(57)【要約】記載された距離測定方法は、目視される測定対象物により反射または散乱された光学的測定ビームの位相測定に基づくものである。ここで測定対象物には、測定機器から放射され、強度変調された光学的測定ビームが照射され、測定対象物により反射または散乱された測定ビームが、測定機器に配置された受信器により検知され、電気測定信号に変換される。電気測定信号は次に基準信号と比較され、検出された位相差から測定機器と測定対象物との間の距離が求められる。この基準信号は、既知の基準区間を通って導かれた測定光成分の検知と変換により発生される。検出された測定ビームはバースト変調され、受信器の測定信号はアクティブなバースト持続時間の間だけ評価される。この方法を実施するための装置も記載されている。
2004507742.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
目視される測定対象物により反射または散乱された光学的測定ビームの位相測定に基づく距離測定方法であって、
測定対象物を、測定機器から放射され、強度変調された光学的測定ビームにより照射し、
測定対象物により反射または散乱された測定ビームを、測定機器に配置された受信器により検知し、電気測定信号に変換し、
該電気測定信号を、既知の基準区間を通って導かれた測定光成分の検知および変換により発生される基準信号と比較し、
検出された位相差から測定機器と測定対象物との間の距離を検出する形式の方法において、
検出される測定ビームをバースト変調し、
受信器の測定信号を、アクティブなバースト持続時間に依存する時間の間だけ評価する、
ことを特徴とする距離測定方法。
【請求項２】
アクティブなバースト持続時間は、約５％から約５０％、有利には約１０％から約４０％のデューティサイクルが達成されるように選択する請求項１記載の方法。
【請求項３】
ピーク電力が１０ｍＷより大きく、１００ＭＨｚより高い変調周波数により検出される測定ビームを変調する請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
電気測定信号を、高周波混合周波数の連続的重畳によって低周波信号に変換し、アクティブなバースト持続時間の間だけ評価する請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
バースト持続時間は、低周波測定信号の持続期間の１．５倍に選択する請求項４記載の方法。
【請求項６】
バースト周波数は、低周波測定信号の周波数をバーストのデューティサイクルの値により割った周波数に選択する請求項５記載の方法。
【請求項７】
電気測定信号に、アクティブなバースト持続時間のほぼ１倍から３倍の時間の間だけ高周波混合信号を重畳し、低周波信号に変換し、
該低周波信号を位相シフトに関して評価する請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
混合周波数は、バースト周波数のｎ倍±低周波測定信号の値に選択し、ここでｎはゼロより大きな整数である請求項４から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
受信器から送出された高周波電気測定信号を、バースト持続時間のほぼ１倍から３倍の時間の間だけフィルタリングし、
信号評価部にて基準信号と比較し、位相シフトについて評価し、そこから求める距離を検出する請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
バースト周波数を粗く距離検出するための粗周波数として用いる請求項７または９記載の方法。
【請求項１１】
位相測定原理による距離測定装置であって、
光学的ビーム（Ｌ）を放射するための送信器（１）と、測定対象物により反射または散乱された光学的測定ビーム（Ｒ）に対する受信光学系（３）と、該受信光学系（３）に後置接続されており、光学的ビームを電気測定信号に変換するための受信器（４）と、ノイズ信号をフィルタ除去するためのフィルタ装置（１５，２１，３３）と、測定信号を基準信号と比較し、位相状態について検査し、そこから測定対象物の距離を検出し、結果を使用者に使用可能とする信号処理装置（１７）とを有する形式の距離測定装置において、
送信器（１）は周波数シンセサイザ（１２，１３）と接続されており、
該周波数シンセサイザにより、検出される光学的ビーム（Ｌ）にバースト変調された高周波変調信号（Ｍ）が重畳され、
