(57)【要約】【課題】真空チャンバＣ等の減圧環境下で使用する気体ばね式の除振装置を、コンパクトでありながら、非常に柔らかなばね特性を有するものとする。【解決手段】真空チャンバＣ内で機器１を搭載するアイソレータユニット２（除振装置）を、エアマウント４とその周囲を囲むシールドカバー５とを備えるものとする。シールドカバー５等により真空チャンバＣ内から隔離されたアイソレータユニット２内の空間Ｓに大気圧を導入し、真空チャンバＣ内との差圧によりトッププレート６を浮上させて、機器１の荷重を支持する支持機構（気体圧作動機構）を構成する。これによりエアマウント４の支持荷重が非常に小さくなり、ばね定数が非常に小さくなって、高い除振性能が得られる。支持機構は、容積無限大の補助タンクが付加された空気ばねとも見做される。【選択図】    図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
減圧室内で被支持体を気体ばねにより支持するようにした除振装置であって、
前記気体ばねの気体室が前記減圧室外に連通されて、大気圧を受けるように構成されていることを特徴とする気体ばね式除振装置。
【請求項２】
前記気体ばねが金属製ベローズを有することを特徴とする請求項１に記載の気体ばね式除振装置。
【請求項３】
前記気体ばねの気体室内には、被支持体を支持する別のばね要素が配設されていることを特徴とする請求項２に記載の気体ばね式除振装置。
【請求項４】
前記別のばね要素も気体ばねからなることを特徴とする請求項３に記載の気体ばね式除振装置。
【請求項５】
前記別のばね要素は、ジンバルピストンを有する気体ばねからなることを特徴とする請求項４に記載の気体ばね式除振装置。
【請求項６】
前記金属製ベローズは、互いに上下に離間して２つ配置され、中間に配置された金属製パイプ部材によって連結されていることを特徴とする請求項５に記載の気体ばね式除振装置。
【請求項７】
減圧室内で被支持体を気体ばねにより支持するようにした除振装置であって、
前記気体ばねとは別に、気体圧により作動して被支持体を支持する気体圧作動機構が設けられ、この気体圧作動機構の作動室が前記減圧室外に開放されて、大気圧を受けるように構成されていることを特徴とする気体ばね式除振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、精密機器等を気体ばねにより支持して、振動の伝達を抑制するようにした気体ばね式の除振装置に関し、特に真空チャンバ等のように減圧された環境下で使用されるものに係る。
【背景技術】
【０００２】
従来より、この種の除振装置として、例えば特許文献１、２にそれぞれ開示されるように、通常はゴムにより形成される気体ばねの可撓性壁（ベローズ、ダイヤフラム）を金属製の溶接ベローズにより構成して、真空チャンバ内で使用してもアウトガスの問題を生じないようにしたものが知られている。
【０００３】
前記溶接ベローズは、金属製の環状薄板を複数枚、重ね合わせて外周及び内周を交互に溶接したものであり（図４の符号５０を参照）、軸方向についてゴムのダイヤフラムと同等の柔らかなばね特性を有するとともに、大きな屈曲性も併せ持っている。
【特許文献１】特開２００４−２２１２５１号公報
【特許文献２】特開２００５−３０８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、一般に、真空チャンバ内の限られた空間において精密機器を支持する気体ばねには、その機器との空間の取り合いもあってコンパクト化の要求が強く、気体室の容積をあまり大きくすることができない。
【０００５】
一方で、気体ばねにより支持される精密機器や定盤はかなりの重量を有するから、静止状態でも気体ばねに加わる支持荷重は比較的大きくなり、前記のように気体室の容積が比較的小さいことと相俟って、ばね定数が大きくなりやすい。そのため、固有振動数を低下させて、除振性能を高めることは難しかった。
【０００６】
本発明は斯かる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、真空チャンバのような減圧室内で使用される気体ばね式の除振装置において、その気体室の構成に工夫を凝らし、コンパクトでありながら、非常に柔らかなばね特性が得られるようにすることにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記の目的を達成するために、本発明は、減圧室内外の圧力差に着目し、気体ばねの気体室を減圧室外に連通させて、容積無限大の補助タンクとして活用するようにしたものである。すなわち、請求項１の発明では、減圧室内で被支持体を気体ばねにより支持するようにした除振装置を対象とし、その気体ばねの気体室を減圧室外に連通させて、大気圧を受けるように構成した。
