(57)【要約】本発明はセンサ（１６）による物体（１４）、例えば加工品又は工具の物点（１２）の検出のための方法及び装置に関する。高い測定速度で極めて正確な測定を得るために、センサ（１６）を第１の速度Ｖ1で物体（１４）の方向へ移動することにより物点（１２）の第１の決定を行い、センサ（１６）を第２の速度Ｖ2で物体（１４）から引き離して移動することにより物点（１２）の第２の決定を行い、実際の測定値決定は第２の物点決定で行うように構成した。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
センサ（１６）による物体（１４）例えば加工品又は工具の物点（１２）の検出のための方法において、センサ（１６）を第１の速度Ｖ1で物体（１４）の方向へ移動することによって物点（１２）の第１の決定を行い、センサ（１６）を第２の速度Ｖ2で物体（１４）から引き離して移動することによって物点（１２）の第２の決定を行い、第２の物点決定の際に実際の測定値決定が行われることを特徴とする方法。
【請求項２】
物点（１２）の第１の決定が高い速度Ｖ1によるおおまかな物点決定として、物点（１２）の第２の決定が低い速度Ｖ2による正確な物点決定として行われることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
物点（１２）の第１の決定で検出された測定値が、物点（１２）をおおまかに決定するために使用されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
センサ（１６）を物体（１４）から引き離して移動する時、即ちセンサ（１６）を物体から離隔又は離脱する時に実際の測定値を検出することを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の方法。
【請求項５】
狭い物点区域でだけ低い第２の速度Ｖ2をセットすることを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の方法。
【請求項６】
高い第１の速度Ｖ1が５ｍｍ／ｓ≦Ｖ1≦１０ｍ／ｓの範囲内、とりわけＶ1＝１ｍ／ｓ、低い第２の速度Ｖ2が０．１ｍｍ／ｓ≦Ｖ2≦２００ｍｍ／ｓの範囲内、とりわけＶ2＝０．５ｍｍ／ｓであることを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１つに記載の方法。
【請求項７】
物点（１２）の第２の決定の際に第２の速度Ｖ2を一定値にセットすることを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１つに記載の方法。
【請求項８】
物体（１４）の方向へ移動して物点（１２）を検出した後、０．１ｍｓ≦Ｔ1≦１ｓの範囲内、とりわけ１０ｍｓの期間Ｔ1の後にセンサ（１６）を停止することを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の方法。
【請求項９】
反発過程が消失した後、センサ（１６）が物体（１４）から遠のき方向へ速度Ｖ2で移動され、物体からセンサ（１６）を離隔又は離脱する時にトリガ信号がセットされ、トリガ信号によって測定信号（１１６、１１８）の濾波のためのフィルタ（４６）が切断され、測定信号（１１６、１１８）が所定の値を下回るとトリガ信号（１２２）がリセットされ、物点（１２）の位置が記憶され、フィルタ（４６）が再び接続されることを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１０】
２つの物点決定操作の数学的連係によって特定のセンサの最終的測定値が確定されることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１１】
アナログ形式の測定信号（１１６）をデジタル化し、続いてデジタル再処理することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１２】
センサ（１６）として機械式スイッチング及び／又は測定探触子を使用することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１３】
センサ（１６）が機械的補助手段によって制振され、但し第２の物点決定の時は制振が作動しないことを特徴とする請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１４】
センサ（１６）として光学式及び／又はオプトエレクトロニクス式センサを使用することを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１つに記載の方法。
