(57)【要約】【課題】ヘッドキャップの詰り状態を常時管理することができるヘッドキャップの管理方法等を提供することを課題とする。【解決手段】機能液滴吐出ヘッド１９に離接してこれを保全するヘッドキャップ４０の管理方法であって、ヘッドキャップ４０を機能液滴吐出ヘッド１９から離間させた状態で、ヘッドキャップ４０に連なる吸引手段４３により空吸引を行う空吸引工程と、この空吸引の状態で、ヘッドキャップ４０と吸引手段４３とを接続する吸引流路４４の流路内圧力を測定する圧力測定工程と、この測定結果に基づいて、ヘッドキャップ４０および吸引流路４４の不良を管理するキャップ管理工程と、を備えたものである。【選択図】図５
2007105599.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機能液滴吐出ヘッドに離接してこれを保全するヘッドキャップの管理方法であって、
前記ヘッドキャップを前記機能液滴吐出ヘッドから離間させた状態で、前記ヘッドキャップに連なる吸引手段により空吸引を行う空吸引工程と、
この空吸引の状態で、前記ヘッドキャップと前記吸引手段とを接続する吸引流路の流路内圧力を測定する圧力測定工程と、
この測定結果に基づいて、前記ヘッドキャップおよび前記吸引流路の不良を管理するキャップ管理工程と、を備えたことを特徴とするヘッドキャップの管理方法。
【請求項２】
機能液滴吐出ヘッドに離接してこれを保全するヘッドキャップと、
前記ヘッドキャップの直上部に臨んだ前記機能液滴吐出ヘッドと前記ヘッドキャップとを相対的に離接移動させる離接手段と、
吸引流路を介して前記ヘッドキャップに接続された吸引手段と、
前記吸引流路内の圧力を測定する圧力測定手段と、
前記離接手段により前記ヘッドキャップを前記機能液滴吐出ヘッドから離間させて前記吸引手段を駆動する、空吸引を行った状態の前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、前記ヘッドキャップおよび前記吸引流路の不良を管理するキャップ管理手段と、を備えたことを特徴とする吸引ユニット。
【請求項３】
前記キャップ管理手段は、前記圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力を下回った場合に、キャップ不良である旨、報知することを特徴とする請求項２に記載の吸引ユニット。
【請求項４】
前記ヘッドキャップの直上部に臨むダミーヘッドと、前記ダミーヘッドに接続された洗浄液タンクと、を更に備え、
前記圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力を下回った場合に、前記離接手段は、前記ヘッドキャップを前記ダミーヘッドに密接させ、且つ前記吸引手段は、前記ヘッドキャップおよび前記ダミーヘッドを介して、前記洗浄液タンクの洗浄液を吸引することを特徴とする請求項２に記載の吸引ユニット。
【請求項５】
前記離接手段により前記ヘッドキャップを前記機能液滴吐出ヘッドに密着させて前記吸引手段を駆動する、本吸引を行った状態の前記圧力測定手段の測定結果に基づいて、吸引不良を管理する吸引管理手段を、更に備えたことを特徴とする請求項２ないし４のいずれかに記載の吸引ユニット。
【請求項６】
前記吸引管理手段は、前記圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力範囲の上限外である場合に、キャッピング不良である旨、報知することを特徴とする請求項５に記載の吸引ユニット。
【請求項７】
請求項２ないし６のいずれかに記載の吸引ユニットと、
ワークに機能液滴を吐出する前記機能液滴吐出ヘッドと、を備えたことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項８】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項９】
請求項７に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１０】
請求項８に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置、また請求項９に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、機能液滴吐出ヘッドを保全するためのヘッドキャップおよびこれに接続された吸引流路に、詰り等が生じているか否かを管理するヘッドキャップの管理方法、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来のヘッドキャップの管理方法は、装置の稼動終了時であって、機能液滴吐出ヘッドに保管のためのヘッドキャップによるキャッピングを行う前に、ヘッドキャップの洗浄を行うようにしている（例えば、特許文献１参照。）。この場合の洗浄作業は、ヘッドキャップを洗浄タンクに連なるダミーヘッドに密接し、吸引ポンプを駆動してダミーヘッドからヘッドキャップおよび吸引チューブに洗浄液を通液することで、ヘッドキャップおよび吸引チューブを洗浄する。
【特許文献１】特開２００４−１９５９３２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、このようなヘッドキャップの管理方法では、ヘッドキャップおよび吸引チューブの洗浄タイミングが、装置の稼動状態に左右されるため、洗浄が不必要にも関わらずキャップ洗浄を行ってしまう場合や、洗浄が必要であるにも関わらずキャップ洗浄が行われない場合が生ずる。前者の場合は、洗浄剤を無駄に消費するという問題が生じ、後者の場合は、吐出ノズルの機能の回復ができなくなるという問題を生ずる。
【０００４】
