(57)【要約】      （修正有）【課題】  ワークに水平（θ）方向のずれが生じてもアーム部材上でずれを補正することが可能な位置決めステージを実現する。【解決手段】  Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータ３１、３２を平行配置し、前記一対のＸ軸リニアモータ３１、３２のスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータ３００を設け、前記Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワーク２に対して所定の処理をする位置決めステージにおいて、前記ワーク２を支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワーク２の受け渡しを行うワーク搬送手段を備え、該搬送手段は前記ワーク２を水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えた位置決めステージを実現する。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸
リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ
軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワークに対して所定の処理をする位
置決めステージにおいて、前記ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備えるとともに、該搬送手段は前記ワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えたことを特徴とする位置決めステージ。
【請求項２】
前記ステージに前記ワークのＸ軸方向の平行度検出手段を設けたことを特徴とする請求項１に記載の位置決めステージ。
【請求項３】
前記搬送手段はＹ軸方向に独立して操作されるとともにＸ方向に伸びた少なくとも２本のアームを備え、前記アームのそれぞれに少なくとも４個の吸着手段を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置決めステージ。
【請求項４】
前記少なくとも４個の吸着手段は対向して配置され前記ワークを回動させるに際しては対角線上のいずれかの吸着手段の吸着を解除するとともに前記搬送手段をＹ軸方向に移動させるようにしたことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決めステージ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、一対
のＸ軸リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、
Ｙ軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いて加工対象となるワークに対して所
定の処理をする位置決めステージを用いたワークの位置決めステージに関し、更に詳しくは前記ワークをアームに支持した状態で水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えた位置決めステージに関する。
本発明の加工対象となるワークは、板状のガラス基板、ＬＣＤパネル、プラズマパネル等である。
【背景技術】
【０００２】
本発明の基礎となるリニアモータに関連する先行技術文献としては、下記の特許文献１及び特許文献２があり、ワークをアームで支持して移動させるものとして本出願人が出願した特許文献３がある。
【０００３】
【特許文献１】特開昭６３−２１３４９０号公報
【特許文献２】特開２０００−６５９７０号公報
【特許文献３】特願２００５−２９４５４３号（未公開）
【０００４】
図３は本発明が適用される位置決めステージの従来例を示すもので、本出願人が平成１７年１０月７日に出願した特願２００５−２９４５４３（未公開）に記載されたものである。この従来例はワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を、位置決めステージ自身に備える構成を特徴としている。
図３により、ワーク搬送手段の構成を説明する。
【０００５】
ワーク搬送手段の基本構成は、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２に沿ってＸ軸方向に移動する一対の搬送スライダ部材１０１，１０２と、この搬送スライダ部材間に橋渡しした搬送ブリッジ部材２００と、この搬送ブリッジ部材に取り付けられてワークの下面を支持するアーム部材５０１，５０２を備えている。
【０００６】
一対の搬送スライダ部材１０１，１０２は、スライダ４１，４２と共通に、一対のＸ軸リニアモータ３１，３２上をＸ軸方向に移動操作される。これら一対の搬送スライダ部材１０１，１０２間を橋渡しして、搬送ブリッジ部材２００が配置されている。
【０００７】
３００はＹ軸リニアモータであり、搬送ブリッジ部材２００上にＹ軸方向に配置されている。このＹ軸リニアモータ３００は、ブリッジ部材５に配置されたＹ軸リニアモータ６と同一構造のものである。
【０００８】
４０１，４０２は一対のスライダであり、Ｙ軸リニアモータ３００上を夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。これらスライダも、Ｙ軸リニアモータ６上に配置されたスライダ７と同一構造のものである。
