(57)【要約】２つの基板（１０，２０）間に挟装された複数のマイクロコンポーネント（４０）を有する発光パネルの改良を開示する。各マイクロコンポーネント（４０）は、少なくとも２つの電極（１０，２０）を介してマイクロコンポーネントに十分に大きな電圧が印加されたときにイオン化可能なガスまたはガス混合を封入している。また、マイクロコンポーネント（４０）を形成する製造方法の改良もいくつか開示する。
2004533099.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、１つ以上のマイクロコンポーネントが少なくとも一部分燐光体で被覆されており、また１つ以上のマイクロコンポーネント上には前記燐光体以外の少なくとも１つのコーティング材が少なくとも一部分配設されている、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、これら複数の電極のうち少なくとも２つの電極を、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上のマイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列させている。
【請求項２】
請求項１に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティング材が二次放射増進材であることを特徴とする発光パネル。
【請求項３】
請求項１に記載の発光パネルであって、前記複数のマイクロコンポーネントの各々は反射材で被覆されており、また該反射材の少なくとも一部上には屈折率整合材料が配設されていて、前記反射性材料と前記屈折率整合材料との界面において各マイクロコンポーネントから所定波長域の放射線が発せられるようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項４】
請求項３に記載の発光パネルであって、前記界面の大きさを選択して発光パネルの特定の視野角を形成するようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項５】
請求項１に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティング材が接着剤または結合剤であることを特徴とする発光パネル。
【請求項６】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、また１つ以上のマイクロコンポーネント上には少なくとも１つのコーティング材が少なくとも一部分配設されている、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、これら複数の電極のうち少なくとも２つの電極を、第１基板または第２基板だけに接着させるか、または少なくとも１つの電極を前記第１基板および第２基板の各々に接着させ、前記少なくとも２つの電極を、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上のマイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列させている。
【請求項７】
請求項６に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティング材が二次放射増進材であることを特徴とする発光パネル。
【請求項８】
請求項６に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティングが燐光体であることを特徴とする発光パネル。
【請求項９】
請求項６に記載の発光パネルであって、前記複数のマイクロコンポーネントの各々は反射材で被覆されており、また該反射材の少なくとも一部上には屈折率整合材料が配設されていて、前記反射材と前記屈折率整合材料との界面において各マイクロコンポーネントから所定波長域の放射線が発せられるようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項１０】
請求項９に記載の発光パネルであって、前記界面の大きさを選択して発光パネルの特定の視野角を形成するようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項１１】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、また１つ以上のマイクロコンポーネント上には少なくとも１つのコーティング材が少なくとも一部分配設されている、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、これら複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上の前記マイクロコンポーネントが前記少なくとも２つの電極と交差することなく前記発光パネルの視野全体に放射線を発するように、配列されていることを特徴とする。
【請求項１２】
請求項１１に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティング材が二次放射増進材であることを特徴とする発光パネル。
【請求項１３】
請求項１１に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティングが燐光体であることを特徴とする発光パネル。
【請求項１４】
請求項１１に記載の発光パネルであって、前記複数のマイクロコンポーネントの各々は反射材で被覆されており、また該反射材の少なくとも一部上には屈折率整合材料が配設されていて、前記反射材と前記屈折率整合材料との界面において各マイクロコンポーネントから所定波長域の放射線が発せられるようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項１５】
請求項１４に記載の発光パネルであって、前記界面の大きさを選択して発光パネルの特定の視野角を形成するようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項１６】
請求項１１に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのコーティング材が接着剤または結合剤であることを特徴とする発光パネル。
【請求項１７】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、また少なくとも１つのシェルが少なくとも１つのドーパントを備えてなる、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、これら複数の電極のうち少なくとも２つの電極は、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上の前記マイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列されている。
【請求項１８】
請求項１７に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのドーパントが二次放射増進材であることを特徴とする発光パネル。
【請求項１９】
請求項１７に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのドーパントが導電性物質であることを特徴とする発光パネル。
【請求項２０】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、また１つ以上のマイクロコンポーネントが静電気帯電される、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、少なくとも２つの電極は、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上のマイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列されている。
