(57)【要約】      （修正有）【課題】駆動手段の故障、外部からの不要な振動等による弾性支持部の必要ではあるが大き過ぎる変形ないし不必要な変形を防止して、弾性支持部の破壊を効果的に防ぎ、比較的高い耐久性を有する揺動体装置を提供する。【解決手段】揺動体装置は、走査ミラーなどとして形成される可動部１０１と、可動部１０１を基板１０３に対して揺動自在に支持するトーションバネなどの弾性支持部１０２と、可動部１０１を基板１０３に対して相対的に揺動させる電磁式などの駆動手段１０４を有する。更に、弾性支持部１０４と可動部１０１のうちの少なくとも一方に接触することにより弾性支持部１０４の変形量を制限するストッパ１０５、１０６が配置されている。【選択図】図１
2007152497.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動部と、前記可動部を基板に対して揺動自在に支持する弾性支持部と、前記可動部を前記基板に対して相対的に揺動させる駆動手段を有し、
更に、前記弾性支持部と前記可動部のうちの少なくとも一方に接触することにより前記弾性支持部の変形量を制限するストッパが配置されていることを特徴とする揺動体装置。
【請求項２】
前記ストッパが１本または複数本の弾性体で形成されていることを特徴とする請求項１記載の揺動体装置。
【請求項３】
前記ストッパが湾曲部を有し、前記ストッパの湾曲部で前記ストッパと前記弾性支持部とが接触することを特徴とする請求項１または２記載の揺動体装置。
【請求項４】
前記可動部、前記基板、前記弾性支持部、及び前記ストッパが一体で形成されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の揺動体装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか１項に記載の揺動体装置の前記可動部上に光偏向素子を配置して構成されたことを特徴とする光偏向装置。
【請求項６】
光源と、請求項５に記載の光偏向装置とを有し、光源からの光を光偏向装置により偏向し、該光の少なくとも一部を画像表示体または感光体上に入射することを特徴とする光学機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、揺動可能に軸支された揺動体ないし可動部を有する揺動体装置、これを利用した光偏向装置、それを用いた画像形成装置などの光学機器に関する。この光偏向装置は、例えば、光の偏向走査によって画像を投影するプロジェクションディスプレイや、電子写真プロセスを有するレーザビームプリンタ、デジタル複写機等の画像形成装置に好適に利用されるものである。
【背景技術】
【０００２】
従来、揺動可能に軸支された揺動体を有する揺動体装置の一例として、図１５に示す様な光偏向器が提案されている（特許文献１参照）。図１６は、その内部構造を説明するために、光偏向器を分解して示した斜視図である。
【０００３】
上記光偏向器において、絶縁性材料からなる基板１０１０には、凹み部１０１１が形成されている。凹み部１０１１の底部には、一対の駆動電極１０１２、１０１３、及び可動部１０２３を揺動可能に支持する支持部１０１４が配置されている。一方、シリコン基板１０２０には、一対の弾性支持部１０２１、１０２２と可動部１０２３が一体に形成されている。可動部１０２３は、その表面に光反射率の高い物質がコーティングされており、弾性支持部１０２１、１０２２によりねじり振動自在に支持されている。このシリコン基板１０２０が、絶縁性基板１０１０に対向配置される。
【０００４】
ここにおいて、シリコン基板１０２０は、電気的に接地されている。従って、駆動電極１０１２、１０１３に交互に電圧を印加することで、可動部１０２３に静電引力が作用する。こうして、可動部１０２３を弾性支持部１０２１、１０２２の長軸の回りにねじり振動させることができる。
【０００５】
また、図１７は、トーションバネ（弾性支持部）の断線を防止できて耐久性に優れるとされた揺動体装置の提案例としての光偏向器を示したものである（特許文献２参照）。
【０００６】
