(57)【要約】【課題】簡単な構造で加熱や加圧を不要として熱ストレスを与えず生産性を向上でき、小型化されて圧力に耐えうる低コストの洗浄装置を提供する。【解決手段】被洗浄物１を２重槽１０により洗浄する洗浄装置であって、非金属材により凹状に形成されて洗浄液２を貯留して被洗浄物１を浸漬させて洗浄する内槽１２と、金属材により凹状に形成されて内部に内槽１２が隙間領域１０ａを空けて固定される２重槽１０構造を有して当該隙間領域１０ａに非腐食性で洗浄液２に比重が類似して内槽１２に加わる負荷を吸収する吸収液４を貯留した外槽１４と、内槽１２と隙間領域１０ａとに各々一対に配置されて洗浄液２及び吸収液４を貯留させて液面の水位が同等になるように供給する供給手段２０と、内槽１２と隙間領域１０ａとの底部に各々一対に設けられて洗浄液２及び吸収液４の水位を同等に維持しながら排出させる排出手段３０とを備える。【選択図】      図１
2007287884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄物を２重槽構造の洗浄槽により洗浄する洗浄装置において、
非金属材により凹状に形成されて洗浄液を貯留して前記被洗浄物を浸漬させて洗浄する内槽と、
金属材により凹状に形成されて内部に前記内槽が隙間領域を空けて固定される２重槽構造を有して当該隙間領域に非腐食性で前記洗浄液に比重が類似して前記内槽に加わる負荷を吸収する吸収液を貯留した外槽と、
前記内槽と前記外槽の隙間領域とに各々一対に配置されて前記洗浄液及び吸収液を貯留させて液面の水位が同等になるように供給する供給手段と、
前記内槽と前記外槽の隙間領域との底部に各々一対に設けられて貯留させた前記洗浄液及び吸収液の水位を同等に維持しながら両液を排出させる排出手段とを備えたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
請求項１に記載の洗浄装置において、
前記供給手段は、前記水位が同等になるように前記内槽と前記外槽の隙間領域とに水位調整手段を各々備えて供給量を自動調節可能に設けたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項３】
請求項２に記載の洗浄装置において、
前記水位調整手段は、前記排出手段に更に接続されて前記水位を同等に維持しながら排出する排出量を自動調節可能に設けたことを特徴とする洗浄装置。
【請求項４】
請求項１乃至３いずれかに記載の洗浄装置において、
前記内槽の排出手段は、前記内槽から排出される前記洗浄液をポンプによりフィルタを介して前記内槽の供給手段に再び循環させる循環手段を更に備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項５】
請求項１乃至４いずれかに記載の洗浄装置において、
前記供給手段及び排出手段は、前記洗浄液と吸収液との水位差が、前記内槽に貯留した液深の１０％以内を前記同等として維持するように調節することを特徴とする洗浄装置。
【請求項６】
請求項１乃至５いずれかに記載の洗浄装置において、
前記洗浄液は酸性またはアルカリ性の液体であり、前記吸収液は前記酸性またはアルカリ性の洗浄液と比重が類似する水であることを特徴とする洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置に係り、より詳細には、例えば、液晶ガラス、半導体ウェーハ、またはそれらのマスクガラスなどの被洗浄物を、２重槽構造の洗浄槽により洗浄する洗浄装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、洗浄装置は、例えば、液晶ガラス、半導体ウェーハ、またはそれらのマスクガラスなどの被洗浄物を洗浄する際、この被洗浄物を単一槽の洗浄槽に貯留した酸性またはアルカリ性などの洗浄液に浸漬させて洗浄しており、これに用いる洗浄槽の材質に酸またはアルカリの洗浄液で腐食されない非金属製のものを用いた構造が多く使われている。
