(57)【要約】【課題】小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能な、吐出能力の高い液体吐出ヘッド１及び、それを備えた液体吐出装置Ａを提供する。【解決手段】圧力室用孔１２が貫通形成された圧電体１１にノズル板１３と、区画板（供給板）１５と、を接合し、その圧力室用孔１２によって圧力室１０を区画する。圧力室用孔１２には、区画板１５及びノズル板１３の少なくとも一方に支持された突起部１６が内挿される。突起部１６の体積弾性率は、圧力室１０内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定される。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体を収容する圧力室に連通するノズルが形成されたノズル板と、
上記ノズル板に相対して配置された区画板と、
上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、その一面に該ノズル板が、その他面に該区画板がそれぞれ接合されかつ、その変形駆動により上記ノズル板及び区画板を相対的に変位させる圧電体と、
上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に設けられかつ、上記圧力室用孔に内挿される突起部と、を備え、
上記突起部の体積弾性率は、上記圧力室内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定されている液体吐出ヘッド。
【請求項２】
請求項１に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記突起部は、上記区画板に設けられて上記圧電体の他面側から上記圧力室用孔に内挿されている液体吐出ヘッド。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記突起部の側面と上記圧力室用孔の内面との間には充填材が充填されている液体吐出ヘッド。
【請求項４】
請求項１〜３の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドにおいて、
上記区画板には、上記圧力室に連通しかつ、該圧力室内に液体を供給する供給口が形成されている液体吐出ヘッド。
【請求項５】
液体を収容する圧力室と、
上記圧力室に連通しかつ、上記圧力室内の液体を吐出するノズルと、を備え、
上記圧力室は、上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動することによって該圧力室の体積を増減させる圧電体によって区画形成されており、
上記圧力室の上記ノズル軸方向長さは、上記圧電体の上記ノズル軸方向厚みよりも小さい液体吐出ヘッド。
【請求項６】
請求項１〜５の何れか１項に記載の液体吐出ヘッドを備えている液体吐出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液滴を吐出する液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、記録紙に対してインク滴を吐出するインクジェット技術が、パターンの形成や均一薄膜の形成等に応用されている。そうしたパターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドには、さらなる小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が要求される。それらの要求を満たす吐出能力の高いヘッドを実現するには、圧力室内の液体に、より高い圧力を加える必要がある。
【０００３】
例えば特許文献１に開示されている液体吐出ヘッドは、その圧力室が圧電体によって区画形成されており、圧電体がノズルの軸方向に伸長変形することによって圧力室の体積（断面積）を減少させる構成となっている。この構成では、圧力室内の液体に対し高い圧力を加えることができる。
【０００４】
しかしながら、パターン形成等に用いられる液体吐出ヘッドでは、圧力室内の液体の圧縮性を無視することができず、液体に対して高い圧力を加えただけでは小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を実現することはできない。これらを実現するには、液体に対して高い圧力を掛けることに加え、圧力室の体積変化率、つまり圧電体の変形前の圧力室体積に対する圧電体の変形後の圧力室体積の変化量（体積変化率＝体積変化量／変形前の体積）を大きくすることが重要である。
【０００５】
