(57)【要約】【課題】洗浄効率が良好な液体噴射ヘッドの洗浄方法を提供することを課題とする。【解決手段】被吐出液充填前には送品液が充填され、その後送品液を被吐出液と置換し、被吐出液を噴射する液体噴射ヘッドの洗浄方法において、粘度が前記送品液の粘度と前記被吐出液の粘度との何れか高い方と同等以上であり、表面張力が前記送品液の表面張力と前記被吐出液の表面張力との何れか低い方と同等である洗浄液で液体噴射ヘッドを洗浄する。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
被吐出液充填前には送品液が充填され、その後送品液を被吐出液と置換して被吐出液を噴射する液体噴射ヘッドの洗浄方法において、粘度が前記送品液の粘度と前記被吐出液の粘度との何れか高い方と同等以上であり、表面張力が前記送品液の表面張力と前記被吐出液の表面張力との何れか低い方と同等である洗浄液で液体噴射ヘッドを洗浄することを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記送品液は粘度が前記被吐出液の粘度よりも高く、表面張力が前記被吐出液の表面張力よりも高いものであり、この送品液に該送品液と粘度が同等以上で表面張力の低い液体を添加したものを洗浄液としたことを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法。
【請求項３】
請求項２に記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記液体が界面活性剤であることを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法。
【請求項４】
請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記被吐出液がインクであることを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法。
【請求項５】
請求項１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記洗浄液を液体噴射ヘッドの流路に流して洗浄する工程と、気体を流路に導入する工程とを交互に複数回繰り返すことを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
出荷時には送品液が充填され、その後送品液を被吐出液と置換し、被吐出液を噴射する液体噴射ヘッドの洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドは、インク供給口からインク流路内にインクを導入し、ノズルからインク滴を吐出するように構成されている。インクジェット式記録ヘッドのインク充填前にはこのインク流路に送品液を充填することで、インク流路の乾燥を防ぎ、ノズルの目詰まり等を防止している。そして、インクジェット式記録ヘッドが使用される際、又はインクカートリッジと一体化されて製品化される際には、インク流路にインクが供給され、送品液とインクとが置換される。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、様々な材料により構成されている。このインクジェット式記録ヘッドを構成する様々な材料は、製造工程においてインクジェット式記録ヘッドのインク流路に異物として付着することがある。このため、インクジェット式記録ヘッドの製造工程にはインク流路を洗浄する工程がある。異物がインク流路内から完全に除去できずに残留すると、ノズルの目詰まりの原因となる。このため、洗浄効率の良好なインクジェット式記録ヘッドの洗浄方法が求められている。
【０００４】
なお、表面張力が４０ｍＮ／ｍ以下であり、粘度が１．１乃至７．０ｍＰａｓの範囲の洗浄液で洗浄するインクジェットヘッドの洗浄方法が提案されているが（特許文献１参照）、さらに洗浄効率が良好なインクジェット式記録ヘッドの洗浄方法が求められている。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−３９２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑み、洗浄効率が良好な液体噴射ヘッドの洗浄方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上述した課題を解決する本発明の第１の態様は、被吐出液充填前には送品液が充填され、その後送品液を被吐出液と置換して被吐出液を噴射する液体噴射ヘッドの洗浄方法において、粘度が前記送品液の粘度と前記被吐出液の粘度との何れか高い方と同等以上であり、表面張力が前記送品液の表面張力と前記被吐出液の表面張力との何れか低い方と同等である洗浄液で液体噴射ヘッドを洗浄することを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法にある。
