(57)【要約】【課題】リニアガイド装置においてボールネジを使用しないでスライダーをスムーズに移動可能な機構を構築する。【解決手段】リニアガイド装置１は、直線状のレール１０のレール面１０ａにはラック歯を刻設し、スライダー２０にはラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂを設けた入力軸３が軸支され、この入力軸３にモーター出力軸Ｊを連結させてピニオンギヤー５ａ，５ｂをモーター出力により回転させるように構成する。  これにより、ボールネジを使用しないでスライダー２０をレール１０上に自走させることができる。  また、上記２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂ間は、夫々のギヤー歯の角度をラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αだけ周方向に回転してずらすように構成する。  これにより、実質的にバックラッシュを無くしてスライダー２０をレール１０上に走行させることができる。【選択図】図２
2007092871.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、
上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には上記ラック歯と噛み合うピニオンギヤーを設けた入力軸が軸支され、上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項２】
直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、
上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には上記ラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤーを設けた入力軸が軸支され、上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成し、
上記２つのピニオンギヤー間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項３】
直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、
上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には入力ギヤーを設けた入力軸及びこの入力ギヤーと噛み合うと共に上記ラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤーを設けた保持軸が軸支され、上記入力ギヤーを介して上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成し、
上記２つのピニオンギヤー間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成し、
上記２つのピニオンギヤーを設けた保持軸は、上記入力軸の両側に夫々配置され、且つ対角関係に位置したピニオンギヤー同士は、夫々のギヤー歯の角度が同期するように構成したことを特徴とするリニアガイド装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアガイド装置において、
上記２つのピニオンギヤーは、上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相がずれるように固定手段で接続したリニアガイド装置。
【請求項５】
請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアガイド装置において、
上記２つのピニオンギヤーは、上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相がずれるように歯切して形成したリニアガイド装置。
【請求項６】
請求項１乃至３のいずれかに記載のリニアガイド装置において、
上記ラック歯と上記ピニオンギヤーがヘリカル状をなしたリニアガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、直線状のレールと、レール上を自在に移動するスライダーとを備えたリニアガイド装置、特に高精度に移動可能なリニアガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
研磨機やフライス盤等の工作機械や物品の搬送装置等には、ワークを支持又は保持する可動ベッドを直動案内する機構として、リニアガイド装置が用いられる。
図１２に示すように、このリニアガイド装置Ａは、直線状に延びるレール１００と、
このレール１００上を自在に移動するスライダー２００とを有し、ワークＷを支持等する可動ベッドＢはスライダー２００上に取り付けられている。
そして、可動ベッドＢにはボールネジ等の送りネジ機構３００が設けられ、この送りネジ機構３００をサーボモーター等（図示せず）を駆動させることでスライダー２００及び可動ベッドＢが移動される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１７４２３４号公報
【特許文献２】特開平８−１０５４３９号公報（図２、図７、図８）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記送りネジ機構３００のボールネジは高価なうえに、長いストロークの高速移動になるとボールネジのたるみ等により「なわとび現象」が起こりスライダー２００の移動に支障を来たす。
