(57)【要約】【課題】アイテムの配置順番と配置重要度が一致しないような複雑なスクライブアイテム配置仕様でも、配置処理を自動化することができるスクライブアイテムの配置方法を提供する。【解決手段】スクライブ領域１への配置対象アイテムリストを作成し、次いで、配置対象アイテムリストにリストアップされたアイテムを指定された配置順番、配置場所規則に従って配置し、次いで、すべての必須アイテムが配置できたかどうかを確認し、すべての必須アイテムが配置できなかった場合に、任意アイテムを指定された削除順番に従って配置対象アイテムリストから１つずつ削除し、その上で前記の規則に従ってアイテムを配置する工程に戻る。アイテムの配置順番とは独立に、配置重要度の逆順で任意アイテムの削除順番を指定する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
スクライブ領域への配置対象アイテムリストを作成する工程と、
配置対象アイテムリストにリストアップされたアイテムを指定された配置順番、配置場所規則に従って配置する工程と、
すべての必須アイテムが配置できたかどうかを確認する工程と、
すべての必須アイテムが配置できなかった場合に、任意アイテムを指定された削除順番に従って配置対象アイテムリストから１つずつ削除し、その上で前記の規則に従ってアイテムを配置する工程に戻る工程とを有するスクライブアイテムの配置方法。
【請求項２】
前記任意アイテムを１つずつ削除することに代えて、削除順番が同一の複数の任意アイテムを前記配置対象アイテムリストから一度に削除するようにした請求項１に記載のスクライブアイテムの配置方法。
【請求項３】
さらに、すべての必須アイテムが配置できたことを確認した後に、空き領域を探して配置の改善を試みる工程を有する請求項１または請求項２に記載のスクライブアイテムの配置方法。
【請求項４】
さらに、前記スクライブ領域へのアイテム配置において、アイテムのパターン領域を複数の長方形領域に分割する工程と、
前記配置場所規則に従ってすべての長方形領域がその位置関係を保ちながら配置できる領域を探して配置する工程とを有する請求項１から請求項３までのいずれかに記載のスクライブアイテムの配置方法。
【請求項５】
さらに、前記スクライブ領域へのアイテム配置において、アイテムのパターン領域を長方形領域の組み合わせとして構成する工程と、
前記配置場所規則に従ってすべての長方形領域がその位置関係を保ちながら配置できる領域を探して配置する工程とを有する請求項１から請求項３までのいずれかに記載のスクライブアイテムの配置方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体製造に使用されるレチクルマスクのパターン作成において、スクライブ領域へのアイテム配置を自動化する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のスクライブアイテムの配置方法は、アライメント用やプロセス管理用等の配置対象アイテムを、指定された配置順番、配置場所規則に従ってスクライブ領域へ配置する（例えば、特許文献１参照）。また、アイテムがスクライブ領域の不足等のために配置できない場合でも、アイテムに任意配置を指定すれば、エラーとならない。
【特許文献１】特開２０００−２１４５７６号公報（第２−３頁、第１−７図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、上記従来の方法では、任意アイテムの配置順番が配置重要度と一致しない場合には、その配置仕様を実現（自動化）することはできない。
【０００４】
また、最小セパレーションを定義してセットで配置するようなアイテムに関しては、最低限の規則を守った配置は実現できるものの、最適配置という点では不十分な場合があった。
【０００５】
また、アイテムの実効領域である長方形パターン領域（他アイテムの配置を禁止する領域）がスクライブ領域に入らない場合には、自動配置できないという課題もあった。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みて創作したものであり、アイテムの配置順番とアイテムの配置重要度が一致しないような複雑な配置仕様でも、アイテムを自動的に配置できるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明によるスクライブアイテムの配置方法は、
スクライブ領域への配置対象アイテムリストを作成する工程と、
配置対象アイテムリストにリストアップされたアイテムを指定された配置順番、配置場所規則に従って配置する工程と、
すべての必須アイテムが配置できたかどうかを確認する工程と、
すべての必須アイテムが配置できなかった場合に、任意アイテムを指定された削除順番に従って配置対象アイテムリストから１つずつ削除し、その上で前記の規則に従ってアイテムを配置する工程に戻る工程とを有するものである。
