(57)【要約】【課題】微小構造体を、低コストで効率よく成形する成形方法を提供する。【解決手段】冷却によって硬化する溶融状態の成形材料を成形金型の空隙部に充填し、成形材料を冷却させて空隙部の形状が転写された形状を有する構造体の成形方法において、第１の金型と、第２の金型と、第１の金型と第２の金型とが型締めされて成す空間に侵入することで成形金型の空隙部を成す微細金型と、を成形材料の熱変形温度以上に加熱する金型加熱工程と、微細金型が第１の位置に後退していることで成す空隙部より広い空間に成形材料を充填する成形材料充填工程と、微細金型を第１の位置より空隙部を成す第２の位置まで移動させる微細金型移動工程と、成形材料を冷却する冷却工程と、を含む。【選択図】図３
2007175920.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
冷却によって硬化する溶融状態の成形材料を成形金型の空隙部に充填し、前記成形材料を冷却させて空隙部の形状が転写された形状を有する構造体の成形方法において、
第１の金型と、第２の金型と、該第１の金型と該第２の金型とが型締めされて成す空間に侵入することで前記成形金型の前記空隙部を成す微細金型と、を前記成形材料の熱変形温度以上に加熱する金型加熱工程と、
前記微細金型が第１の位置に後退していることで成す前記空隙部より広い空間に成形材料を充填する成形材料充填工程と、
前記微細金型を第１の位置より前記空隙部を成す第２の位置まで移動させる微細金型移動工程と、
前記成形材料を冷却する冷却工程と、
を含むことを特徴とする構造体の成形方法。
【請求項２】
前記冷却工程の後、前記微細金型を前記第２の位置より前記第１の位置の方向に後退させる微細金型後退工程を含むことを特徴とする請求項１に記載の構造体の成形方法。
【請求項３】
前記成形材料は、熱可塑性樹脂、ガラス又は金属の何れか一つであることを特徴とする請求項１又は２に記載の構造体の成形方法。
【請求項４】
前記構造体は、該構造体の厚み方向に孔を有する板形状であって、
前記孔を形成するために前記空間に侵入する前記微細金型の先端は平面であり、
前記微細金型の先端に対する前記第１の金型若しくは前記第２の金型の金型面は平面であり、
前記微細金型の前記第２の位置における前記先端と前記金型面とは接している若しくは隙間を有する、
請求項１乃至３の何れか一項に記載の構造体の成形方法で形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【請求項５】
前記孔の直径は、１μｍ以上３０μｍ以下とすることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、構造体の成形方法及びこの成形方法を用いて成形される液体吐出ヘッド用ノズルプレートに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、あらゆる分野で微細加工に対する要請が高まっている。その中で、微小液滴を生成させることなどを目的として、フィルム状又は薄板状の樹脂に微細な孔を設ける技術が求められている。例えば、液体吐出用ヘッドの一例であるインクジェット記録ヘッドは、一般に微細なインク吐出孔、インク流路、及び、このインク流路の一部に設けられる吐出エネルギー発生素子を備えている。このインクジェット記録ヘッドを構成するフィルム状又は薄板状の部材に、インク吐出孔を一方の端部とし他方の端部はインク流路に通じているノズルが複数並べて形成されているものはノズルプレートと称している。
【０００３】
上記のノズルプレートのノズルの形成方法として、例えば、金型に樹脂を注入することにより、ノズルやインク室を有するチャンバプレートが作製されるインクジェット記録ヘッドにおいて、金型のノズル穴形成部分に弾性部材よりなる突き当て用金型を当接させたうえで射出成形する方法がある（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
