(57)【要約】      （修正有）【課題】流体の持つエネルギーを有効に利用して、エネルギー効率向上、省エネルギー化を実現する非接触搬送装置を提供する。【解決手段】板状体を非接触で保持、搬送する非接触搬送装置１であり、内周面７が円周状の凹部円筒室３が形成された略柱状の本体２と、本体２の、凹部円筒室３開口側に形成された平坦状端面４と、凹部円筒室３の内周面７に臨むように形成され、供給流体を凹部円筒室３内に吐出させるためのノズル５と、ノズル５へ滑らかな曲面で連通し、ノズル５を介して凹部円筒室３内に流体を供給するベルマウス状流体通路を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
内周面が円周状の凹部円筒室が形成された略柱状の本体と、
前記本体の、前記凹部円筒室開口側に形成された平坦状端面と、
前記凹部円筒室の内周面に臨むように形成され、供給流体を凹部円筒室内に吐出させるためのノズルと、
前記ノズルへ滑らかな曲面で連通し、当該ノズルを介して前記凹部円筒室内に流体を供給するベルマウス状流体通路と
を備えることを特徴とする非接触搬送装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は板状体を非接触で保持、搬送、回転等するために用いられる非接触搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェーハやガラス基板等のワークを搬送、移載する際、またはそのプロセスステージでは、エンドエフェクターやバキュームステージといった真空吸着や、機械的なチャッキング等によってワークの保持を行ってきた。これらの方法はワークと真空吸着部もしくはチャッキング部が直接接触するため、接触部分からワークへのパーティクル転写や金属汚染、接触による傷、真空破壊に伴う剥離による静電気発生等の問題が生じるおそれがある。
こうした問題点を解決するために、圧縮空気を用いベルヌーイの定理を利用した非接触搬送装置が現在実用化されつつある。この非接触搬送装置によれば、非接触でワークを保持することは可能であるが、一般に、保持力が弱いという問題があった。特許文献１に開示される非接触搬送装置では、流体を旋回させることで板状体を吸引し保持する力は向上しているものの、流体力学的観点から見るとエネルギー効率や消費流量という点で改善の余地がある。
【特許文献１】特開２００５−５１２６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
このように従来の非接触搬送装置では、コストや取扱いの容易さが重視され、エネルギー効率が考慮されることが少なかった。しかし、大口径化、薄片化する半導体ウェハや大型化するガラス基板を搬送・保持するために消費流量が増加する方向にあることを鑑みると、本技術分野の装置についてエネルギー効率の向上、省エネルギー化は大きな課題となっている。
１９９９年４月より従来の省エネ法が大幅に強化され、「改正省エネ法」が施行された。また、国内の事業者が温暖化ガスの排出量の取引を行う「国内排出取引制度」も追加的措置として導入することが検討されている。さらに、世界では国レベルの温暖化ガスの排出権取引への整備も進みつつあることを鑑みると省エネルギー化は世界的な課題である。
本発明は上述した事情に鑑みてなされたものであり、従来の非接触搬送装置では着目されていなかった微視的なエネルギー損失に着目し、流体の持つエネルギーを有効に利用して、エネルギー効率向上、省エネルギー化を実現することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
上述の課題を解決するために、本発明は、内周面が円周状の凹部円筒室が形成された略柱状の本体と、前記本体の、前記凹部円筒室開口側に形成された平坦状端面と、前記凹部円筒室の内周面に臨むように形成され、供給流体を凹部円筒室内に吐出させるためのノズルと、前記ノズルへ滑らかな曲面で連通し、当該ノズルを介して前記凹部円筒室内に流体を供給するベルマウス状流体通路とを備えることを特徴とする非接触搬送装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
