(57)【要約】ガスセンサの電気的な特性を改善するためには、以下の手段が使用され得る：電極のための導体路が、センサのボディの層平面の平面図で見て、ボディに設けられたキャビティの外側、特に基準空気通路の外側に配置されている。電極が、センサの排ガス側の端部の方向に向かって拡大されている。導体路が、増加させられた層厚さを有しているかまたは二重層として形成されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ガスセンサ、特に酸素センサであって、焼結されたセラミックス積層体として形成されたボディ（１）と、該ボディ（１）で積層体の層（５）の内側に配置された基準空気通路（６）とが設けられており、該基準空気通路（６）の一方の側に電気的な抵抗加熱体（４）がかつ他方の側に電極装置（８，１３；１５，１６）が設けられており、該電極装置（８，１３；１５，１６）が、基準空気通路（６）の仕切り壁の内側に配置された、少なくとも部分的にガスに対して透過性の少なくとも１つの基準電極（８）と、センシングしたいガスによって負荷可能なネルンスト電極（１３）とを有しており、該ネルンスト電極（１３）が、同じく少なくとも部分的にガスに対して透過性に形成されていて、基準電極（８）から、イオン、特に酸素イオンに対して伝導性のかつ透過性の固体電解質層（７）によって分離されており、電極（８，１３；１５，１６）が、導体路（８′，１３′，１５′，１６′）に接続されており、該導体路（８′，１３′，１５′，１６′）が、基準空気通路（６）に対してほぼ平行に延びている形式のものにおいて、
導体路（８′，１３′，１５′，１６′）が、積層体の層平面の平面図で見て、少なくとも部分的に基準空気通路（６）に並んで配置されていることを特徴とする、ガスセンサ。
【請求項２】
請求項１記載のガスセンサ、特に酸素センサであって、焼結されたセラミックス積層体として形成されたボディ（１）と、該ボディ（１）で積層体の層（５）の内側に配置された基準空気通路（６）とが設けられており、該基準空気通路（６）の一方の側に電気的な抵抗加熱体（４）がかつ他方の側に電極装置（８，１３；１５，１６）が設けられており、該電極装置（８，１３；１５，１６）が、基準空気通路（６）の仕切り壁の内側に配置された、少なくとも部分的にガスに対して透過性の少なくとも１つの基準電極（８）と、センシングしたいガスによって負荷可能なネルンスト電極（１３）とを有しており、該ネルンスト電極（１３）が、同じく少なくとも部分的にガスに対して透過性に形成されていて、基準電極（８）から、イオン、特に酸素イオンに対して伝導性のかつ透過性の固体電解質層（７）によって分離されている形式のものにおいて、
ネルンスト電極（１３）が、別個の室（１１）に配置されており、該室（１１）が、ボディ（１）内に配置された拡散区間（１２）を介して排ガス流に連通しており、前記室（１１）の内側に内側のポンプ電極（１５）が配置されており、該内側のポンプ電極（１５）が、固体電解質層（１４）を通って外側のポンプ電極（１６）と協働するようになっており、該外側のポンプ電極（１６）が、排ガス流に直接的に十分さらされており、ネルンスト電極（１３）および／または内側のポンプ電極（１５）および／または外側のポンプ電極（１６）が、積層体の層平面の平面図で見て、室（１１）の境界を越えて延びていることを特徴とする、請求項１記載のガスセンサ。
【請求項３】
少なくとも一方のポンプ電極（１５；１６）および／またはネルンスト電極（１３）が、平面図で見て、室（１１）の外側に大きな面の領域を有しており、該領域が、ボディ（１）の排ガス側の熱い端部の方向に延びている、請求項２記載のガスセンサ。
【請求項４】
