(57)【要約】      （修正有）【課題】ワークの表面に付着した微小なゴミを検出することが可能な表面検査装置を提供する。【解決手段】表面検査装置は、ワークの検査面に付着したゴミ（異物）を検出するために用いられる。照明部は、ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射する。また、第１マスク部は検査面の上部に配置され、第２マスク部は検査面の下部に配置される。即ち、第１マスク部と第２マスク部によって上部と下部が挟み込まれる。第１マスク部及び第２マスク部が外部からワークの検査面に照射される光を遮断するため、ワークの検査面には光はほとんど照射されない、即ちワークの検査面を透過する光はほとんどない。したがって、検査面に対向する位置に設けられた撮像部に入射される光を、ワークの検査面に付着したゴミによって反射した光のみとすることができる。これにより、微小なサイズのゴミを容易に検出することができる。【選択図】図１
2007057315.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射する照明部と、
前記照明部の上部に取り付けられ、前記検査面の上方に配置される第１マスク部と、
前記照明部の下部に取り付けられ、前記検査面の下方に配置される第２マスク部と、
前記検査面に対向する位置に設けられ、当該前記検査面の略垂直方向に進行する光を撮像する撮像部と、を備えることを特徴とする表面検査装置。
【請求項２】
前記第１マスク部及び前記第２マスク部は、前記検査面を前記照明光以外の外光から遮光することを特徴とする請求項１に記載の表面検査装置。
【請求項３】
前記第１マスク部及び前記第２マスク部は、少なくとも前記検査面側の内面が反射防止処理されていることを特徴とする請求項１又は２に記載の表面検査装置。
【請求項４】
前記ワークは、赤外線カットフィルターであり、
前記照明部は、赤色光を照射することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の表面検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークの表面を検査する表面検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、ワークに対して照射光を照射することによって、ワークの表面に付着した異物（ゴミ）などを検査する表面検査装置が知られている。特許文献１には、落射照明と斜方照明を用いて表面検査を行う技術が記載されている。また、特許文献２には、ワークのほぼ全面に照射光を照射し、ワークに付着した異物からの散乱光に基づいて表面検査を行う技術が記載されている。その他にも、特許文献３乃至５に、表面検査に関する技術が記載されている。
【０００３】
【特許文献１】特開２００１−２５５２７８号公報
【特許文献２】特開２００１−２６４２６２号公報
【特許文献３】特開平９−３３４４６号公報
【特許文献４】特開平１０−２３９０３８号公報
【特許文献５】特開２００４−１０８８２８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記した特許文献１乃至５に記載された技術では、ワークの表面に付着した微小なゴミ（例えば５（μｍ）程度のサイズ）を精度良く検出できない場合があった。また、このような微小なゴミを検出するために、装置の構成が複雑化したり、画像処理などに手間がかかったりする場合があった。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は上記のようなものが例として挙げられる。本発明は、簡便な構成によって、ワークの表面に付着した微小なゴミを検出することが可能な表面検査装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
請求項１に記載の発明は、表面検査装置は、ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射する照明部と、前記照明部の上部に取り付けられ、前記検査面の上方に配置される第１マスク部と、前記照明部の下部に取り付けられ、前記検査面の下方に配置される第２マスク部と、前記検査面に対向する位置に設けられ、当該前記検査面の略垂直方向に進行する光を撮像する撮像部と、を備える。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
