(57)【要約】光学的なデータキャリヤを形成するための少なくとも２つの基板（３，４）を負圧チャンバ（８）内で接合するためのサイクル時間を短縮するためには、本発明によれば、負圧チャンバ（８）の開口（１１）を周辺に対してシールし、負圧チャンバ（８）を排気し、該負圧チャンバ（８）内に配置された第１のハンドリング装置（１６）と、負圧チャンバ（８）の外部に配置された第２のハンドリング装置（２４）との間に、負圧チャンバ（８）の開口（１１）をそれぞれシールすることによって引渡しチャンバ（６４）を形成し、この場合、該引渡しチャンバ（６４）が、負圧チャンバ（８）よりも小さな容積を有しており、基板（３，４）を引渡しチャンバ（６４）内で第２のハンドリング装置（２４）から第１のハンドリング装置（１６）に引き渡し、負圧チャンバ（８）を第２のハンドリング装置（２４）によってシールしたまま基板（３，４）を第１のハンドリング装置（１６）によって接合ステーション（１２）に負圧チャンバ（８）内で搬送し、基板（３，４）を接合ステーション（１２）で接合する方法および装置が提案される。
2004517434.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データキャリヤのための少なくとも２つの基板を、該基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口を有する負圧チャンバ内で接合するための方法において、以下の方法ステップ：
−開口を周辺に対してシールし；
−負圧チャンバを排気し；
−該負圧チャンバ内に配置された第１のハンドリング装置と、負圧チャンバの外部に配置された第２のハンドリング装置との間に、負圧チャンバの開口をそれぞれシールすることによって引渡しチャンバを形成し、この場合、該引渡しチャンバが、負圧チャンバよりも小さな容積を有しており；
−基板を引渡しチャンバ内で第２のハンドリング装置から第１のハンドリング装置に引き渡し；
−負圧チャンバを第２のハンドリング装置によってシールしたまま基板を第１のハンドリング装置によって接合ステーションに負圧チャンバ内で搬送し；
−基板を接合ステーションで接合する；
が設けられていることを特徴とする、基板を接合するための方法。
【請求項２】
引渡しチャンバを基板引渡しの前にかつ／または基板引渡しの間に、負圧チャンバの圧力を上回る圧力に排気する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
第１のハンドリング装置が、少なくとも２つの基板収容部を有しており、一方の基板収容部が、基板を接合時に支持しており、他方の基板収容部が、負圧チャンバの開口を内部から周辺に対してシールしている、請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
第１のハンドリング装置を、接合チャンバを形成するために接合ステーションに接触させる、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
接合チャンバを、負圧チャンバ内の圧力を下回る圧力に排気する、請求項４記載の方法。
【請求項６】
データキャリヤのための少なくとも２つの基板（３，４）を接合するための装置（１）において、基板（３，４）を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口（１１）を有する負圧チャンバ（８）と、該負圧チャンバ（８）を排気するための装置（１４）と、負圧チャンバ（８）内の接合ステーション（１２）と、開口（１１）をシールする位置に運動可能である、負圧チャンバ（８）内で基板（３，４）を支持しかつ搬送するための第１のハンドリング装置（１６）と、開口（１１）をシールする位置に運動可能である、負圧チャンバ（８）の外部で基板（３，４）を支持しかつ搬送するための第２のハンドリング装置（２４）とが設けられていることを特徴とする、基板を接合するための装置。
【請求項７】
ハンドリング装置（１６，２４）が、該ハンドリング装置（１６，２４）をシールした位置に、負圧チャンバ（８）の容積よりも小さく設定された容積を備えたほぼ閉鎖された引渡しチャンバ（６４）を形成している、請求項６記載の装置。
【請求項８】
引渡しチャンバ（６４）を排気するための装置（６０）が設けられている、請求項６記載の装置。
【請求項９】
第１のハンドリング装置（１６）が、少なくとも２つの基板収容部（２０）を有している、請求項６から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１０】
基板収容部（２０）が、Ｕ字形の横断面を備えたそれぞれ１つのハウジング（２６）を有している、請求項９記載の装置。
【請求項１１】
第２のハンドリング装置（２４）が、Ｕ字形の横断面を備えたハウジング（４６）を有している、請求項６から１０までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１２】
ハウジング（４６）内で運動可能な基板支持体（５１）が設けられている、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
