(57)【要約】【課題】化学研磨工程を含み、且つ、寸法精度を向上させて、部品の形状によらず、バリ部分を効率的に除去することが可能な金属部品のバリ取り方法、及び該方法に適した金属部品のバリ取り装置を提供する。【解決手段】バリ取り装置１は、金属を溶解させる化学研磨液を貯留する化学研磨槽１３と、金属部品Ｗを支持し化学研磨液に浸漬させる支持具３０と、支持具３０を回転させる回転装置４０と、化学研磨液に浸漬された金属部品Ｗに向かって、化学研磨液と同一の化学研磨液を噴出させる噴出装置２０とを具備する。【選択図】図１
2007321202.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属を溶解させる化学研磨液に金属部品を浸漬すると共に、前記化学研磨液と同一の化学研磨液をノズルから噴出させ、マイクロバブルを発生させて前記化学研磨液に浸漬された前記金属部品の表面に当てるバリ取り工程、を具備することを特徴とする金属部品のバリ取り方法。
【請求項２】
脱脂工程、
該脱脂工程に引き続く水洗工程、
該水洗工程に引き続き、酸洗工程を経ることなく行われる前記バリ取り工程、
該バリ取り工程に引き続き、酸洗工程を経ることなく行われる防錆工程、
該防錆工程に引き続く乾燥工程
の五つの工程からなることを特徴とする請求項１に記載の金属部品のバリ取り方法。
【請求項３】
金属を溶解させる化学研磨液を貯留する化学研磨槽と、
金属部品を支持し前記化学研磨液に浸漬させる支持具と、
該支持具を回転させる回転装置と、
前記化学研磨液に浸漬された前記金属部品に向かって、前記化学研磨液と同一の化学研磨液を噴出させる噴出装置と
を具備することを特徴とする金属部品のバリ取り装置。
【請求項４】
脱脂工程を行う第一処理槽、水洗工程を行う第二処理槽、前記化学研磨槽を構成する第三処理槽、防錆工程を行う第四処理槽、及び乾燥工程を行う第五処理槽の順に所定間隔で列設された五つの処理槽と、
前記所定間隔の二倍の間隔で設けられた三つの前記支持具と、
三つの前記支持具を同時に昇降させる昇降装置と、
三つの前記支持具を前記処理槽の上方で同時に水平移動させる移動装置と、
それぞれの前記支持具に設けられ前記金属部品を把持及び開放可能な把持開放装置と、
前記第二処理槽及び前記第四処理槽に設けられ、前記把持開放装置によって開放された前記金属部品を保持する保持具と、
前記回転装置、前記昇降装置、前記移動装置、及び前記把持開放装置を制御し、前記支持具によって前記金属部品の搬送を行わせると共に、前記金属部品が前記化学研磨槽の前記化学研磨液に浸漬された状態で前記支持具を回転させる搬送回転制御手段と
を更に具備することを特徴とする請求項３に記載の金属部品のバリ取り装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属部品のバリ取り方法及び金属部品のバリ取り装置に関するものであり、特に、化学研磨の工程を含む金属部品のバリ取り方法、及び該方法に適した金属部品のバリ取り装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
従来より、金属部品の表面処理を行うために化学研磨が行われている。これは、薬液に金属部品を浸漬し、表面の金属を溶解させて平滑化・光沢化するものである。また、金属部品に対して切断、切削、孔あけ等の機械加工を施した際に、被加工物の角や縁に形成されるササクレ状の突起、いわゆる「バリ」を、化学研磨によって除去することも試みられている。
【０００３】
化学研磨によれば、下記のようなメリットがある。例えば、研磨剤の粉粒を部品と共にバレル内に入れ、バレルを回転・振動させるバレル研磨や、研磨剤の粉末を含むスラリー等を部品に向けて噴射し研磨するショットブラストのように、部品が変形する恐れや、部品の細部に研磨剤の粉粒が入り込んで汚染される恐れがない。また、バレル研磨、ショットブラスト、ブラシやヤスリを用いた機械的な研磨のように、部品が傷付いたり二次的なバリが生じたりする恐れがない。更に、電解質溶液に金属部品を浸漬して通電し、金属表面を溶解させる電解研磨のように、電気エネルギーの消費によってランニングコストが嵩む恐れがない。
【０００４】
一方、化学研磨には、除去したい部分のみならず、部品全体が研磨されてしまい、寸法精度が一定となりにくいという不具合があった。特に、バリの除去を行う場合、バリ部分を全部溶解させようとすると、部品全体がかなり溶解されてしまうことから、寸法精度に関する問題はより大きなものであった。これに対し、バリ部分を優先的に溶解させようとする化学研磨用治具が提案されている（特許文献１参照）。これは、研磨対象の部品を積層して、スパイラル状の段部が形成された棒状の治具に支持させ、該治具を化学研磨液中で回転させるものである。これにより、バリ部分が積極的に化学研磨液に晒され、それ以外の部分は積層された他の部品によって化学研磨液との接触が妨げられ、バリ部分を効率的に化学研磨することができる。
【０００５】
【特許文献１】特開２００２−１６１３８０
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上記の化学研磨用治具は、研磨対象となる部品が、例えば、平板状の部品など、積層させることができる形状である場合には大変有効であったが、積層させにくい形状の部品には適用しにくいものであった。そのため、積層させにくい形状の部品であっても、寸法精度を高めてバリ取り処理を行いたいという要望があった。
【０００７】
また、従来の化学研磨では、バリ部分を除去しようとすると、薬液による金属の溶解作用を高めるために、薬液を高濃度にする必要があった。そのため、高濃度の薬液を廃棄するための処理に要する労力やコストが多大であるという問題に加え、高濃度の薬液を扱う環境が、作業者や周囲の設備・機器にとって良いものではないという問題があった。そのため、薬液が高濃度であることは、大量の金属部品を連続的に処理し、金属部品の生産ラインに化学研磨工程を組み込むことへの障害となっていた。
【０００８】
