(57)【要約】【課題】カラーフィルタの着色インクの除去部の凹凸などにより、変位センサによって計測される高さ計測高さが異なり、インクジェットヘッドから吐出される修正インクの着弾位置にずれが生じたりするという不都合があった。【解決手段】カラーフィルタ５の欠陥部を含む着色層を除去し、その除去された結果略平坦になった除去部から距離検出手段２１までの距離のＺ軸方向の成分値から記憶手段により記憶されている距離検出手段２１と吐出手段２２、２３、２４との距離のＺ軸方向の成分値を差分することにより、吐出手段２２、２３、２４とカラーフィルタ５の距離のＺ軸方向の成分値を求め、その求められた距離のＺ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと吐出手段２２、２３、２４とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させる。【選択図】図１
2007156329.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去した後、該着色層が除去された除去部に修正用インクを滴下することにより、該欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置であって、
カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去する除去手段と、
該除去手段により着色層が除去された除去部にカラーフィルタの修正用インクを吐出す吐出手段と、
前記除去手段により着色層が除去され、略平坦になった前記除去部からの距離を検出する距離検出手段と、
あらかじめ測定された前記距離検出手段と前記吐出手段との距離のうち、あらかじめ設定された前記距離検出手段からカラーフィルタに向かう方向と略同一方向であるＺ軸方向の成分値を記憶する記憶手段と、
前記距離検出手段により検出された該距離検出手段から前記除去部までの距離の前記Ｚ軸方向の成分値から前記記憶手段により記憶されている前記Ｚ軸方向の成分値を差分することにより、前記吐出手段とカラーフィルタの距離の前記Ｚ軸方向の成分値を算出する算出手段と、
カラーフィルタと前記吐出手段の相対的な位置関係を変化させる位置変化手段と、
を有し、
該位置変化手段は、前記算出手段により算出された距離の前記Ｚ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと前記吐出手段とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項２】
前記位置変化手段は、前記吐出手段をＺ軸方向に移動させるＺ軸ステージを有し、
前記Ｚ軸ステージを移動させることにより、カラーフィルタと前記吐出手段の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする請求項１記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項３】
カラーフィルタをＺ軸方向と直交するＸ軸方向と該Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交するＹ軸方向に移動させることが可能なカラーフィルタの欠陥修正装置であって、
前記記憶手段は、あらかじめ測定された前記距離検出手段と前記吐出手段の距離のうち、Ｘ軸方向の成分値とＹ軸方向の成分値を記憶し、  
前記位置変化手段は、カラーフィルタと前記距離検出手段の相対的な位置関係を変化させ、前記距離検出手段を目標移動位置まで移動させるために、カラーフィルタと前記距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させ、さらに、前記距離検出手段を目標移動位置まで移動させた後に、前記距離検出手段を前記記憶手段に記憶されている前記Ｘ軸方向の成分値、前記Ｙ軸方向の成分値の距離だけ移動させるために、カラーフィルタと前記距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする請求項１または請求項２記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項４】
前記位置変化手段は、カラーフィルタをＸ軸方向に移動させるＸ軸ステージと、カラーフィルタをＹ軸方向に移動させるＹ軸ステージを有し、
前記Ｘ軸ステージ、前記Ｙ軸ステージを移動させることにより、カラーフィルタと前記距離検出手段の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする請求項３記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項５】
前記除去手段はレーザ照射装置であり、前記距離検出手段はレーザ変位計であり、前記吐出手段はインクジェットヘッドであることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。
【請求項６】
カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去した後、該着色層が除去された除去部に修正用インクを滴下することにより、該欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法であって、
カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を平坦に除去する除去工程と、
該除去された前記除去部から距離検出手段までの距離を検出する距離検出工程と、
前記距離検出工程により検出された前記距離検出手段から前記除去部までの距離のうち、あらかじめ設定された前記距離検出手段からカラーフィルタに向かう方向と略同一方向であるＺ軸方向の成分値から、あらかじめ測定され記憶されている前記距離検出手段と吐出手段との距離の前記Ｚ軸方向の成分値を差分することにより、前記吐出手段とカラーフィルタの距離の前記Ｚ軸方向の成分値を算出する算出工程と、
前記算出工程により算出された距離の前記Ｚ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと前記吐出手段とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させる位置変化工程と、
前記除去により着色層が除去された除去部にカラーフィルタの修正用インクを吐出す吐出工程と、を有することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネルのカラーフィルタの製作工程において発生する色抜け、異物などの欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置に関するもので、特に、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去した後、該着色層が除去された除去部に修正用インクを滴下することにより、該欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置、およびカラーフィルタの欠陥修正方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
カラーフィルタは、赤、青、緑の３原色に対応する赤色画素（Ｒ）、青色画素（Ｂ）、緑色画素（Ｇ）を含み、透明基板上に図１０に示すようなマトリックス状あるいは図１１に示すようなストライプ状の着色パターンで作成されている。このカラーフィルタの製造方法として、顔料分散法、染色法などが知られている。
ここで、図１０は、カラーフィルタの着色パターン（マトリックス状）を示す図である。また、図１１は、カラーフィルタの着色パターン（ストライブ状）を示す図である。
【０００３】
１枚の液晶パネルには、たとえば、約１０インチサイズで約９０万個の画素があることから、液晶パネルのカラーフィルタの製作工程において色抜けや異物などの欠陥部が生じやすく、欠陥のない完全なカラーフィルタを製作するのは困難であった。特に近年、液晶パネルが大型化し、その液晶パネルのカラーフィルタの製造工程において完全なカラーフィルタを製作するのがより一層困難となっている。
【０００４】
そこで、カラーフィルタが完成した後に、事後的にそのカラーフィルタの欠陥部に対して修正（補修）が行われていた。以下のその方法を紹介する（たとえば、特許文献１）。
【０００５】
この従来のフィルタの欠陥部の補修方法は、カラーフィルタの欠陥部を補修するために、フィルタのパターン欠陥部（欠陥部）の内部にプロッティングピン（補修用のピン）の先端部（インクジェットヘット）を接触させ、プロッティングピンの先端部より欠陥部（欠陥部の着色パターン）に、その着色パターンの色調の補修用インクを適量吐出させて、そのパターン欠陥部を補修するものであった。
【０００６】
しかしこの従来の方法でも、プロッティングピンの先端部が欠陥部に接触する際に、カラーフィルタとプロッティングピンの先端部との接触部に傷が発生したり、プロッティングピンの先端部が破損したり、プロッティングピンの先端部で着色インクが固まるという問題があった。
【０００７】
この問題点を解決するため、プロッティングピンの先端部がカラーフィルタ基板（カラーフィルタ）と非接触の状態で、欠陥部に対し補修液（着色インク）を吐出させるようにするとともに、待機時においては、プロッティングピンの先端部で着色インクが固まらないようにするために、プロッティングピンの先端部をキャッピングするものが考えられている。
【特許文献１】特開平6−１０９９１４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかしながら上記の方法についても、カラーフィルタの修正を行なう場合に、インクジェットヘットから吐出される修正インク（着色インク）の着弾位置（吐出位置）の精度が悪いときには、赤色画素のところに緑色の修正インクが吐出されるなど色の混在が起こり好ましくないことが生じることがあった。
【０００９】
この方法を使用したとしても、インクジェットヘットから吐出される修正インクの着弾位置がそのインクジェットヘットから吐出される修正インク（着色インク）の目標位置に対して、十数μｍ以下の精度で行なう必要があるという課題がある。
【００１０】
特に、インクジェットヘッドを用いる場合には、図８に示すようにインクジェットヘッドから吐出される修正インクがカラーフィルタ基板上に垂直に着弾するものではなく、カラーフィルタ基板の法線に対し一定の傾き±θを持たざるを得ない。
