(57)【要約】【課題】研磨テープの無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現可能なテープ研磨装置を提供する。【解決手段】テープ研磨装置１は、被研磨物の表面を研磨する研磨テープ２１と、研磨テープ２１を保持する一対のテープリール２２と、一対のテープリール２２を保持するとともに、一対のテープリール２２を回転駆動するリール駆動部材と、研磨テープ２１を被研磨物に対して押付ける研磨ヘッド３１と、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を、研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動可能に保持するテープユニットレール１１および押付機構レール１２とを備えている。そして、リール駆動部材は、一方のテープリール２２Ｂを、一方の向きに回転駆動可能であるとともに、他方の向きに回転可能に保持し、他方のテープリール２２Ｃを、他方の向きに回転駆動可能であるとともに、一方の向きに回転可能に保持している。【選択図】図１
2007181886.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被研磨物に接触し、かつ前記被研磨物に対して相対的に移動することにより、前記被研磨物の表面を研磨する研磨テープと、
前記研磨テープが巻きつけられることにより、前記研磨テープを保持する研磨テープ保持部を有する一対のテープリールと、
前記一対のテープリールのそれぞれを保持するとともに、前記一対のテープリールのそれぞれを、前記研磨テープ保持部の外周方向に回転駆動するリール駆動部材と、
前記研磨テープを前記被研磨物に対して押付ける研磨ヘッドと、
前記研磨テープおよび前記研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、前記研磨テープと前記研磨ヘッドとが接触する部分において、前記研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に保持する調整部材とを備え、
前記リール駆動部材は、
前記一対のテープリールのうち一方のテープリールを、前記研磨テープ保持部の外周方向における一方の向きに回転駆動可能であるとともに、前記一方の向きとは反対の向きである他方の向きに回転可能に保持し、
前記一対のテープリールのうち他方のテープリールを、前記他方の向きに回転駆動可能であるとともに、前記一方の向きに回転可能に保持する、テープ研磨装置。
【請求項２】
前記リール駆動部材は、前記他方のテープリールを、前記一方のテープリールを回転駆動する回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている、請求項１に記載のテープ研磨装置。
【請求項３】
前記リール駆動部材は、前記研磨ヘッドと前記研磨テープとが接触していない場合、前記研磨ヘッドと前記研磨テープとが接触している場合の回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている、請求項１または２に記載のテープ研磨装置。
【請求項４】
前記調整部材は、前記研磨テープおよび前記研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、多段階または無段階に前記研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に構成されている、請求項１〜３のいずれか１項に記載のテープ研磨装置。
【請求項５】
前記調整部材は、前記研磨テープの幅方向における、前記研磨テープおよび前記研磨ヘッドの相対的な位置関係を表示する位置検出部材を含んでいる、請求項１〜４のいずれか１項に記載のテープ研磨装置。
【請求項６】
前記調整部材は、前記研磨テープおよび前記研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、前記研磨テープの幅方向に相対的に移動させる駆動部材をさらに含んでいる、請求項５に記載のテープ研磨装置。
【請求項７】
前記調整部材は、前記研磨テープおよび前記研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、前記研磨テープの幅と、前記研磨ヘッドにおいて前記研磨テープと接触する面である研磨面の前記研磨テープの幅方向における幅とに基づいて算出した移動量だけ前記研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に構成されている、請求項１〜６のいずれか１項に記載のテープ研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はテープ研磨装置に関し、より特定的には、面上に形成された突起部を研磨することにより除去するテープ研磨装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
研磨剤が付着した研磨面を有する研磨テープの研磨面を、部材の表面に接触させつつ当該部材の表面に対して移動させることにより当該表面を研磨し、部材の表面上に形成された突起部を除去する装置であるテープ研磨装置は、表面の平滑性を要求される部材の突起欠陥の修正などに使用されている。このテープ研磨装置に対しては、研磨性能の向上や研磨コストの低コスト化等を目的として、種々の提案がなされている。たとえば、研磨テープを弾圧摺動自在な押動体により弾圧して略凸球面状に形成し、当該略凸球面の頂点部分により被研磨物の表面上の異物を除去するフィルタ基板異物除去装置が提案されている。これにより、微小突起状の異物を良好に、局部的に研磨除去することができる（たとえば、特許文献１参照）。
