(57)【要約】      （修正有）【課題】光重合系を利用するカラーフィルタの形成において、高い顔料濃度で、解像度が高く、かつ残渣が少ない、着色感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）溶剤および（Ｆ）ポリエーテル変性シリコーン類、ポリエステル変性シリコーン類、アルキル変性シリコーン類又は、アクリル変性シリコーン類などから選ばれる、表面張力低下剤を含有する着色感光性樹脂組成物。【選択図】なし【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）溶剤および（Ｆ）表面張力低下剤を含有する着色感光性樹脂組成物。
【請求項２】
（Ｆ）表面張力低下剤が、ポリエーテル変性シリコーン類、ポリエステル変性シリコーン類、アルキル変性シリコーン類、アクリル変性シリコーン類である請求項１に記載の着色感光性樹脂組成物。
【請求項３】
（Ｆ）表面張力低下剤の含有量が、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で０．００１質量％以上１．１質量％以下である請求項１または２に記載の着色感光性樹脂組成物。  
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン。
【請求項５】
請求項４に記載のパターンを含むカラーフィルタ。
【請求項６】
請求項５に記載されたカラーフィルタを具備するイメージセンサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カラーフィルタの形成に用いられる着色感光性樹脂組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、ＣＣＤ、ＣＭＯＳなどのイメージセンサに用いられるカラーフィルタの高画素化が進み、解像度を高く、膜厚を薄くする必要がある。しかし、着色剤として顔料を使用すると、膜厚を薄くする場合、同じ色濃度を得るためには顔料濃度を高くしなければならず、高い顔料濃度を有する着色感光性樹脂組成物を用いてカラーフィルタを形成すると、さらに残渣が多く残るという傾向があった（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
【特許文献１】特開平８−２７１７２３号公報  ２頁右欄４行−２頁右欄１０行
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、カラーフィルタの形成において残渣が少ない、新たな着色感光性樹脂組成物を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明者らは、上記したような課題を解決し得る着色感光性樹脂組成物を見出すべく、鋭意検討を重ねた結果、特定の化合物を含む着色感光性樹脂組成物が上記の問題を解決しうることを見出し、本発明を完成させるに至った。
【０００６】
即ち、本発明は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、（Ｅ）溶剤および（Ｆ）表面張力低下剤を含有する着色感光性樹脂組成物を提供する。
【０００７】
また、本発明は、前記の着色感光性樹脂組成物を用いて形成されたパターン、前記のパターンを含むカラーフィルタおよび前記のカラーフィルタを具備するイメージセンサを提供する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の着色感光性樹脂組成物によれば、カラーフィルタの形成において残渣が少ないカラーフィルタのパターンを形成することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ａ）着色剤を含有する。前記の（Ａ）着色剤としては、顔料および染料からなる群から選ばれる少なくとも１種が挙げられる。
【００１０】
顔料としては、具体的には、カラーインデックス（The Society of Dyers and Colourists出版）でピグメントに分類されている化合物が挙げられる。具体的には、例えばＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、３、１２、１３、１４、１５、１６、１７、２０、２４、３１、５３、８３、８６、９３、９４、１０９、１１０、１１７、１２５、１２８、１３７、１３８、１３９、１４７、１４８、１５０、１５３、１５４、１６６、１７３、１９４、２１４などの黄色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、３１、３６、３８、４０、４２、４３、５１、５５、５９、６１、６４、６５、７１、７３などのオレンジ色の顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、９７、１０５、１２２、１２３、１４４、１４９、１６６、１６８、１７６、１７７、１８０、１９２、２０９、２１５、２１６、２２４、２４２、２５４、２５５、２６４、２６５などの赤色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：３、１５：４、１５：６、６０などの青色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１９、２３、２９、３２、３６、３８などのバイオレット色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６などの緑色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、２５などのブラウン色顔料；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、７などの黒色顔料などが挙げられる。中でも、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、１３９、１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッドバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、１５：６およびＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６から選ばれる少なくとも一つの顔料を含有していることが好ましい。
【００１１】
染料としては、酸性染料およびそのスルホンアミド誘導体ならびに油溶性染料が挙げられる。好ましい染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー８３、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー９０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン９、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン１６、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー８２、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー１６２、Ｃ．Ｉ．ソルベントオレンジ５６、Ｃ．Ｉ．ソルベントブルー６７などが挙げられる。
【００１２】
また、一般式（ＩＶ）で表される化合物も用いることができる。
【００１３】
Ｄ［（−ＳＯ２Ｎ（Ｒ８）Ｒ９）ｎ］    （ＩＶ）
【００１４】
［式（ＩＶ）中、Ｄは、ピリドン、キサンテン、トリフェニルメタン、アゾ、アントラキノン、ピラゾロンおよびフタロシアニンなどの染料母体を表す。
ｎは、１〜４の整数を表す。
Ｒ８およびＲ９は、それぞれ独立に、水素原子、酸素原子により中断されていてもよい炭素数１〜２０の脂肪族炭化水素基、炭素数３〜１０の脂環式炭化水素基、アルキル部分の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル基、炭素数３〜１５の脂肪族アルコキシアルキル基、炭素数４〜１０の脂肪族エステル基およびアリール基部分の炭素数が６〜１０でかつアルキル部分の炭素数が１〜５であるアラルキル基などの置換基を表す。ただし、Ｒ８およびＲ９は、同時に水素原子であることはない。また、ｎが２〜４の場合には、複数のＲ８およびＲ９は、それぞれ同一でも相異なってもよい。］
【００１５】
前記の酸素原子により中断されていてもよい炭素数１〜２０の脂肪族炭化水素基としては、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、オクチル基、デキシル基、１−メチルブチル基、１，１，３，３−テトラメチルブチル基、１，５−ジメチルヘキシル基、１，６−ジメチルヘプチル基、２−エチルヘキシル基および１，１，５，５−テトラメチルヘキシル基や、前記の各脂肪族炭化水素基の任意の位置に酸素原子が１個または２個以上が導入された置換基（ただし、酸素原子が２個以上の場合、当該酸素原子が隣接することはない。）などが挙げられる。
前記の炭素数３〜１０の脂環式炭化水素基としては、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、イソボルニル基、シクロペンタジエニル基などが挙げられる。
前記のアルキル部分の炭素数が１〜４のアルキルシクロヘキシル基としては、２−メチルシクロヘキシル基および２−エチルシクロヘキシル基などが挙げられる。
前記の炭素数が３〜１５の脂肪族アルコキシアルキル基としては、エトキシ−ｎ−プロピル基、イソプロポキシ−ｎ−プロピル基、オクトキシ−ｎ−プロピル基、３−エトキシ−ｎ−プロピル基および３−（２−エチルヘキシルオキシ）−ｎ−プロピル基などが挙げられる。
前記の炭素数が４〜１０の脂肪族エステル基としては、ｎ−プロポキシカルボニル−ｎ−プロピル基、エトキシカルボニルブチル基、プロピオニルオキシエチル基およびブチリルオキシブチル基などが挙げられる。
前記のアリール基部分の炭素数が６〜１０でかつアルキル部分の炭素数が１〜５アラルキル基としては、ベンジル基、フェネチル基、１−メチル−３−フェニル−ｎ−プロピル基などが挙げられる。
【００１６】
式（ＩＶ）で表される色素のうち、好ましいものとしては、以下で挙げられるものが例示される。
【００１７】
2007057651.tif 000002
【００１８】
これらの染料は、単独でも、２種以上を混合して用いてもよい。
【００１９】
前記の顔料や染料は、必要に応じて、ロジン処理、酸性基または塩基性基が導入された誘導体などを用いた表面処理、高分子化合物などによる染料表面へのグラフト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、または不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄処理、イオン性不純物のイオン交換法などによる除去処理などが施されていてもよい。
【００２０】
（Ａ）着色剤は、必要により、分散剤や（Ｂ）バインダー樹脂の一部または全量を含有させて分散処理を行うことで、顔料や染料が溶液中で均一に分散した状態の分散液として得ることができる。
【００２１】
前記の分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系、両性などの界面活性剤などが挙げられ、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。
該界面活性剤の例としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル類、ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル類、ポリエチレングリコールジエステル類、ソルビタン脂肪酸エステル類、脂肪酸変性ポリエステル類、３級アミン変性ポリウレタン類、ポリエチレンイミン類等のほか、商品名でＫＰ（信越化学工業（株）製）、ポリフロー（共栄化学（株）製）、エフトップ（トーケムプロダクツ社製）、メガファックス（大日本インキ化学工業（株）製）、フロラード（住友スリーエム（株）製）、アサヒガード、サーフロン（以上、旭硝子（株）製）、ソルスパース（ゼネカ（株）製）、ＥＦＫＡ（ＥＦＫＡ  ＣＨＥＭＩＣＡＬＳ社製）、ＰＢ８２１（味の素ファインテクノ（株）製）などが挙げられる。
分散剤を用いる場合、その使用量は着色剤に対して質量分率で、好ましくは０．１〜１００質量％であり、より好ましくは５〜５０質量％である。分散剤の使用量が前記の範囲にあると、均一な分散液が得られる傾向があるため好ましい。
【００２２】
本発明の着色感光性樹脂組成物に用いられる（Ａ）着色剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物中の固形分に対して質量分率で、好ましくは２０〜６５質量％、より好ましくは２５〜６０質量％、とりわけ好ましくは２７〜５５質量％、さらに好ましくは３０〜５０質量％である。ここで、本明細書中における固形分とは、着色感光性樹脂組成物に対する、（Ａ）着色剤、（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤、さらに必要に応じて添加される成分のうち常温で液状でない成分の合計量の比率をいう。
