(57)【要約】【課題】接着シートの張力を測定して予め設定張力に調整し、押圧ローラの移動量に比例して貼付角度維持手段の繰出ヘッドを昇降させることで、所定の張力にてシートの貼付を行うことのできる装置及び方法を提供すること。【解決手段】半導体ウエハＷの面に臨む位置に接着シートＳを繰り出すシート繰出ユニット１２と、接着シートＳを押圧して当該接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧ローラ１４とを備えてシート貼付装置１０が構成されている。シート繰出ユニット１２は、当該シート繰出ユニット１２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの張力を測定する張力測定手段３５と貼付角度θを維持する繰出ヘッド４９を備えた貼付角度維持手段３７とを含む。接着シートＳの貼付直前に張力を測定して調整した後、押圧ローラ１４の移動量に比例するように繰出ヘッド４９を下降させることで貼付角度θが維持されて張力が一定に保たれる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状部材の面に臨む位置にシートを繰り出すシート繰出ユニットと、前記シートに押圧力を付与して板状部材の一端から他端に向かってシートを貼付する押圧ローラとを備えたシート貼付装置において、
前記シート繰出ユニットは、当該シート繰出ユニットと前記押圧ローラとの間のシートの張力を測定する張力測定手段と、前記板状部材に対してシートの貼付角度を一定に保つ方向に移動する繰出ヘッドを含む貼付角度維持手段とを備え、
前記張力測定手段は、前記押圧ローラによって板状部材にシートが貼付される直前の張力を測定する一方、前記貼付角度維持手段の繰出ヘッドは、前記板状部材に対する押圧ローラの相対移動量に比例して移動することで貼付角度を略一定に保ってシートの張力が略一定に保たれることを特徴とするシート貼付装置。
【請求項２】
前記張力測定手段は、所定の設定張力に対して過不足を検出したときに、前記繰出ヘッドの位置を変位させて前記シートを設定張力に調整することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
【請求項３】
前記シート繰出ユニットはピールプレートを含み、当該ピールプレートの先端から押圧ローラまでの間に繰り出されるシート長さは、前記板状部材の一端から他端までの長さよりも僅かに長く設定されていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
【請求項４】
シート繰出ユニットからシートを繰り出すとともに、押圧ローラでシートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するシート貼付方法において、
張力測定手段によって前記押圧ローラがシートを貼付する直前の当該シートの張力を測定した後、
前記板状部材に対するシート貼付角度を一定に維持するように板状部材と押圧ローラとを相対移動させて板状部材にシートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
【請求項５】
前記貼付直前に測定された張力が所定の設定張力に対して過不足が検出されたときに、前記シートを設定張力になるように調整して貼付することを特徴とする請求項４記載のシート貼付方法。
【請求項６】
前記シート繰出ユニットから押圧ローラまで繰り出されたシートの長さは、前記板状部材の一端から他端までの長さよりも僅かに長く保たれた状態でシート貼付が行われることを特徴とする請求項４又は５記載のシート貼付方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はシート貼付装置及び貼付方法に係り、更に詳しくは、半導体ウエハ等の板状部材にシートを貼付する際に、板状部材の所定位置にシートを精度よく貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、半導体ウエハ（以下、単に、「ウエハ」と称する）には、その回路面を保護するための保護シートを貼付したり、裏面にダイボンディング用の接着シートを貼付したりすることが行われている。
【０００３】
このようなシートの貼付方法としては、帯状の剥離シートに帯状の接着シートが仮着された原反を用い、前記剥離シートから接着シートを剥離してウエハに貼付した後に、ウエハ外周に沿ってカットする貼付方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
