(57)【要約】【課題】アドレスが外周側から内周側に向かって増加する光ディスク用の原盤を露光する際に遷移領域を精度良く形成するための方法を提供する。【解決手段】第１層及び第２層を有し、各層に遷移領域を境界として互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を有し、第１層は内周側から外周側に向かってアドレスが増加するように付され、第２層は外周側から内周側に向かってアドレスが増加するように付されている２層構造の光ディスクの第２層用の原盤２０において第２情報領域１３を露光する際には、遷移領域１２と隣接する半径位置から露光を開始して、アドレスが小さい側すなわち外周側に向かってアドレスの逆順に露光する方法を用いることによって、遷移領域１３を精度良く形成することができる。【選択図】図１
2007102964.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アドレスが所定方向に順に付された情報記録媒体用原盤を作製する方法であって、
原盤上に感光性材料を塗布し、
前記アドレスの順と逆順で前記原盤を露光することを特徴とする情報記録媒体用原盤の作製方法。
【請求項２】
前記情報記録媒体用原盤が、遷移領域を境界とするトラックピッチの異なる２つの情報領域を有する情報記録ディスクを製造するための原盤であって、前記２つの情報領域の少なくとも一方の領域を露光する際に、遷移領域に隣接する半径位置から露光を開始することを特徴とする請求項１に記載の情報記録媒体用原盤の作製方法。
【請求項３】
前記情報記録媒体用原盤が、第１層及び第２層を有し、各層に前記遷移領域を境界とするトラックピッチの異なる２つの情報領域をそれぞれ有し、第１層はアドレスが内周側から外周側に向かって増加するように付され、第２層はアドレスが外周側から内周側に向かって増加するように付される情報記録ディスクを製造するために用いる第２層用の原盤であって、前記原盤の２つの情報領域のうちより広い情報領域を露光する際に、遷移領域に隣接する半径位置から露光を開始することを特徴とする請求項１または２に記載の情報記録媒体用原盤の作製方法。
【請求項４】
第１層及び第２層を有し、各層に遷移領域を境界とするトラックピッチの異なる２つの情報領域を有する情報記録ディスクを製造するために用いる第１層用及び第２層用の原盤の作製方法であって、
第１層の２つの情報領域のうち外周側にある情報領域を露光する際に、遷移領域に隣接する半径位置から露光を開始し、外周側に向かって露光を行うことと、
第２層の２つの情報領域のうち外周側にある情報領域を露光する際に、遷移領域に隣接する半径位置から露光を開始し、外周側に向かって露光を行うこととを含むことを特徴とする情報記録媒体用原盤の作製方法。
【請求項５】
アドレスが所定方向に順に付された情報記録媒体用原盤の原盤露光装置に用いられる外部信号発生装置であって、
上記原盤を露光するための情報がアドレスと共に格納されているメモリと、
前記メモリから前記情報をアドレスの順とは逆の順に出力させる手段とを備える外部信号発生装置。
【請求項６】
さらにチャンネルビットクロック源と、アドレス発生回路と、ＣＲＣ発生回路と、変調／偏向回路と、アドレスカウンタとを備える請求項５に記載の外部信号発生装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の外部信号発生装置を備える情報記録媒体用原盤の原盤露光装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トラックピッチの異なる記録再生領域又は再生専用領域を有する情報記録媒体用原盤を作製する方法及びそれに使用する外部信号発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、光情報記録媒体（光ディスク）の高密度化に伴い、より短波長のレーザー光を用いて記録再生を行うための開発が進められている。例えば、現在のＤＶＤには波長６４０ｎｍ〜６８０ｎｍのレーザー光が用いられているが、青色発光半導体レーザーの実現により、さらに短波長の４０５ｎｍのレーザー光を用いて記録再生可能な光ディスクの開発が進められている。