(57)【要約】【課題】ガイドローラの再使用の回数を増加でき、一定期間内でのメンテナンス時間の短縮、インゴットの切断本数の増加、使用済みガイドローラの処分コストおよび新規なガイドローラの購入コストを低減可能なワイヤガイド装置を提供する。【解決手段】ローラ位置変更部材５５を利用し、ローラ軸支体３９に対するガイドローラ３８の取り付け位置を、ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄがワイヤＷの走行位置に個別に合致するように、ガイドローラ３８の軸線方向へ変更可能としたので、簡単な構造でガイドローラ３８を再使用できる。その結果、一定期間内でのワイヤソー１１のメンテナンス時間の短縮、一定期間内でのインゴットＩの切断本数の増加が図れ、かつ一定期間内での使用済みガイドローラ３８の廃棄コストおよびガイドローラ３８の購入コストを低減できる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
インゴット切断用のワイヤ列を往復走行させる複数本のワイヤソー用グルーブローラに対してワイヤの導入および導出のガイドを行うワイヤガイド装置であって、
外周面の周りに環状のワイヤ溝が、互いに離間して複数本形成された回転自在なガイドローラと、                                                              
該ガイドローラが着脱自在に取り付けられ、かつ該ガイドローラの回転中心となるローラ軸支体と、
該ローラ軸支体に着脱自在に取り付けられ、かつ該ローラ軸支体における前記ガイドローラの取り付け位置を、各ワイヤ溝が前記ワイヤの走行位置に個別に合致するように前記ガイドローラの軸線方向へ変更可能なローラ位置変更部材とを備えたワイヤガイド装置。
【請求項２】
前記ワイヤ溝は、前記ガイドローラの軸線方向へ所定ピッチで４条形成されるとともに、各ワイヤ溝は、前記ガイドローラの軸線方向の中間点を中心とした線対称位置に対配置され、
前記ローラ位置変更部材は、前記ワイヤ溝の１ピッチ分の長さと略同じ厚さを有した請求項１に記載のワイヤガイド装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明はワイヤガイド装置、詳しくは走行するワイヤによりインゴットを多数枚のウェーハに切断可能なワイヤガイド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ワイヤソーは、繰出し装置のワイヤ繰出し用のリール（またはボビン）から導出されたインゴット切断用のワイヤを、複数本のワイヤソー用グルーブローラに対してコイル状に巻き架け、その後、巻取り装置のワイヤ巻取り用のリール（またはボビン）に巻き取る装置構成となっている。繰出し装置からグルーブローラまでのワイヤ走行路およびグルーブローラから巻取り装置までのワイヤ走行路には、それぞれ多数個のワイヤガイド装置が配設されている（特許文献１など）。
【０００３】
ワイヤガイド装置の基本構造は、以下の通りである（例えば、特許文献１）。すなわち、図７に示すように、ワイヤガイド装置１００は、ワイヤソーの本体フレーム１０１に元部が固定された固定軸１０２を有している。固定軸１０２の先部には、一対のベアリング１０３を介してベアリングケース１０４が回転自在に支持されている。ベアリングケース１０４は円筒体で、その元部にフランジ１０４ａが突設されている。一方、ベアリングケース１０４の先端部には、ベアリング１０３の飛び出しを防止するベアリングキャップ１０５が、ボルト１０６により締結されている。また、ベアリングキャップ１０５には、ベアリングキャップ１０５を外方から被うエンドキャップ１０７がボルト締めされている。
【０００４】
ガイドローラ１０８は、ポリウレタン製の厚肉な環状部材で、ベアリングケース１０４の外周部に取り付けられている。ガイドローラ１０８の外周面には、ガイドローラ１０８の軸線方向の中間位置から等間隔の位置に、ワイヤ溝１０８ａが１条ずつ形成されている。ガイドローラ１０８は、その内周部が前記フランジ１０４ａとエンドキャップ１０７の外周壁の端部１０７ａとによって堅固に挟持されている。
【０００５】
このように、ワイヤ溝１０８ａを２条形成したことで、一方のワイヤ溝１０８ａが磨耗などによって別のワイヤ溝１０８ａと交換する必要が生じた時には、ベアリングケース１０４からガイドローラ１０８を抜き取り、その後、ガイドローラ１０８を表裏反転してベアリングケース１０４に再び取り付ければ、他方のワイヤ溝１０８ａを使用することができる。その結果、ガイドローラ１０８の寿命を約２倍長くすることができる。なお、ガイドローラ１０８の軸線方向の一端面を表面、他端面を裏面とする。