本発明は、ヘッドキャップの詰り状態を常時管理することができるヘッドキャップの管理方法、吸引ユニットおよび液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明のヘッドキャップの管理方法は、機能液滴吐出ヘッドに離接してこれを保全するヘッドキャップの管理方法であって、ヘッドキャップを機能液滴吐出ヘッドから離間させた状態で、ヘッドキャップに連なる吸引手段により空吸引を行う空吸引工程と、この空吸引の状態で、ヘッドキャップと吸引手段とを接続する吸引流路の流路内圧力を測定する圧力測定工程と、この測定結果に基づいて、ヘッドキャップおよび吸引流路の不良を管理するキャップ管理工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
また、本発明の吸引ユニットは、機能液滴吐出ヘッドに離接してこれを保全するヘッドキャップと、機能液滴吐出ヘッドとヘッドキャップとを相対的に離接移動させる離接手段と、吸引流路を介してヘッドキャップに接続された吸引手段と、吸引流路内の圧力を測定する圧力測定手段と、離接手段によりヘッドキャップを機能液滴吐出から離間させて吸引手段を駆動する、空吸引を行った状態の圧力測定手段の測定結果に基づいて、ヘッドキャップおよび吸引流路の不良を管理するキャップ管理手段と、を有していることを特徴とする。
【０００７】
これらの構成によれば、例えば、ヘッドキャップに目詰りが発生し、或いは吸引流路がこびりついた機能液により狭くなってしまった場合、空吸引を行った状態で、圧力測定手段により吸引流路内の圧力を測定すると、所定の負圧より低い圧力が測定されることになる。すなわち、この測定動作を頻繁に行うことにより、常にヘッドキャップが正常に機能するか否かを監視することができる。したがって、この監視結果に基づいて、ヘッドキャップおよび吸引流路の目詰り等の状況に応じた適切な時期にキャップ洗浄を行えば、洗浄剤の無駄な消費を抑制することができると共に、吸引力の低下による吐出ノズルの機能回復等に支障を生ずることがない。なお、吸引流路の圧力測定位置から上流側において、ヘッドキャップあるいは吸引流路が完全に閉塞されている場合には、測定結果は極端な負圧値となり、下流側において、吸引流路が完全に閉塞されている場合には、測定結果はゼロとなる。
【０００８】
この場合、管理手段は、圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力を下回った場合に、キャップ不良である旨、報知することが好ましい。
【０００９】
この構成によれば、ヘッドキャップに洗浄が必要になったことを、ユーザに認識させることができ、洗浄作業を促すことができる。
【００１０】
同様に、ヘッドキャップの直上部に臨むダミーヘッドと、ダミーヘッドに接続された洗浄液タンクと、を更に備え、圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力を下回った場合に、離接手段は、ヘッドキャップをダミーヘッドに密接させ、且つ吸引手段は、ヘッドキャップおよびダミーヘッドを介して、洗浄液タンクの洗浄液を吸引することが、好ましい。
【００１１】
この構成によれば、ヘッドキャップおよび吸引チューブの目詰り等の状況に応じた適切な時期に、ヘッドキャップおよび吸引流路に洗浄液を通液してキャップ洗浄を行うことができる。そのため、不必要なキャップ洗浄を行うことがなくなり、洗浄剤の無駄な消費を抑制することができると共に、キャップ洗浄が不十分になることがなくなり、吐出ノズルの機能の回復等に支障を生ずることがない。
【００１２】
これらの場合、離接手段によりヘッドキャップを前記機能液滴吐出ヘッドに密着させて吸引手段を駆動する、本吸引を行った状態の圧力測定手段の測定結果に基づいて、吸引不良を管理する吸引管理手段を、更に備えることが好ましい。
【００１３】
そして、吸引管理手段は、圧力測定手段の測定結果が所定の負圧圧力範囲の上限外である場合に、キャッピング不良である旨、報知することが好ましい。
【００１４】
この構成によれば、ユーザに、例えば機能液滴吐出ヘッドとヘッドキャップとの間でエアーのリークが生じるキャッピング不良となっていることを認識させることができる。
【００１５】
本発明の液滴吐出装置は、上記した吸引ユニットと、ワークに機能液滴を吐出する機能液滴吐出ヘッドと、を有することを特徴とする。
【００１６】
この構成によれば、ヘッドキャップが正常か否かを常に管理しておくことができる吸引ユニットを備えることで、機能液滴吐出ヘッドを常に正常な状態に保つことができ、生産性を向上させることができる。
【００１７】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００１８】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００１９】
これらの構成によれば、生産性を向上させ得る液滴吐出装置を用いることで、信頼性の高い電気光学装置を製造することが可能となる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２０】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置を搭載したことを特徴とする。
【００２１】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、添付の図面を参照して、本発明に一実施形態に係る液滴吐出装置について説明する。液滴吐出装置は、フラットパネルディスプレイの製造ラインに組み込まれるものであり、インクジェットヘッドである機能液滴吐出ヘッドを用いた印刷技術（インクジェット法）により、液晶表示装置のカラーフィルタや有機ＥＬ装置の各画素となる発光素子等を形成するものである。
【００２３】
