(57)【要約】【課題】シール部材や機能液吸収材等の交換を簡単、且つ短時間で行うことができる、ヘッドキャップを、またこれを備える吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供すること。【解決手段】キャップベース１５１と、キャップベース１５１の表面に設けた吸収材収容部１７１と、吸収材収容部１７１に収容した機能液吸収材１５２と、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着する環状のシール部材１５４と、シール部材１５４を押えるようにキャップベース１５１に固定される枠状のシール固定部材１５５と、キャップベース１５１の表面およびシール固定部材１５５の裏面のいずれか一方に設けたマグネット１７４および他方に設けた磁性部材と、を備え、マグネット１７４が磁性部材を磁着することにより、キャップベース１５１にシール固定部材１５５が固定される。【選択図】図９
2007105704.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
キャップベースと、
前記キャップベース表面に設けた吸収材収容部と、
前記吸収材収容部に収容した機能液吸収材と、
前記吸収材収容部に沿うように設けられ、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着する環状のシール部材と、
前記シール部材を押えるように前記キャップベースに固定される枠状のシール固定部材と、
前記キャップベースの表面および前記シール固定部材の裏面のいずれか一方に設けたマグネットおよび他方に設けた磁性部材と、を備え、
前記マグネットが前記磁性部材を磁着することにより、前記キャップベースに前記シール固定部材が固定されることを特徴とするヘッドキャップ。
【請求項２】
前記マグネットは前記キャップベースに設けられ、且つ前記磁性部材は前記シール固定部材に設けられ、
前記シール固定部材は、磁性体で形成されると共にその一部が前記磁性部材を兼ねていることを特徴とする請求項１に記載のヘッドキャップ。
【請求項３】
前記シール固定部材は略方形の外形形状を有し、対向する２組の２辺のうち少なくとも１組の２辺が、前記キャップベースの周縁部より側方にそれぞれ突出していることを特徴とする請求項１または２に記載のヘッドキャップ。
【請求項４】
前記キャップベースの表面および前記シール固定部材の裏面のいずれか一方には、位置決め凸部が設けられ、他方には、前記位置決め凸部に係合する位置決め凹部が設けられ、
前記位置決め凸部と前記位置決め凹部との係合により、前記キャップベースと前記シール固定部材とが相互に位置決めされることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のヘッドキャップ。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載のヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップを介して前記機能液吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引する吸引手段と、
前記ヘッドキャップと前記吸引手段とを接続する吸引流路と、を備えたことを特徴とする吸引ユニット。
【請求項６】
前記吸引流路内の圧力を測定する圧力測定手段と、
前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、前記ヘッドキャップによる吸引不良を監視する吸引監視手段と、を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載の吸引ユニット。
【請求項７】
前記吸引監視手段は、前記圧力測定手段の測定結果が所定の圧力範囲外である場合に、その旨報知することを特徴とする請求項６に記載の吸引ユニット。
【請求項８】
前記吸引監視手段は、前記圧力測定手段の測定結果が前記圧力範囲の上限外である場合には、キャッピング不良である旨、報知し、
前記圧力範囲の下限外である場合には、ノズル不良および／またはキャップ不良である旨、報知することを特徴とする請求項７に記載の吸引ユニット。
【請求項９】
請求項５ないし８のいずれかに記載の吸引ユニットと、
ワークに機能液滴の吐出を行う前記機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドに密接し、機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルを保全するヘッドキャップ、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、機能液滴吐出ヘッドの保全に用いられるヘッドキャップは、表面に凹溝を形成したキャップベースと、凹溝に充填した機能液吸収材と、機能液吸収材をおさえる吸収材押さえと、ノズル面を封止するシール部材と、シール部材をキャップベースに固定するシール固定部材と、を備えている。
【０００３】
この場合、シール固定部材は複数本の固定ねじによりシール部材を挟みこんでキャップベースに固定されている。これにより、シール部材が劣化した場合や機能液吸収材が目詰まりした場合に、固定ねじを緩めシール固定部材をキャップベースから取り外すことにより、これらシール部材および機能液吸収材を交換できるように構成にされている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００４−１４２４２２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このように構成された従来のヘッドキャップでは、キャップベースにシール固定部材が固定ねじにより固定されているため、シール部材や機能液吸収材を交換する作業に工具を必要とし、作業が煩雑であると共に作業に時間がかかる問題があった。
特に、単一の吸引ユニットに備える多数のヘッドキャップに対し、定期的な交換作業を行う場合には、多大な労力と時間を要することになる。
【０００５】
