(57)【要約】【課題】  フライハイトのＺハイト感度を低減でき、フライハイトをより安定化させることができるディスクドライブ用サスペンションを提供する。【解決手段】  ディスクドライブ用サスペンション１３は、ロードビーム２０と、フレキシャ２３と、スライダ６０などを備えている。スライダ６０はフレキシャ２３のタング部５６に取付けられている。ディスク１１が回転すると、空気の流入端（リーディング側）から流出端（トレーリング側）に向って空気が流れることにより、ディスク１１とスライダ６０との間にエアベアリングが形成される。ロードビーム２０の先端部にディンプル３３が設けられている。ディンプル３３によってスライダ６０がピッチ方向とロール方向に揺動可能に支持されている。このディンプル３３は、スライダ６０の中央からトレーリング側にシフトした位置に形成され、そのシフト量は、ロードビーム２０の長さが短いほど大きく設定されている。【選択図】    図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスクドライブのアームに固定されるベース部と、
前記ベース部にばね性を有するヒンジ部材を介して変位可能に取付けられたロードビームと、
前記ロードビームに重ねて配置されたフレキシャと、
前記フレキシャのタング部に取付けられ、ディスクが回転する際にリーディング側からトレーリング側に向って空気が流れることによりディスクとの間にエアベアリングを形成するスライダと、
前記スライダに向って突出して前記スライダを揺動可能に支持するディンプルとを具備し、
前記ディンプルが、前記スライダの中央から前記トレーリング側にシフトした位置に形成されていることを特徴とするディスクドライブ用サスペンション。
【請求項２】
前記シフト量が０．０２ｍｍ以上でスライダの長さの２分の１以下であることを特徴とする請求項１に記載のディスクドライブ用サスペンション。
【請求項３】
前記シフト量は前記ロードビームの長さが短くなるほど大きく設定されていることを特徴とする請求項２に記載のディスクドライブ用サスペンション。
【請求項４】
前記ロードビームの有効長さが５．５ｍｍ以下、前記シフト量が０．０２ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載のディスクドライブ用サスペンション。
【請求項５】
前記ロードビームの有効長さが４．５ｍｍ以下、前記シフト量が０．１４ｍｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載のディスクドライブ用サスペンション。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、例えばパーソナルコンピュータ等の情報処理装置に内蔵されるディスクドライブ用サスペンションに関する。
【背景技術】
【０００２】
回転する磁気ディスクに情報を書込んだり読取ったりするためのハードディスクドライブ（ＨＤＤ）は、軸を中心に旋回可能なキャリッジを有している。このキャリッジは、ポジショニング用モータによって、前記軸を中心に旋回駆動される。例えば下記特許文献１に記載されているように、キャリッジは、アクチュエータアームと、このアクチュエータアームの先端部に設けたサスペンションを有している。このサスペンションは、ベースプレートと、ロードビームと、フレキシャ（flexure）などを備えている。サスペンションの先端部にはスライダを含むヘッド部が設けられている。スライダはフレキシャのタング部に取付けられている。
【０００３】
前記ディスクが回転すると、ディスクの表面とスライダとの間を流れる空気の圧力によって、スライダがディスクの表面から僅かに浮上する。このことにより、ディスクとスライダとの間にエアベアリングが形成される。
【０００４】
図９と図１０は、従来のサスペンション１を模式的に示している。このサスペンション１は、ロードビーム２と、フレキシャのタング部３（図１０に示す）に取付けられたスライダ４などを備えている。ディスク５が矢印Ｒ方向に高速回転すると、ディスク５とスライダ４との間を空気が流れることにより、エアベアリング６が形成される。当業界では、スライダ４の空気の流入端をリーディング側（leading side）と称し、流出端をトレーリング側（trailing side）と称している。
