(57)【要約】【課題】光導波路領域と光ファイバ固定領域の間に凹溝を形成された光導波路モジュールにおいて、凹溝内もしくはその上方で光ファイバが位置ずれを起こしにくい構造を提供する。【解決手段】基板３１の上面には凹溝３５を介して光導波路４０を実装した光導波路領域Ａと、光ファイバ３７を実装するための光ファイバ位置決め溝３４を設けた光ファイバ固定領域Ｂとが形成される。光ファイバ位置決め溝３４に実装された光ファイバ３７の端部は凹溝３５内に突出して光導波路４０の光導波路コア４１に対向させられる。光ファイバ３７の上から基板３１に接着されたカバープレート３８の端部は光ファイバ３７の端部を覆うように凹溝３５の上方へ突出しており、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８の下面に接着されている。【選択図】      図５
2007156378.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光導波路コアを有する光導波路領域と光ファイバを保持する光ファイバ固定領域とが凹溝を介して基板の上面に形成され、端部が前記凹溝内へ張り出すようにして、かつ、前記光導波路コアと結合するようにして前記光ファイバ固定領域に光ファイバが設置された光導波路モジュールにおいて、
前記光ファイバの上にカバープレートが重ねられ当該カバープレートが前記光ファイバ固定領域において前記基板に接合され、前記凹溝内又はその上方において前記カバープレートと前記光ファイバとが重なり合っていることを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項２】
光導波路コアを有する光導波路領域と光ファイバを保持する光ファイバ固定領域とが凹溝を介して基板の上面に形成され、端部が前記凹溝内へ張り出すようにして、かつ、前記光導波路コアと結合するようにして前記光ファイバ固定領域に光ファイバが設置された光導波路モジュールにおいて、
前記光ファイバの上にカバープレートが重ねられ当該カバープレートが前記光ファイバ固定領域において前記基板に接合され、前記凹溝内又はその上方において前記カバープレートと前記光ファイバとが互いに接着されていることを特徴とする光導波路モジュール。
【請求項３】
前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に接触していることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール
【請求項４】
前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に接着剤により接着されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール。
【請求項５】
前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と平行となるように形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール。
【請求項６】
前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と異なる角度に形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール。
【請求項７】
前記カバープレートの凹溝側端面と前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間の間隔が、前記カバープレートの凹溝側端面の下端部よりも上端部のほうが広くなっていることを特徴とする、請求項６に記載の光導波路モジュール。
【請求項８】
前記カバープレートの凹溝側端面と前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間の間隔が、前記カバープレートの凹溝側端面の下端部よりも上端部のほうが狭くなっていることを特徴とする、請求項６に記載の光導波路モジュール。
【請求項９】
前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と異なる形状に形成されていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール。
【請求項１０】
前記カバープレートの凹溝側端面が、湾曲した形状となっていることを特徴とする、請求項９に記載の光導波路モジュール。
【請求項１１】
前記カバープレートの凹溝側端面が、段差を有する形状となっていることを特徴とする、請求項９に記載の光導波路モジュール。
【請求項１２】
前記凹溝内又はその上方において、前記カバープレートの下面に前記光ファイバを位置決めするための光ファイバ位置決め溝が設けられていることを特徴とする、請求項１又は２に記載の光導波路モジュール。
【請求項１３】
前記光ファイバの端部が、下方への動きを拘束されるようにして前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に当接させられていることを特徴とする、請求項１に記載の光導波路モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光導波路モジュールに関し、光導波路と光ファイバとの接続方法に係るものである。
【背景技術】
【０００２】
図１は従来の光導波路モジュール１１の一部を拡大して示す断面図である。光導波路領域１３においては、基板１２の上面に光導波路１６を実装してある。光ファイバ固定領域１４においては、基板１２の上面に形成されたＶ溝状の光ファイバ位置決め溝１８内に接着剤２１を充填し、そこに光ファイバ１９を納めて簡略に位置決めし、カバープレート２０で光ファイバ１９を押えてカバープレート２０を光ファイバ１９と基板１２上面に接着剤２１で接着固定している。
【０００３】
従来の光導波路モジュール１１にあっては、基板１２の上に形成された光導波路領域１３と光ファイバ固定領域１４との間において、光ファイバ１９の長さ方向と直交する方向に沿って凹溝１５が形成されることが多い。一方、光導波路１６内の光導波路コア１７と光ファイバ１９とを一定の光結合効率で結合させるためには、光ファイバ１９の端面と光導波路コア１７の端面とを光学的に必要な距離で対向させる必要がある。そのため、必然的に光ファイバ１９の先端が凹溝１５上に突き出した構造となる。すなわち、光ファイバ固定領域１４では光ファイバ１９は基板１２とカバープレート２０との間に挟まれて保持されているが、光ファイバ１９は凹溝１５に向けて突出しており、片持ち状に支持されている。そして、光ファイバ１９やカバープレート２０を固定するための接着剤２１は、光ファイバ位置決め溝１８や凹溝１５の内部に充填され、また基板１２とカバープレート２０の間に塗布されている。
【０００４】
また、図２は別な従来の光導波路モジュール２６の一部を拡大して示す断面図である。この光導波路モジュール２６では、凹溝１５が斜めに形成されており、それに合わせて光ファイバ１９の端面も斜めにカットしてある。この実施例でも、光ファイバ固定領域１４では光ファイバ１９は基板１２とカバープレート２０との間に挟まれて保持されており、光ファイバ１９は凹溝１５に向けて突出して片持ち状に支持されている。そして、光ファイバ１９やカバープレート２０を固定するための接着剤２１は、光ファイバ位置決め溝１８や凹溝１５の内部に充填され、また基板１２とカバープレート２０の間に塗布されている。
【０００５】
凹溝を形成された従来の光導波路モジュールでは、上記のように凹溝１５内で光ファイバ１９が片持ち状となっているので、光導波路モジュール１１、２６の周囲温度の変化による光導波路モジュール１１、２６の変形（温度歪み）により、あるいは光ファイバ１９を光ファイバ位置決め溝１８に接着している接着剤２１の熱膨張による体積変化により、光ファイバ１９にその軸方向あるいはラジアル方向の応力が加わって光ファイバ１９の先端が変位する。また、光ファイバ１９と凹溝１５の壁面の間の空間や凹溝１５内に充填されている接着剤２１の熱膨張による体積変化により、光ファイバ１９にその軸方向あるいはラジアル方向の応力が加わって光ファイバ１９の先端が変位する。こうして光ファイバ１９の先端が変位した場合、光ファイバ１９と光導波路１６のコアどうしの光軸が横にずれたり、光ファイバ１９の端面と光導波路１６の端面との距離（端面間距離）が変化したりし、これにより光軸や端面間距離が規定範囲から外れると、光導波路モジュールの光学特性（例えば、光ファイバと光導波路との光結合効率）がばらついたり、変動し易くなったりする問題があった。また、光ファイバ１９と光導波路１６の端面距離が変化した場合には、光ファイバ１９と光導波路１６の端面間に充填されている接着剤２１が剥離したり、接着剤２１にクラックが生じたりして製品不良となる恐れがあった。
【０００６】
【特許文献１】特開２００１−３５００５１号公報
【特許文献２】特開平８−３１３７５６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明は上記のような技術的課題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、光導波路領域と光ファイバ固定領域の間に凹溝を形成された光導波路モジュールにおいて、凹溝内もしくはその上方で光ファイバが位置ずれを起こしにくい構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明にかかる第１の光導波路モジュールは、光導波路コアを有する光導波路領域と光ファイバを保持する光ファイバ固定領域とが凹溝を介して基板の上面に形成され、端部が前記凹溝内へ張り出すようにして、かつ、前記光導波路コアと結合するようにして前記光ファイバ固定領域に光ファイバが設置された光導波路モジュールにおいて、前記光ファイバの上にカバープレートが重ねられ当該カバープレートが前記光ファイバ固定領域において前記基板に接合され、前記凹溝内又はその上方において前記カバープレートと前記光ファイバとが重なり合っていることを特徴としている。
【０００９】
