(57)【要約】【課題】ＬＣＤ基板を取り外して再装着することなく基板上の電気配線の全領域に効率的にアクセスして、欠陥を検出、修正することができるリペア装置を提供する。【解決手段】定盤１上に、ガイド２に従ってＹ軸方向に可動のメインガントリー３及びサブガントリー９を設け、メインガントリー３にはリペア加工を行いＸ軸方向に可動の光学系４を装着する。移動ホルダー５０上には、被検査体であるＬＣＤ基板６を配置する。メインガントリー３及びサブガントリー９に、Ｘ軸方向に可動でかつＸＹ平面内に回転可能なプローブセンサーヘッド１０ａ、１０ｂを装着する。プローブセンサーヘッドは、電極に電流を供給するプローブ部と、配線に供給された電流を検出してオープン／ショート欠陥を判別するセンサー部とが一体となって構成されている。【選択図】図１
2007206641.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１及び第２のガントリーと、前記第１及び第２のガントリーに夫々設置され各ガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能の第１及び第２のプローブセンサー部と、前記第１のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記第１及び第２のプローブセンサー部は、夫々、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とするリペア装置。
【請求項２】
前記リペア部は、前記第１のガントリーの前記第２のガントリー側とは反対側に設置され、前記第１のプローブセンサー部は、前記第１のガントリーの前記第２のガントリー側に設置され、前記第２のプローブセンサー部は、前記第２のガントリーの前記第１のガントリー側に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のリペア装置。
【請求項３】
前記リペア部は、前記第１のガントリーの前記第２のガントリー側に設置され、前記第１のプローブセンサー部は、前記リペア部に一体となって並置されており、前記第２のプローブセンサー部は、前記第２のガントリーの前記第１のガントリー側に設置されていることを特徴とする請求項１に記載のリペア装置。
【請求項４】
基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１、第２及び第３のガントリーと、前記第１及び第２のガントリーに夫々設置され各ガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能の第１及び第２のプローブセンサー部と、前記第３のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記第１及び第２のプローブセンサー部は、夫々、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とするリペア装置。
【請求項５】
前記第１のプローブセンサー部は、前記第１のガントリーの前記第２のガントリー側に設置され、前記第２のプローブセンサー部は、前記第２のガントリーの前記第１のガントリー側に設置され、前記第３のガントリーは、前記第１のガントリーと前記第２のガントリーとの間には配置されず、前記リペア部は前記第３のガントリーの前記第１及び前記第２のガントリー側に設置されていることを特徴とする請求項４に記載のリペア装置。
【請求項６】
前記第１のプローブセンサー部は、前記第１のガントリーの前記第２のガントリー側に設置され、前記第２のプローブセンサー部は、前記第２のガントリーの前記第１のガントリー側に設置され、前記第３のガントリーは、前記第１のガントリーと前記第２のガントリーとの間には配置されず、前記リペア部は前記第３のガントリーの前記第１及び前記第２のガントリー側とは反対側に設置されていることを特徴とする請求項４に記載のリペア装置。
【請求項７】
前記ステージ並びに前記第１、第２及び第３のガントリーが設置される定盤と、前記ステージを前記定盤に対して前記第１の方向に移動させるステージ駆動部を有することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項８】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記第１又は第２のプローブセンサー部のプローブ部が前記基板の被検査部に２点に接触してこの２点間に電圧を印加し、前記被検査部に電流が流れるか否かを検知することにより、前記電気配線のショートを検知するものであることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項９】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方のプローブ部が前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給し、他方のプローブセンサー部のセンサー部が前記基板の被検査部に接続する電気配線に電流が流れるか否かを検知することにより、前記電気配線の断線を検知するものであることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項１０】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記リペア部は前記被検査部のショート箇所にレーザ光線を照射して不良を修復するものであることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項１１】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記リペア部は前記被検査部の断線箇所にレーザ光線を照射し化学気相成長法により修復するものであることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項１２】
前記基板は、フラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項１３】
前記フラットパネルディスプレイ基板には、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されていることを特徴とする請求項１２に記載のリペア装置。
【請求項１４】
