(57)【要約】容器の大量充填方法は、上向きの外周縁部（２６）を有するトレー（２４）内に多数の容器をさかさまにして配置するステップを有する。容器で満たしたこのトレイはその後、真空室（２８）内に置かれる。そして、この真空室は大気圧以下の予定レベルまで排気される。そして、液体が溜め（３８）と管路（４０）を経てトレーに供給される。この管路は真空室の壁を貫通している。真空室内の真空は、容器に液体をに吸い込むのに充分な予定ペースで徐々に発生させられる。方法のこの時点で、不用な液体製品がすすぎ落とされ、真空室からトレーが取り出され、トレーが上下正しくなるように回転させられる。最後のステップは適当なキャップ、バリヤ、チップまたは連結部によって、容器の上部をシールすることである。第２の実施の形態では、容器をさかさまにしてラック（７４）内で位置決めし、液体を含むトレーのすぐ上にラックを位置決めするステップが方法に追加される。そして、容器の首部が液体に浸漬されるまで、ラックは下降させられる。液体のレベルは上記のように維持され、方法のその他は好ましい実施の形態と同じように行われる。
2004514601.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ａ）それぞれ上部に１つの開口を有する複数の容器をさかさまにして配置し、
ｂ）さかまさにした容器を真空室内で位置決めし、
ｃ）大気圧以下のレベルまで真空室を排気し、
ｄ）容器開口に接触するように液体製品を供給し、
ｅ）液体を容器内に吸い込むのに充分な予定速度で徐々に真空室内に真空を発生させ、
ｆ）真空室からトレーを取り出し、不用な液体製品をすすぎ落とし、そして上下が正しくなるように容器を回転し、
ｇ）容器の開放上部をシールする、
大量充填方法。
【請求項２】
ａ）それぞれ上部に１つの開口を有する複数の容器をさかさまにして、上向きの外周縁部を有するトレー内に配置し、
ｂ）さかまさにした容器を含むトレーを真空室内で位置決めし、
ｃ）大気圧以下の予定レベルまで真空室を排気し、
ｄ）トレー内に液体製品を供給し、
ｅ）液体を容器内に吸い込むのに充分な予定速度で徐々に真空室内に真空を発生させ、
ｆ）不用な液体製品をすすぎ落とし、
ｇ）真空室からトレーを取り出し、トレーをさかさまに回転させ、
ｆ）容器の開放上部をシールする、
大量充填方法。
【請求項３】
それぞれ上部に１つの開口を有する複数の容器をさかさまにして、上向きの外周縁部を有するトレー内に配置する前記ステップにおいて更に、容器をトレー内で支持しないで他の各々の必要な物に接触するように、容器を固定準備することを特徴とする請求項２記載の大量充填方法。
【請求項４】
トレーを真空室内で位置決めする前記ステップにおいて更に、複数の容器の複式充填処理を可能にするために、相互の上に１個または複数個のトレーを配置することを特徴とする請求項２記載の大量充填方法。
【請求項５】
大気圧以下のレベルまで真空室を排気する前記ステップにおいて更に、充填された容器内に上部空間を残すのに充分な負圧を発生し、この上部空間が、あらゆる大気温度差や大気圧力差による液体膨張および収縮を可能にする、容器内の液体製品の上方の空間を形成することを特徴とする請求項２記載の大量充填方法。
【請求項６】
容器の開放上部をシールする前記ステップにおいて更に、このシールがねじ付きキャップ、弾性バリヤ、目薬点滴チップキャップ、排尿チップキャップ、針なしチップキャップ、雄雄型ルーアーロック連結カバー、雌型ルーアーロック連結プラグ、ブラシチップカバーおよびコルクバリヤのグループから選択されることを特徴とする請求項２記載の大量充填方法。
【請求項７】
ａ）それぞれ上部に１つの開口を有する複数の容器をさかさまにしてラック内に配置し、
ｂ）液体製品を内蔵する、上向きの外周縁部を備えたトレーを、真空室内で位置決めし、
ｃ）さかまさにした容器を有するラックを、前記真空室内で、液体に密接するトレーのすぐ上に位置決めし、
ｄ）大気圧以下の予定レベルまで真空室を排気し、
ｅ）容器の開口が液体製品に浸漬されるまで、ラックを下降させ、
ｆ）液体を容器内に吸い込むのに充分な予定速度で徐々に真空室内に真空を発生させ、
ｇ）同時に、容器開口の上方の一定レベルを維持するのに充分な速度で液体製品をトレーに供給して、予定量の液体製品が容器内に入ることができるようにし、
ｆ）不用な液体製品をすすぎ落とし、
ｇ）ラックを真空室から取り出し、ラックを上下が正しくなるように回転させ、