【請求項２１】
請求項２０に記載の発光パネルであって、少なくとも１つの電極を付勢させて静電界を造るようにし、１つ以上のマイクロコンポーネントの、前記複数のソケットのうち少なくとも１つのソケットソケットへの取り付け／保持を補助するようにしたことを特徴とする発光パネル。
【請求項２２】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、また１つ以上のマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が二次放射増進材で被覆されている、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、少なくとも２つの電極は、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上の前記マイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列されている。
【請求項２３】
以下の構成からなる発光パネル：
第１基板、該第１基板は複数のソケットを備えてなる、
複数のマイクロコンポーネント、各マイクロコンポーネントはプラズマ形成ガスが少なくとも部分的に充填されたシェルを備えてなり、複数のマイクロコンポーネントのうち少なくとも１つのマイクロコンポーネントはその少なくとも一部分が各ソケットに配設されていて、１つ以上のマイクロコンポーネントが反射材で被覆されており、また前記反射材上には少なくとも１つの屈折率整合材料が配設されている、
第２基板、この第２基板は前記第１基板に対向して設けられ、これら第１基板と第２基板との間に前記少なくとも１つのマイクロコンポーネントを挟装するようにしている、および
複数の電極、少なくとも２つの電極は、これら少なくとも２つの電極への印加電圧により１つ以上のマイクロコンポーネントが放射線を発するように、配列されている。
【請求項２４】
マイクロコンポーネントを形成する連続工程であって、少なくとも一部の工程がプラズマ形成ガスの存在下において実行され、その工程が以下のステップからなることを特徴とする工程：
小滴を形成する、
該小滴を水溶液から形成された外膜で覆う、および
前記小滴を除去してシェルを残す。
【請求項２５】
請求項２４に記載の工程であって、少なくとも１つのコーティング材を前記シェル上に少なくとも一部分配設するステップをさらに含むことを特徴とする工程。
【請求項２６】
請求項２５に記載の工程であって、前記少なくとも１つのコーティング材は、燐光体、接着剤、結合剤、二次放射増進材および反射材からなる群から選択されることを特徴とする工程。
【請求項２７】
請求項２４に記載の工程であって、前記小滴が、二次放射増進材または反射材からなり、該小滴を除去すると、前記二次放射増進材または前記反射材が少なくとも一部分前記シェルの内側に被覆されることを特徴とする工程。
【請求項２８】
請求項２４に記載の工程であって、前記水溶液に少なくとも１つのドーパントを添加し、前記小滴を除去したとき、前記シェルが前記少なくとも１つのドーパントを備えてなるようにするステップをさらに備えてなることを特徴とする工程。
【請求項２９】
請求項２４に記載の工程であって、前記ドーパントは、導電性材料、二次放射増進材および燐光体からなる群から選択されることを特徴とする工程。
【請求項３０】
複数のマイクロコンポーネントを形成する方法であって、該方法が以下のステップからなることを特徴とする方法：
第１基板と第２基板との少なくとも一方に複数の空洞部を形成する、
プラズマ形成ガスの存在下において前記第１基板を前記第２基板に貼着して、貼着時、前記複数の空洞部がプラズマ形成ガスで充填されるようにした。
【請求項３１】
請求項３０に記載の方法であって、前記プラズマ形成ガスの存在下において前記第１基板を前記第２基板に貼着するステップが、前記第１基板と前記第２基板との間に少なくとも１つの電極を配設するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項３２】
請求項３０に記載の方法であって、少なくとも１つのコーティング材を前記複数の空洞部の少なくとも１つの空洞部の内側に配設するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項３３】
請求項３０に記載の方法であって、少なくとも１つのコーティング材を前記複数の空洞部の少なくとも１つの空洞部の外側に配設するステップをさらに含むことを特徴とする方法。
【請求項３４】
複数のマイクロコンポーネントを形成する方法であって、以下のステップからなることを特徴とする方法：
第１基板を第１ローラ体に通す、前記第１ローラ体は、複数の凸部を有する第１ローラと複数の凹部を有する第１ローラとからなり、また前記複数の凸部は前記複数の凹部と斉合して設けられていて、前記第１基板が前記第１ローラ体に位置するとき、前記第１基板に複数の空洞部が形成されるようになっている、
第２基板を第２ローラ体に通す、および
少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下において前記第１基板を前記第２基板に貼着して、貼着時、前記複数の空洞部が前記少なくとも一種のプラズマ形成ガスで少なくとも一部分充填されるようにする。
【請求項３５】
請求項３４に記載の方法であって、前記第２ローラ体は、複数の凸部を有する第２ローラと複数の凹部を有する第２ローラとからなり、前記第２基板が第２ローラ体に位置するとき、前記第２基板に複数の空洞部が形成されるようになっていることを特徴とする方法。
【請求項３６】
請求項３４に記載の方法であって、前記少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下において前記第１基板を前記第２基板に貼着するステップが、前記第１基板を第２基板に貼着する前に、これら第１基板と第２基板との間に少なくとも１つの電極を配設するステップを含むことを特徴とする方法。
【請求項３７】
マイクロコンポーネントを作る方法であって、該方法がプラズマ形成ガスの存在下において遂行され、以下のステップからなることを特徴とする方法：
材料を設ける、
該材料内に封入体を導入する、
この材料を熱処理して、前記封入体が材料内部において複数の泡を形成し始めるようにする、
それらの泡を合体させて多孔質のシェルを形成するようにする、および
前記シェルを冷却して、該シェルの冷却時、前記プラズマ形成ガスが前記シェルの内部に密封されるようにする。
【請求項３８】
請求項３７に記載の方法であって、前記材料が少なくとも１つのドーパントからなり、前記シェルが前記少なくとも１つのドーパントからなるようにしたことを特徴とする方法。
【請求項３９】
請求項３７に記載の方法であって、前記多孔質のシェルを少なくとも１つのドーパントに露出させて、前記シェルの冷却時、前記シェルが前記少なくとも１つのドーパントからなるようにしたことを特徴とする方法。
【請求項４０】
請求項１７に記載の発光パネルであって、前記少なくとも１つのドーパントが燐光体であることを特徴とする発光パネル。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（関連出願の引用）
本願と同日に出願された以下の出願を本願明細書に援用する。「発光パネルのマイクロコンポーネント用ソケット」（代理人事件整理番号：２０３６９２）；「発光パネルおよびその構成部品の検査方法」（代理人事件整理番号：２０３６８６）；「発光パネルのマイクロコンポーネントの付勢方法および装置」（代理人事件整理番号：２０３６８８）；および「発光パネルおよび製造方法」（代理人事件整理番号：２０３６９４）