【０００８】
この構成において、配置対象アイテムリストにおける配置対象アイテムをスクライブ領域に対して配置順番、配置場所規則に従って配置したときに、スクライブ領域の不足等のために必須アイテムがすべて配置できなかった場合に、任意アイテムを削除する。この任意アイテムの削除において、アイテムの配置順番とは独立に、配置重要度の逆順で任意アイテムの削除順番を指定し、その削除順番に従ってアイテムを配置対象アイテムリストから１つずつ削除する。この削除順番に従ったアイテムの削除の後、再び、配置対象アイテムをスクライブ領域に対して配置順番、配置場所規則に従って配置する処理を繰り返す。これにより、必須アイテムが配置される確率を高めることができる。このようにして、アイテムの配置順番と配置重要度が一致しないような複雑なスクライブアイテム配置仕様でも、アイテムの配置処理を自動化することができる。
【０００９】
上記の方法において、前記任意アイテムを１つずつ削除することに代えて、削除順番が同一の複数の任意アイテムを前記配置対象アイテムリストから一度に削除するという態様がある。これによれば、アイテムの誤使用を防止できるとともに、空いた領域を他のアイテムに割り当てることが可能となり、スクライブ領域の有効活用が図れる。
【００１０】
また、上記の方法において、さらに、すべての必須アイテムが配置できたことを確認した後に、空き領域を探して配置の改善を試みる工程を有するという態様がある。これによれば、配置順番、配置場所規則に従って配置対象アイテムを一通り配置した後に、配置の改善を試みることで、他アイテムの配置の邪魔をすることなく、配置改善が行え、最適配置が可能となる。例えば、ショット面内でなるべく離して配置したいアイテムを、最小セパレーションを指定する方法で四点同時に配置するようにした場合において、空き領域があれば、配置改善の可能性が出てくる。
【００１１】
また、上記の方法において、さらに、
前記スクライブ領域へのアイテム配置において、アイテムのパターン領域を複数の長方形領域に分割する工程と、
前記配置場所規則に従ってすべての長方形領域がその位置関係を保ちながら配置できる領域を探して配置する工程とを有するという態様がある。
【００１２】
また、上記の方法において、さらに、
前記スクライブ領域へのアイテム配置において、アイテムのパターン領域を長方形領域の組み合わせとして構成する工程と、
前記配置場所規則に従ってすべての長方形領域がその位置関係を保ちながら配置できる領域を探して配置する工程とを有するという態様がある。
【００１３】
これらによれば、アイテムの長方形パターン領域がスクライブ領域に入らない場合でも、複数の長方形領域に分割したり長方形領域の組み合わせとすることにより、パターン領域が十字、Ｔ字、Ｌ字形状等のアイテムも配置場所規則に従ったスクライブ領域の探索配置が可能となり、自動配置を実現できる。
【発明の効果】
【００１４】
本発明によれば、アイテムの配置順番とアイテムの配置重要度が一致しないような複雑な配置仕様でも、アイテム配置の自動化が可能となる。
【００１５】
また、削除順番が同一の複数の任意アイテムを一度に配置対象アイテムリストから削除することで、空いた領域を他のアイテムに割り当てスクライブ領域の有効活用が図れるだけでなく、アイテムの誤使用を防止できる。
【００１６】
また、一旦配置を決めた後に配置の改善を試みることで、他アイテムの配置の邪魔をすることなく、配置の改善が行える。
【００１７】
また、長方形パターン領域が十字、Ｔ字、Ｌ字形状等のアイテムも配置場所規則に従ったスクライブ領域の探索配置が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明にかかわるコンピュータによるスクライブアイテムの配置方法の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は、本発明のスクライブアイテムの配置方法を示すフローチャートである。
【００２０】
まず、ステップＳ１において、仕様入力として、配置対象アイテム（アライメント用、プロセス管理用等）、任意アイテムかどうか、配置順番、配置場所規則等を入力する。
【００２１】
次にステップＳ２において、前のステップＳ１で入力した仕様から配置対象アイテムリストを作成する。
【００２２】
次にステップＳ３において、配置対象アイテムリストにリストアップされたアイテムを指定された配置順番、配置場所規則に従って配置する。
【００２３】
次にステップＳ４において、必須アイテムがすべて配置できたかどうかを確認し、配置できていない必須アイテムが存在する場合は、ステップＳ５において、任意アイテムを指定された削除順番に従って配置対象アイテムリストから１つずつ削除し、その上で、ステップＳ３に戻り、再び更新された配置対象アイテムリストを基に配置を再実行する。これをすべての必須アイテムが配置できるまで繰り返す。
【００２４】
