(57)【要約】【課題】インクジェットプリントヘッド等に用いる効果的なノズル板とその製造方法を提供する。【解決手段】本体（１２）とインサート（２６）をもち、各ノズルが入口（２２）、出口（２０）及び入口と出口間にありノズル板の本体内につくった開口（２８）内に置したインサートのポリマー材料を通してつくった孔（２４）をもつ。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
本体及び複数のノズルをもち、各ノズルが入口、出口及び入口と出口間にあり本体内に形成した開口内に配したポリマー材料を通してつくられた孔をもつことを特徴とする液滴付着製造用ノズル板。
【請求項２】
ポリマー材料がエポキシ樹脂、パリレン、ポリイミド又は熱可塑性樹脂からなる請求項１のノズル板。
【請求項３】
本体が金属材料又はセラミック材料製である請求項１又は２のノズル板。
【請求項４】
本体がニッケルと鉄からなる合金製である請求項３のノズル板。
【請求項５】
孔が出口方向に収斂している請求項１〜４のいずれか１項のノズル板。
【請求項６】
ポリマー材料の層が本体の接合性表面上にある請求項１〜５のいずれか１項のノズル板。
【請求項７】
出口が本体の表面に対しへこんでいる請求項１〜６のいずれか１項のノズル板。
【請求項８】
出口上に撥液性層をもつ請求項１〜７のいずれか１項のノズル板。
【請求項９】
本体上に配したカバー板と該カバー板を通して設けたノズル孔をもつ請求項１〜８のいずれか１項のノズル板。
【請求項１０】
複数の流路と請求項１〜９のいずれか１項のノズル板をもち、各流路に液滴射出用のノズルを付与してなる液滴付着装置。
【請求項１１】
基板と基板からのびて流路を定めている側壁をもち、ノズル板が基板の対向する側壁の表面上に配されている請求項１０の装置。
【請求項１２】
ノズル板の本体が側壁と実質上同じ熱膨張係数をもつ材料でつくられている請求項１１の装置。
【請求項１３】
本体に開口をつくり、開口にポリマー材料を導入し、ポリマー材料中に入口、出口及び該入口と出口間にのびポリマー材料を通る孔をもつノズルをつくることを特徴とする液滴付着装置用ノズル板の製造方法。
【請求項１４】
開口をエッチング、レーザー切断、ドリリング、パンチング又は電気鋳造でつくる請求項１３の方法。
【請求項１５】
ポリマー材料を成型技術を用いて開口中に導入する請求項１３又は１４の方法。
【請求項１６】
ポリマー材料を開口を実質上充たすように開口中に導入する請求項１３〜１５のいずれか１項の方法。
【請求項１７】
ポリマー材料にへこみをつくる工程をもつ請求項１３〜１６のいずれか１項の方法。
【請求項１８】
本体の表面に支持表面を付与し、支持表面に対して本体を押圧して支持表面を開口内に変形させてポリマー材料にへこみをつくる工程をもつ請求項１７の方法。
【請求項１９】
ノズルをホットプレスによって少なくとも部分的につくる請求項１３〜１８のいずれか１項の方法。
【請求項２０】
ノズルをノズルのプロフィールと一致するプロフィールをもつ型をポリマー材料中に押し込んでつくる請求項１３〜１９のいずれか１項の方法。
【請求項２１】
ポリマー材料内のプロフィール部分のクロージャーの大きさがポリマー材料中につくられるノズルの形状の制御を制限する請求項２０の方法。
【請求項２２】
型が複数のプロフィール部分をもち、各プロフィール部分を本対中につくったポリマー材料の各プラグ中に押し込んで該プラグ中にノズルを形成しそれによって同時に複数のノズルをつくる請求項２０又は２１の方法。
【請求項２３】
型がプロフィール部分のまわりに実質上平らな部分をもち、押し込み中に開口から押されたポリマー材料が該平らな部分と該本体の表面の間にポリマー材料の層をつくる請求項２０〜２２のいずれか１項の方法。
【請求項２４】
ノズルをレーザー切削によって少なくとも一部つくる請求項１３〜２３のいずれか１項の方法。
【請求項２５】
レーザー切削の前に、出口をつくるべきポリマー材料の表面に保護層を付与する請求項２４の方法。
【請求項２６】
ポリマー材料が電磁照射で硬化可能な材料からなり、ポリマー材料を電磁照射にさらし、非照射部分の材料を除去してノズルをつくる請求項１３〜１８のいずれか１項の方法。
【請求項２７】
