(57)【要約】【課題】真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるローラ搬送装置を提供する。【解決手段】真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路１６の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路１６に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置１０であって、前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁１７の外側に駆動源１１が配置され、前記隔壁１７の内側に駆動軸１３および従動軸１４が配置されており、前記駆動源１１により駆動される前記駆動軸１３の回転を前記従動軸１４に伝達する部分と、前記従動軸１４の軸部２１を軸受け支持する部分とに転がり軸受２３，２６が配置されている。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置であって、
前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁の外側に駆動源が配置され、前記隔壁の内側に駆動軸および従動軸が配置されており、
前記駆動源により駆動される前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する部分と、前記従動軸の軸部を軸受け支持する部分とに転がり軸受が配置されていることを特徴とするローラ搬送装置。
【請求項２】
前記転がり軸受の転動体、内外輪、または保持器の表面に、テフロン（登録商標）等の樹脂コーティング、銀イオンプレーティング、または二硫化モリブデン等の固体潤滑皮膜が施されているか、転がり軸受の材質にセラミックが使用されていることを特徴とする請求項１に記載のローラ搬送装置。
【請求項３】
請求項１または２に記載のローラ搬送装置を具備してなることを特徴とする電子部品製造装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ローラ搬送装置、特に、液晶、半導体、有機ＥＬ等非常にクリーンな環境下での製造が要求される製造装置に適用されるローラ搬送装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
液晶、半導体、有機ＥＬ等非常にクリーンな環境下での製造が要求される製造装置に適用される搬送装置としては、特許文献１に開示されたものが知られている。
【特許文献１】特開２０００−１１８７１０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
上記特許文献１に開示された搬送装置では、駆動軸の回転が傘歯車を介して複数の従動軸に伝達されるようになっている。このような搬送装置を真空容器内で使用しようとした場合、通常は蒸気圧の非常に低い真空用グリースを歯面の潤滑に使用する場合が多いが、クリーンな高真空環境が求められる条件下においてはたとえ微量でも油分が蒸発し真空環境が油蒸気を含んだ状態になることは望ましくないため、出来れば真空用グリースの使用も避けることが望ましい。しかし、歯車の噛み合わせ部にグリース等の潤滑材を使用しなかった場合には歯面の摩耗が促進され、摩耗粉等の微粉末が発生し、この微粉末が真空容器内に飛散して真空容器内の清浄度（クリーン度）が低下してしまうといった問題点があった。
また、このような搬送装置をクリーンルーム内で使用しようとした場合、クリーンルーム用の潤滑材を使用することができるため、歯車の噛み合わせ部における歯面の摩耗を低減させることができる。しかし、微量ではあるが歯車の噛み合わせ部から摩耗粉等の微粉末が発生し、この微粉末がクリーンルーム内に飛散してクリーンルーム内の清浄度（クリーン度）が低下してしまうといった問題点があった。
【０００４】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるローラ搬送装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、上記課題を解決するため、以下の手段を採用した。
本発明によるローラ搬送装置は、真空容器内またはクリーンルーム内に形成された搬送路の、一側方または両側方に配置されて前記搬送路に沿って被搬送物を搬送するローラ搬送装置であって、前記真空容器または前記クリーンルームを形成する隔壁の外側に駆動源が配置され、前記隔壁の内側に駆動軸および複数の従動軸が配置されており、前記駆動源により駆動される前記駆動軸の回転を前記従動軸に伝達する部分と、前記従動軸の軸部を軸受け支持する部分とに転がり軸受が配置されている。
このようなローラ搬送装置によれば、真空容器内あるいはクリーンルーム内における摺動部分のすべてが、発塵の極めて少ない転がり軸受により構成されることとなるので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができる。
また、摺動部分が転がり軸受のみとなり、メンテナンス箇所が大幅に低減することとなるので、保守点検作業の簡素化を図ることができるとともに、保守点検作業に要する時間とコストを大幅に低減させることができる。
さらに、摺動部分が幅方向に寸法を要しない転がり軸受で構成されることとなるので、真空容器あるいはクリーンルームの寸法、特に幅方向の寸法を減少させることができ、真空容器あるいはクリーンルームの小型化を図ることができるとともに、製造コストを削減することができる。
さらにまた、真空容器あるいはクリーンルームの小型化に伴い、真空ポンプの排気能力を小さくしたり、あるいは空気清浄機の能力を小さくすることができるので、装置全体の製造コストも削減することができる。
【０００６】
