(57)【要約】本発明は、フォトリゾグラフィックツールにおいて変形可能な鏡の形状を動的に調節するための頑健なシステムを包含する。光学性能は改良され、そして本発明は、効率を減少することなく、複数の個々の部品の欠陥を持続するのに十分頑強である。本発明は、変形可能な鏡の周囲の周りにほぼ等距離で配置され、伝達された波面収差を動的に補正する複数の空気圧式アクチュエータのシステムを使用する。この空気圧式アクチュエータは、機械的利点を得るために片持ちばり式アームを使用する。これにより、より多数のより小さなアクチュエータが可能となり、それにより従来技術と比較して、変形可能な鏡の増加した頑強性およびより良い制御の両方が現実化する。
2004506236.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
変形可能な鏡を調節するためのシステムであって、以下：
反応プレート；
該反応プレートに連結された複数の空気圧式アクチュエータ；および
該空気圧式アクチュエータに第１端部で連結され、かつ該変形可能な鏡の非反射性の側面に第２端部で連結された複数のプッシュプル式湾曲部であって、該複数のプッシュプル式湾曲部は該変形可能な鏡の背面上の様々な位置に配置される、湾曲部、を備え、
これにより、該プッシュプル式湾曲部と空気圧式アクチュエータとのそれぞれの対は、該変形可能な鏡の形状を支持しかつ変化させて、複数の光学光学収差の補正を可能にするように作動される、
システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、前記反応プレートが湾曲部によって接線方向に支持され、そして前記プッシュプル式湾曲部に連結されかつ前記変形可能な鏡の非反射性側面に連結された前記アクチュエータを通してのみ軸方向支持体を収容し、それにより正味ゼロの力が生じ、そして正味ゼロのモーメントが該変形可能な鏡の該非反射性側面まで伝達される、システム。
【請求項３】
請求項１に記載のシステムであって、前記変形可能な鏡が複数の独立サブアセンブリによって支持され、ここで前記反応プレート、前記複数の空気圧式アクチュエータおよび前記複数のプッシュプル式湾曲部が、該独立サブアセンブリの１つを備える、システム。
【請求項４】
請求項１に記載のシステムであって、前記空気圧式アクチュエータが、以下：
ハウジング；
片持ちばり式アーム；
ベローセット；および
ヒンジ、を備え、
ここで、該片持ちばり式アームの第１端部が該ヒンジによって該ハウジングに取り付けられ、そして該片持ちばり式アームの第２端部が該ベローセットによって支持され、該ベローセットがまた該ハウジングに取り付けられ、
それにより、該片持ちばり式アーム上の該ベローセットの作動が、取り付けられた前記プッシュプル式湾曲部を動かし、そして機械的利点と共に、前記変形可能な鏡の前記非反射性側面に制御力を与える、システム。
【請求項５】
前記ベローセットが、小さいバネ速度を有し、そしてニッケルを含む、請求項３に記載のアクチュエータ。
【請求項６】
請求項１に記載のシステムであって、前記プッシュプル式湾曲部が、高い軸方向負荷容量、高い湾曲安定性、および低い横方向剛性を有するオフセットブレートを直交に備え、それにより軸方向の負荷のみが前記鏡に与えられる、システム。
【請求項７】
請求項１に記載のシステムであって、前記プッシュプル湾曲部と空気圧式アクチュエータとの対がセット内で作動され、それにより正味ゼロの力が前記変形可能な鏡の境界を横切って達成される、システム。
【請求項８】
請求項１に記載のシステムであって、前記プッシュプル式湾曲部の前記空気圧式アクチュエータへの取付けが組立プロセスの最後の工程であり、それにより、組立後、前記変形可能な球面鏡の形成された形状としての初めの形状と比較した場合、該変形可能な球面鏡の形状の変化は無く、そしてそれにより該空気圧式アクチュエータは、該変形可能な鏡にかかるいずれの正味の力も引き起こすことなく交換され得る、システム。
