(57)【要約】【課題】エアロゾルを安定的に発生させることのできる成膜装置およびエアロゾル発生装置を提供することにある。【解決手段】成膜装置１のエアロゾル発生器１０には、エアロゾル室１１収容された材料粒子の堆積層１４中に下端部を埋没させつつ移動する攪拌棒１５が備えられている。このような構成によれば、攪拌棒１５の動きにつれて材料粒子の堆積層１４が攪拌され、粒子が巻き上げられる。また、導入管１２の吹出口１２Ａが攪拌棒１５に向かって開口しているから、キャリアガスが攪拌棒１５に吹き付けられる。これらにより、キャリアガスの流れにおいてこの攪拌棒１５の下流側で強い渦流が発生する。この渦流が材料粒子を巻き込むことによって、凝集、固化等の不具合が生じることなくエアロゾルが安定的に発生する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料粒子を収容可能な容器と、
前記容器内にキャリアガスを導入する導入管と、
前記容器に収容された前記材料粒子の堆積層中に下端部を埋没させつつ前記容器に対して移動可能な巻上げ部材と、
前記巻上げ部材を駆動する巻上げ部材駆動機構と、
を備えて前記材料粒子が前記キャリアガスに分散されたエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、
前記エアロゾル発生部と接続されて前記エアロゾルを被処理材に向けて噴射する噴出ノズルと、
を備える成膜装置。
【請求項２】
前記導入管において前記キャリアガスを吹き出す吹出口が前記巻上げ部材に向かって開口するものである請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
前記吹出口が前記材料粒子の堆積層の表面近傍に位置するものである請求項１または請求項２に記載の成膜装置。
【請求項４】
前記噴出ノズルが、一端部がこの噴出ノズルに連結されるとともに他端部が前記容器内に配される送出管により前記エアロゾル発生部と接続されているとともに、前記巻上げ部材がこの送出管の他端部に設けられるものである請求項１〜請求項３のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項５】
前記巻上げ部材駆動機構には、前記材料粒子の堆積層の表面の位置を検出する検出機構と、前記検出機構による検出結果に基づいて前記巻上げ部材の上下位置を調節する位置調節機構とが備えられている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項６】
前記巻上げ部材は、断面が円または楕円の棒状に形成されているものである請求項１〜請求項５のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項７】
前記巻上げ部材の下端には、前記材料粒子をすくい上げるすくい部が設けられているものである請求項１〜請求項６のいずれかに記載の成膜装置。
【請求項８】
前記すくい部が、その上面が前記巻上げ部材の前記容器に対する移動方向に向かって下る傾斜面とされるとともに前記傾斜面において傾斜方向下端部が前記材料粒子の堆積層中に埋没されているものである請求項７に記載の成膜装置。
【請求項９】
材料粒子がキャリアガスに分散されたエアロゾルを発生させるエアロゾル発生装置であって、
前記材料粒子を収容可能な容器と、
前記容器内にキャリアガスを導入する導入管と、
前記容器に収容された前記材料粒子の堆積層中に下端部を埋没させつつ前記容器に対して移動可能な巻上げ部材と、
前記巻上げ部材を駆動する巻上げ部材駆動機構と、
を備えるエアロゾル発生装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置およびエアロゾル発生装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェットプリンタのインクジェットヘッド等に用いられる圧電アクチュエータの製造方法として、エアロゾルデポジション法（ＡＤ法）と呼ばれるものがある。これは、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電材料の微粒子を気体中に分散させたもの（エアロゾル）を基板表面に向けて噴射させ、微粒子を基板上に衝突・堆積させることにより圧電膜を形成させるものである。