本発明にかかる第１の光導波路モジュールにあっては、凹溝内又はその上方においてカバープレートと光ファイバとが重なり合っているので、光ファイバがカバープレートと接触することによって光ファイバの先端部が上方へ移動できないように拘束することができ、周囲温度の変化等によって熱応力が発生しても光ファイバの先端部は上方へ撓むことができなくなる。よって、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれを小さくすることができ、光ファイバと光導波路コアとの間の光結合効率等の光学特性のばらつきを小さくすることができる。
【００１０】
本発明にかかる第２の光導波路モジュールは、光導波路コアを有する光導波路領域と光ファイバを保持する光ファイバ固定領域とが凹溝を介して基板の上面に形成され、端部が前記凹溝内へ張り出すようにして、かつ、前記光導波路コアと結合するようにして前記光ファイバ固定領域に光ファイバが設置された光導波路モジュールにおいて、前記光ファイバの上にカバープレートが重ねられ当該カバープレートが前記光ファイバ固定領域において前記基板に接合され、前記凹溝内又はその上方において前記カバープレートと前記光ファイバとが互いに接着されていることを特徴としている。
【００１１】
本発明にかかる第２の光導波路モジュールにあっては、凹溝内又はその上方においてカバープレートと光ファイバとを互いに接着しているので、凹溝内又はその上方においてカバープレートによって光ファイバを保持し補強することができ、周囲温度の変化等によって熱応力が発生しても光ファイバは上下左右に撓みにくくなり、また軸方向での変形により光ファイバの端面が軸方向に移動しにくくなる。よって、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれによる光結合効率の低下や、光ファイバと光導波路コアの端面間距離の変動による光結合効率の変化などを小さくすることができ、光導波路モジュールの光学特性を安定させることができる。
【００１２】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールのある実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に接触している。かかる実施態様によれば、カバープレートの凹溝側端面が凹溝の光導波路領域側壁面又は光導波路領域の凹溝側端面に接触しているので、カバープレートの端部が凹溝の光導波路領域側壁面又は光導波路領域の凹溝側端面との摩擦力によって保持され、光ファイバを拘束又は保持しているカバープレートの剛性が増し、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれや端面間距離の変動などをより小さくすることができる。
【００１３】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールの別な実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に接着剤により接着されている。かかる実施態様によれば、カバープレートの端面が凹溝の光導波路領域側壁面又は光導波路領域の凹溝側端面に接着剤で接着されているので、カバープレートの端面が固定されて剛性が増し、光ファイバを拘束又は保持しているカバープレートに撓みが生じにくく、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれや端面間距離の変動などをより小さくすることができる。
【００１４】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールのさらに別な実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路領域側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と平行となるように形成されている。かかる実施態様では、カバープレートの凹溝側端面が、凹溝の光導波路領域側壁面又は光導波路領域の凹溝側端面と平行となっているので、カバープレートの端面を凹溝の光導波路領域側壁面等に接触させる場合には面接触となってカバープレートの端部をしっかりと保持できる。また、カバープレートの端面を凹溝の光導波路領域側端面等に接着する場合には、接着剤の層を均一な厚みにすることができてクラック等が発生しにくくなる。
【００１５】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールのさらに別な実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と異なる角度に形成されている。例えば、この実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面と前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間の間隔が、前記カバープレートの凹溝側端面の下端部よりも上端部のほうが広くなっていればよい。あるいは、前記カバープレートの凹溝側端面と前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間の間隔が、前記カバープレートの凹溝側端面の下端部よりも上端部のほうが狭くなっていてもよい。このような実施態様によれば、カバープレートの凹溝側端面を凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に当接させた場合であっても、カバープレートの凹溝側端面と凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間に隙間が形成されるので、この隙間に接着剤を充填することによってカバープレートの凹溝側端面を固定してカバープレートの剛性を増すことができ、光ファイバを拘束又は保持しているカバープレートの撓みが小さくなり、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれや端面間距離の変動などをより小さくすることができる。
【００１６】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールのさらに別な実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が、前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面と異なる形状に形成されている。例えば、この実施態様では、前記カバープレートの凹溝側端面が湾曲した形状となっていればよい。あるいは、前記カバープレートの凹溝側端面が、段差を有する形状となっているこてもよい。このような実施態様によれば、カバープレートの凹溝側端面を凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に当接させた場合であっても、カバープレートの凹溝側端面と凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面との間に隙間が形成されるので、この隙間に接着剤を充填することによってカバープレートの凹溝側端面を固定してカバープレートの剛性を増すことができ、光ファイバを拘束又は保持しているカバープレートの撓みが小さくなり、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれや端面間距離の変動などをより小さくすることができる。
【００１７】
本発明の第１又は第２の光導波路モジュールのさらに別な実施態様では、前記凹溝内又はその上方において、前記カバープレートの下面に前記光ファイバを位置決めするための光ファイバ位置決め溝が設けられている。かかる実施態様によれば、凹溝内又はその上方においてもカバープレートの光ファイバ位置決め溝によって光ファイバの位置決めを行なうことができ、光ファイバと光導波路コアとの光軸調整を容易にできる。
【００１８】
本発明の第１の光導波路モジュールのさらに別な実施態様では、前記光ファイバの端部が、下方への動きを拘束されるようにして前記凹溝の光導波路側壁面又は前記光導波路領域の凹溝側端面に当接させられている。第１の光導波路モジュールでは、カバープレートによって光ファイバの端部が上方へ動けないように拘束されていたが、さらに光ファイバの端部が凹溝の光導波路側壁面又は光導波路領域の凹溝側端面との接触によって下方への動きを拘束されれば、光ファイバの上下の動きが拘束されることになり、光ファイバと光導波路コアとの光軸ずれをより確実に防ぐことができて特性を安定させることができる。
【００１９】
なお、本発明の以上説明した構成要素は、可能な限り任意に組み合わせることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明の実施例を図面に従って詳細に説明する。
【実施例１】
【００２１】
図３は本発明の実施例１による光導波路モジュール１０１を示す斜視図、図４はその分解斜視図である。また、図５（ａ）はファイバ芯線３６の軸心を通る断面におけるファイバ芯線３６と光導波路４０との接続部分の断面図（図６のＹ−Ｙ線断面図）、図５（ｂ）はファイバ芯線３６の軸心と平行で、かつ当該軸心から外れた断面におけるファイバ芯線３６と光導波路４０との接続部分の断面図（図６のＺ−Ｚ線断面図）である。図６は図３のＸ−Ｘ線断面図である。
【００２２】
図４に示すように、シリコン基板よりなる基板３１の上面中央部には光導波路固定面３２が形成されており、基板３１の両端部上面には光ファイバ固定面３３が形成されている。光導波路固定面３２は、図４では平坦に形成されているが、光導波路４０を支持させるための突起（図示せず）を設けていてもよい。両光ファイバ固定面３３にはそれぞれ、裸光ファイバ又はファイバ素線（以下、光ファイバ３７という。）を位置決めするためのＶ溝状をした光ファイバ位置決め溝３４が、基板３１の長手方向と平行に１本ないし複数本凹設されている。
【００２３】
光導波路固定面３２の上には、光導波路４０を実装することによって光導波路領域Ａが形成され、光ファイバ固定面３３の上には光ファイバ３７とカバープレート３８を重ねることによって光ファイバ固定領域Ｂが形成される。
【００２４】
基板３１の上面には、光導波路固定面３２と各光ファイバ固定面３３との間において、光導波路固定面３２（または、光導波路領域Ａ）と光ファイバ固定面３３（または、光ファイバ固定領域Ｂ）を仕切るようにして、基板３１の全幅にわたる凹溝３５が形成されている。図５（ａ）（ｂ）に示すように、凹溝３５は下方へ向けて斜めに形成されており、側面方向（光ファイバ位置決め溝３４に垂直な方向）から見て、上方が光導波路領域Ａ側へ傾き下方が光ファイバ固定領域Ｂ側へ傾いている。
