(57)【要約】【課題】チルト角及び回転角に関する可動範囲が広く、且つ操作性が良好なディスプレイスタンドを提供する。【解決手段】ディスプレイ支持部２９及びスタンドアーム部３３の間に介在する回転可動部３４では、チルト短軸４１及びヨー長軸４０が、それぞれブロック部４２におけるチルト短軸用穴４３及びヨー長軸用穴４４に挿入され、後ベース部５２及び前ベース部５１が締め付けレバー５７の締め付けによって互いに接近し、チルト短軸４１に後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３の表面及び前ベース部５１のチルト短軸受け溝の表面が密着し、ヨー長軸４０に後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５の表面及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝の表面が密着し、チルト短軸４１はブラケット３０に固定されてディスプレイ支持部２９に接続され、ヨー長軸４０は水平シャフト３２の端部３２ａに固定されてスタンドアーム部３３に接続される。【選択図】図３
2007156152.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ディスプレイを支持するディスプレイ支持部と、該ディスプレイ支持部に接続されたアーム部と、前記ディスプレイ支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを備えるディスプレイスタンドであって、
前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、
前記第１の軸は前記ディスプレイ支持部に接続され、
前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とするディスプレイスタンド。
【請求項２】
前記第１の基部及び前記第２の基部は一部において互いに接続することを特徴とする請求項１記載のディスプレイスタンド。
【請求項３】
前記アーム部は水平方向に延設され、所定の垂直軸周りに回転することを特徴とする請求項１又は２記載のディスプレイスタンド。
【請求項４】
前記締め付け部から前記第１の軸までの距離と、前記締め付け部から前記第２の軸までの距離が異なることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のディスプレイスタンド。
【請求項５】
第１の軸受け溝、第２の軸受け溝、第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝の少なくとも１つが凹部を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のディスプレイスタンド。
【請求項６】
前記第１の軸は水平方向に沿って配置され、前記第２の軸は垂直方向に沿って配置されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のディスプレイスタンド。
【請求項７】
ディスプレイを移動可能に支持するディスプレイスタンドを備える基板処理装置であって、
前記ディスプレイスタンドは、前記ディスプレイを支持するディスプレイ支持部と、該ディスプレイ支持部に接続されたアーム部と、前記ディスプレイ支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを有し、
前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、
前記第１の軸は前記ディスプレイ支持部に接続され、
前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とする基板処理装置。
【請求項８】
所定の物体を移動可能に支持する支持構造体であって、
前記支持構造体は、前記所定の物体を支持する支持部と、該支持部に接続されたアーム部と、前記支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを有し、
前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、
前記第１の軸は前記支持部に接続され、
前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とする支持構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ディスプレイスタンド、基板処理装置及び支持構造体に関し、特に、基板処理装置の操作命令を入力等するディスプレイを支持するディスプレイスタンドに関する。