波長４０５ｎｍのレーザー光を用いる高密度光ディスクにおいても、現在のＤＶＤに見られるように、再生専用光ディスク、書き換え可能型光ディスク等の種々の光ディスクが検討されている。これらの種々の記録再生方式や記録再生波長の異なる光ディスクを記録再生装置において記録・再生する際に、それらの光ディスクの互換性を確保する目的で、各光ディスクの記録面には、互いにトラックピッチが異なる、例えば案内溝の間隔又は案内溝とピット列との間隔が異なる複数の情報領域（記録再生領域又は再生専用領域）が一般的に設けられている。これらのトラックピッチが異なる情報領域の境界には、トラックピッチが連続的或いは段階的に変化する遷移領域が形成されている。遷移領域に案内溝が形成されていない場合には、遷移領域はミラー領域と呼ばれている。この遷移領域は光ディスクの容量確保のために可能な限り狭く形成されることが望ましい。
【０００３】
上記のような光ディスクを作製するには、先ず、平滑なガラス原盤上にフォトレジストをスピンコートし、この原盤を原盤露光装置を用いて露光する。原盤露光装置は図５に示すように、レーザー３０５を光源として備える光ヘッド３０４と、回転テーブル３０２と、光ヘッド３０４を回転テーブル３０２に対してスライド移動させるスライダ３０６と、スライダ３０６の位置を計測するレーザースケール３０７と、外部信号発生装置５１１とを主に備える。
【０００４】
露光を開始する際に、回転テーブル３０２にフォトレジスト薄膜が形成された原盤３０３を設置し、スピンドル３０１を駆動して回転テーブル３０２を回転させる。レーザースケール３０７を用いてスライダ３０６の位置を制御して、光ヘッド３０４からのレーザー光が光ディスク原盤３０３上の目標となる半径位置に照射されるように位置決めを行う。次いで外部信号発生装置５１１からの光変調／光偏向信号に基づいてレーザー光の出力を制御しながら、所定の速度でスライダ３０６を駆動して露光を行うことで光ディスク原盤３０３の表面のフォトレジスト薄膜に螺旋状の記録トラックを形成する。通常の光ディスクには周回方向にアドレスが付されており、このような光ディスクを製造するための原盤を露光する際には、このアドレスの順に従って露光を行う。
【０００５】
このようにして原盤表面のフォトレジスト薄膜に螺旋状記録トラックを形成した後、現像を行って所定のパターンが形成された光ディスク原盤を得る。光ディスク原盤表面に導電性を持たせるために、スパッタリングなどによって光ディスク原盤の表面にニッケルなどの薄い導電性膜を形成した後、電気メッキにより０．３ｍｍ程度のニッケル膜を形成する。このニッケル膜を光ディスク原盤から剥離したものを、光ディスク用のスタンパとして使用する。このスタンパを金型として用いて、ポリカーボネートの射出成形によって光ディスクを複製する。
【０００６】
上記原盤露光装置を用いて光ディスク用原盤に螺旋状の記録トラックを形成する場合、大きく分けて露光ビームの光量及び線速を一定に保ち、半径位置によって原盤の回転数及びスライダの移動速度を連続的に変化させるＣＬＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ  Ｌｉｎｅａｒ  Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）方式と、原盤の回転数とスライダの移動速度を一定に保ち、半径位置によって露光ビームの光量を連続的に変化させるＣＡＶ（Ｃｏｎｓｔａｎｔ  Ａｎｇｕｌａｒ  Ｖｅｌｏｃｉｔｙ）方式の２種類がある。通常、記録容量を重視する再生専用媒体や一回のみ記録可能な追記媒体にはＣＬＶ方式を用い、アクセス速度を最重視するコンピューター用途の媒体はＣＡＶ方式を用いて作製される。ディスク上の所定の位置に正確に記録するためには、半径方向の駆動制御と回転制御が容易なＣＡＶ方式が主に用いられる。物理データ長が半径位置によらず一定であるＣＬＶフォーマットの光ディスクを、制御が容易なＣＡＶ方式で作製する試みもなされている（例えば、特許文献１参照。）
【特許文献１】特開平８−２０３１３３号公報
【０００７】