本発明は、シール部材や機能液吸収材等の交換を簡単、且つ短時間で行うことができるヘッドキャップを、またこれを備える吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のヘッドキャップは、キャップベースと、キャップベース表面に設けた吸収材収容部と、吸収材収容部に収容した機能液吸収材と、吸収材収容部に沿うように設けられ、機能液滴吐出ヘッドのノズル面に密着する環状のシール部材と、シール部材を押えるようにキャップベースに固定される枠状のシール固定部材と、キャップベースの表面およびシール固定部材の裏面のいずれか一方に設けたマグネットおよび他方に設けた磁性部材と、を備え、マグネットが磁性部材を磁着することにより、キャップベースにシール固定部材が固定されることを特徴とする。
【０００７】
この構成によれば、マグネットが磁性部材を磁着することによりシール固定部材とキャップベースとが固定されているため、固定ねじの着脱が不要となり、シール固定部材の着脱に工具を必要とすることなく簡単に行うことができる。したがって、シール部材や機能液吸収材等の交換作業を短時間で効率良く行うことができる。なお、マグネットを電磁石で構成することも可能である。さらに、マグネットおよび磁性部材は、吸収材収容部を挟んでそれぞれ一対設けられることが好ましい。
【０００８】
この場合、マグネットはキャップベースに設けられ、且つ磁性部材はシール固定部材に設けられ、シール固定部材は、磁性体で形成されると共にその一部が磁性部材を兼ねていることが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、シール固定部材の部品点数および組立て工数を削減することができる。
【００１０】
この場合、シール固定部材は略方形の外形形状を有し、対向する２組の２辺のうち少なくとも１組の２辺が、キャップベースの周縁部より側方にそれぞれ突出していることが好ましい。
【００１１】
この構成によれば、シール固定部材の２辺に指掛け部分を形成することができるため、マグネットの磁力に抗してシール固定部材を簡単に着脱することができ、作業性をより一層向上させることができる。
【００１２】
この場合、キャップベースの表面およびシール固定部材の裏面のいずれか一方には、位置決め凸部が設けられ、他方には、位置決め凸部に係合する位置決め凹部が設けられ、位置決め凸部と位置決め凹部との係合により、キャップベースとシール固定部材とが相互に位置決めされることが好ましい。
【００１３】
この構成によれば、位置決め凸部および位置決め凹部を案内にして、シール固定部材をキャップベースに固定すれば、マグネットの磁力の影響による位置決め不良を回避することができる。なお、位置決め凸部および位置決め凹部は、マグネットの磁力が作用しない位置から、案内可能な寸法とすることが、好ましい。
【００１４】
本発明の吸引ユニットは、上述したヘッドキャップと、ヘッドキャップを介して機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから機能液を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップと吸引手段とを接続する吸引流路と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この構成によれば、シール部材や機能液吸収材を簡単かつ短時間で交換可能な吸引ユニットを提供することができる。なお、吸引手段は吸引ポンプでも、イジェクターでも良い。
【００１６】
この場合、吸引流路内の圧力を測定する圧力測定手段と、圧力測定手段の測定結果に基づいて、ヘッドキャップによる吸引不良を監視する吸引監視手段と、を更に備えたことが好ましい。
【００１７】
この構成によれば、ユーザーに吸引不良を認識させることができるため、ユーザーにメンテナンス等の適切な対処を促すことができる。
【００１８】
そして、この場合、吸引監視手段は、圧力測定手段の測定結果が所定の圧力範囲外である場合に、その旨報知することが好ましい。
【００１９】
さらにこの場合、吸引監視手段は、圧力測定手段の測定結果が圧力範囲の上限外である場合には、キャッピング不良である旨、報知し、圧力範囲の下限外である場合には、ノズル不良および／またはキャップ不良である旨、報知することが好ましい。
【００２０】
この構成によれば、不良箇所が特定されるため、より一層、ユーザーにメンテナンス等の適切な対処を促すことができる。
【００２１】
本発明の液滴吐出装置は、上述した吸引ユニットと、ワークに機能液滴の吐出を行う機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする。
【００２２】
この構成によれば、シール部材や機能液吸収材等の交換作業を短時間で効率良く行うことができるため、装置の稼働停止時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００２３】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２４】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２５】
これらの構成によれば、シール部材や機能液吸収材等の交換作業を短時間に効率良く行うことができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２６】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置に搭載したことを特徴とする。
【００２７】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係るヘッドキャップ、吸引ユニットおよび液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２９】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置３と、機台２上で描画装置３に添設された吸引ユニット６１およびワイピングユニット６２とから成るメンテナンス装置４とを備え、メンテナンス装置４により機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画装置３により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出させる描画動作を行うようにしている。また、液滴吐出装置１は、各構成部品へ駆動・制御用の圧縮エアーを供給するエアー供給装置（図示省略）や、パソコン等で構成され、液滴吐出装置１の各部を制御すると共に後述する吸引ユニット６１を監視するディスプレイ（吸引監視手段）７７が組み込まれた制御装置５を、備えている（図３参照）。