そこで、本発明は、上記の実情に鑑み、化学研磨工程を含み、且つ、寸法精度を向上させて、部品の形状によらず、バリ部分を効率的に除去することが可能な金属部品のバリ取り方法、及び、該方法に適した金属部品のバリ取り装置の提供を第一の課題とするものである。また、化学研磨液を低濃度化してもバリ部分を効率的に除去することが可能な金属部品のバリ取り方法、及び、該方法に適した金属部品のバリ取り装置の提供を、第二の課題とするものである。更に、大量の金属部品を連続処理することが可能な金属部品のバリ取り装置の提供を、第三の課題とするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記の課題を解決するため、本発明にかかる金属部品のバリ取り方法は、「金属を溶解させる化学研磨液に金属部品を浸漬すると共に、前記化学研磨液と同一の化学研磨液をノズルから噴出させ、マイクロバブルを発生させて前記化学研磨液に浸漬された前記金属部品の表面に当てるバリ取り工程」を具備するものである。
【００１０】
「化学研磨液」は、種類については、処理対象の「金属部品」の材質に応じ、その金属を溶解させる作用を有する液であれば特に限定されない。濃度については、後述のように、従来の化学研磨の場合より低濃度化することが可能である。
【００１１】
従って、本発明によれば、ノズルから化学研磨液を噴出させることにより、高速で流動する液体中で圧力が低下し、液体が気化して、直径が１０〜数十μｍの微細な気泡であるマイクロバブルが生成する。このマイクロバブルは、崩壊する際に極めて短時間に高温高圧となるため、マイクロバブルを金属表面に当てることにより、崩壊時の衝撃力を金属表面のバリに作用させることができる。これにより、化学研磨液によって金属表面が溶解される作用に、マイクロバブルによる作用が付加され、その相乗効果により効率的にバリを除去することができる。
【００１２】
更に、マイクロバブルによる作用を併用することにより、化学研磨のみでバリを除去しようとする場合に比べ、化学研磨液を低濃度化し、或いは、化学研磨液による研磨時間を短縮することが可能となる。これにより、バリ以外の部分の溶解が進行しない状態でバリを除去することができ、寸法精度を向上させることができる。
【００１３】
また、化学研磨液に浸漬された状態の金属部品にノズルから化学研磨液を噴射するという方法であることから、金属部品の形状によらず、また、特別な治具を要することなく、本発明のバリ取り方法を適用することができる。また、化学研磨液と同一の化学研磨液をノズルから噴出させる方法であることから、化学研磨液の組成や濃度に影響を及ぼすことなくマイクロバブルを発生させることができる。
【００１４】
更に、化学研磨液を低濃度化できることにより、作業環境が改善されると共に、化学研磨液の廃棄のための処理が容易となり、そのための労力やコストを低減することが可能となる。
【００１５】
また、本発明にかかる金属部品のバリ取り方法は、「脱脂工程、該脱脂工程に引き続く水洗工程、該水洗工程に引き続き、酸洗工程を経ることなく行われる前記バリ取り工程、該バリ取り工程に引き続き、酸洗工程を経ることなく行われる防錆工程、該防錆工程に引き続く乾燥工程の五つの工程からなる」ものとすることができる。
【００１６】
通常の化学研磨では、化学研磨工程の前に、前処理としての酸洗工程が設けられている。この工程は、ピックリング工程とも称され、金属表面の錆び、酸化物、スケールを除去し、化学研磨液に対して活性な表面とすることを主な目的としている。これに対し、本発明は、化学研磨液による金属の溶解作用にマイクロバブル崩壊の衝撃力による作用を付加したことにより、錆び取りやスケール除去を行いながらバリ取りを行うことが可能であるため、かかる酸洗工程を省略することができる。
【００１７】
また、通常の化学研磨では、化学研磨工程の後に、後処理としての酸洗工程が設けられている。この工程は、化学研磨工程で液中に溶出した金属が酸化することにより、金属表面に生成する薄い酸化皮膜を、除去することを主な目的としている。これに対し、本発明では、バリ取り工程においてマイクロバブルを金属部品に向けて噴射するため、金属表面における物質拡散が促進されて酸化皮膜の生成が妨げられ、或いは、生成した酸化皮膜が除去されやすくなる。これにより、後処理の酸洗工程を省略することが可能となる。
【００１８】
加えて、本発明では、マイクロバブルの作用を併用することにより、化学研磨液を低濃度化してバリ取りを行うことが可能であるため、従来では化学研磨液を次工程に持ち込むことを防止するために設けていた、化学研磨工程後の水洗工程をも省くことができる。
【００１９】
従って、本発明によれば、従来の化学研磨において、酸洗工程で大量に使用されていた酸を使用する必要がなくなり、廃液処理の手間やコストを削減できると共に、環境への負荷を低減することができる。そして、酸洗工程及びこれに伴う水洗工程を省くことにより、従来の化学研磨の工程に比べて工程数が大幅に減少するため、短時間でバリ取り処理を行うことができる。加えて、より小さなスペースで処理を行うことが可能となる。
【００２０】
次に、本発明にかかる金属部品のバリ取り装置は、「金属を溶解させる化学研磨液を貯留する化学研磨槽と、金属部品を支持し前記化学研磨液に浸漬させる支持具と、該支持具を回転させる回転装置と、前記化学研磨液に浸漬された前記金属部品に向かって、前記化学研磨液と同一の化学研磨液を噴出させる噴出装置とを」具備して構成されている。
【００２１】
「支持具」は、例えば、吸着、挟持、載置、懸架、螺子留め等により、金属部品を支持する構成とすることができる。また、「回転装置」は、モータと、該モータの回転を支持具に伝達する手段で構成することができる。ここで、モータの回転を支持具に伝達する構成としては、例えば、モータの回転軸の運動に支持具の回転軸を連動させるベルトとプーリ、或いはチェーンとスプロケット、モータの回転軸と支持具の回転軸とを直接的に接続する軸等を挙げることができる。
【００２２】
「噴出装置」は、化学研磨液を加圧し噴射する構成とすることができ、例えば、ノズル、ノズルと化学研磨液を貯留する槽とを接続する流路、流路を介してノズルまで化学研磨液を加圧して送るポンプによって構成することができる。また、ノズルに導入される液の圧力を調整する圧力調整弁を備えるものとしても良い。更に、ノズルに導入される化学研磨液は、金属部品が浸漬される化学研磨槽から供給されるものであっても、同一の組成の化学研磨液が他から供給されるものであっても良いが、化学研磨槽から供給し循環して使用することとすれば、化学研磨液を有効に使用でき、好適である。また、ノズルの径と流路の径との設定によって化学研磨液が加圧される構成を、噴出装置の構成として含めることもできる。