本発明の好適な実施形態では、表面検査装置は、ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射する照明部と、前記照明部の上部に取り付けられ、前記検査面の上方に配置される第１マスク部と、前記照明部の下部に取り付けられ、前記検査面の下方に配置される第２マスク部と、前記検査面に対向する位置に設けられ、当該前記検査面の略垂直方向に進行する光を撮像する撮像部と、を備える。
【０００８】
上記の表面検査装置は、ワークの検査面（表面）に付着した異物（ゴミ）を検出するために好適に用いられる。照明部は、ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射する。また、第１マスク部は、照明部の上部に取り付けられ、検査面の上方に配置され、第２マスク部は、下部に取り付けられ、検査面の下方に配置される。即ち、ワークは、検査時においては、第１マスク部と第２マスク部によって挟み込まれる。そのため、ワークには、照明光以外の外光がほとんど照射されなくなる。したがって、検査面に対向する位置に設けられた撮像部に入射される光を、ワークの検査面に付着したゴミによって反射した光のみとすることができる。これにより、上記の表面検査装置によれば、ゴミ以外の要素がほとんど撮像されないため、微小なサイズのゴミを容易に検出することができる。したがって、上記の表面検査装置によれば、安価及び簡便な構成によって、精度良く表面検査を行うことが可能となる。
【０００９】
上記の表面検査装置の一態様では、前記第１マスク部及び前記第２マスク部は、前記検査面を前記照明光以外の外光から遮光する。これにより、ワークの検査面に光が照射されることを効果的に抑制することができる。
【００１０】
上記の表面検査装置の他の一態様では、前記第１マスク部及び前記第２マスク部は、少なくとも前記検査面側の内面が反射防止処理されている。
【００１１】
この態様では、第１マスク部及び第２マスク部は、少なくとも検査面側の内面が反射防止処理されている。これにより、検査面に対して光が照射されてしまうことを効果的に防止することができる。
【００１２】
上記の表面検査装置において好適には、前記ワークは、赤外線カットフィルターであり、前記照明部は、赤色光を照射する。赤外線カットフィルターの検査面の略水平方向に赤色光を照射することにより、ワークを透過した光が撮像されることを抑制することができる。
【実施例】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の好適な実施例について説明する。
【００１４】
［表面検査装置の構成］
（全体構成）
まず、本発明の実施例に係る表面検査装置の全体構成について、図１を用いて説明する。
【００１５】
図１は、表面検査装置１００の概略構成を示す図である。なお、図１では、照射部１０及び撮像部２０は、側面図を示している。
【００１６】
表面検査装置１００は、主に、照射部１０と、撮像部２０と、画像処理部３０と、を備える。表面検査装置１００は、赤外線カットフィルター２に対する表面検査を行う装置である。具体的には、表面検査装置１００は、赤外線カットフィルター２の検査面（カット面）２ａに付着したゴミ（異物）を検査するために用いられる。
【００１７】
赤外線カットフィルター２は、表面検査装置１００の検査対象（ワーク）であり、赤外線（赤色光も含む）を反射するフィルターである。赤外線カットフィルター２は、例えば小型カメラモジュール等のカバーガラスとして用いられる。また、赤外線カットフィルター２は、ノズル１によって吸着され、保持されている。詳しくは、ノズル１の中央部分に設けられた穴を介して吸引が行われることによって、赤外線カットフィルター２が吸着される。このノズル１は、図示しないロボットなどに接続されており、ロボットによって移動される。この場合、赤外線カットフィルター２は、矢印４９で示すように移送されてきて、照射部１０の貫通口１０ａに挿入される。上記したロボットは、ノズル１によって赤外線カットフィルター２を吸着した状態で、種々の処理を行う装置に移送する。
【００１８】
照射部１０は、貫通口１０ａに赤外線カットフィルター２が挿入される。照射部１０は、貫通口１０ａ内に位置する赤外線カットフィルター２に対して斜光照射する。具体的には、照射部１０は、赤外線カットフィルター２の検査面２ａの略水平方向に、赤色光５０をローアングル方式で斜光照射する。
【００１９】