【００３０】
描画装置３は、Ｘ軸テーブル１２およびＸ軸テーブル１２に直交するＹ軸テーブル１３から成るＸＹ移動機構１１と、Ｙ軸テーブル１３に移動自在に取り付けられたキャリッジ１４と、キャリッジ１４に垂設したヘッドユニット１５とを有している。そして、ヘッドユニット１５には、機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。一方、基板Ｗは、Ｘ軸テーブル１２の端部に臨む一対の基板認識カメラ（図示省略）により、Ｘ軸テーブル１２に位置決めされた状態で搭載されている。
【００３１】
Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ２１を有し、これに吸着テーブル２３および基板θテーブル２４等から成るセットテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＹ軸スライダ３１を有し、これに上記のキャリッジ１４を介してヘッドユニット１５を移動自在に搭載して、構成されている。Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、機台２上に立設した左右の支柱３２に支持されており、Ｘ軸テーブル１２とメンテナンス装置４とを跨ぐように延在している。
【００３２】
そして、Ｙ軸テーブル１３は、これに搭載したヘッドユニット１５を、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する描画エリア９１と、メンテナンス装置４の直上部に位置するメンテナンスエリア９２との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２に導入した基板Ｗに描画動作を行う場合には、ヘッドユニット１５を描画エリア９１に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理を行う場合には、ヘッドユニット１５をメンテナンスエリア９２に臨ませる。また、キャリッジ１４は、垂設したヘッドユニット１５をＺ軸方向（上下方向）にモータ駆動で微小移動させるヘッドＺ軸テーブル（図示省略）と、を有している。
【００３３】
ヘッドユニット１５は、機能液滴吐出ヘッド１７と、これを位置決めして装着するヘッドプレート１６と、から構成されている。機能液滴吐出ヘッド１７は、ヘッドプレート１６を介してキャリッジ１４に搭載されている。
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する２連の接続針４２と、接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１の側方に連なり、制御装置に接続される２連のコネクタ５６を備えるヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。
ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部５１（図示省略）と、２本のノズル列５４を相互に平行に形成したノズル面５３を有するノズルプレート５２と、を更に備えている。各ノズル列５４は、複数の吐出ノズル５５が等ピッチで並べられて構成されている。そして、コネクタ５６を介してポンプ部５１に駆動波形を印加することにより、各吐出ノズル５５から機能液が吐出される。なお、本実施形態のヘッドユニットには、後述するヘッドキャップ７１と同一の並び（図５参照）の１２個の機能液滴吐出ヘッド１７が搭載されている。
【００３４】
このように描画装置３は、基板Ｗを載置したセットテーブル２２がＸ軸方向に移動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗに機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向にヘッドユニット１５が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板ＷをＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗに所望の描画を行う。
【００３５】
図１に示すように、メンテナンス装置４は、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５から機能液を吸引する吸引ユニット６１と、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に付着した機能液をワイピングシート８１で払拭して除去するワイピングユニット６２と、を備えている。吸引ユニット６１とワイピングユニット６２とは、Ｙ軸テーブル１３によるヘッドユニット１５の移動軌跡上に設けられており、Ｙ軸テーブル１３により、これらユニット６１、６２の直上部に機能液滴吐出ヘッド１７を臨ませることができるようになっている。ワイピングユニット６２は、吸引ユニット６１と描画装置３との間に配設されており、ヘッドユニット１５は、吸引ユニット６１の吸引動作の後ワイピングユニット６２に臨み、ここで払拭処理を行った後、描画装置３に導入される。
【００３６】
ワイピングユニット６２は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３にワイピングシート８１を当接させるための拭取りローラ８２と、拭取りローラ８２にワイピングシート８１を供給するシート供給ユニット８３と、ワイピングシート８１に洗浄液を散布する洗浄液吐出ユニット８４と、を備えている。洗浄液を散布したワイピングシート８１を拭取りローラ８２によりヘッドユニット１５に臨ませ、ワイピングシート８１を一方向に送ることで機能液滴吐出ヘッド１７を払拭処理する。
【００３７】