【０００３】
このようなＡＤ法において、エアロゾルを発生させるための手段としては、例えば加振装置を備えたものがある（特許文献１参照）。このものは、ガスボンベからエアロゾル形成室内にキャリアガスを導入して、そのガス圧で材料粒子を舞い上がらせるととともに、加振装置によって容器を振動させることで、材料粒子とキャリアガスとを混合してエアロゾルを発生させる。発生したエアロゾルは、エアロゾル形成室と成膜室との差圧によって、搬送管に吸い込まれてノズルに導かれ、このノズルから基板に向かって噴射される。
【０００４】
この他に、キャリアガスが搬送管に吸い込まれるときに発生する吸引力によって材料粒子をキャリアガスと共に吸引し、エアロゾルを発生させる吸引方式のものも提案されている。
【特許文献１】特開２００１−１５２３６０公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところで、成膜の安定性を確保するためには、エアロゾル形成室において発生するエアロゾルの濃度を一定に保つことが重要となる。しかし、上記のように、加振装置を備えたタイプのものでは、加振により材料粒子が徐々に凝集・固化して流動性を失い、エアロゾル濃度が低下してしまうという問題があった。また、吸引方式のものでは、搬送管の入り口で材料粒子が詰まり易いという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、エアロゾルを安定的に発生させることのできる成膜装置およびエアロゾル発生装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するための請求項１の発明に係る成膜装置は、材料粒子を収容可能な容器と、前記容器内にキャリアガスを導入する導入管と、前記容器に収容された前記材料粒子の堆積層中に下端部を埋没させつつ前記容器に対して移動可能な巻上げ部材と、前記巻上げ部材を駆動する巻上げ部材駆動機構と、を備えて前記材料粒子が前記キャリアガスに分散されたエアロゾルを発生させるエアロゾル発生部と、前記エアロゾル発生部と接続されて前記エアロゾルを被処理材に向けて噴射する噴出ノズルと、を備えるものである。
【０００８】
請求項２の発明は、請求項１に記載の成膜装置であって、前記導入管において前記キャリアガスを吹き出す吹出口が前記巻上げ部材に向かって開口するものである。
【０００９】
請求項３の発明は、請求項１または請求項２に記載の成膜装置であって、前記吹出口が前記材料粒子の堆積層の表面近傍に位置するものである。
ここで、「近傍」とは巻上げ部材の水平方向への移動による材料粒子の巻き上がり高さの範囲内を意味する。
【００１０】
請求項４の発明は、請求項１〜請求項３のいずれかに記載の成膜装置であって、前記噴出ノズルが、一端部がこの噴出ノズルに連結されるとともに他端部が前記容器内に配される送出管により前記エアロゾル発生部と接続されているとともに、前記巻上げ部材がこの送出管の他端部に設けられるものである。
【００１１】
請求項５の発明は、請求項１〜請求項４のいずれかに記載の成膜装置であって、前記巻上げ部材駆動機構に、前記材料粒子の堆積層の表面の位置を検出する検出機構と、前記検出機構による検出結果に基づいて前記巻上げ部材の上下位置を調節する位置調節機構とが備えられるものである。
【００１２】
請求項６の発明は、請求項１〜請求項５のいずれかに記載の成膜装置であって、前記巻上げ部材が、断面が円または楕円の棒状に形成されているものである。
【００１３】
請求項７の発明は、請求項１〜請求項６のいずれかに記載の成膜装置であって、前記巻上げ部材の下端に、前記材料粒子をすくい上げるすくい部が設けられているものである。
【００１４】
請求項８の発明は、請求項７に記載の成膜装置であって、前記すくい部が、その上面が前記巻上げ部材の前記容器に対する移動方向に向かって下る傾斜面とされるとともに前記傾斜面において傾斜方向下端部が前記材料粒子の堆積層中に埋没されているものである。
【００１５】
請求項９の発明は、材料粒子がキャリアガスに分散されたエアロゾルを発生させるエアロゾル発生装置であって、前記材料粒子を収容可能な容器と、前記容器内にキャリアガスを導入する導入管と、前記容器に収容された前記材料粒子の堆積層中に下端部を埋没させつつ前記容器に対して移動可能な巻上げ部材と、前記巻上げ部材を駆動する巻上げ部材駆動機構と、を備えるものである。
