(57)【要約】【課題】マニホールド流路において効率よく圧力波を減衰させる。【解決手段】インクジェットヘッド３において、複数の圧力室１０にインクを供給するマニホールド流路１１には、突起１７を挟んで、複数の圧力室１０に連通する第１領域１１ａと、ダミーノズルに連通する第２領域１１ｂとが形成されている。第２領域１１ｂの上部には空気Ａが存在し、空気Ａはマニホールド流路１１内のインクと接している。圧電アクチュエータ３２により圧力室１０内のインクに圧力を付与し、ノズルからインクを噴射するとき、圧力室１０内には圧力波が発生し、この圧力波がマニホールド流路１１に伝播する。そして、第２領域１１ｂにおいてマニホールド流路１１内のインクと接している空気Ａによりマニホールド流路１１内に伝播した圧力波を減衰させる。【選択図】図３
2007176161.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液滴噴射装置であって、
所定の方向に延在する共通液室、前記共通液室との第１接続口から圧力室を経て吐出口に至る第１個別液体流路、及び、前記共通液室との第２接続口から吐出口に至る第２個別液体流路が形成された流路ユニットを備え、
複数の前記圧力室が、前記共通液室に沿って配列されたことによって圧力室面を形成し、
前記共通液室は、前記所定の方向に延在する上壁面と、前記圧力室面と直交する方向に前記上壁面と離隔して対向する下壁面と、前記圧力室面と交差するように前記上壁面から延在する段差面とを有しており、
前記段差面は、前記共通液室を、前記第１個別液体流路が連通する第１領域と、前記第２個別液体流路が連通する第２領域とに区画し、
前記圧力室面と直交する方向に関して、前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記第２接続口と前記圧力室面との距離より大きく、且つ、前記第２領域の上壁面と前記第２接続口とが離隔していることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項２】
前記圧力室面と直交する方向に関して、前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記第２接続口を画成する部分のうち前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項３】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記第２領域の上壁面との距離と同じであることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項４】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記第２領域の上壁面との距離よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項５】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分との距離が、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離と同じであることを特徴とする請求項４に記載の液滴噴射装置。
【請求項６】
前記共通液室には、前記所定の方向に沿って、順に、液体が流入する液体流入口、前記液体流入口に接続する前記第１領域、前記段差面、及び、前記段差面を介して前記第１領域に接続する前記第２領域が形成されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項７】
前記流路ユニットが、前記共通液室を複数有し、２以上の前記共通液室において、前記第２領域同士を互いに接続するように延在した接続流路をさらに含んでいることを特徴とする請求項６に記載の液滴噴射装置。
【請求項８】
前記第２個別液体流路の流路抵抗が、前記第１個別液体流路の流路抵抗よりも小さいことを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項９】
前記第１領域と前記第２領域とが、それぞれ同じ固有振動数を有していることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１０】
前記圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与機構をさらに備え、前記エネルギー付与機構が、前記圧力室に対向する圧電層と、前記圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極とを含んでいることを特徴とする請求項１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１１】
複数の吐出口から液体を噴射する液滴噴射装置であって、
前記複数の吐出口にそれぞれ連結されている複数の圧力室と、
前記複数の圧力室それぞれに連通されて液体を供給する共通液室と、
前記共通液室と流体接続され、気体を維持するためのエアダンパ室と、
を備えることを特徴とする液滴噴射装置。
【請求項１２】
前記気体と、前記共通液室内の液体とが前記エアダンパ室に存在し、前記気体と前記液体との界面が、ダンパとして作用することを特徴とする請求項１１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１３】
前記複数の圧力室が、前記共通液室に沿って配列されたことによって圧力室面が形成され、前記共通液室は、前記圧力室面に沿って延在する上壁面を有し、前記エアダンパ室は、前記圧力室面に沿って延在する上壁面と、前記複数の吐出口とは異なる吐出口と接続する接続口とを有し、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記第２上壁面と前記接続口とが離隔していることを特徴とする請求項１１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１４】
前記圧力室面と交差するように前記エアダンパ室の上壁面から延在し、前記共通液室と前記エアダンパ室とを区画する隔壁をさらに備え、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記隔壁の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記接続口を画成する部分のうち前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離よりも大きいことを特徴とする請求項１３に記載の液滴噴射装置。