次に、図３、図４、図５を参照し、吸引ユニット６１について説明する。吸引ユニット６１は、ヘッドキャップ７１（本実施形態では１２個）と、ヘッドキャップ７１を介して機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５から機能液を吸引する吸引ポンプ（吸引手段）７２と、吸引ポンプ７２が吸引した機能液を貯留する廃液タンク７３と、ヘッドキャップ７１と吸引ポンプ７２とを接続する吸引流路７４ａと、吸引ポンプ７２と廃液タンク７３とを接続する廃液流路７４ｂと、機能液滴吐出ヘッド１７をキャッピングするためにヘッドキャップ７１を昇降させる昇降機構７５と、を備えている。また、吸引ユニット６１は、吸引流路７４ａ内の圧力を測定する圧力センサ（圧力測定手段）７６を備え、圧力センサ７６は上記の制御装置５に接続されている。詳細は後述するが、ヘッドキャップ７１は吸引ポンプ７２に連なる吸引口１７３と大気開放弁を有している。また、１２個のヘッドキャップ７１に対し、吸引ポンプ７２は単一のもので構成されており、各ヘッドキャップ７１に接続された複数の吸引流路７４ａは、吸引ポンプ７２の上流側で合流している。なお、吸引手段は、本実施例では吸引ポンプ７２を採用するが、イジェクターを採用しても良い。
【００３８】
昇降機構７５は、ヘッドキャップ７１を直接昇降させる上段の上昇降シリンダ１１２と、上昇降シリンダ１１２と共にヘッドキャップ７１を昇降させる、下段の下昇降シリンダ１１３と、下昇降シリンダ１１３を支持するベース部１１１と、を有すると共に、ヘッドキャップ７１の大気開放弁を開閉操作するサブシリンダ１３１を有している。下昇降シリンダ１１３は、ヘッドユニット１５の交換時にヘッドキャップ７１を大きく下降させるものであり、上昇降シリンダ１１２は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３からヘッドキャップ７１を離接させるものである。またサブシリンダ１３１は、吸引動作の最終段階で大気開放弁を開弁するものであり、これにより、ヘッドキャップ７１内に機能液が残留しないようにしている。
【００３９】
次に図３の概念図と図６に示すフローチャートを参照して、制御装置５による吸引動作の制御方法について説明する。下昇降シリンダ１１３は、上昇端位置に移動しており、上昇降シリンダ１１２は，下降端位置（離間位置）に、またサブシリンダ１３１は閉弁位置に移動している。この状態から、上昇降シリンダ１１２を駆動し、ヘッドキャップ７１を機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に密接し、いわゆるキャッピングを行う（Ｓ１）。次に、吸引ポンプ７２を駆動し、吸引流路７４ａおよびヘッドキャップ７１を介して機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５から機能液を吸引する（Ｓ２）。この場合、吸引ポンプ７２の駆動は、タイマーあるいは吸引ポンプ７２の回転回数で制御される。そして、吸引動作中には、圧力センサ７６により吸引流路７４ａ内の圧力（負圧）が測定され（Ｓ３）、この測定圧力が所定の圧力範囲内であるか否かが判定される（Ｓ４）。ここで、所定の圧力範囲内と判定（ＹＥＳ）された場合には、所定時間あるいは所定回数のポンプ駆動を続行する。そして、吸引完了直前にサブシリンダ１３１により大気開放弁を開放してヘッドキャップ７１内の機能液吸収材１５２に含浸している機能液を吸引して終了する。
【００４０】
一方、所定の圧力範囲の上限外（負圧小）と判定（ＮＯ）された場合、機能液滴吐出ヘッド１７とヘッドキャップ７１との間にエアーのリークが発生していると想定される。そこで、「キャッピング不良」である旨、ディスプレイ７７に表示（報知）する（Ｓ５）。一方、所定の圧力範囲の下限外（負圧大）と判定（ＮＯ）された場合、キャップ７１の詰まりまたは吐出ノズル５５のノズル詰まりが想定される。そこで「キャップ不良またはノズル不良」である旨、ディスプレイ７７に表示（報知）する（Ｓ５）。「キャッピング不良」および「キャップ不良またはノズル不良」と判定された場合には、直ちに吸引ポンプ７２の駆動を停止する。なお、「キャッピング不良」の場合には、同時にヘッドキャップ７１の洗浄や交換等のメンテナンス方法を表示することが好ましい。同様に「キャップ不良またはノズル不良」の場合には、同時にヘッドユニット１５の交換等のメンテナンス方法を表示することが好ましい。このようにして、吸引動作が完了したら、上昇降シリンダ１１２を再度駆動してヘッドユニット１５からキャップを離間させる。なお「キャップ不良またはノズル不良」の表示は「キャップ不良」「ノズル不良」と表示してもよい。
【００４１】
一方、キャップを離間させた状態で上記の吸引動作を行い、これを圧力センサ７６で測定すれば、キャップの目詰まりや吸引流路７４ａの部分閉塞等の「キャップ不良」も検出することができる。すなわち、圧力センサ７６の測定結果が、所定の圧力値（負圧）を上まわった場合、「キャップ不良」と判定し、これをディスプレイ７７に表示する。そして、同時にヘッドキャップ７１の洗浄方法や交換等のメンテナンスを指示（表示）する。なお、圧力測定は、主に吸引動作直前に行うが、フラッシング時等に行うようにしてもよい。
【００４２】
続いて、図７を参照にして、本願発明の主要部を構成するヘッドキャップ７１について説明する。ヘッドキャップ７１は、ヘッドキャップ７１のベースとなるキャップベース１５１と、キャップベース１５１の表面に形成された吸収材収容部１７１に収容された機能液吸収材１５２と、機能液吸収材１５２の膨潤を防止し、平坦に抑えることができる機能液吸収材押さえ１５３と、キャップベース１５１の表面に設置され機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に密着するシール部材１５４と、シール部材１５４をキャップベース１５１に固定するシール固定部材１５５と、キャップベース１５１が収容されるキャップホルダ１５６と、から構成される。
【００４３】