そのため、より径の太い高価なボールネジが必要となり、重量も増す。
それゆえに、低価格且つ軽量で精度のよい高速移動が可能な機構が求められる。
【０００５】
本発明は、上記事情に鑑み、ボールネジを使用しないでスライダー又はレールを走行可能な機構を低価格に実現するリニアガイド装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
（１）第１の本発明に係るリニアガイド装置は、直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には上記ラック歯と噛み合うピニオンギヤーを設けた入力軸が軸支され、上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成したことを特徴とするものである（請求項１）。
【０００７】
これにより、モーターを駆動してピニオンギヤーを回転させると、ピニオンギヤーがレール上部のラック歯と噛み合って回転する。
従って、ボールネジを使用しないで、例えばスライダーをレール上に自走させることができる。
【０００８】
（２）また、第２の本発明に係るリニアガイド装置は、直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には上記ラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤーを設けた入力軸が軸支され、上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成し、上記２つのピニオンギヤー間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成したことを特徴とするものである（請求項２）。
【０００９】
これにより、モーターを駆動してピニオンギヤーを回転させると、ピニオンギヤーがレール上部のラック歯と噛み合って回転する。
従って、ボールネジを使用しないで、例えばスライダーをレール上に自走させることができる。
また、上記２つのピニオンギヤーの夫々は、レールのラック歯との間でバックラッシュを有するが、この２つのピニオンギヤー間では夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成するので、正回転では一方のピニオンギヤーがラック歯と前がかりで駆動し、逆回転では他方のピニオンギヤーがラック歯と後がかりで駆動して回転することとなる。
従って、正回転と逆回転の切替わり時等ではラック歯と２つのピニオンギヤーとの間で実質的にバックラッシュを無くして、例えばスライダーをレール上に走行させることができる。
【００１０】
（３）また、第３の本発明に係るリニアガイド装置は、直線状のレールに転動体を介して、自在にレール上を移動するスライダーを備えたリニアガイド装置において、上記レール上部にはラック歯が刻設され、上記スライダー内には入力ギヤーを設けた入力軸及びこの入力ギヤーと噛み合うと共に上記ラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤーを設けた保持軸が軸支され、上記入力ギヤーを介して上記ピニオンギヤーをモーター出力により回転させるように構成し、上記２つのピニオンギヤー間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成し、上記２つのピニオンギヤーを設けた保持軸は、上記入力軸の両側に夫々配置され、且つ対角関係に位置したピニオンギヤー同士は、夫々のギヤー歯の角度が同期するように構成したことを特徴とするものである（請求項３）。
【００１１】
これにより、モーターを駆動してピニオンギヤーを回転させると、ピニオンギヤーがレール上部のラック歯と噛み合って回転する。
従って、ボールネジを使用しないで、例えばスライダーをレール上に自走させることができる。
また、上記２つのピニオンギヤーの夫々は、レールのラック歯との間でバックラッシュを有するが、この２つのピニオンギヤー間では夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相だけ周方向に回転してずらすように構成するので、正回転では一方のピニオンギヤーがラック歯と前がかりで駆動し、逆回転では他方のピニオンギヤーがラック歯と後がかりで駆動して回転することとなる。
従って、正回転と逆回転の切替わり時等ではラック歯と２つのピニオンギヤーとの間で実質的にバックラッシュを無くして、例えばスライダーをレール上に走行させることができる。
しかも、上記２つのピニオンギヤーを設けた保持軸は、上記入力軸の両側に夫々配置され、且つ対角関係に位置したピニオンギヤー同士は、夫々のギヤー歯の角度が同期するように構成するので、正回転では一方の対角関係に位置したピニオンギヤー同士がラック歯と前がかりで駆動し、逆回転では他方の対角関係に位置したピニオンギヤー同士がラック歯と後がかりで駆動して回転することとなる。
その結果、正回転、逆回転のいずれにおいても対角関係にある左右両方のピニオンギヤーがラック歯と噛み合ってスライダーを駆動させることができる。
従って、スライダーの駆動に大きな伝達力が得られ、しかもスライダーを横方向へこじるおそれもなく直動させることができる。
【００１２】
（４）上記２つのピニオンギヤーは、上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相がずれるように固定手段で接続したものでもよい（請求項４）。
これにより、２つのピニオンギヤー間においてラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相のずれたものを容易に得ることができる。
