(57)【要約】【課題】液体流路への接着剤の流出を低減させて、液体吐出不良及び接着剤の液体への影響を防止することができる液体噴射ヘッドを提供する。【解決手段】液体を噴射するノズル開口と液体が貯留された貯留手段３とを連通すると共に第１凹部２０の設けられた第１流路形成部材１１と、第１凹部２０に相対向する領域に第２凹部２１が設けられた第２流路形成部材１２とが接着剤２６を介して接着されて第１凹部２０と第２凹部２１とで画成された液体流路１６を有する液体噴射ヘッドであって、第１流路形成部材１１には第１凹部２０の周囲に亘って第１溝部２４が設けられていると共に、第２流路形成部材１２には第２凹部２１の周囲に亘って第１溝部２４に相対向する領域に第２溝部２５が設けられ、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを第１溝部２４と第２溝部２５との間に設けられた接着剤２６を介して接着する。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を噴射するノズル開口と液体が貯留された貯留手段とを連通すると共に、第１凹部の設けられた第１流路形成部材と、前記第１凹部に相対向する領域に第２凹部が設けられた第２流路形成部材とが接着剤を介して接着されて前記第１凹部と第２凹部とで画成された液体流路を有する液体噴射ヘッドであって、
前記第１流路形成部材には、前記第１凹部の周囲に亘って第１溝部が設けられていると共に、前記第２流路形成部材には前記第２凹部の周囲に亘って前記第１溝部に相対向する領域に第２溝部が設けられ、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが前記第１溝部と前記第２溝部との間に設けられた前記接着剤を介して接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
【請求項２】
前記第１流路形成部材と、前記第２流路形成部材とが、鉛直方向に厚さ方向で積み重ねられて配置され、前記液体流路が鉛直方向と交差する方向に設けられていることを特徴とする請求項１記載の液体噴射ヘッド。
【請求項３】
前記第１凹部及び第２凹部の鉛直方向上側となる何れか一方の幅が、他方の幅よりも幅広に設けられていることを特徴とする請求項２記載の液体噴射ヘッド。
【請求項４】
前記第１及び第２の流路形成部材の前記液体流路と、前記第１溝部及び前記第２溝部との間には、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが互いに当接する第１当接面を有すると共に、第１溝部及び前記第２溝部の前記液体流路とは反対側には、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが互いに当接する第２当接面を有することを特徴とする請求項１〜３の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【請求項５】
前記第１溝部及び前記第２溝部のそれぞれの底面が、前記第１流路形成部材及び第２流路形成部材が互いに当接する当接面から０．０５〜２ｍｍの深さで形成されていることを特徴とする請求項１〜４の何れかに記載の液体噴射ヘッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を噴射する液体噴射ヘッドに関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット式プリンタやプロッタ等のインクジェット式記録装置は、インクカートリッジやインクタンク等のインク貯留手段に貯留されたインクを、ノズル開口からインク滴として吐出可能なインクジェット式記録ヘッドを有する。
【０００３】
このようなインクジェット式記録ヘッドは、インク貯留手段からのインクをノズル開口まで供給するインク供給路が設けられている。ここで、インク貯留手段からノズル開口までインクを供給するインク供給路としては、例えば、第１流路形成部材に第１凹部を設け、第２流路形成部材に第２凹部を設け、第１流路形成部材と第２流路形成部材とを接着剤で接着することで、第１凹部と第２凹部とで画成されたインク流路を形成したものがある。
【０００４】
このとき、第１流路形成部材と第２流路形成部材とを接着した接着剤が、インク流路内に流出すると、接着剤が庇状に突出し、この庇状の接着剤にインク内の気泡が残留して残留した気泡が成長することによって、インク流路内でのインク容量不足や、気泡によるインク吐出不良等の不具合が発生してしまうという問題がある。
【０００５】
また、インク流路に接着剤が露出することによって、接着剤成分がインクに溶け出し、インクに悪影響を与えてしまうという問題がある。