この光偏向器において、トーションバネ２００５は、張力で引っ張られた状態で、固定治具２００２によってハウジング２００１に取り付けられている。そして、トーションバネ２００５の中央付近には、磁石付きミラー２００３が、図示しない接着剤にて固定されている。磁石付きミラー２００３は、厚さ０．３ｍｍ、縦３ｍｍ、横６ｍｍのＮｉ−Ｃｏ（ニッケルコバルト）またはＳｍ−Ｃｏ（サマリウムコバルト）からなる。トーションバネ２００５は、超弾性合金（例えばＮｉ−Ｔｉ合金）からなり、中央部の線径は約１４０μｍ、長さは約１０ｍｍである。トーションバネ２００５がハウジング２００１に固定された部分は、無電解メッキ法等により、磁石付きミラー２００３が固定された中央部よりも太くなっている。このハウジング２００１との固定部分が、ハウジング固定部２０１３となっている。
【０００７】
一方、コア２００６には、コイル２００７が、例えば約３００ターン巻きつけられている。コイル２００７は、コア２００６に設けられたネジ孔２００８及びハウジング２００１に設けられた孔２００４に図示しないネジを通すことによって、ハウジング２００１に固定されている。このコイル２００７の巻き線の両端には、パルス電流発生器１００９が接続されている。このパルス電流発生器２００９により、例えば３Ｖで１００ｍＡ程度の電流をコイル２００７に流すと、交番磁界が発生し、磁石付きミラー２００３が振動させられる。光源２０１１より発射されたレーザ光線２０１０は、磁石付きミラー２００３によって反射され、磁石付きミラー２００３が共振することにより被走査面２０１２上で走査される。
【０００８】
上述した様に、ハウジング固定部２０１３は、無電解メッキ法等の皮膜加工により、テーパ状に形成されている。従って、駆動時のハウジング固定部２０１３への応力集中を緩和することができ、トーションバネ２００５の断線防止作用が生じるとされている。
【特許文献１】米国特許第４３１７６１１号
【特許文献２】特開平０９−２３０２７５号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記の様な揺動体装置では、ばね部（弾性支持部）の破壊を防止して高い耐久性を有する必要がある。しかしながら、上記の構成は、駆動手段の故障、外部からの不測且つ不要の振動等により、ばね部が過度に変形してばね部が破壊されるのを防止する為に充分な構成となっているとは言い難い。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題に鑑み、本発明の揺動体装置は、走査ミラーなどとして形成される可動部と、可動部を基板に対して揺動自在に支持するトーションバネなどの弾性支持部と、可動部を基板に対して相対的に揺動させる電磁式などの駆動手段を有する。そして、更に、弾性支持部と可動部のうちの少なくとも一方に接触することにより弾性支持部の変形量を制限するストッパが配置されている。前記ストッパを配置することにより、典型的には、弾性支持部の所定方向への変形の量を所定範囲に収める制限機能と、弾性支持部の前記所定方向とは異なる方向への変形の量を制限する制限機能とのうちの少なくとも一方が行われる。この弾性支持部の所定方向への変形は、可動部を基板に対して相対的に揺動させるのに必要な変形であるのに対して、所定方向とは異なる方向への変形は不必要で且つ望ましくない変形である。
【００１１】
また、上記課題に鑑み、本発明の光偏向装置は、上記の揺動体装置の可動部上に光偏向素子を配置して光偏向装置として構成されたことを特徴とする。
【００１２】
また、上記課題に鑑み、本発明の画像表示装置、画像形成装置などの光学機器は、光源と、上記の光偏向装置とを有し、光源からの光を光偏向装置により偏向し、該光の少なくとも一部を画像表示体または感光体上に入射することを特徴とする。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の揺動体装置によれば、弾性支持部の変形量を制限するストッパを有するので、駆動手段の故障、外部からの不要な振動等による弾性支持部の必要ではあるが大き過ぎる変形ないし不必要な変形を防止し、弾性支持部の破壊を効果的に防ぐことができる。こうして、比較的高い耐久性を有する揺動体装置を提供できる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
