(57)【要約】【課題】小絞りのときに回折による解像劣化の影響を低減させることが可能なＮＤフィルタを提供する。また、このＮＤフィルタを有した光量調整機構、レンズ鏡筒、及び撮像装置を提供する。【解決手段】ＮＤフィルタ１３としては、光束が通過するフィルタ部分１３Ａが、面内で光軸ＯＬから遠い側を第１の頂点Ａとした三角形をなし、フィルタ部分１３Ａの端辺１６を２分する点Ｄと第１の頂点Ａとを結ぶ仮想線２１上を複数分割した各点ａ１〜ａ５を仮想点としたとき、フィルタ部分１３Ａは、各々の仮想点ａ１〜ａ５と三角形の第２及び第３の頂点Ｂ，Ｃとを繋いだ曲線ｅ１〜ｅ５に沿って光学濃度が一定となる領域を有して成る。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
光束が通過するフィルタ部分が、面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなし、
前記フィルタ部分の端辺を２分する点と前記第１の頂点とを結ぶ仮想線上を複数分割した各点を仮想点としたとき、
前記フィルタ部分は、前記各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度が一定となる領域を有して成る
ことを特徴とするＮＤフィルタ。
【請求項２】
前記フィルタ部分の光学濃度は、三角形の前記第１の頂点から前記端辺に向って低くなっている
ことを特徴とする請求項１記載のＮＤフィルタ。
【請求項３】
前記フィルタ部分の光学濃度分布が前記仮想線を軸として対称である
ことを特徴とする請求項２記載のＮＤフィルタ。
【請求項４】
絞り開口を形成する複数の絞り羽根と、
前記絞り羽根に取着されたＮＤフィルタとを有し、
前記ＮＤフィルタは、
光束が通過するフィルタ部分が面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなし、
前記フィルタ部分の端辺を２分する点と前記第１の頂点とを結ぶ仮想線上を複数分割した各点を仮想点としたとき、
前記フィルタ部分が、前記各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定とした領域を有して成る
ことを特徴とする光量調節装置。
【請求項５】
前記ＮＤフィルタにおけるフィルタ部分の光学濃度が、三角形の前記第１の頂点から前記端辺に向って低くなっている
ことを特徴とする請求項４記載の光量調節装置。
【請求項６】
前記ＮＤフィルタにおけるフィルタ部分の光学濃度分布が前記仮想線を軸として対称である
ことを特徴とする請求項５記載の光量調節装置。
【請求項７】
前記絞り羽根で形成される絞り開口が菱形形状である
ことを特徴とする請求項６記載の光量調節装置。
【請求項８】
内部に少なくとも撮像レンズ系と光量調節装置を備え、
前記光量調節装置は、絞り開口を形成する複数の絞り羽根と、
前記絞り羽根に取着されたＮＤフィルタとを有し、
前記ＮＤフィルタは、
光束が通過するフィルタ部分が面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなし、
前記フィルタ部分の端辺を２分する点と前記第１の頂点とを結ぶ仮想線上を複数分割した各点を仮想点としたとき、
前記フィルタ部分が、前記各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定とした領域を有して成る
ことを特徴とするレンズ鏡筒。
【請求項９】
前記光量調節装置における前記フィルタ部分の光学濃度が、三角形の前記第１の頂点から前記端辺に向って低くなっている
ことを特徴とする請求項８記載のレンズ鏡筒。
【請求項１０】
前記光量調節装置における前記フィルタ部分の光学濃度分布が前記仮想線を軸として対称である
ことを特徴とする請求項９記載のレンズ鏡筒。
【請求項１１】
前記光量調節装置における絞り羽根で形成される絞り開口が菱形形状である
ことを特徴とする請求項１０記載のレンズ鏡筒。
【請求項１２】
撮像レンズ系へ入射した光量を調節するための光量調節装置を備え、
前記光量調節装置は、絞り開口を形成する複数の絞り羽根と、
前記絞り羽根に取着されたＮＤフィルタとを有し、
前記ＮＤフィルタは、
光束が通過するフィルタ部分が面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなし、
前記フィルタ部分の端辺を２分する点と前記第１の頂点とを結ぶ仮想線上を複数分割した各点を仮想点としたとき、
前記フィルタ部分が、前記各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定とした領域を有して成る
ことを特徴とする撮像装置。
【請求項１３】
前記光量調節装置における前記フィルタ部分の光学濃度が、三角形の前記第１の頂点から前記端辺に向って低くなっている
ことを特徴とする請求項１２記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記光量調節装置における前記フィルタ部分の光学濃度分布が前記仮想線を軸として対称である
ことを特徴とする請求項１３記載の撮像装置。
【請求項１５】
前記光量調節装置における絞り羽根で形成される絞り開口が菱形形状である