例えば特許文献２には、相対する一対の圧電体によって圧力室を区画すると共に、その一対の圧電体を互いに接近するように変形させることによって圧力室の体積を減少させる液体吐出ヘッドにおいて、その圧力室内にスペーサを配置することによって体積変化率を大きくすることが開示されている。
【特許文献１】特開平７−４０５３６号公報
【特許文献２】特開平５−１６３６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところが、特許文献２に開示されている液体吐出ヘッドでは、スペーサが、圧力室内においてノズルの軸方向に沿って配置されており、そのスペーサによって流路断面積が減少している。このため、流路抵抗が高くなり、体積変化率を大きくしたとしても、液体吐出ヘッドの吐出能力はそれほど向上しないという問題がある。
【０００７】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が可能な、吐出能力の高い液体吐出ヘッド及び、それを備えた液体吐出装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を収容する圧力室に連通するノズルが形成されたノズル板と、上記ノズル板に相対して配置された区画板と、上記圧力室を区画する圧力室用孔が一面から他面まで貫通形成されると共に、その一面に該ノズル板が、その他面に該区画板がそれぞれ接合されかつ、その変形駆動により上記ノズル板及び区画板を相対的に変位させる圧電体と、上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に設けられかつ、上記圧力室用孔に内挿される突起部と、を備え、上記突起部の体積弾性率を、上記圧力室内に収容される液体の体積弾性率よりも低く設定する。
【０００９】
この構成によると、圧力室は、圧電体の圧力室用孔と、その圧電体の一面及び他面のそれぞれに接合されるノズル板及び区画板と、によって区画形成される。圧力室は、圧電体の変形駆動に伴いノズル板と区画板とが相対的に変位することによって、その体積が増減し、それによってノズル板のノズルから液体が液滴として吐出される。このように、圧力室を圧電体によって区画形成し、その圧電体の変形によって圧力室の体積を増減させることで圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができる。
【００１０】
上記構成では、上記ノズル板及び区画板の少なくとも一方に、圧力室用孔に内挿される突起部を、一体形成又は取り付けによって設けるため、圧力室の体積は、その突起部の分だけ減少する。一方で、突起部は圧電体の変形を妨害せず、圧電体の変形量、言い換えると圧力室の体積変化量は突起部の有無に拘わらず同じである。従って、圧力室の体積変化率は大きくなる。
【００１１】
また突起部は、圧力室を区画するノズル板及び／又は区画板に設けられているため、その突起部によって流路断面積が減少することはなく流路抵抗は増大しない。
【００１２】
そして、突起部の体積弾性率は、液体の体積弾性率よりも低く設定されているため、圧力室の体積が増減したときに、突起部が変形してその圧力を吸収することはなく、圧力室内の液体に対し十分に圧力が加わる。
【００１３】
その結果、液体吐出ヘッドの吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
【００１４】
ここで、上記突起部は、上記区画板に設けられて上記圧電体の他面側から上記圧力室用孔に内挿されている、としてもよい。
【００１５】
こうすることで、圧力室とノズルとが直接的に連通することになり、流路抵抗がさらに低減して、吐出能力のさらなる向上が図られる。
【００１６】
また、上記突起部の側面と上記圧力室用孔の内面との間には充填材が充填されている、とすることが好ましい。
【００１７】
突起部と圧電体との隙間が埋まることで圧力室内に空気だまりが発生せず、吐出不良が回避される。
【００１８】
上記区画板には、上記圧力室に連通しかつ、該圧力室内に液体を供給する供給口が形成されている、としてもよい。
【００１９】
これによって、体積が比較的小さい上記の圧力室内に液体を供給するための構成が簡易に実現する。
【００２０】
本発明の液体吐出ヘッドは、液体を収容する圧力室と、上記圧力室に連通しかつ、上記圧力室内の液体を吐出するノズルと、を備え、上記圧力室を、上記ノズルの軸方向に伸縮変形駆動することによって該圧力室の体積を増減させる圧電体によって区画形成する。そして、上記圧力室の上記ノズル軸方向長さを、上記圧電体の上記ノズル軸方向厚みよりも小にする。
【００２１】
この構成によると、圧力室は圧電体によって区画形成され、圧電体の伸縮変形駆動によって圧力室の体積が増減し、ノズルから液体が液滴として吐出される。このように、圧力室を圧電体によって区画形成し、その圧電体の伸縮変形によって圧力室の体積を増減させることで、圧力室内の液体に対して高い圧力を加えることができる。