そして近年、液晶ガラス、半導体ウェーハ、またはそれらのマスクガラスなどの被洗浄物は大型化しており、そのために洗浄機器及び被洗浄物の重量が増し、その重量に耐えられるように洗浄槽が大型化している。また、この非金属製の材質を用いて大型で且つ信頼性の高い洗浄槽は、大型部材を入手することが困難、または溶接の難しさなどにより製作費が高価となる欠点があった。
そこで、従来の洗浄装置の一実施形態として、２重槽の構造を有し、超臨界流体を内槽の内側と外側とに各々導入して内外の圧力を一定にすることで、洗浄槽に負荷を与えず小型化して洗浄する装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平１１−１５６３１１号公報
【０００３】
前述した構造による洗浄装置の実施形態を、図４を参照して説明する。図４は、このような２重槽構造を有する従来の洗浄装置の一実施形態を示す構成図である。
この従来の洗浄装置の一実施形態は、図４に示すように、２重槽６０の構造に形成した金属製からなる外槽６２と、非金属材料からなる内槽６４とを備えており、７９は濃縮相ガスである洗浄液を貯蔵するガスボンベ、７６は洗浄液を加圧する加圧ポンプ、７５は洗浄液を加熱する加熱器、８５は洗浄後の洗浄液から汚染物質を分離する分離槽、８７は分離槽で汚れの除去された洗浄液を液化する液化装置、８８は液化した洗浄液を貯蔵する液溜器、７４、７８、８４、８９は仕切弁、８６は減圧弁、７３、８３は逆止弁であって、超臨界流体の洗浄液を循環させて洗浄できるように形成されている。尚、ガスボンベ７９、加圧ポンプ７６、加熱器７５は外槽６２と内槽６４とに超臨界流体である洗浄液を供給する超臨界流体供給手段を、逆止弁７３、８３は洗浄液が内槽６４に逆流することを防止する防止手段を各々構成している。
【０００４】
ここで、非金属製の内槽６４は、外槽６２の内部において図示しない支持手段により固定されている。外槽６２と内槽６４とは、外槽６２の内壁と内槽６４の外壁との間に隙間（以下、隙間領域６０ａと記す）を有した状態で配置されている。そして、内槽６４は、内槽用蓋６３を閉とすることによりシールドされ、隙間領域６０ａとの間の流体の出入りが防止されるようになっている。また、内槽６４には、流入用配管７１、流出用配管８２が接続されており、それらの配管７１、８２を通して超臨界流体である洗浄液が流出入される。一方、金属製の外槽６２は、外槽用蓋６５を閉とすることによりシールドされ、流入用配管７２、流出用配管８１が接続されており、その配管７２、８１を通して隙間領域６０ａに超臨界流体である洗浄液が流出入される。
【０００５】
このような構成からなる従来の洗浄装置の一実施形態は、まず、洗浄しようとする液晶・半導体装置等の被洗浄物１を非金属製の内槽６４に搬入し、搬入終了後に２重槽６０の内部を内槽用蓋６３と外槽用蓋６５とを閉めることで密閉する。次に、仕切弁７８を開放して、ガスボンベ７９から洗浄溶媒（二酸化炭素）を加圧ポンプ７６により加圧するとともに加熱器７５で昇温させて超臨界状態（３１．３℃以上７２．９ａｔｍ以上の流体）の洗浄液とする。
この超臨界流体である洗浄液を、仕切弁７４を介して、内槽６４内に導入すると共に外槽６２内の隙間領域６０ａに導入する。これにより、内槽６４と隙間領域６０ａとの内部に流入した洗浄液（超臨界流体）の圧力は略同一（両者ともほぼ１００ａｔｍ）となる。この状態で所定時間置くことにより、被洗浄物１は洗浄液により洗浄される。
【０００６】