前記フラットパネルディスプレイ基板は、液晶表示装置又はプラズマディスプレイパネル基板であることを特徴とする請求項１２に記載のリペア装置。
【請求項１５】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板のショートを検出して修復するリペア方法において、前記第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、ショートが検出された場合には、前記リペア部をショート位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とするリペア方法。
【請求項１６】
前記基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする請求項１５に記載のリペア方法。
【請求項１７】
前記プローブセンサー部のプローブが前記基板の被検査部に２点に接触して電圧を印加する箇所は、前記データ線又は前記ゲート線の端部に設けられた隣接する電極パッドであることを特徴とする請求項１６に記載のリペア方法。
【請求項１８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載のリペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板の断線を検出して修復するリペア方法において、前記第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線の断線を検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する工程と、他方のプローブセンサー部を前記被検査部の第２の方向の座標位置に移動させる工程と、前記他方のプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にセンサー部がセンサー部下部の電気配線に流れる電流値を検出することにより断線不良か否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線の断線を検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する工程と、他方のプローブセンサー部を前記被検査部の前記第１の方向の座標位置に移動させる工程と、前記他方のプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にセンサー部がセンサー部下部の電気配線に流れる電流値を検出することにより断線不良か否かを判別する工程と、断線が検出された場合には、前記リペア部を断線位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とするリペア方法。
【請求項１９】
前記基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする請求項１８に記載のリペア方法。
【請求項２０】
前記プローブセンサー部のプローブが前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する箇所は、前記データ線又は前記ゲート線の端部に設けられた電極パッドであることを特徴とする請求項１９に記載のリペア方法。
【請求項２１】
前記リペア部は、ショート箇所にレーザ光線を照射してショート不良を修復することを特徴とする請求項１５乃至１７のいずれか１項に記載のリペア方法。
【請求項２２】
前記リペア部は、断線箇所にレーザ光線を照射し化学気相成長法により修復することを特徴とする請求項１８乃至２０のいずれか１項に記載のリペア方法。
【請求項２３】
基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能なガントリーと、前記ガントリーに設置され前記ガントリーに対して前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能のプローブセンサー部と、前記ガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記プローブセンサー部は、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とするリペア装置。
【請求項２４】
基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１及び第２のガントリーと、前記第１のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、前記第２のガントリーに設置され前記第２のガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能のプローブセンサー部と、を有し、前記プローブセンサー部は、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とするリペア装置。
【請求項２５】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記プローブセンサー部のプローブ部が前記基板の被検査部に２点に接触してこの２点間に電圧を印加し、前記被検査部に電流が流れるか否かを検知することにより、前記電気配線のショートを検知するものであることを特徴とする請求項２３又は２４に記載のリペア装置。
【請求項２６】
前記基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、前記リペア部は前記被検査部のショート箇所にレーザ光線を照射して不良を修復するものであることを特徴とする請求項２３乃至２５のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項２７】
前記基板は、フラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする請求項２３乃至２６のいずれか１項に記載のリペア装置。
【請求項２８】
前記フラットパネルディスプレイ基板には、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されていることを特徴とする請求項２７に記載のリペア装置。
【請求項２９】
前記フラットパネルディスプレイ基板は、液晶表示装置又はプラズマディスプレイパネル基板であることを特徴とする請求項２７に記載のリペア装置。
【請求項３０】
