(57)【要約】【課題】気体の合成噴流を発生する噴流発生装置において、小型化または薄型化を実現することができる技術を提供すること。【解決手段】筐体１には、振動板となるポリマーアクチュエータ３３が配置されている。ポリマーアクチュエータ３３は、例えば弾性支持部材３６によって支持されている。これにより、筐体１内が二分されチャンバ３及び４が形成される。上部に形成されたチャンバ３は、上記流路２ａを介して筐体１の外部と連通し、下部に形成されたチャンバ４は、上記流路２ｂを介して筐体１の外部と連通している。ポリマーアクチュエータ３３は、ポリマー材としてイオン導電性ポリマーフィルム６の両面に一対の電極膜７ａ及び７ｂがそれぞれ形成されている。電極膜７ａ及び７ｂに交流電圧が印加されると、ポリマーアクチュエータ３３が振動し、流路２ａ及び２ｂを介して交互に空気が吐出される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口を有し、気体が含まれた筐体と、
ポリマー材を有し、前記ポリマー材を駆動することで前記筐体に含まれた気体を、前記開口を介して脈流として吐出させるポリマーアクチュエータと
を具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項２】
請求項１に記載の噴流発生装置であって、
前記ポリマーアクチュエータを支持する弾性支持部材をさらに具備することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項３】
請求項１に記載の噴流発生装置であって、
前記ポリマーアクチュエータは、前記ポリマー材が複数積層されて構成されていることを特徴とする噴流発生装置。
【請求項４】
請求項１に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、前記各開口にそれぞれ連通する、前記ポリマーアクチュエータにより前記筐体内が仕切られるように形成された複数のチャンバを有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項５】
請求項４に記載の噴流発生装置であって、
前記筐体は、
袋状に形成された前記ポリマーアクチュエータで構成される第１のチャンバと、
前記第１のチャンバの周囲に形成された第２のチャンバと
を有することを特徴とする噴流発生装置。
【請求項６】
発熱体と、
開口を有し、気体が含まれた筐体と、
ポリマー材を有し、前記ポリマー材を駆動することで前記筐体に含まれた気体を、前記開口を介して前記発熱体に向けて脈流として吐出させるポリマーアクチュエータと
を具備することを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、気体の合成噴流を発生する噴流発生装置及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ＰＣ（Personal Computer）の高性能化に伴うＩＣ（Integrated Circuit）等の発熱体からの発熱量の増大が問題となっており、様々な放熱の技術が提案され、あるいは製品化されている。
【０００３】
その放熱方法として、空気を脈流で吐出して合成噴流を生成し、この合成噴流を、放熱フィン（ヒートシンク）等に供給し、熱を持つ放熱フィンの表面に形成される温度境界層を効率良く破壊して放熱する方法がある（例えば、特許文献１参照。）。このような噴流発生装置は、開口を有する筐体と、その筐体内の空気に圧力変化を起こす振動板とを有している。振動板が振動することで筐体内に圧力変化が生じ、開口を介して空気が脈流として吐出することで合成噴流が発生する。
【０００４】
合成噴流は、次のような原理で発生する。筐体の開口から空気が吐出されるときに空気の流れが生じることにより、筐体外の開口の周囲の気圧が低下し、これにより、当該周囲の空気が開口から吐出される空気に巻き込まれて合成噴流が発生する。
【特許文献１】特開２００５−２５６８３４号公報（段落[００７９]、図１）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１において、振動板を駆動するモータが電磁駆動型のモータである場合、そのモータや噴流発生装置を小型化、あるいは薄型化するには限界がある。将来的には、非常に小型あるいは薄型の噴流発生装置も期待される。
【０００６】