【背景技術】
【０００２】
事務所や工場等の作業員の職場における技術革新、具体的にはＯＡ（オフィスオートメーション）化やＦＡ（ファクトリーオートメーション）化の象徴として、コンピュータの視覚表示端末（Visual Display Terminal）（以下、「ＶＤＴ」という。）の導入が挙げられる。ＶＤＴが職場に本格的に導入され始めた１９８０年代から作業員によるＶＤＴ関連作業に伴う該作業者の筋骨格系の障害や眼精疲労について多くの研究が行われている。そして、これらの研究から作業者の筋骨格系の障害や眼精疲労を防ぐためには、作業者が使用する機器（ＶＤＴやその関連機器）及び職場の環境に対する十分な考慮が必要であることが分かってきた。
【０００３】
例えば、半導体製造工場では、操作命令を入力する操作盤としてＦＰＤ（Flat Panel Display）からなるタッチパネルディスプレイが多用されているが、このタッチパネルディスプレイの位置は、作業者の筋骨格系の障害や眼精疲労を防ぐために、自由に変更可能であることが好ましい。このタッチパネルディスプレイの自由な位置変更は所定の構成を有するディスプレイスタンドによって実現される。
【０００４】
タッチパネルディスプレイの自由な位置変更を実現可能なディスプレイスタンドとしては、図６に示すように、液晶ＶＤＴパネル６１、台座６２、支持アーム６３及び回転エレメント６４を備え、液晶ＶＤＴパネル６１の傾斜度を調節可能なもの（例えば、特許文献１参照。）や、データ処理装置とＶＤＴとを結合するピポット点を有し、ＶＤＴをピポット点周りで回転させることによって該ＶＤＴを閉位置から開位置へ移動させるものが知られている（例えば、特許文献２参照。）。
【０００５】
ところで、半導体デバイス用のウエハにプラズマ処理等を施す基板処理装置では、該基板処理装置用のタッチパネルディスプレイの大きさ、位置等の仕様がＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials Institute）規格によって規定されている。また、操作者の身長、作業姿勢も区々であることから、基板処理装置用のタッチパネルディスプレイは、水平移動が可能であり、回転角（Yaw角）及びチルト角が調節可能であることが好ましい。
【０００６】
図７は、基板処理装置におけるタッチパネルディスプレイ用の従来のスタンドの概略構成を示す斜視図である。
【０００７】
図７において、タッチパネルディスプレイ用のスタンド７０は、タッチパネルディスプレイ７１を支持するディスプレイ支持板７２と、該ディスプレイ支持板７２の裏面に設けられてチルト角度を調節するチルト角調節機構７３と、該チルト角調節機構７３に接続されたアーム７４に設けられた関節構造物であって、回転角を調節する回転角調節機構７５と、アーム７４を支持して水平面に対して垂直な軸を中心に回転する回転軸７６を有する水平移動機構７７とを備える。このスタンド７０では、チルト角調節機構７３、回転角調節機構７５及び水平移動機構７７がそれぞれ締め付けレバーを備え、チルト角、回転角、水平移動方向に関する位置が３つの締め付けレバーのそれぞれの締め付けによって規定される。
【０００８】
また、従来のタッチパネルディスプレイ用のスタンドとしては上述した３つの締め付けレバーを備えるスタンドの他、ボールジョイントを備えるものが知られている。このスタンドでは、ボールジョイントによってＶＤＴのチルト角及び回転角を自在に調節することができる。
【特許文献１】実用新案登録第３０９９１１０号公報
【特許文献２】特表２００４−５１８１８２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかしながら、３つの締め付けレバーを備えるスタンド７０では、チルト角調節機構７３及び回転角調節機構７５の締め付けレバーが各部位に干渉し、また、ボールジョイントを備えるスタンドでは、例えば、ボールを支持するシャフトと該ボールを収容するカバーとが干渉するため、チルト角及び回転角に関する可動範囲が狭いという問題がある。
【００１０】
また、３つの締め付けレバーを備えるスタンド７０ではチルト角及び回転角を調節するためにそれぞれ対応する締め付けレバーを操作する必要があり、操作性が悪いという問題がある。
【００１１】
本発明の目的は、チルト角及び回転角に関する可動範囲が広く、且つ操作性が良好なディスプレイスタンド、基板処理装置及び支持構造体を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
