(57)【要約】【課題】磁気記録媒体搬送用に最適なエアートラックシステムであって、機械的拘束手段との接触を最小限に出来、かつ、ディスクを支持するための空気による汚染を低減し得るエアートラックシステムを提供する。【解決手段】エアートラックは、複数の吐出口（３０８）と、凹状上面（３０４）又は切欠き部（５０４）が設けられた平坦面とを有する装置本体から構成される。また、装置本体は、その長さ方向に沿って延設されたエアーフィルター（４０４）を有する。エアーフィルターは、装置本体を第１の空間部（３０２）及び第２の空間部（４０２）に分割する。更に、エアートラックは、フード（４１６）と、ディスク検知器（６２０）を有するストッパー装置（６５０）とを備えている。【選択図】図３Ａ
2004530242.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
凹状上面に複数の空気吐出口を有する装置本体から成ることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【請求項２】
上面が窪みを備えている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項３】
窪みは、上面の略中央に位置し且つ前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って伸長されている請求項２に記載のエアートラック。
【請求項４】
装置本体内には少なくとも１つのエアーフィルターが配置され、当該エアーフィルターは、前記装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されると共に、前記装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割している請求項１に記載のエアートラック。
【請求項５】
第２の空間部にバッフルを備えている請求項４に記載のエアートラック。
【請求項６】
上面の上方にフードが配置され、当該フードが前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項７】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、第１のフレームと、当該第１のフレームに回動可能に取付けられたアームと、少なくとも第１及び第２の位置間で前記アームを移動させるアクチュエータとから成り、前記アームは、前記第１の位置において、エアートラックの上方またはその近傍に位置してディスクの移動を規制し、前記第２の位置において、エアートラックの上方に持ち上げられてディスクを通過させる様になされている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項８】
フレームが、孔と、当該孔の内部に配置されたボール軸受とを備えている請求項６に記載のエアートラック。
【請求項９】
アームがフレームに孔の上端部で回動可能に取付けられ、アクチュエータが前記フレームに孔の下方で取付けられ、ボール軸受が前記アーム及びアクチュエータの両方に当接し、前記アクチュエータが前記アームの方へ前記ボール軸受を移動させることにより前記アームを移動させる様になされている請求項８に記載のエアートラック。
【請求項１０】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在しない場合、エアトラックからの反射光を受光する様になされている請求項７に記載のエアートラック。
【請求項１１】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在する場合、ディスクからの反射光を受光する様になされている請求項７に記載のエアートラック。
【請求項１２】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、当該フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ駆動機構を介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項１３】
駆動機構は、ベルト又は歯車装置を備えている請求項１２に記載のエアートラック。
【請求項１４】
エアートラックの一部分にアクチュエータが取付けられ、当該アクチュエータは、エアートラックの前記一部分を下降させることにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項１５】
エアートラックの一部分の上方に空気ノズルが配置され、当該空気ノズルは、エアートラックの上面に空気を供給することにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項１に記載のエアートラック。
【請求項１６】
上面に複数の空気吐出口を有する装置本体と、当該装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設された少なくとも１つのエアーフィルターとから成り、当該エアーフィルターが、前記装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割していることを特徴とするエアートラック。
【請求項１７】
上面が平坦である請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項１８】
上面は、当該上面の略中央に位置し且つ上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って伸長された窪みを備えている請求項１７に記載のエアートラック。
【請求項１９】
装置本体は、上面に沿ってディスクを案内する縁部を備えている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２０】