【請求項１５】
少なくとも１個の移動可能な、かつ評価装置（２８）に接続されたセンサ（１６）を具備する、物体（１４）例えば加工品又は工具の物点（１２）の検出のための装置（１０）において、物点（１２）の第１の決定のためにセンサ（１６）が第１の速度Ｖ1で物点（１２）の方向へ移動され、物点（１２）の第２の決定のためにセンサ（１６）が物体から遠のき方向へ移動され、評価装置（２８）が物点（１２）の第２の決定の際にセンサ（１６）に送られる測定信号（１１６）の評価のための手段（３４、４６、６４、７６、８２、４０）を有することを特徴とする装置。
【請求項１６】
センサの速度Ｖ1及びＶ2が調整可能、とりわけ制御可能であり、センサ（１６）が物点（１２）の第１の決定では高い速度Ｖ1で物体（１４）の方向へ移動され、物点（１２）の第２の決定では低い速度Ｖ2で物体（１４）から遠のき方向へ移動されることを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
評価装置（２８）が増幅ユニット（３４）、少なくとも１個のフィルタユニット（４６）、少なくとも１個の変換器ユニット（６４、７６、８２）及び計算ユニット（４０）例えばマイクロコンピュータを有することを特徴とする請求項１５又は１６に記載の装置。
【請求項１８】
センサ（１６）の出力（３０）がプログラム可能増幅器として構成された増幅ユニット（３４）の入力（３２）に接続され、増幅ユニット（３４）の出力（４２）がフィルタユニット（４６）の入力（４４）に接続され、フィルタユニット（４６）の出力（６０）が一方ではＡＤ変換器（６４）の入力（６２）に接続され、そのＡＤ変換器の出力（６６）は計算ユニット（４０）の入力（６８）に接続され、他方では整流器（７６）の入力（７４）に接続され、その整流器の出力（７８）は比較器（８２）の入力（８０）に接続され、比較器（８２）の出力（８４）が計算ユニット（４０）の入力（８６）に接続されていることを特徴とする請求項１５ないし１７のいずれか１つに記載の装置。
【請求項１９】
増幅ユニット（３４）が接続線（３６）を経て計算ユニットに接続され、プログラム可能であることを特徴とする請求項１５ないし１８のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２０】
フィルタユニット（４６）がプログラム可能な低域フィルタ（４８）及び／又はプログラム可能な帯域フィルタ（５０）を有し、フィルタがそれぞれ接続線（５２、５４）を経て計算ユニット（４０）の出力（５６、５８）に接続され、こうして選択に応じて接続及び切断されることを特徴とする請求項１５ないし１９のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２１】
ＡＤ変換器（６４）が接続線（７０）を経て計算ユニット（４０）の出力（７２）に接続され、プログラム可能に構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２０のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２２】
比較器（８２）が接続線（８８）を経て計算ユニット（４０）の出力（９０）に接続され、プログラム可能に構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２１のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２３】
評価装置（２８）がセンサ検出器（１００）を有し、評価装置（２８）が接続されたセンサの種類を自力で識別することが可能であることを特徴とする請求項１５ないし２２のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２４】
センサ（１６）が測定及び／又はスイッチング探触子として構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２３のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２５】
センサ（１６）が機械式スイッチング及び／又は測定探触子として構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２４のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２６】
