(57)【要約】【課題】高効率と耐久性を有することが可能なインクジェットプリンタヘッドを提供する。【解決手段】本発明に係るインクジェットプリンタヘッドは、基板と、基板の上部に形成され、熱エネルギーを発生する発熱層と、発熱層の上部においてノズル形成部を除いた部分に形成される第１電極と、第１電極の上部においてノズル形成部側から所定幅の領域で形成され、ノズル形成部の中心に近い側で発熱層と接する第２電極と、を含む。【選択図】   図２
2007001308.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と；
前記基板の上部に形成され、熱エネルギーを発生する発熱層と；
前記発熱層の上部に位置するノズル形成部と；
前記発熱層の上部において前記ノズル形成部を除いた部分に形成される第１電極と；
前記第１電極の上部において前記ノズル形成部側から所定幅の領域で形成され、前記ノズル形成部の中心に近い側で前記発熱層と接する第２電極と；
を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項２】
前記第１電極の上部において前記第２電極が形成されない部分に形成され、前記第１電極を保護する保護層を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項３】
前記保護層は、前記第２電極が形成されない第１電極部分の上部と前記第２電極との間に形成されることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項４】
前記保護層は、前記第２電極が形成されない第１電極部分の上部と、第２電極が形成されない第１電極側に隣接した前記第２電極の上部と、に形成されることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項５】
前記第２電極は、インクに対して化学的に安定した物質からなることを特徴とする、請求項１〜４のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項６】
前記第１電極と前記第２電極とは、相異なる金属からなることを特徴とする、請求項１〜５のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項７】
前記第１電極は、アルミニウムからなることを特徴とする、請求項６に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項８】
前記第２電極が、金、タンタルまたは白金のいずれか１つからなることを特徴とする、請求項６または７に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項９】
基板と；
インク流路となるノズル形成部を有し、前記インクに熱を加えるために前記基板の上部に形成される発熱層と；
前記発熱層に電気信号を伝送するために前記ノズル形成部を除いた前記発熱層の上部に形成される第１伝導性金属層と；
前記第１伝導性金属との接触からインクを保護するために、前記発熱層の前記ノズル形成部の一部と、前記第１伝導性金属の上部に形成される第２伝導性金属層と；
を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１０】
前記発熱層の絶縁のために前記第１伝導性金属層および第２伝導性金属層と接触する保護層を更に含むことを特徴とする、請求項９に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１１】
インクと直接に接して前記インクに熱を加えるための熱を生成する発熱層と；
前記発熱層に電気信号を伝送するための第１電極と、前記インクから前記第１電極を保護するための第２電極と、を有する電極部と；
を含むことを特徴とするインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１２】
前記第１電極と第２電極とは相異なる金属物質からなることを特徴とする、請求項１１に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１３】
前記第２電極が、インクに対して化学的に安定した物質からなることを特徴とする、請求項１１または１２に記載のインクジェットプリンタヘッド。
【請求項１４】
基板の上部に熱エネルギーを発生する発熱層を形成するステップと；
前記発熱層の上部においてノズル形成部を除いた部分に第１電極を形成するステップと；
前記第１電極の上部において前記ノズル形成部側から所定幅の領域にかけて、前記ノズル形成部中心に近い側にて前記発熱層と接するよう第２電極を形成するステップと；
を含むことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１５】
前記第１電極を形成した後、前記第１電極の上部に前記第１電極を保護するための保護層を形成するステップを更に含むことを特徴とする、請求項１４に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１６】
