(57)【要約】【課題】ガス容器に充填した液化ガスを気化させながら供給する際に、気化熱によりガス容器の温度が低下して容器外面に結露が発生することを防止するとともに、部品点数の増加を抑えて低コスト化と省スペース化とを図ることのできるガス容器の載置台を提供することを目的としている。【解決手段】液化ガスが充填されているガス容器２０を支持するガス容器載置部１１の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファン１２を設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路１４を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設ける。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液化ガスが充填されているガス容器を載置するガス容器の載置台において、前記ガス容器を支持するガス容器載置部の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファンを設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設けたことを特徴とするガス容器の載置台。
【請求項２】
前記ガス容器載置部は、前記送風ファンが設けられた中央開口部と、該中央開口部の外側に設けられ、前記ガス容器の底面よりも大径の凹状部と、該凹状部の底面から鉛直方向に突出し、前記ガス容器の底面を支持する複数の放射状リブとを備え、該複数の放射状リブ間に前記排気路が形成されていることを特徴とする請求項１記載のガス容器の載置台。
【請求項３】
前記ガス容器載置部の上面に、前記排気路から排出されたガスをガス容器の外周面に沿って上昇させる排気ガイドを設けたことを特徴とする請求項１又は２記載のガス容器の載置台。
【請求項４】
前記吸気路にガス加熱手段を設けたことを特徴とする請求項１乃至３いずれか１項記載のガス容器の載置台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガス容器の載置台に係り、詳しくは、充填されている液化ガスを気化させて供給するガス容器を載置するための載置台に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体製造分野等で使用されているＷＦ６，ＣｌＦ３，ＢＣｌ３，ＳｉＨ２Ｃｌ２，ＣＯ２，ＳＦ６，Ｎ２Ｏのようなガスは、通常、ガスシリンダやガスボンベ等の可搬式のガス容器内に液化ガスとして充填貯留されており、それをガス容器内で蒸発させながら気化ガスとしてガス消費先に供給されている。このようにガス容器内の液化ガスを気化させながら供給する場合、気化熱によって容器温度が低下し、容器外面に結露が発生することがあった。発生した結露を放置しておくと、容器外面を流れ落ちて載置台や床面を汚染するだけでなく、載置台に設けられているロードセルの故障の原因ともなる。このため、結露が発生したときには人手によって拭き取るようにしているが、手間が掛かるとともにガスの供給に支障を来すこともあった。
【０００３】
一方、ガス容器の底面に向けて熱媒体、例えば加熱空気を噴出することにより、ガス容器内の液化ガスを加熱して安定した状態で液化ガスの気化を行えるようにしたガス容器の載置台が知られている（例えば、特許文献１参照。）。
【特許文献１】特開平２００３−２２７５９７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
載置台から加熱空気を噴出することにより、容器外面の結露は防止できるが、上述のものでは、シリンダーキャビネットの外部に設置した加熱装置から載置台に加熱空気を送る配管が必要となり、部品点数が増加してコストが嵩み、また、加熱装置を設置するためのスペースも必要となっていた。
【０００５】
そこで本発明は、ガス容器に充填した液化ガスを気化させながら供給する際に、気化熱によりガス容器の温度が低下して容器外面に結露が発生することを防止するとともに、部品点数の増加を抑えて低コスト化と省スペース化とを図ることのできるガス容器の載置台を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するため、本発明のガス容器の載置台は、液化ガスが充填されているガス容器を載置するガス容器の載置台において、前記ガス容器を支持するガス容器載置部の中央部に、前記ガス容器の底面に向けて送風する送風ファンを設け、該送風ファンの下方に、載置台外部に連通する吸気路を設けるとともに、ガス容器載置部の上面とガス容器の底面との間に、前記送風ファンからガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を設けたことを特徴としている。
