(57)【要約】【課題】  容量低下のみならず、透過直列抵抗や誘電正接の増加によるコンデンサの劣化を検出することができるコンデンサの性能測定装置及び方法を提供する。【解決手段】  定電流源１１０によりサンプル２００を定電流充電する。このときサンプルの端子間電圧の変化をオシロスコープ１２０により測定する。端子間電圧が非線形素子の影響を受けない所定電圧以下の範囲において、端子間電圧の時間変化を良品の端子間電圧の時間変化と比較して良否判定を行う。【選択図】    図２
2007057402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンデンサの性能を測定するコンデンサの性能測定装置において、
前記コンデンサに定電流を供給する定電流源と、
前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測する電圧計測部と、
を備えることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記電圧計測部が、予め定められた電圧に達するまで前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測することを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項３】
請求項２に記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記予め定められた電圧が、前記コンデンサを含む回路に含まれる非線形素子の動作電圧よりも低い電圧であることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項４】
請求項２または３に記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記予め定められた電圧が０．３Ｖであることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれかに記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記電圧測定器により測定された測定結果を表示するための表示器を備えていることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれかに記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記電圧測定器により測定された測定結果を記憶するための記憶装置を備えていることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項７】
請求項６に記載されたコンデンサの性能測定装置において、
前記記憶部に記憶されている第１の測定結果と、該第１の測定結果とは異なる前記電圧測定器により測定された第２の測定結果とを比較する比較部を備えていることを特徴とするコンデンサの性能測定装置。
【請求項８】
コンデンサの性能を測定するコンデンサの性能測定方法において、
前記コンデンサに定電流を供給し、
前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測する、
ことを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項９】
請求項８に記載されたコンデンサの性能測定方法において、
予め定められた電圧に達するまで前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測することを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項１０】
請求項９に記載されたコンデンサの性能測定方法において、
前記予め定められた電圧が、前記コンデンサを含む回路に含まれる非線形素子の動作電圧よりも低い電圧であることを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項１１】
請求項９または１０に記載されたコンデンサの性能測定方法において、
前記予め定められた電圧が０．３Ｖであることを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項１２】
請求項８乃至１１のいずれかに記載されたコンデンサの性能測定方法において、