そのためカラーフィルタ基板の上面では、インクジェットヘッドから吐出される修正インクがカラーフィルタ基板上に垂直に吐出した場合に比べ着弾位置が±△ずれることとなる。ここで、図８は、インクジェットヘッドからカラーフィルタ基板に対し、着色インクを吐出す状態を示した図である。
【００１１】
さらに、インクジェットヘッドの吐出口からカラーフィルタ基板までの距離が大きくなればなるほど、気流の影響を受けインクジェットヘッドから吐出される修正インクの着弾位置と目標位置のずれがさらに大きくなる。
上記要因を最小限にするとともに、カラーフィルタ基板の法線とインクジェットヘッドから吐出される修正インクの角度±θの影響を最小にする必要があり、そのためには、インクジェットヘッドの吐出部とカラーフィルタ基板上面との距離を一定の範囲に抑える必要がある。
【００１２】
また、さらに、上記要因を限界まで抑えることに加え、インクジェットヘッドの吐出部とガラスの基板の上面との距離のばらつきを、一定範囲内（たとえば、５０μｍ）に抑える必要がある。
【００１３】
すなわち、図８に示すようにインクジェットヘッドの吐出部とカラーフィルタ基板の上面との距離がｈのときには、インクジェットヘッドから吐出される修正インクの着弾位置の範囲が±△となるが、この場合でもインクジェットヘッドの吐出部とガラスの基板の上面との距離のばらつきによる、着弾位置のずれ（δ）を一定範囲内に抑える必要がある。
【００１４】
カラーフィルタの欠陥修正装置のような生産装置に使用するセンサとしては、できる限り安価なセンサが好ましく、その安価なセンサとしてレーザ変位センサ（変位センサ）がよく用いられている。この変位センサを用いた測定方法を図５に示す。図５は、変位センサを用いてインクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタの上面までの距離を測定する方法を説明するための図である。
【００１５】
この変位センサ２１を用いて、インクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタの上面までの距離を測定するためには、変位センサ２１を固定しながら、カラーフィルタ基板を図５に示す矢印ｆの方向に移動される。
【００１６】
このようにして、インクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタ基板の上面までの距離を計測すると、変位センサ２１の表示値（即ち高さ方向の値）は、カラーフィルタの表面の凹凸などにより、図７に示すような±50μｍ程度ばらつきが生じ、さらに図示しないがカラーフィルタ基板の端部ではそれ以上ばらつくこともある。
【００１７】
このようなばらつきが生じれば、許容値をｈ±50μｍ以下に抑えなければならない生産装置ではもはや使用することができない。
【００１８】
さらに生産装置の構成上、必然的に変位センサとインクジェットヘッドの位置関係を一定のオフセットＬを持たせ取付けざるを得ない（図２）。
【００１９】
以上のように、変位センサによって計測される高さ計測位置とインクジェットヘッドから吐出される修正インクの着弾位置が異なり、さらにカラーフィルタ基板の反りなどからインクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタ基板の上面までの距離hが大きくばらつき、インクジェットヘッドから吐出される修正インクの着弾位置にずれが生じたりするという不都合があった。
【００２０】
また、カラーフィルタの端部に欠陥部がある場合は、インクジェットヘッドの吐出部が欠陥部の上部にくるようにインクジェットヘッドを移動させると、生産装置に取付けられた変位センサによって計測される高さ計測位置がカラーフィルタ基板から外れてしまい変位センサによる高さ計測ができないという不都合があった（図９）。
本発明は以上のような不都合を解決するためになされたものであり、インクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタの上面までの距離（高さ）をカラーフィルタの表面の凹凸などに影響されることなく安定して計測できるとともに、カラーフィルタの欠陥修正装置などの生産装置の構成上からくる変位センサにより高さ計測できないところをなくすことにより、インクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタ基板の上面までの距離（高さ）のばらつきを許容範囲内に抑えることができ、カラーフィルタの欠陥の修正を良好に行なうことができるカラーフィルタの欠陥修正装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【００２１】
