(57)【要約】【課題】入力振動の周波数に応じて磁力発生手段により第２の副液室の隔壁の一部を構成するダイヤフラムを拘束及び解放し、かつダイヤフラムを軽量で高い耐久性のものにする。【解決手段】防振装置１０では、第２副液室１０６の隔壁の一部を形成する第２ダイヤフラム９８の面方向に沿った中央側の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、この磁性領域の外周側が非磁性の弾性領域とされている。従って、防振装置１０では、磁力発生手段である電磁石１０８が、シェイク振動の入力時に電磁気的な吸着力を第２ダイヤフラム９８の磁性領域に作用させれば、第２ダイヤフラム９８の拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また電磁石１０８が、アイドル振動の入力時に第２ダイヤフラム９８の磁性領域へ電磁気的な吸着力を作用させることを中止すれば、第２ダイヤフラム９８がコア１１０から離間して拡縮方向に沿って変形可能になる。【選択図】図１
2007231972.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、
振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、
前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、
液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、
液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第１の副液室と、
液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第２の副液室と、
前記主液室と前記第１の副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、
前記主液室と前記第２の副液室とを互いに連通すると共に、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、
前記第２の副液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、該第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされた膜状のダイヤフラムと、
所定周波数の振動入力時に電磁気的な吸着力を前記磁性領域に作用させて、前記ダイヤフラムの前記拡縮方向に沿った変形を拘束する磁力発生手段と、
を有することを特徴とする防振装置。
【請求項２】
振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、
振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、
前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、
液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、
液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第１の副液室と、
液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第２の副液室と、
前記主液室と前記第１の副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、
前記主液室と前記第２の副液室とを互いに連通すると共に、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、
前記第２の副液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、該第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされた膜状のダイヤフラムと、
所定周波数の振動入力時に前記磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により前記ダイヤフラムの前記拡縮方向に沿った変形を拘束し、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を前記磁性領域に作用させて、前記ダイヤフラムを解放する磁力発生手段と、
有することを特徴とする防振装置。
【請求項３】
前記メンブランは、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースゴムと、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性ゴムとを、積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に加硫して成形された２色成形ゴムシートであることを特徴とする請求項１又は２記載の防振装置。
【請求項４】
前記磁性ゴムが表裏面で互いに異なる極性の磁極を有することを特徴とする請求項３記載の防振装置。
【請求項５】
前記ダイヤフラムにおける面方向に沿った中央部が前記磁性領域とされると共に、該磁性領域の外周側の環状の領域が前記弾性領域とされたことを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項記載の防振装置。
【請求項６】
振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、
振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、
前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、
液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、
液体が封入され、隔壁の一部がダイヤフラムにより形成されて内容積が拡縮可能とされた副液室と、
前記主液室と前記副液室とを互いに連通する制限通路と、
前記主液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、前記主液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ弾性変形可能とされた膜状のメンブランと、
所定周波数の振動入力時に磁気的な吸着力により前記磁性領域を吸着して、前記メンブランの前記拡縮方向に沿った変形を拘束する磁力発生手段と、
を有することを特徴とする防振装置。
【請求項７】
振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、
振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、
前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、
液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、
液体が封入され、隔壁の一部がダイヤフラムにより形成されて内容積が拡縮可能とされた副液室と、
前記主液室と前記副液室とを互いに連通する制限通路と、
前記主液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、前記主液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ弾性変形可能とされた膜状のメンブランと、
所定周波数の振動入力時に前記磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により前記メンブランの前記拡縮方向に沿った変形を拘束し、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を前記磁性領域に作用させて、前記メンブランを解放する磁力発生手段と、
を有することを特徴とする防振装置。
【請求項８】
前記メンブランは、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースゴムと、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性ゴムとを、積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に加硫して成形された２色成形ゴムシートであることを特徴とする請求項６又は７記載の防振装置。
【請求項９】
前記磁性ゴムが表裏面で互いに異なる極性の磁極を有することを特徴とする請求項８記載の防振装置。
【請求項１０】
前記メンブランにおける面方向に沿った中央部が前記磁性領域とされると共に、該磁性領域の外周側の環状の領域が前記弾性領域とされたことを特徴とする請求項６乃至９の何れか１項記載の防振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、自動車、一般産業用機械等に適用され、エンジン等の振動発生部から車体等の振動受部へ伝達される振動を減衰及び吸収する防振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
自動車には、エンジンと車体（フレーム）との間にエンジンマウントとして防振装置が配置されている。このようなエンジンマウントとして適用される防振装置としては、特許文献１に示されている液体封入式のものが知られている。
【０００３】
特許文献１記載の防振装置では、仕切部材に可動ゴム板（メンブラン）が主液室内へ面するように配設されると共に、このメンブランを介して主液室の外側に第１の作用空気室が設けられており、シェイク振動の入力時には第１の作用空気室に大気圧を供給して、メンブランを弾性変形可能とし、またアイドル振動の入力時には第１の作用空気室に負圧を供給して、メンブランの弾性変形を拘束する。
【０００４】
また特許文献１記載の防振装置では、ゴム製の押圧部材（可動壁）を隔壁の一部とする第２の作用空気室と、押圧部材を所定の閉塞方向へ付勢するコイルスプリングとが設けられており、シェイク振動の入力時には、第２の作用空気室に大気圧を供給することにより、押圧部材がコイルスプリングの付勢力により閉塞位置に移動して弁体によりアイドルオリフィスが閉塞され、またアイドル振動の入力時には、第２の作用空気室に負圧を供給することにより、押圧部材がコイルスプリングに抗して開放位置に移動してアイドルオリフィスを開放する。
【０００５】
