(57)【要約】【課題】既存の配線基板上に配線パターンの高密度な配線領域を確保することを可能にし、配線パターンの高密度実装化を可能とした液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】貯留されている液体を複数のノズル１２ａから被吐出面に向けて液滴として吐出する液滴吐出ヘッド１は、配線基板２０のカバー層２４に、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂと圧力発生素子１３とをはんだバンプ２１を介して電気的に接続する複数の電気接合用開口部２５を有している。電気接合用開口部２５は、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂよりも小さく形成されている。【選択図】図１
2007276157.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
貯留されている液体を複数のノズルから被吐出面に向けて液滴として吐出する液滴吐出ヘッドであって、
前記複数のノズル、前記複数のノズルに連通する複数の圧力発生室、及び前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧力発生素子を有するヘッド本体と、
ベース層、前記ベース層上に形成された配線と電気的に接続されたバンプランド部を有する複数の配線パターン、及び前記複数の配線パターンを被覆したカバー層を有する配線基板とを備えてなり、
前記カバー層は、前記配線パターンの前記バンプランド部と前記圧力発生素子とをバンプを介して電気的に接続するための複数の電気接合用開口部を有し、
前記電気接合用開口部が、前記配線パターンの前記バンプランド部よりも小さく形成されてなることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
前記配線パターンの前記バンプランド部は、前記電気接合用開口部と同一の大きさのバンプ形成面を有してなることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項３】
前記バンプは、金属メッキ、又ははんだボールにより形成されてなることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項４】
前記圧力発生素子は、マトリックス状に配列されてなることを特徴とする請求項１記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項５】
前記圧力発生素子は、位置決め用の第１のアライメントマークを有し、前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に第２のアライメントマークを有してなることを特徴とする請求項１又は４記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項６】
前記圧力発生素子は、平板状の圧電素子と、前記圧電素子に形成された平板状の延出端部とを有し、前記第１のアライメントマークが、前記延出端部により形成されてなることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項７】
前記配線基板の前記カバー層は、前記圧力発生素子と対応する部位に位置決め認識用の開口窓部を有し、前記第２のアライメントマークが、前記開口窓部により形成されてなることを特徴とする請求項５記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項８】
前記第２のアライメントマークが、前記開口窓部内に残存した前記カバー層の切残し部により形成されてなることを特徴とする請求項７記載の液滴吐出ヘッド。
【請求項９】
複数の圧電素子を駆動することによって、液体を複数のノズルから被吐出面に向けて液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、
前記液滴吐出ヘッドは、
前記複数のノズル、前記複数のノズルに連通する複数の圧力発生室、及び前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧力発生素子を有するヘッド本体と、
ベース層、前記ベース層上に形成された配線と電気的に接続されたバンプランド部を有する複数の配線パターン、及び前記複数の配線パターンを被覆したカバー層を有する配線基板とを備えてなり、
前記カバー層は、前記配線パターンの前記バンプランド部と前記圧力発生素子とをバンプを介して電気的に接続するための複数の電気接合用開口部を有し、
前記電気接合用開口部が、前記配線パターンの前記バンプランド部よりも小さく形成されてなることを特徴とする液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置に係わり、特に、部品実装の高密度化を図った液滴吐出ヘッド及び液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来から、例えば複数の圧電／電歪アクチュエータ素子を駆動することにより、圧力発生室内に貯留されたインクに圧力を加えて、複数のノズルから被吐出面に向けて液体を微細な液滴状に吐出することで情報の記録を行うインクジェット式記録ヘッドが知られている。この種の記録ヘッドとしては、例えば複数のノズルの高密度化を図るために複数の圧電／電歪アクチュエータ素子をマトリックス状に配列した構造が提案されている（例えば特許文献１参照。）。
【０００３】
この特許文献１に記載されたインクジェット式記録ヘッドは、ノズルに連通した圧力発生室に対応したピッチで基板上に配設された格子状配列構造の圧電／電歪アクチュエータ素子（以下「圧電素子」という。）と、個々の圧電素子に接合された複数の配線パターンを有するフレキシブルプリント配線基板（以下「ＦＰＣ」という。）とを備えている。この圧電素子は、圧力発生室内に貯留されているインクに圧力を加えるアクチュエータエリア（電極駆動部）と電気接合用エリア（電極パッド部）とを同一面上に有している。この圧電素子の電気接合用エリアは、ＦＰＣの配線パターンの電気接合用パッド（バンプランド部）とはんだバンプを介して電気的に接続されている。個々のＦＰＣの電気接合用パッドから引き回された複数の配線は、個々の電気接合用パッドの所望のパッド間の隙間を通して隣接して配されている。ＦＰＣの配線パターン上には、カバーレイが被覆されており、そのカバーレイは、複数の電気接合用パッド上に形成されたはんだバンプを露出させた開口部を有している。
【０００４】
圧電素子の電気接合用エリアとＦＰＣのはんだバンプとを接合するにあたっては、先ず、圧電素子とＦＰＣとを互いに対向させる。次に、複数の圧電素子の電気接合用エリアとＦＰＣの複数のはんだバンプとがそれぞれ合致するように位置付けする。次いで、加熱、加圧、又は加振を行うことにより、複数の圧電素子とＦＰＣの複数のはんだバンプとをそれぞれ電気的に接続する。