ポリマー材料を開口内に導入している間にノズルを少なくとも部分的につくる請求項１５の方法。
【請求項２８】
ノズルの少なくとも一部のプロフィールと一致するプロフィールをもつモールドを本体中の開口に挿入し、モールドと本体内の開口の周辺の間にポリマー材料を射出し、次いでモールドを除去する工程からなる請求項２７の方法。
【請求項２９】
複数のノズルを本体中に同時につくる請求項２８の方法。
【請求項３０】
複数のプロフィール部分をもつ単一モールドを用いると共に、各プロフィール部分を本体中につくった各開口に挿入し、そして各プロフィール部分と該各開口の周辺にポリマー材料を射出することによって各ノズルをつくる請求項２９の方法。
【請求項３１】
モールドが該プロフィール部分の周囲にのびる実質上平らな部分をもち、この平らな部分と本体の表面の間に１以上のスペーサーを配し、該表面と該平らな部分との間の空間にポリマー材料を射出して該表面上にポリマー材料の層をつくる請求項２９又は３０の方法。
【請求項３２】
該出口のまわりに撥液性層を付与する工程をもつ請求項１３〜３１のいずれか１項の方法。
【請求項３３】
該本体中につくった開口を覆うようにカバー板を配し、ポリマー材料の層を該ノズルの第１部分を形成するように開口内につくり、次いでノズル孔と実質的に共軸の開口を該カバー板中につくって該ノズルの第２部分をつくる請求項１３又は１４の方法。
【請求項３４】
ポリマー材料の層をコーティング技術をつかってつくる請求項３３の方法。
【請求項３５】
該本体と対向するカバー板の表面上にポリマー材料の追加の層をつくる請求項３４の方法。
【請求項３６】
該共軸開口のまわりのポリマー材料の追加の層の一部を選択的に除去した後該共軸開口をつくる請求項３５の方法。
【請求項３７】
複数の開口を内部にもつ本体、各開口内に位置するポリマー材料からなる液滴付着装置用ノズル板ブランク。
【請求項３８】
該ノズル板の各開口内にノズルの部分を定める孔がポリマー材料を部分的に通してつくられている請求項３７のノズル板ブランク。
【請求項３９】
孔がテーパー状である請求項３８のノズル板ブランク。
【請求項４０】
ポリマー材料がエポキシ樹脂、パリレン、ポリイミド又は熱可塑性樹脂からなる請求項３７〜３９のいずれか１項のノズル板ブランク。
【請求項４１】
本体が金属材料又はセラミック材料でつくられている請求項３７〜４０のいずれか１項のノズル板ブランク。
【請求項４２】
本体がニッケルと鉄からなる合金でつくられている請求項４１のノズル板ブランク。
【請求項４３】
該ポリマー材料の層が本体の接合性表面上に配されている請求項３７〜４２のいずれか１項のノズル板ブランク。
【請求項４４】
明細書に実質的に記載したノズル板、ノズル板ブランク又は液滴付着装置。
【請求項４５】
明細書に実質的に記載した液滴付着装置用ノズル板の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は液滴付着（ドロップレットデポジション）装置用ノズル板に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズル板は典型的には多数のインク射出室をもつ液滴付着装置の本体に取りつけられて各室にそれぞれの液滴射出ノズルを与える。正確に射出ノズルをノズル板中に形成しなければならないため、たとえば射出室から射出される液滴の寸法と速度の均一性を確保するため、ノズル板へのノズルの形成は、一般にレーザー切削（アブレーション）が用いられる。ポリイミド、ポリスルフォンその他のレーザー切削性プラスチックが一般にノズル板形成に用いられ、ノズル板の一方の表面に撥インク層を付与した後に、ノズル板を適宜の直径のエキシマレーザー光等のレーザー光にさらして各ノズルを形成する。次いでノズル板（ノズルを伴って完成）は本体内につくられた各室と並んだ関係にある各ノズルをもつ装置本体に接着される。
【０００３】
ノズル板用にプラスチック材料を用いるとノズル板が比較的弱くなり従って機械的損傷を受けやすくなる。金属やセラミック等のより硬い材料もノズル板用に用いうるが、ノズル板中に正確なノズルを容易には形成しにくい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的の１つは好ましい態様においてこれらの問題点を解決することにある。
