(57)【要約】【課題】発光効率が高いプラズマディスプレイパネルを提供する。【解決手段】ＰＤＰ１の背面基板２において、ガラス基板５の上面上にＸ電極６及びＹ電極７を交互に設ける。また、Ｘ電極６とＹ電極７とを相互に連結するブリッジ部を設け、Ｘ電極６及びＹ電極７並びにブリッジ部により、井桁状の隔壁を形成する。そして、この隔壁の内面に白色誘電体層１１を形成し、この白色誘電体層１１上におけるガラス基板５の上面上及びブリッジ部の側面上に蛍光体層１２を形成する。蛍光体層１２は、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面上には形成しない。これにより、Ｘ電極６とＹ電極７との間に、蛍光体層１２が介在しない放電経路が形成されるようにする。一方、前面基板３において、ガラス基板１５の下面上に、アドレス電極を設ける。【選択図】図２
2007149376.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
背面基板と、
この背面基板に対向して配置された前面基板と、
前記背面基板と前記前面基板との間に封入された放電ガスと、
を備え、
前記背面基板は、
絶縁基板と、
この絶縁基板における前記前面基板に対向する表面上に離間して交互に配設され第１の方向に延びるそれぞれ複数のＸ電極及びＹ電極と、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とを連結し前記Ｘ電極及び前記Ｙ電極と共に放電セルを区画する井桁状の隔壁を構成するブリッジ部と、
前記絶縁基板の前記表面上及び前記ブリッジ部の側面上に形成され紫外線が入射されたときに可視光を出射する蛍光体層と、
を有し、
前記前面基板は、
透明基板と、
この透明基板における前記背面基板に対向する表面上に形成され前記第１の方向に交差する第２の方向に延びるアドレス電極と、
を有し、
前記Ｘ電極と前記Ｙ電極との間に、前記蛍光体層が介在しない放電経路が形成されることを特徴とするプラズマディスプレイパネル。
【請求項２】
前記Ｘ電極及び前記Ｙ電極はそれぞれ、
導電体からなるバス電極と、
このバス電極の周囲を覆う誘電体層と、
を有し、
前記蛍光体層は、前記Ｘ電極の側面上における前記バス電極の下面以上の高さの領域及び前記Ｙ電極の側面上における前記バス電極の下面以上の高さの領域には実質的に形成されていないことを特徴とする請求項１記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項３】
前記誘電体層の一部は、前記絶縁基板と前記バス電極との間に配置されており、その厚さは、前記蛍光体層における前記絶縁基板上に配置された部分の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項４】
前記絶縁基板の前記表面における前記隔壁により囲まれた領域には凹部が形成されており、前記蛍光体層は前記凹部内及び前記ブリッジ部の側面上に配置されていることを特徴とする請求項２記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項５】
前記Ｘ電極及び前記Ｙ電極における前記第１の方向に対して直交する断面の形状は、上辺が下辺よりも短い台形状であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項６】
前記蛍光体層は、感光性蛍光体により形成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項７】
前記透明基板の表面に対して垂直な方向から見て、前記アドレス電極は前記ブリッジ部と重なる位置に配置されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項８】
前記前面基板は、前記アドレス電極に接続された延出部を有し、前記延出部は、導電体からなるメッシュにより形成されており、前記透明基板の表面に垂直な方向から見て、前記アドレス電極から前記隔壁により囲まれた領域内に延出していることを特徴とする請求項７記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項９】
前記透明基板の表面に垂直な方向から見て、前記延出部における前記隔壁により囲まれた領域内に延出した部分の前記第１の方向における長さは、前記隔壁により囲まれた領域全体の前記第１の方向における長さの３分の１未満であることを特徴とする請求項８記載のプラズマディスプレイパネル。
【請求項１０】
前記アドレス電極の色は黒色であることを特徴とする請求項１〜９のいずれか１つに記載のプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プラズマディスプレイパネルに関し、特に、維持電極が相互に対向している対向電極型のＡＣ（交流）型のプラズマディスプレイパネルに関する。
【背景技術】
【０００２】
プラズマディスプレイパネル（Plasma Display Panel：以下、ＰＤＰともいう）においては、表示面側（視聴者側）に配置された前面基板と、この前面基板に対向するように配置された背面基板とが設けられており、両基板の間には、希ガス等の放電ガスが封入されている。そして、前面基板においては、ガラス基板等の透明基板上に、例えば画面の水平方向に延びるＸ電極及びＹ電極が延設されている。Ｘ電極及びＹ電極を総称して「維持電極」ともいう。一方、背面基板においては、ガラス基板等の絶縁基板上に、例えば画面の垂直方向に延びるアドレス電極が延設されており、このアドレス電極を覆うように白色誘電体層が形成されている。また、白色誘電体層上には井桁状又はストライプ状の隔壁が形成されており、この隔壁によって放電セルが区画されている。更に、隔壁の側面及び白色誘電体層の表面には蛍光体層が塗布されている。そして、Ｘ電極とＹ電極との間に放電を発生させると、この放電により発生した紫外線が蛍光体層に照射され、蛍光体層が可視光を発光するようになっている。
【０００３】
従来、維持電極は透明基板上に平面状に形成されており、この維持電極を覆うように、透明誘電体層が形成されていた。これに対して、近年、発光効率を向上させるために、維持電極を相互に対向させて配置する対向電極型のＰＤＰが提案されている（例えば、特許文献１参照）。  
図１４は、特許文献１に記載された対向電極型のＰＤＰを示す部分断面図である。  
この従来のＰＤＰ１０１においては、前面基板１０２及び背面基板１０３が相互に対向するように配置されており、その間の空間には放電ガスが封入されている。
【０００４】