センサ（１６）がレーザ距離センサとして構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２５のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２７】
センサ（１６）が自動焦点調整センサとして構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２６のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２８】
センサ（１６）が光学式又はオプトエレクトロニクス式センサとして構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２７のいずれか１つに記載の装置。
【請求項２９】
装置（１０）が複数個のセンサ（１６）を収容するように構成されていることを特徴とする請求項１５ないし２８のいずれか１つに記載の装置。
【請求項３０】
装置（１０）が座標測定装置であることを特徴とする請求項１５ないし２９のいずれか１つに記載の装置。
【請求項３１】
装置（１０）が工作機械であることを特徴とする請求項１５ないし３０のいずれか１つに記載の装置。
【請求項３２】
センサ（１６）が一段又は多段切換え探触システムであることを特徴とする請求項１５ないし３１のいずれか１つに記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、センサによる物体、例えば加工品又は工具の物点の検出のための方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
センサがスイッチング及び測定探触子として構成された方法及び装置は先行技術により周知である。公知の方法の核心は、機械式探触子を運動させて物点、例えば加工品表面を走査し、探触子と物点の最初の接触の時に当該の距離測定システムを読取ることにある。走査時のセンサの座標が距離測定システムから取り出され、その後の加工のために利用される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記の方法の欠点は、走査の際にセンサが外乱に対してすこぶる敏感なことである。振動等が誤起動を招く恐れがある。これを回避するために、国際出願ＷＯ８８／０１７２６公報の記載では、高速の位置決め運動の際は探触子を不感にし、目標点に接触する直前に高感度の低速運動をセットすることが提案されている。
【０００４】
ところがそれによって一方では実際の、ないしは本来の走査過程を極めて低い速度で行わねばならず、それが時間損失を招くという欠点が生じる。他方では該システムが実際の走査過程の間、依然として外乱に敏感である。従って特に過酷な環境条件下では確実な測定は不可能である。
【０００５】
以上に基づき本発明の根底にあるのは、高い測定速度で極めて正確な測定を行うことができるように、上記の種類の方法及び装置を改良することを課題とすることである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００６】
上記課題は、冒頭に挙げた種類の方法によりおおむね次のように解決される。即ちセンサを第１の速度Ｖ1で物体の方向へ移動することによって物点の第１の決定を行い、センサを第２の速度Ｖ2で物体から引き離して移動することによって物体の第２の決定を行い、物体の第２の決定の際に実際の、ないしは本来の測定値決定が行われるのである。
【０００７】
好ましい方法は、物点の第１の決定が高い速度Ｖ1によるおおまかな物点決定として、物点の第２の決定が低い速度Ｖ2による正確な物点決定として行われることを特徴とする。
【０００８】
本発明の方法によれば、物体を第１の高い速度Ｖ1で比較的粗略に走査し、こうして高い測定速度を得ることにより、先行技術の欠点が回避される。その時検出された測定値は、およその物点を記録するためにだけ利用される。実際の、ないしは本来の測定値はセンサを物体から引き離して移動する時、即ちセンサを物体から離脱させる時に検出される。
【０００９】
正確な測定を保証するために、離脱の際に走査精度の要求に基づく低い速度Ｖ2が選択される。しかしこの速度は実際の物点の周辺の短い移動区間のためにだけセットすればよい。全体として利点は高い測定速度と同時に高い到達可能精度にあり、特に先行技術で周知の走査誤差が回避される。
【００１０】
