(57)【要約】【課題】  複雑な工程を要さず、光波伝達部と光素子との結合や、光波伝達部と光波伝達部との結合を良好に行うことが可能な光学部品および光モジュールを提供すること。【解決手段】  サブキャリア３１は、光波伝達部と結合する面と、受光素子３４が形成された面とを有している。サブキャリア３１の各面について、光波伝達部から出射された光を入射する面３８と対向する面および該面と隣接する面のうち、受光素子３４が形成された面を除く面の少なくとも一部が、上記入射光が受光素子３４に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部３６を形成している。【選択図】  図３
2007057978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、
光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、
前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、
前記光学部品の各面について、前記第３の面以外の面の少なくとも一部に形成されたパラボラ形状のパラボラ部であって、前記光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を前記第３の面の所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、
前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする光学部品。
【請求項２】
所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、
光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、
前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、
前記第１の面の、前記光波伝達部から出射された光が入射される領域を少なくとも含む第１の領域および、前記第３の面の所定の領域を少なくとも含む第２の領域の双方を少なくとも含むようにして、前記光学部品に形成された開口部と、
前記光学部品の内部に形成された、前記開口部の壁面について、前記第１の面と対向する壁面および該壁面と隣接する壁面の少なくとも一部に形成されたパラボラ形状のパラボラ部であって、光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を、前記第３の面の前記所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、
前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする光学部品。
【請求項３】
所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、
光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、
前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、
前記第１の面の、前記光波伝達部から出射された光が入射される領域を少なくとも含む第１の領域、および前記第３の領域の所定の領域を少なくとも含む第２の領域を繋ぐ空洞と、
前記光学部品の内部に形成されたパラボラ状のパラボラ部であって、前記空洞において、
前記光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を、前記第３の面の前記所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、
前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする光学部品。
【請求項４】
前記パラボラ部に形成された、前記入射光を少なくとも反射する材料を含む反射膜をさらに備えることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の光学部品。
【請求項５】
前記材料は、前記入射光を反射することに加えて、所定の波長の光を透過させる材料であることを特徴とする請求項４記載の光学部品。
【請求項６】
前記材料は、誘電体多層膜であることを特徴とする請求項４または５記載の光学部品。
【請求項７】
前記第３の面に形成される所望の部材は、光素子であることを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光学部品。
【請求項８】
前記第３の面に形成される所望の部材は、他の前記光学部品であり、
前記第３の面は、前記他の光学部品の前記第３の面と接することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の光学部品。
【請求項９】
光波伝達部が形成された基板と、
前記基板に実装された、請求項１乃至８のいずれかに記載の光学部品とを備え、
前記光波伝達部から出射された光は、前記光学部品の第１の面から入射し、該入射光は、前記パラボラ部に入射することを特徴とする光モジュール。
【請求項１０】
前記光学部品は複数個であり、
前記複数個の光学部品は、直列または並列に配置されていることを特徴とする請求項９記載の光モジュール。
【請求項１１】
前記基板上の、前記光学部品の第２の面側に形成された光素子をさらに備えることを特徴とする請求項９または１０記載の光モジュール。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学部品および光モジュールに関し、より詳細には、光素子や第１の光波伝達部などと第２の光波伝達部との接続を良好に行う光学部品および光モジュールに関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、高度情報化に伴い大容量の情報を伝達したいという要望から、高速で大容量の情報が伝達可能な光通信システムが注目されている。このような光通信システムにおいて、高速で大容量な通信網を構築する伝送媒体として光ファイバが用いられており、この光ファイバを大容量化するための技術として、ＷＤＭ（Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ  Ｄｉｖｉｓｉｏｎ  Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ）技術が注目されている。
【０００３】
このＷＤＭでは、例えば、平面型光導波路（ＰＬＣ；Ｐｌａｎｅｒ  Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ  Ｃｉｒｃｕｉｔ）などの光導波路と、受光素子等の光素子を備えた光キャリアとを高精度に結合して、光モジュール上に実装する場合がある。
