(57)【要約】【課題】ダストレスであり、同一層で捕獲されるダスト量を低減させた積層フィルターと、その製造方法と、該積層フィルターを備えたインクジェットヘッドを提供すると共に、膜厚勾配なく有機保護膜を被膜でき、且つ接着の信頼性が高いインクジェットヘッドを提供する。【解決手段】複数のフィルター素材を積層したフィルターの主表面側の開放空間と裏面側の開放空間とを不均等にさせた状態でポリパラキシリレンを成膜することで、ダストレスで、層によって貫通孔の孔径の異なる積層フィルターを提供できる。また、間隙部を持ち、ノズル列幅と平行でノズル列幅より大きいインク供給口としての開口部を持つインクジェットヘッドに対し、フィルターを接着、硬化した状態にて有機保護膜を被膜することにより、ダストレスで、高周波における駆動特性において信頼性が高いインクジェットヘッドを簡便に提供できる。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
積層フィルターの製造方法であって、
互いに同一孔径のフィルター素材を複数積層する積層工程と、
上記積層工程によって得られるフィルター積層体における、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に、被覆材を被膜する被膜工程とを含んでおり、
上記被膜工程では、上記被覆材の被膜厚が各フィルター素材で互いに異なるように被膜することを特徴とする積層フィルターの製造方法。
【請求項２】
上記被膜工程では、上記被覆材を、上記フィルター積層体の一方の表面から他方の表面に向けて厚くなるように被膜することを特徴とする請求項１に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項３】
上記被膜工程は、上記被覆材を含む被覆ガスを、上記フィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給することを特徴とする請求項１または２に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項４】
上記被膜工程では、上記一方の表面への上記被覆ガスの浸入を少なくとも一部分妨げる浸入防御壁を用いて行なうことを特徴とする請求項３に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項５】
上記被膜工程では、上記被覆材を含まない防御ガスを上記一方の表面へ供給することを特徴とする請求項３に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項６】
上記被覆材として、有機材料を用いることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項７】
上記有機材料に、ポリパラキシリレンまたはその誘導体を用いることを特徴とする請求項６に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項８】
上記防御ガスに、不活性ガスを用いることを特徴とする請求項５に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項９】
上記防御ガスに、窒素ガスもしくは空気を用いることを特徴とする請求項５に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１０】
上記被膜工程では、めっき法を用いて上記被覆材を被膜するように構成されており、
上記被覆材を含むめっき液を、上記積層工程によって得られるフィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給することを特徴とする請求項１または２に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１１】
上記被膜工程では、上記一方の表面への上記めっき液の浸入を少なくとも一部分妨げる浸入防御壁を用いて行なうことを特徴とする請求項１０に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１２】
上記被覆材には、無機材料を用いることを特徴とする請求項１０または１１に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１３】
上記無機材料として、ニッケル、銅、金からなる群より選択されたものを用いることを特徴とする請求項１２に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１４】
上記積層工程では、各上記フィルター素材を、互いに所定の空隙を有するように積層することを特徴とする請求項１から１３の何れか１項に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１５】
上記積層工程では、各上記フィルター素材の上記貫通孔の孔軸を互いにずらして積層することを特徴とする請求項１４に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１６】
上記積層工程は、上記フィルター積層体を所定の温度で加熱する加熱工程を含むことを特徴とする請求項１から１５の何れか１項に記載の積層フィルターの製造方法。
【請求項１７】
互いに同一孔径の貫通孔を有するフィルター素材が複数積層されており、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に被覆材が被膜されており、当該被覆材の被膜厚が、各フィルター素材で互いに異なっていることを特徴とする積層フィルター。
【請求項１８】
積層フィルターの一方の表面から他方の表面に向けて上記被膜厚が厚くなるように構成されていることを特徴とする請求項１７に記載の積層フィルター。
【請求項１９】
上記被覆材が、有機材料であることを特徴とする請求項１７または１８の何れか１項に記載の積層フィルター。
【請求項２０】
上記有機材料が、ポリパラキシリレンまたはその誘導体であることを特徴とする請求項１９に記載の積層フィルター。
【請求項２１】
上記被覆材が、無機材料であることを特徴とする請求項１７または１８の何れか１項に記載の積層フィルター。
【請求項２２】
上記無機材料が、ニッケル、銅、金からなる群より選択されたものであることを特徴とする請求項２１に記載の積層フィルター。
【請求項２３】
各上記フィルター素材は、互いに所定の空隙を有するように積層されていることを特徴とする請求項１７から２２の何れか１項に記載の積層フィルター。
【請求項２４】
各上記フィルター素材は、互いに上記貫通孔の孔軸をずらして積層されていることを特徴とする請求項２３に記載の積層フィルター。
【請求項２５】
請求項１から１６の何れか１項に記載の製造方法によって製造された積層フィルター、もしくは請求項１７から２４の何れか１項に記載の積層フィルターを備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２６】
被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、
互いがチャンネル壁によって隔てられ、一端が外部と連通している複数のインク流路と、該インク流路と連通し、貯留したインクを該インク流路に供給することができるインク供給室と、外部から該インク供給室にインクを供給するためのインク供給口とが設けられているヘッド部材に対して、該ヘッド部材の上記インク供給口を覆うように、被膜が形成される前のフィルターを接続するフィルター接続工程と、
上記フィルター接続工程によって接続された、被膜が形成される前のフィルターに対して、有機材料膜を被膜する被膜工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２７】
上記フィルター接続工程では、硬化剤を用いて、被膜が形成される前のフィルターを、ヘッド部材に対して接着、硬化することを特徴とする請求項２６に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２８】
上記被膜が形成される前のフィルターは、複数のフィルター素材が積層されてなる積層フィルターであることを特徴とする請求項２６または２７に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項２９】
上記被膜工程では、上記有機材料膜の被膜厚が各上記フィルター素材で互いに異なるように被膜することを特徴とする請求項２８に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３０】
上記被膜工程では、上記インク供給口、上記インク供給室及び上記インク流路の表面にも、上記有機材料膜が被膜されることを特徴とする請求項２６から２９の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３１】
上記有機保護膜は、ポリパラキシリレンまたはその誘導体であることを特徴とする請求項２６から３０の何れか１項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項３２】
互いがチャンネル壁によって隔てられ、一端が外部と連通している複数のインク流路と、該インク流路と連通し、貯留したインクを該インク流路に供給することができるインク供給室と、外部から該インク供給室にインクを供給するためのインク供給口とが設けらたヘッド部材に対して、該ヘッド部材の上記インク供給口を覆うようにフィルターが接続されており、
上記フィルターと上記インク供給口と上記インク供給室とにおけるインクとの接触面は、全て有機保護膜で被膜されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３３】
上記ヘッド部材における上記インク流路の上記一端が形成されている側に、ノズル孔が設けられたノズル板を有しており、
上記ノズル孔及び上記ノズル板の表面は撥水加工が施されていることを特徴とする請求項３２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３４】
上記複数のインク流路は、互いに平行になるように一列に整列しており、
上記インク供給口は、長方形を有しており、
上記長方形の長辺は、上記一列の長さ以上の長さを有し、且つ上記一列と平行であることを特徴とする請求項３２または３３に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３５】
上記有機保護膜は、ポリパラキシリレンまたはその誘導体であることを特徴とする請求項３２から３４の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３６】
上記インク供給室と上記インク流路との連通部分では、上記インク供給室が、上記インク流路の上記一端の方向に向けて広がっていることを特徴とする請求項３２から３５の何れか１項に記載のインクジェットヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、積層フィルターとその製造方法、及び当該積層フィルターを備えたインクジェットヘッド、並びにフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法に関し、詳細には、ダストレスであるとともに、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによってフィルターの目詰まりを防止することが可能な積層フィルター、及び当該積層フィルターの簡便な製造方法、並びに当該積層フィルターを備えたインクジェットヘッドに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
フィルターは、微細な固形物除去のために用いられており、その濾過性能の向上に伴って、電気・電子部品の製造工程を始め、医療や食品の分野にも使用されている。
【０００３】
濾過性能が向上した理由として、ダスト（除去対象物）によるフィルターの目詰まりを抑制できたことが挙げられる。以下に、具体例を挙げて説明する。
【０００４】
図２０（ａ）・（ｂ）は、従来技術の一例であるフィルターの構成を示す斜視図である。図２０（ａ）に示すフィルター１００は、複数のフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃが積層されて構成されている。これらフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃは、それぞれ貫通孔１２０ａ・１２０ｂ・１２０ｃを有しており、ダストがフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃによって捕獲され、ダストを含まない例えば液体が貫通孔１２０ａ・１２０ｂ・１２０ｃを通って下流に濾過される。なお、図２０（ａ）に示す矢印は濾過方向を示している。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）に示したフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃが積層される前の状態を示した斜視図である。図２０（ｂ）に基づいてフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃを説明すると、フィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃの貫通孔１２０ａ・１２０ｂ・１２０ｃは、互いに異なる孔径を有している。具体的には、貫通孔１２０ａ・１２０ｂ・１２０ｃの順で孔径が小さく構成されている。フィルター層１１０ａは、貫通孔１２０ａの孔径が大きく、且つその形成数が少なく、耐圧強度に優れている。そのため、フィルター１００は、全体の耐圧強度を高めることができる。また、フィルター１００は、互いに孔径の異なる複数のフィルター層を積層していることから、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。すなわち、最も大きい孔径を有する貫通孔１２０ａを通過できない大きなダストは、フィルター層１１０ａにおいて捕獲される。一方、貫通孔１２０ａを通過する他の大きさのダストは、液体とともに下流のフィルター層１１０ｂへ流れる。次に、貫通孔１２０ｂを通過できない大きさのダストがフィルター層１１０ｂで捕獲され、貫通孔１２０ｂを通過できる大きさのダストは、貫通孔１２０ｂを通過してフィルター層１１０ｃに流れる。そして、貫通孔１２０ｃを通過できない大きさのダストが、最後にフィルター層１１０ｃで捕獲される。このように、フィルター１００の構成によれば、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させることができることから、同一孔径の貫通孔を有するフィルターと比較して、フィルター１００の目詰まりを抑制することができる。
