(57)【要約】   【課題】圧電素子群の素子配列方向の両端に位置する素子に十分な剛性や強度を確保することで、位置決めとして機能させることができる圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。  【解決手段】圧電素子群２１の両端の素子２８を支持突起部４１に当接させてその分だけ突き出し長さを短くし、剛性を向上した圧電素子ユニット４とする。  これにより、組立の際の素子の折損を防止して所定位置に位置決めできる。また、記録ヘッドの組立精度を向上し、製品不良を抑える。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板の固定板先端面における素子接合面側の隅角部を、前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に対応する部分を支持突起部として残した状態で固定板先端面から反対面側に切り欠いて段差部を形成し、
前記圧電素子群を前記固定板に接合した状態において、前記支持突起部が前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に当接することを特徴とする圧電素子ユニット。
【請求項２】
前記圧電素子群と前記固定板とを接着剤によって接合する際に、圧電素子群と前記段差部とにより区画される保持空部内に接着剤を保持することを特徴とする請求項１に記載の圧電素子ユニット。
【請求項３】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板の固定板先端面に、前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に対応する位置に支持突起部を突設し、
前記圧電素子群を前記固定板に接合した状態において、前記支持突起部が前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に当接することを特徴とする圧電素子ユニット。
【請求項４】
共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
請求項１から請求項３の何れかに記載の圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が内部に形成されたケースを備え、
前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の外側面を収容空部の内壁面に当接させることで圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをした状態で、圧電素子ユニットを収容空部内に収容したことを特徴とする請求項４に記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴などの液滴を吐出させるのに好適な圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドに関し、特に、組み立て時の位置決め精度を担う部分の圧電素子の強度を高めて組立性を向上できるようにしたものに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドのひとつであるインクジェット式記録ヘッドには、例えば、圧力室やリザーバ等を有する流路ユニットと、この流路ユニットの背面側に配置されて、圧力室の容積を変化させる振動子（素子）を複数有する圧電素子ユニットと、内部に圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が形成されて、先端に流路ユニットが接合されるケースとを備えたものがある。
【０００３】
この圧電素子ユニットは、例えば、次の手順で造られている。まず、共通内部電極と個別内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層して板状の積層体を作成し、共通内部電極に導通させた共通外部電極と個別内部電極に導通させた個別外部電極とを積層体の表面に形成する。そして、この積層体を焼成した後、その基端側部分をＳＵＳ（ステンレス鋼）の固定板上に接合し、ワイヤーソーやダイシングソー等によって積層体の先端側部分を５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅で切り分けて櫛歯状の圧電素子群を形成する。
この圧電素子群における素子列設方向の両端に位置する素子は、インク滴の吐出には関与しないダミー素子とし、例えば、ケース内における圧電素子ユニットの位置を規定するために使用される（例えば、特許文献１、図２参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開平１１−２７７７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、圧電素子群における素子列設方向両端の素子は、他の圧電素子群と同様にＳＵＳの固定板から張り出して接合された、いわゆる片持ち梁状態である。そのため、素子列設方向両端の素子は、駆動素子群を間に挟んでその両端に設けられているが故に、ヘッド組立の際に、例えば治具等との接触によって折れ易く、位置決めとして機能させることができない場合がある。
