(57)【要約】電極の端部を覆うように固定させる絶縁性の電極ホルダー部と、電極と電源供給装置とを接続するリードライン部と、電極ホルダー部をチャンバ壁に固定する固定部とを具備しプラズマ重合装置の電極を固定するための装置が提供される。
2004514028.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバと、チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、チャンバ内部に位置されて高電圧を放電する少なくとも一つ以上の電極と、前記電極を固定させる電極固定装置と、前記電極に電源を印加する電源供給装置とを具備し、
前記電極固定装置は、前記電極の端部を覆うように固定する絶縁物質の電極ホルダー部と、該電極ホルダー部を通過して前記電極と電源供給装置とを電気的に連結するリードライン部と、前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、により構成されることを特徴とするプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項２】
前記電極の端部に密着結合される伝導性物質の内部ホルダーを追加包含して構成され、前記電極ホルダー部は、前記内部ホルダーを完全に覆うように固定させることを特徴とする請求項１記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項３】
前記リードライン部は、前記内部ホルダーと電源供給装置とを連結することを特徴とする請求項２記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項４】
前記固定部は、前記電極の長さ方向に弾性力を与える弾性部を追加包含することを特徴とする請求項１記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項５】
前記電極の端部が巻取される棒状の伝導性物質の内部ホルダーを追加包含して構成され、前記電極ホルダー部は、前記内部ホルダーを覆うように固定させることを特徴とする請求項１記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項６】
前記電極ホルダー部には、棒状の前記内部ホルダーが安着される安着溝が形成されることを特徴とする請求項５記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項７】
前記内部ホルダーは、前記電極ホルダー部の外部まで延長されて前記リードライン部によって前記電源供給装置に連結されることを特徴とする請求項６記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項８】
前記電極ホルダー部は、上部ホルダー、下部ホルダー及びそれらホルダーを締結させる結合部、により構成されることを特徴とする請求項１記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項９】
処理チャンバと、
チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、
チャンバ内部に位置され高電圧を放電する少なくとも一つ以上の板状の電極と、
前記電極に電源を印加する電源供給装置と、
前記電極の端部を覆うように固定させる絶縁物質の電極ホルダー部と、
前記電極を前記電源供給装置と電気的に連結するリードライン部と、
前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、
前記電極に該電極の長さ方向に弾性力を与える弾性部と、を包含して構成されることを特徴とするプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１０】
前記電極の端部の上、下面に密着される伝導性物質の内部ホルダーを追加包含して構成され、前記電極ホルダー部は、前記内部ホルダーを完全に覆うように固定させることを特徴とする請求項９記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１１】
前記内部ホルダーは、上部プレート、下部プレート及びそれらプレートを締結する結合部、により構成されることを特徴とする請求項１０記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１２】
前記電極ホルダー部は、上部ホルダー、下部ホルダー及びそれらホルダーを締結する結合部、により構成されることを特徴とする請求項９記載の重合処理装置の電極固定装置。