本発明は、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去した後、該着色層が除去された除去部に修正用インクを滴下することにより、該欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置であって、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去する除去手段と、該除去手段により着色層が除去された除去部にカラーフィルタの修正用インクを吐出す吐出手段と、除去手段により着色層が除去され、略平坦になった除去部からの距離を検出する距離検出手段と、あらかじめ測定された距離検出手段と吐出手段との距離のうち、あらかじめ設定された距離検出手段からカラーフィルタに向かう方向と略同一方向であるＺ軸方向の成分値を記憶する記憶手段と、距離検出手段により検出された該距離検出手段から除去部までの距離のＺ軸方向の成分値から記憶手段により記憶されているＺ軸方向の成分値を差分することにより、吐出手段とカラーフィルタの距離のＺ軸方向の成分値を算出する算出手段と、カラーフィルタと吐出手段の相対的な位置関係を変化させる位置変化手段と、を有し、該位置変化手段は、算出手段により算出された距離のＺ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと吐出手段とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする。
【００２２】
さらに本発明は、位置変化手段は、吐出手段をＺ軸方向に移動させるＺ軸ステージを有し、Ｚ軸ステージを移動させることにより、カラーフィルタと吐出手段の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする。
【００２３】
また本発明は、カラーフィルタをＺ軸方向と直交するＸ軸方向と該Ｘ軸方向およびＺ軸方向と直交するＹ軸方向に移動させることが可能なカラーフィルタの欠陥修正装置であって、記憶手段は、あらかじめ測定された距離検出手段と吐出手段の距離のうち、Ｘ軸方向の成分値とＹ軸方向の成分値を記憶し、位置変化手段は、カラーフィルタと前記距離検出手段の相対的な位置関係を変化させ、距離検出手段を目標移動位置（たとえば、カラーフィルタ基板５の欠陥部（除去部））まで移動させるために、カラーフィルタと距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させ、さらに、距離検出手段を目標移動位置まで移動させた後に、距離検出手段を記憶手段に記憶されているＸ軸方向の成分値、Ｙ軸方向の成分値の距離だけ移動させるために、カラーフィルタと距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする。
【００２４】
さらに本発明は、位置変化手段は、カラーフィルタをＸ軸方向に移動させるＸ軸ステージと、カラーフィルタをＹ軸方向に移動させるＹ軸ステージを有し、Ｘ軸ステージ、Ｙ軸ステージを移動させることにより、カラーフィルタと距離検出手段の相対的な位置関係を変化させることを特徴とする。
【００２５】
また本発明は、除去手段はレーザ照射装置であり、距離検出手段はレーザ変位計であり、吐出手段はインクジェットヘッドであることを特徴とする。
【００２６】
また本発明は、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去した後、該着色層が除去された除去部に修正用インクを滴下することにより、該欠陥部を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法であって、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を平坦に除去する除去工程と、該除去された除去部から距離検出手段までの距離を検出する距離検出工程と、距離検出工程により検出された距離検出手段から除去部までの距離のうち、あらかじめ設定された距離検出手段からカラーフィルタに向かう方向と略同一方向であるＺ軸方向の成分値から、あらかじめ測定され記憶されている距離検出手段と吐出手段との距離のＺ軸方向の成分値を差分することにより、吐出手段とカラーフィルタの距離のＺ軸方向の成分値を算出する算出工程と、算出工程により算出された距離のＺ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと吐出手段とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させる位置変化工程と、除去により着色層が除去された除去部にカラーフィルタの修正用インクを吐出す吐出工程と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【００２７】
以上のように請求項１に係る発明によれば、カラーフィルタの欠陥部を含む着色層を除去し、その除去された結果略平坦になった除去部から距離検出手段までの距離のＺ軸方向の成分値から記憶手段により記憶されている距離検出手段と吐出手段との距離のＺ軸方向の成分値を差分することにより、吐出手段とカラーフィルタの距離のＺ軸方向の成分値を求め、その求められた距離のＺ軸方向の成分値が、あらかじめ定められた値の範囲内になるように、カラーフィルタと吐出手段とのＺ軸方向の相対的な位置関係を変化させるので、カラーファイル基板の除去部からインクジェットヘッドの吐出口までの高さ距離のばらつきが少なく、インクジェットヘッドの吐出口から吐出される修正液のカラーフィルタ基板の着弾位置もばらつきが生ずることなく、カラーフィルタの欠陥の修正を精度よく行なうことができる。