電気測定信号および基準信号の評価はアクティブなバースト持続時間（ｔＢＵＲＳＴ−ＯＮ）に結合されている、
ことを特徴とする距離測定装置。
【請求項１２】
送信器（１）として、可視光学的ビーム（Ｌ）に対する半導体レーザダイオードが使用され、
該半導体レーザダイオードは有利には約６３０ｎｍから約６５０ｎｍの領域の波長を有する請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
検出される光学的ビーム（Ｌ）のビーム路には装置（７）が設けられており、
該装置（７）は、検出される光学的ビーム（Ｌ）から光学的基準信号を形成し、
該光学的基準信号は、これが基準信号に変換される前に既知の基準区間を通って導かれる請求項１１または１２記載の装置。
【請求項１４】
前記装置（７）は基準ビームを形成するためのビームスプリッタであり、
基準ビームのビーム路には基準受信器（１０）が配置されている請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
フィルタ装置（３３）は少なくとも１つのハイパスフィルタを有し、
該ハイパスフィルタは信号処理装置（１７）の上流側で電気信号経路に配置されている請求項１１から１４までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、方法独立請求項１の上位概念による距離測定方法ないしは装置独立請求項１１の上位概念による距離測定装置に関する。
【０００２】
上位概念記載の形式の距離測定機器は従来技術から十分に公知である。この装置は数十ｍの距離測定領域を有し、しばしば携帯機器として構成されている。この測定機器は建築物測定または内部構造測定、例えば空間の３次元測定に主に使用される。距離測定機器に対する別の適用領域は、測地測定または工業的測定である。公知の測定機器による距離測定の基本原理は、機器から放射され、目視された対象物から反射された電磁ビームの特性量の時間的変化を評価することである。このために距離測定機器には強度変調されたビームを放射するための送信器が装備されている。携帯機器の場合、これは主に可視波長スペクトルにある光学的ビームであり、これにより測定点の目視が容易になる。光学的ビームは目視された測定対象物により反射ないし散乱され、機器に組み込まれた受信器により記録される。受信された変調ビームが送信器から放射されたビームに対して有する時間的遅延から測定対象物までの距離が得られる。
【０００３】
検知器として公知の距離測定機器では通常、ピン・フォトダイオードまたはアバランシュ・フォトダイオードが測定対象物により反射または散乱されたビームを電気信号に変換するために使用される。距離検出が位相測定の測定原理に基づく距離測定機器が非常に広く使用されている。この種の機器では、電気受信信号は直接アバランシュ・フォトダイオードでまたは前置増幅器の下流で、混合周波数により重畳され低周波の測定信号となる。この低周波信号において位相が検出され、基準信号の位相と比較される。低周波測定信号の測定された位相と基準信号の位相との差が測定対象物の距離に対する尺度である。
【０００４】
ＥＰ−Ｂ−０７３８８９９には、可視ビーム用のレーザダイオードの特性と、距離測定の際にこれと関連する精度問題とについて記載されている。距離測定の精度を改善するためにそこでは、放射されるレーザビームを２ｎｓ以下のパルス幅により変調することが提案されている。この公知の機器の変調周波数は約５０ＭＨｚの領域にある。例えばパルス幅が１ｎｓであり、周期持続時間が２０ｎｓのパルスの場合、この公知の機器では約２０ｍＷのパルス出力が１ｍＷの平均出力を達成するために必要であり、この出力はこの機器で使用されるレーザクラス２に対してまだ許容される。提案された変調形式は市販の３ｍＷレーザにより置換することができ、その際にパルス出力を連続的な３ｍＷのドライブに対して高めることにより、レーザの寿命が大きく低下することもない。短いパルスと高いパルス出力により、レーザービームの短いコヒーレンス長が得られる。このことにより、目視される測定対象物の通常は粗い表面から反射されるビームが一般的に粗く強度分布することが減少される。粗い強度分布はスペックルとして知られており、達成可能な測定精度に影響を及ぼす。検知器に入射する反射測定ビームにおいてスペックルが減少することにより、ｍｍ領域の測定精度が達成される。
【０００５】
