(57)【要約】      （修正有）【課題】  ワークを載置して搬送するトレイの変形を未然に防止することが可能なトレイの搬送コンベヤを提供する。【解決手段】搬送コンベヤ１には、上に積まれたトレイに設けられている積み重ねた際の他のトレイとの接触部を支持する受け部材２が設けられている。接触部は他の部分に比べて強度が高く形成する。受け部材にトレイの接触部との嵌合部を設ける。受け部材を他の部分に較べてダストの発生が少ない部材で構成する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
上に積まれたトレイを他の部分に比べて強度が高く形成された接触部によって支持するようにしたトレイを搬送するコンベヤであって、前記トレイの接触部を支持する受け部材を所定間隔で複数設けたことを特徴とするトレイの搬送コンベヤ。
【請求項２】
受け部材にトレイの接触部との嵌合部を設けたことを特徴とする請求項１に記載のトレイの搬送コンベヤ。  
【請求項３】
受け部材を他の部分に較べてダストの発生が少ない部材で構成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のトレイの搬送コンベヤ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークが載置されるトレイを複数積層した状態で搬送するコンベヤに関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、液晶用のガラス基板やＥＬ用の基板などの大型基板や半導体ウェハーなどのワークをトレイに載せて搬送することを検討し、特許文献１に示すように、積層が容易でかつワークの出し入れも容易なトレイを提案した。また、特許文献２に示すように、トレイを積層保管すると共に、積層したトレイを１枚ずつ取り出すことができ、さらに搬送されてきたトレイを段積みすることができる段積み／段ばらし兼用の装置を提案した。
【０００３】
そして出願人は、トレイを効率よく搬送するために、複数のトレイを積み重ねた状態で搬送することに着目した。しかしながら、大型基板などを搬送する場合には、ワークを載置するトレイも大形となり、これらを複数積み重ねて搬送する場合、全体を支える部分（搬送するためのコンベヤと接触する部分）が変形する虞があることを知見し、本願発明に至った。
【特許文献１】特開２００５−９３５８５号公報
【特許文献２】特開２００５−８９０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本願発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、積み重ねられたトレイを、変形させることなく搬送することが可能なコンベヤを提供することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１の発明は、上に積まれたトレイを他の部分に比べて強度が高く形成された接触部によって支持するようにしたトレイを搬送するコンベヤに関する。本発明の搬送コンベヤは、トレイの接触部を支持する受け部材を所定間隔で複数設けたことを特徴とする。
【０００６】
本発明のコンベヤによって搬送されるトレイには、積み重ねられたときに上下に位置するトレイと接触し、上積みされたトレイを安定して支持するための充分な強度を備えた接触部が設けられている。本発明のコンベアの受け部材が、積み重ねられたトレイの一番下に位置する接触部を支持することで、支持されたトレイは、その構成要素の中の充分な強度を備えた箇所が支持されることとなり、トレイを変形させることなく安定して搬送することが可能となる。
【０００７】
請求項２の発明は、トレイ搬送コンベヤのトレイの受け部材に、トレイの接触部との嵌合部を設けたことを特徴とするトレイ搬送コンベヤである。
【０００８】
コンベヤの受け部材とトレイの接触部とが嵌合することにより、たとえ搬送中にゆれや衝撃が加わった場合でも、トレイがずれたり落下することなく、安定して搬送を行うことができる。
【０００９】
請求項３の発明は、受け部材を他の部分に較べてダストの発生が少ない部材で構成したことを特徴とするトレイ搬送コンベヤである。
【００１０】
コンベヤの受け部材をダストの発生が少ない部材で構成することにより、トレイの接触部とコンベヤの受け部材との間の接触箇所でのダストの発生を低減することが可能となり、トレイ内の搬送物のクリーン度に悪影響を及ぼすことなく搬送を行うことが可能となる。