【発明の効果】
【００１６】
請求項１および請求項９の発明によれば、エアロゾル発生部（エアロゾル発生装置）には、容器に収容された材料粒子の堆積層中に下端部を埋没させつつ容器に対して移動する巻上げ部材が備えられている。このような構成によれば、巻上げ部材の動きにつれて材料粒子の堆積層の表面が攪拌され、材料粒子が巻き上げられる。また、巻上げ部材の容器に対する移動方向後方には、容器内に導入されているキャリアガスの渦流が発生するから、巻き上げられた材料粒子がこの渦流に巻き込まれることで拡散し、エアロゾルとなる。このようにして、材料粒子を、凝集、固化等の不具合を生じさせることなくキャリアガスに分散してエアロゾルを安定的に発生させることができる。
【００１７】
請求項２の発明によれば、導入管におけるキャリアガスの吹出口が巻上げ部材に向かって開口する。このような構成によれば、導入管からのキャリアガスが巻上げ部材に吹き付けられ、キャリアガスの流れにおいてこの巻上げ部材の下流側でより強い渦流が発生する。これにより、材料粒子の巻き込み効果が高まるから、エアロゾルを安定的に発生させることができる。
【００１８】
請求項３の発明によれば、導入管の吹出口が材料粒子の堆積層の表面近傍に位置する。このような構成によれば、巻上げ部材によって巻き上げられた材料粒子をキャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【００１９】
請求項４の発明によれば、巻上げ部材が送出管の他端部（容器内に配されている側の端部）に設けられている。このような構成によれば、巻上げ部材と送出管が常に近い位置にあるため、この巻上げ部材の巻上げ効果によって発生したエアロゾルを安定的に送出管へ供給することができる。
【００２０】
請求項５の発明によれば、巻上げ部材駆動機構には、材料粒子の堆積層の表面の位置を検出する検出機構と、この検出機構による検出結果に基づいて巻上げ部材の上下位置を調節する位置調節機構とが備えられている。このような構成によれば、長時間の運転により材料粒子が消費されてその表面位置が降下した場合でも、検出機構および位置調節機構により巻上げ部材の位置を自動調整し、粒子の巻上げが適切に行なわれるようにすることができる。
【００２１】
請求項６の発明によれば、巻上げ部材は、断面が円または楕円の棒状に形成されている。このような構成によれば、過大な駆動力を要することなく巻上げ部材を材料粒子の堆積層中に埋没させた状態のままで移動させることができ、駆動効率が向上する。
【００２２】
請求項７の発明によれば、巻上げ部材の下端にはすくい部が設けられている。このような構成によれば、巻上げ部材の移動に伴って、材料粒子がすくい部によってすくい上げられる。これにより、材料粒子が巻き上がり易くなるから、キャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【００２３】
請求項８の発明によれば、すくい部が、その上面が前記巻上げ部材の前記容器に対する移動方向に向かって下る傾斜面とされるとともに前記傾斜面において傾斜方向下端部が前記材料粒子の堆積層中に埋没されているものである。このような構成によれば、巻上げ部材の移動に伴って、傾斜面に沿った斜め上方への流れが作り出されるから、この流れによって材料粒子が斜め上方へ巻き上げられていく。これにより、材料粒子をより上方へ巻き上げ、キャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
＜第１実施形態＞
以下、本発明を具体化した第１実施形態について、図１〜図４を参照しつつ詳細に説明する。
【００２５】
図１には、本発明を具体化した成膜装置１の概略図を示す。この成膜装置１は、材料粒子をキャリアガスに分散させてエアロゾルを形成するためのエアロゾル発生器１０（本発明のエアロゾル発生部、およびエアロゾル発生装置に該当する）、およびエアロゾルを噴出ノズル２３から噴出させて基板（被処理材。図示せず）に付着させるための成膜チャンバ２０を備えている。
【００２６】
まず、エアロゾル発生器１０について説明する。エアロゾル発生器１０には、内部に材料粒子を収容可能なエアロゾル室１１が備えられている（図２参照）。このエアロゾル室１１には、導入管１２およびエアロゾル供給管１３（本発明の送出管に該当する）の一方の端部がそれぞれ挿入されているとともに、内部に貯留される材料粒子の堆積層１４の表面位置を測定するための図示しないセンサ（本発明の検出機構に該当する）が設けられている。