【請求項９】
請求項８に記載のシステムであって、前記プッシュプル式湾曲部の前記空気圧式アクチュエータへの取付けが、可逆性結合を用いて達成され、それにより該空気圧式アクチュエータが、前記変形可能な鏡にかかるいずれの正味の力も引き起こすことなく交換され得る、システム。
【請求項１０】
変形可能な鏡を調節する方法であって、該方法は、以下：
反応プレートを提供する工程；
複数の空気圧式アクチュエータを該反応プレートに連結する工程；
複数のプッシュプル式湾曲部の各々の第１端部を該変形可能な鏡の非反射性側面に連結する工程；および
該複数のプッシュプル式湾曲部の各々の第２端部を、該複数の空気圧式アクチュエータの対応する１つに連結して、該複数のプッシュプル式湾曲部および対応する空気圧式アクチュエータが、その周囲の周りで該変形可能な鏡の背面上の位置に配置されるようにする工程、を包含する、
方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の方法であって、前記プッシュプル式湾曲部と空気圧式アクチュエータとのそれぞれの対を作動させて、前記変形可能な鏡の形状を変化させ、複数の光学収差の少なくとも１つを補正する工程をさらに包含する、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の背景）
（発明の分野）
本発明は、一般に、半導体製造において使用されるフォトリゾグラフィック光学システムに関し、より詳細には、このような光学システム内に変形可能な鏡を成形するためのシステムに関する。
【０００２】
（関連技術）
半導体デバイスは、通常、フォトリゾグラフィック技術を使用して製造される。より小さい半導体デバイスの需要が増加するにつれて、より正確なフォトリゾグラフィック技術が必要となっている。フォトリゾグラフィック技術の重要な要素は光学システムである。
【０００３】
今日、フォトリゾグラフィック光学システムは、このシステムが操作および方向付けしようとする光の物理的制限のほとんどに対して前進している。収差は典型的に、ナノメートルで測定され、そしてこれは誤差の余地がほとんどない。例えば、ほんのわずかな程度だけの光学システム内の鏡の簡単な加熱または冷却は、この光学システムの性能に大きな影響を有し得る。実質的な熱負荷は、フォトリゾグラフィックレンズアセンブリにおける露光の吸収に寄与する。システムの性能に影響を与え得る他の動的環境要因は、湿度および気圧である。静的誤差はまた、これらの複合システムに導入され得る。静的誤差の例は、研磨または微小な形状変化によって導入される欠陥のような鏡自体の欠陥である。これらの潜在的な誤差の結果として、微小な環境の静的変化を補償するより発明性のある正確な方法が必要である。
【０００４】
精度を上げそしてサイズを減少する必要性に加えて、半導体製造産業はまた、容量を絶えず増加する必要性を経験している。この理由のため、フォトリゾグラフィック技術はまた、製造プロセスの要求に耐えるのに十分強くなければならない。このプロセスの任意の部分における問題または遅れは、要求を満たす企業の能力に対して重大な効果を有し得る。
【０００５】
従って、静的誤差、環境的変化または露光の吸収によって導入されるシステムの収差を動的に補償する能力を有し、また大量生産環境の厳しさに耐え得る正確な光学システムの必要性が存在する。当該分野への本発明者らの寄与は、変形可能な球面鏡の形状に対して正確で強く、様々な光学収差の補償を可能にするシステムである。
【０００６】