【特許文献１】特開２００３−６９１０３号公報（図１〜図５及びその説明箇所）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、特許文献１に記載されたようなインクジェット式記録ヘッドにあっては、上述したように、ＦＰＣの複数の電気接合用パッドを除く配線パターン上に絶縁材料からなるカバーレイが被覆されている。このカバーレイは、例えばＦＰＣの複数の電気接合用パッド上にはんだバンプを形成する時に生じるはんだバンプの放熱、あるいははんだバンプ形成後に生じるＦＰＣの熱履歴による熱膨張や収縮等の経時的変化により、ＦＰＣの隣接する複数のはんだバンプ間、ＦＰＣのはんだバンプとそれに隣接する配線パターンとの間、隣接する配線パターン間などのショートを防止する役目を有している。
【０００６】
一方、かかる構成を備えた従来のインクジェット式記録ヘッドでは、ＦＰＣのカバーレイは、圧電素子の電気接合用エリアとＦＰＣのはんだバンプとを接合する際に正規の位置から変動（寸法変動）する場合がある。このような場合があっても、ＦＰＣの電気接合用パッドに対するＦＰＣのカバーレイの位置ずれなどを吸収できることが肝要である。そのため、従来のインクジェット式記録ヘッドにあっては、カバーレイの配線パターンに対する位置ずれ量などを考慮して、ＦＰＣの配線パターンの最小配線ピッチに加えて、ＦＰＣの電気接合用パッド及びそのパッドに隣接する配線間の間隔等を決定する必要がある。
【０００７】
一般に、従来のインクジェット式記録ヘッドでは、ＦＰＣの配線パターンの最小配線ピッチよりも、ＦＰＣのカバーレイの配線パターンに対する位置ずれ量の方が大きい。このため、ＦＰＣの電気接合用パッド及びそのパッドに隣接する配線間の間隔寸法は、ＦＰＣのカバーレイの配線パターンに対する位置ずれ量に大きく依存することとなる。その結果、従来のインクジェット式記録ヘッドは、ＦＰＣのカバーレイの配線パターンに対する位置ずれを吸収するために、ＦＰＣの電気接合用パッド（はんだバンプ）よりも、はんだバンプを露呈させたＦＰＣのカバーレイの開口部の方が大きな寸法に設定されており、その開口部内に露呈した電気接合用パッドの全面にはんだバンプを形成している（図７（ｂ）参照）。
【０００８】
しかしながら、ＦＰＣのカバーレイの配線パターンに対する位置ずれを吸収するための許容領域（位置ずれ量）は、ＦＰＣの配線パターンを形成することができない配線上でのムダな空間（デッドスペース）となっていた。これにより、ＦＰＣの配線パターンの線幅や幅ピッチなどの関係から配線密度が低くなり、ＦＰＣの配線パターンの高密度実装化を図ることが困難となるという問題点があった。また、多数のノズルを有する幅広の記録ヘッドや高密度化した記録ヘッドを微細化・高密度化するのには大きな障害になるという問題点があった。
【０００９】
上記特許文献１に記載されたインクジェット式記録ヘッドにあっては、ＦＰＣのカバーレイの開口部内に露呈した電気接合用パッドの全面にはんだバンプを形成しており、はんだバンプなどに対してカバーレイの位置ずれを吸収することについては言及していない。
【００１０】
本発明は、上記従来の課題を解消するためになされたものであり、既存の配線基板上に配線パターンの高密度な配線領域を確保することを可能にし、配線パターンの高密度実装化を可能とした液滴吐出ヘッド及びこの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
［１］本発明は、貯留されている液体を複数のノズルから被吐出面に向けて液滴として吐出する液滴吐出ヘッドであって、前記複数のノズル、前記複数のノズルに連通する複数の圧力発生室、及び前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧力発生素子を有するヘッド本体と、ベース層、前記ベース層上に形成された配線と電気的に接続されたバンプランド部を有する複数の配線パターン、及び前記複数の配線パターンを被覆したカバー層を有する配線基板とを備えてなり、前記カバー層は、前記配線パターンの前記バンプランド部と前記圧力発生素子とをバンプを介して電気的に接続するための複数の電気接合用開口部を有し、前記電気接合用開口部が、前記配線パターンの前記バンプランド部よりも小さく形成されてなることを特徴とする液滴吐出ヘッドにある。
【００１２】
上記構成によると、配線基板の配線パターンのバンプランド部よりも小さく形成されたカバー層の電気接合用開口部内にバンプを設けている。これにより、配線パターンのバンプランド部と配線との間の間隔を短くすることができるようになり、隣接するバンプランド部間に、配線パターンを形成することができる配線面積を確保しながら、配線基板の配線パターンの高密度実装化を達成することができる。
【００１３】
［２］上記［１］記載の発明にあって、前記配線パターンの前記バンプランド部が、前記電気接合用開口部と同一の大きさのバンプ形成面を有してなることを特徴としている。電気接合用開口部内にバンプを突出形成することができるとともに、バンプランド部に対するバンプのずれ量を少なくすることが可能となる。
【００１４】
［３］上記［１］記載の発明にあって、前記バンプは、金属メッキ、又ははんだボールにより形成されてなることを特徴としている。圧力発生素子と配線基板とを電気的に接続するバンプとしては、例えば金属メッキ、はんだボール、異方導電性フィルムやはんだバンプなどの各種のバンプを使用することができる。
【００１５】
［４］上記［１］記載の発明にあって、前記圧力発生素子は、マトリックス状に配列されてなることを特徴としている。複数のノズルの高密度化を図ることができることと相まって、複数の圧力発生素子間のピッチを狭くすることができるとともに、高密度な配線領域を得ることが可能となる。
【００１６】
［５］上記［１］又は［４］記載の発明にあって、前記圧力発生素子が、位置決め用の第１のアライメントマークを有し、前記配線基板の前記第１のアライメントマークと対応する位置に第２のアライメントマークを有してなることを特徴としている。ヘッド本体と配線基板とを一括して高精度に接合することができる。格別なアライメントマークを設ける必要がなくなり、液滴吐出ヘッド全体の小型化及びコンパクト化を図ることができる。
【００１７】
［６］上記［５］記載の発明にあって、前記圧力発生素子は、平板状の圧電素子と、前記圧電素子に形成された平板状の延出端部とを有し、前記第１のアライメントマークが、前記延出端部により形成されてなることを特徴としている。圧電素子の成形と同時に、第１のアライメントマークを一体に形成することができる。圧力発生素子としては、例えば圧電素子（チタン酸ジルコン酸鉛）を用いることができるが、例えば電気熱変換素子、あるいは磁歪素子などの変形を利用した各種の圧力発生素子を使用することができる。第１のアライメントマークとしては、例えば圧電素子の延出端部に形成された十字状の切欠き、スリット又は貫通穴などの任意の形態で形成することができる。
