(57)【要約】【課題】  本発明は高性能インクジェット記録ヘッドおよび記録装置を提供することを目的とする。【解決手段】  液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板が記録素子基板支持板上に配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、インクジェット記録ヘッドをインクジェット記録装置に搭載する際のインク吐出方向と平行方向（Z方向）の位置決め基準として、記録素子基板支持板の記録素子基板を搭載する面の対面に設定する事を特徴とするインクジェット記録ヘッド及び記録装置。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を吐出するための複数のノズルと吐出エネルギーを発生する記録素子を複数配列した記録素子基板が記録素子基板支持板上に配置されているインクジェット記録ヘッドにおいて、
インクジェット記録ヘッドをインクジェット記録装置に搭載する際のインク吐出方向と平行方向（Z方向）の位置決め基準として、記録素子基板支持板の記録素子基板搭載面の反対面に設定する事を特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記記録素子基板支持板に、記録素子基板へインクを供給するためのインク供給口が設けられている事を特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
請求項１乃至請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドを用いた記録装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の液体を吐出して記録動作を行うインクジェット記録装置、および記録装置に用いられるインクジェット記録ヘッドに関する。本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、あるいは、これらの装置を複合した多機能記録装置等に適用することができる。特に、高速かつ高画質な印字を行う記録装置に好適に適用される。
【背景技術】
【０００２】
従来、インクジェット記録装置は、ランニングコストが安く、装置の小型化も可能であり、さらに、複数色のインクを用いてカラー画像記録に対応することも容易であることから、コンピュータ関係の出力機器等に幅広く利用され、商品化されている。
【０００３】
一方、記録ヘッドの吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によって液体を加熱させるもの等がある。
【０００４】
その中でも熱エネルギーを利用してインク滴を吐出させる方式のインクジェット記録方式のヘッドは、吐出口を高密度に配列することができるため、高解像度の記録が可能である。電気熱変換素子をエネルギー発生素子として用いた記録ヘッドは、小型化も用意であり、かつ最近の半導体分野における技術の進歩と信頼性の向上が著しいＩＣ技術やマイクロ加工技術の長所を十二分に活用でき、高密度実装化が容易で製造コストも安価なことから有利である。
【０００５】
また、最近では、より高詳細の印字を行うために、インクを吐出するためのノズルを、フォトリソ技術を用いて高精度に作成する方法等も利用されてきている。
【０００６】
近年では、より高速に高詳細の画像の記録を実現するため、より印字幅が長尺化しており、将来的により長い記録ヘッドの実現も望まれている。具体的には、ヘッドの長さが４インチや１３インチなどの長さのものも要求されてきている。
【０００７】
また、インクを飛翔させて対面する被記録媒体に画像を形成する方式であるため、インクの吐出面と被記録媒体との距離を可能な限り短くする事により、インクの着弾位置精度が向上する。つまりは高画質化に著しく好適な影響を与える。
【０００８】
高画質化のため、記録ヘッドのインク吐出面と被記録媒体との距離を短く保つためには、高精度のヘッド装着精度が求められる。