【特許文献１】特開２００４−４７９７６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１に開示されたシート貼付装置にあっては、ウエハに接着シートを貼付する動作中における張力を一定に保つ構成を積極的には採用していない。
そのため、接着シートに張力不足が生じた状態で当該接着シートがウエハに貼付された場合には、接着シートに皺を発生させてしまったり、或いは接着シートとウエハとの間に気泡を混入させてしまう、という不都合を招来する。この一方、接着シートの張力が過大である場合には、当該接着シートの貼付後において、ウエハに反り変形をもたらしてしまう、という不都合がある。
【０００６】
また、特許文献１におけるシート貼付装置は、ウエハの面に臨む位置にシートを繰り出すためのガイドローラ２８群が配置されており、当該ガイドローラ２８群は、接着シートの貼付動作から、切断動作、剥離動作の間、常に接着シートを挟み込んでいるため、接着シートの接着剤層に筋状の凹部を形成してしまう構成となっている。そのため、ウエハのように数十ミクロンまで極薄に研削される板状部材では、凹部跡が残るシートを使用すると厚みが不均一となったり、研削時にウエハが割れたりするため、凹部領域はウエハへの貼付領域に使用することはできない。そこで、その凹部領域が含まれないようにシート送りを行えばよいが、それではシートを無駄に消費してしまう、という不都合が生じる。
【０００７】
［発明の目的］
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、板状部材にシートを貼付する直前に当該シートの張力を測定し、所定の設定張力でシートの貼付を行うことのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【０００８】
また、本発明の他の目的は、板状部材の大きさに対応した長さのシート繰り出しによってシートの無駄な消費を大幅に抑制することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記目的を達成するため、本発明は、板状部材の面に臨む位置にシートを繰り出すシート繰出ユニットと、前記シートに押圧力を付与して板状部材の一端から他端に向かってシートを貼付する押圧ローラとを備えたシート貼付装置において、前記シート繰出ユニットは、当該シート繰出ユニットと前記押圧ローラとの間のシートの張力を測定する張力測定手段と、前記板状部材に対してシートの貼付角度を一定に保つ方向に移動する繰出ヘッドを含む貼付角度維持手段とを備え、前記張力測定手段は、前記押圧ローラによって板状部材にシートが貼付される直前の張力を測定する一方、前記貼付角度維持手段の繰出ヘッドは、前記板状部材に対する押圧ローラの相対移動量に比例して移動することで貼付角度を略一定に保ってシートの張力が略一定に保たれる、という構成を採っている。
【００１０】
本発明において、前記張力測定手段は、所定の設定張力に対して過不足を検出したときに、前記繰出ヘッドの位置を変位させて前記シートを設定張力に調整する、という構成を採っている。
【００１１】
また、前記シート繰出ユニットはピールプレートを含み、当該ピールプレートの先端から押圧ローラまでの間に繰り出されるシート長さは、前記板状部材の一端から他端までの長さよりも僅かに長く設定される、という構成を採ることが好ましい。
【００１２】
更に、本発明は、シート繰出ユニットからシートを繰り出すとともに、押圧ローラでシートを押圧して当該シートを板状部材に貼付するシート貼付方法において、張力測定手段によって前記押圧ローラがシートを押圧して当該シートを貼付する直前の張力を測定した後、前記板状部材に対するシート貼付角度を一定に維持するように板状部材と押圧ローラとを相対移動させて板状部材にシートを貼付する、という方法を採っている。
【００１３】
前記方法において、前記貼付直前に測定された張力が所定の設定張力に対して過不足が検出されたときに、前記シートを設定張力になるように調整して貼付する、という方法を採っている。
【００１４】
また、前記方法において、前記シート繰出ユニットから押圧ローラまで繰り出されたシートの長さは、前記板状部材の一端から他端までの長さよりも僅かに長く保たれた状態でシート貼付が行われる、という方法を採ることが好ましい。
【発明の効果】
【００１５】