以下に、本発明の実施の形態について説明する。
【００１５】
本発明の揺動体装置の一実施形態を図１乃至図５を用いて説明する。図１は、本実施形態の揺動体装置の上面図であり、図２は図１のＡ−Ｂ断面図である。本実施形態の揺動体装置は、可動部１０１と、可動部１０１を基板１０３に対して揺動自在に支持する弾性支持部であるばね部１０２と、可動部１０１を駆動する駆動手段１０４と、ばね部１０２のねじれの変形量をほぼ所定の範囲内に制限するストッパ１０５、１０６を有する。ここでは、可動部１０１の裏面側に、ねじり軸１０７に対してほぼ垂直方向に磁化された硬磁性体（磁石）１０８が配置されている。従って、磁場発生部（コイル）である駆動手段１０４から図２の上下方向に磁場を発生させると、硬磁性体１０８にトルクが発生し可動部１０１をねじり軸１０７回りにねじり振動させることができる。こうした電磁方式の他に、静電方式（図１５の構成の説明を参照）、ピエゾ方式等でも可動部１０１を基板１０３に対して相対的に振動させられる。
【００１６】
本実施形態では、ストッパ１０５、１０６は、図１の上下方向にばね部１０２と所定の間隔を隔てて配置されている。従って、ばね部１０２が上記所定の範囲を越えてねじり変形しようとすると、ストッパ１０５、１０６とばね部１０２が接触し、これによりばね部１０２の変形量を制限する。また、ストッパ１０５、１０６は、ばね部１０２の不必要な変形（例えば、図１の上下方向への曲がり変形）をも制限することができる。
【００１７】
また、本実施形態では、可動部１０１を基板１０３に対して揺動自在に支持するばね部１０２の本数は１本であるが、１本以上あればよい（後述する実施例２などを参照）。本実施形態の可動部１０１の揺動方向は、ねじり軸１０７回りのばね部１０２のねじり変形で規定される。可動部１０１の揺動方向が、ばね部の曲げ等の変形で規定される形態も可能である（後述する実施例６参照）。さらに、本実施形態の揺動体装置は、１個以上のストッパを有していればよいが、図１の例では、ばね部１０２のねじり軸１０７の両側に夫々１個のストッパ１０５、１０６が配置されていて、ばね部１０２の変形範囲をその両端で規制している。
【００１８】
以上の様に、本実施形態では、ばね部１０２近傍に所定の間隔でばね部１０２の変形量を制限するストッパ１０５、１０６を有する。従って、駆動手段１０４の故障、外部からの不要な振動等によるばね部１０２の必要ではあるが大き過ぎる変形ないし不必要な変形を防止し、ばね部１０２の破壊を防ぐことができる。
【００１９】
本実施形態の作用・動作を図３、図４及び図５を用いて説明する。図３は図１のＣ−Ｄ断面図であり、図４は、ばね部のねじり変形量とばね部にかかるストッパからの反力の関係を表した図であり、図５は、ばね部にかかる力とばね部のねじり変形量の関係を表した図である。
【００２０】
可動部１０１が静止している時は、図３（ａ）の様にばね部１０２は変形せず、ばね部１０２とストッパ１０５、１０６の位置関係は所定の間隔ｄを有している。駆動手段１０４にパワー（交流電流）を投入すると、可動部１０１は基板１０３に対してねじり軸１０７回りに揺動し、図３（ｂ）の様にばね部１０２は変形する。しかし、正常の変形範囲内では、ばね部１０２とストッパ１０５、１０６は接触しない。
【００２１】
駆動手段１０４の故障や、外部からの不要な振動等により、図３（ｃ）の様にばね部１０２が大きくねじり変形した場合、ばね部１０２はストッパ１０５、１０６に接触する。図４に示す様に、ばね部１０２が大きく変形しようとする正常変形範囲外では、ばね部１０２はストッパ１０５、１０６との接触により反発力を受けるので、図５の様にストッパ１０５、１０６に接触した後は、さらに大きな変形を生じない。従って、ばね部１０２の変形は破断変形量には達しない様になっていて、ばね部１０２の破壊を確実に防ぐことができる。
【００２２】