かかる第１の態様では、液体噴射ヘッドの流路内の異物を効果的に除去することができ、洗浄後、送品液や被吐出液を充填しても異物が発生することはない。
【０００８】
本発明の第２の態様は、第１の態様に記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記送品液は粘度が前記被吐出液の粘度よりも高く、表面張力が前記被吐出液の表面張力よりも高いものであり、この送品液に該送品液と粘度が同等以上で表面張力の低い液体を添加したものを洗浄液としたことを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法にある。
かかる第２の態様では、送品液と粘度が同等以上で、送品液よりも表面張力の低い液体を送品液に添加したものを洗浄液とすることで、送品液と粘度が同等以上で、送品液よりも表面張力が低い洗浄液となり、この洗浄液により洗浄することで液体噴射ヘッドの流路内の異物をより効果的に除去することができ、洗浄後、送品液や被吐出液を充填しても異物が発生することはない。
【０００９】
本発明の第３の態様は、第２に記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記液体が界面活性剤であることを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法にある。
かかる第３の態様では、送品液に界面活性剤を添加することにより、送品液よりも粘度が高く、表面張力が低い洗浄液とすることができ、この洗浄液により洗浄することで液体噴射ヘッドの流路内の異物をより効果的に除去することができ、洗浄後、送品液や被吐出液を充填しても異物が発生することはない。
【００１０】
本発明の第４の態様は、第１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記被吐出液がインクであることを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法にある。
かかる第４の態様では、インクを被吐出液として用いる液体噴射ヘッドの流路内の異物を効果的に除去することができ、インクを充填して吐出しても異物が発生することはない。
【００１１】
本発明の第５の態様は、第１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッドの洗浄方法において、前記洗浄液を液体噴射ヘッドの流路に流して洗浄する工程と、気体を流路に導入する工程とを交互に複数回繰り返すことを特徴とする液体噴射ヘッドの洗浄方法にある。
かかる第５の態様では、洗浄液を液体噴射ヘッドの流路に流して洗浄する工程と、気体を流路に導入する工程とを複数回繰り返すことで、より効果的に異物を除去することができ、送品液や被吐出液を充填して吐出しても異物が発生することはない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
以下、本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。なお、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを例示して本願発明を説明する。
【００１３】
まず、インクジェット式記録ヘッドの構造について説明する。図１は、本発明に係るインクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及びＡ−Ａ’断面図である。
【００１４】
流路形成基板１０は本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶からなり、その一方面には二酸化シリコン（ＳｉＯ２）からなる弾性膜５０が形成されている。
【００１５】
この流路形成基板１０には、シリコン単結晶基板をその一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁１１によって区画された圧力発生室１２が幅方向に並設されている。また、圧力発生室１２の長手方向外側には、後述する保護基板３０のリザーバ部３２と連通されている連通部１３が形成されている。また、この連通部１３は、各圧力発生室１２の長手方向一端部でそれぞれインク供給路１４を介して連通されている。なお、連通部１３は、後述する保護基板のリザーバ部と連通して各圧力発生室１２の共通のインク室となるリザーバの一部を構成する。インク供給路１４は圧力発生室１２よりも狭い幅で形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。また、流路形成基板１０の開口面側には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側で連通するノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。
【００１６】
