(57)【要約】【課題】圧電素子群の素子配列方向の両端に位置する素子に十分な剛性や強度を確保し、この両端の素子を位置決めとして機能させることができ、配線基板の接続不良の発生を抑制することができる圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】圧電素子群２１と固定板２２との間に接着剤を介在させた状態で、圧電振素子群の接合面を接合領域４１に接合する場合に、接着剤塗布領域４２を、接合領域よりも内側に、圧電素子群の素子列設方向に伸びた帯状に設定し、接着剤塗布領域は、圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域４３より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域４４を形成する一方、圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域に、接着剤を塗布しない非塗布領域４５を形成した。【選択図】図３
2007276122.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の固定端部を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板には、前記圧電素子群を接合する接合領域を設定し、
前記圧電素子群の固定端部には、前記固定板を接合する接合面とは反対側の表面の両隅角部に、配線基板が接続される半田付領域を設け、
前記圧電素子群と固定板との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電振素子群の接合面を前記接合領域に接合する場合に、
前記接着剤を塗布する接着剤塗布領域を、前記接合領域よりも内側に、前記圧電素子群の素子列設方向に伸びた帯状に設定し、
前記接着剤塗布領域は、前記圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成する一方、前記圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域に、接着剤を塗布しない非塗布領域を形成したことを特徴とする圧電素子ユニット。
【請求項２】
前記圧電素子群と前記固定板とを接合する際に、これら両者を加圧して接合することを特徴とする請求項１に記載の圧電素子ユニット。
【請求項３】
共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
請求項１又は２に記載の圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が内部に形成されたケースを備え、
前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の外側面を収容空部の内壁面に当接させることで圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをした状態で、圧電素子ユニットを収容空部内に収容したことを特徴とする請求項３に記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の固定端部を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記固定板には、前記圧電素子群を接合する接合領域を設定し、
前記圧電素子群の固定端部には、前記固定板を接合する接合面とは反対側の表面の両隅角部に、配線基板が接続される半田付領域を設け、
前記圧電素子群と固定板との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電振素子群の接合面を前記接合領域に接合する接合工程を含み、
該接合工程では、前記接着剤を塗布する接着剤塗布領域を、前記接合領域よりも内側に、前記圧電素子群の素子列設方向に伸びた帯状に設定し、
前記接着剤塗布領域は、前記圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成する一方、前記圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域については、接着剤を塗布しない非塗布領域として残すことを特徴とする圧電素子ユニットの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インク滴などの液滴を吐出させるのに好適な圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドに関し、特に、圧電素子群を接着剤により接合し、この圧電素子群における素子列設方向の両端の素子を組み立て時の位置決めに使用したものに関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドのひとつであるインクジェット式記録ヘッドには、例えば、圧力室やリザーバ等を有する流路ユニットと、この流路ユニットの背面側に配置されて、圧力室の容積を変化させる振動子（素子）を複数有する圧電素子ユニットと、内部に圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が形成されて、先端に流路ユニットが接合されるケースとを備えたものがある。
