(57)【要約】【課題】  循環する非導電性液体から静電気を効率よく除去し得る静電気除去装置を提供する。【解決手段】  非導電性の溶液を圧送する第一の装置１２と、第一の装置１２から圧送される溶液が供給される第二の装置１１と、第一及び第二の装置１２，１１との間で溶液を循環させる配管１５ａ，１５ｂ，１６ａ，１６ｂとを備え、第一の装置１２の溶液槽１８に可撓性を備えた導電材２０，２１の一端を浸し、該導電材の他端を接地した。【選択図】      図１
2007005141.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、
前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、
前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管と
を備えた非導電性溶液循環装置であって、
前記第一の装置の溶液槽に可撓性を備えた導電材の一端を浸し、該導電材の他端を接地したことを特徴とする非導電性溶液循環装置の静電気除去装置。
【請求項２】
非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、
前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、
前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管と
を備えた非導電性溶液循環装置であって、
前記第一の装置の溶液槽を導電材で形成して接地したことを特徴とする非導電性溶液循環装置の静電気除去装置。
【請求項３】
非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、
前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、
前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管と
を備えた非導電性溶液循環装置であって、
前記第一の装置の溶液槽を導電材で形成して接地し、前記第一の装置の溶液槽に可撓性を備えた導電材の一端を浸し、該導電材の他端を接地したことを特徴とする非導電性溶液循環装置の静電気除去装置。
【請求項４】
前記導電材は、接地したワイヤーの一端にチェーンを接続し、該チェーンを前記溶液槽内の溶液に浸したことを特徴とする請求項１又は３記載の非導電性溶液循環装置の静電気除去装置。
【請求項５】
前記第一及び第二の装置と前記配管との接続部分に静電気を除去するフィルターを介在させたことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の非導電性溶液循環装置の静電気除去装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、配管を介して非導電性溶液を循環させる装置に使用される静電気除去装置に関するものである。
半導体製造装置等で使用される冷却装置では、非導電性液体が冷媒として使用され、その冷媒が冷媒冷却装置と被冷却部との間を循環する。非導電性液体は、その循環に際し静電気が発生し易く、その静電気が冷媒循環用配管あるいは周辺電子機器を破損させる原因となる。そこで、冷媒中に発生する静電気を効果的に除電することが必要となっている。
【背景技術】
【０００２】
図２は、半導体製造工程で使用されるエッチング装置１とそのエッチング装置１を冷却するチラーユニット２を示す。チラーユニット（冷媒冷却装置）２とエッチング装置１との間で、配管３を介して冷媒が循環し、そのエッチング装置２が冷媒で冷却される。
【０００３】
冷媒は、フロン系の非導電性冷媒が使用され、配管３もテフロン（登録商標）系樹脂等の非導電性材で形成される。
チラーユニット２内では、エッチング装置１から循環される冷媒が、図３に示す溶液槽４内に貯留され、その溶液が冷却器及びコンプレッサーで冷却されてエッチング装置１に供給される。溶液槽４は非導電性材で形成される。
【０００４】
このような装置では、非導電性の冷媒が配管３内を循環する際に冷媒と配管３との摩擦により静電気が発生し易い。また、溶液槽４内で冷媒が攪拌されるとき、冷媒中に静電気が発生し易い。そして、このようにして発生した静電気が配管３に帯電すると、配管が破裂することがある。また、チラーユニット２内に配設された制御基板等が静電気により故障することもある。
【０００５】
そこで、配管を銅管等の導電性を備えたものとすることにより、配管の帯電による破裂を防止することも行われている。
