(57)【要約】【課題】  この発明は、導電性フィルムおよびその製造方法に関するものである。さらに、詳しくは、この発明は優れた導電性とともに、通気性、透明性、視野選択性、または異方導電性の機能を兼ね備えた導電性フィルムおよびその製造方法に関するものである。【解決手段】  延伸をしながらボイドの中に導電性剛性粒子を詰め込むことによりボイドを拡張し、導電性と通気性等を持つフィルムを得ることが出来た。すなわち、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする導電性フィルムである。【選択図】  図３
2007186558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする導電性フィルム。
【請求項２】
前記導電性剛性粒子が、金、白金、パラジウム、ロジューム、イリジウム、銀、銅のいずれかの金属または合金であることを特徴とする請求項１記載の導電性フィルム。
【請求項３】
前記導電性剛性粒子がナノ分散したカーボンであることを特徴とする請求項１記載の導電性フィルム。
【請求項４】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子を詰め込み、前記樹脂フィルムの表面に気密性導電層を設けたことを特徴とする導電性フィルム。
【請求項５】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする透明性を有する導電性フィルム。
【請求項６】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする通気性を有する導電性フィルム。
【請求項７】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする異方導電性フィルム。
【請求項８】
高分子樹脂フィルムにクレーズ領域を形成し、該高分子樹脂フィルムを延伸しながら、  クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子を詰め込むことを特徴とする導電性フィルムの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、導電性フィルムおよびその製造方法に関するものである。さらに、詳しくは、この発明は優れた導電性とともに、通気性、透明性、視野選択性、または異方導電性の機能を兼ね備えた導電性フィルムおよびその製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
近年各種の電気設備や電子応用設備の利用が増加するのに伴い、電磁気的なノイズ妨害も増加の一途をたどっている。ノイズの対策としては、筐体を金属体または高導電体にするとか、回路基板と回路基板の間に金属板を挿入するとか、ケーブルを金属箔で巻き付けるなどの方法が取られている。これらの方法では、回路や電源ブロックの電磁波シールド効果を期待できるが、ＣＲＴ、ＰＤＰなどのディスプレイ前面より発生する電磁波シールド用途としては、透明な導電材料が必要とされている。また、建物においても、ビル内無線ＬＡＮの電波漏洩、あるいは外部からの電磁波を遮断するために、窓に透明な導電性フィルムを施工する必要がある。
【０００３】
また、電子装置の回路を実装していくとき、厚み方向に導電性を持つ、あるいは面の一方向に優れた導通性を有する異方導電性フィルムを必要とすることがある。
【０００４】
さらに、電子回路の高密度化により機器の発熱量も増大し、電磁波遮蔽のさい通気性のある導体で覆う、呼吸する導電性フィルムが望まれる。また、燃料電池あるいはリチウム電池など電気化学的な反応のおこる電子機器では導電性のほかに、発生する気体あるいは反応に用いる気体等の通気性が要求されることもある。
【０００５】
導電性以外にこれらの機能を複合するフィルムとして、特開２００２‐２５８０１０には、クレーズ領域が形成されてなる視野選択性フィルムに導電性ポリマーを充填した例が開示されている（特許文献１参照）。また、特開平６‐８２６０７には、導電性には論及していないが視野選択性フィルムのクレーズ領域にカーボンブラック等からなる添加剤層を設けることも開示されている（特許文献２参照）。
【特許文献１】特開２００２‐２５８０１０号公報
【特許文献２】特開平６‐８２６０７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、カーボンブラックをそのまま塗布するだけでは多様なクレーズ形態に十分対応ができるものとはいえない。すなわち、クレーズ領域の幅（ボイドの口径）が十分広くないと、クレーズ領域のボイド内部にまでカーボンブラックを確実に充填させることは困難であり、クレーズ領域の幅が狭いと、カーボンブラックはクレーズ領域のボイド内部まで浸透せず、フィルムの表面近傍に留まり、導電性が不足することになる。また、ボイドに導電ポリマーを充填する場合、モノマーを浸透させてポリマーを形成する関係上、クレーズ領域の幅を広くしようと延伸をしても、延伸機からはずすと拡がったボイドは閉じて浸透量は減少し、やはり導電性が不足する。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