以上のような事情に鑑み、本発明の目的は、小型化または薄型化を実現することができる噴流発生装置及びこの噴流発生装置を搭載した電子機器を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明に係る噴流発生装置は、開口を有し、気体が含まれた筐体と、ポリマー材を有し、前記ポリマー材を駆動することで前記筐体に含まれた気体を、前記開口を介して脈流として吐出させるポリマーアクチュエータとを具備する。
【０００８】
本発明では、ポリマーアクチュエータにより駆動する構成であるので、噴流発生装置を小型化、薄型化、または軽量化することができる。
【０００９】
本発明において、噴流発生装置は、前記ポリマーアクチュエータを支持する弾性支持部材をさらに具備する。ポリマーアクチュエータは、それ自体が撓むので、例えばポリマーアクチュエータが振動する場合の振幅の方向（振動方向）のほかに、その振動方向にほぼ垂直な面内でも伸縮が起こる場合もあると考えられる。その場合に、弾性支持部材が設けられていれば、例えば弾性支持部材が当該面内で収縮することで、ポリマーアクチュエータが動きやすくなる。
【００１０】
本発明において、前記ポリマーアクチュエータは、前記ポリマー材が複数積層されて構成されている。これにより、ポリマーアクチュエータが１つの場合に比べ、パワーが増加し、振幅を大きくすることができる。
【００１１】
本発明において、前記筐体は、前記開口を複数有するとともに、前記開口にそれぞれ連通する、前記ポリマーアクチュエータにより前記筐体内が仕切られるように形成された複数のチャンバを有する。これにより、ポリマーアクチュエータを介して隣り合う少なくとも２つのチャンバの開口から交互に気体を吐出することができる。したがって、それらの開口付近から発生する気流音が互いに逆位相となるので、騒音を低減できる。
【００１２】
本発明において、前記筐体は、袋状に形成された前記ポリマーアクチュエータで構成される第１のチャンバと、前記第１のチャンバの周囲に形成された第２のチャンバとを有する。第１のチャンバは複数のポリマーアクチュエータで構成されていてもよい。
【００１３】
本発明に係る電子機器は、発熱体と、開口を有し、気体が含まれた筐体と、ポリマー材を有し、前記ポリマー材を駆動することで前記筐体に含まれた気体を、前記開口を介して前記発熱体に向けて脈流として吐出させるポリマーアクチュエータとを具備する。
【発明の効果】
【００１４】
以上のように、本発明によれば、気体の合成噴流を発生する噴流発生装置において、小型化、薄型化、または軽量化を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
【００１６】
図１は、本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。図２は、図１に示す噴流発生装置の断面図である。
【００１７】
噴流発生装置１０は、筐体１を備えており、筐体１にはノズル体２が装着されている。ノズル体２は、筐体１の前面１ａに設けられた開口部に装着されている。ノズル体２には、複数の空気の流路２ａが上段に設けられ、複数の空気の流路２ｂが下段にそれぞれ設けられている。
【００１８】
図２に示すように、筐体１には、振動板となるポリマーアクチュエータ３３が配置されている。ポリマーアクチュエータ３３は、例えば弾性の支持部材３６によって支持されており、弾性支持部材３６は筐体１の内壁に取り付けられている。ポリマーアクチュエータ３３及び弾性支持部材３６により筐体１内が二分されることで、チャンバ３及び４が形成される。上部に形成されたチャンバ３は、上記流路２ａを介して筐体１の外部と連通し、下部に形成されたチャンバ４は、上記流路２ｂを介して筐体１の外部と連通している。筐体１の内部及び外部は空気で満たされているが、空気に限らず、窒素、ヘリウムガス、あるいはアルゴンガス、その他の気体であってもよい。
【００１９】
ノズル体２には、上下の流路２ａ及び２ｂを仕切る仕切り板２ｃが設けられている。上下の流路２ａ及び２ｂにおいて、後述するように常に風向きが逆になる。この仕切り板２ｃが設けられることにより、例えば流路２ｂから吐出された空気が流路２ａから吸い込まれにくくなり、効率良く空気が吐出されるようになる。
【００２０】
なお、仕切り板２ｃは、各流路２ａ（または流路２ｂ）の配列方向に複数設けられているが、このような形態に限らず１枚の板で構成されていてもよい。図２に示すように、仕切り板３２ｃが複数分割されていることにより、例えばヒートシンクを構成する各放熱フィン（図示せず）の間に各仕切り板２ｃを嵌め込むことができる。これにより、噴流発生装置１０とヒートシンクとを容易かつ正確に位置決めすることができる。なお、もちろん、仕切り板２ｃは、必ずしも必要なわけではない。