【００２２】
上記構成では、上記圧力室のノズル軸方向長さが、圧電体のノズル軸方向厚みよりも小さい。このことによって、圧電体の厚みは比較的、分厚くなって圧電体の伸縮量が十分に確保され、それによって圧力室の体積変化量は大きくなる。これに対し、圧力室の長さは比較的短くなって圧力室の体積は小さくなる。従って、圧力室の体積変化率は大きくなる。
【００２３】
また、圧力室のノズル軸方向長さを短くすることによって圧力室の体積を減少させているため、圧力室のノズル軸方向に直交する面の面積は十分大きくすることができ、流路抵抗の増大が回避される。
【００２４】
その結果、液体吐出ヘッドの吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
【００２５】
本発明の液体吐出装置は、上述した液体吐出ヘッドを備える。このため、吐出能力の高い液体吐出装置が実現する。
【発明の効果】
【００２６】
以上説明したように、本発明の液体吐出ヘッド及び液体吐出装置によると、圧力室の体積変化率は大きくなる一方、流路抵抗は増大しないため、吐出能力が高くなって小液滴の吐出や高粘度液体の吐出を実現することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。尚、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。
【００２８】
（実施形態１）
図１は、液体吐出装置Ａの概略構成を示している。この液体吐出装置Ａは、一又は複数の液体吐出ヘッド１（図２参照）を備えたヘッドユニット２１と、被記録物４を支持するステージ３１と、を備えている。
【００２９】
ヘッドユニット２１は、装置基台６に支持されたヘッドユニット移動装置２によって主走査方向（図１に示すＸ方向）に往復移動し、ステージ３１は、同じく装置基台６に支持されたステージ移動装置３によって副走査方向（図１に示すＹ方向）に往復移動する。
【００３０】
ヘッドユニット移動装置２は、ヘッドユニット２１を支持するキャリッジ２２を含む。キャリッジ２２は、主走査方向に延びるキャリッジ軸２３にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、主走査方向に往復移動する。
【００３１】
ステージ移動装置３は、主走査方向に所定間隔を開けて配置されかつ、それぞれ副走査方向に延びる２つのステージ軸３２，３２を含む。ステージ３１はこれらのステージ軸３２，３２にガイドされ、図示を省略する駆動源（例えばモータ）によって、副走査方向に往復移動する。
【００３２】
液体吐出装置Ａはこの構成によって、ヘッドユニット２１とステージ３１上の被記録物４とを相対移動させながら、ヘッドユニット２１（液体吐出ヘッド１）から被記録物４に向かって液体材料を吐出し、被記録物４上に所望のパターンや均一薄膜等を形成する。
【００３３】
上記液体吐出ヘッド１は、図２に示すように、圧力室用孔１２が形成された圧電素子１１を備えている。
【００３４】
圧電素子１１は、約４００μｍ厚の積層圧電体からなり、平面視で、約１．５ｍｍ×２．５ｍｍの略矩形状を有している。圧電素子１１は、図示は省略する電極に電圧が印可されることによって、図２における上下方向に収縮変形する（図２の矢印参照）。
【００３５】
圧力室用孔１２は、約φ３００μｍの円形状を有していて、圧電素子１１の上面から下面までを貫通して形成されている。圧力室用孔１２は、圧力室１０の側面を区画する孔であり、その内周面には、液体材料に対する耐食性を考慮して、耐溶剤性を有する樹脂のコーディング処理が施されている。
【００３６】
圧電素子１１の下面には、ノズル板１３が接着固定されており、このノズル板１３の上面によって圧力室１０の底面が区画される。ノズル板１３は、約１００μｍ厚のステンレス鋼からなる。ノズル板１３には、その厚み方向に貫通し、上記圧力室用孔１２に連通するノズル１４が形成されている。
【００３７】
ノズル１４は、その径が先端側に向かって小さくなるテーパ形状を有しており、その基端開口の径は約φ８０μｍ、その先端開口の径は約φ２０μｍとされている。
【００３８】
尚、このノズル板１３の下面は、撥水膜１３ａで被覆されている。この撥水膜１３ａは、公知の方法により形成することが可能である。
【００３９】
圧電素子１１の上面には、供給板１５が接着固定されている。供給板１５は、約０．５ｍｍ厚のステンレス鋼からなり、その下面には、下方に突出する突起部１６が接着により取り付けられている。
【００４０】