【０００５】
図２１（ａ）・（ｂ）は、従来技術の別の例であるフィルターの構成を示す斜視図である。図２１（ａ）に示す金属焼結フィルター２００は、２層のフィルター層２１０ａ・２１０ｂが積層されて構成されており、フィルター層２１０ａ・２１０ｂに設けられた貫通孔２２０ａ・２２０ｂは、互いに異なる孔径を有している。金属焼結フィルター２００は、球形粉を焼結して、その球形粉の積み重なりの間隙をフィルターの貫通孔とするものであり、球形粉の粒径を揃えることによって略理論的な孔径を有する貫通孔を得ることができる。このような金属焼結フィルター２００は、例えば、図２１（ｂ）に示すように、貫通孔２２０ｂを形成することができる所定の粒径の球形粉を焼結してフィルター層２１０ｂを形成し、次に、形成したフィルター層２１０ｂ上に、貫通孔２２０ａを形成することができる所定の粒径の球形粉２３０ａを焼結してフィルター層２１０ａを形成することによって製造することができる。
【０００６】
ここで、フィルターが適用される分野の１つとして、インクジェットヘッドが挙げられる。インクジェットヘッドは、より鮮明な画像を形成することを目的として、微小液滴を打ち出す数十μｍの直径のノズル孔よりインクを吐出する構成を採用している。しかしながら、インクにダストが混入していた場合、ノズル孔にダストが詰まることにより、インクを吐出することができない不吐出状態となってしまう。そこで、このような状態を回避するべく、インクジェットヘッドにインクが流入する前の経路においてフィルターを設置し、ノズル孔内にダストを流入させない対応をとることが知られている。
【０００７】
従来より、一部又は全部が圧電材料で形成された流路と、駆動壁とを交互に配列すると共に、該流路内の駆動壁に電極を設け、該電極を介して上記駆動壁に電界を印加することにより、該駆動壁をせん断変形させて流路内のインクを吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェット記録ヘッドが知られている。
【０００８】
シャアモード型のインクジェットヘッドにおいては、駆動壁を駆動させるための電極膜は駆動壁の側面に設けられるため、もし流路内に貯留されるインクが直接この電極膜と接触していた場合、電極膜の腐食といった問題を惹き起こす。そこで、この問題を回避することを目的として、例えば特許文献１はインクジェットヘッド内部のインク流路に対し絶縁膜としてポリパラキシリレンを被膜する方法などがある。
【０００９】
ここで、特許文献１にて提案されているシェアモード変形を利用したインクジェットヘッドの構造について、図２９及び図３０に基づいて説明する。図２９は従来の技術に基づくインクジェットヘッドの斜視図であり、理解し易いようにその一部を分解して示している。インクジェットヘッドは、複数のチャンネル溝３６４が形成されたベース部材３６１と、インク供給経路となる共通インク室３６３が形成されたカバー部材３６２と、異方性導電フィルム（以下、「ＡＣＦ」という。）３７０と、外部電極が形成されたフレキシブルプリント基板３７１と、ノズル孔３７７が開口されたノズル板３７６とを備える。ベース部材３６１とカバー部材３６２とを貼り合わせることで、インク流路を形成している。
【００１０】
チャンネル壁３６４ａの側面には、内部に電界を発生させるための電極３６５がチャンネル壁３６４の高さ方向全体にわたって形成されている。圧電材料で形成されたベース部材３６１は、図２９における３６１Ａと３６１Ｂに示すようにチャンネル壁３６４ａの略中央で分極方向が相反するように分極処理が施されている。以下、ノズル板３７６が接合される端部を前端部３８７とし、これと反対側を後端部３８８とする。また、インクジェットヘッドにおいて、カバー部材３６２が配置される側を上側と定め、ベース部材３６１が配置される側を下側と向きを定める。たとえば、チャンネル壁３６４ａがカバー部材３６２と接合される面はチャンネル壁３６４ａの上面となる。
【００１１】
チャンネル溝３６４は、ベース部材３６１の前端部３８７から後端部３８８に向けある程度まで一定の深さで切削され作製されており、その後切削ブレードの半径に従い浅くなり、最終的には後端部で約１０μｍ程度の一定の深さになっている。このチャンネル溝３６４に対しＡＣＦ３７０を挟んでフレキシブルプリント基板３７１を圧迫、加熱することによって電気的に接続されている。この際ＡＣＦ３７０の特性により、インクチャンネルごとに電気的な独立は保たれており、各チャンネル溝３６４における電極３６５が同電位になるように電気的な接続が行なわれている。
【００１２】
また、電極３６５を含むインクジェットヘッド内部全体に対し、電極３６５をインクから絶縁、保護することを目的として図示しない有機保護膜が形成されている。前記有機保護膜はチャンネル溝３６４内部に対し均一な膜厚分布が得られるポリパラキシリレンがよいとされている。
【００１３】
図２９に示した構成を切断線Ａ−Ａ’で切断した状態を示した矢視断面図を図３０に示す。インクの吐出に必要な圧力は、主にチャンネル壁３６４の側面に電極３６５が形成されている領域のうち、チャンネル壁３６４ａの上面がカバー部材３６２と接着固定されている領域Ａで発生する。このように、主にインク吐出に必要な圧力を発生するチャンネル壁がカバー部材と接合されている領域Ａを「アクティブ領域」とする。領域Ｂにおいてもシェアモード変形が発生するが、領域Ｂにおけるインクチャンネルは比較的大きな空間である共通インク室３６３と連通しており、加圧されても共通インク室３６３に向かって圧力が分散される。このため、領域Ｂはあまりインク吐出に寄与しない部分である。外部より共通インク室３６３に供給されたインクは、共通インク室３６３に溜められてチャンネル溝３６４に随時インクを供給し、チャンネル溝３６４に流入したインクはシェアモード変形によってノズル孔３７７からインクが吐出される。
【００１４】
さらに共通インク室３６３は、図２９において紙面左右に貫通され加工されていることにより、インクジェットヘッド側面において紙面左右に開口部を持ち、開口部の片側がインク供給口として作用し、もう片側がインク排出口として作用する。インク排出口を持つことにより、気泡の混入による不吐出に対し一定量のインクを上記インク排出口より排出することによって、混入した気泡を排出し不吐出状態から吐出状態へ回復動作を行なうことができる。
【００１５】
上記インクジェットヘッドにおいて、チャンネル壁３６４ａが駆動すると、アクティブ領域Ａで圧力波が発生する。この圧力波はノズル孔３７７からインクを吐出する役割を果たすと同時に、アクティブ領域Ａからチャンネル溝３６４に沿って後端部３８８の向きにも伝播する。伝播した圧力波は、チャンネル壁３６４ａに挟まれた空間と共通インク室３６３との界面で水撃作用により大部分が反射して、減衰せずに再びアクティブ領域Ａに戻る。このため、後続するインク吐出のための圧力波と干渉して、インク吐出に悪影響を及ぼす場合があった。特に、駆動周波数を高くした場合には、残った圧力波が減衰しないうちに後続するインクが吐出されるため、後続のインクの吐出速度が大きく変動することや、場合によってはインクの吐出が止まってしまうことがあった。よって、残留振動が収まるまで次の吐出を待たなければならず、駆動周波数を落として印字速度を抑えざるを得なかった。
【００１６】
その問題に対して、特許文献２において、残留振動を抑制する方法として以下の方法が提案されている。
【００１７】
図３１を参照して、特許文献２にて提案されているインクジェットヘッドの構造について説明する。図３１は従来の技術に基づくインクジェットヘッドの斜視図であり、理解し易いようにその一部を分解して示している。本ヘッド構造は前述した特許文献１におけるインクジェットヘッドの構造と、ベース部材３６１、カバー部材３６２、電極３６５、図示しない有機保護膜、ノズル板３７６、ノズル孔３７７、の構造は同じである。ただ、チャンネル溝３６４が一定の深さで後端部３８８まで貫通されており、フレキシブルプリント基板３７１と導電性樹脂３７８を介して後端部３８８にて接続されており、インクが後端部３８８に接続されているマニホールド３７２より各チャンネル溝３６４に対し供給される構造となっている。また、上記アクティブ領域後端部において隣接するチャンネル溝間に一定の深さで間隙部３６７が設けられている。この領域をアクティブ領域Ａに対して領域Ｃとする。この領域を圧力波が間隙部を通過して共通インク室３６３へと向かう際に間隙部を通過することで、インクの大きな粘性抵抗により吸収、減衰しながら共通インク室３６３へと進行する。したがって、圧力波の残留振動を抑制することができる。
【００１８】
また、図２９及び図３０にて説明したものを組み合わせたインクジェットについて図３２を用いて説明する。図３２は前述したインクジェットヘッドの斜視図であり、間隙部３６７を備える点以外の構造は全て図２９にて説明したインクジェットヘッドと同じ構造である。この構造を持つことにより、インク排出口を持つことによって気泡の混入による不吐出に対し一定量のインクを前記インク排出口より排出することによって、混入した気泡を排出し不吐出状態から吐出状態へ回復動作を行なうことができ、なおかつ間隙部を持つことにより圧力波の残留振動を抑制することができる。
【特許文献１】特開２００６−８２３４２号公報（２００６年３月３０日公開）
【特許文献２】特開２００４−１３６６３４号公報（２００４年５月１３日公開）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１９】
しかしながら、上述した図２０（ａ）・（ｂ）及び図２１（ａ）・（ｂ）に示したフィルターでは、次に説明するような問題がある。
【００２０】
１つ目に、図２０（ａ）・（ｂ）のようにフィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃを積層させる構成の場合、フィルター層間内部に存在するダストが洗浄によって排出されづらいという問題点がある。具体的には、フィルター１００は、フィルター層１１０ａ・１１０ｂ・１１０ｃを積層した後に焼結することによって形成される。しかしながら、この焼結工程を経ることによって、積層時に挟み込まれたダストがフィルター層間から排出しづらい状態となる。そのため、超音波洗浄や通水洗浄によってもダストを完璧に排除できず、フィルター自体からダストを発生してしまい、フィルター本来の役目であるダストのフィルタリングができないという問題がある。通常は、流水３ヶ月程度の洗浄でほぼ確実な洗浄効果が期待できることが知られているが、生産性が悪い、環境負荷が大きいといった問題がある。
【００２１】
２つ目は、図２０（ａ）・（ｂ）及び図２１（ａ）・（ｂ）ともに、孔径の異なるフィルター層を複数重ねる工程を取るため、同じ目のフィルターを重ねる場合と比較して、部材コスト、積層させる部材が多種類になることに起因する装置の複雑化によるコスト、タクトタイムの増加によるコストの増加が生じるという問題がある。
【００２２】
また、上述した図２９から図３２にて示したインクジェットヘッドにおいては、インクジェットヘッド単体に対しポリパラキシリレンを被膜した場合、その後の工程においてフィルターを接続する場合、組立工程の際にダストを混入してしまい、結果的にノズル孔における不吐出状態が発生してしまう。また、インクジェットヘッドとフィルター間の距離はダストの混入を防ぐためには距離を短くするほうがよいが、直接フィルターを接続した場合においては、接着剤の熱収縮による硬化によって有機保護膜の剥離によって膜質が劣化する問題があった。
【００２３】
さらに、図３２におけるインクジェットヘッドにおいては、上記有機保護膜を形成した際、チャンネル溝３６４の開口部に対してはるかに大きい開口部であるインク供給口、インク排出口より有機保護膜を形成するガスが主に供給されることにより、間隙部３６７を含むインクジェットヘッド内部に対し不均一な膜厚分布が発生してしまい、間隙部３６７の間隔がチャンネル間にて不均一になり、前述した圧力波の振動を抑制する効果がチャンネル間で異なってしまい、各チャンネルの高周波における吐出特性に差が発生する問題があった。これは各チャンネルにおける間隙部の周囲が十分に広くない限り、有機保護膜被膜時の膜厚分布勾配は必ず発生する問題であるため、同様な問題が発生する。
【００２４】
そこで、本発明は、上記の問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、ダストレスであるとともに、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによってフィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターと該積層フィルターの簡便な製造方法、及び、フィルターと間隙部を持つインクジェットヘッドが接続面積を考慮しつつ接続された状態にて有機保護膜を被膜することにより、フィルター組立工程において混入されるダストの発生を防止し、なおかつインクチャンネルで生じる圧力波の残留振動を均一に抑制することによって、インクの吐出を安定化させ、高速印字が可能なインクジェットヘッドを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００２５】