通常の光ディスクでは、アドレス（アドレス番号）がディスクの内周側から外周側に向かって増加するように割り当てられている。原盤露光装置に接続される通常の（市販の）信号発生装置は、アドレスが増加する順にアドレス等を含む信号を順次発生させるため、このような信号発生装置を用いて光ディスク用の原盤を露光する場合には、原盤の内周側から外周側に向かってアドレスが増えつつ記録トラックが順次形成される。互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を持つ光ディスク用の原盤を作製する際は、内周側の情報領域（第１情報領域）、遷移領域、及び外周側の情報領域（第２情報領域）をそれぞれ区画して形成しなければならない。幅の狭い遷移領域を高精度に形成するためには、第１情報領域の露光終了半径位置と第２情報領域の露光開始半径位置をミクロンオーダーで制御する必要がある。第１情報領域に含まれるトラック数は第２情報領域に含まれるトラック数と比べて非常に少ないため、原盤露光装置のスライダの送り誤差は第１情報領域全体で累積しても問題になる量ではない。また、現状の原盤露光装置では、露光を開始する半径位置に所望の誤差範囲で露光ビームを位置合わせすることができる。よって、現状では第１情報領域の露光終了半径位置と第２情報領域の露光開始半径位置をミクロンオーダーで制御して、遷移領域を精度良く形成することが可能であった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、光ディスクの容量を増やすために、記録再生層を多層化した光ディスクが開発されている。このような多層の記録再生層の間では、データは連続的に記録又は再生されている。例えば、第１の記録層から第２の記録層に渡って情報を再生する場合、光ディスクの回転方向及び光学ヘッドと光ディスクの相対位置を固定したままで、レーザー光の焦点位置を第１の記録再生層（第１層）から第２の記録再生層（第２層）へ移動させる方法が採られる。通常、アドレスは、第１層においては前述のように光ディスクの内周側から外周側に向かって増加するように割り当てられているが、第２層においては、層間データを連続的に記録又は再生するために、外周側から内周側に向かって増加するように割り当てられている。このような多層の記録再生層を有する光ディスクもまた単層の光ディスクと同様に、各層に互いにトラックピッチの異なる第１及び第２情報領域を持つ。このような２層の光ディスクを作製するためには、第１層用と第２層用の２種類の光ディスク用の原盤を作製する必要がある。第１層用の原盤１０は図１（ａ）に示したように、第１情報領域１、第２情報領域２、及びそれらの領域間に設けられた遷移領域３を有する。第１層用の原盤１０ではアドレスは矢印４で示したように内周側から外周側に向かって増加する。また、第２層用の原盤２０は、図１（ｂ）に示したように、第１情報領域１１、第２情報領域１２、遷移領域１３を有し、矢印１４で示すようにアドレスは外周側から内周側に向かって増加する。
【０００９】
発明者の実験によると、図１（ａ），（ｂ）に示したような２層で且つ各層に互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を持つ光ディスク用の原盤を、通常の信号発生装置を備える原盤露光装置（ＣＬＶ方式）を用いて形成した場合には、第２層用の原盤２０における遷移領域１３の位置が設計通りに形成されず、遷移領域１３が第１情報領域１又は第２情報領域２と重複してしまうことがあった。
【００１０】
発明者はその原因を種々の観点から調査したところ、以下のようなことが分かった。第２層用の原盤２０を原盤露光装置を用いて露光する際には、前述のようにアドレスが外周側から内周側に向かって増加するように割り当てられているために、原盤の外周側から内周側に向かって露光が行われる。このとき、遷移領域１２を精度良く形成するためには、第２情報領域１３の露光終了半径位置及び第１情報領域１１の露光開始半径位置を十分な精度で制御する必要がある。この場合、第１情報領域１１と比べて第２情報領域１３に含まれるトラック数が非常に多いために、第２情報領域１３を形成する際に原盤露光装置のスライダの送り誤差が累積する。そのため、第２情報領域１３の露光終了半径位置をミクロンオーダーで制御することができず、第２情報領域１３の露光終了半径位置は設計値から大幅にずれていたと考えられる。
【００１１】
