(57)【要約】【課題】所謂ケミカル法を用いることなく、治具に固定された磁気ヘッドスライダの治具からの分離及びその後の選別作業を実施可能とする。【解決手段】スライダを治具に固定する接着剤を加熱して軟化させ、当該状態にてスライダの接着面と平行な方向にスライダを押し出す。また、押し出し時にスライダが押し出し方向に対して傾いた場合にこれを是正可能とし、且つスライダを保持するガイド手段を配置することとする。【選択図】図１
2007149284.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
接着媒体により治具に対して整列状態で貼り付け固定された複数の磁気ヘッドスライダを前記治具から分離する磁気ヘッドの製造装置であって、
前記治具を固定するステージと、
前記接着媒体を加熱する加熱手段と、
前記治具に貼り付けられた前記スライダに当接し、前記スライダにおける前記治具との貼り付け面と平行に前記スライダを押圧して前記スライダを前記治具における貼り付け位置とは異なる所定位置まで移動させるプッシャーと、
前記プッシャーが前記スライダを移動させる移動経路と平行であって、前記移動経路の途中から前記所定位置まで連続するガイド面を有したガイド手段とを有することを特徴とする磁気ヘッドの製造装置。
【請求項２】
前記ガイド手段は、前記移動経路を挟んで向かい合って配置される一対の部材からなり、前記部材の少なくとも一方は前記移動経路と略垂直な方向に移動可能であることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッドの製造装置。
【請求項３】
前記ガイド手段における移動可能な部材は、付加荷重が規制されることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの製造装置。
【請求項４】
前記ガイド手段は、前記治具の表面に対して垂直な方向に移動可能であることを特徴とする請求項２に記載の磁気ヘッドの製造装置。
【請求項５】
接着媒体により治具に対して整列状態で貼り付け固定された複数の磁気ヘッドスライダを前記治具から分離する磁気ヘッドの製造方法であって、
所定の温度に維持可能な加熱ステージに対して前記治具を密着固定させ、前記治具を介して前記接着媒体が軟化する温度まで前記接着媒体を加熱し、
前記治具に貼り付けられた前記スライダにプッシャーを当接し、前記プッシャーによって前記スライダにおける前記治具との貼り付け面と平行に前記スライダを押圧して前記スライダを前記治具における貼り付け位置とは異なる所定位置まで移動させ、
前記所定位置において、前記スライダの移動方向とは垂直な方向に相対的に駆動可能な部材を駆動させて前記スライダを把持し、
前記部材を前記治具表面に対して垂直な方向に移動させて前記スライダと前記治具との間に空隙を形成する工程を有することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）に例示される磁気記録装置において、情報の記録或いは読み出しに用いられる磁気ヘッドの製造装置及び製造方法に関する。より詳細には、磁気ヘッド装置において磁気−電気信号の変換操作を司る所謂スライダの製造工程において、スライダ複数個を一体として加工処理した後に個辺への分離・選別等を行う際に用いられる装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
上記スライダは、セラミックからなるウエハ状の基板に対して半導体製造工程に類似する薄膜形成・加工処理を施すことにより、複数個が同時に製造される。これらスライダは、基本的な内部構造を該薄膜形成・加工処理により作りこんだ後、該セラミックウエハより切り出されて、複数個のスライダが所定方向に並んだ棒状の中間体とされる。スライダの外形は、この中間体を所定の治具に接着剤等で固定し、当該状態にて研磨等の処理を施すことで成型される。また、当該固定状態において、さらに中間体から個辺への切断・分離作業も行われる。研磨・個辺への分離等の処理が終了した後、スライダ各々の治具からの分離と所謂良品選別が行われ、個々のスライダを所定のトレイに収用して次工程である磁気ヘッド装置の組立工程にこれらは供せられる。
【０００３】
