(57)【要約】【課題】  ミラー部材が可動部に対し容易に着脱可能なプレーナー型アクチュエータを提供する。【解決手段】  トーションバー１１と一体的に形成された平板状の可動部１２の側端部には、互いに対向する一対のコ字状の切欠部１２ａが設けられ、別体として構成された平板状のミラー部材１６の側端部には、互いに対向する一対の係止部１６ａが設けられている。ミラー部材１６に設けられた一対の係止部１６ａは、可動部１２側端のコ字状の切欠部１２ａに係合し、更に係止部１６ａ先端の屈曲部１６ｂが可動部１２の側端部裏面側に係止されている。係止部１６ａにはある程度の弾性があり、ミラー部材１６を着脱させる際には係止部１６ａを外力により弾性変形させるだけでよいため、トーションバー１１に大きな負荷を掛けることなく容易にミラー部材１６の着脱作業が行える。【選択図】  図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも、
ミラー面を有するミラー部材と、
当該ミラー部材を保持する可動部と、
当該可動部を支持するトーションバーと、
当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、
前記ミラー部材は先端が屈曲した係止部を有し、
当該係止部の先端が前記可動部に係止されることで前記ミラー部材が前記可動部に固定されていることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
【請求項２】
前記ミラー部材及び／又は前記係止部は、弾性を有することを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項３】
前記ミラー部材及び／又は係止部は、形状記憶材料からなることを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項４】
前記可動部は側端部に切欠部を有し、当該切欠部に前記係止部が係合していることを特徴とする請求項２、又は３に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項５】
前記可動部は前記係止部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記係止部が挿通された状態で前記係止部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記係止部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記可動部に係止されていることを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項６】
前記可動部及び前記ミラー部材のうち少なくともどちらか一方は、前記ミラー部材の回転範囲を規制する突起部を有することを特徴とする請求項５に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項７】
前記ミラー部材は前記可動部へ向かって突出する突出部を有すると共に、前記可動部は当該突出部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記突出部が挿通された状態で前記突出部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記突出部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記可動部に係止されていることを特徴とする請求項１に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項８】
少なくとも、
ミラー面を有するミラー部材と、
当該ミラー部材を保持する可動部と、
当該可動部を支持するトーションバーと、
当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、
前記可動部は先端が屈曲した係止部を有し、
当該係止部の先端が前記ミラー部材に係止されることで前記ミラー部材が前記可動部に固定されていることを特徴とするプレーナー型アクチュエータ。
【請求項９】
前記可動部及び／又は前記係止部は、弾性を有することを特徴とする請求項８に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１０】
前記可動部及び／又は係止部は、形状記憶材料からなることを特徴とする請求項８に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１１】
前記ミラー部材は側端部に切欠部を有し、当該切欠部に前記係止部が係合していることを特徴とする請求項９、又は１０に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１２】
