(57)【要約】【課題】省スペース化及び低コスト化を図ることができるバンプＩＣ検査装置を提供する。【解決手段】ステージ１１の真上に第１のミラー２１を設け、バンプ面１３の平面画像を右斜め下方へ向けて反射する。第１のミラー２１の右側に第２のミラー３１を設け、第１のミラー２１で反射した平面画像を真上に反射する。第２のミラー３１の真上にカメラ４１を設け、第２のミラー３１で反射した平面画像を入力する。ステージ１１の右方に第３のミラー５１を設け、バンプ付きＩＣ２の側部画像をカメラ４１のレンズ４２へ向けて反射する。レンズ４２への平面画像入力位置６２と側部画像入力位置６３を異なる位置に設定し、平面画像光路６４と側部画像光路６５とが重ならないように各ミラー２１，３１，５１を調整する。【選択図】        図１
2007149908.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
バンプ面にバンプが設けられたバンプ付きＩＣの画像を取得するカメラを備えたバンプＩＣ検査装置において、
前記バンプ付きＩＣの前記バンプ面の上方に配置され、該バンプ面の平面画像を側方へ向けて反射する第１反射手段と、
該第１反射手段で反射した前記平面画像を前記カメラのレンズへ向けて反射する第２反射手段と、
前記バンプ付きＩＣの横側に配置され、該バンプ付きＩＣの側部画像を前記カメラの前記レンズへ向けて反射する第３反射手段とを備え、
前記第２反射手段が反射した前記平面画像の前記レンズへの入力位置と、前記第３反射手段が反射した前記側部画像の前記レンズへの入力位置とが異なるように前記平面画像の光路及び前記側部画像の光路を設定したことを特徴とするバンプＩＣ検査装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、バンプ付きのＩＣを検査するバンプＩＣ検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、バンプ付きのＩＣを検査する際には、バンプＩＣ検査装置が用いられていた。
【０００３】
該バンプＩＣ検査装置は、バンプＩＣの裏面に対して垂直な平面画像を取得する第１カメラと、前記バンプＩＣの真横や斜めからの側部画像を取得する第２カメラとを備えており、両カメラは、画像解析装置に接続されている。
【０００４】
該画像解析装置では、前記第１カメラから取得した前記平面画像を解析することによって、バンプ径やパッケージの傷や欠けを検査するように構成されている。また、前記第２カメラから取得した前記側部画像を解析することによって、バンプの高さを検査するように構成されている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような従来のバンプＩＣ検査装置にあっては、二台のカメラが必要であった。
【０００６】
これにより、設置スペースを要するとともにコスト高を招いてしまう。
【０００７】
本発明は、このような従来の課題に鑑みてなされたものであり、省スペース化及び低コスト化を図ることができるバンプＩＣ検査装置を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するために本発明のバンプＩＣ検査装置にあっては、バンプ面にバンプが設けられたバンプ付きＩＣの画像を取得するカメラを備えたバンプＩＣ検査装置において、前記バンプ付きＩＣの前記バンプ面の上方に配置され、該バンプ面の平面画像を側方へ向けて反射する第１反射手段と、該第１反射手段で反射した前記平面画像を前記カメラのレンズへ向けて反射する第２反射手段と、前記バンプ付きＩＣの横側に配置され、該バンプ付きＩＣの側部画像を前記カメラの前記レンズへ向けて反射する第３反射手段とを備え、前記第２反射手段が反射した前記平面画像の前記レンズへの入力位置と、前記第３反射手段が反射した前記側部画像の前記レンズへの入力位置とが異なるように前記平面画像の光路及び前記側部画像の光路を設定した。
【０００９】
すなわち、バンプ付きＩＣにおけるバンプ面の平面画像は、該バンプ面の上方に配置された第１反射手段によって側方へ向けて反射され、この第１反射手段で反射された前記平面画像は、第２反射手段によってカメラのレンズへ向けて反射される。
【００１０】
また、前記バンプ付きＩＣの側部画像は、当該バンプ付きＩＣの横側に配置された第３反射手段によって前記カメラの前記レンズへ向けて反射される。
【００１１】
そして、前記第２反射手段で反射された前記平面画像と、前記第３反射手段で反射された前記側部画像とは、前記カメラにおけるレンズの異なる位置に入力される。
【００１２】
このため、前記カメラには、前記バンプ付きＩＣにおけるバンプ面の平面画像と、前記バンプ付きＩＣの側部画像とが同時に入力される。
【発明の効果】
【００１３】
以上説明したように本発明のバンプＩＣ検査装置にあっては、バンプ付きＩＣにおけるバンプ面の平面画像と前記バンプ付きＩＣの側部画像とを一台のカメラで同時に取得することができる。
【００１４】
