(57)【要約】【課題】多様な形状の被塗布物を良好に保持して好適な塗膜を形成可能なスピンコート用保持具を提供する。【解決手段】スピンコート用保持具２は、フレーム２１と、このフレーム２１の内周面２１Ａに固定された板ばね部材２２と、板ばね部材２２に一連に設けられレンズＬを保持する保持部２３とを備えている。これにより、保持部２３は多様な形状のレンズＬを保持でき、レンズＬの保持位置を適宜調整して塗れ残りなどの外観不良を抑制できる。保持の際にレンズＬに吸着パッドを接触させたり、レンズＬを搬送する際にレンズＬを直接ハンドリングする必要がないため、被塗布面を汚染する危険性がなくなる。【選択図】図３
2007021355.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
スピンコート法にて塗布処理が施される被塗布物を保持するスピンコート用保持具であって、
前記被塗布物を囲む環状のフレームと、
このフレームの前記被塗布物との対向面に設けられ前記被塗布物を保持する複数の保持部と、
これら保持部の少なくとも１つに設けられ他の保持部側に前記被塗布物を付勢する付勢部材と、
を具備したことを特徴とするスピンコート用保持具。
【請求項２】
請求項１に記載のスピンコート用保持具において、
前記付勢部材には、前記フレームの回転に伴って前記保持部の前記被塗布物への付勢力を増大させる付勢力付与機構が設けられている
ことを特徴とするスピンコート用保持具。
【請求項３】
請求項２に記載のスピンコート用保持具において、
前記付勢部材および前記保持部は一連の板ばねにて構成され、
この板ばねの基端部は前記フレームの前記対向面に固定され、
前記板ばねの前記基端部から中間部までは前記付勢部材にて構成され、かつ、前記板ばねの先端部は前記保持部を構成し、
前記板ばねの前記中間部には前記フレームの前記被塗布物との対向面に当接する状態に折り曲げられた折曲部が設けられ、
前記板ばねの前記折曲部と前記基端部との間には前記フレームの前記対被塗布物との対向面から離間した離間部が形成されており、
前記付勢力付与機構は、前記板ばねの前記離間部に設けられた錘部材で構成されている
ことを特徴とするスピンコート用保持具。
【請求項４】
請求項１ないし請求項３のいずれかに記載のスピンコート用保持具において、
前記保持部は３つ以上設けられている
ことを特徴とするスピンコート用保持具。
【請求項５】
スピンコート法にて被塗布物に塗布処理を施すスピンコート装置であって、
請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のスピンコート用保持具と、
このスピンコート用保持具における前記フレームを把持するチャックと、
このチャックを支持して回転する回転機構と、
前記被塗布物に塗布剤を吐出する吐出部と、を備えている
ことを特徴とするスピンコート装置。
【請求項６】
請求項５に記載のスピンコート装置において、
前記チャックが前記フレームの把持を解除した際に前記フレームを反転させる反転機構を備えている
ことを特徴とするスピンコート装置。
【請求項７】
請求項６に記載のスピンコート装置において、
前記フレームの外周縁部には外方へ向けて突出した突出部が設けられており、
前記反転機構は前記突起部を把持する把持部を備えている
ことを特徴とするスピンコート装置。
【請求項８】
請求項６または請求項７に記載のスピンコート装置において、
前記チャックは、前記スピンコート用保持具における前記フレームを挟持する複数のチャック爪を備えており、
前記回転手段は、回転開始前に前記チャック爪が前記反転機構と干渉しない位置に位置する状態に前記チャックを回転する制御をするエンコーダを備えている
ことを特徴とするスピンコート装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、スピンコート法により塗布処理が施される被塗布物を保持するスピンコート用保持具、および、このスピンコート用保持具を備えたスピンコート装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般的に、コーティングは、被塗布物を保護しかつ被塗布物に外観性能を与える方法として、また、被塗布物に高機能をもたらして高付加価値を与える方法として、様々な産業分野に用いられている。
特に、光学関連分野、例えば、プラスチック眼鏡レンズ製造業においては、被塗布物としてのプラスチック眼鏡レンズの表面にプライマー加工、ハードコート加工、反射防止加工などの種々のコーティング加工を施し、性能・機能の向上を図ることが一般に行われている。
【０００３】
ここで、プライマー加工とは、プラスチック眼鏡レンズ基材とハードコート膜との密着性向上、耐衝撃性向上などの機能を付与する加工であり、一般的には、プライマー用組成物をプラスチック眼鏡レンズ表面に塗布した後、加熱硬化処理することにより行う。
また、ハードコート加工とは、プラスチック眼鏡レンズ表面の耐久性向上、反射防止膜との密着性向上などの機能を付与する加工であり、一般的には、ハードコーティング用組成物をプラスチック眼鏡レンズ表面に塗布した後、加熱硬化処理することにより行う。
さらに、反射防止加工とは、プラスチック眼鏡レンズの表面反射を防ぎ、光学系の透過率の低下や結像に寄与しない光の増加、像のコントラストの低下を防ぐ機能を付与する加工である。この反射防止加工は、従来、主に真空蒸着法によりプラスチック眼鏡レンズに多層の反射防止膜を形成することにより行われてきた。しかし、最近では、反射防止機能を有する硬化性液体（反射防止膜用組成物）を塗布する塗膜方法が利用されている。この反射防止膜用組成物の塗膜方法としては、レンズ基材に直接形成されたハードコート層上、あるいはレンズ基材にプライマー層を介して形成されたハードコート層上に、浸漬方式やスピンコート方式などにて反射防止膜用組成物を塗布し、その後硬化させるのが一般的である。
【０００４】
中でも、スピンコート方式は、プラスチック眼鏡レンズの表面にコーティング用組成物を吐出し、回転してコーティング膜を形成するため、均一かつ高品質なコーティング膜が得られる上に、加工スピードが速く、装置がコンパクトであることもあり、広く用いられている。
このスピンコート方式でプラスチック眼鏡レンズにコーティング用組成物を塗布する際、プラスチック眼鏡レンズを保持する方法としては、プラスチック眼鏡レンズ塗布面に対して裏面側を吸着パッドを介した吸引により保持する方法（例えば、特許文献１参照）や、プラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）に数本のチャック爪を当接し、プラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）から中心に向かう力をチャック爪に与えて保持する方法がある。
また、従来のスピンコート方式は、プラスチック眼鏡レンズの片面ごとにハードコーティング用組成物を塗布し、加熱硬化する方式が一般的であった。しかし、近年、塗膜をより高速化するため、さらにスピンコート装置のコンパクト化を図るために、チャック爪によりプラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）を保持し、プラスチック眼鏡レンズの両面に、同時にハードコーティング用組成物を塗布し、加熱硬化する方式も用いられるようになってきた。
