(57)【要約】アクチュエータ・アセンブリ１０６のアクチュエータ・アーム１２２のための調整可能高さ上昇１２４に関する。アクチュエータ・アーム１２２の高さ上昇１２４は、浮上高制御のために、ディスク表面１１８に対して調整可能である。アクチュエータ・アーム１２２の高さ上昇１２４は、望ましい浮上高制御を提供するために、ヘッド１０２からのリード・バック検査データに基づいて調整される。
2004533081.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ヘッド・アクチュエータ・アセンブリであって、
シャーシに結合可能なアクチュエータ本体を有し、そこから延びる少なくとも１つのアクチュエータ・アームを有し、かつそこに結合可能なデータ・ヘッドを有し、
前記アクチュエータ本体および前記シャーシに動作可能に結合し、かつ前記少なくとも１つのアクチュエータ・アームの前記シャーシに対する上昇高を調整するように動作する調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースを有する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項２】
請求項１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記アクチュエータ本体は、第１の部分および第２の部分、および、該第１の部分と該第２の部分との間の階段状表面を有し、前記第１の部分は前記シャーシの溝に浮揚的に支持可能で、前記調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、前記アクチュエータ本体の前記階段状表面と前記シャーシとの間の間隔を調整するために前記シャーシと前記階段状表面の間に結合する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項３】
請求項２に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記アクチュエータ本体は、ハブ部分および該ハブ部分に回転可能に結合するスピンドル部分を有し、かつ前記ハブ部分は、前記第１の部分および前記第２の部分およびこれらの間の前記階段状表面を有する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項４】
請求項１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、ばねを有する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項５】
請求項１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、前記アクチュエータ本体に結合している第１の末端および前記アクチュエータ本体から離れた第２の末端、および、該第１の末端と該第２の末端との間のばね部分を有するばねを有し、前記ばねは、上記少なくとも１つのアクチュエータ・アームの前記シャーシに対する前記上昇高を調整するために、前記アクチュエータ本体に結合する前記第１の末端にばね力を与えるように動作可能な、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項６】
請求項１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、相対する第１および第２の末端およびこれらの間のばね部分を有するばねを含み、前記第１の末端は前記アクチュエータ本体に結合し、前記第２の末端は、前記シャーシに対する前記アクチュエータ本体の位置を調整するために、前記第１の末端に反動ばね力を与えるために調整可能負荷力を受けるよう適合した、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項７】
請求項６に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記シャーシに対する前記アクチュエータ本体の前記位置を調整するために、前記第１の末端に前記反動ばね力をかけるため、前記調整可能負荷力を前記第２の末端に与えるよう前記第２の末端に動作可能に結合したねじを有する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項８】
請求項１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、前記アクチュエータ本体および前記シャーシに結合可能な内部部分および外部部分を有し、負荷力を受け、かつ前記アクチュエータ本体の位置を調整するために前記アクチュエータ本体に反対方向の反動力を与えるように構成された平円盤状ばねを有する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項９】
