(57)【要約】改良したデバイス、システム及び方法が非線形光学素子（ＮＬＯ）３４を使用して、入力レーザーエネルギー２０を出力エネルギー１２に転換する。出力エネルギーは、入力エネルギーと異なる波長を有し、転換は、ＮＬＯ３４に対するエネルギーの角度と、ＮＬＯの温度との両方に応答して変化する。ＮＬＯ３４に熱的に連結した部材４０、４２の熱膨張に基づいて、ＮＬＯ３４に関する入力エネルギー２０の角度にわたる受動的な制御が、入力レーザーエネルギー２０に関してＮＬＯ３４の調整角度３６を変化させることによって、所望の出力周波数、転換効率フェーズマッチングなどを維持するように、転換の温度誘導変化を補償できる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザーシステムであって、
第一の周波数を有するレーザービームを発生するレーザー、
前記ビームの光路に配列される非線形光学素子であって、前記非線形光学素子が、前記第一の周波数を第二の周波数へ転換し、前記転換が、前記光路に対する前記非線形光学素子の角度とともに変化する、非線形光学素子、及び
第一の熱膨張係数を有する第一の部材であって、前記第一の部材が、前記非線形光学素子に熱的に連結され、前記非線形光学素子の温度の変化にともなう前記第一の部材の寸法の熱膨張が、前記非線形光学素子の角度を変化させる、第一の部材、
から成るレーザーシステム。
【請求項２】
前記非線形光学素子が前記温度の変化を受けたときに、前記非線光学素子の角度の所定の変化が、前記部材の前記熱膨張によってなされ、
前記転換の所望の調整が、前記角度の所定の変化によってなされる、
ところの請求項１のレーザーシステム。
【請求項３】
前記非線形光学素子によって与えられる前記転換も、前記非線形光学素子の温度とともに変化し、
角度によって誘導される前記転換の調整が、前記非線形光学素子による温度によって誘導される前記転換の変化を補償する、
ところの請求項２のレーザーシステム。
【請求項４】
前記非線形光学素子の温度が、当該レーザーシステムの作動中に、所定の温度範囲にわたって変化すると、前記第二の周波数が、所望の範囲内にあるように、前記非線形光学素子が前記光路内で前記部材によって枢動される、ところの請求項３のレーザーシステム。
【請求項５】
前記第一の部材に取り付けられる第二の部材からさらに成り、
前記第二の部材が、第二の熱膨張係数を有し、
前記第二の膨張係数が、前記第一の膨張係数と異なり、
熱膨張の差が、取り付けられた前記第一及び第二の部材の曲り角度を変化させ、前記非線形光学素子の角度が、前記曲り角度に機械的に連結される、
ところの請求項１のレーザーシステム。
【請求項６】
所望の屈折の変化を行うように、患者の角膜に前記ビームを選択的に指向するためのビーム制御システムからさらに成り、
当該レーザーシステムが、レーザー眼手術システムから成る、請求項１のレーザーシステム。
【請求項７】
前記レーザーが、固体レーザーからなり、前記角膜に入射する前記ビームの周波数が、約１８０から約２１０ｎｍの範囲にある、ところの請求項６のレーザーシステム。
【請求項８】
レーザー眼手術システムであって、
第一の周波数を有するレーザービームを発生するレーザー、
前記ビームに対する角度を定義するように、前記ビームの光路に配列される非線形光学素子であって、前記非線形光学素子が、前記第一の周波数を第二の周波数へ転換し、前記転換が、前記角度の変化にともなう角度誘導変化を有し、前記転換が、前記非線形光学素子の温度の変化にともなう温度誘導変化を有する、ところの非線形光学素子、
熱膨張係数を有する第一の部材を含む補償器であって、前記非線形光学素子の温度の変化が前記第一の部材の寸法を変化させるように、前記第一の部材が前記非線形光学素子に熱的に連結され、前記第一の部材が前記非線形光学素子に機械的に連結され、前記第一の部材の寸法の変化が、前記非線形光学素子の前記角度を変化させ、前記転換の前記角度誘導変化が、前記転換の前記温度誘導変化を補償する、ところの補償器、及び
前記非線形光学素子からの前記光路にあるビーム指向システムであって、前記ビーム指向システムが、角膜の屈折の特性の所望の変化を行うように、前記角膜の部分に向けて前記ビームを選択的に指向する、ところのビーム指向システム、から成るシステム。