【請求項１５】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記エアダンパ室の上壁面との距離と同じであることを特徴とする請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１６】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記エアダンパ室の上壁面との距離よりも大きいことを特徴とする請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１７】
前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記隔壁の前記圧力室面から最も遠い部分との距離が、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離と同じであることを特徴とする請求項１４に記載の液滴噴射装置。
【請求項１８】
前記エアダンパ室と、前記共通液室とが、それぞれ同じ固有振動数を有していることを特徴とする請求項１１に記載の液滴噴射装置。
【請求項１９】
前記圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与機構をさらに備え、前記エネルギー付与機構が、前記圧力室に対向する圧電層と、前記圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極とを含むことを特徴とする請求項１１に記載の液滴噴射装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、吐出口から液滴を噴射する液滴噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧力室内のインクに圧力を付与することによってノズルからインクを噴射するインクジェットヘッド（液滴噴射装置）においては、圧力室内のインクに圧力を付与したときに圧力室内で圧力波が発生する。この圧力波が圧力室に連通する共通液室を介してさらに他の圧力室に伝播すると、インクの吐出特性が不均一となる。そこで、圧力波を共通液室内において減衰させ、圧力波がさらに他の圧力室に伝播するのを防止することにより、インクの吐出特性が不均一となるのを抑制している技術が知られている。例えば、特許文献１（特開２００３−１２７３５４号公報）に記載のインクジェット式記録ヘッド（インクジェットヘッド）では、ノズルに連通する複数の圧力発生室（圧力室）はインク供給路を介してインク貯留室（共通液室）に連通している。ヘッドケースのインク貯留室に対応する部分には凹部が形成されており、振動板の凹部に重なる部分がインク貯留室内において圧力変動を逃がす（圧力波を減衰させる）ダンパとして機能する。
【特許文献１】特開２００３−１２７３５４号公報（図３）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、特許文献１に記載のインクジェットヘッドでは、インクジェットヘッドの高密度化、小型化を実現しようとすると、共通液室の大きさも小さくなるため、圧力波を減衰させるために十分な大きさを有する凹部を形成することができない。したがって、振動板のダンパとして機能する部分の面積が小さくなり、共通液室において圧力波を十分に減衰させることができない虞がある。
【０００４】
本発明の目的は、共通液室において効率よく圧力波を減衰させることが可能な液滴噴射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段及び発明の効果】
【０００５】
本発明の第１の態様に従えば、所定の方向に延在する共通液室、前記共通液室との第１接続口から圧力室を経て吐出口に至る第１個別液体流路、及び、前記共通液室との第２接続口から吐出口に至る第２個別液体流路が形成された流路ユニットを備え、複数の前記圧力室が、前記共通液室に沿って配列されたことによって圧力室面を形成し、前記共通液室は、前記所定の方向に延在する上壁面と、前記圧力室面と直交する方向に前記上壁面と離隔して対向する下壁面と、前記圧力室面と交差するように前記上壁面から延在する段差面とを有しており、前記段差面は、前記共通液室を、前記第１個別液体流路が連通する第１領域と、前記第２個別液体流路が連通する第２領域とに区画し、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記第２接続口と前記圧力室面との距離より大きく、且つ、前記第２領域の上壁面と前記第２接続口とが離隔している液滴噴射装置が提供される。
【０００６】
この場合、圧力室が共通液室よりも上に位置するように液滴噴射装置を配置すると、共通液室の第２領域において、第２個別液体流路に係る接続口（接続口の上端）よりも上の部分には空気のような気体が存在するため、液体が流れ込まない。つまり前記空気が直接共通液室内の液体と接することになる。したがって、この空気がダンパとして作用することにより、エネルギー付与機構によって圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与したときに圧力室内で発生し、共通液室内に伝播した圧力波を減衰させる。これにより、圧力波が共通液室から他の圧力室に伝播してクロストークが発生するのを抑制することができる。さらに、共通液室内に段差面を形成することにより、第１領域、第２領域を容易に形成することができるとともに第２領域から第１領域に空気が確実に流れ込まなくなる。なお、前記第２接続口と前記圧力室面との距離とは、前記第２接続口を画成する部分のうち、前記圧力室面から最も近い部分と前記圧力室面との距離を意味する。
【０００７】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記第２接続口を画成する部分のうち前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離よりも大きくてもよい。この場合、前記段差面のうち前記圧力室面から最も遠い部分が、第２個別液体流路に係る接続口を画成する部分のうち、前記圧力室面から最も遠い部分よりも下側に形成されているため、第２領域の、第２個別液体流路に係る接続口の上端よりも上の部分に存在する空気は共通液室の第１領域には流れ込まない。これにより、第１個別液体流路に空気が流れ込んで第１個別液体流路の吐出口における液滴の噴射特性が変化してしまうのが防止される。