上記目的を達成するために、請求項１記載のディスプレイスタンドは、ディスプレイを支持するディスプレイ支持部と、該ディスプレイ支持部に接続されたアーム部と、前記ディスプレイ支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを備えるディスプレイスタンドであって、前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、前記第１の軸は前記ディスプレイ支持部に接続され、前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とする。
【００１３】
請求項２記載のディスプレイスタンドは、請求項１記載のディスプレイスタンドにおいて、前記第１の基部及び前記第２の基部は一部において互いに接続することを特徴とする。
【００１４】
請求項３記載のディスプレイスタンドは、請求項１又は２記載のディスプレイスタンドにおいて、前記アーム部は水平方向に延設され、所定の垂直軸周りに回転することを特徴とする。
【００１５】
請求項４記載のディスプレイスタンドは、請求項１乃至３のいずれか１項に記載のディスプレイスタンドにおいて、前記締め付け部から前記第１の軸までの距離と、前記締め付け部から前記第２の軸までの距離が異なることを特徴とする。
【００１６】
請求項５記載のディスプレイスタンドは、請求項１乃至４のいずれか１項に記載のディスプレイスタンドにおいて、第１の軸受け溝、第２の軸受け溝、第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝の少なくとも１つが凹部を有することを特徴とする。
【００１７】
請求項６記載のディスプレイスタンドは、請求項１乃至５のいずれか１項に記載のディスプレイスタンドにおいて、前記第１の軸は水平方向に沿って配置され、前記第２の軸は垂直方向に沿って配置されることを特徴とする。
【００１８】
上記目的を達成するために、請求項７記載の基板処理装置は、ディスプレイを移動可能に支持するディスプレイスタンドを備える基板処理装置であって、前記ディスプレイスタンドは、前記ディスプレイを支持するディスプレイ支持部と、該ディスプレイ支持部に接続されたアーム部と、前記ディスプレイ支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを有し、前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、前記第１の軸は前記ディスプレイ支持部に接続され、前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とする。
【００１９】
上記目的を達成するために、請求項８記載の支持構造体は、所定の物体を移動可能に支持する支持構造体であって、前記支持構造体は、前記所定の物体を支持する支持部と、該支持部に接続されたアーム部と、前記支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部とを有し、前記回転可動部は、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸と、前記第１の軸及び第２の軸をそれぞれ軸支する第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝が形成された第１の基部と、前記第１の基部に対向して配置され、且つ前記第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ対応する第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝が形成された第２の基部と、前記第１の基部及び前記第２の基部を互いに接近させるように締め付ける１つの締め付け部とを有し、前記第１の軸は前記支持部に接続され、前記第２の軸は前記アーム部に接続されることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２０】
