(57)【要約】【課題】圧電素子群の電極と配線部材の端子とを接合する接合部の接合強度を十分に確保し、組立ての際に配線部材の剥離を防止するができる圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】圧電素子群２１における固定板２２を固定する面とは反対側となる配線接続面３８に半田接合領域４０を設定すると共に、該半田接合領域４０よりも圧電素子群２１の後端側にレジスト塗布領域４２を設定し、半田接合領域４０にフレキシブルケーブルの個別配線端子を半田接合する際に、レジスト塗布領域４２に塗布したソルダーレジストを溶融させて、フレキシブルケーブルを配線接続面３８に接合した。【選択図】図３
2007320170.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の先端を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の後部を重合固定する固定板と、前記圧電素子の外部電極に接合される配線端子を有する配線部材とを備えた圧電素子ユニットであって、
前記圧電素子群における固定板を固定する面とは反対側となる配線接続面に半田接合領域を設定すると共に、該半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、
前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合したことを特徴とする圧電素子ユニット。
【請求項２】
前記レジスト塗布領域は、前記圧電素子群の素子列設方向に長尺で、短辺側の幅が前記圧電素子群の後端から前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部までの距離の半分以下であって、前記圧電素子群の後端側に位置する領域であることを特徴とする請求項１に記載の圧電素子ユニット。
【請求項３】
前記レジスト塗布領域の前記圧電素子群の素子列設方向の少なくとも一方の端部側には、前記レジスト塗布領域よりも前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部に向けて突出させて拡大したレジスト塗布過剰領域を形成したことを特徴とする請求項２に記載の圧電素子ユニット。
【請求項４】
共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
請求項１から請求項３のいずれかに記載の圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の先端を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の後部を重合固定する固定板と、前記圧電素子の外部電極に接合される配線端子を有する配線部材とを備えた圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記圧電素子群における固定板を固定する面とは反対側となる配線接続面に半田接合領域を設定すると共に、該半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、
前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合することを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴などの液滴を吐出させるのに好適な圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドに関し、特に、圧電素子群とその圧電素子に駆動信号を供給する配線部材とを半田接合するものに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドの一種であるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）には、例えば、圧力室やリザーバ等を有する流路ユニットと、この流路ユニットの背面側に配置されて、圧力室の容積を変化させる振動子（素子）を複数有する圧電素子ユニットと、内部に圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が形成されて、先端に流路ユニットが接合されるケースとを備えたものがある。
【０００３】