【０００８】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記第２領域の上壁面との距離と同じであってもよい。この場合、前記第１領域の上壁面と前記第２領域の上壁面とを単一の平面によって容易に形成することができる。
【０００９】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記第２領域の上壁面との距離よりも大きくてもよい。この場合、第２領域の上壁面が第１領域の上壁面よりも上に位置することになるため、第２領域において、第２個別液体流路に係る接続口の上端よりも上の空気が存在する部分の容積が大きくなることによって、空気によるダンパ効果が高くなり、より効率よく共通液室内の圧力波を減衰させることができる。さらに、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記段差面の前記圧力室面から最も遠い部分との距離が、前記圧力室面と前記第１領域の上壁面との距離と同じであってもよい。この場合、第１領域と第２領域との間において流路断面積が小さくなっていないので、圧力波が第１領域から第２領域に伝播しやすくなる。したがって、第２領域内の空気によって、さらに効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００１０】
本発明の液滴噴射装置において、前記共通液室には、前記所定の方向に沿って、順に、液体が流入する液体流入口、前記液体流入口に接続する前記第１領域、前記段差面、及び、前記段差面を介して前記第１領域に接続する前記第２領域が形成されてもよい。共通液室の液体流入口から最も離れた部分には液体が最も流れ込みにくいため、この部分に液滴が噴射される吐出口に連通する第１個別液体流路に係る接続口があると、第１個別液体流路に気泡が流れ込み、吐出口からの液滴の噴射特性が変わってしまう虞がある。しかしながら、前記構成によると、この部分には第１個別液体流路に係る接続口は形成されておらず、液滴が噴射されない吐出口に連通する第２個別液体流路に係る接続口が形成されているので、複数の第１個別液体流路には確実に液体が流れ込む。なお、共通液室中に流れ込んだ気泡は共通液室の空気が存在している部分まで移動し、この部分にある空気とともにダンパとして作用する。
【００１１】
本発明の液滴噴射装置において、前記流路ユニットが、前記共通液室を複数有してもよく、２以上の前記共通液室において、前記第２領域同士を互いに接続するように延在した接続流路をさらに含んでもよい。この場合、各共通液室の空気が存在している部分同士が接続流路により接続されているため、共通液室内の圧力波を、複数の共通液室に存在する空気によりさらに効率よく減衰させることができる。
【００１２】
本発明の液滴噴射装置において、前記第２個別液体流路の流路抵抗が、前記第１個別液体流路の流路抵抗よりも小さくてもよい。この場合、液体を各流路に供給した際に第１個別液体流路よりも第２個別液体流路の方が、液体が流れ込みやすくなるため、第２領域に確実に空気を残すことができる。
【００１３】
本発明の液滴噴射装置において、前記第１領域と前記第２領域とが、それぞれ同じ固有振動数を有してもよい。この場合、第１領域の固有振動数と第２領域の固有振動数とを一致させることにより、共通液室内の圧力が一様になる。これにより、共通液室内において反射した圧力波によって吐出口の液滴の噴射特性が変化するのを防止することができる。
【００１４】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与機構をさらに備え、前記エネルギー付与機構が、前記圧力室に対向する圧電層と、前記圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極とを含んでもよい。この場合、エネルギー付与機構を、圧力室に対向する圧電層と、圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極という簡単な構成にすることができる。
【００１５】
本発明の第２の態様に従えば、複数の吐出口から液体を噴射する液滴噴射装置であって、前記複数の吐出口にそれぞれ連結されている複数の圧力室と、前記複数の圧力室それぞれに連通されて液体を供給する共通液室と、前記共通液室と流体接続され、気体を維持するためのエアダンパ室とを備える液滴噴射装置が提供される。
【００１６】
この構造によれば、液滴噴射装置を高密度化、小型化しても、エアダンパ室内の気体の剛性が低いので、ダイヤフラムタイプのダンパと比較して共通液室内の圧力波を効率よく減衰させることができる。
【００１７】
本発明の液滴噴射装置において、前記気体と、前記共通液室内の液体とが前記エアダンパ室に存在してもよく、前記気体と前記液体との界面が、ダンパとして作用してもよい。この場合、液滴噴射装置を高密度化、小型化しても、エアダンパ室内の気体の剛性が低いので、前記共通液室内に伝わる圧力波を効率よく減衰させることができる。
【００１８】
本発明の液滴噴射装置において、前記複数の圧力室が、前記共通液室に沿って配列されたことによって圧力室面が形成されてもよく、前記共通液室は、前記圧力室面に沿って延在する上壁面を有してもよく、前記エアダンパ室は、前記圧力室面に沿って延在する上壁面と、前記複数の吐出口とは異なる吐出口と接続する接続口とを有してもよく、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記第２上壁面と前記接続口とが離隔していてもよい。この構成によれば、圧力室が共通液室よりも上に位置するように液滴噴射装置を配置すると、エアダンパ室において、気体を接続口よりも上の部分に維持することができる。そして前記気体はエアダンパ室内に存在する液体と接触しているので、前記気体と前記液体との接触面が、共通液室に伝わる圧力波を減衰するダンパとして作用する。さらに、前記圧力室面と交差するように前記上壁面から延在し、前記共通液室と前記エアダンパ室とを区画する隔壁を備えてもよく、前記圧力室面と直交する方向に関して、前記隔壁の前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離が、前記接続口を画成する部分のうち前記圧力室面から最も遠い部分と前記圧力室面との距離よりも大きくてもよい。この場合、前記隔壁のうち前記圧力室面から最も遠い部分が、前記接続口の下端よりも下側に形成されているので、前記エアダンパ室において前記接続口の上端よりも上の部分に存在する気体は、前記共通液室に流れ込まない。従って、前記共通液室に前記気体が流れ込んで、前記複数の吐出口における液滴の噴射特性が変化するのを防止することができる。