【０００４】
このような光サブモジュールと光導波路との光モジュールへの実装について、特許文献１に記載されている。特許文献１では、光導波路基板の一方端には、光ファイバおよび半導体レーザダイオードが接続されており、他方端には、サブキャリアに取り付けられた誘電体多層膜フィルタが樹脂により貼り付けられている。
【０００５】
また、特許文献２には、図１および図２に示す光モジュールが記載されている。  
図１および図２において、光モジュール１は、シリコン基板２、シリコン基板２上に形成された光導波路３を備えている。また、光モジュール１には、受光素子支持用キャリア４が実装されている。光導波路３は、シリコン基板２上に形成したコア５と、このコア５の周囲に設けたクラッド６とを含んでいる。コア５は、導波路パタンが上方から見てＹ形になるように形成している。
【０００６】
特許文献２では、キャリア４は、セラミックによって角柱形に形成して外面にメタライズ処理が施してある。このキャリア４は、一側面に受光素子（汎用の面型ＰＤ）７を半田付けするとともに、底面をシリコン基板２の凹部８に半田付けしている。受光素子７は、受光面がシリコン基板２の主面（基板面内方向）と直交する状態でキャリア４に固着させている。また、この受光素子７の固着位置は、キャリア４をシリコン基板２に実装した状態で受光面がコア５の端面に対向するように設定している。
【０００７】
キャリア４は、上記凹部８の底部に、受光素子７を実装した側面と、この側面に連なる二つの側面とを嵌合させている。また、この凹部８の形成位置および深さは、上述したようにキャリア４を嵌合させた状態で受光素子７が上記分岐路５の先端と対向するように設定している。特許文献２では、上記深さを有する凹部８にキャリア４を嵌め込むことによって、受光素子７とコア５との結合を行っている。
【０００８】
【特許文献１】特許第２８６７８５９号公報
【特許文献２】特開平１０−２０１５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
さて、特許文献２に記載されている凹部８をシリコン基板２上に形成することは、従来では高精度に行うことができる。しかしながら、特許文献２では、サブキャリアであるキャリア４の外形およびキャリア４に形成されるパタンの精度が出ないため、キャリア４の所望の位置に受光素子７を高精度に配置するためには、複雑な工程を要し、困難であった。
【００１０】
すなわち、従来では、サブキャリアの外形、またはサブキャリアに予め形成されたアライメントマークによって、サブキャリアと受光素子等の光素子との位置合わせを行っている。サブキャリアは通常、所定の無機材料等を焼結することによって得られるセラミックであるが、この焼結の際に熱膨張や熱収縮等によって、熱処理による製造誤差が生じてしまい、この製造誤差により外形が変化してしまう場合がある。このような製造誤差は、小さなオーダでの制御では影響が出てくる。よって、サブキャリアの外形によって、光素子をサブキャリアに形成すると、上記製造誤差によって、光素子に位置にばらつきが生じてしまう。よって、サブキャリアの外形により精度を出すことは難しい。
【００１１】
また、サブキャリアにアライメントマークを予め形成し、該アライメントマークを基に光素子の形成を行うことも考えられる。しかしながら、この場合も、上記サブキャリアを形成する際に生じる、熱処理による製造誤差により、アライメントマークは所定の位置からずれてしまう。よって、アライメントマークを基に、サブキャリアに光素子を実装する場合も、光素子の位置にばらつきが生じてしまうので、アライメントマークなどのパタンによっても精度を出すのは難しい。
【００１２】
このように、従来では、サブキャリアと光素子との位置合わせを高精度に行うことが難しいので、サブキャリアに備えられた光素子と、例えば、光波伝達部（導波路、光ファイバなど）との光軸の位置合わせを高精度に行うことが困難であった。
【００１３】
また、例え、サブキャリアが有する光素子の光軸と光波伝達部の光軸とが一致するように、サブキャリアを精度良く配置したとしても、サブキャリアの接着の際にずれが生じることがある。よって、結果的にサブキャリアが有する光素子と光波伝達部との光軸がずれてしまい、高精度な結合を行うことは難しい。
【００１４】
さらに、例えば光素子として受光素子をサブキャリアに形成する場合、受光素子を光波伝達部からの光線に対して垂直に実装する必要があり、平面実装用の装置、素子を用いた実装が難しかった。
【００１５】
上記高精度な結合についての課題は、サブキャリアと光波伝達部との結合に限られるものではなく、光波伝達部同士の結合についても当てはまる。例えば、高さの異なる導波路同士や、光軸の位置が異なる導波路同士を結合する際、損失を低減することが求められていた。
【００１６】
本発明は、このような課題に鑑みてなされたもので、その目的とするところは、複雑な工程を要さず、光波伝達部と光素子との結合や、光波伝達部と光波伝達部との結合を良好に行うことが可能な光学部品および光モジュールを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１７】
本発明は、このような目的を達成するために、請求項１記載の発明は、所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、前記光学部品の各面について、前記第３の面以外の面の少なくとも一部に形成されたパラボラ形状のパラボラ部であって、前記光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を前記第３の面の所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする。
【００１８】
請求項２記載の発明は、所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、前記第１の面の、前記光波伝達部から出射された光が入射される領域を少なくとも含む第１の領域および、前記第３の面の所定の領域を少なくとも含む第２の領域の双方を少なくとも含むようにして、前記光学部品に形成された開口部と、前記光学部品の内部に形成された、前記開口部の壁面について、前記第１の面と対向する壁面および該壁面と隣接する壁面の少なくとも一部に形成されたパラボラ形状のパラボラ部であって、光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を、前記第３の面の前記所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする。
【００１９】
