(57)【要約】商業グレードのアンモニアが、まず、液相油分離システム（１４）に該液体アンモニアを通過させることにより、半導体製造用に使用するために精製される。該濾過した液体アンモニアをついで、静かにアンモニア蒸気を形成してアンモニア蒸気内への不純物のエントレインメントを防止する気化器（１８）に通過させる。該蒸気は、蒸気フィルターシステム（７８，８２）を通過し、次いでバブルカラム（９４）を通過する。バブルカラム（９４）は、バブルが十分に小さく、バブル内に捉えられているいかなる粒子をも、バブルの表面に移動してそれによって液相に行くことを保証する速度で移動するように、設計されている。収集した蒸気は、蒸気フィルタ（１０４，１０６）に導かれ、収集される。無水アンモニアを所望する場合には、アンモニア蒸気は、バブルカラムの上流で収集される。
2004521055.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体アンモニアを油分離器に通過させ；
前記分離器から導いた前記液体アンモニアを、静かに気化してアンモニア蒸気を形成し；
前記アンモニア蒸気を、水酸化アンモニウムの飽和溶液を含有するバブルカラムに通し；及び
前記水酸化アンモニウムを通過後の前記アンモニア蒸気を収集することを含む、液体アンモニアの精製方法。
【請求項２】
前記液体アンモニアが前記油分離器を通過する前に第１液体フィルタを通過し、
前記油分離器はコアレッサーである、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記アンモニアが気化器中で気化され、
前記気化器はドレインに向かって傾いており、これによって、より高い密度の不純物が前記気化器から排出される、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記バブルカラムが高さを有し、
バブルが形成され、
前記バブルは、前記バブル中に巻き込まれるいかなる粒子についても、前記バブルカラムを通過する間にバブルの側壁と接触してこれによって前記液体水酸化アンモニウムにより捉えられる十分な時間を与えるのに十分に小さいサイズを有する、請求項２記載の方法。
【請求項５】
液体アンモニアが前記気化器の液面より下に導入される、請求項３記載の方法。
【請求項６】
前記静かな気化器から得られた前記蒸気が蒸気フィルターシステムを通過する、請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記蒸気フィルターシステムが、第１蒸気フィルタおよび第２蒸気フィルタを含む、請求項６記載の方法。
【請求項８】
前記バブルカラムからの前記蒸気を蒸気フィルターシステムに通過させることをさらに含む、請求項５記載の方法。
【請求項９】
液体アンモニアを液相分離システムに通過させて前記液体アンモニアから油を除去し；
前記液体アンモニアを気化器に導入し；及び
前記気化器において、前記液体アンモニアから蒸気アンモニアを分離することを含む、アンモニアの精製方法。
【請求項１０】
前記気化器が静かに前記液体アンモニアを気化する、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記アンモニアガスのバブルをバブルカラムに通過させて、前記バブルカラムを通過したアンモニアガスを収集することをさらに含み、
前記バブルカラムは、前記バブル中の固体不純物が前記バブルカラム中の液相に進むことを許容する有効長を有する、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
液体アンモニアを油分離器に通過させ；
前記分離器から導いた前記液体アンモニアを、静かに気化してアンモニア蒸気を形成し；
前記アンモニア蒸気を、蒸気フィルタを通過させ；および前記アンモニア蒸気を収集することを含む、液体アンモニアの精製方法。
【請求項１３】
前記液体アンモニアが前記油分離器を通過する前に第１液体フィルタを通過し、
前記油分離器はコアレッサーである、請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
前記アンモニアが気化器中で気化され、
前記気化器はドレインに向かって傾いており、これによって、より高い密度の不純物が前記気化器から排出される、請求項１２記載の方法。
【請求項１５】
前記アンモニアが１fpsよりも低い速度で気化する、請求項１２記載の方法。
【請求項１６】
前記アンモニアが０．１fpsよりも低い速度で気化する、請求項１５記載の方法。
