(57)【要約】【課題】浮上量制御が可能な記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの検査歩留まりを向上させる。【解決手段】ヘッド試験で測定されたデータ信号の品質（Ｓ／Ｎ）と、浮上量試験で測定された浮上量ＦＨを表す２次元平面において、Ｓ／Ｎが規格値Ｒ０以上であれば、ＦＨが規格値Ｈ０以上の領域に属するヘッドは、合格と判定される。Ｓ／Ｎが規格値Ｒ０未満の場合、品質と浮上量の相関関係を表す直線２０１より上の領域と直線２０１上に属するヘッドは、合格と判定され、直線２０１より下の領域に属するヘッドは不合格と判定される。【選択図】図２
2007272977.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定するヘッド検査装置であって、
ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報と、該ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得する取得手段と、
品質と浮上量の組み合わせにより前記ヘッド部の合否を判定する判定手段と
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
【請求項２】
品質基準と、品質と浮上量の相関関係とを記憶する記憶手段を有し、
前記判定手段は、前記品質情報が前記品質基準を満たさない場合に、前記浮上量情報が、該品質情報と前記相関関係から決められる浮上量以上という判定条件を満たせば、前記ヘッド部を合格と判定することを特徴とする請求項１記載のヘッド検査装置。
【請求項３】
前記判定手段は、前記品質情報が閾値未満の場合に、前記ヘッド部を不合格と判定し、該品質情報が閾値以上の場合に、該品質情報が前記品質基準を満たすか否かをチェックすることを特徴とする請求項２記載のヘッド検査装置。
【請求項４】
前記取得手段は、前記ヘッド部から出力されるデータ信号の品質を測定する品質測定手段と、前記ヘッド部の浮上量を測定する浮上量測定手段とを含むことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のヘッド検査装置。
【請求項５】
記録媒体を回転させる回転手段をさらに備え、前記品質測定手段および浮上量測定手段は、該回転手段を共用して、前記データ信号の品質の測定および前記浮上量の測定を行うことを特徴とする請求項４記載のヘッド検査装置。
【請求項６】
前記浮上量測定手段は、記録媒体からの再生信号に基づいて前記ヘッド部の浮上量を測定することを特徴とする請求項４記載のヘッド検査装置。
【請求項７】
記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定するヘッド検査方法であって、
ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報を取得し、
前記ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得し、
品質と浮上量の組み合わせにより前記ヘッド部の合否を判定する
ことを特徴とするヘッド検査方法。
【請求項８】
品質基準と、品質と浮上量の相関関係とを参照し、
前記品質情報が品質基準を満たさない場合に、前記浮上量情報が、該品質情報と前記相関関係から決められる浮上量以上という判定条件を満たせば、前記ヘッド部を合格と判定する
ことを特徴とする請求項７記載のヘッド検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気ディスク装置のような記録再生装置における記録再生ヘッドの検査装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁気ディスク装置における磁気ヘッドの良非を判別する試験には、ヘッドの浮上量が所定の水準を満たしているかどうかを調べる浮上量試験（ＦＨＴ）と、データの読み書きの品質が所定の水準を満たしているかどうかを調べるヘッド試験（ＨＴ）がある（例えば、下記の特許文献１を参照）。従来のヘッド検査では、ＦＨＴとＨＴは別々の工程であり、それぞれ独立に良非判定基準を設けていた。
