(57)【要約】半導体ウェハおよび平坦な物品の運搬に用いるコンテナまたは洗浄ボックス（５２）のための洗浄システムであり、ボックス・ホルダー・アセンブリ（５０）、および、エンクロージャ（３８）内のロータ（３６）に取り付けられたボックスドア・ホルダー・アセンブリ（３００）を有する。ボックス・ホルダー・アセンブリおよびボックスドア・ホルダー・アセンブリの上方および下方フック（９６、１０８、３１４、３１６）が、ロータの回転につれてボックス（５２）およびドア（３２５）を保持する。液体スプレー・マニホールド（４０６）は１つ以上のスプレー・ノズルを有し、それが、ボックス・ホルダー・アセンブリのボックスへまっすぐよりむしろ、ロータの回転方向もしくはその反対方向へ斜めに、または、上もしくは下方向にスプレーする。噴霧範囲および洗浄が改善される。前面開口一体構造ポッド（ＦＯＵＰ）のような、ボックスおよびそのドアは両者共、効果的に洗浄され、取り扱われる。
2004507102.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
エンクロージャ、
ボックス保持位置を備え、エンクロージャ内に回転可能に支持されたロータ、ならびに、
ロータに向けて洗浄液またはリンス液を噴霧するように位置合わせされたスプレー・マニホールドであって、複数の垂直スプレー・ノズルおよび少なくとも１つの斜角スプレー・ノズルを備えたスプレーマニホールドを少なくとも１つ含む複数のスプレー・マニホールドを備えていることを特徴とする、物品の移動または貯蔵に使用するボックスを洗浄するための洗浄システム。
【請求項２】
上記垂直スプレー・ノズルが水平な中央軸を有するパターンで噴霧し、上記斜角スプレー・ノズルが該水平な中央軸に関して上向きまたは下向きに角度をなした中央軸を有するパターンで噴霧することを特徴とする、請求項１に記載の洗浄システム。
【請求項３】
上記角度が３０ないし６０度であることを特徴とする、請求項２に記載の洗浄システム。
【請求項４】
上記斜角スプレー・ノズルが、ロータの回転方向と反対方向を向いている中央軸を有するパターンで噴霧するように方向付られていることを特徴とする、請求項１に記載の洗浄システム。
【請求項５】
上記マニホールドが少なくとも２つの垂直スプレー・ノズルによって離されている２つの斜角ノズルを有することを特徴とする、請求項１に記載の洗浄システム。
【請求項６】
ボックス開口面を半径方向外側およびロータの中心から離れるように向けて、ボックスをロータの内部またはロータ上に設置するステップ、
ボックスを保持しているロータを回転させるステップ、
ロータの中心または回転軸に向けて液体の第１の噴霧を行うステップ、ならびに、
該第１の噴霧に対して角度を付けて該液体の第２の噴霧を行うステップを有する、物品の搬送および貯蔵に使用する５つの側部を有するタイプのボックスを洗浄する方法。
【請求項７】
上記第１噴霧は一般に水平な中心線または中心軸を有するパターンで噴霧し、上記第２噴霧も一般に水平な中心線を有するパターンで噴霧することを特徴とする、請求項６に記載の方法。
【請求項８】
上記第１噴霧は水平な方向を向き、上記第２噴霧は上記第１噴霧に対して上向きまたは下向きの角度を有する方向を向いていることを特徴とする、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
上記第１噴霧の上記中心軸はロータの中心に向けられ、上記第２噴霧の上記中心線は、上記第１噴霧と角度を付けた方向に向き、上記第２噴霧がロータの回転方向に、または、回転方向と反対方向に向けて液体のパターンを噴霧することを特徴とする、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
ドアをボックスから分離するステップ、
該ボックスの上方前端部をボックス・ホルダーの上方脚部の後方に配し、該ボックスを上方に持ち上げ、該ボックスを回転させて該ボックスの底部をボックス・ホルダー内に移動させ、該ボックスの下方前端部を該ボックス・ホルダーの下方フック上に移動させ、そして、該ボックスを下げて該ボックスの下方前端部を該下方フックの後方に設置することで、該ボックスをボックス洗浄機内のロータのボックス・ホルダーに取り付けるステップ、
ロータを回転させるステップ、
該ボックスに液体を噴霧するステップ、ならびに、
該ボックスを乾燥させるステップを有するボックスおよびボックスに取りつけ可能なドアを備えたコンテナを洗浄する方法。
【請求項１１】
