(57)【要約】      （修正有）【課題】小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を可能にしつつ、クロストークを抑制した液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置を提供する。【解決手段】２以上の液体吐出ユニット１を、保持部材５に所定の配置で保持させてヘッド２１を構成する。各液体吐出ユニット１は、液体が収容される１の圧力室１０と、圧力室１０に連通するノズルとを含み、その圧力室１０が伸縮変形することによって圧力室１０内の液体をノズルから吐出する。各液体吐出ユニット１と保持部材５との間に振動吸収部材５３を介在させる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれ、液体が収容される１の圧力室と、該圧力室に連通する１以上のノズルと、を含み、その圧力室が伸縮変形することによって上記圧力室内の液体を上記ノズルから吐出する、２以上の液体吐出ユニットと、
上記２以上の液体吐出ユニットが所定の配置で取り付けられて、これらを保持する保持部材と、
上記各液体吐出ユニットと上記保持部材との間に介在して該各液体吐出ユニットと保持部材との間で伝達する振動を吸収する振動吸収部材と、を備えている液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記各液体吐出ユニットは、上記ノズルが形成されたノズル板を有し、上記圧力室が上記ノズルの軸方向に伸縮変形するに伴い上記ノズル板が変位することによって上記圧力室内の液体を上記ノズルから吐出する液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記各液体吐出ユニットは、
上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、上記ノズル板がその一面に接合された圧電体と、
上記圧電体の他面に接合されると共に、上記圧力室内に液体を供給する供給口が形成された供給板と、をさらに有し、
上記各液体吐出ユニットは、上記供給板側が上記振動吸収部材を介して上記保持部材に接合されていて、上記圧電体が上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動するに伴い上記ノズル板が上記供給板に対し相対的に変位することによって、上記ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項３に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記保持部材は、その内部に上記２以上の液体吐出ユニットそれぞれの圧力室に供給する液体が収容される共通液室が形成されており、
上記各供給板は、上記振動吸収部材を介して上記保持部材に直接接合されて、それの供給口が上記共通液室に連通している液体吐出ヘッド。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記振動吸収部材のヤング率は、上記ノズル板と圧電体との間、及び上記供給板と圧電体との間、のそれぞれに介在して、これらを互いに接合する接合部材のヤング率と同じか、又はそれよりも低く設定されている液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙に対してインク滴を吐出するインクジェット技術が、パターンの形成や均一薄膜の形成等に応用されている。そうしたパターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドには、さらなる小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が要求される。それらの要求を満たす吐出能力の高いヘッドを実現するには、圧力室内の液体に、より高い圧力を加える必要がある。
【０００３】
例えば特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドは、そのヘッド部の圧力室が圧電体によって区画形成されており、圧電体がノズルの軸方向に伸長変形することによって圧力室の体積（断面積）を減少させる構成となっている。この構成では、圧力室内の液体に対し高い圧力を加えることができる。
【０００４】
