(57)【要約】【課題】ノズル面に撥水膜が設けられた液滴吐出ヘッド及びその製造方法であって、ノズル加工性、及び吐出安定性と共に、耐擦過性（耐磨耗性）にも優れた液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供すること。また、この液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を適用すること。【解決手段】保護プレート３４、ノズルプレート３６、プールプレート３８、連通孔プレート４０，４２と、圧力室プレート４４と、及び振動板４６とが位置合わせして積層され、熱融着や接着剤などによって接合させる。そして、ノズルプレート３６上に保護プレート３４を介して、ｔａ−Ｃ（テトラヘドラルアモルファスカーボン）膜４８撥水膜４９を形成する。これにより、ノズル加工性、及び吐出安定性と共に、耐擦過性（耐磨耗性）を向上させることができる。【選択図】図４
2007276344.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルから液体を吐出するための液体吐出エネルギー駆動手段を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、
液滴を吐出する前記ノズルが設けられたノズルプレートと、
前記ノズルプレート上に設けられたテトラヘドラルアモルファスカーボン膜と、
前記テトラヘドラルアモルファスカーボン膜上に設けられた撥水膜と、
を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。
【請求項２】
ノズルから液体を吐出するための液体吐出エネルギー駆動手段を備えた液滴吐出ヘッドを製造するための液滴吐出ヘッドの製造方法において、
液滴を吐出するための前記ノズルを形成する前のノズルプレート上に、テトラヘドラルアモルファスカーボン膜を形成する工程と、
前記テトラヘドラルアモルファスカーボン膜上に、撥水膜を形成する工程と、
前記ノズルプレートにノズルを形成する工程と、
を有する、
ことを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１に記載の液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、インクジェット記録方式に代表されるような液滴を吐出して画像記録などを行う液滴吐出ヘッド及びその製造方法、並びに、その液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、複数のノズルから液滴を吐出し、用紙等の記録媒体に印字を行う液滴吐出装置には、インクジェット記録装置があり、このインクジェット記録装置は、小型で安価、静寂性等の種々の利点があり、広く市販されている。特に、圧電素子を用いて圧力室内の圧力を変化させてインク滴を吐出するピエゾインクジェット方式や、熱エネルギーの作用でインクを膨張させてインク滴を吐出する熱インクジェット方式の記録装置は、高速印字、高解像度が得られる等、多くの利点を有している。
【０００３】
これらのインクジェット方式の記録装置において、インクジェット記録ヘッドでは、ノズルからインク滴を吐出した際、インク滴がノズル周囲に付着したり、また、ノズルからインクが盛り上がるオーバーシュート現象によるインク漏れが生じる。このため、インク吐出方向が傾いたり、インク滴径及び速度がばらつくことがあり、これによって、インクジェット記録ヘッドの印字性能が著しく低下する場合がある。そこで、インク滴がノズル周囲に付着するのを防ぐため、ノズル表面に撥水膜を施すことが行われている。
【０００４】
ここで、ノズルプレートの表面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成し、その上からフッ素化ダイヤモンドライクカーボン膜を形成する構成が開示されている（特許文献１）。しかし、フッ素化ダイヤモンドライクカーボン膜は耐摩耗性に弱いため、ノズルの目詰まりを防止する目的で、吐出口周辺をブレードでワイピングすることもしばしば行われ、このときフッ素化ダイヤモンドライクカーボン膜が剥離あるいは摩耗する等の問題が発生している。
【０００５】
また、ノズルプレートに積載する金属プレートとの接合に接着剤が使用されているが、ノズルプレートに高分子樹脂のポリイミド等を用いた場合、接着剤だけでは耐インク性が低く、インクが接着剤に浸透して接着剤の密着力が弱くなってしまう。これによって、ノズルヘッド全体の密着性に影響を及ぼしてしまうことがある。
