(57)【要約】【課題】ヘッドの反りを低減し、高品質な画像記録を可能とする。【解決手段】複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室及び前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の圧電素子を少なくとも有し、薄板状の複数の基板を積層して成る複数のヘッドユニットを備え、複数のヘッドユニットのうち少なくとも第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに同一基板側となるように、前記複数のヘッドユニットが前記複数の基板の積層方向に積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供することにより、前記課題を解決する。【選択図】  図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室及び前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の圧電素子を少なくとも有し、薄板状の複数の基板を積層して成る複数のヘッドユニットを備え、
複数のヘッドユニットのうち少なくとも第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに同一基板側となるように、前記複数のヘッドユニットが前記複数の基板の積層方向に積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
【請求項２】
前記複数のヘッドユニット間の接合面がいずれも互いに同一基板側であることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記複数のヘッドユニットの長手方向は記録媒体の紙幅に対応する長さであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記複数のヘッドユニットは、前記複数の圧力室が形成される第１の基板、前記複数の圧電素子が配置される第２の基板、及び前記複数の圧電素子の変位空間を確保する第３の基板を積層して構成されることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
異なる幅の第１及び第２の孔部が交互に貫通形成された第１の基板、及び前記第１の孔部に対応する位置に前記圧電素子が配置される第２の基板を積層して成る第１及び第２のヘッドユニットを備え、
前記第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに前記第１の基板側となり、且つ、前記第１及び第２のヘッドユニットの一方の前記第１の孔部と前記第１及び第２のヘッドユニットの他方の前記第２の孔部より前記複数の圧力室がそれぞれ構成されるように、前記第１及び第２のヘッドユニットが積層されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
【請求項７】
複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室及び前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の圧電素子を少なくとも有し、薄板状の複数の基板を積層して成る複数のヘッドユニットを備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数のヘッドユニットをそれぞれ形成するヘッドユニット形成工程と、
前記複数のヘッドユニットのうち少なくとも第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに同一基板側となるようにして、前記複数のヘッドユニットを前記複数の基板の積層方向に積層するヘッドユニット積層工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記ヘッドユニット積層工程は、前記第１及び第２のヘッドユニットの接合面に対して長手方向中央部と端部で接着力の異なる接着剤を塗布することを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記ヘッドユニット積層工程は、前記複数のヘッドユニット間の接合面がいずれも互いに同一基板側となるように積層することを特徴とする請求項７又は請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法に係り、特に、複数の薄板部材を積層して構成される液体吐出ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、インクジェット記録装置により形成される画像品質や記録速度に対する要求が高まっている。そのため、インクジェット記録装置に搭載されるヘッド（液体吐出ヘッド）に対して、インク滴を吐出するノズルやノズル毎に設けられる圧力室、圧電素子等を高密度に実装するための様々な工夫が行われている。
【０００３】
特許文献１〜３に記載のヘッドは、インク吐出方向に対して垂直な方向に複数の薄板部材を積層して構成されている。これらのヘッドは積層方向のノズルピッチが短くなり、ノズル等の高密度実装が可能となる。
【特許文献１】特開平７−３２３５４１号公報
【特許文献２】特開２００２−１９１１０号公報
【特許文献３】特開２００４−２５５８３８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般に、記録媒体の紙幅方向（主走査方向）に短尺ヘッド（シャトルヘッド）を走査しながら記録を行うシャトル方式（シリアル方式）に比べて、記録媒体の紙幅に対応する長さを有する長尺ヘッド（ラインヘッド）を記録媒体の紙送り方向（副走査方向）に相対的に移動させながら記録を行うライン方式のインクジェット記録装置の方が高速記録に適している。
【０００５】
特許文献１〜３に記載のヘッドのように、複数の薄板部材を積層することによりヘッドが構成される場合にはヘッド製造時の加熱により反りが生じる恐れがある。特に、長尺ヘッドの場合には反りが大きく生じやすい。これは各薄板部材の線膨張係数に差があるためである。その結果、各ノズルの吐出特性（吐出量、吐出速度等）にばらつきが生じ、吐出安定性が損なわれ、画像品質が低下してしまうといった問題がある。
