(57)【要約】【課題】真空処理槽のシール性能を損なうことなく、真空処理槽内における被回転体の回転の状態を検知することが可能な回転装置を提供する。【解決手段】真空処理槽に取り付けられる回転装置であって、該真空処理槽内において回転される被回転体と、前記真空処理槽の内側に設けられ該被回転体を回転させる内側回転軸と、前記真空処理槽の外側に設けられかつ前記内側回転軸と磁気継手を介して連結された外側回転軸と、該外側回転軸を駆動可能な駆動装置と、を備えた回転装置において、前記被回転体の回転情報を前記真空処理槽の壁を透過させて前記真空処理槽の外側に送出する回転情報送出手段と、前記送出される回転情報に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知する回転検出装置と、を備える。【選択図】図１
2007231338.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
真空処理槽に取り付けられる回転装置であって、
該真空処理槽内において回転される被回転体と、前記真空処理槽の内側に設けられ前記被回転体を回転させる内側回転軸と、前記真空処理槽の外側に設けられかつ前記内側回転軸と磁気継手を介して連結された外側回転軸と、該外側回転軸を駆動可能な駆動装置と、を備えた回転装置において、
前記被回転体の回転情報を前記真空処理槽の壁を透過させて前記真空処理槽の外側に送出する回転情報送出手段と、
前記送出される回転情報に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知する回転検出装置と、を備えた、回転装置。
【請求項２】
前記回転情報送出手段は、前記真空処理槽の内側において前記被回転体の回転に従って回転する内側回転検出軸と、前記真空処理槽の外側に設けられ前記内側回転検出軸と磁気継手を介して連結された外側回転検出軸とを有し、
前記回転検出装置は、前記外側回転検出軸の回転に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知する、請求項１に記載の回転装置。
【請求項３】
前記回転情報送出手段は、前記真空処理槽の壁に設けられた透光窓と、該透光窓を透過する光を前記被回転体の回転に応じて変化させる変光手段と、を有し、
前記回転検出装置は、前記透光窓を透過した光に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知する、請求項１に記載の回転装置。
【請求項４】
前記変光手段が前記被回転体に設けられている、請求項３に記載の回転装置。
【請求項５】
前記変光手段が前記被回転体に二以上設けられている、請求項３に記載の回転装置。
【請求項６】
前記真空処理槽が真空成膜槽であって、前記被回転体が基材を取り付ける基材ホルダである、請求項１に記載の回転装置。
【請求項７】
前記真空処理槽が真空成膜槽であって、前記被回転体が成膜材料の蒸発源を遮蔽する蒸発源用シャッタである、請求項１に記載の回転装置。
【請求項８】
前記被回転体が前記真空処理槽内で基材の受け渡しを行う基材搬送アームである、請求項１に記載の回転装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空処理槽内の被回転体を回転させる回転装置に関する。より詳しくは、真空処理槽外から磁気継手を介して回転される被回転体の回転の状態を検知することのできる回転装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、成膜装置においては、真空処理槽内において被回転体を回転させる回転装置が多く用いられている。例えば、膜を形成する基材を回転させる回転装置や、成膜材料の蒸発源を遮蔽するシャッタ装置などである。
【０００３】
ここで、このような回転装置は、通常、真空処理槽の壁に貫通穴を設け、該貫通穴に回転軸を挿通し、該回転軸を用いて被回転体を回転させる機構を採用している。しかし、このような回転機構は、回転軸と真空処理槽との間をシールするОリングやオイルシールなどの部材が必要となるため、真空処理槽と回転装置とのシール性能を高めることに限界がある。また、Оリングやオイルシールは、磨耗等によりシール性能が劣化していくため、定期的な交換等のメンテナンスが必要となる。
【０００４】
そこで、例えば、基材を回転させるための回転装置には、磁気継手方式の回転装置が採用されている（特許文献１乃至３参照）。磁気継手方式の回転装置は、真空側回転軸と大気側回転軸とを、隔壁を介した磁気継手で接続しているため、回転軸と真空処理槽との間のシールが不要となり、真空処理槽と回転装置とのシール性能が高まるという利点を有する。また、真空処理槽の壁と磁気継手との間にシール部材を配設するだけですむので、真空処理槽と回転装置とのシール性能が長く持続するという利点を有する。