治具からのスライダ分離工程は、中間体が貼り付けられた治具を溶剤中に浸漬し、接着剤を溶解してその粘着力を低下させた後、これを溶剤内から取り出し、人手にてスライダ各々を治具から取り外すことにより為されている。当該工程は、所謂ケミカル法として知られており、特許文献１或いは２にその詳細が開示されている。治具より取り外されたスライダは、洗浄工程用のトレイ上に移される。通常、治具に貼り付けられた中間体には側面に管理番号が印字されており、各スライダの電気的特性等は中間体の状態のまま測定される。取り外されたスライダ各々は、トレイ上の所定の位置に収容することによって、管理番号及び個々に測定されて特性を含めた所謂履歴を把握できるようにしている。洗浄工程終了後、洗浄用のトレイ上に載置されたスライダは選別機にかけられ、更に良品用トレイ、不良品用トレイ等、各々のスライダの品質に応じたトレイ上に移載される。当該選別操作は、先に述べたように把握されるスライダ各々の品質即ち前述した履歴に応じて為される。選別された各スライダは、選別時にスライダに付着する恐れのあるコンタミ等の除去を目的とする洗浄処理が施され、その後更に後工程用のトレイに移載され前述した組立工程に送られる。
【０００４】
【特許文献１】特開２０００−０３７６３７号公報
【特許文献２】特開２０００−１００８７２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上述したケミカル法においては、治具からスライダを分離する速度及び分離されたスライダをトレイ上の所定位置に載置する速度及び正確さは、全て当該操作を行う作業者の能力に依存している。即ち、分離−選別−次工程トレイへの載置の一連の工程は、作業者の能力等に左右される安定性に欠けたものであり、工程管理を一義的に行うことが困難なものであった。また、手作業が入ることによってスライダの品質管理の観点より作業毎の洗浄が必要となり、このことが生産性をさらに低下させていた。更には、スライダの各種トレイへの移載及び移載工程後に要求される洗浄工程によって、スライダの治具からの分離から後工程用トレイへの移載に多大の時間が必要となっていた。また、手作業は所謂ＥＳＤ（Electro-Static Discharge）をスライダ生じさせる可能性を高め、後工程においてスライダの破損を生じさせる恐れも存在していた。
【０００６】
本発明はこのような作業者に大きく依存するスライダの分離−選別−次工程トレイへの載置の一連の工程を自動化することを目的とするものである。より具体的には、自動化に際して実際の工程上顕在すると思われる種々の問題点に対処し、より効率的な自動化工程を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドの製造装置は、接着媒体により治具に対して整列状態で貼り付け固定された複数の磁気ヘッドスライダを治具から分離する磁気ヘッドの製造装置であって、治具を固定するステージと、接着媒体を加熱する加熱手段と、治具に貼り付けられたスライダに当接し、スライダにおける治具との貼り付け面と平行にスライダを押圧してスライダを治具における貼り付け位置とは異なる所定位置まで移動させるプッシャーと、プッシャーがスライダを移動させる移動経路と平行であって、移動経路の途中から所定位置まで連続するガイド面を有したガイド手段と、を有することを特徴としている。
【０００８】
なお、前述した磁気ヘッドの製造装置において、ガイド手段は、移動経路を挟んで向かい合って配置される一対の部材からなり、部材の少なくとも一方は移動経路と略垂直な方向に移動可能であることが好ましい。また、この場合、ガイド手段における移動可能な部材は、付加荷重が規制されることが好ましい。或いは、該ガイド手段は、治具の表面に対して垂直な方向に移動可能であることが好ましい。
【０００９】
また、上記課題を解決するために、本発明に係る磁気ヘッドの製造方法は、接着媒体により治具に対して整列状態で貼り付け固定された複数の磁気ヘッドスライダを治具から分離する磁気ヘッドの製造方法であって、所定の温度に維持可能な加熱ステージに対して治具を密着固定させ、治具を介して接着媒体が軟化する温度まで接着媒体を加熱し、治具に貼り付けられたスライダにプッシャーを当接し、プッシャーによってスライダにおける治具との貼り付け面と平行にスライダを押圧してスライダを治具における貼り付け位置とは異なる所定位置まで移動させ、該所定位置においてスライダの移動方向とは垂直な方向に相対的に駆動可能な部材を駆動させてスライダを把持し、該部材を治具表面に対して垂直な方向に移動させてスライダと治具との間に空隙を形成する工程を有することを特徴としている。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、加熱による接着剤等の接着力の低下とスライダに対して接着面と略平行な方向への応力の付加とを行うことにより、スライダを治具から分離することとし、且つスライダの治具からの分離が為される際の位置にガイド手段を設けることにより、スライダの確実な分離と分離時のスライダの姿勢制御とを担保することとしている。また、本発明においては、応力の付加、ガイド手段の動作、更にはガイド手段動作後のスライダのピックアップ等の一連の操作が、特定の構成要素によって自動的に行われる。従って、従来より行われていたケミカル法と異なって作業員による手作業が工程中に存在しなくなり、これまで問題として挙げられていた各種事項を大幅に減らすことが可能となる。