特許文献１には、絶縁性液体からフィルターで静電気を除去する装置が開示されている。
【０００６】
特許文献２には、帯電除去部材で有機溶剤中の静電気を除去する構成が開示されている。
特許文献３には、電気絶縁性可燃液体の表面に設置された導電性フロートを浮遊させる構成が開示されている。
【特許文献１】特開２００２−３０５０９５号公報
【特許文献２】特開２００１−２３００９６号公報
【特許文献３】特開２００２−２３１４９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上記のように、エッチング装置１とチラーユニット２との間で冷媒を循環させる装置では、冷媒と配管との摩擦による静電気あるいは冷媒の攪拌により発生する静電気により、配管の破裂、制御基板等の破損が発生するという問題点がある。
【０００８】
また、導電性の配管を使用すれば、配管の帯電による破裂を防止することはできるが、冷媒中の静電気を除去することはできない。
特許文献１に記載されるように、絶縁性液体の循環経路の１箇所にフィルターを介在させる構成では、フィルターに至る配管での静電気の帯電を確実に除去することはできない。
【０００９】
特許文献２に記載された構成では、溶剤を貯留する缶体の中央部で発生する静電気を確実に除去することはできない。
特許文献３に記載された構成では、電気絶縁性可燃液体の表面蓄積電荷のみを除去可能であり、液体内の電荷を除去することはできない。
【００１０】
この発明の目的は、循環する非導電性液体から静電気を効率よく除去し得る静電気除去装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記目的は、非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管とを備え、前記第一の装置の溶液槽に可撓性を備えた導電材の一端を浸し、該導電材の他端を接地した非導電性溶液循環装置の静電気除去装置により達成される。
【００１２】
また、上記目的は、非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管とを備え、前記第一の装置の溶液槽を導電材で形成して接地した非導電性溶液循環装置の静電気除去装置により達成される。
【００１３】
また、上記目的は、非導電性の溶液を圧送する第一の装置と、前記第一の装置から圧送される溶液が供給される第二の装置と、前記第一及び第二の装置との間で前記溶液を循環させる配管とを備え、前記第一の装置の溶液槽を導電材で形成して接地し、前記第一の装置の溶液槽に可撓性を備えた導電材の一端を浸し、該導電材の他端を接地した非導電性溶液循環装置の静電気除去装置により達成される。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、循環する非導電性液体から静電気を効率よく除去し得る静電気除去装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
図１は、この発明を具体化したエッチング装置（第二の装置）１１とそのエッチング装置１１を冷却するチラーユニット（第一の装置）１２を示す。エッチング装置１１はウェハにプラズマエッチングを施すものであり、電極部１３に供給される高周波電源に基づいてプラズマを発生させる。
【００１６】
前記電極部１３の近傍には冷却管１４が配設され、その冷却管１４に供給される冷媒により電極部１３が冷却される。冷媒は、フッ素系の非導電性溶液である。
前記冷却管１４には、前記チラーユニット１２から配管を介して冷媒が供給される。チラーユニット１２とエッチング装置１１との間の配管１５ａ，１５ｂは、導電性配管で構成され、エッチング装置１１内の配管１６ａ，１６ｂは電極部１３に繋がっているので、テフロン（登録商標）系樹脂等の非導電性配管で構成される。配管１５ａ，１５ｂは、チラーユニット１２とエッチング装置１１との間で接地状態で配置される。
【００１７】
そして、配管１５ａ，１５ｂと配管１６ａ，１６ｂとは導電性金属で形成されたフィルター１７ａ，１７ｂを介して接続され、配管１６ａ，１６ｂが前記冷却管１４に接続される。
【００１８】
前記チラーユニット１２内には、冷媒を一時的に貯留するための溶液槽１８が配設され、前記配管１５ｂから供給される冷媒が貯留される。溶液槽１８は、導電性を備えた金属で形成され、接地した状態で設置される。
【００１９】
前記溶液槽１８内に貯留された冷媒は、冷却器及びコンプレッサー１９で冷却され、前記配管１５ａを介してエッチング装置１１に圧送される。冷却器及びコンプレッサー１９はフィルター１７ｃを介して配管１５ａに接続される。フィルター１７ｃは、前記フィルター１７ａ，１７ｂと同一構成である。