特に、固定板の接合の際の接着剤の圧電素子群への流れ込みを防止するため、固定板の接合部分に段差部を形成した場合には、段差部の深さの分だけ圧電素子群の張り出し長さが長くなって一層折れ易く、位置決めとして機能させることができなくなり、ヘッドを製造することができなくなるという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子群の素子配列方向の両端に位置する素子に十分な剛性や強度を確保することで、位置決めとして機能させることができる圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板の固定板先端面における素子接合面側の隅角部を、前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に対応する部分を支持突起部として残した状態で固定板先端面から反対面側に切り欠いて段差部を形成し、
前記圧電素子群を前記固定板に接合した状態において、前記支持突起部が前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に当接することを特徴とする。
【０００８】
上記構成によれば、固定板の素子接合面側の隅角部に形成する段差部に、圧電素子群の素子配列方向の両端の素子に対応する支持突起部を残した状態としたので、圧電素子群を固定板に接合した状態では、圧電素子群の両端の素子が支持突起部に当接することになり、その分だけ突き出し長さを短くすることができる。これにより、圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の剛性を向上することができ、組立の際の折損を防止して位置決めに利用することができる。
【０００９】
上記構成において、前記圧電素子群と前記固定板とを接着剤によって接合する際に、圧電素子群と前記段差部とにより区画される保持空部内に接着剤を保持することが望ましい。
【００１０】
この構成によれば、圧電素子群と固定板とを接着剤によって接合する際に、過剰な接着剤が塗布されても保持空部内に保持することができ、圧電素子群に流出することを防止して製造不良の発生を抑えることができる。
【００１１】
また、本発明は、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板の固定板先端面に、前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に対応する位置に支持突起部を突設し、
前記圧電素子群を前記固定板に接合した状態において、前記支持突起部が前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子に当接することを特徴とする。
【００１２】
上記構成によれば、固定板の先端面に、圧電素子群の素子配列方向の両端の素子に対応する支持突起部を突出させた状態としたので、圧電素子群を固定板に接合した状態では、圧電素子群の両端の素子が支持突起部に当接することになり、その分だけ突き出し長さを短くすることができる。これにより、固定板に段差部を形成しない場合でも、圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の剛性を向上することができ、組立の際の折損を防止して位置決めに利用することができる。
【００１３】
本発明の液体噴射ヘッドは、共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
上記各構成における圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする。
【００１４】
上記構成によれば、圧電素子群の両端の素子を支持突起部に当接させてその分だけ突き出し長さを短くし、剛性を向上した圧電素子ユニットを用いることで、組立の際の素子の折損を防止して所定位置に位置決めすることができる。これにより、液体噴射ヘッドの組立精度を向上し、製品不良を抑えることができる。そして、圧電素子の位置が正確であると、ノズル開口からの吐出特性のばらつきも減少させることができる。
【００１５】
上記構成において、前記圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が内部に形成されたケースを備え、
前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の外側面を収容空部の内壁面に当接させることで圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをした状態で、圧電素子ユニットを収容空部内に収容することが望ましい。
【００１６】
この構成によれば、圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをした両端の素子の外側面を、ケースの収容空部の内壁面に当接させることで、圧電素子ユニットを収納空部内の正規の位置に確実に取り付けることができる。これにより、組立精度を向上することができ、製品不良を抑えることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。図１は本発明の第１実施形態を適用した液体噴射ヘッドであるインクジェット式の記録ヘッド１の要部を拡大して示した断面図であり、図２はそのＡ−Ａ線矢視図である。
