(57)【要約】ポッドドアとポッドの不適切な係合を防止する装置が開示されている。具体的には、ポッドドアに連結する少なくとも１本のラッチフィンガーとポッド内のラッチ係合スロットとのズレにより、ポッドドアがポッドと係合することが物理的に妨げられる。
2004525502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物品を格納・運搬するためのポッドであって、
ポッドドアと、
複数の配向性で該ポッドドアを受領する開口部およびラッチ係合スロットを含むポッド外殻と、
前記ポッドドア上に提供されており、該ポッドドアが前記ポッド外殻内の前記開口部内に前記複数の配向性から選択された１配向性で挿入された場合にのみ前記ラッチ係合スロットと係合するラッチ手段と、
を含むことを特徴とするポッド。
【請求項２】
ラッチ手段に連結し、該ラッチ手段を開放位置と係合位置との間で往来させるラッチ作動装置をさらに含むことを特徴とする請求項１記載のポッド。
【請求項３】
ラッチ手段は２本のラッチフィンガーを備え、
該２本のラッチフィンガーはポッドドアがポッドに選択された配向性で挿入された場合にラッチ係合スロットと整合することを特徴とする請求項１記載のポッド。
【請求項４】
ポッドドアが選択された配向性以外で挿入された場合に、ラッチ係合スロットはラッチ手段が開放位置から係合位置へ移動することを阻止することを特徴とする請求項３記載のポッド。
【請求項５】
ポッド外殻開口部から少なくとも１ラッチ係合スロットのへの距離は、その他のラッチ係合スロットへの距離と異なることを特徴とする請求項１記載のポッド。
【請求項６】
ポッド外殻開口部の端部から少なくとも１ラッチ係合スロットへの距離は、その他のラッチ係合スロットへの距離と異なることを特徴とする請求項１記載のポッド。
【請求項７】
ポッドドアがポッド外殻へ選択された配向性以外で挿入された場合に、該ポッド外殻はラッチ手段が開放位置から係合位置へ移動することを阻止することを特徴とする請求項６記載のポッド。
【請求項８】
物品を格納・運搬するポッドであって
ドア開口部を有するポッド外殻と、
第１配向性および第２配向性で該ドア開口部と係合するように該ドア開口部の形状に補完的な形状で提供されるポッドドアと、
該ポッドドア内に提供されており、係止位置および開放位置を有し、該ポッドドアが前記ポッドドア開口部に前記第１配向性で挿入された場合のみ該係止位置に移動するラッチ手段と、
を含むことを特徴とするポッド。
【請求項９】
ラッチ手段に接続し、該ラッチ手段を係止位置と開放位置の間で往来させるラッチ作動装置をさらに含むことを特徴とする請求項８記載のポッド。
【請求項１０】
ポッド外殻はラッチ係合スロットを含み、
ラッチ手段は２本のラッチフィンガーを有し、
該２本のラッチフィンガーは、ポッドドアがポッドに第１配向性で挿入された場合にそれぞれ前記ラッチ係合スロットと整合する、
ことを特徴とする請求項８記載のポッド。
【請求項１１】
ポッドドアがポッドに第１配向性以外で挿入された場合、ポッド外殻はラッチ手段が開放位置から係止位置へ移動することを阻止することを特徴とする請求項１０記載のポッド。
【請求項１２】
ドア開口部から少なくとも１ラッチ係合スロットへの距離は、その他のラッチ係合スロットへの距離と異なることを特徴とする請求項１０記載のポッド。
【請求項１３】
ドア開口部の１端部から少なくとも１ラッチ係合スロットへの距離は、その他のラッチ係合スロットへの距離と異なることを特徴とする請求項１０記載のポッド。
【請求項１４】
ポッドドアがポッド外殻に第１配向性以外で挿入された場合、該ポッド外殻はラッチ手段が開放位置から係止位置に移動することを阻止することを特徴とする請求項１３記載のポッド。
【請求項１５】
物品を格納・運搬するためのポッドであって、
複数の物品整合用突起部を備えた内部を持つポッドドアと、
該ポッドドアを第１配向性および第２配向性で受領し、ラッチ係合スロットを含む開口部を有するポッド外殻と、
前記ポッドドア内に提供されており、前記ポッドドアが前記ポッド外殻の前記開口部に前記第１配向性で挿入された場合のみ前記ラッチ係合スロットと係合するラッチ手段と、