（発明の背景技術）
（発明の分野）
本発明は、発光パネルおよびその製造方法に関する。また、本発明は、発光パネル用マイクロコンポーネントネント（微細コンポーネント）に関する。
【０００２】
（関連技術の説明）
一般的なプラズマディスプレイでは、所定間隔を置いて直交（交差）配置された導体間にガスまたは混合ガスを封入している。直交配置された導体は、マトリックス状の交差点（クロスオーバーポイント）を形成し、多数の微小画素（ピクセル）の配列として配置されており、光を発するようにしている。どのピクセルにおいても、所定間隔を置いて直交配置された導体は、キャパシタの対向プレートとして機能するとともに、封入されたガスは、誘電体として作用する。十分大きな電圧を印加すると、前記ピクセルでのガスが分離し、正の電荷を帯びた導体に引き寄せられる自由電子および負の電荷を帯びた導体に引き寄せられる正イオンガスが発生する。これら自由電子および正イオンガスは、他のガス原子と衝突してさらに多くの自由電子と正イオンガスを発生させるアバランシェ効果を引き起こし、それによってプラズマを発生させる。なお、イオン化（電離）が発生する電圧レベルは、書き込み電圧と呼ばれる。
【０００３】
書き込み電圧を印加すると、ピクセルでのガスはイオン化（電離）し、この電離により形成された自由電荷がセルの絶縁性誘電壁側に移動して、その電荷が印加された電圧に対する対向電圧を生み出して電離を消滅させる際に、一瞬的であるが光を発する。一旦ピクセルが書き込まれると、交流維持電圧によって発光が順次連続して生じる。維持波形の振幅は、書き込み電圧の振幅よりも小さくてよい。何故なら、前の書き込み操作または維持操作から引き続き残存する壁電荷が、逆極性に印加された後続の維持波形電圧に追加する電圧を発生させて、電離性電圧を発生させるからである。このような考え方は、数学的には、Ｖｓ＝Ｖｗ−Ｖｗａｌｌと表すことができる。ここで、Ｖｓは維持電圧であり、Ｖｗは書き込み電圧であり、Ｖｗａｌｌは壁電圧である。従って、予め書き込みされなかった（または消去された）ピクセルは、維持波形だけではイオン化（電離）されない。消去操作は、予め帯電したセルの壁を放電させ得るに十分な程度の書き込み操作と考えることもできる。消去操作は、タイミングと振幅を除けば、書き込み操作と同様であるからである。
【０００４】
一般に、書き込み操作、消去操作、および維持操作に用いる導体の配置には２つある。これら配置に共通のものは、維持電極およびアドレス電極をそれらの間に封入されるプラズマ形成ガスを挟んで所定間隔を置いて配設していることである。従って、維持電極およびアドレス電極の少なくとも１つは、プラズマ形成ガスがイオン化（電離）するとき、プラズマディスプレイを出る放射線の移動軌跡内に位置することになる。従って、透明または半透明の導体材料、例えばインジウムスズ酸化物（ＩＴＯ）、を用いて、電極がプラズマディスプレイから表示される画像に干渉しないようにする必要がある。ただし、ＩＴＯ材料を用いる場合、材料自体が高価であり、製造工程や最終的なプラズマディスプレイ製品に相当のコストがかかる等の問題がある。
【０００５】
まず、第１の配置は、直交する２つの導体、すなわち、アドレス導体および維持導体、を用いたものである。このタイプのガスパネルでは、維持波形を全てのアドレス導体および維持導体の間に加えて、予め書き込みされた発光ピクセルのパターンを維持するようにしている。従来の書き込み操作の場合、好適な書き込み電圧パルスを維持電圧波形に加えて、書き込みパルスと維持パルスとの結合で電離を生じさせるようにしている。また、個々のピクセルを別々に書き込めるように、各アドレス導体と維持導体は、個別の選択回路を有している。従って、維持波形を全てのアドレス導体と維持導体の間に加える一方、書き込みパルスを１つだけのアドレス導体と１つの維持導体の間に加えることで、選択したアドレス導体と維持導体との交差部位のピルセルだけに書き込み操作が生まれる。
【０００６】
第２の配置は、導体を３つ用いたものである。このタイプのパネルは、共面維持パネルと呼ばれるもので、各ピクセルは、３つの導体、１つのアドレス導体と２つの平行維持導体、の交差点に形成される。この配列では、アドレス導体は２つの平行維持導体を直交して設けられる。このタイプのパネルは、２つの平行維持導体の間で維持機能を行ない、アドレッシング導体と２つの平行維持導体のうちの１つとの間に発生する放電によりアドレス指定を行なう。
【０００７】
維持導体は２種類ある。すなわち、アドレッシング用の維持導体と、維持専用の維持導体である。アドレッシング用の維持導体の機能は、二重性である。すなわち、維持専用の維持導体と協働して維持放電を実現する機能と、アドレス指定の役割を遂行する機能である。従って、アドレッシング用の維持導体は、１つ以上のアドレッシング用の維持導体にアドレッシング波形を加えることができるように、それぞれ個別に選択可能としている。一方、維持専用の維持導体は、一般に、維持専用の維持導体を同時に同一の電位にできるように、維持専用の維持導体の全部に維持波形を同時に加えるようなやり方で接続される。
【０００８】
従来、各種プラズマパネルディスプレイ装置は、複数の電極間にプラズマ形成ガスを封入する方法を様々用いて構成されている。例えば、表面にワイヤ電極を有するガラス製の平行板を一定の間隔を置いて配設し、その平行板間に形成された空洞部にプラズマ形成ガスを充填してその外縁部を密封するようにしたプラズマディスプレイパネルが知られているが、この種のオープン−ディスプレイ構造は、様々な問題を有している。すなわち、平行板の外縁部の密封およびプラズマ形成ガスの導入は、ともに高いコストがかかりまた多大の時間を要する工程を必要とするため、結果的に最終製品もコスト高になってしまうという問題がある。また、特に電極が通る平行板の端部部分は、高い密封性を得ることは非常に難しく、この結果、ガス漏れが生じたり製品寿命が短くなったりすることがある。また、個々のピクセルが平行板内で隔離しないという問題もある。この結果、書き込み操作時、選択ピクセルにおけるガスのイオン化の動きが近接するピクセルに波及して、近接するピクセルが点火するという望ましくない事態に発展しまう可能性がある。たとえ近接するピクセルが点火しなくても、イオン化の動きが隣接するピクセルのターンオン、ターンオフ特性を変化させてしまう可能性がある。
【０００９】
また、平行板の一方にトレンチ（溝部）を形成するか、或いは平行板間に穴開き絶縁層を別途挟むことにより、個々のピクセルを機械的に隔離させたプラズマディスプレイも知られている。このような機械的に隔離されたピクセルは、パネル全体のガス圧の均一化のためにピクセル間にプラズマ形成ガスの自由通路を形成する必要があるので、完全に囲うようにされたり相互隔離されることはない。この種ディスプレイ構造では、イオン化の波及は小さくなるが、依然として波及の可能性は残る。何故なら、ピクセルは完全には互いに電気的に隔離されていないからである。また、この種のディスプレイパネルでは、電極とガス室とを適宜位置合わせすることは難しく、ピクセルを不点火させる可能性もある。また、このオープンディスプレイ構造の場合、板端縁では高い密封を得ることは困難である。さらに、プラズマ形成ガスの導入および平行板の外縁部の密封には高いコストがかかり、また多大の時間を要する。
【００１０】
また、平行板の間で個々のピクセルが機械的に隔離されるようにしたプラズマディスプレイも知られている。この種のディスプレイでは、透明の閉鎖シェルからなる透明の球体にプラズマ形成ガスが封入される。このガスを充填した球体は、様々な方法で平行板間に収容される。その方法の１つは、サイズの異なる球体を単一の層に密に詰めるとともに不規則に分配配置させてこの層を平行板間に挟む方法である。２つ目の方法は、球体を透明の誘電性材料からなるシートにはめ込み、そしてそのシート材を平行板間に挟みこむ方法である。３つ目の方法は、電気的に非導電性材料からなる穴開きシートの穴にガスを充填した球体を分配配置させ、該シートを平行板間に挟みこむ方法である。