【０００６】
図７中、１０９はベアリングケース１０４の元部側の内周部に周設された環状凹部１０４ｂに嵌合されるラビリンスカラー、１１０は固定軸１０２の元部のうち、本体フレーム１０１とラビリンスカラー１０９との間の部分に外挿される円筒スペーサ、１１１は固定軸１０２の先端部に形成された外ねじに螺合され、ベアリング１０３の外方への飛び出しを防止するベアリングナット、Ｗは何れかのワイヤ溝１０８ａに架けられるワイヤである。
【特許文献１】特開２００２−２２４９４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、従来のワイヤガイド装置１００にあっては、以下の欠点があった。
すなわち、ガイドローラ１０８には、上述したようにその外周部にワイヤ溝１０８ａが２本だけしか形成されていなかった。よって、１個のガイドローラ１０８の再使用回数は１回のみ（総使用回数は２回）と少なかった。そのため、新旧のガイドローラを比較的短い期間で交換しなければならず、一定期間での新旧ガイドローラ１０８の交換回数が増えていた。また、ガイドローラ１０８の交換時間は、ガイドローラ１０８の再使用のための作業時間に比べて長い。その結果、一定期間（例えば月間）内で、ワイヤソーの運転を停止し、メンテナンスを行う時間が長くなっていた。したがって、ワイヤソーの運転時間が短縮し、一定期間におけるインゴットＩの処理本数も減少していた。
【０００８】
また、使用後のガイドローラ１０８は、産業廃棄物として処分されている。したがって、ガイドローラ１０８の寿命（再使用の回数）はできるだけ長い方が、一定期間での産業廃棄物の処理コストは減少する。これは、新規なガイドローラ１０８の購入コストについても言える。
【０００９】
そこで、この発明は、簡単な構成でガイドローラの再使用の回数を増やすことができ、これにより一定期間内でのワイヤソーのメンテナンス時間を短縮可能で、その結果、一定期間内でのインゴットの切断本数を増加可能であるとともに、一定期間内での使用済みガイドローラの廃棄処分コストおよび新規なガイドローラの購入コストをそれぞれ低減させることができるワイヤガイド装置を提供することを目的としている。
また、この発明は、ローラ位置変更部材の紛失を防止することができるワイヤガイド装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、インゴット切断用のワイヤ列を往復走行させる複数本のワイヤソー用グルーブローラに対してワイヤの導入および導出のガイドを行うワイヤガイド装置であって、外周面の周りに環状のワイヤ溝が、互いに離間して複数本形成された回転自在なガイドローラと、該ガイドローラが着脱自在に取り付けられ、かつ該ガイドローラの回転中心となるローラ軸支体と、該ローラ軸支体に着脱自在に取り付けられ、かつ該ローラ軸支体における前記ガイドローラの取り付け位置を、各ワイヤ溝が前記ワイヤの走行位置に個別に合致するように前記ガイドローラの軸線方向へ変更可能なローラ位置変更部材とを備えたワイヤガイド装置である。
【００１１】
請求項１に記載の発明によれば、ローラ位置変更部材を利用し、ローラ軸支体に対するガイドローラの取り付け位置を、選出された１条のワイヤ溝が前記ワイヤの走行位置と合致するように、ガイドローラの軸線方向へ変更する。その具体的な変更方法としては、(1) ローラ位置変更部材のローラ軸支体への着脱、(2) ローラ位置変更部材のローラ軸支体における取り付け位置の変更、(3) ローラ位置変更部材のローラ軸支体への装着個数の変更、(4) 厚さが異なる複数のローラ位置変更部材の使用などが挙げられる。
これにより、簡単な構成でガイドローラの再使用、殊に２回以上の再使用が可能となる。そのため、一定期間内でのワイヤソーのメンテナンス時間を短縮することができ、その結果、一定期間内でのインゴットの切断本数を増加することも可能で、しかも一定期間内での使用済みガイドローラの廃棄処分コストおよび新規なガイドローラの購入コストをそれぞれ低減させることができる。
【００１２】
この発明のワイヤガイド装置が利用されるワイヤソーの種類は任意である。例えば、インゴットをワイヤ方向へ動かし、これをワイヤ列に押圧、接触させて切断するものでもよい。反対にワイヤ列を動かしてインゴットに押圧、接触させて切断するものでもよい。また、ワイヤ列の上部にインゴット下面が当接するものでもよい。さらに、ワイヤ列の下部にインゴット上面が押し当てられるものでもよい。
インゴットの素材は任意であり、例えばシリコン単結晶、化合物半導体単結晶、磁性材料、石英、セラミックスなどを採用することができる。