【００１９】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記エアダンパ室の上壁面との距離と同じであってもよい。この場合、前記共通液室の上壁面と前記エアダンパ室の上壁面とを単一の平面によって容易に形成することができる。
【００２０】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離が、前記圧力室面と前記エアダンパ室の上壁面との距離よりも大きくてもよい。この場合、前記エアダンパ室の上壁面が前記共通液室の上壁面よりも上に位置することになるため、前記エアダンパ室において、前記接続口の上端よりも上の空気が存在する部分の容積が大きくなることによって、空気によるダンパ効果が高くなり、より効率よく前記共通液室内の圧力波を減衰させることができる。
【００２１】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室面に直交する方向に関して、前記圧力室面と前記隔壁の前記圧力室面から最も遠い部分との距離が、前記圧力室面と前記共通液室の上壁面との距離と同じであってもよい。この場合、前記共通液室と前記エアダンパ室との間において流路断面積が小さくなっていないので、圧力波が前記共通液室から前記エアダンパ室に伝播しやすくなる。したがって、前記エアダンパ室内の空気によって、さらに効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００２２】
本発明の液滴噴射装置において、前記エアダンパ室と、前記共通液室とが、それぞれ同じ固有振動数を有してもよい。この場合、前記共通液室の固有振動数と前記エアダンパ室の固有振動数とを一致させることにより、共通液室内に伝わる圧力波によって吐出口の液滴噴射特性が変化するのを防止することができる。
【００２３】
本発明の液滴噴射装置において、前記圧力室内の液体に吐出エネルギーを付与するエネルギー付与機構をさらに備えてもよく、前記エネルギー付与機構が、前記圧力室に対向する圧電層と、前記圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極とを含んでもよい。この場合、エネルギー付与機構を、圧力室に対向する圧電層と、圧電層に電界を印加する少なくとも一対の電極という簡単な構成にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。本実施形態は、本発明をノズルからインクを吐出するインクジェットヘッドに適用した一例である。
【００２５】
図１は本実施形態に係るインクジェットプリンタ１の概略斜視図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、走査方向（図１の左右方向）に移動可能なキャリッジ２、キャリッジ２とともに移動可能に構成され、記録用紙Pにインクを噴射するインクジェットヘッド（液滴噴射装置）３、記録用紙Pを紙送り方向（図１の手前方向）に搬送する用紙搬送ローラ４などを備えている。そして、インクジェットヘッド３は、キャリッジ２と一体的に走査方向に移動しつつその下面に配置されたノズル１６（図３参照）から記録用紙Pに印字を行う。下面には、多数のノズル１６が形成されており、ノズル面となっている。また、インクジェットヘッド３により印字が行われた記録用紙Pは、用紙搬送ローラ４により紙送り方向に排出される。
【００２６】
次に、インクジェットヘッド３について図２〜図５を用いて説明する。図２においては、圧電アクチュエータ（エネルギー付与手段）３２（図３参照）の図示を省略している。
【００２７】
図２〜図５に示すように、インクジェットヘッド３は、圧力室１０、マニホールド流路１１などを含むインク流路が形成された流路ユニット３１と、流路ユニット３１の上面に配置され、圧力室１０内のインクに圧力を付与する（吐出エネルギーを付与する）圧電アクチュエータ３２とを有する。
【００２８】
流路ユニット３１は、キャビティプレート２１、ベースプレート２２、アパーチャプレート２３、第１マニホールドプレート２４、第２マニホールドプレート２５、ダンパプレート２６、スペーサプレート２７及びノズルプレート２８を有する。これら８枚のプレート２１〜２８は積層状体で接合されている。ノズルプレート２８を除く７枚のプレート２１〜２７は、ステンレス鋼などの金属材料からなる略矩形状の板状体である。そして、これらのプレート２１〜２７には、圧力室１０、マニホールド流路１１などのインク流路がエッチングにより形成されている。ノズルプレート２８は、ポリイミドなどの合成樹脂材料により構成されており、スペーサプレート２７の下面に接合されている。ノズルプレート２８には、圧力室１０に１対１に対応したノズル１６がレーザ加工（後述）により形成されている。なお、ノズルプレート２８も他のプレート２１〜２７と同様、金属材料により構成されていてもよい。
【００２９】
キャビティプレート２１には、図２〜図４に示すように、平面（圧力室面）Ｐ１に沿って紙送り方向（図２の上下方向）に２列に配列された１８個の圧力室１０が形成されている。圧力室１８は、平面視で走査方向（図２の左右方向）に長い略矩形状に構成されている。ベースプレート２２には、平面視で、複数の圧力室１０の長手方向一端部付近と重なる部分には、圧力室１０とアパーチャ１３とを連通させるための連通孔１２が形成され、他端部付近と重なる部分には、圧力室１０とノズル１６とを連通させる流路１５の一部を形成する連通孔が形成されている。アパーチャプレート２３には、アパーチャ１３、アパーチャ１３とマニホールド流路１１とを連通させる連通孔１４、及び、流路１５の一部となる連通孔が形成されている。アパーチャ１３は、マニホールド流路１１と圧力室１０との間において流路断面が小さくなっており、マニホールド流路１１から圧力室１０に流れ込むインクの量を調整したり、圧力室１０からマニホールド流路１１にインクが逆流するのを防止したりする。さらに、圧電アクチュエータ３２により圧力室１０内のインクに圧力を付与したときに発生する圧力波がマニホールド流路１１に伝播するのを抑制する。また、連通孔１４の下端はマニホールド流路１１との接続口１４ａとなっている。
【００３０】