【請求項１３】
前記弾性部は、前記電極ホルダー部の下部から該電極ホルダー部を支持して前方側に突出部が形成された支持台と、前記電極ホルダー部を貫通して前記突出部まで延長されるスライディングガイドピンと、前記突出部とホルダー間に位置する弾性体と、により構成されることを特徴とする請求項９記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１４】
前記電極ホルダー部は、スライディングガイドピンを沿って前記電極の長さ方向に移動し得ることを特徴とする請求項１３記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１５】
処理チャンバと、
チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、
チャンバ内部に位置され高電圧を放電する少なくとも一つ以上の板状の電極と、
前記電極に電源を印加する電源供給装置と、
前記電極の端部を覆うように固定させる絶縁物質の電極ホルダー部と、
前記電極を前記電源供給装置と電気的に連結するリードライン部と、
前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、
前記電極ホルダー部により完全に覆われた状態で固定され、前記電極の端部が巻取される棒状の伝導性物質からなる内部ホルダーと、を包含して構成されることを特徴とするプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１６】
前記電極ホルダー部は、上部ホルダー、下部ホルダー及びそれらホルダーを締結する結合部、により構成されることを特徴とする請求項１５記載の重合処理装置の電極固定装置。
【請求項１７】
前記棒状の内部ホルダーは、前記下部ホルダーの上面及び上部ホルダー下面に夫々形成された安着溝に安着して固定されることを特徴とする請求項１６記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１８】
前記下部ホルダーは、上面後方側に上方側に突出して主壁部が形成され、該主壁部の前方側両方端には夫々突出部が形成されることを特徴とする請求項１６記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項１９】
前記下部ホルダーは、前記上部ホルダー及び内部ホルダーを固定させるための固定ピンと、該固定ピンの離脱を防止するための離脱防止手段と、を追加備えることを特徴とする請求項１６記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項２０】
前記固定ピンは、その前端部の外周面に所定深さにストッピング溝が切削形成されることを特徴とする請求項１９記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項２１】
前記下部ホルダーに形成された主壁部、前記突出部及び前記上部ホルダーの夫々の両方端部には、それらの結合時に相互連通するようにピンホールが穿孔形成され、それらピンホールに前記固定ピンが挿入されることで、前記上部ホルダーの離脱が防止されることを特徴とする請求項１９記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項２２】
前記下部ホルダーの突出部には、その下面から垂直方向に形成されて前記ピンホールと連通する垂直ホールが形成されることを特徴とする請求項１９記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【請求項２３】
前記垂直ホールには、スプリングと、該スプリングの一方端部により弾支されるストッパーボールと、前記スプリングの他方端部に連結されるスクリューキャップと、を包含して構成される固定ピン離脱防止手段が挿入されることを特徴とする請求項２２記載のプラズマ重合装置の電極固定装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［技術分野］
本発明は、プラズマ重合装置の電極に係るもので、詳しくは、電極を絶縁させ、チャンバの内壁に固定させることで電極の変形を防止し、電極の着脱を容易に行い得る、電極固定装置に関するものである。
【０００２】
［背景技術］
