(57)【要約】冷カソード放出赤外線光源、特に二酸化炭素を充填して作動する光源、のスペクトル安定性を増加させる方法が記載されている。触媒がランプ覆いの内側に添加され、放電の作用により分解された充填ガスの分子解離生成物の再結合を誘導し、こうして基底状態水準まで放出する活性なランプにおける励起ガス分子の濃度の経時的変化を減少させる。ランプ放出の自己吸収水準の維持は、ランプ放出のスペクトル形態の付随する維持をもたらす。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法であり、その出力は基底状態に少くとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：
ランプ覆いを作製すること；
該ランプ覆いを清浄化すること；および
該覆いを該少くとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、
改良が該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階である、方法。
【請求項２】
該触媒物質が、該ガス混合物中の自己吸収量の変化を経時的に減少させることにより該ランプのスペクトル安定性を増加する働きをする請求項１記載の方法。
【請求項３】
該触媒物質が、該覆いの内壁に被覆されている請求項１記載の方法。
【請求項４】
該触媒物質が、金、銀、ロジウム、イリジウム、パラジウム、白金およびニッケルからなる群より選ばれる請求項１記載の方法。
【請求項５】
改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法であり、その出力は基底状態に少くとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：
ランプ覆いを作製すること；
該ランプ覆いを清浄化すること；および
該覆いを該少くとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、
改良が該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階であり、該ランプの容積が減少されうる、方法。
【請求項６】
該ランプの容積が約６ｍＬ未満である請求項５記載の方法。
【請求項７】
改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法であり、その出力は基底状態に少くとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：
ランプ覆いを作製すること；
該ランプ覆いを清浄化すること；および
該覆いを該少くとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、
改良が該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階であり、ＩＲ活性ガス濃度が減少されうる、方法。
【請求項８】
該ＩＲ活性ガス種が二酸化炭素である請求項１〜７のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
該二酸化炭素の濃度が約５％未満である請求項８記載の方法。
【請求項１０】
改良された、電気的に励起されたガス放出ランプであり、その出力は基底状態に少くとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：
該少くとも１つのＩＲ活性ガス種からなるガス混合物を含む該ランプ覆い；および
該少くとも１つのＩＲ活性ガス種を励起するための、該覆いの外側の電極；を含み、
改良が該ランプ覆い内に配置された触媒物質である、ランプ。
【請求項１１】
該触媒物質が、該ガス混合物中の自己吸収量の変化を経時的に減少させることにより該ランプのスペクトル安定性を増加する働きをする請求項１０記載のランプ。
【請求項１２】
該触媒物質が、該覆いの内壁に被覆されている請求項１０記載のランプ。
【請求項１３】
該触媒物質が、金、銀、ロジウム、イリジウム、パラジウム、白金およびニッケルからなる群より選ばれる請求項１０記載のランプ。
【請求項１４】
