(57)【要約】【課題】  検査後の機能液滴吐出ヘッドの取扱いを単純化することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および着弾位置検査装置、またこの装置により検査合格した機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することを特徴とする。【解決手段】  機能液滴吐出ヘッド１７の吐出検査方法は、導入した機能液を選択的に吐出してワークＷ'に描画を行う機能液滴吐出ヘッド１７の吐出検査方法であって、機能液に代えて機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を導入した機能液滴吐出ヘッド１７により、検査用ワークＷに検査液を吐出・着弾させる吐出・着弾工程と、検査液の吐出・着弾に伴う機能液滴吐出ヘッド１７の吐出性能を検査する吐出性能検査工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】  図３
2007152255.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
導入した機能液を選択的に吐出してワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、
前記機能液に代えて、前記機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を導入した前記機能液滴吐出ヘッドにより、検査用ワークに前記検査液を吐出・着弾させる吐出・着弾工程と、
前記検査液の吐出・着弾に伴う前記機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出性能検査工程と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項２】
前記吐出性能検査工程は、前記検査液の着弾結果を画像認識して、前記検査液の着弾精度を検査することを特徴とする請求項１に記載の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法。
【請求項３】
機能液を選択的に吐出してワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置であって、
前記機能液滴吐出ヘッドに、前記機能液に代えて前記機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を供給する検査液供給手段と、
前記機能液滴吐出ヘッドおよび検査用ワークを着脱自在に搭載すると共に、前記検査用ワークに対し前記機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙテーブルと、
前記機能液滴吐出ヘッドおよび前記Ｘ・Ｙテーブルを制御し、前記検査用ワークに前記検査液を吐出・着弾させる制御手段と、
前記検査液の着弾結果を画像認識して、前記検査液の着弾精度を検査する画像認識手段と、を備えたことを特徴とする機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項４】
前記機能液滴吐出ヘッドは、位置決め状態でキャリッジに取り付けられ、且つ前記キャリッジを介して前記Ｘ・Ｙテーブルに着脱自在に搭載されており、
前記キャリッジを画像認識するキャリッジ認識手段と、
平面内における前記キャリッジの回転角度を調整するθテーブルと、を更に備え、
前記制御手段は、前記キャリッジ認識手段の認識結果に基づいてθテーブルを制御することを特徴とする請求項３に記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項５】
前記機能液滴吐出ヘッドの複数個が位置決め状態でキャリッジに取り付けられており、
前記画像認識手段は、前記各機能液滴吐出ヘッドごとに少なくとも一箇所かつ同位置の吐出ノズルから吐出・着弾された前記検査液を画像認識することを特徴とする請求項３または４に記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項６】
前記画像認識手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの前記複数の吐出ノズルのうちの離間した２つの前記吐出ノズルから吐出・着弾された２つの前記検査液を画像認識することを特徴とする請求項３または４に記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項７】
前記画像認識手段は、前記機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルから吐出・着弾された前記検査液を画像認識することを特徴とする請求項３または４に記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項８】
前記機能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列をＹ軸方向に向けて搭載され、
前記画像認識手段は、前記Ｘ・Ｙテーブルに搭載され前記検査用ワークに着弾した前記検査液を撮像するカメラと、
前記Ｘ・Ｙテーブルに搭載され、前記カメラの撮像タイミングを合わせて前記検査液を照明するストロボと、
前記カメラによる撮像結果を画像処理する画像処理手段と、を有し、
前記制御手段は、前記カメラおよび前記ストロボをＹ軸方向に移動させながら、前記カメラおよび前記ストロボを同期させ、前記複数の検査液を順に撮像させることを特徴とする請求項７に記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置。
【請求項９】
請求項４ないし８のいずれかに記載の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置により検査合格した前記機能液滴吐出ヘッドと前記キャリッジとから成るヘッドユニットを、搭載したことを特徴とする液滴吐出装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
【請求項１１】
請求項９に記載の液滴吐出装置を用い、前記ワーク上に機能液滴による成膜部を形成したことを特徴とする電気光学装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または請求項１１に記載の電気光学装置を、搭載したことを特徴とする電子機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェットヘッドに代表される機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法、着弾位置検査装置、また、これらの方法および装置により検査合格した機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、この種の吐出検査方法として、吐出ヘッドから検査用ワーク上に吐出されたインク液の位置ズレを検査する着弾位置検査方法が知られている。この方法では、吐出ヘッドからインク液を吐出し、検査ワーク上に着弾したインク液の着弾結果をカメラにて撮像し、撮像された画像を画像処理することでインク液の着弾位置および間隔を画像認識している。そして、画像処理により得た着弾間隔と吐出ノズルの配列間隔の基準値とを比較することでアライメントのための着弾位置のズレ量を取得し、吐出タイミングの調整や吐出ヘッドのクリーニング等の回復処理を施している（特許文献１参照）。ところで、上記内容は検査合格した吐出ヘッドが吐出装置に搭載されて行われているが、搭載される前に工場出荷の段階でも同様の検査方法で合否の判定が行われ、検査合格した吐出ヘッドのみ工場出荷するようにしている。そして、出荷の際には、乾燥して目詰まりの原因とならないように不揮発性の送品液を充填している。
【特許文献１】特開２００５−０１４２１６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、上記構成では、検査合格した機能液滴吐出ヘッドに対し、検査用のインク液を抜き取ると共に送品液を充填する必要があり、作業が煩雑となると共に装置が複雑になる問題があった。一方、検査済みの吐出ヘッドを搭載した描画装置では、吐出ヘッドから送品液を抜き取り、所望の機能液を充填する必要があるが、かかる場合に、残留した送品液と機能液が化学反応して機能液が変化するおそれがある。
【０００４】