請求項３記載の発明は、所望の波長帯の光波に対して透過性を示す材料からなり、ほぼ直方体の光学部品であって、光波伝達部と結合する、前記光学部品の第１の面と、前記第１の面および該第１の面と対向する、前記光学部品の第２の面以外の面であって、所望の部材が形成される、前記光学部品の第３の面と、前記第１の面の、前記光波伝達部から出射された光が入射される領域を少なくとも含む第１の領域、および前記第３の領域の所定の領域を少なくとも含む第２の領域を繋ぐ空洞と、前記光学部品の内部に形成されたパラボラ状のパラボラ部であって、前記空洞において、前記光波伝達部から出射された光であって、前記第１の面から入射した入射光を、前記第３の面の前記所定の領域に集光させるパラボラ部とを備え、前記入射光は、前記パラボラ部に入射させることを特徴とする。
【００２０】
請求項４記載の発明は、請求項１乃至３のいずれかに記載の発明において、 前記パラボラ部に形成された、前記入射光を少なくとも反射する材料を含む反射膜をさらに備えることを特徴とする。
【００２１】
請求項５記載の発明は、請求項４記載の発明において、前記材料は、前記入射光を反射することに加えて、所定の波長の光を透過させる材料であることを特徴とする。
【００２２】
請求項６記載の発明は、請求項４または５記載の発明において、前記材料は、誘電体多層膜であることを特徴とする。
【００２３】
請求項７記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記第３の面に形成される所望の部材は、光素子であることを特徴とする。
【００２４】
請求項８記載の発明は、請求項１乃至６のいずれかに記載の発明において、前記第３の面に形成される所望の部材は、他の前記光学部品であり、前記第３の面は、前記他の光学部品の前記第３の面と接することを特徴とする。
【００２５】
請求項９記載の発明は、光波伝達部が形成された基板と、前記基板に実装された、請求項１乃至８のいずれかに記載の光学部品とを備え、前記光波伝達部から出射された光は、前記光学部品の第１の面から入射し、該入射光は、前記パラボラ部に入射することを特徴とする。
【００２６】
請求項１０記載の発明は、請求項９記載の発明において、前記光学部品は複数個であり、前記複数個の光学部品は、直列または並列に配置されていることを特徴とする。
【００２７】
請求項１１記載の発明は、請求項９または１０記載の発明において、前記基板上の、前記光学部品の第２の面側に形成された光素子をさらに備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００２８】
以上説明したように、本発明によれば、光学部品の各面について、光波伝達部から出射された光を入射する第１の面と対向する第２の面および該面と隣接する面のうち、第３の面を除く面の少なくとも一部が、上記入射光が第３の面の所定の領域に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部を形成しているので、複雑な工程を要さず、光波伝達部と光素子との結合や、光波伝達部と光波伝達部との結合を良好に行うことが可能となる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２９】
以下、図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、以下で説明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。  
（第１の実施形態）  
図３（ａ）は、本実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり、図３（ｂ）は、図３（ａ）のサブキャリアを矢印方向Ｐから見た側面図である。  
図３（ａ）および（ｂ）において、樹脂等の材料よりなる、ほぼ直方体のサブキャリア３１は、その上面にメタル３２およびマーカ３３が形成されている。サブキャリア３１の上面には、受光部３５をサブキャリア３１の上面側に配置した受光素子３４が形成されており、受光素子３４は、メタル３２に接続されている。このように、メタル３２と受光素子３４とを接続することによって、メタル３２を介して、受光素子３４は、外部機器と信号のやり取りを行う。なお、サブキャリア３１の材料としては、上記樹脂に限らずガラスによって作製しても良い。サブキャリア３１の材料としては、所望の波長の光（サブキャリア３１が結合するべき光波伝達部から出力される光の波長）を透過させる材料によって作製することが好ましい。
【００３０】
このような、サブキャリア３１上への受光素子３４の実装は、サブキャリア３１に形成されたマーカ３３および、受光素子３４の実装面に形成されたマーカ（不図示）を利用し、画像認識により位置を合わせ、ボンダなどにより実装が行われる。
【００３１】
なお、本明細書において、「光波伝達部」とは、導波路や光ファイバなど、光を伝達する手段を指す。
【００３２】
サブキャリア３１の各面について、光波伝達部から出射された光を入射する面３８と対向する面および該面と隣接する面のうち、受光素子３４が形成された面を除く面の少なくとも一部が、上記入射光が受光素子３４に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部３６を形成している。パラボラ部３６の表面には、蒸着、スパッタ等により反射膜３７が形成されている。なお、サブキャリア３１を光波伝達部が形成されている基板に実装した際に、光波伝達部からの出射光がパラボラ部３６に入射できるように、パラボラ部３６の高さと光波伝達部の高さとを設定する。
【００３３】
このような構成により、サブキャリア３１が結合すべき光波伝達部（不図示）から出射される光が、面３８から入射する場合、該入射光は、パラボラ部３６に形成された反射膜３７にて反射すると、受光素子３４の受光部３５に集光する。このように、光が入射される面３８と対向する側にパラボラ部３６を設けると、パラボラ部３６に入射する光はいずれの光も、集光して受光部３５に入射する。よって、パラボラ部３６が、結合させるべき光波伝達部と、受光素子３４との光軸のずれを補正する役割を果たす。
【００３４】
このとき、パラボラ部３６から集光した光の焦点は、受光部３５の受光面に含まれるように、サブキャリア３１の形状や受光部３５の位置を設定するのが好ましいが、上記焦点が受光部３５の受光面に含まれていなくても、集光した光の適切な量の光が受光部３５に入射できれば、上記焦点は、受光部３５に含まれていなくてもよい。  
なお、上記サブキャリア３１は、金型により作製すれば良い。
【００３５】
本実施形態では、反射膜３７は、誘電体多層膜や金属などによって構成すればよい。また、反射膜３７として、光の反射機能に加えて、光の透過機能を有する材料によって構成しても良い。上述のように、反射膜３７として、誘電体多層膜を用いれば、サブキャリアをＷＤＭフィルタとして機能させることができる。
【００３６】
以下で、本実施形態による、顕著な効果について説明する。  
一つ目の効果としては、上述のようにサブキャリア３１自体が、光波伝達部と結合する際の光軸のずれを補正する機能を有しているため、高さ方向、横方向の高い実装精度を必要としない。すなわち、高さ方向、横方向について高い精度で位置決めを行わなくても、上記結合を良好に行うことができる。