ワイヤソーに組み配置されるワイヤソー用グルーブローラの本数は、例えば２本でもよいし、３本以上でもよい。
【００１３】
ワイヤガイド装置の構造は任意である。外周面にワイヤ溝が複数本形成されたガイドローラと、そのローラ軸支体とを有していればよい。
ワイヤガイド装置の使用本数は任意である。１本でもよいし、２本以上でもよい。
ガイドローラの素材としては、例えばポリウレタンを採用することができる。
ワイヤ溝の形成本数は、２条以上（例えば２条、３条、４条…）である。
ローラ軸支体の構造は任意である。例えば、ワイヤソーの本体フレームに固定された固定軸と、固定軸に外挿されたベアリングと、ベアリングを収納するベアリングケースとを有するものでもよい。この場合、ガイドローラは、ベアリングケースの外周部に一体的に固定（装着）されている。また、ローラ軸支体は前記固定軸のみでもよいし、ワイヤソーの本体フレームに回転自在に取り付けられる回転軸のみでもよい。これらの場合には、ベアリングケースを介することなく、直接、この回転軸にガイドローラが固定される。
【００１４】
ローラ位置変更部材は剛体である。その素材としては、例えばステンレス材およびアルミニューム材などを採用することができる。
ローラ位置変更部材の厚さは、各ワイヤ溝が前記ワイヤの走行位置に個別に合致するように、各ワイヤ溝の位置に合わせて、ローラ軸支体に対するガイドローラの取り付け位置を、ガイドローラの軸線方向へ変更可能な厚さであれば任意である。
ローラ位置変更部材の使用個数は、１個または２個以上である。ローラ位置変更部材を複数個使用するとき、各ローラ位置変更部材の厚さは同じでもよいし、それぞれ異なってもよい。
【００１５】
請求項２に記載の発明は、前記ワイヤ溝は、前記ガイドローラの軸線方向へ所定ピッチで４条形成されるとともに、各ワイヤ溝は、前記ガイドローラの軸線方向の中間点を中心とした線対称位置に対配置され、前記ローラ位置変更部材は、前記ワイヤ溝の１ピッチ分の長さと略同じ厚さを有した請求項１に記載のワイヤガイド装置である。
【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、ガイドローラを表裏反転させることで、４条のワイヤ溝のうち、外側（または内側）の２条のワイヤ溝をそれぞれ使用することができる。また、例えばローラ軸支体におけるローラ位置変更部材の取り付け位置を、ガイドローラより先部側としたり、ガイドローラより元部側とすることで、４条のワイヤ溝のうち、内側（または外側）の２条のワイヤ溝をそれぞれ使用することができる。このように、ローラ位置変更部材を利用してガイドローラのローラ軸支体に対する装着位置の簡単な変更作業を行うだけで、１個のガイドローラを３回再使用することができる。また、ローラ位置変更部材は、常時、ローラ軸支体に取り付けられているので、ローラ位置変更部材の紛失を防止することができる。
【発明の効果】
【００１７】
この発明の請求項１に記載の発明によれば、ローラ位置変更部材を利用し、ローラ軸支体に対するガイドローラの取り付け位置を、ワイヤ溝がワイヤの走行位置に個別に合致するように、各ワイヤ溝の位置に合わせてガイドローラの軸線方向へ変更するように構成したので、簡単な構成でガイドローラの再使用、殊に２回以上の再使用ができる。これにより、一定期間内でのワイヤソーのメンテナンス時間を短縮することができる。その結果、一定期間内でのインゴットの切断本数を増やすことができ、しかも一定期間内での使用済みガイドローラの廃棄処分コストおよび新規なガイドローラの購入コストをそれぞれ低減させることができる。
【００１８】
特に、請求項２の発明によれば、ワイヤ溝をガイドローラの軸線方向へ所定ピッチで４条形成するとともに、各ワイヤ溝は、ガイドローラの軸線方向の中間点を中心とした線対称位置に対配置し、ローラ位置変更部材の厚さは、ワイヤ溝の１ピッチ分の長さと略同じになるように構成したので、ローラ位置変更部材を利用してガイドローラのローラ軸支体に対する装着位置の簡単な変更作業を行うだけで、１個のガイドローラを３回再使用することができる。また、ローラ位置変更部材は、ローラ軸支体に常時取り付けられているので、ローラ位置変更部材の紛失を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、この発明の実施例を具体的に説明する。
【実施例１】
【００２０】
