(57)【要約】【課題】試験結果間の関係を推測する単純な方法を提供すること。【解決手段】試験結果間の関係を推測する方法であって、１）多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に関する試験を行う試験装置から順次試験データを受信し、２）ＤＵＴ識別子を受信すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの１つによって識別されるＤＵＴに対するデータ構造が存在するかどうかを判断し、３）前記データ構造が存在しないと判断した場合に、前記データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記データ構造に関連づけ、４）前記データ構造が存在すると判断した場合に、前記データ構造の子として子データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記子データ構造に関連づけ、前記子データ構造からは、それに関連する前記試験結果が再試験結果であることが推測される。【選択図】図２
2007206067.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験結果間の関係を推測する方法であって、
多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に関する試験を行う試験装置から順次試験データを受信し、前記順次試験データは、１）多数のＤＵＴ識別子を含み、前記ＤＵＴ識別子に、２）識別されるＤＵＴに関連する任意の試験結果が付随し、
前記ＤＵＴ識別子のうちの１つを受信すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つによって識別されるＤＵＴに対するデータ構造が存在するかどうかを判断し、
前記データ構造が存在しないと判断した場合には、前記データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記データ構造に関連づけ、
前記データ構造が存在すると判断した場合には、前記データ構造の子として子データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する前記任意の試験結果をｉｉ）前記子データ構造に関連づけ、前記子データ構造からは、関連する前記試験結果が再試験結果であることが推測されることを含むこと、
を特徴とする方法。
【請求項２】
前記子データ構造の親ポインタを前記データ構造に設定することをさらに含むこと、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記データ構造の親ポインタを親オブジェクトに設定することをさらに含むこと、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つを受け取った際に、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがいずれかの試験結果に関連するかどうかを判断し、
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがどの試験結果とも関連しない場合に、前記データ構造又は前記子データ構造を作成しないことを含むこと、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記データ構造及び子データ構造を作成する際にデータオブジェクトとして作成すること、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記ＤＵＴ識別子がウェハ上のＤＵＴの位置を含むことを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記ＤＵＴ識別子がウェハ識別子をさらに含むことを特徴とする請求項６に記載の方法。
【請求項８】
前記試験装置からの前記順次試験データの受信が、中間データストアを介して前記順次試験データを受信することを含むこと、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項９】
前記データストアがファイルであることを特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
複数のセットの再試験結果がそれぞれ、前記データ構造の複数の子データ構造に関連づけられること、
を特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
命令シーケンスを格納した多数の機械可読媒体であって、前記命令シーケンスを機械が実行すると、前記機械が、
多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に関する試験を行う試験装置から順次試験データを受信する動作であって、前記順次試験データが１）多数のＤＵＴ識別子を含み、前記ＤＵＴ識別子に２）識別されるＤＵＴに関連する任意の試験結果が付随する、前記受信する動作と、
前記ＤＵＴ識別子のうちの１つを受信すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つによって識別されるＤＵＴに対するデータ構造が存在するかどうかを判断する動作と、
