(57)【要約】【課題】本発明の目的は、高価で柔軟性のある特別の処方のフローチャートをグラフィックス的に作成するソフトウェアシステム及び方法を提供することである。【解決手段】オブジェクト指向【外１１】2004513402.tif 000013環境で更に柔軟性のある棒グラフを含む分析グラフィックスを生成するソフトウェアシステム及び方法に関する。ソフトウェアは特に、半導体品質制御（８３０）で製造データを分析するのに適用される。ユーザ（８５０）は、ダイアログボックス、から製造パラメータを選択することにより分析ツールを特化し、前に選択された（８４０）製造変数と製造機能のシーケンスを表示するコンピュータディスプレイ上のフローチャートを生成する。ソフトウェアは、前に選択された製造キー操作を記憶するために、マクロプログラム（８４０）記録機能を設定する。フローチャート（８７０）により示される分析シーケンスは、ユーザにより選択されたときは、自動的に実行され、又は、将来の規定された間隔で実行する様にプログラムされることができる。これにより、ユーザ（８５０）は、プリンタ、サーバ、コンピュータスクリーン等の特定の出力装置に、規定の基準で、製造データ（８６０）の報告を自動的に発生でき、電子メール又は、ページングシステムで警告できる。【選択図】図８
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ダイアログボックスから１つ又はそれ以上の製造変数を選択するステップと、
前記ダイアログボックスから１つ又はそれ以上の製造機能を選択するステップと、
マクロに、前記１つ又はそれ以上の製造変数と、前記１つ又はそれ以上の製造機能を記録するステップと、
ディスプレイのウインドウに、前記１つ又はそれ以上の製造変数と、前記１つ又はそれ以上の製造機能の第１のグラフィックスによる分析結果を表示するステップとを有するコンピュータ上で製造データを分析するソフトウェア方法。
【請求項２】
前記ディスプレイのウインドウに、第２のグラフィックスによる分析結果を、第１のグラフィックスによる分析結果と並べて表示するステップを更に有する請求項１記載の製造データを分析する方法。
【請求項３】
前記製造変数を選択するステップは、製造のロット番号、層番号及び、日付よりなる組から選択することを含み、
前記製造機能を選択するステップは、欠陥の数、平均及び、標準偏差よりなる組から選択することを含む請求項１記載の製造データを分析する方法。
【請求項４】
分析結果が所定の値を超えたことを検出したときに検査者に警告するステップを更に有する請求項１記載の製造データを分析する方法。
【請求項５】
前記製造変数を選択するステップは、カレンダー表示からの日付の組を選択することを含む請求項１記載の製造データを分析する方法。
【請求項６】
前記第１のグラフィックスによる分析結果を表示する前記ステップは、前記製造変数と製造機能のフローチャートを表示することにより行われる請求項１記載の製造データを分析する方法。
【請求項７】
ユーザの定義したシーケンスで、ダイアログボックスから１つ又はそれ以上の製造変数を選択するステップと、
前記ユーザの定義したシーケンスで、前記ダイアログボックスから１つ又はそれ以上の製造機能を選択するステップと、
前記製造変数と前記製造機能の、前記ユーザの定義したシーケンスを記録するステップと、
前記ユーザの定義したシーケンスの連結した分析ステップの連続を示すフローチャート内に、前記ユーザが定義したシーケンスを表示するステップと、
前記フローチャートを選択することにより、連結した分析ステップの前記連続を、自動的に実行するステップとを有する、コンピュータ上で実行できるフローチャートを生成するソフトウェア方法。
【請求項８】
連結した分析ステップの前記連続が実行されるべき、１つ又はそれ以上所定の将来の日付を規定するステップと、
前記１つ又はそれ以上所定の将来の日付で、１つ又はそれ以上の複数の場所で、自動的に報告書を発行するステップを更に有する請求項７記載のソフトウェア方法。
【請求項９】
前記位置は、プリンタ、ウェブサーバ又は、コンピュータスクリーンを含む請求項８記載のソフトウェア方法。
【請求項１０】
前記ユーザが定義したシーケンスの前記記録するステップは、製造変数と製造機能のマクロ記録である請求項７記載のソフトウェア方法。
【請求項１１】
前記フローチャートを変更するために、前記ユーザの定義したシーケンスを変更するステップと、
新たなフローチャートとして前記ユーザの定義したシーケンスを再表示するステップと、
前記新たなフローチャートを再実行するステップとを有する請求項１０記載のソフトウェア方法。
【請求項１２】
１つ又はそれ以上の製造変数と、１つ又はそれ以上の製造機能を選択するダイアログボックスと、
前記１つ又はそれ以上の製造変数と、前記１つ又はそれ以上の製造機能を記録するマクロと、
前記１つ又はそれ以上の製造変数と、前記１つ又はそれ以上の製造機能を示す表示ウインドウ内の第１の分析グラフィックスを有する、コンピュータ上で製造データを分析するソフトウェアシステム。
【請求項１３】
前記表示ウインドウ内に、前記第１の分析グラフィックスと並んで配置された、第２の分析グラフィックスを更に有する請求項１２記載のソフトウェアシステム。