【発明の効果】
【００１１】
本発明により、トレイを変形させることなく搬送することが可能なコンベヤを提供することができる。
【００１２】
また、本発明により、トレイを２枚以上積み重ねた状態、即ちバルク形態で安定して搬送することが可能な搬送コンベヤを提供することができる。
【００１３】
また、本発明により、搬送中のトレイの位置ずれが防止され、安定して確実にトレイの搬送を行うことができる搬送コンベヤを提供することができる。
【００１４】
更に、本発明により、トレイとコンベヤの受け部材との間の接触箇所でのダストの発生が抑制され、搬送物のクリーン度を維持することのできるトレイの搬送コンベヤを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下に発明を実施するための最良の形態を列記する。
（形態１）  コンベヤには、所定の間隔で受け部材が固定されている。受け部材と受け部材の間隔は、搬送するトレイの一辺に複数設けられている接触部の間隔と一致している。
（形態２）  受け部材の両端部には凸部が設けられており、この形状は、トレイの接触部の下面に設けられている凹部の形状に対応している。受け部材の凸部と、トレイの接触部の凹部を嵌め合わせることで、受け部材にトレイが位置決め固定される。
（形態３）  受け部材のトレイとの接触部には、クリーン対策材料として、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れているためにダストが発生しにくい樹脂であるＵＰＥ（超高分子量（高密度）ポリエチレン）又はＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）が使用されている。
（形態４）  トレイは、略長方形の外枠の内側に、物品の載置部が設けられている。外枠には、１辺につき２箇所以上に、積み重ねたときの接触部となる樹脂ブロックが固定されている。
（形態５）  トレイの接触部となる樹脂ブロックには、ＵＰＥ又はＰＥＥＫが使用されている。
（形態６）  樹脂ブロックの上面には凸部が設けられており、樹脂ブロックの下面には凹部が設けられている。樹脂ブロックの凸部の形状は、コンベヤの受け部材に設けられた凸部の形状と一致している。樹脂ブロックの下面の凹部は、コンベヤの受け台の上面の凸部又は他の樹脂ブロックの上面の凸部と嵌め合わせることで、固定される。
【実施例】
【００１６】
以下、本発明を適用したトレイの搬送コンベア（以下、コンベヤとも言う）の実施例を、図面を参照しつつ詳細に説明する。図１は、本発明によるトレイの搬送コンベヤ１の一実施例の構成を示す斜視図である。
【００１７】
本実施例におけるコンベヤ１は、平行して設置された２本のレール１２に沿って、チェーン又はベルトなどの帯状搬送手段１４が走行可能に設置されている。このチェーン又はベルト１４上には、所定の間隔で複数の受け部材２が固定されている。
【００１８】
本実施例における受け部材２は、略直方体の台座部４の両端に、トレイの接触部と接触し、トレイを支持するための２個の支持部６が設けられている。２個の支持部６の高さは同一となっており、トレイ１０を均等に支持することができる。
【００１９】
支持部６は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れたＵＰＥ又はＰＥＥＫで形成されている。これらの樹脂を利用した受け部材２は他の部材と接触した場合でもダストが発生しにくいため、クリーンルームで使用した場合に、クリーンルームを汚染する恐れがない。
【００２０】
受け部材２は、各部材の接続箇所を減らしてよりダストが貯まりにくい構造とするために、台座部４と支持部６を一体で成形することができる。一方、搬送するトレイの大きさが屡々変更されるコンベヤ１においては、台座部４と支持部６を別々に成形し、支持部６と支持部６との間の間隔を調整できるように組み立てることも可能である。
【００２１】
図２に、受け部材２の支持部６の拡大図を示す。受け部材２の支持部６の上面には、凸部８が設けられている。本実施例における凸部８は、円錐台形状に成形されている。
【００２２】
本実施例の搬送コンベヤ１によって搬送されるトレイ１０を、図３に示す。本実施例におけるトレイ１０の形状は、略長方形である。２本の長辺部材と２本の短辺部材の各々の端部が結合されることにより、トレイ１０の外枠１２が形成されている。外枠１２の内側に、物品の載置部１４が設けられている。本実施例における載置部１４は、外枠１２の長辺側と平行に配置された複数の桟で形成されている。