【０００３】
図１０は、従来のテープ研磨装置の一例を示す概略図である。また、図１１は、従来のテープ研磨装置における研磨テープの使用状態を示す概略図である。図１０および図１１を参照して、従来のテープ研磨装置の一例について説明する。
【０００４】
図１０を参照して、従来のテープ研磨装置１００は、固定台１５０と、固定台１５０に設置され、固定台１５０に対して相対的に移動可能な上下動テーブル１１０と、上下動テーブル１１０に設置され、研磨テープ１２１の送り出しおよび巻き取りを行なうテープユニット１２０と、研磨テープ１２１を図示しない被研磨物に押付ける押付機構１３０とを備えている。テープユニット１２０は、研磨テープ１２１と、研磨テープ１２１を保持するテープリール１２２とを含んでいる。また、押付機構１３０は、研磨ヘッド１３１と、研磨ヘッド１３１を研磨テープ１２１に対して押付ける押付部材１３２と、押付部材１３２を保持する押付部材台１３３とを含んでいる。
【０００５】
そして、押付部材１３２が研磨ヘッド１３１を押すことにより、研磨テープ１２１が図示しない被研磨物に対して押付けられるとともに、テープリール１２２が回転することにより研磨テープ１２１が被研磨物に対して相対的に移動する。これにより、被研磨物の表面が研磨され、突起部が除去される。なお、このとき、上下動テーブル１１０が固定台１５０に対して移動することにより、研磨テープ１２１と被研磨物との接触が保たれ、被研磨物を所望の量だけ研磨することができる。
【特許文献１】特開平８−２２９７９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ここで、幅の狭い研磨テープ１２１を製造することは技術的な困難を伴い、容易ではない。また、幅の狭い研磨テープ１２１をテープ研磨装置１００に使用した場合、研磨テープ１２１がねじれるという問題点がある。そのため、研磨テープ１２１の幅は、最も狭いものでも５ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。
【０００７】
その結果、微小な突起を研磨により除去する場合でも、研磨テープ１２１の使用量を十分に抑制することができない。具体的には、図１１を参照して、たとえば幅５ｍｍの研磨テープ１２１を用いて幅１ｍｍの突起欠陥を研磨により除去する場合、研磨ヘッド１３１において研磨テープ１２１と接触する面である研磨面１３１Ａの直径が突起欠陥よりもやや大きい１．５ｍｍ程度である研磨ヘッド１３１が使用される。この場合、研磨テープ１２１が矢印の向きに進むことにより、研磨テープ１２１において、研磨面１３１Ａと接触する領域である使用領域１２１Ａが被研磨物の研磨に使用される。そして、研磨面１３１Ａと接触しない領域である未使用領域１２１Ｎにおいては、摩耗や目詰まりなどを生じないまま、研磨テープ１２１は廃棄されることとなる。この場合、幅５ｍｍの研磨テープ１２１全体の７０％に相当する幅３．５ｍｍの領域は実際には使用されないまま廃棄される。
【０００８】
このような無駄の多い研磨テープの使用状態は、研磨コストの低減を阻害するだけでなく、産業廃棄物の低減を妨げる。さらに、研磨テープの交換頻度の低減を阻害して、研磨作業の効率向上および研磨コスト低減の妨げともなる。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、研磨テープの無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現可能なテープ研磨装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明に従ったテープ研磨装置は、研磨テープと、一対のテープリールと、リール駆動部材と、研磨ヘッドと、調整部材とを備えている。研磨テープは、被研磨物に接触し、かつ被研磨物に対して相対的に移動することにより、被研磨物の表面を研磨する。一対のテープリールは、研磨テープが巻きつけられることにより、研磨テープを保持する研磨テープ保持部を有している。リール駆動部材は、一対のテープリールのそれぞれを保持するとともに、一対のテープリールのそれぞれを、研磨テープ保持部の外周方向に回転駆動する。研磨ヘッドは、研磨テープを被研磨物に対して押付ける。調整部材は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、研磨テープと研磨ヘッドとが接触する部分において、研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に保持する。
【００１１】
そして、リール駆動部材は、一対のテープリールのうち一方のテープリールを、研磨テープ保持部の外周方向における一方の向きに回転駆動可能であるとともに、一方の向きとは反対の向きである他方の向きに回転可能に保持する。さらに、リール駆動部材は、一対のテープリールのうち他方のテープリールを、他方の向きに回転駆動可能であるとともに、一方の向きに回転可能に保持する。
【００１２】
上述のように、本発明のテープ研磨装置においては、リール駆動部材が一方のテープリールを一方の向きに回転駆動可能であるとともに、他方のテープリールを他方の向きに回転駆動可能である。そのため、研磨テープが一方のテープリールに巻き取られることにより、他方のテープリールから送り出された後、これとは逆に、研磨テープが他方のテープリールに巻き取られることにより、一方のテープリールから送り出されるように、研磨テープの進行方向を操作することができる。