＜第１実施形態＞
図１〜９を参照して本発明の第１実施形態について説明する。
図１は、本実施形態に係る非接触搬送装置１の構成を示す斜視図である。（ａ）は、斜め下方から、（ｂ）は、斜め上方から見た図である。図２は、非接触搬送装置１の断面図である。（ａ）は、図１（ａ）のＩ−Ｉ線断面図であり、（ｂ）は、図１（ａ）のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
これらの図に示されるように、非接触搬送装置１は、略柱状の旋回流形成体２を有している。この旋回流形成体２の内部には、円柱状の空間を形成し、その下端が開口部になっている凹部円筒室３が形成されている。凹部円筒室３の開口側は、板状体（ウェハ等の板状のワーク）と対向し、その対向面が平坦に形成されている平坦状対向面４となっている。
凹部円筒室３の開口部の周縁を形成する開口縁７は、その断面が滑らかな曲線状の形状となっている。すなわち、開口縁７の断面形状は、図２（ｂ）に示すように凹部円筒室３の内周面から滑らかに湾曲して開口部の外縁に延びる形状となっている。この場合の開口縁７の曲率は、例えばＲ２．５程度でその表面は極めて滑らかであることが好ましい。
【０００６】
次に、図１および図２における５は、流体を凹部円筒室３内に吐出させるショートオフセットノズルであり、凹部円筒室３内に臨むように形成されている。このショートオフセットノズル５には、当該ノズルを介して凹部円筒室３内に流体を供給するベルマウス状流体通路６が連通している。
ショートオフセットノズル５は、図２（ａ）に示すように、吐出点Ｐにおいて内周に接する接線に対して所定の角度θを持つように設けられている。この角度θは、吐出点Ｐから流体の吐出方向に延びる線Ｌ１と直交する半径ｒ１を引いたとき、この半径ｒ１と線Ｌ１の交点Ｐ２と、半径ｒ１と円周の交点Ｐ３との間の距離（以下、オフセットという）δがδ／ｒ１＝５％〜２５％を満たすように設定される。
このようにオフセットδを設けると、ショートオフセットノズル５から凹部円筒室３内に流体が吐出された際の凹部円筒室３壁面でのせん断抵抗力が抑えられ、エントレインメント効果を大きくすることができるため、入力されるエネルギーをより効率的に回転の運動量に変換することができる。
【０００７】
また、ショートオフセットノズル５は、図２（ｂ）に示されるように、凹部円筒室３の上下方向中腹に臨むように配置されている。この場合のショートオフセットノズル５の位置は、例えば、凹部円筒室３の高さｈに対する凹部円筒室３上面からの距離ｈ１がｈ１／ｈ＝３５％〜７５％を満たすように設定されることが好ましい。ショートオフセットノズル５が凹部円筒室３内の上方に配置された場合、凹部円筒室３内に吐出された流体が、その粘性によって凹部円筒室３上面との間で摩擦を生じ、境界層の発達によってエネルギー損失が生じるが、ノズル位置を凹部円筒室３の中腹に配置された場合には、凹部円筒室３上面との間の摩擦が抑えられ、結果として効率よく回転力に変換が可能でエネルギー損失を抑えることができる。
【０００８】
また、ショートオフセットノズル５は、この実施例の場合、図２（ａ）に示されるように、互いに円周の中心０に対して点対称となる位置に２つ配置される。点対称に向かい合うショートオフセットノズル５から凹部円筒室３内へと吐出された流体は、凹部円筒室３内壁に沿って旋回し次第に減速するが、お互いの吐出流体によってモーメントバランスがとれ、エントレインメント効果と遠心力が増大する。図４（ａ）は、ショートオフセットノズル５を点対称に２つ配置した場合の圧力分布を示す図であり、図４（ｂ）は、速度分布を示す図である。