【００１３】
（５）上記２つのピニオンギヤーは、上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相がずれるように歯切して形成したものでもよい（請求項５）。
これにより、２つのピニオンギヤー間においてラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相のずれたものを容易に得ることができる。
【００１４】
（６）上記ラック歯と上記ピニオンギヤーがヘリカル状をなしたものでもよい（請求項６）。
これにより、ラック歯とピニオンギヤーは斜めに溝切りしたギヤー溝となって噛み合い長さが長くなるので、ピニオンギヤーの回転を円滑に行うことができ、スライダーの静粛な移動が可能となる。
【発明の効果】
【００１５】
以上のように、本発明に係るリニアガイド装置によれば、例えばスライダーをレールに自走させることができ、従来のようなボールネジ等の部品が不要となる。
従って、スライダーをスムーズに移動させることができ、また、低コストで軽量なものが得られる。
特に、第２、第３の本発明に係るリニアガイド装置では、加えて、バックラッシュを無くして、例えばスライダーをレール上で走行させることができるので、移動精度を向上することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（実施の形態１）
図１に示すように、本実施の形態１によるリニアガイド装置１は、直線状に延びるレール１０と、このレール１０上を自在に移動するスライダー２０とを有する。
レール１０は、その上面にはラック歯を刻設した平坦なレール面１０ａが左右に平行に２条になって形成され、また、両側面にはそれぞれ転動体のボール７が対接するボール案内部１０ｂが形成されている。
レール面１０ａとボール案内部１０ｂは、レール１０の長手方向に沿って直線状に形成されている。
スライダー２０は、断面門型に形成され、レール１０の上面に対向配置されるスライダー上部２１と、レール１０の側面に対向配置されるスライダー側部２２とを有する。
【００１７】
図２、図３、図４に示すように、スライダー上部２１には、上記レール面１０ａのラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤー５（５ａ，５ｂ）を一体形成した入力軸３が設けられている。
そして、図５に示すように、この２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂ間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度（バックラッシュ分丁度か、バックラッシュ分以内で極力バックラッシュ分に近い間隔、以下同様）の位相αだけ周方向に回転してずらすように構成されている。
【００１８】
上記入力軸３は、スライダー上部２１の側面において貫通形成する貫通孔３０に挿通され、その両側で軸受部材３１によって軸支されている。
そして、この入力軸３の一方端部には、継手部材３２によってサーボモーターＭの出力軸Ｊが締結されている。
これにより、サーボモーターＭの駆動により上記入力軸３が回転されてピニオンギヤー５がこのモーター出力により回転される。
【００１９】
なお、上記入力軸３を軸支する軸受部材３１は、既知のものを種々使用でき、例えば、ニードルベアリング（特開２００２−３１０１６７号公報）によって構成してもよい。
これにより、入力軸３に大きな荷重が加わっても入力軸３を円滑に回転させることができる。
【００２０】
また、スライダー上部２１には、上記ピニオンギヤー５の配置箇所において上下に貫通する孔部２４が設けられ、この孔部２４には潤滑オイルを含浸させた含油フエルトＦが装填されている。
なお、孔部２４の上面部は、フタ２３で塞がれている。
これにより、含油フエルトＦがピニオンギヤー５に接して、ピニオンギヤー５が回転することでレール面１０ａのラック歯との間に潤滑オイルが供給され、円滑に歯合される。
【００２１】
また、上記レール面１０ａのラック歯と上記スライダー上部２１に軸支する２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂのギヤー溝は、斜めに溝切りしたヘリカル状をなしている。
これにより、ラック歯とピニオンギヤー５ａ，５ｂは斜めに溝切りしたギヤー溝となって噛み合い長さが長くなるので、ピニオンギヤー５ａ，５ｂの回転を円滑に行うことができ、スライダー２０の静粛な移動が可能となる。
【００２２】
一方、左右のスライダー側部２２には、図４に示すように、上下にボール循環路７０が形成され、このボール循環路７０内に転動体となる多数のボール７が装填されている。
そして、これらボール７は、レール１０の両側面のボール案内部１０ｂに対接される。
【００２３】
また、このリニアガイド装置１は、図４に示すように、サーボモーターＭの取付け部材６に光学式あるいは磁気式等の位置センサＳが取り付けられており、この位置センサＳによってレール１０を取り付けた基台においてレール１０の長手方向に沿って形成したリニアスケールＬを読み取るように構成し、スライダー２０の位置を認識可能にしている。
これにより、スライダー２０の移動距離の精度を向上することができる。
【００２４】
以上の構成のリニアガイド装置１によれば、サーボモーターＭを駆動して入力軸３を回転させると、ピニオンギヤー５がレール面１０ａのラック歯と噛み合って回転し、これにより、スライダー２０がレール１０上を走行する。
従って、従来のようなボールネジ３００を使用しないで、十分な回転力を発揮してスライダー２０をレール１０上でスムーズに自走させることができる。
