(57)【要約】【課題】基板検査システムの稼働率の低下を防止することができると共に、検査プローバの製造者の工数を削減することができる基板検査システムを提供する。【解決手段】ＧＭＳ１０は、ＩＣチップの電気的検査を行う検査プローバ１１及びディスプレイ３９を有するＰＣ４４を備え、ＰＣ４４は、利用者の所望のタイミングでディスプレイ３９にＧＭＳ編集ツール５０を表示し、ＧＭＳ編集ツール５０のフォーマット入力部５１において編集された検査結果のフォーマットを表すデータを受け付け、さらに、受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換して検査プローバ１１に送信し、検査プローバ１１は、送信されたスクリプトを出力用プログラムに変換し、該出力用プログラムに応じてＩＣチップの検査結果を出力する。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集装置を備え、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力することを特徴とする基板検査システム。
【請求項２】
前記出力形式編集装置は、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項１記載の基板検査システム。
【請求項３】
前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項１又は２記載の基板検査システム。
【請求項４】
前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項３記載の基板検査システム。
【請求項５】
前記検査装置と前記出力形式編集装置とは別体であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項６】
前記検査装置と前記出力形式編集装置とは一体であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項７】
前記出力形式編集装置は前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、
前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板検査システム。
【請求項８】
基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて前記検査結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、
前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集モジュールと、
前記編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力する検査結果出力モジュールとを有することを特徴とする記憶媒体。
【請求項９】
前記出力形式編集モジュールは、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする請求項８記載の記憶媒体。
【請求項１０】
前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする請求項８又は９記載の記憶媒体。
【請求項１１】
前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする請求項１０記載の記憶媒体。
【請求項１２】
前記出力形式編集モジュールは前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査結果出力モジュールは前記出力形式編集モジュールにおいて編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の記憶媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に形成された半導体デバイスの検査を行う検査装置を有する基板検査システム及び該検査の結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
ウエハ等の基板上に形成された半導体デバイス、例えば、ＩＣチップを電気的に検査する装置として検査プローバが知られている。検査プローバは半導体デバイスの電極パッドに接触するプローブ針を有するプローブカードと、基板を載置して上下左右に自在に移動する基板位置決め機構とを有する。この検査プローバでは、基板位置決め機構が基板上の検査対象の半導体デバイスとプローブカードのプローブ針とを接触させ、プローブカードが検査対象の半導体デバイスの電気的測定を行う。また、検査プローバはプローブカードによる電気的測定の結果から検査対象の半導体デバイスの検査結果（以下、単に「検査結果」という。）を導く、例えば、当該半導体デバイスの良／不良を判定するテストヘッドを有する（例えば、特許文献１参照。）。
【０００３】
検査プローバは、該検査プローバが出力する検査結果を格納するサーバ、検査プローバによって検査された基板を収容し、且つ当該基板に関する検査結果に基づいて不良と判定された半導体デバイスにマーキングを施すマーキングプローバ、さらにはサーバに格納された検査結果を種々の目的のために利用するホストコンピュータ（以下、単に「ホスト」という。）等と配線を介して接続されている。これらの検査プローバ、マーキングプローバ、サーバ及びホストは基板検査システムを構成する。