【０００３】
ＦＨＴにおいては、浮上量が規格値以上であるかどうかにより合否が決定され、ＨＴにおいては、信号対雑音比（Ｓ／Ｎ）が規格値以上であるかどうか、またはエラーレートが規格値以下であるかどうかにより、合否が決定されていた。そして、１つのヘッドが最終的に良品となるためには、両試験の基準をクリアする必要があった。
【０００４】
例えば、ＨＴの指標としてＳ／Ｎを用いた場合、図９に示すように、浮上量ＦＨが規格値Ｈ０以上であり、かつ、Ｓ／Ｎが規格値Ｒ０以上である場合に、検査されたヘッドは合格と判定される。
【０００５】
昨今、ヘッドスライダ内の素子近傍に設けた微細なヒータからなる浮上量制御アクチュエータをヘッドジンバルアセンブリ（ＨＧＡ）に実装し、稼動中のヘッドスライダの浮上量を制御する技術が実用化され始めている（例えば、下記の特許文献２および３を参照）。この浮上量制御アクチュエータは、ヒータに通電して発熱させることにより、ヘッドの磁極先端部を熱膨張させて突出させ、浮上量を減少させる。
【０００６】
このようなヘッドの使用方法としては、ディスク内外周位置、環境温度等の条件によって生ずる浮上量の変化の中で、浮上位置が最も低くなる条件に合わせて製造しておき、それよりも浮上位置が高くなる条件においては、浮上量制御アクチュエータで浮上量を下げるように制御するのが一般的な使い方である。
【特許文献１】特開平０６−０２０２３６号公報
【特許文献２】特開平０５−０２０６３５号公報
【特許文献３】特開２００４−２５９３２３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
上述した従来のヘッド検査方法には、次のような問題がある。
浮上量制御アクチュエータを搭載した磁気ディスク装置では、常温、非通電で測定した浮上量に比べると、実際の使用時における浮上量は小さくなり、信号強度が増大するので、Ｓ／Ｎは向上するのが一般的な傾向である。このようなヘッドの検査においても従来と同じ検査基準を適用すると、本来良品として使えるヘッドも不良と判別される場合が発生することになる。したがって、検査歩留まりを高めるためには、従来とは異なる検査基準が必要である。
【０００８】
本発明の課題は、浮上量制御が可能な記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの検査歩留まりを向上させることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
図１は、本発明の第１および第２のヘッド検査装置の原理図である。
本発明の第１のヘッド検査装置は、取得手段１０１および判定手段１０３を備え、記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定する。
【００１０】
取得手段１０１は、ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報と、ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得する。判定手段１０３は、品質と浮上量の組み合わせによりヘッド部の合否を判定する。
【００１１】
本発明の第２のヘッド検査装置は、取得手段１０１、記憶手段１０２、および判定手段１０３を備え、記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定する。
取得手段１０１は、ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報と、ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得する。記憶手段１０２は、品質基準１１１と、品質と浮上量の相関関係１１２とを記憶する。判定手段１０３は、品質情報が品質基準１１１を満たさない場合に、浮上量情報が、その品質情報と相関関係１１２から決められる浮上量以上という判定条件を満たせば、ヘッド部を合格と判定する。