該ＩＲ活性ガス種が二酸化炭素である請求項１０〜１３のいずれかに記載のランプ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の分野
本発明は一般的に赤外線照射光源の分野に関し、そして特に分子性ガス放出源（ｍｏｌｅｃｕｌａｒ　ｇａｓ　ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　ｓｏｕｒｃｅｓ）を密封することに関する。
発明の背景
電極のない冷ガス放出赤外線ランプ源（ｅｌｅｃｔｒｏｄｅ−ｌｅｓｓ　ｃｏｌｄ　ｇａｓ　ｄｉｓｃｈａｒｇｅ　ｉｎｆｒａ−ｒｅｄ　ｌａｍｐ　ｓｏｕｒｃｅｓ）の操作および製造を内在する技術がＳ．Ｙａｔｓｉｖらの「赤外線源およびその製造方法」（“ＩＲ−Ｒａｄｉａｔｉｏｎ　Ｓｏｕｒｃｅ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄ　ｆｏｒ　Ｐｒｏｄｕｃｉｎｇ　Ｓａｍｅ”）と題する米国特許第５，３００，８５９号明細書に記載されており、引用によりここに全体を組入れられる。このようなランプ源の重要な利点の１つは、ランプに含まれる励起ガス種の基底状態遷移への分子回転−振動の不連続な振動数特性でそれらが非常に狭いスペクトル線を放射することである。これは、密封され、コンパクトであり、電気から光への優れた変換効率を有し、そして従来利用しうる密封ランプ源に匹敵する長い寿命を有する光源において達成される。
【０００２】
独得のスペクトル特性により、このようなランプは、非分散赤外（ＮＤＩＲ）分光測定機器、特に医療用途における使用のためのガス分析器において、光源として広く用いられている。輝線（ｅｍｉｓｓｉｏｎ　ｌｉｎｅ）の狭さは、このようなガス分析器に、高水準の選択性、感光および安定性を付与し、熱い黒体光源のような代替技術光源を使用する類似の複雑なガス分析器よりも何倍も良好である。上述の他の利点は効率、励起および出力、ならびにランプ寿命に作用するパラメータに関する十分な検討がある。一方、ランプ源のスペクトル安定性の問題は向けられている。しかし、ＮＤＩＲ分光学的用途での振動数選択源として用いられるとき、分光安定性は上述のパラメータよりも一層重要でありうる。ランプ強度は単一評価された量であるので、経時的な強度変化は対照路（ｒｅｆｅｒｅｎｃｅ　ｐａｔｈ）を用いて容易に監視され、補正されうる。一方、スペクトル変化は、スペクトルには実質的に無限の情報があるので、容易には監視もしくは補正され得ない。ランプスペクトルの変化は吸収セルの吸収特性の変化をもたらす。これらの変化が知られていなければ、このようなランプ源を用いてガス濃度を正確に測定することは不可能そのような光源を用いるコンパクトで費用効果のよい機器の製造を可能にする。
【０００３】
米国特許５，３００，８５９号明細書に記載されたランプ源は吐き出された吸収のガス分析のためにその中のＣＯ２ 含量を測定するのにＣＯ２ スペクトル輝線源として特に有利な用途を見出した。このようなＣＯ２ 源はカプノグラフィ（ｃａｐｎｏｇｒａｐｈｙ）および呼吸試験測定に、非常に有利に用いられている。ＣＯ２ の電気励起および続く自発放射スペクトルのメカニズムおよび動特性は二酸化炭素レーザーで使用されるものに類似するので、この技術についての多くの知識と従来技術が存在する。
【０００４】
米国特許第５，３００，８５９号公報において、密封前にランプを清浄化するのに用いる化学的方法の関数としてランプ放射の発生および崩壊時間、である。
【０００５】
したがって、米国特許第５，３００，８５９号明細書に記載された種類の、電極のない冷ガス放出赤外線ランプ源について高水準のスペクトル安定性を維持する方法に対する重大な要求がある。
【０００６】
本明細書のこの項および他の項において述べられるすべての刊行物の開示は、引用により、それぞれ全体をここに組入れられる。
発明の要約
本発明は、改良されたスペクトル安定性、特に二酸化炭素を充てんして操作する安定性、を有する、冷ガス放出赤外線ランプ源を製造する新しい方法を提供しようとするものである。
【０００７】