【０００５】
本発明は第１に、本体及びそれぞれが入口、出口及び入口と出口間に延び、そして本体内に形成されている開口内に配されたプラスチック材料を通して形成されている孔をもつ複数のノズルからなる液滴付着装置用ノズル板を提供する。
【０００６】
これはノズル板の本体をプラスチック、金属又はセラミック材料等の比較的硬い材料からつくることを可能にした上、ノズルをポリマー材料中に容易且つ正確につくることを可能にする。
【０００７】
好ましくは、ポリマー材料はエポキシ樹脂、パリレン、ポリイミド又は熱可塑性プラスチックのいずれかからなる。本体は金属材料、たとえばＮｉｌｏ等のニッケルと鉄からなる合金やＰＺＴ、アルミナ又はジルコニア等のセラミック材料からつくりうる。
【０００８】
孔は好ましくは出口方向に収斂している。１の態様において、ポリマー材料の層は本体の接合表面をこえて延びている。この表面を液滴付着装置上に接着等によって配すると、ポリマー材料層が本体を装置の他の個所から電気的に絶縁する働きをする。
【０００９】
出口は本体表面に対し奥にありうる。これが出口の機械的損傷を防ぐ。
【００１０】
本発明のこの態様は複数の流路と前記したように装置上に配したノズル板をもち、各流路に液滴を射出するための各ノズルを付与する。
【００１１】
この装置は流路を分ける側壁をもつ基板（側壁は基板からのびて流路をつくっている）をもち、ノズル板が基板に対向する側壁の表面上に配される。それ故、ノズル板は液滴付着装置用のカバー板として機能しうる。これは従来これらの「エッジシューター」装置で必要とされており（そこでは液滴がインク流路の頂部から射出される）比較的硬いカバー板とカバー板上に配したプラスチックノズル板の両方を用いている。それ故、本発明は装置の形成に必要な構成部材の数を減少させうる。好ましくはノズル板の本体は側壁と実質上同じ熱膨張係数をもつ材料からつくられる。
【００１２】
本発明は第２に、本体に開口を形成し、該開口にポリマー材料を導入し、該ポリマー材料中に入口、出口及び該入口及び出口間でポリマー材料を通って延びる孔をもつノズルを形成することからなる液滴付着用ノズル板の製造方法を提供する。
【００１３】
開口はエッチング又は他の適宜の方法、たとえばレーザー切断、機械的ドリル、パンチング及び電気鋳造等によって本体中に好ましくつくりうる。好ましくは、成形技術を用いて、好ましくは開口を実質上充填するように、ポリマー材料を開口中に導入する。
【００１４】
この方法は好ましくは、ポリマー材料中に凹部を形成する工程をもつ。本体の表面に対しポリマー材料を凹ませることによって使用中にノズル出口が機械的損傷を受けることを防ぎうる。
【００１５】
１態様において、この方法は、本体の表面に柔軟な（コンプライアント）表面を付与し、柔軟な表面を開口内に変形させるように本体の柔軟な表面を圧縮して、ポリマー材料に凹部をつくる工程をもつ。これは凹部をつくるための比較的簡単で制御可能な機構をもたらす。
【００１６】
ノズルは少なくとも部分的にレーザー切削でつくりうる。好ましくは、ノズルの形成前に、出口をつくるべきポリマー材料の表面に保護層を付与する。これは表面、特に材料の除去が起こる領域の周囲部分を高エネルギー遊離基アブレーション生成物から効果的に保護しうる。この保護層は、好ましくは接着剤層を用いて、該表面にはく離可能に接合される。好ましくは保護層自体がレーザー切削可能である。保護層のより詳しい説明は［特許文献１］にみられる。
【特許文献１】ＷＯ９６／０８３７５
【００１７】
別法として、ノズルは少なくともその一部をホットプレス又は鍛造でつくることができる。たとえばノズルのプロフィールに一致するプロフィールをもつ型をポリマー材料中に押圧してノズルをつくることができる。好ましい態様において、多数のプロフィールをもつ部分をもつ型を用いて多数のノズルを同時につくることができる。ここでは各部分を本体中に形成したそれぞれのプラグ中に押圧して該プラグ中にノズルが形成される。これによりノズル板をより速やかにつくることができる。
【００１８】
プロフィールをもつ部分はポリマー材料の打ち抜きで実質上円筒状の孔をもつノズルを形成できるが、ポリマー材料内のプロフィールをもつ部分のクロージャーの大きさは好ましくはポリマー材料内に形成されるノズルの形状を制御するように制限される。これによりノズルの出口に向けて収斂する孔をつくることができる。
