(57)【要約】【課題】圧電素子を振動板に接合する前に、圧電素子を形成する圧電素子プレートの反り具合を見ることで、圧電素子プレートの内部に発生した欠陥を発見することを目的とする。【解決手段】振動板３４に接合する前の圧電素子プレート５７に所定の電圧を印加して、圧電素子プレート５７を強制的に反らせる。これにより、圧電素子プレート５７の内部に穴が発生していたり、キズ、クラック及び空孔等が発生している場合、その部分で圧電素子プレート５７の表面が変形するので、外観検査によって確認できる。また、圧電素子プレート５７の厚み方向に貫通するようにして欠陥部（孔）が形成されている場合には、圧電素子プレート５７の両面に形成された電極膜がリークするので、圧電素子プレート５７に電圧を印加しても圧電素子プレート５７が反らない。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、変形して前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出させる圧電素子を形成する両面に電極膜を有する圧電素子プレートの検査方法であって、
前記圧電素子プレートの前記電極膜に所定の電圧を印加して、表面に欠陥による変形が発生せず規定の反りを生じることを見て良否を判定する判定工程を有することを特徴とする圧電素子プレートの検査方法。
【請求項２】
前記圧電素子プレートは、５μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有することを特徴とする請求項１に記載の圧電素子プレートの検査方法。
【請求項３】
前記圧電素子プレートを台座の上に置き、前記電極膜の端部に電圧を印加することを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の圧電素子プレートの検査方法。
【請求項４】
前記圧電素子プレートは、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記圧電素子に印加される電圧と同じ値の電圧が印加されることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の圧電素子プレートの検査方法。
【請求項５】
液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、両面に電極膜が形成された圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドであって、 
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の検査方法で検査された圧電素子プレートを所望の形状に個別化した後、前記振動板に接合したことを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項５に記載の液滴吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項７】
液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、両面に電極膜が形成された圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、
両面に電極膜を形成した後、前記圧電素子プレートを所望の形状に切削加工して、両面の前記電極膜のリークを解除する切削工程と、
前記振動板に接合する接合工程の前に前記圧電素子プレートの前記電極膜に所定の電圧を印加して、表面に欠陥による変形が発生せず規定の反りを生じることを見て良否を判定する判定工程と、
良と判定された前記圧電素子プレートを所望の形状に個別化して前記振動板に接合する接合工程と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、記録媒体へ液滴を吐出する液滴吐出ヘッドに用いられる圧電素子プレートの検査方法、この圧電素子プレートが搭載される液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドが搭載された液滴吐出装置、ならびに液滴吐出ヘッドの製造方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、インクジェット記録ヘッドを主走査方向に往復させ、また、記録紙を副走査方向に搬送させて、複数のノズルから選択的にインク滴を吐出することで記録紙に文字や画像を記録する。そして、インクジェット記録ヘッドは、圧電素子を振動板に接合して構成されたアクチュエータで圧力室を加圧することで、圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出する。
【０００３】
圧電素子には、製造工程において空孔、貫通孔、潜在クラック、キズ等の欠陥が発生することがある。そこで、各製造工程毎に外観検査を行うことで、欠陥を有する圧電素子を選別して除外している。
【０００４】