【０００９】
従来例としては、例えば特許文献１と特許文献２をあげることが出来る。
【特許文献１】特開平１１−１６５４１４号公報
【特許文献２】特開２００５−３０５９５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかし、従来ヘッドにおける位置決め基準を持つ部材と、インク吐出面が作りこまれた記録素子基板との間には、数点の部品とそれらを接着する接着剤層が存在する。このため、接着層の厚さや、部品の寸法精度の公差が大きくなり、インク吐出面と被記録媒体との距離を短くするには不向きであった。
【００１１】
特に、前述した印字領域が4インチ、13インチの長尺ヘッドなどではヘッドを記録装置本体へ搭載する際の位置決め基準が、ヘッド長手の両端のみに設定されるのが一般的である。そのため、ヘッドの反りなどを考慮して、あらかじめインク吐出面と、被記録媒体との距離を長めに設定せざるを得なかった。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するため本発明のインクジェット記録装置およびインクジェット記録ヘッドは、
記録素子基板が配列して接着される記録素子支持基板の裏に３箇所以上の高精度研磨工程による位置決め基準面を設け、高精度でインクジェット記録装置に搭載することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明では、第1の実施例で示す通り、記録素子基板を支持するプレートに本体への取り付けにおける基準面を作り込む事によって基準面と記録素子基板間に存在する接着層や部品精度による寸法バラツキを極力排除することができる。このため被記録媒体と記録ヘッドの距離を高精度に調整できる。
【００１４】
また、この基準面を記録ヘッド上に複数箇所設けることにより、記録ヘッドの反りなどの変形を矯正して本体に設置することができるため、記録ヘッドの記録液吐出面と被記録媒体との距離を従来より近付ける事が可能となり、記録液の着弾位置精度を向上させることができる。
【００１５】
よって、より安価な構成により高性能なインクジェット記録装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
【００１７】
（第１の実施形態）
図１から図１２は、本発明が実施もしくは適用される好適な記録ヘッド、駆動回路、インクジェット記録装置のそれぞれ及びそれぞれの関係を説明するための説明図である。以下、これらの図面を参照して各部構成の説明しながら、全体を説明することにする。
【００１８】
（１）記録ヘッドの説明
図１に示すように記録ヘッドＨ１０００はインクの飛翔によって記録を行うインクジェット記録ヘッドである。記録ヘッドの吐出口からインクを吐出するためのエネルギーを発生するエネルギー発生素子としては、ピエゾ素子などの電気機械変換体を用いたもの、レーザーなどの電磁波を照射して発熱させ、この発熱による作用でインク滴を吐出させるもの、あるいは、発熱抵抗体を有する電気熱変換素子によって液体を加熱させるもの等がある。
【００１９】
本件の提案はいかなる方式の駆動方式に対しても有用であるが、ここでは代表して電気信号に応じて膜沸騰をインクに対して生じせしめるための熱エネルギーを生じせしめるための熱エネルギーを生成する電気熱変換体を用いて記録を行うバブルジェット（登録商標）方式のサイドシュータ型とされる記録ヘッドを用いて説明する。
【００２０】
記録ヘッドＨ１０００は、図２の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１とインク供給ユニットＨ１００２のインク供給部材Ｈ１５００から構成される。さらに、図３の分解斜視図に示すように、記録素子ユニットＨ１００１は、記録素子基板Ｈ１１００、記録素子基板支持プレートＨ１２００、フレキシブル配線基板Ｈ１３００、フィルター部材Ｈ１９００で構成されている。
【００２１】
（１−１）記録素子ユニット