【０００３】
この圧電素子ユニットは、例えば、次の手順で造られている。まず、共通内部電極と個別内部電極とを圧電体を挟んで交互に積層して板状の積層体を作成し、共通内部電極に導通させた共通外部電極と個別内部電極に導通させた個別外部電極とを積層体の表面に形成する。そして、この積層体を焼成した後、その基端側部分をＳＵＳ（ステンレス鋼）の固定板上に接合し、ワイヤーソーやダイシングソー等によって積層体の先端側部分を５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅で切り分けて櫛歯状の圧電素子群を形成する。
この圧電素子群における素子列設方向の両端に位置する素子は、インク滴の吐出には関与しないダミー素子とし、例えば、ケース内における圧電素子ユニットの位置を規定するために使用される（例えば、特許文献１、図２参照）。
【特許文献１】特開平１１−２７７７４５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところが、圧電素子群における素子列設方向両端の素子は、他の圧電素子群と同様にＳＵＳの固定板から張り出して接合された、いわゆる片持ち梁状態であり、駆動素子群を間に挟んでその両端に設けられているが故に、ヘッド組立の際に、例えば治具等との接触によって折れ易く、位置決めとして機能させることができない場合がある。
特に、圧電素子群を固定板に接合する際に、接着剤が圧電素子群の接合面全体に十分に行き渡らず、固定板の先端面側と圧電素子群の素子列設方向両端の素子と間の一部に接着剤が介在しないことで、この両端の素子が十分に接着されないことがあった。このため、この両端の圧電素子の非固定部分が拡大され、強度が低下することで一層折れ易くなる。この結果、位置決めとして機能させることができなくなり、ヘッドを製造することができなくなるという問題がある。また、固定板と圧電素子群との間に介在する接着剤が、加圧接合する際に、圧電振動子群の側面を這い上がり、固定端部側の表面の隅角部に配置され、配線基板が接続させる半田付領域に付着することがあった。このため、半田付けができなくなり、圧電素子と配線基板とを接続することができなくなるという問題がある。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、圧電素子群の素子配列方向の両端に位置する素子に十分な剛性や強度を確保し、この両端の素子を位置決めとして機能させることができ、配線基板の接続不良の発生を抑制することができる圧電素子ユニット、及びこれを用いた液体噴射ヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の固定端部を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットであって、
前記固定板には、前記圧電素子群を接合する接合領域を設定し、
前記圧電素子群の固定端部には、前記固定板を接合する接合面とは反対側の表面の両隅角部に、配線基板が接続される半田付領域を設け、
前記圧電素子群と固定板との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電振素子群の接合面を前記接合領域に接合する場合に、
前記接着剤を塗布する接着剤塗布領域を、前記接合領域よりも内側に、前記圧電素子群の素子列設方向に伸びた帯状に設定し、
前記接着剤塗布領域は、前記圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成する一方、前記圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域に、接着剤を塗布しない非塗布領域を形成したことを特徴とする。
【０００７】
上記構成によれば、接着剤塗布領域において、圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成したので、圧電素子群における素子列設方向の両端と固定板との間に接着剤が介在しない領域を極力減らすことができる。これにより、固定強度を高めることができ、圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の剛性を向上することができる。したがって、組立の際の折損を防止して位置決めに利用することができる。また、接着剤塗布領域において、圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域に、接着剤を塗布しない非塗布領域を形成したので、圧電素子群の両隅角部と固定板の接合面との境界から接着剤がはみ出すことを防止することができる。これにより、接着剤が圧電素子群の側面を這い上がり、固定端側の両隅角部に配置された半田付領域に付着することがなくなる。したがって、配線基板との接続不良の発生を可及的に防止することができる。