流路形成基板１０の開口面とは反対側の弾性膜５０の上には、酸化ジルコニウム（ＺｒＯ２）からなる絶縁体層５５、白金（Ｐｔ）からなる下電極６０、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）からなる圧電体層７０、及びイリジウムからなる上電極８０が順に形成されている。
【００１７】
ここで、下電極６０、圧電体層７０、及び上電極８０を含む部分が圧電素子３００である。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層７０から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極６０を圧電素子３００の共通電極とし、上電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、圧力発生室１２毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子３００と当該圧電素子３００の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。
【００１８】
一方、上電極８０には例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極８５がそれぞれ接続されている。このリード電極８５は、各圧電素子３００の長手方向端部近傍から引き出され、インク供給路１４に対応する領域の絶縁体層５５上にそれぞれ延設されて後述する駆動ＩＣと接続されている。
【００１９】
なお、このような圧電素子３００が設けられた側の流路形成基板１０上には、圧電素子３００の運動を阻害しない程度の空間を確保する圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合され、圧電素子３００はこの圧電素子保持部３１内に形成されている。また、保護基板３０には、各圧力発生室１２に共通するリザーバ９０の少なくとも一部を構成するリザーバ部３２が設けられ、このリザーバ部３２は、上述のように流路形成基板１０の連通部１３と連通されてリザーバ９０を構成している。
【００２０】
さらに、保護基板３０の圧電素子保持部３１とリザーバ部３２との間には、この保護基板３０を厚さ方向に貫通する接続孔３３が設けられてけられており、各圧電素子３００から引き出されたリード電極８５の先端部はこの接続孔３３内に露出されている。また、保護基板３０の圧電素子保持部３１側とは反対側の表面には、各圧電素子３００を駆動するための駆動ＩＣ３４が実装されている。そして、各圧電素子３００から引き出されたリード電極８５は、接続孔３３まで延設されており、図示しないが、例えば、ワイヤボンディング等によって駆動ＩＣ３４と接続されている。
【００２１】
保護基板３０上には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０が接合されている。ここで、封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料からなる。また、固定板４２は、金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のリザーバ９０に対向する領域には、厚さ方向に完全に除去された開口部４３が形成され、リザーバ９０の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。
【００２２】
なお、このようなインクジェット式記録ヘッドは、図示しないが、インクカートリッジ等の外部インク供給手段からインク供給口を介してインクを取り込み、リザーバ９０からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、圧力発生室１２に対応するそれぞれの下電極６０と上電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体層５５、下電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。
【００２３】
上述したインクジェット式記録ヘッドの製造方法について説明する。
【００２４】
まず、シリコンウェハからなり複数の流路形成基板１０となる流路形成基板用ウェハ上に、熱酸化、スパッタリング、エッチング等により弾性膜５０、絶縁体層５５、圧電素子３００（下電極６０、圧電体層７０、上電極８０）、リード電極８５を形成する。
【００２５】
次いで、流路形成基板用ウェハの圧電素子３００側に、予め圧電素子保持部３１、リザーバ部３２及び接続孔３３が形成されたシリコンウェハからなり複数の保護基板３０となる保護基板用ウェハを接合し、必要に応じて厚さ方向に研磨した後、異方性エッチング等により流路形成基板用ウェハに圧力発生室１２、連通部１３及びインク供給路１４等を形成する。
【００２６】
そして、流路形成基板用ウェハ及び保護基板用ウェハの外周縁部の不要部分を、例えば、ダイシング等により切断することによって除去し、流路形成基板用ウェハの保護基板用ウェハとは反対側の面にノズル開口２１が穿設されたノズルプレート２０を接合すると共に、保護基板用ウェハにコンプライアンス基板４０を接合する。なお、このときインクジェット式記録ヘッドは複数個で一枚のウェハの状態、すなわち複数個が連結したウェハ状態となっている。