前面基板１０２においては、ガラス基板１０５が設けられており、このガラス基板１０５における背面基板１０３に対向する側の表面上には、Ｘ電極１０６及びＹ電極１０７が交互に且つ相互に平行に設けられている。Ｘ電極１０６においては、ガラス基板１０５に接するように導電体からなるバス電極１０６ａが設けられており、このバス電極１０６ａにおけるガラス基板１０５と接していない面を覆うように、誘電体層１０６ｂが設けられている。同様に、Ｙ電極１０７においては、導電体からなるバス電極１０７ａと、このバス電極１０７ａを覆う誘電体層１０７ｂとが設けられている。
【０００５】
また、Ｘ電極１０６とＹ電極１０７との間には、両電極を相互に連結するブリッジ部（図示せず）が設けられており、このブリッジ部並びにＸ電極１０６及びＹ電極１０７により、井桁状の隔壁が形成されている。この隔壁により、複数の放電セル１１０が区画されている。そして、ガラス基板１０５及び隔壁を覆うように、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護膜１０８が設けられている。各放電セル１１０において、Ｘ電極１０６とＹ電極１０７との間には保護膜１０８以外の構成物は配置されておらず、放電セル１１０中に放電ガスを介した放電経路が形成されるようになっている。
【０００６】
一方、背面基板１０３においては、ガラス基板１１１が設けられており、このガラス基板１１１における前面基板１０２に対向する側の表面上に、アドレス電極１１２が設けられている。アドレス電極１１２は、Ｘ電極１０６及びＹ電極１０７が延びる方向に直交する方向に延びている。また、ガラス基板１１１上には、アドレス電極１１２を覆うように白色誘電体層１１３が設けられている。そして、白色誘電体層１１３上には井桁状の隔壁１１４が設けられている。この隔壁１１４は、前面基板１０２に形成された隔壁に対応する位置に配置されている。更に、隔壁１１４の側面及び白色誘電体層１１３の表面には、蛍光体層１１５が塗布されている。
【０００７】
このように構成された従来のＰＤＰ１０１においては、Ｘ電極１０６のバス電極１０６ａとＹ電極１０７のバス電極１０７ａとの間に電圧が印加されることにより、Ｘ電極１０６とＹ電極１０７との間に放電ガスを介した放電が発生する。この放電により紫外線が発生し、この紫外線が蛍光体層１１５に照射されると、蛍光体層１１５が可視光を発光する。この可視光が、前面基板１０２のガラス基板１０５を透過して、ＰＤＰ１０１の表示面から出射する。そして、１画面を表示する１フィールド内で各放電セル１１０における放電回数を制御することにより、ＰＤＰ１０１全体で画像を表示することができる。
【０００８】
【特許文献１】特開２００３−１５１４４９号公報（図６、図７）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、図１４に示す従来のＰＤＰ１０１には、以下に示すような問題点がある。即ち、このＰＤＰ１０１においても、発光効率がまだ不十分である。
【００１０】
本発明は、かかる課題の認識に基づいてなされたものであり、その目的は、発光効率が高いプラズマディスプレイパネルを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
本発明に係るプラズマディスプレイパネルは、背面基板と、この背面基板に対向して配置された前面基板と、前記背面基板と前記前面基板との間に封入された放電ガスと、を備え、前記背面基板は、絶縁基板と、この絶縁基板における前記前面基板に対向する表面上に離間して交互に配設され第１の方向に延びるそれぞれ複数のＸ電極及びＹ電極と、前記Ｘ電極と前記Ｙ電極とを連結し前記Ｘ電極及び前記Ｙ電極と共に放電セルを区画する井桁状の隔壁を構成するブリッジ部と、前記絶縁基板の前記表面上及び前記ブリッジ部の側面上に形成され紫外線が入射されたときに可視光を出射する蛍光体層と、を有し、前記前面基板は、透明基板と、この透明基板における前記背面基板に対向する表面上に形成され前記第１の方向に交差する第２の方向に延びるアドレス電極と、を有し、前記Ｘ電極と前記Ｙ電極との間に、前記蛍光体層が介在しない放電経路が形成されることを特徴とする。
【００１２】
本発明においては、Ｘ電極とＹ電極とが相互に対向しており、両電極間で放電が発生するため、放電開始電圧が低く、発光効率が高い。そして、背面基板に、Ｘ電極及びＹ電極と蛍光体層の双方が設けられているため、Ｘ電極とＹ電極との間に発生する放電の経路と、蛍光体層との間の距離が短い。従って、この放電に伴って発生する紫外線の発生位置と蛍光体層との間の距離が短い。このため、紫外線を可視光に変換する効率が高い。また、Ｘ電極とＹ電極との間に蛍光体層が介在しない放電経路が形成されるため、放電によって蛍光体層が劣化することがない。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、発光効率が高いプラズマディスプレイパネルを得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して詳細に説明する。  
先ず、本発明の第１の実施形態について説明する。  
図１は、本実施形態に係るＰＤＰを示す部分平面図であり、図２は、図１に示すＡ−Ａ’線による部分断面図であり、図３は、図１に示すＢ−Ｂ’線による部分断面図である。なお、図を簡略化するため、図１には、背面基板及びアドレス電極のみを示している。本実施形態に係るプラズマディスプレイパネルは、交流型のＰＤＰである。
【００１５】
図１乃至図３に示すように、本実施形態に係るＰＤＰ１においては、背面基板２及び前面基板３が相互に対向するように且つ相互に平行に配置されており、その間の空間には放電ガスが封入されている。放電ガスは例えば希ガスであり、例えば、キセノン（Ｘｅ）を７乃至１５体積％含有し、残部がネオン（Ｎｅ）からなるＮｅ−Ｘｅ混合ガスである。
【００１６】
背面基板２においては、絶縁基板としてガラス基板５が設けられており、このガラス基板５における前面基板３に対向する側の表面（以下、ガラス基板５の上面という）上には、Ｘ電極６及びＹ電極７が離間して交互に且つ相互に平行に設けられている。Ｘ電極６及びＹ電極７を総称して「維持電極」ともいう。また、Ｘ電極６及びＹ電極７は相互に対向している。維持電極が延びる方向は、例えば、画面の水平方向である。
【００１７】
Ｘ電極６においては、導電体からなり例えば画面の水平方向に延びるバス電極６ａが設けられており、このバス電極６ａの周囲を覆うように、誘電体層６ｂが設けられている。同様に、Ｙ電極７においては、導電体からなるバス電極７ａと、このバス電極７ａを覆う誘電体層７ｂとが設けられている。このため、バス電極６ａ及び７ａはガラス基板５には接触しておらず、ガラス基板５とバス電極６ａ及び７ａとの間には、誘電体層６ｂの一部及び誘電体層７ｂの一部がそれぞれ配置されている。バス電極６ａ及び７ａは、例えば、銀ペーストを焼結させて形成されたものであり、銀（Ａｇ）及び無機バインダーを含む材料により形成されている。また、誘電体層６ｂ及び７ｂは、例えば、鉛ガラス等の低融点ガラスにより形成されている。