を含むことを特徴とするポッド。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は前面開口一体化ポッド（ＦＯＵＰ： ＦＲＯＮＴ ＯＰＥＮＩＮＧ ＵＮＩＦＩＥＤ ＰＯＤ）に関し、特にＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に差し込まれることを防止する機構を含むＦＯＵＰに関する。
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】
【０００２】
技術背景
ＨＥＷＬＥＴＴ-ＰＡＣＫＡＲＤ 社が提供するＳＭＩＦシステムは、米国特許第４,５３２,９７０号および第２,５３４,３８９号で開示されている。ＳＭＩＦシステムの目的は、半導体の製造過程でウエハーを格納および運搬する際に、半導体ウエハーへの粒子束を減少させることである。これは、格納・運搬の際に物理的にウエハー周囲の気体（空気や窒素など）をウエハーに対して本質的に静止させ、また粒子を周囲環境からウエハーの近接環境に侵入させないことにより部分的に可能になる。
【０００３】
ＳＭＩＦシステムは３つの主要構成部品を持つ。（１）ウエハー及び／あるいはウエハーカセットを格納・運搬するための最小容量の密閉ポッドと、（２）露出したウエハー及び／あるいはウエハーカセットを製造ツールの内部に出入りさせる場としての（清浄空気に満たされた）小クリーンスペースを提供する半導体製造ツールに設けられた入力／出力(Ｉ/Ｏ)小環境と、（３）ウエハー及び／あるいはウエハーカセットを粒子に触れさせることなくＳＭＩＦポッドとＳＭＩＦミニ環境の間で往来させるためのインターフェースと、である。提案されている１つのＳＭＩＦシステムは、ＭＩＨＩＲ ＰＡＲＩＫＨ およびＵＬＲＩＣＨ ＫＡＥＭＰＦ によるＳＯＬＩＤ ＳＴＡＴＥ ＴＥＣＨＮＯＬＯＧＹ（固形技術）誌, ７月号 １９８４年, １１１-１１５頁の  “ＳＭＩＦ; Ａ ＴＡＣＨＮＯＬＯＧＹ ＦＯＲ ＷＡＦＥＲ ＣＡＳＳＥＴＴＥ ＴＲＡＮＳＦＥＲ ＩＮ ＶＬＳＩ ＭＡＮＵＦＡＣＴＵＲＩＮＧ  （ＳＭＩＦ；超ＬＳＩ製造におけるウエハーカセット運搬技術）”  にさらに詳述されている。
【０００４】
上記のようなシステムは、０.０２ミクロン（μＭ）〜２００μＭの粒子を対象としている。半導体装置製造に採用されている小構造のため、このようなサイズの粒子は半導体製造に大きなダメージを与えうる。今日の発達した半導体製造方法は、１/２μＭ以下の寸法を採用しているのが典型的である。０.１μＭ以上の寸法を持つ不都合な汚染粒子は、１μＭ構造の半導体装置にかなりの支障を来す。もちろん半導体はさらに小型化しつつあり、今日の研究開発ラボでは０.１μＭ以下に近づいている。今後は構造がより小型化するため、より小さな汚染粒子と分子汚染物質が重大な問題になるだろう。
【０００５】
通常のＦＯＵＰは、ＦＯＵＰ外殻と係合することによってウエハーを格納・運搬するための密閉された超清浄内部環境を提供する縦配向ＦＯＵＰドアを備える。ウエハーは外殻に搭載されたカセット、あるいは外殻内部に搭載された棚により支えられる。
【０００６】
ウエハーをＦＯＵＰとウエハー構造物内の製造ツールとの間で往来させるために、ＦＯＵＰが通常は手動あるいは自動でツール前面のロードポートに積載されると、ポッドドアは製造ツールのポートドアに隣接する。その後、ポートドアのラッチキーがＦＯＵＰドア内のラッチ構造体と係合してＦＯＵＰからＦＯＵＰドアを脱カップリングし、同時にＦＯＵＰドアとポートドアをカップリングする。このようなＦＯＵＰドア内のラッチ構造体に関する詳細は、例えば、ＢＯＮＯＲＡらによる「密閉可能で移動可能な改良型ラッチ手段を持つコンテナ」と題された米国特許第４,９９５,４３０号で開示されており、この特許は本出願人が所有している。前記の特許で開示されている構造体は、ポッドドアをポッド外殻に安定して係止させるために、従来技術の説明図１、図２Ａ、および図２Ｂに示される２段階係止操作を含んでいる。ラッチ構造体はポッドドア内に提供され、第一および第二移動式ラッチプレート３０と係合したラッチハブ２８を含む。ポートドアはラッチハブ内に形成されたスロット１３内に延長する一対のラッチキーを含み、それによってラッチハブ２８を時計回りあるいは反時計回りに回転させる。各ラッチハブ２８の回転によって、第一および第二ラッチプレート３０は反対方向に移動する。
【０００７】
