(57)【要約】【課題】  小型化及び軽量化を図ることができるとともに、応答性に優れた２軸型アクチュエータを提供する。【解決手段】  制御対象２０を揺動自在に支持する支持機構３０と、磁石Ｍ及び複数のコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えるとともに前記制御対象２０を駆動させる電磁力を発生する磁気駆動機構４０Ａとを備え、前記磁気駆動機構４０Ａには、前記磁石Ｍが発生した磁束Ｂを分割し各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に流れる電流に鎖交させる磁束分配部（４７ａ，４６など）を設けるように構成した。【選択図】図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象を揺動自在に支持する支持機構と、磁石及び複数のコイルを備えるとともに前記制御対象を駆動させる電磁力を発生する磁気駆動機構とを備え、
前記磁気駆動機構には、前記磁石が発生した磁束を分割し各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
制御対象を支持する可動軸と、互いに直交する第１及び第２の軸に対して垂直となる第３の軸を基準軸としたときに前記可動軸をこの基準軸に対し揺動自在に支持する支持機構と、少なくとも磁石とコイルとからなる磁気回路を有するとともに前記可動軸を前記基準軸と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させる磁気駆動機構とを有し、
前記磁気駆動機構が、前記基準軸を挟んで対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第１の磁気駆動部と、前記第１の磁気駆動部に対し直交するとともに前記基準軸を挟んで軸対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第２の磁気駆動部と、前記磁石が発生した磁束を分割して前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部と、が設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
【請求項３】
前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部及びこの本体部の外側に連続する拡張部とを備えた第１のヨークと、他方の極が固定される本体部及びこの本体部を形成する平面に含まれ且つ互いに直交する２軸方向に突出形成された複数の腕部とを備えた第２のヨークとを有し、前記拡張部と前記腕部とが対向するギャップ内にはコイルが設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されていることを特徴とする請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項４】
前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部とこの本体部に連続するとともに前記磁石の側面を取り囲むように配置された側壁部を備えた第１のヨークと、前記第１のヨークの内側に設けられ、磁石の他方の極が固定される本体部を有するとともに互いに直交する２軸方向に延びて前記側壁部に対向する複数の腕部とを備えた第２のヨークが設けられ、前記側壁部と前記腕部とが対向するギャップ内にはコイルが設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されていることを特徴とする請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、板状の軟磁性体素材を切断し折り曲げた板金加工により形成されている特徴とする請求項２ないし４のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項６】
前記磁束分配部が可動軸側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定部材側に設けられていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項７】
前記コイルが可動軸側に設けられ、前記磁束分配部が固定部材に設けられていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項８】
前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記第３の軸に対して平行に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに逆向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分が互いに同じ方向であることを特徴とする請求項２、３、５ないし７のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項９】
前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記第３の軸に対して垂直に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに同じ向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分も互いに同じ方向であることを特徴とする請求項２、４、５ないし７のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射ミラーを所望の傾斜角度に設定することにより光記録媒体に入射しようとする参照光の入射角度の調整を行う２軸型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ホログラフィー記録媒体に対して２次元的なデジタル信号を多重に記録しまたは再生する方法としては、前記記録媒体に入射する参照光の入射角度又は波長を変えて行う方法が一般的である。
【０００３】
このような光ビーム（参照光）の入射角度を調整する従来の手段としては、アクチュエータとしてのガルバノミラーが代表的である（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−１６９１２２号公報（図１−図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献１に記載されているガルバノミラーでは、マグネットを左右対称の位置にそれぞれ配置する構成を基本としている。このため、マグネットが２つ必要であり、ガルバノミラー全体としての軽量化と、部品点数の削減に伴うコストダウンが図り難いという問題がある。
【０００５】
また上記ホログラフィー装置では、ホログラフィー記録媒体上の記録位置１箇所当たりの記録容量が大きいため、その読出し時間を可能な限り短くすることが望まれている。そのためには、特に読出しデータが指定されてから前記参照光の入射角度を所望の角度に設定するまでに要する時間（応答時間）、すなわちミラーの角度調整に要する時間を短縮する必要がある。しかしながら、上記特許文献１のガルバノミラーでは、ミラーを保持して揺動する可動部の両側面に合計６ヶ（片側面３ヶ×２）の電磁コイルを備えた構成であるため、前記可動部の重量は比較的重い。このため、読出しデータが指定されてから実際に可動部が動き出すまでにある程度の時間を要し、前記ミラーの角度調整を高速で調整することが困難（応答性が鈍い）という問題がある。
【０００６】
この点、マグネットから大きな推進力を得ることが出来れば、前記応答性を高めることが可能となるところ、そのためにはより重量の重い大きなマグネットを必要とするため、小型化及び軽量化が実現し難いものとなる。
【０００７】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、小型化及び軽量化を図ることができるとともに、応答性に優れた２軸型アクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、磁石やコイルの数を減らすことができるため、部品点数の削減とコストダウンを図ることができる。
【０００９】
また小型化し、または軽量化することができるため、応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明は、制御対象を揺動自在に支持する支持機構と、磁石及び複数のコイルを備えるとともに前記制御対象を駆動させる電磁力を発生する磁気駆動機構とを備え、
前記磁気駆動機構には、前記磁石が発生した磁束を分割し各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部が設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明のアクチュエータでは、１つの磁石が発生した磁束を分割して、複数のコイルに導くことができる。よって、磁石の数を最小（１ヶ）とすることができるため、アクチュエータの軽量化と、部品点数の削減に伴うコストダウンを図ることができる。また磁石の数が１ヶであっても、複数の磁気駆動部を構成することができる。
【００１２】
また本発明は、制御対象を支持する可動軸と、互いに直交する第１及び第２の軸に対して垂直となる第３の軸を基準軸としたときに前記可動軸をこの基準軸に対し揺動自在に支持する支持機構と、少なくとも磁石とコイルとからなる磁気回路を有するとともに前記可動軸を前記基準軸と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させる磁気駆動機構とを有し、
前記磁気駆動機構が、前記基準軸を挟んで対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第１の磁気駆動部と、前記第１の磁気駆動部に対し直交するとともに前記基準軸を挟んで軸対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第２の磁気駆動部と、前記磁石が発生した磁束を分割して前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部と、が設けられていることを特徴とするものである。
【００１３】
本発明では、１つの磁石が発生した磁束を分割し、第１の磁気駆動部を形成するコイル及び第２の磁気駆動部を形成するコイルにそれぞれ導くことができるため、小型且つ軽量化された２軸型のアクチュエータを提供することができる。
【００１４】
上記においては、前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部及びこの本体部の外側に連続する拡張部とを備えた第１のヨークと、他方の極が固定される本体部及びこの本体部を形成する平面に含まれ且つ互いに直交する２軸方向に突出形成された複数の腕部とを備えた第２のヨークとを有し、前記拡張部と前記腕部とが対向するギャップ内にはコイルが設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されるものが好ましい。
【００１５】
あるいは、前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部とこの本体部に連続するとともに前記磁石の側面を取り囲むように配置された側壁部を備えた第１のヨークと、前記第１のヨークの内側に設けられ、磁石の他方の極が固定される本体部を有するとともに互いに直交する２軸方向に延びて前記側壁部に対向する複数の腕部とを備えた第２のヨークが設けられ、前記側壁部と前記腕部とが対向するギャップ内にはコイルが設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されているものが好ましい。
【００１６】
上記手段では、磁石が１ヶであっても複数の磁気駆動部（コイル）ごとに電磁力を発生させることができる。よって、これらを組み合わせることにより、大きな電磁力を得ることができ、軽量且つ応答性に優れたアクチュエータを提供することが可能となる。また複数の磁気駆動部を構成することができるため、制御対象を２軸回りに揺動させることも可能となる。
【００１７】
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、板状の軟磁性体素材を切断し折り曲げた板金加工により形成されているものが好ましい。
【００１８】
上記手段では、第１及び第２のヨークを板金加工により簡単且つ容易に形成することができるため、製造コストを削減し安価なアクチュエータを提供することが可能となる。
【００１９】
前記磁束分配部が可動軸側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定部材側に設けられていることが好ましい。
【００２０】
上記手段では、可動軸側への配線を不要とするＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータを提供することができるため、アクチュエータの組み立てを容易化することが可能となる。
【００２１】
また前記コイルが可動軸側に設けられ、前記磁束分配部が固定部材に設けられていることが好ましい。
【００２２】
上記手段では、可動軸側を軽量化することが可能なＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータを提供することができるため、より応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【００２３】
