(57)【要約】【課題】共振周波数調整用部材を形成するための専用の工程を必要とせず、しかも、共振周波数を微調整することができるだけでなく、短時間で大きく変化させることができ、さらに、共振周波数を下げる方向と上げる方向との両方向に調整可能な誘電体共振器，発振器，フィルタ，高周波モジュール及び誘電体共振器の共振周波数調整方法を提供する。【解決手段】誘電体共振器１は、誘電体基板２と、開口部３０Ａ，３０Ｂを有した電極板３Ａ，３Ｂと、開口部３０Ａ（３０Ｂ）内に配された第１電極４及び第２電極５とを備える。第１電極４は、電界の強さが最大となる個所にその電気力線に沿って配設され、第２電極５は、磁界の強さが最大となる個所にその磁力線を遮るように配設される。レーザ光で第１電極４を除去することで、共振周波数を上昇させ、第２電極５を削ることで、共振周波数を下降させることができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
誘電体基板と、略同一形状の開口部を対向させた状態でこの誘電体基板の両主面に形成された１対の電極板とを備え、この誘電体基板の上記対向する開口部間を共振領域とする誘電体共振器であって、
複数の第１電極を、少なくとも一方の上記開口部内に露出した誘電体基板の表面であって且つ共振時に電界の強さが最大となる個所に、その電気力線に沿って配設し、
第２電極を、少なくとも一方の上記開口部内に露出した誘電体基板の表面であって且つ共振時に磁界の強さが最大となる個所に、その磁力線を遮るように配設した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項２】
請求項１に記載の誘電体共振器において、
上記複数の第１電極の形状と大きさをほぼ同一に形成し、これら複数の第１電極を上記電気力線に沿って略等間隔で配設した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項３】
請求項２に記載の誘電体共振器において、
上記各第１電極の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の誘電体共振器において、
上記第２電極を、１つ平板電極で形成した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項５】
請求項４に記載の誘電体共振器において、
上記第２電極の周縁に、形状と大きさが略同一の複数の突起部を突設した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項６】
請求項５に記載の誘電体共振器において、
上記各突起部の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項７】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の誘電体共振器において、
複数の上記第２電極の形状と大きさをほぼ同一に形成して、これら複数の第２電極を上記磁力線を遮断するように散点状に配設した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項８】
請求項７に記載の誘電体共振器において、
上記各第２電極の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項９】
請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の誘電体共振器において、
上記第１電極及び第２電極の形成によって生じるＱ値の低下率を１０％以内に納めるように、上記第１及び第２電極の形状，大きさ及び数を設定した、
ことを特徴とする誘電体共振器。
【請求項１０】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた、
ことを特徴とする発振器。
【請求項１１】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた、
ことを特徴とするフィルタ。
【請求項１２】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた、
ことを特徴とする高周波モジュール。
【請求項１３】
請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器の共振周波数を調整するための誘電体共振器の共振周波数調整方法であって、
上記誘電体共振器に設けられた上記第１電極及び第２電極のうち少なくとも一方を、レーザトリミングによって部分的に又は全体的に除去することにより、所望の共振周波数に調整する、