すなわち、特許文献１記載の防振装置では、入力振動の周波数に応じてメンブランを拘束又は解放すると共に、アイドルオリフィスを開放又は閉塞することにより、アイドル振動よりも高い周波数（高周波振動）の振動入力時に、動バネ定数が上昇することを抑制して高周波振動に対する吸収能力を確保すると共に、シェイクオリフィス及びアイドルオリフィス内に液体を流通させるためのポンプ力にロスが発生することを防止している。
【０００６】
また特許文献１記載の防振装置では、シェイク振動の入力時に弁体によりアイドルオリフィスを閉塞することにより、アイドルオリフィスよりも液体の流通抵抗が大きいシェイクオリフィスを通じて主液室と副液室との間を流通する液体に共振現象（液柱共振）を発生させ、この液柱共振によりシェイク振動を効果的に吸収する。
【０００７】
また防振装置には、主液室及び複数の副液室を有し、主液室がアイドルオリフィスを通して一方の副液室と連通すると共に、シェイクオリフィスを通して他方の副液室と連通するものもある。この防振装置では、シェイク振動の入力時に、一方の副液室における隔壁の一部を構成するダイヤフラムの弾性変形を拘束して副液室の内容積を一定に保つことにより、アイドルオリフィスを実質的に閉塞状態とし、シェイクオリフィスを通じて主液室と副液室との間を流通する液体に液柱共振）を発生させる。
【０００８】
またエンジンマウントとして適用される防振装置としては、特許文献２に示されている液体封入式のものも知られている。特許文献２記載の防振装置は、ゴム製の弾性体及び可動壁をそれぞれ内壁の一部とする主液室と、ダイヤフラムを隔壁の一部として内容積が拡縮可能とされた副液室と、主液室と副液室とを互いに連通させるオリフィス通路と、可動壁を入力振動に同期して作動させる磁力発生手段とを備えている。この防振装置では、磁力発生手段により可動壁を入力振動の周波数（被減衰周波数）に同期して作動（振動）させ、主液室内で被減衰振動と逆位相の脈動を発生させることにより、主液室内の液圧変動が抑制されて入力振動の車体への伝達が低減される。また、このような防振装置には、低周波振動の入力時に、低周波振動に対応するオリフィス通路に液体を流通させるポンプ力となる主液室内の液圧変化の低下を防止するため、可動壁を磁力発生手段からの磁力により拘束するものもある。
【０００９】
ところで、特許文献１に記載されているような防振装置を自動車等の車両へ適用した場合、インテークマニホールド等の負圧源からの負圧（減圧空気）の供給量が限られたものであり、また将来的にはモータからの駆動力のみにより走行する車両の普及も予想されることから、電力を利用して主液室のメンブランを拘束及び解放でき、又はアイドルオリフィスの開閉を制御できる防振装置に対する要求が今後、高くなっていくことが予想される。
【００１０】
それに対し、特許文献２に記載されているような防振装置では、電力により作動する電磁石等の磁力発生手段からの磁力によりメンブラン及び副液室の隔壁を構成するダイヤフラムを拘束及び解放することが可能になるが、メンブラン及びダイヤフラムとしてゴムシートの中央部に金属部材が連結されたものや、金属部材の外周面に環状のゴム部材が固着されたものを用いると、メンブラン及びダイヤフラムの構造が複雑になって製造コストが高いものになると共に、メンブラン及びダイヤフラムの着磁部（金属部材）の質量が大きくなることから、磁力発生手段として強い磁力を発生できる大パワーのものを用いる必要があり、磁力発生手段の製造コスト及び消費電力が高いものになる。
【００１１】
上記のような問題を解決するため、本出願の発明者等は、ゴムマトリックス中に磁性粉体が分散されたゴム磁石（例えば、特許文献３参照）によりシート状のメンブラン及びダイヤフラムを成形し、このメンブラン及びダイヤフラムを電磁石等の磁力発生手段により拘束及び解放する防振装置の製造を検討した。
【００１２】
しかしながら、既存のゴム磁石のみを素材としてゴムシートを成形し、このゴムシートを防振装置におけるメンブラン又はダイヤフラムとして用いた場合、ゴムシート中に分散された磁性粉体の影響によりゴムシート（可動壁）が脆化して十分な可撓性が得られず、可動壁における曲げ応力が断続的に加わる部分に早期に割れが発生し、メンブラン及びダイヤフラムとして十分な耐久性が得られないという問題が生じた。
【特許文献１】特開２００５−２３９７４号公報
【特許文献２】特開平９−２５９８５号公報
【特許文献３】特開２００４−２１０９９９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１３】
本発明の第１の目的は、上記事実を考慮して、入力振動の周波数に応じて磁力発生手段により第２の副液室の隔壁の一部を構成するダイヤフラムを拘束及び解放でき、しかもダイヤフラムを軽量で高い耐久性のものにできる防振装置を提供することにある。
【００１４】
本発明の第２の目的は、上記事実を考慮して、入力振動の周波数に応じて磁力発生手段からの磁力により主液室の隔壁の一部を構成するメンブランを拘束及び解放でき、しかもメンブランを軽量で高い耐久性のものにできる防振装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
上記課題を解決するため、本発明の請求項１に係る防振装置は、振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第１の副液室と、液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第２の副液室と、前記主液室と前記第１の副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、前記主液室と前記第２の副液室とを互いに連通すると共に、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、前記第２の副液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、該第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされた膜状のダイヤフラムと、所定周波数の振動入力時に電磁気的な吸着力を前記磁性領域に作用させて、前記ダイヤフラムの前記拡縮方向に沿った変形を拘束する磁力発生手段と、を有することを特徴とする。
【００１６】
上記請求項１に係る防振装置では、第２の副液室の隔壁の一部を形成するダイヤフラムが、その面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされている。
【００１７】
従って、請求項１に係る防振装置では、磁力発生手段が、所定周波数の振動入力時に電磁気的な吸着力をダイヤフラムの磁性領域に作用させて磁性領域を吸着すれば、ダイヤフラムの拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また磁力発生手段が、所定周波数外の振動入力時にダイヤフラムの磁性領域へ電磁気的な吸着力を作用させることを中止すれば、ダイヤフラムが磁力発生手段から離間して拡縮方向に沿って変形可能になる。
【００１８】
また請求項１に係る防振装置では、ダイヤフラムにおける面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされていることから、磁性領域については磁性粉体等の非ゴム材料が添加されて可撓性が低下するが、弾性領域についてはゴム本来の特性を損なうことなく十分な可撓性を得ることができるので、ダイヤフラムにおける曲げ応力が断続的に加わる部分を弾性領域により構成すれば、曲げ応力によりダイヤフラムに割れ等の損傷が発生することを長期間に亘って防止でき、ダイヤフラムの耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のダイヤフラムと比較し、ダイヤフラムを軽量化できる。
【００１９】
また請求項２に係る防振装置は、振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第１の副液室と、液体が封入された内容積が拡縮可能とされた第２の副液室と、前記主液室と前記第１の副液室とを互いに連通する第１の制限通路と、前記主液室と前記第２の副液室とを互いに連通すると共に、前記第１の制限通路よりも液体の流通抵抗が小さい第２の制限通路と、前記第２の副液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、該第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされた膜状のダイヤフラムと、所定周波数の振動入力時に前記磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により前記ダイヤフラムの前記拡縮方向に沿った変形を拘束し、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を前記磁性領域に作用させて、前記ダイヤフラムを解放する磁力発生手段と、有することを特徴とする。
【００２０】
上記請求項２に係る防振装置では、第２の副液室の隔壁の一部を形成するダイヤフラムが、その面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、第２の副液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされている。
【００２１】
従って、請求項２に係る防振装置では、磁力発生手段が、所定周波数の振動入力時にダイヤフラムの磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により磁性領域を吸着すれば、ダイヤフラムの拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また磁力発生手段が、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を磁性領域に作用させてダイヤフラムを離間させれば、ダイヤフラムが磁力発生手段から解放されて拡縮方向に沿って変形可能になる。
【００２２】
また請求項２に係る防振装置では、ダイヤフラムにおける面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされていることから、請求項１に係る防振装置と同様に、ダイヤフラムの耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のダイヤフラムと比較し、ダイヤフラムを軽量化できる。
【００２３】
