(57)【要約】【課題】  吸着口を物品の吸着面にセッティングし易い真空吸着装置を提供する。【解決手段】  真空吸引管１と、前記真空吸引管の一端に設けた吸着口２と、前記真空吸引管内から前記吸着口を介して外部に光を射出する光源４とを備えた真空吸着装置により前記課題を解決する。【選択図】        図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空吸引管と、前記真空吸引管の一端に設けた吸着口と、前記真空吸引管内から前記吸着口を介して外部に光を射出する光源とを備えたことを特徴とする真空吸着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の真空吸着装置において、
前記真空吸引管内の圧力と大気圧の差圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサが検出した差圧が所定値を越えているか否かを表示する表示器とを備えたことを特徴とする真空吸着装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載の真空吸着装置において、
前記真空吸引管の他端に接続した、マイクロマシニング技術で製造されたマイクロポンプを備えたことを特徴とする真空吸着装置。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれかに記載の真空吸着装置において、
前記光源および／またはマイクロポンプの電源である電池を備えたことを特徴とする真空吸着装置。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれかに記載の真空吸着装置において、
前記真空吸引管の圧力を、取り扱う物品の柔らかさあるいは重量に対する最適値に調整するための圧力調整器を当該真空吸着装置の内部また外部に設けたことを特徴とする真空吸着装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ピンセットなどの真空吸着装置に関し、特にその作業効率の向上に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ、微小ネジ、宝石等の小さな物品、部品など（以下物品という）を取り扱う際に、真空吸着装置は欠かせないツールである。ごく微小な物品の場合には乾電池あるいは充電式バッテリーで駆動する小型のダイヤフラムポンプを内蔵し、電源コードあるいはバキュームホースのない独立型真空ピンセットが操作性の上で極めて便利である。
【０００３】
特許文献１にあるように、圧力センサを用いて真空ホース内の圧力を検出し，検出した圧力が所定の圧力よりも小さいと吸着能力ありと判定し、表示器がグリーンを表示し、所定の圧力よりも大きいと吸着能力に問題ありと判定し、表示器がレッドを表示して、吸着能力の有無を表示する真空吸着装置が提案されている。この提案の真空吸着装置で示唆される圧力センサは絶対圧センサであり、あまり小型化には向いていない。事実この提案では大型のハウスバキュームの真空ピンセットでの使用が具体例として記述されている。特許文献１のように、シリコンウェハーのような比較的大きな物体を扱う場合にはハンドリングになんら問題はない。
【０００４】
微小物品をハンドリングする場合には、大型の真空ピンセットでは極めて扱いにくいため、小型化された真空吸着装置も存在するが、吸着能力を判定して表示するものは知られていない。
【特許文献１】特開平１１−３００６７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
微小物品の場合、拡大鏡等を通してハンドリングを行うために、真空ピンセットの吸着口と微小物品の吸着面との位置関係のセッティングが難しい。微小物品を吸着したつもりでも吸着口が微小物品の吸着面とずれている場合には、吸着が充分ではなく微小物品が落下する場合が多い。微小物品の場合、落下した物品を探すことは容易ではなく、探し得たとしても床の汚れで汚染されていたりするために、洗浄を行うか廃棄しなくてはならず作業効率に影響を与える。
【０００６】
本発明は、このような状況のもとでなされたもので、吸着口を物品の吸着面にセッティングし易い真空吸着装置を提供することを課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記課題を解決するため、本発明では、真空吸着装置を次の（１）ないし（５）のとおりに構成する。
【０００８】
（１）真空吸引管と、前記真空吸引管の一端に設けた吸着口と、前記真空吸引管内から前記吸着口を介して外部に光を射出する光源とを備えた真空吸着装置。
【０００９】
（２）前記（１）に記載の真空吸着装置において、前記真空吸引管内の圧力と大気圧の差圧を検出する圧力センサと、前記圧力センサが検出した差圧が所定値を越えているか否かを表示する表示器とを備えた真空吸着装置。
【００１０】
（３）前記（１）または（２）に記載の真空吸着装置において、前記真空吸引管の他端に接続した、マイクロマシニング技術で製造された真空ポンプを備えた真空吸着装置。
【００１１】
（４）前記（１）ないし（３）のいずれかに記載の真空吸着装置において、前記光源および／または真空ポンプの電源である電池を備えた真空吸着装置。
【００１２】
（５）前記（１）ないし（４）のいずれかに記載の真空吸着装置において、
前記真空吸引管の圧力を、取り扱う物品の柔らかさあるいは重量に対する最適値に調整するための圧力調整器を当該真空吸着装置の内部また外部に設けたことを特徴とする真空吸着装置。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、真空吸着装置の吸着口を物品の吸着面に容易にセッティングでき、作業効率が向上する。
【００１４】
詳しくは、拡大鏡を通して微小物品の吸着面に真空吸着装置の吸着口が間違いなくセットされていることを吸着口から照射されている光が見えなくなったことで判定すれば極めて容易にセットの確認ができる。また、吸着口から照射されるガイド光により微小物品の吸着面を照射するようにすれば、容易に吸着口を吸着面にもっていくことができる。