【００１２】
取得手段１０１は、ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報と、ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を、判定手段１０３に転送する。判定手段１０３は、まず、記憶手段１０２から品質基準１１１を取り出し、品質情報が品質基準１１１を満たすか否かをチェックする。
【００１３】
品質情報が品質基準１１１を満たしていなければ、次に、記憶手段１０２から相関関係１１２を取り出し、その相関関係１１２を用いて品質情報に対応する浮上量を求める。そして、浮上量情報が示す浮上量を、相関関係１１２から得られた浮上量と比較し、前者が後者以上であれば、ヘッド部を合格と判定する。
【００１４】
このような判定方法によれば、品質基準１１１を満たしていないために、従来のヘッド検査で不合格となっていたヘッド部であっても、部分的に合格と判定することができ、検査歩留まりが向上する。
【００１５】
合格と判定されたヘッド部は、相関関係１１２により決められた値以上の浮上量を持っており、その浮上量と浮上量の規格値の間にはマージンが存在する。したがって、記録再生装置に取り付けた後、浮上量制御アクチュエータ等により浮上量を下げて、データ信号の品質が向上した状態で使用することができる。
【００１６】
例えば、図４のヘッド検査装置において、取得手段１０１は、ヘッド試験部４０１および浮上量試験部４０２に対応し、判定手段１０３は、演算部４０３および判定部４０４に対応する。
【００１７】
また、図５のヘッド検査装置において、取得手段１０１は、ヘッド試験部５０１および浮上量試験部５０３に対応し、判定手段１０３は、演算部５０４および判定部５０５に対応する。
【００１８】
記憶手段１０２は、例えば、図７の記憶部７０４に対応し、品質基準１１１は、例えば、図２の規格値Ｒ０に対応し、相関関係１１２は、例えば、図２の直線２０１に対応する。
【発明の効果】
【００１９】
本発明によれば、ＦＨＴとＨＴの双方の結果を考慮して合否判定を行うことにより、検査歩留まりを向上させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、図面を参照しながら、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。
ＨＴにおいてＳ／Ｎが低い値のヘッドであっても、浮上位置が高すぎることが原因でＳ／Ｎが低くなっている場合には、浮上量制御技術の導入により浮上量を下げ、Ｓ／Ｎを高くすれば使用可能になる。そこで、ＨＴの測定結果とＦＨＴの測定結果の双方を考慮して合否判定を行えば、本来良品となるはずのヘッドを不合格と判定することを回避できる。
【００２１】
本実施形態のヘッド検査装置は、図２に示すように、ＨＴにおけるＳ／Ｎが低いヘッドのうち、ＦＨＴで測定された浮上量が大きいことが原因であるものを、Ｓ／Ｎに応じた判定条件により合格と判定する。一般に、浮上量とＳ／Ｎ（ｄＢ）の間には概ね直線関係があることが知られており、ＨＴの測定結果であるＳ／Ｎ（ｄＢ）とＦＨＴの測定結果である浮上量ＦＨ（ｎｍ）の値を用いて所定の演算を行い、最終的な合否を決めることができる。
【００２２】
図２の横軸をＳ／Ｎとし、縦軸をＦＨとすると、２次元平面における直線２０１はＳ／ＮとＦＨの相関関係を表し、点Ｐ０を通る直線として定義される。Ｐ０の座標は（Ｒ０，Ｈ０）であり、Ｒ０およびＨ０は、それぞれＳ／ＮおよびＦＨの規格値を表す。
【００２３】
点Ｐ１の座標は（Ｒ１，Ｈ１）であり、Ｈ１−Ｈ０は、浮上量制御アクチュエータによるＦＨの可変ストロークに対応する。Ｒ０−Ｒ１は、この可変ストロークに対応するＳ／Ｎの可変範囲を表す。
【００２４】
まず、ヘッドのＳ／Ｎが規格値Ｒ０以上の領域については、従来と同様に、浮上量ＦＨが規格値Ｈ０以上であれば合格と判定される。次に、Ｓ／Ｎが規格値Ｒ０未満の領域については、以下のように場合分けをして合否判定を行う。