【００１１】
より具体的には、作業員による手作業を排除することにより、生産能力の安定性、製品品質の維持の容易化が可能となる。また、スライダの各種トレイに対する移載及び移載後に必要であった各種洗浄を行う必要が無くなり、スライダの治具からの分離から後工程用トレイへの移載に要する時間を大幅に短縮することが可能となる。更には、ＥＳＤへの対処も容易となり、製品品質の維持が更に容易になるという効果も得られる。また、従来のような接着剤を溶解する有機溶剤、各種洗浄に必要とされた洗浄液等が不用になることから、当該工程の構築及び保全に要した各種コストを大幅に削減することも可能となる。
【００１２】
また、本発明によれば、スライダを把持するチャック装置をガイド手段として兼用し、応力付加手段であるプッシャーがスライダを治具上から押し出した際に、スライダの姿勢を修正することとしている。これにより分離後のスライダの姿勢を安定化させ、該スライダをピックアップする際の操作安定性を確保している。また、プッシャーによって押し出されたスライダは、静電気或いは溶融された接着剤の影響によりプッシャーに張り付き、再度プッシャーによって引き戻される所謂持ち帰り現象によって停止位置が変動する恐れがある。本発明においては、チャック装置によって押し出し状態にあるスライダを把持・固定することにより、所謂スライダの持ち帰り現象を防止している。従って、分離後のスライダの、例えばピックアップ装置によって保持する際の姿勢を安定化させることが可能となり、該スライダの確実なピックアップ及び制御された姿勢に基づくトレイへの容易な移載を行うことが可能となる。
【００１３】
また、本発明によれば、チャック装置によってスライダを把持した後に、チャック装置をスライダの載置位置から離れる方向（載置面より垂直上方向）に移動させ、その後該スライダのピックアップを実施することとしている。加熱によって粘着力が低下した接着剤はその一部がスライダの接着面に残存しており、該残存接着剤によってスライダが載置面に対して付着してしまい、ピックアップ（以下に述べる実施形態における吸着保持操作）が適切に行われない可能性がある。本発明の如く、把持姿勢を維持したままチャック装置によりスライダを載置面から離すことによって、仮に接着剤が残存していたとしてもスライダを載置面から確実に分離した後にピックアップすることとなり、確実なピックアップ操作を行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
本発明の実施形態に付いて、以下に図面を参照して説明する。図１Ａ及び図１Ｂに本発明の一実施形態に係る磁気ヘッド製造装置（より厳密には治具からのスライダ分離装置。以下本明細書においてはスライダ分離装置として述べる。）における主要部の構成概略を側面から見た状態を示す。スライダ分離装置１は、主たる構成として加熱装置６及び応力付加手段たるプッシャー１１を有する。プッシャー１１は、不図示のプッシャー駆動装置によって、スライダ２が整列する方向及び整列する方向垂直な方向に移動可能とされている。加熱装置６は、抵抗加熱方式等によるヒータ７及び該ヒータ７を内蔵する熱伝導性の高い金属等からなる加熱ステージ９を有する。なお、磁気ヘッドスライダ（以下スライダと称する。）２は、接着媒体たる接着剤３により治具５に対して、複数個が整列状態で貼り付け固定されている。
【００１５】
実際の分離工程時においては、図１Ａに示すように、スライダ２が接着剤３によって固定された治具５が、加熱ステージ９に対して不図示の固定手段によって密着固定される。当該状態において、ヒータ７により所定の温度に維持された加熱ステージ９が治具５を加熱する。これにより治具５を介して、接着剤３も所定の溶融温度、即ち軟化温度まで加熱される。接着剤３が軟化した状態において、応力付加手段たるプッシャー１１が分離対象とされるスライダ２に応じた位置に配置され、その先端部が当該スライダに当接される（図１Ａ参照）。当該状態から、プッシャー１１は、治具５及びスライダ２各々の接着面と平行な方向に沿って、スライダ２に対して応力を付加する。より具体的には、先端部がスライダ２の側面に当接したプッシャー１１をスライダ２が存在する方向に伸ばすこととし、これにより、接着剤３に対してせん断力を与える。その結果、スライダ２は応力の付加方向に移動し（図１Ｂ参照）治具５とスライダ２との分離が行われる。
【００１６】
