(57)【要約】【課題】フォトマスク製造用装置において、アライナーを設けずにマスクホルダーの位置と、アーム上のフォトマスク基板の位置合わせを行うマスクホルダーを提供する。【解決手段】枠部、基板保持部、位置補正スライダーを具備するマスクホルダーにて、位置補正スライダーは、スライダー部と駆動部で構成され、スライダー部は、枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で、揺動で傾斜度を変更することが可能で、傾斜度を高めると下端部は枠部の内側端部に達し、フォトマスク基板が載置された際には、傾斜度を高めながらフォトマスク基板の端部をスライドさせ、降下させつつ、フォトマスク基板の位置ずれを補正し、正確に基板保持部へ誘導してフォトマスク基板を保持させる。【選択図】図６
2007072055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも枠部、基板保持部、位置補正スライダーを具備するマスクホルダーにおいて、
１）前記位置補正スライダーは、スライダー部と駆動部で構成され、前記枠部の上面に設けられており、
２）前記スライダー部は、
ａ）その上面が枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で設けられ、
ｂ）その上端部に有する、枠部の長手方向と平行な軸を回転軸とした揺動により、その傾斜度を変更することが可能であり、
ｃ）その傾斜度を高めることにより、その上面の下端部は枠部の上面の内側端部に達することができ、
３）前記駆動部は、
ａ）スライダー部の前記軸の延長上の軸部分によってスライダー部を保持しており、
ｂ）スライダー部の前記上面にフォトマスク基板が載置された際には、その載置を感知し、前記上面の傾斜度を高めるようにスライダー部を揺動することが可能であり、
４）前記スライダー部の上面にフォトマスク基板が載置された際には、
ａ）スライダー部は、その上面でフォトマスク基板の端部を一旦支持し、
ｂ）その傾斜度を高めながらフォトマスク基板の端部を上面でスライドさせ、フォトマスク基板を水平状態で下方へ降下させつつ、
ｃ）前記上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれを補正し、正確に前記基板保持部へ誘導してフォトマスク基板を基板保持部に保持させることが可能であることを特徴とするマスクホルダー。
【請求項２】
前記スライダー部は、
ａ）その上面が枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で設けられ、
ｂ）その略中央部に有する、枠部の長手方向と平行な軸を回転軸とした揺動により、その傾斜度を変更することが可能であり、
ｃ）その傾斜度を高めることにより、その上面の下端部は枠部の上面の内側端部に達することができることを特徴とする請求項１記載のマスクホルダー。
【請求項３】
請求項１又は請求項２記載のマスクホルダーを搭載したことを特徴とするフォトマスク製造用装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、フォトマスク製造用装置に設けられているマスクホルダーに関するものであり、特に、マスクホルダー内の基板保持部に、フォトマスク基板を正確に誘導することが可能なマスクホルダーに関する。
【背景技術】
【０００２】
フォトマスクの製造工程にて使用される現像処理装置、洗浄装置などのフォトマスク製造用装置においては、製造工程の途中のフォトマスク基板をフォトマスク製造用装置内のステージ（マスクホルダー）へ搬送する際、例えば、フォトマスク基板の落下などの搬送時のトラブルを防止するために、アライナーと呼ばれる位置補正機構で位置の補正を行ってから装置内のマスクホルダーへ搬送するようにしている。
【０００３】
図１は、事例としての現像処理装置における、フォトマスク基板を搬送する一例の概略を説明する平面図である。図１には、現像処理カップ（３０）、搬送ロボット（５０）、アライナー（７０）、及びフォトマスク基板（１）が示されている。これらは現像処理装置に内蔵されている。
【０００４】
現像処理カップ（３０）は、マスクホルダー（１０）を一体的に備えており、マスクホルダー（１０）にフォトマスク基板（１）を載置した状態で現像処理を行う。
マスクホルダー（１０）は、昇降自在となっており、フォトマスク基板（１）を載置或いは搬出する際には現像処理カップ（３０）よりも上方にまで上昇する。