前記ミラー部材は前記係止部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記係止部が挿通された状態で前記係止部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記係止部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記ミラー部材に係止されていることを特徴とする請求項８に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【請求項１３】
前記ミラー部材及び前記ミラー部材のうち少なくともどちらか一方は、前記ミラー部材の回転範囲を規制する突起部を有することを特徴とする請求項１２に記載のプレーナー型アクチュエータ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、プレーナー型アクチュエータに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
現在、光スキャナ等に用いられる光偏向器として、枠状のフレーム部に梁部（トーションバー）を介して可動部を支持したプレーナー型アクチュエータが知られている。
【０００３】
図８は、フレーム部に可動部と梁部を一体的に形成したプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）上面図である。このプレーナー型アクチュエータでは、半導体基板（Ｓｉ基板やＳＯＩ基板）からなる枠状のフレーム部１の内側に、平板状の可動部（可動板）２が２本の梁部（トーションバー）３により支持されている。可動板２とトーションバー３は、共にフレーム部１と一体的に形成されており、トーションバー３の捻り運動に従って可動板２が揺動可能となっている。また、可動板２の表面には、その周縁部に沿って金属薄膜からなるコイルパターン（薄膜コイル）４が形成されており、可動板２の表面中央には、金属薄膜（Ａｕ等）からなるミラー面５が形成されている。この構成のプレーナー型アクチュエータにおいては、コイルパターン４に通電して静磁界を発生させ、可動板２周辺に設置した静磁界発生源（永久磁石等）６との磁力的な相互作用により可動板２を揺動させている。（例えば、特許文献１参照）
【０００４】
また一方では、別体として構成されたミラー部材を可動部に固定したプレーナー型アクチュエータが開示されている。図９は、ミラー部材を別体として構成したプレーナー型アクチュエータを示す斜視図で、このプレーナー型アクチュエータでは、中央部を中抜きして枠状に形成された平板状の可動部７に、金属薄膜等からなるミラー面を有するミラー部材８が別体として接着、嵌合、ネジ留め等により固定されている。（例えば、特許文献２、３、４参照）
【０００５】
【特許文献１】特開２００５−３３１６７９号公報
【特許文献２】特開平８−２１１３２０号公報
【特許文献３】特開平１１−３０７５８号公報
【特許文献４】特開２００１−１３３７０４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
以上説明した従来のプレーナー型アクチュエータにおいては、以下のような問題点がある。まず、フレーム部に可動板とトーションバーとを一体的に形成したプレーナー型アクチュエータでは、可動板がトーションバーと一体的に形成されているため、プレーナー型アクチュエータが完成した後に可動板に欠陥（可動板自体の損傷や反り、ミラー面の歪み等）が見つかった場合には、それ以外のトーションバーやフレーム部に問題が無かったとしても、可動板と共にそれら全てを不良として廃棄しなければならず、生産性の観点から損失が大きいという問題がある。
【０００７】
また、可動部にミラー部材を別体として固定したプレーナー型アクチュエータでは、ミラー部材を別体として可動部に固定しているため、ミラー部材に欠陥があった場合にはミラー部材のみを良品と交換することが可能であり、その点では可動板がトーションバーと一体的に形成されたプレーナー型アクチュエータより優れているが、ミラー部材の可動部への固定は接着、嵌合、ネジ留め等により成されているため、ミラー部材の着脱、特に取り外しが容易ではないという問題がある。
【０００８】
ミラー部材を取り外すに当たって、ミラー部材の固定に接着剤を用いている場合には、まず接着剤を熱可塑性樹脂等のように再度軟化させることが可能な材質のものを用いたうえで接着剤を軟化させてミラー部材を取り外す必要があり、その際の加熱によりトーションバーやフレーム部に歪みが生じる虞があることに加え、再度ミラー部材を取り付ける際には軟化した接着剤を一旦除去しなければならず作業性にも問題がある。
【０００９】
また、ミラー部材を嵌合により固定している場合には、ミラー部材の嵌合状態を解除するためにそれ相応の負荷をミラー部材本体を含めその周辺のトーションバーやフレーム部に掛ける必要があり、その負荷によりトーションバーやフレーム部が破損する虞がある。尚、このことはミラー部材を可動部に取り付ける際にも起こり得る。
