(57)【要約】【課題】通常の駆動状態とは異なった特殊な駆動状態における表示欠陥をも検出することが可能な電気光学装置の検査方法を提供することである。【解決手段】走査信号を供給する複数の走査線３１、画像信号をサンプリングした画素信号を画素に供給する複数のデータ線３５、前記走査線及びデータ線の交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子３０を備えた電気光学装置の検査方法であって、前記走査線より前記スイッチング素子の全てのゲートに走査信号を与えて前記スイッチング素子全ての両端を同時にオン状態にし、前記データ線より前記スイッチング素子の一端に対して１垂直走査期間より小さい所定の期間ごとに極性反転する画素信号を与えて、全画素をオンさせることを特徴とする。【選択図】  図１
2007156127.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
走査信号を供給する複数の走査線、画像信号をサンプリングした画素信号を画素に供給する複数のデータ線、前記走査線及びデータ線の交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子を備えた電気光学装置の検査方法であって、
前記走査線より前記スイッチング素子の全てのゲートに走査信号を与えて前記スイッチング素子全ての両端を同時にオン状態にし、前記データ線より前記スイッチング素子の一端に対して１垂直走査期間より小さい所定の期間ごとに極性反転する画素信号を与えて、全画素をオンさせることを特徴とする電気光学装置の検査方法。
【請求項２】
前記画素信号は、全てのデータ線で同一レベルの信号であることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項３】
前記画素信号の信号レベルは、中間調レベルであることを特徴とする請求項２に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項４】
前記極性反転の期間を可変にし、表示欠陥の程度の差も検出可能とすることを特徴とする請求項１に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項５】
前記極性反転は、少なくとも１以上の所定数の水平走査期間ごとに反転することを特徴とする請求項１又は４に記載の電気光学装置の検査方法。
【請求項６】
前記極性反転は、少なくとも１以上の所定数の水平走査期間ごとに反転するのに加えて、画素単位で反転することを特徴とする請求項１又は５に記載の電気光学装置の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶パネル等の電気光学パネルの画素不良のうち、スイッチング素子のオン時の抵抗が高い欠陥画素を検出するための電気光学装置の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、電気光学パネル例えば液晶パネルは、電気光学物質である液晶を挟持する一対の基板と、液晶を駆動する一対の電極と、走査信号を供給する複数の走査線と、画像信号をサンプリングした画素信号を画素に供給する複数のデータ線と、前記走査線及びデータ線の交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子とを備えている。
【０００３】
液晶パネルの製造工程において、薄膜トランジスタ（Thin Film Transistor、以下、ＴＦＴと記す）等のスイッチング素子の不良や液晶層への異物の混入等に起因して発生する表示欠陥（点系欠陥，面系欠陥、キズ・ゴミ等）の検査が行われる（例えば、特許文献１〜３参照）。
【０００４】
このような検査を行う際には、液晶パネルに駆動信号を供給し、検査用の特定パターンを表示させ、検査を行っていた。
【特許文献１】特開平８−２３３８８８号公報
【特許文献２】特開２００４−１０１９４１号公報
【特許文献３】特開２００４−１０１９４３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、スイッチング素子としてＴＦＴを用いた液晶パネルの駆動では、各画素に書き込まれる電圧は、(1)画素ゲートのオン（書込み開始）、(2)ソースへの書込み、(3)ソース電圧を保持しながら画素への書込み、(4)画素ゲートのオフ（書込み終了）、(5)画素電圧の保持、のサイクルを繰り返す。ここで、液晶パネルの通常の駆動状態では、画素のソース・ドレイン間の抵抗が高い場合でも、(3)までの期間に所定電圧まで画素電圧が書き込まれれば、１画面（フレーム）分の画素が書込みを終了するまでは各画素に書き込まれた電圧は保持されるので、表示上欠陥にならない。
【０００６】
ところが、画素電圧を反転駆動（一定周期で極性反転する信号を用いる）場合に、反転駆動の周波数が高い方に変化したとき、画素への書込み不足によって表示欠陥を生じる。例えば、液晶パネルがノーマリホワイトの場合に書込み不足を生じると、画素電圧の書込みによって黒色となるべきところを画面上に白色の輝点となって表示される。換言すれば、通常の駆動状態での検査では、表示欠陥とはならないが、駆動周波数等の駆動状態が変わった場合に表示欠陥となって視認される場合がある、という問題があった。