ランプ源のスペクトル安定性は呼吸試験計測のガス分析器におけるような用途での使用に特に重要であり、そこでは高い分解能、感度および選択性が１つの同位体種（ｉｓｏｔｏｐｉｃ　ｓｐｅｃｉｅｓ）の濃度をもう１つの種の存在下に正確に測定することが要求される。良好なスペクトル安定性が十分でないと、光源に小さな変化を生じ、同位体濃度の変化から生じる強度変化として間違って解釈されうる。しかし、このようなランプは高い分解能、感度および選択性を提供するようにいかなるガス分析器の用途に使用されうることが理解されるべきである。
【０００８】
数多くのファクターが、本発明により呼吸試験計測で用いられる種類の、電極のない冷ガス放出赤外ランプ源のスペクトル安定性に作用する。これらのファクターは温度、電極位置および時間を含む。はじめの２つは操作条件のファクターであり、そしてランプの形状は、もし十分に理解されれば、十分に調節されうる。上述の第３のファクター、すなわち経時的変化は、はるかに問題となりうる。なぜなら、このような変化はガス充填組成の長期的変化によるからである。ランプ出力およびスペクトルの長期変化の主たる原因は放出におけるＩＲ活性分子の徐々の崩壊の結果であると考えられる。二酸化炭素ランプの場合には、二酸化炭素は一酸化炭素と酸素に解離する。ランプ操作の最初の数分間の過程で、上述の分子の平衡が達成されるが、操作の長い期間にわたって、ＣＯおよびＯ２ についての平衡含量変化はランプのおおいの壁に吸着される。不純物もＣＯ２ 含量をさらに一層減少させる。
【０００９】
これまで、二酸化炭素における電気的放出の操作条件で時間による変化についての問題に関して大部分の従来技術は、ＣＯ２ 含量が変化するとともに生じる動力の出力変化に主として関係するものである。ＣＯ２ レーザー、そして特に密封ＣＯ２ レーザーの出力水準（ｐｏｗｅｒ　ｌｅｖｅｌｓ）において、経時的低下を避ける重要性のために、これは関心の主要点であった。
【００１０】
しかし、放出された照射が励起状態から基底状態への、非干渉性の自発放出である放出ランプである場合、ＣＯ２ 濃度の変化も自己吸収として知られる方法により放出スペクトルに作用する。一方、ＣＯ２ レーザーにおいて、この現象は事実上存在しないのも同然である。自己吸収の現象は次のように作用する。ランプにおけるＣＯ２ 分子は励起されて放射を放出するのみならず、基底状態で、誘起された吸収により放射を吸収する。したがって、ランプ自体は、この光が出力ウインドウまでランプ自体のガス充填を通過するにつれて、それ自体の放出光への吸収セルとして作用する。ＣＯ２ 線はその中心で吸収され、したがって、その形状は自己吸収として知られる方法により変化する。
【００１１】
ＮＤＩＲ分光学測定についての自己吸収の作用は重要でありうる。ドップラー（Ｄｏｐｐｌｅｒ）が拡がるときでさえ、ランプからの輝線は大気圧でのガス試料における吸収線よりももっと狭い。その結果、吸収線における合致領域は大体一定の大きさである。したがって、異なる程度の自己吸収に関して個々の輝線についての吸収特性の変化はないが、個々の線強度分布の変化は吸収特性の全体的変化を引起さない。その結果、自己吸収の変化は１次バンド群の輝線強度分布の変化を創り出し、すなわちボルツマン分布強度の比較的弱い線は、ランプ内に高濃度のＣＯ２ が存在しても、ランプを妨害して少し減衰させるが、ボルツマン分布強度の強い吸収線は強く減衰される。
【００１２】
線強度分布のこれらの変化は相対的な群／種類（同位体）（ｇｒｏｕｐ／ｏｒｄｅｒ（ｉｓｏｔｏｐｅ））強度の変化から生じる分布変化、または温度変化から生じるボルツマン分布変化に関する吸収特性への作用において類似する。
【００１３】
数学的に表現すると、ガスセルにおける吸収後のランプ出力照射は、
Ｉ＝Σｅ−α１ｊｄｃＩ１ｊ＋Σｅ−α２ｊｄｃＩ２ｊ
で示され、
ここでＩ１ およびＩ２ はそれぞれ１および２次であり、それらの線強度Ｉｎｊにわたって規定する。この関係は周知のＢｅｅｒ−Ｌａｍｐｅｒｔの法則から当然である。
【００１４】
線分布ｊの１次および２次の間の出力比である分布比Ｘ＝ΣＩ１ｊ／（ΣＩ１ｊ＋ΣＩ２ｊ）を規定すると、透過率（ｔｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎ）ｔ（ｃ） は、所与の濃度ｃに対して、
ｔ（ｃ） ＝ｔ１（ｃ）Ｘ＋ｔ２（ｃ）（１−Ｘ）
で与えられる。
【００１５】
ランプのＣＯ２ 濃度が時間の経過とともに変化するとき、この分布比は変化し、したがって吸収セルとともに放出ランプからなる光学系全体の吸収特性も変化する。このような条件下で、このような変化を測定されるガス濃度の変化と識別するのは困難になる。
