(57)【要約】【課題】薬剤を使用することなく殺菌処理された給水を、濾過膜部へ供給することができる膜濾過システムを実現する。【解決手段】ボイラ２への給水ライン３と接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部４を備えた膜濾過システム１であって、薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部１５を、前記濾過膜部４への流路に設けたことを特徴とする。【選択図】図１
2007167805.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機器への給水ラインと接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部を備えた膜濾過システムであって、
薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部を、前記濾過膜部への流路に設けたことを特徴とする膜濾過システム。
【請求項２】
機器への給水ラインと接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部と、この濾過膜部の上流側の前記給水ラインに設けたポンプと、前記濾過膜部と接続された濃縮水の排水ラインと、この排水ラインと前記ポンプの上流側の前記給水ラインとを接続する循環水ラインとを備えた膜濾過システムであって、
前記循環水ライン，前記循環水ラインの接続箇所よりも上流側の前記排水ラインおよび前記循環水ラインの接続箇所と前記濾過膜部との間の前記給水ラインのうちのいずれかに、薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部を設け、さらに前記濾過膜部の下流側の前記給水ラインに設けた開閉弁と、前記濾過膜部からの透過水を前記濾過膜部と前記開閉弁との間の前記給水ラインから前記ポンプの上流側の前記給水ラインへ還流するための透過水還流ラインとを備えることを特徴とする膜濾過システム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、機器への給水ラインと接続され、給水中の不純物を除去する濾過膜部を備えた膜濾過システムに関する。
【背景技術】
【０００２】
機器への給水の水処理システムとして、給水中の不純物，たとえば溶存塩類を濾過する濾過膜部を前記機器への給水ラインと接続した膜濾過システムがある（たとえば、特許文献１）。
【特許文献１】特開平５−２２０４８０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ところで、前記膜濾過システムでは、前記濾過膜部における濾過膜の膜面に、給水に含まれる有機物が沈着し、ついで細菌が付着してスライムが形成され、このスライムがコロニーを形成して前記濾過膜の膜面にバイオフィルムが形成されることがある。このバイオフィルムが前記濾過膜の膜面に形成されると、前記濾過膜の詰まりが生じて透過水量が低下するなどといった事態が起きるおそれがある。
【０００４】
前記濾過膜の膜面に一旦形成されたバイオフィルムは、とくに前記濾過膜がスパイラル形状になっているときには、膜間の流路が狭いために流速によって洗い流すことができず、除去が困難である。そこで、本願発明者は、バイオフィルムの形成を防止するために、殺菌処理された給水を前記濾過膜部へ供給することについて検討した。
【０００５】
ここで、前記濾過膜として、たとえば耐塩素性のないポリアミド系の合成高分子膜などのように、耐薬品性のない濾過膜が使用されている場合もある。このように耐薬品性のない濾過膜を使用している場合など、薬剤を使用した殺菌を行うことが好ましくない場合もある。
【０００６】
この発明が解決しようとする課題は、薬剤を使用することなく殺菌処理された給水を、濾過膜部へ供給することができる膜濾過システムを実現することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