本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上述した課題を解決するために、互いに同一孔径のフィルター素材を複数積層する積層工程と、上記積層工程によって得られるフィルター積層体における、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に、被覆材を被膜する被膜工程とを含んでおり、上記被膜工程では、上記被覆材の被膜厚が各フィルター素材で互いに異なるように被膜することを特徴としている。上記の方法によれば、フィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターを簡易に製造することができる。
【００２６】
具体的には、本発明の製造方法によれば、積層工程において積層するフィルター素材は、互いに同一孔径を有する貫通孔を有している。このように同一孔径の貫通孔を有するフィルター素材を積層する場合は、従来問題となっていた部材コスト、積層させる部材が多種類になることに起因する装置の複雑化によるコスト、タクトタイムの増加によるコストの増加が生じることはない。
【００２７】
また、上述のように、上記積層工程によって得られるフィルター積層体に被覆材を被膜するとともに、貫通孔の壁面における当該被覆材の被膜厚を互いに異ならせることによって、各フィルター素材で互いに異なる貫通孔を有するように構成していることから、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。これにより、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【００２８】
すなわち、本発明の製造方法によれば、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる積層フィルターを、簡易な手法によって製造することができる。
【００２９】
また、上記の方法によれば、フィルター素材を複数積層する積層工程の後に、被覆材を被膜する構成となっている。これにより、フィルター素材とフィルター素材との間に存在するダストを被覆材によってフィルター素材と一体化させることができる。これにより、完成した積層フィルターを使用する際に上記したダストが下流に排出される虞はなく、良好なフィルタリングを実現することができる。
【００３０】
さらに、従来では、このようなダストを洗浄するために、生産性が悪く、さらには環境負荷が大きい洗浄工程を要していた。しかしながら、本発明の方法によれば、当該ダストを被覆材によってフィルター素材と一体化させることができるため、当該従来と比較して、洗浄工程を簡素化することができ、生産性の向上を図ることができる。また、環境負荷の低減を実現することができる。
【００３１】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程では、上記被覆材を、上記フィルター積層体の一方の表面から他方の表面に向けて厚くなるように被膜することが好ましい。
【００３２】
上記の構成とすることにより、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らしてフィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターを提供することができるとともに、被覆により孔径が小さくなった貫通孔側から、孔径が大きくなった貫通孔に向けて逆流動作を行なうことによって、各フィルター素材に捕獲されたダストを容易に除去することができ、積層フィルターを再利用することができる。
【００３３】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程は、上記被覆材を含む被覆ガスを、上記フィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給することが好ましい。
【００３４】
上記の方法によれば、上記被覆ガスを、フィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給するという簡易な手法によって、各フィルター素材で互いに異なる貫通孔を有するように構成することができる。
【００３５】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程では、上記一方の表面への上記被覆ガスの浸入を少なくとも一部分妨げる浸入防御壁を用いて行なうことが好ましい。
【００３６】
上記の構成とすることにより、上記フィルター積層体の他方の表面に向けて供給される被覆ガスが上記一方の表面側に浸入し難くなる。これにより、当該一方の表面側の貫通孔の壁面に被覆される被覆材の被覆量が低減されるため、当該他方の表面から当該一方の表面に向けて、被覆材の被覆厚が薄くなるように形成することができる。
【００３７】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程では、上記被覆材を含まない防御ガスを上記一方の表面へ供給することが好ましい。
【００３８】
上記の構成とすることにより、上記フィルター積層体の他方の表面に向けて供給される被覆ガスが上記一方の表面側に浸入し難くなる。これにより、当該一方の表面側の貫通孔の壁面に被覆される被覆材の被覆量が低減されるため、当該他方の表面から当該一方の表面に向けて、被覆材の被覆厚が薄くなるように形成することができる。
【００３９】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被覆材として、有機材料を用いることができ、上記有機材料としては、ポリパラキシリレンまたはその誘導体を用いることができる。
【００４０】
ポリパラキシリレンまたはその誘導体を用いることにより、フィルター素材への被覆効率が高く、被覆制御を容易に行なうことができる。これにより、所望の孔径勾配を有する積層フィルターを製造することができる。さらに、耐薬品性に優れており、積層フィルターの適用範囲を広げることが可能となる。
【００４１】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記防御ガスに、不活性ガスを用いることができる。
【００４２】
不活性ガスを用いることによって、上記一方の表面側におけるフィルター素材への被覆を正確に制御することができる。これにより、所望の孔径勾配を有する積層フィルターを精度よく製造することができる。
【００４３】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記防御ガスに、窒素ガスもしくは空気を用いることができる。
【００４４】
窒素ガスもしくは空気を用いることによって、不活性ガスを用いる場合と比較して、低コストを実現することができる。
【００４５】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程では、めっき法を用いて上記被覆材を被膜するように構成されており、上記被覆材を含むめっき液を、上記積層工程によって得られるフィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給することが好ましい。
【００４６】
上記の方法によれば、上記めっき液を、フィルター積層体の一方の表面に比して、他方の表面に多く供給するという簡易な手法によって、各フィルター素材で互いに異なる貫通孔を有するように構成することができる。
【００４７】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被膜工程では、上記一方の表面への上記めっき液の浸入を少なくとも一部分妨げる浸入防御壁を用いて行なうことが好ましい。
【００４８】
上記の構成とすることにより、上記フィルター積層体の他方の表面に向けて供給されるめっき液が上記一方の表面側に浸入し難くなる。これにより、当該一方の表面側の貫通孔の壁面に被覆される被覆材の被覆量が低減されるとともに、新鮮なめっき液は常に他方の表面に供給されるため、当該他方の表面から当該一方の表面に向けて、被覆材の被覆厚が薄くなるように形成することができる。
【００４９】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記被覆材として無機材料を用いることができ、具体的には、上記無機材料としてニッケル、銅、金からなる群より選択されたものを用いることができる。
【００５０】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記積層工程では、各上記フィルター素材を、互いに所定の空隙を有するように積層することが好ましい。
【００５１】
上記の構成とすることにより、例えばフィルタリングされる液体は積層方向に流れる以外に上記空隙に沿って、フィルター素材とフィルター素材との間をフィルター素材表面に沿って流れることも可能となる。これにより、貫通孔の被膜時に、同じくフィルター素材表面に被膜されていれば、貫通孔を用いたフィルタリングに加えて、フィルター素材表面を用いたフィルタリングを実現することができる。
【００５２】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記積層工程では、各上記フィルター素材の上記貫通孔の孔軸を互いにずらして積層することが好ましい。
【００５３】
上記の構成とすることにより、例えばフィルタリングされる液体は、必ずフィルター素材とフィルター素材との間をフィルター素材表面に沿って流れることになる。これにより、各上記フィルター素材の上記貫通孔の孔軸が互いに一致するように構成されている場合と比較して、フィルター素材表面を用いてフィルタリングを行なうことができ、積層フィルター全体としてのフィルタリンク性能を高めることができる。
【００５４】
また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、上記積層工程において、上記フィルター積層体を所定の温度で加熱する加熱工程を含むことが好ましい。
【００５５】
有機材料を被膜するフィルター積層体には、フィルター素材が積層された後に、最終的なフィルターの形状にカットされたものを用いる。その際、カットによって、フィルター積層体の端部に素線のバリが生じたり、素線の屑が付着していたりする。また、ワイヤー放電加工を用いてカットを行なう場合であれば、処理中に金属粉を含む水を使用するため、カット後のフィルター積層体に当該金属粉が付着する場合がある。このようなバリや屑や金属粉は、積層フィルターを使用する際にダストとして流出してしまう虞がある。そこで、カット後のフィルター積層体に対して、加熱処理を施すことによって、このようなバリや屑や金属粉をフィルター積層体に固定させることができる。これにより、後の工程において成膜される有機材料被膜によるダストの固定に加えて、さらにダストレスな積層フィルターを実現することができる。
【００５６】
本発明に係る積層フィルターは、上述した課題を解決するために、互いに同一孔径の貫通孔を複数有するフィルター素材が複数積層されており、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に被覆材が被膜されており、当該被覆材の被膜厚が、各フィルター素材で互いに異なっていることを特徴としている。
【００５７】
上記の構成とすることにより、各フィルター素材で互いに異なる貫通孔を有するように構成していることから、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。これにより、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【００５８】
また、複数積層したフィルター素材を被覆材で被膜した構成となっているため、フィルター素材とフィルター素材との間に存在するダストは、被覆材によってフィルター素材と一体化している。これにより、完成した積層フィルターを使用する際に上記したダストが下流に排出される虞はなく、良好なフィルタリングを実現することができる。
【００５９】
また、本発明に係る積層フィルターは、積層フィルターの一方の表面から他方の表面に向けて上記被膜厚が厚くなるように構成されていることが好ましい。
【００６０】
上記の構成とすることにより、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らしてフィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターを提供することができるとともに、被覆により孔径が小さくなった貫通孔側から、孔径が大きくなった貫通孔に向けて逆流動作を行なうことによって、各フィルター素材に捕獲されたダストを容易に除去することができ、積層フィルターを再利用することができる。
【００６１】
また、本発明に係る積層フィルターは、上記被覆材として有機材料を用いることができ、具体的には、有機材料としてポリパラキシリレンまたはその誘導体を用いることができる。
【００６２】
ポリパラキシリレンまたはその誘導体を用いることにより、フィルター素材への被覆効率が高く、被覆制御を容易に行なうことができ、所望の孔径勾配を有する積層フィルターを提供することができる。さらに、耐薬品性に優れており、積層フィルターの適用範囲を広げることが可能となる。
【００６３】
また、本発明に係る積層フィルターは、上記被覆材として無機材料を用いることができ、具体的には、上記無機材料としてニッケル、銅、金からなる群より選択されたものを用いることができる。
【００６４】
また、本発明に係る積層フィルターは、各上記フィルター素材が、互いに所定の空隙を有するように積層されていることが好ましい。
【００６５】
上記の構成とすることにより、例えばフィルタリングされる液体は積層方向に流れる以外に上記空隙に沿って、フィルター素材とフィルター素材との間をフィルター素材表面に沿って流れることも可能となる。これにより、貫通孔の被膜時に、同じくフィルター素材表面に被膜されていれば、貫通孔を用いたフィルタリングに加えて、フィルター素材表面を用いたフィルタリングを実現することができる。