キャップホルダ１５６は、ステンレス等の耐食性材料で構成され、細長形状のホルダ本体１６１と、ホルダ本体１６１の長手方向の両端部上面に固定ねじで固定した一対の位置規制ブロック１６２とから構成されている。ホルダ本体１６１は、一対のコイルばね１６３およびコイルばね１６３を保持する一対のピン１６４を有している（図８参照）。キャップベース１５１は、位置規制ブロック１６２により上方への移動を位置規制された状態で、このコイルばね１６３により、下方から付勢されている。そして、コイルばね１６３により、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３に密接するときのショックが吸収される。また、位置規制ブロック１６２は、キャップベース１５１をわずかに傾斜するように位置規制しており、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３が離間するときに機能液が大きく飛散するのを防止している。
【００４４】
機能液吸収材１５２は、材質の異なる２種類の機能液吸収材１５２を積層して構成されており、キャップベース１５１の吸収材収容部１７１に形成された吸引口１７３と大気流入口１７２に対応する部分には、それぞれ小穴が形成されている。なお、機能液吸収材１５２は、２層構造に限らず単層構造または多層構造にしてもよい。吸収材押さえ１５３は、ステンレス等の耐食性材料で薄板に構成されており、方形の枠状部と、枠状部横断するように形成された桟状部（３つ）とで一体に形成されている。
【００４５】
シール部材１５４は、ゴムや樹脂等で構成されており、断面クランク状にかつ吸収材収容部１７１に沿って環状に形成されている（図８参照）。これにより、ノズル面５３に密着することでノズル面５３から受ける反力で、シール部材１５４とキャップベース１５１とが吸収材押さえ１５３を挟み込むように固定するので、吸収材押さえ１５３を安定的に固定することが可能となる。
【００４６】
シール固定部材１５５は、磁性体、例えば鉄、フェライトで構成されまたは一部が磁性部材で構成されており、略方形の枠状に形成されている。シール固定部材１５５の周縁部は傾斜させるように面取りが施され、シール固定部材１５５には、開口部分を挟んでその両側に位置決めのための円形の一対のピン穴１５７が形成されている。また、シール固定部材１５５の対向する長辺は、キャップベース１５１に固定された状態で、キャップベース１５１の長辺より側方に突出するように形成され、その両突出部はシール固定部材１５５を取り外すときの指掛け部分となる。
【００４７】
キャップベース１５１は、略方形状に作成され、キャップベース１５１の表面には、シール固定部材１５５を固定するために、長手方向の両端部に一対と短手方向の両端部に一対とで計４つのマグネット１７４が設けられている。マグネット１７４は、フェライト磁石、金属磁石等の方形永久磁石で構成され、キャップベース１５１の表面に面一になるように埋め込まれている。また、キャップベース１５１の表面には、マグネット１７４に近接して上記各ピン穴１５７に嵌合する一対の位置決めピン１７５が立設されている。ピン穴１５７に位置決めピン１７５を位置合わせして、シール固定部材１５５をキャップベース１５１に装着することで、キャップベース１５１に対し、シール固定部材１５５が前後左右に位置決めされて固定される。さらにキャップベース１５１の表面中央部には、機能液吸収材１５２を収容する吸収材収容部１７１が突設するように形成されている。吸収材収容部１７１は、機能液吸収材１５２を収容する凹溝部１７１ａと、キャップベース表面から突出し吸収材押え１５３を着座させる環状周縁部１７１ｂと、から成り、凹溝部１７１ａの底部には、吸引流路７４ａに連なる吸引口１７３と、大気開放弁に連なる大気流入口１７２と、が形成されている（図８参照）。
【００４８】
ここで、図９を参照にして、ヘッドキャップ７１の組立て手順を説明する。先ず、キャップベース１５１に形成された吸収材収容部１７１の凹溝部１７１ａに機能液吸収材１５２を敷設した後、機能液吸収材１５２をキャップベース１５１に押えつけるように、吸収材押さえ１５３をキャップベース１５１の環状周縁部１７１ｂに着座させる。この状態で、シール部材１５４を、キャップベース１５１の表面の環状周縁部１７１ｂの縁に沿わすように装着し、シール部材１５４の下面と環状周縁部１７１ｂの上面とで吸収材押さえ１５３を上下から挟みこむ。その後、シール固定部材１５５に形成されたピン穴１５７をキャップベース１５１の位置決めピン１７５に位置合わせし、キャップベース１５１の表面に埋め込まれたマグネット１７４の磁着力にゆだねてシール固定部材１５５をキャップベース１５１に固定する。
【００４９】
このように、シール固定部材１５５がキャップベース１５１のマグネット１７４に磁着されることで、機能液吸収材１５２、吸収材押さえ１５３、シール部材１５４が、シール固定部材１５５とキャップベース１５１とに挟まれるように固定されている。よって、キャップベース１５１の磁着力に抗してシール固定部材１５５を持ち上げるだけで、短時間で容易に分解することができる。分解後のメンテナンス作業では、機能液吸収材１５２およびシール部材１５４の交換を行うと共に、吸収材押さえ１５３の拭き取りを行う。例えば、このメンテナンス作業の作業時間は、従来のねじ固定では一のキャップの交換作業につき約５分であり、本実施形態では約１分である。したがって、１２個のキャップに対し、従来のものは約６０分を要し、本実施形態では約１２分で完了する。
【００５０】
なお、本実施形態では、シール固定部材１５５は、磁性体または一部が磁性部材で構成され、キャップベース１５１に設けられたマグネット１７４に磁着することで固定しているが、逆にシール固定部材１５５の裏面にマグネット１７４設け、キャップベース１５１の全体を磁性体またはマグネット１７４と磁着する一部を磁性部材で構成してもよい。
【００５１】
次に、本実施形態では、シール固定部材１５５のピン穴１５７とキャップベース１５１の位置決めピン１７５とで位置合わせしているが、ピン穴１５７と位置決めピン１７５に代えて、シール固定部材１５５に設けた凹部とキャップベース１５１に設けた凸部が嵌合することで位置決めをしてもよい。