【００２７】
上述したようにスパッタリング、エッチング、ダイシング等の工程を経て製造されることで、インクジェット式記録ヘッドのインク流路には、インクジェット式記録ヘッドを形成する際に用いる材料、エッチング液に含有される有機物等の異物が付着する。なお、インク流路とは、リザーバ９０（リザーバ部３２及び連通部１３）、インク供給路１４、及び圧力発生室１２である。しかし、異物がインク流路に付着したままであるとノズルの目詰まりの原因となり印字不良が発生するため、後に詳述する本発明の洗浄方法によりインクジェット式記録ヘッドのインク流路を洗浄した。本発明の洗浄方法は、このように複数個連結したウェハ状態のインクジェット式記録ヘッドの洗浄に適用して有用なものである。
【００２８】
なお、複数個が連結したウェハ状態のインクジェット式記録ヘッドは、本発明の洗浄方法によりインク流路が洗浄された後、流路形成基板用ウェハ等を一つのチップサイズの流路形成基板１０等に分割されることによって、図１に示すようなインクジェット式記録ヘッドとなる。このように製造されたインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通する流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。
【００２９】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、上述したような製造方法によって製造され、各種検査等に供された後、送品液が充填されて出荷される。ここで、各種検査とは、具体的には、例えば、顕微鏡によるノズル付近の異物の有無を検査する異物検査や、インクジェット式記録ヘッドのインク流路にインクを充填して印刷状態を検査する印刷試験が挙げられ、これらの検査で問題があったインクジェット式記録ヘッドは不良品として除外される。
【００３０】
ここで、送品液とは、比較的粘度が高く、保湿性の高い有機溶媒の水溶液に必要に応じて界面活性剤などの添加剤を添加したものであり、インク流路の乾燥によるノズルの目詰まり等を防止するためにインク流路に充填されるものである。
【００３１】
また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、出荷後初めて使用する際に送品液がインクと置換されることになる。あるいは、インクカートリッジと一体型インクジェット式記録ヘッドの場合には、この組み立て時に送品液がインクと置換されることになる。いずれにしても、インクジェット式記録ヘッドは、本発明の洗浄方法を採用すると、インクジェット式記録ヘッドのインク流路内の異物は除去することができるため、送品液やインクが充填されてもノズルの目詰まりが発生しない。また、ノズルから取り出すことのできない大きな異物がある場合でも、ノズル近傍に大きな異物を集めることができるので、ノズル付近の異物の有無の検査をして不良のインクジェット式記録ヘッドを選別する「異物検査」の段階で確実に異物のあるインクジェット式記録ヘッドを選別できる。
【００３２】
以下、本発明の液体噴射ヘッドの洗浄方法について詳述する。本発明の液体噴射ヘッドの洗浄方法は、液体噴射ヘッドの流路、すなわち、インクジェット式記録ヘッドでいうインク流路の洗浄方法に係るものである。
【００３３】
本発明の液体噴射ヘッドの洗浄方法は、粘度が、送品液の粘度と被吐出液の粘度との何れか高い方と同等以上であり、表面張力が送品液の表面張力と被吐出液の表面張力との何れか低い方と同等である洗浄液で流路を洗浄するものである。ここで、被吐出液とは、例えばインクジェット記録ヘッドの場合、インクである。
【００３４】
本発明にかかる洗浄液は、インクジェット式記録ヘッドを洗浄した後に充填される送品液の粘度とインクの粘度との何れか高い方と同等以上の粘度を有することで異物を押し出す力が強くなり、且つ送品液の表面張力とインクの表面張力との何れか低い方と同等の表面張力を有することでインク流路へのぬれ性が高くなり、洗浄効率が高いものとなる。このため、この洗浄液でインクジェット式記録ヘッドを洗浄すると、インクジェット式記録ヘッドのインク流路内に例えばシリコンやガラス等の無機物のように比較的除去し難い異物が付着している場合でも、この異物を確実に除去することができる。すなわち、上述した粘度及び表面張力を有する洗浄液でインク流路を洗浄することで、ノズルをから取り出すことのできる比較的小さな異物は洗浄液と共にノズルから取り出され、ノズルから取り出すことのできない大きな異物はノズル近傍に集めることができる。このように、インク流路に大きな異物が付着している場合も、ノズル近傍まで集められることで、異物検査段階で不良品として確実に選別することができる。