【０００８】
上記構成において、圧電素子群と前記固定板とを接合する際に、これら両者を加圧して接合することが望ましい。
【０００９】
この構成によれば、接着剤を、固定板と圧電振動子群との間で、伸ばして広がらせることができる。
【００１０】
本発明の液体噴射ヘッドは、共通液体室から圧力室を通りノズル開口に至る一連の液体流路が形成された流路ユニットと、
上記各構成における圧電素子ユニットと、を備え、
圧電素子の変形によって圧力室内の液体に圧力変動を生じさせてノズル開口から液滴を吐出することを特徴とする。
【００１１】
上記構成によれば、接着剤塗布領域に拡大塗布領域を形成して圧電素子群の両端の素子と固定板とに接着領域を確保し、固定強度を向上した圧電素子ユニットを用いることで、組立の際の素子の折損を防止して所定位置に位置決めすることができる。これにより、液体噴射ヘッドの組立精度を向上し、製品不良を抑えることができる。そして、圧電素子の位置が正確であると、ノズル開口からの吐出特性のばらつきも減少させることができる。
【００１２】
上記構成において、前記圧電素子ユニットを収容可能な収容空部が内部に形成されたケースを備え、
前記圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の外側面を収容空部の内壁面に当接させることで圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをし、この状態で、圧電素子ユニットを収容空部内に収容することが望ましい。
【００１３】
この構成によれば、圧電素子ユニットの素子列設方向の位置決めをした両端の素子の外側面を、ケースの収容空部の内壁面に当接させることで、圧電素子ユニットを収納空部内の正規の位置に確実に取り付けることができる。これにより、組立精度を向上することができ、製品不良を抑えることができる。
【００１４】
また、本発明は、複数の圧電素子を列設してなる圧電素子群と、前記圧電素子群の自由端部を固定板先端面から突出させた状態で前記圧電素子群の固定端部を重合固定する固定板と、を有する圧電素子ユニットの製造方法であって、
前記固定板には、前記圧電素子群を接合する接合領域を設定し、
前記圧電素子群の固定端部には、前記固定板を接合する接合面とは反対側の表面の両隅角部に、配線基板が接続される半田付領域を設け、
前記圧電素子群と固定板との間に接着剤を介在させた状態で、前記圧電振素子群の接合面を前記接合領域に接合する接合工程を含み、
該接合工程では、前記接着剤を塗布する接着剤塗布領域を、前記接合領域よりも内側に、前記圧電素子群の素子列設方向に伸びた帯状に設定し、
前記接着剤塗布領域は、前記圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成する一方、前記圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域については、接着剤を塗布しない非塗布領域として残すことを特徴とする。
【００１５】
上記構成によれば、接着剤塗布領域において、圧電素子群における素子列設方向の両端に、該両端の間に位置する途中領域より固定板先端面側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域を形成したので、圧電素子群における素子列設方向の両端と固定板との間に接着剤が介在しない領域を極力減らすことができる。これにより、固定強度を高めることができ、圧電素子群における素子列設方向の両端の素子の剛性を向上することができる。したがって、組立の際の折損を防止して位置決めに利用することができる。また、接着剤塗布領域において、圧電素子群の固定端部側の隅角部近傍に対応する領域については、接着剤を塗布しない非塗布領域として残したので、圧電素子群の両隅角部と固定板の接合面との境界から接着剤がはみ出すことを防止することができる。これにより、接着剤が圧電素子群の側面を這い上がり、固定端側の両隅角部に配置された半田付領域に付着することがなくなる。したがって、配線基板との接続不良の発生を可及的に防止することができる。以上のことにより、歩留りを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明を図示の実施形態に基づいて説明する。図１は本発明の液体噴射ヘッドであるインクジェット式の記録ヘッド１の要部を拡大して示した断面図であり、図２はそのＡ−Ａ線矢視図である。
【００１７】
この液体噴射ヘッドである記録ヘッド１は、ケース２、流路ユニット３、及び、圧電素子ユニット４等によって概略構成されている。なお、以後の説明では、便宜上、図１の上方を先端側（前方側）と称し、図１の下側を基端側（後方側）と称する。
【００１８】
ケース２は、先端と後端（基端）が共に開放した合成樹脂製のブロック状部材であり、内部に、開口形状がノズル列方向、即ち素子列設方向（後述）に細長い長方形の収容空部５を設けてある。このケース２の先端には流路ユニット３が接着剤によって接合されており、収容空部５内には、圧電素子群２１の先端面部を収容空部５の先端側開口に臨ませた状態で圧電素子ユニット４が収容され固定されている。この収容空部５の側方には、基端側にてインクカートリッジに連通しているインク供給管６を設けてある。
