(57)【要約】【課題】２つの部材の重なり部からはみ出した感光性樹脂をなくせるようにする。【解決手段】相互に接合する第１部材１０と第２部材１６との少なくともいずれか一方にポジ型フォトレジスト１４を塗布する塗布工程と、塗布したポジ型フォトレジスト１４を介して第１部材１０と第２部材１６とを重ね合わせる積層工程と、第１部材１０と第２部材１６との重なり部から露出しているポジ型フォトレジスト１４を光１８によって感光させる露光工程と、感光させたポジ型フォトレジスト１４を除去する現像工程と、第１部材１０と第２部材１６との重なり部に残されたポジ型フォトレジスト１４を硬化させる加熱工程とを有する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
相互に接合する２つの部材の少なくともいずれか一方にポジ型感光性樹脂を塗布する塗布工程と、
塗布した前記ポジ型感光性樹脂を介して前記２つの部材を重ね合わせる積層工程と、
前記２つの部材の重なり部から露出している前記ポジ型感光性樹脂を感光させる露光工程と、
感光させた前記ポジ型感光性樹脂を除去する現像工程と、
前記２つの部材の重なり部に残された前記ポジ型感光性樹脂を硬化させる加熱工程と、
を有することを特徴とする接着方法。
【請求項２】
請求項１に記載の接着方法において、
前記露光工程は、前記２つの部材のうち、光源側の部材を遮光して行なうことを特徴とする接着方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、２つの部材を接着する方法に係り、特に感光性樹脂を用いた接着方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
圧電デバイスの製造工程においては、光マスクに設けたパターンを圧電体基板（ウエハ）に転写することが行なわれる。この光マスクのパターンをウエハに転写する工程においては、マスクとウエハとの位置決めを行なうため、光マスクに位置決め治具を貼り付けてウエハとマスクとの位置決めを行なっている。従来、マスクへの治具の貼り付けは、接着剤や両面粘着テープを用いて行なっていた。しかし、光マスクを位置決め治具から剥がした際に、接着剤や粘着テープの粘着材（接着剤）がマスクや治具に残り、これらが汚れることがある。この光マスクや治具に残った接着剤は、除去するのが容易でない。
【０００３】
ところで、除去するのが容易であるフォトレジストに着目し、また接着剤を用いることによる工程への悪影響を防止するために、フォトレレジストを接着剤として使用することが提案されている（特許文献１、特許文献２）。
【特許文献１】特開平６−４５４３６号公報
【特許文献２】特開２０００−３３９６５４号公報、段落番号００３６
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
接着剤を介して２つの部材を接着する場合、一般に接着する部材を接着剤に押圧して密接させる必要がある。特に、それほど接着力の大きくないフォトレジストを接着剤として使用する場合には、接着する部材をある程度の力を与えてフォトレジストに強く押圧しなければならない。このため、２つの部材の重なり部に塗布したフォトレジストが重なり部からはみ出してくる。このように、フォトレジストが重なり部からはみ出すと、例えば画像処理装置を用いて位置決め治具にウエハを配置する場合、フォトレジストのはみ出し部が位置決め治具の端部と誤認識され、ウエハとマスクとの相対位置がずれてしまうことがある。また、ウエハに微細な孔や溝などのパターンが形成されていて、このウエハを同じパターンが設けてある治具と接着した場合、はみ出したフォトレジストが孔や溝の開口を塞いだり、それらの開口を狭くしてその後に行なう孔や溝に対する処理を困難にする。
本発明は、前記従来技術の欠点を解消するためになされたもので、２つの部材の重なり部からはみ出した感光性樹脂をなくせるようにすることを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記の目的を達成するために、本発明に係る接着方法は、相互に接合する２つの部材の少なくともいずれか一方にポジ型感光性樹脂を塗布する塗布工程と、塗布した前記ポジ型感光性樹脂を介して前記２つの部材を重ね合わせる積層工程と、前記２つの部材の重なり部から露出している前記ポジ型感光性樹脂を感光させる露光工程と、感光させた前記ポジ型感光性樹脂を除去する現像工程と、前記２つの部材の重なり部に残された前記ポジ型感光性樹脂を硬化させる加熱工程と、を有することを特徴としている。
【０００６】
