(57)【要約】【課題】  被検査端子に検査端子を確実に接触させることが可能な検査装置及び検査方法を提供する。【解決手段】  プローブ４３は、基材４３上に設けられたソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａと、ソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａ上に電気的に接続されて設けられるとともに複数の被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂと対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた傾斜接触部５１からなるソース電極検査端子４８、４９及び５０を有するので、例えば検査時に、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の一つの傾斜接触部５１との間に異物が混入したときでも、隣り合う他の傾斜接触部５１の間の基材４３が曲がることで、被検査端子１４Ｒと他の傾斜接触部５１との接触を確保することができる。【選択図】  図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の被検査端子に接触させて電気的な検査をするための検査端子を有する検査装置において、
基材上に設けられた配線と、
前記配線上に設けられ、且つ前記配線と電気的に接続されてなるとともに、前記複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子と
を有することを特徴とする検査装置。
【請求項２】
前記基材は可撓性を有することを特徴とする請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記配線は、前記検査端子が前記複数の被検査端子に同時に接触することができるように、配列してなる前記複数の被検査端子に沿って直線状に形成されていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記複数の接触部は、前記直線状の直線方向に直交する方向の一端側と他端側とにそれぞれ設けられてなることを特徴とする請求項３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記複数の接触部は、前記直線状の直線方向に対して傾斜する方向に長手方向を有することを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の検査装置。
【請求項６】
前記複数の接触部は、前記傾斜する方向に交差して延びる部分を含むように設けられていることを特徴とする請求項５に記載の検査装置。
【請求項７】
前記複数の接触部は、前記直線方向に複数の矩形状に形成されていることを特徴とする請求項３又は請求項４に記載の検査装置。
【請求項８】
前記複数の接触部は、前記直線方向に交差して延びる部分を含むように設けられていることを特徴とする請求項７に記載の検査装置。
【請求項９】
前記交差して延びる部分は、前記直線方向に対して傾斜していることを特徴とする請求項８に記載の検査装置。
【請求項１０】
前記複数の接触部は、メッシュ状に構成されていることを特徴とする請求項１から請求項４に記載の検査装置。
【請求項１１】
前記直線方向に直交する方向の前記配線の両端縁部を被覆する保護膜を更に具備することを特徴とする請求項３から請求項１０のうちのいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１２】
前記複数の被検査端子は、電気光学装置の複数のソース線に繋がると共に前記直線方向に直交する方向で異なる第１、第２及び第３の位置にそれぞれ設けられており、
前記検査端子は、前記第１の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第１の検査端子と、前記第２の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第２の検査端子と、前記第３の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第３の検査端子とを有することを特徴とする請求項３から請求項１１のうちいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項１３】
複数の被検査端子に接触させて電気的な検査をするための検査端子を有する検査装置を用いる検査方法であって、
基材上に設けられた配線と、前記配線上に設けられ、且つ前記配線と電気的に接続されてなるとともに、前記複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子とを有する検査装置の該複数の接触部を、それぞれ前記複数の被検査端子に接触させる工程と、
前記検査端子に電圧を印加する工程と
を具備することを特徴とする検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、パーソナルコンピュータや携帯電話機等の電子機器の検査に用いられる電気光学装置の検査装置及び検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、パーソナルコンピュータや携帯電話機等といった電子機器の表示装置として電気光学装置として例えば液晶装置等が用いられている。この液晶装置等には、例えば、液晶を駆動するための複数の配線が付設されており、これらの配線に接続されてドライバＩＣが実装されている。
【０００３】
このような液晶装置等の点灯検査には、例えばプローブを備える検査装置が用いられる。プローブは、例えば回路が一面側に形成された絶縁フィルムと、回路に接続して形成された接触部と、接触部を露出させて回路を被覆する絶縁層とを備えて構成されている。接触部は、検査時に被検査端子等に接触する。このようなプローブは絶縁フィルムと絶縁層との熱膨張係数の違いにより検査時に反りが生じ確実に検査を行うことができない、という問題があった。
【０００４】
この問題を解決するために、例えば絶縁フィルムや絶縁層の厚さの比率や熱膨張係数の比率を所定の値とすることで、反りを生じ難くしようとする技術が開示されている。（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平７−２４０４４３号公報（段落［００１１］、図１）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述した技術では、例えば被検査端子とプローブの接触部とを接触させて点灯検査をするとき等に、被検査端子とプローブの接触部との間に異物が混入すると確実な接触を確保することができなくなり、正確な検査を行うことができなくなる、という問題がある。
【０００６】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされるもので、被検査端子に検査端子を確実に接触させることが可能な検査装置及び検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の主たる観点に係る検査装置は、複数の被検査端子に接触させて電気的な検査をするための検査端子を有する検査装置において、基材上に設けられた配線と、前記配線上に設けられ、且つ前記配線と電気的に接続されてなるとともに、前記複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子とを有することを特徴とする。
【０００８】