しかし、圧電素子の外面に発生した欠陥は外観検査によって確認できるものの、内部に発生した欠陥は外観検査では確認することができない。内部に欠陥が発生した圧電素子を用いてインクジェット記録ヘッドを製作すると、インク吐出時にインク滴の吐出性能が低下するなどの問題が発生して、初めて圧電素子の不具合（内部に発生した欠陥）が発覚する。このため、製作したインクジェット記録ヘッド全体が不良品となって破棄処分になり、インクジェット記録ヘッドを最初から作製することになってコスト高となる。
【０００５】
そこで、基板に接着され、上下面に電極膜を形成した圧電素子に、電圧を印加して、圧電素子の内部に発生した欠陥部を絶縁破壊させ、電極の表面温度を測定することで、絶縁破壊によって発生した熱を検出して、外観検査では確認できない圧電素子の内部の欠陥を検出する方法が開示されている（特許文献１参照）。
【０００６】
しかし、特許文献１では、基板に圧電素子が固定されているため、反りが発生せず、表面温度を測定することでしか欠陥を発見できない。
【特許文献１】特開２００１−８８３１１号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記問題を考慮し、圧電素子を振動板に接合する前に、圧電素子を形成する圧電素子プレートの反り具合を見ることで、圧電素子プレートの内部に発生した欠陥を発見することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
請求項１に記載の本発明の検査方法は、液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、変形して前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出させる圧電素子を形成する両面に電極膜を有する圧電素子プレートの検査方法であって、前記圧電素子プレートの前記電極膜に所定の電圧を印加して、表面に欠陥による変形が発生せず規定の反りを生じることを見て良否を判定する判定工程を有することを特徴としている。
【０００９】
請求項１に記載の発明では、両面に電極膜を有する圧電素子プレートの電極膜に所定の電圧を印加して、圧電素子プレートの表面に欠陥による変形が発生せず、且つ、規定の反りを生じることを見て、圧電素子プレートの良否を判定する。
【００１０】
振動板に接合する前、つまり、圧電素子プレートの動きを阻害するものがない状態で、圧電素子プレートに電圧を印加すると、圧電素子プレートに強制的に反りを発生させることができる。これにより、圧電素子プレートの内部に穴が発生していたり、キズ、クラック及び空孔等が発生している場合、その部分で圧電素子プレートの表面が変形するので、外観検査によって確認できる。
【００１１】
また、圧電素子プレートの厚み方向に貫通するようにして欠陥部（孔）が形成されている場合には、圧電素子プレートの両面に形成された電極膜がリークするので、圧電素子プレートに電圧を印加しても圧電素子プレートが反らない。
【００１２】
請求項２に記載の本発明の検査方法は、前記圧電素子プレートは、５μｍ以上５０μｍ以下の厚みを有することを特徴としている。
【００１３】
請求項２に記載の発明では、圧電素子プレートの厚みを５μｍ以上５０μｍ以下する。
【００１４】
圧電素子プレートに発生するキズの深さや穴径は、２〜４０μｍのサイズであるため、圧電素子プレートを５μｍ以上５０μｍで製造することで、電圧を印加して圧電素子プレートを強制的に反らせたときに、この欠陥を発見しやすい。
【００１５】
また、圧電素子プレートを５μｍより小さくすると、圧電素子プレートの十分な圧電効果（液滴吐出の際に必要な変位量）を得ることができない。また、圧電素子プレートを５０μｍより大きくすると、圧電素子プレートが反りにくくなって反り量が小さくなる。このため、圧電素子プレートの内部に欠陥があっても、その部分を変形させることができず、外観検査によって欠陥を確認することができなくなる。そこで、圧電素子プレートの厚さを５μｍ以上５０μｍ以下とすることで、十分な圧電効果を有すると共に、電圧を印加した時に欠陥がある部分で変形を起こさせるのに十分な反りを発生させることができる。
【００１６】
請求項３に記載の本発明の検査方法は、前記圧電素子プレートを台座の上に置き、前記電極膜の端部に電圧を印加することを特徴としている。
【００１７】
請求項３に記載の発明では、圧電素子プレートの電極膜の端部に電圧を印加することで、圧電素子プレートは端部を支点に反りが発生する。このため、電圧が印加される位置（端部）から圧電素子プレートの反対側の端部までの距離が長くなるため、圧電素子プレートの反り量を大きくすることができる。したがって、圧電素子プレートに発生した欠陥を発見しやすくなる。
【００１８】
請求項４に記載の本発明の検査方法は、前記圧電素子プレートは、前記ノズルから液滴を吐出する際に前記圧電素子に印加される電圧と同じ値の電圧が印加されることを特徴としている。
【００１９】