図４（ａ）は、記録素子基板Ｈ１１００の構成を説明する図であり、図４（ｂ）は図４（ａ）に示すＡ−Ａ断面図である。記録素子基板Ｈ１１００は、例えば、厚さ０．５〜１ｍｍのＳｉ基板Ｈ１１０８で薄膜が形成されている。また、インク流路として長溝状の貫通口からなるインク供給口Ｈ１１０１が形成され、インク供給口Ｈ１１０１の両側に電気熱変換素子Ｈ１１０２がそれぞれ１列ずつ千鳥状に配列されており、前記電気熱変換素子Ｈ１１０２、及び、Aｌ等の電気配線が成膜技術により形成されている。また、該電気配線に電力を供給するために電極Ｈ１１０３が設けられている。前記インク供給口Ｈ１１０１は、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８の結晶方位を利用して、異方性エッチングを行う。ウエハー面に＜１００＞、厚さ方向に＜１１１＞の結晶方位を持つ場合、アルカリ系（ＫＯＨ、ＴＭＡＨ、ヒトラジン等）の異方性エッチングにより、約５４．７度の角度でエッチングが進行する。この方法を用いて、所望の深さにエッチングする。また、前記Ｓｉ基板Ｈ１１０８上には、ノズルプレートＨ１１１０が具備され、電気熱変換素子Ｈ１１０２に対応したノズルＨ１１０５、発泡室Ｈ１１０７がフォトリソ技術により形成されている。また、前記ノズルＨ１１０５は前記電気熱変換素子Ｈ１１０２に対向するように設けられており、インク供給口Ｈ１１０１から供給されたインクを電気熱変換素子Ｈ１１０２により気泡を発生させてインクを吐出させるものである。
【００２２】
記録素子基板支持プレートＨ１２００は、例えば、厚さ０．５〜１０ｍｍのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）材料で形成されている。なお、記録素子基板支持プレートの素材は、アルミナに限られることなく、記録素子基板Ｈ１１００の材料の線膨張率と同等の線膨張率を有し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００材料の熱伝導率と同等もしくは同等以上の熱伝導率を有する材料で作られてもよい。記録素子基板支持プレートＨ１２００の素材は、例えば、シリコン（Ｓｉ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）、ジルコニア、窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ４）、炭化珪素（ＳｉＣ）、モリブデン（Ｍｏ）、タングステン（Ｗ）のうちいずれであってもよい。記録素子基板支持プレートＨ１２００には、記録素子基板Ｈ１１００にインクを供給するためのインク供給口Ｈ１２０１が形成されており、記録素子基板Ｈ１１００のインク供給口Ｈ１１０１が記録素子基板支持プレートＨ１２００のインク供給口Ｈ１２０１に対応し、かつ、記録素子基板Ｈ１１００は第１のプレートＨ１２００に対して位置精度良く接着固定される。その接着剤は、例えば、粘度が低く、接触面に形成される接着層が薄く、かつ、硬化後、比較的高い硬度を有し、かつ、耐インク性のあるものが望ましい。例えば、エポキシ樹脂を主成分とした熱硬化接着剤、もしくは紫外線硬化併用型の熱硬化接着剤であり、接着層の厚みは５０μｍ以下が望ましい。
【００２３】
また、記録素子基板支持プレートＨ１２００には、記録ヘッドＨ１０００をインクジェット記録装置へ搭載する際の基準面となる突起状の基準部Ｈ１４００が作りこまれる。記録素子基板Ｈ１１００を高精度に搭載するため、記録素子基板支持プレートＨ１２００は記録素子基板搭載面とその裏面を研磨加工によって高い平面性を持たせる。その際、同時に基準部Ｈ１４００の図３で示す所の下面側にも高い平面度を持たせることができる。
【００２４】
記録素子基板Ｈ１１００は、図１に示すように第１のプレート上Ｈ１２００に千鳥状に配置され、同一色による幅広の記録を可能としている。例えば、ノズル群の長さが１インチ＋αの１３の記録素子基板Ｈ１１００−１からＨ１１００−１３を千鳥状に配置し、１３インチ幅の記録を可能にしている。
【００２５】