第１のハンドリング装置（１６）と第２のハンドリング装置（２４）とが、基板（３，４）をその接合前に間隔を置いて支持している、請求項６から１２までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１４】
第１のハンドリング装置（１６）が、接合ステーション（１２）に接触して接合チャンバ（９０）を形成するために運動可能である、請求項６から１３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１５】
接合チャンバ（９０）を排気するための装置（９２）が設けられている、請求項１４記載の装置。
【請求項１６】
基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの別の開口が設けられており、第１のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能であり、少なくとも３つの基板収容部を有しており、基板を支持しかつ搬送するための少なくとも１つの別のハンドリング装置が、負圧チャンバの外部に設けられており、別のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能である、請求項６から１５までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、データキャリヤのための少なくとも２つの基板を接合するための方法および装置に関する。
【０００２】
データキャリヤとして、たとえばＣＤ（Ｃｏｍｐａｃｔ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＤ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｅｒｓａｔｉｌｅ  Ｄｉｓｃ）、ＤＶＲ（Ｄｉｇｉｔａｌ  Ｖｉｄｅｏ  Ｒｅｃｏｒｄｅｒ）、ＦＭＤ（Ｆｌｕｏｒｅｓｃｅｎｔ  Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  Ｄｉｓｃ）等が知られている。これらのデータキャリヤは、互いに接着された少なくとも２つの基板から成っている。
【０００３】
たとえば同一出願人によるドイツ連邦共和国特許出願公開第１００２９４００号明細書に基づき公知であるように、このような形式のデータキャリヤを製作するための公知の装置では、基板が、両面接着性の接着シートによって互いに接着される。貼合せステーションでは、両面接着性の接着シートが第１の基板に被着させられ、次いで、貼り合わされた基板が、センタリング・保持ピンを備えた収容ユニットに降下させられる。第２の基板も同じく収容ユニットに降下させられる。この場合、両基板はセンタリング・保持ピンによって互いに間隔を置いて保持される。次いで、収容ユニットが接合ステーションにフードと共に運動させられる。このフードは、閉鎖されたチャンバをその間に形成するために、収容ユニットに接触して運動させられる。この位置では、チャンバが、基板の後続の接合時に両基板の間の空気封入を阻止するために、図示されていない装置を介して排気される。規定された負圧がチャンバ内に達成されていると、チャンバ内に運動可能に配置されたラムが、基板を押し合わせるために運動させられる。
【０００４】
この方法では、チャンバを基板の接合前に周辺圧から所望の負圧に排気することが必要となる。これによって、基板の接合のために比較的長いサイクル時間が生ぜしめられる。
【０００５】
したがって、この公知先行技術から出発して、本発明の課題は、光学的なデータキャリヤを形成するための少なくとも２つの基板を接合するための方法および装置を改良して、接合のためのサイクル時間を短縮することができるようにすることである。
【０００６】
本発明によれば、この課題は、データキャリヤのための少なくとも２つの基板を、該基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口を有する負圧チャンバ内で接合するための方法において、以下の方法ステップ：開口を周辺に対してシールし；負圧チャンバを排気し；該負圧チャンバ内に配置された第１のハンドリング装置と、負圧チャンバの外部に配置された第２のハンドリング装置との間に、負圧チャンバの開口をそれぞれシールすることによって引渡しチャンバを形成し、この場合、該引渡しチャンバが、負圧チャンバよりも小さな容積を有しており；基板を引渡しチャンバ内で第２のハンドリング装置から第１のハンドリング装置に引き渡し；負圧チャンバを第２のハンドリング装置によってシールしたまま基板を第１のハンドリング装置によって接合ステーションに負圧チャンバ内で搬送し；基板を接合ステーションで接合する；が設けられていることによって解決される。
【０００７】
本発明による方法では、負圧チャンバが最初、連続する接合工程の間にほぼコンスタントに保持される所望の負圧にもたらされる。個々の各接合工程のための接合ステーションのその都度の排気は排除することができる。これによって、サイクル時間が著しく減少させられる。負圧チャンバ内の負圧はコンスタントに保持することができる。なぜならば、第１のハンドリング装置と第２のハンドリング装置との間の引渡しチャンバが、負圧チャンバの容積よりも著しく小さな容積を有していて、したがって、負圧チャンバに向かっての引渡しチャンバの開放時にほんの僅かな圧力変動しか生ぜしめないからである。さらに、負圧チャンバの開口はあらゆる時点で第１のハンドリング装置および／または第２のハンドリング装置によって周辺に対してシールされるので、圧力変動は引渡しチャンバの開放時にしか生ぜしめられない。