【００２８】
また請求項３に係る発明によれば、距離検出手段を目標移動位置まで移動させるために、カラーフィルタと距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させ、さらに、距離検出手段を目標移動位置まで移動させた後に、距離検出手段を記憶手段に記憶されているＸ軸方向の成分値、Ｙ軸方向の成分値の距離だけ移動させるために、カラーフィルタと距離検出手段とのＸ軸方向およびＹ軸方向の相対的な位置関係を変化させるので、ＸＹ平面状で距離検出位置と修正インクの吐出位置を同一位置にでき、従来のように、計測位置によって計測できないことによりカラーフィルタの欠陥部の修正できない領域が生じることもなく、カラーフィルタ基板のどの領域でも修正が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
本発明の一実施形態における欠陥修正装置を図１および図２を参照しながら説明する。
図１は、本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置の斜視図である。また、図２は、本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置のインクジェットヘッド周辺部を示す斜視図である。
【００３０】
なお、カラーフィルタは、本来カラーフィルタ基板と着色層のみならずその周辺部分も含む概念であるが、以下に記載している「カラーフィルタ」は「カラーフィルタ基板」とほぼ同様の意味として使用している。
【００３１】
基台１は、欠陥修正装置の最下部に位置するものであり、土台となるものである。この基台１の上部にカラーフィルタをＸ軸方向に移動可能にするカラーフィルタ基板移動用のＸ軸ステージ２と、さらにそのＸ軸ステージ２の上部にカラーフィルタをＹ軸方向に移動可能にするＹ軸ステージ３が設けられている。
【００３２】
Ｙ軸ステージ３の上部には、カラーフィルタ基板５を載置するためのカラーフィルタ基板載置台４が固定されている。また、カラーフィルタ基板載置台４の上部には、カラーフィルタ基板５の側面を固定するピン６が設けられ、このピン６によりカラーフィルタ基板載置台４上のカラーフィルタ基板５がＸ軸方向またはＹ軸方向に動かないようにされている。本実施形態では、さらにカラーフィルタ基板載置台４の上面に真空吸着孔７を設け、カラーフィルタ基板５が真空吸着孔７からの吸引力により完全に固定するようにしている。
【００３３】
第１取付板８は、基台１と垂直方向に取付けられている。この第１取付板８には、後述する吐出口をＺ軸方向に移動可能にする第１Ｚ軸ステージ９が設けられている。この第１Ｚ軸ステージ９には、Ｚ軸方向に移動可能な第１Ｚ軸ステージ可動部１０が取り付けられ、さらに第１Ｚ軸ステージ可動部１０には、背板１１が取付けられている。本実施形態では、この第１Ｚ軸ステージ９と第１Ｚ軸ステージ可動部１０、そして後述する第２Ｚ軸ステージ１４と第２Ｚ軸ステージ可動部１５とでＺ軸ステージを構成している。しかし、これに限定するのではなく、第１Ｚ軸ステージ９と第１Ｚ軸ステージ可動部１０、もしくは、後述する第２Ｚ軸ステージ１４と第２Ｚ軸ステージ可動部１５のいずれか一方のみでＺ軸ステージを構成すると考えてもよい。
【００３４】
背板１１には、カラーフィルタ基板５を含むカラーフィルタを拡大して観察するための観察用顕微鏡１２と、カラーフィルタの欠陥部２７を含む着色層をレーザを照射することにより除去するレーザ照射装置１３と、後述するインクジェットヘッドＲ１７、インクジェットヘッドＧ１８、インクジェットヘッドＢ１９などをＺ軸方向に移動可能にする第２Ｚ軸ステージ１４が固定されている。
【００３５】
第２Ｚ軸ステージ１４には、第２Ｚ軸ステージ可動部１５が取付けられ、第２Ｚ軸ステージ可動部１５がＺ軸ステージ１４に沿って移動することにより、インクジェットヘッドＲ１７、インクジェットヘッドＧ１８、インクジェットヘッドＢ１９などがＺ軸方向に移動することとなる。
【００３６】
なお、本実施形態では、後述する光学式変位計２１（距離検出手段）からカラーフィルタに向かう方向と略同一方向をＺ軸方向としている（図１参照）。しかしこれに限定されるわけではなく、本発明の作用効果が生ずる限り、便宜Ｚ軸方向を設定してもよい。
【００３７】
インクジェットヘッドＲ取付板１６は、第２Ｚ軸ステージ可動部１５に取付けられ、このインクジェットヘッドＲ取付板１６とインクジェットヘッドＢ取付板２０により、インクジェットヘッドＲ１７とインクジェットヘッドＧ１８とインクジェットヘッドＢ１９を挟み込むようにして、インクジェットヘッドＲ１７、インクジェットヘッドＧ１８、インクジェットヘッドＢ１９を固定している。  
【００３８】
レーザ変位計である光学式変位計２１は、インクジェットヘッドＢ取付板２０に取付けられて、光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの距離を計測する。
【００３９】