【００２１】
図３は、ポリマーアクチュエータ３３の構成を示す断面図である。ポリマーアクチュエータ３３は、ポリマー材としてイオン導電性ポリマーフィルム６の両面に一対の電極膜７ａ及び７ｂがそれぞれ形成されて構成されている。電極膜７ａ及び７ｂには、図２に示すように、筐体１の背面側に設置された駆動回路基板５から延びるリード線８ａ及び８ｂがそれぞれ接続されている。駆動回路基板５は、ポリマーアクチュエータ３３を駆動する駆動信号を発生する。なお、駆動回路基板５に代えて単に端子が設置され、リード線８ａ及び８ｂがその端子に接続され、別の図示しない駆動回路からの駆動信号がその端子及びリード線８ａ及び８ｂを介してポリマーアクチュエータ３３に供給されるような構成であってもよい。
【００２２】
イオン導電性ポリマーフィルム６として、例えばNafion（登録商標）（N-117）のようなフッ素樹脂系のポリマー材が用いられるが、これに限らず、炭化水素系、あるいはそれら以外のポリマー材が用いられてもよい。
【００２３】
イオン導電性ポリマーフィルム６に白金または金の化合物溶液、例えばPt(NH3)4Cl2の溶液を含浸させ、還元剤、例えばNaBH4等で還元することで両側に白金の電極膜７ａ及び７ｂを形成することができる。電極膜７ａ及び７ｂの他の形成方法としては、次のような方法がある。例えば、カーボン粉末をイオン導電性フィルムと同じ樹脂に分散させたものを塗布により形成することができる。塗布に限られず、金属をスパッタ、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）、または蒸着によって成膜することができる。
【００２４】
ポリマーアクチュエータ３３の厚さは、０．３ｍｍ〜１ｍｍ程度と非常に薄い。しかし、このような厚さに限られないことは言うまでもない。しかもポリマーアクチュエータ３３は非常に軽量であり、その大きさにもよるが、ｍｇ〜ｇオーダの重さである。
【００２５】
ポリマーアクチュエータ３３の振動方向Ｒにほぼ垂直な面の形状は、例えば円、楕円、矩形、あるいはこれらの組み合わせ等の形状が考えられる。イオン導電性ポリマーフィルム６は加工が簡単であるため、当該面の形状はどんな形状であっても、簡単に加工することができる。ポリマーアクチュエータ３３の当該面の大きさは、例えば、円形の場合直径がｍｍ〜ｃｍオーダ、多角形の場合１辺がｍｍ〜ｃｍオーダの大きさである。しかしこれらの範囲に限られない。
【００２６】
筐体１は、例えば、樹脂、ゴム、または金属でなる。樹脂やゴムは成形で作製しやすく量産向きである。また、筐体１が樹脂やゴムの場合、ポリマーアクチュエータ３３が振動することにより発生する空気の気流音等を抑制することができる。つまり、筐体１が樹脂やゴムの場合、それらの音の減衰率も高くなり、騒音を抑制することができる。さらにその場合、軽量化に対応でき、低コストとなる。樹脂等の射出成形で筐体１が作製される場合は、ノズル体２と一体で成形することが可能である。しかし、図１及び図２に示すように、筐体１とノズル体２とは別体の方が、噴流発生装置１０の作製が容易になる。筐体１が金属の場合、例えば、アルミニウム、マグネシウム、あるいはステンレス等があるが、その他の金属でもあってもよい。あるいは、噴流発生装置１０の高温での使用や、特殊用途ではセラミックスの筐体１が用いられてもよい。ノズル体２がなく、単に筐体１に空気の流路となる開口が複数設けられる形態も考えられる。筐体１の形状は、図１では直方体形状としたが、円柱形状、あるいは直方体形状と円柱形状が組み合わされたような形状、その他様々な形状が考えられる。
【００２７】
弾性支持部材３６は、例えばゴムや樹脂等でなるが、そのほかにもある程度の弾性あるいは伸縮性がある材料であれば何でもよい。ゴムはシリコン、ニトリル、ウレタン、フッ素、合成等、様々な材質が用いられるが、さらに別のゴムであってもよい。弾性支持部材３６の形状は、ポリマーアクチュエータ３３の形状（外形）による。
【００２８】
以上のように構成された噴流発生装置１０の動作について説明する。図４は、その動作を順に説明するための図である。
【００２９】