【０００６】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ヘッドの反りを低減し、高品質な画像記録を可能とする液体吐出ヘッド、画像形成装置、及び液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室及び前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の圧電素子を少なくとも有し、薄板状の複数の基板を積層して成る複数のヘッドユニットを備え、複数のヘッドユニットのうち少なくとも第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに同一基板側となるように、前記複数のヘッドユニットが前記複数の基板の積層方向に積層されていることを特徴とする液体吐出ヘッドを提供する。
【０００８】
本発明によれば、薄板状の複数の基板から成る少なくとも２つのヘッドユニット間の接合面が互いに同一基板側となるように複数のヘッドユニットを積層することによって、各ヘッドユニットの反りを低減することができ、高度に平坦性を保った液体吐出ヘッドを実現することができる。これにより、吐出特性にばらつきがなくなるので吐出安定性が向上し、高品質な画像記録が可能となる。
【０００９】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体吐出ヘッドであって、前記複数のヘッドユニット間の接合面がいずれも互いに同一基板側であることを特徴とする。
【００１０】
請求項２の態様によれば、より高度に平坦性を保った液体吐出ヘッドを実現することが可能になる。
【００１１】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の液体吐出ヘッドであって、前記複数のヘッドユニットの長手方向は記録媒体の紙幅に対応する長さであることを特徴とする。
【００１２】
請求項４に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、前記複数のヘッドユニットは、前記複数の圧力室が形成される第１の基板、前記複数の圧電素子が配置される第２の基板、及び前記複数の圧電素子の変位空間を確保する第３の基板を積層して構成されることを特徴とする。
【００１３】
請求項５に記載の発明は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドであって、異なる幅の第１及び第２の孔部が交互に貫通形成された第１の基板、及び前記第１の孔部に対応する位置に前記圧電素子が配置される第２の基板を積層して成る第１及び第２のヘッドユニットを備え、前記第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに前記第１の基板側となり、且つ、前記第１及び第２のヘッドユニットの一方の前記第１の孔部と前記第１及び第２のヘッドユニットの他方の前記第２の孔部より前記複数の圧力室がそれぞれ構成されるように、前記第１及び第２のヘッドユニットが積層されていることを特徴とする。
【００１４】
請求項５の態様によれば、各ヘッドユニットの厚さが薄くなり、より高度に平坦性を保った液体吐出ヘッドの実現が可能になる。また、圧力室のピッチに比べて第２の基板上の圧電素子のピッチは２倍となるため、圧電素子を構成する圧電体の面積を大きく確保することができるので所望の吐出力を容易に得ることができる。更に、振動による機械的なクロストークの影響を小さくすることもできる。また、各圧電素子の駆動配線ピッチが広くなり、配線難易度が低下する。
【００１５】
また前記目的を達成するために、請求項６に記載の発明は、請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置を提供する。
【００１６】
更に前記目的を達成するために、請求項７に記載の発明は、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室及び前記複数の圧力室にそれぞれ対応する複数の圧電素子を少なくとも有し、薄板状の複数の基板を積層して成る複数のヘッドユニットを備えた液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記複数のヘッドユニットをそれぞれ形成するヘッドユニット形成工程と、前記複数のヘッドユニットのうち少なくとも第１及び第２のヘッドユニットの接合面が互いに同一基板側となるようにして、前記複数のヘッドユニットを前記基板の積層方向に積層するヘッドユニット積層工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【００１７】
請求項７の態様は、ヘッドユニット形成工程において各ヘッドユニットに生じる反りを、ヘッドユニット積層工程によって低減することができる。
【００１８】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドユニット積層工程は、前記第１及び第２のヘッドユニットの接合面に対して長手方向中央部と端部で接着力の異なる接着剤を塗布することを特徴とする。
【００１９】
請求項８の態様によれば、ヘッドユニット間の剥離を防ぎ、且つ、接着力の強い高価な接着剤の量を抑えることができる。
【００２０】
請求項９に記載の発明は、請求項７又は請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法であって、前記ヘッドユニット積層工程は、前記複数のヘッドユニット間の接合面がいずれも互いに同一基板側となるように積層することを特徴とする。
【００２１】
請求項９の態様によれば、各ヘッドユニットの反りをより効果的に低減することができ、高度に平坦性を保った液体吐出ヘッドを実現することができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によれば、薄板状の複数の基板から成る少なくとも２つのヘッドユニット間の接合面が互いに同一基板側となるように複数のヘッドユニットを積層することによって、各ヘッドユニットの反りを低減することができ、高度に平坦性を保った液体吐出ヘッドを実現することができる。これにより、吐出特性にばらつきがなくなるので吐出安定性が向上し、高品質な画像記録が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施の形態について詳説する。まず、本発明に係る画像形成装置の一実施形態であるインクジェット記録装置の構成を説明する。次に、本発明に係る液体吐出ヘッド（第１〜第５の実施形態）の構成及びそれらの製造方法を説明する。
【００２４】