ポジ型フォトレジストであるポジ型感光性樹脂は、光やＸ線、電子ビームなどによって感光（露光）すると現像液に可溶となる。このため、２つの部材の重なり部から露出しているポジ型感光性樹脂を感光させることにより、２つの部材の重なり部から出ているポジ型感光性樹脂をきれいに除去することができる。したがって、例えば光マスクに位置決め治具をポジ型感光性樹脂であるポジ型フォトレジストを用いて接着した場合に、位置決め治具からはみ出しフォトレジストをなくすことができる。これにより、画像処理装置がはみ出したフォトレジストを位置決め治具のエッジと誤認識するのを防げ、ウエハと光マスクとの位置ずれを防ぐことができる。また、ウエハに微細な孔や溝が形成されていても、これらの孔や溝の開口が感光性樹脂で塞がれたり、それらの開口部が狭められることがなく、後の工程における処理に支障をきたすことがない。
【０００７】
前記露光工程は、前記２つの部材のうち、光源側の部材を遮光して行なってよい。光源側の部材を遮光して露光すれば、光源側の部材または２つの部材のいずれもが透光性の部材であったとしても、２つの部材の重なり部にあるポジ型感光性樹脂が感光することがない。したがって、現像の際に重なり部のポジ型感光性樹脂が現像液に溶け出すようなことがない。
【０００８】
なお、本発明においては、感光性樹脂は、可視光線や紫外線などの光によって感光できるものばかりでなく、Ｘ線や電子線などの放射線によって感光できるものを含む。したがって、光源は、可視光源、紫外線光源ばかりでなく、Ｘ線源や電子線源などの放射線源を含む。また、感光性樹脂は、フィルム状のものであってもよい。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明に係る接着方法の好ましい実施の形態を、添付図面に従って詳細に説明する。
図１は、本発明の実施の形態に係る接着方法の説明図である。まず、図１（１）に示したように、接着する２つの部材の一方となる第１部材１０の接着面１２に液体状のポジ型フォトレジスト（ポジ型感光性樹脂）１４を塗布する塗布工程を行なう。ポジ型フォトレジスト１４は、可視光線や紫外線などの光や、Ｘ線や電子線などの放射線によって感光することができるものであればよい。また、ポジ型フォトレジストの塗布は、スピンコートやディップコート、さらにはスプレーやはけ塗りなど、任意の方法で塗布することができる。ポジ型フォトレジスト１４の塗布量（塗布厚）は、接合する部材の材質、形状などによって適宜に定める。さらに、ポジ型フォトレジスト１４は、フィルム状のフォトレジストであってもよい。
【００１０】
次に、接着する２つの部材の他方の部材である第２部材１６の接着面を、同図（２）に示したように、第１部材１０の接着位置に対応した位置の塗布してあるポジ型フォトレジスト１４に密着させる積層工程を行なう。なお、この実施形態においては、第２部材１６は、シリコンウエハや金属など、透光性を有しない部材である。また、必要があれば、第２部材１６の接着面にポジ型フォトレジストを塗布してもよい。さらに、第２部材１６の接着面だけにポジ型フォトレジスト１４を塗布してもよい。
【００１１】
その後、露光工程を行ない、図１（３）に示したように、第２部材１６の上方からポジ型フォトレジスト１４を感光させることができる光（またはＸ線や電子線などの放射線）１８を第１部材１０の全面に照射する。これにより、第１部材１０と第２部材１６との重なり部から露出しているポジ型フォトレジスト１４は、斜線で示したように感光して現像液に可溶となる。また、第１部材１０と第２部材１６との重なり部、すなわち第２部材１６の下方のポジ型フォトレジスト１４は、第２部材１６によって遮光されて未感光のままとなっており、現像液に容易に溶けることはない。
【００１２】
次に、現像工程を行ない、露出している露光されたポジ型フォトレジスト１４を現像液によって除去する。現像は、ポジ型フォトレジスト１４を介して接合されている第１部材１０と第２部材１６とを図示しない現像液に浸漬してもよいし、ポジ型フォトレジスト１４の上方から現像液を滴下してもよい。これにより、第１部材１０と第２部材１６との重なり部から露出しているポジ型フォトレジスト１４が除去される（図１（４））。その後、第１部材１０と第２部材１６との間に介在しているポジ型フォトレジスト１４を所定の温度でベークして硬化させる加熱工程を行なう。これにより、第１部材１０と第２部材１６との接着が完了する。
【００１３】
