(57)【要約】      （修正有）【課題】ロードポートとコンベアの間で効率的に板材を交換できること。【解決手段】処理装置側のロードポート４と搬送システム側の上下２段のコンベヤ２２ａ，２２ｂとの間で、ワーク１４ａ，１４ｂを交換する。一方のアーム２６ａでロードポート４からワーク１４ａをすくい上げ、アーム２６ａを後退させると共に上下２段の他のアーム２６ｂを上昇させて、コンベヤ２６ｂからワーク１４ｂをすくい上げてアーム２６ｂを前進させる。アーム２６ａ，ｂを下降させて、ワーク１４ａをコンベヤ２２ａに下ろし、ワーク１４ｂをロードポート４に荷下ろしする。【選択図】図６
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板材を所定の搬送方向に搬送するコンベヤと、ロードポートと、該ロードポートとコンベヤとの間で板材を受け渡しするアームとを備えたシステムであって、
前記コンベヤと前記ロードポートはアームが上下に通過自在で、
前記アームは上下に２組設けられて互いに独立して運動し、かつ各アームはコンベヤの搬送方向と水平面内で直角な方向に延びて、昇降と前記直角な方向への進退の２方向の運動が自在であるように設けられていることを特徴とする、板材の搬送システム。
【請求項２】
前記コンベヤを上下に２組設けて、第１のコンベヤを第１のアームが上下に通過自在にし、第２のコンベヤを第２のアームが上下に通過自在にすることを特徴とする、請求項１の板材の搬送システム。
【請求項３】
前記コンベヤの上流側にトレイから板材を取り出すための取り出し装置を、下流側にトレイに板材をセットするためのセット装置とを設け、
前記コンベヤと並列に取り出し装置からセット装置へ空のトレイを搬送するためのコンベヤを設けたことを特徴とする、請求項１または２の板材の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は板材の搬送システムに関し、特に板材の移載に関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は、液晶パネルやＥＬパネル、半導体ウェハーなどの板状のワークの搬送について検討している。出願人は特許文献１で、ワークを載置して搬送でき、且つワークの出し入れが容易なトレイの構造と、トレイにワークを出し入れするためのコンベヤとを提案した。また特許文献２で、ワークを積層保管し、且つ保管中の任意のワークを切り出し、あるいは受け入れたワークをワークの積層体の任意の位置に挿入できる段ばらし／段積み兼用の装置を提案した。
【特許文献１】特開２００５−９３５８５号公報
【特許文献２】特開２００５−８９０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、ロードポートとコンベヤとの間で効率的に板材を交換できるようにすることにある。
請求項２の発明での追加の課題は、板材の交換をより高速で行えるようにすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、板材をトレイで搬送する際に、トレイからの板材の取り出しと、ロードポートとの間での板材の交換、空のトレイへの板材のセットを効率的に行えるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、板材を所定の搬送方向に搬送するコンベヤと、ロードポートと、該ロードポートとコンベヤとの間で板材を受け渡しするアームとを備えた板材の搬送システムであって、前記コンベヤと前記ロードポートはアームが上下に通過自在で、前記アームは上下に２組設けられて互いに独立して運動し、かつ各アームはコンベヤの搬送方向と水平面内で直角な方向に延びて、昇降と前記直角な方向への進退の２方向の運動が自在であるように設けられていることを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、前記コンベヤを上下に２組設けて、第１のコンベヤを第１のアームが上下に通過自在にし、第２のコンベヤを第２のアームが上下に通過自在にする。上下のアームは互いに独立に昇降と進退とができる。なお第１及び第２の用語は、上下の順序や移載での動作の順序を限定するものではない。
さらに好ましくは上下のコンベヤを昇降自在にする。
【０００６】
また好ましくは、前記コンベヤの上流側にトレイから板材を取り出すための取り出し装置を、下流側にトレイに板材をセットするためのセット装置とを設け、前記コンベヤと並列に、例えば板材搬送用のコンベヤの下側に、取り出し装置からセット装置へ空のトレイを搬送するためのコンベヤを設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、ロードポートへの板材の受け入れとコンベヤから移載装置への板材の受け入れやロードポートや移載装置からの板材の払い出しを並行して行えるので、効率的に板材をロードポートとの間で受け渡しできる。