また、各記録素子基板の吐出口群の端部は、千鳥状に隣接する記録素子基板のノズル群の端部と、記録方向に対して、重複する領域（Ｌ）を設け、各記録素子基板による印刷に隙間が生じることを防止している。例えば、ノズル群Ｈ１１０６−１とノズル群Ｈ１１０６−１に重複領域Ｈ１１０９−２、Ｈ１１０９−２を設けている。
【００２６】
フレキシブル配線基板Ｈ１３００は屈曲性をもち、記録素子基板Ｈ１１００とプリント配線基板Ｈ１６００との信号付加と電力供給の中継を行うものである。フレキシブル配線基板Ｈ１３００は、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３に対応する電極端子Ｈ１３０６と、この配線端部に位置し記録装置本体からの電気信号を受け取るための外部信号入力端子Ｈ１３０７を有している。外部信号入力端子Ｈ１３０７はプリント配線基板Ｈ１６００の不図示の電極端子にＡＣＦ接合される。
【００２７】
フレキシブル配線基板Ｈ１３００と記録素子基板Ｈ１１００は例えば、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３とフレキシブル配線基板Ｈ１３００の電極端子Ｈ１３０６は金ワイヤーＨ１１１１を用いたワイヤーボンディング技術により電気的に接続される。
【００２８】
フレキシブル配線の素材としては配線が二層構造のポリイミド基板が使用され、表層はポリイミドフィルムで覆われている。
【００２９】
また、記録素子基板Ｈ１１００の電極Ｈ１１０３は、第２の封止剤Ｈ１３０５（不図示）で封止し、電気接続部分をインクによる腐食や外的衝撃から保護している。
【００３０】
また、記録素子基板支持プレートＨ１１００の裏面側インク供給口Ｈ１２０１には、インク中に混入された異物を取り除くためのフィルター部材Ｈ１９００が接着固定される。
【００３１】
（１−２）インク供給ユニット
インク供給部材Ｈ１５００は、例えば、樹脂成形もしくはアルミナ等のセラミック材料やカーボングラファイトなどにより形成され、共通液室Ｈ１５０１を具備している。
【００３２】
（１−３）記録素子ユニットとインク供給ユニットの結合
先述の図２に示した通り、記録ヘッドＨ１０００は、記録素子ユニットＨ１００１をインク供給部材Ｈ１５００に結合することにより完成する。
【００３３】
結合は以下のように行われる。
【００３４】
インク供給部材Ｈ１５００の開口部と記録素子ユニットＨ１００１を第３の封止剤Ｈ１５０３により封止し、共通液室Ｈ１５０１を密閉する。第３の封止剤Ｈ１５０３は、耐インク性があり、かつ、常温で硬化し、かつ、異種材料間の線膨張差に耐えられる柔軟性のある封止剤が望ましい。
【００３５】
（２）駆動回路の説明
本願の記録ヘッドＨ１０００は図１に示されるように１３の記録素子基板Ｈ１１００が記録素子基板支持プレートＨ１２００の上に精度良く配列され、さらに１３の記録素子基板Ｈ１１００がフレキシブル基板Ｈ１３００とプリント基板Ｈ１６００で配線されている。図１０はこの１３の記録素子基板間の信号配線を示す回路図である。図中Ｈ１１００−１〜Ｈ１１００−１３がそれぞれ１３の記録素子基板に相当し、各記録素子基板は図８および図９に示す奇数、偶数２つのノズル列の駆動回路から成り立っている。ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅは素子毎に奇偶別々に取り出されており、記録素子基板毎にＨＥＡＴ１〜８およびＩＤＡＴＡ１〜８の信号名で示されている。それ以外の信号は記録素子基板間で共通に配線されている。ＬＴＣＬＫ、ＤＣＬＫ、ＨＥＡＴ１〜８、ＩＤＡＴＡ１〜８は外部信号入力端子Ｈ１３０１に接続され、電源系であるＶＨ、ＧＮＤＨ、ＶＤＤ、ＧＮＤは電源端子Ｈ１３０２に接続されている。
【００３６】
