(57)【要約】【課題】  ごみによる印字不良を防止し、印字品位の劣化の無い、信頼性の高い、安価なインクジェット記録ヘッドを提供する。【解決手段】  インクを吐出する吐出口に連通するインク流路が形成され、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギを発生するエネルギ発生手段を備えた液体吐出基板と、インクを前記インク流路に供給するインク供給路の形成され、かつ前記液体吐出基板を支持するインク供給部材と、前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、を有し、前記液体吐出基板が前記電気配線基板を挟んで前記インク供給部材に接合され、前記電気配線基板には前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタが形成されていることを特徴とする。【選択図】  図１
2007296775.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
インクを吐出する吐出口に連通するインク流路が形成され、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギを発生するエネルギ発生手段を備えた液体吐出基板と、インクを前記インク流路に供給するインク供給路の形成され、かつ前記液体吐出基板を支持するインク供給部材と、
前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、
を有するインクジェット記録ヘッドにおいて、
前記液体吐出基板が前記電気配線基板を挟んで前記インク供給部材に接合され、前記電気配線基板には前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタが形成されていることを特徴とするインクジェット記録ヘッド。
【請求項２】
前記フィルタが形成されている電気配線基板がフレキシブルプリント配線基板で、前記複数の開口部が前記電気配線基板のベースフィルム、或いはカバーフィルムに形成されていることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項３】
前記液体吐出基板のインク吐出面と同一面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極をワイヤ−ボンディングにて電気接続されていることを特徴とする請求項１ないし請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項４】
前記液体吐出基板のインク吐出面と対向する面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記電極及び前記インク流路の外周が密閉されていることを特徴とする請求項１ないし請求項２に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】
前記複数の開口部がレーザー加工されていることを特徴とする請求項１乃至請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項６】
前記複数の開口部をプレス加工されていることを特徴とする請求項項１乃至請求項４に記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項７】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載のインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有する液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、インクジェット記録ヘッド、該インクジェット記録ヘッドの製造方法及びインクジェット記録装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
インクジェット記録装置は、いわゆるノンインパクト記録方式の記録装置であり、高速な記録と様々な記録媒体に対して記録することが可能であって、記録時における騒音がほとんど生じないといった特徴を持つ。このようなことからインクジェット記録装置は、プリンタ、ワードプロセッサ、ファクシミリ、及び複写機などの記録機構を担う装置として広く採用されている。
【０００３】
