(57)【要約】誘導位置検出装置（１０）は、磁性ボール（２２）の列を含む長軸を有するスケール（２０）と、スケール（２０）に対して移動可能なトランスデューサ（３０）と、を含む。トランスデューサ（３０）は、スケール（２０）内に磁界を誘導する手段を含む。磁気マーカー（２３）は、スケール（２０）に沿って軸方向に間隔を置いた位置に設けられる。トランスデューサ（３０）がスケール（２０）に沿って移動すると、検出された磁気マーカー（２３）のパターンによって、トランスデューサの位置を決定することができる。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
長軸と、該長軸の方向に延び該長軸に垂直な方向に周期的に変化する寸法を有する磁性材料からなる要素と、を有する第一部材と、
前記第一部材に対して前記長軸に沿って移動可能であり、前記要素内に磁界を誘導する手段を含む第二部材と、を含み、
前記要素とは別に、検出可能な基準マーカーが前記第一部材に設けられていることを特徴とする誘導位置検出装置。
【請求項２】
複数のマーカーを含むことを特徴とする請求項１に記載の誘導位置検出装置。
【請求項３】
前記複数のマーカーが、隣接するマーカーと不均一な間隔で配置されることを特徴とする請求項２に記載の誘導位置検出装置。
【請求項４】
隣接するマーカー間の間隔が、それぞれ固定値の倍数であることを特徴とする請求項３に記載の誘導位置検出装置。
【請求項５】
前記固定値は前記要素の周期的に変化する寸法の周期に等しいことを特徴とする請求項４に記載の誘導位置検出装置。
【請求項６】
前記マーカーが相互に異なる特徴信号を生成することを特徴とする請求項２から５のいずれかに記載の誘導位置検出装置。
【請求項７】
前記マーカーは磁性を帯びており、一部のマーカーはＮ極を検出可能であり、他のマーカーはＳ極を検出可能となるように配置されることを特徴とする請求項６に記載の誘導位置検出装置。
【請求項８】
前記要素の長軸の周りの異なる場所に配置された各マーカーによって異なる特徴信号が供給されることを特徴とする請求項６に記載の誘導位置検出装置。
【請求項９】
前記マーカーの位置が、変化する要素寸法の最小寸法に一致することを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の誘導位置検出装置。
【請求項１０】
軸方向に間隔を置いて配置された複数のマーカー検出器を含むことを特徴とする請求項１から９のいずれかに記載の誘導位置検出装置。
【請求項１１】
前記マーカー検出器は、周期的に変化する前記要素の寸法の周期に等しい間隔で均等に配置されていることを特徴とする、請求項５に従属する請求項１０に記載の誘導位置検出装置。
【請求項１２】
前記マーカーが前記マーカー検出器から軸方向にオフセットしているとき、各マーカーがマーカー検出器によって検出可能な信号を生成することを特徴とする請求項１０または１１に記載の誘導位置検出装置。
【請求項１３】
前記マーカーは、予め定められた長さの一連のセグメントからなるシーケンスを構成するように配置され、各セグメントに内のマーカーの配列が一意であることを特徴とする請求項２から１２のいずれかに記載の誘導位置検出装置。
【請求項１４】
設置されるマーカー検出器の数が、前記検出器と前記マーカーの間に相対移動がない状態で、任意のセグメント内のマーカーの配列を検出するのに十分な数であることを特徴とする請求項１３に記載の誘導位置検出装置。
【請求項１５】
マーカー検出器の数が、あるセグメントにおけるマーカーの最大数よりも多いことを特徴とする請求項１４に記載の誘導位置検出装置。
【請求項１６】
前記複数のマーカー検出器のうち、あるセグメント内の前記マーカーに最も近接して位置している検出器を決定する手段をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の誘導位置検出装置。
【請求項１７】
前記磁性材料からなる要素が、直線状に隣り合って点接触するように配置され、相互の相対移動が拘束された実質的に同一な複数の球状ボールの列から構成されることを特徴とする請求項１から１６のいずれかに記載の誘導位置検出装置。
【請求項１８】
前記マーカーが、隣接するボール間に入れ子されたリング内に配置されることを特徴とする請求項１７に記載の誘導位置検出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、誘導位置検出装置に関し、特に英国特許第１５１３５６７号に開示されている装置の類型およびそれらを改良した誘導位置検出装置に関する。これらの装置は、通常工作機械に取り付けられ、工作物に対する工作機械のヘッドの位置決めに用いることができる。