請求項２３又は２４に記載のリペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板のショートを検出して修復するリペア方法において、前記プローブセンサー部を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、ショートが検出された場合には、前記リペア部をショート位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とするリペア方法。
【請求項３１】
前記基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であることを特徴とする請求項３０に記載のリペア方法。
【請求項３２】
前記プローブセンサー部のプローブが前記基板の被検査部に２点に接触して電圧を印加する箇所は、前記データ線又は前記ゲート線の端部に設けられた隣接する電極パッドであることを特徴とする請求項３１に記載のリペア方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液晶表示装置（ＬＣＤ：Liquid Crystal Display）及びプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ：Plasma Display Panel）等のＦＰＤ（Flat Panel Display：フラットパネルディスプレイ）の基板等に設けられた電気配線の欠陥を検出して修正するリペア装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近時、ＦＰＤ基板は大型化してきており、製造過程で現れた欠陥基板を廃棄するよりは、それを修正した方が、コストが下げられる状況となっている。この基板欠陥の修正のために電気配線修正装置（リペア装置）が使用されている。
【０００３】
リペア装置が使用される工程の前後の製造工程は以下のようになっている。上流では、ＦＰＤの電気配線のオープン欠陥及びショート欠陥を基板全領域に亘って検査する専用の電気的欠陥検査装置（ＯＳ（Open Short）テスター）又は自動画像検査装置（ＡＯＩ装置：Automatic Optical Inspection 装置）によって、欠陥の検出及びその位置特定がなされ、データとしてコンピュータに蓄積される。リペア装置はそのデータを元に欠陥を修正する。その後、正しく欠陥が修正されたかどうかを、もう一度ＯＳテスター又はＡＯＩ装置によって検証する。このため、工程が後戻りとなり、製品のスループットが低下している。
【０００４】
スループットの改善のため、最近になってＯＳテスター搭載のリペア装置が開発されつつある。しかしながら、製造工程内に配置されるリペア装置に割けるスペースは限られたものとなっており、その装置はできる限り小型化されるよう要請されている。また、装置のスループットの改善及びコストの低減も要求されている。
【０００５】
従来のＯＳテスター搭載のリペア装置の一例としては、特許文献１に開示されたリペア装置がある。本従来例のＯＳテスター搭載のリペア装置は、被検査体を載置支持して直交３軸方向及び２次元平面を回転する方向に駆動制御可能であると共に、プロービング位置とリペア位置とに亘って移動可能なステージと、プロービング位置で被検査体の電極に通電することで被検査体の電気的特性を検査する検査装置と、この検査装置で測定された不良内容及びアドレスを記憶するメモリとを有しており、リペア位置に固定されメモリに記憶されたアドレスに基づくステージ駆動によって、少なくとも短絡箇所を含む不良箇所にレーザスポットを一致させ、レーザ光線を照射して修理を行う。
【０００６】
また、図１４は、従来の別のＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。なお、図中に示すように、便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を設定して説明を行う。
【０００７】
図１４(ａ)に示すように、定盤１０１上にはガイド１０２が設けられており、このガイド１０２上にはメインガントリー１０３及びサブガントリー１０９が設置され、これらはガイド１０２に従ってＹ軸方向に移動可能となっている。メインガントリー１０３には、レーザ発振器及びレンズ等を搭載してリペア加工を行う光学系１０４が装着されており、光学系１０４はＸ軸方向に可動となっている。また、サブガントリー１０９にはセンサーヘッド１０７及び給電プローブヘッド１０８が装着され、共にＸ軸方向に可動となっており、ヘッド部が互いに対向するように実装されている。また、定盤１０１上にはホルダー１０５が配置されており、このホルダー１０５の上には複数の（図示例は６枚の）ＬＣＤパネル１６０が形成されたＬＣＤ基板１０６が載置される。
【０００８】
ＯＳテスターの機能は大別して、２種類あり、１つはオープン欠陥の検出機能であり、もう１つは隣接パターンのショート欠陥の検出機能である。オープン欠陥の検出では、先ず、給電プローブヘッド１０８に設けられた１本のプローブピンがＬＣＤ基板の電極（パッド）に接触し、プローブを通じてＬＣＤ基板のパターンに高周波電流を供給する。そして、センサーヘッド１０７は、パターンからの電気磁気的作用によって非接触状態で電流値を検出する方式となっている。ここで、ＬＣＤ基板のパターンがオープン状態となっている場合には、パターンを流れる電流は途切れ、センサーヘッド１０７からはその電流を検出出来なくなる。また、センサーヘッド１０７は、Ｘ軸方向に移動することで、パターンのオープン欠陥の位置を特定できる方式となっている。
【０００９】
一方、ショート欠陥の検出は、給電プローブヘッド１０８に設けられた２本のプローブピンを隣接する電極パッドに接触させ、両プローブピンに電圧を印加して通電させることで、通流する電流から隣同士のパターンのショートを検出する方式となっている。
【００１０】
ＬＣＤ基板には通常パッドが２方向に配置されているが、その配置はＬＣＤ基板の種類により様々な方向となっている。そのため、全てのオープン欠陥、及びショート欠陥を検出するには、給電プローブヘッド１０８を全ての電極パッドに接触させる必要がある。従って、本従来装置においては、ＬＣＤ基板を一度ホルダー１０５から取り外して回転させ、再度リペア装置に装着する必要がある。図１４（ｂ）は、ＬＣＤ基板を一度ホルダー１０５から取り外して９０度回転させた後、再度リペア装置に装着した状態を示している。
【００１１】