第１マニホールドプレート２４には、マニホールド流路１１の上半部、流路１５の一部を形成する連通孔、及び、マニホールド流路１１と後述するダミーノズル２０とを連通させるための流路１８が形成されている。ここで、流路１８の図５の右端は、マニホールド１１との接続口１８ａとなっている。第２マニホールドプレート２５には、マニホールド流路１１の下半部、流路１５の一部を形成する連通孔、及び、流路１８とダミーノズル２０とを連通させる流路１９の一部となる連通孔が形成されている。そして、第１マニホールドプレート２４と第２マニホールドプレート２５とが接合されることにより２つのマニホールド流路１１が形成される。図２に示すように、各マニホールド流路１１は、紙送り方向に延びている。平面視で、いずれの圧力室１０も、インクが供給される側（連通孔１２側）の一部がマニホールド流路１１と重なるように立体的に配置されている。各圧力室１０は、２つのマニホールド流路１１からノズル１６側の端部が互いに対向するように配設されている。ノズル１６は２つのマニホールド流路１１で区画された領域内のほぼ中央で、２列のノズル列を構成する。
【００３１】
２つのマニホールド流路１１にはそれぞれ一方の端部（図２の上側の端部）に形成されたインク流入口９からインクが供給される。また、マニホールド流路１１には、その上面からマニホールド１１内において下方に延びた（上壁面から下壁面に向かって突出した）突起１７が形成されている。この突起が形成された部分においてマニホールド流路１１の高さ（図３の上下方向に関する長さ）は部分的に小さくなっている。つまり、図３の突起１７の左側面１７ｂは上壁面における段差を形成する面（以下、段差面という）である。そして、突起１７の段差面１７ｂによって区画されることにより、マニホールド流路１１には、圧力室１０に連通する接続口１４ａが形成された第１領域１１ａと、第１領域１１ａのインク流入口９と反対側（図２の下方）の端部において突起１７を挟んで第１領域１１ａに隣接し、ダミーノズル２０に連通する接続口１８ａが形成された第２領域１１ｂとが形成されている。つまり、マニホールド流路１１には、紙送り方向に沿って図２の上から順に、インク流入口９、インク流入口９に接続する第１領域１１ａ、突起１７及び突起１７の段差面１７ｂを介して第１領域１１ａに接続する第２領域１１ｂが形成されている。ここで、突起１７は、第１マニホールドプレート２４にその上部が形成され、第２マニホールドプレート２５にその下部が形成されて、第１マニホールドプレート２４と第２マニホールドプレート２５とが接合されることによって形成される。このうち、第２マニホールドプレート２５の突起１７は、基材にハーフエッチングにより薄肉状に形成されており、両側の領域１１ａ、１１ｂを互いに連通する矩管状の連通路を構成する。なお、アパーチャプレート２３の下面のマニホールド流路１１に重なる部分が本発明に係る上壁面に相当する。そして、ダンパプレート２６の上面のマニホールド流路１１に重なる部分が本発明に係る下壁面に相当する。上壁面には接続口１４ａが形成されている。
【００３２】
インク流入口９からマニホールド流路１１に流れ込んだインクは、マニホールド流路１１のインク流入口９と反対側の端部には流れ込みにくく、前記インク流入口９と反対側の端部には気泡が溜まりやすい。一方、圧力室１０内に気泡が流れ込むと、圧力室１０に連通するノズル１６からのインクの噴射特性が変化してしまう。しかし、本実施形態においては、マニホールド流路１１の前記インク流入口９と反対側の端部は第２領域１１ｂとなっており、圧力室１０に連通する接続口１４ａは形成されていない。このため、気泡は第２領域１１ｂに流れ込んで後述する空気Ａの一部となる。また、前記第２領域１１ｂと前記第１領域１１ａとは前記突起１７、より詳細には突起１７の段差面１７ｂにより区画されているため、前記第２領域１１ｂの空気Ａは、圧力室１０に連通する接続口１４ａが形成された前記第１領域１１ａに流れ込むことがない。したがって、圧力室１０には気泡が流れ込まない。
【００３３】
流路１８は、図５に示すように、その接続口１８ａが、第１マニホールドプレート２４の下部に形成されている。このため、第２領域１１ｂに流れ込んだインクは、接続口１８ａから流路１８に流れ込み、第２領域１１ｂの接続口１８ａの上端１８ｂよりも上の部分にはインクが流れ込まない。また、第１領域１１ａと第２領域１１ｂとの間には突起１７が設けられているため、第１領域１１ａの突起１７の先端１７ａよりも上の部分から第２領域１１ｂにインクが流れ込むこともない。さらに、接続口１８ａの上端１８ｂ（平面Ｐ１から最も近い個所）は第２領域１１ｂの上面よりも下に位置している（第２領域１１ｂの上壁面と離隔している）。つまり、各圧力室１０がマニホールド流路１１に沿って配列して作る平面（圧力室面）Ｐ１と第２領域１１ｂの上面との距離Ｍ１が平面Ｐ１と接続口１８ａの上端１８ｂとの距離Ｍ２よりも小さい。したがって、第２領域１１ｂの接続口１８ａの上端１８ｂよりも上の部分にはインクが存在せず、この部分には空気Ａが存在している。空気Ａはマニホールド流路１１内のインクと直接接触し、気液界面を形成している。また、第２マニホールドプレート２５に突起１７の下部が形成されているため、突起１７の先端１７ａは接続口１８ａの下端１８ｃよりも下方に位置する。つまり、平面Ｐ１と、平面Ｐ１から最も遠い突起１７の先端１７ａとの距離Ｌ１が、平面Ｐ１と、平面Ｐ１から最も遠い接続口１８ａの下端１８ｃとの距離Ｌ２よりも大きい。このため、第２領域１１ｂの空気Ａは第１領域１１ａに流れ込まなくなっている。なお、第２領域１１ｂのうち、空気Ａが存在している部分の容積は、第２領域１１ｂ全体の容積の２０〜７０％程度であることが好ましい。
【００３４】
以上のように、マニホールド流路１１は、各圧力室１０に分配されるインクが充填される第１領域１１ａと、空気Ａとインクとが接する気液接触面が存在する第２領域１１ｂとが段差面１７ｂにより区画された構造を有している。つまり、第２領域１１ｂは、空洞部を有するダンパ室（エアダンパ室）として働き、突起１７が作る矩管状の連通路を介して長く延びた第１領域１１ａと接続されている。
【００３５】
一般に、十分長い音響管の途中に、空洞を短管で接続した場合、空洞の容積：Ｗ、空洞のコンプライアンス：ＣＡ（＝Ｗ／ρｃ２）、短管の長さ：ｌ、短管の断面積：Ｓ、短管のイナーサイズ：ｍＡ（＝ρｌ／Ｓ）より、空洞部の固有振動数：ｆ０は次式で表される。
【００３６】
【数１】
2007176161.tif 000003
【００３７】
