(57)【要約】【課題】封止剤の浸透量のバラツキを抑制して過浸透や未浸透をなくし、高品質の表示が可能な貼り合わせ基体の封止装置を提供する。【解決手段】半導体基板４と透明基板６とが成す外周を接着剤で封止しかつ液晶を注入するための液晶注入口１２を有する封止部と、封止部内を充填する液晶とを有する液晶表示素子の液晶注入口を封止剤２０で封止する液晶表示素子の液晶封止装置であって、ギャップ幅を測定する測定手段２６と、予め設定したギャップ幅と測定したギャップ幅との差分を検出する検出部２８Ｂと、差分がゼロとなるように、半導体基板等を押圧又は吸引してギャップ幅を調整する調整手段２４と、封止剤の浸透速度を最適化するギャップ制御部３０と、浸透位置を検出する浸透位置検出手段３２と、封止剤を硬化させる硬化手段３４と、検出した浸透位置に基づいて前記硬化手段を動作させる硬化制御部３６とを備える。【選択図】  図１
2007156103.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所定のギャップ幅をもって半導体基板と透明基板とが成す外周を接着剤で封止しかつ液晶を注入するための液晶注入口を有する封止部と、前記液晶注入口から注入され前記封止部内を充填する液晶とを有する液晶表示素子の前記液晶注入口を封止剤で封止する液晶表示素子の液晶封止装置であって、
前記ギャップ幅を測定する測定手段と、
予め設定したギャップ幅に対する、前記測定手段で測定した前記ギャップ幅との差分を検出する検出部と、
前記検出部で検出した前記差分がゼロとなるように、前記半導体基板、前記透明基板を押圧又は吸引して前記ギャップ幅を調整する調整手段と、
前記調整手段による押圧力又は吸引力を制御して、前記封止剤が前記液晶注入口内に浸透する浸透速度を最適化するギャップ制御部と、
前記液晶注入口内に浸透した前記封止剤の浸透位置を検出する浸透位置検出手段と、
前記封止剤を硬化させる硬化手段と、
前記検出した浸透位置に基づいて前記硬化手段を動作させる硬化制御部と、
を備えたことを特徴とする、液晶表示素子の液晶封止装置。
【請求項２】
所定のギャップ幅をもって半導体基板と透明基板とが成す外周を接着剤で封止しかつ液晶を注入するための液晶注入口を有する封止部と、前記液晶注入口から注入され前記封止部内を充填する液晶とを有する液晶表示素子の前記液晶注入口を封止剤で封止する液晶表示素子の液晶封止方法であって、
前記ギャップ幅を測定するギャップ幅測定工程と、
予め設定したギャップ幅に対する、前記ギャップ幅測定工程で測定した前記ギャップ幅との差分を検出する検出工程と、
前記液晶注入口に未硬化状態の前記封止剤を塗布する塗布工程と、
前記検出工程で検出した前記差分がゼロとなるように、前記半導体基板、前記透明基板を押圧又は吸引して前記ギャップ幅を調整すると共に前記封止剤を前記液晶注入口内に浸透させる調整工程と、
前記封止剤が浸透した浸透位置を検出して、前記浸透位置が所定位置に到達したときに、前記封止剤を硬化させる硬化工程と、
を有することを特徴とする、液晶表示素子の液晶封止方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プロジェクター、プロジェクションＴＶ等の基幹部品である液晶表示素子の製造途中で形成される貼り合わせ基体へ液晶注入後にこれを封止する時に用いる液晶封止装置及びその液晶封止方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年、シリコンＩＣ（ウエハ）基板とガラス基板とを貼り合わせてそのギャップに液晶を注入してなる液晶表示素子は、プロジェクターやプロジェクションＴＶ等への応用が進み、その生産量はますます拡大している。
【０００３】
この液晶表示素子を製造するには、まず、表面にマトリクス状に画素電極を配置すると共に、各画素電極に対応する駆動回路が形成された例えばシリコン基板よりなる第１の基板と、表面に透明な共通電極が形成された透明なガラス基板よりなる第２の基板とを、上記両電極同士が対向するように重ね合わせる。この際、両基板の周辺部に沿ってスペーサを兼用する接着剤を予め塗布しておくと共に、一部に接着剤を塗布しない箇所を設けて液晶を注入するための液晶注入口を形成しておく。そして、上記両基板は、所定のギャップを介して上記接着剤により接合されて、これより液晶表示素子となる貼り合わせ基体が形成される。次に、この液晶表示素子となる貼り合わせ基体内に、すなわち両基板間に形成されたギャップ中へ、上記液晶注入口より液晶を十分に注入し、その後、この液晶注入口を樹脂等で完全に封止することによって液晶を封入し、上記液晶表示素子が完成されることになる。