【０００５】
【特許文献１】特開平９−９４５１９
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した特許文献１のような、吸着パッドの吸引により保持する方法では、１回の塗布操作において片面しか塗布することができないため、両面塗布する必要がある場合には、塗布した面を一旦乾燥・焼成した後に、改めて他方の面を塗布する必要があり、両面同時塗布の場合の倍に近い時間を要する。また、吸着パッドにプラスチック眼鏡レンズをセットする際には、プラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）を直接ハンドリングする必要があり、かつ、最初の片面を塗布する際に、一方の面は吸着パッドに直接接しているため、被塗布面を汚染する危険性があった。
【０００７】
また、チャック爪によりプラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）を保持する方法では、片面ごとあるいは両面同時塗布が可能であるが、チャック爪がプラスチック眼鏡レンズの外周縁部（コバ部）に直接接するため、被塗布面を汚染する危険性があった。また、楕円形状などの非真円形状のプラスチック眼鏡レンズを保持する場合には、プラスチック眼鏡レンズの回転軸と吐出ノズルの位置がずれてしまうため、コーティング用組成物がプラスチック眼鏡レンズの中心部に吐出されずに塗れ残りが発生してしまう、などの問題が一例として挙げられる。
【０００８】
本発明は、上述したような問題点に鑑みて、スピンコート法による塗布処理において、多様な形状の被塗布物を良好に保持して被塗布物に好適な塗膜を形成可能なスピンコート用保持具、および、このスピンコート用保持具を備えたスピンコート装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記した目的を達成するために、本発明のスピンコート用保持具は、スピンコート法にて塗布処理が施される被塗布物を保持するスピンコート用保持具であって、前記被塗布物を囲む環状のフレームと、このフレームの前記被塗布物との対向面に設けられ前記被塗布物を保持する複数の保持部と、これら保持部の少なくとも１つに設けられ他の保持部側に前記被塗布物を付勢する付勢部材と、を具備したことを特徴とする。
【００１０】
本発明によれば、被塗布物を保持する際に被塗布物に吸着パッドを接触させたり、被塗布物を搬送する際に被塗布物を直接ハンドリングする必要がないため、被塗布面を汚染する危険性がなくなる。さらに、保持部は、弾性変形可能な付勢手段を介してフレームに取り付けられているので、略円形状、非円形状の被塗布物においても、被塗布物の回転軸と吐出ノズルの位置とを合わせることが可能となり、塗れ残りなどの外観不良を抑制することができる。
したがって、多様な形状の被塗布物を良好に保持して被塗布物に好適な塗膜を形成することが可能となる。
【００１１】
また、本発明では、前記付勢部材には、前記フレームの回転に伴って前記保持部の前記被塗布物への付勢力を増大させる付勢力付与機構が設けられていることが好ましい。
本発明によれば、重量を有する被塗布物を保持する場合においても、スピンコート（高速回転）時の遠心力を有効に活用し、被塗布物をより強く挟持することができるので、被塗布物の落下を防ぐことができる。
【００１２】
さらに、本発明では、前記付勢部材および前記保持部は一連の板ばねにて構成され、この板ばねの基端部は前記フレームの前記被塗布物との対向面に固定され、前記板ばねの先端部は、前記保持部を構成し、前記板ばねの前記基端部と前記先端部との間には前記フレームの前記被塗布物との対向面に当接する状態に折り曲げられた折曲部が設けられ、前記板ばねの前記折曲部と前記基端部との間には前記フレームの前記被塗布物との対向面から離間した離間部が形成されており、前記付勢力付与機構は、前記板ばねの前記離間部に設けられた錘部材で構成されていることが好ましい。
本発明によれば、遠心力と梃子の原理により、付勢手段に取り付けられた錘が回転によって外側に向かう力を、保持部が内側に向かう力に転化して被塗布物を挟持させる。これにより、重量を有する被塗布物を保持する場合においても、スピンコート（高速回転）時の遠心力を有効に活用し、被塗布物をより強く挟持することができるので、被塗布物の落下を防ぐことができる。
また、付勢部材と、折曲部と、離間部と、保持部とは一連の板ばねを折曲することにより同時に形成することが可能な単純な構成であるので、容易に製造でき、スピンコート用保持具を安価に製造できる。
【００１３】
そして、本発明では、前記保持部は３つ以上設けられていることが好ましい。
本発明によれば、フレームが高速回転したとしても、被塗布物を３点以上で保持するために、様々な形状の被塗布物をバランス良く高度に安定して保持できる。これにより、被塗布物に対してムラがなく均一に塗膜形成することができる。
【００１４】
本発明のスピンコート装置は、スピンコート法にて被塗布物に塗布処理を施すスピンコート装置であって、請求項１ないし請求項４のいずれかに記載のスピンコート用保持具と、このスピンコート用保持具における前記フレームを把持するチャックと、このチャックを支持して回転する回転機構と、前記被塗布物に塗布剤を吐出する吐出部と、を備えていることを特徴とする。
本発明によれば、片面ずつ塗布する場合においても、一方の面に対して吸着パッドを接触させる必要がないため、乾燥・焼成を介さずにそのまま反転させて、両面を塗布することが可能である。また、コーティング用組成物を吐出する吐出手段を、被塗布物の上方および下方に設置すれば、両面同時の塗布も可能となる。したがって、リードタイムを短期化することができる。
【００１５】
また、本発明では、前記チャックが前記フレームの把持を解除した際に前記フレームを反転させる反転機構を備えていることが好ましい。
本発明によれば、フレームの反転作業に作業者が介在しないので、常にクリーンな環境下で処理することが可能になる。
【００１６】
そして、本発明では、前記フレームの外周縁部には外方へ向けて突出した突出部が設けられており、前記反転機構は前記突起部を把持する把持部を備えていることが好ましい。
本発明によれば、片面ずつ塗布する場合において、被塗布物の一方の面を塗布してから反転機構にて被塗布物を反転する際に、フレームの突出部を把持して反転することが可能となるので、直接被塗布物をハンドリングする必要がなく、被塗布面を汚染することを回避できる。
【００１７】
さらに、本発明では、前記チャックは、前記スピンコート用保持具における前記フレームを挟持する複数のチャック爪を備えており、前記回転手段は、回転開始前に前記チャック爪が前記反転機構と干渉しない位置に位置する状態に前記チャックを回転する制御をするエンコーダを備えていることが好ましい。
本発明によれば、回転開始前のチャック爪の位置が反転機構と干渉しない位置に自動的にセットされるので、被塗布物を反転する際に手作業にてチャック爪の位置を調整するなどせずとも、反転機構は被塗布物を反転できる。したがって、反転に際する余分な作業時間を削減でき効率化が図れるとともに、被塗布物への塗布処理の連続操業が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