また、インク噴出口が形成されたノズルプレートを有し、グリコール系の誘導体を溶媒としたインクを用いるインクジェットヘッドにおいて、材質が液晶ポリマー、ポリアセタール、ポリフェニレンサルファイド、ポリフェニルサルホン、ポリフタルアミドのいずれかを材料としてノズルプレートを射出成形法により成形し、インク噴出口をエキシマレーザにより形成する方法がある（例えば、特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２０００−７１４５９号公報
【特許文献２】特開平６−３４４５６３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１における従来技術においては、弾性部材の金型と、相対する型のノズル孔形成部分とが接するとき、両者の金型間に隙間が生じないように弾性部材が弾性変形するような圧を与えなければならないため、金型の傷みが早いことがある。金型が傷んだ場合、その都度金型を製造することが必要となり作業が繁雑となる。また、ノズル径をより小さく（例えば、１０μｍ程度に）する場合でも、弾性部材の押し当ては必要であり、今まで以上に細く脆くなるノズル形成部分は破損しやすくなる。さらに、射出成形機を用いて、ノズル孔径が１０μｍ程度といった微小になるとノズルの細部へ樹脂を流入させるためには高射出圧力が必要とされ、この高射出圧力にて樹脂を流入させようとするとノズル形成部分が高圧力により破損されるという問題が発生する。特に、微小なノズルを複数有する列が複数列設けられるといった高密度のノズルヘッドの要望には応え難くなる。
【０００６】
また、特許文献２においては、ノズルのインク噴出口の加工に用いられるエキシマレーザー加工装置は非常に高価な装置であり、またエネルギー消費量が非常に多いなど生産コストが高くなる。
【０００７】
本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、微小構造体を、低コストで効率よく製造する成形方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記の課題は、以下の構成により解決される。
【０００９】
１．  冷却によって硬化する溶融状態の成形材料を成形金型の空隙部に充填し、前記成形材料を冷却させて空隙部の形状が転写された形状を有する構造体の成形方法において、
第１の金型と、第２の金型と、該第１の金型と該第２の金型とが型締めされて成す空間に侵入することで前記成形金型の前記空隙部を成す微細金型と、を前記成形材料の熱変形温度以上に加熱する金型加熱工程と、
前記微細金型が第１の位置に後退していることで成す前記空隙部より広い空間に成形材料を充填する成形材料充填工程と、
前記微細金型を第１の位置より前記空隙部を成す第２の位置まで移動させる微細金型移動工程と、
前記成形材料を冷却する冷却工程と、
を含むことを特徴とする構造体の成形方法。
【００１０】
２．  前記冷却工程の後、前記微細金型を前記第２の位置より前記第１の位置の方向に後退させる微細金型後退工程を含むことを特徴とする１に記載の構造体の成形方法。
【００１１】
３．  前記成形材料は、熱可塑性樹脂、ガラス又は金属の何れか一つであることを特徴とする１又は２に記載の構造体の成形方法。
【００１２】
４．  前記構造体は、該構造体の厚み方向に孔を有する板形状であって、
前記孔を形成するために前記空間に侵入する前記微細金型の先端は平面であり、
前記微細金型の先端に対する前記第１の金型若しくは前記第２の金型の金型面は平面であり、
前記微細金型の前記第２の位置における前記先端と前記金型面とは接している若しくは隙間を有する、
１乃至３の何れか一つに記載の構造体の成形方法で形成されることを特徴とする液体吐出ヘッド用ノズルプレート。
【００１３】
５．  前記孔の直径は、１μｍ以上３０μｍ以下とすることを特徴とする４に記載の液体吐出用ヘッド用ノズルプレート。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明においては、溶融状態の成形材料が第１の金型と第２の金型と後退している微細金型とで成す空間に注入、充填された後、微細金型を先の空間内に侵入させることで空隙部を成して、この空隙部の形状が転写された構造体が成形される。
【００１５】
成形材料が充填される際、それぞれの金型は、成形材料の熱変形温度以上に加熱されていることから、溶融状態で充填される成形材料は流動状態を損なうことなく金型内部の空間に容易に充填されることができる。