【特許文献１】特開昭６０−１８９２１９号公報
【特許文献２】特開昭６０−２１９７２４号公報
【特許文献３】特開平１１−２６４２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１乃至特許文献３に示すような磁気継手方式の回転装置では、真空処理槽側の軸受が例えばグリース切れ等の潤滑不足により焼付けを起こした場合や、被回転体と真空処理槽内の他の部材とが干渉を起こした場合において、過負荷のため磁気継手の伝達許容トルクを超え、磁気継手のすべりが発生する場合がある（脱調）。そうすると、大気側回転軸と真空側回転軸との軸の位相がずれて、停止時の被回転体の位置がずれるという問題があった。また、磁気継手のすべりが顕著な場合には、たとえ大気側回転軸が回転していても真空側回転軸が回転せず、真空処理槽内の被回転体の回転が停止してしまうという問題があった。このような状態になると、基材に対して成膜材料による膜の形成が正常に行われなくなる。そこで、磁気継手にすべりが発生していないかどうかを検出し、真空処理槽内の被回転体が正常に回転しているかどうかを検知する必要がある。
【０００６】
本発明は上記のような課題を解決するためになされたもので、真空処理槽のシール性能を損なうことなく、磁気継手に取り付けられた被回転体が真空処理槽内において正常に回転しているかどうかを検知することのできる回転装置を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の回転装置は、真空処理槽に取り付けられる回転装置であって、該真空処理槽内において回転される被回転体と、前記真空処理槽の内側に設けられ前記被回転体を回転させる内側回転軸と、前記真空処理槽の外側に設けられかつ前記内側回転軸と磁気継手を介して連結された外側回転軸と、該外側回転軸を駆動可能な駆動装置と、を備えた回転装置において、前記被回転体の回転情報を前記真空処理槽の壁を透過させて前記真空処理槽の外側に送出する回転情報送出手段と、前記送出される回転情報に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知する回転検出装置と、を備える。
【０００８】
このような構成とすると、真空処理槽のシール性能を損なうことなく、真空処理槽において被回転体が正常に回転しているかどうかを検知することができる。また、「透過」とは、光や粒子線が物質の内部（本発明においては真空処理槽の壁）を通り抜けることをいい、さらに磁気が物質の内部を通り抜けることをも意味する。
【０００９】
前記回転情報送出手段は、前記真空処理槽の内側において前記被回転体の回転に従って回転する内側回転検出軸と、前記真空処理槽の外側に設けられ前記内側回転検出軸と磁気継手を介して連結された外側回転検出軸とを有し、前記回転検出装置は、前記外側回転検出軸の回転に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知してもよい。
【００１０】
前記回転情報送出手段は、前記真空処理槽の壁に設けられた透光窓と、該透光窓を透過する光を前記被回転体の回転に応じて変化させるようにして、前記透光窓を透過させる変光手段と、を有し、前記回転検出装置は、前記透光窓を透過した光に基づいて前記被回転体の回転の状態を検知してもよい。
【００１１】
ここで、上記変光手段がミラー等の反射体である場合には、被回転体の回転に応じて、透光窓を透過する光が反射する。一方、上記変光手段が遮光体である場合には、被回転体の回転に応じて、透光窓を透過する光が遮られる。
【００１２】
前記変光手段が前記被回転体に設けられていてもよい。
【００１３】
前記変光手段が前記被回転体に二以上設けられていてもよい。
【００１４】
前記真空処理槽が真空成膜槽であって、前記被回転体が基材を取り付ける基材ホルダであってもよい。
【００１５】
前記真空処理槽が真空成膜槽であって、前記被回転体が成膜材料の蒸発源を遮蔽する蒸発源用シャッタであってもよい。
【００１６】
前記被回転体が前記真空処理槽内で基材の受け渡しを行う基材搬送アームであってもよい。
【発明の効果】
【００１７】