【００２３】
トレイ１０の外枠１２には、積み重ねたときの接触部となる複数の樹脂ブロック１６が固定されている。以下、樹脂ブロック１６のトレイ１０における配置を識別して説明を行う場合には、その配置に応じて各々の樹脂ブロック１６にａからｈまでの英字を付与して説明する。又、全ての樹脂ブロックに共通の構成を説明する場合には、単に樹脂ブロック１６と総称する。本実施例のトレイ１０に固定される樹脂ブロック１６は、すべて同一の形状を備えている。
【００２４】
外枠１２の対向する長辺部材には、各辺に２個ずつ計４個の樹脂ブロック１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄが固定されている。樹脂ブロック１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄは、いずれも外枠の端部から所定の距離の位置に固定されており、樹脂ブロック１６ａは樹脂ブロック１６ｃと対向し、樹脂ブロック１６ｂは樹脂ブロック１６ｄと対向している。
【００２５】
同様に、外枠１２の対向する短辺部材には、各辺に２個ずつ計４個の樹脂ブロック１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈが固定されている。樹脂ブロック１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈは、いずれも外枠の端部から所定の距離の位置に固定されており、樹脂ブロック１６ｅは樹脂ブロック１６ｇと対向し、樹脂ブロック１６ｆは樹脂ブロック１６ｈと対向している。
【００２６】
図４に、本実施例の樹脂ブロック１６の斜視図を示す。樹脂ブロック１６は、略直方体の本体部１８の上面に凸部１９が設けられており、樹脂ブロック１６の下面には凹部２０が設けられている。本体部１８の左右には外枠１２への固定部１７が設けられている。樹脂ブロック１６は固定部１７に設けられた固定孔によって、外枠１２にねじ又はリベットを用いて固定される。
【００２７】
樹脂ブロック１６は、受け部材２と同様に、ＵＰＥ又はＰＥＥＫで形成されていることが好ましい。樹脂ブロック１６は、樹脂ブロック同士が接触したり、受け部材２と接触した場合でも摩耗せず、ダストを発生することがないために、クリーンルーム内で搬送を行った場合でも、搬送している物品を汚染しない。
【００２８】
樹脂ブロック１６の本体部１８の高さは、トレイ１０の載置部１４の高さと、搬送する物品の板厚と、搬送する物品を傷つけることなくトレイ１０の積み重ねと積み降しを行うために必要なクリアランス量を積算した高さとなっている。
【００２９】
トレイ１０を積み重ねると、上側となったトレイ１０の樹脂ブロック１６の本体部１８の下面と、下側となったトレイ１０の樹脂ブロック１６の本体部１８の上面が互いに接触して、上側のトレイの重量を支持する。樹脂ブロック１６の本体部１８が充分な高さを備えていることで、トレイ１０の外枠１２及び載置部１４は、上下に積まれたトレイ１０と接触しない。
【００３０】
樹脂ブロック１６の上面の凸部１９は、円錐台形状をしており、その形状と大きさは、受け部材２の凸部の形状及び大きさと一致している。また、樹脂ブロック１６の凹部の形状及び大きさは、受け部材２の凸部８、及び樹脂ブロック１６の凸部１９の形状及び大きさと一致している。
【００３１】
受け部材２の凸部８、樹脂ブロック１６の凸部９、及び樹脂ブロック１６の凹部２０の形状と大きさが一致していることにより、樹脂ブロック１６の凹部２０は、コンベヤ１の受け部材２の凸部８又は他の樹脂ブロック１６の凸部１９と嵌め合わせることができる。
【００３２】
トレイ１０の樹脂ブロック１６の凹部２０が嵌め合わされている、コンベヤ１の受け部材２の支持部６の拡大図を図５に示す。受け部材２の支持部６の上面の面積は、樹脂ブロック１６の本体部１８の下面の面積以上の広さを有しており、樹脂ブロック１６の本体部１８の下面と確実に接触し、安定して支持することができる。支持部６の上面の凸部８は、樹脂ブロック１６の凹部２０と嵌合している。
【００３３】
図６に示すように、受け部材２の両端に設けられている２個の支持部６の凸部８の間隔を、搬送するトレイ１０の対向する短辺の樹脂ブロック１６の凹部２０の間隔、即ち樹脂ブロック１６ｅと１６ｇの凹部２０の間隔に一致させた受け部材２を２組使用して、トレイ１の搬送を行うことができる。
【００３４】
