(57)【要約】      （修正有）【課題】液体吐出基板裏面のバンプ接続における電気接続信頼性の高い記録ヘッドを提供する。【解決手段】保持部材５００と接着した電気配線部材４００に電気的な接続をするバンプおよび電気接続用途以外のバンプを形成し、保持部材５００の底面から電気的な接続をするバンプの頂点までの高さが電気接続用途以外のバンプの頂点までの高さよりも高くなるようにしてレベリングを行い、バンプ上に液体吐出基板３００をマウントして圧着する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
表面側に電気信号に応じて液体吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギを発生させるエネルギ発生手段を備え、裏面側に液体供給口と電極を備えた液体吐出基板と、
液体吐出基板に対して液体を供給するための液体供給口を有した電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線部材と、
液体吐出基板および電気配線部材を保持し、液体吐出基板に液体を供給する液体供給口を有した保持部材と、を備え、
液体吐出基板と電気配線部材と保持部材が互いに積層して形成され、液体吐出基板の裏面に形成された電極と電気配線部材の電極がバンプによって接続されており、さらにバンプ接続には、電気的に接続されている部分と電気的に接続されていない部分とが存在するインクジェット記録ヘッドであって、
保持部材と接着した電気配線部材に電気的な接続をするバンプおよび電気接続用途以外のバンプを形成し、保持部材の底面から電気的な接続をするバンプの頂点までの高さをH（e）、電気接続用途以外のバンプの頂点までの高さをH（h）としたとき、H（h）<H（e）となるようにしてレベリングを行い、
バンプ上方に液体吐出基板を位置決めして配置し、液体吐出基板を加圧してH（h）=H（e）となるようにして各々のバンプ接続が行われていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
電気的な接続をするバンプと、電気接続用途以外のバンプを一括してレベリングを行うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
電気的な接続をするバンプと、電気接続用途以外のバンプを個別にレベリングすることを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
電気接続用途以外のバンプを形成してレベリングした後、電気的な接続をするバンプを形成し、レベリングを行うことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
レベリングは保持部材の底面を基準して行うことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
電気接続用途のバンプおよび電気接続用途以外のバンプはともにスタッドバンプであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク等の記録液を吐出して記録動作を行う記録装置、この記録装置に適用される記録ヘッド、この記録ヘッドに適用される液体吐出基板との配線基板の接続に関するものである。なお、本発明は、一般的なプリント装置のほか、複写機、通信システムを有するファクシミリ、プリント部を有するワードプロセッサ等の装置、さらには、各種処理装置と複合的に組み合わされた産業用記録装置に適用することができる。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことからインクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
このインクジェット記録装置における代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微小な吐出口から微少な液滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものとなっており、一般に、液滴を形成するためのインクジェット記録吐出口と、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。
【０００４】