【０００６】
このような問題を改善するために、ノズルプレート上に、ダイヤモンドライクカーボンと撥水膜とを順次積層したインクジェット記録ヘッドが提案されている（特許文献２）。この提案では、撥水性、耐摩耗性、密着性及び耐インク性に優れたインクジェット記録ヘッドを提供することができる。
【０００７】
【特許文献１】特許第２９８３６７９号
【特許文献２】特開２００４−２８４１２１
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、上記撥水膜は、ノズル加工性、吐出安定性の点から、膜厚を薄くするようにしている。しかし、一方で、撥水膜の膜厚を薄くすると、耐擦過性（耐磨耗性）が不十分であるといった問題が出てくる。これは、インクジェット記録ヘッドのみならず、液滴吐出ヘッド全般で、同様の問題がある。
【０００９】
そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、ノズル面に撥水膜が設けられた液滴吐出ヘッド及びその製造方法であって、ノズル加工性、及び吐出安定性と共に、耐擦過性（耐磨耗性）にも優れた液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。また、この液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を適用することも目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題は、以下の手段により解決される。即ち、
本発明の液滴吐出ヘッドは、ノズルから液体を吐出するための液体吐出エネルギー駆動手段を備えた液滴吐出ヘッドであり、
液滴を吐出する前記ノズルが設けられたノズルプレートと、
前記ノズルプレート上に設けられたテトラヘドラルアモルファスカーボン膜と、
前記テトラヘドラルアモルファスカーボン膜上に設けられた撥水膜と、
を有することを特徴としている。
【００１１】
また、本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法は、ノズルから液体を吐出するための液体吐出エネルギー駆動手段を備えた液滴吐出ヘッドを製造するための液滴吐出ヘッドの製造方法であり、
液滴を吐出するための前記ノズルを形成する前のノズルプレート上に、テトラヘドラルアモルファスカーボン膜を形成する工程と、
前記テトラヘドラルアモルファスカーボン膜上に、撥水膜を形成する工程と、
前記ノズルプレートにノズルを形成する工程と、
を有する、
ことを特徴としている。
【００１２】
本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法では、薄膜で高硬度を持つテトラヘドラルアモルファスカーボン膜を撥水膜の下層に設けることで、撥水膜を薄くしてノズル加工性、及び吐出安定性を向上させると共に、耐擦過性（耐磨耗性）をも向上させた液滴吐出ヘッドを得ることができる。
【００１３】
また、本発明の液滴吐出ヘッドは、上記本発明の液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴としている。
【００１４】
本発明の液滴吐出装置では、上記本発明の液滴吐出ヘッドを備えるので、長期間安定して、液滴を吐出することができる。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、ノズル面に撥水膜が設けられた液滴吐出ヘッド及びその製造方法であって、ノズル加工性、及び吐出安定性と共に、耐擦過性（耐磨耗性）にも優れた液滴吐出ヘッド及びその製造方法を提供することができる。また、この液滴吐出ヘッドを備える液滴吐出装置を適用することもできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明について図面を参照しつつ説明する。なお、実質的に同一の機能を有する部材には全図面通して同じ符合を付与し、重複する説明は省略する場合がある。
【００１７】
図１は、実施形態に係るインクジェット記録装置を示す概略構成図である。図２は、実施形態に係るインクジェット記録ユニットの記録ヘッド配置を示す概略図である。図３は、実施形態のインクジェット記録ユニットによる印字領域を示す図である。
【００１８】