本発明は、検査後の機能液滴吐出ヘッドの取扱いを単純化することができる機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法および着弾位置検査装置、またこの装置により検査合格した機能液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置、並びに電気光学装置の製造方法、電気光学装置および電子機器を提供することをその課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法は、導入した機能液を選択的に吐出してワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドの吐出検査方法であって、機能液に代えて機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を導入した機能液滴吐出ヘッドにより、検査用ワークに検査液を吐出・着弾させる吐出・着弾工程と、検査液の吐出・着弾に伴う機能液滴吐出ヘッドの吐出性能を検査する吐出性能検査工程と、を備えたことを特徴とする。
【０００６】
この場合、吐出性能検査工程は、検査液の着弾結果を画像認識して、検査液の着弾精度を検査することが、好ましい。
【０００７】
本発明の機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置は、機能液を選択的に吐出してワークに描画を行う機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置であって、機能液滴吐出ヘッドに、機能液に代えて機能液に対し親和性の溶剤となる検査液を供給する検査液供給手段と、機能液滴吐出ヘッドおよび検査用ワークを着脱自在に搭載すると共に、検査用ワークに対し機能液滴吐出ヘッドをＸ軸方向およびＹ軸方向に相対的に移動させるＸ・Ｙテーブルと、機能液滴吐出ヘッドおよびＸ・Ｙテーブルを制御し、検査用ワークに検査液を吐出・着弾させる制御手段と、検査液の着弾結果を画像認識して、検査液の着弾精度を検査する画像認識手段と、を備えたことを特徴とする。
【０００８】
この構成によれば、機能液に対し親和性の溶剤となる検査液からは、金属微粒子や色素材等の固形成分が析出されないので、送品液を充填する必要がなく、検査後の機能液滴吐出ヘッドの取り扱いを単純化することができる。一方、検査済みの機能液滴吐出ヘッドを搭載した描画装置では、導入した機能液に対し検査液が親和性を有するため、検査液が残留していても、機能液に化学的な悪影響を及ぼすことが無い。そして、検査液の着弾結果を画像認識により検査するため、着弾結果の位置ズレを高精度に検査することができる。
【０００９】
この場合、機能液滴吐出ヘッドは、位置決め状態でキャリッジに取り付けられ、且つキャリッジを介してＸ・Ｙテーブルに着脱自在に搭載されており、キャリッジを画像認識するキャリッジ認識手段と、平面内におけるキャリッジの回転角度を調整するθテーブルと、を更に備え、制御手段は、キャリッジ認識手段の認識結果に基づいてθテーブルを制御することが、好ましい。
【００１０】
この構成によれば、キャリッジのＸ・Ｙテーブルへの取付け精度に基づく、機能液滴吐出ヘッドのズレを解消することができ、機能液滴吐出ヘッドを適正な状態で検査に臨ませることができる。また、検査後、機能液滴吐出ヘッドをキャリッジに取り付けた状態で、液滴吐出装置に搭載するようにすれば、液滴吐出装置における機能液滴吐出ヘッド（特に複数）のアライメントを容易に行うことができる。
【００１１】
この場合、機能液滴吐出ヘッドの複数個が位置決め状態でキャリッジに取り付けられており、画像認識手段は、各機能液滴吐出ヘッドごとに少なくとも一箇所かつ同位置の吐出ノズルから吐出・着弾された検査液を画像認識することが、好ましい。
【００１２】
この構成によれば、各機能液滴吐出ヘッドの吐出ノズルから吐出された検査液の着弾間隔と検査液を吐出した各吐出ノズルの間隔の基準値とを比較して機能液滴吐出ヘッドのキャリッジへの組み付け精度を再確認することができる。
【００１３】
この場合、画像認識手段は、機能液滴吐出ヘッドの複数の吐出ノズルのうちの離間した２つの吐出ノズルから吐出・着弾された２つの検査液を画像認識することが、好ましい。
【００１４】
この構成によれば、着弾した２つの検査液の着弾間隔と吐出した２つの吐出ノズルの間隔の基準値とから機能液滴吐出ヘッドの平面に対する傾き（ヨーイング方向の傾き）を確認することができる。
【００１５】
この場合、画像認識手段は、機能液滴吐出ヘッドの全吐出ノズルから吐出・着弾された検査液を画像認識することが、好ましい。
【００１６】
この構成によれば、検査液の着弾結果のバラつきおよび欠損から各機能液滴吐出ヘッドごとに吐出ノズルの吐出不良、飛行曲がりを確認することができる。
【００１７】
この場合、機能液滴吐出ヘッドは、そのノズル列をＹ軸方向に向けて搭載され、画像認識手段は、Ｘ・Ｙテーブルに搭載され検査用ワークに着弾した前記検査液を撮像するカメラと、Ｘ・Ｙテーブルに搭載され、カメラの撮像タイミングを合わせて検査液を照明するストロボと、カメラによる撮像結果を画像処理する画像処理手段と、を有し、制御手段は、カメラおよびストロボをＹ軸方向に移動させながら、カメラおよびストロボを同期させ、複数の検査液を順に撮像させることが、好ましい。
【００１８】
この構成によれば、カメラを移動させながら連続して検査液を撮像することが可能となるため、全体の撮像時間を極端に短縮することができる。
【００１９】
本発明の液滴吐出装置は、上述した機能液滴吐出ヘッドの着弾位置検査装置により検査合格した機能液滴吐出ヘッドとキャリッジとから成るヘッドユニットを、搭載したことを特徴とする。
【００２０】
この構成によれば、検査合格したヘッドユニットを搭載した状態で、機能液滴吐出ヘッドの初期アライメントおよび機能液滴吐出ヘッドへの機能液の初期充填を、簡単且つ迅速に行うことができる。
【００２１】
本発明の電気光学装置の製造方法は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成することを特徴とする。
【００２２】
また、本発明の電気光学装置は、上記した液滴吐出装置を用い、ワーク上に機能液による成膜部を形成したことを特徴とする。
【００２３】
これらの構成によれば、新規のヘッドユニットを導入してから早期に描画作業を開始することができる液滴吐出装置により製造することで、ワークの生産性を向上させることができる。なお、電気光学装置（フラットパネルディスプレイ：ＦＰＤ）としては、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、ＰＤＰ装置、電子放出装置等が考えられる。なお、電子放出装置は、いわゆるＦＥＤ（Field Emission Display）やＳＥＤ（Surface-conduction Electron-Emitter Display）装置を含む概念である。さらに、電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等を包含する装置が考えられる。
【００２４】
本発明の電子機器は、上記した電気光学装置の製造方法により製造した電気光学装置または上記した電気光学装置に搭載したことを特徴とする。
【００２５】
この場合、電子機器としては、いわゆるフラットパネルディスプレイを搭載した携帯電話、パーソナルコンピュータのほか、各種の電気製品がこれに該当する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、添付の図面を参照して、本発明の一実施形態に係る吐出検査方法および着弾位置検査装置について説明する。着弾位置検査装置は、ヘッド組立装置により描画キャリッジに機能液滴吐出ヘッドを位置きめ状態で組み込んだヘッドユニットを導入し、機能液滴吐出ヘッドの吐出・着弾性能を検査するものである。この検査に合格したヘッドユニットは、工場出荷され、ユーザー側の液滴吐出装置に運び込まれてこれに搭載される。以下、検査対象となるヘッドユニットから説明する。
【００２７】
図１の裏面図に示すように、ヘッドユニット１５は、ステンレスの厚板等で形成した描画キャリッジ（キャリッジ）１６と、描画キャリッジ１６に固定金具（図示省略）を介して各ノズル列５４を同方向（Ｙ軸方向）に向けて固定した４個の機能液滴吐出ヘッド１７とから構成され、４個の機能液滴吐出ヘッド１７は２個ずつに２分され、Ｙ軸方向に相互に位置ズレして配設されている。描画キャリッジ１６は、描画キャリッジ１６の短辺方向の両端中央に一対のキャリッジ基準ピン１９，１９を有しており、描画キャリッジ１６の下方に設置されたキャリッジ撮像装置６５（図３参照）がこのキャリッジ基準ピン１９を認識することで平面内における描画キャリッジ１６の回転角度の補正が行われる。また、両キャリッジ基準ピン１９，１９の近傍には、一対のキャリッジ位置決め孔３６、３６が形成されており、ヘッドユニット１５はこのキャリッジ位置決め孔３６、３６により、後述する着弾位置検査装置１および液滴吐出装置１０１に位置決め状態で取り付けられる（４隅の取付ねじ用の孔は省略している）。  