【０００６】
さらに、突出した接着剤がインクの流れによって剥がれ落ち、剥がれ落ちた接着剤によってノズル開口の目詰まりが発生して、インク吐出不良が発生してしまうという問題がある。
【０００７】
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
【０００８】
また、ヘッドケースのヘッド本体との接合面のインク流路の開口近傍にその他の面よりも突出した突出部を設けることで、接着剤の流れ出しを防止したものが提案されている（例えば、特許文献１参照）。しかしながら、特許文献１の構成を第１流路形成部材の第１凹部と第２流路形成部材の第２凹部とで画成されるインク流路に適用したとしても、第１流路形成部材及び第２流路形成部材の接合面の一方側のみに溝部（突出部）を設けただけでは、接着剤のインク流路側への流れ出しを確実に防止することができない。
【０００９】
【特許文献１】特開平１１−３００９８７号公報（第３〜５頁、第５〜８図）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
本発明はこのような事情に鑑み、液体流路への接着剤の流出を低減させて、液体吐出不良及び接着剤の液体への影響を防止することができる液体噴射ヘッドを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
上記課題を解決する本発明の第１の態様は、液体を噴射するノズル開口と液体が貯留された貯留手段とを連通すると共に、第１凹部の設けられた第１流路形成部材と、前記第１凹部に相対向する領域に第２凹部が設けられた第２流路形成部材とが接着剤を介して接着されて前記第１凹部と第２凹部とで画成された液体流路を有する液体噴射ヘッドであって、前記第１流路形成部材には、前記第１凹部の周囲に亘って第１溝部が設けられていると共に、前記第２流路形成部材には前記第２凹部の周囲に亘って前記第１溝部に相対向する領域に第２溝部が設けられ、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが前記第１溝部と前記第２溝部との間に設けられた前記接着剤を介して接着されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第１の態様では、第１流路形成部材と第２流路形成部材とを接着する接着剤が液体流路側に流出するのを低減させて、接着剤が庇状に突出するのを防止して、庇状の接着剤にインク内の気泡が残留し、残留した気泡が成長することによって、インク流路内でのインク容量不足や、気泡によるインク吐出不良等の不具合が発生するのを防止することができる。また、液体流路に接着剤が露出することによって、接着剤成分がインクに溶け出し、インクに悪影響を与えてしまうのを防止することができる。さらに、突出した接着剤がインクの流れによって剥がれ落ち、剥がれ落ちた接着剤によってノズル開口の目詰まりが発生して、インク吐出不良が発生するのを防止することができる。
【００１２】
本発明の第２の態様は、前記第１流路形成部材と、前記第２流路形成部材とが、鉛直方向に厚さ方向で積み重ねられて配置され、前記液体流路が鉛直方向と交差する方向に設けられていることを特徴とする第１の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第２の態様では、庇状の接着剤によって鉛直方向上側に浮かぶ気泡が残留するのを防止することができる。
【００１３】
本発明の第３の態様は、前記第１凹部及び第２凹部の鉛直方向上側となる何れか一方の幅が、他方の幅よりも幅広に設けられていることを特徴とする第２の態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第３の態様では、鉛直方向上側の凹部の幅を鉛直方向下側の凹部の幅よりも幅広とすることで、第１流路形成部材と第２流路形成部材とを位置決めした際に誤差が生じたとしても、鉛直方向上側の凹部の側面が鉛直方向下側の凹部の側面よりも内側となるのを防止することができる。これにより、２つの凹部の境界で鉛直方向下側の面を有する段差が生じるのを防止して、この段差に気泡が残留するのを防止することができる。
【００１４】
本発明の第４の態様は、前記第１及び第２の流路形成部材の前記液体流路と、前記第１溝部及び前記第２溝部との間には、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが互いに当接する第１当接面を有すると共に、第１溝部及び前記第２溝部の前記液体流路とは反対側には、前記第１流路形成部材と前記第２流路形成部材とが互いに当接する第２当接面を有することを特徴とする第１〜３の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第４の態様では、第２当接面を設けることによって、液体流路内の液体が接着剤を介して蒸発するのを防止することができる。