前記データ構造が存在しないと判断した場合に前記データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記データ構造に関連づける動作と、
前記データ構造が存在すると判断した場合に前記データ構造の子として子データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する前記任意の試験結果をｉｉ）前記子データ構造に関連づける動作であって、前記子データ構造からは、関連する前記試験結果が再試験結果であることが推測される、前記関連づける動作と、を実行すること、
を特徴とする媒体。
【請求項１２】
前記命令シーケンスを前記機械が実行すると、前記機械はさらに前記子データ構造の親ポインタを前記データ構造に設定すること、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１３】
前記命令シーケンスを前記機械が実行すると、前記機械はさらに前記データ構造の親ポインタを親オブジェクトに設定すること、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１４】
前記命令シーケンスを前記機械が実行すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つを受信した際に前記機械はさらに、
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがいずれかの試験結果に関連するかどうかを判断し、
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがいずれの試験結果にも関連しない場合に、前記データ構造または前記子データ構造を作成しないこと、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１５】
前記データ構造と子データ構造を作成する際にデータオブジェクトとして作成すること、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１６】
前記ＤＵＴ識別子がウェハ上のＤＵＴの位置を含むことを特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１７】
前記ＤＵＴ識別子がウェハ識別子をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の媒体。
【請求項１８】
前記試験装置からの前記順次試験データの受信が、中間データストアを介して前記順次試験データを受信することを含むこと、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【請求項１９】
前記データストアがファイルであることを特徴とする請求項１８に記載の媒体。
【請求項２０】
前記命令シーケンスを前記機械が実行すると、前記機械はさらに複数のセットの再試験結果をそれぞれ前記データ構造の複数の子データ構造に関連づけること、
を特徴とする請求項１１に記載の媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試験結果間の関係を推測する方法と、試験結果間の関係を推測することに関する命令シーケンスを格納した機械可読媒体に関する。
【背景技術】
【０００２】
アジレントテクノロジーズ社（Ａｇｉｌｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ，  Ｉｎｃ．）の９３０００（システムオンチップ）シリーズテスタ等の試験装置は、複雑な回路を高速で試験することができる。このような試験装置は大量の順次試験データを生成することができるが、この順次試験データに含まれる試験結果と、特定の試験結果又は特定のセットの試験結果を生じる試験の種類との関係を示すものが比較的少ない。従って、試験結果間の関係を推測する単純な方法が有用である。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
この発明は上記従来技術における問題点を解決するためになされたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一実施の形態において、試験結果間の関係を推測する方法は、１）多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に関する試験を行う試験装置から順次試験データを受信し、前記順次試験データは、１）多数のＤＵＴ識別子を含み、前記ＤＵＴ識別子に、２）識別されるＤＵＴに関連する任意の試験結果が付随し、；２）前記ＤＵＴ識別子のうちの１つを受信すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つによって識別されるＤＵＴに対するデータ構造が存在するかどうかを判断し、；３）前記データ構造が存在しないと判断した場合には、前記データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記データ構造に関連づけ、；４）前記データ構造が存在すると判断した場合には、前記データ構造の子として子データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する前記任意の試験結果をｉｉ）前記子データ構造に関連づける。前記子データ構造からは、関連する前記試験結果が再試験結果であることが推測される。