【００１８】
この液体噴射ヘッドである記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニット３、及び、圧電素子ユニット４等によって概略構成されている。なお、以後の説明では、便宜上、図１の上方を先端側（前方側）と称し、図１の下側を基端側（後方側）と称する。
【００１９】
ケース２は、先端と後端（基端）が共に開放した合成樹脂製のブロック状部材であり、内部に、開口形状がノズル列方向、即ち素子列設方向（後述）に細長い長方形の収容空部５を設けてある。このケース２の先端には流路ユニット３が接着剤によって接合されており、収容空部５内には、圧電素子群２１の先端面部を収容空部５の先端側開口に臨ませた状態で圧電素子ユニット４が収容され固定されている。この収容空部５の側方には、基端側にてインクカートリッジに連通しているインク供給管６を設けてある。
【００２０】
流路ユニット３は、流路形成板７、ノズルプレート８、及び、弾性板９から概略構成されている。
【００２１】
ノズルプレート８は、ドット形成密度に対応したピッチで多数（例えば、１８０個）のノズル開口１０を列状に開設した薄い板状部材であり、例えば、ステンレス板によって構成してある。このノズルプレート８に積層される流路形成板７には、インク供給管６を通して供給されたインクが流入するリザーバ１１、ノズル開口１０からインクを吐出させるために必要なインク圧力を発生させる圧力室１２、これらのリザーバ１１と圧力室１２を連通するインク供給口１３等が形成されている。そして、本実施形態では、これらの各部を、シリコンウェハーをエッチング処理することにより形成する。
【００２２】
弾性板９は、本実施形態では、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）等の高分子膜を弾性体膜１４としてステンレス板１５上にラミネートした二重構造である。そして、ステンレス板１５は、リザーバ１１に対応する部分など不要部分をエッチング処理により除去して島部１６（厚肉部）を形成し、この島部１６の周囲を弾性体膜１４（薄肉部）だけにして弾性部１７を構成する。この島部１６は、背面側に駆動素子２９（後述）が当接される当接面を設けたブロック形状であり、ノズル開口１０と同様にドット形成密度に対応したピッチで多数設けられる。また、弾性板９にはインク供給管６からのインクをリザーバ１１に流入させるための開口が形成されている。この開口は、圧力室１２の列の一列に対して１つ設けてもよいし、または、複数設けてもよい。
【００２３】
そして、ノズルプレート８を流路形成板７の一方面側に配置すると共に、弾性板９を他方面側に配置し、ノズルプレート８と弾性板９とで流路形成板７を挟み、接着等により一体化することで、流路ユニット３が形成されている。なお、この流路ユニット３において、上記の弾性板９は、圧力室１２やリザーバ１１の天井面を封止する封止材の一部を構成している。
【００２４】
上記の圧電素子ユニット４は、圧電素子群２１とステンレス板の固定板２２とにより概略構成されている。この圧電素子群２１は、図２に示すように、固定板２２に基端部分が接合された状態で櫛歯状に列設されており、圧電素子列設方向（面方向）における両端部に位置するダミー素子２８（図中、一端側のみを示す。）と、これらのダミー素子２８の間に配置された多数の駆動素子２９とから成っている。ここで、駆動素子２９はインク滴の吐出に関与する圧電素子であり、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられている。また、ダミー素子２８はインク滴の吐出に関与しない圧電素子であり、圧電素子ユニット４のケース２内における位置を規定するために形成されている。なお、本実施形態における圧電素子群２１の駆動素子２９は、いわゆる縦振動モードの圧電素子である。
【００２５】
この駆動素子２９は、図１に示すように、共通内部電極３２と個別内部電極３３とを圧電体３１を挟んで交互に積層してある。ここで、共通内部電極３２は全ての駆動素子２９に対して同じ電位レベルに設定される電極であり、個別内部電極３３は各駆動素子２９毎に電位レベルが設定される電極である。そして、この駆動素子２９における素子先端から素子長手方向（積層方向と直交する方向）の半分程度まで若しくは３分の２程度までの部分を自由端部とし、残りの部分を基端部として固定板２２を接合してある。要するに、この駆動素子２９はいわゆる片持梁のような状態で固定板２２の先端面２２ａから突出させた状態で固定されている。
【００２６】
駆動素子２９の自由端部には、共通内部電極３２と個別内部電極３３とが重なり合った活性領域（オーバーラップ部分）を形成してある。これらの内部電極３２，３３に電位差を与えたり放電すると、活性領域の圧電体３１が変形（作動）して素子長手方向に変位して伸縮する。そして、共通内部電極３２の基端は駆動素子２９の基端面部で共通外部電極３７に導通しており、個別内部電極３３の先端は駆動素子２９の先端面部２９ａで個別外部電極３６に導通している。ここで、個別外部電極３６は、フレキシブルケーブル２４と各個別内部電極３３とを導通する電極であり、共通外部電極３７はフレキシブルケーブル２４と共通内部電極３２との間を導通する電極である。