【特許文献１】特開平０２−０２９４７号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述の従来技術には以下に示すような問題点がある。
【００１３】
上述のように、従来は、前工程に設置されたＯＳテスター装置により予めＦＰＤ基板の欠陥位置を検出し、そのデータに基づいてリペア装置が欠陥位置へ移動し、欠陥を修正していた。また、その修正結果を再び前工程のＯＳテスター装置に戻し、正しく欠陥が修正されているかどうかの確認をしていた。しかし、このような方式の場合、一度修正したＦＰＤ基板を前工程に戻す作業が発生し、作業時間が増大し、タクトタイムが増加するという問題点があった。
【００１４】
最近になって、ＯＳテスター機能をリペア装置に搭載して、前述の問題を解決しようという構想が一部のメーカーにより発表されている。しかし、図１４に示す従来のＯＳテスター機能を搭載したリペア装置におけるように、従来の方式ではＬＣＤ基板を一度ホルダーから取り外して再装着するという工程が必要となり、外部に回転機構を有するローダー装置等が必要となり、設置面積が増大する上コストアップとなり、更にタクトタイムが低下するという問題点があった。
【００１５】
本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであって、ＬＣＤ基板を取り外して再装着することなく基板上の電気配線の全領域に効率的にアクセスして、欠陥を検出、修正することができるリペア装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１６】
本発明に係るリペア装置は、基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１及び第２のガントリーと、前記第１及び第２のガントリーに夫々設置され各ガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能の第１及び第２のプローブセンサー部と、前記第１のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記第１及び第２のプローブセンサー部は、夫々、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とする。
【００１７】
リペア部は、第１のガントリーの第２のガントリー側とは反対側に設置され、第１のプローブセンサー部は、第１のガントリーの第２のガントリー側に設置され、第２のプローブセンサー部は、第２のガントリーの第１のガントリー側に設置されていてもよい。
【００１８】
リペア部は、第１のガントリーの第２のガントリー側に設置され、第１のプローブセンサー部は、リペア部に一体となって並置されており、第２のプローブセンサー部は、第２のガントリーの第１のガントリー側に設置されていてもよい。
【００１９】
本発明に係るリペア装置は、基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１、第２及び第３のガントリーと、前記第１及び第２のガントリーに夫々設置され各ガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能の第１及び第２のプローブセンサー部と、前記第３のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記第１及び第２のプローブセンサー部は、夫々、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とする。
【００２０】
第１のプローブセンサー部は、第１のガントリーの第２のガントリー側に設置され、第２のプローブセンサー部は、第２のガントリーの第１のガントリー側に設置され、第３のガントリーは、第１のガントリーと前記第２のガントリーとの間には配置されず、リペア部は第３のガントリーの第１及び第２のガントリー側に設置されていてもよい。
【００２１】
また、第１のプローブセンサー部は、第１のガントリーの第２のガントリー側に設置され、第２のプローブセンサー部は、第２のガントリーの第１のガントリー側に設置され、第３のガントリーは、第１のガントリーと第２のガントリーとの間には配置されず、リペア部は第３のガントリーの第１及び第２のガントリー側とは反対側に設置されていてもよい。
【００２２】
ステージ並びに第１、第２及び第３のガントリーが設置される定盤と、ステージを定盤に対して第１の方向に移動させるステージ駆動部を設けることができる。
【００２３】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、第１又は第２のプローブセンサー部のプローブ部が基板の被検査部に２点に接触してこの２点間に電圧を印加し、被検査部に電流が流れるか否かを検知することにより、電気配線のショートを検知することができる。
【００２４】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方のプローブ部が基板の被検査部に１点に接触して電流を供給し、他方のプローブセンサー部のセンサー部が基板の被検査部に接続する電気配線に電流が流れるか否かを検知することにより、電気配線の断線を検知することができる。
【００２５】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、リペア部は被検査部のショート箇所にレーザ光線を照射して不良を修復することができる。
【００２６】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、リペア部は被検査部の断線箇所にレーザ光線を照射し化学気相成長法により修復することができる。
【００２７】
基板は、フラットパネルディスプレイ基板であってよい。また、フラットパネルディスプレイ基板には、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線された基板であってよい。また、フラットパネルディスプレイ基板は、液晶表示装置又はプラズマディスプレイパネル基板であってよい。
【００２８】
本発明に係るリペア方法は、前記リペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板のショートを検出して修復するリペア方法において、前記第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、ショートが検出された場合には、前記リペア部をショート位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とする。