ことを特徴とする誘電体共振器の共振周波数調整方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、マイクロ帯やミリ波帯で使用される誘電体共振器，発振器，フィルタ，高周波モジュール及び誘電体共振器の共振周波数調整方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、共振周波数をトリミング法で調整可能な誘電体共振器として、例えば特許文献１に開示のものがある。
特許文献１は、誘電体共振器で構成した誘電体フィルタを開示しており、この誘電体フィルタを、両主面に電極を形成した誘電体基板と１対の導体板とで構成している。そして、誘電体基板に、両主面に円形状の開口部を有して誘電体共振器を構成する１対の電極を形成し、共振周波数調整用の誘電体膜を電極の開口部内に形成している。
かかる構造により、誘電体膜をレーザ等で削っていくことで、共振周波数を調整することができるようになっている。
【０００３】
【特許文献１】特許第３５６２１６２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記した従来の技術では、次のような問題がある。
誘電体膜を、電極の開口部内の誘電体上にスピニング等の工程を用いて形成する必要がある。すなわち、電極等、誘電体膜とは異なる部材を形成する工程とは別に、誘電体膜専用の形成工程が必要になるので、その分製造工程数が多くなり、製造時間の長時間化や材料費によるコストアップを招く。
また、誘電体膜が、ポリイミド樹脂等の低誘電率材料で形成され、数１０μｍという薄い膜厚に形成すると考えられるので、一定量の誘電体膜を削った際に得られる共振電磁界に与える摂動量は僅かである。したがって、この技術では、共振周波数の微調整に向いているが、共振周波数を短時間で大きく変化させるには不向きである。
さらに、電極の開口部のほぼ中央部に形成した誘電体膜を削って、共振周波数を調整することとなるので、共振周波数を上げる調整のみが可能であるが、共振周波数を下げる調整が困難である。
【０００５】
この発明は、上述した課題を解決するためになされたもので、共振周波数調整用部材を形成するための専用の工程を必要とせず、しかも、共振周波数を微調整することができるだけでなく、短時間で大きく変化させることができ、さらに、共振周波数を下げる方向と上げる方向との両方向に調整可能な誘電体共振器，発振器，フィルタ，高周波モジュール及び誘電体共振器の共振周波数調整方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、請求項１の発明は、誘電体基板と、略同一形状の開口部を対向させた状態でこの誘電体基板の両主面に形成された１対の電極板とを備え、この誘電体基板の対向する開口部間を共振領域とする誘電体共振器であって、複数の第１電極を、少なくとも一方の開口部内に露出した誘電体基板の表面であって且つ共振時に電界の強さが最大となる個所に、その電気力線に沿って配設し、第２電極を、少なくとも一方の開口部内に露出した誘電体基板の表面であって且つ共振時に磁界の強さが最大となる個所に、その磁力線を遮るように配設した構成とする。
かかる構成により、第１電極と第２電極とを電極板の開口部内に露出した誘電体基板の表面に形成するので、第１及び第２電極をフォトリソグラフィ等によって電極板と一緒にパターン形成することができる。また、複数の第１電極が共振時に電界の強さが最大となる個所にその電気力線に沿って配設されているので、第１電極を除去することで、共振周波数を上げることができる。また、第２電極が、共振時に磁界の強さが最大となる個所に磁力線を遮るように配設されているので、第２電極を除去することで共振周波数を下げることができる。
【０００７】
請求項２の発明は、請求項１に記載の誘電体共振器において、複数の第１電極の形状と大きさをほぼ同一に形成し、これら複数の第１電極を電気力線に沿って略等間隔で配設した構成とする。
かかる構成により、第１電極を除去する都度、共振周波数が同一の変化量で上昇する。
【０００８】
請求項３の発明は、請求項２に記載の誘電体共振器において、各第１電極の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した構成とする。
かかる構成により、共振周波数を所望の変化量で微調整することができる。
【０００９】
請求項４の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の誘電体共振器において、第２電極を、１つ平板電極で形成した構成とする。
かかる構成により、第２電極を削る量に対応して、共振周波数が下降していく。
【００１０】
請求項５の発明は、請求項４に記載の誘電体共振器において、第２電極の周縁に、形状と大きさが略同一の複数の突起部を突設した構成とする。
かかる構成により、突起部を除去する都度、共振周波数が同一の変化量で下降する。
【００１１】