撮像部２０は、レンズ部２１とＣＣＤカメラ２２を有する。レンズ部２１には、赤外線カットフィルター２の検査面２ａの略垂直方向に進行する光５１が入射され、この光５１を集光した光をＣＣＤカメラ２２に対して入射させる。具体的には、光５１は、検査面２ａ上に付着するゴミによって赤色光５０が反射した光に対応する。例えば、レンズ部２１は、１５（ｍｍ）の接写リングと５０（ｍｍ）のレンズが用いられる。更に、レンズ部２１は、検査面２ａまでの距離が１５５（ｍｍ）程度に設定されると共に、視野が１０（ｍｍ）×７．５（ｍｍ）（１５μ/ｐｉｃ）程度に設定される。
【００２０】
ＣＣＤカメラ２２は、撮像素子などを有しており、レンズ部２１によって集光された光が入射される。ＣＣＤカメラ２２は、撮像素子上に照射された光を撮像し、撮像した画像に対応する画像信号Ｓ１を画像処理部３０に供給する。例えば、ＣＣＤカメラ２２は、１／３型の４０万画素のカメラによって構成される。
【００２１】
画像処理部３０は、入力された画像信号Ｓ１に対して画像処理を行う。また、画像処理部３０は表示部３０ａを備え、表示部３０ａは画像処理後の画像を表示する。具体的には、表示部３０ａに表示される画像は、検査面２ａの画像に対応する。本実施例では、この画像に基づいて、赤外線カットフィルター２の表面検査を行う。具体的には、赤外線カットフィルター２の検査面２ａに存在するゴミなどの検査を行う。詳しくは、検査面２ａにゴミが存在しない場合或いは検査面２ａに存在するゴミの数が少ない場合（ゴミの数が所定数以下である場合）には、この赤外線カットフィルター２を採用する決定を行い、検査面２ａに存在するゴミの数が多い場合（ゴミの数が所定数よりも大きい場合）には、この赤外線カットフィルター２を破棄する決定を行う。
【００２２】
（照射部の構成）
ここで、照射部１０の具体的な構成について説明する。
【００２３】
図２は、照射部１０の具体的な構成を示す図である。図２（ａ）は、図１中の切断線Ａ１−Ａ２に沿った照射部１０の断面図を示し、図２（ｂ）は、図２（ａ）中の矢印Ｂ方向から照射部１０を観察した図である。照射部１０は、第１マスク部１１と、第２マスク部１２と、ローアングル照明１３と、を有する。
【００２４】
第１マスク部１１は、平板で構成され、ローアングル照明１３の上部に固定されている。即ち、第１マスク部１１は、赤外線カットフィルター２が貫通口１０ａに挿入されているときには、赤外線カットフィルター２の上方に位置する。また、第１マスク部１１に設けられた貫通口１１ａには、赤外線カットフィルター２を検査する際に、赤外線カットフィルター２が挿入される。この場合、貫通口１１ａには、赤外線カットフィルター２の全体が挿入されると共に、ノズル１の一部が挿入される。なお、貫通口１１ａは、赤外線カットフィルター２の外形よりもわずかに大きいサイズの径によって構成されている。
【００２５】
第２マスク部１２は、平板で構成され、ローアングル照明１３の下部に固定されている。即ち、第２マスク部１２は、赤外線カットフィルター２が貫通口１０ａに挿入されているときには、赤外線カットフィルター２の下方に位置する。また、第２マスク部１２に設けられた貫通口１２ａには、赤色光５０が検査面２ａのゴミなどにおいて反射した光が通過していく。このように、赤外線カットフィルター２の検査時には、第１マスク部１１及び第２マスク部１２は、赤外線カットフィルター２を挟み込んでいる。
【００２６】
具体的には、第１マスク部１１及び第２マスク部１２は、金属や、非金属や、樹脂などによって構成される。更に、第１マスク部１１の内面１１ｂ及び第２マスク部１２の内面１２ｂは、言い換えると照射部１０の内面１１ｂ、１２ｂは、反射防止処理されている。具体的には、反射防止処理は、内面１１ｂ、１２ｂにおける表面をショットブラスト又はエッチングなどによって細かい粗目状態に処理した後、粗目状態にある表面を黒色のアルマイトなどによって表面処理することによって行われる。このように反射防止処理するのは、検査面２ａに対して赤色光５０が照射されてしまうことを防止するためである。即ち、内面１１ｂ、１２ｂを反射防止処理しなかった場合には、内面１１ｂ、１２ｂで反射した光が検査面２ａに照射されてしまい、撮像された画像に基づいてゴミを検出しにくくなるため、このような不具合の発生を防止するために反射防止処理する。なお、第１マスク部１１及び第２マスク部１２の内面１１ｂ、１２ｂの全体を上記のように処理することに限定はされず、少なくとも検査面２ａ側の内面を反射防止処理すれば足りる。
【００２７】