さらに上記にいては、前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記第３の軸に対して垂直に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに同じ向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分も互いに同じ方向であるものとすることができる。
【００２４】
あるいは前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記第３の軸に対して垂直に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに同じ向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分も互いに同じ方向であるものとすることも可能である。
【００２５】
上記構成では、一方の磁気回路に生じた電磁力と、他方の磁気回路に生じた電磁力とを合成し、効率よく回転力に変換することができる。このため、応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は本発明である２軸型アクチュエータの実施の形態としてのガルバノミラーを示す斜視図、図２は図１の分解斜視図、図３は磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−Ｂ線における矢視断面図、図４は磁気発生部を図２とは異なる方向から示す斜視図である。
【００２７】
本実施の形態に示すアクチュエータ１０Ａはガルバノミラーを構成するものであり、図１及び図２に示すように大きく分けて制御対象２０、支持機構３０および磁気駆動機構４０Ａの３つの部材から構成されている。以下、各機構ごとに詳述する。
【００２８】
前記制御対象２０としては、ミラー支持部２２に支持された反射ミラー２１である。前記反射ミラー２１は例えば全反射型のミラーであり、図示Ｚ１側からＺ２方向に向かって所定の角度で入射した光を同じ角度で射出させるようになっている。また反射ミラー２１の傾き角度を変えることにより、反射光の射出方向を調整できるようになっている。
【００２９】
前記ミラー支持部２２は、断面Ｌ字形状からなる支持板２２ａからなり、その背面（図示Ｚ２側の面）にはＺ２方向に突出する可動軸２２ｂが設けられている。なお、本実施の形態では前記可動軸２２ｂが、その延びる方向（Ｚ方向）が前記反射ミラー２１の鏡面２１ａに対して９０度以外の所定の角度を有するように設定されている。すなわち、前記反射ミラー２１は、前記鏡面２１ａがあらかじめ可動軸２２ｂの延びる方向（Ｚ方向）に対し所定の傾き角度を有する状態で固定されている。
【００３０】
前記反射ミラー２１はその背面２１ｂを支持板２２ａ上に載置させた状態で接着剤やネジ止めなどの手段を介して固定されている。前記可動軸２２ｂの表面には、所定の曲率で凹状に湾曲形成された一対の第１の凹部２２ｃ，２２ｃが形成されている。前記第１の凹部２２ｃ，２２ｃは前記可動軸２２ｂの表面で且つ互いに対称となる位置（１８０度異なる位置）に形成されている。
【００３１】
支持機構３０は、固定ベース３１、可動リング３２および複数の小球３３を有して構成されている。固定ベース３１は中央部に大きく貫通する円形状の開口部３１ａが形成されて板状の部材であり、そのＸ方向の両端には凸状に突出形成された固定部３１ｂ，３１ｂが設けられている。
【００３２】
前記可動リング３２は前記開口部３１ａの内径寸法よりも小さな外径寸法を有し、且つ前記ミラー支持部２２の可動軸２２ｂの外径寸法よりも大きな内径寸法を有するリング状の部材で形成されている。
【００３３】
前記可動軸２２ｂは前記可動リング３２の内部に挿入されており、前記可動軸２２ｂの外表面と前記可動リング３２の内周面との間で且つ互いに対称となる位置（１８０度異なる位置）には自在に回転する小球３３，３３が設けられる。このため、前記可動軸２２ｂと前記可動リング３２とは、前記小球３３と小球３３を結ぶ仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）の軸回りにおいて相対的に図示α１およびα２方向に揺動自在な関係で保持されている。
【００３４】
また前記可動リング３２の外周面と前記固定ベース３１の前記開口部３１ａの内面との間で且つ前記小球３３，３３が配置された位置から円周方向に沿って９０度異なる位置には自在に回転する小球３４，３４が設けられる。このため、前記可動リング３２と前記固定ベース３１とは、前記小球３４と小球３４を結ぶ仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）の軸回りに相対的に図示β１およびβ２方向に揺動自在に保持されている。なお、前記可動軸２２ｂの回転軸（仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸））と可動リング３２の回転軸（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸））との交点が回転中心（支持機構の支持中心点）Ｏである。
【００３５】
すなわち、前記可動軸２２ｂは、前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）及びこれと直交する前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）の２軸に対し揺動自在に保持されている。したがって、前記可動軸２２ｂは、その姿勢を前記支持中心点Ｏを通るＺ軸（第３の軸；基準軸）に対し、３６０度の範囲に亘って自在に傾倒させることが可能とされている。
【００３６】
磁気駆動機構４０Ａは主として固定部材４１，コイル及び磁気発生部４５Ａとを有している。
【００３７】
図２に示すように、固定部材４１は、略コの字形状からなる金属板などで形成されており、底面４１Ａと、その両端には図示Ｚ１方向に連続的に延びる側壁部４１Ｂ，４１Ｂが設けられている。そして、この側壁部４１Ｂ，４１Ｂの先端には、図示Ｘ方向に貫通するとともにＹ方向に延びる長穴４１ａ，４１ａが形成されている。この長穴４１ａ，４１ａには、前記固定ベース３１に形成された固定部３１ｂ，３１ｂが嵌合可能とされている。すなわち、前記固定ベース３１は固定部材４１に支持される。
【００３８】
図２及び図３などに示すように、磁気駆動機構４０Ａは平面的には略十字形状からなり、樹脂材料などで形成されるボビン４３を有している。前記ボビン４３は中心部に設けられた正方形状の基部４３Ａと、この基部４３Ａの外周面からそれぞれ四方に突出する筒状の巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとを有している。前記基部４３Ａの外周面には、基部４３Ａの内部から前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの内部に抜ける連通部４３ａ，４３ａ，４３ａ，４３ａがそれぞれ形成されている。また前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの先端には、各巻回部が延びる方向に対して垂直となる方向に広がるフランジ部４４ａ，４４ａ，４４ａ，４４ａがそれぞれ一体に形成されている。そして、後述するように各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの外周で且つ前記基部４３Ａの外周面とフランジ部４４ａとの間には４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されるようになっている。あるいは、例えば前記基部４３Ａと前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとが別体で構成されるものであってもよい。
【００３９】
そして、このように四方に４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えたボビン４３は、前記固定部材４１の底面４１Ａに固定されている。
【００４０】
図２及び図４に示すように、磁気発生部４５Ａは下ヨーク（第１のヨーク）４６と、磁石Ｍと、上ヨーク（第２のヨーク）４７とで構成されている。前記下ヨーク４６は例えば亜鉛メッキ鋼板（ＳＰＣＣ）など軟磁性体素材からなる金属板で形成されており、磁石Ｍの底面積よりも広い八角形状の金属板として形成されている。前記下ヨーク４６のＺ１側の面には前記可動軸２２ｂの端面が固定される。
【００４１】
本実施の形態に示す前記磁石Ｍは正方形状をしており、前記下ヨーク４６の図示Ｚ２側の面上の中心部に固定されている。前記磁石Ｍは、例えばＺ１側がＳ極、Ｚ２側がＮ極のように面方向に着磁されている。
【００４２】
図４に示すように、上ヨーク４７も上記同様の軟磁性体素材からなる金属板で形成されており、前記磁石Ｍとほぼ同じ面積からなる正方形状の本体部４７Ａと、前記本体部４７Ａの４つの側面から図示Ｐ１−Ｐ２方向及びＱ１−Ｑ２方向に延びる４本の腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａを有している。４本の腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端は下ヨーク４６に近接する方向（Ｚ１方向）に折り曲げられており、前記下ヨーク４６と各腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端部との対向距離（ギャップ長）が短くなるように設定されている。
【００４３】
上ヨーク４７は板金加工により形成される。例えば所定の型を用いて、前記金属板から正方形状の本体部４７Ａと、その周囲に腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａを有する上ヨーク４７とが一体化された状態で切断（打抜加工）され、その後に前記腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端部のみを加圧プレスによって折り曲げることにより形成することができる。
【００４４】
このように、前記各腕部４７ａと下ヨーク４６との間の対向距離（ギャップ長）は、本体部４７Ａ側の基端部に比較して先端部が狭い。このため、前記各腕部４７ａの先端部と下ヨーク４６との間（ギャップＧ内）の磁束密度は、前記各腕部４７ａの基端部と下ヨーク４６との間の磁束密度に比較して大きい。
【００４５】
このため、磁石の強さ（最大エネルギー積）が低い磁石Ｍであっても、前記磁石Ｍから分割された磁束をギャップＧ内に効率良く導くことができる。あるいは、ネオジム磁石など前記最大エネルギー積が元々高い磁石Ｍにあっては、より小型化又は薄型化することが可能である。よって、前記磁気発生部４５Ａを軽量化することができるため、より応答性に優れたアクチュエータとすることが可能となる。
【００４６】
なお、上ヨーク４７は、前記本体部４７Ａの下面（Ｚ１側の面）と前記磁石Ｍの上面（Ｚ２側の面）との間に設けられた接着剤を介して固着されている。
【００４７】
前記上ヨーク４７はボビン４３内に配置される。すなわち、前記上ヨーク４７の本体部４７Ａが前記ボビン４３の基部４３Ａ内に設けられ、各腕部４７ａは前記各連通部４３ａを通じて前記各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ内に位置するようにそれぞれ配置される。そして、このように上ヨーク４７の各腕部４７ａを、巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ内にそれぞれ配置させた状態において、前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄの周囲に被覆導線を巻き付けることにより４つのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されている。
【００４８】
なお、前記ボビン４３を構成する基部４３Ａと各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとが別体で構成されるものであってもよい。この場合には、あらかじめ各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄの周囲に線材を巻き付けて各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を形成しておき、前記磁石Ｍ及び上ヨーク４７を前記基部４３Ａ内に装着した後に、前記各連通部４３ａを介して基部４３Ａの外部にそれぞれ突出する各腕部４７ａに対してその周囲を取り囲むように前記各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えた各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄを前記基部４３Ａの４つの外周面にそれぞれ固定することにより、４つのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を一体的に備えたボビン４３とすることができる。
【００４９】
上記アクチュエータの動作について説明する。
図５はアクチュエータの動作を説明するための磁気駆動部の断面図である。図５に示すように、前記各腕部４７ａの先端部と下ヨーク４６とは、一定のギャップＧを解して対向するように配置されおり、このギャップＧ内に４ヶの各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の一部がそれぞれ配置されている。
【００５０】