上面が凹状である請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２１】
第２の空間部にバッフルを備えている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２２】
第１の空間部の上面の上方にフードが配置され、当該フードは、上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２３】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、第１のフレームと、第１のフレームに回動可能に取付けられたアームと、少なくとも第１及び第２の位置間で前記アームを移動させるアクチュエータとから成り、前記アームは、前記第１の位置において、エアートラックの上方またはその近傍に位置してディスクの移動を規制し、前記第２の位置において、エアートラックの上方に持ち上げられてディスクを通過させる様になされている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２４】
フレームが、孔と、当該孔の内部に配置されたボール軸受とを備えている請求項２３に記載のエアートラック。
【請求項２５】
アームがフレームに孔の上端部で回動可能に取付けられ、アクチュエータが前記フレームに孔の下方で取付けられ、ボール軸受が前記アーム及びアクチュエータの両方に当接し、前記アクチュエータが前記アームの方へ前記ボール軸受を移動させることにより前記アームを移動させる様になされている請求項２４に記載のエアートラック。
【請求項２６】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在しない場合、エアトラックからの反射光を受光する様になされている請求項２３に記載のエアートラック。
【請求項２７】
ストッパーがディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在する場合、ディスクからの反射光を受光する様になされている請求項２３に記載のエアートラック。
【請求項２８】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、当該フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ駆動機構を介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項２９】
駆動機構は、ベルト又は歯車装置を備えている請求項２８に記載のエアートラック。
【請求項３０】
エアートラックの一部分にアクチュエータが取付けられ、当該アクチュエータは、エアートラックの前記一部分を下降させることにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項３１】
エアートラックの一部分の上方に空気ノズルが配置され、当該空気ノズルは、エアートラックの上面に空気を供給することにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項１６に記載のエアートラック。
【請求項３２】
上面に複数の空気吐出口を有する装置本体と、前記上面の上方に配置されたフードとから成り、当該フードが前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されていることを特徴とするエアートラック。
【請求項３３】
上面が窪みを備えている請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項３４】
窪みは、上面の略中央に位置し且つ前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って伸長されている請求項３３に記載のエアートラック。
【請求項３５】
装置本体内には少なくとも１つのエアーフィルターが配置され、当該エアーフィルターは、前記装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されると共に、前記装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割している請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項３６】
第２の空間部にバッフルを備えている請求項３５に記載のエアートラック。
【請求項３７】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、第１のフレームと、当該第１のフレームに回動可能に取付けられたアームと、少なくとも第１及び第２の位置間で前記アームを移動させるアクチュエータとから成り、前記アームは、前記第１の位置において、エアートラックの上方またはその近傍に位置してディスクの移動を規制し、前記第２の位置において、エアートラックの上方に持ち上げられてディスクを通過させる様になされている請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項３８】
フレームが、孔と、当該孔の内部に配置されたボール軸受とを備えている請求項３７に記載のエアートラック。
【請求項３９】
アームがフレームに孔の上端部で回動可能に取付けられ、アクチュエータが前記フレームに孔の下方で取付けられ、ボール軸受が前記アーム及びアクチュエータの両方に当接し、前記アクチュエータが前記アームの方へ前記ボール軸受を移動させることにより前記アームを移動させる様になされている請求項３８に記載のエアートラック。
【請求項４０】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在しない場合、エアトラックからの反射光を受光する様になされている請求項３７に記載のエアートラック。