【００１８】
［７］上記［５］記載の発明にあって、前記配線基板の前記カバー層は、前記圧力発生素子と対応する部位に位置決め認識用の開口窓部を有し、前記第２のアライメントマークが、前記開口窓部により形成されてなることを特徴としている。カバー層の電気接合用開口部の成形と同時に、第２のアライメントマークを一体に形成することが可能となる。配線基板の開口窓部を通して、圧力発生素子の第１のアライメントマークを目視により確認しながら、あるいは光学的な検出により確認しながら、圧力発生素子と配線基板のバンプとの接合状態を検査することができる。
【００１９】
［８］上記［７］記載の発明にあって、前記第２のアライメントマークが、前記開口窓部内に残存した前記カバー層の切残し部により形成されてなることを特徴としている。カバー層の電気接合用開口部の成形と同時に、容易に且つ正確に各種のアライメントマークを形成することができる。
【００２０】
［９］更に本発明は、複数の圧電素子を駆動することによって、液体を複数のノズルから被吐出面に向けて液滴として吐出する複数の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置であって、前記液滴吐出ヘッドは、前記複数のノズル、前記複数のノズルに連通する複数の圧力発生室、及び前記複数の圧力発生室に対応して設けられた複数の圧力発生素子を有するヘッド本体と、ベース層、前記ベース層上に形成された配線と電気的に接続されたバンプランド部を有する複数の配線パターン、及び前記複数の配線パターンを被覆したカバー層を有する配線基板とを備えてなり、前記カバー層は、前記配線パターンの前記バンプランド部と前記圧力発生素子とをバンプを介して電気的に接続するための複数の電気接合用開口部を有し、前記電気接合用開口部が、前記配線パターンの前記バンプランド部よりも小さく形成されてなることを特徴とする液滴吐出装置にある。
【００２１】
本発明の液滴吐出ヘッドは、例えばカラープリンタなどの液滴吐出装置に好適に使用することができる。液滴吐出装置の小型化、コンパクト化、及び低コスト化を容易に図ることができる。高密度な配線領域を有するヘッド本体によって複数の液滴吐出ヘッドがユニット化された液滴吐出装置が得られる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明は、配線パターンの高密度な配線領域を有する配線基板を得ることができるとともに、配線基板の配線パターンの高密度実装化を達成することができる液滴吐出ヘッド、及びこの液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を得ることが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて具体的に説明する。
【００２４】
［第１の実施の形態］
（液滴吐出ヘッドの構成）
図１は、本発明の第１の実施の形態である液滴吐出ヘッドの要部を概略的に示す要部断面図、図２は、液滴吐出ヘッドの一構成部品である圧力発生素子の一例を概略的に示す部分平面図であり、図３（ａ）は、液滴吐出ヘッドの一構成部品であるフレキシブル配線基板の構造例を概略的に示す部分平面図、図３（ｂ）は、図３（ａ）のIII−III線の矢視断面図である。
【００２５】
図１において、符号１は、第１の実施の形態に係わる液滴吐出ヘッドを示している。この液滴吐出ヘッド１は、図１に示すように、複数の圧力発生室１１，…，１１に貯留されている液体を複数のノズル１２ａ，…，１２ａから被吐出面に向けて液滴として吐出するヘッド本体１０を備えている。ヘッド本体１０には、複数の圧力発生室１１に対応して設けられた複数の圧力発生素子１３，…，１３が設けられている。複数の圧力発生素子１３には、バンプ２１を介して電圧を印加するフレキシブルプリント配線基板２０（以下「ＦＰＣ２０」という。）が電気的に接続されている。このヘッド本体１０は、ＦＰＣ２０を介して複数の圧力発生素子１３を駆動することによって、複数の圧力発生室１１に貯留されている液体を複数のノズル１２ａから被吐出面に向けて液滴として吐出するようになっている。
【００２６】
次に、ヘッド本体１０及びＦＰＣ２０について具体的に説明する。
【００２７】
（ヘッド本体）
第１の実施の形態であるヘッド本体１０は、図２に示すように、液滴を吐出するのに寄与する液滴吐出領域１６と液滴を吐出するのに用いられないダミー領域１８とに区分されている。そのダミー領域１８は、液滴吐出領域１６の最外周を取り囲むように形成されている。インクを吐出する複数のノズル１２ａは、図１に示すように、圧力発生素子１３に対応してノズルプレート１２に形成されている。このノズルプレート１２上には、複数の隔壁１４，…，１４を介して設けられた振動板１５と、ノズルプレート１２及び振動板１５間に区画された複数の圧力発生室１１と、それぞれの圧力発生室１１に対応して設けられた複数の圧力発生素子１３とを備えている。
【００２８】
圧力発生室１１に対応して設けられた複数の圧力発生素子１３は、図２に示すように、振動板１５上に斜めに傾斜したマトリックス状に配列されている。ノズルプレート１２の複数のノズル１２ａは、図１に示すように、それぞれの圧力発生室１１に対応して設けられている。この圧力発生室１１は、ノズル１２ａと図示しないインクタンクとにそれぞれ連通して設けられている。
【００２９】
（圧力発生素子）
液滴吐出領域１６内に配された振動板１５上に所定の間隔をもって配された斜めマトリックス状の複数の圧力発生素子１３は、図１に示すように、インクを吐出させる際の圧力発生室１１の圧力付与に寄与する圧力発生素子として機能する。圧力発生素子１３としては、例えば圧電素子（チタン酸ジルコン酸鉛）、電気熱変換素子、あるいは磁歪素子などの変形を利用した圧力発生素子を使用することができる。この第１の実施の形態における圧力発生素子１３としては、図２に示すように、高密度化したマトリックス状配列構造の矩形平板状の圧電素子１３からなっている。
【００３０】
圧電素子１３の上面及び下面には、図示しない第１及び第２の電極層がそれぞれ形成されている。圧電素子１３は、図１及び図２に示すように、電極駆動部１３ａ及び電極パッド部１３ｂに機能的に分割されている。圧電素子１３の電極駆動部１３ａは、図１に示すように、圧力発生室１１に対応する振動板１５の位置に接合されており、図示を省略した導電性接着剤により同じく図示しない下面の第２の電極層を介して振動板１５と電気的に接続されている。圧電素子１３の電極パッド部１３ｂは、図１に示すように、隔壁１４に対応する振動板１５上に接着されており、ＦＰＣ２０のバンプ２１と電気的に接続されている。
【００３１】
上記のごとく構成された液滴吐出ヘッド１では、図示しない制御回路からの電気信号がＦＰＣ２０を介して圧電素子１３の電極パッド部１３ｂへ印加されると、圧電素子１３の電極駆動部１３ａを、電極パッド部１３ｂを支点として上下方向に変形させ、その変形に伴い振動板１５を撓み変形させる。圧力発生室１１には、図示しないインクタンクからのインクが供給される。圧電素子１３により上下方向に撓み変形させられる振動板１５を介して、圧力発生室１１内の容積を変化させ、圧力発生室１１内に貯留されているインクに圧力を付与することで、圧力発生室１１内のインクが、ノズル１２ａから被吐出面に向けて液滴として吐出される。