前記磁気発生部４５Ａでは、磁石ＭのＮ極から発生した磁束Ｂが、上ヨーク４７内の本体部４７Ａ内を中心から離れる外周方向に進んで各腕部４７ａに導かれる。そして、前記磁束Ｂは各腕部４７ａの先端部の下面（Ｚ１側の面）から外部に抜け出るとともに、これに対向する位置に設けられた前記ギャップＧを通過して下ヨーク４６に入り込む。さらに磁束Ｂは前記下ヨーク４６内を中心方向に進んで前記磁石ＭのＳ極内に至るという磁気回路（磁路）を形成する。そして、前記磁束Ｂが前記ギャップＧを通過する際には、磁束Ｂと前記各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４内を流れる電流Ｉとが垂直に鎖交する。
【００５１】
ここで、前記磁気駆動機構４０Ａでは、仮想線Ｐ１−Ｐ２上に沿って配置されたコイルＣ１とコイルＣ２とが第１の磁気駆動部を形成し、仮想線Ｑ１−Ｑ２に沿って配置されたコイルＣ３とコイルＣ４とが第２の磁気駆動部を形成している。
【００５２】
前記第１の磁気駆動部を形成するＰ１側のコイルＣ１に、図５に矢印Ａ１で示す外方向から見て時計回り方向の電流が流れるとすると、前記コイルＣ１にはフレミングの左手の法則に従う電磁力Ｆ１が発生する。同時に、前記第１の磁気駆動部を形成するＰ２側のコイルＣ２に、図５に矢印Ａ２で示す外方向から見て反時計回り方向の電流が流れると、前記コイルＣ２に電磁力Ｆ２が発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２とは大きさ及び向きが等しく、ともに支持中心点Ｏから等しい位置に発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２は、それぞれ支持中心点Ｏを回転中心とする所定の円の半径方向の成分と接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔとに分けることができるが、このうち接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔが、図５において時計回り方向の回転を生じさせる力として寄与する。よって、前記磁気発生部４５Ａを図５にて時計回り方向（β１方向）に揺動させることができる。このため、前記磁気発生部４５Ａを形成する下ヨーク４６の下面に垂直に設けられた可動軸２２ｂをＺ軸（第３の軸））に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ２方向に傾倒させることができる。よって、可動軸２２ｂの先端に設けられた制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａをＰ２方向に傾けることができる。
【００５３】
またコイルＣ１及びコイルＣ２に流す電流の向きをそれぞれ変えると、前記磁気発生部４５Ａは反時計回り方向（β２方向）に揺動させられため、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ１方向に傾倒させることができる。よって、制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａを前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿ってＰ１方向に傾けることができる。
【００５４】
また上記の関係は、第２の磁気駆動部を形成するＱ１側のコイルＣ３とＱ２側のコイルＣ４との間でも同様である。すなわち、前記コイルＣ３及びコイルＣ４に流す電流の向きを変えることにより、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）線に沿ってＰ１又はＰ２方向に傾倒させることができる。
【００５５】
よって、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部を形成するＣ３，Ｃ４に流れる電流の向きを所定の方向に設定することにより、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ１又はＰ２方向および前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）線に沿うＰ１又はＰ２方向に、すなわち３６０度の範囲に亘って自在に傾倒させることができる。
【００５６】
上記アクチュエータでは、コイルＣ１、前記コイルＣ１内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ２、前記コイルＣ２内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記上ヨーク４７、磁石Ｍ及び下ヨーク４６を有する磁気発生部４５Ａをβ１およびβ２方向に回転させる第１の磁気駆動部として機能している。
【００５７】
さらにコイルＣ３、前記コイルＣ３内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ４、前記コイルＣ４内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記上ヨーク４７、磁石Ｍ及び下ヨーク４６を有する磁気発生部４５Ａをα１およびα２方向に回転させる第２の磁気駆動部として機能している。
【００５８】
このため、上記第１の磁気駆動部及びこれと直交する方向に配置された第２の磁気駆動部を用いることにより、前記磁気発生部４５Ｂに接続されている可動軸２２ｂを前記Ｚ軸（第３の軸；基準軸）と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させることができる。よって、この可動軸２２ｂの他端に設けられた制御対象２０、すなわち反射ミラー２１を２軸方向に自在に傾倒させることが可能である。
【００５９】
また上記においては、前記上ヨーク４７（第２のヨーク）の各腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａと前記下ヨーク（第１のヨーク）４６とは、１ヶの磁石Ｍが発生した磁束を分割するとともに、各ギャップＧ内に位置する第１の磁気駆動部のコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部のＣ３，Ｃ４に振り分ける磁束分配部を形成している。
【００６０】
図６は本発明の第２の実施の形態を示すアクチュエータの分解斜視図、図７は外ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂは加圧プレス後の状態、図８は内ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂは加圧プレス後の状態、図９は第２の実施の形態を示すアクチュエータの磁気駆動部の断面図である。
【００６１】
第２の実施の形態に示すアクチュエータ１０Ｂと上記第１の実施の形態のアクチュエータ１０Ａとは、主として磁気駆動機構の構成が異なっており、制御対象２０及び支持機構３０の構成は同様である。よって、以下のアクチュエータ１０Ｂにあっては、相違部分である磁気駆動機構の構成を中心に説明する。なお、記第１の実施の形態と同一部材については同一の符号を付して説明する。
【００６２】
図６に示すように、アクチュエータ１０Ｂを構成する磁気駆動機構４０Ｂは、コイル、固定部材４１、磁気発生部４５Ｂなどを有している。
【００６３】
図６に示すように、固定部材４１は底面４１Ａと側壁部４１Ｂ，４１Ｂとを備えた略コの字形状の金属板で形成されている。前記側壁部４１Ｂ，４１Ｂの先端には、上記同様の支持機構３０の固定ベース３１に形成された固定部３１ｂ，３１ｂを嵌合して支持する長穴４１ａ，４１ａが形成されており、この長穴４１ａ，４１ａに前記支持機構３０が固定される。
【００６４】
前記固定部材４１の底面４１Ａには、図示Ｚ方向に開口端を向けた筒型形状からなる４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が設けられている。各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、例えば熱融着可能な樹脂で覆われた被覆線材を、所定の外形寸法からなるボビン（芯材）の外周に所定回数巻き付けてコイル状に成形するとともに、このコイル状のものを高温度環境下に置くことによって前記樹脂を溶かして各線材間を固定し、常温に戻した後に前記ボビンを引き抜くことにより形成された空心コイルとして形成されている。磁気駆動機構４０Ｂを形成する各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、Ｚ軸を挟んでコイルＣ１とコイルＣ２とが軸対称の位置に設けられ、コイルＣ３とコイルＣ４とが軸対称の位置に設けられている。そして、前記コイルＣ１及びコイルＣ２と前記コイルＣ３及びコイルＣ４とは、周方向（Ｚ軸回り）に９０度異なる位置に設けられている。前記磁気駆動機構４０Ｂにおいても、仮想線Ｐ１−Ｐ２上に沿って配置されたコイルＣ１とコイルＣ２とが第１の磁気駆動部を形成し、仮想線Ｑ１−Ｑ２に沿って配置されたコイルＣ３とコイルＣ４とが第２の磁気駆動部を形成している。なお、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１とコイルＣ２とは一本の線材で形成されることにより直列接続されており、同じく前記第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４とが直列接続されている。
【００６５】
磁気発生部４５Ｂは、主として外ヨーク（第１のヨーク）４８、磁石Ｍおよび内ヨーク（第２のヨーク）４９の３つの部材で構成されている。
【００６６】
前記外ヨーク４８および内ヨーク４９とは、例えば亜鉛メッキ鋼板（ＳＰＣＣ）など軟磁性体素材からなる金属板を切断し、その後に加圧プレスして折り曲げる板金加工を施すことにより形成される。
【００６７】
すなわち、図７Ａに示すように所定の型を用いて前記金属板を打ち抜くと、正方形状の本体部４８Ａと、前記本体部４８Ａの四隅に４つの側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａが設けられた平板状の外ヨーク４８が形成される。そして、加圧プレスにより前記４つの側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａを前記本体部４６Ａに対し、同一方向に９０度折り曲げるとともに、周方向にも折り曲げることにより、図８Ｂに示すような略カップ形状の外ヨーク４８が完成する。このとき、前記本体部４８Ａの下面（Ｚ１側の面）には、正方形状の基部４８ｂと、この基部４８ｂの中央部にさらに突出する円形の位置決め凸部４８ｃが同時に形成される。前記基部４８ｂには前記可動軸２２ｂの端面が固定されるが、前記位置決め凸部４８ｃにより、前記可動軸２２ｂの軸中心が外ヨーク４８の中心を通るように位置決めされた状態で固定することが可能とされている。
【００６８】
前記内ヨーク４９も、所定の型を用いて前記金属板を打ち抜いて切断されることにより形成される。すなわち、図８Ａに示すように、正方形状の本体部４９Ａと、前記本体部４９Ａの四隅から外方向に延びる４本の腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａが設けられた平板状の内ヨーク４９として形成される。そして、前記４本の腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａを前記本体部４９Ａに対し、同一方向に９０度折り曲げるような加圧プレス加工が施され、図９Ｂに示すような内ヨーク４９が完成する。
【００６９】
前記外ヨーク４８の内形寸法は、前記内ヨーク４９の外形寸法よりも大きく、前記外ヨーク４８の内部に前記内ヨーク４９を収納することが可能とされている。
【００７０】
前記内ヨーク４９は、本体部４９ＡのＺ１側の面の中心に磁石Ｍを固着させた状態で前記外ヨーク４８の内部に固定される。図９に示すように、この磁気発生部４５Ｂでは、前記磁石Ｍが前記外ヨーク４８の本体部４８Ａと前記内ヨーク４９の本体部４９Ａとの間に挟持された状態である。また前記内ヨーク４９の各腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａと前記外ヨーク４８の各側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａのとが対向し合う部分にギャップＧが形成される。そして、このような磁気発生部４５ＢのＺ２側には、磁気駆動機構４０Ｂを形成する４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えた固定部材４１（図６参照）が対向配置されており、前記４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の内部に、前記内ヨーク４９を形成する４ヶの腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａの先端が挿入されている。すなわち、各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の一部が前記各ギャップＧ内に配置されることにより、第１の磁気駆動部及び第２の軸駆動部を有する磁気駆動機構４０Ｂが形成されている。
【００７１】
前記磁石Ｍは、例えばＺ１側がＳ極に着磁され、Ｚ２側がＮ極に着磁されている。このような磁気発生部４５Ｂでは、磁石ＭのＮ極→内ヨーク４９の本体部４９Ａ→内ヨーク４９の各腕部４９ａ→各ギャップＧ→外ヨーク４８の各側壁部４８ａ→外ヨーク４８の本体部４８Ａ→磁石ＭのＳ極に至る経路からなる磁気回路（磁路）が形成される。
【００７２】