また、現像処理の際には現像処理カップ（３０）内にて、Ｚ軸（図１において、マスクホルダー（１０）の中心部の紙面と垂直な方向）を回転軸とした回転を行うようになっている。現像処理カップ（３０）は現像液の飛散を防ぐものであり、下部には排出口が設けられている。
【０００５】
図２（ａ）、（ｂ）は、マスクホルダー（１０）の一例を拡大して説明する平面図、及びＡ−Ａ線での断面図である。図２（ａ）、（ｂ）に示すように、この一例のマスクホルダー（１０）は、枠部（１１）、枠部の四隅に枠部よりＺ方向に突出している頭部（１３）、及び枠部の四隅の内側に設けられた基板保持部（１２）で構成されている。フォトマスク基板（１）は基板保持部（１２）上に載置される。
【０００６】
搬送ロボット（５０）は、少なくとも４自由度を有するアームを備えた、例えば、スカラ型ロボットであり、フォトマスク基板（１）を、例えば、ＳＭＩＦ（Ｓｔａｎｄａｒｄ
Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ  Ｉｎｔｅｒｆａｃｅ）−Ｐｏｄ（標準機械的インターフェイス機構の統一規格のマスク用ボックス）（図示せず）から取り出してアライナー（７０）へ搬送、アライナー（７０）から搬出して現像処理カップ（３０）内のマスクホルダー（１０）へ載置、マスクホルダー（１０）からの搬出などを行う。
【０００７】
アライナー（７０）は、ＳＭＩＦ−Ｐｏｄから取り出したアーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置を補正する位置補正機構である。フォトマスク基板（１）を載置するマスクホルダー（１０）の位置と、アライナー（７０）の位置は、予め正確に調整されている。
【０００８】
図１に示すように、搬送ロボット（５０）は、ＳＭＩＦ−Ｐｏｄから取り出したアーム（５１）上のフォトマスク基板（１）を一旦アライナー（７０）へ搬送し載置する。アライナー（７０）は、載置されたフォトマスク基板（１）の位置を補正する。
搬送ロボット（５０）は、位置の補正が施されたフォトマスク基板（１）をアライナー（７０）から搬出し、現像処理カップ（３０）内のマスクホルダー（１０）へ載置する。
【０００９】
すなわち、ＳＭＩＦ−Ｐｏｄから取り出したアーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置は、マスクホルダー（１０）の位置に対して必ずしも正しいものではないので、マスクホルダー（１０）へ載置する前に、マスクホルダー（１０）の位置と、アーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置合わせを行うようにしている。
【００１０】
しかしながら、上記のように、装置内にアライナー（７０）を設けると、装置のフットプリント（据付け面積）が大きくなってしまう。特に、高クリーン度などの理由で単位面積あたりの建設コストは高い場合には、装置のフットプリント（据付け面積）が増大することにより、フォトマスクの製造コストの増大につながってしまうといった問題がある。
【特許文献１】実開昭６０−８８３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、フォトマスク製造用装置において、アライナーを設けずに、マスクホルダー（１０）の位置と、アーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置合わせを行うことが可能な、すなわち、フォトマスク基板（１）を保持するマスクホルダー（１０）内の基板保持部に、フォトマスク基板（１）を正確に誘導することが可能なマスクホルダーを提供することを課題とするものである。
また、本発明は、上記マスクホルダーを搭載したフォトマスク製造用装置を提供することを課題とする。
【００１２】
これにより、装置のフットプリント（据付け面積）を増大することなく、マスクホルダー（１０）の位置とフォトマスク基板（１）の位置合わせが可能なフォトマスク製造用装置が得られるので、フォトマスクを廉価に製造することができるものとなる。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明は、少なくとも枠部、基板保持部、位置補正スライダーを具備するマスクホルダーにおいて、
１）前記位置補正スライダーは、スライダー部と駆動部で構成され、前記枠部の上面に設けられており、
２）前記スライダー部は、
ａ）その上面が枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で設けられ、
ｂ）その上端部に有する、枠部の長手方向と平行な軸を回転軸とした揺動により、その傾斜度を変更することが可能であり、