この問題を解決するための方法として、発明者はＣＡＶ方式が半径方向の駆動制御と回転制御が容易であることに着目して、ＣＡＶ方式で原盤露光装置を制御することを試みた。しかし、ＣＡＶ方式で原盤露光装置を制御した場合においても、第２情報領域１３の露光終了半径位置を正確に定めることは困難であった。その理由は以下のように考えられる。
【００１２】
原盤露光装置のスライダの送り速度Ｖ（μｍ／秒）は、スピンドルの回転数Ｒｅｖ（ｒｐｓ）とトラックピッチＰ（μｍ）から、Ｖ（μｍ／秒）＝Ｒｅｖ（ｒｐｓ）×Ｐ（μｍ）で求められる。このときのスライダ送り周波数ｆ（Ｈｚ）は、レーザースケールの分解能Ｒｅｓ（μｍ）からｆ（Ｈｚ）＝Ｖ（μｍ／秒）／Ｒｅｓ（μｍ）で与えられる。ここでスケール分解能Ｒｅｓ（μｍ）は、個々のレーザースケールに固有の値である。例えば、今回の実施例で用いたレーザースケールを例に取れば、この値は、Ｒｅｓ（μｍ）＝２．７５８７５０／１０００（μｍ）である。また、スライダの移動の指令クロックは、例えば、原振が１６ＭＨｚのクロックから市販のＩＣで分周して生成しており、そのステップＫは例えば分周比を６５５３６×２５７とすると、Ｋ＝１６００００００／（６５５３６×２５７）となる。このときの分周比をＥとすると、実際に用いられる分周比Ｅ’は、Ｅ＝ｆ／Ｋを四捨五入して整数化したものになる。このため、実際に出力される指令クロックの周波数ｆ’（Ｈｚ）はｆ’（Ｈｚ）＝Ｋ×Ｅ’となる。
【００１３】
一方、スピンドルの回転数も、例えば２４ＭＨｚのクロックからデジタルシンセサイザーで発生しているため、連続ではなく、例えば０．０３６ｒｐｍ単位の離散的な値となる。加えて、外部信号との回転方向の同期を取る必要性から、回転数として設定可能な値には制約が加わってしまう。このため、ＣＡＶ方式を用いても、スライダの制御誤差をゼロにすることはできない。即ち、単純にＣＡＶ方式を用いただけでは、前述のような第２情報領域１３の露光終了半径位置を正確に制御することが困難であることが分かった。
【００１４】
そこで、本発明の目的は、原盤露光装置を用いてトラックピッチの異なる２つの情報領域を有する光ディスク用の原盤を作製する際に、それらの情報領域間の遷移領域を高い位置精度で露光する方法及びその方法に用いられる信号発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
本発明の第１の態様に従えば、アドレスが所定の方向に順に付された光ディスク用の原盤を作製する方法に関して、アドレスの大きい側からアドレスの小さい側に向かって、アドレスが付された順とは逆順に露光する方法が提供される。本発明の情報記録媒体用原盤の作製方法では、アドレスの順と逆順で原盤を露光するので、露光開始から経過時間の短いアドレス番号が大きい位置を露光する場合の露光位置精度を向上することができる。
【００１６】
本発明において、遷移領域を境界にして互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を有し、アドレスが所定の方向に順に付された光ディスク用の原盤を作製する方法に関して、２つの領域のうち少なくとも一方の領域を露光する際に、遷移領域に隣接する半径位置から露光を開始して、その位置からアドレスが小さい側に向かってアドレスが付された順とは逆順に露光し得る。なお、本出願において、用語「情報領域」とは、情報がこれから記録される領域または既に記録されている領域を意味し、記録及び再生が行われる領域や再生専用領域をも含む概念である。また、「情報記録ディスク」は、再生専用ディスク、一回のみ書換可能なディスク及び書換可能な光ディスクを含み、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ、ＤＶＤ−ＲＡＭ等に代表されるが、その他の磁気記録ディスクや熱磁気記録ディスクも含む。
【００１７】
本発明において、第１層及び第２層を有し、各層に遷移領域を境界として互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を有し、第１層はアドレスが内周側から外周側に向かって、例えば、スパイラル状に増加するように付され、第２層はアドレスが外周側から内周側に向かって、例えば、スパイラル状に増加するように付されている２層構造の光ディスクの第２層を作製するための原盤を露光する場合に、２つの情報領域のうち広い方の情報領域、即ちトラック数が多い方の情報領域を露光する際には、遷移領域と隣接する半径位置から露光を開始して、アドレスが小さい側、即ち外周側に向かってアドレスの逆順に露光し得る。