これに対して図５（ａ）は、ショートオフセットノズル５を１つだけ配置した場合の圧力分布を示す図であり、図５（ｂ）は、速度分布を示す図である。これらの図に示されるように、ショートオフセットノズル５を１つだけ配置した場合には、圧力分布、速度分布ともに偏りをみせている。これは、ショートオフセットノズル５から吐出された流速の速い流体のエントレインメント効果と、流体の持つ粘性により、遠心力によって凹部円筒室３内壁に沿って旋回流を形成する壁面流れが摩擦を生じ、境界層の発達により次第に減速するために起こるのである。この状態で板状体を吸引すると、板状体は傾いて吸引、保持されることになり、不安定な状態となる。極薄加工（５０μｍ以下）された半導体ウェハを保持する場合には、圧力、速度分布の偏りによってウェハに大きなストレスを与えてしまい、クラックや割れを生ずる可能性がある。これに対して、ショートオフセットノズル５を点対称に２つ配置すると、上記のような問題が解消され、また、図６に示されるように、ノズル１つあたりの流量は同じであってもノズル２つをバランス良く配置することにより、２倍ではなく２．５倍以上の吸引力を実現することができる。
なお、図４及び図５のカラー図面を別途参考資料として提出する。
【０００９】
また、ショートオフセットノズル５は、ノズル内における圧力損失を極力小さくするために従来技術に係るノズルと比較して長さが短くなっている。
【００１０】
ベルマウス状流体通路６は、旋回流形成体２の側面に形成された流体導入口８から閉端面７に対して水平に穿設され、凹部円筒室３の内周面に臨むショートオフセットノズル５に連通している。ベルマウス状流体通路６は、図２（ａ）に示されるように、ショートオフセットノズル５へと滑らかな曲面で連通しているため、流体がノズルに流入する際のはく離による損失を大幅に抑えることができる。
【００１１】
上記の構成を備える非接触搬送装置１において、図示せぬ空気供給装置から流体導入口８へ流体が供給されると、その流体は、ベルマウス状流体通路６を介してショートオフセットノズル５から凹部円筒室３内へ吹き込まれる。凹部円筒室３内へ吹き込まれた流体は、凹部円筒室３の内部空間において旋回流となって整流され、その後凹部円筒室３から流出する。その際、旋回流形成体２の平坦状対向面４に対向する位置に板状体が配されていると、凹部円筒室３内への外部からの大気圧供給が制限され、エントレインメント効果と遠心力により次第に単位面積当りの流体分子の密度が小さくなり、凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力が低下し負圧が発生する。この結果、板状体は周囲の大気圧によって押圧されて平坦状対向面４側に吸引される一方、平坦状対向面４と板状体の距離が近づくと凹部円筒室３内からの排出流体が制限され、ショートオフセットノズル５から吹き込まれる流体の流速が遅くなるため凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力は上昇し板状体は接触せず、平坦状対向面４と板状体の距離は保たれる。また、平坦状対向面４と板状体の間に介在する空気により板状体は安定し非接触状態で保持されることになる。
【００１２】
この非接触搬送装置１によれば、従来の非接触搬送装置と比較して大幅なエネルギー効率の向上、省エネルギー化を実現可能となるのであるが、具体的な改善効率について説明する前に、その評価方法について説明する。
従来、上記のような非接触搬送装置を含む空気圧機器のエネルギー消費は空気消費量で示され、使用される圧縮機の比エネルギーを介して消費電力に変換されることにより評価されてきた。しかし、空気消費量はエネルギーと直結したものではないため、圧縮空気の流動を伴うエネルギーの流れの定義、定量化が望ましい。そのため、本明細書では、流れている圧縮空気の持つエネルギーに注目し、エネルギー効率を評価するにあたって有効エネルギーとエアパワーの概念を導入する。
周知のように、空気圧機器では、圧縮空気がエネルギー・トランスミッションの媒体として存在している。圧縮空気が運ぶパワーがエアパワーと呼ばれる。エアパワーは電力パワーと同様にｋｗ（キロワット）の単位で表される。エアパワーは圧縮空気の有効エネルギーの流束と定義され、次式で表示される。
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ただし、ｐとｐａはそれぞれ圧縮空気の絶対圧力と大気圧、ＱとＱａは圧縮状態下での体積流量と大気圧状態に換算した体積流量であり、同一の消費流量でも圧力が相違すれば消費エネルギーが大きく異なり、これらを適切に扱う必要がある。