【００２７】
エアロゾル供給管１３は、エアロゾル室１１内で発生したエアロゾルを後述の噴出ノズル２３に送るためのものである。このエアロゾル供給管１３の一端部は、後述の成膜チャンバ２０内に設置された噴出ノズル２３に接続されている。一方、エアロゾル供給管１３の他端部は、その軸方向が上下方向を向く姿勢でエアロゾル室１１内に差し込まれており、その先端の開口には、断面が円または楕円である棒状の攪拌棒１５（本発明の巻上げ部材に該当する）の一端部が差し込まれている。攪拌棒１５の他端部はエアロゾル室１１に投入された材料粒子の堆積層１４中に埋没するようにされている。また、このエアロゾル供給管１３の管壁において先端よりもやや上側（中央寄り）の位置には、複数個のエアロゾル吸入孔１３Ａが開口されており、ここからエアロゾル室１１内のエアロゾルをエアロゾル供給管１３内へ吸引できるようになっている。
【００２８】
エアロゾル供給管１３においてエアロゾル室１１内に差し込まれている部分およびここに取り付けられた攪拌棒１５は、図示しない駆動機構によって駆動される。駆動機構は、攪拌棒１５を水平方向に直線往復運動させるものである（図３参照）。これにより、攪拌棒１５は堆積層１４の表面を引掻きながら移動し、材料粒子を巻き上げる。また、この駆動機構には、攪拌棒１５を上下移動（図２参照）させる位置調節機構が併設されている。この位置調節機構は上記したセンサと接続されており、センサからの堆積層１４の表面位置についての情報を受けて、攪拌棒１５の下端部が常に堆積層１４に埋没するようにその上下方向の位置を調節する。
【００２９】
また、導入管１２は、エアロゾル室１１内にキャリアガスを送るためのものである。この導入管１２の一端部はエアロゾル室１１内に差し込まれており、その先端部は吹出口１２が攪拌棒１５側を向くように折り曲げられている。この導入管１２は、吹出口１２Ａの位置が堆積層１４の表面よりも僅かに上側位置となるように固定されている。吹出口１２Ａの位置は、攪拌棒１５の往復運動によって材料粒子が巻き上がる高さの範囲内にあれば良い（図２参照）。一方、この導入管１２の他端部は、キャリアガスを供給するためのガスボンベＧに接続されている。キャリアガスとしては、例えばヘリウム、アルゴン、窒素等の不活性ガスや空気、酸素等を使用することができる。
【００３０】
次に、成膜チャンバ２０について説明する。成膜チャンバ２０には、基板を取り付けるためのステージ２１と、このステージ２１の下方に設けられた噴出ノズル２３が備えられている。噴出ノズル２３は、全体として上下に開口した円筒状に形成されており、上側の開口部は、スリット状の噴出口２３Ａとされている。また、下側の開口部はエアロゾル供給管１３に接続されており、エアロゾル室１１内のエアロゾルがエアロゾル供給管１３を通って噴出ノズル２３に供給されるようになっている。
【００３１】
ステージ２１は矩形板状をなし、ステージ移動機構２２によって水平姿勢で天井から吊り下げられて、下面側に基板を保持することができるようになっている。ステージ移動機構２２は、図示しない制御装置からの指令に応じて駆動されるものであり、ステージ２１をその板面と平行な面内において移動させる。これにより、噴出ノズル２３を基板に対して相対的に移動させることが可能とされている。
【００３２】
また、成膜チャンバ２０には、粉体回収装置２４を介して真空ポンプＰが接続されており、その内部を減圧できるようにされている。
【００３３】
次に、上記のように構成された本実施形態の作用および効果について説明する。
【００３４】
成膜装置１を用いて材料粒子の膜を形成する際には、まず、基板をステージ２１にセットする。次いで、エアロゾル室１１の内部に材料粒子を投入する。材料粒子としては、例えば圧電材料であるチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を使用することができる。
【００３５】