【０００７】
そこで、本発明は上記の問題に鑑み、通常の駆動状態とは異なった特殊な駆動状態において現れる表示欠陥を検出することが可能な電気光学装置の検査方法を提供することを目的とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明による電気光学装置の検査方法は、走査信号を供給する複数の走査線、画像信号をサンプリングした画素信号を画素に供給する複数のデータ線、前記走査線及びデータ線の交差に対応して設けられた複数のスイッチング素子を備えた電気光学装置の検査方法であって、前記走査線より前記スイッチング素子の全てのゲートに走査信号を与えて前記スイッチング素子全ての両端を同時にオン状態にし、前記データ線より前記スイッチング素子の一端に対して１垂直走査期間より小さい所定の期間ごとに極性反転する画素信号を与えて、全画素をオンさせることを特徴とする。
【０００９】
本発明のこのような方法によれば、全走査線を同時にオンし、データ線に１垂直走査期間（１フレーム又は１フィールド）より小さい所定期間（例えば１水平走査線期間）ごとに極性反転する画素信号を供給することにより、全画素点灯（全画素オンと呼ぶ）状態（ここではノーマリホワイトモードで点灯時は黒表示又は中間調表示となる）で、各画素には比較的短い期間ごとに極性反転した信号が書き込まれるので、スイッチング素子（例えばＴＦＴ）が常にオン状態であっても両端（ソース・ドレイン間）の抵抗値が正常（適正）な画素では十分に信号が書き込まれるので輝点化することはないが、ソース・ドレイン間の抵抗値が高い画素（不良画素）では画素電圧が書込み不足となり、輝点化する。これにより、輝点となって観察されるので、容易に不良画素が検出可能となる。  
本発明において、前記画素信号は、全てのデータ線で同一レベルの信号であることを特徴とする。
【００１０】
このような方法によれば、全画素に同一レベルの画素信号を与えて、同じ条件で輝度化したものを不良画素として検出できる。  
本発明において、前記画素信号の信号レベルは、中間調レベルであることを特徴とする。  
このような方法によれば、電気光学装置が例えば液晶装置である場合、液晶パネルの特性で書込み実効電圧が例えば５．０Ｖのときと４．５Ｖのときとでは０．５Ｖの差異があるが画素点灯（オン）している状態はいずれも黒表示で見た目は殆どんどその差異が分からない。従って、点灯検査時は、全画素が黒表示であることを以て良好と判定するよりは全画素を白黒の中間である中間調レベルの信号で点灯することで欠陥良否（差異）を見分け易い。
【００１１】
本発明において、前記極性反転の期間を可変にし、表示欠陥の程度の差も検出可能とすることを特徴とする。  
このような方法によれば、所定の期間ごとに極性反転する信号を画素へ書き込む際に、書込み電圧の期間を可変にした駆動を行うことにより、ソース・ドレイン間の抵抗値が異なる場合に例えば極性反転の期間を短くすれば抵抗値が正常値よりも若干高いだけで画素電圧の書込み不足を生じ、輝点（不良画素）として検出が可能となる。
【００１２】
本発明において、前記極性反転は、少なくとも１以上の所定数の水平走査期間ごとに反転することを特徴とする。  
このような方法によれば、１行書き込む期間の整数倍の期間（例えば１水平走査期間）、画素へ書き込まれる電圧が十分な大きさか否かによって画素の良否が判定されることになる。
【００１３】
本発明において、前記極性反転は、少なくとも１以上の所定数の水平走査期間ごとに反転するのに加えて、画素単位で反転することを特徴とする。
【００１４】
このような方法によれば、反転周期が画素単位となるので、最小期間に画素へ書き込まれる電圧の大きさによって画素の良否が判定できることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
発明の実施の形態について図面を参照して説明する。  
［第１の実施形態］
図１は本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査方法が適用される、液晶装置におけるアクティブマトリクス基板の構成を示している。  
図１において、アクティブマトリクス基板としてのＴＦＴ基板１は、例えば石英基板、ハードガラス、シリコン基板等からなる。ＴＦＴ基板１上には、マトリクス状に設けられた複数の画素電極１１と、Ｘ方向に複数配列されており夫々がＹ方向に沿って伸びるデータ線３５と、Ｙ方向に複数配列されており夫々がＸ方向に沿って伸びる走査線３１と、各データ線３５と画素電極１１との間に夫々介在すると共に該間における導通状態及び非導通状態を、走査線３１を介して夫々供給される走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmに応じて夫々制御するスイッチング素子としての複数のＴＦＴ３０とが形成されている。またＴＦＴ基板１上には、蓄積容量７０のための配線である容量線３１’が、走査線３１に沿ってほぼ平行に形成されており、画素電極１１に蓄積容量７０が付加されるようにする。