電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。さらに電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式（エッジシュータ）と電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式（サイドシュータ）とがある。
【０００５】
この記録ヘッドに適用される液体吐出基板との配線基板の接続に関して、第1の従来例を以下に示す。特公平8-252728（液体噴射記録ヘッド）や特開平10-044418（インクジェット記録ヘッドおよびそのヘッドを用いたインクジェット記録装置）にて、小型化と生産コストの低減が図れ、しかも信頼性に優れ高品位で記録を行えるインクジェットヘッドとして、開示されている。そのヘッドの外観斜視図を図12に示し、このヘッドの液体吐出部近傍を図13、図14に示すが、このヘッドにおいて、液体吐出基板101はその表面にオリフィス105と不図示の電気熱変換素子と不図示の電子回路素子とが形成されており、電極107は液体吐出基板101に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線部材103の電極108と、ILB(Inner Lead Bonding)による金属間結合、または、異方性導電接着を用いた熱圧着により、電気的に接続されている。さらに、プリンタなどに代表される製品において、接続電極部はインクからの保護、および、オリフィス面に付着したインク滴や紙紛等のゴミを除去するゴムブレードによる拭き取り動作から保護するために、封止材110により覆われている。また、液体吐出基板101はインク供給流路を有する保持部材102に互いのインク供給流路が連通するように接着剤111により固定されている。
【０００６】
しかしながら、上述した第１の従来例における、オリフィスのある表面側に電極を有し、その接続電極部が封止材により覆われているインクジェット記録ヘッドには、印字品位を低下させる以下のよう問題がある。
【０００７】
すなわち、液体吐出基板と電気配線部材の接続電極部を封止材で封止した部分は、オリフィス表面より突出することになり、この突出した封止部分が被記録媒体と接触しないようにするためこの突出した封止材の分だけオリフィス表面から被記録媒体までの間隔が広がってしまう。従ってオリフィスから吐出されるインクの被記録媒体への着弾精度を低下させる１つの原因となる。また、突出した封止部は、オリフィス表面に付着したインク滴や紙紛等のゴミを除去するためのゴムブレードによる拭き取りの障害となりオリフィス面のクリ−ニングがうまくいかず印字品位の低下を引き起こす場合もあった。
【０００８】
そこでこの問題を解決するための記録ヘッドの従来例として、オリフィスのある面の裏面側に電気的な接続電極があるプリントヘッド基板で構成されたワイドアレイインクジェット装置が、特開平11-192705（スケーラブルなワイドアレイインクジェットプリントヘッドおよびその製作方法）にて開示されている。図16に、特開平11-192705によるワイドアレイインクジェットペン210を示す。図16は、ワイドアレイプリントヘッドを有するワイドアレイインクジェットペンの斜視図である。図17は、図16のワイドアレイインクジェットプリントヘッドの電気接続部を示すプリントヘッドダイと支持基板220を含んだ一部分の断面図である。ペン210は、ワイドアレイプリントヘッド212およびペン本体214から構成されている。ペン本体214は、プリントヘッド212が取り付けられるハウジングである。ペン本体214には、ローカルなインク槽としての働きをする内部チャンバ216がある。また図16、図17を参照すると、プリントヘッド212は、支持基板220に装着された複数のプリントヘッド218を備えている。プリントヘッド218は、吐出口開口部238が形成された面の裏面側に電気的な接続を行うための電極284とインク供給口242が形成されており、プリントヘッド218を保持するための支持基板220は第一の表面270及び第二の表面272に電気配線が施されており第1の表面270側においてはんだバンプによりプリントヘッドと電気的な接続を行い配置される。また論理回路（不図示）と駆動回路230は、基板220の第1の表面の反対側の第2の表面272に搭載される。
【特許文献１】特公平8-252728号公報
【特許文献２】特開平10-044418号公報
【特許文献３】特開平11-192705号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
