(57)【要約】【課題】仮固定接着剤に紫外線硬化型接着剤を採用した場合に、紫外線の照射不十分などによる不完全硬化領域が、後工程の記録素子基板の周囲封止剤や接着剤と混じることで硬化阻害を起こして、仮固定接着剤および周囲封止剤が本来の機能を満足出来なかったり、未硬化物によるノズル汚染／印字不良発生が発生することを防ぐ。【解決手段】仮固定接着剤が熱硬化性接着剤であり、非接触な熱源で硬化させる。【選択図】図１ａ
2007320108.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インク液滴が吐出される吐出口と、該吐出口からインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部とを具備する記録素子基板と、
該記録素子基板との接合面と、インク収納部からのインクを供給するインク供給口を具備する樹脂ベース部材と、
該記録素子基板と該ベース部材を接着固定し、該記録素子基板と該ベース部材との間のインク流路部をシーリングする第一の接着剤、
からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
（段階１）該ベース部材に該第一の接着剤を塗布し、
（段階２）該記録素子基板を、該ベース部材上に塗布された該第一の接着剤上の、所定の位置に合わせて載せ、
（段階３）該第一の接着剤とは別の第二の接着剤である熱硬化性接着剤を、該記録素子基板と該ベース部材とに接触するように塗布し、
（段階４）該第二の接着剤を加熱手段により硬化させ、
（段階５）該第二の接着剤の硬化後に、該第一の接着剤を硬化させる、
段階により製造されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
該第二の接着剤である熱硬化性接着剤を硬化させる手段が、
熱輻射あるいは対流熱伝達の作用にて非接触で加熱を行う熱源であり、該熱源を該熱硬化性接着剤の近傍に接近させることで、該熱硬化性接着剤を硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
該第二の接着剤である熱硬化性接着剤を硬化させる手段が、
該熱硬化性樹脂に照射することで加熱硬化可能な光線源であり、該光線源から光線を照射することで、該熱硬化性接着剤を硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜３いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、段階２から段階４の工程の間、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項４記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、該記録素子基板を該ベース部材上の接着剤の上に載せるフィンガーが、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項６】
インク液滴が吐出される吐出口と、該吐出口からインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部とを具備する記録素子基板と、
該記録素子基板との接合面と、インク収納部からのインクを供給するインク供給口を具備する樹脂ベース部材と、
該記録素子基板と該ベース部材を接着固定し、該記録素子基板と該ベース部材との間のインク流路部をシーリングする熱硬化性接着剤、
からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
（段階１）該ベース部材上に熱硬化性接着剤を塗布し、
（段階２）該記録素子基板を、該ベース部材上に塗布された該熱硬化性接着剤上の、所定の位置に合わせて載せ、
（段階３）該熱硬化性接着剤の一部を、第一の加熱手段を用いて硬化させ、
（段階４）該熱硬化性接着剤の未硬化部分を、第二の加熱手段により硬化させる、
段階により製造されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法おいて、第一の加熱手段が熱輻射あるいは対流熱伝達の作用にて加熱を行う熱源であり、該熱源を該熱硬化性接着剤の硬化させる部位の近傍に接近させることで、該熱硬化性接着剤の一部分のみを硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項６記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、第一の加熱手段が該熱硬化性樹脂に照射することで加熱硬化可能な光線源であり、該光線源から光線を該熱硬化性接着剤の一部にのみ照射することで、該熱硬化性接着剤の一部分のみを硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項９】