請求項４に記載の発明では、ノズルから液滴を吐出する際に圧電素子に印加する電圧と同じ値の電圧を、振動板に接合する前の圧電素子プレートに印加する。これによって、電圧が印加されたときに、表面に欠陥による変形が発生せず、且つ、規定の反りを生じることで、良と判断された圧電素子プレートを振動板に接合して液滴吐出ヘッドを形成すれば、ノズルから液滴を吐出する際に、吐出不良を引き起こす恐れがない。
【００２０】
請求項５に記載の本発明の液滴吐出ヘッドは、液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、両面に電極膜が形成された圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドであって、 請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の検査方法で検査された圧電素子プレートを所望の形状に個別化した後、前記振動板に接合したことを特徴としている。
【００２１】
請求項５に記載の発明では、振動板に接合する前に所定の電圧を印加したとき、表面に欠陥による変形が発生せず、規定の反りを生じる圧電素子プレートが、後工程で所望の形状に個別化された後、振動板に接合される。このように、振動板に接合する前の工程で、外部だけでなく内部に欠陥を有する圧電素子プレートを選別することで、液滴吐出ヘッドの製造不良を抑えることができる。
【００２２】
請求項６に記載の本発明の液滴吐出装置は、請求項５に記載の液滴吐出ヘッドが搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
【００２３】
請求項６に記載の発明では、振動板に接合する接合工程より前に所定の電圧を印加したとき、表面に欠陥による変形が発生せず、規定の反りを生じる圧電素子プレートが後工程で振動板に接合されて作製された液滴吐出ヘッドが搭載される。これにより、液滴吐出ヘッドの製造不良のない液滴吐出装置が得られる。
【００２４】
請求項７に記載の本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、液体が充填される圧力室の一部を形成する振動板に接合され、両面に電極膜が形成された圧電素子で前記振動板を変位させて前記圧力室に連通するノズルから記録媒体に液滴を吐出する液滴吐出ヘッドの製造方法であって、両面に電極膜を形成した後、前記圧電素子プレートを所望の形状に切削加工して、両面の前記電極膜のリークを解除する切削工程と、前記振動板に接合する接合工程の前に前記圧電素子プレートの前記電極膜に所定の電圧を印加して、表面に欠陥による変形が発生せず規定の反りを生じることを見て良否を判定する判定工程と、良と判定された前記圧電素子プレートを所望の形状に個別化して前記振動板に接合する接合工程と、を有することを特徴としている。
【００２５】
請求項７に記載の発明では、まず、両面に電極膜を形成した後、両面の電極膜のリークを解除するために所望の形状に切削加工する。そして、振動板に接合する接合工程より前に、圧電素子プレートの電極膜に所定の電圧を印加して、圧電素子プレートの表面に欠陥による変形が発生せず、且つ、規定の反りを生じることを見て、圧電素子プレートの良否を判定する。そして、良と判定された圧電素子プレートを、所望の形状に個別化して、振動板に接合する。
【００２６】
このように、振動板に圧電素子プレートを接合する接合工程の前に、圧電素子プレートの良否を判断することで、液滴吐出ヘッドの製造不良を抑えることができる。
【発明の効果】
【００２７】
本発明は上記構成としたので、圧電素子を形成する圧電素子プレートの反り具合を見ることで、圧電素子プレートの内部に発生した欠陥を発見できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２８】
以下、本発明に係るインクジェット記録ヘッドの第１実施形態を図面に基づき説明する。
【００２９】
図１は、本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド１２を備えたインクジェット記録装置１０が示されている。
【００３０】
インクジェット記録装置１０には、キャリッジ１４が設けられており、キャリッジ１４には、ノズル３６（図２参照）を有するインクジェット記録ヘッド１２が、ノズル３６が用紙Ｐと対向するようにして搭載されている。キャリッジ１４は、走査位置信号に基づき主走査機構１８によって主走査方向（矢印Ｘで示す）に移動される。これにより、インクジェット記録ヘッド１２は、副走査機構２０によって副走査方向（矢印Ｙで示す）へ搬送される用紙Ｐへ、画像情報に応じてインク滴を吐出することにより、用紙Ｐの全面に画像の記録を行う。
（インクジェット記録ヘッドの概略説明）
図２に示すように、インクジェット記録ヘッド１２は、ノズルプレート２２、連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０、圧力室プレート３２、および振動板３４の合計７枚のプレートを位置合わせして積層し、接着剤等の接合手段によって接合することにより形成されている。
