(57)【要約】【課題】観察画像上の試料の位置ずれ補正を速やかに行える顕微鏡、及び観察画像上の試料の位置ずれを速やかに補正する補正方法を提供する。【解決手段】顕微鏡１００の制御装置４０は、電源ＯＮ信号を受けて、撮像装置８０を用いて試料ステージ３０の試料を撮像し、複数のターゲット枠を設定する。そして、検者により、そのなかの１つのターゲット枠が設定されるとその頂点座標を記憶する。その後、対物レンズ２０の倍率が変更されると、制御装置４０は、その拡大画像を撮像し、拡大されたターゲット枠の頂点座標を記憶する。そして、制御装置４０は、拡大前のターゲット枠周辺以外の領域をマスキングし、さらに拡大した画像を縮小する。その後、縮小した画像をパターンマッチングして最大マッチング位置を特定する。そして、その位置から、座標原点の移動量を求めて、Ｘ軸ステージ３１と、Ｙ軸ステージ３２とを移動させることにより、位置ずれを補正する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、前記試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第１の対物レンズを用いて、前記試料の第１の画像を撮像する第１撮像手段と、
前記第１の対物レンズが、該第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズに変更された後、前記試料の第２の画像を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成する縮小手段と、
前記第１撮像手段により撮像された前記第１の画像と前記縮小手段により生成された前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備えることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の観察対象領域以外の領域をマスクするマスク手段と、
前記マスク手段によりマスクされた前記第１の画像の観察対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備えることを特徴とする請求項１に記載の顕微鏡。
【請求項３】
前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の中心と前記第３の画像の中心とのｘ−ｙ座標上のずれを判別し、
前記位置補正手段は、前記ｘ−ｙ座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置をｘ座標軸方向及びｙ座標軸方向に補正する、
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の顕微鏡。
【請求項４】
前記ステージはｘ−ｙステージから構成され、
前記第１と第２の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の対物レンズで前記試料の第１の画像が撮像された後に、前記レボルバーが回転され、前記第２の対物レンズにより同一の前記試料について前記第２の画像を得られたときに、前記第１の画像の画像中心に対する前記第２の画像の画像中心のｘ−ｙ座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第１の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第２の対物レンズを介して撮像された前記第２の画像の画像中心となるように、前記ｘ−ｙステージを制御する、
ことを特徴とする請求項１、２又は３に記載の顕微鏡。
【請求項５】
コンピュータに、
第１撮像手段により、第１の対物レンズを用いて試料の第１の画像を撮像し、
前記第１の対物レンズが、該第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズに変更された後、第２撮像手段により、前記試料の第２の画像を撮像し、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を縮小手段により、１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成し、
前記第１撮像手段により撮像された前記第１の画像と前記縮小手段により生成された前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させる顕微鏡の制御プログラム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、顕微鏡のレボルバ回転時に発生する試料の位置ずれを補正する技術に関する。
【背景技術】
【０００２】
複数の対物レンズを備える顕微鏡は、レボルバというレンズの切り替え装置を用いて対物レンズの倍率を変更できる顕微鏡である。一般に、このような顕微鏡では、レボルバを使用して対物レンズの倍率を変更する場合、物理的に対物レンズが変わることによる光軸のずれ等が発生する。例えば、低倍率レンズを用いて観察画像の中心に表示させた試料が、高倍率のレンズにレボルバを用いて変更すると、観察画像における試料の位置が、中心からずれてしまう。
【０００３】