【請求項１４】
前記第１及び第２の分析グラフィックスは、色が付されている請求項１３記載のソフトウェアシステム。
【請求項１５】
前記製造変数は、製造のロット番号、層番号及び、日付よりなる組から選択され、
前記製造機能は、欠陥の数と、欠陥の平均標準偏差よりなる組から選択される請求項１２記載のソフトウェアシステム。
【請求項１６】
前記ダイアログボックスは、少なくとも１つのドロップダウンリストボックスを有し、前記ドロップダウンリストボックスは、スクロールボックス内にスクロール用矢印を有する垂直スクロールバーを有し、
複数のテキスト列は、矩形の前記ドロップダウンリストボックス内のスクロール可能な縦欄のリスト内で、前記製造変数と前記製造機能を示す請求項１２記載のソフトウェアシステム。
【請求項１７】
前記製造変数はカレンダー表示から選択された日付の組である請求項１２記載のソフトウェアシステム。
【請求項１８】
ユーザの定義したシーケンスで、１つ又はそれ以上の製造変数と１つ又はそれ以上の製造機能を選択するダイアログボックスと、
ウインドウに表示されている前記ユーザの定義したシーケンスの連結された分析ステップの連続を示すフローチャートとを有し、
前記フローチャートを選択することにより、連結された分析ステップの前記フローチャートが、自動的に実行される、コンピュータ上で実行できるフローチャートを生成するソフトウェアシステム。
【請求項１９】
前記連結された分析ステップの連続は、１つ又はそれ以上の所定の将来の日付で実行され、且つ、１つ又はそれ以上の複数の場所で、自動的に報告書を発行する請求項１８記載のソフトウェアシステム。
【請求項２０】
前記場所は、プリンタ、ウェブサーバ又は、コンピュータスクリーンを含む請求項１９記載のソフトウェアシステム。
【請求項２１】
前記ユーザが定義したシーケンスは、前記製造変数と製造機能のマクロ記録である請求項１８記載のソフトウェアシステム。
【請求項２２】
前記ユーザの定義したシーケンスは、新たなフローチャートへ変更可能であり、前記新たなフローチャートは、再表示すされ且つ再実行される請求項１８記載のソフトウェアシステム。
【請求項２３】
第１のダイアログから、１つ又はそれ以上の製造変数を選択するステップと、
第２のダイアログボックスから、１つ又はそれ以上の製造機能を選択するステップと、
表示ウインド内の前記１つ又はそれ以上の製造変数と、前記１つ又はそれ以上の製造機能の分析結果を表示するステップとを有し、
前記分析結果はフローチャートである、コンピュータ上で製造データを分析するソフトウェア方法。
【請求項２４】
１つ又はそれ以上の製造変数と、１つ又はそれ以上の製造機能を選択する手段と、
前記製造変数と、前記製造機能の分析結果を表示するフローチャート手段と、
前記製造変数と、前記製造機能のグラフィックス表示を生成するための前記フローチャートを実行する手段とを有する、コンピュータ上で製造データを分析するソフトウェアシステム。
【請求項２５】
１つ又はそれ以上の製造変数と、１つ又はそれ以上の製造機能を選択する手段と、
前記製造変数と、製造機能をマクロ記録する手段と、
前記製造変数と、製造機能を表示するフローチャート手段と、
前記製造変数と、製造機能のグラフィックス表示を生成するための前記フローチャート手段を実行する手段とを有する、コンピュータ上で製造データを分析するソフトウェアシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
関連出願の相互参照
本発明は、１９９７年１０月２７日に出願された米国特許出願番号０８／９５８．２８８”製造分析の分類と属性を拡張するソフトウェアシステムと方法”に対応する同じ発明者と出願人のＰＣＴ特許出願に関連し、ここに参照により組み込まれる。
背景
１．発明の分野
本発明は、コンピュータソフトウェアに関し、特に、実行可能な特別製の図とフロー図を生成するソフトウェアパッケージに関する。アプリケーションは、半導体製造のような製造ラインの品質制御監視を含む。
２．背景技術
ソフトウェアパッケージは、
【０００２】
【外１】
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フォーマットで書かれるのが増加している。それにより、ユーザは、マウスのクリック又は、矢印により、コンピュータスクリーン上の記号を介してプログラムと対話する。そのようなプログラムは典型的には、ＶｉｓｕａｌＣ＋＋又は、ＶｉｓｕａｌＢａｓｉｃプログラム言語でプログラムされ、プログラマーは、選択可能なデータ入力フィールドを表示するために一般的なプログラミングオブジェクトを呼出すことができる。これらのプログラムは、ユーザーに優しく且つ、柔軟性が大きい。それは、ユーザが、表示された視覚的な合図に基づいて多数のプログラム機能の１つを選択できるからである。
【０００３】
プログラマーに使用されている主なツールの１つは、フローチャートである。大抵のプログラムは、プログラマが、プログラムで何をしたいかのフローチャートを手で作成することで始まる。フローチャートは、対応する機能の連結した図形記号の連続で構成される。例えば、フローチャート中のダイアモンド形状は条件を示し、ダイアモンドからの分岐連結は、データのより提示された条件を示す。例えば、