【０００４】
ここで上述のように、貼り合わせ基体を用いて形成された液晶表示素子の構造について説明する。図５は貼り合わせ基体に液晶を注入して形成した液晶表示素子を示す概略断面図、図６は液晶表示素子の概略平面図である。図示するように、上記液晶表示素子となる貼り合わせ基体２は、例えばシリコン基板等の半導体基板よりなる第１の基板４と、これに対向して配置される例えば透明なガラス基板等の透明基板よりなる第２の基板６とを有している。ここでは、第１の基板４が、第２の基板６より少し大きく形成されている。第１の基板４の表面には、図示しない画素電極がマトリクス状に配置され、各画素電極には駆動回路が設けられている。また第２の基板４の表面には、図示しない透明な共通電極が形成されている。これらの両基板４、６は、その周辺部に沿って介在されたスペーサ機能を有する接着剤８によって接合されて間に所定の幅のギャップ１０が形成されている。
【０００５】
上記接着剤８は、上記両基板４、６の周辺部の一部においては介在されておらず、ここにギャップ１０内へ液晶を注入するための液晶注入口１２を有する封止部１３が形成されている。尚、ここでは理解を容易にするために液晶注入口１２の形状は単に部分的に接着剤８を付着させないような形状としたが、これに限定されず、一定の流路長を持たせた液晶注入口として形成するようにしてもよい。
【０００６】
このようにして、上記貼り合わせ基体２が形成されることになる。この場合、接着剤８で囲まれた領域に画素電極が配置されているので、この領域が表示領域１４となる。
そして、上記液晶注入口１２より上記ギャップ１０内へ液晶１６を注入し、この貼り合わせ基体２の液晶注入口１２を封止剤２０で密閉状態で封止することにより液晶表示素子が形成されることになる。
【０００７】
ここで上記貼り合わせ基体中に液晶を注入して封止する方法は種々提案されており（特許文献１、２等）、その一例は次のようにして行う。
まず、貼り合わせ基体をカセットに格納し、このカセットを真空槽内に入れる。次に、この真空槽内を真空にして、貼り合わせ基体の一端辺に形成された液晶注入口を液晶皿内に満たされた液晶に接触させる。次に、真空槽内を大気圧に戻し、これにより貼り合わせ基体の内外の圧力差により貼り合わせ基体のギャップ内に液晶を注入する。液晶注入の終わった貼り合わせ基体の液晶注入口付近にある余分な液晶を拭き取り、ディスペンサによりこの液晶注入口に封止剤を塗布する。この塗布された封止剤は毛細管現象によって、液晶注入口の内部に浸透して行く。そして、ある程度、封止剤が液晶注入口に浸透したならば、紫外線照射又は加熱によりこの封止剤を固化させることにより、液晶注入口を完全に塞ぐ。これにより、液晶表示素子が完成することになる。
【０００８】
上記封止工程において、液晶注入口を確実に封止するためには、封止剤を、多数の画素電極の配列された表示領域まで達しない程度に貼り合わせ基体内へ浸透させる必要がある。この封止剤は、徐々に貼り合わせ基体内へ浸透していくため、液晶注入口に封止剤を塗布した後、一定の放置時間そのまま放置される。そして、所定の放置時間が経過した時に封止剤の浸透が完了したと判断し、液晶注入口に紫外光を照射又は液晶注入口を加熱して、封止剤を硬化させて液晶注入口が封止剤により塞がれる（封止される）ことになる。
ここで、上記貼り合わせ基体はそれぞれ固体差を有しており、何ら圧力の付与されない状態で貼り合わせ基体毎にギャップの幅（ギャップ幅）Ｈ１に差（ギャップ差）が存在して、膨らみにバラツキがあるのが一般的である。
【０００９】
そのため、従来の封止工程では、例えば挟み込み加圧装置で貼り合わせ基体を挟み込んでギャップ幅を調整して最適値にしたり、或いは貼り合わせ基体の一方の基板を吸引装置で一定の圧力で吸引して封止剤の浸透を促進させたりしていた。
【００１０】
【特許文献１】特開２０００−３５５８８号公報