【００１９】
流路ユニット３は、流路形成板７、ノズルプレート８、及び、弾性板９から概略構成されている。
【００２０】
ノズルプレート８は、ドット形成密度に対応したピッチで多数（例えば、１８０個）のノズル開口１０を列状に開設した薄い板状部材であり、例えば、ステンレス板によって構成してある。このノズルプレート８に積層される流路形成板７には、インク供給管６を通して供給されたインクが流入するリザーバ１１、ノズル開口１０からインクを吐出させるために必要なインク圧力を発生させる圧力室１２、これらのリザーバ１１と圧力室１２を連通するインク供給口１３等が形成されている。そして、本実施形態では、これらの各部を、シリコンウェハーをエッチング処理することにより形成する。
【００２１】
弾性板９は、本実施形態では、ＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイト）等の高分子膜を弾性体膜１４としてステンレス板１５上にラミネートした二重構造である。そして、ステンレス板１５は、リザーバ１１に対応する部分など不要部分をエッチング処理により除去して島部１６（厚肉部）を形成し、この島部１６の周囲を弾性体膜１４（薄肉部）だけにして弾性部１７を構成する。この島部１６は、背面側に駆動素子２９（後述）が当接される当接面を設けたブロック形状であり、ノズル開口１０と同様にドット形成密度に対応したピッチで多数設けられる。また、弾性板９には、インク供給管６からのインクをリザーバ１１に流入させるための開口が形成されている。この開口は、圧力室１２の列の一列に対して１つ設けてもよいし、または、複数設けてもよい。
【００２２】
そして、ノズルプレート８を流路形成板７の一方面側に配置すると共に、弾性板９を他方面側に配置し、ノズルプレート８と弾性板９とで流路形成板７を挟み、接着等により一体化することで、流路ユニット３が形成されている。なお、この流路ユニット３において、上記の弾性板９は、圧力室１２やリザーバ１１の天井面を封止する封止材の一部を構成している。
【００２３】
上記の圧電素子ユニット４は、圧電素子群２１とステンレス板の固定板２２とにより概略構成されている。この圧電素子群２１は、図２に示すように、自由端部２１ａを固定板２２の先端面２２ａから突出させて、固定端部（基端部）２１ｂを固定板２２に重合固定した状態で、各圧電素子が櫛歯状に列設されており、圧電素子列設方向（面方向）における両端部に位置するダミー素子２８（図中、一端側のみを示す。）と、これらのダミー素子２８の間に配置された多数の駆動素子２９とから成っている。ここで、駆動素子２９はインク滴の吐出に関与する圧電素子であり、例えば、５０μｍ〜１００μｍ程度の極めて細い幅のニードル状に切り分けられている。また、ダミー素子２８はインク滴の吐出に関与しない圧電素子であり、圧電素子ユニット４のケース２内における位置を規定するために形成されている。なお、本実施形態における圧電素子群２１の駆動素子２９は、いわゆる縦振動モードの圧電素子である。また、この圧電素子ユニット４、及びその製造方法については後で詳述する。
【００２４】
この駆動素子２９は、図１に示すように、共通内部電極３２と個別内部電極３３とを圧電体３１を挟んで交互に積層してある。ここで、共通内部電極３２は全ての駆動素子２９に対して同じ電位レベルに設定される電極であり、個別内部電極３３は各駆動素子２９毎に電位レベルが設定される電極である。そして、この駆動素子２９における素子先端から素子長手方向（積層方向と直交する方向）の半分程度まで若しくは３分の２程度までの部分を自由端部２９ａとし、残りの部分を固定端部（基端部）２９ｂとして固定板２２を接合してある。要するに、この駆動素子２９はいわゆる片持梁のような状態で固定板２２の先端面２２ａから突出させた状態で固定されている。
【００２５】
駆動素子２９の自由端部２９ａには、共通内部電極３２と個別内部電極３３とが重なり合った活性領域（オーバーラップ部分）を形成してある。これらの内部電極３２，３３に電位差を与えたり放電すると、活性領域の圧電体３１が変形（作動）して素子長手方向に変位して伸縮する。そして、共通内部電極３２の基端は駆動素子２９の基端面部で共通外部電極３７に導通しており、個別内部電極３３の先端は駆動素子２９の先端面部２９ｄで個別外部電極３６に導通している。ここで、個別外部電極３６は、フレキシブルケーブル２４と各個別内部電極３３とを導通する電極であり、共通外部電極３７はフレキシブルケーブル２４と共通内部電極３２との間を導通する電極である。
【００２６】
フレキシブルケーブル２４は、上記圧電素子群２１の固定端部における固定板２２を接合する接合面とは反対側の配線接続面（表面）側に配置されており、個別外部電極３６及び共通外部電極３７と電気的に接続される。そして、このフレキシブルケーブル２４は、駆動パルスを供給する配線基板（図示せず）と電気的に接続されているので、フレキシブルケーブル２４を介して駆動パルスが各電極３３，３６に供給される。