【００２３】
従って、本発明によれば、化学研磨槽内に浸漬された金属部品に向かって化学研磨液を噴出可能な構成とされることにより、本発明の金属部品のバリ取り方法が適用できる金属部品のバリ取り装置となる。
【００２４】
加えて、支持具に支持される金属部品を、化学研磨液内で回転させる構成を具備するため、金属表面での化学研磨液の交換が促進され、化学研磨液による金属の溶解反応を促進することができる。また、金属部品が回転されることにより、ノズルから噴出されるマイクロバブルを、偏りなく金属部品の表面に当てることが可能となる。
【００２５】
また、本発明にかかる金属部品のバリ取り装置は、上記構成に加え、「脱脂工程を行う第一処理槽、水洗工程を行う第二処理槽、前記化学研磨槽を構成する第三処理槽、防錆工程を行う第四処理槽、及び乾燥工程を行う第五処理槽の順に所定間隔で列設された五つの処理槽と、前記所定間隔の二倍の間隔で設けられた三つの前記支持具と、三つの前記支持具を同時に昇降させる昇降装置と、三つの前記支持具を前記処理槽の上方で同時に水平移動させる移動装置と、それぞれの前記支持具に設けられ前記金属部品を把持及び開放可能な把持開放装置と、前記第二処理槽及び前記第四処理槽に設けられ、前記把持開放装置によって開放された前記金属部品を保持する保持具と、前記回転装置、前記昇降装置、前記移動装置、及び前記把持開放装置を制御し、前記支持具によって前記金属部品の搬送を行わせると共に、前記金属部品が前記化学研磨槽の前記化学研磨液に浸漬された状態で前記支持具を回転させる搬送回転制御手段とを」具備するものであっても良い。
【００２６】
「昇降装置」及び「移動装置」は、支持具を直線的に移動可能であれば、特にその構成は限定されず、例えば、エアシリンダとピストンロッド、カム機構、ラックとピニオン機構、電磁ソレノイド等を使用した構成を例示することができる。また、複数の支持具を「同時に」昇降・移動させるためには、単一の昇降装置や移動装置で複数の支持具を駆動する構成であっても、それぞれの支持具に対して別個に設けられた昇降装置や移動装置を、同期させる構成であっても良い。
【００２７】
「把持開放装置」は、エアの脱気・供給によって対象物の把持・開放を行うエアチャック、通電・非通電で把持・開放を切替える電磁チャック、油圧やモータにより作動する二本指や三本指のハンドツール等を例示することができる。また、「保持具」は、例えば、金属部品を挿し込んで保持可能な孔部や枠体を有する構成、或いは、金属部品を架渡させて保持可能な台状の構成とすることができる。
【００２８】
処理槽が列設される「所定間隔」は、処理槽において金属部品を処理する位置、すなわち金属部品を回転させる位置及び保持させる位置の、隣接する処理槽間の距離を指すものとする。各処理槽が金属部品の搬送方向に沿って同一の幅に形成されることを要件とするものではない。
【００２９】
「搬送回転制御手段」は、記憶装置と、記憶装置に記憶されたプログラムと、プログラムに従って処理を行うマイクロプロセッサとを具備して構成させることができる。
【００３０】
従って、本発明によれば、脱脂工程、水洗工程、バリ取り工程、防錆工程、乾燥工程の順に行う五つの工程によって構成される本発明の金属部品のバリ取り方法を、自動化して連続的に行うために好適な金属部品のバリ取り装置となる。
【００３１】
そして、本発明によれば、複数の支持具を同時に昇降及び水平移動可能に構成し、処理槽の間隔と支持具の間隔とを対応させて設定することにより、複数の金属部品を同時に搬送し、異なる処理に供させ、処理槽間を平行移動させて一連の処理を行うことができる。そして、支持具の間隔が処理槽の間隔の二倍に設定され、処理槽には一つおきに保持部が設けられると共に、支持具は金属部品を把持及び開放可能な構成とされることにより、支持具は把持していた金属部品を開放して保持具に保持させ、金属部品を処理槽内での処理に供させている間に移動することができる。特に、本発明では五つの処理槽に対し、三つの支持具が設けられ、第二と第四の処理槽内に保持具が設けられていることにより、処理槽内での処理を途切れることなく連続的に行わせることができると共に、処理される複数の金属部品について同一の処理条件及び同一の処理時間で処理を行うことが可能となる。
【００３２】
そして、上記の処理の流れをコンピュータ制御することにより、化学研磨液による溶解作用にマイクロバブルの作用を併用させたバリ取りを、複数の処理槽で異なる処理を行う一連の処理の中で、自動化して行うことができる。これにより、バッチ処理を行う従来の装置を用いる場合に比べ、極めて効率良く、労働力の負担を軽減して、金属部品のバリ取りを行うことができる。
【００３３】
加えて、化学研磨槽においてマイクロバブルを併用した化学研磨を行う構成としたことにより、化学研磨液を低濃度化することができ、大量の金属部品を連続処理しても、作業環境に与える影響が殆んどないものとすることができる。これにより、金属部品の生産ラインに組み込むことが可能な、金属部品のバリ取り装置となる。
【発明の効果】
【００３４】
以上のように、本発明の効果として、化学研磨工程を含み、且つ、寸法精度を向上させて、部品の形状によらず、バリ部分を効率的に除去することが可能な金属部品のバリ取り方法、及び該方法に適した金属部品のバリ取り装置を提供することができる。また、化学研磨液を低濃度化しても、バリ部分を効率的に除去することが可能な金属部品のバリ取り方法、及び、該方法に適した金属部品のバリ取り装置を提供することができる。更に、大量の金属部品を連続処理することが可能な金属部品のバリ取り装置を提供することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
以下、本発明の最良の一実施形態である金属部品のバリ取り装置１（以下、単に「バリ取り装置１」という）、及び、該装置を使用した金属部品のバリ取り方法（以下、単に「バリ取り方法」という）について、図１乃至図３に基づいて説明する。ここで、図１（ａ）はバリ取り装置１の正面図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡ−Ａ断面図であり、図２は図１のバリ取り装置における制御の流れを示すフローチャートであり、図３は本実施形態のバリ取り方法における処理の流れを、従来の化学研磨の処理の流れと対比して示す工程図である。