請求項１から３までのいずれか１項記載のガスセンサ、特に酸素センサであって、焼結されたセラミックス積層体として形成されたボディ（１）と、該ボディ（１）で積層体の層（５）の内側に配置された基準空気通路（６）とが設けられており、該基準空気通路（６）の一方の側に電気的な抵抗加熱体（４）がかつ他方の側に電極装置（８，１３；１５，１６）が設けられており、該電極装置（８，１３；１５，１６）が、基準空気通路（６）の仕切り壁の内側に配置された、少なくとも部分的にガスに対して透過性の少なくとも１つの基準電極（８）と、センシングしたいガスによって負荷可能なネルンスト電極（１３）とを有しており、該ネルンスト電極（１３）が、同じく少なくとも部分的にガスに対して透過性に形成されていて、基準電極（８）から、イオン、特に酸素イオンに対して伝導性のかつ透過性の固体電解質層（７）によって分離されている形式のものにおいて、
電極（８，１３，１５，１６）に続く導体路（８′，１３′，１５′，１６′）が、前記電極に比べて増加させられた導電性を有している、請求項１から３までのいずれか１項記載のガスセンサ。
【請求項５】
前記導体路が、前記電極に比べて増加させられた金属含有量もしくは白金含有量を有している、請求項４記載のガスセンサ。
【請求項６】
前記導体路が、前記電極に比べて増加させられた厚さを備えて配置されている、請求項４または５記載のガスセンサ。
【請求項７】
前記導体路が、二重層として形成されている、請求項４から６までのいずれか１項記載のガスセンサ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
背景技術
本発明は、ガスセンサ、特に酸素センサであって、焼結されたセラミックス積層体として形成されたボディと、該ボディで積層体の層の内側に配置された基準空気通路とが設けられており、該基準空気通路の一方の側に電気的な抵抗加熱体がかつ他方の側に電極装置が設けられており、該電極装置が、基準空気通路の仕切り壁の内側に配置された、少なくとも部分的にガスに対して透過性の少なくとも１つの基準電極と、センシングしたいガスによって負荷されるネルンスト電極とを有しており、該ネルンスト電極が、同じく少なくとも部分的にガスに対して透過性に形成されていて、基準電極から、イオン、特に酸素イオンに対して伝導性のかつ透過性の固体電解質層によって分離されており、電極が、導体路に接続されており、該導体路が、ほぼ基準空気通路の方向に延びている形式のものに関する。
【０００２】
今日、一般的には、特に自動車における現代の内燃機関の排ガスシステムは、有害な排ガスを無害な反応生成物に変換するために触媒を備えている。この触媒の良好な機能のためには、エンジンに空気と燃料とが、設定された比率で供給されることが必要となる。このために設けられたエンジン制御装置はその入力側で、いわゆる「ラムダセンサもしくは酸素センサ」に接続されている。この酸素センサの信号は排ガスの組成を表していて、これによって、エンジン制御装置では、燃料と燃焼空気との比率を触媒にとって最適な形式で調整することが可能となる。
【０００３】
このことに相俟って、２つのコンセプトが知られている。
【０００４】
一方のコンセプトでは、化学量論的な燃焼が目標とされる。すなわち、燃焼空気中の酸素量が、供給される燃料の完全燃焼のための酸素要求に正確に相当している。すなわち、エンジンの運転は酸素過多（λ＞１）でも行われないし、酸素不足（λ＜１）でも行われない。これに相応して、この運転モードはλ＝１によって特徴付けることができる。
【０００５】
この化学量論的な燃焼のためには、排ガスセンシング時に狭帯域で働く酸素センサで十分である。この酸素センサでは、ネルンスト電極が排ガスによって直接的に十分負荷される。
【０００６】
ここでは、エンジン制御装置によって、基準電極とネルンスト電極との間で検出可能な、酸素イオンの拡散によって発生した電圧がその値をλ＝１の周辺で極めて激しく変化させ、これに相応して、化学量論的な燃焼を伴った所望の運転モードから、酸素不足を伴った運転モードの方向だけでなく、酸素過多を伴った運転モードの方向への偏差を明瞭に示す信号が提供されるという効果が使用される。
【０００７】
このような形式のセンサは、たとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第４４０１７４９号明細書に示されている。
