(57)【要約】【課題】大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供する。また、作業場所の省スペース化に資する多関節型ロボットを提供する。【解決手段】多関節型ロボット１に、ワーク３０を保持するハンド部７と、ハンド部７を回転可能に保持するアーム部６と、アーム部６の基端側を回転可能に保持するとともに、アーム部６の基端側の移動軌跡が、ワーク３０をロード等する方向とはほぼ直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構３と、アーム部６を、リンク機構３の移動に整合させてワーク３０をロード等する方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を設け、基台側リンク部４の長さは、アーム部側リンク部５の長さよりも長く形成され、リンク機構３の基台２は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されている。【選択図】図１
2007152490.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ワークをカセットにロード／アンロードする多関節型ロボットにおいて、
ワークを保持するハンド部と、
前記ハンド部を回転可能に保持するアーム部と、
前記アーム部の基端側を回転可能に保持するとともに、前記アーム部の基端側の移動軌跡が、前記ロード／アンロードする方向とは略直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構と、
前記アーム部を、前記リンク機構の移動に整合させて前記ロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を備え、
前記リンク機構は、前記多関節型ロボットの基端側に位置する基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、が連結されており、
前記基台側リンク部の長さは、前記アーム部側リンク部の長さよりも長く形成されているとともに、前記リンク機構の基台は、その中心位置が前記アーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されていることを特徴とする多関節型ロボット。
【請求項２】
前記リンク機構の基台は、その中心位置が前記アーム部の基端側の移動軌跡より前記カセット側に又は前記ワークを搬出搬入する目標位置の側にずれた状態で配置されていることを特徴とする請求項１記載の多関節型ロボット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワークをカセットにロード／アンロードする際に用いられる多関節型ロボットに関し、特に、直線補間にて安定した動作を行うことができるものに関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等の大型のワークをカセットにロード／アンロードするには、複数のアームを互いに回転可能に連結すると共に、回転駆動源の回転力を伝達して伸縮等の動作をさせるようにした多関節型ロボットが用いられている。
【０００３】
例えば、特許文献１記載のＳＣＡＲＡ（Selective Compliance Assembly Robot Arm）型ロボットがある。これは、第１アーム及び第２アームが水平面内で回動することによって、アーム体（第１アーム及び第２アーム）の屈伸を実現させるものであって、また、第２アームの先端に回転可能に保持されたハンド部をカセットに対して直進／後退させることで、ワークのロード／アンロードを行うものである。
【０００４】
特許文献１記載のＳＣＡＲＡ型ロボットによれば、円筒座標型ロボットを使用する場合と異なり、走行軸（複数のアームが設置された基台を水平方向に走行させるレールなど）の設置スペースが不要になる、といったメリットがある。
【０００５】
【特許文献１】特開２００３−１７０３８４号公報（図２）
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、上述した従来のＳＣＡＲＡ型ロボットでは、第１アームと第２アームを直線補間によって制御した場合（すなわち、アーム上の一点を直線移動させる制御をした場合）、２本のアームが重なることに起因して、第２アームの角速度が急激に変化し、半導体ウェハの搬送が不安定になる虞がある。より詳細には、図４を用いて説明する。
【０００７】