本実施形態に係るインクジェット記録装置１０（液滴吐出装置）は、図１に示すように、用紙を送り出す用紙供給部１２と、用紙の姿勢を制御するレジ調整部１４と、インク滴（液滴）を吐出して記録媒体Ｐに画像形成する記録ヘッド部１６と、記録ヘッド部１６のメンテナンスを行なうメンテナンス部１８とを備える記録部２０と、記録部２０で画像形成された用紙を排出する排出部２２とから基本的に構成される。
【００１９】
用紙供給部１２は、用紙が積層されてストックされているストッカ２４と、ストッカ２４から１枚ずつ枚葉してレジ調整部１４に搬送する搬送装置２６とから構成されている。
【００２０】
レジ調整部１４は、ループ形成部２８と用紙の姿勢を制御するガイド部材２９が備えられており、この部分を通過することによって用紙のコシを利用してスキューが矯正されると共に搬送タイミングが制御されて記録部２０に進入する。
【００２１】
排出部２２は、記録部２０で画像が形成された用紙が排紙ベルト２３を介してトレイ２５に収納するものである。
【００２２】
記録ヘッド部１６とメンテナンス部１８の間には、記録媒体Ｐが搬送される用紙搬送路が構成されている。スターホイール１７と搬送ロール１９とで記録媒体Ｐを挟持しつつ連続的に（停止することなく）搬送する。そして、この用紙に対して、記録ヘッド部１６からインク滴が吐出され当該記録媒体Ｐに画像が形成される。
【００２３】
メンテナンス部１８は、インクジェット記録ユニット３０（記録ヘッド３２）に対して対向配置されるメンテナンス装置２１で構成されており、インクジェット記録ユニット３０（記録ヘッド３２）に対するキャッピングや、ワイピング、さらにダミージェットやバキューム等の処理を行うことができる。
【００２４】
図２に示すように、インクジェット記録ユニット３０のそれぞれは、用紙搬送方向と直交する方向に配置された、複数のインクジェット記録ヘッド３２を備えている。インクジェット記録ヘッド３２には、マトリックス状に複数のノズル３３が形成されている。用紙搬送路を連続的に搬送される記録媒体Ｐに対し、ノズル３３からインク滴を吐出することで、記録媒体Ｐ上に画像が記録される。なお、インクジェット記録ユニット３０は、たとえば、いわゆるフルカラーの画像を記録するために、ＹＭＣＫの各色に対応して、少なくとも４つ配置されている。
【００２５】
図３に示すように、それぞれのインクジェット記録ユニット３０のノズル３３による印字領域幅は、このインクジェット記録装置１０での画像記録が想定される記録媒体Ｐの用紙最大幅ＰＷよりも長くされており、インクジェット記録ユニット３０を紙幅方向に移動させることなく記録媒体Ｐの全幅にわたる画像記録が可能とされている（いわゆるＦｕｌｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＦＷＡ））。ここで、印字領域とは、用紙の両端から印字しないマージンを引いた記録領域のうち最大のものが基本となるが、一般的には印字対象となる用紙最大幅ＰＷよりも大きくとっている。これは、用紙が搬送方向に対して所定角度傾斜して（スキューして）搬送されるおそれがあること、また縁無し印字の要請が高いためである。
【００２６】
以上のような構成のインクジェット記録装置１０において、次にインクジェット記録ヘッド３２について詳細に説明する。図４は、実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す概略断面図である。図５は、実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す工程図である。
【００２７】
インクジェット記録ヘッド３２は、図４に示すように、保護プレート３４、ノズルプレート３６、プールプレート３８、連通孔プレート４０，４２と、圧力室プレート４４と、及び振動板４６とが位置合わせして積層され、熱融着や接着剤などによって接合されている。そして、ノズルプレート３６上の保護プレート３４表面には、テトラヘドラルアモルファスカーボン（以下、ｔａ−Ｃ）膜４８と、撥水膜４９とが順次形成されている。
【００２８】
ノズルプレート３６には、インクを吐出するノズル３３が形成されている。ノズルプレート３６に接合された保護プレート３４には、ノズル３３の周囲に段差孔５２が形成されている。この段差孔５２によって、ノズル３３の周辺のノズル面５４が保護プレート３４のプレート面５６（ｔａ−Ｃ膜４８及び撥水膜４９が塗布された保護プレート３４の表面）から凹状に後退している。これにより、印字時に浮き上がった記録媒体Ｐがノズル面５６に接触せず、ノズル３３の周辺の撥水膜４９が傷つかない。
【００２９】
この撥水膜４９はノズル３３の周辺にインクが付着するのを防止するものであり、この撥水膜４９により、ノズル３３から吐出するインク滴が常にプレート面５６に対して垂直に吐出される。