【００２５】
光導波路４０は、透明なクラッド用樹脂からなる上クラッド部４２ａ内に、上クラッド部４２ａよりも屈折率の高い樹脂で成形された光導波路コア４１を埋め込み、上クラッド部４２ａ及び光導波路コア４１の下面に上クラッド部４２ａと同じ屈折率の樹脂から成る下クラッド部４２ｂを形成したものである。光導波路コア４１は、信号の合波、分波、合成、分岐などの目的に応じた構造を有しており、光導波路コア４１の端面は光導波路４０の両端面に露出している。光導波路４０は、光導波路固定面３２の上に接着することにより、あるいは下クラッド部４２ｂを成形することによって一体化されている。
【００２６】
光ファイバ３７は、ファイバ芯線３６の端部の被覆を剥いで外部に露出させられており、実施例１では、図５（ａ）（ｂ）に示すように、光ファイバ３７の端面は垂直にカットされている。各光ファイバ３７は、Ｖ溝状をした光ファイバ位置決め溝３４内に嵌り込むことによって左右方向及び上下方向の位置決めをされており、光ファイバ３７のコア中心が光導波路コア４１の端面の中心と一致するように位置決めされている。光ファイバ３７は、端部が凹溝３５内に片持ち状に突出して端面の下側角が凹溝３５の光導波路領域側壁面（以下、単に凹溝３５の壁面という。）に当接しており、これによって光ファイバ３７の軸方向と平行な方向の位置決めがなされ、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との間に適度の距離を保っている。
【００２７】
各カバープレート３８はガラス基板よりなり、下面には光ファイバ３７を保持するための角溝状をしたファイバ固定用凹部３９が設けられている。図６に示すように、カバープレート３８は、ファイバ固定用凹部３９内に光ファイバ３７を納めるようにして光ファイバ固定面３３に重ねられ、ファイバ固定用凹部３９の天面で光ファイバ３７を押えて固定し、接着剤４３によってカバープレート３８を光ファイバ３７と基板３１に接着固定されている。カバープレート３８の凹溝側端面（以下、単にカバープレート３８の端面という。）は、凹溝３５と同じ傾きで同じ方向に傾斜していて凹溝３５の壁面と平行になっている。そして、カバープレート３８を基板３１に接着した状態では、カバープレート３８の端面の全体は、光導波路４０の凹溝側端面（以下、単に光導波路４０の端面という。）に密着している。
【００２８】
光ファイバ３７は、凹溝３５内又はその上方においてもカバープレート３８の下面に全長を接着されてカバープレート３８の下面に固定されている。図面において符号ｄで示す固定距離ｄは、凹溝３５内において（つまり、光ファイバ固定面３３よりも外側で）光ファイバ３７がカバープレート３８によって拘束されている部分（特に、接着されている部分）の長さを示している。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。なお、接着剤４５は、接着剤４３と同じものであってもよく、異なるものであってもよい。
【００２９】
なお、図６に示したカバープレート３８では、下面にファイバ固定用凹部３９を有していたが、カバープレート３８は図７（ａ）に示すように下面が平坦になっていても差し支えない。また、図７（ｂ）に示すように、カバープレート３８の下面に逆Ｖ溝状をした光ファイバ位置決め溝３４を設け、凹溝３５又はその上部においてもカバープレート３８の光ファイバ位置決め溝３４によって光ファイバ３７を位置決めできるようにしてもよい。なお、図７（ｂ）では基板３１の光ファイバ固定面３３には光ファイバ位置決め溝３４を設けていないが、カバープレート３８と光ファイバ固定面３３の両方に光ファイバ位置決め溝３４が設けられていてもよい。
【００３０】
次に、基板３１に凹溝３５が設けられている理由を説明する。凹溝３５は主として光導波路モジュール１０１の製造方法に関係しているので、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）及び図９（ａ）（ｂ）（ｃ）により光導波路モジュール１０１の製造方法を簡単に説明する。ただし、実際には光導波路モジュール１０１はウエハにより多数個一度に製作されるが、図８（ａ）（ｂ）（ｃ）及び図９（ａ）（ｂ）（ｃ）では、単体の光導波路モジュール１０１だけを表わしている。
【００３１】
まず、複数組のコア用凹部を有する上クラッド部４２ａ（ウエハ）を透明なクラッド用樹脂により成形した後、この上クラッド部４２ａの中央部に高屈折率のコア用樹脂を滴下する。そして、このコア用樹脂を平板状をしたスタンパ（図示せず）で押圧することにより、図８（ａ）のように各コア用凹部内にコア用樹脂を押し広げて光導波路コア４１を成形する。一方、図８（ｂ）に示すように、シリコンウエハからなる基板３１上面の光ファイバ固定面３３には、エッチング等によって複数組の光ファイバ位置決め溝３４が形成される。シリコンウエハは、一般に（１００）面ウエハが用いられるので、このとき光ファイバ位置決め溝３４の端には傾斜面３４ａが生じる。ついで、基板３１の光導波路固定面３２の上にクラッド用樹脂４２ｃを供給し、光導波路固定面３２及び光ファイバ固定面３３の上に、光導波路コア４１を下にして上クラッド部４２ａを重ね合せ、基板３１と上クラッド部４２ａとの間で下クラッド部４２ｂを成形し、図８（ｃ）に示すように、光導波路固定面３２の上に光導波路４０を形成する。
【００３２】
ついで、図９（ａ）に示すように、光導波路４０から基板３１に向けて斜めに凹溝３５を形成する。このとき光ファイバ位置決め溝３４の傾斜面３４ａを通過するようにして凹溝３５を形成し、それによって傾斜面３４ａを除去する。この後、図９（ｂ）に示すように、光ファイバ固定面３３の上の光導波路４０を光ファイバ固定面３３から剥がして光ファイバ位置決め溝３４を露出させる。次に、基板３１の上に光導波路４０を積層一体化したもの（ウエハ）をダイサー等によって個々のモジュール毎に切り離す。そして、図９（ｃ）に示すように、光ファイバ位置決め溝３４に光ファイバ３７を納めて上からカバープレート３８で押え、カバープレート３８を光ファイバ３７及び光ファイバ固定面３３に接着させて図３のような光導波路モジュール１０１を得る。
【００３３】
このようにウエハ状態で複数個の光導波路モジュール１０１を一度に製造する際、凹溝３５を切り込むことによって光ファイバ位置決め溝３４の傾斜面３４ａが除去されるので、光ファイバ３７の端面を光導波路コア４１の端面に近接させることが可能になる。また、凹溝３５を形成する際に光導波路４０をカットすることで、余分な光導波路４０を除去することができる。また、ダイサーで凹溝３５を切り込むことによって、光導波路コア４１の端面が同時に鏡面加工されるという意義もある。
【００３４】
こうして光導波路モジュール１０１においては、光導波路領域Ａと光ファイバ固定領域Ｂとの間に凹溝３５が生じており、図５（ａ）に示すように、光ファイバ３７の端部が凹溝３５内もしくはその上方へ張り出すように突出している。しかし、実施例１の光導波路モジュール１０１では、カバープレート３８も凹溝３５の上方へ張り出しており、凹溝３５の上部においては光ファイバ固定面３３の端から光ファイバ３７の端面までの固定距離ｄだけ光ファイバ３７の上にカバープレート３８が重なっている。従って、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８によって上方へ移動できないように拘束されている。さらに、凹溝３５の上方において光ファイバ３７の端部は、接着剤４３によってカバープレート３８の下面に接着固定されているので、光ファイバ３７の端部は上下左右に移動できないように拘束されている。しかも、光ファイバ３７の端面の下側角が傾斜した凹溝３５の壁面に当接しているので、光ファイバ３７の先端が凹溝３５の壁面で支持されていて光ファイバ３７の端部が下方へ撓みにくくなっている。これらの構成によって光ファイバ３７の端部が上下左右に撓みにくくなっており、応力が光ファイバに加わった場合でも光ファイバ３７の端面の上下左右への移動を最小限に止めることができる。
【００３５】
よって、光導波路モジュール１０１では、周囲温度の変化等によって熱応力が発生してもカバープレート３８を強度のある材料又は厚みに形成してあれば、光ファイバ３７が上下左右に撓むのを防ぐことができ、光ファイバ３７のコア中心と光導波路コア４１とが光軸ずれを起こしにくくなり、光結合効率等の光学特性の劣化を防ぐことができる。
【００３６】
なお、カバープレート３８による光ファイバ３７の端部を拘束する効果は、固定距離ｄが長い方が大きくなる。特に、この効果の大小は、カバープレート３８の端面の形状や断面形状、光導波路４０の端面形状、凹溝３５の形状には関係なく、固定距離ｄのみによって決定付けられる。
【００３７】
また、光導波路モジュール１０１では、光ファイバ３７の端部がカバープレート３８の下面に接着されているので、光ファイバ３７の端面が光ファイバ３７の軸方向に沿って移動しにくくなっている。従って、周囲温度の変化等によって熱応力が発生しても光ファイバ３７と光導波路コア４１の間の端面距離が変化しにくく、光結合効率等の光学特性の変化を防ぐことができる。
【００３８】
また、光導波路モジュール１０１では、カバープレート３８の端面が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に面接触しているので、カバープレート３８の剛性が増し、光ファイバ３７を保持する力も増大する。さらに、この実施例では光導波路コア４１の端面が傾いているので、光導波路コア４１が光入射側となっている箇所における光導波路モジュール１０１の反射減衰量を小さくできる。
【００３９】
また、光導波路モジュール１０１では、光ファイバ３７の端面の下側角を凹溝３５の壁面に当接させているので、光ファイバ３７の軸方向での位置決めも容易になり、光導波路モジュール１０１を高精度で安価に組立てることができる。
【００４０】
従って、本発明によれば、光導波路モジュール１０１を高精度で安価に組立てることができ、しかも周囲温度の変化による光学特性の変動なども小さくなり、特性を安定させることができる。
【００４１】