（１）Ｓ／Ｎ＜Ｒ１
不合格。
（２）Ｒ１≦Ｓ／Ｎ＜Ｒ０
（ａ）直線２０１より上の領域と直線２０１上の点は合格。ここで、直線２０１は次式により表される。
ＦＨ＝Ａ・（Ｓ／Ｎ）＋Ｂ
Ａ＝−（Ｈ１−Ｈ０）／（Ｒ０−Ｒ１）
Ｂ＝Ｈ０＋［（Ｈ１−Ｈ０）／（Ｒ０−Ｒ１）］・Ｒ０      （１）
したがって、（Ｓ／Ｎ，ＦＨ）が次の不等式を満たせば、合格と判定される。
ＦＨ≧Ａ・（Ｓ／Ｎ）＋Ｂ      （２）
（ｂ）直線２０１より下の領域は不合格。したがって、（Ｓ／Ｎ，ＦＨ）が次の不等式を満たせば、不合格と判定される。
ＦＨ＜Ａ・（Ｓ／Ｎ）＋Ｂ      （３）
図３は、図２の合否判定のフローチャートである。ヘッド検査装置は、まず、ＨＴで測定されたＳ／Ｎの値をＲ１と比較し（ステップ３０１）、Ｓ／Ｎ＜Ｒ１であれば不合格と判定する（ステップ３０６）。
【００２５】
Ｓ／Ｎ≧Ｒ１であれば、次に、Ｓ／Ｎの値をＲ０と比較し（ステップ３０２）、Ｓ／Ｎ≧Ｒ０であれば品質基準が満たされたと判断して、次に、ＦＨＴで測定されたＦＨの値をＨ０と比較する（ステップ３０７）。そして、ＦＨ≧Ｈ０であれば合格と判定し（ステップ３０５）、ＦＨ＜Ｈ０であれば不合格と判定する（ステップ３０８）。
【００２６】
ステップ３０２においてＳ／Ｎ＜Ｒ０であれば、品質基準が満たされないと判断し、（１）式を用いてＳ／Ｎの値に対応する浮上量ＨTHを計算する（ステップ３０３）。そして、ＦＨの値をＨTHと比較し（ステップ３０４）、ＦＨ≧ＨTHであれば合格と判定し（ステップ３０５）、ＦＨ＜ＨTHであれば不合格と判定する（ステップ３０６）。
【００２７】
このような判定方法によれば、従来のヘッド検査で不合格となっていたＲ１≦Ｓ／Ｎ＜Ｒ０の領域のヘッドを、部分的に合格と判定することができ、検査歩留まりが向上する。なお、Ｓ／ＮとＦＨの相関関係としては、直線２０１の方程式の代わりに、所定の曲線の方程式を用いてもよく、ＨＴの測定結果としては、Ｓ／Ｎの代わりに、エラーレートＥＲ等の他の品質情報を用いてもよい。エラーレートＥＲの対数ｌｏｇ10（ＥＲ）は、概ねＳ／Ｎの逆数に所定の係数を乗算した値として扱うことができるため、図３と同様の合否判定が可能である。
【００２８】
図４は、このような合否判定を行うヘッド検査装置の構成例を示している。このヘッド検査装置は、ヘッド試験部４０１、浮上量試験部４０２、演算部４０３、および判定部４０４を備える。
【００２９】
ヘッド試験部４０１は、ヘッドのＳ／Ｎを測定し、浮上量試験部４０２は、ヘッドの浮上量ＦＨを測定する。演算部４０３は、これらの測定結果を用いて、例えば、図３のステップ３０１〜３０３の処理を行い、判定部４０４は、例えば、図３のステップ３０４〜３０８の処理を行って、判定結果を出力する。Ｓ／Ｎの代わりに、エラーレートＥＲを測定し、−ｌｏｇ１０（ＥＲ）を用いてもよい。
【００３０】
図５は、ヘッド検査装置の別の構成例を示している。このヘッド検査装置は、ヘッド試験部５０１、判定部５０２、５０５、浮上量試験部５０３、および演算部５０４を備え、ＦＨＴに先立ってＨＴを行い、その結果を用いて一次判定を行う。
【００３１】
従来のヘッド検査においては、一般に、ＦＨＴで浮上量が規格値以上となる歩留まりは比較的高いのに対し、ＨＴでは、信号の出力レベルが著しく低かったり、波形歪等の項目で不良となったりするヘッドがあるため、歩留まりはＦＨＴに比べれば低くなりがちである。そこで、ＨＴを先に行って一次判定を行うことにより、全体の試験工数を削減することができる。
【００３２】
ヘッド試験部５０１および判定部５０５の動作は、図４のヘッド試験部４０１および判定部４０４の動作と同様である。判定部５０２は、ヘッド試験部５０１の測定結果を用いて、図３のステップ３０１の判定（一次判定）を行い、測定結果とともに判定結果を出力する。この一次判定では、例えば、Ｓ／Ｎ≧Ｒ１となるヘッドのみがＦＨＴの対象として選択され、浮上量試験部５０３は、選択されたヘッドの浮上量ＦＨを測定する。
【００３３】