【００１１】
上記した各種ディスプレイはそれぞれ異なる設計思想に基づいているが、その製造において用いられる製造方法は、ほぼ同じである。従来、これらのプラズマパネルの製造には一括製造法が用いられている。当該技術分野では周知であるが、一括製造法では、個々の構成部品を別々に製造し、すなわち、別の施設や製造者により製造された後、最終の組み立て体とするために一箇所に集められて、そこで個々のプラズマパネルを一度に１つずつ作ることがよく行われる。一括工程は、例えば、最終製品を得るのに長時間を要する等の欠点が多数ある。サイクル時間が長いと製造コストが増えるし、当該技術分野で知られた別の理由でも望ましいものではない。例えば、構成部品の１つの不良を発見してからその不良箇所を修正するまでに、標準以下の不良品や、全体または一部が使い物にならないプラズマパネルの完成品を相当数製造してしまう可能性がある。
【００１２】
この点は、上記した最初の２つのディスプレイについて特に云うことが出来る。すなわち、個々のピクセルが機械的に隔離されたものでない１つ目のプラズマディスプレイと、平行板の一方にトレンチ（溝部）を形成するか、或いは平行板間に穴開き絶縁層を別途挟むことにより、個々のピクセルを機械的に隔離させた２つ目のプラズマディスプレイである。これらは、プラズマ形成ガスが個々のピクセル／サブピクセルレベルで隔離されていないため、製作工程では最終のディスプレイが組み立てられるまで個々の構成部品の大多数を検査することができない。従って、２つの平行パネルを密閉しそれら２つのプレート間の空洞部内にプラズマ形成ガスを充填してからでないと、ディスプレイの検査を行うことができない。もし後の生産試験で潜在的問題（例えば、特定のピクセル／サブピクセル部の発光不良や無発光等）が少しでも発生したことがわかった場合は、ディスプレイ全体を処分することになる。
【００１３】
（発明の開示）
本発明の好適実施形態は、エネルギーモジュレーション（調節）や粒子検知用の大面積の放射線源として、またフラットパネルディスプレイとして、使用可能な発光パネルを提供するものである。ガス−プラズマパネルは、その独特の特性から上記した用途に適している。
【００１４】
一基本形態として、発光パネルは、大面積の放射線源として使用することができる。発光パネルを、紫外線（ＵＶ）光を放射するよう構成すると、発光パネルは治療（ｃｕｒｉｎｇ）、描画（ｐａｉｎｔｉｎｇ）および滅菌手段としての用途をもち、また、紫外線光を可視白色光に変換させる白燐光体を付加すると、そのパネルは、イルミネーション源としての用途をもつ。
【００１５】
また、発光パネルは、少なくとも１つの実施形態におけるパネルの構成をマイクロ波伝送方式とすると、プラズマ切換え型フェーズアレイ（ｐｌａｓｍａ−ｓｗｉｔｃｈｅｄ  ｐｈａｓｅ  ａｒｒａｙ）として使用することができる。この場合、パネルは、プラズマ形成ガスがイオン化時にマイクロ波の屈折率の局所的変更を引起こすように（他の光の波長は正常に作用）構成される。パネルから発せられたマイクロ波の光線は、特定の局部で位相シフトを導入することにより、および／またはマイクロ波をパネル内の特定の開口部から方向づけることにより、所望のパターンに案内させたり方向付けすることができる。
【００１６】
また、発光パネルは、粒子／光子の検知にも使用することができる。この場合、発光パネルは、イオン化に要する書き込み電圧よりも僅かに低い電位を受ける。装置がパネルの特定位置または局所で外部エネルギーを受けると、その付加エネルギーがその特定域内のプラズマ形成ガスのイオン化を引き起こし、それを以って外部エネルギーを検知する手段とすることができる。
【００１７】
さらに、発光パネルは、フラットパネルディスプレイとして使用することもできる。これらのディスプレイは、同じの大きさの陰極線管（ＣＲＴ）と比較して、非常に薄くかつ軽量に製造することができるので、家庭用、オフィス用、劇場用、および広告看板用として理想的なものである。また、これらディスプレイは、大きなサイズでかつ高精密度テレビ（ＨＤＴＶ）に適応できる十分な解像度で製造することができる。また、ガス−プラズマパネルは、電磁気による歪みに苦しむことはないので、磁場によって強い影響が出るような用途、例えば、軍用、レーダーシステム用、鉄道ステーション用、その他の地下システム等々、に適している。
【００１８】
本発明の一実施形態では、発光パネルは２つの基板から作られており、これら基板の１つが複数のソケットを備えてなり、そして少なくとも２つの電極が配設されている。各ソケット内には、マイクロコンポーネントの少なくとも１部分が配設されるが、各ソケットに１つ以上のマイクロコンポーネントを配設してもよい。また、各マイクロコンポーネントは、イオン化可能なガスまたはガス混合が少なくとも部分的に充填されたシェルを備えている。マイクロコンポーネントに十分大きな電圧が印加されると、ガスまたはガス混合がイオン化してプラズマを形成し放射線を発する。
【００１９】
本発明の一実施形態では、マイクロコンポーネントは、紫外線（ＵＶ）光を発するように構成されているが、マイクロコンポーネントを燐光体で少なくとも一部被覆することにより、紫外線光を可視光に変換するようにしてもよい。また、輝度および放射線の移動効率を改善するために、各マイクロコンポーネントは、少なくとも一部分を二次放射増進材で被覆するようにしてもよい。
【００２０】
別の実施形態として、各マイクロコンポーネントは反射性材料で被覆される。また、屈折率整合材料が反射性材料の少なくとも一部分に接触するように配設される。この屈折率整合材料と前記反射性材料との組み合わせにより、前記屈折率整合材料と前記反射性材料との接点（ｔｈｅ  ｐｏｉｎｔ  ｏｆ  ｃｏｎｔａｃｔ）において所定の波長の光が各マイクロコンポーネントから発せられるようにできる。
【００２１】
本発明の別の目的は、発光パネル用のマイクロコンポーネント（微細コンポーネント）を提供することにある。少なくとも一部分が少なくとも一種のプラズマ形成ガスで充填されたシェルが、マイクロコンポーネントの基本構造を構成する。このシェルは、導電性材料、二次放射増進材、および／または紫外線を可視光に変換する材料でドープ処理またはイオン打ち込み処理するようにしてもよい。
【００２２】
本発明の別の目的は、マイクロコンポーネントの製造方法を提供することにある。実施形態では、この製造方法は、連続工程の一部分であり、シェルは少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下少なくとも部分的に形成され、そして形成されるとき、シェルがプラズマ形成ガスまたはガス混合で充填されるようにしている。
【００２３】
別の実施形態では、マイクロコンポーネントは、少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下、第１基板を第２基板に貼着することで作られる。この方法では、第１基板および／または第２基板のいずれか一方には複数の空洞部が設けられており、第１基板を第２基板に貼着するときに、前記複数の空洞部はプラズマ形成ガスまたはガス混合で充填される。好適実施形態として、第１基板は、複数の凸部を有するローラと複数の凹部を有するローラとを備えた第１ローラ体を通る。前記複数の凹凸部は互いに係合可能となっており、第１基板が第１ローラ体を通過するとき、第１基板に複数の空洞部を形成させるようにしている。第２基板は、第２ローラ体を通り、少なくとも一種のガス存在下第１基板に貼着され、これら２つの基板を貼合わせる際に、前記空洞部に前記ガスまたはガス混合が充填されるようにしている。また、別の好適実施形態として、第２ローラ体は、複数の凸部を有するローラと複数の凹部を有するローラとを備えていて、第２基板が第２ローラ体を通過するとき、第２基板にも複数の空洞部が形成されるようにしている。なお、これら実施形態のいずれも、第１基板と第２基板とを貼合わせる前にこれら基板の間に少なくとも１つの電極を挟装させるようにしてもよい。