【００１９】
好ましくは型はプロフィールをもつ部分のまわりに延びる実質上平らな部分をもち、それにより押圧中に開口から圧力を受けたポリマー材料が該平らな部分と該本体の表面との間にポリマー材料の層を形成する。この表面を接着等によって液滴付着装置にとりつけると、ポリマー材料の層が本体を装置の他の部分から電気的に絶縁することができる。
【００２０】
別の態様において、電磁照射にさらしたとき硬化できる材料からなり、これを電磁照射に選択的にさらして、さらされなかった材料を除去することによってノズルを形成することができる。
【００２１】
さらに別の態様において、ポリマー材料を開口中に組み込んだ過程でノズルの少なくとも一部を形成する。この方法は本体の開口中にノズルのプロフィールと一致するプロフィールをもつモールドを挿入し、モールドと本体の開口の周辺間にポリマー材料を射出し、そしてモールドを取り去ることからなる。好ましくは複数のノズルを同時に本体内に形成する。好ましい態様では、複数のプロフィール部分をもつ単一モールドを用いて各部分を本体中につくったそれぞれの開口に挿入しそしてポリマー材料を各プロフィール部分とそれぞれの開口の周辺間に射出してノズルをつくる。モールドはプロフィール部分のまわりの実質上平らな部分と、この平らな部分と本体の表面の間に配した１以上のスペーサーをもち、ポリマー材料をこの表面と平らな部分の間の空間に射出してその表面上にポリマー材料の層を形成しうる。
【００２２】
ノズルは上記の適宜の組合せによってもつくることができる。たとえば、ポリマー材料を開口中にモールディング又はホットプレスして部分的にノズルをつくり、そしてレーザー切削でノズルの形成を完成させることができる。
【００２３】
この方法は、好ましくは、出口のまわりに撥液性層を形成する工程を含む。この層はノズル形成の前でも後でもつくることができるが、ノズル形成後にこの層をつくることでノズル出口がふさがれることをさけられるので、この層はノズル形成前につくることが好ましい。
【００２４】
さらなる態様において、たとえばパリレン等のポリマー材料の層が、ノズルの第１部分を形成するように、コーティング等を用いて、開口内に形成される。このポリマー材料層の形成前に、カバー板を本体内に形成した開口上に配する。この層を形成してから、好ましくはレーザー切削技術を用いて、カバー板中にノズル孔と実質上共軸の開口を形成して、ノズルの第２部分を形成する。本体の反対側のカバー板の表面上にさらされるポリマー材料層を形成しうる。カバー板はプラスチック材料でつくることができる。好ましくは、共軸的な開口のまわりの追加のポリマー材料層を選択的に除去してから共軸開口を形成する。この材料の選択除去で用いるマスクはこの追加の開口を機械的損傷から保護するように、カバー上に配される。マスクはニッケルと鉄の合金等の金属材料で形成しうる。
【００２５】
液滴付着装置にノズル板を取りつけてからノズルを形成することができ、このようにしてノズル板ブランクの形のノズルなしにノズルを供給しうる。従って、本発明は液滴付着装置用のノズル板ブランクも対象とする。このノズル板ブランクは複数の開口と各開口内に配したポリマー材料からなる。このブランクはノズル板の各開口内のノズル部を定めるポリマー材料を通って部分的に形成された孔をもつ。この孔はテーパー状でもよい。ブランクに部分的に形成したノズルを付与することによって、ノズルの形成をより速やかに完了させうる。この場合たとえばレーザー切削を用いてノズル出口の品質も高めうる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下図面に基いて本発明を説明する。
図１において、ノズル板１０は、好ましくはプレート状の、本体１２をもち、本体１２は実質上平行な平らな上表面１４と下表面１６をもつ。下表面はインクジェットプリントヘッド等の液滴付着装置に取りつけられるように意図されている。本体１２は好ましくはＮｉｂｏ４２等の金属材料でつくられる。
【００２７】