【０００４】
ところで、検査プローバとホストは通常製造者が異なり、検査プローバとホストの組み合わせは基板検査システムの利用者が決定するため、ホストが利用可能な検査結果のフォーマットと、検査プローバが標準で出力する検査結果のフォーマットとは通常異なる。そこで、従来は、ホストが利用可能な検査結果のフォーマットと同じフォーマットの検査結果を検査プローバが出力するための出力用プログラムを作成し、該出力用プログラムを検査プローバに供給している。また、この出力用プログラムの作成作業は検査プローバの製造者が行っている。
【特許文献１】特開平７―２９７２４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記基板検査システムではホストの仕様が変わる度に新たな出力用プログラムを作成する必要があり、検査プローバの製造者の工数が増加する。また、新たな出力用プログラムが作成されるまで、基板検査システムの利用者は該基板検査システムを利用することができず、該基板検査システムの稼働率が低下する。
【０００６】
さらに、ホストの種類の増加に対応して出力用プログラムの種類が増加するため、これらの出力用プログラムを管理する検査プローバの製造者の工数も膨大なものとなる。
【０００７】
本発明の目的は、基板検査システムの稼働率の低下を防止することができると共に、検査プローバの製造者の工数を削減することができる基板検査システム及び記憶媒体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、請求項１記載の基板検査システムは、基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて、前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集装置を備え、前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力することを特徴とする。
【０００９】
請求項２記載の基板検査システムは、請求項１記載の基板検査システムにおいて、前記出力形式編集装置は、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする。
【００１０】
請求項３記載の基板検査システムは、請求項１又は２記載の基板検査システムにおいて、前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする。
【００１１】
請求項４記載の基板検査システムは、請求項３記載の基板検査システムにおいて、前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする。
【００１２】
請求項５記載の基板検査システムは、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板検査システムにおいて、前記検査装置と前記出力形式編集装置とは別体であることを特徴とする。
【００１３】
請求項６記載の基板検査システムは、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の基板検査システムにおいて、前記検査装置と前記出力形式編集装置とは一体であることを特徴とする。
【００１４】
請求項７記載の基板検査システムは、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の基板検査システムにおいて、前記出力形式編集装置は前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査装置は前記出力形式編集装置において編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする。
【００１５】
上記目的を達成するために、請求項８記載の記憶媒体は、基板上に形成された半導体デバイスを検査し、且つ前記半導体デバイスの検査結果を出力する検査装置を備える基板検査システムにおいて前記検査結果の出力方法をコンピュータに実行させるプログラムを格納するコンピュータ読み取り可能な記憶媒体であって、前記プログラムは、前記出力される検査結果の形式を編集する出力形式編集モジュールと、前記編集された検査結果の形式に基づいて前記検査結果を出力する検査結果出力モジュールとを有することを特徴とする。
【００１６】
請求項９記載の記憶媒体は、請求項８記載の記憶媒体において、前記出力形式編集モジュールは、前記出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換することを特徴とする。
【００１７】
請求項１０記載の記憶媒体は、請求項８又は９記載の記憶媒体において、前記出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含むことを特徴とする。
【００１８】