既存の方法および装置の改善手段は、測定ビームの変調周波数をさらに高めることである。周波数が高くなるとゼロ通過の信号成分が大きくなり、ひいては固有ノイズが信号レベルに悪影響を及ぼす時間インターバルΔｔが短くなる。しかし時間インターバルの減少は、距離を所要の精度で検出することのできる測定領域が小さくなるという欠点を有する。変調周波数が５０ＭＨｚの場合、３ｍの間隔を所要の精度で測定することができるが、周波数が例えば４００ＭＨｚの場合は僅か３７．５ｃｍとなる。位相測定に基づく距離測定機器では、測定ビームに付加的に低い変調周波数が使用され、これにより粗く距離を検出する。従って精密測定のために変調周波数を高めた場合には、粗く距離を測定するためにコストが上昇する。
【０００６】
【特許文献１】ＥＰ−Ｂ−０７３８８９９
【０００７】
公知の距離測定機器によりすでに良好な結果を達成することができるが、性能を公知の距離測定機器に対してさらに改善したいという要望がある。この種の改善の目的は例えば、比較的に短い測定時間、正確な測定機器、比較的に大きな到達距離、または比較的に小さな受信光学系を使用することによる距離測定機器の構造の小型化である。レーザ出力の制御も簡素化すべきであるし、電池駆動またはバッテリー駆動の携帯機器としての距離測定機器の構成の点からもレーザの電力消費を低減すべきである。ここでは半導体技術のさらなる発展を考慮した距離測定方法および装置を提供すべきである。
【０００８】
この課題は請求項１の特徴部分に記載された構成を有する方法により解決される。この方法を実施するために本発明により構成された装置は請求項１１の特徴部分に記載された構成を有する。本発明の有利な変形実施形態および／または改善形態は従属請求項に記載されている。
【０００９】
本発明による距離測定方法は、目視された測定対象物により反射または散乱された光学的測定ビームを位相測定することに基づく。ここで測定対象物には測定機器から放射され、強度変調された光学的測定ビームが照射され、測定対象物により反射または散乱された測定ビームが測定機器に配置された受信器により検知され、電気測定信号に変換される。電気測定信号は次に基準信号と比較され、検出された位相差から測定機器と測定対象物との間の距離が求められる。この基準信号は、既知の基準区間を通って導かれた測定光成分の検知および変換から発生される。検出される測定ビームはバースト変調され、受信器の測定信号はアクティブなバースト持続時間に依存する時間の間だけ評価される。
【００１０】
ここでアクティブなバースト持続時間とは、バースト信号が印加されている間の時間である。バーストと、変調信号が存在しないデッドタイムとからなるシーケンスの期間が測定期間と称される。バースト信号はデューティサイクルを有する。このデューティサイクルはアクティブなバースト持続時間の測定期間に対する割合を％で表すものとして定義される。このことによりバースト変調は、変調信号が測定期間の全体にわたってほぼ連続的に印加されるパルス変調とは異なる。バースト変調の場合は、変調信号が測定期間の一部の間でだけ印加される。従って上に示した定義によれば、パルス変調の場合はデューティサイクルは常に１００％であるが、バースト変調の場合ではこの値は常に１００％より小さい。バースト変調は有利には矩形変調されたバースト信号により行われる。矩形変調されたバーストにより全体でピーク電力が減少する。デューティサイクルはとりわけ、信号／雑音比（Ｓ／Ｎ）において達成可能な改善に対する尺度である。バースト信号は、バースト内の信号経過の期間に依存する変調周波数を有する。アクティブ・バースト持続時間と同じように、アクティブな変調周波数を定義することができる。このアクティブな変調周波数は信号がゼロではない持続時間に依存する。アクティブな変調周波数の変調周波数に対する割合は％で表される変調周波数のデューティサイクルとして定義される。
【００１１】
受信器の測定信号をアクティブ・バースト持続時間の間だけ評価することにより、信号／雑音比（Ｓ／Ｎ）が改善される。このことを最大平均出力電力が１ｍＷである、レーザクラス２のレーザの例で説明する。公知の機器で送出されるピーク電力が２．５ｍＷの測定ビームの代わりに、２５ｍＷのピーク電力によりデューティサイクル１０％のレーザバーストを４００ＭＨｚの変調周波数で照射すれば、この場合も１ｍＷの平均レーザ出力が得られる。受信信号をアクティブ・バースト持続時間の間だけ評価することにより確かに同じ全体信号が得られるが、この全体信号は連続信号を加算するとした場合に発生することとなる。しかしその後、期間の９０％では評価が行われないから、ノイズの９０％が抑圧される。そこから係数√（１０）すなわち（１０）の平方根だけの信号／雑音比（Ｓ／Ｎ）の改善が得られる。