〔インクジェット記録装置〕
図１はインクジェット記録装置の全体概略図である。図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数のヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送する吸着ベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排紙する排紙部２６と、を備えている。
【００２５】
図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。
【００２６】
ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、該カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、該固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。
【００２７】
複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。
【００２８】
給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。
【００２９】
デカール処理後、カットされた記録紙１６は、吸着ベルト搬送部２２へと送られる。吸着ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。
【００３０】
ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、ベルト面には多数の吸引孔（不図示）が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。
【００３１】
ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（不図示）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。
【００３２】
縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。
【００３３】
なお、吸着ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。従って、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。
【００３４】
吸着ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。
【００３５】
印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。印字部１２を構成する各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインクの吐出口（ノズル）が1列に配列されたライン型ヘッドで構成されている。
【００３６】
記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応したヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。
【００３７】
このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。
【００３８】
なお、本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出するヘッドを追加する構成も可能である。
【００３９】
図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。
【００４０】
印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサ（ラインセンサ等）を含み、該イメージセンサによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。
【００４１】
本例の印字検出部２４は、少なくとも各ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサで構成される。このラインセンサは、赤（Ｒ）の色フィルタが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサ列と、緑（Ｇ）の色フィルタが設けられたＧセンサ列と、青（Ｂ）の色フィルタが設けられたＢセンサ列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサで構成されている。なお、ラインセンサに代えて、受光素子が二次元配列されて成るエリアセンサを用いることも可能である。
【００４２】
印字検出部２４は、各色のヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。
【００４３】
印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。
【００４４】
多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど、染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぐことで画像の耐候性がアップする効果がある。
【００４５】
後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。
【００４６】
このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（不図示）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。
【００４７】
また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。
【００４８】
尚、インク色ごとに設けられている各ヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０、１５０、２５０、３５０、４５０によってヘッドの各実施形態（第１〜第５の実施形態）を示すものとする。
【００４９】
〔液体吐出ヘッド〕
図２は第１の実施形態に係るヘッド５０の外観斜視図であり、図３はヘッド５０の側面断面図である。また、図４はヘッド５０を構成するヘッドユニット６０の分解斜視図である。