請求項６の発明は、請求項５に記載の誘電体共振器において、各突起部の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した構成とする。
かかる構成により、共振周波数を微調整することができる。
【００１２】
請求項７の発明は、請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の誘電体共振器において、複数の第２電極の形状と大きさをほぼ同一に形成して、これら複数の第２電極を磁力線を遮断するように散点状に配設した構成とする。
かかる構成により、第２電極を除去する都度、共振周波数が同一の変化量で下降する。
【００１３】
請求項８の発明は、請求項７に記載の誘電体共振器において、各第２電極の形状と大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応させて設定した構成とする。
かかる構成により、共振周波数を微調整することができる。
【００１４】
請求項９の発明は、請求項１ないし請求項８のいずれかに記載の誘電体共振器において、第１電極及び第２電極の形成によって生じるＱ値の低下率を１０％以内に納めるように、第１及び第２電極の形状，大きさ及び数を設定した構成とする。
かかる構成により、高Ｑ値の共振周波数を発生させる誘電体共振器を得ることができる。
【００１５】
請求項１０の発明に係る発振器は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた構成とする。
【００１６】
また、請求項１１の発明に係るフィルタは、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた構成とする。
【００１７】
さらに、請求項１２の発明に係る高周波モジュールは、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器を備えた構成とする。
【００１８】
また、請求項１３の発明は、請求項１ないし請求項９のいずれかに記載の誘電体共振器の共振周波数を調整するための誘電体共振器の共振周波数調整方法であって、誘電体共振器に設けられた第１電極及び第２電極のうち少なくとも一方を、レーザトリミングによって部分的に又は全体的に除去することにより、所望の共振周波数に調整する構成とした。
かかる構成により、誘電体共振器に設けられた第１電極をレーザトリミングによって部分的に又は全体的に除去することにより、共振周波数を上げることができ、第２電極をレーザトリミングによって部分的に又は全体的に除去することによりに、共振周波数を下げることができる。
【発明の効果】
【００１９】
以上詳しく説明したように、この発明の誘電体共振器によれば、第１及び第２電極を、フォトリソグラフィ等によって電極板と一緒にパターン形成することができるので、第１及び第２電極専用の形成工程を必要としない。したがって、専用工程を必要としない分、製造工程数の削減，製造時間の短時間化及び材料費のコストダウンを図ることができるという優れた効果がある。第１又は第２電極を、一定量削った際に共振電磁界に与える摂動量を大きくすることができ、この結果、共振周波数を短時間で大きく変化させることができるという効果もある。さらに、第１電極を除去することで、共振周波数を上げることができ、また、第２電極を除去することで共振周波数を下げることができるので、共振周波数を下げる方向と上げる方向との両方向に調整することができ、この結果、削り過ぎ不良の発生を低減することができ、歩留まりの向上を図ることができるという優れた効果を得ることができる。
特に、請求項９の発明によれば、高Ｑ値の共振周波数を発生させる高特性の誘電体共振器を提供することができる。
【００２０】
また、請求項１０，請求項１１及び請求項１２の発明によれば、安価で高特性の発振器，フィルタ及び高周波モジュールを提供することができる。
【００２１】
請求項１３の発明に係る誘電体共振器の共振周波数調整方法によれば、誘電体共振器の共振周波数を正確且つ高速に調整することができ、この結果、量産性の向上を図ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２２】
以下、この発明の最良の形態について図面を参照して説明する。
【実施例１】
【００２３】
図１は、この発明の第１実施例に係る誘電体共振器を示す斜視図であり、図２は、図１に示す誘電体共振器の平面図であり、図３は、図２の矢視Ａ−Ａ断面図である。
【００２４】
図１に示すように、この実施例の誘電体共振器１は、誘電体基板２と、開口部３０Ａ，３０Ｂを有した１対の電極板３Ａ，３Ｂと、各開口部３０Ａ（３０Ｂ）内に配された複数の第１電極４及び第２電極５とを備えている。
【００２５】