図４は、従来のＳＣＡＲＡ型ロボット１００において、第１アーム１０１と第２アーム１０２を直線補間によって制御する様子を説明するための説明図である。図４（ａ）において、従来のＳＣＡＲＡ型ロボット１００は、基端部１０４が基台（図示せず）に設置された第１アーム１０１と、第１アーム１０１の先端部に連結された第２アーム１０２と、第２アーム１０２の先端部に連結されたハンド部１０３と、から構成されている。なお、ハンド部１０３は、ワーク（搬送対象物）２００を支持している。
【０００８】
今、ワーク２００をａ方向（Ｘ−Ｙ座標系におけるＸ軸方向）に移動させるため、第１アーム１０１と第２アーム１０２を直線補間によって制御する場合（すなわち、第２アーム１０２の先端部Ｘをａ方向に直線移動させる制御をする場合）を考える。基端部１０４を中心にして、第１アーム１０１を右回りに回動させつつ、第１アーム１０１の先端部を中心として、第２アーム１０２を左回りに回動させると、ワーク２００がａ方向に直線移動していく。
【０００９】
ここで、第１アーム１０１の有効長をＬ１，第２アーム１０２の有効長をＬ２とした場合（図４（ａ）参照）、第１アーム１０１と第２アーム１０２のなす角が０°となる姿勢は特異点となる。そして、この特異点の近傍を通過する直線補間を行う場合、すなわち図４（ａ）に示すＬが（Ｌ１−Ｌ２）に近い値の軌跡をたどる場合は、第１アーム１０１及び第２アーム１０２は、図４（ａ）→図４（ｂ）に示すような回転をする。その後、図４（ｂ），図４（ｃ）に示すように、第２アーム１０２は、第１アーム１０１の先端部を中心として、右回りの角速度で回転するようになる。一方で、第１アーム１０１は、基端部１０４を中心にして、図４（ａ）から図４（ｃ）を通して常時右回りに回転している。
【００１０】
図４では、ワーク２００を安定に搬送するため、ワーク２００のａ方向の搬送速度を一定にしている（図４（ａ）→図４（ｂ）と、図４（ｂ）→図４（ｃ）とで、ワーク２００のａ方向の搬送距離（第２アーム１０２の先端部Ｘの移動距離）をほぼ同じにしている）。第１アーム１０１の回転角度に着目すると、図４（ａ）→図４（ｂ）では約９０°−θ２（θ１はほぼ０°とする）、図４（ｂ）→図４（ｃ）ではθ２＋θ３となっている。そして、これらの回転角度のうち、図４（ａ）→図４（ｂ）の約９０°−θ２の方が、明らかに大きい。すなわち、第２アーム１０２の先端部Ｘが特異点の近傍を通過するとき、ワーク２００のａ方向の搬送速度を一定にしようとすると、第１アーム１０１の基端部１０４を特異点として、第１アーム１０１の角速度を急激に（高速に）変化させなければならない。これは、第１アーム１０１や第２アーム１０２に振動を引き起こし、ワーク２００の搬送を不安定にさせる虞がある。
【００１１】
また、第１アーム１０１の角速度を急激に（高速に）変化させるためには、特別に大きな駆動力（トルク）が必要となるが、これを実現するために高価なモータが必要となり、結果として製造コストの上昇に繋がる虞がある。
【００１２】
この点、特開平１１―１３８４７４号公報に開示された多関節ロボットによれば、ワーク搬送中に特異点を発生させないようにすることができる。すなわち、この多関節ロボットは、回転テーブルの回転中心に対して偏心した位置に第１回転軸を形成して回転テーブルを第１アーム部とし、第１回転軸に回転可能に保持されるアームを第２アーム部とし、第２アーム部の先端に第３アーム部を、第３アーム部の先端にハンド部を回転可能に保持すると共に、第１アーム部，第２アーム部，第３アーム部及びハンド部の各々を回転制御することによって、特異点を発生させないようにしている。しかし、この「各々を回転制御すること」は、制御パラメータ数の多さに起因して複雑な制御となっており、その制御プログラムを作成するためには多大な労力を要する。
【００１３】
本発明は、このような点に鑑みてなされたものであり、その目的は、大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、簡易な制御によって、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することが可能な多関節型ロボットを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
以上のような課題を解決するために、本発明は、以下のものを提供する。
【００１５】