請求項６〜８いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、段階２から段階３の工程の間、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
請求項９記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、該記録素子基板を該ベース部材上の接着剤の上に載せるフィンガーが、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法にて製造したインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はインクジェット記録ヘッドの製造方法およびインクジェット記録ヘッドに関し、樹脂成形部品に対して記録素子基板を固定した構成のインクジェット記録ヘッドにおける、記録素子基板の接合方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年インクジェットプリンタは高画質化が求められており、それに伴いインクジェット記録ヘッドは非常に精緻な構造となっている。
【０００３】
従って、インクジェット記録ヘッドの異種材料間の接合には接着剤が用いられることが多い。
【０００４】
上述のインクジェット記録ヘッドにおいて、構成部材である接着剤がインクに接触する部分もある。
【０００５】
このような場合、接着剤からの溶出物によってインク物性が変化するなどのインク汚染をしないこと、またインクからの影響により接着剤の接着力の低下や分解などが起きないように、インクジェット記録ヘッドの構成を工夫する必要がある。
【０００６】
図２はインク供給保持部材一体型インクジェットヘッドを表しており、該インクジェットヘッドのインク収納部を含めたインク供給保持部材は、樹脂材料を成形したものである。
【０００７】
該ヘッドのインク吐出に関する構成を図３に示す。
【０００８】
インク吐出機能を有する記録素子基板は、該インク供給保持部材における記録素子基板マウント面に接着剤を介して該マウント面に固定される。
【０００９】
該インク供給保持部材は樹脂成形品であるが故に、マウント面の平面度は数十ミクロンのうねりを持っており、該記録素子基板を該マウント面に対して面で密着接合することは不可能である。
【００１０】
従って、該マウント面のうねりを吸収できる厚さで接着剤を塗布して、インク供給保持部材に対して所望の位置精度にアライメントされた該記録素子基板を該マウント面には当接しない高さ位置で接着剤上にマウントしている。
【００１１】
この後、該マウント接着剤を完全硬化させる。
【００１２】
該マウント接着剤の役割は、
・該記録素子基板のインク供給保持部材への固定
・該インク供給保持部材のインク供給口と該記録素子基板のインク流入口とのシーリング
である。
【００１３】
該インクジェットヘッドの生産においては、製造コストの観点からごく短時間で１つの加工工程を終える必要性があり、該記録素子基板のマウント工程も例外ではない。
【００１４】
該記録素子基板のマウントに使用される接着剤は、加熱硬化型のものが一般的である。
【００１５】
生産におけるマウント工程の理想形としては、該記録素子基板を該マウント接着剤上にマウントした後に所望の加工時間内で接着剤が硬化して、該記録素子基板と該インク供給保持部材を固定出来ることが好ましい。
【００１６】
しかし、図２、図３に示すような樹脂成形によるインク供給保持部材一体型インクジェットヘッドに対して、成形材料の変形が生じない程度の温度でごく短時間で硬化する硬化特性と耐インク接液性を有する接着剤の実現は非常に困難である。
【００１７】
従って、現状では成形材料が許容しうる温度で加熱を行い、該マウント接着剤が完全硬化するまで生産装置の搬送などによる振動や衝撃などの外乱によって該記録素子基板のマウント位置がずれないように瞬間的に仮固定する工程が必要である。
【００１８】
このような仮固定方法には、紫外線硬化型接着剤を使用する方法が一般的であった。
【００１９】
特許文献１では、仮固定に用いる紫外線硬化型接着剤を確実かつ容易に硬化させるために、仮固定に使用する紫外線硬化型接着剤の塗布部を記録素子基板の液室形成部材の外周部に設けて、紫外線硬化型接着剤に確実に紫外線があたる構造としている。
