(57)【要約】      （修正有）【課題】効率的にワークを搬送かつ保管でき、ラックの外部との間でワークの搬送形態を変更できるようにする。【解決手段】第１のスタッカークレーン８と第２のスタッカークレーン１４とをコンベヤで接続し、停止／起動が他のユニットとは独立して制御自在でかつスタッカークレーン１４との間の移載位置を備えた複数のユニットで構成する。コンベヤはスタッカークレーン１４の走行経路に沿って設けたラック１２，１３の上部に設け、ラック１２，１３には段ばらし装置２３と段積み装置２４とを設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定の搬送方向に沿ってワークを搬送する第１の搬送装置と、
第１の搬送装置の搬送方向と直角な方向に走行してワークを搬送するスタッカークレーンと、
複数の区間からなりかつ前記スタッカークレーンの走行方向に沿って設けられ、前記第１の搬送装置と前記スタッカークレーンとの間でワークを搬送し、さらに前記各区間が、他の区間と独立して停止／起動できかつ前記スタッカークレーンとの間でワークを受渡し自在なコンベヤ、とを備えた搬送システム。
【請求項２】
前記コンベヤを、前記スタッカークレーンの走行経路のほぼ全長に渡って設けたことを特徴とする、請求項１の搬送システム。
【請求項３】
前記第１の搬送装置と前記コンベヤ並びに前記スタッカークレーンはワークを複数集積して搬送すると共に、
前記コンベヤをワーク保管用のラックに設けて、前記スタッカークレーンによりコンベヤとラックの棚との間でワークを移載し、さらにラックに集積されたワークを切り出すための切り出し装置と、切り出されたワークを集積するための集積装置とを設けたことを特徴とする、請求項１または２の搬送システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は搬送システムに関し、特にワークをトレイに載置して搬送するシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
出願人は液晶パネルやＥＬパネルなどのガラス基板や半導体ウェハーなどのワークをトレイに載せて搬送することを検討した。そして出願人は、積層が容易でかつワークの出し入れが自在なトレイの構造を提案した（特許文献１）。次に出願人は、このようなトレイの段積みと段ばらしとができる装置を提案した（特許文献２）。
【特許文献１】特開２００５−９３５８５号公報
【特許文献２】特開２００５−８９０４８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、ワークの搬送を効率的に行える搬送システムを提供することにある。
請求項２の発明での追加の課題は、ワークの搬送をさらに効率的にすることにある。
請求項３の発明での追加の課題は、第１の搬送装置からラックまでの間はワークを複数集積して搬送し、ラックの外部には個々のワークを切り出してあるいはより少ない集積枚数で供給できるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明の搬送システムは、所定の搬送方向に沿ってワークを搬送する第１の搬送装置と、第１の搬送装置の搬送方向と直角な方向に走行してワークを搬送するスタッカークレーンと、複数の区間からなりかつ前記スタッカークレーンの走行方向に沿って設けられ、前記第１の搬送装置と前記スタッカークレーンとの間でワークを搬送し、さらに前記各区間が、他の区間と独立して停止／起動できかつ前記スタッカークレーンとの間でワークを受渡し自在なコンベヤ、とを備えたものである。
【０００５】
好ましくは、前記コンベヤを、前記スタッカークレーンの走行経路のほぼ全長に渡って設ける。ここにほぼ全長とは、スタッカークレーンの走行経路の反対側の端部付近などの位置を除いても良いことを意味する。
【０００６】
また好ましくは、前記第１の搬送装置と前記コンベヤ並びに前記スタッカークレーンはワークを複数集積して搬送すると共に、前記コンベヤをワーク保管用のラックに設けて、前記スタッカークレーンによりコンベヤとラックの棚との間でワークを移載し、さらにラックに集積されたワークを切り出すための切り出し装置と、切り出されたワークを集積するための集積装置とを設ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明ではスタッカークレーンと並行にコンベヤがワークを搬送するので、搬送効率が向上する。そしてコンベヤは区間毎に独立して停止／起動できるので、ワークをバッファでき、また区間毎にスタッカークレーンとの間でワークを受け渡しできるので、スタッカークレーンがワークを持って走行する距離を短くできる。このため極めて効率的にワークを搬送できる。  
【０００８】
ここでスタッカークレーンの走行経路のほぼ全長に渡ってコンベヤを設けると、スタッカークレーンがワークを持って走行する距離をさらに短くできる。スタッカークレーンの作業は、コンベヤとの間でワークを受け渡しすることと、無走行であるいは短距離走行で、コンベヤ以外のラックなどにワークを受け渡しすることに限られる。
【０００９】