また請求項３に係る防振装置は、請求項１記載の防振装置において、前記メンブランは、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースゴムと、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性ゴムとを、積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に加硫して成形された２色成形ゴムシートであることを特徴とする。
【００２４】
また請求項４に係る防振装置は、請求項３記載の防振装置において、前記磁性ゴムが表裏面で互いに異なる極性の磁極を有することを特徴とする。
【００２５】
また請求項５に係る防振装置は、請求項１乃至４の何れか１項記載の防振装置において、前記ダイヤフラムにおける面方向に沿った中央部が前記磁性領域とされると共に、該磁性領域の外周側の環状の領域が前記弾性領域とされたことを特徴とする。
【００２６】
本発明の請求項６に係る防振装置は、振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、液体が封入され、隔壁の一部がダイヤフラムにより形成されて内容積が拡縮可能とされた副液室と、前記主液室と前記副液室とを互いに連通する制限通路と、前記主液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、前記主液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ弾性変形可能とされた膜状のメンブランと、所定周波数の振動入力時に磁気的な吸着力により前記磁性領域を吸着して、前記メンブランの前記拡縮方向に沿った変形を拘束する磁力発生手段と、を有することを特徴とする。
【００２７】
上記請求項６に係る防振装置では、主液室の隔壁の一部を形成するメンブランが、その面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、主液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされている。
【００２８】
従って、請求項６に係る防振装置では、磁力発生手段が、所定周波数の振動入力時に電磁気的な吸着力をメンブランの磁性領域に作用させて磁性領域を吸着すれば、メンブランの拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また磁力発生手段が、所定周波数外の振動入力時にメンブランの磁性領域へ電磁気的な吸着力を作用させることを中止すれば、メンブランが磁力発生手段から離間して拡縮方向に沿って変形可能になる。
【００２９】
また請求項６に係る防振装置では、メンブランにおける面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされていることから、磁性領域については磁性粉体等の非ゴム材料が添加されて可撓性が低下するが、弾性領域についてはゴム本来の特性を損なうことなく十分な可撓性を得ることができるので、メンブランにおける曲げ応力が断続的に加わる部分を弾性領域により構成すれば、曲げ応力によりメンブランに割れ等の損傷が発生することを長期間に亘って防止でき、メンブランの耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のメンブランと比較し、メンブランを軽量化できる。
【００３０】
また請求項７に係る防振装置は、振動発生部及び振動受部の一方に連結される第１の取付部材と、振動発生部及び振動受部の他方に連結される第２の取付部材と、前記第１の取付部材と前記第２の取付部材との間に配置された弾性体と、液体が封入され、前記弾性体を内壁の一部として該弾性体の変形に伴い内容積が変化する主液室と、液体が封入され、隔壁の一部がダイヤフラムにより形成されて内容積が拡縮可能とされた副液室と、前記主液室と前記副液室とを互いに連通する制限通路と、前記主液室の隔壁の一部を形成し、面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、前記主液室の内容積を拡縮する拡縮方向へ弾性変形可能とされた膜状のメンブランと、所定周波数の振動入力時に前記磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により前記メンブランの前記拡縮方向に沿った変形を拘束し、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を前記磁性領域に作用させて、前記メンブランを解放する磁力発生手段と、を有することを特徴とする。
【００３１】
上記請求項７に係る防振装置では、主液室の隔壁の一部を形成するメンブランが、その面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされ、メンブランの内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされている。
【００３２】
従って、請求項７に係る防振装置では、磁力発生手段が、所定周波数の振動入力時にメンブランの磁性領域との間に生じる磁気的な吸着力により磁性領域を吸着すれば、メンブランの前記拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また磁力発生手段が、所定周波数外の振動入力時に電磁気的な反発力を磁性領域に作用させてメンブランを離間させれば、メンブランが磁力発生手段から解放されて拡縮方向に沿って変形可能になる。
【００３３】
また請求項７に係る防振装置では、請求項６に係る防振装置と同様に、メンブランにおける面方向に沿った一部の領域が磁性を有する磁性領域とされると共に、残りの領域が非磁性の弾性領域とされていることから、メンブランの耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のメンブランと比較し、メンブランを軽量化できる。
【００３４】
また請求項８に係る防振装置は、請求項６又は７記載の防振装置において、前記メンブランは、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースゴムと、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性ゴムとを、積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に加硫して成形された２色成形ゴムシートであることを特徴とする。
【００３５】
また請求項９に係る防振装置は、請求項８記載の防振装置において、前記磁性ゴムが表裏面で互いに異なる極性の磁極を有することを特徴とする。
【００３６】
また請求項１０に係る防振装置は、請求項６乃至９の何れか１項記載の防振装置において、前記メンブランにおける面方向に沿った中央部が前記磁性領域とされると共に、該磁性領域の外周側の環状の領域が前記弾性領域とされたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００３７】
以上説明したように本発明の請求項１乃至５の何れか１項に係る防振装置によれば、入力振動の周波数に応じて磁力発生手段により第２の副液室の隔壁の一部を構成するダイヤフラムを拘束及び解放でき、しかもダイヤフラムを軽量で高い耐久性のものにできる。
【００３８】
また本発明の請求項６乃至１０の何れか１項に係る防振装置によれば、入力振動の周波数に応じて磁力発生手段からの磁力により主液室の隔壁の一部を構成するメンブランを拘束及び解放でき、しかもメンブランを軽量で高い耐久性のものにできる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３９】
以下、本発明の実施形態に係る防振装置について図面を参照して説明する。
[第１の実施形態]
（防振装置の構成）
図１及び図２には、本発明の第１の実施形態に係る防振装置が示されている。この防振装置１０は、自動車等の車両における振動発生部であるエンジンを振動受部である車体へ支持するエンジンマウントとして適用されるものである。なお、図１にて符合Ｓが付された一点鎖線は装置の軸心を示しており、この軸心Ｓに沿った方向を装置の軸方向として以下の説明を行う。
【００４０】
図１に示されるように、防振装置１０には、その上端部に肉厚円板状の取付金具１２が配置されると共に、この取付金具１２の下側に薄肉円筒状の外筒部材２０が同軸的に配置されている。取付金具１２には、その上面中央部にボルト軸１４が軸心Ｓに沿って下方へ突出するように溶接等により固着されると共に、下面中央部に円錐台状のインサート部１６が下方へ突出するように形成されている。取付金具１２は、ボルト軸１４を介して車両におけるエンジン側に連結固定される。
【００４１】
外筒部材２０は、その内径が取付金具１２の外径よりも大径とされており、後述する底板部材５０を介して車体側へ連結固定される。外筒部材２０には、上端側に上方へ向って内外径がテーパ状に拡大する拡径部２２が形成されると共に、この拡径部２２の下側に内外径が略一定とされた円筒部２４が形成されている。この円筒部２４には、その下端部に外周側へ延出するフランジ状の延出部２６が一体的に形成されている。また外筒部材２０には、延出部２６を介して円筒部２４の下側に円筒部２４よりも大径円筒状のかしめ部２８が形成されている。
【００４２】
防振装置１０には、取付金具１２と外筒部材２０との間に吸振主体となるゴム弾性体３０が配置されている。ゴム弾性体３０は、下端側から上端側へ向かってテーパ状に外径が縮径する略円錐台状に形成されており、その上端面が取付金具１２及びインサート部１６の下面側に加硫接着されると共に、下端側の外周部が外筒部材２０の拡径部２２の内周側に加硫接着されている。これにより、取付金具１２と外筒部材２０とはゴム弾性体３０により弾性的に連結される。
【００４３】
ゴム弾性体３０には、その下面中央部に略円錐台状の凹部３２が形成されている。またゴム弾性体３０には、その下端部から下方へ延出する薄肉筒状の被覆部３４が一体的に形成されており、この被覆部３４は、円筒部２４の内周面全体に加硫接着されると共に、延出部２６の下面における内周端部から径方向中間部までの領域に加硫接着されている。
【００４４】
防振装置１０には、外筒部材２０の内周側に略円柱状の仕切部材３６が嵌挿されている。仕切部材３６には、上端側に略有底円筒状に形成された本体部３８が設けられると共に、この本体部３８の下面中央部に円形凹状の液室形成部４０が形成されている。また仕切部材３６には、本体部３８の下端部から外周側へ延出するフランジ部４２が一体的に形成されると共に、このフランジ部４２の下面外周側に周方向へ延在する嵌挿溝４４が全周に亘って形成されている。
【００４５】