誘電体基板２は、両主面が平坦で矩形状をしたセラミック製の板体であり、図３に示すように、電極板３Ａ，３Ｂがその両主面（図３の上下面）に形成されている。
【００２６】
電極板３Ａ，３Ｂは、金等の導電性材料を用いてフォトリソグラフィ技術によって誘電体基板２の両主面にパターン形成したもので、その中央部には、円形の開口部３０Ａ，３０Ｂを有している。
【００２７】
電極板３Ａ，３Ｂの開口部３０Ａ，３０Ｂは、同径であり、お互いに対向した状態で、誘電体基板２の中央部に位置する。
これにより、共振領域が、誘電体基板２の対向する開口部３０Ａ，３０Ｂ間に形成される。
【００２８】
第１電極４は、共振時における電界に摂動を与えるための部材であり、図２及び図３に示すように、開口部３０Ａ（３０Ｂ）内に露出した誘電体基板２の表面２０Ａ（２０Ｂ）上にフォトリソグラフィ技術によってパターン形成されている。また、これら第１電極４は、共振時に電界の強さが最大となる個所に、その電気力線に沿って配設されている。
一方、第２電極５は、共振時における磁界に摂動を与えるための部材であり、上記誘電体基板２の表面２０Ａ（２０Ｂ）上にフォトリソグラフィ技術によってパターン形成されている。また、この第２電極５は、１つの円板状電極であり、共振時に磁界の強さが最大となる個所に、その磁力線を遮るように配設されている。
【００２９】
ここで、第１電極４及び第２電極５について詳説する。
図４は、ＴＥ010モードにおける電界の分布を説明するための概略図であり、図５は、第１電極４の数と共振周波数の変化量（％）及びＱ値の変化量（％）との相関図であり、図６は、ＴＥ010モードにおける磁界の分布を説明するための概略図であり、図７は、第２電極５の直径と共振周波数の変化量（％）及びＱ値の変化量（％）との相関図である。
【００３０】
この実施例の誘電体共振器１は、ＴＥ010モードで使用する共振器である。
したがって、図４（ａ）に示すように、共振時における電界Ｅの強さは、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の半径方向に正弦波の半周期の１つ分だけ変化する。すなわち、開口部３０Ａ（３０Ｂ）内に生じる電界Ｅは、理論的には、図４（ｂ）の曲線Ｓｅで示すように、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の半径の１／２の個所で最大となり、電界Ｅmaxが電界最大の電気力線となる。
そこで、この実施例では、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の直径を１．８３ｍｍに設定し、図１から図３に示すように、複数の第１電極４を、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の中心から約０．５ｍｍの個所に、等間隔で円周状に形成した。また、複数の第１電極４は形状と大きさを、ほぼ同一に設定し、各第１電極４の形状及び大きさを、７０μｍ角の矩形状に設定した。
ところで、このような形状及び大きさの第１電極４を開口部３０Ａ，３０Ｂ内に複数形成すると、第１電極４による容量が発生して、共振周波数が低下し、また、ジュール損によって、Ｑ値が低下する。
この第１電極４の数と共振周波数やＱ値の変化量との関係を計算すると、図５に示すような関係になる。図５において、左縦軸の数値Δｆ／ｆ0は、第１電極４や第２電極５が設けられていない誘電体共振器１の共振周波数ｆ0に対する共振周波数の変化量であり、直線Ｓ１で示される。また、右縦軸の数値ΔＱ／Ｑ0は、第１電極４や第２電極５が設けられていない誘電体共振器１のＱ値Ｑ0対するＱ値の変化量であり、直線Ｓ２で示される。
直線Ｓ１で示すように、第１電極４の数の増加に対応して共振周波数やＱ値の変化量が下がり、この７０μｍ角の第１電極４が２４個配設されると、共振周波数が約０．７％低下すると共に、Ｑ値も約１０％低下する。
すなわち、この実施例では、１つの第１電極４で共振周波数が約０．０１５％だけ変化するように設定され、希望する最小の周波数変化量が約０．０１５％であることを示している。
【００３１】
一方、図６（ａ）に示すように、共振時における磁界Ｈは、電界Ｅに垂直な面内で右ネジ方向に回転している。すなわち、電極板３Ａ，３Ｂ間に生じる磁界Ｈは、理論的には、図６（ｂ）の曲線Ｓｈで示すように、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の中心個所及び両縁部で最大となり、Ｈmaxが磁界最大の磁力線となる。
そこで、この実施例では、図１〜図３に示すように、直径ｄ（ｍｍ）の円形の第２電極５を、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の中心個所に形成した。
ところで、このような形状及び大きさの第２電極５を開口部３０Ａ，３０Ｂの中心個所に形成すると、磁界Ｈを遮断する状態になり、共振周波数が増加し、また、ジュール損によって、Ｑ値が低下する。