【００２４】
また、別の実施形態として、少なくとも１つの基板を少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下において熱処理して、プラズマ形成ガスまたはガス混合が充填されたシェルを形成するようにしている。
【００２５】
本発明のこれ以外の特徴、利点、および実施形態は、以下の本明細書に一部分記述しており、部分的には本明細書から明らかであり、また発明の実施から分かるであろう。
【００２６】
（発明の好適実施形態の詳細な説明）
本明細書で具体的かつ概略的に説明するように、本発明の好適実施例は、新規な発光パネルに関する。特に、好適実施形態は、発光パネルにおいて使用可能で、かつ少なくとも一部分が少なくとも１つのソケット内に配設されたマイクロコンポーネントに関する。
【００２７】
図１および図２は、発光パネルが第１基板１０と第２基板２０とを備えてなる本発明の実施例を２つ示したものである。第１基板１０は、ケイ酸塩、ポリプロピレン、石英、ガラス、任意の高分子系材料、または当業者に知られている任意の材料やその任意の組み合わせから作られている。同様に、第２基板２０も、ケイ酸塩、ポリプロピレン、石英、ガラス、任意の高分子系材料、または当業者に知られている任意の材料やその任意の組み合わせから作られている。第１基板１０および第２基板２０は、ともに同じ材料で作ってもよいし、それぞれ異なる材料で作ってもよい。また、第１および第２基板は、発光パネルの熱を分散する材料で作ることもできる。好適実施例では、各基板は、機械的に柔軟性を有する材料から作られている。
【００２８】
第１基板１０は、複数のソケット３０を備えている。第１基板１０内部および／または第１基板１０上に形成された空洞部５５により、ソケット３０の基本構造ができる。空洞部５５の形状および大きさは任意の形状、大きさとすることができる。図３Ａ乃至３Ｊに示したように、空洞部５５の形状は、立方形１００、円錐形１１０、円錐台形１２０、方物面形１３０、球面形１４０、円筒形１５０、角錐形１６０、角錐台形１７０、平行六面体形１８０、プリズム形１９０等の形状が挙げられるが、これらに限定されない。また、ソケット３０の大きさおよび形状は、発光パネルの性能および特性に影響を与えるので、パネルのオペレーション効率を最適化するよう選択される。また、ソケットの幾何学的構造についても、マイクロコンポーネントの形状および大きさに基づいて選択され、マイクロコンポーネントとソケットとの面接触の最適化および／またはソケット内に配設されたマイクロコンポーネントと電極との確実な接続性を達成できるようにするとよい。さらに、ソケット３０の大きさおよび形状も、フォトン（光子）の発生の最適化と明度および放射線移動効率の向上を図るよう、選択するとよい。
【００２９】
少なくとも１つのマイクロコンポーネント４０は、その少なくとも一部分が各ソケット３０内に配置される。１つのソケット内に複数のマイクロコンポーネントを配置して、明度（発光効率）および放射線の移動効率を上げるようにしてもよい。本発明の一実施形態に係るカラー発光パネルでは、１つのソケットで、赤、緑、青の光を発するよう構成された３つのマイクロコンポーネントを支持している。マイクロコンポーネント４０の形状はどのような形状でもよい。例えば、球状、円錐形状、非球面状が挙げられるが、これらに限定されない。また、マイクロコンポーネント４０は、例えば球状のマイクロコンポーネントを円筒状の構造内に配置する等、別の構造内に配置または形成されたマイクロコンポーネントを含むことも考えられる。本発明の一実施形態に係るカラー発光パネルでは、各円筒形構造が、単一色の可視光や、多色配置された赤、緑、青の光や、その他の好適なカラーアレンジメントで光を発するよう構成されたマイクロコンポーネントを保持する。
【００３０】
本発明の他の実施形態では、各マイクロコンポーネントに接着剤または結合剤を塗布して、マイクロコンポーネント４０（１つまたは複数）のソケット３０（一個）への取付け／保持を補助するようにしている。また、別の実施形態では、静電気を各マイクロコンポーネントに帯電させて静電界を各マイクロコンポーネントにかけることで、マイクロコンポーネント４０（１つまたは複数）のソケット３０（一個）への取り付けを補助するようにしている。また、複数のマイクロコンポーネントに静電気をかけることで、これら複数のマイクロコンポーネント間の凝集（凝塊）を避けることにもなる。本発明の一実施形態では、電子銃を用いて各マイクロコンポーネントを静電気的に帯電させて、各ソケット３０に近接配置された電極の１つを付勢（電気的エネルギーを与える、もしくは通電する）して、静電気的に帯電させたマイクロコンポーネントを引き寄せるのに必要な静電界を提供するようにしている。
【００３１】
最も基本的な形態では、各マイクロコンポーネント４０は、プラズマ形成ガスまたはガス混合４５を充填したシェル５０を備えている。イオン化可能な好適なガスまたはガス混合４５ならば、プラズマ形成ガスとして使用可能である。例えば、クリプトン、キセノン、アルゴン、ネオン、酸素、ヘリウム、水銀、およびその混合物が挙げられるが、これらに限定されない。実際には、希ガスならプラズマ形成ガスとして使用可能であり、例えば、セシウムまたは水銀と混合された希ガスが挙げられるが、これに限定されない。当業者なら、これ以外でも使用可能なガスやガス混合を認識できるであろう。他の実施形態によると、カラーディスプレイの場合は、イオン化時、ガスが所望する色に対応する特定の光の波長を放射するように、適宜のプラズマ形成ガスまたはガス混合４５を選択する。例えば、ネオン−アルゴンは赤色の光を、キセノン−酸素は緑色の光を、そしてクリプトン−ネオンは青色の光を放射する。なお、本好適実施形態ではプラズマ形成ガスまたはガス混合４５を用いているが、これ以外の発光可能な物質も考えられる。例えば、電子発光（エレクトロルミネセンス）物質や、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）や、電気泳動（エレクトロフォレティック）物質等が挙げられる。
【００３２】
シェル５０は、様々な種類の材料から作ることができる。例えば、ケイ酸塩、ポリプロピレン、ガラス、任意の高分子系材料、酸化マグネシウム、石英等が挙げられるが、これらに限定されない。また、シェルの大きさは、好適な大きさとすればよい。シェル５０の径は、短軸方向のサイズは測定値でミクロン単位からセンチメートル単位までの範囲としているが、長軸方向のサイズについては特に制限はない。例えば、円筒形のマイクロコンポーネントの場合、短軸方向の径をわずか１００ミクロンとし、長軸方向の長さを数百メートルとすることも可能である。本好適実施形態では、シェルの外径は、短軸方向の測定値で、１００ミクロンから３００ミクロンまでの範囲である。また、シェルの厚みは、ミクロン単位からミリ単位までの範囲とすることができるが、好ましくは、１ミクロンから１０ミクロンの範囲である。
【００３３】
マイクロコンポーネントの両端に十分大きな電圧が印加されると、前記ガスまたはガス混合がイオン化し、プラズマを形成し、そして放射線を放出する。図２は、２つの電極の電極構成、すなわち、第１維持電極５２０とアドレス電極５３０とからなる電極構成、を示す。また、図１は、３つの電極の電極構成、すなわち、第１維持電極５２０、アドレス電極５３０および第２維持電極５４０を第１基板を形成する複数の材料層６０内部に配設した構成、を示す。シェル５０内部で前記ガスまたはガス混合を最初にイオン化するのに必要な電位は、パッシェンの法則により支配され、シェル内部のガス圧に密接に関係する。本発明では、シェル５０内のガス圧は、数十トールから数気圧の範囲である。好適実施形態では、ガス圧は、１００トールから７００トールの範囲である。マイクロコンポーネント４０のサイズと形状、およびそこに充填されるプラズマ形成ガスの種類および圧力は、発光パネルの性能および特性に影響を与えるので、パネルのオペレーション効率を最適化するよう選択される。