【００５０】
図１のヘッド１２Ｋ，１２Ｃ，１２Ｍ，１２Ｙに相当するヘッド５０は、既述のとおり、最大紙幅に対応する長さを有するフルライン型のヘッド（長尺ヘッド）として構成されている。尚、便宜的に、図２ではヘッド５０の長手方向の長さを短く表現している。
【００５１】
図２に示すように、ヘッド５０には２つのヘッドユニット６０（６０Ａ、６０Ｂ）が設けられている。ヘッドユニット６０は複数の薄板状基板（圧力室形成基板６２、振動板６４、及び圧電素子保護基板６６）の積層体として構成され、その内部には圧力室５２、共通流路５５、圧電素子５８等が設けられている（図３参照）。
【００５２】
ここで各基板（６２、６４、６６）の具体的な構成について図４を用いて説明する。
【００５３】
圧力室形成基板６２はＳＵＳ或いはセラミックス（例えば、アルミナ、ジルコニア、窒化アルミニウム、炭化珪素、チッ化珪素等）から成る薄板部材を複数積層して構成され、インク流路となる複数の溝部が設けられている。具体的には、圧力室形成基板６２の長手方向に沿って配列された複数の圧力室溝（圧力室）５２と、圧力室列に並んで配置される共通流路溝（共通流路）５５と、各圧力室溝と共通流路溝５５をそれぞれ連通する個別流路溝（個別流路）５３が設けられている。また、図１に示したインク貯蔵／装填部１４から共通流路５５にインクを供給するための供給溝（供給口）５６が設けられている。
【００５４】
振動板６４はＳＵＳ或いはセラミックスから成る薄板部材であり、圧力室形成基板６２側とは反対側の面（圧電素子配置面）６４Ａには長手方向に沿って複数の圧電素子５８が設けられている。各圧電素子５８はそれぞれ圧力室形成基板６２の圧力室溝５２に対応する位置に配置されている。圧電素子５８は薄膜状の圧電体の表面に個別電極（駆動電極）５７を備えた構造となっている。振動板６４がＳＵＳ（導電部材）から成る態様の場合には振動板６４が各圧電素子５８の共通電極を兼ねる。一方、振動板６４がセラミックス（非導電部材）から成る態様の場合には振動板６４の圧電素子配置面６４Ａに不図示の共通電極（層）が設けられる。
【００５５】
振動板６４の圧電素子配置面６４Ａには、各個別電極５７から振動板６４端部側に向かって各々延びるリード電極７２が配設されており、その振動板６４端部側には片面に配線が実装される片面ＦＰＣ（片面フレキシブルプリント配線板）７０が接続されている。各リード電極７２は片面ＦＰＣ７０に実装される各配線とそれぞれ電気接続部材７８を介して導通している（図３参照）。電気接続部材７８として半田や導電性接着剤等を用いる態様がある。
【００５６】
片面ＦＰＣ７０（７０Ａ、７０Ｂ）はヘッドユニット６０（６０Ａ、６０Ｂ）毎に設けられる（図２及び図３参照）。片面ＦＰＣ７０の他端は図示しない駆動回路に接続されており、この駆動回路から片面ＦＰＣ７０、リード電極７２を介して各個別電極５７に駆動信号が供給されるように構成されている。尚、振動板６４が共通電極を兼ねる態様の場合にはリード電極７２と振動板６４の間に不図示の絶縁層が設けられる。
【００５７】
圧電素子保護基板６６はＳＵＳ或いはセラミックスから成る薄板部材を積層して構成されており、振動板６４側（即ち、圧電素子５８側）に開口する溝部７４が振動板６４上の各圧電素子５８に対応する位置に設けられている。溝部７４のサイズは圧電素子５８よりも大きく、振動板６４に圧電素子保護基板６６を積層した状態において圧電素子５８の周辺部に空間が形成されるように構成されている（図２及び図３参照）。これにより、圧電素子５８の変位を拘束することなく、吐出効率の良いヘッド５０を実現することができる。また、圧電素子保護基板６６には片面ＦＰＣ７０を収納するための溝部７６が設けられている。
【００５８】
このような圧力室形成基板６２、振動板６４、及び圧電素子保護基板６６を積層して成るヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂは、図２及び図３に示すように、その接合面が互いに圧電素子保護基板６６側となるようにして積層されている。更に、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの圧力室５２の開口端面にはノズルプレート６８が接合されている。ノズルプレート６８には各圧力室５２に対応する位置にノズル５１が穿孔されている。
【００５９】
ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの積層方法は図２及び図３に示した例に限定されるものでない。図５に示したヘッド５０′の如く、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が互いに圧力室形成基板６２側となるように積層されていてもよい。つまり、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が互いに同一基板側となるように積層されていればよい。
【００６０】
第１の実施形態に係るヘッド５０の作用は次のとおりである。図３において、不図示の駆動回路より片面ＦＰＣ７０、電気接続部材７８、リード電極７２を介して圧電素子５８（個別電極５７）に駆動電圧が印加されると、圧電素子５８の変位によって圧力室５２の一壁面を構成する振動板６４は圧力室５２内の容積を減少させるように変位する。これにより、圧力室５２内のインクは加圧され、圧力室５２に連通するノズル５１からインク滴として吐出される。インク吐出後、共通流路５５から個別流路５３を介して圧力室５２に再びインクが供給され、次のインク吐出動作に備えられる。
【００６１】
ヘッド５０のインク吐出方向はヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの積層方向に対して垂直な方向（図３の水平方向）となっている。換言すれば、インク吐出方向に対して垂直な方向が圧電素子５８の膜厚方向となるように各圧電素子５８が設けられており、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの積層方向（圧電素子５８の膜厚方向）のヘッドサイズが小さくなる。この積層方向（膜厚方向）は既述した紙搬送方向（副走査方向）に相当する。このような構成はノズル５１等の高密度化に適するとともに、着弾位置のばらつきを防止することができ吐出安定性を高めることができる。
【００６２】
図６の（ａ）はノズルプレート６８側から見たときのヘッドユニット６０の側面図、（ｂ）は（ａ）に示したヘッドユニット６０の反り状態を表した模式図である。尚、ヘッドユニット６０の向きを分かり易くするために、圧電素子５８を便宜的に塗りつぶしている。