請求項８に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記内部部分は前記アクチュエータ本体に結合し、前記アクチュエータ本体に結合した前記内部部分に反対方向の反動力を与えるために、前記負荷力は前記外部部分にかけられる、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項１０】
請求項９に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記ばねの前記外部部分が第１および第２の板の間に位置し、前記第２の板は、前記ばねの前記外部部分に前記負荷力をかけるために、前記第１の板に対して可動である、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項１１】
請求項１０に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、可動ねじが前記第１および第２の板を結合する、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項１２】
請求項１１に記載のヘッド・アクチュエータ・アセンブリにおいて、前記ねじは、ディスク表面に対する前記少なくとも１つのアクチュエータ・アームを上昇させるために締めつけられる、ヘッド・アクチュエータ・アセンブリ。
【請求項１３】
データ記憶装置であって、
シャーシに回転可能に結合するデータ・ディスクを有し、
前記シャーシに結合し、かつ前記データ・ディスクの表面から離された上昇高に少なくとも１つのアクチュエータ・アームを支持するアクチュエータを有し、該アクチュエータは、該少なくとも１つのアクチュエータ・アームに結合したヘッドを、前記データ・ディスクの表面の内部および外部部分の間に位置付けるように動作し、
前記ディスク表面からの前記少なくとも１つのアクチュエータ・アームの前記上昇高を調整するために、前記少なくとも１つのアクチュエータ・アームに結合して前記ヘッドの浮上高を調整する高さ調整器、を有するデータ記憶装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載のデータ記憶装置において、前記高さ調整器は、前記アクチュエータと前記シャーシとの間に結合し、かつ前記ディスク表面に対する前記少なくとも１つのアクチュエータ・アームの前記上昇高を調整するために、前記アクチュエータに調整可能ばね力を与えるよう適合したばねを有する、データ記憶装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載のデータ記憶装置において、前記ばねによって前記アクチュエータに与えられた前記ばね力を調整するために、前記ばねに動作可能に結合したねじを含む、データ記憶装置。
【請求項１６】
請求項１３に記載のデータ記憶装置において、前記高さ調整器は平円盤状ばねを含む、データ記憶装置。
【請求項１７】
浮上高パラメータにおける変化を補正するための方法であって、
ａ）フレキシブル・サスペンション・アセンブリを通してヘッド・アクチュエータのアクチュエータ・アームに結合したデータ・ヘッドからのリード・バック信号を検査し、
ｂ）前記データ・ヘッドからの前記リード・バック信号に基づき前記アクチュエータ・アームの上昇高を調整する、ステップ
を有する方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の方法において、前記アクチュエータ・アームの前記上昇高を調整するステップが、
ｃ）前記アクチュエータ・アームの前記上昇高を調整するために、前記ヘッド・アクチュエータに調整可能ばね力を与える、ステップ
を含む方法。
【請求項１９】
請求項１７に記載の方法において、さらに、
ｃ）異なるアクチュエータ・アーム上昇高で前記リード・バック信号を増分的に検査し、前記リード・バック信号に基づき前記アクチュエータ・アームの上昇高を高くあるいは低くする、ステップ
を含む方法。
【請求項２０】
請求項１７に記載の方法において、前記アクチュエータ・アームの上昇高が、前記リード・バック信号と予め設定されたパラメータとの比較に基づき調整される、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は一般に、ディスクあるいは読取書込表面に対するデータ・ヘッドのための浮上高制御に関し、特に浮上高制御のための調整可能ヘッド・スタックあるいはアームに関するが、これらに限定されるわけではない。
【０００２】
（発明の背景）
