(57)【要約】【課題】撥油・撥水性処理領域と未処理領域との間の純水に対する接触角の差が大きく、親水性もしくは親油性化合物を表面に付着させた際に、選択的に未処理領域のみに付着して、ディスクリミネーションの高い画素を得ることができる離画壁、その製造方法及び離画壁付き基板並びに混色や白ヌケのない高解像度のカラーフィルタ、その製造方法及び液晶表示装置の提供。【解決手段】基板上に形成された離画壁であって、上面の純水に対する接触角が１００°以上であり、側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁、その製造方法及び離画壁付き基板、並びに、離画壁付き基板の離画壁で離隔された領域にインクジェット法により着色液体組成物の液滴を付与して画素を形成する工程を含むカラーフィルタの製造方法、その方法により製造されたカラーフィルタ及びそのカラーフィルタを有する液晶表示装置。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に設けられた離画壁であって、上面の純水に対する接触角が１００°以上であり、側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁。
【請求項２】
請求項１に記載の離画壁の製造方法であって、
重合開始能をもつ活性種を有する樹脂組成物からなり、純水に対する接触角が６５°未満の処理前離画壁を基板上に形成する処理前離画壁形成工程と、
前記基板の前記処理前離画壁が形成された側の面に重合性基を有する撥油・撥水性化合物を接触させ、輻射線を照射する撥油・撥水処理工程と、を有する離画壁の製造方法。
【請求項３】
基板と、前記基板上に設けられた上面の純水に対する接触角が１００°以上であり側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁と、を有する離画壁付き基板。
【請求項４】
基板と、前記基板上に設けられた上面の純水に対する接触角が１００°以上であり側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁と、を有する離画壁付き基板を用い、前記離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有するカラーフィルタの製造方法。
【請求項５】
請求項４に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載のカラーフィルタを有する液晶表示装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、離画壁及びその製造方法、離画壁付き基板、カラーフィルタの製造方法及びその製造方法により製造されたカラーフィルタ並びに液晶表示装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、ガラス等の基板上に赤色、緑色、青色のドット状画像をそれぞれマトリックス状に配置し、その境界をブラックマトリックス等の濃色離画壁で区分した構造を有する。このようなカラーフィルタの製造方法としては、従来、支持体としてガラス等の基板を用い、１）染色法、２）印刷法、３）着色した感光性樹脂液の塗布と露光及び現像の繰り返しによる着色感光性樹脂液法（着色レジスト法）（例えば、特許文献１参照。）、４）仮支持体上に形成した画像を順次、最終又は仮の支持体上に転写する方法、５）予め着色した感光性樹脂液を仮支持体上に塗布することにより着色層を形成し、順次直接、基板上にこの感光性着色層を転写し、露光して現像することを色の数だけ繰り返す方法等により多色画像を形成する方法（転写方式）が知られている（例えば、特許文献２参照。）。またインクジェット法を用いる方法（特許文献３参照。）も知られている。
【０００３】
インクジェット方式を利用したカラーフィルタの製造方法は、製造プロセスが簡略で、低コストであるという利点があるが、隣接する異なる色の画素間において混色という問題が生じることがある。具体的には、ブラックマトリクスを隔壁として、該ブラックマトリクスの開口部にインクを付与して着色部を形成する際、隔壁となるブラックマトリクスを超えてインクがあふれてしまい、隣接する着色部間で混色が発生する現象である。
【０００４】
混色を防止するための技術として隔壁の上面を撥インク性に、隔壁の側面を親インク性にコントロールする検討がなされている。
隔壁を、インクに対して親和性を有する下層及び非親和性を有する上層の多層構造とする手法が提供されている（例えば、特許文献４参照。）。しかし、この手法は隔壁を多層化するものであり、フォトリソグラフィ工程を複数回実施する必要があることから、プロセスの複雑化、コストアップ、ひいては歩留まり低下を招くという問題がある。
【０００５】
全面を撥インク処理剤にて処理した後、フォトリソグラフィ工程により感光性材料をパターニングする手法が提案されている。その後、エネルギー線の照射により凸部と凹部を同時に、もしくはどちらかを選択的に親インク化処理するものである（例えば、特許文献５参照。）。しかしながら、この方法は凸部の表面を撥インク処理した後に凹部を親インク処理するものであることから、親インク処理を行う際に撥インク処理された凸部の表面の撥インク性を低下させてしまうという問題がある。隔壁側面においては十分な親インク性を、隔壁上面においては十分な撥インク性をそれぞれ得ることは困難である。
【０００６】
また、上記の方法では、隔壁の側面部分や、隔壁を形成していない部分に撥インク処理がなされ、画素パターン形成の際にインクの打滴ムラが生じる可能性がある。
【特許文献１】特開平１−１５２４４９号公報
【特許文献２】特開昭６１−９９１０２号公報
【特許文献３】特開平８−２２７０１２号公報
【特許文献４】特開２００３−１７２８１７号公報
【特許文献５】特開平１０−２０１１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、撥油・撥水性処理領域と未処理領域との間の純水に対する接触角の差が大きく、親水性もしくは親油性化合物を表面に付着させた際に、選択的に未処理領域のみに付着して、ディスクリミネーションの高い画素を得ることができる離画壁及びその製造方法並びに離画壁付き基板を提供することを目的とする。さらに本発明は、混色や白ヌケのない高解像度のカラーフィルタ及びその製造方法並びにこのカラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
即ち、本発明は、
＜１＞  基板上に設けられた離画壁であって、上面の純水に対する接触角が１００°以上であり、側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁である。
【０００９】
＜２＞  ＜１＞に記載の離画壁の製造方法であって、重合開始能をもつ活性種を有する樹脂組成物からなり、純水に対する接触角が６５°未満の処理前離画壁を基板上に形成する処理前離画壁形成工程と、前記基板の前記処理前離画壁が形成された側の面に重合性基を有する撥油・撥水性化合物を接触させ、輻射線を照射する撥油・撥水処理工程と、を有する離画壁の製造方法である。
【００１０】
＜３＞  基板と、前記基板上に設けられた上面の純水に対する接触角が１００°以上であり側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁と、を有する離画壁付き基板である。
【００１１】
＜４＞  基板と、前記基板上に設けられた上面の純水に対する接触角が１００°以上であり側面の純水に対する接触角が６５°未満である離画壁と、を有する離画壁付き基板を用い、前記離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有するカラーフィルタの製造方法である。
【００１２】
＜５＞  ＜４＞に記載のカラーフィルタの製造方法により製造されたカラーフィルタである。
【００１３】
＜６＞  ＜５＞に記載のカラーフィルタを有する液晶表示装置である。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、撥油・撥水性処理領域と未処理領域との間の純水に対する接触角の差が大きく、親水性もしくは親油性化合物を表面に付着させた際に、選択的に未処理領域のみに付着して、ディスクリミネーションの高い画素を得ることができる離画壁及びこの離画壁の製造方法並びに離画壁付き基板を提供することができる。さらに本発明によれば、混色や白ヌケのない高解像度のカラーフィルタ及びその製造方法並びにそのカラーフィルタを用いた液晶表示装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、本発明について詳細に説明する。
＜離画壁及びその製造方法並びに離画壁付き基板＞
本発明の離画壁は、基板上に設けられたものであって上面の純水に対する接触角が１００°以上であり、側面の純水に対する接触角が６５°未満のものである。また、本発明の離画壁付き基板は、基板と前記基板上に設けられた本発明の離画壁とを有するものである。
本発明の離画壁はその上面と側面との間の純水に対する接触角の差が大きいため、離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する場合に液滴の多少の着弾ずれや過剰量の液滴の供給が生じたとしても、混色や離画壁上へのインク残りを生じることがない。また、離画壁の側面の純水に対する接触角は上面のそれよりも小さいため、側面が液滴をはじくことに起因する白ヌケも生じることがない。
【００１６】
本発明の離画壁においては、上面の純水に対する接触角が１００°以上であり側面の純水に対する接触角が６５°未満であることが好ましく、上面の純水に対する接触角が１２０°以上であり側面の純水に対する接触角が５０°未満であることがさらに好ましい。
【００１７】
ここで、本発明における離画壁の上面及び側面について図面を用いて説明する。
図１は、基板１１上に設けられた離画壁１２の断面斜視模式図である。離画壁１２の断面において、離画壁１２の断面と平衡になるように基板面から離画壁１２の左右の面に接する接線ｌを引いたときに、接線ｌと基板面の角度θが４５°以下、あるいは接線ｌが基板面と平行となる範囲を上面と定義する。また、接線ｌと基板面の角度θが４５°より大きい範囲を本発明における離画壁１２の側面という。
【００１８】
また、本発明において純水に対する接触角とは室温２３℃の大気下で測定された値をいう。
【００１９】
本発明の離画壁の製造方法は、重合開始能をもつ活性種を有する樹脂組成物からなり、純水に対する接触角が６５°未満の処理前離画壁を基板上に形成する処理前離画壁形成工程と、前記基板の前記処理前離画壁が形成された側の面に重合性基を有する撥油・撥水性化合物を接触させ、輻射線を照射する撥油・撥水処理工程と、を有する。この製造方法により本発明の離画壁を製造することができるが、この方法に限定されるものではない。