【０００８】
本発明の有利な実施態様によれば、負圧チャンバ内の圧力変動をさらに一層減少させるために、引渡しチャンバが、基板引渡しの前にかつ／または基板引渡しの間に排気される。この場合、引渡しチャンバ内の圧力が負圧チャンバ内の圧力に低下させられることは不要であり、むしろ、引渡しチャンバ内の圧力は、周辺圧と負圧チャンバ内の圧力との間にある圧力に排気される。引渡しチャンバの排気は、有利には、サイクル時間の最適化を達成するために、両ハンドリング装置の間の基板引渡しのために必要となる期間に制限される。
【０００９】
開口での基板の同時の引渡しおよび接合ステーションでの後続の基板の接合を可能にするためには、有利には、第１のハンドリング装置が、少なくとも２つの収容部を有している。両収容部は、一方の収容部が、基板を接合時に支持しているのに対して、他方の収容部は、負圧チャンバの開口をシールしているように制御される。
【００１０】
第１のハンドリング装置が、接合チャンバを形成するために接合ステーションに接触させられると有利である。接合チャンバが、負圧チャンバ内の圧力未満にある圧力に排気されると有利である。これによって、負圧チャンバを、接合工程のために必要となる負圧に排気することが不要となり、むしろ、チャンバを、周辺圧と、接合工程のために必要となる負圧との間の圧力にもたらせば十分である。負圧チャンバはすでに所定の負圧にもたらされているので、接合チャンバがその都度、周辺圧から、接合工程のために必要となる負圧にもたらされなければならない公知先行技術に比べて、接合チャンバのための所要の排気時間を著しく減少させることができる。
【００１１】
本発明によれば、上述した課題は、データキャリヤのための少なくとも２つの基板を接合するための装置において、基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口を備えた負圧チャンバと、該負圧チャンバを排気するための装置と、負圧チャンバ内の接合ステーションと、開口をシールする位置に内部から運動可能である、負圧チャンバ内で基板を支持しかつ搬送するための第１のハンドリング装置と、開口をシールする位置に外部から運動可能である、負圧チャンバの外部で基板を支持しかつ搬送するための第２のハンドリング装置とが設けられていることによっても解決される。これによって、基板を搬入しかつ／または搬出するための開口を第１のハンドリング装置または第２のハンドリング装置によって常にシールすることができるので、チャンバの内部の圧力をほぼコンスタントに保持することができるという、すでに上述した利点が得られる。
【００１２】
有利には、ハンドリング装置が、該ハンドリング装置によってシールされた開口の位置に、負圧チャンバの容積よりも小さく設定された容積を備えたほぼ閉鎖された引渡しチャンバを形成しているので、負圧チャンバに向かっての引渡しチャンバの開放時には、ほんの僅かな圧力変動しか生ぜしめられない。この圧力変動をさらに一層減少させるためには、有利には、引渡しチャンバを排気するための装置が設けられている。
【００１３】
基板の同時の接合およびチャンバ内への別の基板の搬入もしくはチャンバからの別の基板の搬出を可能にするためには、第１のハンドリング装置が、少なくとも２つの基板収容部を有していると有利である。第２のハンドリング装置による良好なチャンバ形成を可能にするためには、基板収容部が、Ｕ字形の横断面を備えたそれぞれ１つのハウジングを有していると有利である。良好なチャンバ形成のためには、第２のハンドリング装置が、Ｕ字形の横断面を備えたハウジングと、運動可能な基板支持体とを有していても有利である。
【００１４】
基板が不本意に接触することを阻止するためには、第１のハンドリング装置と第２のハンドリング装置とが基板をその接合前に間隔を置いて支持していると有利である。
【００１５】
第１のハンドリング装置が、接合ステーションに接触して接合チャンバを形成するために運動可能であると有利である。さらに、接合チャンバを排気するための装置が設けられていると有利である。
【００１６】
本発明の択一的な構成では、基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの別の開口が設けられており、第１のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能であり、少なくとも３つの基板収容部を有しており、基板を支持しかつ搬送するための少なくとも１つの第３のハンドリング装置が、負圧チャンバの外部に設けられており、第３のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能である。第２の開口によって、同時に基板を負圧チャンバ内に搬入することができると共に負圧チャンバから搬出することができる。これによって、サイクル時間をさらに一層減少させることができる。
【００１７】