【０００８】
前記の構成により、気体ばねの気体室が減圧室外に連通し、大気圧を受けることから、この気体ばねには容積無限大の補助タンクが付加されているとみなすことができ、ばね定数が非常に小さくなるので、気体ばね自体はコンパクトであっても非常に柔らかなばね特性が得られる。
【０００９】
好ましいのは、前記気体ばねとして、金属製ベローズを有するものを用いることであり（請求項２の発明）、こうすれば、減圧室の内圧が非常に低くてもアウトガスの問題は生じない。
【００１０】
また、その場合には、前記気体ばねの気体室内に、被支持体を支持する別のばね要素を配設することもできる（請求項３の発明）。こうすれば、気体ばねのばね定数を零に近づけても、その気体室内に配設した別のばね要素によって元の高さへの復帰が可能になり、被支持体を安定的に支持することができる。しかも、その別のばね要素は、気体ばねによって減圧室内から遮断されているので、それを配設したことによってアウトガスの問題が生じることもない。
【００１１】
より好ましいのは前記別のばね要素も気体ばねにより構成することであり（請求項４の発明）、こうすれば、除振装置に好適な柔らかなばね特性が容易に得られる。特に、ジンバルピストンを有する気体ばねを用いた場合は（請求項５の発明）、上下方向のみならず水平方向にも非常に柔らかいばね特性が得られるので、除振装置として非常に好ましい。
【００１２】
また、そうしてジンバルピストンを用いる場合には、気体ばねの金属製ベローズを互いに上下に離間させて２つ配置し、それらの中間に配置した金属製パイプ部材によって連結することが好ましい（請求項６の発明）。こうすれば、上下２つの金属製ベローズがそれぞれ柔軟に屈曲するとともに、中間のパイプ部材が揺動することで水平方向の変位が許容されるようになり、水平方向にも柔らかなばね特性が得られるというジンバルピストンの特長が十分に活かされる。
【００１３】
見方を変えれば、本発明は、減圧室の内外の圧力差に着目し、これを利用して搭載機器の荷重の一部を支持するようにしたものということもできる。
【００１４】
すなわち、請求項７の発明は、請求項１の発明と同じく、減圧室内で被支持体を気体ばねにより支持するようにした除振装置を対象として、その気体ばねとは別に、気体圧により作動して被支持体を支持する支持機構を設け、この支持機構の作動室を減圧室外に開放して、大気圧を受けるように構成したものである。
【００１５】
前記構成によると、大気圧を受けて減圧室内との差圧により作動する支持機構、例えばシリンダやベローズ等によって、被支持体の荷重の一部を支持することができ、その分、気体ばねによる支持荷重が小さくなるから、その気体ばねのばね定数を小さくして、コンパクトであっても非常に柔らかなばね特性のものとすることができる。
【００１６】
好ましいのは、前記支持機構として金属製ベローズを有する空気ばねを用い、その空気室内に気体ばねを配設することであり、より好ましいのは、気体ばねとしてジンバルピストンを有するものを用いることである。こうすると、前記請求項５の発明に係る除振装置と同じ構成になる。
【００１７】
尚、ジンバルピストンというのは、被支持体の水平方向変位をピストンの揺動に変換して吸収するようにしたものであり、気体ばねの基台ケースの開口付近に可撓性部材によって保持したピストン本体と、上部に被支持体の荷重を受ける支持柱とを備え、そのピストン本体には上下方向の貫通孔を形成するとともに、該貫通孔の下方に対応して有底筒状の下方延出部を設け、この下方延出部の中空部内を上下に延びるように前記支持柱を配置して、その下端部を下方延出部の底部にて枢支させたものである。
【００１８】
そうした構成により、被支持体が水平方向に変位すると、ジンバルピストンの支持柱も水平方向に変位し、これによりピストン本体及びその下方延出部が揺動するようになる。すなわち、ピストン本体の左右両側でこれを保持する可撓性部材が互いに逆の向きに撓むことで、該ピストン本体が容易に揺動し、これにより被支持体の水平方向の変位が吸収されることになる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施形態を図面に基いて説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２０】
−全体構成−