前記電圧測定器により測定された測定結果を表示器に表示することを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項１３】
請求項８乃至１２のいずれかに記載されたコンデンサの性能測定方法において、
前記電圧測定器により測定された測定結果を記憶装置を記憶させることを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載されたコンデンサの性能測定方法において、
前記記憶部に記憶されている第１の測定結果と、該第１の測定結果とは異なる前記電圧測定器により測定された第２の測定結果とを比較部において比較することを特徴とするコンデンサの性能測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、コンデンサの性能測定装置及び測定方法に関し、特に、回路基板上に搭載された状態でコンデンサの性能を測定できるコンデンサの性能測定装置及び測定方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
電解コンデンサは、その名の通り内部に電解液を含ませた紙を挟んで２枚のアルミ箔が巻き込まれている。この電解液が陰極の働きをすることで正極のアルミ箔にある酸化被膜との間に電荷を蓄積する構造である。従って経年変化や温度上昇等により内部の電解液が減少すると電解液（陰極）が接触している正極の面積が減ったり接触が不十分になったりするため、容量の低下や内部抵抗が増加しコンデンサとしての性能が低下する。このような電解コンデンサの性能低下を検出するために、コンデンサの性能測定装置が用いられる。
【０００３】
従来のコンデンサの性能測定装置は、コンデンサの端子間電圧が電源投入から所定電圧に達するまでの時間（立上り時間）を測定し、測定した立上り時間が予め設定したしきい値よりも短い場合にコンデンサの性能が劣化していると判定するように構成されている（例えば、特許文献１、２あるいは３参照。）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００２−３２３５２２号公報
【特許文献２】特開平５−２１５８００号公報
【特許文献１】特開平４−３０５１７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
（電解）コンデンサの劣化の原因には、静電容量の減少だけでなく、透過直列抵抗（ＥＳＲ）や誘電正接（タンデルタ：tanδ）の増加によるものがある。しかしながら、従来のコンデンサの性能測定装置は、コンデンサの立上り時間がしきい値より短い場合に、コンデンサが劣化していると判定するため、透過直列抵抗や誘電正接の増加によるコンデンサの劣化を検出することができないという問題点がある。
【０００６】
そこで、本発明は、透過直列抵抗や誘電正接の増加によるコンデンサの劣化をも検出することができるコンデンサの性能測定装置及び方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によれば、コンデンサの性能を測定するコンデンサの性能測定装置において、前記コンデンサに定電流を供給する定電流源と、前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測する電圧計測部と、を備えることを特徴とするコンデンサの性能測定装置が得られる。
【０００８】
当該コンデンサの性能測定装置においては、前記電圧計測部が、予め定められた電圧に達するまで前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測する。
【０００９】
前記予め定められた電圧は、前記コンデンサを含む回路に含まれる非線形素子の動作電圧よりも低い電圧、例えば０．３Ｖである。
【００１０】
また、本発明によれば、コンデンサの性能を測定するコンデンサの性能測定方法において、前記コンデンサに定電流を供給し、前記コンデンサの端子電圧の時間変化を計測する、ことを特徴とするコンデンサの性能測定方法が得られる。
【００１１】
当該コンデンサの性能測定方法においては、予め定められた電圧に達するまで前記コンデンサの端子電圧の時間変化が計測される。
【００１２】