これにより、蓄積容量７０に画素電圧を保持することで、蓄積容量からのリークが原因で生じるフリッカ等の表示品位の劣化を防ぐことができる。なお、蓄積容量７０を形成するのに、前段の走査線３１を蓄積容量形成のための電極として用いてもよい。このような構成を採れば、容量線３１’を設ける必要がないため、画素開口率を向上させることができ、明るい液晶装置を提供することができる。データ線３５には、後述するサンプリング回路３０１にてサンプリングして得られる画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnが供給されて書き込まれる。データ線３５に書込まれる画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnは、この順に時間順次に供給しても良いし、複数のデータ線３５に対して同時に供給するようにしても良い。
【００１６】
ＴＦＴ基板１上には更に、液晶装置１００（後述する）の通常駆動時に複数のデータ線３５に所定電圧レベルのプリチャージ信号ＮＲＳを画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnに先行して夫々供給するプリチャージ機能を備えたプリチャージ回路２０１と、画像信号ＶＩＤをサンプリングして複数のデータ線３５に夫々供給するサンプリング回路３０１と、データ線駆動回路１０１と、走査線駆動回路１０４とが形成されている。  
なお、プリチャージ回路２０１は、データ線３５やこれに接続された画素部のＴＦＴ３０等の開放又は断線検査、短絡検査などの各種の電気的検査を行う検査機能を持たせることができる。すなわち、所定種類の電気的検査を実施すべく検査用電圧をデータ線３５に印加したり、検査用電流を流すことが可能である。
【００１７】
走査線駆動回路１０４は、図示しない外部制御回路から供給される電源、基準クロックＣＬＹ及びその反転クロック（／ＣＬＹ）等に基づいて、所定タイミングで走査線３１（ゲート電極線）に走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmをパルス的に線順次で印加する。  
データ線駆動回路１０１は、外部制御回路から供給される電源、基準クロックＣＬＸ及びその反転クロック（／ＣＬＸ）等に基づいて、走査線駆動回路１０４が走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmを印加するタイミングに合わせて、画像信号線３０４夫々について、データ線３５毎にサンプリング回路駆動信号ＳＨ1、ＳＨ2、…、ＳＨnをサンプリング回路駆動信号線３０６を介してサンプリング回路３０１に所定タイミングで供給する。
【００１８】
プリチャージ回路２０１は、スイッチング素子として、例えばＴＦＴ２０２を各データ線３５毎に備えており、プリチャージ信号線２０４がＴＦＴ２０２のドレイン又はソース電極に接続されており、プリチャージ回路駆動信号線２０６がＴＦＴ２０２のゲート電極に接続されている。  
そして、通常駆動時には、プリチャージ信号線２０４を介して、図示しない外部電源からプリチャージ信号ＮＲＳを書き込むために必要な所定電圧が供給され、プリチャージ回路駆動信号線２０６を介して、各データ線３５について画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnに先行するタイミングでプリチャージ信号ＮＲＳを書き込むように、外部制御回路からプリチャージ回路駆動信号ＮＲＧが供給される。  
プリチャージ回路２０１は、好ましくは中間階調レベルの画像信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnに相当するプリチャージ信号ＮＲＳ（画像補助信号）を供給する。    
サンプリング回路３０１は、ＴＦＴ３０２を各データ線３５毎に備えており、画像信号線３０４がＴＦＴ３０２のソース電極に接続されており、サンプリング回路駆動信号線３０６がＴＦＴ３０２のゲート電極に接続されている。そして、画像信号線３０４を介して、画像信号ＶＩＤが入力されると、これをサンプリングする。即ち、サンプリング回路駆動信号線３０６を介してデータ線駆動回路１０１からサンプリング回路駆動信号ＳＨ1、ＳＨ2、…、ＳＨnが入力されると、画像信号線３０４夫々について画像信号ＶＩＤをサンプリングしてデータ線３５に順次印加する。
【００１９】
このように本実施の形態では、データ線３５を一本毎に順次に選択するように構成されているが、データ線３５を複数本まとめて同時に選択するように構成してもよい。
【００２０】
図２はＴＦＴ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図であり、図３は図２のＨ−Ｈ’断面図である。  
図２及び図３において、本実施形態に係る液晶装置１００では、ＴＦＴ３０が形成されたＴＦＴ基板１と対向基板２とが対向配置されている。
【００２１】