【０００８】
他方のコンセプトでは、燃焼時に酸素過多を伴った内燃機関の優れた運転が目標とされる。なぜならば、これによって、燃料消費率を著しく低減させることができるからである。しかし、酸素過多を伴った燃焼時には、有害な窒素酸化物が発生する。この窒素酸化物は、車両エンジンの排ガス系統に設けられた、いわゆる「吸蔵触媒」によって、制限された期間の間だけ吸収することができる。この場合、吸蔵触媒の吸収能の消耗前にその都度、エンジンの運転が、酸素不足を伴った燃焼に短期間で変換制御されなければならない。これによって、いまや排ガス系統に到達した不完全燃焼状態の燃料成分による、予め触媒に吸蔵された窒素酸化物を低減させて窒素を発生させることができる。すなわち、ここでは、エンジン制御装置が内燃機関を常に、λの値が１よりも大きい時間的に優勢な運転モードと、λの値が１よりも小さい比較的短時間の運転モードとの間で断続的に変換制御されなければならない。
【０００９】
激しく交番するλの値を備えた、このような断続的な運転モードのためには、広帯域で働く酸素センサが必要となる。
【００１０】
このような形式の酸素センサでは、ネルンスト電極が別個の室に配置されている。この室は、センサのボディ内に配置された拡散区間を介して排ガス流に連通している。さらに、室の内側には内側のポンプ電極が配置されている。この内側のポンプ電極はネルンスト電極に電気的に接続することができ、しかも、固体電解質層を通って外側のポンプ電極と協働する。この外側のポンプ電極は排ガス流に直接的に十分さらされている。少なくとも部分的にガスに対して透過性に形成された両ポンプ電極の間に外部の電圧が印加されると、両ポンプ電極の間に酸素イオンが発生させられる。この酸素イオンの方向は、印加された電圧の極性に関連していて、酸素イオンの強さは、電圧差と、両ポンプ電極における酸素濃度の差とによって規定される。この酸素イオン流は拡散室内への排ガスの拡散流を適宜に制御する。いま、両ポンプ電極の間の外部の電圧もしくは両ポンプ電極の間に酸素イオン流に基づき発生した電流は調整器によって、基準電極とネルンスト電極との間に常に、設定された目標値を備えた電圧が維持され続けるように調整される。これによって、両ポンプ電極の間に発生した電流の極性と強さとは、排ガスの組成ひいてはλ値に関連した信号を成している。
【００１１】
このような形式のセンサは、たとえばドイツ連邦共和国特許出願公開第３７４４２０６号明細書に示されている。
【００１２】
老化プロセスと汚染とによって、前述したガスセンサの特性が変化する。
【００１３】
発明の利点
本発明によれば、電極に対応配置された導体路が、積層体の層平面の平面図で見て、少なくとも部分的に基準空気通路に並んで配置されていることが提案されている。
【００１４】
このことは、特にポンプ電極の導体路に当てはまる。
【００１５】
本発明は、センサボディの焼結時にもしくは焼結前に積層体に加えられるプレス成形圧を導体路の接合構造の圧縮のために使用し、これに相俟って、導体路が平面図で見て中空室との重なりなしに積層体内に配置されることによって、導体路に加えられる押圧力を効果的に増加させるという一般的な思想に基づいている。結果的には、これによって、導体路のより僅かな電気的な抵抗と、老化現象に対する導体路のより高い耐性とが達成される。その結果、老化の増加に伴うセンサの電気的な特性の変化が著しく低減される。
【００１６】
付加的にまたは択一的に別の手段が提案されていてもよい。たとえば、内側のポンプ電極および／または外側のポンプ電極は、ネルンスト電極と内側のポンプ電極との間に配置されたガス室の平面図よりも大きな面を有することができる。
【００１７】
これに相俟って、両ポンプ電極が、それぞれ対応配置された導体路とは直径方向で反対の側に位置する領域で、すなわち、センサボディの熱い端部に向かってガス室の平面図を越えて延びていると特に有利であると分かった。
【００１８】