【０００５】
ロードビーム２の先端部付近にディンプル７が形成されている。ディンプル７はおおむね半球状の突起であり、スライダ４に向って突出している。スライダ４は、ディンプル７を支点として、ピッチ方向とロール方向に揺動することができる。ロードビーム２の有効長さＬは様々であるが、最近では、従来の例えば１２ｍｍのロードビームから、８．５ｍｍあるいは７ｍｍと短いロードビーム２´が望まれる傾向がある。
【０００６】
図１０に示すように、スライダ４のトレーリング側の端部に読取り／書込み用の素子８が設けられている。スライダ４のトレーリング側の端部からディスク５までの距離がフライハイト（ＦＨ）である。浮上したスライダ４には、サスペンション１の撓みに応じたばね力よる荷重Ｆが、ディンプル７を介してスライダ４に作用するとともに、エアベアリング６の空気圧によるリーディング側の反力Ｐ１とトレーリング側の反力Ｐ２が生じる。さらにスライダ４の浮上特性等を安定化させるために、負圧Ｐ３を生じさせる工夫がなされている。負圧Ｐ３は、スライダ４の表面にエッチング等によって形成された凹部、例えば浅溝（shallow etch）および深溝（deep etch）などに基いて発生する。
【０００７】
前記サスペンション１において、アーム（アクチュエータアーム）に対するサスペンション１の取付誤差などによって、取付高さ（図９に示すＺハイト）が変化することが避けられない。Ｚハイトが変化すると、サスペンション１の撓みが変化するため、荷重Ｆも当然変化する。すなわち、Ｚハイトが増加する（プラス側に変化する）と、サスペンション１の撓みが減ることにより荷重Ｆが減少する。逆にＺハイトが減少する（マイナス側に変化する）と、サスペンション１の撓みが増加することにより荷重Ｆが増加する。
【０００８】
一般に、サスペンションのＺハイト位置に関してタング部フリー状態でのスライダのピッチ方向の傾きをＰＳＡ（Pitch Static Attitude）と称している。Ｚハイトが変化するとＰＳＡも変化する。例えばＺハイトが増加するとＰＳＡも増加し、Ｚハイトが減少するとＰＳＡも減少する。ディンプル位置がスライダ中央（長さ方向中心位置）にある場合、ＰＳＡとピッチ方向の剛性（stiffness）の積がピッチモーメントとなる。このピッチモーメントはフライングピッチβ（図１０に示す）に影響を与え、荷重とともにフライハイトに大きな影響を及ぼす。特に近年のスライダのエアベアリング設計は、海面からの高度（大気の濃度）に対するフライハイトの影響を小さくするため、荷重よりもＰＳＡに対するフライハイト感度が上がっている。
【０００９】
通常、ディンプル７はスライダ４の中央（長さ方向の重心位置）に配置されているが、ある目的のためにディンプル７の位置をリーディング側にシフト（shift）させたサスペンションも考えられている。
【特許文献１】特開２００４−２９６０７２公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
図１１は、ディンプルがリーディング側に０．１ｍｍシフトしているサスペンションにおいて、Ｚハイトが変化した場合の荷重Ｆと、リーディング側の力とトレーリング側の力の変化を解析した結果である。図１１に示されるように、Ｚハイトがマイナス側からプラス側に変化すると、荷重Ｆが減少することに伴い、リーディング側とトレーリング側の力がいずれも減少する。この場合、リーディング側の力の減少の方が、トレーリング側の力の減少よりも大きいため、ピッチモーメントが変化し、フライングピッチ（図１０に示すスライダのピッチ方向の傾きβ）が変化する原因となる。以下にこの現象を定性的に説明する。
【００１１】
図１２は、ディンプルの位置がリーディング側にシフトしたサスペンションにおいて、Ｚハイトが増加した場合のスライダ４の姿勢の変化を示している。  
図１２の例では、Ｚハイトが増加したことによって、ＰＳＡが増加するためにピッチモーメントＭ２が生じる。しかもＺハイトの増加によって減少した荷重Ｆがリーディング側に偏った位置に加わるため、スライダ４の中心にはＰＳＡの増加と同方向のピッチモーメントＭ１が加わる。このためフライングピッチの増加が助長され、フライハイト（ＦＨ）がますます小さくなる。
【００１２】
