(57)【要約】【課題】  角形状液晶表示板用積層ガラス板の隅部や液晶注入口封止材部を破損、傷つけることなく、両面研磨加工して厚み約０．６ｍｍの液晶表示用積層ガラス板を得ることができるキャリアの提供。【解決手段】  長方形を切り抜いた形状の金属製キャリア枠体４ａの内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部４ｂが設けられた樹脂製可撓性保持材４ｃが配され、この樹脂製可撓性保持材の角形状基板３と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇが設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所４ｈ，４ｉが設けられているキャリア４。研磨加工時の衝撃応力が樹脂製可撓性保持材４ｃに設けられた逃げ空所で減衰されるので角形状液晶表示板用積層ガラス板の破損や傷付がない。【選択図】  図１
2007105799.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属製キャリア枠体の内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部が設けられた樹脂製可撓性保持材を配した角形状基板用キャリアであって、前記樹脂製可撓性保持材の角形状基板と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所が設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所が設けられていることを特徴とする、角形状基板用キャリア。
【請求項２】
金属製キャリア枠体の内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部が設けられた樹脂製可撓性保持材を配した角形状基板用キャリアであって、前記樹脂製可撓性保持材の角形状基板と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所が設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所が設けられているキャリア、
該キャリアの左右直線移動機構、
回転軸心を研磨パッドの中心点より外した一対の偏心角形状研磨パッドであって、この一対の角形状研磨パッドの研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置した一対の偏心角形状研磨パッド、
前記偏心角形状研磨パッドの昇降機構および回転駆動機構、および
前記基板収納ポケット部に収納された基板と偏心角形状研磨パッドとが接する面に研磨液を供給する研磨液供給手段、
を備える角形状基板の両面研磨装置。
【請求項３】
請求項１に記載のキャリアの角形状基板収納ポケット部内に角形状基板を保持し、この基板を逆方向に回転する一対の偏心角形状研磨パッドの間を通過させて、前記角形状基板の両面を同時に研磨する角形状基板の研磨方法において、前記一対の偏心角形状研磨パッドをその研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置し、前記角形状基板を前記偏心角形状研磨パッドの間に一定時間留まらせるとともに、前記角形状基板の研磨中に前記直線移動キャリアを間歇的に左右に往復揺動させることにより前記角形状基板の両面を研磨することを特徴とする角形状角形状基板の研磨方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置用積層ガラス基板、プラズマディスプレイ用積層ガラス基板、フラット・パネルディスプレイ用積層ガラス基板、有機ＥＬパネル等の角形状基板の両面を同時に研磨して基板を平坦化するとともにその厚みを減少させる両面研磨装置に用いられる角形状基板用のキャリアに関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラス板内面に電極、配線回路が設けられ、そのガラス板間に液晶が注入された表示板（ディスプレイ）用ガラス基板は知られており、液晶表示板に使用されている。