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００１８】
図１Ａ〜図１Ｃには、図２に見ることができる基板３，４を接合するための本発明による装置１が概略的に示してある。この装置１はハウジング６を有している。このハウジング６は内部に負圧チャンバ８を形成している。ハウジング６は、図２に最も良く見ることができるように、上側の壁１０に貫通開口１１を有している。さらに、上側の壁１０には接合ステーション１２が設けられている。この接合ステーション１２は、あとで図３につきさらに詳しく説明することにする。
【００１９】
ハウジング６の底部には吸出し管路１３が設けられている。この吸出し管路１３は、設定された値への負圧チャンバ８の排気を可能にするために、吸出し装置１４、たとえば真空ポンプに接続されている。
【００２０】
負圧チャンバ８内にはターンテーブルの形の第１のハンドリング装置１６が設けられている。この第１のハンドリング装置１６もしくはターンテーブルは、ほぼ水平に延びるプレート１７と、このプレート１７に対して垂直に延びる回転軸１８とを有している。プレート１７はハウジング６の上側の壁１０に対して平行に延びていて、軸１８を介して上側の壁１０に近づく方向にかつ上側の壁１０から離れる方向に運動可能である。さらに、プレート１７は軸１８の回転軸線を中心として回転可能である。
【００２１】
プレート１７には、ハウジング６の上側の壁１０に向けられた２つの基板収容部２０が設けられている。両基板収容部２０は同一の構造を有していて、あとで図２につきさらに詳しく説明することにする。
【００２２】
ハウジング６の上側の壁１０の上方には第２のハンドリング装置２４が設けられている。この第２のハンドリング装置２４は基板を搬入しかつ搬出するために適している。ハンドリング装置２４は基板の搬送のための適切な運動軸線を有していて、あとで図２につきさらに詳しく説明するように、ハウジング６の上側の壁１０に設けられた開口１１を周辺に対してシールするために、外部からハウジング６の上側の壁１０に向かって運動可能である。
【００２３】
ここで、図２につき、一方の基板収容部２０と第２のハンドリング装置２４との詳しい構造を説明することにする。
【００２４】
図２には、ハンドリング装置１６の一方の基板収容部２０を見ることができる。この基板収容部２０はターンテーブルのプレート１７に配置されている。基板収容部２０は、ほぼＵ字形の横断面を備えたハウジング２６を有している。このハウジング２６は適切な形式でプレート１７に取り付けられている。当然ながら、ハウジング２６はプレート１７と一体に形成されていてもよい。ハウジング２６は、底壁２８と、全周にわたって延びる側壁２９とを有している。
【００２５】
底壁２８にはセンタリング・保持ピン３２が収容されている。このセンタリング・保持ピン３２は、基板３，４をセンタリングしかつ互いに間隔を置いて保持するために適している。センタリング・収容ピンは、たとえば同一出願人によるドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９２７５１４号明細書に基づき公知であるような構造を有している。このドイツ連邦共和国特許出願公開第１９９２７５１４号明細書に関しては、繰返しを避けるために、ここでは説明しないことにする。センタリング・保持ピン３２は中心のピン部分３４を有している。このピン部分３４の外周面は基板３，４の内孔に適合されている。ピン部分３４には、ピンに対して半径方向に運動可能な突起３６が設けられている。この突起３６には基板３，４が載置することができる。運動機構（図示せず）を介して突起３６が半径方向でピンに向かって運動可能となるので、基板３，４はピンに沿って下方に運動することができる。突起３６の真っ直ぐな外面に基づき、基板３，４はこの運動時に正確にセンタリングされて案内される。図２に見ることができるように、第１の基板４はセンタリング・保持ピン３２の突起３６を通過して運動させられていて、ハウジング２６の底壁２８に載置している。第２の基板３は突起３６に載置し、これによって、下側の基板４に対して平行にかつ間隔を置いて保持される。
【００２６】
当然ながら、基板収容部２０はセンタリング・保持ピン３２の代わりに、基板３，４を収容しかつ互いに間隔を置いて保持することができる別の適切な機構、たとえば可動のボール、ばねリングまたはこれに類するものを備えたピンを有していてもよい。
【００２７】
図２に見ることができるように、下側の基板４には、両面接着性の接着シート３８が設けられている。この接着シート３８は、たとえば同一出願人によるドイツ連邦共和国特許出願公開第１００２９４００号明細書に基づき公知であるような貼合せステーションで予め被着させられている。ドイツ連邦共和国特許出願公開第１００２９４００号明細書に関しては、繰返しを避けるために、ここでは説明しないことにする。
【００２８】
ハウジング２６の半径方向の側壁２９は、ハウジング６の上側の壁１０に設けられた開口１１の寸法よりも大きく寸法設定された内側寸法を有している。これによって、側壁２９が運動させられて、ハウジング６の上側の壁１０に接触している場合に開口１１を負圧チャンバ８の側からシールすることが可能となる。良好なシールを保証するためには、ハウジング６の上側の壁１０にシール部材４０、たとえばＯリングが設けられている。このシール部材４０は開口１１を半径方向で取り囲んでいて、ハウジング２６の側壁２９の端面との確実なシール接触を実施している。ハウジング６の上側の壁１０との良好なシールを実施するためには、当然ながら、側壁２９の端面に適宜なシールエレメントが設けられていてもよい。