液体吐出基板の裏面はインク供給口が形成されているのみであり、電気接続を行う電極を形成しても、十分なスペースが残る。このスペースを有効活用し、電気配線部材と液体吐出基板裏面を電気接続とは無関係な複数のバンプで接続し、記録ヘッドの性能向上や信頼性向上を図ることができると考えられる。例えば、発熱部の直下に多くのバンプ接続をして、液体吐出基板の放熱を行いやすくしたり、インクが電気接続バンプと接触しないようインク供給口の周囲を多くのバンプで囲ったりすることができる。
【００１０】
しかし、このようにして、液体吐出基板裏面を多数のバンプで接続しようとした場合、電気接続以外の用途のバンプ接続においては、数箇所に接続不良があったとしても記録ヘッドは作動するため致命的な欠陥とはならないが、電気接続部は一つでも不良があると記録ヘッドは作動しないため、電気接続信頼性の確保は極めて重要である。
【００１１】
全てのバンプを同一高さにレベリングし、液体吐出基板を位置決めして配置し、各々のバンプが十分につぶれるまで液体吐出基板を加圧すれば、電気接続信頼を確保できるだけのバンプ接続は可能であるが、液体吐出基板の加圧面はノズルが形成された樹脂層があるために多くの荷重を加えると、この樹脂層を破損してしまう恐れがあり、また、液体吐出基板のベースとなるSiにクラックが生じる可能性もある。
【００１２】
しかしながら、液体吐出基板を破損しない程度に加圧しただけでは電気接続信頼性が十分でない可能性が高い。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は上記の課題に鑑みて成されたものであり、本発明の記録ヘッドは、
表面側に電気信号に応じて液体吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギを発生させるエネルギ発生手段を備え、裏面側に液体供給口と電極を備えた液体吐出基板と、
液体吐出基板に対して液体を供給するための液体供給口を有した電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線部材と、
液体吐出基板および電気配線部材を保持し、液体吐出基板に液体を供給する液体供給口を有した保持部材と、を備え、
液体吐出基板と電気配線部材と保持部材が互いに積層して形成され、液体吐出基板の裏面に形成された電極と電気配線部材の電極がバンプによって接続されており、さらにバンプ接続には、電気的に接続されている部分と電気的に接続されていない部分とが存在するインクジェット記録ヘッドであって、
保持部材と接着した電気配線部材に電気的な接続をするバンプおよび電気接続用途以外のバンプを形成し、保持部材の底面から電気的な接続をするバンプの頂点までの高さをH（e）、電気接続用途以外のバンプの頂点までの高さをH（h）としたとき、H（h）<H（e）となるようにしてレベリングを行い、
バンプ上方に液体吐出基板を位置決めして配置し、液体吐出基板を加圧してH（h）=H（e）となるようにして各々のバンプ接続が行われていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
以上説明したように、本発明によれば、液体吐出基板の裏面と電気配線部材がバンプによって電気的に接続されている接続部と電気的以外の用途で接続されている接続部とを有するインクジェット記録ヘッドにおいて、電気接続信頼性が高く、安価な記録ヘッドを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
次に、本発明の詳細を実施例の記述に従って説明する。
【００１６】
（第1の実施形態）
以下、図１から図6を用いて本発明が実施もしくは適用される好適な記録ヘッドの構成を説明する。
【００１７】
図1は、本発明の実施例の記録ヘッドを示す斜視図、図2は記録ヘッドの分解斜視図である。
【００１８】
図3は図1のヘッドに使用される液体吐出基板の模式図であり、図3（a）は液体吐出基板の表面、図3（b）は液体吐出基板の裏面、そして図3（c）は図3（a）のC−C断面を表す模式図である。
【００１９】
図4は電気配線部材を説明するために図2における破線B内を拡大した図である。
【００２０】
図5は図1におけるA−A断面を表す模式図、図6は図1におけるB−B断面を表す模式図である。
【００２１】
図1〜図6において、300は液体吐出基板、400は電気配線部材、500は保持部材、600はインク供給部材である。
【００２２】
図3を参照して、液体吐出基板300は、Si基板301の中央には長溝状のインク供給口302が形成されており、インク供給口302の長手方向の両側には記録素子である複数の電気熱変換素子303が配列されている。そして、Si基板301裏面には、電気配線部材400と電気的に接続し、電気熱変換素子303に電力を供給するための電極304aと、電気的な接続はされないが、液体吐出基板300と電気配線部材400をバンプ接続するためのパッド304bが形成されている。