仕切部材３６は、本体部３８を外筒部材２０における円筒部２４の内周側に嵌挿し、本体部３８の外周面を円筒部２４に加硫接着された被覆部３４へ圧接させている。また仕切部材３６は、被覆部３４を介してフランジ部４２の上面側を延出部２６の下面内周側へ圧接させている。これにより、外筒部材２０における下端側が仕切部材３６により閉塞され、外筒部材２０内には、ゴム弾性体３０における凹部３２内面と仕切部材３６の上面部との間に外部から区画された空間が形成される。この空間は、水、エチレングリコール等の液体が充填されてゴム弾性体３０を内壁の一部とする主液室４６とされる。
【００４６】
防振装置１０は、外筒部材２０における延出部２６に連結固定される底板部材５０を備えている。この底板部材５０には、下端側に有底円筒状の気室形成部５２が設けられると共に、この気室形成部５２の上端部から外周側へ延出する段差部５４を介して、気室形成部５２よりも大径の円筒状とされたホルダ部５６が一体的に形成されている。また底板部材５０には、ホルダ部５６の上端部から外周側へ延出するフランジ状の連結部５８が一体的に形成されている。
【００４７】
底板部材５０は、連結部５８を外筒部材２０におけるかしめ部２８の内周側へ嵌挿し、連結部５８の上面側を外筒部材２０における延出部２６の下面側へ当接させている。防振装置１０では、その組立時に連結部５８が外筒部材２０におけるかしめ部２８の内周側へ嵌挿されると、かしめ部２８の下端部が内周側へ屈曲されることにより、かしめ部２８が底板部材５０の連結部５８に連結固定される。また底板部材５０には、気室形成部５２の底面中央部にボルト軸６０が軸心Ｓに沿って下方へ突出するように溶接等により固着されている。底板部材５０は、ボルト軸６０を介して車両における車体側に連結固定される。
【００４８】
防振装置１０には、仕切部材３６における液室形成部４０の下端側を閉止する第１ダイヤフラム６２が設けられている。この第１ダイヤフラム６２は、ゴム組成物（加硫ゴム）により肉厚の薄い円形シート状に形成されており、その外周端部に内周側よりも肉厚とされ断面形状が略台形状とされた嵌挿部６４が全周に亘って形成されている。また第１ダイヤフラム６２には、中央部が上方へ向って凸状の湾曲形状とされた撓み部６６が形成されており、この撓み部６６は、軸方向に沿った荷重を受けると、この荷重により比較的小さい抵抗で撓み変形するように構成されている。
【００４９】
第１ダイヤフラム６２は、嵌挿部６４が仕切部材３６における嵌挿溝４４内へ嵌挿されるように仕切部材３６に組み付けられた後、嵌挿部６４と撓み部６６との中間部が仕切部材３６のフランジ部４２と底板部材５０の段差部５４との間に挟持される。これにより、第１ダイヤフラム６２は、仕切部材３６における液室形成部４０の下端側を閉止するように仕切部材３６と底板部材５０との間に固定される。これにより、液室形成部４０内には外部から区画された空間が形成され、この空間は主液室４６と同一の液体が充填されて第１副液室６８とされる。第１副液室６８は第１ダイヤフラム６２を隔壁の一部としており、第１ダイヤフラム６２の変形により内容積が拡縮可能とされている。
【００５０】
第１ダイヤフラム６２は、底板部材５０における気室形成部５２の上端側を閉止している。これにより、気室形成部５２内には外部から区画された空間が形成され、この空間は第１ダイヤフラム６２を第１副液室６８の拡縮方向へ変形可能とするための第１空気室７０とされている。第１空気室７０は、気室形成部５２の周壁部に穿設された吸排気穴７２を通して装置の外部空間と連通している。
【００５１】
仕切部材３６の本体部３８には、外周面の下端部に周方向へ延在する周溝７４が凹状に形成されている。この周溝７４は断面形状が軸方向へ細長い矩形状に形成されており、本体部３８の外周面に１周近くに亘って延在している。また本体部３８の外周面には、周溝７４の一端部と本体部３８の上端面との間に延在する連通溝７６が形成されると共に、周溝７４の他端部と液室形成部４０の内周面との間を貫通する連通穴７８が穿設されている。
【００５２】
防振装置１０では、周溝７４及び連通溝７６の外周側がそれぞれ被覆部３４を介して外筒部材２０の内周面により閉塞されることにより、周溝７４、連通溝７６及び連通穴７８により主液室４６と第１副液室６８とを連通させる細長い空間であるシェイクオリフィス８０が形成される。このシェイクオリフィス８０は、その路長及び断面積、すなわち液体の流通抵抗が車両における低周波域振動であるシェイク振動（例えば、８〜１２Ｈｚ）に対応するようにチューニングされている。
【００５３】
仕切部材３６の本体部３８には、上面中央部に円形の嵌挿凹部８２が形成されており、この嵌挿凹部８２内には円筒状のスリーブ部材８４が嵌挿されている。嵌挿凹部８２の内周面には、周方向へ延在する周溝８６が凹状に形成されている。この周溝８６は断面形状が軸方向へ細長い矩形状に形成されており、その断面積が外周側の周溝７４の断面積よりも大きく、かつ周長が周溝７４の周長よりも短くなっている。また嵌挿凹部８２の内周面には、周溝８６の一端部と本体部３８の上端面との間に延在する連通溝８８が形成されると共に、周溝７４の他端部と嵌挿凹部８２の底面部との間を貫通する連通穴９０が穿設されている。
【００５４】
スリーブ部材８４は、仕切部材３６の嵌挿凹部８２内へ嵌挿され、その外周面により周溝８６の内周側を閉塞している。これにより、周溝８６、連通溝８８及び連通穴９０により主液室４６と後述する第２副液室１０６とを連通させる細長い空間であるアイドルオリフィス９２が形成される。このアイドルオリフィス９２は、その路長及び断面積、すなわち液体の流通抵抗が車両における中周波域振動であるアイドル振動（例えば、１８〜３０Ｈｚ）に対応するようにチューニングされている。
【００５５】
スリーブ部材８４には、その内周側における上端部にゴム組成物により円板状に形成されたメンブラン９４が配設されている。メンブラン９４は、外周面がスリーブ部材８４の内周面に接着、加硫接着等により全周に亘って固着されている。これにより、スリーブ部材８４の内周側には、上端側がメンブラン９４により閉塞されると共に、下端側が嵌挿凹部８２の底面部により閉塞された円柱状の空間が形成される。また嵌挿凹部８２の底面中央部には円形凹状の液室形成部９６が形成されており、この液室形成部９６の内径はスリーブ部材８４の内径と一致している。
【００５６】
仕切部材３６には、スリーブ部材８４の下端面と嵌挿凹部８２の底面部との間に第２ダイヤフラム９８が配置されている。この第２ダイヤフラム９８は、本発明に係る２色成形ゴムシートにより円形シート状に形成されており、図３に示されるように、その外周端部に上下方向へそれぞれ突出する嵌挿部１００が全周に亘って一体的に形成されている。第２ダイヤフラム９８には、中央部が上方へ向って凸状の湾曲形状とされて、この凸状の湾曲部分の外周側が軸方向へ撓み変形可能な撓み部１０２とされている。この撓み部１０２は、軸方向に沿った荷重を受けると、この荷重により比較的小さい抵抗で撓み変形するように構成されている。一方、スリーブ部材８４の下端面及び嵌挿凹部８２の底面外周部には、第２ダイヤフラム９８の嵌挿部１００に対応する環状の溝部１１８、１１９がそれぞれ形成されている。
【００５７】
第２ダイヤフラム９８は、その外周縁部がスリーブ部材８４の下端面と嵌挿凹部８２の底面外周部との間に挟持されると共に、嵌挿部１００が溝部１１８、１１９内へ嵌挿されている。これにより、図１に示されるように、スリーブ部材８４の内周側の空間は、第２ダイヤフラム９８によりメンブラン９４側の小空間である第２空気室１０４と液室形成部９６側の小空間である第２副液室１０６とに区画される。ここで、第２副液室１０６は主液室４６と同一の液体が充填されると共に、アイドルオリフィス９２を通して主液室４６に連通している。また第２空気室１０４は、スリーブ部材８４、仕切部材３６及び外筒部材２０をそれぞれ径方向へ貫通する吸排気穴（図示省略）を通して装置外部の空間に連通している。
【００５８】
第２ダイヤフラム９８は、図３に示されるように、面方向に沿った中央側に位置する円形の領域が磁性を有する磁性領域Ｍとされると共に、この磁性領域Ｍの外周側に位置する円環状（ドーナッツ状）の領域が非磁性の弾性領域Ｅとされている。磁性領域Ｍは、その直径が後述する電磁石１０８のコア１１０の直径よりも若干長くなっている。
【００５９】
ここで、第２ダイヤフラム９８は、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースシート１１４と、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性シート１１６とが接合されて一体化（２色成形）されたものである。磁性シート１１６は薄肉円板状に形成されており、表裏面で互いに異なる極性の磁極を有するように着磁されている。本実施形態では、磁性シート１１６は、図３に示されるように、電磁石１０８側の表面部が＋極とされ、反対側の裏面部が−極の極性を有するように着磁されている。
【００６０】
第２ダイヤフラム９８では、磁性領域Ｍが磁性シート１１６及びベースシート１１４が積層されて構成され、弾性領域Ｅがベースシート１１４のみにより構成されている。磁性領域Ｍは、ゴムマトリックス中に高硬度の磁性粉体が分散されていることから、ベースシート１１４と比較して硬いものになっており、断続的に曲げ応力を受けた場合には、亀裂等の損傷が短時間で発生し易く、また弾性的に変形可能な最大量も小さいものになっている。一方、ベースシート１１４は、ゴムマトリックス中に磁性粉体等の異物を含まない加硫ゴムにより形成され、高い弾性及び柔軟性を有していることから、磁性シート１１６と比較して、断続的に曲げ応力を受けても亀裂等の損傷が長期的に発生せず、また弾性的な変形可能な最大量も大きいものになっている。
【００６１】
第２ダイヤフラム９８は、第２副液室１０６内の液圧変化時に、この液圧変化に従って第２副液室１０６の内容積を拡縮するように弾性変形し、第２副液室１０６内の液圧変化（液圧上昇）を抑制する。このとき、第２ダイヤフラム９８は、磁性領域Ｍを殆ど弾性変形させることなく、主として弾性領域Ｅを軸方向に沿って撓み変形させることにより、第２副液室１０６の内容積を拡縮して液圧上昇を抑制する。
【００６２】
第１空気室７０内には、電磁石１０８が第２ダイヤフラム９８の上面部に対向するように配置されている。電磁石１０８には、中央部に軟鉄等により肉厚円板状に形成されたコア１１０が設けられると共に、このコア１１０の外周側に円環状のコイル１１２が同心状に配置されている。電磁石１０８のコイル１１２は、車両の運転状況を判断して駆動電圧をオン及びオフする制御手段である制御回路１２０に接続されている。制御回路１２０は、少なくとも車両の運転状況を判断する車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４からの検出信号を受け、車速及びエンジン回転数をそれぞれ判断する。制御回路１２０は、車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４からの信号に基づいて、シェイク振動発生時かアイドル振動発生時かの判断、すなわち車両の停止時か走行時かの判断し、この判断に従ってコイル１１２への駆動電圧の通電及び通電停止が制御する。