請求項１記載のディスプレイスタンド、請求項７記載の基板処理装置、及び請求項８記載の支持構造体によれば、ディスプレイ支持部及びアーム部の間に介在する回転可動部では、互いに異方向を指向する第１の軸及び第２の軸が、第１の基部における第１の軸受け溝及び第２の軸受け溝にそれぞれ軸支されると共に、第１の基部に対向して配置される第２の基部における第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝にそれぞれ軸支され、第１の基部及び第２の基部が１つの締め付け部の締め付けによって互いに接近する。したがって、１つの締め付け部によって第１の軸周りの回転及び第２の軸周りの回転を固定することができ、もって、締め付け部の数を減らすことができる。その結果、ディスプレイスタンド（支持構造体）のチルト角及び回転角に関する可動範囲を広くすることができ、且つ操作性を良好にすることができる。
【００２１】
請求項２記載のディスプレイスタンドによれば、第１の基部及び第２の基部は一部において互いに接続するので、第１の軸及び第２の軸の締め付けを容易に行うことができる。
【００２２】
請求項３記載のディスプレイスタンドによれば、アーム部は水平方向に延設され、所定の垂直軸周りに回転するので、ディスプレイを容易に水平方向に移動させることができる。
【００２３】
請求項４記載のディスプレイスタンドによれば、締め付け部から第１の軸までの距離と、締め付け部から第２の軸までの距離が異なるので、第１の軸周りの回転及び第２の軸周りの回転のいずれか一方を先に固定することができる。これにより、よりディスプレイスタンド（支持構造体）の操作性を向上することができる。
【００２４】
請求項５記載のディスプレイスタンドによれば、第１の軸受け溝、第２の軸受け溝、第１の他の軸受け溝及び第２の他の軸受け溝の少なくとも１つが凹部を有するので、第１の基部及び第２の基部の少なくとも一方の剛性を低下させることができ、もって、締め付け部の締め付けによって容易に第１の基部及び第２の基部を互いに接近させることができる。
【００２５】
請求項６記載のディスプレイスタンドによれば、第１の軸は水平方向に沿って配置され、第２の軸は垂直方向に沿って配置されるので、ディスプレイスタンド（支持構造体）のチルト角及び回転角を確実に調節することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００２７】
図１は、本実施の形態に係るディスプレイスタンドが適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【００２８】
図１において、基板処理装置１は、半導体デバイス用のウエハ（以下、単に「ウエハ」という。）Ｗに反応性イオンエッチング（以下、「ＲＩＥ」という。）処理を施す複数のプロセスシップ１１と、複数のプロセスシップ１１がそれぞれ接続された矩形状の共通搬送室としてのローダーユニット９とを備える。
【００２９】
ローダーユニット９には、上述したプロセスシップ１１の他、２５枚のウエハＷを収容する容器としてのフープ（Front Opening Unified Pod）１４がそれぞれ載置される３つのフープ載置台１５と、フープ１４から搬出されたウエハＷの位置をプリアライメントするオリエンタ１６とが接続されている。
【００３０】
複数のプロセスシップ１１は、ローダーユニット９の長手方向における側壁に接続されると共にローダーユニット９を挟んで３つのフープ載置台１５と対向するように配置され、オリエンタ１６はローダーユニット９の長手方向に関する一端に配置される。
【００３１】
ローダーユニット９は、内部に配置された、ウエハＷを搬送する搬送アーム機構１９と、各フープ載置台１５に対応するように側壁に配置されたウエハＷの投入口としての３つのロードポート２０とを有する。搬送アーム機構１９は、フープ載置台１５に載置されたフープ１４からウエハＷをロードポート２０経由で取り出し、該取り出したウエハＷをプロセスシップ１１やオリエンタ１６へ搬出入する。
【００３２】
プロセスシップ１１は、ウエハＷにＲＩＥ処理を施す真空容器としての処理チャンバ１２と、該処理チャンバ１２にウエハＷを受け渡す搬送アーム１７を内蔵するロード・ロックユニット１８とを有する。
【００３３】
プロセスシップ１１では、ローダーユニット９の内部の圧力は大気圧に維持される一方、処理チャンバ１２の内部圧力は真空に維持される。そのため、ロード・ロックユニット１８は、処理チャンバ１２との連結部に真空ゲートバルブ２１を備えると共に、ローダーユニット９との連結部に大気ゲートバルブ２２を備えることによって、その内部圧力を調整可能な真空予備搬送室として構成される。
【００３４】
ロード・ロックユニット１８の内部には、略中央部に搬送アーム１７が設置され、該搬送アーム１７より処理チャンバ１２側に第１のバッファ２３が設置され、搬送アーム１７よりローダーユニット９側には第２のバッファ２４が設置される。第１のバッファ２３及び第２のバッファ２４は、搬送アーム１７の先端部に配置されたウエハＷを支持するピック２５が移動する軌道上に配置され、ＲＩＥ処理が施されたウエハＷを一時的にピック２５の軌道の上方に待避させることにより、ＲＩＥ未処理のウエハＷとＲＩＥ処理済みのウエハＷとの処理チャンバ１２における円滑な入れ換えを可能とする。