演算部５０４は、ヘッド試験部５０１の測定結果を用いて、図３のステップ３０２および３０３の処理を行い、Ｓ／Ｎ＜Ｒ０となるヘッドの浮上量ＨTHを計算する。そして、浮上量試験部５０３の測定結果と得られた浮上量ＨTHの値を判定部５０５に出力する。
【００３４】
図６は、図５のヘッド検査装置における浮上量試験部５０３の構成例を示している。浮上量試験部５０３は、接触検出部６０１、基準出力測定部６０２、出力測定部６０３、浮上量算出部６０４、および浮上量制御部６０５を備える。
【００３５】
従来のＦＨＴでは、透明なガラスディスク上にヘッドスライダを浮上させ、ガラスディスクの反対側の面よりレーザ光線等を照射して、光学的な方法で浮上量を測定するのが一般的である。このガラスディスクは、透明性を確保するため、記録用の磁性膜を持たず、従って信号の読み書きを行うことはできない。
【００３６】
上述したように、従来のＦＨＴとＨＴは独立した検査であり、同一のディスクを用いて行うという動機は特に強くなかった。しかしながら、ＦＨＴにおいて、光学的な測定方法の代わりに磁気的な測定方法を用いると、ＨＴとＦＨＴを１つのスピンドルモータで実施することができ、ハードウェアおよび試験工数の観点からするとより好適である。
【００３７】
磁気的な浮上量測定は、磁性膜を有する磁気ディスクを記録媒体として用いて、次のような原理により行うことが可能である。
一般に、磁気ディスク装置の再生出力は、浮上量が下がるほど増大する傾向にあり、再生出力と浮上量の間には一定の相関関係があることが知られている。したがって、基準となる浮上量における出力レベルが既知であれば、強制的に異なる浮上量に設定した場合の出力レベルの変化から、そのときの浮上量を計算により求めることができる。
【００３８】
ここで、基準浮上量Ｈref における出力レベルをＶref とすると、出力レベルＶのときの浮上量ＦＨは、係数Ｃを用いて、例えば、次式により算出される。
ＦＨ＝Ｈref ＋Ｃ・ｌｎ（Ｖref ／Ｖ）      （４）
まず、浮上量制御部６０５は、接触検出部６０１を起動し、ヘッドの浮上量を徐々に低下させていく。そして、接触検出部６０１がヘッドと磁気ディスクの接触を検出すると、浮上量制御部６０５は、浮上量をごく僅か高い所定値に戻す。この値が基準浮上量Ｈref に相当する。基準出力測定部６０２は、このときの出力レベルを測定し、基準出力Ｖref として出力する。
【００３９】
浮上量制御部６０５は、ディスク回転数を下げることによって浮上量を低下させてもよく、試験環境を減圧することによって浮上量を低下させてもよい。また、ＨＧＡ内の何れかの場所に設けられた浮上量制御アクチュエータを動作させることによって、浮上量を低下させてもよい。なお、基準浮上量Ｈref は、あらかじめ、磁気ディスクの検査等により分かっているものとする。
【００４０】
次に、浮上量制御部６０５は、接触検出部６０１を停止し、浮上量制御を解除する。この状態で、出力測定部６０３が出力レベルを測定し、浮上量算出部６０４は、基準浮上量Ｈref 、基準出力Ｖref 、および出力測定部６０３の測定値Ｖから、（４）式に従って浮上量ＦＨを算出する。このＦＨの値は、浮上量試験部５０３の測定結果として、演算部５０４に出力される。
【００４１】
図７は、このような浮上量試験部５０３を含む、図６のヘッド検査装置の具体例を示している。なお、図４に示したヘッド検査装置も、同様の構成により実現することができる。
【００４２】
図７のヘッド検査装置は、表示部７０１、インタフェース部７０２、制御部７０３、記憶部７０４、リード／ライト処理部７０５、高速フーリエ変換（ＦＦＴ）処理部７０６、通電制御部７０７、ドライバ制御部７０８、リード回路７０９、ライト回路７１０、ボイスコイルモータ７１１、モータドライバ部７１２、スピンドルモータ７１４、および磁気ディスク７１５を備え、ヘッド部７１３の検査を行う。
【００４３】
ヘッド部７１３は、例えば、ＨＧＡに相当し、図８に示すように、サスペンション８０１およびヘッドスライダ８０２からなる。ヘッドスライダ８０２内の磁気ヘッド８０３は、浮上量制御アクチュエータ８０４を含む。浮上量制御アクチュエータ８０４は、例えば、ヒータからなり、電流が供給されると発熱して、磁気ヘッド８０３の磁極先端部を熱膨張させる。これにより、磁気ヘッド８０３の浮上量が低下する。なお、ヒータの代わりに圧電素子等を用いてもよい。