図１に示すように、液滴吐出装置１は、機台２と、機台２上の全域に広く載置され、Ｘ軸テーブル８およびＸ軸テーブル８に直交するＹ軸テーブル９から成るＸＹ移動機構３と、Ｙ軸テーブル９に移動自在に取り付けられ、機能液滴吐出ヘッド１９を搭載した描画ユニット４と、機台２上で描画ユニット４に添設された吸引ユニット５と、これら構成装置を統括制御する制御装置７（図３参照）と、を備えている。また、吸引ユニット５は、機能液滴吐出ヘッド１９の機能液吸引等を行うキャッピングユニット５Ａと、描画ユニット４と同様にＹ軸テーブル９に移動自在に取り付けられたキャップ洗浄ユニット５Ｂと、で構成されている。
【００２４】
この場合、キャッピングユニット５Ａにより機能液滴吐出ヘッド１９のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画ユニット４により基板Ｗ（ワーク）上に機能液を吐出させる描画動作を行うようにしている。加えて、キャップ洗浄ユニット５Ｂにより、キャッピングユニット５Ａに搭載されたヘッドキャップ４０のメンテナンス処理（洗浄）を行うようにしている。
【００２５】
Ｘ軸テーブル８は、Ｘ軸方向の駆動系を構成するモータ駆動のＸ軸スライダ１０を有し、これに吸着テーブル１１および基板θテーブル１２等から成るセットテーブル１３を移動自在に搭載して、構成されている。Ｙ軸テーブル９は、Ｙ軸方向の駆動系を構成し、描画ユニット４を移動自在に搭載するモータ駆動のＹ軸スライダ１４と、キャップ洗浄ユニット５Ｂを移動自在に搭載する保全用Ｙ軸スライダ１５と、で構成されている。Ｘ軸テーブル８は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル９は、機台２上に立設した左右の支柱１６，１６に支持されており、Ｘ軸テーブル８、キャッピングユニット５Ａおよびキャップ洗浄ユニット５Ｂを跨ぐように延在している。
【００２６】
そして、Ｙ軸テーブル９は、これに搭載した描画ユニット４を、Ｘ軸テーブル８の直上部に位置する描画エリア５４と、キャッピングユニット５Ａの直上部に位置するメンテナンスエリア５５との相互間で、適宜移動させる。すなわち、Ｙ軸テーブル９は、Ｘ軸テーブル８に導入した基板Ｗに描画動作を行う場合には、描画ユニット４を描画エリア５４に臨ませ、機能液滴吐出ヘッド１９のメンテナンス処理を行う場合には、描画ユニット４をメンテナンスエリア５５に臨ませる。同様に、Ｙ軸テーブル９は、搭載したキャップ洗浄ユニット５Ｂを、メンテナンスエリア５５と、メンテナンスエリア５５の、描画エリア５４のない側に隣接した待機エリア５６との相互間で、適宜移動させる。
【００２７】
描画ユニット４は、Ｙ軸テーブル９に移動自在に取り付けられたキャリッジ１７と、キャリッジ１７に垂設したヘッドユニット１８とを有している。そして、ヘッドユニット１８には、機能液滴吐出ヘッド１９が搭載されている。なお、本実施形態では、単一の機能液滴吐出ヘッド１９を搭載しているが、その個数は任意である。ヘッドユニット１８は、機能液滴吐出ヘッド１９と、これを位置決めして装着するヘッドプレート２０と、から構成されている。機能液滴吐出ヘッド１９は、ヘッドプレート２０を介してキャリッジ１７に搭載されている。
【００２８】
図２に示すように、機能液滴吐出ヘッド１９は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、２連の接続針２１を有する機能液導入部２２と、機能液導入部２２に連なる２連のヘッド基板２３と、機能液導入部２２の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体２４とを備えている。接続針２１は、図示しない給液チューブを介して給液タンクに接続されており、機能液滴吐出ヘッド１９のヘッド内流路に機能液を供給する。また、ヘッド基板２３には、フレキシブルフラットケーブルにより制御装置に接続されるコネクタ２５が設けられている。
【００２９】
ヘッド本体２４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部２６と、２本のノズル列２７を相互に平行に形成したノズル面２８を有するノズルプレート２９とを備えている。各ノズル列２７は、複数の吐出ノズル３０が等ピッチで並べられて構成されている。そして、コネクタ２５を介してポンプ部２６に駆動波形を印加することにより、各吐出ノズル３０から機能液滴が吐出される。また、ノズルプレート２９は、ステンレス等で構成されており、そのノズル面２８および各吐出ノズル３０の内面には共析メッキにより撥水膜が形成されており、機能液によって侵食されないようになっている。
【００３０】
次に、図３および図４を参照して、吸引ユニット５について説明する。吸引ユニット５は、上述のようにキャッピングユニット５Ａとキャップ洗浄ユニット５Ｂから成り、キャッピングユニット５Ａは、機能液滴吐出ヘッド１９の吐出ノズル３０内で増粘した機能液を除去するための吸引処理、機能液滴吐出ヘッド１９に機能液の初期充填を行う初期充填処理、更には装置の非稼動時において、吐出ノズル３０の乾燥防止を目的として機能液滴吐出ヘッド１９をキャッピングするキャッピング処理等を行う。一方、キャップ洗浄ユニット５Ｂは、キャッピングユニット５Ａのヘッドキャップ４０に、付着して残った増粘或いは乾燥した機能液を除去するために、ヘッドキャップ４０に洗浄液を通液してキャップ洗浄処理を行う。
【００３１】
図３に示すように、キャッピングユニット５Ａは、機能液滴吐出ヘッド１９のノズル面２８に密接するヘッドキャップ４０と、ヘッドキャップ４０を昇降させる昇降機構（離接手段）４２と、密接させたヘッドキャップ４０を介して機能液滴吐出ヘッド１９内の機能液を吸引する吸引ポンプ（吸引手段）４３と、ヘッドキャップ４０と吸引ポンプ４３とを接続する吸引チューブ（吸引流路）４４と、吸引チューブ４４に取り付けられる圧力測定手段４５と、吸引された機能液を貯留する排液タンク４６と、吸引ポンプ４３と排液タンク４６とを接続する排液用チューブ４７と、を有している。また、昇降機構４２、吸引ポンプ４３および圧力測定手段４５は、上記の制御装置（キャップ管理手段および吸引管理手段）７に接続されている。