以上述べた一連の手順をスライダ２及びプッシャー１１の上面から見た場合を、図２Ａ〜図２Ｃに示す。プッシャー１１は、治具５上に整列固定された状態の複数のスライダ２における分離対象と対応した位置に配置され（図２Ａ）、接着剤３の軟化を待ってスライダの整列方向と垂直な方向（上述したプッシャーの移動方向）移動し、その先端部をスライダ２の側面に当接させる（図２Ｂ）。その後、プッシャー１１が更に分離対象となるスライダ２を移動させてこれを所定位置まで動かし、その後プッシャー１１は元の位置まで退避する。なお、図２Ａ〜図２Ｃに示した場合、スライダ２のプッシャー押圧方向に沿った中心線は、スライダ２の移動が終了するまでプッシャー１１の軸心と略一致しており、常に一定に姿勢を保持した状態でスライダ２の移動が行われている。しかしながら、実際の分離工程においては、接着剤のせん断が接着面内で一様におこることはまれであり、分離初期時においてスライダの姿勢が移動方向から傾く場合が容易に生じる。
【００１７】
そこで、更なる実施形態において、スライダ２の移動がある程度進行した状態でスライダ２の傾きを補正する所謂ガイド機能を有するガイド手段を更に付加している。図３Ａ〜図３Ｃにおいて、図２Ａ〜図２Ｃと同様の様式にて、ガイド手段を有した実施形態を示す。本実施形態に示すガイド手段１３は、所定の間隔をあけて配置されるガイド部材１３ａ及びチャック部材１３ｂとから構成される。不図示の駆動機構によって、プッシャー１１、ガイド部材１３ａ、チャック部材１３ｂ及びこれらに付随する部材は一体化して移動可能である。即ち、プッシャー１１が移動して被分離対象となるスライダ２を替える場合、プッシャー１１の駆動と連動してガイド部材１３ａ、チャック部材１３ｂ等も移動し、新たな被分離対象とされたスライダ２が押し出した際に当該スライダ２ガイド部材１３ａとチャック部材１３ｂの間に存在することが可能となるよう再配置される。また、本実施形態において、ガイド部材１３ａはガイド部材１３ａとチャック部材１３ｂとが対向する方向において相対的に固定されており、チャック部材１３ｂはガイド部材方向に相対的に移動可能とされている。
【００１８】
図３Ｂに示すように、接着剤等の影響によって傾いた状態で接着面から押し出された分離対象であるスライダ２は、ガイド部材１３ａによって傾きの程度が増大することが抑制される。スライダ２が所定位置に達した段階、即ちプッシャー１１が押し出し方向に伸びきった段階で、チャック部材１３ｂがガイド部材１３ａ方向に移動し、これら部材間にてスライダ２を把持する。当該操作によって、スライダ２は押し出し位置において所定の姿勢を保つことが可能となる。
【００１９】
また、スライダ２を治具５から分離する際に、スライダ２の接着面には接着剤が残存している。これら残存接着剤或いはプッシャー１１に生じた静電気等によってスライダ２が一時的にプッシャー１１の先端に付着する場合が生じ得る。この場合、プッシャー１１の退避に伴って、スライダ２も引き戻される恐れがある。本実施の形態のように所定位置に略到達したスライダ２をガイド手段１３によって把持することにより、スライダ２がプッシャー１１に付着した場合であっても、スライダ２を常に所定位置に保持することが可能となる。
【００２０】
また、接着剤がスライダ２に残存した場合、該接着剤によってスライダ２が再度治具５上面に付着する可能性も存在する。所定位置まで押し出されたスライダ２は、該位置において上方から該スライダ２に接近するピックアップ装置によって保持され、該ピックアップ装置によって所定のトレイまで搬送される。このようなピックアップ装置は、通常真空吸着等によってスライダ２を保持する吸着ノズルより構成される。しかしながら、上述したように所定位置においてスライダ２が治具５上に再付着している場合、吸着ノズルの吸着力が不足してスライダ２を保持できない場合も考えられる。そこで以下に述べる更なる実施形態においてこのような場合にも対処可能な構成を提示する。
【００２１】
本実施形態について、スライダ２、ガイド部材１３ａ及びチャック部材１３ｂを、スライダ２の移動方向とは対向する方向から見た状態の概略構成であって、吸着ノズル１５による吸着保持の手順を図４Ａ〜図４Ｄに示す。図４Ａは、治具５上の所定位置において、スライダ２がガイド部材１３ａ及びチャック部材１３ｂによって把持された状態を示す。当該状態において、スライダ２の下面（治具５との当接面）には接着剤３が残存しており、当該接着剤３によってスライダ２は治具５に対して略貼り付いた状態にある。この状態より、ガイド手段１３はスライダ２を治具５上面から離す方向（図面中上方）に移動する。これによって、スライダ２は把持された姿勢を変えることなく、治具５表面から剥離される（図４Ｂ）。
【００２２】
続いて、吸着ノズル１５がスライダ２に接近し、スライダ２を吸着保持する（図４Ｃ）。スライダ２が吸着ノズル１５によって保持された後、チャック部材１３ｂがガイド部材１３ａから離れる方向に移動し、スライダ２を開放する（図４Ｄ）。以上の操作を経ることにより、スライダ２は所定の姿勢にて吸着ノズル１５により保持されることとなる。
【００２３】