【００２９】
基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であってよい。
【００３０】
プローブセンサー部のプローブが基板の被検査部に２点に接触して電圧を印加する箇所は、データ線又はゲート線の端部に設けられた隣接する電極パッドであると好適である。
【００３１】
リペア部は、ショート箇所にレーザ光線を照射してショート不良を修復することができる。
【００３２】
本発明に係るリペア方法は、前記リペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板の断線を検出して修復するリペア方法において、前記第１及び第２のプローブセンサー部のいずれか一方を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線の断線を検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する工程と、他方のプローブセンサー部を前記被検査部の第２の方向の座標位置に移動させる工程と、前記他方のプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にセンサー部がセンサー部下部の電気配線に流れる電流値を検出することにより断線不良か否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線の断線を検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する工程と、他方のプローブセンサー部を前記被検査部の前記第１の方向の座標位置に移動させる工程と、前記他方のプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にセンサー部がセンサー部下部の電気配線に流れる電流値を検出することにより断線不良か否かを判別する工程と、断線が検出された場合には、前記リペア部を断線位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とする。
【００３３】
基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であってよい。
【００３４】
プローブセンサー部のプローブが基板の被検査部に１点に接触して電流を供給する箇所は、データ線又はゲート線の端部に設けられた電極パッドであると好適である。
【００３５】
リペア部は、断線箇所にレーザ光線を照射し化学気相成長法により修復することができる。
【００３６】
本発明に係るリペア装置は、基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能なガントリーと、前記ガントリーに設置され前記ガントリーに対して前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能のプローブセンサー部と、前記ガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、を有し、前記プローブセンサー部は、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とする。
【００３７】
本発明に係るリペア装置は、基板が載置されるステージと、このステージの表面に沿って第１の方向に移動可能な第１及び第２のガントリーと、前記第１のガントリーに前記第２の方向に移動可能に設置され前記基板の被検査部をリペアするリペア部と、前記第２のガントリーに設置され前記第２のガントリーに対し前記第１の方向に交差する第２の方向に移動可能のプローブセンサー部と、を有し、前記プローブセンサー部は、前記第２の方向に移動可能の台部と、前記台部上に並置され前記基板の被検査部に電圧を印加するプローブ部及び前記被検査部に流れる電流を検出するセンサー部と、前記台部を前記ステージの表面に直交する方向を回転軸として回転駆動する台部駆動部と、を有することを特徴とする。
【００３８】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、プローブセンサー部のプローブ部が基板の被検査部に２点に接触してこの２点間に電圧を印加し、被検査部に電流が流れるか否かを検知することにより、電気配線のショートを検知することができる。
【００３９】
基板の被検査部は、基板に設けられた電気配線であり、リペア部は被検査部のショート箇所にレーザ光線を照射して不良を修復することができる。
【００４０】
基板は、フラットパネルディスプレイ基板であってよい。また、フラットパネルディスプレイ基板には、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線された基板であってよい。また、フラットパネルディスプレイ基板は、液晶表示装置又はプラズマディスプレイパネル基板であってよい。
【００４１】
本発明に係るリペア方法は、前記リペア装置を使用し、前記ステージ上に載置され前記第１及び第２の方向に複数の電気配線が形成された基板のショートを検出して修復するリペア方法において、前記プローブセンサー部を被検査部に移動させる工程と、前記第１の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第１の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、前記第２の方向に沿った配線のショートを検査する際には、前記被検査部に配置されたプローブセンサー部を前記第２の方向に回転した後にプローブ部を前記基板の被検査部に２点に接触して２点間に電圧を印加し、前記２点間に流れる電流を検出することによりショートか否かを判別する工程と、ショートが検出された場合には、前記リペア部をショート位置に移動させ修復する工程と、を有することを特徴とする。
【００４２】
基板は、データ線及びゲート線がマトリクス状に配線されたフラットパネルディスプレイ基板であってよい。
【００４３】
プローブセンサー部のプローブが基板の被検査部に２点に接触して電圧を印加する箇所は、データ線又はゲート線の端部に設けられた隣接する電極パッドであると好適である。
【発明の効果】
【００４４】