【００３２】
この場合、キャッピングユニット５Ａは、Ｙ軸テーブル９によるヘッドユニット１８の移動軌跡上に設けられており、機能液滴吐出ヘッド１９をヘッドキャップ４０の直上部に臨ませることができるようになっている。
【００３３】
ヘッドキャップ４０は、上面を開放した容器状のキャップ本体４１と、キャップ本体４１の内部に敷設した機能液吸収材４８と、機能液吸収材４８を押える枠状の吸収材押え４９と、キャップ本体の底部に形成した吸引孔５０と、キャップ本体の上端周縁部に取り付けたシールパッキン５１と、を有している。そして、この吸引孔５０が吸引チューブ４４に接続されている。昇降機構４２は、エアーシリンダやモータとリードねじを組み合わせたもの等で構成され、ヘッドキャップ４０を、機能液滴吐出ヘッド１９に密接させる密接位置と、離間させる離間位置との間で、昇降させる。吸引ポンプ４３は、ロータリポンプ、ピストンポンプ或いはイジェクタで構成されている。
【００３４】
機能液滴吐出ヘッド１９に対し、吸引処理を行う場合には、まず、Ｙ軸テーブル９により、ヘッドユニット１８をキャッピングユニット５に臨ませると共に、機能液滴吐出ヘッド１９のノズル面２８にヘッドキャップ４０を密接させる。すなわち、機能液滴吐出ヘッド１９をヘッドキャップ４０の直上部に移動させた後、昇降機構４２によりヘッドキャップ４０を密接位置に上昇させる。この状態で、吸引ポンプ４３を駆動し、機能液滴吐出ヘッド１９の吐出ノズル３０から機能液を吸引する。吸引ポンプ４３により吸引された機能液は、吐出ノズル３０からヘッドキャップ４０の機能液吸収材４８を通過し、吸引孔５０に流入した後、吸引チューブ４４、吸引ポンプ４３、排液用チューブ４７を介し、排液タンク４６に流入する。
【００３５】
図４に示すように、キャップ洗浄ユニット５Ｂは、ヘッドキャップ４０に密接するダミーヘッド３１と、保全用Ｙ軸スライダ１５に搭載した保全用キャリッジ３２と（いずれも図１参照）、洗浄液を貯留した洗浄液タンク３８と、洗浄液タンク３８とダミーヘッド３１とを接続する洗浄用チューブ３９と、を有している。洗浄タンク３８は、保全用キャリッジ３２に搭載することなく、別置きで設けられ且つダミーヘッド３１よりも低い位置に配置されている。これにより、自由状態におけるダミーヘッド３１からの洗浄液の垂れが防止されている。
【００３６】
ダミーヘッド３１は、機能液滴吐出ヘッド１９の特にヘッド本体２４の形状を模して形成されており、下面周縁部にはキャップシール３４が取り付けられている。キャップシール３４は、ヘッドキャップ４０のシールパッキン５１の外側に位置するように、且つシールパッキン５１よりも上下方向に厚く形成されている。そのため、密接時、シールパッキン５１はダミーヘッド３１に当接されず、キャップシール３４がヘッドキャップ４０に当接される。これにより、シールパッキン５１の洗浄も可能となる。また、ダミーヘッド３１の下面は複数の洗浄ノズル３５が形成されており、複数の洗浄ノズル３５から給液される洗浄液は、シールパッキン５１の表面およびヘッドキャップ４０の内部の隅々まで行き渡るようになっている。
【００３７】
ヘッドキャップ４０の洗浄処理を行う場合には、まず、Ｙ軸テーブル９により、キャップ洗浄ユニット５Ｂをキャッピングユニット５Ａに臨ませると共に、ダミーヘッド３１にヘッドキャップ４０を密着させる。すなわち、ダミーヘッド３１をヘッドキャップ４０の直上部に移動させた後、昇降機構４２によりヘッドキャップ４０を密接位置に上昇させる。この状態で、吸引ポンプ４３を駆動し、ダミーヘッド３１を介して洗浄液タンク３８から洗浄液を吸引する。吸引ポンプ４３により吸引された洗浄液は、ダミーヘッド３１の洗浄ノズル３５からヘッドキャップ４０の機能液吸収材４８を通過し、吸引孔５０に流入した後、吸引チューブ４４、吸引ポンプ４３、排液用チューブ４７を介し、排液タンク４６に流入する。そして、この通液により、機能液吸収材４８、シールパッキン５１、吸引チューブ４４、吸引ポンプ４３および排液用チューブ４７の内部に付着していた機能液（増粘・乾燥機能液）が洗い流される。なお、キャップ洗浄ユニット５Ｂは、ヘッドキャップの洗浄処理を行っていない時は、待機エリア５６に待機させる。
【００３８】
制御装置７は、ＣＰＵを有して各装置を制御する制御部５２と、液滴吐出装置１の状況などを表示するディスプレイ５３を備えており、制御部５２は、制御プログラムや制御データを記憶していると共に、各種制御処理を行うための施行領域を有している。そして、制御装置７は、上記した各装置と接続されて液滴吐出装置１全体を制御している。
【００３９】
ここで、図３ないし図５を参照しながら、圧力測定手段４５を用いた制御装置７による吸引ユニット５の制御について説明する。先ず、ヘッドキャップ４０を機能液滴吐出ヘッド１９に離間させてキャップ吸引ポンプ４３を駆動する、いわゆる空吸引による処理について説明する。図５のフローチャートに示すように、まず、機能液滴吐出ヘッド１９をヘッドキャップ４０に密接せず（離間位置）、ヘッドキャップ４０の空吸引を行う（Ｓ１）。次に、圧力測定装置４５により、吸引チューブ４４内の圧力（負圧）を計測する。そして、測定結果は制御装置７に送られ、ゼロまたは上限であるかを判定する（Ｓ２）。ゼロまたは上限ならば（Ｓ２：ＹＥＳ）、ディスプレイ５３にエラーを表示し、流路交換を指示する。
【００４０】
それ以外の場合（Ｓ２：ＮＯ）、測定結果の絶対値が所定の絶対値を超えているかを判定する（Ｓ３）。測定結果の絶対値が所定の絶対値を超えている場合（Ｓ３：ＹＥＳ）には、キャップ不良をディスプレイ５３に表示すると共に、キャップ洗浄ユニット５Ｂによるヘッドキャップ４０の洗浄処理を行い、その後、空吸引の工程（Ｓ１）に戻る。一方、測定結果の絶対値が所定の絶対値以下であった場合（Ｓ３：ＮＯ）、このメンテナンス処理を終了する。また、この工程は、機能液吐出ヘッド１９の吸引処理の都度（処理前）に行うことが好ましい。