【０００５】
他の実施の形態において、命令シーケンスを格納した多数の機械可読媒体は、前記命令シーケンスを機械が実行すると、前記機械が、前項の方法を実行する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
本発明の実施形態を図面に示す。
【０００７】
背景技術で述べたように、アジレントテクノロジーズ社の９３０００ＳＯＣ（システムオンチップ）シリーズテスタのような試験装置は大量の順次試験データを生成することができるが、順次試験データに含まれる試験結果と、特定の試験結果又は試験結果のセットを生じる試験の種類との関係を示すものが比較的少ない。よって試験結果間の関係を推測する単純な方法が有用である。これを目的として、試験結果間の関係を推測する一例の方法１００を図１に示す。
【０００８】
まず方法１００は、多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）を試験する試験装置から順次試験データを受信する。図１のブロック１０２を参照されたい。順次試験データを試験装置から直接受信する場合もあれば、例えばディスク上のファイルやメモリ内データ構造等の中間データストアを介して順次試験データを受信する場合もある。順次試験データは、１）多数のＤＵＴ識別子を含み、このＤＵＴ識別子には２）識別されるＤＵＴに関連する任意の試験結果が付随する。一例として、ＤＵＴ識別子はウェハ上のＤＵＴの位置、例えばＤＵＴのデカルト座標(例えば（ｘ，ｙ）座標）を含み得る。代替的に、ＤＵＴ識別子は英字又は英数字のＤＵＴ識別子を含み得る。さらに、ＤＵＴ識別子はデカルト座標、ウェハ識別子、ロット識別子等の識別子の組合せを含み得る。
【０００９】
ＤＵＴ識別子のうちの１つを受信すると、方法１００はＤＵＴ識別子によって識別されるＤＵＴのデータ構造が存在するかどうかを判断する（ブロック１０４）。データ構造が存在しないと判断した場合には、データ構造を作成してこのＤＵＴ識別子に関連する任意の試験結果を、新たに作成したデータ構造と関連づける（ブロック１０６）。一方データ構造が既に存在すると判断した場合には、（そのデータ構造の子として）子データ構造を作成し、ＤＵＴ識別子に関連する任意の試験結果を子データ構造と関連づける。子データ構造の不測の依存（すなわち、同一ＤＵＴに関連する親データ構造への依存）からは、子データ構造に関連する試験結果が再試験結果であることが推測される。
【００１０】
試験結果を識別し、それらを初試験結果と区別できなければデータ平均にずれが生じ、他のデータ解釈をすることになるため、試験結果を識別し初試験結果と区別できるようにすることが有用である。
【００１１】
任意に、方法１００は子データ構造を作成する際に子データ構造の「親ポインタ」を、子の親データ構造を指すように設定することを含み得る（ブロック１１０）。同様に、方法１００はＤＵＴの初データ構造を作成する際にデータ構造の「親ポインタ」を、ＤＵＴの初データ構造を指すように設定することを含み得る（ブロック１１２）。代替的に、親データ構造に関連するポインタを、それらの子を指すように設定してもよい。
【００１２】
一実施形態において方法１００は、１）ＤＵＴ識別子がいずれかの試験結果に関連するかどうかを判断し、２）ＤＵＴ識別子がどの試験結果とも関連しない場合に、識別されるＤＵＴに対する初データ構造又は子データ構造の作成を省略することをさらに含む。
【００１３】
図１に示す方法ステップの順序は重要ではないため、それらのステップを並行して行うなど、他の順序で行ってもよい。
【００１４】
図１に示す方法１００は機械可読媒体に格納された命令シーケンスによって実行することができ、この命令シーケンスを機械が実行すると、機械は方法１００の動作を実行する。機械可読媒体としては例えば、固定媒体やリムーバブルメディア（１つ以上の固定ディスク、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）、読取り専用メモリ（ＲＯＭ）、コンパクトディスク等）があり、それらを任意の数で又は任意に組み合わせてネットワーク上の１つの位置に又はネットワーク上に分散させて使用することができる。典型的に命令シーケンスはソフトウェアを含むが、ファームウェアも含み得る。
【００１５】
図２は、方法１００（図１）を実行する一例のシステム２００のブロック図である。システム２００はデータ投入部２１６とデータストア２１８を含む。データ投入部２１６は、ＤＵＴ識別子２０４Ａ、２０８Ａ、２１２Ａを含む順次試験データ２０２と、それらに関連する試験結果２０６Ａ、２１０Ａ、２１４Ａを受信する。一実施形態では、順次試験データ２０２は試験装置から直接受信される場合もあれば、ディスク上のファイルあるいはメモリ内データ構造等の中間データストアを介して受信される場合もある。
【００１６】
ＤＵＴ識別子２０４Ａを受信すると、データ投入部２１６はデータストア２１８にアクセスして、ＤＵＴ“Ａ”に対するデータ構造が存在するかどうかを判断する。かかるデータ構造が存在しないと判断した場合には、データ投入部２１６はデータ構造２２０を作成し、ＤＵＴ識別子２０４Ｂと試験結果２０６Bをデータ構造２２０に関連づけて、データ構造２２０の親ポインタ２２２を親データ構造２３２（例えば、「ウェハ」データ構造）に設定する。
【００１７】