本実施形態の揺動体装置は、可動部１０１、基板１０３、ばね部１０２、及びストッパ１０５、１０６が一体で形成されていることをも特徴とする。これによって、各部を別個に作成して組み合わせる必要が無いので、作製する部品点数を低減でき、作製コストを下げることができる。また、ばね部１０２とストッパ１０５、１０６との間隔を正確に作製できるので、ばね部１０２の大きな変形を正確に制限することができる。
【００２３】
本発明による揺動体装置は、ストッパが弾性体である様にもできる（後述する実施例３参照）。これにより、ばね部がストッパに接触したときの衝撃を抑えることができるので、ばね部がストッパに接触したときの不要な振動や、ばね部或いはストッパの破壊をより確実に防止できる。
【００２４】
本発明による揺動体装置は、ストッパが湾曲部を有し、湾曲部でストッパとばね部が接触する様にもできる（後述する実施例２参照）。この構成では、ばね部の変形が大きいほどストッパとの接触面積が大きくなる。従って、ばね部の変形が大きいほど、ばね部にかかるストッパからの反発力が急激に大きくなるので、ばね部の大きな変形をより確実に防止し、ばね部の破壊を防止できる。
【００２５】
本発明による揺動体装置は、ストッパが複数の弾性体で形成されている様にもできる（後述する実施例３参照）。これによっても、ばね部の変形が大きいほど、ばね部にかかるストッパからの反発力が急激に大きくなる。従って、ばね部の大きな変形をより確実に防止し、ばね部の破壊を防止することができる。
【００２６】
本発明による揺動体装置は、ストッパの少なくとも一部が樹脂で覆われている様にもできる（後述する実施例４参照）。これによって、ばね部がストッパに接触したときの衝撃を抑えることができるので、ばね部或いはストッパの破壊をより確実に防止できる。
【００２７】
本発明による揺動体装置は、ストッパと接触するばね部の少なくとも一部が樹脂で覆われている様にもできる。これによっても、ばね部がストッパに接触したときの衝撃を抑えることができるので、ばね部或いはストッパの破壊をより確実に防止できる。
【００２８】
上記弾性体であること、湾曲部を有すること等の構成は、必要に応じて、自由に組み合わせて用いることができる。
【００２９】
上記実施形態では、ストッパがばね部に接触してばね部の所定方向への過度な変形を防止しているが、ストッパが可動部に接触して結果的にばね部の所定方向への過度な変形を防止する様にもできる（後述する実施例５参照）。また、ばね部が変形してはならない方向（上記所定方向とは異なる方向）への変形を防止する機能をもストッパに持たせられるし、専らこうした機能を果たすストッパを設けることもできる。この様なストッパは、例えば、図１の例で言えば、紙面に対して垂直方向の表側と裏側（或いは表側または裏側）にばね部に近接して設ける。これにより、ばね部がこの方向に撓んで可動部に好ましくない動きが生起するのを防止できる。すなわち、本発明による揺動体装置では、ストッパにより、弾性支持部の所定方向への変形の量を所定範囲に収める制限機能と、弾性支持部の前記所定方向とは異なる方向への変形の量を制限する制限機能とのうちの少なくとも一方を行い得る。
【００３０】
本実施形態の揺動体装置は、前記可動部の上に光偏向素子を配することによって、耐久性の高い光偏向装置として構成できる。また、この光偏向装置を画像形成装置などの光学機器に使用するときは、耐久性、信頼性の高い光学機器を提供できる（後述する実施例７参照）。
【実施例】
【００３１】
以下、より具体的な実施例を挙げて本発明を詳細に説明する。
【００３２】
（実施例１）
実施例１の揺動体装置の構成を図１乃至図３を用いて説明する。図１は、本実施例の揺動体装置の上面図であり、図２は図１のＡ−Ｂ断面図であり、図３は図１のＣ−Ｄ断面図である。本実施例の揺動体装置は、次の特徴を有する。すなわち、可動部１０１と、可動部１０１を基板１０３に対してねじり振動自在に支持する１本のばね部１０２と、可動部１０１を基板１０３に対して相対的に駆動させる駆動手段１０４と、ばね部１０２の変形量を制限するストッパ１０５、１０６を有する。ストッパ１０５、１０６は、図１に示す如く、ばね部１０２の両脇にこれと所定の間隔で配置され、ストッパ１０５、１０６とばね部１０２とが接触することにより、ばね部１０２の変形量を制限することを特徴とする。