洗浄終了後、仕切弁８４を開けて、洗浄により汚染された洗浄液を内槽６４内から流出用配管８２より逆止弁８３を介して分離槽８５に導く。同時に隙間領域６０ａ内の洗浄液も流出用配管８１より分離槽８５に導く。このように、内槽６４と隙間領域６０ａとから同時に洗浄液を分離槽８５に移すため、内槽６４の内外圧力は常に略同圧とすることができる。続いて、分離槽８５に移送された汚れを含んだ洗浄液を、減圧弁８６にて規定圧に減圧し、汚れを分離槽８５内に残して気化したガスのみを液化装置８７に送る。液化装置８７は、送られてきた気体ガスを液化して液溜器８８に貯蔵する。液溜器８８に貯蔵された液化ガスは、次回以降の洗浄の際に仕切弁８９を介して加圧ポンプ７６に供給される。
【０００７】
このように従来の洗浄装置は、２重槽６０の構造を有し、非金属製の内槽６４の内外圧力を略同一にして相殺するため、この内槽６４を強度的に大きくする必要がなく、装置全体の小型化、低コスト化を実現するとともに、洗浄液の圧力を最終的に金属製の外槽６２で支えることで、内槽６４が非金属製であっても危険がないように形成していた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら、従来の洗浄装置では、超臨界流体である洗浄液を扱うことで、内槽６４及び外槽６２内を内槽用蓋６３と外槽用蓋６５とにより封止して密閉構造にする必要があり、且つ、洗浄液の加圧に係る種々の装置（加圧ポンプ７６、減圧弁８６、逆止弁７３、８３）が必要であるため、全体的な構造が複雑で大型化すると同時に、装置の製作費も高価になってしまうという不具合があった。
また、従来の洗浄装置では、超臨界状態とした高温の洗浄液を用いるため、加熱する加熱装置（加熱器７５）が必要でコストがかかり装置が全体的に大型化するとともに、高温の洗浄液により内槽６４及び外槽６２が熱ストレスを受けてしまうという不具合がある。
さらに、従来の洗浄装置では、前述した洗浄液を加熱し、内槽６４及び外槽６２を密閉して加圧することで始めて洗浄できるため、洗浄終了から新たな被洗浄物の洗浄を開始するまで時間がかかるとともに、この加熱や加圧を良好に行わないと洗浄できず生産性が低下するという不具合がある。
【０００９】
本発明は上記の点に鑑みなされたもので、その目的は、簡単な構造で加熱や加圧を不要として熱ストレスを与えず生産性を向上でき、小型化されて圧力に耐えうる低コストの洗浄装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明は上述した課題を解決するためになされたもので、被洗浄物を２重槽構造の洗浄槽により洗浄する洗浄装置であって、非金属材により凹状に形成されて洗浄液を貯留して被洗浄物を浸漬させて洗浄する内槽と、金属材により凹状に形成されて内部に内槽が隙間領域を空けて固定される２重槽構造を有して当該隙間領域に非腐食性で洗浄液に比重が類似して内槽に加わる負荷を吸収する吸収液を貯留した外槽と、内槽と外槽の隙間領域とに各々一対に配置されて洗浄液及び吸収液を貯留させて液面の水位が同等になるように供給する供給手段と、内槽と外槽の隙間領域との底部に各々一対に設けられて貯留させた洗浄液及び吸収液の水位を同等に維持しながら両液を排出させる排出手段とを備える。
【００１１】
ここで、供給手段は、水位が同等になるように内槽と外槽の隙間領域とに水位調整手段を各々備えて供給量を自動調節可能に設けることが好ましい。また、水位調整手段は、排出手段に更に接続されて水位を同等に維持しながら排出する排出量を自動調節可能に設けることが好ましい。また、内槽の排出手段は、内槽から排出される洗浄液をポンプによりフィルタを介して内槽の供給手段に再び循環させる循環手段を更に備えることが好ましい。また、供給手段及び排出手段は、洗浄液と吸収液との水位差が、内槽に貯留した液深の１０％以内を同等として維持するように調節することが好ましい。また、洗浄液は酸性またはアルカリ性の液体であり、吸収液は酸性またはアルカリ性の洗浄液と比重が類似する水であることが好ましい。