【００１０】
また、ミラー部材をネジ留めにより固定している場合には、部品点数が増えるだけでなく、着脱の作業性が悪いという問題がある。
【００１１】
本発明は、以上のような問題点に鑑みてなされたものであり、ミラー部材が容易に着脱可能なプレーナー型アクチュエータを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
少なくとも、ミラー面を有するミラー部材と、当該ミラー部材を保持する可動部と、当該可動部を支持するトーションバーと、当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、前記ミラー部材は先端が屈曲した係止部を有し、当該係止部の先端が前記可動部に係止されることで前記ミラー部材が前記可動部に固定されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１３】
前記ミラー部材及び／又は前記係止部は、弾性を有するプレーナー型アクチュエータとする。
【００１４】
前記ミラー部材及び／又は係止部は、形状記憶材料からなるプレーナー型アクチュエータとする。
【００１５】
前記可動部は側端部に切欠部を有し、当該切欠部に前記係止部が係合しているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１６】
前記可動部は前記係止部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記係止部が挿通された状態で前記係止部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記係止部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記可動部に係止されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１７】
前記可動部及び前記ミラー部材のうち少なくともどちらか一方は、前記ミラー部材の回転範囲を規制する突起部を有するプレーナー型アクチュエータとする。
【００１８】
前記ミラー部材は前記可動部へ向かって突出する突出部を有すると共に、前記可動部は当該突出部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記突出部が挿通された状態で前記突出部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記突出部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記可動部に係止されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００１９】
少なくとも、ミラー面を有するミラー部材と、当該ミラー部材を保持する可動部と、当該可動部を支持するトーションバーと、当該トーションバーを支持するフレーム部とを備え、前記可動部は先端が屈曲した係止部を有し、当該係止部の先端が前記ミラー部材に係止されることで前記ミラー部材が前記可動部に固定されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２０】
前記可動部及び／又は前記係止部は、弾性を有するプレーナー型アクチュエータとする。
【００２１】
前記可動部及び／又は係止部は、形状記憶材料からなるプレーナー型アクチュエータとする。
【００２２】
前記ミラー部材は側端部に切欠部を有し、当該切欠部に前記係止部が係合しているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２３】
前記ミラー部材は前記係止部が挿通される貫通穴を有し、前記ミラー部材は当該貫通穴に前記係止部が挿通された状態で前記係止部を軸として回転可能に構成され、前記ミラー部材は前記係止部を軸として回転することで前記係止部の先端が前記ミラー部材に係止されているプレーナー型アクチュエータとする。
【００２４】
前記ミラー部材及び前記ミラー部材のうち少なくともどちらか一方は、前記ミラー部材の回転範囲を規制する突起部を有するプレーナー型アクチュエータとする。
【発明の効果】
【００２５】
本発明のプレーナー型アクチュエータにおいては、可動部もしくはミラー部材の少なくともどちらか一方に係止部を設け、この係止部を他方の一部に係止させて互いを固定しているため、ミラー部材を可動部に対して容易に着脱できるだけでなく、着脱の際に可動部やトーションバーに不要な負荷を掛けることはなく、可動部やトーションバーの損傷を防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
別体として構成されたミラー部材、もしくはミラー部材を保持するための可動部のうち少なくともどちらか一方に、先端がＬ字状に屈曲した係止部を設け、この係止部の屈曲した部位を他方の部材に引っ掛けて係止し、互いを着脱可能に固定する。