本発明では、基材上に設けられた配線と、配線上に設けられ、且つ配線と電気的に接続されてなるとともに、複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子を有するので、例えば被検査端子に検査端子を接触させて電気的な検査をするときに、被検査端子と検査端子の一の接触部との間に異物が混入し接触を確保できないときでも、検査端子の一の接触部と他の接触部との間の基材が曲がることで、被検査端子と検査端子の一の接触部とが離れている状態でも被検査端子と検査端子の他の接触部とが離れた状態にならずに被検査端子と検査端子の他の接触部とが接触することができ、被検査端子に検査端子を確実に接触させることができる。
【０００９】
本発明の一の形態によれば、前記基材は可撓性を有することを特徴とする。これにより、基材は可撓性を有するので、例えば被検査端子に検査端子を接触させて電気的な検査をするときに、被検査端子と検査端子の一の接触部との間に異物が混入し接触を確保できないときでも、検査端子の一の接触部と他の接触部との間の基材が無理なく容易に曲がることで、被検査端子に検査端子の他の接触部を確実に接触させることができる。
【００１０】
本発明の一の形態によれば、前記配線は、前記検査端子が前記複数の被検査端子に同時に接触することができるように、配列してなる前記複数の被検査端子に沿って直線状に形成されていることを特徴とする。これにより、配線は、検査端子が複数の被検査端子に同時に接触することができるように、配列してなる複数の被検査端子に沿って直線状に形成されているので、例えば検査端子に電圧を印加することで、複数の被検査端子のそれぞれに略同時に電圧を印加することができ、検査を効率的にかつ確実に行うことができる。
【００１１】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、前記直線状の直線方向に直交する方向の一端側と他端側とにそれぞれ設けられてなることを特徴とする。これにより、複数の接触部は、直線状の直線方向に直交する方向の一端側と他端側とにそれぞれ設けられてなるので、例えば検査時に、検査端子と被検査端子とが交わる矩形状の領域の対角線上で矩形状の領域の一端側の角と他端側の角とに異なる接触部が位置するときに、確実に検査端子と被検査端子とを接触させることができる。また、例えば、矩形状の領域の対角線上で矩形状の領域の一端側の角と他端側の角とに接触部が設けられるようにすることで、異なる接触部の間隔を大きくすることができる。従って、一の接触部と被検査端子との間に異物が混入したときに、異なる接触部の間隔が小さい場合には基材が曲がり難いのに対して、異なる接触部の間隔が大きい場合には容易に基材が曲がり他の接触部と被検査端子との接触を確実に確保することができる。なお、直線方向に直交する方向の一端側から他端側に亘って形成された接触部が、矩形状の領域に位置していてもよい。
【００１２】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、前記直線状の直線方向に対して傾斜する方向に長手方向を有することを特徴とする。これにより、複数の接触部は、直線状の直線方向に対して傾斜する方向に長手方向を有するので、検査装置を被検査端子に対して配置する位置がずれても、同一の接触部により確実に接触させることができる。
【００１３】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、前記傾斜する方向に交差して延びる部分を含むように設けられていることを特徴とする。これにより、複数の接触部は、傾斜する方向に交差して延びる部分を含むように設けられているので、例えば傾斜する方向に交差して延びる部分により検査端子と被検査端子との接触面積を増加させることで確実に導通を図ることができる。
【００１４】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、前記直線方向に複数の矩形状に形成されていることを特徴とする。これにより、複数の接触部は、直線方向に複数の矩形状に形成されているので、検査端子の一の矩形状の接触部と被検査端子との間に異物が混入したときでも、検査端子の一の矩形状の接触部と他の矩形状の接触部との間の基材が曲がることで、検査端子の一の接触部と被検査端子とが離れた状態でも検査端子の他の矩形状の接触部と被検査端子とを確実に接触させることができる。また、検査端子は、複数の矩形状の接触部を有しているので、例えば一の矩形状の接触部が断線しても他の矩形状の接触部を被検査端子に接触させることができ、確実に検査を行うことができる。
【００１５】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、前記直線方向に交差して延びる部分を含むように設けられていることを特徴とする。これにより、複数の接触部は、直線方向に交差して延びる部分を含むように設けられているので、直線方向に交差して延びる部分の分だけ検査端子と被検査端子との接触面積を増加させることができ、正確な検査を行うことができる。
【００１６】
本発明の一の形態によれば、前記交差して延びる部分は、前記直線方向に対して傾斜していることを特徴とする。これにより、交差して延びる部分は、直線方向に対して傾斜しているので、例えば被検査端子に検査端子が接触するように検査装置を配置するときに、接触部を基材から剥すような力が被検査端子から検査端子に働いても、直線方向に対して傾斜している部分により接触部を補強することができ、接触部が基材から剥がれることを防止することができる。
【００１７】
本発明の一の形態によれば、前記複数の接触部は、メッシュ状に構成されていることを特徴とする。これにより、複数の接触部は、メッシュ状に構成されているので、例えば矩形状の接触部を複数有する場合に比べて、被検査端子との接触面積を増加させることで、検査時に確実に導通を図ることができる。
【００１８】
本発明の一の形態によれば、前記直線方向に直交する方向の前記複数の検査端子の両端縁部を被覆する保護膜を更に具備することを特徴とする。これにより、直線方向に直交する方向の複数の検査端子の両端縁部を被覆する保護膜を更に備えているので、例えば被検査端子に検査端子が接触するように検査装置を配置するときに、接触部を基材から剥すような力が被検査端子から検査端子に働いても、検査端子の両端縁部を保護膜で保護することで検査端子が基材から剥離することを防止することができる。
【００１９】
本発明の一の形態によれば、前記複数の被検査端子は、電気光学装置の複数のソース電極に繋がると共に前記直線方向に直交する方向で異なる第１、第２及び第３の位置にそれぞれ設けられており、前記検査端子は、前記第１の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第１の検査端子と、前記第２の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第２の検査端子と、前記第３の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第３の検査端子とを有することを特徴とする。
【００２０】
これにより、検査端子は、第１の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第１の検査端子と、第２の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第２の検査端子と、第３の位置の複数の被検査端子にそれぞれ複数箇所で接触可能な第３の検査端子とを有するので、例えば検査装置を電気光学装置にセットすることで、例えばソース電極に繋がる複数の第１の被検査端子に第１の検査端子をそれぞれ複数箇所で接触させ、ソース電極に繋がる複数の第２の被検査端子に第２の検査端子をそれぞれ複数箇所で接触させ、ソース電極に繋がる複数の第３の被検査端子に第３の検査端子をそれぞれ複数箇所で接触させることができる。また、第１、第２及び第３の検査端子に電圧を印加することで、例えば赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）毎に確実かつ容易にソース電極の点灯検査等を行うことができる。