このインクジェット記録装置における代表的なインク吐出方式としては、電気熱変換素子を用いた方式がある。この方式は、微小な吐出口から微少な液滴を吐出させて、記録媒体に対し記録を行うものとなっており、一般に、液滴を形成するためのインクジェット記録ノズルと、このヘッドに対してインクを供給する供給系とから構成される。
【０００４】
電気熱変換素子を用いたインクジェット記録ヘッドは、電気熱変換素子を記録液室内に設け、これに記録信号となる電気パルスを与えることにより記録液に熱エネルギーを与え、そのときの記録液の相変化により生じる記録液の発泡時(沸騰時)の気泡圧力を記録液滴の吐出に利用したものである。さらに電気熱変換方式を用いたインクジェット記録ヘッドの場合、電気熱変換素子が配列された基板に対して平行に記録液を吐出させる方式(エッジシューター)と電気熱変換素子が配列された基板に対して垂直に記録液を吐出させる方式(サイドシュータ)とがある。
【０００５】
図６に従来のインクジェット記録ヘッドカートリッジ２５０の側断面図を示す。ここで、インクジェット記録ヘッドカートリッジ２５０は、インクジェット記録ヘッド２０１と、インクジェット記録ヘッド２０１に装着されたホルダー部材２０６に着脱自在に保持されたインクタンク２１４とを有する。
【０００６】
インク供給部材２０４には、インクを保持するインクタンク２１４へと接合される側に、インク中のごみ、気泡等を除去するためのフィルタ２０９が取り付けられた、後述のノズルへと連通するインク供給路２０８が形成されている。
【０００７】
インクを吐出するためにインクにエネルギを与える不図示のエネルギ発生素子を有する記録素子基板１０１は、支持部材１０２に支持された状態でインク供給部材２０４に接合されている。また、記録素子基板１０１の、支持部材１０２に支持された面の反対側の面には、インクを吐出するための吐出口及び吐出口へと連通する溝部が形成された不図示のオリフィス板が接合されている。記録素子基板１０１とオリフィス板とが接合されることにより、インク供給部材２０４のインク供給路２０８からオリフィス板に形成された吐出口まで連通する不図示のインク流路が形成されることとなる。インクジェット記録ヘッド２０１は、吐出口、インク流路及びエネルギ発生素子からなる、並列に配された複数のノズルを有する。
【０００８】
また、近年では、インクジェット記録の高画質化に伴い、前記吐出口、インク流路等の寸法が２０μｍ以下のものが多くなってきており、作業環境のごみや、インク供給部材に使用されるガラスフィラーが脱落して、ノズルに詰まったりするのを防止する為、特開2001-010080号広報では、図６に示すように、前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタを有するものが提案されている。
【０００９】
また、インクジェット記録ヘッドに適用される記録素子基板との配線基板の接続に関しては、特公平8-25272や特開平10-044418にて開示されている。すなわち、オリフィス板104の表面側に電気熱変換素子と電極107を備えた液体吐出基板101の電極107と、液体吐出基板101に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板103の電極108とが、ILB(Inner  Lead  Bonding)による金属間結合、または、異方性導電接着を用いた熱圧着により、電気的に接続されている。さらに、プリンターなどに代表される製品において、インクから保護、および、インク滴や紙紛等のゴミを除去するゴムブレードによる拭き取り動作から保護するために、接続部は、封止材110により覆われている。また、液体吐出基板101を接着剤210で保持しインクを供給する支持部材１０２は、液体吐出基板の温度上昇によりインクの吐出性能が低下しないように、アルミナなど液体吐出基板101と同等の熱伝導率を有する材料で形成されている。
【００１０】
液体吐出基板と電気配線基板の接続電極部を封止剤で封止した部分は、表面より突出することになり、この突出部の分だけヘッドと被記録媒体との間隔を取る必要があり、インクの被記録媒体への着弾精度を低下させる。さらに、突出部は、表面に付着したインク滴や紙紛等のゴミを除去するためのゴムブレードによる拭き取りに弊害を生じさせる場合があり、ひいては印字上悪影響を及ぼす。また、近年は、高速印字に対応するために、液体吐出基板のノズル(インク吐出口)および熱変換素子が増加し、電極数が増加する傾向がある。また、ゴムブレードによる拭き取り方向により、封止材の突出部の領域が制限され、多くの製品が、液体吐出基板の短手短部に高密度な接続がされており、電極から熱変換素子までの電源配線長が、電極に近い熱変換素子と遠い熱変換素子で、大きく異なり、配線抵抗を均一化するために、遠い電源配線は、幅を広げる必要がある。そのため、電源配線の占有面積が増え液体吐出基板の大型化を招き、低価格の妨げとなる。