この圧電素子ユニットは、例えば、圧電素子の表面に形成された電極とフィルム状のフレキシブルケーブル（配線部材の一種）とが接続されている。そして、このフレキシブルケーブルは、駆動パルスを供給する配線基板と電気的に接合されているので、このフレキシブルケーブルを介して駆動パルスが圧電素子ユニットの電極に供給されるようになっている（例えば、特許文献１参照）。
【特許文献１】特開平１１−２７７７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、この種の記録ヘッドでは、近年、材料コストの削減や部品の高密度化に伴い、各構成部品を小さくする傾向がある。しかしながら、これらの構成部品を小さくすると、その電極や端子等も小さくなるので、これらの接合面積が小さくなり半田接合の際の接合力が低下してしまう。この結果、特に圧電素子の電極とフレキシブルケーブルの端子との半田接合による接合部においては、組立ての際にフレキシブルケーブルを曲げることによって生じる曲げ応力により、剥離が生じてしまうという問題があった。また、このような圧電素子ユニットでは、フレキシブルケーブルの接合部となる先端側よりも後端側の部分を、ＵＶ接着剤等によって圧電子素子を固定する固定板に補強固定しているが、この補強固定では、接合部の剥離を抑制することはできなかった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子群の電極と配線部材の端子とを接合する接合部の接合強度を十分に確保し、組立ての際に配線部材の剥離を防止するができる圧電素子ユニットの製造方法、圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の先端を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の後部を重合固定する固定板と、前記圧電素子の外部電極に接合される配線端子を有する配線部材とを備えた圧電素子ユニットであって、
前記圧電素子群における固定板を固定する面とは反対側となる配線接続面に半田接合領域を設定すると共に、該半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、
前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合したことを特徴とする。
【０００７】
上記構成によれば、半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合したので、半田接合と同時にソルダーレジストを溶融させて、接合することができる。そして、このソルダーレジストによる接合の場合における加熱温度、加熱時間、荷重などの接合条件は、半田接合の接合条件と同じであってもなし得る。したがって、ソルダーレジストを溶融させて接合する工程を新たに設定する必要がなくなり、これにより、作業工数を増やさずに済む。
また、配線部材と圧電振動子群が、半田接合だけでなく、ソルダーレジストによっても接合されるので、接合強度を高めることができる。したがって、噴射ヘッドの組立ての際に、配線部材の先端側の半田接合部に曲げ応力が生じたとしても、剥離が生じることを抑制することができる。
【０００８】
上記構成において、レジスト塗布領域は、前記圧電素子群の素子列設方向に長尺で、短辺側の幅が前記圧電素子群の後端から前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部までの距離の半分以下であって、前記圧電素子群の後端側に位置する領域であることが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、レジスト塗布領域を、前記圧電素子群の素子列設方向に長尺で、短辺側の幅が前記圧電素子群の後端から前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部までの距離の半分以下であって、前記圧電素子群の後端側に位置する領域としたので、配線部材の剥離が生じ易い圧電素子群の後端側を、ソルダーレジストによって強固に接合することができる。そして、ソルダーレジストを圧電素子間に流出させることなくなり、容易にソルダーレジストの接合面積を大きく取ることができる。以上のことにより、配線部材と圧電素子群との半田接合部の接合強度をより高めることができる。
【００１０】
上記構成において、レジスト塗布領域の前記圧電素子群の素子列設方向の少なくとも一方の端部側には、前記レジスト塗布領域よりも前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部に向けて突出させて拡大したレジスト塗布過剰領域を形成することが望ましい。