この第２電極５の直径ｄと共振周波数やＱ値の変化量との関係を計算すると、図７に示すような関係になる。ここで、左縦軸Δｆ／ｆ0と直径ｄとの関係は、曲線Ｓ１′で示され、右縦軸の数値ΔＱ／Ｑ0と直径ｄとの関係は、曲線Ｓ２′で示される。
曲線Ｓ１′で示すように、第２電極５の直径ｄの増加に対応して共振周波数の変化量が上がり、Ｑ値の変化量が低下する。直径ｄが１７０μｍの第２電極５が配設されると、共振周波数が約０．５％上昇すると共に、Ｑ値が約１０％低下する。
【００３２】
この実施例では、第１電極４及び第２電極５を形成することによるＱ値の低下率を１０％以内に納めるため、図１〜図３に示すように、各開口部３０Ａ（３０Ｂ）内に形成する第１電極４の数を１２個に設定し、第２電極５の直径ｄを８５μｍに設定した。すなわち、誘電体共振器１を高Ｑ値を確保した対称型のＰＤＴＬ（Planer Dielectric Transmission Line）構造にした。
これにより、第１電極４を除去することで、共振周波数を高い方へ最大約０．３５％上昇させることができ、第２電極５を除去することで、低い方向へ最小約０．２５％下降させることができる。
【００３３】
次に、この実施例の誘電体共振器１の共振周波数調整方法について説明する。
なお、この調整方法は、この発明の誘電体共振器の共振周波数調整方法を具体的に実行するものである。
図８は、誘電体共振器１の共振周波数調整方法を示す断面図である。
誘電体共振器１の共振周波数調整は、図８に示すように、誘電体共振器１をカバー１００，１０１内に収納し、第１電極４や第２電極５を、レーザ照射器１１０によりレーザトリミングすることで行う。
具体的には、レーザ照射器１１０をカバー１００の窓１００ａ近傍に配する。そして、共振周波数を上げたい場合には、破線で示すように、レーザ光Ｌをレーザ照射器１１０から第１電極４に照射して、除去する。上記したように、１つの第１電極４を除去することで、約０．０１５％だけ共振周波数が上昇するので、必要な数だけ、第１電極４を除去することにより、共振周波数を所望値まで上昇させることができる。すなわち、共振周波数の上方向への微調整を行うことができる。また、レーザ光Ｌをカバー１０１の窓１０１ａから照射して、開口部３０Ｂ側の第１電極４を除去することにより、開口部３０Ａ，３０Ｂ内の第１電極４の数のバランスをとることができる。
逆に、共振周波数を下げたい場合には、実線で示すように、レーザ光Ｌを第２電極５に照射して、第２電極５の直径ｄを小さくしていく。上記したように、第２電極５の直径ｄを小さくすることで、共振周波数が下降するので、必要な大きさまで第２電極５を小さく削ることで、共振周波数を所望値まで下降させることができる。また、レーザ光Ｌをカバー１０１の窓１０１ａから照射して、開口部３０Ｂ側の第２電極５を削ることで、開口部３０Ａ，３０Ｂ内の第２電極５の直径ｄのバランスをとることができる。
【００３４】
このように、この実施例の誘電体共振器１によれば、共振周波数を下げる方向と上げる方向との両方向に調整することができ、この結果、削り過ぎ不良の発生を低減することができ、歩留まりの向上を図ることができる。
また、第１電極４と第２電極５とを、フォトリソグラフィ技術によって電極板３Ａ（３Ｂ）と一緒にパターン形成することができるので、第１及び第２電極４，５専用の形成工程を必要としない。その分、製造工程数の削減，製造時間の短時間化及び材料費のコストダウンを図ることができる。
さらに、１つの第１電極４を除去又は第２電極５を削ることで、共振電磁界に与える摂動量を大きくすることができ、この結果、共振周波数を短時間で大きく変化させることができる。
【実施例２】
【００３５】
次に、この発明の第２実施例について説明する。
図９は、この発明の第２実施例に係る誘電体共振器を示す平面図であり、図１０は、誘電体共振器の共振周波数調整方法を示す断面図である。
この実施例の誘電体共振器は、第１電極４及び第２電極５を片面にのみ設けた点が、上記第１実施例と異なる。
すなわち、図９及び図１０に示すように、電極板３Ａの開口部３０Ａ内の表面２０Ａにのみ、７０μｍ角の第１電極４を２４個形成すると共に、直径ｄが１７０μｍの第２電極５を表面２０Ａ）の中心に形成することにより、Ｑ値の低下率を１０％以内に納めた。すなわち、誘電体共振器を、高Ｑ値を確保した非対称型のＰＤＴＬ構造にした。
これにより、図１０に示すように、カバー１００の窓１００ａのみを使用して、誘電体共振器１を所望の共振周波数にレーザトリミングすることができるので、レーザトリミング作業を容易且つ短時間で行うことができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第１実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例３】