【００４４】
制御部７０３は、リード／ライト処理部７０５、通電制御部７０７、およびドライバ制御部７０８に対して制御信号を出力することで、ヘッド検査装置全体を制御するとともに、図６の判定部５０２、５０５および演算部５０４の役割を果たす。
【００４５】
ドライバ制御部７０８は、制御部７０３からの指示に従ってモータドライバ部７１２を制御し、モータドライバ部７１２は、ボイスコイルモータ７１１およびスピンドルモータ７１４を駆動する。磁気ディスク７１５は、スピンドルモータ７１４により回転し、ヘッド部７１３は、ボイスコイルモータ７１１により磁気ディスク７１５上の任意の位置に移動する。
【００４６】
リード／ライト処理部７０５は、制御部７０３からの指示に従ってライトデータを出力し、ライト回路７１０は、そのライトデータを、ヘッド部７１３を介して磁気ディスク７１５に書き込む。リード回路７０９は、ヘッド部７１３を介して磁気ディスク７１５からデータを読み出し、リード信号としてリード／ライト処理部７０５およびＦＦＴ処理部７０６に出力する。
【００４７】
リード／ライト処理部７０５は、リード信号をリードデータとして制御部７０３に出力する。ＦＦＴ処理部７０６は、リード信号を用いて高速フーリエ変換を実行し、所定の周波数成分の信号レベルを抽出して、制御部７０３に出力する。通電制御部７０７は、制御部７０３からの指示に従って、ヘッド部７１３に供給する電流を調節する。
【００４８】
記憶部７０４は、Ｓ／Ｎの規格値Ｒ０および閾値Ｒ１、浮上量の規格値Ｈ０、Ｓ／Ｎと浮上量の相関関係、再生出力と浮上量の相関関係、Ｓ／Ｎおよび浮上量の測定結果等を記憶する。なお、品質情報としてエラーレートＥＲの関数、ｌｏｇ10（ＥＲ）を用いる場合は、ｌｏｇ10（ＥＲ）の規格値および閾値、ｌｏｇ10（ＥＲ）と浮上量の相関関係、およびｌｏｇ10（ＥＲ）の測定結果も記憶する。
【００４９】
制御部７０３は、制御に必要な情報を、外部装置（コンピュータ等）からインタフェース部７０２を経由して受信することができ、測定結果および判定結果をインタフェース部７０２を経由して外部装置に送信することができる。表示部７０１は、制御部７０３から出力された測定結果および判定結果を、検査結果として画面上に表示する。
【００５０】
ところで、表示部７０１、インタフェース部７０２、制御部７０３、記憶部７０４、リード／ライト処理部７０５、ＦＦＴ処理部７０６、通電制御部７０７、およびドライバ制御部７０８の一部または全部の機能は、コンピュータを用いて実現することが可能である。この場合、記憶部７０４はメモリ等に対応し、制御部７０３、リード／ライト処理部７０５、ＦＦＴ処理部７０６、通電制御部７０７、およびドライバ制御部７０８の各機能は、記憶部７０４に格納されたプログラムにより実現される。不図示のＣＰＵ（中央処理装置）は、そのプログラムを実行することでヘッド検査を実施する。
【００５１】
次に、ＨＴとＦＨＴのそれぞれの試験におけるヘッド検査装置の動作を説明する。以下の説明では、ＨＴにおける測定対象としてＳ／Ｎが用いられ、磁気ディスク７１５には、所定の周波数成分を含む信号パターンがあらかじめ書き込まれているものとする。
【００５２】
まず、ＨＴでは、制御部７０３は、リード／ライト処理部７０５を介してデータのライト／リードを試行し、読み出されたデータ信号のＳ／Ｎを測定する。そして、得られたＳ／Ｎの値を用いて、図３のステップ３０１の判定を行う。
【００５３】
次に、ＦＨＴでは、制御部７０３は、接触検出部６０１、浮上量算出部６０４、および浮上量制御部６０５の役割を果たし、Ｓ／Ｎ≧Ｒ１となるヘッド部７１３のみを対象として、浮上量ＦＨを測定する。
【００５４】
制御部７０３は、ドライバ制御部７０８およびモータドライバ部７１２を介して、スピンドルモータ７１４の回転数を徐々に下げていくことにより、磁気ディスク７１５の回転速度を低下させる。これにより、ヘッド部７１３の浮上量が低下し、ヘッド部７１３の磁極先端部が磁気ディスク７１５に接近していく。