【特許文献２】特開２００３−４３５０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
ところで、上記貼り合わせ基体は、ギャップ差の大小により貼り合わせ基体の個々が有している封止剤を吸引しようとする力は大きなバラツキを持つことになる。このため、挟み込み加圧装置から貼り合わせ基体を取り外して圧力を開放すると、ギャップ調整前のギャップ差の大小により貼り合せ基体の個々の持っている封止剤を吸引しようとする力は大きなバラツキを持っている。その為、液晶注入口に封止剤を塗布して、貼り合わせ基体内へ浸透するのに一定の放置時間そのまま放置する方法の場合には、ギャップ差が大きいと封止剤の引き込み力が自然に強くなる為、浸透速度が速くなって過剰浸透状態になる。
また、ギャップ差が小さい場合には、引き込み力が弱いために封止剤の浸透速度が遅くなり、未浸透状態になり易くなる。このような状態になってしまうと、画像不良や水分の混入又は、液晶の流出などの不都合が生じてしまう。
【００１２】
また、封止剤の浸透を促進すべく貼り合せ基体を吸引装置で一定の圧力で吸引する場合には、液晶注入口の大きさのバラツキや上述したように貼り合せ基体が持つ吸引力のバラツキにより封止剤の浸透速度が極端に早くなる場合があり、この場合には液晶注入口の中心部の最も弱い箇所から封止剤が亀裂し、この亀裂から液晶内に空気や異物等が液晶中に混入してしまい、表示品質が低下する、という課題が生じていた。
本発明は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決すべく創案されたものである。本発明の目的は、封止剤の浸透量のバラツキを抑制して過浸透や未浸透をなくし、高品質の表示が可能な液晶表示素子の液晶封止装置及びその液晶封止方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
請求項１に係る発明は、所定のギャップ幅をもって半導体基板と透明基板とが成す外周を接着剤で封止しかつ液晶を注入するための液晶注入口を有する封止部と、前記液晶注入口から注入され前記封止部内を充填する液晶とを有する液晶表示素子の前記液晶注入口を封止剤で封止する液晶表示素子の液晶封止装置であって、前記ギャップ幅を測定する測定手段と、予め設定したギャップ幅に対する、前記測定手段で測定した前記ギャップ幅との差分を検出する検出部と、前記検出部で検出した前記差分がゼロとなるように、前記半導体基板、前記透明基板を押圧又は吸引して前記ギャップ幅を調整する調整手段と、前記調整手段による押圧力又は吸引力を制御して、前記封止剤が前記液晶注入口内に浸透する浸透速度を最適化するギャップ制御部と、前記液晶注入口内に浸透した前記封止剤の浸透位置を検出する浸透位置検出手段と、前記封止剤を硬化させる硬化手段と、前記検出した浸透位置に基づいて前記硬化手段を動作させる硬化制御部と、を備えたことを特徴とする、液晶表示素子の液晶封止装置である。
【００１４】
請求項２に係る発明は、所定のギャップ幅をもって半導体基板と透明基板とが成す外周を接着剤で封止しかつ液晶を注入するための液晶注入口を有する封止部と、前記液晶注入口から注入され前記封止部内を充填する液晶とを有する液晶表示素子の前記液晶注入口を封止剤で封止する液晶表示素子の液晶封止方法であって、前記ギャップ幅を測定するギャップ幅測定工程と、予め設定したギャップ幅に対する、前記ギャップ幅測定工程で測定した前記ギャップ幅との差分を検出する検出工程と、前記液晶注入口に未硬化状態の前記封止剤を塗布する塗布工程と、前記検出工程で検出した前記差分がゼロとなるように、前記半導体基板、前記透明基板を押圧又は吸引して前記ギャップ幅を調整すると共に前記封止剤を前記液晶注入口内に浸透させる調整工程と、前記封止剤が浸透した浸透位置を検出して、前記浸透位置が所定位置に到達したときに、前記封止剤を硬化させる硬化工程と、を有することを特徴とする、液晶表示素子の液晶封止方法である。
【００１５】
本発明では、液晶注入直後であって封止剤を塗布する前の貼り合わせ基体（液晶表示素子）のギャップ幅を測定し、ギャップ差の大きさを基礎データとし封止剤の浸透促進の吸引力をギャップ差の大きいものには弱く、ギャップ差の小さいものには強くするように、例えばリニアに制御することにより封止剤の浸透速度のバラツキを減らし安定して封止剤を液晶注入口に浸透させる。また、封止剤の浸透量を、例えばＣＣＤカメラ等で直接的に認識して画像処理を用いて浸透位置を検出し、これをフィードバックして最適な位置を確認した後に封止剤を紫外線照射又は、加熱により硬化させる。これにより封止剤の浸透位置を安定させて過浸透や未浸透をなくすことができる。