【００２７】
フレキシブルケーブル２４は、上記の駆動素子２９の基端部の配線接続面側に配置されており、個別外部電極３６及び共通外部電極３７と電気的に接続される。そして、このフレキシブルケーブル２４を通して駆動パルスが各電極３３，３６に供給される。
【００２８】
圧電素子ユニット４は、図１及び図２に示すように、記録ヘッド１への取付状態において、駆動素子２９の先端面部２９ａが弾性板９の島部１６に背面側から当接されており、この先端面部２９ａと島部１６とは接着剤によって接着されている。
【００２９】
駆動素子２９に駆動パルスが供給されると、駆動素子２９は素子長手方向に伸縮し、弾性部１７を構成する弾性体膜１４を前後方向に変形させる。この弾性部１７の前後方向の移動に伴って圧力室１２は、膨張或いは収縮して容積を変化させる。ノズル開口１０からインク滴を吐出させる場合には、インク滴を吐出させる駆動素子２９に対して選択的に駆動信号を印加し、例えば、圧力室１２を一旦膨張させてから収縮させる。このようにすると、圧力室１２の膨張に伴ってリザーバ１１内のインクが圧力室１２に流入し、圧力室１２の収縮に伴って圧力室１２内のインクの圧力が高まり、これにより、ノズル開口１０から押し出されたインクがインク滴として吐出される。
【００３０】
次に、圧電素子群２１のダミー素子２８について説明する。本実施形態におけるダミー素子２８は、ワイヤーソーやダイシングソー等によって積層体を複数の駆動素子２９…に歯割り形成する際に、圧電素子列設方向の両端部に形成される。そして、このダミー素子２８の列設方向の外側の面２８ｃも歯割り形成時にワイヤーソーやダイシングソー等によって切断され、この外側面２８ｃが圧電素子列設方向の位置決めをするための第１の位置決め面となる。また、ダミー素子２８の先端面部２８ｄは、前後方向の位置決めをするための第２の位置決め面となる。
このように、ダミー素子２８の外側面２８ｃを位置決め用の面とすると、これら素子２８，２９に歯割りするのと同じプロセスで位置合わせ面も形成できるので、非常に高い精度を得ることができる。
【００３１】
そして、このダミー素子２８もまた、固定板２２の先端面２２ａから突出した自由端部２８ａと固定板２２に接合された基端部２８ｂとから構成されており、いわゆる片持梁のような状態で固定板２２に固定されている。なお、このダミー素子２８の基本的な構造は、駆動素子２９と同じであるが、本実施形態では、伸縮しない構成とされる。
【００３２】
次に、圧電素子ユニット４の固定板２２について説明する。固定板２２は、ステンレス板で構成され、図３〜図５に示すように、先端面２２ａの圧電素子接合面２２ｂ側の隅角部に段差部２２ｃが形成してある。この段差部２２ｃは、圧電素子群２１の圧電素子列設方向の駆動素子２９に対応する部分にのみ形成され、素子列設方向の両端のダミー素子２８に対応する部分を残し、この残した部分を支持突起部４１としてある。この段差部２２ｃは圧電素子群２１を固定板２２の圧電素子接合面２２ｂに重ね合わせて接合する際の接着剤を収納保持する機能をもたせた保持空部４２とされる。保持空部４２に接着剤を保持することで、接着剤の塗布量が多少変化してもその影響を受けることなく接合することができる。また、保持空部４２(段差部２２ｃ)により、接着剤が過剰に塗布された場合でも駆動素子２９側に流出することを防止する逃げ領域とすることもできる。
【００３３】
この固定板２２に圧電素子群２１を接着剤で接合した重合状態では、素子列設方向の両端のダミー素子２８が支持突起部４１の側面と当接した状態で接合されるので、固定板２２の先端面２２ａからの突き出し長さ、即ち、ダミー素子２８の固定板２２と当接していない領域（長さ）を、段差部２２ｃを形成した場合に比べて短くすることができる。これにより、ダミー素子２８の固定板２２の先端面２２ａから突き出した自由端部分の強度や剛性を高めることができる。また、固定板２２に形成した支持突起部４１と接合したダミー素子２８の位置を比較することで、圧電素子群２１の櫛歯状に加工された両端のダミー素子２８および駆動素子２９の位置精度が適正であるかどうかの目安とすることができる。この場合、ダミー素子２８が素子列設方向の両端に位置しているため、位置精度が適正であるかどうかの目安とすることができるのである。さらに、支持突起部４１の位置を利用して圧電素子群２１の加工精度が適性であるかどうかの確認に利用することもできる。
【００３４】
この結果、図２に示すように、圧電素子ユニット４をケース２の収容空部５の内壁面５ａに当接させるように挿入した後、流路ユニット３に先端面を当接させる記録ヘッド１の組立の際のダミー素子２８の折損を防止することができる。すなわち、ダミー素子２８の外側面２８ｃをケース２の収容空部５の内壁面５ａに当接することで、圧電素子列設方向の位置決め（第１の位置決め面）をすることができるとともに、ダミー素子２８の先端面部２８ｄを流路ユニット３のステンレス板１５と当接することで、前後方向の位置決め（第２の位置決め面）をすることができる。これにより、圧電素子ユニット４を正規の位置に取り付けることができるので、駆動素子２９の先端面部２９ａと島部１６との位置を設計通りに確実に合わせた状態で接着することができる。したがって、組立精度を向上し、接着不良を防止することができ、ひいては吐出特性の安定化を図ることができる。