以上の実施形態に示した構成からなるスライダ分離装置１を用いることにより、治具５からのスライダ２の分離操作を、ケミカル法によらず容易且つ確実に行うことが可能となる。なお、上述した実施形態において、ガイド部材１３ａは固定することとし、チャック部材１３ｂのみを駆動することとしている。しかし、これら両部材を駆動可能としても良い。また、これらの駆動方向は、スライダ２の移動経路に対して垂直な方向であれば良い。なお、スライダ２には薄膜形成・加工処理により作りこまれた微小な素子が含まれており、例えばガイド手段によるスライダ把持時に過剰な応力付加が生じた場合にはこれらに損傷が生じる恐れがある。従って、チャック部材１３ｂの把持操作時の際の付加荷重を制御することが好ましい。従って、チャック部材１３ｂの駆動をカム機構等によって制御し、付加荷重を規定することが好ましい。また、後述するプッシャー１１の押圧荷重を制御する場合と同様に、荷重調整バネ等を用いることとしても良い。
【００２４】
なお、上述の実施形態においては、加熱ステージ６によって治具５の固定及び治具５を介しての接着媒体の加熱を行うこととしている。しかし、加熱ステージ６を治具５固定用の単なるステージとし、赤外線ヒータ等の独立した加熱手段により接着媒体を加熱することとしても良い。また、接着媒体は接着剤に限られず、接着作用を有する樹脂等と置き換えても良い。また、ガイド部材１３ａは、スライダ２の移動方向に沿って、スライダ２の姿勢を制御するガイド面を有するが、該ガイド面は移動経路の途中から、スライダ２が停止される所定位置まで延在すれば良い。また、チャック部材１３ｂの駆動力は、スライダ２を保持した際にスライダ２に対して過剰な付加荷重が加えられない範囲に制御されることが好ましい。
【実施例】
【００２５】
次に、上述した実施形態にかかるスライダ分離装置についてこれを実際の装置度して具現化した本発明の実施例について、図面を参照して説明する。図５は、本発明に係るスライダ分離装置を用いたスライダの分離・選別を行う装置を上面から見た際の概略構成を示している。スライダ分離・選別装置１００は、スライダ分離装置１、２基のピックアップユニット２０、トレイ載置ステージ３７、スライダ保持状態検知装置４０、及びマーク認識カメラ５０を有している。なお、本実施例において、上述した実施形態における構成と同一の作用効果を呈する構成要素に関しては、同一の参照符号を用いて以下の説明を行うこととする。
【００２６】
スライダ分離装置１は上述した実施形態に示す構成と同様に、加熱装置６、プッシャー１１、及びガイド手段１３を有している。図５においては、スライダ分離装置１の上方に位置する吸着ノズル１５によって、これら構成は隠れている。ピックアップユニット２０は、吸着ノズル１５、Ｚ方向駆動源２１、吸着ノズル支持アーム２２、Ｙ方向駆動レール２３、Ｙ方向駆動源２５、Ｘ方向駆動レール２７、及びＸ方向駆動源２９を有している。吸着ノズル１５はＺ方向駆動源２１と連結されており、Ｚ方向に対して吸着ノズル１５を移動可能としており、これら構成は吸着ノズル支持アーム２２により支持されている。吸着ノズル支持アーム２２はＹ方向駆動レールによってＹ方向に移動可能に支持されており、Ｙ方向駆動源２５によってＹ方向に駆動される。また、Ｙ方向駆動レール２３及びＹ方向駆動源２５は、Ｘ方向駆動レール２７によってＸ方向に移動可能に支持されており、Ｘ方向駆動源２９によってＸ方向に駆動される。以上の構成からなるピックアップユニット２０は、本実施例においては線対称となる位置に配置されており、スライダ分離装置１等は中心線上に配置されている。即ち、各々のユニットにおけるＸ方向駆動レール２７及びＹ方向駆動レール２３は平行となるように配置されている。
【００２７】
トレイ載置ステージ３７も、前述した一対のピックアップユニット２０の中心線上に配置されている。本実施例において、スライダは上級品、中級品及び下級品の三種類に選別されることとしており、選別用トレイは上級用トレイ３７ａ、中級用トレイ３７ｂ及び下級用トレイ３７ｃが用いられる。これらトレイはトレイ載置ステージ３７上の所定の位置に載置、固定されている。また、図示されていないが、これらトレイの上面には、個々のスライダ２を収容可能な凹部が複数個設けられている。マーク認識カメラ５０は、治具５に固定された状態にある複数のスライダ２を側方から撮影し、前述した中間体側面に印字された管理番号を撮影する。なお、当該カメラ５０は微小な文字を認識する関係上、顕微機能を備えたＯＣＲカメラから構成されることが好ましい。
【００２８】