このとき、前記ギャップＧ内に設けられた各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に所定方向の電流を与えると、上記第１の実施の形態同様にフレミングの左手の法則に従う電磁力が発生する。
【００７３】
前記ギャップＧ内では、磁束Ｂの方向と各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の巻き方向とが直交している。このため、図９に示すように前記第１の磁気駆動部において、互いに直列接続されているコイルＣ１とコイルＣ２に所定の電流Ｉを流すと、磁束Ｂと電流Ｉとの作用による電磁力を前記電流Ｉの方向に応じてそれぞれ発生させることができる。
【００７４】
すなわち、図９を矢印Ａ３方向から見たときに、前記コイルＣ１に対して時計回り方向となる電流Ｉを流し、且つコイルＣ２に対して反時計回り方向となる電流Ｉを流すと、前記コイルＣ１に作用する電磁力Ｆ１’の方向は図示Ｚ２方向となり、前記コイルＣ２に作用する電磁力Ｆ２’の方向は図示Ｚ１方向となる。
【００７５】
前記コイルＣ１及びＣ２を有するボビン４３は、固定部材４１の底面４１Ａに固定されているため、コイルＣ１及びＣ２自体は移動することができない状態にある。このため、図９に示すようにコイルＣ１には電磁力Ｆ１’の反作用としての力Ｆ１が前記内ヨーク９の腕部４９ａを介して図示Ｚ１方向に作用し、コイルＣ２には電磁力Ｆ２’の反作用として力Ｆ２が前記内ヨーク４９の腕部４９ａを介して図示Ｚ２方向に作用する。
【００７６】
すなわち、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１とコイルＣ２には互いに逆向きの力Ｆ１，Ｆ２が作用する。そして、前記力Ｆ１の成分である駆動力Ｆ１ａと前記力Ｆ２の成分である駆動力Ｆ２ａとは支持中心点Ｏを中心とする同一半径Ｌからなる円の接線方向に作用する。よって、前記内ヨーク４９を、図９にて時計回り方向（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）回りβ１方向）に回転させることが可能である。なお、このときの駆動トルクＴは、Ｔ＝Ｆ１ａ・Ｌ＋Ｆ２ａ・Ｌ＝２・Ｆａ・Ｌ（ただし、Ｆ１ａ＝Ｆ２ａ＝Ｆａとする。）と表すことができる。
【００７７】
上記アクチュエータでは、コイルＣ１、前記コイルＣ１内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ２、前記コイルＣ２内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記内ヨーク４９、磁石Ｍ及び外ヨーク４８を有する磁気発生部４５Ｂをβ１およびβ２方向に回転させる第１の磁気駆動部として機能している。
【００７８】
なお、前記電流Ｉの向きをそれぞれ上記の例とは逆向きにすると、前記磁気発生部４５Ｂを図９にて反時計回り方向（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）回りβ２方向）に回転させることが可能である。
【００７９】
このように、前記電流Ｉの方向を変えると磁気発生部４５Ｂが回転するため、前記可動軸２２ｂを回転中心（支持中心点）Ｏとする時計回り方向（β１方向）および反時計回り方向（β２方向）に揺動させることが可能とされている。
【００８０】
上記の関係は、第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４とからなる磁気回路においても同様である。すなわち、前記第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４に流れる電流Ｉの方向を変えることにより、前記可動軸２２ｂを回転中心（支持中心点）Ｏとする仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）回りに、つまり図６においてα１方向およびα２方向にそれぞれ揺動させることが可能である。
【００８１】
そして、この場合にはコイルＣ３、前記コイルＣ３内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が１つの磁気回路を形成し、コイルＣ４、前記コイルＣ４内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が他の１つの磁気回路を形成している。そして、これら一対の磁気回路が、前記磁気発生部４５Ｂをα１およびα２方向に回転させる第２の磁気駆動部として機能する。
【００８２】
このため、上記第１の磁気駆動部及びこれと直交する方向に配置された第２の磁気駆動部を用いることにより、前記磁気発生部４５Ｂに接続されている可動軸２２ｂを前記Ｚ軸（第３の軸；基準軸）と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させることができる。よって、この可動軸２２ｂの他端に設けられた制御対象２０、すなわち反射ミラー２１を２軸方向に自在に傾倒させることが可能である。
【００８３】
上記第２の実施の形態においても、前記内ヨーク４９（第２のヨーク）の各腕部４９ａと、これに対向して配置された前記外ヨーク（第１のヨーク）４８の各側壁部４８ａとは、１ヶの磁石Ｍが発生した磁束を分割し、且つ各ギャップＧ内に位置する第１の磁気駆動部のコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部のＣ３，Ｃ４に振り分ける磁束分配部を形成している。
【００８４】
上記第１及び第２の実施の形態では可動軸２２ｂ側に磁気発生部４５Ａ又は４５Ｂを設け、磁石Ｍ側が揺動するいわゆるＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、前記磁気発生部４５Ａ又は４５Ｂを固定部材４１の底面４１Ａに固定し、各コイルＣ１〜Ｃ４を可動軸２２ｂの端面に配置すると、コイル側が揺動するいわゆるＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータとすることが可能である。
【００８５】
上記第１及び第２の実施の形態では、１ヶの磁石で２軸（仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）と仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸））方向に揺動するアクチュエータを構成することができるため、従来に比較して部品点数を少なくすることができる。
【００８６】
また磁石を１ヶとすることで軽量化することができる。このため、特にＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータの応答性を向上させることが可能である。またコイル数も少なくすることができるため、特にＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータの応答性を向上させることが可能である。
【００８７】
次に、上記いずれかの２軸型アクチュエータを利用したホログラフィー装置について説明する。
【００８８】
図１０はホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、図１１は図１０の矢印方向から見た場合に相当する正面図である。
【００８９】
図１０に示すホログラフィー装置は、例えば光記録媒体再生装置に搭載されるものである。ただし、再生専用の装置に限るものではなく、記録専用の装置、あるいは記録再生装置に搭載されるものであってもよい。
【００９０】
ホログラフィー装置は、主として光源６１、コリメートレンズ６２、反射ミラー２１、アクチュエータ１０、開口フィルタ６４および光検知器６５などからなる光学系のシステムで構成されている。
【００９１】
前記光源６１は、例えば垂直共振器面発光レーザ（以下、「ＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser）という」などからなるレーザ発光手段で構成されている。
【００９２】
前記コリメートレンズ６２および反射ミラー２１は、前記光源６１から射出されるレーザ光の光路上に設けられている。前記反射ミラー２１は上記いずれかのアクチュエータ１０に設けられており、２軸方向に揺動自在に支持されている。前記アクチュエータ１０と反射ミラー２１とにより、いわゆるガルバノミラーが構成されている。
【００９３】
前記コリメートレンズ６２は、前記光源６１と反射ミラー２１との間に設けられている。前記コリメートレンズ６２は前記光源６１から入射したレーザ光（発散光）Ｌ１を平行な光からなる参照光Ｌ２に変換するものであり、前記参照光Ｌ２は反射ミラー２１に向けて出力されるようになっている。
【００９４】
前記コリメートレンズ６２で平行な光に変換された前記参照光Ｌ２は、前記反射ミラー１３において反射させられ、参照光Ｌ３として光記録媒体７０上の所定の位置を照光する。
【００９５】
このとき、前記アクチュエータ１０は前記反射ミラー２１によって反射させられた前記参照光Ｌ２が、前記光記録媒体７０上の所定の位置を照光することができるように角度調整される。このような、反射ミラー２１の角度調整は上述のように第１の磁気駆動部および第２の磁気駆動部を形成する４つのコイルＣ１〜Ｃ４に所定の向き及び大きさからなる電流Ｉを与えることにより行うことができる。
【００９６】
このため、前記反射ミラー１３から出力された前記参照光Ｌ３は反射層７２において反射させられ、光記録媒体７０の外部に再生光Ｌ４として出力される。
【００９７】
この実施の形態に示す光記録媒体７０はいわゆる反射型記録媒体であり、干渉縞を記録することが可能な記録層７１の下部に反射層７２を有する構成である。なお、前記記録層７１内には多数のデータ情報を示すホログラムが、干渉縞（市松模様状の２次元的なドットパターン）として記録角度を変えた状態で多重に記録されている。このため、前記再生光Ｌ４には前記干渉縞によるデータ情報が含まれている。
【００９８】
前記開口フィルタ６４と前記光検知器６５は、前記光記録媒体７０から出力される前記再生光Ｌ４の光路上に設けられている。前記開口フィルタ６４は前記再生光Ｌ４から不要な光を排除するものである。
【００９９】
前記光検知器６５としては、例えばＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサなどを用いることが可能である。前記再生光Ｌ４が所定の入射角θで前記光検知器６５に照光されると、前記光検知器６５は前記再生光Ｌ４に含まれる多数のデータ情報のうち、前記入射角θと前記再生光Ｌ４の波長λとによる関係が所定のブラック条件式に合致する位置に記録されたデータ情報のみを読み出すことが可能とされている。
【０１００】
そして、前記アクチュエータ１０を駆動させ、前記反射ミラー２１の角度を微調整することにより、光記録媒体７０に入射する参照光Ｌ３の入射角θを変えることができるため、前記光記録媒体７０の記録層７１に多重に記録されている個々のデータ情報をそれぞれ読み出すことが可能とされる。
【０１０１】
上記実施の形態では、磁気分配部を有するアクチュエータとして、主として２軸型のアクチュエータを説明したが、１軸型のアクチュエータに適用することが可能なことはいうまでもないことである。
【０１０２】
また上記の各実施の形態の支持機構３０では、前記固定ベース３１と可動リング３２との間、および可動リング３２と可動軸２２ｂとの間を回転する機構として小球３３，３４を利用した構成として説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば前記小球３３，３４の代わりに回動ピンとこれを支持する軸受部材で構成されるものであってもよい。あるいは、支持機構３０が板ばねをプレス加工等した一体型のジンバルとして形成されており、前記板ばねが弾性変形（ねじれ変形）することにより前記可動軸２２ｂが２軸方向に傾倒させられる構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明である２軸型アクチュエータの実施の形態としてのガルバノミラーを示す斜視図、
【図２】図１の分解斜視図、
【図３】磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−Ｂ線における矢視断面図、
【図４】磁気発生部を図２とは異なる方向から示す斜視図、
【図５】アクチュエータの動作を説明するための磁気駆動部の断面図、
【図６】本発明の第２の実施の形態を示すアクチュエータの分解斜視図、
【図７】外ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂはプレス後の状態、
【図８】内ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂはプレス後の状態、
【図９】第２の実施の形態を示すアクチュエータの磁気駆動部の断面図、
【図１０】ホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、
【図１１】図１０の矢印方向から見た場合に相当する正面図
【符号の説明】
【０１０４】
１０，１０Ａ，１０Ｂ  ２軸型アクチュエータ
２０  制御対象
２１  反射ミラー
２２  ミラー支持部
２２ｂ  可動軸
３０  支持機構
３１  固定ベース
３２  可動リング
３３，３４  小球
４０Ａ，４０Ｂ  磁気駆動機構
４１  固定部材
４３  ボビン
４５Ａ，４５Ｂ  磁気発生部
４６  下ヨーク（第１のヨーク）
４７  上ヨーク（第２のヨーク）
４７ａ  腕部
４８  外ヨーク（第１のヨーク）
４８ａ  側壁部
４９  内ヨーク（第２のヨーク）
４９ａ  腕部
