(57)【要約】【課題】定常的な確実性をもって封止作業を実行することができる封止剤の塗布装置及びその補助部材を提供する。【解決手段】鉛直方向に移動可能に垂下され、ガラス基板ＧＬの周縁を跨いで走行する走行ローラＲＷと、走行ローラＲＷの後方に位置して封止剤を吐出する吐出作業部３１と、走行ローラＲＷの前方に位置してガラス基板の周縁を撮影する撮影部３０と、走行動作及び吐出動作を制御する中央制御部とを有する。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
鉛直方向に移動可能に垂下され、ガラス基板の周縁を跨いで走行する走行部と、前記走行部の前方又は後方を走行しつつ封止剤を吐出する吐出作業部と、前記走行部と所定の位置関係で前記ガラス基板の周縁を撮影する撮影部と、前記走行動作及び吐出動作を制御する中央制御部とを有することを特徴とする封止剤の塗布装置。
【請求項２】
前記中央制御部は、前記撮影部の撮影する画像に基づいて前記ガラス基板の終端を把握し、前記走行部が終端に達すると、その後は、前記把握結果に基づいて走行部を垂下状態から拘束状態に切り換えるようにしている請求項１に記載の塗布装置。
【請求項３】
前記中央制御部は、前記撮影部を機能させるが、前記吐出部を機能させない検査走行を最初に実行し、この検査走行によって前記ガラス基板の保持位置が適切か否かを予め判定している請求項１又は２に記載の塗布装置。
【請求項４】
前記吐出作業部及び撮影部は、ベース部に固定されて一体的に移動するよう構成されている請求項１〜３の何れかに記載の塗布装置。
【請求項５】
前記走行部は、吐出作業部の下部に配置されて自由回転する走行ローラを備えて構成されている請求項１〜４の何れかに記載の塗布装置。
【請求項６】
前記吐出作業部は、吐出針を有する注入本体部と、前記ベース板に固定された取付部と、前記注入本体部に連結される上板部とを備えて構成され、前記上板部は、進退動作によって第一状態と第二状態に切り換る当接ロッドを有していることを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。
【請求項７】
前記当接ロッドが第一状態の場合には、前記上板部が取付部と実質的に一体化されて、前記走行部の拘束状態が実現され、前記当接ロッドが第二状態の場合には、前記上板部が取付部と分離されて、前記走行部の垂下状態が実現される請求項６に記載の塗布装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れかに記載の塗布装置と組み合わせて使用可能であり、
収容本体部の両端位置の内側に、ガラス基板ＧＬの垂直縁を受け入れる複数の係止溝が垂直方向に形成された収納バスケット。
【請求項９】
請求項８に記載のバスケットと組合わせて使用可能であり、
板状の本体部と、前記本体部の一方側に固定された固定板と、前記本体部の他方側に弾性的に当接される可動板と、前記可動板と一体化された操作部と、クッション材とを中心に構成され、前記収納バスケットに収容されたガラス基板の終端部と、前記クッション材とが係合するよう配置される保持具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、封止剤の塗布装置及びその補助部材に関し、典型的には、液晶ディスプレイの貼合せガラス基板の隙間を埋めるための塗布装置とその補助部材として活用される。
【背景技術】
【０００２】
液晶カラーディスプレイＬＣＤ(liquid crystal display)の普及は、昨今目覚しいものがあり、家庭用テレビ、パソコン用ディスプレイ、携帯電話機などを含め広く利用されている。このＬＣＤは、カラーフィルタの配置される第１ガラス基板と、薄膜トランジスタの配置される第２ガラス基板と、前記２枚のガラス基板の内側に内包される液晶物質とを中心に構成される。そして、ＬＣＤの更なる薄型化と小型化の要請に適切に応えるべく、貼合せガラス基板を化学研磨することも行われている。
【０００３】