【００１２】
またバースト変調によりレーザ出力の制御も簡素化され、電流消費を低減することができる。例えば公知の距離測定機器で使用されるような市販のレーザは２５℃において、レーザ作用が開始する約４０ｍＷの閾値電流（制御電流）を有する。レーザダイオードに後置接続されたレーザコリメータでは損失が発生するから、レーザダイオードにおけるレーザ出力は機器のレーザ出射窓におけるレーザクラスに関連する出力と同じではない。出力電力が１ｍＷのレーザクラス２の機器に対しては２５℃の際に、約４１ｍＡの制御電流が必要である。出力電力が１０ｍＡの場合は、制御電流は約５１ｍＡである。次に１ｍＷの平均出力電力に対して１０ｍＷのバースト変調を１０％のデューティサイクルにより行えば、約５．１ｍＡの平均制御電流が必要である。レーザ電圧は電流が高められても約１０％しか大きくならないから、この例では約係数９だけ制御電力の低減が達成される。
【００１３】
バースト変調のさらなる利点は、レーザ出力の制御がクリティカルでないことである。レーザクラス２の機器では、平均レーザ出力がレーザのすべての動作条件において、機器のレーザ出射窓で１ｍＷを越えないことを保証しなければならない。レーザの制御は通常、直流電流に高周波の変調電流が重畳されるように行われる。この直流電流によりレーザ出力が制御される。レーザのスロープ効率が約１ｍＷ／ｍＡの場合、レーザ電流は、連続動作で２％の出力精度が所望される場合、１ｍＷの平均出力電力において約２０μＡで正確に制御しなければならない。バースト変調の場合、上に述べたのと同じように、電流は同じ電力精度において約２００μＡの精度に制御すればよい。制御電流の所要の精度がバースト変調のデューティサイクルの係数だけ低減する。
【００１４】
バースト変調はアクティブなバースト持続時間により行うことができる。このアクティブなバースト持続時間は実質的にただ１つのピークに制限される。しかし有利にはアクティブなバースト持続時間は、それにより約５％から５０％、有利には約１０％から約４０％のデューティサイクルが生じるように選択される。バースト持続時間に対して選択された大きさにより、公知の測定方法に対してなお十分な改善が達成される。
【００１５】
バースト変調の効率に対しては、平均測定ビームを１００ＭＨｚ以上の変調周波数と、１０ｍＷ以上のピーク電力により変調すると有利であることが判明した。レーザの比較的に高いピーク電力はバースト変調の場合、放射されるレーザビームのコヒーレンス長もまた短縮する。なぜならレーザはパルス幅が同じであってもピーク電力が比較的大きくなれば、複数のモードを通って飛躍する（ｄｕｒｃｈ ｍｅｈｅｒｅ Ｍｏｄｅｎ ｓｐｒｉｎｇｔ）からである。このことは有利には測定機器の精度に作用する。
【００１６】
本発明の方法の変形実施態様では、電気測定信号が高周波混合周波数の連続的重畳によって低周波信号に変換され、バースト持続時間の間だけフィルタリングされる。ここで混合周波数はバーストとして存在することもできる。混合周波数はここではたとえば、バースト信号の変調周波数の値±低周波信号の周波数値に相応する。ノイズのフィルタ除去はアナログ低周波信号において行うことができる。本発明の有利な変形実施態様では、ノイズのフィルタ除去は低周波信号のデジタル化後にデジタル信号処理部で実行される。バースト持続時間は有利には低周波測定信号の持続期間の１．５倍に選択される。フィルタが定常状態となるにはバースト持続時間の１／３が必要である。次に信号はバースト持続時間の後続の２／３の間、加算される。このバースト持続時間の２／３は低周波測定信号の完全な１期間に相応する。ここでバースト周波数は、有利には低周波測定信号の周波数をデューティサイクルの係数により割った周波数に選択される。フィルタの過渡特性により低周波測定信号の期間の半分が失われても、なお十分に高い信号／雑音比（Ｓ／Ｎ）の改善が達成される。この信号／雑音比はＡ／Ｄ変換器のサンプリング周波数を上昇させ、使用されるアンチエイリアシングフィルタを最適化することによりさらに改善することができる。
【００１７】