なお、上記実施例１では、凹溝３５の上部において光ファイバ３７の端部をカバープレート３８の下面に接着していたが、光ファイバ３７の端面が凹溝３５の壁面に当接している場合には、光ファイバ３７をカバープレート３８に接着させることなくカバープレート３８の下面に接触させておくだけであってもよい。この場合でも、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８の下面に接触しているので、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８によって上方への動きを拘束されており、また、光ファイバ３７の端部が傾斜した凹溝３５の壁面に当接しているので、光ファイバ３７の端部は下方にも動きを拘束される。よって、光ファイバ３７は上にも下にも動くことがなく、光導波路コア４１との光軸ずれなどが起きにくくなる。光ファイバ３７上面とカバープレート３８下面との間の隙間は、接着剤を用いる場合には接着剤で埋まるので問題ないが、接着剤を用いない場合であっても、光ファイバ３７の先端の許容される変位量程度であれば光ファイバ３７の上面とカバープレート３８の下面との間に隙間があっても差し支えない。
【実施例２】
【００４２】
図１０〜図２４に示す実施例２〜実施例１６の光導波路モジュールは、凹溝３５が実施例１と同様に傾いたものである。
【００４３】
図１０は本発明の実施例２による光導波路モジュール１０２を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２による光導波路モジュール１０２は、実施例１の光導波路モジュール１０１と同じ構造において、カバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面を透明な接着剤４５によって光導波路４０の端面と凹溝３５の壁面に接着固定したものである。また、光ファイバ３７の下面に回り込んだ接着剤４５によって凹溝３５内が充填されないように接着剤４５の量がコントロールされており、光ファイバ３７の下面に回り込んだ接着剤４５と凹溝３５の間には空間４６が生じるようになっている。
【００４４】
実施例２の光導波路モジュール１０２では、カバープレート３８の端面と光ファイバ３７の端面をいずれも透明な接着剤４５で光導波路４０の端面及び凹溝３５の壁面に接着固定しているので、光ファイバ３７の端面をより確実に固定することができるようになると共にカバープレート３８の剛性が増し、熱応力等が生じても光ファイバ３７のコア中心が光導波路コア４１の端面からずれ動きにくくなり、光導波路モジュール１０２の光学特性の安定性が向上する。
【００４５】
また、光ファイバ３７の端部が凹溝３５の壁面に当接されていて光ファイバ３７の端面が軸方向に移動しにくくなっているので、周囲温度の変化によって光ファイバ３７の端面を接着している接着剤４５にクラックが入ったり、剥離したりする不具合も軽減される。
【００４６】
また、回り込んだ接着剤４５が凹溝３５内に充填されると、カバープレート３８及び光ファイバ３７の端部の上下で熱膨張係数が異なるため、バイメタル効果のによって光ファイバ３７及びカバープレート３８に撓みが発生し、接着剤４５が割れたり、剥離したりする恐れがある。また、接着剤４５の硬化収縮や熱膨張収縮により光ファイバ３７が歪み、光ファイバ３７の位置ずれが発生する。これに対し、光導波路モジュール１０２では、凹溝３５内が空間４６となっているので、光ファイバ３７及びカバープレート３８の上下がいずれも空気となり、光ファイバ３７やカバープレート３８の端部に温度変化に伴う反りが発生しにくくなり、また光ファイバ３７の位置ずれによる光学特性の劣化も発生しにくくなる。さらに、接着剤４５にクラックが生じたり、剥離したりしにくくなる。
【実施例３】
【００４７】
図１１は本発明の実施例３による光導波路モジュール１０３を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例３による光導波路モジュール１０３は、実施例１の光導波路モジュール１０１とほぼ同じ構造において、カバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面を光導波路４０の端面や凹溝３５の壁面から離間させたものである。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。
【００４８】
実施例３のような構造であっても、光ファイバ３７の端部は、凹溝３５内もしくはその上方においてカバープレート３８に接着されているので、カバープレート３８によって拘束もしくは補強されており、光ファイバ３７の端部が周囲温度の変化等によって反ったり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりしにくくなる。よって、実施例３のような構造であっても、十分に光導波路モジュール１０３の光学特性を安定させることができる。
【実施例４】
【００４９】
図１２は本発明の実施例４による光導波路モジュール１０４を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例４による光導波路モジュール１０４は、実施例２の光導波路モジュール１０２において、光ファイバ３７の端面の下側角を凹溝３５の壁面から離間させたものである。かかる構造でも、実施例２と同様な効果を得ることができ、光導波路モジュール１０４の光学特性を向上させることができる。
【実施例５】
【００５０】
図１３は本発明の実施例５による光導波路モジュール１０５を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例５による光導波路モジュール１０５は、実施例１の光導波路モジュール１０１において、光ファイバ３７の端面の角を凹溝３５の壁面から離間させたものである。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。かかる構造でも、実施例１とほぼ同様な効果を得ることができ、光導波路モジュール１０５の光学特性を安定させることができる。
【実施例６】
【００５１】
図１４は本発明の実施例６による光導波路モジュール１０６を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例６による光導波路モジュール１０６は、カバープレート３８の端面を垂直な平坦面とし、カバープレート３８の端面の下側角を傾斜した凹溝３５の壁面又は光導波路４０の端面に当接させている。そして、凹溝３５内もしくは凹溝３５の上方において光ファイバ固定面３３の端から光ファイバ３７の端面までの固定距離ｄの部分を接着剤４３によりカバープレート３８の下面に接着させている。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。
【００５２】
よって、実施例６の光導波路モジュール１０６にあっても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化して光結合効率が変動したりしにくくなり、光導波路モジュール１０６の光学特性が安定する。また、カバープレート３８の端面の下側角が凹溝３５の壁面又は光導波路４０の端面に当接しているので、カバープレート３８の剛性が増し、光導波路モジュール１０６の光学特性がより向上する。
【実施例７】
【００５３】
図１５は本発明の実施例７による光導波路モジュール１０７を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例７による光導波路モジュール１０７は、実施例６の光導波路モジュール１０６とほぼ同じ構造において、光ファイバ３７の端面の下側角を凹溝３５の壁面に当接させたものである。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。従って、光ファイバ３７の端部に下向きの応力が加わっても光ファイバ３７の端部は下方へ撓みにくく、光ファイバ３７の光軸ずれを起こしにくくなり、光導波路モジュール１０７の光学特性をより安定させることができる。また、組立時における光ファイバ３７の端面の位置決めも容易になる。
【実施例８】
【００５４】
図１６は本発明の実施例８による光導波路モジュール１０８を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例８による光導波路モジュール１０８にあっては、カバープレート３８の端面が傾斜しており、上部が光ファイバ固定領域Ｂ側に向けて傾き下部が光導波路領域Ａ側へ向けて傾いている。また、カバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は、光導波路４０の端面や凹溝３５の壁面から離間している。光ファイバ３７は、凹溝３５内もしくはその上方においては、光ファイバ固定面３３の端から光ファイバ３７の端面までの固定距離ｄでカバープレート３８に接着されている。また、光ファイバ３７の下面側において凹溝３５内には接着剤４５が充填されている。
【００５５】
よって、実施例８の光導波路モジュール１０８にあっても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化して光結合効率が変動したりしにくくなり、光導波路モジュール１０８の光学特性が安定する。
【実施例９】
【００５６】
図１７は本発明の実施例９による光導波路モジュール１０９を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例９による光導波路モジュール１０９は、実施例８の光導波路モジュール１０８と同じ構造において、カバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面と光導波路４０の端面及び凹溝３５の壁面との間に接着剤４５を充填したものである。また、光ファイバ３７の下面に回り込んだ接着剤４５によって凹溝３５内が充填されないようになっており、光ファイバ３７の下面に回り込んだ接着剤４５と凹溝３５の間に空間４６を形成している。
【００５７】
実施例９の光導波路モジュール１０９では、カバープレート３８の端面と光ファイバ３７の端面をいずれも透明な接着剤４５で光導波路４０の端面及び凹溝３５の壁面に接着固定しているので、光ファイバ３７の端面の固定がより確実となり、熱応力等が生じても光ファイバ３７のコア中心が光導波路コア４１の端面から光軸ずれしにくくなり、光導波路モジュール１０９の光学特性の安定性が向上する。
【００５８】
また、光導波路モジュール１０９では、凹溝３５内が空間４６となっているので、光ファイバ３７及びカバープレート３８の上下がいずれも空気となり、光ファイバ３７やカバープレート３８の端部に温度変化に伴う反りが発生しにくくなり、接着剤４５にクラックが生じたり、剥離したりしにくくなる。