【００３２】
（ダミー圧力発生素子）
複数のダミー圧力発生素子１７，…，１７は、図２に示すように、ダミー領域１８内に配された振動板１５上にあって斜めマトリックス状の圧電素子１３の最外周に沿って１列に矩形枠状に並設されている。複数のダミー圧力発生素子１７は、図１に示すように、電圧が印加されることなく、インクを吐出させる際の圧力発生室１１の圧力付与に寄与しないダミーの圧力発生素子として機能する。ダミー領域１８内には、液滴を吐出するのに用いられないダミーノズルと、そのダミーノズルに対応するダミー圧力発生室とが配されている。図示例にあっては、振動板１５にノズル１２ａ及び圧力発生室１１を設けた構成となっているが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明にあっては、例えば振動板１５に、配線パターン２３、ノズル１２ａ及び圧力発生室１１を設けることなく、ダミー圧力発生素子１７の対応するノズルプレート１２及び振動板１５間に隔壁１４を設ける構成としてもよいことは勿論である。
【００３３】
圧電素子１３とダミー圧電素子１７とは、図２に示すように、同一サイズ、同一形状及び同一ピッチをもって同一平面上に配されている。圧電素子１３とダミー圧電素子１７との境界部分は、各圧電素子１３間の分離溝と同一の寸法間隔に設定されている。このダミー圧電素子１７は、ノズルプレート１２を振動板１５に接合する際の接合信頼性及び機械的強度を高める機能を有するとともに、圧電素子１３の剛性のばらつきを小さくすることができるようになり、ノズル１２ａごとに吐出特性がばらついてしまうのを防止することができる。また、サンドブラスト加工時に発生するサイドエッチングの影響を防止することができるようになり、圧電素子１３に高い寸法安定性を確保することができる。この第１の実施の形態では、インクを吐出させる際の圧力発生室１１の圧力付与に寄与する圧電素子１３を囲むようにダミー圧電素子１７を配しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば液滴吐出領域１６の最外周に圧電素子１３とダミー圧電素子１７とを交互に配列してもよい。
【００３４】
（ダミー圧電素子のアライメントマーク）
この第１の実施の形態にあっては、ダミー圧電素子１７のダミー電極パッド部１７ｂは、図２に示すように、ＦＰＣ２０を正規の位置に位置決めして接合させるための目印となる第１のアライメントマークとして構成されている。この第１のアライメントマークとしては、ダミー領域１８中に少なくとも２個形成されていることが好適である。
【００３５】
（ＦＰＣ）
バンプ２１を介して圧電素子１３に電圧を印加するＦＰＣ２０は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、柔軟性を有する絶縁材料からなるベース層２２と、ベース層２２上に形成された配線２３ａと電気的に接続された円形状のバンプランド部２３ｂを有する配線パターン２３と、配線パターン２３を被覆した絶縁材料からなるカバー層２４とを有する３層構造からなっている。配線パターン２３のバンプランド部２３ｂは、図１及び図２に示すように、斜めマトリックス状に配された圧電素子１３の電極パッド部１３ｂに対応して形成されている。ＦＰＣ２０のバンプランド部２３ｂから引き回された複数の配線２３ａは、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、バンプランド部２３ｂの所望のランド部間の隙間を通して隣接して配されている。配線パターン２３のバンプランド部２３ｂ上には、図１に示すように、バンプ２１が突出形成されている。圧電素子１３とＦＰＣ２０とを電気的に接続するバンプ２１としては、図４（ｄ）に示すように、導電性のコア材の表面に導電性のメッキ層を有する半球状のはんだバンプ２１を使用することができる。他のバンプとしては、例えば導電性のコア材の表面に導電性のメッキ層を有する球状のはんだボールや異方導電性フィルム等の各種バンプを使用することができる。
【００３６】
配線２３ａを保護するために形成されるＦＰＣ２０のカバー層２４には、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示すように、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂと圧電素子１３の電極パッド部１３ｂとをはんだバンプ２１を介して電気的に接続するための円形状の電気接合用開口部２５が形成されている。この電気接合用開口部２５は、第１の実施の形態における主要な特徴部を有している。この第１の実施の形態では、電気接合用開口部２５は、はんだ付け用ランドを形成するための開口部とされている。この開口部の下方底部の一部には、内周面から外方に向かう円形状のバンプランド部用開口部を有する段部形状をなしている。この電気接合用開口部２５は、バンプランド部用開口部の円形開口よりも小径の円形開口を有しており、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂの径よりも小径に形成されている。そのバンプランド部２３ｂは、電気接合用開口部２５と同一の大きさのバンプ形成面を有している。
【００３７】
（ＦＰＣのアライメントマーク）
ＦＰＣ２０のカバー層２４には、図１〜図３（ｂ）に示すように、ダミー圧電素子１７のダミー電極パッド部１７ｂと対応する位置に、ダミー圧電素子１７と目合わせするための位置決め認識用の開口窓部２６が電気接合用開口部２５の成形と同時に一体に形成されている。この開口窓部２６は、第２のアライメントマーク（位置決めマーク）として構成されている。この第２のアライメントマークとダミー圧電素子１７の第１のアライメントマークとは、第１の実施の形態における他の主要な特徴部を有している。この位置決め認識用の開口窓部２６は、図１及び図２に示すように、電気接合用開口部２５と同一形状及び同一ピッチで配されるとともに、ダミー電極パッド部１７と異なる形状及び同一ピッチをもって配されている。マトリックス状配列構造の圧電素子１３とＦＰＣ２０とを接合するにあたっては、位置決め認識用の開口窓部２６を通して、ダミー圧電素子１７の第１のアライメントマークを目視により確認しながら、あるいは光学的に検出しつつ、目合わせ精度のバラツキを累積させることなく、マトリックス状配列構造の圧電素子１３とＦＰＣ２０とを一括して高精度に接合することができる。
【００３８】