図１は、本発明に係る気体ばね式除振装置の使用態様を示し、真空チャンバＣ（減圧室）内で例えば半導体関連装置等の精密機器１（被支持体）を、床振動から殆ど絶縁した状態で設置するために複数のアイソレータユニット２，２，…（図には２つ示す）によって支持したものである。
【００２１】
そうして複数のアイソレータユニット２，２，…により支持された機器１は、水平方向及び上下方向の３軸に沿った並進運動の他に、該各軸周りの揺動運動が可能で合計６つの運動自由度を有しており、この機器１を支持する各アイソレータユニット２にはそれぞれ並進及び揺動運動が重畳されて作用することになるが、いずれの運動方向についても変位量は小さいから、各アイソレータユニット２において生じる運動は実質的に上下又は水平の並進運動と見做すことができる。
【００２２】
前記アイソレータユニット２は、空気ばね３（気体ばね）を内包するエアマウント４と、その周囲を囲むシールドカバー５とを備え、それらの上部が各々トッププレート６に締結される一方、下部は各々ボトムプレート７に締結されて、一体化されたものである。ボトムプレート７は真空チャンバＣの床に固定されており、このボトムプレート７とシールドカバー５及びトッププレート６とによって取り囲まれた空間Ｓは、真空チャンバＣ内から隔離されている。
【００２３】
−エアマウント−
前記エアマウント４は、従来例（特許文献２）のものと同様にダイヤフラム形空気ばね３のピストンにジンバル機構を組み込んで、上下方向に柔らかいという空気ばね本来の特性に加えて、水平方向にも柔らかなばね特性が得られるようにしたものである。より具体的には図２にも示すように、エアマウント４は、ボトムプレート７の上面に締結された矩形箱状のケーシング４０（基台ケース）を備え、このケーシング４０の天井部に開口する丸穴４０ａに内挿された状態で、ダイヤフラム４１により上下動可能にピストン本体４２が保持されている。
【００２４】
すなわち、図３にも示すようにピストン本体４２は、中心を断面円形の貫通孔４２ａが上下方向に延びるドーナツ状とされ、外周の下側約半分には下方に向かって縮径するテーパ面が形成されている。そして、そのピストン本体４２の下端面から外周側テーパ面全体を覆うように上方に延び、湾曲して下方に折り返された後に外周側に広がって丸穴４０ａの周縁までの隙間を閉塞するように、ダイヤフラム４１が配設されている。これにより、ケーシング４０内には空気室が区画され、ここにピストン本体４２の下端面が臨んでその内圧を受けることで、主に上下方向の荷重を支持する空気ばね３が構成されている。
【００２５】
前記ダイヤフラム４１は、ゴム弾性膜により概略皿状に形成され、前記のようにピストン本体４２の下面に接着される内周部４１ａと、その外周側に連続して上方に凸となるように湾曲する環状ロール部４１ｂと、さらにその外周側に連続する鍔状に設けられ、丸穴４０ａを囲むケーシング４０の上壁に接着される外周フランジ４１ｃとからなる。外周フランジ４１ｃは、ケーシング４０の上壁とそこに締結される環状の締付け部材４３とによって挟持されている。
【００２６】
そうしてピストン本体４２を保持するダイヤフラム４１の環状ロール部４１ｂが全周に亘って上下にうねるように撓むことで、ピストン本体４２が上下動するようになる。また、環状ロール部４１ｂがピストン本体４２を挟む左右両側で互いに逆向きに撓むことで、ピストン本体４２が揺動するようになる。ゴム弾性膜により形成されたダイヤフラム４１は非常に薄く、柔らかなものであるから、前記のようなピストン本体４２の上下動及び揺動に対する反力（弾性力）は非常に小さい。
【００２７】
前記ピストン本体４２の下端面には、略鉛直下方に向かって延びる円筒状のピストンウエル４４（下方延出部）が取付けられている。このピストンウエル４４の上端部は縮径されて、ピストン本体４２の貫通孔４２ａに下方から螺入されており、この貫通孔４２ａにピストンウエル４４の中空部４４ａが連通している。一方、ピストンウエル４４の下端部には、中空部４４ａの下端を閉止するようにキャップ４５が取り付けられている。
【００２８】
また、前記ピストンウエル４４の中空部４４ａ内には、荷重を受ける支持柱としてのサポートロッド４６が上下方向に伸びるように配置され、その下端に設けられた球状部４６ａが前記キャップ４５の上面（ピストンウェル４４の底部）にて枢支されている。サポートロッド４６の下端側には、その軸心を中空部４４ａの中心線上に維持するための弾性リング部材４７が外挿されている。
【００２９】