【実施例１０】
【００５９】
図１８は本発明の実施例１０による光導波路モジュール１１０を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１０による光導波路モジュール１１０は、実施例８の光導波路モジュール１０８と同じ構造において、光ファイバ３７の端面の下側角を傾斜した凹溝３５の壁面に当接させている。従って、光ファイバ３７の端部が凹溝３５の壁面によって支持され、応力によって光ファイバ３７の端部が下方へ撓みにくくなり、光導波路モジュール１１０の光学特性がより安定する。
【実施例１１】
【００６０】
図１９は本発明の実施例１１による光導波路モジュール１１１を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１１による光導波路モジュール１１１は、実施例８の光導波路モジュール１０８と同じ構造において、カバープレート３８の端面の下側角を傾斜した凹溝３５の壁面又は光導波路４０の端面に当接させている。従って、カバープレート３８が凹溝３５の壁面によって支持されることで剛性を増し、応力によって光ファイバ３７の端部が下方へ撓みにくくなり、光導波路モジュール１１１の光学特性がより安定する。
【実施例１２】
【００６１】
図２０は本発明の実施例１２による光導波路モジュール１１２を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１２による光導波路モジュール１１２は、実施例１１の光導波路モジュール１１１と同じ構造において、光ファイバ３７の端面の位置を光導波路領域Ａ側へ近づけて光ファイバ３７の一部がカバープレート３８の外に出るようにしたものである。かかる光導波路モジュール１１２でも、実施例１１の光導波路モジュール１１１と同じ効果を奏する。
【実施例１３】
【００６２】
図２１は本発明の実施例１３による光導波路モジュール１１３を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１３による光導波路モジュール１１３は、実施例１の光導波路モジュール１０１とほぼ同じ構造を有しているが、光ファイバ３７の端面が凹溝３５と同じ傾きで同じ向きに傾斜しており、カバープレート３８の端面は垂直な平坦面となっている。また、光ファイバ３７の端面及びカバープレート３８の端面はいずれも凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面から離間している。
【００６３】
凹溝３５内又はその上方において、カバープレート３８は光ファイバ３７よりも長く伸びており、光ファイバ３７の端部は凹溝３５内で光ファイバ固定面３３の端から光ファイバ３７の先端までの固定距離ｄでカバープレート３８に接着固定されている。
【００６４】
よって、この実施例１３でも、光ファイバ３７はカバープレート３８によって拘束又は補強されており、周囲温度の変化等にともなう熱応力等で光ファイバ３７が上下に撓んだり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の界面との距離が変化したりしにくく、光導波路モジュール１１３の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面が傾いているので、光ファイバ３７が光入射側となっている箇所における光導波路モジュール１１３の反射減衰量を小さくすることができる。
【実施例１４】
【００６５】
図２２は本発明の実施例１４による光導波路モジュール１１４を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１４による光導波路モジュール１１４は、実施例１３の光導波路モジュール１１３と同じ構造において、カバープレート３８の端面の下側角を傾斜した凹溝３５の壁面ないし光導波路４０の端面に当接させたものである。
【００６６】
かかる実施例１４によれば、カバープレート３８の先端が凹溝３５の壁面で支持されるので、光ファイバ３７を支持するカバープレート３８の剛性が増してその先端部が下方へ撓みにくく、光導波路モジュール１１４の光学特性がより安定する。
【実施例１５】
【００６７】
図２３は本発明の実施例１５による光導波路モジュール１１５を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１５による光導波路モジュール１１５は、実施例１４の光導波路モジュール１１４と同じ構造において、光ファイバ３７の端面を側面から見てカバープレート３８の端面の下端を通過する位置に合わせ、光ファイバ３７の端部のうち一部（固定距離ｄの部分）だけがカバープレート３８によって支持されるようにしたものである。
【００６８】
かかる実施例でも、周囲温度の変化等により光ファイバ３７の端部が上下に撓んだり、光ファイバ３７の端面と光導波路４０の端面との距離が変化したりするのを抑制することができ、光導波路モジュール１１５の光学特性を安定させることができる。
【実施例１６】
【００６９】
図２４は本発明の実施例１６による光導波路モジュール１１６を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１６による光導波路モジュール１１６にあっては、光ファイバ３７の端面を凹溝３５と同じ角度で同じ方向に傾かせ、カバープレート３８の端面を凹溝３５と反対向きに傾かせており、カバープレート３８の端面の下側角を凹溝３５の壁面又は光導波路４０の端面に当接させている。
【００７０】
よって、実施例１６の光導波路モジュール１１６にあっても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化して光結合効率が変動したりしにくくなり、光導波路モジュール１１６の光学特性が安定する。さらに、カバープレート３８の端面の角が凹溝３５の壁面又は光導波路４０の端面に当接しているので、カバープレート３８の剛性が増し、応力によってもカバープレート３８の端部が下方へ撓みにくく、光導波路モジュール１１６の光学特性がより向上する。また、光ファイバ３７の端面が傾いているので、光導波路モジュール１１６の反射減衰量が小さくなる。
【実施例１７】
【００７１】
図２５〜図３１に示す実施例１７〜実施例２３では、凹溝３５が垂直に形成されている。
【００７２】
図２５は本発明の実施例１７による光導波路モジュール１１７を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１７による光導波路モジュール１１７にあっては、凹溝３５は基板３１の上面から下方へ向けて垂直に形成されている。光ファイバ３７の端面は軸方向と垂直にカットされており、カバープレート３８の端面は垂直な平坦面となっている。光ファイバ３７の端面とカバープレート３８の端面はいずれも、凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面から離間している。カバープレート３８の端部の凹溝３５側への突出長は、光ファイバ３７の端部の凹溝３５側への突出長よりも短くなっており、光ファイバ３７の一部（光ファイバ固定面３３の端からカバープレート３８の端面までの固定距離ｄの部分）だけがカバープレート３８に接着されている。
【００７３】
よって、実施例１７の光導波路モジュール１１７にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１１７の光学特性が安定する。
【実施例１８】
【００７４】
図２６は本発明の実施例１８による光導波路モジュール１１８を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１８による光導波路モジュール１１８は、実施例１７の光導波路モジュール１１７と同じ構成となっているが、カバープレート３８の端部は光ファイバ３７の端部よりも長く凹溝３５側へ突出している。従って、光ファイバ３７の突出長全長がカバープレート３８に接着された固定距離ｄとなっている。
【００７５】
よって、実施例１８の光導波路モジュール１１８にあっても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１１８の光学特性が安定する。
【実施例１９】
【００７６】
図２７は本発明の実施例１９による光導波路モジュール１１９を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例１９による光導波路モジュール１１９は、実施例１７の光導波路モジュール１１７と同じ構成を有しており、さらに光ファイバ３７の端面とカバープレート３８の端面がいずれも、凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に当接している。
【００７７】
よって、実施例１９の光導波路モジュール１１９にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１１９の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面とカバープレート３８の端面が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に面接触しているので、カバープレート３８の剛性が増すと共に、光ファイバ３７の端部が応力によって下方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１１９の光学特性がより向上する。
【実施例２０】
【００７８】
図２８は本発明の実施例２０による光導波路モジュール１２０を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２０による光導波路モジュール１２０にあっては、凹溝３５は垂直に形成されており、光ファイバ３７の端面も軸方向に垂直にカットされている。また、カバープレート３８の端面は、上方で光導波路４０の端面から遠くなるように傾斜しており、カバープレート３８の端面の下側角が凹溝３５の壁面ないし光導波路４０の端面に当接している。
【００７９】