図２において、１１はこの発明の実施例１に係るワイヤガイド装置１０が組み込まれたワイヤソーで、このワイヤソー１１は、ＣＺ法により引き上げられた単結晶シリコン製のインゴットＩを多数枚のウェーハにワイヤ切断する装置である。ワイヤソー１１は、正面視して逆三角形状に配置された３本のワイヤソー用グルーブローラ（以下、グルーブローラ）１２Ａ〜１２Ｃを有している。これらのグルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃ間には、１本のワイヤＷが互いに平行になるように一定のピッチで巻き掛けられている。これにより、グルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃ間にワイヤ列Ｗａが現出される。
【００２１】
ワイヤ列Ｗａは、３本のグルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃ間でメインモータ４２により往復走行される。上側に配置された２本のグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂの中間が、インゴットＩの切断位置ａとなっている。この切断位置ａの両側部の上方には、砥液をワイヤ列Ｗａ上に連続供給する１対の砥液供給部Ｎが配設されている。
ワイヤＷは、繰出し装置１３のボビン２０から導出され、供給側のワイヤガイド装置１０，１０Ａを介して、各グルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃに架け渡された後、導出側のワイヤガイド装置１０，１０Ｂを介して、巻取り装置１５のボビン２１に巻き取られる。
【００２２】
繰出し装置１３および巻取り装置１５の回転軸は、駆動モータ１６，１７の出力軸にそれぞれ連結されている。各駆動モータ１６，１７を周期的に駆動すると、それぞれ一対の軸受に軸支された各ボビン２０，２１が、それぞれの軸線を中心として図２における時計回り方向または反時計回り方向に回転して、ワイヤＷが往復走行する。
なお、図２において、１８はインゴットＩの昇降台、１８ａはインゴットＩを昇降台１８に固定するカーボンベッドである。また、１９は昇降台１８を昇降させる昇降モータ、４３はインゴットＩの端材を回収する端材回収ボックスである。
【００２３】
次に、図１を参照して、ワイヤガイド装置１０を詳細に説明する。
図１に示すように、ワイヤガイド装置１０は、ワイヤソー１１の本体フレーム３１に固定された固定軸３２を有している。固定軸３２の先部には、一対のベアリング３３，３３を介して、ステンレス鋼製のベアリングケース３４が固定軸３２を中心にして回転自在に支持されている。ベアリングケース３４の元部側の内周部には、ベアリングケース３４の環状凹部３４ｂに嵌合されるラビリンスカラー３７が周設されている。
【００２４】
固定軸３２の先端部には外ねじが形成され、この外ねじの部分に、ベアリング３３，３３を位置決めするベアリングナット５２が螺合されている。ベアリングケース３４は円筒形状で、その元部にフランジ３４ａが突設されている。一方、ベアリングケース３４の先端部には、ベアリングキャップ３５がボルト５０により締結されている。ベアリングキャップ３５は、ベアリング３３，３３のベアリングケース３４からの飛び出しを防ぐとともに、ベアリングケース３４内への砥液の侵入を防止する部材である。また、ベアリングケース３４の先端面には、エンドキャップ３６が図示しないボルトにより締結されている。
【００２５】
ベアリングケース３４の外周部には、ガイドローラ３８が抜き差し自在（着脱自在）に嵌め込まれている。ガイドローラ３８はポリウレタン製の厚肉なリング部材で、外周面に４条のワイヤ溝３８ａ〜３８ｄが形成されている。したがって、仮に１条のワイヤ溝３８ａが磨耗しても、ガイドローラ３８の表裏面を逆転するなどして、別のワイヤ溝３８ｂ〜３８ｄを使用することができる。ガイドローラ３８は、その内周部が、フランジ３４ａとエンドキャップ３６の外周壁の端部３６ａとによって堅固に挟持されている。
【００２６】
図１中、５４は固定軸３２の元部のうち、本体フレーム３１とラビリンスカラー３７との間の部分に外挿される円筒スペーサである。構成部品３２〜３７，５０，５２により、ガイドローラ３８を回転可能に支持するローラ軸支体３９が構成されている。
【００２７】
この発明の特徴は、前述したようにガイドローラ３８の外周面の周りに４条のワイヤ溝３８ａ〜３８ｄを、ガイドローラ３８の軸線方向へピッチａ（ａ＝５ｍｍ）で形成するとともに、これらのワイヤ溝３８ａ〜３８ｄを、ガイドローラ３８の軸線方向の中間点を中心とした線対称位置に対配置し、またベアリングケース３４の外周部に、ベアリングケース３４におけるガイドローラ３８の取り付け位置を、各ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄの位置に合わせてガイドローラ３８の軸線方向へ変更可能なリング状のローラ位置変更部材５５を１個取り付けた点である。