【００３５】
次に、本発明の他の実施の形態について説明する。上記の固定板２２では、圧電素子群２１の両端部のダミー素子２８に対応する部分に段差部２２ｃを形成せず支持突起部４１を残した状態としたが、固定板２２に段差部２２ｃは必須ではないのでこれを形成しなくても良い。
この固定板２２では、図６〜図８に示すように、固定板２２の先端面２２ａから突き出した状態で支持突起部４１が形成され、圧電素子群２１のダミー素子２８に対応する位置に形成してある。
【００３６】
この固定板２２に圧電素子群２１を接着剤で接合した重合状態では、図６に示すように、素子列設方向の両端のダミー素子２８が固定板２２の先端面２２ａから突出した支持突起部４１の側面と当接した状態で接合される。これにより、固定板２２の先端面２２ａからのダミー素子２８の突き出し長さを、駆動素子２９に比較して、支持突出部４１の高さ分だけ短くすることができ、ダミー素子２８の固定板２２の先端面２２ａから突き出した自由端部分の強度や剛性を高めることができる。また、固定板２２に形成した支持突起部４１と接合したダミー素子２８の位置を比較することで、圧電素子群２１の櫛歯状に加工された両端のダミー素子２８および駆動素子２９の位置精度が適正であるかどうかの目安とすることができる。さらに、ケース２や流路ユニット３との組立の際のダミー素子２８の折損を防止することができる。
【００３７】
したがって、前記した実施形態と同様に、圧電素子ユニット４をケース２に収容して記録ヘッド１を組み立てる場合に、高精度に組み立てることができる。すなわち、ダミー素子２８の外側面２８ｃをケース２の収容空部５の内壁面５ａに当接することで、圧電素子列設方向の位置決め（第１の位置決め面）をすることができるとともに、ダミー素子２８の先端面部２８ｄを流路ユニット３のステンレス板１５と当接することで、前後方向の位置決め（第２の位置決め面）をすることができる。その結果、圧電素子ユニット４を正規の位置に取り付けることができるので、駆動素子２９の先端面部２９ａと島部１６とを確実に接着することができ、組立精度を向上し、接着不良を防止することができる。
【００３８】
なお、上記実施の形態では、ダミー素子２８は、前述のように、櫛歯状の圧電素子群２１の圧電素子列設方向における両端に位置し、圧電素子となる積層体を複数の素子２８，２９に歯割り形成することによって形成される。ところが、圧電素子列設方向における最外面は、上記したように、ケース２の内壁面との当接させる位置決め面となるので、ワイヤーソーやダイシングソー等で切断して平面を形成する必要がある。このため、通常は、素子２８，２９を歯割り形成した際に、圧電素子列設方向の最外部に位置する素子については、余分な素子として折り落とす等して除去し、最外部から２番目の素子をダミー素子２８として用いている。
【００３９】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、圧電素子群２１に関し、上記の各実施形態では、両端のダミー素子２８を位置合わせに使用して、このダミー素子２８を支持突起部４１で補強する構成としたが、両端の素子であれば駆動素子２９でもよい。
また、前記した各実施形態では各素子２８，２９の基端部分に切り残し部を設けて櫛歯状の素子群として構成したが、各素子２８，２９は、完全に切り分けて、基端部が固定板２２上に接合されることで櫛歯状に構成してもよい。なお、圧電素子を櫛歯状に歯割りする際に、固定板２２への接合面を残して切り分けることにより、駆動素子２９の変形の特性を阻害することなく、駆動素子２９やダミー素子２８の固定強度を高めることができる。
さらに、素子列設方向両端の素子をダミー素子２８とする場合は、ダミー素子２８の幅を駆動素子２９よりも大きくすることで、割れに対する剛性を増すことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４０】
【図１】圧電素子ユニット及び記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】圧電素子ユニットの要部の概略斜視図である。
【図４】圧電素子ユニットの概略側面図である。
【図５】固定板の概略正面図である。
【図６】他の実施形態の圧電素子ユニットの要部の概略斜視図である。
【図７】圧電素子ユニットの概略側面図である。
【図８】固定板の概略正面図である。
【符号の説明】
【００４１】
１…記録ヘッド，２…ケース，３…流路ユニット，４…圧電素子ユニット，５…収容空部，７…流路形成板，８…ノズルプレート，９…弾性板，１０…ノズル開口，１１…リザーバ，１２…圧力室，１６…島部，２１…圧電素子群，２２…固定板，２２ａ…先端面，２２ｂ…圧電素子接合面，２２ｃ…段差部，２８…ダミー素子，２８ａ…自由端部，２８ｂ…基端部，２８ｃ…外側面，２８ｄ…先端面部，２９…駆動素子，４１…支持突起部，４２…保持空部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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