【００３４】
また、マイクロコンポーネント４０に加えることができ発光パネルの性能および特性に影響を与えることが可能な様々なコーティング３００およびドーパント（ｄｏｐａｎｔ）がある。コーティング３００は、シェル５０の外側または内側に形成してよく、またシェル５０の一部分または全部にコーティングを施してもよい。外側コーティングの種類としては、例えば、紫外線光を可視光（例えば、燐光体）に変換するのに用いられるコーティングや、反射フィルターとして用いられるコーティングや、バンドギャップフィルター（帯域ギャップフィルター）として用いられるコーティングが挙げられるが、これらに限定されない。また、内側コーティングの種類としては、例えば、紫外線光を可視光（例えば、燐光体）に変換するのに用いられるコーティングや、二次発光を改善するのに用いられるコーティングや、腐食防止に用いられるコーティングが挙げられるが、これらに限定されない。当業者であれば、これ以外の使用可能なコーティングを認識できるであろう。コーティング３００をシェル５０に形成するには、ディファレンシャル・ストリピング、石版印刷法、スパッタリング、レーザ析出法、化学析出法、蒸着法、またはインクジェット技法を用いた析出法により行うことができる。当業者なら、シェル５０の内側および／または外側のコーティングに使用可能な、上記以外の方法も認識できるであろう。ドーパントの種類としては、例えば、紫外線光を可視光（例えば、燐光体）に変換するのに用いられるドーパントや、二次発光を改善するのに用いられるドーパントや、シェル５０を通る導体性パスを形成するのに用いられるドーパントが挙げられるが、これらに限定されない。ドーパントのシェル５０への添加は、例えば、イオンインプランテーション（ｉｏｎ  ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎ）等、当業者に知られている好適な技法で行うことができる。コーティングとドーパントとを任意に組み合わせたものをマイクロコンポーネント４０に添加することも考えられる。
【００３５】
本発明の実施形態では、マイクロコンポーネントが紫外線光を発するよう構成される場合、シェル５０の内側を少なくとも部分的に燐光体（蛍光体）で被覆する、シェル５０の外側を少なくとも部分的に燐光体で被覆する、シェル５０を燐光体でドープ処理する、および／またはソケット３０の内側に燐光体でコーティングを施す、ことで、紫外線光が可視光に変換されるようにする。カラーパネルの場合、本発明の実施形態では、着色した燐光体を適宜選択して、交互のマイクロコンポーネントから発せられる可視光が、それぞれ赤色、緑色、青色になるようにしている。これらの３原色の色の度合いを変化させて組み合わせることにより、全ての色を形成することができる。これ以外の色の組み合わせや色の配列を用いることも考えられる。
【００３６】
本発明の実施形態では、明度（発光効率）および放射線の移動効率を改善するため、各マイクロコンポーネント４０のシェル５０は、少なくとも一部分を二次放射増進材で被覆している。親和性の低い材料なら用いることができ、例えば、酸化マグネシウムや酸化ツリウムが挙げられるが、これらに限定されない。当業者なら、二次放射の改善に使用可能な上記のもの以外の材料も認識できるであろう。本発明の別の実施形態では、シェル５０は、二次放射増進材でドープ処理している。このシェル５０の二次放射増進材でのドープ処理は、シェル５０を二次放射増進材で被覆する処理と併せて行ってもよい。この場合、シェル５０を被覆するのに用いる二次放射増進材と、シェル５０をドープ処理するのに用いる二次放射増進材とは、違うものでもよい。
【００３７】
本発明の実施形態では、シェル５０の二次放射増進材でのドープ処理に加えて、あるいはそのドープ処理の代わりに、シェル５０を導電性の材料でドープ処理してもよい。使用可能な導電性材料としては、銀、金、プラチナ、アルミニウム等が挙げられるが、これらに限定されない。シェル５０を導電性材料でドープ処理することにより、シェルに充填されるガスまたはガス混合への導電性パスを与えることができ、ＤＣ発光パネルを達成する上での可能手段の１つを提供する。
【００３８】
本発明の別の実施形態では、マイクロコンポーネント４０のシェル５０は、反射性材料で被覆されている。また、反射性材料の屈折率に整合する屈折率整合材料を、反射性材料の少なくとも一部分に接触するように配設している。この反射性コーティング材および屈折率整合材料は、前記実施形態の燐光コーティング材と二次放射増進コーティング材と別のものでもよいし、並行して用いてもよい。放射線移動を改善するため、シェル５０には反射性コーティングを施している。また、屈折率整合材料を反射性材料の少なくとも一部分に接触するように配設することにより、所定の波長範囲の放射線を、反射性コーティング材と二次放射増進材との界面部分の反射性コーティングを介して逃がすことができる。この反射性コーティングと二次放射増進材との界面部分を介して放射線をマイクロコンポーネントから強制的に出すことにより、マイクロコンポーネントの効率が、明度の増加とともにより上がる。実施形態の１つでは、屈折率整合材料を反射性コーティング材の少なくとも一部分に直接被覆している。別の実施形態では、屈折率整合材料を、マイクロコンポーネントと接触する材料層または同等物上に配設して、反射性コーティング材の少なくとも一部と接触するようにしている。別の実施形態では、この界面の大きさを選択して、発光パネルの特定の視野を達成するようにしている。
【００３９】
発光パネルに使用されるマイクロコンポーネントの製造方法は、様々な実施形態において提案される。ここで開示したマイクロコンポーネント４０に付加可能なコーティングおよびドーパントは、本明細書において記述するように、その付加工程をマイクロコンポーネントを形成する各工程段階に含ませることも可能である。
【００４０】
本発明の一実施形態では、マイクロコンポーネントを製造する連続インライン工程を記述するが、この工程は、シェルを少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下少なくとも一部分形成して、その形成時、前記シェルに前記ガスまたはガス混合を充填するようにしたものである。好適実施形態では、この工程は滴下塔で行われる。図４に基づき、マイクロコンポーネントを連続インライン工程の一部として製造可能な多くの方法の一例を示すと、圧力変換ポート６０５、給液ポート６１０、圧電変換器６１５、変換器駆動信号電極６２０、およびオリフィスプレート６２５からなる小滴発生装置６００で、所定の大きさの均一な小滴が作られる。それら小滴は、カプセル封入領域６３０を通過してこの領域で各水滴がガラス形成用酸化物の水溶液からなるゲル状の外膜内に封入され（なお、マイクロコンポーネントシェルに好適に使用可能な物質なら前記酸化物以外のものでもよい）、そして中空の乾燥ゲル化シェルを通過しながら脱水領域６４０を通過する。次いで、前記乾燥ゲル化シェルは、遷移領域６５０を移動し該領域で加熱されてガラスのシェルになり（水溶液の種類の選択次第ではこれ以外のシェルにもなる）、そして最後に精錬領域６６０を通過する。プラズマ形成ガスまたはガス混合の導入は、どの工程段階においても可能であるが、本発明の実施形態においては、全工程をプラズマ形成ガスまたはガス混合の存在下において実行することが好ましい。従って、シェルが精錬領域６６０を通過すると、プラズマ形成ガスまたはガス混合はシェルの内部に密封されて、マイクロコンポーネントが形成される。
【００４１】