図１はドア係止操作の第１段階にあるラッチ構造体を示すポッドドア内部の正面図である。ポッドドアがポートドアと脱カップリングされてポッドに戻されると、ポートドア内のラッチキーはラッチハブ２８を回転させ、ラッチプレート３０は外側に向かって移動する。そのためラッチプレート３０の先端部に提供されたラッチフィンガー１４は、矢印Ａの方向でポッド外殻内に形成されたスロット１５まで延長する。従来のスロット１５はポッド外殻内に形成された横壁部１７を含み、この壁部はスロットをほぼ二分している。フィンガー１４はスペース１９を含み、フィンガー１４がスロット１５内に受領されるとこのスペースは壁部１７と整合する。
【０００８】
図２Ａは図１に示すラッチ構造体の２−２線沿いの側面図である。図２Ｂは同様の側面図であるが、ドア係止操作の第２段階を示している。注目すべき点は、ラッチハブ２８は一対のランプ４０をさらに含んでおり、フィンガー１４がポッド外殻のスロット１５と係合した後にハブがさらに回転すると、ハブと係合したラッチプレート３２の近接端部がランプ上に沿って登る。これによりラッチプレートが各平面上の軸の周囲で、移動方向に対して垂直に矢印Ｂの方向で旋回する。第２段階中のこの旋回により、ポッドドアはポッド外殻に対してきつく引き寄せられ、ポッドドアと外殻との間は固く密閉される。
【０００９】
ウエハーを移動させるためにまずポッドがロードポートインターフェースに乗せられている時、ポートドアのラッチキーはポッドドアをポッド外殻から分離させるために回転式ハブ２８と係合し、ポッドを係止する時とは逆方向にハブを回転させる。これによりラッチフィンガー１４はポッド外殻から開放されるので、ポッドドアはポッド外殻から離れる。
【００１０】
ＦＯＵＰドアに関する半導体製造装置材料協会（ＳＥＭＩ）の規格により、回転ラッチハブ、ラッチプレートのフィンガー、およびＦＯＵＰ外殻のスロットなどのドアの搭載構造の配置は水平軸に対して対称である必要がある。規格の作成者は、ＦＯＵＰドアを順方向、あるいは逆でＦＯＵＰに挿入することが適切だと考えた。しかしながら、搭載構造の水平軸に対する対称性は、図３を参照にして説明するように重大な不利点を提供することが明らかになっている。
【００１１】
図３は複数のウエハー２１を格納しているＦＯＵＰ２０を示している。ＦＯＵＰドア２２は従来通りに複数の突起部２３を有し、これらはその中間に複数の凹状部２４を提供している。突起部２３および凹状部２４は正確に配置され、そのためＦＯＵＰ２０内にＦＯＵＰドア２２が挿入されるとＦＯＵＰ内のウエハー２１は外れないように凹状部２４に受領される。しかしながら、ＦＯＵＰドアが逆方向に挿入されると、ウエハー２１は凹状部２４と整合せずに突起部２３と接触する可能性がある。従来のＦＯＵＰでは最上部のウエハーとＦＯＵＰ内部上面との間の距離Ｘが、最下部のウエハーとＦＯＵＰの内部底面との間の距離Ｙと異なるため、突起部と凹状部は水平軸に対して対称でないためである。ポッドドアの突起部とウエハーが接触すると、ＦＯＵＰ内の各ウエハーが損傷あるいは破損する可能性がある。そのため３００ＭＭ半導体ウエハーでＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に差し込まれる場合、重大な経済的損害が生じ得る。
【００１２】
ＦＯＵＰドアが逆方向でＦＯＵＰに受領されるというエラーは、ＦＯＵＰドアを手動で空のＦＯＵＰに戻す場合に頻繁に起こる。例えば、ＦＯＵＰの清掃後、技術者は手動でＦＯＵＰドアをＦＯＵＰに戻すことが多い。現行のＦＯＵＰドアには上下を指示する表示が提供されている。しかしながら、ＦＯＵＰドアを手動でＦＯＵＰに差し込む場合に、この表示が見落とされたり、理解されない場合が多い。
【００１３】
この空のＦＯＵＰは、ドアが逆方向のまま引き続きロードポートまで移動させられる。前述のように、従来のロードポートはドアが逆方向であるか順方向であるかに拘わらずＦＯＵＰにＦＯＵＰドアを着脱する。よって逆方向のＦＯＵＰドアはロードポートに搭載されると従来通りに取り外され、ウエハーがＦＯＵＰ内に格納される。しかしながら、引き続きロードポートがＦＯＵＰドアをＦＯＵＰに戻すと、逆方向のドアは物理的にウエハーと接触するため、ウエハーの損傷あるいは破損が生じうる。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１４】