ＴＦＴ基板１と対向基板２との間に液晶層１５０が封入されており、ＴＦＴ基板１と対向基板２とは、画像表示領域１ａの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材１５２により相互に接着されている。シール材１５２は、両基板を貼り合わせるために、例えば熱硬化樹脂、熱及び光硬化樹脂、光硬化樹脂、紫外線硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてＴＦＴ基板１上に塗布された後、加熱、加熱及び光照射、光照射、紫外線照射等により硬化させられたものである。
【００２２】
対向基板２の４隅には、上下導通材１０６が設けられており、ＴＦＴ基板１に設けられた上下導通端子と対向基板２に設けられた対向電極１２との間で電気的な導通をとる。
【００２３】
図２及び図３において、シール材１５２が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域１ａを規定する遮光性の遮光膜１５３が対向基板２側に設けられている。遮光膜１５３はＴＦＴ基板１側に設けても良いことは言うまでもない。画像表示領域１ａの周辺に広がる周辺領域のうち、シール材１５２が配置されたシール領域の外側部分には、データ線駆動回路１０１及び外部回路接続端子１０２がＴＦＴ基板１の一辺に沿って設けられており、走査線駆動回路１０４が、この一辺に隣接する２辺に沿って設けられている。更にＴＦＴ基板１の残る一辺には、画像表示領域１ａの両側に設けられた走査線駆動回路１０４間をつなぐための複数の配線１０５が設けられている。
【００２４】
図３において、ＴＦＴ基板１上には、画素スイッチング用のＴＦＴや走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極１１上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板２上には、対向電極１２の他、最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層１５０は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
【００２５】
遮光膜１５３下にあるＴＦＴ基板１上の領域には、図示しないサンプリング回路（図１の符号３０１参照）が設けられている。サンプリング回路３０１は、画像信号線上の画像信号ＶＩＤをデータ線駆動回路１０１から供給されるサンプリング回路駆動信号ＳＨ1、ＳＨ2、…、ＳＨnに応じてサンプリングして各画素のデータ線３５に供給するようになっている。
【００２６】
次に、図４乃至図７を参照して、本第１の実施形態の電気光学装置の検査方法の要部となる駆動方法について説明する。図４及び図５では本発明の検査方法の主要部である検査用の特殊駆動方法を、図６及び図７では図４及び図５と対比するために通常駆動方法について説明している。  
ここで、電気光学装置としての液晶装置は、液晶画素に電圧を印加しない（即ち電圧オフ）状態において明るく（白表示に）なり、電圧を印加した（電圧オン）状態によって暗く（黒表示に）なるノーマリホワイトのモードであるとして説明する。
【００２７】
まず、先に、図６及び図７を参照して通常駆動について説明する。  
図６(ａ)は画素に１Ｈの書込み期間、印加された後蓄積容量７０に保持される１垂直走査期間（以下、１Ｖという）ごとに極性反転する画素印加電圧、図６(ｂ)は(ａ)の極性反転に同期して極性反転する対向電極電圧を示している。
【００２８】
通常駆動時は、図７に示すように転送スタート信号ＤＹを例えば１Ｈの期間ハイレベルにすることにより、そのハイレベルの期間が１Ｈずつの遅延時間をもって走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmとして順次に転送されていく動作がなされる
このように走査線が順次オンしていく状態で、オンしている走査線上の画素については、１Ｈの期間に画素信号を書き込んで、その書き込まれたデータを次のフレームまでの１Ｖの期間画素の蓄積容量７０に保持する。図６(ａ)に示すように画素信号の書込みが行われる１Ｈの期間において、１Ｈの期間における初期の期間Ｔには、プリチャージ回路２０１からのプリチャージ信号がデータ線３５を通してスイッチング素子としてのＴＦＴ３０のソースに印加される。このときプリチャージ電圧として７．５Ｖが書き込まれている。そして、プリチャージ期間Ｔの後には、データ線駆動回路１０１からのサンプリング回路駆動信号ＳＨ1、ＳＨ2、…、ＳＨnに応じてサンプリング回路３０１は画像信号ＶＩＤをサンプリングして画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnとしてデータ線３５に供給することにより、画素への書込みが行われる。画素へ書き込まれる画素電圧は、ＴＦＴ３０のソース・ドレイン間の抵抗値が正常（適正）であれば、図６(ａ)の実線Ｓに示すように１Ｈの期間が終了するまでの残りの期間に書込みが行われる。そして、１Ｈの期間の書込み終了後は、その書き込まれたデータを次のフレームまでの１Ｖの期間、画素の蓄積容量７０に保持する。実際には、この画素に保持している期間の電圧は徐々にリークして図６(ａ)の実線のように緩やかに減少する曲線となっている。