ｈ）容器の開放上部をシールする、
大量充填方法。
【請求項８】
それぞれ上部に１つの開口を有する複数の容器をさかさまにしてラック内に配置する前記ステップにおいて更に、容器を接触させずに互いに直接隣接するように、容器を位置決めすることを特徴とする請求項７記載の大量充填方法。
【請求項９】
液体製品を内蔵する、上向きの外周縁部を備えたトレーを、真空室内で位置決めする前記ステップにおいて更に、同じ複数のラックを使用して容器の複式充填プロセスを可能にするために、相互の上に複数のトレーを配置することを特徴とする請求項７記載の大量充填方法。
【請求項１０】
大気圧以下の予定レベルまで真空室を排気する前記ステップにおいて更に、充填された容器内に上部空間を残すのに充分な負圧を発生し、この上部空間が、あらゆる大気温度差や大気圧力差による液体膨張および収縮を可能にする、容器内の液体製品の上方の空間を形成することを特徴とする請求項７記載の大量充填方法。
【請求項１１】
容器の開放上部をシールする前記ステップにおいて更に、このシールがねじ付きキャップ、弾性バリヤ、目薬点滴チップキャップ、排尿チップキャップ、針なしチップキャップ、雄雄型ルーアーロック連結カバー、雌型ルーアーロック連結プラグ、ブラシチップカバーおよびコルクバリヤのグループから選択されることを特徴とする請求項７記載の大量充填方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
技術分野
本発明は一般的に大量充填容器に関し、更に詳しくは、真空内で容器を取り囲み、トレーに液体を供給し、そして容器に液体を吸い込ませるために真空を低下させるかまたはゆっくりと圧力を加えることにより、複数の容器に液体を同時に吸い込むための方法（プロセス）に係る。
【０００２】
背景技術
液体を容器に充填するための効果的な手段を提供するために、多くの方法が既に用いられている。大量生産ではコンベヤの使用が共通している。この場合、液体充填溜めに接続された１個以上のチューブまたは中空ニードルが液体を圧力下で容器に充填する。液体の適切な量は通常は弁によってまたは容積型ポンプによって制御される。このこの弁またはポンプは、適切な時間に正しい量を充填するためにコンベヤに合わせて調節される。この方法は効果的であるが、速度は一般的に数百乃至１０００ユニット／分に制限される。
【０００３】
技術水準の調査では、本発明の新規性を有する特許は開示されなかった。しかし、次の米国特許が関連すると考えられる。
2004514601.tif 000003
ポインターの米国特許第６，０８９，６７６ 号明細書は、重要な充填領域への粒子、非生物粒子および生物粒子の侵入を、圧縮空気層流を対向流で生じることによって防止するための、液体充填操作の重要な充填領域に空気シャワーを供給するためのプロセスと装置を示している。
【０００４】
ゴールドベルグ等の米国特許第４，１１４，６５９ 号明細書は、ピペット充填および液体分配排出装置に関する。この装置は可撓性の管によってピペットに取付けられる。可撓性で圧縮可能な球形部材が管に接続され、この球形部材内に閉鎖可能な開口が設けられている。この開口を被覆しないことによって、管の内部と開口の間の代替的な接続を行うことができる。管内に弁ユニットが挿入され、弁ユニットが管に外すことができるように連結されているので、弁ユニットは容易に取外し可能である。
【０００５】
発明の開示
従来、多量の品物を瓶詰めまたは小型容器に充填するときに、幾つかの種類の自動化が要求された。この自動化は実施するために非常にコストがかかり、ほとんどの場合単一の製造ラインのためのものであった。この方法はまあまあであり、当該分野でよく受入れられたがしかし、小型の容器、特に首部の直径が０．５ インチ（１．２７ｃｍ）以下の容器に適用するときに幾つかの欠点がある。普通のノズルまたは中空のニードルがその直径を制限されているとき、その開口自体よりも大きくすることができないので、この容器を充填するために時間を考えなければならない。小さな開口の容器の場合には、特に充填すべき液体が粘性を有するときに、問題が増幅される。溶媒のようなほとんどの水溶液は容易に充填可能であるがしかし、エマルジョン、クリーム、軟膏、ローション、ペースト、ゼリー、シロップは、ノズルから液体を注入するために必要な圧力に関して厄介な問題を生じし、大幅に時間がかかる。従って、本発明の主たる目的は、ノズルまたは小さなオリフィスの使用を回避し、液体を容器に吸い込むために圧力差を利用することである。この方法は、多数の容器を同時に処理することができ、真空室の大きさと真空ポンプの能力だけに制限されるので、便利であり、小型の容器について多くの利点を有する。
