(57)【要約】【課題】被塗布物に変形が生じた場合においても蛍光体の膜厚を精度よく検査する。【解決手段】照射部５が蛍光体３に紫外線を照射し、受光部６が紫外線照射に応じて蛍光体３が発した光（発光光）を受光し、コンピュータシステム８が、蛍光体３の発光光の輝度を蛍光体３の膜厚値に換算することにより、被塗布物２の表面上に塗布された蛍光体３の膜厚を直接測定する。これにより、被塗布物２に歪み等の変形が生じた場合においても蛍光体３の膜厚を精度よく検査することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
被塗布物の表面上に塗布された蛍光体の膜厚を検査するための蛍光体膜厚検査システムであって、
前記蛍光体に対し所定波長の紫外線を照射する照射部と、
前記紫外線の照射に応じて前記蛍光体が発した光を受光する受光部と、
前記受光部が受光した光の輝度を算出し、輝度と蛍光体の膜厚値の関係を示す関係式を利用して算出された輝度を蛍光体の膜厚値に換算し、蛍光体の膜厚値と所定の基準値を比較することにより蛍光体が所望の膜厚値を有するか否かを判定する演算部と
を備えることを特徴とする蛍光体膜厚検査システム。
【請求項２】
請求項１に記載の蛍光体膜厚検査システムであって、
前記受光部が受光した光を複数の異なる色要素に分光する分光部を備え、前記演算部は、分光部により分光された色要素のうち、前記蛍光体の膜厚と相関性を有する色要素の光の輝度を算出することを特徴とする蛍光体膜厚検査システム。
【請求項３】
請求項２に記載の蛍光体膜厚検査システムであって、
前記蛍光体の膜厚と相関性を有する色要素は緑色の色要素であることを特徴とする蛍光体膜厚検査システム。
【請求項４】
被塗布物の表面上に塗布された蛍光体の膜厚を検査するための蛍光体膜厚検査方法であって、
前記蛍光体に対し所定波長の紫外線を照射するステップと、
前記紫外線の照射に応じて前記蛍光体が発した光を受光するステップと、
受光した光の輝度を算出するステップと、
輝度と蛍光体の膜厚値の関係を示す関係式を利用して算出された輝度を蛍光体の膜厚値に換算するステップと、
前記蛍光体の膜厚値と所定の基準値を比較することにより蛍光体が所望の膜厚値を有するか否かを判定するステップと
を有することを特徴とする蛍光体膜厚検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、被塗布物の表面上に塗布された蛍光体の膜厚を検査するための蛍光体膜厚検査システム及び蛍光体膜厚検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、被塗布物の表面上に塗布された蛍光体の膜厚を測定する方法としては、蛍光体が塗布された被塗布物を破壊して塗布面の断面から膜厚を測定する方法、接触式の測定装置を利用して蛍光体の膜厚を直接測定する方法等が知られている。また、プラズマディスプレイパネルの検査装置が知られているが、この検査装置は、蛍光体の色むらを検出するためのものであって、蛍光体の膜厚を測定するものではない（特許文献１を参照）。
【特許文献１】特開２００１−１５０３０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかしながら、従来の膜厚測定方法は、被塗布物と蛍光体の界面を基準として蛍光体の膜厚を測定する構成になっているために、被塗布物に歪み等の変形が生じた場合には蛍光体の膜厚を精度よく測定することが困難であった。
【０００４】
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、被塗布物に歪み等の変形が生じた場合においても蛍光体の膜厚を精度よく検査することが可能な蛍光体膜厚検査システム及び蛍光体膜厚検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するために、本発明に係る蛍光体膜厚検査システム及び蛍光体膜厚検査方法は、蛍光体に対し所定波長の紫外線を照射し、紫外線の照射に応じて蛍光体が発した光を受光し、受光した光の輝度を算出し、輝度と蛍光体の膜厚値の関係を示す関係式を利用して算出された輝度を蛍光体の膜厚値に換算し、蛍光体の膜厚値と所定の基準値を比較することにより蛍光体が所望の膜厚値を有するか否かを判定する。
【発明の効果】
【０００６】