なお、本明細書において、「撥油・撥水性」とは、「撥油性且つ撥水性」を意味する。また、本明細書において離画壁をブラックマトリックスと称することがある。
【００２０】
まず、処理前離画壁形成工程について説明する。ここで処理前離画壁とは、撥油・撥水処理を経ていない離画壁のことをいう。
本発明において用いられる「重合開始能をもつ活性種を表面に有する樹脂組成物」は、少なくとも、樹脂組成物中に「輻射線照射により表面近傍に重合開始能を有する活性種を発生しうる化合物」を有するものであれば、特に制限はなく、樹脂組成物に含まれる樹脂材料自体が輻射線照射などのエネルギー付与により活性種を発生しうる特性を有するものであれば、有機高分子化合物（樹脂材料）単独であってもよく、また樹脂材料に、例えば、光重合開始剤などの如き、エネルギー付与により活性種を発生しうる化合物を含有させたものであってもよい。
【００２１】
樹脂組成物が樹脂材料のみからなる場合には、輻射線露光によりポリマーの光分解、光転位反応、もしくは水素引き抜き反応などにより、ラジカル、カチオン、アニオンのような活性種が発生する特性を有する樹脂材料を用いることが必要である。
また、樹脂組成物が、有機高分子化合物（樹脂材料）に光重合開始剤を含有したものである場合、樹脂材料としてはアクリレート系ポリマー、ポリイミド系ポリマー、ポリエステル系ポリマーなどの汎用性ポリマーが好ましく、そこに含有させる光重合開始剤としては、ラジカル重合開始剤、カチオン重合開始剤、及びアニオン重合開始剤からなる群より選択されたものを用いることが好ましい。これらのうち、実用的な性能を発揮するという観点からは樹脂材料に光ラジカル重合開始剤を含有してなる樹脂組成物を用いることが好ましい。
【００２２】
樹脂組成物に用いる重合開始剤は、ラジカル重合開始剤でもよく、カチオン重合開始剤、アニオン重合開始剤でもよい。媒体中に含まれる水分の影響が受けにくく、露光／グラフト条件の環境条件に左右されにくく安定したパターンが得られるという点でラジカル重合開始剤が好ましい。
本発明における光重合開始剤又は光重合開始剤系としては、米国特許第２３６７６６０号明細書に開示されているビシナルポリケタルドニル化合物、米国特許第２４４８８２８号明細書に記載されているアシロインエーテル化合物、米国特許第２７２２５１２号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３０４６１２７号明細書及び同第２９５１７５８号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第３５４９３６７号明細書に記載のトリアリールイミダゾール二量体とｐ−アミノケトンの組み合わせ、特公昭５１−４８５１６号公報に記載のベンゾチアゾール化合物とトリハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、米国特許第４２３９８５０号明細書に記載されているトリハロメチル−トリアジン化合物、米国特許第４２１２９７６号明細書に記載されているトリハロメチルオキサジアゾール化合物等を挙げることができる。特に、トリハロメチル−ｓ−トリアジン、トリハロメチルオキサジアゾール及びトリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合開始剤Ｃ」も好適なものとしてあげることができる。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、２種類以上を混合して用いてもよいが、特に２種類以上を用いることが好ましい。少なくとも２種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラを少なくできる。
ここで、光重合開始剤の含有量は目的に応じて選択しうるが、樹脂組成物中に固形分濃度で０．１〜４０質量％程度であることが好ましく、２．０〜２０質量％程度であることがより好ましい。
【００２３】
本発明における処理前離画壁形成工程において、樹脂組成物による処理前離画壁を形成する方法には特に制限はないが、ポジ型、或いはネガ型の感光性樹脂組成物を用いて、任意のパターン状に露光を行い、不要部を除去することで形成する工程を有することが好ましい。
以下、本発明における処理前離画壁形成工程をカラーフィルタのブラックマトリックス形成に適用する場合を例に挙げてより具体的に説明する。
【００２４】
＜感光性樹脂組成物＞
処理前離画壁形成用の感光性樹脂組成物は、黒く着色するための（Ａ）黒色成分、（Ｂ）バインダー、（Ｃ）感光剤、を含有していることが好ましい。なお、本発明の離画壁の製造方法を特に目視によりパターンを確認する必要のない分野に適用する場合には、（Ａ）黒色成分の如き、着色剤を用いる必要はなく、その他の工程は同様に適用できる。
処理前離画壁の形成に用いる感光性樹脂組成物には前記（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）の他に、必要に応じて、界面活性剤および、基板密着増強剤を追加することができる。これら（Ａ）、（Ｂ）、（Ｃ）以外のものは、単独で用いても組み合わせて用いても良い。
【００２５】
〔（Ａ）黒色成分〕
感光性樹脂組成物の（Ａ）黒色成分として、黒色の公知の顔料および染料を使用することができる。これらの好ましい例としては、ファット・ブラックＨＢ（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・ファースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック１）およびカーボンブラックを挙げることができ、特に好ましくはカーボンブラックを挙げることができる。カーボンブラックとしては、チャネルブラック、ローラーブラック、ディスクブラックと呼ばれているコンタクト法で製造されたもの、ガスファーネストブラック、オイルファーネストブラックと呼ばれているファーネスト法で製造されたもの、サーマルブラック、アセチレンブラックと呼ばれているサーマル法で製造されたものなどを用いることができるが、特に、チャネルブラック、ガスファーネストブラック、オイルファーネストブラックが好ましい。一般に市販されている黒色レジストを用いることもできる。
また、黒色以外の顔料を混合し、例えば、必要に応じて、Ｒ、Ｇ、Ｂの顔料の混合物などを加えて、黒色を作製しても良い。黒色以外の顔料として、特開平７−２８２３６号公報の段落番号〔００１５〕から〔００２７〕に記載されている顔料の混合物を用いることができる。
【００２６】
前記顔料および染料は、一般に５μｍ以下の平均粒径を有しており、１μｍ以下が好ましい。カラーフィルタを作成する場合は、０．５μｍ以下の平均粒径のものを使用することが好ましい。
（Ａ）黒色成分の含有量は、感光性樹脂組成物の全固形分中、１．０〜４０質量％であることが好ましい。
【００２７】
〔（Ｂ）バインダー〕
本発明における（Ｂ）バインダーとしては、アルカリ可溶性の樹脂（ポリマー）であることが好ましく、側鎖にカルボン酸基やカルボン酸塩基などの極性基を有するポリマーを含有することが好ましい。
上記のアルカリ可溶性樹脂の例としては、特開昭５９−４４６１５号公報、特公昭５４−３４３２７号公報、特公昭５８−１２５７７号公報、特公昭５４−２５９５７号公報、特開昭５９−５３８３６号公報及び特開昭５９−７１０４８号公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等を挙げることができる。また側鎖にカルボン酸基を有するセルロース誘導体も挙げることができ、またこの他にも、水酸基を有するポリマーに環状酸無水物を付加したものも好ましく使用することができる。
また、特に好ましい例として、米国特許第４１３９３９１号明細書に記載のベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸との共重合体や、ベンジル（メタ）アクリレートと（メタ）アクリル酸と他のモノマーとの多元共重合体を挙げることができる。これらの極性基を有するバインダーポリマーは、単独で用いてもよく、或いは通常の膜形成性のポリマーと併用する組成物の状態で使用してもよい。
樹脂組成物の全固形分に対する含有量は２０〜５０質量％が一般的であり、２５〜４５質量％が、残留ＤＣ電圧が低く、焼き付きやムラなどの表示不良を起こしにくくなる点で好ましい。
【００２８】
〔（Ｃ）感光剤〕
本発明に係る感光性樹脂組成物に用いる（Ｃ）感光剤は、（Ｃ−１）光重合開始剤又は光重合開始剤系と、（Ｃ−２）重合性モノマーとを含有する。
（Ｃ−１）光重合開始剤又は光重合開始剤系
感光性樹脂組成物に用いられる光重合開始剤又は光重合開始剤系は、先に樹脂組成物において例示した重合開始剤と同様のものが挙げられ、好ましい例もまた同様である。
これらの光重合開始剤又は光重合開始剤系は、単独でも、２種類以上を混合して用いてもよいが、特に２種類以上を用いることが好ましい。少なくとも２種の光重合開始剤を用いると、表示特性、特に表示のムラが少なくできる。
感光性樹脂組成物の全固形分に対する光重合開始剤又は光重合開始剤系の含有量は、目的に応じて選択しうるが、固形分濃度で０．５〜２０質量％が一般的であり、１〜１５質量％が好ましい。
【００２９】
（Ｃ−２）重合性モノマー
本発明における重合性モノマーとしては、エチレン性不飽和二重結合を２個以上有し、光の照射によって付加重合する重合性モノマーであることが好ましい。そのような重合性モノマーとしては、分子中に少なくとも１個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で１００℃以上の化合物を挙げることができる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート及びフェノキシエチル（メタ）アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイルオキシエチル）イソシアヌレート、トリ（アクリロイルオキシエチル）シアヌレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート；トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後（メタ）アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
【００３０】
更に特公昭４８−４１７０８号公報、特公昭５０−６０３４号公報及び特開昭５１−３７１９３号公報に記載されているウレタンアクリレート類；特開昭４８−６４１８３号公報、特公昭４９−４３１９１号公報及び特公昭５２−３０４９０号公報に記載されているポリエステルアクリレート類；エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能アクリレー卜やメタクリレートを挙げることができる。
これらの中で、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートが好ましい。