ここで、洗浄液の粘度は、送品液の粘度とインクの粘度との何れか高い方と同等以上であり、インク流路を流れてノズルから容易に排出できる程度であればよい。また、洗浄液の表面張力は、送品液の表面張力とインクの表面張力との何れか低い方と同等であり、好ましくは送品液の表面張力とインクの表面張力との何れか低い方の１〜１．３倍である。ただし、洗浄液の表面張力は、送品液の表面張力とインクの表面張力のいずれか高いほうよりも低くなるようにする。
【００３５】
また、送品液が、粘度がインクの粘度よりも高く、表面張力がインクの表面張力よりも高いものである場合、この送品液に該送品液と粘度が同等以上で表面張力の低い液体を添加したものを洗浄液とすることが好ましい。このような液体を送品液に添加することで、送品液及びインクよりも異物を押し出す力が強く、インクと同程度のぬれ性のある洗浄液となる。なお、送品液に添加する液体の量は特に限定されず、洗浄液の粘度及び表面張力が上述した条件を満たすように添加すればよい。
【００３６】
送品液に添加する液体としては、例えば界面活性剤が挙げられ、具体的にはオルフィン
などが挙げられる。さらに好ましくはインクに含有される成分を用いる。インクに含有される成分を用いることで、洗浄液の成分がインク流路に残留することがあったとしても、インクの印刷不良が発生する虞がないからである。
【００３７】
下記表１に上述したインクと、送品液と、洗浄液の粘度及び表面張力の関係を例示する。
【００３８】
【表１】
2007276313.tif 000002
【００３９】
表１の洗浄液は、送品液より粘度が高く表面張力の低い界面活性剤を送品液に添加することで得られたものである。このように、本発明にかかる洗浄液は粘度がインク及び送品液の高い方と同等以上であり、且つ表面張力がインクと同等である。
【００４０】
また、本発明の洗浄方法は、上述したような洗浄液をインクジェット式記録ヘッドのインク流路に流して洗浄する工程と、気体をインク流路に導入する工程とを交互に複数回繰り返すのが好ましい。洗浄液をインクジェット式記録ヘッドのインク流路に流して洗浄した後に、気体をインク流路に導入することで、洗浄した後の比較的小さな異物を確実にノズルの外部まで押し出して除去することができる。これを複数回繰り返すことで、インクジェット式記録ヘッドをより効果的に洗浄することができる。また、たとえ異物が大きすぎるためにノズルから取り出すことができない場合でも、洗浄液をインクジェット式記録ヘッドの流路に流して洗浄する工程と、気体を流路に導入する工程とを交互に複数回繰り返すことで異物をノズルまで確実に運ぶことができる。このため、本発明のインクジェット式記録ヘッドの洗浄方法をインクジェット式記録ヘッドの製造工程において用いた場合、インク流路に異物が残留した不良品を確実に発見することができ、インクジェット式記録ヘッドの製品の信頼性が向上する。
【００４１】
ここで、導入する気体は特に限定されないが、液体噴射ヘッド内に導入しても製品の品質を損なわないものであればよく、例えば窒素、アルゴン等が挙げられる。
【００４２】
なお、気体の導入方法は特に限定されないが、インクジェット式記録ヘッドのインク供給口から圧力を加えて気体を導入し、ノズルから排出する。
【００４３】
また、本発明の洗浄方法は、洗浄液をインクジェット式記録ヘッドのインク流路に流して洗浄する工程と、気体を流路に導入する工程以外にも適宜必要な工程を行うのが好ましい。例えば、気体をインク流路に導入する工程を行った後には、異物がノズルまで運ばれてもうまくノズルから排出できずにノズルに残留してしまう場合も考えられるので、ノズルから吸引して異物を液体噴射ヘッドから除去する工程を行う。
【００４４】
本発明の洗浄方法の一例を表２に示す。なお、表２に示す「洗浄液」は洗浄液をインクジェット式記録ヘッドのインク流路に流して洗浄すること、「窒素」は窒素をインク流路に導入すること、「純水」は純水をインク流路に流して洗浄すること、「減圧」はノズルから異物、純水等を吸引することを示す。
【００４５】
【表２】
2007276313.tif 000003
【００４６】
表２の洗浄方法では、まず、工程１〜５に示すように、洗浄液をインクジェット式記録ヘッドのインク流路に流して洗浄した後に気体を流路に導入する工程を繰り返すことで、インク流路の異物をノズルから吐出し、効果的に異物を除去する。次いで、工程６〜８に示すように、ノズルから異物を吸引することで、ノズル近傍に集められた比較的小さな異物を除去して、より効果的に異物を除去する。このとき、ノズルから取り出せない比較的大きな異物はノズルに寄せられる。工程９〜１１に示すように純水をインク流路に流して洗浄した後に気体を流路に導入する工程を繰り返すことで、インク流路の洗浄液を除去する。次いで、工程１２〜１４に示すように、比較的小さいが、取り出しにくい大きさの異物をノズルから吸引して、より効果的に異物を除去すると共に、インク流路の純水を除去する。最後に、インクジェット式記録ヘッドを分割した後、再び吸引する。
【００４７】
本実施形態では、複数のインクジェット式記録ヘッドが一枚のウェハの状態で工程１〜１４を行い、その後分割して工程１６を行ったが、本発明の洗浄方法はこれに限定されるものではなく、勿論、分割されたインクジェット式記録ヘッドに同様にして工程１〜１４を行ってもよい。なお、表２の洗浄方法は工程１６の完了と共に終了する。