【００１６】
自己吸収は理論から予測されうるが、直接に示すことは困難である。これは、ランプの典型的線幅が０．００６ｃｍ−１未満であるからである。このような狭い幅を分解することができる、現在利用しうる唯一の機器は少なくとも２ｍの鏡移動を有するＦＴＩＲ（フ−リエ変換赤外線）分光光度計である。自己吸収の微細構造は分解するのがなお一層困難である。
【００１７】
実験は現在達成しうる最適分解能の１つでありうるＦＴＩＲ分光光度計を用いて放出ランプの効果を観察するために実施された。線形状の変化について新旧のランプの間の比較はその効果を明らかに示す。ボルツマン分布の変化、もしくは１次および２次線の比の変化のような他の効果は比較において無視してよいことが示される。放電の効果のもとで破壊された分子の解離生成物の再結合を促進して、最初に解離した親ガス分子を再生する１つの方法は触媒を使用することによる。ＣＯ２放出の場合、ランプ覆い内の一酸化炭素および酸素分子は適切な触媒の影響下で再結合されて、それらが解離したＣＯ２分子を再形成しうる。密封レーザーＣＯ２レーザー方法において、そのような触媒はもし解離ＣＯ２の％が時間とともに増加するとしたら、起こるであろうレーザー出力の衰退を防止するために、レーザーキャビティにおけるＣＯ２の含量を維持するのに広く用いられる。
【００１８】
上述のとおり、自己吸収の効果は直接に基底状態にレーザー放出しない他の系おけるように、ＣＯ２レーザー放出において有効に存在しない。ＣＯ２レーザーにおいて、レーザー光の誘導放出（ｓｔｉｍｕｌａｔｅｄ　ｅｍｉｓｓｉｏｎ）が準安定状態から短期間の励起状態への衰退遷移により産生される。それはよく知っているＣＯ２の１０．６μｍ波長照射を産生する遷移である。そのレーザー放出遷移は基底状態ではないので、大きい集団の基底状態分子はレーザー遷移エネルギーを吸収せず、そしてこのために、自己吸収はそのようなレーザー放出に有効に存在しない。
【００１９】
一方、米国特許第５，３００，８３９号明細書に開示されたガス放出ランプにおいて、ＩＲ放射は、回転振動励起状態から直接に基底状態へのＩＲ活性分子の遷移により、４．３μｍの波長領域の自発放出により創り出される。この遷移の図式に準安定状態は含まれない。高い割合のＣＯ２分子が基底レベルにあるので、この基底レベルへの遷移に関連する自発照射（ｓｐｏｎｔａｎｅｏｕｓ　ｒａｄｉａｔｉｏｎ）は誘導吸収の過程により、これらの基底状態分子により容易に吸収される。これらは照射のかなりの自己吸収を生じる。これに関して、放出ランプは、それらが重大な自己吸収作用を示すという点で、同一の分子系で作用する、レーザー放出の誘導放出とはかなり異なる。
【００２０】
レーザー放出に用いられる従来公知の触媒技術はレーザー増進、レーザー効率およびレーザーからの放出出力水準を維持することをもっぱら目的とする。出願人の知るかぎり、そのような触媒は放出のスペクトル安定性を維持するのに使用されるという言及もしくは提案は、なされていなかった。なぜなら放出の安定がなされうる自己吸収の機構はレーザーには適用されないからである。さらに、出願人の知るかぎり、触媒は、ガス放出ランプの放出スペクトルを安定化するのに使用、もしくは使用の提案をされていなかった。
【００２１】
このように、本発明の好適な態様によれば、基低状態水準に放出するのに活性なランプにおける励起ガス分子の濃度変化を時間とともに減少させるために触媒を使用することによって、冷ガス放出赤外線ランプ源のスペクトル安定性を増加させる方法がある。
【００２２】
本発明のさらにもう１つの好適な態様によれば、改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法が提供され、その出力は基底状態に少なくとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：ランプの覆いを作製すること；該ランプ覆いを清浄化すること；および該覆いを該少なくとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、改良は該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階である。
【００２３】