プラズマを利用して金属板などの機材表面を薄膜コーティング処理すると、該表面に硬度及び耐摩耗性などに優れた被覆層が形成される。被覆層の形成された製品は、磁気ディスク、光ディスクまたは超硬質工具などとして使用される。また、鋼鉄板の表面に形成された塗装膜にプラズマ処理を行うと硬質化されて、耐久性及び耐食性に優れた塗装鋼板が得られる。特に、機材表面に高分子重合処理を行うと、親水性または疏水性を向上させる表面改質効果を得ることが可能で、このように表面改質された物質は多様な範囲に応用されている。
【０００３】
プラズマ重合装置の一例としてＷＯ９９／２８５３０に開示された装置がある（図１参照）。前記装置の構成は、大きく分けて、真空チャンバ１と、該チャンバ１内に設置された電極４と、真空チャンバの圧力を調節するための各真空ポンプ５、６と、真空度を測定するための各計器７、８と、電極に電位差を発生させるための電力供給装置３と、表面処理しようとする試料の周囲に反応性ガスや窒素等の非反応性ガスを注入する各反応ガス調節装置９、１０と、により構成されている。
【０００４】
前記装置によるプラズマ重合処理の一例を説明すると、次のようである。
チャンバ１に試料２を設置し、ロータリーポンプ５を起動してチャンバ１の内部圧力が約１０−３Ｔｏｒｒ程度の真空に保たれることを熱電対真空計（ｔｈｅｒｍｏｃｏｕｐｌｅ ｇａｕｇｅ）７で確認した後、拡散ポンプ６を起動させてチャンバ１の内部圧力が１０−６Ｔｏｒｒ程度に保たれることをイオンゲージ８で確認する。試料２は電源３によりアノード（または、能動電極）にバイアスされて位置され、反対側の電極４は接地されている。チャンバの圧力が所定真空状態に維持されると、反応性ガス及び非反応性ガスを所望の位置周囲に順に注入する。前記ガスの混合比は、熱電対真空計の圧力により調節する。真空チャンバの１内部圧力が所定値になると、直流または高周波により放電させる。すると、直流または高周波により発生されたプラズマ内で前記ガスの分子結合が切断され、切断されたチェーンと活性化された陽イオンや陰イオンとが結合して、電極４間に載置された試料２の表面に重合物を形成するようになっている。
【０００５】
前記装置において、電極４には電源が印加されず接地されている。電極に電源を印加する場合は、電極とチャンバとを絶縁させる必要があり、そのためには電極が表面処理される試料と所定間隔を維持し得るように電極を固定させる手段が必要となる。特に、上述したような非連続装置だけでなく連続的にプラズマ重合処理を行う装置の場合は、長時間の間装置を運行させると、電極が下方側に垂れるか、または、電極と試料間の間隔が変化される。
【０００６】
［発明の概要］
本発明の目的は、プラズマ重合装置において、電極に電源が印加される場合、電極とチャンバ間を絶縁し得る電極構造を提供することである。
【０００７】
また、本発明は、重合処理を長時間行っても電極を效果的に固定し得るだけでなく、電極の変形を防止する引張力調節手段を提供することを目的とする。
【０００８】
また、本発明は、チャンバ内の電極の着、脱を短時間内に簡便に行い得る、プラズマ重合装置の電極固定手段を提供することを目的とする。
【０００９】
前記目的を達成するために本発明は、処理チャンバと、チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、チャンバ内部に位置されて高電圧を放電する少なくとも一つ以上の電極と、前記電極を固定させる電極固定装置と、前記電極に電源を印加する電源供給装置とを具備し、前記電極固定装置は、前記電極の端部を覆うように固定する絶縁物質の電極ホルダー部と、該電極ホルダー部を通過して前記電極と電源供給装置とを電気的に連結するリードライン部と、前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、により構成されるプラズマ重合装置の電極固定装置を提供する。
【００１０】
また、本発明は、処理チャンバと、チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、チャンバ内部に位置され高電圧を放電する少なくとも一つ以上の板状の電極と、前記電極に電源を印加する電源供給装置と、前記電極の端部を覆うように固定させる絶縁物質の電極ホルダー部と、前記電極を前記電源供給装置と電気的に連結するリードライン部と、前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、前記電極に該電極の長さ方向に弾性力を与える弾性部と、を包含して構成されるプラズマ重合装置の電極固定装置を提供する。
【００１１】