【００１３】
さらに、本発明のテープ研磨装置においては、調整部材は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、研磨テープと研磨ヘッドとが接触する部分において、研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に保持することができる。したがって、本発明のテープ研磨装置によれば、まず、研磨ヘッドにより研磨テープの所定部分を被研磨物に押付けつつ、リール駆動部材によりテープリールを回転させて、研磨テープを一の方向（順方向）に進行させることで被研磨物の研磨を実施することができる。そして、研磨テープが他方のテープリールから一方のテープリールに向けて送り出された後、調整部材により研磨テープと研磨ヘッドとが接触する部分を研磨テープの幅方向に移動させ、前述の所定部分（研磨に使用された部分）以外の部分を被研磨物に押付けつつ、リール駆動部材によって研磨テープを他の方向（逆方向）に進行させることで、研磨テープの未使用の部分を使用して、被研磨物の研磨を実施することができる。その結果、研磨に使用された研磨テープの未使用の部分を使用して研磨を実施することが可能となるとともに、研磨テープの交換頻度を低減することが可能となる。以上のように、本発明のテープ研磨装置によれば、研磨テープの無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現可能なテープ研磨装置を提供することができる。
【００１４】
上記テープ研磨装置において好ましくは、リール駆動部材は、他方のテープリールを、一方のテープリールを回転駆動する回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている。
【００１５】
これにより、研磨テープが他方のテープリールから一方のテープリールに向けて送り出された後、当該研磨テープを他方のテープリールに高速で巻き戻すことができる。そして、上述と同様に研磨テープの未使用部分を使用して研磨を実施することで、被研磨物を一定の方向に研磨することが可能となる。
【００１６】
上記テープ研磨装置において好ましくは、リール駆動部材は、研磨ヘッドと研磨テープとが接触していない場合、研磨ヘッドと研磨テープとが接触している場合の回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている。
【００１７】
これにより、研磨が実施されている場合、すなわち研磨ヘッドと研磨テープとが接触している場合、研磨の実施に好適な回転速度でテープリールが回転駆動されるとともに、研磨が実施されていない場合、すなわち研磨ヘッドと研磨テープとが接触していない場合、高速の回転速度で研磨テープを巻き戻すことができる。その結果、必要に応じて研磨テープを巻き戻した後、再度研磨テープの未使用部分を使用して研磨を実施することができる。
【００１８】
上記テープ研磨装置において好ましくは、調整部材は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、多段階または無段階に研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に構成されている。
【００１９】
これにより、調整部材によって、研磨テープの未使用部分と研磨ヘッドとを接触させるために必要な分だけ、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を研磨テープの幅方向に相対的に移動させることにより、研磨テープの未使用部分を使用した研磨が可能となる。なお、当該相対的な移動における移動量は、たとえば、研磨テープの幅と、研磨ヘッドにおいて研磨テープと接触する面である研磨面の研磨テープの幅方向における幅とに基づいて決定することができる。
【００２０】
上記テープ研磨装置において好ましくは、調整部材は、研磨テープの幅方向における、研磨テープおよび研磨ヘッドの相対的な位置関係を表示する位置検出部材を含んでいる。
【００２１】
これにより、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を研磨テープの幅方向に相対的に移動させる際に、研磨テープおよび研磨ヘッドの相対的な位置関係を把握できるため、必要かつ十分な量だけ研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を移動させることができる。
【００２２】
上記テープ研磨装置において好ましくは、調整部材は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、研磨テープの幅方向に相対的に移動させる駆動部材をさらに含んでいる。
【００２３】
これにより、テープ研磨装置の構成により、研磨テープや研磨ヘッドの手動での移動が困難な場合であっても、当該駆動部材によって研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を研磨テープの幅方向に相対的に移動させることが容易となる。
【００２４】
上記テープ研磨装置において好ましくは、調整部材は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、研磨テープの幅と、研磨ヘッドにおいて研磨テープと接触する面である研磨面の研磨テープの幅方向における幅とに基づいて算出した移動量だけ研磨テープの幅方向に相対的に移動可能に構成されている。