しかも、ボールネジ３００等の部品が不要となるので、低コストで軽量なものが得られる。
【００２５】
また、上記２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂの夫々は、レール面１０ａのラック歯との間でバックラッシュを有するが、この２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂ間では夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αだけ周方向に回転してずらすように構成するので（図５参照）、図３中の夫々のピニオンギヤー５ａ，５ｂに矢印で示したように、正回転では一方のピニオンギヤー５ａがレール面１０ａのラック歯と前がかりで駆動し、逆回転では他方のピニオンギヤー５ｂがレール面１０ａのラック歯と後がかりで駆動して回転することとなる。
これにより、正回転と逆回転の切替わり時等ではラック歯と２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂとの間で実質的にバックラッシュを無くしてスライダー２０をレール１０上に走行させることができる。
従って、ラック歯とピニオンギヤー５とのギヤー機構を採用するものであっても、バックラッシュによる移動誤差がほとんどなく、スライダー２０の移動精度を向上することができる。
【００２６】
なお、上記２条のレール面１０ａのラック歯と上記２つのピニオンギヤー５ａ，５ｂは、ヘリカル状のギヤー溝の向きを同じ方向とするが（図３参照）、図６に示すように、他方のピニオンギヤー５ｂ’のヘリカル状のギヤー溝の向きは、一方のピニオンギヤー５ａのヘリカル状のギヤー溝の向きと反対方向となるように形成されてもよい。
この場合、他方のレール面１０ａ’のラック歯の斜めに切ったギヤー溝の向きも、一方のレール面１０ａのラック歯の斜めに切ったギヤー溝の向きとは反対方向となる。
これにより、ラック歯とピニオンギヤー５ａ，５ｂのギヤー溝をヘリカル状とすることで、ピニオンギヤー５ａ，５ｂにはその軸方向へスラスト力が作用するが、各ピニオンギヤー５ａ，５ｂにおけるヘリカル状のギヤー溝の向きが相反するように構成することで、ピニオンギヤー５ａ，５ｂの夫々に作用するスラスト力の向きも反対方向となる。
従って、夫々のピニオンギヤー５ａ，５ｂに作用するスラスト力が相殺されて前方への転がり力を大きくすることができ、ひいてはスライダー２０を力強く直動させることができる。
【００２７】
（実施の形態２）
図７、図８に示すように、実施の形態２のリニアガイド装置１ａは、スライダー上部２１に、モーター出力軸Ｊと締結され、２つの入力ギヤー８を設けた入力軸３と、この入力軸３の両側に夫々配置され、上記入力ギヤー８と噛み合うと共にレール面１０ａのラック歯と噛み合う２つのピニオンギヤー５を保持した保持軸４とが設けられている。
また、夫々の保持軸４に設けた２つのピニオンギヤー５間は、夫々のギヤー歯の角度を上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αだけ周方向に回転してずらすようにして保持軸４に固定されている（図５参照）。
そして、入力軸３の両側に配置される４つのピニオンギヤー５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄは、対角関係に位置したピニオンギヤー５同士（５ａと５ｄ、５ｂと５ｃ）のギヤー歯の角度が同期するように構成されている。
なお、夫々の保持軸４はスライダー上部２１の側面に貫通形成した貫通孔４０に挿通させて、その両側で軸受部材３１によって軸支されている。  
その他の構成は、上記実施の形態１のものと同様であり、図７、図８において図１〜図５に示す符号と同一のものは実施の形態１で説明したものと同一又は相当する。
【００２８】
上記実施の形態２によるリニアガイド装置１ａによれば、特に、上記２つのピニオンギヤー５を設けた保持軸４は、上記入力軸３の両側に夫々配置され、且つその対角関係に位置したピニオンギヤー５同士（５ａと５ｄ、５ｂと５ｃ）は、夫々のギヤー歯の角度が同期するように構成するので、図７中の夫々のピニオンギヤー５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに矢印で示したように、正回転では一方の対角関係に位置したピニオンギヤー５同士（５ａと５ｄ）がレール面１０ａのラック歯と前がかりで駆動し、逆回転では他方の対角関係に位置したピニオンギヤー５同士（５ｂと５ｃ）がレール面１０ａのラック歯と後がかりで駆動して回転することとなる。
その結果、正回転、逆回転のいずれにおいても対角関係にある左右両方のピニオンギヤー５がラック歯と噛み合ってスライダー２０を駆動させることができる。
従って、スライダー２０の駆動に大きな伝達力が得られ、しかもスライダー２０を横方向へこじれるおそれもなく直動させることができる。
その他の作用効果は、上記実施の形態１のものと同様である。
【００２９】
（その他）
（１）図９に示すように、本リニアガイド装置は、スライダー２０の入力軸３を他のスライダー２０ｘの入力軸３と継手Ｃによって連結して２列に構成してもよい。
これにより、１つのモーターＭ（駆動源）で平行に並んだ２つのスライダー２０，２０ｘを同期して互いのレール１０，１０ｘ上を走行させることができる。
なお、同様に、必要に応じて３列、４列等の複数列のリニアガイド装置としてもよい。
【００３０】
（２）また、図９に示すように、２列に構成したレール１０，１０ｘは、夫々のレール面１０ａ，１０ａ’のラック歯の斜めに切ったギヤー溝の向きが反対方向となるように構成してもよい。