（Ａ）着色剤の含有量が前記の範囲にあると、カラーフィルタとしたときの色濃度が十分であり、かつ組成物中にバインダー樹脂を必要量以上含有させることができることから、機械的強度が十分なパターンを形成することができるので、好ましい。
【００２３】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ｂ）バインダー樹脂を含む。前記の（Ｂ）バインダー樹脂は、好ましくは（メタ）アクリル酸から導かれる構成単位を含有する。ここで、（メタ）アクリル酸は、アクリル酸および／またはメタクリル酸を表す。前記の（メタ）アクリル酸から導かれる構成単位の含有量は、（Ｂ）バインダー樹脂を構成する全構成単位中、モル分率で、好ましくは１６モル％以上４０モル％以下、より好ましくは１８モル％以上３８モル％以下である。メタ（アクリル）酸から導かれる構成単位の含有量が前記の範囲にあると、現像時に、非画素部の溶解性が良好であり、かつ、現像後の非画素部に残渣が残りにくい傾向があり、好ましい。
【００２４】
（メタ）アクリル酸から導かれる構成単位以外のバインダー樹脂の構成単位を導く他のモノマーとしては、例えば、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル類、不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、カルボン酸ビニルエステル類、不飽和エーテル類、シアン化ビニル化合物、不飽和アミド類、不飽和イミド類、脂肪族共役ジエン類、重合体分子鎖の末端にモノアクリロイル基またはモノメタクリロイル基を有するマクロモノマー類、式（ＩＩ）で表される単位に導くモノマーおよび式（ＩＩＩ）で表される単位に導くモノマーなどを挙げることができる。
【００２５】
2007057651.tif 000003
【００２６】
［式（ＩＩ）および式（ＩＩＩ）中、Ｒ３およびＲ４は、それぞれ独立に、水素原子または炭素数１〜６のアルキル基を表す。］
【００２７】
Ｒ３およびＲ４としては、水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、１−メチルブチル基、２−メチルブチル基、３−メチルブチル基、１−エチルプロピル基、２−エチルプロピル基、ｎ−ヘキシル基、１−メチルペンチル基、２−メチルペンチル基、３−メチルペンチル基、４−メチルペンチル基、１−エチルブチル基、２−エチルブチル基、３−エチルブチル基などが挙げられ、好ましくは水素原子、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、イソプロピル基、ｎ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基が挙げられ、より好ましくは水素原子、メチル基、エチル基が挙げられる。
【００２８】
前記のバインダー樹脂としては、具体的には、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／スチレン共重合体、メタクリル酸／ベンジルメタクリレート／イソボルニルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／スチレン／ベンジルメタクリレート／Ｎ−フェニルマレイミド共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成単位を導くモノマー（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ1はメチル基を表し、Ｒ2は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成単位を導くモノマー（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ1はメチル基を表し、Ｒ2は水素原子を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成単位を導くモノマー（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ1はメチル基を表し、Ｒ2は水素原子を表す。）／ジシクロペンタニルメタクリレート／ベンジルメタクリレート共重合体、メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成単位を導くモノマー（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ1はメチル基を表し、Ｒ2は水素原子を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体などが好ましい。
【００２９】
本発明で用いられる（Ｂ）バインダー樹脂の酸価は、好ましくは５０〜１５０であり、より好ましくは５５〜１３５、とりわけ好ましくは６０〜１３５である。酸価が、前記の範囲にあると、現像液に対する溶解性が向上して未露光部が溶解しやすくなり、また高感度化して現像時に露光部のパターンが残って残膜率が向上する傾向があり、好ましい。ここで、酸価は、アクリル系重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常、水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求めることができる。
【００３０】
（Ｂ）バインダー樹脂の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは１５〜３５質量％であり、より好ましくは１８〜３３質量％であり、とりわけ好ましくは２１〜３１質量％である。（Ｂ）バインダー樹脂の含有量が、前記の範囲にあると、パターンが形成でき、また解像度および残膜率が向上する傾向にあり好ましい。
【００３１】
式（ＩＩ）で表される構成成分を有するバインダー樹脂、例えばメタクリル酸／式（ＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩ）中、Ｒ３、Ｒ４はメチル基を表す。）／ベンジルメタクリレート共重合体は、メタクリル酸とベンジルメタクリレートとを重合させて２成分重合体を得て、得られた２成分重合体と式（Ｖ−１）で表される化合物（ただし、ここでは、式（Ｖ−１）中、Ｒ５はメチル基を表す。）とを反応させて得ることができる。
【００３２】
2007057651.tif 000004
【００３３】
メタクリル酸／式（ＩＩＩ）で表される構成成分（ただし、ここでは、式（ＩＩＩ）中、Ｒ３、Ｒ４はメチル基を表す。）／スチレン共重合体／トリシクロデカニルメタクリレート共重合体は、ベンジルメタクリレート、メタクリル酸、トリシクロデカン骨格のモノメタクリレート共重合体に、該メタクリル酸のカルボキシル基にグリシジルメタクリレートを反応させて得ることができる。
【００３４】
2007057651.tif 000005
【００３５】
（Ｂ）バインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量は、好ましくは５，０００〜３５，０００であり、より好ましくは６，０００〜３０，０００であり、とりわけ好ましくは７，０００〜２８，０００である。分子量が前記の範囲にあると、塗膜硬度が向上し、残膜率も高く、未露光部の現像液に対する溶解性が良好で、解像度が向上する傾向にあり、好ましい。
【００３６】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ｃ）光重合性化合物を含む。（Ｃ）光重合性化合物は、光を照射されることによって（Ｄ）光重合開始剤から発生した活性ラジカル、酸などによって重合しうる化合物であって、例えば、重合性の炭素−炭素不飽和結合を有する化合物などが挙げられる。
【００３７】
前記の（Ｃ）光重合性化合物としては、３官能以上の多官能の光重合性化合物であることが好ましい。３官能以上の多官能の光重合性化合物としては、例えば、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレートなどが挙げられる。前記の（Ｃ）光重合性化合物は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよく、その含有量は着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは５〜９０質量％であり、より好ましくは１０〜８０質量％であり、とりわけ好ましくは２０〜７０質量％である。（Ｃ）光重合性化合物の含有量が、前記の範囲にあると、硬化が十分におこり、現像前後での膜厚比率が向上し、パターンにアンダーカットが入りにくくなって密着性が良好になる傾向があることから好ましい。
【００３８】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ｄ）光重合開始剤を含む。前記の（Ｄ）光重合開始剤としては、トリアジン系化合物、アセトフェノン系化合物およびビイミダゾール系化合物、活性ラジカル発生剤、酸発生剤などが挙げられる。
前記のトリアジン系化合物としては、例えば、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げられる。
前記のアセトフェノン系化合物としては、例えば、ジエトキシアセトフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−オンのオリゴマーなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オンが挙げられる。
前記のビイミダゾール系化合物としては、例えば、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−カルボエトキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｐ−ブロモフェニル）ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４′，５，５′−テトラ（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）ビイミダゾール、２，２′−ビス（ｏ−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ，ｐ−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラ（ｍ−メトキシフェニル）ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，６−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−ニトロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（ｏ−メチルフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールなどが挙げられ、好ましくは２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）―４，４’，５，５’−テトラフェニルビイミダゾールが挙げられる。
【００３９】
活性ラジカル発生剤は光を照射されることによって活性ラジカルを発生する。前記の活性ラジカル発生剤としては、例えば、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノン系化合物、チオキサントン系化合物、トリアジン系化合物、オキシム系化合物などが挙げられる。
【００４０】
前記のベンゾイン系化合物としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどが挙げられる。
【００４１】
前記のベンゾフェノン系化合物としては、例えば、ベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフェノンなどが挙げられる。
【００４２】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００４３】
前記のオキシム系化合物としては、例えば、Ｏ−アシルオキシム系化合物が挙げられ、その具体例としては、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１，２−ジオン２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−（４−フェニルスルファニル−フェニル）−ブタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート等が挙げられる。
【００４４】
前記の例示以外の活性ラジカル発生剤として、例えば、２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキシル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもできる。
【００４５】
前記の酸発生剤としては、例えば、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジメチルスルホニウム−ｐ−トルエンスルホナート、４−アセトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウム−ｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類などを挙げることができる。