【請求項９】
レーザーで第一の周波数のレーザービームを発生する工程、
非線形光学素子で前記ビームを第二の周波数に転換させる工程であって、この転換工程が、前記非線形光学素子の温度とともに変化し、且つ、前記非線形光学素子及び前記レーザービームによって定義される角度とともに変化する、ところの工程、及び
前記非線形光学素子から部材に熱を伝えることによって、前記非線形光学素子の温度によって誘導される変化を受動的に補償する工程であって、前記部材の熱膨張が前記非線形光学素子の前記角度を調整する、ところの工程、
から成る方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の背景
本発明は、レーザーエネルギー波長を制御し、転換するためのデバイス及び方法に関し、特定的な実施例では、非線形光学素子の受動的な温度補償システムを与える。
【０００２】
レーザーは、材料を非常に精密な形状に切除するために長年の間使用されてきた。様々な外科的処置で組織のアブレーション、特に屈折矯正手術中の角膜のアブレーションにエキシマレーザーが広く使用されている。典型的に、組織の露出は、所望の角膜形状に変更するように制御される。角膜形状の変更は、眼鏡矯正の必要性をなくすように目の屈折エラーを矯正することを意図とするもの又は目から異常を取り除くことを意図とするものであり得る。
【０００３】
既知のレーザーによる目の処置は、一般に、紫外線又は赤外線レーザーを使用し、角膜から基質組織の極薄い膜を除去し、その屈折特性を変更する。レーザーは、好適に、目の周囲と下層に著しい熱的な損傷を生じさせることなく、角膜組織を光分解するように選択された周波数を有する。この選択された周波数は、分子間結合を直接分解することにより、放射線を受けた分子を小さい揮発性のフラグメントに光化学的に分解できる。これら既知の屈折矯正レーザーは、一連の離散的なエネルギーパルスのようにレーザーエネルギーを送る。各パルスは、角膜表面付近から薄い体積をアブレーションするのに十分なエネルギーを有する。屈折矯正手術システムは、例えばアブレーションマスク、移動アパーチャー、角膜表面にわたってレーザーを移動させる走査システム、これら技術を組み合わせたものなどを使用して、角膜にわたるアブレーションレーザーエネルギーの分布を制御する。
【０００４】
複数のレーザービームを制御することによって角膜を切除するためのシステム及び方法の一例が、係続中の米国特許出願第０９／２７４４９９号（１９９９年４月２３日出願）（参照文献として組み入れられる）に記載される。
【０００５】
既知のレーザー眼手術システムによって非常に良好な結果が得られることがわかっているが、さらに改良されることが望まれる。特に、既知のレーザー眼手術システムは、エキシマレーザーに頼って、低い紫外線波長のレーザーエネルギーを発生させている。このレーザーエネルギーを発生させるために、これらエキシマレーザーは、アルゴン・フッ素のようなガスを使用して、約１９３ｎｍの波長を有するビームを発生させている。このようなエキシマレーザーは非常に有効であるが、レーザーでのガスの消費に関連して著しいメンテナンスコストがかかる。サービスコストとレーザーチャンバの寿命が理想的でなく、光学素子のクリーニングと交換が、所望以上に多い。
【０００６】
固体レーザーは、多くの所望の特性を有する。例えば、このレーザーは、エキシマレーザーよりも高い繰返し速さを有する。固体レーザーは、また、低コストであり、エキシマレーザーよりも寿命が長い。しかし、一般に、固体レーザーは、目の手術や、半導体製造、治療的応用などを含む他の応用に望まれる低い紫外線波長で高い干渉性の放射線を与えない。
【０００７】