【００１１】
また、表面側に電気信号に応じて液体吐出口から液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生させるエネルギー発生手段を備え、裏面側に液体供給口と電極を備えた液体吐出基板と、前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、前記液体吐出基板を保持し、液体を供給する保持部材と、を備えた記録ヘッドであって、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記液体供給口の外周が密閉されているものが提案されている。
【特許文献１】特開２００１−１００８０号公報
【特許文献２】特公平８−２５２７２号公報
【特許文献３】特開平１０−４４４１８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、前記インク供給路と前記インク流路との間に、フィルタを設けることは、部品の増加に伴い、洗浄、組立コストが増加してしまうという問題があった。
【００１３】
本発明の目的は、上記問題を解決し、更に、印字品位の劣化のない、信頼性の高い、安価なインクジェット記録ヘッドを提供することにある。さらには、その記録ヘッドを用いたインクジェット記録装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
上記目的を達成するため、請求項１の記録ヘッドは、インクを吐出する吐出口に連通するインク流路が形成され、前記吐出口からインクを吐出するためのエネルギを発生するエネルギ発生手段を備えた液体吐出基板と、インクを前記インク流路に供給するインク供給路の形成され、かつ前記液体吐出基板を支持するインク供給部材と、前記液体吐出基板に対して電気制御信号と駆動電力を供給する電気配線基板と、を有し、前記液体吐出基板が前記電気配線基板を挟んで前記インク供給部材に接合され、前記電気配線基板には前記インク供給路と前記インク流路との間に、インクが通過可能であるとともに最大となる開口面積が前記インク流路の断面積よりも小さい複数の開口部が形成されたフィルタが形成されていることを特徴とする。
【００１５】
請求項２の記録ヘッドは、前記フィルタが形成されている電気配線基板がフレキシブルプリント配線基板で、前記複数の開口部が前記電気配線基板のベースフィルム、或いはカバーフィルムに形成されていることを特徴とする。
【００１６】
請求項３の記録ヘッドは、前記液体吐出基板のインク吐出面と同一面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極をワイヤ−ボンディングにて電気接続されていることを特徴とする。
【００１７】
請求項４の記録ヘッドは、前記液体吐出基板のインク吐出面と対向する面側に電極が有り、前記液体吐出基板の電極と前記電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記電極及び前記インク流路の外周が密閉されていることを特徴とする。
【００１８】
請求項５の記録ヘッドは、前記複数の開口部をレーザー加工によって形成されていることを特徴とする。
【００１９】
請求項６の記録ヘッドは、前記複数の開口部をプレス加工によって形成されていることを特徴とする。
【００２０】
請求項７の液体吐出装置は、インクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドから吐出された液体を受ける被記録媒体を搬送する被記録媒体搬送手段とを有することを特徴とする。
【００２１】
(作用)
上記のように構成された本発明においては、前記インク供給路と前記インク流路との間に、電気配線基板を加工したフィルタを設けることにより、新たな部品の追加無でごみによる印字品位の低下を防止可能な為、コストの増加が抑えられる。また、電気配線基板のフィルタ加工も電気配線基板の電極穴あけと同時で出来るので、工程の追加が不要である。
【００２２】
また、裏面側に電極を備えた液体吐出基板を使用することにより、電極封止部が表面より突出することが無くなり、インクの被記録媒体への着弾精度が向上する。
【発明の効果】
【００２３】
以上説明したように、本発明によれば、インク供給路からインク流路までのインクの供給径路の途中に、インク流路を塞ぐごみ等は通過させないフィルタが電気配線基板内に設けられているため、追加部品無でインク供給路のごみやガラスフィラーがインク流路内に侵入することは防止される。よって、インク流路の詰まりを防止することができる。