【００１６】
また、微細金型が後退していることにより、微細金型は、注入される樹脂による力をほとんど受けることがなくなるため、破損することがなくなり、微細金型の使用期間を長くすることができる。また、微細金型が後退していることにより、注入される成形材料は、空間内への流入の妨げを微細金型により受けることがなくなるため、容易にムラなく充填されることができる。
【００１７】
更に、第１の金型，移動金型及び微細金型を、冷却することで、成形された構造体が冷却され、取り出し時に不都合な変形等が生じることなく取り扱いが容易な状態まで硬化させることができる。
【００１８】
従って、構造体を、低コストで効率よく成形する成形方法を提供することができる。
【００１９】
請求項４に記載の発明においては、上記の効果に加えて板形状のその厚み方向に孔を有する構造体を形成するに際し、孔を形成する微細金型の先端は平面で、この先端に対する金型面も平面であり、第２の位置にある微細金型の先端と先の金型面とは接している若しくは隙間を有している。よって、孔を形成する微細金型の先端は、対する金型面に突き当て状態とならないため、破損することがなくなり微細金型の使用期間を長くすることができる。また、微細金型の先端の平面形状通りの開口を有する孔を設けることができる。
【００２０】
従って、低コストで効率よく成形される液体吐出用ヘッド用ノズルプレートを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下に本発明に係わる実施の形態の一例を図１に示すインクジェット記録ヘッド（以降、記録ヘッドと称する。）におけるノズルプレートの製造を例にして説明する。
【００２２】
まず、記録ヘッドの構成を図１を用いて説明する。記録ヘッドＡは、ノズルプレート１、ボディプレート２、圧電素子３より構成されている。
【００２３】
ノズルプレート１には、インク吐出のためのノズル１１を複数配列してある。また、ボディプレート２には、ノズルプレート１を貼り合わせることで、圧力室となる圧力室溝２４、インク供給路となるインク供給路溝２３及び共通インク室となる共通インク室溝２２、並びにインク供給口２１が形成されている。
【００２４】
そして、ノズルプレート１のノズル１１とボディプレート２の圧力室溝２４とが一対一で対応するようにノズルプレート１とボディプレート２とを貼り合わせることで流路ユニットＭを形成する。ここで、以後、上記で説明に使用した圧力室溝、供給路溝、共通インク室溝の各符号はそれぞれ圧力室、供給路、共通インク室にも使用する。
【００２５】
流路ユニットＭに圧電素子３をインク吐出用アクチュエータとしてボディプレート２のノズルプレート１を接着する面と反対の各圧力室２４の底部の背面に接着することで、記録ヘッドＡが完成する。この記録ヘッドＡの各圧電素子３に駆動パルス電圧が印加され、圧電素子３から発生する振動が圧力室２４の底部に伝えられ、この底部の振動により圧力室２４内の圧力を変動させることでノズル１１からインク滴を吐出させる。
【００２６】
ここで、図２は、この記録ヘッドＡにおけるノズルプレート１のＹ−Ｙ’、及びボディプレート２のＸ−Ｘ’の位置での断面における一つの圧力室２４とこれに連通するノズル１１の近傍を模式的に示している。ノズル１１の形状は、円筒形状部１１ａと円錐形状部１１ｂとで構成されている。このノズル１１の形状は、特に限定されるものではなく、成型時に離型しやすい形状であれば良く、例えば円筒形状や、上記の様なテーパを持つ形状としても良い。また、ノズル１１の断面形状は円に限定される必要はなく、円の代わりに多角形等であってもよい。尚、断面形状が円でない場合の直径とは、対象とする断面の断面積を同じ面積の円形に置き換えた場合の直径とする。
【００２７】
図２で示すノズル１１を複数有するノズルプレート１を成形することに関して説明する。図３は、ノズルプレート１を射出成形により成形するために使用する金型及びその周辺を模式的に示す図である。
【００２８】