【００１１】
この構成によれば、レジスト塗布領域の前記圧電素子群の素子列設方向の少なくとも一方の端部側には、前記レジスト塗布領域よりも前記外部電極の前記配線端子を接続する側の端部に向けて突出させて拡大したレジスト塗布過剰領域を形成したので、圧電素子群の素子列設方向の端部側、即ち、圧電素子群における後端側の隅角部近傍の半田接合部の接合強度をより高めることができる。したがって、剥離が生じ易い隅角部近傍の半田接合部に剥離が生じることをより一層抑制することができる。
【００１２】
本発明の液体噴射ヘッドは、共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
上記各構成における圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする。
【００１３】
また、本発明は、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の先端を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の後部を重合固定する固定板と、前記圧電素子の外部電極に接合される配線端子を有する配線部材とを備えた圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記圧電素子群における固定板を固定する面とは反対側となる配線接続面に半田接合領域を設定すると共に、該半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、
前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合することを特徴とする。
【００１４】
この製造方法によれば、半田接合領域よりも圧電素子群の後端側にレジスト塗布領域を設定し、前記半田接合領域に配線部材の配線端子を半田接合する際に、前記レジスト塗布領域に塗布したソルダーレジストを溶融させて、配線部材を配線接続面に接合したので、半田接合と同時にソルダーレジストを溶融させて、接合することができる。そして、このソルダーレジストによる接合の場合における加熱温度、加熱時間、荷重などの接合条件は、半田接合の接合条件と同じであってもなし得る。したがって、ソルダーレジストを溶融させて接合する工程を新たに設定する必要がなくなり、これにより、作業工数を増やさずに済む。
また、配線部材と圧電振動子群が、半田接合だけでなく、ソルダーレジストによっても接合されるので、接合強度を高めることができる。したがって、噴射ヘッドの組立ての際に、配線部材の先端側の半田接合部に曲げ応力が生じたとしても、剥離が生じることを抑制することができる。以上のことにより、コストアップを抑えつつ、歩留りを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。図１は記録ヘッドの要部を拡大して示した断面図であり、図２は圧電素子ユニットの要部を拡大して示した断面図であり、図３はフレキシブルケーブル接合前の圧電素子ユニットの平面図である。
【００１６】
この液体噴射ヘッドである記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニット３、及び、圧電素子ユニット４等によって概略構成されている。なお、以後の説明では、便宜上、各図の上方を先端側（前方側）と称し、下側を後端側（後方側）と称する。
【００１７】
ケース２は、先端と後端（基端）が共に開放した合成樹脂製のブロック状部材であり、内部に、開口形状がノズル列方向、即ち素子列設方向（後述）に細長い長方形の収容空部５を設けてある。このケース２の先端には流路ユニット３が接着剤によって接合されており、収容空部５内には、後述する圧電素子群２１の先端面部を収容空部５の先端側開口に臨ませた状態で圧電素子ユニット４が収容され固定されている。この収容空部５の側方には、後端側にてインクカートリッジに連通しているインク供給管６を設けてある。
【００１８】
流路ユニット３は、流路形成板７、ノズルプレート８、及び、弾性板９から概略構成されている。
【００１９】