このエアパワーの概念を導入することにより、エネルギーの定量化において圧縮空気を電力と同様に扱えるようになる。
【００１３】
図７〜９は、本実施形態に係る非接触搬送装置１の、従来技術に係る非接触搬送装置（具体的には、特開２００５−５１２６０号公報に開示の非接触搬送装置）に対するエネルギー効率を、エアパワーの概念を使って表示する図である。
まず、図７に示されるように、開口稜角が滑らかな曲面状に形成された非接触搬送装置１は、稜角によるはく離が抑えられる結果、開口縁が面取りされた従来技術に係る非接触搬送装置と比して平均１２％の効率改善が見られた。また、図示せぬ効果として、従来技術に係る非接触搬送装置と比して板状体を保持する安定度が増した。
また、図７に示されるように、ショートオフセットノズル５が凹部円筒室３の中腹に臨むように配置される結果、凹部円筒室３上面と流体の持つ粘性による摩擦によって生ずるエネルギー損失が抑えられ、ノズルが凹部円筒室３底面に配置される従来技術に係る非接触搬送装置と比して平均で２１％の効率改善が見られた。
【００１４】
また、図８に示されるように、凹部円筒室３内周面よりも内側へ離れた位置にショートオフセットノズル５が配置される非接触搬送装置１は、凹部円筒室３内周面における大きなせん断力によるエネルギーの減衰が回避され、入力されるエネルギーがより効率的に回転の運動量に変換される結果、凹部円筒室３内壁沿いにノズルが配置される従来技術に係る非接触搬送装置と比して平均１７％の効率改善が見られた。
【００１５】
以上図７及び８に示される効率改善を総合した結果が図９である。同図に示されるように、非接触搬送装置１は、従来技術に係る非接触搬送装置と比して合計で平均４１％の大幅な効率改善が見られた。
【００１６】
尚、上記の説明では、２つのショートオフセットノズル５を凹部円筒室３の円周の中心Ｏに対して点対称となる位置に配置したが、２つのノズルの配置方法はこれに限定される必要はない。また、ショートオフセットノズル５の個数も、上記の例のように２個に限られる必要はなく流体を効率及びバランス良く旋回させる２以上の任意の個数でもよい。
【００１７】
＜第２実施形態＞
図１０〜１３を参照して本発明の第２実施形態について説明する。
図１０は、本実施形態に係る非接触搬送装置１０の構成を示す斜視図である。図１１は、非接触搬送装置１０の構成を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は下面図である。図１２は、非接触搬送装置１０が備えるセンタリング機構１２の駆動説明図である。尚、以下の説明では、第１の実施形態の構成要素と略同一の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態に係る非接触搬送装置１０は、第１実施形態に係る旋回流形成体２を複数個用いて構成したものであり、具体的には、基底部１１と、基底部１１に着設された６個の旋回流形成体２と、基底部１１に載設された、板状体の離脱を防止するセンタリング機構１２とを備えている。
【００１８】
６個の旋回流形成体２は、その閉端面側が基底部１１の内面に着設され、その平坦状対向面４がいずれも同一面となるように支持されている。基底部１１の外面には、流体供給口１３が設けられており、その壁体内部には、流体供給口１３と対応する旋回流形成体２の流体導入口８とを連通する図示せぬ基底部内通路が流体供給口１３から分岐して形成されている。また、基底部１１の外面には、非接触で保持した板状体の位置決めおよび離脱防止用のセンタリング機構１２が載設されている。このセンタリング機構１２は、図１２に示されるように、その一端が相互に連通している６本のシリンダ１２１と、各シリンダ１２１の他端にその一端が連結された６本のリンクアーム１２２と、各リンクアーム１２２の他端に垂設された６個のセンタリングガイド１２３から構成されている。６本のシリンダ１２１は、その一端において相互に連通しているため、一系統の流体によって加圧または減圧が可能である。