【００３０】
しかし、この撥水膜４９を厚膜化すると、ノズル加工性、吐出安定性が悪化する。一方で、撥水膜４９を薄膜化すると、ノズル加工性、吐出安定性が向上するが、耐擦過性（耐摩耗性）が悪化してしまう。
【００３１】
そこで、撥水膜４９の下層にｔａ−Ｃ膜４８を設けることで、撥水膜４９を薄膜化して、ノズル加工性、吐出安定性が向上させると共に、耐擦過性（耐摩耗性）を向上させている。
【００３２】
また、図４に示すように、プールプレート３８には、ノズル３３と通じる連通孔５８が形成されている。また、連通孔プレート４０，４２には、連通孔６０，６２がぞれぞれ形成されている。これらのノズル３３、連通孔５８、及び連通孔６０，６２は、ノズルプレート３６と連通孔プレート４０，４２が積層された状態で連通し、圧力室プレート４４に形成された圧力室６４に繋がっている。
【００３３】
一方、プールプレート３８には、インクプール６６が形成され、図示しないインク供給孔から供給されたインクが貯留されている。また、連通孔プレート４０，４２には、それぞれインクプール６６と連結するように供給孔６８，７０が形成されている。これらのインクプール６６、供給孔６８，７０及び圧力室６４は、プールプレート３８と連通孔プレート４０，４２と圧力室プレート４４が積層された状態で連通している。振動板４６には（圧力室プレート４４と接合される面とは反対の面に）、圧力室６４の上方に圧力発生手段としての単板型の圧電素子５０が取り付けられており、図示しないフレキシブル配線基板から駆動電圧が印加されるように構成されている。
【００３４】
なお、ノズルから液体を吐出するための液滴吐出エネルギー手段としては、上記圧電素子５０（ピエゾ）に限定されるものではなく、例えば、発熱体（電気熱変換素子）を適用したサーマル方式でもよい。
【００３５】
このようなインクジェット記録ヘッド３２では、インクプール６６から供給孔６８，７０、圧力室６４、連通孔６０，６２、連通孔５８及びノズル３３へと連続するインクの流路が形成されており、インク供給孔（図示省略）から供給されインクプール６６に貯留されたインクは、供給孔６８，７０を経て圧力室６４内に充填される。そして、圧電素子５０に駆動電圧が印加されると、圧電素子５０とともに振動板４６がたわみ変形して圧力室６４を膨張又は圧縮させる。これによって、圧力室６４に体積変化が生じ、圧力室６４内に圧力波が発生する。この圧力波の作用によってインクが運動し、ノズル３３から外部へインク滴が吐出される。
【００３６】
次に、インクジェット記録ヘッド３２の製造方法について説明する。
【００３７】
まず、図５（Ａ）に示すように、ノズル３３を形成する前の板状のノズルプレート３６と、段差孔５２を形成する前の板状の保護プレート３４とを熱融着により接合する。２枚のノズルプレート３６と保護プレート３４とを熱融着により接着剤を用いずに接合することで、接合時に両者の位置調整をする必要がなく、効率良く接合することができる。ノズルプレート３６には、シリコンウエハー、ＳＵＳ板、合成樹脂等が使用される。好ましくは機械的強度、耐薬品性、薄膜化に優れた合成樹脂が用いられ、本実施形態ではポリイミドが用いられている。ポリイミドを用いることで、従来のＳＵＳよりも加工しやすく、またインクに吐出エネルギーを与えた際にダンパ効果によりクロストークを抑制するという利点がある。保護プレート３４には、金属プレート、樹脂フィルム、液晶フィルム、又は樹脂プレートなどが用いられる。本実施形態ではＳＵＳが用いられている。
【００３８】
次いで、図５（Ｂ）に示すように、板状の保護プレート３４に、段差孔５２を形成する。この段差孔５２の形成には、まず、レジストを形成して、このレジストにマスクを通してパターニングした後に不用部分を除去することで、段差孔５２の位置に対応した孔部を形成する。そして、ウエットエッチングにより保護プレート３４に段差孔５２のパターンを形成し、レジストを除去する。この段差孔５２は、この段差孔５２の深さは例えば５μｍ〜２０μｍに設定されている。
【００３９】
次いで、図５（Ｃ）に示すように、保護プレート３４の表面、すなわちインクジェット記録ヘッド３２（図１参照）の吐出側表面に、ｔａ−Ｃ膜４８を形成する。その後、撥水膜４９を形成する。
【００４０】
ここで、ｔａ−Ｃ（Ｔｅｔｒａｈｅｄｒａｌ  Ａｍｏｒｐｈｏｕｓ  Ｃａｒｂｏｎ）膜４８は、炭素質からなる高硬度、高ヤング率の物質で、従来からあるダイヤモンドライクカーボンより硬度が高いため、摩擦によるキズや磨耗の抑制に優れている。
【００４１】
