(57)【要約】 【構成】  保管設備のラックの裏面のフィルタファンユニット４，４間の溝に配線２２，２８を収容し、カバー５６で覆う。カバー５６はネジ６０で、フィルタファンユニット４を支持するための支柱１０に取り付ける。【効果】  配線がむき出しにならず美観が増し、溝に埃が溜まりにくくなる。【選択図】    図５
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ラックの背面側に複数のフィルタファンユニットを配列したクリーンルーム用の保管設備であって、
前記複数のフィルタファンユニットを、ラック背面側に突き出し、かつ隣接するフィルタファンユニット間に、フィルタファンユニットへの配線を収容する溝が形成されるように配列したことを特徴とする保管設備。
【請求項２】
配線を収容した前記の溝をカバーで塞いだことを特徴とする、請求項１の保管設備。
【請求項３】
前記カバーを、フィルタファンユニットの背面もしくは前記溝内の支柱に取り付けたことを特徴とする、請求項２の保管設備。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はクリーンルーム内で使用する保管設備に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、クリーンルーム内で使用する自動倉庫などの保管設備の、ラック背面側にフィルタファンユニットを設けることを開示している。この場合、ラックの後方にダクトが設置され、ラック内へ供給されるクリーンエアはダクトからフィルタファンユニットへ供給され、ラックの背面はダクトの壁で周囲と仕切られている。しかしながら近年、クリーンルーム全体ではなく、必要な箇所を集中的かつ局所的にクリーンにするとの考え方が受け入れられ、フィルタファンユニットの外側の仕切りは不要と考えられるようになった。するとフィルタファンユニットへの配線がむき出しになり、見栄えが悪くまたメンテナンス時などに引っ掛けて配線が外れる恐れがある。ここで配線収容用のダクトなどを設けて、フィルタファンユニットの裏面を這わせると、ダクトがフィルタファンユニットから突き出してスペースを占める。
【特許文献１】特開平６−３４５２０６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明の課題は、フィルタファンユニットへの配線をスペースを占めずかつ外れにくくすることにある。
請求項２の発明での課題は、保管設備の裏面の見栄えを良くし、また埃の溜まりやすい箇所を減らすことにある。
請求項３の発明での課題は、カバーの取付を簡単にすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
この発明は、ラックの背面側に複数のフィルタファンユニットを配列したクリーンルーム用の保管設備であって、前記複数のフィルタファンユニットを、ラック背面側に突き出し、かつ隣接するフィルタファンユニット間に、フィルタファンユニットへの配線を収容する溝が形成されるように配列したことを特徴とする。
【０００５】
好ましくは、配線を収容した前記の溝をカバーで塞ぐ。
【０００６】
特に好ましくは、前記カバーを、フィルタファンユニットの背面もしくは前記溝内の支柱に取り付ける。
【発明の効果】
【０００７】
この発明では、フィルタファンユニットへの配線が隣接するフィルタファンユニット間の溝に収められて、外側へ突き出さないので、配線を人が引っ掛けて外すなどのトラブルを減らすことができ、また余分なスペースを必要としない。
【０００８】
ここで配線を収容した溝をカバーで覆うと、配線がむき出しにならず見栄えを良くでき、また溝に埃が溜まりにくくなる。
【０００９】
カバーをフィルタファンユニットの背面や溝内の支柱に取り付けると、簡単にカバーを取り付けることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。
【実施例】
【００１１】
図１〜図５に、実施例とその変形とを示す。各図において２は保管設備で、図２に示す３はラックで、その背面側にフィルタファンユニット４が碁盤目状に配列されている。実施例の場合、フィルタファンユニット４は例えば上下に３段配置され、水平方向に複数並行に配置されている。そしてフィルタファンユニット４の列の下側に、保管設備２内の空気を外部に排気するためのファン６が配置してある。８は天井パネルで、１０はフィルタファンユニット４を支える支柱で、１２は配電盤である。
【００１２】
保管設備２はクリーンルーム内で半導体カセットや液晶基板、プラズマディスプレイ基板などを保管するために用い、ラック３の背面側の空気をフィルタファンユニット４で吸引し浄化してラック３内に吹き込む。そして保管設備２内の空気を底部のファン６で外部へ排気する。実施例では保管設備２をスタッカークレーンで物品を搬出入する自動倉庫とするが、最低限実施例のラック３を備えたもので有ればよい。
【００１３】
フィルタファンユニット４を碁盤目状に配置したので、それらの間に上下方向の縦溝１６と水平方向の横溝１８とが生じる。また天井パネル８と最上段のフィルタファンユニット４との間に横溝１９が生じ、ファン６と床面との間にも横溝２０が生じる。２２はフィルタファンユニット４への給電線で、例えば２列分で合計６台のフィルタファンユニット４に対し、給電線２２をカスケード接続して給電する。２４，２５は給電線２２を接続するコネクタである。フィルタファンユニット４からの信号線２８も例えば給電線２２と同じ溝内に収容し、給電線２２と信号線２８を配電盤１２へ接続する。ファン６には給電線２６を用いて給電し、給電線２６の接続もカスケード接続で、２７はコネクタである。