【００３６】
まず、本実施形態のバリ取り装置１の構成について説明する。バリ取り装置１は、図１に示すように、脱脂液を貯留し脱脂工程を行う第一処理槽１１、水を貯留し水洗工程を行う第二処理槽１２、化学研磨にマイクロバブルを併用させたバリ取り工程を行う第三処理槽としての化学研磨槽１３、防錆剤を貯留し防錆工程を行う第四処理槽１４、送風用のファンが設けられ乾燥工程を行う第五処理槽１５からなる五つの処理槽と、金属部品Ｗを支持する支持具３０と、支持具３０を回転させる回転装置４０と、化学研磨液に浸漬された金属部品Ｗに向かって、化学研磨液と同一の化学研磨液を噴出させる噴出装置２０とを、主に具備して構成されている。
【００３７】
加えて、バリ取り装置１は、支持具３０を昇降させる昇降装置５０と、支持具３０を処理槽の上方で水平移動させる移動装置６０と、支持具３０に設けられ、金属部品Ｗを把持及び開放可能な把持開放装置と、把持開放装置によって開放された金属部品Ｗを保持する保持具７０と、回転装置４０、昇降装置５０、移動装置６０、及び把持開放装置を制御する搬送回転制御手段とを具備している。
【００３８】
更に、詳細に説明すると、五つの処理槽は、何れも上方に開口した略直方体に形成され、第一処理槽１１、第二処理槽１２、第三処理槽（化学研磨槽１３）、第四処理槽１４、第五処理槽１５の順に列設され、架台８０の上に設置されている。ここで、五つの処理槽のそれぞれの鉛直方向の中心線の、相互に隣接する二線間の距離は、全て等しい距離Ｌに設定されている。
【００３９】
また、列設された五つの処理槽の外側には、第一処理槽１１側に、処理前の金属部品Ｗを載置する処理前載置台８１が、第五処理槽１５側に、五つの処理槽での一連の処理が行われた金属部品Ｗが搬出され載置される処理後載置台８２が、それぞれ設けられており、処理前載置台８１と第一処理槽１１の鉛直方向の中心線間の距離、及び、処理後載置台８２と第五処理槽１５の鉛直方向の中心線間の距離もＬに設定されている。
【００４０】
化学研磨槽１３の正面には、図１（ｂ）に示すように、噴出口２１ａが化学研磨槽１３の内方に開口するようにノズル２１が設けられている。また、化学研磨槽１３の底面には化学研磨液を排出可能な排出口２８が設けられ、排出口２８とノズル２１は導入流路２５で接続され、その途中には中圧ポンプ２３が設けられている。また、中圧ポンプ２３とノズル２１の間には、中圧ポンプ２３により送られる化学研磨液の圧力を調整してノズル２１に供給する圧力調整弁２６が設けられている。ここで、ノズル２１、導入流路２５、中圧ポンプ２３、及び圧力調整弁２６が本発明の噴出装置２０に相当する。また、圧力調整弁２６とノズル２１との間には、化学研磨液の圧力を測定する圧力計２７が設けられ、排出口２８と中圧ポンプ２３との間には、沈殿物や異物を除去するためのフィルタ２９が取り付けられている。
【００４１】
支持具３０は、回転軸部３５と、エアの脱気・供給により金属部品Ｗを把持・開放可能なエアチャック３１を有して構成されている。ここで、エアチャック３１が本発明の把持開放装置に相当する。ここで、本実施形態のバリ取り装置１は三つの支持具３０を具備している。これらの支持具３０を、第一処理槽１１側から順に、第一支持具３０ａ、第二支持具３０ｂ、及び第三支持具３０ｃと称することとする。このとき、三つの支持具３０は、それぞれの回転軸部３５の中心線の相互に隣接する二線間の距離が２Ｌとなるように、後述の昇降体５５に取り付けられている。
【００４２】
ここで、三つの支持具３０は次のような構成により、同時に昇降可能、且つ、同時に水平移動可能とされている。まず、架台８０からは図示しない枠体が立設されており、この枠体の上部フレームには、フレームに設けられたレールを介して、スライド体６５がスライド自在に支持されている。このスライド体６５には、第二エアシリンダ６１によって駆動される水平方向に延びた第二ピストンロッド６２が取り付けられている。これにより、第二エアシリンダ６１の駆動により、スライド体６５は上部フレームにそって水平方向（図１の紙面左右方向）にスライドする。このスライド体６５には、第一エアシリンダ５１が下向きに取り付けられ、この第一エアシリンダ５１によって駆動される第一ピストンロッド５２の下端には、昇降体５５が取り付けられている。これにより、第一エアシリンダ５１の駆動により昇降体５５が鉛直方向に昇降する。
【００４３】
そして、この昇降体５５に、三つの支持具３０がエアチャック３１を下方に向けて垂下された状態で取り付けられている。これにより、第一エアシリンダ５１による駆動によって、昇降体５５を介して、三つの支持具３０ａ，３０ｂ，３０ｃが同時に昇降する。また、第二エアシリンダ６１の駆動により、スライド体６５及び昇降体５５を介して、三つの支持具３０ａ，３０ｂ，３０ｃが同時に水平方向に移動する。なお、第一エアシリンダ５１及び第一ピストンロッド５２が本発明の昇降装置５０に相当し、第二エアシリンダ６１及び第二ピストンロッド６２が本発明の移動装置６０に相当する。
【００４４】
加えて、昇降体５５には支持具３０を回転させるモータ４１が取付けられ、ベルト４２とプーリ４３によって、単一のモータ４１の回転で三つの支持具３０ａ，３０ｂ，３０ｃのそれぞれの回転軸部３５が連動して回転する構成とされている。ここで、モータ４１、ベルト４２、及びプーリ４３が本発明の回転装置４０に相当する。なお、それぞれの支持具３０ａ等に対して個々にモータ４１を設け、ベルトやプーリ等の構成を備えないものとしても構わない。
【００４５】
また、第二処理槽１２及び第四処理槽１４には、支持具３０の下降によって、支持具３０に支持された金属部品Ｗが槽内に下降した際に金属部品Ｗを挿通させ、支持具３０から金属部品Ｗが開放された際にこれを保持可能な保持具７０が設けられている。
【００４６】
バリ取り装置１の機能的構成の主たる部分は、支持具３０による金属部品Ｗの搬送及び回転を制御する搬送回転制御手段であり、記憶装置と、記憶装置に記憶されたプログラムと、プログラムに従って処理を行うマイクロプロセッサを具備して構成され、架台８０の下方に設置された制御装置（図示しない）に格納されている。また、制御装置には、バリ取り装置１の電源のＯＮ／ＯＦＦや、処理時間の設定等の入力を作業者が行うための入力操作パネルが設けられている。
【００４７】