本発明によれば、シートを板状部材に貼付する直前に張力測定手段でシートの張力を測定する構成を採用しているため、この測定によって設定張力に対して過不足が生じているか否かを検出することができ、当該過不足を生じている場合に、設定張力となるように繰出ヘッドの位置を調整することで、張力を設定張力に調整することができ、これによって、貼付角度も同時に決定する。従って、以後、前記板状部材に対する押圧ローラの相対移動量に比例して繰出ヘッドを移動させることで貼付角度が一定に保たれる結果、シートの張力も一定に保たれて当該シートの貼付を行うことができるので、貼付に際してシートの弛みを生ずることがないとともに、過大に張力を付与することもなく、皺の発生や空気の混入、板状部材の反り変形を回避することができる。
【００１６】
また、前記板状部材に対する押圧ローラの相対移動量に比例して貼付角度維持手段の繰出ヘッドが移動するので、貼付前に調整された張力がその後も一定に保たれることとなり、これにより、精度良くシートの貼付を行うことができる。
【００１７】
更に、ピールプレートの先端から押圧ローラまでの間に繰り出されるシート長さが板状部材の一端から他端までの長さよりも僅かに長く設定された状態で貼付されるので、板状部材の前記他端近傍に続くシート領域を次の板状部材に貼付する領域として利用することが可能となり、各板状部材に貼付されるシート領域間の余白若しくはマージンを最短化してシートの無駄な消費を解消することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照しながら説明する。
【００１９】
図１には、本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図が示され、図２には、その概略斜視図が示されている。これらの図において、シート貼付装置１０は、ベース１１の上部に配置されたシート繰出ユニット１２と、板状部材としてのウエハＷを支持するテーブル１３と、ウエハＷの上面側に繰り出された接着シートＳに押圧力を付与して当該接着シートＳをウエハＷに貼付する押圧ローラ１４と、ウエハＷに接着シートＳを貼付した後に当該ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断するカッター１５と、ウエハＷの外側の不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離する剥離装置１６と、不要接着シートＳ１を巻き取る巻取装置１７とを備えて構成されている。
【００２０】
前記シート繰出ユニット１２は、帯状の剥離シートＰＳの一方の面に帯状の接着シートＳが仮着されたロール状の原反Ｌを支持する支持ローラ２０と、この支持ローラ２０から繰り出された原反Ｌを急激に反転して接着シートＳを剥離シートＰＳから剥離するピールプレート２２と、剥離シートＰＳを巻き取って回収する回収ローラ２３と、支持ローラ２０と回収ローラ２３との間に配置された複数のガイドローラ２５〜３１と、ガイドローラ２５，２６間に配置されたバッファローラ３３と、ガイドローラ２７，２８間に配置された張力測定手段３５と、前記押圧ローラ１４と相互に作用してウエハＷに対する接着シートＳの貼付角度θを一定に保つ貼付角度維持手段３７とを備えて構成されている。なお、前記ガイドローラ２７，２９には、ブレーキシュー３２，４２が併設されており、これらブレーキシュー３２，４２は、接着シートＳをウエハＷに貼付する際に、シリンダ３８、４８によって対応するガイドローラ２７，２９に対して進退することによって接着シートＳを挟み込んでその繰出を抑制するようになっている。
【００２１】
前記張力測定手段３５は、ロードセル３９と、当該ロードセルに支持されて前記ピールプレート２２の基部側に位置する張力測定ローラ４０とにより構成されている。張力測定ローラ４０は、ガイドローラ２７、２９とブレーキシュー３２、４２とで挟み込まれ、後述の繰出ヘッド４９が昇降することによって前記押圧ローラ１４との間に繰り出された接着シートＳに働く張力をロードセル３９に伝えるように構成されている。
【００２２】
前記貼付角度維持手段３７は、ガイドローラ２７，２８，２９、ロードセル３９、張力測定ローラ４０、ブレーキシュー３２，４２，シリンダ３８，４８，ピールプレート２２及びこれらを支える一対のスライド板４３により構成された繰出ヘッド４９と、当該繰出ヘッド４９を上下に案内する一対のガイドレール４５と、繰出ヘッド４９に昇降力を付与する一対の単軸ロボット４６とを備えて構成されている。ガイドレール４５及び単軸ロボット４６は傾斜姿勢に配置されており、この傾斜角度に沿って繰出ヘッド４９が昇降可能となっており、上記ロードセル３９によって接着シートＳの貼付直前の張力が測定され、予め設定された設定張力に対して過不足が生じている場合に、繰出ヘッド４９が昇降することで張力調整が行えるようになっている。なお、ピールプレート２２は、スライド板４３の内側に配置されたシリンダ５０に支持されており、図１中Ｘ方向に進退可能に設けられ、これにより、ウエハＷの直径に応じてピールプレート２２の先端位置調整を行えるようになっている。