【００３３】
可動部１０１の裏面側には、硬磁性体（磁石）１０８が配置され、ねじり軸１０７に対してほぼ垂直方向に磁化されている。駆動手段１０４は、磁場発生部（コイル）である。駆動手段１０４から磁場を発生させると、硬磁性体１０８にトルクが発生し可動部１０１をねじり軸１０７回りにねじり振動させることができる。本実施例では、図２に示す如く、基板１０３はスペーサ１０９を介して固定体１１０上に固定され、駆動手段１０４は、硬磁性体１０８と対向する固定体１１０部分上に配置されている。
【００３４】
本実施例の作用・動作を図３を用いて説明する。図３（ａ）は、可動部１０１が静止している時のばね部１０２の断面図である。ばね部１０２が正常範囲内でねじれている時は、図３（ｂ）の様にばね部１０２はストッパ１０５、１０６に接触しない。駆動手段１０４の故障や外部からの不要な振動等により、図３（ｃ）の様にばね部１０２が大きく変形した場合、ばね部１０２はストッパ１０５、１０６に接触する。ばね部１０２はストッパ１０５、１０６に接触することにより反発力を受けるので、ばね部１０２はストッパ１０５、１０６に接触した後は、変形しにくくなる。従って、ばね部１０２の破壊を防ぐことができる。その他の点は、上記実施形態で説明した通りである。
【００３５】
（実施例２）
実施例２の揺動体装置の構成を図６を用いて説明する。図６は、本実施例の揺動体装置の上面図である。実施例２の揺動体装置の構成は、実施例１の揺動体装置とほぼ同様である。本実施例が実施例１と異なる点は、２本のばね部２０２、２０３を有し、ストッパ２０５、２０６、２０７、２０８が湾曲部を有することである。そして、駆動手段の故障や外部からの不要な振動等により、ばね部２０２、２０３が大きく変形した時に、湾曲部でストッパ２０５、２０６、２０７、２０８とばね部２０２、２０３とが接触することである。
【００３６】
本実施例の作用・動作を図７を用いて説明する。図７（ａ）乃至図７（ｃ）はばね部２０３の拡大図であり、図７（ｄ）乃至図７（ｆ）はばね部２０３、ストッパ２０５、２０６の断面図である。図７（ａ）及び図７（ｄ）は、可動部２０１が基板２０４に対して相対的に静止している時のばね部２０１の状態を示す。駆動手段の故障や、外部からの不要な振動等により、ばね部２０３が大きく変形した場合、図７（ｂ）及び図７（ｅ）の様に、ばね部２０３はストッパ２０５、２０６と接触する。さらに、ばね部２０３が大きく変形すると、図７（ｃ）及び図７（ｆ）の様に、ばね部２０３とストッパ２０５、２０６との接触部分が広くなり、さらに、ばね部２０３を大きく変形させるのに必要な力が大きくなる。従って、ばね部２０２、２０３の大きな変形を防止し、ばね部の破壊を防止することができる。
【００３７】
（実施例３）
実施例３の揺動体装置の構成を図８を用いて説明する。図８は、本実施例の揺動体装置の上面図である。実施例３の揺動体装置の構成は、実施例２の揺動体装置とほぼ同様である。本実施例が実施例２と異なる点は、ストッパが複数の弾性体３０５〜３２０で形成されていることである。本実施例でも、可動部３０２、基板３０１、ばね部３０３、３０４、及びストッパ３０５〜３２０が一体で形成されている。この製造法の例としては、半導体製造プロセスで一般的に行われるフォトリソグラフィとドライエッチングにより単結晶シリコン基板から一体的に形成する方法がある。
【００３８】
本実施例のばね部３０３、３０４がねじれ変形するときの作用・動作は基本的に上記実施例と同じである。ここでは、ばね部３０３、３０４がねじれ変形とは異なる不必要な曲がり変形するときの模様を図９を用いて説明する。図９（ａ）乃至図９（ｃ）はばね部３０３、ストッパ３０５〜３１２の断面図である。図９（ａ）は、可動部３０２が基板３０１に対して相対的に静止している時のばね部３０３の状態を示す。ここで、駆動手段の故障や、外部からの不要な振動等により、ばね部３０３が曲がり変形する場合、図９（ｂ）の様に、ばね部３０３はストッパ３０８と接触する。さらに、ばね部３０３が大きく曲がり変形しようとすると、図９（ｃ）の様に、ストッパ３０８側の複数のストッパ同士が接触するので、ばね部３０３を大きく変形させるために必要な力が大きくなる。従って、ばね部３０３、３０４の曲がり変形を防止し、ばね部の破壊を防止することができる。