また、絶縁性基板上に多数のゲートラインが形成され、各ゲートラインを周辺部に引き出して多数のゲートライン入力端子を形成したＴＦＴ基板と、複数のゲートライン入力端子に接続され、ゲートラインごとに電圧供給タイミングを制御する２以上のゲート駆動モジュールと、ゲート駆動モジュールに対しゲート駆動電圧を供給する表示制御基板とを備え、上記ＴＦＴ基板の周辺部には、表示制御基板からゲート駆動モジュールへゲート駆動電圧を伝達するゲート電源供給線が設けられ、上記表示制御基板が、ゲート駆動電圧を生成するゲート電源回路と、表示制御基板に最も近いゲート駆動モジュールまでのゲート電源供給線の配線抵抗よりも高い抵抗値からなる抵抗素子とを有し、ゲート駆動電圧が上記抵抗素子を介してゲート電源供給線に供給されるＴＦＴ表示装置も知られている。（例えば、特許文献１、特許文献２および特許文献３参照。）。
【０００３】
また、透明基板上に順次積層した透明電極層と、有機ＥＬ層と、金属電極層とを有する有機ＥＬ素子を結晶化ガラスよりなる封止板で被覆した有機ＥＬディスプレイ素子であって、該封止板の外面に搭載された電子回路と、該封止板の外面に設けられた電極端子との接続が厚膜配線で形成されている有機ＥＬディスプレイ素子も知られている。（例えば、特許文献４参照。）。
【０００４】
更に、フラットパネルディスプレイ用のパネルへのフレキシブル回路基板の接合方法であって、パネルのガラス基板の主面上に形成されたパネル電極部に非導電性接着ペーストを塗布する工程と、基板電極部を有するフレキシブル回路基板を、前記パネル電極部と前記基板電極部が互いに対向するように、前記ガラス基板に対して配置する工程と、前記フレキシブル回路基板の上から加圧しつつ前記非導電性接着ペーストを硬化させ、前記パネル電極部と前記基板電極部とを導通させる工程とを有することを特徴とするパネルへのフレキシブル回路基板の接合方法も提案されている（例えば、特許文献５参照。）。
【０００５】
通常、これらの表示板に使用される角形状積層ガラス板は、表面を研削、またはラップ加工して厚みが減少され、さらに、その研削面またはラップ面をエッチングまたは片面づつ、或いは両面を同時研磨加工して平坦化している（例えば、特許文献１、特許文献６、および、特許文献７参照。）。
【０００６】
かかる薄肉の角形状ガラス板の両面を研磨パッドで同時に研磨する方法として、例えば、外周にギア部を形成するとともに、多角形状に形成された角形状ガラス板の大きさに略相当する大きさの孔部（ポケット部）が穿設されたキャリア本体部と、前記角形状ガラス板の角部を除く端部と前記キャリア本体部に穿設された前記孔部の前記角形状ガラス板の角部に対応する部位を除く周部との間に配設された角形状ガラス板支持部材とを有し、前記キャリア本体部を、強度の高い材料により形成し、少なくとも前記角形状ガラス板支持部材の前記角形状ガラス板との接触部位を前記角形状ガラス板と当接しても前記角形状ガラス板の破損を生じにくい柔軟性材料により形成したキャリアを用い、角形状ガラス板をキャリアに支持させた後に、オスカ−式両面研磨装置の駆動装置によりキャリア本体部のギア部を介してキャリアを回転させるとともに、研磨パッドの軸心を同軸上にして設けられた一対の円形状研磨パッドを角形状ガラス板の表裏面に摺擦させて角形状ガラス板の両面研磨を行うものである（例えば、特許文献７参照。）。
【０００７】
また、（ａ）上側のカラ−フィルタ−ガラス基板と下側のＴＦＴガラス基板を貼り合わせる工程、（ｂ）表示板の大きさに切断する工程、（ｃ）前記上側と下側のガラス板の内面をアニ−ル処理してガス抜きを行った後、上側と下側のガラス板間に液晶を注入し、注入口をシ−ル剤で封止し、洗浄／アニ−ル工程、面取工程を行う液晶セル製造工程、（ｄ）下側のＴＦＴガラス基板のはみ出し部（約２ｍｍ幅）に載るドライバ−部に保護用塗膜を設ける塗布工程、両面研磨装置により厚み１．４ｍｍの液晶セルを同時に両面研磨し、厚み０．８ｍｍの液晶セルとする研磨工程、（ｅ）保護用塗膜の剥離工程、偏光板を貼り付ける工程、および（ｆ）検査工程を経て液晶表示板を製造することも提案されている（例えば、特許文献１参照。）。
【０００８】
更に、キャリアベルトに形成したポケットに角形状ガラス基板を嵌め込み、このキャリアベルトを回転する一対のダイヤモンド研削平砥石間を通すことで、前記ガラス板の両面を同時に研削するガラス板の研削方法において、前記研削を粗研削とそれに続く精密研削の多段の研削で行うガラス板の薄肉化方法も提案されている（例えば、特許文献６参照。）。
【特許文献１】特開２００３−２５５２９１号公報
【特許文献２】特開２００４−２１０１６号公報