【００６３】
電磁石１０８は、制御回路１２０による駆動電圧の通電時には、電磁気的な吸引力を第２ダイヤフラム９８における磁性領域Ｍに作用させ、図２に示されるように、コア１１０の下端面に第２ダイヤフラム９８の磁性領域Ｍ付近を吸着する。これにより、第２ダイヤフラム９８が第２副液室１０６の容積拡縮方向へ変形することが拘束され、第２副液室１０６は液圧が変化しても内容積が実質的に一定に維持される。また電磁石１０８は、制御回路１２０による駆動電圧の通電停止時には、電磁気的な吸引力を第２ダイヤフラム９８における磁性領域Ｍに作用させない。これにより、第２ダイヤフラム９８は、図１に示されるように、電磁石１０８から離間した状態に保たれ、第２副液室１０６の容積拡縮方向へ変形可能になる。
【００６４】
（第２ダイヤフラムの構成）
次に、本発明の実施形態に係る第２ダイヤフラム９８の構成について説明する。
【００６５】
第２ダイヤフラム９８におけるベースシート１１４は、天然ゴム、ブチルゴム、シリコンゴム等の各種ゴムの少なくとも一種からなるゴム組成物が加硫されることにより形成されている。また磁性シート１１６は、ベースシート１１４と基本的に同一のゴム組成物を基材（ゴムマトリックス）とし、このゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散されたものが加硫されることにより形成されている。第２ダイヤフラム９８における磁性領域Ｍでは、ベースシート１１４と磁性シート１１６とが厚さ方向に沿って積層された状態で互いに接合されている。
【００６６】
磁性シート１１６のゴム組成物としてブチルゴムを使用する場合には、このブチルゴムは、不飽和度が０．３％以下で、ムーニー粘度ＭＬ1+4（１００℃）が６０以下であることが好ましい。また、ブチルゴムのムーニー粘度ＭＬ１＋４（１００℃）が６０を超えると、柔軟性が低すぎ、磁性粉体と混練する際の加工性が悪くなる。このブチルゴムは、ハロゲン化ブチルゴムを含んでも良く、ハロゲン化ブチルとしては、臭素化ブチルゴム、塩素化ブチルゴムが挙げられる。
【００６７】
また磁性シート１１６のゴム組成物としてシリコンゴムを使用する場合には、シリコンゴムは、常温或いは加熱状態での混練時に低粘度となり、硬化後は高強度となる常温硬化２液型ＲＴＶ（信越化学工業（株）の市販品）等が好ましい。
【００６８】
磁性シート１１６に分散される磁性粉体としては、希土類磁性体粉等の磁気異方性磁性粉体が用いられる。希土類磁性体としては、ＮｄＦｅＢ、ＳｍＦｅＮ等が挙げられる。なお、磁気異方性を発現するものは形状に関係なく、結晶構造により磁気異方性を発現するものであり、大きな保磁力有することで磁石となり得る。これらの磁性粉体は何れも硬質磁性体である。
【００６９】
第２ダイヤフラム９８の磁性領域Ｍ（磁性シート１１６）にゴム磁石シートとするために必要な磁力を得るのに十分な磁性粉体量を確保しつつ、一定の柔軟性を確保するには、磁性粉体の粒径が大きすぎないことが必要である。そのため、磁性粉体は、レーザー回折式粒度分布計で測定した５０％径が７５μｍ以下であることが好ましい。磁性粉体の５０％径が７５μｍを超えると、磁性粉体量を十分に確保した場合、磁性粉体がゴムマトリックス中に均一に入り込まず、磁性シート１１６の強度が低下する。
【００７０】
また、上記磁性粉体は、シランカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。磁性粉体の表面をシランカップリング剤で表面処理することにより、ゴムマトリックス中での磁性粉体の固定が強化されるので、磁力の変動を抑制でき、また磁性シート１１６自体の強度を向上できる。ここで、シランカップリング剤としては、例えばスルフィド系シランカップリング剤である信越化学工業ＫＢＥ−８４６が挙げられる。
【００７１】
さらに、上記磁性粉体は、表面酸化防止剤で表面処理されていることが好ましい。磁性粉体の表面には薄い酸化物層が存在するが、磁性粉体の表面を表面酸化防止剤で表面処理することにより、この磁性粉体の表面酸化の進行に起因する不可逆的な磁力の劣化を抑制することができる。ここで、表面酸化防止剤としては、例えばオルトリン酸が挙げられる。
【００７２】
磁性シート１１６は、磁性粉体の含有量が５０〜７５体積％であることが好ましい。磁性粉体の含有量が５０体積％未満では、磁力が不十分になり、液圧に抗して電磁石１０８の磁力により吸着保持することが困難になる。一方、磁性粉体の含有量が７５体積％を超えると、磁性粉体を固定するためのゴムマトリックスの容積比が不十分になり、隣接する磁性粉体同士が接着せずに存在する部分が生じるため、全体として磁性シート１１６の強度が低下する。
【００７３】
磁性シート１１６と同一材料からなる試験片（ゴムシート）は、ＤＩＮ３規格に準拠した引張試験において、引張速度１００ｍｍ／分での破断強度が１０％以上である。そのため、磁性シート１１６には、断続的に引張応力が加わっても破断が生じ難い。
【００７４】
また磁性シート１１６と同一材料により厚さ０．５ｍｍ以上、幅２ｍｍ、内径２０ｍｍの試験片（筒状体）を作成し、２回／秒の頻度で該筒状体の径方向に１０ｍｍのストロークで圧環する圧環条件で圧環した場合、この筒状体の破壊に至るまでの圧環回数は１００００回以上である。そのため、磁性シート１１６は断続的に曲げ応力が加わっても破壊され難い。
【００７５】
磁性シート１１６は、表面のＪＩＳ  Ｓ  ６０５０硬度が５０〜９０度である。この硬度が５０度未満では、断続的に曲げ応力や引張応力が加わった際に形状を維持することが難しく、９０度を超えると、磁性シート１１６の柔軟性を維持することが難しくなる。
【００７６】
ベースシート１１４及び磁性シート１１６には、カーボンブラック等の補強剤、アロマオイル等の軟化剤、亜鉛華、ステアリン酸、老化防止剤、加硫促進剤及び硫黄等のゴム製品一般に用いられる配合剤を適宜配合することができる。
【００７７】
（第２ダイヤフラムの製造方法）
次に、本発明の実施形態に係る第２ダイヤフラム９８の製造方法を、図５を参照して説明する。
【００７８】
図５（Ａ）に示されるように、未加硫のゴム成分によりシート状に成形されたベースシート１１４及び、磁性粉体が分散された未加硫のゴム成分によりシート状に成形された磁性シート１１６をそれぞれ用意する。ここで、ベースシート１１４及び磁性シート１１６はそれぞれ略円形に形成されている。ベースシート１１４の外径は、第２ダイヤフラム９８の外径に対応するものになり、磁性シート１１６の外径は、第２ダイヤフラム９８における磁性領域Ｍの外径に対応するものになっている。
【００７９】
上記磁性シート１１６は、前述のゴム成分及び磁性粉体を、例えばニーダーやブレンダーを用いて磁性粉体入りのゴムコンパウンドに混練する工程及び、このゴムコンパウンドを、例えば押出機を用いて押出し、あるいはカレンダーを用いて圧延して、所定断面を有する連続シートを作成し、次いで、これを裁断して所定形状及びサイズの磁性シート１１６を成形する磁性シート成形工程を経て製造される。
【００８０】
次に、ベースシート１１４及び磁性シート１１６を素材として第２ダイヤフラム９８を製造する方法について説明する。第２ダイヤフラム９８の製造方法は、ベースシート１１４と磁性シート１１６とを積層状態としてそれぞれのゴム成分が軟化する軟化温度まで昇温しつつ、積層方向に沿ってベースシート１１４と磁性シート１１６とを加圧して互いに接合する接合工程と、軟化温度まで昇温されている磁性シート１１６に積層方向に沿った磁場を印加し、この磁場により磁性シート１１６中の磁性粉体を磁化容易方向に揃える磁場配向工程とを備えている。
【００８１】
第２ダイヤフラム９８の製造方法における接合工程及び磁場配向工程について説明する。ベースシート１１４及び磁性シート１１６は、図５（Ａ）に示されるように、互いに積層状態とされて金型１３０を構成する分割型１３２及び分割型１３４との間にセットされる。一方の分割型１３２には凹状の成形面１３６が形成されており、また他方の分割型１３４には凸状の成形面１３８が形成されており、これらの成形面１３６、１３８は、金型１３０内の中空部であるキャビティ１４０（図５（Ｂ）参照）の内面部を形成する。
【００８２】
図５（Ｂ）に示されるように、分割型１３２、１３４が閉じられて金型１３０を構成することにより、この金型１３０内には第２ダイヤフラム９８の形状に対応するキャビティ１４０が形成され、このキャビティ１４０内には積層状態となったベースシート１１４及び磁性シート１１６が配置される。このとき、ベースシート１１４及び磁性シート１１６は、積層方向に沿って成形面１３６及び成形面１３８により加圧された状態に保持される。
【００８３】
また分割型１３２、１３４は、それぞれヒータ（図示省略）を内蔵しており、これらのヒータに駆動電圧を通電すると、ヒータが発熱してキャビティ１４０内のベースシート１１４及び磁性シート１１６を加熱する。ベースシート１１４及び磁性シート１１６が装填された金型１３０は、図５（Ｂ）に示されるように、積層方向に沿って所定の間隔を空けて配置された一対の電磁石１４２、１４４の間に挿入される。
【００８４】
なお、分割型１３２、１３４にそれぞれ電磁石１４２、１４４を連結し、分割型１３２及び電磁石１４２又は分割型１３４及び電磁石１４４に油圧シリンダ等のアクチュエータにより積層方向（開閉方向）に沿って駆動し、分割型１３２、１３４を開閉するようにしても良い。
【００８５】
接合工程では、分割型１３２、１３４のヒータに通電して発熱させることにより、ベースシート１１４及び磁性シート１１６をゴム成分（ゴムマトリックス）が軟化する軟化温度まで昇温し、この軟化温度で所定時間（例えば、１２０分）に亘って加圧状態に保持する。ここで、軟化温度としては、例えば、ゴム成分がブチルゴムの場合には１２０℃程度に設定される。これにより、ベースシート１１４と磁性シート１１６との加圧面間でゴム分子が相互に拡散する現象が生じ、ベースシート１１４と磁性シート１１６におけるゴムマトリックスが略シームレスな状態となるように接合される。
【００８６】
また磁場配向工程は、前記接合工程でベースシート１１４と磁性シート１１６が軟化温度に達した後に、電磁石１４２、１４４にそれぞれ直流の駆動電圧を通電することにより開始される。駆動電圧が通電された一対の電磁石１４２、１４４は、積層方向に沿って金型１３０内のベースシート１１４と磁性シート１１６に磁場を印加し、ベースシート１１４と磁性シート１１６を軟化温度に維持しつつ磁場印加状態を所定時間（例えば、１２０分）に亘って保持する。これにより、磁性シート１１６中に分散された磁性粉体が磁化容易方向に揃えられる。