【００６３】
図６の（ａ）のヘッドユニット６０を形成時の加熱によって、図６の（ｂ）に示すように、長手方向中央部が上向きに撓むようにしてヘッドユニット６０に反りが生じる場合がある。特に、本実施形態の如く長尺ヘッドの場合には、その反りは大きくなる傾向にある。尚、ヘッドユニット６０を構成する各基板（６２、６４、６６）の組み合わせ等によって、ヘッドユニット６０が反る方向が逆向きとなる場合もあるが、説明の便宜上、図６の（ｂ）に示した方向に反るものとして説明を行う。
【００６４】
図７の（ａ）はヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が圧電素子保護基板６６側である場合の側面図、（ｂ）は（ａ）に示したヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの反り状態を表した模式図である。また、図８の（ａ）はヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が圧力室形成基板６２側である場合の側面図、（ｂ）は（ａ）に示したヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの反り状態を表した模式図である。図７は図２のヘッド５０に相当し、図８は図５のヘッド５０′に相当するものである。
【００６５】
図７ではヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの中央部が互いに近づく方向（即ち、端部が互いに離れる方向）に反りが生じているが、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が互いに圧電素子保護基板６６側となるように積層することにより、これらの反りはいずれもキャンセルされる方向（図７の（ｂ）の矢印方向）に作用する。また、図８ではヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの端部が互いに近づく方向（即ち、中央部が互いに離れる方向）に反りが生じているが、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が互いに圧力室形成基板６２側となるように積層することにより、これらの反りはいずれもキャンセルされる方向（図８の（ｂ）の矢印方向）に作用する。従って、ヘッド全体の反りが軽減され、高度に平坦性を保った長尺ヘッドを容易に実現することが可能となる。
【００６６】
次に、第１の実施形態に係るヘッド５０の製造方法（第１の製造方法）について説明する。
【００６７】
まず、ヘッドユニット形成工程として、圧力室形成基板６２、振動板６４、及び圧電素子保護基板６６をそれぞれ形成し、これらの基板（６２、６４、６６）及び片面ＦＰＣ７０を図４に示した積層順序で接着、加熱することにより、ヘッドユニット６０（６０Ａ、６０Ｂ）を形成する。尚、既述のとおり、片面ＦＰＣ７０に実装される配線とリード電極７２は半田、導電性接着剤等から成る電気接続部材７８によって電気的に接続する（図３参照）。
【００６８】
圧力室形成基板６２及び圧電素子保護基板６６は、ＳＵＳ等のエッチング基板の積層、若しくは、セラミックス（アルミナ、ジルコニア等）の積層により形成することができる。
【００６９】
振動板６４をＳＵＳで構成する態様の場合には、スパッタリング或いはスクリーン印刷により、振動板６４上に圧力室５２毎に圧電体（チタン酸ジルコン酸鉛やチタン酸バリウム等）を個別形成し、更に、各圧電体の表面に個別電極５７（金、銀、銅、ニッケル、プラチナ等）をスクリーン印刷等により形成する。また、振動板６４の圧電素子配置面６４Ａに、片面ＦＰＣ７０に実装される各配線と各個別電極５７をそれぞれ導通させるためのリード電極７２も個別電極５７と同様にして形成する。尚、既述したとおり、リード電極７２と振動板６４の間には不図示の絶縁層をリード電極７２の形成前に予め形成しておく。このようにして、ＳＵＳから成る振動板６４上に各圧力室５２に対応する圧電素子５８を形成することができる。
【００７０】
振動板６４をセラミックス（アルミナ、ジルコニア等）で構成する態様の場合には、振動板６４をＳＵＳで構成する態様における圧電体形成前に、振動板６４の表面（圧電素子配置面６４Ａ）に不図示の共通電極を形成しておく。他の工程は、ＳＵＳの場合と同様である。
【００７１】
次に、ヘッドユニット積層工程として、図２に示したように、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面が互いに圧電素子保護基板６６側となるようにして、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面に熱硬化性樹脂から成る接着剤（エポキシ系接着剤、ポリイミド接着剤等）を塗布した後、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂを積層する。尚、図５のヘッド５０′の場合には、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの圧力室形成基板６２側が互いに対向するように積層する。
【００７２】
次に、ヘッドユニット加熱工程として、前記接着剤を介して積層された状態のヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂに対して加熱を行い、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂを固着状態にする。
【００７３】
最後に、ノズルプレート接合工程として、各圧力室５２と各ノズル５１の位置合わせを行いながら、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの各圧力室５２の開口端面にノズルプレート６８を接合する。このようにして第１の実施形態に係るヘッド５０を製造することができる。
【００７４】