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４  コイル
Ｍ  磁石
Ｏ  回転中心（支持機構の支持中心点）
Ｐ１−Ｐ２  仮想軸（第１の軸）
Ｑ１−Ｑ２  仮想軸（第２の軸）
【図１】
2007072168.tif 000003
【図２】
2007072168.tif 000004
【図３】
2007072168.tif 000005
【図４】
2007072168.tif 000006
【図５】
2007072168.tif 000007
【図６】
2007072168.tif 000008
【図７】
2007072168.tif 000009
【図８】
2007072168.tif 000010
【図９】
2007072168.tif 000011
【図１０】
2007072168.tif 000012
【図１１】
2007072168.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成17年11月28日(2005.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御対象を揺動自在に支持する支持機構と、磁石及び複数のコイルを備えるとともに前記制御対象を駆動させる電磁力を発生する磁気駆動機構とを備え、
前記磁気駆動機構には、前記磁石が発生した磁束を分割し各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部が設けられていることを特徴とするアクチュエータ。
【請求項２】
制御対象を支持する可動軸と、前記可動軸を所定の基準軸に対し揺動自在に支持する支持機構と、少なくとも磁石とコイルとからなる磁気回路を有するとともに前記可動軸を前記基準軸と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させる磁気駆動機構とを有し、
前記磁気駆動機構が、前記基準軸を挟んで対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第１の磁気駆動部と、前記第１の磁気駆動部に対し直交するとともに前記基準軸を挟んで軸対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第２の磁気駆動部と、前記磁石が発生した磁束を分割して前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部と、が設けられていることを特徴とする２軸型アクチュエータ。
【請求項３】
前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される第１のヨークと、他方の極が固定される本体部及び前記基準軸から放射する方向であって互いに直交する２軸方向に前記本体部から突出形成された複数の腕部を備えた第２のヨークとを有し、
前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する個々のコイルは、前記コイルが巻き付く巻回部の突出方向を前記基準軸に対して垂直となる方向に向けつつその一部が前記第１のヨークと前記腕部とが対向するギャップ内に設けられており、前記腕部は前記コイル内に所定の可動余裕を有して配置されていることを特徴とする請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項４】
前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部とこの本体部に連続するとともに前記磁石の側面を取り囲むように配置された側壁部とを備えた第１のヨークと、磁石の他方の極が固定される本体部と前記第１のヨークの内側で前記側壁部に対向するように前記本体部から突出形成された複数の腕部を備えた第２のヨークとを有し、
前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する個々のコイルは、前記コイルが巻き付く巻回部の突出方向を前記基準軸に対して平行となる方向に向けつつその一部が前記側壁部と前記腕部とが対向するギャップ内に設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されていることを特徴とする請求項２記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項５】
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、板状の軟磁性体素材を切断し折り曲げた板金加工により形成されていることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項６】
前記磁束分配部が可動軸側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定部材側に設けられていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項７】
前記コイルが可動軸側に設けられ、前記磁束分配部が固定部材に設けられていることを特徴とする請求項２ないし５のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項８】
前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記基準軸に対して平行に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに逆向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分が互いに同じ方向であることを特徴とする請求項２、３、５ないし７のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【請求項９】
前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記基準軸に対して垂直に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに同じ向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分も互いに同じ方向であることを特徴とする請求項２、４、５ないし７のいずれか一項に記載の２軸型アクチュエータ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、反射ミラーを所望の傾斜角度に設定することにより光記録媒体に入射しようとする参照光の入射角度の調整を行う２軸型アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
ホログラフィー記録媒体に対して２次元的なデジタル信号を多重に記録しまたは再生する方法としては、前記記録媒体に入射する参照光の入射角度又は波長を変えて行う方法が一般的である。
【０００３】
このような光ビーム（参照光）の入射角度を調整する従来の手段としては、アクチュエータとしてのガルバノミラーが代表的である（例えば、特許文献１）。
【特許文献１】特開２００２−１６９１２２号公報（図１−図６）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上記特許文献１に記載されているガルバノミラーでは、マグネットを左右対称の位置にそれぞれ配置する構成を基本としている。このため、マグネットが２つ必要であり、ガルバノミラー全体としての軽量化と、部品点数の削減に伴うコストダウンが図り難いという問題がある。
【０００５】
また上記ホログラフィー装置では、ホログラフィー記録媒体上の記録位置１箇所当たりの記録容量が大きいため、その読出し時間を可能な限り短くすることが望まれている。そのためには、特に読出しデータが指定されてから前記参照光の入射角度を所望の角度に設定するまでに要する時間（応答時間）、すなわちミラーの角度調整に要する時間を短縮する必要がある。しかしながら、上記特許文献１のガルバノミラーでは、ミラーを保持して揺動する可動部の両側面に合計６ヶ（片側面３ヶ×２）の電磁コイルを備えた構成であるため、前記可動部の重量は比較的重い。このため、読出しデータが指定されてから実際に可動部が動き出すまでにある程度の時間を要し、前記ミラーの角度調整を高速で調整することが困難（応答性が鈍い）という問題がある。
【０００６】
この点、マグネットから大きな推進力を得ることが出来れば、前記応答性を高めることが可能となるところ、そのためにはより重量の重い大きなマグネットを必要とするため、小型化及び軽量化が実現し難いものとなる。
【０００７】
本発明は上記従来の課題を解決するためのものであり、小型化及び軽量化を図ることができるとともに、応答性に優れた２軸型アクチュエータを提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、制御対象を揺動自在に支持する支持機構と、磁石及び複数のコイルを備えるとともに前記制御対象を駆動させる電磁力を発生する磁気駆動機構とを備え、
前記磁気駆動機構には、前記磁石が発生した磁束を分割し各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部が設けられていることを特徴とするものである。
【０００９】
本発明のアクチュエータでは、１つの磁石が発生した磁束を分割して、複数のコイルに導くことができる。よって、磁石の数を最小（１ヶ）とすることができるため、アクチュエータの軽量化と、部品点数の削減に伴うコストダウンを図ることができる。また磁石の数が１ヶであっても、複数の磁気駆動部を構成することができる。
【００１０】
また本発明は、制御対象を支持する可動軸と、前記可動軸を所定の基準軸に対し揺動自在に支持する支持機構と、少なくとも磁石とコイルとからなる磁気回路を有するとともに前記可動軸を前記基準軸と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させる磁気駆動機構とを有し、
前記磁気駆動機構が、前記基準軸を挟んで対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第１の磁気駆動部と、前記第１の磁気駆動部に対し直交するとともに前記基準軸を挟んで軸対称となる位置に配置された一対の磁気回路からなる第２の磁気駆動部と、前記磁石が発生した磁束を分割して前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する各コイルに流れる電流に鎖交させる磁束分配部と、が設けられていることを特徴とするものである。
【００１１】
本発明では、１つの磁石が発生した磁束を分割し、第１の磁気駆動部を形成するコイル及び第２の磁気駆動部を形成するコイルにそれぞれ導くことができるため、小型且つ軽量化された２軸型のアクチュエータを提供することができる。
【００１２】
上記においては、前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される第１のヨークと、他方の極が固定される本体部及び前記基準軸から放射する方向であって互いに直交する２軸方向に前記本体部から突出形成された複数の腕部を備えた第２のヨークとを有し、
前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する個々のコイルは、前記コイルが巻き付く巻回部の突出方向を前記基準軸に対して垂直となる方向に向けつつその一部が前記第１のヨークと前記腕部とが対向するギャップ内に設けられており、前記腕部は前記コイル内に所定の可動余裕を有して配置されているものが好ましい。
【００１３】
あるいは、前記磁束分配部が、磁石の一方の極が固定される本体部とこの本体部に連続するとともに前記磁石の側面を取り囲むように配置された側壁部とを備えた第１のヨークと、磁石の他方の極が固定される本体部と前記第１のヨークの内側で前記側壁部に対向するように前記本体部から突出形成された複数の腕部を備えた第２のヨークとを有し、
前記第１及び第２の磁気駆動部を形成する個々のコイルは、前記コイルが巻き付く巻回部の突出方向を前記基準軸に対して平行となる方向に向けつつその一部が前記側壁部と前記腕部とが対向するギャップ内に設けられており、前記腕部はこのコイル内に所定の可動余裕を有して配置されているものが好ましい。
【００１４】
上記手段では、磁石が１ヶであっても複数の磁気駆動部（コイル）ごとに電磁力を発生させることができる。よって、これらを組み合わせることにより、大きな電磁力を得ることができ、軽量且つ応答性に優れたアクチュエータを提供することが可能となる。また複数の磁気駆動部を構成することができるため、制御対象を２軸回りに揺動させることも可能となる。
【００１５】
前記第１のヨークと前記第２のヨークとが、板状の軟磁性体素材を切断し折り曲げた板金加工により形成されているものが好ましい。
【００１６】
上記手段では、第１及び第２のヨークを板金加工により簡単且つ容易に形成することができるため、製造コストを削減し安価なアクチュエータを提供することが可能となる。
【００１７】
前記磁束分配部が可動軸側に設けられ、前記コイルが前記支持機構を支持する固定部材側に設けられていることが好ましい。
【００１８】
上記手段では、可動軸側への配線を不要とするＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータを提供することができるため、アクチュエータの組み立てを容易化することが可能となる。
【００１９】
また前記コイルが可動軸側に設けられ、前記磁束分配部が固定部材に設けられていることが好ましい。
【００２０】