【請求項４１】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在する場合、ディスクからの反射光を受光する様になされている請求項３７に記載のエアートラック。
【請求項４２】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、当該フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ駆動機構を介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされている請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項４３】
駆動機構は、ベルト又は歯車装置を備えている請求項４２に記載のエアートラック。
【請求項４４】
エアートラックの一部分にアクチュエータが取付けられ、当該アクチュエータは、エアートラックの前記一部分を下降させることにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項４５】
エアートラックの一部分の上方に空気ノズルが配置され、当該空気ノズルは、エアートラックの上面に空気を供給することにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項３２に記載のエアートラック。
【請求項４６】
窪みが備えられた上面を有する装置本体から成ることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【請求項４７】
上面が、凹状であり且つ複数の空気吐出口を有している請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項４８】
窪みは、上面の略中央に位置し且つ前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って伸長されている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項４９】
装置本体内には少なくとも１つのエアーフィルターが配置され、当該エアーフィルターは、前記装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されると共に、前記装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割している請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項５０】
第２の空間部にバッフルを備えている請求項４９に記載のエアートラック。
【請求項５１】
上面の上方にフードが配置され、当該フードが前記上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項５２】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、第１のフレームと、当該第１のフレームに回動可能に取付けられたアームと、少なくとも第１及び第２の位置間で前記アームを移動させるアクチュエータとから成り、前記アームは、前記第１の位置において、エアートラックの上方またはその近傍に位置してディスクの移動を規制し、前記第２の位置において、エアートラックの上方に持ち上げられてディスクを通過させる様になされている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項５３】
フレームが、孔と、当該孔の内部に配置されたボール軸受とを備えている請求項５２に記載のエアートラック。
【請求項５４】
アームがフレームに孔の上端部で回動可能に取付けられ、アクチュエータが前記フレームに孔の下方で取付けられ、ボール軸受が前記アーム及びアクチュエータの両方に当接し、前記アクチュエータが前記アームの方へ前記ボール軸受を移動させることにより前記アームを移動させる様になされている請求項５３に記載のエアートラック。
【請求項５５】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在しない場合、エアトラックからの反射光を受光する様になされている請求項５２に記載のエアートラック。
【請求項５６】
ストッパー装置がディスク検知器を備え、当該ディスク検知器は、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当該光源と一直線状に配置された光センサーとから構成され、当該光センサーは、ディスクがストッパー位置でエアートラック上に存在する場合、ディスクからの反射光を受光する様になされている請求項５５に記載のエアートラック。
【請求項５７】
ストッパー装置が隣接して配置され、当該ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、当該フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ駆動機構を介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項５８】
駆動機構は、ベルト又は歯車装置を備えている請求項５７に記載のエアートラック。
【請求項５９】
エアートラックの一部分にアクチュエータが取付けられ、当該アクチュエータは、エアートラックの前記一部分を下降させることにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項６０】
エアートラックの一部分の上方に空気ノズルが配置され、当該空気ノズルは、エアートラックの上面に空気を供給することにより、エアートラック上のディスクの移動を制限する様になされている請求項４６に記載のエアートラック。
【請求項６１】