また特許文献１には、内部に共通液室が形成された供給部と圧電体ブロックとを一体に形成した後に、その圧電体ブロックに切り込みを入れることによって、上記のヘッド部を複数形成したヘッドも開示されている。
【特許文献１】特開平７−４０５３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
ところが、特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドは、複数のヘッド部が供給部に固定されているため、いわゆるクロストークが発生するという問題がある。つまり、あるヘッド部が液体を吐出することに伴う振動が供給部を介して他のヘッド部に伝達することにより、他のヘッド部からの液体の吐出に影響を及ぼすのである。
【０００６】
特に上記ヘッド部は、上述したように、圧力室が圧電体によって区画形成されて圧力室を比較的大きく変形させる上に、各ヘッド部は供給部と一体に形成されるため、そのヘッド部から供給部に振動が伝達しやすく、さらに、圧力室の変形に伴いノズル板が変位する構造であるため、供給部から伝達した振動によってノズル板が振動しやすい。つまり、特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドは、クロストークが生じやすくかつ、それの影響が大きい。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を可能にしつつ、クロストークを抑制した液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、それぞれ、液体が収容される１の圧力室と、該圧力室に連通する１以上のノズルと、を含み、その圧力室が伸縮変形することによって上記圧力室内の液体を上記ノズルから吐出する、２以上の液体吐出ユニットと、上記２以上の液体吐出ユニットが所定の配置で取り付けられて、これらを保持する保持部材と、上記各液体吐出ユニットと上記保持部材との間に介在して該各液体吐出ユニットと保持部材との間で伝達する振動を吸収する振動吸収部材と、を備える。
【０００９】
この構成によると、各液体吐出ユニットは、圧力室を伸縮変形させることによってノズルから液体を吐出するため、圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができ、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能である。
【００１０】
この各液体吐出ユニットを、所定の配置で保持部材に取り付けて液体吐出ヘッドを構成するため、例えば液体吐出ユニットの配置を変えることによってノズルピッチを変えることができ、また液体吐出ユニットの良品を選別して、その良品のみを保持部材に保持させることで、歩留まりが向上する、という利点がある。
【００１１】
そして、液体吐出ユニットを保持部材に保持させる構成において、各液体吐出ユニットと保持部材との間に振動吸収部材を介在させるため、いずれかの液体吐出ユニットが液体を吐出したときに発生する振動は、振動吸収部材によって吸収される。このため、振動が保持部材まで伝達せず、よって他の液体吐出ユニットに振動が伝達することがなく、クロストークが抑制される。
【００１２】
上記各液体吐出ユニットは、上記ノズルが形成されたノズル板を有し、上記圧力室が上記ノズルの軸方向に伸縮変形するに伴い上記ノズル板が変位することによって上記圧力室内の液体を上記ノズルから吐出する、としてもよい。
【００１３】
ノズル板は一般的にその板厚が薄く、質量が小さいため、本構成のようにノズル板を変位させる構成は、ヘッドの駆動周波数を高める点等において有利である。一方でノズル板を変位させる構成は、そのノズル板の支持剛性が低く振動が伝達したときにはクロストークの影響が出やすいという欠点がある。しかしながら本構成は、上述したように、振動吸収部材によって振動の伝達が抑制されているため、クロストークの影響はなく、その欠点のみが解消されるから特に有効である。
【００１４】
上記各液体吐出ユニットは、上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、上記ノズル板がその一面に接合された圧電体と、上記圧電体の他面に接合されると共に、上記圧力室内に液体を供給する供給口が形成された供給板と、をさらに有し、上記各液体吐出ユニットは、上記供給板側が上記振動吸収部材を介して上記保持部材に接合されていて、上記圧電体が上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動するに伴い上記ノズル板が上記供給板に対し相対的に変位することによって、上記ノズルから液体を吐出する、としてもよい。