一方、サポートロッド４６の上端部は、ピストン本体４２の上面よりも上方に突出し、直径の拡大された拡径部が形成されるとともに、その上面全体が上方に凸の球面状とされており、この面が、トッププレート６の下面に転動自在に当接して荷重を受ける荷重受け面４６ｂとされている。この荷重受け面４６ｂにおける転動により、サポートロッド４６はトッププレート６に対し揺動する。尚、トッププレート６の下面には位置決め部材４８が固定されており、サポートロッド４６上端の拡径部を、そこに外挿された弾性リング部材４９を介して外周側から保持するようになっている。
【００３０】
以上のように構成されたエアマウント４は、ピストン本体４２、ピストンウエル４４、サポートロッド４６等が一体となって上下動し、空気ばね３のピストン（ジンバルピストン）として機能するとともに、ピストン本体４２及びピストンウエル４４とサポートロッド４６とがそれぞれ揺動することで、ジンバルピストンは水平方向に非常に柔らかなばねとして機能する。
【００３１】
すなわち、ジンバルピストンは、ケーシング４０に対してピストン本体４２及びピストンウエル４４が一体に揺動するとともに、トッププレート６に対してサポートロッド４６が揺動することで、搭載機器１と床面との間の水平方向変位を許容するのであるが、その際、前記ピストン本体４２等の揺動に対するダイヤフラム４１の反力が前記の如く非常に小さく、また、搭載機器１の荷重によりトッププレート６からサポートロッド４６を引き起こすように作用する力も非常に小さいので、水平方向の復元力（ばね力）は非常に小さなものとなるのである。
【００３２】
尚、この実施形態では、上述したように、サポートロッド４６上端の荷重受け面４６ｂを球面状として、トッププレート６の下面に対し転動自在にしているが、これに限らず、サポートロッド４６の上端面を平面として、トッププレート６の下面に接合してもよい。
【００３３】
−大気圧による荷重の支持機構−
上述したように、エアマウント４は、搭載する機器１の静的な荷重を空気ばね３によって支持するものであり、この空気ばね３の内圧を低くするほど、また、その容量を大きくするほど、上下方向のばね定数は小さくなるので、固有振動数を低下させて、広い周波数域に亘って振動伝達率を低下させることが、つまり高い除振性能を得ることができる。
【００３４】
しかし、この実施形態のように真空チャンバＣの限られた空間内で使用する場合、搭載機器１との空間の取り合いもあってエアマウント４はできるだけコンパクトに構成しなくてはならず、その空気ばね３の容量を十分に大きくすることは難しい。一方で、搭載される機器１は通常、かなりの重量を有するものであるから、個々のアイソレータユニット２への分担荷重も大きくなり、これを支持する空気ばね３の内圧は比較的高くならざるを得ない。その結果、空気ばね３のばね定数が比較的大きくなって、除振には不利になってしまう。
【００３５】
そこで、この実施形態では、本発明の特徴部分であるが、エアマウント４の周囲を囲むアイソレータユニット２のシールドカバー５を利用して、エアマウント４とは別に搭載機器１の荷重を支持する支持機構を構成し、これによりエアマウント４の支持荷重を減らして、空気ばね３のばね定数を小さくするようにしたものである。
【００３６】
以下、その支持機構について詳細に説明する。まず、この実施形態のシールドカバー５は、前記図２や図４にも示すように、上下一対の溶接ベローズ５０，５０を金属製の中間パイプ５１によって連結したものである。溶接ベローズ５０は、例えばステンレス等、金属製の薄板材を打ち抜いた円環状のコア５０ａ，５０ａ，…（図４にのみ符号を付す）を複数枚、重ね合わせて、上下に隣接するものの外周部及び内周部を交互に溶接したものであり、複数のコア５０ａ，５０ａ，…がそれぞれ撓むことによって比較的大きな伸縮性を有する。
【００３７】
そして、上側の溶接ベローズ５０の最下部のコア５０ａが中間パイプ５１上端のフランジに溶接される一方、下側の溶接ベローズ５０の最上部のコア５０ａは中間パイプ５１下端のフランジに溶接されるとともに、上側の溶接ベローズ５０の最上部のコア５０ａは環状の締結板５２に、また、下側の溶接ベローズ５０の最下部のコア５０ａは環状締結板５３にそれぞれ溶接されており、それら締結板５２，５３をそれぞれトッププレート６及びボトムプレート７に締結するようになっている。
【００３８】
前記の如き構成のシールドカバー５は、上下の溶接ベローズ５０，５０がそれぞれ伸長、収縮するものであるが、溶接ベローズ５０は、コア５０ａ，５０ａ，…のそれぞれの撓み量が小さくても、全体としては大きく伸長、収縮するから、その反力はあまり大きくはならない。よって、トッププレート６とボトムプレート７との間にシールドカバー５を設けても、アイソレータユニット２の上下方向のばね定数が大きくなることはない。