【００８７】
図６（Ａ）は、磁場を印加する前の未加硫で軟化温度に昇温された磁性シート１１６における磁性粉体１２８の状態を示している。この状態では、磁性粉体１２８はランダムな方向を向き磁性シート１１６全体としての磁力は略ゼロになる。一方、図６（Ｂ）に示されるように、未加硫で軟化温度に昇温された磁性シート１１６に磁場を印加すると、磁性粉体１２８は容易に向きを変えることができるので、磁場を印加した方向にそれぞれ磁極Ｐの向きを揃えるように回転する。これにより、磁性シート１１６の表裏面に互いに極性が反対の磁極が形成される（磁場配向工程）。
【００８８】
しかし、この状態のまま磁性シート１１６を冷却して磁場を消失させると、隣接する磁性粉体１２８同士が反発し合ってそれぞれの磁性粉体１２８の磁極Ｐの向きは再びランダム化してしまう。
【００８９】
そこで、本実施形態に係る第２ダイヤフラム９８の製造方法は、磁場配向工程を経たベースシート１１４及び磁性シート１１６を積層方向に沿って加圧しつつ、ベースシート１１４及び磁性シート１１６をゴム成分が硬化する温度まで冷却する冷却工程と、この冷却工程により冷却された磁性シート１１６に含まれる磁性粉体を脱磁する脱磁工程と、この脱磁工程を経たベースシート１１４及び磁性シート１１６を加硫温度まで加熱して加硫する加硫工程と、この加硫工程を経た磁性シート１１６に含まれる磁性粉体を着磁して、磁性シート１１６に表裏面で互いに異なる極性の磁極を発現させる着磁工程と、を備えている。
【００９０】
冷却工程では、磁場配向工程を経たベースシート１１４及び磁性シート１１６を金型１３０内に保持し、金型１３０によりベースシート１１４及び磁性シート１１６を積層方向に沿って加圧しつつ、これらのベースシート１１４及び磁性シート１１６をゴム成分が硬化する温度まで冷却することにより、金型１３０からの加圧力により磁性シート１１６に分散された磁性粉体１２８の移動（回転）を拘束しつつ、ゴム成分を硬化できるので、磁場を消失させても磁性シート１１６における磁性粉体１２８の配向が乱れない。
【００９１】
なお、本実施形態では、金型１３０が磁性シート１１６を磁場の方向と平行な積層方向に沿って加圧しているが、金型１３０の成形面１３６、１３８がそれぞれ湾曲していることから、加圧力の一部が磁場と直交する方向に沿った加圧力となった磁性シート１１６に作用する。このように磁場と平行な加圧力に加え、磁場と直交する方向に沿った加圧力を磁性シート１１６に作用させることにより、磁性シート１１６に分散された磁性粉体１２８が移動することを特に効果的に阻止できる。また磁場を印加しつつ、ベースシート１１４と磁性シート１１６を冷却するようにしても良い。
【００９２】
脱磁工程では、冷却工程により冷却された磁性シート１１６に含まれる磁性粉体を脱磁し、磁性シート１１６における磁性粉体１２８の配向がランダム化することを防止する。脱磁工程では、図６（Ｃ）に示されるように、金型１３０内にベースシート１１４と磁性シート１１６を保持しつつ、金型１３０の外周側に配置されたコイル１４６によりベースシート１１４と磁性シート１１６に交流磁界を印加しつつ、この交流磁界を序々に減衰させて最後は略ゼロとする公知の方法により行われる。
【００９３】
加硫工程では、図５（Ｄ）に示されるように、脱磁工程を経たベースシート１１４及び磁性シート１１６を金型１３０内に保持しつつ、分割型１３２、１３４が内臓するヒータ（図示省略）を発熱させてベースシート１１４及び磁性シート１１６ベースシート１１４を所定の加硫温度まで加熱する。これにより、ベースシート１１４及び磁性シート１１６におけるゴム成分がそれぞれ加硫されてベースシート１１４及び磁性シート１１６がそれぞれ機械的及び化学的に安定な状態となる。
【００９４】
最後の着磁工程では、図５（Ｅ）に示されるように、ベースシート１１４及び磁性シート１１６を金型１３０内から離脱させた後、磁性シート１１６に含まれる磁性粉体を着磁して、磁性シート１１６に表裏面で互いに異なる極性の磁極を発現させる。この着磁工程では、加硫工程を経たベースシート１１４及び磁性シート１１６にコイル１４６により直流のパルス磁界を一所定の周期で印加することにより行われる。このとき、磁性シート１１６の磁性粉体１２８が磁場配向工程で磁化容易方向へ配向済みであることから、磁性シート１１６に効率的に高い磁力を付与できる。
【００９５】
第２ダイヤフラム９８の製造方法では、以上説明した接合工程から着磁工程までの一連の工程を経ることにより、磁性シート１１６に表裏面で互いに異なる極性を発現させると共に、その磁力を十分に強いものにできるので、第２ダイヤフラム９８における磁気領域Ｅを十分に強い磁力を有するゴム磁石として構成できる。
【００９６】
なお、例えば、電磁石１０８として高いパワーを有するものを用いることができ、磁性シート１１６に付与する磁力として高い強度が要求されない場合には、上記一連の工程から冷却工程及び脱磁工程を省略し、接合工程及び磁場配向工程がそれぞれ完了したベースシート１１４及び磁性シート１１６に対して加硫工程を行っても良い。この場合、磁性シート１１６に分散された磁性粉体１２８がある程度、ランダム化することは避けられないが、磁性シート１１６には一定の磁力を付与できる。
【００９７】
また電磁石１０８として高いパワーを有するものを用いることができ、この電磁石１０８により第２ダイヤフラム９８を吸着できることのみが要求される場合には、磁性シート１１６に磁性粉体１２８の代わりに磁力により吸着又は反発可能とされた鉄粉等の強磁性体の粉体を分散させるようにして良い。この場合には、上記一連の工程から、磁場配向工程、冷却工程、脱磁工程を省略し、接合工程が完了したベースシート１１４及び磁性シート１１６に対して加硫工程を行うことにより第２ダイヤフラム９８の製造が完了する。
【００９８】
（防振装置及び第２ダイヤフラムの作用）
次に、上記のように構成された本実施形態に係る防振装置１０の動作及び作用を説明する。
【００９９】
取付金具１２が連結されたエンジンが作動すると、エンジンの振動が取付金具１２を介してゴム弾性体３０に伝達される。ゴム弾性体３０は吸振主体として作用し、ゴム弾性体３０の弾性変形に基づく吸振機能によって振動を吸収することができる。さらに、このゴム弾性体３０の変形に伴って、主液室４６の内容積が変化（拡縮）して液圧が変化すると、入力振動の周波数に対応するシェイクオリフィス８０及びアイドルオリフィス９２の何れか一方を選択的に通って主液室４６と副液室６８、１０６との間で液体が行き来する。このとき、副液室６８、１０６は、オリフィス８０、９２を通じた液体の流入及び流出に伴ってダイヤフラム６２、９８が容積拡縮方向へ低い抵抗で変形することにより、その液圧変化が主液室４６の液圧変化に対して十分に小さいものになる。
【０１００】
この結果、防振装置１０では、取付金具１２を介してエンジン側からの振動が伝達されると、ゴム弾性体３０の変形により減衰されるだけでなく、主液室４６と副液室６８、１０６とを互いに連通するオリフィス８０、９２内の液柱共振等に基づく減衰作用により振動が減衰されて、車体側に振動が伝達され難くなる。
【０１０１】
以下に、本実施の形態に係る防振装置１０の動作及び作用を更に具体的に説明する。
【０１０２】
例えば、車両が所定速度で走行すると、シェイク振動が生じる。制御回路１２０は、車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４によりシェイク振動発生時であると判断すると、電磁石１０８に駆動電圧を通電する。これにより、図２に示されるように、電磁石１０８に第２ダイヤフラム９８の磁性領域Ｍが吸着されて、第２ダイヤフラム９８の容積拡縮方向への変形が拘束される。防振装置１０では、第２ダイヤフラム９８の変形が拘束されると、アイドルオリフィス９２を通って主液室４６と第２副液室１０６との間を液体が行き来する現象が生じなくなり、シェイクオリフィス８０のみを通って主液室４６と第１副液室６８との間を液体が行き来することが可能な状態（シェイクモード）になる。
【０１０３】
この結果、防振装置１０では、入力振動がシェイク振動であり、このシェイク振動により主液室４６内の液圧が周期的に変化すると、シェイクオリフィス８０を通って主液室４６と第１副液室６８との間を液体が行き来すると共に、このシェイクオリフィス８０内を流通する液体に共振現象（液柱共振）が生じるので、この液柱共振に伴うシェイクオリフィス８０における液体の流通抵抗や液圧変化により入力振動（シェイク振動）を特に効果的に吸収できる。
【０１０４】
また車両がシェイク振動の発生ピークとなる速度よりも高速で走行して、防振装置１０へ伝達される振動がアイドル振動よりも高い周波数域の振動であって、振幅が小さいこもり音等の高周波振動になると、防振装置１０では、シェイク振動に適合するようにチューニングされたシェイクオリフィス８０が目詰まり状態となり、シェイクオリフィス８０には液体が流れ難くなるが、メンブラン９４が入力振動に同期して主液室４６の内容積を拡縮するように弾性変形することにより、主液室４６内の液圧上昇を抑制できるので、主液室４６内の液圧上昇に起因する装置（主液室４６内の液体及びゴム弾性体３０）の動ばね定数の上昇を抑えることができ、このようなこもり音等の高周波振動の入力時もゴム弾性体３０の動ばね定数を低く維持し、このゴム弾性体３０の弾性変形により高周波振動も効果的に吸収できる。
【０１０５】
一方、例えば車両が停止すると、エンジンがアイドリング運転となって振動の周波数がシェイク振動よりも高いアイドル振動が生じる。この場合にも、シェイクオリフィス８０が目詰まり状態となるが、この際、制御回路１２０は、車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４からの信号によりアイドル振動発生時であると判断すると、電磁石１０８への駆動電圧の通電を停止する。これにより、図１に示されるように、第２ダイヤフラム９８が電磁石１０８から解放されて、第２副液室１０６の容積拡縮方向へ低い抵抗で変形可能になる。
【０１０６】
防振装置１０では、第２ダイヤフラム９８が電磁石１０８から解放されると、シェイクオリフィス８０を通じて主液室４６と第１副液室６８との間を液体が流通可能になると共に、アイドルオリフィス９２を通じて主液室４６と第２副液室１０６との間を液体が流通可能な状態（アイドルモード）になる。
【０１０７】