ポリマーアクチュエータ３３の電極膜７ａ及び７ｂに電圧が印加されるとイオン導電性ポリマー６中のイオンが移動する。そのイオンの移動によりイオン導電性ポリマー６が撓む。したがって、例えば交流電圧であれば、その電圧の極性に応じて図４（Ａ）及び図４（Ｃ）にポリマーアクチュエータ３３全体が上下に撓む。図４（Ｂ）は、印加電圧がゼロの状態を示し、ポリマーアクチュエータ３３に撓みは発生していない。なお、印加電圧値は任意であるが、例えば０．５〜２．０[Ｖ]程度で駆動することができる。また、交流電圧に限られず、波状あるいはパルス状の直流電圧でもよい。
【００３０】
このようなポリマーアクチュエータ３３の動きにより、チャンバ３及び４内の容積が増減する。チャンバ３及び４の容積変化に伴い、それらチャンバ３及び４の圧力が交互に増減し、これに伴い、それぞれ流路２ａ及び２ｂを介して交互に脈流として吐出される。流路２ａ及び２ｂから空気が吐出されるときに筐体１やノズル体２の周囲の気圧が低下することにより、当該周囲の空気が流路２ａ及び２ｂから吐出される空気に巻き込まれ、合成噴流が発生する。この合成噴流が、図示しない発熱体に吹き付けられることにより、当該発熱体を冷却することができる。なお、発熱体としては、例えばＩＣ、コイル、抵抗等の電子部品、あるいは放熱フィン等が挙げられるが、これらに限られず発熱するものなら何でもよい。
【００３１】
一方、流路２ａ及び２ｂから空気が吐出されるときに、各流路２ａ及び２ｂから独立して、特に気流音による騒音が発生する。しかしながら、各流路２ａ及び２ｂで発生する各音波は逆位相の音波であるため互いに弱められる。これにより、ある程度騒音が抑制され、静音化を図ることができる。
【００３２】
以上のように、本実施の形態では、振動板としてポリマーアクチュエータが用いられるので、噴流発生装置１０を小型化、薄型化、または軽量化することができる。
【００３３】
また、ポリマーアクチュエータ３３は、それ自体が撓むので、例えばポリマーアクチュエータ３３の振動方向Ｒにほぼ垂直な面内でも伸縮が起こる場合もあると考えられる。すなわち、例えば図４（Ａ）のようにポリマーアクチュエータ３３が上に撓んでいる場合、イオン導電性ポリマー６の電極膜７ａ側は膨張するが、逆の電極膜７ｂ側は収縮する。その場合に、弾性支持部材３６が設けられていれば、例えば弾性支持部材３６が当該面内で収縮することで、ポリマーアクチュエータが動きやすくなる。特に、弾性支持部材３６は当該面内で伸縮するような形状、例えばベローズ状であればなお効果的であるが、もちろんベローズ状に限られることはない。また、弾性支持部材３６は、当該面内の伸縮だけでなく、振動方向Ｒにも伸縮することが好ましい。
【００３４】
イオン導電性ポリマー６の性質として、温度が高いほど動きやすくなるという性質がある。例えば、噴流発生装置１０が実際に発熱体を冷却する場合、発熱体の温度が高ければ、噴流発生装置１０の周囲の温度も高くなり、それに伴い筐体１内の温度も高くなる。その場合、イオン導電性ポリマー６は動きやすくなり、印加電圧に対する応答速度が速くなるので、効率的に発熱体を冷却することができる。
【００３５】
上記各実施の形態に係るポリマーアクチュエータ３３は超小型化が可能であるので、例えば、パッケージ化されたＩＣと一体的な噴流発生装置を実現することもできる。また、振動板の駆動方式が電磁モータの場合、そのサイズが小さくなるほど、その駆動のためのエネルギーの変換効率が低下する。その点、ポリマーアクチュエータであれば、サイズが小さくても駆動エネルギーの変換効率は低下しない。したがって噴流発生装置１０の小型化、軽量化、または薄型化に有利である。
【００３６】
さらに、ポリマーアクチュエータ３３は、その質量が小さいので、筐体１に発生する振動もほとんどない。
【００３７】
本実施の形態では、電磁駆動型のモータは使用されないので、電磁駆動型のモータで懸念されていた、その磁気回路からの漏れ磁界の問題がなくなる。この漏れ磁界が、噴流発生装置が搭載される電子機器の電子部品等に影響を及ぼす可能性があるが、本実施の形態のポリマーアクチュエータ３３によれば、そのような問題はない。しかしながら、かかる漏れ磁界は、例えば筐体１に磁性体材料が用いられることによりなくすことができる。
【００３８】
また、電磁駆動型のモータが用いられないので、チャンバ３及び４の形状や容積等をポリマーアクチュエータ３３の振幅中心に対してほぼ対称にすることができる。したがって、流路２ａ及び２ｂからの風量や空気の流れ方がほぼ等しくなる。その結果、流路２ａ及び２ｂからの音波の振幅や周波数等がほぼ等しくなるとともに高周波ノイズを低減することができるので、きれいに逆位相で両音波がキャンセルされ、騒音を低減することができる。
