(57)【要約】【課題】  維持管理が簡単で、シート状材料の種類（例えば、厚く、剛性を有するシート状材料及び薄く、剛性を有していないシート状材料）に係わらず１台の装置でシート状材料の平面度を維持し保持することが可能なシート状材料保持装置の提供。【解決手段】  シート状材料の吸引手段を有する本体に配設された保持手段により保持するシート状材料保持装置において、前記保持手段が、第１貫通孔を有する第１有孔板と、第２貫通孔を有する第２有孔板との少なくとも１組を有し、前記第１有孔板は、前記第２有孔板の表面に載置され、前記第１貫通孔の大きさは、前記第２貫通孔の大きさよりも小さく、前記第１有孔板の前記第１貫通孔の数は、前記第２有孔板の前記第２貫通孔の数と同数又はそれ以上を有していることを特徴とするシート状材料保持装置。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
シート状材料の吸引手段を有する本体に配設された保持手段によりシート状材料を保持するシート状材料保持装置において、
前記保持手段が、第１貫通孔を有する第１有孔板と、第２貫通孔を有する第２有孔板との少なくとも１組を有し、
前記第１有孔板は、前記第２有孔板の表面に載置され、
前記第１貫通孔の大きさは、前記第２貫通孔の大きさよりも小さく、
前記第１有孔板の前記第１貫通孔の数は、前記第２有孔板の前記第２貫通孔の数と同数又はそれ以上を有していることを特徴とするシート状材料保持装置。
【請求項２】
前記第１有孔板の貫通孔は、第２有孔板の貫通孔に対応して配設されていることを特徴とする請求項１に記載のシート状材料保持装置。
【請求項３】
前記第１有孔板の厚さは、第２有孔板の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項１又は２に記載のシート状材料保持装置。
【請求項４】
前記第１有孔板は、第２有孔板上に載置し、シート状材料を保持する該第１有孔板又は該第１有孔板に保持された状態でのシート状材料の平面度が１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート状材料保持装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート状材料の保持装置であり、更に詳しくは、シート状材料の表面に加工するための表面検査、シート状材料の表面への加工、加工したシート状材料の加工面の表面検査等のため平面度を維持して保持するシート状材料保持装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、枚葉のシート材料に複数の絵柄、文字等を印刷し、これらを各絵柄毎に断裁して作られた印刷物、各種カード類、及びこれらの印刷物を基材に貼り合わせた各種カード類等が数多く製品化され出回っている。これらのシート材料において、例えば、有価証券等に印刷ムラ、異物付着、キズ等があった場合は問題が大きくなるため厳重な検査をし、異常がないことが確認された後、市場に出ている。又、人物写真がある各種カードの場合も同様であり、特に顔の部分に印刷ムラ、異物付着、キズ等があるカードが出てしまった場合は、カードとしての機能を果たさなくなる危険があるため厳重な検査をし、異常がないことが確認された後、市場に出ているのが現状である。
【０００３】
この様に複数の絵柄、文字等を印刷した枚葉のシート材料に対して表面検査装置を使用して印刷ムラ、異物付着、キズ等があるもの排除する表面検査方式が開発され使用されているのが一般的である。例えば、紙幣等の印刷物や各種カードなどシート状材料の表面状態を検査するため、表面検査装置を構成する検出ローラと駆動ローラ間に紙幣等の印刷物や各種カードを保持（挟持）し、平面度を保ちこれらを駆動ローラの回転により搬送しながら検査するシート状物の保持方法が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の表面検査装置に使用されているシート状物の保持方法は、検出ローラと駆動ローラ間に紙幣等の印刷物や各種カードなどを保持（挟持）することで平面度を保ち検出ローラで表面検査するため、複雑な装置となっており、又、ローラに付着したゴミ、ローラの凹凸が被検査物に転写する危険があり、検出ローラと駆動ローラとの平面度の維持管理の作業が煩雑になる。又、厚く、剛性を有しているシート状物の場合は、使用することが困難となっている。