【００３９】
また、溶接ベローズ５０は、軸線のいずれか一側が伸長し且つ反対側が収縮することで湾曲し、この際もコア５０ａ，５０ａ，…のそれぞれの撓み量が小さくても、全体としては大きく湾曲するから、その反力はあまり大きくはならない。そして、上下の各溶接ベローズ５０，５０が互いに反対の向きに湾曲するとともに、中間パイプ５１が傾斜（揺動）することで、シールドカバー５全体はＳ字状に屈曲し、トッププレート６及びボトムプレート７の水平方向の相対変位を許容するようになるが、このときの反力も大きくないことから、アイソレータユニット２の水平方向のばね定数が大きくなることはない。
【００４０】
そうしてシールドカバー５に囲まれた空間Ｓに臨んで開口するように、前記図１、２に示すようにボトムプレート７には、厚み方向の貫通穴７ａ，７ａ，…が複数、形成されている。これらの貫通穴７ａ，７ａ，…は、それぞれ、エアマウント４の設置される部位以外でボトムプレート７の上面に開口する一方、真空チャンバＣの床面に開口する外部との連通孔ｃ１，ｃ１，…に連通している。
【００４１】
つまり、前記のように柔らかく伸縮し且つ屈曲するシールドカバー５に囲まれたアイソレータユニット２内の空間Ｓが大気開放されていて、そこが大気圧状態になるため、トッププレート６には真空チャンバＣ内との圧力差によって浮上力が作用することになる。言い換えると、前記シールドカバー５、トッププレート６及びボトムプレート７により、大気圧を利用して搭載機器１の荷重を支持する支持機構が構成されている。
【００４２】
そうして大気圧を利用して搭載機器１の荷重の一部を支持することで、その分、エアマウント４の支持荷重は少なくなり、空気ばね３のばね定数は小さくなるが、搭載機器１の質量自体は変わらないので、系の固有振動数は低くなり、このことで、広い周波数域に亘って振動伝達率を低下させることができる。トッププレート６における大気圧の有効受圧面積を大きくして、荷重の殆どを支持機構により受けるようにすれば、エアマウント４への荷重は非常に小さくなり、そのばね定数は殆ど零にすることもできる。
【００４３】
但し、大気圧によるトッププレート６の浮上力が大き過ぎると、機器１が上昇してしまうことになるし、仮に浮上力と荷重とを釣り合わせて、エアマウント４のばね定数を零にした場合は、例えば機器１の作動に伴い個々のアイソレータユニット２，２，…への分担荷重が変化したときに、これによる機器１の姿勢の変化を復元する力が得られなくなるから、機器１の作動による分担荷重の変動分に見合う程度の荷重はエアマウント４に支持させることが好ましい。こうすれば、機器１の作動時にもその姿勢の崩れを防止して、安定的に支持することができる。
【００４４】
前記の如くシールドカバー５、トッププレート６及びボトムプレート７により構成される支持機構は、見方を変えれば、ベローズ型の空気ばねと見做すこともできる。この空気ばねは、空気室である空間Ｓが真空チャンバＣ外に開放されていて、いわば容積無限大の補助タンクが連通していることになるから、そのばね定数は非常に小さくなる。
【００４５】
特に、この実施形態のように精密機器１を搭載する場合は元々、アイソレータユニット２へ入力する振動の振幅は非常に小さいと考えられ、これによる空気の移動量も非常に少ないから、アイソレータユニット２の内部空間Ｓを真空チャンバＣ外に連通する貫通穴７ａ，７ａ，…や連通孔ｃ１，ｃ１，…が或る程度、大きければ、ばね定数は零に近くなるとも考えられる。
【００４６】
したがって、この実施形態のアイソレータユニット２（気体ばね式除振装置）では、エアマウント４を真空チャンバＣ内から隔離するシールドカバー５を利用して、該シールドカバー５、トッププレート６及びボトムプレート７によって取り囲まれた空間Ｓに大気圧を導入し、これにより搭載機器１の荷重を支持する支持機構を構成したから、コンパクトなエアマウント４であってもばね定数は非常に小さくすることができ、これにより上下方向の固有振動数が非常に低くなって、極めて高い除振性能が得られる。
【００４７】
また、この実施形態ではエアマウント４の空気ばね３にジンバルピストンを採用しており、このことで上下方向のみならず、水平方向にも非常に柔らかなばね特性が得られる。しかも、エアマウント４を囲むシールドカバー５を上下２つの溶接ベローズ５０と中間パイプ５１とにより構成して、非常に柔軟に屈曲できるようにしたから、前記ジンバルピストンの特長が十分に活かされて、アイソレータユニット２は、水平方向についても固有振動数が非常に低くなり、極めて高い除振性能が得られる。