（１）第１の実施形態
(1-1)スピンコート装置１の構成
本発明の第１の実施形態に係るスピンコート装置１について、図面に基づいて説明する。図１は、本発明の第１の実施形態に係るスピンコート装置を示す側面図である。図２は、スピンコート装置を示す平面図である。
なお、本実施形態では、スピンコート装置１により被塗布物としてのプラスチック眼鏡レンズＬに反射防止膜を形成する場合を例示して説明するが、これに限らず、スピンコート装置１ではプラスチック眼鏡レンズＬ以外の様々な被塗布物に対して様々な塗膜を形成することが可能である。
【００１９】
図１および図２において、スピンコート装置１は、スピンコート法にて、プラスチック眼鏡レンズLに塗布処理を施す装置である。このスピンコート装置１は、プラスチック眼鏡レンズLを保持するスピンコート用保持具２と、このスピンコート用保持具２を把持するチャック３と、このチャック３の下部に設けられチャック３を支持して回転する回転機構４と、スピンコート用保持具２の上方に設けられプラスチック眼鏡レンズLに塗布剤を吐出する吐出部５と、スピンコート用保持具２を反転させる反転機構６とを備えて構成されている。
【００２０】
具体的に、スピンコート用保持具２の構成について、図面に基づいて説明する。図３は、スピンコート用保持具を示しており、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿った断面の矢視図である。
図３（Ａ）に示すように、スピンコート用保持具２は、プラスチック眼鏡レンズLの外周を囲むフレーム２１と、このフレーム２１の内周面２１Ａ（プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部との対向面）に固定された付勢部材としての４つの板ばね部材２２と、これら板ばね部材２２のそれぞれに一連に設けられた保持部２３と、板ばね部材２２に取り付けられた付勢力付与機構としての錘部材２４とを具備している。
【００２１】
フレーム２１は、例えば、ステンレスなどの金属製の板材にて真円環状に形成され、このフレーム２１の外周面（プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部との対向面と反対側の面）には、フレーム２１の径方向外側に鍔状に突出した突出部２１Ｂが一体的に形成されている。
【００２２】
板ばね部材２２は、それぞれ、長手状の薄板ばね片を略円弧状に屈曲したもので、例えば手指などの力により弾性変形する。これら板ばね部材２２は、フレーム２１の内周面２１Ａにおいて、互いに鏡像対称関係にある一対の板ばね部材２２がずれた状態で平行に設けられ、更にこの板ばね部材２２の対がフレーム２１の径方向で互いに対向する位置にもう一対設けられ、計４つ設けられている。
これら板ばね部材２２のそれぞれの基端部は、フレーム２１の内周面２１Ａに固定されている。一方、板ばね部材２２のそれぞれの先端部は、フレーム２１の中心点に略向かう状態に屈曲されてフレーム２１の内周面２１Ａから離間しており、このばね部材２２の先端部が保持部２３を構成している。
そして、板ばね部材２２の基端部と先端部との略中央には、フレーム２１の内周面２１Ａに当接する方向に凸状に折り曲げられた折曲部２２Ａが設けられており、この折曲部２２Ａが内周面２１Ａに点接触した状態となっている。
また、板ばね部材２２の折曲部２２Ａと基端部との間には、フレーム２１の中心点に略向かう方向に凸状に湾曲形成されて、フレーム２１の内周面２１Ａから離間した離間部２２Ｂが設けられており、この離間部２２Ｂの中間部に錘部材２４が取り付けられている。
【００２３】
保持部２３は、前述のように板ばね部材２２のそれぞれの先端部に設けられており、プラスチック眼鏡レンズLの外周縁部（コバ部）を４点で保持する。
これら保持部２３は、図３（Ｂ）に示すように、板ばね部材２２よりも倍程度幅広に形成されており、それぞれの先端に略Ｖ字形状の切込２３Ａが形成されている。これら切込２３Ａには、プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）が差し込まれることになる。
そして、互いに鏡像対称関係にある一対の板ばね部材２２のうち、図３（Ｂ）中右方の保持部２３は、左方の保持部２３よりも下方にずれて配設されており、これにより、それぞれの保持部２３がフレーム２１内で運動しても互いに干渉しないようになっている。
また、それぞれの切込２３Ａの最深部同士がフレーム２１の周方向（図３（Ｂ）中上下方向）で同一直線上に設けられている。これにより、それぞれの切込２３Ａにプラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）が差し込まれると、プラスチック眼鏡レンズLは、その被塗布面がフレーム２１の周方向に略平行する状態で保持されるようになっている。そして、フレーム２１を回転させた際に、プラスチック眼鏡レンズＬは、上下にぶれることなく水平面内で安定して回転可能とされている。
このような保持部２３は、プラスチック眼鏡レンズＬを装着した状態で、板ばね部材２２によりプラスチック眼鏡レンズＬに対して付勢されており、これによりプラスチック眼鏡レンズＬが安定して保持されるようになっている。
【００２４】
錘部材２４は、比重の大きな金属片などであり、例えば、当該金属片を板ばね部材２２の離間部２２Ｂに接着したり、あるいは、複数の金属片にて離間部２２Ｂの外側を挟み込んで固着したりすることにより設けられている。
この錘部材２４は、板ばね部材２２の離間部２２Ｂに取り付けられた状態で、錘部材２４と内周面２１Ａとの間に隙間が形成されている。この隙間において錘部材２４がフレーム２１の径方向外側に移動することにより、折曲部２２Ａを支点とした梃子の原理で、保持部２３がプラスチック眼鏡レンズＬへ向けて更に付勢されることになっている。
【００２５】
チャック３は、スピンコート用保持具２におけるフレーム２１を把持する装置である。
具体的には、チャック３は、図１および図２に示すように、例えば３つの段付きチャック爪３１と、これら段付きチャック爪３１を支持する求心チャック３２とを備えている。
【００２６】
段付きチャック爪３１は、それぞれ図１中上下方向に延びた棒状の部材であり、その上端側は中間部よりも径小に形成され、ここに段差部３１Ａが形成されている。この段差部３１Ａにスピンコート用保持具２のフレーム２１の突出部２１Ｂが係合可能となっている。そして、段付きチャック爪３１にスピンコート用保持具２のフレーム２１が保持された状態では、フレーム２１は水平面に略平行する状態になっている。
【００２７】
求心チャック３２は、略円柱状に形成されており、この求心チャック３２の図１中上端面部には、径方向に沿って延びた３つの切欠部３２Ａが、求心チャック３２の円周方向に沿って等間隔で設けられている。この切欠部３２Ａには段付きチャック爪３１のそれぞれの他端側（図１中下端側）が挿通され、これら段付きチャック爪３１の下端側が求心チャック３２内部に設けられた図示しないチャック爪駆動機構にて支持されている。そして、チャック爪駆動機構は、各段付きチャック爪３１を求心チャック３２の径方向に沿って移動させ、各段付きチャック爪３１同士の間隔を広げたり狭めたりする。これにより、スピンコート用保持具２のフレーム２１が、段付きチャック爪３１に把持・開放可能とされている。