【００２１】
本発明の他の観点に係る検査方法は、複数の被検査端子に接触させて電気的な検査をするための検査端子を有する検査装置を用いる検査方法であって、基材上に設けられた配線と、前記配線上に設けられ、且つ前記配線と電気的に接続されてなるとともに、前記複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子とを有する検査装置の該複数の接触部を、それぞれ前記複数の被検査端子に接触させる工程と、前記検査端子に電圧を印加する工程とを具備することを特徴とする。
【００２２】
本発明では、基材上に設けられた配線と、配線上に設けられ、且つ配線と電気的に接続されてなるとともに、複数の被検査端子と対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた接触部からなる検査端子とを有する検査装置の該複数の接触部を、それぞれ複数の被検査端子に接触させる工程と、検査端子に電圧を印加する工程とを備えているので、例えば被検査端子に検査端子を接触させて電気的な検査をするときに、被検査端子と検査端子の一の接触部との間に異物が混入し接触を確保できないときにも、検査端子の一の接触部と他の接触部との間の基材が曲がることで、被検査端子と検査端子の一の接触部とが離れている状態で被検査端子と検査端子の他の接触部との接触を確保することができ、被検査端子に検査端子を確実に接触させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明に実施形態を図面に基づき説明する。なお、以下実施形態を説明するにあたっては、電気光学装置としての液晶装置、具体的には反射半透過型のアモルファスＴＦＴ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）アクティブマトリックス方式の液晶装置、また、その液晶装置を用いた電子機器、液晶装置の検査装置及び検査装置を用いた検査方法について説明するが、これに限られるものではない。また、以下の図面においては各構成をわかりやすくするために、実際の構造と各構造における縮尺や数等が異なっている。
【００２４】
（第１の実施形態）
【００２５】
図１は第１の実施形態の液晶装置の概略斜視図、図２は図１の液晶装置のドライバＩＣ実装前の張り出し部の平面図、図３は図１の液晶装置のＡ−Ａ断面図である。
【００２６】
（液晶装置の構成）
【００２７】
液晶装置１は、液晶パネル２と、液晶パネル２に接続された回路基板３とを備えている。なお、液晶装置１は、液晶パネル２を支持する図示を省略したフレーム等のその他の付帯機構が必要に応じて付設される。
【００２８】
液晶パネル２は、基板４と、基板４に対向するように設けられた基板５と、基板４、５の間に設けられたシール材６及び基板４、５により封止された図示しない液晶とを備えている。液晶には、例えばＴＮ（Ｔｗｉｓｔｅｄ  Ｎｅｍａｔｉｃ）が用いられている。
【００２９】
基板４及び基板５は、例えばガラスや合成樹脂といった透光性を有する材料からなる板状部材である。基板４の液晶側には、ソース電極７、ゲート電極８、アモルファスＴＦＴである薄膜トランジスタ素子Ｔ及び画素電極９が形成されており、基板５の液晶側には、共通電極５ａが形成されている。
【００３０】
ソース電極７はＸ方向に、ゲート電極８はＹ方向に、それぞれ例えばアルミニウム等の金属材料等によって形成されている。ゲート電極８は、例えば図１に示すように上半分が左側に、下半分が右側に引き回されて形成されている。なお、ソース電極７及びゲート電極８の本数は、液晶装置１の解像度や表示領域の大きさに応じて適宜変更可能である。
【００３１】
薄膜トランジスタ素子Ｔは、ソース電極７、ゲート電極８及び画素電極９にそれぞれ電気的に接続される３つの端子を備えている。薄膜トランジスタ素子Ｔは画素電極９、ソース電極７、ゲート電極８に電気的に接続されている。これにより、ゲート電極８に電圧を印加したときにソース電極７から画素電極９に又はその逆に電流が流れるように構成されている。
【００３２】
また、基板４は、図１に示すように基板５の外縁から張り出した領域（以下、「張り出し部」と表記する）４ａを備えている。張り出し部４ａの面上には、図１に示すように入力配線１１〜１３、図１及び図２に示す出力配線１４〜１６が付設されていると共に、例えば液晶を駆動するためのドライバＩＣ１７、１８及び１９が実装されている。なお、図２では入力配線１１〜１３の図示を省略した。
【００３３】
入力配線１１は、図１に示すようにＸ方向に配設されている。また、入力配線１１は、図３に示す一端部の基板側入力端子１１ａが後述するドライバＩＣ１７の図３に示すドライバ側入力端子２３に接続され、他端部１１ｂが回路基板３の可撓性基材３１に付設された配線３６に図示しないＡＣＦ等を介して接続されている。なお、入力配線１２、１３は、図１に示すようにそれぞれ一端部の図示しない入力端子がドライバＩＣ１８、１９の図示しないドライバ側入力端子に接続される等している。
【００３４】
出力配線１４の一端部は、図２に示すように、画素電極９に対応して赤色、緑色及び青色を表示するときに用いられる例えばＹ方向に配設されたソース電極７にそれぞれ接続されている。出力配線１４の他端側には、図３に示すドライバ側出力端子２４に接続される基板側出力端子１４ａと、図２に示すように基板側出力端子１４ａに繋がる被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂとが形成されている。
【００３５】
図２に示すように、例えば基板側出力端子１４ａが略直線状に配列されている方向がＹ方向であり、Ｙ方向に直交する方向がＸ方向である。
【００３６】
基板側出力端子１４ａは、図２に示すように、例えばドライバＩＣ１７の一辺と平行となるようにＹ方向に略直線状に配列されている。それぞれの基板側出力端子１４ａは、図２に示すように、後述する検査時に本発明に係る検査装置の検査端子が接触する被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ又は１４Ｂに繋がっている。
【００３７】
被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂは、それぞれＸ方向に異なる第１、第２及び第３の位置に形成されている。例えば被検査端子１４Ｒが形成された第１の位置のＸ座標が最も大きく被検査端子１４Ｂが形成された第３の位置のＸ座標が最も小さく、被検査端子１４Ｇが形成された第２の位置のＸ座標が第１の位置と第３の位置の中間位置になっている。複数の被検査端子１４Ｒは、例えばそれぞれ同一直線上にＹ方向に配列されており、複数の被検査端子１４Ｇはそれぞれ別の同一直線上にＹ方向に配列されており、複数の被検査端子１４Ｂはそれぞれこれら２つの直線とは異なる同一直線上にＹ方向に配列されている。被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂは、例えばこの順番でＹ方向に周期的に配列されている。
【００３８】
出力配線１５の一端部は、図２に示すように、例えばゲート電極８に接続されている。出力配線１５の他端側には、ドライバＩＣ１８の図示しないドライバ側出力端子に接続された基板側出力端子１５ａが形成されており、図２に示すように基板側出力端子１５ａは被検査端子１５ｂ又は１５ｃに繋がっている。
【００３９】
被検査端子１５ｂ、１５ｃは、それぞれＸ方向に異なる位置に形成されている。例えば被検査端子１５ｂが形成された位置のＸ座標が被検査端子１５ｃが形成された位置のＸ座標よりも大きくなっている。被検査端子１５ｂ、１５ｃは、例えばこの順番でＹ方向に周期的に配列されている。