【００４８】
本実施形態では、インクカートリッジと別体のインクジェット式記録ヘッドの洗浄方法について説明したが、本発明の液体噴射ヘッドの洗浄方法は、例えば、インクカートリッジと一体化されて製品化される前のインクジェット式記録ヘッド等にも用いることができる。
【００４９】
さらに、本発明の液体噴射ヘッドの洗浄方法は、インクジェット式記録ヘッドに限定されるものではなく、広く液体噴射ヘッドの全般を対象としたものであり、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド等の各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。
【００５０】
（実施例）
送品液にオルフィンを濃度２％となるように添加したものを洗浄液として用いて、表２に示す方法でインクジェット式記録ヘッドの洗浄を行った。
【００５１】
（比較例）
純水を洗浄液として用いて、表２の工程９〜１６に示す方法でインクジェット式記録ヘッドの洗浄を行った。
【００５２】
（試験例）
実施例及び比較例で約１５，０００ノズルのインクジェット式記録ヘッドのインク流路を洗浄し、洗浄したインクジェット式記録ヘッドのノズル表面をＩＲ顕微鏡で観察して、異物の有無を確認した。このときの異物の発見率（％）を表３に示す。
【００５３】
ＩＲ顕微鏡で異物の発見されたインクジェット式記録ヘッドを除外した後、インクを充填して印刷試験を行い、不良率（％）を確認した。ここで、不良率（％）とは印刷試験においてノズルの目詰まりが発生したものである。結果を表３に示す。
【００５４】
【表３】
2007276313.tif 000004
【００５５】
（結果のまとめ）
表３に示すように実施例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドは、洗浄後の異物の発見率は比較例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドよりも高くなり、具体的には１２．５％であり、印刷試験不良率は０％であった。これに対し、比較例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドは、洗浄後の異物の発見率は実施例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドと比べて低く、印刷試験不良率は４．８％であった。
【００５６】
実施例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドは、ノズルから取り出すことのできない大きな異物がある場合はノズル近傍に確実に集められてすべて発見されたため、洗浄後の異物発見率が比較的高くなり異物検査段階で不良品として取り除かれ、また、比較的小さな異物は完全にインク流路から除去されるため、異物検査後に行われる印刷試験不良率が０％であった。
【００５７】
これに対し、比較例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドは、洗浄後の異物発見率は実施例の洗浄方法により洗浄したインクジェット式記録ヘッドと比べて低く、印刷試験で不良が４．８％発生していることから、洗浄により完全に異物が除去されていないということがわかる。すなわち、洗浄後の異物発見率が低いのは、インク流路に異物が残留したままであり、発見できないためである。
【００５８】
以上の結果からわかるように、実施例の洗浄方法により洗浄すると、効果的に異物を除去することができる。すなわち、比較的小さな異物は確実にノズルから除去することができ、ノズルから取り出すことのできない大きさの異物は確実に発見することができる。このように、実施例の洗浄方法によると、印刷試験を行うことなく、ノズルを観察することで、いわゆる製品不良を確実に発見することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５９】
【図１】インクジェット式記録ヘッドの概略を示す分解斜視図を示す。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの平面図及びＡ−Ａ’断面図を示す。
【符号の説明】
【００６０】
１０  流路形成基板、  １１  隔壁、  １２  圧力発生室、  １３  連通部、  １４  インク供給部、  ２０  ノズルプレート、  ２１  ノズル開口、  ３０  保護基板、  ３１  圧電素子保持部、  ３２  リザーバ部、  ４０  コンプライアンス基板、  ５０  弾性膜、  ５５  絶縁体層、  ６０  下電極、  ７０  圧電体層、  ８０  上電極、  ８５  リード電極、  ９０  リザーバ、  ３００  圧電素子
【図１】
2007276313.tif 000005
【図２】
2007276313.tif 000006