【０００９】
５０１，５０２は一対のアーム部材であり、リフトアップされたワーク２の下面を支持して凹部１ｃの面に平行にＸ軸方向に伸び、ステージ外にワーク２を搬出又はステージ外よりワーク２を搬入する。これら一対のアーム部材５０１，５０２は、連結部材５０１ａ，５０２ａにより、一対のスライダ４０１，４０２に結合され、これら一対のスライダ４０１，４０２により、夫々が独立してＹ軸方向に移動操作される。
【００１０】
これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の加工処理中は待機状態とされ、ワークの加工処理位置外のＹ軸方向にシフト配置され、搬送ブリッジ部材２００もステージのＸ軸方向の上流側端部にシフト配置され、ワーク２の加工処理の障害とならない位置にセットされる。
【００１１】
これら一対のアーム部材５０１，５０２は、ワーク２の搬出・搬入時には、Ｚ軸方向にリフトアップされたワーク２の下面に生じた空隙をＹ軸方向に移動操作され、ワーク２を下面から支持した状態でＸ軸方向に移動操作される形態となる。
【００１２】
図４乃至図６は、ワーク加工用のブリッジ部材５及びワーク移送用の搬送ブリッジ部材２００の移動を説明する平面図である。図４はワーク加工前の待機状態を示す平面図、図５はワーク加工中の状態を示す平面図、図６はワーク移送中の状態を示す平面図である。
【００１３】
図４に示す待機状態において、搬送ブリッジ部材２００は、ステージの上流側端部にシフト配置されている。６００は吸着盤であり、凹部１ｃ面上にワーク２（図示せず）の形状に合わせてＺ軸方向に所定の高さで形成されている。ワーク２は、この吸着盤６００の上面に真空吸着手段（図示せず）により吸着固定されて加工処理される。
【００１４】
７００は、吸着盤６００の下面側空間に複数個配置されたリフトピン手段であり、吸着盤の上面に形成された孔よりＺ軸方向にピンを突出させ、ワーク２をＺ軸方向にリフトアップ又はリフトダウン操作する。
【００１５】
複数個のリフトピン手段７００は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に所定の間隔で格子状に配列されている。Ｘ軸方向の一対の列７００Ａ及び７００Ａ´は、Ｙ軸方向で一番外側の列Ａ及び列Ａ´である。Ｘ軸方向の一対の列７００Ｂ及び７００Ｂ´は、列Ａ及びＡ´の内側の列Ｂ及び列Ｂ´である。列の数は任意である。
【００１６】
図５に示すワーク加工中の状態では、ブリッジ部材５がＸ軸方向に吸着盤６００に固定されたワーク２（図示せず）上を移動操作され、所定の加工処理を実行する。加工期間中は、搬送ブリッジ手段２００は、図４の待機位置を維持している。
【００１７】
図６は加工処理が終了したブリッジ部材５の状態を示すもので、ステージのＸ軸方向最下流位置まで移動してその位置で停止される（図示の状態）。加工処理が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってＺ軸方向にリフトアップされる。
【００１８】
即ち、待機状態ではワークの加工処理位置外にＹ軸方向端部に配置されていたアーム部材５０１，５０２は、リフトアップにより生じたワーク２と吸着盤６００の空隙をＹ軸方向の中心部に向かって所定位置まで移動操作される。
【００１９】
そして、アーム部材の移動操作が終了すると、ワーク２はリフトピン手段７００によってリフトダウンされ、アーム部材５０１，５０２上に搭載される。搭載が完了すると、搬送ブリッジ手段２００がＸ軸方向（矢印Ｐ）に下流側に移動操作され、ワーク２はアーム部材５０１，５０２上に搭載された状態で図示のようにステージ外に搬出され、次工程の装置に渡される。
【００２０】
図７乃至図９は、リフトピン手段７００によるワーク２のリフトアップ及びリフトダウン並びにアーム部材５０１，５０２の移動操作の遷移を説明するイメージ図である。簡単のため、Ａ列とＢ列のリフトピン各１個及びアーム部材５０１の部分を図示している。
【００２１】
図７（Ａ）乃至図７（Ｊ）は、アーム部材５０１，５０２が待機状態にある初期位置からワーク２を支持するまでの遷移を示している。図７（Ａ）の初期位置では、ワーク２は吸着盤６００上に吸着保持されている。
【００２２】
吸着盤６００の下面空間に設置されたリフトピン手段は、Ｚ軸方向に延びるピン７０１とピン操作部７０２よりなり、この初期位置ではピン７０１は最下部まで引き込まれた状態である。アーム部材５０１（５０２も同じ、以下同様）は、ワーク２の加工処理位置よりＹ軸方向に外れた位置にある。
【００２３】
図７（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされ、吸着が解除されたワーク２を吸着盤６００の面からＺ軸方向にリフトアップする。図７（Ｃ）ではＡ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＢ列までの移動スペースが出現する。
【００２４】
図７（Ｄ）では、アーム部材５０１がＢ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図５（Ｅ）では、引き込まれていたＡ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図７（Ｆ）では、Ｂ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＣ列（図示せず）までの移動スペースが出現する。