この発明は、前記課題を解決するためになされたもので、請求項１に記載の発明は、機器への給水ラインと接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部を備えた膜濾過システムであって、薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部を、前記濾過膜部への流路に設けたことを特徴とする。
【０００８】
請求項１に記載の発明では、前記濾過膜部への流路に設けられた前記殺菌処理部において、薬剤を使用せずに殺菌が行われ、殺菌処理された給水が前記濾過膜部へ流入する。
【０００９】
さらに、請求項２に記載の発明は、機器への給水ラインと接続されて給水中の不純物を除去する濾過膜部と、この濾過膜部の上流側の前記給水ラインに設けたポンプと、前記濾過膜部と接続された濃縮水の排水ラインと、この排水ラインと前記ポンプの上流側の前記給水ラインとを接続する循環水ラインとを備えた膜濾過システムであって、前記循環水ライン，前記循環水ラインの接続箇所よりも上流側の前記排水ラインおよび前記循環水ラインの接続箇所と前記濾過膜部との間の前記給水ラインのうちのいずれかに、薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部を設け、さらに前記濾過膜部の下流側の前記給水ラインに設けた開閉弁と、前記濾過膜部からの透過水を前記濾過膜部と前記開閉弁との間の前記給水ラインから前記ポンプの上流側の前記給水ラインへ還流するための透過水還流ラインとを備えることを特徴とする。
【００１０】
請求項２に記載の発明では、前記ポンプにより前記濾過膜部へ給水を供給すると、前記濾過膜部では、一側から流入した給水が濾過されて、他側から透過水と濃縮水とに分離されて流出する。そして、透過水は前記機器へ供給され、一方で濃縮水は一部が前記排水ラインから排水され、残部が前記循環水ラインを介して前記ポンプの上流側へ還流される。
【００１１】
そして、前記濾過膜部からの透過水を前記機器への給水として貯留する給水タンクへの給水停止時に、前記開閉弁を閉状態にして、前記ポンプにより、前記濾過膜部へ給水を供給して、この濾過膜部からの濃縮水を前記循環水ラインを通じて前記ポンプの上流側へ還流させて循環運転を行う。このとき、前記殺菌処理部で濃縮水または給水が殺菌され、この水が前記濾過膜部へ流入する。
【００１２】
ここで、前記循環運転を行うときに、前記開閉弁を閉状態にし、前記濾過膜部で発生した濃縮水が前記排水ラインおよび前記循環水ラインへ流れると、前記濾過膜に透過側から背圧がかかり、前記濾過膜が破損するおそれがあるが、前記濾過膜部からの透過水を、前記濾過膜部と前記開閉弁との間の前記給水ラインから前記ポンプの上流側の前記給水ラインへ前記透過水還流ラインを介して還流させることにより、透過側から前記濾過膜にかかる背圧が低減され、前記濾過膜の破損が防止される。さらに、透過水を前記透過水還流ラインを介して前記ポンプの上流側へ還流させると、透過側への水の流れが生じるので、殺菌された水が透過側へ流れる。
【発明の効果】
【００１３】
請求項１に記載の発明によれば、前記濾過膜部への流路において薬剤を使用せずに殺菌を行うことができ、殺菌処理された給水を前記濾過膜部へ供給することができるので、前記濾過膜部における濾過膜にバイオフィルムが形成されることを防止することができる。
【００１４】
請求項２に記載の発明によれば、前記給水タンクへの給水停止時においても、殺菌処理された給水を前記濾過膜部へ供給することができ、これにより前記濾過膜部内に細菌が滞留することによるバイオフィルムの形成を防止することができる。また、前記開閉弁を閉状態にして前記循環運転を行うときに、透過側から前記濾過膜にかかる背圧が低減され、前記濾過膜の破損を防止することができる。さらに、殺菌された水が透過側へ流れるので、透過水を殺菌された状態にすることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
つぎに、この発明の実施の形態について説明する。
（第一実施形態）