【００３９】
なお、ポリマーアクチュエータ３３は、電極膜７ａ、７ｂが露出している構成であった。しかし、例えば伸縮性のある材料で、ポリマーアクチュエータ３３全体が封止されている構成であってもよい。その場合、弾性支持部材３６とその封止部材とを同じ材料で一体成型することも可能である。
【００４０】
図５は、本発明の他の実施の形態に係るポリマーアクチュエータを示す断面図である。
【００４１】
この形態に係るポリマーアクチュエータ４３は、イオン導電性ポリマー６が複数積層されて構成されている。イオン導電性ポリマー６の数はいくつでもよい。各イオン導電性ポリマー６の間に、端子１１ａに接続された複数の電極膜１７ａ及び端子１１ｂに接続された複数の電極膜１７ｂが交互に挟まれるように設けられている。端子１１ａ及び１１ｂ間に、例えば交流電圧が印加されると、ポリマーアクチュエータ４３は、図中上下に周期的に撓む。このような積層構造のポリマーアクチュエータ４３によれば、パワーが増加し、大きな振幅を得ることができる。
【００４２】
図６は、本発明の他の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図である。図６に示す実施の形態において、上記噴流発生装置１０の部材や機能等について同様のものは説明を簡略または省略し、異なる点を中心に説明する。
【００４３】
噴流発生装置２０は、図２に示した噴流発生装置１０と同様、筐体２１の前面２１ａの開口部にノズル体２２が装着されて構成されている。筐体１内に設けられたポリマーアクチュエータ２３は袋状でなる。ポリマーアクチュエータ２３の前端部の開口２９が例えば環状の弾性支持部材３１によって支持され、後端部において、弾性支持部材３１とは別体の弾性支持部材３２によって支持されている。ポリマーアクチュエータ２３は、イオン導電性ポリマー２６の外面に電極膜２７ａが形成され、またその内面に電極膜２７ｂが形成されて構成されている。弾性支持部材３１及び３２の材質は同じものであっても、異なるものであってもよい。弾性支持部材３２は、筐体２１内の領域であってポリマーアクチュエータ３３の外側の領域を二分するようにポリマーアクチュエータ３３の周囲に取り付けられていてもよいし、ポリマーアクチュエータ３３の周囲のうち一部分だけを支持するものであってもよい。
【００４４】
例えば、弾性支持部材３２がポリマーアクチュエータ３３の周囲のうち一部分だけを支持するものである場合、ポリマーアクチュエータ２３内にチャンバ３８が形成され、かつ、ポリマーアクチュエータ２３の外部であって筐体２１内部にチャンバ３９が形成される。そうではなく、弾性支持部材３２がポリマーアクチュエータ３３の外側の領域を二分するようにポリマーアクチュエータ３３の周囲全体に取り付けられていている場合は、筐体１内の上下のチャンバ２つと、ポリマーアクチュエータ３３の内側のチャンバ３８の１つ、計３つのチャンバが形成される。このように、チャンバの数は２つでも３つでもよい。チャンバ３８は、ノズル体２２に設けられた流路２２ｂを介して外部に連通している。チャンバ３９は、ノズル体２２に設けられた流路２２ａ及び２２ｃを介して外部に連通している。図２に示した形態と同様に、流路２２ａ〜２２ｃは、それぞれ複数設けられることが好ましい。
【００４５】
電極膜２７ａ及び２７ｂに例えば交流電圧が印加されることにより、袋状のポリマーアクチュエータ２３が膨張及び収縮を繰り返す。具体的には、ポリマーアクチュエータ２３が収縮すると、流路２２ｂを介して空気が吐出され、流路２２ａ及び２２ｃを介して空気が筐体２１内に流入する。反対に、ポリマーアクチュエータ２３が膨張すると、流路２２ａ及び２２ｃを介して空気が吐出され、流路２２ｂを介して空気が筐体２１内に流入する。
【００４６】
なお、上述したリード線は図示していない。内面の電極膜２７ｂに接続されるリード線は、例えば、ポリマーアクチュエータ２３の内外を貫通する孔を介して通されるように配線されればよい。その場合、ポリマーアクチュエータ２３の内部が極力気密になるように工夫する必要がある。また、その場合に、電極膜２７ｂに接続されるリード線と、外面の電極膜２７ａとがショートしないように注意が必要である。
【００４７】