本発明は、処理チャンバと、チャンバ内部を真空状態に維持させる真空ポンプと、チャンバ内部に位置され高電圧を放電する少なくとも一つ以上の板状の電極と、前記電極に電源を印加する電源供給装置と、前記電極の端部を覆うように固定させる絶縁物質の電極ホルダー部と、前記電極を前記電源供給装置と電気的に連結するリードライン部と、前記電極ホルダー部をチャンバ内側の適所に固定させる固定部と、前記電極ホルダー部により完全に覆われた状態で固定され、前記電極の端部が巻取される棒状の伝導性物質からなる内部ホルダーと、を包含して構成されるプラズマ重合装置の電極固定装置を提供する。
【００１２】
その他、本発明の特徴及び具体的な内容は以下でより詳しく説明される。
［発明の詳細な説明］
プラズマ重合処理装置の処理チャンバ内に設置される電極は多様な形態のものを使用することができるが、一般には板状に製作される。板状（ｓｈｅｅｔ−ｓｈａｐｅｄ）の電極は、試料の上部または下部若しくは上下部の両方側に試料と所定間隔を維持した状態で設置される。電極に電源が印加されると、電極間に放電が発生され、このような放電によってチャンバ内に供給される反応性気体がプラズマ状態に変化される。
【００１３】
プラズマ状態の気体は、チャンバ内に位置する試料の表面を改質させるか新しい表面層を形成させる。プラズマ放電により試料を均一に表面処理するためには、電極と表面処理される試料間の間隔を一定に維持することが非常に重要である。
【００１４】
電極が重合処理される試料と一定間隔を維持するためには、電極を固定させる手段が必要となる。電極固定手段は、電極の両端部を固定させ、電極に所定引張力を加えることで電極が下方側に垂れる現象を防止しなければならない。
【００１５】
一方、電極に電源を印加すると、電極を固定している手段とチャンバとの絶縁が必要となる。その理由は、電極固定手段はチャンバ壁に固定されるので、チャンバと接触しているからである。
【００１６】
本発明の電極固定装置は、板状の電極と、チャンバ内壁に固定されて前記電極の端部を完全に覆う絶縁性物質の電極ホルダーと、前記電極を電源供給装置と電気的に連結するリードライン部と、前記電極ホルダーをチャンバ内壁の適所に固定させる固定部と、を包含して構成されている。
【００１７】
また、前記装置は、電極の端部に密着結合される伝導性物質の内部ホルダーを追加包含することが可能で、前記電極ホルダー部は前記内部ホルダーを完全に覆う状態で固定される。
【００１８】
前記内部ホルダーの一実施例としては、電極の端部が巻取される棒状の伝導性物質が使用され、他の実施例としては、電極端部の上部面及び下部面上に接触する二枚のプレートが使用される。
【００１９】
如何なる場合でも、前記内部ホルダーは電気的に通電可能な物質であることが望ましい。
【００２０】
前記電極ホルダーは、前記内部ホルダーを包含して電極を覆うことができる形態のものが望ましく、上部ホルダーと下部ホルダーとにより構成されて、電極の着、脱を容易に行い得ることが望ましい。
【００２１】
前記電極には、どんな方法によっても電源を印加すべきで、リードラインにより電源供給装置と電極とを直接連結するか、内部ホルダーとリードラインとを連結することで、前記電極に電気が流れるようにすることもできる。
【００２２】
一方、前記電極としては、メッシュ形態に形成された板状の金属を使用することもできる。メッシュ形態の電極は、電極の縁部に電界が集中することを防止し得るだけでなく、電極の端部を内部ホルダーに固定させることが非常に容易である。
【００２３】
本発明の電極構造は、プラズマ重合処理装置のチャンバ内に設置されるように創案されたが、それと類似する全ての装置に適用することができる。特に、本発明は、長時間連続的に表面処理を施すことができる連続処理装置に有用である。
【００２４】
プラズマ重合連続処理装置では、図２に示すように、処理チャンバ２１の内部には試料２２が通過できるように所定間隔を有して上、下側に電極２３が夫々固定され、処理チャンバ２１の前方側に設置された巻出機チャンバ２５の内部には試料が巻回された巻出機（ｕｎｗｉｎｄｅｒ）２６が設置され、処理チャンバ２１の後方側には、重合膜が蒸着された試料を巻取るための巻取機（ｗｉｎｄｅｒ）２７が巻取機チャンバ２８の内部に設置されている。電極２３は、電極ホルダー２９により両方端部が処理チャンバ２１の内壁に固定されている。
【００２５】
同図では、電極が表面処理される試料の進行方向と平行するようにチャンバ内に設置されているが、これとは異なって垂直方向に、即ち、試料の進行方向と同一平面上から垂直方向に設置する場合も、本発明の電極固定装置を適用することができる。また、一つの電極だけでなく複数個の電極を試料の何れ一面または上下面に対向するように設置する場合も、本発明の電極固定装置を使用することができる。