請求項１１記載の記憶媒体は、請求項１０記載の記憶媒体において、前記制御方法に関する関数が予め設定されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項１２記載の記憶媒体は、請求項８乃至１１のいずれか１項に記載の記憶媒体において、前記出力形式編集モジュールは前記検査装置が保有するデータの出力形式を編集し、前記検査結果出力モジュールは前記出力形式編集モジュールにおいて編集された出力形式に基づいて前記検査装置が保有するデータを出力することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１記載の基板検査システム及び請求項８記載の記憶媒体によれば、基板検査システムにおいて、出力される半導体デバイスの検査結果の形式が編集され、該編集された検査結果の形式に基づいて検査結果が出力されるので、基板検査システムの利用者が、出力される半導体デバイスの検査結果の形式を所望の形式に設定することができる。したがって、基板検査システムの利用者は、検査装置の製造者によって新たな出力用プログラムが作成されるまで基板検査システムの利用を中断する必要がなく、もって、基板検査システムの稼働率の低下を防止することができる。また、検査装置の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査装置の製造者の工数を削減することができる。
【００２１】
請求項２記載の基板検査システム及び請求項９記載の記憶媒体によれば、出力形式編集装置は、出力される検査結果の形式をテーブル形式のデータとして受け付け、且つ該受け付けたテーブル形式のデータをスクリプトに変換するので、出力される検査結果の形式の入力・編集を容易に行うことができると共に、検査結果の形式に関して高度な制御を容易に実現することができる。
【００２２】
請求項３記載の基板検査システム及び請求項１０記載の記憶媒体によれば、出力される検査結果の形式に関連して編集される項目は、検査結果の出力に関する制御方法、検査結果のデータ長及び検査結果のデータ書式を少なくとも含む。検査装置が実行する検査の種類は該検査装置の種類に応じて変化するため、検査結果の形式も検査装置の種類に応じて変更する必要があり、ホストの仕様が変わると該ホストが利用可能なデータ長及びデータ書式が変わることが多い。ここで、検査結果の出力に関する制御方法、データ長及びデータ書式が編集可能であるので、基板検査システムの利便性を向上することができる。
【００２３】
請求項４記載の基板検査システム及び請求項１１記載の記憶媒体によれば、制御方法に関する関数が予め設定されているので、基板検査システムの利用者は高度な制御を関数によって容易に実現することができ、もって、基板検査システムの利便性をより向上することができる。
【００２４】
請求項５記載の基板検査システムによれば、検査装置と出力形式編集装置とは別体であるので、出力形式の編集作業を行う間に半導体デバイスの検査を行うことができ、もって、確実に基板検査システムの稼働率の低下を防止することができる。
【００２５】
請求項６記載の基板検査システムによれば、検査装置と出力形式編集装置とは一体であるので、基板検査システムの利用者は検査装置を離れることなく出力形式の編集作業を行うことができ、もって、基板検査システムの利便性をさらに向上することができる。
【００２６】
請求項７記載の基板検査システム及び請求項１２記載の記憶媒体によれば、基板検査システムにおいて、検査装置が保有するデータの出力形式が編集され、該編集された出力形式に基づいて検査装置が保有するデータが出力されるので、基板検査システムの利用者が、検査装置が保有するデータの出力形式を所望の形式に設定することができる。したがって、基板検査システムの利用者は、所望の出力形式に対応した、検査装置が保有するデータの出力用プログラムが作成されるまで基板検査システムの利用を中断する必要がなく、もって、基板検査システムの稼働率の低下をさらに防止することができる。また、検査装置の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査装置の製造者の工数をさらに削減することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２８】
図１は、本実施の形態に係る基板検査システムとしてのＧＭＳ（Group Marking System）の概略構成を示すブロック図である。
【００２９】
図１において、ＧＭＳ１０はウエハ上に形成された半導体デバイス、例えば、ＩＣチップを電気的に検査する検査プローバ（検査装置）１１と、検査プローバ１１が出力するＩＣチップの検査結果（以下、単に「検査結果」という。）を格納するサーバ４１と、検査プローバ１１によって検査されたウエハについて、検査プローバ１１が出力した検査結果に基づいて所定のＩＣチップにマーキングを施すマーキングプローバ４３と、サーバ４１に格納された検査結果を種々の目的のために利用するホストコンピュータ（以下、単に「ホスト」という。）４２と、検査プローバ１１から出力される検査結果のフォーマット（出力形式）を編集するパーソナルコンピュータ（以下、「ＰＣ」という。）４４（出力形式編集装置）とを備える。また、検査プローバ１１、サーバ４１、マーキングプローバ４３、ホスト４２及びＰＣ４４は互いにＬＡＮ（Local Area Network）４５によって接続されている。ＰＣ４４は入力手段としてのキーボード（図示しない）及び表示手段としてのディスプレイ３９を備える。
【００３０】