ｔａ−Ｃ膜４８を形成する方法としては特に限定されないが、プラズマ化学気相蒸着法又は、カソーディックアーク法により形成することができる。カソーディックアーク法は、アーク放電を用いてカーボン（グラファイト）よりＣ+を抽出することで、成膜する手法である。このカソーディックアーク法では、例えばインターナショナルカンファレンス  オン  マイクロメカトロニクス  フォー  インフォメーションアンド  プリシジョン  イクイップメント  （１９９７年、  東京）の予稿集第３５７頁から第３６２頁（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ  Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ  ｏｎ  Ｍｉｃｒｏｍｅｃｈａｔｒｏｎｉｃｓ  ｆｏｒ  Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ  Ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ（Ｔｏｋｙｏ、Ｊｕｌｙ、２０−２３、１９９７）ＰＰ．３５７ー３６２）に記載されるような特性を持ち、反応性スパッタ法、イー・シー・アール−・シー・ブイ・ディー（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ  Ｃｙｃｌｅｔｏｒｏｎ  Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ−ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｅｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＥＣＲ−ＣＶＤ）法のような他の方法で成膜したＤＬＣ膜と比べｓｐ３結合性が強く、硬質でかつ摩擦係数が低いという利点を持つ。
【００４２】
また、ｔａ−Ｃ膜４８の代表的な特性値を表１に示す。また、表１には、比較のために、天然ダイヤモンド、ダイアモンドライクカーボン（ＤＬＣ）層、フレキシブルダイアモンドライクカーボン（ＦＤＬＣ）層の体表的な特性値も示す。
【００４３】
【表１】
2007276344.tif 000003
【００４４】
表１に示すように、ＤＬＣ層、ＦＤＬＣ層などに比べ、成膜温度が低いため、成膜によるノズルプレートの反り返りや保護プレートとノズプレートとの剥がれなどが抑制できることがわかる。また、密度も高いため、隣接膜との密着性も高く、剥がれ難いこともわかる。
【００４５】
ｔａ−Ｃ膜４８の厚さは、３〜８０ｎｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜５０ｎｍであり、さらに好ましくは、２０〜４０ｎｍである。この厚みが上記範囲を下回ると、膜欠陥が生じたり、耐擦性が低下したりすることがある。一方、厚みが上記範囲を超えると、ノズル加工性、吐出安定性が低下することがある。
【００４６】
また、図６に、ｔａ−Ｃ膜４８の膜厚とピンホール密度との関係を示す。なお、図６には、比較のために、ＤＬＣ膜についても同様に示す。図６に示すように、ｔａ−Ｃ膜４８は、ＤＬＣ膜に比べ、薄く、且つ高硬度に形成可能であることがわかる。
【００４７】
一方、撥水膜４９は、例えば、フッ素系撥水膜、シリコン系撥水膜、プラズマ重合保護膜、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）ニッケル共析めっき等を挙げることができる。好ましくは撥水性の高いフッ素系撥水膜であり、その構成材料としては、例えば、４フッ化エチレン−６フッ化プロピレン共重合体（ＦＥＰ）、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）、フッ化ビニリデン樹脂、フッ化ビニル樹脂等のフッ素系樹脂が挙げられ、特に、４フッ化エチレン樹脂（ＰＴＦＥ）、４フッ化エチレン−パーフルオロアルコキシエチレン共重合樹脂（ＰＦＡ）が好適である。
【００４８】
このフッ素系撥水膜は、プラズマ化学気相成長法、又は蒸着法により形成することができる。なお、当該方法によりフッ素系樹脂前駆体を形成した後、加熱して重合することが形成することができる。無論、スピンコート法やスプレー法によりフッ素系撥水膜を形成することもできる。
【００４９】
撥水膜４９の厚みは、例えば１〜３０ｎｍであることが好ましく、より好ましくは、５〜２０ｎｍであり、さらに好ましくは１０〜１５ｎｍである。この厚みが上記範囲を下回ると、膜欠陥が生じたり、耐擦性が低下したりすることがある。一方、厚みが上記範囲を超えると、ノズル加工性、吐出安定性が低下することがある。