【００１５】
こうすることで、各液体吐出ユニットの圧力室は、圧電体の圧力室用孔と、その圧電体の一面及び他面のそれぞれに接合されるノズル板及び供給板と、によって区画形成される。圧力室は、圧電体の変形駆動に伴いノズル板が供給板に対し相対的に変位することによって、その体積が増減し、それによってノズル板のノズルから液体が液滴として吐出される。このように、圧力室を圧電体によって区画形成し、その圧電体の変形によって圧力室の体積を増減させることで圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができる。つまり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能になる。
【００１６】
また、圧力室に液体を供給するための供給口が形成された供給板は変位しないため、液体供給系の構成は簡易になる。
【００１７】
上記保持部材は、その内部に上記２以上の液体吐出ユニットそれぞれの圧力室に供給する液体が収容される共通液室が形成されて、上記各供給板は、上記振動吸収部材を介して上記保持部材に直接接合されて、それの供給口が上記共通液室に連通している、としてもよい。
【００１８】
こうすることで、部品点数が低減してヘッドの構成を簡略化しつつ、クロストークが抑制される。特に保持部材に直接接合される各供給板は、保持部材の内部に形成された共通液室に近接して配置されるものの、その供給板は変位しないため、その変位に伴う液体流れが共通液室内で発生することはない。その結果、共通液室の液体を介したクロストーク（流体的なクロストーク）も抑制される。
【００１９】
また、共通液室と各圧力室との間に供給口が形成された供給板を介在させることによって、圧力室内の液体に加えられた圧力は共通液室には伝達せず、仮に共通液室内に気泡が存在していても、各液体吐出ユニットは液体を吐出することが可能になるという利点もある。
【００２０】
上記振動吸収部材のヤング率は、上記ノズル板と圧電体との間、及び上記供給板と圧電体との間、のそれぞれに介在して、これらを互いに接合する接合部材のヤング率と同じか、又はそれよりも低く設定することが望ましい。
【００２１】
接合部材は圧力室の一部を形成するため、圧電体の伸縮変形に伴い圧力室の体積が増減したときに、接合部材が変形してその圧力を吸収しないように、そのヤング率は比較的高い方が好ましい。
【００２２】
これに対し、振動吸収部材は、振動を十分に吸収するように、そのヤング率は比較的低い方が好ましい。
【００２３】
従って、振動吸収部材のヤング率を、接合部材のヤング率と同じか、又はそれよりも低く設定することによって、圧力室内の液体に対しては確実に圧力が印加できる一方、十分な振動吸収効果が得られる。
【００２４】
本発明の液体吐出装置は、上述した液体吐出ヘッドを備える。このため、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を可能にしつつ、クロストークが抑制された液体吐出装置が実現する。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置によると、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能な２以上の液体吐出ユニットそれぞれと、保持部材との間に振動吸収部材を介在させるため、クロストークを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２７】
（実施形態１）
図１は、液体吐出装置Ａの概略構成を示している。この液体吐出装置Ａは、液体吐出ヘッド２１と、被記録物４を支持するステージ３１と、を備えている。
【００２８】
液体吐出ヘッド２１は、装置基台６に支持されたヘッド移動装置２によって主走査方向（図１に示すＸ方向）に往復移動し、ステージ３１は、同じく装置基台６に支持されたステージ移動装置３によって副走査方向（図１に示すＹ方向）に往復移動する。
【００２９】
ヘッド移動装置２は、液体吐出ヘッド２１を支持するキャリッジ２２を含む。キャリッジ２２は、主走査方向に延びるキャリッジ軸２３にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、主走査方向に往復移動する。