【００２４】
また、本発明によれば、インクジェット記録ヘッドにおいて、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極が電気的に接続され、前記液体供給口の外周が密閉されていることにより、表面に突出する封止材がないため、ヘッドと被記録媒体との間隔を表面から被記録媒体までの距離で決定することができ、印字品位が向上し、さらには、ゴムブレードによるオリフィス面のクリーニングの際に弊害を生じることもないため、耐久性も向上する。
【００２５】
また、表面に突出する封止材がないため、ゴムブレードの拭き取り方向による接続部の制限がなく、低密度な接続による低価格が可能である。
【００２６】
さらにまた、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極がハンダにより電気的に接続され、液体供給口の外周が封止材により密閉されていることにより、一般的なフリップチップ実装を利用できるため、生産性に優れ、コスト低減が可能となる。
【００２７】
さらにまた、液体吐出基板の電極と電気配線基板の電極が熱硬化性接着剤により電気的に接続され、液体供給口の外周が封止材により密閉されていることにより、数秒から数十秒という短時間で接続が可能なため、生産時のスループットが向上し生産コストが減少する。
【００２８】
さらにまた、熱硬化接着剤の塗布量を調整することにより、熱硬化接着剤のみで、記録素子基板と電気配線基板の電気的接続と、記録素子基板とインク保持部材のインク供給口を接着密閉することが可能である。
【００２９】
さらにまた、導電粒子を含む熱硬化接着剤、異方性導電接着剤を用いて、導電粒子を介する電気的接続をすることにより、電気的接続の信頼性が向上する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３０】
(実施例１)
以下に、本発明の実施例について、図１を用いて説明する。
【００３１】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、記録素子基板１と、支持部材２と電気配線基板３で構成される。
【００３２】
図1は、本実施例の断面を示している。図1において、記録素子基板１のオリフィス板４の表面側にはインクを吐出するための吐出口５が複数列に開口しており、その下側にはインクを供給するためのインク供給口６が、吐出口列の長さとほぼ等しい長さで開口し、記録素子基板１の裏面にテーパー状に至っている。電気配線基板３はインク供給口３９が開口された厚さ２５μｍのポリイミド製のベースフィルム３１に不図示の配線形成された厚さ１８μｍの銅箔３２と厚さ２５μｍのポリイミド製のカバーフィルム３３がラミネートされ、銅箔３２に設けられた端子８は金メッキされている。更に、カバーフィルム３３の記録素子基板１のインク供給口６実装部には、吐出口５よりも小さい穴４０が多数設けられている。また、支持部材２には、記録素子基板１の裏面のインク供給口６に、インクを供給するためのインク供給口９が前記インク供給口６とほぼ同一寸法で開口している。穴４０は、多ければ多いほど、インク供給時の抵抗が少ない為、インク供給口９或いはインク供給口６の断面積に近づけた方が良い。
【００３３】
本発明のインクジェット記録ヘッドは、インク供給口９が設けられた支持部材２とインク供給口６が開口した記録素子基板１に、フィルタとなる多数の穴４０が設けられた電気配線基板３を挟んで接着固定し、それぞれ、インク供給口９、穴４０、インク供給口６でインク流路を形成している。なお、支持部材２と電気配線基板３の接着剤２３、電気配線基板３と記録素子基板１の接着剤１０、及び電気配線基板３のラミネート接着剤３４は共に熱硬化性のエポキシ樹脂が使用されている。エポキシ樹脂は一般にインクに侵されにくく、インクジェット記録ヘッドに使用するのに最適である。尚、電気配線基板３のラミネート接着剤３４はインク供給口９にあるインクにより銅箔３２が腐食されるのを防いでいる。
【００３４】
また、記録素子基板１の電極１ａは、電気配線基板３の端子８と金ワイヤー１１でワイヤーボンディングされ電気的に接続され、封止剤１２にて密閉封止されて電極部がインクで侵されない様になっている。
【００３５】
本実施例によれば、電気配線基板３のカバーフィルム３３にフィルタ機能を持つ穴４０を設けることにより、部品の追加なくしてごみによる印字品位の低下を防止可能である。
【００３６】