【００２３】
さらに、Si基板301上には樹脂材料でできた吐出口形成部材305が形成されており、電気熱変換素子303に対応する複数の吐出口306と各吐出口に連通するインク流路30７が形成されている。
【００２４】
図2および図4を参照して、電気配線部材400は液体吐出基板300のインク供給口302と連通するインク供給口401と、液体吐出基板300の電極304aおよびパッド304bにそれぞれ対応する配線端子402および金属層403が形成されている。また、電気配線部材400は記録装置本体から電気信号を受け取るための外部信号入力端子406を有している。
【００２５】
保持部材500は、液体吐出基板300を保持固定するためのプレートであり、電気配線部材400のインク供給口401を介して液体吐出基板300の裏面のインク供給口302に、インクを供給するためのインク供給口501が開口している。
【００２６】
インク供給部材600はインクタンク（不図示）からインクを供給するための部材であり、保持部材500と同様に液体吐出基板300のインク供給口302にインクを供給するためのインク供給口601が形成されている。
【００２７】
図5、図6に示すように、本発明の実施例の記録ヘッドは、電気配線部材400と保持部材500のインク供給口が互いにズレを生じることなく連通するように接着剤701により接合され、そして液体吐出基板300はその裏面に配置された電極304aと電気配線部材400の配線端子402、パッド304bと金属層403の位置がそれぞれ合うように電気配線部材400の上に配置され、金属バンプ702によって接合される。このとき液体吐出基板300と電気配線部材400の間は接着剤または封止材703により充填されており、金属バンプ702はインク供給口からのインクと完全に隔絶されている。
【００２８】
以下に、バンプ接続による電気接続信頼性を十分に確保し、かつ、液体吐出基板300と電気配線部材400を多数のバンプで接続するための第１の実施例を、図を用いて説明する。
【００２９】
図7は電気配線部材400と保持部材500を接着した図、図8は図7における破線C内の拡大図である。また、図9は液体吐出基板300と電気配線部材400をバンプ接続する方法を説明するための概略図であり、図8におけるD−D断面から見た状態で示す。説明において、電気接続用のバンプを電気接続バンプ702a、電気接続を行わないバンプを電気接続以外のバンプ702bと呼ぶこととし、また両者を合わせてバンプ702と呼ぶこととする。また、バンプはいずれも金ワイヤーによるスタッドバンプである。
【００３０】
まず図9（a）のように、保持部材500に接着された電気配線部材400の配線端子402上に電気接続バンプ702a、金属層403上に電気接続以外のバンプ702bをそれぞれ形成する。
【００３１】
次に、図9（b）のように、保持部材500の底面を基準としてレベリングツール801を用いてレベリングを行う。電気配線部材400を保持部材500に接着した状態では、傾いて接着されていたり、接着剤701の厚みにムラが生じていたりする可能性があり、更には、電気接続以外のバンプ702bそのものの高さにもばらつきがあるため、バンプ形成直後は保持部材500の底面からバンプ頂点までの高さは不均一であるが、研磨され、高い平面度を有する保持部材500の底面を基準とすることで、保持部材500の底面からバンプ頂点までの高さは一定となる。レベリングツール801の断面は図9（b）に示されるような凸形状をしているため、レベリング後の保持部材500の底面から電気接続バンプ702a頂点までの高さをH（e）、電気接続以外のバンプ702bまでの高さをH（h）としたとき、H（h）<H（e）となる。
【００３２】
そして、図9（c）のように、バンプ702の上方に液体吐出基板300を位置決めして配置し、圧着ツール802を用い液体吐出基板300を加圧する。これによってまず電気接続バンプ702aと液体吐出基板300が圧着され、その後加圧を続けることによって電気接続バンプ702a は徐々につぶれ、H（h）=H（e）となり、電気接続以外のバンプ702bと液体吐出基板300のパッドも接続される。
【００３３】