【００２５】
図７（Ｇ）では、アーム部材５０１がＣ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図７（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図７（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１を目的のＹ軸方向位置まで順次移動操作する。
【００２６】
図７（Ｊ）では、アーム部材５０１の移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は移動操作されたアーム部材５０１に支持された状態となる。この状態で搬送ブリッジ部材２００がＸ軸方向に移動操作されて、アーム部材５０１に支持されたワーク２をステージ外に搬出する。
【００２７】
図８（Ａ）乃至図８（Ｊ）は、リフトアップしたワーク２を吸着盤６００上にリフトダウンさせ、アーム部材５０１を待機位置に移動させる遷移を示している。図８（Ａ）の初期位置では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態でワーク２はアーム部材５０１で支持されている。
【００２８】
図８（Ｂ）では、リフトピン手段７００の全ピンがＺ軸方向に伸ばされてワーク２をアーム部材５０１の支持面から更にＺ軸方向にリフトアップする。図８（Ｃ）ではＢ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１のＡ列までの移動スペースが出現する。
【００２９】
図８（Ｄ）では、アーム部材５０１がＡ列の手前までＹ軸方向に移動操作される。図８（Ｅ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図８（Ｆ）では、Ａ列のピンのみが初期位置に引き込まれるので、アーム部材５０１の待機位置までの移動スペースが出現する。
【００３０】
図８（Ｇ）では、アーム部材５０１が待機位置までＹ軸方向に移動操作される。図８
（Ｈ）では、引き込まれていたＢ列のピンがワーク２の下面まで伸ばされる。図８（Ｉ）は、以上の動作の繰り返しを表記しており、この操作によりアーム部材５０１は待機位置までＹ軸方向位置に移動する。
【００３１】
図８（Ｊ）では、アーム部材５０１の待機位置への移動操作が終了し、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれた状態を示しており、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。
【００３２】
図９（Ａ）乃至図９（Ｄ）は、連結された移送システムで、上流側のステージから搬出されたワーク２を下流側ステージスの吸着盤上に載せる遷移を示している。図９（Ａ）は、上流側ステージのアーム部材５０１によりワーク２が下流側ステージスの吸着盤６００の位置に移送された状態であり、下流側ステージスのリフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれている。８０１は、下流側ステージのアーム部材を示す。
【００３３】
図９（Ｂ）では、引き込まれていた全ピンがワーク２の下面まで伸ばされ、ワーク２はアーム部材５０１により離れてＺ軸方向にリフトアップされる。図９（Ｃ）では、上流側ステージのアーム部材５０１が上流側ステージに戻される。図９（Ｄ）では、リフトピン手段７００の全ピンが初期位置に引き込まれ、ワーク２は吸着盤６００の上面に保持された状態となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００３４】
ところで上記従来例においては、何らかの理由によりＸ方向に対するワークの平行度にずれが生じた場合、これを補正する手段がなかった。従って本発明が解決しようとする課題は、ワークにずれが生じてもアーム部材上でずれを補正することが可能な位置決めステージを実現することにある。
【課題を解決するための手段】
【００３５】
このような課題を達成するための本発明の構成は請求項１においては、
Ｘ軸方向にスライダを移動する一対のＸ軸リニアモータを平行配置し、前記一対のＸ軸
リニアモータのスライダ間に橋渡ししたブリッジ部材にＹ軸リニアモータを設け、前記Ｙ
軸リニアモータのスライダに搭載したツールを用いてワークに対して所定の処理をする位
置決めステージにおいて、前記ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備え、該搬送手段は前記ワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えたことを特徴とする。
【００３６】
請求項２においては、請求項１に記載の位置決めステージにおいて、
前記ステージに前記ワークのＸ軸方向の平行度検出手段を設けたことを特徴とする。
【００３７】
請求項３においては、請求項１又は２に記載の位置決めステージにおいて、
前記搬送手段はＹ軸方向に独立して操作されるとともにＸ方向に伸びた少なくとも２本のアームを備え、前記アームのそれぞれに少なくとも４個の吸着手段を備えたことを特徴とする。
【００３８】
請求項４においては、請求項１乃至３のいずれかに記載の位置決めステージにおいて、