【０００５】
複数の絵柄が印刷されたシート状物の印刷品質を検査する表面検査装置に、多数の吸引孔を周面に持った大径の円筒状の検査胴に吸着させることで、シート状物の平面度を維持するシート状物の保持方法が使用されていることが知られている（例えば、特許文献２を参照。）。
【０００６】
しかしながら、特許文献２に記載の表面検査装置に使用されているシート状物の保持方法は、シート状物が薄く、剛性が低い場合、吸引孔に吸引され凹状になり、誤検出する危険がある。
【０００７】
カード形状物の印刷物の外観上の欠陥を検出するカード外観検査装置に、位置決めレールに沿って搬送ベルトによりカード形状物を搬送するカード形状物の保持方法が使用されていることが知られている（例えば、特許文献３を参照）。
【０００８】
しかしながら、特許文献３に記載の保持方法は、カード形状物が厚く、剛性を有している場合は平面度を保持することが可能であるが、薄く、剛性を有していない場合は平面度を保持することが困難となる。
【０００９】
この様な状況から、維持管理が簡単で、シート状材料の種類（例えば、厚く、剛性を有するシート状材料及び薄く、剛性を有していないシート状材料）に係わらず１台の装置でシート状材料の平面度を保持することが可能なシート状材料保持装置の開発が望まれている。
【特許文献１】特開２００１−２４１９４４号公報
【特許文献２】特開２００２−１９２３号公報
【特許文献３】特開平５−４６８１９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明は、上記状況に鑑みなされたものであり、その目的は、維持管理が簡単で、シート状材料の種類（例えば、厚く、剛性を有するシート状材料及び薄く、剛性を有していないシート状材料）に拘わらず１台の装置でシート状材料の平面度を維持し保持することが可能なシート状材料保持装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明の上記目的は、下記の構成により達成された。
【００１２】
（請求項１）
シート状材料の吸引手段を有する本体に配設された保持手段によりシート状材料を保持するシート状材料保持装置において、
前記保持手段が、第１貫通孔を有する第１有孔板と、第２貫通孔を有する第２有孔板との少なくとも１組を有し、
前記第１有孔板は、前記第２有孔板の表面に載置され、
前記第１貫通孔の大きさは、前記第２貫通孔の大きさよりも小さく、
前記第１有孔板の前記第１貫通孔の数は、前記第２有孔板の前記第２貫通孔の数と同数又はそれ以上を有していることを特徴とするシート状材料保持装置。
【００１３】
（請求項２）
前記第１有孔板の貫通孔は、第２有孔板の貫通孔に対応して配設されていることを特徴とする請求項１に記載のシート状材料保持装置。
【００１４】
（請求項３）
前記第１有孔板の厚さは、第２有孔板の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項１又は２に記載のシート状材料保持装置。
【００１５】
（請求項４）
前記第１有孔板は、第２有孔板上に載置し、シート状材料を保持する該第１有孔板又は該第１有孔板に保持された状態でのシート状材料の平面度が１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１又は２に記載のシート状材料保持装置。
【発明の効果】
【００１６】
維持管理が簡単で、シート状材料の種類（例えば、厚く、剛性を有するシート状材料及び薄く、剛性を有していないシート状材料）に拘わらず１台の装置でシート状材料の平面度を維持し保持することが可能なシート状材料保持装置を提供することが出来、薄手から厚手のシート状材料の加工品質の向上と、煩雑な管理が不要となり生産効率の向上が可能となった。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明の実施の形態を図１〜図５を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【００１８】