高い第１の速度Ｖ1は５ｍｍ／ｓ≦Ｖ1≦１０ｍ／ｓの範囲、とりわけＶ1＝１ｍ／ｓであり、低い第２の速度Ｖ2は０．１ｍｍ／ｓ≦Ｖ2≦２００ｍｍ／ｓの範囲、とりわけＶ2＝０．５ｍｍ／ｓであることが好ましい。その場合第２の物点決定での第２の速度Ｖ2は一定値にセットされる。物体の方向へ移動して物点を検出した後、０．１ｍｓ≦Ｔ1≦１ｓの範囲、とりわけ１０ｍｓの時間Ｔ1の後にセンサを停止するのが好ましい。
【００１１】
振動及び反発（バウンチング）挙動の結果、敏感なセンサで起こる誤走査の問題を回避するために、反発（バウンチング）過程の消失の後にセンサを物体から遠のき方向に低い速度Ｖ2で移動し、センサの離脱の際にトリガ信号がセットされ、これによって測定信号の濾波のためのフィルタが切断される。その場合測定信号が所定の値を下回れば物点の位置が記憶され、トリガ信号がリセットされ、フィルタが再び接続される。
【００１２】
換言すれば、実際の、ないしは本来の測定値決定は物体から遠のき方向への速度Ｖ2による第２の物点決定に基づいて行われる。特定のセンサ、例えば自動焦点調整センサでは、２つの物点決定操作の測定値の数学的連係によって最終的測定値を確定することもできる。
【００１３】
測定値のデジタル処理を実現するために、アナログ形式の測定値をデジタル化し、続いてデジタル再処理する。
【００１４】
好ましい実施形態ではセンサとして機械式スイッチング及び／又は測定探触子が使用される。物点の走査の際に測定信号のバウンスを回避するために、センサを機械的補助手段により制振する。但し第２の物点決定では制振が作動しない。
【００１５】
機械式スイッチング及び／又は測定探触子のほかに、さらに光学式及び／又はオプトエレクトロニクス式センサも設けられる。
【００１６】
また本発明は少なくとも１個の移動可能な、かつ評価装置に接続されたセンサを具備する、物体例えば加工品又は工具の物点の検出のための装置に関する。
【００１７】
装置に関して、本発明はおおむね次の特徴を有する。即ち物点の第１の決定のためにセンサが第１の速度Ｖ1で物体の方向へ移動され、物点の第２の決定のためにセンサが物体から遠のき方向に移動され、評価装置は物点の第２の決定の際にセンサに送られる測定信号を評価するための手段を有する。
【００１８】
この装置によれば、振動及び反発挙動の結果敏感な探触子／センサに起こる誤走査の問題が、物体から離脱しつつ第２の物点決定を行うことによって回避される。好ましい実施形態はセンサの速度が調節可能、とりわけ制御可能であり、センサは第１の物点決定では高い速度Ｖ1で物体の方向へ移動され、第２の物点決定では低い速度Ｖ2で物体から遠のき方向へ移動されるることを特徴とする。
【００１９】
好ましい実施形態では評価装置は増幅ユニット、少なくとも１個のフィルタユニット、少なくとも１個の変換器ユニット及び計算ユニットを有する。
【００２０】
センサに送られた測定信号を整合させることができるように、センサの出力に接続された増幅ユニットはプログラム可能な増幅器として構成されている。また増幅ユニットの出力はフィルタユニットの入力に接続されるように構成されている。フィルタユニットは２個のプログラム可能なフィルタ、例えば低域フィルタ及び／又は帯域フィルタからなることが好ましい。プログラム可能なフィルタを選択に応じて接続及び切断することができる。
【００２１】
またフィルタユニットの出力は変換器ユニット、とりわけプログラム可能精密ＡＤ変換器に接続され、変換器の出力は計算ユニット、例えばマイクロコンピュータに接続される。またフィルタユニットの出力は整流器ユニットの入力に接続され、整流ユニットの出力はとりわけプログラム可能な比較器の入力に接続され、比較器の出力は計算ユニットの入力に接続される。
【００２２】
プログラム可能なフィルタユニットによって、低域フィルタを選択に応じて接続及び切断できる利点が得られる。その場合低域フィルタは全般的位置決め過程と第１の物点決定でだけ接続される。好ましい実施形態では切換え可能な低域フィルタがソフトウエア部品として構成されている。代案として切換え可能な低域フィルタをハードウエア部品として構成することもできる。
【００２３】
特に好ましい実施形態によれば評価装置はセンサ検出器を有し、評価装置は接続されたセンサの種類を自力で識別することが可能である。特に測定センサもスイッチングセンサも接続することができる。
【００２４】
装置の特別の利点として、種々のセンサを使用できることが挙げられる。こうしてセンサを機械式スイッチング又は測定探触子として構成することが可能である。またセンサをレーザ距離センサとして構成することもできる。代案としてセンサが自動焦点調整センサであることが可能である。また光学式及びオプトエレクトロニクス式センサを使用することもできる。
【００２５】