ノズルプレート８は、ドット形成密度に対応したピッチで多数（例えば、１８０個）のノズル開口１０を列状に開設した薄い板状部材であり、例えば、ステンレス板によって構成してある。このノズルプレート８に積層される流路形成板７には、インク供給管６を通して供給されたインクが流入するリザーバ１１、ノズル開口１０からインクを吐出させるために必要なインク圧力を発生させる圧力室１２、これらのリザーバ１１と圧力室１２を連通するインク供給口１３等が形成されている。そして、本実施形態では、これらの各部を、シリコンウェハーをエッチング処理することにより形成する。なお、流路形成板７は単一の部材を用いるものに限定されず、複数の部材を積層したものを用いてもよいし、また１つの部材にリザーバ１１、圧力室１２及びインク供給口１３などを形成することに限定されず、リザーバ１１、圧力室１２及びインク供給口１３などをそれぞれ別の部材に形成してもよい。また、流路形成板７の材料としてはシリコンに限定されない。
【００２０】
弾性板９は、本実施形態では、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）等の高分子膜を弾性体膜１４としてステンレス板１５上にラミネートした二重構造である。そして、ステンレス板１５は、リザーバ１１に対応する部分など不要部分をエッチング処理により除去して島部１６を形成し、この島部１６の周囲を弾性体膜１４だけにして弾性部１７を構成する。この島部１６は、背面側に後述する駆動素子２９が当接される当接面を設けたブロック形状であり、ノズル開口１０と同様にドット形成密度に対応したピッチで多数設けられる。また、弾性板９にはインク供給管６からのインクをリザーバ１１に流入させるための開口（図示せず）が形成されている。この開口は、圧力室１２の列の一列に対して１つ設けてもよいし、または、複数設けてもよい。
【００２１】
そして、ノズルプレート８を流路形成板７の一方の面側に配置すると共に、弾性板９を他方の面側に配置し、ノズルプレート８と弾性板９とで流路形成板７を挟み、接着等により一体化することで、流路ユニット３が形成されている。なお、この流路ユニット３において、上記の弾性板９は、圧力室１２やリザーバ１１の天井面を封止する封止材の一部を構成している。
【００２２】
上記の圧電素子ユニット４は、圧電素子群２１とステンレス板の固定板２２と後述する圧電素子群２１の各外部電極に接続するフレキシブルケーブル２４（本発明の配線部材の一種）とにより概略構成されている。この圧電素子群２１は、図２，３に示すように、素子先端側の自由端部２１ａを固定板２２の先端面２２ａから突出させて、後部（固定端部）２１ｂを固定板２２に重合固定した状態で各圧電素子が櫛歯状に列設されており、圧電素子列設方向（面方向）における両端部に位置する素子をダミー素子２８とし、これらのダミー素子２８の間に配置された多数の素子を駆動素子２９としている。ここで、駆動素子２９はインク滴の吐出に関与する圧電素子であり、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられている。また、ダミー素子２８はインク滴の吐出に関与しない圧電素子であり、圧電素子ユニット４のケース２内における位置を規定するために形成されている。なお、本実施形態における圧電素子群２１の駆動素子２９は、素子長手方向（素子列設方向と直交する方向）に振動する、いわゆる縦振動モードの圧電素子である。また、この圧電素子ユニット４、及びその製造方法については後で詳述する。
【００２３】
この駆動素子２９は、図２に示すように、共通内部電極３２と個別内部電極３３とを圧電体３１を挟んで交互に積層してある。ここで、共通内部電極３２は全ての駆動素子２９に対して同じ電位レベルに設定される電極であり、個別内部電極３３は各駆動素子２９毎に電位レベルが設定される電極である。そして、この駆動素子２９における素子先端から素子長手方向（積層方向と直交する方向）の半分程度まで若しくは３分の２程度までの部分を自由端部２９ａとし、残りの部分を後部（固定端部）２９ｂとして固定板２２を接合してある。要するに、この駆動素子２９はいわゆる片持梁のような状態で固定板２２の先端面２２ａから素子先端を突出させて固定されている。
【００２４】