【００４６】
また、前記の活性ラジカル発生剤として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に酸を発生する化合物もあり、例えば、トリアジン系光重合開始剤は、酸発生剤としても使用される。
【００４７】
（Ｄ）光重合開始剤の含有量は、（Ｂ）バインダー樹脂および（Ｃ）光重合性化合物の合計量に対して質量分率で、好ましくは０．１〜２０質量％であり、より好ましくは１〜１５質量％である。光重合開始剤の含有量が、前記の範囲にあると、高感度化して露光時間が短縮され生産性が向上し、一方感度が高すぎることによってラインアンドスペースのパターンが解像する最小線幅において線幅が太くなりすぎない傾向があることから好ましい。
【００４８】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに（Ｇ）光重合開始助剤が含まれていてもよい。（Ｇ）光重合開始助剤は、好ましくは（Ｄ）光重合開始剤と組み合わせて用いられ、光重合開始剤によって重合が開始された光重合性化合物の重合を促進するために用いられる化合物である。
（Ｇ）光重合開始助剤としては、アミン系化合物、アルコキシアントラセン系化合物、チオキサントン系化合物などが挙げられる。
前記のアミン系化合物としては、例えば、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、中でも４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
【００４９】
前記のアルコキシアントラセン系化合物としては、例えば、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。
【００５０】
前記のチオキサントン系化合物としては、例えば、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントンなどが挙げられる。
【００５１】
（Ｇ）光重合開始助剤は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。また、（Ｇ）光重合開始助剤としては、市販のものを用いることもでき、市販の（Ｇ）光重合開始助剤としては、例えば、ＥＡＢ−Ｆ（保土谷化学工業（株）製）などが挙げられる。
【００５２】
本発明の着色感光性樹脂組成物における（Ｄ）光重合開始剤および（Ｇ）光重合開始助剤の組み合わせとしては、例えば、ジエトキシアセトフェノン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル−ｎ−プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンジルジメチルケタール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕−ｎ−プロパン−１−オンのオリゴマー／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンなどが挙げられ、好ましくは２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチルチオフェニル）−ｎ−プロパン−１−オン／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが挙げられる。
【００５３】
これらの（Ｇ）光重合開始助剤を用いる場合、その使用量は、（Ｄ）光重合開始剤１モルあたり、好ましくは０．０１〜１０モル、より好ましくは０．０１〜５モルである。
【００５４】
本発明の着色感光性樹脂組成物に含まれる（Ｅ）溶剤としては、例えば、エーテル類、芳香族炭化水素類、ケトン類、アルコール類、エステル類、アミド類などが挙げられる。
前記のエーテル類としては、例えば、テトラヒドロフラン、テトラヒドロピラン、１，４−ジオキサン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、アニソール、フェネトール、メチルアニソールなどが挙げられる。
前記の芳香族炭化水素類としては、例えば、ベンゼン、トルエン、キシレン、メシチレンなどが挙げられる。
前記のケトン類としては、例えば、アセトン、２−ブタノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、４−ヘプタノン、４−メチル−２−ペンタノン、シクロペンタノン、シクロヘキサノンなどが挙げられる。
前記のアルコール類としては、例えば、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、グリセリンなどが挙げられる。
前記のエステル類としては、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、γ−ブチロラクトンなどが挙げられる。
前記のアミド類としては、例えば、Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミドなどが挙げられる。
その他の溶剤としては、例えば、Ｎ−メチルピロリドン、ジメチルスルホオキシドなどが挙げられる。
前記の溶剤は、それぞれ単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００５５】
前記の溶剤の中で、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む溶剤が好ましく用いられる。（Ｅ）溶剤がプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートを含む場合、その含有量は、溶剤に対して質量分率で、好ましくは５０〜９７質量％、より好ましくは６０〜９５質量％である。
【００５６】
（Ｅ）溶剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物に対して質量分率で、好ましくは７０〜９０質量％、より好ましくは７５〜８８質量％である。（Ｅ）溶剤の含有量が、前記の範囲にあると、塗布時の面内均一性が良好で、またカラーフィルタを形成した際の色濃度が十分で表示特性が良好であるため好ましい。
【００５７】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、（Ｆ）表面張力低下剤を含有する。
（Ｆ）表面張力低下剤としては、これを含む着色感光性樹脂組成物の表面張力を低減する機能を有する化合物から選ばれる。このような表面張力低下剤は市販されている界面活性剤、レベリング材、消泡剤、脱泡剤、整泡剤および塗料添加剤の中から選ぶことができる。
表面張力低下剤は基本的には極性基と疎水性基の両者を含有する化合物である。構造的にはシリコーン系化合物、フッ素系化合物の製品が市販されている。表面張力低下剤は以上述べた化合物の中から選択することができるが、シリコーン系またはフッ素系の表面張力低下剤が好ましい。
シリコーン系表面張力低下剤としては、好ましくはポリエーテル変性シリコーン類、ポリエステル変性シリコーン類、アルキル変性シリコーン類、アクリル変性シリコーン類、シリコーン変性類などから選ばれ、より好ましくはポリエーテル変性シリコーン類の表面張力低下剤が選ばれる。
また、フッ素系化合物としてはフルオロアルキルシリコーン類、フルオロアルキルカルボン酸類、フルオロアルキルアルコール類、フルオロアルキルエーテル類、フルオロアルキル４級アンモニウム塩などから選ばれる。
これらの中から単独もしくは２種以上混合して配合することができる。
【００５８】
表面張力低下剤の添加量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、好ましくは０．００１質量％以上１．１質量％以下、より好ましくは０．０１質量％以上１．０質量％以下、とりわけ好ましくは、０．０２質量％以上０．８質量％以下である。表面張力低下剤の含有量が前記の範囲にあると、これを含む着色感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成するときに、未露光部に残渣が残りにくく好ましい。
市販されている製品を例示すると、前記のシリコーン系化合物としては、ポリエーテル変性シリコーン類であるＢＹＫ−３００、ＢＹＫ−３０１、ＢＹＫ−３０２、ＢＹＫ−３０６、ＢＹＫ−３０７、ＢＹＫ−３２０、ＢＹＫ−３２５、ＢＹＫ−３３０、ＢＹＫ−３３１、ＢＹＫ−３３２、ＢＹＫ−３３３、ＢＹＫ−３４１、ＢＹＫ−３４４、ＢＹＫ−３７５、ＢＹＫ−ＵＶ３５００、ＢＹＫ−ＵＶ３５１０、ＢＹＫ−ＵＶ３５３０、ＢＹＫ−ＵＶ３５７０；
ポリエステル変性シリコーン類であるＢＹＫ−３１０、ＢＹＫ−３１５、ＢＹＫ−３７０、
アラルキル変性シリコーン類であるＢＹＫ−３２２、ＢＹＫ−３２３；
アクリル変性シリコーン類であるＢＹＫ−３５２、ＢＹＫ−３５４、ＢＹＫ−３５５、ＢＹＫ−３５６、ＢＹＫ−３５７、ＢＹＫ−３５８、ＢＹＫ−３５９、ＢＹＫ−３６１；
シリコーン変性類であるＢＹＫ−Ｓｉｌｃｌｅａｎ３７００（ビックケミー・ジャパン（株）製）などをあげることができる。
また、前記のフッ素系化合物としては、例えば、フローレンＡＣ−３００、フローレンＡＣ−９００、フローレンＡＯ−３、フローレンＡＫＳ、フローノンＳＢ−１１０Ｎ、フローノンＳＢ−２１０、フローノンＳＢ−５１０、フローノンＳＢ−５５１（共栄社化学（株）製）、ＥＦ−３０５、ＥＦ−３０６Ａ（新秋田化成（株）製）、エマール０、エマールＡＤ−２５Ｒ、エマールＴＤ、エマールＥ−２７Ｃ、エマールＮＣ−３５、レオドールＭＳ−５０、レオドールＳＰ−Ｌ１０、レオドールＡＯ−１０、レオドールＴＷ−Ｌ１２０、レオドールＴＷ−Ｏ１２０、レオドールスーパーＴＷ−Ｓ１２０、レオドール４３０、ネオペレックスＦ−２５、ネオペレックスＮｏ２５、エマノーン１１１２、エマノーン４１１０、ＥＭＡＮＯ−ＮＮ３２９９、エマゾールＬ−１０Ｈ、エマゾールＰ−１２０、エマゾールＯ１２０（花王（株）製）、エマルゲン１０５、エマルゲン１０８、エマルゲン１４７、エマルゲン２１０、エマルゲン３２０Ｐ、エマルゲン４０４、エマルゲン４３０、エマルゲン９０３、エマルゲン９０６、エマルゲン９２０、エマルゲン９５０、エマルゲン７０５、エマルゲンＰＰ−１５０、エマルゲンＰＰ−２３０、エマルゲンＰＰ−２５０、エマルゲンＰＰ−２９０、アミート１０５、アミート３０８、アミート３２０、コータミン２４Ｐ、コータミンＤ−８６Ｐ、アンヒトール２４Ｂ、アンヒトール８６Ｂ（花王アトラス（株）製）などを挙げることができる。
【００５９】
さらに、界面活性剤が含まれていてもよい。前記の界面活性剤としては、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤およびフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤が挙げられる。前記のシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、トーレシリコーンＤＣ３ＰＡ、同ＳＨ７ＰＡ、同ＤＣ１１ＰＡ、同ＳＨ２１ＰＡ、同ＳＨ２８ＰＡ、同２９ＳＨＰＡ、同ＳＨ３０ＰＡ、ポリエーテル変性シリコンオイルＳＨ８４００（トーレシリコーン（株）製）、ＫＰ３２１、ＫＰ３２２、ＫＰ３２３、ＫＰ３２４、ＫＰ３２６、ＫＰ３４０、ＫＰ３４１（信越シリコーン製）、ＴＳＦ４００、ＴＳＦ４０１、ＴＳＦ４１０、ＴＳＦ４３００、ＴＳＦ４４４０、ＴＳＦ４４４５、ＴＳＦ−４４４６、ＴＳＦ４４５２、ＴＳＦ４４６０（ジーイー東芝シリコーン（株）製）などが挙げられる。
前記のフッ素系界面活性剤としては、フルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、フロラードＦＣ４３０、同ＦＣ４３１（住友スリーエム（株）製）、メガファックＦ１４２Ｄ、同Ｆ１７１、同Ｆ１７２、同Ｆ１７３、同Ｆ１７７、同Ｆ１８３、同Ｒ３０（大日本インキ化学工業（株）製）、エフトップＥＦ３０１、同ＥＦ３０３、同ＥＦ３５１、同ＥＦ３５２（新秋田化成（株）製）、サーフロンＳ３８１、同Ｓ３８２、同ＳＣ１０１、同ＳＣ１０５（旭硝子（株）製）、Ｅ５８４４（（株）ダイキンファインケミカル研究所製）、ＢＭ−１０００、ＢＭ−１１００（ＢＭ  Ｃｈｅｍｉｅ社製）などが挙げられる。
前記のフッ素原子を有するシリコーン系界面活性剤としては、シロキサン結合およびフルオロカーボン鎖を有する界面活性剤などが挙げられる。具体的には、メガファックＲ０８、同ＢＬ２０、同Ｆ４７５、同Ｆ４７７、同Ｆ４４３（大日本インキ化学工業（株）製）、サーフィノール６１、オルフィンＢ、オルフィンＰ、サーフィノール８２、サーフィノール１０４、オルフィンＹ、ダイノール６０４、サーフィノール４４０、サーフィノール４６５、サーフィノール４８５、サーフィノール２５０２（いずれも日信化学工業（株）製）が挙げられる。
これらの界面活性剤は、単独でも２種類以上を組み合わせて用いてもよい。
【００６０】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、分子量１，０００以下の有機酸を含有してもよい。前記の分子量１，０００以下の有機酸としては、例えば、特開平５−３４３６３１号に開示された有機酸が挙げられる。具体的には、マロン酸、シュウ酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、安息香酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、シトラコン酸、イタコン酸、メサコン酸、フマル酸、フタル酸、アクリル酸、メタクリル酸が挙げられ、好ましくはマロン酸、シュウ酸、フマル酸、フタル酸が挙げられる。分子量１，０００以下の有機酸を含有することで、残渣がさらに良好となる傾向があるので、好ましい。