まず、この発明の第一実施形態について説明する。第一実施形態の膜濾過システムは、機器への給水ラインと接続された濾過膜部と、この濾過膜部への流路に設けられた殺菌処理部と、前記濾過膜部の上流側の前記給水ラインに設けられたポンプとを備えている。
【００１６】
前記機器としては、蒸気ボイラ，温水ボイラ，クーリングタワー，給湯器などの熱機器を挙げることができる。また、前記機器としては、半導体製造における電子部品，医療器具等の各種洗浄装置などの水使用機器も挙げることができる。
【００１７】
前記濾過膜部は、濾過膜により、給水中に含まれる不純物を濾過するものである。前記濾過膜としては、逆浸透膜（ＲＯ膜）やナノ濾過膜（ＮＦ膜）を挙げることができる。前記逆浸透膜は、分子量が数十程度の物質を濾別可能な液体分離膜である。また、前記ナノ濾過膜は、２ｎｍ程度より小さい粒子や高分子（分子量が最大数百程度の物質）の透過を阻止することができる液体分離膜であり、濾過機能の点において、限外濾過膜（分子量が１，０００〜３００，０００程度の物質を濾別可能な膜）と前記逆浸透膜との中間に位置する機能を有する液体分離膜である。
【００１８】
前記濾過膜部には、この濾過膜部で発生した濃縮水の排水ラインが接続されている。そして、この排水ラインと前記ポンプの上流側の前記給水ラインとが循環水ラインで接続されている。
【００１９】
前記殺菌処理部は、ＵＶ処理や磁気処理などにより薬剤を使用しないで殺菌を行うものである。この殺菌処理部が設けられる前記濾過膜部への流路としては、前記循環水ライン，前記循環水ラインの接続箇所よりも上流側の前記排水ラインおよび前記循環水ラインの接続箇所と前記濾過膜部との間の前記給水ラインなどを挙げることができる。
【００２０】
さて、前記膜濾過システムでは、前記濾過膜部からの透過水を、前記機器へ供給する給水として貯留する給水タンクへ供給するときには、前記ポンプにより前記濾過膜部へ給水を供給する。前記濾過膜部では、一側から流入した給水が前記濾過膜によって濾過されて、他側から透過水と濃縮水とに分離されて流出する。そして、透過水は前記給水タンクに貯留され、一方で濃縮水は、一部が前記排水ラインから系外へ排水されるとともに、残部が前記循環水ラインを介して前記濾過膜部の上流側へ還流されて前記給水ラインへ流入し、この水が前記濾過膜部へ流入する。
【００２１】
このようにして前記給水タンクへの給水を行っているときに、前記殺菌処理部においてＵＶ処理や磁気処理などにより薬剤を使用せずに濃縮水または給水が殺菌され、この水が前記濾過膜部へ流入する。このように、殺菌処理された給水を前記濾過膜部へ供給することができるので、前記濾過膜の表面にバイオフィルムが形成されることを防止することができる。
【００２２】
（第二実施形態）
つぎに、この発明に係る膜濾過システムの第二実施形態について説明する。以下の説明では、前記第一実施形態と異なる構成および作用について説明する。
【００２３】
この第二実施形態の膜濾過システムは、前記濾過膜部の下流側の前記給水ラインに設けられた開閉弁と、前記濾過膜部からの透過水を前記濾過膜部と前記開閉弁との間の前記給水ラインから前記ポンプの上流側の前記給水ラインへ還流するための透過水還流ラインとを備えている。
【００２４】
さて、この第二実施形態の膜濾過システムでは、前記給水タンクへの給水停止時に、定期的に、前記開閉弁を閉状態にして、前記ポンプにより、前記濾過膜部へ給水を供給して、この濾過膜部からの濃縮水を前記循環水ラインを介して前記ポンプの上流側へ還流させて循環運転を行う。このとき、前記殺菌処理部で濃縮水または給水が殺菌され、この水が前記濾過膜部へ流入する。
【００２５】
ここで、前記循環運転を行うときに、前記開閉弁を閉状態にして、前記濾過膜部で発生した濃縮水が前記排水ラインおよび前記循環水ラインへ流れると、前記濾過膜に透過側から背圧がかかり、前記濾過膜が破損するおそれがあるが、前記濾過膜部からの透過水を、前記濾過膜部と前記開閉弁との間の前記給水ラインから前記ポンプの上流側の前記給水ラインへ前記透過水還流ラインを通じて還流させることにより、透過側から前記濾過膜にかかる背圧が低減され、前記濾過膜の破損が防止される。さらに、透過水を前記透過水還流ラインを介して前記ポンプの上流側へ還流させると、透過側への水の流れが生じるので、殺菌された水が透過側へ流れる。