【００６６】
また、本発明に係る積層フィルターは、各上記フィルター素材が、互いに上記貫通孔の孔軸をずらして積層されていることが好ましい。
【００６７】
上記の構成とすることにより、例えばフィルタリングされる液体は、必ずフィルター素材とフィルター素材との間をフィルター素材表面に沿って流れることになる。これにより、各上記フィルター素材の上記貫通孔の孔軸が互いに一致するように構成されている場合と比較して、フィルター素材表面を用いてフィルタリングを行なうことができ、積層フィルター全体としてのフィルタリンク性能を高めることができる。
【００６８】
また、本発明に係るインクジェットヘッドは、上述した課題を解決するために、上記した特徴的構成を備えた積層フィルター、もしくは上記した製造方法によって製造された積層フィルターを備えていることを特徴としている。
【００６９】
上記の構成とすることにより、フィルターの目詰まりを低減させた積層フィルターを備えているため、長期に渡って印字が鮮明で印刷精度の高いインクジェットを提供することができる。
【００７０】
例えば、印刷動作を長時間行なう印刷業において、フィルターの目詰まりは生産効率を著しく悪化させる。そこで、本発明の積層フィルターを用いれば、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによって、長時間使用に対しても目詰まりを回避し、良好な印刷動作を実現できる。
【００７１】
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、上述した課題を解決するために、互いがチャンネル壁によって隔てられ、一端が外部と連通している複数のインク流路と、該インク流路と連通し、貯留したインクを該インク流路に供給することができるインク供給室と、外部から該インク供給室にインクを供給するためのインク供給口とが設けられているヘッド部材に対して、該ヘッド部材の上記インク供給口を覆うように、被膜が形成される前のフィルターを接続するフィルター接続工程と、上記フィルター接続工程によって接続された、被膜が形成される前のフィルターに対して、有機材料膜を被膜する被膜工程とを含むことを特徴としている。
【００７２】
上記の方法によれば、インクジェットヘッドのフィルター接続時にダストが混入し、インク吐出時にそのダストがノズル孔に詰まることに起因する不吐出状態が発生することを、簡易に防止することができる。
【００７３】
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、上記フィルター接続工程では、硬化剤を用いて、被膜が形成される前のフィルターを、ヘッド部材に対して接着、硬化する。
【００７４】
すなわち、上記の方法によれば、インクジェットヘッドが有機保護膜を介さずに直接フィルターに接着・硬化される。これににより、有機保護膜が被膜された後のインクジェットヘッドに対しフィルターを直接接着剤にて接着・硬化することによって、接着剤の熱収縮により有機保護膜が剥離し膜質が劣化することを防止することができる。
【００７５】
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、上記被膜が形成される前のフィルターは、複数のフィルター素材が積層されてなる積層フィルターであることが好ましい。このことにより、耐圧力性が向上し、なおかつ、各フィルター層、フィルター間においてもフィルタリングすることができるため、各フィルターでのフィルタリング量が減少し、目詰まりを防止することができる。
【００７６】
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、上記被膜工程において、上記有機材料膜の被膜厚が各上記フィルター素材で互いに異なるように被膜することが好ましい。
【００７７】
このことにより、同一孔径のフィルター素材による積層フィルターであっても、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。これにより、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【００７８】
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、上記被膜工程では、上記インク供給口、上記インク供給室及び上記インク流路の表面にも、上記有機材料膜が被膜されることが好ましい。
【００７９】
このことにより、フィルターとともに、上記インク供給口、上記インク供給室及び上記インク流路の表面にも被膜できるため、フィルターへの被膜と、インク供給口、上記インク供給室及び上記インク流路の表面への被膜とを個別に行なう構成と比較して、タクトタイムが短縮され、有機保護膜の被膜プロセスに係るコストを削減することができる。
【００８０】
また、上記有機保護膜を、ポリパラキシリレンまたはその誘導体とすることによって、被膜する際、被膜対象物が常温のままでよいため、インクジェットヘッドにおいて温度衝撃によるダメージを与えることなく、付きまわり性、制御性が良好な状態で有機保護膜を被膜することができる。
【００８１】
また、本発明に係る他のインクジェットヘッドは、上述した課題を解決するために、互いがチャンネル壁によって隔てられ、一端が外部と連通している複数のインク流路と、該インク流路と連通し、貯留したインクを該インク流路に供給することができるインク供給室と、外部から該インク供給室にインクを供給するためのインク供給口とが設けらたヘッド部材に対して、該ヘッド部材の上記インク供給口を覆うようにフィルターが接続されており、上記フィルターと上記インク供給口と上記インク供給室とにおけるインクとの接触面は、全て有機保護膜で被膜されていることを特徴としている。
【００８２】
これにより、ヘッド部材とフィルターとの接続部分の接着剤上にも有機保護膜が被膜されていることになるため、接着剤の耐薬品性について選択性が広がり、コストを削減することができる。
【００８３】
また、本発明に係る他のインクジェットヘッドは、上記の構成において、さらに、上記ヘッド部材における上記インク流路の上記一端が形成されている側に、ノズル孔が設けられたノズル板を有しており、上記ノズル孔及び上記ノズル板の表面は撥水加工が施されていることが好ましい。
【００８４】
このことにより、上記ノズル孔及び上記ノズル板の表面が撥水性を持つ一方、ヘッド部材に設けられたインク流路等は親水性を持つことにより、親撥水のコントラストが良好な状態にてノズル付近によるメニスカスが形成され、着弾精度の良好なインクジェットヘッドを提供することができる。
【００８５】
また、本発明に係る他のインクジェットヘッドは、上記の構成において、上記複数のインク流路は、互いに平行になるように一列に整列しており、上記インク供給口は、長方形を有しており、上記長方形の長辺は、上記一列の長さ以上の長さを有し、且つ上記一列と平行であることが好ましい。
【００８６】
これにより、有機保護膜の被膜量勾配が発生することを防止でき、各インク流路からのインクの吐出を均一にすることができる。
【００８７】
また、上記有機保護膜を、ポリパラキシリレンまたはその誘導体とすれば、付きまわり性が良好であり、且つ耐薬品性が高いことによって多種類のインクに対応することが可能なインクジェットヘッドを提供することができる。
【００８８】
上記インク供給室と上記インク流路との連通部分では、上記インク供給室が、上記インク流路の上記一端の方向に向けて広がっている。
【００８９】
このことにより、上記の効果に加えて、インクの供給および吐出の際にインク流路で発生する圧力波を、急速にチャンネル間で均等に減衰させることができる。よって、結果的に高周波における吐出特性が良好なインクジェットヘッドを提供することができる。
【発明の効果】
【００９０】
本発明に係る積層フィルターの製造方法は、以上のように、互いに同一孔径のフィルター素材を複数積層する積層工程と、上記積層工程によって得られるフィルター積層体における、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に、被覆材を被膜する被膜工程とを含んでおり、上記被膜工程では、上記被覆材の被膜厚が各フィルター素材で互いに異なるように被膜することを特徴としている。
【００９１】
上記の方法によれば、フィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターを簡易に製造することができる。
【００９２】
また、本発明に係る積層フィルターは、以上のように、互いに同一孔径の貫通孔を有するフィルター素材が複数積層されており、各上記フィルター素材の貫通孔の壁面に被覆材が被膜されており、当該被覆材の被膜厚が、各フィルター素材で互いに異なっていることを特徴としている。
【００９３】
上記の構成とすることにより、各フィルター素材で互いに異なる貫通孔を有するように構成していることから、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。これにより、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【００９４】
また、本発明に係るインクジェットは、以上のように、上記した特徴的構成を有する積層フィルター、または上記した製造方法によって製造された積層フィルターを備えていることを特徴としている。
【００９５】
上記の構成とすることにより、フィルターの目詰まりを低減させた積層フィルターを備えることができるため、長期に渡って印字が鮮明で印刷精度の高いインクジェットを提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００９６】
〔実施の形態１〕
本発明に係る積層フィルターについての一実施形態を説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
【００９７】
まず、図１乃至図１４に基づいて本実施形態の積層フィルターについて説明する。本実施形態の積層フィルターは、例えば、後述するプリンターのインクジェットヘッドに配設されることによって、インク内のダストや凝集物を捕獲することができる。これにより、当該ダストや凝集物によってインクジェットのノズルが詰まり、印字精度を劣化させることを回避することができる。本実施形態の積層フィルターは、フィルター素材から構成される骨格構造（フィルター積層体）と、当該骨格構造に被膜したポリパラキシリレン（被覆材、有機材料）とから構成される。そこでまず、上記骨格構造について説明する。
【００９８】
図１は、本発明の一実施形態である積層フィルターの骨格構造の構成を示した斜視図である。骨格構造１は、図１に示すように、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃが積層された構造を有している。
【００９９】
ここで、図２は、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃそれぞれが積層される前の状態を示した斜視図である。フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃは、それぞれフィルター素材の積層方向と平行な孔軸４ａ・４ｂ・４ｃを有する貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃを有している。なお、「積層方向と平行」とは、完全に平行である場合のほかに、実質的に平行である場合も含むものとする。貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃは、互いに同一孔径を有している。貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃは、後の工程においてポリパラキシリレンが被膜され、被膜後の貫通孔３ａ’・３ｂ’・３ｃ’を、例えば液体が通って下流に流れることによって、貫通孔３ａ’・３ｂ’・３ｃ’の何れかを通過できないダストがフィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃの何れかによって捕獲されるように構成されている。
【０１００】
フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃは、素材と素材とが織り込まれることによって貫通孔が形成されたものを用いることができる。素材と素材との織り方としては、代表的なものに平織り、綾織り、平畳織り、綾畳織りなどがあり、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃは何れの織り方のものであってもよい。また、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃは同じ織り方によって構成されたものであってもよく、互いに異なる織り方のフィルター素材であってもよい。
【０１０１】
なお、本実施形態では、フィルター素材の積層方向と平行な孔軸４ａ・４ｂ・４ｃを有する貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃが設けられたフィルター素材について説明しているが、フィルター素材の構成（織り方）によっては、このような貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃに加えて、フィルター素材の積層方向に対して垂直な方向の孔軸を有する貫通孔が形成される場合がある。そのため、本発明に係る積層フィルターの骨格構造を構成するフィルター素材には、貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃと併せて、フィルター素材の積層方向に対して垂直な方向の孔軸を有する貫通孔が設けられたものを用いてもよい。
【０１０２】
フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃの材質としては、特に限定されるものではなく、例えばステンレス、ハステロイ、チタンといった材質のものを用いることができる。