【００３５】
また、基板処理装置１は、プロセスシップ１１、ローダーユニット９、及びオリエンタ１６（以下、まとめて「各構成要素」という。）の動作を制御する後述のシステムコントローラ（図示しない）と、ローダーユニット９の長手方向に関する一端に配置されたオペレーションＧＵＩ（Graphical User Interface）２６とを備える。
【００３６】
システムコントローラは、ＲＩＥ処理に対応するプログラムに応じて各構成要素の動作を制御し、オペレーションＧＵＩ２６は、例えばＬＣＤ（Liquid Crystal Display）からなるタッチパネルディスプレイ２７と、該タッチパネルディスプレイ２７を支持するディスプレイスタンド２８とを有する。タッチパネルディスプレイ２７は各構成要素の動作状況を表示し、操作者の操作入力を受け付ける。
【００３７】
図２は、図１におけるディスプレイスタンドの概略構成を示す背面斜視図である。
【００３８】
図２において、ディスプレイスタンド２８は、タッチパネルディスプレイ２７の背面を支持する板状のディスプレイ支持部２９と、該ディスプレイ支持部２９の背面における略中央に配置されたブラケット３０と、垂直に配置された垂直シャフト３１及び該垂直シャフト３１の略中央から水平方向に延設された水平シャフト３２からなるスタンドアーム部３３（アーム部）と、水平シャフト３２の垂直シャフト３１とは反対側の端部３２ａ及びブラケット３０の間に介在する回転可動部３４とを備える。
【００３９】
ブラケット３０は、ディスプレイ支持部２９の背面に接合される四角板状の底板３０ａと、底板３０ａの水平方向に関する両端から該底板３０ａに対して垂直に突出する側板３０ｂ，３０ｃとを有する。垂直シャフト３１の上下端部はそれぞれ上側軸受け部３５及び下側軸受け部３６によって軸支され、上側軸受け部３５及び下側軸受け部３６は、ローダーユニット９に結合するスタンドアーム部ブラケット３７に結合される。下側軸受け部３６は、垂直シャフト３１の下端を収容するシャフト穴（図示しない）と外部とを連通するスリット３８を有するＣ字状部材であり、スリット３８によって２つに分割された部分３６ａ，３６ｂが締め付けレバー３９の締め付けによって互いに接近する。このとき、下側軸受け部３６は垂直シャフト３１の下端を挟み込んで該垂直シャフト３１の回転を固定する。これにより、スタンドアーム部３３の水平移動方向に関する位置が規定される。
【００４０】
回転可動部３４は、後述する１本のヨー（yaw）長軸４０（第２の軸）と、後述する２本のチルト短軸４１（第１の軸）と、ヨー長軸４０及びチルト短軸４１を挟み込むブロック部４２と、ブロック部４２に取り付けられた締め付けレバー５７とを備える。チルト短軸４１及びヨー長軸４０は高剛性材料、例えば、ステンレスからなる。
【００４１】
図３は、図２における回転可動部におけるブロック部、ヨー長軸及びチルト短軸の関係を示す図である。尚、図３において図中上方を「上側」、同下方を「下側」、同右方を「右側」及び同左方を「左側」という。また、図４は、図３におけるブロック部を示す図であり、図４（Ａ）は上面図であり、図４（Ｂ）は左側面図であり、図４（Ｃ）は右側面図であり、図４（Ｄ）は図４（Ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【００４２】
ブロック部４２は下側の左右方向に関する両端部が面取り状に加工された弾性材料、例えば、アルミニウムからなる直方体状部材である。ブロック部４２には左右方向（水平方向）に貫通するチルト短軸用穴４３と、上下方向（垂直方向）に貫通するヨー長軸用穴４４とが形成されている。チルト短軸用穴４３はブロック部４２の厚み方向の略中央且つブロック部４２の上下方向の中央からやや上側寄りに穿設されている。ヨー長軸用穴４４はブロック部４２の厚み方向の略中央且つブロック部４２の左右方向の略中央に穿設されている。また、ブロック部４２は該ブロック部４２の右側から左側に向かって形成され、且つ上下方向に関して貫通するスリット４７を有する。
【００４３】
チルト短軸用穴４３は円柱状のチルト短軸４１の直径より所定値だけ大きい円柱穴であり、２つのチルト短軸４１を収容する。ヨー長軸用穴４４も円柱状のヨー長軸４０の直径より所定値だけ大きい円柱穴であり、ヨー長軸４０を収容する。このとき、結果として、チルト短軸４１は水平方向に沿って配置されることになり、ヨー長軸４０は垂直方向に沿って配置されることになる。また、チルト短軸用穴４３はその中心軸に平行に形成されたブロック部４２を左右方向に貫通する凹溝４５を有し、ヨー長軸用穴４４はその中心軸に平行に形成されたブロック部４２を上下方向に貫通する凹溝４６を有する。