【００２６】
前記膜濾過システムによれば、前記給水タンクへの給水停止時においても、殺菌処理された給水を前記濾過膜部へ供給することができ、これにより前記濾過膜部内に細菌が滞留することによるバイオフィルムの形成を防止することができる。また、前記開閉弁を閉状態にして前記循環運転を行うときに、透過側から前記濾過膜にかかる背圧が低減され、前記濾過膜の破損を防止することができる。さらに、殺菌された水が透過側へ流れるので、透過水を殺菌された状態にすることができる。
【実施例】
【００２７】
以下、この発明の具体的実施例を図面に基づいて詳細に説明する。
（第一実施例）
まず、この発明の第一実施例について説明する。図１は、この発明に係る膜濾過システムの第一実施例の構成を示す概略的な説明図である。
【００２８】
図１に示す膜濾過システム１は、水道水，工業用水，地下水などの水源から供給される原水を水処理して得られた給水をボイラ２へ供給するものである。この膜濾過システム１は、前記ボイラ２への給水ライン３を備え、さらにこの給水ライン３と接続された濾過膜部４および脱気膜部５を上流側からこの順で備えている。また、前記膜濾過システム１は、給水を貯留する給水タンク６と、前記濾過膜部４の上流側に設けられ、給水を前記濾過膜部４へ供給するポンプ７と、このポンプ７の上流側の前記給水ライン３に設けられた弁８と、前記濾過膜部４と前記脱気膜部５との間の前記給水ライン３に設けられた開閉弁９とを備えている。さらに、前記膜濾過システム１は、前記濾過膜部４と前記開閉弁９との間の前記給水ライン３と前記ポンプ７と前記弁８との間の前記給水ライン３とを接続する透過水還流ライン１０を備えている。そして、この透過水還流ライン１０には、還流制御弁１１が設けられている。
【００２９】
前記濾過膜部４は、ナノ濾過膜（図示省略）を備えて構成されている。このナノ濾過膜は、ポリアミド系，ポリエーテル系などの合成高分子膜であり、２ｎｍよりも小さい粒子や高分子（分子量が最大数百程度の物質）の透過を阻止することができる液体分離膜である。前記ナノ濾過膜は、通常、濾過膜モジュールとして構成されている。この濾過膜モジュールの形態には、スパイラルモジュール，中空糸モジュール，平膜モジュールなどがある。
【００３０】
前記濾過膜部４の一側へは、前記ポンプ７から送り出された給水が流入するようになっている。前記濾過膜部４へ流入した給水は、前記ナノ濾過膜により、腐食促進成分が捕捉されるとともに、腐食抑制成分が透過するようになっている。
【００３１】
ここで、腐食促進成分および腐食抑制成分について説明する。まず、腐食促進成分とは、前記ボイラ２が貫流ボイラである場合、非不動態化金属よりなり、ボイラ水が接触する複数の伝熱管（図示省略）や下部管寄せ（図示省略）の内面に作用してその腐食を促進するものを云い、通常、硫酸イオン，塩化物イオンおよびその他の成分を含んでいる。ちなみに、腐食促進成分として重要なものは、硫酸イオンおよび塩化物イオンの両者である。ところで、ＪＩＳ  Ｂ  ８２２３：１９９９は、貫流ボイラを含む特殊循環ボイラの腐食を抑制する観点から、これらのボイラにおけるボイラ水の水質に関する各種の管理項目および推奨基準を規定し、その中で、塩化物イオン濃度の基準値を設けている。一方、ボイラ水の硫酸イオン濃度には言及されていないが、本願出願人においては、ボイラ水に含まれる硫酸イオンが、腐食促進成分として前記各伝熱管や前記下部管寄せに作用していることを確認している。
【００３２】
つぎに、腐食抑制成分とは、前記ボイラ２において、ボイラ水が接触する前記各伝熱管や前記下部管寄せの内面に作用してその腐食を抑制可能なものを云い、通常、シリカ（すなわち、二酸化ケイ素）を含んでいる。ところで、給水に含まれるシリカは、給水として用いる水道水，工業用水，地下水などにおいて、通常含有されている成分で、一般に、前記各伝熱管や前記下部管寄せにおけるスケール生成成分と認識されており、可能な限りその濃度を抑制することが好ましいと考えられている。しかし、本願出願人においては、ボイラ水に含まれるシリカが、腐食抑制成分として前記各伝熱管や前記下部管寄せに作用していることを確認している。
【００３３】