図１はシート状材料保持装置の概略図である。図１の（ａ）はシート状材料保持装置の概略斜視図である。図１の（ｂ）は図１の（ａ）のＡ−Ａ′に沿った概略断面図である。図１の（ｃ）は図１の（ａ）のＢ−Ｂ′に沿った概略断面図である。
【００１９】
図中、１はシート状材料保持装置を示す。シート状材料保持装置１は、本体１０１と、本体１０１に配設された保持手段１０２とを有している。本体１０１は底板１０１ａと底板１０１ａの長辺より立ち上げた側壁１０１ｂ（１０１ｃ）と短辺より立ち上げた側壁１０１ｄ（１０１ｅ）とを有する箱体構造となっている。１０１ｂ２は側壁１０１ｂ１の上面を示す。１０１ｃ２は側壁１０１ｃ１の上面を示す。１０１ｄ２は側壁１０１ｄ１の上面を示す。１０１ｅ２は側壁１０１ｅ１の上面を示す。１０１ｆは側壁１０１ｃに設けられた吸引手段の吸引管を示し吸引ブロアや吸引ポンプ等の吸引装置（不図示）に繋がっている。１０１ｇは第１有孔板１０２ａ、第２有孔板１０２ｂの吸引負圧による変形を防止するための支柱を示し、位置と数は所定の平面度条件を満たす様に適宜配設する事が可能となっている。支柱１０１ｇは底辺１０１ａに固定されており、固定方法は特に限定は無く、例えば底辺からネジによる固定、アングル材による固定等が挙げられる。
【００２０】
保持手段１０２は本体１０１の側壁１０１ｂ〜１０１ｅの内側に設けられた載置部１０１ｂ１〜１０１ｅ１に載置固定されて設けられている。保持手段１０２を各載置部１０１ｂ１〜１０１ｅ１に載置固定する手段としては、保持手段１０２の周辺をネジで各載置部１０１ｂ１〜１０１ｅ１に固定してもよいし、嵌め込み式で固定してもかまわない。
【００２１】
保持手段１０２は、表面１０２ａ１にシート状材料を載置する第１貫通孔１０４を有する第１有孔板１０２ａと、第２貫通孔１０３を有する第２有孔板１０２ｂとを有している。第１有孔板１０２ａは、裏面１０２ａ２の全面が第２貫通孔１０３を有する第２有孔板１０２ｂの表面１０２ｂ１に密着する状態で第２有孔板１０２ｂに固定することが好ましい。第１有孔板１０２ａを第２有孔板１０２ｂへ固定する方法としては、例えば、ネジ、接着剤等が挙げられる。本図では第１有孔板１０２ａの外周８箇所をネジで止めた場合を示している。１０２ｃは第１有孔板１０２ａを第２有孔板１０２ｂへ固定するためのネジを示す。
【００２２】
吸引装置（不図示）で吸引したとき、第１有孔板１０２ａの表面１０２ａ１の平面度は、載置されたシート状材料の検査適性、加工性等を考慮し１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下、更には１００ｍｍあたり０．１ｍｍ以下が好ましく、特には１００ｍｍあたり０．０５ｍｍが好ましい。尚、１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下とはあらゆる方向で１００ｍｍあたりの表面凹凸が０．３ｍｍ以下であることを言う。
【００２３】
尚、平面度は、レーザー変位センサを使用し、シート状材料保持装置１を固定してレーザー変位センサを動かして全面を測定した平面度の最大値を示す。
【００２４】
第２貫通孔１０３の数は、シート状材料の種類（大きさ、厚さ、剛性、平面度の検査精度等）により適宜変更することが可能である。
【００２５】
第１有孔板１０２ａの表面１０２ａ１は本体１０１の各側壁１０１ｂ〜１０１ｅの各上面１０１ｂ２〜１０１ｅ２と同じであっても、高くてもかまわなく、必要に応じて適宜選択が可能である。第１有孔板１０２ａの表面１０２ａ１にシート状材料を載置し、吸引管１０１ｆを介して吸引装置（不図示）で吸引することでシート状材料を第１有孔板１０２ａの表面１０２ａ１に吸着固定することが可能となっている。
【００２６】
図２は図１のＰで示される部分の拡大概略図である。
【００２７】
第１有孔板１０２ａに設けられた第１貫通孔１０４は、第２有孔板１０２ｂに設けられた第２貫通孔１０３の径内に入る位置に設けることが、吸引効果を上げる上から好ましい。第１貫通孔１０４の大きさは第２貫通孔１０３の大きさよりも小さく、第２貫通孔１０３の径内に配設される第１貫通孔１０４の数は１つから径内に入る数であり、シート材料の種類により適宜選択することが可能となっている。第１貫通孔１０４が第２貫通孔１０３の径外に出た場合、出ている部分にゴミが入り、第１貫通孔１０４内に貯まると同時に、入ったゴミが第１有孔板１０２ａと第２有孔板１０２ｂとの間に入り込み、検査時にシート材料の表面に付着し故障の原因になる危険がある。或いは、第１有孔板１０２ａと、第２有孔板１０２ｂとの間にゴミが挟まることにより、第１有孔板１０２ａの平面度を劣化させる危険がある。