前記予め定められた電圧は、前記コンデンサを含む回路に含まれる非線形素子の動作電圧よりも低い電圧、例えば０．３Ｖである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、静電容量の低下のみならず、透過直列抵抗や誘電正接の増加によるコンデンサの劣化をも検出することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【００１５】
まず、本発明の一実施の形態に係るコンデンサの性能測定装置によるコンデンサの性能測定方法の原理を図１を参照して説明する。
【００１６】
コンデンサに蓄積される電荷ｑは、コンデンサの端子間電圧ｖにそのコンデンサの静電容量ｃを乗じたものとして表わせる。即ち、ｑ＝ｃｖ、と表せる。また、コンデンサに蓄積される電荷ｑは、コンデンサに供給される定電流ｉにその電流が供給される時間ｔを乗じたものとして表せる。即ち、ｑ＝ｉｔ、と表せる。
【００１７】
これら２つの式から、電圧ｖを求めると、ｖ＝（ｉ／ｃ）ｔ、となる。つまり、コンデンサの端子間電圧ｖは、傾きｉ／ｃを持つ時間ｔの一次関数となる。また、これを静電容量ｃの式へ変形すると、ｃ＝（ｉｔ／ｖ）、となる。
【００１８】
以上のことから明らかなように、コンデンサに定電流ｉを供給しつつ、端子間電圧ｖの変化を時間軸で計測することにより、等価的に静電容量ｃを測定する事が可能となる。
【００１９】
実際の測定は、例えば、図２に示す様な測定装置１００を用いて行うことができる。即ち、サンプル（コンデンサ）２００に定電流を供給する定電流源１１０と、サンプル２００の端子間電圧の時間変化を観測するオシロスコープ１２０とにより行うことができる。
【００２０】
図３乃至図７に、互いに異なるサンプル２００に対して行った観測結果を示す。各図において、サンプルが正常（良品）とみなされる範囲を２本の直線で示してある。
【００２１】
図３は、サンプル２００が、正常な電解コンデンサ単体の場合の観測結果を示している。
【００２２】
図４は、サンプル２００が漏れ電流の多い電解コンデンサ単体である場合の観測結果を示している。図４を図３と比較すると、図４のほうが電圧の上昇が緩慢で、図３のものに比べ傾きが１０％以上少なく、正常に蓄電が進んでいないことが分かる。
【００２３】
図５は、サンプル２００として静電容量の極端に抜けたもの（性能劣化したもの）を測定した場合の観測結果を示している。極めて充電時間が短いことから蓄電能力が著しく劣化していることが分かる。
【００２４】
図６は、ある回路に組み込まれた状態のコンデンサをサンプル２００とした場合の観測結果を示している。ここでの測定電圧（最大充電電圧）は５Ｖである。この場合、回路に含まれる半導体部品（非線形素子）の影響を受けるため、充電が進むにつれ電圧上昇速度が次第に低下する。そのため、回路に組み込まれた状態のコンデンサは、その良不良の判定ができないように思える。しかし、図６の立上り開始部分を拡大した図７を見ると、端子間電圧が０．３Ｖ程度までの電圧変化は直線的である。したがって、回路に含まれる半導体部品の影響を受けない程度の電圧、例えば、０．３Ｖ、を測定電圧とすることにより、制度よく良否判定を行うことができる。
【００２５】
次に、図８を参照して、本発明の一実施の形態に係るコンデンサ測定装置の構成について詳細に説明する。
【００２６】
図８のコンデンサ測定装置８００は、Ａ−Ｄ変換器８０１、データ記憶装置８０２、システム制御装置８０３、操作パネル８０４、ＰＣ・インタフェース８０５、測定電圧源８０６、電圧計測部８０７、クロック発生器８０８、液晶表示器８０９、測定端子８１０、ＰＣ（パーソナルコンピュータ）８１１、及びデータ比較装置８１２を備えている。
【００２７】
測定端子８１０は、被測定コンデンサを接続するために使用される。
【００２８】
定電圧源８０６は、電圧計測部８０７に接続され、測定に用いられる電源（測定電源）を電圧計測部８０７に供給する。
【００２９】
電圧計測部８０７は、定電圧源８０６、測定端子８１０及びＡ−Ｄ変換器８０１に接続されている。この電圧計測部８０７は、定電圧源８０６から供給される測定電源を、被測定コンデンサの仕様に合う電流値（定電流）に調整する電流制限機能を備えている。換言すると、電圧計測部８０７は、定電流源として機能する。そして、測定電圧源８０６と電圧計測部８０７との組み合わせにより、被特定コンデンサに対して定電流・定電圧充電が可能となる。さらにまた、電圧計測部８０７は、測定端子８１０に接続される被測定コンデンサの端子間電圧の変化をＡ−Ｄ変換器８０１の入力レベルに合わせるよう変換するレベルシフターを内蔵している。
【００３０】