この場合、夫々のスライダー２０，２０ｘに設けたピニオンギヤー５におけるヘリカル状のギヤー溝は、これと噛み合うラック歯の向きと一致される。
これにより、２列のスライダー２０，２０ｘの関係において、夫々のピニオンギヤー５に作用するスラスト力の向きが反対方向となって横方向へのスラスト力が相殺され、前方への転がり力を大きくすることができ、ひいてはスライダー２０，２０ｘ全体を力強く直動させることができる。
【００３１】
（３）図１０に示すように、レール及びスライダーを２列等に構成する場合、夫々のスライダーを架渡すプレートを取り付け、このプレートにモーターを固定し、このモーター出力軸と、左右のスライダーの入力軸同士を連結する連結シャフトとを、タイミングベルト又はギヤー等の伝達手段により接続するように構成してもよい。
これにより、モーターが外側に出張らずレール間に配置されてコンパクトに構成することができ、また、モーター出力を連結シャフトに入力することから、連結シャフトのねじれが少なくなって一層正確なスライダーの移動が可能となる。
なお、図１０中の符号Ｋは、モーターに電力供給するためのケーブルである。
【００３２】
（４）図１１に示すように、２列のレール１０，１０ｘ上に４つのスライダー２０，２０ｘ，２０ｙ，２０ｚを配置し、レール１０，１０ｘ間に平行に並んだ２つのスライダー（２０と２０ｘ、２０ｙと２０ｚ）を傘歯車等による伝達機構Ｇを組み込んだ連結ユニット９，９’によって夫々の入力軸３を接続すると共に側方の連結ユニット９，９’同士を連結軸９０で接続し、一方の連結ユニット９にモーターＭを取り付けると共にモーター出力軸Ｊをその連結ユニット９の伝達機構Ｇと接続するように構成してもよい。
これにより、上記の１つのモーターＭを駆動することにより、上記各連結ユニット９，９’を介して２列のレール１０，１０ｘ上に配置した４つのスライダー２０，２０ｘ，２０ｙ，２０ｚを同期して走行させることができる。
【００３３】
（５）同軸上に設けた上記２つのピニオンギヤー５は、レール面１０ａのラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αがずれるように継手等の固定手段で接続してもよく、また、上記２つのピニオンギヤー５は、上記ラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αがずれるように歯切して軸と一体形成したものでもよい。
これにより、２つのピニオンギヤー５間においてラック歯との間のバックラッシュ分程度の位相αのずれたものを容易に得ることができる。
なお、上記固定手段としては、例えば、各種の継手が挙げられるが、この継手には嵌合式に軸を締結するものでもよいし、また、上記バックラッシュ分程度の位相αがずれるように内接歯を設けたものでもよい。
【００３４】
（６）レール１０のレール面１０ａは、２つのピニオンギヤー５に共通して噛み合う１条のものでもよい。
（７）上記ラック歯と上記ピニオンギヤー５のギヤー溝は、ヘリカル状とすることなく、平状のギヤー溝でもよい。
（８）上記各実施の形態１，２では、スライダーを移動側として走行させるが、スライダーを固定してレールを移動側として走行させるようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】実施の形態１によるリニアガイド装置の全体構成を示す斜視図である。
【図２】実施の形態１による上記リニアガイド装置のスライダー内の構造を示す一部切欠の側面図である。
【図３】実施の形態１によるリニアガイド装置のスライダー内の構造を示す平面図である。
【図４】実施の形態１によるリニアガイド装置のスライドー内の構造を示す断面図である。
【図５】２つのピニオンギヤー間でバックラッシュ分程度の位相ずれがあることを示す模式図である。
【図６】実施の形態１の変形例のリニアガイド装置におけるスライダー内の構造を示す平面図である。
【図７】実施の形態２によるリニアガイド装置のスライダー内の構造を示す一部切欠の側面図である。
【図８】実施の形態２によるリニアガイド装置のスライダー内の構造を示す平面図である。
【図９】本発明の他の例として、平行に並ぶ２つのスライダーの入力軸を連結してスライダーを２列に連結したものを示す平面図である。
【図１０】本発明の別の他の例として、平行に並ぶ２つのスライダーの入力軸を連結してスライダーを２列に連結したものを示す平面図である。
【図１１】本発明の別の他の例として、４つのスライダーを連結ユニットにより連結したものを示す平面図である。
【図１２】従来のリニアガイド装置を示す断面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１  リニアガイド装置
３  入力軸
４  保持軸
５  ピニオンギヤー
８  入力ギヤー
１０  レール
１０ａ  レール面
２０  スライダー
Ｊ  モーター出力軸
Ｍ  モーター
α  位相
【図１】
2007092871.tif 000003
【図２】
2007092871.tif 000004
【図３】
2007092871.tif 000005
【図４】
2007092871.tif 000006
【図５】
2007092871.tif 000007
【図６】
2007092871.tif 000008
【図７】
2007092871.tif 000009
【図８】
2007092871.tif 000010
【図９】
2007092871.tif 000011
【図１０】
2007092871.tif 000012
【図１１】
2007092871.tif 000013
【図１２】
2007092871.tif 000014