動的に調節され得る変形可能な鏡は、従来技術において公知である。例えば、欧州特許出願　ＥＰ　０　９３１　１４９　Ａ２、「Ｃａｔａｄｉｏｐｔｒｉｃ　Ｏｂｊｅｃｔｉｖｅ　ｆｏｒ　Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ　ｗｉｔｈ　Ａｄａｐｔｉｖｅ　Ｍｉｒｒｏｒ　ａｎｄ　Ｐｒｏｊｅｃｔｉｏｎ　Ｅｘｐｏｓｕｒｅ　Ｍｅｔｈｏｄ」、Ｃａｒｌ　Ｚｅｉｓｓ（これは本明細書中で参考として援用される）を参照のこと。この中では、数個の独立アクチュエータ（好ましい実施形態においては２個）を有する変形可能な鏡が開示されている。この中で、少数のアクチュエータを有する利点が記載されている。アクチュエータ自体の特定の設計は開示されていない。
【０００７】
別の類似のシステムは、米国特許第５，１４２，１３２号、「Ａｄａｐｔｉｖｅ　Ｏｐｔｉｃ　Ｗａｆｅｒ　Ｓｔｅｐｐｅｒ　Ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ　Ｓｙｓｔｅｍ」、１９９２年８月２５日発行、ＭａｃＤｏｎａｌｄら（これもまた本明細書中で参考として援用される）に開示される。この中では、変形可能な鏡を備える光学システムが開示され、ここでこの変形可能な鏡は、複数のアクチュエータによって成形され得る。
【０００８】
本発明は、変形可能な鏡の実際の変形またはその成形を行う装置および方法として、従来技術からそれ自体で区別される。本発明は従来技術において必要な精度を製造分野によって必要とされる頑強性と組み合わせる。
【０００９】
（発明の要旨）
本発明は、フォトリゾグラフィックツールにおいて変形可能な鏡の形状を動的に調節するための頑健なシステムを包含する。光学性能は改良され、そして本発明は、効率を減少することなく、複数の個々の部品の欠陥を持続するのに十分頑強である。
【００１０】
本発明は、変形可能な鏡の周囲の周りにほぼ等距離で配置され、伝達された波面収差を動的に補正する複数の空気圧式アクチュエータのシステムを使用する。この空気圧式アクチュエータは、機械的利点を得るために片持ちばり式アームを使用する。これにより、より多数のより小さなアクチュエータが可能となり、それにより従来技術と比較して、変形可能な鏡の増加した頑強性およびより良い制御の両方が現実化する。
【００１１】
本発明は、複数の異なる波面ひずみを補正することを意図する。より詳細には、任意の配向の光学収差、三つ葉クローバー型収差および四つ葉クローバー型収差が、本発明を使用して補正可能である。これは、このシステムに与えられ得る任意の残りの誤差を最小化するような様式で、この補正を達成するように設計される。このシステムの構成は同様に、他の収差の補正に適応し、そして記載される５個の収差に制限されない。
【００１２】
従って、本発明の目的は、光学性能全体を増大するために、光学システムの変形可能な鏡を動的に調節するための正確かつ頑強なシステムを提供することである。
【００１３】
本発明の利点は、複数のアクチュエータセットの使用が、いくつかの個々のアクチュエータの欠陥を伴う連続した使用を可能にする冗長な作動性能と共に、湾曲モードを組込むことである。
【００１４】
本発明の別の利点は、空気圧式アクチュエータセットが、自己反応構成で作動され、これが正味ゼロの力を生じ、そして正味ゼロのモーメントが、システムの境界で伝達されることである。
【００１５】
本発明の別の利点は、空気圧式アクチュエータが、機械的利点を得るためにレバーを使用し、これにより多数のより小さいアクチュエータが、変形可能な鏡により大きな冗長性および増加した制御の両方を提供することである。このようなアクチュエータはまた、厚い鏡を変形するために有用である。
【００１６】
本発明の別の利点は、システムが、このシステムにいずれの応力も歪みも引き起こすことなく容易に組み立てられることである。
【００１７】
本発明の別の利点は、空気圧式アクチュエータが、システムにいずれの応力もひずみも引き起こすことなく、かつ鏡の形状に影響を与えることなく容易に交換されることである。