次いで、ガスボンベＧから導入管１２を介してキャリアガスを導入しつつ、駆動機構を駆動して攪拌棒１５を往復運動させる。すると、攪拌棒１５が堆積層１４の表面を引掻きながら移動することによって、材料粒子が巻き上げられる。なお、攪拌棒１５は断面が円または楕円形状であることから、堆積層１４に埋没された状態で移動する際に受ける抵抗力は小さいものとなり、僅かな駆動力で容易に移動させることができる。また、攪拌棒１５が移動することで、攪拌棒１５の移動方向と逆向きのキャリアガスの気流が相対的に生じることとなり、攪拌棒１５の移動方向後方には、カルマン渦と呼ばれる渦流が発生する（図４参照）。これにより、巻き上げられた材料粒子がこの渦流に巻き込まれて拡散する。さらに、導入管１２の吹出口１２Ａが攪拌棒１５に向かって開口しており、キャリアガスが攪拌棒１５に向かって吹き付けられるから、このキャリアガスの流れにおいて攪拌棒１５の下流側に、さらに強い渦流が発生する。特に、攪拌棒１５が吹出口１２Ａに近づく向きに移動している時には、攪拌棒１５の移動により生じる気流と吹出口１２Ａからのガスの吹き出しによる気流との重なりにより強い渦流が生じる。攪拌棒１５により巻き上げられた材料粒子は、この渦流に巻き込まれることでさらに拡散しつつキャリアガスと混合され、エアロゾルとなる。
【００３６】
次いで、成膜チャンバ２０内を真空ポンプＰにより減圧する。すると、エアロゾル室１１と成膜チャンバ２０との間の差圧により、エアロゾル室１１内のエアロゾルがエアロゾル吸入孔１３Ａからエアロゾル供給管１３内に吸引され、高速に加速されながら噴出ノズル２３へ送られる。
【００３７】
噴出ノズル２３に送られたエアロゾルは噴出口２３Ａから基板に向かって噴出する。噴出したエアロゾルに含まれる材料粒子は基板に衝突して固着し、圧電膜を形成する。このとき、ステージ移動機構２２によってステージ２１を動かすことで基板に対する噴出ノズル２３の相対位置を少しずつずらしながらエアロゾルの吹き付けを行う。これにより、基板の全面にわたって膜が形成される。
基板に衝突した後のエアロゾルは、真空ポンプＰの吸引力によって粉体回収装置２４側へ排出される。
【００３８】
なお、長時間にわたって成膜装置１を作動させていると、エアロゾル室１１内の材料粒子が消費され、堆積層１４の表面位置が下がってくる。すると、センサが検知した表面位置の情報が位置調節機構に送られ、位置調節機構によって攪拌棒１５の上下方向の位置が調整される。これにより、攪拌棒１５の下端部が常に堆積層１４に埋没するようにしている。
【００３９】
以上のように本実施形態によれば、成膜装置１のエアロゾル発生器１０には、エアロゾル室１１収容された材料粒子の堆積層１４中に下端部を埋没させつつ移動する攪拌棒１５が備えられている。このような構成によれば、攪拌棒１５の動きにつれて材料粒子の堆積層１４が攪拌され、粒子が巻き上げられる。また、導入管１２の吹出口１２Ａが攪拌棒１５に向かって開口しているから、キャリアガスが攪拌棒１５に吹き付けられる。これらにより、キャリアガスの流れにおいてこの攪拌棒１５の下流側で強い渦流が発生する。この渦流が材料粒子を巻き込むことによって、凝集、固化等の不具合が生じることなくエアロゾルが安定的に発生する。
【００４０】
また、導入管１２の吹出口１２Ａが材料粒子の堆積層１４の表面近傍に位置しているから、攪拌棒１５によって巻き上げられた材料粒子を、キャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【００４１】
さらに、攪拌棒１５がエアロゾル供給管１３に取り付けられており、攪拌棒１５とエアロゾル供給管１３が常に近い位置にあるため、この攪拌棒１５の巻上げ効果によって発生したエアロゾルを安定的にエアロゾル供給管１３へ供給することができる。
【００４２】
加えて、攪拌棒１５を駆動する駆動機構には巻上げ部材の上下位置を調節する位置調節機構とが備えられ、この位置調節機構は材料粒子の堆積層１４の表面の位置を検出するセンサと接続している。これにより、長時間の運転により材料粒子が消費されてその表面位置が降下した場合でも、センサによる測定で得られた堆積層１４の表面位置の情報に基づいて位置調節機構により攪拌棒１５の上下方向の位置を自動調整し、粒子の巻上げが適切に行なわれるようにすることができる。
【００４３】
＜第２実施形態＞
以下、本発明の第２実施形態について、図５〜図７を参照しつつ説明する。本実施形態の第１実施形態との主たる相違点は、攪拌棒３５にすくい板３６（本発明のすくい部に該当する）が設けられている点にある。なお、第１実施形態と同様の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００４４】