【００２０】
前記溶液槽１８の上面からワイヤー（導電材）２０が垂下され、そのワイヤー２０の一端にはチェーン２１が接続されている。前記ワイヤー２０及びチェーン２１は導電性を備えた金属で形成され、チェーン２１は溶液槽１８の中央部において、冷媒に浸されるように垂下され、その下端が溶液槽１８の底面まで達する長さに設定されている。前記ワイヤーの他端は、溶液槽１８外で設置されている。
【００２１】
次に、上記のように構成されたエッチング装置１１及びチラーユニット１２の動作を説明する。
チラーユニット１２で冷却された冷媒は、配管１５ａ，１６ａを介してエッチング装置１１内の冷却管１４に圧送され、冷却管１４を通過する際に電極部１３を冷却する。冷却管１４を通過した冷媒は、配管１６ｂ，１５ｂを経てチラーユニット１２に循環し、溶液槽１８に貯留される。そして、冷却器及びコンプレッサー１９で冷却され、再びエッチング装置１１に圧送される。
【００２２】
このとき、配管１５ａ，１５ｂ内を流れる冷媒と配管１５ａ，１５ｂとの摩擦により静電気が発生しても、配管１５ａ，１５ｂが導電性を備え、かつ接地状態に配置されていれば、配管１５ａ，１５ｂが帯電状態となることはない。
【００２３】
チラーユニット１２から配管１５ａに冷媒が圧送されるとき、導電性のフィルター１７ｃを通過するので、冷媒内の静電気がフィルター１７ｃで除電される。
配管１５ａからエッチング装置１１に冷媒が圧送されるとき、導電性のフィルター１７ａを通過するので、配管１５ａ内を流れるうちに冷媒中に発生した静電気は、フィルター１７ａで除電される。
【００２４】
また、エッチング装置１１から配管１５ｂに冷媒が圧送されるとき、導電性のフィルター１７ｂを通過するので、非導電性の配管１６ａ，１６ｂ内を流れるうちに冷媒中に発生した静電気は、フィルター１７ｂで除電される。
【００２５】
溶液槽１８内で冷媒の攪拌により発生した静電気は、ワイヤー２０を介して接地されたチェーン２１で除電される。
上記のように構成された非導電性溶液循環装置の静電気除去装置では、次に示す作用効果を得ることができる。
（１）エッチング装置１１とチラーユニット１２との間の配管１５ａ，１５ｂを導電性配管としたことにより、配管１５ａ，１５ｂの帯電による破裂を防止することができる。
（２）チェーン２１により溶液槽１８内の冷媒中に発生する静電気を除電することができる。
（３）溶液槽１８内の冷媒中に浸される部分をチェーン２１としたことにより、冷媒中に浸される導電材の表面積を増大させて、静電気を効率よく除電することができる。
（４）溶液槽１８を導電性として接地状態で設置することにより、溶液槽１８内の冷媒中に発生する静電気を溶液槽１８で除電することができる。
（５）チラーユニット１２から配管１５ａに圧送される冷媒は、フィルター１７ｃを通過するので、配管１５ａに圧送される冷媒中の静電気を除電することができる。
（６）配管１５ａからエッチング装置１１内に圧送される冷媒は、フィルター１７ａを通過するので、配管１５ａ内を移動する際に冷媒中に発生した静電気を除電することができる。
（７）エッチング装置１１から配管１５ｂ内に圧送される冷媒は、フィルター１７ｂを通過するので、エッチング装置１１内を移動する際に冷媒中に発生した静電気を除電することができる。
【００２６】
上記実施の形態は、以下の態様で実施してもよい。
・チェーン２１の先端部を複数に分岐させることにより、静電気をさらに効果的に除電することができる。
・溶液槽１８内に冷媒が流れ込む位置でチェーン２１を冷媒に浸すことにより、溶液槽１８内に流れ込む冷媒でチェーン２１を揺動させることにより、静電気をさらに効果的に除電することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２７】
【図１】一実施の形態の静電気除去装置を示す概要図である。
【図２】従来例を示す概要図である。
【図３】従来の溶液槽を示す概要図である。
【符号の説明】
【００２８】
１１        第二の装置（エッチング装置）
１２        第一の装置（チラーユニット）
１５ａ，１５ｂ      配管
１６ａ，１６ｂ      配管
１７ａ〜１７ｃ        フィルター
１８        溶液槽
２０        導電材（ワイヤー）
２１        導電材（チェーン）
【図１】
2007005141.tif 000003
【図２】
2007005141.tif 000004
【図３】
2007005141.tif 000005