【背景技術】
【０００２】
このタイプの位置検出装置は細長い磁性要素を含み、この磁性要素は、当該要素の長軸に垂直な方向において周期的に変化する寸法を有する。この要素は、通常、一列に配置され点接触する複数の鋼製ボールの列である。磁性要素を取り囲みその長手方向に沿って移動するトランスデューサ（transducer、変換器）を使用して、要素内に磁界を誘導する。要素の寸法に周期的変化があると、磁界においても検出可能な周期的変化として現れ、それ自体が周期的に変化する対応した信号が得られる。この信号を使用して、トランスデューサに対する要素の相対位置を決定することができる。実用的には、この要素とトランスデューサは、例えば、工作物に対する工作機械のヘッドの位置を測定するために、工作機械に取り付けられる。
【０００３】
現行では、実際の位置は、位置検出装置の外部で離れた場所にある単一の基準点を参照して決定されている。基準点の位置は、以下の手順によって手作業で位置検出装置にプログラミングされる。基準点をプログラミングする前に、工作機械のユーザは、通常は工作機械そのものにある基準点を識別し、位置検出装置をこの基準点まで移動する。この時点で、要素とトランスデューサ間の相対位置を決めるのに用いたのと同じ信号が解析され記録される。信号が位置とともに周期的に変化するとき、位置検出装置は、自身の移動した周期数を記録するとともに、ある特定の周期のどこにいるかを記録する必要がある。
【０００４】
位置検出装置のスイッチが切られるたびに、例えば、一日の作業が修了するたびに、基準点をリセットする必要がある。特に工作機械が工作物を処理する途中である場合には、このことは具合が悪く、また誤差につながり、時間の浪費にもなる。
【発明の開示】
【０００５】
したがって、本発明は、長軸と、該長軸の方向に延び該長軸に垂直な方向に周期的に変化する寸法を有する磁性材料からなる要素と、を有する第一部材と、第一部材に対して前記長軸に沿って移動可能であり、前記要素内に磁界を誘導する手段を含む第二部材と、を含み、前記要素とは別に、検出可能な基準マーカーが第一部材に設けられていることを特徴とする誘導位置検出装置を提供する。
【０００６】
基準点の位置が位置検出装置内で固定されているので、ユーザは特定の基準点を選択しその基準点をプログラムミングする手作業を行う必要がない。したがって、基準点をプログラミングする際の人為的エラーの可能性が減少する。加えて、基準点のプログラミングを自動化プロセスで行うことができ、ユーザの関与が不必要になる。したがって、作業をより速やかに完了することができる。
【０００７】
従来の装置では、基準点に対する実際の位置を決定するのに、位置の増分変化を記録することに頼っていた。そのため、読み取りが失敗すれば、誤差につながる。トランスデューサがかなりの距離を移動すると、これらの誤差が加算されて大きな誤差となりうる。
【０００８】
特に、磁性要素として鋼製ボールを使用する場合、基準点から通過した鋼製ボールの数をカウントすることと（以下、「ピッチカウント」という）、各鋼製ボールに沿った位置（以下、「ビットカウント」という）とによって、全体的な位置の値が決定される。したがって、ピッチカウントは比較的精度の低い測定であり、ビットカウントは高精度の測定であるといえる。しかしながら、要素が早く移動しすぎると位置検出装置でその変化を記録することができず、ピッチカウントに誤差が生じ、測定された実際の位置に大きな誤差が現れる可能性がある。
【０００９】
さらに、単一の参照基準は、通常は要素に沿ったトランスデューサの行程の一端に位置している。したがって、基準点が設定されトランスデューサが元の位置に戻る前に、トランスデューサはその位置を離れて、数メートル離れていることもある基準点位置に移動する必要がある。トランスデューサが遠くへ移動するほど、上記の誤差が増加する可能性が高くなる。
【００１０】
好ましくは、位置検出装置は、軸方向に間隔をあけて設置される複数のマーカーを備えていてもよい。これによって、位置検出装置は、基準点をリセットするために単一で一意な位置に戻ることなくその基準点を決定することができる。
【００１１】
以上のことを実現するためには、位置検出装置は、どのマーカーを検出しているのか判定するために追加の情報を必要とする。
【００１２】