データ記憶装置は、デジタル情報をディスクあるいは読取書込表面上に記憶する。ヘッドは、ディスクからデータを読取るあるいはディスクにデータを書込むために、読取書込表面に対して支持されている。ヘッドは、浮上スライダで運ばれる誘導、磁気抵抗および光磁気変換器要素のような変換器要素を含む。スライダは、ロード・ポイントにおいてスライダに負荷力をかけるサスペンション・アセンブリに結合している。
【０００３】
動作において、ディスクの回転は、スライダの浮上面に沿って空気の流れを生じさせ、流体力学的揚力を生じさせる。スライダあるいはヘッドが、ディスク表面上を、浮上面の流体力学的揚力およびサスペンション・アセンブリによって与えられる負荷力によってある程度定義される浮上高により浮上するように、流体力学的揚力は、サスペンション・アセンブリによって与えられる負荷力に対抗する。
【０００４】
製造上の許容差および変動が、ディスク・ドライブの動的パラメータ、あるいは特に、ヘッドの浮上高パラメータに変動をもたらすことがある。浮上高パラメータにおける変動は、読取／書込解像度および明晰度に影響することがあり、従って、ディスク・ドライブの動作に影響する。本発明の実施例は、これらおよび他の問題に対する解決策、および、従来技術に対する他の利点を提供する。
【０００５】
（発明の概要）
本発明は概して、浮上高制御のための調整可能インタフェースに関する。特に、本発明は概して、ディスク表面に対する調整可能アクチュエータ・アーム高あるいは上昇に関する。アクチュエータ・アームの高さ上昇は、調整可能浮上高制御を提供するために、ディスク表面に対して調整可能である。アクチュエータ・アームの高さ上昇は、望ましい浮上高制御を提供するために、ヘッドからのリード・バック・データに基づき調整される。本発明の実施例を特定する他の特徴および利点は、下記の詳細な説明および付随する図面により明白になるであろう。
【０００６】
（図解された実施例の詳細な説明）
図１は、記憶ディスクあるいは媒体１０４からデータを読取るあるいはデータを書込むために適合されたデータ・ヘッド１０２を含むデータ記憶装置１００を概要的に示している。図示された実施例において、ヘッド１０２は、アクチュエータ・アセンブリ１０６によって運ばれ、読取／書込動作のために、ディスク表面に対して位置合わせされる。アクチュエータ・アセンブリ１０６は、読取／書込動作のためにヘッド１０２をディスク表面と（つまり選択されたデータ・トラックに対して）交差する位置に置くために、ドライバあるいはボイス・コイル・モータ１０８（概要的に図示されている）によって駆動される。図示された実施例において、ヘッド１０２は、読取／書込動作のための変換器要素（図示されていない）を運ぶ浮上スライダを含む。変換器要素は、周知のようにホスト・システムとのインタフェースとなる、概要的に図示されている装置の読取／書込回路１１０に結合している。
【０００７】
動作において、ディスク１０４の回転は、浮上スライダあるいはヘッド１０２上に流体力学的揚力を生じさせる。スライダあるいはヘッド１０２は、サスペンション・アセンブリ１１４を通してアクチュエータ・アセンブリ１０６に結合している。サスペンション・アセンブリ１１４は、流体力学的揚力に対抗する負荷力を、ヘッドあるいはスライダ１０２にかける。負荷力および流体力学的揚力は、ディスク表面１１８上のスライダの浮上高１１６をある程度定義する。上記のように、浮上高パラメータは、読取書込明晰度および解像度に影響を与える。製造上の許容差あるいは変動は、浮上高パラメータに変動をもたらすことがある。本発明は一般に、浮上高変動を補正するためのシステムに関する。
【０００８】
図１に示される実施例において、アクチュエータ・アセンブリ１０６は、アクチュエータ本体１２０および少なくとも１つのアクチュエータ・アーム１２２を含む。図示されるように、アクチュエータ・アーム１２２はアクチュエータ本体１２０から延び、サスペンション・アセンブリ１１４およびスライダ１０２は、その延長端に結合する。図示されるように、アーム１２２は、ディスク表面１１８から離された上昇１２４において支持されている。アクチュエータ・アーム１２２の上昇は、スライダあるいはヘッド１０２の浮上高に影響を与える。従って、アーム１２２のディスク表面１１８からの上昇が変動すると、ヘッドあるいはスライダ１０２の浮上高パラメータが変動し、読取／書込明晰度あるいは解像度に影響を与えることがある。
【０００９】
装置は図示されるように、浮上高制御のための、ディスク表面に対するアーム１２２の上昇高１２４を調整するためにアクチュエータ・アーム１２２に動作可能に結合する、高さ調整器１２６（概要的に図示されている）を含む。図２に示される１つの実施例において、アクチュエータ本体１２０は、相対するシャーシ部分１３０、１３２（概要的に図示されている）の間に浮揚的に支持され、高さ調整器１２６は、シャーシとアクチュエータ本体１２０との間の調整可能インタフェース１３４を含む。