上記手段では、可動軸側を軽量化することが可能なＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータを提供することができるため、より応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【００２１】
さらに上記にいては、前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記基準軸に対して平行に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに逆向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分が互いに同じ方向であるものとすることができる。
【００２２】
あるいは前記ギャップ内を通過する主たる磁束の向きが前記基準軸に対して垂直に設定されており、
前記一対の磁気回路を形成する一方の磁気回路と他方の磁気回路に発生する電磁力とが互いに同じ向き作用するものであり、前記電磁力のうち前記支持機構の支持中心点を回転中心とする円の接線方向に作用する成分も互いに同じ方向であるものとすることも可能である。
【００２３】
上記手段では、一方の磁気回路に生じた電磁力と、他方の磁気回路に生じた電磁力とを合成し、効率よく回転力に変換することができる。このため、応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【発明の効果】
【００２４】
本発明は、磁石やコイルの数を減らすことができるため、部品点数の削減とコストダウンを図ることができる。
【００２５】
また小型化し、または軽量化することができるため、応答性に優れたアクチュエータとすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
図１は本発明である２軸型アクチュエータの実施の形態としてのガルバノミラーを示す斜視図、図２は図１の分解斜視図、図３は磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−Ｂ線における矢視断面図、図４は磁気発生部を図２とは異なる方向から示す斜視図である。
【００２７】
本実施の形態に示すアクチュエータ１０Ａはガルバノミラーを構成するものであり、図１及び図２に示すように大きく分けて制御対象２０、支持機構３０および磁気駆動機構４０Ａの３つの部材から構成されている。以下、各機構ごとに詳述する。
【００２８】
前記制御対象２０としては、ミラー支持部２２に支持された反射ミラー２１である。前記反射ミラー２１は例えば全反射型のミラーであり、図示Ｚ１側からＺ２方向に向かって所定の角度で入射した光を同じ角度で射出させるようになっている。また反射ミラー２１の傾き角度を変えることにより、反射光の射出方向を調整できるようになっている。
【００２９】
前記ミラー支持部２２は、断面Ｌ字形状からなる支持板２２ａからなり、その背面（図示Ｚ２側の面）にはＺ２方向に突出する可動軸２２ｂが設けられている。なお、本実施の形態では前記可動軸２２ｂが、その延びる方向（Ｚ方向）が前記反射ミラー２１の鏡面２１ａに対して９０度以外の所定の角度を有するように設定されている。すなわち、前記反射ミラー２１は、前記鏡面２１ａがあらかじめ可動軸２２ｂの延びる方向（Ｚ方向）に対し所定の傾き角度を有する状態で固定されている。
【００３０】
前記反射ミラー２１はその背面２１ｂを支持板２２ａ上に載置させた状態で接着剤やネジ止めなどの手段を介して固定されている。前記可動軸２２ｂの表面には、所定の曲率で凹状に湾曲形成された一対の第１の凹部２２ｃ，２２ｃが形成されている。前記第１の凹部２２ｃ，２２ｃは前記可動軸２２ｂの表面で且つ互いに対称となる位置（１８０度異なる位置）に形成されている。
【００３１】
支持機構３０は、固定ベース３１、可動リング３２および複数の小球３３を有して構成されている。固定ベース３１は中央部に大きく貫通する円形状の開口部３１ａが形成されて板状の部材であり、そのＸ方向の両端には凸状に突出形成された固定部３１ｂ，３１ｂが設けられている。
【００３２】
前記可動リング３２は前記開口部３１ａの内径寸法よりも小さな外径寸法を有し、且つ前記ミラー支持部２２の可動軸２２ｂの外径寸法よりも大きな内径寸法を有するリング状の部材で形成されている。
【００３３】
前記可動軸２２ｂは前記可動リング３２の内部に挿入されており、前記可動軸２２ｂの外表面と前記可動リング３２の内周面との間で且つ互いに対称となる位置（１８０度異なる位置）には自在に回転する小球３３，３３が設けられる。このため、前記可動軸２２ｂと前記可動リング３２とは、前記小球３３と小球３３を結ぶ仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）の軸回りにおいて相対的に図示α１およびα２方向に揺動自在な関係で保持されている。
【００３４】
また前記可動リング３２の外周面と前記固定ベース３１の前記開口部３１ａの内面との間で且つ前記小球３３，３３が配置された位置から円周方向に沿って９０度異なる位置には自在に回転する小球３４，３４が設けられる。このため、前記可動リング３２と前記固定ベース３１とは、前記小球３４と小球３４を結ぶ仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）の軸回りに相対的に図示β１およびβ２方向に揺動自在に保持されている。なお、前記可動軸２２ｂの回転軸（仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸））と可動リング３２の回転軸（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸））との交点が回転中心（支持機構の支持中心点）Ｏである。
【００３５】
すなわち、前記可動軸２２ｂは、前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）及びこれと直交する前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）の２軸に対し揺動自在に保持されている。したがって、前記可動軸２２ｂは、その姿勢を前記支持中心点Ｏを通るＺ軸（第３の軸；基準軸）に対し、３６０度の範囲に亘って自在に傾倒させることが可能とされている。
【００３６】
磁気駆動機構４０Ａは主として固定部材４１，コイル及び磁気発生部４５Ａとを有している。
【００３７】
図２に示すように、固定部材４１は、略コの字形状からなる金属板などで形成されており、底面４１Ａと、その両端には図示Ｚ１方向に連続的に延びる側壁部４１Ｂ，４１Ｂが設けられている。そして、この側壁部４１Ｂ，４１Ｂの先端には、図示Ｘ方向に貫通するとともにＹ方向に延びる長穴４１ａ，４１ａが形成されている。この長穴４１ａ，４１ａには、前記固定ベース３１に形成された固定部３１ｂ，３１ｂが嵌合可能とされている。すなわち、前記固定ベース３１は固定部材４１に支持される。
【００３８】
図２及び図３などに示すように、磁気駆動機構４０Ａは平面的には略十字形状からなり、樹脂材料などで形成されるボビン４３を有している。前記ボビン４３は中心部に設けられた正方形状の基部４３Ａと、この基部４３Ａの外周面からそれぞれ四方に突出する筒状の巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとを有している。前記基部４３Ａの外周面には、基部４３Ａの内部から前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの内部に抜ける連通部４３ａ，４３ａ，４３ａ，４３ａがそれぞれ形成されている。また前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの先端には、各巻回部が延びる方向に対して垂直となる方向に広がるフランジ部４４ａ，４４ａ，４４ａ，４４ａがそれぞれ一体に形成されている。そして、後述するように各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄの外周で且つ前記基部４３Ａの外周面とフランジ部４４ａとの間には４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されるようになっている。あるいは、例えば前記基部４３Ａと前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとが別体で構成されるものであってもよい。
【００３９】
そして、このように四方に４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えたボビン４３は、前記固定部材４１の底面４１Ａに固定されている。
【００４０】
図２及び図４に示すように、磁気発生部４５Ａは下ヨーク（第１のヨーク）４６と、磁石Ｍと、上ヨーク（第２のヨーク）４７とで構成されている。前記下ヨーク４６は例えば亜鉛メッキ鋼板（ＳＰＣＣ）など軟磁性体素材からなる金属板で形成されており、磁石Ｍの底面積よりも広い八角形状の金属板として形成されている。前記下ヨーク４６のＺ１側の面には前記可動軸２２ｂの端面が固定される。
【００４１】
本実施の形態に示す前記磁石Ｍは正方形状をしており、前記下ヨーク４６の図示Ｚ２側の面上の中心部に固定されている。前記磁石Ｍは、例えばＺ１側がＳ極、Ｚ２側がＮ極のように面方向に着磁されている。
【００４２】
図４に示すように、上ヨーク４７も上記同様の軟磁性体素材からなる金属板で形成されており、前記磁石Ｍとほぼ同じ面積からなる正方形状の本体部４７Ａと、前記本体部４７Ａの４つの側面から図示Ｐ１−Ｐ２方向及びＱ１−Ｑ２方向に延びる４本の腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａを有している。４本の腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端は下ヨーク４６に近接する方向（Ｚ１方向）に折り曲げられており、前記下ヨーク４６と各腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端部との対向距離（ギャップ長）が短くなるように設定されている。
【００４３】
上ヨーク４７は板金加工により形成される。例えば所定の型を用いて、前記金属板から正方形状の本体部４７Ａと、その周囲に腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａを有する上ヨーク４７とが一体化された状態で切断（打抜加工）され、その後に前記腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａの先端部のみを加圧プレスによって折り曲げることにより形成することができる。
【００４４】
このように、前記各腕部４７ａと下ヨーク４６との間の対向距離（ギャップ長）は、本体部４７Ａ側の基端部に比較して先端部が狭い。このため、前記各腕部４７ａの先端部と下ヨーク４６との間（ギャップＧ内）の磁束密度は、前記各腕部４７ａの基端部と下ヨーク４６との間の磁束密度に比較して大きい。
【００４５】
このため、磁石の強さ（最大エネルギー積）が低い磁石Ｍであっても、前記磁石Ｍから分割された磁束をギャップＧ内に効率良く導くことができる。あるいは、ネオジム磁石など前記最大エネルギー積が元々高い磁石Ｍにあっては、より小型化又は薄型化することが可能である。よって、前記磁気発生部４５Ａを軽量化することができるため、より応答性に優れたアクチュエータとすることが可能となる。
【００４６】
なお、上ヨーク４７は、前記本体部４７Ａの下面（Ｚ１側の面）と前記磁石Ｍの上面（Ｚ２側の面）との間に設けられた接着剤を介して固着されている。
【００４７】
前記上ヨーク４７はボビン４３内に配置される。すなわち、前記上ヨーク４７の本体部４７Ａが前記ボビン４３の基部４３Ａ内に設けられ、各腕部４７ａは前記各連通部４３ａを通じて前記各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ内に位置するようにそれぞれ配置される。そして、このように上ヨーク４７の各腕部４７ａを、巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄ内にそれぞれ配置させた状態において、前記巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄの周囲に被覆導線を巻き付けることにより４つのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されている。
【００４８】
なお、前記ボビン４３を構成する基部４３Ａと各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃおよび４４Ｄとが別体で構成されるものであってもよい。この場合には、あらかじめ各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄの周囲に線材を巻き付けて各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を形成しておき、前記磁石Ｍ及び上ヨーク４７を前記基部４３Ａ内に装着した後に、前記各連通部４３ａを介して基部４３Ａの外部にそれぞれ突出する各腕部４７ａに対してその周囲を取り囲むように前記各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えた各巻回部４４Ａ，４４Ｂ，４４Ｃ，４４Ｄを前記基部４３Ａの４つの外周面にそれぞれ固定することにより、４つのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を一体的に備えたボビン４３とすることができる。