さらに、不変の電気的な特性のためには、導体路が比較的大きな層厚さを有していると有利であると分かった。このためには、導体路が印刷技術的に比較的目の粗いスクリーン（たとえば２５０のメッシュを備えたスクリーン）で製作され得る。
【００１９】
さらに、導体路は二重層として印刷されてもよい。
【００２０】
さらに、導体路のための印刷材料は、特に白金をベースとした、特に高い割合の導電性の粒子を有していてよい。
【００２１】
実施例の説明
以下に、本発明の実施例を図面につき詳しく説明する。
【００２２】
図１に示したラムダセンサもしくは酸素センサはボディ１を有している。このボディ１はセラミックス製の積層体として形成されている。この積層体の各層は生の状態（グリーンシートの状態）で互いに重なり合って載置されるかもしくは被着される。その後、後続の焼結によって、セラミックスから成る硬質のボディ１が形成される。焼結は、積層体のプレス成形後に行われてもよいし、積層体のプレス成形下で同時に行われてもよい。
【００２３】
図１の例では、酸化ジルコニウム（ジルコニア）から成る、より厚膜のシートの形の下側の層２が設けられている。この層２の上方には、電気的に絶縁性の二重層３が位置している。この二重層３内には、電気的な抵抗加熱体（ヒータ）４と、電流供給部にまで延びる所属の導体路とが埋め込まれている。二重層３の上方には、スクリーン印刷によって形成された、たとえば酸化ジルコニウムペーストから成る構造化された層５が位置している。この層５の内側には基準空気通路６が切り欠かれている。この基準空気通路６の平面図は図２に例示してあり、以下で詳しく説明することにする。図示のように、基準空気通路６は図１の切断平面の領域に、互いに連通する２つの終端領域６′を有している。
【００２４】
場合によっては、層５は、通路６が打ち抜かれたシートによって形成されていてもよい。
【００２５】
層５の上方には、たとえば酸化イットリウム（イットリア）が添加された酸化ジルコニウムから成るシートの形の固体電解質層７が位置している。少なくとも基準空気通路６の両終端領域６′の領域では、層７の、基準空気通路６に面した側にもしくは層５と層７との間に、多孔質の白金材料から成る、ガスに対して透過性の層状の基準電極８が配置されている。この基準電極８は、この基準電極８に続く層状の導体路８′を介して、以下で詳しく説明する、ボディ１に設けられた接続コンタクトに接続されている。
【００２６】
固体電解質層７の上方には、印刷技術的に構造化された薄膜の層９が位置している。この層９は、たとえば同じく酸化ジルコニウムペーストから製作されていてよい。層９は大きな切欠きを有している。この切欠きは、ボディ１の層に対して垂直にボディ１を貫通した排ガス流入孔１０に対して同心的に配置されている。前述した切欠きの内側には、環状室１１を残したまま多孔質の材料１２が析出されている。流入孔１０は、図示のように、盲孔として形成されていてもよいし、図示のものとは異なり、ボディ１を完全に貫通する開口として形成されていてもよい。
【００２７】
環状室１１の領域では、固体電解質層７が、多孔質の白金材料から成る、ガスに対して透過性の層状のネルンスト電極１３を支持している。
【００２８】
層９もしくは多孔質の材料１２の上方には、たとえば酸化イットリウムが添加された酸化ジルコニウムから成るシートの形の別の固体電解質層１４が位置している。この層１４は、環状室１１に面した側にならびに環状室１１とは反対の側に、少なくとも部分的に多孔質の白金材料から成る、ガスに対して透過性の内側のポンプ電極１５と外側のポンプ電極１６とを支持している。この場合、両ポンプ電極１５，１６は、ボディ１の層の平面図で見て、環状室１１を少なくともほぼカバーするように成形されている。さらに、層１４の上方には、ガス透過性の保護層１７が位置している。
【００２９】
場合によっては、ボディ１の焼結時に溶解されるかもしくは焼失される材料または良ガス透過性の多孔質の構造体を形成する材料を備えた、基準空気通路６のポジパターンならびに基準空気通路６の終端部分６′および開口のポジパターンが層７に付加的に印刷されてよい。