それゆえ、本発明の１利点はＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に挿入されることを防ぐシステムを提供することである。
【００１５】
本発明の別利点は、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に挿入されることを物理的に防ぎ、それにより格納されるウエハーを損傷から守る機械的システムを提供することである。
【００１６】
本発明のさらに別利点は、密閉ＦＯＵＰの外端部や外面に変更あるいは付加を施すことなく、ＦＯＵＰドアが不適切にＦＯＵＰに挿入されることを防ぐ機械的システムを提供することである。
【００１７】
ＦＯＵＰのラッチプレートフィンガーおよび対応するスロットのサイズ、形状、および位置が上部と下部で異なる本発明は、上記を含む利点を提供している。このため、ドアがＦＯＵＰに挿入される際に正しい配向の順方向でない限り、ドアはＦＯＵＰに整合しない。ゆえに、密閉ＦＯＵＰがウエハーを受領するためにロードポートで受領されるときは、ＦＯＵＰドアは順方向であり、ＦＯＵＰドアが逆方向の場合に生じうるウエハー損傷の危険性は取り除かれる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
以下では本発明を参照図面を利用して記述する。以下ではＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に挿入されることを防ぐための機械的システムに関わる好適実施例の中で、図４−２２を参照にして本発明を記述していく。
【００１９】
本発明を３００ＭＭ半導体ウエハーを格納するＦＯＵＰに関して記述するが、ＦＯＵＰ以外の収容器、あるいは半導体ウエハー格納以外の用途にも使用できるだろう。たとえば、本発明を底面開口ＳＭＩＦポッドに使用して良い。また、本発明をレチクルやフラットパネルディスプレイなどの加工中製品の収容器に使用できる。さらに、本発明の好適実施例はＦＯＵＰドアが手動でＦＯＵＰに不正確な配向で挿入されることを物理的に防ぐための機械的システムに関するが、別の実施例では後述するように本発明をセンサーとともに用いてＦＯＵＰドアが不正確な配向でＦＯＵＰに自動挿入されることを防いでもよい。
【００２０】
図４は上部と下部が非対称の搭載構造を含む本発明のＦＯＵＰの第一実施例を示している。図は、ＦＯＵＰ外殻２５（図４に開示されているのは下縁部のみ）内にフィットした状態のＦＯＵＰドア２２を示している。以下に記述されるラッチプレートおよびＦＯＵＰ外殻のスロットを除いて、ポッド外殻との係合部にフィンガーを往来させるラッチ構造体は本発明にとって決定的ではなく、別実施例では別態様が可能である。本発明に使用されているラッチ構造体の一例は、「技術背景」の項で２段階係止操作を含めて記述されたものである。図の構成部品は「技術背景」の説明と同様の番号で示され、「技術背景」の説明で記述した機能を提供する。
【００２１】
図４は上部ラッチプレート３０の先端部に提供されるラッチフィンガー１００をさらに示している（本明細書での上下とは図面での上下である）。フィンガー１００は、ラッチハブ２８の作動、および上部ラッチプレート３０の前進の際にポッド外殻上部の各スロット１０２にフィットするサイズと位置で提供される。ラッチ構造体は、下部ラッチプレート３０の先端部３４にフィンガー１０４をさらに含む。これらのフィンガー１０４はＦＯＵＰ外殻下部の各スロット１０６内にフィットするサイズと位置で提供される。「技術背景」の説明に記述されているように、スロット１０６は下部ラッチプレート３０がフィンガー１０４をスロット１０６に前進させる際にスペース１１０とフィットする横壁部１０８を備える。
【００２２】
図５は逆方向でＦＯＵＰに挿入されたＦＯＵＰドア２２を示している。図のように逆方向でＦＯＵＰドアを挿入しようとすると、フィンガー１０４は遮られてＦＯＵＰ上部のスロット１０２への侵入を阻止され、フィンガー１００は（壁部１０８に）遮られてＦＯＵＰ下部のスロット１０６への侵入を阻止される。このようにして、図５のように逆方向でＦＯＵＰドアを挿入しようとした場合には、ハブ２８の回転は妨げられ、ＦＯＵＰドアはＦＯＵＰと係合されない。
【００２３】