この光学式変位計２１により、光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの距離が計測され、その計測された距離（Ｚ軸方向の距離）からあらかじめ測定されている光学式変位計２１からインクジェットヘッド１７、１８、１９の吐出口２２、２３、２４（吐出手段）までのＺ軸方向の距離（高さ距離）を差分することにより、インクジェットヘッド１７、１８、１９のそれぞれの吐出口２２、２３、２４の位置がカラーフィルタの上面から測定してあらかじめ定められた許容範囲（ｈ±５０μｍ）の位置になるようにすることができる。本実施形態では、光学式変位計２１とインクジェットヘッド１７、１８、１９の吐出口２２、２３、２４とのＺ軸方向の距離（高さ距離）はともに同じである。
【００４０】
このあらかじめ測定された光学式変位計２１からインクジェットヘッド１７、１８、１９の吐出口２２、２３、２４までの距離は、図１および図２に示すＸ軸Ｙ軸Ｚ軸別にそれぞれ記憶手段（図示略）に記憶されている。
【００４１】
また、上述した光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの距離（Ｚ軸方向の距離）からあらかじめ測定されている光学式変位計２１からインクジェットヘッド１７、１８、１９の吐出口２２、２３、２４までのＺ軸方向の距離（高さ距離）を差分し、光学式変位計２１からインクジェットヘッド１７、１８、１９までのＺ軸方向の距離を算出しているが、この算出は図示しない算出手段により行なわれる。
【００４２】
なお、本実施形態では、光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの距離がＷのときに、カラーフィルタ基板５の上面とインクジェットヘッドの吐出口２２、２３，２４のＺ軸方向の距離（高さ距離）がｈになるように取付けられ、光学式変位計２１の表示も、便宜的に、光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの高さ距離から、あらかじめ測定されている光学式変位計２１とインクジェットヘッド１７、１８、１９の吐出口２２、２３、２４との高さ距離を差分した値としている。
【００４３】
したがって、光学式変位計２１からカラーフィルタの上面までの距離がＷのときに、光学式変位計２１に表示される値はｈとなる。
【００４４】
乾燥手段２５は、カラーフィルタ基板５を乾燥させるものであり、乾燥手段取付板２６を介し背板１１に取付けられている。なお、乾燥手段２５として、本実施形態では温風を噴出す温風ヒータが用いられている。
【００４５】
つぎに、このように構成されたカラーフィルタの欠陥修正装置を用いて、カラーフィルタ基板の欠陥部を修正する手順について図３を参照しながら説明する。
【００４６】
図３は、本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置による修正処理（修正方法）を示すフローチャートである。
【００４７】
まず、Ｓ１０１において、欠陥部２７を有するカラーフィルタ基板５が位置決め手段であるピン（位置決めピン）６により位置決めされる。このカラーフィルタ基板５の位置決めは、カラーフィルタ基板５の周辺部を位置決めピン６により固定することにより行なう。
【００４８】
つぎに、Ｓ１０２により、カラーフィルタの欠陥部２７が観察用顕微鏡１２により観察可能な観察領域内に入るように、Ｘ、Ｙ軸ステージ２，３をＸ軸方向、Ｙ軸方向に移動させる。
【００４９】
すなわち、カラーフィルタ基板５の欠陥部２７（欠陥位置）は予め検出され、その検出内容をデータ化しているため、この欠陥位置データに基づいて、欠陥部２７が観察用顕微鏡１２により観察可能な観察領域内に入るように、Ｘ、Ｙ軸ステージ２，３を移動させる。  
【００５０】
Ｓ１０３により、カラーフィルタ基板５の欠陥部２７が観察用顕微鏡１２の観察領域の中心にくるように、またカラーフィルタ基板５の欠陥部２７にピントが合うように、Ｘ、Ｙ軸ステージ２、３、第１Ｚ軸ステージ９の第１Ｚ軸ステージ可動部１０を微動させる。
【００５１】
このＸ、Ｙ軸ステージ２、３、第１Ｚ軸ステージの第１Ｚ軸ステージ可動部１０の微動は、観察用顕微鏡２７からの観察データを画像処理装置（図示略）に送信して、その画像処理装置の処理信号を受信した制御手段（図示略）により行われる。すなわち、制御手段は、受信した画像処理装置の処理信号を元に、カラーフィルタ基板５の欠陥部２７にピントが合うように制御する。
【００５２】
そして、Ｓ１０４により、カラーフィルタ基板５の欠陥部２７が観察用顕微鏡１２の観察領域の中心に移動し、かつカラーフィルタ基板５の欠陥部２７にピントが合ったときに、カラーフィルタ基板５の位置データが取込まれ、この位置データを用いて、後述する欠陥修正工程が行われる。なお、上記位置データは、記憶手段（図示略）に記憶される。
【００５３】
Ｓ１０５において、Ｘ、Ｙ軸ステージ２、３，第１Ｚ軸ステージ９に取付けられた第１Ｚ軸ステージ可動部１０を移動させることにより、カラーフィルタ基板５の欠陥部２７の上方にレーザ照射装置１３を移動させ、レーザ照射装置１３によりカラーフィルタ基板５の欠陥部２７（所定の幅）を除去する。
【００５４】
例えば図１２に示すように、カラーフィルタ基板５の赤色画素、緑色画素にまたがった欠陥部２７がある場合には、かかる欠陥部２７に対しレーザ照射装置１３からのレーザを照射し、欠陥部２７の赤色画素と緑色画素（所定の幅分）を含む着色層を除去する。本実施形態では、その除去する赤色画素と青色画素の着色層の所定の幅（大きさ）は、およそ５０μｍ〜２００μｍ位としている。