本発明は上記のように構成され、真空処理槽に取り付けられる回転装置において、真空処理槽のシール性能を損なうことなく、真空処理槽内における被回転体の回転の状態を検知することができるという効果を奏する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施形態を、図面を参照しながら説明する。なお、以下の各実施形態においては、本発明の回転装置を真空処理槽たる真空成膜槽において用いる場合について説明する。ここで、本発明の回転装置は、その趣旨を逸脱しない範囲において、他の真空処理槽（例えば、前処理槽）に用いることが可能である。
【００１９】
（第１実施形態）
図１は、本発明の第１実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図である。図２は、図１の回転装置の一部を構成する磁気継手の一例を示す断面図である。以下、図１及び図２を参照しながら、本実施形態に係る回転装置について説明する。
【００２０】
＜一般的構成＞
図１に示すように、本実施形態の回転装置は、真空成膜槽３に配設される。真空成膜槽３は、本実施形態では、直方体状の外形をなすよう形成されている。ここで、真空成膜槽３は、他の形状、例えば、天井壁と底壁とで上端及び下端とが閉鎖された中空円筒状に形成されていてもよい。真空成膜槽３には、真空ポンプ等の減圧装置（図示せず）が取り付けられている。真空成膜槽３の内部には、蒸発源２３（図４（ａ）参照）が配設されている。
【００２１】
回転装置は、駆動装置としてのモータ６を備えている。モータ６は、図示しないブラケットにより真空成膜槽３の壁（以下、チャンバ壁という）３ａに固定されている。モータ６は、外側回転軸５と接続されている。外側回転軸５は、磁気継手機構４に接続されている。磁気継手機構４は、真空成膜槽３に対して、気密的に固定されている。磁気継手機構４の構成については後述する。磁気継手機構４は、内側回転軸２と接続されている。内側回転軸２は、チャンバ壁３ａに設けられた貫通穴３ｂに挿通されている。内側回転軸２の先端には、被回転体１が接続されている。被回転体１は、本実施形態では、円板状に形成されている。被回転体１は、本実施形態においては、基材１３を保持する基材ホルダである。
【００２２】
次に、磁気継手機構４について、図２を参照しながら説明する。磁気継手機構４には公知のものを採用することができるため、図２に示す構成に限定されない。
【００２３】
図２に示すように、磁気継手機構４は、ハウジング４１を備えている。ハウジング４１は、筒状に形成されていて、フランジ５７を備えている。ハウジング４１は、その下部がチャンバ壁３ａの貫通穴３ｂに嵌挿され、フランジ５７においてチャンバ壁３ａに適宜な手段（ボルト等）によって取り付けられている。ハウジング４１は、シール部材５８により、チャンバ壁３ａに対して気密的に取り付けられる。
【００２４】
ハウジング４１の内部空間は、内側収容部４１Ａと外側収容部４１Ｂとに隔壁４７によって分割されている。また、磁気継手機構４は、内側回転軸２に接続された内側ジャーナル４２と、外側回転軸５に接続された外側ジャーナル５２とを備えている。内側ジャーナル４２と、外側ジャーナル５２とは、隔壁４７を挟んで対向するように配設されている。
【００２５】
内側ジャーナル４２の先端には、一対の永久磁石４５ａ，４５ｂが配設されている。永久磁石４５ａと永久磁石４５ｂとは、隔壁４７側の磁極面の極性が互いに逆になるよう配設されている。一方、外側ジャーナル５２には、一対の永久磁石５５ａ，５５ｂが配設されている。永久磁石５５ａと永久磁石５５ｂとは、隔壁４７側の磁極面の極性が互いに逆になるよう配設されている。そして、初期位置では、内側ジャーナル４２における永久磁石４５ａのＮ極と、外側ジャーナル５２における永久磁石５５ａのＳ極とが向かい合うよう配設されている。また、初期位置では、内側ジャーナル４２における永久磁石４５ｂのＳ極と、外側ジャーナル５２における永久磁石５５ｂのＮ極とが向かい合うよう配設されている。
【００２６】
内側ジャーナル４２は、２つのころがり玉軸受（真空用グリースや固体潤滑剤を用いた真空用軸受）４３ａ，４３ｂにより回転自在に保持されている。ころがり玉軸受４３ａと、ころがり玉軸受４３ｂとの間には、筒状のカラー４４ａ，４４ｂが配設されている。カラー４４ａは、内側収容部４１Ａの内周に接するよう配設されている。一方、カラー４４ｂは、内側ジャーナル４２の外周に接するよう配設されている。ころがり玉軸受４３ｂの真空成膜槽３側には、Ｃ型止輪４６ａ，４６ｂが配設されている。Ｃ型止輪４６ａは、内側収容部４１Ａの内周に接するよう配設されている。一方、Ｃ型止輪４６ｂは、内側ジャーナル４２の外周に配設されている。そして、カラー４４ａ，４４ｂ及びＣ型止輪４６ａ，４６ｂによって、ころがり玉軸受４３ａ，４３ｂが位置決めされている。
【００２７】