このシリンダ１２１内が流体によって減圧されると、６本のリンクアーム１２２を介して６個のセンタリングガイド１２３が中心方向に駆動される。このセンタリングガイド１２３による中心方向への移動により、非接触搬送装置１０によって非接触で保持されている板状体は、その外周が規制され、板状体の中心が基底部１１の内部空間の中心に一致するように位置決めされる。逆に、シリンダ１２１内が流体によって加圧されると、６本のリンクアーム１２２を介して６個のセンタリングガイド１２３が中心から離れる方向に駆動される。このセンタリングガイド１２３による中心から離れる方向への移動により、板状体に対する規制が解除され、板状体は自由状態となる。
【００１９】
上記の構成を備える非接触搬送装置１０において、図示せぬ空気供給装置から流体供給口１３に流体が供給されると、その流体は、図示せぬ基底部１１内の通路を通って、各旋回流形成体２に送られる。各旋回流形成体２に送られた流体は、その流体導入口８とベルマウス状流体通路６を介してショートオフセットノズル５から凹部円筒室３内へ吹き込まれる。凹部円筒室３内へ吹き込まれた流体は、凹部円筒室３の内部空間において旋回流となって整流され、その後凹部円筒室３から流出する。ここで、各旋回流形成体２で形成される旋回流は、板状体を非接触で保持する際に回転させないように予めその旋回方向が調節されている。本実施形態に係る非接触搬送装置１０の場合、６個の旋回流形成体２のうち、３個では時計方向に旋回流を旋回させ、残りの３個では反時計方向に旋回するように調節されている。
各旋回流形成体２の凹部円筒室３から流体が流出する際に、各旋回流形成体２の平坦状対向面４に対向する位置に板状体が配されていると、凹部円筒室３内への外部からの大気圧供給が制限され、エントレインメント効果と遠心力により次第に単位面積当りの流体分子の密度が小さくなり、凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力が低下し負圧が発生する。この結果、板状体は周囲の大気圧によって押圧されて平坦状対向面４側に吸引される一方、平坦状対向面４と板状体の距離が近づくと凹部円筒室３内からの排出流体が制限され、ショートオフセットノズル５から吹き込まれる流体の流速が遅くなるため凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力は上昇し板状体は接触せず、平坦状対向面４と板状体の距離は保たれる。また、平坦状対向面４と板状体の間に介在する空気により板状体は安定し非接触状態で保持されることになる。この状態で基底部１１を移動させると、移動とともに板状体もセンタリングガイド１２３によってガイドされつつ移動する。
【００２０】
この非接触搬送装置１０では、６個の旋回流形成体２によって形成された旋回流で板状体を吸引するため、その吸引力を格段に強力なものにすることができる。また、この非接触搬送装置１０では、６箇所で旋回流が形成されるため、大きな径を有する板状体であってもその全体にわたって吸引されることになる。従って、板状体に反りがあったとしても、その反りを全体にわたって矯正することが可能となる。さらに、この非接触搬送装置１０では、第１実施形態に係る非接触搬送装置１と同様の旋回流形成体２が用いられているため、第１実施形態に係る非接触搬送装置１と同様に、大幅なエネルギー効率の向上、省エネルギー化が実現可能となる。
尚、上記の説明では旋回流形成２を６個設ける構成としたが、６個に限定される必要はなく、２個以上の任意の個数を設けてよい。これは、センタリングガイド１２３についても同様である。
【００２１】
＜第３実施形態＞
図１３〜１５を参照して本発明の第３実施形態について説明する。