【０１０３】
このような構成を備えたフィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃを、図１に示すように、空隙Ｘを有するように積層することによって骨格構造１が形成される（積層工程）。この積層工程については、図３を用いて詳述する。
【０１０４】
図３は、図１の骨格構造１を切断線Ａ−Ａ’において切断した状態を示した矢視断面図である。骨格構造１は、図３に示すように、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃが、貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃの互いの孔軸４ａ・４ｂ・４ｃが合致しないように、すなわち、積層方向に対して貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃとが一致しないようにずらして積層されている。
【０１０５】
フィルター素材間の空隙Ｘは、濾過対象である液体の流路が確保できる程度の大きさで形成されていればよく、例えば１μｍ〜３０μｍに設定することができる。
【０１０６】
なお、上記したようなフィルター素材の積層方向に対して垂直な方向の孔軸を有する貫通孔が設けられたフィルター素材を用いる場合は、空隙Ｘを設けることなく、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃを互いに接するようにして積層して焼結してもよい。
【０１０７】
フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃの積層は、例えば、圧力板に、加熱圧着時にフィルターと圧力板が接着されることを防止するためのアルミナの粉末を塗布し、そこに３枚のフィルター素材（２ａ・２ｂ・２ｃ）を設置して、圧力板を加圧し、加圧しながら加熱し焼成することによって行なうことができる。
【０１０８】
このように、同一孔径を有するフィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃを用いることによって、異なる孔径を有するフィルター素材を積層する場合と比較して、部材コスト、積層させる部材が多種類になることに起因する装置の複雑化によるコスト、タクトタイムの増加によるコストの増加が生じるという虞はなく、簡便且つ低コストで製造することができる。
【０１０９】
次に、上記した骨格構造１の貫通孔３ａ・３ｂ・３ｃにポリパラキシリレンを被膜することによって、互いに異なる孔径を有する貫通孔３ａ’・３ｂ’・３ｃ’が形成された、本実施形態の積層フィルター１０を、図４及び図５に基づいて説明する。
【０１１０】
なお、本実施形態では、ポリパラキシリレンを被膜する構成について説明するが、本発明に係る積層フィルターはこれに限定されるものではなく、他の有機材料を被膜することも可能である。
【０１１１】
また、ポリパラキシリレンを被膜する骨格構造１は、フィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃが積層された後、フィルター形状にカットされたものを用いるが、カットされた骨格構造１に対して、加熱処理（加熱工程）を施してもよい。フィルター形状にカットされた骨格構造１は、端部に素線のバリが生じていたり、カットによって生じた素線の屑が付着していたりする。また、フィルター形状にカットする際にワイヤー放電加工を用いた場合では、金属粉を含む水をカット部分に供給してカットを行なうため、カット後の骨格構造１に当該金属粉が付着する場合がある。そこで、カットされた骨格構造１に対して加熱処理を施すことによって、このようなバリや屑や金属粉を骨格構造１に固定させることができる。これにより、ポリパラキシリレン被膜によるダストの固定に加えて、さらにダストレスな積層フィルターを実現することができる。加熱処理としては、例えば、１３５０℃で２４〜２４０時間の加熱が挙げられる。
【０１１２】
図４及び図５は、本実施形態の積層フィルター１０の製造工程のうちの被膜工程を説明する図である。ポリパラキシリレン被膜は、ポリパラキシリレンを化学蒸着することによって形成することができる。図４は、化学蒸着に用いる蒸着装置２０の一例を示している。また、図５は、蒸着装置２０に構成される成膜槽２３の具体的な構成について示している。
【０１１３】
蒸着装置２０は、図４に示すように、昇華炉２１、熱分解炉２２、成膜槽２３、コールドトラップ部２４、及び真空ポンプ２５より構成されており、これらは、ガス流路を形成する配管２６により図示するように連結されている。蒸着工程（被膜工程）中、蒸着装置２０は、例えば、真空ポンプ２５によって真空度が１０〜５００ｍＴｏｒｒに保たれ、昇華炉２１内は１００℃〜２００℃、熱分解２２内は４５０℃〜７００℃、成膜槽２３内は室温、コールドトラップ部７は−７０〜−９０℃の各温度に保持される。
【０１１４】
昇華炉２１内では、ポリパラキシリレンの原料であるダイマーのジパラキシリレンの気化が行われる。ジパラキシリレンの化学構造式を以下の（１）に示す。
【０１１５】
そして、熱分解２２内では、気化した二量体（下記（１））を熱分解させて、下記の化学構造式（２）を有するパラキシリレンラジカルを発生させる熱分解が行われる。
【０１１６】
【化１】
2007181818.tif 000002
【０１１７】
【化２】
2007181818.tif 000003
【０１１８】
成膜槽２３内には、例えば１０ｒｐｍ程度の低速で回転する回転台（不図示）が設けられている。この回転台上に、図５に示すカバー台２７が載置されている。カバー台２７は、図５に示すように、穴部２８ａが設けられた本体部２８と、支持部２９とを備えている。支持部２９は、その一端が穴部２８ａ上にて自由端を形成するように本体部２８に設けられている。上記した骨格構造１は、支持部２９によって支持されることによって、図５に示すように、穴部２８ａ上に配置することができる。
【０１１９】
熱分解２２内で発生した化学構造式（２）のパラキシリレンラジカルのモノマーガス（被覆ガス）は、図６に示すように、成膜槽２３内のモノマーガス排出手段３０から排出し、穴部２８ａ上に配置された骨格構造１に付着する。さらに、成膜槽２３内において、フィルターに付着した化学構造式（２）のパラキシリレンラジカルは、付着と同時に気相重合して高分子量のポリパラキシリレンの被膜を形成する。ポリパラキシリレンの化学構造式（３）を以下に示す。
【０１２０】
【化３】
2007181818.tif 000004
【０１２１】
コールドトラップ部２４は、成膜中に成膜には寄与しなかったモノマーガスを排気せずにトラップするため、またバックグラウンド真空度を良くするために冷却状態で使用することが好ましい。
【０１２２】
上記のように、本実施形態における製造方法では、骨格構造１を本体部２８の穴部２８ａ上に配置して、ポリパラキシリレンを化学蒸着する。これにより、図６に示すように、骨格構造１の主面（他方の表面）側の開放空間Ｐと裏面（一方の表面）側の開放空間Ｑが不均等となった状態で成膜（蒸着）することができる。すなわち、穴部２８ａ上の骨格構造１に向けて排出されるモノマーガスは、骨格構造１の主面側に主に供給され、骨格構造１の裏面側に供給され難くなる。これにより、骨格構造１の主面側と裏面側とでポリパラキシリレンの被覆量に違いが生じ、骨格構造１の主面側から裏面側にかけて、ポリパラキシリレン３１の被覆厚が薄くなるように形成することができる。
【０１２３】
図７に、ポリパラキシリレン３１を被覆して完成した積層フィルター１０ａの断面図を示す。図７に示すように、骨格構造１の主面側から裏面側にかけて、ポリパラキシリレン３１の被覆厚が薄くなっており、この被膜厚の違いにより、貫通孔３ａ’・３ｂ’・３ｃ’の孔径に違いが生じている。具体的には、貫通孔３ａ’が最も小さく、貫通孔３ｃ’が最も大きく、貫通孔３ｂ’が貫通孔３ａ’と貫通孔３ｃ’との間の大きさの孔径を有している。このようにして本実施形態の積層フィルター１０ａが製造される。
【０１２４】
以上のように、本実施形態の積層フィルター１０ａは、貫通孔の壁面におけるポリパラキシリレンの被膜厚を互いに異ならせることによって、各フィルター素材において互いに異なる孔径の貫通孔を有するように構成している。これにより、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことができる。具体的には、図７に示した積層フィルター１０ａは、フィルター素材２ｃからフィルター素材２ａに向けて濾過方向が形成されるように構成する。濾過方向の最も上流のフィルター素材２ｃは貫通孔３ｃ’が他のフィルター素材の貫通孔に比べて大きいため、比較的大きなダストが捕獲され、これより小さなダストは貫通孔３ｃ’を通過する。そして次のフィルター素材２ｂにおいて貫通孔３ｂ’を通過できないダストが捕獲され、このダストよりも小さいダストは貫通孔３ｂ’を通過する。最後に、濾過方向の最も下流のフィルター素材２ａでは最も小さい貫通孔３ａ’が形成されているため、比較的微細なダストを捕獲することができる。このように、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによって、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【０１２５】
各フィルター素材の貫通孔の大きさは、濾過対象である液体中に含まれるダストの粒度分布に基づいて、各フィルター素材で捕獲できるダスト量が略均等になるように設計すればよい。図８に、或る液体中に存在するダストの粒度分布を示している。図８に示すグラフの横軸は粒径の大きさを示し、縦軸は個数を示している。本実施形態の積層フィルター１０ａでは、グラフの斜線で示した範囲のダストを捕獲する。その場合、積層フィルター１０ａの３層のフィルター素材２ａ〜２ｃによって、ダストが均等に捕獲されるように構成する。すなわち、図８の斜線で示した範囲が３等分になるように貫通孔の大きさを設計する。これにより、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによって、フィルターの目詰まりを防止することができる。
【０１２６】
また、粒度が正規分布に則る場合は、効率的にダストを捕獲できるよう、少なくとも図９に示す半値全幅の範囲（約７６％）を２枚以上のフィルターにて捕獲する。半値全幅内のダストを捕獲するフィルターについては、それぞれ半値全幅のなかにおいて、３０％以上のダストを捕獲できる積層フィルターとすることが好ましい。
【０１２７】
また、フィルター素材の積層枚数については、積層したフィルター素材にポリパラキシリレンを被覆した際、一方の表面側から他方の表面側に向けて貫通孔の孔径に勾配が形成できる範囲であれば特に制限はない。
【０１２８】
また、本実施形態の積層フィルター１０ａは、上記のようにフィルター素材を積層する積層工程の後に、ポリパラキシリレンを被膜する構成となっていることから、積層工程において、フィルター素材とフィルター素材との間にダストが挟み込まれたとしても、このダストをポリパラキシリレン被膜によってフィルター素材に固定させることができる。そのため、完成した積層フィルター１０ａを使用する際に、上記したダストが下流に流出する虞はなく、良好なフィルタリングを実現することができる。
【０１２９】
さらに、従来では、このようなダストを洗浄するために、生産性が悪く、さらには環境負荷が大きい洗浄工程を要していた。しかしながら、本発明の方法によれば、ポリパラキシリレンによって当該ダストをフィルター素材と一体化させることができるため、従来の場合と比較して、洗浄工程を簡素化することができ、生産性の向上を図ることができ、環境負荷を低減させることができる。
【０１３０】
ポリパラキシリレンの被膜厚は、後述する実施例において説明するように、積層工程においてフィルター素材とフィルター素材との間に挟み込まれたダストをフィルター素材に固定するために、１μｍ以上成膜されていることが好ましい。
【０１３１】
なお、本実施形態では上記した化学構造式のポリパラキシリレンを用いている。ポリパラキシリレンは、骨格構造１への被覆効率が高く、被覆制御を容易に行なうことができる。これにより、所望の孔径勾配を有する積層フィルターを製造することができる。また、耐薬品性に優れており、本実施形態の積層フィルターの適用範囲を広げることが可能である。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、後述する実施例において使用しているようなポリパラキシリレンの誘導体を用いることによっても同様の効果を奏する。その例を下記の化学構造式（４）〜（７）に示す。
【０１３２】
【化４】
2007181818.tif 000005
【０１３３】
【化５】
2007181818.tif 000006
【０１３４】
【化６】
2007181818.tif 000007
【０１３５】
【化７】
2007181818.tif 000008
【０１３６】
さらに、ポリパラキシリレン及びその誘導体以外にも、アルミニウム、クロム、銅、モリブデンといった金属を蒸着によって被膜することができる。
【０１３７】
また、本実施形態のフィルター素材は、上記したように素材を織って構成したものとなっているが、本発明はこれに限定されるものではなく、フィルタリングを行なうことができる部材であればよく、例えば、図１０に示すような構造のフィルター平板２ａ・２ｂ・２ｃを用いて構成することも可能である。
【０１３８】