別の利点として、装置が複数個のセンサの収容のために適していることが挙げられる。装置自体を座標測定装置又は工作機械として構成することができる。走査挙動を一層改善するために、センサが一段又は多段切換え探触システムとして構成される。
【００２６】
発明のその他の細部、利点及び特徴は特許請求の範囲、特許請求の範囲に見られる特徴−単独で及び／又は組合せとして−だけでなく、下記の図面の説明に見られる好ましい実施例からも明らかである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１ａ，１ｂ及び２は物体、例えば加工品又は工具の物点１２の検出のための装置１０のごく概要を示す。装置１０は少なくとも１個のセンサ１６を具備する。センサ１６は位置決めシステムにより直角座標系１８のＸ、Ｙ及びＺ方向に移動させられる。
【００２８】
図１ａはスタート位置のセンサ１６を示す。センサ１６はこの位置から矢印２０の方向、即ち物体１４の方向、特に所定の走査目標点２２の方向へ速度Ｖ＝Ｖ1で移動することができる。第１の物点決定でセンサ１６’が物点を検出すると直ちに位置決めシステムが停止点２４で停止する。停止点２４は物点１２と走査目標点２２の間の直線上にある。第１の物点決定で物点１２がおおまかに決定される。
【００２９】
図１ｂはセンサ１６’が小さな速度Ｖ2で矢印２６の方向へ物体から引き離して移動される操作段階を示す。その場合物点の第２の正確な決定が行われ、この決定から実際の、ないしは本来の測定値が決定される。
【００３０】
図２はセンサ１６に接続された評価装置２８を示す。センサの出力３０は、本例ではプログラム可能な増幅ユニットとして構成された増幅ユニット３４の入力３２に接続されている。増幅器３４はプログラミングのために接続線３６を経て計算ユニット４０例えばマイクロコンピュータの出力３８に接続される。
【００３１】
増幅器３４の出力４２はフィルタユニット４６の入力４４に接続されている。図示の実施例ではフィルタユニット４６はプログラム可能、特に切換え可能な低域フィルタ４８及びとりわけプログラム可能な帯域フィルタ５０を有する。これらのフィルタはそれぞれ接続線５２、５４を経てマイクロコンピュータ４０の出力５６、５８に接続される。フィルタユニット４８、５０の少なくとも１つは切換え可能に構成することが好ましい。
【００３２】
フィルタユニット４６の出力６０は精密ＡＤ（アナログ／デジタル）変換器６４の入力６２に接続されており、変換器６４の出力６６はマイクロコンピュータ４０の入力６８に接続される。ＡＤ変換器６４もプログラム可能に構成され、接続線７０を経てマイクロコンピュータ４０の出力７２に接続される。またフィルタユニット４６の出力６０は整流器７６の入力７４に接続され、整流器７６の出力７８はプログラム可能な比較器８２の入力８０に接続される。比較器の出力８４はマイクロコンピュータ４０の入力８６に接続される。比較器のプログラミングのために、比較器は接続線８８を経てマイクロコンピュータ４０の出力９０に接続される。
【００３３】
フィルタユニット４６及びＡＤ変換器６４は選択に応じてソフトウエア部品又はハードウエア部品として構成することができる。またマイクロコンピュータ４０にソフトウエア・フィルタ９２、論理回路９４、記憶装置９６及びタイマ９８が設けられている。
【００３４】
種々のセンサ１６を検出するために、センサ検出器１００が設けられ、その入力１０２はセンサの出力３０に接続され、その出力１０４はマイクロコンピュータ４０の入力１０６に接続されている。
【００３５】
給電のために評価装置２８はプログラム可能な電源１０８を備えている。電源は接続線１１０を経てマイクロコンピュータ４０の出力１１２に接続され、電源の出力１１４はセンサ１６、センサ検出器１００及び信号処理のために給電を行う。
【００３６】
センサ１６は機械式スイッチング及び／又は測定探触子として構成することができる。例えばレーザ距離センサ又は自動焦点調整センサの形の光学式又はオプトエレクトロニクス式センサを使用することもできる。またセンサとして一段又は多段切換え探触システムを使用することも可能である。
【００３７】
振動及び反発に基づき敏感なセンサで起こる誤走査の問題は、本発明の方法により物体から離脱しつつ物点決定を行うことによって回避される。
【００３８】
次に図３ａ）−ｈ）及び図４ａ）−ｄ）に基づき本発明の方法を詳しく説明する。図３ａ）−ｈ）は物体１４に対する種々の位置でのセンサ１６を示す。図４ａ）はセンサ１６のアナログ測定信号を示し、図４ｂ）はアナログ測定信号１１６からデジタル化によって導き出されたデジタル化測定信号１１８を示す。位置決めシステム１８の制御のための信号１２２が図４ｃ）で明らかであり、図４ｄ）にはセンサ１６の離脱時の測定値記録の制御のためのトリガ信号１２２が示されている。