【００２５】
これにより、必要かつ十分な分だけ研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を移動させることが容易となる。
【００２６】
さらに、上記テープ研磨装置は、研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を、研磨テープの幅と、研磨ヘッドにおいて研磨テープと接触する面である研磨面の研磨テープの幅方向における幅とに基づいて算出した移動量だけ研磨テープの幅方向に相対的に移動するように駆動部材を制御する制御部材を備えていてもよい。
【００２７】
これにより、必要かつ十分な分だけ研磨テープおよび研磨ヘッドの少なくともいずれか一方を移動させることが一層容易となる。
【発明の効果】
【００２８】
以上の説明から明らかなように、本発明のテープ研磨装置によれば、研磨テープの無駄を抑制するとともに、研磨作業の効率向上を実現可能なテープ研磨装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照番号を付しその説明は繰り返さない。
【００３０】
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である実施の形態１におけるテープ研磨装置の概略正面図である。また、図２は、実施の形態１におけるテープ研磨装置の概略側面図である。図１および図２を参照して、本発明の実施の形態１におけるテープ研磨装置の構成について説明する。
【００３１】
図１および図２を参照して、実施の形態１のテープ研磨装置１は、固定台５０と、固定台５０に設置され、固定台５０に対して相対的に移動可能な上下動テーブル１０と、上下動テーブル１０に設置され、研磨テープ２１の送り出しおよび巻き取りを行なうテープユニット２０と、研磨テープ２１を図示しない被研磨物に押付ける押付機構３０とを備えている。
【００３２】
テープユニット２０は、被研磨物に接触し、かつ被研磨物に対して相対的に移動することにより、被研磨物の表面を研磨する研磨テープ２１と、研磨テープ２１が巻きつけられることにより、研磨テープ２１を保持する円環状の研磨テープ保持部２２Ａを有する一対のテープリール２２と、一対のテープリール２２のそれぞれを保持するとともに、一対のテープリール２２のそれぞれを、研磨テープ保持部２２Ａの外周方向βに回転駆動するリール駆動部材２３とを含んでいる。リール駆動部材２３は、たとえば動力源としての電源と、電源に接続された動力発生装置としてのモータと、モータにより発生させた回転駆動力を調節するためのギアなどを備えた減速装置と、減速装置により調節された回転駆動力をテープリール２２に伝達する伝達部材とを有している。
【００３３】
押付機構３０は、研磨テープ２１を被研磨物に対して押付ける研磨ヘッド３１と、研磨ヘッド３１を研磨テープ２１に対して押付ける押付部材３２と、押付部材３２を保持する押付部材台３３とを含んでいる。ここで、押付部材３２としては、たとえばばねを採用することができる。また、押付部材３２は研磨ヘッド３１を研磨テープ２１に対して所望の力で押付ける機能を有していればよく、たとえば弾性部材であるゴムなどであってもよい。
【００３４】
さらに、テープ研磨装置１は、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を、研磨テープ２１と研磨ヘッド３１とが接触する部分において、研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動可能に保持する調整部材を備えている。実施の形態１における調整部材は、テープユニット２０を上下動テーブル１０に対して保持するテープユニットレール１１と、押付機構３０を上下動テーブル１０に対して保持する押付機構レール１２とを含んでいる。テープユニット２０は、テープユニットレール１１により、研磨テープ２１の幅方向である方向δに移動可能に保持されている。押付機構３０は、押付機構レール１２により、研磨テープ２１の幅方向である方向εに移動可能に保持されている。これにより、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１は、研磨テープ２１と研磨ヘッド３１とが接触する部分において、研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動可能となっている。
【００３５】
さらに、リール駆動部材２３は、一対のテープリール２２のうち一方のテープリール２２Ｂを、研磨テープ保持部２２Ａの外周方向βにおける一方の向きβ’に回転駆動可能であるとともに、一方の向きβ’とは反対の向きである他方の向きに回転可能に保持し、一対のテープリール２２のうち他方のテープリール２２Ｃを、他方の向きに回転駆動可能であるとともに、一方の向きβ’に回転可能に保持している。
【００３６】
さらに、上下動テーブル１０は、研磨ヘッド３１が被研磨物に対して近づく向きと遠ざかる向きとを含む方向αに移動可能なように固定台５０に設置されている。
【００３７】
