(57)【要約】【課題】作動時に生じる弁体の衝突音を小さくでき、しかも電磁弁の作動安定性を高めることができる電磁弁を提供する。【解決手段】流路７の開口端７ａに対して対向配置された弁体１１を保持し、開口端７ａに弁体１１の表面を当接させて流路７の開口を閉じた状態から、磁力によって開口端７ａから離れる方向に移動して流路７の開口を開ける可動子１２と、可動子１２を移動自在に収容する有底筒状のキャビティ１４を有する固定子１３と、弁体１１の裏面に当接可能な端部を有して弁体１１の裏側で対向配置され、端部に弁体１１の裏面が当接することにより開口端７ａから離れる方向で可動子１２の移動を阻止するストッパ１７と、可動子１２の移動時に可動子１２の移動速度を遅くして、弁体１１とストッパ１７の端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段と、を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相手側（１７）の端部に対して対向配置された弁体（１１）を保持し、磁力によって対向方向（Ａ）に移動して前記弁体（１１）を前記相手側（１７）の端部に当接させる可動子（１２）と、
該可動子（１２）を移動自在に収容するキャビティ（１４）を有する固定子（１３）と、
前記可動子（１２）の移動速度を遅くして、前記弁体（１１）と前記相手側（１７）の端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段と、を備えたことを特徴とする電磁弁（１）。
【請求項２】
流路（７）の開口端（７ｃ）に対して対向配置された弁体（１１）を保持し、前記開口端（７ｃ）に前記弁体（１１）の表面を当接させて前記流路（７）の開口を閉じた状態から、磁力によって前記開口端（７ｃ）から離れる方向に移動して前記流路（７）の開口を開ける可動子（１２）と、
該可動子（１２）を移動自在に収容する有底筒状のキャビティ（１４）を有する固定子（１３）と、
前記弁体（１１）の裏面に当接可能な端部（３３）を有して前記弁体（１１）の裏側に対向配置され、前記端部（３３）に前記弁体（１１）の裏面が当接することにより前記可動子（１２）の移動を阻止するストッパ（１７）と、
前記可動子（１２）の移動速度を遅くして、前記弁体（１１）と前記ストッパ（１７）の端部（３３）とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段と、を備えたことを特徴とする電磁弁（１）。
【請求項３】
前記衝撃緩和手段は、前記磁力の強さを前記可動子（１２）の移動方向に直交する方向で相違させ、前記磁力の強い方向で前記可動子（１２）外面を前記キャビティ（１４）内面に部分的に接触させて、前記可動子（１２）と前記固定子（１３）との間で摩擦力を生じさせる請求項１又は２記載の電磁弁（１）。
【請求項４】
前記可動子（１２）は先端側から基端側に向かって延出する脚部（２６）を有し、相対向する該脚部（２６）先端と前記キャビティ（１４）の前記底壁（２８）との間に形成された隙間（δ）が前記可動子（１２）の外周方向で部分的に異なる寸法に形成された請求項３に記載の電磁弁（１）。
【請求項５】
前記脚部（２６）の長さが部分的に異なる長さに形成された請求項４に記載の電磁弁（１）。
【請求項６】
前記脚部（２６）の端部が斜めに切断されて、該端部に傾斜面（２６ａ）が形成された請求項４又は５に記載の電磁弁（１）。
【請求項７】
前記可動子（１２）の摺接面と前記キャビティ（１４）内面との間に形成された隙間が前記可動子（１２）の外周方向で部分的に異なる寸法に形成された請求項３〜６のいずれか１項に記載の電磁弁（１）。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、車両の燃料タンクから給気管へ供給される蒸発燃料のパージ量を制御するために用いられ、流体が流れる通路を電気的に開閉する電磁弁に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電気的にオンオフ制御されて開閉する電磁弁は、構造的には流量制御弁や圧力制御弁とは異なり、開状態又は閉状態のいずれかの状態を選択し得る切換弁（開閉弁）のグループに属するものとされている。電磁弁は、あらゆる産業分野で幅広く使用され、一例として、自動車の分野においては、燃料タンクからエンジン側の給気管へ蒸発燃料を供給する場合などに用いられている。