【００３９】
図３ａ）によれば時期ｔ1にセンサ１６はスタート位置にあり、この位置から出発して第１の速度Ｖ＝Ｖ1、加速ａ＞０で矢印２０の方向へ移動される。加速過程の間にセンサ１６の振動が起こり、それが図４ａ）及び４ｂ）による測定信号１１６、１１８にはっきり見える（領域１）。
【００４０】
時期ｔ2にセンサ１６は物体１４に到達して、物点１２又は物体の端縁を検出する。比較的高い速度Ｖ1即ち低い精度で第１の物点決定が行われる。第１の物点決定の当該のおおまかな測定値は、その後の準備のために記憶することができる。
【００４１】
センサ１６が物点１２を検出した後、位置決めシステム１８はおおむね一定の速度Ｖ1で矢印２０の方向へ停止点２４まで移動され、−図４ｃ）に示すように−時間Ｔ1の後に時期ｔ3に停止される。このために図４ｃ）に示した停止信号１２０が状態ＬＯＷから状態ＨＩＧＨにセットされる（側辺３）。
【００４２】
センサ１６が物点１２に接触することにより反発過程が起こる。反発過程は時期ｔ4に測定信号曲線１１６、１１８に高周波振動として表示される（領域４）。この時期に位置決めシステムは速度Ｖ＝０、加速Ａ＝０を有する。
【００４３】
反発過程が終了した後、図４ｃ）に示す停止信号１２０がリセットされ（側辺５）、センサ１６は第２の物点決定のために低い速度Ｖ＝Ｖ2で矢印２６の方向へ物体１４から引き離され、即ち離脱させられる。
【００４４】
本発明によればセンサ１６の離脱時に第２の物点決定が小さな速度Ｖ2で、従って相応に高い精度で行われる。この時期ｔ6にトリガ信号１２２がセットされる。即ちレベルＬＯＷからレベルＨＩＧＨに切換えられ、同時に又はおおむね同時にフィルタ４８、５０が切断される。第２の物点決定の際の速度Ｖ2は、位置決めシステム１８が第１の物点決定の予想測定精度の範囲内で一定の速度で移動されるように計算される。
【００４５】
時期ｔ7（図３ｇ）に示す）にセンサ１６は物点１２から離れる。これは測定信号１１６又はデジタル化測定信号１１８の低下で表示される。測定信号１１６、１１８の低下によってトリガ信号１２２が時期ｔ7にリセットされるから、実際の、ないしは本来の測定値の決定を高い精度で行うことができる。
【００４６】
時期ｔ7にフィルタ２８が再び作動される。センサ１６は物点１２を退去した後に振動する可能性がある。しかしこのことは測定結果に影響しない。振動は図４ａ）−ｂ）の測定信号に示されている（領域１’）。時期ｔ8に、即ち振動が消失した後に、測定が終了する（領域８）。
【００４７】
要約すれば、本発明方法により物体１４を高い速度Ｖ1で比較的粗略に走査し、その時検出された測定値を物点のおよその記録のためにだけ利用することによって先行技術の欠点が回避されることが確認される。実際の測定値はセンサ１６を物体１４から離脱させる時に検出される。離脱の際に速度要求に基づく低い速度Ｖ2が選択されるからである。但しこの速度は時期ｔ5ないしｔ7の間に経過する物点の周辺の短い移動区間にだけセットすればよい。特に本発明の方法はスイッチング探触システム（トリガプローブ）を有するセンサ１６でも、測定探触システム（走査プローブ）を有するセンサ１６でも機能する。特に本発明の方法によれば誤走査を回避することにより高い測定速度と同時に高い到達可能精度が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１ａ】センサを物体の方向へ移動する時のセンサの概略図である。
【図１ｂ】センサを物体から遠のき方向へ移動する時のセンサの概略図である。
【図２】評価装置のブロック構成図である。
【図３】ａ）ないしｈ）で表した種々の移動状態でのセンサの物体に対する位置の図である。
【図４】ａ）ないしｄ）で表した種々の測定及び制御信号の図である。
【図１ａ】
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【図１ｂ】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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2004522166.tif 000029
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【国際調査報告】
2004522166.tif 000031
2004522166.tif 000032
2004522166.tif 000033
2004522166.tif 000034