【００２６】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置の一実施例では、図３に示すように、電極３１の端部は、内部ホルダーとしての上部プレート３２ａ及び下部プレート３２ｂが上、下面に密着した状態で締結手段３３により固定され、各プレート３２ａ、３２ｂの外側面には上部電極ホルダー３４及び下部電極ホルダー３５が各プレート３２ａ、３２ｂ全体を覆うように夫々密着した状態で、締結手段３６により各プレート３２ａ、３２ｂと電極ホルダー３４、３５とを固定させている。各電極ホルダー３４、３５は、各プレート３２ａ、３２ｂが挿合できるように内部面に溝が形成されることが望ましい。締結手段３６としては、通常のスクリューやリベットなどが望ましいが、その他にも同じ機能を行う手段であれば如何なるものでも使用することができる。図示されてない電極の他方端部も同様に内部ホルダー及び電極ホルダーにより固定される。
【００２７】
電極を固定している上部プレート及び下部プレートが印加された電源を電極に伝達するためには、伝導性材質により構成されるべきである一方、上部電極ホルダー及び下部電極ホルダーは、印加された電源が電極だけに伝達されて外部とは通電されないように絶縁性能を維持すべきである。そのために電極ホルダーは比較的耐熱性の優れる絶縁物質により製作され、電極が周辺のチャンバ壁などと通電されることを遮断するために、電極の端部及びプレートを完全に覆うようになっている。
【００２８】
上部プレート及び下部プレートは電極自体に付着されて、電極を電極ホルダーに堅固に結合させる。プレートは、一方側面は電極に他方側面は電極ホルダーに夫々接するようになって、電極及び電極ホルダーと所定摩擦力を維持するようになる。結果的に、電極と電極ホルダーは、上部プレート及び下部プレートを挟んで結合を堅固に維持し得るようになっている。
【００２９】
電極を新たに交替する場合は、プレートから電極を分離せず、プレートが付着されたまま電極を交替することが望ましい。
【００３０】
電極に電源を印加する方法には多様な例があり、以下、本発明に係る電極固定装置に電源印加手段が包含された場合について説明する。
【００３１】
図４ａ、ｂは、本発明の他の実施例であって、正断面及び横断面を夫々示している。電極４０の両端部は上、下側で上部プレート４１及び下部プレート４２により夫々密着固定されている。各プレート４１、４２は、上部ホルダー４３及び下部ホルダー４４により夫々密着固定されている。
【００３２】
上部プレート４１には、電線などのリードライン４６が連結されている。図示された実施例では上部プレートにリードラインが連結されているが、下部プレートに連結することもできる。
【００３３】
上部ホルダー４３と下部ホルダー４４とはスクリューなどの締結手段４５により強く結合されて電極４０と各プレート４１、４２とを固定させ、各電極ホルダー４３、４４は更に固定手段によりチャンバ壁に固定されている。参照番号４７は、チャンバ内壁（図示せず）と下部ホルダー４４とを固定させるための締結部位を意味する。図示されてないが、上部プレート４１と下部プレート４２も電極４０を挟んでスクリューなどの締結手段により相互締結される。
【００３４】
前記実施例において、リードライン４６は、電極ホルダー４３に形成された貫通溝を経由して電極４０を覆っている上部プレート４１に接触するので、電極４０に間接的に電気が流れるようになる。それとは異なってプレートの一部面に開口部を形成して、電極に電気印加手段を直接接触させることもできる。また、上部ホルダーと下部ホルダー間の結合部（例えば、スクリュー）にリードラインを連結することで、電気が通るようにすることもできる。
【００３５】
リードライン４６の他方側はチャンバ外部の電源供給装置に連結され、チャンバ壁にリードライン４６が貫通する部分は、絶縁されるようにチャンバ壁上に絶縁部を形成するか、または、リードライン４６自体に絶縁物を被覆することが望ましい。
【００３６】
本発明において、各電極ホルダー４３、４４は、電極４０が所定形態を維持し得るように張力を与える役割をするが、特に、重合処理の進行中に重力によって電極４０の一部分が下方側に垂れないように、該電極４０の両方側から引張力を与えることが重要である。重合処理を長時間行う場合、処理時間の経過に従って電極の温度が上昇しながら電極に熱変形が発生する。電極の熱変形によって電極の形状が重力方向に垂れるようになり、そのような現象を図５に示した。図５の下側図面では、電極５２が熱変形により延びて下方側に垂れた現象が示されている。参照番号５１は電極ホルダーを意味する。電極が垂れると、試料と電極間の距離が電極部位によって異なるようになる。従って、試料表面に重合される膜の均一性（ｕｎｉｆｏｒｍｉｔｙ）が低下され、重合される膜厚が均一でないと試料表面に形成された重合物の密着性が悪くなるので、重合膜の耐久性が低下して製品性にも致命的な結果をもたらすようになる。