【０００３】
図５には、この種の電磁弁を有するパージコントロールシステムの概要が示されている。図示されるように、このシステム４０は、燃料タンク４１と、通路４８を介してこの燃料タンク４１から蒸発した燃料を蓄えるキャニスタ４２と、パージ通路４３を介してキャニスタ４２から蒸発燃料の供給を受ける吸気管４４と、パージ通路４３に設けられて蒸発燃料のパージ量を制御する電磁弁４５と、キャニスタ４２に導入される空気量を制御する大気開放弁４６を有する大気導入通路４７と、を備えている。電磁弁４５は、流路の開口端としての弁座に当接する弁体を備えており、この弁体が図示しない制御装置からの指令により所定のタイミングで作動することで、流路を流れる蒸発燃料のパージ量が制御されるようになっている。
【０００４】
電磁弁４５を備えたパージコントロールシステム４０においては、電磁弁４５の作動時に弁体と弁座とが衝突したり、弁体とこの弁体の移動を阻止するストッパとが衝突（当接）したりして衝突音（作動音）が発生するという問題や、弁体衝突時の衝撃力が大きい場合に弁体がバウンドし、それにより流路の開口端に形成された隙間が変化して、開弁初期に電磁弁を流れる流量が乱れるという問題などがある。
【０００５】
パージ通路を流れるパージ量を制御するこの種の電磁弁の一例としては、特許文献１に開示されているものがある。この文献で開示されている電磁弁は、電磁弁作動時の衝突音が小さくなるように改良されたものである。この電磁弁の改良された点は、ステータに対して対向配置され、対向方向にスライドして弁体を移動させる有底筒状のプランジャを備えた電磁弁において、ステータにプランジャの基端側（開口端側）をスライド自在に収容する狭い溝幅の環状溝を形成した点である。常時開の電磁弁が電源オンとなり、プランジャの基端側が環状溝から抜け出す方向に動いた時に、環状溝に流れ込む空気に抵抗力が働くことにより、プランジャのスライド動作が遅くなり、電磁弁作動時の弁体と弁座との衝撃力が緩和されて電磁弁の衝突音が小さくなるようになっている。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−３２０７１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかし、上記特許文献１に開示された電磁弁には、狭い溝幅の環状溝に流体に含まれるごみなどの異物が入り、環状溝へのプランジャの挿入が妨げられるという心配があった。また、環状溝の溝幅が温度によって変化し、環状溝に流れ込む空気の抵抗が変わってエアダンパ効果が一定しないという問題があった。温度変化によって環状溝の溝幅が所定の溝幅より狭くなった場合には、環状溝にプランジャが入らず、プランジャが動かなくなることがあった。他方、温度変化による環状溝の溝幅の収縮を見込んで、環状溝の溝幅を予め広く形成した場合には、エアダンパ効果が減少して電磁弁の衝突音を小さくすることができなくなる心配があった。さらに、このような電磁弁においては、環状溝の溝幅の寸法管理が容易ではなく、製造が複雑化し、製造コストが高くなるという問題があった。
【０００８】
そこで、本発明は、上記した点に鑑み、作動時に生じる弁体の衝突音（作動音）を小さくでき、しかも電磁弁の作動安定性を高めることができる電磁弁を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、請求項１記載の発明は、相手側の端部に対して対向配置された弁体を保持し、磁力によって対向方向に移動して前記弁体を前記相手側の端部に当接させる可動子と、該可動子を移動自在に収容するキャビティを有する固定子と、前記可動子の移動速度を遅くして、前記弁体と前記相手側の端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１０】