本発明によれば、ＦＰＤ基板の電気配線のオープン欠陥及びショート欠陥等を検出するＯＳテスター機能を搭載したリペア装置が得られる。この装置は、１組の給電プローブ部及びセンサー部を１個のユニットに一体化し、メインガントリーとサブガントリーとに夫々前記ユニットを装着し、それらが基板に垂直な軸を中心として回転できるようにしたことで、被検査基板の電極パッドがＦＰＤ基板のどの方向に位置していてもアクセスすることが可能となり、欠陥検出及び修正を効率的に行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
次に、本発明の実施形態について添付の図面を参照して具体的に説明する。まず、本発明の第１の実施形態について説明する。図１（ａ）及び図１（ｂ）は、本実施形態を示す平面図である。図１（ａ）は、ＬＣＤ基板上のゲートパターンのＯＳテストを行う場合であり、図１（ｂ）は、ＬＣＤ基板上のデータパターンのＯＳテストを行う場合である。なお、図中に矢印で示すように、便宜上、Ｘ軸方向及びＹ軸方向を設定し説明を行う。また、ＸＹ両軸に直交する方向をＺ軸とする。
【００４６】
図１（ａ）に示すように、本実施形態に係るＯＳテスター搭載リペア装置においては、定盤１上には、Ｙ軸方向の２つの周縁に沿って夫々ガイド２が配置されており、これらのガイド２上にはメインガントリー３がＸ軸方向に延伸するようにして装着されている。そして、メインガントリー３は、ガイド２上をＹ軸方向に移動できる構造となっている。同様に、サブガントリー９はＸ軸方向に延伸するようにしてガイド２に装着されており、ガイド２上をＹ軸方向に移動できる構造となっている。定盤１は本装置上に実装される全てのユニットのベースとなっている。
【００４７】
メインガントリー３上には光学系４が配置されており、光学系４はメインガントリー３に従ってＸ軸方向に可動となっている。光学系４は、レーザ発振器及びレンズ等を搭載したリペア加工を行う光学部である。
【００４８】
定盤１上の２つのガイド２の間には、Ｙ軸方向に可動の移動ホルダー５０が配置されており、この上には被検査体であるＬＣＤ基板６が載置されており、移動ホルダー５０が移動することでＬＣＤ基板６も移動する。なお、ＬＣＤ基板は図３に示すような構成となっている。
【００４９】
図３は、アクティブマトリクス方式のＴＦＴ（Thin Film Transistor：薄膜トランジスタ）構造を有するＬＣＤ基板６の模式図である。図３（ａ）に示すように、ＬＣＤ基板６は、ガラス基板上に設けられた複数のＬＣＤパネル６０からなり、個々のＬＣＤパネル６０がディスプレイパネルとなる。また、図３（ｂ）はＬＣＤパネル６０の拡大図である。ＬＣＤパネル６０には格子状の配線パターンが形成されており、ゲートパターンとデータパターンとが直交するように構成されている。そして、ゲートパターンの端部にはゲートパッドが設けられ、また、データパターンの端部にはデータパッドが設けられており、これらは各パターンを電気的に駆動するための給電用のパッドである。
【００５０】
図１（ａ）に示すように、サブガントリー９は、メインガントリー３の光学系４が設置された側とは反対側に実装されている。メインガントリー３にはプローブセンサーヘッド１０ａが装着されており、装着部はメインガントリー３の光学系４が設置された側とは反対側となっている。一方、サブガントリー９のメインガントリー３側にも同様にプローブセンサーヘッド１０ｂが設けられている。プローブセンサーヘッド１０ａ、１０ｂは、非接触でＬＣＤパネル６０の各パターンの電気的接続状態を検出するセンサーヘッドと、２本のプローブピンが設けられたプローブヘッドとを同一のユニットに設けて構成されている。また、プローブセンサーヘッド１０ａ、１０ｂは、共にＸ軸方向に移動できる構造となっており、更に、ＸＹ平面内に回転できる構造となっている。
【００５１】
ここで、図４を用いて、プローブセンサーヘッドの構造について詳細に説明する。図４に示すように、プローブセンサーヘッドは、センサーヘッド７とプローブヘッド８とが同一の支持板２０に設けて構成されており、この支持板２０はプローブセンサーヘッドの回転機構９０に接続されており、これにより、センサーヘッド７及びプローブヘッド８を共に回転させる構造となっている。センサーヘッド７は、その先端がＬＣＤ基板に接触しないようにしてＬＣＤ基板直上に配置され、ＬＣＤ基板上のパターンに供給された高周波電流を非接触で検出する。また、プローブヘッド８には、２本のプローブピン８１、８２が設けられており、各パターンにパッドを通じて電流を供給する。
【００５２】
図２（ａ）は、上述のように構成された本実施形態を、前面から見た場合の斜視図であり、（ｂ）は背面から見た場合の斜視図である。なお、本明細書においては、光学系４が設置された側をリペア装置の前面側とし、その反対側を背面側とする。図２（ａ）に示すように、定盤１上には、前面から背面に至る定盤１の周縁に沿ってガイド２が設けられており、これらのガイド２と直交するようにしてメインガントリー３、及びサブガントリー９がガイド２上に設置されている。光学系４はメインガントリー３の図面手前側の側面に設けられており、また、プローブセンサーヘッド１０ｂはサブガントリー９の図面手前側の側面に設けられている。図２（ｂ）に示すように、メインガントリー３の光学系４が取り付けられた側とは反対の側面にはプローブセンサーヘッド１０ａが設けられている。
【００５３】
次に、本実施形態の動作について説明する。先ず、図５を用いて、センサーヘッド７及びプローブヘッド８の動作を説明する。図５（ａ）は、オープン欠陥を検査する場合であり、図５（ｂ）はショート欠陥を検査する場合である。
【００５４】
図５（ａ）においては、プローブヘッド８に設けられたプローブピン８１は、高周波電流回路に接続されており、高周波電流はプローブピン８１からデータパッドを通じてデータパターンに供給される。センサーヘッド７にはセンサー電極７１が内蔵されており、データパターンとの電気的結合によってデータパターンに通流する高周波電流を検出する。図５（ａ）に示す例では、データパターンの一部が途中で断線してオープン欠陥が形成されており、センサーヘッド７はデータパターンに通流する高周波電流が検出できない状態となっている。これに対して、センサーヘッド７がデータパターンの切断部よりプローブピン側に移動した場合には、高周波電流が検出され、データパターンの切断がないと判断できる。
【００５５】