【００４０】
出力配線１６については、ドライバＩＣ１９の図示を省略したドライバ側出力端子に接続された基板側出力端子１６ａが形成されており、基板側出力端子１６ａは被検査端子１６ｂ又は１６ｃに繋がっている。
【００４１】
被検査端子１６ｂの隣には、例えば図示を省略した配線を介して共通電極５ａに接続された共通電極側端子３８が形成されている。共通電極側端子３８は、検査時に後述する検査装置の共通電極検査端子部に接触する。
【００４２】
ドライバＩＣ１７は、図３に示すように、シリコンチップ２０と、シリコンチップ２０の基板４と対向する実装面２０ａ側に設けられた例えばアルミニウム製の電極パッド２１、２２と、電極パッド２１、２２にそれぞれ接続されドライバＩＣ１７の実装面２０ａ側に突設されたドライバ側入力端子２３、ドライバ側出力端子２４とを備えている。
【００４３】
シリコンチップ２０は、図３に示すように例えば略矩形状のチップであり、電極パッド２１、２２に接続された図示を省略した配線等を備えている。この配線は、例えばトランジスタ等に接続されている。
【００４４】
電極パッド２１、２２は、シリコンチップ２０の実装面２０ａ側にドライバＩＣ１７の外形の一辺に平行となるようにＹ方向に配列して設けられている。
【００４５】
ドライバ側入力端子２３、ドライバ側出力端子２４は、略矩形状であり、それぞれＹ方向に等間隔で配列して設けられている。ドライバ側入力端子２３、ドライバ側出力端子２４は、基板側入力端子１１ａ、基板側出力端子１４ａにそれぞれ接続されている。これにより、入力配線１１からドライバＩＣ１７に入力された信号をドライバＩＣ１７により駆動用信号として出力配線１４に出力し液晶を駆動することができるように構成されている。なお、ドライバ側入力端子２３、ドライバ側出力端子２４のＹ方向の幅が、それぞれ基板側入力端子１１ａ、基板側出力端子１４ａの幅と略等しい例を示したが大きくても小さくてもよい。
【００４６】
ドライバＩＣ１７は、ドライバＩＣ１７と、基板４との間に設けられた例えばＡＣＦ（ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ  ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ  ｆｉｌｍ）２５により基板４に接着されている。
【００４７】
回路基板３は、図１に示すように、張り出し部４ａに例えば接着材等を介して電気的に接続されている。回路基板３は、可撓性基材３１と、可撓性基材３１に設けられた出力配線３２、入力配線３３と、ドライバＩＣ１７等を制御するために可撓性基材３１に実装された半導体ＩＣ３４とを備えている。可撓性基材３１には、例えばこの他にも図示を省略した電源供給用の半導体ＩＣ等が実装されている。
【００４８】
出力配線３２は、図１に示すように、例えばＸ方向に引き回されており、その一端が、可撓性基材３１に形成された図３に示すスルーホール内に設けられた接続部材３７を介して可撓性基材３１に付設された配線３６の端部に接続されている。出力配線３２の他端は、ＡＣＦ等を介して半導体ＩＣ３４の図示を省略した出力端子に接続されている。
【００４９】
入力配線３３は、図１に示すように、例えばＸ方向に引き回されている。入力配線３３の一端は、図１に示すように例えば半導体ＩＣ３４の図示しない入力端子にＡＣＦ等を介して接続されている。入力配線３３の他端は、例えば図示しない外部装置に電気的に接続されている。
【００５０】
次に、本発明に係る検査装置について図面を参照しながら説明する。
【００５１】
図４は本発明に係る検査装置の構成を示すブロック図、図５は図４に示す検査装置のプローブの部分平面図である。
【００５２】
（液晶装置１の検査装置の構成）
【００５３】
液晶装置１の検査装置４０は、例えばドライバＩＣ１７の実装前の液晶パネル２に試験的に信号を供給することで、例えばＲＧＢ等の点灯検査を行うために用いられる。例えば、信号の供給によって液晶パネル２に表示される画像を観察者が目視により確認することにより、配線の短絡や断線等に起因する欠陥の有無を検査するために用いられる。
【００５４】
検査装置４０は、図４に示すように、信号を生成しプローブ４２に供給することが可能な信号供給部４１と、信号供給部４１から信号を受け取り例えばドライバＩＣ１７等の実装前の液晶パネル２に信号を供給するためのプローブ４２とを備えている。
【００５５】
プローブ４２は、図５に示すように、例えばポリイミド等の樹脂製で可撓性を有する基材４３、基材４３の面上に付設されたソース電極検査端子部４４、ゲート電極検査端子部４５、４６及び共通電極検査端子部４７を備えている。
【００５６】
ソース電極検査端子部４４は、図５に示すように、基材４３上に設けられたソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａを備えている。例えばソース電極検査配線４８Ａは、Ｙ方向に配列された複数の被検査端子１４Ｒに接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたソース電極検査端子４８を備えている。また、ソース電極検査配線４９Ａ、５０Ａは、それぞれＹ方向に配列された複数の被検査端子１４Ｇ、１４Ｂに接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたソース電極検査端子を備えている。
【００５７】
図６は図５のプローブの領域Ｅの拡大平面図である。
【００５８】
ソース電極検査端子４８は、図６に示すようにそれぞれの被検査端子１４Ｒにそれぞれ複数箇所で接触可能な複数の接触部である複数の傾斜接触部５１を備えている。複数の傾斜接触部５１は、それぞれ図６に示すように被検査端子１４Ｒ等が配列されたＹ方向に対して傾斜して設けられている。隣り合う傾斜接触部５１のＹ方向の間隔は、例えばプローブ４２を被検査端子１４Ｒ等に接触させたときに、例えば被検査端子１４Ｒに複数の傾斜接触部５１が接触可能となるようにされている。例えば傾斜接触部５１のＸ方向の幅ａは、例えば０．０５ｍｍとされている。
【００５９】
図７は図６のプローブ４２のＢ−Ｂ断面図である。
【００６０】
傾斜接触部５１は、図７に示すように基材４３の一面側に設けられた複数の開口が形成された金属層５２と、金属層５２の傾斜接触部５１となる部分に積層された第１のメッキ層５３と、第１のメッキ層５３を覆うように設けられた第２のメッキ層５４と、図６に示すように金属層５２のＸ方向の両端縁部を被覆するように設けられた保護膜としての絶縁膜５５とで形成されている。すなわち、絶縁膜５５には、図６に示すように複数の傾斜接触部５１が露出するようにＹ方向に亘る開口部５５ａが形成されている。例えば異なる傾斜接触部５１は、それぞれの導通が図られている。基材４３からの傾斜接触部５１のＺ方向の高さは、絶縁膜５５の高さより高くなっている。
【００６１】
金属層５２の構成材料には例えば銅等が用いられており、第１のメッキ層５３、第２のメッキ層５４の構成材料には例えばＮｉ／Ａｕ合金等が用いられている。隣り合う傾斜接触部５１の間には、図６、図７に示すように金属層５２の開口に対応して設けられた凹状部５６が形成されている。金属層５２の開口から露出する基材４３が凹状部５６の底面となる。
【００６２】
ゲート電極検査端子部４５は、図５に示すように、基材４３上に設けられたゲート電極検査配線５７Ａ、５８Ａを備えている。例えばゲート電極検査配線５７ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１５ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極端子５７を備え、ゲート電極検査配線５８ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１５ｃにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子５８を備えている。ゲート電極検査端子５７、５８は、ソース電極検査端子４８の傾斜接触部５１と同様の図示を省略した傾斜接触部を複数備えている。