図５には、本実施形態のエアロゾル発生器３０の概略断面図を示した。このエアロゾル発生器３０は、第１実施形態と同様の成膜装置に使用されるものであって、第１実施形態と同様の構成のエアロゾル室３１を備えている。このエアロゾル室３１の内部には、第１実施形態と同様の構成の導入管３２およびエアロゾル供給管３３の一端部がそれぞれ挿入されており、エアロゾル供給管３３の下端側の開口には、棒状の攪拌棒３５が差し込まれている。
【００４５】
この攪拌棒３５の下端部には、すくい板３６が取り付けられている（図６も併せて参照）。すくい板３６は、全体として長方形の厚板状をなし、その上側面は板の長尺方向に沿って傾く傾斜面３６Ａとされている。そして、この傾斜面３６Ａにおいて傾斜の上端よりもやや下り側の位置に攪拌棒３５の下端部が固着されている。
【００４６】
攪拌棒３５およびすくい板３６は、第１実施形態と同様に図示しない駆動機構によって駆動される。この駆動機構は、第１実施形態と同様に攪拌棒３５を往復運動させるものであるとともに、攪拌棒３５を上下移動させる位置調節機構、および材料粒子の堆積層１４の表面位置を検出するためのセンサを備えている。位置調節機構は、センサからの堆積層１４の表面位置についての情報を受けて、すくい板３６の傾斜面３６Ａにおける下り側の端部３６Ｂが常に堆積層１４に埋没するようにその上下方向の位置を調節する。
【００４７】
本実施形態のエアロゾル発生器３０によってエアロゾルを発生させるには、まず、エアロゾル室１１の内部に材料粒子を投入する。次いで、ガスボンベＧから導入管１２を介してキャリアガスを導入しつつ、駆動機構を駆動して攪拌棒１５を往復運動させる。駆動機構は、すくい板３６の下り側の端部３６Ｂが導入管３２の吹出口３２Ａの方を向く姿勢に保持し、この吹出口３２Ａに近づく方向および離れる方向に攪拌棒１５を往復させる。すると、攪拌棒１５の移動に伴って、材料粒子がすくい板によってすくい上げられる。特に、攪拌棒１５が吹出口３２Ａに近づく方向（下り側の端部３６Ｂ方向が進行方向前方となる向き）に移動する際には、すくい板３６自体の移動および吹出口３２Ａからのキャリアガスの流れによって傾斜面３６Ａに沿った斜め上方への流れが作り出されるから、この流れによって材料粒子が斜め上方へ巻き上げられていく（図７）。巻き上げられた材料粒子は、第１実施形態と同様に渦流に巻き込まれることで拡散しつつキャリアガスと混合され、エアロゾルとなる。発生したエアロゾルが成膜に供される過程は第１実施形態と同様であるから、説明を省略する。
【００４８】
なお、長時間にわたって成膜装置を作動させていると、エアロゾル室３１内の材料粒子が消費され、堆積層１４の表面位置が下がってくる。すると、センサが検知した表面位置の情報が位置調節機構に送られ、位置調節機構によって攪拌棒３５の上下方向の位置が調整される。これにより、すくい板３６の傾斜面３６Ａにおける下り側の端部３６Ｂが常に堆積層１４に埋没するようにしている。
【００４９】
以上のように本実施形態によれば、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。加えて、攪拌棒３５の下端にはすくい板３６が設けられている。このような構成によれば、攪拌棒３５の移動に伴って、材料粒子がすくい板３６によってすくい上げられる。これにより、材料粒子が巻き上がり易くなるから、キャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【００５０】
さらに、すくい板３６の上面が傾斜面３６Ａとされるとともに、この傾斜面３６Ａの下り側の端部３６Ｂが材料粒子の堆積層１４中に埋没されている。このような構成によれば、特に攪拌棒１５の吹出口３２Ａに近づく方向（下り側の端部３６Ｂ方向が進行方向前方となる向き）への移動に伴って、傾斜面３６Ａに沿った斜め上方への流れが作り出されるから、この流れによって材料粒子が斜め上方へ巻き上げられていく。これにより、材料粒子をより上方へ巻き上げ、キャリアガスの渦流に確実に巻き込むことができる。
【００５１】
＜他の実施形態＞
本発明の技術的範囲は、上記した実施形態によって限定されるものではなく、例えば、次に記載するようなものも本発明の技術的範囲に含まれる。その他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲にまで及ぶものである。