【００３６】
次に、この発明の第３実施例について説明する。
図１１は、この発明の第３実施例に係る誘電体共振器を示す平面図であり、図１２は、この実施例に適用される第２電極５の拡大図である。
この実施例は、第２電極５の形状が上記第２実施例と異なる。
誘電体共振器は、図１１に示すように、上記第２実施例と同様に、第１電極４及び第２電極５を片面にのみ設けた構成を採る。そして、円板状の第２電極５に代えて、複数の突起部５０を有した歯車状の第２電極５−１を用いた。
具体的には、図１２に示すように、第２電極５−１は、その周縁に、大きさが同一で矩形状の突起部５０を複数有している。そして、各突起部５０の大きさは、ユーザが希望する最小の周波数変化量に対応させて設定されている。
かかる構成により、突起部５０を除去する都度、共振周波数が一定且つ最小の周波数変化量で下降するので、共振周波数の下方向への微調整が可能となる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第２実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例４】
【００３７】
次に、この発明の第４実施例について説明する。
図１３は、この発明の第４実施例に係る誘電体共振器を示す平面図であり、図１４は、ＴＥ120モードにおける電界の分布を説明するための概略図である。
この実施例の誘電体共振器は、１対の電極板３Ａ，３Ｂの開口部３０Ａ，３０Ｂを矩形状に形成して、ＴＥ120モードの電磁波で共振させるようにした点が、上記第２及び第３実施例と異なる。
【００３８】
この実施例の誘電体共振器は、ＴＥ120モードで使用する共振器である。
したがって、図１４（ａ）及び（ｂ）に示すように、共振時における電界Ｅの強さは、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の長さ方向（ｘ方向）に正弦波の半周期の２つ分だけ変化する。すなわち、電界Ｅは、理論的には、図１４（ｂ）の曲線Ｓｅで示すように、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の長さの１／４と３／４の２個所で最大となる。
そこで、この実施例では、図１３に示すように、複数の第１電極４−１，４−２を、開口部３０Ａ内の表面２０Ａ上であって電界Ｅが最大となる個所に電気力線に沿ってそれぞれ配設した。
【００３９】
一方、共振時における磁界Ｈは、電界Ｅ，−Ｅに垂直な面内でそれぞれ生じるので、理論的には、電界Ｅ，−Ｅの中間即ち開口部３０Ａ（３０Ｂ）の長さの１／２の個所と開口部３０Ａ（３０Ｂ）の両縁部とで最大となる。
そこで、この実施例では、両縁に突起部５０を有した長尺状の第２電極５−２を、開口部３０Ａ内の表面２０Ａ上であって開口部３０Ａの中央部に形成した。
【００４０】
これにより、第１電極４−１，４−２を１つずつレーザ光で除去することで、誘電体共振器の共振周波数を上げる方向に微調整することができ、第２電極５−２の突起部５０を１つずつ削ることで、共振周波数を下げる方向に微調整することができる。
【００４１】
なお、この実施例では、第１電極４−１，４−５及び第２電極５−２を開口部３０Ａ内にのみ有する非対称型のＰＤＴＬ構造としたが、これらの電極を、開口部３０Ａ，３０Ｂの双方に有する対称型のＰＤＴＬ構造とすることができることは勿論である。
その他の構成、作用及び効果は、上記第２及び第３実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例５】
【００４２】
次に、この発明の第５実施例について説明する。
図１５は、この発明の第５実施例に係る誘電体共振器を示す平面図であり、図１６は、ＴＥ110モードにおける電界の分布を説明するための概略図である。
この実施例の誘電体共振器は、ＴＥ110モードの電磁波で共振させるようにした点が、上記第４実施例と異なる。
【００４３】
この実施例の誘電体共振器は、ＴＥ110モードで使用する共振器である。
したがって、図１６（ａ）及び（ｂ）に示すように、共振時における電界Ｅの強さは、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の長さ方向（ｘ方向）に正弦波の半周期の１つ分だけ変化するので、電界Ｅは、図１６（ｂ）の曲線Ｓｅで示すように、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の長さの１／２の個所で最大となる。
そこで、この実施例では、図１５に示すように、複数の第１電極４−３を、開口部３０Ａ内の中心部に電気力線に沿って配設した。
【００４４】
一方、共振時における磁界Ｈは、電界Ｅに垂直な面内でそれぞれ生じるので、理論的には、開口部３０Ａ（３０Ｂ）の両縁部（図１６（ａ）の左右縁部）で最大となる。