【００２８】
図２（ａ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７は、インクジェット方式で機能液を吐出するものであって、機能液滴吐出ヘッド１７に機能液を供給する２連の接続針４２と、接続針４２を有する機能液導入部４１と、機能液導入部４１の側方に連なり、制御装置５に接続される２連のコネクタ５６を備えるヘッド基板４３と、機能液導入部４１の下方（同図では上方）に連なり、内部に機能液で満たされるヘッド内流路が形成されたヘッド本体４４とを備えている。
ヘッド本体４４は、ピエゾ素子等で構成されたポンプ部５１（図示省略）と、２本のノズル列５４を相互に平行に形成したノズル面５３を有するノズルプレート５２と、を更に備えている。各ノズル列５４は、複数の吐出ノズル５５（一列につき１８０個）が等ピッチで並べられて構成されている。本実施例では、各ノズル列５４は２．２ｍｍの間隙を存して、各吐出ノズル５５は０．１４１ｍｍの間隙を存して形成されている。また、両ノズル列５４は、ノズル面５３の長辺方向に０．０７ｍｍ（半ピッチ）相互に位置ズレして配設されている（図２（ｂ）参照）。そして、コネクタ５６を介してポンプ部５１に駆動波形を印加することにより、各吐出ノズル５５から機能液が吐出される。詳細は後述するが、本実施形態の着弾位置検査装置１では、この機能液滴吐出ヘッド１７に、機能液の代わりに検査液を吐出して吐出検査を行う。
【００２９】
次に、図３を参照して着弾位置検査装置１について説明する。着弾位置検査装置１は、機台２と、機台２上に載置され、ヘッドユニット１５が組み込まれるメインキャリッジ１４と、描画観測カメラ１８を搭載した描画認識装置（画像認識手段）４と、メインキャリッジ１４および撮像装置４を検査基板Ｗ（ワーク）に対して相対的にＸ軸方向およびＹ軸方向に移動させるＸＹ移動機構１１と、機能液滴吐出ヘッド１７に検査液を供給する検査液供給手段と、機台２上でメインキャリッジ１４に並設された吸引装置７と、を備え、ヘッドユニット１５により検査基板Ｗ上に検査液を吐出・着弾処理を行うと共に、撮像装置４により撮像した着弾結果を画像認識している。また、着弾位置検査装置１は、上記のキャリッジ認識装置（キャリッジ認識手段）６５の他、各構成部品へ駆動・制御用の圧縮エアーを供給するエアー供給装置（図示省略）や、パソコン等で構成され、着弾位置検査装置１の各部を制御する制御装置５を、備えている。
【００３０】
ＸＹ移動機構１１は、Ｘ軸方向に延在するＸ軸テーブル１２と、これと直交してＹ軸方向に延在するＹ軸テーブル１３と、から構成されており、Ｘ軸テーブル１２は、機台２上に直接支持される一方、Ｙ軸テーブル１３は、Ｘ軸テーブル１２および吸引装置７とを跨ぐように機台２上の左右の支柱（図示省略）に支持されている。Ｘ軸テーブル１２は、Ｘ軸方向に延在する一対のＸ軸ガイドレール３１，３１と、Ｘ軸ガイドレール３１，３１上をスライドするモータ駆動のＸ軸スライダ３２と、を有し、Ｘ軸スライダ３２上に検査基板Ｗがセットされるセットテーブル２２を移動自在に搭載して、構成されている。同様に、Ｙ軸テーブル１３は、Ｙ軸方向に延在する一対のＹ軸ガイドレール３３，３３と、Ｙ軸ガイドレール３３，３３上をスライドするモータ駆動の描画Ｙ軸スライダ３５および撮像Ｙ軸スライダ３４と、を有している。描画Ｙ軸スライダ３５には、ヘッドθテーブル２６を介してメインキャリッジ１４が垂設され、撮像Ｙ軸スライダ３４には、撮像キャリッジ２１を介して２台の描画観測カメラ１８が垂設されている。
【００３１】
メインキャリッジ１４は、ヘッドθテーブル２６に垂設されており、ヘッドθテーブル２６は、ヘッドユニット１５をＺ軸廻りにモータ駆動で微小量正逆回転させる。ヘッドθテーブル２６より、ヘッドユニット１５を微小量回転させることで、検査基板Ｗに対する機能液滴吐出ヘッド１７の姿勢（平面内における角度）が微調整される。また、図示では省略したが、メインキャリッジ１４の下部には、ヘッドユニット１５を着脱自在に装着するための枠状の取付け部が形成され、この取付け部の位置決めピンに上記の位置決め孔３６を嵌合するようにして、ヘッドユニット１５がメインキャリッジ１４にねじ止めされている。そして、この状態では、各機能液滴吐出ヘッド１７のノズル列５４の向きがＹ軸方向に合致している。
【００３２】
描画認識装置４は、撮像キャリッジ２１に垂設され着弾した検査液を撮像する２台の描画観測カメラ１８と、各描画観測カメラ１８と同軸で検査液を照明する一対のストロボ３８と、両描画観測カメラ１８にケーブルで接続された画像処理装置６ａと、を有しており、画像処理装置６ａは、制御装置５に組み込まれている。各ストロボ３８は、描画観測カメラ１８のレンズの内側に取付けられており、ストロボ発光することで同軸落射にて撮像が行われる。２台の描画観測カメラ１８は、Ｙ軸方向に各機能液滴吐出ヘッド１７と横並びに配設され、ＸＹ移動機構１１により、ストロボ３８と共に検査基板Ｗに着弾した検査液の上方を適宜移動され、検査液を撮像する。
【００３３】
図４は２台の描画観測カメラ１８による撮像方法を示している。撮像キャリッジ２１が、Ｙ軸テーブル１３上を移動するのに同期して、リニアエンコーダ（図示省略）からエンコーダパルスを等間隔に分周した分周信号が出力され、これをシャッタートリガとして制御装置５がシャッターおよびストロボ発光を同期させることで撮像が行われる。具体的には、分周信号の立ち下がりに合わせて描画観測カメラ１８のシャッターを駆動させ、分周信号の立ち上がりに合わせてストロボ３８を発光させる。これにより、分周信号の立下り、立ち上がりが繰り返されるのに合わせて連続的に撮像が行われる。
【００３４】
キャリッジ認識装置６５は、一対のＸ軸ガイドレール３１，３１間において、機台２上に上向きに固定したアライメントカメラ６６と画像処理装置６ｂとからなり、この画像処理装置６ｂも、上記制御装置５に組み込まれている。ＸＹ移動機構１１により描画キャリッジ１６の一対のキャリッジ基準ピン１９，１９をそれぞれアライメントカメラ６６の直上部に移動させることにより、アライメントカメラ６６による描画キャリッジ１６を撮像（画像認識）が行われる。
【００３５】
検査液供給手段は、パック容器に検査液を充填した検査液パック３７と、検査液パック３７と機能液滴吐出ヘッド１７の接続針４２とを接続する供給チューブと、から構成されている。この場合、検査液パック３７は、機能液滴吐出ヘッド１７の数に合わせて４個設けるようにしてもよいし、１個の検査液パック３７に途中で４分岐する供給チューブを接続するようにしてもよい。また、検査液は、機能液の溶媒を使用するが、描画動作の際に充填される機能液と化学的な変化を起こさないものであって固形物を含まないものであれば、溶媒以外の液体を使用しても良い。
【００３６】
吸引装置７は、機能液滴吐出ヘッド１７のノズル面５３をキャッピングする４つのヘッドキャップ６３と、機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５からヘッドキャップ６３を介して検査液を吸引する吸引ポンプ（図示省略）と、ヘッドキャップ６３を昇降させる昇降機構（図示省略）と、を備えている。昇降機構によりヘッドキャップ６３を上昇させノズル面５３に当接させておいて、吸引ポンプにより機能液滴吐出ヘッド１７の内部からエアーを吸引すると共に、検査液パック３７から検査液を吸引し、機能液滴吐出ヘッド１７に検査液を初期充填或いは機能液滴吐出ヘッド１７の吐出ノズル５５をクリーニングする。
【００３７】
そして、ヘッドユニット１５は、Ｙ軸テーブル１３により、Ｘ軸テーブル１２の直上部に位置する検査エリア６１と、吸引装置７の直上部に位置する吸引エリア６２との相互間で、適宜移動される。すなわち、Ｙ軸テーブル１３は、ヘッドユニット１５を、機能液滴吐出ヘッド１７の初期充填および吸引による吐出ノズル５５のクリーニングを行うために吸引エリア６２に臨ませ、またＸ軸テーブル１２にセットした検査基板Ｗに検査用の吐出・着弾動作を行うために、検査エリア６１に臨ませる。
【００３８】