本体内には一連の開口が形成され、その１つを図１に示す。この態様では、開口のピッチは約１３０〜１５０μｍ（ノズル板を取りつける液滴付着装置中の流路の幅に相当）であり、上部表面１４の開口のマウスの幅は約１００μｍであり、開口の深さは約１００μｍである。
【００２８】
各開口内にノズル１８が形成される。このノズルは出口２０、入口２２及び出口２０方向に収斂する孔２４をもつ。ノズル１８の孔２４は本体１２の開口内に位置するエポキシ樹脂等のポリマー材料のインサート又はプラグ２６を通して延びている。ノズル出口は典型的には、上表面１４での約１００μｍの開口幅に対し、５０μｍ以下の直径をもつ。開口の幅は開口内のノズルの許容度が増すと増す。
【００２９】
本発明のノズル板の製造方法の種々の態様を図面を参照して説明するが、それらの各々はノズル板１０中の単一ノズルだけの形成での工程を示す。それぞれの態様はノズル板に多くのノズルを形成するのに用いうることは明らかである。
【００３０】
図２の（ａ）〜（ｅ）はノズル板の製造方法の第１の態様の工程を示す。まず図２の（ａ）において、本体１２中に開口２８を形成する。次いで、図２の（ｂ）において、エポキシ樹脂のプラグ２６を開口２８中に配する。プラグ２６は射出成形等の適宜の方法で形成しうる。フッ素化エチレン−プロピレンコポリマー（ＦＥＰ）等の低表面エネルギー材料でつくった撥液性層を所望により本件１２の上表面及びプラグの上表面にこの段階で付与する。図２の（ｃ）及び（ｄ）において、たとえばパリレン切削保護テープ等の保護層３２を次に付与し、レーザー切削によってテーパー状ノズル１８をプラグ２６内に正確に形成しうる。切削プロセスと保護層の詳細は［特許文献１］に記載されている。保護層３２の使用は任意であり、たとえばＦＥＰ撥液層はレーザー切削の保護層として使用しうる。
【００３１】
ノズル板１０の本体１２が、エポキシ樹脂に比し硬いＮｉｌｏ４２等の材料からつくられるので、ノズル板１０はレーザー切削性プラスチック材料からだけつくった従来のノズル板に比しより強い。それ故、ノズル板１０は「エッジシューター」液滴付着装置用のカバーとして用いるのに適している。ここで「エッジシューター」装置ではインク流路の頂部から液滴が射出され、インク流路の末端から液滴が射出される「エンドシューター」装置用のノズル板としての使用と同様適している。ノズル板の本体を金属材料でつくることによってもたらされるこの機械的利点が、ノズルをノズル板の本体に位置するエポキシ樹脂等のプラグ中に形成されることによる相対的な容易性と正確性が相乗的に作用する。
【００３２】
上記の態様において、一連の開口を同時にノズル板の本体１２中に形成でき、複数のエポキシ樹脂のプラグを同時に開口中に形成でき、そして各エポキシ樹脂プラグ中にノズルを形成するために引き続いてレーザー切削を用いることができる。さらなる態様において、ノズルの形成時間を短かくするために、複数のノズルもエポキシ樹脂のプラグ中に同時に形成できる。
【００３３】
図３の（ａ）〜（ｄ）は本発明のノズル板の製造方法の第２の態様の工程を示す断面図である。第１の態様と同様、開口２８を本体１２中に形成しそしてエポキシ樹脂のプラグを開口２８中に形成する（図３の（ａ）及び（ｂ））。撥液性層を所望により本体１２の上表面及びプラグ２６の上表面にこの段階で付与しうる。図３の（ｃ）に示すように、この態様では本件１２の上表面とプラグ２６の上表面に支持（ａｂｕｔｍｅｎｔ）表面３４を付与する。次いで型（ダイ）３６をプラグ中に押圧その他で押し込む。型３６はプロフィール部分３８とプロフィール部分３８を囲む実質上平らな部分４０からなり、プロフィール部分３８はプラグ中に形成されるノズルのプロフィールに一致するプロフィールをもつ。型がプラグ内に押し込まれると、エポキシ樹脂がプラグから押されて本件１２の下表面１６上にエポキシ樹脂の層４２を形成する。型は、図３の（ｃ）に示すように、プロフィール部分が支持表面３４と接触するまでプラグ内に押圧され、それにより、型によって形成されるノズルの形状を制御する。次いで型を引き抜き、支持表面３４を除去して、図３（ｄ）に示すように、ノズル板中でのノズルの形成を完了する。
【００３４】
この態様において、複数のプロフィール部分をもつ単一の型を用いて、ノズル板の本体内に形成されたそれぞれのプラグ内に各プロフィール部分を押し込むことによって複数のノズルを同時に形成することができる。またエポキシ樹脂の層４２をノズル板の本体１２の下表面に形成する。これはノズル板を取り付けた液滴付着装置からノズル板の本体を電気的に絶縁する機能も示す。