突起部１６は、圧力室用孔１２と同様に断面円形状を有していて、その径は圧力室用孔１２の径よりも若干小さい約φ２８０μｍとされている。また、その高さは３００μｍとされている。突起部１６は、供給板１５が圧電素子１１の上面に接着固定された状態で、圧力室用孔１２に内挿される。この突起部１６によって、圧力室１０の上面が区画される。
【００４１】
突起部１６の周面と圧力室用孔１２の内面との間には、樹脂１６ａが充填されている。突起部１６と圧電素子１１との隙間を埋めることによって圧力室１０内に空気だまりが発生せず、吐出不良が回避される。また、この樹脂１６ａの体積弾性率が大きすぎるときには、後述するように圧力室１０の体積を減少させた際にその変形が大きくなることから、樹脂１６ａは、液体材料の体積弾性率の５０倍以下程度の体積弾性率を有する樹脂であることが、液体材料の吐出安定性の観点から好ましい。
【００４２】
供給板１５及び突起部１６には、供給板１５の上面から突起部１６の下面までを貫通し、圧力室１０に連通する供給口１７が形成されている。供給口１７はストレート形状であって、約φ４０μｍの径を有している。
【００４３】
ここで、上記の突起部１６はステンレス鋼からなっているが、突起部１６は、液体材料の体積弾性率よりも低い体積弾性率を有する材料であれば、どのような材料から構成されていてもよい。但し、液体材料の吐出安定性の観点からは、液体材料の体積弾性率の１／３程度であることが、より好ましい。
【００４４】
このように、液体吐出ヘッド１の圧力室１０は、上記供給板１５、圧電素子１１及びノズル板１３を積層した積層体の内部に形成され、その圧力室１０内には、突起部１６が供給板１５と圧電素子１１との接合面よりも圧力室１０の内方に突出して配置されている。
【００４５】
上記積層体は、ヘッドブロック１８内に収容されてこのヘッドブロック１８に支持されている。つまり、ヘッドブロック１８は、下方に開口する凹部１８ａを有しており、積層体がその凹部１８ａ内に収容された状態で、供給板１５の上面が、その凹部１８ａの上壁面に対し接着固定されている。このように供給板１５がヘッドブロック１８に対して固定されることによって、この液体吐出ヘッド１では、圧電素子１１の収縮変形に伴いノズル板１３が上方に変位する。
【００４６】
ヘッドブロック１８には、その上壁部を上下方向に貫通しかつ、供給口１７と連通する供給筒１９が取り付けられている。供給筒１９は、液体材料を貯留するタンク（図示省略）に接続されている。
【００４７】
また、ヘッドブロック１８の側壁には貫通孔１８ｃが形成されており、その貫通孔１８ｃ内には、圧電素子１１の電極に対して電圧を印加するためのリード線１８ｄが配設されている。
【００４８】
次に、上記構成の液体吐出ヘッド１の動作について説明する。供給口１７、圧力室１０、及びノズル１４内のそれぞれに液体材料が充填された状態で圧電素子１１に所定の電圧（例えば２０Ｖ）を印可することによって、圧電素子１１が上下方向に収縮変形する（同図の矢印参照）。
【００４９】
この圧電素子１１の収縮変形に伴いノズル板１３が上方に変位して圧力室１０の体積が減少し、圧力室１０内の液体材料に圧力が加わる。それによって液体材料がノズル１４から押し出されて被記録物４に向かって液滴として吐出される。液滴は被記録物４の上面にドット状に付着する。
【００５０】
圧電素子１１への電圧印加を解除することによって、収縮していた圧電素子１１が元に戻り、ノズル板１３が下方に変位して圧力室１０の体積が元に戻る。このときに、供給筒１９及び供給口１７を介して、タンクからの液体材料が圧力室１０内に補充される。
【００５１】
この液体吐出ヘッド１は、圧力室１０を圧電素子１１によって区画形成し、その圧電素子１１の変形によって圧力室１０の体積を減少させるため、圧力室１０内の液体材料に対して高い圧力を加えることができる。
【００５２】
また、供給板１５に支持させた突起部１６を圧力室用孔１２に内挿しているため、圧力室１０の体積は、その突起部１６の分だけ減少している。換言すれば、圧力室１０のノズル軸方向長さ（図２の上下方向長さ）は、圧電素子１１のノズル軸方向厚みよりも小さい。
【００５３】
圧電素子１１の厚みが比較的、分厚いため、圧電素子１１の収縮量は十分に確保されて圧力室１０の体積変化量は比較的大きくなる。このことと、圧力室１０の体積が突起部１６の分だけ減少する（つまり、圧力室１０の体積が小さい）こととが相俟って、圧力室１０の体積変化率は大きくなる。
【００５４】
また、突起部１６は供給板１５に支持されているため、圧電素子１１の変形を妨害せず、また、ノズル１４は圧力室１０に直接的に連通しているため、突起部１６によって流路断面積が減少することはない。しかも、圧力室１０の断面積は十分大きくすることができるため、流路抵抗は増大しない。
【００５５】
そして、突起部１６の体積弾性率は、液体材料の体積弾性率よりも低く設定されているため、圧力室１０の体積を減少させたときに、突起部１６が変形してその圧力を吸収することはなく、圧力室１０内の液体材料に対し十分に圧力が加わる。