【００３１】
ノズルプレート２２には、インクを吐出するノズル３６が設けられており、連通孔プレート２４、２６には、連通孔３８、４０がそれぞれ形成されている。また、供給路プレート２８、３０には供給孔４２、４４が形成されている。これらのノズル３６、連通孔３８、４０、供給孔４２、４４は連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０が積層された状態で連通し、圧力室プレート３２に形成された圧力室４８に繋がっている。
【００３２】
一方、連通孔プレート２４、２６には、それぞれインクプール５１、５２が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、供給路プレート２８には、このインクプール５２と連結するように供給孔５４が形成されている。さらに、供給路プレート３０には供給溝５６が形成されて、連通孔プレート２４、２６、供給路プレート２８、３０が積層された状態で、インクプール５１、５２と圧力室４８とを連通させている。
【００３３】
圧力室プレート３２上には振動板３４が積層され、振動板３４の上には圧電素子５８が取り付けられている。圧電素子５８は、圧力室４８に相当する領域に接着されており、ハンダ６２を介して配線基板６０と接続されている。
【００３４】
この構成により、駆動電圧波形が圧電素子５８に印加されると、圧電素子５８と共に振動板３４が点線で示すようにたわみ変形して圧力室４８のインクを加圧し、ノズル３６からインク滴を吐出させる構成となっている。
（インクジェット記録ヘッドの製造方法）
次に、このインクジェット記録ヘッド１２の製造方法について説明する。
【００３５】
図３（Ａ）に示すように、ノズルプレート２２の一方の面（裏面）に連通孔プレート２４を接合する。そして、この連通孔プレート２４に、連通孔プレート２６、供給路プレート２８、供給路プレート３０、圧力室プレート３２を接合する。
【００３６】
次に、ノズルプレート２２の他方の面（表面）に、スピンコート法を用いて撥水膜（図示省略）を成膜すると共に、図３（Ｂ）に示すように、エキシマレーザＢでノズル３６を穿設する。そして、図３（Ｃ）に示すように、圧力室プレート３２の開口を覆うようにして振動板３４を接合する。
【００３７】
次に、図３（Ｄ）に示すように、圧電素子５８が形成された中間保持部材８２を、圧電素子５８の接合面５８Ａを下側に向けて、振動板３４に接着する。なお、圧電素子５８の作成方法については後述する。
【００３８】
中間保持部材８２と圧電素子５８は、所定の温度で加熱したとき、発泡して接着力が大幅に低下する性質を有する熱発泡性接着フィルムを用いて接着されている。また、圧電素子５８の両面には電極膜６６、６８（図４（Ａ）参照）が予め形成されており、共通電極として兼用する振動板３４と導電性接着剤で接着することで、圧電素子５８と振動板３４とは電気的に接続される。
【００３９】
そして、図３（Ｅ）に示すように、中間保持部材８２を加熱して熱発泡性接着フィルムの接着力を低減させて中間保持部材８２を剥離し、図３（Ｆ）に示すように、各圧電素子５８毎にハンダ６２を介して配線基板６０を接合する。
【００４０】
最後に、図示しないインク供給装置等を取付けることにより、本実施形態のインクジェット記録ヘッド１２が完成する。
【００４１】
ここで、圧電素子５８の作成方法について説明する。
【００４２】
まず、圧電素子５８の原料となる微細粒子（例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）粒子）を焼結用の円筒炉に入れ、加圧しながら焼成する。そして、焼結された微細粒焼結体を約２５０μｍの厚さにスライスし、研磨装置で研磨して薄板化して、５〜５０μｍ厚の微細粒焼結体の圧電プレート６４とする。
【００４３】
そして、図４（Ａ）に示すように、圧電プレート６４の両面に電極層となる電極膜６６、６８をスパッタリング等で形成する。なお、本実施形態では、圧電プレート６４の一方の面には、Ｃｒ、Ｎｉ、Ａｕが１μｍの厚さで積層されて電極膜６６が形成されている。また、圧電プレート６４の他方の面には、Ｃｒ、Ａｕが０．２１μｍの厚さで積層されて電極膜６８が形成されている。
【００４４】
電極膜６６、６８を上記厚さに形成することで、後述するように、圧電素子５８に電圧を印加したとき、圧電素子５８が十分に変形して、所望のインク吐出特性を得ることができる。また、圧電プレート６４に対する電極膜６６、６８の密着強度が確保できる。さらに、はんだのぬれ性が最適となり、はんだのピール強度が確保できるため、圧電素子５８と配線基板６０（図２参照）をはんだ６２で接合するとき、圧電素子５８と配線基板６０の間に十分な接合強度が得られる。なお、図４（Ａ）では、圧電プレート６４及び電極膜６６、６８は判り易くするために、厚く描いている。
【００４５】