非線形光学素子（ＮＬＯ（ｎｏｎ−ｌｉｎｅａｒ ｏｐｔｉｃｓ）と略示することもある）を使用してレーザーの出力波長をより望ましい周波数に転換することによって屈折矯正手術やその多の応用に固体レーザーを使用することが提案されてきた。非線形光学素子は、一般に、入射する放射線と著しく異なったエネルギーを発生する。非線形光学素子は、ベータ・バリウム・ボラーテ、リチウム・トリボラーテ、セシウム・リチウム・ボラーテ、周期プールド・リチウム・ニオバーテ（ＬｉＮｂＯ３）及び他の材料（例えば、ＲＴＡ、ＲＴＰ、ＧａＡｓ、ＫＴＡ、ＫＴＰ、ＬｉＴａＯ３、リチウム・タンタラーテなど）を含む。これら及び他の非線形結晶が、例えばレーザーエネルギーを倍化することによって、初期の波長を有するレーザーエネルギーを、初期の波長の調波である波長を有する他のレーザーエネルギーに転換するために使用できる。これら及び他の非線形結晶材料も、二つ又はそれ以上の異なったレーザー入力エネルギーを組み合わせるために使用され、例えば、出力レーザーエネルギーの周波数を加算するように入力エネルギーを混ぜ合わせることによって、所望の波長の出力エネルギーを発生する。固体レーザーから干渉性のある低い紫外線出力を発生するための方法及びシステムの一例が、Ｍｅａｄらによる米国特許第５７４２６２６号（参照文献として組み入れられる）に記載されている。
【０００８】
提案されたレーザー眼手術の周波数多重化及び加算混合出力がレーザー眼手術、半導体製造などでの使用に著しい潜在的な利点を与えるが、この提案された固体レーザーシステムには不利点がある。一般に、非線形光学素子によって与えられるエネルギー転換は、温度とともに著しく変化する。より特定的に、ＮＬＯでの効率的なフェーズマッチングや光学周波数転換のための入射角が、ＮＬＯの温度の関数であり得る。
【０００９】
ＮＬＯがレーザービームの周波数を変化させるために使用されている既知のデバイス（例えば、第二又は第三の調発生、二つの異なるビームの加算混合など）では、結晶の温度が、所望の転換特性を維持するように能動的に制御される。ＮＬＯを使用する他の既知のシステムでは、入射角が、感知温度変化に応答してＮＬＯを回転させるようにＮＬＯに連結したモータに制御信号を与えることによって能動的に変化される。これら両方の既知の能動ＮＬＯ温度補償システムは、センサデータをモニターし、センサデータを制御システムにフィードバックし、所望のエネルギー出力を維持するようにＮＬＯの制御メカニズム（温度又は角度）を変化させることに頼っている。このように複雑なフィードバックシステムは、より共通的な変形物（例えば、エキシマレーザー）にわたって潜在的な利点を著しく軽減し、提案された固体、低紫外線システムのコストの複雑さを増大させる。
【００１０】
上述のように、改良したレーザーシステム、方法及びデバイスを与えることが望まれている。特に、これら改良技術が能動（及び高価な）フィードバック及び制御システムに頼ることをなくす場合に、ＮＬＯの出力を維持及び／又は制御するための改良技術及びシステムを与えることに、特に利益がある。本発明のデバイス、システム及び方法は、既知の固体レーザーシステムの不利点を少なくとも軽減し、これにより、これら改良物の幾つか又は全てを実現する。
【００１１】
発明の概要
本発明は、放射エネルギーを転換するための改良したデバイス、システム及び方法を提供する。本発明のシステムは、非線形光学素子（ＮＬＯ）を使用し、入力レーザーエネルギーを出力エネルギーへ転換する。出力エネルギーは、入力エネルギーと異なる波長を有する。ＮＬＯによる転換は、ＮＬＯに対するエネルギーの角度と、ＮＬＯの温度とに応答して変化する。本発明は、ＮＬＯに熱的に連結される部材の熱膨張に基づいて、ＮＬＯの角度を受動的に制御する。利点的に、ＮＬＯの角度の変化を誘導する熱膨張は、所望の出力周波数、転換効率、フェーズマッチング（ｐｈａｓｅ ｍａｔｃｈｉｎｇ）などを維持するように、温度によって誘導される転換の変化を補償する。
【００１２】
第一の態様では、本発明は、第一の周波数を有するレーザービームを発生するレーザーを含む。ＮＬＯが、ビームの光路に配列される。ＮＬＯは、第一の周波数を第二の周波数へ転換する。この転換は、光路に対するＮＬＯの角度とともに変化する。第一の熱膨張係数を有する第一の部材がＮＬＯに熱的に連結され、ＮＬＯの温度変化にともなうＮＬＯの寸法の変化が、ＮＬＯの角度を変化させる。
【００１３】