【００１８】
このシステムのさらに別の利点は、広範な製造耐性が適応されることである。
【００１９】
本発明のさらに別の利点は、アクチュエータの構成が、選択した波面からの収差の任意の線形の組み合わせについて補正され得ることである。
【００２０】
本発明のさらに別の利点は、非熱生成アクチュエータが、従来技術のシステムによって与えられ得る任意のシステムの熱妨害を排除することである。
【００２１】
これらおよび他の目的、利点および特徴は、本発明の以下の詳細な説明を考慮して容易に明らかとなる。
【００２２】
（好ましい実施形態の詳細な説明）
本発明は、フォトリゾグラフィックツールにおいて変形可能な鏡の形状を動的に調節するための頑強なシステムを提供する。本発明は一般的な適応性を有するが、例示の目的のため、これは米国特許第５，５３７，２６０号（これは本明細書中で参考として援用される）に記載されるシステムと同様の反射屈折性光学減少システムにおける球面鏡に適用されると記載される。本発明は、このサンプル環境における適用に限定されないことが意図される。実際、以下の記載を読んだ後、本発明を現在公知のまたは特徴が開発された代替の環境でどのように実行するかが当業者に明らかとなる。本発明は、第１に物理的に、次いで操作的に記載される。
【００２３】
物理的に、本発明は第１に、反射屈折光学減少システムの投射光学ボックス内のそのハウジング内に典型的に配置されると記載される。次いで、本発明の個々の構成要素、それらの連結、およびそれらの顕著な特徴が記載される。
【００２４】
操作的に、本発明は、どのように鏡の形状が調節されて様々な光学収差についてされるという観点で記載される。
【００２５】
（物理的な説明）
図１は、より容易にデザインの構想を伝えるために装備の全体的な概略図を示す。変形可能な球面鏡１０５（鏡）は、平らな非反射性の背面を有する変形可能なスラブによって支持される凹型の反射性表面を有する鏡である。図３は、鏡ボタン１０７と呼ばれる接触点を示し、これは鏡の非反射性の背面の周囲の周りに配置される。本発明は、様々な光学収差の補正を可能にする様式で、これらの鏡ボタン１０７に圧力を付与するための頑強で正確なシステムである。
【００２６】
本発明によると、鏡１０５は、３個の独立サブアセンブリ：（ａ）内側リング１１０；（ｂ）反応プレートリング１１５および反応プレート１２０からなる反応アセンブリ；および（ｃ）外側リング１５０に取り付けられる。これらのサブアセンブリの各々は、軸方向湾曲支持体および接線方向湾曲支持体のその独自のセットを有する。鏡１０５は、内側リング１１０に固定された接線湾曲部および軸方向湾曲部の第１セットで支持される。反応アセンブリ（反応プレートリング１１５および反応プレート１２０）は、次いで、この内側リング１１０内にガイドされる。この内側リング１１０および反応アセンブリ１１５および１２０（これらは一緒に連結される）の両方は、外側リング１５０によってさらに支持される。外側リングの接線方向湾曲部および軸方向湾曲部１５７および１５９は調節可能である。これらの外側リングの湾曲部を調節することによって、矢印１５５で表されるように、「Ｚ」面で鏡の光学アライアメントが可能になる。従来の取付け構成の一例は、Ｍｉｃｒａｓｃａｎ　ＩＩＩ　ツール（Ｓｉｌｉｃｏｎ　Ｖａｌｌｅｙ　Ｇｒｏｕｐ，Ｉｎｃ．，９０１　Ｅｔｈａｎ　Ａｌｌｅｎ　Ｈｗｙ，Ｒｉｄｇｅｆｉｅｌｄ，ＣＴ　０６８７７により製造）で使用される構成である。
【００２７】
好ましい実施形態において、本発明は一体部分の反応アセンブリである。鏡の形状を調節するためのシステムは、本質的に、複数の軸方向湾曲部（プッシュプル型湾曲部）１６０、対応する複数の空気圧式アクチュエータ１８０、および反応プレート１２０からなる。
【００２８】