スライダ保持状態検知装置４０は、吸着ノズル１５に保持されたスライダ２を下方から撮影可能とするカメラ４１、スライダ２を異なる方向から照らす複数の照明装置４３を有する。スライダ２を吸着保持した吸着ノズル１５は、スライダ２をトレイ上に搬送する過程においてカメラ４１上にて一端停止する。該状態において、カメラ４１によるスライダ２の撮像を行い、該カメラ４１により得られた映像に基づいて保持されたスライダ２の所定の保持状態とのずれを検出する。ピックアップユニット２０は、スライダ２をトレイ上の凹部に収める際に、検出されたずれ量に基づいて保持状態を修正し、スライダ２が該凹部に対して好適に収められるようにする。
【００２９】
次に、実際のスライダ分離装置１の構造について具体的に説明する。図６Ａ、６Ｂ、６Ｃ及び６Ｄは、各々スライダ分離装置１及びこれに固定された治具５及び複数のスライダ２からなる中間体について、それぞれ、上面から見た状態、左側面から見た状態、右側面から見た状態及び正面から見た状態の構成を示している。プッシャー１１は、実際にスライダ２を押圧する棒状の本体部１１ａと該本体部１１ａを支持する支持部１１ｂとを有する。支持部１１ｂは本体部１１ａを挟持固定する一方の端部を有し、当該端部は本体部１１ａが延在する方向（スライダ２の押し出し方向）に平行に延在する一対の棒状体からなる。また、他方端部は荷重調整バネ５１に接触している。支持部１１ｂの中間部は第一のプッシャー用ガイド５３により本体部の延在方向に対して摺動可能に支持されている。
【００３０】
なお、中間部は、ガイド手段１３等が配置される空間を確保すべく略コの字状の形状を有している。前述した支持部１１ｂにおける一端部を構成する棒状体は、本体部１１ａを確実に保持できる最小限の長さからなり、略コの字の対向する二辺の一方の端部と接続される。前述した第一のプッシャー用ガイド５３は略コの字における縦の直線部分に対応して設けられている。また、荷重調整バネ５１及びプッシャー１１は、支持フレーム５５によって全て支持されている。支持フレーム５５は、第二のプッシャー用ガイド５７によりスライダ２の整列方向に対して摺動可能に支持されている。支持フレーム５５は、更にプッシャー駆動源５９に接続されており、当該駆動源によってスライダ２の整列方向に対して駆動される。プッシャー駆動源５９は、支持フレーム５５及び荷重調整バネ５１を介して、支持部１１ｂを本体部１１ａの延在方向に駆動する。これにより、本体部１１ａの先端部がスライダ２に当接する。その際、荷重調整バネ５１の存在によって、スライダ２に対して過剰な負荷が加えられないように、荷重調整が為される。
【００３１】
ガイド手段１３は、ガイドフレーム６１、ガイド部材１３ａ、チャック部材１３ｂ、板カム６３、板カム用ガイド６５、カムフォロア６７、板カム駆動源６９、ガイド手段用ガイド７１、ガイド手段上下用駆動源７３、及び付勢手段７５を有する。ガイド部材１３ａ及びチャック部材１３ｂは共に略Ｌ字形状を有し、各々の下辺が向かい合うように配置されている。スライダ２はこの向かい合う下辺の先端部において挟持される。板カム６３は板カム用ガイド６５を介して板カム駆動源６９と接続されており、該駆動源６９によって前述した本体部１１ａの延在方向に駆動される。また、板カム駆動源６９、板カム用ガイド６５及びガイド部材１３ａはガイドフレーム６１に固定、支持されている。
【００３２】
チャック部材１３ｂはＬ字の縦直線部の略中央部分において、ガイドフレーム６１に対して、Ｌ字形成面内において摺動可能に支持されている。また、Ｌ字上端部において、一端がガイドフレーム６１に固定されたバネ等からなる付勢部材７５の他端部と接続されている。該付勢部材によって、チャック部材１３ｂは、その先端部がガイド部材１３ａの先端部へ近づくように常に付勢される。チャック部材１３ｂには更に、上端部に対してカムフォロア６７が固定されている。前述した板カム６３は該カムフォロア６７と常に当接する位置に配置されている。ここで、該板カム６３は、板カム駆動源６９によって駆動された際に、カムフォロア６７を板カム面６３の移動方向とは略垂直な方向に移動させるカム面を有している。
【００３３】
具体的には板カム６３の幅が変化し、その側面がカム面となっている。即ち、板カム６３の移動に伴っていたカムフォロア６７が当接する部分のカムの幅が変化し、カムフォロア６７が板カム６３の幅方向（移動方向とは垂直な方向）に移動する。従って、板カム６３の移動によってカムフォロア６７の移動及びチャック部材１３ｂの摺動が起こり、チャック部材１３ｂの開閉操作が行われる。なお、チャック部材１３ｂの開き方向の移動幅は、該板カム６３のカム面によって規定される。従って、スライダ２を把持する際に板カム６３と当接するカムフォロア６７が離間するように設定すれば、チャック部材１３ｂが付勢部材７５による荷重のみでスライダ２を把持するため、スライダ２を所定の付加荷重にて把持することが可能となる。
【００３４】