【０００８】
請求項２の発明では、ロードポートの板材を一方のアームで一方のコンベヤに荷下ろしし、他方のコンベヤの板材を他方のアームでロードポートへ荷下ろしするので、受渡をより効率的に行える。
【０００９】
請求項３の発明では、板材のロードポートとの移載と並行して板材を取り出した空のトレイを搬送し、空のトレイにロードポートからの板材をセットできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図７に、実施例の板材の搬送システム２を示す。搬送システム２は例えばクリーンルームに設けられ、搬送する板材（ワーク）は液晶表示パネルやＥＬパネルなどの基板や、半導体ウェハーなどである。４はロードポートで、図示しない処理装置との間で板材（ワーク）１４を出し入れするステーションである。６，７は上下のトレイコンベヤで、トレイコンベヤ７は例えばトレイコンベヤ６と平行に下側の位置に設けられ、８，９は転換台で、トレイ１０からワーク１４を出し入れすると共にトレイ１０をコンベヤ６，７間で昇降させる。トレイ１０の底部には開口１２が複数設けられ、転換台８，９では開口１２から上側に突き出すように昇降自在なコロコンベヤなどを備えて、トレイ１０上とワークコンベヤ１６上との間で、ワーク１４の受け渡しを行う。
【００１２】
ワークコンベヤ１６は同様にコロコンベヤなどから成り、２０は移載装置で、ロードポート４との間でワーク１４の移載を行う。移載装置２０には例えば上下２段にコロコンベヤなどから成るワークコンベヤ２２を設け、上下のワークコンベヤ２２毎にハンド２４に取り付けたアーム２６を設けて、アーム２６がワークコンベヤ２２を上下方向に通過自在にする。２７は制御部で、搬送システム２を制御し、特に移載装置２０と転換台８，９を制御する。
【００１３】
図２などに示すように、転換台８，９は、トレイコンベヤ６の搬送面と、トレイコンベヤ７の搬送面の間でトレイ１０を昇降させる。また移載装置２０には上下２組のユニット２８，３０を設け、上側のユニット２８にはワークコンベヤ２２ａ並びにアーム２６ａ，ハンド２４ａを設ける。同様に下側のユニット３０にはワークコンベヤ２２ｂ，ハンド２４ｂ，アーム２６ｂを設ける。アーム２６ａ，２６ｂはコンベヤ２２ａ，２２ｂの搬送方向と水平面内で直角な方向に延び、ワークコンベヤ２２ａ，２２ｂのコロとコロの隙間を上下に通過自在で、コンベヤ２２ａ，２２ｂの搬送方向に水平面内で直角な方向への進退と昇降とが自在である。さらにアーム２６ａ，２６ｂは互いに独立して昇降及び進退する。
【００１４】
各ユニット２８，３０にはそれぞれリニアガイド３４などのガイドを設け、ハンド２４ａ，２４ｂがコンベヤ２２ａ，２２ｂの搬送方向と直角な方向に水平面内で進退できるようにする。またリニアガイド３４を例えば左右一対のシリンダ３６で支持して、リニアガイド３４とハンド２４ａ，２４ｂ並びにアーム２６ａ，２６ｂを昇降自在にする。なおシリンダ３６に代えて、ボールネジなどの任意の昇降部材を用いることができる。アーム２６ａ，２６ｂは互いに干渉せずに独立して昇降と進退ができるようにする。ユニットフレーム３８はユニット２８，３０を支持し、これらが全体のフレーム４０上に設けられている。そして固定フレーム４１に対して、フレーム４０はボールネジ４２などの昇降部材により昇降自在である。
【００１５】
図４の下側にワークコンベヤ２２のコロ４４とその軸４６とを示す。複数のコロ４４が軸４６で連結され、軸の回転により所定の搬送方向にワークを搬送する。また図５にロードポート４の要部を平面視で示すと、複数のフリーコンベヤ４８が設けられ、フリーコンベヤ４８，４８間の隙間をアーム２６ａ，２６ｂが上下に通過自在である。
【００１６】
図６に実施例の動作を示す。ロードポート４上にワーク１４ａを図示しない処理装置から受け入れる。例えば下側のコンベヤ２２ｂ上にワーク１４ｂを受け入れ、ユニット２８がロードポート４との移載に適した高さとなるようにユニット２８，３０を上昇させる。なお最初にコンベヤ２２ａ上にワーク１４ｂを受け入れて、コンベヤ２２ｂを空にしておいてもよい。次いでアーム２６ａをリニアガイドに沿って前進させ、ロードポート４のフリーコンベヤの間を通過するように上昇させて、ワーク１４ａをすくい上げ、コンベヤ２２ａ上へと復帰させる。
【００１７】
アーム２６ａを下降させて、ワーク１４ａをコンベヤ２２ａ上に荷下ろしし、これと例えば同時にユニット２８，３０を共に上昇させ、さらにアーム２６ｂをコンベヤ２２ｂを横切るように上昇させて、ワーク１４ｂをすくい上げる。ユニット３０がロードポート４との移載高さまで上昇すると上昇を停止し、アーム２６ｂをロードポート４側に前進させた後に下降させ、ワーク１４ｂをロードポート４に荷下ろしする。次いでアーム２６ｂをコンベヤ２２ｂ側へと復帰させる。