ｃ）その傾斜度を高めることにより、その上面の下端部は枠部の上面の内側端部に達することができ、
３）前記駆動部は、
ａ）スライダー部の前記軸の延長上の軸部分によってスライダー部を保持しており、
ｂ）スライダー部の前記上面にフォトマスク基板が載置された際には、その載置を感知し、前記上面の傾斜度を高めるようにスライダー部を揺動することが可能であり、
４）前記スライダー部の上面にフォトマスク基板が載置された際には、
ａ）スライダー部は、その上面でフォトマスク基板の端部を一旦支持し、
ｂ）その傾斜度を高めながらフォトマスク基板の端部を上面でスライドさせ、フォトマスク基板を水平状態で下方へ降下させつつ、
ｃ）前記上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれを補
正し、正確に前記基板保持部へ誘導してフォトマスク基板を基板保持部に保持させることが可能であることを特徴とするマスクホルダーである。
【００１４】
また、本発明は、上記発明によるマスクホルダーにおいて、前記スライダー部は、
ａ）その上面が枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で設けられ、
ｂ）その略中央部に有する、枠部の長手方向と平行な軸を回転軸とした揺動により、その傾斜度を変更することが可能であり、
ｃ）その傾斜度を高めることにより、その上面の下端部は枠部の上面の内側端部に達することができることを特徴とするマスクホルダーである。
【００１５】
また、本発明は、請求項１又は請求項２記載のマスクホルダーを搭載したことを特徴とするフォトマスク製造用装置である。
【発明の効果】
【００１６】
本発明における位置補正スライダーは、スライダー部と駆動部で構成され、枠部の上面に設けられており、
前記スライダー部は、ａ）その上面が枠部の上方からマスクホルダーの中央部に向かって下り傾斜で設けられ、ｂ）その上端部に有する、枠部の長手方向と平行な軸を回転軸とした揺動により、その傾斜度を変更することが可能であり、ｃ）その傾斜度を高めることにより、その上面の下端部は枠部の上面の内側端部に達することができ、前記駆動部は、ａ）スライダー部の前記軸の延長上の軸部分によってスライダー部を保持しており、ｂ）スライダー部の前記上面にフォトマスク基板が載置された際には、その載置を感知し、前記上面の傾斜度を高めるようにスライダー部を揺動することが可能であり、
前記スライダー部の上面にフォトマスク基板が載置された際には、ａ）スライダー部は、その上面でフォトマスク基板の端部を一旦支持し、ｂ）その傾斜度を高めながらフォトマスク基板の端部を上面でスライドさせ、フォトマスク基板を水平状態で下方へ降下させつつ、ｃ）前記上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれを補正し、正確に前記基板保持部へ誘導してフォトマスク基板を基板保持部に保持させることが可能であるので、
フォトマスク製造用装置において、アライナーを設けずに、マスクホルダーの位置と、アーム上のフォトマスク基板の位置合わせを行うことが可能なマスクホルダーとなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図３（ａ）、（ｂ）は、本発明によるマスクホルダー（２０）の一実施例を説明する平面図、及びＡ−Ａ線での断面図である。図３（ａ）、（ｂ）に示すように、この一実施例のマスクホルダー（２０）は、枠部（２１）、基板保持部（２２）、及び位置補正スライダー（２５）で構成されている。
【００１８】
基板保持部（２２）は枠部（２１）の四隅の内側に設けられている。この一実施例では、位置補正スライダー（２５）は枠部（２１）の四隅の枠部の上面に各２個設けられており、スライダー部（２３）と駆動部（２４）で構成されている。フォトマスク基板（１）は最終的に基板保持部（２２）上に載置される。
【００１９】
図４は、図３（ａ）に示すマスクホルダー（２０）の一隅を拡大した平面図であり、図５は、側断面図である。図４及び図５に示すように、スライダー部（２３）は、その上面が枠部（２１）の上方からマスクホルダーの中央部（Ｃ）に向かって下り傾斜で設けられている。スライダー部（２３）の上端部には、枠部（２１）の長手方向と平行な軸（２６）を有しており、この軸（２６）は駆動部（２４）に連結されている。
【００２０】
この軸（２６）を回転軸とした揺動（白太矢印）をすることにより、その傾斜度（θ）を変更することが可能となっている。また、揺動によって、その傾斜度を高め、その上面の下端部（２３Ｋ）は枠部の上面の内側端部（２１Ｅ）に達するようになっている。