【実施例１】
【００２７】
図１は、本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）可動部周辺の斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）下面図、（ｄ）可動部の上面図である。尚、本明細書における断面図や側面図では、可動部に形成されたコイルパターンは図示省略としてある。本発明のプレーナー型アクチュエータにおいては、枠状のフレーム部１０の内側に２本のトーションバー１１を介して平板状の可動部１２が揺動可能に支持されている。可動部１２の裏面にはＡｌ等の金属薄膜からなるコイルパターン１３が形成され、その両端部はフレーム部１０に設けられた電極パッド１４に接続されている。また、可動部１２には、表面にＡｕ等の金属薄膜から成るミラー面１５が形成された平板状のミラー部材１６が固定されている。
【００２８】
ミラー部材１６には、トーションバー１１と直交する側の互いに対向する二辺に一対の係止部１６ａが一体的に形成されており、その先端にはミラー部材１６の厚さ方向から平面方向へ向かって屈曲した略Ｌ字型の屈曲部１６ｂが形成されている。係止部１６ａ先端の屈曲部１６ｂは、可動部１２の側端部裏面側に引っ掛かるように係止されており、これによりミラー部材１６が可動部１２に固定されている。
【００２９】
ミラー部材１６は、シリコン、金属、プラスチック等の少なくとも薄板状態である程度の弾性を有する材料で構成されており、それに伴ってミラー部材１６に形成された係止部１６ａにもある程度の弾性が備わっている。係止部１６ａの弾性力は、一対の係止部１６ａが互いに近接する方向へ作用しており、これにより可動部１２の両側端部は一対の係止部１６ａで挟持された状態となっている。
【００３０】
尚、係止部１６ａをミラー部材１６と一体的に形成した場合には、当然のことながら係止部１６ａとミラー部材１６の双方に弾性が備わっているが、本発明を実施するうえでは、少なくとも係止部１６ａとミラー部材１６のどちらか一方に弾性が備わっていれば十分である。
【００３１】
また、可動部１２側端の係止部１６ａが係止されている個所には、図１（ｄ）に示すようにコ字状の切欠部１２ａが設けられており、そこに係止部１６ａの立ち上がり部位が係合している。これにより、ミラー部材１６がトーションバー１１の長手方向へ位置決めされている。
【００３２】
ミラー部材１６を可動部１２に装着する際には、まずミラー部材１６を可動部１２の上方より降下させてミラー部材１６の両側端に設けられた係止部１６ａの先端（屈曲部１６ｂ）を可動部１２側端の切欠部１２ａに係合させる。この時、互いに対向する屈曲部１６ａの先端間距離は、可動部１２側端に設けられた一対の切欠部１２ａの底部間距離よりも小さいため、一対の係止部１６ａは自身が有する弾性により互いに離反する方向へ撓んで押し広げられた状態にあり、そこから更にミラー部材１６を下方へ押圧して係止部１６ａの先端を可動部１２の側端部裏面側へ係止させる。このように係止部１６ａの先端が可動部１２の側端部裏面側に係止された状態では、係止部１６ａは自身の復元力により初期位置へ復帰しているため、外力を作用させない限りはミラー部材１６が可動部１２から外れることはない。
【００３３】
尚、ミラー部材１６を可動部１２から取り外す場合には、係止部１６ａを外力により押し広げ、係止部１６ａの係止状態を解除したうえでミラー部材１６をピンセット等の工具で上方からピックアップするか、ミラー部材１６が下向きになるようにプレーナー型アクチュエータ全体を逆さまに配置したうえで同じ作業を行う。
【００３４】
ここで、ミラー部材１６をピンセット等の工具で掴み易くするための凹部、穴部、突起部等（不図示）をミラー部材１６の任意の位置に設けておけば、ミラー部材１６の着脱作業をよりスムーズに行うことができる。
【００３５】
また、以上の構成においては、ミラー部材１６を可動部１２に装着し易くするために係止部１６ａの先端にはミラー部材１６中央側へ向かって傾斜する傾斜面１６ｃを形成しておくのが好ましい。こうすれば、ミラー部材１６を可動部１２に装着する際に、ミラー部材１６を可動部１２上方から押圧するだけで係止部１６ａが自動的に押し広げられた状態となって、ミラー部材１６を簡単に装着することができる。
【００３６】
また、本実施例１では、ミラー部材１６を構成する材料をシリコンとして係止部１６ａに弾性を持たせているが、ミラー部材１６を形状記憶合金等の形状記憶材料で構成して係止部１６ａの形状を変化させるようにしても良い。この場合、形状記憶合金で構成されたミラー部材１６を可動部１２に着脱する際には、まず少なくとも常温で互いに近接する方向へ僅かに撓んだ状態の一対の係止部１６ａを所定の温度に加熱して互いに離反する方向へ変形させ、係止部１６ａを可動部１２両側端の切欠部１２ａへ係合させたうえでミラー部材１６を可動部１２に装着する。この状態ではミラー部材１６は可動部１２に固定されておらず、次いで係止部１６ａを冷却して初期状態へ変形させ、その変形による力を利用してミラー部材１６を可動部１２に固定する。この構成では、係止部１６ａの係止状態を解除させるのに機械的な外力を加える必要がないため、ミラー部材１６の着脱時に可動部やトーションバーを破損する虞はない。