ローアングル照明１３は、上記した第１マスク部１１と第２マスク部１２の間に固定されている。ローアングル照明１３は、いわゆる斜光照明（無影照明）である。具体的には、ローアングル照明１３は、図２（ｂ）の破線で示すように、リング形状を有しており、複数のＬＥＤ１３ａが放射状に配列されている。赤外線カットフィルター２を検査する際には、ローアングル照明１３の中空部分１３ｂに赤外線カットフィルター２が配置される。ＬＥＤ１３ａは、赤外線カットフィルター２の検査面２ａの略水平方向に、赤色光５０を照射する。このように、ローアングル照明１３は、照明部として機能する。
【００２８】
以上のように、第１及マスク部１１、第２マスク部１２及びローアングル照明部１３は、上下方向のみに開口（貫通口１１ａ及び貫通口１２ａ）を有するエンクロージャを構成している。言い換えると、第１マスク部１１及び第２マスク部１２とローアングル照明１３は、赤外線カットフィルター２の真上方向及び真下方向以外の方向を外光から遮光する。なお、赤外線カットフィルター２の真上方向には、赤外線カットフィルター２を保持するノズル１が上下方向に移動可能に位置し、赤外線カットフィルター２の真下方向には撮像部２０が位置するため、貫通口１１ａ及び貫通口１２ａからもほとんど外光は入射しない。
【００２９】
なお、本発明は、赤色光を照射するローアングル照明１３を用いることに限定はされず、赤色光に近い波長を有する光を照射するローアングル照明を用いてもよい。即ち、赤外線カットフィルター２によって反射されるような光を照射するローアングル照明を用いればよい。例えば、赤外線を照射するローアングル照明を用いることができる。
【００３０】
また、本発明は、照射部１０の上方にノズル１を配置し、照射部１０の下方に撮像部２０を配置する構成に限定はされず、照射部１０の上方に撮像部２０を配置し、照射部１０の下方にノズル１を配置する構成を採用してもよい。
【００３１】
［表面検査方法］
次に、上記した表面検査装置１００が行う表面検査方法について、図３及び図４を用いて説明する。
【００３２】
図３は、表面検査方法の基本原理を説明するための図であり、検査面２ａの水平方向から赤外線カットフィルター２を観察した図である。検査面２ａに付着したゴミの検査は、以下のような原理によって行われる。
【００３３】
赤色光５０は、検査面２ａの略水平方向に進行するため、基本的には、検査面２ａに照射されない。そのため、赤色光５０は、検査面２ａにおいて反射されない。しかしながら、符号Ｄで示すゴミが検査面２ａに付着している場合には、赤色光５０は、このゴミＤにより反射される。このようにしてゴミＤにより反射された反射光５１は、検査面２ａに対向する位置に設けられた撮像部２０に入射する。即ち、検査面２ａから撮像部２０へ入射される光は、ゴミＤによる反射光５１のみとなる。これにより、撮像部２０で撮像される画像から、検査面２ａにおいてゴミＤが存在する部分とゴミＤが存在しない部分とを判別することが可能となる。以上より、撮像部２０において撮像された画像を用いることによって、検査面２ａに存在するゴミを検出することができる。
【００３４】
なお、上記のように、検査面２ａに略水平方向に赤色光５０を照射する理由は、赤色光を検査面２ａに照射させないためである。即ち、検査面２ａに赤色光が照射した場合（例えば、同軸照射した場合）には、検査面２ａで赤色光が反射し、この反射した光が撮像部２０で撮像されてしまい、ゴミを検出しにくくなるからである。また、赤色光５０を用いている理由は、赤色光５０の代わりに白色光や青色光などを用いた場合には、これらの光が検査面２ａを透過し、この透過した光が撮像部２０で撮像されてしまい、正確にゴミを検出することができなくなるからである。なお、上記のように検査面２ａの略水平方向に赤色光を照射させなかった場合や白色光などを用いた場合には、検査面２ａの全体又は一部が白色によって表現された画像が得られる。
【００３５】
図４は、表示部３０ａに表示された画像の一例を示す図である。なお、図４に示す画像Ｇにおいては、網掛け領域は光がない部分を示し、白抜きの領域は光がある部分を示している。この場合、光がある部分は、白色によって表示部３０ａに表示される。
【００３６】
具体的には、白抜きの領域６１は、検査面２ａの端部で反射した光に対応する画像を示している、即ち領域６１で囲まれた領域は検査面２ａに対応する画像である。また、白色の符号６２ａ〜６２ｃで示す点は、ゴミで反射した光を示している。即ち、符号６２ａ〜６２ｃで示す点は、ゴミに対応する画像である。具体的には、符号６２ａで示す点は、縦４０（μｍ）×横３６（μｍ）のサイズのゴミに対応し、符号６２ｂで示す点は、縦１０（μｍ）×横１０（μｍ）のサイズのゴミに対応し、符号６２ｃで示す点は、縦４（μｍ）×横５（μｍ）のサイズのゴミに対応する。これらのゴミのサイズは、電子顕微鏡などで測定したものである。以上のように、本実施例に係る表面検査装置１００によれば、縦５（μｍ）×横５（μｍ）程度の微小なゴミを検出することができる。