このような方法によれば、液体吐出基板300を加圧して電気接続バンプ702aは十分につぶすことができるため、全ての電気接続バンプ702aと液体吐出基板300が十分に圧着され、信頼性の高い電気接続が可能となる。そしてこの間は電気接続以外のバンプ702bは加圧されないため、電気接続バンプ702aと電気接続以外のバンプ702bを同一高さにレベリングし、本実施例で示した量と同一量だけバンプをつぶそうとした場合と比較すると、液体吐出基板300に加える荷重はわずかで済み、すなわち液体吐出基板300を破損することなく電気配線部材400とバンプ接続することができる。
【００３４】
なお、図1に示されるように記録ヘッドに複数の液体吐出基板300が搭載される場合、1つの液体吐出基板300ごとに上述の工程を行っても良く、また、複数の液体吐出基板300に対応するバンプ702bを一括してレベリングし、複数の液体吐出基板300を一括して圧着しても良く、また、レベリングのみ一括して行い、液体吐出基板300の圧着は個々に行っても良い。
【００３５】
また、本実施例では電気接続以外のバンプ702bをインク供給口401の外周に1列配置させているが、電気接続以外のバンプ702b（および液体吐出基板300のパッド304b）は自由に配置して良く、またバンプの径および形状も自由に決定して良い。
【００３６】
以上説明したように、本発明の方法によって液体吐出基板に加える荷重を小さくし、かつ電気接続信頼性の高い液体吐出基板と電気配線部材のバンプ接続を提供することができる。
【００３７】
（第2の実施形態）
以下に、本発明の第2の実施例について、図を用いて説明する。図10は第2の実施例によって液体吐出基板と電気配線部材をバンプ接続する方法を説明する概略図であり、図9と同様、図8におけるD−D断面から見た状態で示している。
【００３８】
本実施例は、図10（a）のように電気接続バンプ702a、電気接続以外のバンプ702bを電気配線部材400上の配線端子402、金属層403上にそれぞれ形成した後、図10（b）、図10（c）のように、まず電気接続以外のバンプ702bのみを第1のレベリングツール803を用いてレベリングし、次に電気接続バンプ702aを第2のレベリングツール804を用いてレベリングする。このとき、第1の実施例と同様、レベリング後の保持部材500の底面から電気接続バンプ702a頂点までの高さをH（e）、電気接続以外のバンプ702bまでの高さをH（h）としたとき、H（h）<H（e）となるようにレベリングを行う。
【００３９】
以下、第1の実施例と同様に、液体吐出基板300をバンプ702上に配置し、圧着ツール802で加圧してバンプ接続を行う。
【００４０】
第1の実施例においては一つのレベリングツールを用いて電気接続バンプと電気接続以外のバンプを一括してレベリングするため工程が少なくて済むという利点はあるものの、レベリングツールの加工精度によっては上述したほどの効果を出せない可能性もある。例えば、電気接続バンプ702aのレベリング面と電気接続以外のバンプのレベリング面では段差があるために電気接続バンプ702aのレベリング面が研磨できず、平面度が低くなっていたり、電気接続バンプ702aのレベリング面と電気接続以外のバンプ702bのレベリング面の平行度が低くなっていた場合には、レベリング後のバンプ高さが所望の高さにならず、接続信頼性を損なってしまう可能性もある。
【００４１】
それに対し本実施例においては、電気接続バンプ702aと電気接続以外のバンプ702bを個別にレベリングするため、上述した電気接続バンプ702aと電気接続以外のバンプ702bのレベリング面の平行度は無関係となり、また、レベリングツールのレベリング面は研磨されて高い平面度を有するため、レベリング後のバンプ高さはより均一なものとなり、その結果バンプ接続信頼性をさらに高めることができる。
【００４２】
なお、第1の実施例と同様、1つの液体吐出基板300ごとに上述の工程を行っても良く、複数の液体吐出基板300に対応するバンプ702bを一括してレベリングし、複数の液体吐出基板300を一括して圧着しても良い。また、レベリングのみ一括して行い、液体吐出基板300の圧着は個々に行っても良い。
【００４３】
また、電気接続以外のバンプ702bの配置、形状も自由に決定して良い。
【００４４】
以上説明したように、本発明の方法によって、より信頼性の高い液体吐出基板と電気配線部材の接続を提供することができる。
【００４５】
（第3の実施形態）
以下に、本発明の第3の実施例について、図を用いて説明する。図11と図15は第3の実施例によって液体吐出基板と電気配線部材をバンプ接続する方法を説明する概略図であり、図9と同様、図8におけるD−D断面から見た状態で示している。
【００４６】