【００２９】
ハンドリング装置２４も同じく、上側の壁４８と、全周にわたって延びる側壁４９とを備えた、横断面で見てＵ字形のハウジング４６を有している。２つの基板３，４を互いに無関係に収容するかもしくは載置しかつ互いに間隔を置いて支持することができる基板支持体５１が、上側の壁４８に設けられた開口５２を通って延びている。基板支持体５１は、たとえば内孔グリッパ５３と外側グリッパ５４とを組み合わせた形の真空グリッパを有している。この真空グリッパは、たとえば同一出願人によるドイツ連邦共和国特許出願公開第１９８１８４７９号明細書に基づき公知である。内孔グリッパ５３と外側グリッパ５４とは適切な運動機構（図示せず）を介して、上側のハウジング壁４８に対して垂直に延びる運動軸線に沿って互いに相対的にかつハウジング４６に対して相対的に運動可能である。
【００３０】
ハウジング４６の上側の壁４８に設けられた開口５２をシールするためには、外側グリッパ５４の裏面と上側の壁４８の内面との間にシール装置５６、たとえばベローズが延びている。
【００３１】
さらに、上側の壁４８には吸出し開口５８が設けられている。この吸出し開口５８は吸出し装置６０、たとえば真空ポンプに接続されている。
【００３２】
ハウジング４６の側壁４９は、開口１１を周辺に対してシールするために、外部からハウジング６の上側の壁１０に向かって運動可能である。シールを改善するためには、ハウジング６の上側の壁１０にシール部材６２、たとえばＯリングが設けられている。ハウジング４６とハウジング６の上側の壁１０との間のシールを実施するためには、当然ながら、側壁４９の端面に適切なシールエレメントが設けられていてもよい。
【００３３】
第１のハンドリング装置１６および第２のハンドリング装置２４もしくはハンドリング装置１６；２４のハウジング２６；４６が運動させられて、図２に示したように、上側の壁１０に接触している場合には、両ハンドリング装置１６，２４の間に、シールされた引渡しチャンバ６４が形成される。この引渡しチャンバ６４は吸出し開口５８と真空ポンプ６０とを介して排気することができる。引渡しチャンバ６４の容積は負圧チャンバ８の容積よりも著しく小さく設定されている。これによって、負圧チャンバ８に向かっての引渡しチャンバ６４の開放時には、負圧チャンバ８のほんの僅かな圧力変動しか生ぜしめられない。この圧力変動は真空ポンプ１４によって迅速に補償される。このことは、あとでさらに詳しく説明するように、特に引渡しチャンバ６４が負圧チャンバ８に向かっての開放前に真空ポンプ６０を介して、周辺圧と、負圧チャンバ８内に形成された圧力との間にある圧力に排気された場合に当てはまる。
【００３４】
図３には、目下有利な接合ステーション１２が示してある。この接合ステーション１２はハウジング６の上側の壁１０に取り付けられている。接合ステーション１２の領域には、ハウジング６の上側の壁１０が開口６６を有している。接合ステーション１２は下側部分を有している。この下側部分は、図２につき説明した基板収容部２０によって形成される。この基板収容部２０は、接合工程の間、図３に示したように、内部から上側の壁１０に向かって運動させられている。開口６６を半径方向で取り囲む、負圧チャンバ８に向けられた、上側の壁１０に設けられたシールエレメント６８、たとえばＯリングは、ハウジング２６と上側の壁１０との間の良好なシールを実施している。上側の壁１０の外面には、接合ステーション１２の上側の部分が形成される。この上側の部分は、Ｕ字形の横断面を備えたハウジング７０を有している。このハウジング７０は、上側の壁７２と、全周にわたって延びる側壁７３とを有している。この側壁７３は、ハウジング６の壁１０に設けられた開口６６を半径方向で取り囲んでいる。側壁７３は、シールされた形式でハウジング６の上側の壁１０に結合されている。
【００３５】
ハウジング７０内にはフレキシブルなダイヤフラム７４が設けられている。このダイヤフラム７４は張設されてハウジング７０の内側領域を完全に覆っていて、これによって、閉鎖された空気チャンバ７５を、フレキシブルなダイヤフラム７４の、負圧チャンバ８とは反対の側に形成している。
【００３６】
空気チャンバ７５は、吸出し装置７８と、ハウジング７０の上側の壁７２に設けられた相応の管路７９とを介して負圧で負荷可能である。
【００３７】
ダイヤフラム７４には、負圧チャンバ８に向けられて適切な形式でプレート８２が取り付けられているので、このプレート８２はフレキシブルなダイヤフラム７４と共に運動可能である。
【００３８】
空気チャンバ７５内には、上方、すなわち、空気チャンバ７５内へのダイヤフラム７４と、このダイヤフラム７４に取り付けられたプレート８２との運動を制限するために、対応ホルダ８４が設けられている。
【００３９】