以上の構成により、実施の形態１のテープ研磨装置１によれば、まず、研磨ヘッド３１により研磨テープ２１の所定部分を被研磨物に押付けつつ、研磨テープ２１を一方の向きであるγ’の向きに進行させることで被研磨物の研磨を実施することができる。そして、研磨テープ２１が他方のテープリール２２Ｃから一方のテープリール２２Ｂに向けて全て送り出された後、テープユニット２０および押付機構３０がそれぞれ調整部材であるテープユニットレール１１および押付機構レール１２により保持されつつ、研磨テープ２１と研磨ヘッド３１とが接触する部分が研磨テープ２１の幅方向に移動される。その後、前述の所定部分以外の部分を被研磨物に押付けつつ、リール駆動部材２３によって研磨テープ２１を他方の向き（γ’とは逆の向き）に進行させることで、研磨テープ２１の未使用の部分を使用して、被研磨物の研磨を実施することができる。このように、実施の形態１のテープ研磨装置１によれば、研磨テープ２１の無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現可能なテープ研磨装置を提供することができる。
【００３８】
さらに、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２は、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を、多段階または無段階に研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動可能に構成されている。具体的には、たとえば、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２は、それぞれテープユニット２０および押付機構３０を所定距離ずつ移動可能に構成されている。
【００３９】
これにより、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２によって、研磨テープ２１の未使用部分と研磨ヘッド３１とを接触させるために必要な分だけ、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動させることにより、研磨テープ２１の未使用部分を使用した研磨が可能となる。
【００４０】
なお、当該相対的な移動における移動量は、たとえば、研磨テープ２１の幅と、研磨ヘッド３１において研磨テープと接触する面である研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅とに基づいて決定することができる。たとえば、上記移動量は、研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅と同じ大きさとし、かつ当該相対的な移動後も研磨面３１Ａ全体が研磨テープ２１と接触可能となるように決定することができる。
【００４１】
さらに、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２は、研磨テープ２１の幅方向における、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の相対的な位置関係を表示する位置検出部材を含んでいる。位置検出部材は、たとえばテープユニットレール１１および押付機構レール１２に設置された研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の相対的な位置関係を表示する表示装置を採用することができる。
【００４２】
これにより、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動させる際に、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の相対的な位置関係を容易に把握できるため、必要かつ十分な量だけ研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を移動させることができる。
【００４３】
さらに、テープ研磨装置１においては、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２に、それぞれ研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を、研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動させる駆動部材が接続されていてもよい。駆動部材としては、たとえば電源に接続されたモータ、およびモータに接続されたギアなどを採用することができる。この場合、調整部材は、テープユニットレール１１、押付機構レール１２および駆動部材を含んでいる。
【００４４】
これにより、研磨テープ２１や研磨ヘッド３１の手動での移動が困難な場合であっても、当該駆動部材によって研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動させることが容易となる。
【００４５】
次に、実施の形態１におけるテープ研磨装置１を用いた研磨方法（突起欠陥の除去方法）について説明する。図３は、実施の形態１におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法の概略を示す図である。また、図４および図５は、図３の研磨テープに使用可能な未使用部分が残っているか否かを判断する未使用部分判断工程を説明するための図である。また、図６および図７は、図３の研磨テープ使用部位変更工程を説明するための概略図である。また、図８は、研磨テープの使用状態を説明するための概略図である。図１〜図８を参照して、実施の形態１のテープ研磨装置１用いた研磨方法について説明する。
【００４６】