この結果、防振装置１０では、入力振動がアイドル振動であり、このアイドル振動により主液室４６内の液圧が周期的に変化すると、目詰まり状態となったシェイクオリフィス８０を通って主液室４６と第１副液室６８との間には実質的に液体が流れなくなるが、シェイクオリフィス８０よりも液体の流通抵抗が小さいアイドルオリフィス９２を通って主液室４６と第２副液室１０６との間に液体が行き来するようになる。このとき、アイドルオリフィス９２を通って主液室４６と第２副液室１０６との間を相互に流通する液体に共振現象（液柱共振）が生じるので、この液柱共振に伴うアイドルオリフィス９２における液体の流通抵抗や液圧変化により入力振動（アイドル振動）を特に効果的に吸収できる。
【０１０８】
以上説明した本実施形態に係る防振装置１０では、第２副液室１０６の隔壁の一部を形成する第２ダイヤフラム９８の面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域Ｍとされると共に、この磁性領域Ｍの外周側が非磁性の弾性領域Ｅとされ、この弾性領域Ｅが主体的に弾性変形することで第２ダイヤフラム９８が第２副液室１０６の内容積を拡縮する拡縮方向へ変形可能とされている。
【０１０９】
従って、防振装置１０では、磁力発生手段である電磁石１０８が、シェイク振動の入力時に電磁気的な吸着力を第２ダイヤフラム９８の磁性領域Ｍに作用させて磁性領域Ｍをコア１１０に吸着すれば、第２ダイヤフラム９８の拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また電磁石１０８が、アイドル振動の入力時に第２ダイヤフラム９８の磁性領域Ｍへ電磁気的な吸着力を作用させることを中止すれば、第２ダイヤフラム９８がコア１１０から離間して拡縮方向に沿って変形可能になる。
【０１１０】
また本実施形態に係る防振装置１０に用いられた第２ダイヤフラム９８は、この第２ダイヤフラム９８がベースシート１１４及び磁性シート１１６を素材とする２色成形ゴムシートにより構成されており、この２色成形ゴムシートがベースシート１１４と磁性シート１１６とを積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に、互いに接合されたベースシート１１４と磁性シート１１６とを加硫して成形されたことにより、第２ダイヤフラム９８におけるベースシート１１４及び磁性シート１１６が積層された面方向に沿った中央側を磁性領域Ｍにできると共に、ベースシート１１４のみからなる外周側を非磁性の弾性領域Ｅにできる。
【０１１１】
ここで、第２ダイヤフラム９８における弾性領域Ｅが磁性粉体１２８を含まないゴム成分のみからなることから、この弾性領域Ｅについてはゴム本来の特性を損なうことなく十分な可撓性を得ることができ、第２ダイヤフラム９８における曲げ応力が断続的に加わる外周側の部分（撓み部１０２）が弾性領域Ｅにより構成されているので、断続的な曲げ応力により第２ダイヤフラム９８に割れ等の損傷が発生することを長期間に亘って防止し、第２ダイヤフラム９８の耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のダイヤフラムと比較し、第２ダイヤフラム９８を軽量化できる。
【０１１２】
また本実施形態に係る防振装置１０では、第２ダイヤフラム９８における磁性領域Ｅが表裏面で互いに異なる極性を有すると共に、強い磁力を有していることから、電磁石１０８が第２ダイヤフラム９８の対向面の反対の極性を有する磁力を発生させれば、電磁石１０８と第２ダイヤフラム９８との間に生じる吸着力を十分に大きなものにできる。
【０１１３】
なお、本実施形態に係る防振装置１０では、シェイクモード時に電磁石１０８に駆動電圧を通電して電磁石１０８に第２ダイヤフラム９８を吸着して第２ダイヤフラム９８の変形を拘束したが、これとは逆に、シェイクモード時に電磁石１０８への駆動電圧の通電を停止し、図７（Ｂ）に示されるように、磁性領域Ｅの磁力により電磁石１０８のコア１１０に第２ダイヤフラム９８を吸着させることにより、第２ダイヤフラム９８の変形を拘束し、またアイドルモード時に、コア１１０の磁性領域Ｍとの対向面（下端面）が＋極性となるように電磁石１０８へ駆動電圧を通電し、磁性領域Ｅと電磁石１０８との間に反発力を発生させることにより、図７（Ａ）に示されるように、第２ダイヤフラム９８を電磁石１０８から離間させて変形可能とするようにしても良い。なお、この場合には、制御回路１２０が電磁石１０８に印加する駆動電圧の電流極性を反転せずに、第２ダイヤフラム９８の表裏面における磁極の極性を反転するようにしても良い。
[第２の実施形態]
（防振装置の構成）
図８及び図９には、本発明の第２の実施形態に係る防振装置が示されている。この防振装置１６０は、第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、自動車等の車両における振動発生部であるエンジンを振動受部である車体へ支持するエンジンマウントとして適用されるものである。なお、本実施形態に係る防振装置１６０において第１の実施形態に係る防振装置１０と同一の部分には、同一符号を付して説明を省略する。
【０１１４】
本実施形態に係る防振装置１６０が第１の実施形態に係る防振装置１０と異なる点は、防振装置１６０では、防振装置１０におけるゴム組成物からなるメンブラン９４に代えて２色成形ゴムシートからなるメンブラン１６２が用いられている点である。
【０１１５】
また防振装置１６０は、第１の実施形態に係る防振装置１０と同様に、外筒部材２０内の空間を主液室４６と第１副液室６８とに区画する仕切部材１６４を備えているが、この仕切部材１６４には、防振装置１０では設けられていた第２副液室１０６、この第２副液室１０６の隔壁の一部を構成した第２ダイヤフラム９８及び、主液室４６と第２副液室１０６とを連通するアイドルオリフィス９２がそれぞれ設けられていない。従って、防振装置１６０では、主液室４６がシェイクオリフィス８０を通して第１副液室６８のみに連通している。
【０１１６】
図８に示されるように、仕切部材１６４の本体部３８には、上面中央部に円形の嵌挿凹部１６６が形成されており、嵌挿凹部１６６は、その内周側における上端部にゴム組成物により円板状に形成されたメンブラン１６２が配設されている。メンブラン１６２は、外周面が嵌挿凹部１６６の内周面に接着等により全周に亘って固着されている。これにより、嵌挿凹部１６６の内周側には、上端側がメンブラン１６２により閉塞された円柱状の空間である第２空気室１０４が形成される。第２空気室１０４内には、電磁石１０８がメンブラン１６２の下面部に対向するように配置されている。ここで、第２空気室１０４は、スリーブ部材８４、仕切部材１６４及び外筒部材２０をそれぞれ径方向へ貫通する吸排気穴１６８を通して装置外部の空間に連通している。
【０１１７】
メンブラン１６２は、図８に示されるように、面方向に沿った中央側に位置する円形の領域が磁性を有する磁性領域Ｍとされると共に、この磁性領域Ｍの外周側に位置する円環状（ドーナッツ状）の領域が非磁性の弾性領域Ｅとされている。磁性領域Ｍは、その直径が電磁石１０８のコア１１０の直径よりも若干長くなっている。
【０１１８】
ここで、メンブラン１６２は、第１の実施形態に係る第２ダイヤフラム９８と同様に、少なくとも一種のゴム成分からなるシート状のベースシート１７０と、少なくとも一種のゴム成分からなるゴムマトリックス中に磁気異方性を有する磁性粉体が分散された磁性シート１７２とが接合されて一体化（２色成形）されたものである。磁性シート１７２は略円板状に形成されており、表裏面で互いに異なる極性の磁極を有するように着磁されている。本実施形態では、磁性シート１１６は、図８に示されるように、電磁石１０８側の表面部が＋極とされ、反対側の裏面部が−極の極性を有するように着磁されている。
【０１１９】
メンブラン１６２では、磁性シート１７２がベースシート１７０の中央部と積層されて磁性領域Ｍが構成され、ベースシート１７０のみにより弾性領域Ｅが構成されている。磁性シート１７２は、ゴムマトリックス中に高硬度の磁性粉体が分散されていることから、ベースシート１７０と比較して硬いものになっており、断続的に曲げ応力を受けた場合には、亀裂等の損傷が短時間で発生し易く、また弾性的に変形可能な最大量も小さいものになっている。一方、ベースシート１７０は、ゴムマトリックス中に磁性粉体等の異物を含まない加硫ゴムにより形成され、高い弾性及び柔軟性を有していることから、磁性シート１７２と比較して、断続的に曲げ応力を受けても亀裂等の損傷が長期的に発生せず、また弾性的に変形可能な最大量も大きいものになっている。
【０１２０】
メンブラン１６２は、主液室４６内の液圧変化時に、この液圧変化に従って主液室４６の内容積を拡縮するように弾性変形し、主液室４６内の液圧変化（液圧上昇）を抑制する。このとき、メンブラン１６２は、磁性領域Ｍを殆ど弾性変形させることなく、主として弾性領域Ｅを軸方向に沿って撓み変形させることにより、主液室４６の内容積を拡縮して液圧上昇を抑制する。
【０１２１】
電磁石１０８は、制御回路１２０による駆動電圧の通電時には、電磁気的な吸引力をメンブラン１６２における磁性領域Ｍに作用させ、図９に示されるように、コア１１０の上端面にメンブラン１６２の磁性領域Ｍ付近を吸着する。これにより、メンブラン１６２が第２副液室１０６の容積拡縮方向へ変形することが拘束され、第２副液室１０６は液圧が変化しても内容積が実質的に一定に維持される。また電磁石１０８は、制御回路１２０による駆動電圧の通電停止時には、電磁気的な吸引力をメンブラン１６２の磁性領域Ｍに作用させない。これにより、メンブラン１６２は、図８に示されるように、電磁石１０８から離間した状態に保たれ、主液室４６の容積拡縮方向へ変形可能になる。
【０１２２】
本実施形態に係るメンブラン１６２を構成するベースシート１７０及び磁性シート１７２は、第１の実施形態に係る第２ダイヤフラム９８を構成するベースシート１１４及び磁性シート１１６と基本的に同一の材料を用いて同一の製造方法で製造することができる。
【０１２３】
さらに、メンブラン１６２をベースシート１７０及び磁性シート１７２を素材として製造する際にも、メンブラン１６２は、ベースシート１７０及び磁性シート１７２として、その形状及び寸法が、第２ダイヤフラム９８の素材となるベースシート１１４及び磁性シート１１６とは異なるものを用いると共に、ベースシート１７０及び磁性シート１７２を２色成形するための金型として、そのキャビティ形状が金型１３０とは異なるものを用いる点を除いて、第２ダイヤフラム９８と同一の製造方法で製造することができる。すなわち、メンブラン１６２は、ベースシート１７０及び磁性シート１７２に対する接合工程、磁場配向工程、冷却工程、脱磁工程及び着磁工程という一連の工程を行うことにより製造される。
【０１２４】
そして、以上説明した接合工程から着磁工程までの一連の工程を経ることにより、メンブラン１６２に表裏面で互いに異なる極性を発現させると共に、その磁力を十分に強いものにできるので、メンブラン１６２における磁気領域Ｅを十分に強い磁力を有するゴム磁石として構成できる。
【０１２５】