駆動素子２９の自由端部２９ａには、共通内部電極３２と個別内部電極３３とが重なり合った活性領域（オーバーラップ部分）を形成してある。これらの内部電極３２，３３に電位差を与えたり放電すると、活性領域の圧電体３１が変形（作動）して素子長手方向に変位して伸縮する。そして、共通内部電極３２の基端は駆動素子２９の後端面部で共通外部電極３７に導通しており、個別内部電極３３の先端は駆動素子２９の先端面部で個別外部電極３６に導通している。ここで、個別外部電極３６は、フレキシブルケーブル２４の先端側の個別配線端子２４ａと各個別内部電極３３とを導通する外部電極であり、共通外部電極３７はフレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａよりも後端側の共通配線端子２４ｂと共通内部電極３２とを導通する外部電極である。なお、この駆動素子２９の両側に位置するダミー素子２８の基本的な構造は、前述した駆動端子２９の構造と同じであるが、ダミー素子２８は個別配線端子２４ａが接続されないので駆動パルスが供給されず、伸縮しない構成とされる。
【００２５】
上記のフレキシブルケーブル２４の先端側は、上記圧電素子群２１の後部（固定端部）２１ｂにおける固定板２２を接合する固定板接合面とは反対側の配線接続面（表面）３８側に配置されており、フレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａ及び共通配線端子２４ｂと個別外部電極３６及び共通外部電極３７とが電気的に接続される。そして、フレキシブルケーブル２４の後端側は、駆動パルスを供給する配線基板３９と電気的に接続されているので、フレキシブルケーブル２４を介して駆動パルスが各電極３３，３６に供給される（図１参照）。
【００２６】
圧電素子ユニット４は、図１に示すように、記録ヘッド１への取付状態において、駆動素子２９の先端面部が弾性板９の島部１６に背面側から当接されており、この先端面部と島部１６とは接着剤によって接着されている。
【００２７】
駆動素子２９に駆動パルスが供給されると、駆動素子２９は素子長手方向に伸縮し、弾性部１７を構成する弾性体膜１４を前後方向に変形させる。この弾性部１７の前後方向の移動に伴って圧力室１２は、膨張或いは収縮して容積を変化させる。ノズル開口１０からインク滴を吐出させる場合には、インク滴を吐出させる駆動素子２９に対して選択的に駆動信号を印加し、例えば、圧力室１２を一旦膨張させてから収縮させる。このようにすると、圧力室１２の膨張に伴ってリザーバ１１内のインクが圧力室１２に流入し、圧力室１２の収縮に伴って圧力室１２内のインクの圧力が高まり、これにより、ノズル開口１０から押し出されたインクがインク滴として吐出される。
【００２８】
次に、本実施形態における圧電素子ユニット４、及びその製造方法について説明する。
図４は図３の領域Ａの拡大図であり、図５は図３の領域Ｂの拡大図であり、図６は図３の領域Ｂの変形例の拡大図である。
【００２９】
本実施形態における圧電素子ユニット４は、前述したように、ステンレス等の金属製板材からなる固定板２２と、この固定板２２に後部が重合固定される圧電素子群２１と、圧電素子群２１の配線接続面３８に電気的に接続されるフレキシブルケーブル２４とから概略構成される。フレキシブルケーブル２４は、可塑性のある電気絶縁材、例えばポリイミドフィルムからなる基材に、半田濡れ性の高い錫等の金属を各配線端子２４ａ，２４ｂに箔状に貼着させて構成されている。このフレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａと共通配線端子２４ｂの表面には、圧電素子群２１側の個別外部電極３６と共通外部電極３７とに接続するために、予め半田めっきが施されている。個別配線端子２４ａは、フレキシブルケーブル２４の先端側に、圧電素子群２１の駆動素子２９における個別外部電極３６毎に対応させて列設されている。一方、これらの個別配線端子２４ａの列設方向の両側であり、個別配線端子２４ｂよりフレキシブルケーブル２４の後端側には、圧電素子群２１の共通外部電極３７と接続されて接地電位に調整するための共通配線端子２４ｂが、圧電素子群２１の共通外部電極３７毎に対応させて設けられている。
【００３０】
上記の圧電素子群２１には、図２に示すように、側面を除く配線接続面３８、先端面部、後端面部、及び固定板接合面に、各外部電極３６，３７が導電材料による蒸着やスパッタリングにより形成されている。個別外部電極３６は、駆動素子２９（圧電素子群２１）の先端面部と配線接続面３８とに一連に形成された外部電極であり、配線接続面３８側の部分においては駆動素子２９の先端側から後端近傍まで連続的に形成されている。この各個別外部電極３６における駆動素子２９の後端近傍に位置する端部とフレキシブルケーブル２４の各個別配線端子２４ａとが半田接合によって電気的に接合され、各個別内部電極３３とフレキシブルケーブル２４とが導通される。そして、このフレキシブルケーブル２４を接合する圧電振動子群２１の表面、即ち、圧電素子群２１における固定板２２を固定する面とは反対側となる配線接続面３８に、個別配線端子２４ａと個別外部電極３６とを半田接合する半田接合領域４０を設定している。具体的には、図２，３に示すように、駆動素子２９の個別外部電極３６における圧電振動子群２１の後端側の端部側であって、フレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａを接続する横長な帯状の領域を半田接合領域４０としている。