【００１８】
Ｘ電極６とＹ電極７との間には、両電極が延びる方向に直交する方向、例えば、画面の垂直方向に延び、両電極を相互に連結するブリッジ部８が設けられており、このブリッジ部８並びにＸ電極６及びＹ電極７により、井桁状（格子状）の隔壁４が形成されている。ブリッジ部８は、例えば誘電体層６ｂ及び７ｂと同じ材料により形成されており、例えば、鉛ガラス等の低融点ガラスにより形成されている。この隔壁４により、背面基板２と前面基板３との間の空間が複数の放電セル１０に区画されている。
【００１９】
また、ガラス基板５の上面上及び隔壁４の側面上には、白色誘電体層１１が設けられている。即ち、白色誘電体層１１は、放電セル１０の背面基板２側の５つの内面上に形成されている。そして、白色誘電体層１１上におけるガラス基板５の上面上及びブリッジ部８の側面上に相当する部分には、蛍光体層１２が設けられている。即ち、蛍光体層１２は、ガラス基板５の上面上に形成された底部１２ａと、ブリッジ部８の側面上に形成された側部１２ｂとから構成されている。このように、蛍光体層１２は、放電セル１０の３つの内面上に形成されており、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面上には形成されていない。
【００２０】
蛍光体層１２は、紫外線が入射されたときに可視光、例えば、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）及び青色（Ｂ）のうちいずれかの色の光を出射するものである。そして、維持電極が延びる方向に直交する方向に配列された複数の放電セル１０には、同色の蛍光体層１２が形成されており、維持電極が延びる方向に配列された複数の放電セル１０には、赤色、緑色、青色の蛍光体層１２が繰り返し配列されている。これにより、各色の放電セル１０がストライプ状に配列されている。また、白色誘電体層１１は、蛍光体層１２が出射した光を前面基板３に向けて反射する反射層として機能するものである。
【００２１】
上述の如く、蛍光体層１２は、ガラス基板５の上面上及びブリッジ部８の側面上に形成されており、Ｘ電極６の側面上及びＹ電極７の側面上には形成されていない。また、誘電体層６ｂにおけるガラス基板５とバス電極６ａとの間に配置された部分の厚さ、及び誘電体層７ｂにおけるガラス基板５とバス電極７ａとの間に配置された部分の厚さは、蛍光体層１２におけるガラス基板５上に形成された部分の厚さよりも厚い。このため、蛍光体層１２におけるガラス基板５上に形成された部分の上面は、バス電極６ａ及び７ａの下面よりも低い位置にある。従って、蛍光体層１２は、Ｘ電極６の側面上におけるバス電極６ａの下面以上の高さの領域の一部、及びＹ電極７の側面上におけるバス電極７ａの下面以上の高さの領域の一部には形成されていない。これにより、バス電極６ａとバス電極７ａとの間に所定の電圧が印加されると、Ｘ電極６とＹ電極７との間に、蛍光体層１２が介在しない放電経路が形成されるようになっている。
【００２２】
そして、隔壁４、白色誘電体層１１及び蛍光体層１２を覆うように、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）からなる保護膜（図示せず）が設けられている。この保護膜は、放電によって白色誘電体層１１等がスパッタリングされることを防止すると共に、放電セル１０内に二次電子を供給するものである。
【００２３】
一方、前面基板３においては、透明基板としてガラス基板１５が設けられており、このガラス基板１５における背面基板２に対向する側の表面上に、アドレス電極１６が設けられている。アドレス電極１６は、Ｘ電極６及びＹ電極７が延びる方向に直交する方向、例えば、画面の垂直方向に延びている。そして、ガラス基板１５の表面に垂直な方向から見て（以下、平面視で、という）、アドレス電極１６はブリッジ部８と重なる位置に配置されており、アドレス電極１６の中心線はブリッジ部８の中心線と一致している。アドレス電極１６は、例えば、銀ペーストを焼結させて形成されたものであり、銀（Ａｇ）及び無機バインダーを含む材料により形成されている。アドレス電極１６の幅は例えば５０μｍであり、ブリッジ部８の幅は例えば７０μｍである。また、アドレス電極１６の色は例えば黒色である。
なお、アドレス電極１６の中心線とブリッジ部８の中心線８とをずらして配置してもよい。アドレス線１６をその左右の放電セルのいずれか一方に近づけて配置すると、その近接させた放電セルにおいてより確実に放電を開始させ、一方、遠ざけた放電セルにおいてクロストークが生ずることを抑制できる。
【００２４】
ガラス基板１５上には、アドレス電極１６を覆うように、全面に透明誘電体層１７が設けられている。設計上、透明誘電体層１７と隔壁４との間には、例えば１０μｍ程度のプロセスマージンを持たせてあるため、透明誘電体層１７と隔壁４との間には、１０μｍ程度の隙間が形成されている。但し、隔壁４の高さのばらつきにより、隔壁４の一部が透明誘電体層１７に当接していることもある。隔壁４と透明誘電体層１７との間に形成される隙間は、ＰＤＰの製造時に、各放電セルに放電ガスを充填するためのガス流路となる。  
なお、本明細書において、「Ｘ電極」、「Ｙ電極」とは、それぞれを構成する導電性のバス電極６ａ、７ａのみならず、これらバス電極を覆うように設けられた誘電体層６ｂ、７ｂも含めたものとする。
【００２５】
次に、本実施形態に係るＰＤＰ１の製造方法について説明する。  
先ず、背面基板２の作製方法について説明する。  
図４（ａ）乃至（ｃ）、図５（ａ）乃至（ｃ）、図６（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図である。
【００２６】
先ず、図４（ａ）に示すように、ガラス基板５を用意する。そして、例えばコーティング装置を使用して、このガラス基板５の上面上に誘電体ペーストを塗布した後、この誘電体ペースト中の溶剤が蒸発するような温度まで加熱して誘電体ペーストを乾燥させ、隔壁材料層４ａを形成する。誘電体ペーストには、例えば、溶剤及び低融点ガラスを含むペースト材料を使用する。  
次に、図４（ｂ）に示すように、ラミネーターを使用して隔壁材料層４ａ上にドライフィルムレジスト（ＤＦＲ：Dry Film Resist）９を貼付する。そして、ＤＦＲ９に対して露光及び現像を行って、バス電極６ａ及び７ａ（図２参照）が形成される予定の領域に、開口部９ａを形成する。  