前記第２電極を形成するステップにおいて、前記保護層の上部および前記第１電極の上部で前記ノズル形成部側から所定幅の領域にかけて前記第２電極を形成することを特徴とする、請求項１５に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１７】
前記第２電極が、インクに対して化学的に安定した物質からなることを特徴とする、請求項１４〜１６のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１８】
前記第１電極と前記第２電極とは相異なる金属からなることを特徴とする、請求項１４〜１７のいずれかに記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項１９】
前記第１電極はアルミニウムからなることを特徴とする、請求項１８に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２０】
前記第２電極が、金、タンタル、白金のいずれか１つからなることを特徴とする、請求項１８または１９に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２１】
前記第１電極および前記第２電極の上部に保護層を形成するステップを更に含むことを特徴とする、請求項１４に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２２】
前記第２電極を形成するステップは、
前記発熱層のノズル形成部と前記第１電極の所定部分の上部にフォトレジスト膜を形成するステップと；
前記発熱層のノズル形成部、前記第１電極及び前記フォトレジスト膜の上部に第２電極を形成するステップと；
前記発熱層のノズル形成部と前記第１電極の所定部分が接するように前記フォトレジスト膜を取除くステップと；
を含むことを特徴とする、請求項２１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２３】
保護層を形成するステップにおいて、前記保護層は前記第１電極の所定部分と接するように前記第２電極と隣接した部分の上部に前記第１電極の所定部分を除いて形成されることを特徴とする、請求項２２に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【請求項２４】
基板の上部に発熱層を蒸着するステップと；
前記発熱層に電気的な信号を供給するための第１伝導性金属層を前記発熱層の上部に蒸着するステップと；
前記発熱層のノズル形成部と接するべく前記第１伝導性金属層の一部を取除くステップと；
前記第１伝導性金属層との接触からインクを保護するための前記発熱層の前記ノズル形成部と前記第１伝導性金属層の一部上部に形成される第２伝導性金属層を蒸着するステップと；
を含むことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法に関し、詳細には、ヒータと直接に接触されると同時にインクから電極を保護することのできるインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
現在、コンピューターの普及が拡散されるにつれコンピューターの周辺機器の普及も一般化されている。今は、コンピューター周辺機器のうちデジタルレーザプリンタのような最新型プリンタに至るまで開発され普及されている実情である。しかし、デジタルレーザプリンタは個人が購入するには費用的に負担がかかるので、ほとんどの一般家庭では手ごろなインクジェットプリンタが主に使用されている。
【０００３】
インクジェットプリンタは、液体状態のインクがプリンタヘッドを用いてノズルを介し噴射されることによって画像を印刷する方式のプリンタである。インクネットプリンタにおいて、インクを用紙に噴射する方法はいくつかあるが、一般には発熱層で熱を発生することでインクを担持しているインクチャンバに気泡を形成させ、ノズルを介しインクの噴射が行なわれる熱転写インク噴射技術が採択されている。
【０００４】
従来のインクジェットプリンタのヘッドは、基板、発熱層、電極、保護層（Ｐａｓｓｉｖａａｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）、反空洞層（Ａｎｔｉ−Ｃａｖｉｔａｔｉｏｎ  Ｌａｙｅｒ）が順次積層された構造である。詳細には、電極は基板の中央部にノズルの形成される部分を除いた残り部分に形成され、発熱層および電極の上部にこれらを保護するための保護層および反空洞層が形成されている。
【０００５】
保護層は電気絶縁および外部衝撃から発熱層を保護し、反空洞層は熱エネルギーにより発生するインクバブルの消滅時に生じる収縮衝撃によって発熱層が破損されることを抑える。
【０００６】
しかし、保護層および反空洞層によりインクと発熱層とが直接に接しないことから、熱の損失が生じ効率が落ちてしまう。図１に基づいて詳説する。
【０００７】