【００３０】
ステージ移動装置３は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる２つのステージ軸３２，３２を含む。ステージ３１はこれらのステージ軸３２，３２にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、副走査方向に往復移動する。
【００３１】
液体吐出装置Ａはこの構成によって、液体吐出ヘッド２１とステージ３１上の被記録物４とを相対移動させながら、液体吐出ヘッド２１から被記録物４に向かって液体材料を吐出し、被記録物４上に所望のパターンや均一薄膜等を形成する。
【００３２】
上記液体吐出ヘッド２１は、図２，３に示すように、複数の（図例では５個の）ヘッドユニット１と、ヘッドユニット１を保持する保持部材５と、を備えている。
【００３３】
各ヘッドユニット１は、図４に示すように、圧力室用孔１２が形成された圧電素子１１を備えている。
【００３４】
圧電素子１１は、約４００μｍ厚の積層圧電体からなり、平面視で、約１．５ｍｍ×２．５ｍｍの略矩形状を有している。圧電素子１１は、図示は省略する電極に電圧が印可されることによって、図４における上下方向に収縮変形する（図４の矢印参照）。
【００３５】
圧力室用孔１２は、約φ３００μｍの円形状を有していて、圧電素子１１の上面から下面までを貫通して形成されている。圧力室用孔１２は、圧力室１０の側面を区画する孔であり、その内周面には、液体材料に対する耐食性を考慮して、耐溶剤性を有する樹脂のコーディング処理が施されている。
【００３６】
圧電素子１１の下面には、ノズル板１３が接着固定されており、このノズル板１３の上面によって圧力室１０の底面が区画される。ノズル板１３は、約１００μｍ厚のステンレス鋼からなる。ノズル板１３には、その厚み方向に貫通し、上記圧力室用孔１２に連通するノズル１４が形成されている。
【００３７】
ノズル１４は、その径が先端側に向かって小さくなるテーパ形状を有しており、その基端開口の径は約φ８０μｍ、その先端開口の径は約φ２０μｍとされている。
【００３８】
尚、このノズル板１３の下面は、撥水膜１３ａで被覆されている。この撥水膜１３ａは、公知の方法により形成することが可能である。
【００３９】
圧電素子１１の上面には、供給板１５が接着固定されており、この供給板１５の下面によって圧力室１０の上面が区画される。供給板１５は、約０．５ｍｍ厚のステンレス鋼からなり、供給板１５には、その厚み方向に貫通し、上記圧力室用孔１２に連通する供給口１７が形成されている。供給口１７はストレート形状であって、約φ４０μｍの径を有している。
【００４０】
尚、ここでは圧電素子１１に、ノズル板１３及び供給板１５を接着固定する形態としたが、圧電素子１１、ノズル板１３及び供給板１５を一体に形成してもよい。
【００４１】
このように、圧力室１０は、上記供給板１５、圧電素子１１及びノズル板１３を積層した積層体であるヘッドユニット１の内部に形成されている。
【００４２】
上記ヘッドユニット１は、ヘッドブロック１８内に収容されてこのヘッドブロック１８に支持されている。つまり、ヘッドブロック１８は、下方に開口する凹部１８ａを有しており、ヘッドユニット１がその凹部１８ａ内に収容された状態で、供給板１５の上面が、その凹部１８ａの上壁面に対し接着固定されている。このように供給板１５がヘッドブロック１８に対して固定されることによって、この液体吐出ヘッド２１では、圧電素子１１の収縮変形に伴いノズル板１３が上方に変位する。
【００４３】
ヘッドブロック１８には、その上壁部を上下方向に貫通しかつ、供給口１７と連通する供給筒１９が取り付けられている。供給筒１９は、液体材料を貯留するタンクに、例えばチューブ等を介して接続されている（図示省略）。
【００４４】
また、ヘッドブロック１８の側壁には貫通孔１８ｃが形成されており、その貫通孔１８ｃ内には、圧電素子１１の電極に対して電圧を印加するためのリード線１８ｄが配設されている。
【００４５】
保持部材５は、ステンレス鋼又はセラミック材料製の板状部材であって、それぞれ上方に開口する複数の（図例では５個の）収容凹部５１が、その長手方向に所定の間隔を開けて形成されている。
【００４６】