ヘッドユニット積層工程において、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面の中央部と端部に対して接着力の異なる接着剤を用いることが好ましい。具体的には、図７の（ｂ）のようにヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの中央部が互いに近づくように（即ち、端部が互いに離れるように）反りが生じている場合には、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの端部の開口現象を防止するために、中央部に比べて端部に接着力の強い接着剤を用いる。また、図８の（ｂ）のようにヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの端部が互いに近づくように（即ち、中央部が互いに離れるように）反りが生じている場合には、端部に比べて中央部に接着力の強い接着剤を用いる。接着力の強い接着剤としてポリイミド接着剤を用い、接着力の弱い接着剤としてエポキシ系接着剤を用いる態様がある。
【００７５】
このようにヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの接合面に対して、それらの反り状態に応じて接着力の異なる異種接着剤を使い分けることで、反りに伴う開口現象を確実に防止することができ、より高度な平坦性を保った長尺ヘッドの実現が可能となる。また、高価な強度の高い接着剤（ポリイミド接着剤）の使用量を抑えることもでき、コスト面でも有利となる。
【００７６】
次に、第２の実施形態に係るヘッド１５０の構成について説明する。図９はヘッド１５０の分解斜視図であり、図１０はヘッド１５０の側面断面図である。また、図１１はヘッド１５０を構成するヘッドユニット１６０の分解斜視図である。尚、図９〜１１中、図２〜４と共通又は類似する部分には同一の番号を付して説明を省略する。
【００７７】
第２の実施形態は、第１の実施形態の片面ＦＰＣ７０に代えて、両面に配線が実装される両面ＦＰＣ（両面フレキシブルプリント配線板）８０を用いる態様である。図９に示すように、ヘッド１５０は２つのヘッドユニット１６０（１６０Ａ、１６０Ｂ）と、１つの両面ＦＰＣ８０と、ノズルプレート６８とから主に構成される。
【００７８】
図１１に示すように、ヘッドユニット１６０は、圧力室形成基板１６２、振動板１６４、圧電素子保護基板１６６を積層して構成される。圧力室形成基板１６２、振動板１６４は、それぞれ図４の圧力室形成基板６２、振動板６４と同様の構成である。
【００７９】
圧電素子保護基板１６６には両面ＦＰＣ８０に相当する位置に両面を貫通する大きな開口８２が設けられている。図１０に示すように、両面ＦＰＣ８０は開口８２に収納されるように配置され、両面ＦＰＣ８０の両面に実装される各配線はそれぞれ電気接続部材７８を介してヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂのリード電極７２に電気的に接続される。
【００８０】
第２の実施形態によれば、ＦＰＣ（フレキシブルプリント配線板）数が第１の実施形態に比べて少なく、コストダウンにつながる。また、ヘッド構成が簡略化され信頼性が向上する。
【００８１】
第２の実施形態に係るヘッド１５０の製造方法（第２の製造方法）は次のとおりである。まず、圧力室形成基板１６２、振動板１６４、及び圧電素子保護基板１６６から成る２つのヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂを形成し、所定位置に接着剤や電気接続部材７８を付与した後、両面ＦＰＣ８０を挟み込む形でヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂの圧電素子保護基板１６６側が互いに対向するように積層し、これらを一括で加熱し圧着する。他の工程は第１の実施形態と同様である。
【００８２】
第２の実施形態に係るヘッド１５０は、第１の実施形態と同様に、上下対称の構造で加熱時の反りを互いに打ち消すことができ、高度に平坦性を保った長尺ヘッドを容易に実現することができる。
【００８３】
次に、第３の実施形態に係るヘッド２５０の構成について説明する。図１２はヘッド２５０の外観斜視図であり、図１３はヘッド２５０の側面断面図である。尚、図１２及び図１３中、図２、３、９、１０と共通又は類似する部分には同一番号を付して説明を省略する。
【００８４】
第３の実施形態では、４つのヘッドユニット１６０（１６０Ａ〜１６０Ｄ）を積層して構成される態様であり、第２の実施形態と同様に、両面ＦＰＣ８０が用いられる。ヘッドユニット１６０の構成は図１１に示したとおりである。
【００８５】
各ヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄ間の接合面はいずれも互いに同一基板側となるように積層される。つまり、各ヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄは交互に面の向きを反転させながら積層されている。具体的には、ヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂ間、及び、ヘッドユニット１６０Ｃ、１６０Ｄ間はそれぞれ圧電素子保護基板１６６側が接合面となっており、ヘッドユニット１６０Ｂ、１６０Ｃ間は圧力室形成基板１６２側が接合面となっている。尚、ヘッドユニット１６０の積層数は本例に限定されるものではなく、より多くのヘッドユニット１６０を積層することが可能である。ヘッドユニット１６０に代えて、第１の実施形態に係るヘッド５０を構成するヘッドユニット６０を用いてもよい。また、ヘッドユニット６０、１６０を組み合わせて構成するようにしてもよい。
【００８６】
ヘッド２５０には２つの両面ＦＰＣ８０（８０Ａ、８０Ｂ）が設けられる。図１３に示すように、両面ＦＰＣ８０Ａはヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの各リード電極７２に導通し（即ち、各個別電極５７に導通し）、また、両面ＦＰＣ８０Ｂはヘッドユニット６０Ｃ、６０Ｄの各リード電極７２に導通している。
【００８７】
第３の実施形態によれば、ヘッドユニットの積層数を増やすことにより、ノズル５１、圧力室５２、及び圧電素子５８等の高密度実装が可能となる。また、後述する第４の実施形態に比べて、全てのヘッドユニット間の接合面はいずれも互いに同一基板側となっているので、より高度に平坦性を保った長尺ヘッドの実現が可能となる。
【００８８】
次に、第３の実施形態に係るヘッド２５０の製造方法（第３の製造方法）について説明する。図１４はヘッド２５０の製造方法を示した説明図であり、図１２のノズルプレート６８側から見たときの各ヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄを表している。
【００８９】