この第１の実施の形態では、位置決め認識用の開口窓部２６が、電気接合用開口部２５及びダミー電極パッド部１７ｂと異なる形状及び同一ピッチをもって配されているが、本発明はこれに限定されるものではない。位置決め認識用の開口窓部２６としては、例えば位置決め認識用の開口窓部２６をダミー電極パッド部１７ｂと同一形状及び同一ピッチで配したり、はんだバンプ２１と異なる形状及び同一ピッチをもって配したりすることができる。また、ＦＰＣ２０の第２のアライメントマークをカバー層２４のダミー電極パッド部１７ｂと対応する部位に残存したカバー層の切残し部により形成することができる。
【００３９】
（ＦＰＣの製造方法）
以下に、図４を参照しながら、ＦＰＣ２０の製造方法について説明する。図４（ａ）〜図４（ｅ）は、ＦＰＣ２０の製造工程を説明するための概略説明図である。
【００４０】
上記のごとく構成されたＦＰＣ２０は、定法に従い製造することができる。ＦＰＣ２０を製造するにあたっては、先ず、回路パターン形成用レジストでマスキングした銅張りベースフィルム２２上をエッチング処理する。次いで、非マスキング部分の銅箔層を溶解し、配線パターン２３を除く部分の銅箔を除去することで、ベースフィルム２２上に所望の配線パターン２３を形成する（図４（ａ）参照）。次に、ベースフィルム２２上の配線パターン２３の表面にポリイミドフィルムを被覆して貼り合わせる。その後、ポリイミドフィルムの所定の部分をエッチング処理することで、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂに対応する銅箔の一部を露呈させてバンプ形成面を形成するとともに、圧電素子１３に対する位置決め用の第１のアライメントマークとしての穴である位置決め認識用の開口窓部２６を形成する（図４（ｂ）参照）。次に、バンプ形成面上に半球状のはんだバンプ２１をメッキ処理することによって形成する（図４（ｃ）参照）。その後、ＦＰＣ２０の外形加工及び検査などを行い、図４（ｄ）に示すＦＰＣ２０を得る。なお、メッキ処理することによってバンプを形成した一例を示しているが、図４（ｅ）に示すように、導電性のコア材の表面に導電性のメッキ層を有する球状のはんだボール２１ａによってバンプを形成してもよいことは勿論である。上記のごとく製造されたＦＰＣ２０は、定法に従い圧電素子１３と接続される。
【００４１】
（液滴吐出ヘッドの製造方法）
以下に、上記のごとく構成された第１の実施の形態における液滴吐出ヘッドの製造方法を図５に基づいて説明する。図５（ａ）〜図５（ｃ）は、ＦＰＣ２０と圧電素子１３との接合方法を説明するための概略説明図である。
【００４２】
圧電素子１３の電極パッド部１３ｂとＦＰＣ２０のはんだバンプ２１とを接合するにあたっては、先ず、圧電素子１３とＦＰＣ２０とを互いに対向させる。次いで、ダミー圧電素子１７のダミー電極パッド部１７ｂ（第１のアライメントマーク）とＦＰＣ２０のカバー層２４の位置決め認識用の開口窓部２６（第２のアライメントマーク）との両方を、目視によるアライメントやカメラ及び画像処理装置を用いて自動位置合わせを行う（図５（ａ）参照）。次に、複数の電極パッド部１３ｂと複数のはんだバンプ２１とがそれぞれ合致するように貼り合わせる（図５（ｂ）参照）。次いで、加熱、加圧、又は加振を行うことにより、複数のはんだバンプ２１を溶融させ、複数の電極パッド部１３ｂと複数のはんだバンプ２１とをそれぞれ電気的に接続する（図５（ｃ）参照）。その後、複数の圧電素子１３とＦＰＣ２０の複数のはんだバンプ２１との接合状態を、ＦＰＣ２０のカバー層２４の位置決め認識用の開口窓部２６を通して目視することによって、ＦＰＣ２０のはんだバンプ２１が確実にはんだ付けされているか否かを検査する。
【００４３】
以下に、本発明の更に具体的な実施例について比較例とともに、図３（ｂ）、図６〜図７（ｂ）を参照しながら説明する。最初に、実施例及び比較例において説明する設計項目に関して説明する。
【００４４】
（ＦＰＣ）
はんだバンプ径                                ΦＢ  （０．２ｍｍ）
バンプランド部径                              ΦＤ
カバー電気接合用開口部径                      ΦＣ
カバー電気接合用開口部径の最大ずれ量          ΦＣ´（＝ΦＣ＋０．２ｍｍ）
配線パターン最小配線ピッチ                      Ｌ  （０．０２８ｍｍ）
配線パターン設置スペース                        Ｓ  （０．０２８ｍｍ）
バンプランド部及び配線パターン間の間隔寸法      Ｑ  （最小０．０２８ｍｍ）
バンプランド部間の間隔寸法                      Ｐ  （１．５３０ｍｍ）
バンプランド部間の配線パターン本数              ｎ
【００４５】
［実施例］
図６は、第１の実施の形態におけるＦＰＣ２０の配線パターン２３の実施例を概略的に示す部分平面図である。同図において、符号２０は、はんだバンプ２１が配線パターン２３のバンプランド部２３ｂの径よりも小さい径を有する電気接合用開口部２５内に形成されたＦＰＣを示している。図５（ａ）〜図５（ｃ）に示す製法に基づいてＦＰＣ２０と圧電素子１３とを接合することで上記液滴吐出ヘッド１を得たところ、図６において、配線パターン２３とはんだバンプ２１の中心とのずれ量ΔＢは±２０μｍ、ＦＰＣ２０の第２のアライメントマークの位置合わせ認識ずれ量ΔＣは±１０μｍ、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂと圧電素子１３の第１のアライメントマークのずれ量ΔＤは±３μｍ、圧電素子１３の第１のアライメントマークの位置合わせ認識ずれΔＥは±１０μｍ、圧電素子１３とＦＰＣ２０との貼り合わせ・はんだ付けによる位置ずれ量ΔＦは±２０μｍであった。その結果、配線パターン２３とカバー層２４との位置ずれ量ΔＡ（図３（ｂ））を少なくすることができるようになり、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂとＦＰＣ２０のはんだバンプ２１との位置ずれ量ΔＴは±６３μｍ（ΔＴ＝ΔＢ＋ΔＣ＋ΔＤ＋ΔＥ＋ΔＦ）となった。バンプランド部２３ｂ間に配線することができる配線パターン２３の本数ｎは、１６本であった。
【００４６】
［比較例］
図７（ａ）は、比較例のＦＰＣ２０の配線パターン２３を概略的に示す部分平面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のVII−VII線の矢視断面図である。これらの図において、符号２０は、はんだバンプ２１が配線パターン２３のバンプランド部２３ｂの径よりも大きい径を有する電気接合用開口部２５内に形成されたＦＰＣを示している。なお、図７（ａ）及び（ｂ）において上記実施例と実質的に同じ部材には同一の部材名と符号を付している。
【００４７】