なお、穴４０の穴あけは、カバーフィルム３３の穴あけ工程と同様に、プレスが使用可能である。プレス穴あけであれば、穴あけコストは金型代程度ですむが、５０μｍ以下のものの量産性は低い。それに対し、ＹＡＧレーザー、エキシマレーザー等を使用すれば、２０μｍ以下の小さな穴を同時にたくさんあけることが可能である。
【００３７】
(実施例２)
上記実施例は、フィルタとして利用される小さい穴４０はカバーフィルム３３に設けられていたが、図２では、ベースフィルム３１に設けられている。この方法によれば、電気配線基板３と記録素子基板１の接着剤１０が、記録素子基板１のインク供給口６実装部となるカバーフィルム３３の開口部３５の縁でとまる為、接着剤１０が前記穴４０を塞いでしまう事が無い。
【００３８】
(実施例３)
図３は、本実施例の裏面電極のハンダによる接続部の断面拡大図を示している。図３において、記録素子基板１のオリフィス板４の表面側にはインクを吐出するための吐出口５が複数列に開口しており、その下側にはインクを供給するためのインク供給口６が、吐出口列の長さとほぼ等しい長さで開口し、記録素子基板１の裏面にテーパー状に至っている。記録素子基板１の裏面電極７は、貫通電極２０により記録素子基板１内部で不図示のヒーターに接続されており、電気配線基板３の端子８と電気的に接続されている。本実施例では、この接続を端子８上のハンダバンプ１８によりハンダリフローや、熱圧着といった、いわゆるフリップチップ実装により行った。また、支持部材２には、記録素子基板１の裏面のインク供給口６に、インクを供給するためのインク供給口９が開口している。記録素子基板１の裏面の裏面電極７とインク供給口６の外周は、支持部材２のインク供給口９の外周に、封止材１２により、接着、密閉されている。
【００３９】
上述の本発明の構成により、記録素子基板の上面電極で接続し、接続部を封止した従来のインクジェット記録ヘッドと異なり、表面に突出する封止材がないため、ヘッドと被記録媒体との間隔をオリフィス表面から被記録媒体までの距離で決定することができる。さらには、ゴムブレードによるオリフィス面のクリーニングの際に弊害を生じることもない。
【００４０】
また、表面に突出する封止材がないため、ゴムブレードの拭き取り方向による接続部の制限がなくなる。そのため、裏面電極を低密度に配置し、安価な設備による接続が可能となり、低価格が可能である。
【００４１】
さらにまた、一般的なフリップチップ実装を利用できるため、生産性に優れ、コスト低減が可能となる。
【００４２】
(実施例４)
図４は、裏面電極の導電粒子を含む異方性導電接着剤１５による接続部の拡大図である。図４において、バンプ1８は、電気配線基板３の端子８、または、記録素子基板１の裏面電極７、または、両方に形成されている。記録素子基板１の裏面電極７と電気配線基板３の端子８は、バンプ１８および異方性導電接着剤１５の導電粒子を介して電気的に導通し、異方性導電接着剤１５により圧縮固定されている。記録素子基板１の裏面の裏面電極７とインク供給口６の外周は、インク保持部材２のインク供給口９の外周に、封止材１２により、接着密閉されている。
【００４３】
本実施例の構成において、実施例３と同様の効果が得られる。さらにまた、数秒から数十秒という短時間で接続が可能なため、生産時のスループットが向上し生産コストが減少する。
【００４４】
なお、導電粒子を含まない熱硬化接着剤を用いて、記録素子基板１の裏面電極７と電気配線基板３の端子８上のバンプ１８を直接電気的接続をすることにより、生産性が向上する。熱硬化接着剤として、例えば、東芝ケミカル製TMP0015Aを用いた場合、数秒から数十秒で接続固定が可能であった。
【００４５】
さらにまた、熱硬化接着剤の塗布量を調整することにより、熱硬化接着剤のみで、記録素子基板と電気配線基板の電気的接続と、記録素子基板とインク保持部材のインク供給口を接着密閉することも可能である。
【００４６】
一方、本実施例においても、実施例３と同様の効果を有する。
【００４７】
(実施例５)
以上の実施形態を例に挙げて本発明のインクジェット記録ヘッドについて説明したが、以下に、本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置について説明する。なお、以下の説明に用いる記号は、代表として第１の実施形態で用いられた記号を用いる。
【００４８】
インクジェット記録ヘッド１６が適用されたインクジェット記録装置の一例の外観図を図５に示す。
【００４９】