図３を参照して、実施の形態１におけるテープ研磨装置１を用いた研磨方法においては、まず、被研磨物を準備する被研磨物準備工程が実施される。具体的には、図１および図２を参照して、表面に突起欠陥が形成された被研磨物が、当該突起欠陥が研磨テープ２１を挟んで、研磨ヘッド３１において研磨テープ２１と接触する面である研磨面３１Ａに対向する位置にセットされる。
【００４７】
次に、図３を参照して、研磨テープ２１により被研磨物の表面を研磨することによって、突起欠陥を除去する研磨工程が実施される。具体的には、図１および図２を参照して、たとえば一方のテープリール２２Ｂがリール駆動部材２３によりβ’の向きに回転駆動されることにより回転し、研磨テープ２１を巻き取ることにより研磨テープがγ’の向きに進行するとともに他方のテープリール２２Ｃがこれに従動して研磨テープ２１を送り出す。そして、押付部材台３３がばねなどの押付部材３２を介して研磨ヘッド３１を所定の力で研磨テープ２１に押付けることにより、研磨テープ２１は被研磨物に押付けられる。このように、研磨テープ２１が被研磨物に対して押付けられつつ、研磨テープ２１が被研磨物に対して移動することにより、被研磨物の表面の突起欠陥が除去される。ここで、テープユニットレール１１および押付機構レール１２を介してテープユニット２０および押付機構３０を保持している上下動テーブル１０がα’の向きに移動することにより、研磨テープ２１と被研磨物との接触が保たれ、被研磨物が所望の量だけ研磨される。
【００４８】
ここで、研磨工程では、図３に示すように、被研磨物の研磨が実施されつつ、研磨テープ２１を送り出している側のテープリール２２から研磨テープ２１が全て送り出されたか否かを判断する研磨テープ残量管理工程が実施される。研磨テープ２１が全て送り出されていない場合、研磨工程が継続され、再度研磨テープ残量管理工程が実施される。一方、研磨テープ２１が全て送り出されている場合、研磨工程が中止され、研磨テープに使用可能な未使用部分が残っているか否かを判断する未使用部分判断工程が実施される。研磨工程の中止は、たとえば図２を参照して、テープリール２２の回転が停止されるとともに、上下動テーブル１０がα’とは反対の向きに移動することにより被研磨物と研磨テープ２１との接触が解除され、さらに研磨ヘッド３１による研磨テープ２１の押付が解除されることにより実施される。
【００４９】
未使用部分判断工程は、たとえば以下のように実施することができる。図３および図４を参照して、研磨工程では、研磨テープ２１のうち、研磨ヘッド３１と接触する使用部分２１Ａが被研磨物の研磨に使用されている。ここで、研磨ヘッド３１において、研磨テープ２１と接触する面である研磨面３１Ａの、研磨テープ２１の幅方向の幅が使用部分２１Ａの幅となっている。そして、未使用部分判断工程では、研磨テープ２１のうち使用部分２１Ａを除いた部分である未使用部分２１Ｎの幅が研磨ヘッド３１の研磨面３１Ａの幅よりも小さい場合、テープリール２２に巻き取られた研磨テープ２１を十分な未使用部分２１Ｎを有する研磨テープ２１と交換する研磨テープ交換工程が実施される。これにより、研磨工程の再開が可能となり、再度研磨工程が実施される。一方、未使用部分２１Ｎの幅が研磨ヘッド３１の研磨面３１Ａの幅以上残存しており、図５に示すように新たな使用部分である第２の使用部分２１Ｂが確保できる場合、図３に示すように研磨テープの使用部位を研磨テープの幅方向に移動することにより変更する研磨テープ使用部位変更工程が実施される。
【００５０】
研磨テープ使用部位変更工程は、たとえば図２の状態から図６に示すように、テープユニット２０がテープユニットレール１１に保持されつつδ’の向きに移動し、研磨テープ２１が研磨ヘッド３１に対して研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動することにより実施される。また、研磨テープ使用部位変更工程は、たとえば図２の状態から図７に示すように、押付機構３０が押付機構レール１２に保持されつつε’の向きに移動し、研磨ヘッド３１が研磨テープ２１に対して研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動することにより実施されてもよい。また、図２を参照して、研磨テープ使用部位変更工程は、テープユニット２０および押付機構３０の両方がδおよびεの方向に移動することにより実施されてもよい。
【００５１】
さらに、図３に示すように、研磨テープ使用部位変更工程が実施された後、テープリールの回転の向きを反転させるテープリール反転工程が実施される。具体的には、図１を参照して、たとえば一方のテープリール２２Ｂに代わって他方のテープリール２２Ｃがリール駆動部材２３によりβ’とは反対の向きに回転駆動される。これにより、研磨工程の再開が可能となり、再度研磨工程が実施される。このとき、研磨工程におけるテープユニット２０は、先の研磨工程とは逆に、たとえば他方のテープリール２２Ｃがリール駆動部材２３によりβ’とは逆の向きに回転駆動されることにより回転し、研磨テープ２１を巻き取ることにより研磨テープがγ’とは逆の向きに進行するとともに、一方のテープリール２２Ｂがこれに従動して研磨テープ２１を送り出すように動作する。なお、上記研磨テープ使用部位変更工程とテープリール反転工程とは、順序を入れ替えて実施してもよいし、同時に実施してもよい。
【００５２】