好適に、部材の寸法の変化は、所望の転換の調整を行うように、ＮＬＯの角度の所定の変化を行う。典型的に、角度に誘導される転換の調整は、温度に誘導される転換の変化を補償する。ＮＬＯは、部材による受動的な膨張に応答して光路内で枢動し、レーザーシステムの作動中にＮＬＯの温度が所定の温度範囲にわたって変化するとき、第二の周波数が所望（所定）の範囲内にある。
【００１４】
実施例では、異なった熱膨張係数を有する第一及び第二の部材が、部材の曲り角度を変化させる。曲り角度は、光路内でＮＬＯを枢動する。選択的に、角度調整メカニズムによって、システムのカリブレーション及び調整のため、温度から独立してＮＬＯの角度を変化させることができる。適当な調整メカニズムは、マイクロメーターの線形スケールのシステムに類似する構造を使用し得る。
【００１５】
他の態様では、本発明は、レーザー眼手術システムを提供する。このシステムは、第一の周波数を有するレーザービームを発生するレーザーを含む。ＮＬＯが、ビームに対する角度を定義するように、ビームの光路に配列される。ＮＬＯは、第一の周波数を第二の周波数へ転換する。転換は、角度の変化にともなう角度誘導変化、及びＮＬＯの温度変化にともなう温度誘導変化を示す。補償器が、熱膨張係数を有する第一の部材を含む。第一の部材は、ＮＬＯの温度変化が第一の部材の寸法を変化させるように、ＮＬＯに熱的に連結される。第一の部材は、ＮＬＯに機械的に連結される。第一の部材の寸法の変化は、転換の角度誘導変化が転換の温度誘導変化を補償するように、ＮＬＯの角度の変化を行う。ビーム指向システムが、ＮＬＯからの光路に配列される。ビーム指向システムは、角膜の屈折特性の所望の変化を行うように、角膜の位置に向けてビームを選択的に指向する。
【００１６】
方法の態様では、本発明は、レーザーで第一の周波数のレーザービームを発生することを含む方法を提供する。レーザービームは、ＮＬＯで第二の周波数に転換される。この転換工程は、ＮＬＯの温度、及びＮＬＯ及びレーザービームによって定義される角度とともに変化する。ＮＬＯの温度によって誘導される変化は、ＮＬＯから部材へ熱を伝達することによって受動的に補償される。
【００１７】
特定的な実施例の説明
図１を参照する。屈折矯正手術システム１０が、レーザーエネルギー１２を目Ｅの角膜の表面Ｓに選択的に向ける。特許文献によく記載されているように、表面Ｓは、基質組織の表面であり得る。この基質組織は、レーザーアブレーション（ｌａｓｅｒ ａｂｌａｔｉｏｎ）、切抜き、剥離などによって角膜の上皮層を除去することによって露出され得る。多くの場合、レーザー・イン・シチュ角膜切除（ＬＡＳＩＫ：Ｌａｓｅｒ ｉｎ ｓｉｔｕ ｋｅｒａｔｏｍｉｌｅｕｓｉｓ）では、基質組織の表面Ｓは、角膜を選択的に切開し、角膜組織の一部又は”フラップ”を取り除く（フラップは、角膜の視覚的に使用される部分以外のところに付けられたままである）ことによって露出される。
【００１８】
レーザーシステム１０は、レーザー１４、及びビーム指向システム１６を含む。これらレーザー１４及びビーム指向システム１６は、両方とも、コントローラ１８に連結されている。コントローラ１８は、典型的に、レーザーエネルギー１２を角膜の表面Ｓに選択的に指向するようにタンジブル媒体に記憶したプログラムを含むＰＣワークステーションのようなプロセッサを含む。
【００１９】
指向システム１６によって、レーザーエネルギー１２は、角膜の表面Ｓにわたって横方向に選択的にプロフィール及び／又は偏向される。レーザーエネルギー１２を横方向に（例えば、偏向ミラー、プリズム、可変オフセット結像レンズなどを使用して）偏向させるシステムは、走査システムと呼ばれている。幾つかの既知のレーザー眼手術システムは、（例えば、可変アイリスや可変幅スリットのような可変アパーチャー、アブレーションマスクなどを使用して）レーザーエネルギーパルスの一部又は全部のレーザーエネルギーの部分を遮断し、レーザーエネルギーを受ける表面Ｓのパターンが、所望の再切除を行う。幾つかのシステムでは、プロフィールと走査の組合せが使用される。エネルギー指向システム及びこれに関連するコントローラを含む市販のレーザーシステムは、ヴィスクス社（カリフォルニア州サンタ・クララ）、サミット・テクノロジー社（マサチューセッツ州）、ニデック社（日本国蒲郡）などから入手できる。