【実施例２】
【００３７】
図２は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部周辺の斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）ミラー部材の上面図である。本実施例２では、前述の実施例１とは逆に可動部２０側に係止部２０ａが設けられ、ミラー部材２１のそれと対応する位置には、図２（ｃ）に示すように係止部２０ａが係合するコ字状の切欠部２１ａが設けられている。
【００３８】
係止部２０ａは、可動部２０のトーションバー２２と直交する側の互いに対向する二辺に、その先端を上方へ向けて可動部２０と一体的に形成されている。可動部２０は、例えばシリコン等の少なくとも薄板状態である程度の弾性を有する材料で構成されており、それに伴って可動部２０と一体的に形成された係止部２０ａにもある程度の弾性が備わっている。
【００３９】
また、係止部２０ａの先端には、可動部２０の厚さ方向から平面方向へ向かって屈曲した略Ｌ字型の屈曲部２０ｂが形成されている。屈曲部２０ｂは、ミラー部材２１の側端部表面側に引っ掛かるように係止されており、これによりミラー部材２１が可動部２０に固定されている。
【００４０】
尚、ミラー部材２１の可動部２０への着脱方法は前述の実施例１と同様で、ミラー部材２１を取り付ける場合にはミラー部材２１を可動部２０の上方から押圧し、取り外す場合には係止部２０ａを外力により押し広げたうえで取り外す。
【００４１】
また、ミラー部材２１をピンセット等の工具で掴み易くするための凹部、穴部、突起部等をミラー部材２１の任意の位置に設けたり、ミラー部材２１を可動部２０に装着し易すいように係止部２０ａの先端に傾斜面を形成しても良いことは実施例１と同様である。
【実施例３】
【００４２】
図３は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部周辺の斜視図、（ｂ）下面図、（ｃ）（ｂ）のＡ−Ａ’断面図、（ｄ）ミラー部材の斜視図である。本実施例３では、図３（ｄ）に示すように円盤状のミラー部材３０の裏面中央に、円柱状の立ち上がり部位を有する係止部３０ａが一体的に形成されており、更にその先端にはＬ字型に屈曲した２つの屈曲部３０ｂが設けられている。また、可動部３１には、ミラー部材３０に設けられた係止部３０ａの円柱状部位の外形、ならびに係止部３０ａ先端の屈曲部３０ｂの外形に倣ったの貫通穴３１ａが設けられている。即ち、可動部３１に設けられた貫通穴３１ａは、係止部３０ａ先端を裏面側（先端側）から見た輪郭線に沿った形状を成している。
【００４３】
ミラー部材３０の係止部３０ａは、可動部３１に設けられた貫通孔３１ａに挿通されており、その状態でミラー部材３０は係止部３０ａの円柱状部位を軸として可動部３１に対し回転可能となっている。ミラー部材３０は、係止部３０ａの円柱状部位が可動部３１の貫通穴３１ａに挿通したうえで、図３（ｂ）に示す矢印の方向へ回転され、係止部３０ａ先端の屈曲部３０ｂが可動部３１裏面に引っ掛かるように係止されることでミラー部材３０が可動部３１に固定されている。
【００４４】
また、可動部３１の裏面には、貫通穴３１ａの拡張部位（係止部３０ａ先端の屈曲部３０ｂが挿通される部位）近傍に、ミラー部材３０の回転範囲を規制するための円柱状の突起部３１ｂが可動部３１と一体的に２つ形成されている。２つの突起部３１ｂは、可動部３１に設けられた貫通穴３１ａの中心を基準として互いに点対称となる位置に配置されており、ミラー部材３０が可動部３１に固定された状態においては、ミラー部材３０に設けられた係止部３０ａの先端（屈曲部３０ｂ）は可動部３１裏面に係止されたうえで、更に可動部３１裏面に設けられた突起部３１ｂに当接した状態となっている。
【００４５】
ミラー部材３０を可動部３１に装着する際には、まず係止部３０ａを下方に向けた状態でミラー部材３０を可動部３１の上方より降下させ、係止部３０ａの先端（屈曲部３０ｂ）を可動部３１に設けられた貫通穴３１ａに挿通させる。係止部３０ａが貫通穴３１ａに挿通された状態において、ミラー部材３０は係止部３０ａの円柱状部位を軸に回転可能となっており、次いでミラー部材３０を図３（ｂ）に示す矢印の方向へ回転させて係止部３０ａの先端を可動部３１裏面に設けられた突起部３１ｂに当接させる。このように係止部３０ａの先端を可動部３１裏面の突起部３１ｂに当接させることで、ミラー部材３０の回転方向の位置決めが自動的に成され、ミラー部材３０が可動部３１に固定された状態となる。
【００４６】
尚、可動部３１裏面の突起部３１ｂは、ミラー部材３０の係止部３０ａ先端の回転円周上であればどの位置に設けてもよいが、ミラー部材３０を確実に可動部３１に固定する意味では、係止部３０ａの先端（屈曲部３０ｂ）が挿通される部位である貫通穴３１ａの拡張部位から実質的に最も離れた位置、即ち本実施例の如く貫通穴３１ａの拡張部位近傍に設け、ミラー部材の回転距離を確保するのが好ましい。