本発明の択一的変形実施態様では、電気測定信号が、バースト持続時間の１倍から３倍の時間の間だけバーストとして存在し、有利にはバースト周波数にほぼ相応する高周波混合周波数により重畳され、低周波信号に変換される。低周波測定信号は位相シフトに関して評価される。バースト持続時間に対して拡大された混合持続時間は、受信信号が測定すべき距離の関数で送信バースト側にずれることを考慮している。バースト周波数は低周波信号の周波数よりも大きく選択される。この方法ではバースト周波数を、粗く距離検出するための粗周波数として使用できるように高く選択できると有利である。
【００１８】
本発明の別の変形実施態様では、受信器から送出された高周波電気測定信号がフィルタリングされ、後置接続された信号評価部で基準信号と比較され、位相シフトに関して評価され、そこから求める距離が検出される。雑音のフィルタ除去は有利には高周波信号をデジタル化した後、デジタル信号処理部で行う。
【００１９】
本発明の距離測定機器と、最近の従来技術から公知の距離測定機器とは次の特徴を共通に有する。光学的ビームを放射するための送信器；測定対象物により反射または散乱された光学的測定ビームに対する受信光学系；受信光学系に後置接続され、光学的ビームを電気信号に変換するための受信器；既知の基準区間を通過した後、電気基準信号に変換される基準ビームを形成するための装置；ノイズ信号をフィルタ除去するためのフィルタ装置；測定信号と基準信号とをその位相位置について検査し、そこから測定対象物の距離を検出し、結果をユーザに使用可能とする、有利にはデジタル信号処理装置。本発明の距離測定機器は特異的構成は、送信器が周波数シンセサイザと接続されており、この周波数シンセサイザにより、放射される光学的ビームに高周波バースト変調された変調周波数が印加され、電気測定信号および電気基準信号の評価がバースト持続時間に結合されていることである。この基本的構成は、位相測定を基本とする本発明の距離測定機器のすべての変形実施態様において共通である。光学的基準ビームは例えばビームスプリッタにより形成される。このビームスプリッタは放射された光学的ビームを測定ビームと基準ビームに分割する。ここで基準ビームのビーム路には、別個の基準受信器が配置されており、この基準受信器は基準ビームを基準区間の通過後に電気基準信号に変換する。しかし光学的ビームを周期的に、測定対象物へまたは基準区間を通して受信器へ導くこともできる。例えばこのために周期的にビーム路へ回動することのできる反転ミラーを設けることができる。
【００２０】
バースト変調のためには、送信器として可視光学的ビームに対する半導体レーザダイオードを使用する。このレーザダイオードが約６３０ｎｍから約６５０ｎｍの領域に波長を有すると有利である。この種の半導体レーザダイオードは所要の平均出力電力により駆動することができ、とりわけ所要のパルスエネルギーを寿命の低下することなしに生成することができる。
【００２１】
フィルタ装置が、電気信号経路中で信号処理装置の上流側に配置された少なくとも１つのハイパスフィルタを有することにより、低周波信号への変換を省略することができる。ノイズのフィルタ除去は直接、高周波測定信号ないしは基準信号で行われる。フィルタリングされた信号は次に信号処理装置でさらに処理される。
【００２２】
本発明の他の実施態様では、測定信号の電気信号経路と基準信号の電気信号経路とにそれぞれ１つの周波数ミクサが設けられている。この周波数ミクサはフィルタ装置の上流側に配置されており、高周波電気測定信号ないし高周波電気基準信号に高周波混合周波数を重畳するために用いられる。高周波測定信号ないし高周波基準信号に高周波混合周波数を重畳することによって、低周波測定信号ないし低周波基準信号が発生する。これらの信号は後置接続された１つまたは複数のローパスフィルタでノイズが除去される。フィルタリングされた低周波信号は次にデジタル化され、信号処理装置でさらに処理され、位相状態から測定対象物の距離が検出される。ローパスフィルタとして有利にはアンチエイリアシングフィルタが使用される。
【００２３】
以下、本発明を図面に概略的に示された実施態様を参照して詳細に説明する。
【００２４】
図１から図３は、レーザダイオードの特性量を説明するための線図である。
【００２５】
図４から図６は、本発明の変形実施態様の機能を説明するための概略図である。
【００２６】