【００１８】
この後ユニット２８，３０を下降させて、ワーク１４ａを図２などのワークコンベヤ１６へと払い出す。この間にロードポート４では図示しない移載装置などにより、フリーコンベヤの隙間などを利用して、ワーク１４ｂをすくい上げて処理装置内へ移載する。次いでユニット２８，３０を上昇させ、コンベヤ２２ｂの搬送面とコンベヤ１６の搬送面を一致させる。
【００１９】
図６では、ワーク１４ａ，１４ｂの交換の各ステップを別々の時間に処理するように示したが、実際にはアーム２６ａの運動とアーム２６ｂの運動を同時に行える区間がある。また実施例ではロードポート４がワークコンベヤ１６の搬送面より高い位置にあるとしたので、最初にユニット２８，３０の上昇が必要であるが、ロードポート４の搬送面とコンベヤ１６の搬送面の高さを一致させても良い。
【００２０】
図７に実施例1)とその変形例2)、並びに比較例3)のタイムチャートを示す。1)は実施例に従って、２つのコンベヤ２２ａ，２２ｂと２つのアーム２６ａ，２６ｂを設けたものである。2)の変形例は、コンベヤ２２ａ，２２ｂを共通の１つのコンベヤで代替し、２つのアームが共にこのコンベヤを上下に通過自在で、水平方向に進退自在としてある。この場合、下側のコンベヤが上側のコンベヤよりも低い位置にあるとの条件で、上下２つのコンベヤは互いに独立して干渉せずに昇降と進退とができる。3)の比較例では、１つのコンベヤと１つのアームのみを設ける。図７においてＣＶはコンベヤを意味し、ＬＰはロードポートの略である。
【００２１】
実施例ではコンベヤとロードポートとがそれぞれワークを受け入れ、ロードポート上のワークを第１のコンベヤに移載し、次いで第２のコンベヤ上のワークをロードポートに受け渡しする。この後コンベヤとロードポートからワークを払い出すと、１回の移載サイクルが終了する。
【００２２】
2)の変形例では、ロードポート上のワークを第１のコンベヤでピックアップした後、コンベヤに荷下ろしする前に、第２のアームでコンベヤ上のワークをロードポートへ荷下ろしする。この後、第１のアームを下降させてワークをコンベヤに荷下ろしするので、アームの運動が複雑になり、移載がやや遅くなる。
【００２３】
3)の比較例では、ロードポートがワークを受け入れた後、ロードポートからコンベヤへワークを移載する。次いでコンベヤからのワークの払い出しと次のワークのコンベヤへの受け入れを行い、コンベヤからロードポートへワークを移載し、ロードポートからワークを払い出す。このため移載の所要時間は長くなる。
【００２４】
移載装置２０でのワークの移載は、コンベヤ６，１６でのワークやトレイの搬送に比べて遅いので、移載速度により搬送システムの効率が決定される。そこで実施例や変形例のように移載時間を短縮すると、板材の搬送システム２を極めて効率化できる。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】実施例の板材搬送システムの要部レイアウトを示す平面図
【図２】実施例でのトレイとワークの搬送経路と搬送高さとを示す模式図
【図３】実施例の移載装置とロードポートとを示す要部側面図
【図４】実施例の移載装置とロードポートの要部平面図
【図５】ロードポートの要部平面図
【図６】実施例でのワークの移載過程を模式的に示す図
【図７】移載装置とロードポートの動作を示すタイムチャートで、1)は実施例の動作を、2)は１コンベヤ２アームの変形例の動作を、3)は１コンベヤ１アームの比較例の動作を示す。
【符号の説明】
【００２６】
２          板材の搬送システム
４          ロードポート
６，７      トレイコンベヤ
８，９      転換台
１０        トレイ
１２        開口
１４        ワーク
１６        ワークコンベヤ
２０        移載装置
２２        ワークコンベヤ
２４        ハンド
２６        アーム
２７        制御部
２８，３０  ユニット
３４        リニアガイド
３６        シリンダ
３８        ユニットフレーム
４０        フレーム
４１        固定フレーム
４２        ボールネジ
４４        コロ
４６        軸
４８        フリーコンベヤ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
2007186321.tif 000007
【図６】
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【図７】
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