図４および図５の示す実施例では、上部フィンガー１００およびスロット１０２と下部フィンガー１０４およびスロット１０６は位置交換できる。これらの図の示すものとは別のサイズ、あるいは形状を有するフィンガーを採用することは、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰ内に適切に挿入された際に上部および下部フィンガーが各対応スロットと整合し、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰ内に適切に挿入されていない際には少なくとも上部対の１方と下部対の１方が隣接するスロットとフィットしないという必要条件を満たす場合は、さらに可能である。
【００２４】
図６と図７は本発明の別実施例を示している。この実施例では、４本のフィンガー１１２ １１６、ならびに４つのスロット１１４ １１８の形状は互いに同一だが、フィンガーのラッチプレート３０上の配置により、ドアが順方向で挿入された場合のみフィンガー１１２はスロット１１４と整合し、フィンガー１１６はスロット１１８と整合する。たとえば、ＦＯＵＰの上部ラッチプレート３０に提供されるフィンガー１１２はＦＯＵＰ側面寄りに配置し、ＦＯＵＰの下部ラッチプレート３０に提供されるフィンガー１１６はＦＯＵＰ側面から比較的内側寄りに配置することができる。同様に、ＦＯＵＰの外殻上部のスロット１１４は側面寄りに配置し、ＦＯＵＰの外殻下部のスロット１１８は側面から比較的内側寄りに配置してよい。このような実施例では、ＦＯＵＰドアが順方向でＦＯＵＰ内に受領されると、上部および下部のフィンガーは上部および下部のスロットにフィットする。しかしながら、図７の示すように逆方向でＦＯＵＰドア２２をＦＯＵＰに戻そうとすると、フィンガー１１２はＦＯＵＰ上部のスロット１１４と揃わず、フィンガー１１６はＦＯＵＰ下部のスロット１１８とずれる。当業者にとって明白なように、図６と７とは別のラッチプレート上の位置にフィンガー１１２,１１６を配置しても良いが、その場合にはＦＯＵＰドアが順方向で挿入された場合にはフィンガーはスロットと整合し、ＦＯＵＰドアが逆方向で挿入された場合にはフィンガーはスロットと整合しないという条件を満たすことが必要である。
【００２５】
本発明を下部フィンガー／スロットに対する上部フィンガー／スロットの位置を一次元的に変更しながら開示してきた（即ち図面の左右変更）。しかしながら、上部フィンガー／スロットと下部フィンガー／スロットの相対位置を二次元的に変更することもさらに考えられる（即ち図面に垂直な方向での変更）。このような実施例のひとつが図８〜１３に示されている。この実施例では上部ラッチプレートを近接端部から先端部へと（図の手前に）下向きに傾斜させてよく、ＦＯＵＰドアが順方向で挿入されるとフィンガー１２０はＦＯＵＰ外殻の下部１２８に提供されるスロット１２２にフィットする。同様に、下部ラッチプレートを近接端部から先端部へと（図の奥に）上向きに傾斜させてよく、ＦＯＵＰドアが順方向で挿入されるとフィンガー１２４はＦＯＵＰ外殻の上部１３０に提供されるスロット１２６にフィットする。
【００２６】
一方、図１１〜１３の示すように、ＦＯＵＰドア２２が逆方向で挿入された場合、フィンガー１２４は上部１２８のスロット１２２とずれ、またフィンガー１２０は下部１３０のスロット１２６とずれる。
【００２７】
図１４〜１９の示すさらなる別実施例では、上部１２８のフィンガー、ならびにスロットの形状は下部１３０と異なって良い。たとえば、図１４〜１６の示すように、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに適切に差し込まれた場合、フィンガー１３２は上部１２８のスロット１３４にフィットし、フィンガー１３６は下部１３０のスロット１３８にフィットする。しかしながら、図１７〜１９の示すように、ＦＯＵＰドア２２がＦＯＵＰ内に不適切に差し込まれると、フィンガー１３６はＦＯＵＰ上部１２８のスロット１３４にフィットせず、フィンガー１３２はＦＯＵＰ下部１３０のスロット１３８にフィットしない。別実施例では、ＦＯＵＰ上部と下部のフィンガーおよびスロットの形状は図１４〜１９と異なってよい。その場合は、ＦＯＵＰドアが順方向で挿入された時に、上部および下部フィンガーの形状は上部および下部スロットの形状と対応し、ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに逆方向で挿入された時は、上部および下部フィンガーの形状は隣接するスロットにフィットしないことを条件とする。