【００３９】
本実施例では、可動部３０２、基板３０１、ばね部３０３、３０４、及びストッパ３０５〜３２０が一体で形成されており、作製する部品点数を低減できるので、コストを下げることができる。また、ばね部とストッパとの間隔を正確に作製できるので、ばね部の大きな変形を正確に制御できる。
【００４０】
（実施例４）
実施例４の揺動体装置の構成を図１０を用いて説明する。図１０は、本実施例の揺動体装置の上面図である。実施例４の揺動体装置の構成は、実施例２の揺動体装置とほぼ同様である。本実施例が実施例２と異なる点は、ばね部４０３、４０４と接触するストッパ４０５、４０６、４０７、４０８のばね部との対向部が、夫々、樹脂４０９、４１０、４１１、４１２で覆われていることである。また、ばね部４０３、４０４は、ストッパ４０５、４０６、４０７、４０８と接触するための凸部を有している。
【００４１】
本実施例の作用・動作を図１１を用いて説明する。図１１（ａ）と図１１（ｂ）は図１０のＡ−Ｂ断面図である。図１１（ａ）は、可動部４０２が基板４０１に対して相対的に静止している時のばね部４０３の状態を示す。駆動手段の故障や、外部からの不要な振動等により、ばね部４０３が大きく変形した場合、図１１（ｂ）の様に、ばね部４０３はストッパ４０５、４０６と接触し、ばね部４０３の大きな変形を防止することができる。また、ストッパ４０５、４０６が樹脂４０９、４１０で覆われているため、ばね部４０３がストッパ４０５、４０６に接触したときの衝撃を抑えられるので、ばね部４０３、ストッパ４０５、４０６の破壊をより確実に防止できる。
【００４２】
（実施例５）
実施例５の揺動体装置の構成を図１２を用いて説明する。図１２（ａ）は、本実施例の揺動体装置の斜視図であり、図１２（ｂ）は断面図である。本実施例は、ストッパが可動部に接触して結果的にばね部の過度な変形を制限する構成である。
【００４３】
本実施例の揺動体装置は、可動部５０２と、可動部５０２を基板５０１に対してねじり振動自在に支持する２本のばね部５０３、５０４と、可動部５０２を基板５０１に対して相対的に駆動させる駆動手段５０５を有する。この構成は実施例２などと同じである。さらに、本実施例の揺動体装置は、可動部５０２に正常揺動範囲のすぐ外側で接触してこれの揺動範囲を制限し結果的にばね部５０３、５０４の所定方向の変形量を制限するストッパ５０６、５０７を有する。ストッパ５０６、５０７は、図１２に示す様に、ばね部５０３、５０４のねじり軸を挟んでその両側において基板５０１上に設けられている。
【００４４】
可動部５０２の裏面側には、硬磁性体（磁石）５０８が配置され、ねじり軸に対してほぼ垂直方向に磁化されている。従って、磁場発生部（コイル）である駆動手段５０５から磁場を発生させると、硬磁性体５０８にトルクが発生し可動部５０２をねじり軸回りにねじり振動させることができる。基板５０１と駆動手段５０５は、図１２（ｂ）に示す様に、固定体５１０上に固定されている。本実施例の作用・動作は上記実施例と基本的に同じである。
【００４５】
図１２は、電磁力による可動部５０２（走査ミラーなどである）の駆動方法としてムービングマグネット型の例を示したが、勿論、ムービングコイル型も構成可能である。この場合は、外部の固定側にバルクの永久磁石を設け、可動部５０２上に電磁コイルを配置する。
【００４６】
（実施例６）
実施例６の揺動体装置の構成を図１３を用いて説明する。図１３は、図２と同様な部分における本実施例の揺動体装置の断面図である。実施例１では可動部がねじり軸回りにねじり振動するのに対して、本実施例では、可動部６０１が、ばね部６０２の曲がり変形で規定される揺動方向（図１３の矢印で示す）に曲げ振動する。
【００４７】
本実施例では、図１３に示す如く、基板６０３はスペーサ９０９を介して固定体６１０上に固定され、駆動手段６０４は、可動部６０１の裏面上の硬磁性体６０８と対向する固定体６１０部分上に配置されている。硬磁性体６０８は厚み方向に着磁されていて、これにより、駆動手段６０４に交流電流が供給されるとき、硬磁性体６０８は引力と斥力を交互に受けて可動部６０１に上記曲げ振動を起こさせる。