このとき、コンベア１に固定する受け部材２と受け部材２の間隔を、樹脂ブロック１６ｅと１６ｆの間隔に一致させることにより、トレイ１０の対向する短辺に配置されている全ての樹脂ブロック１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈの下面の凹部２０を、同時に受け部材２の支持部６の上面の凸部８に嵌め合わせることができる。
【００３５】
樹脂ブロック１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈは、２組の受け部材２の支持部６によって均等に支持されている。樹脂ブロック１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈが支持部６の凸部８と全て嵌合していることにより、トレイ１０は、受け部材２に対して横ズレを起こしたり、落ちたりすることなく、安定して搬送される。
【００３６】
ここで、受け部材２の両端に設けられている２個の支持部６の凸部８の間隔を、搬送するトレイ１の対向する長辺の樹脂ブロック１６の凹部２０の間隔、即ち樹脂ブロック１６ａと１６ｃの凹部２０の間隔に一致させ、且つコンベア１に固定する受け部材２と受け部材２の間隔を、樹脂ブロック１６ａと１６ｂの間隔に一致させることにより、トレイ１０の対向する長辺に配置されている全ての樹脂ブロック１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄの下面の凹部２０を、受け部材２の支持部６の上面の凸部８に嵌め合わせて、搬送を行うことができる。
【００３７】
このように、トレイ１０の外枠１２を形成する４辺のうち、対向する２辺に設けられた４個の樹脂ブロック１６の凹部を受け部材２の凸部８に嵌め合わせることにより、トレイ１０を安定して搬送することができる。トレイ１０なかで、支持するために充分な強度を備えた樹脂ブロック１６を支持し、外枠１２及び載置部１４を支持しないことにより、トレイ１０の変形が未然に防止されている。
【００３８】
受け部材２が支持する樹脂ブロック１６を、長辺側に設けられたものとするか、短辺側に設けられたものとするかは、搬送する工程における取り出し易さ等を考慮して決定することができる。対向する２辺に設けられた樹脂ブロック１６を均等に全て支持した場合には、トレイ１０を変形させることなく物品を搬送することができる。
【００３９】
コンベヤ１の受け部材２が、トレイ１０の外枠１２を形成する４辺の内の対向する２辺に設けられた樹脂ブロック１６を支持して搬送することにより、搬送中にトレイ１０を持ち上げたり、回転させる動作を非常に容易に行うことができる。即ち、移載機のチャック等は、コンベヤ１による搬送中のトレイ１０の支持されていない２辺の樹脂ブロック１６を保持することが容易であり、持ち上げや回転を迅速に行うことができる。
【００４０】
更に、本実施例におけるコンベヤ１は、図７に示すように、特に受け部材２の構成の追加や改造を行うことなく、複数枚積み重ねたトレイ１０を、搬送することができる。
【００４１】
積み重ねられたトレイ１０は樹脂ブロック１６でのみ接触しており、その重量は樹脂ブロック１６で支持されている。コンベヤ１の受け部材２は、この樹脂ブロック１６のうち、外枠の対向する２辺に固定されている全ての樹脂ブロック１６を支持する。このとき、受け部材２は、トレイ１０の外枠１２及び載置部１４と接触しない。
【００４２】
受け部材２が、積み重ねられたトレイ１０の外枠１２及び載置部１４と接触しないために、トレイ１０には、搬送中も上側の他のトレイ１０の重量がかからない。このため、トレイ１０の外枠１２及び載置部１４は、搬送中に変形を起こす恐れが未然に防止されている。
【００４３】
積み重ねた状態のトレイ１０を搬送する際に、受け部材２の全ての凸部８には、積み重ねられて一番下となっているトレイの樹脂ブロック１６の凹部２０が嵌め合わされている。又、上積みされているトレイ１０の樹脂ブロック１６の全ての凹部２０が、下側のトレイ１０の凸部と嵌め合わされている。
【００４４】
このような凹部と凸部の嵌合によって、トレイ１０は、位置決めされて正確に積み重ねられた状態で搬送される。搬送中に、多少の衝撃が加わった場合でも、積み重ねたトレイ１０がずれたり落ちたりする恐れがなく、トレイ１０は安定して搬送される。
【００４５】