【００６１】
本発明の着色感光性樹脂組成物には、さらに、充填剤、バインダー樹脂以外の高分子化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤などの添加剤を含有していてもよい。
【００６２】
前記の充填剤としては、例えば、ガラス、アルミナなどの微粒子が挙げられる。
【００６３】
前記のバインダー樹脂以外の高分子化合物としては、例えば、ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレートなどが挙げられる。
【００６４】
前記の密着促進剤としては、例えば、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノ−ｎ−プロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノ−ｎ−プロピルトリメトキシシラン、３−アミノ−ｎ−プロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシ−ｎ−プロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロ−ｎ−プロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロ−ｎ−プロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシ−ｎ−プロピルトリメトキシシラン、３−メルカプト−ｎ−プロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。
【００６５】
前記の酸化防止剤としては、例えば、４，４’−チオビス（６−ｔｅｒｔ−ブチル−３−メチルフェノール）、２，６−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−メチルフェノールなどが挙げられる。
【００６６】
前記の紫外線吸収剤としては、例えば、２−（２−ヒドロキシ−３−ｔｅｒｔ−ブチル−５−メチルフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾールなどのベンゾトリアゾール系；
２−ヒドロキシ−４−オクチルオキシベンゾフェノンなどのベンゾフェノン系；
２，４−ジ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル−３，５−ジ−ｔｅｒｔ−ブチル−４−ヒドロキシベンゾエートなどのベンゾエート系；
２−（４，６−ジフェニル−１，３，５−トリアジン−２−イル）−５−ヘキシルオキシフェノールなどのトリアジン系などが挙げられる。
【００６７】
前記の凝集防止剤としては、例えば、ポリアクリル酸ナトリウムなどが挙げられる。
【００６８】
アミン化合物添加により、現像時に未露光部の基板上の残渣をさらに少なくすることができ、かつ基板への密着性に優れた画素を与えることができる。
前記の有機アミン化合物としては、例えば、ｎ―プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、イソブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔｅｒｔ−ブチルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミン、ｎ−ドデシルアミンなどのモノアルキルアミン類；
シクロヘキシルアミン、２−メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノシクロアルキルアミン類；
メチルエチルアミン、ジエチルアミン、メチル−ｎ−プロピルアミン、エチル−ｎ−プロピルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、ジイソブチルアミン、ジ−ｓｅｃ−ブチルアミン、ジ−ｔｅｒｔ−ブチルアミン、ジｎ−ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミンなどのジアルキルアミン類；
メチルシクロヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルモノシクロアルキルアミン類；
ジシクロヘキシルアミンなどのジシクロアルキルアミン類；
ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、トリエチルアミン、ジメチル−ｎ−プロピルアミン、ジエチル−ｎ−プロピルアミン、メチルジ−ｎ−プロピルアミン、エチルジ−ｎ−プロピルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、トリ−ｎ−ブチルアミン、トリイソブチルアミン、トリ−ｓｅｃ−ブチルアミン、トリ−ｔｅｒｔ−ブチルアミン、トリ−ｎ−ペンチルアミン、トリ−ｎ−ヘキシルアミンなどのトリアルキルアミン類；
ジメチルシクロヘキシルアミン、ジエチルシクロヘキシルアミンなどのジアルキルモノシクロアルキルアミン類；
メチルジシクロヘキシルアミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘキシルアミンなどのモノアルキルジシクロアルキルアミン類；
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノール、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミノ−１−ヘキサノールなどのモノアルカノールアミン類；
４−アミノ−１−シクロヘキサノールなどのモノシクロアルカノールアミン類；
ジエタノールアミン、ジ−ｎ−プロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、ジ−ｎ−ブタノールアミン、ジイソブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジ−ｎ−ヘキサノールアミンなどのジアルカノールアミン類；
ジ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのジシクロアルカノールアミン類；
トリエタノールアミン、トリ−ｎ−プロパノールアミン、トリ−イソプロパノールアミン、トリ−ｎ−ブタノールアミン、トリ−イソブタノールアミン、トリ−ｎ−ペンタノールアミン、トリ−ｎ−ヘキサノールアミンなどのトリアルカノールアミン類；
トリ（４−シクロヘキサノール）アミンなどのトリシクロアルカノールアミン類；
３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタンジオール、３−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジエチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルアミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノアルカンジオール類；
４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオール、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオールなどのアミノシクロアルカンジオール類；
１−アミノシクロペンタノンメタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカノンメタノール類；
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノールなどのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類；
β−アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサンカルボン酸などのアミノカルボン酸類；
アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−イソプロピルアニリン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルアニリン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン類；
ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジメチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール類；
ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール類；
ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジメチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸などのアミノ安息香酸類などが挙げられる。
【００６９】
前記の硬化剤としては、例えば、加熱されることによってバインダー樹脂中のカルボキシル基と反応してバインダー樹脂を架橋することができる化合物、単独で重合して着色パターンを硬化させ得る化合物などが挙げられる。前記の化合物としては、例えば、エポキシ化合物、オキセタン化合物などが挙げられ、オキセタン化合物が好ましく用いられる。
【００７０】
ここで、エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＡ系エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、水素化ビスフェノールＦ系エポキシ樹脂、ノボラック型エポキシ樹脂、他の芳香族系エポキシ樹脂、脂環族系エポキシ樹脂、複素環式エポキシ樹脂、グリシジルエステル系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、エポキシ化油等のエポキシ樹脂や、これらのエポキシ樹脂の臭素化誘導体、エポキシ樹脂およびその臭素化誘導体以外の脂肪族、脂環族または芳香族のエポキシ化合物、ブタジエンの（共）重合体のエポキシ化物、イソプレンの（共）重合体のエポキシ化物、グリシジル（メタ）アクリレートの（共）重合体、トリグリシジルイソシアヌレートなどが挙げられる。
【００７１】
前記のオキセタン化合物としては、例えば、カーボネートビスオキセタン、キシリレンビスオキセタン、アジペートビスオキセタン、テレフタレートビスオキセタン、シクロヘキサンジカルボン酸ビスオキセタンなどが挙げられる。
【００７２】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、硬化剤としてエポキシ化合物、オキセタン化合物などを含有する場合には、エポキシ化合物のエポキシ基、オキセタン化合物のオキセタン骨格を開環重合させ得る化合物を含んでいてもよい。該化合物としては、例えば、多価カルボン酸類、多価カルボン酸無水物類、酸発生剤などが挙げられる。
【００７３】
前記の多価カルボン酸類としては、例えば、フタル酸、３，４−ジメチルフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸類；
こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸類；
ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロイソフタル酸、ヘキサヒドロテレフタル酸、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸などの脂環族多価カルボン酸類などが挙げられる。
【００７４】
前記の多価カルボン酸無水物類としては、例えば、無水フタル酸、無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、３，３’，４，４’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物などの芳香族多価カルボン酸無水物類；
無水イタコン酸、無水こはく酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸無水物類；
無水ヘキサヒドロフタル酸、３，４−ジメチルテトラヒドロフタル酸無水物、１，２，４−シクロペンタントリカルボン酸無水物、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、１，２，４，５−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂環族多価カルボン酸無水物類；
エチレングリコールビストリメリテイト酸、グリセリントリストリメリテイト無水物などのエステル基含有カルボン酸無水物類などが挙げられる。
【００７５】