図１３は、前記サスペンションにおいて、Ｚハイトが減少した場合のスライダ４の姿勢の変化を示している。この例では、Ｚハイトが減少したことによって、ＰＳＡが減少するためにピッチモーメントＭ４が生じる。しかもＺハイトの減少によって増加した荷重Ｆがリーディング側に偏った位置に加わるため、スライダ４の中心にはＰＳＡの減少と同じ方向のピッチモーメントＭ３が加わる。このためフライングピッチの減少が助長され、フライハイト（ＦＨ）がますます大きくなる。
【００１３】
以上の理由から、ディンプルがリーディング側にシフトしているサスペンションでは、Ｚハイトに対するＰＳＡの感度（sensitivity）が高くなり、僅かなＺハイトの変化によってフライハイトが大きくばらつくため、フライハイトを下げることが困難となる。
【００１４】
上記の問題は、ロードビームの有効長さＬ（図９に示す）が短くなればなるほど、顕著に表れる。なぜなら有効長さＬが短いロードビーム２´は、有効長さＬが長いロードビーム２と比較して、Ｚハイトの変化に対してロードビームの角度αがより大きく変化し、それに伴ってＰＳＡの変化も大きくなるからである。このため有効長さＬが短いロードビーム２´では、Ｚハイトに対するＰＳＡの感度がさらに高くなり、フライハイトを下げることが一層困難になることが判った。
【００１５】
従ってこの発明の目的は、フライハイトのＺハイト感度を低減することができ、フライハイトをより安定させることができるディスクドライブ用サスペンションを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明のディスクドライブ用サスペンションは、ディスクドライブのアーム（アクチュエータアーム）に固定されるベース部と、前記ベース部にばね性を有するヒンジ部材を介して変位可能に取付けられたロードビームと、前記ロードビームに重ねて配置されたフレキシャと、前記フレキシャのタング部に取付けられ、ディスクが回転する際にリーディング側からトレーリング側に向って空気が流れることによりディスクとの間にエアベアリングを形成するスライダと、前記スライダに向って突出して前記スライダを揺動可能に支持するディンプルとを具備し、前記ディンプルが、前記スライダの中央から前記トレーリング側にシフトした位置に形成されていることを特徴とするものである。
【００１７】
前記シフト量は、ディンプルの成形上の誤差の許容範囲を越える０．０２ｍｍ以上で、スライダの長さの２分の１以下である。前記シフト量はロードビームの長さが短くなるほど大きく設定される。例えばロードビームの有効長さが５．５ｍｍ以下の場合、前記シフト量は０．０２ｍｍ以上である。ロードビームの有効長さが４．５ｍｍ以下の場合には前記シフト量を０．１４ｍｍ以上とする。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、フライハイトのＺハイト感度を低減することができるため、取付け誤差などによってＺハイトがばらついてもフライハイトのばらつきが抑制され、フライハイトを下げることが可能となる。フライハイトが下がれば、より多くの情報をディスクの記録面に記録することが可能となり、情報の集積度を高めることができる。特に本発明は、長さが短いロードビームを有するサスペンションにおいて、フライハイトのＺハイト感度を低減する上で有効である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下に本発明の実施の形態について、図１から図８を参照して説明する。  
図１に示すハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１０は、記録媒体としての複数枚のディスク１１と、ヘッド部１２を有する複数のディスクドライブ用サスペンション１３と、これらサスペンション１３を取付けるアーム（アクチュエータアーム）１４などを備えている。ヘッド部１２は、ディスク１１の記録面に情報を磁気的に書込んだり、読取ったりする機能を担っている。アーム１４は、図示しないポジショニング用モータによって、軸（図示せず）を中心に旋回駆動される。
【００２０】
図２に示すサスペンション１３の一例は、ベースプレート１５を備えたベース部１６と、ロードビーム２０と、ロードビーム２０に取付けられたフレキシャ２３と、ヒンジ部材２４などを備えている。フレキシャ２３はロードビーム２０に沿って配置され、ロードビーム２０に固定されている。