まず、４つのヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄをそれぞれ形成する。ヘッドユニットの形成方法は、既述した第１、第２の製造方法のヘッドユニット形成工程と共通するため説明を省略する。
【００９０】
次に、図１４の（ａ）に示すように、各ヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄを２つずつのペア（積層対）に分け、各積層対を構成するヘッドユニット同士をそれらの接合面が同一基板側となるようにして熱硬化性樹脂等の接着剤（ポリイミド接着剤、エポキシ系接着剤等）を用いて接着、加熱を行う。具体的には、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂを積層対８４Ａとし、また、ヘッドユニット６０Ｃ、６０Ｄを積層対８４Ｂとして、各積層対８４Ａ、８４Ｂを構成するヘッドユニット同士の接合面が圧電素子保護基板１６６側となるようにして接着、加熱する。尚、圧力室形成基板６２側が接合面となるようにしてもよい。
【００９１】
更に、図１４の（ｂ）に示すように、積層対８４Ａ、８４Ｂ同士の接合面が同一基板側（即ち、圧力室形成基板１６２側）となるようにして熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて接着、加熱を行う。尚、３つ以上の積層対が存在するような場合には、一括して全ての積層対を接着せず、第１及び第２の積層対を接着、加熱してから、固着状態の第１及び第２の積層対に対して第３以降の各積層対を接着、加熱する工程を順次繰り返し、全ての積層対を接着する。
【００９２】
このように積層して接合された状態のヘッドユニット１６０Ａ〜１６０Ｄ（図１４の（ｃ）参照）に対して、図１２に示したように、各圧力室５２の開口端面にノズルプレート６８を接合することにより、第３の実施形態に係るヘッド２５０を製造することができる。
【００９３】
第３の製造方法によれば、複数のヘッドユニットを一括して接着、加熱せず、ヘッドユニットの積層対を形成してから各積層対を順次接着、加熱するため、ヘッドユニットの位置ずれを防止することができる。
【００９４】
次に、第４の実施形態に係るヘッド３５０の構成について説明する。図１５はヘッド３５０の側面断面図である。尚、図１５中、図３、１０、１３と共通又は類似する部分には同一番号を付して説明を省略する。
【００９５】
第４の実施形態では、２つのヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂと２つの１６０Ａ、１６０Ｂを組み合わせた態様となっており、片面ＦＰＣ７０と両面ＦＰＣ８０が用いられている。
【００９６】
図１５に示すように、ヘッド２５０の最下層と最上層はヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂで構成され、２つの中間層はヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂで構成されている。
【００９７】
ヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂの接合面は互いに圧電素子保護基板１６６側となるように積層され、ノズルプレート６８側とは反対側には両面ＦＰＣ８０が接続されている。
【００９８】
一方、ヘッドユニット６０Ａ、１６０Ａは異なる基板側が接合面となっている。即ち、ヘッドユニット６０Ａの圧電素子保護基板６６とヘッドユニット１６０Ａの圧力室形成基板１６２が接合されている。ヘッドユニット６０Ｂ、１６０Ｂについても同様である。
【００９９】
ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂの圧電素子保護基板６６とヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂの圧電素子保護基板１６６の構造を共通化する態様もある。図１６に示すヘッド３５０′は、ヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂを構成する圧電素子保護基板１６６をヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂにも適用した態様である。このように圧電素子保護基板を共通化することにより、ヘッドの製造工程を簡略化することができ、コストダウンが可能となる。
【０１００】
第４の実施形態によれば、複数のヘッドユニットは上下対称となるように積層され、その中間層となるヘッドユニット間の接合面が互いに同一基板側となっており、全てのヘッドユニットを同じ方向に向けて積層する場合に比べて平坦性を保った長尺ヘッドを実現することができる。
【０１０１】
次に、第４の実施形態に係るヘッド３５０の製造方法（第４の製造方法）について説明する。図１７はヘッド３５０の製造方法を示した説明図であり、ノズルプレート６８側から見たときのヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂ、１６０Ａ、１６０Ｂの側面図を表している。
【０１０２】
まず、４つのヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂ、１６０Ａ、１６０Ｂをそれぞれ形成する。ヘッドユニットの形成方法は、既述した第１、第２の製造方法のヘッドユニット形成工程と共通するため説明を省略する。
【０１０３】
次に、図１７の（ａ）に示すように、ヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂの接合面が互いに圧電素子保護基板１６６側となるように熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて接着、加熱する。
【０１０４】
次に、図１７の（ｂ）に示すように、固着状態のヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂが中間層となるようにその外側からそれぞれヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂを熱硬化性樹脂等の接着剤を用いて接着、加熱する。このとき、ヘッドユニット６０Ａ、１６０Ａは異なる基板側が接合面となるように、即ち、ヘッドユニット６０Ａの圧電素子保護基板６６側とヘッドユニット１６０Ａの圧力室形成基板１６２側が対向するように積層する。ヘッドユニット６０Ｂ、１６０Ｂについても同様である。つまり、上下対称となるように各ヘッドユニットを積層する。尚、更に多くのヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂをヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂの外側に積層する場合には、ヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂをそれぞれ１つずつ接着、加熱する工程を順次繰り返しながら行う。