【００２０】
このように、紫外線硬化型接着剤を用いて記録素子基板や構成部材を仮固定する場合には仮固定部に確実に紫外線が照射される構造を設ける必要性があった。
【特許文献１】特開２００３−１７０６０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２１】
本発明における図２、図３に示すようなインクジェットヘッドは、記録素子基板の周囲を、電気信頼性向上を目的とした封止をする必要がある。従って記録素子基板は、インク供給保持部材表面の凹形状内に仮固定されて、記録素子基板の周囲を封止する構造である。
【００２２】
このような構造において、記録素子基板の仮固定に紫外線硬化型接着剤を用いた場合には、塗布された紫外線硬化型接着剤に対して、インク供給保持部材の凹形状開口部に紫外線が遮光されないように凹形状開口部寸法ならびに加工装置の紫外線光軸や照射範囲の制約が生ずる点で問題である。
【００２３】
本発明が解決しようとする課題は、生産工程上ならびに構造上、該記録素子基板を樹脂ベース部材に仮固定する必要性があるインクジェットヘッドで、仮固定接着剤に紫外線硬化型接着剤を採用した場合に、該接着剤に紫外線を効果的に照射出来ない構造のインクジェット記録ヘッドにおいて生ずる、
・紫外線の照射不十分などによる不完全硬化領域が、後工程の記録素子基板の周囲封止剤や接着剤と混じることで硬化阻害を起こして、仮固定接着剤および周囲封止剤が本来の機能を満足できないこと
・硬化阻害によって発生した未硬化物によるノズル汚染／印字不良発生が発生すること
である。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
この発明は下記の構成を備えることにより上記課題を解決できるものである。
【００２５】
（１）インク液滴が吐出される吐出口と、該吐出口からインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部とを具備する記録素子基板と、
該記録素子基板との接合面と、インク収納部からのインクを供給するインク供給口を具備する樹脂ベース部材と、
該記録素子基板と該ベース部材を接着固定し、該記録素子基板と該ベース部材との間のインク流路部をシーリングする第一の接着剤、
からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
（段階１）該ベース部材に該第一の接着剤を塗布し、
（段階２）該記録素子基板を、該ベース部材上に塗布された該第一の接着剤上の、所定の位置に合わせて載せ、
（段階３）該第一の接着剤とは別の第二の接着剤である熱硬化性接着剤を、該記録素子基板と該ベース部材とに接触するように塗布し、
（段階４）該第二の接着剤を加熱手段により硬化させ、
（段階５）該第二の接着剤の硬化後に、該第一の接着剤を硬化させる、
段階により製造されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２６】
（２）前記（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
該第二の接着剤である熱硬化性接着剤を硬化させる手段が、
熱輻射あるいは対流熱伝達の作用にて非接触で加熱を行う熱源であり、該熱源を該熱硬化性接着剤の近傍に接近させることで、該熱硬化性接着剤を硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２７】
（３）前記（１）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
該第二の接着剤である熱硬化性接着剤を硬化させる手段が、
該熱硬化性樹脂に照射することで加熱硬化可能な光線源であり、該光線源から光線を照射することで、該熱硬化性接着剤を硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２８】
（４）前記（１）〜（３）いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、段階２から段階４の工程の間、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００２９】
（５）前記（４）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、該記録素子基板を該ベース部材上の接着剤の上に載せるフィンガーが、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３０】