【００５６】
その結果、上記液体吐出ヘッド１の吐出能力は高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。上記構成の液体吐出ヘッド１は、例えば粘度が５０ｃＰ（０．０５Ｐａ・ｓ）の高粘度液体を、約３ｐｌ（ピコリットル）の小さい液滴量で吐出することが可能である。
【００５７】
また、上記圧力室１０は、上述したように、突起部１６によってその体積が減少していて比較的小さいものの、供給板１５に供給口１７を形成することによって、圧力室１０内に液体材料を供給するための構成が簡易に実現する。
【００５８】
また、突起部１６は、本実施形態のように供給板１５とは別体にして供給板１５に対し接着固定させる代わりに、供給板１５と一体的に突起部１６を形成してもよい。
【００５９】
（実施形態２）
図３は、実施形態２に係る液体吐出ヘッド５を示している。尚、実施形態２の液体吐出ヘッド５において、実施形態１の液体吐出ヘッド１と同じ構成については、同じ符号を付すと共に、適宜その説明を省略する。
【００６０】
この液体吐出ヘッド５は、圧力室用孔１２が形成された圧電素子１１を備えている。この圧電素子１１も積層圧電体からなり、電圧の印加によって、図３における上下方向に収縮変形する（図３の矢印参照）。
【００６１】
圧電素子１１の下面には、ノズル板５１が接着固定されており、このノズル板５１の上面によって圧力室１０の底面が区画形成される。ノズル板５１には、その厚み方向に貫通しかつ、上記圧力室用孔１２に連通するテーパ形状のノズル１４が形成されている。また、ノズル板５１の下面は、撥水膜５１ａで被覆されている。
【００６２】
圧電素子１１の上面には、供給板１５が接着固定されている。この供給板１５の下面には、圧力室用孔１２に内挿される突起部１６が取り付けられている。
【００６３】
供給板１５及び突起部１６には、供給板１５の上面から突起部１６の下面までを貫通し、圧力室１０に連通する供給口１７が形成されている。
【００６４】
そうして、液体吐出ヘッド５の圧力室１０も、上記供給板１５、圧電素子１１及びノズル板５１を積層した積層体の内部に形成されると共に、その圧力室１０内には、突起部１６が供給板１５と圧電素子１１との接合面よりも圧力室１０の内方に突出して配置されている。
【００６５】
上記積層体も、ヘッドブロック１８の凹部１８ａ内に収容されてこのヘッドブロック１８に支持されている。つまり、積層体が凹部１８ａ内に収容された状態で、ノズル板５１の上面が、ヘッドブロック１８の下面に対し接着固定されている。このようにノズル板５１がヘッドブロック１８に対して固定されることによって、本液体吐出ヘッド５では、圧電素子１１の収縮変形に伴い供給板１５が下方に変位する。
【００６６】
供給板１５と凹部１８ａの上壁面との間には、供給板１５の変位に伴い弾性変形する環状の弾性体（例えばＯリング）５２が介設されており、この環状弾性体５２によって供給筒１９と供給口１７との間をつなぐ流路が形成されている。
【００６７】
次に、上記構成の液体吐出ヘッド５の動作について説明する。供給口１７、圧力室１０、及びノズル１４内のそれぞれに液体材料が充填された状態で圧電素子１１に所定の電圧（例えば２０Ｖ）を印可することによって、圧電素子１１が上下方向に収縮変形する（同図の矢印参照）。
【００６８】
この圧電素子１１の収縮変形に伴い供給板１５が下方に変位して圧力室１０の体積が減少し、圧力室１０内の液体に圧力が加わる。それによって液体材料がノズル１４から押し出され被記録物４に向かって液滴として吐出される。液滴は、該被記録物４の上面にドット状に付着する。
【００６９】
圧電素子１１への電圧印加を解除することによって、収縮していた圧電素子１１が元に戻り、供給板１５が上方に変位して圧力室１０の体積が元に戻る。このときに、供給筒１９、環状弾性体５２によって形成される流路、及び供給口１７を介して、タンクからの液体材料が圧力室１０内に補充される。
【００７０】
この構成の液体吐出ヘッド５も、実施形態１の液体吐出ヘッド１と同様に、圧力室の体積変化率が大きくなる一方、流路抵抗は増大しないため、その吐出能力が高くなり、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現する。
【００７１】
尚、上記の各実施形態について、次のような構成としてもよい。例えば突起部１６の下面は平面状に限らず、図４の（ａ）に示すように下向きに凸となった曲面状にしてもよい。
【００７２】