【００１５】
本発明の第５の態様は、前記第１溝部及び前記第２溝部のそれぞれの底面が、前記第１流路形成部材及び第２流路形成部材が互いに当接する当接面から０．０５〜２ｍｍの深さで形成されていることを特徴とする第１〜４の何れかの態様の液体噴射ヘッドにある。
かかる第５の態様では、接着剤の液体流路側への流出を低減させることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る圧力調整部材の概略を示す分解斜視図であり、図２は、圧力調整部材の断面図である。
【００１７】
図示するように、圧力調整部材１は、インクを吐出するノズル開口と連通する圧力発生室にインクを吐出する圧力を付与する圧力発生手段等が設けられたヘッド本体２と、インクが貯留されたインク貯留手段３との間に設けられて、インク貯留手段３からヘッド本体２にインクを供給する液体流路であるインク流路の一部を構成するものである。
【００１８】
具体的には、圧力調整部材１は、インク流路１４が形成された流路形成部材１０と、インク流路１４の途中に設けられてインク流路１４の開閉を行う開閉弁３０と、開閉弁３０に当接して開閉弁３０によるインク流路１４の開閉を行わせる板部材４０と、板部材４０を動作させるフィルム部材５０とを具備する。
【００１９】
流路形成部材１０は、平板状の第１流路形成部材１１、第２流路形成部材１２及び第３流路形成部材１３が鉛直方向に順次積み重ねられて構成されている。これら第１流路形成部材１１、第２流路形成部材１２及び第３流路形成部材１３は、詳しくは後述するが、それぞれが接着剤を介して接着されている。
【００２０】
このような流路形成部材１０のインク流路１４は、圧力調整室１５と、圧力調整室１５に一端が連通して他端がインク貯留手段３に連通するインク供給路１６と、圧力調整室１５に一端が連通して他端がヘッド本体２に連通するインク連通路１７とで構成されている。
【００２１】
圧力調整室１５は、第３流路形成部材１３の第２流路形成部材１２との接着面とは反対側に設けられて、一方面に開口する凹形状を有する。
【００２２】
インク供給路１６は、一端が圧力調整室１５の長手方向一端側に連通すると共に、他端がインク貯留手段３に連通するものであり、鉛直方向と鉛直方向に交差する方向（本実施形態では水平方向）とに屈曲されて構成されている。このようなインク供給路１６の水平方向に設けられた領域は、第１流路形成部材１１に設けられた第１凹部２０と、第２流路形成部材に設けられた第２凹部２１とで画成されている。また、インク供給路１６の途中の第１流路形成部材１１の表面には、他の領域よりも幅広の拡幅部が設けられている。
【００２３】
さらに、インク供給路１６の圧力調整室１５と連通する側の一部には、内径が他の領域よりも小さな小径部１６ａが設けられており、この小径部１６ａによって段差部１６ｂが設けられている。
【００２４】
インク連通路１７は、一端が圧力調整室１５のインク供給路１６とは反対側の端部に連通すると共に、他端がヘッド本体２に連通するものであり、インク供給路１６と同様に鉛直方向と鉛直方向に交差する方向（本実施形態では水平方向）とに屈曲されて構成されている。このようなインク連通路１７の水平方向に設けられた領域は、第１流路形成部材１１に設けられた第１凹部２２と、第２流路形成部材１２に設けられた第２凹部２３とで画成されている。また、インク連通路１７の途中の第１流路形成部材１１の表面には、他の領域よりも幅広の拡幅部が設けられている。
【００２５】
開閉弁３０は、インク供給路１６の鉛直方向に設けられた領域に移動自在に保持されて、先端が圧力調整室１５内に突出する弁部３１と、弁部３１を圧力調整室１５側に付勢する付勢ばね３２とで構成されている。
【００２６】
弁部３１は、インク供給路１６の小径部１６ａの内径よりも外径が小さな突出部３１ａと、小径部１６ａの内径よりも外径が大きな規制部３１ｂとで構成されている。そして、弁部３１は、突出部３１ａがインク供給路１６の小径部１６ａに挿通された状態で、付勢ばね３２によって圧力調整室１５側に付勢されている。また、弁部３２は、規制部３１ｂがインク供給路１６の段差部１６ｂに当接することによって、付勢ばね３２の付勢力による圧力調整室１５側への移動が規制されている。このような状態では、弁部３１の規制部３１ｂがインク供給路１６の段差部１６ｂに当接することによって、圧力調整室１５とインク供給路１６とは閉じられている。
【００２７】