（６）インク液滴が吐出される吐出口と、該吐出口からインク液滴を吐出するための吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生部とを具備する記録素子基板と、
該記録素子基板との接合面と、インク収納部からのインクを供給するインク供給口を具備する樹脂ベース部材と、
該記録素子基板と該ベース部材を接着固定し、該記録素子基板と該ベース部材との間のインク流路部をシーリングする熱硬化性接着剤、
からなるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
（段階１）該ベース部材上に熱硬化性接着剤を塗布し、
（段階２）該記録素子基板を、該ベース部材上に塗布された該熱硬化性接着剤上の、所定の位置に合わせて載せ、
（段階３）該熱硬化性接着剤の一部を、第一の加熱手段を用いて硬化させ、
（段階４）該熱硬化性接着剤の未硬化部分を、第二の加熱手段により硬化させる、
段階により製造されることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３１】
（７）前記（６）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法おいて、第一の加熱手段が熱輻射あるいは対流熱伝達の作用にて加熱を行う熱源であり、該熱源を該熱硬化性接着剤の硬化させる部位の近傍に接近させることで、該熱硬化性接着剤の一部分のみを硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３２】
（８）前記（６）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、第一の加熱手段が該熱硬化性樹脂に照射することで加熱硬化可能な光線源であり、該光線源から光線を該熱硬化性接着剤の一部にのみ照射することで、該熱硬化性接着剤の一部分のみを硬化させることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３３】
（９）前記（６）〜（８）いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、段階２から段階３の工程の間、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３４】
（１０）前記（９）記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法において、該記録素子基板を該ベース部材上の接着剤の上に載せるフィンガーが、該記録素子基板を熱することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【００３５】
（１１）前記（１）〜（１０）いずれかに記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法にて製造したインクジェット記録ヘッド。
【発明の効果】
【００３６】
本発明は、記録素子基板の仮固定に、熱硬化型仮固定用接着剤もしくは熱硬化型マウント接着剤を使用して、非接触で熱を伝播させて上記熱硬化型接着剤を硬化させる方式である。
【００３７】
本発明により、仮固定に紫外線硬化型接着剤を使用する場合において、紫外線硬化型接着剤の一部に紫外線の未照射領域が生じた場合などの、
・紫外線の照射不良などによる不完全硬化領域が、後工程の記録素子基板の周囲封止剤や接着剤と双溶して硬化阻害を起こすこと
・硬化阻害による未硬化物のノズル汚染／印字不良発生
のなどの課題を回避可能とした。
【００３８】
また本発明では、紫外光が照射された領域のみが硬化する紫外線硬化型接着剤と異なり熱硬化性接着剤を用いるために、熱硬化性接着剤内部での熱の伝播によって硬化反応が促進される点が有利である。
【００３９】
その結果、記録素子基板の仮固定工程部位の工程での安定性および信頼性を向上させることが可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
本発明を適用したインクジェット記録ヘッドにおいて、該記録素子基板の仮固定の部位および数は、仮固定に必要な強度および加工時間や部品形状などに対する生産性を損なうことがなければ、適宜選択可能である。
【００４１】