本実施例は、まず図11（a）、図11（b）のように、電気配線部材400の金属層403上に電気接続以外のバンプ702bのみを形成し、レベリングツール805を用いてレベリングを行う。
【００４７】
次に、図11（c）、図11（d）のように電気配線部材400の配線端子402上に電気接続バンプ702aを形成し、レベリングツール805を用いてレベリングを行う。このとき第1、2の実施例と同様、レベリング後の保持部材500の底面から電気接続バンプ702a頂点までの高さをH（e）、電気接続以外のバンプ702bまでの高さをH（h）としたとき、H（h）<H（e）となるようにする。
【００４８】
以下、第1、2の実施例と同様に、液体吐出基板300をバンプ702上に配置し、圧着ツール802で加圧してバンプ接続を行う。
【００４９】
上述したように、本実施例では電気接続バンプ702aと電気接続以外のバンプ702bのレベリングツールは同一のもので良く、レベリングに用いる部品を減らすことができる。
【００５０】
なお、第1、2の実施例と同様、1つの液体吐出基板300ごとに上述の工程を行っても良く、複数の液体吐出基板300に対応するバンプ702bを一括してレベリングし、複数の液体吐出基板300を一括して圧着しても良い。また、レベリングのみ一括して行い、液体吐出基板300の圧着は個々に行っても良い。
【００５１】
また、電気接続以外のバンプ702bの配置、形状も自由に決定して良い。
【００５２】
以上説明したように、本発明の方法によって、装置部品個数を減らすことができ、部品管理を容易にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の実施例が好適に適用される記録ヘッドを示す斜視図
【図２】本発明の実施例が好適に適用される記録ヘッドの分解斜視図
【図３】液体吐出基板の模式図、（a）液体吐出基板の表面、（b）液体吐出基板の裏面（a）におけるC−C断面を表す模式図
【図４】電気配線部材を説明するために要部を拡大した図
【図５】図1におけるA−A断面を表す模式図
【図６】図1におけるB−B断面を表す模式図
【図７】電気配線部材400と保持部材500を接着した図
【図８】図7における破線C内の拡大図
【図９】本発明の第1の実施例を説明する概略図
【図１０】本発明の第2の実施例を説明する概略図
【図１１】本発明の第3の実施例を説明する概略図
【図１２】従来の記録ヘッドの概観斜視図
【図１３】従来の記録ヘッドの液体吐出部近傍を表す図
【図１４】従来の記録ヘッドの液体吐出部近傍を表す図
【図１５】本発明の第3の実施例を説明する概略図
【図１６】ワイドアレイインクジェットペンの斜視図
【図１７】ワイドアレイインクジェットプリントヘッドの電気接続部を示す図
【符号の説明】
【００５４】
300  液体吐出基板
301  Si基板
302  インク供給口
303  電気熱変換素子
304a  電極
304b  パッド
305  吐出口形成部材
306  吐出口
307  インク流路
400  電気配線部材
401  インク供給口
402  配線端子
403  金属層
404  ベースフィルム
405  カバーフィルム
406  外部信号入力端子
500  保持部材
501  インク供給口
600  インク供給部材
601  インク供給口
701  接着剤
702  バンプ
703  接着剤または封止材
801  レベリングツール
802  圧着ツール
803  第1のレベリングツール
804  第2のレベリングツール
805  レベリングツール
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
2007320117.tif 000006
【図５】
2007320117.tif 000007
【図６】
2007320117.tif 000008
【図７】
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【図８】
2007320117.tif 000010
【図９】
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【図１０】
2007320117.tif 000012
【図１１】
2007320117.tif 000013
【図１２】
2007320117.tif 000014
【図１３】
2007320117.tif 000015
【図１４】
2007320117.tif 000016
【図１５】
2007320117.tif 000017
【図１６】
2007320117.tif 000018
【図１７】
2007320117.tif 000019