本発明に係る蛍光体膜厚検査システム及び蛍光体膜厚検査方法によれば、被塗布物の表面上に塗布された蛍光体の膜厚を直接測定するので、被塗布物に歪み等の変形が生じた場合においても蛍光体の膜厚を精度よく検査することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
以下、図面を参照して、本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査システムの構成と動作について説明する。
【０００８】
〔蛍光体膜厚検査システムの構成〕
本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査システム１は、図１に示すように、被塗布物２の表面上に塗布された蛍光体３の膜厚を検査するためのものであり、紫外線光源４と、紫外線光源４から発せられた紫外線を蛍光体３表面に照射する照射部５と、紫外線の照射に応じて蛍光体３が発した光（発光光）を受光する受光部６と、受光部６が受光した発光光を分光する分光装置７と、分光装置７により分光された発光光を利用して蛍光体３の膜厚を算出，検査するコンピュータシステム８とを主な構成要素として備える。
【０００９】
なお、本実施形態では、紫外線光源４は、蛍光体３が発光可能なように、２００〜４５０［ｎｍ］の範囲の波長を生成する。また、本実施形態では、受光部６は、図１に示すように蛍光体３の表面側に配設されているが、被塗布物２が透明ガラスやプラスチック等の蛍光体３の発光光を透過可能な材料により形成されている場合には、受光部６を被塗布物２の背面側に配設するようしてもよい。また、蛍光体３の膜厚を検査する際は、膜厚をより精度よく検査可能にするために、システム周部を暗室化する等して外乱光の侵入を遮断し、発光光に対する外乱光の影響を無くすようにすることが望ましい。
【００１０】
そして、このような構成を有する蛍光体膜厚検査システム１は、以下に示す蛍光体膜厚検査処理を実行することにより、被塗布物２に歪み等の変形が生じた場合においても蛍光体３の膜厚を精度よく検査することを可能にする。以下、図２に示すフローチャートを参照して、蛍光体膜厚検査処理を実行する際の蛍光体膜厚検査システム１の動作について説明する。
【００１１】
〔蛍光体膜厚検査処理〕
図２に示すフローチャートは、オペレータが、蛍光体膜厚検査システムの電源をオン状態にし、蛍光体膜厚検査処理の実行を指示するのに応じて開始となり、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ１の処理に進む。
【００１２】
ステップＳ１の処理では、照射部５が、紫外線光源４にから発せられた紫外線を蛍光体３表面に照射する。これにより、ステップＳ１の処理は完了し、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ２の処理に進む。
【００１３】
ステップＳ２の処理では、受光部６が、紫外線の照射に応じて蛍光体３が発した光（発光光）を受光する。これにより、ステップＳ２の処理は完了し、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ３の処理に進む。
【００１４】
ステップＳ３の処理では、分光装置７が、受光部６が受光した発光光を複数の異なる色要素に分光する。これにより、ステップＳ３の処理は完了し、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ４の処理に進む。
【００１５】
ステップＳ４の処理では、コンピュータシステム８が、分光装置７によって分光された色要素のうち、蛍光体３の膜厚の大きさによって変化しやすい色要素の輝度を算出する。なお、蛍光体３の膜厚の大きさによって変化しやすい色要素としては、緑成分を例示することができるが、蛍光体３の材種に応じてオペレータが適宜選択することが望ましい。
【００１６】
また、コンピュータシステム８は、蛍光体３の膜厚の大きさによって変化しやすい色要素の輝度ではなく、分光された色要素の中で最も輝度レベルが高く、且つ、他の色要素とピーク波長が干渉しない色要素の輝度を算出するようにしてもよい。これにより、ステップＳ４の処理は完了し、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ５の処理に進む。
【００１７】