【発明の効果】
【００１２】
以上説明したように、本発明による洗浄装置によれば、２重槽構造の内槽と外槽とに超臨界流体を用いず洗浄液及び吸収液を各々貯留して水位を同等に合わせる簡単な構造により内槽に加わる圧力を相殺するため、圧力に耐える強大な槽構造を必要とせず小型化できると同時に、槽内を密閉して加圧する複雑な密閉構造や加圧装置が不要になり、大幅な低コスト化及び更なる小型化を図ることが可能となる。
また、本発明による洗浄装置によれば、前述したように高温の超臨界流体を用いないで洗浄する構造のため、洗浄液を加熱する装置が全く不要になり、装置全体の小型化及び低コスト化を図れるとともに、加熱が不要なことから内槽及び外槽が熱ストレスを受けることがなくなる。
さらに、本発明による洗浄装置によれば、前述したように洗浄液の加熱や加圧の必要がないため、この加熱や加圧する不要な工程がなくなり、洗浄終了から新たな被洗浄物を洗浄するまで短時間で容易に処理でき、生産性を向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
次に、添付図面を参照して本発明による洗浄装置の実施の形態を詳細に説明する。図１は、本発明による洗浄装置の第１の実施形態を示す構成図である。また、図２は、自動的に水位調整する水位調整手段４２、４４を備えた本発明による洗浄装置の第２の実施形態を示す構成図である。また、図３は、洗浄液の循環手段５０を備えた本発明による洗浄装置の第３の実施形態を示す構成図である。
【実施例１】
【００１４】
図１に示すように、本発明による洗浄装置の第１の実施形態は、被洗浄物１を２重槽１０構造の洗浄槽により洗浄する洗浄装置であって、非金属材により凹状に形成されて洗浄液２を貯留して被洗浄物１を浸漬させて洗浄する内槽１２と、金属材により凹状に形成されて内部に内槽１２が隙間領域１０ａを空けて固定される２重槽１０構造を有して当該隙間領域６０ａに非腐食性で洗浄液２に比重が類似して内槽１２に加わる負荷を吸収する吸収液４を貯留した外槽１４と、この内槽１２と外槽１４の隙間領域１０ａとに各々一対に配置されて洗浄液２及び吸収液４を貯留させて液面の水位が同等になるように供給する供給手段２０と、内槽１２と外槽１４の隙間領域１０ａとの底部に各々一対に設けられて貯留させた洗浄液２及び吸収液４の水位を同等に維持しながら両液を排出させる排出手段３０とを備えている。即ち、第１の実施形態は、図４に示した従来技術の超臨界流体を使用しない構造であり、加圧や加熱が不要な洗浄液２及び吸収液４を用い、同時に２重槽１０構造の内槽１２と外槽１４とを密閉や加圧せず凹状で上部開放型の簡単な槽構造に形成することで、装置全体のコストを大幅に削減するものである。尚、洗浄液２としては酸性またはアルカリ性の液体を使用し、吸収液４としては酸性またはアルカリ性の洗浄液２と比重が類似する水を用いることが最も好ましい。
【００１５】
ここで、内槽１２及び外槽１４は、図４に示した従来技術のように２重槽１０の構造に形成されているが、超臨界流体を使用しないため、内槽用蓋や外槽用蓋により槽内を密閉して加圧する必要がなく、図１に示したように、箱状で上部が開口した凹状の内部に液体を貯留する開放された２重槽１０の構造に形成されている。この内槽１２は、前述したように非金属材により形成され、外槽１４の内部に収納できる大きさに形成されている。そして、外槽１４は、内槽１２を内部に収納して、最終的に内槽１２を含む装置全体的に加わる全ての圧力（負荷）を受けられるように強固な金属材で形成されている。