図４は記録素子基板Ｈ１１００の構成を示す図で、インク供給口Ｈ１１０１を挟んで両側に奇数、偶数２つのノズル列がノズルピッチの半分ずらして配置されている。これら２つの駆動回路は記録素子基板上に半導体プロセスにより形成され、ＨＥＡＴＯ、ＥおよびＩＤＡＴＡＯ、Ｅの信号はそれぞれの駆動回路で独立に配線されているが、それ以外の信号（ＤＣＬＫ、ＬＴＣＬＫ）と電源（ＶＤＤ、ＧＮＤ、ＶＨ、ＨＧＮＤ）は記録素子基板内においても共通配線となっている。奇数および偶数ノズル列には共に６４０ノズルが６００ｄｐｉピッチで配列されており、前述のようにハーフピッチ分ずれているため、記録素子基板としては１２００ｄｐｉ、１２８０ノズルを構成することになる。各ノズル列の駆動回路は全く同じであるため、図８により駆動回路の概要を説明する。６４０の各ノズルにはそれぞれ吐出ヒータＨ１１０２−１〜１２７９が設けられ、各吐出ヒータを駆動することによりノズル内のインクを発泡させ、インク滴を吐出する。吐出ヒータは２０個づつ、３２の駆動ブロックに分割されており、時分割で駆動される。駆動ブロックはＢＥ０〜３１の信号により選択され、駆動ブロック内に属する２０個の吐出ヒータはトランジスタＥ１００６−１〜２０のＯＮ／ＯＦＦにより吐出するか否かが決定させる。
【００３７】
図１１の駆動タイミングチャートと図８により記録ヘッドＨ１０００の駆動について説明する。ＰＲＩＮＴ信号は１カラムの吐出を開始するタイミングを与えるパルス信号で、パルスの立ち上がりタイミングで駆動回路の動作が開始する。駆動回路が動作を開始すると最初にＬＴＣＬＫが生成され、それから数１００ｐｓ後に転送クロックＤＣＬＫが転送データ分、すなわち２５クロック出力される。ＩＤＡＴＡ１〜８の各信号にはＤＣＬＫに同期して転送データが出力され、２５ビットシフトレジスタＥ１００１にシリアル転送される。そして、シフトレジスタＥ１００１に格納されたデータは次の駆動ブロックの最初に出力されるＬＴＣＬＫのタイミングで２５ビットラッチＥ１００２に記憶される。そのため、最初の転送データにしたがって実際の駆動がなされるのはその次のブロックの転送が行われるタイミングである。ここで転送されるデータ内容は駆動されるブロックの番号ＢＥＮＢ０〜４が５ビット、続いてそのブロックで駆動される電気熱変換素子Ｈ１１０２の駆動データが２０ビットの合計２５ビットである。駆動ブロックＢＥＮＢ０〜４は５→３デコーダＥ１００３でＢＥ０〜３１にデコードされ、トランジスタＥ１００５−１〜３２のベース電極に接続される。よって、常に３２個のトランジスタＥ１００５−１〜３２の内、１個だけが駆動されることになり、指定ブロックに属する電気熱変換素子の一端にのみ駆動電源（ＶＨ）が供給されることになる。一方、電気熱変換素子Ｈ１１０２−１〜１２７９のもう一端はセグメント毎に３２個づつ並列接続されて、それぞれ２０個のトランジスタＥ１００６−１〜２０のコレクタ電極に接続されている。これらのトランジスタの駆動はベース電極に接続されているＡＮＤゲートＥ１００４−１〜２０出力により制御される。ＡＮＤゲートの一方の入力には２０ビットの駆動データ信号が接続され、もう一方には電気熱変換素子を実際に駆動するタイミングを与えるパルス信号ＨＥＡＴ１〜８が接続されている。よって、トランジスタＥ１００６−１〜２０は上記２信号のＡＮＤで制御されることになり、その結果２０ビットの駆動データによって指定されたセグメントに対してＨＥＡＴ１〜８のパルスタイミングで駆動されることになる。以上のようにして、ＰＲＩＮＴ信号が発効すると駆動回路が動作を開始し、最初に０ブロック目が駆動され順次１、２、…となって、最後に３１ブロック目は駆動が完了して、全記録素子基板の全ノズルの吐出が制御される。
【００３８】
（３）インクジェット記録装置の説明
本発明のインクジェット記録装置Ｍ４０００は、図７に示すように、例えば、写真画質の記録に対応して６色分の記録ヘッドが具備されている。記録ヘッドＨ１０００Bkは、ブラックインク用の記録ヘッドであり、記録ヘッドＨ１０００Cはシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００Mマゼンタインク用、記録ヘッドＨ１０００Ｙはイエローインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＣはライトシアンインク用、記録ヘッドＨ１０００ＬＭはライトマゼンタインク用である。これらの記録ヘッドＨ１０００を、記録装置本体Ｍ４０００に載置されているキャリッジＭ４００１の位置決め手段及び電気的接点Ｍ４００２によって固定支持する。