このため、前記平面画像を取得するカメラと、前記側部画像を取得するカメラとが必要であった従来と比較して、カメラ一台分の設置スペースを削減することができ、省スペース化を図ることができる。
【００１５】
また、使用するカメラを削減することができるため、低コスト化を図ることができる。これにより、安価なバンプＩＣ検査装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
（第１の実施の形態）
【００１７】
以下、本発明の第１の実施の形態を図に従って説明する。図１は、本実施の形態にかかるバンプＩＣ検査装置１を示す図であり、該バンプＩＣ検査装置１は、バンプ付きＩＣ２を検査する装置である。
【００１８】
すなわち、このバンプＩＣ検査装置１は、検査対象となるバンプ付きＩＣ２が載置されるステージ１１を備えており、該ステージ１１には、前記バンプ付きＩＣ２のパッケージ１２の裏面が上方に向けて配置されるように構成されている。この裏面は、バンプ面１３を構成しており、該バンプ面１３には、接合剤としてのバンプ１４，・・・が複数箇所に設けられている。
【００１９】
前記ステージ１１の真上には、第１反射手段としての第１のミラー２１が設置されており、該第１のミラー２１の反射面２２は、前記バンプ面１３に垂直な垂線に対して４５度−α傾斜するように設定されている。これにより、前記バンプ面１３の真上から得た平面画像を、図１中右斜め下方へ向けて反射できるように構成されている。
【００２０】
前記第１のミラー２１の図１中右側には、第２反射手段としての第２のミラー３１が設置されており、該第２のミラー３１の反射面３２は、前記第１のミラー２１の反射面２２に平行するように設定されている。これにより、前記第１ミラー２１で反射した前記平面画像を、真上に向けて反射できるように構成されている。
【００２１】
この第２のミラー３１の真上には、カメラ４１が設置されており、該カメラ４１のレンズ４２には、前記第２のミラー３１で反射した前記平面画像が入力されるように構成されている。このカメラ４１は、取得した画像を図外の画像解析装置に出力するように構成されており、該画像解析装置によって、前記バンプ付きＩＣ２の状態を検査できるうように構成されている。
【００２２】
また、前記ステージ１１の図１中右方には、第３反射手段としての第３のミラー５１が設置されており、該第３のミラー５１は、前記第２のミラー３１より図１中右側へずれた位置に配置されている。該第３のミラー５１の反射面５２は、垂線に対して４５度傾斜するように設定されており、前記バンプ付きＩＣ２の真横から得た側部画像を、前記カメラ４１の前記レンズ４２へ向けて反射するように構成されている。
【００２３】
前記第２のミラー３１で反射した前記平面画像のレンズ面６１への平面画像入力位置６２は、当該レンズ面６１の図１中左方側の領域に設定されており、前記第３のミラー５１が反射した前記側部画像の前記レンズ面６１への側部画像入力位置６３は、当該レンズ面６１の図１中右方側の領域に設定されている。これにより、前記レンズ４２への前記平面画像入力位置６２と前記側部画像入力位置６３とは、異なる位置に設定されており、平面画像光路６４と側部画像光路６５とが重ならないように前記各ミラー２１，３１，５１の状態が調整されている。
【００２４】
そして、前記バンプ付きＩＣ２から前記第１のミラー２１までの光路長ａと、該第１のミラー２１から前記第２のミラー３１までの光路長ｂと、該第２のミラー３１から前記レンズ４２までの光路長ｃとを加算した平面画像光路長（ａ＋ｂ＋ｃ）は、前記バンプ付きＩＣ２から前記第３のミラー５１までの光路長ｄと、該第３のミラー５１から前記レンズ４２までの光路長ｅとを加算した側部画像光路（ｄ＋ｅ）と同じ距離となるように、前記各ミラー２１，３１，５１の位置及び角度が調整されており、前記レンズ４２に入力される前記平面画像と前記側部画像とのピントが合うように構成されている。
【００２５】
これにより、図２に示すように、前記カメラ４１で取得したカメラ画像７１では、前記バンプ付きＩＣ２を真上から得た平面画像７２と、前記バンプ付きＩＣ２の真横から得た側部画像７３とを、同時に取得できるうように構成されており、前記画像解析装置において、前記平面画像７２を解析することで、バンプ付きＩＣ２に設けられた各バンプ１４，・・・の抜け７５やバンプ径やパッケージ１２の傷や欠け７６を検査するように構成されている。また、前記側部画像７３を解析することによって、前記各バンプ１４，・・・の高さを検査して、例えば潰れたバンプ７７を発見できるように構成されている。
【００２６】
以上の構成にかかる本実施の形態において、前記バンプ付きＩＣ２におけるバンプ面１３の平面画像７２は、該バンプ面１３の上方に配置された第１のミラー２１によって側方へ向けて反射され、この第１のミラー２１で反射された前記平面画像７２は、第２のミラー３１によってカメラ４１のレンズ４２へ向けて反射される。
【００２７】