装置本体から成り、当該装置本体が、複数の空気吐出口を有する凹状上面と、装置本体内に配置され且つ装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されて装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割する少なくとも１つのエアーフィルターと、前記上面の上方に配置され且つ上面の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されたフードとを備えていることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【請求項６２】
上面に複数の空気吐出口を有する装置本体とこれに隣接して配置されたストッパー装置とから成り、装置本体内には、当該装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されると共に、前記装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割する少なくとも１つのエアーフィルターが配置され、ストッパー装置は、第１のフレームと、当該第１のフレームに回動可能に取付けたアームと、少なくとも第１及び第２の位置間で前記アームを移動させるアクチュエータと、エアートラックに向けて光を照射する光源と、当光源に対応して配置された光センサーとから成り、前記アクチュエータは、前記第１の位置において、前記アームをエアートラックの上方またはその近傍に位置させてディスクの移動を規制し、第２の位置において、前記アームをエアートラックの上方に持ち上げることにより、ディスクを通過させる様に構成され、前記光センサーは、ディスクがエアートラック上に存在しない場合、エアトラックからの反射光を受光する様になされていることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【請求項６３】
上面に複数の空気吐出口を有する装置本体とこれに隣接して配置されたストッパー装置とから成り、前記ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、前記フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ駆動機構を介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされていることを特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【請求項６４】
装置本体とこれに隣接して配置されたストッパー装置とから構成され、前記装置本体は、複数の空気吐出口を有する上面と、装置本体内に配置され且つ装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設されて装置本体を第１の空間部およびその下側の第２の空間部に分割する少なくとも１つのエアーフィルターとから成り、前記ストッパー装置は、リニアステージと、当該リニアステージに取付けられたフレームとから構成され、前記フレームは、これに回動可能に取付けられた少なくとも２つのローラーと、フレームに取付けられ且つ少なくとも１つのベルトを介して前記ローラーを駆動するモーターとから成り、前記リニアステージは、フレームを下降させることにより、エアートラック上でローラーをディスクに接触させてディスクの直線移動を制限し、モーターは、ローラーを駆動してディスクを回転させる様になされている特徴とするディスク搬送用エアートラック。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気および光学記録媒体の製造に関し、特に詳しくは、１つの処理工程から他の処理工程に小形ディスクを搬送する方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体加工においては、半導体ウェハーが１つの処理工程から他の処理工程に搬送される。従来、半導体ウェハーはエアートラックによって搬送されている。従来技術として図１に示す様に、エアートラック１１は、円形のディスク１３を支持するため、通常は平坦な面１２を備えている。穿孔状のマニホールド１４は、エアートラック１１の中心線に沿って伸長され且つ圧縮空気が供給される様になされており、圧縮空気は、均一に離間配置された吐出口１６から、ディスク１３の所定の搬送方向のベクトル成分の角度で排出される。側縁部１７は、所定の通路に沿ってディスク１３を案内する。
【０００３】
ある種のシステムでは、側縁部１７の様な機械的拘束手段をディスク１３の通路に設けることなくディスクを案内するのが望ましい。その理由は、機械的拘束手段との直接接触によりディスク１３が破損しあるいは汚染される可能性があるからである。また、ディスク１３の汚染は、エアートラック１１上でディスク１３を支持するための空気によっても惹起されることがある。従来技術として図２に示す様に、空気１８の上方への流れは、ディスクの底面を回り込み、ディスクの上面で下方に向う渦流を形成する。そのため、空気１８に同伴される汚染物質がディスク１３の上面または下面に付着することがある。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