前記のカルボン酸無水物類としては、エポキシ樹脂硬化剤として市販されているものを用いてもよい。前記のエポキシ樹脂硬化剤としては、例えば、アデカハードナーＥＨ−７００（旭電化工業（株）製）、リカシッドＨＨ、ＭＨ−７００（いずれも新日本理化（株）製）などが挙げられる。
【００７６】
前記の硬化剤は、単独でも２種以上を組み合わせて用いてもよい。
【００７７】
本発明の着色感光性樹脂組成物を調製する方法としては、例えば、溶剤（Ｅ）中において分散剤を併存させて、顔料などの着色剤を分散させることにより、着色剤の分散液を調製し、さらに、溶剤に溶解させた（Ｂ）バインダー樹脂、（Ｃ）光重合性化合物、（Ｄ）光重合開始剤および必要によりその他の添加剤等を溶解させ、前記の（Ａ）着色剤の分散液と混合し、必要によりさらに溶剤を添加する方法などが挙げられる。
【００７８】
また、本発明の着色感光性樹脂組成物は、通常、容器に封入して、流通、保管に供される。
【００７９】
本発明の着色感光性樹脂組成物を用いたイメージセンサ用カラーフィルタの一般的な製造法は次の通りである。本発明の着色感光性樹脂組成物を基板上に塗布・乾燥する工程、得られた乾燥塗布膜にｉ線ステッパー等でパターン露光する工程、露光後にアルカリ現像する工程、次に加熱処理する工程を順次行い、各色（通常、３色。場合によっては４色以上）ごとに前記工程を順次繰り返して画素を形成することによりカラーフィルタが得られる。
より具体的には、本発明の着色感光性樹脂組成物を、スピンコーター等により、適当な基板上に乾燥時の膜厚が一般的に０．１〜５μｍ、好ましくは０．２〜２μｍになるように塗布し、１００℃のオーブンに３分間放置し平滑な塗膜を得る。
基板としては、特に限定されないが、ガラス板、プラスチックス板、アルミ板、撮像素子用シリコンウエハ等の電子部品の基板、さらには透明樹脂板、樹脂フィルム、ブラウン管表示面、撮像感の受光面、ＣＣＤ、ＢＢＤ、ＣＩＤ、ＢＡＳＩＳ等の固体撮像素子が形成されたウエハー、薄膜半導体を用いた密着型イメージセンサ、液晶ディスプレイ面、カラー電子写真用感光体、エレクトロクロミィー（ＥＣ）表示装置の基板等が挙げられる。また、基板にカラーフィルタ層との接着性を向上させるために高密着処理を施すことが好ましい。具体的には、基板上に予めシランカップリング剤等で薄く塗布した後に着色感光性樹脂組成物のパターンを形成するか、あるいは予め着色感光性樹脂組成物中にシランカップリング剤を含有させてもよい。
なお、基板上に段差がある場合は、その段差を解消し塗設面を平滑にするための平坦化膜を基板上に塗設した後、本発明の着色感光性樹脂組成物を塗布することができる。例えば、ＣＣＤなどのイメージセンサはシリコン基板上に受光量に応じて電子を発生させる光電子変換部（フォトダイオード）とその発生した電子を出力する為の読み出しゲート部とで構成されているが、読み出しゲート部に光が当たるとノイズの原因となり正確なデータが出力されないため、読み出しゲート部の上部には遮光膜層が形成されており、遮光膜層を持たないフォトダイオード部との間で段差が生じている場合がある。このような段差上に着色感光性樹脂組成物を塗布し、直接カラーフィルタを形成すると光路長が長くなるため画像が暗く、また集光性も劣るようになる。これを改善する為、その段差を埋める目的で透明な平坦化膜をＣＣＤとカラーフィルタとの間に形成することが好ましい。この平坦化膜の材料としては、本発明における着色感光性樹脂組成物から着色成分を除いたような感光性樹脂組成物や、アクリル系、エポキシ系等の熱硬化性樹脂や光硬化性樹脂等が挙げられる。
着色感光性樹脂組成物を塗布した後、溶媒を除去して乾燥塗布膜を得るため、通常、減圧乾燥やプリベークが行われる。減圧乾燥の方法としては、例えば、塗布された着色感光性樹脂組成物が塗布された基板を、０．１〜１００Ｔｏｒｒの圧力で、５０℃〜１２０℃の温度におくことにより行う方法がある。プリベークの方法としては、高温の空気などによる加熱乾燥、ホットプレート等による加熱乾燥（８０〜１４０℃、５０〜２００秒）などの方法がある。
次いで、形成したいパターンを転写するためのマスクを介して、ｉ線などの光源を用いて着色感光性樹脂組成物層を露光する。
さらに、露光後の着色感光性樹脂組成物層を、現像液に接触させて、未露光部を除去して、パターンを得る。
着色感光性樹脂組成物の現像に使用する現像液は特に制限はなく、従来公知の現像液を使用することができる。中でも、テトラメチルアンモニウムハイドロキサイド（ＴＭＡＨ）などの４級アンモニウム塩類、ジエタノールアミンなどの有機アルカリ系水溶液が好ましい。
また、現像後に得られたパターンを、十分硬化させて機械強度を高め永久膜とするために好ましくはポストベークが行われる。
例えば、３色のカラーフィルタの製造に際しては、最初に形成されたパターンは、その後、他色の着色感光性樹脂組成物の塗布、露光、現像を２度受ける。この際に、塗布された着色感光性樹脂組成物との混色、露光、現像によるパターンの欠落が生じないようにポストベークを行うものである。このポストベークはプリベーク同様の方法が用いられるが、プリベークの条件よりも、高温、長時間で行われる。例えば、１００〜２５０℃、１〜６０分間行われる。
上記のようにして、各色のパターンを形成し、最終的にカラーフィルタを得ることができる。
なお、本発明の着色感光性樹脂組成物を用いて着色感光性樹脂組成物膜を形成する際、後で用いられる着色感光性樹脂組成物が、先に形成された着色感光性樹脂組成物膜の上に残りにくいことから、カラーフィルタとしたときの混色が少なくなり、好ましい。
【００８０】
上記において、本発明の実施の形態について説明を行ったが、上記に開示された本発明の実施の形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれらの実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変更を含むものである。
【実施例】
【００８１】
以下、実施例によって本発明をより詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例によって限定されるものではない。
【００８２】
＜バインダー樹脂（Ｂ１）の合成＞
撹拌機、温度計、還流冷却管、滴下ロートおよびガス導入管を備えたフラスコに、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３３３ｇが導入された。その後、窒素ガスがガス導入管を通ってフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が窒素ガスに置換された。その後、フラスコ内の溶液が１００℃に昇温された後、ジシクロペンタニルメタクリレート（ＦＡ−５１３Ｍ；日立化成（株）製）２２．０ｇ（０．１０モル）、ベンジルメタクリレート７０．５ｇ（０．４０モル）、メタクリル酸４３．０ｇ（０．５モル）、アゾビスイソブチロニトリル３．６ｇおよびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート１６４ｇからなる混合物が、滴下ロートを用いて２時間かけてフラスコに滴下され、滴下完了後さらに１００℃で５時間撹拌が続けられた。
攪拌終了後、ガス導入管を通って空気がフラスコ内に導入されて、フラスコ内雰囲気が空気にされた後、グリシジルメタクリレート３５．５ｇ［０．２５モル（本反応に用いたメタクリル酸に対してモル分率で、５０モル％）］、トリスジメチルアミノメチルフェノール０．９ｇおよびハイドロキノン０．１４５ｇがフラスコ内に投入され、反応が１１０℃で６時間続けられて、樹脂Ｂ１を含む溶液が得られた（固形分３８．５質量％、酸価８０ｍｇＫＯＨ／ｇ）。
ここで、酸価は、カルボン酸などの酸基を有する重合体１ｇを中和するに必要な水酸化カリウムの量（ｍｇ）として測定される値であり、通常、濃度既知の水酸化カリウム水溶液を用いて滴定することにより求められる。
得られた樹脂Ｂ１のポリスチレン換算重量平均分子量は９，０００であった。
【００８３】
上記のバインダー樹脂のポリスチレン換算重量平均分子量の測定については、ＧＰＣ法を用いて、以下の条件で行った。
装置；ＨＬＣ-８１２０ＧＰＣ（東ソー（株）製）
カラム；ＴＳＫ−ＧＥＬＧ２０００ＨＸＬ
カラム温度；４０℃
溶媒；ＴＨＦ
流速；１．０ｍｌ／ｍｉｎ
被検液固形分濃度；０．００１〜０．０１質量％
注入量；５０μｌ
検出器；ＲＩ
校正用標準物質；ＴＳＫ  ＳＴＡＮＤＡＲＤ  ＰＯＬＹＳＴＹＲＥＮＥ  Ｆ−４０、Ｆ−４、Ｆ−１、Ａ−２５００、Ａ−５００（東ソー（株）製）
【００８４】
本実施例で用いる成分は以下の通りであり、以下、省略して表示することがある。
（Ａ−１）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４
（Ａ−２）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９
（Ａ−３）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７
（Ａ−４）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６
（Ａ−５）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６
（Ａ−６）着色剤：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３
（Ｂ−１）樹脂Ｂ１
（Ｃ−１）光重合性化合物：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
（Ｄ−１）光重合開始剤：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブタン−１−オン
（Ｇ−１）光重合開始助剤：４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン
（Ｅ−１）溶剤：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
（Ｅ−２）溶剤：３−エトキシプロピオン酸エチル
（Ｆ−１）表面張力低下剤：ＢＹＫ−ＵＶ３５１０（ビックケミー・ジャパン（株）製）
（Ｆ−２）表面張力低下剤：ＢＹＫ−Ｓｉｌｃｌｅａｎ３７００（ビックケミー・ジャパン（株）製）
（Ｈ−１）界面活性剤：メガファックＦ４７５（大日本インキ化学工業（株）製）
【００８５】
実施例１
〔着色感光性樹脂組成物１の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３５４４質量部
（Ｃ−１）                ０．１７３８質量部
（Ｄ−１）                ０．０５５６質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３９質量部
（Ｅ−１）                ６．５４７０質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０００７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物１の固形分に対して質量分率で、０．３８質量％であった。
【００８６】
〔パターンの形成１〕
次にガラス（＃１７３７；コーニング社製）上に、スミレジストＰＲ−１３００Ｙ−ＰＧ（住友化学（株）製）をスピンコートし、１００℃で１分間加熱して揮発成分を除去し、膜厚０．５μｍの樹脂層を形成した。次いで、このガラスを２３０℃で１５分間加熱して樹脂層を硬化させ、平坦化被膜付き支持体を形成した。この支持体上に、着色感光性樹脂組成物１をスピンコート法で塗布した後、ホットプレート上において１００℃で３分間加熱して揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物層１を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物層１にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。フォトマスクとしては、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。次いで露光後のガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物膜が形成されている。〕を２３℃の現像液（ＳＯＰＤ；住友化学（株）製）を純水で希釈して、０．０５％ＴＭＡＨ濃度にした）に８０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄し、膜厚０．７μｍのラインアンドスペースパターンをパターンニングしたガラス基板（赤色）を得た。
【００８７】
〔評価１〕
上記で得た基板の塗膜層のうち、現像により塗膜層が除去された部分の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を、顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、９９．９％であった。
【００８８】
〔パターンの形成２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３８０１質量部
（Ｃ−１）                ０．１７７１質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０８質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４２質量部