以上のように、実施の形態１のテープ研磨装置を用い、上述の研磨方法により被研磨物の研磨を実施することにより、研磨テープの無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現することができる。たとえば、図８に示すように、研磨テープ２１の幅が１０ｍｍ、研磨ヘッド３１の研磨面３１Ａが直径φ１ｍｍの円形である場合、研磨テープ２１の幅と研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅（直径）とから予め研磨テープ２１と研磨ヘッド３１との相対的な移動量を１ｍｍずつ、移動可能回数を９回と算出しておくことができる。そして、研磨ヘッド３１を研磨テープ２１に対して相対的に矢印の方向に１ｍｍずつ移動させつつ、研磨テープ２１を使用部分２１Ａから第２の使用部分２１Ｂ、第３の使用部分２１Ｃ・・・と順に使用し、第１０の使用部分２１Ｊまで使用することができる。その結果、研磨テープ２１を一方の端部から他方の端部までの１回の使用で廃棄する場合に比べて、研磨テープ２１の寿命が１０倍、研磨テープの交換頻度が１／１０となり、研磨テープの無駄を抑制するとともに研磨作業の効率向上を実現することができる。
【００５３】
（実施の形態２）
次に、本発明の一実施の形態である実施の形態２におけるテープ研磨装置の構成について説明する。図１および図２を参照して、実施の形態２におけるテープ研磨装置１と実施の形態１のテープ研磨装置１とは、基本的には同様の構成を有している。しかし、実施の形態２のテープ研磨装置１においては、リール駆動部材２３は、他方のテープリール２２Ｃを、一方のテープリール２２Ｂを回転駆動する回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている点で、実施の形態１のテープ研磨装置１とは異なっている。さらに、実施の形態２のテープ研磨装置１においては、リール駆動部材２３は、研磨ヘッド３１と研磨テープ２１とが接触していない場合、研磨ヘッド３１と研磨テープと２１が接触している場合の回転速度よりも高速の回転速度で回転駆動可能に構成されている点でも、実施の形態１のテープ研磨装置１とは異なっている。
【００５４】
さらに、実施の形態２のテープ研磨装置１においては、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２は、それぞれ研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を、研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動させる駆動部材含んでいる。そして、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２は、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を、研磨テープ２１の幅と、研磨ヘッド３１において研磨テープ２１と接触する面である研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅とに基づいて算出した移動量だけ研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動可能に構成されている点でも、実施の形態１のテープ研磨装置１とは異なっている。
【００５５】
さらに、テープ研磨装置１は、研磨テープ２１および研磨ヘッド３１の少なくともいずれか一方を、研磨テープ２１の幅と、研磨ヘッド３１において研磨テープ２１と接触する面である研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅とに基づいて算出した移動量だけ研磨テープ２１の幅方向に相対的に移動するように駆動部材を制御する制御部材を備えていてもよい。
【００５６】
上述の構成の相違点に伴い、実施の形態２におけるテープ研磨装置１用いて以下のような研磨方法（突起欠陥の除去方法）を実施することができる。
【００５７】
図９は、実施の形態２におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法の概略を示す図である。図９を参照して、実施の形態２におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法について説明する。
【００５８】
図９を参照して、実施の形態２におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法は、基本的には、実施の形態１におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法と同様の構成を有している。しかし、実施の形態２における研磨方法は、実施の形態１におけるテープリール反転工程に代えて、研磨テープを巻き戻す研磨テープ巻き戻し工程が実施される点で、実施の形態１における研磨方法とは異なっている。
【００５９】
具体的には、図１、図２および図９を参照して、研磨テープ巻き戻し工程では、たとえば他方のテープリール２２Ｃがβ’とは反対の向きに、研磨工程において一方のテープリール２２Ｂが回転される回転速度よりも高速の回転速度で、リール駆動部材２３により回転駆動され、研磨テープ２１が巻き戻される。また、この他方のテープリール２２Ｃの回転速度は、研磨工程における一方のテープリール２２Ｂの回転速度、すなわち研磨ヘッド３１と研磨テープ２１とが接触している場合の回転速度よりも高速となっている。
【００６０】
このように、研磨テープ巻き戻し工程が実施されて研磨テープが巻き戻されるとともに、実施の形態１と同様に研磨テープ使用部位変更工程が実施されることにより、研磨工程の再開が可能となり、再度研磨工程が実施される。このとき、研磨工程におけるテープユニット２０は、先の研磨工程と同様に、たとえば一方のテープリール２２Ｂがリール駆動部材２３によりβ’の向きに回転駆動されることにより回転し、研磨テープ２１を巻き取ることにより研磨テープがγ’の向きに進行するとともに、他方のテープリール２２Ｃがこれに従動して研磨テープ２１を送り出すように動作する。