そこで、この実施例では、小さな矩形状の第２電極５−３を開口部３０Ａの両縁に複数等間隔で突設して、第２電極５−３を電極板３Ａにショートさせた。
【００４５】
これにより、第１電極４−３を１つずつレーザ光で除去することで、誘電体共振器の共振周波数を上げる方向に微調整することができ、第２電極５−３を１つずつ削ることで、共振周波数を下げる方向に微調整することができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第４実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例６】
【００４６】
次に、この発明の第６実施例について説明する。
図１７は、この発明の第６実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
この実施例は、第２電極の構成が上記第１ないし第３実施例と異なる。
すなわち、この実施例では、複数の第２電極５の形状と大きさをほぼ同一に形成して、これら複数の第２電極５を磁力線を遮断するように散点状に配設した。
具体的には、上記第１ないし第３実施例では、第２電極５，５−１を、１つの円板状電極で構成したが、図１７に示すように、この実施例では、小さな矩形状をした複数の第２電極５を、上記第１ないし第３実施例の第２電極５，５−１を形成した個所に、散点状に敷き詰めた。
そして、各第２電極５の大きさを、希望する最小の周波数変化量に対応した大きさに設定し、１つの第２電極５を削る都度、共振周波数が同一の変化量で下降するようにして、共振周波数の下方への微調整を可能にした。
その他の構成、作用及び効果は、上記第４実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【００４７】
なお、この第６実施例は、上記第１ないし第３実施例に対応するものであるが、図１８に示すように、第４実施例に対応する変形例も考案することができる。
すなわち、図１８に示すように、小さな矩形状をした複数の第２電極５を、上記第４実施例の第２電極５−１及び突起部５０を形成した個所に、散点状に敷き詰めることで、上記第４実施例とほぼ同様の作用及び効果を得ることができる。
【実施例７】
【００４８】
次に、この発明の第７実施例について説明する。
図１９は、この発明の第７実施例に係る発振器の分解斜視図である。
この実施例の発振器は、電圧制御発振器（ＶＣＯ）であり、上記第２実施例に係るＴＥ010モードのの誘電体共振器１を備えている。
【００４９】
具体的には、誘電体共振器１を金属スペーサ２００の収納開口部２０１に収納し、ＰＴＦＥ等からなる誘電体のシート状の基板２０２をこの金属スペーサ２００の上に重ねた状態になっている。そして、これら金属スペーサ２００，誘電体共振器１，基板２０２を順にステム２０３に装着し、ピン２０３ａ〜２０３ｃを基板２０２に設けた端子電極にそれぞれ半田付けし、さらにステム２０３の上に金属製カバー２０４を接合して、ＶＣＯを構成している。
【００５０】
かかる構成により、金属製カバー２０４を既に組み立てた状態で、測定器をピン２０３ａ〜２０３ｃに接続し、その発振周波数を測定しながら、窓２０４ａを透して、誘電体共振器１の開口部３０Ａにレーザ光を照射することで、レーザトリミングを行うことができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第１実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例８】
【００５１】
次に、この発明の第８実施例について説明する。
図２０は、この発明の第８実施例に係るフィルタの分解斜視図である。
この実施例のフィルタは、誘電体フィルタであり、基板３００と、上記第２実施例に係るＴＥ010モードの誘電体共振器１′と、窓３１１を有した金属製カバー３１０とを備えている。
具体的には、基板３００は、下面略全面の接地電極と上面一部の導電体膜３０１とを有しており、さらに、マイクロストリップ線路３０３，３０４をその上面に有している。そして、導電体膜３０１に金属枠体３０２を接合し、この金属枠体３０２に誘電体共振器１′を接合している。
この誘電体共振器１′は、３段の開口部３０Ａ−１〜３０Ａ−３（３０Ｂ−１〜３０Ｂ−３）を有しており、第１電極４及び第２電極５は、第２段の開口部３０Ａ−２内に形成した。
そして、金属製カバー３１０を、その周縁部を誘電体共振器１′の電極板３Ａに接合させた状態で取り付けている。
【００５２】