従って、磁気記録媒体の搬送に最適なエアートラックシステムであって、機械的拘束手段との接触を最小限に出来、かつ、ディスクを支持するための空気による汚染を低減し得るエアートラックシステムが要望される。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一実施形態において、エアートラックは、凹状上面を有する装置本体によって構成される。本発明の他の実施形態において、エアートラックは、装置本体から成り、当該装置本体は、内部を第１の空間部とその下方に配置された第２の空間部とに分割するエアーフィルターを備えている。エアーフィルターは、装置本体の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設される。本発明の更に他の実施形態において、エアートラックは、装置本体の上面の少なくとも一部の上方に延設されたフードを有する。本発明の更に別の実施形態において、エアートラックは、略中央に窪みが設けられた上面を有する装置本体によって構成される。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、機械的拘束手段との接触を最小限に出来、かつ、ディスクを支持するための空気による汚染を低減することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図３Ａ〜３Ｄは、本発明の一実施形態に係るエアートラック３００を示す。エアートラック３００は、ディスク製造工程において、磁気または光学ディスクを１つの処理工程から他の処理工程へ搬送するエアートラック搬送システムの一部を構成する。各処理工程は、エアートラック３００からディスクを受け取り、そして、エアートラック上に前記ディスクを降ろす様に設計されている。例えば、エアートラック３００は、装着工程から潤滑処理工程にディスクを搬送するために使用される。前記の装着工程および潤滑処理工程の詳細は、同一譲受人により本願と共に出願された米国特許出願第    号および第    号にそれぞれ記載されている。
【０００８】
エアートラック３００は、空間部３０２を画成する装置本体３０１によって構成される。空気は、空気取入れ口３１４（図３Ａ参照）を通じて装置本体３０１に導入される。装置本体３０１は上面３０４を有する。上面３０４は、エアートラック３００の長さ方向に沿って凹状に形成される。上面３０４は曲率半径Ｒ（図３Ａ参照）を有する。また、上面３０４は、エアートラック３００に沿って搬送されるディスク３１０を支持するための空気吐出口３０８を備えている。空気吐出口３０８は、例えば０．０３インチの口径を有する。空気吐出口３０８は如何なる形状であってもよい。好ましくは、ディスク３１０の底面に空気を供給するため、空気吐出口３０８は、ディスク３１０の内径部３１２の何れかの側に配置される。２７．４ｍｍ径のディスクを搬送するための装置本体３０１の寸法を以下の表１に例示する。
【０００９】
【表１】
2004530242.tif 000003
【００１０】
実施に際し、装置本体３０１は、単一または複数の材料部材から構成することが出来る。図３Ａ〜３Ｄでは、直線状のエアートラック３００が例示されているが、同様に、エアートラック３００は曲線状に形成されてもよい。
【００１１】
上面３０４の湾曲構造は、エアートラック３００上の所定通路に沿ってディスク３１０を案内する様になされている。図３Ａで示す様に、エアートラック３００の側部付近に位置する空気吐出口３０８は、エアートラック３００の中心付近に位置する空気吐出口３０８よりもディスクに接近している。すなわち、エアートラック３００の側部付近に位置する空気吐出口３０８は、その中心付近に位置する空気吐出口３０８よりも、ディスク３１０に対してより強い力を与える。これらの力のバランスにより、ディスク３１０は、エアートラック３００に沿った中心に位置合わせされる。従って、エアートラック３００の所定通路に沿ってディスク３１０を案内するために物理的拘束手段を必要としない。
【００１２】
エアートラック３００は、その長さ方向に所定角度だけ傾斜させて配置することが出来る。斯かる構成により、ディスク３１０は、重力によってエアートラック３００の所定通路に沿って移動可能となる。例えば、エアートラック３００は、その長さ方向に対して０〜１０°傾斜して配置される。また、他の形態において、空気吐出口３０８は、エアートラック３００の所定通路に沿ってディスク３１０を押し進めるため、傾斜して開口される。
【００１３】
図４Ａ〜４Ｄは、本発明の他の実施形態に係るエアートラック４００を示す。エアートラック４００は、装置本体４０１と、装置本体４０１の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設された少なくとも１つのエアーフィルター４０４とを有する。エアーフィルター４０４は、例えば、０．１μｍオーダーのフィルターによって構成される。エアーフィルター４０４は、上部空間部３０２及び底部空間部４０２に装置本体４０１を分割している。装置本体４０１は、凹状上面３０４及び空気吐出口３０８を有する。装置本体４０１は、単一または複数の部材の何れから構成されてもよい。装置本体４０１の寸法を以下の表２に例示する。
【００１４】
【表２】
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【００１５】
空気は、空気取入れ口４１４を通じて装置本体４０１内に流入する。次いで、空気は、空間部４０２からフィルター４０４を介して空間部３０２に移動する。そして、空気は、空気吐出口３０８を介して空間部３０２から排出される。実施に際しては、空間部４０２内に配置されたバッフル４０６により、内部の空気を均一化することが出来る。クランプ４０８及び４１０は、装置本体４０１の側壁間にフィルター４０４を支持する。実施に際し、クランプ４０８及び４１０は、装置本体４０１の一部として一体的に形成されるか、あるいは、装置本体４０１に取付けた別部材によって形成されてもよい。フィルター４０４、クランプ４０８及び４１０は、全て、装置本体４０１の少なくとも一部の長さ方向に沿って延設される。クランプ４０８及びフィルター４０４の間には、ガスケット４１２が取付けられ、そして、濾過された空気のみが空間部４０２から空間部３０２へ確実に移動する様になされている。ガスケット４１２としては、例えば、ビトン（登録商標）フルオロエラストマーガスケットが挙げられる。
【００１６】
フィルター４０４は、空気から汚染物質を除去し、空気によってディスク３１０が汚染されるのを防止する。また、フィルター４０４は、空間部４０２から空間部３０２に至る間に大きな圧力降下を発生させる。斯かる大きな圧力降下により、空間部３０２内の空気圧が均一化する。空間部３０２の均一な空気圧により、空気は、空気吐出口３０８を介して一様に吐出され、その結果、ディスク３１０は同一高さに支持されると共に、乱れた空気流の発生が防止される。