この化学研磨処理では、フッ酸を含んだ研磨液を使用するので、貼合せガラス基板の外周部は、化学研磨に先立って、耐酸性の封止剤によって厳重に封止され研磨液の浸入を防止している。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、化学研磨処理では、複数ｎ×ｍ個の液晶セルを有する貼合せガラス基板が一括して処理されるが、そのガラス基板の大きさは、第５世代では、１０００×１２００〜１２００×１３００ミリ程度のものが、第６世代では、１５００×１８００〜１５００×１８５０ミリ、第７世代では、１８７０×２２００ミリのように益々大型化されている。そのため、ガラス基板の封止処理に不備があってはならず、万一、研磨液が浸入するようなことがあると、貼合せガラス基板全体が無駄となり兼ねず、その損害は多大なものとなる。
【０００５】
また、液晶物質を挟み込む２枚のガラスの隙間（セルギャップ）は、数μｍ程度しかないので、ガラス基板の大型化に伴い、人間の手作業による封止作業では、定常的な確実性が維持できないおそれがある。例えば、塗布する封止剤が少なすぎると封止効果が不十分となり、一方、封止剤の吐出量が多すぎたり吐出位置が不適当であるとガラス基板の表面に封止剤が垂れるおそれもあり、このような場合には、垂れ落ちた封止剤を除去するために別の無駄な作業が必要となる。
【０００６】
この発明は、この問題点に鑑みてなされたものであって、ガラス基板の大きさに拘わらず、定常的な確実性をもって封止作業を実行することができる封止剤の塗布装置及びその補助部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の目的を達成するため、本発明に係る封止剤の塗布装置は、鉛直方向に移動可能に垂下され、ガラス基板の周縁を跨いで走行する走行部と、前記走行部の前方又は後方を走行しつつ封止剤を吐出する吐出作業部と、前記走行部と所定の位置関係で前記ガラス基板の周縁を撮影する撮影部と、前記走行動作及び吐出動作を制御する中央制御部とを有することを特徴とする。好ましくは、走行部と吐出作業部と撮影部とは一直線上に配置される。
【０００８】
本発明の封止剤は、典型的には、化学研磨に先立ってガラス基板の周縁に塗布される。そして、特に限定されるものではないが、紫外線硬化型で耐酸性の封止剤が好適に使用される。また、吐出作業部は、好ましくは、走行部の後方を走行するよう配置され、撮影部は、好ましくは、走行部の前方を走行するよう配置される。
【０００９】
本発明において、前記中央制御部は、前記撮影部の撮影する画像に基づいて前記ガラス基板の終端を把握し、前記走行部が終端に達すると、その後は、前記把握結果に基づいて走行部を垂下状態から拘束状態に切り換えるのが好ましい。更に好ましくは、前記中央制御部は、前記撮影部を機能させるが、前記吐出部を機能させない検査走行を最初に実行し、この検査走行によって前記ガラス基板の保持位置が適切か否かを予め判定している。
【００１０】
本発明では、前記吐出作業部及び撮影部は、ベース部に固定されて一体的に移動するよう構成するのが好適である。ここで、前記吐出作業部は、吐出針を有する注入本体部と、前記ベース板に固定された取付部と、前記注入本体部に連結される上板部とを備えて構成され、前記上板部は、進退動作によって第一状態と第二状態に切り換る当接ロッドを有していると更に好ましい。また、前記走行部は、吐出作業部の下部に配置されて自由回転する走行ローラを備えて構成されるのが好ましい。更にまた、前記当接ロッドが第一状態の場合には、前記上板部が取付部と実質的に一体化されて、前記走行部の拘束状態が実現され、前記当接ロッドが第二状態の場合には、前記上板部が取付部と分離されて、前記走行部の垂下状態が実現されるよう構成するのが好適である。
【００１１】
また、本発明に係る収納バスケットは、上記した何れかの塗布装置と組み合わせて使用可能であり、収容本体部の両端位置の内側に、ガラス基板ＧＬの垂直縁を受け入れる複数の係止溝が垂直方向に形成されている。また、本発明に係る保持具は、上記のバスケットと組合わせて使用可能であり、板状の本体部と、前記本体部の一方側に固定された固定板と、前記本体部の他方側に弾性的に当接される可動板と、前記可動板と一体化された操作部と、クッション材とを中心に構成され、前記収納バスケットに収容されたガラス基板の終端部と、前記クッション材とが係合するよう配置される。