（１）  ワークをカセットにロード／アンロードする多関節型ロボットにおいて、ワークを保持するハンド部と、前記ハンド部を回転可能に保持するアーム部と、前記アーム部の基端側を回転可能に保持するとともに、前記アーム部の基端側の移動軌跡が、前記ロード／アンロードする方向とは略直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構と、前記アーム部を、前記リンク機構の移動に整合させて前記ロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段と、を備え、前記リンク機構は、前記多関節型ロボットの基端側に位置する基台側リンク部と、前記アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、が連結されており、前記基台側リンク部の長さは、前記アーム部側リンク部の長さよりも長く形成されているとともに、前記リンク機構の基台は、その中心位置が前記アーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されていることを特徴とする多関節型ロボット。
【００１６】
本発明によれば、多関節型ロボットに、例えば半導体ウェハなどのワークを保持するハンド部と、このハンド部を回転可能に保持するアーム部と、このアーム部の基端側を回転可能に保持するとともに、このアーム部の基端側の移動軌跡が、ワークをカセットにロード／アンロードする方向とはほぼ直交する方向の略直線となるように動作するリンク機構と、アーム部（又はアーム部の先端側）を、リンク機構の移動に整合させてワークをカセットにロード／アンロードする方向に直線補間するように移動させる駆動手段（例えばモータ）と、を設け、リンク機構では、アーム部側に位置するアーム部側リンク部と、このアーム部側リンク部より長さが長く、多関節型ロボットの基端側に位置する基台側リンク部と、が連結されており、リンク機構の基台は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置されていることとしたので、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送することができる。
【００１７】
すなわち、アーム部を直線補間するように移動させる場合であっても、アーム部の基端側を最適な位置に移動させることで、アーム部やリンク機構の急激な速度変動を必要としない（特異点が発生しない）。従って、アーム部やリンク機構の振動発生を防ぐことができ、ひいてはワークを安定に搬送することができる。
【００１８】
また、本発明は、効率性の向上と省スペース化を同時に実現しうるものとしてメリットが大きい。詳細に説明すると、近年、ワーク搬送の効率化を図るために、ワークをカセットにロード／アンロードする方向とは直交する方向に複数のカセットを配置する場合がある。この場合、基台側リンク部やアーム部側リンク部など、各部位の長さを単純に長くすることによって対応することも可能である。しかし、各部位の長さを単純に長くしただけでは、各部位の旋回範囲が大きくなる結果、無駄な空間が生じ、近年の省スペース化要求を満たすことができない。特に、多関節型ロボットは、一般的に高コストのクリーンルーム内に設置されることが多く、ワークをカセットにロード／アンロードする方向の占有距離を、なるべく短くしたいのが実情である。そこで、本発明に係る多関節型ロボットでは、基台側リンク部の長さをアーム部側リンク部の長さよりも長くすることによって、複数並べて配置した各カセットに対応させ、効率性の向上を実現しているとともに、リンク機構の基台を、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡上からずれた状態で配置することによって、ワークをカセットにロード／アンロードする方向の占有距離を短くし、省スペース化を実現している。
【００１９】
また、基台側リンク部の長さをアーム部側リンク部の長さよりも長くすることで、例えば複数並べて配置した各カセットの両端のカセットに、より速く移動することができる。さらには、多関節型ロボットでは、ワークを安定に搬送するため、先端に近づくにつれて重量を軽くしたい、という要請があるが、この点、本発明に係る多関節型ロボットでは、アーム部側リンク部の長さが基台側リンク部の長さよりも短いので、ワークの安定搬送に資することになる。
【００２０】
なお、アーム部やリンク機構の急激な速度変動を必要としないので、大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、ワークを安定に搬送することができる。さらに、特開平１１―１３８４７４号公報に開示された多関節ロボットでは、第１アーム部，第２アーム部，第３アーム部及びハンド部の各々を回転制御する必要があったが、本発明によれば、リンク機構，アーム部及びハンド部の各々を回転制御すれば足りるため、軸数を削減でき、安価に製作できる。また、制御パラメータの数も減るため、制御プログラムを作成するための労力を減らすことができ、ひいては簡単な制御によって、ワークを安定に搬送することができる。