【００３７】
なお、本明細書において、「縦方向」とは、サブキャリア３１に結合する光波伝達部の光軸方向であり、「横方向」とは、光波伝達部が形成されている基板の基板面内において、上記光軸方向と垂直方向である。また、「高さ方向」とは、上記基板面内に対して、垂直方向である。
【００３８】
図４（ａ）および（ｂ）は、本実施形態に係る、横方向における、光軸のずれを補正する様子を示す図であり、図４（ａ）は、横方向における、光軸のずれを補正する様子を示す斜視図であり、図４（ｂ）は、図４（ａ）の、サブキャリア３１の入射面と対向する面側からみた、サブキャリア３１の側面図である。
【００３９】
図４（ａ）および（ｂ）に示されるように、光波伝達部４０から出射した光４１ａは、サブキャリア３１の面３８から入射する。サブキャリア３１に入射した光４１ａは、パラボラ部３６に入射すると、反射膜３７にて反射されて反射光４１ｂとなる。この反射光４１ｂは、パラボラ部３６により集光し、受光素子３４の受光部３５へと入射する。
【００４０】
一方、光波伝達部４０をそのままの高さで横方向に移動させる。図４（ａ）および（ｂ）では、この移動した光波伝達部を、符号４２にて表記する。この光波伝達部４２から出射した光４３ａについても、サブキャリア３１の面３８から入射し、該光４３ａは、パラボラ部３６に入射して、反射膜３７にて反射されて反射光４３ｂとなる。この反射光４３ｂは、パラボラ部３６により集光し、受光素子３４の受光部３５へと入射する。
【００４１】
このように、光波伝達部を、サブキャリア３１の面３８側に配置し、かつ光波伝達部からの出射光が面３８を介してパラボラ部３６に入射するように配置さえすれば、横方向における、その配置場所はいずれであっても、光波伝達部から出射した光は、受光部３５に良好に入射する。よって、複雑な位置合わせ制御を行わなくても、光波伝達部と受光素子３４との結合は良好なものとなる。
【００４２】
図５は、本実施形態に係る、高さ方向における、光軸のずれを補正する様子を示す図であり、サブキャリア３１の側面図である。  
図５に示されるように、所定の高さの、光波伝達部５１から出射した光５２ａは、サブキャリア３１の面３８から入射する。サブキャリア３１に入射した光５２ａは、パラボラ部３６に入射すると、反射膜３７にて反射されて反射光５２ｂとなる。この反射光５２ｂは、パラボラ部３６により集光し、受光素子３４の受光部３５へと入射する。
【００４３】
一方、光波伝達部５１をそのままの横方向の位置で高さを方向に移動させる。図５では、この移動した光波伝達部を、符号５３にて表記する。この光波伝達部５３から出射した光５４ａについても、サブキャリア３１の面３８から入射し、該光５４ａは、パラボラ部３６に入射して、反射膜３７にて反射されて反射光５４ｂとなる。この反射光５４ｂは、パラボラ部３６により集光し、受光素子３４の受光部３５へと入射する。
【００４４】
このように、光波伝達部を、サブキャリア３１の面３８側に配置し、かつ光波伝達部からの出射光が面３８を介してパラボラ部３６に入射するように配置さえすれば、高さ方向における、その配置場所はいずれであっても、光波伝達部から出射した光は、受光部３５に良好に入射する。よって、複雑な位置合わせ制御を行わなくても、光波伝達部と受光素子３４との結合は良好なものとなる。ただし、高さ方向については、パラボラ部３６の高さが高さｈ1であるので、光波伝達部は、サブキャリア３１の底面の高さよりも高く、かつ上記底面に高さｈ1を加えた高さよりも低い位置に配置する。
【００４５】
以上から分かるように、本実施形態では、光波伝達部からの出射光がサブキャリアの入射面を介してパラボラ部に入射するように、サブキャリアを配置することにより、高さ方向および横方向の高精度な位置決めを行わなくても、光波伝達部と、受光素子などの光素子との結合を良好に行うことができる。すなわち、光素子と光波伝達部との光軸合わせを精密にかつ再現性良く設定することができる。
【００４６】
さらに、上述の良好な結合の際に、サブキャリアの実装精度に高いレベルを要求しないため、上記実装を極めて簡便に行うことが可能となる。
【００４７】
２つ目の効果は、サブキャリアの、光波伝達部から出射された光が入射する入射面、該入射面に対向する面、およびサブキャリアを基板に実装する際の、基板と接する面以外の面（図３（ａ）および（ｂ）では、サブキャリア３１の上面）に、受光素子などの光素子が設けられているので、サブキャリアの上記実装の際、導波路部に突き合わせて実装する（密着して実装する）容易な実装方法が採用でき、縦方向の実装精度を必要としない。
【００４８】
図６は、本実施形態に係る、サブキャリアを、光波伝達部が形成された基板に実装した光モジュールの断面図である。  
図６において、シリコンベンチなどの基板６１には、光波伝達部としての光導波路６２を形成するための、段差６３が形成されている。段差６３上には、クラッド６４とクラッド６４に埋め込まれた導波路コア６５を有する光導波路６２が形成されており、段差６３のサブキャリア３１側の端面６９と、光導波路６２のサブキャリア３１側の端面７０とはほぼ一致している。これら段差６３の端面６９と、光導波路６２の端面７０とは、サブキャリア３１の面３８と接着剤などの樹脂６６によって接着されている。また、サブキャリア３１の受光素子３４が形成されている面と対向する面は、基板６１の面６８と接着剤等の樹脂６７によって接着されている。本実施形態では、サブキャリア３１の固定を、樹脂６７を用いずに、樹脂６６のみによって行っても良い。
【００４９】
なお、図６において、導波路コア６５の、面６８からの高さは、パラボラ部３６の、面６８からの高さよりも小さく設定されている。このように、それぞれの導波路コア６５の高さを設定することによって、導波路コア６５から出射された光は、適切にパラボラ部３６に入射する。
【００５０】
本実施形態では、高さ方向および横方向の高精度な位置決めは必要ないので、導波路コア６５からの出射光がパラボラ部３６に入射するようにしてから、サブキャリア３１の面３８を、端面６９および端面７０に突き当てるようにして、サブキャリア３１の実装を行う。このとき、端面６９と端面７０とはほぼ一致しているので、サブキャリア３１の面３８との接着面積を広くすることができ、接着効果を高めることができる。また、この接着の際に、サブキャリア３１の位置が多少ずれても、導波路コア６５からの出射光がパラボラ部３６に入射さえすれば、パラボラ部３６および反射膜３７により光軸のずれの補正が行われるので、導波路コア６５と受光素子３４との結合は良好に行われる。
【００５１】
なお、本実施形態では、光素子として受光素子を用いているが、これに限定されない。例えば発光素子など、光波伝達部と結合を行うものであれば、いずれの光素子であっても良い。
【００５２】