次に、図４（ｃ）に示すように、このＤＦＲ９をマスクとしてサンドブラスト処理を行い、開口部９ａの直下域に位置する隔壁材料層４ａの上部を選択的に除去して、隔壁材料層４ａの上面に、一方向に延びる溝４ｂを形成する。このとき、溝４ｂの底部には、隔壁材料層４ａを２０乃至４０μｍ程度残す。その後、ＤＦＲ剥離液を使用してＤＦＲ９を剥離し、隔壁材料層４ａを純水により洗浄し、乾燥させる。
【００２７】
次に、図５（ａ）に示すように、スクリーン印刷法又はディスペンサー法等により、溝４ｂ内に銀ペースト等の導電性ペーストを充填させる。そして、この導電性ペースト中の溶剤が蒸発するような温度に加熱して、導電性ペーストを乾燥させる。これにより、導電材料体１３を形成する。導電材料体１３は、後の工程において焼成されて維持電極となるものである。  
次に、図５（ｂ）に示すように、コーティング法等により、全面に誘電体ペーストを塗布した後、この誘電体ペースト中の溶剤が蒸発するような温度に加熱して誘電体ペーストを乾燥させ、隔壁材料層４ｃを形成する。このとき、誘電体ペーストとして、図４（ａ）に示す工程において使用した誘電体ペーストと同じペーストを使用してもよく、異なるペーストを使用してもよい。以後、隔壁材料層４ａ及び４ｃを合わせて、隔壁材料層４ｄという。  
次に、図５（ｃ）に示すように、ラミネーターを用いて隔壁材料層４ｄ上にＤＦＲ１４を貼付する。そして、ＤＦＲ１４に対して露光及び現像を行って、隔壁４（図１参照）が形成される予定の領域を残し、それ以外の領域を除去して、開口部１４ａを形成する。
【００２８】
次に、図６（ａ）に示すように、ＤＦＲ１４（図５（ｃ）参照）をマスクとしてサンドブラスト処理を行い、隔壁材料層１４ｄにおける開口部１４ａに相当する部分を除去する。これにより、隔壁材料層１４ｄを隔壁形状に加工する。そして、ＤＦＲ洗浄液を使用してＤＦＲ１４を剥離し、加工後の隔壁材料層４ｄを純水により洗浄し、乾燥させる。  
次に、図６（ｂ）に示すように、スクリーン印刷法又はディスペンサー法等により、加工された隔壁材料層４ｄにより囲まれた空間に白色誘電体ペーストを充填させる。そして、この白色誘電体ペーストを、このペースト中に含まれる溶剤が蒸発するような温度まで加熱して乾燥させる。このとき、白色誘電体ペースト中の溶剤含有量を多くすることにより、乾燥後の層厚を薄くすることができる。そして、ガラス基板５及びその上に形成された構成物を、隔壁材料層４ｄ、導電材料体１３及び白色誘電体ペーストが焼結し、ガラス基板５が軟化しないような温度、例えば５２０乃至６００℃の温度に加熱して、焼成する。これにより、隔壁材料層４ｄが焼結して隔壁４となり、導電材料体１３が焼結してバス電極６ａ及び７ａとなり、白色誘電体ペーストが焼結して白色誘電体層１１となる。このとき、隔壁４のうちバス電極６ａ及び７ａを内包する部分はそれぞれＸ電極６及びＹ電極７となり、Ｘ電極６及びＹ電極７を相互に連結する部分はブリッジ部８（図１参照）となる。
【００２９】
次に、図６（ｃ）に示すように、スクリーン印刷法等により、隔壁４により囲まれた空間内にペースト状の感光性蛍光体（フォト蛍光体）１２ｃを被着させ、乾燥させる。次に、感光性蛍光体１２ｃ上にマスク５１（図１２（ａ）参照）を配置する。このマスクは、感光性蛍光体１２ｃのうち、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面上に位置する部分を覆い、ガラス基板５の上面上及びブリッジ部８の側面上に位置する部分を露出するようにパターニングされたものである。そして、このマスクを使用して感光性蛍光体１２ｃを露光し、現像する。このとき、感光性蛍光体１２ｃのうち露光された部分は硬化して現像後に残留し、露光されなかった部分は現像により除去される。これにより、図２に示す背面基板２が作製される。
【００３０】
次に、前面基板３の作製方法について説明する。  
図３に示すように、先ず、ガラス基板１５を用意する。そして、ガラス基板１５上に、スクリーン印刷法等により、感光性銀ペーストを全面に印刷する。そして、この感光性銀ペーストに対して露光及び現像を行ってパターニングし、感光性銀ペーストのうち、アドレス電極１６が形成される予定の部分のみを残し、残部を除去する。次に、ガラス基板１５及び感光性銀ペーストを、感光性銀ペーストが焼結し、ガラス基板１５が軟化しないような温度、例えば、５２０乃至６００℃の温度に加熱して、焼成する。これにより、感光性銀ペーストが焼結され、アドレス電極１６が形成される。
【００３１】
次に、ガラス基板１５上の全面に、コーティング法又はスクリーン印刷法により、アドレス電極１６を覆うように透明誘電体を塗布する。そして、ガラス基板１５、アドレス電極１６及び透明誘電体を、透明誘電体が焼結し、ガラス基板１５が軟化しないような温度に加熱して、焼成する。これにより、透明誘電体が焼結され、透明誘電体層１７が形成される。このようにして、前面基板３が作製される。
【００３２】
次に、背面基板２又は前面基板３の表面に、隔壁４が形成された領域を囲むようにシーリングフリットを形成する。そして、背面基板２と前面基板３とを重ね合わせる。このとき、Ｘ電極６及びＹ電極７が延びる方向と、アドレス電極１６が延びる方向とが、相互に直交するようにし、平面視で、アドレス電極１６と隔壁４のブリッジ部８が重なるようにする。その後、シーリングフリットを例えば４５０℃の温度で焼成する。次に、背面基板２、前面基板３及びシーリングフリットにより囲まれた空間内を排気し、この空間内に放電ガスを封入する。これにより、ＰＤＰ１が製造される。
【００３３】
次に、本実施形態に係るＰＤＰの動作について説明する。  
ＰＤＰ１においては、１画面を表示する１フィールドを複数のサブフィールドに分け、各サブフィールドに初期化期間、書込期間及び維持期間を設ける。そして、初期化期間において全ての放電セル１０を強制的に放電させて放電セル１０内の電荷分布を初期化した後、書込期間においてＸ電極６又はＹ電極７を走査しながらアドレス電極１６に選択的に電圧を印加することにより、そのサブフィールドにおいて発光させたい放電セル１０内に書込放電を発生させ、壁電荷を形成する。  
次に、維持期間においてＸ電極６のバス電極６ａとＹ電極７のバス電極７ａとの間に交流電圧を印加すると、壁電荷が形成された放電セル１０においてのみ、印加された交流電圧に壁電荷の電圧が重畳され、Ｘ電極６とＹ電極７との間で放電ガスを介した維持放電が発生する。そして、この維持放電に伴って、波長が例えば１．４７ｎｍの紫外線が発生し、この紫外線が蛍光体層１２に入射されると、蛍光体層１２が可視光を出射する。この可視光が、前面基板３の透明誘電体層１７及びガラス基板１５を透過して、ＰＤＰ１の表示面から出射される。
【００３４】