次に、両面に電極膜６６、６８を形成した圧電プレート６４を、図４（Ｂ）（Ｃ）に示すように、ダイシング加工などの切削加工によって、所望の形状に加工して、これを圧電素子プレート５７とする。このように、切削加工によって両面に電極膜６６、６８が形成された圧電プレート６４を分断することで、圧電プレート６４の側面に電極膜６６、６８を形成する際に電極材料が回りこんで、電極膜６６、６８間がリークしているとき、その状態が解除される。これにより、後述するように、圧電素子プレート５７に電圧を印加したときに、電極膜がリークして圧電素子プレート５７に反りが発生しない、という問題が発生しない。
【００４６】
次に、圧電素子プレート５７の検査方法について説明する。図５（Ａ）に示すように、この圧電素子プレート５７をＳＵＳ試料台７０上に載置し、圧電素子プレート５７の端部に、上方からプローブ７２を押し当てる。これにより、圧電素子プレート５７の端部は、プローブ７２とＳＵＳ試料台とによって挟み込まれた状態となる。そして、電源からＳＵＳ試料台７０とプローブ７２に、所定の電圧を印加する。
【００４７】
ところで、圧電素子プレート５７は、プラス電圧が印加された側に向かって反りが発生する性質を有する。つまり、プラス電圧が印加された側を上にしたとき、圧電素子プレート５７は凹状に反る。
【００４８】
そこで、図６（Ａ）に示すように、ＳＵＳ試料台７０側にはマイナス電圧を印加し、プローブ７２にはプラス電圧を印加する。これにより、図５（Ｂ）及び図６（Ｂ）に示すように、圧電素子プレート５７が凹状となるように、強制的に反らせることができる。
【００４９】
圧電素子プレート５７には、最初は０Ｖに近い電圧が印加され、徐々に３５Ｖまで上げられる。このように、印加する電圧を大きくしていくことで、圧電素子プレート５７を徐々に反らせて、大きな反りを発生させることができる。
【００５０】
図７（Ａ）（Ｂ）に示すように、圧電素子プレート５７の内部に穴、クラック、キズ等がある場合、電圧を印加して反りを発生させると、穴、クラック、キズ等がある部分で圧電素子プレート５７の表面が変形する。つまり、圧電素子プレート５７を強制的に反らせることで、内部のクラックやキズ等を顕在化する。これにより、外観検査によって、圧電素子プレート５７の内部のクラックやキズ等（圧電プレート６４の製造工程にいて、内部に発生した穴、クラック、キズ等）を確認することが可能となる。
【００５１】
なお、本実施形態では、圧電素子プレート５７に印加する電圧が３５Ｖになったところで、電圧の印加を停止する。つまり、インクジェット記録ヘッド１２（図２参照）からインクを吐出する際に、インクジェット記録ヘッド１２を構成する圧電素子５８に印加される電圧と同じ値の電圧を圧電素子プレート５７に印加して、圧電素子プレート５７を強制的に反らせる。３５Ｖの電圧を印加して圧電素子プレート５７を反らせても不良（穴、クラック、キズ等によって発生する変形）が確認されなければ、この圧電素子プレート５７を所望の形状に個別化し、振動板３４に接合してインクジェット記録ヘッド１２を作製したときに、ノズル３６からインクを吐出する際に吐出不良を引き起こす恐れがない。
【００５２】
一方、図７（Ｃ）に示すように、圧電プレート６４に空孔７６がある場合、圧電プレート６４の両面に電極膜６６、６８を形成する際に、空孔７６内に電極膜６６、６８が入り込んでリークした状態となる。この状態で圧電素子プレート５７に電圧を印加しても、圧電素子プレート５７には反りが発生しない。このとき、電極膜６６、６８に流れる電流値は徐々に上がるため、電圧を印加しても圧電素子プレート５７が反らないときは、電圧の印加を停止して、圧電素子プレート５７をＳＵＳ試料台７０上から取り出す。
【００５３】
なお、電極膜６６、６８は同じ厚さにしてもよいが、本実施形態のように、電極膜６８（振動板３４に接合される側）が共通電極膜としての役割を果たすことができれば、反り量は同じなので、電極膜６６と電極膜６８は同じ厚さにする必要もない。電極膜６８を必要最小限の厚さとすれば、電極膜６８を形成する材料費を節約することができ、全体的なコスト低減に繋がる。
【００５４】
次に、本発明の実施形態の作用について説明する。
【００５５】
振動板３４に接合する工程より前に圧電素子プレート５７に所定の電圧を印加して、圧電素子プレート５７を強制的に反らせる。これにより、圧電素子プレート５７を構成する圧電プレート６４を形成する工程において、圧電プレート６４に発生した欠陥（内部に発生した穴やクラック、表面のキズ等）を顕在化することができる。
【００５６】
例えば、圧電プレート６４の内部に穴やクラックが発生している場合には、圧電素子プレート５７に電圧を印加すると、圧電素子プレート５７に反りが発生して、穴やクラックのある部分が変形する。
【００５７】
また、圧電プレート６４に空孔７６が発生している場合には、圧電プレート６４の両面の電極膜６６、６８がリークした状態となるため、圧電素子プレート５７に電圧を印加しても、反りが発生しない。
【００５８】
このように、圧電素子プレート５７に電圧を印加することで、圧電プレート６４に欠陥があるか否かを、外観検査によって確認することができる。したがって、振動板３４に圧電素子プレート５７を接合する前の工程で、外部だけでなく内部に欠陥を有する圧電素子プレート５７を選別できるため、インクジェット記録ヘッド１２の製造不良を抑えることができる。