【００２７】
圧電素子ユニット４は、図１及び図２に示すように、記録ヘッド１への取付状態において、駆動素子２９の先端面部２９ｄが弾性板９の島部１６に背面側から当接されており、この先端面部２９ｄと島部１６とは接着剤によって接着されている。
【００２８】
駆動素子２９に駆動パルスが供給されると、駆動素子２９は素子長手方向に伸縮し、弾性部１７を構成する弾性体膜１４を前後方向に変形させる。この弾性部１７の前後方向の移動に伴って圧力室１２は、膨張或いは収縮して容積を変化させる。ノズル開口１０からインク滴を吐出させる場合には、インク滴を吐出させる駆動素子２９に対して選択的に駆動信号を印加し、例えば、圧力室１２を一旦膨張させてから収縮させる。このようにすると、圧力室１２の膨張に伴ってリザーバ１１内のインクが圧力室１２に流入し、圧力室１２の収縮に伴って圧力室１２内のインクの圧力が高まり、これにより、ノズル開口１０から押し出されたインクがインク滴として吐出される。
【００２９】
次に、圧電素子群２１のダミー素子２８について説明する。本実施形態におけるダミー素子２８は、ワイヤーソーやダイシングソー等によって積層体を複数の駆動素子２９…に歯割り形成する際に、圧電素子列設方向の両端部に形成される。そして、このダミー素子２８の列設方向の外側の面２８ｃも歯割り形成時にワイヤーソーやダイシングソー等によって切断され、この外側面２８ｃが圧電素子列設方向の位置決めをするための第１の位置決め面となる。また、ダミー素子２８の先端面部２８ｄは、前後方向の位置決めをするための第２の位置決め面となる。
このように、ダミー素子２８の外側面２８ｃを位置決め用の面とすると、これら素子２８，２９に歯割りするのと同じプロセスで位置合わせ面も形成できるので、非常に高い精度を得ることができる。
【００３０】
そして、このダミー素子２８もまた、固定板２２の先端面２２ａから突出した自由端部２８ａと固定板２２に接合された固定端部（基端部）２８ｂとから構成されており、いわゆる片持梁のような状態で固定板２２に固定されている。なお、このダミー素子２８の基本的な構造は、駆動端子２９と同じであるが、本実施形態では、伸縮しない構成とされる。
【００３１】
次に、本実施形態における圧電素子ユニット４、及びその製造方法について説明する。
図３は、接合領域と接着剤塗布領域とを説明する圧電素子ユニット４の平面図、図４は、圧電素子群１２の固定端部２１ｂにおける隅角部と固定板２２との接合状態を説明する圧電子ユニット４の概略斜視図、図５は、ダミー素子２８と固定板２２の先端面２２ａ近傍との接合状態を説明する圧電子ユニット４の概略斜視図である。
【００３２】
圧電素子ユニット４は、前述したように、圧電振動子群２１の固定端部２１ｂを固定板２２に加圧接合して構成されている。この圧電振動子群２１の固定端部２１ｂには、図３，４に示すように、固定板２２を接合する接合面とは反対側の配線接続面（表面）の両隅角部に、フレキシブルケーブル２４を接続して共通外部電極３７の電極（端子）となる略四角形の半田付領域４０を設けている。また、固定板２２の圧電素子群２１を接合する圧電素子接合面２２ｂには、圧電素子群２１を重合して接合する略四角形の接合領域４１を設けている。そして、圧電素子群２１と固定板２２との間に接着剤を介在させた状態で、圧電振素子群２２の接合面を接合領域４１に加圧して接合する場合に、接着剤を塗布する接着剤塗布領域４２を、接合領域４１よりも内側に、圧電素子群２１の素子列設方向に細長く伸びた帯状に設定している。この接着剤塗布領域４２は、圧電素子群２１における素子列設方向の両端、即ち、ダミー素子２８に対応する位置に、この両端の間に位置する途中領域４３より固定板２２の先端面２２ａ側に領域を拡大して接着剤を塗布する拡大塗布領域４４を形成して略凹字状にする一方、圧電素子群２１の固定端部２１ｂ側の隅角部近傍に対応する領域に、半田付領域４０に対応した領域から外れるように固定板２２の先端面２２ａ側に窪ませて、接着剤を塗布しない非塗布領域４５を形成している。
【００３３】
この様に、接着剤塗布領域４２を設定して、固定板２２に圧電素子群２１を加圧して接合すると、接着剤が固定板２２と圧電振動子群２１との間で伸びて広がることにより、図５に示すように、拡大塗布領域４４に塗布された接着剤を、素子列設方向の両端に位置するダミー素子２８と固定板２２の先端面２２ａ側との境界からはみ出すように行き渡らせることができる。したがって、ダミー素子２８と固定板２２の間に接着剤が介在しない領域を極力減らすことができ、ダミー素子２８と固定板２２の先端面２２ａ側近傍との接着領域を隙間なく確保することができる。これにより、固定強度を高めることができ、ダミー素子２８の固定板２２の先端面２２ａから突き出した自由端部２８ａの強度や剛性を高めることができる。また、半田付領域４０に対応した領域から外れるように非塗布領域４５を形成したので、加圧されることによって接着剤が固定板２２と圧電振動子群２１との間で伸びて広がったとしても、図４に示すように、圧電素子群２１の（両）隅角部と固定板２２の圧電素子接合面２２ｂとの境界から接着剤がはみ出すことを防止することができる。したがって、圧電素子群２１の固定端部２１ｂにおける接合面の隅角部近傍から接着剤がはみ出して側面を這い上がり配線接続面側まで達することを防止することができる。これにより、圧電素子群２１の固定端側２１ｂの両隅角部に配置された半田付領域４０に接着剤が付着することがなくなるので、共通外部電極３７（半田付領域４０）とフレキシブルケーブル２４との接続不良の発生を可及的に防止することができる。