また、請求項２記載の発明は、流路の開口端に対して対向配置された弁体を保持し、前記開口端に前記弁体の表面を当接させて前記流路の開口を閉じた状態から、磁力によって前記開口端から離れる方向に移動して前記流路の開口を開ける可動子と、該可動子を移動自在に収容する有底筒状のキャビティを有する固定子と、前記弁体の裏面に当接可能な端部を有して前記弁体の裏側に対向配置され、前記端部に前記弁体の裏面が当接することにより前記可動子の移動を阻止するストッパと、前記可動子の移動速度を遅くして、前記弁体と前記ストッパの端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１１】
また、請求項３記載の発明は、請求項１又は２記載の電磁弁において、前記衝撃緩和手段は、前記磁力の強さを前記可動子の移動方向に直交する方向で相違させ、前記磁力の強い方向で前記可動子外面を前記キャビティ内面に部分的に接触させて、前記可動子と前記固定子との間で摩擦力を生じさせる。
【００１２】
また、請求項４記載の発明は、請求項３に記載の電磁弁において、前記可動子は先端側から基端側に向かって延出する脚部を有し、相対向する該脚部先端と前記キャビティの前記底壁との間に形成された隙間が前記可動子の外周方向で部分的に異なる寸法に形成されている。
【００１３】
また、請求項５記載の発明は、請求項４に記載の電磁弁において、前記脚部の長さが部分的に異なる長さに形成されている。
また、請求項６記載の発明は、請求項４又は５に記載の電磁弁において、前記脚部の端部が斜めに切断されて、該端部に傾斜面が形成されている。
また、請求項７記載の発明は、請求項３〜６のいずれか１項に記載の電磁弁において、前記可動子の摺接面と前記キャビティ内面との間に形成された隙間が前記可動子の外周方向で部分的に異なる寸法に形成されている。
【発明の効果】
【００１４】
以上の如く、請求項１記載の発明によれば、可動子の移動速度を遅くして、弁体と相手側の端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段が設けられているから、電磁弁の作動時に弁体と相手側の端部とが当接する際に発生する衝突音を小さくすることができる。また、電磁弁作動時の弁体のバウンドを防止でき、流量制御性を高めることができる。また、流体に含まれるごみなどの異物の影響を受けづらく、電磁弁の作動安定性を高めることができる。
【００１５】
また、請求項２記載の発明によれば、可動子の移動速度を遅くして、弁体とストッパの端部とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段が設けられているから、電磁弁の作動時に弁体とストッパの端部とが当接する際に発生する衝突音を小さくすることができる。また、電磁弁作動時の弁体のバウンドを防止でき、流量制御性を高めることができる。また、流体に含まれるごみなどの異物の影響を受けづらく、電磁弁の作動安定性を高めることができる。
【００１６】
また、請求項３記載の発明によれば、磁力の強さが可動子の移動する方向に直交する方向で相違するから、可動子とキャビティのセンタがずれた状態となり、これによって、可動子外面がキャビティ内面に部分的に接触して、可動子がキャビティ内で摩擦を生じながら移動する。このため、可動子とキャビティとが接触しないで移動する場合と比較して移動速度を遅くすることができる。
【００１７】
また、請求項４記載の発明によれば、隙間が部分的に異なる寸法に形成されているから、隙間が狭い側で磁力を強めることができる。このため、脚部周囲の磁力の強さが不均一になり、磁力の強い方向で脚部外面をキャビティの内側面に接触させることができる。
したがって、請求項１と同様の効果を奏することができる。
【００１８】
また、請求項５記載の発明によれば、脚部の長さを部分的に異なる長さにすることで、脚部周囲の磁力の強さを不均一にすることができる。このため、構造が簡易で製造が容易な電磁弁を提供することができる。更に、脚部の長さが長い側で磁力を強めることができるので、脚部の長い側の外面をキャビティの内側面に接触させ、接触面積が広い側で摺動するため、可動子の摺接面やキャビティ内面の磨耗を低減することができる。
【００１９】
また、請求項６記載の発明によれば、脚部の端部に傾斜面が形成されることで、径方向の磁力を強くすることができ、これにより、可動子をキャビティ内面に容易に接触させることができる。
【００２０】