【００１０】
図示される特定の実施例において、アクチュエータ本体１２０は、シャーシ部分１３２に結合するばね１３６に対して浮揚的に支持されている。ばね１３４は、アクチュエータ本体１２０をシャーシ部分１３０に向けてバイアスさせている。調整可能インタフェース１３４は、少なくとも１つのアクチュエータ・アーム１２２の高さ上昇を調整するため、シャーシに対するアクチュエータ本体１２０の上昇あるいはオフセットを調整するために、アクチュエータ本体１２０をばねバイアスとは反対に動かす。図示される特定の実施例において、アクチュエータ・シャーシ・インタフェース１３４は、アクチュエータ本体１２０およびアーム１２２の高さを調整するために、装置のシャーシ基底を形成するシャーシ部分１３０とアクチュエータ本体１２０との間に結合する。また、アクチュエータ本体１２０は、シャーシ部分１３２あるいはカバーに向けてバイアスされることができ、インタフェース１３４は、少なくとも１つのアクチュエータ・アーム１２２の高さ上昇を調整するために、アクチュエータ本体１２０とシャーシ部分あるいはカバー１３２との間に結合することができる。
【００１１】
図３に示される１つの実施例において、図３においては先の図面における同じ要素を参照するために同じ番号が使用されているが、調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースは、ブロック１４２によって概要的に図示されるように、アクチュエータ本体１２０−１に調整可能ばね力をかける、ばね１４０を含む。図示されるように、ばね１４０は、シャーシ部分１３０とアクチュエータ本体１２０−１との間に置かれている。調整可能ばね力１４２は、ヘッド１０２の浮上高パラメータを調整するために、アクチュエータ本体１２０−１の上昇あるいは位置を調整するよう、ばね１３６のバイアスとは反対方向にかけられる。
【００１２】
図３に示される特定の実施例において、アクチュエータ本体あるいはハブは、第１の部分１４４および第２の部分１４６、および、第１および第２の部分１４４、１４６の間の階段状表面１４８を含む。第２の部分１４６は、シャーシ部分１３０の溝１５０に差込可能であり、ばね１３６によってそこにバイアスされる。ばね１４０は、アクチュエータ・アーム１２２の上昇を調整するため調整可能ばね力１４２を与えるために、階段状表面１４８とシャーシ部分１３０との間に結合される。
【００１３】
図３に示されるアクチュエータ本体１２０−１は、ハブ部分１５２およびスピンドル部分１５４を含む。スピンドル部分１５４は、浮上アセンブリ１５６によって、ハブ部分１５２に回転可能に結合される。図４に示されるように、ドライバ１０８−１は、ヘッド１０２をディスク１０４の内部および外部部分１５９、１６０の間で動かすために、軸１５８を軸としてスピンドル部分１５４を回転させる。図示される実施例において、ハブ部分１５２は、第１および第２の部分１４４、１４６およびこれらの間の階段状表面１４８を含む。概要的に示されるように、ディスク１０４は、動作のためにドライバ１６２によって回転される。上記のように、ディスク１０４の回転は、調整可能アクチュエータ・シャーシ・インタフェースを通して、ヘッドが調整可能な浮上高においてディスク表面上を浮上するように、ヘッドに対する流体力学的揚力を生じさせる。
【００１４】
図５に示されるように、ばね１４０は、相対する末端１６４、１６６およびこれらの間のばね部分１６８を含む。末端１６４は、上記のように調整可能ばね力１４２を与えるために、アクチュエータ本体１２０（あるいは階段状表面１４８）に結合する。図５に示される実施例において、調整可能負荷１７０（概要的に図示されている）は、浮上高制御のために上昇あるいは高さを調整するため、上記のような調整可能ばね力１４２を提供するよう、ばね１４０の末端１６６に与えられる。
【００１５】
また、図６に示されるように、ブロック１７２によって示されような、一定の負荷力を与えることもでき、ばね１４０のばね定数１７４は、末端１６４を通してアクチュエータ本体１２０（あるいは階段状表面１４８）に与えられるばね力１４２を調整するために変動させることができる。特に、ばね力Ｆは、以下の数式によって得ることができる。
【数１】
Ｆ＝ｋｘ
ここで、ｋは、ばね１４０のばね定数であり、
ｘは、ばね１４０が入力負荷１７２によって圧縮された距離である。従ってｋは上記のように、ヘッドの浮上高パラメータを調整するためにばね力Ｆを調整するよう、変えられる。
【００１６】