次に図４を参照して、ヘッドユニット１５のアライメントマスク６４について説明をする。アライメントマスク６４は、ヘッドユニット１５の描画キャリッジ１６および機能液滴吐出ヘッド１７の基準位置を取得するものであり、検査に先立ってメインキャリッジ１４に取り付けられて使用される。アライメントマスク６４には、描画キャリッジ１６の一対のキャリッジ基準ピン１９、１９を指標する一対のピンマーク６７、６７および各機能液滴吐出ヘッド１７の２列のノズル列５４、５４のそれぞれの両最外端の計４つの吐出ノズル５５をそれぞれ指標するアライメントマーク６７が印されており、これらのマークをキャリッジ認識装置６５で撮像（画像認識）し、その撮像結果（認識結果）を描画キャリッジ１６および４個の機能液滴吐出ヘッド１７の基準位置として制御装置に記憶するようにしている。すなわち、このアライメントマスク６４から取得した位置データを基準として、検査に供される機能液滴吐出ヘッド１７の着弾位置精度の良否、さらには装置としてのヘッドユニット１５の合否が判定される。
【００３９】
以下、着弾位置検査装置１による着弾位置検査の一連の動作手順を説明する。アライメントマスク６４を用いて取得した基準位置（データ）はすでに制御装置５のメモリに記憶されているものとする。
まず、メインキャリッジ１４に検査対象となるヘッドユニット１５を組み込み、キャリッジ認識装置６５によりキャリッジ基準ピン１９を撮像し、基準位置と比較して、ヘッドユニット１５の位置ズレを認識する。そして、この認識結果に基づいてヘッドθテーブル２６を駆動しθ補正を行うと供にＸ軸方向およびＹ軸方向のデータ補正を行う。
【００４０】
また、ヘッドユニット１５の位置決めと相前後して、ヘッドユニット１５を吸引装置７の直上に移動させ、機能液滴吐出ヘッド１７への検査液の初期充填が行われる。次に、機能液滴吐出ヘッド１７が検査基板Ｗに臨むホーム位置にヘッドユニット１５を移動させ、検査描画待機状態となる。続く検査描画では、検査基板Ｗの所望の位置に４個の機能液滴吐出ヘッド１７の全吐出ノズル５５から検査液を吐出する。これにより、検査基板Ｗに１個の機能液滴吐出ヘッド１７につき２列（１列は１８０ノズル分の着弾結果）の計８列の検査液の着弾結果が得られる。
【００４１】
ここでＹ軸テーブル１３が駆動し、２台の描画観測カメラ１８がＹ軸方向に移動しながら検査基板Ｗ上に着弾したそれぞれの１列目の着弾ドット（検査液）を連続的に撮像する。１列目の着弾ドットを撮像したら、Ｘ軸テーブル１２が駆動し、検査基板ＷをＸ軸方向に復動させ、今度はＹ軸方向と逆方向にそれぞれの２列目の着弾ドットを連続的に撮像する。このように２台の描画観測カメラ１８により１往復動により２個の機能液滴吐出ヘッド１７の着弾ドットを撮像する。それぞれ１個目の機能液滴吐出ヘッド１７の着弾ドットを撮像し終えると、検査基板ＷをＸ軸方向に復動させ同様の流れでそれぞれ２個目の機能液滴吐出ヘッド１７の着弾ドットの撮像を行う（図６参照）。
【００４２】
この時、描画観測カメラ１８の移動速度は１０ｍｍ／ｓｅｃ、ストロボ発光時間は０．０５μｓｅｃに設定され、この場合の描画観測カメラ１８の移動距離は０．５ｎｍであり、対象物をほぼ固定して撮像することができる。撮像周期を１００ｍｓｅｃにすると２秒間に２０枚の撮像が可能であり、この場合、１回で９ノズル分の着弾ドットを撮像可能とすると２秒で１８０ノズル分（１列分）の着弾ドットを撮像することができる。本実施形態では２台の描画観測カメラ１８により４個の機能液滴吐出ヘッド１７の着弾ドットを撮像するため、４秒（１個の機能液滴吐出ヘッド１７の着弾ドットの撮像時間）×４個／２台（描画観測カメラの台数）＝計８秒で全ての着弾結果の撮像を行うことができる。描画観測カメラ１８の移動時間、加速時間を含めても約１５程度で、検査液の蒸発に影響はないので問題無く撮像が可能である。
【００４３】
撮像後は、画像処理装置６ａにより着弾ドットの着弾位置が検出され、この着弾位置と基準位置とを比較することにより、機能液滴吐出ヘッド１７の組付け精度および吐出不良等を検査することができる。この場合、各機能液滴吐出ヘッド１７の着弾位置のうち、同位置の吐出ノズル５５の着弾位置の間隔と、これに対応する基準位置の間隔とを比較し、許容値を超える場合にはＮＧと判定され、「組付け不良」である旨をディスプレイ（図示省略）に表示する。次に、機能液滴吐出ヘッド１７の１列目の吐出ノズル５５のうち、両最外端の吐出ノズル５５の着弾位置の間隔と、これに対応する基準位置の間隔とを比較し、許容値を超える場合にはＮＧと判定され、「取付け不良」である旨をディスプレイに表示する。なお、同一の機能液滴吐出ヘッド１７から吐出されたのであれば離間する２点であれば任意の着弾位置でもよい。さらに、全吐出ノズル５５の着弾位置と基準位置とを比較し着弾位置の一部が欠損および位置ズレをしている場合にはＮＧと判定され、「吐出不良または飛行曲がり」である旨をディスプレイに表示する。これら全てが許容範囲内であればＯＫの判定がなされ、機能液滴吐出ヘッド１７はヘッドユニット１５と共に、メインキャリッジ１４から取り外され、検査液が漏れないようにノズル面５３にキャップをして工場へ出荷される。なお、吐出動作は、全ての吐出ノズル５５に限らず、任意の吐出ノズル５５から選択的に吐出させて各検査を行ってもよい。
【００４４】
検査合格したヘッドユニット１５は、液滴吐出装置１０１の描画装置１０３に搭載され、描画作業が実施される。図５に示すように、液滴吐出装置１０１は、描画用機台１０２と、描画用機台１０２上の全域に広く載置され、機能液滴吐出ヘッド１７を搭載した描画装置１０３と、描画用機台１０２上で描画装置１０３に添設された描画用吸引装置１０７および描画用ワイピング装置１０８とから成る描画用メンテナンス装置１０９とを備え、描画用メンテナンス装置１０９により機能液滴吐出ヘッド１７のメンテナンス処理（機能維持・回復）を行うと共に、描画装置１０３により基板Ｗ'（ワーク）上に機能液を吐出させる描画動作を行うようにしている。また、液滴吐出装置１０１は、各構成部品へ駆動・制御用の圧縮エアーを供給する描画用エアー供給装置（図示省略）や、パソコン等で構成され、液滴吐出装置１０１の各部を制御する描画用制御装置（図示省略）を、備えている。
【００４５】
そしてこのヘッドユニット１５が搭載された描画装置１０３は、描画用Ｘ軸テーブル１１２および描画用Ｘ軸テーブル１１２に直交する描画用Ｙ軸テーブル１１３から成る描画用ＸＹ移動機構１１１と、描画用Ｘ軸テーブル１１２に搭載された描画用セットテーブル１２２を有し、基板Ｗ'を載置した描画用セットテーブル１２２がＸ軸方向に移動するのに同期して、機能液滴吐出ヘッド１７を駆動させて基板Ｗ'に機能液を吐出して主走査を行う。次にＹ軸方向にヘッドユニット１５が移動しＹ軸方向の副走査を行う。その後、基板Ｗ'をＸ軸方向に復動させ、同期して機能液滴吐出ヘッド１７を駆動することで再度主走査を行う。以上の動作を繰り返し行うことで基板Ｗ'に所望の描画を行う。
【００４６】
次に、本実施形態の液滴吐出装置１０１を用いて製造される電気光学装置（フラットパネルディスプレイ）として、カラーフィルタ、液晶表示装置、有機ＥＬ装置、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ装置）、電子放出装置（ＦＥＤ装置、ＳＥＤ装置）、さらにこれら表示装置に形成されてなるアクティブマトリクス基板等を例に、これらの構造およびその製造方法について説明する。なお、アクティブマトリクス基板とは、薄膜トランジスタ、および薄膜トランジスタに電気的に接続するソース線、データ線が形成された基板をいう。
【００４７】
まず、液晶表示装置や有機ＥＬ装置等に組み込まれるカラーフィルタの製造方法について説明する。図８は、カラーフィルタの製造工程を示すフローチャート、図９は、製造工程順に示した本実施形態のカラーフィルタ５００（フィルタ基体５００Ａ）の模式断面図である。
まず、ブラックマトリクス形成工程（Ｓ１０１）では、図９（ａ）に示すように、基板（Ｗ'）５０１上にブラックマトリクス５０２を形成する。ブラックマトリクス５０２は、金属クロム、金属クロムと酸化クロムの積層体、または樹脂ブラック等により形成される。金属薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成するには、スパッタ法や蒸着法等を用いることができる。また、樹脂薄膜からなるブラックマトリクス５０２を形成する場合には、グラビア印刷法、フォトレジスト法、熱転写法等を用いることができる。
【００４８】
続いて、バンク形成工程（Ｓ１０２）において、ブラックマトリクス５０２上に重畳する状態でバンク５０３を形成する。即ち、まず図９（ｂ）に示すように、基板５０１およびブラックマトリクス５０２を覆うようにネガ型の透明な感光性樹脂からなるレジスト層５０４を形成する。そして、その上面をマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム５０５で被覆した状態で露光処理を行う。