また、内槽１２は、図１に示したように、外槽１４内において底面に設けた支持手段１３により支持して固定されている。この支持手段１３は、外槽１４内の底面で内槽１２を支持して、外槽１４の内壁と内槽１２の外壁との間（底面及び周面）に隙間領域１０ａを有するように配設されている。即ち、内槽１２は、外槽１４との間に隙間領域１０ａを設けて吸収液４を流入させることで、この吸収液４が底面及び周面を覆って内部からの圧力を吸収できるように形成している。また、内槽１２及び外槽１４には、一対の供給手段２０と排出手段３０とが各々設置され、洗浄液２及び吸収液４を各々供給及び排出できるように形成されている。
【００１６】
この供給手段２０は、図１に示したように、内槽１２と外槽１４の隙間領域１０ａとの上部から内部に各々一対に延在する配管２１、２４を配設し、それぞれ洗浄液２及び吸収液４を供給できるように形成されている。ここで、内槽１２の配管２１は、一端を内槽１２の上部から内部に延在させ、他方の一端を酸性またはアルカリ性の洗浄液２が貯留された貯留部２２に接続するとともに、その延在する途中に仕切弁２３を設けることで洗浄液２を供給または停止できるように形成されている。一方、外槽１４の隙間領域１０ａに設けた配管２４は、一端を隙間領域１０ａの上部から内部に配設し、他方の一端を洗浄液２と比重が類似する水などの吸収液４が貯留された貯留部２６に接続するとともに、その延在する途中に仕切弁２５を設けることで吸収液４を供給または停止できるように形成されている。即ち、供給手段２０は、仕切弁２３、２５を同時に開くことで、内槽１２と隙間領域１０ａとに洗浄液２及び吸収液４を同時に貯留するとともに、所定の水位で仕切弁２３、２５を閉めながら調節することで両液の液面が同等の水位に調節できるように形成されている。従って、内槽１２における内側と外側との液面を同等の水位に調節して貯留させるため、図４に示した従来技術と同様に、内槽１２に内外両側から加わる圧力（負荷）を相殺でき、内槽１２を強度的に大きくする必要がなく、装置全体の小型化、低コスト化を図ることができる。また同時に、供給手段２０は、図４に示した従来技術のような加圧ポンプ、加熱器、逆止弁などの加圧や加熱を目的とする複雑な構成を不要としており、簡単でシンプルな構造に形成でき、そのコストも大幅に低減できる。
【００１７】
また、排出手段３０は、図１に示したように、内槽１２と外槽１４の隙間領域１０ａとの底部に直接貫通して各々内部に連通するように接続された一対の配管３１、３３を配設し、それぞれ貯留させた洗浄液２及び吸収液４の水位を同等に維持しながら両液を排出できるように形成されている。この一対の配管３１、３３において、内槽１２底部の配管３１は、内槽１２の底面に接続されて外槽１４内を介して２重槽１０の底面を貫通して外部まで延在しており、その外部に延在する途中に仕切弁３２を設けることで、２重槽１０内の内槽１２から処理後の洗浄液２を外部に排出または停止できるように形成されている。一方、外槽１４の隙間領域１０ａに設けた配管３３は、外槽１４の隙間領域１０ａ底部に外部から接続されて延在し、その外部に延在する途中に仕切弁３４を設けることで、外槽１４の隙間領域１０ａに貯留した吸収液４を直接外部に排出または停止できるように形成されている。即ち、排出手段３０は、仕切弁３２、３４を開くことで、内槽１２と外槽１４とから配管３１、３３を介して洗浄液２と吸収液４とを直接外部に各々排出できる構造であり、この仕切弁３２、３４の開閉により排出時の水位を同等に調節できるように形成されている。従って、排出手段３０は、図４に示した従来技術のような逆止弁、分離槽などの構成が不要になり、簡単でシンプルな構造に形成でき、そのコストも大幅に低減できる。
【００１８】