【００３７】
電極ホルダーが電極に持続的に引張力を与える手段を以下の実施例で説明する。
【００３８】
図６ａは、本発明に係る電極固定装置における引張力調節手段として、電極の長さ方向に弾性力を与える弾性部を備えた実施例を示した平面図である。
【００３９】
電極６２はホルダー６３に挿入されたまま固定され、該ホルダー６３は支持台６４上に位置している。支持台６４はチャンバの内壁に固定される。スライディングガイドピン６２が支持台６４の上面からホルダー６３を貫通して延長されている。ホルダー６３は、スライディングガイドピン６２により電極の長さ方向に移動することができる。支持台６４の一方端部とホルダー６３間には、弾性体として圧縮スプリング３８が掛止されている。
【００４０】
図６ｂは、図６ａのＡ−Ａ線断面図であって、上述された各構成要素をより明確に示している。特に、支持台６４の一方端部とホルダー６３間の圧縮スプリング６８の位置を詳細に把握することができる。
【００４１】
図７ａは、ホルダー６３が電極６２の両方側で該電極６２を固定している状態を示している。図面では、電極の両方側に移動可能なホルダーが設置されているが、それとは相違するように、電極の一方側ホルダーは位置を固定させて他方側のホルダーだけを移動できるように構成することもできる。図示された電極６２は、プラズマ重合処理を行う前の状態で、該電極６２は両方側のホルダー６３に固定されて張り切った状態であるので、電極の初期長さＦは各ホルダー６３間の距離と同一になる。
【００４２】
図７ｂは、プラズマ重合処理を長時間行って熱変形により電極の長さがＦ′だけ延びた状態を示している。この時にも電極は下方側に垂れず張り切った状態に維持される。これは、本発明に係る電極の引張力附与手段により可能になる。図面を見ると、ホルダー６３と支持台６４間の圧縮スプリング６８が弾性力により電極６２の長さ方向にホルダー６３を押し出すため、電極６２を固定させる各ホルダー６３間の距離がＦ′だけ延びるようになる。従って、熱変形による電極の垂れ現象が発生しても、電極が下方側に垂れず張り切った状態を維持するものである。
【００４３】
本発明の電極構造は、電極の端部上、下面に夫々プレートを密着させた状態で締結手段により固定させ、その後、各プレートの上、下部に電極ホルダーを密着させた状態で締結手段を利用して固定する順に組立てられる。
【００４４】
このように組立られた電極構造は、処理チャンバの内部に固定された状態で使用され、電極を解体する場合は、上記の逆順に解体すれば良い。本発明は、後述する実施例から分かるように、電極の着脱をより容易に行うことができる。
【００４５】
図８を参照すると、両端部が処理チャンバの内壁に固定される下部電極ホルダー８０の上方側に上部ホルダー８１が挿入設置され、そのように設置された下部ホルダー８０と上部ホルダー８１間には、電極８２の一端部が固定される棒状の内部ホルダー８３が位置される。
【００４６】
以下、図９を参照して前記電極構造を詳しく説明する。
下部ホルダー８０の上面後方側には上方側に突出するように主壁部８５が長さ方向に形成され、該主壁部８５の前方側両端には突出部８６が突成され、該突出部８６と主壁部８５間に形成される挿入溝８８には棒状の内部ホルダー８３及び上部ホルダー８１の両方端部が順に挿入するようになっている。
【００４７】
また、挿入溝８８の上面には、長さ方向に内部ホルダー８３の下面が安着するように下部安着溝８８ａが形成され、内部ホルダー８３の上面が接する上部ホルダー８１の下面には上部安着溝８１ｂが形成されている。
【００４８】
また、各突出部８６の間には、一端部が巻回されるように内部ホルダー８３に固定されている板状の電極８２が載置されるように電極安着部８７が形成されている。
【００４９】
本実施例において、電極に電源を印加するためには、棒状の内部ホルダー８３を上部ホルダー８１及び下部ホルダー８０の外部に延長されてリードラインと連結させるか、または、前記実施例と同様に、上部ホルダー８１に貫通溝を形成してリードラインを内部ホルダー８３または電極８２に連結させることができる。
【００５０】
一方、下部ホルダー８０に形成された主壁部８５、突出部８６及び上部ホルダー８１の各両方端部には、それらの結合時に相互連通するようにピンホール８５ａ、８６ａ、８１ａが夫々穿孔形成され、そのように穿孔形成された各ピンホール８５ａ、８６ａ、８１ａに挿脱できるように固定ピン８４が具備されて、下部ホルダー８０から上部ホルダー８１が離脱されることを防止する。