【０００４】
【外２】
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のようなコンピュータ上でフローチャート、回路図及び、他の描画を作成する描画プログラムは現在もある。
【０００５】
プログラミングショートカットを生成し、所定のプログラム又は、書類にアクセスするために、コンピュータ上でアイコンを使用することも知られている。これらのアイコンは、例えば、表示を所定の書類及び／又は所定のプログラムへ移動するような単一のプログラム機能を行う。一方、アイコンの選択により複数の副機能が行われる。ただ１つのアイコンのみが同時に選択される。
【０００６】
オブジェクト指向プログラムでは、プログラマーは、モジュール設計の
【０００７】
【外３】
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の特定の関数サブルーチンを呼出せ、且つ、多くの異なるハードウェアシステム上で動作できる。オブジェクトは、例えば、ボタンバー、スライドバー、ツールバー等のプログラム機能の設計に使用できる。
【０００８】
【外４】
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【０００９】
【外５】
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等のワードプロセッサプログラムで良く使用される他の機能は、マクロである。マクロは、命令と文字列をコンピュータに蓄積する方法であり、それにより自動化され特化された命令をユーザが生成できる。マクロは本質的には、ユーザの繰返しキー操作を記録する。キー操作は、テキスト列、機能キーの選択、メニュー項目の選択、印刷命令、又は、終了手続などである。マクロは速く手軽で強力なツールであり、ユプログラム言語の特別な知識なしでも、ユーザに優しいプログラミングを可能とする。もし、プログラム言語に非常に精通している者は、マクロで更に簡単で効果的に命令を生成できる。
【００１０】
品質制御は、歴史的には、自動化されたコンピュータシステムに依存してきた。自動化製造ラインは、肉体労働者を置き換え、且つ自動化された品質制御は検査者を置き換えた。今日、品質制御の重要な顧客は、半導体産業である。半導体ウエハーの微視的な欠陥半導体製造工程のコストと歩留まりの主な要因である。半導体技術は、非常に欠陥に敏感なので、製造プロセスからその発生源を分離することは、産業の大きな発達に役立つ。
【００１１】
品質制御ソフトウェアパッケージは、現在、半導体産業では利用できる。しかし、一般的に、プログラムは、プロジェクト毎の基準で作られている。これらのプログラムは、核となるシステムのまわりの多くの分析ユーティリティを有するように書かれているが、しかしこれらのユーティリティは、本質的には、数が決められており、且つ変更できない。顧客がデータを分析する方法を変えたい場合には、新しいユーティリティーを要求するか、又は、新たなプログラムを作る必要がある。従って、これらのパッケージは、高価で柔軟性にかける。
【００１２】
半導体チップ内の欠陥の数及び位置を測定する１つの方法は、欠陥データのみを残すために製造データから非欠陥データをフィルタ又は除去することを含む。実際の製造データのマップは、コンピュータメモリ内に蓄積された、他の実際の製造データの組のマップ又は、他の理想的な製造データの組のマップのいずれかと比較される。製造プロセスを補正することを目的として、欠陥データは、数、密度、位置、型及び、製造プロセス内のステップにしたがって分析される。欠陥データは、どのように歩留まりを上げ、製品コストを下げるかの糸口を与える。
【００１３】
半導体製造の製造プロセス制御については、種々のデータ分析システムと方法が開示されている。これらのうちの１つは、Ｂａｃｋｅｒ他の米国特許番号５，２６６，１１８である。２次元配列の単位であるセルの美術館のように図が表示される。図の各セルは、
【００１４】
【外６】
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のようなスプレッドシートプログラムに似た方法で１つ又はそれ以上の他のセルの数学的関数として定義されうる。他の関連する特許は、米国特許番号４，９６７，３８１；４，９５１，１９０；４，８７３，６２３；４８４３，５３８；４，８０５，０８９；及び、４，６７９，１３７である。これらの特許は、複雑な３値レベルデータ構造のソフトウェア分析ツールを開示する。工程分析は、ソフトウェアがインストールされたときにプログラマにより提供された所定の分類の組より選択されることによりのみ特化され得る。
発明の概要
本発明は、ウインドウズ環境でグラフィック的に図表と図形を生成するソフトウェアパッケージに関する。図表は、製造変数と製造機能に基づいて、製造からのデータを分析するのに使用される。それにより、顧客は、製造欠陥の発生源を更に容易に理解できる。製造変数の例は、ロット番号、層番号及び、カレンダー日付範囲などである。各製造変数の製造欠陥の量及び他の静的な測定値は、棒グラフページの形式で表示される。これらの静的な測定値は、製造機能と呼ぶ。ソフトウェアでは、ユーザは、あるページから他のページへ、又は、比較のために並べて２つのページを配置できる。製造欠陥がどこで発生したかを示すパターンを見ることができる。