ところで、供給手段２０及び排出手段３０は、洗浄液２と吸収液４との水位差が、内槽１２に貯留した液深の１０％以内（０〜１０％の範囲内）を同等として維持するように調節することが好ましい。即ち、洗浄液２と吸収液４との水位を同等にすることは、前述した仕切弁２３、２５、３２、３４で調節するため、液面を誤差なく完全に一致させることは不可能であって、その許容範囲として、例えば、内槽１２と隙間領域１０ａとに各々貯留した両液の水位差が、内槽１２に貯留させた液深の１０％以内であれば同等とし、１０％以上は１０％以内になるように調節するということである。ここで、両液の水位差は、内槽１２と隙間領域１０ａとの水位どちらかが高くても低くても、その差が前述した１０％以内を越えれば調節する。この１０％以内の水位差は、作業者が手動で仕切弁２３、２５、３２、３４を操作し、２重槽１０の上部から目視により水位を調節しても、十分に調節できる範囲である。
また、洗浄液２と吸収液４とは、前述したように、お互いの比重が類似することが好ましく、例えば、洗浄液２と吸収液４とに比重差がある場合、それらの比重の差分のみの圧力（負荷）が内槽１２に直接かかることになる。従って、洗浄液２と吸収液４とは、内槽１２に大きな圧力が加わらないように、比重差がなく極力、比重が類似する液を各々選択している。この際、洗浄液２は洗浄効果を有する酸性またはアルカリ性の液体を、吸収液４は非腐食性で洗浄液２に比重が類似する水などの液体を各々用いることは、既に前述した通りである。
【００１９】
このように形成された本発明による洗浄装置の第１の実施形態を使用する場合、まず、仕切弁２３、２５、３２、３４を全て閉めた状態で、作業者（図示せず）が被洗浄物１を非金属製の内槽１２に入れ、洗浄すべき被洗浄物１に応じて酸性あるいはアルカリ性いずれかの洗浄液２を、供給手段２０の貯留部２２から仕切弁２３を開けて配管２１を通して注入する。これと同時に、金属製の外槽１４の隙間領域１０ａには、水である非腐食性の吸収液４を、供給手段２０の貯留部２６から仕切弁２５を開けることで配管２４を通して注入する。そして、内槽１２と隙間領域１０ａとに洗浄液２及び吸収液４が一定の水位まで貯留すると、作業者がそれぞれの液面を目視して同等の水位になるように、仕切弁２３、２５を開閉して調節しながら所定量注入させて水位を合わせる。これにより、非金属製の内槽１２では、内側から洗浄液２によりかかる圧力と、外側から吸収液４によりかかる圧力とが略同一となり相殺される。或いは、洗浄液２と吸収液４とに比重差がある場合、それらの比重の差分のみの圧力が内槽１２にかかることになる。また、洗浄液２と吸収液４とは、内槽１２と隙間領域１０ａとに各々流入させる際、液面の水位がほぼ同等になるように維持しながら流入することで、内槽１２に加わる圧力を低減させる。従って、内槽１２は、内側の洗浄液２と外側の吸収液４との圧力がお互いに相殺され、非金属製の弱い周壁に圧力（負荷）が加わることなく洗浄することができる。また、この内槽１２内側の洗浄液２、及び内槽１２外側の吸収液４の各重量（負荷）は、最終的に外側の強固な金属製の外槽１４が受け止めるため、２重槽１０の十分な信頼性を確保できる。そして、洗浄終了後には、洗浄液２及び吸収液４を排出手段３０の配管３１、３３を通して外部に排出する。この洗浄液２及び吸収液４を外部に排出する際、仕切弁３２、３４を開閉して両液面の水位が同等となるように維持しながら排出することで、工程が終了する最後まで内槽１２に加わる圧力を低減する。その後、前述した動作を繰り返すことで、複数の被洗浄物１を洗浄する。
【００２０】
このように、本発明による洗浄装置の第１の実施形態によると、２重槽１０構造の内槽１２と外槽１４とに超臨界流体を用いず洗浄液２及び吸収液４を各々貯留して水位を同等に合わせる簡単な構造により内槽１２に加わる圧力を相殺するため、圧力に耐える強大な槽構造を必要とせず小型化できると同時に、槽内を密閉して加圧する複雑な密閉構造や加圧装置が不要になり、図４に示した従来技術に比べて、大幅な低コスト化及び更なる小型化を図ることが可能となる。