また、この他、特開平１１−１３３６００号公報に記載の「重合性化合物Ｂ」も好適なものとして挙げることができる。
これらの重合性モノマーは、単独でも、二種類以上を混合して用いてもよく、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有量は５〜５０質量％が一般的であり、１０〜４０質量％が好ましい。
【００３１】
感光性樹脂組成物には上記以外に、可塑剤や残存溶媒として高沸点溶媒、その他の下記の添加剤を含むことができる。
（溶媒）
感光性樹脂組成物は、上記成分の他に、更に有機溶媒を含んでいてもよい。有機溶媒の例としては、メチルエチルケトン、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、シクロヘキサノン、シクロヘキサノール、メチルイソブチルケトン、乳酸エチル、乳酸メチル、カプロラクタム等を挙げることができる。
【００３２】
（熱重合防止剤）
感光性樹脂組成物は、熱重合防止剤を含むことが好ましい。該熱重合防止剤の例としては、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４’−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２’−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンズイミダゾール、フェノチアジン等が挙げられる。
【００３３】
また、感光性樹脂組成物においては、上記添加剤の他に、特開平１１−１３３６００号公報に記載の接着助剤、熱可塑性の結合剤や、可塑剤など、その他の添加剤等を含有させることができる。
熱可塑性の結合剤としては、例えば、エチレン性不飽和化合物等の公知の結合剤が挙げられる。前記結合剤の添加量は、本発明の効果を損なわない範囲で適宜決定される。
可塑剤としては、例えば、グリセリン、エチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレングリコール、ジオクチルフタレート、ジヘプチルフタレート、ジブチルフタレート、トリクレジルフォスフェート、クレジルジフェニルフォスフェート、ビフェニルジフェニルフォスフェート、アルキルフェノール、リン酸トリクレジルなどが挙げられる。
可塑剤の添加量としては、樹脂全量に対して０〜１０質量％であることが好ましく、１〜８質量％であることがさらに好ましい。
【００３４】
このような感光性樹脂組成物を、基板上に直接塗布、乾燥して感光性樹脂組成物層を形成し、その後、露光、現像してパターンを形成することができるが、以下に詳述するように、感光性の樹脂転写材料として使用することが、感光層の均一性及び酸素による経時的な重合性の低下抑制の観点から好ましい。
＜樹脂転写材料＞
本発明に係る感光性樹脂組成物層は、樹脂転写材料を基板上に転写して作製することができる。樹脂転写材料は、特開平５−７２７２４号公報に記載されている樹脂転写材料、すなわち一体型となったフィルムを用いて形成することが好ましい。該一体型フィルムの構成の例としては、仮支持体／熱可塑性樹脂層／中間層／樹脂層／保護フィルムを、この順に積層した構成が挙げられる。
なお、ここでいう樹脂転写材料は、前述の本発明に係る感光性樹脂組成物を用いることによって感光性の樹脂層を設けることが必須である。
【００３５】
（仮支持体）
樹脂転写材料の仮支持体としては、可撓性を有し、加圧若しくは加圧及び加熱下においても著しい変形、収縮若しくは伸びを生じないことが必要である。そのような支持体の例としては、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等を挙げることができ、中でも２軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
仮支持体の厚さに特に制限はないが、５〜２００μmの範囲が一般的で、特に１０〜１５０μmの範囲のものが取扱易さ、汎用性などの点から有利であり好ましい。また、仮支持体は、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有してもよい。また、仮支持体は、透明でもよいし、半透明や不透明でもよい。
【００３６】
（熱可塑性樹脂層）
熱可塑性樹脂層に用いる成分としては、特開平５−７２７２４号公報に記載されている有機高分子物質が好ましく、ヴイカーＶｉｃａｔ法（具体的にはアメリカ材料試験法エーエステーエムデーＡＳＴＭＤ１２３５によるポリマー軟化点測定法）による軟化点が約８０℃以下の有機高分子物質より選ばれることが特に好ましい。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレンなどのポリオレフィン、エチレンと酢酸ビニル或いはそのケン化物の様なエチレン共重合体、エチレンとアクリル酸エステル或いはそのケン化物、ポリ塩化ビニル、塩化ビニルと酢酸ビニル及びそのケン化物の様な塩化ビニル共重合体、ポリ塩化ビニリデン、塩化ビニリデン共重合体、ポリスチレン、スチレンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なスチレン共重合体、ポリビニルトルエン、ビニルトルエンと（メタ）アクリル酸エステル或いはそのケン化物の様なビニルトルエン共重合体、ポリ（メタ）アクリル酸エステル、（メタ）アクリル酸ブチルと酢酸ビニル等の（メタ）アクリル酸エステル共重合体、酢酸ビニル共重合体ナイロン、共重合ナイロン、Ｎ−アルコキシメチル化ナイロン、Ｎ−ジメチルアミノ化ナイロンの様なポリアミド樹脂等の有機高分子が挙げられる。
【００３７】
（中間層）
樹脂転写材料においては、複数の塗布層の塗布時、及び塗布後の保存時における成分の混合を防止する目的から、中間層を設けることが好ましい。該中間層としては、特開平５−７２７２４号公報に「分離層」として記載されている、酸素遮断機能のある酸素遮断膜を用いることが好ましく、この場合、露光時感度がアップし、露光機の時間負荷が減り、生産性が向上する。
該酸素遮断膜としては、低い酸素透過性を示し、水又はアルカリ水溶液に分散又は溶解するものが好ましく、公知のものの中から適宜選択することができる。これらの内、特に好ましいのは、ポリビニルアルコールとポリビニルピロリドンとの組み合わせである。
【００３８】
（保護フィルム）
樹脂層の上には、貯蔵の際の汚染や損傷から保護するために薄い保護フィルムを設けることが好ましい。保護フィルムは仮支持体と同じか又は類似の材料からなってもよいが、樹脂層から容易に分離されねばならない。保護フィルム材料としては例えばシリコーン紙、ポリオレフィン若しくはポリテトラフルオロエチレンシートが適当である。
【００３９】
（樹脂転写材料の作製方法）
感光性の樹脂転写材料は、仮支持体上に熱可塑性樹脂層の成分を溶解した塗布液（熱可塑性樹脂層用塗布液）を塗布し、乾燥することにより熱可塑性樹脂層を設け、その後熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤からなる中間層材料の溶液を塗布、乾燥し、その後感光性樹脂組成物の樹脂層を、中間層を溶解しない溶剤で塗布、乾燥して設けることにより作製することができる。
また、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層及び中間層を設けたシート、及び保護フィルム上に樹脂層を設けたシートを用意し、中間層と樹脂層とが接するように相互に貼り合わせることによっても、更には、前記の仮支持体上に熱可塑性樹脂層を設けたシート、及び保護フィルム上に樹脂層及び中間層を設けたシートを用意し、熱可塑性樹脂層と中間層とが接するように相互に貼り合わせることによっても、作製することができる。
尚、本発明の樹脂転写材料において、感光性樹脂組成物の樹脂層の膜厚としては、１．０〜５．０μmが好ましく、１．０〜４．０μmがより好ましく、１．０〜３．０μmが特に好ましい。
また、特に限定されるわけではないが、その他の各層の好ましい膜厚としては、熱可塑性樹脂層は２〜３０μm、中間層は０．５〜３．０μm、保護フィルムは４〜４０μmが、一般的に好ましい。
【００４０】
なお、上記作製方法における塗布は、公知の塗布装置等によって行うことができるが、本発明においては、スリット状ノズルを用いた塗布装置（スリットコータ）によって行うことが好ましい。
（スリット状ノズル）
樹脂転写材料は、本発明に係る前記感光性樹脂組成物を、公知の塗布方法により塗布し乾燥することによって形成することができるが、本発明においては、液が吐出する部分にスリット状の穴を有するスリット状ノズルによって塗布することが好ましい。具体的には、特開２００４−８９８５１号公報、特開２００４−１７０４３号公報、特開２００３−１７００９８号公報、特開２００３−１６４７８７号公報、特開２００３−１０７６７号公報、特開２００２−７９１６３号公報、特開２００１−３１０１４７号公報等に記載のスリット状ノズル、及びスリットコーターが好適に用いられる。
【００４１】
（ａ）塗布装置による塗布
本発明に係る感光性樹脂組成物の塗布には、公知の塗布方法、例えば、スピンコート法、カーテンコート法、スリットコート法、ディップコート法、エアーナイフコート法、ローラーコート法、ワイヤーバーコート法、グラビアコート法、あるいは、米国特許第２６８１２９４号明細書に記載のポッパーを使用するエクストルージョンコート法等により塗布することができる。中でも特に、既に＜樹脂転写材料＞の項において説明した、スリットコーターが好適に用いることができる。尚、スリットコーターの好ましい具体例等は、前記と同様である。樹脂層を塗布により形成する場合、その膜厚としては、１．０〜３．０μmが好ましく、１．０〜２．５μmがより好ましく、１．０〜２．０μmが特に好ましい。
【００４２】
（ｂ）圧着による貼り付け
前記樹脂転写材料を用い、フィルム状に形成した樹脂層を、後述する基板上に加熱及び／又は加圧したローラー又は平板で圧着又は加熱圧着することによって、貼り付けることができる。具体的には、特開平７−１１０５７５号公報、特開平１１−７７９４２号公報、特開２０００−３３４８３６号公報、特開２００２−１４８７９４号公報に記載のラミネータ及びラミネート方法が挙げられるが、低異物の観点で、特開平７−１１０５７５号公報に記載の方法を用いるのが好ましい。尚、樹脂層を前記本発明の樹脂転写材料により形成する場合の、その好ましい膜厚は、＜樹脂転写材料＞の項において記載した好ましい膜厚と同様である。
【００４３】
〔基板〕
本発明において、離画壁が設けられる基板としては、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択されるが、本態様の如くカラーフィルタなどの光学材料に適用する場合には、透明基板が用いられる。透明基板としては、例えば、表面に酸化ケイ素皮膜を有するソーダガラス板、低膨張ガラス、ノンアルカリガラス、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いは、プラスチックフィルム等を挙げることができる。