反応プレート１２０は、空気圧式アクチュエータ１８０が取り付けられる環状の金属スラブである。空気圧式アクチュエータ１８０は、反応プレート１２０の周囲の周り、かつそれらが支持する鏡１０５の対面上に配置される。この反応プレート１２０は、従来の設計の接線方向支持湾曲部１１７のセットを有する。反応プレート１２０の軸方向支持体は、空気圧式アクチュエータ１８０を介して達成される。従って、反応プレート１２０は、アクチュエータ１８０のみの力およびバネ速度に従って自由にピストン運動して傾く。このような構成は、正味ゼロの力を保証し、そしてモーメントは鏡１０５の非反射性側面まで伝わる。当業者は、このような構成の主な利点：アクチュエータの力設定における力のアンバランスに起因して、鏡１０５のピストン運動および傾きを和らげる、ということを理解する。
【００２９】
プッシュプル型湾曲部１６０は、鏡の非反射性の側面上の鏡ボタン１０７上で作動する湾曲ロッドである。鏡ボタン１０７の配置は、図３に示される。プッシュプル式湾曲部１６０は、力が２つの方向（押しおよび引き）で付与され得るような様式で、一端で鏡ボタン１０７に連結される。本発明の別の構成は、アクチュエータの現存のリングの内部に位置するアクチュエータの追加である。
【００３０】
他の端部において、このプッシュプル式湾曲部１６０は、空気圧式アクチュエータ１８０に連結される。好ましい実施形態において、この連結は可逆性エポキシ結合プロセスによって達成されるが、等価な連結技術が使用され得る。結合の可逆性は、故障が発生した場合、これが空気圧式アクチュエータ１８０の容易な交換を可能にするという点において重要である。この結合は熱で取り除かれ、従って交換は、鏡１０５の形状に影響を与えることなく行われ得る。この結合は、組立プロセスの最後の工程であることに注意することが重要である。本発明のこの構成部品と変形可能な鏡との間の空間的な関係が最初に確立される。次いで、所定の用量のエポキシが、片持ちばり式アーム２６０と２７０のプッシュプル式湾曲部との間の連結部に導入される。最後に、このエポキシが凝固され、従って、プッシュプル式湾曲部１６０の方法によって、空気圧式アクチュエータ１８０と変形可能な鏡１０５との間の機械的連結が確立される。この機械的連結は、応力無しの条件で確立され、それにより変形可能な鏡１０５の境界において、正味ゼロの力を保証する。
【００３１】
プッシュプル式湾曲部１６０自体の様々な重要な特徴がある。各プッシュプル式湾曲部１６０は、鏡ボタン上に軸方向のみの負荷を与えるように、小さい横方向の剛性を有するように設計される。これは、ロッドの長さに沿って構成される４個のブレードを使用して達成される。１つのこのようなブレード２８０は、図２Ａおよび２Ｂに示される。これらのブレートは、直交して配向される。当業者は、この構成がどのように大きな軸方向の負荷、大きな湾曲安定性を可能にし、さらに小さい横方向の剛性を有するかを理解する。
【００３２】
空気圧式アクチュエータ１８０は、プッシュプル式湾曲部１６０を介して、鏡１０５の非反射性の側面上の鏡ボタン１０７に圧力を付与するための装置である。図２に示されるように、このアクチュエータは空気圧式に作動され、そしてハウジング２０５、ベローセット２４０および２４０’、片持ちばり式アーム２６０およびヒンジ２５０を備える。これらの要素は、以下にさらに記載される。
【００３３】
空気圧式アクチュエータ１８０は、鏡１０５の形状を変えるために使用されるプッシュプル式湾曲部１６０に適切な力を与えるという主な目的で設計される。本発明の現存の実施形態において、制御空気圧は、５〜５５ｐｓｉの範囲で、３０ｐｓｉの公称圧力で作動される。ベローは、ニッケルから、一対として作製され、２５ポンド／インチ未満のバネ速度を有し、鏡１０５に不必要な反応を与えることなく、制御ガスの作動圧力に耐える。
【００３４】