ことを特徴とする請求項１４記載の撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えばビデオカメラ、デジタルスチルカメラに代表される撮像装置等の光量調節に使用するＮＤフィルタ、このＮＤフィルタを有する光量調整機構、レンズ鏡筒及び撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
デジタルビデオカメラやデジタルスチルカメラ等の撮像装置においては、その撮像光学系に入射光の透過率を変化させる減光（ＮＤ：Neutral Density）機能を備えた光学フィルタ、いわゆるＮＤフィルタが組み込まれている（特許文献１、２参照）。ここでは、透明基材上に光透過率が連続的に変化するように光学濃度を連続的に変化させた光学吸収膜を成膜してなるグラデーションＮＤフィルタが開示されている。
【０００３】
最近のビデオカメラ等の撮像装置においては、ＣＣＤセンサ、ＣＭＯＳセンサなどの撮像素子の高感度化により、屋外等の明るい場所で高輝度の被写体を撮影すると絞りが小絞りになってしまい、その結果、回折現象により解像力が低下するとい現象が起こっている。
【０００４】
従って、従来は絞り羽根に中性灰色のＮＤフィルタを貼り付けて解像力の低下を防止していた。しかし、光学濃度の濃い（すなわち、透過率が低くなる）ＮＤフィルタを使用すると、ＮＤフィルタが絞りの開口部を全て覆う直前でＮＤフィルタの覆っていない絞り開口部分が恰も小絞りのようになるため、解像力の低下が起こる。また、ＮＤフィルタの透過率の低い部分の面積が大きいため、片絞りとなりピント面の光量差が生じていた。
【０００５】
そこで、小絞りになるにつれて透過率が低くなるようにするために、上述したような位置に応じて光学濃度が変化するグラデーションＮＤフィルタを貼り付けた絞り羽根が使用されるようになってきた。
【０００６】
【特許文献１】特開２０００−１０６６４９号公報
【特許文献２】特開平６−２８９４５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
ところで、通常の光量調節機構１としては、図２１に示すように、互いに反対方向に移動して絞り開口２を制御する２枚の絞り羽根３及び４を有し、一方の絞り羽根４に例えば直線的に平行する領域５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄに向って順に透過率が大きくなるように光学濃度を連続的に変化させたグラデーションＮＤフィルタ５を貼り付けて構成される。この場合、グラデーションＮＤフィルタにおいては、その遮光するための絞り羽根３及び４との境では、濃度の濃い領域５ａから濃度に薄い領域５ｄが存在することにより、絞り羽根との境では濃度差が大きくなり、この境から発生した光の回折現象で解像度を劣化させていた。
【０００８】
本発明は、上述の点に鑑み、小絞りのときに回折による解像劣化の影響を低減させることが可能なＮＤフィルタを提供するものである。
また、本発明、上記ＮＤフィルタを有した光量調整機構、レンズ鏡筒、及び撮像装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係るＮＤフィルタは、光束が通過するフィルタ部分が、面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなし、フィルタ部分の端辺を２分する点と第１の頂点とを結ぶ仮想線上を複数分割した各点を仮想点としたとき、フィルタ部分が、各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定にした領域を有して成ることを特徴とする。
【００１０】
本発明のＮＤフィルタでは、三角形をなすフィルタ部分が各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定にした領域を有して形成されるので、絞り羽根のこのＮＤフィルタを取着したときに、フィルタ部分の濃度変化が絞り羽根と三角形の２辺で接する境から緩やかに変化することになる。従って、絞り羽根との境で濃度差は小さくなる。
【００１１】
本発明に係る光量調節装置は、絞り開口を形成する複数の絞り羽根と、絞り羽根に取着されたＮＤフィルタとを有し、ＮＤフィルタを上記ＮＤフィルタで構成することを特徴とする。
【００１２】
本発明に係るレンズ鏡筒は、内部に少なくとも撮像レンズ系と光量調節装置を備え、光量調節装置を絞り開口を形成する複数の絞り羽根と上記ＮＤフィルタを有して構成することを特徴とする。
【００１３】
本発明に係る撮像装置は、撮像レンズ系へ入射した光量を調節するための光量調節装置を備え、光量調節装置を絞り開口を形成する複数の絞り羽根と上記ＮＤフィルタを有して構成することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
本発明に係るＮＤフィルタによれば、これを取着した絞り羽根との境から濃度が緩やかに変化し、絞り羽根との境での濃度差が小さくなるので、小絞りのときに、回折による解像劣化の影響を低減することができる。
【００１５】
本発明に係る光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置によれば、上述の本発明ＮＤフィルタを使用することにより、小絞りのときの解像劣化の影響が低減し、信頼性の高い光量調節装置、レンズ鏡筒及び撮像装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
【００１７】