【００３７】
なお、検査面２ａの端部に対応する白抜きの領域６１で示す画像は、赤外線カットフィルター２の外形を示す画像であるため、赤外線カットフィルター２に対する位置決めを行う際にこの画像を用いることができる。
【００３８】
［比較結果］
次に、本実施例に係る表面検査装置１００によって撮像された画像と、比較例に係る表面検査装置によって撮像された画像との比較結果について、図５を用いて説明する。
【００３９】
図５は、同一の状態の赤外線カットフィルター２に対して表面検査を行った場合に得られた画像を示している。図５（ａ）は、第１マスク部１１及び第２マスク部１２を用いない第１比較例に係る表面検査装置によって得られた画像Ｇ１を示しており、図５（ｂ）は、第２マスク部１２のみを用いた第２比較例に係る表面検査装置によって得られた画像Ｇ２を示しており、図５（ｃ）は、第１マスク部１１と第２マスク部１２の両方を用いた本実施例に係る表面検査装置１００によって得られた画像Ｇ３を示している。なお、第１比較例及び第２比較例に係る表面検査装置は、第１マスク部１１及び第２マスク部１２以外の構成は、表面検査装置１００の構成と同様である。
【００４０】
図５（ａ）に示す画像Ｇ１について説明する。符号７０ａで示す白抜きの領域は、検査面２ａの端部で反射した光に対応する画像を示しており、符号７０ｂで示す白抜きの領域は、ノズル１の端部に対応する画像を示している。また、斜線で表わされた符号７１で示す領域は、光と影が入り混じっていることを示す画像であり、符号７２で示す黒色の領域は、ノズル１の穴に対応する画像である。そして、符号７３ａ、７３ｂで示す白色の点は、ゴミに対応する画像である。このように、第１比較例に係る表面検査装置によって得られた画像Ｇ１においては、検出対象となっているゴミ以外の画像（以下、単に「背景」とも呼ぶ。）が多数表示されていることがわかる。このような背景を示す画像は、ゴミを検出する上で邪魔となる場合がある。例えば、背景によってゴミを示す画像が隠れてしまい、正確にゴミを検出できない可能性がある。
【００４１】
図５（ｂ）に示す画像Ｇ２を参照すると、図５（ａ）に示す画像Ｇ１とは異なり、ノズル１の端部を示す画像や、光と影が入り混じった画像が消えていることがわかる。また、符号７６ａ〜符号７６ｃで示す白色の点は、前述した符号７３ａ、７３ｂで示す白色の点よりもサイズが大きいことがわかる。更に、画像Ｇ２においては、画像Ｇ１においては表示されていなかった符号７６ｃで示す点がわずかに表示されていることがわかる。以上より、第２比較例に係る表面検査装置によれば、ゴミを鮮明に表わす画像が得られる。しかしながら、画像Ｇ２では、ノズル１の穴に対応する符号７５で示す影が表示されていることがわかる。即ち、第２比較例に係る表面検査装置においても、背景を示す画像が表示されているため、ゴミを検出する精度は低下し得る。
【００４２】
図５（ｃ）に示す画像Ｇ３を参照すると、図５（ｂ）に示す画像Ｇ２とは異なり、ノズル１の穴に対応する影が全く表示されていないことがわかる。更に、符号７８ａ〜符号７８ｃで示すように、ゴミを示す画像が更に鮮明に表示されていることがわかる。詳しくは、符号７８ａ〜符号７８ｃで示す白色の点は、前述した符号７６ａ〜符号７６ｃで示す白色の点よりもサイズが大きいことがわかる。また、図５（ａ）に示す画像においては全く表示されていなかった符号７８ｃで示す点が、鮮明に表示されていることがわかる。
【００４３】
このように、第１マスク部１１と第２マスク部１２の両方を用いた表面検査装置１００によれば、ゴミ以外を示す余計な画像が表示されないことがわかる。即ち、表面検査装置１００によれば、背景を消すことができる。したがって、本実施例に係る表面検査装置１００によれば、背景を示す画像を消すための画像処理などを行う必要がないため、容易な処理によってゴミを検出することが可能となる。
【００４４】
表面検査装置１００による画像において背景が表示されないのは、即ち表面検査装置１００によって背景を示す画像を消すことができるのは、以下のような理由によるものと考えられる。第１マスク部１１及び第２マスク部１２を用いた場合には、赤外線カットフィルター２の上方及び下方が覆われるため、照射部１０の外部などに存在する光（外光）は検査面２ａに対してほとんど照射されない。即ち、第１マスク部１１は検査面２ａの上部に照射される光を遮断し、第２マスク部１２は検査面２ａの下部に照射される光を遮断する。また、照射部１０の貫通口１０ａの隙間からわずかな光が入射した場合にも、第１マスク部１１の内面１１ｂ及び第２マスク部１２の内面１２ｂが反射防止処理されているため、入射された光のうち反射した光が検査面２ａに対して照射されることもほとんどない。したがって、検査面２ａを透過する光はほとんどないため、撮像部２０に入射される光は、検査面２ａに存在するゴミにより反射した光のみとなる。以上のような理由により、表面検査装置１００は、背景を示す画像を消すことができると考えられる。