【００５９】
また、圧電プレート６４に発生するキズの深さや穴径は、２〜４０μｍのサイズであるため、圧電プレート６４を５μｍ以上５０μｍで製造することで、電圧を印加して圧電素子プレート５７を強制的に反らせたときに、この欠陥を発見しやすい。
【００６０】
また、圧電プレート６４を５μｍより小さくすると、圧電素子プレート５７の十分な圧電効果（液滴吐出の際に必要な変位量）を得ることができない。また、圧電プレート６４を５０μｍより大きくすると、圧電素子プレート５７が反りにくくなって反り量が小さくなる。このため、圧電素子プレート５７（圧電プレート６４）の内部に欠陥があっても、その部分を変形させることができず、外観検査によって欠陥を確認することができなくなる。そこで、圧電プレート６４の厚さを５μｍ以上５０μｍ以下とすることで、十分な圧電効果を有すると共に、電圧を印加した時に欠陥がある部分で変形を起こさせるのに十分な反り量が得られる。
【００６１】
さらに、ＳＵＳ試料台７０上に載置した圧電素子プレート５７を、プローブ７２で端部を挟み込んで電圧を印加することで、圧電素子プレート５７は端部を支点に反りが発生する。このため、圧電素子プレート５７の電圧が印加される位置（一方の端部）から、反対側の端部（他方の端部）までの距離が長くなるため、圧電素子プレート５７の反り量を大きくすることができ、圧電素子プレート５７に発生した欠陥を発見しやすくなる。
【００６２】
なお、本実施形態では、圧電素子プレート５７に３５Ｖの電圧を印加して反りを発生させることで説明したが、圧電素子プレート５７に印加する電圧値は３５Ｖに限定されるものではない。インクジェット記録ヘッド１２でインクを吐出する際に、圧電素子プレート５７に印加される電圧と同じ値の電圧を印加して、振動板３４に接合する前の圧電素子プレート５７の選別を行えば、良品のインクジェット記録ヘッド１２が得られる。
【００６３】
また、本実施形態では、インクジェット記録ヘッド１２をキャリッジ１４で走査しながら用紙Ｐに記録を行うタイプのインクジェット記録装置１０を用いて説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッドは、このインクジェット記録装置１０に限定されて使用されるものではない。例えば、用紙Ｐの幅方向（主走査方向）に渡ってノズルが配置されたインクジェット記録ヘッドを固定して、用紙Ｐのみを搬送しながら用紙Ｐに記録を行う、いわゆるＦＷＡ（Ｆｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ）方式のインクジェット記録装置に、本発明のインクジェット記録ヘッドを搭載してもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６４】
【図１】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを搭載したインクジェット記録装置を示す斜視図である。
【図２】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドを示す断面図である。
【図３】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を（Ａ）から（Ｆ）へと順番に模式的に示した図である。
【図４】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する圧電素子プレートの製造工程を（Ａ）から（Ｃ）へと順番に模式的に示した図である。
【図５】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子プレートに電圧を印加する様子を示す斜視図であり、（Ａ）は電圧を印加していない状態の図であり、（Ｂ）は電圧を印加した状態の図である。
【図６】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する圧電素子プレートに電圧を印加する様子を示す側面図であり、（Ａ）は電圧を印加していない状態の図であり、（Ｂ）は電圧を印加した状態の図である。
【図７】本発明の実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの圧電素子を形成する圧電素子プレートに欠陥がある状態で電圧を印加した様子を示す側面図である。
【符号の説明】
【００６５】
１０  インクジェット記録装置（液滴吐出装置）
１２  インクジェット記録ヘッド（液滴吐出ヘッド）
３４  振動板
３６  ノズル
５７  圧電素子プレート
５８  圧電素子
６６  電極膜
６８  電極膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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