さらに、図９（ｃ）に示すように、レジスト層５０４の未露光部分をエッチング処理することによりレジスト層５０４をパターニングして、バンク５０３を形成する。なお、樹脂ブラックによりブラックマトリクスを形成する場合は、ブラックマトリクスとバンクとを兼用することが可能となる。
このバンク５０３とその下のブラックマトリクス５０２は、各画素領域５０７ａを区画する区画壁部５０７ｂとなり、後の着色層形成工程において機能液滴吐出ヘッド１７により着色層（成膜部）５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する際に機能液滴の着弾領域を規定する。
【００４９】
以上のブラックマトリクス形成工程およびバンク形成工程を経ることにより、上記フィルタ基体５００Ａが得られる。
なお、本実施形態においては、バンク５０３の材料として、塗膜表面が疎液（疎水）性となる樹脂材料を用いている。そして、基板（ガラス基板）５０１の表面が親液（親水）性であるので、後述する着色層形成工程においてバンク５０３（区画壁部５０７ｂ）に囲まれた各画素領域５０７ａ内への液滴の着弾位置のばらつきを自動補正できる。
【００５０】
次に、着色層形成工程（Ｓ１０３）では、図９（ｄ）に示すように、機能液滴吐出ヘッド１７によって機能液滴を吐出して区画壁部５０７ｂで囲まれた各画素領域５０７ａ内に着弾させる。この場合、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の機能液（フィルタ材料）を導入して、機能液滴の吐出を行う。なお、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００５１】
その後、乾燥処理（加熱等の処理）を経て機能液を定着させ、３色の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成する。着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂを形成したならば、保護膜形成工程（Ｓ１０４）に移り、図９（ｅ）に示すように、基板５０１、区画壁部５０７ｂ、および着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂの上面を覆うように保護膜５０９を形成する。
即ち、基板５０１の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが形成されている面全体に保護膜用塗布液が吐出された後、乾燥処理を経て保護膜５０９が形成される。
そして、保護膜５０９を形成した後、カラーフィルタ５００は、次工程の透明電極となるＩＴＯ（Indium Tin Oxide）などの膜付け工程に移行する。
【００５２】
図１０は、上記のカラーフィルタ５００を用いた液晶表示装置の一例としてのパッシブマトリックス型液晶装置（液晶装置）の概略構成を示す要部断面図である。この液晶装置５２０に、液晶駆動用ＩＣ、バックライト、支持体などの付帯要素を装着することによって、最終製品としての透過型液晶表示装置が得られる。なお、カラーフィルタ５００は図９に示したものと同一であるので、対応する部位には同一の符号を付し、その説明は省略する。
【００５３】
この液晶装置５２０は、カラーフィルタ５００、ガラス基板等からなる対向基板５２１、および、これらの間に挟持されたＳＴＮ（Super Twisted Nematic）液晶組成物からなる液晶層５２２により概略構成されており、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置している。
なお、図示していないが、対向基板５２１およびカラーフィルタ５００の外面（液晶層５２２側とは反対側の面）には偏光板がそれぞれ配設され、また対向基板５２１側に位置する偏光板の外側には、バックライトが配設されている。
【００５４】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層側）には、図１０において左右方向に長尺な短冊状の第１電極５２３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５２３のカラーフィルタ５００側とは反対側の面を覆うように第１配向膜５２４が形成されている。
一方、対向基板５２１におけるカラーフィルタ５００と対向する面には、カラーフィルタ５００の第１電極５２３と直交する方向に長尺な短冊状の第２電極５２６が所定の間隔で複数形成され、この第２電極５２６の液晶層５２２側の面を覆うように第２配向膜５２７が形成されている。これらの第１電極５２３および第２電極５２６は、ＩＴＯなどの透明導電材料により形成されている。
【００５５】
液晶層５２２内に設けられたスペーサ５２８は、液晶層５２２の厚さ（セルギャップ）を一定に保持するための部材である。また、シール材５２９は液晶層５２２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するための部材である。なお、第１電極５２３の一端部は引き回し配線５２３ａとしてシール材５２９の外側まで延在している。
そして、第１電極５２３と第２電極５２６とが交差する部分が画素であり、この画素となる部分に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００５６】
通常の製造工程では、カラーフィルタ５００に、第１電極５２３のパターニングおよび第１配向膜５２４の塗布を行ってカラーフィルタ５００側の部分を作成すると共に、これとは別に対向基板５２１に、第２電極５２６のパターニングおよび第２配向膜５２７の塗布を行って対向基板５２１側の部分を作成する。その後、対向基板５２１側の部分にスペーサ５２８およびシール材５２９を作り込み、この状態でカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる。次いで、シール材５２９の注入口から液晶層５２２を構成する液晶を注入し、注入口を閉止する。その後、両偏光板およびバックライトを積層する。
【００５７】
実施形態の液滴吐出装置１０１は、例えば上記のセルギャップを構成するスペーサ材料（機能液）を塗布すると共に、対向基板５２１側の部分にカラーフィルタ５００側の部分を貼り合わせる前に、シール材５２９で囲んだ領域に液晶（機能液）を均一に塗布することが可能である。また、上記のシール材５２９の印刷を、機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。さらに、第１・第２両配向膜５２４，５２７の塗布を機能液滴吐出ヘッド１７で行うことも可能である。
【００５８】
図１１は、本実施形態において製造したカラーフィルタ５００を用いた液晶装置の第２の例の概略構成を示す要部断面図である。
この液晶装置５３０が上記液晶装置５２０と大きく異なる点は、カラーフィルタ５００を図中下側（観測者側とは反対側）に配置した点である。
この液晶装置５３０は、カラーフィルタ５００とガラス基板等からなる対向基板５３１との間にＳＴＮ液晶からなる液晶層５３２が挟持されて概略構成されている。なお、図示していないが、対向基板５３１およびカラーフィルタ５００の外面には偏光板等がそれぞれ配設されている。
【００５９】
カラーフィルタ５００の保護膜５０９上（液晶層５３２側）には、図中奥行き方向に長尺な短冊状の第１電極５３３が所定の間隔で複数形成されており、この第１電極５３３の液晶層５３２側の面を覆うように第１配向膜５３４が形成されている。
対向基板５３１のカラーフィルタ５００と対向する面上には、カラーフィルタ５００側の第１電極５３３と直交する方向に延在する複数の短冊状の第２電極５３６が所定の間隔で形成され、この第２電極５３６の液晶層５３２側の面を覆うように第２配向膜５３７が形成されている。
【００６０】
液晶層５３２には、この液晶層５３２の厚さを一定に保持するためのスペーサ５３８と、液晶層５３２内の液晶組成物が外部へ漏出するのを防止するためのシール材５３９が設けられている。
そして、上記した液晶装置５２０と同様に、第１電極５３３と第２電極５３６との交差する部分が画素であり、この画素となる部位に、カラーフィルタ５００の着色層５０８Ｒ、５０８Ｇ、５０８Ｂが位置するように構成されている。
【００６１】
図１２は、本発明を適用したカラーフィルタ５００を用いて液晶装置を構成した第３の例を示したもので、透過型のＴＦＴ（Thin Film Transistor）型液晶装置の概略構成を示す分解斜視図である。