【００４５】
また、本実施例に係る表面検査装置１００によれば、実際のゴミのサイズに対応する画像よりも大きなサイズの画像によって、ゴミを表示することができる。具体的には、表面検査装置１００によれば、実際のゴミのサイズに対応する画像よりも３倍程度大きい画像によってゴミを表示することができる。これにより、ゴミを容易に検出することが可能となる。このように表示されるゴミのサイズが大きくなるのは、赤色光５０がゴミにおいて乱反射するためである。即ち、撮像部２０に入射される段階で、ゴミに対応する像が拡大されているため、表示されるゴミのサイズが大きくなる。
【００４６】
ここで、ＣＣＤカメラ２２として１／３型（縦４．８（ｍｍ）×横３．６（ｍｍ））を用い、水平解像度を５１２本とした場合、倍率が１倍であれば１画素は、「４．８÷５１２≒０．００９（ｍｍ）＝９（μｍ）」となる。このように１画素が概ね９（μｍ）に対応するＣＣＤカメラ２２では、基本的には、９（μｍ）よりも小さいサイズのゴミを撮像することはできない。つまり、実際のサイズと概ね同一のサイズのゴミの像が撮像部２０に入射される場合には、ＣＣＤカメラ２２は、９（μｍ）よりも小さいサイズのゴミを撮像することはできない。
【００４７】
しかしながら、本実施例に係る表面検査装置１００では、実際のサイズよりも３倍程度拡大された像が撮像部２０に入射されるため、例えば５（μｍ）のサイズのゴミでも１５（μｍ）程度のサイズに拡大された像が撮像部２０に入射されるので、１画素が概ね９（μｍ）に対応するＣＣＤカメラ２２でも、９（μｍ）よりも小さい５（μｍ）程度のサイズのゴミを撮像することができる。このような理由から、第１比較例に係る表面検査装置では表示されなかったゴミを（図５（ａ）参照）、表面検査装置１００は表示することができた（図５（ｃ）の符号７８ｃ参照）。したがって、本実施例に係る表面検査装置１００によれば、微小なサイズのゴミを検出するために、この微小なサイズに対応できるだけの解像度を有するＣＣＤカメラ２２を用いなくてもよい。即ち、表面検査装置１００によれば、高価な高解像度のＣＣＤカメラ２２を用いなくても、５（μｍ）程度のサイズの微小なゴミを検出することができる。
【００４８】
以上のように、本実施例に係る表面検査装置は、ワークの検査面の略水平方向に照射光を照射するローアングル照明と、前記検査面の上部に配置される第１マスク部と、前記検査面の下部に配置される第２マスク部と、前記検査面に対向する位置に設けられ、当該前記検査面の略垂直方向に進行する光を撮像する撮像部と、を備える。これにより、背景の画像を消すことによって容易にゴミの検出を行うことができると共に、高解像度のカメラを用いなくても微小なサイズのゴミを確実に検出することができる。したがって、上記の表面検査装置によれば、安価及び簡便な構成によって、精度良く表面検査を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施例に係る表面検査装置の概略構成を示す図である。
【図２】照射部の具体的な構成を示す図である。
【図３】表面検査方法の基本原理を説明するための図である。
【図４】本発明の実施例に係る表面検査装置によって撮像された画像の例を示す図である。
【図５】本実施例に係る表面検査装置によって撮像された画像と、比較例に係る表面検査装置によって撮像された画像との比較結果を示す図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  ノズル
２  赤外線カットフィルター
２ａ  検査面
１０  照射部
１１  第１マスク部
１２  第２マスク部
１３  ローアングル照明
２０  撮像部
２２  ＣＣＤカメラ
３０  画像処理部
１００  表面検査装置
【図１】
2007057315.tif 000003
【図２】
2007057315.tif 000004
【図３】
2007057315.tif 000005
【図４】
2007057315.tif 000006
【図５】
2007057315.tif 000007