前記濾過膜部４の他側からは、腐食抑制成分を含む透過水と腐食促進成分を含む濃縮水とがそれぞれ分離されて流出するようになっている。そして、透過水は、前記給水ライン３を流れて前記給水タンク６内に貯留されるようになっている。一方、濃縮水は、排水弁１２が設けられた排水ライン１３から一部が排水されるとともに、残部が前記排水ライン１３および前記ポンプ７と前記弁８との間の前記給水ライン３と前記排水ライン１３とを接続する循環水ライン１４を流れて前記ポンプ７の上流側の前記給水ライン３へ還流するようになっている。
【００３４】
前記循環水ライン１４には、ＵＶ処理や磁気処理などにより薬剤を使用しないで殺菌を行う殺菌処理部１５が設けられている。
【００３５】
ここで、前記殺菌処理部１５がＵＶ処理により殺菌を行うものである場合、この殺菌処理部１５は、前記循環水ライン１４を流れる濃縮水への紫外線照射部を備えて構成される。また、前記殺菌処理部１５が磁気処理により殺菌を行うものである場合、この殺菌処理部１５は、前記循環水ライン１４を構成する配管の周囲に設置された磁石を備えて構成される。
【００３６】
前記脱気膜部５は、気体透過膜を多数備えた気体透過膜モジュール（図示省略）と、給水中の溶存気体，具体的には溶存酸素を前記気体透過膜モジュールを通して真空吸引する水封式真空ポンプ（図示省略）とを備えている。
【００３７】
前記脱気膜部５を通過した給水は、前記給水タンク６内に貯留され、この給水タンク６から前記ボイラ２へ供給されるようになっている。
【００３８】
前記弁８は、この第一実施例では減圧弁であり、この弁８により、前記透過水還流ライン１０が接続された部分における前記給水ライン３の水圧が一定圧力以下に調節されるようになっている。
【００３９】
また、この第一実施例では、前記開閉弁９は電磁弁または電動弁であり、前記還流制御弁１１はレリーフ弁である。
【００４０】
さて、前記膜濾過システム１では、前記給水タンク６への給水を行うときには、前記ポンプ７により、前記濾過膜部４へ給水を供給し、この給水中の腐食促進成分を前記ナノ濾過膜（図示省略）によって濾過する。このとき、給水中の腐食抑制成分は、前記ナノ濾過膜を透過する。つぎに、前記濾過膜部４から流出した透過水に含まれる溶存酸素を前記脱気膜部５で脱気し、この水を前記ボイラ２へ供給する給水として前記給水タンク６内に貯留する。
【００４１】
一方、前記濾過膜部４からは濃縮水も流出し、この濃縮水は、その一部を、前記排水弁１２を開状態にした前記排水ライン１３から排水するとともに、残部を前記循環水ライン１４を介して前記ポンプ７の上流側へ還流させる。
【００４２】
このようにして前記給水タンクへの給水を行っているときには、前記循環水ライン１４を流れる濃縮水が、前記殺菌処理部においてＵＶ処理や磁気処理などにより薬剤を使用せずに殺菌され、この水が前記循環水ライン１４から前記給水ライン３へ流入し、前記濾過膜部４へ流入する。これにより、前記ナノ濾過膜の表面にバイオフィルムが形成されることを防止することができる。
【００４３】
一方、前記給水タンク６への給水を停止しているときには、定期的に以下のような循環運転を行う。すなわち、前記開閉弁９を閉状態にして、前記ポンプ７により、前記濾過膜部４へ給水を供給して、この濾過膜部４からの濃縮水を前記循環水ライン１４を介して前記ポンプ７の上流側へ還流させる。このとき、前記殺菌処理部１５で濃縮水が殺菌され、この水が前記循環水ライン１４から前記給水ライン３へ流入し、前記濾過膜部４へ流入する。これにより、前記濾過膜部４内に細菌が滞留することによるバイオフィルムの形成を防止することができる。
【００４４】
そして、このような循環運転を所定時間行った後、前記排水弁１２を所定時間開状態にして、前記濾過膜部４内の水を原水側の水と入れ替える。
【００４５】