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００を図中上側（観測者側）に配置したものである。
【００６２】
この液晶装置５５０は、カラーフィルタ５００と、これに対向するように配置された対向基板５５１と、これらの間に挟持された図示しない液晶層と、カラーフィルタ５００の上面側（観測者側）に配置された偏光板５５５と、対向基板５５１の下面側に配設された偏光板（図示せず）とにより概略構成されている。
カラーフィルタ５００の保護膜５０９の表面（対向基板５５１側の面）には液晶駆動用の電極５５６が形成されている。この電極５５６は、ＩＴＯ等の透明導電材料からなり、後述の画素電極５６０が形成される領域全体を覆う全面電極となっている。また、この電極５５６の画素電極５６０とは反対側の面を覆った状態で配向膜５５７が設けられている。
【００６３】
対向基板５５１のカラーフィルタ５００と対向する面には絶縁層５５８が形成されており、この絶縁層５５８上には、走査線５６１および信号線５６２が互いに直交する状態で形成されている。そして、これらの走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた領域内には画素電極５６０が形成されている。なお、実際の液晶装置では、画素電極５６０上に配向膜が設けられるが、図示を省略している。
【００６４】
また、画素電極５６０の切欠部と走査線５６１と信号線５６２とに囲まれた部分には、ソース電極、ドレイン電極、半導体、およびゲート電極とを具備する薄膜トランジスタ５６３が組み込まれて構成されている。そして、走査線５６１と信号線５６２に対する信号の印加によって薄膜トランジスタ５６３をオン・オフして画素電極５６０への通電制御を行うことができるように構成されている。
【００６５】
なお、上記の各例の液晶装置５２０，５３０，５５０は、透過型の構成としたが、反射層あるいは半透過反射層を設けて、反射型の液晶装置あるいは半透過反射型の液晶装置とすることもできる。
【００６６】
次に、図１３は、有機ＥＬ装置の表示領域（以下、単に表示装置６００と称する）の要部断面図である。
【００６７】
この表示装置６００は、基板（Ｗ'）６０１上に、回路素子部６０２、発光素子部６０３および陰極６０４が積層された状態で概略構成されている。
この表示装置６００においては、発光素子部６０３から基板６０１側に発した光が、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されると共に、発光素子部６０３から基板６０１の反対側に発した光が陰極６０４により反射された後、回路素子部６０２および基板６０１を透過して観測者側に出射されるようになっている。
【００６８】
回路素子部６０２と基板６０１との間にはシリコン酸化膜からなる下地保護膜６０６が形成され、この下地保護膜６０６上（発光素子部６０３側）に多結晶シリコンからなる島状の半導体膜６０７が形成されている。この半導体膜６０７の左右の領域には、ソース領域６０７ａおよびドレイン領域６０７ｂが高濃度陽イオン打ち込みによりそれぞれ形成されている。そして陽イオンが打ち込まれない中央部がチャネル領域６０７ｃとなっている。
【００６９】
また、回路素子部６０２には、下地保護膜６０６および半導体膜６０７を覆う透明なゲート絶縁膜６０８が形成され、このゲート絶縁膜６０８上の半導体膜６０７のチャネル領域６０７ｃに対応する位置には、例えばＡｌ、Ｍｏ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｗ'等から構成されるゲート電極６０９が形成されている。このゲート電極６０９およびゲート絶縁膜６０８上には、透明な第１層間絶縁膜６１１ａと第２層間絶縁膜６１１ｂが形成されている。また、第１、第２層間絶縁膜６１１ａ、６１１ｂを貫通して、半導体膜６０７のソース領域６０７ａ、ドレイン領域６０７ｂにそれぞれ連通するコンタクトホール６１２ａ，６１２ｂが形成されている。
【００７０】
そして、第２層間絶縁膜６１１ｂ上には、ＩＴＯ等からなる透明な画素電極６１３が所定の形状にパターニングされて形成され、この画素電極６１３は、コンタクトホール６１２ａを通じてソース領域６０７ａに接続されている。
また、第１層間絶縁膜６１１ａ上には電源線６１４が配設されており、この電源線６１４は、コンタクトホール６１２ｂを通じてドレイン領域６０７ｂに接続されている。
【００７１】
このように、回路素子部６０２には、各画素電極６１３に接続された駆動用の薄膜トランジスタ６１５がそれぞれ形成されている。
【００７２】
上記発光素子部６０３は、複数の画素電極６１３上の各々に積層された機能層６１７と、各画素電極６１３および機能層６１７の間に備えられて各機能層６１７を区画するバンク部６１８とにより概略構成されている。
これら画素電極６１３、機能層６１７、および、機能層６１７上に配設された陰極６０４によって発光素子が構成されている。なお、画素電極６１３は、平面視略矩形状にパターニングされて形成されており、各画素電極６１３の間にバンク部６１８が形成されている。
【００７３】
バンク部６１８は、例えばＳｉＯ、ＳｉＯ2、ＴｉＯ2等の無機材料により形成される無機物バンク層６１８ａ（第１バンク層）と、この無機物バンク層６１８ａ上に積層され、アクリル樹脂、ポリイミド樹脂等の耐熱性、耐溶媒性に優れたレジストにより形成される断面台形状の有機物バンク層６１８ｂ（第２バンク層）とにより構成されている。このバンク部６１８の一部は、画素電極６１３の周縁部上に乗上げた状態で形成されている。
そして、各バンク部６１８の間には、画素電極６１３に対して上方に向けて次第に拡開した開口部６１９が形成されている。
【００７４】
上記機能層６１７は、開口部６１９内において画素電極６１３上に積層状態で形成された正孔注入／輸送層６１７ａと、この正孔注入／輸送層６１７ａ上に形成された発光層６１７ｂとにより構成されている。なお、この発光層６１７ｂに隣接してその他の機能を有する他の機能層をさらに形成しても良い。例えば、電子輸送層を形成することも可能である。
正孔注入／輸送層６１７ａは、画素電極６１３側から正孔を輸送して発光層６１７ｂに注入する機能を有する。この正孔注入／輸送層６１７ａは、正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物（機能液）を吐出することで形成される。正孔注入／輸送層形成材料としては、公知の材料を用いる。
【００７５】
発光層６１７ｂは、赤色（Ｒ）、緑色（Ｇ）、または青色（Ｂ）のいずれかに発光するもので、発光層形成材料（発光材料）を含む第２組成物（機能液）を吐出することで形成される。第２組成物の溶媒（非極性溶媒）としては、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な公知の材料を用いることが好ましく、このような非極性溶媒を発光層６１７ｂの第２組成物に用いることにより、正孔注入／輸送層６１７ａを再溶解させることなく発光層６１７ｂを形成することができる。
【００７６】
そして、発光層６１７ｂでは、正孔注入／輸送層６１７ａから注入された正孔と、陰極６０４から注入される電子が発光層で再結合して発光するように構成されている。
【００７７】
陰極６０４は、発光素子部６０３の全面を覆う状態で形成されており、画素電極６１３と対になって機能層６１７に電流を流す役割を果たす。なお、この陰極６０４の上部には図示しない封止部材が配置される。
【００７８】
次に、上記の表示装置６００の製造工程を図１４〜図２２を参照して説明する。
この表示装置６００は、図１４に示すように、バンク部形成工程（Ｓ１１１）、表面処理工程（Ｓ１１２）、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）、発光層形成工程（Ｓ１１４）、および対向電極形成工程（Ｓ１１５）を経て製造される。なお、製造工程は例示するものに限られるものではなく必要に応じてその他の工程が除かれる場合、また追加される場合もある。
【００７９】
まず、バンク部形成工程（Ｓ１１１）では、図１５に示すように、第２層間絶縁膜６１１ｂ上に無機物バンク層６１８ａを形成する。この無機物バンク層６１８ａは、形成位置に無機物膜を形成した後、この無機物膜をフォトリソグラフィ技術等によりパターニングすることにより形成される。このとき、無機物バンク層６１８ａの一部は画素電極６１３の周縁部と重なるように形成される。