【００３０】
基本的には、層５の材料と、場合によっては、基準空気通路６のポジパターンならびに基準空気通路６の両部分（終端部分６′および開口）のポジパターンのために規定された材料とを層７に対して鏡面対称的に層３に印刷することも可能である。こうして、増加した厚さを備えた層５を製作することができる。
【００３１】
前述した酸素センサは、以下のように機能する：
ボディ１の、排ガス流入孔１０を有する一方の端部は、排ガス流内にもしくは内燃機関の排ガス流に連通した領域に配置されているのに対して、ボディ１の他方の端部は基準空気、一般的には大気によって負荷される。
【００３２】
基準空気通路６もしくは基準空気通路６の開口を介して、基準空気は基準空気通路６の終端部分６′にまで到達する。排ガス流入孔１０を介して排ガスは多孔質の材料１２にまで到達する。この材料１２を通って排ガスは環状室１１内に拡散する。
【００３３】
ボディ１の排ガス側の端部が電気的な抵抗加熱体４によって十分に加熱されると、基準電極８とネルンスト電極１３との間でひいては両スルーホールめっき部（Ｄｕｒｃｈｋｏｎｔａｋｔｉｅｒｕｎｇ）の間で電圧が検出され得る。この電圧の量は、基準空気通路６の終端部分６′の内部の酸素分圧ならびに環状室１１の内部の酸素分圧に関連している。この場合、固体電解質層７が酸素イオンを伝導しかつ前述した両電極８，１３の白金材料が酸素イオンの形成を促進させるかもしくは可能にし、その結果、固体電解質層７に、両電極８，１３における酸素分圧に関連した電位差が生ぜしめられるという効果が使用される。この電位差によって、相応のイオン移動が生ぜしめられる。この電位差はネルンスト電圧とも呼ばれる。
【００３４】
環状室１１内の酸素分圧は、制御可能な極性を備えた外部の電圧が両ポンプ電極１５，１６の間に印加されることによって制御することができる。相応の電圧源はスルーホールめっき部もしくはコンタクト（共に図示せず）に接続されている。このスルーホールめっき部もしくはコンタクトは両ポンプ電極１５，１６に電気的に接続されている。
【００３５】
ここでは、両電極１５，１６の白金材料によって酸素イオンが形成され、その後、外部の電圧によって両電極１５，１６の間に、電圧と、この電圧の極性とに関連した強さおよび方向を備えた、固体電解質層１４を通流する酸素イオン流が形成されるという効果も使用される。これによって、両ポンプ電極１５，１６の間で電気的な信号が検出可能となり、たとえば、電圧および電流強さの検出によって、ポンプ電極を介して案内される電流回路の電気的な抵抗を規定することができる。
【００３６】
いま、基準電極８とネルンスト電極１３との間で検出可能な電圧ひいては環状室１１内の酸素分圧が常に、規定された目標値に相当しているように、両ポンプ電極１５，１６の間の電圧ひいては電流も調整器によって制御される。これによって、両ポンプ電極１５，１６の間で検出可能な電流は、基準空気に対して相対的な排ガスの酸素含有量に対する量を成している。
【００３７】
外側のポンプ電極１６が内側のポンプ電極１５に対して正の電位にある場合には、λ（空気過剰率）＞１を伴った運転状況が付与されている。逆の極性の場合には、λ＜１を伴った運転状況が付与されている。この場合、両電極１５，１６の間で検出可能な電気的な抵抗の量はλの量に関連している。
【００３８】
λの値は大きな値範囲で検出することができる。
【００３９】
冒頭で述べた、狭帯域で働く酸素センサでは、外側の保護層１７がネルンスト電極１３の上方に位置している。すなわち、層９および層１４ならびに両ポンプ電極１５，１６は、図１および図３に示した図面に比べて削除されている。両電極８，１３の間で検出可能な電圧は、基準電極８における酸素分圧が知られているかまたは一定である場合には、排ガスの酸素分圧に対する量を成している。
【００４０】