図１はインクジェットプリンタヘッドの各層における温度分布を示すグラフである。
【０００８】
図示したとおり、駆動条件に応じてインクジェットプリンタヘッドの各層での温度分布を測定すると、発熱層（ＴａＮ）部分にて温度が最も高く、基板（Ｓｉ）部分にて次第に温度が減少される。また、保護層（ＳｉＮｘおよびＳｉＯｘ）にては温度勾配が最も大きいので熱損失が多く発生し、反空洞層（Ｔａ）では温度勾配が少ないことから熱損失がほとんど発生しない。
【０００９】
例えば、１０Ｖで駆動する場合、インクバブルを作るための温度３００°をインクと接する界面にて上昇させるためにエネルギー（０．６４μｓ）を加えた場合、発熱層の温度は約７６０°までに上昇し、この際の温度差異４６０°は損失に作用してその効率を低減させる。
【００１０】
このように、保護層による熱損失を防止するための方案として、保護層および反空洞層を最大に薄く形成するか除去する方法を採択できる。
【００１１】
【特許文献１】特開平５−０３１９０３号公報
【特許文献２】特開２０００−０１５８１７号公報
【特許文献３】特開平５−２２９１５３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかし、従来のインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法によれば、保護層および反空洞層を除去すると、熱損失が防止されて効率が増加するものの、電極として主に使用されているアルミニウム（Ａｌ）が化学的に極めて不安定であるので、インクに露出する時、容易に損傷されて寿命が短くなるという問題がある。
【００１３】
また、アルミニウムの短所を解消するために、電極として化学的に安定した金（Ａｕ）または白金（Ｐｔ）を使用すると、電極だけでなく他の電極層と連結されるビア（ｖｉａ）構造およびロジック（Ｌｏｇｉｃ）部でも金または白金を使用しなければならない。金または白金は化学的に不安定であるので狭い線幅を実現することが難しい。よって高集積の小型ヘッドを製造するには困難であるという問題がある。
【００１４】
そこで、本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は、第１電極を保護する第２電極を形成することによってインクと発熱層が直接に接触され、インクから電極が保護されることが可能な、新規かつ改良されたインクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するために、本発明のある観点によれば、基板と；上記基板の上部に形成され、熱エネルギーを発生する発熱層と；上記発熱層の上部に位置するノズル形成部と；上記発熱層の上部において上記ノズル形成部を除いた部分に形成される第１電極と；上記第１電極の上部において上記ノズル形成部側から所定幅の領域で形成され、上記ノズル形成部の中心に近い側で上記発熱層と接する第２電極と；を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００１６】
また、上記第１電極の上部において上記第２電極が形成されない部分に形成され、上記第１電極を保護する保護層を更に含んでもよい。
【００１７】
また、上記保護層は、上記第２電極が形成されない第１電極部分の上部と上記第２電極との間に形成されてもよい。
【００１８】
また、上記保護層は、上記第２電極が形成されない第１電極部分の上部と、第２電極が形成されない第１電極側に隣接した上記第２電極の上部と、に形成されてもよい。
【００１９】
また、上記第２電極は、インクに対して化学的に安定した物質からなってもよい。
【００２０】
また、上記第１電極と上記第２電極とは、相異なる金属からなってもよい。
【００２１】
また、上記第１電極は、アルミニウムからなってもよい。
【００２２】
また、上記第２電極が、金、タンタルまたは白金のいずれか１つからなってもよい。
【００２３】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板と；インク流路となるノズル形成部を有し、上記インクに熱を加えるために上記基板の上部に形成される発熱層と；上記発熱層に電気信号を伝送するために上記ノズル形成部を除いた上記発熱層の上部に形成される第１伝導性金属層と；上記第１伝導性金属との接触からインクを保護するために、上記発熱層の上記ノズル形成部の一部と、上記第１伝導性金属の上部に形成される第２伝導性金属層と；を備えることを特徴とするインクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００２４】
また、記発熱層の絶縁のために上記第１伝導性金属層および第２伝導性金属層と接触する保護層を更に含んでもよい。
【００２５】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、インクと直接に接して上記インクに熱を加えるための熱を生成する発熱層と；上記発熱層に電気信号を伝送するための第１電極と、上記インクから上記第１電極を保護するための第２電極と、を有する電極部と；ことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドが提供される。