【００４４】
ヨー長軸４０の下端には、水平面に沿って平板状に形成された水平シャフト３２の端部３２ａ（図２参照。）に形成された貫通穴（図示しない）に挿入される細軸状の係合軸４８が中心軸上に形成されている。ヨー長軸４０がブロック部４２のヨー長軸用穴４４に収容された際、係合軸４８がブロック部４２の下面から突出して水平シャフト３２の端部３２ａの貫通穴に挿入される。ここで、貫通穴は垂直方向に沿って穿設されている。これにより、ブロック部４２は垂直方向に沿って立設するように水平シャフト３２（の端部３２ａ）に支持される。また、係合軸４８の先端にはヨー長軸４０の中心軸に沿ってねじ穴（図示しない）が穿設されており、係合軸４８が端部３２ａの貫通穴に挿入された際、ねじ４９がねじ穴と螺合することによって端部３２ａがヨー長軸４０に締め付けられ、ヨー長軸４０が水平シャフト３２に対して固定される。
【００４５】
チルト短軸４１は、ヨー長軸４０がヨー長軸用穴４４に収容された後にチルト短軸用穴４３へ挿入される。チルト短軸４１の長さは、該チルト短軸４１がチルト短軸用穴４３へ挿入されてその一端４１ａがヨー長軸４０に当接した際、その他端４１ｂがブロック部４２から所定値だけ突出するように設定される。また、チルト短軸４１の他端４１ｂには中心軸に沿ってねじ穴４１ｃが穿設されており、ねじ５０がブラケット３０の側板３０ｂ（又は３０ｃ）を介してねじ穴４１ｃと螺合することによって側板３０ｂ（又は３０ｃ）がチルト短軸４１に締め付けられ、チルト短軸４１がブラケット３０に対して固定される。
【００４６】
上述したように、ブロック部４２はスリット４７を有するため、前ベース部５１（第２の基部）と後ベース部５２（第１の基部）とに分割される。ここで、前ベース部５１及び後ベース部５２は互いに対向する。但し、スリット４７はブロック部４２の左右方向に関して貫通しないため、前ベース部５１及び後ベース部５２は左側部分において互いに接続される。
【００４７】
後ベース部５２には、チルト短軸用穴４３の一部であるチルト短軸受け溝５３及びヨー長軸用穴４４の一部であるヨー長軸受け溝５５が形成され、チルト短軸受け溝５３は凹溝４５を構成する凹部５４を有し、ヨー長軸受け溝５５は凹溝４６を構成する凹部５６を有する。
【００４８】
また、前ベース部５１にも、チルト短軸用穴４３の一部であるチルト短軸受け溝（図示しない）及びヨー長軸用穴４４の一部であるヨー長軸受け溝（図示しない）が形成され、チルト短軸受け溝は凹溝４５を構成する凹部（図示しない）を有し、ヨー長軸受け溝は凹溝４６を構成する凹部（図示しない）を有する。
【００４９】
チルト短軸４１をチルト短軸用穴４３に挿入し且つヨー長軸４０をヨー長軸用穴４４に挿入した場合、チルト短軸４１は後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３及び前ベース部５１のチルト短軸受け溝に軸支され、ヨー長軸４０は後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝に軸支される。このとき、前ベース部５１及び後ベース部５２はチルト短軸４１及びヨー長軸４０を挟んだ状態になる。
【００５０】
前ベース部５１は締め付けレバー５７の回転軸５８が挿入される貫通穴５９を有し、後ベース部５２は締め付けレバー５７の回転軸５８の先端に設けられたねじ部６０が螺合するねじ穴６１を有する。
【００５１】
締め付けレバー５７のねじ部６０は前ベース部５１の貫通穴５９に挿入されて後ベース部５２のねじ穴６１と螺合する。このとき、締め付けレバー５７を締め付けることによってチルト短軸４１及びヨー長軸４０を挟んだ前ベース部５１と後ベース部５２とを互いに接近させ、チルト短軸４１に後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３の表面及び前ベース部５１のチルト短軸受け溝の表面を密着させるとともに、ヨー長軸４０に後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５の表面及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝の表面を密着させる。これにより、ブロック部４２に対するヨー長軸４０周りの回転及びチルト短軸４１周りの回転を固定する。