図１（模式図）及び図２に、本発明に係る光量調節装置及びそのＮＤフィルタの一実施の形態の概略を示す。本実施の形態に係る光量調節装置１１は、図１に示すように、絞り開口を形成する複数の絞り羽根１２とグラデーションＮＤフィルタ（以下、単にＮＤフィルタと略称する）１３とから構成される。本例では、一の直線上を互いに逆方向に、図１では上下方向に互いに反対方向に移動自在に配設された２枚の絞り羽根１２Ａ及び１２Ｂと、一方の絞り羽根１２Ａに貼り付けられたＮＤフィルタ１３と、図示しないが、２枚の絞り羽根１２Ａ及び１２Ｂを移動させるための絞り羽根駆動機構とを有して光量調節装置１１が構成される。
【００１８】
絞り羽根１２Ａ及び１２ＢとＮＤフィルタ１３とは同材質あるいは異なる材質で形成することができる。例えば、絞り羽根１２Ａ及び１２ＢとＮＤフィルタ１３は、同材質の比較的腰の強い樹脂フィルタによって形成され、一方の絞り羽根１２ＢにＮＤフィルタ１３が取着される。両絞り羽根１２Ａ、１２Ｂは、一方の絞り羽根１２ＢのＮＤフィルタ１３を有しない面と、他方の絞り羽根１２Ａの面とが向き合うように配置される。
【００１９】
絞り羽根１２Ｂは、ＮＤフィルタ１３の光束が通過するフィルタ部分１３Ａが面内で光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなすように、フィルタ部分１３Ａが配置される部分に三角形の絞り開口形成用の切欠き部１５Ｂを有する略Ｕ字形に形成される。絞り羽根１２Ａは、同様に光軸から遠い側を第１の頂点とした三角形をなす絞り開口形成用の切欠き部１５Ａを有する略Ｕ字形（ここでは切欠き部１５Ｂの切欠き部１５Ｂに対向して略逆Ｕ字形）に形成される。この絞り羽根１２Ａ及び１２Ｂの切欠き部１５Ａ及び１５Ｂにより形成される絞り開口の形状は、両三角形の切欠き部１５Ａ及び１５Ｂで囲まれた菱形形状に形成される。両二等辺三角形、好ましくは、両正三角形で囲まれた菱形形状に形成する。
【００２０】
ＮＤフィルタ１３は、その三角形のフィルタ部分１３Ａが一方の絞り羽根１２Ｂの三角形の絞り開口形成用の切欠き部１５Ｂに臨むように、この絞り羽根１２Ｂに取着される。
【００２１】
図２を用いてＮＤフィルタ１３を詳述する。図２は、ＮＤフィルタ１３のうち、実質的に光束が通過するフィルタ部分１３Ａを示す。なお、ＮＤフィルタの光学吸収膜の構成については後述する。
本実施の形態に係るＮＤフィルタ１３のフィルタ部分１３Ａは、その面内で光軸ＯＬから遠い側を第１の頂点Ａとし、この第１の頂点Ａに対向した辺、すなわち第２及び第３の頂点Ｂ及びＣを結ぶフィルタ部分１３Ａの端辺１６を光軸ＯＬに近い側とした三角形、本例では頂角を６０°とした正三角形に形成される。この正三角形をなすフィルタ部分１３Ａは、絞り羽根１２Ｂの絞り開口形成用の切欠き部１５Ｂの正三角形より占有面積が小さく形成される。
【００２２】
そして本実施の形態においては、フィルタ部分１３Ａの内面でフィルタ部分１３Ａの端辺１６を２分する点、本例では２等分する点Ｄと正三角形の第１の頂点Ａとを結ぶ線を仮想線２１とし、この仮想線２１上を所定の間隔で複数分割、本例では等間隔で複数分割した各点を仮想点ａ１，ａ２，ａ３，ａ４，ａ５とする。より詳しくは、光軸ＯＬから外周放射方向に向かいフィルタ部分１３Ａの端辺１６に垂直に交差する点Ｄと第１の頂点Ａとを結ぶ線を仮想線２１とする。
【００２３】
このような仮想線２１及び仮想点ａ１〜ａ５を設けたフィルタ部分１３ａにおいて、各々の仮想点ａ１〜ａ５と正三角形の第２及び第３の頂点Ｂ及びＣとを繋いだ弧を描くような曲線ａ１〜ａ５、すなわち頂点Ｂから点ａ１を通り頂点Ｃに至る曲線ｅ１、頂点Ｂから点ａ２を通り頂点Ｃに至る曲線ｅ２、頂点Ｂから点ａ３を通り頂点Ｃに至る曲線ｅ３、頂点Ｂから点ａ４を通り頂点Ｃに至る曲線ｅ４、頂点Ｂから点ａ５を通り頂点Ｃに至る曲線ｅ５にそれぞれ沿って光学濃度を一定にした領域２２１〜２２６を形成する。  各曲線ｅ１〜ｅ５は、仮想線２１上を頂点とするような曲線となる。
【００２４】
すなわち、これらの曲線ａ１〜ａ５はそれぞれ光学濃度が等位な曲線群（いわゆる光学濃度の等位曲線群）となる。このとき、濃度の等位曲線ａ１〜ａ５は互いに交差することがなく、フィルタ部分１３Ａの端辺から第１の頂点Ａに向って連続的に濃度勾配をもつ。図示の例では、各曲線ａ１〜ａ５によって区画された各領域２２１〜２２６内では、それぞれ均一な光学濃度に設定され、また、各領域２２１〜２２６が、領域２２６から領域２２１に向って光学濃度が徐々に低くなるような連続的に変化した濃度分布に設定される。さらに、フィルタ部分１３Ａでは、この光学濃度分布が仮想線２１を軸として左右対称に形成される。
【００２５】
仮想点を細かく設定すれば、光学濃度がより連続的に変化する濃度分布を形成することができる。ここで、光学濃度が連続的に変化するとは、光学濃度が段階的に変化すること、光学濃度が濃度勾配をもって漸次変化することを含む。
【００２６】
２枚の絞り羽根１２Ａ，１２Ｂで形成される絞り開口の形状は、４辺が等しい四角形状、この好ましくは菱形形状とする。
【００２７】
ＮＤフィルタ１３は、図３に示すように、光透過性の基材３１上に例えばＴＩ，Ｃｒ、Ｎｉ、その他の金属、あるいはこれ等の金属酸化物による高屈折率膜３２、３４と、誘電体膜による低屈折率膜３３、３５との多層膜による光学吸収膜３６を成膜して形成される。多層膜としては、例えば７層から２３層に至るように形成する場合もある。例えば高屈折率膜として膜厚を変化させたニオブ（Ｎｂ）薄膜膜３２、３４と低屈折率膜として均一な膜厚のＳｉＯ２薄膜膜３３、３５との多層膜で光学吸収膜３６を形成することができる。この場合は、低濃度部位で安定した成膜が可能になる。