また、請求項７記載の発明によれば、隙間が部分的に異なる寸法に形成されているから、隙間が狭い側での磁力を強くすることができる。したがって、脚部周囲の磁力の強さを効果的に不均一にすることができると共に、脚部外面とキャビティ内面との摩擦力をより強くすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明に係る電磁弁の一実施形態を図面に基づいて説明する。図１には、本実施形態の電磁弁の断面図が示されている。本実施形態の電磁弁１は、図５で示されているパージコントロールシステム４０に用いられる常時閉タイプの切換弁である。ここでは、パージコントロールシステムについての説明は省略し、電磁弁１について説明することとする。
【００２２】
電磁弁１は、キャニスタ４２から蒸発燃料が流入する側のバルブ主体部２と、蒸発燃料が流出する側のバルブシート３と、を一体的に備えている。バルブ主体部２は、外部から蒸発燃料が流入する流入ポート（流路）４を備えており、この流入ポート４から流入した蒸発燃料は、フィルタ５によって燃料内の異物が除去された後、流出ポート（流路）７へと流れる。バルブシート３は、一端にバルブ主体部２の流路４に連通して蒸発燃料を流入させる連通口（開口端）７ａを有し、他端に外部へ蒸発燃料を流出させる流出口７ｂを有し、一端から他端へと蒸発燃料を流す流出ポート７を備えている。連通口７ａの口先は、弁体１１が当接する弁座７ｃとなっている。電磁弁１の開状態において、流入ポート４と流出ポート７とが連通してキャニスタ４２から流入した蒸発燃料がエンジンの吸気管４４に流出し、他方、電磁弁１の閉状態において、弁座７ｃに弁体１１が当接して流入ポート４と流出ポート７とが遮断されるようになっている。以下において、電磁弁１の構造をより詳細に説明することとする。
【００２３】
バルブ主体部２は、ハウジング１０と、流出ポート７の弁座７ｃに対して当接可能に対向配置された弁体１１と、先端側でこの弁体１１を保持しながら弁座７ｃと弁体１１の対向方向（軸方向）Ａに往復移動するプランジャ（可動子）１２と、プランジャ１２を収容するキャビティ１４を有するステータ（固定子）１３と、キャビティ１４内に設けられて弁座７ｃと弁体１１とが当接する方向にプランジャ１２を付勢する圧縮コイルばね１５と、ステータ１３の外側に設けられてステータ１３とプランジャ１２との間に磁力を発生させるソレノイドコイル１６と、ステータ１３のキャビティ１４内に設けられてプランジャ１２の移動を阻止するストッパ１７と、プランジャ１２が移動した際に弁体１１とストッパ１７との衝撃を緩和する衝撃規制手段と、を備えている。
【００２４】
ハウジング１０は、例えば、絶縁性を有するＰＢＴ樹脂などから射出成形されたものであり、流入ポート４や、雄端子２０ａを有する雌型のコネクタ嵌合部２０や、取付ブラケット２１などが一体形成されている。
【００２５】
弁体１１は、例えばエラストマなどの弾性を有する材料から射出成形されたものであり、閉弁状態において流出ポート７の弁座７ｃに当接する大径部２２と、大径部２２に続く接続部２３と、接続部２３に続く小径部２４とからなっている。接続部２３は弁体１１をプランジャ１２に取り付ける部分である。弁体１１をプランジャ１２に取り付けた状態において、大径部２２は外向きに配置され、小径部２４は内向きに配置されるようになっている。大径部２２の外径は、流出ポート７の内径より大きく、連通口７ａを隙間なく塞ぐ寸法に形成されている。小径部２４は、後述するストッパ１７の当接面（先端部）３３に当接する部分であり、当接面としての裏面には当接時の衝撃を和らげるための二つの瘤２４ａが形成されている。なお、弁体１１の形状は、密閉性や衝撃性を考慮して任意の形状に形成することができる。
【００２６】
プランジャ１２は、先端側に弁体１１を保持する保持部２５を有し、磁力によって軸方向Ａに往復移動可能な筒体として形成されている。プランジャ１２の基端側は開口している。先端側から基端側に向かって延出する脚部２６の外側面（摺接面）は、キャビティ１４の内側面に接触可能に滑らかに形成されている。脚部２６の長さは、キャビティ１４の深さよりも短い長さに形成され、かつ、外周方向で任意の箇所が他より部分的に長く形成されている。これは、後述するように、プランジャ１２とステータ１３との間で生じる磁力を不均一にするためである。脚部２６の外径は、キャビティ１４の内径と同程度ないしはそれより小さい寸法に形成されている。脚部２６の内径は、ストッパ１７のフランジ３５の最大外径より大きい寸法に形成されている。これにより、プランジャ１２がキャビティ１４内で往復移動する際に、プランジャ１２の内側がストッパ１７と干渉しないようになっている。なお、この場合、脚部２６外面を所定の面あらさに加工し、キャビティ１４の内側面との接触時に任意の摩擦力を生じるようにすることもできる。