本発明を適用したインクジェット記録ヘッドにおいて、熱硬化型の仮固定接着剤あるいは熱硬化型のマウント接着剤を硬化させる加熱手段は、非接触で加熱を行い、インクを吐出する記録素子基板に悪影響を及ぼさなければいかなる方式でもよい。
【００４２】
本発明を適用したインクジェット記録ヘッドにおいて、仮固定に使用する熱硬化型接着剤は、加熱硬化における硬化収縮率および収縮応力が小さい方が好ましいが、上述の仮固定の部位やその数との関係で、記録素子基板のマウント精度に悪影響を及ぼさなければ、適宜選択可能である。
【実施例１】
【００４３】
本発明を適用したインクジェット記録ヘッドの例を用いて、実施例を以下に説明する。
【００４４】
図２は本発明を適用したインク収納部を有するインクジェットヘッドの外観図であり、該ヘッドにおけるインク吐出に関する基本構成は、図３に示す筐体であるインク供給保持部材６、記録素子基板１、ならびにプリンタ本体から該記録素子基板１にインク吐出エネルギーとしての電気供給を行う電気配線基板８からなる。
【００４５】
本発明は、該ヘッドの記録素子基板１の仮固定に関する製造方法に関するものである。
【００４６】
図１ｂは、本発明のヘッドのインク吐出面側から見た模式図である。
【００４７】
図３における記録素子基板１の固定構造の概念図を図１ｂの矢視部分断面図として図１ａに示す。
【００４８】
本発明におけるインクジェットヘッドの記録素子基板１は、インク供給保持部材６の記録素子基板マウント面上に熱硬化型マウント接着剤２を介して固定されている。
【００４９】
また、記録素子基板１は、該マウント接着剤２が完全硬化するまでの間、仮固定接着剤３にて記録素子基板マウント面に仮固定されている。
【００５０】
また、記録素子基板１のインクからの保護と記録素子基板表面のインク清掃後の廃インク溜まりを抑制するために、周囲封止剤５にて記録素子基板周囲の空間は充填されている。
【００５１】
上述の仮固定接着剤３は外部雰囲気に対しては周囲封止剤５によって覆われており、図１ｂ中では破線で表した部位となる。
【００５２】
図１ａに示す本発明における構成に関して、製造方法は概略すると以下の手順となる。
（１）インク供給保持部材６の記録素子基板マウント面に、マウント接着剤２を所定の量塗布する。
（２）記録素子基板１を、記録素子基板マウント面に対して、所定の位置精度にアライメントして、ある基準から所定の高さとなるように該マウント接着剤２上に載せる。
（３）熱硬化型仮固定接着剤３を、記録素子基板１の所定の部位へ塗布する。
（４）熱硬化型仮固定接着剤３を加熱硬化させて、記録素子基板１を仮固定する。
（５）マウント接着剤２を硬化させる。
【００５３】
本発明におけるインクジェット記録ヘッドの吐出部分近傍は、図１ａにも示すように記録素子基板マウント面は電気配線基板８が接合されている面から凹形状となっており、従来の技術として仮固定接着剤３に紫外線硬化型接着剤を用いる方法では、紫外線硬化型接着剤を完全に硬化させるためには、電気配線基板８のデバイスホール端面に紫外線光が、けられないように照射角度を十分に検討する必要がある。
【００５４】
従って、仮固定接着剤３に紫外線硬化型を選択した場合には、紫外光の蹴られを対策するためには光軸角度の自由度に大きな制限が生ずる。
【００５５】
それに対して、本発明は仮固定接着剤３に熱硬化型接着剤を用いて、かつ該仮固定接着剤に対して非接触加熱で硬化を行うことで、上述の紫外線硬化型接着剤における制約に関係なく安定した接着剤の硬化ならびに硬化後の信頼性を確保できる。
【００５６】
以下に本発明の構成を詳細に述べる。
【００５７】
本発明では、実用的な加工時間を実現する仮固定に使用する熱硬化型接着剤として、１００℃におけるゲルタイムが１０秒以下のものを使用した。
【００５８】
またマウント接着剤２は、耐インク接液性を満足し、かつインクジェット記録ヘッド完成までの工程内物流時間内に硬化可能であれば、熱硬化型接着剤は勿論、湿気硬化型接着剤や２液反応型接着剤など特に種類は問わない。
【００５９】
記録素子基板マウント面上にマウント接着剤２を塗布した後、マウント用フィンガー９に吸着させた記録素子基板１をマウント面に対して要求位置精度内にアライメントして（不図示）、所定の高さまでマウント接着剤を潰すような位置に静止させる。
【００６０】
このとき、マウント用フィンガー９は記録素子基板１を吸着したままであり、この状態にて仮固定用の加熱硬化型接着剤を記録素子基板１ならびに該マウント面の両方に接触するとともに要求接着力を発生できる量を塗布する（不図示）。
【００６１】
本実施例では、図１ｂにおける破線部のように記録素子基板１の両長辺部の両端近傍に２箇所、計４箇所をディスペンスにて供給した。