【００２８】
回転機構４は、駆動軸を回転させるスピンドルモータ４１と、一端がこのスピンドルモータ４１の駆動軸に連結され他端側が求心チャックの下部に連結された回転軸４２とを備えている。
【００２９】
そして、スピンドルモータ４１は、回転開始前における段付きチャック爪３１の位置を特定の位置にセットする図示しないエンコーダを備えている。このようなエンコーダとしては、例えば、スピンドルモータ４１の駆動軸の回転角度が閾値になるように駆動軸を回転させるものや、求心チャック３２の下部に位置センサを設けてこの位置センサから取得した求心チャック３２の位置情報に基づいて駆動軸を回転させるものなどが挙げられる。これにより、スピンドルモータ４１にてチャック３を回転させた後の段付きチャック爪３１の位置が、次の回転開始前には特定の位置にセットされることになる。したがって、反転機構６の動作については後述するが、反転機構６がプラスチック眼鏡レンズＬを反転させる際に、エンコーダの制御により反転機構６と段付きチャック爪３１とが互いに干渉しないようになっている。
【００３０】
吐出部５は、プラスチック眼鏡レンズLの被塗布面（図１中上面）へ向けて上方から塗布剤ＬＱを吐出する装置である。この吐出部５から塗布剤ＬＱを吐出する際は、吐出ノズル５１の位置と回転するプラスチック眼鏡レンズLの回転中心軸とを一致させることが好ましい。
ここで、プラスチック眼鏡レンズＬに反射防止膜を形成する場合、この塗布剤ＬＱとしては、フッ素系化合物や、シラン化合物などが挙げられる。特に本実施形態では、シラン化合物を有機溶剤で希釈し、必要に応じて水または薄い塩酸、酢酸等を添加して加水分解を行い、さらに、シリカ系微粒子が有機溶剤中にコロイド状に分散したゾルを添加した後、必要に応じて界面活性剤、紫外線吸収剤、酸化防止剤などを添加し、十分に撹拌したものを塗布剤ＬＱとして使用する。そして、形成する反射防止膜の膜厚は、所望の光学特性を実現するために、例えば、所定の膜厚１００ｎｍに対して、±１０ｎｍの範囲で制御されている。
【００３１】
反転機構６は、チャック３がフレーム２１の把持を解除した際にフレーム２１を反転させる装置であり、チャック３に把持された状態のスピンコート用保持具２と水平方向（図１中左右方向）で隣接する位置に設けられている。そして、スピンコート用保持具２のフレーム２１の突出部２１Ｂを把持する把持部６１と、この把持部６１の一端部と連続して設けられ把持部６１を反転させる反転部６２と、この反転部６２の一端部と連続して設けられ把持部６１および反転部６２をスピンコート用保持具２に対して水平移動（図１中左右方向に）させる水平移動部６３とを備えている。
【００３２】
このような構造のスピンコート装置１にて塗布処理されるプラスチック眼鏡レンズＬの構造例について図面に基づいて説明する。図４（Ａ），（Ｂ）は、プラスチック眼鏡レンズＬの構造例を示す断面図である。
図４（Ａ）に例示するプラスチック眼鏡レンズＬは、基材１００の両面上に、プライマー膜１０１と、ハードコート膜１０２と、反射防止膜１０３と、防汚膜１０４とが順に塗膜形成されて構成されている。
図４（Ｂ）に例示するプラスチック眼鏡レンズＬは、図４（Ａ）のプライマー膜１０１を備えていないものであり、基材１００の両面上に、ハードコート膜１０２と、反射防止膜１０３と、防汚膜１０４とが順に塗膜形成されて構成されている。
【００３３】
基材１００は、プラスチック材にて略楕円形状に形成され、一端面が凸面で、他端面が凹面となっている。
プライマー膜１０１は、ウレタン樹脂などで形成され、基材１００とハードコート膜１０２との密着性を高める必要がある場合や、耐衝撃性を向上させる必要がある場合に形成されるものである。つまり、必要がなければ、図４（Ｂ）のように、プライマー膜１０１を形成せずに基材１００に直接ハードコート膜１０２が形成されることとなる。
【００３４】
ハードコート膜１０２は、シリコーン系、アクリル系材料により、プラスチック眼鏡レンズＬの傷付きを防止するために、例えば、２μｍ程度の厚さで形成されている。このハードコート膜１０２を基材１００に直に形成する場合は、基材１００の表面にあらかじめアルカリ処理、酸処理、微粒子による研磨処理、プラズマ処理等を行うことが好ましく、これにより、基材１００とハードコート膜１０２との密着性が向上する。
【００３５】
反射防止膜１０３は、プラスチック眼鏡レンズＬの表面反射を防止するために、これより下層のハードコート膜１０２、プライマー膜１０１、及び基材１００よりも低屈折の層として形成される。この反射防止膜１０３は、スピンコート装置１によりプラスチック眼鏡レンズＬに塗布され、単層膜としてだけでなく、多層膜として形成することも可能である。
防汚膜１０４は、防汚成分としてフッ素含有化合物が添加されたもので、プラスチック眼鏡レンズＬの最表層として形成されている。
【００３６】
(1-2)スピンコート装置１の動作
上記のようなスピンコート装置１により、プラスチック眼鏡レンズＬに反射防止膜１０３を形成する動作について、図面に基づいて説明する。図５は、高速回転時のスピンコート用保持具２を示した平面図である。
まず、図４に示すように反射防止膜１０３をプラスチック眼鏡レンズＬに形成する前処理工程として、液体のプラスチック原料に対して加熱及び／又は光照射をして基材１００を成形し、基材１００にプライマー膜１０１およびハードコート膜１０２を形成する。これらのプライマー膜１０１およびハードコート膜１０２の形成は、ディッピング法、スピンナー法、ロールコート法、スプレー法、インクジェット法あるいはフロー法によりコーティング液を塗布した後、加熱乾燥することにより行う。そして、ハードコート膜１０２の表面にプラズマによって表面改質処理を施した後、スピンコート装置１により反射防止膜１０３の塗布処理を行う。なお、プライマー膜１０１、ハードコート膜１０２、及び反射防止膜１０３をスピンコート装置１により一連で塗布処理することも可能である。
【００３７】
上記のようにして反射防止膜１０３の塗布処理が可能となった状態のプラスチック眼鏡レンズＬを、スピンコート用保持具２に装着する。
具体的には、板ばね部材２２を撓ませて、保持部２３の切込２３Ａにプラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）を挿入する。特に、図5に示すような略楕円形のプラスチック眼鏡レンズＬを装着する場合は、プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）の長軸方向両端側を切込２３Ａに挿入する。このとき各保持部２３は板ばね部材２２により付勢されているので、これら保持部２３によりプラスチック眼鏡レンズＬが安定して挟持され、非真円形のプラスチック眼鏡レンズＬでも、４つの保持部２３により安定して挟持される。
【００３８】
そして、プラスチック眼鏡レンズLが取り付けられた状態のスピンコート用保持具２を、図１および図２に示すようにスピンコート装置１に装着する。