【００２８】
上述した本実施の形態に係るＮＤフィルタ１３を有する光量調節装置１１によれば、ＮＤフィルタ１３が、仮想線２１上の複数分割した各々の仮想点ａ１〜ａ５と第２及び第３の頂点Ｂ及びＣとを繋ぐ曲線ｅ１〜ｅ５に沿って光学濃度を一定した領域２２１〜２２６を有して構成される。そして、遮光部となる絞り羽根１２Ｂから領域２２１に向って徐々に光学濃度が低くなるように、領域２２６〜領域２２１の光学濃度が設定されるので、ＮＤフィルタ１３と絞り羽根１２１２Ｂとの境界での光学濃度差が小さくなり回折現象が起こりにくくなる。このように、絞り羽根１２１２Ｂとの境界にも回折が起こりにくい光学濃度分布を有するＮＤフィルタ１３を用いることにより、小絞り時に回折による解像劣化の影響を、より減少させることができる。
【００２９】
図４の模式図で示すように、本実施の形態においては、２枚の絞り羽根１２Ａ及び１２Ｂを移動して絞り開口を順に絞って行ったときに、いずれの絞り開口１８ａ，１８ｂ，１８ｃにおいても、少なくとも絞り羽根１２ＢとＮＤフィルタ１３との境界では高濃度の領域２２６が存在するので、図１３の従来のＮＤフィルタを用いた場合に比較して、絞り羽根との境界部分での回折による解像劣化の影響は小さくなる。
【００３０】
絞り羽根１２Ａ，１２Ｂで形成される絞り開口の形状を菱形形状にすることにより、更に小絞り時に回折による解像劣化の影響を低減できる。
フィルタ部分１３Ａの光学濃度分布を、仮想線２１を軸に対称にすることにより、画面を見たときの明るさが対称になり、良好な画像が得られる。
【００３１】
ちなみに、前述の特許文献２には、円周の一部を挟み込むタイプのグラデーションＮＤフィルタが開示されている。この形状で絞り羽根を開閉すると、絞り開口の形状が（縦）長になり、縦横の解像度比が大きくなり、画像としては縦横の解像度が異なる不自然な画像になってしまうという不都合も生じる虞れがあった。
しかし、本実施の形態によれば、２つの絞り羽根１２Ａ及び１２Ｂの三角形の切り欠き部１５Ａ及び１５Ｂで絞り開口を形成するので、好ましくは絞り開口を菱形形状とするので、縦横の解像度が異なる不具合が改善される。
【００３２】
次に、図５〜図８を参照して、本実施の形態に係るＮＤフィルタを備えた光量調節装置を用いたときの優位性について、従来の図１３に示すＮＤフィルタを備えた光量調節装置との比較で検証する。ここでは、実施の形態に用いたフィルタ部分及びＮＤ濃度分布形状をモデル化及び簡素化し、回折の影響についての傾向を把握するための説明である。
【００３３】
因みに、絞り開口部にＮＤフィルタが入ると透過光は減光されるが、光学濃度（透過率）差が生じた部分で光の回折が起こる。小絞りの状態になると光の波長に対する比率が大きくなり、回折の影響が大きくなり、解像度劣化の影響が大きくなる。
【００３４】
〔検証例〕
先ず、図５は、透過率ζ１（％）のＶ字形の領域ＩとＶ字下部に透過率ζ２（％）の領域・を有した本実施の形態に対応するＮＤフィルタ４１を示す。図６は、直線的に上下２等分し上側半分を透過率ζ１（％）のＶ字形の領域Ｉとし、下側半分を透過率ζ２（％）の領域・とした従来に対応したＮＤフィルタ４２を示す。ここでζ１とζ２の関係は、ζ１＞ζ２である。
【００３５】
図７及び図８は、図５及び図６に示す２種類のＮＤフィルタ４１及び４２を一辺Ａの正方形の絞り開口４４で規制されたときの様子を示す。
【００３６】
今、αＡ（：図７のＮＤフィルタ４１に依存した光量差の影響度であり、透過率差がある部分の全長で回折の影響として透過率の差を掛け合わして表している）と、βＡ（図８のＮＤフィルタ４２に依存した光量差の影響度であり、透過率差がある部分の全長で回折の影響として透過率の差を掛け合わして表している）とを比較する。
【００３７】
αＡ＝２ζ１・Ｌ１＋２（ζ１−ζ２）Ｌ１＋２（Ａ−Ｌ１）ζ２＋２Ａ・ζ２
＝２（ζ１・Ｌ１＋ζ１・Ｌ１−ζ２・Ｌ１＋Ａζ２−ζ２・Ｌ１＋Ａζ２）
＝４（ζ１・Ｌ１＋Ａζ２−ζ２・Ｌ１）
＝４｛（ζ１−ζ２）Ｌ１＋Ａζ２｝      ・・・・（１）
【００３８】
ここで、図７の光量Ｓ１は次の式で表わされる。
Ｓ１＝Ｌ１２  ζ１＋（Ａ２  −Ｌ１２）ζ２
【００３９】
βＡ＝２Ｌ２ζ１＋Ｌ２√２（ζ１−ζ２）＋２（Ａ−Ｌ２）ζ２＋２Ａζ２
＝２｛Ｌ２ζ１＋ζ２（２Ａ―Ｌ２）｝＋Ｌ２√２（ζ１−ζ２）
＝２｛Ｌ２（ζ１−ζ２）＋２ζ２Ａ｝＋Ｌ２√２（ζ１−ζ２）
＝２｛（１＋√２）（ζ１−ζ２）Ｌ２＋２Ａζ２｝    ・・・・・（２）
【００４０】
ここで、図８の光量Ｓ２は次の式で表わされる。この図８の光量Ｓ２は図７の光量Ｓ１と同じにする（Ｓ１＝Ｓ２）。
Ｓ２＝（Ｌ２２  ζ１）／２＋（Ａ２  ζ２）／２＋｛（Ａ２−Ｌ２２）ζ２｝／２
＝（Ｌ２２  ζ１＋Ａ２  ζ２＋Ａ２  ζ２−Ｌ２２ζ２）／２
＝｛Ｌ２２  （ζ１−ζ２）＋２Ａ２  ζ２｝／２
【００４１】
Ｓ１＝Ｓ２であるので、
Ｌ１２  ζ１＋（Ａ２  −Ｌ１２）ζ２＝｛Ｌ２２（ζ１−ζ２）＋２Ａ２  ζ２｝／２
２Ｌ１２  ζ１＋２ζ２（Ａ２−Ｌ１２）＝Ｌ２２（ζ１−ζ２）＋２Ａ２  ζ２
２Ｌ１２  ζ１＋２Ａ２ζ２−２Ｌ１２ζ２＝Ｌ２２ζ１−Ｌ２２ζ２＋２Ａ２  ζ２
２Ｌ１２  ζ１−２Ｌ１２ζ２＝Ｌ２２ζ１−Ｌ２２ζ２
２Ｌ１２  （ζ１−ζ２）＝Ｌ２２（ζ１−ζ２）
２Ｌ１２  ＝Ｌ２２
√２Ｌ１＝Ｌ２      ・・・・（３）
【００４２】
上記式（２）に式（３）を代入する。