Ａ−Ｄ変換器８０１は、電圧計測部８０７、クロック発生器８０８及びシステム制御装置８０３に接続されている。このＡ−Ｄ変換器８０１は、所定のサンプリング周波数で（例えば３．５μsec毎に）、電圧計測部８０７から入力されるアナログ電圧をデジタルデータへ変換する分解能１０ビット程度のＡ−Ｄ変換機能を有している。
【００３１】
クロック発生器８０８は、Ａ−Ｄ変換器８０１に接続され、測定用時間の基準となるクロック信号、例えば２０ＭＨｚ程度の信号を発生する機能を有している。
【００３２】
データ記憶装置８０２は、システム制御装置８０３に接続され、被測定コンデンサの良否判定の基準として用いられる基本データ（基本特性カーブ）を、複数モデル分格納する機能を有する。基本データは、各モデル毎に、必要十分な所定数（複数）の基本コンデンサの性能（定電流充電に伴う端子間電圧変化）を測定した結果（測定データ）である。
【００３３】
システム制御装置８０３は、コンデンサ測定装置８００に内蔵される全ての構成要素を司る機能を有する。
【００３４】
操作パネル８０４は、スイッチやキーボードを搭載し、システム制御装置８０３に接続されている。操作パネル８０４は、オペレータの操作に応じてシステム制御装置８０３に対しコマンドを送出し、コンデンサ測定装置８００の各構成要素を動作させる機能を有する。
【００３５】
ＰＣ・インターフェイス８０５は、システム制御装置８０３とＰＣ８１１との間に接続され、これらの間で正しくデータのやりとりを行うための通信手順を提供する。ＰＣ・インターフェイス８０５は、たとえばＵＳＢ（Universal Serial Bus）やＩＥＥＥ１３９４等の通信プロトコルでデータの欠落や欠損の無い通信を行う機能を有する。
【００３６】
データ比較装置８１２は、システム制御装置８０３に接続され、電圧計測部８０７で計測されＡ−Ｄ変換器８０１でデジタルデータに変換された被測定コンデンサの端子間電圧の変化を表す測定データ（測定特性カーブ）と、データ記憶装置８０２に蓄積されている基準データ（基本特性カーブ）とを時系列で比較する。
【００３７】
測定データと基準データとの差の大きさが予め設定した閾値以下であれば、データ比較装置８１２は良品であるとの判定結果をシステム制御装置８０３へ出力する。また、測定データと基準データとの差の大きさが閾値を越えている場合には、データ比較装置８１２は、その差を表す情報、例えば、充電時間と電圧との関係を示すグラフにおけるズレ幅とズレ方向とを表す情報を、システム制御装置８０３へ出力する。
【００３８】
液晶表示器８０９は、システム制御装置８０３に接続され、計測結果や状態表示等を行うための各種データをシステム制御装置８０３から受け取り、その液晶画面へ表示を行う機能を有する。
【００３９】
次に、本実施の形態に係るコンデンサ測定装置８００の動作について、図９のフローチャートをも参照して説明する。なお、ここでは、電源ユニットに含まれる電解コンデンサを被測定コンデンサとする。
【００４０】
まず、測定の事前準備として、コンデンサ測定装置８００に基準データの登録を行う。基準データを得るため、良品のコンデンサが使用されている電源ユニット（良否判定の対象となる電源ユニットと同型の電源ユニット）を用意し、少なくとも一つの測定箇所を選定する。測定箇所は、電源ユニットに含まれる電解コンデンサの両端子あるいはその両端子に直接接続されている導電線上のどこかである。選定箇所には測定箇所ナンバー（ポイントナンバー）が割り当てられる。その後、以下のようにして、選定された電解コンデンサの性能測定を行い、基準データを得る。
【００４１】
コンデンサ測定装置８００の電源をオンすると（ステップＡ０１）、システム制御装置８０３は、装置８００をレディ状態として、液晶表示器８０９にメニュー選択画面を表示させる。
【００４２】
操作パネル８０４よりメニュー選択が行われると（ステップＡ０２）、システム制御装置８０３は、サンプリングモード（基準データの測定モード）が選択されたのかチェックモード（良否判定のための測定モード）が選択されたのかの判断を行う（ステップＡ０３）。ここでは、サンプリングモードが選択されたものとする。
【００４３】
次に、測定端子８１０をポイントナンバー“１”が割り当てられた測定箇所に接続し、スタートスイッチをオンする（ステップＡ０４）。
【００４４】