【００１５】
製造変数、製造機能及び、グラフィック表示の図表は、繰返しキー操作と選択が、複数のグラフィック表示のページの各々に対して、ソフトウェアにより記憶される、”マクロのようなシステムに記録される。これにより、顧客は、データ分析機構を変更するために緊急のプログラムを行う必要がない。ユーザのキー操作は、データ各ページ毎に”マクロ”により記録され、各ページに対する変数と機能の選択は、それが生成されたコンピュータにより蓄積される。このように、各分析プログラム毎にデータ分析プログラムを全面的に書き換えなくても、モジュール的に特定のデータ分析機構に特化することができる。
【００１６】
本発明は、ソフトウェアパッケージに、製造データを分析するフローチャートの形式の条件的な関係を生成し、グラフィックでフローチャートを表示するシステム及び、方法も有する。フローチャートノードは、”マクロ”が記録される様にシステムに蓄積される。データの各ページは、フローチャートの１つのノードとして表示され、それにより、図表表示選択形式と、変数と機能の選択を示す。顧客は標準のフローチャートのダイアモンド型で表されるような、フローチャートページ上のダイアログボックスから選択することにより、データの各ページのデータ分析機構の間の条件関係も生成できる。このように、ユーザは、前の試験から所定値だけ超えた結果が起きたときにのみ追求試験を行うように規定できる。フローチャートにより表される全データ分析機構は、ウインドウページのツールバー上のボタンを押すことで実行される。
【００１７】
本発明は、更に、ユーザにより規定された任意の時間にフローチャートを選択し、自動的に実行するためのシステム及び、方法を有する。フローチャート条件は顧客により柔軟に変更でき、それにより、簡単に、種々のアプリケーションに対して所定のデータ分析機構に特化できる。ユーザは、特定のフローチャートデータ分析機構が、今後規則的に、自動的に実行され、種々の特定のフォーマットで発行されるようにできる。特化した製造報告は、プリンタ又は、ウェブサーバで生成され、複数のユーザは、週又は、その他の基準で製造データの分析にアクセスできる。フローチャート分析の実行は、条件通知ノードを有し、分析結果が所定の限度を超えたときに、適切な操作者が警告される。この通知は、電子メールで操作者のパーソナルコンピュータ又は、ページングシステムに接続される。詳細な説明
１．図表の発生
図１Ａは、データ分析パラメータを規定する１つ又はそれ以上のダイアログボックス１０１，１０２，１０３を有する、コンピュータスクリーン１００を示す。ドロップダウンリストボックス１０１，１０２は、どのパラメータが棒グラフのＸとＹ軸に配置されるべきかを示す。パラメータは、ドロップダウンメニュー又は、同様な形式のダイアログボックス１０１，１０２からコンピュータマウスで選択される。ユーザは、ＸとＹ軸のデータ分析パラメータを選択するためにダイアログボックス１０１，１０２のメニュー内のパラメータをクリックする。図１Ａは、Ｘ軸パラメータは、欠陥クラスであり、Ｙ軸パラメータは欠陥数であることを示す。データ表示のための図表の形式をユーザが選択する連続ボタン１０４から１０９もある。図表は、棒グラフ１０４又は、１０５；円図表１０７；トレンド図表１０６，１０９等である。
【００１８】
好ましくは、ダイアログボックス１０１，１０２は垂直スクロールバーを有する。ドロップダウンリストボックスである。ユーザは、リストボックス１０１，１０２の代わりに、リストボックス１０１，１０２を矢印ボックス１１１，１１２をクリックすることにより押し下げる。ユーザは、リストボックスの矩形内の縦欄内の製造変数と製造機能を示すテキスト文字列の集合の１つをクリックする。リストボックス１０１，１０２内で、望むテキスト列が見つかると、ユーザはこのテキスト列をクリックし、リストボックス１０１，１０２の選択線内に、このテキスト列が現れる。
【００１９】
本発明の特徴の１つは、マクロ特徴に、選択された製造変数と製造機能を記録することである。コンピュータは、ユーザによる製造変数と機能の選択を覚え、新たなデータの組に、特定の製造変数と機能を再実行する能力を有する。これゆえ、分析システム及び、方法は、分析が行われるたびに製造パラメータを規定しなければならない、又は、ユーザは予めプログラムされた特定の組のみから選択することに制限された、従来技術と異なる。マクロの特徴は、以前にユーザがダイアログボックス及び、ドロップダウンリストボックス１０１，１０２から選択した製造パラメータに関する特定の命令の組を蓄積する。
【００２０】
マクロ特徴は、
【００２１】
【外７】
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及び、
【００２２】
【外８】