ＤＵＴ識別子２０８Ａを受信すると、データ投入部２１６はデータストア２１８にアクセスして、ＤＵＴ“Ｂ”に対するデータ構造が存在するかどうか判断する。かかる構造が存在しないと判断した場合には、データ投入部２１６はデータ構造２２４を作成し、ＤＵＴ識別子２０８Bと試験結果２１０Bをデータ構造２２４に関連づけて、データ構造２２４の親ポインタ２２６を親データ構造２３２に設定する。
【００１８】
ＤＵＴ識別子２１２Ａを受信すると、データ投入部２１６はデータストア２１８にアクセスして、ＤＵＴ“Ｂ”に対するデータ構造が存在するかどうかを判断する。かかるデータ構造が既に存在すると判断すると、データ投入部２１６は子データ構造２２８を作成し、ＤＵＴ識別子２１２Ｂと試験結果２１４Ｂをデータ構造２２８に関連づけて、データ構造２２８の親ポインタ２３０をＤＵＴ“Ｂ”に対して作成した初データ構造２２４に設定する。
【００１９】
一実施形態では、データ構造２２０、２２４、２２８、２３２はメモリ内で作成されたデータオブジェクトであるが、データベースレコード、ファイルあるいはカスタム構造（例えば、「ストラクト」）を含み得る。
【００２０】
本願の付記を以下説明する。
【００２１】
（付記１）
試験結果間の関係を推測する方法であって、
多数の被試験デバイス（ＤＵＴ）に関する試験を行う試験装置から順次試験データを受信し、前記順次試験データは、１）多数のＤＵＴ識別子を含み、前記ＤＵＴ識別子に、２）識別されるＤＵＴに関連する任意の試験結果が付随し、
前記ＤＵＴ識別子のうちの１つを受信すると、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つによって識別されるＤＵＴに対するデータ構造が存在するかどうかを判断し、
前記データ構造が存在しないと判断した場合には、前記データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する任意の試験結果をｉｉ）前記データ構造に関連づけ、
前記データ構造が存在すると判断した場合には、前記データ構造の子として子データ構造を作成し、ｉ）前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つに関連する前記任意の試験結果をｉｉ）前記子データ構造に関連づけ、前記子データ構造からは、関連する前記試験結果が再試験結果であることが推測されることを含むこと、
を特徴とする方法。
【００２２】
（付記２）
前記子データ構造の親ポインタを前記データ構造に設定することをさらに含むこと、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００２３】
（付記３）
前記データ構造の親ポインタを親オブジェクトに設定することをさらに含むこと、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００２４】
（付記４）
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つを受け取った際に、前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがいずれかの試験結果に関連するかどうかを判断し、
前記ＤＵＴ識別子のうちの前記１つがどの試験結果とも関連しない場合に、前記データ構造又は前記子データ構造を作成しないことを含むこと、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００２５】
（付記５）
前記データ構造及び子データ構造を作成する際にデータオブジェクトとして作成すること、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００２６】
（付記６）
前記ＤＵＴ識別子がウェハ上のＤＵＴの位置を含むことを特徴とする付記１に記載の方法。
【００２７】
（付記７）
前記ＤＵＴ識別子がウェハ識別子をさらに含むことを特徴とする付記６に記載の方法。
【００２８】
（付記８）
前記試験装置からの前記順次試験データの受信が、中間データストアを介して前記順次試験データを受信することを含むこと、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００２９】
（付記９）
複数のセットの再試験結果がそれぞれ、前記データ構造の複数の子データ構造に関連づけられること、
を特徴とする付記１に記載の方法。
【００３０】
（付記１０）
他の実施の形態において、命令シーケンスを格納した多数の機械可読媒体は、前記命令シーケンスを機械が実行すると、前記機械が、付記１から９のいずれかの方法を実行する。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】試験結果間の関係を推測する方法の一例を示す図である。
【図２】図１の方法を実行するシステムの一例を示す図である。
【符号の説明】
【００３２】
２００  システム
２０２  順次試験データ
２０４Ａ、２０８Ａ、２１２Ａ  ＤＵＴ識別子
２０６Ａ、２１０Ａ、２１４Ａ  試験結果
２０６Ｂ、２１０Ｂ、２１４Ｂ  試験結果
２１６  データ投入部
２１８  データストア
２２０、２２４  データ構造
２２２、２２６、２３０  親ポインタ
２２８  子データ構造
２３２  親データ構造
【図１】
2007206067.tif 000003
【図２】
2007206067.tif 000004
【外国語明細書】
2007206067000001.pdf