無機物バンク層６１８ａを形成したならば、図１６に示すように、無機物バンク層６１８ａ上に有機物バンク層６１８ｂを形成する。この有機物バンク層６１８ｂも無機物バンク層６１８ａと同様にフォトリソグラフィ技術等によりパターニングして形成される。
このようにしてバンク部６１８が形成される。また、これに伴い、各バンク部６１８間には、画素電極６１３に対して上方に開口した開口部６１９が形成される。この開口部６１９は、画素領域を規定する。
【００８０】
表面処理工程（Ｓ１１２）では、親液化処理および撥液化処理が行われる。親液化処理を施す領域は、無機物バンク層６１８ａの第１積層部６１８ａａおよび画素電極６１３の電極面６１３ａであり、これらの領域は、例えば酸素を処理ガスとするプラズマ処理によって親液性に表面処理される。このプラズマ処理は、画素電極６１３であるＩＴＯの洗浄等も兼ねている。
また、撥液化処理は、有機物バンク層６１８ｂの壁面６１８ｓおよび有機物バンク層６１８ｂの上面６１８ｔに施され、例えば四フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理によって表面がフッ化処理（撥液性に処理）される。
この表面処理工程を行うことにより、機能液滴吐出ヘッド１７を用いて機能層６１７を形成する際に、機能液滴を画素領域に、より確実に着弾させることができ、また、画素領域に着弾した機能液滴が開口部６１９から溢れ出るのを防止することが可能となる。
【００８１】
そして、以上の工程を経ることにより、表示装置基体６００Ａが得られる。この表示装置基体６００Ａは、図２に示した液滴吐出装置１０１の描画用セットテーブル１２２に載置され、以下の正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）および発光層形成工程（Ｓ１１４）が行われる。
【００８２】
図１７に示すように、正孔注入／輸送層形成工程（Ｓ１１３）では、機能液滴吐出ヘッド１７から正孔注入／輸送層形成材料を含む第１組成物を画素領域である各開口部６１９内に吐出する。その後、図１８に示すように、乾燥処理および熱処理を行い、第１組成物に含まれる極性溶媒を蒸発させ、画素電極（電極面６１３ａ）６１３上に正孔注入／輸送層６１７ａを形成する。
【００８３】
次に発光層形成工程（Ｓ１１４）について説明する。この発光層形成工程では、上述したように、正孔注入／輸送層６１７ａの再溶解を防止するために、発光層形成の際に用いる第２組成物の溶媒として、正孔注入／輸送層６１７ａに対して不溶な非極性溶媒を用いる。
しかしその一方で、正孔注入／輸送層６１７ａは、非極性溶媒に対する親和性が低いため、非極性溶媒を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａ上に吐出しても、正孔注入／輸送層６１７ａと発光層６１７ｂとを密着させることができなくなるか、あるいは発光層６１７ｂを均一に塗布できない虞がある。
そこで、非極性溶媒並びに発光層形成材料に対する正孔注入／輸送層６１７ａの表面の親和性を高めるために、発光層形成の前に表面処理（表面改質処理）を行うことが好ましい。この表面処理は、発光層形成の際に用いる第２組成物の非極性溶媒と同一溶媒またはこれに類する溶媒である表面改質材を、正孔注入／輸送層６１７ａ上に塗布し、これを乾燥させることにより行う。
このような処理を施すことで、正孔注入／輸送層６１７ａの表面が非極性溶媒になじみやすくなり、この後の工程で、発光層形成材料を含む第２組成物を正孔注入／輸送層６１７ａに均一に塗布することができる。
【００８４】
そして次に、図１９に示すように、各色のうちのいずれか（図１９の例では青色（Ｂ））に対応する発光層形成材料を含有する第２組成物を機能液滴として画素領域（開口部６１９）内に所定量打ち込む。画素領域内に打ち込まれた第２組成物は、正孔注入／輸送層６１７ａ上に広がって開口部６１９内に満たされる。なお、万一、第２組成物が画素領域から外れてバンク部６１８の上面６１８ｔ上に着弾した場合でも、この上面６１８ｔは、上述したように撥液処理が施されているので、第２組成物が開口部６１９内に転がり込み易くなっている。
【００８５】
その後、乾燥工程等を行うことにより、吐出後の第２組成物を乾燥処理し、第２組成物に含まれる非極性溶媒を蒸発させ、図２０に示すように、正孔注入／輸送層６１７ａ上に発光層６１７ｂが形成される。この図の場合、青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂが形成されている。
【００８６】
同様に、機能液滴吐出ヘッド１７を用い、図２１に示すように、上記した青色（Ｂ）に対応する発光層６１７ｂの場合と同様の工程を順次行い、他の色（赤色（Ｒ）および緑色（Ｇ））に対応する発光層６１７ｂを形成する。なお、発光層６１７ｂの形成順序は、例示した順序に限られるものではなく、どのような順番で形成しても良い。例えば、発光層形成材料に応じて形成する順番を決めることも可能である。また、Ｒ・Ｇ・Ｂの３色の配列パターンとしては、ストライプ配列、モザイク配列およびデルタ配列等がある。
【００８７】
以上のようにして、画素電極６１３上に機能層６１７、即ち、正孔注入／輸送層６１７ａおよび発光層６１７ｂが形成される。そして、対向電極形成工程（Ｓ１１５）に移行する。
【００８８】
対向電極形成工程（Ｓ１１５）では、図２２に示すように、発光層６１７ｂおよび有機物バンク層６１８ｂの全面に陰極６０４（対向電極）を、例えば蒸着法、スパッタ法、ＣＶＤ法等によって形成する。この陰極６０４は、本実施形態においては、例えば、カルシウム層とアルミニウム層とが積層されて構成されている。
この陰極６０４の上部には、電極としてのＡｌ膜、Ａｇ膜や、その酸化防止のためのＳｉＯ2、ＳｉＮ等の保護層が適宜設けられる。
【００８９】
このようにして陰極６０４を形成した後、この陰極６０４の上部を封止部材により封止する封止処理や配線処理等のその他処理等を施すことにより、表示装置６００が得られる。
【００９０】
次に、図２３は、プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置：以下、単に表示装置７００と称する）の要部分解斜視図である。なお、同図では表示装置７００を、その一部を切り欠いた状態で示してある。
この表示装置７００は、互いに対向して配置された第１基板７０１、第２基板７０２、およびこれらの間に形成される放電表示部７０３を含んで概略構成される。放電表示部７０３は、複数の放電室７０５により構成されている。これらの複数の放電室７０５のうち、赤色放電室７０５Ｒ、緑色放電室７０５Ｇ、青色放電室７０５Ｂの３つの放電室７０５が組になって１つの画素を構成するように配置されている。
【００９１】
第１基板７０１の上面には所定の間隔で縞状にアドレス電極７０６が形成され、このアドレス電極７０６と第１基板７０１の上面とを覆うように誘電体層７０７が形成されている。誘電体層７０７上には、各アドレス電極７０６の間に位置し、且つ各アドレス電極７０６に沿うように隔壁７０８が立設されている。この隔壁７０８は、図示するようにアドレス電極７０６の幅方向両側に延在するものと、アドレス電極７０６と直交する方向に延設された図示しないものを含む。
そして、この隔壁７０８によって仕切られた領域が放電室７０５となっている。
【００９２】
放電室７０５内には蛍光体７０９が配置されている。蛍光体７０９は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、赤色放電室７０５Ｒの底部には赤色蛍光体７０９Ｒが、緑色放電室７０５Ｇの底部には緑色蛍光体７０９Ｇが、青色放電室７０５Ｂの底部には青色蛍光体７０９Ｂが各々配置されている。
【００９３】
第２基板７０２の図中下側の面には、上記アドレス電極７０６と直交する方向に複数の表示電極７１１が所定の間隔で縞状に形成されている。そして、これらを覆うように誘電体層７１２、およびＭｇＯなどからなる保護膜７１３が形成されている。
第１基板７０１と第２基板７０２とは、アドレス電極７０６と表示電極７１１が互いに直交する状態で対向させて貼り合わされている。なお、上記アドレス電極７０６と表示電極７１１は図示しない交流電源に接続されている。
そして、各電極７０６，７１１に通電することにより、放電表示部７０３において蛍光体７０９が励起発光し、カラー表示が可能となる。
【００９４】
本実施形態においては、上記アドレス電極７０６、表示電極７１１、および蛍光体７０９を、図２に示した液滴吐出装置１０１を用いて形成することができる。以下、第１基板７０１におけるアドレス電極７０６の形成工程を例示する。
この場合、第１基板７０１を液滴吐出装置１０１の描画用セットテーブル１２２に載置された状態で以下の工程が行われる。