次に、バリ取り装置１の搬送回転制御手段による処理の流れを、図１及び図２を用いて説明する。まず、処理前の金属部品Ｗは、作業者やロボットハンドにより、処理前載置台８１にセットされる。一方、三つの支持具３０ａ，３０ｂ，３０ｃは、それぞれ処理前載置台８１、第二処理槽１２、及び第四処理槽１４の上方に位置している。この位置を初期位置とする。
【００４８】
バリ取り装置１の電源がＯＮ操作されて稼働を開始すると、搬送回転制御手段は、まず第一エアシリンダ５１の電磁弁を制御し、第一ピストンロッド５２を駆動させて支持具３０を降下させる（ステップＱ１）。次に、エアチャック３１から脱気されるように真空ポンプを制御し、第一支持具３０ａによって処理前載置台８１上の金属部品Ｗを吸引・把持させる（ステップＱ２）。
【００４９】
その後、第一エアシリンダ５１を制御して支持具３０を上昇させ（ステップＱ３）、更に、第二エアシリンダ６１の電磁弁を制御して第二ピストンロッドを駆動させ、支持具３０を距離Ｌだけ処理後載置台８２側に移動させる（ステップＱ４）。この状態で、支持具３０を再度降下させると（ステップＱ５）、第一支持具３０ａに支持された金属部品Ｗは第一処理槽１１内の脱脂液に浸漬される。そして、モータ４１を制御し回転させると、ベルト４２及びプーリ４３を介して回転軸部３５が連動して回転し、金属部品Ｗは脱脂液中で回転する（ステップＱ６）。
【００５０】
その後、予め設定された所定時間Ｔ１が経過するまでは金属部品Ｗの回転を継続させ（ステップＱ７においてＮＯ）、時間Ｔ１の経過を検知すると（ステップＱ７においてＹＥＳ）、モータ４１を停止させ（ステップＱ８）、支持具３０を上昇させ（ステップＱ９）、更に、支持具３０を処理後載置台８２側へ距離Ｌだけ移動させる（ステップＱ１０）。その後、支持具３０を再び降下させ（ステップＱ１１）、金属部品Ｗが第二処理槽１２内の保持具７０に挿入された状態で、エアチャック３１にエアが供給されるよう制御することにより、金属部品Ｗが第一支持具３０ａから開放されて保持具７０に保持される（ステップＱ１２）。その後、支持具３０を上昇させ（ステップＱ１３）、処理前載置台８１側に距離２Ｌだけ移動させて、支持具３０を初期位置に戻す（ステップＱ１４）。
【００５１】
そして、所定時間Ｔ２が経過するまでは、支持具３０は初期位置でスタンバイ状態となり、金属部品Ｗは第二処理槽１２内で保持具７０に保持された状態で、継続して液中で浸漬される（ステップＱ１５においてＮＯ）。時間Ｔ２の経過を検知すると（ステップＱ１５においてＹＥＳ）、停止命令の有無が確認され、停止命令が入力されているときは処理を終了し（ステップＱ１６においてＹＥＳ）、停止命令がないときは（ステップＱ１６においてＮＯ）、ステップＱ１に戻り、支持具３０を再び降下させ、上記のような動作を繰り返して行わせる。なお、時間Ｔ１，Ｔ２は処理対象の金属部品Ｗの材質やバリの大きさ等を考慮して、予めプログラムに設定しておいても、実際の処理の際に作業者が入力しても良い。また、時間Ｔ１，Ｔ２を同一の設定とすることもできる。
【００５２】
このとき、２回目以降の処理の際には、ステップＱ１に戻った時点で既に第二処理槽１２の保持具７０に金属部品Ｗが保持されており、３回目以降の処理の際には、更に第四処理槽１４の保持具７０にも金属部品Ｗが保持されている。そのため、ステップＱ２においては、第一支持具３０ａによって処理前載置台８１上の金属部品Ｗが把持されると共に、第二支持具３０ｂによって第二処理槽１２内の保持具７０に保持された金属部品Ｗが、第三支持具３０ｃによって第四処理槽１４内の保持具７０に保持された金属部品Ｗが、同時に把持される。そして、以後の処理において、三つの金属部品Ｗは三つの支持具３０ａ等によって同時に搬送され、ステップＱ６においては、第一処理槽１１内で一つの金属部品Ｗが第一支持具３０ａによって浸漬・回転されて脱脂処理されると共に、化学研磨槽１３では別の金属部品Ｗが第二支持具３０ｂによって化学研磨液中で浸漬・回転され、更に別の金属部品Ｗが第五処理槽１５内で第三支持具３０ｃによって乾燥のために回転させられるというように、三つの金属部品Ｗが、同時に異なる処理に供される。
【００５３】
このとき、化学研磨槽１３ではノズル２１から化学研磨液の噴射が行われており、第五処理槽１５では、乾燥を促進するために、ファンから送風が行われている。なお、搬送回転制御手段によって、ノズルへ化学研磨液を送るポンプや送風用のファンの動作をも制御する構成とすることもできる。
【００５４】
また、ステップＱ１２においては、金属部品Ｗが第一支持具３０ａによって第二処理槽１２内の保持具７０に開放されると共に、第二支持具３０ｂによって第四処理槽１４内の保持具７０に、第三支持具３０ｃによって処理後載置台８２上に金属部品Ｗが開放される。そして、第二処理槽１２内では水への浸漬・静置による水洗処理が行われ、同時に、第四処理槽１４内では防錆剤への浸漬・静置による防錆処理が行われる。そして、上記のような動作を繰返すことにより、五つの処理槽内での五つの工程の処理を途切れることなく連続的に行わせることができると共に、脱脂工程、バリ取り工程、及び乾燥工程は処理時間Ｔ１、水洗工程及び防錆工程はＴ２と、処理される複数の金属部品の全てについて、同一の処理条件及び同一の処理時間で処理を行うことが可能となる。
【００５５】
ここで、一つの金属部品Ｗについて処理の流れをみてみると、図３（ａ）に示すように、処理前載置台８１に設置されて処理が開始した後、支持具３０によって搬送され、第一処理槽１１における脱脂工程Ｓ１、第二処理槽１２における水洗工程Ｓ２、化学研磨槽１３における化学研磨液及びマイクロバブルによるバリ取り工程Ｓ３、第四処理槽１４における防錆工程Ｓ３、及び第五処理槽１５における乾燥工程Ｓ４を経て、処理後載置台８２上に開放され、処理が終了することとなる。
【００５６】
ところで、一般的な化学研磨は、図３（ｂ）に例示するような流れで処理される。かかる従来の工程（ステップＰ１〜Ｐ１０）と比べた場合の、本実施形態の処理工程（ステップＳ１〜Ｓ５）の相違点は、化学研磨工程Ｐ５の前の酸洗工程Ｐ３及びその後の水洗工程Ｐ４がないこと、及び、化学研磨工程Ｐ５の後の酸洗工程Ｐ７及びその前後の水洗工程Ｐ６，Ｐ８がないことである。ここで、前処理の酸洗工程Ｐ３（ピックリング工程）は、金属表面の錆びやスケールを除去し、化学研磨液に対して活性な表面とすることを主な目的としている。しかしながら、本実施形態では、バリ取りと共に、錆びやスケールの除去を行うことができるため、前処理の酸洗工程Ｐ３を省くことができ、その結果、その後の水洗工程Ｐ４も不要となる。