βＡ＝２｛（１＋√２）（ζ１−ζ２）√２Ｌ１＋２Ａζ２｝
βＡ＝２（１＋√２）（ζ１−ζ２）√２Ｌ１＋４Ａζ２      ・・・・（４）
【００４３】
次に、上記αＡと上記式βＡとの比較を行う。式（１）と式（４）とから
αＡ＝４｛（ζ１−ζ２）Ｌ１＋Ａζ２｝＝４（ζ１−ζ２）Ｌ１＋４Ａζ２
βＡ＝２（１＋√２）（ζ１−ζ２）√２Ｌ１＋４Ａζ２
ζ１，ζ２≠０
ζ１≠ζ２とすると、
４ζ２をもっているので
ζ１，ζ２＞０とすると、
αＡとβＡの大きさ比べても常にαＡが小さいことを証明されれば良い。
よって、
αＡ：βＡ＝４（ζ１−ζ２）Ｌ１：２（１＋√２）（ζ１−ζ２）√２Ｌ１
＝４Ｌ１：２（１＋√２）√２Ｌ１
＝４：２√２＋４
４βＡ＝（２√２＋４）αＡとなり、
αＡ＜βＡ  が成立する。
【００４４】
従って、結果として、同一絞り開口径の場合、光量段差（いわゆる濃度差）における影響が、図７の方が図８より小さくなることが検証される。
【００４５】
絞り開口が菱形形状であれば、上述の光量段差における影響がより顕著に小さくなる。
【００４６】
図９〜図１６に、本発明に係る好ましい膜構成を有するＮＤフィルタの実施の形態を示す。本実施の形態に係るＮＤフィルタ１０１は、図９に示すように、光透過性の基材、例えばＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルム１０２の一方の面上に高屈折率のニオブ（Ｎｂ）薄膜と低屈折率の酸化シリコン（ＳｉＯ２）薄膜との積層膜による光学吸収膜、いわゆるＮＤ膜１０３を形成し、ＰＥＴフィルム１０２の他方の面に反射防止膜１０４を形成して構成される。ＮＤ膜１０３は、例えば光学濃度Ｄが連続的に変化するように低濃度部位１０５から高濃度部位１０６に至って全体の膜厚が漸次厚く成るように形成される。本例では、光学濃度Ｄが０．０４〜１．５まで変化したＮＤフィルタを構成している。
【００４７】
そして、本実施の形態に係るＮＤ膜１０３は、光学濃度Ｄが０．５以上の高濃度部位１０６、本例では０．５から１．５までの高濃度部位１０６をＳｉＯ２薄膜膜とＮｂ薄膜を交互に積層した６層膜で形成し、光学濃度Ｄが０．０８から０．５までの低濃度部位１０５をＳｉＯ２ 薄膜とＮｂ薄膜を交互に積層した４層膜で形成し、低濃度部位１０５における光学濃度Ｄが０．０８の先端部分を低濃度部位をＳｉＯ２薄膜膜とＮｂ薄膜の２層膜で形成し、光学濃度Ｄが０．０４の最先端部分をＳｉＯ２ 薄膜膜の１層で形成して構成される。また、反射防止膜１０４は、ＮＤ膜１０３の構成材料を用いた積層膜、すなわちＮｂ２ Ｏ３ 薄膜とＳｉＯ２ 薄膜を交互に積層した４層膜で形成して構成される。
【００４８】
ＮＤ膜１０３及び反射防止膜１０４の設計では、光の透過率、反射率が光の波長に対してフラット（平坦）な特性を有すること、膜の光学アドミッタンスが１．０に近い、好ましくは１．０になる（すなわち空気と同じ光学特性になる）ことが望まれる。一方、ＮＤ膜１０３としては、膜の層数を少なくして最適な光学特性を得ることが望まれる。ＮＤフィルタを製作する上では膜の層数を少なくした方が製造の簡単化が図れる。しかし、実際には、上記の最適な光学特性が得られる層数、膜厚を見出すことは困難である。
【００４９】
本実施の形態では、特に光学濃度Ｄが０．５以上の高い高濃度部位１０６において、ＮＤ膜１０３を６層構造にし、各層の膜厚を最適化することで良い特性が得られることを見出した。一方、反射防止膜も４層構造にし、各層の膜厚を最適化することで良い特性が得られることを見出した。
【００５０】
ＮＤ膜１０３としては、図１０、図１３に示すように、１層目、３層目、５層目のＮｂ薄膜１１１、１１３、１１５と、２層目、４層目、６層目のＳｉＯ２薄膜１１２、１１４、１１６との積層膜で形成される。ＮＤ膜１０３における１層目、３層目、５層目のＮｂ薄膜１１１、１１３、１１５は、光学濃度Ｄが高くなるに従って各層の膜厚が厚くなる。２層目、４層目、６層目のＳｉＯ２薄膜１１２、１１４、１１６は、ＮＤ膜１０３の全体の光学アドミッタンスを１．０に近づけるように膜厚が設定される。反射防止膜１０４としては、同図に示すように、１層目、３層目のＮｂ２ Ｏ３ 薄膜１２１、１２３と、２層目、４層目のＳｉＯ２ 薄膜１２２、１２４との積層膜で形成される。反射防止膜におけるＮｂ２Ｏ３ 薄膜１２１、１２３及びＳｉＯ２ 薄膜１２２、１２４の各層は、反射防止膜１０４の全体の光学アドミッタンスを１．０に近づけるような膜厚に設定される。
【００５１】
図１０に、光学濃度Ｄ＝０．７５付近でのＮＤ膜１０３と反射防止膜１０４の最適な薄膜構成を示す。ＮＤ膜１０３は、膜厚７５μｍの光透過性の基材であるＰＥＴフィルム１０２の一方の面上に、膜厚８ｎｍのＮｂ薄膜１１１と、膜厚８１ｎｍのＳｉＯ２薄膜１１２と、膜厚７１ｎｍのＮｂ薄膜１１３と、膜厚７１ｎｍのＳｉＯ２ 薄膜１１４と、膜厚５．９ｎｍのＮｂ薄膜１１５と、膜厚７０ｎｍのＳｉＯ２薄膜１１６との６層をこの順に積層して構成される。
反射防止膜１０４は、ＰＥＴフィルム１０２の反対の面上に、膜厚１０３ｎｍのＮｂ２Ｏ３薄膜１２１と、膜厚１７０ｎｍのＳｉＯ２薄膜１２２と、膜厚１ｎｍのＮｂ２Ｏ３薄膜１２３と、膜厚４３ｎｍのＳｉＯ２薄膜１２４との４層をこの順に積層して構成される。
【００５２】
図１１に上記Ｄ＝０．７５の膜構成における透過率―波長特性を示し、図１２に同膜構成における反射率―波長特性を示す。この膜構成によれば、透過率及び反射率のフラット性（平坦性）はいずれも良いことが認められる。また光学アドミッタンスは１．０に近い。