【００４１】
このような空吸引による処理では、空吸引した際の負圧圧力の測定結果が、上限である場合、圧力測定装置４５より上流側の吸引チューブ４４或いは吸引孔５０が、固化した機能液により完全に詰まってしまっていることが考えられる。また、負圧圧力がゼロであった場合、圧力測定装置４５より下流側の吸引チューブ４４が、固化した機能液により完全に詰まってしまっていることが考えられる。機能液が完全に詰まってしまうと、キャップ洗浄ユニット５Ｂによる機能回復は見込めないため、エラーを表示し、流路交換を指示する。
【００４２】
次に、負圧圧力の測定結果絶対値が所定の絶対値を超えている場合、この所定値というのは、正常な状態での測定値に対応するものであり（例えば、−１０ｋＰａで空吸引を行う場合、正常状態での測定値は−２〜−３ｋＰａであり、所定値（絶対値）は、−３〜−４ｋＰａとする。）、増粘（固化）した機能液による機能液吸収材４８の目詰りや吸引チューブ４４内壁の狭小化が予想されるため、キャップ洗浄処理を行う。
【００４３】
このようにして、ヘッドキャップ４０の空吸引による管理方法によれば、ヘッドキャップ４０の状態に応じた適切な時期にキャップ洗浄処理を行うことができる。そのため、不必要なキャップ洗浄を行うことがなくなり、洗浄液の無駄な消費を省くことができる。また、キャップ洗浄が不十分になることがなくなり、吐出ノズル３０の機能回復に支障を生ずることがない、したがって、機能液吐出ヘッド１９が常に正常に保たれるため、生産性を向上させることができる。
【００４４】
次に、ヘッドキャップ４０を機能液滴吐出ヘッド１９に密接させて吸引ポンプ４３を駆動する、いわゆる本吸引によるヘッドキャップ４０及び機能液滴吐出ヘッド１９の処理について説明する。この場合も、本吸引の状態で、圧力測定装置４５により、吸引チューブ４４内の圧力（負圧）を計測する。そして、測定結果は制御装置７に送られ、測定結果が所定の負圧圧力範囲内であるか否かが判定される。測定結果が所定の負圧圧力範囲の上限外である場合に、キャッピング不良である旨、ディスプレイ５３に表示すると共に、キャップ洗浄ユニット５Ｂによるキャップ洗浄の指示を促す。
【００４５】
このような本吸引による処理では、本吸引した際の測定結果が、負圧圧力範囲の上限外である場合、ヘッドキャップ４０のシールパッキン５１が機能液の汚れや劣化により、密接部分にエアーのリークが発生していることが想定される。そこで、キャッピング不良を表示し、とりあえずキャップ洗浄を促す。なお、キャップ洗浄の後の再測定でも、負圧圧力範囲の上限外である場合には、シールパッキン５１の劣化の可能性が高いので、キャップ交換を促すようにする。
【００４６】
このように、圧力測定装置４５を有効に活用することにより、キャップ不良のみならず、キャッピング不良（シール不良）をも検出することができ、より一層生産性を向上させることができる。なお、この測定は、言うまでもないが、機能液滴吐出ヘッド１９の吸引処理（機能回復）と併行して行うようにする。
【００４７】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００４８】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図６は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図７は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図７（ａ）に示すように、基板（Ｗ）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００４９】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図７（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図７（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１９により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００５０】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５１】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図７（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド※によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド※を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５２】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図７（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５３】
図８は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図７に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５４】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５５】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図８において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５６】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５７】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５８】