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のようなワードプロセッサ環境では通常のツールである。しかし、今までは、製造分析には適用されていなかった。本発明は、Ｂａｋｅｒ他のような、複雑なデータ改装構造、ユーザ口座及び、処理識別番号を使用する従来技術のアプローチに対して、製造変数の特価をかなり簡単化する。本発明は、ユーザに優しく、画像に基づいている。顧客がケースブックの選択を行うときはいつでも、選択はマクロによりケースブックに自動的に記録される。
【００２３】
図１Ｂは、新たなケースブックページを設定するウインドウ１５０を示す。ケースブックは、本質的には、特定のデータ分析機構である。ケースブックは、複数のラジオボタン１５１，１５２，１５３のうちの１つから選択されることにより生成される。ケースブックは、前に存在するファイルを取り入れる又は、処方のファイルを開くことにより、データベースから製造データを取り入れることにより生成される。
【００２４】
図１Ａのウインドウから製造欠陥を監視するのに適用できるパラメータは、Ｙ軸の数及び、Ｘ軸の形式を有する。形式パレート図が生成され表示される。例えば、半導体組立ラインの欠陥数がＹ軸のパラメータとして選択される。Ｘ軸パラメータは、番号による欠陥クラスであり、各番号は特定の欠陥クラスを示す。他の製造パラメータは、層番号により欠陥数を表示するために選択されうる。” 層番号”のような製造変数は、リストボックスから選択される。ユーザは、最も頻繁に製造上の問題が発生するところを分離するために、製造の各層で発生する欠陥の相対数を比較する。代わりに、ユーザは、ロット番号識別や以下に説明する図２のカレンダー特徴を有する規定されたカレンダーの日付範囲のような製造変数を選択しても良い。
【００２５】
図２Ａは、欠陥クラスによる半導体ウェーハ欠陥の数の形式パレート図２００を示す。適切なタイトルバー２１０が、ウインドウの上部にあり、この場合には”形式パレート図”である。スクリーンの下部には、ユーザがすぐにアクセスできるページの数を示すタブ２２１，２２２，２２３，２２４がある。図２Ａでは、ページは、”１形式パレート”、”２サイズヒストグラム”、”３ウェーハマップ”、”４ウェーハギャラリー”とラベルが付されている。ページの下部のこれらのタブをクリックすることにより、ユーザはページからページへ移ることができる。ウインドウ２００の下部の小ボックスは、全ロット数２３０、全ウェーハ数２３１、及び、全欠陥数２３２のような他の情報を与える。ウインドウ２００の上部のツールバー２４０は、他の棒グラフ、図４Ａのウェーハマップ、又は、図５Ａのフローチャート発生ウインドウへのアクセスのような、更なる選択を提供する種々のボタンを有する。ツールバー２４０は、棒グラフの倍率を変更や、図２Ｂのカレンダーを生成するボタンを更に提供する。
【００２６】
図２Ｂの図表を生成するために、図２Ａの棒グラフ２００を生成するソフトウェアパッケージは、ツールバーキット２４０にダイアログボックス２４１を含む。ダイアログボックス２５０は、図２Ｂに示す、文字列選択ドロップダウンリストボックス２７７を有する。ユーザは、文字列選択ボックス２７７から日付の入力方法を選択する。ユーザが、日付をカレンダー２７０を使用して選択すること選ぶと、カレンダー２７０の月と年は、更なるドロップダウンリストボックス２７２，２７３から選択される。代わりに、顧客は、文字列選択ボックス２７７を、例えば、”最後の１０日”、 ”最後の１０ロット”の様にテキスト文字列のリストボックスから，別の方法で製造変数を入力するのに又は、ブランクフィールドボックス内にキーボードから日付けの範囲を入力するのに使用し得る。図２Ｄは、カレンダ表示２７０は、カレンダの各日付の複数の押ボタン２７１を有することを更に示す。ユーザは、棒グラフフォーマットで製造データを表示する１つ又はそれ以上の日付を示すために、カレンダ２７０上の１つ又はそれ以上の押ボタン２７１を選択する。ダイアログボックス２７４，２７５で時分により所定のカレンダー日付内の回数又は、矢印キー２７６で月によりカレンダー月を通してページも選択できる。
【００２７】
図３を参照すると、ソフトウェアパッケージは、ユーザにウインドウ３００を分割して比較のために並べて２つ又はそれ以上の棒グラフ３１０，３２０を配置させるツールバーキット機能を有する。例えば、ユーザは、第１の製造ロットの層番号による欠陥数の棒グラフ３１０を、第２の製造ロットの同様な棒グラフ３２０と比較する能力を有する。棒グラフ３１０、３２０を、他のウインドウからドラッグ及びドロップできる埋めこみパッケージ化オブジェクトとして生成でき又は、棒グラフ３１０、３２０を、ファイルとして蓄積できる。パッケージ化オブジェクトは、アイコンか又は、他のグラフィック画像で表され得る。種々のページは視覚性をよくするために色が付される。
２．製造マップへのアクセス
本発明のソフトウェアパッケージは、表示ウインドウ４００中に製造ウェーハマップ４１０にアクセスし表示するためのユーティリティを更に含む。ユーザは、図４Ａに示す正又は、負のズームボタンバー４３０を選択することにより製造マップを拡大又は、縮小する。特定の欠陥の各々は、マップ４１０の右の欠陥数規模４４０に従い、視覚で認識するのを容易とするために、色が付される。図３のウインドウ３１０と３２０から取り入れた形式パレート及び、サイズヒストグラム図４５０，４６０はウェーハマップと並んで示される。