【００６３】
ゲート電極検査端子部４６は、図５に示すように、検査時に被検査端子１６ｂ、１６ｃにそれぞれ複数箇所で接触可能となるゲート電極検査配線５９Ａ、６０Ａを備えている。例えばゲート電極検査配線５９ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１６ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート配線検査配線５９を備え、ゲート電極検査配線６０ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１６ｃにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子６０を備えている。ゲート電極検査端子５９、６０は、ソース電極検査端子４８の傾斜接触部５１と同様の図示を省略した傾斜接触部を複数備えている。
【００６４】
共通電極検査端子部４７は、検査時に液晶パネル２の共通電極側端子３８に接触可能となるように例えば矩形状（ベタ形状）であり、ゲート電極検査端子部４６の隣に設けられている。なお、検査時に液晶パネル２の共通電極側端子３８に複数箇所で接触可能となるように例えばゲート電極検査端子部４６の隣に設けるようにしてもよい。この場合には、共通電極検査端子部４７は、例えばソース電極検査端子４８の傾斜接触部５１と同様の図示を省略した傾斜接触部を複数備えるようにすればよい。
【００６５】
（液晶装置１の製造方法）
【００６６】
次に、液晶装置１の製造方法について図面を参照しながら説明する。
【００６７】
図８は液晶装置１の製造工程を示すフローチャート、図９は検査装置を液晶パネルに接触させる前の状態を示す外観斜視図、図１０は検査装置を液晶パネルに接触させたときの状態を説明する断面図、図１１は液晶パネル２にプローブ４２を接触させたときの拡大平面図である。なお、本実施形態では、ドライバＩＣ１７等の実装前の液晶パネル２の製造工程（Ｓ１）については公知技術と同様なのでその説明を省略し、ドライバＩＣ１７実装前の液晶パネル２の点灯検査工程等（Ｓ２、Ｓ３）について中心的に説明する。
【００６８】
ドライバＩＣ１７等を実装前の液晶パネル２を製造し（Ｓ１）、本発明に係る図４に示す検査装置４０を用いて点灯検査を行う。
【００６９】
まず、図９に示すようなプローブ４２が液晶パネル２に対向するような状態から、プローブ４２のソース電極検査端子４８〜５０の傾斜接触部５１が、図１０、図１１に示すように被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂのそれぞれに複数箇所（図１１の斜線で示す領域）で接触可能となるように、ソース電極検査端子４８〜５０を被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂに接触させる。このとき、プローブ４２のゲート電極検査端子５７〜６０の傾斜接触部５１が被検査端子１５ｂ、１５ｃ、１６ｂ及び１６ｃのそれぞれに複数箇所で接触可能となり、共通電極検査端子部４７が複数箇所で共通電極側端子３８に接触可能となる（Ｓ２）。
【００７０】
次に、検査装置４０の信号供給部４１からソース電極検査端子４８〜５０、ゲート電極検査端子５７〜６０及び共通電極検査端子部４７に電圧を印加することで信号を供給する（Ｓ３）。
【００７１】
これにより、例えば、信号の供給によって液晶パネル２に表示した画像を観察者が目視により確認することで、ゲート電極８の短絡やソース電極７の断線等に起因する欠陥の有無を検査する。この際、例えば、ソース電極検査端子４８、４９及び５０毎に電圧を印加することで、被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂ毎にそれぞれ電気信号を供給し、点灯検査をする。
【００７２】
この検査により異常がないと判断したときには、ＡＣＦ２５を基板側入出力端子１１ａ、１４ａ側に貼り付け、図３に示すようにドライバ側入出力端子２３、２４と基板側入出力端子１１ａ、１４ａとを接続することで、ドライバＩＣ１７を実装する（Ｓ４）。
【００７３】
そして、液晶パネル２と、半導体ＩＣ３４が実装された回路基板３とを図示を省略した導電性の接着剤等を介して電気的に接続し（Ｓ５）、バックライトや反射シート等を設けるなどして液晶装置１を製造する（Ｓ６）。
【００７４】
以上で液晶装置１の製造方法についての説明を終了する。
【００７５】
このように本実施形態によれば、プローブ４３は、基材４３上に設けられたソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａと、ソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａ上に電気的に接続されて設けられるとともに複数の被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂと対向可能なそれぞれの領域に複数設けられた傾斜接触部５１からなるソース電極検査端子４８、４９及び５０を有するので、例えば被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８を接触させて検査するときに、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の一つの傾斜接触部５１との間に図１２に示すように異物Ｇが混入し接触を確保できないときでも、ソース電極検査端子４８の離間して隣り合う傾斜接触部５１の間の基材４３が曲がることで、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の一の傾斜接触部５１とが離れている状態でも被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の他の傾斜接触部５１とが離れた状態にならずに被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の他の傾斜接触部５１との接触を確保することができ、被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８を確実に接触させることができる。従って、検査対象である液晶パネル２の被検査端子１４Ｒ等と、プローブ４２との間に異物が混入することによる液晶パネル２の点灯不良を防止することができ、正確な点灯検査を行うことができる。
【００７６】
また、基材４３は可撓性を有しているので、例えば被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８を接触させて検査するときに、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子４８の一つの傾斜接触部５１との間に異物が混入し接触を確保できないときにも、隣合う傾斜接触部５１の間の基材４３が無理なく容易に曲がることで、被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８の他の傾斜接触部５１を確実に接触させることができる。
【００７７】