以上述べてきたように、本実施例のトレイ１０の搬送コンベヤ１は、トレイ１０に設けられている積み重ねた際の上下のトレイ１０との接触部である樹脂ブロック１６を支持する受け部材２を備えており、受け部材２の支持部６が、この樹脂ブロック１６のうち、外枠の対向する２辺に固定されている全ての樹脂ブロック１６を支持する。
【００４６】
搬送されるトレイ１０は、充分な強度を備えた接触部が支持されることで、トレイ１０の変形が未然に防止されて、安定して搬送される。また、複数のトレイ１０を積み重ねた状態でも、トレイ１０の外枠１２や載置部１４を変形させることなく確実に搬送することが可能となる。
【００４７】
また、コンベヤ１の受け部材２に凸部８が設けられており、搬送時にはトレイ１０の樹脂ブロック１６の下面に設けられた凹部２０と嵌合することにより、たとえ搬送中にゆれや衝撃が加わった場合でも、トレイ１０がずれたり落下することなく、安定して搬送を行うことができる。
【００４８】
更に、受け部材２及び樹脂ブロック１６は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れた樹脂で形成されているために、積み重ね、積み下ろし、若しくは搬送中にダストを発生せず、載置してある薄板状の物品を汚染しない。
【００４９】
尚、本実施例に於いては、トレイ１枚を搬送するために、支持部６が２箇所に設けられた受け部材を２組所定の間隔に配置してトレイ１０の接触部を支持する搬送コンベヤ１を例示したが、支持部６を４箇所に設けた受け部材を１台適用することも可能である。
【００５０】
支持部が４箇所に設けられた受け部材として、以下のような形態の受け部材が適用可能である。即ち、台座部が大型の四辺形の平板若しくは枠体で形成されており、トレイ１０の樹脂ブロック１６の配置に略対応する台座部の上面位置に支持部が４箇所設けられている受け部材２が適用可能である。また他の形態として、実施例の２組の受け部材２が、補助部材で所定の間隔に予め固定されている受け部材を適用することが可能である。
【００５１】
以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
【００５２】
例えば、実施例に於いては、略長方形の外枠部の各辺に、各々２個の接触部を備えたトレイ１０を搬送する例について詳細に記載したが、外枠の形状が長方形以外の形状であったり、又搬送する物品の重量や大きさに対応して、外枠部の一辺に固定する樹脂ブロック１６の数が３個以上に増やされている場合であっても、支持部の配置と間隔を適宜設定することにより、本発明の搬送コンベヤによる搬送が可能となる。
【００５３】
また、受け部材におけるトレイの接触部との嵌合部の形状は、円錐台形に限定されない。嵌合部の形状は、作用効果を損なわない範囲において、変更が可能である。更に、受け部材の材質についても、トレイに接触する部分のみを耐磨耗性の高い樹脂で形成し、他の部分は金属等の異なる材質で形成することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５４】
【図１】実施例の、搬送コンベヤ１の概要を説明する斜視図である。
【図２】実施例の、搬送コンベヤ１の受け部材２の支持部６の拡大図である。
【図３】実施例の、搬送コンベヤ１が搬送するトレイ１０の斜視図である。
【図４】実施例の、搬送コンベヤ１が搬送するトレイ１０に取り付けられる樹脂ブロック１６の斜視図である。
【図５】実施例の、トレイ１０の樹脂ブロック１６の凹部２０が嵌合している、搬送コンベヤ１の受け部材２の支持部６の拡大図である。
【図６】実施例の、搬送コンベヤ１がトレイ１０を搬送する状態を模式的に示す斜視図である。
【図７】実施例の、搬送コンベヤ１が積み重ねられたトレイ１０を搬送する状態を模式的に示す側面図である。
【符号の説明】
【００５５】
１：  搬送コンベヤ
２：  受け部材
４：  台座部
６：  支持部
８，１９：  凸部
１０：  トレイ
１２：  外枠部
１４：  載置部
１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃ．１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ，１６ｇ，１６ｈ：樹脂ブロック
１７：  固定部
１８：  本体部
２０：  凹部
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007191240.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007191240.tif 000009