接ヘッド、６１Ｂ  第２当接ヘッド、６４  Ｘ軸圧電素子、６５  Ｙ軸圧電素子、６６  Ｚ軸圧電素子、７０  微少移動機構、７１  Ｘ軸圧電モジュール、７２  Ｘ軸ばね、７３  Ｙ軸圧電モジュール、７４  Ｙばね、Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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