上側の壁７２とダイヤフラム７４との間で延びるばね８６を介して、ダイヤフラム７４には対応ホルダ８４に向かって予荷重もしくはプレロードがかけられている。ばね８６の力は、ダイヤフラム７４を図３に示した位置に保持するために、ばね８６がダイヤフラム７４の上方でのかつ下方での圧力同等時にこのダイヤフラム７４を容易に対応ホルダ８４に向かって引っ張るように規定されている。ダイヤフラム７４と、このダイヤフラム７４に取り付けられたプレート８２とを、図３に示した位置に保持するためには、当然ながら、別の予荷重装置もしくはプレロード装置が設けられてもよい。
【００４０】
ダイヤフラム７４の下方に位置する領域は基板収容部２０と一緒に接合チャンバ９０を形成している。この接合チャンバ９０は吸出し装置９２、たとえば真空ポンプと、ハウジング７０の側壁７３に設けられた相応の管路９３とを介して負圧で負荷することができる。これによって、接合チャンバ９０の内部の圧力がさらに負圧チャンバ８内の圧力未満に減少させられる。
【００４１】
ここで、接合ステーション１２の機能を図３につき簡単に説明することにする。まず、基板収容部２０が、外部に位置するハウジング７０と一緒に接合チャンバ９０を形成するために、図３に示した位置に運動させられる。この時点では、接合チャンバ９０内に負圧チャンバ８内と同じ圧力が形成されている。空気チャンバ７５内の圧力も同じく、ダイヤフラム７４とプレート８２とが、図３に示した位置に位置していることを確保するために、負圧チャンバ８の圧力に設定されているかまたは負圧チャンバ８の圧力未満に設定されている。いま、接合チャンバ９０内の圧力が吸出し装置９２を介してさらに一層減少させられる。空気チャンバ７５内の圧力も同じく、接合チャンバ９０内の圧力が空気チャンバ７５内の圧力よりも少なくならないことを確保するために、必要とあらば、引き続き減少させられる。これによって、ダイヤフラム７４が、図３に示した位置に保持される。
【００４２】
両基板３，４の間の空気封入を阻止する所望の負圧が接合チャンバ９０内に達成されていると、空気チャンバ７５内の圧力が連続的に周辺圧に高められる。この場合に生ぜしめられる、接合チャンバ９０と空気チャンバ７５との間の圧力差と、接合チャンバ９０内のより低い圧力とによって、ダイヤフラム７４が、このダイヤフラム７４に取り付けられたプレート８２と共に連続的に下方に変位させられる。これによって、プレート８２がまず上側の基板３に接触し、次いで、この基板３を、下方に位置する基板４に向かって押圧する。ダイヤフラム７４に対するプレート８２の浮動支承によって、基板４の下方に位置する載置部、すなわち、ハウジング２６の下側の壁２８に対するプレート８２の良好な適合が得られるので、基板３，４にわたって均一な接合押圧力が加えられる。
【００４３】
次いで、空気チャンバ７５内の圧力が再び減少させられるのに対して、接合チャンバ９０内の圧力は再び負圧チャンバ８内の圧力に高められるので、ダイヤフラム７４と、このダイヤフラム７４に取り付けられたプレート８２とが、図３に示した持ち上げられた位置に戻し運動させられる。この時点で接合工程は終了されている。択一的には、前述したダイヤフラムステーションが基板収容部に設けられていてもよいので、基板は浮動支承されていて、接合のために、位置固定されたプレートに向かって押圧される。
【００４４】
以下に、基板を接合するための装置１の運転を図１Ａ〜図１Ｃにつき詳しく説明する。
【００４５】
まず、ハンドリング装置１６が、矢印１００によって図示したように上方に運動させられる。これによって、両基板収容部２０が内部から上側のハウジング壁１０に向かって、開口１１，６６を半径方向で取り囲みかつ内部からシールするように運動させられる。いま、周辺に対してシールされた負圧チャンバ８が吸出し装置１４を介して所望の負圧にもたらされ、次いで、この負圧に保持される。ハウジング壁１０に向かっての基板収容部２０の運動は、プレート１７と基板収容部２０との間の相対運動を介して行われてもよい。ハンドリング装置２４が、矢印１０２によって図示したように、外部からハウジング６の上側の壁１０に向かって、図２に示した位置に運動させられるので、開口１１は外部から周辺に対してシールされている。基板収容部２０のハウジング２６とハンドリング装置２４のハウジング４６との間に引渡しチャンバ６４が形成される。この引渡しチャンバ６４が吸出し装置６０を介して、周辺圧と負圧チャンバ８内の圧力との間にある圧力に空気抜き（排気）される。接合したい２つの基板が、ハンドリング装置２４の基板支持体５１から基板収容部２０に引き渡される。この場合、両基板は、引渡し前にかつ引渡しの間にかつ引渡し後に互いに間隔を置いて保持されるようになっている。
【００４６】
基板が基板収容部２０に収容されてる場合には、ハンドリング装置１６が、図１Ｂに矢印１０４によって示したように降下させられる。ハンドリング装置２４が外部から、ハウジング６の上側の壁１０に設けられた開口１１をシールしていることによって、負圧チャンバ８内の圧力が著しく上昇することが阻止される。引渡しチャンバ６４が負圧チャンバ８に向かって開放されることによって生ぜしめられる僅かな圧力差が補償されさえすればよい。しかし、負圧チャンバ８に対する引渡しチャンバ６４の著しく少ない容積に基づき、また、引渡しチャンバ６４が少なくとも部分的に排気されたことによって、負圧チャンバ８内の圧力はほぼコンスタントである。降下させられた位置では、図１Ｂに矢印１０６によって示したように、プレート１７が基板収容部２０と共に回転軸１８を中心として１８０゜だけ回動させられる。