【００４７】
また、ミラー部材３０を可動部３１から取り外す際には、まずミラー部材３０を装着時とは逆方向へ回転させ、係止部３０ａが可動部３１裏面に設けられた突起部３１ｂに当接した状態とする。この時、係止部３０ａの先端は可動部３１に設けられた貫通穴３１ａの拡張部位と対向する位置にあり、この状態でミラー部材３０を上方よりピックアップして取り外す。
【００４８】
以上説明した本実施例３では、ミラー部材３０を回転させて可動部３１に取り付ける構成としているため、ミラー部材３０の着脱時に可動部３１やトーションバー３２に掛かる負荷をよりいっそう低減させることができる。
【実施例４】
【００４９】
図４は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部周辺の上面図、（ｂ）可動部周辺の側面図である。本実施例４では、可動部４０の平坦面（表面）上に先端がＬ字型に屈曲した係止部４０ａが一体的に形成されており、係止部４０ａ先端のＬ字型に屈曲した屈曲部４０ｂと可動部４０の平坦面との間に略円形のミラー部材４１が挟持されている。
【００５０】
ミラー部材４１の裏面中央には下方へ向かって伸びる円柱状の突出部４１ａが一体的に形成されており、可動部４０にはその円柱状の突出部４１ａの外形に倣った円形の貫通穴４０ｃが設けられている。ミラー部材４１裏面の突出部４１ａは、可動部４０に設けられた貫通穴４０ｃに挿通されており、ミラー部材４１は自身が有する円柱状の突出部４１ａを軸として可動部４０に対し回転可能となっている。
【００５１】
また、ミラー部材４１の外周には、可動部４０の係止部４０ａ先端の外形に倣ったコ字状の切欠部４１ｂが設けられ、更に切欠部４１ｂの内壁を一部延長するようにミラー部材４０の径方向外側へ向かって突出した突出部４１ｃが一体的に形成されている。
【００５２】
ミラー部材４１を可動部４０に取り付ける際には、まずミラー部材４１を係止部４１ａ側を下方に向けて可動部４０の上方より降下させ、ミラー部材４１裏面の円柱状の突出部４１ａを可動部４０に設けられた円形の貫通穴４０ｃに挿通させると共に、ミラー部材４１外周のコ字状の切欠部４１ｂを可動部４０に設けられた係止部４０ａに対向させたうえでミラー部材４１を可動部４０に装着する。
【００５３】
この時、ミラー部材４１は裏面に設けられた円柱状の突出部４１ａを軸に回転可能な状態となっており、次いでミラー部材４１を図４（ａ）に示す矢印の方向へ回転させてミラー部材４１外周の突出部４１ｃを可動部４０の係止部４０ａに当接した状態とする。これにより、ミラー部材４１の外縁部が可動部４０の係止部４０ａ先端（屈曲部４０ｂ）と可動部４０表面との間に挟持された状態となって、ミラー部材４１が可動部４０に取り付けられる。
【００５４】
尚、ミラー部材４１を可動部４０から取り外す際には、ミラー部材４１を装着時とは逆方向へ回転させ、ミラー部材４１外周の突出部４１ｃを可動部４０の反対側の係止部４０ａに当接させたうえで、ミラー部材４１を上方よりピックアップして取り外す。
【００５５】
この時、ミラー部材４１外周の突出部４１ｃが可動部４０の係止部４０ａに当接した状態では、ミラー部材４１外周の切欠部４１ｂが自動的に可動部４０の係止部４０ａと対向した状態となっているため、ミラー部材４１の取り外し位置への位置決めが容易に成され、ミラー部材４１の取り外しが簡単に行える。
【実施例５】
【００５６】
図５は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部周辺の上面図、（ｂ）可動部周辺の側面図である。本実施例５では、前記実施例４と同様に可動部５０の平坦面（表面）上に先端がＬ字型に屈曲した係止部５０ａが一体的に形成されており、係止部５０ａ先端のＬ字型に屈曲した屈曲部５０ｂと可動部５０の平坦面との間に、略円形のミラー部材５１が挟持されている。
【００５７】
ミラー部材５１の裏面中央には、下方へ向かって伸びる円柱状の突出部５１ａが一体的に形成されており、可動部５０にはその円柱状の突出部５１ａの外形に倣った円形の貫通穴５０ｃが設けられている。ミラー部材５１裏面の突出部５１ａは、可動部５０に設けられた貫通穴５０ｃに挿通され、ミラー部材５１は自身が有する円柱状の突出部５１ａを軸として可動部５０に対し回転可能となっている。
【００５８】
更に、ミラー部材５１外周には、ミラー部材５１の回転軸を中心として互いに対向する位置に、ミラー部材５１の径方向外側へ向かって突出した２つの突出部５１ｂが一体的に形成されており、それら突出部５１ｂは可動部５０の平坦面上に設けられた係止部５０ａに係合している。
【００５９】
尚、ミラー部材５１の可動部５０への取り付け方法は実施例４と同様であり、ミラー部材５１を可動部５０に取り付ける際にはミラー部材５１裏面の突出部５１ａを可動部５０の貫通穴５０ｃに挿通させたうえでミラー部材５１を図５（ａ）に示す矢印の方向へ回転させ、ミラー部材５１外周の突出部５１ｂを可動部５０に設けられた係止部５０ａに係合させる。