【００５５】
この観察用顕微鏡１２のピントが欠陥部２７の中心に合った状態から該欠陥部２７の上方にレーザ照射装置１３を位置させるためには、Ｓ１０４で記憶手段（図示略）に記憶された位置（位置データ）を中心として、あらかじめ測定されている観察用顕微鏡１２とレーザ照射装置１３の距離だけ、レーザ照射装置１３を移動されることにより行なわれる。
【００５６】
この観察用顕微鏡１２とレーザ照射装置１３との位置関係は、それぞれＸ軸Ｙ軸Ｚ軸のそれぞれの方向別に記憶手段（図示略）に記憶されている。
【００５７】
その後、Ｓ１０６において、レーザ照射装置１３と光学式変位計２１とのＸ、Ｙ軸方向の位置関係があらかじめ把握されているので、Ｘ、Ｙ軸ステージ２、３をその距離の分だけ移動させ、カラーフィルタ基板５の除去部２８または２９（図２参照）の上方に光学式変位計２１がくるようにする。
【００５８】
すなわち、欠陥部２７の上方にレーザ照射装置１３が位置している状態からカラーフィルタ基板５の除去部２８または２９の上方に光学式変位計２１を位置させるためには、あらかじめ測定されているレーザ照射装置１３と光学式変位計２１の距離のＸ軸方向の成分値およびＹ軸方向の成分値だけ、Ｘ、Ｙ軸ステージ２、３を移動させることにより行なわれる。このレーザ照射装置１３と光学式変位計２１との位置関係は、それぞれＸ軸Ｙ軸Ｚ軸のそれぞれの方向別に記憶手段（図示略）に記憶されている。
【００５９】
このようにして、カラーフィルタ基板５の除去部２８または２９の上方に光学式変位計２１を移動させることができる。
【００６０】
次に、Ｚ軸方向については、例えばインクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３とカラーフィルタ基板５の上面とのＺ軸方向の距離（高さ距離）がｈになるように、第２Ｚ軸ステージ１４に取付けられている第２Ｚ軸ステージ可動部１５を移動させる。
【００６１】
具体的には、図４に示すように、光学式変位計２１により、光学式変位計２１からカラーフィルタ基板５の上面の除去部２８、２９までのＺ軸方向の距離（高さ距離）が測定され、その測定されたＺ軸方向の距離から、記憶手段に記憶されている光学式変位計２１からインクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３までの距離のＺ軸方向の成分値を差分して、インクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３からラーフィルタ基板５の上面の除去部２８、２９までのＺ軸方向の距離（高さ距離）を求め、その求められたインクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３とカラーフィルタ基板５の上面の除去部２８、２９とのＺ軸方向の距離（高さ距離）がｈになるように、第２Ｚ軸ステージ１４に取付けられている第２Ｚ軸ステージ可動部１５を移動させる。
【００６２】
このとき、カラーフィルタ基板５の除去部２８または２９に光学式変位計２１のスポットが当たることとなり、光学式変位計２１の計測値は上述したようにｈと表示される。
【００６３】
図１３に示すように、カラーフィルタ基板５の除去部２８、２９は、レーザ照射装置１３から照射されるレーザによる欠陥部２７が除去され平坦な面をなしているので、従来のようにカラーフィルタ上面の色の違いや凹凸によって生じる光学式変位計２１の計測値の大きなばらつきが少なく、図６に示すようにせいぜい数μｍ程度のばらつきであり光学式変位計２１の計測値として無視できるようである。
【００６４】
つぎに、Ｓ１０７により、着色インク（修正用インク）をインクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３から吐出し、カラーフィルタ基板５の欠陥部２８（除去部）の修正を行なう。
【００６５】
この修正を行なう際のインクジェットヘッド１７、１８の移動は、光学系変位計２１とインクジェットヘッド１７、１８、１９の各吐出口２２、２３、２４とのＸ、Ｙ軸方向の位置関係があらかじめ測定され、記憶手段（図示略）に記憶されているので、その分だけＸ、Ｙ軸ステージ２、３を移動させ、たとえばカラーフィルタ基板５の赤色画素の除去部２８の上方にインクジェットヘッドＲ１７を移動させる。
【００６６】
そして、赤色の着色インク（修正用インク）をインクジェットヘッドＲ１７の吐出口２２から吐出させることにより、カラーフィルタ基板５の欠陥部２８の修正が行なわれる。  
【００６７】
また同様に、カラーフィルタ基板５の緑色画素の除去部２９についても、その除去部２９の上方にインクジェットヘッドＧ１８を移動させ、緑色の着色インク（修正用インク）をインクジェットヘッドＧ１８の吐出口２３から吐出させることにより、カラーフィルタ基板５の欠陥部２９の修正が行なわれる。
【００６８】
なお、Ｓ１０６において、インクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３とカラーフィルタ基板５の上面との距離（高さ距離）は、Ｓ１０６によりｈに設定されているので、あらためて設定する必要はない。