【００２１】
ロードビーム２０は前端部３１と後端部３２を有し、前端部３１付近にディンプル３３が形成されている。ロードビーム２０の厚さは例えば２５〜１００μｍ前後である。ベースプレート１５の厚さは、一般的にロードビーム２０の厚さよりも大きく、例えば１５０〜２００μｍ前後である。
【００２２】
ベースプレート１５に、円筒形のボス部３５が形成されている。図１に示すようにボス部３５をアーム１４の取付孔３６に挿入し、ボス部３５を内側からかしめる（塑性変形させる）ことにより、ベースプレート１５がアーム１４に固定される。
【００２３】
ヒンジ部材２４の厚さはロードビーム２０の厚さよりも小さく、例えば２５〜４０μｍ前後である。ヒンジ部材２４はばね性を有し、厚さ方向に弾性的に撓むことができる。ヒンジ部材２４の前部がロードビーム２０の後端部３２に固定され、ヒンジ部材２４の後部がベースプレート１５の前端部１５ａに固定されている。このためロードビーム２０は、ベースプレート１５に対し、ヒンジ部材２４を中心として厚さ方向に弾性的に撓むことができ、撓みに応じたばね力による荷重を生じる。
【００２４】
フレキシャ２３は、ロードビーム２０の表面と裏面のうち、ヒンジ部材２４を設ける側に重ねて配置されている。フレキシャ２３は一般的にヒンジ部材２４よりも薄い（例えば１５μｍ〜２５μｍ前後）のばね性のあるステンレス鋼板からなるメタルベース５０と、メタルベース５０上に形成された配線部５１とを有している。
【００２５】
フレキシャ２３の先端部５５付近に、ばね性を有する可動部分として機能するタング部５６と、タング部５６の左右両側に位置するアウトリガー部５７，５８が形成されている。タング部５６に、ヘッド部１２を構成するスライダ６０が取付けられている。スライダ６０の先端部に、トランスジューサとして機能する磁電変換素子等の読取り／書込み用の素子６１が設けられている。
【００２６】
タング部５６とアウトリガー部５７，５８は、いずれもメタルベース５０の一部であり、タング部５６に前記ディンプル３３の頂部が当接するようになっている。このためタング部５６とスライダ６０は、ディンプル３３を中心として、ロール方向（図２に示すＸ軸回りの方向）とピッチ方向（図２に示すＹ軸回りの方向）等に揺動することができる。
【００２７】
スライダ６０は、前記タング部５６のディスク１１と対向する面に取付けられている。ディスク１１が回転する際に、空気の流入端であるリーディング側から、空気の流出端であるトレーリング側に向って空気が流れることにより、ディスク１１との間に、望ましくは１０ナノメータ前後の隙間のエアベアリング６２（図３に示す）が形成されるようになっている。素子６１はスライダ６０のトレーリング側の端部に設けられている。
【００２８】
ディンプル３３は、おおむね半球状の突起であって、スライダ６０に向って突出している。しかもこのディンプル３３は、スライダ６０の中央（重心位置）からトレーリング側にシフトした位置に形成されている。ディンプル３３の直径は０．２〜０．２５ｍｍである。ディンプル３３を成形する上で、ディンプル３３の位置に関し０．０２ｍｍ程度の誤差が許容されている。ディンプル３３をトレーリング側にシフトさせる量は、後述する理由により、ロードビーム２０の長さＬが短くなるほど大きく設定されている。シフト量の下限は、ディンプル３３の成形上の誤差の許容範囲を越える０．０２ｍｍ以上である。シフト量の上限は、スライダ６０の長さの２分の１である。
【００２９】
図３は、本発明の実施形態に係るサスペンション１３を模式的に示している。ディスク１１が矢印Ｒで示す方向に高速回転すると、ディスク１１とスライダ６０との間に空気が流れることにより、エアベアリング６２が形成される。スライダ６０の空気の流入端がリーディング側であり、流出端がトレーリング側である。
【００３０】
図５に示すように、ディスク１１上に浮上したスライダ６０には、サスペンション１３の撓みに応じたばね力による荷重Ｆがディンプル３３を介してスライダ６０に作用するとともに、エアベアリング６２の空気圧により、リーディング側の反力Ｐ１とトレーリング側の反力Ｐ２が生じる。さらにスライダ６０に負圧Ｐ３を生じさせることにより、スライダ６０の浮上特性等をより安定化させる工夫がなされている。この負圧Ｐ３は、スライダ６０の表面にエッチング等によって形成された凹部、例えば浅溝（shallow etch）と深溝（deep etch）などに基いて発生する。