【００３５】
図４の（ａ）〜（ｄ）は第２の態様で用いるための型の製造方法での工程を示す断面図である。図は単一プロフィール部分をもつ型の形成を示しているが、この方法は、複数の同様のプロフィール部分と１つの実質上平らな部分をもつ型の形成に適用できることは当然である。
【００３６】
まず、開口５０をプラスチック材料等の比較的軟かい材料の板５２にレーザー切削技術を用いて正確に形成する。図４の（ａ）に示すように、開口５０はノズル板１０中に形成するノズル１８のプロフィールと一致するプロフィールをもってつくられる。この板５２は次いで、たとえば射出成形技術を用いて同様のプラスチック材料から、図４の（ｂ）に示すように、第１の型５４の形成用のモールドとして用いられる。型５４は最終的に形成される型３６のプロフィールに相当するプロフィールをもつ。次いで、たとえば電気メッキ技術を用いて、金属材料を型５４上に付着させて、レーザー切削によって板５２中に形成した開口に相当する開口５８をもつ金属板５６を形成する。次いで、図４の（ｃ）に示すように型５４を除去して金属板５６だけを残す。次いで電気鋳造技術等を用いて金属板５６上に金属型３６を形成し、金属板５６を除去して型３６を残す。この方法で型をつくることによって、型３６のプロフィール部分３８の形状を正確に制御して、この型を用いてエポキシ樹脂のプラグ中につくられるノズルが、レーザー切削によって形成されるノズルのプロフィールに相当する正確なプロフィールをもつことが可能となる。
【００３７】
図５の（ａ）及び（ｂ）に示すように、ノズル板の製造方法の第３の態様でも同様の型が用いられる。この態様では、図５の（ａ）に示すように、開口をもつ本件１２を型６０中に挿入して型６０のプロフィール部分６２が本体中につくられた開口内に入る。セラミック粒子等のスペーサー６４を型６０の平らな部分６６と本体の下表面１６の間に配して、平らな部分６６の上表面６８に対し本体１２の下表面を上昇させる。次いでエポキシ樹脂を型６０と本体１２の間の空間７０に射出して、本体１２中の開口内にのびるノズルをもつエポキシ樹脂のプラグ２６及び本体１２の下表面を覆うエポキシ樹脂の層７２を形成する。本体１２の下表面１６中の流路７４が成形中の樹脂の流れを促進させる。
【００３８】
図６の（ａ）〜（ｅ）はノズル板の製造方法の第５の態様における工程を示す断面図である。この態様において、たとえば光平版エッチングによってつくった１以上の開口をもつ本体１２を、図６の（ａ）に示すように、接着剥離フィルム８２によって、ゴムや柔軟なプラスチック材料のパッド等の柔軟な層８０につける。柔軟な層８０は部分的に厚さが増した領域をもつ。好ましくはカチオン性紫外線（ＵＶ）硬化性接着剤８４の形の、ポリマー材料を、図６の（ｂ）に示すように、開口２８を充填し且つ本体１２の上表面を覆うように、本体１２の上表面に付与する。好ましくは下表面８８にサイズ化し位置決めしたグルーガード（図示せず）を含むガラスマスク８６を接着剤８４と接触させ、図６の（ｃ）の矢印の方向にガラスマスクに圧力をかけて、接着剤８４が流動して本体１２の上表面上に形成される接着剤８４の層の厚さを所定の厚さ、たとえば５ミクロン、に低下させる。ガラスマスクに圧力をかけると、柔軟なパッド８０が硬い表面９８に対して変形して、図６の（ｃ）に示すように、本体中に形成された開口２８中に領域８１を動かして、開口２８中に配された接着剤８４をくぼませる。また図６の（ｃ）に示すように、マスクパターン９０をガラスマスクの上表面９２上に形成する。図６の（ｃ）に示す位置にマスク８６を保持するために実質上一定レベルで圧力を保持し、図６の（ｄ）に示すように、ガラスマスク８６上に位置するＵＶ波からのＵＶ光を、接着剤８４が選択的にさらされるようにマスク８６の上表面に向ける。マスクパターン９０直下の接着剤部分９６はＵＶ光から遮断されるが、接着剤の他の部分はＵＶ光にさらされる。露光時間はＵＶ光にさらした接着剤の残部９４が完全に硬化するに十分なものである。露光の最後に、柔軟なパッド８０、剥離フィルム８２及びガラスマスク８６を除去し、未露光即ち未硬化の接着剤を適宜の流体でフラッシュ処理して入口２２とへこんだ出口２０の間にのびる頂上円筒状の孔をもつノズル１８を形成する。