また、本発明による洗浄装置の第１の実施形態によると、前述したように高温の超臨界流体を用いないで洗浄する構造のため、洗浄液２を加熱する装置が全く不要になり、装置全体の小型化及び低コスト化を図れるとともに、加熱が不要なことから内槽１２及び外槽１４が熱ストレスを受けることがなくなる。
さらに、本発明による洗浄装置の第１の実施形態によると、前述したように洗浄液２の加熱や加圧の必要がないため、この加熱や加圧する不要な工程がなくなり、洗浄終了から新たな被洗浄物１を洗浄するまで短時間で容易に処理でき、生産性を向上させることができる。
【実施例２】
【００２１】
次に、図２及び３を参照して、図１に示した洗浄装置（第１の実施形態）を用いて更に改良した本発明による洗浄装置の第２及び第３の実施形態を詳細に説明する。ここで、図２に示した水位調整手段４２、４４以外の構成要素は、図１に示した洗浄装置と同じ構成要素であり、同じ構成要素には同一の符号を記載するとともに、重複する説明は省略する。また、図３に示した循環手段５０以外の構成要素は、図１に示した洗浄装置と同じ構成要素であり、同じ構成要素には同一の符号を記載するとともに、重複する説明は省略する。
【００２２】
図２に示すように、まず、本発明による洗浄装置の第２の実施形態は、図１に示した洗浄装置に一対の水位調整手段４２、４４を設け、この水位調整手段４２、４４により洗浄液２及び吸収液４の液面水位を自動的に同等に調節するものであって、水位調整手段４２は酸性あるいはアルカリ性の洗浄液２の液面を検知し、水位調整手段４４は水である非腐食性の吸収液４の液面を検知するように各々形成されている。この水位調整手段４２、４４は、図示されてないが、２重槽１０の上部に所定の部材により支持され、供給手段２０の仕切弁２３、２５に電気的に各々接続された液面センサであり、前述した両液面の水位が同等になるように上部から内槽１２と隙間領域１０ａとの液面を検知し、その検知情報に基づいて仕切弁２３、２５を自動的に開閉して供給量を調節可能に設けられている。これにより、供給手段２０により洗浄液２及び吸収液４を一定量供給すると、水位調整手段４２が洗浄液２の液面を検知して仕切弁２３を開閉し、同時に、水位調整手段４４が非腐食性の水である吸収液４の液面を検知して仕切弁２５を開閉することにより、配管２１、２４を通して内槽１２及び隙間領域１０ａに洗浄液２または吸収液４を検知情報に応じて供給し、それぞれの液面が同等の水位となるように自動的に調節される。
尚、水位調整手段４２、４４は、仕切弁２３、２５に接続されなくても、検知結果を表示器（図示せず）に表示し、その検知情報に従って作業者が仕切弁２３、２５を手動で開閉して調節しても良い。また、水位調整手段４２、４４は、排出手段３０の仕切弁３２、３４に更に接続させて水位を同等に維持しながら排出する排出量の自動調節も可能に設けても良い。
【００２３】
このように本発明による洗浄装置の第２の実施形態は、図１に示した洗浄装置（第１の実施形態）に水位調整手段４２、４４を設けた構造であるため、第１の実施形態と同様の効果が得られるとともに、水位調整手段４２、４４を設けることで、作業者が不規則な角度で上部から液面の水位を目視するのに比べて、正確に短時間で調節でき洗浄工程の効率を向上させることができる。
【実施例３】
【００２４】