なお、ρは液体の密度、ｃは液体中の音速をそれぞれ表している。そのため、例えば、ｆ０が吐出の駆動周波数とほぼ一致するように、短管部のサイズ（長さｌと断面積Ｓ）や空洞容積：Ｗを設定することにより、吐出動作で直接的に生じる駆動周波数を有する圧力波を容易に減衰することができる。また、ｆ０が第１領域１１ａの固有周波数とほぼ一致するように各寸法を設定することにより、吐出動作で誘起される第１領域１１ａの固有周波数を有した圧力波を容易に減衰させることができる。
【００３８】
ダンパプレート２６の下面には、平面視でマニホールド流路１１に重なる部分に凹部８が形成されている。ダンパプレート２６の凹部８が形成された部分は厚みが薄くなっており、ダンパプレート２６のこの部分が変形することにより、マニホールド流路１１内の圧力波を減衰させる。また、ダンパプレート２６には、流路１５の一部を形成する連通孔、及び、流路１９の一部を形成する連通孔が形成されている。スペーサプレート２７は、ダンパプレート２６の下面に形成された凹部８の開口を塞いでいる。また、スペーサプレート２７には、流路１５の一部を形成する連通孔、及び、流路１９の一部を形成する連通孔が形成されている。
【００３９】
ノズルプレート２８には、平面視で複数の流路１５に重なる位置に複数のノズル１６が形成されている。さらに、平面視で複数の流路１９に重なる位置に複数のダミーノズル２０が形成されている。ノズルプレート２８の下面にはノズル１６及びダミーノズル２０の吐出口がそれぞれ開口している。ダミーノズル２０は、ノズル１６が作るノズル列の延長線上の一方端に連続して形成されている。ノズル１６及びダミーノズル２０は、ノズルプレート２８が合成樹脂材料からなる場合にはエキシマレーザ加工により形成することができ、ノズルプレート２８が金属材料からなる場合には、ポンチを用いたプレス加工により形成することができる。
【００４０】
以上に説明したように、マニホールド流路１１は連通孔１４、アパーチャ１３及び連通孔１２を介して圧力室１０に連通している。圧力室１０はさらに流路１５を介してノズル１６に連通している。また、マニホールド流路１１は流路１８、１９を介してダミーノズル２０に連通している。このように、流路ユニット３１には、接続口１４ａから圧力室１０を経てノズル１６に至る第１個別インク流路と、接続口１８ａからダミーノズル２０に至る第２個別インク流路とがそれぞれ複数形成されている。ここで、第２個別インク流路の流路抵抗は、各第１個別インク流路の流路抵抗よりも小さくなっている。さらに、前記第２個別インク流路の流路抵抗は、第１領域１１ａ内の全ての第１個別インク流路の流路抵抗を合成した流路抵抗よりも小さくなっている（全ての第１個別インク流路の流路抵抗を合成した流路抵抗は、各第１個別インク流路の流路抵抗よりも小さい）。これにより、マニホールド流路１１から圧力室１０にインクが流れ込むときに、第２個別インク流路は全ての第１個別インク流路よりインクが流れ込みやすい。第２個別インク流路は、マニホールド流路１１に関して、インク流入口９と反対側に配置されている。したがって、少なくとも経路の途中にある第１領域１１ａ内では、流路に気泡が残留することなく確実にインクが充填されることになる。第１領域１１ａに連通する各第１個別インク流路も、同様にインクで良好に充填される。なお、第２個別インク流路の流路抵抗は、第１個別電極の流路抵抗の１０〜８０％程度であることが好ましい。
【００４１】
次に、圧電アクチュエータ３２について説明する。圧電アクチュエータ３２は、図３〜図５に示すように、流路ユニット３１の上面に配置された６枚の圧電層４１と、６枚の圧電層４１の間に交互に形成された２つの個別電極４２及び３つの共通電極４３とを有する。
【００４２】
圧電層４１はチタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体であり強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料からなる。６枚の圧電層４１のうち最も下に配置されているものは、複数の圧力室１０を覆うようにキャビティプレート２１の上面に連続的に配置され、キャビティプレート２１に接合されている。さらに、この上に５層の圧電層４１が積層されている。圧電層４１は、例えば、非常に小さいＰＺＴの粒子を基板に吹き付けて高速で衝突させることによって基板に堆積させるエアロゾルデポジション法（ＡＤ法）により形成することができる。また、圧電層４１は、スパッタ法、化学蒸着法（ＣＶＤ法）、ゾルゲル法、水熱合成法などにより形成することも可能である。あるいは、圧電材料のグリーンシートを焼成することによって得られる圧電シートを所定の大きさに切断して貼り付けることによっても形成することができる。ここでは、グリーンシートから得られた圧電層４１が熱硬化性の接着剤によりキャビティプレート２１に固定されている。
【００４３】
複数の個別電極４２及び複数の共通電極４３は、積層された複数の圧電層４１の間に交互に配置されている。個別電極４２及び共通電極４３は、金、銅、銀、白金あるいはチタンなどの導電性材料により構成されており、スクリーン印刷、スパッタ法、蒸着などの方法により形成される。また、個別電極４２と共通電極４３とは平面視で図４の左右方向に互いにずれて配置されている。ここでは、各電極４２、４３がＡｇ−Ｐｄ系導電材料のスクリーン印刷で形成されている。
【００４４】
そして、最も下に配置されたものを除く５枚の圧電層４１の平面視で個別電極４２に重なり且つ共通電極４３には重ならない部分には貫通孔４４が形成され、貫通孔４４には導電性材料４６が充填されている。さらに、圧電層４１の平面視で共通電極４３に重なり且つ個別電極には重ならない部分には貫通孔４５が形成されており、貫通孔４５には導電性材料４７が充填されている。図３と図５とに示されるように、以上説明した個別電極４２及び共通電極４３は、第１領域１１ａに連通する各圧力室１０に対応して形成されており、第２領域１１ｂに対向する部分では、いずれの電極４２、４３も形成されていない。これにより、圧電アクチュエータ３２の低コスト化が図られている。
【００４５】
圧電アクチュエータ３２の上面には図示しないフレキシブル配線基板（ＦＰＣ）が配置されており、導電性材料４６、４７を介して、ＦＰＣと個別電極４２及び共通電極４３とが電気的に接続されている。そして、ＦＰＣを介して図示しないドライバＩＣにより個別電極４２の電位が制御されるとともに、共通電極４３は常にグランド電位に保持される。ここで、導電性材料４６、４７とＦＰＣとの接続は、導電性材料４６、４７に直接接続するようにしてもよいし、圧電アクチュエータ３２の最上面に導電性材料４６、４７毎に独立した表面電極を設けてこの表面電極に接続する形態としてもよい。
【００４６】