【特許文献３】特開２００５−３１３３２号公報
【特許文献４】特開２００３−３３２０４３号公報
【特許文献５】特開２００４−１２６３４０号公報
【特許文献６】特開平１１−１２３６４２号公報
【特許文献７】特開平６−２１８６６７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明者らは、ステンレス製キャリア枠体のポケット部の角形状液晶表示用積層ガラス板との接触部位をガラス繊維補強エポキシ樹脂等の柔軟材で形成した角形状キャリア枠体を用い、この角形状キャリア枠体のポケット部にガラス基板間に液晶が封入され、その封入口を封止材で封止した厚みが１．０ｍｍの角形状液晶表示用積層ガラス板（液晶セル）を保持し、この基板を逆方向に回転する一対の偏心角形状研磨パッドの間を通過させて、前記角形状積層ガラス基板の両面を同時に研磨するとともに、前記角形状積層ガラス基板の研磨中に前記角形状キャリア枠体を間歇的に左右方向に直線往復揺動させて角形状積層ガラス基板の両面を研磨したところ、研磨加工された液晶表示用積層ガラス板（厚み０．６ｍｍ）コ−ナ−部（隅の角部）が欠けたり、液晶注入口の封止材や液晶吸引口の封止材が剥がされたり盛り上がって均一な研磨加工ができていないことが判明した。
【００１０】
本発明は、両面平坦加工される角形状液晶表示用積層ガラス板がきわめて薄くてもコ−ナ−部が欠けたり、封止材が剥がされたりすることがない角形状基板用キャリアの提供を目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
請求項１の発明は、金属製キャリア枠体の内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部が設けられた樹脂製可撓性保持材を配した角形状基板用キャリアであって、前記樹脂製可撓性保持材の角形状基板と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所が設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所が設けられていることを特徴とする、角形状基板用キャリアを提供するものである。
【００１２】
請求項２の発明は、
金属製キャリア枠体の内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部が設けられた樹脂製可撓性保持材を配した角形状基板用キャリアであって、前記樹脂製可撓性保持材の角形状基板と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所が設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所が設けられているキャリア、
該キャリアの左右直線移動機構、
回転軸心を研磨パッドの中心点より外した一対の偏心角形状研磨パッドであって、この一対の角形状研磨パッドの研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置した一対の偏心角形状研磨パッド、
前記偏心角形状研磨パッドの昇降機構および回転駆動機構、および
前記基板収納ポケット部に収納された基板と偏心角形状研磨パッドとが接する面に研磨液を供給する研磨液供給手段、
を備える角形状基板の両面研磨装置を提供するものである。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１に記載のキャリアの角形状基板収納ポケット部内に角形状基板を保持し、この基板を逆方向に回転する一対の偏心角形状研磨パッドの間を通過させて、前記角形状基板の両面を同時に研磨する角形状基板の研磨方法において、前記一対の偏心角形状研磨パッドをその研磨面を平行にして異なった軸心で回転するよう配置し、前記角形状基板を前記偏心角形状研磨パッドの間に一定時間留まらせるとともに、前記角形状基板の研磨中に前記直線移動キャリアを間歇的に左右に往復揺動させることにより前記角形状基板の両面を研磨することを特徴とする角形状角形状基板の研磨方法を提供するものである。
【発明の効果】
【００１４】