板部材４０は、圧力調整室１５内に一端が固定され、他端が自由端となるように片持ち梁状に設けられたステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属や樹脂などの板形状を有する部材からなる。板部材４０は、フィルム部材５０によって押圧されて弾性変形することによって、一方面が弁部３１の突出部３１ａの先端を押圧し、規制部３１ｂと段差部１６ｂとの間に隙間を形成し、圧力調整室１５とインク供給路１６とを連通させる。
【００２８】
フィルム部材５０は、第３流路形成部材１３の圧力調整室１５が開口する一方面を塞ぐように設けられた可撓性を有するフィルム状部材からなる。フィルム部材５０の材料としては、例えば、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）等が挙げられる。
【００２９】
そして、ヘッド本体２がインクを吐出することによって、圧力調整室１５及びインク連通路１７内のインクがヘッド本体２に供給されると、圧力調整室１５及びインク連通路１７の内部に充填されたインクが負圧になる。これにより、フィルム部材５０が板部材４０側に弾性変形し、板部材４０を弁部３１側に押圧する。そして、フィルム部材５０に押圧された板部材４０は、弾性変形することによって、開閉弁３０の弁部３１の先端を押圧し、圧力調整室１５とインク供給路１６とを連通させて、インク貯留手段３からのインクが圧力調整室１５及びインク連通路１７に充填され、圧力調整室１５及びインク連通路１７のインクがヘッド本体２に供給される。
【００３０】
また、圧力調整室１５及びインク連通路１７内のインクがヘッド本体２によるインク吐出が終了した後も、圧力調整室１５には負圧が残留しているためインク貯留手段３からのインク流入が継続するが、圧力調整室１５内がインクで満たされるに従ってフィルム部材５０が圧力調整室１５と反対側に変位するため、次第に板部材４０を押圧しなくなり開閉弁３０が閉じるようになっている。
【００３１】
ここで、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２との間で画成されるインク流路１４として、インク供給路１６の水平方向の領域について詳細に説明する。なお、図３は、流路形成部材の要部断面図である。また、本実施形態では、インク供給路１６の水平方向の領域について説明するが、インク連通路１７の水平方向の領域についても同様の構成であるため、重複する説明は省略する。
【００３２】
図３に示すように、インク供給路１６の水平方向に設けられた領域は、第１流路形成部材１１に設けられた第１凹部２０と、第２流路形成部材１２に設けられた第２凹部２１とで画成されている。
【００３３】
また、第１流路形成部材１１の第１凹部２０の周囲には、第１溝部２４が設けられており、第２流路形成部材１２の第２凹部２１の周囲には、第１溝部２４に相対向する領域に第２溝部２５が設けられている。そして、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とは、第１溝部２４と第２溝部２５との間に設けられた接着剤２６を介して互いに接着されている。
【００３４】
このように、第１流路形成部材１１に第１溝部２４を設け、第２流路形成部材１２に第２溝部２５を設け、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを第１溝部２４と第２溝部２５との間に向けられた接着剤２６を介して接着することにより、接着剤２６がインク供給路１６側に流出するのを低減することができる。
【００３５】
すなわち、図４（ａ）に示すように、第１流路形成部材１１の第１溝部２４に接着剤２６を塗布した状態で、図４（ｂ）〜図４（ｄ）に示すように、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを互いに当接させると、第１溝部２４に塗布された接着剤２６は、第２溝部２５内に収容され、接着剤２６のインク供給路１６側への流出を低減させることができる。
【００３６】
これに対して、図５に示す従来例のように、第１流路形成部材１１に第１凹部２０と第１溝部２４とを設け、第２流路形成部材１１２に第２凹部及び第２溝部を設けない場合には、図５（ａ）に示すように、第１流路形成部材１１の第１溝部２４に接着剤２６を塗布した状態で、図５（ｂ）〜図５（ｄ）に示すように、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１１２とを互いに当接させると、第１溝部２４に塗布された接着剤２６はインク供給路１６側に流出し、流出した接着剤２６ａがインク供給路１６内に庇状に突出してしまう。
【００３７】