発明者は前記の課題を解決するために種々検討した結果、延伸をしながらボイドの中に導電性剛性粒子を詰め込むことによりボイドを拡張し、導電性と通気性等を持つフィルムを得ることが出来た。すなわち、請求項１の発明は、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする導電性フィルムである。請求項２の発明は、前記導電性剛性粒子が、金、白金、パラジウム、ロジューム、イリジウム、銀、銅のいずれかの金属または合金であることを特徴とする請求項１記載の導電性フィルムである。
【０００８】
請求項３の発明は、前記導電性剛性粒子がナノ分散したカーボンであることを特徴とする請求項１記載の導電性フィルムである。
【０００９】
請求項４の発明は、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子を詰め込み、前記樹脂フィルムの表面に気密性導電層を設けたことを特徴とする導電性フィルムである。
【００１０】
請求項５の発明は、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする透明性を有する導電性フィルムである。
【００１１】
請求項６の発明は、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする通気性を有する導電性フィルムである。
【００１２】
請求項７の発明は、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする異方導電性フィルムである。
【００１３】
請求項８の発明は、高分子樹脂フィルムにクレーズ領域を形成し、該高分子樹脂フィルムを延伸しながら、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子を詰め込むことを特徴とする導電性フィルムの製造方法である。
【発明の効果】
【００１４】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムを延伸しながら、クレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子を詰め込むことにより、延伸張力を除いてもボイドは拡張したまま粒子が充填されており、多量の導電材による高い導電性とともに粒子間の隙間による通気性を確保出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下、実施の形態を示し、さらの詳しくこの発明について説明する。もちろんこの発明は以下の実施の形態によって限定されるものではない。
【００１６】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムは、例えば特開２００２‐２５８０１０あるいは特開平６‐８２６０７に開示された方法により作ることが出来る。すなわち、図１に示されるクレーズ形成装置は、概略、先端部が鋭角なエッジ１１ａとなった支持体１１とガイドローラ１２で構成されるクレージング処理機１３と、張力付与機構（図示せず）とからなる。緊張状態に保持された高分子樹脂フィルム１４を支持体のエッジ１１ａに当接して、該高分子樹脂フィルム１４を局部的に折り曲げて変形域を形成し、その折り曲げ変形域を、該高分子樹脂フィルムに対して相対的に徐々に移動させることで、移動方向とほぼ直角の方向に連続的にクレーズ領域を縞状に形成することができる。得られたクレーズの模式図を図２に示す。
【００１７】
縞状に形成されたクレーズ領域は、幅は０．５〜１００μｍが好ましく、１〜５０μｍがより好ましい。そして、縞状とは、クレーズ領域が、０．１〜１，０００μｍ、好ましくは、１〜８００μｍの間隔で形成された状態をいう。
【００１８】
ここで用いる樹脂の材料はフィルムとなる高分子樹脂材料ならどれでもよいが、たとえば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブチレン、ポリイソプレン等のポリオレフィン、ナイロン‐６、ナイロン‐６，６等のポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリビニルブチラール、ポリビニルアルコール、ポリスチレン、ポリフッ化ビニリデン、ポリイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリエーテルエーテルケトン等を使うことが出来る。