実施形態の液滴吐出装置１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１９で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１９で行うことも可能である。
【００５９】
図９は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００６０】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６１】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６２】
図１０は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６３】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６４】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６５】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６６】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００６７】
次に、図１１は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００６８】
この表示装置６００は、基板（Ｗ）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００６９】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００７０】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７１】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７２】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７３】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７４】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７５】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７６】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００７７】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００７８】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００７９】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１２〜図２０を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１２に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００８０】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１３に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１４に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８１】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１９を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８２】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図１に示した液滴吐出装置１のセットテーブル１３に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８３】
図１５に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１９から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１６に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８４】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８５】
そして次に、図１７に示すように、各色のうちのいずれか（図１７の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８６】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図１８に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００８７】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１９を用い、図１９に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８８】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００８９】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２０に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００９０】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９１】
次に、図２１は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９２】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９３】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９４】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９５】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図１に示した液滴吐出装置１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１のセットテーブル１３に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１９により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９６】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【００９７】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１９から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【００９８】
次に、図２２は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【００９９】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【０１００】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１０１】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０２】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１を用いて形成することができる。
【０１０３】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２３（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２３（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０４】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０５】
【図１】第１実施形態に係る液滴吐出装置の平面模式図である。
【図２】液滴吐出装置に搭載した機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。
【図３】液滴吐出装置に搭載したキャッピングユニットの模式図である。
【図４】液滴吐出装置に搭載した吸引ユニットの模式図である。
【図５】空吸引によるメンテナンス工程のフローチャートである。
【図６】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図７】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図８】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図９】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１２】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１３】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１４】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１５】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１６】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１７】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２０】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２１】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２２】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２３】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０６】
１  液滴吐出装置、５  吸引ユニット、５Ａ  キャッピングユニット、５Ｂ  キャップ洗浄ユニット、１９  機能液滴吐出ヘッド、２８  ノズル面、３０  吐出ノズル、３１  ダミーヘッド、３９  洗浄液タンク、４０  ヘッドキャップ、４２  昇降機構、４３  吸引ポンプ、４４  吸引チューブ、４５  圧力測定手段、５１  シールパッキン、５３  ディスプレイ、Ｗ  基板
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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