図７−８は、シャーシ１３０とアクチュエータ本体１２０−１との間に置かれた平円盤状ばね１８０を含む、アクチュエータ・シャーシ・インタフェースの１つの実施例を示している。図示される実施例において、ばね１８０は、内部部分１８２（あるいは末端）および外部部分１８４（あるいは末端）を含む。図示される実施例において、内部部分１８２は、図８により明確に示されるように、シャーシ１３０とアクチュエータ本体１２０−１の階段状表面１４８との間に結合している。外部部分１８４は、アクチュエータ本体１２０あるいは階段状表面１４８に与えられるばね力を調整するために、ばね１８０の外部部分１８４に調整可能負荷力１７０を与えるよう、図７に示されるねじ１８６に結合する。
【００１７】
特に、アクチュエータ本体１２０−１の部分１４６は、ばね開口１８８を通って延び、アクチュエータ本体１２０−１とシャーシ部分１３０との間にばね１８０を位置付ける。シャーシ部分あるいは基底１３０は、図７に示されるように、ねじ１８６を通して動作可能に結合する、相対する板１９０、１９２を含む。ばね１８０の外部部分１８４は板１９０、１９２の間に結合し、板１９２は、外部ばね部分１８４に負荷力を与えるようねじ１８６を締めることによって、板１９０に向けて動かすことができる。図８において強調されているように、負荷力１７０を外部ばね部分１８４に与えると、図８の破線に示されるように、内部ばね部分１８２を通して反対方向の反動あるいはばね力１４２が生じる。ばね力１４２は、アクチュエータ本体１２０−１を、ばねバイアスとは反対方向の相対するシャーシ部分１３２に向けて動かし、ディスク表面１１８に対するアクチュエータ・アーム１２２のオフセットあるいは上昇高を高める。従って上記のように、ばね応力は、ねじ１８６を締めるあるいは弛めることによって、容易に調整することができる。このことは、静的システムに対する利点を提供し、浮上高パラメータにおける変動を補正するためのスタックあるいはアームの容易な調整を可能にする。
【００１８】
図９に示されるように、スタックあるいはアクチュエータ高は、検査動作パラメータに基づき、ドライブ動作のために調整することができる。ブロック２００によって示されるようにドライブ動作が初期化され、変換器からのフィードバックあるいはリード・バック信号が、読取／書込明晰度あるいはオフ・トラック機能（ＯＴＣ）を測定するために、ブロック２０２に示されるように提供される。特に、リード・バック信号のパルス幅（ＰＷ）がＰＷ５０（パルス幅５０％）である場合、オフ・トラック機能は不十分であり、ヘッドの浮上高は媒体のグライド・アバランシュ（ｇｌｉｄｅ ａｖａｌａｎｃｈｅ）高より低く、ヘッド・ディスク接点（ＨＤＩ）を起こす結果となる。従って、アクチュエータあるいはアームの高さは、ＨＤＩを減らしトラック・フォローイングを改善するために、ブロック２０４に示されるように、スライダの浮上高を高くするためにディスク表面に対して上げられる。あるいは、アクチュエータ・アセンブリあるいはアーム１２２は、ブロック２０６に示されるように、スライダの浮上高を低くするためにディスク表面に向けて下げられる。
【００１９】
特に、図１０は、リード・バック信号２１０を、ヘッド・ディスク接触を示すトラック上に留まることはできないヘッドに対する、時間２１２の関数として示している。図１１は、フィルタリング（２０−２００ｋＨｚ）の際の接触あるいはＨＤＩによるリード・バック変調を示している。従って上記のように、アクチュエータ・アセンブリあるいはアームは、ＨＤＩあるいは信号変調を減少させるために、スライダの浮上高を高くするよう、ディスク表面に対して上げられる。従って、読取書込み解像度および明晰度を損なう製造上の許容差あるいは変化を補正するよう、検査された装置を静的に調整することができる。
【００２０】
図１２は、ブロック２１６に示されるように、検査動作のために、スタックあるいはアーム高を増分的に調整するあるいは低くする検査動作を、より詳細に示している。リード・バック信号は、ブロック２１８に示されるように、高くされた高さにおいて測定され、ブロック２２０に示されるように、望ましいパラメータと比較される。望ましいパラメータは、メモリあるいは参照用テーブルに記憶されている。図示されるように、リード・バック信号が許容できるあるいは望ましいパラメータ内である場合、検査動作は、ブロック２２２に示されるように完了する。
【００２１】
検査動作が、ブロック２２４に示されるように最高増分高さ繰返しを回りきってしまった場合、システムは、ブロック２２６に示されるようにヘッド故障を指示する。あるいは、リード・バック信号がＰＷ５０である場合、ブロック２２８に示されるように接触が指示され、スタックあるいはアーム高は、ブロック２３０に示されるように先のスタック高まで上げられる。接触がない場合、ヘッドは線２３２によって示されるように、次の検査繰返しのために増分的に低くされる。従って、図示される実施例において、検査動作は、望ましい浮上高制御のために、繰返しスタックあるいはアーム高のための読取／書込パラメータを増分的に検査する。