また、ローラ位置変更部材５５は、ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄの１ピッチａの長さと同じ厚さａ（５ｍｍ）を有している。４条のうち、何れかのワイヤ溝３８ａに架けられるワイヤＷは、円筒スペーサ５４により、本体フレーム３１のワイヤガイド装置１０側の面から常に長さＬ（Ｌ＝３０ｍｍ）だけ離間している。このとき、本体フレーム３１のワイヤガイド装置１０側の面からフランジ３４ａのエンドキャップ３６側の面までの長さは２０ｍｍである。
【００２８】
次に、ワイヤソー１１によるインゴットＩの切断方法を説明する。
図２に示すように、ワイヤソー１１では、砥液を砥液ノズルＮよりワイヤ列Ｗａに供給するとともに、メインモータ４２によってグルーブローラ１２Ｃを正逆回転させ、ワイヤ列Ｗａを往復走行させる。しかも、駆動モータ１６により繰出し装置１３のリール２０を回転させ、ワイヤＷを導入側の多数個のワイヤガイド装置１０，１０Ａを経てグルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃに供給する。一方、駆動モータ１７により巻取り装置１５のリール２１を回転させ、グルーブローラ１２Ａ〜１２Ｃ、導出側の多数個のワイヤガイド装置１０，１０Ｂを経てワイヤＷを巻き取る。そして、適宜、各リール２０，２１の回転方向を変える。これに伴い、他の２本のグルーブローラ１２Ａ，１２Ｂが回転するとともに、それぞれのワイヤガイド装置１０，１０Ａ，１０Ｂも回転する。
【００２９】
ワイヤ列Ｗａの往復走行時に、上方からインゴットＩをワイヤ列Ｗａへ押し付けていく。これにより、インゴットＩが何枚ものウェーハに切断される。すなわち、ワイヤ列Ｗａの往復走行時に、砥液中の遊離砥粒がワイヤ列Ｗａの各ワイヤＷにより各切断溝の底部に擦りつけられる。これにより、その底部が徐々に削り取られ、最終的に多数枚の薄いウェーハに切断される。このとき、切断後に残ったインゴットＩの端材は、端材ボックス４３に回収される。
【００３０】
インゴット切断時、ワイヤＷの往復走行に伴い、各ワイヤガイド装置１０ではガイドローラ３８がそれぞれ回転する。その際、ダンサローラ１０Ａ，１０Ｂは、走行するワイヤＷに一定の張力を与える。このとき、各ガイドローラ３８は、ベアリングケース３４の外周部に装着され、しかもガイドローラ３８の内周部は、フランジ３４ａとエンドキャップ３６の外周壁の端部３６ａとによってそれぞれ堅固に挟持されている（図１）。この状態で、ガイドローラ３８の軸線方向の一端部に配置された第１のガイド溝３８ａが、ワイヤＷの走行位置に位置決めされる（各ガイド溝は、図３中の右端のものから順に第１のガイド溝３８ａ〜第４のガイド溝３８ｄとなる）。なお、ガイドローラ３８の軸線方向のうち、第１のガイド溝３８ａ側をガイドローラ３８の表側とし、第４のガイド溝３８ｄ側をガイドローラ３８の裏側とする。
【００３１】
次に、図３〜図６を参照しながらローラ位置変更部材５５を利用し、ローラ軸支体３９（具体的にはベアリングケース３４）に対するガイドローラ３８の取り付け位置を、各ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄがワイヤＷの走行位置に個別に合致するように、各ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄの位置に合わせて、ガイドローラ３８の軸線方向へ変更する方法を説明する。
(1) 図３に示すように、第１のガイド溝３８ａの使用時には、ガイドローラ３８の表側を本体フレーム３１側に向けて、ガイドローラ３８をベアリングケース３４に装着する。その際、ローラ位置変更部材５５を、ベアリングケース３４のフランジ３４ａと、ガイドローラ３８の内周部の表側との間に配置する。これにより、本体フレーム３１から長さＬだけ離間した位置（ワイヤＷの走行位置）に、第１のガイド溝３８ａが配置される。その結果、ワイヤＷを第１のガイド溝３８ａに掛止することができる。
【００３２】
(2) 図４に示すように、第２のガイド溝３８ｂの使用時には、ガイドローラ３８の表側を本体フレーム３１側に向けて、ガイドローラ３８をベアリングケース３４に装着する。次に、ローラ位置変更部材５５を、ガイドローラ３８の裏側とエンドキャップ３６の外周壁の端部３６ａとの間に配置する。これにより、本体フレーム３１から長さＬだけ離間した位置に第２のガイド溝３８ｂが配置される。よって、ワイヤＷを第２のガイド溝３８ｂに架けることができる。