一方、外側ジャーナル５２は、２つのころがり玉軸受５３ａ，５３ｂにより回転自在に保持されている。ころがり玉軸受５３ａと、ころがり玉軸受５３ｂとの間には、筒状のカラー５４ａ，５４ｂが配設されている。カラー５４ａは、外側収容部４１Ｂの内周に接するよう配設されている。一方、カラー５４ｂは、外側ジャーナル５２の外周に接するよう配設されている。ころがり玉軸受５３ａの大気側には、Ｃ型止輪５６ａ，５６ｂが配設されている。Ｃ型止輪５６ａは、外側収容部４１Ｂの内周に接するよう配設されている。一方、Ｃ型止輪５６ｂは、外側ジャーナル５２の外周に配設されている。そして、カラー５４ａ，５４ｂ及びＣ型止輪５６ａ，５６ｂによって、ころがり玉軸受５３ａ，５３ｂが位置決めされている。
【００２８】
＜特徴的構成＞
真空成膜槽３には、回転センサ１２が配設されている。回転センサ１２は、図示しないブラケットにより、チャンバ壁３ａに固定されている。回転センサ１２としては、例えば、ロータリーエンコーダが用いられる。回転センサ１２は、外側回転検出軸１１に接続されている。外側回転検出軸１１は、検知用磁気継手機構１０に接続されている。検知用磁気継手機構１０の構成は、上記一般的構成で示した磁気継手機構４の構成とほぼ同様である。ここで、検知用磁気継手機構１０は後述する第二歯車８の回転を外側回転検出軸１１に伝達できればよいので、必要な伝達トルクは小さく、ほぼ無負荷運転とみなせる。したがって、検知用磁気継手機構１０としては、前述の磁気継手機構４よりも小型のものを用いることができる。検知用磁気継手機構１０は、内側回転検出軸９に接続されている。内側回転検出軸９は、チャンバ壁３ａ設けられた貫通穴３ｃに挿通されている。内側回転検出軸９は、検知用磁気継手機構１０により、チャンバ壁３ａに対して気密的に挿通されている。内側回転検出軸９の先端には、第二歯車８が配設されている。
【００２９】
一方、内側回転軸２には、第一歯車７が配設されている。第一歯車７は、第二歯車８とかみ合うように配設されている。
【００３０】
上記においては、第一歯車７と、第二歯車８と、内側回転検出軸９と、検知用磁気継手機構１０と、外側回転検出軸１１とが回転情報送出手段を構成する。また、回転センサ１２が回転検出装置を構成する。
【００３１】
＜一般的動作＞
以上のように構成された回転装置の動作を、一般的動作と特徴的動作とに分けて説明する。
【００３２】
はじめに、本実施形態の回転装置及び該回転装置が取り付けられた真空成膜槽３の一般的動作について、簡単に説明する。
【００３３】
まず、減圧装置が、真空成膜槽３内を真空引きする。これにより、真空成膜槽３内が所定の真空状態にされる。次に、蒸発源２３が、成膜材料を蒸発させる。この状態でモータ６を動作させると、外側回転軸５、磁気継手機構４、内側回転軸２を介して回転力が伝達され、被回転体１である基材ホルダが回転する。そして、基材ホルダに保持された基材１３に対して、成膜材料による膜が形成される。
【００３４】
＜特徴的動作＞
次に、本実施形態の回転装置の特徴的動作を説明する。
【００３５】
モータ６を動作させると、モータ６に接続された外側回転軸５が回転する。外側回転軸５が回転すると、該外側回転軸５に接続された外側ジャーナル５２も回転させられる。外側ジャーナル５２と内側ジャーナル４２とは、磁気継手機構４を介して接続されているので、磁気継手がすべりを発生しない限り、外側ジャーナル５２の回転と連動して、内側ジャーナル４２も回転する。内側ジャーナル４２が回転すると、該内側ジャーナル４２に接続された内側回転軸２も回転する。内側回転軸２が回転すると、それに連れて、第一歯車７も回転する。このようにして、第一歯車７が被回転体１の回転情報を検知する。
【００３６】
第一歯車７が回転すると、該第一歯車７にかみ合わされた第二歯車８も回転する。第二歯車８が回転すると、それに連動して、第二歯車８に接続された内側回転検出軸９も回転する。該内側回転検出軸９と外側回転検出軸１１とは、検知用磁気継手機構１０を介して接続されているので、内側回転検出軸９が回転すると、外側回転検出軸１１も連動して回転する。ここで、前述のように、検知用磁気継手機構１０では、チャンバ壁３ａを透過する磁気によって内側回転検出軸９から外側回転検出軸１１へ回転が伝達される。このようにして、被回転体１の回転情報が、チャンバ壁３ａを透過して真空成膜槽３の外側に送出される。そして、外側回転検出軸１１の回転が、回転センサ１２によって検知される。
【００３７】