まず、機能液滴吐出ヘッド１７により、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴としてアドレス電極形成領域に着弾させる。この液体材料は、導電膜配線形成用材料として、金属等の導電性微粒子を分散媒に分散したものである。この導電性微粒子としては、金、銀、銅、パラジウム、またはニッケル等を含有する金属微粒子や、導電性ポリマー等が用いられる。
【００９５】
補充対象となるすべてのアドレス電極形成領域について液体材料の補充が終了したならば、吐出後の液体材料を乾燥処理し、液体材料に含まれる分散媒を蒸発させることによりアドレス電極７０６が形成される。
【００９６】
ところで、上記においてはアドレス電極７０６の形成を例示したが、上記表示電極７１１および蛍光体７０９についても上記各工程を経ることにより形成することができる。
表示電極７１１の形成の場合、アドレス電極７０６の場合と同様に、導電膜配線形成用材料を含有する液体材料（機能液）を機能液滴として表示電極形成領域に着弾させる。
また、蛍光体７０９の形成の場合には、各色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）に対応する蛍光材料を含んだ液体材料（機能液）を機能液滴吐出ヘッド１７から液滴として吐出し、対応する色の放電室７０５内に着弾させる。
【００９７】
次に、図２４は、電子放出装置（ＦＥＤ装置あるいはＳＥＤ装置ともいう：以下、単に表示装置８００と称する）の要部断面図である。なお、同図では表示装置８００を、その一部を断面として示してある。
この表示装置８００は、互いに対向して配置された第１基板８０１、第２基板８０２、およびこれらの間に形成される電界放出表示部８０３を含んで概略構成される。電界放出表示部８０３は、マトリクス状に配置した複数の電子放出部８０５により構成されている。
【００９８】
第１基板８０１の上面には、カソード電極８０６を構成する第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂが相互に直交するように形成されている。また、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂで仕切られた部分には、ギャップ８０８を形成した導電性膜８０７が形成されている。すなわち、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７により複数の電子放出部８０５が構成されている。導電性膜８０７は、例えば酸化パラジウム（ＰｄＯ）等で構成され、またギャップ８０８は、導電性膜８０７を成膜した後、フォーミング等で形成される。
【００９９】
第２基板８０２の下面には、カソード電極８０６に対峙するアノード電極８０９が形成されている。アノード電極８０９の下面には、格子状のバンク部８１１が形成され、このバンク部８１１で囲まれた下向きの各開口部８１２に、電子放出部８０５に対応するように蛍光体８１３が配置されている。蛍光体８１３は、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）のいずれかの色の蛍光を発光するもので、各開口部８１２には、赤色蛍光体８１３Ｒ、緑色蛍光体８１３Ｇおよび青色蛍光体８１３Ｂが、上記した所定のパターンで配置されている。
【０１００】
そして、このように構成した第１基板８０１と第２基板８０２とは、微小な間隙を存して貼り合わされている。この表示装置８００では、導電性膜（ギャップ８０８）８０７を介して、陰極である第１素子電極８０６ａまたは第２素子電極８０６ｂから飛び出す電子を、陽極であるアノード電極８０９に形成した蛍光体８１３に当てて励起発光し、カラー表示が可能となる。
【０１０１】
この場合も、他の実施形態と同様に、第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂ、導電性膜８０７およびアノード電極８０９を、液滴吐出装置１０１を用いて形成することができると共に、各色の蛍光体８１３Ｒ，８１３Ｇ，８１３Ｂを、液滴吐出装置１０１を用いて形成することができる。
【０１０２】
第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７は、図２５（ａ）に示す平面形状を有しており、これらを成膜する場合には、図２５（ｂ）に示すように、予め第１素子電極８０６ａ、第２素子電極８０６ｂおよび導電性膜８０７を作り込む部分を残して、バンク部ＢＢを形成（フォトリソグラフィ法）する。次に、バンク部ＢＢにより構成された溝部分に、第１素子電極８０６ａおよび第２素子電極８０６ｂを形成（液滴吐出装置１０１によるインクジェット法）し、その溶剤を乾燥させて成膜を行った後、導電性膜８０７を形成（液滴吐出装置１０１によるインクジェット法）する。そして、導電性膜８０７を成膜後、バンク部ＢＢを取り除き（アッシング剥離処理）、上記のフォーミング処理に移行する。なお、上記の有機ＥＬ装置の場合と同様に、第１基板８０１および第２基板８０２に対する親液化処理や、バンク部８１１，ＢＢに対する撥液化処理を行うことが、好ましい。
【０１０３】
また、他の電気光学装置としては、金属配線形成、レンズ形成、レジスト形成および光拡散体形成等の装置が考えられる。上記した液滴吐出装置１０１を各種の電気光学装置（デバイス）の製造に用いることにより、各種の電気光学装置を効率的に製造することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１０４】
【図１】ヘッドユニットの裏面図である。
【図２】（ａ）は機能液滴吐出ヘッドの外観斜視図である。（ｂ）は機能液滴吐出ヘッドの裏面図である。
【図３】着弾位置検査装置の平面模式図である。
【図４】描画認識装置の側面模式図および撮像タイミングのチャートである。
【図５】アライメントマスクの上面図である。
【図６】着弾ドットに対する描画観測カメラの移動動作を示す模式図である。
【図７】液滴吐出装置の平面模式図である。
【図８】カラーフィルタ製造工程を説明するフローチャートである。
【図９】（ａ）〜（ｅ）は、製造工程順に示したカラーフィルタの模式断面図である。
【図１０】本発明を適用したカラーフィルタを用いた液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１１】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第２の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１２】本発明を適用したカラーフィルタを用いた第３の例の液晶装置の概略構成を示す要部断面図である。
【図１３】有機ＥＬ装置である表示装置の要部断面図である。
【図１４】有機ＥＬ装置である表示装置の製造工程を説明するフローチャートである。
【図１５】無機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１６】有機物バンク層の形成を説明する工程図である。
【図１７】正孔注入／輸送層を形成する過程を説明する工程図である。
【図１８】正孔注入／輸送層が形成された状態を説明する工程図である。
【図１９】青色の発光層を形成する過程を説明する工程図である。
【図２０】青色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２１】各色の発光層が形成された状態を説明する工程図である。
【図２２】陰極の形成を説明する工程図である。
【図２３】プラズマ型表示装置（ＰＤＰ装置）である表示装置の要部分解斜視図である。
【図２４】電子放出装置（ＦＥＤ装置）である表示装置の要部断面図である。
【図２５】表示装置の電子放出部廻りの平面図（ａ）およびその形成方法を示す平面図（ｂ）である。
【符号の説明】
【０１０５】
１…着弾位置検査装置  ４…画像認識装置（画像認識手段）  ５…制御装置  １１…ＸＹ移動機構  １５…ヘッドユニット  １６…描画キャリッジ（キャリッジ）  １７…機能液滴吐出ヘッド  １８…描画観測カメラ（カメラ）  ２６…ヘッドθテーブル（θテーブル）  ３８…ストロボ  ５４…ノズル列  ５５…吐出ノズル  ６５…キャリッジ認識装置（キャリッジ認識手段）  １０１…液滴吐出装置  ５０８…着色層  Ｗ'…基板（ワーク）  Ｗ…検査基板（検査用ワーク）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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