【発明の効果】
【００１２】
上記した本発明によれば、手作業による塗布作業を完全に排除して、ガラス基板の大きさに拘わらず、定常的な確実性をもって封止作業を実行することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
以下、本発明を実施例に基づいて詳細に説明する。図１は、ＬＣＤの構成部材となる貼合せガラス基板ＧＬについて、その外周縁を封止する加工システムＳＹＳの一部を図示したものである。ここで、貼合せガラス基板ＧＬとは、カラーフィルタが配置された第１ガラス基板と、薄膜トランジスタが配置された第２ガラス基板とを一体化した液晶ディスプレイ用のガラス基板を言う。但し、封止剤その他を外周縁に充填するガラス基板であれば、その他の貼合せガラス基板であっても、本システムを好適に使用することができる。
【００１４】
この加工システムＳＹＳでは、先ず、複数枚の貼合せガラス基板ＧＬ・・・ＧＬを保持した収納バスケット１が、＋Ｘ方向に移動可能な搬送路２に配置される。そして、収納バスケット１が搬送路２を＋Ｘ方向に移動して塗布装置３に達すると、貼合せガラス基板ＧＬの外周縁に封止剤が自動的に塗布される。次に、収納バスケット１が搬送路２を更に下流側に移動し、塗布装置３で塗布された封止剤は、硬化装置４において硬化させる。
【００１５】
そして最後に、貼合せガラス基板ＧＬが、フッ酸を主成分とする研磨液によって化学研磨される。なお、特に限定されるものではないが、この実施例では、塗布装置３において紫外線硬化型で耐酸性の封止剤を塗布するので、硬化装置４では、所定時間、貼合せガラス基板ＧＬに対して紫外線が照射される。
【００１６】
図２（ａ）は、収納バスケット１にガラス基板ＧＬを挿入する状態を矢印で示しており、図２（ｂ）は、複数のガラス基板ＧＬ・・・ＧＬが収納された状態を模式的に示している。収納バスケット１は、収容するガラス基板ＧＬの大きさに対応して、例えば、発泡スチロールで構成されている。この収納バスケット１は、図２（ａ）に示す通り、上方に開口したボックス形状に形成されており、ガラス基板ＧＬの収容状態では、ガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰは、収納バスケット１の頂面１０からやや突出するようになっている。
【００１７】
図４は、収納バスケット１を真上から図示した平面図である。図示の通り、収納バスケット１の長手方向の両端位置であって、その内周面側には、ガラス基板ＧＬの垂直縁を受け入れる複数の係止溝１３・・・１３が、垂直方向に形成されている。また、収納バスケット１の底面には、ガラス基板ＧＬの下側水平縁を受け入れる凹溝１４・・・１４が、収納バスケット１の長手方向に断続的に形成されている。そして、断続する凹溝１４・・・１４は、一直線上につながり、係止溝１３に連続している。
【００１８】
ここで、係止溝１３及び凹溝１４は、貼合せガラス基板ＧＬの板厚より、多少広く形成されている。そのため、ガラス基板ＧＬは、係止溝１３及び凹溝１４に受け入れられると、緩やかに支持されることになり、係止溝１３と凹溝１４に支持されたガラス基板ＧＬは、その板厚方向に多少の余裕を持つことになる。
【００１９】
図３は、係止溝１３と凹溝１４に支持されたガラス基板ＧＬを保持する保持具ＨＤを図示したものである。この保持具ＨＤは、断面Ｌ字状の本体部１５と、本体部１５の一方側に固定された固定板１６と、本体部１５の他方側に弾性的に当接される可動板１７と、可動板１７と一体化された操作部１８と、本体部１５及び固定板１６に固着されているクッション材１９とを中心に構成されている。
【００２０】