一方、モータ６を動作させて、外側回転軸５及び外側ジャーナル５２が回転していても、磁気継手にすべりが発生している場合には、外側ジャーナル５２の回転力は、内側ジャーナル４２に伝達されない。内側ジャーナル４２が回転しないと、該内側ジャーナル４２に接続された内側回転軸２と、該内側回転軸２に配設された第一歯車７も回転しない。第一歯車７が回転しないと、該第一歯車７にかみ合わされた第二歯車８も回転しない。そうすると、該第二歯車８に接続された内側回転検出軸９、該内側回転検出軸９に検知用磁気継手機構１０を介して接続された外側回転検出軸１１も回転しない。したがって、外側回転検出軸１１が回転していないことが、回転センサ１２によって検知される。
【００３８】
＜作用効果＞
本実施形態の回転装置は、上記のような構成としたため、真空成膜槽３のシール性能を損なうことなく、真空成膜槽３内において被回転体１である基材ホルダの回転の状態（回転の有無、回転速度）を検知することができる。
【００３９】
また、第一歯車７及び第二歯車８の径や歯数等を変更し、該第二歯車８に接続された内側回転検出軸９及び外側回転検出軸１１の回転を回転センサ１２が検出することにより、検出分解能を任意に変更することが可能になる。
【００４０】
（第２実施形態）
図３は、本発明の第２実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図である。
【００４１】
図３に示すように、本実施形態の回転装置では、被回転体１は、複数の基材１３を保持する樹形状基材ホルダ１５である。また、駆動装置であるモータ６及び磁気継手機構４が真空成膜槽３の下側から該真空成膜槽３に取り付けられている。それ以外の構成については、上記第1実施形態の回転装置と同様である。したがって、図３において、図１と同一又は相当する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４２】
樹形状基材ホルダ１５は、テーブル１４ａを備えている。テーブル１４ａは、平面視において円板状に形成されていて、内側回転軸２と同軸状に該内側回転軸２に取り付けられている。テーブル１４ａには、該テーブル１４ａから垂直に延びる第一基材保持軸１４ｂと、該第一基材保持軸１４ｂから側方に延びる第二基材保持軸１４ｃとが配設されている。第二基材保持軸１４ｃの先端には、基材１３が取り付けられる。
【００４３】
次に、本実施形態の回転装置の動作について簡単に説明する。
【００４４】
モータ６を動作させると、回転力が伝達されることによって、樹形状基材ホルダ１５が回転される。これにより、基材１３に対して、成膜材料による膜が形成される。そして、樹形状基材ホルダ１５の回転の状態が、内側回転軸２に配設された第一歯車７と、第二歯車８と、内側回転検出軸９と、検知用磁気継手機構１０と、外側回転検出軸１１と、回転センサ１２とによって検知される。
【００４５】
本実施形態の回転装置は、上記のような構成としたため、第１実施形態の回転装置と同様に、真空成膜槽３のシール性能を損なうことなく、真空成膜槽３内における樹形状基材ホルダ１５の回転の状態を検知することができる。
【００４６】
（第３実施形態）
図４は、本発明の第３実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるIVＢ−IVＢ線に沿った断面図である。
【００４７】
図４に示すように、本実施形態の回転装置においては、被回転体１が蒸発源用シャッタ２０で構成される。真空処理槽３内には、蒸発源２３が設けられている。蒸発源２３は加熱源により加熱される容器を有し、その容器の内部には、成膜材料が入れられる。それ以外の構成については、上記第２実施形態の回転装置と同様である。したがって、図４において、図１及び図３と同一又は相当する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００４８】
蒸発源用シャッタ２０は、アーム２１とシャッタ２２とを備えている。アーム２１はその基端が、内側回転軸２に接続され、内側回転軸２の半径方向の外側へ延びている。
【００４９】
アーム２１の先端には、シャッタ２２が取り付けられている。シャッタ２２は、円板状に形成されている。
【００５０】
次に、本実施形態の回転装置の動作について簡単に説明する。
【００５１】
モータ６を動作させると、回転力が伝達されることによって、シャッタ２２が蒸発源２３から飛散する成膜材料を遮蔽／開放する。このようにして、成膜の開始及び終了のタイミングを調整することができる。そして、蒸発源用シャッタ２０の回転の状態が、内側回転軸２に配設された第一歯車７と、第二歯車８と、内側回転検出軸９と、検知用磁気継手機構１０と、外側回転検出軸１１と、回転センサ１２とによって検知される。
【００５２】
本実施形態の回転装置は、上記のような構成としたため、第１実施形態の回転装置と同様に、真空成膜槽３のシール性能を損なうことなく、真空成膜槽３内における蒸発源用シャッタ２０の回転の状態を検知することができる。