ここで、前記開閉弁９を閉状態にして前記循環運転を行っているときには、前記透過水還流ライン１０の一端側が接続されている前記濾過膜部４と前記開閉弁９との間の前記給水ライン３の水圧よりも、前記透過水還流ライン１０の他端側が接続されている前記ポンプ７と前記弁８との間の前記給水ライン３の水圧の方が低い状態になっているために、差圧によって前記還流制御弁１１が開状態になり、前記濾過膜部４からの透過水が、前記透過水還流ライン１０を流れて前記ポンプ７と前記弁８との間の前記給水ライン３へ還流する。これにより、透過側から前記ナノ濾過膜にかかる背圧が低減されるので、前記ナノ濾過膜の破損を防止することができる。さらに、透過水が前記透過水還流ライン１０を流れて前記ポンプ７の上流側へ還流すると、透過側への水の流れが生じて殺菌された水が透過側へ流れ、透過水を殺菌された状態にすることができる。
【００４６】
ここで、レリーフ弁である前記還流制御弁１１の開弁圧および開度（流量）は、前記透過水還流ライン１０によって前記濾過膜部４からの透過水を前記濾過膜部４の上流側へ還流させて、透過側から前記ナノ濾過膜にかかる背圧を低減させることができるような開弁圧および開度に設定される。たとえば、水温が高くなるほど、前記ナノ濾過膜を水が透過しやすくなり、前記ナノ濾過膜にかかる背圧が高くなるため、水温が高くなるほど、透過水を還流させやすくするために前記還流制御弁１１の開弁圧を低くし、また流量が増えるように前記還流制御弁１１の開度を大きくする。このように、前記ナノ濾過膜にかかる背圧を低減させることができるよう、水温に応じて前記還流制御弁１１の開弁圧および開度を設定してもよい。また、必要に応じ、前記透過水還流ライン１０には前記還流制御弁１１の下流側にオリフィス（図示省略）が設けられていてもよい。
【００４７】
前記ポンプ７と前記弁８との間の水圧は、前記弁８によって、常に一定の水圧に減圧されているので、供給水圧が変動したとしても、前記透過水還流ライン１０からの透過水の還流量は、常に一定の流量になる。これにより、透過側から前記ナノ濾過膜にかかる背圧の低減化を安定して図ることができる。
【００４８】
前記給水タンク６への給水停止時に、前記循環運転を行う場合、前記排水弁１２を閉状態にしてもよいし、開状態にしてもよい。前記排水弁１２を閉状態にすると、節水を実現することができる。
【００４９】
（第二実施例）
前記第一実施例の膜濾過システム１において、前記ボイラ２の代わりに、前記給水ライン３に、半導体製造における電子部品，医療器具等の各種洗浄装置などの水使用機器（図示省略）が接続され、前記濾過膜部４の濾過膜として、逆浸透膜（図示省略）が使用されていてもよい。
【００５０】
前記逆浸透膜は、たとえばポリアミド系などの合成高分子膜であり、分子量が数十程度の物質を濾別可能な液体分離膜であり、不純物を除去するようになっている。この逆浸透膜は、通常、前記ナノ濾過膜と同様、濾過膜モジュールとして構成されている。この濾過膜モジュールの形態には、スパイラルモジュール，中空糸モジュール，平膜モジュールなどがある。
【００５１】
（第三実施例）
前記第一，第二実施例の膜濾過システム１においては、前記還流制御弁１１はレリーフ弁であるが、これに限られるものではなく、たとえば逆止弁，電磁弁，電動弁などであってもよい。前記還流制御弁１１が電磁弁，電動弁であるときの開閉制御について説明する。前記開閉弁９が開状態にあるときには、前記還流制御弁１１を閉状態にする。一方、前記開閉弁９を閉状態にして前記循環運転を行っているときには、前記還流制御弁１１を開状態にして、前記濾過膜部４からの透過水を前記透過水還流ライン１０を通じて前記ポンプ７の上流側へ還流させる。ここで、前記濾過膜部４における濾過膜にかかる背圧を検出するために、たとえば前記濾過膜部４と前記開閉弁９との間の前記給水ライン３に圧力センサ（図示省略）を設け、一定以上の圧力になったことが検知されたときに、前記還流制御弁１１を開状態にするようになっていてもよい。これにより、前記濾過膜の破損をより確実に防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】この発明に係る膜濾過システムの第一実施例の構成を示す概略的な説明図である。
【符号の説明】
【００５３】
１  膜濾過システム
２  ボイラ（機器）
３  給水ライン
４  濾過膜部
７  ポンプ
９  開閉弁
１０  透過水還流ライン
１３  排水ライン
１４  循環水ライン
１５  殺菌処理部
【図１】
2007167805.tif 000003