コンベヤをワーク保管用のラックに設け、ラックに集積されたワークを切り出すための切り出し装置と、切り出されたワークを集積するための集積装置とを設けると、スタッカークレーンまではワークを載置したトレイを積層してあるいはワークをカセットに収容して搬送し、ラックから外部へは個々のワークなどの単位で搬送できる。このようにラックでワークの搬送形態を変更できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図３に、実施例の搬送システム２を示す。各図において４は第１の自動倉庫で、１０はこれに接続した第２の自動倉庫で、６，７は第１の自動倉庫４のラックで、１２，１３は第２の自動倉庫１０のラックである。自動倉庫４には１台〜複数台のスタッカークレーン８を配置し、これが第１の搬送装置に対応する。第２の自動倉庫１０には１台〜複数台のスタッカークレーン１４を配置し、実施例では２台のスタッカークレーン１４，１４を配置する。第１の自動倉庫４に第２の自動倉庫１０を直角に複数接続し、また第１の自動倉庫４にはラック６，７を設けず、単にスタッカークレーン８を走行させて、第２の自動倉庫１０，１０の間でワークを載置したトレイの積層体１６を搬送するだけでも良いあるいは自動倉庫４に代えて単に長距離コンベヤを設けても良い。
【００１２】
ワークの種類は液晶パネルの基板やＥＬパネルの基板、あるいは半導体ウェハーなどとし、搬送システム２はクリーンルーム内に設ける。第２の自動倉庫１０ではラック１２，１３の長手方向に沿ってその全長に渡るコンベヤ１８（図２，図３）を設け、好ましくはラック１２，１３の天井部にコンベヤ１８を設ける。また第２の自動倉庫１０と例えば直角な方向に工程内コンベヤ２０，２１を設け、工程内コンベヤ２０，２１をループ状に接続し、自動倉庫１０の段ばらし装置２３から供給されたトレイ積層体１６ｂあるいは個々のトレイが工程内コンベヤ２１から自動倉庫１０内の段積み装置２４へと１周して戻るようにする。２２はコンベヤ付きターンテーブルで、自動倉庫４，１０の接続部に、ここではスタッカークレーン１４から見て後述のステーション６，２７の手前の位置に設け、トレイ積層体１６の向きを例えば９０°水平面内で回転させる。実施例ではラック１２，１３の双方にコンベヤ付きターンテーブル２２を設けたが、少なくともその一方に設ければよい。
【００１３】
２６，２７はラック６に設けたステーションで、ステーション２６はスタッカークレーン８からトレイ積層体１６を積み下ろすステーションで、ステーション２７からトレイ積層体１６をスタッカークレーンへ移載する。またステーション２６，２７にはコンベヤが設けられ、ラック１２，１３上のコンベヤと接続してある。
【００１４】
２５はコントローラで、搬送システム２を制御し、特にスタッカークレーン８，１４，コンベヤ１８，ターンテーブル２２，段ばらし装置２３，段積み装置２４などを制御する。ワークの搬送形態は、スタッカークレーン８，１４やラック１２，１３上のコンベヤ１８では、トレイ積層体１６もしくはこれを収容したカセットである。これに対してコンベヤ２０，２１での搬送形態は、個々のトレイもしくはトレイ積層体１６よりも少ない枚数だけトレイを積層したトレイ積層体１６ｂである。
【００１５】
図２に示すように、スタッカークレーン１４は昇降台２８をマスト２９に沿って昇降させ、スライドフォークなどの移載装置３０を備えて、トレイ積層体１６を移載する。なお第１の自動倉庫４のスタッカークレーン８も同様の構成とする。ラック１２，１３に設けるコンベヤ１８はコンベヤユニット３２を複数搬送方向に沿って直列に接続したもので、各コンベヤユニット３２にはモータＭ１を設けて、コンベヤユニット３２のローラコンベヤをユニット毎に独立して制御する。また好ましくは各コンベヤユニット３２に、少なくとも複数のコンベヤユニットに、リフタ３４を設けてモータＭ２で駆動し、スタッカークレーン１４の移載装置３０でトレイ積層体の受け渡しができるようにする。
【００１６】
段ばらし装置２３と段積み装置２４は構造は同じもので、シリンダ３９により水平方向に出退する一対の出退コンベヤ３８，３８と、トレイの側面に設けられトレイのフランジの底部あるいはトレイの側面をチャックするチャック４０と、トレイ積層体を昇降させるパンタグラフ機構４６とを備えている。３６は上側のトレイ積層体で、チャック４０により支持され、４２は出退コンベヤ３８で支持されたトレイで、４４は下部のトレイ積層体で、パンタグラフ機構４６により支持されている。そしてラック１２には例えば上下２段に棚を設ける。
【００１７】
段ばらし装置２３はスタッカークレーン１４からトレイ積層体１６を供給され、そのうち任意の高さ位置のトレイを任意の枚数だけ切り出して、コンベヤ２０へと供給する。段ばらしではトレイ積層体をパンタグラフ機構４６で上昇させ、次いで切り出しが不要なトレイの底部に向けてチャック４０を前進させる。なおチャック４０を高さ方向に複数並列に設けると、１回に切り出すトレイの枚数を自由に変更できる。次にパンタグラフ機構４６を下降させ、切り出すトレイのフランジ底部へ向けて出退コンベヤ３８を進出させ、これよりも下側のトレイ積層体４４をパンタグラフ機構４６で下降させる。この後、出退コンベヤ３８でトレイ４２を１枚あるいは複数枚積層してコンベヤ２０へと切り出す。
【００１８】
段ばらし装置２３も段積み装置２４も構造は共通にでき、例えばトレイ積層体１６の高さ方向の中間位置に新たなトレイを段積みする場合、これよりも上側のトレイをチャック４０で支持し、下側のトレイをパンタグラフ機構４６と共に下降させ、その間にコンベヤ２１からトレイを搬入して、パンタグラフ機構４６を上昇させて、新たに搬入したトレイと下側のトレイ積層体とを合体する。パンタグラフ機構４６をさらに上昇させて上側に待避させたトレイ積層体と合体させると、段積みができる。コンベヤ２０，２１でトレイを枚葉搬送する場合、段積み装置２４では次の搬送先が共通のトレイを高さ方向に集めるのが好ましい。