なお、このとき、基板が露光により活性種を発生するような材料からなるものであると、全面露光により所望されない撥油・撥水性の化合物の形成が離画壁の未形成領域である基板表面においても行われることになり、本発明の効果が得られない場合がある。このような観点から、用いる基板は活性種を発生しない物性を有するものが好ましく、具体的には、ガラス板の如き表面親水性基板が好ましい。
【００４４】
ここで用いる基板は、予めカップリング処理を施しておくことにより、樹脂組成物、又は樹脂転写材料との密着を良好にすることができる。該カップリング処理としては、特開２０００−３９０３３号公報記載の方法が好適に用いられる。
【００４５】
（酸素遮断膜）
処理前離画壁を形成する当たり、感光性樹脂組成物の塗布によって樹脂層を形成する場合においては、該樹脂層上に更に酸素遮断膜を設けることができ、これにより、露光感度をアップすることができる。該酸素遮断膜としては、既に＜樹脂転写材料＞の（中間層）の項において説明したものと同様のものが挙げられる。なお、特に限定されるわけではないが、酸素遮断膜の膜厚としては、０．５〜３．０μmが好ましい。
【００４６】
（露光及び現像）
上記基板上に形成された感光性樹脂組成物層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、及び中間層を介してマスク上方から露光し、次いで現像液による現像を行う、という工程により、本発明に係る処理前離画壁を得ることができる。
ここで、前記露光の光源としては、感光性樹脂組成物層を硬化しうる波長域の光（例えば、３６５ｎｍ、４０５ｎｍなど）を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。
具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、樹脂を硬化しうるエネルギーを付与できる量であり、通常、５〜１５０ｍＪ／ｃｍ2程度であり、好ましくは１０〜１００ｍＪ／ｃｍ2程度であり、更に好ましくは１０〜８０ｍＪ／ｃｍ2程度である。露光量が５ｍＪ／ｃｍ2以下であると、充分に硬化が進まず、ブラックマトリックスの形成ができないことがある点で好ましくない。露光量が１５０ｍＪ／ｃｍ2を超えると、所定の幅（マスク幅）より広く硬化が進むことがある点で好ましくない。
【００４７】
露光工程は、貧酸素雰囲気下で行われることが硬化感度向上の観点から好ましい。貧酸素雰囲気下が、少なくとも不活性ガス雰囲気下、減圧下のうちの１つ、または複数から選択されることが好ましい。前記した、酸素遮断層を設けることも貧酸素雰囲気を形成する手段の一つである。
不活性ガスとは、Ｎ2、Ｈ2、ＣＯ2などの一般的な気体の他、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒなどの希ガス類を用いることもできる。この中でも安全性や入手の容易さ、コストの問題からＮ2が好適に利用される。
減圧下とは、０．５ａｔｍ以下が好ましく、さらに好ましくは０．１ａｔｍ以下の状態を指す。
酸素遮断層とは、前記（酸素遮断膜）の項目で説明したものと同様なものが挙げられる。
【００４８】
現像液としては、特に制約はなく、特開平５−７２７２４号公報に記載のものなど、公知の現像液を使用することができる。なお、現像液は樹脂層が溶解型の現像挙動をするものが好ましく、例えば、ｐＫａ＝７〜１３の化合物を０．０５〜５ｍｏｌ／Ｌの濃度で含むものが好ましいが、更に水と混和性を有する有機溶剤を少量添加してもよい。
水と混和性を有する有機溶剤としては、メタノール、エタノール、２−プロパノール、１−プロパノール、ブタノール、ジアセトンアルコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ベンジルアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ε−カプロラクトン、γ−ブチロラクトン、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ヘキサメチルホスホルアミド、乳酸エチル、乳酸メチル、ε−カプロラクタム、Ｎ−メチルピロリドン等を挙げることができる。該有機溶剤の濃度は０．１質量％〜３０質量％が好ましい。
また、上記現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は０．０１質量％〜１０質量％が好ましい。
【００４９】
現像の方式としては、パドル現像、シャワー現像、シャワー＆スピン現像、ディプ現像等、公知の方法を用いることができる。
ここで、シャワー現像について説明すると、露光後の感光性樹脂組成物層に現像液をシャワーにより吹き付けることにより、未硬化部分を除去することができる。現像の前に樹脂層の溶解性が低いアルカリ性の液をシャワーなどにより吹き付け、熱可塑性樹脂層、中間層などを除去しておくことが好ましい。また、現像の後に、洗浄剤などをシャワーにより吹き付け、ブラシなどで擦りながら、現像残渣を除去することが好ましい。
洗浄液としては公知のものを使用できるが、（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム製）」、或いは、炭酸ナトリウム・フェノキシオキシエチレン系界面活性剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ２（富士写真フイルム製）」）が好ましい。
現像液の液温度は２０℃〜４０℃が好ましく、また、現像液のｐＨは８〜１３が好ましい。
【００５０】
（ベーク）
ベークと呼ばれる熱処理を行ことにより、ブラックマトリックスなどの樹脂パターンの硬化性を向上させることができる。ベークを全く行わないと表面処理液などにより樹脂パターン表面が溶解したり傷付きやすくなることがあり、ベーク時間が長すぎるとブラックマトリックス中の重合開始剤が減少して、引き続き行われる撥油・撥水処理工程の効率が低下する虞がある。このため、撥油・撥水処理工程前における、ベークは最小限にとどめることが好ましい。
【００５１】
上記ベークの温度は、好ましくは２００〜３００℃、より好ましくは２２０℃〜２６０℃、最も好ましくは２３０℃〜２５０℃である。上記ベークの時間は、好ましくは１０〜１２０分、更に好ましくは２０〜７０分、最も好ましくは３０〜６０分である。このように温度及び時間を設定して上記ベークを行うことで、感光性樹脂組成物中の架橋反応が進行しやすく、生産性を高めることができる。
【００５２】
上述のようにして形成された処理前離画壁の純水に対する接触角は６５°未満であることが必要である。処理前離画壁の純水に対する接触角を６５°未満とする方法は特に限定されるものではないが、上述した樹脂組成物に含まれる成分を適宜選択することにより達成することができる。具体的には、カルボン酸基やスルホン酸基、水酸基、アミノ基、アミド基、エステル基、エーテル基などの極性基を有する樹脂成分を適宜選択することにより処理前離画壁の純水に対する接触角を６５°未満とすることが可能となる。
【００５３】
このようにして、処理前離画壁形成工程を実施した後、基板の該処理前離画壁が形成された側の面に重合性基を有する撥油・撥水性化合物を接触させ、輻射線を照射する撥油・撥水処理工程を実施する。これにより、離画壁の上面の純水に対する接触角を１００°以上とすることができる。
【００５４】
〔重合性基を有する撥油・撥水性化合物〕
撥油・撥水処理工程において、基板の処理前離画壁が形成された側の面に接触させる撥油・撥水性化合物は、ラジカル重合可能であり、撥油・撥水性の官能基を有する化合物であれば、如何なるものも用いることができるが、それらは、モノマー、マクロマー、オリゴマーなどのいずれの形態を有するものであってよい。以下、このような化合物を、適宜、単に撥油・撥水性化合物と称する。
本発明においては、離画壁の上面の純水に対する接触角が１００°以上であることが必要であるが、この高い撥油・撥水性の値はＥＳＣＡで測定した表面原子量の割合で予想することができる。シリコーン系化合物が離画壁上面に形成された場合は、離画壁上面の元素組成中に占めるＳｉの比率がＳｉ、Ｃ、およびＯの合計量に対して１０原子％以上あればほぼ達成できる。また、フッ素系化合物が離画壁上面に形成された場合は、離画壁上面の元素組成中に占めるＦの比率がＦ、Ｃ、およびＯの合計量に対して３０原子％以上必要である。このことは、この表面原子量を達成するには少なくともシリコーン系の撥油・撥水性化合物を用いた場合には該化合物の構成原子のうちケイ素量は１０原子％以上必要であり、またフッ素系の撥油・撥水性化合物を用いた場合には該化合物の構成原子のうちフッ素の量として３０原子％以上必要であることを意味する。従って高い撥油・撥水性を発現するにはこのような要件を満足する撥油・撥水性化合物を使用することが必要である。
【００５５】
なお、本発明においては、前記撥油・撥水性化合物による処理後の離画壁の表面の平均粗さ（Ｒａ）は３０ｎｍ以下であることが好ましい。
【００５６】
上記の要件を満足するような撥油・撥水性の官能基を有する不飽和化合物としては、具体的には、フッ素含有化合物、ケイ素（シリコーン）含有化合物などが挙げられる。
また、上述の表面原子量を有するグラフト化合物を生成させるための材料としての、マクロマー、オリゴマー、ポリマーなども、同様に、分子中のケイ素やフッ素の原子の含有割合が上記の範囲であるものを用いることが必要である。
【００５７】
上記の要件を満足するような撥油・撥水性の官能基を有するモノマーとしては、具体的には、フッ素含有モノマー、ケイ素（シリコーン）含有モノマーなどが挙げられる。
以下、本発明において用いられるフッ素含有モノマー、及びケイ素（シリコーン）含有モノマーについて説明する。
（フッ素含有モノマー）
撥油・撥水処理工程に用いられるフッ素含有モノマーとしては、下記一般式（Ｉ）、（II）、（III）、（IV）及び（Ｖ）よりなる群から選ばれた少なくとも１種のフッ素含有モノマーが挙げられる。
ＣＨ2＝ＣＲ1ＣＯＯＲ2Ｒf・・・（Ｉ）
〔式中、Ｒ1は水素原子又はメチル基、Ｒ2は−ＣpＨ2p−、−Ｃ（ＣpＨ2p+1）Ｈ−、−ＣＨ2Ｃ（ＣpＨ2p+1）Ｈ−又は−ＣＨ2ＣＨ2Ｏ−、Ｒfは−ＣnＦ2n+1、−（ＣＦ2）nＨ、−ＣnＦ2n+1−ＣＦ3、−（ＣＦ2）pＯＣnＨ2nＣiＦ2i+1、−（ＣＦ2）pＯＣmＨ2mＣiＦ2iＨ、−Ｎ（ＣpＨ2p+1）ＣＯＣnＦ2n+1、−Ｎ（ＣpＨ2p+1）ＳＯ2ＣnＦ2n+1である。但し、ｐは１〜１０、ｎは１〜１６、ｍは０〜１０、ｉは０〜１６の整数である。〕
【００５８】
ＣＦ2＝ＣＦＯＲg・・・（II）
（式中Ｒgは炭素数１〜２０のフルオロアルキル基を表わす。）
ＣＨ2＝ＣＨＲg・・・（III）
（式中Ｒgは炭素数１〜２０のフルオロアルキル基を表わす。）
ＣＨ2＝ＣＲ3ＣＯＯＲ5ＲjＲ6ＯＣＯＣＲ4＝ＣＨ2  ・・・（IV）