【００３１】
一方、共通外部電極３７は、圧電素子群２１（駆動素子２９）の配線接続面３８と固定板接合面とに一連に形成された外部電極であり、配線接続面３８側の部分においては個別外部端子３６の端部（半田接合領域４０）よりも圧電素子群２１の後端側に離れた位置から後端面部に向けて連続的に形成されている。具体的には、個別外部電極３６における個別配線端子２４ａを接合する側の端部から後端側に少し離れた後部２１ｂ側の両隅角部に略四角形状に形成されている。そして、個別外部電極３６と同様に、各共通外部電極３７とフレキシブルケーブル２４の各共通配線端子２４ｂとが半田接合によって電気的に接合され、各共通内部電極３２とフレキシブルケーブル２４とが導通される。
【００３２】
上記フレキシブルケーブル２４と圧電素子群２１との接合時には、個別配線端子２４ａに個別外電極３６を重ねると共に、共通配線端子２４ｂに共通外電極３７を重ねた状態で、フレキシブルケーブル２４の表面側からヒートツールを押圧し、これらを同時に半田付けしている。ここで、本実施形態では、半田接合領域４０よりも圧電振動子群２１の後端側に素子列設方向に長尺なレジスト塗布領域４２を設定し、半田接合領域４０にフレキシブルケーブル２４の個別配線端子２４ａを半田接合する際に、レジスト塗布領域４２に塗布したソルダーレジストを、半田接合に使用するヒートツールによって溶融させて、フレキシブルケーブル２４を圧電振動子群２１の配線接続面３８に接合するようにしている。
【００３３】
このように、半田接合する際に、レジスト塗布領域４２に塗布したソルダーレジストを溶融させて、フレキシブルケーブル２４を圧電振動子群２１の配線接続面３８に接合するようにすると、半田接合と同時にソルダーレジストを溶融させて、フレキシブルケーブル２４を圧電振動子群２１の配線接続面３８に接合することができる。そして、このソルダーレジストによる接合の場合における加熱温度、加熱時間、荷重などの接合条件は、半田接合の接合条件と同じであってもなし得る。したがって、ソルダーレジストを溶融させて接合する工程を新たに設定する必要がなくなり、これにより、作業工数を増やすことがなくなり、コストアップを抑えることができる。
また、フレキシブルケーブル２４と圧電振動子群２１が、半田接合だけでなく、ソルダーレジストによっても接合されるので、接合強度を高めることができる。即ち、フレキシブルケーブル２４の各配線端子２４ａ、２４ｂや圧電振動子群の各外部電極３６，３７が小さくなり、半田接合面積が小さくなったとしても、半田接合部にソルダーレジストによる接合が加わるので十分な接合強度を得ることができる。この結果、記録ヘッド１の組立ての際に、フレキシブルケーブル２４の後端側を折り曲げることで先端側の半田接合部に曲げ応力が生じたとしても、剥離が生じることを抑制することができる。したがって、この製造方法によって記録ヘッド１を製造すると、歩留りを向上させることができる。
【００３４】
また、本実施形態においては、図４に示すように、レジスト塗布領域４２を、圧電素子群２１の素子列設方向に連続した長尺で、圧電素子群の素子列設方向に垂直な素子長手方向の幅、即ち、短辺側の幅ｌが圧電素子群２１の後端から個別外部電極３６の個別配線端子２４ａを接続する側の端部までの距離Ｌの半分（Ｌ／２）以下であって、圧電素子群２１の後端側、具体的には圧電素子群２１の後端側の両隅角部に位置する共通外部電極３７同士の間に位置する領域としている。このようにレジスト塗布領域４２を設定すると、フレキシブルケーブル２４の剥離が生じ易い圧電素子群２１の後端側を、ソルダーレジストによって強固に接合することができる。そして、圧電振動子群２１の後端側は、各圧電素子を切り分けた溝部４３が存在していない平坦面のため、ソルダーレジストを圧電素子間の溝部４３に流出させることがなくなり、容易にソルダーレジストの接合面積を大きく取ることができる。以上のことにより、フレキシブルケーブル２４と圧電素子群２１との半田接合部の接合強度をより高めることができる。この結果、記録ヘッド１の組立ての際に、フレキシブルケーブル２４が剥離することをより一層抑制することができる。さらに、レジスト塗布領域４２が、剥離を生じやすい圧電素子群２１の後端側の両隅角部に位置する共通外部電極３７の間に配置されているので、共通外部電極３７と共通配線端子２４ｂとが半田接合された半田接合部に剥離が生じることを抑制することができる。