本発明の実施形態では、上記工程は、シェルを二次放射増進材および／または導電性の材料のいずれかでドープ処理するように変えてもよい。他のドーパントを用いてもよい。本工程においては、後の段階でドーパントをイオン打ち込みにより付加することも可能であるが、好適実施形態では、ドーパントを水溶液に直接添加して、シェルが最初の段階でシェル内に既に存在するドーパントで形成されるようにしている。
【００４２】
なお、上記工程段階を改良するか、または上記のマイクロコンポーネントの形成工程に新たな工程段階を追加して、マイクロコンポーネントに少なくとも一種のコーティング材を追加する手段を設けるようにしてもよい。シェルの内側に配するコーティング材としては、二次放射増進材や導電性の材料が挙げられるが、これらに限定されない。本実施形態では、これらのコーティング材は初期小滴溶液に添加して、初期小滴の周囲に外膜が形成されて脱水領域６４０を通過するときに、コーティング材が中空の乾燥ゲル化シェルの内側に残るようにするようにしている。また、シェルの外側に配するコーティング材としては、紫外線光を可視光に変換するのに用いられるコーティングや、反射フィルターとして用いられるコーティングや、バンドギャップフィルターとして用いられるコーティングが挙げられるが、これらに限定されない。マイクロコンポーネントは、精錬領域６６０を通過した後、少なくとも１つのコーティング領域を移動することになる。なお、コーティングは、面コーティング用の手段として当業者に知られているいずれのコーティング処理工程で施工してもよい。
【００４３】
本発明の別の実施形態では、２枚の基板が設けられ、そのうちの少なくとも１つの基板には複数の空洞部が設けられる。これら２つの基板は少なくとも一種のプラズマ形成ガスの存在下において貼合わされ、また貼合わされる際に、前記空洞部は前記ガスまたはガス混合で充填される。また、本発明の実施形態では、２つの基板の間に少なくとも１つの電極が配設される。また、別の実施形態では、空洞部の内側、外側、またはそれら両側は、少なくとも１つのコーティング材で被覆されている。本明細書に開示したマイクロコンポーネントに使用可能なコーティング材ならいずれのものも使用することができる。図５に示した本発明の実施形態に係るマイクロコンポーネントの製造方法の一つは、第１基板２００と第２基板２１０とを取り出して、第１基板２００を第１ローラ体に、第２基板２１０を第２ローラ体にそれぞれ通す。第１ローラ体は、凸部を有する第１ローラ２２４と凹部を有する第１ローラ２２８とからなる。凸部を有する第１ローラ２２４は、凹部を有する第１ローラ２２８と斉合して設けられており、第１基板２００が凸部を有する第１ローラ２２４と凹部を有する第１ローラ２２８との間を通過すると、複数の空洞部２４０が第１基板２００に形成されるようにしている。また本発明の好適実施形態では、第２ローラ体は、２つの第２ローラ２３２、２３４からなる。第１基板２００は、該第１基板に複数の空洞部２４０が形成された後、プラズマ形成ガスまたはガス混合の存在下において第２基板２１０と引き合わされそして貼合わされ、それによって一枚のマイクロコンポーネントとして一体に形成された複数のマイクロコンポーネント２５０が形成される。本好適実施形態では、第１基板２００と第２基板２１０とは任意の好適な方法で貼合わせることができるが、凹部を有する第１ローラ２２８と第２ローラ２３４とを加熱することによって前記２つの基板を熱で貼着させるようにしている。
【００４４】
凸部を有する第１ローラ２２４の凸部は、どのようなパターンで形成してもよく、近接する凸部の間隔は均一でも不均一でもよい。なお、パターンとしては、英数字文字や、記号や、アイコンや、絵柄等が挙げられるが、これらに限定されない。近接するソケット間の距離はほぼ等しくするのが好ましい。また、凸部は、１つの凸部群と別の凸部群との距離がほぼ等しくなるようにグループで配設するようにしてもよい。後者の配設のし方は、とりわけカラー発光パネルに関連した配設の仕方であり、一群の凸部群の各凸部を赤色、緑色、青色にそれぞれ対応させるようにしたマイクロコンポーネントを形成するのに用いることができる。
【００４５】
図６に図示した本発明の好適実施形態では、第２ローラ体は単に２個の第２ローラ２３２、２３４から構成しているが、第２ローラ体は、凸部を有する第２ローラ２３６と凹部を有する第２ローラ２３８とから構成するようにし、これら第２ローラを斉合して設けて、第２基板２１０が凸部を有する第２ローラ２３６と凹部を有する第２ローラ２３８との間を通過すると、複数の空洞部２６０が第２基板２１０にも形成されるようにしてもよい。第１基板２００と第２基板２１０とは、少なくとも一種のガスの存在下において引き合わされ、第１基板２００における複数の空洞部２４０と第２基板２１０における複数の空洞部２６０とが斉合する。そして、これら２つの基板は貼合わされて、それによって一枚のマイクロコンポーネントとして一体に形成された複数のマイクロコンポーネント２７０が形成される。本好適実施形態では、第１基板２００と第２基板２４０とは任意の好適な方法で貼合わせることができるが、凹部を有する第１ローラ２２８と凹部を有する第２ローラ２３８とを加熱することによって前記２つの基板を熱で貼着させるようにしている。
【００４６】
上記した２つの方法に適用可能な図７に図示した本発明の実施形態では、少なくとも１つの電極２８０が第１基板２００、第２基板２４０、またはこれら第１および第２基板上または内部に配設される。電極をどのように配設するか次第で、その電極は交流発光パネルまたは直流発光パネル（図７）に適切な構造となる。すなわち、空洞部２４０または２６０内に少なくとも１つの電極２８０を少なくとも一部分配設する場合には、前記少なくとも１つの電極とプラズマ形成ガスまたはガス混合との間に直接の導電性パスができ、そのパスは直流用（Ｄ．Ｃ．）として構成されることになる。一方、前記少なくとも１つの電極を、プラズマ形成ガスまたはガス混合と直接接触しないように配設した場合には、そのパネルは交流用として構成されることになる。
【００４７】
本発明の別の実施形態では、少なくとも１つの基板は、少なくとも１種のプラズマ形成ガスの存在下において熱処理されて、プラズマ形成ガスまたはガス混合を充填したシェル５０を複数形成するようにする。図８に示した本発明の好適実施形態では、マイクロコンポーネントの製造方法は、以下の工程を含む。すなわち、材料または材料混合を設ける（７００）、封入体を材料に導入する（７１０）、その材料の熱処理を行って、封入体が材料内部に泡を形成するようにし（７２０）、これら泡が合体して（７３０）多孔質シェルを形成し（７４０）、そしてそのシェルを冷却するようにする。この工程は、プラズマ形成ガスの存在下において行われ、シェルが冷えると、プラズマ形成ガス４５がシェル５０内部に密封される。また、この工程は、適宜のドーパントと初期開始材とを組み合わせるか、またはシェルがまだ多孔質である間に適宜のドーパントを導入することにより、導電性材料および／または二次放射増進材でドープ処理されたシェルを有するマイクロコンポーネントを造ることもできる。
【００４８】
本発明のこれ以外の実施形態および用途は、本願の内容の考慮から、また本明細書に開示された本発明の実施から当業者には明らかになろう。また、本明細書の説明および実施例は、例示としてのみ考慮されるべきものであり、本発明の真の範囲および精神は、以下の特許請求の範囲に示されているものである。また、当業者なら理解されるように、開示された各実施形態は、その組み合わせを含み、以下の特許請求の範囲に限定されている本発明の範囲内で、様々な変更および改良を行えるものである。
【図面の簡単な説明】
本発明の以上の目的および他の目的、特徴、および利点は、以下の本発明の詳細な説明と添付図面とを併せて参照することにより、さらに明瞭なものになるであろう。
【図１】
発光パネルの一部を示すもので、ソケット内に配設される複数のマイクロコンポーネントを示す。
【図２】
内部にマイクロコンポーネントを配設したソケットを示す。
【図３Ａ】