そのための一方法として、磁性要素の円周の回りに異なる角度でマーカーを配置することがあげられる。これによって、異なる特徴信号を生成することができる。
【００１３】
別の例として、隣接するマーカー間が不均一な間隔となるようにマーカーを配置してもよい。第一部材の長手方向に沿って不均一な間隔で配置された各マーカーの軸方向位置が既知であれば、位置検出装置は、隣接する部材の特定の間隔、または間隔の組み合わせを、要素に沿った特定の位置の特徴として認識することができる。したがって、基準点を見つけるのに長距離を移動しなくとも、位置を決定することができる。
【００１４】
位置検出装置がその間隔を既知であるならば、不均一な間隔は、ランダムな間隔であっても不規則な間隔であってもよい。しかしながら、隣接するマーカー間の各間隔は、固定値の倍数であることが好ましい。この場合、固定値に等しい間隔ごとに、位置検出装置は、マーカーの存在を検出したり、あるいはマーカーのないことを認識したりする。これによって、本質的に、二進符号が生成される。マーカーを適切に配置することによって、要素の各区画についての二進符号のセグメント（segment、部分）を一意なものとすることができる。各二進符号セグメントを一意にするのに必要な桁数は、要素の長さ及びマーカーの間隔によって決まる。しかしながら、位置検出装置は、この一意な符号を決定するために、比較的少ない数のマーカーしか必要としない。この技法は、ディジタル回路に特に適した信号も生成する。
【００１５】
周期的に変化する要素の寸法と固定値が等しい場合、位置検出装置の位置を決定するための信号処理はより簡素化される。
【００１６】
各マーカーの長さは、変化する要素の周期寸法より小さいことが好ましい。この場合、マーカーが検出されるとき、マーカーの位置についての正確な情報を与える必要はない。その代わりに、マーカーは、その中で最小の寸法が発生する「窓」を提供することができる。正確な位置は、誘導された要素によって得られる信号から決定することができる。
【００１７】
複数のマーカーを使用するとき、複数のマーカーによって相互に異なる特徴信号が生成されてもよい。マーカー間の間隔を検出することに限定するのではなく、マーカーを識別する能力によって、単一のマーカーでさらなる位置情報を提供することが可能になるので、本出装置の適応性が増す。したがって、要素に沿った所与の長さにおいて、さらなる位置情報を提供することができる。
【００１８】
異なる特徴信号を提供するのに特に便利な方法は、マーカーに磁性を帯びさせ、さらに一部のマーカーはＮ極を検出可能であり、他のマーカーＳ極を検出可能となるようにマーカーを配置することである。マーカーを固定値の倍数の間隔で配置すると、そのような磁気マーカーは基数が３の信号を提供するのに好都合に用いることができ、したがって、一意の信号を供給するのに必要なマーカーの数を減らすことができる。
【００１９】
マーカーを検出可能とする一つの方法は、単一のマーカー検出器の下にマーカーを通過させることである。相対移動の速度、または第一部材と第二部材の間での移動距離が既知であるならば、各マーカーの位置を決定することができる。しかしながら、軸方向に間隔をおいた複数のマーカー検出器を設けることが望ましい。これによって、第一部材と第二部材の間での比較的短い移動のみで、複数のマーカーの存在を同時に検出することができる。
【００２０】
周期的に変化する要素寸法の周期と等しい固定値の倍数の間隔でマーカーが配置されている場合、周期的に変化する寸法の周期に等しい間隔でマーカー検出器を均等に配置することは有効である。このような配置によって、最大で１周期の相対移動があれば、マーカー検出器が各マーカーを検出することが確実となる。
【００２１】
そのような配置の変形例として、マーカーがマーカー検出器から軸方向にオフセットしているときに、各マーカーが、マーカー検出器によって検出可能な信号を生成することが好ましい。これによって、マーカーとマーカー検出器との間に相対移動がなくても、マーカーが２つのマーカー検出器の間にあるか否かを判定可能となる。この構成によれば、位置検出装置のスイッチを入れたとき、部材間で相対移動がない場合でもその絶対位置を直ちに決定できる程度の、真の絶対位置検出が提供される。マーカー検出器によってマーカーを検出すると、位置検出装置はその絶対ピッチカウントを設定することができ、その一方、要素によって生成される誘導信号によって、ピッチ内でビットカウントを求めることができる。したがって、位置検出装置は正確な絶対基準点を設定することができる。
【００２２】