具体的には、スピンコート用保持具２をスピンコート装置１に装着する際には、回転機構４の回転駆動は停止しており、求心チャック３２の作用により各段付きチャック爪３１同士の間隔が広げられている。さらに、回転機構４のエンコーダにより段付きチャック爪３１の位置が特定の位置にセットされた状態となっている。このような状態のスピンコート装置１にスピンコート用保持具２を導入し、求心チャック３２により各段付きチャック爪３１同士の間隔が狭められると、段付きチャック爪３１の段差部３１Ａにスピンコート用保持具２のフレーム２１の突出部２１Ｂが係合し、フレーム２１が段付きチャック爪３１にて把持される。これにより、スピンコート装置１へのスピンコート用保持具２の装着が完了し、塗布処理可能な状態となる。
【００３９】
上記のようにして、スピンコート用保持具２がスピンコート装置１に装着されると、スピンドルモータ４１が高速回転し、これに伴って回転軸４２を介してチャック３が高速回転する。これにより、スピンコート用保持具２に保持されたプラスチック眼鏡レンズＬは、フレーム２１の中心点を中心軸としてＸ方向に高速回転する。
この際、図５に示すように、錘部材２４のそれぞれにはフレーム２１の高速回転により遠心力Ｙが作用し、この遠心力Ｙによって錘部材２４と内周面２１Ａとの間に形成された隙間において錘部材２４がフレーム２１の径方向外側へ向かって移動する。これに伴って、折曲部２２Ａを支点とした梃子の原理により、図５中実線で示すように、保持部２３はフレーム２１の中心に向かう方向に移動される。このため、図５中仮想線で示すように、保持部２３がプラスチック眼鏡レンズＬを保持した状態では、保持部２３はプラスチック眼鏡レンズＬへの付勢力を増大する。この動きにより、プラスチック眼鏡レンズＬは高速回転に耐え得る程度に挟持される。
【００４０】
そして、吐出部５にて上方からプラスチック眼鏡レンズＬに向けて塗布剤ＬＱを吐出する。
この際、板ばね部材２２は弾性変形可能であるのでプラスチック眼鏡レンズLのフレーム２１における位置を適宜調整でき、プラスチック眼鏡レンズLの回転中心軸と吐出ノズル５１の位置とを一致させれば、塗布剤ＬＱはプラスチック眼鏡レンズＬの上面に万遍なく広がり、塗れ残りがなくなる。また、プラスチック眼鏡レンズＬはスピンコート用保持具２にて安定して保持されており、かつ、上下にぶれることなく水平面内で安定して高速回転しているので、形成された塗膜の膜厚が一定となる。さらに、保持部２３は、プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）を点接触で保持するため、プラスチック眼鏡レンズＬの塗布面に保持部２３が被ることなく、隅々まで塗布処理が施される。
【００４１】
このようにして、吐出部５にて塗布剤ＬＱが吐出され、プラスチック眼鏡レンズＬへの塗布処理が施されると、スピンドルモータ４１は回転を停止し、図示しないエンコーダにより段付きチャック爪３１の位置が特定の位置にセットされる。そして、反転機構６の水平移動部６３は、把持部６１および反転部６２をスピンコート用保持具２へ向けて水平移動し、把持部６１はスピンコート用保持具２のフレーム２１の突出部２１Ｂを把持する。さらに、求心チャック３２は各段付きチャック爪３１同士の間隔を広げてフレーム２１の保持を解除し、反転部６２が把持部６１を介してスピンコート用保持具２を１８０度反転する。これにより、プラスチック眼鏡レンズＬの塗布処理が施されていない反対の面が吐出部５と対向する状態に反転される。
このようなプラスチック眼鏡レンズＬの反転操作において、把持部６１はフレーム２１の突出部２１Ｂを把持するので、塗布処理が施されたプラスチック眼鏡レンズＬの塗布面が汚染されることがない。また、エンコーダにより段付きチャック爪３１の位置が特定の位置にセットされているので、反転機構６が段付きチャック爪３１に当ってしまうこともない。
【００４２】
そして、プラスチック眼鏡レンズＬが反転されると、求心チャック３２は各段付きチャック爪３１同士の間隔を狭めてフレーム２１を保持し、把持部６１はフレーム２１の突出部２１Ｂの把持を解除する。さらに、水平移動部６３は、把持部６１および反転部６２をスピンコート用保持具２から離れる方向に水平移動し、これにてスピンコート装置１は回転可能な状態となる。そして、上記と同様の動作にて、プラスチック眼鏡レンズＬの塗布処理が施されていない反対の面に対して、塗布処理が施される。
【００４３】
以上のようにしてプラスチック眼鏡レンズＬの両面に対して塗布処理が施されると、求心チャック３２は各段付きチャック爪３１同士の間隔を広げてフレーム２１の保持を解除し、スピンコート用保持具２は取出可能な状態となる。そして、スピンコート用保持具２は、プラスチック眼鏡レンズＬが装着されたそのままの状態でフレーム２１が把持されて、次工程である乾燥・焼成工程に運搬される。焼成後、板ばね部材２２を撓ませて、プラスチック眼鏡レンズＬをスピンコート用保持具２から取り外し、一連の反射防止膜１０３の塗布処理が終了する。
このように、プラスチック眼鏡レンズＬをスピンコート用保持具２に装着したまま運搬（ハンドリング）可能であるので、ハンドリングの際に塗布処理後のプラスチック眼鏡レンズＬを汚染してしまうことがない。また、反転機構６にてプラスチック眼鏡レンズＬを反転させることによりプラスチック眼鏡レンズＬの両面に対して連続して塗布処理を施すことが可能となり、片面ずつ塗布処理を施す度にハンドリングし、更に乾燥・焼成する必要がない。これにより、工程が大幅に削減されるので、塗布処理の全作業時間が大幅に短縮される。
【００４４】
（1-3）第１の実施形態の効果
上述したスピンコート装置１では、以下に示す効果を奏することができる。
【００４５】
（1-3-1）スピンコート用保持具２において、フレーム２１には弾性変形可能な板ばね部材２２を介して保持部２３を設けているので、板ばね部材２２をプラスチック眼鏡レンズＬの形状に合わせて弾性変形させて、保持部２３の切込２３Ａにプラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）を挿入すれば、様々な形状のプラスチック眼鏡レンズＬをスピンコート用保持具２に装着することができる。この際、保持部２３が板ばね部材２２により付勢されているので、プラスチック眼鏡レンズＬを安定して挟持することができる。特に、保持部２３を４つ設けているので、非真円形のプラスチック眼鏡レンズＬでも４つの保持部２３により安定して挟持できる。これにより、プラスチック眼鏡レンズＬを安定して回転可能となるので、プラスチック眼鏡レンズＬに対して万遍なく均一に膜を形成することができる。
【００４６】
（1-3-2）吐出部５から塗布剤ＬＱを吐出する際、板ばね部材２２は弾性変形可能であるので、プラスチック眼鏡レンズＬのフレーム２１における位置を適宜調整でき、様々な形状のプラスチック眼鏡レンズＬの回転中心軸と吐出ノズル５１の位置とを一致させることができる。これにより、塗布剤ＬＱはプラスチック眼鏡レンズＬの上面に万遍なく広がり、様々な形状のプラスチック眼鏡レンズＬにおいて塗れ残りなどの外観不良を抑制することができる。
【００４７】