図３（ａ）および（ｂ）では、面３８と対向する面側にパラボラ部３６を形成しているが、図７（ａ）および（ｂ）に示すように、面３８側にもパラボラ部３６および反射膜３７を形成するようにしても良い。
【００５３】
図７（ａ）および（ｂ）において、面３８側にも、パラボラ部３６と同様に、面７３と対向する面および該面と隣接する面のうち、受光素子３４が形成された面を除く面の少なくとも一部が、上記入射光が受光素子７４に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部７１を形成している。パラボラ部７１の表面には、反射膜７２が形成されている。
【００５４】
このような構成では、面３８から入射した光は、パラボラ部３６に入射すると反射膜３７にて反射して集光され、受光素子３４の受光部３５へと入射する。一方、面７３から入射した光は、パラボラ部７１に入射すると反射膜７２にて反射して集光され、受光素子７４の受光部７５に入射する。
【００５５】
この場合も、光波伝達部からの出射光がサブキャリアの入射面を介してパラボラ部に入射するように、サブキャリアを配置することにより、高さ方向および横方向の高精度な位置決めを行わなくても、光波伝達部と、受光素子などの光素子との結合を良好に行うことができる。
【００５６】
なお、本実施形態では、パラボラ部３６およびパラボラ部７１は、それらを形成する面の一部に形成しているが、その目的は、パラボラ部に入射した光を、対応する受光素子に集光させることであるので、上記面の全部にパラボラ部を形成しても良い。なお、このとき、上記面において、サブキャリアを実装する基板と接する面については、実装時のサブキャリアの安定性を考慮すると、ある程度平坦な領域を設けるのが好ましい。
【００５７】
本実施形態では、サブキャリアに対して、光素子が形成されていない面の少なくとも一部に、少なくとも１つ以上のパラボラ部を設け、光素子が形成されている面および光素子が形成されている面と対向する面以外の面から光を入射すればよい。
【００５８】
なお、本実施形態において、パラボラ部には反射膜が形成されているが、形成しなくても良い。ただし、反射膜をパラボラ部に形成すると、パラボラ部に入射した光の反射率をさらに高めることができるので、好ましい。
【００５９】
（第２の実施形態）  
図８（ａ）は、本実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したサブキャリアの上面図であり、図８（ｃ）は、図８（ａ）に示したサブキャリアの矢印方向Ｒから見た側面図である。  
図８（ａ）〜（ｃ）において、樹脂等の材料よりなるサブキャリア８１は、その上面にマーカ８２が形成されている。サブキャリア８１の上面には、受光部８４をサブキャリア８１の上面側に配置した受光素子８３が形成されている。なお、サブキャリア８１の材料としては、上記樹脂に限らずガラスによって作製しても良い。サブキャリア８１の材料としては、所望の波長の光（サブキャリア８１が結合するべき光波伝達部から出力される光の波長）を透過させる材料によって作製することが好ましい。
【００６０】
また、サブキャリア８１において、入射面である面８５の、光波伝達部から出射された光が入射される領域および、受光素子８３が形成された面の受光部８４と対向する領域を少なくとも含む領域に、開口の開口部８６が形成されている。この開口部８６の壁面について、光波伝達部から出射された光を入射する面８５と対向する壁面および該壁面と隣接する壁面の少なくとも一部が、面８５からの入射光が受光素子８３に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部８７を形成している。パラボラ部８７の表面には、反射膜８８が形成されている。なお、サブキャリア８１を光波伝達部が形成されている基板に実装した際に、光波伝達部からの出射光がパラボラ部８７に入射できるように、パラボラ部８７の高さと光波伝達部の高さとを設定する。
【００６１】
このような構成により、サブキャリア８１が結合すべき光波伝達部（不図示）から出射される光が、面８５から入射する場合、該入射光は、パラボラ部８７に形成された反射膜８８にて反射すると、受光素子８３の受光部８４に集光する。このように、光が入射される面８５と対向する側にパラボラ部８７を設けると、パラボラ部８７に入射する光はいずれの光も、集光して受光部８４に入射する。よって、第１の実施形態と同様に、パラボラ部８７が、結合させるべき光波伝達部と、受光素子８３との光軸のずれを補正する役割を果たす。
【００６２】
このとき、パラボラ部８７から集光した光の焦点は、受光部８４の受光面に含まれるように、サブキャリア８１の形状や受光部８４の位置を設定するのが好ましいが、上記焦点が受光部８４の受光面に含まれていなくても、集光した光の適切な量の光が受光部８４に入射できれば、上記焦点は、受光部８４に含まれていなくてもよい。  
なお、上記サブキャリア８１は、金型によって作製すれば良い。
【００６３】
また、本実施形態では、図９（ａ）〜（ｃ）に示すように、面８５と、受光素子８３が形成された面とを繋ぐ空洞８９を形成しても良い。このとき、空洞８９において、面８５とは対向する側には、面８５からの入射光が受光素子８３に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部９０を形成している。パラボラ部９０の表面には、反射膜９１が形成されている。
【００６４】
図９（ａ）〜（ｃ）に示すような構成においても、サブキャリア８１が結合すべき光波伝達部（不図示）から出射される光が、面８５から入射する場合、該入射光は、パラボラ部９０に形成された反射膜９１にて反射すると、受光素子８３の受光部８４に集光する。
【００６５】
なお、図９（ａ）〜（ｃ）において、空洞８９中に、屈折率整合剤を充填しても良い。
【００６６】
上述から分かるように、本実施形態においても、第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。
【００６７】
（第３の実施形態）  
本実施形態では、第１および第２の実施形態にて説明した、サブキャリアを実装した光モジュールについて説明する。  
図１０は、本実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。  
図１０において、シリコンベンチなどの基板１０１には、光波伝達部としての光導波路１０３を形成するための、段差１０２が形成されている。段差１０２上には、クラッド１０４とクラッド１０４に埋め込まれた導波路コア１０５を有する光導波路１０３が形成されており、段差１０２のサブキャリア３１側の端面１０６と、光導波路１０３のサブキャリア３１側の端面１０７とはほぼ一致している。これら段差１０２の端面１０６と、光導波路１０３の端面１０７とは、サブキャリア３１の面３８と接着剤などの樹脂によって接着されている。また、サブキャリア３１の受光素子３４が形成されている面と対向する面は、基板１０１の面１０８と接着剤等の樹脂によって接着されている。
【００６８】