このとき、放電セル１０内においては、バス電極６ａ及び誘電体層６ｂが一体的にＸ電極６として機能し、バス電極７ａ及び誘電体層７ｂが一体的にＹ電極７として機能して、Ｘ電極６とＹ電極７との間に放電経路が形成される。このため、Ｘ電極６とＹ電極７との間で紫外線が発生する。そして、本実施形態に係るＰＤＰ１においては、一方の基板、即ち、背面基板２に、維持電極及び蛍光体層１２の双方が配置されているため、放電経路と蛍光体層１２との間の距離を短くし、紫外線の発生源と蛍光体層１２との間の距離を短くすることができる。このため、発生した紫外線を効率よく可視光に変換することができる。
【００３５】
また、ＰＤＰ１においては、Ｘ電極６の側面上におけるバス電極６ａの下面以上の高さの領域の一部、及びＹ電極７の側面上におけるバス電極７ａの下面以上の高さの領域の一部には、蛍光体層１２が形成されていない。このため、維持放電の放電経路に蛍光体層１２が介在することがなく、放電によって蛍光体層１２が劣化することがなく、ＰＤＰ１の信頼性が高い。なお、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面上の全面に蛍光体層１２が形成されていると、放電経路に蛍光体層１２が介在することになるため、放電に伴って蛍光体層１２が劣化してしまう。この結果、この劣化部分は発光しなくなり、暗く見えてしまう。
【００３６】
そして、１フィールドを構成する複数のサブフィールド間で維持放電の回数を相互に異ならせ、各放電セル１０について発光させるサブフィールドの組み合わせを選択することにより、放電セル１０毎に１フィールド内で発生させる放電回数を選択することができ、階調を表現することができる。これにより、ＰＤＰ１全体で画像を表示することができる。
【００３７】
次に、本実施形態の効果について説明する。  
本実施形態においては、背面基板に維持電極と蛍光体層の双方が配置されているため、従来よりも紫外線の発生源と蛍光体層との間の距離を短縮することができ、紫外線の利用効率を高めることができる。この結果、発光効率が高いＰＤＰを得ることができる。  
即ち、図１４に示す従来のＰＤＰの場合、維持電極（Ｘ電極１０６及びＹ電極１０７）は前面基板１０２に設けられており、蛍光体層１１５は背面基板１０３に設けられている。このため、Ｘ電極１０６とＹ電極１０７との間で形成される放電により生じる紫外線から見て、蛍光体層１１５までの距離が遠い。このために、放電により生じる紫外線の利用効率が必ずしも十分に高くなかった。これに対して、本実施形態によれば、維持電極（Ｘ電極６及びＹ電極７）並びに蛍光体層１２がいずれも背面基板２に設けられているため、紫外線の発生源から蛍光体層１２までの距離を大幅に短縮することができる。
【００３８】
また、本実施形態においては、蛍光体層がガラス基板の上面上及びブリッジ部の側面上のみに設けられていると共に、バス電極を覆う誘電体層の一部がガラス基板とバス電極との間に配置されており、その厚さが蛍光体層におけるガラス基板上に配置された部分の厚さよりも厚い。このため、蛍光体層は、Ｘ電極の側面上におけるバス電極の下面以上の高さの領域の一部及びＹ電極の側面上におけるバス電極の下面以上の高さの領域の一部には形成されず、Ｘ電極とＹ電極との間に電圧を印加すると、蛍光体層が介在しないような経路で放電を発生させることができる。即ち、Ｘ電極とＹ電極との間に、蛍光体層が介在しない放電経路が形成される。これにより、放電に伴って蛍光体層が劣化することがない。更に、本実施形態においては、蛍光体層を感光性蛍光体により形成しているため、蛍光体層を加工することができ、蛍光体層を上述の如く配置することができる。
【００３９】
更にまた、平面視で、アドレス電極がブリッジ部と重なっているため、蛍光体層により発光された光をアドレス電極が遮ることがない。このため、開口率が高く、光の利用効率が高い。更にまた、Ｘ電極及びＹ電極を相互に対向させた対向電極構造を採用しているため、面電極構造を採用した場合と比較して、放電開始電圧を低減して発光効率を高めることができる。更にまた、アドレスで電極の色が黒色であるため、表示される画像のコントラストを向上させることができる。
【００４０】
なお、前面基板３において、平面視でアドレス電極１６から放電セル１０内に延出するように、ＩＴＯ（Indium tin oxide film：インジウム錫酸化）等からなりアドレス電極１６に接続された透明電極（図示せず）が設けられていてもよい。これにより、書込放電の放電開始電圧を低下させると共に、書込放電を発生させる放電セルをより確実に選択することができる。
【００４１】
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。  
図７及び図８は、本実施形態に係るＰＤＰを示す部分断面図である。なお、本実施形態に係るＰＤＰを示す平面図は、図１と同様な図であり、図７が示す断面は、図１に示すＡ−Ａ’線による断面に相当し、図８が示す断面は、図１に示すＢ−Ｂ’線による断面に相当する。
【００４２】
図７及び図８に示すように、本実施形態に係るＰＤＰ２１においては、背面基板２２と前面基板３とが張り合わされており、両基板間に放電ガスが封入されている。前面基板３の構成は、前述の第１の実施形態における前面基板３と同様である。
【００４３】
背面基板２２においては、ガラス基板２５が設けられており、ガラス基板２５の上面上に、Ｘ電極２６及びＹ電極２７が交互に且つ相互に平行に設けられている。Ｘ電極２６においては、ガラス基板２５に接するようにバス電極２６ａが設けられており、このバス電極２６ａにおけるガラス基板２５に接していない表面を覆うように、誘電体層２６ｂが設けられている。同様に、Ｙ電極２７においては、ガラス基板２５に接するようにバス電極２７ａが設けられており、このバス電極２７ａにおけるガラス基板２５に接していない表面を覆うように、誘電体層２７ｂが設けられている。即ち、ガラス基板２５とバス電極２６ａ及び２７ａとの間には、誘電体層２６ｂ及び２７ｂは設けられていない。Ｘ電極２６とＹ電極２７との間には、両電極が延びる方向に直交する方向、例えば、画面の垂直方向に延び、両電極を相互に連結するブリッジ部２８が設けられており、このブリッジ部２８並びにＸ電極２６及びＹ電極２７により、井桁状の隔壁２４が形成されている。
【００４４】
ガラス基板２５の上面における隔壁２４により囲まれている領域、即ち、放電セル１０に相当する領域のそれぞれには、１つの凹部２５ａが形成されている。平面視で、凹部２５ａの外形は放電セル１０の外形と等しく、凹部２５ａの外縁は隔壁２４の根元に接している。そして、凹部２５ａは、隔壁２４から遠ざかるほど連続的に深くなっており、放電セル１０の中央部において最も深くなっている。即ち、凹部２５ａの内面はなだらかに連続した曲面をなしている。凹部２５ａの内面上及び隔壁２４の側面上には、白色誘電体層２９が設けられている。即ち、白色誘電体層２９は、放電セル１０における背面基板２２側の５つの内面上に形成されている。そして、白色誘電体層２９上における凹部２５ａの内面上及びブリッジ部２８の側面上に相当する部分には、蛍光体層３０が設けられている。蛍光体層３０は、Ｘ電極２６及びＹ電極２７の側面上には形成されていない。即ち、蛍光体層３０は、放電セル１０の３つの内面上に形成されている。