【０００６】
本発明の重要な目的は、多種多様な液体および容器の形状のために使用可能であるようにすることである。容器をさかさまにしてトレーに配置するだけでよいので、容器とトレーの大きさや形状はほとんど重要でない。
【０００７】
本発明の他の目的は、ガラス瓶、ガラス小瓶、ガラスチューブ、プラスチック瓶、プラスチック小瓶、アルミニウムチューブ、他の金属のチューブ、プラスチックチューブ、ピペット等と半剛体のプラスチック袋のような様々な容器に液体を注入できるようにすることである。
【０００８】
本発明の他の目的は、容器を密接させて一緒に配置することができ、従って多数の容器を最小のスペースで処理することができるようにすることである。充填された容器が手でまたは機械によって取り出し可能であり、かつ蓋またはアプリケータを上部に取付けるために手動でまたは機械的に回転させることができるかあるいはラックまたはトレー全体を回転させ、上部を蓋またはアプリケータの取付けのために供することができるので、取扱操作が簡単である。
【０００９】
本発明の他の目的は、液体と蓋の間の上部空間または空気量が容易に計算可能であり、真空室の負圧レベルを予め定めることが可能であるようにすることである。これはすべての容器のレベルを同時に完全に制御することを可能にする。
【００１０】
本発明の他の目的は、充填された量をマイクロリットルの単位で正確に制御できるようにすることである。
【００１１】
本発明のこれらのおよび他の目的と効果は、添付の図に関連してなされる好ましい実施の形態と特許請求の範囲の次の詳細な説明から明らかになるであろう。
【００１２】
本発明を実施するための最良の形態
本発明を実施するための最良の形態は、好ましい実施の形態と第２の実施の形態によって示してある。両実施の形態は、第２の実施の形態が容器をラック内に配置し、ラックをトレー内に下降させる点を除いて、基本的にはよく似ている。本発明の残りは構成要素と機能に関して同じである。大量充填液容器のためのプロセスからなる好ましい実施の形態は図１〜９に示してある。プロセスは図２〜４に示すように、上部に１つの開口２２を有する複数の容器２０を、外周縁を高くしたトレー２４内にさかさまに配置するステップを有する。この第１のステップでは、容器２０はほとんど列をなして並べて配置されているがしかし、本発明の効率的な使用のために容器２０は互いに接触するように密に配置されている。それによって、トレー２４内で簡単に支持する必要がない。トレー２４は、充分な量の液体を保つ高さを有する外周縁２６を備え、水や溶媒を漏らさぬおうにシールされている限り、熱可塑性物質または金属のようなあらゆる種類の材料から作ることが可能である。
【００１３】
次のステップはトレー２４の位置決めである。この場合、さかさまの容器が図１に示すように真空室２８内に配置されている。真空室２８はどんな種類または形状のものでよく、当技術においてよく知られており、容易に入手可能である。トレー２４を受入れるために真空室が図７に示すように棚またはガイドレール３０を備えているかあるいは容器２０の多重充填を可能にするために操作人が１個以上のトレー２４を簡単に積み重ね可能であることが好ましい。
【００１４】
そして、真空室２８は、大気圧以下の予定されたレベルまで、真空ポンプ３２によって排気される。そして、ポンプに配管に取付けられた真空弁３４が遮断される。ポンプは無数の様式の１つのポンプとすることができ、例えばピストンポンプ、液体環状ポンプ、一段式と二段式の回転ベーンポンプ、ダイアフラムポンプまたは他の多数のポンプである。ポンプの選択の制限要因は、おおまかな真空、細かな真空または水銀柱２９．９１９インチを超え得る高真空のような発生させられる真空の値である。負圧は容器内の所望な上部空間の大きさによって決定される。上部空間は容器内の製品の上方の空間である。従って、さまざまな待機温度や待機圧力の差による液体の膨張および収縮を許容する。図５と図１０は上部空間Ｖ１ と、容器内の液体容積Ｖ２ と、下部空間Ｖ３ を示している。図５は円筒容器の一部の斜視図であり、図１０はピペットの断面図である。好ましい負圧は充填された容器内に、所望な上部空間を残すのに充分であるように選定される。所定の用途において上部空間制御のための適切な負圧を計算する好都合な方法が次式を適用することによって与えられることが判った。