そして、このような試料の位置ずれに対して、対物レンズ毎に観察画像の画素ピッチを記憶し、その画素ピッチと観察画像とから、光軸のずれによる観察画像上に表示された試料の位置ずれを補正する技術が知られている（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特許第３４２９５１５号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１に記載された技術を用いた場合、試料の位置を記憶するために観察画像全体を読み取り、読み取った観察画像全体に対する試料の位置を求めるため、位置ずれを計算して補正するまでの処理時間がかかる場合がある。従って、研究者等の顕微鏡の使用者は、補正処理が終わるまで、顕微鏡の画像を注視する体勢をとることを強いられることが多かった。
【０００５】
また、観察画像に特徴的なパターンがひとつだけあるような場合には、対物レンズ毎に観察画像から光軸のずれを補正することは容易であるが、観察画像上に大量のパターンが存在し、しかもそのパターンがそれぞれ似通っているような場合には、目標とするパターンを特定することは非常に困難であった。
【０００６】
本発明は、上記実状に鑑みてなされたものであり、対物レンズを変更したときに発生する試料の位置ずれを速やかに補正する顕微鏡、及び顕微鏡の制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る顕微鏡は、
試料を載置するステージと複数の対物レンズを備え、該対物レンズを変更することにより、試料の観察倍率を変更できる顕微鏡であって、
第１の対物レンズを用いて、試料の第１の画像を撮像する第１撮像手段と、
前記第１の対物レンズが、該第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズに変更された後、前記試料の第２の画像を撮像する第２撮像手段と、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成する縮小手段と、
前記第１撮像手段により撮像された前記第１の画像と前記縮小手段により生成された前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求めるずれ量判別手段と、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する位置補正手段と、
を備えることを特徴とする。
【０００８】
また、前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の観察対象領域以外の領域をマスクするマスク手段と、
前記マスク手段によりマスクされた前記第１の画像の観察対象領域と前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求める位置判別手段と、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を求める相対ずれ量判別手段と、
を備えることを特徴としてもよい。
【０００９】
さらに、前記ずれ量判別手段は、前記第１の画像の中心と前記第３の画像の中心とのｘ−ｙ座標上のずれを判別し、
前記位置補正手段は、前記ｘ−ｙ座標上のずれをキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置をｘ座標軸方向及びｙ座標軸方向に補正することを特徴としてもよい。
【００１０】
また、前記ステージはｘ−ｙステージから構成され、
前記第１と第２の対物レンズはレボルバーに装着されており、
前記ずれ量判別手段は、前記第１の対物レンズで前記試料の第１の画像が撮像された後に、前記レボルバーが回転され、前記第２の対物レンズにより同一の試料について前記第２の画像を得られたときに、前記第１の画像の画像中心に対する前記第２の画像の画像中心のｘ−ｙ座標上でのずれ量を求め、
前記位置補正手段は、前記第１の画像の画像中心に対応する位置が、前記レボルバーの回転後に前記第２の対物レンズを介して撮像された前記第２の画像の画像中心となるように、ｘ−ｙステージを制御することを特徴としてもよい。
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明の第２の観点に係る顕微鏡の制御プログラムは、
コンピュータに、
第１撮像手段により、第１の対物レンズを用いて試料の第１の画像を撮像し、
前記第１の対物レンズが、該第１の対物レンズよりも倍率がｋ（ｋは１以上の実数）倍の第２の対物レンズに変更された後、第２撮像手段により、前記試料の第２の画像を撮像し、
前記第２撮像手段により撮像された前記第２の画像を縮小手段により、１／ｋ倍に縮小した第３の画像を生成し、
前記第１撮像手段により撮像された前記第１の画像と前記縮小手段により生成された前記第３の画像との相関をとることにより、前記第１の画像上の前記第３の画像の位置を求め、この前記第３の画像の位置から、前記第１の画像の撮像位置に対する前記第２の画像の撮像位置の相対的なずれ量を、ずれ量判別手段により求め、
前記ずれ量判別手段で判別されたずれ量をキャンセルするように、前記ステージと前記第２の対物レンズとの相対的位置を補正する、