【００１８】
本発明の第２の態様に従えば、第１層及び第２層を有し、各層に遷移領域を境界として互いにトラックピッチの異なる２つの情報領域を有する２層構造の光ディスクを製造するための原盤の作製方法であって、第１層用及び第２層用のいずれの原盤においても、２つの情報領域のうち外周側にある情報領域を露光する際に、遷移領域と隣接する半径位置から露光を開始して、そこから外周側に向かって露光する方法が提供される。上記のような２層構造を有する情報記録ディスクでは、第１層と第２層のいずれも、外周側の情報領域を露光するときに、遷移領域側から露光しているので、半径方向のアドレスの向きにかかわらず、高い位置精度で遷移領域を形成できる。
【００１９】
本発明の第３の態様に従えば、アドレスが所定の順に付された光ディスク用の原盤を露光するための原盤露光装置に用いられる外部信号発生装置であって、原盤を露光するための情報がアドレスと共に格納されているメモリと、メモリから情報をアドレスの順とは逆の順に出力させる手段とを備える外部信号発生装置が提供される。本発明の外部信号発生装置は従来の外部信号発生装置と交換して使用することができるため、一台の原盤露光装置を使用して、原盤をアドレスの順に露光するだけでなくアドレスの逆順に露光することも可能となる。本発明の外部信号発生装置は、チャンネルビットクロック源と、アドレス発生回路と、ＣＲＣ発生回路と、変調／偏向（変調又は偏向）回路と、アドレスカウンタとを備え得る。
【００２０】
さらに本発明によれば、上記の外部信号発生装置を備える原盤露光装置が提供される。
【発明の効果】
【００２１】
本発明の情報記録媒体用原盤の作製方法では、周回方向にアドレスが付された光ディスク用の原盤を露光する際に、アドレスの順とは逆順に露光を行うので、アドレスの順の通りに露光した場合に生じる原盤露光装置のスライダ送りの誤差の累積等の悪影響を避け、遷移領域の幅及びその半径位置を十分な精度で制御することができる。そのため、例えば前述の第２層用の光ディスク原盤の広い方の領域を露光する場合において、遷移領域と隣接する半径位置から露光を開始してアドレスの逆順に露光を行うことによって、精度良く遷移領域を形成することができる。
【００２２】
さらに、本発明のアドレスの逆順に信号を発生する外部信号発生装置を使用することにより、本発明の上記方法を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の実施例について図を参照しながら説明する。
【実施例１】
【００２４】
この実施例では本発明に従う外部信号発生装置について説明する。光ディスクのフォーマットでは、アドレス情報が先行しそれに続いてＣＲＣ情報やデータ情報等の情報がセクター毎に記録される。このため本発明に従い、原盤露光装置でアドレスの逆順に露光を行う際には、ＣＲＣ情報等の付加情報を含む信号の後にアドレス情報の信号を出力する必要が生じる。ＣＲＣ情報はアドレスの値を基に演算によって決定されるため、従来の外部信号発生装置ではアドレス情報よりも先にＣＲＣ情報を出力することができず、また、アドレス情報及びＣＲＣ情報及び光変調又は光偏向情報等の情報のビットパターンを逆順にして出力する機能も有さない。そこで、原盤露光装置でアドレスの逆順に露光を行う際に必要となる外部信号を発生させるための外部信号発生装置を製作した。図２に製作した外部信号発生装置のブロック図を示す。本装置２００は、チャンネルビットクロック源２０１と、アドレス発生回路２０２と、ＣＲＣ発生回路及び変調回路２０３と、メモリ２０４とキャリーアップカウンタ用アドレスカウンタ２０５と、キャリーダウンカウンタ用アドレスカウンタ２０６と波形整形回路２０７を備える。
【００２５】