空気圧式アクチュエータ１８０の重要な特徴としては、その小さなサイズ、交換の容易さ、および広範な製造耐性が挙げられる。その効率的かつコンパクトな設計のため、多数のアクチュエータが１つの鏡において使用され得る。多数のアクチュエータは、最小限で従来技術を超える２つの異なる利点を与える。第１に、多数のアクチュエータは、個々のアクチュエータの故障が生じた場合、冗長性を提供する。第２に、多数のアクチュエータは、鏡を変形する際に追加の技巧を提供し、結果として多数の収差がより正確に補正され得る。本発明の現存の実施形態は、約２１２ナノメートルの波面に対する補正の約　パルス／分の範囲にわたって、０．０８ナノメートルの解像度を可能にする。
【００３５】
ハウジング２０５は、空気圧式アクチュエーターのための構造を提供する。これは、制御気体をベローセット２４０、２４０’に方向付け、支点および片持ちばり式アーム２６０を支持し、そして空気圧式アクチュエータ１８０を反応プレート１２０に固定する。
【００３６】
片持ちばり式アーム２６０は、ヒンジ２５０によってハウジング２０５に一端で取り付けられる。他方の端部において、片持ちばり式アーム２６０は、ベローセット２４０、２４０’によって支持される。プッシュプル式湾曲部１６０は、ヒンジ２５０付近の片持ちばり式アーム２６０上の一点で、アクチュエータ１８０に連結される。従って、ベローセット２４０、２４０’によってこの片持ちばり式アーム２６０に与えられる力は、てこの作用によってプッシュプル式湾曲部１６０に与えられた場合、増幅される。
【００３７】
ベローセット２４０、２４０’は、制御気体圧を片持ちばり式アーム２６０の運動に変換する。ベローの設計において重要な因子としては、制御気体が作用するピストンのサイズ、ベローの材料、および得られるバネ速度が挙げられる。バネ速度は、ベローが鏡に過度の制限を与えないように小さいことが重要である。同時に、ベローは、変形も気体漏れもすることなく制御圧力の完全な範囲に耐え得なければならない。ベローセットは、Ｓｅｒｖｏｍｅｔｅｒ　Ｃｏｒｐ．（５０１　Ｌｉｔｔｌｅ　Ｆａｌｌｓ　Ｒｏａｄ，Ｃｅｄａｒ　Ｇｒｏｖｅ，ＮＪ　０７００９）によって製造される。
【００３８】
（操作的説明）
本発明は、複数の波面収差を補正し得る。特に、本発明は、任意の配向の光学収差、三つ葉クローバ型収差、および四つ葉クローバー型収差を補正し得る。システムの構成は、同様に他の収差の補正に適応し得、そして上記の５つの特定の収差に限定されない。本発明によって、これらの補正は可撓性の正確な頑強な様式で実施され得る。この様式を以下に記載する。
【００３９】
空気圧式アクチュエータ１８０は、それらが支持する鏡ボタン１０７に従って番号付けされる。この番号付けスキームは、図３に示される。システムの作動の間（例えば、コンピューター制御閉ループシステムによって）、空気圧式アクチュエータ１８０はバランスのとれたセット内で移動される。例えば、アクチュエータ１、７、１３および１９は、バランスのとれたセットを備える。これは、図４Ａのシナリオ１に示される。アクチュエータ１および１３は、アクチュエータ７および１９と同様に、互いに対向して配置される。アクチュエータ１および１３は、鏡に張力を付与し（対応する鏡ボタン上の黒丸によって示されるように）、一方、アクチュエータ７および１９は圧縮力を付与する（対応する鏡ボタン上にＸ’をつけた丸によって表されるように）。
【００４０】
バランスのとれたセット内の空気圧式アクチュエータ１８０の作動は鏡の形状を変えるが、鏡の境界を横切って正味ゼロの力を与える。すなわち、アクチュエータによって鏡の背面まで単に伝達される正味ゼロの力およびモーメントは、ゼロである。このような作動は、鏡の剛性本体の移動を防止し、そして重要な光学アライアメントを保持する。アクチュエータが動かされる、すなわちバランスがとれていない場合、これは支持アセンブリに対して負荷を伝達する効果を有する。これは、マウントに対して鏡を動かし、そして光学アライアメントを下げる可能性を有する。