各収容凹部５１には、上記ヘッドブロック１８が収容されており、その下面が、収容凹部５１の底面に対して、振動吸収部材５３を介して接合されている。この振動吸収部材５３は、後述する振動を吸収する機能の他に、ヘッドブロック１８の下面と収容凹部５１の底面とを接着固定する接着剤としても機能する。
【００４７】
ここで、上記振動吸収部材５３は、そのヤング率が２×１０9Ｐａ程度とすることが好ましい。これは、圧電素子１１とノズル板１３とを接着する接着剤（接合部材１１ａ）、及び圧電素子１１と供給板１５とを接着する接着剤（接合部材１１ａ）、のヤング率と同じが、それよりも低く設定されている。
【００４８】
収容凹部５１の底部には、保持部材５の下面に開口する貫通孔５２が形成されており、収容凹部５１に収容されたヘッドユニット１のノズル板１３は、その貫通孔５２を通じて保持部材５の下方に露出している。
【００４９】
尚、符号５４，５４は、収容凹部５１に収容されたヘッドユニット１をばね力によって保持部材５に固定するクランプである。
【００５０】
次に、上記構成の液体吐出ヘッド２１の動作について説明する。各ヘッドユニット１の供給口１７、圧力室１０、及びノズル１４内のそれぞれに液体材料が充填された状態で、所望のヘッドユニット１の圧電素子１１に所定の電圧（例えば２０Ｖ）を印可することによって、その圧電素子１１が上下方向に収縮変形する（同図の矢印参照）。
【００５１】
この圧電素子１１の収縮変形に伴いノズル板１３が上方に変位して圧力室１０の体積が減少し、圧力室１０内の液体材料に圧力が加わる。それによって液体材料がノズル１４から押し出されて被記録物４に向かって液滴として吐出される。液滴は被記録物４の上面にドット状に付着する。
【００５２】
圧電素子１１への電圧印加を解除することによって、収縮していた圧電素子１１が元に戻り、ノズル板１３が下方に変位して圧力室１０の体積が元に戻る。このときに、供給筒１９及び供給口１７を介して、タンクからの液体材料が圧力室１０内に補充される。
【００５３】
ヘッドユニット１は、圧力室１０を圧電素子１１によって区画形成し、その圧電素子１１の変形によって圧力室１０の体積を減少させるため、圧力室１０内の液体材料に対して高い圧力を加えることができる。それによって、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。上記構成のヘッドユニット１は、例えば粘度が４０ｃＰ（０．０４Ｐａ・ｓ）の高粘度液体を、約３ｐｌ（ピコリットル）の小さい液滴量で吐出することが可能である。
【００５４】
その各ヘッドユニット１と保持部材５との間には、振動吸収部材５３が介在しているため、いずれかのヘッドユニット１が液体を吐出したときに発生する振動は、振動吸収部材５３によって減衰される。そのため、保持部材５まで振動が伝達せず、それによって他のヘッドユニット１に振動が伝達しない。その結果、液体吐出ヘッド２１のクロストークが抑制される。
【００５５】
特にヘッドユニット１は、圧電素子１１の変形駆動に伴いノズル板１３を変位させる構成であり、仮に保持部材５からヘッドユニット１に振動が伝達した場合は、クロストークの影響が出やすい構成であるものの、上述したように各ヘッドユニット１と保持部材５との間で振動を減衰させて両者間の振動の伝達を遮断しているため、各ヘッドユニット１にクロストークの影響はない。一方、板厚が薄いノズル板１３を変位させる構成であることによって、液体吐出ヘッド２１の駆動周波数を高めることが可能である。
【００５６】
また、振動吸収部材５３は、そのヤング率を比較的低く設定することによって、十分な振動吸収効果が得られる一方、圧電素子１１とノズル板１３及び供給板１５とを接着固定する接合部材１１ａは、そのヤング率を振動吸収部材５３のヤング率と同じかそれよりも高く設定することによって、圧力室１０を変形させたときにその接合部材１１ａが変形して圧力を吸収することはなく、圧力室１０内の液体に対しては高い圧力を確実に印加することができる。
【００５７】
尚、ヘッドブロック１８と保持部材５との間に振動吸収部材を介在させる代わりに、又はそれと共に、例えば供給板１５とヘッドブロック１８との間に振動吸収部材５３を介在させてもよい。
【００５８】
また、本液体吐出ヘッド２１は、各ヘッドユニット１を製造した後に、それらを保持部材５に保持させる構成であるため、例えば保持部材５に対するヘッドユニット１の配置を変えることによって、ノズルピッチを自由に変更することが可能になるという利点がある。
【００５９】