スタートスイッチがオンされると、電圧計測部８０７は、システム制御装置８０３の制御の下、測定端子８１０及び測定箇所を通じて測定対象の電解コンデンサに定電流を供給し充電する。同時に、電圧計測部８０７は、測定対象の電解コンデンサの端子間電圧を測定し測定結果をＡ−Ｄ変換器８０１へ出力する。測定は、端子間電圧が０．３Ｖに達するまで行う。Ａ−Ｄ変換器８０１は、クロック発生器８０８からのクロックを利用して所定のサンプリング周期で、電圧計測部８０７からの測定結果をデジタルデータに変換する。システム制御装置８０３は、Ａ−Ｄ変換器８０１の出力データをデータ記憶装置８０２に格納する（ステップＡ０５）。こうして、良品の電解コンデンサの充電時間（時間経過）に対する電圧変化を表すサンプルデータ（基準データ）の取り込みと記憶が行われる。
【００４５】
次に、システム制御装置８０３は、選定された全ての測定箇所（即ち、電解コンデンサ）について測定が終わったか否か判断する（ステップＡ０６）。選定された全ての測定箇所について性能測定が終わっていない場合（ステップＡ０６でＹｅｓ）、システム制御装置８０３は、ポイントナンバーをインクリメントし（ステップＡ０７）、次のポイントナンバーが割り当てられた測定箇所の測定を行う（ステップＡ０４〜Ａ０６）。以降、選定された全ての測定箇所について測定が終了するまで、ステップＡ０４〜Ａ０６を繰り返す。そして、選定された全ての測定箇所の測定が終わったと判断したならば、システム制御装置８０３は、装置をレディ状態にしてステップＡ０２へ戻る。
【００４６】
次に、コンデンサ測定装置８００を良否判定に用いる場合について説明する。
【００４７】
レディ状態のコンデンサ装置８００に対し、操作パネル８０４よりチェックモードが選択されると（ステップＡ０２）、システム制御装置８０３は、チェックモードが選択されたと判断する。
【００４８】
次に、測定端子８１０を所定の測定箇所に接続し、スタートスイッチをオンする（ステップＡ０８）。ここで、所定の測定箇所は、サンプルデータを取り組む際に決定した測定箇所と同じである。
【００４９】
ポイントナンバー“１”が割り当てられた測定箇所に測定端子８１０を接続した後、スタートスイッチがオンされると（ステップＡ０８）、サンプリングモードのときと同様にして、電圧計測部８０７が、システム制御装置８０３の制御の下、測定端子８１０を通じて測定対象の電解コンデンサに定電流を供給し、電解コンデンサの端子間電圧を測定する（ステップＡ０９）。
【００５０】
測定結果は、Ａ−Ｄ変換器８０１にデジタルデータ（測定データ）に変化され、システム制御装置８０３を介してデータ比較装置８１２へ送られる。システム制御装置８０３は、また、ポイントナンバーに対応する基準データをデータ記憶装置８０２から読み出し、データ比較装置８１２へ提供する。
【００５１】
データ比較装置８１２は、Ａ−Ｄ変換器８０１からの測定データと記憶装置８０２からのポイントナンバー“１”の基準データとを時系列で比較し、良否判定を行う（ステップＡ１０）。
【００５２】
データ比較装置８１２は、良否判定の結果、測定データと基準データとの差の大きさが予め設定した閾値以下であれば（測定データが正常範囲内にあれば）良品であるとの判定結果をシステム制御装置８０３へ出力する。また、データ比較装置８１２は、測定データと基準データとの差の大きさが閾値を越えている場合には、その差を表す情報をシステム制御装置８０３へ出力する。
【００５３】
システム制御装置８０３は、データ比較装置８１２からの情報を液晶表示器８０９に表示させる。システム制御装置８０３が、データ比較装置８１２からの測定データと基準データと差を表す情報から、劣化の原因として容量の低下、あるいは絶縁抵抗の低下、さらには回路上の障害などの判定を行うようにすることもできる。
【００５４】
なお、データ比較装置８１２は、被測定コンデンサが良品であるとの判定を行った場合であっても、測定データと基準データとの差の大きさを表す情報、例えば、測定データの基準データからの乖離度に所定の重み付けを行って得た数値を出力するようにしてもよい。この場合、システム制御装置８０３は、データ比較装置８１２から出力された数値に対して所定の演算を行い、被測定コンデンサの性能として、容量抜け傾向ｘｘ％あるいは絶縁不良傾向ＸＸ％といった結果を出力する。これにより、被測定コンデンサの性能が正常範囲内にあるときでも、どの程度劣化が進んでいるのかを知ることができる。さらに、被測定コンデンサのその後の劣化の程度を継続的にあるいは定期的に観測し、先に求めた演算結果と関連付けてデータベース化してデータ記憶装置８０２に格納しておくことにより、被測定コンデンサの劣化の程度に基づいてその残り寿命を推測することができるようになる。例えば、使用期間が５年で容量抜け傾向５％という結果から、あと２年で１０％以上の容量抜けを起こす等の推測が可能となる。