【００２０】
コントローラ１８は、レーザーの発射を制御するように、レーザー１４に連結される。レーザーエネルギー１２は、角膜組織の光分解に適したレーザーエネルギーのパルス（好適に、約１８０ｎｍから約２１０ｎｍの範囲、理想的に、約１９３ｎｍの波長を有する）からなるが、レーザー１４で発生される初期のレーザーエネルギー２０は、非常に異なった波長を有し得る。
【００２１】
レーザー１４は、固体レーザーからなる。固体レーザーは、約１ミクロンの波長を有するビームを発生するダイオードポンプＮｄ：ｙＡＧレーザーからなる。他の固体レーザーは、従来技術で既知の他の多くの材料を含み得る。レーザーの一例が、米国特許第５７４２６２６号（参照文献として組み入れる）に記載されている。
【００２２】
レーザーシステム１０は、レーザー１４からのレーザーエネルギーの光路に周波数転換システム２２を含む。周波数転換システム２２は、初期のレーザーエネルギー２０の波長を安全な光アブレーション性の波長に転換する。レーザーエネルギーの波長を所望の光アブレーション波長に変化させるために、周波数転換システム２２は、一つ又はそれ以上の非線形光学素子を含む。周波数転換システム２２は、典型的に、複数の非線形光学素子を含む。各非線形光学素子は、一つ又はそれ以上の入力周波数を他の周波数に転換する。初期のレーザーエネルギー２０からアブレーション性のエネルギー１２への全体の転換が、一連の離散的な工程のように起こる。
【００２３】
温度変化に対するレーザーシステム１０の感度を低減させるために、一つ又はそれ以上の非線形光学素子は、図２に示すように、温度作動式位置決めデバイス３０を使用して、光路内に受動的に位置される。
【００２４】
図２を参照する。温度作動式位置決めデバイス３０は、非線形光学素子とレーザービーム２０によって定義される角度３６を変化させるように、枢動支軸３４に関して非線形光学素子３２を選択的に枢動させる。
【００２５】
角度３６は、典型的に、非線形光学素子３２の表面への初期のレーザーエネルギー２０の入射角を含む。有効なフェーズマッチングの所望の入射角と非線形光学素子３２の光学周波数の転換は、非線形光学素子の温度の関数として変化する。レーザーエネルギー２０が顕著であり且つ非線形光学素子が完全な転換効率を有さないと、レーザーエネルギー２０は、非線形光学素子３２を充分に加熱し、非線形光学素子の温度がレーザーシステム１０の作動中に著しく変化する。
【００２６】
角度３６を調整することによって非線形光学素子３２の温度の変化を受動的に補償するために、位置決めデバイス３０が、非線形光学素子３２に熱的に連結した補償器３８を含む。補償器３８は、非線形光学素子３２に取り付けられる第一及び第二の部材４０、４２を含む。これら部材の温度は、非線形光学素子の温度とともに変化する。第一及び第二の部材４０、４２は、弾性的に撓み、曲り角度４４を形成するように、一緒に取り付けられている。これら部材は、異なった熱膨張係数を有する異なった材料からなり、曲り角度４４は、これら部材の温度（すなわち、非線形光学素子３２の温度）とともに変化する。
【００２７】
第一及び第二の部材４０、４２は、二種の金属からなるストライプからなり、これら二つの異なった金属は、様々な取付構造（溶接、スポット用世知、ファスナー、接着などを含む）のいずれによっても取り付けられる。これら部材４０、４２を作成するのに適した材料は、ステンレス鋼、ＫＯＶＡＲ（商標）、金属、真鍮、銅などを含む。部材４０、４２は、変形的に、ポリマー、複合材料などを含む非金属材料からなり得る。
【００２８】
選択的に、第一の材料４０は、第二の部材４２の熱膨張係数よりも充分に大きい熱膨張係数を有し得る。非線形光学素子３２の温度が上昇すると、第一の部材４０の長さが、第二の部材４２の長さよりも長くなる。この異なった熱膨張の結果、曲り角度４４が増大する。ここで、幾つかの実施例では、第二の部材４２は、第一の部材よりも大きい熱膨張係数を有し、及び／又はこれら部材の一方又は両方が、負の熱膨張係数を有する材料からなり得る。
【００２９】