【発明の効果】
【００１６】
本発明に係る液晶表示素子の液晶封止装置及びその液晶封止方法によれば、封止剤の浸透量のバラツキを抑制して過浸透や未浸透をなくし、高品質の表示が可能な貼り合わせ基体を得ることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下に、本発明に係る液晶表示素子の液晶封止装置及びその液晶封止方法の一実施例を添付図面に基づいて詳述する。
図１は本発明に係る液晶表示素子の液晶封止装置を示すブロック構成図、図２は貼り合わせ基体のギャップ幅を測定している状態を示す断面図である。
【００１８】
図１に示すように、この液晶表示素子の液晶封止装置２２は、液晶表示素子となる上記貼り合わせ基体２に対して押圧力と吸引力とを選択的に、或いは同時に付与してギャップ１０（図５参照）のギャップ幅Ｈ１を調整するための調整手段であるギャップ調整ユニット２４と、ギャップ幅Ｈ１を測定する測定手段であるギャップ測定部２６と、上記貼り合わせ基体２に付与すべき押圧力や吸引力を決定する押圧・吸引力算定部２８と、上記決定した押圧力や吸引力で動作するように上記ギャップ調整ユニット２４を制御するギャップ制御部３０と、封止剤２０（図６参照）の浸透位置を検出する浸透位置検出手段である浸透位置検出ユニット３２と、上記封止剤２０を硬化させる硬化ユニット３４と、上記硬化ユニット３４の動作を制御する硬化制御部３６とを有している。ここで上記押圧・吸引力算定部２８は、予め設定したギャップ幅と上記ギャップ測定部２６で測定したギャップ幅測定値との差分を検出する検出部２８Ｂを有している。そして、この装置全体の動作は、例えばマイクロコンピュータ等よりなる主制御部３８により制御されることになる。
【００１９】
具体的には、まず、上記ギャップ調整ユニット２４は、上記貼り合わせ基体２の周辺部を支持するための枠型の支持ベース３９と、この貼り合わせ基体２０の一方の基板、例えば図示例では下側の第１の基板４を吸引して下方向へ引っ張る吸引機構４０と、他方の面である第２の基板６を押圧する押圧機構４２とにより主に構成されている。上記吸引機構４０は、昇降可能になされ、例えば真空吸着により上記第１の基板４を吸着し、必要に応じて任意の吸引力で下方に力を付与できるようになっている。
【００２０】
また上記押圧機構４２も昇降可能になされ、上記第２の基板６を必要に応じて任意の押圧力で下方に力を付与できるようになっている。
また上記ギャップ測定部２６は、例えば石英ファイバーを備えた光学膜厚測定器により構成されており、上下方向及び水平方向へ退避可能になされている。この光学膜厚測定器は、特定の波長の光をファイバーの先端からギャップに向かって照射し、発生した干渉縞を測定することによってギャップの幅を算出するものである。このギャップ測定部２６により、貼り合わせ基体２のギャップ１０へ液晶１６が注入された直後であって、ギャップ調整ユニット２４が動作していない無負荷時のギャップ幅Ｈ１を測定できるようになっている。この時得られたギャップ幅測定値は、押圧・吸引力算出部２８へ出力するようになっている。上記ギャップ制御部３０は、上記ギャップ幅測定値に基づいて設定すべき押圧力及び／又は吸引力を決定する。
【００２１】
上記貼り合わせ基体２のギャップ幅Ｈ１は、前述したように最適値になるように調整されるが、ギャップ幅の最適値（ギャップ幅最適値）と上記無負荷時のギャップ幅Ｈ１との差、すなわちギャップ差（膨らみの差）の大小によって、貼り合わせ基体２の個々の持っている封止剤２０を吸引しようとする力は大きなバラツキをもっている。そのため、ここでは、押圧・吸引力算出部２８は、上記ギャップ差と押圧力及び吸引力との関係を表す図３に示すようなグラフ、或いはこのグラフを規定する関係式等を記憶する例えばＲＯＭのような記憶媒体４４を有している。上記グラフや関係式は予め実験等の経験則によって求められる。また、この記憶媒体４４には予め定めたギャップ幅最適値も記憶されているのは勿論である。
【００２２】