【００２６】
また、上記第１電極と第２電極とは相異なる金属物質からなってもよい。
【００２７】
また、上記第２電極が、インクに対して化学的に安定した物質からなってもよい。
【００２８】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の上部に熱エネルギーを発生する発熱層を形成するステップと；上記発熱層の上部においてノズル形成部を除いた部分に第１電極を形成するステップと；上記第１電極の上部において上記ノズル形成部側から所定幅の領域にかけて、上記ノズル形成部中心に近い側にて上記発熱層と接するよう第２電極を形成するステップと；を含むことを特徴とするインクジェットプリンタヘッドの製造方法が提供される。
【００２９】
また、上記第１電極を形成した後、上記第１電極の上部に上記第１電極を保護するための保護層を形成するステップを更に含んでもよい。
【００３０】
また、上記第２電極を形成するステップにおいて、上記保護層の上部および上記第１電極の上部で上記ノズル形成部側から所定幅の領域にかけて上記第２電極を形成してもよい。
【００３１】
また、上記第２電極が、インクに対して化学的に安定した物質からなってもよい。
【００３２】
また、上記第１電極と上記第２電極とは相異なる金属からなってもよい。
【００３３】
また、上記第１電極はアルミニウムからなってもよい。
【００３４】
また、上記第２電極が、金、タンタル、白金のいずれか１つからなってもよい。
【００３５】
また、上記第１電極および上記第２電極の上部に保護層を形成するステップを更に含んでもよい。
【００３６】
また、上記第２電極を形成するステップは、上記発熱層のノズル形成部と上記第１電極の所定部分の上部にフォトレジスト膜を形成するステップと；上記発熱層のノズル形成部、上記第１電極及び上記フォトレジスト膜の上部に第２電極を形成するステップと；
上記発熱層のノズル形成部と上記第１電極の所定部分が接するように上記フォトレジスト膜を取除くステップと；
を含むことを特徴とする、請求項２１に記載のインクジェットプリンタヘッドの製造方法。
【００３７】
また、保護層を形成するステップにおいて、上記保護層は上記第１電極の所定部分と接するように上記第２電極と隣接した部分の上部に上記第１電極の所定部分を除いて形成されてもよい。
【００３８】
上記課題を解決するために、本発明の別の観点によれば、基板の上部に発熱層を蒸着するステップと；上記発熱層に電気的な信号を供給するための第１伝導性金属層を上記発熱層の上部に蒸着するステップと；上記発熱層のノズル形成部と接するべく上記第１伝導性金属層の一部を取除くステップと；上記第１伝導性金属層との接触からインクを保護するための上記発熱層の上記ノズル形成部と上記第１伝導性金属層の一部上部に形成される第２伝導性金属層を蒸着するステップと；を含んでもよい。
【発明の効果】
【００３９】
以上説明したように、本発明によれば、第１電極を取り囲む形態でインクに対して化学的に安定した物質の第２電極を形成することによって、第１電極とインクの直接な接触を遮断し、第１電極の損傷を防止すると同時に、第１電極の寿命を延長させることができる。これによって、高効率と耐久性を同時に有するインクジェットプリンタヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
（第１実施形態）
図２は、本発明の第１実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドの端面図である。同図を参照すると、本発明の一実施の形態に係るインクジェットプリンタヘッドは上面吐出方式の熱転写式インクジェットプリントヘッドであって、基板１０、発熱層２０、第１電極３０、第２電極４０を含んでいる。基板１０は、通常、主に使用されるシリコン（Ｓｉ）が用いられる。
【００４１】
発熱層２０は、基板１０の上部に形成される通常の薄膜ヒータであって、第１電極３０から伝達された電気信号を熱エネルギーに切替えてインクを瞬間に加熱するための熱を発生する。発熱層２０は、アルミニウムタンタル（Ｔａ−Ａｌ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、シリコンアルミニウムタンタル（Ｔａ−Ａｌ−Ｓｉ）、およびポリシリコン（Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）のような金属製物質を使用する。
【００４２】
第１電極３０は、発熱層２０の上部で、丸型ビアホール形態のノズルが形成されるノズル形成部５０を除いた部分に形成され、通常のＣＭＯＳロジック（図示せず。）およびパワートランジスタ（図示せず。）などから電気信号が提供されて発熱層２０に伝える。第１電極３０は、通電性の高いアルミニウム（Ａｌ）から形成することが好ましい。
【００４３】