【００４５】
上述の如く、蛍光体層３０は、ブリッジ部２８の側面上に形成された部分を除けば、ガラス基板２５の凹部２５ａ内に設けられているため、Ｘ電極２６の側面上におけるバス電極２６ａの下面以上の高さの領域の一部及びＹ電極２７の側面上におけるバス電極２７ａの下面以上の高さの領域の一部には形成されていない。このため、バス電極２６ａとバス電極２７ｂとの間に所定の電圧が印加されると、Ｘ電極２６とＹ電極２７との間に蛍光体層３０が介在しない放電経路が形成される。
【００４６】
また、隔壁２４、白色誘電体層２９及び蛍光体層３０を覆うように、酸化マグネシウムからなる保護膜（図示せず）が設けられている。本実施形態における上記以外の構成は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００４７】
次に、本実施形態に係るＰＤＰ２１の製造方法について説明する。先ず、背面基板２２の作製方法について説明する。  
図９（ａ）乃至（ｃ）、図１０（ａ）乃至（ｃ）、図１１（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図である。
【００４８】
先ず、図９（ａ）に示すように、ガラス基板２５を用意する。そして、ラミネーターを用いて、このガラス基板２５の上面にＤＦＲ３１を貼付する。そして、このＤＦＲ３１を露光し現像することにより、後の工程で隔壁２４（図７参照）を形成する予定の領域のみにＤＦＲ３１を残し、それ以外の領域においてはＤＦＲ３１を除去する。  
次に、図９（ｂ）に示すように、ＤＦＲ３１をマスクとしてサンドブラスト処理を行い、ガラス基板２５の上面に凹部２５ａを形成する。このとき、凹部２５ａは、その内面がＤＦＲ３１により覆われた領域から遠ざかるに従って深くなる曲面をなすように加工される。そして、ＤＦＲ３１を除去する。  
次に、図９（ｃ）に示すように、ガラス基板２５上の全面に、誘電体ペースト（図示せず）を塗布する。そして、この誘電体ペースト中の溶剤が蒸発するような温度に加熱して、誘電体ペーストを乾燥させる。これにより、隔壁材料層３２を形成する。
【００４９】
次に、図１０（ａ）に示すように、ラミネーターを用いて、隔壁材料層３２の上面にＤＦＲ３３を貼付する。そして、このＤＦＲ３３を露光し現像することにより、後の工程で隔壁２４（図７参照）を形成する予定の領域であって、バス電極２６ａ及び２７ａを形成する予定の領域を除く領域のみにＤＦＲ３３を残し、それ以外の領域においてはＤＦＲ３３を除去する。  
次に、図１０（ｂ）に示すように、ＤＦＲ３３（図１０（ａ）参照）をマスクとしてサンドブラスト処理を行い、隔壁材料層３２を選択的に除去して、隔壁材料層３２を、バス電極を埋め込むための溝３２ａが形成された隔壁形状に加工する。そして、ＤＦＲ剥離液を使用して、ＤＦＲ３３を除去し、隔壁材料層３２を純水により洗浄し、乾燥させる。  
次に、図１０（ｃ）に示すように、例えばスクリーン印刷法等により、隔壁材料層３２の溝３２ａ内の下部に銀ペーストを充填させる。そして、この銀ペーストを乾燥させることにより、溝３２ａ内の下部に導電材料体３４を形成する。
【００５０】
次に、図１１（ａ）に示すように、スクリーン印刷法又はディスペンサー法等により、溝３２ａ内の上部、即ち、導電材料体３４上に、誘電体ペーストを充填させる。この誘電体ペーストには、図９（ｃ）に示す工程において使用した誘電体ペーストと同じものを使用してもよく、異なるものを使用してもよい。そして、この誘電体ペースト中の溶剤が蒸発するような温度に加熱して、誘電体ペーストを乾燥させる。これにより、溝３２ａ内の上部に、隔壁材料層３２ｂが形成される。
【００５１】
次に、図１１（ｂ）に示すように、スクリーン印刷法又はディスペンサー法等により、隔壁材料層３２により囲まれた空間に白色誘電体ペーストを充填させる。そして、この白色誘電体ペーストを、このペースト中に含まれる溶剤が蒸発するような温度まで加熱して乾燥させる。このとき、白色誘電体ペースト中の溶剤含有量を多くすることにより、乾燥後の層厚を薄くすることができる。次に、ガラス基板２５及びその上に形成された構成物を、隔壁材料層３２及び３２ｂ、導電材料体３４並びに白色誘電体ペーストが焼結し、ガラス基板２５が軟化しないような温度、例えば５２０乃至６００℃の温度に加熱して、焼成する。これにより、隔壁材料層３２及び３２ｂが焼結して隔壁２４となり、導電材料体３４が焼結してバス電極２６ａ及び２７ａとなり、白色誘電体ペーストが焼結して白色誘電体層２９となる。このとき、隔壁２４のうちバス電極２６ａ及び２７ａを内包する部分はそれぞれＸ電極２６及びＹ電極２７となり、Ｘ電極２６及びＹ電極２７を相互に連結する部分はブリッジ部２８（図８参照）となる。
【００５２】
次に、図１１（ｃ）に示すように、スクリーン印刷法等により、隔壁２４により囲まれた空間内にペースト状の感光性蛍光体３０ａを被着させ、乾燥させる。次に、感光性蛍光体３０ａの上方にマスク（図示せず）を配置する。このマスクには、感光性蛍光体３０ａのうち、Ｘ電極２６及びＹ電極２７の側面上に位置する部分を覆い、ガラス基板２５の上面上及びブリッジ部２８の側面上に位置する部分を露出するようにパターニングされたものを使用する。そして、このマスクを使用して感光性蛍光体３０ａを露光し、現像する。これにより、感光性蛍光体３０ａのうち露光された部分は硬化して現像後に残留し、露光されなかった部分は現像により除去される。この結果、図７に示すように、Ｘ電極２６の側面上及びＹ電極２７の側面上には蛍光体層３０が形成されず、ブリッジ部２８（図８参照）の側面上及び凹部２５ａ内にのみ蛍光体層３０が形成される。このようにして、背面基板２２が作製される。
【００５３】
一方、上述の背面基板２２の作製とは別に、前面基板３を作製する。そして、背面基板２２と前面基板３とを貼り合わせて、両基板間に放電ガスを封入する。前面基板３の作製方法及び両基板を貼り合わせて放電ガスを封入する方法は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００５４】