（1-3-3）保持部２３は略Ｖ字形状の切込２３Ａにてプラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）を点接触で保持しているため、保持部２３がプラスチック眼鏡レンズＬの被塗布面に被ることを防ぐことができる。これにより、プラスチック眼鏡レンズＬの隅々まで万遍なく塗布処理を施すことができる。
【００４８】
（1-3-4）フレーム２１の外周面には突出部２１Ｂが設けられており、段付きチャック爪３１はこの突出部２１Ｂを把持するので、塗布処理においてチャック爪３１によりプラスチック眼鏡レンズＬの塗布面が汚染されることを防ぐことができる。また、反転機構６はプラスチック眼鏡レンズＬを反転する際、フレーム２１の突出部２１Ｂを把持して反転するので、塗布処理後におけるプラスチック眼鏡レンズＬの塗布面の汚染を防ぐことができる。
【００４９】
（1-3-5）フレーム２１の形状を真円環状にしたことで、スピンコート用保持具２をスピンコート装置１に良好に装着することができ、これと共に、様々な形状のプラスチック眼鏡レンズＬを保持対象とすることができる。
【００５０】
（1-3-6）板ばね部材２２の離間部２２Ｂに錘部材２４を設けている。このため、遠心力Ｙと梃子の原理により、板ばね部材２２に取り付けられた錘部材２４が回転によって外側に向かう力を、保持部２３が内側に向かう力に転化してプラスチック眼鏡レンズＬを挟持させることができる。これにより、回転速度の増大と共にプラスチック眼鏡レンズＬの保持力も増大するので、重量を有するプラスチック眼鏡レンズＬを保持する場合においても、プラスチック眼鏡レンズＬをより強く挟持することができ、簡易な構成でプラスチック眼鏡レンズＬの落下を防ぐことができる。
【００５１】
（1-3-7）１つの長手状の薄板ばね片を屈曲することにより、板ばね部材２２と、折曲部２２Ａと、離間部２２Ｂと、保持部２３とを、同時に形成可能としているので、スピンコート用保持具２の製造を簡易に行うことができ、製造コストを安価に抑えることができる。
【００５２】
（1-3-8）回転機構４において、エンコーダにより回転開始前には段付きチャック爪３１の位置が特定の位置にセットされるので、反転機構６がプラスチック眼鏡レンズＬを反転する際に移動した場合に段付きチャック爪３１に当ることを回避することができる。これにより、スピンコート装置１によるプラスチック眼鏡レンズＬへの塗布処理において連続した自動操業が可能となり、高効率で塗布処理を施すことができる。
【００５３】
（1-3-9）反転機構６にてプラスチック眼鏡レンズＬを反転させるので、プラスチック眼鏡レンズＬの両面に対して連続して塗布処理を施すことが可能となり、片面ずつ塗布処理を施す度にハンドリングし、更に乾燥・焼成する必要がない。これにより、工程が大幅に削減されるので、塗布処理の全作業時間を大幅に短縮することができる。
【００５４】
（２）第２の実施形態
(2-1)スピンコート装置１Ａの構成
次に、本発明の第２の実施形態に係るスピンコート装置１Ａについて、図面に基づいて説明する。図６は、本発明の第２の実施形態に係るスピンコート装置を示す側面図である。
なお、この図６に示すスピンコート装置１Ａは、プラスチック眼鏡レンズLの上下面に対して同時に塗布可能とするものであり、図１および図２に示した第１の実施形態に係るスピンコート装置１とは、チャック３および回転機構４において一部異なり、上下両方に吐出部が設けられている点で異なり、また、反転機構６を備えていない点で異なる。このため、図１および図２に示したスピンコート装置１と同一の構成については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
【００５５】
図６において、スピンコート装置１Ａは、図３に示すスピンコート用保持具２と、チャック３Ａと、回転機構４Ａと、吐出部５Ａとを備えて構成されている。
チャック３Ａにおける求心チャック３２には、その中心軸に沿って貫通孔３３が形成されている。
【００５６】
回転機構４Ａは、スピンドルモータ４１と、このスピンドルモータ４１の駆動軸４３と、この駆動軸４３における外周面の略中央に一体的に設けられた略円筒状の第１のプーリー４４と、この第１のプーリー４４の外周面に掛け回されたタイミングベルト４５と、第１のプーリー４４と隣接して設けられ外周面にタイミングベルト４５が掛け回された略円筒状の第２のプーリー４６と、この第２のプーリー４６の内周面に一体的に設けられ一端側が求心チャック３２の下部に連結された回転軸４７とを備えている。
そして、回転軸４７には、その中心軸に沿って貫通孔４７Ａが形成されており、この貫通孔４７Ａと求心チャック３２における貫通孔３３とは同一軸上に設けられている。
【００５７】
吐出部５Ａは、プラスチック眼鏡レンズLの図６中上端面へ向けて上方から塗布剤ＬＱを吐出する第１の吐出部５２と、プラスチック眼鏡レンズLの図６中下端面へ向けて下方から塗布剤ＬＱを吐出する第２の吐出部５３とを備えている。
この第２の吐出部５３の吐出ノズル５３Ａは、求心チャック３２の下方から、回転軸４７の貫通孔４７Ａと求心チャック３２の貫通孔３３とに挿通されて、プラスチック眼鏡レンズLの下端面に対向する位置まで、延出して設けられている。このように、第２の吐出部５３を求心チャック３２の下方に設けるために、本実施形態では、回転機構４Ａにタイミングベルト４５等を設けて、スピンドルモータ４１を求心チャック３２の下方から外れた位置に設ける構成としている。
【００５８】
(2-2)スピンコート装置１Ａの動作
上記のようなスピンコート装置１Ａにより、プラスチック眼鏡レンズＬに反射防止膜１０３を形成する動作について説明する。なお、上記(1-2)に示したスピンコート装置１の動作と同様の動作については説明を適宜省略する。
【００５９】
上記(1-2)と同様にして、プラスチック眼鏡レンズLが取り付けられた状態のスピンコート用保持具２を、図６に示すようにスピンコート装置１Ａに装着する。そして、スピンドルモータ４１が高速回転ことにより、駆動軸４３と、第１のプーリー４４と、タイミングベルト４５と、第２のプーリー４６と、回転軸４７とを順に介してチャック３Ａへと駆動力が伝達し、チャック３Ａが高速回転する。
【００６０】
そして、第１の吐出部５２にて上方からプラスチック眼鏡レンズＬの上端面に向けて塗布剤ＬＱを吐出すると共に、第２の吐出部５３にて下方からプラスチック眼鏡レンズＬの下端面に向けて塗布剤ＬＱを吐出する。
この際、プラスチック眼鏡レンズLの回転中心軸と、第１の吐出部５２における吐出ノズル５２Ａの位置および第２の吐出部５３における吐出ノズル５３Ａの位置とを略一致させれば、塗布剤ＬＱはプラスチック眼鏡レンズＬの上面及び下面に万遍なく広がり、塗れ残りがなくなる。
【００６１】
このようにして、本実施形態では、プラスチック眼鏡レンズＬの両面に対して同時に塗布処理が施されるので、図１および図２に示す反転機構６を設けるなどしてプラスチック眼鏡レンズＬを反転させなくてもよく、また、片面塗布の場合に比較して塗布処理の時間が半減する。
【００６２】
(2-3)第２の実施形態の効果
上述の第２の実施形態のスピンコート装置１Ａによれば、第１の実施形態のスピンコート装置１の上記（1-3-1）ないし（1-3-8）に示す効果に加え、以下の効果を奏することができる。