【００５３】
図１３に、光学濃度Ｄ＝０．９付近でのＮＤ膜１０３と反射防止膜１０４の最適な薄膜構成を示す。ＮＤ膜１０３は、光透過性の基材であるＰＥＴフィルム１０２の一方の面上に、膜厚１１ｎｍのＮｂ薄膜１１１と、膜厚７９ｎｍのＳｉＯ２薄膜１１２と、膜厚６．６ｎｍのＮｂ薄膜１１３と、膜厚７３ｎｍのＳｉＯ２ 薄膜１１４と、膜厚６．９ｎｍのＮｂ薄膜１１５と、膜厚６９ｎｍのＳｉＯ２薄膜１１６との６層をこの順に積層して構成される。
反射防止膜１０４は、ＰＥＴフィルム１０２の反対の面上に、膜厚１０６ｎｍのＮｂ２ Ｏ３薄膜１２１と、膜厚１６９ｎｍのＳｉＯ２ 薄膜１２２と、膜厚５．１ｎｍのＮｂ２ Ｏ３ 薄膜１２３と、膜厚３６ｎｍのＳｉＯ２薄膜１２４との４層をこの順に積層して構成される。
【００５４】
図１４に上記Ｄ＝０．９の膜構成における透過率―波長特性を示し、図１５に同膜構成における反射率―長特性を示す。この膜構成によれば、透過率及び反射率のフラット性（平坦性）はいずれも良いことが認められる。また光学アドミッタンスは１．０に近い。
【００５５】
ＮＤ膜１０３における１層目、３層目、５層目のＮｂ薄膜１１１、１１３、１１５は、光学濃度Ｄが高くなるに従って各層の膜厚が厚くなる。２層目、４層目、６層目のＳｉＯ２薄膜１２１、１２４、１２６は、ＮＤ膜１０３の光学アドミッタンスを１．０に近づけるように膜厚が設定される。光学アドミッタンスは、文献〔「光学薄膜の基礎理論」小檜山光信著  オプトロニクス社発行〕に記載の式を用いて求めることができる。
【００５６】
すなわち、Ｎｂ薄膜１１１、１１３、１１５の膜厚を所要の透過率になるように決め、Ｓｉ Ｏ２ 薄膜１１２、１１４、１１６の膜厚を光学アドミッタンスが１．０になるように決める。Ｎｂ薄膜の膜厚を１．０になるように微調整する。この工程を繰り返して最終的な膜厚を決定する。反射防止膜１０４の各層の膜厚も同様にして決定される。
【００５７】
なお、ＮＤ膜１０３及び反射防止膜１０４を構成する各膜厚は、膜材料の特性のパラメータの違いにより透過率プロファイルが変わり得るので、上記の数値には許容値（範囲）を有する。すなわち、光学アドミッタンスを求める際の、膜材料の屈折率―波長特性、光吸収率―波長特性は、例えば３点の波長で近似して得ているので、近似の取り方で上記特性に多少のずれが生じる。このため上記各膜厚には許容値を有する。
【００５８】
図１６に、ＮＤフィルタ１０１の低濃度部位１０５のＮＤ膜１０３と反射防止膜１０４の最適な薄膜構成を示す。光学濃度Ｄ＝０．３付近において、ＮＤ膜１０３は、膜厚１．６ｎｍのＮｂ薄膜１３１と、膜厚８１ｎｍのＳｉＯ２薄膜１３２と、膜厚５．８ｎｍのＮｂ薄膜１３３と、膜厚７４ｎｍのＳｉＯ２ 薄膜１３４との４層をこの順に積層して構成される。光学濃度Ｄ＝０．０８付近において、ＮＤ膜１０３は、膜厚３ｎｍのＮｂ薄膜１４１と、膜厚８１ｎｍのＳｉＯ２薄膜１４２との２層を積層して構成される。光学濃度Ｄ＝０．０４付近において、ＮＤ膜１０３は、膜厚８１ｎｍの１層のＳｉＯ２ 薄膜１５１で構成される。反射防止膜１０４は、上述したようにＮｂ薄膜１２１、１２３とＳｉＯ２薄膜１２２、１２４の４層膜で形成され、反射防止膜１０４の各層の膜厚は、反射防止膜１０４の光学アドミッタンスが１．０に近づくように設定される。
【００５９】
ＮＤ膜１０３及び反射防止膜１０４は、スパッタリング装置の同じ真空チャンバー内で成膜される。真空チャンバー内には、Ｎｂターゲット板とＳｉターゲット板が配置され、酸素ガス（Ｏ２）アルゴンガス（Ａｒ）が選択的に導入され、Ｎｂ薄膜、ＳｉＯ２ 薄膜、Ｎｂ２ Ｏ３ 薄膜の成膜がなされる。膜厚制御は、移送するＰＥＴフィルタの送り速度を制御することにより可能である。ＮＤ薄膜１０３及び反射防止膜１０４は、同じ真空チャンバー内で同一工程で成膜され、光学アドミッタンスの調整が行われる。
【００６０】
上述の本実施の形態に係るＮＤフィルタ１０１によれば、膜層数を少なくして最適の光学特性を有するＮＤフィルタを得ることができる。また、本実施の形態のＮＤフィルタ１０１は、反射防止膜を有するので、例えばＣＣＤ型、ＣＭＯＳ型の固体撮像装置に対して反射防止膜１０４を固体撮像装置側に対向するようにして本ＮＤフィルタを配置した場合、ＮＤ膜１０３側から入射した光の固体撮像装置側のガラス部材と基材のＰＥＴフィルム１０２間での多重反射が防止される。
反射防止膜１０４は、ＮＤ膜１０３を構成する膜材料を用いてＮｂ２ Ｏ３ 薄膜とＳｉＯ２薄膜の積層膜で形成するので、ＮＤフィルタの製造工程を簡素化することがでる。すなわち、Ｎｂ薄膜、ＳｉＯ２ 薄膜はスパッタリング法で成膜するが、反射防止膜のＮｂ２０３ 薄膜は酸素雰囲気中でＮｂをスパッタすることによりＮｂ２ Ｏ３ 薄膜の成膜が可能になる。
【００６１】
なお、図１０の光学濃度Ｄ＝０．７５の膜構成、図１３の光学濃度Ｄ＝０，９の膜構成は、いずれも例えば光学濃度を均一としたＮＤフィルタに適用することができる。すなわち、光学濃度０．７５のＮＤフィルタ、光学濃度０．９のＮＤフィルタを構成することができる。
【００６２】
次に、図１７〜図２０を用いて、上述の本実施の形態のＮＤフィルタを備えた撮像装置の実施の形態について説明する。撮像装置の適用範囲はビデオカメラ、スチルカメラの他、動画撮影又は制止画像撮影の機能を有する各種の撮像装置（携帯電話に組み込まれる撮像装置などを含む）に適用することができる。
【００６３】