このＧＭＳ１０では、検査プローバ１１が、ウエハを収容し、ウエハ上に形成された複数のＩＣチップについて電気的な欠陥の有無を検査し、各ＩＣチップの位置情報をＩＣチップの検査条件や電気的な欠陥の有無（以下、欠陥ありを「Ｆａｉｌ」といい、欠陥無しを「Ｐａｓｓ」という。）の情報と共に検査結果として出力する。また、マーキングプローバ４３は、検査プローバ１１で検査されたウエハを収容し、検査プローバ１１が出力した検査結果に基づいて、検査プローバ１１がＦａｉｌと判定したＩＣチップにインク等でマーキングを施す。これにより、ウエハにおいて電気的な欠陥を有するＩＣチップを後の工程において判別することができる。
【００３１】
図２は、図１における検査プローバの概略構成を示す斜視図であり、図３は、図１における検査プローバの概略構成を示すブロック図である。
【００３２】
図２及び図３において、検査プローバ１１は、ＩＣチップの電極パッド（図示しない）に接触するプローブ針１２を有するプローブカード１３と、プローブカード１３による各ＩＣチップの電気的測定の結果から各ＩＣチップの電気的な欠陥の有無を判定するテストヘッド１４と、検査対象のＩＣチップの電極パッドとプローブ針１２とを接触させるように、ウエハを載置して上下左右に自在に移動するウエハアライメント機構１５と、検査プローバ１１の各構成要素の動作を制御するプローバ制御系３３とを備える。
【００３３】
ウエハアライメント機構１５は、図２中に示すＹ方向に沿って移動するＹステージ１６と、同図中に示すＸ方向に沿って移動するＸステージ１７と、同図中に示すＺ方向に沿って移動するＺ移動部１８とを有する。
【００３４】
Ｙステージ１６は、土台としてのベース２４上にＹ方向に沿って延設された２本のＹガイドレール１９によって担持され、Ｙ方向に沿って配置されたボールねじ２０の回動によってＹ方向に高精度に駆動される。ボールねじ２０はステップモータであるＹステージ用モータ２１によって回動される。Ｘステージ１７はＹステージ１６上にＸ方向に沿って延設された２本のＸガイドレール２２によって担持され、Ｘ方向に沿って配置されたボールねじ２３の回動によってＸ方向に高精度に駆動される。ボールねじ２３もステップモータであるＸステージ用モータ（図示しない）によって回動される、なお、図３ではＹステージ１６、Ｘステージ１７及びこれに関連する構成要素はＸ，Ｙアセンブリ２５として示される。また、Ｚ移動部１８の上には、図２中に示すθ方向に移動自在な（周方向に回転自在な）載置台２４が設けられ、該載置台２４上にウエハＷが載置される。
【００３５】
ウエハアライメント機構１５では、所望のＩＣチップの電気的な欠陥の有無を検査する際、Ｙステージ１６、Ｘステージ１７、Ｚ移動部１８及び載置台２４が協働してウエハＷ上の検査対象のＩＣチップを所望の位置、例えば、プローブカード１３のプローブ針１２と対向する位置に移動させ、さらに、検査対象のＩＣチップの電極パッドとプローブ針１２とを接触させる。
【００３６】
プローブカード１３は、ウエハアライメント機構１５の上方に配置されている。プローブカード１３はインサートリング２６に取り付けられ、該インサートリング２６は装置本体の天板に相当するヘッドプレート２７に着脱自在に設けられている。プローブカード１３では、上述したプローブ針１２がウエハＷ上に形成されたＩＣチップの電極パッドの配列に対応して配列されている。
【００３７】
また、プローブカード１３上にはコンタクトリング２８を介してテストヘッド１４が設けられる。該テストヘッド１４は、プローブカード１３から伝送される検査対象のＩＣチップの電気的測定結果としての電気信号を測定データとして記憶するデータ記憶部２９や該測定データに基づいて測定対象のＩＣチップの電気的な欠陥の有無を判定する判定部３０等を備えている。
【００３８】
プローブカード１３と載置台２４との間には、ウエハＷを撮像するＣＣＤカメラ３１が設けられている。該ＣＣＤカメラ３１は移動ホルダ３２に保持されて図２中のＸ方向に移動自在である。
【００３９】
プローバ制御系３３は、中央処理部３４、画像処理部３５、メモリ部３６、エンコーダ３７及びモータ制御部３８を備える。画像処理部３５はＣＣＤカメラ３１に接続され、ＣＣＤカメラ３１から出力された画像信号を処理し、ＣＣＤカメラ３１が撮像した画像と予め記憶されている画像との比較等を行う。メモリ部３６はプローブ針１２及び検査対象のＩＣチップの電極パッドの各位置等、ＩＣチップの電気的検査に関連するデータを格納する。エンコーダ３７は、Ｙステージ１６、Ｘステージ１７、Ｚ移動部１８及び載置台２４を移動させる各モータに対応して設けられ、Ｘ、Ｙ、Ｚ、θ方向の各移動量に対応する所定数の信号パルス（ボールネジの回転角）を中央処理部３４に出力する。モータ制御部３８はＹステージ１６、Ｘステージ１７、Ｚ移動部１８及び載置台２４を移動させる各モータを制御する。
【００４０】
この検査プローバ１１では、所望のＩＣチップの電気的な欠陥の有無を検査する際、載置台２４がウエハＷを載置し、中央処理部３４がメモリ部３６に格納された検査対象のＩＣチップの電極パッドの位置に関するデータ等を読み出し、モータ制御部３８は該読み出されたデータに応じてＹステージ１６、Ｘステージ１７、Ｚ移動部１８の各モータを所定の回転数だけ回転させる。これにより、Ｙステージ１６、Ｘステージ１７、Ｚ移動部１８及び載置台２４はウエハＷ上の検査対象のＩＣチップをプローブ針１２と対向する位置に移動させ、さらに、検査対象のＩＣチップの電極パッドとプローブ針１２とを接触させる。
【００４１】