図１０において、導波路コア１０５の、面１０８からの高さは、パラボラ部３６の、面１０８からの高さよりも小さく設定されている。このように、それぞれの導波路コア１０５の高さを設定することによって、導波路コア１０５から出射された光は、適切にパラボラ部３６に入射する。そして、この入射光は、パラボラ部３６に形成された反射膜３７によって、受光部３５に集光するので、高さ方向および横方向の高精度な位置決めを行わなくても、光導波路１０３と、受光素子３４との結合を良好に行うことができる。
【００６９】
また、光波伝達部として、図１１に示すような光ファイバを用いても良い。図１１において、基板１０１の段差１０２には、光ファイバを配置するためのＶ溝１１１が形成されており、Ｖ溝１１１には、光ファイバ１１２が配置されており、段差１０２のサブキャリア３１側の端面１０６と、光ファイバ１１２のサブキャリア３１側の端面１１３とはほぼ一致している。これら段差１０２の端面１０７と、光ファイバ１１２の端面１１３とは、サブキャリア３１の面３８と接着剤などの樹脂によって接着されている。
【００７０】
図１１において、光ファイバ１１２の、面１０８からの高さは、パラボラ部３６の、面１０８からの高さよりも小さく設定されている。
【００７１】
また、本実施形態では、第１および第２の実施形態で説明したように、パラボラ部３６に形成される反射膜３７に、所定の波長の光を反射させる機能に加えて、所定の波長の光を透過させる機能を有する材料を用いても良い。
【００７２】
図１２は、本実施形態に係る、反射特性および透過特性を有する材料よりなる反射膜が形成されたサブキャリアを有する光モジュールの斜視図である。  
図１２において、サブキャリア３１のパラボラ部３６に形成される反射膜１２３は、所定の波長である第１の波長の光を反射し、所定の波長である第２の波長の光を透過する材料を含んでいる。よって、パラボラ部３６に入射した光が第１の波長の光であれば、反射して受光素子３４に集光する。一方、パラボラ部３６に入射した光が第２の波長の光であれば、そのままパラボラ部３６を透過する。
【００７３】
また、図１２において、基板１０１には、発光素子１２２を形成するための段差１２１が形成されている。この段差１２１上には、発光素子１２２が形成されている。このとき、図１３から分かるように、発光素子１２２から出射された第２の波長の光１３１は、パラボラ部１３６にて屈折光１３２となるが、この屈折光１３２が適切に光導波路１０３に入射するように、発光素子１２２は配置されている。このような配置の調整は、段差１２１の面１０８からの高さを調節して行えば良い。すなわち、屈折光１３２が光導波路１０３に適切に入射するように、段差１２１の高さを調節すればよい。
【００７４】
図１３から分かるように、光導波路１０３から出射された第１の波長の光１３３は、パラボラ部３６に入射すると、反射膜１２３にて反射されて反射光１３４となり、受光素子２４に集光する。一方、発光素子１２２から出射された第２の波長の光は、パラボラ部３６に入射すると、反射膜１２３を透過し、光導波路１０３に適切に入射する。
【００７５】
このように、本実施形態によれば、１つの光学部品で、複数の光素子と光波伝達部との結合を良好に行うことができる。
【００７６】
（第４の実施形態）  
第３の実施形態では、本発明に係るサブキャリアを１つ用いた光モジュールについて説明したが、サブキャリアの個数はこれに限定されない。本実施形態では、複数のサブキャリアを用いた光モジュールについて説明する。  
図１４は、本実施形態に係る、２つのサブキャリアを直列に配置した光モジュールの斜視図である。  
図１４では、図１０にて説明した光モジュールにおいて、第１のサブキャリア３１の、面３８と対向する側に、第２のサブキャリア１４１を配置している。サブキャリア１４１は、サブキャリア３１と同様の構成である。
【００７７】
なお、サブキャリア３１とサブキャリア１４１との配置は、サブキャリア３１のパラボラ部３６側から出射した光が、サブキャリア１４１の面３８に入射し、かつ、上記光が、サブキャリア１４１のパラボラ部３６に入射するような配置であればいずれの配置であっても良い。
【００７８】
また、サブキャリア３１のパラボラ部３６に形成される反射膜と、サブキャリア１４１のパラボラ部３６に形成される反射膜とは、光モジュールの設計に応じて選択すればよい。例えば、サブキャリア３１に形成される受光素子３４では、第１の波長の光を受光し、サブキャリア１４１に形成される受光素子３４では、第２の波長の光を受光する場合は、サブキャリア３１に形成される反射膜について、第１の波長の光は反射し、第２の波長の光は透過するように材料を選択する。一方、サブキャリア１４１に形成される反射膜については、第２の波長の光を反射する材料を選択すればよい。
【００７９】
また、サブキャリア３１に形成される光素子（図１４では、受光素子）と、サブキャリア１４１に形成される光素子（図１４では、受光素子）とについて、光モジュールの設計に応じて設定すればよい。例えば、サブキャリア３１の光素子とサブキャリア１４１の光素子との組み合わせとして、図１４に示す受光素子と受光素子、受光素子と発光素子、発光素子と受光素子、発光素子と発光素子など、様々な組み合わせを適用できる。
【００８０】
図１４では、２つのサブキャリアを直列に配置しているが、サブキャリアの個数はこれに限定されず、設計に応じて２つ以上のサブキャリアを直列に配置することができる。
【００８１】
また、本実施形態では、複数のサブキャリアを直列に配置するだけでなく、複数のサブキャリアを並列に配置することもできる。図１５は、本実施形態に係る、サブキャリア２つ並列に配置した光モジュールの斜視図である。  
図１５では、図１０にて説明した光モジュールにおいて、第１のサブキャリア３１と並列してサブキャリア１５１が配置されている。サブキャリア１５１は、サブキャリア３１と同様の構成である。
【００８２】
また、図１５では、光導波路１０３は、導波路コア１０５に加えて、クラッド１０４に埋め込まれた導波路コア１５２を有している。よって、導波路コア１０５は、サブキャリア３１に結合し、導波路コア１５２は、サブキャリア１５１に結合している。  
このようなサブキャリアを並列に配置する場合においても、それぞれのサブキャリアに形成される光素子を、設計に応じてそれぞれ選択すればよい。
【００８３】
図１６は、本実施形態に係る、３つのサブキャリアを用いた光送受信機の斜視図である。  
図１６において、シリコン等の基板１６１には、光ファイバを配置するためのＶ溝１６２が形成されており、Ｖ溝１６２には、光ファイバ１６３が配置されている。この光ファイバ１６３は、光ファイバを固定するための部材１６４によってＶ溝１６２に固定されている。また、基板１６１には、サブキャリアを配置するための、凹部１６５が形成されている。凹部１６５には、それぞれが本実施形態に係るパラボラ部を有する、サブキャリア１６６ａ〜１６６ｃが実装されている。
【００８４】