【００４８】
本実施例においては、図１３の様に、ストッパ６０５、６０６が可動部５０２の正常揺動範囲のすぐ外側に配置されている。これにより、ストッパ６０５、６０６は、可動部６０１に正常揺動範囲のすぐ外側で接触してこれの揺動範囲を制限し結果的にばね部６０２の所定方向の曲がり変形量を制限する。勿論、可動部６０１がこの様な曲げ振動を行なう構成でも、図１３の破線で示す如く、ばね部６０２の所定の曲がり変形方向における近傍にストッパ６１５、６１６を配してばね部６０２の所定方向の曲がり変形量を制限することができる。
【００４９】
（実施例７）
本実施例は、本発明による光偏向装置を用いた画像表示装置の例に関する。図１４は、本実施例の画像表示装置を説明するための概略図である。この構成において、上記実施例の揺動体装置の可動部上に反射膜を成膜した光偏向装置７０１、７０２を、偏向方向が互いに直交する様に配置することにより、入射光を垂直・水平方向にスキャンできる。レーザ光源７１１から入射したレーザ光７４１は光強度変調器７２１により強度変調を受けて、光偏向装置７０１、７０２により２次元的に走査される。レーザ光源７１１は赤色、青色、緑色の光源を用い、これらを混色光源系にて混色して用いてもよい。この走査されたレーザ光７４１は、レンズ７３１により投影面７５１上に画像を形成する。
【００５０】
この様な画像表示装置の場合、ばね部の破壊が防止された耐久性の高い高信頼性の光偏向装置を必要とする。本実施例の様に、ばね部の破壊が防止された高信頼性の光偏向装置を用いることにより、信頼性の高い画像表示装置を提供できる。勿論、本発明による光偏向装置は、その他にも、感光体を有する電子写真方式の画像形成装置などの光学機器にも使用できる。
【図面の簡単な説明】
【００５１】
【図１】本発明の実施例１の揺動体装置を説明するための上面図である。
【図２】本発明の実施例１の揺動体装置を説明するための図１のＡ−Ｂ断面図である。
【図３】本発明の実施例１の揺動体装置の作用を説明するための図１のＣ−Ｄ断面図である。
【図４】本発明の揺動体装置の作用を説明するグラフである。
【図５】本発明の揺動体装置の作用を説明するグラフである。
【図６】本発明の実施例２の揺動体装置を説明するための上面図である。
【図７】本発明の実施例２の揺動体装置の作用を説明するための断面図である。
【図８】本発明の実施例３の揺動体装置を説明するための上面図である。
【図９】本発明の実施例３の揺動体装置の作用を説明するための断面図である。
【図１０】本発明の実施例４の揺動体装置を説明するための上面図である。
【図１１】本発明の実施例４の揺動体装置の作用を説明するための図１０のＡ−Ｂ断面図である。
【図１２】本発明の実施例５の揺動体装置を説明するための斜視図と断面図である。
【図１３】本発明の実施例６の揺動体装置を説明するための断面図である。
【図１４】本発明の実施例７の画像表示装置を説明するための概略図である。
【図１５】従来技術の揺動体装置を説明する斜視図である。
【図１６】図１５の揺動体装置を説明する分解図である。
【図１７】他の従来技術の揺動体装置を説明する概略図である。
【符号の説明】
【００５２】
１０１、２０１、３０２、４０２、５０２、６０１  可動部（揺動体、走査ミラー）
１０２、２０２、２０３、３０３、３０４、４０３、４０４、５０３、５０４、６０２  弾性支持部（ばね部）
１０３、２０４、３０１、４０１、５０１、６０３  基板
１０４、５０５、６０４  駆動手段（コイル）
１０５、１０６、２０５〜２０８、３０５〜３２０、４０５〜４０８、５０６、５０７、６０５、６０６、６１５、６１６  ストッパ
１０８、５０８、６０８  硬磁性体（磁石）
７０１、７０２  光偏向装置
７１１  光源（レーザ光源）
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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