【００６３】
（2-3-1）第１の吐出部５２にて上方からプラスチック眼鏡レンズＬの上端面に向けて塗布剤ＬＱを吐出すると共に、第２の吐出部５３にて下方からプラスチック眼鏡レンズＬの下端面に向けて塗布剤ＬＱを吐出するので、プラスチック眼鏡レンズＬの両面に対して同時に塗布処理を施すことができる。これにより、片面塗布の場合に比較して塗布処理の時間を半減できるので、リードタイムを短期化することができる。そして、図１および図２に示す反転機構６を設ける必要がないので、スピンコート装置１Ａの構成が簡易となり、スピンコート装置１Ａの製造コストを安価なものにすることができる。
【００６４】
（３）実施例
次に、本発明の実施例について説明する。
(3-1)実施例１
予めプライマー膜及びハードコート膜を形成し、プラズマにより表面改質処理を施した略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬに対し、図１および図２に示す第１の実施形態のスピンコート装置１により、反射防止膜用組成物のコーティングを行った。
略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを凸面を上にしてスピンコート用保持具２にセットし、スピンコート用保持具２を段付きチャック爪３１にセットして挟持させ、低速で回転させながら吐出ノズル５１より塗布剤ＬＱ（反射防止膜用組成物）を吐出し、続けて高速で回転させて振り切った。その後、反転機構６にて自動反転させ、凹面側に対しても同様の方法で塗膜形成し、その後、乾燥焼成することで、反射防止膜を形成した。
得られたプラスチック眼鏡レンズＬの外観は良好であり、パーティクルの付着などの外観不良も発生しなかった。
【００６５】
(3-2)実施例２
予めプライマー膜およびハードコート膜を形成し、プラズマにより表面改質処理を施した略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬに対し、図６に示す第２の実施形態のスピンコート装置１Ａにより、反射防止膜用組成物のコーティングを行った。
略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを凸面を上にしてスピンコート用保持具２にセットし、スピンコート用保持具２を段付きチャック爪３１にセットして挟持させ、低速で回転させながら第１の吐出ノズル５２Ａおよび第２の吐出ノズル５３Ａより塗布剤ＬＱ（反射防止膜用組成物）を同時に吐出し、続けて高速で回転させて振り切った。その後、乾燥・焼成することで、反射防止膜を形成した。
得られたプラスチック眼鏡レンズＬの外観は良好であり、パーティクルの付着などの外観不良も発生しなかった。
【００６６】
(3-3)比較例１
次に、比較例１について図面に基づいて説明する。図７は、従来の吸着パッド吸引型のスピンコート装置を示した断面図である。
図７において、スピンコート装置２００は、プラスチック眼鏡レンズＬにおける塗布面の裏面側を吸着パッドで吸引・保持する、吸着パッド吸引型のスピンコート装置である。このスピンコート装置２００は、回転軸２１０の一端側に設けられたホルダー２２０と、このホルダー２２０に取り付けられた吸着パッド２３０と、吸着パッド２３０に配置されたレンズＬの上面に対向する位置に設けられた吐出部２４０とを備えている。
【００６７】
このような図７に示すスピンコート装置２００を用いて、予めハードコート層を形成しプラズマにより表面改質処理を施した略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬに対し、反射防止膜用組成物のコーティングを行った。
略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを凸面を上にして吸着パッド２３０にセットして支持させ、低速で回転させながら吐出部２４０より塗布剤ＬＱ（反射防止膜用組成物）を吐出し、続けて高速で回転させて振り切った。この状態のプラスチック眼鏡レンズＬを、乾燥・焼成して凸面側の反射防止膜を形成した。
その後、プラスチック眼鏡レンズＬを凹面を上にして吸着パッド２３０にセットした後、凹面側に対しても同様の方法で反射防止膜用組成物を形成した。
得られたプラスチック眼鏡レンズには、パーティクルが付着し、外観不良が発生していた。
【００６８】
(3-4)比較例２
次に、比較例２について図面に基づいて説明する。図８は、従来のチャック爪直接保持型のスピンコート装置を示した側面図である。図９は、従来のチャック爪直接保持型のスピンコート装置を示した平面図である。
図８および図９において、スピンコート装置３００は、プラスチック眼鏡レンズＬの外周縁部（コバ部）に3本のチャック爪３１１を直接当接して保持する、従来のチャック爪直接保持型のスピンコート装置である。このスピンコート装置３００は、チャック３１０と、回転機構３２０と、吐出部３３０とを備えて構成されている。チャック３１０は、上端側に係合部３１２が設けられた３つの段付きチャック爪３１１と、求心チャック３１３とを備えている。求心チャック３１３は、段付きチャック爪３１１のそれぞれの下端側が挿通される３つの切欠部３１４、および、チャック爪３１の当該下端側を支持するチャック爪駆動機構を備えている。回転機構３２０は、スピンドルモータ３２１と、回転軸４２とを備えている。吐出部３３０は塗布剤ＬＱを上方から吐出する吐出ノズル３３１を備えている。
【００６９】
このような図８および図９に示すスピンコート装置３００を用いて、予めハードコート層を形成しプラズマにより表面改質処理を施した略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬに対し、反射防止膜用組成物のコーティングを行った。
略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを凸面を上にして段付きチャック爪３１１にセットし、低速で回転させながら、吐出ノズル３３１より塗布剤ＬＱ（反射防止膜用組成物）を吐出し、続けて高速で回転させて振り切った。この状態のプラスチック眼鏡レンズＬを、乾燥・焼成して凸面側の反射防止膜を形成した。
その後、プラスチック眼鏡レンズＬを凹面を上にして段付きチャック爪３１１にセットした後、凹面側に対しても同様の方法で反射防止膜用組成物を形成した。
得られたプラスチック眼鏡レンズＬの中心部には、吐出ノズル３３１とレンズ中心が略一致していなかったため、塗れ残りが発生していた。
【００７０】
(3-5)比較例３
図８および図９に示すスピンコート装置３００を用いて、予めハードコート層を形成しプラズマにより表面改質処理を施した真円形状のプラスチック眼鏡レンズＬに対し、反射防止膜用組成物のコーティングを行った。
真円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを凸面を上にして段付きチャック爪３１１にセットし、低速で回転させながら、吐出ノズル３３１より塗布剤ＬＱ（反射防止膜用組成物）を吐出し、続けて高速で回転させて振り切った。この状態のプラスチック眼鏡レンズＬを、乾燥・焼成して凸面側の反射防止膜を形成した。