〔式中、Ｒ3、Ｒ4は水素原子又はメチル基、Ｒ5、Ｒ6は−ＣqＨ2q−、−Ｃ（ＣqＨ2q+1）Ｈ−、−ＣＨ2Ｃ（ＣqＨ2q+1）Ｈ−又は−ＣＨ2ＣＨ2Ｏ−、Ｒjは−ＣtＦ2tである。但し、ｑは１〜１０、ｔは１〜１６の整数である。〕
ＣＨ2＝ＣＨＲ7ＣＯＯＣＨ2（ＣＨ2Ｒk）ＣＨＯＣＯＣＲ8＝ＣＨ2・・・（Ｖ）
（式中、Ｒ7、Ｒ8は水素原子又はメチル基、Ｒkは−ＣyＦ2y+1である。但し、ｙは１〜１６の整数である。）
【００５９】
以下、本発明に用いうるフッ素含有モノマーの具体例を挙げるが、本発明はこれに制限されるものではない。
一般式（Ｉ）で示されるモノマーとしては、例えばＣＦ3（ＣＦ2）7ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＦ3ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）4ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、Ｃ7Ｆ15ＣＯＮ（Ｃ2Ｈ5）ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）7ＳＯ2Ｎ（ＣＨ3）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）7ＳＯ2Ｎ（Ｃ3Ｈ7）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ2Ｆ5ＳＯ2Ｎ（Ｃ3Ｈ7）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、（ＣＦ3）2ＣＦ（ＣＦ2）6（ＣＨ2）3ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、（ＣＦ3）2ＣＦ（ＣＦ2）10（ＣＨ2）3ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）4ＣＨ（ＣＨ3）ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、
【００６０】
【化１】
2007156155.tif 000002
【００６１】
、ＣＦ3ＣＨ2ＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ2Ｆ5（ＣＨ2ＣＨ2Ｏ）2ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、（ＣＦ3）2ＣＦＯ（ＣＨ2）5ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）4ＯＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、Ｃ2Ｆ5ＣＯＮ（Ｃ2Ｈ5）ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）2ＣＯＮ（ＣＨ3）ＣＨ（ＣＨ3）ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｈ（ＣＦ2）6Ｃ（Ｃ2Ｈ5）ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、Ｈ（ＣＦ2）8ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｈ（ＣＦ2）4ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｈ（ＣＦ2）ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、
【００６２】
【化２】
2007156155.tif 000003
【００６３】
、ＣＦ3（ＣＦ2）7ＳＯ2Ｎ（ＣＨ3）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）7ＳＯ2Ｎ（ＣＨ3）（ＣＨ2）10ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ2Ｆ5ＳＯ2Ｎ（Ｃ2Ｈ5）ＣＨ2ＣＨ2ＯＣＯＣ（ＣＨ3）＝ＣＨ2、ＣＦ3（ＣＦ2）7ＳＯ2Ｎ（ＣＨ3）（ＣＨ2）4ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ2Ｆ5ＳＯ2Ｎ（Ｃ2Ｈ5）Ｃ（Ｃ2Ｈ5）ＨＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2等が挙げられる。
【００６４】
また、一般式（II）及び（III）で表わされるフルオロアルキル化オレフィンとしては、例えばＣ3Ｆ7ＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ4Ｆ9ＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ10Ｆ21ＣＨ＝ＣＨ2、Ｃ3Ｆ7ＯＣＦ＝ＣＦ2、Ｃ7Ｆ15ＯＣＦ＝ＣＦ2及びＣ8Ｆ17ＯＣＦ＝ＣＦ2などが挙げられる。
【００６５】
一般式（IV）及び（Ｖ）で表わされるモノマーとしては例えば、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣＨ2（ＣＦ2）3ＣＨ2ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2、ＣＨ2＝ＣＨＣＯＯＣＨ2ＣＨ（ＣＨ2Ｃ8Ｆ17）ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ2などが挙げられる。
【００６６】
フッ素系化合物を形成するモノマーとして、上記フッ素含有モノマーに加えて、本発明の効果を損なわない限りにおいて、フッ素を有しないモノマーを併用することができる。そのようなモノマーとしては、ラジカル重合可能なものであれば特に限定されないが、具体的には（メタ）アクリル酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの不飽和カルボン酸類、及びそのアルキル又はグリシジルエステル類、スチレン、アルキル酸のビニルエステル類、ケイ素含有モノマーなどが挙げられる。
併用する場合の配合量はフッ素含有モノマーに対して５０質量％以下が好ましい。
【００６７】
（シリコーン含有モノマー）
本発明に用いうるシリコーン含有モノマーとしては、Ｓｉ−ＣＨ3基もしくは−Ｏ−Ｓｉ−ＣＨ3基を有するシリコン系モノマーを挙げることが出来る。具体的にはシリコーンアクリレートまたはシリコーンメタクリレートであり、一般式（ＣＨ3Ｏ）nＳｉ（ＣＨ3）3-ｎ-Ｒ3−Ｏ−ＣＯ−ＣＲ4＝ＣＨ2で表されるものでり、Ｒ3は連結基であり、Ｒ4はメチルもしくは水素であり、ｎは０〜３の整数である。その他、例えば、特開２００３−３３５９８４公報の段落番号〔００２５〕に記載されるシリコーン系モノマーもまた、好適なものとして挙げることができる。
【００６８】
本発明における撥油・撥水処理工程では、上記フッ素含有モノマー、ケイ素含有モノマーに加え、フッ素系の官能基、ケイ素系の官能基などの撥油・撥水性の官能基と、ラジカル重合性基と、を有するポリマー（以下、「ラジカル重合性基含有撥油・撥水性ポリマー」と称する。）も使用することができる
【００６９】
フッ素含有モノマー、シリコーン含有モノマーなどの撥油・撥水性化合物を用いて撥油・撥水処理する方法について説明する。前記活性種を用いて撥油・撥水性の化合物を形成するには、基板の処理前離画壁が形成された側の面に撥油・撥水性の官能基を有する重合性モノマーを配置し、露光などにより活性化エネルギーを付与すればよい。このとき、重合性モノマーを単独で付与するいわゆる無溶媒で実施してもよいが、他の溶剤や添加剤を含有する組成物として適用してもよい。
無溶媒で実施する場合、処理前離画壁を形成した基板に適用される撥油・撥水性化合物を含有する組成物中の本発明に係る撥油・撥水性化合物（モノマー）の濃度は１００％となる。また、ハンドリング性の観点から、このようなモノマーが溶解するような溶媒で希釈してもよい。ここで用いる溶媒には特に制限はないが、メタノール、アセトン、メチルエチルケトン、エタノール、ヘキサン、ヘプタン、ベンゼン、トルエン等が好ましい。また、このとき、該組成物中には、撥油・撥水性モノマーとともに、他の単官能及び多官能モノマーや、界面活性剤、増粘剤等の添加剤を添加してもよい。
【００７０】
フッ素含有モノマー、シリコーン含有モノマーなどを含有する組成物を前記基板表面に適用する際に、光重合開始部位を有する処理前離画壁の表面が溶解し、撥油・撥水性の化合物の形成が不均一となることを抑制するため、撥油・撥水性の官能基を有するモノマー、あるいは、それを含有する組成物中に含まれる溶剤その他の化合物には、処理前離画壁表面に存在する化合物を溶解しない物性の材料を選択することが好ましい。
【００７１】
基板表面に撥油・撥水性の化合物の原料となる撥油・撥水性モノマーを適用する方法としては、基板表面にモノマー又はそれを含む組成物を塗布する方法、基板をモノマー又はそれを含む組成物中に浸漬する方法、基板表面にモノマーを含む被膜を形成する方法などが挙げられる。
また、酸素による重合阻害を防止するため、これら組成物の適用並びに重合反応を窒素などの不活性ガス雰囲気下で行なったり、モノマーを適用した表面を、重合反応を生起させるための活性エネルギー線が透過する材質、例えば、ガラス、石英、透明プラスチック製の板やフィルム等で覆って行ってもよい。
【００７２】
これらの撥油・撥水性の官能基を有するモノマーは、その１種を単独で使用してもよく、２種以上を混合して使用してもよい。
【００７３】
本発明において撥油・撥水処理工程に用いうる露光方法には特に制限はなく、処理前離画壁に含まれる活性種の機能を発現させ、重合反応を生起させうるエネルギーを付与できる輻射線露光であれば、紫外線、可視光、赤外線、電子線などのいずれであってもよい。
処理前離画壁の上面のみにおいて撥油・撥水性の化合物が効率よく生成されるという観点からは、平行光線を露光面に垂直に照射することが好ましく、そのような観点からは、光源として、平行光源等が好ましく挙げられる。具体的には、例えば、高圧水銀灯、低圧水銀灯、ハロゲンランプ、キセノンランプ、エキシマレーザー、色素レーザー、半導体レーザー、ＹＡＧレーザー等が挙げられる。
このような露光により、処理前離画壁の上面（露光面）のみで、撥油・撥水性化合物が重合により表面に固定化され、処理前離画壁の上面のみが選択的に撥油・撥水性の特性を有するようになる。
【００７４】
露光により、撥油・撥水性の化合物を形成した後、以下に述べる溶剤を用いて洗浄し、残存する撥油・撥水性化合物を除去することが好ましい。
メタノール、１−メトキシ−２−プロパノールなどのアルコール系溶媒、アセトン、メチルエチルケトンなどのケトン系溶媒、トルエン、ヘキサンなどの炭化水素系溶媒で洗浄する。洗浄方法としては浸漬洗浄、スプレー洗浄、のほかブラシなどの機械的な補助をもちいて洗浄してもよい。
【００７５】