動作を実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によれば、観察画像に対してマスクをかけることにより、大量のパターンが存在し、目標とするパターンを特定するのが困難な観察画像であっても、容易にパターンを特定することが可能となる。またマスクされた領域内で画像処理をすればよいので、画像処理に対する処理時間を短縮できるので、対物レンズを変更したことによる観察画像上の試料の位置ずれを速やかに補正することが可能となり、試料を観察する動作の負荷が軽減される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、この発明の実施の形態に係る顕微鏡について説明する。
【００１４】
本発明の実施の形態に係る顕微鏡１００は、図１に示すように、レボルバ１０と、対物レンズ２０と、接眼レンズ２５と、試料ステージ３０と、制御装置４０と、記憶装置５０と、入力装置６０と、表示装置７０と、撮像装置８０とから構成される。
【００１５】
レボルバ１０は、後述する複数の対物レンズ２０を固定するための装置である。検者は、このレボルバ１０を回転させることにより、レボルバ１０に固定された対物レンズ２０を選択して、所望の倍率の対物レンズ２０を用いて試料の観察を行う。
【００１６】
対物レンズ２０は、凸レンズと凹レンズを組み合わせたアクロマートレンズ等により構成されるレンズであり、検者は、この対物レンズ２０、および後述する接眼レンズ２５を介して試料を観察する。
【００１７】
接眼レンズ２５は、検者が直接眼にあてて対物レンズ２０を介して試料を観察するためのレンズである。
【００１８】
試料ステージ３０は、Ｘ軸ステージ３１と、Ｙ軸ステージ３２と、試料搭載台座３３とから構成される、試料を対物レンズ２０で観察するための部品である。検者は、備え付けの電動スイッチやレバー等を用いて、Ｘ軸ステージ３１、またはＹ軸ステージ３２を移動させて、試料を観察画像の所望の位置に表示させることができる。
【００１９】
制御装置４０は、例えば、CPU（Central Processing Unit：中央演算処理装置）やワークエリアとなるRAM（Random Access Memory）などから構成され、後述する各種制御動作を実行する。例えば、対物レンズ２０が変更されたことによる試料の位置ずれをパターンマッチングにより補正する計算をする。
【００２０】
記憶装置５０は、ハードディスク装置などの外部記憶装置から構成され、制御装置４０が計算した試料の位置ずれの補正計算結果や、表示装置７０に表示された観察画像等を記憶する装置である。
【００２１】
入力装置６０は、電動スイッチやレバー等から構成され、試料ステージ３０をＸＹ平面上に移動させたり、観察を開始する合図を制御装置４０に送る。
【００２２】
表示装置７０は、ディスプレイ等から構成され、対物レンズ２０を介して後述する撮像装置８０が撮像した観察画像を表示する装置である。
【００２３】
撮像装置８０は、ＣＣＤ（Charge  Coupled  Device）カメラ等から構成され、対物レンズ２０を介して試料搭載台座３３に置かれた試料を撮像する装置である。
【００２４】
次に、本実施形態の顕微鏡１００の位置ずれ補正処理の動作について、図１０〜図１１を参照して説明する。この位置ずれ補正処理は、画像記憶処理と、位置補正処理とから構成される。
【００２５】
まず、検者は試料を試料搭載台座３３に載せる。そして、顕微鏡１００の電源をＯＮにすると撮像装置８０で試料の撮像を開始して、画像記憶処理が始まる。
【００２６】
この画像記憶処理では、制御装置４０は、まず撮像装置８０に撮像指示を出し、この指示にもとづいて、撮像装置８０は試料を撮像する。そして、その画像を表示装置７０に表示する（ステップＳ１０）。
【００２７】
そして制御装置４０は、ステップＳ１０で撮像された画像から試料を検知して、その重心を中心として、図２（ａ）に示すようなターゲット枠９０および９１を設定し、その画像を表示装置７０に表示する（ステップＳ１１）。なお、ターゲット枠の大きさは、現在のものより高い倍率の対物レンズ２０を選択した時に、その対物レンズ２０によって画像を拡大した際に得られる視野に相当する。従って複数ある対物レンズ２０がそれぞれ選択された場合に表示されるターゲット枠は各々の倍率によって大きさが異なる。
【００２８】
次に、検者はステップＳ１１で撮像したターゲット枠９０および９１から所望のターゲット枠９０を入力装置６０を介して選択し、制御装置４０の制御の下でＸ軸ステージ３１、Ｙ軸ステージ３２を駆動して、図２（ｂ）に示すように、選択したターゲット枠９０の中心を自動的に視野の中心に移動させる。その結果、選択した試料Ｐａが視野の中心に設定される。画像１には観察対象である試料Ｐａの他にも大小様々なパターンが存在する。図２においては試料Ｐａの他にも例えばパターンＰｂやパターンＰｃといった２つのパターンが見えているが、ターゲット枠９０の中心が視野の中心に移動した結果、パターンＰｂはターゲット枠９０の外に位置し、パターンＰｃは一部がターゲット枠９０内に位置している。
【００２９】
その後制御装置４０は、中央に位置されたターゲット枠９０の各頂点座標を記憶する。また、その画像を画像１として記憶する（ステップＳ１２）。
【００３０】