【００２９】
ところが、１Ｈの期間に同じプリチャージ信号の書込み動作及び同じ画素信号の書込み動作が行われても、画素によってはソース・ドレイン間の抵抗値が適正値よりやや高い場合には、図６(ａ)の点線Ｕに示すように１Ｈの期間の最初の最小値２．５Ｖから徐々に立ち上がり１Ｈの期間の最終の部分で正常画素Ｓの書込み電位（ラスタ電圧）に達していれば、不良画素でも白表示（輝点）にならない。これは１Ｈの期間内にラスタ電圧に達していれば、その後は蓄積容量７０によって一定以上の画素電圧が１Ｖの期間は保持され、その結果として黒表示となるためである。換言すれば、通常駆動時には、不良画素であっても、１Ｈ期間内の画素書込みによって一定電圧以上（黒表示に必要な電圧）に一旦書き込まれていれば電圧値は経時的に若干減少するがその電圧に近い電圧が１Ｈ期間の終了後も１Ｖの期間が終了するまで保持され、黒表示状態が維持される結果、通常駆動では不良であることが分からない。
【００３０】
次に、図4及び図５を参照して、本第１の実施形態の電気光学装置の検査方法における特殊駆動について説明する。  
図４は本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査方法を説明する画素印加電圧の波形図を示している。(ａ)は画素に印加される１水平走査期間（以下、１Ｈという）ごとに極性反転する画素印加電圧の波形、(ｂ)は(ａ)の極性反転に同期して極性反転する対向電極電圧の波形を示している。
【００３１】
図１の装置において、図４の特殊駆動を行うために、画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnをデータ線３５に供給する方法としては、画像信号ＶＩＤとして所定のレベル（例えば黒レベル又は中間調レベル）の直流信号を画像信号線３０４を介してサンプリング回路３０１に供給し、サンプリング回路３０１からサンプリングされた画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnとしてデータ線３５に供給するようにしてもよいし、或いは、例えば黒レベル又は中間調レベルのプリチャージ信号ＮＲＳをプリチャージ回路２０１に供給し、プリチャージ回路２０１からサンプリングされた画素信号Ｓ1、Ｓ2、…、Ｓnとしてデータ線３５に供給するようにしてもよい。
【００３２】
図５は図１の電気光学装置において画素信号を画素電極に印加するに先立って全走査線を同時にオンした状態とするための転送スタート信号及び走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmを示している。全走査線を同時にオンするには、走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmを同時にハイレベルにすればよいが、これを図１の装置で実現するには、図５に示すような方法を用いる。
【００３３】
すなわち、図１の液晶装置においては、転送スタート信号ＤＹを例えば１Ｈの期間ハイレベルにすることにより、そのハイレベルの期間が１Ｈずつの遅延時間をもって走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmとして順次に転送されていく動作（図７参照）がなされるので、この動作原理を利用する。言い換えると、液晶装置の表示欠陥を検査している時間中は、転送スタート信号ＤＹをハイレベルに維持することにより、そのハイレベルの期間が走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmに順次に転送されていく結果、最初の１フレームの期間（１垂直走査期間に相当）は図５の実線に示すように走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmの立ち上がりのタイミングは１Ｈずつ遅れるが、２フレーム目以降も転送スタート信号ＤＹをハイレベルに維持しているので、２フレーム目以降の走査信号Ｙ1、Ｙ2、…、Ｙmは図５の点線部分を含んだ実線に示すように全走査信号が全て同時にハイレベルに立ち上がっている状態とされる。
【００３４】
このように全走査線がオンしている状態で、図４(ａ)に示すように１Ｈごとに極性反転する所定レベルの同じ信号を画素電圧としてデータ線に供給して画素に書き込む。ここで、画素とは、ＴＦＴ基板１上の画素電極１１と対向基板２上の対向電極１２とこれら２つの電極間に介在する液晶１５０とを含んだ部分を指す。データ線からスイッチング素子としてのＴＦＴ３０のソースに印加される画素電圧は、ＴＦＴ３０のソース・ドレイン間の抵抗値が正常（適正）であれば、電圧５Ｖを中心として±２．５Ｖの信号レベル（最大値７．５Ｖ、最小値２．５Ｖ）を有する画素電圧が１Ｈの期間に正常に画素に書き込まれ、次の１Ｈの期間においても同様な極性が反転された画素電圧が正常に画素に書き込まれることになる。
【００３５】