かかる構成により、金属製カバー３１０も含めた各構成部品全てを組み立てた状態でフィルタ特性を測定し、必要なトリミング量を求める。そして、レーザ光を窓３１１を通じて開口部３０Ａ−２内の第１電極４や第２電極５に照射することにより、所望のトリミング量だけレーザトリミングすることができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第２実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【実施例９】
【００５３】
次に、この発明の第９実施例について説明する。
図２１は、この発明の第９実施例に係る高周波モジュールの分解斜視図である。
図２１に示すように、この実施例の高周波モジュールは、各回路が形成された分割基板４０１〜４０５と、これらの分割基板４０１〜４０５を収納するパッケージ４１０と、カバー４２０とを有している。
【００５４】
各分割基板４０１〜４０５は、ＰＤＴＬ構造の回路基板であり、各分割基板４０１〜４０５には、回路ブロックとして、アンテナ回路４０１Ａ、共用器回路４０２Ａ、送信回路４０３Ａ、受信回路４０４Ａ、発振回路４０５Ａがそれぞれ形成されている。
分割基板４０５の発振回路４０５Ａは、送信回路４０３Ａと受信回路４０４Ａとに接続され所定周波数の局部発振信号を発振するブロックであり、上記第２実施例の誘電体共振器１′′を有している。
このような分割基板４０１〜４０５は、パッケージ４１０の内部に収納され、窓４２１を有したカバー４２０が、このパッケージ４１０の上に取り付けられている。
【００５５】
かかる構成により、レーザ光を窓４２１を通じて誘電体共振器１′′の開口部３０Ａ内の第１電極４や第２電極５に照射することにより、所望のトリミング量だけレーザトリミングすることができる。
その他の構成、作用及び効果は、上記第２実施例と同様であるので、その記載は省略する。
【００５６】
なお、この発明は、上記実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内において種々の変形や変更が可能である。
例えば、上記実施例では、第１電極４や第２電極５の挿入によるＱ値の低下率を１０％以内に納めるため、第１電極４の数や第２電極５の直径ｄを限定したが、Ｑ値の低下率が１０％を超えるように、第１電極４の数や第２電極５の直径ｄを設定した誘電体共振器をこの発明の範囲から除外する意ではない。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】この発明の第１実施例に係る誘電体共振器を示す斜視図である。
【図２】図１に示す誘電体共振器の平面図である。
【図３】図２の矢視Ａ−Ａ断面図である。
【図４】ＴＥ010モードにおける電界の分布を説明するための概略図である。
【図５】第１電極の数と共振周波数の変化量（％）及びＱ値の変化量（％）との相関図である。
【図６】ＴＥ010モードにおける磁界の分布を説明するための概略図である。
【図７】第２電極の直径と共振周波数の変化量（％）及びＱ値の変化量（％）との相関図である。
【図８】誘電体共振器の共振周波数調整方法を示す断面図である。
【図９】この発明の第２実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
【図１０】誘電体共振器の共振周波数調整方法を示す断面図である。
【図１１】この発明の第３実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
【図１２】この実施例に適用される第２電極の拡大図である。
【図１３】この発明の第４実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
【図１４】ＴＥ120モードにおける電界の分布を説明するための概略図である。
【図１５】この発明の第５実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
【図１６】ＴＥ110モードにおける電界の分布を説明するための概略図である。
【図１７】この発明の第６実施例に係る誘電体共振器を示す平面図である。
【図１８】第４実施例の一変形例を示す平面図である。
【図１９】この発明の第７実施例に係る発振器の分解斜視図である。
【図２０】この発明の第８実施例に係るフィルタの分解斜視図である。
【図２１】この発明の第９実施例に係る高周波モジュールの分解斜視図である。
【符号の説明】
【００５８】
１，１′，１′′…誘電体共振器、  ２…誘電体基板、  ３Ａ，３Ａ−１〜３Ａ−３，３Ｂ，３Ｂ−１〜３Ｂ−３…電極板、  ４，４−１〜４−３…第１電極、  ５，５−１〜５−３…第２電極、  ２０Ａ，２０Ｂ…表面、  ３０Ａ，３０Ｂ…開口部、  ５０…突起部、  １００，１０１…カバー、  Ｅ…電界、  Ｈ…磁界、  Ｌ…レーザ光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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