【請求項１７】
前記アンモニアが０．０２fpsよりも低い速度で気化する、請求項１６記載の方法。
【請求項１８】
前記アンモニア蒸気をバブルカラムに通過させることをさらに含み、ここで、
前記バブルカラムが高さを有し、
バブルが形成され、
前記バブルは、前記バブル中に巻き込まれるいかなる粒子についても、前記バブルカラムを通過する間にバブルの側壁と接触してこれによって前記液体水酸化アンモニウムにより捉えられるのに十分な時間を与えるのに十分に小さいサイズを有する、請求項１５記載の方法。
【請求項１９】
液体アンモニアが前記気化器の液面より下で、前記ドレインの方向に導入される、請求項１４記載の方法。
【請求項２０】
前記バブルカラムからの前記蒸気を、前記蒸気フィルターシステムに通過させる、請求項１８記載の方法。
【請求項２１】
液体アンモニアを液相分離システムに通過させて前記液体アンモニアから油を除去し；
前記液体アンモニアを気化してアンモニア蒸気を形成し；及び
前記アンモニア蒸気のバブルをバブルカラムに通過させて、前記バブルカラムを通過したアンモニア蒸気を収集することを含み、ここで、
バブルカラムは、前記バブル中の固体不純物が前記バブルカラム中の液相に進むことを許容する有効長を有する、アンモニアの精製方法。
【請求項２２】
アンモニアを精製するのに適応した気化器であって、
底表面を有する伸長したタンクと；
前記タンクの第１端に位置するドレインと；
前記タンクにおいてアンモニアを加熱するためのヒーターアダプターとを含有し、
前記タンクの第１端が前記タンクの第２端よりも低くなるように傾斜している、気化器。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
超高純度の水酸化アンモニウムは一般に、半導体製品、例えばマイクロプロセッサーの製造に使用されている。特に、これは集積回路の形成中、クリーニング溶液として使用される。これら回路がより小さくなるに従い、不純物が許容されなくなってくる。特に、利用される水酸化アンモニウムからは、いかなる伝導性混入物、特に金属混入物をも除かなければならない。また、高純度特殊アンモニアガスには、集積回路市場がある。
【０００２】
一般的には、商業的に製造されたアンモニアは、全体的にこのような適用には適当ではない。たとえば肥料用のアンモニアの製造では、オイルおよび金属粒子を含む混入物が混入してしまう。該商業グレードまたは肥料グレードのアンモニアは１０ppmまでのフリーオイルと数ppmのカドミウム、カルシウム、ナトリウム、鉄、亜鉛、およびカリウムを含有する可能性がある。集積回路製造に有用であるためには、金属濃度は約１００pptよりも低いべきである。
【０００３】
この商業グレードのアンモニアを精製するために設計された方法は数多くある。しかしながら、種々の理由から、これらは最適に設計されていない。ホフマン（Hoffman）らによる米国特許5,496,778および5,846,386は、液体アンモニアリザーバーからアンモニア蒸気を取り出して、該蒸気を粒子除去可能なフィルタに通過させることを開示している。アンモニア中の不純物の量が多いため、気相中のこれら不純物の除去は効率的ではなく、かなり無効である。多くの金属粒子が小さいサイズであるため、蒸気濾過は無効となる。さらに、エバポレータの設計から、不純物のエントレインメントが起こってしまう。
【０００４】
特開平8-119626号公報は、アンモニアガスをアンモニアの飽和水溶液に通過させることを開示している。これによって、ミストへのエントレインメントが可能となるが、引き続くミスト分離器が必要である。さらに、装置の設計により、粒子には、液体浴中で除去されるのに十分な時間が付与されていない。アンモニアからオイルを除去するために設計された濾過方法がある。しかしながら、超高純度アンモニアを製造することはできない。
【特許文献１】米国特許5,496,778
【特許文献２】米国特許5,846,386
【特許文献３】特開平8-119626号公報