ところが、同じレベルの同じ画素信号がデータ線に供給されても、画素によってはソース・ドレイン間の抵抗値が適正値よりやや高い場合には、一点鎖線Ｑに示すように１Ｈの期間の最初の最小値２．５Ｖから徐々に立ち上がり１Ｈの最終の部分でようやく最大値７．５Ｖに達する電圧が画素に印加され、次の１Ｈの期間においても同様に極性が反転されただけの立ち上がり時定数（但し極性は反対）を持った一点鎖線Ｑに示す画素電圧が画素に印加されることになる。
【００３６】
さらに、同じレベルの同じ画素信号がデータ線に供給されても、ソース・ドレイン間の抵抗値が適正値より非常に高い不良画素である場合には、点線Ｒに示すように電圧５Ｖを中心として上下幅が小さくて鈍った波形の画素電圧が画素に印加されることになる。
【００３７】
画像表示領域１ａ（図２）における表示の明るさ（白黒表示）は、対向電極電圧と画素印加電圧との差分の大きさにより決まる。実際には、鈍った波形Ｑ，Ｒの積分値が明るさを決める実効値となる。鈍りの方が大きい波形ほど、例えば波形Ｒは、各１Ｈの期間での対向電極電圧と画素印加電圧との差分が小さいので明るい（輝点化した）表示となり、不良画素として容易に検出される。なお、波形Ｑでは、鈍り方が波形Ｒに比べて小さく１Ｈの期間の最終の部分で最大値７．５Ｖに達する電圧が画素に印加されているが、書込みの実効電圧は正常画素Ｐに比べて小さく、ある明るさを持ったやや光る画素となる。従って、Ｑの場合は不良画素ではあるが欠陥度合いのやや良い画素であると判定できる。
【００３８】
従って、図４の特殊駆動で、画素信号として黒レベル信号を全画素に供給した場合に、画素の明るさを観察（目視若しくはＣＣＤ等による撮像）することにより、明るさの程度により黒表示であれば正常画素、白（輝点）表示であれば不良画素と判定することが可能となる。また、明るさの程度がやや光る明るさであればやや不良と判定することもできる。
【００３９】
なお、画素信号として白黒レベル間の中間調レベルの信号を全画素に供給することにより、黒レベル信号を全画素に供給した場合に比べて、不良画素の欠陥の程度の差異も見分け易くなる。つまり、全黒では多少の欠陥があっても黒表示となって見分けにくかったものを、中間調では比較的小さな欠陥であっても表示上見分け易い利点を生じる。
【００４０】
また、画素に印加される画素信号の極性反転の期間（周期）を可変にすることで、表示欠陥の程度の差も検出することが可能である。即ち、所定の期間（周期）ごとに極性反転する信号を画素へ書き込む際に、書込み電圧の期間を可変にした特殊駆動を行うことにより、スイッチング素子であるＴＦＴのソース・ドレイン間の抵抗値が画素間で異なる場合に、例えば極性反転の期間（周期）を短くすれば抵抗値が正常値よりも若干高いだけの画素においても書込み時間が短くなるために画素電圧の書込み不足を生じ、輝点となるので不良画素として検出が可能となる。
【００４１】
図８は図２に示したような液晶装置を投影して検査を行うための検査装置を横から見た概略構成図を示している。  
図８において、符号１４は液晶装置の検査装置を示しており、投影機１５と、スクリーン１６を含んでいる。  
ここでは、モジュール化された液晶装置、すなわち、フレキシブルプリント基板（以下、ＦＰＣ）１２０等が取り付けられケース内に収容された液晶装置１００の点欠陥等の表示欠陥を検査する検査装置の一例について説明する。
【００４２】
なお、図８では、説明の都合により投射レンズからの出射光は上方に水平に設置したスクリーンへ投射しているが、出射方向を斜めに設置した反射ミラーによって水平方向へ変更して、垂直に設置したスクリーンへ投射しても良い。
【００４３】
また、検査用駆動信号は、投影機１５の外部へ設置されたパネル駆動装置５２からケーブルを通してプローブユニット５１へ供給される。
【００４４】
検査装置１４は、筐体６０内に、光源であるランプ１７からの光を複数のレンズ及びフィルタからなるレンズユニット１８を経て、検査画像が表示された液晶装置１００を透過させそのまま直線方向（水平方向）に投射レンズ１９などの光学部材を通してスクリーン１６に投射するための検査光路を構成する検査光学系４０と、検査光路上に液晶装置１００を垂直に保持するステージ２２と、所定の検査用駆動信号を生成するパネル駆動装置５２と、所定の検査用駆動信号を生成するパネル駆動装置５２と、パネル駆動装置５２から検査光路上に保持された液晶装置１００に所定の検査画像を表示するための検査信号を伝達する信号伝達手段としてのプローブユニット５１と、検査光路上に保持された液晶装置１００を加熱或いは冷却して液晶装置１００の温度調節を行う温度調節装置５８とを有し、筐体６０の前方にその位置を調整可能に配置されたスクリーン１６を有して要部が構成されている。ステージ２２は、図示しない空気圧制御装置を介したエアシリンダ２６によって該液晶装置を載置位置（２点鎖線部）と検査位置とへ移動することが可能である。
【００４５】
上記所定の検査用駆動信号は、液晶装置１００に対して、図４(ａ)に示したような特殊駆動を行う時に、データ線駆動回路１０１及び走査線駆動回路１０４を制御して、全走査線を同時にオンし、かつ１垂直走査期間（１Ｖ）より小さい所定の期間ごとに極性反転する画素信号を生成して全画素に供給するための制御信号及びクロック信号を含む駆動信号を指している。