【００４９】
上記アクチュエータの動作について説明する。
図５はアクチュエータの動作を説明するための磁気駆動部の断面図である。図５に示すように、前記各腕部４７ａの先端部と下ヨーク４６とは、一定のギャップＧを解して対向するように配置されおり、このギャップＧ内に４ヶの各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の一部がそれぞれ配置されている。
【００５０】
前記磁気発生部４５Ａでは、磁石ＭのＮ極から発生した磁束Ｂが、上ヨーク４７内の本体部４７Ａ内を中心から離れる外周方向に進んで各腕部４７ａに導かれる。そして、前記磁束Ｂは各腕部４７ａの先端部の下面（Ｚ１側の面）から外部に抜け出るとともに、これに対向する位置に設けられた前記ギャップＧを通過して下ヨーク４６に入り込む。さらに磁束Ｂは前記下ヨーク４６内を中心方向に進んで前記磁石ＭのＳ極内に至るという磁気回路（磁路）を形成する。そして、前記磁束Ｂが前記ギャップＧを通過する際には、磁束Ｂと前記各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４内を流れる電流Ｉとが垂直に鎖交する。
【００５１】
ここで、前記磁気駆動機構４０Ａでは、仮想線Ｐ１−Ｐ２上に沿って配置されたコイルＣ１とコイルＣ２とが第１の磁気駆動部を形成し、仮想線Ｑ１−Ｑ２に沿って配置されたコイルＣ３とコイルＣ４とが第２の磁気駆動部を形成している。
【００５２】
前記第１の磁気駆動部を形成するＰ１側のコイルＣ１に、図５に矢印Ａ１で示す外方向から見て時計回り方向の電流が流れるとすると、前記コイルＣ１にはフレミングの左手の法則に従う電磁力Ｆ１が発生する。同時に、前記第１の磁気駆動部を形成するＰ２側のコイルＣ２に、図５に矢印Ａ２で示す外方向から見て反時計回り方向の電流が流れると、前記コイルＣ２に電磁力Ｆ２が発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２とは大きさ及び向きが等しく、ともに支持中心点Ｏから等しい位置に発生する。前記電磁力Ｆ１と電磁力Ｆ２は、それぞれ支持中心点Ｏを回転中心とする所定の円の半径方向の成分と接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔとに分けることができるが、このうち接線方向の成分Ｆ１ｔ，Ｆ２ｔが、図５において時計回り方向の回転を生じさせる力として寄与する。よって、前記磁気発生部４５Ａを図５にて時計回り方向（β１方向）に揺動させることができる。このため、前記磁気発生部４５Ａを形成する下ヨーク４６の下面に垂直に設けられた可動軸２２ｂをＺ軸（第３の軸））に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ２方向に傾倒させることができる。よって、可動軸２２ｂの先端に設けられた制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａをＰ２方向に傾けることができる。
【００５３】
またコイルＣ１及びコイルＣ２に流す電流の向きをそれぞれ変えると、前記磁気発生部４５Ａは反時計回り方向（β２方向）に揺動させられため、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ１方向に傾倒させることができる。よって、制御対象２０を構成する反射ミラー２１の鏡面２１ａを前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿ってＰ１方向に傾けることができる。
【００５４】
また上記の関係は、第２の磁気駆動部を形成するＱ１側のコイルＣ３とＱ２側のコイルＣ４との間でも同様である。すなわち、前記コイルＣ３及びコイルＣ４に流す電流の向きを変えることにより、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）線に沿ってＱ１又はＱ２方向に傾倒させることができる。
【００５５】
よって、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部を形成するＣ３，Ｃ４に流れる電流の向きを所定の方向に設定することにより、可動軸２２ｂをＺ軸に一致する状態から前記仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）線に沿うＰ１又はＰ２方向および前記仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）線に沿うＱ１又はＱ２方向に、すなわち３６０度の範囲に亘って自在に傾倒させることができる。
【００５６】
上記アクチュエータでは、コイルＣ１、前記コイルＣ１内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ２、前記コイルＣ２内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記上ヨーク４７、磁石Ｍ及び下ヨーク４６を有する磁気発生部４５Ａをβ１およびβ２方向に回転させる第１の磁気駆動部として機能している。
【００５７】
さらにコイルＣ３、前記コイルＣ３内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ４、前記コイルＣ４内に挿入された上ヨーク４７の腕部４７ａ、磁石Ｍおよび下ヨーク４６が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記上ヨーク４７、磁石Ｍ及び下ヨーク４６を有する磁気発生部４５Ａをα１およびα２方向に回転させる第２の磁気駆動部として機能している。
【００５８】
このため、上記第１の磁気駆動部及びこれと直交する方向に配置された第２の磁気駆動部を用いることにより、前記磁気発生部４５Ａに接続されている可動軸２２ｂを前記Ｚ軸（第３の軸；基準軸）と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させることができる。よって、この可動軸２２ｂの他端に設けられた制御対象２０、すなわち反射ミラー２１を２軸方向に自在に傾倒させることが可能である。
【００５９】
また上記においては、前記上ヨーク４７（第２のヨーク）の各腕部４７ａ，４７ａ，４７ａ，４７ａと前記下ヨーク（第１のヨーク）４６とは、１ヶの磁石Ｍが発生した磁束を分割するとともに、各ギャップＧ内に位置する第１の磁気駆動部のコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部のＣ３，Ｃ４に振り分ける磁束分配部を形成している。
【００６０】
図６は本発明の第２の実施の形態を示すアクチュエータの分解斜視図、図７は外ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂは加圧プレス後の状態、図８は内ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂは加圧プレス後の状態、図９は第２の実施の形態を示すアクチュエータの磁気駆動部の断面図である。
【００６１】
第２の実施の形態に示すアクチュエータ１０Ｂと上記第１の実施の形態のアクチュエータ１０Ａとは、主として磁気駆動機構の構成が異なっており、制御対象２０及び支持機構３０の構成は同様である。よって、以下のアクチュエータ１０Ｂにあっては、相違部分である磁気駆動機構の構成を中心に説明する。なお、記第１の実施の形態と同一部材については同一の符号を付して説明する。
【００６２】
図６に示すように、アクチュエータ１０Ｂを構成する磁気駆動機構４０Ｂは、コイル、固定部材４１、磁気発生部４５Ｂなどを有している。
【００６３】
図６に示すように、固定部材４１は底面４１Ａと側壁部４１Ｂ，４１Ｂとを備えた略コの字形状の金属板で形成されている。前記側壁部４１Ｂ，４１Ｂの先端には、上記同様の支持機構３０の固定ベース３１に形成された固定部３１ｂ，３１ｂを嵌合して支持する長穴４１ａ，４１ａが形成されており、この長穴４１ａ，４１ａに前記支持機構３０が固定される。
【００６４】
前記固定部材４１の底面４１Ａには、図示Ｚ方向に開口端を向けた筒型形状からなる４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が設けられている。各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、例えば熱融着可能な樹脂で覆われた被覆線材を、所定の外形寸法からなるボビン（芯材）の外周に所定回数巻き付けてコイル状に成形するとともに、このコイル状のものを高温度環境下に置くことによって前記樹脂を溶かして各線材間を固定し、常温に戻した後に前記ボビンを引き抜くことにより形成された空心コイルとして形成されている。磁気駆動機構４０Ｂを形成する各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４は、Ｚ軸を挟んでコイルＣ１とコイルＣ２とが軸対称の位置に設けられ、コイルＣ３とコイルＣ４とが軸対称の位置に設けられている。そして、前記コイルＣ１及びコイルＣ２と前記コイルＣ３及びコイルＣ４とは、周方向（Ｚ軸回り）に９０度異なる位置に設けられている。前記磁気駆動機構４０Ｂにおいても、仮想線Ｐ１−Ｐ２上に沿って配置されたコイルＣ１とコイルＣ２とが第１の磁気駆動部を形成し、仮想線Ｑ１−Ｑ２に沿って配置されたコイルＣ３とコイルＣ４とが第２の磁気駆動部を形成している。なお、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１とコイルＣ２とは一本の線材で形成されることにより直列接続されており、同じく前記第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４とが直列接続されている。
【００６５】
磁気発生部４５Ｂは、主として外ヨーク（第１のヨーク）４８、磁石Ｍおよび内ヨーク（第２のヨーク）４９の３つの部材で構成されている。
【００６６】
前記外ヨーク４８および内ヨーク４９とは、例えば亜鉛メッキ鋼板（ＳＰＣＣ）など軟磁性体素材からなる金属板を切断し、その後に加圧プレスして折り曲げる板金加工を施すことにより形成される。
【００６７】
すなわち、図７Ａに示すように所定の型を用いて前記金属板を打ち抜くと、正方形状の本体部４８Ａと、前記本体部４８Ａの四隅に４つの側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａが設けられた平板状の外ヨーク４８が形成される。そして、加圧プレスにより前記４つの側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａを前記本体部４６Ａに対し、同一方向に９０度折り曲げるとともに、周方向にも折り曲げることにより、図８Ｂに示すような略カップ形状の外ヨーク４８が完成する。このとき、前記本体部４８Ａの下面（Ｚ１側の面）には、正方形状の基部４８ｂと、この基部４８ｂの中央部にさらに突出する円形の位置決め凸部４８ｃが同時に形成される。前記基部４８ｂには前記可動軸２２ｂの端面が固定されるが、前記位置決め凸部４８ｃにより、前記可動軸２２ｂの軸中心が外ヨーク４８の中心を通るように位置決めされた状態で固定することが可能とされている。
【００６８】
前記内ヨーク４９も、所定の型を用いて前記金属板を打ち抜いて切断されることにより形成される。すなわち、図８Ａに示すように、正方形状の本体部４９Ａと、前記本体部４９Ａの四隅から外方向に延びる４本の腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａが設けられた平板状の内ヨーク４９として形成される。そして、前記４本の腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａを前記本体部４９Ａに対し、同一方向に９０度折り曲げるような加圧プレス加工が施され、図９Ｂに示すような内ヨーク４９が完成する。
【００６９】
前記外ヨーク４８の内形寸法は、前記内ヨーク４９の外形寸法よりも大きく、前記外ヨーク４８の内部に前記内ヨーク４９を収納することが可能とされている。
【００７０】
前記内ヨーク４９は、本体部４９ＡのＺ１側の面の中心に磁石Ｍを固着させた状態で前記外ヨーク４８の内部に固定される。図９に示すように、この磁気発生部４５Ｂでは、前記磁石Ｍが前記外ヨーク４８の本体部４８Ａと前記内ヨーク４９の本体部４９Ａとの間に挟持された状態である。また前記内ヨーク４９の各腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａと前記外ヨーク４８の各側壁部４８ａ，４８ａ，４８ａ，４８ａのとが対向し合う部分にギャップＧが形成される。そして、このような磁気発生部４５ＢのＺ２側には、磁気駆動機構４０Ｂを形成する４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４を備えた固定部材４１（図６参照）が対向配置されており、前記４ヶのコイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の内部に、前記内ヨーク４９を形成する４ヶの腕部４９ａ，４９ａ，４９ａ，４９ａの先端が挿入されている。すなわち、各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の一部が前記各ギャップＧ内に配置されることにより、第１の磁気駆動部及び第２の軸駆動部を有する磁気駆動機構４０Ｂが形成されている。
【００７１】
前記磁石Ｍは、例えばＺ１側がＳ極に着磁され、Ｚ２側がＮ極に着磁されている。このような磁気発生部４５Ｂでは、磁石ＭのＮ極→内ヨーク４９の本体部４９Ａ→内ヨーク４９の各腕部４９ａ→各ギャップＧ→外ヨーク４８の各側壁部４８ａ→外ヨーク４８の本体部４８Ａ→磁石ＭのＳ極に至る経路からなる磁気回路（磁路）が形成される。