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明は、まず、液体アンモニアを液相フィルター／コアレッサーを用いて濾過／集合させて、オイルにより運ばれた金属粒子及びオイルのほとんど全てを除去することにより、超高純度アンモニアが商業グレードのアンモニアから得られることを実現することを前提とする。部分的に洗浄されたアンモニア液体は、ついで、不純物のエントレインメントを促進するであろうバブルまた乱流を起こすことなく蒸気形成を促進する静かなエバポレータ（quiescent evaporator）に導入される。気相濾過後、アンモニア蒸気はさらに水性スクラバーに導入可能である。水性スクラバーは特に小さいバブルを提供するように設計されており、該小バブルは次いで飽和水浴を経由して通路を通過する。該通路は、バブル内のいかなる粒子もバブル壁と接触して水性液に移動するのに十分な時間を提供するものである。さらに、これは、不純物の再巻き込み（エントレインメント）を防止するための最小乱流とともに行われる。スクラバーから収集されたアンモニア蒸気は、超高純水と組み合わされて、半導体産業の使用に適した水酸化アンモニウムの超高純度溶液を形成する。無水アンモニア上のアンモニアガスが所望生成物である場合には、該目的での精製アンモニアガスは、気相濾過後に収集可能である。
【０００６】
本方法は、大規模な自立プラントで実施可能であり、又は、アンモニアガスまたは水酸化アンモニウムのオンサイト製造するためにスケールダウンすることも可能である。
【０００７】
本発明の目的及び優位点は、以下の詳細な記載と図面からさらに理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
本発明は、超高純度アンモニアを製造するための分離装置またはシステム１０である。該システムは、気化器１８に連結した第１及び第２液体フィルタ／セパレータ１２および１４を含有する。可能な限り、部材は、本方法を妨害しない材料からなり、一般的にはステンレス鋼、テフロン（登録商標）、又はテフロン（登録商標）ライニングからなる。
【０００９】
より詳細には、アンモニアのタンカートラック又はより小規模用にはアンモニアのポータブルタンクであり得る、アンモニアタンク３４は、液体アンモニアを装置１０に提供する。該アンモニアはインレット３８から導入され、ライン４０を通過して第１液体分離プレフィルタ１２に導かれる。第１フィルタ１２から、アンモニアはライン４２を通過して液体／液体コアレッサー１４に導入される。
【００１０】
好ましくは、プレフィルタ１２は、アンモニアオイルエマルションを妨害する可能性のある固体を除去するポリプロピレンフィルタである。これは、１５psid最大圧力低下を有する１−１０ミクロンフィルタ(好ましくは１０)である。液体／液体コアレッサー１４は、８−１０ppmインレットと１−２ppmアウトレット（オイルなし）となるように設計されている。コアレッサーは２段階を有する水平コアレッサーであってもよい。第１段階は、ポリプロピレンフィルター部を通過することにより、小さい油滴をより大きな液滴に集合させるものである。これは、０．５から４０dyne/cmの表面張力を有するエマルションと共に使用するように設計されている。第２段階では、より大きな液滴がセットリングゾーンで連続アンモニア相から分離する。コアレッサー１４を通過した圧力低下は、０−１０psid、好ましくは０−１５psidであるべきである。フィルタ１２およびセパレータ１４において分離したオイルと他の不純物は、それぞれドレイン４４および４６を経由して処分される。
【００１１】
液相アンモニアはコアレッサー１４から気化器１８に流れる。気化器１８は単に、気化器の底部に位置するウオータージャケット５０などの熱交換器を有するタンクである。アンモニアは、アンモニアサブサーフェスに注がれる液体アンモニアインレット５２を通過して気化器に入る。気化器はさらにアンモニアガスアウトレット５４を有する。
【００１２】
図示したように、タンク１８は、気化器１８中の液体のより濃い成分を排出可能とするようにドレイン５８に向かって傾斜している。インレット５２は、ドレイン５８に向けられた曲部５３を有する導管である。導入されたアンモニアはドレイン５８に向かって流れるように促進される。より濃い成分は、金属粒子を伴ったアンモニアオイルエマルション又はオイルであろう。このより濃い成分は、ドレイン５８を経由して、アンモニアブローダウンポット６４に向かうバルブ６０に排出される。周期的に、バルブ６０は、アンモニアがライン７４からインレット３８に戻るようにするポンプ７２に、ライン７０を経由して液体を導く。これは、気化器１８中の液体部を再循環させるのに使用可能である。
【００１３】
気化器１８のアウトレット５４は、ドレイン８４および８６をそれぞれ有する第１および第２気相フィルタ７８および８２に導かれる。フィルタ７８および８２は、１５psidの最大圧力低下を有する０．０５ミクロンから０．２ミクロンのテフロン（登録商標）被覆フィルタである。アンモニア蒸気はフィルタ８２からバルブ８１に流れる。バルブ８１は、蒸気を、アウトレット８３へ、又は、バブルカラム９４の底部９２に導管９０によって連結したマニフォルド８８へ導入可能である。アウトレット８３に向かう蒸気は、無水アンモニアとしてさらに使用されるため、収集される。