【００２１】
また、従来のＳＣＡＲＡ型ロボット１００（図４参照）では、ワーク２００を一定の搬送速度で搬送しようとすると、第１アーム１０１の急激な速度変動が必要であったが（図４（ｂ）→図４（ｃ）参照）、第１アーム１０１が所定の角速度以上のスピードで回転すると、ＳＣＡＲＡ型ロボット１００自体が故障する可能性があるため、第１アーム１０１の速度超過を防ぐ処理が施されていた。しかし、本発明に係る多関節型ロボットによれば、このような特別な処理も不要となるため、製造コスト削減に大きく貢献することができる。
【００２２】
（２）  前記リンク機構の基台は、その中心位置が前記アーム部の基端側の移動軌跡より前記カセット側に又は前記ワークを搬出搬入する目標位置の側にずれた状態で配置されていることを特徴とする（１）記載の多関節型ロボット。
【００２３】
本発明によれば、上述したリンク機構の基台は、その中心位置がアーム部の基端側の移動軌跡より前記カセット側に又は前記ワークを搬出搬入する目標位置の側にずれた状態で配置されていることとしたので、ワークを、カセット又は加工装置等の前記ワークを搬出搬入する目標位置の側にロード／アンロードする方向の占有距離を短くしつつ安定に搬送することができる。また、アーム部の基端側を常時所定の直線上に適切に規制することができ、アーム部やリンク機構の急激な速度変動を不要なものとし、ひいてはワークを安定に搬送することができる。
【００２４】
この点、従来の円筒座標系ロボットに、基台を水平方向に走行させる走行軸を設けることによって、上述した連結点を直線移動させることは可能である。しかし、走行軸を設けるとなると、その設置スペースが必要になるのみならず、レールなどの発塵部になり得る部品も必要になるため、クリーンルーム内での使用に適さない。一方で、本発明に係る多関節型ロボットによれば、レールなどの発塵部になり得る部品を必要としないため、クリーンルーム内でも適切に使用することができる。
【発明の効果】
【００２５】
以上説明したように、本発明によれば、アーム部やリンク機構の振動発生を防ぐことができ、ひいてはワークを安定に搬送することができる。また、例えば複数並べて配置した各カセットに対応させる効率性の向上と、ワークをカセットにロード／アンロードする方向の占有距離を短くする省スペース化と、の双方を同時に実現することができる。さらに、大きな駆動力を発生する高価なモータを用いることなく、ワークを安定に搬送することができ、また、アーム部やリンク機構の速度超過を防ぐ特別な処理が不要となるため、製造コスト削減に大きく寄与することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら説明する。
【００２７】
［機械構造］
図１は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット１の断面図である。特に、図１（ａ）は、多関節型ロボット１の平面断面図であり、図１（ｂ）は、多関節型ロボット１の縦断面図である。
【００２８】
図１（ａ）及び図１（ｂ）において、多関節型ロボット１は、基台２と、リンク機構３と、アーム部６と、ハンド部７と、から構成される。リンク機構３は、互いに回転可能に連結された基台側リンク部４とアーム部側リンク部５を備えている。
【００２９】
基台２は、昇降モータ（図示せず）の回転によって上下方向に昇降する昇降筒８と、を備えている。なお、昇降筒８は、図中の上下方向を長手方向とするガイド軸（図示せず）に案内されて昇降する。
【００３０】
基台側リンク部４は、昇降筒８に、連結軸８ｂを介して連結されており、昇降筒８に内蔵されたリンク機構モータ８ａによって回転可能に保持されている。また、基台側リンク部４は、昇降筒８の昇降に伴って、基台２に対して昇降可能となっている。
【００３１】
基台側リンク部４には、基台側プーリ４ａ，アーム部側プーリ４ｂ，ベルト４ｃが内蔵されている。また、アーム部側プーリ４ｂとアーム部側リンク部５とは、連結軸４ｄによって連結されている。従って、基台側プーリ４ａとアーム部側プーリ４ｂとの回転角度比、すなわち基台側リンク部４とアーム部側リンク部５との回転角度比を適宜調節することによって、リンク機構３は、アーム部側リンク部５とアーム部６とを回転可能に連結する連結軸５ａの中心点（連結点Ｚ）の移動軌跡が、所定の直線上に規制されることになる。
【００３２】