図１は、レーザーダイオードの光波長と出力電力との関係を示す。パルス幅が同じであってもピーク電力が上昇すると、レーザは複数のモードを通って飛躍する。このことは放射されるレーザ光のコヒーレンス長を短縮する。この短縮は、レーザを装備した測定機器の精度に有利に作用する。半導体技術での進歩により、信号の発生と処理をますます高い周波数で行うことができるようになった。距離測定機器でもこの改善された技術を機器能力の改善のために使用することができる。この改善は、測定時間の短縮、測定機器の精度の向上、到達距離の拡大、またはさらなる機器の小型化、およびひいては受信信号レベルが比較的に小さい受信光学系のさらなる小型化の点で成される。周波数が比較的に高いと、信号はゼロ通過時に比較的大きな勾配を有する。このことにより、ノイズ信号が本来の測定信号を損なう時間が短縮される。
【００２７】
図２は、半導体レーザの制御特性を種々異なる温度において示す。１ｍＷの平均出力電力に対して、レーザは２５℃の場合、約４１ｍＡの制御電流を有する。制御特性の勾配のため、１０ｍＷの出力電力に対して制御電流は約５１ｍＡである。平均出力電力が１０倍に増大されても、制御電流は約１０ｍＡしか大きくならない。レーザ電圧は制御電流が高められた場合、約１０％高くなる。
【００２８】
図３は、放射される光学的ビームを本発明によりバースト変調するための特性量を示す線図である。バースト信号シーケンスＳが印加される間の時間は、アクティブ・バースト持続時間ｔＢＵＲＳＴ−ＯＮとして示されている。バーストと、変調信号が印加されないデッドタイムとからなるシーケンスの期間は測定期間ｔＢＵＲＳＴとして示されている。バースト信号はデューティサイクルを有し、これはアクティブ・バースト持続時間ｔＢＵＲＳＴ−ＯＮの、測定期間ｔＢＵＲＳＴに対する％での割合として定義される。このことによりバースト変調は、変調信号が測定期間の全持続時間にわたってほぼ連続的に印加されるパルス変調から区別される。バースト変調の場合は、変調信号が測定期間の一部の間だけ印加される。従って上記の定義によれば、パルス変調は常に１００％のデューティサイクルを有する。一方、バースト変調の場合この値は常に１００％以下である。バースト変調は有利には矩形変調されたバースト信号Ｓにより行われる。矩形変調されたバーストＳによって全体としてピーク電力が低下する。デューティサイクルはとりわけ信号／雑音比（Ｓ／Ｎ）における達成可能な改善に対する尺度である。バースト信号は変調周波数Ｍを有し、この変調周波数はバースト内での信号経過の期間ｔｓに依存する。アクティブ・バースト持続時間と同じようにして、アクティブな変調周波数ＭＯＮ＝１／ｔＳ−ＯＮも定義される。これは、信号がゼロではない時間に依存する。アクティブな変調周波数の、変調周波数に対する割合から、変調周波数のデューティサイクルを％で定義することができる。
【００２９】
図４は、本発明の距離測定機器の変形実施形態を概略的に示す。レーザ源１から放射され、コリメータ光学系２によりコリメートされた光学的ビームＬはビームスプリッタ７により測定ビーム束と基準ビーム束に分割される。測定ビームは、距離測定機器からの距離を測定すべき測定対象物に到達する。測定対象物により反射または散乱されたビームＲは受信光学系３により集光され、測定受信器４に導かれる。測定受信器４として例えばアバランシュフォトダイオードが使用される。このアバランシュフォトダイオードには前置抵抗５を介して可変のバイアス電圧６が印加される。基準ビームは偏向ミラー８と光学系９を介して基準受信器に導かれる。基準ビームの通過する、ビームスプリッタ７から基準受信器１０へ至る経路区間は既知の基準区間を形成する。
【００３０】
レーザ源１から放射された光学的ビームには高周波変調周波数Ｍが重畳されている。この高周波変調周波数Ｍは、基準水晶１３により制御される周波数シンセサイザ１２により形成される。高周波変調周波数Ｍによって、受信器４と基準受信に１０にはそれぞれ高周波測定信号が形成される。周波数シンセサイザ１２はまた同じように高周波の混合周波数Ｆも形成する。この混合周波数は、接続線路を介して周波数ミクサ１１と受信器４にも同時に供給される。測定対象物により反射ないし散乱されたビームに対する受信器４はアバランシュフォトダイオードとして構成されており、従ってダイレクトミクサとして動作する。アバランシュフォトダイオードの代わりにＰＩＮダイオードを使用する場合には、付加的な周波数ミクサが必要であり、この付加的な周波数ミクサで混合周波数Ｆに測定信号を重畳する。混合周波数Ｆとの重畳によって、受信器４により形成される測定信号は低周波の測定信号ＮＦに変換される。同じように高周波の基準信号も周波数ミクサ１１で混合周波数Ｆと重畳され、低周波の較正信号ＮＦ−ＣＡＬとなる。ここで混合周波数Ｆは有利には、Ｆ＝（ｎ×Ｍ）±ＮＦが成り立つように選択される。従って混合周波数Ｆは変調周波数Ｍの整数倍を低周波信号ＮＦの値だけ増減したものである。ここでｎは０より大きい。