【００５５】
この間、制御部７０３は、ＦＦＴ処理部７０６から出力される所定の周波数成分（１次の周波数成分）の振幅をモニタし、振幅が閾値よりも大きな変化幅で急激に減少した場合、または振幅が閾値を下回った場合に、ヘッド部７１３が磁気ディスク７１５に接触したものと判断する。そして、回転数を僅かに上げて浮上量を基準浮上量Ｈref に戻し、リード／ライト処理部７０５またはＦＦＴ処理部７０６の出力信号から、基準出力Ｖref を測定する。
【００５６】
次に、制御部７０３は、回転数をＦＨＴ用の値まで上げて、リード／ライト処理部７０５またはＦＦＴ処理部７０６の出力信号から出力Ｖを測定し、（４）式に従って浮上量ＦＨを算出する。
【００５７】
なお、磁気ディスク７１５の回転速度を低下させる代わりに、ヘッド部７１３の浮上量制御アクチュエータ８０４を動作させて、浮上量を下げることも可能である。この場合、制御部７０３は、通電制御部７０７を介してヘッド部７１３に電流を供給しながらＦＦＴ処理部７０６の出力信号をモニタすることで、ヘッド部７１３と磁気ディスク７１５の接触を検出する。そして、電流の供給を停止した後に出力Ｖを測定し、浮上量ＦＨを算出する。さらに、回転速度制御と浮上量制御アクチュエータ８０４による制御を併用することも可能である。
【００５８】
次に、制御部７０３は、ＨＴで測定されたＳ／ＮとＦＨＴで測定されたＦＨを用いて、図３のステップ３０２〜３０８の処理を行い、判定結果を表示部７０１に出力する。
以上の説明では、ＦＨＴにおいて、磁気ディスク７１５から所定の周波数成分の信号を読み出すことで接触を検出しているが、これに限らず、他の接触検出方法を用いても構わない。例えば、リード／ライト処理部７０５からの再生出力をモニタして、再生出力の変化幅が微小値以下になった場合に、接触が検出されたと判断してもよい。
【００５９】
また、浮上量ＦＨを再生出力の大きさから求めるのではなく、別の測定方法を採用しても構わない。例えば、ＦＦＴ処理部７０６により、２つの異なる特定の周波数成分の信号レベルを抽出し、それらの振幅の比率から浮上量ＦＨを求めることも可能である。
【００６０】
この場合、２つの周波数成分（例えば、１次成分と３次高調波成分）を含む信号パターンをあらかじめ磁気ディスク７１５に書き込んでおき、ＦＦＴ処理部７０６は、それぞれの周波数成分の振幅を制御部７０３に出力する。そして、制御部７０３は、１次成分の振幅Ｖ１と３次高調波成分の振幅Ｖ３から、次式により浮上量ＦＨを算出する。
ＦＨ＝Ｄ・ｌｎ（（Ｖ１／Ｖ３）／（Ｖ１ref ／Ｖ３ref ））＋Ｅ    （５）
（５）式の係数Ｄはあらかじめ決められており、定数Ｅは、基準浮上量Ｈref におけるそれぞれの周波数成分の振幅Ｖ１ref およびＶ３ref から決定される。
【００６１】
また、ＦＦＴはＤＦＴ（離散的フーリエ変換）でもよい。
上述した実施形態では、磁気ディスク装置のヘッド検査について説明したが、本発明はこれに限らず、光ディスク装置、光磁気ディスク装置等の他の記録再生装置のヘッド検査にも適用可能である。
【００６２】
（付記１）記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定するヘッド検査装置であって、
ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報と、該ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得する取得手段と、
品質と浮上量の組み合わせにより前記ヘッド部の合否を判定する判定手段と
を備えることを特徴とするヘッド検査装置。
（付記２）品質基準と、品質と浮上量の相関関係とを記憶する記憶手段を有し、
前記判定手段は、前記品質情報が前記品質基準を満たさない場合に、前記浮上量情報が、該品質情報と前記相関関係から決められる浮上量以上という判定条件を満たせば、前記ヘッド部を合格と判定することを特徴とする付記１記載のヘッド検査装置。