【００２８】
ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に挿入されることを防止する手段をここまで非対称の搭載構造としてきた。しかしながら、別実施例では別手段でＦＯＵＰドアのＦＯＵＰへの係合を物理的に遮断できる。図２０〜２１はこのような実施例の１つを示している。この実施例では、ＦＯＵＰ外殻２５の内部であって、ウエハーがＦＯＵＰ内に格納されている間や、ＦＯＵＰに出入りする際に支障のない位置でピン１４０が固定式に搭載される。この位置とは、たとえばＦＯＵＰ角部あるいは側面付近でよい。ＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに適切な配向で受領されると、ピン１４０はＦＯＵＰドア２２の内表面に提供された孔部１４２に受領されるようにＦＯＵＰ開口部より外側に延長することができる。しかしながら、この実施例によると、ＦＯＵＰドアを逆方向で挿入しようすると図２１のように孔部１４２がＦＯＵＰの反対側の端部に位置しているため、ピンがＦＯＵＰドア２２の内表面に接触してＦＯＵＰドア２２をＦＯＵＰと係合させない。好適には、このピン１４０は粒子の発生を最小限に抑えるために低摩耗素材で成る。
【００２９】
上述の本発明の好適実施例は、技術者が逆方向のＦＯＵＰドアをＦＯＵＰに手動でカップリングすることを物理的に妨げる。ゆえに、ＦＯＵＰがロードポートに受領された時には、ＦＯＵＰドアは確実に順方向であり、ロードポート内に格納しているウエハーと接触する危険性はない。上記実施例を互いに組み合わせることにより、上部フィンガー／スロットと、下部フィンガー／スロットとの間にさらなる相違点を付与してよい。
【００３０】
さらに別の実施例では、技術者によってＦＯＵＰドアがＦＯＵＰへ不適切に挿入されることを物理的に防ぐのではなく、ロードポートに提供される様々なセンサーがＦＯＵＰに自動的に戻される前のＦＯＵＰドアの適切な配向を確保する。たとえば、図２２のようにＦＯＵＰドアのラッチプレート３０の１つに孔部１５０を提供してよい。
【００３１】
この実施例によると、孔部１５０の下のＦＯＵＰドア表面は、たとえばラッチプレート自体よりも大きい反射率を有して良い。この実施例は、ポートドアからＦＯＵＰへ光線を発射する逆反射センサーのごとき光学センサーをポートドア内にさらに含んでよい。逆反射センサーを備えることにより、ＦＯＵＰドアが順方向で適切に受領された時に、ＦＯＵＰドアカバーの透明窓部（図示せず）を通して送られる逆反射センサーからの光線が孔部１５０を通過してセンサーに戻される。しかしながら、ＦＯＵＰドアが逆方向の場合には光線はセンサーに戻されず、それによりコントローラーはＦＯＵＰドアが逆方向であることを認知し、ＦＯＵＰドアをＦＯＵＰに戻さない判断をする。
【００３２】
別の実施例では、前述のようにポートドア内に搭載される光学センサーと整合するＦＯＵＰドアカバーの外面に反射パッチを提供して良い。このような実施例では、ＦＯＵＰドアが適切な配向で受領されると、光学センサーから送られる信号は反射パッチからセンサーに戻される。しかしながら、ＦＯＵＰドアが逆方向の場合は光学センサーからの信号は戻されない。ゆえに、コントローラーはＦＯＵＰドアが順方向であるか逆方向であるかを識別でき、それによってＦＯＵＰドアをＦＯＵＰに戻すか否かを決定することができる。
【００３３】
本明細書では本発明を詳述してきたが、本発明は本書中で開示されている実施例によって制限されない。当業者によって様々な変更、置き換え、あるいは改善が本発明の範囲から離れることなく加えられる。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】図１は、従来技術によるＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図２Ａ】図２Ａは、従来技術によるＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の側面図である。
【図２Ｂ】図２Ｂは、従来技術によるＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の側面図である。