【００２３】
前記テーブル１３は、図３に示されるように、平面視略方形の外側テーブル５１と、平面視略円形の内側テーブル５２とにより構成されている。外側テーブル５１は内側テーブル５２を受容可能な凹状に設けられているとともに、単軸ロボット５４を介してベース１１に対して昇降可能に設けられている。この一方、内側テーブル５２は、単軸ロボット５６を介して外側テーブル５１に対して昇降可能に設けられている。従って、外側テーブル５１と内側テーブル５２は、一体的に昇降可能であるとともに、相互に独立して昇降可能とされ、これにより、接着シートＳの厚み、ウエハＷの厚みに応じて所定の高さ位置に調整できるようになっている。
【００２４】
前記押圧ローラ１４は、門型フレーム５７を介して支持されている。門型フレーム５７の上面側には、シリンダ５９，５９が設けられており、これらシリンダ５９の作動により押圧ローラ１４が上下に昇降可能に設けられている。なお、門型フレーム５７は、図２に示されるように、単軸ロボット６０及びガイドレール６１を介して図１中Ｘ方向に移動可能に設けられている。
【００２５】
前記カッター１５は、テーブル１３の上方位置で図示しない昇降装置を介して昇降可能に設けられている。このカッター１５は、回転中心軸６５に固定された回転アーム６６と、この回転アーム６６に支持されたカッター刃６７とにより構成され、当該カッター刃６７を回転中心軸６５回りに回転させることで、ウエハＷの外縁に沿って接着シートＳを切断できるようになっている。
【００２６】
前記剥離装置１６は、図１及び図４、図５に示されるように、小径ローラ７０と、大径ローラ７１とにより構成されている。これら小径ローラ７０及び大径ローラ７１は、移動フレームＦに支持されている。この移動フレームＦは、図２中Ｙ方向沿って相対配置された前部フレームＦ１と、この前部フレームＦ１に連結部材７３を介して連結された後部フレームＦ２とからなり、後部フレームＦ２は、単軸ロボット７５に支持されている一方、前部フレームＦ１は、前記ガイドレール６１に支持され、これにより、移動フレームＦは、図２中Ｘ方向に移動可能となっている。大径ローラ７１は、図１に示されるように、アーム部材７４に支持されているとともに、当該アーム部材７４はシリンダ７８によって大径ローラ７１が小径ローラ７０に対して離間、接近する方向に変位可能とされている。
【００２７】
前記巻取装置１７は、移動フレームＦに支持された駆動ローラ８０と、回転アーム８４の自由端側に支持され、ばね８５を介して駆動ローラ８０の外周面に接して不要接着シートＳ１をニップする巻取ローラ８１とにより構成されている。駆動ローラ８０の軸端には、駆動モータＭが配置されており、移動フレームＦの移動に同期して当該モータＭが駆動することにより、駆動ローラ８０が回転し、巻取ローラ８１がこれに追従回転して不要接着シートＳ１が巻き取られるようになっている。なお、巻取ローラ８１は、巻取量が増大するに従って、ばね８５の力に抗して図１中右方向へ回転することとなる。
【００２８】
次に、本実施形態における接着シートＳの貼付方法について、図４及び図５をも参照しながら説明する。
【００２９】
初期設定において、支持ローラ２０から繰り出される原反Ｌは、ピールプレート２２の先端位置で剥離シートＰＳから接着シートＳが剥離され、剥離シートＰＳのリード端は、ガイドローラ２８，２９を経由して回収ローラ２３に固定される。この一方、接着シートＳのリード端は、押圧ローラ１４，剥離装置１６を経由して巻取装置１７の巻取ローラ８１に固定される。この際、ピールプレート２２は、当該ピールプレート２２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの長さが、ウエハＷの一端から他端、すなわち図４中右端から左端までの長さよりも僅かに長くなるように、シリンダ５０を介して先端の位置調整が行われる。
【００３０】
図示しない移載アームを介してテーブル１３上にウエハＷがセットされた状態で貼付動作が開始される。その動作と前後して、ガイドローラ２７、２９にブレーキシュー３２，４２が当接して接着シートＳの繰り出しが抑制され、貼付動作直前のシート繰出ユニット１２と押圧ローラ１４との間の接着シートＳの張力が張力測定ローラ４０を介してロードセル３９で測定される。そこで、予め設定された張力に対して過不足を生じている場合には、繰出ヘッド４９の位置を昇降させて設定張力となるように調整され、設定張力となったときに貼付角度θが決定する（図4（Ａ）参照）。そして、テーブル１３が静止した状態で、押圧ローラ１４が回転しながらウエハＷ上を図４中左側に相対移動する。