【００１５】
Ｐ１ ＝Ｖ１ ×Ｐ０ ／（Ｖ１ ＋Ｖ２ ＋Ｖ３ ）
ここで、Ｐ１ ＝真空室内の絶対圧力
Ｐ０ ＝雰囲気圧力
Ｖ１ ＝容器内の上部空間の容積
Ｖ２ ＝容器内の製品の容積
Ｖ３ ＝容器首部の容積。
必要とされる液体の量を計算するために、式Ｖ２ ×ｎ＋許容差が用いられる。ここで、ｎはトレー内の容器の数である。容器充填時間は液体製品の粘度に左右されることに留意すべきである。
【００１６】
プロセスの次のステップはトレー２４内への液体３６の導入である。このステップは液体溜め３８を用いて行われる。この液体溜めは真空室２８の側壁を貫通するパイプまたはチューブの形をした１本以上の液体管路４０を備えている。図１〜４に示すように、液体管路は下方に曲げられてトレー２４の外周縁２６の内側に完全に配置されるように形成されている。適切な量の液体をトレーに供給するために、遮断弁４２が液体溜め３８と真空室２８の外面との間において各々の液体管路４０に設けられている。容器２０に充填するために必要な液体の量は、液体溜め３８に供給する前に、予め容積または重量を測定することによって制御することができる。この容積制御のために、のぞき窓、レベルゲージまたは流量計を使用することができる。
【００１７】
次のステップは真空室２８内に真空を徐々に発生することである。これは容器内に液体製品３６を吸い込む速度で行われる。このステップは真空室２８の内部に周囲空気を供給する手動または自動の絞り弁４４を使用することによって制御される。この速度は実験および経験によって定めてもよいし、絞り弁の設定を時間的要素や液体の粘度に基づいて行ってもよい。
【００１８】
圧力レベルＰ２ についての設定は次式によって表すことができる。
【００１９】
Ｐ２ ＝Ｖ１ ×Ｐ０ ／（Ｖ１ ＋Ｖ３ ）＋Ｐｒ
ここで、Ｐ２ ＝真空室内の絶対圧力
Ｐ０ ＝周囲圧力
Ｐｒ ＝充填抵抗（ｍｌ／秒）による圧力損失
Ｖ１ ＝容器内の上部空間の容積
Ｖ２ ＝容器内の製品の容積
Ｖ３ ＝容器首部の容積
Ｐｒ は充填速度（ｍｌ／秒）、液体粘度および図５，１０においてＶ３ によって示す容器の首部の長さと半径に依存する充填抵抗による圧力損失である。
【００２０】
真空室内部の圧力がＰ２ に達して安定したときに、液体バリヤが更に要求される場合、処理を続けることができる。この種のバリヤは一般的に細くて長い首付き小瓶やピペットで使用され、オイル、ゼリー、クリーム等のような高粘度の液体からなり、そして同じ原理を用いかつ少量の材料を容器の開放端に吸い込んでシールとして作用させることにより、上記の処理が繰り返される。
【００２１】
次のステップは真空室内であるいは真空室から離れて行うことができる。このステップは不用な液体３６をすすいで除去することである。溶媒または洗浄液を液体溜め３８から導入し、弁４２によって制御することができるかあるいは処理におけるこの時点でトレー２４が取り出される場合には、使用される物質の種類にとって普通の方法ですすぎを行うことができる。
【００２２】
この段階で好ましい次のステップは、真空室２８からのトレー２４を取り出し、容器の開口を上にするためにトレーをひっくり返すことである。それによって、適切なレベルおよび途切れない充填に関して内容物を検査するために容器にアクセスすることができる。トレー２４をこのようにひっくり返すことは、上部に載せた剛性のある平らな物体を使用し、ひっくり返すときにこの物体をテーブルまたは作業台上に置くことよって手動で行うことができる。ひっくり返すための他の方法が図７〜９に示してある。この方法は剛性のある平らな一対の回転板４６を用いる。この両回転板はトレー２４と容器２０の適当な高さで、上方に突出したヒンジ４８に連結されている。逆さにした容器を備えたトレー２４が図７に示した一方の板４６上に置かれ、そして空の第２のトレー２４が図８に示すように容器の上部に置かれる。対の回転板はハンドル５０を用いて１８０度回転させられる。このハンドルは図９に示すように板４６の各々の端部に設けられている。
【００２３】