ここで図３に関して説明すると、前述したように、封止剤２０を液晶注入口１２へ塗布して浸透させる場合、ギャップ差が大きい場合には封止剤２０の引き込み力が強くなって浸透速度が速くなって過剰状態になるので、これを抑制するために押圧力をギャップ差が大きい程大きくする。すなわち、この場合には浸透速度を抑制するように作用させる。
これに対して、ギャップ差が小さい場合には封止剤２０の引き込み力が弱くなって浸透速度が遅くなって未浸透状態になるので、これを防止するために吸引力をギャップ差が小さい程大きくする。すなわち、この場合には、浸透速度を促進（大きく）するように作用させる。図３においては、封止剤２０の吸引圧力（浸透圧力）がリニアになるように設定されている。
【００２３】
図３に示すグラフは単に一例を示しただけであり、理解を容易にするために、押圧力と吸引力とが同時に加わらないような関係になっているが、動作を安定させるために、押圧力はゼロにならず、最低限の予備押圧力（予圧）がかかるようにし、また吸引力に関してもゼロにならず最低限の予備吸引力がかかるようにするのがよい。
上記ギャップ制御部３０は、上記押圧・吸引力算出部２８にて決定された押圧力及び／又は吸引力に基づいて上記ギャップ調整ユニット２４の動作を制御する。
【００２４】
上記浸透位置検出ユニット３２は、退避可能になされた例えばＣＣＤカメラ３２Ａと、このＣＣＤカメラ３２Ａで得られた画像を処理する画像処理部３２Ｂとよりなり、上記液晶注入口１２の部分を映し出して封止剤２０の浸透位置２０Ａ（図６参照）、すなわち液晶１６と封止剤２０との境界位置を検出できるようになっている。この場合、液晶１６と封止剤２０との境界位置を判別し易くするために、偏光板４６を有する退避可能になされた照明ライト４８が設けられると共に、ＣＣＤカメラ３２Ａにも偏光板５０が設けられている。
【００２５】
また上記硬化制御部３６は、上記画像処理部３２Ｂで検出した浸透位置が、予め定められた浸透位置に到達した時に、封止剤２０を硬化させるために上記硬化ユニット３４を動作させる。
また上記硬化ユニット３４は、封止剤２０を硬化させるものであり、ここでは封止剤２０として例えば紫外線硬化樹脂を用いているので、硬化ユニット３４として紫外線ランプを用いている。尚、封止剤２０として熱硬化樹脂を用いた場合には、この硬化ユニット３４として加熱ヒータや赤外線ランプ等を用いることができる。
【００２６】
また、このギャップ調整ユニット２４の近傍には、退避可能になされたディスペンサ５２が設けられており、必要に応じて封止剤２０を塗布できるようになっている。尚、上記押圧・吸引力算出部２８、ギャップ制御部３０、画像処理部３２Ｂ及び硬化制御部３６は、例えばマイクロコンピュータ内で動作することになる。
【００２７】
次に、以上のように構成された液晶封止装置を用いて行われる液晶封止方法の一例を図４も参照して説明する。
図４は本発明に係る液晶封止方法の各工程を示すフローチャートである。この本発明方法では、封止剤の浸透速度を安定化すると共に、浸透位置も安定化させるようにしている。
まず、貼り合わせ基体２のギャップ１０に、真空槽内で液晶１６を注入したならば（Ｓ１）、この液晶１６の注入された貼り合わせ基体２を、封止装置２２のギャップ調整ユニット２４の支持ベース３９に載置する。そして、ギャップ測定部２６を用いて無負荷状態の貼り合わせ基体１２のギャップ幅Ｈ１を測定し、ギャップ幅測定値を求める（Ｓ２）。この時の状態は図２に示されている。
【００２８】
次に、押圧・吸引力算出部２８は、まず上記ギャップ幅測定値と予め定められているギャップ幅最適値とに基づいてギャップ差（＝ギャップ幅測定値−ギャップ幅最適値）を求める（Ｓ３）。
次に、このギャップ差に基づいて図３に示すグラフより貼り合わせ基体２に付与すべき押圧力及び／又は吸引力を求める（Ｓ４）。すなわち、ギャップ差が大きければ押圧力を大きくし、ギャップ差が小さければ吸引力を大きくする。尚、最低押圧力及び最低吸引力を”ゼロ”にしないで、少なくとも予備押圧力及び／又は予備吸引力を付与するように設定できることは、前述した通りである。
【００２９】
次に、上記ギャップ調整ユニット２４を駆動して上記貼り合わせ基体２を上記吸引機構４０と上記押圧機構４２とで挟み込み、貼り合わせ基体２のギャップ幅Ｈ１がギャップ幅最適値になるように押圧して設定する（Ｓ５）。この時、液晶注入口１２の外側に押し出された、或いは残存する液晶を拭き取る。