【実施例６】
【００６０】
図６は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す図で、（ａ）可動部周辺の上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図である。本実施例６では、円形のミラー部材６０の外周部に可動部６１側（下方）へ向かって突出した一対の係止部６０ａが一体的に形成され、一方で可動部６１の外周部には係止部６０ａに対応した位置に一対の切欠部６１ａが設けられている。また、ミラー部材６０の裏面中央には円柱状の突出部６０ｂが一体的に形成され、その位置に対応した可動部６１の中央には突出部６０ｂの外形に倣った円形の貫通穴６１ｂが設けられている。
【００６１】
ミラー部材６０の裏面中央に設けられた円柱状の突出部６０ｂは、可動部６１の中央に設けられた円形の貫通穴６１ｂに挿通されており、ミラー部材６０は円柱状の突出部６０ｂを軸として回転可能となっている。
【００６２】
ミラー部材６０を可動部６１に取り付ける際には、まずミラー部材６０を可動部６１へ向けて降下させてミラー部材６０の裏面中央に設けられた突出部６０ｂの先端を可動部６１中央の貫通穴６１ｂに挿通させると同時に、ミラー部材６０の外周に設けられた一対の係止部６０ａを可動部６１の外周に設けられた一対の切欠部６１ａに係合させた状態にする。この状態において、ミラー部材６０は突出部６０ｂを軸として回転可能となっており、次いでミラー部材６０を図６（ａ）に示す矢印の方向へ回転させて係止部６０ａの先端を可動部６１の側端部裏面側へ係止させてミラー部材６０を可動部６１に固定する。
【００６３】
尚、可動部６１外周の切欠部６１ａは、可動部６１外周上の任意の位置に設ければよいが、本実施例の如くトーションバー６２に隣接した位置に設ければ、トーションバー６２がミラー部材６０の回転範囲を規制する規制部材（突起部）としての役割を果たし、ミラー部材６０を係止部６０ａがトーションバー６２に当接する位置まで回転させた時点で自動的にミラー部材６０の着脱位置となるようにすることができる。
【００６４】
また、本実施例ではミラー部材６０の裏面に設けられた突出部６０ｂを係止部６０ａの長さよりも長く形成してあるため、ミラー部材６０を可動部６１に取り付ける際に、先に突出部の先端を可動部の貫通穴に挿通させてミラー部材６０を可動部６１に仮留めすることができ、その後の係止部と切欠部との位置決め作業が容易に行える。
【実施例７】
【００６５】
図７は、本発明によるプレーナー型アクチュエータの他の実施形態を示す可動部周辺の斜視図である。本実施例７では、前述の図３に示した実施例３とは逆に可動部７０に円柱状の係止部７０ａを設け、それに対応する形状の貫通穴７１ａをミラー部材７１に設けている。可動部７０に設けられた円柱状の係止部７０ａはミラー部材７１に設けられた貫通穴７１ａに挿通され、その状態でミラー部材７１を図中矢印の方向へ回転させることで係止部７０ａの先端（屈曲部７０ｂ）がミラー部材７１の表面に係止されてミラー部材７１が可動部７０に固定されている。
【００６６】
本実施例においてミラー部材７１は略矩形状をしており、その角部には平坦面と傾斜面とを有する２つの切欠部７１ｂ、７１ｃが設けられ、また一方で可動部７０の角部にはミラー部材７１の回転範囲を規制する角柱状の突起部７０ｃ、７０ｄが設けられている。可動部７０に設けられた２つの突起部７０ｃ、７０ｄのうち一方の突起部７０ｃは、ミラー部材７１が可動部７０に取り付けられた状態において、ミラー部材７１に設けられた切欠部７１ｂの平坦面に当接した状態となっており、これによりミラー部材７１の回転方向の位置決めが成されている。尚、切欠部７１ｂの傾斜面は、ミラー部材７１を図中矢印の方向へ回転させた時にミラー部材７１の側端部が可動部７０の突起部７０ｃに不要に接触しないようにするための逃げである。
【００６７】
また、可動部７０に設けられた２つの突起部７０ｃ、７０ｄのうちもう一方の突起部７０ｄは、ミラー部材７１を可動部７０から取り外す際に位置決めするためのもので、ミラー部材７１を図中矢印とは反対の方向へ回転させた時にミラー部材７１の一側面７１ｄに当接するように構成されている。このように突起部７０ｄがミラー部材７１の一側面７１ｄに当接した状態においては、ミラー部材７１に設けられた貫通穴７１ａの拡張部位（係止部の先端が挿通される部位）が係止部７０ａの先端（屈曲部７０ｂ）と対向する位置にあるため、ミラー部材７１を簡単に取り外すことができる。
【００６８】
尚、係止部７０ａは可動部７０平坦面上のどの位置に設けてもよいが、ミラー部材７１の平坦面中央をミラー面として使用することを考えると、本実施例の如く可動部７０の平坦面中央よりも可動部７０の周縁部寄りに配置するのが好ましい。
【００６９】