その後、プラスチック眼鏡レンズＬを凹面を上にして段付きチャック爪３１１にセットした後、凹面側に対しても同様の方法で反射防止膜用組成物を形成した。
得られたプラスチック眼鏡レンズには、パーティクルが付着し、外観不良が発生していた。
【００７１】
(3-6)上記の実施例１および実施例２と、比較例１ないし比較例３の実施結果をまとめたものを表１に示す。
【００７２】
【表１】
2007021355.tif 000003
【００７３】
表１より、本発明に係るスピンコート装置１，１Ａは、スピンコート用保持具２を備えていることで、非真円形状である略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを良好に保持でき、かつ、反射防止膜形成後の良好な外観が得られることが分かる。
【００７４】
（４）実施形態の変形
なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲で以下に示される変形をも含むものである。
【００７５】
すなわち、前記第１および第２の実施形態では、スピンコート用保持具２が略楕円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを保持する構成を例示したが、これに限らず、例えば、真円形状のプラスチック眼鏡レンズＬ、略長円形状やその他の多角形状などの非真円形状のプラスチック眼鏡レンズＬを保持する構成としてもよい。スピンコート用保持具２は、プラスチック眼鏡レンズに限らず、例えばガラスレンズなど、いずれの被塗布物を保持できる。
【００７６】
前記第１および第２の実施形態では、板ばね部材２２に錘部材２４を取り付けた構成を例示したが、これに限らない。すなわち、図１０に示すように板ばね部材２２に錘部材２４を取り付けない構成としても良い。図１０は、前記第１および第２の実施形態の変形例におけるスピンコート用保持具を示す平面図である。図１０において、スピンコート用保持具２Ａは、フレーム２１と、板ばね部材２５と、保持部２６とを備えている。板ばね部材２５は、図３に示すような折曲部２２Ａおよび離間部２２Ｂを備えておらず、基端部がフレーム２１の内周面２１Ａに固定され、先端部が保持部２６を構成している。このような板ばね部材２５はフレーム２１の高速回転時にもプラスチック眼鏡レンズＬを安定して挟持でき得るばね圧を有していることが好ましい。このような構成であれば、錘部材を取り付けなくても、高速回転時にプラスチック眼鏡レンズＬが脱落することなく、多様な形状のプラスチック眼鏡レンズＬを良好に保持して好適な塗膜を形成することが可能となる。また、板ばね部材２５は、図３に示すような折曲部２２Ａおよび離間部２２Ｂを備えていない簡易な構成であるので、スピンコート用保持具２Ａを安価に製造できる。
【００７７】
前記第１および第２の実施形態では、付勢部材として板ばね部材２２を例示したが、これに限らず、充分な付勢圧力を有していれば、例えばコイルばねを付勢部材としてもよい。
【００７８】
前記第１および第２の実施形態では、スピンコート用保持具２には、板ばね部材２２と一連に設けられた保持部２３を４つ設けるとしたが、これに限らない。すなわち、例えば、４つの保持部のうち３つは付勢部材を介さずに直接フレーム２１に取り付けられ、残る１つの保持部を付勢部材と一連に形成してこの付勢部材をフレーム２１に取り付ける構成としてもよい。このような構成でも、１つの保持部にて被塗布物を付勢する状態で保持できるので、多様な形状の被塗布物を良好に保持して好適な塗膜を形成することが可能となる。また、保持部２３はフレーム２１に対して２つ、３つあるいは５つ以上設ける構成としてもよい。
【００７９】
前記第１および第２の実施形態では、図２において、３つの段付きチャック爪３１でスピンコート用保持具２を保持する構成を例示しているが、これに限らず、チャック爪は１つ以上であればいずれでもよく、より安定に保持するためにはチャック爪を４つ以上設けることが好ましい。
【００８０】
前記第１の実施形態では、反転機構６はスピンコート用保持具２を反転するのみの構成としたが、これに限らず、反転機構６に、新たなプラスチック眼鏡レンズＬが装着されたスピンコート用保持具２をチャック３に供給する機能を付加してもよい。このようにすれば、プラスチック眼鏡レンズＬへの塗布処理を連続自動操業にて行うことができ、処理効率を大幅に向上することができる。
【００８１】
前記第１および第２の実施形態において、吐出部５、第１の吐出部５２および第２の吐出部５３は、それぞれの吐出ノズルが任意の位置に移動可能に設けられる構成としてもよい。このようにすれば、回転するプラスチック眼鏡レンズＬの回転中心と、各吐出部の位置とを一致させる操作を簡易に行うことができる。
【産業上の利用可能性】
【００８２】
本発明は、スピンコート法により被塗布物に塗布処理を施すスピンコート装置に利用できる。
【図面の簡単な説明】
【００８３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るスピンコート装置を示す側面図である。
【図２】前記実施の形態に係るスピンコート装置を示す平面図である。
【図３】前記実施の形態におけるスピンコート用保持具を示しており、（Ａ）は平面図であり、（Ｂ）は（Ａ）におけるＢ−Ｂ線に沿った断面の矢視図である。
【図４】前記実施の形態におけるプラスチック眼鏡レンズＬの構造例を示す断面図であり、（Ａ）はプライマー膜を備えたものであり、（Ｂ）はプライマー膜を備えていないものである。
【図５】前記実施の形態における高速回転時のスピンコート用保持具２を示した平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るスピンコート装置を示す側面図である。
【図７】従来の吸着パッド吸引型のスピンコート装置を示した断面図である。
【図８】従来のチャック爪直接保持型のスピンコート装置を示した側面図である。
【図９】従来のチャック爪直接保持型のスピンコート装置を示した平面図である。
【図１０】前記第１および第２の実施形態の変形例におけるスピンコート用保持具を示す平面図である。
【符号の説明】
【００８４】
１，１Ａ…スピンコート装置、２，２Ａ…スピンコート用保持具、２１…フレーム、２１Ａ…内周面（被塗布物との対向面）、２１Ｂ…突出部、２２，２５…板ばね部材（付勢部材）、２２Ａ…折曲部、２２Ｂ…離間部、２３，２６…保持部、２４…錘部材（付勢力付与機構）、３，３Ａ…チャック、３１…チャック爪、４，４Ａ…回転機構、５，５Ａ…吐出部、５２…第１の吐出部、５３…第２の吐出部、６…反転機構、６１…把持部、Ｌ…プラスチック眼鏡レンズ（被塗布物）、ＬＱ…塗布剤
【図１】
2007021355.tif 000004
【図２】
2007021355.tif 000005
【図３】
2007021355.tif 000006
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
2007021355.tif 000010
【図８】
2007021355.tif 000011
【図９】
2007021355.tif 000012
【図１０】
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