このため、本実施形態のように第１流路形成部材１１の第１凹部２０の周囲に第１溝部２４を設け、第２流路形成部材１２の第２凹部２１の周囲に第２溝部２５を設け、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを第１溝部２４と第２溝部２５との間に設けられた接着剤２６で接着することにより、接着剤２６のインク供給路１６側への流出を低減させることができる。
【００３８】
これにより、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを接着した接着剤２６が、インク供給路１６内に庇状に突出するのを防止して、庇状の接着剤にインク内の気泡が残留し、残留した気泡が成長することによってインク供給路１６内でのインク容量不足や、気泡によるインク吐出不良等の不具合が発生するのを防止することができる。
【００３９】
また、インク供給路１６に接着剤２６が露出することがなく、露出された接着剤２６ａによって接着剤成分がインクに溶け出し、インクに悪影響を与えてしまう虞がない。
【００４０】
さらに、庇状に突出した接着剤２６ａがインクの流れによって剥がれ落ち、剥がれ落ちた接着剤２６ａによってノズル開口の目詰まりが発生して、インク吐出不良が発生してしまうのを防止することができるため、信頼性の高いインクジェット式記録ヘッドを実現できる。
【００４１】
なお、本実施形態では、第１溝部２４及び第２溝部２５とインク供給路１６との間、すなわち、第１溝部２４と第１凹部２０との間と、第２溝部２５と第２凹部２１との間との間には、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とが互いに当接する第１当接面２７を設け、第１溝部２４及び第２溝部２５のインク供給路１６とは反対側に第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とが互いに当接する第２当接面２８を設けるようにした。このように第２当接面２８を設けることにより、第１溝部２４と第２溝部２５との間の接着剤２６が外部に露出されることがなく、インク供給路１６内のインクの水分が第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２とを接着する接着剤２６を通して外部に蒸発してしまうのを防止することができる。
【００４２】
また、本実施形態では、鉛直方向上側となる第２流路形成部材１２の第２凹部２１の幅ｗ２を、鉛直方向下側となる第１流路形成部材１１の第１凹部２０の幅ｗ１よりも幅広とした。これにより、第１流路形成部材１１と第２流路形成部材１２との位置決めで誤差が生じたとしても、インク供給路１６の側面、すなわち、第１凹部２０と第２凹部２１との境界部分で鉛直方向上側となる第２凹部２１の側面が鉛直方向下側となる第１凹部２０の側面よりも内部に突出した段差が形成されるのを防止することができる。これにより、第１凹部２０と第２凹部２１との段差によって気泡が残留するのを防止することができる。すなわち、インク内の気泡は、鉛直方向上側に向かって上昇するため、第２凹部２１の側面が第１凹部２０の側面よりも内側に設けられて段差が生じると、この段差に気泡が残留してしまう。このため、鉛直方向下側の第１凹部２０の側面が鉛直方向上側の第２凹部２１の側面よりも内側とすることで、気泡が残留する段差をなくして、インク容量不足や、気泡によるインク吐出不良等の不具合が発生するのを防止することができる。
【００４３】
さらに、第１溝部２４の深さｈ１及び第２溝部２５の深さｈ２は、それぞれ０．０５〜２ｍｍが好ましい。これは、一般的に溝加工できる深さの最小値が０．０３ｍｍ程度であると共に溝加工の加工精度の誤差を考慮すると、０．０５ｍｍが最小値となるからである。
【００４４】
（実施例１〜６）
上述した実施形態１と同様の構成、すなわち、第１流路形成部材に第１凹部と第１溝部とを設け、第２流路形成部材に第２凹部と第２溝部とを設け、第１凹部及び第２凹部と第１溝部及び第２溝部との間の第１当接面の幅（図３に示すＴ寸法）を０〜１．５ｍｍまで０．２５ｍｍ毎に変化させて第１流路形成部材と第２流路形成部材とを接着剤を介して接着したものをそれぞれ実施例１〜６とした。
【００４５】
なお、Ｔ寸法が０ｍｍとは、図７（ａ）に示すように、第１凹部２０と第１溝部２４との間の断面及び第２凹部２１と第２溝部２５との間の断面を三角形状とし、互いに線接触するようにしたもののことを指す。また、各実施例１〜６では、第１溝部と第２溝部とで画成された空間の高さ、すなわち、図３で示す第１溝部２４の深さｈ１と第２溝部２５の深さｈ２と接着剤２６の厚さの和が０．１５ｍｍとなるようにした。
【００４６】
（比較例１〜６）
上述した図５と同様に、第１流路形成部材に第１溝部を設け、第１凹部と第１溝部との間の当接面の幅（Ｔ寸法）を０〜１．５ｍｍまで０．２５ｍｍ毎に変化させたものと、第２溝部が設けられていない第２流路形成部材とを接着剤を介して接着したものをそれぞれ比較例１〜６とした。