【００６１】
以上のように、実施の形態２の研磨方法によれば、研磨テープ２１が他方のテープリール２２Ｃから一方のテープリール２２Ｂに向けて全て送り出された後、当該研磨テープ２１を他方のテープリール２２Ｃに高速で巻き戻すことができる。そして、実施の形態１と同様に研磨テープ２１の未使用部分を使用して研磨を実施することで、被研磨物を一定の方向に研磨することが可能となる。
【００６２】
さらに、実施の形態２の研磨方法は、研磨テープ使用部位変更工程では、テープユニットレール１１に含まれる駆動装置によって、研磨テープ２１の幅と研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅とに基づいて算出された移動量だけ、研磨テープ２１が研磨テープの幅方向に移動される点でも、実施の形態１の研磨方法とは異なっている。
【００６３】
具体的には、たとえば実施の形態２のテープ研磨装置が有している制御部材としての制御装置により、研磨面３１Ａの研磨テープ２１の幅方向における幅に基づいて、たとえば研磨面３１Ａの幅と同じ距離が移動量として算出される。さらに、当該制御装置により、研磨テープに使用可能な未使用部分２１Ｎが残っているか否かが判断される未使用部分判断工程が実施される。すなわち、たとえば未使用部分２１Ｎの幅と研磨面３１Ａの幅とが比較されて、未使用部分２１Ｎの幅が研磨面３１Ａの幅以上であるか否かが算出される。これに基づいて研磨テープ使用部位変更工程の実施の可否が判断される。そして、これらの算出結果に基づいて制御装置が駆動装置を制御することにより、必要かつ十分な研磨テープ２１の移動が容易に実施される。
【００６４】
上述の実施の形態においては、本発明のテープ研磨装置における調整部材の一例として、調整部材としてのテープユニットレール１１および押付機構レール１２について説明したが、本発明に係る調整部材はこれに限られず、たとえば図１および図２を参照して、テープリール２２と研磨ヘッド３１との間において研磨テープ２１の移動方向を制御するテープガイド４１であってもよい。すなわち、テープ研磨装置１は、テープガイド４１がδの方向に移動することにより、研磨テープ２１と研磨ヘッド３１とが接触する部分において、研磨テープ２１の幅方向に研磨テープ２１および研磨ヘッド３１を相対的に移動させることが可能な構成であってもよい。
【００６５】
また、上述の実施の形態においては、本発明に係るリール駆動部材として、テープリールを駆動する部分とテープリールを保持する部分とが一体に形成されている場合について説明したが、たとえばテープリールを駆動する駆動部分とテープリールを保持する保持部分とが分離したものであってもよい。
【００６６】
また、上述の実施の形態においては、一対のテープリールのうち一方がリール駆動部材により回転駆動されている場合、他方は従動している態様について説明したが、一対のテープリールの両方が回転駆動される態様であってもよい。
【００６７】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味、および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【産業上の利用可能性】
【００６８】
本発明のテープ研磨装置は、面上に形成された突起部を研磨することにより除去するテープ研磨装置に特に有利に適用され得る。
【図面の簡単な説明】
【００６９】
【図１】実施の形態１におけるテープ研磨装置の概略正面図である。
【図２】実施の形態１におけるテープ研磨装置の概略側面図である。
【図３】実施の形態１におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法の概略を示す図である。
【図４】図３の研磨テープに使用可能な未使用部分が残っているか否かを判断する未使用部分判断工程を説明するための図である。
【図５】図３の研磨テープに使用可能な未使用部分が残っているか否かを判断する未使用部分判断工程を説明するための図である。
【図６】図３の研磨テープ使用部位変更工程を説明するための概略図である。
【図７】図３の研磨テープ使用部位変更工程を説明するための概略図である。
【図８】研磨テープの使用状態を説明するための概略図である。
【図９】実施の形態２におけるテープ研磨装置を用いた研磨方法の概略を示す図である。
【図１０】従来のテープ研磨装置の一例を示す概略図である。
【図１１】従来のテープ研磨装置における研磨テープの使用状態を示す概略図である。
【符号の説明】
【００７０】
１  テープ研磨装置、１０  上下動テーブル、１１  テープユニットレール、１２  押付機構レール、２０  テープユニット、２１  研磨テープ、２１Ａ〜２１Ｊ  使用部分、２１Ｎ  未使用部分、２２  テープリール、２２Ａ  研磨テープ保持部、２２Ｂ  一方のテープリール、２２Ｃ  他方のテープリール、２３  リール駆動部材、３０  押付機構、３１  研磨ヘッド、３１Ａ  研磨面、３２  押付部材、３３  押付部材台、４１  テープガイド、５０  固定台。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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