プロセスの最後のステップは、上下が正しくなるように回転させるために、元のトレーを第２のトレーから持ち上げることによって取り出すことあるいは手動でひっくり返す場合には剛性のある平らな物体から元のトレーを持ち上げることによって取り出すことと、そして容器開放上部をシールすることである。個々の容器を任意に一つずつ取り出し、シールプロセス中にひっくり返してもよい。いかなる場合でも、シールによる閉鎖はプロセスと密接な関係があり、あらゆる種類のシール５１、例えばねじ付きキャップ５２、弾性バリヤ５４、目薬点滴チップキャップ、排尿チップキャップ５８、針なしチップキャップ６０、雄型ルーアーロック連結カバー６２、雌型ルーアーロック連結プラグ６４、綿チップ、発泡体チップ、ブラシチップカバー６６およびコルクバリヤ６８を使用可能である。図１６〜２５はこれらのシール５１を個別的に示している。この種のシールは前のステップで実施した上記の液体シールを含んでいてもよい。
【００２４】
図１１〜１５は容器の充填に関するステップを示している。図示した容器はピペットのタイプのものであり、シールは図示していない。図１１は普通の待機圧力のときのピペットを示している。図１２は真空引きされるときの、内部に負圧を有するピペットを示している。図１３は内部の負圧を釣り合わせる、トレー２４からピペットに吸い込まれる液体製品３６を示している。図１４はトレー２４内の製品が空になった後またはピペットが取り出されて余分な上部空間７０が残った後のピペット内の液体製品３６を示している。図１５は所望な上部スペースと容器首部の下部スベース７２と共に容器内の製品を示している。
【００２５】
第２の実施の形態が図２６に示してある。この第２の実施の形態は他のステップがプロセスに付加され、容器を保持するためにラックが使用されている点のみが異なっている。このラック７４は３個だけ示してあるがしかし、幾つでも使用可能である。ラック７４はトレー２４と同じ材料で製作可能であり、図示にように外周に上向きのフランジを備えていてもよいし、平らな材料シートであってもよい。どちらの場合にも、ラック７４は複数の穴７６を有する。この穴内に容器が挿入され、首部が下方に向いている。好ましいラック７４はラックフレーム７８に取付けられている。このラックフレームは１本の側方連結部材８０と４本の支柱８２からなり、この支柱は車輪８４と軸８６を備えている。一対の平行四辺形プラットホーム８８が真空室２８の内側上面に取付けられ、操作棒９０を備えている。この操作棒は真空室を貫通し、ハンドル９２が真空室の外側に位置し、トング９４が真空室の内面に半径方向に取付けられている。
【００２６】
ラック７４に取付けられた装置の操作をすることにより、ラックの横方向の方向づけを変更せずに、ラックを垂直平面内で再位置決めすることができる。操作棒９０のハンドル９２は、平行四辺形プラットホーム８８の取付け脚部を位置決めするために、手動でまたは動力手段によって回転させられる。この取付け脚部は更に、プラットホームの下方位置を昇降させ、真空室２８の上部に正確に合わせる。トング９４が真空室内面に取付けられているので、操作棒９０の回転によってプラットホーム８８が軸方向に移動するときに、ラックフレーム車輪８４がプラットホーム８８上を転動することにより、ラック７４の横方向スペースが常に維持される。ラックフレームと平行四辺形プラットホームの好ましい実施の形態について説明したがしかし、これはラック７４を昇降させるための唯一の方法ではない。というのは、真空室の外側に設けられた、シャフトを昇降スライドさせるラックピニオン装置、同様なシャフトに設けられたレバーアーム等々のような同等なものを用いることができる多くの様々な方法が存在するからである。
【００２７】
プロセスの次のステップはさかさまにした容器２０を含めて１個または複数のラック７４を、真空室２８内で液体製品３６に密接してトレー２４のすぐ上方に簡単に位置決めすることである。最後のステップにおいて、真空室２８は予め定めた圧力Ｐ１ まで排気される。容器２０の開口が液体製品３６に浸漬されるまで、ラック７４が下降させられる。そして、容器内に液体を吸い込むのに充分な予定速度で徐々に真空室２８内に真空を発生するステップが、上記の好ましい実施の形態のように行われる。更に、液体製品３６が同時に、容器開口の上方で一定レベルを維持するのに充分な速度でトレーに供給され、それによって予め定めた液体製品３６の量を容器２０に入れることができる。そして、１個または複数のラック７４が持上げられ、不用な液体製品が前述のようにすすぎ落とされる。プロセスのその他は前述と同じである。
【００２８】