更に、例えばソース電極検査配線４８Ａ、４９Ａ及び５０Ａは、ソース電極検査端子４８、４９及び５０が複数の被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂに同時に接触することができるように、例えば配列されたソース電極検査端子４８に沿ってＹ方向に直線状に形成されているので、例えばソース電極検査端子４８に電圧を印加することで、複数配設された被検査端子１４Ｒのそれぞれに略同時に電圧を印加することができ、検査を効率的にかつ確実に行うことができる。
【００７８】
また、複数の傾斜接触部５１は、直線状の直線方向（Ｙ方向）に対して傾斜する方向に長手方向を有する、すなわち、Ｙ方向に対して傾斜して設けられているので、例えばプローブ４２を被検査端子１４Ｒに接触させて検査するときに、プローブ４２を被検査端子１４Ｒ等に対して配置する位置がずれても、同一の矩形状の傾斜接触部５１により確実に複数箇所で接触させることができる。
【００７９】
更に、複数の被検査端子１４Ｒが配設されたＹ方向に直交するＸ方向の複数のソース電極検査端子４８の両端縁部を被覆する絶縁膜５５を更に備えているので、例えば被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８が接触するように検査装置４０をセットするときに、被検査端子１４Ｒからソース電極検査端子４８にソース電極検査端子４８を剥すような力が働いても、金属層５２のＸ方向の両端縁部を絶縁膜５５で保護することでソース電極検査端子４８が基材４３から剥離することを防止することができる。
【００８０】
また、Ｙ方向に複数配設された被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂは、液晶パネル２の複数のソース電極７に繋がると共にＸ方向で異なる第１、第２及び第３の位置にそれぞれ複数設けられており、検査装置４０は、第１の位置の複数の被検査端子１４Ｒにそれぞれ複数箇所で接触可能なソース電極検査端子４８と、第２の位置の複数の被検査端子１４Ｇにそれぞれ複数箇所で接触可能なソース電極検査端子４９と、第３の位置の複数の被検査端子１４Ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能なソース電極検査端子５０とを備えている。
【００８１】
このため、例えば検査装置４０を液晶パネル２にセットすることで、例えばソース電極７に繋がる第１の位置の複数の被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８の傾斜接触部５１をそれぞれ複数箇所で接触させ、ソース電極７に繋がる第２の位置の複数の被検査端子１４Ｇにソース電極検査端子４９の傾斜接触部５１をそれぞれ複数箇所で接触させ、ソース電極７に繋がる第３の位置の複数の被検査端子１４Ｂにソース電極検査端子５０をそれぞれ複数箇所で接触させることができ、ソース電極検査端子４８〜５０に電圧を印加することで、例えば赤（Ｒ）、緑（Ｇ）及び青（Ｂ）毎に確実かつ容易にソース電極の点灯検査等を行うことができる。
【００８２】
（第２の実施の形態）
【００８３】
次に、本発明に係る第２の実施の形態の液晶装置、液晶装置の検査装置、及び検査方法について説明する。なお、本実施形態以降においては、上記実施形態と同一の構成部材等には同一の符号を付しその説明を省略し、異なる箇所（検査装置）を中心に説明する。なお、本実施形態においては、液晶装置の構成については第１の実施の形態と同様なのでその説明を省略する。
【００８４】
（検査装置の構成）
【００８５】
図１３は本発明に係る第２の実施の形態の検査装置のプローブの部分平面図である。
【００８６】
本実施形態では、第１の実施形態で用いられた検査装置４０を用いる代わりに図１３に示す検査装置７０を用いて液晶パネル２の点灯検査が行われる。
【００８７】
検査装置７０は、例えば図４に示すプローブ４２の代わりに図１３に示すプローブ７１を備えている。
【００８８】
プローブ７１は、図４に示すソース電極検査端子部４４、ゲート電極検査端子部４５、４６及び共通電極検査端子部４７の代わりに、図１３に示すように、それぞれ対応して基材７２上の略同じ位置に付設されたソース電極検査端子部７３、ゲート電極検査端子部７４、７５及び共通電極検査端子部７６を備えている。
【００８９】
ソース電極検査端子部７３は、図１３に示すように、基材７２に設けられたソース電極検査配線７７Ａ、７８Ａ及び７９Ａを備えている。例えばソース電極検査配線７７Ａは、Ｙ方向に配列された複数の被検査端子１４Ｒのそれぞれに複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたソース電極検査端子７７を備えている。また、ソース電極検査配線７８Ａ、７９Ａは、それぞれＹ方向に配列された複数の被検査端子１４Ｇ、１４Ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたソース電極検査端子７８、７９を備えている。
【００９０】
図１４は図１３に示す検査装置７０のプローブ７１の領域Ｗの拡大平面図である。
【００９１】
ソース電極検査端子７７は、例えば被検査端子１４Ｒが直線状に配列された直線方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）の一端側と他端側にＸ方向の上下に離間して設けられた配線状接触部８０ａ、１８０ａを備えている。上下に離間した２本の配線状接触部８０ａ、１８０ａは、例えば図１４に示すようにＹ方向に亘って形成されている。例えば被検査端子１４Ｒは図１４で斜線で示す２箇所で上下２本の配線状接触部８０ａ、１８０ａに接触しており、被検査端子１４Ｇは図１４で斜線で示す２箇所で上下２本の配線状接触部８０ｂ、１８０ｂに接触しており、被検査端子１４Ｂは図１４で斜線で示す２箇所で上下２本の配線状接触部８０ｃ、１８０ｃに接触している。例えば配線状接触部８０ｃのＸ方向の幅ｂは例えば０．０５ｍｍ、配線状接触部８０ｃ、１８０ｃ間の間隔ｃは例えば０．０３ｍｍとされている。なお、上下に離間した２本の配線状接触部８０ａ、１８０ａ等は端部において導通が図られている。
【００９２】
図１５は図１４のプローブ７１のＣ−Ｃ断面図である。
【００９３】
配線状接触部８０ａ、１８０ａは、例えば図１５に示すように基材７２の一面側に設けられた複数の配線状部を有する金属層８１と、金属層８１の配線状部に積層された第１のメッキ層８２と、第１のメッキ層８２を覆うように設けられた第２のメッキ層８３と、金属層８１のＸ方向の両端縁部を被覆するように設けられた絶縁膜８４とで形成されている。すなわち、基材７２からの配線状接触部８０ａのＺ方向の高さは、絶縁膜８４の高さより高くなっている。
【００９４】
金属層８１の構成材料には例えば銅等が用いられており、第１のメッキ層８２、第２のメッキ層８３の構成材料には例えばＮｉ／Ａｕ合金等が用いられている。
【００９５】
ゲート電極検査端子部７４は、図１３に示すように、検査時に被検査端子１５ｂ、１５ｃにそれぞれ接触するゲート電極検査配線８６Ａ、８７Ａを備えている。例えばゲート電極検査配線８６ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１５ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子８６を備え、ゲート電極検査配線８７ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１５ｃにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子８７を備えている。
【００９６】