【００１９】
本願の発明は、このようにしてクレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルム（以下、「クレーズフィルム」という）の、クレーズ領域の拡張されたボイド内に、導電性剛性粒子が詰め込まれてなることを特徴とする導電性フィルムである。図３はクレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子が詰め込まれてなる状態の模式図である。延伸されるとボイドは拡張し、その中に粒子を詰めると張力を除いてもボイドは拡がったままであり、これにより、通気性、充填容量の増大、その結果、導電性の増加といった機能を向上させる。特開２００２‐２５８０１０号公報に開示された、ボイドに導電性モノマーあるいは溶液を充填するという方法では、延伸している張力を除けば樹脂は自身の弾性で収縮し、結果ボイドも収縮しせっかく充填した導電性モノマーも吐き出されて少量となり導電性は小さくなる。
【００２０】
導電性剛性粒子をクレーズ領域のボイド内に詰め込むにあたって、まず、ボイドを拡張する。これはフィルムにクレーズを生成させる時、または一旦フィルムにクレーズを形成したのち、該フィルムを延伸せしめることで拡張する。この状態で導電性剛性粒子の分散液をクレーズフィルムのクレーズ領域のボイド内へ浸透させる。具体的には、導電性剛性粒子の分散液中に浸漬する方法、導電性剛性粒子の分散液をローラ、ドクターによって塗布する方法、または、スプレー等によって塗布する方法が例示できる。導電性剛性粒子の分散液は導電性剛性粒子をトルエン、アセトン、エタノール、水のような分散媒に分散することで得られる。
【００２１】
浸漬による導電性剛性粒子の分散液の浸透において、例えば、クレーズ領域のボイドがクレーズフィルムの厚み方向に貫通していない場合は、クレーズフィルムのボイドが外側になるように湾曲させて導電性剛性粒子の分散液を浸透させることも時間を短縮するのに有効である。クレーズフィルムを湾曲させるには、例えば、円筒の表面に巻き付ける方法が採用できる。
【００２２】
塗布によってクレーズフィルムのクレーズ領域のボイド内に導電性剛性粒子の分散液を浸透させるには、クレーズフィルムの片面または両面から導電性剛性粒子の分散液の塗布を行えばよい。ローラ、または、ドクターによる塗布では、ローラ、または、ドクターをクレーズフィルムと相対的に移動させて、クレーズフィルムの表面に傷を付けないようにしつつ、クレーズ領域のボイド内に導電性剛性粒子の分散液を圧入するようにすると、短時間で浸透が可能となる。ローラ、または、ドクターによる塗布、または、スプレーによる塗布であって、フィルムを貫通するボイドを多数有するクレーズフィルムにおいて、導電性剛性粒子の分散液を片面塗布する場合、塗布面の反対面側を減圧したり、塗布面側から加圧したりするようにすれば、より深部までの迅速な浸透が可能となる。
【００２３】
このように導電性剛性粒子の分散液をボイドに浸透させたのち分散液を乾燥させれば導電性剛性粒子が残留し導電性剛性粒子が詰め込まれることになる。乾燥する前に延伸機からはずしてボイドを拡張していた張力を除いても、樹脂の応力によりボイドが圧縮されて濾過する形となり導電性剛性粒子は残留する。一方、分散液の乾燥が進むまで延伸しておいて、その後ボイドを拡張していた張力を除いて樹脂の応力によりボイドを圧縮した方が、より確実に導電性剛性粒子をボイドに詰め込むことが出来る。浸透と乾燥の繰り返しにより、より多量の粒子を詰めることが出来る。
【００２４】
本願の剛性粒子は前記のように樹脂の弾性に抗してボイドの空間を確保するものであり、粒子の弾性率が樹脂の弾性率より大きければよいが、通常、導電性の面から金属、カーボン、あるいは導電性ポリマー粒子が選ばれる。粒子の大きさはボイドのサイズと相対的に定まるが、視野選択性のように光学特性を求めるときは数ナノメートルから、導電性を大きくするときはボイドも大きくし数ミクロンの粒子を使うこともよい。
【００２５】
金属の導電性剛性粒子は金属または合金として、金、白金、パラジウム、ロジューム、イリジウム、ルテニウム、銀等の貴金属や銅、ニッケル、鉄、クロム、アルミニウム、亜鉛、チタン等の卑金属を用い得るが、粒子サイズを小さくしたときは表面積が増大し、卑金属では容易に酸化されてしまう。金、白金、パラジウム、ロジューム、イリジウム、ルテニウム、銀等の貴金属や銅の金属または合金の微粒子が好ましい。特に界面活性剤水溶液中で金属塩を還元して得られるナノコロイドは、粒子径が２ｎｍ〜１０ｎｍとクレーズ領域のボイドに詰め込むによいサイズであり好ましく使用することが出来る。
【００２６】