【００４７】
これによって、ちょうど基板がローディングされた基板収容部２０が接合ステーション１２の下方に位置決めされるのに対して、予め接合ステーション１２の下方に位置決めされていた基板収容部２０は開口１１の下方に位置決めされる。ハンドリング装置１６が、図１Ｃに矢印１０８によって示したように持ち上げられる。互いに間隔を置いて保持されたローディングされた基板を備えた基板収容部２０が、図３に示した位置に運動させられ、基板が、図３につき説明したように接合される。
【００４８】
同じ時点では、他方の基板収容部２０が開口１１を、図２に示したように内部からシールしている。２つの基板の接合によって形成された光学的なデータキャリヤ（データ担体）がこの他方の基板収容部２０に位置している限り、このデータキャリヤをハンドリング装置２４によって収容することができると共に搬出することができる。いま、開口１１は内部から周辺に対してシールされているので、ハンドリング装置２４が開口１１から離れる方向に運動させられる場合に負圧チャンバ８内の圧力減少は生ぜしめられない。いま、図１Ａにつき説明したように、新たな基板を基板収容部２０にローディングすることができる。
【００４９】
上述した説明に基づき、負圧チャンバ８が１回だけ周辺圧から、設定された負圧に排気されさえすればよく、その後、設定された負圧にほぼコンスタントに保持され得ることは明らかである。なぜならば、ハウジング６の上側の壁１０に設けられた開口１１が第１のハンドリング装置１６および／または第２のハンドリング装置２４によって常にシールされているからである。
【００５０】
本発明を有利な実施例につき説明したにもかかわらず、本発明が、具体的に図示した実施例に限定されるものではないことに注意しなければならない。特にハンドリング装置２４が内孔グリッパと外側グリッパとの組合せを有していることは不要である。むしろ、接合したい基板を互いに間隔を置いて支持しかつ基板収容部２０に引き渡すことができるあらゆる基板支持体を使用することができる。また、基板収容部２０のセンタリング・保持ピン３２の形も図示の形と異なっていてよい。基板がその接合前に互いに間隔を置いて保持されることしか重要ではない。また、接合ステーション１２の形も図示の形と異なっていてよい。浮動支承されたプレート８２の代わりに、基板を接合するために、たとえば浮動支承されていないラムが使用されてもよい。基板が接合ステーションの方向への基板収容部の持上り運動によって接合されてもよい。この事例では、接合チャンバが除去されてもよく、接合ステーションが基板収容部に対するただ１つの適切な対応支承部さえ備えていればよい。本発明による装置は特に慣用の光学的なデータキャリヤ、たとえばＣＤ、ＤＶＤおよびＤＶＲを製作するために適している。しかし、本発明による装置は新たな記憶媒体、たとえばＦＭＤのためにも適している。この記憶媒体は、多数の層内で蛍光する媒体を有している。さらに、ハンドリング装置が、Ｕ字形の横断面を備えたそれぞれ１つのハウジングを有していることは不要である。むしろ、ハンドリング装置はフラットなカバープレートを有していてもよい。この場合、必要となる引渡しチャンバは上側の壁のカバーおよび／またはカバーに取り付けられたウェブによって形成される。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
基板の接合によってデータキャリヤを製作するための本発明による装置の概略図であり、この場合、基板を接合するための第１のプロセスサイクルを示している。
【図１Ｂ】
基板の接合によってデータキャリヤを製作するための本発明による装置の概略図であり、この場合、基板を接合するための第２のプロセスサイクルを示している。
【図１Ｃ】
基板の接合によってデータキャリヤを製作するための本発明による装置の概略図であり、この場合、基板を接合するための第３のプロセスサイクルを示している。
【図２】
第１のハンドリング装置と第２のハンドリング装置とによって形成された引渡しチャンバの概略的な断面図である。
【図３】
接合ステーションの概略的な断面図である。
【符号の説明】
１  装置、  ３  基板、  ４  基板、  ６  ハウジング、  ８  負圧チャンバ、  １０  壁、  １１  開口、  １２  接合ステーション、  １３  吸出し管路、  １４  吸出し装置、  １６  ハンドリング装置、  １７  プレート、  １８  回転軸、  ２０  基板収容部、  ２４  ハンドリング装置、  ２６  ハウジング、  ２８  底壁、  ２９  側壁、  ３２  センタリング・保持ピン、  ３４  ピン部分、  ３６  突起、  ３８  接着シート、  ４０  シール部材、  ４６  ハウジング、  ４８  壁、  ４９  側壁、  ５１  基板支持体、  ５２  開口、  ５３  内孔グリッパ、  ５４  外側グリッパ、  ５６  シール装置、  ５８  吸出し開口、  ６０  吸出し装置、  ６２  シール部材、  ６４  引渡しチャンバ、  ６６  開口、  ６８  シールエレメント、  ７０  ハウジング、  ７２  壁、  ７３  側壁、  ７４  ダイヤフラム、  ７５  空気チャンバ、  ７８  吸出し装置、  ７９  管路、  ８２  プレート、  ８４  対応ホルダ、  ８６  ばね、  ９０  接合チャンバ、  ９２  吸出し装置、  ９３  管路、  １００，１０２，１０４，１０６，１０８  矢印