【００１４】
導管９０に導入されたアンモニア蒸気は、インレット９８を経由してバブルカラムの底に導入され、アンモニアバブルが形成されて前記カラムを横切って一様に分配されるスパージ板１００を通過する。これらのバブルは、水９３を通ってカラム９４の上部に上がり、次いでヘッドスペース１０１、蒸気アウトレット１０２に移動する。
【００１５】
バブルカラム９４は、小さいバブルを製造するために特別に設計されている。カラムの長さはさらに、バブル中のいかなる粒子もバブル内からバブル壁にストークスおよびブラウン運動で移動可能な十分な時間、液体中に生成したバブルが滞在するように設計されている。このように、カラムの長さは、バブルがカラム中の液体を通過する速度およびバブルサイズに依存するものであろう。精製を促進するために、バブルサイズは小さくするべきであり、アンモニア蒸気が導入される速度は制御されるべきである。
【００１６】
固体テフロン（登録商標）スパージ板１００は、可能な限り多くの小さい穴１０８を有する。約１０フィートの液の深さで、４フィートの蒸気スペースを有するカラムを用いる場合、約４２lbs/hr-ft2=lbs/hr.ftの気流で、いかなる不純物もカラム内の液体中に分離されるように、穴１０８の直径は約３／６４インチ以下であるべきである。
【００１７】
蒸気アウトレット１０２は、第３および第４蒸気フィルタ１０４および１０６に連結する。これらフィルタは好ましくは、０．２ミクロンであれば１５psiの最大圧力低下と考えられる。フィルタ１０６は、収集ユニット、又は、高純水と組み合わされて水酸化アンモニウムを形成可能な混合ユニットのいずれかに、アンモニアガスを導入する。
【００１８】
本方法によれば、タンク３４からのアンモニアは常温でインレット３８に導入され、フィルタ１２、および、オイル濃度を約１−２ppmよりも低くする液体／液体コアレッサー１４を通過する。液状オイル内に巻き込まれた金属粒子もまた、除去される。収集された不純物は、ドレイン４４および４６を経由して排出される。
【００１９】
圧力によって、残存する液体アンモニアはライン５２を経由して気化器１８に流れる。ウオータージャケット５０等のヒータは、アンモニアの温度を、蒸気状アンモニアを生成するのに十分な程高いが、アンモニアの沸騰を引き起こす程には高くない温度に保つ。加熱水の温度は、約５５−６５℃以下であるべきである。加熱水は、ライン１１２を経由してウオータージャケット５０に導入され、ライン１１４を経由して排出される。気化器は、静かに、すなわち、液体アンモニアの最小撹拌で、操作される。さらに、気化器内の液体レベルより上の気化スペースは、非常に低い気化速度となるようなものである。一般的には、最大気化速度は、０．５から１．０fpsである。好ましくは０．１fpsよりも低く、最も好ましくは０．０２fpsよりも低く、これであれば、蒸気中に液体が巻き込まれないという更なる保証が得られる。これは、液体アンモニア及びいかなる巻き込まれた不純物も、気化器を脱出することを防止するものである。
【００２０】
タンク１８が傾斜しているので、より濃い不純物がドレイン５８に集められることになる。この集められた不純物はアンモニアブローダウンポット６４に流れる。
【００２１】
気化器１８のヘッドスペース１１８中で形成する蒸気は、蒸気フィルタ７８および８２を通過して流れる。ヘッドスペース１１８中の圧力は好ましくは約１００−１２５psigである。第１蒸気フィルタ７８は、約０．１ミクロンのサイズを有する粒子を除去するように設計されている。そして、第２蒸気フィルタ８２は、約０．０５ミクロンのサイズの不純物を除去するように設計されている。所望であれば、蒸気は、バルブ８１によってアウトレット８３に導かれ、収集可能である。
【００２２】
または、蒸気は、バルブ８１によって、バブルカラム９４の底部９２に導くライン９０に気流を分割するマニフォールド８８に導かれる。カラム９４に入る時のガス圧は好ましくは約５０−６０psigである。
【００２３】
バブルカラムは、飽和した高純度水酸化アンモニウムで充填される。アンモニアガスは、水酸化アンモニウム溶液を通して上がるバブルを形成するスパージ板１００中の穴を通過する。
【００２４】