上記ローラ搬送装置において、前記転がり軸受の転動体、内外輪、または保持器の表面に、テフロン（登録商標）等の樹脂コーティング、銀イオンプレーティング、または二硫化モリブデン等の固体潤滑皮膜が施されているか、転がり軸受の材質にセラミックが使用されているとさらに好適である。
このようなローラ搬送装置によれば、潤滑油や潤滑グリースを真空容器内あるいはクリーンルーム内から完全に排除することができて、真空容器内あるいはクリーンルーム内を油分のないクリーンな状態に維持することができる。
【０００７】
本発明による電子部品製造装置は、上記ローラ搬送装置を具備している。
このような電子部品製造装置によれば、極めてクリーンな環境下で電子部品（液晶、半導体、有機ＥＬ等）が製造されることとなるので、電子部品の汚損あるいは欠損を低減させることができ、製造コストの低減化あるいは、製品品質の向上を図ることができる。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によるローラ搬送装置によれば、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
以下、本発明によるローラ搬送装置の第１実施形態について、図１および図２を参照しながら説明する。
図１は本実施形態に係るローラ搬送装置１０の概略の構成を示す平面図、図２は図１に示すローラ搬送装置１０のローラ周辺の拡大斜視図である。
【００１０】
図１に示すように、本実施形態に係るローラ搬送装置１０は、駆動源１１と、回転導入機構１２と、駆動軸１３と、従動軸１４と、連結板１５とを主たる要素として構成されたものであり、搬送路１６の両側部にそれぞれ配置されている。
駆動源１１は、例えば、電動モータからなり、その出力軸１１ａの先端部には、回転導入機構１２が接続されている。
回転導入機構１２は、出力軸１１ａを介して駆動源１１から伝達されてきた回転力を真空容器内の真空を保持しつつ真空容器内の駆動軸１３に伝達するものである。
そして、駆動源１１および回転導入機構１２は、大気中（すなわち、電子部品製造装置を構成する真空容器あるいはクリーンルームを形成する隔壁１７の外側）に配置されており、駆動軸１３、従動軸１４、および連結板１５は、真空中あるいはクリーンな環境中（すなわち、電子部品製造装置を構成する真空容器あるいはクリーンルームを形成する隔壁１７の内側）に配置されている。
【００１１】
駆動軸１３の回転軸線上に、その回転軸線が位置するように配置された従動軸１４（図１において一番左側に位置する従動軸１４）と、駆動軸１３とは、偏心プレート２０を介して連結されている。
従動軸１４は、軸部２１と、クランクアーム部２２とを備え、搬送路１６に沿って所定の間隔をおいて複数個（本実施形態では５個）配置されている。
軸部２１は、搬送路１６の両側部にそれぞれ設けられた図示しないフレーム（枠体）に取り付けられた固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体にテフロン（登録商標）コーティング等が施された玉軸受）２３により軸受け支持されるとともに、その一端部（搬送路１６側の端部）には、図示しないパレット（被搬送物）等を載せて搬送する送りローラ２４が設けられている。
クランクアーム部２２は、断面視Ｌ字状の部材であり、連結板１５の板厚方向に貫通する貫通穴２５内に嵌入された固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体の表面に樹脂（例えば、テフロン（登録商標））コーティング等が施された玉軸受）２６により軸受け支持される軸部２７と、前述した偏心プレート２０と同一の形状を有する偏心プレート２８とを備えている。
【００１２】
図１において一番左側に位置する従動軸１４の、クランクアーム部２２の軸部２７の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）は、偏心プレート２０の一端面（搬送路１６側の端面）に連結されている。
一方、クランクアーム部２２の軸部２７の一端面（搬送路１６側の端面）は、偏心プレート２８の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結されているとともに、偏心プレート２８の一端面（搬送路１６側の端面）は、軸部２１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結されている。
これにより、駆動軸１３が回転すると、偏心プレート２０および連結板１５を介して従動軸１４の軸部２１および送りローラ２４が、駆動軸１３と同じ方向に同じ回転数で回転することとなる。
【００１３】
本実施形態によるローラ搬送装置１０によれば、従動軸１４の軸部２１およびクランクアーム部２２の軸部２７がそれぞれ、発塵の極めて少ない転がり軸受２３，２６により軸受け支持されているので、真空容器内あるいはクリーンルーム内を塵埃の極めて少ないクリーンな状態に維持することができる。
また、従動軸１４の軸部２１およびクランクアーム部２２の軸部２７を軸受け支持する転がり軸受２３，２６の転動体の表面には、テフロン（登録商標）等の樹脂がコーティングされているので、潤滑油や潤滑グリースを真空容器内あるいはクリーンルーム内から完全に排除することができて、真空容器内あるいはクリーンルーム内を油分のないクリーンな状態に維持することができる。
さらに、摺動部分が転がり軸受２３，２６のみとなり、メンテナンス箇所が大幅に低減することとなるので、保守点検作業の簡素化を図ることができるとともに、保守点検作業に要する時間とコストを大幅に低減させることができる。
さらにまた、駆動軸１３の回転力が、偏心プレート２０および連結板１５のみを介してすべての従動軸１４に伝達されることとなるので、真空容器あるいはクリーンルームの寸法、特に幅方向の寸法を減少させることができ、真空容器あるいはクリーンルームの小型化を図ることができるとともに、製造コストを削減することができる。