【００３１】
低周波測定信号ＮＦないし較正信号ＮＦ−ＣＡＬはアナログスイッチ１４を介してシーケンシャルにローパスフィルタ１５に供給される。このローパスフィルタでは高周波信号成分がフィルタ除去される。有利にはこのフィルタはアンチエイリアシングフィルタである。フィルタリングされ、増幅された測定信号ないし基準信号はＡ／Ｄ変換器１６でデジタル化され、デジタル信号処理装置１７でその位相状態について評価される。位相状態から測定対象物の距離が推定され、この距離は信号Ｏとして出力ユニットにさらに供給される。
【００３２】
距離測定機器の本発明による変形実施形態では、周波数シンセサイザ１２により形成された変調周波数Ｍに、レーザ源１から放射された光学的ビームＬの周波数が重畳される。ここでは、周波数が低周波測定信号ＮＦの周波数に対して低いバーストＢによるバースト変調が行われる。バーストＢでのバースト変調により測定ビームＬは周期的に比較的長いデッドタイム部分と交互になる。その結果が測定信号ＮＦないし基準信号ＮＦ−ＣＡＬであり、これらは測定信号のない長い部分により相互に分離されている。低周波測定信号ＮＦないし基準信号ＮＦ−ＣＡＬの評価はデジタル信号処理装置１７で行われる。この評価も同様に周波数シンセサイザにより制御され、実質的にバースト持続時間に依存する測定時間Ｅの間だけ実行される。同じく周波数シンセサイザ１２により形成される混合周波数Ｆも連続的に形成することができる。しかしこの混合周波数はバーストとして存在することができ、その周波数は光学的ビームに重畳される変調周波数の領域にある。
【００３３】
図５に概略的に示した実施形態は、送信領域と受信領域とで図４の実施形態と実質的に同じ構造を有する。従って同様の構成部材には同じ参照符号が付してある。レーザ源１から放射され、コリメータ光学系２によりコリメートされた光学的ビームＬはビームスプリッタ７により測定ビーム束と基準ビーム束に分割される。測定ビームは、距離測定機器からの距離を測定すべき測定対象物に到達する。測定対象物により反射または散乱されたビームＲは受信光学系３により集光され、測定受信器４に導かれる。受信器として例えばアバランシュフォトダイオードが使用され、このアバランシュフォトダイオードには前置抵抗５を介して可変のバイアス電圧６が印加される。基準ビームは偏向ミラー８と光学系９を介して基準受信器に導かれる。基準ビームの通過する、ビームスプリッタ７から基準受信器１０へ至る経路区間は既知の基準区間を形成する。
【００３４】
レーザ源１から放射された光学的ビームには高周波変調周波数Ｍが重畳されている。この高周波変調周波数Ｍは、基準水晶１３により制御される周波数シンセサイザ１２により形成される。高周波変調周波数Ｍによって受信器４と基準受信器１０にはそれぞれ高周波測定信号が形成される。周波数シンセサイザ１２は同様に高周波の混合周波数Ｆも形成する。この混合周波数は接続線路を介して周波数ミクサ１１と受信器４に同時に供給される。混合周波数Ｆは受信器４により形成された測定信号に、後置接続された付加的周波数ミクサ２１で重畳される。混合周波数Ｍとの重畳によって、受信器４により形成される測定信号は低周波の測定信号ＮＦに変換される。同じように高周波の基準信号も周波数ミクサ１１で混合周波数Ｍと重畳され、低周波の較正信号ＮＦ−ＣＡＬとなる。
【００３５】
低周波測定信号ＮＦと低周波較正信号ＮＦ−ＣＡＬとはそれぞれローパスフィルタ２１，２２に供給され、このローパスフィルタで高周波の信号成分がフィルタ除去される。有利には２つのフィルタはアンチエイリアシングフィルタである。フィルタリングされ、増幅された測定信号ないし基準信号は、２つの入力端を備えるＡ／Ｄ変換器２３でデジタル化され、デジタル信号処理装置１７でそれらの位相状態に関して評価される。ここで低周波の測定信号と基準信号とは同時に、またはシーケンシャルに評価することができる。位相状態から測定対象物の距離を推定することができ、この距離は信号Ｏとして出力ユニットにさらに供給される。
【００３６】