アーム部６は、アーム部側リンク部５の先端に、連結軸５ａを介して連結されており、アーム部側リンク部５に内蔵されたアーム部モータ５１によって回転可能に保持されている。なお、図１では、説明の便宜上、アーム部モータ５１をアーム部側リンク部５に内蔵させているが、本発明はこれに限られず、例えばアーム部モータ５１をアーム部６に内蔵させてもよいし、その他如何なる場所にあってもよい。
【００３３】
ハンド部７には、平行な２本の上支持フレーム７ａと下支持フレーム７ｂから構成され、上支持フレーム７ａ及び下支持フレーム７ｂは、アーム部６の先端に、それぞれ連結軸６ｃ及び連結軸６ｄを介して連結され、それぞれアーム部６に内蔵された下支持フレームモータ６ａ及び上支持フレームモータ６ｂによって回転可能に保持されている。
【００３４】
なお、図示しない昇降モータ，リンク機構モータ８ａ，アーム部モータ５１，下支持フレームモータ６ａ及び上支持フレームモータ６ｂを駆動する制御信号は、オペレータが入力したプログラムに基づいて、コンピュータ（図示せず）から適宜送信される。
【００３５】
［機械動作］
図２は、本発明の実施の形態に係る多関節型ロボット１の機械動作を説明するための説明図である。図２では、ワーク（円形の半導体ウェハ）３０をカセット４０ａから取り出して、図中右方向に３Ｐだけ離れたカセット４０ｄに載置する動作について説明する。そして、図２では、ワーク３０をカセット４０ａから取り出す様子（図中左側の多関節型ロボット１）と、ワーク３０をカセット４０ｄに載置する手前の様子（図中右側の多関節型ロボット１'）と、を示している。ここで、カセット４０ａ〜４０ｄは、ワーク３０を搬出搬入する目標位置であり、このような搬入搬出位置を定義するものであれば、カセットの他、加工装置等であってもよい。
【００３６】
なお、図２では、基台側リンク部４の長さをＬ１、アーム部側リンク部５の長さをＬ２、アーム部６の長さをＬ３とし、４個のカセット４０ａ〜４０ｄの間隔は、それぞれＰとしている。また、基台側リンク部４のアーム側（図１参照）の半径をＲ１としている。さらに、多関節型ロボット１では、カセット４０ａ〜４０ｄに対してロード／アンロードできる領域として、最大でおよそ２×（Ｌ１＋Ｌ２）を実用領域としている。
【００３７】
図２において、図中左側の多関節型ロボット１の上支持フレーム７ａの先端には、ワーク３０が載置されている。なお、ハンド部７の下支持フレーム７ｂは、ここでは使用しないため、図示するように折り曲げられた状態になっている。
【００３８】
ハンド部７の上支持フレーム７ａは、ワーク３０をカセット４０ａから取り出すために、その向きを保ちつつｙ軸の正方向に直線移動する。より詳細に説明すると、アーム部６は、アーム部モータ５１（図１参照）によって連結点Ｚを中心として右回り（時計回り）に回転し、ハンド部７の上支持フレーム７ａは、上支持フレームモータ６ｂによって連結軸６ｃを中心として左回り（反時計回り）に回転する。このとき、連結点Ｚの移動軌跡は、ワーク３０をアンロードする方向と直交する方向（ｘ軸の正方向）の直線となる。ハンド部７の上支持フレーム７ａが所定距離だけｙ軸の正方向に移動すると、カセット４０ａからワーク３０の取り出しが完了する。
【００３９】
次に、このワーク３０をカセット４０ｄにロードすることを考える。まず、連結点ＺをＸ軸の正方向に直線移動させる。このとき、連結点Ｚを中心としてアーム部６を回転させ、連結軸６ｃを中心としてハンド部７を回転させつつ、連結点Ｚを直線移動させる。その結果、上支持フレーム７ａをカセット４０ｄの手前まで移動させることができる（図中右側の多関節型ロボット１'参照）。なお、図中右側の多関節型ロボット１'では、下支持フレーム７ｂは上支持フレーム７ａと重なっている。
【００４０】
その後、アーム部６は、アーム部モータ５１によってアーム部６が連結点Ｚを中心として右回りに回転し、上支持フレームモータ６ｂによってハンド部７の上支持フレーム７ａが連結軸６ｃを中心として左回りに回転することで、ハンド部７の上支持フレーム７ａがカセット４０ｄ内に進入する。このとき、連結点Ｚの移動軌跡は、ワーク３０をロードする方向と直交する方向（ｘ軸の負方向）の直線となる。ハンド部７の上支持フレーム７ａが所定距離だけｙ軸の負方向に移動した後、ワーク３０がカセット４０ｄに載置される。
【００４１】
このように、図２によれば、アーム部６とリンク機構３（基台側リンク部４とアーム部側リンク部５）とを直線補間によって制御する場合であっても、アーム部６の連結点Ｚを最適な位置に移動させることで、アーム部６やリンク機構３の急激な速度変動を必要としない（特異点が発生しない）ことが分かる。ワーク３０をカセット４０ａから取り出す際の直線補間、ワーク３０をカセット４０ｄに載置させる際の直線補間において、従来の多関節ロボットが持っていた特異点は発生しない。従って、アーム部６やリンク機構３の振動発生を防ぐことができ、ひいてはワーク３０を安定に搬送することができる。