ウオータージャケット１２０等の熱交換器はカラム中の水酸化アンモニウムを約２０から約３０℃の温度に保持する。バブルは水酸化アンモニウムを通過して上がり、アンモニア蒸気はバブルカラムからポート１０２を通過する。バブルは、液体水酸化アンモニウムおよび不純物のエントレインメントを防止する速度で移動する。アンモニア蒸気は、カラム９４から第３および第４蒸気フィルタ１０４および１０６に流れ、これらのフィルタは、０．２ミクロンのサイズの粒子を除去するものである。
【００２５】
アンモニア蒸気は、ここで、水酸化アンモニウムを形成するために、高純水と混合する準備がなされている。または、アンモニア蒸気は、ガス又は無水液体として使用するために収集可能である。この水酸化アンモニウムは、集積回路の製造に使用するのに適当である。一般的には、約１００ppt以下の金属粒子、好ましくはそれより低い濃度の金属粒子を有する。
【００２６】
以上のように、本発明の利用により、従来の分離装置に付随する問題がなく、極めて純粋なアンモニアガスが形成される。特に、蒸発前に液相中の主な不純物を除去することにより、不純物のエントレインメントが最小化される。さらに、乱流エバポレータと反対の、静かなエバポレータを使用することにより、気相中の不純物のエントレインメントが再度最小化される。これによって、蒸気フィルタを使用するさらなる精製が可能となる。最後に、バブルカラムは、不純物のエントレインメントを最小化するように設計されていると同時に、いかなる巻き込んだ不純物をも収集して、バブルカラム中の液相により保持されうる適切な分離時間を提供するものである。
【００２７】
本開示は、本発明を実施する好ましい方法に沿った本発明の開示である。しかしながら、発明自体は、添付して特許請求の範囲により定められるべきである。
［図面の簡単な説明］
【００２８】
［図１］  本発明の図式図である。
［図２］  本発明での使用されるバブラーの断面図である。
［符号の説明］
１４  油分離器
１８  気化器
７８  蒸気フィルターシステム
８２  蒸気フィルターシステム
９４  バブルカラム
【国際公開パンフレット】
2004521055.tif 000003
2004521055.tif 000004
2004521055.tif 000005
2004521055.tif 000006
2004521055.tif 000007
2004521055.tif 000008
2004521055.tif 000009
2004521055.tif 000010
2004521055.tif 000011
2004521055.tif 000012
2004521055.tif 000013
2004521055.tif 000014
2004521055.tif 000015
2004521055.tif 000016
2004521055.tif 000017
2004521055.tif 000018
2004521055.tif 000019
2004521055.tif 000020
2004521055.tif 000021
2004521055.tif 000022
2004521055.tif 000023
2004521055.tif 000024
2004521055.tif 000025
2004521055.tif 000026
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004521055.tif 000027
2004521055.tif 000028
【手続補正書】
【提出日】平成15年8月22日(2003.8.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体アンモニアを油分離器（１４）に導入することを含む液体アンモニアの精製方法であって、
液体アンモニアを油分離器（１４）に通過させること、および、
前記油分離器（１４）から導いた前記アンモニアを静かに気化してアンモニア蒸気を形成し；
前記アンモニア蒸気を、水酸化アンモニウムの飽和溶液を含有するバブルカラム（９４）に通し；及び
前記水酸化アンモニウムを通過後の前記アンモニア蒸気を収集すること
をさらに含むことを特徴とする、液体アンモニアの精製方法。
【請求項２】
前記バブルカラム（９４）が高さを有し、
バブルが形成され、
前記バブルは、該バブル中に巻き込まれたいかなる粒子についても、前記バブルカラム（９４）を通過する間にバブルの側壁と接触してこれによって前記液体水酸化アンモニウムにより捉えられる十分な時間を与えるのに十分に小さいサイズを有する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