【００６２】
この仮固定接着剤３の塗布位置やその数に関しては、記録素子基板１の大きさやアスペクト比に応じて十分な仮固定強度を発生できること、および要求加工時間を満足できるのであれば、特に制約は無い。
【００６３】
仮固定接着剤３を塗布後、本発明では非接触にて該仮固定接着剤３を加熱硬化させて生産ライン装置上の搬送における衝撃や振動に耐えうる強度を発生させる。
【００６４】
該仮固定接着剤３の加熱を非接触としているのは、マウント精度が要求されるという技術的な面と共に、可能な限り簡素な構成の装置として初期投資額の抑制などの向上によるコスト的な面を満足させるためである。
【００６５】
例えば、該接着剤を出来るだけ短時間で硬化させることを追及した場合には間接接触加熱が最も有効であると考えられる。
【００６６】
この場合には、表面が接着性に乏しいごく薄いテフロン（登録商標）テープなどを介して間接接触にて加熱することになる。
【００６７】
しかし本発明におけるインクジェットヘッドユニットの製造においてこのような方式を採った場合、
・技術的には該接着剤に触れることで高精度での仮固定に影響を及ぼす可能性があること
・コスト的観点からはテフロン（登録商標）テープなどの補材の導入、また装置的観点からはテープの供給機構を設ける必要性により装置が複雑かつ高価なものになること
が懸念される問題である。
【００６８】
従って本発明者は、仮固定に使用する熱硬化型接着剤の加熱手段として非接触で熱伝播させる方式が接触加熱方式に対して有利であると判断した。
【００６９】
該仮固定接着剤の硬化に使用する熱源および方式は、
（１）熱輻射および空気中の対流熱伝達の効果をもたらすヒートブロック近接加熱
（２）照射部位を加熱できる光源（可視光や紫外光など）
を用いることが可能である。
【００７０】
以下に、仮固定接着剤の２つの加熱方式について述べる。
【００７１】
ヒートブロック近接加熱方式の模式図を図４に示す。
【００７２】
本実施例では仮固定に使用する接着剤は、硬化反応が約１００℃から始まるものを選択した。
【００７３】
本発明者は、マウント用フィンガー９に吸着された状態の記録素子基板１に対して既に塗布された仮固定接着剤３の上空０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの位置に、表面温度約３００℃のヒートブロック１０を接近させることで、熱輻射と空気を介しての対流熱伝達の作用により所望の加工時間内で硬化させることが出来た。
【００７４】
本発明では、仮固定に用いる熱硬化型接着剤の反応開始温度や硬化特性とインク供給保持部材６を形成する材料の耐熱特性および要求加工時間に応じて、ヒートブロック１０の加熱温度と加熱時間をならびに仮固定接着剤３と熱源との距離を任意に設定することが可能である。
【００７５】
他の加熱方式として、被照射物を加熱可能な照射光を用いた方法について述べる。
【００７６】
その照射光のひとつとして紫外光があげられるが、これは紫外線硬化型接着剤のように紫外線に感応して硬化を行うことではなく、仮固定用の熱硬化型接着剤に紫外光を照射して紫外光が持つ熱エネルギーを伝播するものである。
【００７７】
この場合、装置的には光源や照射ファイバーなどは紫外線硬化型接着剤と同様のものを用いることが可能である。
【００７８】
また、集光レンズ付の照射ファイバー１１などを用いれば、図５に示すように光源の熱エネルギーを仮固定用接着剤３のみに照射することも可能であり、エネルギー効率的にも有効かつインク供給保持部材６を形成する樹脂部分に悪影響を及ぼさないなどの点で有効である。
【００７９】
また、紫外線硬化型接着剤と異なり、熱硬化性接着剤全面に紫外光を有効に照射できなくても、熱硬化性接着剤内部での熱の伝播によって硬化反応が促進される点が有利である。
【００８０】
従って、仮固定の加熱硬化型接着剤に熱エネルギーを伝播できる光ならば特に制約は無く、ハロゲン光源などの汎用設備を流用することも可能である。
【００８１】
また、記録素子基板１の熱伝導性によっては仮固定接着剤３に伝播された熱エネルギーが記録素子基板１にも伝導して、仮固定接着剤３の硬化開始温度に到達するまでに時間がかかってしまう可能性がある。
【００８２】
このような場合には、マウントフィンガー９に加熱機構をもたせて記録素子基板１を加熱することで、記録素子基板１と仮固定用接着剤３との温度勾配をほぼ無くすことでごく短時間で硬化を可能とする。
【００８３】
特に、記録素子基板１がシリコン半導体など熱伝導性に優れる場合に有効である。
【００８４】