クッション材１９は、例えば、板状に形成されたスポンジゴムである。このクッション材１９は、保持具ＨＤを収納バスケット１に取付けた状態で、クッション材１９の下面が、バスケット頂面１０に押付けられる位置に固着されている。また、クッション材１９の突出幅Ｄは、収納バスケット１の肉厚Ｄ’とほぼ同じに設定されている（図３、図４参照）。なお、保持具ＨＤの本体部１５や固定板１６及びその他の部材は、例えば、アルミニウムなどの金属で構成される。また、保持具ＨＤの本体部１５は、収納バスケット１の外周幅Ｌ（図２（ａ））よりやや短く形成されている。
【００２１】
図３に示す通り、保持具ＨＤの本体部１５には、固定ブロック１５Ａが固定されており、コイルスプリング２０が外装された移動棒２１が、この固定ブロック１５Ａを貫通している。ここで、移動棒２１の先端に雄ネジが形成されている一方、可動板１７には第一の雌ネジが形成されている。また、操作部１８の先端にも雄ネジが形成されており、これに対応して、可動板１７には第二の雌ネジが形成されている。そのため、移動棒２１の雄ネジを第一の雌ネジにねじ込むと共に、操作部１８の雄ネジを第二の雌ネジにねじ込むと、操作部１８と可動板１７と移動棒２１とが一体化される。
【００２２】
そのため、操作部１８を図３の左側に引くと、操作部１８と一体の移動棒２１が、コイルスプリング２１を圧縮しつつ、固定ブロック１５Ａの中を移動するので、可動板１７が本体部１５から引き離されることになる。一方、この引き離された状態で操作部１８から手を離すと、コイルスプリング２１の弾発力によって、可動板１７が本体部１５に当接されるまで移動して元の状態に戻る。
【００２３】
図４（ｂ）は、上記の構成からなる保持具ＨＤを収納バスケット１に取付けた状態を示している。具体的には、操作部１８を図３の左側に引いた状態で、保持具ＨＤのＬ字状本体部１５の垂直面を、収納バスケット１の外周に当接させ、その後、操作部１８から手を離すことによって、固定板１６と可動板１７とで、収納バスケット１を挟持している。
【００２４】
図示の通り、この挟持状態では、クッション材１９が、係止溝１３・・・１３をほぼ覆っている。このとき、クッション材１９は、係止溝１３及び凹溝１４に支持されたガラス基板ＧＬによって適宜に変形されるので、ガラス基板ＧＬは、長さ方向（図４の上下方向）に弾性的に軽く押圧されると共に、板厚方向（図４の左右方向）にも弾性的に保持される。したがって、図３に示す保持具ＨＤを使用することによって、ガラス基板ＧＬにストレスを与えることなく、これを固定的に保持することが可能となる。
【００２５】
塗布装置３は、貼合せガラス基板ＧＬの隙間に焦点の合った撮影部３０（図５）と、貼合せガラス基板ＧＬの隙間に封止剤を注入する吐出作業部３１（図５）と、搬送路の上流側から移動してくる収納バスケット１を受け止めて所定位置に保持する位置決め部３２（図１）とを中心に構成されている。位置決め部３２は、図１に示す待機状態から矢印方向に９０度回転した阻止状態で収納バスケット１を受け止める阻止板ＲＴと、搬送路２に直交して往復運動するプッシャＰＳと、プッシャＰＳに押圧された収納バスケット１を受け止めるストッパＳＴとで構成されている。
【００２６】
位置決め部３２の動作を説明すると、先ず、阻止板ＲＴが阻止状態まで回転し、収納バスケット１が搬送されて阻止板ＲＴに当接されるのを待つ。その後、収納バスケット１が阻止板ＲＴに当接されると、次に、プッシャＰＳが前進して、阻止状態の収納バスケット１をストッパＳＴに押付けて保持する。すると、この保持動作によって、収納バスケットは、Ｘ方向及びＹ方向に正しく位置決めされる。なお、塗布装置３での作業が完了すると、阻止板ＲＴとプッシャＰＳは初期状態に戻り、収納バスケット１は、搬送路上を下流側に移動して、硬化装置４に渡される。
【００２７】
図５は、塗布装置３の要部である撮影部３０と吐出作業部３１とを図示した斜視図である。これら撮影部３０と吐出作業部３１は、Ｘ−Ｙ−Ｚの任意の方向に移動可能なベース板ＢＳに固定されている。但し、ベース板ＢＳは、作業対象に合わせて初期動作においてＺ方向に位置決めされるので、封止作業時には、主として、Ｘ方向を往復運動しつつＹ方向に移動することになる。
【００２８】