本発明の離画壁は、上述の方法に加えて、撥水処理として、処理前離画壁上面に撥水材料を塗布する方法（例えば、特開平10-123500号公報参照）や、撥水層を新たに設ける方法（例えば、特開平5-241011号公報参照）、プラズマ処理により撥水性を付与する方法（例えば、特開2002-62420号公報参照）、撥水性物質を理前離画壁に練りこむ方法（例えば、特開2005-36160号公報参照）などを用いることもできる。
【００７６】
＜カラーフィルタ及びその製造方法並びに液晶表示装置＞
本発明のカラーフィルタの製造方法は、本発明の離画壁付き基板を用い、該離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴をインクジェット法により付与して画素を形成する画素形成工程を有する。また、本発明のカラーフィルタは、本発明のカラーフィルタの製造方法により製造される。
【００７７】
インクジェット法を実施するためのインクジェット記録装置としては、例えば、エネルギー発生素子として電気熱変換体を用いたバブルジェット（登録商標）タイプ、或いは圧電素子を用いたピエゾジェットタイプ等が使用可能である。
また、着色液体組成物（以下、インクと称することがある。）としては、レッド（Ｒ）、グリーン（Ｇ）、ブルー（Ｂ）等の着色部を形成するための着色剤と硬化成分と水と溶剤とを少なくとも含むものが好ましい。
以下に、着色液体組成物の組成の詳細について説明する。
【００７８】
〔１〕着色剤
インク中に含有させる着色剤としては、染料系及び顔料系共に使用可能であるが、顔料を使用する場合には、インク中で均一に分散させるために別途分散剤の添加が必要となり、全固形分中の着色剤比率が低くなってしまうことから、染料系の着色剤が好ましく用いられる。また、着色剤の添加量としては、後述する硬化成分と同量以下であることが好ましい。
【００７９】
〔２〕硬化成分
後工程におけるプロセス耐性、信頼性等を考慮した場合、熱処理或いは光照射等の処理により硬化し、着色剤を固定化する成分、即ち架橋可能なモノマー或いはポリマー等の成分を含有することが好ましい。特に、後工程における耐熱性を考慮した場合、硬化可能な樹脂組成物を用いることが好ましい。具体的には、例えば基板樹脂として、水酸基、カルボキシル基、アルコキシ基、アミド基等の官能基を有するアクリル樹脂、シリコン樹脂；またはヒドロキシプロピルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等のセルロース誘導体或いはそれらの変性物；またはポリビニルピロリドン、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール等のビニル系ポリマーが挙げられる。さらに、これらの基板樹脂を光照射或いは加熱処理により硬化させるための架橋剤、光開始剤を用いることが可能である。具体的には、架橋剤としては、メチロール化メラミン等のメラミン誘導体が、また光開始剤としては重クロム酸塩、ビスアジド化合物、ラジカル系開始剤、カチオン系開始剤、アニオン系開始剤等が使用可能である。また、これらの光開始剤を複数種混合して、或いは他の増感剤と組み合わせて使用することもできる。
【００８０】
〔３〕溶剤
本発明で使用されるインクの媒体としては、水及び有機溶剤の混合溶媒が好ましく使用される。水としては種々のイオンを含有する一般の水ではなく、イオン交換水（脱イオン水）を使用することが好ましい。
【００８１】
有機溶剤としては、メチルアルコール、エチルアルコール、ｎ−プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、ｓｅｃ−ブチルアルコール、ｔｅｒｔ−ブチルアルコール等の炭素数１〜４のアルキルアルコール類；ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類；アセトン、ジアセトンアルコール等のケトン類またはケトアルコール類；テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類；ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコール類；エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、トリエチレングリコール、チオジグリコール、へキシレングリコール、ジエチレングリコール等のアルキレン基が２〜４個の炭素を含有するアルキレングリコール類；グリセリン類；エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールの低級アルキルエーテル類；Ｎ−メチル−２−ピロリドン、２−ピロリドン等の中から選択することが好ましい。
【００８２】
また、上記成分の他に、必要に応じて所望の物性値を持つインクとするために、沸点の異なる２種類以上の有機溶剤を混合して用いたり、界面活性剤、消泡剤、防腐剤等を添加しても良い。
離画壁で離隔された領域に着色液体組成物の液滴を付与した後、熱処理、光照射等必要な処理を施して着色液体組成物中の溶剤成分を除去して硬化させることにより、画素が形成される。
【００８３】
さらに、カラーフィルタには必要に応じて保護層や透明導電膜を形成する。この場合の保護層としては、光硬化タイプ、熱硬化タイプ、或いは光熱併用硬化タイプの樹脂材料、或いは、蒸着、スパッタ等によって形成された無機膜等を用いることができ、カラーフィルタとした場合の透明性を有し、その後の透明導電膜形成プロセス、配向膜形成プロセス等に耐えうるものであれば使用可能である。また、透明導電膜は、保護層を介さずに画素上に直接形成してもよい。
【００８４】
（オーバーコート層）
カラーフィルタ作製後、全面に耐性向上のためにオーバーコート層を設けている場合がある。オーバーコート層は、インクＲ，Ｇ，Ｂの固化層（画素）を保護するとともに、表面を平坦にすることができるが、工程数が増えるという観点から、設けないことが好ましい。
オーバーコート層を形成する樹脂（ＯＣ剤）としては、アクリル系樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、ポリイミド樹脂組成物などが挙げられる。中でも、可視光領域での透明性で優れており、また、カラーフィルター用光硬化性組成物の樹脂成分が通常アクリル系樹脂を主成分としており、密着性に優れていることからアクリル系樹脂組成物が望ましい。オーバーコート層の例として、特開２００３−２８７６１８号公報の段落番号００１８〜００２８に記載のものや、オーバーコート剤の市販品として、ＪＳＲ社製「オプトマーＳＳ６６９９Ｇ」）が挙げられる。
【００８５】
図２は本発明のカラーフィルタの一実施形態の断面を示す図である。図２中、１１は基板としての透明基板、１２は離画壁、１３は画素である着色部、１４は必要に応じて形成される保護層である。本発明のカラーフィルタを用いて液晶素子を構成する場合には、着色部１３上或いは、着色部１３上に保護層１４を形成したさらにその上に、液晶を駆動するためのＩＴＯ（インジウム・チン・オキサイド）等透明導電材からなる透明導電膜が形成されて提供される場合もある。
【００８６】
本発明の液晶表示装置は、本発明のカラーフィルタを有するものである。本発明における液晶表示素子とは、対向する一対の基板の間に、液晶材料が封入された液晶層を有する素子である。
液晶表示装置は、対向する一対の基板の少なくとも一方にカラーフィルタを有し、互いに対向し合う側の表面に導電層が設けられた２枚の基板間に液晶層が挟持され、該両導電層間に電圧が印可されその間に挟持される液晶材料がその電圧に応じて配向状態を変化させ表示を行う表示装置である。
【００８７】
液晶表示装置の基本的な構成態様としては、（１）薄膜トランジスタ（以下、「ＴＦＴ」という場合がある。）等の駆動素子と画素電極（導電層）とが配列形成された駆動側基板と、カラーフィルタ及び対向電極（導電層）を備えるカラーフィルタ側基板との間に液晶材料を封入して構成されるもの、（２）カラーフィルタが上記駆動側基板に直接形成されたカラーフィルタ一体型駆動基板と、対向電極（導電層）を備える対向基板との間に液晶材料を封入して構成されるもの等が挙げられる。
上記導電層としては、例えば、ＩＴＯ膜；Ａｌ、Ｚｎ、Ｃｕ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｒ、Ｍｏ等の金属膜；ＳｉＯ2等の金属酸化膜などが挙げられ、中でも透明性のものが好ましく、ＩＴＯ膜が特に好ましい。上記駆動側基板、カラーフィルタ側基板、対向基板は、その基板として、例えば、ソーダガラス板、低膨張ガラス板、ノンアルカリガラス板、石英ガラス板等の公知のガラス板、或いはプラスチックフィルム等を用いて構成される。
ＴＦＴ等の駆動素子と画素電極とが配列形成された駆動側基板としては、例えば、互いに垂直に交わってマトリックス状に配設されたデータバスライン及びゲートバスラインと接続されたＴＦＴ、及びＴＦＴを介してデータバスラインと接続する導電層が設けられたものなどが挙げられる。
【００８８】
図３に、図２のカラーフィルタを用いて構成された、液晶表示装置の一実施形態の断面図を示す。図３中、１７は共通電極（透明導電膜）、１８は配向膜、１９は液晶、２１は対向基板、２２は画素電極、２３は配向膜であり、図２と同じ部材には同じ符号を付して説明を省略する。
【００８９】
カラー液晶素子は、一般的にカラーフィルタ側の基板１１と対向基板２１とを合わせ込み、液晶１９を封入することにより形成される。液晶素子の一方の基板２１の内側に、ＴＦＴ（図示せず）と画素電極２２がマトリクス状に形成されている。また、カラーフィルタ側の基板１１の内側には、画素電極２２に対向する位置に、Ｒ、Ｇ、Ｂが配列するように、カラーフィルタの着色部１３が形成され、その上に透明な共通電極１７が形成される。さらに、両基板の面内には配向膜１８、２３が形成されており、液晶分子を一定方向に配列させている。これらの基板は、スペーサー（図示せず）を介して対向配置され、シール材（図示せず）によって貼り合わされ、その間隙に液晶１９が充填される。上記液晶素子は、透過型の場合には、基板２１及び画素電極２２を透明素材で形成し、それぞれの基板の外側に偏光板を接着し、一般的に蛍光灯と散乱板を組み合わせたバックライトを用い、液晶化合物をバックライトの光の透過率を変化させる光シャッターとして機能させることにより表示を行う。また、反射型の場合には、基板２１或いは画素電極２２を反射機能を備えた素材で形成するか、或いは、基板２１上に反射層を設け、透明基板１１の外側に偏光板を設け、カラーフィルタ側から入射した光を反射して表示を行う。
本発明の液晶表示装置は本発明のカラーフィルタを有するため、混色や白ヌケのない高解像度の画像を表示することができる。
【実施例】
【００９０】
以下、本発明を実施例を用いてさらに詳細に説明するが、本発明は下記実施例により限定されるものではない。なお、特に断りのない限り「％」および「部」は、「質量％」および「質量部」を表す。
【００９１】
（実施例１）
−樹脂転写材料の作製−