【００４１】
アクチュエータのバランスのとれたセットは、４個のアクチュエーター（図４のシナリオ１を参照のこと）から利用可能なアクチュエータの全ての数まで（図４Ａのシナリオ２を参照のこと）を含み得る。複数の補正を生成するために、様々な数のアクチュエータが使用され得る。本発明者らは、１２個未満のアクチュエータが５個の示される収差を補正し得ることを決定した。本発明により、２４個以上のアクチュエータが変形可能な鏡を成形する際に使用され得る。
【００４２】
図４Ａ〜図４Ｅに示されるシナリオの各々は、バランスのとれたアクチュエータ配列の例である。示されるように、５個の異なるアクチュエータ配列は、Ｚ５、６、９、１０および１４によって示される５個の特定の光学収差の各々を行うために使用される。当業者は、本発明は図４Ａ〜図４Ｅに示されるアクチュエータ配列に限定されないことを理解する。実際、本発明は、類似の様式で複数の光学収差を補正するために使用され得る。
【００４３】
鏡上のボタンを特別に配向し、本発明を様々な光学収差に対抗させ得る必要はない。図３に示されるように、鏡ボタンの番号付けスキームは、鏡１０５が支持アセンブリに取り付けられた後、コンピューター制御システム内にセットされ得る。
【００４４】
多数のアクチュエータを鏡上に配置する能力は、本発明に多数の重要な利点を与える。これらの中で、利点は、設計の頑強さ、鏡の成形の際の増加した技巧、システムに与えられた最小の残余の誤差、および鏡の正確な配置におけるより大きな可撓性である。
【００４５】
（結論）
本発明の様々な実施形態が上記に記載されてきたが、これらは限定ではなく例示のみの目的で表され得ることが理解されるべきである。形態の様々な変化および詳述が、添付の特許請求の範囲に定義されるような本発明の精神および範囲から逸脱することなく行われ得ることを当業者は理解する。従って、本発明の広さおよび範囲は、いずれの上記の例示的な実施形態によっても限定されないべきであり、上記の特許請求の範囲およびそれらの等価物に従ってのみ規定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
本発明の特徴および利点は、図面と共に理解した場合、以下に記載される詳細な説明からより明らかとなり、ここで、同じ参照番号は、同一または機能的に類似した要素を表す。さらに、参照番号の最も左の桁は、参照番号が最初に現れる図を同定する。
【図１】
図１は、本発明の変形可能な鏡および複数のアクチュエータを例示する、装置全体の概略図である。
【図２】
図２Ａは、本発明に従うアクチュエータの前面図を表す図である。
図２Ｂは、本発明に従うアクチュエーターの断面の図である。
【図３】
図３は、本発明に従う鏡ボタンおよびアクチュエータ構成を示す。
【図４Ａ】
図４Ａは、本発明に従って特定の光学収差を補正する際に使用される複数の均衡アクチュエータ配列を示す。
【図４Ｂ】
図４Ｂは、本発明に従って特定の光学収差を補正する際に使用される複数の均衡アクチュエータ配列を示す。
【図４Ｃ】
図４Ｃは、本発明に従って特定の光学収差を補正する際に使用される複数の均衡アクチュエータ配列を示す。
【図４Ｄ】
図４Ｄは、本発明に従って特定の光学収差を補正する際に使用される複数の均衡アクチュエータ配列を示す。
【図４Ｅ】
図４Ｅは、本発明に従って特定の光学収差を補正する際に使用される複数の均衡アクチュエータ配列を示す。
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図４Ｅ】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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