本発明のさらに好適な態様によれば、改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法が提供され、その出力は基底状態に少なくとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：ランプ覆いを作製すること；該ランプ覆いを清浄化すること；および該覆いを該少なくとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、改良は該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階であり、該ランプの容積が減少されうる。
【００２４】
本発明のもう１つの好適な態様によれば、改良された、電気的に励起されたガス放出ランプを作製する方法が提供され、その出力は基底状態に少なくとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：ランプ覆いを作製すること；該ランプ覆いを清浄化すること；および該覆いを該少なくとも１つのＩＲ活性ガス種を含むガス混合物で充たすこと；の段階を含み、改良は該ランプ覆い内に触媒物質を入れる付加的段階であり、ＩＲ活性ガス濃度が減少されうる。
【００２５】
本発明のもう１つの好適な態様によれば改良された、電気的に励起されたガス放出ランプが提供され、その出力は基底状態に少なくとも１つのＩＲ活性ガス種の自発放出することを特徴とし：少なくとも１つのＩＲ活性ガス種からなるガス混合物を含む該ランプ覆い；および少なくとも１つのＩＲ活性ガス種を励起するための、該覆いの外側の電極；を含み、改良はランプ覆い内に配置された触媒物質である。
【００２６】
本発明のさらにもう１つの好適な態様によれば、触媒物質が、ガス混合物中の自己吸収量の変化を経時的に減少させることによりランプのスペクトル安定性を増加する働きをする上述の方法がさらに提供される。
【００２７】
本発明のさらにもう１つの態様によれば触媒物質が、ガス混合物中の自己吸収量の変化を経時的に減少させることによりランプのスペクトル安定性を増加する働きをする上述のランプが提供される。さらに、本発明のさらにもう１つの好適な態様によれば、ＩＲ活性ガス種が二酸化炭素である上述のランプが提供される。二酸化炭素の濃度は約５％未満である。
【００２８】
本発明のさらにもっと好適な態様によれば、触媒物質は、覆いの内壁に被覆され得、そして金、銀、ロジウム、イリジウム、パラジウム、白金もしくはニッケルでありうる。本発明のさらに好適な態様によれば、ランプ容積が約６ｍＬ未満である上述の方法が提供される。
好適な態様の詳細な説明
数多くの触媒が、ＣＯおよびＯ２からＣＯ２を再生するのに知られており、たとえば、酸化スズ、スパッタされた金および銀被覆を有する白金が挙げられる。ランプのスペクトル安定性を増加させるために、放出ランプ覆いの内側に触媒被覆を与える方法は触媒に使用される物質に依存する。本発明の好適な態様によれば、方法はランプ覆いの内側上に微細に分割された形態で金をスパッタすることからなり、その結果、容積に対する非常に高表面比を有する非伝導性膜を形成する。イリジウム、ロジウム、パラジウムおよびニッケルのような他の金属も触媒として使用されうる。スパッタのほかに触媒を付着させる他の方法は、化学もしくは他の蒸着のように、使用されうる。
【００２９】
ここで参照が図１についてなされるが、図１は改良された電気的に励起された冷カソードガス放出ランプ１０であり、本発明のもう１つの好適な態様により組み立てられ、作動する。ランプ組立ての基礎部品は、米国特許第５，３００，８５９号明細書に類似する。ランプの覆い１２は１つ以上のＩＲ活性ガス種を含むガス混合物１６を含む内部容積１４を境界づける。好ましくは、ガスは覆いの外側に配置された２つの電極１８、２０により励起され、１対のケーブル２２によりＲＦ−励起電力を供給される。励起状態にされた後に、ＩＲ活性ガス種は基底状態まで直接に自発放出されることにより衰退し、放出された照射は、ランプ覆いの一端で光学的に透明なウィンドウ２４により出力される。本発明のこの好適な態様によると、ランプ覆いの内壁上に触媒層２６があり、ＩＲ活性ガス種の解離生成物を一定含量に維持するように作用し、その結果放出された照射の自己吸収は一定水準に保持され、そしてランプ出力のスペクトル安定性は上に詳細に説明されたように維持される。