（Ｅ−１）                ６．５３１２質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０００７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ａを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物Ａの固形分に対して質量分率で、０．３９質量％であった。
【００８９】
別にガラス（＃１７３７；コーニング社製）上に、上記で得た着色感光性樹脂組成物Ａをスピンコート法で塗布した後、１００℃３分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物膜を形成した。冷却後、この着色感光性樹脂組成物膜にフォトマスクを介してｉ線〔波長３６５ｎｍ〕を照射して露光した。ｉ線の光源には超高圧水銀ランプを用い、平行光としてから照射した。照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ2とした。
フォトマスクとしては、線幅３μｍ、４μｍ、５μｍ、６μｍ、７μｍ、８μｍ、９μｍ、１０μｍ、２０μｍ、３０μｍ、４０μｍ、５０μｍおよび１００μｍの線状の色画素を形成するためのフォトマスクを用いた。
次いで露光後のガラス基板を２３℃の現像液（ＳＯＰＤ；住友化学（株）製）を純水で希釈して、０．０５％ＴＭＡＨ濃度にした）に８０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄し、ラインアンドスペースパターンをパターンニングした着色ガラス基板（緑色）を得た。このパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．４であった。
次に得られた着色ガラス基板（緑色）上に、着色感光性樹脂組成物１（赤色）をスピンコート法で塗布した後、１００℃３分間で揮発成分を揮発させて着色感光性樹脂組成物１膜を形成した。
次いで得られたガラス基板〔表面には着色感光性樹脂組成物Ａの膜および着色感光性樹脂組成物１の膜が形成されている。〕を２３℃の現像液（ＳＯＰＤ；住友化学（株）製を純水で希釈して、０．０５％ＴＭＡＨ濃度にした）に８０秒間浸漬して現像し、純水で洗浄して、着色感光性樹脂組成物１の膜を除去して、ラインアンドスペースパターンをパターンニングした着色ガラス基板（緑色）を得た。
【００９０】
〔評価２〕
上記で得た基板の着色感光性樹脂組成物Ａによって形成された塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．８％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ａによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．１であり、着色感光性樹脂組成物１による処理前後での明度の低下は、０．３であった。
なお、透過率、明度は、顕微分光測定装置：ＯＳＰ−ＳＰ−２００（オリンパス製）を用いて測定し、透過率は、４００ｎｍ〜７８０ｎｍの間、５ｎｍ刻みで測定した数値の平均値を測定し、明度の低下は、以下の色度における、積層前後の明度の差を求めた。
【００９１】
赤色画素：ｘ＝０．６０７
緑色画素：ｙ＝０．５４４
青色画素：ｙ＝０．１１７
【００９２】
実施例２
〔着色感光性樹脂組成物２の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３８０１質量部
（Ｃ−１）                ０．１７７１質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０８質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４２質量部
（Ｅ−１）                ６．５３１２質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０００７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物２を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物２の固形分に対して質量分率で、０．３９質量％であった。
【００９３】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物２に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【００９４】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物２に変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．８％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ａによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５２．９であり、着色感光性樹脂組成物２による処理前後での明度の低下は、０．５であった。
【００９５】
実施例３
〔着色感光性樹脂組成物３の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．４０１８質量部
（Ｃ−１）                ０．２５４０質量部
（Ｄ−１）                ０．１４２９質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５１７９質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０００８質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物３を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物３の固形分に対して質量分率で、０．４４質量％であった。
【００９６】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物３に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９％以上であった。
【００９７】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物３に変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ａによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．２であり、着色感光性樹脂組成物３による処理前後での明度の低下は、０．２であった。
【００９８】
比較例１
〔着色感光性樹脂組成物４の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３５５７質量部
（Ｃ−１）                ０．１７４０質量部
（Ｄ−１）                ０．０５５７質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３９質量部
（Ｅ−１）                ６．５４６３質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物４を得た。
【００９９】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物４に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９７％であった。
【０１００】
〔評価２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３８１４質量部
（Ｃ−１）                ０．１７７３質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０９質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４２質量部
（Ｅ−１）                ６．５３０５質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ｂを得た。
【０１０１】
実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ｂのパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．３であった。
【０１０２】
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物４、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｂに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９４％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｂによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５０．２であり、着色感光性樹脂組成物４による処理前後での明度の低下は、３．１であった。
【０１０３】
比較例２
〔着色感光性樹脂組成物５の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３８１４質量部
（Ｃ−１）                ０．１７７３質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０９質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４２質量部
（Ｅ−１）                ６．５３０５質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物５を得た。
【０１０４】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物５に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９６％であった。
【０１０５】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物５、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｂに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９１％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｂによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、４８．７であり、着色感光性樹脂組成物５による処理前後での明度の低下は、４．６であった。
【０１０６】
比較例３
〔着色感光性樹脂組成物６の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．４０２９質量部
（Ｃ−１）                ０．２５４２質量部
（Ｄ−１）                ０．１４３０質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５１７２質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物６を得た。
【０１０７】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物６に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９７％であった。
【０１０８】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物６、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｂに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９５．０％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｂによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５０．５であり、着色感光性樹脂組成物６による処理前後での明度の低下は、２．８であった。
【０１０９】
実施例４
〔着色感光性樹脂組成物７の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３５２０質量部
（Ｃ−１）                ０．１７３５質量部
（Ｄ−１）                ０．０５５５質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３９質量部