好ましい実施形態では、マーカーは、予め定められた長さの一連のセグメントからなるシーケンスを構成するように配置され、各セグメント内のマーカーの配列は一意である。この方法では、一つのセグメント内でマーカーの配列が検出されると直ちに、その位置をあらわす一意の信号を利用することができる。
【００２３】
設置されるマーカー検出器の数は、マーカー検出器とマーカーの間に相対移動がない状態で、任意のセグメント内のマーカーの配列を検出するために十分な数であることが好ましい。これにより、静止した状態でも位置検出装置は一意な位置信号を検出できるため、絶対位置の検出が保証される。これを実現するには、設置されるマーカー検出器の数は、セグメント内のマーカーの最大数よりも多ければ都合がよい。この方法では、強い信号を確実に検出できるようにするために、セグメント内の各マーカーに十分近接した場所に、常にマーカー検出器が存在する。
【００２４】
位置検出装置は、複数のマーカー検出器のうち、セグメント内のマーカーに最も近接しているマーカー検出器を決定する手段を含み、最大強度の信号を読み取るのに最適な位置にあるマーカー検出器のみを利用して位置を発生することが好ましい。このような実施形態の一つでは、誘導された要素から得られるビットカウントの分類を使用して、複数のマーカー検出器の中から最適なマーカー検出器のサブセットを選択する。
【００２５】
磁性材料からなる要素は、点接触となるように隣り合って配置され相互の相対移動が拘束された、実質的に同一な複数の球状ボールの列から構成されていてもよい。この構成では、各マーカーを、隣接するボール間に入れ子された（nest）リング内に配置すると都合がよい。
【００２６】
本発明の好ましい実施形態を添付の図面を参照して説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２７】
図１に示すような位置検出装置１０は、長軸方向に延びるスケール２０と、トランスデューサ３０とを備える。トランスデューサ３０はスケール２０を取り囲み、スケールの長手方向に沿って移動可能である。
【００２８】
スケール２０は、非磁性材料からなる管２１を備え、管２１は、点接触する一列の磁性ボール２０を収容し、ボールの相対移動を防ぐように拘束している。トランスデューサ３０は、伝導コイル（図示せず）とピックアップコイル（図示せず）とを備える。伝導コイルは、ボール２２の点接触線に沿って磁界を誘導するために用いられ、ピックアップコイルは、ボール２２がピックアップコイルに対して移動する際の磁界の変化を検出するように配置される。図示しない検出回路が、信号を解析して位置情報を与えるために使用される。このような装置は当業者には既知の技術であり、そのような装置の一つがＧＢ１５１３５６７に開示されている。特に、基準点から通過したボール２２の数（別名ピッチカウント）をカウントし、各ボール２２に沿った位置（別名ビットカウント）と組み合わせることによって、全体的な位置を示す値が決定される。ピッチカウントは比較的精度の低い測定であり、ビットカウントはピッチ内では絶対値である高精度の測定である。
【００２９】
図１に示すように、ホール効果センサなどの単一のマーカー検出器３１がトランスデューサ３０に設けられている。複数の磁気マーカー２３は、スケール２０に沿って軸方向に間隔をおいた位置に設けられている。各マーカー２３は、二つの隣接するボール２２間の接触点と同じ軸方向位置に配置される。図１から理解されるように、この軸方向位置にはマーカー２３を配置するための十分な空間がある。通常、マーカー２３はプラスチックリング（図示せず）内に固定されており、磁性ボール２２の間に入れ子にされるが、磁性ボール２２と干渉しないようにされている。
【００３０】
マーカー２３はいくつかのボール２２の間に設けられるが、すべてのボール２２の間に設けられるわけではない。したがって、マーカー２３は、スケール２０のピッチの倍数に等しい間隔で配置される。ここで、ピッチとはボール２２の直径のことである。
【００３１】
マーカー２３が無いと、マーカー検出器３１には信号は与えられず（図中の０）、マーカー２３が存在すれば信号が与えられる（図中の１）。したがって、トランスデューサ３０がスケール２０を通過しながら走査されると、１つのボール直径（１ピッチ）に等しい間隔ごとに、マーカー検出器３１はマーカー２３の有無を検出し、マーカー３１の特徴的な配列に対応する一意の二値信号を生成する。
【００３２】