図１３は、本実施形態に係る非接触搬送装置２０の構成を示す斜視図である。図１４は、非接触搬送装置２０の構成を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。図１５は、非接触搬送装置２０が備えるセンタリング機構２２の駆動説明図である。尚、以下の説明では、第１の実施形態の構成要素と略同一の構成要素については、同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態に係る非接触搬送装置２０は、第１実施形態に係る旋回流形成体２を複数個用いて構成したものであり、具体的には、板状体に対向する平坦面を有する板状の基体２１と、基体２１に着設された６個の旋回流形成体２と、基体２１の下方に設けられたセンタリング機構２２と、基体２１に固着され、基体２１を移動可能とするための把持部２３とを備えている。
基体２１は、基部２１１と、基部２１１から二股状に分岐する２つの腕部２１２から構成されている。各腕部２１２の突端には、突状のセンタリングガイド２１３が設けられている。
【００２２】
６個の旋回流形成体２は、その閉端面側が基体２１の上面に着設され、その平坦状対向面４がいずれも同一面となるように支持されている。把持部２３の側面には、流体供給口２４が設けられており、基体２１の内部には、流体供給口２４と対応する旋回流形成体２の流体導入口８とを連通する図示せぬ流体通路が流体供給口２４から分岐して形成されている。また基体２１の下方には、非接触で保持した板状体の位置決めおよび離脱防止用のセンタリング機構２２が設けられている。このセンタリング機構２２は、図１５に示されるように、把持部２３内に設けられたシリンダ２２１と、シリンダ２２１の一端にその一端が連結され、その他端には２個のセンタリングガイドが設けられたリンクプレート２２２から構成されている。このシリンダ２２１内が流体によって加圧されると、リンクプレート２２２を介して２個のセンタリングガイド２２が板状体に向けて駆動される。このセンタリングガイド２２３による板状体に向かう移動により、非接触搬送装置２０によって非接触で保持されている板状体は、リンクプレート２２２上のセンタリングガイド２２３と、腕部２１２の突端に設けられたセンタリングガイド２１３によってその外周が規制され、位置決めされる。逆に、シリンダ２２１内が流体によって減圧されると、リンクプレート２２２を介して２個のセンタリングガイド２２３が板状体から離れる方向に駆動される。このセンタリングガイド２２３よる板状体から離れる方向への移動により、板状体に対する規制が解除され、板状体は自由状態となる。
【００２３】
上記の構成を備える非接触搬送装置２０において、図示せぬ空気供給装置から流体供給口２４に流体が供給されると、その流体は、図示せぬ基体２１内の流体通路を通って、各旋回流形成体２に送られる。各旋回流形成体２に送られた流体は、その流体導入口８とベルマウス状流体通路６を介してショートオフセットノズル５から凹部円筒室３内へ吹き込まれる。凹部円筒室３内へ吹き込まれた流体は、凹部円筒室３の内部空間において旋回流となって整流され、その後凹部円筒室３から流出する。ここで、各旋回流形成体２で形成される旋回流は、板状体を非接触で保持する際に回転させないように予めその旋回方向が調節されている。本実施形態に係る非接触搬送装置２０の場合、６個の旋回流形成体２のうち、３個では時計方向に旋回流を旋回させ、残りの３個では反時計方向に旋回するように調節されている。
各旋回流形成体２の凹部円筒室３から流体が流出する際に、各旋回流形成体２の平坦状対向面４に対向する位置に板状体が配されていると、凹部円筒室３内への外部からの大気圧供給が制限され、エントレインメント効果と遠心力により次第に単位面積当りの流体分子の密度が小さくなり、凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力が低下し負圧が発生する。この結果、板状体は周囲の大気圧によって押圧されて平坦状対向面４側に吸引される一方、平坦状対向面４と板状体の距離が近づくと凹部円筒室３内からの排出流体が制限され、ショートオフセットノズル５から吹き込まれる流体の流速が遅くなるため凹部円筒室３内の旋回流中心部の圧力は上昇し板状体は接触せず、平坦状対向面４と板状体の距離は保たれる。また、平坦状対向面４と板状体の間に介在する空気により板状体は安定し非接触状態で保持されることになる。この状態で基体２１を移動させると、移動とともに板状体もセンタリングガイド２１３、２２３によってガイドされつつ移動する。