図５（ｂ）においては、プローブヘッド８に設けられたプローブピン８１とプローブピン８２との間に電圧を印加し、両プローブピンの電圧と電流からプローブピン間の電気抵抗を測定できる。図５（ｂ）に示す例では、データパターン間にショート欠陥が形成されており、このため電気抵抗が低下し、ショートしていることが判断できる。なお、ショート欠陥を検出する場合は、オープン欠陥を検出するときに使用する高周波電流の回路とはスイッチで分離できる回路構成となっている。また、プローブピン８１とプローブピン８２は、ＬＣＤパネルの給電パッドに接触できるように、Ｚ軸方向に可動の移動機構を備えている。
【００５６】
次に、図１（ａ）の構成において、欠陥を修復する場合について説明する。リペア加工するには、光学系４がＬＣＤ基板の全てのエリアにアクセスできる必要がある。そこで、先ず、移動ホルダー５０を左端に移動させる。これにより、光学系４がＬＣＤ基板の全てのエリアにアクセスできるようになる。なお、移動ホルダー５０が存在しない場合には、メインガントリー３と光学系４を合わせたＹ軸方向の幅分の可動エリアが余分に必要となり、装置が大型化してしまう。即ち、移動ホルダー５０は装置を小型化する効果がある。
【００５７】
次に、上流工程から欠陥情報を取得する。欠陥情報には、データパターン、及びゲートパターンの欠陥ライン番号、欠陥座標情報、及びオープン欠陥又はショート欠陥を特定する欠陥種別の情報等が含まれている。そして、Ｙ軸の欠陥座標情報に基づいてメインガントリー３が動作し、Ｘ軸の欠陥座標情報に基づいて光学系４が動作し、光学系４は欠陥位置に移動する。更に、欠陥の種別により、ショート欠陥のときは、レーザ照射によりショート箇所のカットを行う。また、オープン欠陥のときは、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition：化学気相成長法）等を用いてオープン部分を接続し、欠陥修正を行う。欠陥が複数箇所ある場合には、同様に複数箇所に対して欠陥修正を行う。
【００５８】
次に、ゲートパターンのショート欠陥をリペア装置で修復した後に、ＯＳテストを行う方法について説明する。但し、ゲートパターンはＹ軸方向に形成されているとする。ＯＳテストを行う場合には、プローブセンサーヘッド１０ａと１０ｂがＬＣＤ基板６の全てのエリアにアクセスできる必要がある。そこで、移動ホルダー５０を右端に移動させる。これにより、プローブセンサーヘッド１０ａと１０ｂがＬＣＤ基板６の全てのエリアにアクセスが可能となる。
【００５９】
そして、上流工程からの欠陥情報に基づいて算出されたＹ軸座標にサブガントリー９を移動させる。更に、欠陥情報に基づいて算出されたパッド位置のＸ軸座標へプローブセンサーヘッド１０ｂを移動させ、プローブピン８１、８２をＺ軸下方向に移動させ、夫々異なるパッドに接触させる。そして、２本のプローブピン８１、８２間に電流を流し、その間の電圧と電流からパターン間の電気抵抗を計算し、予め設定してある閾値より大きい場合はオープン状態とし、リペアが成功したと判断する。また、閾値より小さい場合は、ショート状態を示しており、リペアが失敗したと判断する。この場合、再度リペア動作を実施する。
【００６０】
次に、ゲートパターンのオープン欠陥をリペア装置で修復した後に、ＯＳテストを行う方法について説明する。上流工程からの欠陥情報に基づいて算出されたＹ軸座標にサブガントリー９を移動させる。次に、欠陥情報に基づいて算出されたパッド位置のＸ軸座標へサブガントリー９に実装されたプローブセンサーヘッド１０ｂを移動させ、高周波電流源に接続されたプローブピン８１をＺ軸下方向に移動させ、修正パターンのパッドに接触させる。次に、メインガントリー３に実装されたプローブセンサーヘッド１０ａをＸ軸に沿って移動させ、プローブセンサーヘッド１０ｂが配置された修正パターン位置に移動させる。メインガントリー３は、プローブセンサーヘッド１０ｂに向かってＹ軸方向に移動し検出動作を行う。このとき正しく欠陥修正がなされていれば、欠陥パターン上の全ストロークに亘り高周波電流が検出され、リペアが成功したと判断する。一方、欠陥パターン上に高周波電流が検出されないと、リペアが失敗したと判断する。この場合、再度リペア動作を実施する。なお、プローブセンサーヘッドが移動するときには、プローブピンと基板表面との接触を避けるため、プローブピンをＺ軸の上方に退避しておく。
【００６１】
次に、データパターンのＯＳテストを行う方法について説明する。図１（ａ）においては、データパターンはＸ軸に沿って形成されている。そこで、プローブセンサーヘッド１０ａ及び１０ｂをＸＹ面内に左方向９０度回転させると図１（ｂ）の状態となり、これでデータパターン及びデータパッドにアクセスできる状態となる。これにより、ゲートパターンのＯＳテストの方法と同様に、ショート欠陥及びオープン欠陥のリペア結果のチェックを行うことができる。
【００６２】
なお、データパッドの方向及びゲートパッドの方向はＬＣＤ基板の種類によって多種多様であるが、プローブセンサーヘッド１０ａ、１０ｂをＸＹ面内に回転させることで、これらがどの方向であってもアクセス可能となる。
【００６３】
次に、本実施形態の効果について説明する。本実施形態においては、給電プローブヘッドとセンサーヘッドとをプローブセンサーヘッドとして一体化し、それをメインガントリーとサブガントリーに配置し、プローブセンサーヘッドをＸＹ面内に１８０度の範囲で回転できるようにすることで、被検査基板の電極パッドがどの方向にあっても、ＦＰＤ基板を取り出すことなく配線をチェックできる。なお、本実施形態においては、メインガントリーとサブガントリーに配置したプローブセンサーヘッドの個数を夫々１個としたが、複数個配置してもよい。
【００６４】
また、プローブセンサーヘッドが搭載されたサブガントリーをメインガントリーの背後、即ち、メインガントリーの光学系が設置された側とは反対側、に追加することで、従来のリペア装置を若干大きくするのみでＯＳテスター機能を容易に追加することができる。更に、プローブセンサーヘッドをメインガントリーの背後に装着し、ＦＰＤ基板を保持するホルダーをＹ軸方向に前後させることで、リペア機能を使用するときにはホルダー位置を前方に移動させ、ＯＳテスター機能を利用するときには背後に移動させることにより、従来のリペア機能の使い勝手との互換性を保つことができる。
【００６５】