【００５７】
また、後処理の酸洗工程Ｐ７は、化学研磨工程Ｐ５で化学研磨液中に溶出した金属の酸化により、金属表面に生成する薄い酸化皮膜を除去することを主な目的とする。これに対し、本実施形態では、バリ取り工程Ｓ３において金属部品Ｗに噴射されるマイクロバブルによって、酸化皮膜が生成しにくく、また、生成しても除去され易いものとなっている。これにより、酸洗工程Ｐ７を省くことができ、その後の水洗工程Ｐ８も不要となる。加えて、化学研磨工程Ｐ５後の水洗工程Ｐ６は、化学研磨液をその後の工程に持ち込まないために行うものであるが、本実施形態では、バリ取り工程における化学研磨液の濃度を低く抑えることができるため、水洗工程を設ける必要性がないものとなっている。
【００５８】
以上のように、本実施形態のバリ取り装置１及び該装置を使用したバリ取り方法によれば、コンピュータ制御により、五つの処理槽で行われる五つの工程による処理を、自動化して連続的に処理することができる。これにより、バッチ処理による従来の装置を用いた場合に比べ、金属部品のバリ取りを極めて効率良く行うことができると共に、労働力の負担を削減することができる。
【００５９】
特に、本実施形態では、五つの処理槽を設け、第二処理槽１２及び第四処理槽１７に保持具７０を設けた上で、三つの支持具３０で金属部品を搬送する構成としたことにより、脱脂工程、水洗工程、化学研磨とマイクロバブルを併用したバリ取り工程、防錆工程、乾燥工程の五つの工程をこの順に行う場合の本発明に、好適な装置となる。加えて、本実施形態では、処理前載置台８１及び処理後載置台８２のそれぞれと処理槽との間隔を、処理槽の間隔Ｌと等しい設定としたため、処理槽への金属部品Ｗの搬入から搬出まで、自動化して行うことができる。
【００６０】
また、従来の化学研磨では必要であった前処理及び後処理としての酸洗工程、及びその前後の水洗工程を省略し、工程数を削減することができる。これにより、短時間で効率良く金属部品のバリ取りを行うことができると共に、装置の構成が簡易なものとなり、装置自体を小型化することができる。特に、本実施形態では、五つの槽にわたる部品の搬送を、槽の数より少ない三つの支持具３０で行い、しかも、その三つの支持具３０の動作について、回転動作は単一のモータ４１で、昇降動作は単一の第一エアシリンダ５１で、水平移動は単一の第二エアシリンダ６１で駆動しているため、より簡易な構成であり、よりコンパクトな装置となっている。
【００６１】
更に、従来は前処理及び後処理としての酸洗工程で大量に使用されていた酸の溶液を使用する必要がないため、廃液処理の手間やコストを削減できると共に、環境に与える負荷を低減することができる。
【００６２】
次に、本発明の金属部品のバリ取り方法及び上記実施形態のバリ取り装置１を適用した具体的なバリ取り処理である実施例１及び実施例２について、本発明の要件を欠く対照例と対比させつつ、図４乃至図９を用いて説明する。ここで、図４は実施例１及び実施例２で使用したノズル２１’の構成を示す説明図であり、図５は実施例１を対照例と対比させた光学顕微鏡写真であり、図６は実施例２についてバリ取り処理による質量減少を対照例と対比させたグラフであり、図７は実施例２の光学顕微鏡写真の一例であり、図８は実施例２に対する対照例の光学顕微鏡写真の一例であり、図９は実施例２の表面粗さを示すグラフの一例である。
【００６３】
以下では、化学研磨液として、商品名カーボケム（ポリグラート社製、ドイツ）を使用した場合を例示する。このカーボケムは、過酸化水素水（過酸化水素３５重量部）、ソルトレッドＣ６００、及びカーボプラスアクティブを水で希釈した溶液である。ここで、ソルトレッドＣ６００は、金属の溶解速度に対する作用を有し、カーボプラスアクティブは処理表面の光沢度と浴の安定性に影響を及ぼす成分である。以下において、表１に示した組成に配合されたカーボケム溶液を、「１００％溶液」と称し、これを水で１０倍に希釈した溶液、及び水で２０倍に希釈した溶液を、それぞれ「１０％溶液」、「５％溶液」とする。なお、カーボケムは、鉄系金属の処理に適しており、特に炭素含有量が１．３％以下の鉄鋼の処理に好適である。なお、鉄系金属とは、鉄または鉄の合金を指すものとする。
【００６４】
【表１】
2007321202.tif 000003
【００６５】
また、以下の実施例１及び実施例２において、マイクロバブルを発生させるために用いたノズル２１’は、図４に概略構成を示すように、ホーン型のノズルであり、ノズル口径（ｄ）は１ｍｍ、ホーン長さ（Ｈ）は１２ｍｍ、ノズル長さ（ｈ）は１６ｍｍである。ホーン角（θ）は５０°〜６０°としたが、以下では６０°の場合の結果を例示した。
【実施例１】
【００６６】
下記のように、中央に貫通する孔部を有する円板状の試験片を使用した。この試験片は、孔あけ加工の際に孔部の周縁に沿ってバリが生成しているものである。
外径（直径）：４５ｍｍ
内径（直径）：８ｍｍ
厚さ：１０ｍｍ
材質：一般構造用圧延鋼ＳＳ４００
【００６７】
上記の試験片を１０％溶液に浸漬すると共に、下記の条件で１０％溶液をノズル２１’から噴射しマイクロバブルを作用させた。この試験片を、試験片Ｓ−０とする。
ノズルからの噴射圧力：３ＭＰａ
ノズルからの噴射方向：円板面に垂直に孔部の中心に向かって噴射
ノズル−試験片間距離：３０ｍｍ
噴射及び浸漬時間：５分
化学研磨液温度：２５℃
【００６８】
対照例として、ノズルからの化学研磨液の噴射は行わず、１００％溶液（化学研磨液温度２５℃）に５分間浸漬した試験片を、対照試験片Ｒ−０とする。
【００６９】
試験片Ｓ−０及び対照試験片Ｒ−０について、処理前後での光学顕微鏡観察、及び質量測定を行った。光学顕微鏡観察によれば、処理前のバリの程度は試験片Ｓ−０及び対照試験片Ｒ−０で同程度であったが、処理後では、図５（ａ）に示すように、試験片Ｓ−０では孔部の縁の全周にわたりバリが除去されていることが観察された。これに対し、対照試験片Ｒ−０では、図５（ｂ）に示すように、孔部の縁にバリが残存していた。また、孔部の縁にそって指でなぞってみたところ、試験片Ｓ−０では滑らかな感触であったのに対し、対照試験片Ｒ−０ではざらつきや引っ掛かりが感じられた。一方、質量減少の処理前の試験片の質量に対する割合は、試験片Ｓ−０では０．０５８％、対照試験片Ｒ−０では０．０８９％であり、対照試験片Ｒ−０の方が処理による金属溶解量が多かった。