さらにまた、真空容器あるいはクリーンルームの小型化に伴い、真空ポンプの排気能力を小さくしたり、あるいは空気清浄機の能力を小さくすることができるので、装置全体の製造コストも削減することができる。
【００１４】
本発明によるローラ搬送装置の第２実施形態を、図３および図４を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置３０は、偏心プレート２０、軸部２７、および偏心プレート２８の代わりに偏心プレート３１が、転がり軸受２６の代わりに転がり軸受３２が設けられているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。
【００１５】
偏心プレート３１は、連結板１５の板厚方向に貫通する貫通穴３３内に嵌入された固体潤滑方式の転がり軸受（例えば、転動体にテフロン（登録商標）コーティング等が施された玉軸受）３２により軸受け支持されている。また、偏心プレート３１の一端面（搬送路１６側の端面）は、従動軸３４の軸部２１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）に連結あるいは偏芯プレート３１と従動軸３４の軸部２１は単一部品で構成されているとともに、偏心プレート３１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）は、駆動軸１３の一端面（搬送路１６側の端面）に連結あるいは偏芯プレート３１と駆動軸１３は単一部品で構成されている。
なお、本実施形態において、従動軸３４は、軸部２１と、偏心プレート３１とを備えていることとなる。
【００１６】
本実施形態によるローラ搬送装置３０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。
【００１７】
本発明によるローラ搬送装置の第３実施形態を、図５を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置４０は、前述した第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、本実施形態におけるローラ搬送装置４０は、駆動軸１３の回転軸線上に、第２実施形態のところで説明した従動軸３４の回転軸線が位置するように配置されているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。
【００１８】
本実施形態によるローラ搬送装置４０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。
【００１９】
本発明によるローラ搬送装置の第４実施形態を、図６を用いて説明する。
本実施形態におけるローラ搬送装置５０は、前述した第１実施形態と第２実施形態とを組み合わせたものである。すなわち、本実施形態におけるローラ搬送装置５０は、連結板１５の両端部（すなわち、図６において一番左側および一番右側）に位置する従動軸が、第２実施形態のところで説明した従動軸３４とされているという点で前述した第１実施形態のものと異なる。その他の構成要素については前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではそれら構成要素についての説明は省略する。
なお、前述した第１実施形態と同一の部材には同一の符号を付している。
【００２０】
本実施形態においては、連結板１５の一端部（すなわち、図６において一番右側）に位置する従動軸３４の偏心プレート３１の他端面（搬送路１６側と反対側の端面）にも駆動軸１３ａが連結されている。また、連結板１５の一端部（すなわち、図６において一番右側）に位置する従動軸３４は、その回転軸線が駆動軸１３ａの回転軸線上に位置するように配置されている。そして、駆動軸１３と駆動軸１３ａとは真空容器外にて無端状のベルト（あるいはチェーン）５１を介して連結されており、これにより、駆動軸１３が回転すると、もう一方の駆動軸１３ａも駆動軸１３と同じ方向に同じ回転数で回転することとなる。
なお、図６中の符号５２は、ベルト５１のテンション（張力）を調節するためのプーリである。
【００２１】
本実施形態によるローラ搬送装置５０の作用効果は、前述した第１実施形態のものと同じであるので、ここではその説明を省略する。
【００２２】
なお、本発明は上述した実施形態のものに限定されるものではなく、駆動軸１３の回転が、例えば、非接触式の磁気駆動伝達機構を介して偏心プレート２０あるいは偏心プレート３１に伝達されるように構成することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明によるローラ搬送装置の第１実施形態を示す図であって、その概略の構成を示す平面図である。
【図２】図１に示すローラ搬送装置のローラ周辺の拡大斜視図である。
【図３】本発明によるローラ搬送装置の第２実施形態を示す図であって、その概略の構成を示す平面図である。
【図４】図３に示すローラ搬送装置のローラ周辺の拡大斜視図である。
【図５】本発明によるローラ搬送装置の第３実施形態を示す図であって、ローラ周辺の拡大斜視図である。
【図６】本発明によるローラ搬送装置の第４実施形態を示す図であって、ローラ周辺の拡大斜視図である。
【符号の説明】
【００２４】
１０    ローラ搬送装置
１１    駆動源
１３    駆動軸
１３ａ  駆動軸
１４    従動軸
１６    搬送路
１７    隔壁
２１    軸部
２３    転がり軸受
２６    転がり軸受
３０    ローラ搬送装置
３２    転がり軸受
３４    従動軸
４０    ローラ搬送装置
５０    ローラ搬送装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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