【００４６】
検査光学系４０は、筐体６０の一端部で白色光等の検査光を垂直方向に出射する光源としてのランプ１７と、このランプ１７から、検査対象となる液晶装置１００が搭載される実機と同等の特性の検査光を生成し、垂直方向上方に出射するレンズユニット１８と、レンズユニット１８から出射された垂直方向の検査光がステージ２２に水平に保持された液晶装置１００をそのまま垂直方向に透過して筐体６０の前方のスクリーン１６に投影するように、垂直方向の検査光路上に介装されて検査光の焦点距離を調整する光学部材としての投射レンズ１９と、を有して構成され、液晶装置１００を垂直方向に透過し投射レンズ１９で投射された検査光が、方向を変えずに垂直方向に筐体６０の上方に配置されたスクリーン１６に投影されるようになっている。
【００４７】
ステージ２２は、ステージ動作機構部２５（後述する）を介して筐体６０内に水平に支持される矩形の板状部材で構成され、ステージ２２の前面には検査対象となる液晶装置１００を載置するための凹部２０が形成されている。  
液晶装置１００は、例えば、０．５〜１．４インチまでの各種の大きさであってもよく、スクリーン１６は、例えば対角４０３５インチ程度の大きさである。  
また、投射レンズ１９も交換可能であり、液晶装置１００の大きさに応じて焦点距離の違う投射レンズ１９を使用可能である。
【００４８】
この場合、凹部２０は、液晶装置１００の外観形状に略沿う形状をなし、さらに、図示しないピン等の位置決め部材を要部に有することにより、載置された液晶装置１００を所定に位置決めした状態で水平に保持するようになっている。ステージ２２は、液晶装置１００のサイズに応じた凹部２０が形成されたものを交換して使用したり、或いは所定サイズの凹部２０にアダプタを用いて各種サイズの液晶装置を載置するようにしてもよい。
【００４９】
また、ステージ２２には、凹部２０に載置された液晶装置１００の表示部（図示せず）に検査光を導くための開口部２１が開口されている。  
また、ステージ２２の基部には、当該ステージ２２をステージ動作機構部２５に着脱自在に装着するためのフランジ部２３が設けられている。
【００５０】
ステージ動作機構部２５は、筐体６０内に水平に固設されたエアシリンダ２６を有して構成されている。エアシリンダ２６には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ２６のピストンロッド２７が筐体６０内を水平方向に伸縮移動するようになっている。  
また、ピストンロッド２７の先端には、ステージ装着部２８が固設されており、このステージ装着部２８に、前記フランジ部２３を介してステージ２２が装脱自在に締結固定されている。
【００５１】
この場合、ステージ２２は、図８に実線で示すように、ピストンロッド２７が収縮位置にあるとき、レンズユニット１８と投射レンズ１９との間に挿入されて液晶装置１００の表示部を検査光路上に保持し、一方で、図８に２点鎖線で示すように、ピストンロッド２７が伸長位置にあるとき液晶装置１００の表示部を検査光路から退避させるよう、各部の諸元が設定されている。なお、図示のように、検査開始前や検査終了後等におけるピストンロッド２７の伸長時には、ステージ２２が筐体６０に設けられた開閉窓２９を押し開けることで、液晶装置１００が筐体６０の外部に露呈されて交換可能または取外し可能となる。
【００５２】
プローブユニット５１は、プローブ動作機構部５３（後述する）を介して筐体６０内に支持されるもので、液晶装置１００のＦＰＣ１２０上に配列された各電極端子（図示せず）に対応して電気的に接続可能な複数のプローブ５０を有して構成されている。  
そして、プローブユニット５１は、各プローブ５０がＦＰＣ１２０上の各電極端子と電気的に接続された際に、パネル駆動装置５２で生成された所定の検査用特殊駆動信号を液晶装置１００に伝達するようになっている。所定の検査用特殊駆動信号は、液晶装置１００に全画素黒表示又は全画素中間調表示させるための駆動信号である。  
プローブ動作機構部５３は、筐体６０内に垂直に固設されたエアシリンダ５４を有して構成されている。エアシリンダ５４には、図示しない空気圧制御装置が接続されており、この空気圧制御装置から供給される作動空気圧によって、エアシリンダ５４のピストンロッド５５が筐体６０内を垂直方向に伸縮移動するようになっている。
【００５３】
また、ピストンロッド５５の先端には、プローブユニット装着部５６が固設されており、このプローブユニット装着部５６に、プローブユニット５１が装脱自在に締結固定されている。  
この場合、プローブユニット５１は、各プローブ５０が検査光路上に保持された液晶装置１００のＦＰＣ１２０上の各電極端子に夫々対向され、且つ、ピストンロッド５５が伸長位置（図示手前）にあるときＦＰＣ１２０上の各電極端子に各プローブ５０が電気的に接続されるとともに（図８参照）、ピストンロッド５５が収縮位置（図示上方）にあるときＦＰＣ１２０上の各電極端子から各プローブ５０が離間されるよう（図示せず）、各部の諸元が設定されている。
【００５４】