ゲート電極検査端子部７５は、図１３に示すように、検査時に被検査端子１６ｂ、１６ｃにそれぞれ接触するゲート電極検査配線８８Ａ、８９Ａを備えている。例えばゲート電極検査配線８８ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１６ｂにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子８８を備え、ゲート電極検査配線８９ＡはＹ方向に複数配列された被検査端子１６ｃにそれぞれ複数箇所で接触可能となるようにＹ方向に亘って付設されたゲート電極検査端子８９を備えている。ゲート電極検査端子８８、８９は、ソース電極検査端子７７の配線状接触部８０ａ、１８０ａと同様の図示を省略した配線状接触部を複数備えている。
【００９７】
共通電極検査端子部７６は、検査時に液晶パネル２の共通電極側端子３８に接触可能となるように例えば矩形状（ベタ形状）であり、ゲート電極検査端子部７５の隣に設けられている。なお、検査時に液晶パネル２の共通電極側端子３８に複数箇所で接触するように例えばゲート電極検査端子部７５の隣に設けるようにしてもよい。この場合には、共通電極検査端子部７６は、ソース電極検査端子７７の配線状接触部８０ａ、１８０ａと同様の図示を省略した配線状接触部を複数備えるようにすればよい。
【００９８】
（液晶装置の製造方法）
【００９９】
次に、液晶装置の製造方法を図面を参照しながら説明する。なお、ドライバＩＣ１７等を実装する前の液晶パネル２を製造する工程（Ｓ１）、及びドライバＩＣ１７を実装する工程（Ｓ４）以降の工程については、第１の実施の形態と同様なのでその説明を省略し、異なる箇所（Ｓ３〜Ｓ４に対応する工程）を中心に説明する。
【０１００】
ドライバＩＣ１７等を実装前の液晶パネル２を製造し（Ｓ１）、本発明に係る検査装置７０を用いて以下に説明する点灯検査を行う。
【０１０１】
まず、プローブ７１のソース電極検査端子７７の配線状接触部８０ａ、１８０ａが、図１４に示すように被検査端子１４Ｒのそれぞれに複数箇所（図１４の斜線で示す領域）で接触可能となるように、プローブ７１を被検査端子１４Ｒに接触させる。このとき、プローブ７１のゲート電極検査端子８６〜８９の図示を省略した配線状接触部が被検査端子１５ｂ、１５ｃ、１６ｂ及び１６ｃのそれぞれに複数箇所で接触可能となり、共通電極検査端子部７６の図示を省略した配線状接触部が複数箇所で共通電極側端子３８に接触可能となる（Ｓ２）。
【０１０２】
次に、検査装置７０の信号供給部４１からソース電極検査端子７７〜７９、ゲート電極検査端子８６〜８９及び共通電極検査端子部７６に電圧を印加することで信号を供給する（Ｓ３）。
【０１０３】
これにより、例えば、信号の供給によって液晶パネル２に表示した画像を観察者が目視により確認することで、ゲート電極８の短絡やソース電極７の断線に起因する欠陥の有無を検査する。
【０１０４】
この検査により異常がないと判断したときには、ＡＣＦ２５を基板側入出力端子１１ａ、１４ａ側に貼り付け、図３に示すようにドライバ側入出力端子２３、２４と基板側入出力端子１１ａ、１４ａとを接続することで、ドライバＩＣ１７を実装する（Ｓ４）。
【０１０５】
以下、回路基板３を電気的に接続する工程（Ｓ５）以降は、第１の実施の形態と同様であるのでその説明を省略する。
【０１０６】
以上で液晶装置の製造方法についての説明を終了する。
【０１０７】
このように本実施形態によれば、ソース電極検査端子７７、７８及び７９は、例えば被検査端子１４Ｒ、１４Ｇ及び１４Ｂが直線状に配列された直線方向（Ｙ方向）に直交する方向（Ｘ方向）の一端側と他端側にＸ方向の上下に離間して設けられた配線状接触部８０ａ、１８０ａ、、８０ｂ、１８０ｂ及び８０ｃ、１８０ｃを備えるので、例えば被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子７７を接触させて検査するときに、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子７７の一つの配線状接触部８０ａとの間に異物が混入し接触を確保できないときでも、ソース電極検査端子７７の離間して隣り合う配線状接触部８０ａ、１８０ａの間の基材７２が曲がることで、被検査端子１４Ｒとソース電極検査端子７７の一の配線状接触部８０ａとが離れている状態でも被検査端子１４Ｒと他の配線状接触部１８０ａとが離れた状態にならずに被検査端子１４Ｒと他の配線状接触部１８０ａとの接触を確保することができ、被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子７７を確実に接触させることができる。また、ソース電極検査端子７７は、複数の配線状接触部８０ａ、１８０ａを備えているので、例えば一つの配線状接触部８０ａが断線しても他の配線状接触部１８０ａを被検査端子１４Ｒに接触させることができ、確実に検査を行うことができる。
【０１０８】
図１６はメッシュ状接触部を備えたプローブの部分平面図である。
【０１０９】
なお、第１の実施の形態では、検査装置４０のプローブ４２が例えば図６に示すようにソース電極検査端子４８を備えソース電極検査端子４８が複数の傾斜接触部５１を備えている例を示した。しかし、接触部は、傾斜接触部５１に限定されず、例えば図１６に示すように、検査装置のプローブ９１が例えばそれぞれメッシュ状接触部９５を備えたソース電極検査端子９２、９３及び９４等を備えるようにしてもよい。メッシュ状接触部９５は、基材７２に設けられたメッシュ状の金属層１０２と、金属層１０２のＸ方向の両端縁部を被覆する絶縁膜１０３と、金属層１０２のＸ方向両端縁部を除く位置に積層されたメッキ層１０４とで形成されている。メッシュ状接触部９５は、例えば絶縁膜１０３から露出しており、メッシュ状接触部９５のＸ方向の幅ｄは、例えば０．０７ｍｍとされている。検査時に、例えばプローブ９１のソース電極検査端子９２を液晶パネル２の被検査端子１４Ｒに接触させると、例えば図１６に斜線で示すように、ソース電極検査端子９２のメッシュ状接触部９５がそれぞれの被検査端子１４Ｒに複数箇所で接触する。被検査端子１４Ｇ、１４Ｂについては、メッシュ状接触部９５がそれぞれの被検査端子１４Ｇ、１４Ｂに複数箇所で接触する。
【０１１０】
このように、ソース電極検査端子９２は、メッシュ状接触部９５を備えているので、例えばソース電極検査端子９２を被検査端子１４Ｒに接触させたときに、被検査端子１４Ｒとの接触面積を増加させることで、検査時に確実に導通を図ることができる。
【０１１１】
図１７は補助配線部を備えたプローブの部分平面図である。
【０１１２】
また、第１の実施の形態では、検査装置４０のプローブ４２が例えば図６に示すようにソース電極検査端子４８を備えソース電極検査端子４８が複数の傾斜接触部５１を備えている例を示した。しかし、図１７に示すように、検査装置のプローブ１００がソース電極検査端子４８〜５０の代わりにソース電極検査端子９７、９８及び９９を備え、ソース電極検査端子９７、９８及び９９が、それぞれ傾斜接触部５１に加えて、各傾斜接触部５１に交差し接続して延びるように設けられた補助接触部１０１を備えるようにしてもよい。ソース電極検査端子９７の補助接触部１０１の本数は、例えば３本の例を示したが、この本数は限定されず適宜変更可能である。補助接触部１０１のＸ方向の幅ｅは例えば０．０２ｍｍ、補助接触部１０１間の幅ｆは例えば０．０２ｍｍとされている。検査時に、例えばプローブ１００のソース電極検査端子９７を液晶パネル２の例えば被検査端子１４Ｒに接触させると、例えば図１７に斜線で示すように、ソース電極検査端子９７の傾斜接触部５１に加えて補助接触部１０１がそれぞれの被検査端子１４Ｒに接触する。被検査端子１４Ｇ、１４Ｂについては、傾斜接触部５１に加えて補助接触部１０１がそれぞれの被検査端子１４Ｇ、１４Ｂに接触する。
【０１１３】