導電性剛性粒子としてカーボンを用いることも出来る。ただし通常のカーボンブラックは２０〜１００ｎｍの基本粒子が凝集し２００〜１０００ｎｍのアグリゲートというストラクチャーを持っている。カーボンブラックの分散液をそのままクレーズフィルムに塗布するだけでは充分にボイドに浸透せず、フィルムの表面近傍に留まり十分な導電性を得ることができない。また、使用中にカーボンブラック等が粉末状となってフィルム表面に浮き上がったり、フィルムから脱落したりする不都合がある。
【００２７】
本願のカーボンはこのような不都合に鑑み、カーボンをナノ分散して用いた。すなわち、カーボンブラックの有機溶媒分散液を超音波処理する、あるいは高速でカーボンブラックの有機溶媒分散液を衝突させる高圧噴射乳化法または高速回転している刃の間を通過させる等により液中でカーボンブラック凝集体に強いせん断力を与えることでカーボンブラック凝集体を微細分散することが出来る。カーボンブラック凝集体を平均粒子径１μｍ以下、好ましくは平均粒子径０．１μｍ以下、特に好ましくは平均粒子径２０ｎｍから７００ｎｍのいわゆるナノサイズとすることにより、ボイドに容易に詰め込むことが出来、高い導電性を得ることが出来る。
【００２８】
カーボンの種類としては、ケッチェンブラック、アセチレンブラックといった導電性カーボンの他、必要とする粒子サイズにより、ＦＴ、ＭＴといったサーマルブラックやＦＥＦ、ＧＰＦ、ＳＲＦといったソフトカーボンやＳＡＦ、ＩＳＡＦ、ＨＡＦといったハードカーボンも使用できる。
【００２９】
クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子を詰め込むとき、その粒子のサイズは小さく表面積が大きくなって酸化され易いものとなる。その対応として貴金属の微粒子を用いるのも一つの方法であるが、高分子樹脂フィルム内のボイドの外部に通ずる開口部を気密層で覆ってもよい。すなわち、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に導電性剛性粒子を詰め込み、前記樹脂フィルムの表面に気密性導電層を設けたことを特徴とする導電性フィルムである。
【００３０】
気密性導電層は、高分子樹脂フィルムのボイドの表面を覆うものであればよい。例えば、金属粉末や導電カーボンをバインダーで結合したフィルムを積層する。金属粉末や導電カーボンをバインダーで結合した塗料を塗布する。導電性モノマーを塗布して重合せしめる。あるいは金属またはカーボンを蒸着するといった方法が挙げられる。
【００３１】
ＣＲＴ、ＰＤＰなどのディスプレイ前面より発生する電磁波シールド用途、または建物におけるビル内無線ＬＡＮの電波漏洩あるいは外部からの電磁波を遮断するために、透明性を有する導電性フィルムが必要とされている。本願の発明で透明性を確保するには、クレーズ領域が形成されてなる高分子樹脂フィルムの、クレーズ領域の拡張されたボイド内に詰め込む導電性剛性粒子のサイズを小さくすることがよく、通常１μ以下、好ましくは５００ｎｍ以下、さらに好ましくは１００ｎｍ以下に調製するのがよい。
【００３２】
この導電性クレーズ樹脂フィルムで透明性をさらに上げるには、ボイド内に樹脂フィルムと屈折率の近い樹脂材料を充満させればよい。例えば、光重合開始剤あるいは熱重合開始剤を含有した樹脂モノマーを導電性クレーズ樹脂フィルムに含浸させ、常法により重合させて樹脂ポリマーとする。樹脂モノマーはメタクリル酸メチルやスチレンといった不飽和基を有する液体でもよいが、特開２００２‐２５８０１０号公報に開示された方法で、樹脂モノマーとしてピロール、パラフェニレン、チオフェン、３‐メチルチオフェン、アニリンといった導電ポリマーを形成する材料を用いるとボイド内は導電材料で充満しており導電性のより大きいフィルムとなる。この場合特開２００２‐２５８０１０号公報に開示されたフィルムに比べ、剛性粒子がボイド内に詰め込まれてボイドが拡張している分導電ポリマー分の容量が多く、高い導電性が得られる。
【００３３】
燃料電池あるいはリチウム電池など電気化学的な反応のおこる電子機器あるいは高密度化により発熱量が増大した機器等で、導電性のほかに発生する気体あるいは反応に用いる気体等の通気性や換気のための通気性が要求される場合にも本願発明の導電フィルムを使うことが出来る。ボイドの大きさを大きくすれば通気性は上がり、粒子径の大きな導電カーボンを使うことも出来る。ボイド内に樹脂モノマーを含侵すると通気性を悪くするが、詰め込んだ導電性剛性粒子がこぼれないよう希薄な樹脂溶液でコーティングすることはよい。
【００３４】
本願発明で得られた導電性フィルムの模式図を図４に示す。導電性フィルム３０のクレーズ領域１に対し平行方向（Ｈ）、垂直方向（Ｓ）、厚さ方向（Ｔ）の導電度は平行方向（Ｈ）≒厚さ方向（Ｔ）＞＞垂直方向（Ｓ）であり、異方導電性を有する。
【実施例】
【００３５】