【００３１】
前記サスペンション１３において、前記アーム１４に対するサスペンション１３の取付誤差などによって取付高さ（図３に示すＺハイト）が変化すると、サスペンション１３の撓みが変化するため、ディンプル３３を介してスライダ６０に作用する荷重Ｆも当然変化する。すなわちＺハイトが増加する（プラス側に変化する）と、サスペンション１３の撓みが減るため荷重Ｆが減少する。逆にＺハイトが減少する（マイナス側に変化する）と、サスペンション１３の撓みが増加するため荷重Ｆが増加する。
【００３２】
一般に、サスペンションのＺハイト位置に関してタング部フリー状態でのスライダのピッチ方向の傾きをＰＳＡ（Pitch Static Attitude）と称している。Ｚハイトが変化するとＰＳＡも変化する。例えばＺハイトが増加するとＰＳＡも増加し、Ｚハイトが減少するとＰＳＡも減少する。ディンプル位置がスライダ中央（長さ方向中心位置）にある場合、ＰＳＡとピッチ方向の剛性（stiffness）の積がピッチモーメントとなる。
【００３３】
図４は、ディンプル３３がトレーリング側に０．１ｍｍシフトしているサスペンション１３において、Ｚハイトが変化した場合の荷重Ｆと、リーディング側の力とトレーリング側の力の変化を解析した結果である。図４に示されるように、Ｚハイトがマイナス側からプラス側に変化すると、荷重Ｆが減少することに伴い、リーディング側とトレーリング側の力がいずれも減少する。しかしトレーリング側の変化量とリーディング側の変化量の差は、図１１に示す従来のサスペンションと比較して小さい。このためスライダ６０のピッチ方向の傾きに与える影響は少ない。以下にこの現象を定性的に説明する。
【００３４】
図５は、ディンプル３３の位置がトレーリング側にシフトしたサスペンション１３において、Ｚハイトが増加した場合のスライダ６０の姿勢を模式的に示している。この例ではＺハイトが増加したことによって、タング部５６に取付けられているスライダ６０のＰＳＡが増加するためピッチモーメントＭ１が生じる。
【００３５】
しかしＺハイトの増加によって減少した荷重Ｆが、トレーリング側にシフトした位置に加わるために、スライダ６０の中央（重心位置）には、前記ピッチモーメントＭ１とは反対方向のピッチモーメントＭ５が生じる。このためピッチモーメント変化が抑制され、フライングピッチの変化は小さい。
【００３６】
図６は、前記サスペンション１３において、Ｚハイトが減少した場合のスライダ６０の姿勢を示している。この例では、Ｚハイトが減少したことによって、タング部５６に取付けられているスライダ６０のＰＳＡが減少するため、ピッチモーメントＭ３が生じる。
【００３７】
しかしＺハイトの減少によって増加した荷重Ｆが、トレーリング側にシフトした位置に加わるため、スライダ６０の中央（重心位置）には、前記ピッチモーメントＭ３とは反対方向のピッチモーメントＭ６が生じる。このためピッチモーメント変化が抑制され、フライングピッチの変化は小さい。
【００３８】
以上の理由から、フライハイトのＺハイト感度が小さくなるため、サスペンション１３の取付け誤差などによってＺハイトがばらついても、フライハイトのばらつきを小さくすることができ、フライハイトを下げることが可能となる。フライハイトが下がれば、より多くの情報をディスク１１の記録面に記録することが可能となり、情報の集積度を高めることができる。
【００３９】
図７は、有効長さＬが７ｍｍのロードビームと、有効長さＬが５．５ｍｍのロードビームのディンプルのシフト量とピッチモーメントのＺハイト感度との関係を示している。図７の縦軸は、Ｚハイトの変化（１ｍｍ）に対するリーデング側とトレーリング側のＺハイト感度の差（ｇｆ）を示している。理想的にはピッチモーメントのＺハイト感度はゼロが望ましいが、１．５以下であれば実用上問題の無いレベルに収まっている。
【００４０】