【００１５】
さらに、大気圧との比較が出来る差圧センサで真空吸引管の圧力を測定することによって吸着能力があることも確認できる。吸着能力の判定の出力は特許文献１のようにＬＥＤ等の発光素子で表示する。絶対圧センサと比較すれば、差圧センサの方が小さく単純に製造できるため、機器の小型化に向くと共にコスト的にも有利である。また、機器の小型化のためにマイクロマシニング技術で製造されたマイクロポンプを用いれば小型化が一段と促進され、駆動電源に電池を用いれば真空ホース、電源ケーブルのない独立型の真空吸着装置が得られる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下本発明を実施するための最良の形態を、真空吸着装置の実施例により詳しく説明する。
【実施例１】
【００１７】
図１は、実施例１である“真空吸着装置”の概略構成を示す断面図である。図１において、１は真空吸引管で、その一端に不図示の微小物品を吸着するための吸着口２を有し、他端は、不図示の真空ポンプに接続されている。真空吸引管１の内側には、吸着口２を通して外部にガイド光４−１を射出する発光素子（発光ダイオードなど）２が配置されている。３は真空吸引管１を収納するとともに、グリップとなる本体である。本体３の一端には真空吸引管１が固着されており、他端は、適宜の構成でよいので、表示を省略した。
【００１８】
このように構成されているので、空気の吸入口である吸着口２から射出されるガイド光４−１を微小物品の吸着面に当たるようにすれば、吸着口２と微小物品の吸着面とが正対することになる。そこでこの状態を維持しながら吸着口２を微小物品の吸着面に接触させると、吸着口２からの空気の吸引力により微小物品は吸着口２に確実に吸着される。すなわち、ガイド光４−１は、吸着口２を微小物品の吸着面上に持っていくうえでのガイドとなる。そして、微小物品の吸着面に吸着口２が確実に接触したことは、ガイド光４−１が見えなくなることで確認できる。
【００１９】
拡大鏡を用いて、微小物品の吸着面に真空吸着装置の吸着口２が間違いなくセットされていることを吸着口２から照射されている光が見えなくなったことで判定すれば極めて容易にセットの確認ができる。
【００２０】
以上説明したように、本実施例によれば、吸着口を物品の吸着面に容易にセッティングでき、作業効率が向上する。
【００２１】
なお、実施例では、ガイド光の光源として発光素子を用いているが、これに限らず、適宜の位置に配置した適宜の形式の光源からの光を導く光ファイバをガイド光の光源として用いることもできる。
【実施例２】
【００２２】
図２は実施例２である“真空吸着装置”の概略構成を示す断面図である。本実施例は、真空吸引管１に圧力センサ５として差圧センサを装備し、吸着後の圧力の変化で吸着能力があるかを判定する例である。圧力センサを設ける点以外は実施例１と同じなので、相違点についてのみ説明する。
【００２３】
図２において、５は真空吸引管１内の圧力と大気圧の差圧を検出する圧力センサである。圧力センサ５により真空吸引管１の圧力を測定することによって吸着能力があることが確認できる。吸着能力の判定出力はＬＥＤ等の発光素子からなる表示器５−１で表示する。すなわち、圧力センサ５が検出した差圧が所定値を越えているときは吸着能力があると判定して表示器５−１で青色を表示し、越えていないときは吸着能力がないと判定して表示器５−１で赤色を表示する。
【００２４】
絶対圧センサと比較すれば、差圧センサのほうが小さく単純に製造できるため、機器の小型化に向くと共にコスト的にも有利である。
【実施例３】
【００２５】
図３は実施例３である“真空吸着装置”の概略構成を示す断面図である。本実施例は、真空吸着装置内にさらに真空ポンプ６を装備する例である。
【００２６】
真空ポンプ６としてマイクロマシニング技術で製造されたマイクロポンプを使用することでスリム化し操作性を向上させることができる。
【実施例４】
【００２７】
図４は実施例４である“真空吸着装置”の概略構成を示す断面図である。本実施例は、真空吸着装置内に、さらに発光素子４と真空ポンプ６の駆動電源である電池７を装備する例である。
【００２８】
電源を真空吸着装置に内蔵することで、真空ホースおよび電源供給ケーブルを不要とし、操作性を向上させることができる。
【実施例５】
【００２９】
実施例５である“真空吸着装置”について説明する。
真空吸着装置で吸引する微小物品は、種類に応じてそれぞれ固さや重量が違う。螺子のように金属でできたものは固く重いので、吸引力は強いほうが良い。しかし、たとえばプラスチックの場合には、吸引力が強すぎると表面に傷をつける恐れがあり、そのままでは使用できない場合がある。また、微小レンズの反射防止膜等の薄膜も傷がつくとレンズそのものの価値が失われてしまうために取扱に注意を要する。このような場合には、吸着口をプラスチックやゴムに変更して対処しているが、吸引力が強いままであれば吸着口そのものが柔らかいと変形して吸着に支障がある場合がある。
【００３０】
そこで本実施例では、吸引力を、取り扱う物品の柔らかさあるいは重量に対する最適値に調整することで、柔らかい物品や傷つきやすい物品も同じ真空吸着装置で取り扱えるようにする。
【００３１】
吸引力の調整は、真空ポンプを駆動する電圧あるいは電流を調整するか、駆動周波数を調整し、真空吸引管内の圧力を調整することで実現できる。あるいは、真空吸引管内の圧力をリークする手段により実現できる。
【００３２】
このように構成することにより、ガイド光の採用と相まってよりセッティングし易い真空吸着装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】実施例１の概略構成を示す断面図
【図２】実施例２の概略構成を示す断面図
【図３】実施例３の概略構成を示す断面図
【図４】実施例４の概略構成を示す断面図
【符号の説明】
【００３４】
１      真空吸引管
２      吸着口
４      発光素子
【図１】
2007021644.tif 000003
【図２】
2007021644.tif 000004
【図３】
2007021644.tif 000005
【図４】
2007021644.tif 000006