【００４８】
さらに、そうしてエアマウント５を囲むシールドカバー５が可撓性壁として金属製の溶接ベローズ５０を備え、真空チャンバＣ内であってもアウトガスの問題が生じないことから、このシールドカバー５、トッププレート６及びボトムプレート７によって真空チャンバＣ内から隔離されているエアマウント４には、ゴムのダイヤフラム４１や配管用ホース等を使用することができる。
【００４９】
図５は、この実施形態に係るアイソレータユニット２の除振性能の一例として、上下方向の振動伝達特性を示す実験結果のグラフ図である。同図によれば、共振ピークの現れる周波数（固有振動数）が非常に低くなっていて、広い周波数域に亘って振動伝達率が低くなり、極めて優れた除振性能を得られることが分かる。
【００５０】
尚、図の例では、作動時に搭載機器１の姿勢が崩れないよう、エアマウント４の支持する荷重割合を比較的大きくしており、それをさらに小さくすれば、固有振動数はさらに低周波側に移すことができる。また、図の例では１３Ｈｚ付近に小さな共振点が現れているが、これは、中間パイプ５１をマスとするシールドカバー５の共振によるものと考えられ、この中間パイプ５１にゴムシート等の減衰材を付加することによって、解消できる。
【００５１】
−他の実施形態−
本発明の構成は、上述した実施形態のものに限定されず、他の種々の構成も含むものである。すなわち、前記の実施形態では、エアマウント４の空気ばね３としてジンバルピストンを有するものを用いたが、これに限らない。また、空気ばね３の代わりに例えば窒素ガス等を充填した気体ばねを用いてもよいし、気体ばねではなくコイルばね、或いは単なる防振ゴム等のばね要素を用いることもできる。
【００５２】
また、前記の実施形態ではエアマウント４をシールドカバー５等で覆うことにより、アウトガスの問題を生じないようにしているが、真空チャンバＣ内ではなく、アウトガスがあまり問題にならない程度の減圧環境下で使用する場合は、エアマウント４をシールドカバー５外に配置することもできる。
【００５３】
さらに、前記実施形態のシールドカバー５は、一対の溶接ベローズ５０，５０と中間パイプ５１とを連結して構成しているが、これに限らず、シールドカバー５全体を溶接ベローズ５０により構成することもできる。また、前記のようにアウトガスがあまり問題にならない減圧環境下で使用する場合は、シールドカバー５を金属製の溶接ベローズ５０ではなく、ゴムのベローズ等によって構成することもできる。
【００５４】
さらにまた、仮に上下方向の除振要求のみが厳しく、水平方向の除振についてはあまり厳しい要求がない場合は、前記シールドカバー５に代えて例えばエアシリンダのような気体圧作動機構を用いることも可能である。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】本発明の実施形態に係るアイソレータユニット（除振装置）の使用の態様を示す模式図であり、(a)は上面図、(b)は正面図である。
【図２】アイソレータユニットの構造を示す縦断面図である。
【図３】ジンバルピストンの構造を概略的に示す分解斜視図である。
【図４】シールドカバーの構造を概略的に示す分解斜視図である。
【図５】実施形態のアイソレータユニットによる除振性能を示すグラフ図である。
【符号の説明】
【００５６】
１            搭載機器（被支持体）
２            アイソレータユニット（除振装置）
３            空気ばね（気体ばね）
４            エアマウント
４２          ピストン本体（ジンバルピストン）
４４          ピストンウエル（ジンバルピストン）
４６          サポートロッド（ジンバルピストン）
５            シールドカバー（支持機構：気体圧作動機構、気体ばね）
５０          溶接ベローズ（金属製ベローズ）
５１          中間パイプ
６            トッププレート（支持機構：気体圧作動機構、気体ばね）
７            ボトムプレート（支持機構：気体圧作動機構、気体ばね）
Ｓ            アイソレータユニット内の空間（作動室、気体室）
Ｃ            真空チャンバ（減圧室）
【図１】
2007321932.tif 000003
【図２】
2007321932.tif 000004
【図３】
2007321932.tif 000005
【図４】
2007321932.tif 000006
【図５】
2007321932.tif 000007