上記実施例と同様の図５（ａ）〜図５（ｃ）に示す製法によって液滴吐出ヘッド１を得たところ、図７（ａ）及び（ｂ）において、配線パターン２３とカバー層２４の位置ずれ量ΔＡは±１００μｍ、配線パターン２３とはんだバンプ２１の中心とのずれ量ΔＢは±２０μｍ、ＦＰＣ２０の第２のアライメントマークの位置合わせ認識ずれ量ΔＣは±１０μｍ、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂと圧電素子１３の第１のアライメントマークのずれ量ΔＤは±３μｍ、圧電素子１３の第１のアライメントマークの位置合わせ認識ずれΔＥは±１０μｍ、圧電素子１３とＦＰＣ２０との貼り合わせ・はんだ付けによる位置ずれ量ΔＦは±２０μｍであった。その結果、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂとＦＰＣ２０のはんだバンプ２１との位置ずれ量ΔＳは±１６３μｍ（ΔＳ＝ΔＡ＋ΔＢ＋ΔＣ＋ΔＤ＋ΔＥ＋ΔＦ）であった。バンプランド部２３ｂ間に配線することができる配線パターン２３の本数ｎは、１３本であった。
【００４８】
このように、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂの全面にはんだバンプ２１を設ける従来の液滴吐出ヘッド構造よりも、カバー層２４の電気接合用開口部２５にはんだバンプ２１を設ける第１の実施の形態に係わる液滴吐出ヘッド構造の方が、隣接するバンプランド部２３ｂ間に、配線パターン２３を形成することができる設置面積を十分に確保することができるようになる。このため、ＦＰＣ２０の配線パターン２３の本数を増やすことができるようになり、圧電素子１３のピッチを１００μｍ程度狭くすることができるということが理解できる。
【００４９】
以上の構成は、第１の実施の形態の液滴吐出ヘッドの一例を示す構成であり、その構造、形状及びその構成部材は、図示例に限定されるものではないことは勿論である。
【００５０】
（ＦＰＣの変形例）
図８（ａ）及び図８（ｂ）は、第１の実施の形態に係わるＦＰＣ２０の変形例１を示している。図８（ａ）は、ＦＰＣ２０の部分断面図であり、図８（ｂ）は、ＦＰＣ２０の部分平面図である。
【００５１】
これらの図において上記第１の実施の形態と大きく異なるところは、ＦＰＣ２０のカバー層２４の一部に位置決め認識用の開口窓部２６を十文字状の第２のアライメントマークとして形成している点にある。従って、これらの図において上記第１の実施の形態と実質的に同じ部材には同一の部材名と符号を付している。
【００５２】
ＦＰＣ２０の位置決め認識用の開口窓部２６は、図８（ａ）及び図８（ｂ）に示すように、カバー層２４の電気接合用開口部２５の成形と同時に、カバー層２４の一部を十文字状に穿孔された貫通孔により構成されている。この開口窓部２６は、ダミー電極パッド部１７ｂとは異なる形状をなしており、電気接合用開口部２５と同一ピッチをもって配されている。この開口窓部２６を通して目視することによって、複数の圧電素子１３とＦＰＣ２０の複数のはんだバンプ２１との接合状態を検査することができる。
【００５３】
図９（ａ）及び図９（ｂ）は、第１の実施の形態に係わるＦＰＣの他の変形例２を示している。図９（ａ）は、ＦＰＣの部分断面図、図９（ｂ）は、ＦＰＣの部分平面図である。これらの図において図８（ａ）及び図８（ｂ）に示す上記変形例１と大きく異なるところは、第２のアライメントマークとして、ＦＰＣ２０のカバー層２４の一部を矩形状に穿孔した開口窓部２６内に十文字状に切り残したカバー層を有している点にある。従って、これらの図において上記変形例１と実質的に同じ部材には同一の部材名と符号を付している。
【００５４】
図９（ａ）及び図９（ｂ）において、カバー層２４の開口窓部２６内には、第２のアライメントマークである十文字状の切残し部２４ａが形成されている。この変形例２にあっても、圧電素子１３とＦＰＣ２０との実装後にＦＰＣ２０のカバー層２４の位置決め認識用の開口窓部２６を通して目視することによりＦＰＣ２０のはんだバンプ２１が確実にはんだ付けされているか否かを検査することができる。この変形例２では、ダミー電極パッド部１７ｂのピッチに対応して、そのダミー電極パッド部１７ｂの目合わせマークよりも大きい貫通孔が形成されるので、容易に目合わせを行うことができる。また、圧電素子１３とＦＰＣ２０との実装前にあっても、圧電素子１３とＦＰＣ２０との位置合わせを容易に行うことができる。
【００５５】
上記第１の実施の形態にあっては、ＦＰＣ２０のカバー層２４の電気接合用開口部２５とは異なる位置決め認識用の開口窓部２６が第２のアライメントマークとして構成されているが、本発明はこれに限定されるものではない。本発明にあっては、例えば電気接合用開口部２５を圧電素子１３と位置合わせするための第２のアライメントマークとして使用することができることは勿論である。ＦＰＣ２０のカバー層２４に電気接合用開口部２５と位置決め認識用の開口窓部２６とを備えることで、圧電素子１３とＦＰＣ２０との実装前、あるいはその実装後において、ＦＰＣ２０のはんだバンプ２１が確実にはんだ付けされているか否かを容易に検査することができる。
【００５６】
［圧力発生素子の変形例］
図１０（ａ）は、第１の実施の形態に係わる圧力発生素子の変形例３を模式的に示す部分平面図、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）の矢視ＸＢ線の部分拡大図、図１０（ｃ）は、図１０（ａ）の矢視ＸＣ線の部分拡大図である。これらの図において上記第１の実施の形態と大きく異なるところは、液滴を吐出するのに用いられないダミー領域１６を排除している点、ダミー圧電素子１７のダミー電極パッド部１７ｂに第１のアライメントマークを形成する構成に代えて、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂの延出端部１３ｃに第１のアライメントマークを形成している点にある。従って、これらの図において上記第１の実施の形態と実質的に同じ部材には同一の部材名と符号を付している。
【００５７】
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）において、圧電素子１３の電極パッド部１３ｂには、十文字形状をなす矩形平板材からなる延出端部１３ｃが同一平面上に一体形成されている。この延出端部１３ｃは、ＦＰＣ２０を正規の位置に位置決めして接合させるための第１のアライメントマーク（位置決めマーク）として構成されている。この第１のアライメントマークとしては、図１０（ａ）及び図１０（ｃ）に示すように、矩形平板材に穿孔された十字状の切欠きを有する延出端部１３ｄを使用することができる。また、第１のアライメントマークの他の一例としては、例えば延出端部１３ｄに形成された矩形、三角形や円形をなすスリット又は貫通穴などの任意の形態を使用することができる。
【００５８】