撮影部３０は、ガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰに焦点を合わせたＣＣＤカメラ３２と、ＣＣＤカメラ３２の焦点位置を照射する一対のランプ３３，３３とで構成されている。これらカメラ３２及びランプ３３は、図示しない中央制御部に接続されており、中央制御部の制御によってランプ３３が点灯動作し、この点灯状態でＣＣＤカメラ３２が撮影した画像は、中央制御部において画像解析されるようになっている。
【００２９】
吐出作業部３１は、封止剤をガラス基板に向けて吐出する注入本体部３４と、注入本体部３４から鉛直方向に突出された一対の連結軸ＣＮ，ＣＮを貫通させる取付部３５と、前記一対の連結軸ＣＮ，ＣＮが固定される断面Ｌ字状のＬ字板３６とを中心に構成されている（図５、図６参照）。なお、上記各部材のうち、取付部３５がベース板ＢＳに固定されている。
【００３０】
注入本体部３４とＬ字板３６とを連結する連結軸ＣＮ，ＣＮは、取付部３５の中を貫通して自由に上下動可能に構成されている。そのため、注入本体部３４は、自重とＬ字板３６及びその付属部材の重さを伴って、取付部３５から吊り下がることになる。もっとも、動作状態では、注入本体部３４の走行ローラＲＷ（図６）が、ガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰに当接するので、注入本体部３４が限界位置まで降下することはない。図５及び図６は、このような動作状態を図示しており、したがって、Ｌ字板３６の下面は、取付部３５の緩衝材ＢＵＦに当接していない。
【００３１】
注入本体部３４は、連結軸ＣＮ,ＣＮに固定された上面板３７と、上面板３７の中央から降下する角板３８と、角板３８に固定された注入ブロック３９と、注入ブロック３９の傾斜面に固定された下面板４０とを中心に構成されている（図６）。下面板４０は傾斜部４０ａと水平部４０ｂとを備えるが、水平部４０ｂはフォーク状に枝分れして、その間に、走行ローラＲＷを回転自在に保持している（図６（ｃ）参照）。なお、水平部４０ｂの先端側は、別の部材４０ｃで閉塞されている。
【００３２】
注入ブロック３９には、ほぼ４５度に傾斜した中央開口ＨＯが形成され、この中央開口ＨＯに、封止剤を保有するシリンジ４１が装着されるようになっている。そして、中央制御部の制御に基づいて、シリンジ４１から適当量の封止剤が吐出される。また、シリンジ４１の吐出針４１ａに略平行して、ヘラ部材４３が角板３８から突出しており、動作状態では、吐出針４１ａが吐出した封止剤を、ヘラ部材４３が適宜にならしている。
【００３３】
Ｌ字板３６は、水平板３６Ａと垂直板３６Ｂとが固定されて構成され、垂直板３６Ｂには、先端に弾性体４２ａを備えた当接ロッド４２が装着されている（図５）。この当接ロッド４２は、中央制御部の制御に基づいて、突出状態又は後退状態となる。そして、図５に示すような突出状態では、当接ロッド４２の弾性体４２ａが、取付部３５に強く押圧されることによって、Ｌ字板３６全体が固定状態となる。先に説明したように、Ｌ字板３６と注入本体部３４とは、連結軸ＣＮを通して一体化されているので、Ｌ字板３６が固定状態になると、注入本体部３４も、取付部３５及びベース板ＢＳに対して固定状態となる。
【００３４】
図７は、走行ローラＲＷと、吐出針４１ａと、ヘラ部材４３とを模式的に図示したものである。図示の通り、走行ローラＲＷは、小径本体部ＲＷ１と、その外側の大径係止部ＲＷ２とで構成されており、小径本体部ＲＷ１が、第１ガラス基板ＧＬ１と第２ガラス基板ＧＬ２とからなる貼合せガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰに当接され、ガラス基板ＧＬの大径係止部ＲＷ２，ＲＷ２が上側水平縁ＴＯＰを跨いでいる。
【００３５】
走行ローラＲＷと、吐出針４１ａ及びヘラ部材４３とは、ガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰの長さ方向に一直線上に整列している。また、ＣＣＤカメラ３２の焦点位置も、走行ローラＲＷ、吐出針４１ａ、及びヘラ部材４３が整列する一直線上であって、その上流側に位置する。そして、この整列状態のまま、走行ローラＲＷは、回転しつつ図示の矢印方向に（搬送路の上流に向けて）前進する。