このように、ポジ型フォトレジスト１４を接着剤として用いたことにより、２つの部材１０、１６の重なり部から露出している接着剤（フォトレジスト）を容易、確実に除去することができる。このため、画像処理装置が重なり部から露出している接着剤を部材の外縁と誤認識し、位置合わせにおける位置ずれの発生などをなくすことができる。そして、ポジ型フォトレジスト１４を用いて２つの部材１０、１６を接着したことにより、ポジ型フォトレジスト１４からなる接着膜を容易に薄く、均一の厚さにすることができる。しかも、液状のフォトレジストは、接着面に一様に塗布することができ、接着むらをなくすことができる。また、フォトレジストを接着剤としたことにより、レジスト材の成分、濃度を調節することにより、接着強度の調整を行なうことができる。しかも、接着剤がフォトレジストであるため、剥離液を用いることによって容易に第１部材１０と第２部材１６とを分離することができるとともに、これらの接着面に接着剤（フォトレジスト）が残るのを防止することができる。また、一般的なフォトリソの設備、部材があれば、準備した部材の接着を容易に行なうことができる。
【００１４】
図２は、他の実施形態に係る接着方法の要部である露光工程を説明する図である。この実施形態においては、第１部材１０の上にポジ型フォトレジスト１４を介して配置した第２部材２０は、ガラスまたは水晶などの透光性を有している。この透光性の第２部材２０を光源（図示せず）側に配置し、第２部材２０側からポジ型フォトレジスト１４を露光する光１８を照射する場合、第２部材２０の上方に遮光マスク２２を配置する。これにより、透光性の第２部材２０に入射する光１８が遮光マスク２２によって遮られ、第２部材と第１部材１０との重なり部に存在するポジ型フォトレジスト１４が感光されるのを防止することができる。すなわち、両部材１０、２０の重なり部から露出しているポジ型フォトレジスト１４のみを感光させることができる。したがって、上記の露光工程ののちに、前記した現像工程を行なうことにより、重なり部から露出しているポジ型フォトレジスト１４を除去することができる。なお、第１部材１０は、透光性であっても、非透光性であってもよい。また、遮光マスク２２は、第２部材２０の上面に直接配置してもよい。さらに、第２部材２０に遮光材を塗布して遮光を行ってもよい。
【００１５】
図３、図４は、上記の接着方法を用いた接着例を示したものである。図３に示した例は、ポジ型フォトレジスト１４を用いて上記した方法により、ガラスなどの平板２３に位置決め治具２４を接着した平面図である。位置決め治具２４は、額縁状に形成してあって、中央部に図示しない第３部材である圧電体ウエハなどを配置する開口２６が形成してある。このように、上記した方法により平板２３に位置決め治具２４を接着した場合、前記したように、位置決め治具２４からはみ出したポジ型フォトレジスト１４がないため、画像処置装置は位置決め治具２４の外縁や開口２６を正確に認識することができ、ウエハなどの第３部材を容易、正確に開口２６に配置することができる。
【００１６】
図４は、パターンを形成した第１部材に、対応したパターンを有する第２部材を接着した例の断面図を示したものである。図４に示した第１部材は、水晶ウエハなどの圧電体ウエハ３０であって、圧電振動片のいわゆる逆メサにする溝３２がエッチングにより形成してある。圧電振動片の製造においては、逆メサの深さを一定にするために、溝３２の底の厚みを所定の厚みｔに揃える必要がある。しかし、大きな圧電体ウエハ３０を一様にエッチングすることは困難で、形成した溝３２の深さが区々となる。このため、圧電体ウエハ３０に溝３２を形成したのち、各溝３２にエッチング液３４を滴下して底の厚みがｔになるように、溝３２をさらに深さｄだけエッチングすることが行なわれる。ところが、溝３２は微細なため、溝３２に滴下したエッチング液３４が溝３２の上端から周囲に溢れ出ることがしばしばある。そこで、溝３２と対応した位置に貫通したスリット３６を設けた治具３８を圧電体ウエハ３０の上面に接着し、エッチング液３４が溝３２から溢れ出るのを防止している。
【００１７】
この圧電体ウエハ３０への治具３８の接着に上記した接着方法を用いる。これにより、圧電体ウエハ３０と治具３８との重なり部から露出した接着剤（ポジ型フォトレジスト）が、溝３２の開口部を塞いだり狭めたりするのを防ぐことができる。したがって、溝３２へのエッチング液３４の滴下を容易、確実に行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】本発明の実施形態に係る接着方法を説明する図である。
【図２】本発明の他の実施形態に係る接着方法の要部である露光工程の説明図である。
【図３】本発明の接着方法により平板に位置決め治具を接着した状態の平面図である。
【図４】本発明の接着方法により溝を形成した圧電体ウエハに対応するスリットを設けた治具を接着した状態を示す断面図である。
【符号の説明】
【００１９】
１０………第１部材、１４………ポジ型フォトレジスト（ポジ型感光性樹脂）、１６、２０………第２部材、１８………光。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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