【００４７】
なお、Ｔ寸法が０ｍｍとは、図７（ｂ）に示すように、第１流路形成部材１１の第１凹部２０と第１溝部２４との間の断面を三角形状とし、第２流路形成部材１１２に線接触するようにしたもののことを指す。また、各比較例１〜６では、第１溝部によって画成される空間の高さ、すなわち、第１溝部の深さと接着剤の厚さとの和が実施例１〜６と同様に０．１５ｍｍとなるようにした。
【００４８】
（試験例）
実施例１〜６の流路形成部材と、比較例１〜６の流路形成部材とのインク供給路側への接着剤の突出量を測定した。この結果を図６に示す。
【００４９】
図６に示すように、同じＴ寸法では、実施例１〜６の接着剤の突出量が比較例１〜６に比べて少ないことが分かる。
【００５０】
以上のことから、、第１流路形成部材の第１凹部の周囲に第１溝部を設け、第２流路形成部材の第２凹部の周囲に第２溝部を設け、これら第１流路形成部材と第２流路形成部材とを第１溝部と第２溝部との間で接着剤で接着することにより、接着剤のインク供給路側への流出を低減させることができる。
【００５１】
（他の実施形態）
以上、本発明の実施形態１について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述した実施形態１では、第１流路形成部材１１の第１凹部２０と第２流路形成部材１２の第２凹部２１とで画成されるインク供給路１６が、鉛直方向に交差する方向（水平方向）となるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、第１流路形成部材の第１凹部と第２流路形成部材の第２凹部とで画成される液体流路が、鉛直方向に設けられるように配置してもよい。このような場合であっても、第１凹部の周囲及び第２凹部の周囲に亘って第１溝部及び第２溝部を設けることによって、接着剤が液体流路に流出するのを低減させることができる。なお、この場合、第１凹部の幅と第２凹部の幅との関係は、上述した実施形態１に限定されるものではない。
【００５２】
さらに、上述した実施形態１では、第１溝部２４及び第２溝部２５の両側に第１当接面２７及び第２当接面２８を設けるようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図８に示すように、第１流路形成部材１１Ａの第１溝部２４Ａ及び第２流路形成部材１２Ａの第２溝部２５Ａのインク供給路１６とは反対側が、外部に開口するようにしてよい。このような場合であっても、勿論、接着剤２６のインク供給路１６側への流出を低減させることができる。
【００５３】
また、上述した実施形態１では、圧力調整部材１のインク流路１４（液体流路）について説明したが、インク流路は特にこれに限定されるものではなく、ヘッド本体２内及びインク貯留手段３内のインク流路等、インクジェット式記録ヘッドの何れのインク流路であっても本発明を適用することができる。
【００５４】
なお、上述した実施形態１においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの製造方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施形態１に係る圧力調整部材の概略を示す分解斜視図である。
【図２】実施形態１に係る圧力調整部材の断面図である。
【図３】実施形態１に係る流路形成部材の要部断面図である。
【図４】実施形態１に係る流路形成部材の接着工程を示す断面図である。
【図５】従来例の流路形成部材の接着工程を示す断面図である。
【図６】試験例の試験結果を示すグラフである。
【図７】実施例及び比較例の一例を示す断面図である。
【図８】他の実施形態に係る変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５６】
１  圧力調整部材、  ２  ヘッド本体、  ３  インク貯留手段、  １０  流路形成部材、  １１  第１流路形成部材、  １２  第２流路形成部材、  １３  第３流路形成部材、  １４  インク流路、  １５  圧力調整室、  １６  インク供給路、  １７  インク連通路、  ２０、２２  第１凹部、  ２１、２３  第２凹部、  ２４、２４Ａ  第１溝部、  ２５、２５Ａ  第２溝部、  ２６  接着剤、  ２７  第１当接面、  ２８  第２当接面、  ３０  開閉弁、  ４０  板部材、  ５０  フィルム部材
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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