【００１４】
図１等に示すように、給電線２２，コネクタ２４，２５、信号線２８は縦溝１６に収容し、横溝１８で向きを変えて配電盤１２へ接続する。ファン６関係の給電線２６とコネクタ２７は横溝２０に収容して、配電盤１２へ接続する。これらの結果、給電線２２，２６などが溝１６〜２０内に収められ、フィルタファンユニット４の背面側から突き出してスペースを占めたり、メンテナンス時などに作業者が引っ掛けたりすることがなくなる。
【００１５】
図２に保管設備２の横方向断面を示すと、保管設備２の中央部をスタッカークレーンなどの移載装置の走行スペースとし、３４はその走行レールである。保管設備２の左右に同等のラックを設けるが、ここでは左側のラック３のみを示し、その背面側に前記のフィルタファンユニット４がある。なおこの明細書でラックや保管設備は、物品を出し入れする側を正面もしくは前面と呼び、その反対側を背面と呼ぶ。３０，３１はラック３の支柱で、３２は棚受けである。図２の場合、縦溝１６に給電線２２や信号線２８などが収容され、カバー４６で縦溝１６を塞いである。給電線２２や信号線２８などは、溝１６〜２０のいずれかに収容して外にはみ出さないようにすれば良く、縦溝１６にセットすることに限るものではない。
【００１６】
図３に配電盤１２の構成を示すと、フィルタファンユニットの６台分ごとに設けた給電線２２は、電源制御部３６からブレーカ３８を介して母線４２へ接続される。電源制御部３６は給電線２２へ供給する電源の周波数あるいは電圧を変えて、フィルタファンユニットの送気量を調節する。信号線２８は例えばフィルタファンユニットの過熱を検出するための温度信号を送信し、６本の信号線２８が平行に温度検出部４０に接続され、過熱しているフィルタファンユニットがあればそのフィルタファンユニットの位置、もしくはフィルタファンユニットのグループの位置を表示部４４に表示する。また過熱信号をコントロールルームなどへ外部出力し、フィルタファンユニットの点検などを受けられるようにする。
【００１７】
図４に縦溝１６を覆うカバー４６と横溝１８〜２０を覆うカバー４８の取付を示す。ここではフィルタファンユニット４の背面側にインサートナット５０を取り付け、ネジ５２でカバー４６，４８を取り付ける。このためネジ５２を閉めるだけで簡単にカバー４６，４８を取り付けることができる。カバー４６，４８は全ての溝１６〜２０を覆う必要はなく、少なくとも給電線２２，２６，信号線２８を収容した溝を覆えばよい。なおこの点は、図５の変形例でも同様である。
【００１８】
図５にカバーの取付の変形例を示す。５６は新たなカバーで、フィルタファンユニット４はネジ５４で支柱１０に取り付けてある。カバー５６の両側の突片５７は、溝１６などとフィルタファンユニット４の側面との隙間を塞ぐもので、無くても良く、カバー５６の中央の突片５８から例えばネジ６０で支柱１０にカバー５６を取り付ける。このようにすると、カバー５６を溝１６に填め込み、ネジ６０などで簡単に支柱１０に取り付けることができる。なおカバー５６は溝１６〜２０内の部材であれば、支柱１０以外のものでも支持できる。さらに図５では縦溝１６へのカバー５６の取付を示したが、横溝１８〜２０に対しても同様である。
【００１９】
実施例では以下の効果が得られる。
(1)  給電線２２，２６，信号線２８などをフィルタファンユニット間の溝１６〜２０に収めることができる。
(2)  溝１６〜２０をカバー４６，４８，５６などで覆うので、見栄えが良くなり、かつ配線を引っ掛けて外すなどのことが無くなる。
(3)  クリーンルームの気流が及びにくい溝１６〜２０をカバー４６等で覆うので、埃が溜まりにくくなる。特に溝１６〜２０内の配線に埃が付着することを防止できる。
(4)  カバー４６，４８，５６等はネジ５２，６０などで簡単に取り付けることができる。
(5)  フィルタファンユニット４の背面よりも配線などが外側に突き出さないので、省スペースである。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】実施例の保管設備を背面側の配線カバーを外して示す要部背面図
【図２】実施例の保管設備の鉛直方向要部断面図
【図３】実施例で用いた配電盤を模式的に示す図
【図４】実施例でのフィルタファンユニットへの配線カバーの取付を示す図
【図５】実施例での支柱への配線カバーの取付を示す図
【符号の説明】
【００２１】
２          保管設備
３          ラック
４          フィルタファンユニット
６          ファン
８          天井パネル
１０        支柱
１２        配電盤
１６        縦溝
１８〜２０  横溝
２２，２６  給電線
２４，２５，２７  コネクタ
２８        信号線
３０，３１  支柱
３２        棚受け
３４        走行レール
３６        電源制御部
３８        ブレーカ
４０        温度検出部
４２        母線
４４        表示部
４６，４８  カバー
５０        インサートナット
５２，５４  ネジ
５６        カバー
５７，５８  突片
６０        ネジ
６２        突片
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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