【００５２】
（１）上記実施形態では、駆動装置は攪拌棒１５、３５を直線往復運動させるものであったが、例えば図８に示すように、攪拌棒１５を周回運動させるものであっても良い。このようにすれば、攪拌棒１５の移動距離を稼ぐことができ、材料粒子の堆積層１４の表面においてより広い領域を攪拌できる。
【００５３】
（２）上記実施形態では、攪拌棒１５、３５がエアロゾル供給管１３、３３に取り付けられることにより両者が一体化されていたが、巻上げ部材が送出管と別体に設けられていても構わない。
【００５４】
（３）上記実施形態では、攪拌棒１５、３５の上下位置はセンサと連動した位置調節機構により自動調整されていたが、巻上げ部材の上下位置は作業者が材料粒子の堆積層の表面位置を目視で確認つつ手動で調整しても構わない。
【００５５】
（４）上記実施形態では、導入管１２、３２の吹出口１２Ａ、３２Ａは材料粒子の堆積層１４の表面近傍に位置していたが、図９に示すように、より高い位置に位置していても構わない。また、吹出口は必ずしも巻上げ部材に向かって開口していなくても構わない。
【００５６】
（５）上記実施形態では、導入管１２、３２の吹出口１２Ａ、３２Ａは攪拌棒１５に向かって開口していたが、導入管の吹出口は必ずしも巻上げ部材に向かって開口していなくても構わない。このような構成であっても、巻上げ部材が移動することによって、この巻上げ部材の回りには巻上げ部材の移動方向と逆方向のキャリアガスの流れが生じるから、この流れの下流側（巻上げ部材の移動方向後方）には、カルマン渦と呼ばれる渦流が発生するから、材料粒子をこの渦流に巻き込んで拡散させることができる。
【００５７】
（６）すくい部の形状は第２実施形態に示したものに限らず、例えば図１０Ａに示すすくい板４０のように、下り側の先端部に上方向に膨らむ湾曲部４０Ａを設けたものであっても良い。このような形状のものでは、湾曲部４０Ａによって堆積層１４の表面が削り取られることによって、材料粒子が巻き上げられる。
また、図１０Ｂに示すすくい板４１のように、下り側の先端部に下方向に膨らむ湾曲部４１Ａを設けたものであっても良い。このような形状のものでは、湾曲部４１Ａによって堆積層１４の表面が掘り起こされることによって、材料粒子が巻き上げられる。
さらに、図１１に示すすくい板４２のように、下り側の先端部に櫛歯４２Ａが付けられたものであっても良い。このような形状のものでは、湾曲部４１Ａによって堆積層１４の表面が梳き取られることによって、材料粒子が巻き上げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５８】
【図１】第１実施形態の成膜装置の全体概略図
【図２】エアロゾル発生器の概略側断面図
【図３】エアロゾル発生器の概略断面図
【図４Ａ】攪拌棒により材料粒子の巻上げを行う様子を堆積層の側方から見た図
【図４Ｂ】攪拌棒により材料粒子の巻上げを行う様子を堆積層の上方から見た図
【図５】第２実施形態のエアロゾル発生器の概略側断面図
【図６】攪拌棒に取り付けられたすくい板の拡大斜視図
【図７Ａ】攪拌棒およびすくい板により材料粒子の巻上げを行う様子を堆積層の側方から見た図
【図７Ｂ】攪拌棒およびすくい板により材料粒子の巻上げを行う様子を堆積層の上方から見た図
【図８】他の実施形態におけるエアロゾル発生器の概略断面図
【図９】他の実施形態におけるエアロゾル発生器の概略側断面図
【図１０Ａ】他の実施形態におけるすくい板の斜視図−１
【図１０Ｂ】他の実施形態におけるすくい板の斜視図−２
【図１１】他の実施形態におけるすくい板の斜視図−３
【符号の説明】
【００５９】
１…成膜装置
１１、３１…エアロゾル室（容器）
１２、３２…導入管
１４…堆積層
１５…攪拌棒（巻上げ部材）
１０、３０…エアロゾル発生器（エアロゾル発生部、エアロゾル発生装置）
２３…噴出ノズル
１２Ａ…吹出口
１３、３３…エアロゾル供給管（送出管）
３６、４０、４１、４２…すくい板（すくい部）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図５】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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