サブキャリア１６６ａのパラボラ部１６９ａには、１．５５μｍ帯の波長の光を反射し、それ以外の波長の光は透過する反射膜１７０ａが形成されている。また、サブキャリア１６６ｂのパラボラ部１６９ｂには、１．３１μｍ帯の波長の光を反射し、それ以外の波長の光は透過する反射膜１７０ｂが形成されている。さらに、サブキャリア１６６ｃのパラボラ部１６９ｃには、１．４９μｍ帯の波長の光を反射し、それ以外の波長の光は透過する反射膜１７０ｃが形成されている。
【００８５】
また、図１６において、サブキャリア１６６ａの上面には、１．５５μｍ用の受光部１６８ａをサブキャリア１６６ａの上面側に配置した、１．５５μｍ受信用受光素子１６７ａが形成されている。また、サブキャリア１６６ｂの上面には、１．３１μｍ用の発光部１６８ｂをサブキャリア１６６ｂの上面側に配置した、１．３１μｍ送信用発光素子１６７ｂが形成されている。さらに、サブキャリア１６６ｃの上面には、１．４９μｍ用の受光部１６８ｃをサブキャリア１６６ｃの上面側に配置した、１．４９μｍ受信用受光素子１６７ｃが形成されている。
【００８６】
このような構成において、光ファイバ１６３から、１．４９μｍ帯および１．５５μｍ帯の光を多重化した光がサブキャリア１６６ａに入射する。このとき、サブキャリア１６６ａでは、パラボラ部１６９ａに入射した多重化した光のうち、１．５５μｍ帯の光が反射膜１７０ａによって反射され、受光素子１６７ａに集光される。反射膜１７０ａによって反射されなかった光は、サブキャリア１６６ｂに入射する。この光のほとんどは１．４９μｍ帯の光であるので、反射膜１７０ｂでは反射はほとんど起こらず、上記光は、そのまま透過してサブキャリア１７０ｃに入射する。このとき、サブキャリア１６６ｃでは、パラボラ部１６９ｃに入射した光のうち、１．４９μｍ帯の光が反射膜１７０ｃによって反射され、受光素子１６７ｃに集光される。
【００８７】
一方、発光素子１６７ｂから出射された、１．３１μｍ帯の光は、パラボラ部１６９ｂに入射し、反射膜１７０ｂによって反射して、光ファイバ１６３の端面に集光する。
【００８８】
図１６において、サブキャリア１６６ａから出射した光が、サブキャリア１６６ｂのパラボラ部１６９ｂに入射し、かつサブキャリア１６６ｂから出射した光が、サブキャリア１６６ｃのパラボラ部１６９ｃに入射するようにさえ配置すれば、他の高度な実装制御を行わなくても、各サブキャリアに形成された光素子と、光波伝達部（図１６では光ファイバ）との結合を良好に行うことができる。
【００８９】
（第５の実施形態）  
上述した本発明に係るパラボラ部を用いて、所望の部材と所望の部材との、複雑な工程を要さない、良好な結合は、光波伝達部と光波伝達部との接続にも適用できる。  
図１７は、本実施形態に係る、高さの異なる光導波路を、パラボラ部を有する光学部品によって結合する様子を示す図である。
【００９０】
図１７において、シリコン等の基板１７１には、光波伝達部としての光導波路１７４を形成するための、段差１７２が形成されている。段差１７２上には、クラッド１７５とクラッド１７５に埋め込まれた導波路コア１７６を有する光導波路１７４が形成されている。また、基板１７１にはさらに、光波伝達部としての光導波路１７７を形成するための、段差１７３が形成されている。段差１７３上には、クラッド１７８とクラッド１７８に埋め込まれた導波路コア１７９を有する光導波路１７７が形成されている。段差１７３の高さは、段差１７２の高さよりも高い。すなわち、光導波路１７７は、光導波路１７４よりも高い位置に形成されている。基板１７１上の、段差１７２と段差１７３との間には、樹脂等の材料よりなる、ほぼ直方体の光学部品１８０が実装されている。
【００９１】
光学部品１８０は、光学部品の面１８３が導波路コア１７６の端面と対向するように配置されている。光学部品１８０の各面について、光導波路１７４から出射された光を入射する面１８３と対向する面および該面と隣接する面のうち、光学部品１８５が形成された面１８４を除く面の少なくとも一部が、上記入射光が光学部品１８５を形成した面に集光するようなパラボラ状となり、パラボラ部１８１を形成している。パラボラ部１８１の表面には、反射膜１８２が形成されている。なお、光学部品１８０を基板１７１に実装した際に、導波路コア１７６からの出射光がパラボラ部１８１に入射できるように、パラボラ部１８１の高さと導波路コア１７６の高さとを設定する。
【００９２】
光学部品１８０の面１８４には、光学部品１８５が形成されている。光学部品１８５には、パラボラ部１８１および反射膜１８２が形成されている。光学部品１８５の面１８６と、導波路コア１７９の端面とは対向している。
【００９３】
光学部品１８０および１８５の材料としては、上記樹脂に限らずガラスによって作製しても良い。光学部品１８０および１８５の材料としては、所望の波長の光（光学部品が結合するべき光波伝達部から出力される光の波長）を透過させる材料によって作製することが好ましい。
【００９４】
このような構成において、導波路コア１７６から出射した光は、光学部品１８０のパラボラ部１８１に入射され、反射膜１８２によって反射されて、面１８４に集光する。面１８４に集光した光は、光学部品１８５に入射する。光学部品１８５に入射した光は、光学部品１８５のパラボラ部１８１に入射し、光学部品１８５の反射膜１８２によって反射されて、導波路コア１７９の端面に入射する。
【００９５】
上述のように、本実施形態においても、第１〜第４の実施形態と同様の効果を得ることができる。すなわち、複雑な工程を行わなくても、光波伝達部と光波伝達部との結合を良好に行うことができる。
【００９６】
なお、図１７では、光学部品１８５の面１８６（導波路コア１７９と結合する面）を、光学部品の面１８３と反対方向に向けているがこれに限定されない。本実施形態では、光学部品において、パラボラ部が形成されていない面であって、光の出入力を行う面ではない面同士を接するようにして、各光学部品を接続することが重要であるので、光の出入力を行う面は、いずれの方向であっても良い。例えば、図１８に示すように、光学部品１８０における光の入出力面である面１８３と、光学部品１８５における光の入出力面である面１８６とを同一の方向に向けても良い。
【００９７】
（第６の実施形態）  
本実施形態では、サブキャリア上に設けられた、受光素子や発光素子等の光素子をキャップ等の封止構造によって封止している。図１９（ａ）および（ｂ）は、図３にて説明した本発明の一実施形態に係るサブキャリアの受光素子３４にキャップ１９０を被せた構造を示す図である。
【００９８】
図１９（ａ）および（ｂ）において、サブキャリア３１の、受光素子３４が形成されている面には、受光素子３４を覆うように、ガラスよりなる、水分から受光素子３４を守る手段としてのキャップ１９０が形成されている。このように、受光素子３４はキャップ１９０によって封止されるので、水分等から受光素子を守り、光素子としての信頼性を確保することができる。
【００９９】