【００３６】
続いて、以上の構成からなる塗布装置３について、その動作内容を説明する。なお、以下の説明の前提として、複数枚のガラス基板ＧＬ・・・ＧＬを立設した収納バスケット１は、阻止板ＲＴとプッシャＰＳとに規制されて、所定位置に保持されているとする。また、この初期状態では、吐出作業部３１の吐出針４１ａは、収納バスケット１のホームポジションＨＰに位置している。ここで、ホームポジションＨＰとは、搬送方向（＋Ｘ方向）に見て、最も下流側であって、且つプッシャＰＳに最も近い位置をいう（図８参照）。
【００３７】
塗布装置３のベース板ＢＳは、吐出作業部３１がホームポジションＨＰに位置する状態から、検査走行をして搬送路２の上流方向に向けて進行をする。但し、この検査走行では、当接ロッド４２が突出状態であり、注入本体部３４の走行ローラＲＷは、ガラス基板の上側水平縁ＴＯＰから浮上した状態になっている。そのため、吐出針４１ａやヘラ部材４３が機能することもなく、ランプ３３とＣＣＤカメラ３２のみが動作して、ガラス基板ＧＬの上側水平縁ＴＯＰを撮影する。
【００３８】
そして、撮影された画像は、直ちに中央処理装置に伝送されて画像解析され、中央処理装置は、画像解析の結果に基づいて貼合せガラス基板ＧＬの終端部を把握する。なお、貼合せガラス基板ＧＬの終端部は、前後に撮影された画像に、顕著に相違する変異部（＝終端部）が発生することによって認識することができる。また、中央処理装置は、ガラス基板の上側水平縁ＴＯＰの特定の判定位置に関して、その撮影画像を画像解析することで、ガラス基板が塗布装置３に対して正しく位置決めされているか否かを判定している。なお、判定位置としては、例えば、ガラス基板の上側水平縁ＴＯＰを長さ方向に４等分して、始点と終点を除いた三箇所を割当てるのが適当である。何れにしても、位置決め判定処理では、ＣＣＤカメラ３２の撮影画像の中央位置に、二枚のガラス基板が正しく存在するか否かが判定される。
【００３９】
本来、ガラス基板ＧＬは、収納バスケット１に収容される際に、係止溝１３と凹溝１４とに係止され、且つ、クッション材１９によって正しい姿勢に保持されているはずである。したがって、通常は、上記した３箇所の判定位置において、何れも、所定の撮影画像が得られるはずである。しかし、収納バスケット１の位置決めや、貼合せガラス基板ＧＬの位置決めにトラブルが発生する可能性もあり、そのような異常状態は、中央処理装置での画像解析から直ちに明らかになる。そして、検出された位置決め異常は、エラーランプその他で報知されるので、作業員は、貼合せガラス基板ＧＬを正しい位置に整列し直すことになる。
【００４０】
但し、通常は、画像解析によって異常が検出されることはないので、塗布装置３の動作が中断されることはない。したがって、検査走行の後、ベース板ＢＳをホームポジションＨＰの位置に復帰させる。次に、当接ロッド４２の突出状態を解除して、注入本体部３４の走行ローラＲＷを降下させ、ガラス基板の上側水平縁ＴＯＰを跨いだ状態にする。そして、先行する検査走行と同じ経路について、吐出作業部３１の吐出針４１ａやヘラ部材４３を封止走行させる。この封止走行では、吐出針４１ａから封止剤が吐出され、吐出された封止剤は、ヘラ部材４３によってならされつつ、吐出作業部３１が−Ｘ方向に一定速度で移動する。
【００４１】
この封止走行では、走行ローラＲＷが、ガラス基板の上側水平縁ＴＯＰを転がっている。そこで、中央処理装置では、走行ローラＲＷが、ガラス基板の終端部を通過し終わる直前に、当接ロッド４２を突出させて、Ｌ字板３６及び注入本体部３４を取付部３５に対して固定状態にする。したがって、ガラス基板ＧＬの終端部を通過した走行ローラＲＷは、それ以前と同一線上の運動軌跡を移動することになり、自重による垂下状態から解除される。
【００４２】
また、吐出針４１ａからの封止剤の吐出動作は、吐出針４１ａがガラス基板ＧＬの終端部を通過し終わる直前に停止されるので、吐出された封止剤がガラス基板ＧＬの垂直縁に垂れることもない。なお、当接ロッド４２を突出させるタイミングは、先の検査走行において中央処理装置に把握されているので、封止走行では、必ずしも、画像処理を行う必要がない。但し、本実施例では、画像処理によってガラス基板の終端部を把握している。