さらに、上記ボックスへ第１の乾燥ガスを下向きに流すこと、および、ボックスに第２の乾燥ガスを噴射することでボックスを乾燥させるステップを備えた、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
エンクロージャと、
エンクロージャ内のロータと、
ボックス・ホルダーの上端部に複数の上方フック、および、ボックス・ホルダーの下端部に複数の下方フックを備えている、エンクロージャと接したボックス・ホルダーとを有する、ボックス洗浄機。
【請求項１３】
さらに、請求項１２に記載のボックス洗浄機において、ボックス・ホルダーがロータの回転中心に向かって内側を向いている脚部を各フックに有することを特徴とする、請求項１２に記載のボックス洗浄機。
【請求項１４】
エンクロージャ内に回転可能に設置されたロータ、
ボックスを保持するための位置を少なくとも１つ備えている、ロータ上の少なくとも１つのボックス・ホルダー・アセンブリ、および、
ボックス・ドア保持位置を少なくとも１つ備えている、ロータ上の少なくとも１つのドア・ホルダー・アセンブリを有する、清浄環境下において平坦な物品を収容することに用いられる、ドアを備えたボックスを洗浄するためのシステム。
【請求項１５】
ロータが４つのボックス・ホルダー・アセンブリおよび１つのドア・ホルダー・アセンブリを備えていることを特徴とする、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
各ボックス・ドア保持位置が上方ドア・フック、下方ドア・フック、および、ドアガイドを備えていることを特徴とする、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１７】
上記上方ドア・フックおよび上記下方ドア・フックの少なくとも１つがフォークヘッドを備えていることを特徴とする、請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
上記フォークヘッドが長いアームおよび短いアームを供え、その間にフォークスロットを形成していることを特徴とする、請求項１７に記載のシステム。
【請求項１９】
上記ドアガイドが、支持壁に対して斜めに延びる斜向壁を備えていることを特徴とする、請求項１６に記載のシステム。
【請求項２０】
上記ドア・ホルダー・アセンブリが、上方コンパートメントおよび下方コンパートメントを形成している上端部プレート、中央部プレート、および、下端部プレートに取りつけられた左側部プレートおよび右側部プレートを備え、かつ、
各コンパートメントが複数の上方および下方ドア・フックならびにドアガイドを有することを特徴とする、請求項１４に記載のシステム。
【請求項２１】
ボックス・ドアを第１の方向へ、洗浄装置内のドアガイドへ滑らせるステップ、
少なくとも一方のドア側部を第２の方向へ移動させるステップ、および、
該第２の方向と実質的に直交する第３の方向へドアを移動させるステップを有する、ボックス・ドアを洗浄する方法。
【請求項２２】
上記第１方向と上記第３方向とが鋭角をなす、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
さらに、ドアがドア・フックと係合するまでドアを上記第３方向に移動させるステップを有する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
さらに、ドアを上記第２方向に移動させながら、上記ドアをドア・スロットに下ろすステップを有する、請求項２１に記載の方法。
【請求項２５】
さらに、洗浄装置内でボックス・ドアを回転させるステップ、および、
ドアの外側端部を少なくとも１つのドア・フックで保持して、遠心力によるドアの運動を抑止するステップを有する、請求項２１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明の分野は、半導体ウェハ、基板、フラットパネルディスプレイ、および、低汚染レベルを要求する類似の平坦な物品もしくは加工品を、保持および処理するために用いられるキャリアまたはコンテナを洗浄するための洗浄装置である。
【０００２】
（背景技術）
半導体ウェハ、基板、フォトマスク、フラットパネルディスプレイ、データディスク、光学的メディア、および、半導体産業に関連した他の物品（ここでは、集合的に「ウェハ」と称する。）の処理は異物に対して非常に敏感である。これら物品またはウェハは極度の低汚染レベルを要求する。微視的な（ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｉｃ）粒子ですら、ウェハから製造された物品または装置の欠陥を引き起こす原因となり得る。それ故、事実上全製造工程に渡り高レベルの清浄さを維持する必要がある。