本実施形態においては、ガラス基板の上面に凹部を形成して、この凹部内に蛍光体層を設けることにより、Ｘ電極及びＹ電極のバス電極とガラス基板との間に誘電体層を設けることなく、蛍光体層におけるガラス基板上に形成された部分の上面をバス電極の下面よりも低い位置に位置させて、Ｘ電極の側面上及びＹ電極の側面上におけるバス電極の下面よりも高い領域に、蛍光体層が形成されていない領域を設けることができる。Ｘ電極とＹ電極との間に、蛍光体層が介在しない放電経路を形成することができる。このように、本実施形態においては、ガラス基板とバス電極との間に誘電体層を形成する必要がないため、背面基板の製造が容易である。本実施形態における上記以外の動作及び効果は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００５５】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。  
図１２（ａ）は、第１の実施形態における蛍光体層の加工方法を示す断面図であり、（ｂ）は、第３の実施形態における蛍光体層の加工方法を示す断面図である。  
図１２（ｂ）に示すように、本実施形態に係るＰＤＰにおいては、隔壁４４の長手方向に直交する断面の形状が、上辺が下辺よりも短い台形状となっており、隔壁４４の側面がテーパー状になっている。
【００５６】
図１２（ａ）は、前述の第１の実施形態におけるＰＤＰの製造方法のうち、図６（ｃ）に示す工程を示している。図１２（ａ）に示すように、第１の実施形態においては、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面がガラス基板５の上面に対して垂直になっている。このため、感光性蛍光体１２ｃのうち、Ｘ電極６及びＹ電極７の側面上に形成された部分の表面も垂直となっており、図１２（ａ）に示す工程においては、この垂直部分１２ｄを除去しなくてはならない。一方、感光性蛍光体１２ｃのうち、ガラス基板２５の上面上に形成された部分、即ち、その表面がガラス基板２５の上面に対して平行となっている水平部分１２ｅは、図１２（ａ）に示す工程において、除去せずに残留させなくてはならない。
【００５７】
感光性蛍光体１２ｃをパターニングするためには、例えば除去するべき部分をマスク５１により覆い、残留させるべき部分のみを露出させた上で、上方からレーザ光等の光５３を照射して露光し、その後現像する。このとき、感光性蛍光体１２ｃの垂直部分１２ｄは、マスク５１のエッジ部により覆うことになるが、光５３の照射方向が垂直部分１２ｄの表面と平行になるため、マスク５１による遮光に際して、極めて高い位置精度が要求される。
【００５８】
これに対して、本実施形態においては、図１２（ｂ）に示すように、隔壁４４の長手方向直交断面の形状が台形状となっており、Ｘ電極４６及びＹ電極４７の側面がテーパー状になっている。このため、感光性蛍光体１２ｃのうち、Ｘ電極４６及びＹ電極４７の側面上に形成された部分の表面が、光４３の照射方向に対して傾斜する。従って、光５３の照射方向から見て、感光性蛍光体１２ｃにおけるＸ電極４６及びＹ電極４７の側面上に形成された部分の面積が大きく、遮光の位置精度に関して許容される誤差が大きい。このため、感光性蛍光体１２ｃの加工が容易である。  
感光性蛍光体を使わず、エッチングやサンドブラストなどによって蛍光体をパターニングするような場合にも、同様の作用効果が得られる。
【００５９】
隔壁の長手方向直交断面の形状を台形状にするためには、図４（ａ）に示す工程において、ガラス基板５上に塗布する誘電体ペーストとして、焼成収縮率が高い誘電体ペースト、例えば、焼成収縮率が８０％以上の誘電体ペーストを使用すればよい。これにより、図６（ｂ）に示す工程において、この誘電体ペーストを乾燥させて形成された隔壁材料層４ｄを焼成するときに、隔壁材料層４ｄがガラス基板５並びにバス電極６ａ及び７ａによって拘束されながら収縮するため、焼成後には、隔壁４の断面形状は上辺が下辺よりも短い台形状となる。または、図６（ａ）に示す工程において、隔壁材料層４ｄに対してサンドブラスト処理を施す際に、処理時間を短めに設定すればよい。これにより、隔壁４の上部が下部よりも優先的に除去されるため、隔壁４の断面形状は、上辺が下辺よりも短い台形状となる。又は、上述の焼成収縮率が高い誘電体ペーストを使用する方法、及びサンドブラスト処理の処理時間を短くする方法を併用してもよい。
【００６０】
このように、本実施形態においては、前述の第１の実施形態と比較して、ＰＤＰの製造に際して蛍光体層の加工が容易であり、製造コストが低い。本実施形態における上記以外の構成、製造方法、動作及び効果は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００６１】
なお、本実施形態は、前述の第２の実施形態と組み合わせることもできる。この場合、隔壁の断面形状を台形状にして、隔壁の側面をテーパー状にするためには、図９（ｃ）に示す工程において、ガラス基板２５上に塗布する誘電体ペーストとして、焼成収縮率が高い誘電体ペースト、例えば、焼成収縮率が８０％以上である誘電体ペーストを使用すればよい。これにより、図１１（ｂ）に示す工程において、この誘電体ペーストを乾燥させて形成された隔壁材料層３２を焼成する際に、隔壁材料層３２がガラス基板２５並びにバス電極２６ａ及び２７ａによって拘束されながら収縮するため、焼成後には、隔壁２４の断面形状は、上辺が下辺よりも短い台形状となる。この結果、Ｘ電極及びＹ電極の側面上に形成される蛍光体層の表面が光の入射方向に対して傾斜するため、蛍光体層を容易に加工することができる。
【００６２】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。  
図１３は、本実施形態に係るＰＤＰを示す部分平面図である。なお、図１３においては、図を簡略化するために、前面基板のアドレス電極及び延出部、並びに背面基板のガラス基板及び隔壁のみを示している。  
本実施形態に係るＰＤＰ６１においては、前面基板において、アドレス電極１６に接続された延出部６２が設けられている。平面視で、延出部６２は、アドレス電極１６から、アドレス電極１６が延びる方向に直交する方向（以下、延出方向という）に沿って、隔壁４によって囲まれた領域、即ち、放電セル１０に相当する領域内に延出している。
【００６３】
延出部６２の形状は、例えば、アドレス電極１６に接する辺が底辺であり、延出方向先端部が頂点である鈍角二等辺三角形である。ただし、延出部６２に形状はこの具体例には限定されず、その他にも例えば、アドレス電極１６に対してほぼ垂直な方向に突出したストライプ状のパターンなどでもよい。また、延出部６２は、導電材料、例えば、銀及び無機バインダーを含む材料からなるメッシュにより形成されている。メッシュを構成する各線材の幅は可及的に細い方が好ましく、例えば数μｍ以下であることが好ましい。更に、平面視で、延出部６２における放電セル１０内に延出した部分の延出方向における長さをＬＡとし、延出方向における放電セル１０全体の長さをＬＢとするとき、長さＬＡは長さＬＢの３分の１未満、即ち、ＬＢ＞３×ＬＡである。延出部６２は、アドレス電極１６と同時に形成されたものである。本実施形態における上記以外の構成及び製造方法は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００６４】