厚さ７５μｍのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方Ｈ１からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方Ｐ１から成る中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、下記表１に記載の組成よりなる感光性樹脂組成物Ｋ１を塗布、乾燥させ、該仮支持体の上に乾燥膜厚が１４．６μｍの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が１．６μｍの中間層と、乾燥膜厚が２．４μｍの感光性樹脂組成物層を設け、保護フイルム（厚さ１２μｍポリプロピレンフィルム）を圧着した。
こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層（酸素遮断膜）と離画壁用の感光性樹脂組成物層とが一体となった樹脂転写材料を作製し、サンプル名を樹脂転写材料Ｋ１とした。
【００９２】
熱可塑性樹脂層用塗布液：処方Ｈ１
・メタノール                                              １１．１部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート        ６．３６部
・メチルエチルケトン                                      ５２．４部
・メチルメタクリレート／２−エチルヘキシルアクリレート／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝５５／１１．７／４．５／２８．８、重量平均分子量＝９万、Ｔｇ≒７０℃）                      ５．８３部
・スチレン／アクリル酸共重合体（共重合組成比（モル比）＝６３／３７、重量平均分子量＝８千、Ｔｇ≒１００℃）                                １３．６部
・ビスフェノールＡにペンタエチレングリコールモノメタクリートを２当量脱水縮合した化合物（新中村化学（株）製、ＢＰＥ−５００）                ９．１部
・界面活性剤１（大日本インキ化学工業製、商品名：メガファックＦ７８０Ｆ）
０．５４部
【００９３】
中間層用塗布液：処方Ｐ１
・ＰＶＡ２０５（ポリビニルアルコール、クラレ（株）製、鹸化度＝８８％、重合度５５０）                                                      ３２．２部
・ポリビニルピロリドン（ＢＡＳＦ社製、Ｋ−３０）          １４．９部
・蒸留水                                                    ５２４部
・メタノール                                                ４２９部
【００９４】
感光性樹脂組成物：処方Ｋ１
感光性樹脂組成物Ｋ１は、まず表１に記載の量の、顔料分散物１、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートをはかり取り、温度２４℃（±２℃）で混合して１５０ｒｐｍで１０分間攪拌し、次いで、メチルエチルケトン、バインダー１、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ＤＰＨＡ液、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−［４’−（Ｎ，Ｎ−ビスエトキシカルボニルメチルアミノ）−３’−ブロモフェニル］−ｓ−トリアジン、界面活性剤１をはかり取り、温度２５℃（±２℃）でこの順に添加して、温度４０℃（±２℃）で１５０ｒｐｍで３０分間攪拌することによって得られる。
【００９５】
【表１】
2007156155.tif 000004
【００９６】
なお、感光性樹脂組成物Ｋ１に記載の組成物のうち、顔料分散物１、バインダー１、ＤＰＨＡ液、界面活性剤１の組成は、以下の通りである。
（顔料分散物１）
・カーボンブラック（デグッサ社製、商品名Ｓｐｅｃｉａｌ  Ｂｌａｃｋ  ２５０）
１３．１部
・Ｎ，Ｎ’−ビス−（３−ジエチルアミノプロピル）−５−｛４−〔２−オキソ−１−（２−オキソ−２，３−ジヒドロ−１Ｈ−ベンゾイミダゾール−５−イルカルバモイル）−プロピルアゾ〕−ベンゾイルアミノ｝−イソフタルアミド          ０．６５部
・ポリマー（ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７２／２８モル比のランダム共重合物、重量平均分子量３．７万）                                ６．７２部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート          ７９．５３部
【００９７】
（バインダー１）
・ベンジルメタクリレート／メタクリル酸＝７８／２２モル比のランダム共重合物、重量平均分子量４．４万                                                ２７部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート                ７３部
【００９８】
（ＤＰＨＡ液）
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート（重合禁止剤ＭＥＨＱ  ５００ｐｐｍ含有、日本化薬（株）製、商品名：ＫＡＹＡＲＡＤ  ＤＰＨＡ）            ７６部
・プロピレングリコールモノメチルエーテル                          ２４部
【００９９】
（界面活性剤１）
・Ｃ６Ｆ１３ＣＨ２ＣＨ２ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２：４０部とＨ（ＯＣＨ（ＣＨ３）ＣＨ２）７ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２：５５部とＨ（ＯＣＨＣＨ２）７ＯＣＯＣＨ＝ＣＨ２：５部との共重合体、重量平均分子量３万                                                ３０部
・メチルイソブチルケトン                                          ７０部
【０１００】
〔処理前離画壁付き基板の作製〕
無アルカリガラス基板に調整したガラス洗浄剤液をシャワーにより２０秒間吹き付けながらナイロン毛を有する回転ブラシで洗浄し、純水シャワー洗浄後、シランカップリング液（Ｎ−β（アミノエチル）γ−アミノプロピルトリメトキシシラン０．３質量％水溶液、商品名：ＫＢＭ６０３、信越化学工業（株）製）をシャワーにより２０秒間吹き付け、純水シャワー洗浄した。この基板を基板予備加熱装置で１００℃２分加熱した。
【０１０１】
前記樹脂転写材料Ｋ１の保護フィルムを剥離後、ラミネーター〔株式会社日立インダストリイズ社製（ＬａｍｉｃＩＩ型）〕を用い、前記１００℃で２分間加熱した基板に、ゴムローラー温度１３０℃、線圧１００Ｎ／ｃｍ、搬送速度２．２ｍ／分でラミネートした。
仮支持体を剥離後、超高圧水銀灯を有するプロキシミティ型露光機（日立ハイテク電子エンジニアリング株式会社製）で、基板とマスク（画像パターンを有す石英露光マスク）を垂直に立てた状態で、露光マスク面と該感光性樹脂組成物層の間の距離を２００μｍに設定し、露光量７０ｍＪ／ｃｍ２でパターン露光した。
次に、トリエタノールアミン系現像液（２．５％のトリエタノールアミン含有、ノニオン界面活性剤含有、ポリプロピレン系消泡剤含有、商品名：Ｔ−ＰＤ１、富士写真フイルム株式会社製）にて３０℃５０秒、フラットノズル圧力０．０４ＭＰａでシャワー現像し熱可塑性樹脂層と酸素遮断膜を除去した。
【０１０２】
引き続き、炭酸Ｎａ系現像液（０．０６モル／リットルの炭酸水素ナトリウム、同濃度の炭酸ナトリウム、１％のジブチルナフタレンスルホン酸ナトリウム、アニオン界面活性剤、消泡剤、安定剤含有、商品名：Ｔ−ＣＤ１、富士写真フイルム株式会社製）を用い、２９℃３０秒、コーン型ノズル圧力０．１５ＭＰａでシャワー現像し感光性樹脂組成物層を現像した。
【０１０３】
洗浄剤（燐酸塩・珪酸塩・ノニオン界面活性剤・消泡剤・安定剤含有、商品名「Ｔ−ＳＤ１（富士写真フイルム製）」を用い、３３℃２０秒、コーン型ノズル圧力０．０２ＭＰａでシャワーとナイロン毛を有す回転ブラシにより残渣除去を行い、膜厚２．４μｍ、１５０μｍ×４５０μｍの長方形の開口部を有する処理前離画壁付き基板を作製した。
【０１０４】
（処理前離画壁表面の撥油・撥水処理）
上記方法により得られた処理前離画壁付き基板を２３０度で５分間加熱した。基板が冷めてから、表面にアセトンと水をかけて洗浄し、ＵＶオゾンクリーナー『ＵＶＯ−ＣＬＥＡＮＥＲ  モデルＮｏ．４２』（ＮＩＰＰＯＮ  ＬＡＳＥＲ  ＆  ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ  ＬＡＢ製）で５分間オゾンプラズマ処理した。
フッ素含有モノマーとしては２−（パーフルオロオクチル）−エチルメタクリレート（『ＣＨＥＭＩＮＯＸ  ＦＡＭＡＣ』、ユニマテック製  下記構造）を用いた。ＦＡＭＡＣはメチルプロピレングリコール（ＭＦＧ）に溶かして５％の溶液とした。
処理前離画壁付き基板上にＦＡＭＡＣ／ＭＦＧ溶液を落とし、上から石英板をかぶせてできるだけ均一な液膜とした。これをＵＶ露光装置ＵＶＸ−０２５１６Ｓ１ＬＰ０１（高圧水銀灯、ＵＳＨＩＯ製）で１分間露光した。露光後に石英版をはずし、得られたフッ素系化合物はアセトンをかけて洗浄した。このようにして本発明の離画壁付き基板を得た。
【０１０５】
なお、ここで用いたＣＨＥＭＩＮＯＸ  ＦＡＭＡＣの構造は以下に示すとおりである。
【０１０６】
【化３】
2007156155.tif 000005
【０１０７】
〔接触角の測定〕
協和界面社製自動液晶ガラス洗浄・処理検査装置「ＬＣＤ−４００Ｓ」を用いて、撥油・撥水処理前後の離画壁について、純水に対する接触角を測定した。離画壁の周囲に設けられた幅５ｍｍの額縁上にて純水に対する接触角の測定を行った。この測定においては、撥油・撥水処理前の純粋に対する接触角を離画壁側面の純粋に対する接触角と、撥油・撥水処理後の純粋に対する接触角を離画壁上面の純粋に対する接触角とみなすことができる。得られた結果を表２に示す。
【０１０８】
〔表面粗さの評価〕
離画壁表面の表面粗さの評価はＴＥＮＣＯＲ社製触針式表面粗さ計「ＦＰ−２０」を用い、純水に対する接触角同様に幅５ｍｍの額縁上にて平均粗さ（Ｒａ）を測定した。得られた結果を表２に示す。
【０１０９】
〔インクの調整〕
下記に示す組成からなるアクリル系共重合体を熱硬化成分として用い、以下の組成にてＲ、Ｇ、Ｂの各インクを調製した。
【０１１０】
（硬化成分）