図７より、ロードビームが７ｍｍから５．５ｍｍと短くなると、Ｚハイト感度が高くなるが、ディンプルの位置をトレーリング側に例えば０．０５ｍｍ以上シフトさせることにより、Ｚハイト感度を従来と同等以下にすることができる。このように、有効長さＬが短いロードビーム２０´（図３に示す）は、有効長さが長いロードビーム２０と比較して、ピッチモーメントのＺハイト感度が高くなるが、ディンプルの位置をトレーリング側にシフトさせることにより、ピッチモーメントのＺハイト感度を下げることが可能である。
【００４１】
図８は、互いに有効長さが異なる７種類のロードビーム（Ｌ＝４ｍｍ〜１２ｍｍ）において、ディンプルのシフト量とロードビームの長さＬとの積と、ピッチモーメントのＺハイト感度との関係を示している。図８から、ロードビームの長さが短くなればなるほど、ディンプルのトレーリング側へのシフト量を大きくすることにより、ピッチモーメントのＺハイト感度を一定のレベル以下に抑えることができる。
【００４２】
図８より、例えばＺハイト感度の目標値が１．０の場合に、Ｌ＝７ｍｍのロードビームではシフト量を０．０５ｍｍ以上、Ｌ＝５．５ｍｍではシフト量を０．１８ｍｍ以上、Ｌ＝４．５ｍｍではシフト量を０．３ｍｍ以上、Ｌ＝４ｍｍではシフト量を０．４ｍｍ以上に設定することにより、Ｚハイト感度の目標値（１．０）をクリアできる。
【００４３】
Ｚハイト感度の目標値が実用上問題の無い現状レベル（１．５）の場合、Ｌ＝７ｍｍのロードビームは特にシフトさせなくてもよいが、Ｌ＝５．５ｍｍのロードビームではシフト量を０．０２ｍｍ以上、Ｌ＝４．５ｍｍではシフト量を０．１４ｍｍ以上、Ｌ＝４ｍｍではシフト量を０．２２ｍｍ以上に設定することにより、Ｚハイト感度の目標値をクリアできる。
【００４４】
このように本発明者らは、ロードビームの長さが短くなるほどシフト量を大きくすればよいという知見を得た。例えばロードビームの有効長さＬが５．５ｍｍ以下の場合、シフト量を０．０２ｍｍ以上とし、ロードビームの有効長さＬが４．５ｍｍ以下の場合には少なくともシフト量を０．１４ｍｍ以上と大きくする。
【００４５】
これらの実施形態をはじめとして、この発明を実施するに当たり、ベース部やロードビーム、フレキシャのタング部、スライダ、ディンプルの形態など、サスペンションの構成要素をこの発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更して実施できることは言うまでもない。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の一実施形態に係るサスペンションを備えたディスクドライブの一部の断面図。
【図２】図１に示されたディスクドライブに使われるサスペンションの一例を示す斜視図。
【図３】前記サスペンションを模式的に示す側面図。
【図４】前記サスペンションのＺハイトが変化する場合の荷重とリーディング側およびトレーリング側の力の変化を示す図。
【図５】前記サスペンションのＺハイトが増加したときにスライダに生じるモーメントを示す図。
【図６】前記サスペンションのＺハイトが減少したときにスライダに生じるモーメントを示す図。
【図７】互いに長さが異なる２種類のロードビームのディンプルシフト量とピッチモーメントのＺハイト感度との関係を示す図。
【図８】互いに長さが異なる７種類のロードビームのディンプルシフト量とロードビーム長さとの積と、ピッチモーメントのＺハイト感度との関係を示す図。
【図９】従来のサスペンションを模式的に示す側面図。
【図１０】図９に示されたサスペンションのスライダに作用する荷重と反力等を模式的に示す図。
【図１１】図９に示されたサスペンションのＺハイトが変化する場合の荷重とリーディング側およびトレーリング側の力の変化を示す図。
【図１２】図９に示されたサスペンションのＺハイトが増加したときにスライダに生じるモーメントを示す図。
【図１３】図９に示されたサスペンションのＺハイトが減少したときにスライダに生じるモーメントを示す図。
【符号の説明】
【００４７】
１０…ディスクドライブ
１２…ヘッド部
１３…サスペンション
１４…アーム
１６…ベース部
２０…ロードビーム
２３…フレキシャ
３３…ディンプル
５６…タング部
６０…スライダ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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