この変形例３にあっても、ＦＰＣ２０のカバー層２４には、上記第１の実施の形態と同様に、圧電素子１３の延出端部１３ｃ，１３ｄと対応する位置に、圧電素子１３と目合わせするための位置決め認識用の開口窓部２６が電気接合用開口部２５の成形と同時に一体に形成される。この開口窓部２６としては、圧電素子１３の延出端部１３ｃ，１３ｄとは異なる形状、あるいは同一形状を有しており、その延出端部１３ｃ，１３ｄの中心と同一ピッチをもって配されることが好適である。これにより、ＦＰＣ２０の開口窓部２６を通して、圧電素子１３の第１のアライメントマークを目視により確認しながら、あるいは光学的な検出により確認しながら、マトリックス状配列構造の圧電素子１３とＦＰＣ２０とを一括して高精度に接合することができるとともに、この開口窓部２６を通して目視することにより複数の圧電素子１３とＦＰＣ２０の複数のはんだバンプ２１との接合状態を検査することができる。
【００５９】
（第１の実施の形態の効果）
第１の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
（イ）カバー層２４の電気接合用開口部２５にはんだバンプ２１を設けているため、配線パターン２３のバンプランド部２３ｂ及び配線２３ａ間の間隔寸法を短くすることができるようになる。これにより、隣接するバンプランド部２３ｂ間に、高密度の配線パターン２３を形成することが可能となる。
（ロ）配線パターン２３の配線面積を確保しながら、高密度な配線領域を得ることができることと相まって、ヘッド本体１０の高密度実装化を達成することができる。
（ハ）ヘッド本体１０とＦＰＣ２０とを一括して高精度に接合することができる。
（ニ）カバー層２４の電気接合用開口部２５の成形と同時に、第２のアライメントマークを一体的に形成することができるとともに、圧電素子１３の成形時に同時に、第１のアライメントマークを一体に形成することができるので、容易に且つ正確に各種のアライメントマークを形成することができる。
【００６０】
［第２の実施の形態］
（カラープリンタの構成）
図１１は、本発明の第２の実施の形態に係わる液滴吐出装置を適用したカラープリンタの構成図である。図１１において、符号１００は、第２の実施の形態に係わるカラープリンタを示している。このカラープリンタ１００は、略箱型状の筐体１０１を有している。筐体１０１内の下部には、用紙Ｐを収容する給紙トレイ５０を、筐体１０１内の上部には、記録済みの用紙Ｐが排出される排紙トレイ３１をそれぞれ配設している。更にカラープリンタ１００は、紙トレイ２０から記録位置１０２を経由して排紙トレイ３１に至る主搬送路３１ａ〜３１ｅ、及び排紙トレイ３１側から記録位置１０２側に至る反転搬送路３２に沿って用紙Ｐを搬送する搬送手段３０を有している。
【００６１】
記録位置１０２は、図１に示す液滴吐出ヘッド１の複数個を並列させて液滴吐出ヘッドユニットを構成し、４個の液滴吐出ヘッドユニットをそれぞれイエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、黒（Ｋ）の各色のインク滴を吐出する液滴吐出ヘッドユニット４１（４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋ）として用紙Ｐの搬送方向に配列して液滴吐出ヘッドアレイを構成している。
【００６２】
カラープリンタ１００は、用紙Ｐを吸着する吸着手段としての帯電ロール４３と、無端ベルト３５を介して液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋに対向して配置されたプラテン４４と、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋの近傍に配置されたメンテナンスユニット４５と、本カラープリンタ１００の各部を制御するとともに、画像信号に基づいて液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋを構成する液滴吐出ヘッド１の圧電素子８に駆動電圧を印加し、ノズル２ａからインク滴を吐出させ、用紙Ｐ上のカラー画像を記録する図示しない制御部とを備えている。
【００６３】
液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋは、用紙Ｐの幅以上の有効印字領域を有する。なお、図示例では、液滴を吐出させる方法として圧電方式を用いているが、図示例に限定されるものではなく、例えばサーマル方式等の汎用されている方式を適宜用いることができる。
【００６４】
液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋの上部には、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋに対応する色のインクを収容するインクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋが配されている。各インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋは、インクが各液滴吐出ヘッド１に図示しない配管を経由して供給されるように構成されている。インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋに収容されるインクとしては、例えば水性、油性、溶剤系等の汎用されている各種のインクを適宜用いることができる。
【００６５】
搬送手段３０は、給紙トレイ５０から用紙Ｐを１枚ずつ取り出して主搬送路３１ａに供給するピックアップロール３３と、主搬送路３１ａ、３１ｂ、３１ｄ、３１ｅ、及び反転搬送路３２の各部に配置され、用紙Ｐを搬送する複数の搬送ロール３４と、記録位置１０２に設けられ、用紙Ｐを排紙トレイ３１方向に搬送する無端ベルト３５と、無端ベルト３５が張架された駆動ロール３６及び従動ロール３７と、搬送ロール３４及び駆動ロール３６を駆動する図示しない駆動モータとを備えている。
【００６６】
（カラープリンタの動作）
次に、カラープリンタ１００の動作を説明する。搬送手段３０は、制御部の制御の下に、ピックアップロール３３及び搬送ロール３４を駆動し、給紙トレイ５０から用紙Ｐを取り出して主搬送路３１ａ，３１ｂに沿って搬送する。用紙Ｐが無端ベルト３５の近傍に差し掛かると、帯電ロール４３の静電吸着力によって用紙Ｐに電荷が付与され、用紙Ｐは無端ベルト３５に吸着する。
【００６７】
無端ベルト３５は、駆動ロール３６の駆動によって回転移動し、用紙Ｐが記録位置１０２に搬送されると、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋによってカラー画像が記録される。
【００６８】
すなわち、図１に示す液滴吐出ヘッド１の図示しない液プールは、インクタンク４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋから供給されたインクで満たされており、液プールからインクが供給孔及び供給路を介して圧力発生室１１に供給され、圧力発生室１１にインクが貯留される。制御部が、画像信号に基づいて複数の圧電素子１３に駆動電圧を選択的に印加すると、振動板１５は圧電素子１３の変形に伴って撓む。これにより、圧力発生室１１内の容積が変化し、圧力発生室１１に貯留しているインクが連通孔を介してノズル１２ａからインク滴として用紙Ｐ上に吐出し、用紙Ｐに画像を記録する。用紙Ｐは、Ｙ、Ｍ、Ｃ、Ｋの画像が順次上書きされ、カラー画像が記録される。