金型の構成は、第１の金型とする固定金型３０２，第２の金型とする可動金型３０１、微細金型３０３により構成されている。キャビティ３１０にゲート３０７を通じて充填される成形材料に対して、固定金型３０２と可動金型３０１とでノズルプレートの板形状を形成し、キャビティ３１０内に押し出される微細金型３０３によりノズル１１を形成するようになっている。また、可動金型３０１、微細金型３０３は、移動可能としてあり、可動金型３０１が移動する場合は、微細金型３０３を伴って移動し、微細金型３０３は、単独で移動可能となっている。
【００２９】
ここで、図３に示す状態は、成形材料がキャビティ３１０に注入される直前の状態を示している。この状態から、成形材料は、ゲート３０７を通じて、キャビティ３１０に充填され、その後、後退していた微細金型３０３が前進してキャビティ３１０に充填されている成形材料を圧縮成形する。成形材料としては、熱可塑性樹脂、ガラス又は金属を用いる。また、これらを成形材料とする場合に使用する成形金型の材料は、特に限定されるものではなく、成形材料に応じて適宜選択すれば良い。
【００３０】
以下、成形材料を熱可塑性樹脂として説明する。具体的な熱可塑性樹脂（以下、樹脂と称する。）として、例えば、ＰＰ（ポリプロピレン）、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）、ＰＭＭＡ（ポリメチルメタクリレート）、ＰＣ（ポリカーボネート），ＰＥ（ポリエチレン）、ＰＶＣ（ポリ塩化ビニル）などが挙げられる。
【００３１】
微細金型３０３に設けられているノズル成形部３０３ａにより形成されるインク等の液滴が吐出されるノズル１１の円筒形状部１１ａ（図２参照）の端面の直径（以下、ノズル径と称する。）は、１μｍ以上３０μｍ以下とするのが好ましい。ノズル径を１μｍ以上３０μｍ以下とすることで、このノズル径を有するノズルプレート１は高精細の記録にも対応可能であり、且つ生産性の良い低コストとすることが可能である。
【００３２】
図４は、図３で示した固定金型、可動金型及び微細金型から構成される成形用金型を用いてノズルプレート１を射出成形する工程を模式的に示している。図４（ａ）は、図３に示す状態と同じく、成形材料である樹脂が注入される直前の状態を、金型周辺やゲート等を省略して金型部分に注目して示している。
【００３３】
固定金型３０２、可動金型３０１及び微細金型３０３には、それぞれの金型が加熱されるようになっており、これらの金型が加熱される温度は、キャビティ３１０内に注入される溶融状態の樹脂の熱変形温度以上とするのが好ましい。ここで、熱変形温度は、ＪＩＳ  Ｋ７２０７（荷重４．５×１０5Ｐａたわみ温度）で規定される。また、金型が加熱される上限温度は、実用上、注入される樹脂の融点以下とするのが好ましい。
【００３４】
金型の加熱方法は、特に限定されるものではなく、たとえば、公知の水、油又は蒸気等を用いても良い。これらの金型が上記の熱変形温度以上に加熱された状態とすることで、注入される樹脂３２０は、金型内部であるキャビティ３１０内において、流れ難いといった状態まで流動性が低下することなく、容易にキャビティ３１０内に注入、充填される（図４（ｂ））。
【００３５】
樹脂３２０が高射出圧力で注入、充填される際、図４（ｂ）に示す様に微細金型３０３は、樹脂の注入圧力を受け難い位置に後退されている。この様に微細金型３０３が後退していることにより、微細金型３０３のノズル成形部３０３ａは、注入される樹脂による力をほとんど受けることがなくなるため、破損することがなくなる。従って、微細金型３０３は長期間使用することができる。
【００３６】
また、微細金型３０３のノズル成形部３０３ａが後退しているため、注入される樹脂３２０は、キャビティ３１０内への流入の妨げを受けることなく容易にキャビティ３１０に充填されることができる。微細金型３０３の後退している位置は、図４（ｂ）が示している様にノズル成形部３０３ａがキャビティ３１０内より完全に後退している状態とする必要は必ずしもなく、ノズルの形状、注入される成形材料、成形材料の注入圧力等により適宜決めれば良い。
【００３７】
次に、可動金型３０１と固定金型３０２とで形成されるキャビティ３１０に溶融状態の樹脂が注入、充填され、更に微細金型３０３をキャビティ３１０内に前進させ（図４（ｃ））、充填されている樹脂が圧縮成形されることでノズル成形部３０３ａの形状が充填されている樹脂に転写される（図４（ｄ）））。可動金型３０１、固定金型３０２及び微細金型３０３は、充填されている樹脂の熱変形温度以上に加熱されていることから、微細金型３０３はキャビティ３１０内に容易に前進することが可能とすることができる。