次に、圧電アクチュエータ３２の動作について説明する。ドライバＩＣによりＦＰＣを介して個別電極４２に選択的に所定の電位が付与されると、所定の電位が付与された個別電極４２とグランド電位に保持された共通電極４３との間に電位差が生じ、複数の圧電層４１のこれらの間に挟まれた部分で厚み方向の電界が作用する。ここで、圧電層４１の分極方向がこの電界の方向と同じであれば、圧電縦効果により圧電層４１が厚み方向に伸びる。これにより、圧力室１０の容積が減少し、圧力室１０内のインクの圧力が増加して圧力室１０に連通するノズル１６からインクが噴射される。なお、本実施形態では、６枚の圧電層４１が積層されており、６枚の圧電層４１のうち、最も下に配置されたものを除く５枚の圧電層４１がそれぞれ厚み方向に伸びるため、圧力室１０の容積が十分に減少する。
【００４７】
このとき、圧力室１０内においては圧力波が発生し、この圧力波は圧力室１０に連通するマニホールド流路１１に伝播する。このとき、マニホールド流路１１の底面を構成するダンパプレート２６の凹部８が形成され厚みが薄くなった部分が変形して、マニホールド流路１１に伝播した圧力波を減衰させる。しかし、マニホールド流路１１が小さい場合、ダンパプレート２６の凹部８が形成されている部分の面積が小さくなるため、十分に圧力波を減衰させることができない。
【００４８】
本実施形態の場合、マニホールド流路１１の第２領域１１ｂに空気Ａが存在しており、この空気Ａは第２領域１１ｂにおいてインクと接し、気液界面を形成している。つまり、前記気液界面は、図２に示すように、平面視でマニホールド流路１１の第２領域１１ｂ全体と重なっている。ここで、空気Ａの剛性はダンパプレート２６の凹部８が形成された部分の剛性よりも小さいため、マニホールド流路１１内の圧力波を、空気Ａにより効率よく減衰させることができる。
【００４９】
以上に説明した本実施形態によると、マニホールド流路１１に突起１７を挟んで第１領域１１ａ及び第２領域１１ｂが形成されており、突起１７の先端１７ａが、流路１８の接続口１８ａの下端１８ｃよりも下に位置するように形成されている。このため、第２領域１１ｂの接続口１８ａよりも上の部分にはインクが流れ込まず、この部分に空気Ａが存在する。そして、この空気Ａがマニホールド流路１１内のインクに接しているので、空気Ａはマニホールド流路１１内の圧力波を減衰させるダンパとして作用する。さらに、突起１７の先端１７ａが流路１８の接続口１８ａの下端１８ｃよりも下に位置しているため、空気Ａが第２領域１１ｂから第１領域１１ａに流れ込まない。
【００５０】
また、マニホールド流路１１が紙送り方向に延在し、紙送り方向に沿って、図２の上から順に、インク流入口９、流路１４（第１個別インク流路）の接続口１４ａが形成された第１領域１１ａ、突起１７、及び、流路１８（第２個別インク流路）の接続口１８ａが形成された第２領域１１ｂが形成されている。インクが流れ込みにくく、気泡が溜まりやすいマニホールド流路１１のインク流入口９と反対側の端部には、流路抵抗が小さい第２個別インク流路が連通されているので、少なくとも第１領域１１ａ内には気泡が残留しにくく、この領域に連通する圧力室１０にも気泡が流れ込みにくくなっている。つまり、インク吐出に直接的に関わる圧力室１０に対して、インクが確実に流れ込む。
【００５１】
また、本実施形態においては、第１領域１１ａと第２領域１１ｂとを突起１７により互いに隔て、第２領域１１ｂに気泡（空気）が溜まる空洞部を形成することにより、第２領域１１ｂをエアダンパ室として機能させるとともに、第１領域１１ａの固有振動数と第２領域１１ｂの固有振動数とを同じにすることができる。このため、マニホールド流路１１に誘起された固有の圧力波が効果的に減衰することができ、インクの噴射特性が変化してしまうのを防止することができる。あるいは、突起１７から第２領域１１ｂに至る領域の固有振動数が、駆動周波数に近くなるように突起１７を構成することによっても、インクの噴射動作で直接的に圧力室１０から伝播してくる圧力波を効果的に減衰することができる。これによっても、インクの噴射特性が変化するのを防止することができる。
【００５２】
次に、本実施形態に種々の変更を加えた変形例について説明する。ただし、本実施形態と同じ構成を有するものについては同じ符号を付し、適宜その説明を省略する。
【００５３】
第１の変形例では、図６、図７に示すように、キャビティプレート５１、ベースプレート５２及びアパーチャプレート５３の、平面視で前記実施形態の第２領域１１ｂ（図３、図５参照）と重なる領域に、第２領域５０ｂの一部となる貫通孔５４、５５、５６が形成されている（変形例１）。この場合、第２領域５０ｂの上面は前記実施形態の場合のアパーチャプレートの下面（図３参照）よりも上方の圧電層４１の下面となる。つまり、突起１７の先端１７ａと第２領域５０ｂの上面との距離Ｌ３が、突起１７と第１領域１１ａの上面との距離Ｌ４よりも大きくなっている。これにより、第２領域５０ｂの空気Ａが存在する部分の容積に対する自由度が向上し、対象とする圧力波に対応した固有周波数：ｆ０を容易に設定できる。つまり、マニホールド流路１１内の圧力波を空気Ａによりさらに効率よく減衰させることができる。なお、変形例１では、マニホールドプレート２４の上部に流路５８が形成されており、接続口５８ａにおいてマニホールド流路１１と連通している。
【００５４】
第２の変形例では、図８、図９に示すように、キャビティプレート５１、ベースプレート６１及びアパーチャプレート６２の、平面視で前記実施形態の第２領域１１ｂ（図３、図５参照）と重なる領域に、第２領域６７ｂの一部となる貫通孔５４、５５、５６が形成されている点は変形例１と同様である。一方、マニホールドプレート６３、６４に突起が形成されていない点が、前記実施形態および変形例１とは異なる。ベースプレート６１の下面にマニホールド流路６７と流路６６とに連通する流路６５の接続口６５ａが形成されており、図８の貫通孔５４、５５、５６の右端部側面が段差面６８となっている（変形例２）。この場合、マニホールド流路６７には突起は形成されていないため、平面Ｐ１（図３参照）と段差面６８の下端６８ａとの間の距離及び平面Ｐ１（図３参照）と第１領域６７ａの上面との間の距離が同じである。マニホールド流路６７には、段差面６８を挟んで、複数の接続口１４ａ（図４参照）が形成された第１領域６７ａと、流路６５の接続口６５ａが形成された第２領域６７ｂとが形成されている。これによると、第１領域６７ａと第２領域６７ｂとの間に流路断面積が小さくなった部分がないため、第１領域６７ａから第２領域６７ｂに圧力波が伝播しやすくなる。したがって、第２領域６７ｂの接続口６５ａよりも上の部分の空気Ａによりさらに効率よく圧力波を減衰させることができる。