【００３９】
そして、これらの記録ヘッドを、先述の駆動回路によって制御し、記録媒体に対して記録を行うものである。なお、図７の記録装置では、記録ヘッドが記録媒体幅分のノズルを有するフルラインタイプであり、記録ヘッドは固定で、記録媒体が矢印の方向に走査することで記録を行う方式である。
【００４０】
また、図１２の記録装置では、記録ヘッドが記録媒体上を複数回往復運動して画像を形成するシリアルスキャンタイプである。
【００４１】
（４）記録ヘッド搭載の説明
図５は本発明の記録ヘッドの外観斜視図、図６は本発明の記録装置の模式図である。
【００４２】
次いで、図６を用いて記録ヘッドＨ１０００をインクジェット記録装置Ｍ４０００に搭載する方法について説明する。
【００４３】
図６（ａ）に示すように、本体の取付け部は平面度が出ている基準面Ｍ１０００と押し付け部材Ｍ１００１で構成される。
【００４４】
押し付け部材Ｍ１００１と記録ヘッドのヘッド基準部Ｈ１４００が相対するように設置する。
【００４５】
次いで図６（ｂ）に示すように押し付け部材Ｍ１００１を基準面Ｍ４０００に押し上げ、ヘッド基準部Ｈ１４００を挟み込むように固定する。押し付け部材にはバネやゴム等の弾性材を使用し、ヘッド基準部Ｈ１４００の図中上面を確実に基準面Ｍ１０００に当接しうる構成とする。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の記録ヘッドの外観斜視図
【図２】本発明の記録ヘッドの分解斜視図
【図３】記録素子ユニットの分解斜視図
【図４】記録素子基板を説明する図（ａ）斜視図、（ｂ）Ａ−Ａ断面図
【図５】本発明の記録ヘッドの外観斜視図
【図６】本発明の記録装置の模式図
【図７】インクジェット記録装置（フルライン方式）を説明する図
【図８】奇数のノズル列の駆動回路を説明する図
【図９】偶数のノズル列の駆動回路を説明する図
【図１０】４つの記録素子基板間の信号配線を説明する図
【図１１】駆動タイミングチャート図
【図１２】インクジェット記録装置（シリアル方式）を説明する図
【符号の説明】
【００４７】
Ｈ１０００  記録ヘッド
Ｈ１００１  記録素子ユニット
Ｈ１００２  インク供給ユニット
Ｈ１１００  記録素子基板
Ｈ１１０１  インク供給口
Ｈ１１０２  電気熱変換素子
Ｈ１１０３  電極
Ｈ１１０４  インク流路
Ｈ１１０５  ノズル
Ｈ１１０６  ノズル群
Ｈ１１０７  発泡室
Ｈ１１０８  Ｓｉ基板
Ｈ１１１０  ノズルプレート
Ｈ１２００  第１のプレート
Ｈ１２０１  インク供給口
Ｈ１３００  フレキシブル配線基板
Ｈ１３０２  電極端子
Ｈ１３０３  金ワイヤー（不図示）
Ｈ１３０４  第１の封止剤
Ｈ１３０５  第２の封止剤
Ｈ１５００  インク供給部材
Ｈ１５０１  液室（不図示）
Ｈ１５０２  Ｚ基準面
Ｈ１５０３  第３の封止剤（不図示）
Ｈ１５０４  インク供給口（不図示）
Ｈ１６００  プリント配線基板
Ｈ１６０１  外部信号入力端子
Ｈ１８００  インクタンク
Ｈ１８０２  チューブ
Ｍ４０００  インクジェット記録装置
Ｍ４００１  キャリッジ
Ｍ４００２  電気的接点
Ｅ１００１  シフトレジスタ
Ｅ１００２  ２５ビットラッチ
Ｅ１００３  デコーダ
Ｅ１００４  ＡＮＤゲート
Ｅ１００５  トランジスタ
Ｅ１００６  トランジスタ
Ｋ１０００  記録媒体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007320075.tif 000009
【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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