このように、例えばソース電極検査端子９７は、複数の傾斜接触部５１に交差して延びるように設けられた補助接触部１０１を備えているので、例えば補助接触部１０１がソース電極検査端子９７に接触する分だけ接触面積を増加させてより確実に導通を図ることができる。また、複数の被検査端子１４Ｒが配列されたＹ方向の被検査端子１４Ｒの幅ｗが狭いときでも、補助接触部１０１を被検査端子１４Ｒに確実に接触させることができる。更に、補助接触部１０１によりソース電極検査端子９７を補強することができ、検査時に被検査端子１４Ｒからソース電極検査端子９７に働く力により、基材４３からソース電極検査端子９７等が剥離することを防止することができる。
【０１１４】
（第３の実施形態・電子機器）
【０１１５】
次に、上述した液晶装置１を備えた本発明の第３の実施形態に係る電子機器について説明する。
【０１１６】
図１８は本発明の第３の実施形態に係る電子機器の表示制御系の全体構成の概略構成図である。
【０１１７】
電子機器３００は、表示制御系として例えば図１８に示すように液晶パネル２及び表示制御回路３９０などを備え、その表示制御回路３９０は表示情報出力源３９１、表示情報処理回路３９２、電源回路３９３及びタイミングジェネレータ３９４などを有する。
【０１１８】
また、液晶パネル２には表示領域Ｉを駆動するドライバＩＣ１７等を含む駆動回路３６１を有する。
【０１１９】
表示情報出力源３９１は、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ  Ｏｎｌｙ  Ｍｅｍｏｒｙ）やＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ  Ａｃｃｅｓｓ  Ｍｅｍｏｒｙ）などからなるメモリと、磁気記録ディスクや光記録ディスクなどからなるストレージユニットと、デジタル画像信号を同調出力する同調回路とを備えている。更に表示情報出力源３９１は、タイミングジェネレータ３９４によって生成された各種のクロック信号に基づいて、所定フォーマットの画像信号などの形で表示情報を表示情報処理回路３９２に供給するように構成されている。
【０１２０】
また、表示情報処理回路３９２はシリアル−パラレル変換回路、増幅・反転回路、ローテーション回路、ガンマ補正回路、クランプ回路などの周知の各種回路を備え、入力した表示情報の処理を実行して、その画像情報をクロック信号ＣＬＫと共に駆動回路３６１へ供給する。また、電源回路３９３は、上述した各構成要素に夫々所定の電圧を供給する。
【０１２１】
このように本実施形態によれば、例えば被検査端子１４Ｒにソース電極検査端子４８を確実に接触させることが可能な検査装置４０を用いて正確な点灯検査を行うことができるので、表示品位に優れた電子機器を得ることができる。
【０１２２】
具体的な電子機器としては、携帯電話機やパーソナルコンピュータなどの他に液晶装置が搭載されたタッチパネル、プロジェクタ、液晶テレビやビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、ＰＯＳ端末等が挙げられる。そして、これらの各種電子機器の表示部として、上述した例えば液晶装置１等が適用可能なのは言うまでもない。
【０１２３】
なお、本発明の電子機器は、上述した例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々変更を加えたり、組み合わせたりすることが可能なのは勿論である。
【０１２４】
例えば、上述の実施形態ではアモルファスＴＦＴ型の液晶装置１等について説明したがこれに限られるものではなく、例えばＬＰＴＳ−ＴＦＴ型（Ｌｏｗ  ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  ｐｏｌｙ  ｓｉｌｉｃｏｎ）、ＴＦＤ（Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｄｉｏｄｅ）アクティブマトリックス型、パッシブマトリクス型の液晶装置であってもよい。また、プラズマディスプレイ装置、電気泳動ディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Ｆｉｅｌｄ  Ｅｍｉｓｓｉｏｎ  Ｄｉｓｐｌａｙ及びＳｕｒｆａｃｅ‐Ｃｏｎｄｕｃｔｉｏｎ  Ｅｌｅｃｔｒｏｎ‐Ｅｍｉｔｔｅｒ  Ｄｉｓｐｌａｙ等）などの各種電気光学装置に本発明を適用してもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１２５】
【図１】第１の実施形態の液晶装置の概略斜視図である。
【図２】図１の液晶装置のドライバＩＣ実装前の張り出し部の平面図である。
【図３】図１の液晶装置のＡ−Ａ断面図である。
【図４】本発明に係る検査装置の構成を示すブロック図である。
【図５】図４に示す検査装置のプローブの部分平面図である。
【図６】図５のプローブの領域Ｅの拡大平面図である。
【図７】図６のプローブのＢ−Ｂ断面図である。
【図８】第１の実施形態の液晶装置の製造工程を示すフローチャートである。
【図９】検査装置を液晶パネルに接触させる前の状態を示す外観斜視図である。
【図１０】検査装置を液晶パネルに接触させたときの状態を説明する断面図である。
【図１１】液晶パネルにプローブを接触させたときの拡大平面図である。
【図１２】異物が挟まった状態を説明するための説明図である。
【図１３】本発明に係る第２の実施の形態の検査装置のプローブの部分平面図である。
【図１４】図１３に示す検査装置のプローブの領域Ｗの拡大平面図である。
【図１５】図１４の検査装置のＣ−Ｃ断面図である。
【図１６】メッシュ状接触部を備えたプローブの部分平面図である。
【図１７】補助配線部を備えたプローブの部分平面図である。
【図１８】本発明に係る第３の実施形態の電子機器の表示制御系の概略構成図である。
【符号の説明】
【０１２６】
Ｔ…薄膜トランジスタ素子、  Ｅ、Ｗ…領域、  Ｉ…表示領域、  ａ、ｂ、ｃ  幅、  １…液晶装置、  ２…液晶パネル、  ３…回路基板、  ４、５…基板、  ４ａ…張り出し部、  ５ａ…共通電極、  ６…シール材、  ７…ソース電極、  ８…ゲート電極、  ９…画素電極、  １１〜１３、３３…入力配線、  １１ａ…基板側入力端子、  １１ｂ…他端部、  １４〜１６、３２…出力配線、  １４ａ、１５ａ、１６ａ…基板側出力端子、  １４Ｒ、１４Ｇ、１４Ｂ、１５ｂ、１５ｃ、１６ｂ、１６ｃ…被検査端子、  １７、１８、１９…ドライバＩＣ、  ２０…シリコンチップ、  ２０ａ…実装面、  ２１、２２…電極パッド、  ２３…ドライバ側入力端子、  ２４…ドライバ側出力端子、  ２５…ＡＣＦ、  ３１…可撓性基材、  ３４…半導体ＩＣ、  ３６…配線、  ３７…接続部材、  ３８…共通電極側端子、  ４０、７０…検査装置、  ４１…信号供給部、  ４２、７１、９１、１００…プローブ、  ４３、７２…基材、  ４４、７３…ソース電極検査端子部、  ４５、４６、７４、７５…ゲート電極検査端子部、  ４７、７６…共通電極検査端子部、  ４８Ａ、４９Ａ、５０Ａ、７７Ａ、７８Ａ、７９Ａ…ソース電極検査配線、  ４８、４９、５０、７７、７８、７９、９２、９３、９４、９７、９８、９９…ソース電極検査端子、  ５１…傾斜接触部、  ５２、８１、１０２…金属層、  ５３、８２…第１のメッキ層、  ５４、８３…第２のメッキ層、  ５５、８４、１０３…絶縁膜、  ５５ａ…開口部、  ５６…凹状部、５７Ａ、５８Ａ、５９Ａ、６０Ａ、８６Ａ、８７Ａ、８８Ａ、８９Ａ…ゲート電極検査配線、  ５７、５８、５９、６０、８６、８７、８８、８９…ゲート電極検査端子、  ８０ａ、１８０ａ、８０ｂ、１８０ｂ、８０ｃ、１８０ｃ…配線状接触部、  ９５、９６…メッシュ状接触部、  １０１…補助接触部、  １０４  メッキ層、  ３００…電子機器、  ３６１…駆動回路、  ３６１…駆動回路
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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