【０００７】
前記ガス容器載置部は、前記送風ファンが設けられた中央開口部と、該中央開口部の外側に設けられ、前記ガス容器の底面よりも大径の凹状部と、該凹状部の底面から鉛直方向に突出し、前記ガス容器の底面を支持する複数の放射状リブとを備え、該複数の放射状リブ間に前記排気路が形成されていることを特徴としている。
【０００８】
前記ガス容器載置部の上面に、前記排気路から排出されたガスをガス容器の外周面に沿って上昇させる排気ガイドを設けたことを特徴とし、さらに、前記吸気路にガス加熱手段を設けたことを特徴としている。
【発明の効果】
【０００９】
本発明のガス容器の載置台によれば、送風ファンによってガス容器の底面に送風することにより、ガス容器外面の温度低下を抑制して結露の発生を防止できる。特に、載置台内に送風ファンを一体に組み込んだので、部品点数を削減でき、外部配管も不要となり、コストの低減を図ることができる。また、排気ガイドを設けることによってガス容器外面全体に送風することができ、ガス容器外面の結露をより確実に防止できる。さらに、吸気路にガス加熱手段を設けることにより、ガス容器外面の温度低下をより効果的に抑制できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１及び図２は本発明のガス容器の載置台の一形態例を示すもので、図１は載置台の正面図、図２は載置台の斜視図である。このガス容器の載置台１０は、ガス容器を載置するガス容器載置部１１と、該ガス容器載置部１１の中央部に設けられた送風ファン１２と、該送風ファン１２の下方に設けられた通気路１３と、ガス容器載置部１１の上面に開口して前記通気路１３に連通する吸気口１４と、ガス容器載置部１１の上面に設けられた凹状部１５とを備えている。
【００１１】
ガス容器載置部１１は、長方形状の上板１１ａの一側に前記吸気口１４を設けるとともに、上板１１ａの中央部に前記凹状部１５を設けたものであって、凹状部１５は、上板１１ａに平行な仕切板１１ｂと、同心円上に配設された内周板１１ｃ及び外周板１１ｄとに囲まれたリングに形成されている。内周板１１ｃの直径はガス容器の底面よりも小径に形成され、外周板１１ｄの直径はガス容器の底面よりも大径に形成されている。また、凹状部１５内には内周板１１ｃから外周板１１ｄに向けて放射状に延設される複数の放射状リブ１６が上板１１ａと同じ高さに突設されている。
【００１２】
内周板１１ｃに囲まれたガス容器載置部１１の中央部分には、前記仕切板１１ｂの下方に設けられた前記通気路１３に連通する中央開口部１７が形成されており、この中央開口部１７内に前記送風ファン１２が装着されている。また、ガス容器載置部１１の下部には、該ガス容器載置部１１の外周部分を支持するように、ガス容器の重量を測定するためのロードセル１８が設けられている。
【００１３】
このように形成した載置台１０は、ガス容器をガス容器載置部１１に載置して送風ファン１２を作動させると、吸気口１４から通気路１３に吸い込まれた載置台外部のガス（空気）が中央開口部１７を通り、ガス容器の底面に向けて送風される。送風ファン１２からガス容器の底面に向けて送風されたガスは、前記凹状部１５の放射状リブ１６間に形成された空間からなる排気路を通ってガス容器の外周側に排出される。
【００１４】
これにより、ガス容器に充填されている液化ガスを気化させながらガス消費先に供給する際に、気化熱によって容器温度が低下することがあっても、このガス容器の温度低下を極力抑制し、ガス容器に結露が発生することを防止できる。また、送風ファン１２を載置台１０に内蔵させていることから、送風ファン１２と載置台１０とを繋ぐ配管が不要となるので部品点数の増加を抑制し、コストの低減を図ることができるとともに、載置台外部に送風機や加熱装置を設ける必要もないので、省スペース化を図ることもできる。また、配管を介して送風する場合に比べて圧力損失を小さくできるので、小型の送風ファンを使用することができる。
【００１５】