【００２８】
実際の製造マップは、欠陥以外のパターンをフィルタするために、（図６Ｄの）ウェーハマップギャラリ６９０からの他の実際の又は、理想的な製造マップと比較される。ユーザは、製造マップ４１０のパッケージ化画像をコンピュータカーソルでウェーハマップギャラリ６９０へドラッグしドロップする。ウェーハマップギャラリ６９０内の実際の及び理想的な製造マップは、製品に欠陥がないなら特定の製品となろう見え方を表す。欠陥のない製品のマップ４８０は、ウインドウ４００の下部のタブ４７０を選択することにより、ウェーハマップギャラリウインドウ６９０のページへ、アクセスされる。
【００２９】
図４Ｂは、ウェーハマップギャラリ４７０内の情報によりフィルタされた後の製造マップ４１０を示す。実際の製造マップ４１０が、ウェーハマップギャラリ４７０の理想的製造マップから引かれると、欠陥のマップ４６０のみが残る。ウェーハマップギャラリ４７０からのフィルタリングと製造パラメータの選択を結合することにより、ユーザは、特定のロット番号又は、層番号の欠陥パターンを識別する。
３．フローチャート処方の生成
図５Ａに示すように、本発明は条件文の選択された処方にしたがって、特化したフローチャート５１０を構成するプログラム機能を有する。これに関連して、条件文は他の値に依存して発生するか又は、発生しないイベントとして定義される。この値は製造データからの又は、いくつかの以前の製造機能から計算した製造パラメータの１つでもよい。条件文は、この値によってフローチャート内に１つ又はそれ以上の分岐を生成する。条件文の処方は、望ましいデータ分析と応答機構にしたがってユーザにより形成された連結された条件文の連続である。
【００３０】
フローチャート形成プログラム機能は、ケースブック内のキー操作を記録することによりコンピュータ内で”マクロ”のように動作し、ユーザの命令により、ケースブックのキー操作を再生する。本発明の”マクロ”形式のプログラム機能はダイアログボックスからのユーザにより規定される製造パラメータの連続を記憶する。
【００３１】
ケースブックマクロは、続いて、ソフトウェアによりフローチャート５１０に変換され、表示される。選択された製造パラメータと製造機能の各々は、例えば、ボックス、円、ダイアモンド等の機能に基づいた幾何学的要素に割り当てられる。フローチャートの幾何学的要素は、フローチャートの編集法の標準的な定義に対応する。円は入力−出力機能、ダイアモンドは分岐条件文、及び、ボックスはデータ計算である。図５Ａに示すように、ユーザは、ダイアログボックス５３０からノード５２０をドラッグ及び、ドロップすることによりフローチャートを生成でき、フローチャート５１０の前のノード５４０に連結できる。ユーザが製造データに対して特定の分析機構を実行したい場合には、現在のページから、ツールバー５６０の特定のボタン５５０を押すことにより、フローチャート５１０を選択する。フローチャートにより表された処方は、条件選択を再記録し、新たなフローチャートを再表示し、そして、新たなフローチャートを再表実行することにより容易く変更できる。或は、顧客は、ノードダイアログボックス５３０を介して更に直接にフローチャートをプログラムする選択を有する。
【００３２】
ユーザが、例えば、最後の１０日間に対して、第２の層の製品に欠陥の標準偏差を生成する正規の基準でフローチャート５１０を実行したいときがある。この特定のフローチャート５１０は、顧客により以前に生成され記録された。ケースブックの各ページは、対応するグラフィックノード記号５４１，５４２，５４３，５４４，５４５及び、５４６を有し、選択に応じてウインドウ５００に表示される。このフローチャート５１０が生成された後、図５Ａで示す表示ウインドウ５００に連結して表示される。ユーザは、図５Ｂで示す棒グラフ５７０のような１つまたは連続の棒グラフを発生する。又は、、図５Ａの表示ウインドウ５００で示すこの特定のフローチャート５１０を選択することにより、他の機能を実行する。
【００３３】
フローチャートで示される分析的なサブルーチンは、規則的な基準でユーザにより自動的に実行される。”最後の１０日”や”最後の１０ロット”のような製造データの包括的なグループ化は、日付よりも規定される。この分析的なサブルーチンは、そして、即ち、操作者の介在無しに各週又は、１週おきに、実行される。１つ又はそれ以上これらの分析機構の報告は、これらのときに自動的に発生される。報告はそれらがデータファイルに蓄積されている操作者のコンピュータか又は、プリンターのいずれかで自動的に生成される。操作者は、発生すべきこれらの報告のコピー数を規定し、そして、発生される場所は、ネットワークプリンタを介して選択される。
【００３４】
複数のこれらの報告は、予め確立された規則的な基準で、操作者の時間を取ること無しに各場合に自動的に発行される。コピーは、製造の監視に責任がある選択された者に送られる。代わりに、ネットワークプリンタでこれらの報告を印刷する代わりに、ネットワークサーバを介して電子的フォーマットで、規則的な基準信号（ＦＲＡＲ）で送られる。ネットワークは、ローカルエリアネットワーク又は、ワールドワイドウェブ上のインターネット位置である。電子的な発行は、紙を保存し、コストを低減する優位点がある。