また、製造した各ヘッドユニット１の吐出状態を確認して良品のみを選別した後に、その良品のみを保持部材５に取り付けて、液体吐出ヘッド２１を製造することが可能であるため、歩留まりを向上させることができる。
【００６０】
さらに、液体吐出ヘッド２１の製造後には、故障等が生じた不良ヘッドユニット１のみを交換することも可能であり、液体吐出ヘッド２１（液体吐出装置Ａ）のランニングコストを低減することができる。
【００６１】
加えて、各ヘッドユニット１は、圧電素子１１の上面に供給板１５を接着固定して供給口１７を有している構成であって、それ単独でも液体吐出ヘッドとして機能するものであるから、圧力室１０に液体を供給するための液体供給系の構成に依存せず、種々の構成の液体吐出ヘッドに適用することが可能である。
【００６２】
（実施形態２）
図５は、実施形態２に係る液体吐出ヘッド７を示している。尚、実施形態２の液体吐出ヘッド７において、実施形態１の液体吐出ヘッド２１と同じ構成については、適宜その説明を省略する。
【００６３】
この液体吐出ヘッド７は、そのヘッドユニット７０がヘッドブロック１８に収容されておらず、ヘッドユニット７０の供給板７４が、保持部材７１に対して直接接合されている。それによって、実施形態１に係る液体吐出ヘッド２１に比べて、部品点数が低減している。
【００６４】
ヘッドユニット７０は、圧力室用孔１２が形成された圧電素子７２、ノズル１４が形成されたノズル板７３、及び供給口１７が形成された供給板７４を積層した積層体からなり、その内部に圧力室１０が形成されている。
【００６５】
供給板７４は、それの上部に、外方に拡がるフランジ部７４ａが一体的に形成されていると共に、供給口１７に連通する供給筒７４ｂが一体的に形成されている。
【００６６】
保持部材７１は、その上面から凹となってフランジ部７４ａを収容する凹部７１ａと、その凹部７１ａに連続して保持部材７１の下面まで貫通し、ヘッドユニット７０の本体部分（供給板１５の下部、圧電素子７２及びノズル板７３を含む）を収容する収容孔７１ｂと、を有している。この凹部７１ａ及び収容孔７１ｂは、図示は省略するが、板状部材である保持部材７１の長手方向に、所定の間隔を開けて複数形成されており、それによってヘッドユニット７０は、保持部材７１に対して所定の配置で保持されている。
【００６７】
尚、保持部材７１の側壁には、収容孔７１ｂに連通する貫通孔７１ｃが形成されており、この貫通孔７１ｃ内には、圧電素子１１の電極に対して電圧を印加するためのリード線１８ｄが配設されている。
【００６８】
そして、各ヘッドユニット７０は、その供給板７４のフランジ部７４ａの下面が、凹部７１ａの上面に対して、振動吸収部材５３を介して接合されている。
【００６９】
この構成においても、各ヘッドユニット７０の供給板７４側を、振動吸収部材５３を介して保持部材７１に接合しているため、いずれかのヘッドユニット７０が液体を吐出したときに発生する振動は、振動吸収部材５３によって減衰される。そのため、液体吐出ヘッド７のクロストークが抑制される。
【００７０】
（実施形態３）
図６は、実施形態３に係る液体吐出ヘッド８を示している。尚、実施形態３の液体吐出ヘッド８において、実施形態１の液体吐出ヘッド２１と同じ構成については、適宜その説明を省略する。
【００７１】
この液体吐出ヘッド８は、その保持部材８１の内部に共通液室８５が形成されている。また、ヘッドユニット８０がヘッドブロック１８に収容されておらず、ヘッドユニット８０の供給板８４が、保持部材８１に対して直接接合されている。
【００７２】
ヘッドユニット８０は、圧力室用孔１２が形成された圧電素子８２、ノズル１４が形成されたノズル板８３、及び供給口１７が形成された供給板８４を積層した積層体からなり、その内部に圧力室１０が形成されている。
【００７３】
保持部材８１は、その内部に共通液室８５を備えている。共通液室８５は、保持部材８１に保持される各ヘッドユニット８０の圧力室に供給する液体を貯留している。共通液室８５は、保持部材８１の側部に形成された供給口８５ａを介して図示省略のタンクに接続されている。
【００７４】
保持部材８１の下部には、長手方向に所定の間隔を開けて、共通液室８５に連通する複数の（図例では５個の）貫通孔８６が形成されている。この各貫通孔８６は、後述するように、各ヘッドユニット８０の供給口１７と連通される。
【００７５】
各ヘッドユニット８０は、その供給板８４の上面が、保持部材８１の下面に対して振動吸収部材５３を介して接合されている。各振動吸収部材５３は、各貫通孔８６を取り囲んでおり、その振動吸収部材５３によって、各貫通孔８６とヘッドユニット８０の供給口１７とを互いに連通させる流路が形成されている。