【００３０】
触媒はＩＲ活性ガス種と解離生成物の間の平衡を確保するために選ばれる。この点に関し、本発明によりレーザー出力を最大に保持するために、触媒がＩＲ活性種の解離を最小に保持するように最適に作用するレーザーにおいて従来技術と異なって、触媒を使用することが留意されるべきであり、触媒は一定の自己吸収、したがって一定のスペクトル安定性を維持する目的を達成するためにＩＲ活性種の一定の平衡水準を維持することのみを要する。触媒は、化学、スパッタもしくは蒸着、または他の適切な手段により当業者に公知のいかなる方法によっても付着されうる。触媒は上述の種類のいかなるものであってもよい。
【００３１】
触媒はＣＯ２の分解を減少させるので、大量のガスに対する必要性を減少し、そしてかなり減少した大きさのランプを作製するのを可能にする。このような比較的小さいランプは活性媒体に関して容積に対して比較的良好な表面比を有し、活性Ｏ２分子は被覆に達する比較的短い路長を必要とし、したがって要求される活性状態に触媒被覆に達する可能性が比較的高い。米国特許第５，３００，８５９号明細書において、６０ｍＬのオーダーのランプ容積が開示されている。この容積は、長いランプ寿命を確保するために適切な貯蔵部（ｒｅｓｅｖｏｉｒ）を確保するために要求される。もし比較的小さい容積のランプが使用されると、ガス容積に関して壁の増加した表面に解離した一酸化炭素と酸素の吸収についての増大した効果は、ランプ放出の衰退を非常にすぐに生じさせるであろう。本発明のさらなる態様により、ランプ壁に触媒を使用することは、ランプ寿命もしくはスペクトル安定性に否定的に作用することなく、著しく小さいランプが組立てられるのを可能にする。従来の６０ｍＬ容積のランプと同様の寿命を与えるような６ｍＬ以下の容積ランプを達成することが可能であるが、スペクトル安定性は同一水準を維持する。これは呼吸試験機での使用に非常に利益があり、そこでは２つのランプ源が通常要求され、その相互の安定性は類似の環境条件下でそれらの両方の維持に依存し、もっとコンパクトのランプで達成するのがもっと簡単である。
【００３２】
触媒はＣＯ２の分解を減少させるので、本発明による触媒の使用は比較的低いＣＯ２圧力でランプを作製することを実行可能にする。米国特許第５，３００，８５９号明細書において、１０％オーダーのＣＯ２％が最適の出力および寿命を考慮して勧められる。本発明の好適な態様によれば、触媒の使用は５％までのランプガス混合物における比較的低いＣＯ２濃度でランプの作動を可能にする。これは上述のように吸収スペクトルの連続した比較的高い強度の中央線で、比較的低い自己吸収を生じさせる。これはガス分析器測定セルで高い吸光比を有する非常に深い吸収曲線を与え、検出感度もしくは選択性を失わないで、比較的短いセル路ともっとコンパクトな機器の使用を可能にする。これは、呼吸試験で少ない方の同位体成分の非常に低濃度含量を測定するときに、非常に重要である。
【００３３】
本発明は上に具体的に示され、記載されたものにより制限されないことは当業者に理解されるであろう。むしろ、本発明の範囲は上述の種々の特徴の組合わせおよび半組合わせの両方、ならびに上述の説明を読んで当業者が思いつき、そして従来技術にないような、変形および修飾を含む。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の好適な態様により組み立てられ、作動する、改良された電気的に励起したガス放出ランプの概略図。
【国際公開パンフレット】
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2004507860.tif 000018
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004507860.tif 000019
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004507860.tif 000020
【国際調査報告】
2004507860.tif 000021
2004507860.tif 000022
2004507860.tif 000023
2004507860.tif 000024