図２には、図１に示した矢印ＩＩに相当する、固体電解質層７の平面図が示してある。この層７の、図２に見ることができる面には、基準電極８と、この基準電極８に続く導体路８′とが印刷されている。この導体路８′はスルーホールめっき部（図示せず）に通じている。このスルーホールめっき部は、たとえば層７ならびに図１で層７の上方に位置する全ての層を貫通していて、導体路８′を、ボディ１の基準空気側の端部の外側に配置されたコンタクトタブ（図示せず）に電気的に接続することができる。
【００４１】
さらに、図２には、基準電極８の領域に配置された端部６′を備えた基準空気通路６の位置が破線で示してある。
【００４２】
図２では、導体路８′が基準空気通路６の外側に位置している。これによって、積層体の各層の良好な結合を確保するためには、ボディ１の積層体が焼結前にもしくは焼結時にプレス成形される場合に、導体路８′が、増加させられたプレス成形圧にさらされる。
【００４３】
このプレス成形時には、通路６の中空室を介して実際に力は伝達され得ないので、基準空気通路６の上方もしくは下方では、減少させられたプレス成形圧が生ぜしめられるのに対して、基準空気通路６の側方の領域では常に、高い押圧力が保証されている。なぜならば、ここでは、積層体の内側にさほどのキャビティが付与されていないからである。
【００４４】
前述した、導体路８′におけるプレス成形圧の増加は、基準空気通路６がシート状の層５の内側に打抜きによって製作される場合に特に有効となる。
【００４５】
図２とは異なり、基準空気通路６のフォーク状の終端領域６′の代わりに、残りの基準空気通路６に比べて場合によって拡張されたただ１つの終端部分をガス流入開口１０の下方に配置することが提案されていてもよい。この事例では、このガス流入開口１０は、基準空気通路６からの分離を保証することができるようにするために、盲孔として形成されていなければならない。基準電極８は、基準空気通路の、前述した終端部分に類似の形状を有している。この場合、基準電極８は、基準空気通路６の、前述した終端部分を多かれ少なかれ大きな余剰寸法を備えてカバーしている。
【００４６】
図３には、図１に示した矢印ＩＩＩに相当する、固体電解質層１４の平面図が示してある。
【００４７】
破線によって、環状室１１の位置と多孔質の材料１２の位置とが図示してある。この材料１２を介して、環状室１１はガス流入孔１０に連通している。
【００４８】
固体電解質層１４の、図３に見ることができる面には、外側のポンプ電極１６が印刷されてる。この外側のポンプ電極１６は、環状室１１の環形状に類似の環状の構造を有している。しかし、外側のポンプ電極１６は特に層１４の排ガス側の端部の方向に著しく拡張されていてよく、さらに、層１４の長手方向側方に向かって環状室１１の範囲を越えて突出していてもよい。
【００４９】
この構造によって、すでに僅かな電圧で両ポンプ電極１５，１６の間に良好なポンプ作用を得ることができる。この場合、ラムダ値とポンプ電流との間に申し分のない比例が得られることが同時に保証されている。
【００５０】
内側のポンプ電極１５は、外側のポンプ電極１６に類似の形状を有していてよい。
【００５１】
さらに、多孔質の材料１２を、内側のポンプ電極１５もしくは外側のポンプ電極１６の大きな面の区域に隣接する領域に、ガス流入開口１０に対して半径方向に僅かな幅を備えて配置することが提案されていてよい。こうして、両ポンプ電極１５，１６が、向上したポンプ作用を有する区域において環状室１１内へのガス流入が容易となる。
【００５２】
全ての電極において、特に良導電性を備えた所属の導体路を形成することが提案されていてよい。
【００５３】
このことは、たとえば導体路を印刷するために使用される材料が、増加させられた白金含有量または増加させられた、良導電性のその他の粒子含有量を有していることによって達成することができる。電極は、ガスに対して透過性でなければならず、したがって、焼結時にガスもしくはイオンに対して透過性の導電性の層を形成する粒子混合物によって印刷技術的に形成されるのに対して、導体路の場合には、ガス透過性が保証されている必要はない。これに相応して、導体路の材料の金属含有量を増加させることができる。たとえば、電極材料は、白金含有量に比べて高い割合の酸化ジルコニウムを含有することができるのに対して、所属の導体路の材料は、白金含有量に比べて少ない含有量の酸化ジルコニウムを有している。