また、同図の（ｂ）に示すように上向きに凹となった曲面状にしてもよい。この場合、突起部１６の下面は、圧力室１０内の気泡を供給口１７に案内する案内面として機能させることができる。これによって、例えば液体材料を、空の圧力室１０に充填するとき等において、圧力室１０内の気泡を効果的に外部に排出することが可能になる。
【００７３】
さらに図示は省略するが、突起部１６の下面を、供給口１７の下端開口からその径方向外方に向かって登り勾配となった、又は降り勾配となった傾斜面によって構成してもよい。
【００７４】
また、供給口１７はストレート形状に限らず、図５の（ａ）に示すようにテーパ形状にしてもよい。また、同図の（ｂ）に示すように段差を設けてもよい。供給口１７の形状は、ノズル１４の流路抵抗と供給口１７の流路抵抗とのバランスを考慮して適宜設定すればよい。
【００７５】
また、突起部１６は、供給板１５に接着固定又は一体形成する代わりに、ノズル板１３，５１に接着固定又は一体形成してもよい。また、突起部は、供給板１５とノズル板１３，５１との双方に接着固定又は一体形成してもよい。
【００７６】
また、供給板１５は、本実施形態のように圧電素子１１とは別体にして圧電素子１１に対し接着固定させる代わりに、圧電素子１１と一体的に形成してもよい。
【００７７】
例えば図６は、その一例を示している。この例の液体吐出ヘッド（積層体）７は、圧電素子１１と、供給板１５及び突起部１６とを一体に形成している。この積層体７は、例えば次の手順で製造してもよい。
【００７８】
つまり、供給板１５を形成するための、電極が形成されていない１又は複数のグリーンシートと、圧電素子１１及び突起部１６を形成するための、所定パターンの電極が形成された複数のグリーンシートとを積層する（図７参照）。尚、突起部１６を形成する部分には電極は形成されていない。
【００７９】
そうして、そのグリーン積層体７１を焼成した後、エッチングや、レーザ加工等の、適宜の加工手法を採用して、圧力室１０を区画する孔１２を作成すると共に、その内部には突起部１６を形成する（図７の２点鎖線参照）。また供給板１５及び突起部１６に供給口１７を形成する。
【００８０】
その後、それに別途作成したノズル板１３を接着剤によって接着固定する。それによって、ヘッドブロック１８に収容される積層体７が完成する。
【００８１】
このように供給板１５と圧電素子１１とを一体的に形成する場合は、その供給板１５と圧電素子１１とを接着剤によって接着させる工程が不要になり、接着剤による穴詰まりや接着不良等は生じず、その分、信頼性の高いヘッドを供給することができる。
【００８２】
また、液体吐出ヘッド１は、圧力室１０の体積を減少させて液体を吐出する構成に限らず、圧力室１０の体積を一旦増加させた後にそれを元に戻すことによって液体を吐出する構成としてもよい。
【００８３】
尚、本発明は、インクを記録紙等に吐出して画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像記録装置に適用することも可能である。
【産業上の利用可能性】
【００８４】
以上説明したように、本発明は、小液滴の吐出や高粘度液体の吐出が実現するから、例えば液晶パネルや回路基板等の各種デバイスの製造のために、種々のパターンや均一薄膜を形成する液体材料吐出ヘッド及び液体材料吐出装置、またインクを吐出することによって例えば記録紙等の記録媒体上に画像を形成するインク吐出ヘッド及び画像形成装置として有用である。
【図面の簡単な説明】
【００８５】
【図１】実施形態に係る液体吐出装置を示す概略斜視図である。
【図２】実施形態１に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図３】実施形態２に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図４】他の実施形態に係る突起部を示す横断面図である。
【図５】他の実施形態に係る供給口を示す横断面図である。
【図６】他の実施形態に係る液体吐出ヘッドを示す横断面図である。
【図７】上記の液体吐出ヘッドの作成に係るグリーン積層体を示す横断面図である。
【符号の説明】
【００８６】
１，５  液体吐出ヘッド
１０  圧力室
１１  圧電素子（圧電体）
１２  圧力室用孔
１３  ノズル板
１４  ノズル
１５  供給板（区画板）
１６  突起部
１６ａ  樹脂（充填材）
１７  供給口
Ａ  液体吐出装置
【図１】
2007181990.tif 000003
【図２】
2007181990.tif 000004
【図３】
2007181990.tif 000005
【図４】
2007181990.tif 000006
【図５】
2007181990.tif 000007
【図６】
2007181990.tif 000008
【図７】
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