【００３１】
押圧ローラ１４がウエハＷ上を相対移動する際には、図４（Ａ）に示されるように、押圧ローラ１４の最下点の位置と、ピールプレート２２の貼付時初期の先端位置をそれぞれＰ１，Ｐ２とし、接着シートＳを貼り終えた時点のピールプレートの先端位置をＰ３としたとき、単軸ロボット６０によって押圧ローラ１４が移動して点Ｐ１，Ｐ３の距離が短くなるに従い、ピールプレート２２の高さすなわち、点Ｐ２，Ｐ３間の距離も短くなるように貼付角度維持手段３７を構成する繰出ヘッド４９をガイドバー４５に沿って下降させて、常に貼付角度θを維持するように単軸ロボット４６、６０を同期制御させる。
【００３２】
図４（Ｄ）、（Ｅ）に示されるように、接着シートＳの貼付が完了すると、カッター１５が下降してウエハＷの外周縁に沿って接着シートＳの切断を行い、その後にカッター１５が上昇して初期位置（図１参照）に復帰する。この際、ピールプレート２２の先端はウエハＷの左端近傍に位置し、これにより、ピールプレート２２の先端位置から左側に存在する接着シート領域を次のウエハＷへの接着領域とすることができ、接着シートＳを無駄に消費することがないようになっている。
【００３３】
次いで、ウエハＷが移載装置を介してテーブル１３から取り去られると、図５に示されるように、押圧ローラ１４が上昇し、移動フレームＦが単軸ロボット７５の駆動によって図１中左側に移動することとなる。この際、剥離装置１６の小径ローラ７０及び大径ローラ７１が不要接着シートＳ１をテーブル１３から剥離しつつ、巻取装置１７の駆動ローラ８０が単軸ロボット７５に同期駆動して不要接着シートＳ１を巻き取ることで、ウエハＷ回りの不要接着シートＳ１をテーブル１３の上面から剥離する。
【００３４】
そして、ブレーキシュー３２，４２がガイドローラ２７，２９から離れて原反Ｌの繰り出しを可能とすると共に、駆動ローラ８０がロックした状態で剥離装置１６と巻取装置１７が初期位置に復帰し、繰出ヘッド４９の位置を昇降させることによって、新しい接着シートＳが引き出され、新たなウエハＷが再びテーブル１３上に移載される（図５（Ｄ）参照）。
【００３５】
従って、このような実施形態によれば、ウエハＷに対する押圧ローラ１４の相対移動量に比例して貼付角度維持手段３７の繰出ヘッド４９が下降して貼付角度θを一定に保つことができ、接着シートＳの貼付を開始する直前に張力を測定して設定張力に調整しておけば、当該設定張力を維持したままウエハＷに接着シートＳを貼付することができる、という効果を得る。
【００３６】
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
【００３７】
例えば、前記実施形態では、テーブル１３が静止した状態で、押圧ローラ１４が移動することで接着シートＳが貼付される場合を図示、説明したが、テーブル１３を移動させる構成を採用することでもよい。また、貼付角度θは、特に限定されるものではない。
【００３８】
また、前記実施形態では、板状部材としてウエハＷを対象としたが、本発明における板状部材は半導体ウエハＷに限定されるものではなく、ガラス、鋼板、または、樹脂板等、その他の板状部材も対象とすることができ、半導体ウエハは、シリコンウエハや化合物ウエハであってもよい。また板状部材は、円形のものに限らず、多角形状であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本実施形態に係るシート貼付装置の概略正面図。
【図２】前記シート貼付装置の概略斜視図。
【図３】テーブルの概略断面図。
【図４】接着シートの貼付動作説明図。
【図５】剥離装置による不要接着シートの剥離動作説明図。
【符号の説明】
【００４０】
１０  シート貼付装置
１２  シート繰出ユニット
１４  押圧ローラ
３５  張力測定手段
３９  ロードセル
４０  張力測定ローラ
３７  貼付角度維持手段
Ｓ  接着シート
Ｗ  ウエハ（板状部材）
θ  貼付角度
【図１】
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【図２】
2007149764.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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