【００７２】
このとき、前記ギャップＧ内に設けられた各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４に所定方向の電流を与えると、上記第１の実施の形態同様にフレミングの左手の法則に従う電磁力が発生する。
【００７３】
前記ギャップＧ内では、磁束Ｂの方向と各コイルＣ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４の巻き方向とが直交している。このため、図９に示すように前記第１の磁気駆動部において、互いに直列接続されているコイルＣ１とコイルＣ２に所定の電流Ｉを流すと、磁束Ｂと電流Ｉとの作用による電磁力を前記電流Ｉの方向に応じてそれぞれ発生させることができる。
【００７４】
すなわち、図９を矢印Ａ３方向から見たときに、前記コイルＣ１に対して時計回り方向となる電流Ｉを流し、且つコイルＣ２に対して反時計回り方向となる電流Ｉを流すと、前記コイルＣ１に作用する電磁力Ｆ１’の方向は図示Ｚ２方向となり、前記コイルＣ２に作用する電磁力Ｆ２’の方向は図示Ｚ１方向となる。
【００７５】
前記コイルＣ１及びＣ２を有するボビン４３は、固定部材４１の底面４１Ａに固定されているため、コイルＣ１及びＣ２自体は移動することができない状態にある。このため、図９に示すようにコイルＣ１には電磁力Ｆ１’の反作用としての力Ｆ１が前記内ヨーク９の腕部４９ａを介して図示Ｚ１方向に作用し、コイルＣ２には電磁力Ｆ２’の反作用として力Ｆ２が前記内ヨーク４９の腕部４９ａを介して図示Ｚ２方向に作用する。
【００７６】
すなわち、前記第１の磁気駆動部を形成するコイルＣ１とコイルＣ２には互いに逆向きの力Ｆ１，Ｆ２が作用する。そして、前記力Ｆ１の成分である駆動力Ｆ１ａと前記力Ｆ２の成分である駆動力Ｆ２ａとは支持中心点Ｏを中心とする同一半径Ｌからなる円の接線方向に作用する。よって、前記内ヨーク４９を、図９にて時計回り方向（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）回りβ１方向）に回転させることが可能である。なお、このときの駆動トルクＴは、Ｔ＝Ｆ１ａ・Ｌ＋Ｆ２ａ・Ｌ＝２・Ｆａ・Ｌ（ただし、Ｆ１ａ＝Ｆ２ａ＝Ｆａとする。）と表すことができる。
【００７７】
上記アクチュエータでは、コイルＣ１、前記コイルＣ１内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が１つの磁気回路を形成し、またコイルＣ２、前記コイルＣ２内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が他の１つの磁気回路を形成している。そして、このような一対の磁気回路が、前記内ヨーク４９、磁石Ｍ及び外ヨーク４８を有する磁気発生部４５Ｂをβ１およびβ２方向に回転させる第１の磁気駆動部として機能している。
【００７８】
なお、前記電流Ｉの向きをそれぞれ上記の例とは逆向きにすると、前記磁気発生部４５Ｂを図９にて反時計回り方向（仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸）回りβ２方向）に回転させることが可能である。
【００７９】
このように、前記電流Ｉの方向を変えると磁気発生部４５Ｂが回転するため、前記可動軸２２ｂを回転中心（支持中心点）Ｏとする時計回り方向（β１方向）および反時計回り方向（β２方向）に揺動させることが可能とされている。
【００８０】
上記の関係は、第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４とからなる磁気回路においても同様である。すなわち、前記第２の磁気駆動部を形成するコイルＣ３とコイルＣ４に流れる電流Ｉの方向を変えることにより、前記可動軸２２ｂを回転中心（支持中心点）Ｏとする仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）回りに、つまり図６においてα１方向およびα２方向にそれぞれ揺動させることが可能である。
【００８１】
そして、この場合にはコイルＣ３、前記コイルＣ３内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が１つの磁気回路を形成し、コイルＣ４、前記コイルＣ４内に挿入された内ヨーク４９の腕部４９ａ、磁石Ｍおよび外ヨーク４８が他の１つの磁気回路を形成している。そして、これら一対の磁気回路が、前記磁気発生部４５Ｂをα１およびα２方向に回転させる第２の磁気駆動部として機能する。
【００８２】
このため、上記第１の磁気駆動部及びこれと直交する方向に配置された第２の磁気駆動部を用いることにより、前記磁気発生部４５Ｂに接続されている可動軸２２ｂを前記Ｚ軸（第３の軸；基準軸）と一致する姿勢から傾く姿勢に傾倒させることができる。よって、この可動軸２２ｂの他端に設けられた制御対象２０、すなわち反射ミラー２１を２軸方向に自在に傾倒させることが可能である。
【００８３】
上記第２の実施の形態においても、前記内ヨーク４９（第２のヨーク）の各腕部４９ａと、これに対向して配置された前記外ヨーク（第１のヨーク）４８の各側壁部４８ａとは、１ヶの磁石Ｍが発生した磁束を分割し、且つ各ギャップＧ内に位置する第１の磁気駆動部のコイルＣ１，Ｃ２及び第２の磁気駆動部のＣ３，Ｃ４に振り分ける磁束分配部を形成している。
【００８４】
上記第１及び第２の実施の形態では可動軸２２ｂ側に磁気発生部４５Ａ又は４５Ｂを設け、磁石Ｍ側が揺動するいわゆるＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータとして説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、前記磁気発生部４５Ａ又は４５Ｂを固定部材４１の底面４１Ａに固定し、各コイルＣ１〜Ｃ４を可動軸２２ｂの端面に配置すると、コイル側が揺動するいわゆるＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータとすることが可能である。
【００８５】
上記第１及び第２の実施の形態では、１ヶの磁石で２軸（仮想軸Ｐ１−Ｐ２（第１の軸）と仮想軸Ｑ１−Ｑ２（第２の軸））方向に揺動するアクチュエータを構成することができるため、従来に比較して部品点数を少なくすることができる。
【００８６】
また磁石を１ヶとすることで軽量化することができる。このため、特にＭＭ（ムービングマグネット）型のアクチュエータの応答性を向上させることが可能である。またコイル数も少なくすることができるため、特にＭＣ（ムービングコイル）型のアクチュエータの応答性を向上させることが可能である。
【００８７】
次に、上記いずれかの２軸型アクチュエータを利用したホログラフィー装置について説明する。
【００８８】
図１０はホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、図１１は図１０の矢印方向から見た場合に相当する正面図である。
【００８９】
図１０に示すホログラフィー装置は、例えば光記録媒体再生装置に搭載されるものである。ただし、再生専用の装置に限るものではなく、記録専用の装置、あるいは記録再生装置に搭載されるものであってもよい。
【００９０】
ホログラフィー装置は、主として光源６１、コリメートレンズ６２、反射ミラー２１、アクチュエータ１０、開口フィルタ６４および光検知器６５などからなる光学系のシステムで構成されている。
【００９１】
前記光源６１は、例えば垂直共振器面発光レーザ（以下、「ＶＣＳＥＬ（Vertical Cavity Surface Emitting Laser）という」などからなるレーザ発光手段で構成されている。
【００９２】
前記コリメートレンズ６２および反射ミラー２１は、前記光源６１から射出されるレーザ光の光路上に設けられている。前記反射ミラー２１は上記いずれかのアクチュエータ１０に設けられており、２軸方向に揺動自在に支持されている。前記アクチュエータ１０と反射ミラー２１とにより、いわゆるガルバノミラーが構成されている。
【００９３】
前記コリメートレンズ６２は、前記光源６１と反射ミラー２１との間に設けられている。前記コリメートレンズ６２は前記光源６１から入射したレーザ光（発散光）Ｌ１を平行な光からなる参照光Ｌ２に変換するものであり、前記参照光Ｌ２は反射ミラー２１に向けて出力されるようになっている。
【００９４】
前記コリメートレンズ６２で平行な光に変換された前記参照光Ｌ２は、前記反射ミラー１３において反射させられ、参照光Ｌ３として光記録媒体７０上の所定の位置を照光する。
【００９５】
このとき、前記アクチュエータ１０は前記反射ミラー２１によって反射させられた前記参照光Ｌ２が、前記光記録媒体７０上の所定の位置を照光することができるように角度調整される。このような、反射ミラー２１の角度調整は上述のように第１の磁気駆動部および第２の磁気駆動部を形成する４つのコイルＣ１〜Ｃ４に所定の向き及び大きさからなる電流Ｉを与えることにより行うことができる。
【００９６】
このため、前記反射ミラー１３から出力された前記参照光Ｌ３は反射層７２において反射させられ、光記録媒体７０の外部に再生光Ｌ４として出力される。
【００９７】
この実施の形態に示す光記録媒体７０はいわゆる反射型記録媒体であり、干渉縞を記録することが可能な記録層７１の下部に反射層７２を有する構成である。なお、前記記録層７１内には多数のデータ情報を示すホログラムが、干渉縞（市松模様状の２次元的なドットパターン）として記録角度を変えた状態で多重に記録されている。このため、前記再生光Ｌ４には前記干渉縞によるデータ情報が含まれている。
【００９８】
前記開口フィルタ６４と前記光検知器６５は、前記光記録媒体７０から出力される前記再生光Ｌ４の光路上に設けられている。前記開口フィルタ６４は前記再生光Ｌ４から不要な光を排除するものである。
【００９９】
前記光検知器６５としては、例えばＣＣＤやＣＭＯＳイメージセンサなどを用いることが可能である。前記再生光Ｌ４が所定の入射角θで前記光検知器６５に照光されると、前記光検知器６５は前記再生光Ｌ４に含まれる多数のデータ情報のうち、前記入射角θと前記再生光Ｌ４の波長λとによる関係が所定のブラック条件式に合致する位置に記録されたデータ情報のみを読み出すことが可能とされている。
【０１００】
そして、前記アクチュエータ１０を駆動させ、前記反射ミラー２１の角度を微調整することにより、光記録媒体７０に入射する参照光Ｌ３の入射角θを変えることができるため、前記光記録媒体７０の記録層７１に多重に記録されている個々のデータ情報をそれぞれ読み出すことが可能とされる。
【０１０１】
上記実施の形態では、磁気分配部を有するアクチュエータとして、主として２軸型のアクチュエータを説明したが、１軸型のアクチュエータに適用することが可能なことはいうまでもないことである。
【０１０２】
また上記の各実施の形態の支持機構３０では、前記固定ベース３１と可動リング３２との間、および可動リング３２と可動軸２２ｂとの間を回転する機構として小球３３，３４を利用した構成として説明したが、本発明はこれに限られるものではなく、例えば前記小球３３，３４の代わりに回動ピンとこれを支持する軸受部材で構成されるものであってもよい。あるいは、支持機構３０が板ばねをプレス加工等した一体型のジンバルとして形成されており、前記板ばねが弾性変形（ねじれ変形）することにより前記可動軸２２ｂが２軸方向に傾倒させられる構成であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【０１０３】
【図１】本発明である２軸型アクチュエータの実施の形態としてのガルバノミラーを示す斜視図、
【図２】図１の分解斜視図、
【図３】磁気駆動機構の一部を構成するコイル及びボビンを示し、Ａは平面図、ＢはＡのＢ−Ｂ線における矢視断面図、
【図４】磁気発生部を図２とは異なる方向から示す斜視図、
【図５】アクチュエータの動作を説明するための磁気駆動部の断面図、
【図６】本発明の第２の実施の形態を示すアクチュエータの分解斜視図、
【図７】外ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂはプレス後の状態、
【図８】内ヨークを示す斜視図であり、Ａは切断後の状態、Ｂはプレス後の状態、
【図９】第２の実施の形態を示すアクチュエータの磁気駆動部の断面図、
【図１０】ホログラフィー装置を構成する各部材の配置関係の概略を示す斜視図、
【図１１】図１０の矢印方向から見た場合に相当する正面図、
【符号の説明】
【０１０４】
１０，１０Ａ，１０Ｂ  ２軸型アクチュエータ
２０  制御対象
２１  反射ミラー
２２  ミラー支持部
２２ｂ  可動軸
３０  支持機構
３１  固定ベース
３２  可動リング
３３，３４  小球
４０Ａ，４０Ｂ  磁気駆動機構
４１  固定部材
４３  ボビン
４５Ａ，４５Ｂ  磁気発生部
４６  下ヨーク（第１のヨーク）
４７  上ヨーク（第２のヨーク）
４７ａ  腕部
４８  外ヨーク（第１のヨーク）
４８ａ  側壁部
４９  内ヨーク（第２のヨーク）
４９ａ  腕部
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４  コイル
Ｍ  磁石
Ｏ  回転中心（支持機構の支持中心点）
Ｐ１−Ｐ２  仮想軸（第１の軸）
Ｑ１−Ｑ２  仮想軸（第２の軸）
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2007072168.tif 000014
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2007072168.tif 000015