【００１７】
保護フード４１６は、上面３０４の上方に配置される。フード４１６は、装置本体４０１の少なくとも一部の長手方向に沿って延設される。フード４１６は、上面３０４の上方に封止部４１８を形成する。空気は、封止部４１８から間隙４２０を通じて排出される。フード４１６は、エアートラック３００に沿ってディスクを搬送する際、汚染物質がディスク上面に集積するのを防止する。更に、空気吐出口３０８から吐出された空気は、封止部４１８内に正圧を生起し、汚染物質が隙間４２０から入り込んでディスク３１０を汚染するのを防止する。
【００１８】
図５Ａ〜５Ｅは、本発明の更に他の実施形態に係るエアートラック５００を示す。図から理解される様に、装置本体５０１は、凹状形状に代え、平坦な上面５０４を備えている。また、装置本体５０１は、エアートラック５００に沿ってディスク３１０を案内する縁部（壁）５０２を有する。ある種の実施形態においては、上面５０４の一部が取り去られるか又は変更される。例えば、上面５０４は、当該上面５０４の少なくとも一部の長さ方向に沿って伸長された窪み５２４を有する。平坦上面５０４は、複雑な加工を必要としないため、曲面状の上面３０４よりも安価に製造することが可能である。しかしながら、ディスク３１０は、縁部５０２との接触によって汚染されることもある。その他の構成に関し、エアートラック５００は、図４Ａ〜４Ｄに示すエアートラック４００と同様である。装置本体５０１の寸法を以下の表３に例示する。
【００１９】
【表３】
2004530242.tif 000005
【００２０】
エアートラック５００の一部は、その幅方向に傾斜していてもよく、これにより、ディスク３１０は、エアートラック５００上に静止している際またはエアートラック５００に沿って搬送される際、縁部５０２の一方（例えば、”基準縁部”）に対して当接する。上記の基準縁部にディスク３１０を当接させることにより、処理工程の所定位置にディスク３１０を円滑に位置させることが出来る。他の形態においては、空気吐出口３０８を傾斜開口させ、エアートラック５００に沿って及び／又は基準縁部に当接させてディスク３１０を搬送することも出来る。
【００２１】
図６Ａ〜６Ｄは、本発明の一実施形態に係るストッパー装置６００を示す。ストッパー６００は、柔軟なヒンジ６０６を介してフレーム６０４に回動可能に取付けられたアーム６０２を備えている。アーム６０２は、ディスク３１０及びアーム６０２の移動制御に使用される水平部６０３と接触する垂直部６０５を有する。水平部６０３は、フレーム６０４の開口部６０８上に配置される。ボール軸受６１０は開口部６０８の内部に配置される。電動ソレノイド６１２（例えば、アクチュエータ）は、開口部６０８の下方においてフレーム６０４に取付けられる。これにより、ボール軸受６１０は、ソレノイド６１２のプランジャー（図示せず）に当接する。実施に際しては、ソレノイド６１２を通電または非通電常態とすることにより、水平部６０３にボール軸受６１０を押圧し、垂直部６０５を持ち上げる。その結果、ディスク３１０は、エアートラック６０１上のストッパー６００を通過することが出来る。それ以外の場合、垂直部６０５は、エアートラック６０１の上面６２５またはその付近に位置し、ディスク３１０の移動を制限する（例えば、ディスク３１０を緩衝する）。垂直部６０５と上面６２５との接触により、ディスク３１０を汚染するパーティクルを発生する可能性がある。従って、上面６２５に非接触状態で且つ上面６２５の近傍に垂直部６０５を配置するのが好ましい。一実施形態において、垂直部６０５の一部は、上面６２５の上の窪み溝６１７の上に位置している。
【００２２】
ストッパー６００は、所定位置（”ストッパー位置”）においてエアートラック６０１（３００、４００及び５００の何れかで示されるエアートラック）の側部に取付けられる。エアートラック６０１はＣ字形のスロットチャネル６５２を備えており、斯かるチャネルにはストッパー６００を取付けることが出来る。ナット６５４（図６Ａ、６Ｃ及び６Ｄ参照）は、チャネル６５２内に挿入される。ボルト６５６（図６Ａ、６Ｃ及び６Ｄ参照）は、フレーム６０４の孔６５８（図６Ｄ参照）を貫通し、チャネル６５２にフレームストッパー６００を固定している。
【００２３】
一実施形態において、ストッパー６００はディスク検知器６５０を有する。ディスク検知器６５０は、光源６１６（例えば、レーザー）、光検知器６１８、フレーム６２０及びフレーム６２２から構成される。光源６１６及び光検知器６１８は、フレーム６２０に取付けられる。フレーム６２０は、ねじ６２１（図６Ｃ及び６Ｄ参照）を介してフレーム６２２に回動可能に取付けられる。フレーム６２２は、スロット６２４を有しており、斯かるスロットを介し、ねじ６２３によりフレーム６０４にフレーム６２２を種々の高さに固定することが出来る。光源６１６は、エアートラック６０１上のスロット６１７（スロットまたは切欠き溝）の角部に向かって光を照射する。光検知器６１８は、ディスク３１０が光路内に存在しない場合、切欠き溝６１７の角部からの反射光を検知する。逆に言えば、光検知器６１８は、ディスク３１０が光路内に存在する場合、ディスク３１０が光を他の方向に反射するため、光量の低下を検知する。光路は、フレーム６２０がフレーム６２２に取付けられる角度およびフレーム６２２がフレーム６０４に取付けられる高さを変化させることによって調整することが出来る。
【００２４】
実施形態において、アーム６０２は、ディスク３０１の検知の際に上昇又は下降させることが出来る。例えば、処理工程においてディスク３１０の処理の準備が出来ていない場合は、アーム６０２を下降させてディスク３１０を停止させることが出来る。また、アーム６０２が下降してディスク３１０の移動を制限することにより、処理のためにエアートラック６０１からディスク３１０を外すことが出来る。ストッパー装置６００は、エアートラック６０１上におけるディスク３１０の高さを変更することなく、ディスク３１０の移動を効果的に制限する。