【０００３】
半導体ウェハおよび類似の物品は一般にバッチ処理されている。バッチ式の取り扱い（ｂａｔｃｈ ｈａｎｄｌｉｎｇ）は、全製造工程で行われてもよく、また、１以上の処理工程または関連する取り扱い操作で行われてもよい。バッチ処理はほぼ必ずある種のキャリア、コンテナ、または、ボックス（ここでは、集合的にキャリアと称する。）を用いてウェハを保持する。ウェハ・キャリアには様々なデザインのものが可能である。ボックスタイプのキャリアにおいては、ウェハは保持され、処理設備内の道程の間、汚染しないように取り囲まれる。別のキャリアでは開口されており、処理液またはガスがキャリアに保持されたウェハと接触することを可能としている。ウェハを汚染する、キャリア上の粒子および汚染要因物の付着を逃れるために、ウェハ・キャリアは洗浄されなければならない。しかしながら、ウェハ・キャリアの洗浄は困難なものとなり得る。なぜならばキャリアは一般にスロット、グルーブ、隅部、開口部、等の形態を有するからである。
【０００４】
ある種のウェハ・キャリアは前面開口一体構造ポッド、または、ＦＯＵＰとして知られている。ＦＯＵＰキャリアは前部開口部を備えた、５面のボックスである。ドアがボックスの前部に取り付けられ、外部の汚染要因物の進入からボックスを封鎖し、ウェハを清浄に保つことに役立っている。ＦＯＵＰまたは別のキャリアは、２００ｍｍないし３００ｍｍのウェハを保持するように設計されてある。その結果、上記形態に加え、サイズがより大きくなれば洗浄をさらに困難にする可能性がある。ＦＯＵＰのドアは従来の噴霧洗浄技術では直接的に到達することができないかもしれないような内部中空領域を有しており、また、洗浄液を捕捉し保持する傾向性を有する為、洗浄を困難にしている。従って、キャリアを洗浄するための、改善された装置および技術が必要となっている。
【０００５】
キャリアは遠心洗浄機においては首尾よく洗浄されている。米国特許第５、７３８、１２８号に開示の遠心洗浄機においては、ボックスまたはキャリアは、ボックスの開口した上面または前面をロータから半径方向に外に向けて、ロータに装着される。そして、ロータを回転させながら、ボックスは洗浄液を噴霧され、それから乾燥ガスを吹き付けられる。ボックスを乾かすために、遠心力が働いて洗浄液の除去を助ける。これらの技術は、いろいろな異なるタイプのキャリアおよびボックスで上手く機能しているのだが、キャリアの洗浄、およびドアの洗浄を、よりよく、確実なものにすることは、工学的設計上の課題として残されている。ＦＯＵＰキャリアは、ボックスおよび分離するドア（ａ ｓｅｐａｒａｔｅ ｄｏｏｒ）を有し、両者とも洗浄されなければならないので、これらＦＯＵＰ構成材の両方を効率よく洗浄する装置も必要である。
【０００６】
（発明の開示）
第１の態様において、キャリアのドアを洗浄するための装置は、洗浄タンク内に超音波振動子を備えている。エレベータは、好ましくは幾つかのドアを保持することに適したベースを支持し、ドアを乗せて洗浄タンクへ入れたり、洗浄タンクから出したりすることが望まれる。タンクの蓋は好都合にもエレベータに取り付けられており、ベースがタンク内に降ろされた時には、タンクを閉じる。ドアが中空の空間および他の洗浄困難な形態を有する場合であっても、効率よくドアを洗浄する。
【０００７】
第２および別の態様において、キャリア・ボックスを洗浄するための遠心洗浄機は、エンクロージャ内にロータを備えている。ロータのボックス・ホルダーは上方および下方フックを備えている。ボックスの前方上端部は上方フックの後方にセットされる。ボックスは回転されて所定の位置につき、上方および下方フックによってロータに固定される。従って、ボックスは可動ラッチまたは他の固定用構成材を必要とせずに、ロータに設置され、固定される。
【０００８】
本発明の第３および別の態様において、半導体ウェハまたは他の平坦な物品を取り扱うためのキャリアを洗浄するためのシステムは、ボックス洗浄機およびドア洗浄機を一緒に備えている。ボックス洗浄機はエンクロージャ内にロータを備えている。ロータのボックス・ホルダー・アセンブリは、ボックスをロータに固定するための上方および下方フックを備えている。ドア洗浄機は好都合にも、ボックス洗浄機に近接している。ドア洗浄機は、洗浄タンク内に超音波振動子を有する。エレベータはドアを洗浄タンクへ、および、洗浄タンク外へ移動させる。ボックスおよびドアは効率良く、単一の場所において洗浄され、処理される。
【０００９】