本実施例では、約１００℃で硬化反応が始まる仮固定用接着剤に対して記録素子基板１を約９０℃に加熱することで十分な効果が得られた。
【００８５】
このマウントフィンガー９の温度設定は、加工時間短縮のために高く設定することも可能である。
【００８６】
本実施例では、マウントフィンガー９による記録素子基板１の加熱を行った結果、効率よく仮固定接着剤３を加熱硬化させることが出来た。
【００８７】
すなわち、余分な熱エネルギーが成形樹脂材料に伝播しない、インク供給保持部材６にダメージを与えにくく、加熱硬化時間を短縮出来る加工方法であることを確認した。
【実施例２】
【００８８】
本実施例では、マウント接着剤２に熱硬化型接着剤を採用して、仮固定接着剤を用いずにマウント接着剤２を非接触にて局所的に硬化させて、記録素子基板１の仮固定を行う方式について、以下に構成を詳細に述べる。
【００８９】
マウント接着剤２に熱硬化型接着剤を採用した場合には、実施例１中で述べた加熱機構を内蔵したマウントフィンガー９によって、吸着した記録素子基板１を加熱して、加熱状態にある記録素子基板１をマウント接着剤上にマウントすることで、記録素子基板１を介してマウント接着剤２を加熱硬化させて、記録素子基板１を樹脂成形部品であるインク供給保持部材６に固定する方式が考えられる。
【００９０】
この場合、硬化させる接着剤の量が実施例１における仮固定用接着剤に対して多いために硬化に必要な熱量も多くなる。
【００９１】
硬化必要熱量を、実用的な加工時間内に記録素子基板１を介してマウント接着剤に伝導させるためには、マウントフィンガー９の温度設定を高温に設定する必要がある。
【００９２】
本発明者は、１００℃でのゲルタイムが１０秒の硬化特性をもつ加熱硬化型接着剤を用いて検討を行った。
【００９３】
しかし、実用的加工時間を満足する高温度設定として、マウントフィンガー９にて記録素子基板１を約１９０℃に加熱して本発明者はマウント検討を行ったが、記録素子基板１のインクを吐出する開口部であるノズルの配置面にダメージを与えることがあった。
【００９４】
また、ノズル配置面へのダメージを回避しつつ、可能な限り加工時間が短くなるようにマウントフィンガーにて記録素子基板１を約１６０℃にて加熱時間を延長して検討を行ったが、樹脂成形部品であるインク供給保持部材６のマウント面の変形が発生して、記録素子基板１のマウント精度に悪影響を及ぼした。
【００９５】
マウント接着剤２の硬化温度仕様ならびに樹脂成形部品における耐熱温度の改善などの余地はあるが、共に耐インク接液性などの観点から全てを満足する組み合わせを実現するのは困難である。
【００９６】
従って本発明者は、記録素子基板１をマウント接着剤２上にマウントした後に、マウント接着剤２を非接触にて局所的に硬化させる方式を検討した。
【００９７】
本発明者は、マウント接着剤２の局所加熱の手段として、実施例１のごとく非接触にて熱エネルギーを伝播可能なヒートブロックをマウント接着剤の局所的に硬化させたい所望の位置近傍に接近させることで、記録素子基板１を仮固定する方法を考案した。
【００９８】
本実施例の方式を、模式断面図にて図６に示す。
【００９９】
本実施例では、記録素子基板マウント面上にマウント接着剤２を塗布した後、マウント用フィンガー９に吸着させた記録素子基板１をマウント面に対して要求位置精度内にアライメントして（不図示）、所定の高さまでマウント接着剤を潰すような位置に静止させる。
【０１００】
このとき、マウント用フィンガー９は記録素子基板１を吸着したままであり、この状態にてマウント接着剤の局所的に硬化させたい所望の位置の上空近傍０．５ｍｍ〜１．０ｍｍの位置に、表面温度約３００℃のヒートブロック１０を接近させることで、熱輻射と空気を介しての対流熱伝達の作用により所望の加工時間内で硬化させることが出来た。
【０１０１】
本発明では、熱硬化型マウント接着剤の反応開始温度や硬化特性とインク供給保持部材６を形成する材料の耐熱特性および要求加工時間に応じて、ヒートブロック１０の加熱温度と加熱時間をならびに仮固定接着剤３と熱源との距離を任意に設定することが可能である。
【０１０２】
また、マウント接着剤を局所的に硬化させる方式として、上記のヒートブロックを接近させる方式よりもさらに容易で効率的な方式が、マウント接着剤の硬化させたい所望の個所に熱を伝播することを可能とする光を照射して、照射した部位およびその近傍を硬化させる方式である。
【０１０３】
ヒートブロック方式によるマウント接着剤への熱の伝播は、熱輻射と対流熱伝達であるために、仮固定部位が硬化開始温度に到達するまでにマウント接着剤における仮固定部位以外の部分への熱伝導による損失が懸念される。