【００５３】
（第４実施形態）
図５は、本発明の第４実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVＢ−VＢ線に沿った断面図である。
【００５４】
図５に示すように、本実施形態の回転装置では、被回転体１は、基材を所定の位置から所定の位置へと受け渡しする基材搬送アーム３０である。それ以外の構成については、上記第２実施形態の回転装置と同様である。したがって、図５において、図１及び図３と同一又は相当する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００５５】
基材搬送アーム３０は、アーム３１と基材搬送具３２とを備えている。アーム３１はその基端が、内側回転軸２に接続され、内側回転軸２の半径方向の外側へ延びている。
【００５６】
また、アーム３１はその基端が、内側回転軸２と同軸状になるよう、内側回転検出軸９に接続されている。内側回転検出軸９は、チャンバ壁３の天井面に設けられた貫通穴３ｃに挿通されている。内側回転検出軸９は、検知用磁気継手機構１０を介して外側回転検出軸１１に接続されている。外側回転検出軸１１には、回転センサ１２が接続されている。
【００５７】
アーム３１の先端には、基材搬送具３２が接続されている。基材搬送具３２は、直方体状に形成されている。
【００５８】
次に、本実施形態の回転装置の動作について簡単に説明する。
【００５９】
モータ６を動作させると、回転力が伝達されることによって、基材搬送アーム３０が回転される。これにより、基材搬送アーム３０が基材１３を真空成膜槽３内の所定の位置から所定の位置まで搬送する。そして、基材搬送アーム３０の回転の状態が、アーム３１の基端に接続された内側回転検出軸９と、検知用磁気継手機構１０と、外側回転検出軸１１と、回転センサ１２とによって検知される。
【００６０】
本実施形態の回転装置においては、内側回転軸２と同軸状になるよう内側回転検出軸９が配設されているので、第１実施形態の回転装置のように第一歯車及び第二歯車を設ける必要がない。したがって、回転情報送出手段の構成が容易になる。
【００６１】
（第５実施形態）
図６は、本発明の第５実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVIＢ−VIＢ線に沿った断面図である。図６において、図１と同一又は相当する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００６２】
＜特徴的構成＞
以下においては、第１実施形態と同様の構成については説明を省略し、本実施形態の回転装置の特徴的構成のみ説明する。
【００６３】
本実施形態の回転装置は、光センサ９０を備えている。光センサ９０は、例えば、ＬＥＤからなる発光部（図示せず）とフォトダイオードからなる受光部（図示せず）とを備えた光センサで構成される。この光センサは、発光部と受光部とを一体化した反射型の光センサであってもよく、また、発光部と受光部とを別体にした透過型の光センサであってもよい。本実施形態では、反射型の光センサを用いる。光センサ９０は、真空成膜槽３の外側に配設されている。光センサ９０は、後述する透光窓８０を通して、後述する検知片７０の通過を検知する。ここで、光センサ９０が回転検出装置を構成する。
【００６４】
透光窓８０は、真空成膜槽３のチャンバ壁３ａに気密的に取り付けられている。透光窓８０は、光センサ９０の発光部からの光９１が透過可能なように、透明な材料で構成されている。透光窓８０は、検知片７０の通過を検出可能な位置に配設されている。すなわち、通過する検知片７０と光センサ９０とをつなぐ直線上のチャンバ壁３ａの位置に配設されている。
【００６５】
検知片７０は、被回転体１に配設されている。検知片７０は被回転体１の周囲から突出するよう配設されている。検知片７０は、反射率の高い材料で構成される。なお、検知片７０には、反射能を向上させるため、ミラー（図示せず）が取り付けられていてもよい。検知片７０は、光センサ９０からの光９１をその受光部に反射するように取り付けられている。検知片７０は、本実施形態では、被回転体１に対して一個が配設されている。検知片７０は、本実施形態では直方体状であるが、当該形状に限定されない。ここで、検知片７０が、変光手段を構成する。
【００６６】
＜動作＞