各セグメントが所与の桁数を持ち、それぞれオーバーラップする一連のセグメントからなるとみなすことのできる二進シーケンスを提供すべく、複数のマーカーが配列される。所与の最大可能長さの範囲内でセグメントが繰り返されることがないように、二進シーケンスを生成することができる。セグメントが８桁ならば、セグメントの繰り返しが起こるまでに、２８＝２５６個のセグメントからなる二進シーケンスを生成することができる。
【００３３】
例を挙げると、二進シーケンスが例えば１０１１００１１１０１０…で始まる場合、最初の８桁のセグメントは１０１１００１１となる。１ピッチ移動して次のセグメントの始まりまで進むと、二番目のセグメントは、０１１００１１１となる。さらに１ピッチ移動すると、三番目のセグメントは１１００１１１０となり、以下同様である。これらのセグメントはそれぞれ、スケール２０の長さの範囲内では一意である。
【００３４】
このように、スケール２０に沿った二進シーケンスが既知であれば、マーカー検出器３１が任意の８桁のセグメントを検出したとき、既知の二進シーケンスにおいてその特徴を有するセグメントが生じる位置を特定することによって、スケール２０に対しての位置を特定することが可能となる。
【００３５】
本発明の実施例を図２に示す。この場合、複数のマーカー検出器３１が設けられている。マーカー検出器３１の数は、特定の特徴的配列を識別するのに必要な二進符号セグメントの桁数に等しいと都合がよい。この場合、二進符号セグメントは８桁の長さをもつので、マーカー検出器３１は８つある。したがって、セグメント全体を読み取りそこから位置を決定するのに、トランスデューサ３０を最大で1ピッチ長（即ち、１つのボールの直径分）移動させるだけで済む。
【００３６】
図３に示す実施形態では、複数の相似の（analogue）検出器３１が設けられている。これらの検出器３１は、磁性ボール２２のピッチよりも小さい間隔で配置されている。相似の検出器を使用することによって、マーカー２３が検出器３１と一直線上に並ぶよう位置合わせされていない時でも、マーカー２３の存在を検出することができる。また、検出器３１で検出される信号の強度は、マーカー２３からの軸方向の距離に反比例して変化する。したがって、検出器３１は、トランスデューサ３０とスケール２０の間に相対移動がなくとも、検出器が隣接しているスケール２０の区画内でのマーカー２３の配列を常に決定することができる。このように、本構成によれば、真の絶対位置検出が提供される。
【００３７】
図４に示す別の実施形態では、相異なる特徴信号を提供可能なマーカー２３が用いられる。この例では、磁気マーカー２３を、Ｎ極またはＳ極を検出可能となるように配置して使用している。この場合、マーカー検出器３１は、検出器がマーカーと一直線上に並ぶように位置していない場合でも、マーカーなしの状態（図中の０）、Ｎ極（図中の１）またはＳ極（図中の２）を検出する。この構成により、二進符号でなく基数が３である符号を提供する。
【００３８】
上記したように、所与の桁数を持つ符号のセグメントは、特定の位置を表すように選択しなければならない。絶対位置の検出をするためには、スケールの全長にわたって符号セグメントが繰り返すことがあってはならない。この条件は、適切な数学的アルゴリズムを使用してマーカー位置を順番に定める擬似ランダム・シーケンスを生成すれば、満足することができる。二進符号でなく基数が３の符号を使用することの利点は、所与の桁数の符号セグメントについて、特定のセグメントの繰り返しが起こる前に、より長い擬似シーケンスを生成できることである。したがって、より長いスケール２０を提供することができる。
【００３９】
しかしながら、符号セグメントの桁数があまり多くなり過ぎるのは望ましくない。なぜなら、桁数が増えると、マーカー検出器３１のスケール２０に沿った相対移動無しでセグメントを読み取るために、より多数のマーカー検出器３１が必要になるからである。
【００４０】
好ましい実施形態では、選択された符号セグメントの長さは６桁である。したがって、３６＝７２９の一意な符号セグメントからなる、基数３のシーケンスを生成することができる。
【００４１】