【００５０】
なお、ｔａ−Ｃ膜４８及び撥水膜は、上記手法により形成することができるため、ノズルプレート３６上の保護プレート３４の表面のみならず、段差孔５２内（底部も含む）にも均一な膜厚のｔａ−Ｃ膜４８及び撥水膜４９を形成することができる。
【００５１】
次いで、図５（Ｄ）に示すように、ノズルプレート３６の裏面にプールプレート３８を熱融着により接合する。熱融着することで、接合の際に接着剤を用いない。この熱融着には、通常、３００〜３６０℃の熱処理が施される。本実施形態では３３０℃の熱処理を施し、熱融着を行った。なお、本実施形態では、熱融着により接合した形態を説明したが、接着剤で接合してもよい。この場合の接合には、例えば２００℃の熱処理が施される。
【００５２】
次いで、図５（Ｅ）に示すように、プールプレート３８の後方から（撥水膜４９形成面側から）、図示しないエキシマレーザでノズルプレート３６にノズル３３を穿設する。このノズル３３は、段差孔５２の孔径より小さい口径に形成する。本実施形態では、ノズルの口径は約２５μｍ、段差孔５２の直径は１００μｍ〜４００μｍに設定されている。なお、このようなノズル３３と段差孔５２は所定のパターンで複数形成されている。
【００５３】
ここで、本実施形態では、ノズル加工を行う際、エキシマレーザを用いたが、例えば、ＹＡＧ３倍波、ＹＡＧ４倍波レーザ、あるいはエッチング、ポンチ加工なども用いることができる。なお、加工性を鑑みると、エキシマレーザが最も好適である。
【００５４】
このようにして第１の積層プレートを作製し、そして、図５（Ｆ）に示すように、別工程で、予め、連通孔プレート４０，４２と、圧力室プレート４４とを接合し、さらに圧力室プレート４４の開口を覆うように振動板４６が接合した第２の積層プレートを準備し、これと第１の積層プレートとを、互いの連通孔プレート４０とプールプレート３８とが対向するように接合した。
【００５５】
このようにして、インクジェット記録ヘッド３２を作製する。
【００５６】
以上説明したように本実施形態では、インクジェット記録ヘッド３２におけるノズルプレート３６に、保護プレート３４を介して薄膜で高硬度を持つｔａ−Ｃ膜４８を撥水膜４９を順次形成している。但し、ノズル周辺はノズルプレートに直接、ｔａ−Ｃ膜４８を撥水膜４９を形成している。撥水膜４９の下層にｔａ−Ｃ膜４８を設けることで、撥水膜４９を薄くしてノズル加工性、及び吐出安定性を向上させると共に、耐擦過性（耐磨耗性）をも向上させることができる。
【００５７】
そして、このような記録ヘッド３２を備えるインクジェット記録装置１０は、長期間に渡り、長期間安定して、インクを吐出することができる。
【００５８】
なお、本実施形態では、紙幅対応のＦＷＡの例について説明したが、本発明のインクジェット記録ヘッドは、これに限定されず、主走査機構と副走査機構を有するＰａｒｔｉａｌ  Ｗｉｄｔｈ  Ａｒｒａｙ（ＰＷＡ）の装置にも適用することができる。
【００５９】
また、本実施形態では、記録媒体Ｐ上へ画像（文字を含む）を記録するものであったが、本発明の液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置は、これに限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また、吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりする等、工業用的に用いられる液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置全般に適用することができる。
【００６０】
（試験例）
以下、上記実施形態において、ノズルプレート３６に、ｔａ−Ｃ膜４８及び撥水膜４９を順次し形成し、各評価を行う試験例を示す。また、この試験例と比較するために、比較例も同様に示す。
【００６１】
−試験例１−
まず、ポリイミドフィルム（ノズルプレート）表面に対し、ＦＣＶＡ（Ｆｉｌｔｅｒｅｄ  Ｃａｔｈｏｄｉｃ  Ｖａｃｕｕｍ  Ａｒｃ）装置（島津製作所社製）によりｔａ−Ｃ膜を厚み３ｎｍで形成した。
【００６２】
次に、ｔａ−Ｃ膜上に対し、蒸着法によりフッ素系撥水膜を形成した後、加熱により重合させ、撥水膜を厚み１０ｎｍで形成した。
【００６３】
その後、エキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）を撥水膜が形成された面の反対側から照射して直径２５μｍのノズルを形成した。