【００２７】
ステータ１３は、内側にプランジャ１２を軸方向に移動自在に収容する有底筒状のキャビティ１４を有している。キャビティ１４は、上壁２７にプランジャ１２を出没自在に収容するための開口を有し、底壁２８に後述するストッパ１７を圧入して固定するための圧入孔２８ａを有している。キャビティ１４の内径は、プランジャ１２の外径より大きい寸法に形成され、キャビティ１４内においてプランジャ１２がスムーズに移動できるようになっている。なお、プランジャ１２の外側面と同様に、キャビティ１４の内側面を所定の面あらさに加工し、プランジャ１２の外側面が接触したときに任意の摩擦力を生じるようにすることもできる。
【００２８】
圧縮コイルばね１５は、後述するストッパ１７のフランジ３５の垂直面とプランジャ１２の上壁２７裏面との間に設けられている。このため、圧縮コイルばね１５の一端から付勢力を受けるストッパ１７は常時下向きに付勢され、圧縮コイルばね１５の他端から付勢力を受けるプランジャ１２は常時上向きに付勢され、流出ポート７の弁座７ｃと弁体１１とが当接し、流出ポート７の開口が隙間無く塞がれるようになっている。他方、流出ポート７の開口を開放するには、ソレノイドコイル１６に電気を流し、プランジャ１２とステータ１３との間に磁力を生じさせ、圧縮コイルばね１５のばね力に抗しつつ、圧縮コイルばね１５を圧縮する方向にプランジャ１２を移動させることにより行われる。
【００２９】
ソレノイドコイル１６は、ボビン３０に巻き付けられた状態でステータ１３の周囲に配置されている。ボビン３０の下方にはヨーク３１が固定されており、プランジャ１２とステータ１３との間で生じる磁力が高められるようになっている。本実施形態の電磁弁１は常時閉状態の切換弁であるから、ソレノイドコイル１６に電流を流すことにより、プランジャ１２とステータ１３との間に磁力が生じ、プランジャ１２が下向きに移動すると共に、プランジャ１２がキャビティ１４のセンタから外れて径方向Ｒに移動し、プランジャ１２の外側面とキャビティ１４内側面とが所定の位置で接触する。このため、プランジャ１２は摩擦を生じながら軸方向Ａの下向きに移動することとなり、プランジャ１２の移動速度が規制されることとなる。
【００３０】
ストッパ１７は、ハウジング１０とは別体に樹脂成形されたものであり、一端に弁体１１の裏面に当接可能な当接面３３が形成されている。当接面３３に弁体１１の裏面（小径部２４の裏面）が当接することで、プランジャ１２の移動が阻止される。また、流出ポート７の開口端と弁体１１表面との間の間隔が一定になり、常に一定流量がこの電磁弁１を流れることにもなる。ストッパ１７の他端側には、テーパ状の圧入部３４が形成されている。ストッパ１７の長手方向の略中間部分にはフランジ３５が形成されている。ストッパ１７をステータ１３に組み込む際は、キャビティ１４内にプランジャ１２を収容する前に、圧入部３４を下向きにしてストッパ１７をキャビティ１４の開口端から挿入し、フランジ３５の垂直面がキャビティ１４の底壁２８面に当接するまで圧入部３４を圧入孔２８ａに圧入することにより固定されるようになっている。
【００３１】
次に、弁体１１がストッパ１７に当接したときの衝撃を緩和する衝撃緩和手段は、磁力の強さをプランジャ１２の軸方向Ａに直交する径方向Ｒで相違させて、磁力の強い方向に一致する特定の部分でプランジャ１２の外側面をキャビティ１４内側面に接触させて、プランジャ１２外側面とキャビティ１４内側面との間で摩擦力を生じさせる機能を達成するための手段である。すなわち、プランジャ１２の脚部２６の長さが、外周方向で任意の箇所が他より部分的に長くなるようにすることで、脚部２６先端とキャビティ１４の底壁２８面との隙間δを部分的に相違させ、プランジャ１２とステータ１３との間で生じる磁力を不均一にして、特定の部分でプランジャ１２の外側面をキャビティ１４内側面に接触させるように、径方向に磁力の強い方向を形成するものである。好ましくは、さらに、脚部２６の端部に径方向Ｒの力を誘起する傾斜面２６ａを形成することで、径方向Ｒの磁力を強くすることができる。なお、開弁時にキャビティ１４のセンタから外れてキャビティ１４の内面に接触したプランジャ１２は、閉弁時に再びセンタに戻り、摩擦力のない状態ないし小さい状態で上方に移動して弁体１１を弁座７ｃに当接させ、流出ポート７の連通口７ａを隙間なく閉塞する。