任意の点で６桁の符号セグメントを検出できるように、アレイ３２に密に詰め込まれた複数のマーカー検出器３１が用いられるが、これら複数のマーカー検出器３１は長さにしてスケール２０内の磁性ボール２２の６個分以上の広がりをもつ。さらに、マーカー検出器３１がマーカー２３と正確に位置合わせされて配置されていないときでもマーカー２３の有無を最も明瞭に検出するために、検出される符号セグメントの桁数よりはるかに多い数のマーカー検出器がアレイ３２に含まれていることが望ましい。ボール２２に対しての正確な位置をあらわす高精度のビットカウント測定を行うことによって、特定のセグメント内のマーカー２３からの最も強い信号を検出するのに最適な位置にあるアレイ３２内のマーカー検出器３１を選択して、符号セグメントを提供することができる一方、残りのマーカー検出器からの信号はフィルタ除去される。通常、ビットカウント（即ち、ボールに対する位置の表示）は一連のグループに分類され、各グループはマーカー検出器３１の特定のサブセットと関連付けられる。そのため、ビットカウントがある所与のグループの範囲内にあれば、マーカー検出器３１の適切なサブセットが選択されて、マーカー２３からの信号を検出する。
【００４２】
好ましい実施形態では、アレイ３２は１６個のマーカー検出器３１を含み、７ピッチ分の長さにわたる信号を拾うだけの長さを持つ。したがって、６桁の符号セグメントを２つ分検出できる。ここでも、ボール２２に対する正確な位置をあらわす高精度のビットカウント測定を使用して、二つの連続する６桁の符号セグメントのうちどちらがアレイ３２の最も近くにあるか、つまり検出に最適な位置にあるかを決定することができる。したがって、一つの６桁の符号セグメントから次の符号セグメントへの移行は、ビットカウント測定と同程度に正確に行われる。
【００４３】
トランスデューサ３０を移動しなくても、符号セグメントの全体をアレイ３２によって一度で読み取れることが保証されるので、本実施例によって絶対位置を検出できる。即ち、電源が切れて再び電源が入り、電源が切れている間に動きがあった場合でも、本装置はその正確な位置を決定することができる。
【００４４】
図５は本発明の別の実施形態を示す。この図では、スケール２０に沿った複数箇所に１個または複数個のマーカー２３が円周の回りに異なる角度で設けられている。この例では、三個のマーカー２３が、それぞれ、０°、４５°、９０°の角度の位置に示されている。しかしながら、これより少ないかこれより多い数のマーカーを他の角度に配置してもよい。マーカー２３の配列にしたがって、異なる特徴信号が提供される。この場合、特徴信号のそれぞれがスケール２０上に一つの基準点を提供する。
【００４５】
スケール２０に沿った比較的少ない数の軸方向位置にマーカー２３を配置して、一連の基準点を与えてもよい。そうすると、基準点を識別するためにマーカー検出器３１を動かす距離を比較的短くできる。これは絶対位置を検出できないが、比較的簡易な構成となる。
【００４６】
代替的に、より多数の位置それぞれに、より多数のマーカー２３を使用して、任意の点において位置をあらわすのに十分な特徴信号が検出できるようにしてもよい。このような構成は複雑なものになるが、絶対位置を検出することができる。
【００４７】
なお、前述した全ての場合において、マーカー検出器３１の位置を検出することによって得られる情報は精度の低い検出でしかないが、一意な位置についての情報を与える。したがって、磁性ボール２２からの誘導された信号およびマーカー２３によって生成される一意な信号を分析することによって、位置検出装置は高い精度でその一意な位置を決定することができる。
【図面の簡単な説明】
【００４８】
【図１】複数のマーカーと単一のマーカー検出器を有する、本発明の一実施形態による位置検出装置を示す図である。
【図２】複数のマーカーと複数のマーカー検出器を有する、本発明の別の実施形態による位置検出装置を示す図である。
【図３】図２と類似しているが別の構成からなるマーカー検出器をもつ、本発明の第３の実施形態による位置検出装置を示す図である。
【図４】検出器のアレイと、相互に異なる信号を生成可能なマーカーを有する、本発明の第４の実施形態による位置検出装置を示す図である。
【図５】本発明の第５の実施形態による位置検出装置のスケールの断面図である。
【図１】
2004521366.tif 000003
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際公開パンフレット】
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2004521366.tif 000009
2004521366.tif 000010
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2004521366.tif 000027
2004521366.tif 000028
【国際調査報告】
2004521366.tif 000029
2004521366.tif 000030