スライダー部（２３）は、軸（２６）を介して駆動部（２４）に保持されている。このスライダー部（２３）の揺動は、駆動部（２４）によって行われる。
【００２１】
また、駆動部（２４）は、スライダー部（２３）の上端部に有る軸（２６）の延長上の軸部分（２６Ｅ）によってスライダー部（２３）を保持している。スライダー部（２３）の上面にフォトマスク基板（１）が載置された際には、駆動部（２４）は、例えば、軸部分（２６Ｅ）における回転トルクの変動によりフォトマスク基板（１）の載置を感知するようになっている。
また、例えば、軸部分（２６Ｅ）に白太矢印の方向の回転を与えることにより、上面の傾斜度（θ）を高めるようにスライダー部（２３）を揺動することが可能となっている。
【００２２】
図６（ａ）、（ｂ）は、スライダー部（２３）の上面にフォトマスク基板（１）が載置された際に、フォトマスク基板（１）をマスクホルダー（２０）の基板保持部（２２）上に、位置合わせして載置する動作の説明図である。
図６（ａ）は、スライダー部（２３）の上面にフォトマスク基板（１）が載置された直後の状態を表したものである。
スライダー部（２３）は、傾斜度（θ1 ）に保たれた状態であり、その上面でフォトマスク基板（１）の端部（１Ｅ）を支持している。
【００２３】
駆動部（２４）がフォトマスク基板（１）の載置を感知すると、駆動部（２４）は軸部分（２６Ｅ）に回転を与え、白太矢印で示すように、スライダー部（２３）を揺動させスライダー部（２３）の上面の傾斜度を次第に高める。
傾斜度が高まるにつれ、フォトマスク基板（１）の端部（１Ｅ）は、スライダー部（２３）の上面を下方へスライドし水平な状態で降下を始める。
このスライドによる降下の間に、先に、上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれは補正され、スライダー部（２３）は正確にフォトマスク基板（１）を基板保持部（２２）へ誘導して基板保持部上に保持させる。
【００２４】
図６（ｂ）は、スライダー部（２３）の揺動によって、傾斜度が高まり符号（θ2 ）で示す傾斜度にて、下端部（２３Ｋ）が枠部の上面の内側端部（２１Ｅ）に達した状態を表している。
図６（ｂ）に示すように、スライド降下の間に位置ずれが補正されたフォトマスク基板（１）は、基板保持部（２２）へ正確に誘導され基板保持部上に保持される。
【００２５】
前記図１及び図２に示すマスクホルダー（１０）においては、マスクホルダー（１０）の位置、正確にはマスクホルダー（１０）の基板保持部（１２）の位置と、アーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置合わせをアライナー（７０）によって行うものであるが、本発明によるマスクホルダー（２０）においては、マスクホルダー（２０）の位置、正確にはマスクホルダー（２０）の基板保持部（２２）の位置と、アーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置合わせを位置補正スライダー（２５）において行うものである。
すなわち、本発明によるマスクホルダー（２０）は、アライナー（７０）の位置合わせ機能を有したものとなっている。
【００２６】
図７は、本発明によるマスクホルダー（２０）を搭載した現像処理装置における、フォトマスク基板を搬送する一例の概略を説明する平面図である。図７には、現像処理カップ
（３０’）、搬送ロボット（５０）、及びフォトマスク基板（１）が示されている。アライナー（７０）は不要なものとなっている。
従って、図７に示すように、搬送ロボット（５０）は、ＳＭＩＦ−Ｐｏｄから取り出したアーム（５１）上のフォトマスク基板（１）を位置補正をすることなく、直接に現像処理カップ（３０’）のマスクホルダー（２０）へ載置する。
【００２７】
すなわち、ＳＭＩＦ−Ｐｏｄから取り出したアーム（５１）上のフォトマスク基板（１）の位置は、マスクホルダー（２０）の位置に対して必ずしも正しいものではなが、マスクホルダー（２０）に設けられた位置補正スライダー（２５）によって位置合わせが行われることとなる。
【００２８】
また、図８（ａ）、（ｂ）は、請求項２に関わる発明におけるスライダー部（４３）の側断面図である。図８に示すように、スライダー部（４３）は、その上面が枠部（２１）の上方からマスクホルダーの中央部（Ｃ）に向かって下り傾斜で設けられている。スライダー部（２３）の略中央部には、枠部（２１）の長手方向と平行な軸（２６）を有しており、この軸（２６）は駆動部（２４）に連結されている。
【００２９】