立方形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｂ】
円錐形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｃ】
円錐台形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｄ】
方物面形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｅ】
球面形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｆ】
円筒形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｇ】
角錐形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｈ】
角錐台形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｉ】
平行六面体形とした空洞部の一例を示す。
【図３Ｊ】
プリズム形とした空洞部の一例を示す。
【図４】
マイクロコンポーネントを形成する連続工程の一部として本発明実施形態において使用される装置を示す。
【図５】
マイクロコンポーネントを形成する別の工程として本発明実施形態において使用される装置を示す。
【図６】
図５に示す装置のバリエーションの一つであって、マイクロコンポーネントを形成する別の工程として使用される装置を示す。
【図７】
マイクロコンポーネント形成工程の一部として実施形態において用いられる電極の２つの基板の間への配設方法の一つを示す。
【図８】
マイクロコンポーネントを形成する別の方法の工程段階を示す。
【図１】
2004533099.tif 000003
【図２】
2004533099.tif 000004
【図３Ａ】
2004533099.tif 000005
【図３Ｂ】
2004533099.tif 000006
【図３Ｃ】
2004533099.tif 000007
【図３Ｄ】
2004533099.tif 000008
【図３Ｅ】
2004533099.tif 000009
【図３Ｆ】
2004533099.tif 000010
【図３Ｇ】
2004533099.tif 000011
【図３Ｈ】
2004533099.tif 000012
【図３Ｉ】
2004533099.tif 000013
【図３Ｊ】
2004533099.tif 000014
【図４】
2004533099.tif 000015
【図５】
2004533099.tif 000016
【図６】
2004533099.tif 000017
【図７】
2004533099.tif 000018
【図８】
2004533099.tif 000019
【国際公開パンフレット】
2004533099.tif 000020
2004533099.tif 000021
2004533099.tif 000022
2004533099.tif 000023
2004533099.tif 000024
2004533099.tif 000025
2004533099.tif 000026
2004533099.tif 000027
2004533099.tif 000028
2004533099.tif 000029
2004533099.tif 000030
2004533099.tif 000031
2004533099.tif 000032
2004533099.tif 000033
2004533099.tif 000034
2004533099.tif 000035
2004533099.tif 000036
2004533099.tif 000037
2004533099.tif 000038
2004533099.tif 000039
2004533099.tif 000040
2004533099.tif 000041
2004533099.tif 000042
2004533099.tif 000043
2004533099.tif 000044
2004533099.tif 000045
2004533099.tif 000046
2004533099.tif 000047
2004533099.tif 000048
2004533099.tif 000049
2004533099.tif 000050
2004533099.tif 000051
2004533099.tif 000052
2004533099.tif 000053
2004533099.tif 000054
2004533099.tif 000055
2004533099.tif 000056
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004533099.tif 000057
2004533099.tif 000058
【手続補正書】
【提出日】平成14年10月30日(2002.10.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
図６に図示した本発明の好適実施形態では、第２ローラ体は単に２個の第２ローラ２３２、２３４から構成しているが、第２ローラ体は、凸部を有する第２ローラ２３６と凹部を有する第２ローラ２３８とから構成するようにし、これら第２ローラを斉合して設けて、第２基板２１０が凸部を有する第２ローラ２３６と凹部を有する第２ローラ２３８との間を通過すると、複数の空洞部２６０が第２基板２１０にも形成されるようにしてもよい。第１基板２００と第２基板２１０とは、少なくとも一種のガスの存在下において引き合わされ、第１基板２００における複数の空洞部２４０と第２基板２１０における複数の空洞部２６０とが斉合する。そして、これら２つの基板は貼合わされて、それによって一枚のマイクロコンポーネントとして一体に形成された複数のマイクロコンポーネント２７０が形成される。本好適実施形態では、第１基板２００と第２基板２１０とは任意の好適な方法で貼合わせることができるが、凹部を有する第１ローラ２２８と凹部を有する第２ローラ２３８とを加熱することによって前記２つの基板を熱で貼着させるようにしている。


【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
上記した２つの方法に適用可能な図７に図示した本発明の実施形態では、少なくとも１つの電極２８０が第１基板２００、第２基板２１０、またはこれら第１および第２基板上または内部に配設される。電極をどのように配設するか次第で、その電極は交流発光パネルまたは直流発光パネル（図７）に適切な構造となる。すなわち、空洞部２４０または２６０内に少なくとも１つの電極２８０を少なくとも一部分配設する場合には、前記少なくとも１つの電極とプラズマ形成ガスまたはガス混合との間に直接の導電性パスができ、そのパスは直流用（Ｄ．Ｃ．）として構成されることになる。一方、前記少なくとも１つの電極を、プラズマ形成ガスまたはガス混合と直接接触しないように配設した場合には、そのパネルは交流用として構成されることになる。


【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2004533099.tif 000059
【手続補正４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３Ｃ
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３Ｃ】
2004533099.tif 000060
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2004533099.tif 000061
【国際調査報告】
2004533099.tif 000062