また、本実施形態では、図５に示すカバー台２７を用いて、骨格構造１の主面側と裏面側とでポリパラキシリレンの被覆量に違いを生じさせている。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、図１１に示す構成によって、骨格構造１の主面側と裏面側とでポリパラキシリレンの被覆量に違いを生じさせてもよい。すなわち、図１１に示すカバー台２７’は、枠形状を有しており、図５と同じ支持部２９が設けられている。図１１に示す構成では、支持部２９上に載置した骨格構造１に対して、モノマーガス排出手段３０からポリパラキシリレンのモノマーガスを排出しつつ、骨格構造１への被膜に寄与しない不活性ガス（防御ガス）を不活性ガス排出手段３３から排出する。これにより、モノマーガス排出手段３０から骨格構造１の主面側に向けて排出されるモノマーガスは、不活性ガス排出手段３３から骨格構造１の裏面側に向けて排出される不活性ガスによって骨格構造１の裏面側への浸入を遮られることになる。これにより、骨格構造１の主面側と裏面側とでポリパラキシリレンの被覆量に違いが生じ、骨格構造１の主面側から裏面側にかけて、ポリパラキシリレン３１の被覆厚が薄くなるように形成することができる。
【０１３９】
また、このような不活性ガスを用いて被膜する構成の場合は、蒸着方法以外にもスパッタリング法によっても被膜を形成することが可能である。この場合は、骨格構造１の裏面側から不活性ガスを吹き付けながらプラズマ金属ガス圧で裏面側と主面側とで差をつけることによって実現可能である。スパッタリング法によって被膜できるものとしては、公知の材料を用いることができ、具体的には、銅、スズ、チタン、クロム、亜鉛、金、銀、ケイ素、酸化ケイ素などが挙げられる。
【０１４０】
次に、図７に示した本実施形態の積層フィルター１０ａを備えたインクジェットヘッドについて、図１２を用いて説明する。
【０１４１】
図１２は、本実施形態のインクジェットヘッドの構成を示す図である。図１２に示すインクジェットヘッド４０ａは、図１３に示すプリンター５０に設けられている。プリンター５０は、外部の情報処理機器（コンピューター，デジタルカメラ等）から送信される画像データを受信・処理し、紙やプラスティック等からなる印刷用のシートに画像を印刷して出力する機能を有している。プリンター５０は、筐体５１内に、シートガイド５２，インクジェットヘッド４０ａ、保持シャフト５４、搬送ローラ（図示せず）、図示しない画像処理装置（コンピューター等）から送信される画像データを受信し、上記の部材を制御して印刷を行なう制御部（図示せず）等を備えている。なお、プリンターは従来公知のものを用いることができるため、インクジェットヘッド４０ａ以外の構成に関しては説明を省略する。
【０１４２】
インクジェットヘッド４０ａは、搬送ローラによって搬送されているシートに対し、制御部の指示によりインク（印刷剤）を吐出して画像を印刷するものである。インクジェットヘッド４０ａは、プリンター５０に設けられた走査空間内を往復移動しながら、シートに対して１ライン毎に画像を印刷するように構成されている。
【０１４３】
インクジェットヘッド４０ａは、図１２に示すように、インクを保持したインクタンク４１と、シートに対してインクを吐出するインクノズル４２を備えている。インクタンク４１とインクノズル４２とは、連結管４３によって連結されている。図７に示した本実施形態の積層フィルター１０ａは、インクノズル４２の上流に配設される。
【０１４４】
このように、図７に示した本実施形態の積層フィルター１０ａを、インクノズル４２の上流に配設することによって、長期に渡って印字が鮮明で印刷精度の高いインクジェットを提供することができる。例えば、印刷動作を長時間行なう印刷業において、フィルターの目詰まりは生産効率を著しく悪化させる。そこで、本実施形態の積層フィルター１０ａを用いれば、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させて、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによって、長時間使用に対しても目詰まりを回避し、良好な印刷動作を実現できる。
【０１４５】
なお、図１２に示したインクジェットヘッドには、図７に示した本実施形態の積層フィルター１０ａが１つ配設された構成となっているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、積層フィルター１０ａで捕獲できるダストよりも小さいダストを捕獲することができる積層フィルター１０ａ’を図１２に示したインクジェットヘッドにおける積層フィルター１０ａよりも下流に設けることができる。
【０１４６】
また、図６に示した構成において化学蒸着された後、支持部２９から取り外した積層フィルター１０ａは、図１４に示すように、支持部２９との接触部分におけるポリパラキシリレンが剥離することが考えられるため、上記のようにフィルタリングに使用する際には、図１４に示すようなＯリング３８を当ててハウジングして使用することが好ましい。
【０１４７】
また、本実施形態では、インクジェットヘッドに本発明に係る積層フィルターを設けた構成について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、電気・電子部品の製造装置内に備えることも可能である。さらには、医療や食品の製造機器にも適用できるほか、生体内への適用も可能である。
【０１４８】
なお、本発明に係る積層フィルターは、積層されたフィルターであって、上記フィルターに対しポリパラキシリレンを１μｍ以上成膜することを特徴としていると換言することができる。また、本発明に係る積層フィルターの製造方法は、以下の特徴を有していると換言することができる。また、上記の構成においては、主表面から裏面に対してポリパラキシリレンの膜厚が勾配を持つ状態で成膜されていることが好ましい。さらに、積層フィルターの製造方法は、上記積層されたフィルターを、主表面側の開放空間と裏面側の開放空間が不均等な状態でポリパラキシリレンを成膜する工程を含むことを特徴としていると換言することができる。
【０１４９】
〔実施の形態２〕
本発明に係る他の実施形態について、図１５に基づいて説明すれば以下の通りである。なお、本実施形態では、上記実施形態１との相違点について説明するため、説明の便宜上、実施形態１で説明した部材と同一の機能を有する部材には同一の部材番号を付し、その説明を省略する。
【０１５０】
図１５は、本実施形態の積層フィルター１０ｂを製造する製造装置の一部分を示した図である。図１５に示す製造装置を用いることにより、実施形態１で説明したフィルター素材２ａ・２ｂ・２ｃからなる骨格構造１（図１）にめっき法を用いて被覆材を成膜することができる。
【０１５１】
図１５に示すめっき用装置３４は、めっき浴３５と、めっき浴３５内に骨格構造１’を保持する保持手段３６と、めっき浴３５内にめっき液（被覆材を含むめっき液）を供給する供給手段３７とを備えている。
【０１５２】
本実施形態においても、めっき用装置３４を用いることで、上記した実施形態１と同様に、骨格構造１’の主面側の開放空間Ｐと裏面側の開放空間Ｑが不均等となった状態とすることができる。これにより、骨格構造１’の主面側には、常に新鮮なめっき液が供給され、めっきレートが経時劣化しない。一方、骨格構造１’の裏面側では、めっき液の対流（置換、交換）が起こりにくく、めっき液が劣化するため、めっきレートが経時劣化してめっき厚が薄くなる。すなわち、上記の構成とすることによって、骨格構造１’の主面側と裏面側とで、めっき厚に違いを生じさせることができる。具体的には、骨格構造１’の主面側から裏面側にかけて、めっき厚が薄くなるように形成することができる。
【０１５３】
本実施形態で説明しためっき法に用いることによって、無機材料を被膜することができる。具体的には、金属であることが好ましく、ニッケル、銅、金からなる群より選択されたものを用いることが好ましい。しかしながら、本発明はこの材料に限定されるものではなく、被膜（めっき）時に、前処理を行なうことによって、無電解めっき法を用いて金属以外の材料をフィルター素材に被膜することが可能である。無電解めっき法を用いる場合にも、上記した電解めっきと同様に、無電解めっき法において最終的に金属イオンの溶けている槽に骨格構造１’を入れる際、図１５に示す状態とすることによって、槽内に金属イオン濃度の分布が生じ、よって、骨格構造１’表面で析出させる金属量に高低差をつけることができる。以下に、フィルター素材としてアクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体（ＡＢＳ：Acrylonitrile Butadiene Styrene Copolymer）を用いた場合における、上記前処理について説明する。まず、ＡＢＳを界面活性剤の溶液に浸漬して、洗浄する。次に無水クロム酸と硫酸の混酸により処理することで、ＡＢＳを酸化溶解する。この時、ＡＢＳ成分中のアクリロニトリル−スチレンよりも、ブタジエンのほうが酸に弱いため、ブタジエンが優先的に溶解して、ＡＢＳ表面に凹凸が形成される。次に、ＡＢＳ表面に吸着したクロム酸を塩酸やヒドラジンなどにより除去する（クロム酸は後の工程にある無電解めっきの析出を妨害してしまうため）。次に、無電解めっきに必要となるパラジウムを含む塩化パラジウムと塩化錫のコロイド溶液に浸漬して、コロイドをＡＢＳ表面に吸着させる。コロイドはマイナスに帯電しているため、プラスに帯電しているシアノ基（−Ｃ≡Ｎ）と結合する。最後に、金属パラジウムを触媒として、次亜燐酸ナトリウムやホルムアルデヒドなどの還元剤で、溶液中に溶けている金属イオンを金属に還元して、ＡＢＳ表面に析出させる。このような無電解めっき法によっても、骨格構造１’の主面側から裏面側にかけて、被膜厚が薄くなるように形成することができる。
【０１５４】
〔実施の形態３〕
本発明に係る、積層フィルターを備えたインクジェットヘッドについての一実施形態を説明する。なお、以下の説明では、本発明を実施するために技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲が以下の実施形態および図面に限定されるものではない。
【０１５５】
上記実施の形態１では、図５及び図６に示したカバー台２７を用いて骨格構造１にポリパラキシリレンを被覆する構成について説明した。これに対して本実施形態では、ポリパラキシリレンを被覆する前のフィルター（骨格構造１）をインクジェットヘッドに接続し、この状態で骨格構造１をポリパラキシリレンで被覆する。
【０１５６】
図２２は、インクジェットヘッドの構成を示した斜視図であり、図２２に示すように、本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂは、ベース部材６１と、カバー部材６２と、ノズル板７６と、異方性導電フィルム（以下、これをＡＣＦという）７０と、フレキシブルプリント基板７１と、フィルター８０とを備えている。
【０１５７】
以下では、まず、フィルター８０以外の構成（ヘッド部材）について説明する。
【０１５８】
図２３は、図２２に示す構成のインクジェットヘッドの一部の構成を示し、且つ理解しやすいように一部が断面図になっている。
【０１５９】
上記ベース部材６１は、図２３に示すように、厚さ方向に分極されたＰＺＴ（ジルコン酸チタン酸鉛）基板６１ａ・６１ｂを貼り合わせて構成することができる。ベース部材６１の厚さは、約０．９ｍｍとすることができる。上記ベース部材６１には、一表面に、ダイシング加工により複数の平行な等間隔のチャンネル溝６４が形成されている。
【０１６０】
上記チャンネル溝６４は、チャンネル壁６４ａによって隣り合うチャンネル溝６４と隔てられている。上記チャンネル溝６４は、ベース部材６１の一つ側面を貫通するように設けられており、貫通部分に、後述するノズル板７６のノズル孔７７が配置されように構成されている。
【０１６１】
ベース部材６１の上記貫通部分が設けられた側面を前側面８７と呼び、該前側面８７と対向するベース部材６１の側面を後側面８８と呼ぶことにすると、チャンネル溝６４は、前側面８７から後側面８８より２ｍｍ程度の範囲まで、一定の深さで形成されており、そこから、ダイシングブレードの半径に対応したＲ形状に加工されており、後端部８８から２ｍｍ程度の範囲では、電極引き出し部として深さ約１０μｍ程度の溝になっている。
【０１６２】
チャンネル溝６４の壁には、チャンネル壁６４ａをシェアモード変形させるための電極６５が形成されている。
【０１６３】
上記電極６５の材料としては、アルミニウムや銅などが適しており、蒸着、スパッタまたはめっき法などにより形成することができるが、この方法で電極６５を形成すると、隣接するチャンネル壁６４ａ上面などの、チャンネル溝６４の内壁以外の部分にも電極６５が形成され、そのままにすると隣接するチャンネル溝６４相互が短絡した状態となってしまうので、ベース部材６１の一表面を研削加工して、各チャンネル溝６４を分離しているチャンネル壁６４ａ上に形成された電極６５を除去して、チャンネル溝６４同士を電気的に分離する必要がある。
【０１６４】
上記チャンネル壁６４ａは、基板６１ａ・６１ｂから構成されているので、チャンネル壁６４ａの高さ方向の略中央で分極方向が相反するように分極処理が施されていることなる。したがって、電極６５に電圧が印加されるとチャンネル壁６４ａと電極６５に挟まれた領域が自発的にシェアモード変形するように構成されている。
【０１６５】
尚、チャンネル溝６４の形成には、厚さ７０μｍのダイシングブレードを用い、ダイシング装置ＤＡＤ５６２（株式会社ディスコ製）を使用して行なうことができる。また、電極６５の形成は、ＲＦ（Ｒａｄｉｏ Ｆｒｅｑｕｅｎｃｙ）マグネトロンスパッタ装置を用いて、銅をスパッタリング法により被膜することができる。また、チャンネル壁６４a上面に被膜された電極材料の除去は、ダイシングブレードを用いて実施することができる。しかしながら、これらの装置や手法に限定されるものではない。
【０１６６】
ベース部材６１の上記電極引き出し部には、ＡＣＦ７０を挟んでフレキシブルプリント基板７１が圧迫、加熱されることによって電気的に接続されている（図２２）。この際、ＡＣＦ７０の特性により、チャンネルごとに電気的な独立は保たれており、各チャンネル溝６４における電極６５が同電位になるように電気的な接続が行なわれている。これにより、電極６５に外部から電圧を印加して、インクジェットヘッドを駆動することが可能となる。ＡＣＦ７０としては、例えば、ＣＰ９７４２ＫＳ（ソニーケミカル社製）を用い、１２０Ｎ、１５０℃、７０ｓｅｃの条件にて圧着することができる。
【０１６７】