【国際公開パンフレット】
2004517434.tif 000003
2004517434.tif 000004
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2004517434.tif 000025
【手続補正書】
【提出日】平成14年8月1日(2002.8.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
データキャリヤのための少なくとも２つの基板を、該基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口を有する負圧チャンバ内で接合するための方法において、以下の方法ステップ：
−開口を周辺に対してシールし；
−負圧チャンバを排気し；
−該負圧チャンバ内に配置された第１のハンドリング装置と、負圧チャンバの外部に配置された第２のハンドリング装置との間に、負圧チャンバの開口をそれぞれシールすることによって引渡しチャンバを形成し、この場合、該引渡しチャンバが、負圧チャンバよりも小さな容積を有しており；
−基板を引渡しチャンバ内で第２のハンドリング装置から第１のハンドリング装置に引き渡し、この場合、引渡しチャンバを基板引渡しの前にかつ／または基板引渡しの間に、負圧チャンバの圧力を上回る圧力に排気し；
−負圧チャンバを第２のハンドリング装置によってシールしたまま基板を第１のハンドリング装置によって接合ステーションに負圧チャンバ内で搬送し；
−第１のハンドリング装置を接合ステーションに接触させて接合チャンバを形成し；
−該接合チャンバを、負圧チャンバ内の圧力を下回る圧力に排気し；
−基板を接合ステーションで接合する；
が設けられていることを特徴とする、基板を接合するための方法。
【請求項２】
第１のハンドリング装置が、少なくとも２つの基板収容部を有しており、一方の基板収容部が、基板を接合時に支持しており、他方の基板収容部が、負圧チャンバの開口を内部から周辺に対してシールしている、請求項１記載の方法。
【請求項３】
データキャリヤのための少なくとも２つの基板（３，４）を接合するための装置（１）において、基板（３，４）を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの開口（１１）を有する負圧チャンバ（８）と、該負圧チャンバ（８）を排気するための装置（１４）と、負圧チャンバ（８）内の接合ステーション（１２）と、開口（１１）をシールする位置に運動可能である、負圧チャンバ（８）内で基板（３，４）を支持しかつ搬送するための第１のハンドリング装置（１６）と、開口（１１）をシールする位置に運動可能である、負圧チャンバ（８）の外部で基板（３，４）を支持しかつ搬送するための第２のハンドリング装置（２４）とが設けられており、ハンドリング装置（１６，２４）が、該ハンドリング装置（１６，２４）をシールした位置に、負圧チャンバ（８）の容積よりも小さく設定された容積を備えたほぼ閉鎖された引渡しチャンバ（６４）を形成しており、該引渡しチャンバ（６４）を排気するための装置（６０）が設けられており、第１のハンドリング装置（１６）が、接合ステーション（１２）に接触して接合チャンバ（９０）を形成するために運動可能であり、該接合チャンバ（９０）を排気するための装置（９２）が設けられていることを特徴とする、基板を接合するための装置。
【請求項４】
第１のハンドリング装置（１６）が、少なくとも２つの基板収容部（２０）を有している、請求項３記載の装置。
【請求項５】
基板収容部（２０）が、Ｕ字形の横断面を備えたそれぞれ１つのハウジング（２６）を有している、請求項４記載の装置。
【請求項６】
第２のハンドリング装置（２４）が、Ｕ字形の横断面を備えたハウジング（４６）を有している、請求項３から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
ハウジング（４６）内で運動可能な基板支持体（５１）が設けられている、請求項６記載の装置。
【請求項８】
第１のハンドリング装置（１６）と第２のハンドリング装置（２４）とが、基板（３，４）をその接合前に間隔を置いて支持している、請求項３から７までのいずれか１項記載の装置。
【請求項９】
基板を搬入しかつ／または搬出するための少なくとも１つの別の開口が設けられており、第１のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能であり、少なくとも３つの基板収容部を有しており、基板を支持しかつ搬送するための少なくとも１つの別のハンドリング装置が、負圧チャンバの外部に設けられており、別のハンドリング装置が、別の開口をシールする位置に運動可能である、請求項３から８までのいずれか１項記載の装置。
【国際調査報告】
2004517434.tif 000026
2004517434.tif 000027
2004517434.tif 000028
2004517434.tif 000029