また、前記バンプ付きＩＣ２の側部画像７３は、当該バンプ付きＩＣ２の横側に配置された第３のミラー５１によって前記カメラ４１の前記レンズ４２へ向けて反射される。
【００２８】
そして、前記第２のミラー３１で反射された前記平面画像７２と、前記第３のミラー５１で反射された前記側部画像７３とは、前記カメラ４１における前記レンズ４２の異なる位置に入力される。
【００２９】
このため、前記カメラ４１には、図２に示したように、前記バンプ付きＩＣ２におけるバンプ面１３の平面画像７２と、前記バンプ付きＩＣ２の側部画像７３とが同時に入力される。このように、前記平面画像７２と前記側部画像７３とを一台のカメラ４１で同時に取得することができる。
【００３０】
このため、前記平面画像７２を取得するカメラと、前記側部画像７３を取得するカメラとが必要であった従来と比較して、カメラ一台分の設置スペースを削減することができ、省スペース化を図ることができる。
【００３１】
また、使用するカメラを削減することができるため、低コスト化を図ることができる。これにより、安価なバンプＩＣ検査装置１を提供することができる。
【００３２】
（第２の実施の形態）
【００３３】
図３は、本発明の第２の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００３４】
すなわち、前記ステージ１１の図２中右斜め上方には、前記第３のミラー５１が設置されており、該第３のミラー５１は、前記第２のミラー３１より図２中右側へずれた位置に配置されている。該第３のミラー５１の反射面５２は、垂線に対して４５度＋β傾斜するように設定されており、前記バンプ付きＩＣ２の斜め上方から得た側部画像７３を、前記カメラ４１の前記レンズ４２へ向けて反射するように構成されている。
【００３５】
このように、前記第３のミラー５１の設置位置を、上方へずらすとともに、当該第３のミラー５１の反射面５２の角度を変更するだけで、前記バンプ付きＩＣ２の斜め上方からの前記側部画像７３を取得することができる。
【００３６】
（第３の実施の形態）
【００３７】
図４は、本発明の第３の実施の形態を示す図であり、第１の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００３８】
すなわち、第１の実施の形態で用いられた第２のミラー３１が、直角プリズム１０１で構成されている。
【００３９】
これにより、第１の実施の形態と比較して、前記平面画像７２と前記側部画像７３との間に形成された前記第２のミラー３１の肉厚Ｔ分のデッドスペース１０５を狭くすることができ、視野を有効に取ることができる。
【００４０】
（第４の実施の形態）
【００４１】
図５は、本発明の第４の実施の形態を示す図であり、第３の実施の形態と異なる部分についてのみ説明する。
【００４２】
すなわち、本実施の形態は、前記第３の実施の形態に照明を加えたものであり、前記第３のミラー５１の右方には、第１の照明１５１が設けられている。この第１の照明１５１からの光１５２は、前記第１のミラー２１を介して、前記バンプ付きＩＣ２の前記バンプ面１３を真上から照射するように構成されており、同軸照明を構成している。
【００４３】
これにより、鏡面状のパッケージ１２に対して有効であり、バンプ１４，・・・は、黒く表示される。
【００４４】
また、前記ステージ１１の左方には、第２の照明１６１が設けられており、該第２の照明１６１からの光１６２は、前記バンプ付きＩＣ２の左側面を照射するように構成されている。
【００４５】
これにより、バンプ１４，・・・上面を明るくすることができる。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１】本発明の第１の実施の形態を示す模式図である。
【図２】同実施の形態で取得したカメラ取得画像を示す説明図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を示す模式図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を示す模式図である。
【図５】本発明の第４の実施の形態を示す模式図である。
【符号の説明】
【００４７】
１    バンプＩＣ検査装置
２    バンプ付きＩＣ
１３    バンプ面
１４    バンプ
２１    第１のミラー
３１    第２のミラー
４１    カメラ
４２    レンズ
５１    第３のミラー
６１    レンズ面
６２    平面画像入力位置
６３    側部画像入力位置
６４    平面画像光路
６５    側部画像光路
７１    カメラ取得画像
７２    平面画像
７３    側部画像
【図１】
2007149908.tif 000003
【図２】
2007149908.tif 000004
【図３】
2007149908.tif 000005
【図４】
2007149908.tif 000006
【図５】
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