また、ポリマーアクチュエータ２３の後端側の弾性支持部材３２は、必ずしも必要ではなく、ポリマーアクチュエータ２３の内部と、噴流発生装置２０の外部とが流路２２ｂを介して連通していればよい。さらに、弾性支持部材３２が、後端部に設けられていなくてもよく、ポリマーアクチュエータ２３の上部（ポリマーアクチュエータ２３と筐体１の天井面２１ｂとの間）または下部（ポリマーアクチュエータ２３と筐体１の床面２１ｃとの間）に設けられていてもよい。あるいは、弾性支持部材３２を複数設けることも可能である。さらに、図２で示したポリマーアクチュエータ３３が対向するように２枚配置され、それらの周囲が互いに貼り合わされることで、ポリマーアクチュエータが袋状に形成されてもよい。あるいは、袋状のポリマーアクチュエータ２３が複数、１つの筐体内にあってもよい。
【００４８】
図７は、上記各図に示した噴流発生装置１０（または２０等）が電子機器としてＰＣ５０に搭載された状態を示す斜視図である。噴流発生装置１０から供給される合成噴流がヒートシンク４６に吹き付けられ、ヒートシンク４６の背後に設けられたＰＣ筐体の排気口５１から、熱を持つ空気が排出される。
【００４９】
なお、電子機器としてラップトップ型のＰＣを例に挙げたが、デスクトップ型のＰＣでもよい。ＰＣに限らず、ＰＤＡ（Personal Digital Assistance）、電子辞書、カメラ、ディスプレイ装置、オーディオ／ビジュアル機器、プロジェクタ、携帯電話、ゲーム機器、カーナビゲーション機器、ロボット機器、その他の電化製品等が挙げられる。
【００５０】
本発明は以上説明した実施の形態には限定されるものではなく、種々の変形が可能である。
【００５１】
例えば、ポリマーアクチュエータに用いられるポリマー材として、イオン導電性ポリマーを挙げた。しかし、これに限られず、例えば電子導電性ポリマー、あるいは誘電体（誘電性）ポリマーが用いられてもよい。この場合、アクチュエータの動作が湾曲動作ではなく伸縮動作になるが、あらかじめ片側に湾曲させた形状にすることで、同様な効果を得ることができる。例えば、電圧がかかってない状態では片側に湾曲しているが、電圧をかけると縮小し平面状に張った状態となる。この場合、湾曲動作は片側のみとなるが、効果としては同様である。
【００５２】
図１等で示した噴流発生装置１０は、２つのチャンバ３及び４にそれぞれ連通する流路２ａ及び２ｂを備えていた。しかし、必ずしもチャンバごとに流路が設けられていなくてもよく、１つのチャンバのみに流路が設けられていてもよい。あるいは、例えば筐体１つにチャンバが１つのみある構成であってもよい。しかしながら、図１等に示すように、交互に気体が吐出されるように、チャンバが複数あり、そのチャンバごとに流路が設けられる形態が望ましい形態である。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】本発明の一実施の形態に係る噴流発生装置を示す斜視図である。
【図２】図１に示す噴流発生装置の断面図である。
【図３】ポリマーアクチュエータの構成を示す断面図である。
【図４】図１に示す噴流発生装置の動作を順に説明するための図である。
【図５】本発明の他の実施の形態に係るポリマーアクチュエータを示す断面図であり、ポリマー材が積層された形態を示す図である。
【図６】本発明の他の実施の形態に係る噴流発生装置を示す断面図であり、袋状のポリマーアクチュエータが設けられる形態を示す図である。
【図７】上記各図に示した噴流発生装置が電子機器としてＰＣに搭載された状態を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００５４】
１、２１…筐体
２ａ、２ｂ、２２ａ、２２ｂ、２２ｃ…流路（開口）
２ｂ…流路（開口）
３、４、３８、３９…チャンバ
６、２６…イオン導電性ポリマー
７ａ、７ｂ、１７ａ、１７ｂ、２７ａ、２７ｂ…電極膜
１０、２０…噴流発生装置
２３、３３、４３…ポリマーアクチュエータ
３１、３２、３６…弾性支持部材
４６…ヒートシンク
５０…ＰＣ
【図１】
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【図２】
2007154784.tif 000004
【図３】
2007154784.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007154784.tif 000007
【図６】
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【図７】
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