(3) 図５に示すように、第３のガイド溝３８ｃの使用時には、ガイドローラ３８を表裏反転し、ガイドローラ３８の裏側を本体フレーム３１側に向けて、ガイドローラ３８をベアリングケース３４に装着する。次に、ローラ位置変更部材５５を、ガイドローラ３８の表側とエンドキャップ３６の外周壁の端部３６ａとの間に配置する。これにより、本体フレーム３１から長さＬだけ離間した位置に第３のガイド溝３８ｃが配置される。その結果、ワイヤＷを第３のガイド溝３８ｃに引っ掛けることができる。
【００３３】
(4) 図６に示すように、第４のガイド溝３８ｄの使用時には、ガイドローラ３８の裏側を本体フレーム３１側に向けて、ガイドローラ３８をベアリングケース３４に装着する。その際、ローラ位置変更部材５５を、ベアリングケース３４のフランジ３４ａと、ガイドローラ３８の内周部の表側との間に配置する。これにより、本体フレーム３１から長さＬだけ離間した位置に第４のガイド溝３８ｄが配置され、ワイヤＷを第４のガイド溝３８ｄに架けることができる。
【００３４】
このように、ここではローラ位置変更部材５５を利用し、ローラ軸支体３９に対してのガイドローラ３８の取り付け位置を、ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄがワイヤＷの走行位置に個別に合致するように、各ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄの位置に合わせてガイドローラ３８の軸線方向へ変更する構成としている。そのため、このような簡単な構成でありながら、ガイドローラ３８を再使用することができる。その結果、一定期間内でのワイヤソー１１のメンテナンス時間を短縮することができる。これにより、一定期間内でのインゴットＩの切断本数を増やすことができ、しかも一定期間内での使用済みガイドローラ３８の廃棄処分コストおよび新規なガイドローラ３８の購入コストをそれぞれ低減させることができる。
【００３５】
また、実施例１では、ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄをガイドローラ３８の軸線方向へピッチａで４条形成するとともに、各ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄは、ガイドローラ３８の軸線方向の中間点を中心とした線対称位置に対配置している。しかも、ローラ位置変更部材５５は、ワイヤ溝３８ａ〜３８ｄの１ピッチａ分の長さと同じ厚さａを有するように構成している。そのため、ガイドローラ３８のローラ軸支体３９に対する簡単な装着位置の変更作業を行うだけで、１個のガイドローラ３８を３回再使用することができる。また、ローラ位置変更部材５５をローラ軸支体３９に常時取り付けられるので、ローラ位置変更部材５５の紛失を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置の縦断面図である。
【図２】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置が組み込まれたワイヤソーの斜視図である。
【図３】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置における第１のワイヤ溝の使用状態を示す縦断面図である。
【図４】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置における第２のワイヤ溝の使用状態を示す縦断面図である。
【図５】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置における第３のワイヤ溝の使用状態を示す縦断面図である。
【図６】この発明の実施例１に係るワイヤガイド装置における第４のワイヤ溝の使用状態を示す縦断面図である。
【図７】従来手段に係るワイヤガイド装置の縦断面図である。
【符号の説明】
【００３７】
１０  ワイヤガイド装置、
１２Ａ〜１２Ｃ  ワイヤソー用グルーブローラ、
３８  ガイドローラ、
３８ａ〜３８ｄ  ワイヤ溝、
３９  ローラ軸支体、
５５  ローラ位置変更部材、
Ｉ  インゴット、
Ｗ  ワイヤ、
Ｗａ  ワイヤ列。
【図１】
2007276029.tif 000003
【図２】
2007276029.tif 000004
【図３】
2007276029.tif 000005
【図４】
2007276029.tif 000006
【図５】
2007276029.tif 000007
【図６】
2007276029.tif 000008
【図７】
2007276029.tif 000009