前記図６（ａ）、（ｂ）と同様に、図８（ａ）は、スライダー部（４３）の上面にフォトマスク基板（１）が載置された直後の状態を表したものである。
スライダー部（４３）は、傾斜度（θ1 ）に保たれた状態であり、その上面でフォトマスク基板（１）の端部（１Ｅ）を支持している。
【００３０】
駆動部（２４）がフォトマスク基板（１）の載置を感知すると、駆動部（２４）は軸部分（２６Ｅ）に回転を与え、白太矢印で示すように、スライダー部（４３）を揺動させスライダー部（２３）の上面の傾斜度を次第に高める。
傾斜度が高まるにつれ、フォトマスク基板（１）の端部（１Ｅ）は、スライダー部（４３）の上面を下方へスライドし水平な状態で降下を始める。
このスライド降下の間に、先に、上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれは補正され、スライダー部（４３）は正確にフォトマスク基板（１）を基板保持部（２２）へ誘導して基板保持部上に保持させる。
【００３１】
図８（ｂ）は、スライダー部（４３）の揺動によって、傾斜度が高まり符号（θ3 ）で示す傾斜度にて、下端部（２３Ｋ）が枠部の上面の内側端部（２１Ｅ）に達した状態を表している。
図８（ｂ）に示すように、スライド降下の間に位置ずれが補正されたフォトマスク基板（１）は、基板保持部（２２）へ正確に誘導され基板保持部上に保持される。
【００３２】
本発明における傾斜度（θ3 ）と前記傾斜度（θ2 ）との関係は、θ3 ＞θ2 の関係にあり、θ3 は略９０°になる。このようなスライダー部（４３）を備えることにより、前記スライダー部の上面にフォトマスク基板が載置された際には、ａ）スライダー部は、その上面でフォトマスク基板の端部を一旦支持し、ｂ）その傾斜度を高めながらフォトマスク基板の端部を上面でスライドさせ、フォトマスク基板を水平状態で下方へ降下させつつ、ｃ）前記上面にフォトマスク基板が載置された際のフォトマスク基板の位置ずれを補正し、正確に前記基板保持部へ誘導してフォトマスク基板を基板保持部に保持させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】事例としての現像処理装置における、フォトマスク基板を搬送する一例の概略を説明する平面図である。
【図２】（ａ）は、マスクホルダーの一例を拡大して説明する平面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明によるマスクホルダーの一実施例を説明する平面図である。（ｂ）は、（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。
【図４】図３（ａ）に示すマスクホルダーの一隅を拡大した平面図である。
【図５】図３（ａ）に示すマスクホルダーの一隅を拡大した側断面図である。
【図６】（ａ）、（ｂ）は、スライダー部の上面にフォトマスク基板が載置された際に、フォトマスク基板をマスクホルダーの基板保持部に、位置合わせして載置する動作の説明図である。
【図７】本発明によるマスクホルダーを搭載した現像処理装置における、フォトマスク基板を搬送する一例の概略を説明する平面図である。
【図８】（ａ）、（ｂ）は、請求項２に関わる発明におけるスライダー部であり、その上面にフォトマスク基板が載置された際に、フォトマスク基板をマスクホルダーの基板保持部に、位置合わせして載置する動作を説明する側断面図である。
【符号の説明】
【００３４】
１・・・フォトマスク基板
１Ｅ・・・フォトマスク基板の端部
１０・・・マスクホルダー
１１、２１・・・枠部
１２、２２・・・基板保持部
１３・・・頭部
２０・・・本発明によるマスクホルダー
２１Ｅ・・・枠部の上面の内側端部
２３、４３・・・スライダー部
２３Ｋ・・・下端部
２４・・・駆動部
２５・・・位置補正スライダー
２６・・・軸
２６Ｅ・・・軸の延長上の軸部分
３０、３０’・・・現像処理カップ
５０・・・搬送ロボット
５１・・・アーム
７０・・・アライナー
Ｃ・・・マスクホルダーの中央部
θ・・・傾斜度
θ1 ・・・フォトマスク基板が載置された傾斜度
θ2 、θ3 ・・・フォトマスク基板を降下させた傾斜度
【図１】
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【図２】
2007072055.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007072055.tif 000009
【図８】
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