【００７０】
以上のことから、化学研磨液濃度を１／１０と低くしても、ノズル２１’から化学研磨液を噴射してマイクロバブルを作用させることにより、バリを有効に除去することができることが分かった。加えて、バリが除去されていた試験片Ｓ−０の方が、バリの除去が不十分であった対照試験片Ｒ−０より、試験片全体としての金属溶解量が少なかった。このことから、マイクロバブルによる作用を併用することにより、化学研磨のみを行う場合に比べ、寸法精度を向上させてバリを除去することができると考えられた。
【００７１】
なお、上記の結果は、同一の処理時間で比較した場合を示したものであり、マイクロバブルを作用させた場合に、バリが除去されるまでに５分を要することを意味するものではない。後述の実施例２を参照すると、マイクロバブルを作用させた場合は、５分よりも早い段階でバリが除去されていると予想される。
【実施例２】
【００７２】
次に、上記の試験片とは形状の異なる試料を用いて試験を行った。試料は、直径１７ｍｍの略丸棒状部に四角柱部が連設された形状であり、本実施形態のバリ取り装置１の支持具３０に略丸棒状部を支持させ、四角柱部分を垂下して化学研磨液に浸漬し、処理を行った。この四角柱部の形状及び材質を下記に示す。
断面：一辺１０ｍｍの正方形
長さ：５８ｍｍ
材質：一般構造用圧延鋼ＳＳ４００
【００７３】
かかる試料は、加工にあたり、四角柱部の長手方向の四つの側面を、フライス盤を用い正面フライスカッターで切削したことにより、長手方向の角部に沿って根元の厚いカエリが生成していた。その対抗する二側面を、それぞれ短手方向に砥石で０．１ｍｍ平面研削することにより、カエリの根元の厚さを適度な厚さ（約１００μｍ以下）まで減少させ、除去対象のバリとした。
【００７４】
この試料について、図４に示すように、試料Ｗが支持具３０に支持され垂下された状態で、試料の回転軸Ｒとノズル２１’の中心軸Ｎとが垂直となる方向に、ノズル２１’から化学研磨液を噴射させた。また、ノズル２１’の中心軸Ｎが、試料先端から２０ｍｍに位置するように化学研磨液を噴射し、ノズル−試料間距離Ｄ（ノズルのホーン先端から試料回転軸までの距離）は３０ｍｍとした。また、液に浸漬させた状態で、試料を回転軸Ｒ周りに３０ｒｐｍの速度で回転させた。表２に、本実施例の試料Ｓ−１，Ｓ−２について処理条件を示す。同表には、対照試料Ｒ−１，Ｒ−２，及びＲ−３についての処理条件も併せて示す。
【表２】
2007321202.tif 000004
【００７５】
各試料について、処理前及び処理時間が１分、２分、及び３分経過した時点で、四角柱部の角部の光学顕微鏡観察を行った。撮影した光学顕微鏡写真に基づき、次のような基準で、バリの除去程度を判断した。その結果を表３にまとめて示す。
Ｎ：バリの除去が視認できない
Ａ：バリの除去が若干視認できる
Ｂ：ＡとＣとの間の状態
Ｃ：バリが殆んど除去されている
また、光学顕微鏡写真の一例を図７及び図８に示す。ここで、図７は試料Ｓ−２であり、（ａ）は処理前、（ｂ）は２分後、（ｃ）は３分後である。また、図８は対照試料Ｒ−２であり、（ａ）は処理前、（ｂ）は３分後である。なお、処理開始前の写真において、金属の表面付近に他より濃色の層状に撮影されているものが、バリの部分である。
【表３】
2007321202.tif 000005
【００７６】
また、処理前及び処理時間３分の時点で各試料の質量を測定し、質量の減少分の処理前の試料質量に対する割合（処理による金属溶解量）を求めた。その結果を図６にグラフ化して示す。
【００７７】
光学顕微鏡観察の結果、本実施形態の実施例である試料Ｓ−１及びＳ−２では、化学研磨液濃度が低いにも関わらず、何れも処理時間１分という早い段階からバリが除去され始め、３分経過後には、マイクロバブルが噴射された位置の近傍では殆んどバリが除去されていることが確認された。特に、試料Ｓ−２は、化学研磨液の濃度は試料Ｓ−１の半分であり、質量減少も試料Ｓ−１の半分程度であったのに対し、図７に示す顕微鏡観察によれば、試料Ｓ−１よりはやや不十分であるが、かなり良好にバリが除去されていることが確認された。このことから、化学研磨液濃度を５％という低濃度としても、マイクロバブルを作用させることにより、試料全体が研磨されることを抑制しつつ、有効にバリを除去することができると考えられた。
【００７８】
一方、化学研磨液を全く含まない水に浸漬すると共に、水をノズル２１’から噴射した対照試料Ｒ−１では、２分後に若干バリが取れかかっていることが光学顕微鏡観察で視認されたが、３分後のバリの除去程度に差異が確認されなかった。このことから、マイクロバブルを作用させる場合であっても、化学研磨液が０％（水）の場合は、有効なバリ取りを短時間で行うことは困難であり、化学研磨液による溶解作用とマイクロバブルによる衝撃力との相乗効果によって、バリが短時間で有効に除去可能となると考えられた。
【００７９】
また、マイクロバブルを作用させたが化学研磨液濃度が低い試料Ｓ−１と、化学研磨液濃度はその１０倍濃いがマイクロバブルを作用させない対照試料Ｒ−２とを比較すると、図６に示すように、質量減少量は処理時間の経過に伴って対照試料Ｒ−２の方がより多くなる。一方、光学顕微鏡観察によれば、図８に示すように、対照試料Ｒ−２では、濃色に見えるバリの層が３分経過後に若干減少していることが認められるものの、視野全体にわたりバリの層が残存していた。このことから、対照試料Ｒ−２の３分経過時点での金属溶解量におけるバリ部分の寄与度は小さく、化学研磨液濃度を高く設定しマイクロバブルを作用させない従来の化学研磨の処理条件では、バリを完全に除去するまでにはバリ以外の部分の溶解が進行してしまうと考えられた。
【００８０】
更に、試料Ｓ−１と同じく化学研磨液の濃度が１０％であるがマイクロバブルを作用させない対照試料Ｒ−３は、質量減少も少なく、光学顕微鏡観察からもバリの層がほとんど変化していない様子が観察された。これにより、マイクロバブルを作用させない場合、化学研磨液が１０％という低濃度の場合は、バリの除去は困難であると考えられた。
【００８１】
また、試料Ｓ−１，Ｓ−２及び対照例Ｒ−１乃至Ｒ−３について、四角柱部の長手方向の側面の中央を長手方向に沿って、表面粗さの測定を行った。その結果、化学研磨液とマイクロバブルを併用した試料においては、図９に試料Ｓ−２のろ波うねり曲線を例示するように、マイクロバブルを作用させた範囲（図示、矢印Ｘ）で表面粗さが改善され、平滑化されていることが確認された。