【００３５】
以前のデータ分析サブルーチンの結果をデータ分析の機構を条件的に変えるのに使用でき、そして、続いて、報告を発行するのに使用できる。特定の分析結果が予め設定された値を超えたような条件が検出された場合には、欠陥源を更に詳しく特定するために、他の所定の分析が行われる。実際上は、監視結果と分析機構の間の密接な制御を維持するために、帰還ループが設定される。分析結果が所定の制御レベルを超えたときには、特定の修復動作を行うために、電子メール又は、ページャシステムを通して、技術者に通知が送られる。例えば、インターネットを介してジャバアプレットを発行して、プロセスの変更を自動的に行うために、報告は、報告は製造ラインにも戻り得る。このように、帰還ループを介して自動的にプロセス制御を行うので、本発明の分析ツールは、単なるデータ収集機構ではない。
【００３６】
本発明の分析ルーチンの１つのアプリケーションは、欠陥が”付加” 即ち、以前の層にはなかった欠陥の場合を決定することである。これらの加算欠陥は、以前の層にあった欠陥から引かれ、そして、自動欠陥制御（ＡＤＣ）プログラムにより分類される。
４．分類の拡張
コンピュータが、特定の形式の欠陥を分類することができる光学式パターン認識システムがある。本発明では、ニューラルネットワークが、欠陥の形式のパターン認識の分析を行う。例えば、引っかき傷のような欠陥は、他の引っかき傷と、特有の類似性、即ち、欠陥が長く浅いというを示す。欠陥のこのクラスの特徴の類似性を抽出することにより、コンピュータは、自動欠陥分類プログラムにより、抽出した特徴に基づいて、認識し、分類する。本発明は、２５６種類の欠陥を認識できる。しかし、従来技術のパターン認識システムが識別できた欠陥の種々の分類は、典型的には、特定のソフトウェアプログラムにより固定されている。新たな欠陥の分類が認識可能となった時には、新たな欠陥の分類を加えることができることが望ましい。
【００３７】
更に、分析の基本モードは、１つの製造試験所と他の製造試験所で、又は、一人のプロセス技術者と他のプロセス技術者で、変わり得る。これらのユーザは、何が致命的な欠陥か、即ち、チップに故障を起こす欠陥かの定義について異なり得る。１つの製造試験所の致命的な欠陥の定義は非常に複雑で、分析を行うには、３つか４つのデータベースにアクセスしなければならない可能性がある。
【００３８】
欠陥を起こす原因はウェーハの全体的な領域で繰り返されるので、欠陥は、しばしばグループ又は、クラスタで存在する。これらの欠陥グループは、クラスタ分類と呼ばれる。光学的パターン認識システムは、製造マップ内で、これらのクラスタ分類を検出できる。
【００３９】
図６Ａを参照すると、本発明は、新たなクラスタ分類を分析アルゴリズムに統合するソフトウェア手続を有する。好ましくは、このアルゴリズムの拡張は、半導体欠陥のクラスタ分類に適用される。プログラムは、欠陥のクラスタ分類６２０のテーブルの名前空間６１０を含む。クラスタクラス６２０は、スクラッチ、ごみ、溶断、ピンホール等を含み、又は、大きさにより分類される。
【００４０】
図６Ｂは、図６Ａのリストにクラスタ分類を追加するウインドウ６５０を示す。ウインドウ６５０は、Ｘ軸に、複数の予想されるクラスタ分類６７０を有するドロップダウンリストボックス６６０を含む。顧客は、コンピュータマウスでドロップダウンリストボックスをクリックして、クラスタ分類６７０の１つを選択し、このクラスタ分類６７０は、図６Ａのテーブル名前空間６１０の左欄６１５に追加される。それにより、顧客は、静的なソフトウェアパッケージで可能なよりも、新たな属性６７０を名前空間６１０へ挿入する大きな柔軟性を有する。図６Ａのクラスタ分類６２０を実行する際に、顧客は、製造マップにスクラッチのみが残る様に製造マップをフィルタする。スクラッチデータの分析は、容易く行われる。
【００４１】
図６Ｃは、ウェーハマップ６８１の色コードのウインドウ６８０を示す。顧客は、ウェーハがどのようにコード化されるかを決定するために、ドロップダウンリストボックス６８２から選択する。図６Ｄと、６Ｅは、ウェーハマップと画像ギャラリーを示す。
【００４２】
図６Ｄのウェーハマップギャラリ６９０は、半導体ウェーハの複数のロー６９１とコラム６９２を有する。各ロー６９１は、特定の形式のウェーハパターンを示し、一方各コラム６９２はロット番号を表す。図２と３からの複数の棒グラフ６９３は、ウェハマップギャラリ６９０のウインドウと並置される。ウェハマップギャラリ６９０の下の複数のタブ６９４により、ユーザは、図２Ａ、３及び、６Ｅの種々のウインドウ間で、ページを移動できる。
【００４３】
図６Ｅは、ロー６９６とコラム６９７に配置された半導体ウェーハ画像のマトリクスを有する。画像ギャラリーウインドウ６９５を示す。ここで、ローは、特定の形式のウェーハパターンを示し、コラムは、ロット番号を示す。複数の形式パレート図とサイズヒストグラムの棒グラフ６９８が、画像ギャラリーウインドウ６９５と並置される。そして、画像ギャラリーウインドウ６９５の下の複数のタブ６９９により、ユーザは、ウインドウ間のページを移動できる。ツールバー６８６は倍率ボタン６８５を有し、図６Ｅの画像ギャラリー６９５は、図６Ｄのウェーハマップギャラリー６９０よりも大きな自由度が与えられている。