【００２５】
図１０は、一実施態様に係るストッパー装置１０００を示す。ストッパー装置１０００は、光検知器６１８がエアートラック６０１の反対側に配置され、エアートラック６０１がスロット溝６１７を有していない点を除き、ストッパー装置６００と同様の構成を備えている。エアートラック６０１の反対側に光検知器６１８を取付けるため、光源６１６の取付けに使用される同一の構造が使用可能である。例えば、光検知器６１８はフレーム６２０Ａに取付けられる。フレーム６２０Ａはフレーム６２２Ａに回動可能に取付けられる。フレーム６２２Ａは、スロット６２４Ａを有しており、斯かるスロットを介し、スクリュー６２３Ａによりフレーム６０４Ａにフレーム６２２Ａを種々の高さに固定することが出来る。フレーム６２２Ａはエアートラック６０１に取付けられる。
【００２６】
光源６１６は、エアートラック６０１の上面６２５に向けて光を照射する。光源６１６及び光検知器６１８は、ディスク３１０が光路内に存在しない場合、上面６２５が光を光検知器６１８に向けて反射する様に配置される。斯かる実施形態において、光検知器６１８は、ディスク３１０が存在しない場合に光を検知する。他の実施形態において、光源６１６及び光検知器６１８は、ディスク３１０が光路内に存在する場合、ディスク３１０の上面が光を光検知器６１８に向けて反射する様に配置される。後者の実施形態において、光検知器６１８は、ディスク３１０が存在する場合に光を検知する。ストッパー１０００は、凹状の上面６２５を有するエアートラック６０１に対しても同様に機能することが出来る。
【００２７】
図７Ａ〜７Ｃは、本発明の一実施形態に係るストッパー装置７００を示す。ストッパー７００は、エアートラック７０１（３００、４００及び５００の何れかで示されるエアートラック）の側部に取付けられる。ストッパー７００は、Ｌ字形フレーム７０２を有しており、当該Ｌ字形フレームは、駆動モーター７０４、これに装着された駆動ローラー７０６及び７０８を備えている。駆動モーター７０４は、ベルト７１０を介して駆動ローラー７０６及び７０８を回転駆動させる。他の実施形態において、駆動モーター７０４は、歯車装置または他の従来の駆動機構を介し、駆動ローラー７０６及び７０８を回転駆動する様になされている。リニアステージ７１２は、フレーム７０２を下方に移動させることにより、エアートラック７０１上のディスク３１０の移動を制限する。逆に、リニアステージ７１２は、フレーム７０２を上昇させることにより、ディスク３１０を通過させることが出来る。図示しないが、図６Ａ〜６Ｄのディスク検知器は、ストッパー７００の上流でエアートラック７０１に取付けられることにより、ディスク３１０の存在を検知することが出来る。
【００２８】
ストッパー７００がディスク３１０を停止させると、駆動モーター７０４は、駆動ローラー７０６及び７０８を駆動してディスク３１０を回転させ、その結果、ディスクは、その位置で処理および／または検査される。例えば、処理装置により、エアートラック７０１からディスクを取り外すことなく、ディスク３１０に対して光学検査、レーザー組織検査、スピン洗浄乾燥およびスピン塗布を行うことが出来る。一実施形態においては、ディスク３１０にバーコードを設け、ストッパー７００によりディスク３１０を回転させることにより前記バーコードを読み取ることが出来る。ストッパー６００と同様に、ストッパー７００も、エアートラック７０１上におけるディスク３１０の高さを変更することなく、ディスク３１０の移動を効果的に制限する。
【００２９】
図８Ａ及び８Ｂは、本発明の一実施形態に係るストッパー装置８００を示す。ストッパー８００は、薄肉のスプリング鋼などの可撓性材料から成る上面８０４及び底面８０６によって構成される。上面８０４は、上記の様に、平坦または凹状に形成される。上面８０４及び底面８０６は、架設部材８０７によって結合される。アクチュエータ８０２は底面８０６に装着される。アクチュエータ８０２は、例えば、空気ピストンによって構成される。図８Ｂに示す様に、アクチュエータは、ディスク３１０を停止させる必要がある場合、側部８１０を静止した状態において、底面８０６及び上面８０４の一部を下方に引き下げる。これにより、ディスク３１０は、上面８０４の下降部分に重力によって保持される。アクチュエータ８０２が上面８０４の下降部分を解放すると、ディスク３１０は通路に沿って搬送される。
【００３０】
図８Ｃに示す様に、上面８０４及び底面８０６は、下降の際に側部８１０に対してスライド可能に構成される。他の実施形態においては、図８Ｄに示す様に、側部８１０と各面８０４及び８０６の間にエアーギャップ８０８が設けられ、これにより、各面８０４及び８０６は、側部８１０に対してスライドすることなく、下降することが出来る。斯かる構成においては、ストッパー８００からの空気漏れが予想されるが、各面８０４及び８０６が側部８１０に対してスライドすることに起因し且つディスク３１０を汚染するパーティクルの発生を防止することが出来る。
【００３１】
図９は、本発明の一実施形態に係るストッパー装置９００を示す。斯かる実施形態においては、空気ノズル９０２がエアートラック９０１（３００、４００及び５００の何れかで示されるエアートラック）上に配置され、エアートラック９０１の上面に空気を供給し、ディスク３１０の移動を制限する様になされている。空気９０４はディスク３１０を押圧し、ディスク３１０が空気ノズル９０２を越えて移動することがない。
【００３２】
特定の実施形態に関して本発明を説明したが、上記の記述は単なる例示であり、本発明を限定するものではない。上記の実施形態の特徴についての他の種々の適用および組合わせは、以下の請求項に規定された範囲内で行うことが出来る。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】従来技術のエアートラックを示す斜視図である。
【図２】従来技術である図１のエアートラックにおける空気流を示す図である。