【００５４】
導体路の導電性を増大させるための別の可能性は、導体路の、増大させられた層厚さを提案するという点にある。このことは、たとえば導体路が比較的目の粗いメッシュを用いてスクリーン印刷により形成されることによって行うことができる。
【００５５】
さらに、導体路をそれぞれ二重層として製作するという可能性が存在している。すなわち、２つの導電性の層を互いに上下に配置することができるかもしくは印刷することができる。
【００５６】
図４には、図１に示したＩＶ−ＩＶ断面線に沿った、層７，９，１４の縦断面図が示してある。
【００５７】
層９上にならびに室１１の上方に配置された、平面図で見てポンプ電極１５；１６に類似していてよい形状を備えたネルンスト電極１３は、対応配置された導体路１３′を有している。この導体路１３′は層９に隣接していて、内側のポンプ電極１５の導体路１５′に合致しており、これによって、両導体路１３′，１５′が二重層を形成している。
【００５８】
このような配置形式を可能にするためには、層１４の、図４で見て下側の面が、まず境界線Ｇの右側でのみ層９の材料によって被覆され得る。その後、引き続き、電極１５と、対応配置された導体路１５′とが印刷される。この場合、境界線Ｇの領域では、層９上に位置する導体路１５′と、層１４上の電極１５との間に自動的に接続が形成される。
【００５９】
その後、多孔質の材料１２と、層９の、まだ不足している部分とが層１４上に印刷されるかもしくは載置される。
【００６０】
ポンプ電極１３と、対応配置された導体路１３′とは層７上に印刷されてよい。引き続き、この層７が層９上に載置される。この場合、積層体の後続の焼結時に導体路１３′，１５′が一緒に焼結される。
【００６１】
特に基準空気通路６が層５の内側に打抜きによって製作される場合には、図３および図４とは異なり、全ての電極の導体路（たとえば１３′，１５′，１６′）を積層体の各層に偏心的に配置することができる。この場合、層平面の平面図で見て、基準空気通路６との重なりが生ぜしめられることはあり得ず、導体路の材料は、図２につき基準電極８の導体路８′に対して例示的に上述したように、積層体のプレス成形によって特に有効にかつ導電性を改善してコンパクトにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図２および図３に示したＩ−Ｉ断面線に沿った、広帯域で働く酸素センサのセンサボディの、排ガス流内に突入する熱い端部の領域の横断面図である。
【図２】図１に示した矢印ＩＩに相応する、電極と、対応配置された導体路とを備えた積層体の層の平面図である。
【図３】図１に示した矢印ＩＩＩに相応する、電極と、対応配置された導体路とを備えた積層体の層の平面図である。
【図４】図１に示したＩＶ−ＩＶ断面線に沿ったセンサの部分の縦断面図である。
【符号の説明】
１　ボディ、　２　層、　３　二重層、　４　抵抗加熱体、　５　層、　６　基準空気通路、　６′　終端領域、　７　固体電解質層、　８　基準電極、　８′　導体路、　９　層、　１０　排ガス流入孔、　１１　環状室、　１２　材料、　１３　ネルンスト電極、　１３′　導体路、　１４　固体電解質層、　１５　ポンプ電極、　１５′　導体路、　１６　ポンプ電極、　１６′　導体路、　１７　保護層、　Ｇ　境界線
【国際公開パンフレット】
2004506881.tif 000003
2004506881.tif 000004
2004506881.tif 000005
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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