なお、例えば、電磁石１０８として高いパワーを有するものを用いることができ、磁性シート１７２に付与する磁力として高い強度が要求されない場合には、上記一連の工程から冷却工程及び脱磁工程を省略し、接合工程及び磁場配向工程がそれぞれ完了したベースシート１７０及び磁性シート１７２に対して加硫工程を行っても良い。この場合、磁性シート１７２に分散された磁性粉体１２８がある程度、ランダム化することは避けられないが、磁性シート１１６には一定の磁力を付与できる。
【０１２６】
また電磁石１０８として高いパワーを有するものを用いることができ、この電磁石１０８によりメンブラン１６２を吸着できることのみが要求される場合には、磁性シート１７２に磁性粉体１２８の代わりに磁力により吸着又は反発可能とされた鉄粉等の強磁性体の粉体を分散させるようにして良い。この場合には、上記一連の工程から、磁場配向工程、冷却工程、脱磁工程を省略し、接合工程が完了したベースシート１７０及び磁性シート１７２に対して加硫工程を行うことによりメンブラン１６２の製造が完了する。
【０１２７】
（防振装置及び第２ダイヤフラムの作用）
次に、上記のように構成された本実施形態に係る防振装置１６０の動作及び作用を説明する。
【０１２８】
取付金具１２が連結されたエンジンが作動すると、エンジンの振動が取付金具１２を介してゴム弾性体３０に伝達される。ゴム弾性体３０は吸振主体として作用し、ゴム弾性体３０の弾性変形に基づく吸振機能によって振動を吸収することができる。さらに、このゴム弾性体３０の変形に伴って、主液室４６の内容積が変化（拡縮）して液圧が変化すると、入力振動の周波数に対応するシェイクオリフィス８０を通って主液室４６と第１副液室６８との間で液体が行き来する。このとき、第１副液室６８は、シェイクオリフィス８０を通じた液体の流入及び流出に伴って第１ダイヤフラム６２が容積拡縮方向へ低い抵抗で変形することにより、その液圧変化が主液室４６の液圧変化に対して十分に小さいものになる。
【０１２９】
この結果、防振装置１６０では、取付金具１２を介してエンジン側からの振動が伝達されると、ゴム弾性体３０の変形により減衰されるだけでなく、主液室４６と第１副液室６８とを互いに連通するシェイクオリフィス８０内の液柱共振等に基づく減衰作用により振動が減衰されて、車体側に振動が伝達され難くなる。
【０１３０】
以下に、本実施の形態に係る防振装置１６０の動作及び作用を更に具体的に説明する。
【０１３１】
例えば、車両が所定速度で走行すると、シェイク振動が生じる。制御回路１２０は、車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４によりシェイク振動発生時であると判断すると、電磁石１０８に駆動電圧を通電する。これにより、図９に示されるように、電磁石１０８にメンブラン１６２の磁性領域Ｍが吸着されて、第２ダイヤフラム９８の容積拡縮方向への変形が拘束される。防振装置１６０では、シェイク振動の入力時にメンブラン１６２の弾性変形が拘束されることにより、主液室４６内の周期的な液圧変化（液圧振幅）が小さくなることが防止される。この主液室４６内の液圧振幅は、シェイクオリフィス８０内を流通する液体のポンプ力となることから、メンブラン１６２を拘束すれば、シェイクオリフィス８０内を流通する液体に対するポンプ力のロス発生しなくなり、シェイクオリフィス８０内を行き来する液体に生じる液柱共振の強度低下を防止できる。
【０１３２】
この結果、防振装置１０では、シェイク振動の入力時に、シェイクオリフィス８０を通って主液室４６と第１副液室６８との間を液体が行き来すると共に、このシェイクオリフィス８０内を流通する液体に液柱共振が生じるので、この液柱共振に伴うシェイクオリフィス８０における液体の流通抵抗や液圧変化により入力振動（シェイク振動）を特に効果的に吸収できる。
【０１３３】
一方、例えば車両が停止すると、エンジンがアイドリング運転となって振動の周波数がシェイク振動よりも高いアイドル振動が生じる。この場合にも、シェイクオリフィス８０が目詰まり状態となるが、この際、制御回路１２０は、車速センサ１２２及びエンジン回転数センサ１２４からの信号によりアイドル振動発生時であると判断すると、電磁石１０８への駆動電圧の通電を停止する。これにより、図８に示されるように、メンブラン１６２が電磁石１０８から解放されて、主液室４６の容積拡縮方向へ弾性変形可能になる。
【０１３４】
防振装置１０では、メンブラン１６２が電磁石１０８から解放されると、メンブラン９４がアイドル振動の入力に同期して主液室４６の内容積を拡縮するように弾性変形することにより、主液室４６内の液圧上昇を抑制できるので、主液室４６内の液圧上昇に起因する装置（主液室４６内の液体及びゴム弾性体３０）の動ばね定数の上昇を抑えることができ、アイドル振動の入力時もゴム弾性体３０の動ばね定数を低く維持し、ゴム弾性体３０の弾性変形によりアイドル振動も効果的に吸収できる。
【０１３５】
以上説明した本実施形態に係る防振装置１６０では、主液室４６の隔壁の一部を形成するメンブラン１６２の面方向に沿った一部の領域が磁力により吸着可能とされた磁性領域Ｍとされると共に、この磁性領域Ｍの外周側が非磁性の弾性領域Ｅとされ、この弾性領域Ｅが主体的に弾性変形することでメンブラン１６２が主液室４６の内容積を拡縮する拡縮方向へ弾性変形可能とされている。
【０１３６】
従って、防振装置１６０では、磁力発生手段である電磁石１０８が、シェイク振動の入力時に電磁気的な吸着力をメンブラン９４の磁性領域Ｍに作用させて磁性領域Ｍをコア１１０に吸着すれば、メンブラン１６２の拡縮方向に沿った変形を拘束でき、また電磁石１０８が、アイドル振動の入力時にメンブラン１６２の磁性領域Ｍへ電磁気的な吸着力を作用させることを中止すれば、メンブラン１６２がコア１１０から離間して拡縮方向に沿って弾性変形可能になる。
【０１３７】
また本実施形態に係る防振装置１６０に用いられたメンブラン１６２は、第１の実施形態に係る第２ダイヤフラム９８と同様に、ベースシート１７０及び磁性シート１７２を素材とする２色成形ゴムシートにより構成されており、この２色成形ゴムシートがベースシート１７０と磁性シート１７２とを積層状態で加熱及び加圧して互いに接合すると共に、互いに接合されたベースシート１７０と磁性シート１７２とを加硫して成形されたことにより、メンブラン１６２におけるベースシート１７０及び磁性シート１７２が積層された面方向に沿った中央側を磁性領域Ｍにできると共に、ベースシート１７０のみからなる外周側を非磁性の弾性領域Ｅにできる。
【０１３８】
ここで、メンブラン１６２における弾性領域Ｅが磁性粉体１２８を含まないゴム成分のみからなることから、この弾性領域Ｅについてはゴム本来の特性を損なうことなく十分な可撓性を得ることができ、メンブラン１６２における曲げ応力が断続的に加わる外周側の部分が弾性領域Ｅにより構成されているので、断続的な曲げ応力によりメンブラン１６２に割れ等の損傷が発生することを長期間に亘って防止し、メンブラン１６２の耐久性を十分に高いものにでき、かつ磁力により吸着又は反発可能とするため一部がゴム以外の金属等により構成された従来のメンブランと比較し、メンブラン１６２を軽量化できる。
【０１３９】
また本実施形態に係る防振装置１６０では、メンブラン１６２における磁性領域Ｅが表裏面で互いに異なる極性を有すると共に、強い磁力を有していることから、電磁石１０８がメンブラン１６２の対向面の反対の極性を有する磁力を発生させれば、電磁石１０８とメンブラン１６２との間に生じる吸着力を十分に大きなものにできる。
【０１４０】
なお、本実施形態に係る防振装置１６０では、シェイクモード時に電磁石１０８に駆動電圧を通電して電磁石１０８にメンブラン１６２を吸着してメンブラン１６２の変形を拘束したが、これとは逆に、シェイクモード時に電磁石１０８への駆動電圧の通電を停止し、磁性領域Ｅの磁力により電磁石１０８のコア１１０にメンブラン１６２を吸着させることにより、メンブラン１６２の弾性変形を拘束し、またアイドル振動入力時に、コア１１０の磁性領域Ｍとの対向面（下端面）が＋極性となるように電磁石１０８へ駆動電圧を通電し、磁性領域Ｅと電磁石１０８との間に反発力を発生させることにより、メンブラン１６２を電磁石１０８から離間させて弾性変形可能とするようにしても良い。なお、この場合には、制御回路１２０が電磁石１０８に印加する駆動電圧の電流極性を反転せずに、メンブラン１６２の表裏面における磁極の極性を反転するようにしても良い。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る防振装置の構成を示す側面断面図であり、装置がアイドルモードにある状態を示している。
【図２】図１に示される防振装置がシェイクモードにある状態を示している。
【図３】図１に示される防振装置における仕切部材の構成を示す側面断面図であり、電磁石から第２ダイヤフラムが解放された状態を示している。
【図４】図１に示される防振装置における仕切部材の構成を示す側面断面図であり、電磁石により第２ダイヤフラムが拘束された状態を示している。
【図５】本発明の第１の実施形態に係る第２ダイヤフラムの製造方法を模式的に示す工程図である。
【図６】本発明の第１の実施形態に係る第２ダイヤフラムの製造方法における磁場配向工程にて磁性シートに磁場を印加する前後の磁性粉体の配向状態を示す模式図である。
【図７】（Ａ）本発明の第１の実施形態に係る第２ダイヤフラムを電磁石からの反発力により変形可能とした状態を示す側面断面図、（Ｂ）第２ダイヤフラムを磁性領域の吸着力により電磁石に拘束した状態を示す側面断面図である。
【図８】本発明の第２の実施形態に係る防振装置の構成を示す側面断面図であり、装置がアイドルモードにある状態を示している。
【図９】図８に示される防振装置がシェイクモードにある状態を示している。
【符号の説明】
【０１４２】
１０      防振装置
１２      取付金具（第１の取付部材）
３０      ゴム弾性体（弾性体）
４６      主液室
５０      底板部材（第２の取付部材）
６８      第１副液室
８０      シェイクオリフィス（第１の制限通路）
９２      アイドルオリフィス（第２の制限通路）
９４      メンブラン
９８      第２ダイヤフラム（２色成形ゴムシート）
１０６    第２副液室
１０８    電磁石（磁力発生手段）
１１４    ベースシート（ベースゴム）
１１６    磁性シート（磁性ゴム）
１２８    磁性粉体
１６０    防振装置
１６２    メンブラン（２色成形ゴムシート）
１７０    ベースシート
１７２    磁性シート
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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