【００２４】
この非接触搬送装置２０では、６個の旋回流形成体２によって形成された旋回流で板状体を吸引するため、その吸引力を格段に強力なものにすることができる。また、この非接触搬送装置２０では、６箇所で旋回流が形成されるため、大きな径を有する板状体であってもその全体にわたって吸引されることになる。従って、板状体に反りがあったとしても、その反りを全体にわたって矯正することが可能となる。また、この非接触搬送装置２０は、板状に構成されているため、従来アクセスが困難であった段積みされたウェハカセット内のウェハに対しても自在にアクセスすることができる。さらに、この非接触搬送装置２０では、第１実施形態に係る非接触搬送装置１と同様の旋回流形成体２が用いられているため、第１実施形態に係る非接触搬送装置１と同様に、大幅なエネルギー効率の向上、省エネルギー化が実現可能となる。
尚、上記の説明では旋回流形成２を６個設ける構成としたが、６個に限定される必要はなく、２個以上の任意の個数を設けてよい。これは、センタリングガイド２１３、２２３についても同様である。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】第１実施形態に係る非接触搬送装置１の構成を示す斜視図であり、（ａ）は斜め下方から、（ｂ）は斜め上方から見た斜視図である。
【図２】同実施形態に係る非接触搬送装置１の断面図であり、（ａ）は図１（ａ）のＩ−Ｉ線断面図であり、（ｂ）は図１（ａ）のＩＩ−ＩＩ線断面図である。
【図３】ショートオフセットノズル５の位置と吸引力との関係を示す図である。
【図４】（ａ）は、ショートオフセットノズル５を点対称に２つ配置した場合の圧力分布を示す図であり、（ｂ）は、速度分布を示す図である。
【図５】（ａ）は、ショートオフセットノズル５を１つだけ配置した場合の圧力分布を示す図であり、（ｂ）は、速度分布を示す図である。
【図６】ショートオフセットノズル５の本数と吸引力との関係を示す図である。
【図７】第１実施形態に係る非接触搬送装置１の、従来技術に係る非接触搬送装置に対するエネルギー効率をエアパワーの概念を使って表示する図である。
【図８】第１実施形態に係る非接触搬送装置１の、従来技術に係る非接触搬送装置に対するエネルギー効率をエアパワーの概念を使って表示する図である。
【図９】第１実施形態に係る非接触搬送装置１の、従来技術に係る非接触搬送装置に対するエネルギー効率をエアパワーの概念を使って表示する図である。
【図１０】第２実施形態に係る非接触搬送装置１０の構成を示す斜視図である。
【図１１】同実施形態に係る非接触搬送装置１０の構成を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図であり、（ｃ）は下面図である。
【図１２】同実施形態に係る非接触搬送装置１０が備えるセンタリング機構  の駆動説明図である。
【図１３】第３実施形態に係る非接触搬送装置２０の構成を示す斜視図である。
【図１４】同実施形態に係る非接触搬送装置２０の構成を示す図であり、（ａ）は上面図であり、（ｂ）は側面図である。
【図１５】同実施形態に係る非接触搬送装置１０が備えるセンタリング機構２２の駆動説明図である。
【符号の説明】
【００２６】
１、１０、２０…非接触搬送装置、２…旋回流形成体、３…凹部円筒室、４…平坦状対向面、５…ショートオフセットノズル、６…ベルマウス状流体通路、７…開口縁、８…流体導入口、１１…基底部、１２、２２…センタリング機構、１２１、２２１…シリンダ、１２２…リンクアーム、２２２…リンクプレート、１２３、２１３、２２３…センタリングガイド、１３、２４…流体供給口、２１…基体、２１１…基部、２１２…腕部、２３…把持部。
【図１】
2007176638.tif 000004
【図２】
2007176638.tif 000005
【図３】
2007176638.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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