【００４３】
そして、このような封止走行が終われば、ベース板ＢＳをＺ方向にやや上昇させた後、Ｙ方向に１ステップ移動した状態で、Ｘ方向の元の位置、つまり、搬送方向に見たガラス基板の最下流位置に戻る。ここで、Ｙ方向の１ステップは、係止溝１３や凹溝１４のピッチと同じであるので、吐出作業部３１は、封止作業を終わったガラス基板の隣りのガラス基板の上方に位置することになる。その後の動作は、上記した動作と同じであり、最初、検査走行によって作業対象のガラス基板の位置決め状態を確認した後、問題がなければ、封止走行を行う。
【００４４】
以上のように、この塗布装置３では、１枚の貼合せガラス基板ＧＬについて、−Ｘ方向に検査走行と封止走行とを実行することによって正確に封止作業を実行し、次に、1ステップＹ方向に移動している。したがって、慣れない手作業のように、封止作業によって封止剤がガラス基板の表面に垂れ落ちるおそれがない。また、走行ローラＲＷがガラス基板を挟んで走行し、それに後続して吐出針４１ａやヘラ部材４３が走行するので、吐出針４１ａやヘラ部材４３がガラス基板を傷つけることもない。
【００４５】
このようにして全ての貼合せガラス基板についての封止作業を終えると、収納バスケット１は、搬送路２の下流側に移動して、硬化装置４において封止剤の硬化処理が実行される。なお、この硬化処理には、例えば、数１０分程度の時間を要するので、塗布装置３において検査走行と封止走行とを繰り返して消費する作業時間は、システム全体の処理効率を何ら悪化させない。すなわち、塗布装置３での作業時間を短縮化したところで、硬化作業のために待機する収納バスケットが増加するだけであり、作業全体に対してメリットが生じない。
【００４６】
以上のようにして、複数枚のガラス基板（図８では１，２・・・ｎと記載）について、その上側水平縁についての封止作業が完了する。そこで、次に、ガラス基板の上下を反転させて同一の封止作業と硬化作業を行う。また、ガラス基板の垂直縁については、別の収納バスケットと保持具を使用してガラス基板を保持して同様の封止作業と硬化作業を行う。
【００４７】
以上、本発明の一実施例について具体的に説明したが、具体的な記載内容は、何ら本発明を限定するものではなく、具体的な構成及び動作は適宜に変更可能である。特に、検査走行は、各ガラス基板毎に行う必要はなく、最初の１枚目のガラス基板についてだけ、行ったのでも良い。また、走行ローラを垂下状態にして検査走行を行ったのでも良い。なお、走行部、吐出部作業部、及び撮影部の位置関係は、必ずしも実施例のものに限定されない。例えば、走行部、吐出部作業部、及び撮影部を必ずしも一直線上に配置する必要はないし、また、吐出作業部の後方を撮影部が走行したのでも良い。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】ガラス基板の外周縁を封止する加工システムＳＹＳの一部を図示したものである。
【図２】ガラス基板を収納バスケットに挿入する状態、及びガラス基板の収容状態を図示したものである。
【図３】ガラス基板の保持具を図示したものである。
【図４】収納バスケット、及び収納バスケットに保持具を取付けた状態を示す平面図である。
【図５】塗布装置の要部を示す斜視図である。
【図６】注入部の構成を説明する図面である。
【図７】走行ローラと吐出針とヘラ部材の関係を示す斜視図である。
【図８】封止作業時の収納バスケットを図示したものである。
【符号の説明】
【００４９】
ＧＬ      ガラス基板
ＲＷ      走行部（走行ローラ）
３１      吐出作業部
３０      撮影部
【図１】
2007152210.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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