【００３５】
そして、レジスト塗布領域４２の圧電素子群２１の素子列設方向の少なくとも一方の端部側（即ち、圧電振動子群２１の後端側の隅角部近傍、若しくは共通外部電極３７近傍）には、図５に示すように、レジスト塗布領域４２よりも個別外部電極３６の個別配線端子２４ｂを接続する側の端部に向けて膨らむように突出させて拡大したレジスト塗布過剰領域４４を形成している。このようにフレキシブルケーブル２４が剥離を生じ易い圧電振動子群２１の後端側の隅角部近傍に、レジスト塗布領域４２を拡大したレジスト塗布過剰領域４４を形成すると、この隅角部近傍の半田接合部の接合強度をより高めることができる。したがって、剥離が生じ易い共通外部電極３７と共通配線端子２４ｂとの半田接合部に剥離が生じることをより一層抑制することができる。この結果、フレキシブルケーブル２４が、記録ヘッド１の組立ての際に、剥離することをより一層抑制することができる。
また、上記では、圧電振動子群２１の駆動素子２９の後端に対向する領域、即ち、駆動素子２９の後部２９ｂの領域に、レジスト塗布領域４２よりも個別外部電極３６の個別配線端子２４ｂを接続する側の端部（自由端部２９ａ側）に向けて膨らむように突出させて拡大したレジスト塗布過剰領域４４を形成した例を示したが、この場合には、レジスト塗布過剰領域４４によって駆動素子２９の変位を拘束する虞があるため、図６に示すように、ダミー素子２８における圧電素子群２１の素子列設方向の幅をより大きく（拡幅）して、共通外部電極３７とレジスト塗布領域４２との間に形成されるレジスト塗布過剰領域４４が、ダミー素子２８の後端に対向する前記拡幅領域に形成されて駆動素子２９と重ならないようにしてもよい。
なお、このレジスト塗布過剰領域４４を、ソルダーレジストをレジスト塗布領域４２にニードルを用いて塗布する際の塗布開始点、塗布終了点として設けてもよい。この場合も、上述した作用効果を奏することができる。
【００３６】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、レジスト塗布領域４２に関し、上記の実施形態では、圧電素子群２１の配線接続面３８上において、素子列説方向に連続した長尺な領域としたが、これに限られない。例えば、ソルダーレジストを千鳥状の点で塗布することで形成される領域でもよい。要は、半田接合領域４０よりも圧電素子群２１の後端側に設定され、圧電振動子群２１の各外部電極とフレキシブルケーブル２４の各配線端子との半田接合部が剥離を生じないように十分な接合強度が得られれば、どのような形状でもよい。また、圧電振動子群２１の配線接続面３８と接合するフレキシブルケーブル２４側の接続面に、レジスト塗布領域４２を設けてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】圧電素子ユニット及び記録ヘッドの要部を拡大して示す断面図である。
【図２】圧電素子ユニットの要部を拡大して示す断面図である。
【図３】フレキシブルケーブルの接合前の圧電素子ユニットの平面図。
【図４】図３の領域Ａの拡大図。
【図５】図３の領域Ｂの拡大図。
【図６】図３の領域Ｂの拡大図。
【符号の説明】
【００３８】
１…記録ヘッド，２…ケース，３…流路ユニット，４…圧電振動子ユニット，５…収容空部，７…流路形成板，８…ノズルプレート，９…弾性板，１０…ノズル開口，１１…リザーバ，１２…圧力室，１３…インク供給口，１４…弾性体膜，１５…ステンレス板，１６…島部，１７…弾性部，２１…圧電振動子群，２１ａ…自由端部，２１ｂ…後部，２２…固定板，２２ａ…固定板先端面，２４…フレキシブルケーブル，２４ａ…個別配線端子，２４ｂ…共通配線端子，２８…ダミー素子，２９…駆動素子，２９ａ…自由端部，２９ｂ…後部，３１…圧電体，３２…共通内部電極，３３…個別内部電極，３６…個別外部電極，３７…共通外部電極，３８…配線接続面，３９…配線基板，４０…半田接合領域，４２…レジスト塗布領域，４３…溝部，４４…レジスト塗布過剰領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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