【０１０５】
このようにして、図１７の（ｃ）に示すように、上下対称のヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂ、１６０Ａ、１６０Ｂを形成することができ、更に、図１５に示したように、各圧力室５２の開口端面にノズルプレート６８を接合することにより、第４の実施形態に係るヘッド３５０を製造することができる。
【０１０６】
第４の製造方法によれば、接合面が互いに同一基板側となるように積層されたヘッドユニット１６０Ａ、１６０Ｂを中間層として、その外側にヘッドユニット６０Ａ、６０Ｂを接着、加熱する工程を繰り返しながら積層するので、積層時の反りと位置ずれを同時に軽減することができる。
【０１０７】
次に、第５の実施形態に係るヘッド４５０の構成について説明する。図１８はノズルプレート側から見たときのヘッド４５０の一部側面図である。尚、説明の便宜上、紙面手前側に配置されるノズルプレート６８の一部のみを表示している。
【０１０８】
第５の実施形態では、ヘッド４５０は２つの薄板状基板（圧力室形成基板２６２、振動板２６４）から成るヘッドユニット２６０（２６０Ａ、２６０Ｂ）を積層して構成される態様である。既述した第１〜第４の実施形態と同様に、ヘッドユニット２６０Ａ、２６０Ｂの接合面は互いに同一基板側（即ち、圧力室形成基板２６２側）である。
【０１０９】
圧力室形成基板２６２は圧力室５２の高さの１／２に相当する厚さとなっており、その長手方向（図１８の水平方向）に沿って幅広の第１の孔部８４と幅狭の第２の孔部８６が交互に繰り返されるように貫通形成されている。一方のヘッドユニットの第１の孔部８４と他方のヘッドユニットの第２の孔部８６の中心が略重なるようにして、ヘッドユニット２６０Ａ、２６０Ｂは積層されており、このように重なるように構成された第１及び第２の孔部８４、８６によって圧力室５２が形成されている。
【０１１０】
振動板２６４は圧力室形成基板２６２の片面に積層され、第１の孔部８４に対応する位置には薄膜状の圧電素子５８が設けられている。圧電素子５８の構成は既述した第１の実施形態等と同様であるので説明を省略する。
【０１１１】
第５の実施形態によれば、各圧力室５２を２つのヘッドユニット２６０Ａ、２６０Ｂの各穴部８４、８６を重ねるようにして構成したことにより、各ヘッドユニット２６０Ａ、２６０Ｂの厚さを既述した各実施形態のヘッドユニット（６０、１６０）に比べて薄くすることができ、より対称性をもったヘッド構造で高度に平坦性を保った長尺ヘッドを実現することができる。
【０１１２】
また、圧力室５２間のピッチに比べて各振動板２６４上の圧電素子５８間のピッチは２倍となり、圧電素子５８を構成する圧電体の面積を大きく確保することができるので所望の吐出力を容易に得ることができる。更に、振動による機械的なクロストークの影響を小さくすることもできる。また、各圧電素子５８の駆動配線（図３及び図４のリード電極７２に相当）間のピッチが広くなり、配線難易度が低下する。
【０１１３】
第５の実施形態の実施形態に係るヘッド４５０の製造方法（第５の製造方法）については、第１及び第２の孔部８４、８６を有する圧力室形成基板２６２、及び第１の孔部８４に対応する位置に圧電素子５８が配置される振動板２６４を積層して成るヘッドユニット２６０Ａ、２６０Ｂ間の接合面が互いに圧力室形成基板２６２側であり、且つ、一方のヘッドユニットの第１の孔部８４と他方のヘッドユニットの第２の孔部の中心が略重なるようにして積層することが必要となる。他については既述した第１、第２の製造方法と同様であるので説明を省略する。
【０１１４】
尚、既述した各実施形態に係るヘッドはいずれも最大紙幅に対応する長さを有するフルライン型のヘッド（長尺ヘッド）である態様を例示したが本発明の実施に際してはこれに限定されず、本発明は紙幅方向（副走査方向）に走査しながら記録を行うシャトル型のヘッド（短尺ヘッド）に対しても適用することが可能である。
【０１１５】
以上、本発明の液体吐出ヘッド、画像形成装置及び液体吐出ヘッドの製造方法について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
【図面の簡単な説明】
【０１１６】
【図１】インクジェット記録装置の全体概略図
【図２】第１の実施形態に係るヘッドの外観斜視図
【図３】第１の実施形態に係るヘッドの側面断面図
【図４】第１の実施形態に係るヘッドを構成するヘッドユニットの分解斜視図
【図５】第１の実施形態に係るヘッドの他の構成例を示す外観斜視図
【図６】ヘッドユニットの側面図及びその反り状態を表した模式図
【図７】ヘッドユニットの側面図及びその反り状態を表した模式図
【図８】ヘッドユニットの側面図及びその反り状態を表した模式図
【図９】第２の実施形態に係るヘッドの分解斜視図
【図１０】第２の実施形態に係るヘッドの側面断面図
【図１１】第２の実施形態に係るヘッドを構成するヘッドユニットの分解斜視図
【図１２】第３の実施形態に係るヘッドの外観斜視図
【図１３】第３の実施形態に係るヘッドの側面断面図
【図１４】第３の実施形態に係るヘッドの製造方法を示した説明図
【図１５】第４の実施形態に係るヘッドの側面断面図
【図１６】第４の実施形態の変形例に係るヘッドの側面断面図
【図１７】第４の実施形態に係るヘッドの製造方法を示した説明図
【図１８】第５の実施形態に係るヘッドの一部側面図
【符号の説明】
【０１１７】
１０…インクジェット記録装置、１６…記録紙、５０…ヘッド、５１…ノズル、５２…圧力室、５３…個別流路、５５…共通流路、５７…個別電極、５８…圧電素子、６２、１６２、２６２…圧力室形成基板、６４、１６４、２６４…振動板、６６、１６６…圧電素子保護基板、６８…ノズルプレート、７０…片面ＦＰＣ、７２…リード電極、７４…溝部、７６…溝部、７８…電気接続部材、８０…両面ＦＰＣ、８２…開口
【図１】
2007136963.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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