【００５５】
さらに、この場合、接続口６５ａがマニホールドプレート６３よりも上に配置されたベースプレート６１の下面に形成されているため、図８の上下方向に関して、接続口６５ａの下端６５ｃが第１領域６７ａの上面よりも上に位置することとなる。したがって、第２領域６７ｂの接続口６５ａよりも上の部分に存在する空気Ａが第１領域６７ａに流れ込まない。また、この場合には、図９に示すように、ベースプレート６１、アパーチャプレート６２及びマニホールドプレート６３、６４には、流路６６の一部となる連通孔が形成されている。なお、この場合、第２領域６７ｂが、対象とする圧力波に対する固有振動数：ｆ０を持つために、アパーチャプレート６２のマニホールド流路６７に対する開口寸法を調整することができる。
【００５６】
第３の変形例では、隣接するマニホールド流路１１内のインクが同種のインクである場合、図１０に示すように、隣接するマニホールド流路１１の第２領域１１ｂ同士を接続する接続流路６０が形成されている（変形例３）。この場合、マニホールド流路１１内の圧力波を自己の第２領域１１ｂの空気Ａにより減衰させることができる。さらに、第２領域１１ｂから接続流路６０を経て隣接するマニホールド流路１１に伝播した圧力波を、隣接するマニホールド流路１１の第２領域１１ｂに存在する空気Ａによって減衰させることができる。したがって、マニホールド流路１１内の圧力波をさらに効率よく減衰させることができる。
【００５７】
第４の変形例では、図１１、図１２に示すように、マニホールド流路７１の途中部分に流路７３、７４を介してダミーノズル７５に連通する第２領域７１ｂが形成されている。さらに、第２領域７１ｂの紙送り方向（図１１の上下方向）の両側に第１領域７１ａが形成されている（変形例４）。このとき、第２領域７１ｂと２つの第１領域７１ａとの間にはそれぞれ突起７２が形成されている。この突起７２の下半部は、マニホールドプレート２５の上面側を薄肉部とするハーフエッチングにより形成されている。この場合でも、マニホールド流路７１内の圧力波を第２領域７１ｂに存在する空気Ａにより効率よく減衰させることができる。なお、この第２領域７１ｂの存在により、マニホールド流路７１の上流側と下流側とでインクの供給能力に差が生じるときには、マニホールド流路７１の両端にインク供給口を設けるとよい。
【００５８】
また、本実施形態および前記変形例では、１８個の圧力室１０を有し、マニホールド流路はほぼ直線状に延在しているが、本発明は、圧力室の数やマニホールド流路の形状に限定されるものではない。さらに、第１領域と第２領域とを区画する段差面１７ｂが、複数の段を構成する面として形成されていてもよく、上下方向に対して傾斜した傾斜面として形成されていてもよい。
【００５９】
また、本実施形態および前記変形例では、マニホールド流路１１からダミーノズル２０に至る接続口１８ａ、および流路１８、１９が設けられていたが、これらは必ずしも必要ではない。すなわち、気体（エア）をマニホールド流路１１の第２領域に相当する部分に封鎖してもよい。例えば図１３に示すように、マニホールド流路１１１ａ（共通液室）と流体接続され、空気Ａを維持するためのエアダンパ室１１１ｂを備え、エアダンパ室１１１ｂにおいて、前記マニホールド流路１１１ａ内のインクとエアダンパ室１１１ｂ内の空気Ａとが直接接する界面Ｓを形成することにより、本実施形態および前記変形例と同様の効果を得ることができる。すなわち、マニホールド流路１１内の圧力変動や圧力波の発生に応じてエアダンパ室１１１ｂに維持されている気体（空気）と液体（インク）の界面が変動することで、共通液室内の圧力変動や圧力波を確実に且つ瞬時に吸収して消滅させることができる。従って、液滴噴射装置を高密度化、小型化しても、マニホールド流路１１内の圧力波を効率よく減衰させることができる。また、ダミーノズル２０や接続口１８ａ、流路１８、１９が存在しない分、流路ユニット３１の構造を簡略化することができる。
【００６０】
また、本実施形態および上記変形例では、本発明をインクジェットヘッドに適用した一例について説明したが、このほか、試薬、生体溶液、配線材料溶液、電子材料溶液、冷媒用、燃料用などインク以外の液体を噴射する液滴噴射装置に適用することも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００６１】
【図１】本発明の実施の形態に係るインクジェットプリンタの概略斜視図である。
【図２】図１のインクジェットヘッドの平面図である。
【図３】図２のIII−III線断面図である。
【図４】図２のIV−IV線断面図である。
【図５】図２のＶ−Ｖ線断面図である。
【図６】変形例１の図３相当の断面図である。
【図７】変形例１の図５相当の断面図である。
【図８】変形例２の図３相当の断面図である。
【図９】変形例２の図５相当の断面図である。
【図１０】変形例３の図２相当の平面図である。
【図１１】変形例４の図２相当の平面図である。
【図１２】図１１のX−X線断面図である。
【図１３】他の実施形態の図３相当の断面図である。
【符号の説明】
【００６２】
３  インクジェットヘッド
９  インク流入口
１０  圧力室
１１  マニホールド流路
１１ａ  第１領域
１１ｂ  第２領域
１４  連通孔
１４ａ  接続口
１７  突起
１６  ノズル
１８  流路
１８  接続口
２０  ダミーノズル
３１  流路ユニット
３２  圧電アクチュエータ
５０  マニホールド流路
５０ｂ  第２領域
６０  接続流路
６７  マニホールド流路
６７ａ  第１領域
６７ｂ  第２領域
７１  マニホールド流路
７１ａ  第１領域
７１ｂ  第２領域
７２  突起
７５  ダミーノズル
【図１】
2007176161.tif 000004
【図２】
2007176161.tif 000005
【図３】
2007176161.tif 000006
【図４】
2007176161.tif 000007
【図５】
2007176161.tif 000008
【図６】
2007176161.tif 000009
【図７】
2007176161.tif 000010
【図８】
2007176161.tif 000011
【図９】
2007176161.tif 000012
【図１０】
2007176161.tif 000013
【図１１】
2007176161.tif 000014
【図１２】
2007176161.tif 000015
【図１３】
2007176161.tif 000016