次に、本発明の第２の実施形態に係るＯＳテスター機能を搭載したリペア装置について説明する。図６は、本実施形態を示す平面図である。図６に示すように、本実施形態は、サブガントリー９に加えてもう一つのサブガントリー９１をメインガントリー３の背後に有している。また、図１においてはメインガントリー３に実装されていたプロ−ブセンサーヘッド１０ａがサブガントリー９１に実装されており、その他の構成は図１と同様である。そのため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。本実施形態の基本動作は第１の実施形態の動作と同様である。本実施形態は、第１の実施形態と同様の効果に加えて、サブガントリーをもう一つ追加したことにより、メインガントリーのリペア機構に手を加えることなくＯＳテスター機能が実現できるため、ＯＳテスター機能の追加が容易に行えるという効果がある。なお、図７は、（ａ）第２の実施形態を前面から見た場合の斜視図であり、（ｂ）第２の実施形態を背面から見た場合の斜視図である。図７は、上述の本実施形態の特徴を除けば、図２と同様であるため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６６】
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。図８は、本実施形態を示す平面図である。図８に示すように、本実施形態は、２つのサブガントリー９、９１をメインガントリー３の前方に実装した構成となっており、その他の構成は図６と同じである。そのため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。本実施形態の基本動作は第２の実施形態の動作と同様である。なお、図９は、本実施形態を前面から見た場合の斜視図である。図９は、上述の本実施形態の特徴を除けば、図７と同様であるため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６７】
次に、本発明の第４の実施形態について説明する。図１０は、本実施形態を示す平面図である。図１０に示すように、本実施形態は、サブガントリー９をメインガントリー３の前方に実装した構成となっており、更に、プロ−ブセンサーヘッド１０ｂをメインガントリー３の光学部４に実装した構成となっている。その他の構成は、第１の実施形態と同様であるため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。また、本実施形態の動作及び効果も第１の実施形態の動作及び効果と基本的に同じである。なお、図１１は、本実施形態を前面から見た場合の斜視図である。図１１は、上述の本実施形態の特徴を除けば、図２と同様であるため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。
【００６８】
なお、図１２及び図１３に示すように、リペア装置に設けるプロ−ブセンサーヘッドの数を１つだけとした場合にも、被検査基板を再装着することなく、ショート欠陥の検出を行うことができる。図１２及び図１３は、夫々本発明の第５及び第６の実施形態を表す。図１２は、サブガントリーとこれに装着されるプロ−ブセンサーヘッドが存在しない点を除けば、図１（ａ）の構成と同じである。また、図１３は、メインガントリーに装着されるプロ−ブセンサーヘッドが存在しない点を除けば、図１（ｂ）の構成と同じである。そのため、同一の構成物には同一の符号を付して詳細な説明は省略する。また、図１２及び図１３で示す実施形態による動作、及び効果も、図１に示す実施形態を用いて基板のショート欠陥の検出と修正を行う場合と同様である。
【産業上の利用可能性】
【００６９】
本発明は、液晶表示パネル及びプラズマ表示パネル等のＦＰＤ製造装置に好適に使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００７０】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。（ａ）ＬＣＤ基板上のゲートパターンのＯＳテストを行う場合であり、（ｂ）ＬＣＤ基板上のデータパターンのＯＳテストを行う場合である。
【図２】（ａ）第１の実施形態を前面から見た場合の斜視図であり、（ｂ）第１の実施形態を背面から見た場合の斜視図である。
【図３】（ａ）ＬＣＤ基板の構造を示す模式図である。（ｂ）ＬＣＤパネルの拡大図である。
【図４】プローブセンサーヘッド部の構造を示す斜視図である。
【図５】（ａ）オープン欠陥を検査する際のプローブセンサーヘッドの動作を説明する平面図である。（ｂ）ショート欠陥を検査する際のプローブセンサーヘッドの動作を説明する平面図である。
【図６】本発明の第２の実施形態に係るＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。
【図７】（ａ）第２の実施形態を前面から見た場合の斜視図であり、（ｂ）第２の実施形態を背面から見た場合の斜視図である。
【図８】本発明の第３の実施形態に係るＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。
【図９】第３の実施形態をから見た場合の斜視図である。
【図１０】本発明の第４の実施形態に係るＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。
【図１１】第４の実施形態を前面から見た場合の斜視図である。
【図１２】本発明の第５の実施形態に係るショートテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。
【図１３】本発明の第６の実施形態に係るショートテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。
【図１４】（ａ）従来のＯＳテスター機能を搭載したリペア装置を示す平面図である。（ｂ）（ａ）と同じ構成で、ＬＣＤ基板を平面内で９０度回転させて、基板上のパターン方向を変更して配置した例である。
【符号の説明】
【００７１】
１、１０１；定盤
２、１０２；ガイド
３、１０３；メインガントリー
４、１０４；光学系
６、１０６；ＬＣＤ基板
７、１０７；センサーヘッド
８、１０８；給電プローブヘッド
９、９１、１０９；サブガントリー
１０ａ、１０ｂ；プローブセンサーヘッド
２０；支持板
５０；移動ホルダー
６０、１６０；ＬＣＤパネル
７１；センサー電極
８１、８２；プローブピン
９０；プローブセンサーヘッドの回転機構
１０５；ホルダー
【図１】
2007206641.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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