前記少なくとも４個の吸着手段は対向して配置され前記ワークを回動させるに際しては対角線上のいずれかの吸着手段の吸着を解除するとともに前記搬送手段をＹ軸方向に移動させるようにしたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３９】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば、
ワークを支持してＸ軸方向に移動し、ステージの外に対してワークの受け渡しを行うワーク搬送手段を備えるとともに、その搬送手段はワークを水平（θ）方向に回動させる回動手段を備えており、ステージにワークのＸ軸方向の平行度を検出する平行度検出手段を備えている。そして、搬送手段をＹ軸方向に独立して操作し、Ｘ方向に伸びた２本のアームに設けた少なくとも４個の吸着手段のうち、対角線上のいずれかの吸着を解除するようにしたので、ワークをアームに載せた状態で水平（θ）方向のＸ軸に対する平衡度の微調整が可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す要部平面図（ａ）、正面図（ｂ）、側面図（ｃ）である。なお、従来例で示した部品と同一要素には同一符号を付している。また、アーム部材をリフトピン手段７００を用いてワーク２と吸着盤６００の間に出し入れしたり、Ｘ軸方向に搬送する
操作については、従来例と同様なのでここでの説明は省略する。
【００４１】
なお、図３とはスライダの取り付け場所が異なっており、図１に示す状態はリフトピン手段が操作され、アーム部材５０１，５０２がワーク２をリフトアップした状態を示している。
【００４２】
これらの図において、７０ａ〜７０ｂは筐体１に形成された凹部1ｃの内側面に設けられた平行度検出手段であり、ワーク２がリフトアップされた状態でワークのＸ方向のずれを検出する。なお、この平行度検出手段はワークの側面の例えば４箇所に設けられている。
【００４３】
また、これらの平行度検出手段はワークの全長よりわずかに短い長さの範囲に設置されており、ワーク２がリフトアップされた状態におけるワーク２の側面（厚さ部分）までの４箇所の距離を検出する。検出した結果は図示しない演算手段に送信され、ずれ量が演算される。ずれ量は例えばワークの全長が１０００ｍｍの長さに対して１ｍｍ程度である。
【００４４】
６０ａ〜６０ｂはアーム部材２にそれぞれ２箇所設けられた吸引パッドである。これらの吸引パッドは平行度検出手段と同様にワークの全長よりわずかに短い長さの範囲に設置されており、チューブ５０３ａ〜５０３ｄにより吸引と解放が行われる。
【００４５】
図２は平行度検出手段７０によりずれが検出された場合のスライダ４０１と４０２と吸引パッド６０ａ〜６０ｄの動作を示すものである。その場合、例えば吸引パッド６０ａ（又は６０ｂ）とその対角線上の６０ｄ（又は６０ｃ）の吸引を解除しスライダ４０１又は４０２の両方を矢印Ａ方向に遷移させる。その結果ワーク２は矢印Ｂ（θ）の水平方向に回動する。
【００４６】
なお、ずれの方向と量に対していずれのスライダをどの程度動かすかについては、ワークの長さやずれ量によって随時決定するものとする。
【００４７】
なお、以上の説明は、本発明の説明および例示を目的として特定の好適な実施例を示したに過ぎない。本発明ではアーム部材に形成する吸引パッドを４個として表示したが吸引パッドは４個以上でもよく要はスライダの動きに対して水平方向に回動出来ればよい。
また吸引に用いるチューブ５０３はアーム部材の下方に配置しているが、それぞれのアーム部材の空洞部に収納してもよい。
また、平行度検出手段７０の方式および検出方法については適宜最適なものを使用するものとする。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】本発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す図である。
【図２】スライダの動きと吸着パッドの位置及び水平（θ）方向への回動を示す図である。
【図３】位置決めステージの従来例を示す斜視図である。
【図４】ブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の動作を説明する平面図である。
【図５】ブリッジ及びワーク搬送ブリッジ部材の動作を説明する平面図である。
【図６】リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。
【図７】リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。
【図８】リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。
【図９】リフトピン手段によるワークのリフトアップ，リフトダウン及びアーム部材の動作を説明する図である。
【符号の説明】
【００４９】
１      筐体
１ｃ    凹部
２      ワーク
３１，３２    Ｘ軸リニアモータ
６０    吸引パッド
７０    平行度検出手段
３００  Ｙ軸リニアモータ
４０１，４０２  スライダ
５０１，５０２  アーム部材
５０３  チューブ
６００  吸着盤
７００  リフトピン手段
【図１】
2007276090.tif 000003
【図２】
2007276090.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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