曲り角度４４が変化すると、第一及び第二の部材４０、４２の撓みの変化によって、非線形光学素子３２が、矢印４６で示すように、枢動支軸３４に関して枢動する。より特定的に、撓んでいる第一及び／又は第二の部材４０、４２が、バイアスシステム５０によって、調整可能ピン４８に向けて動かされる。第一及び／又は第二の部材４０、４２はピン４８に支えられ、そして、これら部材が非線形光学素子３２に沿って取り付けられると、曲り角度の変化によって、非線形光学素子が枢動する。
【００３０】
調整可能ピン４８は、調整メカニズム５２に支持される。調整メカニズム５２は、マイクロメータ駆動装置と同様の精密線形（及び／又は角度）調整駆動装置を含む。マイクロメータ駆動装置の調整メカニズムの調整が、ピン４８と、第一及び／又は第二の部材４０、４２との間の接触面の場所を変化させ、非線形光学素子の枢動角のカリブレーションをする。
【００３１】
温度作動式位置決めデバイス３０が、非線形光学素子の特性の温度誘導変化を補償するように、熱膨張が非線形光学素子の位置の変化を行うメカニズムの一例にすぎないことが理解される。変形的に、非線形光学素子とともに使用するために変更され得る温度補償パッケージも本発明の範囲内で可能である。図３に、固体レーザーシステム１０´の一例を示す。システム１０´は、初期のレーザービーム２０を発生するレーザー１４を含む。レーザー１４は、選択的に、４０ワットのダイオードポンプＮｄ：ｙＡＧレーザーからなり、これは、１０Ｋｈの繰返し速さの短いパルスを与えるように、Ｑスイッチ（Ｑ−ｓｗｉｔｃｈｅｄ）され、キャビティ・ダンプ（ｃａｖｉｔｙ−ｄｕｍｐｅｄ）される。この例示のレーザーは、約１．０６５ミクロンの波長を有するビームを発生できる。
【００３２】
初期のビーム２０は、ビームスプリッタ６０によって分離される。ビームスプリッタ６０は、ビームの一部を光学パラメトリックオシレータ６２へ送り、ビームの残りの部分を調波発生ステージ６４へ送る。これら二つのビームの部分は、和周波数発生器６６で組み合わされ、所望の紫外線波長ビーム１２を発生する。調波発生ステージ６４は、周波数ダブラ（ｄｏｕｂｌｅｒ）６８、第四の調波発生器７０及び第五の調波発生器７２を含む多数の非線型光学素子を含む。これら構成成分の各々の使用における構造は、米国特許第５７４２６２６号に詳細に記載されている。図３に示すように、これら構成成分は、選択的に、制御モジュール１８ａ、１８ｂを分離するように連結される。これら制御モジュールは、選択的に、単一のプロセッサ又は複数の別々のプロセッサボード上で実行する。
【００３３】
一般に、例示したレーザーシステム１０´の非線形光学素子は、図２を参照して上述したように、位置決めデバイス３０に連結され、センサ作動モータや熱制御システムなどを使用して、非線形光学素子の位置及び／又は温度の能動的な制御を固体レーザーシステムが頼りとすることをなくす及び／又は低減する。このような能動的な制御システムが上述したように受動的な熱作動式位置決めシステムとともに使用されるが、図３に示すもののようなマルチコンポーネント固体レーザーシステムの非線形光学素子の能動的な制御の幾つか又は全てを低減及び／又はなくすことが可能である。
【００３４】
本発明を例示して説明したが、様々な変更物、変形物及び適合物が当業者には明らかである。よって、本発明の範囲は、添付の特許請求の範囲によってのみ限定される。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、本発明の原理に従って、レーザー眼手術システム及び方法の説明図である。
【図２】
図２は、レーザービームの周波数を転換するための非線形光学素子（ＮＬＯ）及びＮＬＯを支持する支持システムの部分断面図であり、ＮＬＯの温度変化がレーザービームに対するＮＬＯの角度を変化させるところを示す。
【図３】
図３は、関連する複数の非線形光学素子に用いられる複数の温度作動式位置決めシステムを含む固体レーザーシステムの一例を示す。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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