このような構成を備えたベース部材６１のチャンネル壁６４ａが形成された面に、上記カバー部材６２と貼り合わされている。貼り合わせは、エポキシ系の接着剤を用いて加熱圧着によって貼り合わされるため、ベース部材６１とカバー部材６２とは熱膨張率が一致または近似しているのが好ましい。カバー部材６２をベース部材６１に接着することによって、チャンネル溝６４がインク流路７３となる。
【０１６８】
上記カバー部材６２には、図２３に示すように、全てのインク流路７３にインクを供給することができ、且つインクを一時的に貯留することができる共通インク室６３（インク室）が設けられている。すなわち、上記カバー部材６２は、上記共通インク室６３を加工しても強度的に問題がないような厚さであればよく、例えば、厚さ２ｍｍとすることができる。
【０１６９】
上記共通インク室６３は、カバー部材６２におけるベース部材６１との対向面とは反対側の面に形成されたインク供給口６８と連通している。インクは、外部からインク供給口６８を介して共通インク室６３に供給される。インク供給口６８は、ベース部材６１と貼り合せる前のカバー部材６２に対してレーザーを用いることによって作製することができる。
【０１７０】
さらに、上記共通インク室６３は、チャンネル溝６４（インク流路７３）との連通部分において、チャンネル溝６４（インク流路７３）の長さ方向に広がっている。本実施形態では、この広がった部分を間隙部６７（図２３）と呼ぶ。
【０１７１】
上記間隙部６７は、図２３に示すように、カバー部材６２の下面において、共通インク室６３と同様にインク流路７３同士を接続するように形成されている。すなわち、間隙部６７も共通インク室６３と同様に、内部にインクを溜めることができるように構成されている。
【０１７２】
共通インク室６３及び間隙部６７は、図２２に示すようにカバー部材６２の一側面において開口した開口穴６９を形成している。この開口穴６９は、インクを排出する機能を有し、インク流路７３への気泡の混入による不吐出に対し一定量のインクを排出することによって、混入した気泡を排出し、不吐出状態から吐出状態へ回復させる回復動作の役目を担う。
【０１７３】
尚、開口穴６９は、図２２に示すカバー部材６２の一側面の対向面にも設けられている。
【０１７４】
図２４は、本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂを、チャンネル溝６４が長手方向に切断されるように、図２３に示す切断線Ｂ−Ｂ’において切断した状態を示した矢視断面図である。尚、図２４においては、ＡＣＦ７０と、フレキシブルプリント基板７１とがベース部材６１に配設された状態の断面図である。
【０１７５】
図２４において領域Ａは、主にインク吐出に必要な圧力を発生するチャンネル壁６４ａがカバー部材６２と接合されている領域であり、インク吐出に寄与するシェアモード変形は主にこの領域Ａで発生する。すなわち、領域Ａにおいて、与えられた電気信号に応じてインク吐出のための加圧を行なったり、インクをインク流路７６に供給するための減圧を行なったりする。ここでは領域Ａをアクティブ領域と呼ぶ。
【０１７６】
図２４において領域Ｂは、共通インク室６３の領域である。そして、領域Ａと領域Ｂとの間に、間隙部６７を含む領域Ｃが構成されている。インク供給口６８から供給されたインクは、共通インク室６３に溜められてインク流路７３に随時供給され、インク流路７３に流入したインクはシェアモード変形によってノズル孔７７から吐出される。間隙部６７が形成されている領域Ｃと、共通インク室が位置する領域Ｂとは、チャンネル壁６４aの上面がカバー部材６２と接合しておらず、インク吐出にはあまり寄与しない領域である。
【０１７７】
インクが吐出される際、インク流路７３のアクティブ領域Ａ内で生じる圧力波は、インクの供給の向きとは逆向きに間隙部６７を経由して共通インク室６３の方向へ進行していく波と、チャンネル壁６４ａに挟まれた空間と間隙部６７との界面で反射する波と、チャンネル壁６４ａに挟まれた空間と共通インク室６３との界面で反射する波とに分かれる。本実施の形態においては、チャンネル壁６４ａに挟まれた空間と共通インク室６３及び間隙部６７との界面で反射してアクティブ領域Ａに戻る圧力波は少ない。大部分の圧力波が間隙部を通過して共通インク室６３へと向かう。圧力波は間隙部６７を通過する際にインクの大きな粘性抵抗により吸収、減衰しながら共通インク室６３へと進行する。したがって、圧力波の残留振動を抑制することができ、印字データに忠実な高速かつ高品質な印字が可能となる。
【０１７８】
本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂは、さらに、上記フィルター８０を備えていることを特徴としている。フィルター８０を備えることにより、インク内部、配管などのインク流路に存在するダストが数十μｍオーダーのノズル孔７７に詰まって不吐出状態になることを回避することができる。
【０１７９】
さらに、本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂには、電極６５を含むインクジェットヘッド内部に、電極６５をインクから絶縁、保護することを目的として有機保護膜が形成されている。
【０１８０】
ここで、図３２に示した従来構成の場合、間隙部への有機保護膜の被膜、及びフィルターの接続において以下の３点の問題点が発生していた。
（問題点１）
従来技術における図３２にて前述したインクジェットヘッドに対し、有機保護膜抜きの間隙部の深さが一定の状態にて有機保護膜を形成した場合の、図３２におけるインクジェットヘッド断面図Ｃ−Ｃ’の一部拡大図を図２５に示す。さらに、図２６を参照して、図３２のインクジェットヘッドに対するモノマーガスの流れを説明する。尚、簡略化のため、ノズル板、フレキシブルプリント基板、ＡＣＦなどは図示していない。図２６におけるモノマーガスの導入状態を示す矢印３７４の大きさに表されるように、インクジェットヘッドにおいてチャンネル溝３６４と比較し大きな開口面積を持つ共通インク室３６３の一部であるインク供給口３６８、インク排出口３６９より主にモノマーガスが導入されるため、共通インク室３６３と連通している間隙部３６７においてもインクジェットヘッド側面側よりモノマーガスが順次ポリマー化されることにより、インクジェットヘッド中央部側に向かって薄くなる膜厚勾配を持ってしまう。ここで、チャンネル壁３６４ａの上面と間隙部３６７の上面との距離を「有機保護膜抜きでの間隙部の深さ」といい、チャンネル壁３６４ａ上の有機保護膜３６６表面と間隙部３６７上の有機保護膜３６６表面との距離を「間隙部の実深さ」と、図２５のように中央部側の間隙部で極端に有機保護膜３６６が薄くなってしまうことにより、中央部側での間隙部の実深さが大きくなり、結果的にチャンネル間で間隙部の実深さが異なることにより、チャンネル間において残留振動の抑制効果が異なり、高周波における吐出特性がチャンネル間でばらつく問題が発生してしまう。
（問題点２）
インクジェットヘッドに対してダストの混入量を少なくするには、接続するフィルターとインクジェットヘッド間の距離を出来るだけ短くするほうが好ましいが、従来のように有機保護膜を被膜した後のインクジェットヘッドに対してフィルターを直接接着剤で接続した場合、接着・硬化することによる接着剤の熱収縮により有機保護膜が剥離し膜質が劣化してしまう。
（問題点３）
インクジェットヘッドに対してフィルターを接続する作業自体によってダストが混入してしまい、ノズル孔を詰まらせて不吐出状態になってしまう。
【０１８１】
そこで、本実施形態では、以下に説明する方法によって、インクジェットヘッドの間隙部における有機保護膜の膜厚勾配を考慮しつつ、なおかつ有機保護膜が被膜されたインクジェットヘッド表面におけるフィルター接続部の膜質劣化を防ぎ、フィルター接続時のダスト混入を防止することができる。
【０１８２】
本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂでは、図２７に示すように、上記インク供給口６８の幅Ａを、ノズル列の幅Ｂと同じか、それより大きく構成するとともに、間隙部６７とインク供給口６８との距離が一定になるようノズル列とインク供給口６８とが平行となっている。この構成により、インクジェットヘッド内部に対して有機保護膜が被膜される場合は、図２６におけるモノマーガスの導入状態を示す矢印７４の大きさの差に示す通り、面積比の大きなインク供給口６８におけるモノマーガス流入量がインクジェットヘッド内部における被膜量の勾配に対して支配的になるため、間隙部６７と平行な状態で形成されているインク供給口６８の形状に伴い間隙部６７における有機保護膜６６の付きまわりが均一化される。これにより、上記（問題点１）を解決することができ、どのチャンネルにおいても高周波における吐出特性が一定した安定した駆動を行なうことのできるインクジェットヘッドを提供することができる。
【０１８３】
さらに、有機保護膜６６にポリパラキシリレン、及びその誘導体を用いれば、被覆効率が高く、被覆制御を容易に行なうことができる。さらに、膜厚勾配を予め考慮した状態にて間隙部の深さを設定し、有機保護膜が被膜された後に各チャンネルにおいて一定の深さの間隙部を得ることができ、結果的に、各チャンネルの高周波における吐出特性に差が発生することを防止することができる。さらに、耐薬品性に優れているため、使用するインクの適用範囲を広げることが可能となる。
【０１８４】
尚、有機保護膜６６はインクジェットヘッド内部およびフレキシブルプリント基板７１のあらゆる部分に被膜されるため、被膜不要部分であるフレキシブルプリント基板７１の配線部にはマスキングテープ等でマスクして被膜を防止することが好ましい。
【０１８５】
そして本実施形態のインクジェットヘッド４０ｂでは、カバー部材６２におけるインク供給口６８が形成されている面に、ポリパラキシリレンの被膜を形成する前のフィルターの骨格構造１を接着固定する。カバー部材６２に接着固定した骨格構造１に、ポリパラキシリレンの被膜を形成する方法は、上記実施の形態１と同じである。
【０１８６】
図２８（ａ）は、フィルターの骨格構造１を接続した状態のインクジェットヘッド４０ｂの斜視図であり、図２８（ｂ）は、図２８（ａ）に示す構成を切断線Ａ−Ａ’によって切断した状態を示した矢視断面図である。
【０１８７】
ここで、上記実施の形態１では、図６で示したようにインクジェットヘッド側の開放空間Ｑがその裏面側の開放空間Ｐより狭いことにより、開放空間Ｐ、Ｑにおける被膜量に差を発生させているが、本実施の形態では、上記実施の形態１のカバー台２７の効果を、インクジェットヘッドのカバー部材６２によって果たしている。すなわち、カバー部材６２の上方の開放空間を上記開放空間Ｐとして、且つ共通インク室６３を開放空間Ｐよりも狭い上記開放空間Ｑとすることによって、カバー部材６２に接着固定した骨格構造１のフィルター素材２ａ〜２ｃに対して、互いに異なる被膜量の被膜を形成することができる。
【０１８８】
そして、このように骨格構造１をカバー部材６２に固定して有機保護膜を形成することにより、フィルターに対しても被膜するのみならず、インクジェットヘッド内部に対しても同時に有機保護膜を形成することができる。
【０１８９】
また、骨格構造１をカバー部材６２に固定した状態で有機保護膜を形成することから、有機保護膜上にフィルター固定のための接着剤を硬化させる必要が無くなり、有機保護膜上における接着剤の熱収縮による膜質劣化（上記（問題点２））を防止することができる。
【０１９０】
さらに、骨格構造１をカバー部材６２に固定した状態で有機保護膜を形成することから、フィルター接続の際に混入したダスト（上記（問題点３））を有機保護膜によってフィルター及びインクジェットヘッドと一体化させることができる。これにより、完成したインクジェットヘッドを使用する際に上述したダストが下流に排出される虞はなく、良好なフィルタリングを実現することができる。
【０１９１】
また、上記の構成によれば、接着剤の上に有機保護膜を被膜することになるので、接着剤がインクに接触することがなくなるため、耐薬品性の仕様である接着剤を使用する必要がなくなり、インクに対して接着剤が腐食される危険性を防止することができる。
【０１９２】
また、フィルターからインクジェットヘッドにおけるインク流路全面が有機保護膜によって親水性を持つ状態であるのに対して、インク吐出方向側におけるノズル板表面のみに撥水性を持つノズル板を接着することによって、親撥水のコントラストが良好な状態にてノズル付近によるメニスカスが形成され、着弾精度の良好なインクジェットヘッドを提供することができる。
【０１９３】
本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドの製造方法は、ベース部材に形成されたインク室を隔てるチャンネル壁と、チャンネル壁の上面の少なくとも一部に接合されたカバー部材を有するインクジェットヘッドにおいて、フィルターが接続された状態にて有機保護膜を被膜することを特徴としていると換言することがでいる。
また、本発明に係る、被膜が形成されたフィルターを有するインクジェットヘッドについても、ベース部材に形成されたインク室を隔てるチャンネル壁と、チャンネル壁の上面の少なくとも一部に接合されたカバー部材を有するインクジェットヘッドにおいて、インクジェットヘッドにフィルターが接続され、インク室からフィルターまでの流路で有機保護膜のみがインクに接していることを特徴としていると換言することができ、上記の構成において、チャンネル壁とカバー部材とが接合されている面の延長上にほぼ平面的に広がり、圧力波を減衰するための間隙部を備えていることが好ましい。
【０１９４】
なお、本発明は上述した各実施の形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
【０１９５】
以下、本発明を実施例及び比較例に基づいて詳細に説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。
【実施例】
【０１９６】
図７に示した積層フィルター１０の骨格構造１として、メッシュ数（１インチ当たりの貫通孔数）が８０×７００で、線径０．０１８５ｍｍであるステンレス製の綾畳み織りのフィルター（孔径３１μｍ）を７枚積層させた骨格構造を用いた。７枚を積層させた後、厚みが０．５±０．０５ｍｍになるように加圧、焼結し、ワイヤーカットで切り抜いた。