なお、本形態例では、送風ファン１２からガス容器の底面に向けて送風されたガスをガス容器の外周側に排出する排気路を、凹状部１５内の放射状リブ１６間に形成された流路断面積の大きな空間としたが、ガス容器載置部１１の上面とガス容器の底面との間にガスが流通可能な空間を設ければ排気路として利用することができる。例えば、ガス容器載置部１１の上面に凹凸、例えば放射状の溝を設けてもよく、放射状リブ１６を設けずに凹状部１５の上部開口を多孔板やスリットを有する蓋状部材、あるいは、グレーチング等で覆うようにしてもよい。また、通気路１３及び吸気口１４の形状は任意であり、吸気口１４を複数箇所に設けたり、載置台１０の側面や底面のロードセル１８間に設けこともできる。
【００１６】
図３は、本発明の他の形態例を示す要部断面正面図である。なお、以下の説明において、前記形態例と同様の構成部分には同一の番号を付してその詳細な説明は省略する。本形態例の載置台１０は、ガス容器載置部１１の上面で、凹状部１５の外周側に、ガス容器２０の周囲を覆う排気ガイド１９を設置している。排気ガイド１９は、ガス容器２０の出し入れを考慮して半割状の筒体を組み合わせたもので、ガス容器２０の外周面２０ａとの間にガスが流通可能な隙間ができるように形成され、送風ファン１２によってガス容器底面側に供給されたガスを、排気路となっている凹状部１５の外周からガス容器２０と排気ガイド１９との間を、ガス容器の外周面に沿って上昇させるようにしている。
【００１７】
これにより、送風ファン１２によって送風されたガスを、ガス容器２０の底面からガス容器外面全体に送風することができ、気化熱によるガス容器２０の温度低下を効果的に抑制し、ガス容器２０に結露が発生することを有効に防止することができる。なお、この場合、吸気口１４が排気ガイド１９の外側に位置するように排気ガイド１９の径を設定することが好ましい。
【００１８】
また、前記通気路１３にヒーターや熱交換機等のガス加熱手段を設ければ、送風ファン１２によって温風を供給することができ、ガス容器２０に結露が発生することをより確実に防止することができる。
【００１９】
図４は、前記排気ガイド１９を設けた本発明の載置台１０をシリンダーキャビネット３０の底部に配置した一形態例を示す一部断面正面図である。このシリンダーキャビネット３０は、天井部に排気装置３１が設けられるとともに、側壁下部に通気口３２が設けられ、キャビネット３０内のガスを排気装置３１から常時排気して図示しない除害装置を介して外部に排出している。このような排気装置３１を有するシリンダーキャビネット３０では、排気装置３１によってキャビネット内が常に負圧状態に保持され、ガス容器２０内の有害ガスが漏れ出した場合でも、有害ガスがシリンダーキャビネット３０を設置した室内に流出しないようにしている。
【００２０】
したがって、前述の特許文献１に記載されたような載置台では、キャビネット内に外部からの加熱空気が導入されるため、排気装置３１の排気能力を、キャビネット内への加熱空気の導入量を考慮して増大させる必要があり、さらに、排気系統の配管系、除害装置等も風量の増加に対応させなければならず、大幅なコストアップが避けられない。
【００２１】
一方、本発明の載置台１０は、載置台上面に設けた吸気口１３からキャビネット内のガス（空気）を吸い込んで中央開口部１６から吹き出す循環方式となっているため、通常の排気装置３１をそのまま使用することができ、僅かなコストで結露防止を図ることができる。なお、本形態例において、排気ガイド１９は省略することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１形態例を示すガス容器の載置台の正面図である。
【図２】同じく斜視図である。
【図３】本発明の第２形態例を示すガス容器の載置台の要部断面正面図である。
【図４】排気ガイドを設けた本発明の載置台をシリンダーキャビネットの底面に配置した一形態例を示す一部断面正面図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０…載置台、１１…ガス容器載置部、１１ａ…上板、１１ｂ…仕切板、１１ｃ…内周板、１１ｄ…外周板、１２…送風ファン、１３…通気路、１４…吸気口、１５…凹状部、１６…放射状リブ、１７…中央開口部、１８…ロードセル、１９…排気ガイド、２０…ガス容器、２０ａ…外周面、３０…シリンダーキャビネット
【図１】
2007321775.tif 000003
【図２】
2007321775.tif 000004
【図３】
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【図４】
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