（Ｅ−１）                ６．５４８５質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．００２１質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物７を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１７質量％であった。
【０１１０】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物７に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１１１】
〔評価２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３７７７質量部
（Ｃ−１）                ０．１７６８質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０７質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４１質量部
（Ｅ−１）                ６．５３２７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．００２１質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ｃを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１５質量％であった。
実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ｃのパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．１であった。
【０１１２】
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物７、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｃに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．８％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｃによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５２．９であり、着色感光性樹脂組成物７による処理前後での明度の低下は、０．２であった。
【０１１３】
実施例５
〔着色感光性樹脂組成物８の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３７７７質量部
（Ｃ−１）                ０．１７６８質量部
（Ｄ−１）                ０．０７０７質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４１質量部
（Ｅ−１）                ６．５３２７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．００２１質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物８を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１５質量％であった。
【０１１４】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物８に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１１５】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物８、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｃに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．８％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｃによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５２．７であり、着色感光性樹脂組成物８による処理前後での明度の低下は、０．４であった。
【０１１６】
実施例６
〔着色感光性樹脂組成物９の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．３９９５質量部
（Ｃ−１）                ０．２５３６質量部
（Ｄ−１）                ０．１４２６質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５１９３質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．００２４質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物９を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．３３質量％であった。
【０１１７】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物９に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１１８】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物９、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｃに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｃによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．０であり、着色感光性樹脂組成物９による処理前後での明度の低下は、０．１であった。
【０１１９】
実施例７
〔着色感光性樹脂組成物１０の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３３７４質量部
（Ｃ−１）                ０．１７１６質量部
（Ｄ−１）                ０．０５４９質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３７質量部
（Ｅ−１）                ６．５５７５質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１０３質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１０を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．５７質量％であった。
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１０に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１２０】
〔評価２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３６３１質量部
（Ｃ−１）                ０．１７４９質量部
（Ｄ−１）                ０．０７００質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４０質量部
（Ｅ−１）                ６．５４１７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１４０質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ｄを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．７８質量％であった。
実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ｄのパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．２であった。
【０１２１】
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１０、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｄに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｄによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５２．９であり、着色感光性樹脂組成物１０による処理前後での明度の低下は、０．３であった。
【０１２２】
実施例８
〔着色感光性樹脂組成物１１の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３６３１質量部
（Ｃ−１）                ０．１７４９質量部
（Ｄ−１）                ０．０７００質量部
（Ｇ−１）                ０．０１４０質量部
（Ｅ−１）                ６．５４１７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１４０質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１１を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．７８質量％であった。
【０１２３】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１１に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１２４】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１１、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｄに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．８％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｄによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５２．８であり、着色感光性樹脂組成物１１による処理前後での明度の低下は、０．４であった。
【０１２５】
実施例９
〔着色感光性樹脂組成物１２の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．３８８０質量部
（Ｃ−１）                ０．２５１５質量部
（Ｄ−１）                ０．１４１５質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３６質量部
（Ｅ−１）                ６．５２６４質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０１０２質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１２を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、０．５７質量％であった。
【０１２６】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１２に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１２７】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１２、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｄに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｄによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．１であり、着色感光性樹脂組成物１２による処理前後での明度の低下は、０．１であった。
【０１２８】
実施例１０
〔着色感光性樹脂組成物１３の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３２０９質量部
（Ｃ−１）                ０．１６９５質量部
（Ｄ−１）                ０．０５４２質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３６質量部