【００３０】
次にディスペンサ５２を駆動して貼り合わせ基体２の液晶注入口（図６参照）に向けて封止剤２０を滴下して塗布する（Ｓ６）。
そして、この時、上記ギャップ制御部３０からの指令により、ギャップ調整ユニット２４を作動させて、上記押圧機構４２や上記吸引機構４０を駆動し、先に設定された押圧力で貼り合わせ基体２の上側の第２の基板６を押し、或いは先に設定された吸引力で下側の第１の基板４を吸引することにより力を作用させる（Ｓ７）。このように、上記した力を作用し続けることにより、上記塗布された封止剤２０は最適な浸透速度でもって上記液晶注入口１２内へ徐々に浸透して行くことになる。そしてギャップ差を最終的にゼロにするように動作する。
【００３１】
この際、上記液晶注入口１２の近傍の映像は、浸透位置検出ユニット３２のＣＣＤカメラ３２Ａに取り込まれて、その浸透位置が画像処理部３２Ｂによって常時検出されている（Ｓ８）。そして、この検出された浸透位置、すなわち検出位置は硬化制御部３６へ送られ、この検出位置が予め設定された浸透位置に到達したか否かが判断される。上記操作は検出位置が予め設定された浸透位置に到達するまで行われる（Ｓ９のＮＯ）。
【００３２】
そして、上記検出位置が予め設定された浸透位置に到達したならば（Ｓ９のＹＥＳ）、この硬化制御部３６は硬化ユニット３４を動作させて、これより紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂よりなる封止剤２０を固化させることになる（Ｓ１０）。そして、封止剤２０の固化が完了したならば、上記ギャップ調整ユニット２４を解放方向へ動作させて、押圧力及び／又は吸引力を解除し（Ｓ１１）、これにより１つの貼り合わせ基体２の処理を終了することになる。
【００３３】
このように、液晶注入口１２に封止剤２０を浸透させる際に、貼り合わせ基体２に最適な押圧力及び／又は吸引力を付与しているので、封止剤２０の浸透速度を最適化することができる。すなわち、貼り合わせ基体２のギャップ差に応じて、浸透速度を抑制したり、或いは促進したりすることができる。
従って、浸透速度が早過ぎて過剰浸透になるのを防止できると共に、過大な浸透速度により封止剤２０自体に亀裂が生じることを防止できる。更には、浸透速度が低過ぎることもなくなるので未浸透状態が発生することも防止することができる。
【００３４】
また封止剤２０の浸透位置も管理して最適な浸透位置で封止剤２０を固化させるようにしていることから、この点からも封止剤２０の過剰浸透や未浸透の発生を防止することができる。
従って、封止剤２０の浸透量のバラツキが少なく、安定した高品質の製品を生産することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に係る液晶表示素子の液晶封止装置を示すブロック構成図である。
【図２】貼り合わせ基体のギャップ幅を測定している状態を示す断面図である。
【図３】ギャップ差と押圧力及び吸引力との関係を表すグラフである。
【図４】本発明に係る封止方法の各工程を示すフローチャートである。
【図５】貼り合わせ基体に液晶を注入して形成した液晶表示素子を示す概略断面図である。
【図６】液晶表示素子を示す概略平面図である。
【符号の説明】
【００３６】
２…貼り合わせ基体（液晶表示素子）、２…第１の基板（半導体基板）、６…第２の基板（透明基板）、８…接着剤、１０…ギャップ、１２…液晶注入口、１３…封止部、１６…液晶、２０…封止剤、２２…封止装置、２４…ギャップ調整ユニット、２６…ギャップ測定部、２８…押圧・吸引力算出部、２８Ｂ…検出部、３０…ギャップ制御部、３２…浸透位置検出ユニット、３２Ａ…ＣＣＤカメラ、３２Ｂ…画像処理部、３４…硬化ユニット、３６…硬化制御部、３９…支持ベース、４０…吸引機構、４２…押圧機構。
【図１】
2007156103.tif 000003
【図２】
2007156103.tif 000004
【図３】
2007156103.tif 000005
【図４】
2007156103.tif 000006
【図５】
2007156103.tif 000007
【図６】
2007156103.tif 000008