【００６４】
このようにして、ノズルプレート３６を得た。
【００６５】
−試験例２〜５−
表２に従って、ｔａ−Ｃ膜の厚み、撥水膜の厚みを変えた以外は、試験例１と同様にして、ノズルプレートを得た。
【００６６】
−比較例１−
まず、ポリイミドフィルム（ノズルプレート）表面に対し、ＥＣＲ−ＣＶＤ装置によりＤＬＣ膜を厚み３ｎｍで形成した。
【００６７】
。
【００６８】
次に、ＤＬＣ膜上に対し、蒸着法によりフッ素系撥水膜を形成した後、加熱により重合させ撥水膜を厚み１０ｎｍで形成した。
【００６９】
その後、エキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）を撥水膜が形成された面の反対側から照射して直径２５μｍのノズルを形成した。
【００７０】
このようにして、ノズルプレートを得た。
【００７１】
−比較例２−
まず、ポリイミドフィルム（ノズルプレート）表面に対し、スパッタ法によりＳｉＯ2膜を厚み１００ｎｍで形成した。
【００７２】
次に、ＳｉＯ2膜上に対し、蒸着法によりフッ素系撥水膜を形成した後、加熱により重合させ撥水膜を厚み２０ｎｍで形成した。
【００７３】
その後、エキシマレーザー（波長２４８ｎｍ）を撥水膜が形成された面の反対側から照射して直径２５μｍのノズルを形成した。
【００７４】
このようにして、ノズルプレートを得た。
【００７５】
−評価−
得られたノズルプレートを用い、上記実施形態に従って、記録ヘッドを作製し、吐出安定性、耐擦過性（耐磨耗性）について評価した。また、ノズル加工時にノズル加工性についても評価した。結果を表２に示す。
【００７６】
・吐出安定性
吐出安定性は次のように評価した。連続吐出におけるドロップ量を測定し、ドロップ量の変動がほとんどないものを○、２０ドロップ量の変動が大きいものを×、その中間のものを△として評価した。
【００７７】
・耐擦過性（耐磨耗性）
耐擦過性（耐磨耗性）は次のように評価した。得られたサンプルを富士ゼロックス社製の磨耗試験機に取り付け、撥水膜面をゴム製のブレードで５０００回擦ったとき、撥水膜に擦り傷がほとんどない発生しない場合は○、擦り傷が多い場合は×、その中間のものを△して評価した。
【００７８】
・ノズル加工性
ノズル加工性は次のように評価した。エキシマレーザーでノズル加工を実施したとき、加工性が良くノズル孔が均一に形成できた場合は○、加工性が悪くノズル孔が不均一になったとき×、その中間のものを△として評価した。
【００７９】
【表２】
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【００８０】
表２から、比較例に比べ、試験例では、吐出安定性、耐擦過性、ノズル加工性、共に優れることがわかる。また、ｔａ−Ｃ膜、及び撥水膜は所定の膜厚で形成することがよいこともわかる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】実施形態に係るインクジェット記録装置を示す概略構成図である。
【図２】実施形態に係るインクジェット記録ユニットの記録ヘッド配置を示す概略図である。
【図３】実施形態のインクジェット記録ユニットによる印字領域を示す図である。
【図４】実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの構成を示す概略断面図である。
【図５】実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造工程を示す工程図である。
【図６】ｔａ−Ｃ膜の膜厚とピンホール強度との関係を示す図である。
【符号の説明】
【００８２】
１０ インクジェット記録装置
３２ インクジェット記録ヘッド
３３ ノズル
３４ 保護プレート
３６ ノズルプレート
３８ プールプレート
４０，４２ 連通孔プレート
４４ 圧力室プレート
４６ 振動板
４８ ｔａ−Ｃ膜
４９ 撥水膜
５０ 圧電素子
５２ 段差孔
５４ ノズル面
５６ プレート面
５８ 連通孔
６０，６２ 連通孔
６４ 圧力室
６６ インクプール
６８，７０ 供給孔
【図１】
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【図２】
2007276344.tif 000006
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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