本発明を詳細に説明し、添付の図に示したが、本発明はこのような詳細に制限されない。というのは、本発明の精神および範囲を逸脱することなく本発明にとって多くの変更および変形が可能であるからである。従って、添付の請求項の文言と範囲に入るすべての変形が本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
排気前にトレーが真空室内に置かれているプロセス時点の、好ましいプロセスの部分的な斜視図である。真空室のドアは判りやすくするために取り外してある。
【図２】
容器がトレー内にさかさまに配置され、トレーが真空室内に配置されたプロセスの概略図である。
【図３】
容器がトレー内にさかさまに配置され、トレーが排気される真空室内に配置され、液体がトレーに導入されるプロセスの概略図である。
【図４】
容器がトレー内にさかさまに配置され、トレーが排気される真空室内に配置され、液体がトレーに供給され、液体を容器に吸い込ませる負圧が低下させられるプロセスの概略図である。
【図５】
Ｖ１として示した上部空間とＶ３として示した下部空間を有する真っ直ぐな壁の容器の概略図である。
【図６】
Ｖ１として示した上部空間と、Ｖ３として示した下部空間と、バルブ（球状）区間を有する容器の概略図である。
【図７】
容器がまださかさまで、真空室から取り出された後のトレーを示す図である。
【図８】
第１のトレーの上に第２のトレーを置くことによって、容器の位置をひっくり返す１つの方法を示す図である。
【図９】
一致するようにひっくり返した後の２個のトレーを示す図である。
【図１０】
ピペットの形をした充填される容器を示す図であり、ピペット内部の容積が上部空間と下部空間に対応してＶ１，Ｖ２，Ｖ３で示してある。
【図１１】
大気状態での空の容器を示す図である。
【図１２】
真空室内で排気された空の容器を示す図である。
【図１３】
トレーから液体を吸い込むときの部分的に充填された容器を示す図である。
【図１４】
部分的に充填された容器を示す図である。
【図１５】
容器の内部に上部空間と下部空間を有する充填された容器を示す図である。
【図１６】
容器に取付けられた代表的なねじ付きキャップの部分断面図である。
【図１７】
容器に内側首部に取付けられた代表的な弾性バリヤを示す部分断面図である。
【図１８】
容器に設けられた弾性キャップを有する代表的な目薬点滴チップの部分断面図である。
【図１９】
容器に設けられた弾性キャップを備えた排尿チップの部分断面図である。
【図２０】
容器に設けられた弾性キャップを備えた代表的な針なしチップの部分断面図である。
【図２１】
容器に設けられた弾性キャップを備えた代表的な針なしチップの部分断面図である。
【図２２】
容器に設けられたキャップを備えた代表的な雄型ルーアーロック連結部の部分断面図である。
【図２３】
容器に設けられたプラグを備えた代表的な雌型ルーアーロック連結部の部分断面図である。
【図２４】
容器に設けられたカバーを備えた代表的なブラシチップの部分断面図である。
【図２５】
容器の首部の外側に設けられた代表的なコルクバリヤの部分断面図である。
【図２６】
移動方向を矢印で示し、内部の要素を示すためにファントム画法で図示した真空室を有する第２の実施の形態の部分斜視図である。
【国際公開パンフレット】
2004514601.tif 000004
2004514601.tif 000005
2004514601.tif 000006
2004514601.tif 000007
2004514601.tif 000008
2004514601.tif 000009
2004514601.tif 000010
2004514601.tif 000011
2004514601.tif 000012
2004514601.tif 000013
2004514601.tif 000014
2004514601.tif 000015
2004514601.tif 000016
2004514601.tif 000017
2004514601.tif 000018
2004514601.tif 000019
2004514601.tif 000020
2004514601.tif 000021
2004514601.tif 000022
2004514601.tif 000023
2004514601.tif 000024
2004514601.tif 000025
2004514601.tif 000026
【国際調査報告】
2004514601.tif 000027