【０１０４】
従って、マウント接着剤の仮固定部位近傍を集中的に加熱するには、熱源となりうる照射光を任意の硬化個所に局所的に照射する方式が、ヒートブロック方式に対して、更に効率よく有効である。
【０１０５】
特に、集光レンズなどによって照射光を仮固定部位に絞ることで、マウント接着剤の仮固定部位における局所加熱は更に容易となり、マウント接着剤内部への熱伝導作用の影響を受けにくく、比較的短時間で硬化させることが可能である。
【０１０６】
本実施例では、記録素子基板マウント面上にマウント接着剤２を塗布した後、マウント用フィンガー９に吸着させた記録素子基板１をマウント面に対して要求位置精度内にアライメントして（不図示）、所定の高さまでマウント接着剤を潰すような位置に静止させる。
【０１０７】
このとき、マウント用フィンガー９は記録素子基板１を吸着したままであり、この状態にてマウント接着剤の所望の位置に局所的に熱伝播を可能とする光を照射して、照射した部位およびその近傍を硬化させる。
【０１０８】
局所的に硬化した部位は、マウント接着剤２全体が完全硬化するまでの間、インク供給保持部材６と記録素子基板１との固定状態を維持させる。
【０１０９】
この方式はマウント接着剤の局所的部分のみ加熱硬化させることで、樹脂成形部品であるインク供給保持部材６および記録素子基板１のノズル面に対して加熱によるダメージを与えることなく、記録素子基板１を仮固定することが可能である。
【０１１０】
また、マウントフィンガー９によって記録素子基板１ならびにインク供給保持部材６対してダメージを与えない程度に記録素子基板１の加熱を行うことで、実施例１と同様に本実施例における仮固定方式の加工時間を短縮することも可能である。
【０１１１】
以上述べたマウント接着剤２を局所的に硬化させた後に、バッチ加熱などの工程を行うことでマウント接着剤全体を完全に加熱硬化させて記録素子基板１の固定が完了する。
【０１１２】
また、本実施例の別な効果として、実施例１および実施例２で説明した本発明における記録素子基板の仮固定方式を用いることで、仮固定接着剤に紫外線硬化型接着剤を採用した場合には、該接着剤に紫外線を効果的に照射出来ない構造のインクジェット記録ヘッドにおいて生ずる、
・紫外線の照射不十分などによる不完全硬化領域が、後工程の記録素子基板の周囲封止剤や接着剤と混じることで硬化阻害を起こして、仮固定接着剤および周囲封止剤が本来の機能を満足できないこと
・硬化阻害によって発生した未硬化物によるノズル汚染／印字不良発生が発生すること
を防止するために、紫外線硬化型接着剤に紫外線が十分に照射される構造として、記録素子基板周囲のデバイスホール開口部寸法の制約があった。
【０１１３】
しかし、本発明における記録素子基板仮固定方式によって、照射光“けられ”の悪影響を殆ど考慮する必要が無くなった。
【０１１４】
これによって、デバイスホールの開口部を小さくして従来よりも充填体積を減らすことが可能となり、
・周囲封止剤の充填量を減らすこと
・充填量の削減による充填加工時間の短縮
を実現して、材料及び生産性の観点から加工コストの低減をも可能とする、更なる効果をもたらすことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１ａ】本発明による記録素子基板の固定構造を表す模式断面図
【図１ｂ】本発明のインクジェットヘッドの模式図
【図２】本発明を適用した、インク供給保持部材付きインクジェットヘッドユニットの外観図
【図３】図２におけるインク供給保持部材付きインクジェットヘッドユニットのインク吐出部分に関する構成を示す図。
【図４】本発明における、熱源による仮固定接着剤の非接触加熱を表す模式図
【図５】本発明における、光源による仮固定接着剤の非接触加熱を表す模式図
【図６】本発明における、光源によるマウント接着剤の局所的非接触加熱を表す模式図
【符号の説明】
【０１１６】
１  記録素子基板
２  マウント接着剤
３  仮固定接着剤
４  記録素子基板のインク流入口
５  周囲封止剤
６  インク供給保持部材
７  インク供給保持部材のインク供給口
８  電気配線基板
９  マウントフィンガー
１０  ヒートブロック
１１  照射ファイバー
１２  照射光
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図１ａ】
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【図１ｂ】
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