その後、プローブカード１３は検査対象のＩＣチップの電気的測定結果を電気信号としてテストヘッド１４のデータ記憶部２９に伝送し、該データ記憶部２９は伝送された電気信号を測定データとして記憶し、判定部３０は記憶された測定データに基づいて測定対象のＩＣチップの電気的な欠陥の有無（Ｐａｓｓ又はＦａｉｌ）を判定し、該判定結果（Ｐａｓｓ又はＦａｉｌ）を検査結果として中央処理部３４に出力する。検査結果を受信した中央処理部３４は該検査結果をＬＡＮ４５を介してサーバ４１に送信する。
【００４２】
検査対象のＩＣチップの電気的測定は検査条件、例えば、温度を変化させながら繰り返し行われるため、判定結果は検査条件と密接な関係を有する。また、判定結果はマーキングプローバ４３において各ＩＣチップにマーキングを施すか否かの判定に使用される。さらに、Ｆａｉｌと判定されたＩＣチップの数が多い場合、その原因を究明するためにウエハＷの素性を明らかにする必要がある。これに対応して、上述した検査結果には、通常、測定対象のＩＣチップの電気的な欠陥の有無だけでなく、検査条件、測定された各ＩＣチップの位置情報及びウエハＷに関する情報（製造日等）が含まれる。したがって、送信される検査結果は、判定結果、検査条件、各ＩＣチップの位置情報、及びウエハＷに関する情報が適宜組み合わされたデータとなる。該データのフォーマットは後述するＰＣ４４におけるディスプレイ３９において編集することができる。
【００４３】
なお、検査結果に含むべき検査条件は検査結果の使用目的に応じて異なるため、検査プローバ１１の外部機器、例えば、ホスト４２からの要求に応じて検査条件は選択される。また、中央処理部３４は検査プローバ１１の外部機器からの要求タイミングに従って検査結果を送信する。
【００４４】
図４は、図１におけるＰＣのディスプレイに表示される検査結果のフォーマット編集ツールを示す図である。
【００４５】
図４において、検査結果のフォーマット編集ツールとしてのＧＭＳ編集ツール５０は、所望のフォーマットを表すデータをテーブル形式で入力・編集可能なフォーマット入力部５１と、種々の機能を実現するための複数のボタンとを有する。
【００４６】
ＧＭＳ編集ツール５０が有するボタンとしては、例えば、フォーマット入力部５１に行を挿入するための「挿入」ボタン５２、フォーマット入力部５１から行を削除するための「削除」ボタン５３、フォーマット入力部５１における「データ列」の編集において利用可能なデータ、関数、演算式の一覧をそれぞれ表示させるための「データ」ボタン５４、「関数」ボタン５５及び「演算式」ボタン５６、入力・編集されたフォーマットで検査結果が出力されるか否かを検証するためのデバックにおいて該デバック用のデータを設定するための「データ設定」ボタン５７、デバックを終了させるための「オフ」ボタン５８、デバックを実行するための「実行」ボタン５９、デバックを続行するための「続行」ボタン６０、デバックの実行をブレークする「ブレークポイント」ボタン６１、並びにフォーマット入力部５１において入力・編集された所望のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換し、且つ変換されたスクリプトを検査プローバ１１に送信するための「変換」ボタン６２が該当する。
【００４７】
フォーマット入力部５１はそれぞれ入力・編集が可能な項目列、例えば、検査プローバ１１の仕様に応じて出力する検査結果のフォーマットを変更するための制御文（制御方法）等を指定可能な「識別」列６３、検査結果に含まれる判定結果や検査条件の内容を指定可能な「データ」列６４、検査結果に含まれる判定結果や検査条件の書式（バイナリ、ＡＳＣＩＩ等）を指定可能な「書式」列６５、検査結果に含まれる判定結果や検査条件のデータ長を指定可能な「データ長」列６６及びＧＭＳ１０の利用者（以下、単に「利用者」という。）がコメントを書き込むための「コメント」列６７を有する。ここで、「識別」列６３や「書式」列６５の各欄にはプルダウンメニューによって制御文や書式が指定入力可能である。また、「データ」列６４、「データ長」列６６及び「コメント」列６７の各欄にはテキスト入力や上述した「データ」ボタン５４、「関数」ボタン５５及び「演算式」ボタン５６を用いた内容の入力が可能である。
【００４８】
利用者は、例えば、ホスト４２の仕様が変更され、検査プローバ１１が出力する検査結果のフォーマットと、該ホスト４２が利用可能な検査結果のフォーマットが異なるようになった場合、ＰＣ４４のディスプレイ３９に表示された所定のボタン等をマウス等でクリックすることによってＧＭＳ編集ツール５０をディスプレイ３９に表示させ、ＧＭＳ編集ツール５０のフォーマット入力部５１においてホスト４２が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータを入力・編集する。このとき、利用者は、必要に応じて「挿入」ボタン５２、「削除」ボタン５３、「データ」ボタン５４、「関数」ボタン５５及び「演算式」ボタン５６のいずれかを利用することによって検査結果のフォーマットを表すデータを容易に入力・編集することができる。ここで、「関数」ボタン５５を押下したときに表示される関数としては、例えば、ウエハＷの中心位置を算出するための関数や、ＩＣチップの歩留まりを算出するための関数が該当する。また、ＰＣ４４は、利用者が編集したホスト４２が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータのテーブル形式の入力をフォーマット入力部５１を介して受け付ける。
【００４９】