【００３４】
この結果、図２に示すように、圧電素子ユニット４をケース２の収容空部５の内壁面５ａに当接させるように挿入した後、流路ユニット３に先端面を当接させる記録ヘッド１の組立の際のダミー素子２８の折損を防止することができる。すなわち、ダミー素子２８の外側面２８ｃをケース２の収容空部５の内壁面５ａに当接することで、圧電素子列設方向の位置決め（第１の位置決め面）をすることができるとともに、ダミー素子２８の先端面部２８ｄを流路ユニット３のステンレス板１５と当接することで、前後方向の位置決め（第２の位置決め面）をすることができる。これにより、圧電素子ユニット４を正規の位置に取り付けることができるので、駆動素子２９の先端面部２９ｄと島部１６との位置を設計通りに確実に合わせた状態で接着することができる。したがって、組立精度を向上し、接着不良を防止することができ、ひいては吐出特性の安定化を図ることができる。さらに、圧電素子群２１にフレキシブルケーブル２４を接続する際の接続不良も未然に防ぐことができ、記録ヘッド１の製造の歩留りを向上させることができる。
【００３５】
なお、上記実施形態では、略四角形状の拡大塗布領域４４と非塗布領域４５とを例示したが、本発明はこの形状に限られない。即ち、これらの領域の形状は、接合する部材同士の形状、加圧する際の押圧力等で、適宜設定することができる。要は、接着領域を、拡大塗布領域側では、部材同士が重合した接合領域４１の境界から接着剤がはみ出すように設定し、非塗布領域側では、部材同士が重合した接合領域４１の境界から接着剤がはみ出さないように設定できれば、どのような形状でもよい。
【００３６】
また、上記実施の形態では、ダミー素子２８は、前述のように、櫛歯状の圧電素子群２１の圧電素子列設方向における両端に位置し、圧電素子となる積層体を複数の素子２８，２９に歯割り形成することによって形成される。ところが、圧電素子列設方向における最外面は、上記したように、ケース２の内壁面との当接させる位置決め面となるので、ワイヤーソーやダイシングソー等で切断して平面を形成する必要がある。このため、通常は、素子２８，２９を歯割り形成した際に、圧電素子列設方向の最外部に位置する素子については、余分な素子として折り落とす等して除去し、最外部から２番目の素子をダミー素子２８として用いている。
【００３７】
ところで、本発明は、上記した実施形態に限定されるものではなく種々の変形が可能である。例えば、圧電素子群２１に関し、上記の各実施形態では、両端のダミー素子２８を位置合わせに使用する構成としたが、両端の素子であれば駆動素子２９でもよい。
また、前記した各実施形態では各素子２８，２９の固定端部２８ｂ，２９ｂに切り残し部を設けて櫛歯状の素子群として構成したが、各素子２８，２９は、完全に切り分けて、固定端部２８ｂ，２９ｂが固定板２２上に接合されることで櫛歯状に構成してもよい。なお、圧電素子を櫛歯状に歯割りする際に、固定板２２への接合面を残して切り分けることにより、駆動素子２９の変形の特性を阻害することなく、駆動素子２９やダミー素子２８の固定強度を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】圧電素子ユニット及び記録ヘッドの要部を示す断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線矢視図である。
【図３】圧電素子ユニットの平面図である。
【図４】圧電素子ユニットの概略斜視図である。
【図５】圧電素子ユニットの概略斜視図である。
【符号の説明】
【００３９】
１…記録ヘッド，２…ケース，３…流路ユニット，４…圧電振動子ユニット，５…収容空部，７…流路形成板，８…ノズルプレート，９…弾性板，１０…ノズル開口，１１…リザーバ，１２…圧力室，１３…インク供給口，１４…弾性体膜，１５…ステンレス板，１６…島部，１７…弾性部，２１…圧電振動子群，２１ａ…自由端部，２１ｂ…固定端部，２２…固定板，２２ａ…先端面，２２ｂ…圧電素子接合面，２８…ダミー素子，２８ａ…自由端部，２８ｂ…固定端部，２８ｃ…外側面，２８ｄ…先端面部，２９…駆動素子，２９ａ…自由端部，２９ｂ…固定端部，２９ｄ…先端面部，３１…圧電体，３２…共通内部電極，３３…個別内部電極，３６…個別外部電極，３７…共通外部電極，４０…半田付領域，４１…接合領域，４２…接着剤塗布領域，４３…途中領域，４４…拡大領域，４５…非塗布領域
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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