５．システム構造
図７Ａに示すように、本発明のソフトウェアシステムは、３つの階層構造を使用する。一番上の階層７１０は、表示層であり、メニュー、ボタン、ダイアログボックス、及び、顧客に見える図を有するオブジェクト指向
【００４４】
【外９】
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環境である。中間層７２０は、ＣＯＲＢＡ（共通オブジェクト要求ブローカ構造）ＩＩＯＰ（インターネット間オブジェクトプロトコル）ミドルウェア層であり、オブジェクトをインターネットとサーバに亘って分散する。最下層７３０は、蓄積層であり、ＣＯＲＢＡ層により他のサーバ及び、表示層と接続された生の製造データを有するデータベースである。
【００４５】
図７Ｂは、ＣＯＲＢＡミドルウェア層が、どのように、蓄積層７３０と、クラスタ分類を変更する名前空間サービス７４０とがインターフェースするかを示す。ＣＯＲＢＡは、マイクロコンピュータとオペレーティングシステムに亘って、オブジェクトを分散する機構である。ＣＯＲＢＡミドルウェア層は、ネットワーク上のどこにもあり得るオブジェクトのサーバへのアクセスを提供する。新たなクラスタ分類は、名前空間サービス７４０からデータセットサービス７５０へて提示され得る。例えば、アイルランドの顧客は、クラスタ化７６０の新しい方法、又は、その場所にデータの特化した集合７７０を発見し得る。この方法は、米国の顧客の要求に対応し得る。ＣＯＲＢＡは、アイルランドの顧客からの名前空間サービス７４０行い、そして、サーバを介して、分析を行うための米国の製造データベースにアクセスせずに、米国からのデータセットサービス７５０へ適用する。
【００４６】
図７Ｃは、クライアントのパーソナルコンピュータ７５１から他のワークステーションとデータベースサーバ７５２へ、サーバを介してＣＯＲＢＡが、どのようにインターフェースするかを示す。アプリケーションサーバ７５３は、全ての種々の計算モジュール又は、オブジェクトを蓄積し分散する。アプリケーションサーバ７５３は、データベースサーバ７５２、クライアントワークステーション７５１と同じでも良く、又は、ネットワーク上のどこでも良い。処方は、アプリケーションサーバ７５３に含まれ、一旦処方が実行されると、結果は、プリンタ７５４、ＷＥＢサーバ７５５又は、クライアントパーソナルコンピュータ７５６へ発行され得る。
【００４７】
図８は、ビジュアルＣ＋＋プログラム言語で書かれた表示層のソフトウェア構成の詳細を示す。処方エディタ８１０により、顧客は、処方の枠組み８２０を形成できる。処方は、アプリケーションモジュール８４０を通してデータセットの枠組み８３０へ与えられ、ＧＵＩ（グラフィックユーザインターフェース）の枠組み８５０を通して、ページ８６０は、
【００４８】
【外１０】
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フォーマットで生成される。処方の枠組み８３０は、スケジューラとイベントサービス８７０ともインターフェースし、将来規定されたときに製造データ分析の自動実行及び発行をする。
【００４９】
本発明を、実施例により説明したが、変更、代用及び、変形は本発明の範囲を超えることなく容易く行われることを、当業者には容易く理解される。従って、本発明は、請求項によってのみ制限されると解釈される。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
データ分析パラメータを規定するコンピュータスクリーンを示す図である。
【図１Ｂ】
ケースブックを設定するコンピュータスクリーンを示す図である。
【図２Ａ】
ソフトウェアにより生成された棒グラフヒストグラムを示す図である。
【図２Ｂ】
ソフトウェアにより生成されたカレンダーを示す図である。
【図３】
比較のために２つまたはそれ以上の棒グラフが並んで配置された表示ウインドウを示す図である。
【図４Ａ】
製造データを見るためのソフトウェアパッケージ上のズーム機能を示す図である。
【図４Ｂ】
フィルタ後の製造マップを示す図である。
【図５Ａ】
ソフトウェアパッケージにより生成されたフローチャートの表示ウインドウを示す図である。
【図５Ｂ】
図５Ａのフローチャートを選択することにより発生された棒グラフを示す図である。
【図６Ａ】
欠陥データを分析するためのクラスタ分類のリストを示す図である。
【図６Ｂ】
クラスタ分類を追加するドロップダウンリストを示す図である。
【図６Ｃ】
ウェハーマップを色コード化するウインドウを示す図である。
【図６Ｄ】
ウェハマップギャラリーを示す図である。
【図６Ｅ】
画像ギャラリーを示す図である。
【図７Ａ】
全体システム構造を示す図である。
【図７Ｂ】
中間層構造とのインターフェースを示す図である。
【図７Ｃ】
中間層構造とのインターフェースを示す図である。
【図８】
高レベルソフトウェアの動作を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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