先ず、図１７を用いて撮像装置（例えばビデオカメラ）の基本構成を説明する。撮像装置５１は、外筐として設けられたレンズ鏡筒５２に所要の各部が配置されて成り、レンズ鏡筒５２には、光学レンズ系５３と、固体撮像素子等の撮像手段５４と、絞り羽根５５と前述のＮＤフィルタ５６を一体にした光量調節装置５７が設けられている。光量調節装置５７は、一対の絞り羽根５５が駆動モータにより駆動され、本例では一対の絞り羽根５６が互いに反対方向に移動して絞り開口を制御して光量調節がなされるように構成される。ＮＤフィルタ５６は一方の絞り羽根５６に取着される。なお、絞り羽根構造としては、２枚の絞り羽根を一方向に移動させるもの、多枚羽根で絞り開口を制御する、いわゆる虹彩羽根を適用できる。なお、レンズ鏡筒としては、図９では撮像手段５４を備えた構成としたが、その他、撮像手段を有しないレンズ鏡筒を構成することもできる。
【００６４】
図１８〜図２０に、本実施の形態に係る撮像装置の具体例を示す。撮像装置５８は、図１８に示すように、レンズ鏡筒５９と画像処理部７３、演算処理部７４、制御部７５を備えて成る。レンズ鏡筒５９は、被写体側から順に、対物レンズ６０、変倍レンズ６１、レンズ６２、光量調節装置６３、駆動モータ６４、フォーカスレンズ６５及び固体撮像素子６６が配置されている。光量調節装置６３はアイリス若しくはシャッター又はこれら双方の機能を有しているが、以下には光量調節装置６３はアイリスとシャッターの双方の機能を有している場合について説明する。
【００６５】
レンズ鏡筒５９は、例えばガラス入りポリカーボネート等の樹脂材料によって形成され、その内部に、光量調節装置６３を挟んで光軸ＯＬ方向における互いに反対方向の位置に、それぞれ光軸ＯＬに対して平行なガイドバー６７、６７とガイドバー６８、６８が配置される。
【００６６】
変倍レンズ６１はホルダー６９に保持され、このホルダー６９がガイドバー６７、６７に摺動自在に支持される。ホルダー６７、６７に保持された変倍レンズ６１は、変倍レンズ用駆動部７０の駆動力がホルダー６９に伝達されることにより光軸ＯＬ方向へ移動される。
【００６７】
フォーカスレンズ６５はホルダー７１に保持され、このホルダー７１がガイドバー６８、６８に摺動自在に支持される。ホルダー７１に保持されたフォーカスレンズ６５は、フォーカスレンズ用駆動部７２の駆動力がホルダー７１に伝達されることにより光軸ＯＬ方向へ移動される。
【００６８】
固体撮像素子６６によって得られる画像出力は、画像処理部７３に送出されて所定の処理が行われる。画像処理部７３は、制御等に必要な情報を演算処理部７４に送出したり、撮影画像をビューファインダーやモータ等に送って表示させ、あるいはユーザの操作指示に従って画像情報等を記録媒体に記録させる。尚、マイクロコンピュータ等を用いた演算処理部７４は、制御部７５に制御指令を送出し、この制御部７５から駆動モータ６４、変倍レンズ用駆動部７０及びフォーカスレンズ用駆動部７２等に制御信号が供給されることによって各部が制御される。
【００６９】
光量調節装置６３は、図１９に示すように、一対の絞り羽根７６及び７７と、一方の絞り羽根７７に一体に取着されたＮＤフィルタ１００と、絞り羽根７６及び７７を駆動させる駆動モータ６４を有してなり、絞り羽根７６及び７７を互いに反対方向（矢印参照）に移動させることにより、入射光量の調節機能及びシャッター機能を兼用している。
【００７０】
絞り羽根７６は、略逆Ｕ字状に形成された主部７８とこの主部７８から側方へ突出された突部７９とが一体に形成されて成る。主部７８には下方に開口された切欠７８ａが形成され、この切欠７８ａを挟んだ互いに反対側に上下に長い案内用長孔７８ｂ，７８ｂが形成される。切欠７８ａは絞り開口の一半部を構成するもので、底側が略三角形をなしている。突部７９には左右に長い係合長孔７９ａが形成される。
【００７１】
絞り羽根７７は、略Ｕ字状に形成された主部８０とこの主部８０から側方へ突出された突部８１とが一体に形成されて成る。突部８１は前記絞り羽根７６の突部７９と反対方向へ突出されている。主部８０には上方に開口された切欠８０ａが形成され、この切欠８０ａを挟んだ互いに反対側に上下に長い案内用長孔８０ｂ，８０ｂが形成される。切欠８０ａは絞り開口の他半部を構成するもので、底側が略三角形をなしている。突部８１には左右に長い係合長孔８１ａが形成される。ＮＤフィルタ１００は、切欠８０ａの底側の略三角形の頂部から開放側へ向って光学濃度が薄くなるように取着される。
【００７２】
駆動モータ６４は、図２０に示すように、インナーローター型である。ここでは、ローターにマグネットを設け、ステーターにコイルを設けた可動マクネットタイプ、又はローターにコイルを設け、ステーターにマグネットを設けた可動コイルタイプの何れかのタイプが用いられるが、本例では可動マグネットタイプのモータが用いられる。
【００７３】
駆動モータ６４のローター８２は、例えば４極に着磁されたマグネット８３とヨーク８４と軸受８５とを有している。マグネット８３は光軸ＯＬ方向へ延びる円筒状に形成され、このマグネット８３の内周面に鉄等の磁性材料によって円筒状に形成されたヨーク８４が固定される。
【００７４】
軸受８５は、摩擦係数の小さい例えば樹脂材料等で形成され、円筒状に形成されたスリーブ部８５ａとこのスリーブ部８５ａの軸方向における一端縁から外方へ張り出されたフランジ部８５ｂとが一体に形成されて成る。軸受８５はスリーブ部８５ａの軸方向における一端部がヨーク８４の内周面に固定される。
【００７５】