よって、実施例２０の光導波路モジュール１２０にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２０の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面とカバープレート３８の端面の角が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に接触しているので、カバープレート３８の剛性が増すと共に、応力によって光ファイバ３７の端部が下方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１２０の光学特性がより向上する。
【実施例２１】
【００８０】
図２９は本発明の実施例２１による光導波路モジュール１２１を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２１による光導波路モジュール１２１は、実施例１７の光導波路モジュール１１７とほぼ同じ構造を有しているが、カバープレート３８の端面が凸曲面状に湾曲していてカバープレート３８の端面が上面側ほど光導波路領域Ａ側へ向けて突出している点が特徴となっている。
【実施例２２】
【００８１】
図３０は本発明の実施例２２による光導波路モジュール１２２を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２２による光導波路モジュール１２２は、実施例１７の光導波路モジュール１１７とほぼ同じ構造を有しているが、カバープレート３８の端面が凸曲面状に湾曲していてカバープレート３８の端面が下面側ほど光導波路領域Ａ側へ向けて突出している点が特徴となっている。
【実施例２３】
【００８２】
図３１は本発明の実施例２３による光導波路モジュール１２３を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２３による光導波路モジュール１２３は、実施例１７の光導波路モジュール１１７とほぼ同じ構造を有しているが、カバープレート３８の端面が凹曲面状に湾曲していてカバープレート３８の端面が下面側ほど光導波路領域Ａ側へ向けて突出している点が特徴となっている。
【実施例２４】
【００８３】
図３２〜図３５に示す実施例２４〜実施例２７では、凹溝３５が斜めに形成されており、凹溝３５の上部は光ファイバ固定領域Ｂ側に向けて傾いており、凹溝３５の下部は光導波路領域Ａ側に向けて傾いている。
【００８４】
図３２は本発明の実施例２４による光導波路モジュール１２４を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２４による光導波路モジュール１２４にあっては、光ファイバ３７は軸方向に垂直にカットされており、端面の上側角が光導波路４０の端面に当接している。また、カバープレート３８の端面は凹溝３５と同じ傾きで斜めに傾斜しており、光導波路４０の端面に面接触している。
【００８５】
よって、実施例２４の光導波路モジュール１２４にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２４の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面の角とカバープレート３８の端面が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に接触しているので、カバープレート３８の剛性が増すと共に、応力によって光ファイバ３７の端部が上方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１２４の光学特性がより向上する。
【実施例２５】
【００８６】
図３３は本発明の実施例２５による光導波路モジュール１２５を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２５による光導波路モジュール１２５では、光ファイバ３７の端面は軸方向に垂直にカットされており、光ファイバ３７の端面の上側角が光導波路４０の端面に当接している。また、カバープレート３８の端面は、凹溝３５の傾きよりも大きく傾いており、カバープレート３８の端面の下側角が光導波路４０の端面もしくは凹溝３５の壁面に当接している。
【００８７】
よって、実施例２５の光導波路モジュール１２５にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２５の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面の角とカバープレート３８の端面の下側角が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に接触しているので、カバープレート３８の剛性が増すと共に、応力によって光ファイバ３７の端部が上方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１２５の光学特性がより向上する。
【実施例２６】
【００８８】
図３４は本発明の実施例２６による光導波路モジュール１２６を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２６による光導波路モジュール１２６では、光ファイバ３７の端面は凹溝３５の傾きと反対向きに斜めにカットされており、光ファイバ３７の端面の上側角が光導波路４０の端面に当接している。また、カバープレート３８の端面は、凹溝３５の傾きよりも大きく傾いており、カバープレート３８の端面の下側角が光導波路４０の端面もしくは凹溝３５の壁面に当接している。
【００８９】
よって、実施例２６の光導波路モジュール１２６にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２６の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面の角とカバープレート３８の端面の下側角が凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面に接触しているので、カバープレート３８の剛性が増すと共に、応力によって光ファイバ３７の端部が上方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１２６の光学特性がより向上する。
【実施例２７】
【００９０】
図３５は本発明の実施例２７による光導波路モジュール１２７を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２７による光導波路モジュール１２７では、光ファイバ３７の端面は軸方向に垂直にカットされており、光ファイバ３７の端面の上側角が光導波路４０の端面に当接している。また、カバープレート３８の端面は、凹溝３５と同じ傾きで同じ向きに傾いており、カバープレート３８の端面は光導波路４０の端面から離間している。
【００９１】
よって、実施例２７の光導波路モジュール１２７にあっては、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２７の光学特性が安定する。また、光ファイバ３７の端面の角が光導波路４０の端面に接触しているので、応力によって光ファイバ３７が上方へ撓みにくくなっており、光導波路モジュール１２７の光学特性がより向上する。
【００９２】
なお、上記実施例２〜２７では、凹溝３５の上部において光ファイバ３７の端部をカバープレート３８の下面に接着していたが、光ファイバ３７をカバープレート３８に接着させることなくカバープレート３８の下面に接触させておくだけであってもよい。この場合でも、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８の下面に接触しているので、光ファイバ３７の端部はカバープレート３８によって上方への動きを拘束される。
【００９３】
また、光ファイバ３７の端部が傾斜した凹溝３５の壁面などに当接している場合には、光ファイバ３７の端部は下方にも動きを拘束される。よって、接着していない場合であっても、光ファイバ３７は上にも下にも動くことがなく、光導波路コア４１との光軸ずれなどが置きにくい。
【００９４】
なお、実施例１０〜実施例２７（図１８〜図３５）においては、接着剤４５を示していないが、いずれの実施例においても光ファイバ３７の端面及びカバープレート３８の端面と、凹溝３５の壁面及び光導波路４０の端面との間に接着剤４５が充填されていてもよい。さらには、その下の凹溝３５内にも接着剤４５が充填されていてもよい。
【実施例２８】
【００９５】
図３６は本発明の実施例２８による光導波路モジュール１２８を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２８による光導波路モジュール１２８では、凹溝３５は基板３１の上面に対して垂直に形成されている。光ファイバ３７の端面は軸方向に垂直にカットされており、光ファイバ３７の端面は凹溝３５の光導波路側壁面及び光導波路４０の凹溝側端面と平行になっている。また、カバープレート３８の端面は基板３１の上面に垂直な方向から斜めに傾いており、当該端面の上部は光導波路４０側へ突出して光導波路４０の凹溝側端面に当接しており、下部は光ファイバ固定面３３側へ引っ込んでいる。
【００９６】
凹溝３５へ突出している光ファイバ３７の端部は、凹溝３５の上方においてカバープレート３８に接着剤で接着されており、さらにカバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は接着剤４５により光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面に接着されている。カバープレート３８の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離は下方ほど大きくなっているので、この間に充填されている接着剤４５の厚みは下方ほど厚くなっている。
【００９７】
このような実施例によれば、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２８の光学特性が安定する。
【００９８】