図７は、ウエハの中心位置を算出するための関数を利用した場合における検査結果の出力の一例を示す図であり、（Ａ）はウエハの中心位置からセンタチップの所定の隅部までの距離を説明するための図であり、（Ｂ）はセンタチップから基点チップまでの相対位置を説明するための図であり、（Ｃ）は各ＩＣチップの判定結果データ列を説明するための図である。なお、センタチップとはウエハの中心に位置するＩＣチップであり、基点チップとはマーキングプローバ４３が各ＩＣチップにマーキングを施す際に最初にマーキングを施すＩＣチップである。
【００５０】
ウエハＷの中心位置を算出するための関数を利用して該ウエハＷの中心位置Ｃ（ｘ０，ｙ０）を算出した場合、検査プローバ１１は、ウエハＷの中心位置Ｃの他に、図７（Ａ）に示す、ウエハＷの中心位置Ｃからセンタチップ７０の所定の隅部Ｒ（図中では左上隅部）（ｘ１，ｙ１）までの距離である距離（ｘ１−ｘ０，ｙ１−ｙ０）と、図７（Ｂ）に示す、センタチップ７０から基点チップ７１までの相対座標（図中では（−１、−３））と、図７（Ｃ）に示す、各ＩＣチップの判定結果データ列７２とを出力する。各ＩＣチップの判定結果のデータ列７２は各ＩＣチップの位置情報及び判定結果からなり、具体的には｛（０，０，Ｆａｉｌ）、（１，０，Ｐａｓｓ）、（２，０，Ｐａｓｓ）、、、、（−１，２，Ｐａｓｓ）、、、、｝で示される。
【００５１】
なお、上述した検査結果の出力フォーマットはＧＭＳ編集ツール５０において編集される。
【００５２】
マーキングプローバ４３は、検査プローバ１１から出力された上記検査結果を受け取り、さらに、ウエハＷを収容すると、まず該ウエハＷの中心位置Ｃを算出し、算出された中心位置Ｃ及び距離（ｘ１−ｘ０，ｙ１−ｙ０）に基づいてセンタチップ７０の所定の隅部Ｒの位置を求め、該求められた隅部Ｒの位置及びセンタチップ７０から基点チップ７１までの相対座標に基づいて基点チップ７１の座標を求め、さらに、各ＩＣチップの判定結果のデータ列７２に基づいて、求められた基点チップ７１からＦａｉｌと判定したＩＣチップにマーキングを施していく。
【００５３】
利用者は、ホスト４２が利用可能な検査結果のフォーマットを表すデータを入力・編集し終えると、「変換」ボタン６２を押下することにより、ＰＣ４４に、入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換させ、且つ変換されたスクリプトを検査プローバ１１に送信させる。
【００５４】
また、利用者は、「変換」ボタン６２を押下する前に「データ設定」ボタン５７、「オフ」ボタン５８、「実行」ボタン５９、「続行」ボタン６０及び「ブレークポイント」ボタン６１を利用することにより、入力・編集されたフォーマットを表すデータがスクリプトに変換される前に、入力・編集されたフォーマットで所望の検査結果が出力されるか否かを検証することができる。
【００５５】
図５は、図４のフォーマット入力部において入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換する工程を説明するための図であり、（Ａ）は入力・編集されたフォーマットを表すデータを示す図であり、（Ｂ）は変換されたスクリプトを示す図である。
【００５６】
図５（Ａ）において、例えば、フォーマット入力部５１の５行目の「識別」列６３の欄に入力された、制御文を含む文字列「＃ＩＦ（ＴＰ＿ＨＯＴＣＨＵＣＫ＝ＯＮ）  ＴＨＥＮ」は「検査プローバがホットチャック（高温測定）仕様なら次行で定義するデータを検査結果として出力する」ことを意味する。また、フォーマット入力部５１の６行目の「データ」列６４の欄に入力された文字列「ＴＤ＿ＴＥＭＰ」、同行目の「書式」列６５の欄に入力された文字列「ＡＳＣＩＩ」及び同行目の「データ長」列６６の欄に入力された数字「３」はそれぞれ「ウエハＷの温度データを出力すること」、「アスキー形式で出力すること」及び「データ長は３とすること」を意味する。
【００５７】
図５（Ｂ）において、例えば、上記フォーマット入力部５１の５行目は「IF Get.CommonData(TP_HOTCHK)=1 then」にスクリプト変換され、上記フォーマット入力部５１の６行目は「GMSFile.Add(Get.CommonData(TD_TEMP),ASCII,3)」にスクリプト変換される。すなわち、同５行目は「検査プローバがホットチャック仕様なら次行で定義するデータを検査結果として出力すること」を意味するように正確にスクリプト変換され、同６行目は「ウエハＷの温度データをアスキー形式且つデータ長が３で出力すること」を意味するように正確にスクリプト変換されている。ここで、所定の文字列をスクリプト（プログラム）に変換する法則は簡素であるため、フォーマット入力部５１における文字列をスクリプトに変換することは容易に実現できる。また、スクリプトでは制御文の表現が可能であるため、入力・編集されたフォーマットを表すデータに制御文を含ませることができ、これにより、検査プローバ１１から出力される検査結果のフォーマットに関して高度な制御、例えば、検査プローバ１１がホットチャック仕様であれば検査結果にウエハＷの温度データを含め、検査プローバ１１がホットチャック仕様でなければ検査結果に他のデータを含むという制御を容易に実現することができる。
【００５８】
次に、本実施の形態に係る基板システムにおいて実行される検査結果編集出力方法について説明する。
【００５９】
図６は、図１における検査プローバ及びＰＣが実行する検査結果編集出力処理のフローチャートである。なお、図６の処理が開始されるまでにウエハＷの各ＩＣチップについて電気的測定が行われ、各ＩＣチップの電気的な欠陥の有無の判定は終了しているものとする。