第２電極４０は、第１電極３０の上部にてノズル形成部５０側に所定の幅だけ引入形成され、内側にて発熱層２０と接する。第２電極４０と発熱層２０とが接することによって第１電極３０がインクに露出されないことから、インクから第１電極３０を保護することができる。
【００４４】
本実施形態によると、第１電極３０と第２電極４０は相異なる金属からなっていることが好ましい。また、第２電極４０は、インクと直接に接触するので、インクに対して化学的に安定した物質でなければならない。好ましくは、第１電極３０がアルミニウムから形成されると、第２電極４０は金（Ａｕ）、タンタル（Ｔａ）、および白金（Ｐｔ）のいずれかにより形成されることが好ましい。
【００４５】
図２に示したインクジェットプリンタヘッドの製造工程について説明すると、基板１０にアルミニウムタンタル（Ｔａ−Ａｌ）、窒化タンタル（ＴａＮ）、シリコンアルミニウムタンタル（Ｔａ−Ａｌ−Ｓｉ）、およびポリシリコン（Ｐｏｌｙ−Ｓｉ）のいずれか１つで構成された発熱層２０を蒸着する。
【００４６】
発熱層２０の形成された基板１０上にアルミニウムで第１電極３０を蒸着し、ノズル形成部５０に当たる部分をエッチングする。それから、第１電極３０および発熱層２０の形成された基板１０上に、金、タンタル、および白金のいずれかで第２電極４０を蒸着し、ノズル形成部５０にあたる所定の幅のノズル形成部５０の中心に近い側の部分をエッチングする。そして発熱層２０のノズル形成部５０にあたる部分は露出され、ノズル形成部５０以外の部分は第２電極４０により覆われる。
【００４７】
このように、基板１０、発熱層２０、第１電極３０、第２電極４０の順に積層されたインクジェットプリンタヘッドは、第１電極３を取り囲む形態の第２電極４０によって第１電極３０がインクに露出されないことから、第１電極３０の寿命を延長することができる。
【００４８】
（第２および第３の実施形態）
図３Ａは本発明の第２実施形態を、図３Ｂは、本発明の第３実施形態を示すインクジェットプリンタヘッドの端面図である。
【００４９】
図３Ａ、図３Ｂは、図２に図示した本実施形態に係るインクジェットプリンタヘッドと類似している構成を有し、絶縁機能を行なう保護層６０を更に含んでいるインクジェットプリンタヘッドに関する。
【００５０】
図２と同様、基板１０の上部に熱エネルギーを発生する発熱層２０が形成され、発熱層２０の上部にてノズル形成部５０を除いた部分に第１電極３０が形成される。また、第１電極３０の上部に第２電極４０を形成するに当たって、保護層６０を更に含む。ここで、図２と相違しているところのみ説明し、同一構成についての説明は省略する。
【００５１】
保護層６０は、第１電極３０と第２電極４０とが接触し、電気絶縁および外部衝撃から発熱層２０を保護するために形成される領域に形成される。好ましくは、保護層６０は絶縁性と熱の伝達効率が優れたＳｉＮｘあるいはＳｉＯｘで形成される。
【００５２】
図３Ａは、基板１０の上部に発熱層２０を形成し、発熱層２０の上部に第１電極３０を形成してから、第１電極２０の上部の所定の領域に保護層６０を形成する。保護層６０が形成された後、保護層６０の上部および第１電極３０の上部にかけてノズル形成部５０側に所定の幅の領域にわたり第２電極４０を形成する。
【００５３】
図３Ｂは、図３Ａの変形例である。基板１０の上部に発熱層２０を形成し、発熱層２０の上部に第１電極３０を形成し、第１電極３０の上部にて縁部から所定の幅だけあけておいてノズル形成部５０側に所定の幅の領域にわたり第２電極４０を形成する。それから、第１電極３０と第２電極４０の上部にかけて保護層６０を形成する。
【００５４】
図３Ａおよび図３Ｂには、第２電極４０を形成する前、あるいは第２電極４０を形成した後に保護層６０の形成されたインクジェットプリンタヘッドの構造が示され、保護層６０を形成する時点により保護層６０の形態を変形して形成し得ることを示す。
【００５５】
図４は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の第２実施形態を説明するための工程図である。ここで、図３Ａに示すように、インクジェットプリンタヘッドの各層が基板１０、発熱層２０、第１電極３０、保護層６０、および第２電極４０の順に積層される場合につき製造工程を説明する。
【００５６】
図４（ａ）に示すように、基板１０の上部に熱エネルギーを発生する所定厚さの発熱層２０を蒸着し、基板１０上に蒸着された発熱層２０の上部に電気信号を供給する所定厚さの第１電極３０を蒸着する。
【００５７】
図４（ｂ）に示すように、基板１０上に発熱層２０と第１電極３０を形成した後、ノズル形成部５０に対応する部分の第１電極３０をエッチングし、第１電極３０のパターンを形成する。
【００５８】
図４（ｃ）に示すように、基板１０上に発熱層２０およびノズル形成部５０がエッチングされた第１電極３０を形成したあと、発熱層２０および第１電極３０の上部に保護層６０を蒸着する。
【００５９】
図４（ｄ）に示すように、保護層６０を蒸着してから、ノズル形成部５０から第１電極３０の所定幅だけ保護層６０をエッチングする。これにより、第１電極３０の上部において、縁部から内側に所定の幅だけの保護層６０パターンが形成される。