また、カバープレート３８の端面上端部が光導波路４０の凹溝側端面に当接していてカバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間にはくさび形の隙間が形成されていてこの隙間に接着剤４５が充填されている。よって、この隙間の接着剤４５は上方で厚みが薄く、下方で厚みが厚くなっており、しかも、光導波路コア４１の端面は隙間の下方の接着剤４５の厚みが厚い領域に位置している。そのため、周囲温度の変化等によって接着剤４５が熱膨張収縮したり、あるいは接着剤４５の塗布時に硬化収縮したりしても、接着剤４５の体積変化は接着剤４５の厚みの薄い領域よりも厚みの厚い領域で吸収され易く、そのため接着剤４５の厚みの厚い領域が緩衝領域となって接着剤４５と光導波路４０の端面との間に発生する剪断応力を小さくする。その結果、この実施例のような構造によれば、光導波路４０の光導波路コア４１端面付近と接着剤４５との間に発生する剪断応力が小さくなり、光導波路コア４１の近傍において接着剤４５が光導波路４０の端面から界面剥離しにくくなる。光導波路コア４１の近傍で接着剤４５の界面剥離が生じると、光導波路コア４１と光ファイバ３７の光軸ずれが起きやすくなるが、この実施例では光導波路コア４１近傍で接着剤の界面剥離が生じにくくなるので、光ファイバ３７と光導波路コア４１との光軸ずれも起きにくくなる。
【実施例２９】
【００９９】
図３７は本発明の実施例２９による光導波路モジュール１２９を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例２９による光導波路モジュール１２９では、凹溝３５は斜めに傾斜しており、上部へ行くほど光導波路４０側へ近づくようにして基板３１の上面に対して垂直な方向から斜めに傾いている。光ファイバ３７の端面は、凹溝３５と同じ角度で軸方向に垂直な面に対して斜めにカットされている。光ファイバ３７は、その端面が凹溝３５の光導波路側壁面及び光導波路４０の凹溝側端面と平行となるようにして光ファイバ固定面３３に実装されている。また、カバープレート３８の端面は、基板３１の上面に垂直な方向からの傾きが凹溝３５の傾きよりも大きくなるようにして斜めに形成されており、当該端面の上部は光導波路４０側へ突出して光導波路４０の凹溝側端面に当接しており、下部は光ファイバ固定面３３側へ引っ込んでいる。
【０１００】
凹溝３５へ突出している光ファイバ３７の端部は、凹溝３５の上方においてカバープレート３８に接着剤で接着されており、さらにカバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は接着剤４５により光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面に接着されている。カバープレート３８の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離は下方ほど大きくなっているので、この間に充填されている接着剤４５の厚みは下方ほど厚くなっている。
【０１０１】
このような実施例においても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２８の光学特性が安定する。
【０１０２】
また、この実施例でも、実施例２８と同様に、カバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間の隙間はくさび形となっていて、上方で接着剤４５の厚みが薄く下方で接着剤４５の厚みが厚くなっている。よって、接着剤４５の熱膨張収縮や硬化収縮等によって接着剤４５の体積変化が生じても、光導波路コア４１の位置している部分では隙間の幅が広いので、そこの接着剤４５の厚みの厚い領域が緩衝領域となり、接着剤４５と光導波路４０端面との間に発生する剪断応力が小さくなる。その結果、光導波路４０の光導波路コア４１端面付近と接着剤４５との間に発生する剪断応力が小さくなり、光導波路コア４１の近傍において接着剤４５が光導波路４０の端面から界面剥離しにくくなり、光ファイバ３７と光導波路コア４１との光軸ずれも起きにくくなる。
【実施例３０】
【０１０３】
図３８は本発明の実施例３０による光導波路モジュール１３０を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例３０による光導波路モジュール１３０では、凹溝３５は斜めに傾斜しており、上部へ行くほど光ファイバ固定面３３側へ近づくようにして基板３１の上面に対して垂直な方向から斜めに傾いている。光ファイバ３７の端面は、軸方向に垂直な面でカットされている。また、カバープレート３８の端面は、基板３１の上面に垂直な方向からの傾きが凹溝３５の傾きよりも小さくなるようにして斜めに形成されており、当該端面の上部は光導波路４０の凹溝側端面に当接している。
【０１０４】
凹溝３５へ突出している光ファイバ３７の端部は、凹溝３５の上方においてカバープレート３８に接着剤で接着されており、さらにカバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は接着剤４５により光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面に接着されている。カバープレート３８の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離は下方ほど厚くなっているので、この間に充填されている接着剤４５の厚みは下方ほど大きくなっている。同様に、光ファイバ３７の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離も下方ほど大きくなっているので、光ファイバ３７の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面の間に充填されている接着剤４５の厚みも下方ほど厚くなっている。
【０１０５】
このような実施例においても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２８の光学特性が安定する。
【０１０６】
また、この実施例でも、実施例２８と同様に、カバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間の隙間はくさび形となっていて、上方で接着剤４５の厚みが薄く下方で接着剤４５の厚みが厚くなっている。よって、接着剤４５の熱膨張収縮や硬化収縮等によって接着剤４５の体積変化が生じても、光導波路コア４１の位置している部分では隙間の幅が広いので、そこの接着剤４５の厚みの厚い領域が緩衝領域となり、接着剤４５と光導波路４０端面との間に発生する剪断応力が小さくなる。その結果、光導波路４０の光導波路コア４１端面付近と接着剤４５との間に発生する剪断応力が小さくなり、光導波路コア４１の近傍において接着剤４５が光導波路４０の端面から界面剥離しにくくなり、光ファイバ３７と光導波路コア４１との光軸ずれも起きにくくなる。
【実施例３１】
【０１０７】
図３９は本発明の実施例３１による光導波路モジュール１３１を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例３１による光導波路モジュール１３１では、凹溝３５は斜めに傾斜しており、上部へ行くほど光導波路４０側へ近づくようにして基板３１の上面に対して垂直な方向から斜めに傾いている。光ファイバ３７の端面は、凹溝３５と同じ角度で軸方向に垂直な面に対して斜めにカットされている。光ファイバ３７は、その端面が凹溝３５の光導波路側壁面及び光導波路４０の凹溝側端面と平行となるようにして光ファイバ固定面３３に実装されている。また、カバープレート３８は、光ファイバ３７の軸方向における断面で端面が湾曲している。カバープレート３８の端面は、ファイバ固定用凹部３９の高さ付近で光導波路４０側へ最も突出していて光導波路４０の凹溝側端面に当接しており、カバープレート３８の端面の上端部よりもカバープレート３８の端面の下端部の方が光ファイバ固定面３３側へ大きく引っ込んでいる。
【０１０８】
凹溝３５へ突出している光ファイバ３７の端部は、凹溝３５の上方においてカバープレート３８に接着剤で接着されており、さらにカバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は接着剤４５により光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面に接着されている。光ファイバ３７の端面と同じ高さの領域では、カバープレート３８の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離は下方ほど大きくなっているので、この間に充填されている接着剤４５の厚みは下方ほど厚くなっている。
【０１０９】
このような実施例においても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２８の光学特性が安定する。
【０１１０】
また、この実施例では、光ファイバ３７の端面と同じ高さの領域では、カバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間の隙間は下方で広くなっていて、上方で接着剤４５の厚みが薄く下方で接着剤４５の厚みが厚くなっている。よって、接着剤４５の熱膨張収縮や硬化収縮等によって接着剤４５の体積変化が生じても、光導波路コア４１の位置している部分では隙間の幅が広いので、そこの接着剤４５の厚みの厚い領域が緩衝領域となり、接着剤４５と光導波路４０端面との間に発生する剪断応力が小さくなる。その結果、光導波路４０の光導波路コア４１端面付近と接着剤４５との間に発生する剪断応力が小さくなり、光導波路コア４１の近傍において接着剤４５が光導波路４０の端面から界面剥離しにくくなり、光ファイバ３７と光導波路コア４１との光軸ずれも起きにくくなる。
【実施例３２】
【０１１１】
図４０は本発明の実施例３２による光導波路モジュール１３２を示す部分断面図であって、凹溝３５の近傍における要部の断面を表わしている。実施例３２による光導波路モジュール１３２では、凹溝３５は基板３１の上面に対して垂直に形成されている。光ファイバ３７の端面は軸方向に垂直にカットされており、光ファイバ３７の端面は凹溝３５の光導波路側壁面及び光導波路４０の凹溝側端面と平行になっている。また、カバープレート３８の端面は階段状に形成されており、光ファイバ３７と同じ高さの領域よりも、光ファイバ３７よりも上の領域が光導波路４０側に向けて突出している。
【０１１２】