そして最後にステップＳ６において、配置改善を試みる。
【００２５】
なお、すべての任意アイテムを配置対象アイテムリストから削除しても必須アイテムをすべて配置できない場合は自動配置を中止する。
【００２６】
図２は、ショット領域の四隅になるべく近い場所に、横縞および縦縞で示したアイテムを１点ずつ配置した場合の様子を示す図である。ここで、図２（ａ）は該当アイテムを配置する前の状態であり、二重の破線で囲まれた領域がスクライブ領域１であり、スクライブ領域１のうち黒く塗りつぶしている部分は、既に他のアイテムを配置済み等の理由で今回は配置可能領域として使えないものとする。
【００２７】
ここで、横縞アイテムｉ１を左下、縦縞アイテムｋ１を左上、縦縞アイテムｋ２を右下、横縞アイテムｉ２を右上、縦縞アイテムｋ３を左下、横縞アイテムｉ３を左上、横縞アイテムｉ４を右下に、この順番で配置した結果が図２（ｂ）である。最後の縦縞アイテムの右上配置は、領域不足のために配置できなかった状態を示している。
【００２８】
ここで、縦縞アイテムが配置できなかったので、縦縞アイテムｋに同一の削除順番を指定し、同一削除順番のアイテムが１つでも配置できない場合に、同一順番のすべてのアイテムを削除する。その結果、縦縞アイテムｋ１〜ｋ３が削除され、図２（ｃ）のような配置結果となる。横縞アイテムｉ３，ｉ４は四隅に近づくように移動されている。中途半端にアイテムが配置されることがなくなり、アイテムの誤使用を防止できるだけでなく、空いた領域を他のアイテムに割り当てることが可能となる。
【００２９】
なお、図２では外部スクライブ領域はオーバーラップ・ショットを前提にしており、配置アイテムの対向領域はカバーパターン形成領域として使用するために、アイテムの配置は不可能になっている。例えば、横縞アイテムｉ２の対向領域ｘ２、横縞アイテムｉ３の対向領域ｘ３および横縞アイテムｉ４の対向領域ｘ４は配置不可領域である。
【００３０】
また図３（ａ）は、図２の配置例と同種のアイテム、すなわちショット面内でなるべく離して配置したいアイテムを、最小セパレーションを指定する方法で四点同時に配置するようにした場合の配置例を示している。このような配置を行う場合に、配置改善工程を設けていれば、図３（ｂ）のような配置改善を行える可能性が出てくる。
【００３１】
横縞アイテムｉ１、縦縞アイテムｋ１はそのままである。横縞アイテムｉ２はｉ２′に移動し、縦縞アイテムｋ２はｋ２′に移動している。横縞アイテムｉ３はｉ３′に移動し、縦縞アイテムｋ３はｋ３′に移動している。横縞アイテムｉ４はｉ４′に移動し、縦縞アイテムｋ４はｋ４′に移動している。いずれも四隅に近づく方向である。
【００３２】
横縞アイテムｉ１に対して、縦方向でも横方向でも対向領域は空白となっている。縦縞アイテムｋ１に対して、縦方向の対向領域は空白となっている。横縞アイテムｉ２′に対して、縦方向の対向領域は空白となっている。縦縞アイテムｋ２′に対して、横方向の対向領域は空白となっている。横縞アイテムｉ３′に対して、縦方向の対向領域は空白となっている。縦縞アイテムｋ３′に対して、横方向の対向領域は空白となっている。横縞アイテムｉ４′に対して、横方向の対向領域は空白となっている。縦縞アイテムｋ４′に対して、縦方向の対向領域は空白となっている。
【００３３】
さらに、図４（ａ）は、アイテムにおけるパターン領域が長方形でない場合の例として十字形状のパターン領域を持つアイテムを示している。このようなアイテムを取り扱う場合に、そのアイテムのパターン領域のみを長方形に分割し、あるいは長方形でパターン領域を構成するようにして（図４（ｂ），（ｃ），（ｄ））、その各々の長方形がその位置関係で配置できる領域を探索することで、目標の場所への配置を可能としている。
【産業上の利用可能性】
【００３４】
本発明のスクライブアイテムの配置方法は、削除順番指定や配置改善工程等を有し、複雑なスクライブアイテム仕様に対応して、自動でスクライブアイテムを配置する方法として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明の実施の形態におけるスクライブアイテムの配置方法の手順を示すフローチャート
【図２】本発明の実施の形態におけるスクライブアイテムの配置方法で、ショット領域の四隅になるべく近い場所に横縞および縦縞で示したアイテムを１点ずつ配置した場合の様子を示す図
【図３】図２の配置例と同種のアイテムを、最小セパレーションを指定する方法で同時に配置するようにした場合の配置例
【図４】パターン領域が長方形でない場合の例とパターン領域を複数の長方形で分割・構成した例
【符号の説明】
【００３６】
１  スクライブ領域
ｉ  横縞アイテム
ｋ  縦縞アイテム
【図１】
2007206402.tif 000003
【図２】
2007206402.tif 000004
【図３】
2007206402.tif 000005
【図４】
2007206402.tif 000006