【００５２】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００５３】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図１０は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図１１は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図１１（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００５４】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図１１（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図１１（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００５５】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５６】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図１１（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５７】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図１１（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５８】
図１２は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図１１に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５９】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００６０】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１２において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００６１】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６２】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００６３】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００６４】
図１３は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００６５】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６６】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６７】
図１４は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６８】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６９】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００７０】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００７１】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００７２】
次に、図１５は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００７３】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００７４】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００７５】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７６】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７７】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７８】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７９】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００８０】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００８１】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００８２】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００８３】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００８４】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１６〜図２４を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１６に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００８５】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１７に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１８に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８６】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８７】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８８】
図１９に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図２０に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８９】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００９０】
そして次に、図２１に示すように、各色のうちのいずれか（図２１の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００９１】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２２に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００９２】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２３に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００９３】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００９４】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２４に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００９５】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９６】
次に、図２５は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９７】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９８】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９９】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１００】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【０１０１】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【０１０２】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【０１０３】
次に、図２６は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【０１０４】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１０５】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１０６】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０７】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１０８】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２７（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２７（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０９】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１１０】
【図１】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】機能液滴吐出ヘッドと吸引ユニットの模式図である。
【図４】吸引ユニットの側面図である。
【図５】吸引ユニットの上面図である。
【図６】吸引不良の監視方法のフローチャートである。
【図７】ヘッドキャップの斜視図である。
【図８】ヘッドキャップの断面図である。
【図９】ヘッドキャップの分解斜視図である。
【図１０】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図１１】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１４】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１５】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１６】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１７】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１８】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１９】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２２】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２３】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２４】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２５】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２６】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２７】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１１１】
１…液滴吐出装置  １７…機能液滴吐出ヘッド  ５３…ノズル面  ５５…吐出ノズル  ６１…吸引ユニット  ７１…ヘッドキャップ  ７２…吸引ポンプ  ７４ａ…吸引流路  ７６…圧力センサ  ７７…ディスプレイ  １５１…キャップベース  １５２…機能液吸収材  １５４…シール部材  １５５…シール固定部材  １７１…吸収材収容部  １７４…マグネット  ５０８…着色層  Ｗ（ワーク）…基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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