【００６９】
Ｓ１０８において、インクジェットヘッド１７、１８の吐出口２２、２３からカラーフィルタ基板５の除去部２８、２９に対し、着色インク（修正インク）を吐出した後は、Ｘ，Ｙ軸ステージを移動させることにより上記着色インクを吐出した位置にヒータ２５がくるように移動させ、そのヒータ２８により着色インクを乾燥させる。そして、カラーフィルタ基板５の除去部２８、２９に吐出させた着色インクが乾燥すれば、カラーフィルタ基板５の欠陥の修正が終了する。
【００７０】
図１４にカラーフィルタ基板５の欠陥を修正した後のカラーフィルタ基板を示す。
図１４は、欠陥を修正した後のカラーフィルタ基板の上面図および側面図である。
【００７１】
なお、本実施形態では、説明を容易にするため、１回でカラーフィルタ基板５の欠陥を修正するようにしたが、これに限らず、欠陥部が大きく除去部が大きい場合、また欠陥部が複数あり除去部が複数にまたがる場合など、カラーフィルタ基板５の欠陥部の修正をインクジェットヘッドからの一回の吐出ではできない場合は、インクジェットヘッド２２、2３、２４からの着色インクの吐出、乾燥の工程を複数回に亘って行ってもよい。また、ブラックマトリックス（ＢＭ）は微小面積であるので修正を行わなくても特に問題はなく、本実施形態では修正を行わない。
（変形例）
（１）  本実施形態では、レーザ変位計２５（高さ検出手段）とインクジェットヘッド２２、２３、２４を一つのＺ軸ステージを用いて移動させることとしたが、これに限らず、レーザ変位計２５（高さ検出）とインクジェットヘッド２２、２３、２４について別々のＺ軸ステージを設けて、それぞれ移動させるようにしてもよい。この場合でも、カラーフィルタ基板５とインクジェットヘッド２２、２３、２４との高さ距離を、許容値の誤差の範囲内で計測することができ、レーザ変位計２５（高さ検出手段）とインクジェットヘッド２２、２３、２４のＸ，Ｙ，Ｚの相対的な位置関係をあらかじめ掌握することにより、本実施形態と同様の効果を奏することができる。
【００７２】
（２）  本実施形態では、インクジェットヘッド２２、２３、２４を用いて説明したが、これに限らず、デイスペンサーなどの非接触の着色インク（修正インク）の吐出手段であっても良い。
【００７３】
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなく特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【００７４】
【図１】本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置の斜視図である。
【図２】本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置のインクジェットヘッド周辺部を示す斜視図である。
【図３】本発明の一実施形態におけるカラーフィルタの欠陥修正装置による修正処理（修正工程）を示すフローチャートである。
【図４】本発明の一実施形態におけるレーザ変位計によりカラーフィルタの欠陥除去部の高さを計測するところを示す側面図である。
【図５】変位センサを用いてインクジェットヘッドの吐出部からカラーフィルタの上面までの距離を測定する方法を示す図である。
【図６】図４のレーザ変位計により計測された計測値のグラフを示す図である。
【図７】図５のレーザ変位計により計測された計測値のグラフを示す図である。
【図８】インクジェットヘッドからカラーフィルタ基板に対し、着色インクを吐出す状態を示した図である。
【図９】カラーフィルタ端部の欠陥部の修正位置にインクジェットヘッドがきた場合に、計測位置がカラーフィルタ基板から離れている様子を示す図である。
【図１０】カラーフィルタの着色パターン（マトリックス状）を示す図である。
【図１１】カラーフィルタの着色パターン（ストライブ状）を示す図である。
【図１２】欠陥部を有するカラーフィルタ基板を示す図である。
【図１３】図１０の欠陥部をレーザ照射装置でトリミング（除去）状態を示す図である。
【図１４】図１１の除去部を修正した状態を示す図である。
【符号の説明】
【００７５】
１  基台、２  Ｘ軸ステージ、３  Ｙ軸ステージ、４  カラーフィルタ基板載置台、５  カラーフィルタ基板、６  ピン（位置決めピン）、７  真空吸着孔、８  第１取付板、９  第１Ｚ軸ステージ、１０  第１Ｚ軸ステージ可動部、１１  背板、１２  観察用顕微鏡、１３  レーザ照射装置、１４  第２Ｚ軸ステージ、１５  第２Ｚ軸ステージ可動部、１６  インクジェットＲ取付板、１７  インクジェットヘッドＲ、１８  インクジェットヘッドＧ、１９  インクジェットヘッドＢ、２０  インクジェットヘッドＢ取付板、２１  レーザ変位計、２２  インクジェットヘッドＲの吐出口、２３  インクジェットヘッドＧの吐出口、２４  インクジェットヘッドＢの吐出口、２５  乾燥手段（温風ヒータ）、２６  乾燥手段取付板、２７  欠陥部、２８  赤色画素の除去部、２９  緑色画素の除去部。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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