軸受８５は、レンズ鏡筒５９に一体に形成された支持筒部８６に外挿されて回転自在な状態で支持される。支持筒部８６は、光軸ＯＬ方向に延びる円筒部８７とその一端縁から外方へ張り出したフランジ部８８とを有している。
【００７６】
軸受８５のフランジ部８５ｂの外周寄りの位置には、光軸ＯＬ方向へ向けて互いに１８０°離れた係合部８５ｃ，８５ｃが突出される。この係合部８５ｃ，８５ｃがそれぞれ支持筒部８６のフランジ部８８に設けられた逃げ長孔８８ａ，８８ａを挿通して、絞り羽根７６、７７の係合長孔７９ａ，８１ａに摺動自在に係合される。また、支持筒部８６のフランジ部８８の内周寄りの位置には、光軸ＯＬ方向へ向けて互いに１８０°離れた案内ピン８８ｂ，８８ｂが突出される。この案内ピン８８ｂ，８８ｂがそれぞれ絞り羽根７６、７７案内用長孔７８ｂ，７８ｂ，８０ｂ，８０ｂに摺動自在に係合される。
【００７７】
ステーター８９は、円筒状をなす周面部８９ａと、この周面部８９ａの内周面からそれぞれ中心方向へ突出され内端８９ｃが略円弧状をなす４つのコイル巻回部８９ｂとが磁性材料によって一体形成されて成る。この各コイル巻回部８９ｂに直列接続されるようにステータコイル９０が巻回される。
【００７８】
光量調節装置６３の動作を説明する。駆動モータ６４のローター８２の回転に伴って係合部８５ｃ，８５ｃが図１９の反時計回り方向に回転されると、絞り羽根７６、７７が互いに離れる方向へ移動され、絞り羽根７６、７７の切欠７８ａ，８０ａによって形成される絞り開口の面積が大きくなり、入射光量が増加する。逆に、係合部８５ｃ，８５ｃが図１９の時計回り方向に回転されると、絞り羽根７６、７７が互いに近づく方向に移動され、絞り開口の面積が小さくなり入射光量が減少する。絞り開口の面積が小さくなるにつれて、絞り開口がＮＤフィルタ１００の高濃度部位で覆われ、強い入射光に対して減光制御される。
【００７９】
本実施の形態に係る撮像装置５８によれば、光量調節装置６３のＮＤフィルタ１００として、前述の三角形をなすフィルタ部分が各々の仮想点と三角形の第２及び第３の頂点とを繋いだ曲線に沿って光学濃度を一定に有した領域を有し、第１の頂点Ａから端辺に向って光学濃度が低くなるように形成したＮＤフィルタを用いることにより、小絞りのときに、回折による解像劣化の影響を低減することができ、高画質の撮像が行える。従って、信頼性の高い撮像装置を提供することができる。
【００８０】
本実施の形態では、光量調節装置６３、レンズ鏡筒５９の単体においても、前述の本実施の形態の光学ＮＤフィルタを用いることにより、小絞りのときに、回折による解像劣化の影響を低減することができ、撮像装置に適用したときに、撮像の高画質化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】本発明に係るＮＤフィルタを備えた光量調節装置の模式図である。
【図２】本発明に係るＮＤフィルタの実質的なフィルタ部分を示す構成図である。
【図３】本発明に係るＮＤフィルタの全体の構成を示す模式図である。
【図４】本発明に係る光量調節装置の効果の説明に供する説明図である。
【図５】本発明の検証の説明に用いた本発明に係るＮＤフィルタのモデル図である。
【図６】本発明の検証の説明に用いた従来例に係るＮＤフィルタのモデル図である。
【図７】本発明の検証の説明に用いた本発明に係る絞り開口とＮＤフィルタの関係を示すモデル図である。
【図８】本発明の検証の説明に用いた従来例に係る絞り開口とＮＤフィルタの関係を示すモデル図である。
【図９】本発明に係るＮＤフィルタの好ましい実施の形態を示すフィルイタ部分の構成図である。
【図１０】図９のＮＤフィルタにおける光学濃度Ｄ＝０．７５付近の膜構成を示す断面図である。
【図１１】図１０の膜構成での透過率―波長特性図である。
【図１２】図１０の膜構成での反射率―波長特性図である。
【図１３】図９のＮＤフィルタにおける光学濃度Ｄ＝０．９付近の膜構成を示す断面図である。
【図１４】図１３の膜構成での透過率―波長特性図である。
【図１５】図１３の膜構成での反射率―波長特性図である。
【図１６】図９のＮＤフィルタにおける低濃度部位の膜構成を示す断面図である。
【図１７】本発明に係る撮像装置の構成を示すように、概略構成図である。
【図１８】本発明に係る撮像装置の一実施の形態を示す構成図である。
【図１９】本発明に係る撮像装置に内蔵する絞り羽根の例を示す構成図である。
【図２０】本発明に係る撮像装置に内蔵する光量調節装置の構成図である。
【図２１】従来のＮＤフィルタを備えた光量調節装置の模式図である。
【符号の説明】
【００８２】
１１・・光量調節装置、１２｛１２Ａ，１２Ｂ〕・・絞り羽根、１３・・ＮＤフィルタ、１３Ａ・・フィルタ部分、２１・・仮想線、ａ１〜ａ５・・濃度の等位曲線、５１、５８・・撮像装置、５２、５９・・レンズ鏡筒、５３、６０、６１、６５・・レンズ系、５５６３・・絞り羽根、５６、１００・・ＮＤフィルタ、５７、６４・・光量調節装置、１０１・・ＮＤフィルタ、１０２・・ＰＥＴフィルム、１０３・・ＮＤ膜、１０４・・反射防止膜、１０５・・低濃度部位、１０６・・高濃度部位、１１１，１１３，１１５・・Ｎｂ薄膜、１１２，１１４，１１６・・ＳｉＯ２薄膜、１２１，１２３・・Ｎｂ２Ｏ３薄膜、１２２，１２４・・ＳｉＯ２薄膜、１３１，１３３，１４１・・Ｎｂ薄膜、１３２，１３４，１４２、１５１・・ＳｉＯ２薄膜
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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