【図３Ａ】本発明の一実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図３Ｂ】本発明の一実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図３Ｃ】本発明の一実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図３Ｄ】本発明の一実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図４Ａ】本発明の他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図４Ｂ】本発明の他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図４Ｃ】本発明の他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図４Ｄ】本発明の他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図５Ａ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図５Ｂ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図５Ｃ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図５Ｄ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図５Ｅ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のエアートラックの図である。
【図６Ａ】本発明の一実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図６Ｂ】本発明の一実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図６Ｃ】本発明の一実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図６Ｄ】本発明の一実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図７Ａ】本発明の他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図７Ｂ】本発明の他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図７Ｃ】本発明の他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図８Ａ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図８Ｂ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図８Ｃ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図８Ｄ】本発明の更に他の実施形態に係る各種のストッパー装置の図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る空気・ストッパー装置の側面図である。
【図１０】本発明の他の実施形態に係る図６のストッパーに類似したストッパー装置の正面図である。
【図１】
2004530242.tif 000006
【図２】
2004530242.tif 000007
【図３Ａ】
2004530242.tif 000008
【図３Ｂ】
2004530242.tif 000009
【図３Ｃ】
2004530242.tif 000010
【図３Ｄ】
2004530242.tif 000011
【図４Ａ】
2004530242.tif 000012
【図４Ｂ】
2004530242.tif 000013
【図４Ｃ】
2004530242.tif 000014
【図４Ｄ】
2004530242.tif 000015
【図５Ａ】
2004530242.tif 000016
【図５Ｂ】
2004530242.tif 000017
【図５Ｃ】
2004530242.tif 000018
【図５Ｄ】
2004530242.tif 000019
【図５Ｅ】
2004530242.tif 000020
【図６Ａ】
2004530242.tif 000021
【図６Ｂ】
2004530242.tif 000022
【図６Ｃ】
2004530242.tif 000023
【図６Ｄ】
2004530242.tif 000024
【図７Ａ】
2004530242.tif 000025
【図７Ｂ】
2004530242.tif 000026
【図７Ｃ】
2004530242.tif 000027
【図８Ａ】
2004530242.tif 000028
【図８Ｂ】
2004530242.tif 000029
【図８Ｃ】
2004530242.tif 000030
【図８Ｄ】
2004530242.tif 000031
【図９】
2004530242.tif 000032
【図１０】
2004530242.tif 000033
【国際公開パンフレット】
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2004530242.tif 000035
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2004530242.tif 000038
2004530242.tif 000039
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【国際調査報告】
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