温度調節装置５８は、検査光路上に保持された液晶装置１００に温風或いは冷風を送風することにより液晶装置１００の温度調節を行うもので、ブロア装置５９と、このブロア装置５９の駆動制御を行う制御部（図示せず）と、液晶装置１００の近傍でステージ２２に埋設された温度センサ（図示せず）とを有して構成されている。制御部には温度設定等を行うための図示しないコントロールパネルが設けられており、制御部は、温度センサからの検出温度に基づいて、ブロア装置５９から送風する温風或いは冷風の風量及びその温度をフィードバック制御することで、液晶装置１００を所望の設定温度に制御するようになっている。
【００５５】
次に、上述の構成による検査装置１４の作用について説明する。  
先ず、作業者は、図示しない空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させてステージ２２を検査光路からの退避位置まで移動させる。そして、この状態で、ステージ２２の凹部２０上に検査対象となる液晶装置１００を位置決めして載置する。  
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ２６を動作させ、ステージ２２をレンズユニット１８と投射レンズ１９との間の挿入位置まで移動させる。これにより、ステージ２２上に載置された液晶装置１００の表示部が検査光路上の所定の位置に保持される。
【００５６】
その後、作業者は、空気圧制御装置を介してエアシリンダ５４を動作させることでプローブユニット５１を移動させ、当該プローブユニット５１のプローブ５０を、液晶装置１００のＦＰＣ１２０上に配列された各電極端子に電気的に接続させる。  
その後、作業者は、パネル駆動装置５２を動作させ、所定の検査用駆動信号を液晶装置１００に印加して特殊駆動させる（図４及び図５参照）。これにより、筐体６０の上方のスクリーン１６上には、所定の検査画像が投影される。所定の検査画像としては、全画素黒表示又は全画素中間調表示が投影される。
【００５７】
その後、液晶装置１００を所定の検査用駆動信号で特殊駆動した際のスクリーン上の投影画像（全画素黒表示又は全画素中間調表示）を作業者が目視して輝点の有無を検査する。輝点（白表示）があれば、その画素を欠陥画素と判定できる。
【００５８】
また、作業者は、温度調節装置５８を作動させて、液晶装置１００の温度管理を行うことで、所定の環境温度の条件下での検査画像を観察することができる。  
なお、例えば、ＬＣＯＳ等の反射型の電気光学パネルに応用する場合には、ランプ１７やレンズユニット１８をハーフミラー等と共にステージ上方に配置することにより本発明の検査装置を用いることも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００５９】
上記実施形態では、電気光学装置として、液晶パネルを投影して表示するプロジェクタ用液晶装置に適用した場合について説明したが、本発明はこれに限定されず、エレクトロルミネッセンス装置、特に、有機エレクトロルミネッセンス装置、無機エレクトロルミネッセンス装置等や、プラズマディスプレイ装置、電子放出素子を用いた装置（Field Emission Display 及びSurface-Conduction Electron-Emitter Display等）、ＬＥＤ（発光ダイオード）表示装置、電気泳動表示装置、薄型のブラウン管、液晶シャッタ等を用いた小型テレビ、デジタルマイクロミラーデバイス（ＤＭＤ）を用いた装置などの各種の電気光学装置の検査装置に適用できる。
【図面の簡単な説明】
【００６０】
【図１】本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査方法が適用される、液晶装置におけるアクティブマトリクス基板の構成を示す図。
【図２】ＴＦＴ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た平面図。
【図３】図２のＨ−Ｈ’断面図。
【図４】本発明の第１の実施形態の電気光学装置の検査方法を説明する特殊駆動時の画素印加電圧の波形図。
【図５】特殊駆動時の転送スタート信号及び走査信号を示すタイミングチャート。
【図６】電気光学装置の通常駆動時の画素印加電圧の波形図。
【図７】通常駆動時の転送スタート信号及び走査信号を示すタイミングチャート。
【図８】液晶装置の投影検査を行う検査装置の概略構成図。
【符号の説明】
【００６１】
１…ＴＦＴ基板、２…対向基板、１１…画素電極、１４…検査装置、１５…投影機、３０…ＴＦＴ（スイッチング素子）、３１…走査線、３５…データ線、７０…蓄積容量、１００…液晶装置、１０１…データ線駆動回路、１０４…走査線駆動回路、１５０…液晶層、２０１…プリチャージ回路、２０２…ＴＦＴ、２０４…プリチャージ信号線、２０６…プリチャージ回路駆動信号線、３０１…サンプリング回路、３０２…ＴＦＴ、３０４…画像信号線、３０６…サンプリング回路駆動信号線
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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