本発明の実施例を以下に図示しながらさらに詳しく説明するが、これは代表的なものを示したものであり、この実施例により本発明が限定されるものではない。
【００３６】
［参考例］
素材フィルムとして、ポリフッ化ビニリデン（ＰＶＤＦ）のＴダイ法により成形された厚さ５０μｍの１軸延伸フィルム（三菱化学（株）製、ＫＹＮＡＲ７２０）を使用した。このフィルムを図１のクレージング処理機にかけ、処理張力を１６Ｎ／ｃｍとして室温でクレージング処理を行った。
【００３７】
［比較例］
参考例のクレーズフィルムを手回し延伸機にたるまないように固定し、フィルムの表面側に、ピロールを塗布したところ、毛管現象により速やかにクレーズ領域に浸透した。次いで、フィルム表面のモノマーを拭き取った後、フィルムを室温で乾燥させ、０．１ｍｏｌ塩化鉄（ＩＩＩ）のエタノール溶液をフィルム表面側に塗布し、ピロールを重合させた。得られたフィルム（以下、「ＰＰｙ複合フィルムｉ」という）の表面と断面を透過光学顕微鏡で観察したところ、ポリピロールは、分子配向に平行に縞状に形成され、厚さ方向に貫通したクレーズ領域のボイド内に充填されていた。クレーズ領域に対し平行な方向（Ｈ）の導電度は１×１０−８Ｓ・ｃｍ−１であった。
【００３８】
［実施例１］
参考例のクレーズフィルムを手回し延伸機にたるまないように固定し、８Ｎ／ｃｍの張力をかけながら、シーテック社のプラチナナノコロイド濃縮液「ＩＡＳＯ」を塗布する。毛管現象により速やかにクレーズ領域に浸透した。次いで、温風をあてて乾燥し、乾燥後張力を除いた。フィルム表面の粒子を拭き取った後、導電率を測定した結果、クレーズ領域に対し平行な方向（Ｈ）の導電度は１×１０−７Ｓ・ｃｍ−１であった。
【００３９】
［実施例２］
＜分散液の調整＞
ケッチェンブラック１部をトルエン２０部と混合して粗分散液を調製し、上記粗分散液に対しプローブ型超音波ホモジナイザー（ＵＬＴＲＡＳＯＮＩＣ ＤＩＳＲＵＰＴＯＲ ＵＲ‐２００Ｐ、トミー精工）を用いて３０分間超音波処理を施すことによりナノ分散カーボン液を得た。参考例のクレーズフィルムを手回し延伸機にたるまないように固定し、２０Ｎ／ｃｍの張力をかけながら前記ナノ分散カーボン液を塗布する。毛管現象により速やかにクレーズ領域に浸透した。次いで、温風をあてて乾燥し、乾燥後張力を除いた。フィルム表面の粒子を拭き取った後、導電率を測定した結果、クレーズ領域に対し平行な方向（Ｈ）の導電度は１×１０−６Ｓ・ｃｍ−１であった。
【００４０】
［実施例３］
実施例１のプラチナナノコロイド詰め込み導電フィルムを手回し延伸機にたるまないように固定し、フィルムの表面側にピロールを塗布したところ、毛管現象により速やかにクレーズ領域に浸透した。次いで、フィルム表面のモノマーを拭き取った後、フィルムを室温で乾燥させ、０．１ｍｏｌ塩化鉄（ＩＩＩ）のエタノール溶液をフィルム表面側に塗布し、ピロールを重合させた。得られたＰＰｙ複合フィルムｉの表面と断面を透過光学顕微鏡で観察したところ、ポリピロールは、分子配向に平行に縞状に形成され、厚さ方向に貫通したクレーズ領域のボイド内に充填されていた。クレーズ領域に対し平行な方向（Ｈ）の導電度は１×１０−６Ｓ・ｃｍ−１であった。
【産業上の利用可能性】
【００４１】
本発明はクレーズ領域のボイド内に導電性剛性粒子を詰め込むことにより導電性とともに視野選択性や透明性といった光学特性あるいは通気性といった機能を持つことが出来た。これによりＣＲＴ、ＰＤＰなどのディスプレイ前面より発生する電磁波シールド用途として透明な導電材料や、各種の電気設備や電子応用設備の利用が増加するのに伴い、電磁気的なノイズに対する回路や電源ブロックの電磁波シールド、あるいは建物においても、ビル内無線ＬＡＮの電波漏洩、あるいは外部からの電磁波を遮断するために、窓に透明な導電性フィルム、さらに、電子回路の高密度化により機器の発熱量も増大し電磁波遮蔽のさい通気性のある導体で覆う呼吸する導電性フィルム、また、燃料電池あるいはリチウム電池など電気化学的な反応のおこる電子機器の導電性のほかに発生する気体あるいは反応に用いる気体等の通気性が要求されるといった分野への利用が考えられる。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１】クレーズフィルム製造の模式図
【図２】クレーズの模式図
【図３】ボイドに導電性剛性粒子を詰め込んだ模式図
【図４】クレーズ導電フィルムの模式図
【符号の説明】
【００４３】
１    クレーズ領域
３    分子束
４    ボイド
１１    支持体
１４    高分子樹脂フィルム
３０    導電性フィルム
【図１】
2007186558.tif 000003
【図２】
2007186558.tif 000004
【図３】
2007186558.tif 000005
【図４】
2007186558.tif 000006