凹溝３５へ突出している光ファイバ３７の端部は、凹溝３５の上方においてカバープレート３８に接着剤で接着されており、さらにカバープレート３８の端面及び光ファイバ３７の端面は接着剤４５により光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面に接着されている。カバープレート３８の端面と光導波路４０の凹溝側端面及び凹溝３５の光導波路側壁面との距離は下部で大きくなっているので、カバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間に充填されている接着剤４５の厚みは上部で薄く、下部で厚くなっている。
【０１１３】
このような実施例においても、光ファイバ３７の端部の凹溝３５へ張り出した部分は、カバープレート３８によって拘束又は補強されているので、周囲温度の変化等によって光ファイバ３７の端部が撓んで光軸ずれを起こしたり、光ファイバ３７の端面と光導波路コア４１の端面との距離が変化したりして光結合効率が変動しにくくなり、光導波路モジュール１２８の光学特性が安定する。
【０１１４】
また、この実施例では、光ファイバ３７と同じ高さの領域ではカバープレート３８の端面と光導波路４０の端面との間の隙間は広く、その上方では隙間が狭くなっている。よって、接着剤４５の熱膨張収縮や硬化収縮等によって接着剤４５の体積変化が生じても、光導波路コア４１の位置している下部では隙間の幅が広いので、そこの接着剤４５の厚みの厚い領域が緩衝領域となり、接着剤４５と光導波路４０の端面との間に発生する剪断応力が小さくなる。その結果、光導波路４０の光導波路コア４１端面付近と接着剤４５との間に発生する剪断応力が小さくなり、光導波路コア４１の近傍において接着剤４５が光導波路４０の端面から界面剥離しにくくなり、光ファイバ３７と光導波路コア４１との光軸ずれも起きにくくなる。
【図面の簡単な説明】
【０１１５】
【図１】図１は、従来の光導波路モジュールの一部を拡大して示す断面図である。
【図２】図２は、別な従来の光導波路モジュールの一部を拡大して示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の実施例１による光導波路モジュールを示す斜視図である。
【図４】図４は、本発明の実施例１による光導波路モジュールの分解斜視図である。
【図５】図５（ａ）は、図６のＹ−Ｙ線断面図である。図５（ｂ）は、図６のＺ−Ｚ線断面図である。
【図６】図６は、図３のＸ−Ｘ線断面図である。
【図７】図７（ａ）（ｂ）は、いずれもカバープレートの異なる構造を示す部分断面図であって、図３のＸ−Ｘ線断面に相当する断面を表わしている。
【図８】図８（ａ）（ｂ）（ｃ）は、実施例１の光導波路モジュールの製造工程を示す概略斜視図である。
【図９】図９（ａ）（ｂ）（ｃ）は、実施例１の光導波路モジュールの製造工程を示す概略斜視図であって、図８（ｃ）に続く工程を表わしている。
【図１０】図１０は、本発明の実施例２による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１１】図１１は、本発明の実施例３による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１２】図１２は、本発明の実施例４による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１３】図１３は、本発明の実施例５による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１４】図１４は、本発明の実施例６による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の実施例７による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の実施例８による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１７】図１７は、本発明の実施例９による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の実施例１０による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図１９】図１９は、本発明の実施例１１による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２０】図２０は、本発明の実施例１２による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２１】図２１は、本発明の実施例１３による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２２】図２２は、本発明の実施例１４による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２３】図２３は、本発明の実施例１５による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２４】図２４は、本発明の実施例１６による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２５】図２５は、本発明の実施例１７による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２６】図２６は、本発明の実施例１８による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２７】図２７は、本発明の実施例１９による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２８】図２８は、本発明の実施例２０による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図２９】図２９は、本発明の実施例２１による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３０】図３０は、本発明の実施例２２による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３１】図３１は、本発明の実施例２３による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３２】図３２は、本発明の実施例２４による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３３】図３３は、本発明の実施例２５による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３４】図３４は、本発明の実施例２６による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３５】図３５は、本発明の実施例２７による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３６】図３６は、本発明の実施例２８による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３７】図３７は、本発明の実施例２９による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３８】図３８は、本発明の実施例３０による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図３９】図３９は、本発明の実施例３１による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【図４０】図４０は、本発明の実施例３２による光導波路モジュールを示す部分断面図である。
【符号の説明】
【０１１６】
１０１〜１２７  光導波路モジュール
３１  基板
３２  光導波路固定面
３３  光ファイバ固定面
３４  光ファイバ位置決め溝
３５  凹溝
３６  ファイバ芯線
３７  光ファイバ
３８  カバープレート
３９  ファイバ固定用凹部
４０  光導波路
４１  光導波路コア
４２ａ  上クラッド部
４２ｂ  下クラッド部
４３  接着剤
４５  接着剤
４６  空間
４８  カバープレートの端面
ｄ  固定距離
Ｂ  光ファイバ固定領域
Ａ  光導波路領域
【図１】
2007156378.tif 000003
【図２】
2007156378.tif 000004
【図３】
2007156378.tif 000005
【図４】
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【図５】
2007156378.tif 000007
【図６】
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【図７】
2007156378.tif 000009
【図８】
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【図９】
2007156378.tif 000011
【図１０】
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【図１１】
2007156378.tif 000013
【図１２】
2007156378.tif 000014
【図１３】
2007156378.tif 000015
【図１４】
2007156378.tif 000016
【図１５】
2007156378.tif 000017
【図１６】
2007156378.tif 000018
【図１７】
2007156378.tif 000019
【図１８】
2007156378.tif 000020
【図１９】
2007156378.tif 000021
【図２０】
2007156378.tif 000022
【図２１】
2007156378.tif 000023
【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
2007156378.tif 000034
【図３３】
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【図３４】
2007156378.tif 000036
【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【図４０】
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