なお、本実施形態において、キャップ１９０を構成する材料をガラスとしているが、これに限定されず、例えば、Ｓｉなど、水分を通さない、ないしは通過する水分の量を抑えることができる材料であればいずれの材料であっても良い。
【０１００】
すなわち、本実施形態においてキャップを用いる目的は、光素子を所定の要因（上述においては水分）から守ることであるので、影響を軽減したい所定の要因に応じて、キャップの材料を選択すれば良い。例えば、受光素子３４を紫外線から守りたい場合は、キャップ１９０の材料として、紫外線を吸収または反射する材料を選択すれば良いのである。
【０１０１】
（第７の実施形態）  
本実施形態では、サブキャリアの、光波伝達部からの入射光の入射面のうち、少なくとも該入射光が入射される領域を、該入射面に対して斜めにしている。図２０（ａ）および（ｂ）は、図３にて説明した本発明の一実施形態に係るサブキャリアの面３８に傾斜面２００を形成した構造を示す図である。
【０１０２】
なお、本明細書において、「傾斜面」とは、サブキャリアなどの光学部品の一面の少なくとも所定の領域を傾斜させた面を指す。例えば、図２０（ｂ）において、面３８と同一の面である仮想面２０１に対して、角度θ傾斜させた面が傾斜面２００となる。
【０１０３】
図２０（ａ）および（ｂ）において、サブキャリア３１の面３８の、少なくとも光波伝達部（不図示）からの入射光が入射する領域には、傾斜面２００が形成されている。このように、サブキャリア３１の入射面である面３８に傾斜面２００を形成することにより、入射光は、傾斜面２００の法線方向に対して所定の角度で入射することになる。よって、光波伝達部から入射された光が、サブキャリア３１の面３８にて反射するのを防止、ないしは軽減することができる。
【０１０４】
なお、本実施形態では、サブキャリアへの入射光の反射防止、ないしは反射軽減のために、面３８に傾斜面２００を形成する代わりに、光波伝達部の端面を斜め端面としても良いし、傾斜面２００と上記斜め端面とを組み合わせても良い。
【０１０５】
なお、本明細書において、「（光素子、光導波路など）を形成する」とは、基板上に光素子や光導波路などを半導体プロセスによって作りこむことを含み、また、別個に作製された光素子や光導波路を、基板上に配置することも含む。すなわち、結果として光素子や光導波路を基板上に存在させる、という意である。
【図面の簡単な説明】
【０１０６】
【図１】従来の、光モジュールを示す斜視図である。
【図２】図１のＡ−Ａ'線断面図である。
【図３】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり（ｂ）は、（ａ）のサブキャリアを矢印方向Ｐから見た側面図である。
【図４】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、横方向における、光軸のずれを補正する様子を示す斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）の、サブキャリアの入射面と対向する面側からみた、サブキャリアの側面図である。
【図５】本発明の一実施形態に係る、高さ方向における、光軸のずれを補正する様子を示す図である。
【図６】本発明の一実施形態係る、サブキャリアを、光波伝達部が形成された基板に実装した光モジュールの断面図である。
【図７】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり（ｂ）は、（ａ）のサブキャリアを矢印方向Ｑから見た側面図である。
【図８】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示したサブキャリアの上面図であり、（ｃ）は、（ａ）に示したサブキャリアの矢印方向Ｒから見た側面図である。
【図９】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、サブキャリアの斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示したサブキャリアの上面図であり、（ｃ）は、（ａ）に示したサブキャリアの矢印方向Ｒから見た側面図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１３】図１２の光モジュールを矢印方向Ｓから見た側面図である。
【図１４】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１５】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１６】本発明の一実施形態に係るサブキャリアを実装した光モジュールの斜視図である。
【図１７】本発明の一実施形態に係る、高さの異なる光導波路を、パラボラ部を有する光学部品によって結合する様子を示す図である。
【図１８】本発明の一実施形態に係る、高さの異なる光導波路を、パラボラ部を有する光学部品によって結合する様子を示す図である。
【図１９】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、キャップを有するサブキャリアの斜視図であり（ｂ）は、（ａ）のサブキャリアを矢印方向Ｐから見た側面図である。
【図２０】（ａ）は、本発明の一実施形態に係る、傾斜面が形成されたサブキャリアの斜視図であり、（ｂ）は、（ａ）に示したサブキャリアの上面図である。
【符号の説明】
【０１０７】
３１、８１    サブキャリア
３２    配線
３３、８２    マーカ
３４、８３    受光素子
３５、８４    受光部
３６、６１、８７、９０    パラボラ部
３７、６２、８８、９１    反射膜
３８、６３、８５    面
８６    開口部
８９    空洞
【図１】
2007057978.tif 000003
【図２】
2007057978.tif 000004
【図３】
2007057978.tif 000005
【図４】
2007057978.tif 000006
【図５】
2007057978.tif 000007
【図６】
2007057978.tif 000008
【図７】
2007057978.tif 000009
【図８】
2007057978.tif 000010
【図９】
2007057978.tif 000011
【図１０】
2007057978.tif 000012
【図１１】
2007057978.tif 000013
【図１２】
2007057978.tif 000014
【図１３】
2007057978.tif 000015
【図１４】
2007057978.tif 000016
【図１５】
2007057978.tif 000017
【図１６】
2007057978.tif 000018
【図１７】
2007057978.tif 000019
【図１８】
2007057978.tif 000020
【図１９】
2007057978.tif 000021
【図２０】
2007057978.tif 000022