前述の第１の実施形態においては、放電セルの開口率を高くするために、平面視で、アドレス電極を隔壁と重なる位置に配置している。一方、書込放電の放電開始電圧を低下させ、また書込放電を発生させる放電セルをより確実に選択するためには、アドレス電極から放電セル内に相当する領域内に電極を引き出せばよいが、そうすると、引き出した電極の分だけ開口率が低下してしまう。そこで、従来より、アドレス電極から放電セルに相当する領域内に引き出す延出部を、ＩＴＯ等の透明導電材料により形成している。しかし、この方法では、高価なＩＴＯを使用する必要があるため、ＰＤＰのコストが増大してしまうという問題点がある。
【００６５】
そこで、本実施形態においては、延出部６２をメッシュ状とし、導電材料、例えば、アドレス電極１６を形成する材料により形成する。これにより、延出部６２に、ある程度の透光性と高い導電性とを併せ持たせることができる。この結果、高価なＩＴＯを使用することなく、高い開口率を維持したまま、書込放電の放電開始電圧を低減すると共に、書込放電を発生させる放電セルをより確実に選択することができる。また、本実施形態においては、図１３に示す長さＬＡを、長さＬＢの３分の１未満とすることにより、開口率を高く維持することができる。これにより、駆動電圧が低いためコストが低く、放電セルを確実に選択できるため動作が安定し、開口率が高いため表示が明るいＰＤＰを得ることができる。本実施形態における上記以外の動作及び効果は、前述の第１の実施形態と同様である。
【００６６】
なお、本実施形態においては、延出部６２を形成する材料が、アドレス電極を形成する材料と同じものである例を示したが、本発明はこれに限定されず、アドレス電極を形成する材料とは異なる材料であってもよい。但し、延出部６２を形成する材料は、抵抗率が低く、薄く形成できる材料であることが好ましい。また、本実施形態は、前述の第２の実施形態と組み合わせてもよい。更に、延出部の形状を、アドレス電極が延びる方向と直交する方向を長手方向とする枝状としてもよい。更にまた、延出部を設けずに、アドレス電極の中心線を、このアドレス電極と重なるブリッジ部の中心線に対してずらしてもよい。これにより、開口率を全く低下させずに、アドレス電極を対応する放電セルに近づけて、書込放電開始電圧を低減すると共に、維持放電を発生させる放電セルをより確実に選択することができる。
【００６７】
以上、図面を参照しつつ本発明の実施形態について説明した。しかし、本発明はこれら実施形態には限定されない。例えば、電極の形状、隔壁の形状、誘電体層の形状、使用する材料及び駆動方法等に関して、当業者が各種の設計変更を加えたものであっても、本発明の特徴を有する限り、本発明の範囲に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００６８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＰＤＰを示す部分平面図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ’線による部分断面図である。
【図３】図１に示すＢ−Ｂ’線による部分断面図である。
【図４】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図である。
【図５】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図であり、図４（ｃ）に示す工程に続く工程を示す。
【図６】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図であり、図５（ｃ）に示す工程に続く工程を示す。
【図７】本発明の第２の実施形態に係るＰＤＰを示す部分断面図である。
【図８】本実施形態に係るＰＤＰを示す部分断面図である。
【図９】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図である。
【図１０】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図であり、図９（ｃ）に示す工程に続く工程を示す。
【図１１】（ａ）乃至（ｃ）は、本実施形態に係るＰＤＰの背面基板の作製方法をその工程順に示す断面図であり、図１０（ｃ）に示す工程に続く工程を示す。
【図１２】（ａ）は、本発明の第１の実施形態における蛍光体層の加工方法を示す断面図であり、（ｂ）は、本発明の第３の実施形態における蛍光体層の加工方法を示す断面図である。
【図１３】本発明の第４の実施形態に係るＰＤＰを示す部分平面図である。
【図１４】特許文献１に記載された対向電極型のＰＤＰを示す部分断面図である。
【符号の説明】
【００６９】
１、２１、６１  ＰＤＰ
２、２２  背面基板
３  前面基板
４、２４、４４  隔壁
４ａ、４ｃ、４ｄ、３２、３２ｂ  隔壁材料層
４ｂ、３２ａ  溝
５、１５、２５  ガラス基板
６、２６、４６  Ｘ電極
６ａ、７ａ、２６ａ、２７ａ  バス電極
６ｂ、７ｂ、２６ｂ、２７ｂ  誘電体層
７、２７、４７  Ｙ電極
８、２８  ブリッジ部
９、１４、３１、３３  ＤＦＲ
９ａ、１４ａ  開口部
１０  放電セル
１１、２９  白色誘電体層
１２、３０  蛍光体層
１２ａ  底部
１２ｂ  側部
１２ｃ、３０ａ  感光性蛍光体
１２ｄ  垂直部
１２ｅ  水平部
１３、３４  導電材料体
１６  アドレス電極
１７  透明誘電体層
２５ａ  凹部
５１  マスク
５３  光
６２  延出部
１０１  ＰＤＰ
１０２  前面基板
１０３  背面基板
１０５、１１１  ガラス基板
１０６  Ｘ電極
１０６ａ、１０７ａ  バス電極
１０６ｂ、１０７ｂ  誘電体層
１０７  Ｙ電極
１０８  保護膜
１１０  放電セル
１１２  アドレス電極
１１３  白色誘電体層
１１４  隔壁
１１５  蛍光体層
【図１】
2007149376.tif 000003
【図２】
2007149376.tif 000004
【図３】
2007149376.tif 000005
【図４】
2007149376.tif 000006
【図５】
2007149376.tif 000007
【図６】
2007149376.tif 000008
【図７】
2007149376.tif 000009
【図８】
2007149376.tif 000010
【図９】
2007149376.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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