【００５２】
また、図５に示すように、回転可動部３４において、後ベース部５２のねじ穴６１からヨー長軸４０の中心軸までの距離Ｌ１と、該ねじ穴６１からチルト短軸４１の中心軸までの距離Ｌ２とは異なる。これにより、締め付けレバー５７を締め付けてもヨー長軸４０周りの回転及びチルト短軸４１周りの回転が同じタイミングで固定されることはない。具体的には、ねじ穴６１からヨー長軸４０の中心軸までの距離Ｌ１がねじ穴６１からチルト短軸４１の中心軸までの距離Ｌ２より短いため、ヨー長軸４０周りの回転がチルト短軸４１周りの回転より締め付けレバー５７の締め付けによって固定され易い。すなわち、締め付けレバー５７を締め付ける場合、先にヨー長軸４０周りの回転が固定され、後にチルト短軸４１周りの回転が固定される。また、締め付けレバー５７を緩める場合、先にチルト短軸４１周りの回転が自由になり、後にヨー長軸４０周りの回転が自由になる。
【００５３】
次に、ディスプレイスタンド２８を用いたタッチパネルディスプレイ２７の位置決め方法について説明する。タッチパネルディスプレイ２７の位置決め前においてディスプレイスタンド２８における締め付けレバー３９，５７のいずれも緩められているものとする。
【００５４】
まず、操作者が水平シャフト３２を垂直シャフト３１周りに回転させることによってスタンドアーム部３３を所望の位置まで水平移動させる。その後、締め付けレバー３９を締め付けることによって垂直シャフト３１の回転を固定し、スタンドアーム部３３の水平移動方向に関する位置を規定する。
【００５５】
次いで、操作者はタッチパネルディスプレイ２７をヨー長軸４０周りに回転させることによって該タッチパネルディスプレイ２７を所望の向きに向け、締め付けレバー５７を所定量だけ締め付けることによってヨー長軸４０周りの回転を固定する。さらに、操作者はタッチパネルディスプレイ２７をチルト短軸４１周りに回転させることによって該タッチパネルディスプレイ２７の仰角を所望の角度に調節し、締め付けレバー５７をさらに締め付けることによってチルト短軸４１周りの回転を固定する。
【００５６】
以上の手順によって操作者はタッチパネルディスプレイ２７の位置決めを行うことができる。
【００５７】
本実施の形態に係るディスプレイスタンド２８によれば、ディスプレイ支持部２９及びスタンドアーム部３３の間に介在する回転可動部３４では、チルト短軸４１及びヨー長軸４０が、後ベース部５２におけるチルト短軸受け溝５３及びヨー長軸受け溝５５にそれぞれ軸支されると共に、前ベース部５１におけるチルト短軸受け溝及びヨー長軸受け溝にそれぞれ軸支され、後ベース部５２及び前ベース部５１が締め付けレバー５７の締め付けによって互いに接近し、チルト短軸４１に後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３の表面及び前ベース部５１のチルト短軸受け溝の表面が密着するとともに、ヨー長軸４０に後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５の表面及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝の表面が密着する。したがって、１つの締め付けレバー５７によってチルト短軸４１周りの回転及びヨー長軸４０周りの回転を固定することができ、もって、締め付けレバーの数を減らすことができる。その結果、ディスプレイスタンド２８のチルト角及び回転角に関する可動範囲を広くすることができ、且つ操作性を良好にすることができ、さらには、ディスプレイスタンド２８のコストを削減することができる。
【００５８】
上述したディスプレイスタンド２８では、前ベース部５１及び後ベース部５２は左側部分において互いに接続するので、前ベース部５１と後ベース部５２とが分離することがなく、前ベース部５１及び後ベース部５２の間に挟まれたチルト短軸４１及びヨー長軸４０の締め付けを容易に行うことができる。
【００５９】
また、上述したディスプレイスタンド２８では、スタンドアーム部３３は水平方向に延設され、垂直シャフト３１周りに回転する水平シャフト３２を有するので、タッチパネルディスプレイ２７を容易に水平方向に移動させることができる。
【００６０】
また、上述したディスプレイスタンド２８では、回転可動部３４における、後ベース部５２のねじ穴６１からヨー長軸４０の中心軸までの距離Ｌ１と、該ねじ穴６１からチルト短軸４１の中心軸までの距離Ｌ２とが異なるので、チルト短軸４１周りの回転及びヨー長軸４０周りの回転のいずれか一方を先に固定することができる。これにより、よりタッチパネルディスプレイ２７の位置決めにおける操作性を向上することができる。