【００６０】
図４（ｅ）に示すように、保護層６０を形成した後、保護層６０、第１電極３０、およびノズル形成部５０に対応する発熱層２０の上部に第１電極３０とその主成分が異なる第２電極４０を蒸着する。
【００６１】
図４（ｆ）に示すように、第２電極４０を蒸着した後、保護層６０の上部縁部から内側まで所定の幅だけ、そして第２電極４０が第１電極３０をノズル形成部５０側にて取り囲む形態になるよう、第２電極４０をエッチングし第２電極４０パターンを形成する。
【００６２】
図５は、本発明に係るインクジェットプリンタヘッドの製造方法の第３実施形態を説明するための工程図である。なお、図３Ｂに示すように、インクジェットプリンタヘッドの各層が基板１０、発熱層２０、第１電極３０、第２電極４０、および保護層６０の順に積層される場合の製造工程を説明する。一部工程は図４と同じである。
【００６３】
図５（ａ）に示すように、基板１０の上部に所定厚さの発熱層２０を蒸着し、基板１０上に蒸着された発熱層２０の上部に所定厚さの第１電極３０を蒸着する。
【００６４】
図５（ｂ）に示すように基板１０上に発熱層２０と第１電極３０を形成した後、中央のノズル形成部５０に対応する部分の第１電極３０をエッチングし第１電極３０のパターンを形成する。
【００６５】
図５（ｃ）に示すように、第１電極３０の形成後、ノズル形成部５０および第１電極３０の上部に、第２電極４０のパターンを形成するためのフォトレジスト膜７０を形成する。
【００６６】
図５（ｄ）に示すように、フォトレジスト膜７０を形成した後、フォトレジスト膜７０の上部に第２電極４０を形成する。
【００６７】
図５（ｅ）に示すように、フォトレジスト膜７０を取除くと、第２電極４０が形成される。
【００６８】
図５（ｆ）に示すように、第２電極４０を形成した後、保護層６０を形成する。
【００６９】
図５（ｇ）に示すように、この保護層６０が第１電極３０の上部から第１電極３０と第２電極４０の境目の上部にかけて覆われるようにエッチングされる。これによりインクジェットプリンタ構造が形成される。
【００７０】
基板１０、発熱層２０、第１電極３０、第２電極４０、保護層６０を含むインクジェットプリンタヘッドは、第２電極４０が第１電極３０とインクとが直接に接することを防止することで第１電極３０の寿命を延長することができる。また、保護層６０による熱損失は、やや発生するものの、発熱層２０を外部衝撃から保護できる。
【００７１】
図４および図５に示すように、第２電極４０、保護層６０の順に形成した形態および保護層６０、第２電極４０の順に形成した形態すべては同じ効果を有する。図４および図５にておのおの説明した通りに、その形態は変形可能である。
【００７２】
前記ではインクジェットプリンタヘッドの構造が基板１０、発熱層２０、第1電極３０、第２電極４０、及び保護層６０を備えることを特徴とすると例示している。これを他の表現にすると、基板１０、発熱層２０、第１伝導性金属層、第２伝導性金属層、及び保護層６０と表現できる。この際、第１伝導性金属層及び第２伝導性金属層は、第１電極３０、及び第２電極４０とそれぞれ対応する概念である。且つ、第１電極３０と第２電極４０は第１電極３０と第２電極４０を備える電極部とも表現できる。
【００７３】
以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された技術的思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。
【産業上の利用可能性】
【００７４】
本発明は、インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法に適用可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７５】
【図１】インクジェットプリンタヘッドの各層における温度分布を示すグラフである。
【図２】本発明の第１実施形態にかかるインクジェットプリンタヘッドの端面図である。
【図３Ａ】本発明の第２実施形態にかかるインクジェットプリンタヘッドの端面図である。
【図３Ｂ】本発明の第３実施形態にかかるインクジェットプリンタヘッドの端面図である。
【図４】本発明の第２実施形態にかかるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
【図５】本発明の第３実施形態にかかるインクジェットプリンタヘッドの製造方法を説明するための工程図である。
【符号の説明】
【００７６】
１０      基板
２０      発熱層
３０      第１電極
４０      第２電極
５０      ノズル形成部
６０      保護層
【図１】
2007001308.tif 000003
【図２】
2007001308.tif 000004
【図３Ａ】
2007001308.tif 000005
【図３Ｂ】
2007001308.tif 000006
【図４】
2007001308.tif 000007
【図５】
2007001308.tif 000008