次に、図３を参照して、本発明による洗浄装置の第３の実施形態を詳細に説明する。図３に示すように、本発明による洗浄装置の第３の実施形態は、図１に示した洗浄装置に洗浄液２の循環手段５０を設けたものであって、排出手段３０の内槽１２から仕切弁３２まで延在する配管３１の途中と、この内槽１２上部に配置する供給手段２０の仕切弁２３から内槽１２まで延在する配管２１の途中との間を、バイパス（連通）するように分岐接続させる配管５１を備え、この配管５１にポンプ５４及びフィルタ５３を配設して、内槽１２で処理後の洗浄液２をポンプ５４により吸引してフィルタ５３を介して清浄化することで、再び、内槽１２に洗浄液２を供給する供給手段２０の配管２１まで導いて循環させる循環手段５０を備えている。ここで、循環手段５０には、配管５１の両側に仕切弁５２、５５を設けており、配管５１の供給手段２０側に仕切弁５５を、排出手段３０側に仕切弁５２を各々配置して開閉できるように設けている。即ち、この仕切弁５２、５５を全て閉めて循環手段５０を停止させることで、図１に示した洗浄装置と同様の構造になり、この循環手段５０の使用有無を適宜選択できるように形成されている。
【００２５】
このように形成された本発明による洗浄装置の第３の実施形態を使用する場合、例えば、図３に示した内槽１２及び外槽１４の隙間領域１０ａに洗浄液２と吸収液４とを貯留し、仕切弁２３、２５、３２、３４、５２、５５を閉めて被洗浄物１を洗浄または洗浄後の状態において、洗浄液２が汚れていた時に、循環手段５０の仕切弁５２、５５を開けてポンプ５４を駆動させ、内槽１２内の洗浄液２を循環手段５０の配管５１内に吸引する。これにより洗浄液２は、循環手段５０の配管５１内に吸引されてフィルタ５３を介し清浄化され、再び、供給手段２０の配管２１まで導かれて内槽１２に循環する。そして、内槽１２内の洗浄液２が清浄化されると、ポンプ５４を停止させて仕切弁５２、５５を閉めることで、図１に示した洗浄装置と同様の構造に戻る。尚、洗浄液２が汚れて循環しても清浄化しない場合、仕切弁５２、５５を閉めて図１に示した洗浄装置の構造に戻すことで、排出手段３０により洗浄液２と吸収液４とを水位を合わせながら排出させた後、再び供給手段２０により新たに両液を流入させて新しく入れ替える。
【００２６】
このように本発明による洗浄装置の第３の実施形態は、図１に示した洗浄装置（第１の実施形態）に循環手段５０を設けた構造であるため、第１の実施形態と同様の効果が得られるとともに、循環手段５０を設けることで、洗浄液２を清浄化させて複数回使用することができ、洗浄液２の入れ替えを少なくして洗浄工程の効率を向上させ、洗浄液２の使用量を削減して洗浄コストを低減することができる。
【００２７】
以上、本発明による洗浄装置の実施の形態を詳細に説明したが、本発明は前述した実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で変更可能である。
例えば、図２に示した水位調整手段と、図３に示した循環手段とを各々別個に設けた実施の形態を説明したが、これに限定されるものではなく、図１に示した洗浄装置に水位調整手段及び循環手段を同時に設けても良い。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】本発明による洗浄装置の第１の実施形態を示す構成図。（実施例１）
【図２】本発明による洗浄装置の第２の実施形態を示す構成図。（実施例２）
【図３】本発明による洗浄装置の第３の実施形態を示す構成図。（実施例３）
【図４】従来の洗浄装置の一実施形態を示す構成図。
【符号の説明】
【００２９】
１    被洗浄物
２    洗浄液
４    吸収液
１０    ２重槽
１０ａ  隙間領域
１２    内槽
１３    支持手段
１４    外槽
２０    供給手段
２１、２４    配管
２３、２５    仕切弁
２２、２６    貯留部
３０    排出手段
３１、３３    配管
３２、３４    仕切弁
【図１】
2007287884.tif 000003
【図２】
2007287884.tif 000004
【図３】
2007287884.tif 000005
【図４】
2007287884.tif 000006