【００４２】
また、図２に示すように、基台側リンク部４の長さＬ１を、アーム部側リンク部５の長さＬ２よりも長くするとともに、リンク機構３の基台２を、その中心位置がアーム部の基端側（連結点Ｚ）の移動軌跡より（カセット４０ａ〜４０ｄに載置された）ワーク３０側ワークを、即ちカセット４０ａ〜４０ｄ又は加工装置等のワーク３０を搬出搬入する目標位置の側にＡだけずれた状態で配置している。従って、例えば、本実施の形態において、多関節型ロボット１を４個並べられた４連カセットに対応させて、効率性の向上を図るとともに、ワーク３０をカセット４０ａ〜４０ｄにロード／アンロードする方向（ｙ軸の方向）の占有距離を短くし、省スペース化を実現することができる。なお、リンク機構３の基台２の中心位置をカセット又は加工装置等のワーク３０を搬出搬入する目標位置の側にずらす距離Ａは、多関節ロボット１の配置される工程によりスペースを最適とする位置に設定することができる。例えば、図２において、カセット４０ａ〜４０ｄと対向する図中の上側に加工装置や別のカセットが配列配置される場合は、Ａを矢印Ｙの方向へずらしてもよい。即ち、カセット４０ａ〜４０ｄ及び上側の加工装置や別のカセットとの間でワーク３０の搬送を行なう場合は、リンク機構３の基台２の中心位置は図中の上下いずれの方向にずらしても同様の省スペース効果を得ることができる。また、必要によりＡをゼロとしてもよい。
【００４３】
さらに、Ｌ１>Ｌ２としていることから、カセット４０ａからカセット４０ｄまで速く移動することができ、時間的な効率性を向上させることができるとともに、基台側リンク部４よりもアーム部側リンク部５の方が軽重量となるので、振動を防いでワーク搬送の安定化を図ることができる。
【００４４】
なお、図２によれば、基台側リンク部４と、アーム部６と、ハンド部７の各々を回転制御することによって（換言すれば、リンク機構３のうちアーム部側リンク部５については特に回転制御しないことによって）、簡単な制御で、ワークを安定に搬送することができる。また、本実施の形態では、４個並べられた４連カセットを示しているが、これに限定されるものでなく、４個以上であってもよいし、または３個以下の場合であってもよい。
【００４５】
［実施例］
図３は、本発明の実施例に係る多関節型ロボット１における連結点Ｚの直線性を説明するための説明図である。特に、図３（ａ）は、多関節型ロボット１の平面図であり、図３（ｂ）は、連結点Ｚをｘ軸の正方向に移動させたときのｙ軸方向の誤差を示している。
【００４６】
なお、図３（ａ）において、上述した実用領域２×（Ｌ１＋Ｌ２）は、約±６７０ｍｍである。従って、この実用領域内での誤差がある程度小さければ、多関節型ロボット１が実用的なものになる。
【００４７】
図３（ｂ）によれば、Ｘ座標が１００ｍｍ以下の場合には、ほとんど誤差は生じていないが、Ｘ座標が１００ｍｍより大きくなると、多少誤差が生じている。しかし、実用領域約−６７０〜６７０ｍｍにおいては、その誤差は最大でも約３ｍｍ程度であり、これは実用的な観点からは無視できる程度のものである。従って、多関節型ロボット１は、実用性を備えたものといえる。なお、上記約−６７０〜６７０ｍｍは、１例であり実用のカセットの配置やワークをカセットにロード／アンロードする方向のスペースに応じて変更可能である。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
本発明に係る多関節型ロボットは、半導体ウェハなどのワークを安定に搬送するとともに、設置場所の省スペース化を図ることが可能なものとして有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４９】
【図１】本発明の実施の形態に係る多関節型ロボットの断面図である。
【図２】本発明の実施の形態に係る多関節型ロボットの機械動作を説明するための説明図である。
【図３】本発明の実施例に係る多関節型ロボットにおける連結点の直線性を説明するための説明図である。
【図４】従来のＳＣＡＲＡ型ロボットにおいて、第１アームと第２アームを直線補間によって制御する様子を説明するための説明図である。
【符号の説明】
【００５０】
１  多関節型ロボット
２  基台
３  リンク機構
４  基台側リンク部
５  アーム部側リンク部
６  アーム部
７  ハンド部
８  昇降筒
【図１】
2007152490.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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