【０１９７】
被膜の形成は、図４に示した蒸着装置２０を用いた。骨格構造１を図５に示した支持部２９上に配置し、蒸着工程中、蒸着装置２０内を、真空ポンプ２５によって真空度が１０〜５００ｍＴｏｒｒに保たれるように設定した。また、昇華炉２１内は１００℃〜２００℃、熱分解炉２２内は４５０℃〜７００℃、成膜槽２３内は室温、コールドトラップ部２４は−７０〜−９０℃の各温度に保持した。本実施例においては、上記した化学構造式（４）に示したポリモノクロロパラキシリレンを用いた。成膜前の成膜槽２３内の真空状態を１〜１０ｍＴｏｒｒとし、昇華炉２１を１３０℃から段階的に１８０℃まで上げることによって成膜を行った。また、その条件における成膜槽２３内の最大圧力は３５ｍＴｏｒｒであった。本実施例においては、前述した条件によりダイマーを１１０ｇ用いて成膜した。
【０１９８】
図１６は、積層フィルターにおける各フィルター素材に対するポリモノクロロパラキシリレンの膜厚を示すグラフである。膜厚の測定は、成膜後の積層フィルターを切断して行なった。図１６におけるフィルター素子番号１〜７は、積層した個々のフィルター素子を示し、フィルター素子番号７が図６における開放空間Ｐ側（主面側）であり、フィルター素子番号１が開放空間Ｑ側（裏面側）である。
【０１９９】
カバー台２７を用いてポリモノクロロパラキシリレンを成膜したことによって、図１６に示されるように、開放空間が狭まった状態の裏面側（図１６のフィルター素子番号１）ではポリモノクロロパラキシリレンの付きまわりが悪く、開放空間が広い主面側のフィルター素子（図１６のフィルター素子番号７）と比較してポリモノクロロパラキシリレンの膜厚が減少していた。具体的には、フィルター素子番号７において１１．６μｍ、フィルター素子番号１において３．８μｍのポリモノクロロパラキシリレン膜が成膜されていた。
【０２００】
このように、骨格構造１の一方の表面の開放空間を制限することによって、一方の表面及び他方の表面とでポリモノクロロパラキシリレンの付きまわりに差を生じさせた積層フィルターを製造することができた。
【０２０１】
以下に、製造した積層フィルターのフィルタリング性能などについて検証した結果を示す。検証には比較対照として次のような積層フィルターを製造した。
【０２０２】
〔比較例〕
実施例で説明した積層フィルターに代えて、図１７に示す積層フィルターを用いた。すなわち、図１７に示す積層フィルターは、図１７に示す積層フィルター５０は、７枚のフィルター素材が積層して設けられており、各フィルター素材には互いに大きさの異なる貫通孔が設けられている。最も貫通孔の孔径の大きなフィルターは、貫通孔数が４００の平織りフィルターであり、最も貫通孔の孔径の小さなフィルターは、貫通孔数が１８０×１４００の綾畳織りフィルターである。このような７枚のフィルター素材を、貫通孔の孔径が大きいものから順に積層して焼結している。図中の矢印は、液体の流路方向を示すものであり、貫通孔の孔径が大きいフィルター素材側から流す構成である。公称濾過粒度が７μｍに設定されている。
【０２０３】
まず、比較例の積層フィルターと、本発明の積層フィルターとを用いてダストの挟み込み状態を評価した。
【０２０４】
なお、本発明の積層フィルターとしては、上記した実施例に記載の条件下において、ダイマーを１４．５ｇ・２８．９ｇ・４３．４ｇ・５７．９ｇ用いて、開放空間が制限された状態で成膜された裏面側（図１６のフィルター素子番号１）のポリモノクロロパラキシリレン膜厚がそれぞれ０．５μｍ・１．０μｍ・１．５μｍ・２．０μｍである積層フィルターを使用した。
【０２０５】
評価方法としては、実施例及び比較例の各積層フィルターを、水をいれたタンクに入れて超音波洗浄した後、その洗浄液を分取して、分取液中の粒子をパーティクルカウンターで計測して粒子濃度を算出することによって行なった。超音波周波数は４０Ｈｚ、超音波出力は４８０Ｗ、各分取量は１０ｍＬとした。パーティクルカウンターには、Particle Measuring Systems 社製表面付着粒子検査ステーションSurfex-200（内蔵パーティクルセンサー型式Liquilaz-E20）を用いた。
【０２０６】
図１８に評価結果を示す。図１８から、比較例の積層フィルターにおける結果では、最初の１分間で外部に付着している比較的取れやすいダストが洗浄されていることがわかるが、その後もフィルターの内部から少しずつダストは排出され続け、２時間後の状態でもまだダストをとりきれていないことがわかる。
【０２０７】
また、本発明の製造方法によって製造されたポリモノクロロパラキシリレン膜厚が０．５μｍ成膜された積層フィルターであっても、ポリモノクロロパラキシリレンが十分にダストを固定しきれていないことより、ダストの排出が洗浄２時間後も続く状態となっていることが示された。
【０２０８】
一方、１μｍ以上のポリモノクロロパラキシリレン膜を本発明の製造方法によって成膜した積層フィルターでは、開始して１分後に外部に付着していた比較的除去し易いダストが洗浄された後は、１時間経過してもダストがほとんど排出されていないことが確認できた。なお、１時間後に見られる僅かなダストは、その排出量のオーダーが、タンクにフィルターを入れないで洗浄操作を行なったリファレンスの排出量のオーダーと同じであったことから、測定系に存在していたダストであると考えられる。
【０２０９】
以上の結果から、ポリモノクロロパラキシリレンが１μｍ以上成膜された本発明の積層フィルターにおいては、ダストをフィルター素子に固定できていることが示された。
【０２１０】
最後に、本実施例の積層フィルターのフィルタリング性能を検証した。
【０２１１】
本実施例では、上記したフィルター素子番号７において１１．６μｍ、フィルター素子番号１において３．８μｍのポリモノクロロパラキシリレン膜が成膜された積層フィルターを用いて測定した。
【０２１２】
検証方法は、或る粒度分布を持つトナー入りの水を流した際のトナーの状態を、積層フィルター通過前（以下、これを積層フィルター上流という）、及び積層フィルター通過後（以下、これを積層フィルター下流という）にてパーティクルカウンターで計測することによって行なった。トナーは、７μｍを中心に山なりの粒度分布を持つものと、標準粒子である９．６μｍのトナーを混ぜ合わせたものを使用した。
【０２１３】
図１９（ａ）・（ｂ）に、検証結果を示す。図１９（ａ）は、実施例の積層フィルターの評価結果であり、図１９（ｂ）は比較例の積層フィルターの評価結果である。図１９（ａ）に示されたように、実施例の積層フィルターを用いることによって、積層フィルター下流に、上記したサイズのトナーが含まれていないことが示された。これにより、フィルタリング性能に問題ないことが示された。
【０２１４】
なお、本実施例の積層フィルターは、公称濾過粒度（濾過率５０％の粒度）が７μｍ相当であることが示された。
【産業上の利用可能性】
【０２１５】
本発明に係る積層フィルターの製造方法によれば、簡易な手法により、互いに孔径の異なる貫通孔を有する複数のフィルター素材が積層された積層フィルターを提供することができる。これにより、ダストレスであるとともに、ダストの大きさによって捕獲するフィルターの層を変化させ、同一面で捕獲するダスト量を減らすことによってフィルターの目詰まりを防止できる積層フィルターを提供することができる。
【０２１６】
従って、このような積層フィルターをインクジェットヘッドに適用できる。さらには、電気・電子部品の製造装置内や、医療・食品の製造機器にも適用でき、生体内への適用も可能である。
【図面の簡単な説明】
【０２１７】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る積層フィルターの骨格構造を示す斜視図である。
【図２】図１に示した骨格構造を構成するフィルター素材の構造を示した斜視図である。
【図３】図１に示した骨格構造を切断線Ａ−Ａ’において切断した状態を示した矢視断面図である。
【図４】本発明の第１の実施形態に係る積層フィルターを製造するための蒸着装置の構成を示した図である。
【図５】図４に示した蒸着装置の一部分の構成を示した図である。
【図６】図４に示した蒸着装置を用いて図１に示した骨格構造に被膜を形成している状態を示した図である。
【図７】図４に示した蒸着装置を用いて図１に示した骨格構造に被膜を形成してできた積層フィルターの断面図である。
【図８】或る液体中に存在するダストの粒度分布を示したグラフであるとともに、図７に示した積層フィルターの各フィルター素材の構成を示している。
【図９】或る液体中に存在するダストの粒度分布が正規分布である場合の積層フィルターの構成について説明した図である。
【図１０】本発明に係る積層フィルターの骨格構造の他の構成を示した斜視図である。
【図１１】本発明に係る積層フィルターの製造方法に用いられる装置の他の構成を示した図である。
【図１２】本発明に係る積層フィルターが設けられた本発明に係るインクジェットヘッドの構成を示した断面図である。
【図１３】図１２に示したインクジェットヘッドを備えたプリンターの構成を示した斜視図である。
【図１４】図７に示した積層フィルターの他の構成を示した斜視図である。
【図１５】本発明に係る積層フィルターの製造方法に用いられる装置の他の構成を示した図である。
【図１６】本実施例において製造した積層フィルターにおける各フィルター素材の被膜厚を測定した結果を示したグラフである。
【図１７】比較例において用いた積層フィルターの構成を示す図である。
【図１８】本実施例において製造した互いに被膜厚の異なる積層フィルターにおいて、ダストの流出量を測定した結果を示すグラフである。
【図１９】積層フィルターのフィルタリング性能を測定した結果を示すグラフであり、（ａ）は本実施例において製造した積層フィルターの結果を示すグラフであり、（ｂ）は、比較例において用いた積層フィルターの結果を示すグラフである。
【図２０】従来技術の積層フィルターを示すものであり、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は積層する前の状態を示した斜視図である。
【図２１】従来技術の積層フィルターを示すものであり、（ａ）は平面図を示し、（ｂ）は積層時の状態を示した斜視図である。
【図２２】本発明に係る他の実施形態におけるインクジェットヘッドの構成を示した斜視図である。
【図２３】図２２に示したインクジェットヘッドの一部の構成を示した斜視図である。
【図２４】図２３に示したインクジェットヘッドを切断線Ｂ−Ｂ’において切断した状態を示した矢視断面図である。
【図２５】従来技術の構成であり、図３２に示すインクジェットヘッドを切断線Ｃ−Ｃ’において切断した状態を示した矢視断面図である。
【図２６】従来構成のインクジェットヘッドを示した斜視図である。
【図２７】図２２に示したインクジェットヘッドの一部の構成を示した斜視図である。
【図２８】（ａ）は、図２２に示したインクジェットヘッドの一部の構成を示した斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示したインクジェットヘッドを切断線Ａ−Ａ’において切断した状態を示した矢視断面図である。
【図２９】従来技術に基づくシェアモード変形型のインクジェットヘッドにおける斜視図である。
【図３０】図２９に示したインクジェットヘッドを切断線Ａ−Ａにおいて切断した状態を示した矢視断面図である。
【図３１】従来技術に基づくシェアモード変形型のインクジェットヘッドにおける斜視図である。
【図３２】従来技術に基づくシェアモード変形型のインクジェットヘッドにおける斜視図である。
【符号の説明】
【０２１８】
１  骨格構造（フィルター積層体）
２ａ〜２ｃ    フィルター素材
３ａ〜ｃ  貫通孔
３ａ’〜ｃ’  ポリパラキシリレン（有機材料）が被膜された貫通孔
４ａ〜４ｃ  孔軸
１０ａ，１０ａ’，１０ｂ    積層フィルター
２０    蒸着装置
２１    昇華炉
２２    熱分解炉
２３    成膜槽
２４    コールドトラップ部
２５    真空ポンプ
２６    配管
２７，２７’    カバー台
２８    本体部
２８ａ  穴部
２９    支持部
３０    モノマーガス排出手段
３１    ポリパラキシリレン（有機材料）
３３    不活性ガス（防御ガス）排出手段
３４    めっき用装置
３５    めっき浴
３６    保持手段
３７    供給手段
３８    Ｏリング
４０ａ，４０ｂ    インクジェットヘッド
４１    インクタンク
４２    インクノズル
４３    連結管
５０    プリンター
５１    筐体
５２    シートガイド
５４    保持シャフト
６１    ベース部材      
６２    カバー部材
６３    共通インク室
６４    チャンネル溝
６５    電極
６６    有機保護膜
６７    間隙部
６８    インク供給口
６９    インク排出口
７０    異方性導電フィルム（ＡＣＦ）
７１    フレキシブルプリント基板
７３    インク流路
７６    ノズル板
７７    ノズル孔
７８    導電性樹脂
８７    前側面
８８    後側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
2007181818.tif 000029
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
2007181818.tif 000033
【図２６】
2007181818.tif 000034
【図２７】
2007181818.tif 000035
【図２８】
2007181818.tif 000036
【図２９】
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【図３０】
2007181818.tif 000038
【図３１】
2007181818.tif 000039
【図３２】
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