【００８２】
なお、上記の実施例２においては、バリ取り効果を評価するために、意図的に、長手方向にバリを有する試料に対して、マイクロバブルを局部的に作用させている。実際に金属部品のバリ取りを行う際、加工対象面がマイクロバブルの噴射範囲内に収まらない試料の場合には、試料及びノズルの位置を相対的に変化させることにより、金属部品全体にマイクロバブルを当て、全体的にバリの除去を行うことができる。
【００８３】
以上のように、本実施形態の実施例１及び実施例２によれば、化学研磨にマイクロバブルによる作用を併用することにより、化学研磨液による溶解作用のみでバリを除去しようとする従来の場合に比べ、化学研磨液の濃度を１／１０〜１／２０に低くしても、有効にバリを除去することができた。しかも、化学研磨液による溶解作用のみでバリを除去しようとする場合に比べ、試料全体の金属溶解量を抑制してバリを除去することができ、寸法精度が良くないという従来の化学研磨の短所を、改善することができると考えられた。
【００８４】
また、本実施例で使用した化学研磨液のカーボケムは、過酸化水素を含有し、過酸化水素の有する強い酸化力を利用して金属の表面からバリを除去することができる。ここで、マイクロバブルは、崩壊時に水を分解しＯＨラジカルを生成すると言われているが、このＯＨラジカルは極めて強い酸化力を有する。そのため、過酸化水素水が含まれる化学研磨液をノズルから噴射してマイクロバブルを発生させることにより、水に由来するＯＨラジカルに加えて、過酸化水素に由来するＯＨラジカルが発生し易くなる可能性が考えられ、化学研磨液が本来有している強い酸化力を、マイクロバブルによって更に高めることができると期待される。
【００８５】
以上、本発明について好適な実施形態を挙げて説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、以下に示すように、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々の改良及び設計の変更が可能である。
【００８６】
例えば、上記実施形態のバリ取り装置では、五つの処理槽のそれぞれの鉛直方向の中心線の、相互に隣接する二線間の距離をＬすることにより、処理槽が「所定間隔で列設される」場合を例示したが、本発明は、このように金属部品の搬送方向に沿って各処理槽が同一の幅に設けられることを要件とするものではない。すなわち、処理槽において金属部品を処理する位置、すなわち金属部品を回転させる位置及び保持する位置の間の距離がＬであれば、各処理槽の幅に長短があり、必ずしも処理槽の中央で金属部品を処理しなくとも、上記と同様の流れで処理を行うことができる。
【００８７】
更に、本実施形態のバリ取り装置では、化学研磨槽に浸漬された金属部品には回転のみ行わせる場合を例示したが、これに限定されない。例えば、回転軸方向に長い金属部品のバリ取りを行う場合、支持具に低速送り機構を設け、或いはノズル自体を昇降可能な構成とすることにより、マイクロバブルが噴射される位置を金属部品に対して長手方向に相対的に移動させ、部品全体にわたってバリの除去を行うことが可能となる。
【００８８】
また、ノズル、或いは、降下させた状態での支持具を水平方向に移動可能或いは揺動可能な構成とすることにより、種々の金属部品の処理を一台のバリ取り装置で行う場合に、金属部品の形状や大きさ等に応じて、試料とノズルとの位置関係を容易に調整可能な装置とすることができる。
【００８９】
加えて、槽内の液量を検知するための液面センサや液面高さ計、或いは、化学研磨液の濃度やＰＨ等を検出する測定器を具備する構成とすることができる。そして、予め定めた所定範囲から外れた値が検知・検出された際に、ブザーやランプにより警報を行う構成を付加することもできる。
【図面の簡単な説明】
【００９０】
【図１】図１（ａ）は本発明の一実施形態のバリ取り装置の正面図であり、（ｂ）は（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。
【図２】図１のバリ取り装置における制御の流れを示すフローチャートである。
【図３】本発明の一実施形態のバリ取り方法における処理の流れを従来の化学研磨の処理の流れと対比して示す工程図である。
【図４】実施例１及び実施例２で使用したノズルの構成を示す説明図である。
【図５】実施例１を対照例と対比させた光学顕微鏡写真である。
【図６】実施例２についてバリ取り処理による質量減少を対照例と対比させたグラフである。
【図７】実施例２の光学顕微鏡写真の一例である。
【図８】実施例２に対する対照例の光学顕微鏡写真の一例である。
【図９】実施例２の表面粗さを示すグラフの一例である。
【符号の説明】
【００９１】
１  バリ取り装置（金属部品のバリ取り装置）
１１  第一処理槽
１２  第二処理槽
１３  化学研磨槽（第三処理槽）
１４  第四処理槽
１５  第五処理槽
２０  噴出装置
２１，２１’  ノズル（噴出装置）
２３  中圧ポンプ（噴出装置）
２５  導入流路（噴出装置）
２６  圧力調整弁（噴出装置）
３０  支持具
３１  エアチャック（把持開放装置）
４０  回転装置
４１  モータ（回転装置）
４２  ベルト（回転装置）
４３  プーリ（回転装置）
５０  昇降装置
５１  第一エアシリンダ（昇降装置）
５２  第一ピストンロッド（昇降装置）
６０  移動装置
６１  第二エアシリンダ（移動装置）
６２  第二ピストンロッド（移動装置）
７０  保持具
【図１】
2007321202.tif 000006
【図２】
2007321202.tif 000007
【図３】
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【図４】
2007321202.tif 000009
【図５】
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【図６】
2007321202.tif 000011
【図７】
2007321202.tif 000012
【図８】
2007321202.tif 000013
【図９】
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