キャリアを揺動させながら角形状基板の両面を平坦加工している際、角形状基板の４隅部および液晶注入口封止材部に衝撃応力が集中するので、角形状基板を保持する樹脂製可撓性保持材のかかる衝撃応力を受ける部分を空所化することにより衝撃応力を逸散させ、角形状基板の傷付きや破損を防止することができる。また、角形状基板を左右方向に揺動させながらお互いに逆方向に回転する偏心角形状研磨パッドで角形状基板の両表面を研磨加工するので、研磨された角形状基板の四隅の厚みと他場所の厚みの差が小さく、厚み分布の良好な角形状基板が得られる。また、お互いの偏心角形状研磨パッドの回転軸心が離間している一対の偏心角形状研磨パッドの回転方向が相互逆方向であるので、薄い角形状基板が平坦加工中にキャリアのポケット部より飛び出すことはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、図を用いて本発明をさらに詳細に説明する。
図１は本発明のキャリアの平面図、図２は図１におけるＩ−Ｉ切断面を示すもので、角形状基板を保持しているキャリアの断面図、図３は角形状基板の両面研磨装置の一部分を切り欠いた斜視図、図４は両面研磨装置の研磨ヘッド部の一部分を切り欠いた断面図、図５は角形状基板を両面研磨加工しているときの角形状基板と偏心角形状研磨パッドの動きを示す平面図、および図６はオスカ−式両面研磨装置に用いる本発明の別の態様を示すキャリアの平面図である。
【００１６】
図１および図２において、４はキャリアで、このキャリアは長方形を切り抜いた形状の金属製キャリア枠体４ａの内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部４ｂが設けられた樹脂製可撓性保持材４ｃが配され、この樹脂製可撓性保持材の角形状基板３と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇが設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材４ｊ、液晶吸引口封止材４ｋの近傍位置にも逃げの空所４ｈ，４ｉが設けられている。角形状基板が縦１９３．４ｍｍ、横２５６．６ｍｍの寸法の場合、隅部逃げ空所空所４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇは角形状基板隅部を中心に３．５ｍｍ半径の逃げ穴が設けられ、液晶注入口封止材近傍位置の逃げの空所４ｈ，４ｉの寸法は幅３０ｍｍに亘って３ｍｍのギャップが生じるよう設けられている。
【００１７】
金属製キャリア枠体４ａは、ステンレス、アルミニウム、鋳鉄、真鍮等を素材とする。樹脂製可撓性保持材４ｃは、ガラス繊維補強エポキシ樹脂、ガラス繊維補強アラミド樹脂、ガラス繊維補強ポリイミド樹脂等を素材とする。
【００１８】
角形状基板の両面研磨装置１００を示す図３において、１は上側の偏心角形状研磨パッド、２は下側の偏心角形状研磨パッド、３は角形状基板（ワ−クピ−ス）、４はキャリア、５は研磨ヘッド、６はスピンドル、７はエア−シリンダ、８はキャリア移動機構、９は支持台、１０は案内レ−ル、１１は小型サ−ボモ−タ、１２は基台、１３は壁材である。２００は角形状基板の位置決め装置、２０１はロ−ルコンベア−、２０２はロ−ル状ブラシ、２０３は位置決め機構、２０３ａはプッシュバ−、２０３ｂ、２０３ｃは位置決め堰である。３００は角形状基板の搬送ロボット、３０１はア−ム、３０２は真空吸着ハンドである。
【００１９】
両面が研磨加工された角形状基板３は、位置決め装置２００のロ−ルコンベア−２０１上を滑走し、ロ−ル状ブラシ２０２間を通過し位置決め機構２０３の堰２０３ｂ，２０３ｃに右端部が当接触し、ついで、プッシュバ−２０３ａを前進させ角形状基板３の後端部を押して右端隅部を堰２０３ｂに当接させることにより搬送ロボット３００に対する角形状基板３の座標位置が決定される。搬送ロボット３００の真空吸着ハンド３０２により角形状基板３を吸着する前にプッシュバ−２０３ａは後退される。
【００２０】
図４に示す両面研磨装置１００の研磨ヘッド５ａ，５ｂにおいて、円盤状支持体の表面に研磨布を貼付した偏心角形状研磨パッド（定盤）１，２は、その研磨面１ｂ，２ｂを互いに平行にしてキャリア４に保持された角形状基板３を挟んでそれぞれの偏心角形状研磨パッドの回転軸心１ｃ，２ｃをずらして上下に配置される。偏心角形状研磨パッド１，２は中空スピンドル（回転軸）６ａ，６ｂに軸承されている。研磨剤は、ポンプＰにより配管６２、ロ−タリ−ジョイント６３を経て中空回転軸６ａ，６ｂ内に設けられた管６４へと供給されて前記研磨パッド１，２の研磨布１ａ，１ｂを湿潤する。研磨パッドは、取り付けフレ−ム７０に支持され、この取り付けフレ−ムの下部に設けられたスライダ−７１は、コラム８０に設けられたガイドレ−ル７２上を前後方向に移動可能となっており、研磨パッド１をキャリア４の左右送り方向に対し直交する方向へ前進後退できる構造となっている。