【００２８】
第１有孔板１０２ａに設けられた第１貫通孔１０４の数は第２有孔板１０２ｂに設けられた第２貫通孔１０３の数と同じかそれ以上を有しておりシート材料の種類（大きさ、厚さ、剛性等）により適宜選択することが可能となっている。
【００２９】
図３は図１のＱで示される部分の拡大概略断面図である。
【００３０】
図中、Ｌは第１有孔板１０２ａの厚さを示し、Ｍは第２有孔板１０２ｂの厚さを示す。他の符号は図１と同義である。第１有孔板１０２ａの厚さＬは、吸引したときに平面度が１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下に保つことが出来る厚さ及び第１有孔板１０２ａに設ける第１貫通孔１０４の大きさ、精度、及び数等を考慮し、第２有孔板１０２ｂの厚さＭより薄いことが好ましい。第１有孔板１０２ａの厚さＬは、設ける第１貫通孔１０４の大きさと数とから適宜変更することが可能である。第１有孔板１０２ａに第１貫通孔１０４を設ける方法としては特に限定はなく、例えばドリルや打ち抜き等による穿孔、エッチングによる穿孔が挙げられるが、精度、数、孔の周辺のバリ、ダレの発生等を考慮するとエッチングが好ましい。第１貫通孔１０４、第２貫通孔１０３の形状は特に限定はなく、例えば、円形、楕円径、正方形、長方形、星形等が挙げられ、必要に応じて選択することが可能である。本図では、円形の場合を示している。
【００３１】
第１有孔板に使用する材料は、特に限定はなく、例えば、ステンレス、鉄板、真鍮等の金属板等が挙げられる。第２有孔板に使用する材料は、特に限定はなく、例えば、ステンレス、鉄板、真鍮等の金属板等が挙げられる。
【００３２】
図１〜図３に示す様な保持手段１０２の構成にすることで、厚く、剛性を有するシート状材料及び薄く、剛性を有していないシート状材料の両方の平面度を１台のシート状材料保持装置で保持することが可能となった。
【００３３】
図４は図１に示されるシート状材料保持装置にシート状材料を保持した状態を示す概略斜視図である。
【００３４】
図中、２はシート状材料を示す。シート状材料の種類は特に限定はなく、例えば厚さ０．１〜１．０ｍｍ未満の薄手でもよいし、１．０〜３ｍｍの厚手であってもよい。本図では、枠組２０２と文字２０１のみが印刷され、左上の空欄箇所に意匠印刷又は写真等を印刷する前のシート状材料を示す。他の符号は図１と同義である。本図にて、シート状材料を保持する際の条件の一例を以下に説明する。シート状材料２として、枠組２０２と文字２０１のみが印刷された意匠印刷前の厚さ０．２ｍｍ、幅６０ｃｍ、長さ７０ｃｍの材料を使用する場合、次の条件とした。
【００３５】
〈吸引手段の準備〉
第２有孔板１０２ｂの準備
厚さ１０ｍｍのステンレス材料にドリルで１０ｍｍ×７ｍｍの第２貫通角孔１０３を縦１６列（幅方向）、横２６列（長さ方向）を設けた。第２有孔板１０２ｂの第１有孔板１０２ａと接する面は、平均粗さがＲｍａｘ５μｍになるように研削を行った。
【００３６】
第１有孔板１０２ａの準備
厚さ０．４ｍｍのアルミ材料に第２有孔板１０２ｂの第２貫通孔１０３の位置に合わせ、直径１ｍｍの第１貫通孔１０４を４５７６個になるようにエッチングで設けた。
【００３７】
〈シート状材料保持装置の準備〉
本体１０１への吸引手段の取り付け
準備した第２有孔板１０２ｂを本体１０１の側壁１０１ｂ〜１０１ｅの内側に設けた保持手段１０２の載置部１０１ｂ１〜１０１ｅ１に載置し、周辺８箇所をネジで固定する。この後、第２有孔板１０２ｂの表面１０２ｂ１に第１有孔板１０２ａの裏面１０２ａ２の全面が密着する様に載置し第１有孔板１０２ａの外周８箇所をネジで固定し、吸引管１０１ｆを吸引ブロア（不図示）に繋げる。
【００３８】
シート状材料の準備
シート状材料として厚さが０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ未満、０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ未満、０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ未満のＰＥＴフィルムを準備した。