モータ６を動作させると、回転力が伝達されることによって、被回転体１が回転される。そうすると、被回転体１に取り付けられた検知片７０も回転する。すると、光センサ９０の発光部から射出され透光窓８０を通過した光９１が、検知片７０により反射される。検知片７０により反射された光は、光センサ９０によって検出される。このようにして、光センサ９０（光センサ９０の受光部）が被回転体１の回転情報を検知する。これにより、光センサ９０が、真空成膜槽３内における検知片７０の動きを検知することができる。
【００６７】
＜作用効果＞
本実施形態の回転装置は、上記構成としたため、光センサ９０が検知片７０からの反射光を検知することにより、真空成膜槽３のシール性能を損なうことなく、真空成膜槽３内において被回転体１である基材ホルダが回転しているかどうかを検知することができる。
【００６８】
なお、真空成膜槽３の底壁及び天井壁にそれぞれ透光窓を設け、各透光窓の大気側に透過型の光センサを配設して、検知片７０を検出してもよい。この場合には、検知片７０が光センサから入射される光を遮ることによって、被回転体１の回転の状態が検知される。
【００６９】
［変形例］
図７は、第５実施形態の回転装置の変形例を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVIIＢ−VIIＢ線に沿った断面図である。図７において、図１及び図６と同一又は相当する部分には同一符号を付してその説明を省略する。
【００７０】
第２実施形態においては、被回転体１に検知片７０が一個設けられていたが、図７に示すように、複数個の検知片７０が被回転体１に設けられていてもよい。
【００７１】
このような構成とすると、真空処理槽のシール性能を損なうことなく、真空成膜槽３内において被回転体１が回転しているかどうかを検知できると共に、光センサ９０が検知片７０の通過のタイミングを測定することにより、被回転体１の回転速度を検出することも可能になる。
【産業上の利用可能性】
【００７２】
本発明の回転装置は、真空処理槽のシール性能を損なうことなく、真空処理槽内における被回転体の回転の状態を検知することが可能な回転装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明の第１実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図である。
【図２】図１の回転装置の一部である磁気継手機構の構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第２実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図である。
【図４】本発明の第３実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるIVＢ−IVＢ線に沿った断面図である。
【図５】本発明の第４実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVＢ−VＢ線に沿った断面図である。
【図６】本発明の第５実施形態に係る回転装置の構成を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVIＢ−VIＢ線に沿った断面図である。
【図７】図６の回転装置の変形例を示す概略図であって、（ａ）は回転装置の正面図、（ｂ）は（ａ）におけるVIIＢ−VIIＢ線に沿った断面図である。
【符号の説明】
【００７４】
１  被回転体
２  内側回転軸
３  真空成膜槽（真空処理槽）
３ａ  真空成膜槽の壁（チャンバ壁）
３ｂ，３ｃ  貫通穴
４  磁気継手機構
５  外側回転軸
６  モータ
７  第一歯車
８  第二歯車
９  内側回転検出軸
１０  検知用磁気継手機構
１１  外側回転検出軸
１２  回転センサ
１３  基材
１４ａ  テーブル
１４ｂ  第一基材保持軸
１４ｃ  第二基材保持軸
１５  樹形状基材ホルダ
２０  蒸発源用シャッタ
２１  アーム
２２  シャッタ
２３  蒸発源
３０  基材搬送用アーム
３１  アーム
３２  基材搬送具
４１Ａ  内側収容部
４１Ｂ  外側収容部
４２  内側ジャーナル
４３ａ，４３ｂ  ころがり玉軸受（真空用軸受）
４４ａ，４４ｂ，５４ａ，５４ｂ  カラー
４５ａ，４５ｂ，５５ａ，５５ｂ  永久磁石
４６ａ，４６ｂ，５６ａ，５６ｂ  Ｃ型止輪
４７  隔壁
５２  外側ジャーナル
５３ａ，５３ｂ  ころがり玉軸受
５７  フランジ
５８  シール部材
７０  検知片
８０  透光窓
９０  光センサ
９１  光センサからの光
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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