【００２２】
（１０６のような）アクチュエータ・アセンブリの（１２２のような）アクチュエータ・アームのための調整可能高さ上昇である。（１２２のような）アクチュエータ・アームの高さ上昇は、浮上高制御のために、（１１８のような）ディスク表面に対して調整可能である。（１２２のような）アクチュエータ・アームの高さ上昇は、望ましい浮上高制御を提供するために、ヘッドからのリード・バック・データに基づいて調整される。１つの実施例において、（１２２のような）アクチュエータ・アームの上昇は、（１２０のような）アクチュエータ本体の位置を調整するために、（１２０のような）アクチュエータ本体に結合可能な（１４２のような）調整可能ばね力を含む、（１３４のような）アクチュエータ・シャーシ・インタフェースによって調整される。簡便な調整制御のために、（１８６のような）ねじが、（１２０、１０６のような）アクチュエータ本体あるいはアセンブリに与えられるばね力を調整するための負荷力を与えるよう、（１４０、１８０のような）ばねに結合される。
【００２３】
本発明の様々な実施例の様々な特徴および利点が、本発明の様々な実施例の構造および機能の詳述と共に、上記記述において説明されてきたが、本開示は例示であり、本発明の原則において、上記請求項において使用されている用語の一般的意味の最大限の範囲内において、詳細、特に構造および部品の配置に関して変更が可能である。例えば、本発明の範囲および精神から逸脱しない範囲において、実質的に同様の機能を保ちながら、一定の用途に応じて一定の要素を変えることができる。さらに、ここに記述された好ましい実施例は磁気ディスク・ドライブ・システムに向けられたものであるが、本発明の属する分野における技術者には、本発明の開示は、本発明の範囲および精神から逸脱することなく、光学システムにも応用することができることが理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】
調整可能アクチュエータ・アーム上昇あるいは高さを含むアクチュエータ・アセンブリの実施例を含む、データ記憶装置の概要図である。
【図２】
アクチュエータ・アームの上昇を調整するために、アクチュエータ・アセンブリとシャーシ部分との間に調整可能インタフェースを含む装置の実施例の概要図である。
【図３】
ハブ部分およびスピンドル部分を含み、アセンブリあるいはアクチュエータ・アームの高さあるいは上昇を調整するための調整可能ばね力を含む調整可能インタフェースを有する、アクチュエータ・アセンブリの実施例の概要図である。
【図４】
ヘッドを位置付けるために、ディスクの内部部分と外部部分との間を移動することができる、アクチュエータ・アセンブリの実施例の概要図である。
【図５】
アクチュエータ本体あるいはアセンブリに調整可能ばね力を与えるための調整可能負荷を含む、インタフェースばねの実施例の概要図である。
【図６】
アクチュエータ本体あるいはアセンブリに調整可能ばね力を与えるための調整可能ばね定数を有する、インタフェースばねの実施例の概要図である。
【図７】
アクチュエータ本体あるいはアセンブリに調整可能ばね力を与えるための平円盤状ばねインタフェースを含む、アクチュエータ・アセンブリの実施例の概要図である。
【図８】
図７に示される平円盤状ばねの詳細図、および、アクチュエータ本体あるいはアセンブリにばね力を与えるために平円盤状ばねに与えられる負荷力を示す図である。
【図９】
浮上高制御のための検査ステップを示す流れ図である。
【図１０】
浮上高パラメータを調整するためのリード・バック信号の実施例を示す図である。
【図１１】
浮上高パラメータを調整するためのリード・バック信号の実施例を示す図である。
【図１２】
浮上高制御および調整のための検査動作ステップの詳細な実施例を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際公開パンフレット】
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2004533081.tif 000018
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2004533081.tif 000024
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2004533081.tif 000037
2004533081.tif 000038
2004533081.tif 000039
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004533081.tif 000040
【国際調査報告】
2004533081.tif 000041
2004533081.tif 000042