【００２１】
中空スピンドル６ａ，６ｂは、原動機Ｍ１、プ−リ−８２、ギア−８１，８３などを備えた回転駆動装置により、所定の回転数、例えば１０〜１８０ｃｍ−１で互いに反対方向に回転可能である。
【００２２】
中空スピンドル６ａ，６ｂの内室と管６４の間の空間６５にはロ−タリ−ジョイント６３に接続された管６６を経由して図示されていないコンプレッサ−より加圧空気が供給される。また、図示されていない真空ポンプにより空間６５内の気体は排気される。
【００２３】
加工前の偏心角形状研磨パッド１，２の間隔（原位置）は、加工される角形状基板３の厚みにより調整される。偏心角形状研磨パッド１，２の大きさは、被研磨物である角形状基板に相似形で１．３〜２．０倍の寸法が好ましい。
【００２４】
研磨布１ａ，２ａの素材としては、ダイヤモンド粉含有ポリウレタンフォ−ムシ−ト、ダイヤモンド粉含有ポリアミド繊維を不織布状に加工し、これをウレタンプレポリマ−で固めたシ−ト状物などが用いられる。
【００２５】
研磨剤としては、水、セリア、アルミナ、ダイヤモンド、シリカ系の研磨剤スラリ−が用いられる。研磨剤は、被研磨物の基板の種類により異なるが、ガラス基板にはセリア系研磨剤スラリ−、シリコン基板にはコロイダルシリカ系スラリ−、サファイア基板には、アルミナ系スラリ−とダイヤモンド系スラリ−が好ましい。
【００２６】
偏心角形状研磨パッド１，２は、その対角線交点（中心点）から１０〜８０ｍｍ外した位置が回転軸心１ｃ，２ｃとなるよう前記中空スピンドル６ａ，６ｂに軸承している。これら一対の偏心角形状研磨パッド１，２は、その研磨面１ａ，２ａを平行にしてキャリア４に対し点対称となるよう設置される。これら一対の偏心角形状研磨パッド１，２の回転軸心１ｃ，２ｃ間距離は、２０〜１６０ｍｍが好ましい。これら一対の偏心角形状研磨パッド１，２のスピンドル軸６ａ，６ｂの回転方向は逆方向で、偏心角形状研磨パッド１，２の回転数は１０〜２００ｍｉｎ−１、偏心角形状研磨パッドの角形状基板３に対する加圧力は、２０〜１００ｇ／ｃｍ２が好ましい。角形状基板の研磨時、キャリア４は左右に間歇的に揺動される。キャリア４の揺動速度は８０〜２００ｃｍ／分、振れ幅は２５〜１００ｍｍ、揺動周期は２〜２０回／分が好ましい。角形状基板３の研磨取り代は、基板の素材、用途に依存するが２〜１００μｍが好ましい。
【００２７】
キャリア４は、キャリア移動機構８に前後端を挟持され、このキャリア移動機構８を小型サ−ボモ−タ１１の駆動を受けたボ−ルネジ（図示されていない）が回転駆動し、案内レ−ル１０上をキャリア移動機構８が滑走することにより行われる。このキャリア４には、その幅方向中央部で、且つ長さ方向に所定の間隔０．５〜１ｍｍを保って角形状基板３の外形よりも若干大きいポケット部４ａが複数形成されている。ポケット部４ａの内側には可撓性ゴム板４ｂを設けるのがよい。角形状基板３をポケット部４ａに嵌合した際に、基板３の両面がキャリアベルト４の両面から研磨取り代分を超えて突出可能なようにキャリア４の厚みは角形状基板３の厚みより薄い。
【００２８】
図５に示すように、キャリア４を間歇的に左右方向に揺動させながら回転軸心１ｃ，２ｃで回転する偏心角形状研磨パッド１，２を逆方向に回転させて角形状基板３の両面を同時に研磨するので、偏心角形状研磨パッドの研磨布１ａ，２ａが局所的に磨耗することが抑制されて角形状研磨パッドの寿命向上が図れると共に、偏心角形状研磨パッドの磨耗による表面の平坦形状の崩れが抑制されて角形状基板３の平坦度の向上、厚みの均一性の向上が図れる。
【００２９】
研磨開始点は、偏心角形状研磨パッド１と偏心角形状研磨パッド２の間隔が、キャリア４に保持される角形状基板３の厚みよりも、０．０５ｍｍ〜０．１ｍｍ程度大きく設定するのが好ましい。角形状基板３への研磨切り込み量の調整は、エア−シリンダ−７の昇降により行われる。角形状基板３が所定量研磨されたら偏心角形状研磨パッド１，２をキャリア４より遠ざける。
【００３０】