【００６０】
図６において、まず、ＰＣ４４は、利用者の操作入力に応じて該利用者の所望のタイミングでディスプレイ３９にＧＭＳ編集ツール５０を表示し（ステップＳ６１）、さらに、利用者がＧＭＳ編集ツール５０のフォーマット入力部５１において編集した検査結果のフォーマットを表すデータのテーブル形式の入力を該フォーマット入力部５１を介して受け付ける（ステップＳ６２）。
【００６１】
次いで、ＰＣ４４は、利用者による「変換」ボタン６２の押下に応じて、受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換し（ステップＳ６３）、さらに、変換されたスクリプトを検査プローバ１１に送信する（ステップＳ６４）。
【００６２】
次いで、検査プローバ１１は、受信したスクリプトをコンパイルして出力用プログラムに変換し（ステップＳ６５）、さらに、変換された出力用プログラムに応じて、各ＩＣチップの電気的な欠陥の有無の判定結果を含む検査結果を利用者が編集した検査結果のフォーマットでＬＡＮ４５を介してサーバ４１やホスト４２に出力し、本処理を終了する。
【００６３】
上述したＧＭＳ１０によれば、ＧＭＳ１０において、編集されたＩＣチップの検査結果のフォーマットを表すデータがＰＣ４４によって受け付けられ、編集された検査結果のフォーマットを表すデータから変換された出力用プログラムに基づいて検査プローバ１１から検査結果が出力されるので、利用者は検査プローバ１１から出力される検査結果のフォーマットを所望のフォーマットに設定することができる。したがって、利用者は、検査プローバ１１の製造者によって新たな出力用プログラムが作成されるまでＧＭＳ１０の利用を中断する必要がなく、もって、ＧＭＳ１０の稼働率の低下を防止することができる。また、検査プローバ１１の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査プローバ１１の製造者の工数を削減することができる。また、ＧＭＳ編集ツール５０は利用者の所望のタイミングで表示されるので、利用者は所望のタイミングで検査結果のフォーマットを編集することができ、もってＧＭＳ１０の利便性を向上することができる。
【００６４】
上述したＧＭＳ１０では、ＰＣ４４は、フォーマット入力部５１を介して編集された検査結果のフォーマットを表すデータをテーブル形式の入力として受け付け、且つ該受け付けた検査結果のフォーマットを表すデータをスクリプトに変換するので、検査プローバ１１から出力される検査結果のフォーマットの入力・編集を容易に行うことができると共に、検査結果のフォーマットに関して高度な制御を容易に実現することができる。
【００６５】
上述したテーブル形式のフォーマット入力部５１において検査結果のフォーマットに関連して入力・編集が可能な項目列は、検査結果のフォーマットを変更するための制御文等を指定可能な「識別」列６３、判定結果や検査条件のデータ長を指定可能な「データ長」列６６及び判定結果や検査条件の書式を指定可能な「書式」列６５を少なくとも含む。検査プローバ１１が実行する検査の種類は該検査プローバ１１の種類に応じて変化するため、検査結果のフォーマットも検査プローバ１１の種類に応じて変更する必要があり、ホスト４２の仕様が変わると該ホスト４２が利用可能なデータ長及び書式が変わることが多い。フォーマット入力部５１では、「識別」列６３、「データ長」列６６及び「データ長」列６６の各欄で所望の文字列等を入力・編集可能であるので、ＧＭＳ１０の利便性を向上することができる。
【００６６】
また、上述したテーブル形式のフォーマット入力部５１において「識別」列６３に入力可能な関数が予め設定されているので、利用者は高度な制御を関数として利用することができ、もって、ＧＭＳ１０の利便性をより向上することができる。
【００６７】
上述したＧＭＳ１０では、検査プローバ１１とＰＣ４４とは別体であるので、ＰＣ４４において検査結果のフォーマットの編集作業を行う間に、検査プローバ１１においてＩＣチップの検査を行うことができ、もって、確実にＧＭＳ１０の稼働率の低下を防止することができる。
【００６８】
上述したＧＭＳ１０では、検査プローバ１１とＰＣ４４とは別体であったが、検査プローバがＰＣと一体であってもよい。これにより、利用者は検査プローバを離れることなく検査結果のフォーマットの編集作業を行うことができ、もって、ＧＭＳの利便性をさらに向上することができる。
【００６９】
また、検査プローバ１１が出力する検査結果に含まれるデータは各ＩＣチップの電気的な欠陥の有無に限られず、例えば、ウエハアライメント機構１５によるウエハＷの位置合わせエラー（アライメントエラー）が発生した場合における、ＣＣＤカメラ３１によって撮像されたウエハＷの画像データであってもよい。これにより、利用者は検査プローバ１１のヘッドプレート２７を開けることなく位置合わせエラー発生時の検査プローバ１１内におけるウエハＷの位置を知ることができ、もって、迅速にリカバリーを行うことができる。
【００７０】
また、上述したＰＣ４４はフォーマット入力部５１を介して受け付けた編集された検査結果のフォーマットを表すデータを一旦スクリプトに変換し、さらに出力用プログラムに変換したが、検査プローバ１１から出力される検査結果のフォーマットに関して高度な制御が不要であり、フォーマット入力部５１において制御文を入力する必要がない場合には、編集された検査結果のフォーマットを表すデータを、スクリプトに変換することなく、直接出力用プログラムに変換してもよい。これにより、検査結果のフォーマットの変更作業を迅速に行うことができる。