また、ガイドフレーム６１は、フレーム用ガイド７１によって治具５の表面に対して垂直な方向に摺動可能に支持されている。また、ガイドフレーム６１はガイド手段上下用駆動源７３と接続されており、当該駆動源７３によって治具５の表面に対して垂直な方向にガイドフレーム６１を駆動する。従って、当該駆動源７３によって、チャック手段１３ｂ及びガイド手段１３ａが治具５の表面に対して垂直な方向に駆動される。また、治具５を固定する治具固定ステージは、内部にヒータが内蔵されており、加熱装置６としての作用効果を呈することとしている。
【００３５】
次に、以上の装置を用いて実際に治具５からのスライダ２の分離・選別操作を行う工程について説明する。分離工程を実施するに際して、治具５に固定されたスライダ２各々については、予めその電気的特性等が測定されており、スライダとしての品質レベルが治具５上の配置と共に不図示の制御装置に記録されている。当該治具５は、分離装置１における加熱手段６上の所定位置に固定されて、接着剤３が軟化するまで治具５を介しての接着剤３の加熱が為される。また、その際、不図示の駆動装置によってプッシャー１１及びガイド手段１３が所定のスライダ２に対応した位置（分離操作開始時の初期位置）に配置されるように個々の構成を予め移動させておく。接着剤３の軟化後、プッシャー駆動源５９を作動させ、プッシャー１１における本体部１１ａの先端部を所定のスライダ２に当接させる。プッシャー駆動源５９は更に作動するが、荷重調整バネ５１の操作により分離対象であるスライダ２に作用している接着剤３をせん断するために必要な応力が付加された状態となるまで、プッシャー１１の移動は停止される。
【００３６】
該せん断力が所定の大きさとなり、接着剤３をせん断することにより、スライダ２の事実上の押し出しが開始される。スライダ２が所定位置まで押し出された段階で、板カム駆動源６９が作動し、板カム６３を介してチャック部材１３ｂを動作させ、スライダ２を該チャック部材１３ｂ及びガイド部材１３ａにより挟持する。続いて、ガイド手段上下用駆動源７３を作動させ、スライダ２を治具５表面から所定量浮上させる。同時に吸着ノズル１５をＺ方向駆動源２１によって所定量降下させ、不図示の吸着源を作動させて、吸着ノズル１５にスライダ２の吸着保持を行わせる。該吸着保持動作と平行して、板カム駆動源６９を再度作動させ、板カム６３を介してチャック部材１３ｂを動作させ、該チャック部材１３ｂ及びガイド部材１３ａによりスライダ２を開放する。以上の操作によってスライダ２は治具５より分離され、吸着ノズル１５に保持された状態となる。なお、これらプッシャー１１の進退動作、及びガイド手段１３によるスライダ２の把持・開放操作は、本装置における不図示の制御装置によって連動するように制御されている。
【００３７】
更に、ピックアップユニット２０は、Ｘ方向駆動源２９及びＹ方向駆動源２５を作動させ、吸着ノズル１５をカメラ４１の直上まで移動させる。当該位置にてスライダ２は照明装置４３によって照らされ、この状態がカメラ４１にて撮像される。スライダ２の撮像結果とスライダ２の所定の保持状態との比較を不図示の制御装置内で行い、吸着保持されたスライダ２の所定の保持状態とのずれ量を求める。求められたずれ量に基づいて、吸着ノズル１５はスライダ２の保持姿勢を、Ｘ方向駆動源２９、Ｙ方向駆動源２５及び不図示のθ方向駆動機構により修正する。また、その際、予め制御装置に記録されたスライダ２の管理番号及び品質レベルに基づき、当該スライダ２を収容するトレイ及び当該トレイ上での該スライダ２を収容する凹部が定められる。
【００３８】
ピックアップユニット２０は、スライダ２の保持姿勢を補正しながら所定の凹部直上まで当該スライダ２を運び、所定位置で降下し、略収容状態としたところで、吸着状態を解除する。以上の操作により、スライダ２の分離・選別作業が終了する。なお、一個のスライダ２が吸着ノズル１５に吸着保持された直後より、プッシャー１１及びガイド手段１３は次の分離対象となるスライダ２に応じた位置まで移動し、前述した手順に従って、再度当該スライダ２の分離作業に着手する。
【００３９】
以上述べたように、本発明に係る磁気ヘッドの製造装置、即ちスライダの分離装置を及び当該分離装置を含む分離・選別装置を用いることにより、従来行われたいケミカル法を工程から無くすることが可能となる。従って、ケミカル法の存在に起因して勘案されていた、スライダの分離から選別終了までに要する時間を短縮し、これらを人手で行わざるを得ないことから生じた工程管理上の種々の問題を無くすることが可能となる。
【００４０】