本発明の第４および別の態様において、ボックスまたはＦＯＵＰドア・ホルダー・アセンブリは、ロータ上に配される。ボックス・ドア・ホルダー・アセンブリは、複数のボックス・ドア保持位置を有することが望ましい。個々のボックス・ドア保持位置は好都合にも、ドアを保持するために、ドアガイドならびにドア・フックもしくはバーを備えている。ボックス・ドア・ホルダー・アセンブリはボックスおよびそのドアの両方を遠心洗浄機で洗浄することを可能にしており、ドアを別に洗浄する必要性を回避している。
【００１０】
第５の態様において、キャリアを洗浄するための装置はコンテナまたはボックスを搬送するためのロータを備えている。ボックスの開口側は半径方向外側を向いている。スプレー・マニホールドは垂直スプレー・ノズルおよび斜角スプレー・ノズルを有することが望ましい。垂直スプレー・ノズルは好都合にも、ロータの中心部へ、および、一般にボックス内に直接的な噴霧を行う。斜角スプレー・ノズルは、回転方向および／または回転方向と反対の方向を向いて、前方（ｌｅａｄｉｎｇ）、および／または、後方（ｔｒａｉｌｉｎｇ）の、ボックスの表面、隅部、および、形態に噴霧するのにより適した位置に合わせられている。これにより、洗浄が改善される。
【００１１】
第６の態様において、スプレー・マニホールドは上方または下方に角度を付けられている、斜角スプレー・ノズルを備えている。
【００１２】
別の、および、さらなる目的、発明の特徴、および、優位性は下文に記す。なお、本発明は記されている形態の下位システムおよびサブコンビネーションに及ぶ。説明されている様々な実施形態の特徴は、図示または説明されている特定の実施形態に限らず、いかなる実施形態において実施されてもよい。本発明の目的は、改善された洗浄装置および方法を提供することである。
【００１３】
図面においては、幾つかの図を通じ、同一の参照番号は同一の要素を示す。
【００１４】
（発明を実施するための最良の形態）
図面を詳細に参照すれば、図１に示されているようにキャリア洗浄システム３０は遠心ボックス洗浄機３２およびドア洗浄機３４を有する。ドア洗浄機３４はボックス洗浄機３２に近接して配されていることが望ましい。ロータ・アセンブリ３６は、ボックス洗浄機３２のエンクロージャ３８内に回転可能に支持されている。ロータ・アセンブリ３６には、取り付けおよび取り外しのためにスライドして開口し、洗浄中はスライドして閉じられる、エンクロージャのドア４０を通じてアクセスする。
【００１５】
図２、図３、および、図４を参照すると、ボックス・ホルダー・アセンブリ５０はボックス洗浄機３２内でロータ・アセンブリ３６に取り付けられ、またその部分を形成している。ロータ・アセンブリ３６は、コア構造体４４に取り付けられた上端部リング・プレート６０および下端部リング・プレート６２を有する。ホルダー・アセンブリ５０は、上端部および下端部リング・プレート６０および６２にボルト７５でしっかりと取り付けられている。
【００１６】
図３および図４を参照すると、各ホルダー・アセンブリ５０は、側部プレート７８および８０と結合している上端部プレート７２、中央部プレート７４、および、下端部プレート７６を有する。上方ボックス位置５６は上端部プレート７２および中央部プレート７４の間に形成される。同様に、下方ボックス位置５８は中央部プレート７４および下端部プレート７６に形成される。
【００１７】
複数の側部バンパ８２は、側部プレート７８および８０の外側表面上の取り付け用金具（ｃｌａｍｐ ｂｒａｃｋｅｔｓ）８４、ならびに、側部バンパ８２、取り付け用金具８４、および、任意で側部プレート７８および８０をも通る、留め具（ｆａｓｔｅｎｅｒ）８５で、側部プレート７８および８０の内側表面に取り付けられている。上方および下方ミスロード・バンパ（ｍｉｓｌｏａｄ ｂｕｍｐｅｒｓ）８８は側部プレート７８の内側表面に取り付けられている。図３に示されているように、上方ボックス位置５６および下方ボックス位置５８の、上方ミスロード・バンパ８８は各ボックス位置５６および５８の前部開口部に向かって下方に傾けられ、一方、各ボックス位置５６および５８において下方ミスロード・バンパ８８は一般に水平である。
【００１８】
図４に最良な図示がなされているように、相隔てられた１対の背面ガイド（ｒｅａｒ ｇｕｉｄｅ）８６が上端部プレート７２および中央部プレート７４に取り付けられている。相隔てられた１対の背面ガイド８６は、同様に中央部プレート７４および下端部プレート７６にも取り付けられている。背面ガイド８６は側部プレート７８および８０の背後に、後方へ半八角形の構成で延びている。
【００１９】