【００３９】
シート状材料の保持
準備した各シート状材料を準備したシート状材料保持装置１の吸引手段の第１有孔板上に載置し、吸引ブロア（不図示）により吸引した結果、厚さが０．１ｍｍ以上０．３ｍｍ未満の場合は吸引圧を０．３ＫＰａ以上、１．２ＫＰａ未満、厚さが０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ未満の場合は吸引圧を１．２ＫＰａ以上、５ＫＰａ未満、厚さが０．５ｍｍ以上３．０ｍｍ未満の場合は吸引圧を５ＫＰａ以上、１５ＫＰａ未満とすることで平面度を１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下に維持し保持することが可能であった。平面度はレーザー変位センサを用いて測定した。
【００４０】
この様に、第１有孔板と第２有孔板とを組み合わせ構成された保持手段を使用し、必要とする吸引圧で吸引することで、厚さ０．１〜３．０ｍｍ迄のシート状材料の平面度を１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下に保持することが可能とった。この結果、例えば、表面検査を行った場合、表面のキズ、汚れ、凹凸、異物付着、印刷欠陥等を精度よく検査することが可能となる。本図の場合は、左上の空欄箇所に意匠印刷又は写真等を印刷するため検査結果に従って安心して加工することが出来、品質欠陥のない製品を作ること可能となった。
【００４１】
図５は図１に示すシート状材料保持装置を表面検査装置に使用した場合の概略斜視図である。
【００４２】
図中、３は表面検査装置を示す。表面検査装置３は、検査機本体４と、図１〜図４に示すシート状材料保持装置１と、制御部５と、コントローラ６とを有している。検査機本体４は、供給部（不図示）から送られてくるシート状材料２をシート状材料保持装置１上に受け取る受け取り部４０１と、シート状材料保持装置１の移動用手段４０２と、シート状材料保持装置１上のシート状材料２を掃除する除電・クリーナ部４０３と、検査部４０４と、回収部４０５と、検査終了後のシート状材料２をシート状材料保持装置１から集積回収部４０５に移動する搬送手段４０６と、操作パネル４０７とを有している。
【００４３】
除電・クリーナ部４０３には除塵手段（不図示）と除電手段（不図示）が配設されており、シート状材料２の表面に付着しているゴミ及び帯電電荷を除去する。外観検査動作の前に被検物上のゴミを除去すること、及び、帯電電荷を除去することにより、シート状材料２に付着している除去可能なゴミのために不良と判定されることを無くし、検査収率の向上を図ることを可能にする。
【００４４】
操作パネル４０７には、電源スイッチ、起動スイッチ、警告表示灯、非常停止ボタン等を配設することが好ましい。
【００４５】
制御部５は検査機本体４の各機構部の作動制御、コントローラ６への電源供給及び信号の取り合いを行う。コントローラ６は検査部４０４の検査情報から合否の判定を行う判定手段を内蔵している。又、検査済みのシート状材料２に記録された検査結果情報が、正常に記録されているかを判定する判定手段を有している。そして、検査結果等を表示する表示部６０１を有することが好ましい。
【００４６】
又、検査部４０４の検査情報に従って、ゴミ付着、凹凸等の異常箇所が発見された場合は、該当箇所にインクジェット、レーザーマーカ等で印を付ける印字部を設けることが好ましい。
【００４７】
以下、本発明のシート状材料保持装置を用いたシート材料表面検査装置の動作を図５に基づいて説明する。
【００４８】
最初に、操作パネル４０７上の電源スイッチをＯＮにすると検査装置全体に通電され、システムが立ち上がる。供給部（不図示）から送られてくる被検査物であるシート状材料２がシート状材料保持装置１の保持手段に載置される。保持手段は予め保持するシート状材料２に合わせ、吸引したときに平面度が１００ｍｍあたり０．３ｍｍ以下になるように第１有孔板１０２ａ（図２を参照）と第２有孔板１０２ｂ（図２を参照）とが配設されている。この後、吸引が行われ、シート状材料はシート状材料保持装置１に固定され、この状態で移動用手段４０２で除電・クリーナ部４０３に移動し、シート状材料２の表面を掃除する。