【００３９】
光平版プロセスによるノズル１８の形成はノズル板中に正確なノズル１８をもたらす。この方法はノズル板中に同時に複数のノズルを形成するのに用いうる。出口２０をへこませることにより、使用中のノズルの機械的損傷のおそれを少なくする。この態様のへこませ技術は前記の第１及び第３の態様にも用いうる。
【００４０】
図７の（ａ）〜（ｄ）はノズル板の製造方法の第５の態様を示す断面図である。この態様では、図７の（ａ）に示すように、たとえば光平版エッチングによってつくった１以上の開口をもつ本体１２を液滴付着装置、特に側壁１０２と基板（図示せず、そこから側壁１０２がのびている）との間にある流路１０４の側壁１０２の上表面１００につけられる。開口２８は側壁上に本体をつける前又は後にノズル板中に形成される。この態様において、カバー板１０６を本体１２の上表面１０８につける。カバー板１０６はＵｐｉｌｅｘ（商標）等のプラスチック材料からつくられる。図７の（ａ）及び（ｂ）において、開口２８の壁３０、側壁１０２の対面する側壁及び開口２８によってさらされているカバー板１０６の下表面１１０が、適宜のコーティング技術によって、たとえばパリレン等のポリマー材料２６の層で被覆され、パリレン２６内にのびる実質上円筒状の孔をもつノズル１８の部分が形成される。同時に（同時でなくともよいが）、カバー板１０６の上表面１１２がパリレンの層１１４で被覆される。図７の（ｃ）において、開口１１６が、たとえばレーザー切削技術を用いて、カバー板１０６中に形成されてノズル板の形成が完了する。次いで、出口２０の周辺の層１１４の一部を、たとえばプラズマエッチング技術を用いて、選択的に除去して、カバー板１０６の一部１２０を出現させる。カバー板のこの部分１２０をさらすためのエッチングに用いるマスク（図示せず）は層１１４上に残して出口２０を機械的に保護しうる。このマスクは、Ｎｉｌｏ等のニッケルと鉄の合金のような、本体１２と同じ材料で形成しうる。
【００４１】
図８はノズル板１２中に部分的に形成したノズル１８を示す断面図である。このノズルはモールディングやホットプレス等の図３及び５で述べたような適宜の手段で部分的につくられる。レーザー切削がノズル１８の形成の完了に用いられる。これはノズル出口の表面特性を改善することが判明した。好ましくは、図８に示したようなノズル板ブランクをインクジェットプリントヘッドにつけてから、エキシマーレーザー線にさらしてノズルの形成を完了する。これによりノズルが開らくプリントヘッド中のインク流路１０４とレーザー線が正確に一列となる。
【００４２】
上記の説明及び請求項及び図面に示した各特徴は独立にまた適宜の組合せで提供される。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】ノズル板中に形成したノズルの断面図。
【図２】ノズル板の製造方法の第１の態様の工程を示す断面図。
【図３】ノズル板の製造方法の第２の態様の工程を示す断面図。
【図４】第２の態様で用いる型の製造方法の工程を示す断面図。
【図５】ノズル板の製造方法の第３の態様の工程を示す断面図。
【図６】ノズル板の製造方法の第４の態様の工程を示す断面図。
【図７】ノズル板の製造方法の第５の態様の工程を示す断面図。
【図８】ノズル板中に部分的に形成したノズルを示す断面図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  ノズル板、
１２  本体、
１４  本体の上表面、
１６  本体の下表面、
１８  ノズル、
２０  出口、
２２  入口、
２４  孔、
２６  プラグ
２８  開口、
３０  壁、
３２  保護層、
３６  型、
３８  プロフィール部分、
４０  平らな部分、
４２  樹脂層、
５０  開口、
５２  ノズル板、
５４  壁、
５６  金属板、
８２  剥離性フィルム、
８６  ガラスマスク、
１０６  カバー板
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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