【００５５】
ステップＡ１０で被測定コンデンサが不良品であると判定されると、システム制御装置８０３は、不良品である旨等の表示を液晶表示器８０９に行わせ、コンデンサ測定装置８００は、その動作を停止する（ステップＡ１１）。
【００５６】
一方、ステップＡ１０で被測定コンデンサが良品と判定された場合、システム制御装置８０３は、全ての測定箇所について測定が終了したか否か判断する（ステップＡ１２）。全ての測定箇所について性能測定が終わっていない場合（ステップＡ０６でＹｅｓ）、システム制御装置８０３は、ポイントナンバーをインクリメントし（ステップＡ１３）、ステップＡ０８へ戻り次の測定箇所の測定を行う。
【００５７】
以降、いずれかの測定箇所で不良品との判定が成されるか、または全ての測定箇所の性能測定が終了するまで、上記ステップＡ０８〜Ａ１０及びＡ１２〜Ａ１３を繰り返す。
【００５８】
ステップＡ１２において、全ての測定箇所の性能測定が終わったと判断されたならば、システム制御装置８０３は、測定結果を液晶表示器に８０９に表示させ、その動作を停止する。
【００５９】
以上のようにして、本実施の形態に係るコンデンサの性能測定装置では、電源装置内のように、半導体素子などの能動素子に接続された状態のコンデンサの性能測定を短時間に制度良く行うことができる。
【００６０】
しかも、本実施の形態に係るコンデンサの性能測定装置では、静電容量の低下のみならず、透過直列抵抗や誘電正接の増加によるコンデンサの劣化をも検出することができる。
【００６１】
また、本実施の形態に係るコンデンサの測定装置は、被測定コンデンサの性能測定結果と良品の性能測定結果とを比較する方式であるため、性能の劣化の程度を判別でき、ある程度の余寿命の推測が可能になる。
【００６２】
さらに、本実施の形態に係るコンデンサの測定装置は、基準データとして設計値を採用し、単体のコンデンサを被測定コンデンサとすることにより、複数のコンデンサの性能に基づくランク分けに用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明によるコンデンサの性能測定方法の原理を説明するための図である。
【図２】本発明のコンデンサの性能測定方法を適用できるコンデンサの最も簡易な構成の性能測定装置の概略構成図である。
【図３】良品とみなされるサンプルに対して、図２の性能測定装置を用いて行った性能測定の結果を示すグラフである。
【図４】漏れ電流の多いサンプルに対して、図２の性能測定装置を用いて行った性能測定の結果を示すグラフである。
【図５】静電容量が極端に抜けたサンプルに対して、図２の性能測定装置を用いて行った性能測定の結果を示すグラフである。
【図６】回路に組み込まれた状態のサンプルに対して、図２の性能測定装置を用い、測定電圧５Ｖで性能測定を行った結果を示すグラフである。
【図７】図６の立上り部分を拡大したグラフである。
【図８】本発明の一実施の形態に係るコンデンサの性能測定装置の概略構成を示すブロック図である。
【図９】図８のコンデンサの性能測定装置の動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００６４】
１００    コンデンサの性能測定装置
１１０    定電流源
１２０    オシロスコープ
２００    サンプル
８００    コンデンサ測定装置
８０１    Ａ−Ｄ変換器
８０２    データ記憶装置
８０３    システム制御装置
８０４    操作パネル
８０５    ＰＣ・インタフェース
８０６    測定電圧源
８０７    電圧計測部
８０８    クロック発生器
８０９    液晶表示器
８１０    測定端子
８１１    ＰＣ
８１２    データ比較装置
【図１】
2007057402.tif 000003
【図２】
2007057402.tif 000004
【図３】
2007057402.tif 000005
【図４】
2007057402.tif 000006
【図５】
2007057402.tif 000007
【図６】
2007057402.tif 000008
【図７】
2007057402.tif 000009
【図８】
2007057402.tif 000010
【図９】
2007057402.tif 000011