（Ｅ−１）                ６．５６７７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１９７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１３を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．０９質量％であった。
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１３に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１２９】
〔評価２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３４７７質量部
（Ｃ−１）                ０．１７３０質量部
（Ｄ−１）                ０．０６９２質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５５１２質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１９４質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ｅを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．０８質量％であった。
実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ｅのパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．３であった。
【０１３０】
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１３、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｅに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｅによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．１であり、着色感光性樹脂組成物１３による処理前後での明度の低下は、０．２であった。
【０１３１】
実施例１１
〔着色感光性樹脂組成物１４の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３４７７質量部
（Ｃ−１）                ０．１７３０質量部
（Ｄ−１）                ０．０６９２質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５５１２質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０１９４質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１４を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．０８質量％であった。
【０１３２】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１４に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％以上であった。
【０１３３】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１４、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｅに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９．９％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｅによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．０であり、着色感光性樹脂組成物１４による処理前後での明度の低下は、０．３であった。
【０１３４】
実施例１２
〔着色感光性樹脂組成物１５の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．３７４５質量部
（Ｃ−１）                ０．２４９０質量部
（Ｄ−１）                ０．１４０１質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３３質量部
（Ｅ−１）                ６．５３４７質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−１）                ０．０１９５質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１５を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．０８質量％であった。
【０１３５】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１５に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９９．９％であった。
【０１３６】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１５、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｅに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９９％以上（９９．９％）であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｅによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５３．２であり、着色感光性樹脂組成物１５による処理前後での明度の低下は、０．１であった。
【０１３７】
比較例４
〔着色感光性樹脂組成物１６の調製〕
（Ａ−１）                ０．６３７６質量部
（Ａ−２）                ０．１９０４質量部
アクリル系分散剤          ０．２０６０質量部
（Ｂ−１）                １．３１９７質量部
（Ｃ−１）                ０．１６９４質量部
（Ｄ−１）                ０．０５４２質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３５質量部
（Ｅ−１）                ６．５６８４質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０２０３質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１６を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１３質量％であった。
【０１３８】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１６に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９８％であった。
【０１３９】
〔評価２〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３４５３質量部
（Ｃ−１）                ０．１７２６質量部
（Ｄ−１）                ０．０６９１質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５５２６質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０２０７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物Ｆを得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１５質量％であった。
実施例１と同様にして、着色感光性樹脂組成物Ｆのパターン部分の明度を顕微分光測定装置（ＯＳＰ−ＳＰ−２００；オリンパス（株）製）を用いて測定したところ、明度は５３．３であった。
【０１４０】
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１６、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｆに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９６％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｆによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５０．９であり、着色感光性樹脂組成物１６による処理前後での明度の低下は、２．４であった。
【０１４１】
比較例５
〔着色感光性樹脂組成物１７の調製〕
（Ａ−３）                ０．４２１２質量部
（Ａ−４）                ０．１６２０質量部
（Ａ−２）                ０．２２６８質量部
エステル系分散剤          ０．１９５４質量部
（Ｂ−１）                １．３４５３質量部
（Ｃ−１）                ０．１７２６質量部
（Ｄ−１）                ０．０６９１質量部
（Ｇ−１）                ０．０１３８質量部
（Ｅ−１）                ６．５５２６質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０２０７質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１７を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．１５質量％であった。
【０１４２】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１７に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９８％であった。
【０１４３】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１７、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｆに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９６％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｆによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５０．４であり、着色感光性樹脂組成物１７による処理前後での明度の低下は、２．９であった。
【０１４４】
比較例６
〔着色感光性樹脂組成物１８の調製〕
（Ａ−５）                ０．４９６８質量部
（Ａ−６）                ０．１２４２質量部
アクリル系分散剤          ０．２１７４質量部
（Ｂ−１）                １．３６９０質量部
（Ｃ−１）                ０．２４８０質量部
（Ｄ−１）                ０．１３９５質量部
（Ｇ−１）                ０．０２３３質量部
（Ｅ−１）                ６．５３８１質量部
（Ｅ−２）                ０．８２００質量部
（Ｆ−２）                ０．０２３３質量部
（Ｈ−１）                ０．０００５質量部
を混合して着色感光性樹脂組成物１８を得た。表面張力調整剤の含有量は、着色感光性樹脂組成物の固形分に対して質量分率で、１．２９質量％であった。
【０１４５】
〔評価１〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１８に変更する以外は実施例１と同様にして、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）を測定した結果、９８％であった。
【０１４６】
〔評価２〕
実施例１の着色感光性樹脂組成物１を着色感光性樹脂組成物１８、着色感光性樹脂組成物Ａを着色感光性樹脂組成物Ｆに変更する以外は、実施例１と同様にして評価した結果、基板の塗膜層を溶解した後の透過率（４００ｎｍ〜７８０ｎｍの平均）は９６％であった。更に、着色感光性樹脂組成物Ｆによって形成された塗膜層の明度を測定したところ、５１．１であり、着色感光性樹脂組成物１８による処理前後での明度の低下は、２．２であった。
【産業上の利用可能性】
【０１４７】
本発明の着色感光性樹脂組成物は、残渣が良好なカラーフィルタを形成することができ、得られたカラーフィルタはイメージセンサや液晶表示装置に用いることができる。