（付記３）前記判定手段は、前記品質情報が閾値未満の場合に、前記ヘッド部を不合格と判定し、該品質情報が閾値以上の場合に、該品質情報が前記品質基準を満たすか否かをチェックすることを特徴とする付記２記載のヘッド検査装置。
（付記４）前記取得手段は、前記ヘッド部から出力されるデータ信号の品質を測定する品質測定手段と、前記ヘッド部の浮上量を測定する浮上量測定手段とを含むことを特徴とする付記１ないし３のいずれかに記載のヘッド検査装置。
（付記５）記録媒体を回転させる回転手段をさらに備え、前記品質測定手段および浮上量測定手段は、該回転手段を共用して、前記データ信号の品質の測定および前記浮上量の測定を行うことを特徴とする付記４記載のヘッド検査装置。
（付記６）前記浮上量測定手段は、記録媒体からの再生信号に基づいて前記ヘッド部の浮上量を測定することを特徴とする付記４記載のヘッド検査装置。
（付記７）前記浮上量測定手段は、前記ヘッド部が記録媒体と接触したときの基準出力と、該ヘッド部が該記録媒体上に浮上しているときの出力から、該ヘッド部の浮上量を計算することを特徴とする付記６記載のヘッド検査装置。
（付記８）前記ヘッド部は、該ヘッド部の浮上量を変化させる浮上量制御アクチュエータ手段を含み、前記浮上量測定手段は、該浮上量制御アクチュエータ手段を動作させて該ヘッド部の浮上量を低下させることで、該ヘッド部と前記記録媒体の接触を検出することを特徴とする付記７記載のヘッド検査装置。
（付記９）記録再生装置に使用される記録再生ヘッドの合否を判定するヘッド検査方法であって、
ヘッド部のデータ信号の品質を示す品質情報を取得し、
前記ヘッド部の浮上量を示す浮上量情報を取得し、
品質と浮上量の組み合わせにより前記ヘッド部の合否を判定する
ことを特徴とするヘッド検査方法。
（付記１０）前記ヘッド部のデータ信号の品質を測定して品質情報を取得し、
前記ヘッド部の浮上量を測定して浮上量情報を取得し、
品質基準と、品質と浮上量の相関関係とを参照し、
前記品質情報が品質基準を満たさない場合に、前記浮上量情報が、該品質情報と前記相関関係から決められる浮上量以上という判定条件を満たせば、前記ヘッド部を合格と判定する
ことを特徴とする付記９記載のヘッド検査方法。
（付記１１）記録媒体を回転させる回転手段を共用することで、前記データ信号の品質の測定と前記浮上量の測定を連続して行うことを特徴とする付記１０記載のヘッド検査方法。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】本発明のヘッド検査装置の原理図である。
【図２】本発明のヘッド検査方法を示す図である。
【図３】合否判定のフローチャートである。
【図４】第１のヘッド検査装置の構成図である。
【図５】第２のヘッド検査装置の構成図である。
【図６】第３のヘッド検査装置の構成図である。
【図７】ヘッド検査装置の具体例を示す図である。
【図８】ヘッド部の構成図である。
【図９】従来のヘッド検査方法を示す図である。
【符号の説明】
【００６４】
１０１  取得手段
１０２  記憶手段
１０３  判定手段
１１１  品質基準
１１２  相関関係
４０１、５０１  ヘッド試験部
４０２、５０３  浮上量試験部
４０３、５０４  演算部
４０４、５０２、５０５  判定部
６０１  接触検出部
６０２  基準出力測定部
６０３  出力測定部
６０４  浮上量算出部
６０５  浮上量制御部
７０１  表示部
７０２  インタフェース部
７０３  制御部
７０４  記憶部
７０５  リード／ライト処理部
７０６  ＦＦＴ処理部
７０７  通電制御部
７０８  ドライバ制御部
７０９  リード回路
７１０  ライト回路
７１１  ボイスコイルモータ
７１２  モータドライバ部
７１３  ヘッド部
７１４  スピンドルモータ
７１５  磁気ディスク
８０１  サスペンション
８０２  ヘッドスライダ
８０３  磁気ヘッド
８０４  浮上量制御アクチュエータ
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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