【００６１】
上述したディスプレイスタンド２８では、後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３、後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５、前ベース部５１のチルト短軸受け溝及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝がそれぞれ凹部（５４，５６等）を有するので、後ベース部５２及び前ベース部５１の剛性を低下させることができ、もって、締め付けレバー５７の締め付けによって容易に後ベース部５２及び前ベース部５１を互いに接近させることができる。その結果、容易にチルト短軸４１周りの回転の固定及びヨー長軸４０周りの回転の固定を行うことができる。
【００６２】
また、上述したディスプレイスタンド２８では、チルト短軸４１は水平方向に沿って配置され、ヨー長軸４０は垂直方向に沿って配置されるので、タッチパネルディスプレイ２７のチルト角及び回転角を確実に調節することができる。
【００６３】
上述したディスプレイスタンド２８はＲＩＥ処理を行う基板処理装置に用いられたが、該ディスプレイスタンド２８が用いられる基板処理装置はこれに限られず、例えば、ＣＶＤ処理、洗浄処理、露光処理、熱処理、ＣＭＰ（Chemical Mechanical Polishing）処理を行う基板処理装置であってもよく、また、基板処理装置も半導体デバイス用のウエハに処理を施すものに限られず、例えば、ＦＰＤやＬＣＤ等に処理を施すＦＰＤ基板処理装置やＬＣＤ基板処理装置等であってもよい。
【００６４】
また、上述したディスプレイスタンド２８では、前ベース部５１及び後ベース部５２が一部において互いに接続されたが、前ベース部及び後ベース部が互いに接続されていなくてもよい。
【００６５】
さらに、上述したディスプレイスタンド２８では、回転可動部３４におけるチルト短軸４１及びヨー長軸４０が互いに直交するが、回転可動部における２つの軸は互いに直交する必要はなく、異なる方向を指向するだけでもよい。
【００６６】
また、上述したディスプレイスタンド２８では、後ベース部５２のチルト短軸受け溝５３、後ベース部５２のヨー長軸受け溝５５、前ベース部５１のチルト短軸受け溝及び前ベース部５１のヨー長軸受け溝がそれぞれ凹部（５４，５６等）を有したが、全ての軸受け溝が凹部を有する必要はなく、少なくともいずれか１つの軸受け溝が凹部を有するだけであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明の実施の形態に係るディスプレイスタンドが適用される基板処理装置の概略構成を示す平面図である。
【図２】図１におけるディスプレイスタンドの概略構成を示す背面斜視図である。
【図３】図２における回転可動部におけるブロック部、ヨー長軸及びチルト短軸の関係を示す図である。
【図４】図３におけるブロック部を示す図であり、図４（Ａ）は上面図であり、図４（Ｂ）は左側面図であり、図４（Ｃ）は右側面図であり、図４（Ｄ）は図４（Ａ）の線Ｉ−Ｉに沿う断面図である。
【図５】回転可動部における後ベース部のねじ穴からヨー長軸の中心軸までの距離と、該ねじ穴からチルト短軸の中心軸までの距離との関係を示す断面図である。
【図６】液晶ＶＤＴパネルを支持する従来のディスプレイスタンドの概略構成を示す斜視図である。
【図７】基板処理装置におけるタッチパネルディスプレイ用の従来のスタンドの概略構成を示す斜視図である。
【符号の説明】
【００６８】
Ｗ  ウエハ
２６  オペレーションコントローラ
２７  タッチパネルディスプレイ
２８  ディスプレイスタンド
２９  ディスプレイ支持部
３０  ブラケット
３２  水平シャフト
３３  スタンドアーム部
３４  回転可動部
３９，５７  締め付けレバー
４０  ヨー長軸
４１  チルト短軸
４２  ブロック部
４３  チルト短軸用穴
４４  ヨー長軸用穴
４５，４６  凹溝
４７  スリット
５１  前ベース部
５２  後ベース部
５３  チルト短軸受け溝
５４，５６  凹部
５５  ヨー長軸受け溝
【図１】
2007156152.tif 000003
【図２】
2007156152.tif 000004
【図３】
2007156152.tif 000005
【図４】
2007156152.tif 000006
【図５】
2007156152.tif 000007
【図６】
2007156152.tif 000008
【図７】
2007156152.tif 000009