周波数シンセサイザ１２により形成された変調周波数Ｍはレーザ源１から放射された光学的ビームＬの周波数に重畳される。この変調周波数Ｍはバースト変調される。このことにより測定ビームはバーストＢで出力され、そのバースト周波数は低周波測定信号ＮＦの周波数に対して大きい。バーストＢで出力される測定ビームＬは周期的に比較的に長いデッドタイム部分と交互になる。その結果、測定信号ＮＦは、測定信号のない長い部分によって相互に分離される。同じく周波数シンセサイザ１２により形成された混合周波数Ｆも同様にバーストＢ＊に存在し、光学的ビームＳに印加される変調周波数Ｍの領域にある周波数を有する。受信器４の高周波信号および基準受信器１０の高周波信号と混合周波数Ｆとの混合は、バースト持続時間に依存する時間の間だけ行われる。ローパスフィルタ２１，２２の下流側に連続的に印加される低周波信号Ｃの評価は、そのデジタル化後にデジタル信号処理装置１７で行われる。このデジタル信号処理装置は周波数シンセサイザ１２と接続されており、バースト持続時間に依存する時間の間、信号を評価する。
【００３７】
図６に示された本発明の実施形態では、高周波の測定信号ないし基準信号を低周波信号に変換することが省略されており、高周波信号を直接処理する。送信領域と受信領域の基本構造は前に説明した実施形態の構造にほぼ相当する。従って同じ構成部材には同じ参照符号が付してある。レーザ源１から放射され、コリメータ光学系２によりコリメートされた光学的ビームＬはビームスプリッタ７により測定ビーム束と基準ビーム束に分割される。測定ビームは、距離測定機器からの距離を測定すべき測定対象物に到達する。測定対象物により反射または散乱されたビームＲは受信光学系３により集光され、測定受信器４に導かれる。受信器として例えばアバランシュフォトダイオードが使用される。このアバランシュフォトダイオードには前置抵抗５を介して可変のバイアス電圧６が印加される。基準ビームは偏向ミラー８および光学系９を介して基準受信器に導かれる。基準ビームの通過する、ビームスプリッタ７から基準受信器１０へ至る経路区間は既知の基準区間を形成する。
【００３８】
レーザ源１から放射された光学的ビームには高周波の変調周波数Ｍが重畳されている。この変調周波数は、基準水晶１３により制御される周波数シンセサイザ１２によって形成される。変調周波数Ｍはバースト変調Ｂされており、光学的ビームＳはパケットごとに照射される。受信器４および基準ビーム路に配置された基準受信器１０にはそれぞれ増幅器３１，３２が後置接続されており、これらの増幅器は高周波測定信号ＨＦないし高周波基準信号ＨＦ−ＣＡＬを増幅する。その後高周波測定信号ＨＦないし高周波基準信号ＨＦ−ＣＡＬには混合周波数が重畳されず、これらの信号は放射された光学的ビームＬのバースト変調に相応して同様にパケット形態Ｐで存在する。高周波測定信号ＨＦないし高周波基準信号ＨＦ−ＣＡＬはスイッチ１４を介してシーケンシャルにハイパスフィルタ３３に供給される。ハイパスフィルタとしては例えばバンドパスフィルタが考えられる。ハイパスフィルタには高速のＡ／Ｄ変換器３４が接続されており、このＡ／Ｄ変換器は測定信号ないし基準信号をデジタル信号に変換する。変換されたデジタル信号は次にデジタル信号処理装置１７でそれらの位相状態について評価される。Ａ／Ｄ変換器３４とデジタル信号処理装置１７のクロック周波数はそれぞれ周波数シンセサイザからのものであり、バースト持続時間に依存する。位相状態から測定対象物の求めるべき距離Ｏが検出され、情報が出力装置、例えば表示器またはプリンタにさらに供給される。測定信号ＨＦないしは基準信号ＨＦ−ＣＡＬも同時にデジタル化し、評価することができる。この場合、２つの信号経路に対して１つのハイパスフィルタが必要である。アナログからデジタル信号への変換は、２つの入力端を有する１つの共通のＡ／Ｄ変換器で行うこともできる。または別個のＡ／Ｄ変換器を設けることもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】レーザダイオードの特性量を説明するための線図である。
【図２】レーザダイオードの特性量を説明するための線図である。
【図３】レーザダイオードの特性量を説明するための線図である。
【図４】本発明の変形実施形態の機能を説明するための概略図である。
【図５】本発明の変形実施形態の機能を説明するための概略図である。
【図６】本発明の変形実施形態の機能を説明するための概略図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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