【００１９】
実施例の動作を示す。スタッカークレーン８により搬送されたトレイ積層体１６はステーション２６へ荷下ろしされ、ラック１２上のコンベヤ１８へと搬送される。ここでラック６，７の上部にも、コンベヤ１８と同様のコンベヤを設けると、スタッカークレーン１４と同様に、スタッカークレーン８の負担も軽減できる。ステーション２６へ荷下ろしされたトレイ積層体１６はラック１２に沿ってコンベヤ１８により搬送され、ラック１２，１３に保管する場合、スタッカークレーン１４によりコンベヤからラック１２，１３の棚内への移載を行う。また工程内コンベヤ２０側へ搬出する場合、スタッカークレーン１４によりコンベヤ１８やラック１２，１３の棚から段ばらし装置２３へと移載し、段ばらし装置２３で所要のトレイを切り出して工程内コンベヤ２０へと搬送する。
【００２０】
この間２台のスタッカークレーン１４はほとんど走行せずに、コンベヤ１８トラック１２，１３間でトレイ積層体１６を移載すれば良い。また各ユニット３２をトレイ積層体のバッファやスタッカークレーン１４との間の移載ステーションとして使用できる。
【００２１】
工程内コンベヤ２０から図示しない処理装置へとトレイ内のワークを供給し、処理済みのワークをトレイに載置して工程内コンベヤ２１から段積み装置２４へと供給して段積みする。段積み装置２４からスタッカークレーン１４によりトレイ積層体１６を取り出し、ラック１３側のコンベヤへ移載する。図１に示すように、ラック１３側に戻ってきたトレイ積層体１６は、最初と向きが９０°変わっている。そこでターンテーブル付きコンベヤ２２でトレイ積層体１６を例えば９０°回転させて、トレイ積層体１６の向きを揃える。この後トレイ積層体１６をステーション２７へと搬出し、スタッカークレーン８でラック６，７内の所定位置や、次のステーションへと搬送する。
【００２２】
実施例では、任意のコンベヤユニット３２でスタッカークレーン１４との間でトレイ積層体１６の移載が自在である。図１の右側のスタッカークレーンへ供給するトレイ積層体１６も、コンベヤ１８から直接供給できる。ユニット３２がコンベヤ１８の区間に対応し、各区間毎にスタッカークレーン１４、１４との間でトレイ積層体１６の移載が自在である。さらに各ユニット３２は独立して起動／停止できるので、スタッカークレーン１４とトレイ積層体１６を移載する間、コンベヤ１８全体を停止させる必要がない。また各ユニット３２は、トレイ積層体１６のバッファとして利用できる。なお段ばらし装置２３，段積み装置２４の処理速度がスタッカークレーン１４やコンベヤ１８の搬送速度に比べて遅い場合、これらをコンベヤ２０，２１よりも多数設けても良い。
【００２３】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  トレイ積層体１６の搬送を、コンベヤとスタッカークレーン１４の双方で行えるので効率的である。
(2)  ラック１２，１３の上部にコンベヤを設けるので、スペース効率が高い。
(3)  ターンテーブル付きコンベヤ２２によりトレイ積層体１６の向きを揃えることができる。
(4)  段ばらし装置２３や段積み装置２４により、スタッカークレーン８，１４までと、工程内コンベヤ２０，２１とで、トレイの搬送形態を変更できる。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】実施例の搬送システムのレイアウトを示す平面図
【図２】実施例での第２の自動倉庫及び工程側コンベヤの要部平面図で、第２の自動倉庫のラックを切り欠いて段ばらし装置を示す。
【図３】実施例での第２の自動倉庫のラックの側面図
【符号の説明】
【００２５】
２                    搬送システム
４，１０              自動倉庫
６，７，１２，１３    ラック
８，１４              スタッカークレーン
１６                  トレイ積層体
１８〜２１            コンベヤ
２２                  コンベヤ付きターンテーブル
２３                  段ばらし装置
２４                  段積み装置
２５                  コントローラ
２６，２７            ステーション
２８                  昇降台
２９                  マスト
３０                  移載装置
３２                  コンベヤユニット
３４                  リフタ
３６，４４            トレイ積層体
３８                  出退コンベヤ
３９                  シリンダ
４０                  チャック
４２                  トレイ
４６                  パンタグラフ機構
Ｍ１，Ｍ２            モータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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