メチルメタクリレート                            ５０部
ヒドロキシエチルメタクリレート                  ３０部
Ｎ−メチロールアクリルアミド                    ２０部
（Ｒインク）
Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ１４８                ３．５部
Ｃ．Ｉ．アシッドレッド２８９                  ０．５部
ジエチレングリコール                            ３０部
エチレングリコール                              ２０部
イオン交換水                                    ４０部
上記硬化成分                                      ６部
【０１１１】
（Ｇインク）
Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー２３                      ２部
亜鉛フタロシアニンスルホアミド                    ２部
ジエチレングリコール                            ３０部
エチレングリコール                              ２０部
イオン交換水                                    ４０部
上記硬化成分                                      ６部
（Ｂインク）
Ｃ．Ｉ．ダイレクトブルー１９９                    ４部
ジエチレングリコール                            ３０部
エチレングリコール                              ２０部
イオン交換水                                    ４０部
上記硬化成分                                      ６部
【０１１２】
〔着色部の作製〕
吐出量１８ｐｌのインクジェットヘッドを具備したインクジェット記録装置を用い、上記撥水・処理を施した離画壁付き基板に対して、上記Ｒ、Ｇ、Ｂインクを開口部（離画壁で離隔された領域）１個あたり１８０ｐｌ付与した。このとき、Ｇのインクのみ画素開口部の中心からずれた位置に着弾するよう故意にヘッドをすらして描画を行った。Ｇヘッドの画素開口部中心からのずれ量ｘを０から４０μｍまで５μｍ間隔でずらして描画を行った。次いで、９０℃で１０分間、引き続き２３０℃で３０分間の熱処理を行ってインクを硬化させて着色部（画素）とし、Ｇインク着弾位置の異なる９種類のカラーフィルタを作製した。
【０１１３】
〔混色、白抜け、着色部表面の平坦性の評価〕
得られたカラーフィルタの混色、白抜けの評価は、光学顕微鏡による観察によって行った。混色はＧヘッドの画素開口部中心からのずれ量ｘを０から４０μｍまでずらして描画したカラーフィルタのうち混色あるいは離画壁表面のインク残りが観察されないカラーフィルタの最大の着弾位置ずれ量を混色の目安として評価した。
混色、白抜けの評価基準は以下の通りである。
○：インク残りが観察される着弾位置ずれ量が２５μm以上で、白抜けは観察されない。
△：インク残りが観察される着弾位置ずれ量が２５μ未満で、白抜けが５箇所未満。
×：インク残りが観察される着弾位置ずれ量が２５μ未満で、白抜けが５箇所以上。    
【０１１４】
また、平坦性の評価は、開口部１個あたり１８０ｐｌのインクをＧヘッドの画素開口部中心からのずれ量ｘ＝０で付与した場合について、上記表面粗さの評価で用いた表面粗さ計を用い、各色の着色部中央部のガラス表面からの高さｄｔと着色部の端部の離画壁と接する部分のガラス基板表面からの高さｄｂの差（ｄｔ−ｄｂ）を測定し、−０．５μｍ≦（ｄｔ−ｄｂ）≦０．５μｍであれば平坦、それ以外は凸凹形状として評価した。得られた結果を表２に示す。
【０１１５】
〔総合判定〕
下記基準に基づき総合判定を行った。判定結果を表２に示す。
○：白抜けがなく、かつ平坦で表面粗さが２０ｎｍ未満。
×：白抜けが観察される、または凸凹形状である、または表面粗さが２０ｎｍ以上のいずれかの場合。
【０１１６】
〔液晶表示装置の作製〕
上記により得られたカラーフィルタの画素上にアクリル系樹脂であるポリメチルメタアクリレートからなる厚さ２．０μｍの保護層を形成した後、透明電極膜をＩＴＯのスパッタリングにより形成した。さらに液晶配向膜を形成しカラーカラーフィルタ側基板を得た。上記より得たカラーフィルタ側基板に対して、駆動側基板及び液晶材料を組合せることによって液晶表示素子を作製した。即ち、駆動側基板として、ＴＦＴと画素電極（導電層）とが配列形成されたＴＦＴ基板を準備し、該ＴＦＴ基板の画素電極等が設けられた側の表面と、上記より得た、カラーフィルタ側基板の液晶配向膜側とが対向するように配置し、スペーサー材を散布・介在させて間隙を有して固定した。この間隙に液晶材料を封入し、画像表示を担う液晶層を設けることにより、本発明の液晶表示装置を作製した。
得られた液晶表示装置について、ＲＧＢ各画素の混色および白抜けの有無を光学顕微鏡で観察した。得られた液晶表示装置は混色、白抜けがない鮮明な表示であった。
【０１１７】
（比較例１）
実施例１の撥油・撥水処理にかえて、以下に示すフッ素プラズマ処理を行なった以外は実施例１と同様にして、カラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を実施した。得られた結果を表２に示す。
〔フッ素プラズマ処理〕
実施例１で得られた処理前離画壁付き基板に、プラズマ処理装置（装置：マグネトロンスパッタリング装置、芝浦エレテック製ＣＦＳ−１０−ＥＰ７０）を用いて、酸素プラズマ処理を行い、その後、ＣＦ４プラズマ処理を行った。
Ｏ２プラズマ条件：４０Ｐｓ、３０秒、出力１０Ｗ
ＣＦ４プラズマ条件：４０Ｐｓ、３０秒、出力３０Ｗ
【０１１８】
（実施例２）
〔処理前離画壁付き基板の作製〕
ガラス基板（コーニング製「１７３７」）上に、カーボンブラックを含有する黒色レジスト（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ製「ＣＫ−Ｓ１７１Ｘレジスト」）を塗布し、所定の露光、現像、ポストベーク処理を行って、膜厚２．４μｍ、１５０μｍ×４５０μｍの長方形の開口部を有する処理前離画壁付き基板を作製した。
【０１１９】
（処理前離画壁表面の撥油・撥水処理）
上記方法により得られた処理前離画壁付き基板を用いて実施例１と同様にして離画壁付き基板及びカラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を実施した。得られた結果を表２に示す。
【０１２０】
（比較例２）
ガラス基板（コーニング製「１７３７」）上に、カーボンブラックを含有する黒色レジスト（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ製「ＣＫ−Ｓ１７１Ｘレジスト」）を塗布した後、下記式で表されるフッ素ポリマー（重量平均分子量８０００）をパーフルオロ（２−ブチルテトラヒドロフラン）で０．０５質量％に希釈し、黒色レジスト膜上に塗布した。所定の露光、現像、ポストベーク処理を行った後、バッファードフッ酸（ＨＦの５０％水溶液とＮＨ４Ｆの４０％水溶液の１：６の混合液）を１％に希釈した処理液で、６０秒間エッチング処理した後水洗し風乾して膜厚２．４μｍ、１５０μｍ×４５０μｍの長方形の開口部を有する離画壁付き基板を作製した。この離画壁付き基板を用いて実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を実施した。得られた結果を表２に示す。なお、比較例２においては、フッ素ポリマー処理有りの場合の額縁上の純水に対する接触角を上面の接触角と、処理無しの場合の額縁上の純水に対する接触角を側面の接触角とした。
【０１２１】
【化４】
2007156155.tif 000006
【０１２２】
（比較例３）
ガラス基板（コーニング製「１７３７」）上に、カーボンブラックを含有する黒色レジスト（富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ製「ＣＫ−Ｓ１７１Ｘレジスト」）に固形分比で０．５質量％となるように、［化５］で表されるフッ素ポリマー（重量平均分子量２０００）を添加した後塗布し、所定の露光、現像、ポストベーク処理を行って、膜厚２．４μｍ、１５０μｍ×４５０μｍの長方形の開口部を有する処理前離画壁付き基板を作製した。
【０１２３】
【化５】
2007156155.tif 000007
【０１２４】
この処理前離画壁付き基板に対してさらに以下に示すフッ素ポリマー処理を行うことにより離画壁付き基板を作製した。この離画壁付き基板を用いて実施例１と同様にしてカラーフィルタを作製した。また、実施例１と同様の評価を実施した。得られた結果を表２に示す。なお、比較例３においては、フッ素ポリマー処理有りの場合の額縁上の純水に対する接触角を上面の接触角と、処理無しの場合の額縁上の純水に対する接触角を側面の接触角とした。
【０１２５】
〔フッ素ポリマー処理〕
処理前離画壁付き基板に、下記式で表されるフッ素ポリマー（重量平均分子量７０００）を１質量％となるように代替フロン溶剤（旭硝子社製「アサヒクリンＡＫ−２２５」）に溶解した溶液を、ディップコート法により塗布した後２３０℃で１時間熱処理した。これを前出の代替フロン溶剤で洗浄し、バッファードフッ酸（ＨＦの５０％水溶液とＮＨ４Ｆの４０％水溶液の１：６の混合液）を１％に希釈した処理液で、６０秒間エッチング処理した後水洗し風乾した。
【０１２６】
【化６】
2007156155.tif 000008
【０１２７】
【表２】
2007156155.tif 000009
【０１２８】
尚、処理後の離画壁側面の接触角の測定は、処理前の離画壁の接触角と同様のものであるとする。
【０１２９】
表２から、インクジェット法により着色液体組成物の液滴を付与して画素を形成する工程において、本発明の上面の純水に対する接触角が１００°以上であり、側面の純水に対する接触角が６５°未満になるように撥油・撥水性処理を行った離画壁を用いることにより、インクの混色、白抜けのない信頼性の高い液晶用カラーフィルタを提供することができることがわかる。
【図面の簡単な説明】
【０１３０】
【図１】基板上に設けられた離画壁の断面斜視図である。
【図２】本発明のカラーフィルタの一実施形態の断面を示す図である。
【図３】図２に示すカラーフィルタを用いて構成された、液晶表示装置の一実施形態の断面図である。
【符号の説明】
【０１３１】
１１  基板（透明基板）
１２  離画壁
１３  画素
１４  保護層
【図１】
2007156155.tif 000010
【図２】
2007156155.tif 000011
【図３】
2007156155.tif 000012