【００７６】
この構成においても、各ヘッドユニット８０の供給板８４側を、振動吸収部材５３を介して保持部材８１に接合しているため、いずれかのヘッドユニット８０が液体を吐出したときに発生する振動は、振動吸収部材５３によって減衰される。そのため、液体吐出ヘッド８のクロストークが抑制される。
【００７７】
また、本液体吐出ヘッド８は、その保持部材８１内に共通液室８５を形成し、その保持部材８１に対して各ヘッドユニット８０を直接接合しているため、ヘッドの構成が大幅に簡略化している。
【００７８】
また、本液体吐出ヘッド８は、共通液室８５と各ヘッドユニット８０の圧力室１０との間に、供給口１７を形成した供給板８４が介在しているため、例えば共通液室８５内に気泡Ｂが存在していても（同図の一点鎖線参照）、ノズル１４から液滴を吐出することが可能である。
【００７９】
つまり、仮に供給板８４が存在せず、圧力室１０が直接的に共通液室８５に連通している構成では、圧電素子８２の変形駆動の際に圧力室１０内の液体に加えられた圧力が共通液室８５に伝達して気泡を潰すことになる。それによって、ノズル１４から液体が吐出されない場合がある。
【００８０】
これに対し、共通液室８５と各ヘッドユニット８０の圧力室１０との間に、供給口１７を形成した供給板８４を介在させることによって、共通液室８５に圧力が伝達せず、その共通液室８５内に気泡が存在していても、各ヘッドユニット８０のノズル１４から安定して液滴を吐出することができる。
【００８１】
尚、上記の各実施形態について、次のような構成としてもよい。例えば各ヘッドユニット１，７０，８０の圧力室１０は、圧電素子１１，７２，８２によって区画形成したが、圧力室自体を伸縮変形させて、その圧力室内の液体に対し圧力を印加する構成であれば、どのような構成を採用してもよい。
【００８２】
また、ヘッドユニット１，７０，８０は、圧力室１０の体積を減少させて液体を吐出する構成に限らず、圧力室１０の体積を一旦増加させた後にそれを元に戻すことによって液体を吐出する構成としてもよい。
【００８３】
また、各ヘッドユニット１，７０，８０のノズル板１３，７３，８３に、２以上のノズルを形成してもよい。
【００８４】
尚、本発明は、インクを記録紙等に吐出して画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像記録装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８５】
以上説明したように、本発明は、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を実現しつつ、クロストークが抑制されるから、例えば液晶パネルや回路基板等の各種デバイスの製造のために、種々のパターンや均一薄膜を形成する液体材料吐出ヘッド及び液体材料吐出装置、またインクを吐出することによって例えば記録紙等の記録媒体上に画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像形成装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８６】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図３】図２のIII−III断面図である。
【図４】ヘッドユニットを示す横断面図である。
【図５】実施形態２に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図６】実施形態３に係る液体吐出ヘッドを示す縦断面図である。
【符号の説明】
【００８７】
１，７０，８０  ヘッドユニット（液体吐出ユニット）
１０  圧力室
１１，７２，８２  圧電素子（圧電体）
１１ａ  接合部材
１２  圧力室用孔
１３，７３，８３  ノズル板
１４  ノズル
１５，７４，８４  供給板
１７  供給口
２１，７，８  液体吐出ヘッド
５，７１，８１  保持部材
５３  振動吸収部材
８５  共通液室
Ａ  液体吐出装置
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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