次に、検者は、レボルバ１０を回転させて、画像１を拡大するために、高倍率の対物レンズ２０を設定する。制御装置４０は、対物レンズ２０が変更されたことを検出すると、位置補正処理を開始する。
【００３１】
位置補正処理では、制御装置４０は、まず撮像装置８０に撮像指示を出し、この指示にもとづいて、撮像装置８０は試料を撮像する。そして、図３に示すように、その画像を表示装置７０に表示し、ＲＡＭにその画像を画像２として記憶し、さらに図３に示すようなターゲット枠９０ａの座標（ｘ１,ｙ１）〜（ｘ４,ｙ４）を記憶する（ステップＳ２０）。
【００３２】
このとき、レボルバ１０を回転させることにより、ステップＳ１０で撮像した画像1と画像２との関係は、図４に示すようにΔｙだけ位置ずれが生じた状態となっている。その結果、画像１においてはターゲット枠９０内にはなかったパターンＰｂが視野内に大部分が位置し、パターンＰｃもほぼ全体が視野内に位置するようになっている。
【００３３】
続いて、ステップＳ１２で記憶した画像1を呼出し、その画像１に図５に示すように、周知の技術によりマスキングをする（ステップＳ２１）。具体的には、ステップＳ１２で記憶した画像１のターゲット枠９０の頂点座標で囲まれる矩形に対して、あらかじめ記憶された余白（ΔＸ、ΔＹ）を含めた頂点（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）〜（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）で囲まれる矩形以外の領域をマスキングし、この枠をマスキング枠９０Ａとする。余白を設定するのは、上述したように画像１と画像２との関係がΔｙだけ位置ずれした結果、パターンＰｂの一部や、パターンＰｃの大部分が存在するようになった画像２と画像１の相関を取らなければならないために、画像１のターゲット枠９０をパターンＰｂとパターンＰｃが含まれる領域まで拡大するためである。余白は、レボルバの位置決め精度や、拡大率によって適正な値が異なる。従って複数ある対物レンズ２０それぞれにおいて異なる値になる場合がほとんどである。
このようにすることで、現在のものより高い倍率の対物レンズ２０を選択したときに画像がずれても正しく相関をとることができるようになる。極端な場合、位置ずれによって画像１の試料Ｐａが画像２上から外れてしまっても画像１にマスクが設定された領域９０ＡにパターンＰｂとパターンＰｃが含まれ、画像２にパターンＰｂとパターンＰｃが含まれていれば、パターンＰｂとパターンＰｃを頼りに位置ずれ補正を行なうことも可能である。なお、ΔＸとΔＹは同じ値であってもよいし、互いに異なる値であってもよい。
【００３４】
次に、制御装置４０は、ステップＳ２０で撮像した画像２を制御装置４０のＲＡＭから呼び出す（ステップＳ２２）。ここで撮像した画像２を呼び出すのは、後述するマッチング処理で用いるためである。
【００３５】
そして、制御装置４０はステップＳ２０で記憶したターゲット枠９０の座標を、ステップＳ２０で記憶したマッチング処理をするための座標に合わせることにより、マッチング開始位置を設定する（ステップＳ２３）。具体的には、ステップＳ２０で記憶した座標（Ｘ４−ΔＸ,Ｙ４＋ΔＹ）に、座標（ｘ４、ｙ４）を座標変換等を行ってマッチング開始位置を求める。
【００３６】
続いて制御装置４０は、ステップＳ１０で撮像した画像１と画像２の相関をとるために画素数等を用いて周知の方法により、ステップＳ２０で撮像してＲＡＭに記憶した画像２を縮小し画像３を得る。そして、制御装置４０は、画像３を１画素ずつＸＹ方向にずらす毎に画像１と画像３の相関をとるマッチング処理を行う（ステップＳ２４）。マッチング処理を開始するときの画像を図６に示す。なお、必要とされる位置ずれ量の補正精度によっては、必ずしも１画素ずつ移動する必要は無いし、マッチング処理も移動毎に行なわなくとも良い場合がある。
【００３７】
制御装置４０は、画像１の（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）〜（Ｘ２+ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）で囲まれる矩形領域内で画像３を最小１画素ずつＸＹ方向に移動させる（ステップＳ２６）毎にマッチング処理を行なう（ステップＳ２４）。マッチング処理は図６に示すように、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ４−ΔＸ、Ｙ４＋ΔＹ）と画像３の（ｘ４、ｙ４）を合わせた状態から行い、マスキング枠９０Ａと画像３のターゲット枠９０ａのそれぞれ対応する座標、すなわち（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）と（ｘ１、ｙ１）、（Ｘ２＋ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）と（ｘ２、ｙ２）、（Ｘ３―ΔＸ、Ｙ３―ΔＹ）と（ｘ３、ｙ３）がそれぞれ一致するように移動して、マスキング枠９０Ａ内の全域において画像３との相関を取る。本実施例においては画像３のターゲット枠９０ａの座標（ｘ３、ｙ３）が、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ３−ΔＸ、Ｙ３−ΔＹ）に到達したところでマッチング処理を完了させる。