液体アンモニアを液相分離器（１４）内に導入して液体アンモニアから油を除去することを含むアンモニアの精製方法であって、
前記液体アンモニアが液相分離器（１４）を通過すること、および、
前記液体アンモニアを気化器（１８）に通過させ；
前記気化器（１８）において、前記液体アンモニアから蒸気アンモニアを分離すること
をさらに含むことを特徴とする、アンモニアの精製方法。
【請求項４】
アンモニアガスのバブルをバブルカラム（９４）に通過させ、
前記バブルカラムを通過したアンモニアガスを収集することをさらに含み、
前記バブルカラム（９４）は、前記バブル中の固体不純物が前記バブルカラム中の液相に進むことを許容する有効長を有する、請求項３記載の方法。
【請求項５】
液体アンモニアを油分離器（１４）に導入することを含む液体アンモニアの精製方法であって、
前記液体アンモニアを油分離器（１４）に通過させること、および、
前記分離器（１４）から導いた前記液体アンモニアを静かに気化してアンモニア蒸気を形成し；
前記アンモニア蒸気を、蒸気フィルタ（７８，８２）に通過させ；および
前記アンモニア蒸気を収集すること
をさらに含むことを特徴とする、液体アンモニアの精製方法。
【請求項６】
前記アンモニア蒸気をバブルカラム（９４）に通過させることをさらに含み、
前記バブルカラム（９４）が高さを有し、
バブルが形成され、
前記バブルは、該バブル中に巻き込まれたいかなる粒子についても、前記バブルカラムを通過する間にバブルの側壁と接触してこれによって前記液体水酸化アンモニウムにより捉えられる十分な時間を与えるのに十分に小さいサイズを有する、請求項５記載の方法。
【請求項７】
前記バブルカラム（９４）からの前記蒸気を蒸気フィルターシステム（１０４，１０６）に通過させることをさらに含む、請求項１、２、４、または６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記アンモニアが気化器（１８）中で気化され、前記気化器はドレイン（５８）に向かって傾いており、これによって、より高い密度の不純物が前記気化器（１８）から排出される、請求項１、２、または５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記気化器（１８）は、液体アンモニアを静かに気化する、請求項３記載の方法。
【請求項１０】
前記静かな気化器（１８）から得られた蒸気を、蒸気フィルターシステム（７８，８２）に通過させる、請求項１、２、５、６、または９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記フィルターシステムが、第１および第２蒸気フィルタ（７８，８２，１０４，１０６）を含む、請求項７または１０に記載の方法。
【請求項１２】
液体アンモニアが、気化器（１８）の液面下に導入される、請求項３または８ないし１０のいずれか1項に記載の方法。
【請求項１３】
液体アンモニアが、ドレイン（５８）の方向に導入される、請求項８に従属した請求項１２記載の方法。
【請求項１４】
液体アンモニアを、前記油分離器（１４）を通過する前に第１液体フィルタ（１２）に通過させ、前記油分離器はコアレッサーである、請求項１ないし１３のいずれか1項に記載の方法。
【請求項１５】
前記液体アンモニアが好ましくは１fpsよりも低い速度で気化する、請求項１ないし１４のいずれか1項に記載の方法。
【請求項１６】
液体アンモニアを分離器（１４）内に導入して液体アンモニアから油を除去することを含むアンモニアの精製方法であって、
液体アンモニアを液相分離器（１４）に通過させること、並びに、
前記液体アンモニアを気化してアンモニア蒸気を形成し、及び、
前記アンモニア蒸気のバブルをバブルカラム（９４）に通過させ、前記バブルカラム（９４）を通過したアンモニア蒸気を収集すること
を含み、ここで、バブルカラム（９４）は、前記バブル中の固体不純物が前記バブルカラム中の液相に進むことを許容する有効長を有することを特徴とする、アンモニアの精製方法。
【請求項１７】
アンモニアを精製するのに適応した気化器（１８）であって、
底表面を有する伸長したタンクと；
前記タンクの第１端に位置するドレイン（５８）と；
前記タンクにおいてアンモニアを加熱するためのヒーター（５０）アダプターとを含有し、前記タンクの第１端が前記タンクの第２端よりも低くなるように傾斜している、気化器。請求項１ないし２２を、新たなる請求項１ないし１７に補正した。
【国際調査報告】
2004521055.tif 000029
2004521055.tif 000030
2004521055.tif 000031