【００６９】
カラー画像が記録された用紙Ｐは、搬送手段３０によって主搬送路３１ｄを経由して排紙トレイ３１に排出される。
【００７０】
なお、両面記録モードが設定されている場合は、排紙トレイ３１に一旦排出された用紙Ｐは、再び主搬送路３１ｅに戻り、反転搬送路３２を経由して再び主搬送路３１ｂを経由して記録位置１０２に搬送され、液滴吐出ヘッドユニット４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋによって前回記録された用紙Ｐの面と反対の面にカラー画像が記録される。
【００７１】
（第２の実施の形態の効果）
上述した第２の実施の形態によれば、以下の効果が得られる。
（イ）液滴吐出ヘッド１が小型化されるため、コンパクト化及び低コスト化を達成することができる。
（ロ）高密度な配線領域を有するヘッド本体１０によって複数の液滴吐出ヘッド１がユニット化されたカラープリンタ１００を得ることができる。
【００７２】
なお、本発明に係わる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置は、上記各実施の形態及び変形例に限定されるものではなく、その発明の趣旨を逸脱しない範囲内で様々な設計変更が可能である。上記各実施の形態及び変形例では、圧電素子の電極層への接続にフレキシブルプリント配線基板を用いたが、例えば多層基板を用いてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００７３】
本発明の液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置は、液滴を吐出することによって高精細な画像情報のパターンを形成することが要請される各種産業分野、例えば高分子フィルムやガラス表面上にインクジェット法を用いてインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルタを形成したり、はんだペーストを基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したり、回路基板の配線を形成する等の電気・電子工業分野、ガラス基板等に反応試薬を吐出してサンプルとの反応を検査するバイオチップを製造する医療分野等の各種の分野で有効に利用される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係わる液滴吐出ヘッドの要部を概略的に示す要部断面図である。
【図２】液滴吐出ヘッドの一構成部品である圧力発生素子の一例を概略的に示す部分平面図である。
【図３】（ａ）は、液滴吐出ヘッドの一構成部品である配線基板の構造例を概略的に示す部分平面図、（ｂ）は、図３（ａ）のIII−III線の矢視断面図である。
【図４】（ａ）〜（ｅ）は、配線基板の製造工程を模式的に示す説明図である。
【図５】（ａ）〜（ｃ）は、配線基板と圧力発生素子との接合方法を模式的に示す説明図である。
【図６】第１の実施の形態における配線基板の配線パターンの実施例を模式的に示す部分平面図である。
【図７】（ａ）は、比較例のＦＰＣ２０の配線パターン２３を概略的に示す部分平面図、（ｂ）は、図７（ａ）のVII−VII線の矢視断面図である。
【図８】（ａ）は、第１の実施の形態に係わる配線基板の変形例１を模式的に示す部分断面図、（ｂ）は、配線基板の部分平面図である。
【図９】（ａ）は、第１の実施の形態に係わる配線基板の変形例２を模式的に示す部分断面図、（ｂ）は、配線基板の部分平面図である。
【図１０】（ａ）は、第１の実施の形態に係わる圧力発生素子の変形例３を模式的に示す部分平面図、（ｂ）は、図１０（ａ）の矢視ＸＢ線の部分拡大図、（ｃ）は、図１０（ａ）の矢視ＸＣ線の部分拡大図である。
【図１１】本発明の第２の実施の形態であるカラープリンタの構成図である。
【符号の説明】
【００７５】
１              液滴吐出ヘッド
１０            ヘッド本体
１１            圧力発生室
１２            ノズルプレート
１２ａ          ノズル
１３            圧力発生素子
１３ａ          電極駆動部
１３ｂ          電極パッド部
１３ｃ，１３ｄ  延出端部
１４            隔壁
１５            振動板
１６            液滴吐出領域
１７            ダミー圧電素子
１７ａ          ダミー電極駆動部
１７ｂ          ダミー電極パッド部
１８            ダミー領域
２０            フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＣ）
２１            はんだバンプ
２１ａ          はんだボール
２２            ベース層
２３            配線パターン
２３ａ          配線
２３ｂ          バンプランド部
２４            カバー層
２４ａ          切残し部
２５            電気接合用開口部
２６            開口窓部
３０            搬送手段
３１            排紙トレイ
３１ａ〜３１ｅ  主搬送路
３２            反転搬送路
３３            ピックアップロール
３４            搬送ロール
３５            無端ベルト
３６            駆動ロール
３７            従動ロール
４１Ｙ、４１Ｍ、４１Ｃ、４１Ｋ    液滴吐出ヘッドユニット
４２Ｙ、４２Ｍ、４２Ｃ、４２Ｋ    インクタンク
４３            帯電ロール
４４            プラテン
４５            メンテナンスユニット
５０            給紙トレイ
１００          カラープリンタ
１０１          筐体
１０２          記録位置
Ｐ              用紙
【図１】
2007276157.tif 000003
【図２】
2007276157.tif 000004
【図３】
2007276157.tif 000005
【図４】
2007276157.tif 000006
【図５】
2007276157.tif 000007
【図６】
2007276157.tif 000008
【図７】
2007276157.tif 000009
【図８】
2007276157.tif 000010
【図９】
2007276157.tif 000011
【図１０】
2007276157.tif 000012
【図１１】
2007276157.tif 000013