【００３２】
上記衝撃緩和手段により、電磁弁１を開弁するときに、キャビティ１４内を軸方向Ａの下方に移動するプランジャ１２の移動が摩擦力により妨げられ、プランジャ１２の移動速度が遅くなり、弁体１１の裏面がストッパ１７に当接する際の衝撃力を緩和することができる。このため、電磁弁作動時に発生する衝突音を小さくすることができる（静音効果を得ることができる）と共に、弁体１１とストッパ１７当接時のバウンドを防止することができ、流量制御性を高めることができる。
【００３３】
また、プランジャ１２の外側面とキャビティ１４内側面とは特定の部分で接触するようになっているから、この特定部分（摺動部分）だけの面粗度を管理することで、プランジャ１２とキャビティ１４との間で生じる摩擦力を調整することができ、従来に比べて摩擦力の調整を容易に行うことができ、これにより製造性を高めることができる。
【００３４】
次に、本実施形態の変形例を図４に示す。この変形例では、プランジャ１２の脚部２６の長さを変えずに、キャビティ１４Ａの深さを部分的に変え、相対向する脚部２６の先端とキャビティ１４Ａの底壁２８との間の隙間δを部分的に相違させたものである。この場合もプランジャ１２の脚部２６の長さを変えた場合と同様にして、プランジャ１２とステータ１３Ａとの間で生じる磁力が不均一になり、径方向で磁力が強い部分でプランジャ１２の外側面をキャビティ１４Ａの内側面に接触させることができる。
【００３５】
以上のように、本実施形態によれば、プランジャ１２の移動速度を遅くして、弁体１１とストッパ１７の当接面３３とが当接する際の衝撃力を緩和する衝撃緩和手段が設けられているから、電磁弁１の作動時に弁体１１とストッパ１７とが当接する際に発生する衝突音を小さくすることができ、静音効果を得ることができる。また、弁体１１とストッパ１７当接時のバウンドを防止することができ、開弁初期に電磁弁１を流れる流量が乱れることが回避され、流量制御性を高めることができる。
【００３６】
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、本実施形態では、常時閉タイプの電磁弁１に関して説明されているが、常時開タイプの電磁弁を用いることもできる。この場合、電磁弁の電源がオンになったときの弁体と弁座との衝撃を緩和することができる。また、プランジャ１２の脚部２６の肉厚を部分的に薄くしたり、キャビティ１４を長円形状に形成したりして、プランジャ１２の脚部２６の外側面とキャビティ１４の内側面との隙間を外周方向で相違させることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３７】
【図１】本発明の電磁弁の一実施形態を示す断面図である。
【図２】図１に示す電磁弁のプランジャとステータを示す拡大断面図である。
【図３】同じく電磁弁の作動時の状態を示す断面図である。
【図４】電磁弁の変形例を示す断面図である。
【図５】電磁弁を有するパージコントロールシステムの概要を示す説明図である。
【符号の説明】
【００３８】
１    電磁弁
２    バルブ主体部
３    バルブシート
７    流出ポート（流路）
７ｃ    弁座
１０    ハウジング
１１    弁体
１２    プランジャ（可動子）
１３    ステータ（固定子）
１４    キャビティ
１７    ストッパ
２６    脚部
２６ａ    傾斜面
３３    当接面
δ    隙間
【図１】
2007321914.tif 000003
【図２】
2007321914.tif 000004
【図３】
2007321914.tif 000005
【図４】
2007321914.tif 000006
【図５】
2007321914.tif 000007