角形状基板の研磨加工を効率よく行うには、図３に示すような両面研磨装置１００を複数並列に設置するがよい。両面研磨装置１００は、例えば、粗研磨、仕上研磨、あるいは、粗研磨、中仕上研磨、精密仕上研磨のようにそれぞれ研磨パッド、研磨条件を買えて行う。各々の研磨ステ−ジで用いる偏心角形状研磨パッドの研磨布の弾性率、ダイヤモンド粒砥番や含有率も当然異なるものとなるし、研磨時間、偏心角形状研磨パッドの回転速度も異なってくる。例えば、３段階の研磨加工のときは、偏心角形状粗研磨パッドのダイヤモンド砥粒には＃１００〜＃３２５のダイヤモンド砥粒が、中仕上げ研磨パッドのダイヤモンド砥粒には＃６００〜＃２０００のダイヤモンド砥粒を、精密仕上げ研磨パッドのダイヤモンドと砥粒には＃３０００〜＃８０００のダイヤモンド砥粒を用いる。
【００３１】
二段の研磨ステ−ジにおいては、粗研磨における研磨取り代量は、全体の取り代量の６０〜９５％とするのが、研磨速度のバランスを確保し、かつガラス表面のクラック等の表面欠陥を生じさせることなく全体として短時間で研磨加工を完了する上で好ましく、７５〜８５％とするのがさらに好ましい。三段研磨ステ−ジにおいては、全体の研磨厚み量の配分を粗研磨６０〜８５％、中仕上研磨３５〜１３％、精密仕上研磨５〜２％とするのが好ましい。例えば、０．６０ｍｍ厚の角形状液晶表示用ガラス板の両面から５０μｍ取り去って０．５ｍｍ厚みの角形状液晶表示用ガラス基板とするときは、２段研磨ステ−ジの場合、粗研磨加工で０．５２ｍｍ厚みとする。３段研磨ステ−ジの場合、粗研磨加工で０．５３ｍｍ厚み、中仕上研磨加工で０．５０２ｍｍ厚み、精密仕上研磨加工で０．５００ｍｍ厚みとする。
【００３２】
角形状基板３としては、ソーダ石灰シリカ系ガラス、ホウ珪酸系ガラス、アルミノ珪酸系ガラス、アルミノホウ酸系ガラス、無アルカリ低膨張ガラス、高歪点高膨張珪酸ガラス、結晶化ガラス等のガラス基板の他、石英基板、サファイア基板、ＧａＡｓ基板、シリコン基板等の角形状基板が被研磨加工物となる。
【００３３】
本発明の逃げ空所を設けたキャリアは、キャリア直線揺動方式の両面研磨装置の他に、オスカ−式両面研磨装置のキャリアにも、両面研削装置のキャリアにも利用できる。図６は、オスカ−式両面研磨装置に用いられるキャリア４で、このキャリアは外周にギア部４ｍを形成するとともに内側に長方形を切り抜いた形状の鋳鉄製キャリア枠体４ａの内側に、中央部に角形状基板収納ポケット部４ｂが設けられた樹脂製可撓性保持材４ｃが配され、この樹脂製可撓性保持材の角形状基板３と接する角形状基板収納ポケット部の４隅には角形状基板の隅部に当たらぬよう逃げの空所４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇが設けられているとともに、角形状基板の液晶注入口封止材の近傍位置にも逃げの空所４ｈ，４ｉが設けられている。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明のキャリアを用い、液晶表示板用ガラス積層体を左右方向に揺動しながら両面研磨する方法は、厚み分布が均一な液晶表示板用ガラス積層体を破損や傷つけることなく製造できる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明のキャリアの平面図である。
【図２】角形状基板を保持しているキャリアの断面図である。
【図３】角形状基板の両面研磨装置の一部分を切り欠いた斜視図である。
【図４】両面研磨装置の研磨ヘッド部の一部分を切り欠いた断面図である。
【図５】角形状基板を両面研磨加工しているときの角形状基板と偏心角形状研磨パッドの動きを示す平面図である。
【図６】オスカ−式両面研磨装置に用いる本発明の別の態様を示すキャリアの平面図である。
【符号の説明】
【００３６】
１，２  偏心角形状研磨パッド
１ｃ，２ｃ  偏心角形状研磨パッドの回転軸心
３      角形状ガラス基板
４      キャリア
４ａ    枠体
４ｂ    角形状基板収納ポケット部
４ｃ    樹脂製可撓性保持材
４ｄ，４ｅ，４ｆ，４ｇ  逃げの空所
４ｈ，４ｉ  逃げの空所
４ｊ    液晶注入口封止材
４ｋ    液晶吸引口封止材
５      研磨ヘッド
６ａ，６ｂ  中空スピンドル
１００  両面研磨装置
２００  基板の位置決め装置
３００  基板の搬送ロボット
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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