【００３８】
ＸＹ方向に画像３を移動させるにあたっては、マスキング枠９０Ａ内でＸ方向に往復動しながらマスキング枠９０Ａの−Ｙ方向に移動して行ってもよいし、同様にＹ方向に往復動しながら＋Ｘ方向に移動して行ってもよい。また、マッチング処理をスタートする位置は上述した位置でなくともよく、マスキング枠９０Ａと画像３のターゲット枠９０ａのそれぞれ対応する座標、すなわち（Ｘ１＋ΔＸ、Ｙ１＋ΔＹ）と（ｘ１、ｙ１）、（Ｘ２＋ΔＸ、Ｙ２−ΔＹ）と（ｘ２、ｙ２）、（Ｘ３―ΔＸ、Ｙ３―ΔＹ）と（ｘ３、ｙ３）のうち任意の場所から選んでよい。その場合のマッチング処理が終了する場所はマッチング処理スタート位置に応じてマスキング枠９０Ａ内の全域において画像３との相関が取れさえすればどこで終わってもよい。
【００３９】
制御装置４０は、縮小した画像の座標（ｘ３、ｙ３）が、マスキング枠９０Ａの座標（Ｘ３−ΔＸ、Ｙ３−ΔＹ）に到達したと判断したとき（ステップＳ２５；Ｙｅｓ）は、ステップＳ３４でマッチング処理した画像の中から、図７に示すような最もマッチング度の高い画像の座標を特定する（ステップＳ２７）。マッチング処理は、複数の画素毎に移動して画像１と画像３の相関を取り、マッチング度の高い領域を割り出してから、その領域内において細かく移動して画像１と画像３の相関を取り、最終的に最もマッチング度の高い画像の座標を特定するようにしても良い、このようにすればマッチング処理のさらなる高速化が可能である。
【００４０】
そして、制御装置４０は、ステップＳ２７で特定した座標から、原点を求め、その移動量を、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向に分けて算出する（ステップＳ２８）。
【００４１】
その後、制御装置４０は、図１に示すＸ軸ステージ３１をステップＳ２８で求めたＸ軸方向の原点移動量だけ移動させる（ステップＳ２９）。さらに、制御装置４０は、Ｙ軸ステージ３２をＹ軸方向の原点移動量だけ移動させる（ステップＳ３０）。
【００４２】
そして、このような位置ずれ補正処理を行って試料ステージ３０を移動させることにより、対物レンズ２０の倍率を高倍率に変更し、試料の位置ずれが生じたときでも、速やかにその位置ずれを補正することができる。
【００４３】
上記実施の形態は一例であり、本発明はこれに限られない。すなわち、種々の応用が可能であり、あらゆる実施の形態が本発明の範囲に含まれる。
【００４４】
例えば、上記実施例では、対物レンズ２０を変更したときにも、試料が表示装置７０が表示した画像に全て収まっている例を示しているが、例えば対物レンズ２０の倍率を変更したときに、図８に示すような状態となっている場合でも、その画像を縮小して、図９に示すようにマッチング処理を開始することにより、試料が一部分しか表示装置７０に表示されていない場合であっても位置ずれを補正することができる。
【００４５】
尚、顕微鏡１００の構成や動作等については、同様の機能構成が得られるならば、任意に変更可能である。例えば、上記実施形態では、制御装置４０、記憶装置５０等が顕微鏡本体と一体となった形態としているが、リモートコントローラ等を用いて、顕微鏡の試料ステージ３０等を遠隔操作して、対物レンズ２０を変更したときに用いるターゲット枠９０の設定を行ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の実施の形態に係る顕微鏡を模式的に示す図である。
【図２】図１に示す撮像装置が試料ステージに置かれた試料を撮像したイメージ図である。
【図３】図１に示すレボルバを操作して高倍率の対物レンズを用いて撮像装置が試料ステージに置かれた試料を撮像したイメージ図である。
【図４】図３に示す高倍率の対物レンズの画像と、低倍率の画像との位置ずれをあらわすイメージ図である。
【図５】撮像した画像をマスキングしたときの画像のイメージ図である。
【図６】パターンマッチング処理を開始するときの画像のイメージ図である。
【図７】パターンマッチング処理の結果を示す画像のイメージ図である。
【図８】試料が全てターゲット枠に収まらない場合の高倍率画像のイメージ図である。
【図９】図８に示す画像のパターンマッチング処理を開始するときのイメージ図である。
【図１０】本発明の実施をするための画像記憶処理の処理動作を説明するためのフローチャートである。
【図１１】本発明の実施をするための位置補正処理の処理動作を説明するためのフローチャートである。
【符号の説明】
【００４７】
１００  顕微鏡
１０    レボルバー
２０    対物レンズ
３０    試料ステージ
３１    Ｘ軸ステージ
３２    Ｙ軸ステージ
３３    試料搭載台座
４０    制御装置
５０    記憶装置
６０    入力装置
７０    表示装置
８０    撮像装置
９０    ターゲット枠（倍率変更前）
９０ａ  ターゲット枠（倍率変更後）
９０Ａ  マスキング枠
【図１】
2007272117.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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