【００７１】
上述したＧＭＳ１０では、ＧＭＳ編集ツール５０においてＩＣチップの検査結果のフォーマットが編集されたが、ＧＭＳ編集ツール５０においてフォーマットが編集されるデータはＩＣチップの検査結果に限られず、例えば、検査プローバ１１が保有するデータ、例えば、検査プローバ１１の稼働情報も該当する。このとき、編集された稼働情報のフォーマットを表すデータがＰＣ４４によって受け付けられ、編集された稼働情報のフォーマットを表すデータから変換された出力用プログラムに基づいて検査プローバ１１から稼働情報が出力されるので、利用者は検査プローバ１１から出力される稼働情報のフォーマットを所望のフォーマットに設定することができる。したがって、利用者は、検査プローバ１１の製造者によって所望のフォーマットに対応した、新たな出力用プログラムが作成されるまでＧＭＳ１０の利用を中断する必要がなく、もって、ＧＭＳ１０の稼働率の低下をさらに防止することができる。また、検査プローバ１１の製造者は新たな出力用プログラムを作成する必要もなく、且つ出力用プログラムを管理する必要もないので、検査プローバ１１の製造者の工数をさらに削減することができる。
【００７２】
また、本発明の目的は、上述した実施の形態の機能を実現するソフトウェアのプログラムコードを記録した記憶媒体を、コンピュータ（例えば、ＰＣ４４や中央処理部３４）に供給し、コンピュータのＣＰＵが記憶媒体に格納されたプログラムコードを読み出して実行することによっても達成される。
【００７３】
この場合、記憶媒体から読み出されたプログラムコード自体が上述した実施の形態の機能を実現することになり、プログラムコード及びそのプログラムコードを記憶した記憶媒体は本発明を構成することになる。
【００７４】
また、プログラムコードを供給するための記憶媒体としては、例えば、ＲＡＭ、ＮＶ−ＲＡＭ、フロッピー（登録商標）ディスク、ハードディスク、光磁気ディスク、ＣＤ−ＲＯＭ、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ）等の光ディスク、磁気テープ、不揮発性のメモリカード、他のＲＯＭ等の上記プログラムコードを記憶できるものであればよい。或いは、上記プログラムコードは、インターネット、商用ネットワーク、若しくはローカルエリアネットワーク等に接続される不図示の他のコンピュータやデータベース等からダウンロードすることによりコンピュータに供給されてもよい。
【００７５】
また、コンピュータが読み出したプログラムコードを実行することにより、上記実施の形態の機能が実現されるだけでなく、そのプログラムコードの指示に基づき、ＣＰＵ上で稼動しているＯＳ（オペレーティングシステム）等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００７６】
更に、記憶媒体から読み出されたプログラムコードが、コンピュータに挿入された機能拡張ボードやコンピュータに接続された機能拡張ユニットに備わるメモリに書き込まれた後、そのプログラムコードの指示に基づき、その機能拡張ボードや機能拡張ユニットに備わるＣＰＵ等が実際の処理の一部又は全部を行い、その処理によって上述した実施の形態の機能が実現される場合も含まれる。
【００７７】
上記プログラムコードの形態は、オブジェクトコード、インタプリタにより実行されるプログラムコード、ＯＳに供給されるスクリプトデータ等の形態から成ってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００７８】
【図１】本発明の実施の形態に係る基板検査システムとしてのＧＭＳの概略構成を示すブロック図である。
【図２】図１における検査プローバの概略構成を示す斜視図である。
【図３】図１における検査プローバの概略構成を示すブロック図である。
【図４】図１におけるＰＣのディスプレイに表示される検査結果のフォーマット編集ツールを示す図である。
【図５】図４のフォーマット入力部において入力・編集されたフォーマットを表すデータをスクリプトに変換する工程を説明するための図であり、（Ａ）は入力・編集されたフォーマットを表すデータを示す図であり、（Ｂ）は変換されたスクリプトを示す図である。
【図６】図１における検査プローバ及びＰＣが実行する検査結果編集出力処理のフローチャートである。
【図７】ウエハの中心位置を算出するための関数を利用した場合における検査結果の出力の一例を示す図であり、（Ａ）はウエハの中心位置からセンタチップの所定の隅部までの距離を説明するための図であり、（Ｂ）はセンタチップから基点チップまでの相対位置を説明するための図であり、（Ｃ）は各ＩＣチップの判定結果データ列を説明するための図である。
【符号の説明】
【００７９】
Ｗ  ウエハ
１０  ＧＭＳ
１１  検査プローバ
３４  中央処理部
３９  ディスプレイ
４４  ＰＣ
５０  ＧＭＳ編集ツール
５１  フォーマット入力部
６３  「識別」列
６４  「データ」列
６５  「書式」列
６６  「データ長」列
６７  「コメント」列
７０  センタチップ
７１  基点チップ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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