【００５１】
図１０は、図８のＡ−Ａ′部を切取って示した断面図で、図１１は、図８のＢ−Ｂ′部を切取って示した断面図である。
【００５２】
固定ピン８４の前端部外周面には、所定深さに半円型のストッピング溝８４ａが切削形成されている。下部ホルダー８０の突出部８６には、下面から垂直方向に形成されると共にピンホール８６ａに連通するように垂直ホール（図１１の８９）が形成されている。該垂直ホール８９にはスプリング９０により弾支されるストッパーボール９１が挿入され、固定ピン８４のストッピング溝８４ａにストッパーボール９１が挿脱されることによって固定ピン８４の離脱が防止されるようになっている。また、垂直ホール８９の下端部入口側の内周面に雌ネジ部が形成され、スプリング９０の下端部に螺合されるように外周面に雄ネジ部が形成されたスクリューキャップ７２が螺合されている。
【００５３】
以上のような電極構造を組立てる場合は、下部ホルダー８０の上面に形成された下部安着溝８８ａに棒状の内部ホルダー８３が安着されると共に該内部ホルダー８３に連結された板状の電極８２が電極安着部８７に載置されるように設置する。
【００５４】
また、下部ホルダー８０の挿入溝８８に上部ホルダー８１の両端部が挿入されるように結合する。上部ホルダー８１の下面に形成された上部安着溝８１ｂには内部ホルダー８３の上面が接触するようになる。
【００５５】
このような状態で、下部ホルダー８０の主壁部８５の後方側からピンホール８５ａに固定ピン８４を挿入して、上部ホルダー８１のピンホール８１ａ及び下部ホルダーの突出部８６に形成されたピンホール８６ａを順次通過するように結合する。そして、固定ピン８４に形成されたストッピング溝８４ａが垂直ホール８９の上方側を通過するとき、スプリング９０の弾力により上方側に支持されていたストッパーボール９１が固定ピン８４のストッピング溝８４ａに挿入される。
【００５６】
一方、このように組立された本発明に係る電極構造を解体する場合は、上記の逆順に進行させる。
【００５７】
即ち、使用者が固定ピン８４を挿入させるときとは反対方向に引っ張ると、該固定ピン８４のストッピング溝８４ａに挿入されていたストッパーボール９１が下方側に移動しながらストッピング溝８４ａから離脱され、引っ張り続けると、固定ピン８４が各ホルダーのピンホールから完全に離脱される。このような状態で上部ホルダー８１と電極８２とが連結された内部ホルダー８３を順に下部ホルダー８０から分離させる過程により電極の解体が簡単に行われる。
【００５８】
［産業上の利用可能性］
以上説明したように、本発明は、プラズマ重合処理装置において、電極をチャンバ内で效果的に固定させることで、重合処理される基板との間隔を一定に維持すると共に、電極の交替を容易に行いえる効果がある。また、電源が印加される部分以外は絶縁されるので、感電などの危険を事前に防止することができるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】
従来のプラズマ重合処理装置を示した概略図である。
【図２】
プラズマ重合連続処理装置の一例を示した断面図である。
【図３】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置の一実施例を示した斜視図である。
【図４ａ】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置の他の実施例を示した縦断面図である。
【図４ｂ】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置のその他の実施例を示した縦断面図である。
【図５】
重合処理による電極の熱変形を示した模式図である。
【図６ａ】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置のその他の実施例を示した平面図である。
【図６ｂ】
図６ａのＡ−Ａ線断面図である。
【図７ａ】
熱変形前の電極構造を示した断面図である。
【図７ｂ】
熱変形後の電極構造を示した断面図である。
【図８】
本発明に係るプラズマ重合装置の電極固定装置のその他の実施例を示した斜視図である。
【図９】
図８の実施例を具体化して示した分解図である。
【図１０】
図８のＡ−Ａ′線断面図である。
【図１１】
図８のＢ−Ｂ′線断面図である。
【図２】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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