チャンネルビットクロック源２０１からの信号をアドレス発生回路２０２に入力することによって生成されるアドレス情報と、チャンネルビットクロック源２０１からの信号及びアドレス発生回路２０２によって生成されたアドレス情報をＣＲＣ発生回路／変調回路２０３に入力することによって生成されるＣＲＣ情報及び光変調情報を、メモリ２０４に格納する。その際、メモリ２０４のアドレスは、チャンネルビットクロック源２０１からの信号をキャリーアップカウンタ用アドレスカウンタ２０５に入力することによって得られるカウンタ値によって指定される。
【００２６】
次に、メモリ２０４内に格納された情報のビットパターンを逆順にして取り出す。その際、メモリ２０４のアドレスは、チャンネルビットクロック源２０１からの信号をキャリーダウンカウンタ用アドレスカウンタ２０６に入力することによって得られるカウンタ値によって指定される。すなわち、キャリーダウンカウンタ用アドレスカウンタ２０６（メモリから情報をアドレスの順とは逆の順に出力させる手段）はメモリ２０４に記憶されているアドレス順とは逆の順で、アドレス情報、ＣＲＣ情報及び光変調情報をメモリ２０４から波形整形回路２０７を介して後述する原盤露光装置に出力する。
【実施例２】
【００２７】
この実施例では、第１層及び第２層を有する２層の光ディスクを製造するための光ディスク原盤を作製する。図１（ａ）に示したように、第１層１０は第１情報領域１、第２情報領域２及び遷移領域３を有し、アドレスは内周側から外周側に向かって増加するようにスパイラル状に割り当てられている。第２層２０もまた、図１（ｂ）に示したように第１情報領域１１、第２情報領域１２及び遷移領域１３を有するが、アドレスは第１層とは逆に外周側から内周側に向かってスパイラル状に増加するように割り当てられている。
【００２８】
＜ガラス原盤へのフォトレジスト薄膜の形成＞
直径２００ｍｍ、厚さ６ｍｍの平滑なガラス円盤表面に、東京応化工業製フォトレジストＴＤＭＲ−ＡＲ８０ＨＰをスピンコートし、ホットプレートで余剰な溶剤を除去することにより、膜厚３０ｎｍのフォトレジスト薄膜がガラス円盤状に形成された原盤を得た。このような原盤を第１層用と第２層用にそれぞれ用意した。
【００２９】
＜原盤露光装置の調整＞
得られた原盤を露光するために図３に示すような原盤露光装置を用いた。この原盤露光装置３００は、波長２５７ｎｍのレーザー３０５を光源として備える光ヘッド３０４と、光ディスク原盤３０３を回転させるスピンドル３０１を有する回転テーブル３０２と、回転テーブル３０２の上方で光ヘッド３０４を回転テーブル３０２の半径方向にスライド移動させるスライダ３０６と、スライダの位置を計測するレーザースケール３０７とを主に備える。スライダ３０６はスライダ移動用レール３０８上をスライド移動可能であり、レール３０８には回転テーブル３０２の中心からの所定距離の位置に原点検出用リミットスイッチ３１０が設置されている。原盤の回転の制御方法は線速度を一定とするＣＬＶ方式を採用し、露光線速は１．５ｍ／秒とした。
【００３０】
第１層用の原盤１０及び第２層用の原盤２０のいずれにおいても、第１情報領域を半径位置２３．８ｍｍから２３．３ｍｍにトラックピッチ０．６８μｍで形成し、第２情報領域を半径位置５８．９ｍｍから２３．８ｍｍにトラックピッチ０．４０μｍで形成し、第１情報領域及び第２情報領域の境界部に、７．０μｍの遷移領域を形成することを目標とした。露光を開始する前には、毎回、目標となる半径位置から正確に露光を開始するために次のような手順で光ヘッド３０４の位置決めを行った。先ず、原点検出用リミットスイッチが作動する位置までスライダ３０６を移動させて、その位置を原点とした。こうして設定した原点位置を基準として、レーザースケール３０７でスライダ３０６の位置を正確に制御することにより、光ヘッド３０４からのレーザー光を原盤３０３上の所望の半径位置に照射することができる。
【００３１】
＜第１層の露光方法＞
第１層用の原盤３０３（１０）を回転させ、スライダ３０６を移動して光ヘッドからのレーザー光が第１情報領域の内周側の半径位置（２３．３ｍｍ）に照射されるように位置決めした。この位置から露光を開始して、外周側に向かってアドレスの順に露光を行った。次いで、前述の手順で原点調整を行った後、スライダ３０６を移動して光ヘッド３０４からのレーザー光が第２情報領域の内周側の半径位置（２３．８ｍｍ）に照射されるように位置決めした。この位置から露光を開始して、外周側に向かってアドレスの順に露光を行った。なお、原盤露光装置３００でアドレスの順にアドレス信号、光変調信号などを発生させるために従来の外部信号発生装置５１１を使用して、これを制御装置３０９に接続して原盤露光装置３００の制御を行った。露光中は、原盤３０３を時計方向に回転させ、所定の速度でスライダ３０６を内側から外側に送りながら光変調信号に基づいて露光光のＯＮ／ＯＦＦを行った。