なお、上述した実施例において、ピックアップユニットは２基存在し、トレイは３種類同時に用いることとしている。しかしながら、本発明の実施態様は当該構成に限定されず、これらの数は実際に装置に求められる作業効率等に鑑みて種々変更されることが好ましい。また、スライダ保持状態検知装置は、スライダ２を下方から撮像するカメラ及びスライダ２を照らす一対に照明装置から構成されるが、スライダ２の保持状態を検知できる公知の種々の構成をこれらと置き換えて用いることとしても良い。また、ここで述べた実施例は一例であり、駆動機構の構成及び配置、プッシャー、ガイド部材、チャック部材等の形状、動作方法は、対象物の大きさ、動作に許容される正確さ或いは時間、装置を構築する際のコスト等を勘案して、種々変更することが可能である。即ち、本実施例における公知の構成等と置換可能な構成、或いは設計上の改変が容易な構成は、ここで例示した具体的な構成によってではなく機能的な内容によって定義されることが好ましい。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】Ａは本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であってスライダの分離前の状態を示す図である。Ｂは本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離後の状態を示す図である。
【図２Ａ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離前の状態を示す図である。
【図２Ｂ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離操作時の状態を示す図である。
【図２Ｃ】本発明の一実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離後の状態を示す図である。
【図３Ａ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離前の状態を示す図である。
【図３Ｂ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離操作時の状態を示す図である。
【図３Ｃ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離後の状態を示す図である。
【図４Ａ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離後の状態を示す図である。
【図４Ｂ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの分離後に吸着準備を行った状態を示す図である。
【図４Ｃ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの吸着保持操作時の状態を示す図である。
【図４Ｄ】本発明の更なる実施形態に係る磁気ヘッドの製造装置における主要部の概略構成であって、スライダの吸着保持が終了した状態を示す図である。
【図５】本発明の一実施例に係る磁気ヘッド製造装置（スライダの分離・選別装置）を上方から見た際の概略構成を示す図である。
【図６Ａ】本発明の一実施例に係るスライダ分離装置を上方から見た状態を示す図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施例に係るスライダ分離装置を左側方から見た状態を示す図である。
【図６Ｃ】本発明の一実施例に係るスライダ分離装置を右側方から見た状態を示す図である。
【図６Ｄ】本発明の一実施例に係るスライダ分離装置を正面から見た状態を示す図である。
【符号の説明】
【００４２】
１：スライダ分離装置、  ２：スライダ、  ３：接着剤、  ５：治具、  ６：加熱手段、  ７：ヒータ、  ９：加熱ステージ、  １１：プッシャー、  １３：ガイド手段、  １５：吸着ノズル、  ２０：ピックアップユニット、  ２１：Ｚ方向駆動源、  ２２：吸着ノズル支持アーム、  ２３：Ｙ方向駆動レール、  ２５：Ｙ方向駆動源、  ２７：Ｘ方向駆動レール、  ２９：Ｘ方向駆動源、  ３７：トレイ載置ステージ、  ４０：スライダ保持状態検知装置、  ４１：カメラ、  ４３：照明装置、  ５０：マーク認識カメラ、  ５１：荷重調整バネ、  ５３：第一のプッシャー用ガイド、  ５５：支持フレーム、  ５７：第二のプッシャー用ガイド、  ５９：プッシャー駆動源、  ６１：ガイドフレーム、  ６３：板カム、  ６５：板カム用ガイド、  ６７：カムフォロア、  ６９：板カム駆動源、  ７１：フレーム用ガイド、  ７３：ガイド手段上下用駆動源、  ７５：付勢手段、  １００：スライダ分離・選別装置
【図１】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図２Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図６Ｄ】
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