【００４９】
除電・クリーナ部４０３を通過したシート状材料２は、移動用手段４０２で検査部４０４の位置まで搬送され、検査部４０４の移動用手段４０２で検査部４０４に搬送され、表面検査が行われる。表面検査は検査装置を固定し、シート状材料保持装置１を動かしてもよいし、シート状材料保持装置１を固定し検査装置をサーボモータ４０４ｂ及びロータリーエンコーダ（不図示）による制御のもとに移動する方式であってかまわない。
【００５０】
シート状材料は、シート状材料保持装置１に平面度が保持され固定されているため、精度よく表面検査が行うことが可能となっている。
【００５１】
検査部４０４での検査画像情報はコントローラ６に送信する。コントローラ６には、予め入力された基準画像情報が収納されている記憶手段と、検査装置が読み込んだシート状材料の表面画像情報と基準画像情報とを比較してシート状材料の表面の欠陥の有無を判別する判別手段が配置されている。基準画像情報は、予め良品と認定されたシート状材料を検査装置により読み込んで、その画像情報を基準画像情報としてもよい。コントローラ部６には表示手段６０１が配設されており、表示手段６０１にはシート状材料の不良の有無、及び不良がある場合には、不良のシート状材料の番号、不良の種類等を表示可能とすることが好ましい。判別手段による検査結果情報は制御部５に送られる。
【００５２】
表面検査が終了すると、判別手段は、検査結果に基づく検査結果情報として、シート状材料上の不良の有無情報、及び、不良が存在する場合は該当する枚葉のカード材料部分の位置等をインクジェット、レーザーマーカ等で印を付ける印字部（不図示）に送り、該当箇所にインクジェット、レーザーマーカ等で印を付ける様にすることが好ましい。又、シート状材料保持装置１は検査部から出され、検査機本体４の移動用手段４０２で搬送手段４０６の位置に送られる。この時点で、シート状材料保持装置１の吸引が停止し、シート状材料はシート状材料保持装置１の保持手段の吸着・固定から開放される。
【００５３】
搬送手段４０６には吸引手段（不図示）が配設されており、シート状材料を１枚毎に吸引し、制御部５からの情報に基づき、良品を集積回収部４０５の良品集積回収部４０５ａに、不良品を集積回収部４０５の不良品集積回収部４０５ｂに回収する様に移動溝５０１に沿って移動することが可能となっている。
【００５４】
上述のように、本発明のシート状材料保持装置１は、シート状材料の種類に係わりなく平面度を維持することが可能であるため、シート材料の表面を加工する前の表面検査（例えば、汚れ、凹凸、キズ、異物付着等）、表面を加工した後の表面検査（例えば、汚れ、凹凸、キズ、異物付着、印刷欠陥、印刷ムラ等）を高精度で検出することが可能であるため表面検査装置への適用、又、表面加工（例えば、パッド印刷等）を高精度で行うことも可能であるため表面加工機への適用も可能である。
【００５５】
本発明に係わるシート状材料としては、例えば、ＰＥＴ、ポリカーボネイト、塩化ビニル等のプラスチック板、紙シート等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５６】
【図１】シート状材料保持装置の概略図である。
【図２】図１のＰで示される部分の拡大概略図である。
【図３】図１のＱで示される部分の拡大概略断面図である。
【図４】図１に示されるシート状材料保持装置にシート状材料を保持した状態を示す概略斜視図である。
【図５】図１に示すシート状材料保持装置を表面検査装置に使用した場合の概略斜視図である。
【符号の説明】
【００５７】
１  シート状材料保持装置
１０１  本体
１０１ａ  底板
１０１ｂ〜１０１ｅ  側壁
１０１ｆ  吸引管
１０１ｇ  支柱
１０１ｂ１〜１０１ｅ１  載置部
１０２  保持手段
１０２ａ  第１有孔板
１０２ａ１、１０２ｂ１  表面
１０２ｂ  第２有孔板
１０２ｃ  ネジ
１０３  第２貫通孔
１０４  第１貫通孔
２  シート状材料
【図１】
2007001704.tif 000003
【図２】
2007001704.tif 000004
【図３】
2007001704.tif 000005
【図４】
2007001704.tif 000006
【図５】
2007001704.tif 000007