【００３２】
＜第２層の露光方法＞
第２層用の原盤３０３（２０）を回転させ、スライダ３０６を移動して光ヘッド３０４からのレーザー光が第１情報領域の外周側の半径位置（２３．８ｍｍ）に照射されるように位置決めした。この位置から露光を開始して、内周側に向かってアドレスの逆順に露光を行った。次いで、前述の手順で原点調整を行った後、スライダ３０６を移動して光ヘッド３０４からのレーザー光が第２情報領域の外周側の半径位置（５８．９ｍｍ）に照射されるように位置決めをした。この位置から露光を開始して、内周側に向かってアドレスの逆順に露光を行った。第２層の露光の際、原盤露光装置３００でアドレスの逆順で光変調信号を発生させるために前記実施例で作製した外部信号発生装置２００を図３との関係で説明した外部信号発生装置５１１に代えて制御装置３０９に接続して、原盤露光装置３００の制御を行った。露光中は、原盤３０３を反時計方向に回転させ、所定の速度でスライダ３０６を外側から内側に送りながら光変調信号に基づいて露光を行った。
【００３３】
＜遷移領域の幅の計測＞
上記のようにして露光された各原盤をロームアンドハース社製のＣＯＮＣＥＮＴＲＡＴＥ現像液を用いて現像して、所定のパターンが形成された光ディスク原盤を得た。デジタルインスツルメント社製の原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）を用いて、これらの光ディスク原盤の遷移領域の幅を計測した。第１層用の原盤の遷移領域は、６．７μｍの幅で形成されていた。第２層用の原盤の遷移領域もまた、６．７μｍの幅で形成されていた。即ち、いずれの場合も目標値（目標幅）７．０μｍに対して１μｍ以下の誤差であった。
【比較例】
【００３４】
この比較例では、第１層及び第２層を有する２層の光ディスクを製造するための光ディスク原盤のうち、第２層の光ディスクを製造するための光ディスク原盤を製作した。前記実施例では、第２層用の原盤を露光する際には内周側から外周側に向かってアドレスの逆順に露光を行ったが、この比較例においては第２層用の原盤の外周側から内周側に向かって、即ち、アドレスの順に露光を行った。そのため、本比較例では実施例１で述べた外部信号発生装置２００ではなく、従来の外部信号発生装置５０１を制御装置３０９に接続して原盤露光装置の制御を行った。露光の手順は以下の通りである。原盤を回転させ、スライダを移動して光ヘッドからのレーザー光が第１情報領域の外周側の半径位置（２３．８ｍｍ）に照射されるように位置決めした。この位置から露光を開始して、内周側に向かってアドレスの順に第１情報領域の露光を行った。次いで、前述の手順で原点調整を行った後、スライダを移動して光ヘッドからのレーザー光が第２情報領域の外周側の半径位置（５８．９ｍｍ）に照射されるように位置決めをした。この位置から露光を開始して、内周側に向かってアドレスの順に露光を行った。露光中は、原盤を時計方向に回転させ、所定の速度でスライダを外側から内側に送りながら光変調信号に基づいて露光を行った。前記実施例と同様にして、露光された原盤の現像を行った後、得られた光ディスク原盤の遷移領域の幅を計測した。
【００３５】
比較例の露光方法を用いて形成された第２層用の光ディスク原盤では、第１情報領域に第２情報領域がオーバーラップしてしまったために遷移領域が形成されなかった。これは、第２情報領域を露光する際に、遷移領域から遠い方の半径位置（５８．９ｍｍ）、即ち外周側から露光を行ったことが原因であると考えられる。第２情報領域のトラック数は第１情報領域に比べてかなり多い（第２情報領域が第１情報領域よりも広い）ため、第２情報領域を形成する際における原盤露光装置のスライダの送り誤差等の累積が大きくなる。そのため、第２情報領域の露光終了半径位置が設計値から大幅にずれて、目標値から７μｍ以上もの誤差を生じさせていた。
【００３６】