【図３】図３は、ＦＯＵＰが密閉される際に半導体ウエハーが外れないように受領するＦＯＵＰドア内の凹状部を示す従来技術によるＦＯＵＰ内部の側面図である。
【図４】図４は上部と下部が非対称の搭載構造を含む、本発明によるＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図５】図５は図４の搭載構造が逆方向のＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの係合を防ぐ仕組みを示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図６】図６はＦＯＵＰドアのＦＯＵＰへの不適切な挿入を防ぐための非対称の搭載構造の別実施例を示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図７】図７は図６の搭載構造が逆方向のＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの係合を防ぐ仕組みを示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図８】図８はＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの不適切な係合を防ぐための非対称の搭載構造のさらなる別実施例を示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図９】図９は図８の９−９線に沿った断面図である。
【図１０】図１０は図８の１０−１０線に沿った断面図である。
【図１１】図１１は図８の搭載構造が逆方向のＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの係合を防ぐ仕組みを示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図１２】図１２は図１１の１２−１２線に沿った断面図である。
【図１３】図１３は図１１の１３−１３線に沿った断面図である。
【図１４】図１４は本発明のさらなる別実施例によるＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの不適切な係合を防ぐための非対称の搭載構造を示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図１５】図１５は図１４の１５−１５線に沿った断面図である。
【図１６】図１６は図１４の１６−１６線に沿った断面図である。
【図１７】図１７は図１４の搭載構造が逆方向のＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの係合を防ぐ仕組みを示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【図１８】図１８は図１７の１８−１８線に沿った断面図である。
【図１９】図１９は図１７の１９−１９線に沿った断面図である。
【図２０】図２０はＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの不適切な係合を防ぐための本発明の別実施例を示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の側面図である。
【図２１】図２１は図２０の実施例が逆方向のＦＯＵＰドアのＦＯＵＰとの係合を防ぐ仕組みを表す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の側面図である。
【図２２】図２２はＦＯＵＰドアがＦＯＵＰに不適切に係合されることを防ぐための本発明のさらなる別実施例を示す、ＦＯＵＰドアおよび外殻の内部の正面図である。
【国際公開パンフレット】
2004525502.tif 000003
2004525502.tif 000004
2004525502.tif 000005
2004525502.tif 000006
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
2004525502.tif 000035