【００３８】
微細金型３０３が前進してノズルを形成するノズル成形部３０３ａの先端は、平面とし、この先端に対向する固定金型３０２の面は、平面とするのが好ましく、この平面の面状態を鏡面とするのがより好ましい。
【００３９】
また、微細金型３０３が停止して成るノズル成形部３０３ａの先端と固定金型３０２との隙間は、注入される材料に応じて０から１０μｍ程度とするのが好ましい。例えば、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）であれば、０μｍ以上で２μｍ以下、ＰＰ（ポロプロピレン）であれば、０μｍ以上で２μｍ以下とするのが好ましい。この隙間は、例えば、微細金型３０３の移動機構（押し出し機構）に位置制御装置を設けることによるものとしても良いし、微細金型３０３を押し出した際のキャビティ３１０の反対側における可動金型３０１と微細金型３０３との間に隙間調整板３０４を設け、この隙間調整板３０４の厚みを調整（当たり面調整）することによるとしても良い。微細金型３０３の前進する量を当たり面にて調整する場合、図３に示す微細金型３０３の変形を防ぐために、微細金型３０３とこれを移動させる移動機構３３０との間にスプリング３３１等の弾性部材を設けるのが好ましい。
【００４０】
上記の微細金型３０３の先端と固定金型３０２とにな隙間を設けた状態でノズルが貫通形成されるメカニズムは明らかではないが、上記の隙間に非常に薄い膜が形成され、この非常に薄い膜の最も弱いと思われる所から穿孔が始まり、その範囲が外側に向かって広がり、ついには、非常に薄い膜が形成されている範囲全体に広がることで、ノズルの先端の平面形状と同等の形状の微小孔が貫通形成されるものと考えられる。
【００４１】
次に固定金型３０２，可動金型３０１及び微細金型３０３を、例えば冷却水等を用いて冷却する。この冷却により、充填され成形された樹脂３２０ｂが冷却され、取り出し時に不都合な変形等が生じることなく取り扱いが容易な状態まで硬化させることができる。
【００４２】
次に、成形された樹脂であるノズルプレート３２０ｂを取り出す。ノズルプレート３２０ｂを取り出す手順としては、例えば、以下がある。
【００４３】
まず、微細金型３０３を後退させ、ノズルプレート３２０ｂは、固定金型３０２と可動金型３０１との間のキャビティ３１０内に保持されている状態とする（図４（ｅ１））。次に、固定金型３０２と可動金型３０１とを型開きをする（図４（ｆ１））ことで、ノズルプレート３２０ｂを微細金型に影響を与えることなく、例えば図示しないエジェクターを押し出すエジェクト機構を使用して、容易に取り出すことができる（図４（ｇ））。この場合、微細金型３０３は、ノズルが形成されているキャビティ３１０内の樹脂からノズル成形部３０３ａが突出している方向にのみ引き抜かれる力が働くため、例えばノズル形状の金型部に対して垂直方向の押し倒す様な外力が加わることがなく、微細金型３０３は、より破損する可能性が低くなり、より長期間使用することができるので好ましい。
【００４４】
また、ノズルプレート３２０ｂを伴って可動金型３０１を微細金型３０３と共に後退させる（図４（ｅ２））。次に、微細金型３０３を後退させる（図４（ｆ２））。微細金型３０３を後退させることで、ノズルプレート３２０ｂを微細金型３０３に影響を与えることなく、上記と同様にエジェクト機構を使用する等により容易に取り出すことができる（図４（ｇ））。この場合、微細金型３０３は、ノズルが形成されているキャビティ３１０内の樹脂からノズル成形部３０３ａが突出している方向にのみ引き抜かれる力が働くため、例えばノズル形状の金型部に対して垂直方法の押し倒す様な外力が加わることがなく、微細金型３０３は、より破損する可能性が低くなり、より長期間使用することができるので好ましい。
【００４５】
本実施の形態では、インクジェット記録ヘッド用ノズルプレートの成形を例としたが、本発明の成形方法は、これに限定されることなく、その主旨を逸脱しない範囲での変形は可能であり、数μｍから数ｍｍ程度の直径を有する孔及び同程度の幅、深さを有する溝等の構造を有する、例えば、バイオチップにおける微小孔や試薬液が流れる流路溝等の形成といった用途にも利用することが可能である。