前述のように本実施例の露光方法を用いて形成された２層目の光ディスク原盤では、ほぼ目標値通りの６．７μｍの幅の遷移領域を形成することができた。これは、第２情報領域の露光開始半径位置を遷移領域側からとしたうえで、本発明に従って、アドレスの逆順に第２情報領域を露光したからである。ところで、本発明の場合においても、原盤露光装置のスライダの送り誤差などの誤差は累積するため、露光終了半径位置を厳密に制御することは困難である。しかし、本発明の方法の場合、第２情報領域の露光終了位置は光ディスク原盤の最外周側になる。光ディスク原盤の最外周側の領域はユーザー情報が記録されず、また、遷移領域のような機能を持たないために、多少位置がずれても情報の記録再生には問題とならない。光ディスクの規格上では、外周側のトラックに要求される位置精度は、内周側、特に遷移領域を形成する際に要求される位置精度と比べると緩く設定されている。そのため、実施例の露光方法を用いて形成された光ディスク原盤は光ディスクの規格上の要求をも満たすことができる。
【００３７】
上記実施例では、第２層用の原盤の第１情報領域の露光は内周側から行ったが、それに代えて外周側、即ち、遷移領域に近い側から行っても構わない。
【００３８】
上記実施例では、原盤露光装置の制御方式にＣＬＶ方式を用いたが、ＣＡＶ方式などの他の制御方式でも構わない。また、外部信号発生装置は、原盤露光装置とは独立の装置であっても、原盤露光装置に組み込まれても構わない。ＣＲＣ発生回路／変調回路１０３は、ＣＲＣ発生回路部分と変調回路部分が互いに独立の回路でも構わない。また、ＣＲＣ発生回路部分が他の付加情報を発生させる回路と組合わさった回路であっても構わない。また、変調回路の部分は、それに代えて又はそれに加えて光を偏向させる偏向回路（例えば音響光学素子）を用いても構わない。
【００３９】
上記実施例では、第２情報領域の方が第１情報領域よりもトラック数が多かったが、第１情報領域の方が第２情報領域よりもトラック数が多くても構わない。その場合は、第１情報領域を内周側から外周側に向かって露光していくときに累積誤差の影響が第２情報領域の露光に比べて大きくなるので、第１層用の原盤の第１情報領域をアドレスの順に露光する場合には、遷移領域を精度良く形成することが困難である。そのため、第１層用の原盤の第１情報領域を露光する際に本発明の方法を利用して、アドレスの逆順、即ち外周側から内周側に向かって露光を行う必要がある。
【産業上の利用可能性】
【００４０】
本発明の情報記録媒体用原盤作製方法は、高密度光ディスク等の高密度情報記録ディスクを形成する際に、遷移領域を精度良く形成することが可能となるので、情報記録ディスク形成時のエラー発生率を下げることができるため極めて有用である。さらに、本発明の外部信号発生装置と原盤露光装置を組み合わせて用いて、高密度記録に適した多層の情報記録ディスク用原盤を高精度に製造することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】図１（ａ）は、２層で且つ各層に互いにトラックピッチの異なる２つの記録再生領域又は再生専用領域を持つ光ディスクにおける第１層用の原盤の平面図である。図１（ｂ）は、２層で且つ各層に互いにトラックピッチの異なる２つの記録再生領域又は再生専用領域を持つ光ディスクにおける第２層用の原盤の平面図である。
【図２】図２は本発明の実施形態の外部信号発生装置のブロック図である。
【図３】図３は原盤露光装置の概略図である。
【図４】図４は互いにトラックピッチの異なる２つの記録再生領域又は再生専用領域を持つ単層の光ディスクの平面図である。
【符号の説明】
【００４２】
１，１１，４１  第１情報領域、２，１２，４２  第２情報領域、３，１３，４３  遷移領域、１０  第１層用の原盤、２０  第２層用の原盤、３０１  スピンドル、３０２  回転テーブル、３０３  光ディスク原盤、３０４  光ヘッド、３０５  レーザー、３０６  スライダ、３０７  レーザースケール、３０８  スライダ移動用レール、３０９  制御装置、３１０  原点検出用リミットスイッチ、５１１  従来の信号発生装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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