以上説明した実施例３〜７のようにミラー部材を回転させて可動部へ取り付ける構成の場合には、ミラー部材を可動部に固定した後にミラー部材が不要に回転して可動部から脱落しないように、ミラー部材と可動部とが接触した任意の個所に接着剤を塗布しても良い。この場合、接着剤はミラー部材が回転しないよう止めておくのに必要十分な極少量で良いため、ミラー部材を取り外す際の妨げにはならない。
【００７０】
また、実施例４〜６のようにミラー部材の裏面に設けた突出部を回転軸として構成する場合には、突出部は必ずしも可動部を貫通する長さである必要はなく、突出部を可動部の厚さより短く形成すると共にそれに合せて可動部の貫通穴を凹状の穴部として構成しても良い。
【００７１】
以上の実施形態では、可動部にコイルパターンを形成し、ミラー部材の周辺に設置した静磁界発生手段（例えば永久磁石）との間に作用する磁力的な相互作用によりミラー部材を駆動させているが、それとは逆に可動部に薄膜磁石等の静磁界発生手段を設け、ミラー部材周辺に設置した電磁石との間で駆動力を発生させるようにしても良い。また、駆動力の発生手段についてはこれらに限定されるものではなく、可動部を静電気力で駆動させる構成としても良い。
【００７２】
本発明の技術思想は一次元駆動型のプレーナー型アクチュエータに限定されず、二次元以上の駆動を行う種々のプレーナー型アクチュエータにも適用が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００７３】
【図１】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）可動部周辺の斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）下面図、（ｄ）可動部の上面図（実施例１）
【図２】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）斜視図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）ミラー部材の上面図（実施例２）
【図３】（ａ）可動部周辺の斜視図、（ｂ）下面図、（ｃ）（ｂ）のＡ−Ａ’断面図、（ｄ）ミラー部材の斜視図（実施例３）
【図４】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）側面図（実施例４）
【図５】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）側面図（実施例５）
【図６】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図、（ｃ）（ａ）のＢ−Ｂ’断面図（実施例６）
【図７】本発明によるプレーナー型アクチュエータを示す可動部周辺の斜視図（実施例７）
【図８】フレーム部に可動部と梁部を一体的に形成した従来のプレーナー型アクチュエータを示す図で、（ａ）上面図、（ｂ）（ａ）のＡ−Ａ’断面図
【図９】ミラー部材を別体として構成した従来のプレーナー型アクチュエータを示す斜視図
【符号の説明】
【００７４】
１      フレーム部
２      可動板
３      トーションバー
４      コイルパターン
５      ミラー面
６      永久磁石
７      可動部
８      ミラー部材
１０    フレーム部
１１    トーションバー
１２    可動部
１２ａ  切欠部
１３    コイルパターン
１４    電極パッド
１５    ミラー面
１６    ミラー部材
１６ａ  係止部
１６ｂ  屈曲部
１６ｃ  傾斜面
２０    可動部
２０ａ  係止部
２０ｂ  屈曲部
２１    ミラー部材
２１ａ  切欠部
２２    トーションバー
３０    ミラー部材
３０ａ  係止部
３０ｂ  屈曲部
３１    可動部
３１ａ  貫通穴
３１ｂ  突起部
４０    可動部
４０ａ  係止部
４０ｂ  屈曲部
４０ｃ  貫通穴
４１    ミラー部材
４１ａ  突出部
４１ｂ  切欠部
４１ｃ  突出部
５０    可動部
５０ａ  係止部
５０ｂ  屈曲部
５０ｃ  貫通穴
５１    ミラー部材
５１ａ  突出部
５１ｂ  突出部
６０    ミラー部材
６０ａ  係止部
６０ｂ  突出部
６１    可動部
６１ａ  切欠部
６１ｂ  貫通穴
６２    トーションバー
７０    可動部
７０ａ  係止部
７０ｂ  屈曲部
７０ｃ  突起部
７０ｄ  突起部
７１    ミラー部材
７１ａ  貫通穴
７１ｂ  切欠部
７１ｃ  切欠部
７１ｄ  一側面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
2007272140.tif 000008
【図７】
2007272140.tif 000009
【図８】
2007272140.tif 000010
【図９】
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