本体フレーム５５１には、螺旋溝５５３の刻まれたリードスクリュー５５２が回転自在に軸支されている。リードスクリュー５５２は、駆動モータ５５９の正逆回転に連動し、駆動力伝達ギア５６０、５６１を介して回転駆動される。さらに、本体フレーム５５１には、キャリッジ５５５を摺動自在に案内する案内レール５５４が固定されている。キャリッジ５５５には、螺旋溝５５３に係合するピン（不図示）が設けられており、駆動モータ５５９の回転によりリードスクリュー５５２を回転させることで、キャリッジ５５５が図示矢印ａ、ｂ方向に往復移動できるようになっている。紙押え板５７２は、キャリッジ５５５の移動方向にわたって、被記録媒体５９０をプラテンローラ５７３に対して押圧する。
【００５０】
キャリッジ５５５には、インクジェット記録ヘッドカートリッジ５８０が搭載される。インクジェット記録ヘッドカートリッジ５８０は、上述したインクジェット記録ヘッド１６をインクタンクＩＴと一体化したものである。また、このインクジェット記録ヘッドカートリッジ５８０は、キャリッジ５５５に設けられている位置決め手段および電気的接点によってキャリッジ５５５に固定支持されるとともに、キャリッジ５５５に対して着脱可能に設けられている。
【００５１】
フォトカプラ５５７、５５８は、キャリッジ５５５のレバー５５６のこの域での存在を確認して駆動モータ５５９の回転方向の逆転等を行うためのホームポジション検知手段を構成する。インクジェット記録ヘッド１６の前面（インク吐出口２４ａが形成された面）をキャップするキャップ部材５６７は、支持用部材５６２によって支持され、さらに吸引手段５６６を備え、キャップ内開口５６８を介してインクジェット記録ヘッド１６の吸引回復を行う。本体支持板５６４には支持板５６５が取り付けられており、この支持板５６５に摺動自在に支持されたクリーニングブレード５６３は、図示しない駆動手段によって前後方向に移動される。クリーニングブレード５６３の形態は図示するものに限られず、公知のものが適用できることはいうまでもない。レバー５７０は、インクジェット記録ヘッド１６の吸引回復動作を開始するためのもので、キャリッジ５５５と当接するカム５７１の移動に伴って移動し、駆動モータ５５９から駆動力がギアやラッチ切換え等の公知の伝達手段によって移動制御される。
【００５２】
これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復の各処理は、キャリッジ５５５がホームポジション側領域に移動したときにリードスクリュー５５２の作用によって、それぞれの対応位置で行われるようになっている。周知のタイミングで所望の動作を行うようにすれば、本例にはいずれも適用できる。
【００５３】
以上説明したインクジェット記録装置においては、搭載したインクジェット記録ヘッド１６のヒータを駆動するための記録信号をインクジェット記録ヘッド１６に与える記録信号供給手段を有し、インクジェット記録装置の動作を司る制御部を備えている。
【００５４】
本発明のインクジェット記録装置は、上述したインクジェット記録ヘッド１６を搭載しているのでインクの吐出が安定し、その結果、画像品位の劣化が少ない記録装置を達成することができる。なお、本発明のインクジェット記録装置ではキャリッジ５５５にインクジェット記録ヘッドカートリッジ５８０が着脱可能に搭載される例を示したが、これに限らず、インクジェット記録ヘッド１６をキャリッジ５５５に一体化し、インクタンクのみを着脱可能に搭載する構成としてもよい。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】実施例１の断面を示している。
【図２】実施例２の断面図である。
【図３】本実施例の裏面電極のハンダによる接続部の断面拡大図である。
【図４】裏面電極の導電粒子を含む異方性導電接着剤１５による接続部の拡大図である。
【図５】本発明のインクジェット記録ヘッドが適用されたインクジェット記録装置の外観図である。
【図６】従来例である。
【符号の説明】
【００５６】
１  記録素子基板
２  支持部材
３  電気配線基板
４  オリフィス板
５  吐出口
６  記録素子基板のインク供給口
７  裏面電極
８  電気配線基板の端子
９  インク保持部材のインク供給口
１０  接着剤
１１  金ワイヤ
１２  封止材
１５  異方性導電接着剤
１８  ハンダバンプ
１８ａ  バンプ
２３  接着剤
３１  ベースフィルム
３２  銅箔
３３  カバーフィルム
３４  ラミネート接着剤
４０  穴
【図１】
2007296775.tif 000003
【図２】
2007296775.tif 000004
【図３】
2007296775.tif 000005
【図４】
2007296775.tif 000006
【図５】
2007296775.tif 000007
【図６】
2007296775.tif 000008