【実施例】
【００４６】
（実施例１）
成形材料として熱可塑性樹脂であるポリプロピレンを用いてノズル形状を、図２に示すような円筒部（ノズル径：１０μｍ、長さ：３０μｍ）とテーパ部（長さ１７０μｍ、テーパ角度約５度）とするノズルを５個有する大きさ５ｍｍ×２０ｍｍ、厚み０．２ｍｍのノズルプレートを１００個成形した例を以下に説明する。成形の工程は、図４（（ｅ１）、（ｆ１）、（ｇ）を含む）に沿った。
【００４７】
微細金型３０３を前進させた時のノズル成形部３０３ａの先端と固定金型３０２との隙間は０以上３μｍ以下となるように当たり面の隙間調整をし、その結果１μｍとした。
固定金型３０２と可動金型３０１とを閉じ、両金型及び後退させた微細金型３０３を１２０℃に加熱した（図４（ａ））。この温度は、使用したポロプロピレンの熱変形温度が９５℃から１０５℃（カタログ値）とされていることから決定した。
【００４８】
上記の金型温度を維持した状態で１９０℃で溶融しているポリプロピレンを射出速度３０ｍｍ／ｓ、最大圧力８０ＭＰａとしてキャビティ３１０内へ射出し（図４（ｂ））、充填後、保圧状態とした。
【００４９】
次に、速度０．２ｍｍ／ｓで微細金型３０３をキャビティ３１０内に最大圧力５ＭＰａとして前進させ（図４（ｃ））、当たり面にて停止した（図４（ｄ））。
【００５０】
微細金型３０３が停止している状態で、金型温度を８０℃まで冷却することでポリプロピレンを硬化させた。この後、微細金型３０３を退避させ（図４（ｅ１））、固定金型３０２と可動金型３０１とを型開きし（図４（ｆ１））、ノズルプレート３２０ｂを成形装置より取り出した（図４（ｇ））。
【００５１】
取り出されたノズルプレート３２０ｂを室温にて、ノズル部を顕微鏡を用いて目視観察したところ、ノズル部に未貫通部や、部分貫通といった状態は認めらず良好なノズル孔が形成されていた。また、このノズルプレート３２０ｂを１０個用いて記録ヘッドを組み立ててインクの吐出状態を観察した結果、吐出された液滴間隔のムラやインクの吐出量ムラといった問題となる不具合は認められなかった。
【００５２】
（実施例２）
成形するノズルプレートにおいて、ノズル径を２μｍ、円筒部の長さを３μｍ、テーパ部長さ１９７μｍとした以外は、実施例１と全く同じとしてノズルプレートを１００個製造した。
【００５３】
取り出されたノズルプレート３２０ｂは、実施例１と同様に、ノズル部を顕微鏡にて目視観察したところ、ノズル部に未貫通部や、部分貫通といった状態は認めらず良好なノズル孔が形成されていた。また、このノズルプレート３２０ｂを１０個用いて記録ヘッドを組み立ててインクの吐出状態を観察した結果、吐出された液滴間隔のムラやインクの吐出量ムラといった問題となる不具合は認められなかった。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施の形態の一例とするノズルプレートを有するインクジェット記録ヘッドの構成を示す図である。
【図２】図１に示すインクジェット記録ヘッドの一つの圧力室とこれに連通するノズルの近傍を模式的に示す図である。
【図３】実施の形態の一例とするノズルプレートを射出成形により成形するために使用する金型及びその周辺を模式的に示す図である。
【図４】ノズルプレートを射出成形により成形する工程を模式的に示す図である。
【符号の説明】
【００５５】
１  ノズルプレート
２  ボディプレート
３  圧電素子
１１  ノズル
２１  インク供給口
２２  共通インク室（溝）
２３  インク供給路（溝）
２４  圧力室（溝）
１１ａ  円筒形状部
１１ｂ  円錐形状部
３０２  固定金型
３０１  可動金型
３０３  微細金型
３０３ａ  ノズル成形部
３０４  間隔調整板
３０７  ゲート
３１０  キャビティ
３３０  微細金型移動機構
３３１  スプリング
Ａ  インクジェット記録ヘッド
Ｍ  流路ユニット
【図１】
2007175920.tif 000003
【図２】
2007175920.tif 000004
【図３】
2007175920.tif 000005
【図４】
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