ステップＳ５の処理では、コンピュータシステム８が、膜厚が既知の蛍光体の発光光輝度を基準値として、ステップＳ４の処理により算出された輝度を蛍光体３の膜厚値に換算する。具体的には、膜厚が１０［μｍ］の蛍光体の発光光輝度が予め実験によって２２００［ｃｄ］と測定されていた場合、コンピュータシステムは、膜厚１［μｍ］あたりの輝度は２２０［ｃｄ］として、図３に示すようにステップＳ４の処理により算出された輝度を２２０で除算することにより、ステップＳ４の処理により算出された輝度を蛍光体３の膜厚値に換算する。これにより、ステップＳ５の処理は完了し、蛍光体膜厚検査処理はステップＳ６の処理に進む。
【００１８】
ステップＳ６の処理では、コンピュータシステム８が、ステップＳ５の処理により換算された膜厚値が所定の合格判定基準を満たすか否かを判別する。具体的には、所望の膜厚値が１０［μｍ］である場合、コンピュータシステム８は、ステップＳ５の処理により換算された膜厚値が１０±２．５［μｍ］（７．５〜１２．５［μｍ］）の範囲内にあるか否かを判別する。そして、判別の結果、ステップＳ５の処理により換算された膜厚値が所定の合格判定基準を満たす場合（例えば図３に示す場合）、コンピュータシステム８は、蛍光体３を合格品と判定し、逆に所定の合格判定基準を満たさない場合には蛍光体３を不良品と判定する。これにより、一連の蛍光体膜厚検査処理は終了する。
【００１９】
以上の説明から明らかなように、本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査システム１は、照射部５が蛍光体３に紫外線を照射し、受光部６が紫外線照射に応じて蛍光体３が発した光（発光光）を受光し、コンピュータシステム８が、蛍光体３の発光光の輝度を蛍光体３の膜厚値に換算することにより、被塗布物２の表面上に塗布された蛍光体３の膜厚を直接測定するので、被塗布物２に歪み等の変形が生じた場合においても蛍光体３の膜厚を精度よく検査することができる。
【００２０】
また、本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査システム１では、分光装置７が、受光部６が受光した光を複数の異なる色要素に分光し、コンピュータシステム８が、複数の異なる色要のうち、素蛍光体３の膜厚と相関性を有する色要素の光の輝度を算出し、算出された輝度を蛍光体３の膜厚値に換算するので、蛍光体３の膜厚を精度よく検査することができる。
【００２１】
なお、本願発明の発明者らは、精力的な研究を重ねてきた結果、蛍光体３の膜厚が１０［μｍ］程度になるまでは、発光光の輝度は図３に示すように膜厚値に追従するが、蛍光体３の膜厚が２５［μｍ］程度になると、発光光の輝度は図４に示すように膜厚値に対してオフセット値を有することを知見した。これは、蛍光体３の膜厚が大きくなるのにしたがって蛍光体３に吸収される紫外線量が増加するためであると推測される。従って、本システムは、膜厚が３０［μｍ］以下の蛍光体の膜厚検査処理に適用することが望ましく、また膜厚が１０［μｍ］以上である場合には、換算された膜厚値に対して適当な補正を加えることが望ましい。
【００２２】
以上、本発明者らによってなされた発明を適用した実施の形態について説明したが、この実施の形態による本発明の開示の一部をなす論述及び図面により本発明は限定されることはない。すなわち、上記実施の形態に基づいて当業者等によりなされる他の実施の形態、実施例及び運用技術等は全て本発明の範疇に含まれることは勿論であることを付け加えておく。
【図面の簡単な説明】
【００２３】
【図１】本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査システムの構成を示すブロック図である。
【図２】本発明の実施形態となる蛍光体膜厚検査処理の流れを示すフローチャート図である。
【図３】蛍光体の発光光の輝度から蛍光体の膜厚値を算出する方法を説明するための図である。
【図４】蛍光体の膜厚が１０［μｍ］である時の発光光の輝度と膜厚値の関係を示す図である。
【図５】蛍光体の膜厚が２５［μｍ］である時の発光光の輝度と膜厚値の関係を示す図である。
【符号の説明】
【００２４】
１：蛍光体膜厚検査システム
２：被塗布物
３：蛍光体
４：紫外線光源
５：照射部
６：受光部
７：分光装置
８：コンピュータシステム
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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