図３を参照すれば、上方フック・アセンブリ９０は、側部プレート７８および８０に取り付けられたアーム９２を備えている。クロスバー９４はアーム９２間に延びている。フック９６はクロスバー９４から下方に延びている。図４によく示されているように、各フック９６は下方に延びる脚部９８、および、脚部９８と実質的に垂直で、かつ、内側に延びる足１００を備えている。しかし、上方フック９６の足１００は除外されてもよく、そうすることでフック９６は単に、脚部９８の棒部または面部となる。
【００２０】
図３に戻れば、下方フック・アセンブリ１０２は、同様に側部プレート７８および８０に取り付けられたアーム１０４を備えている。前部のクロスバー１０６はアーム１０４の間に延びている。クロスバー１０６に取り付けられた中央フック１０８は、それぞれ内側に延びた足１１０を備えている。フック１０８の外側に位置するベースバー１１２は、前部クロスバー１０６およびアーム１０４に取り付けられた後部クロスバー１０７に支持されている。各ベースバー１１２は傾斜部１１４を有し、これは前部クロスバー１０６から後部クロスバー１０７へ上向きに、即ち前部から後方へと傾斜している。
【００２１】
図２に示されている実施形態においては、５つのホルダー・アセンブリ５０は、放射状に等しく相隔ててロータ・アセンブリ３６にある。各ホルダー・アセンブリ５０は上方ボックス位置５６および下方ボックス位置５８を有する。各上方ボックス位置５６および下方ボックス位置５８は、上記の、上方および下方フック・アセンブリ９０および１０２、側部バンパ８２、ならびに、ミスロード・バンパ８８を備えている。図２ないし図６に示されている本発明の態様については、フック・アセンブリ９０および１０２を除いて、他の構成要素は必須の要素ではない。
【００２２】
図５を参照すれば、（ＦＯＵＰ）キャリア・ボックス５２は、フレームまたはベゼル（ｂｅｚｅｌ）５４に取り囲まれた開口前部５３を有する。フレーム５４は上端リム６４、下端リム６５、左側部リム６６、および、右側部リム６７を備えている。ハンドル６９はボックス５２の側壁６３に取り付けられている。ロボットまたは他の自動マニピュレータが関与するためのフィッティング（ｆｉｔｔｉｎｇ）６８がボックス５２の上端面に取り付けられている。
【００２３】
図１を参照すると、ボックス洗浄機３２は上記のとおりである。ボックス洗浄機３２とともにコンテナ洗浄システム３０を形成するドア洗浄機３４は今、説明したとおりである。
【００２４】
図７に示されているように、ドア洗浄機３４は、作業領域１３４を提供する作業台上端１３２を包含しているフレーム１３０を備えている。コントロールパネル１３６は作業台１３２の背後部に位置する。コントロールパネル１３６の表示灯１３８はドア洗浄機３４の状況を視覚的に表示する。ドア洗浄機３４は作業領域１３４と並んだ洗浄ユニット１４０を包含している。洗浄ユニット１４０は作業台面１３２から下方に延びる処理タンク１４２を有する。作業台１３２の上端面に固定されたエンクロージャ１４６は、タンク１４２の上方および周囲に配される。エンクロージャ・ドア１４８は軸回転可能にタンク・エンクロージャ１４６に取り付けられ、ドア１２５の洗浄ユニット１４０への搭載および洗浄ユニット１４０からの取り出しが可能となるまで軸回転（ｐｉｖｏｔ）する。エンクロージャ・ドア１４８は下方に軸回転し、洗浄中、タンク１４２を周囲環境から遮断する。
【００２５】
図８および図９に示されているように、洗浄ユニット１４０はエレベータ１４４を有する。エレベータはベース１５０を備えている。ドア１２５はベース１５０上であって、ベース上で僅かに相隔てて直立しているドア・ホルダー・タブ１５２間に支持される。リフト・ロッド１５４はベース１５０から上方に延び、タンクの蓋１５６に取り付けられている。また、タンクの蓋１５６は、対角の隅部においてリフト・チューブ１５８に支持されている。リフト・チューブ１５８は送りネジ１６０と係合する内部スレッドを有する。送りネジ１６０は駆動軸１６６を回転させるエレベータ・モータ１６２によって、直角駆動部（ｒｉｇｈｔ ａｎｇｌｅ ｄｒｉｖｅｓ）を通じて回転させられる。図９に示されるように、超音波振動子１８０はタンク１４２の底部に配される。エンクロージャ・ドア１４８が開いている場合、インターロックがエレベータの運動を抑制する。
【００２６】
図９および図１０に示されているように、処理タンク１４２底部のドレン管路１８４はフレーム１３０の作業台１３２の下の再生タンク１９４に接続される。流体充填管路２０４は再生タンク１９４から輸送ポンプ１９６へ延び、そしてパラレル・フィルタ２０２を通って処理タンク１４２の底部の注入口１８２に至る。ドレン・バルブ１９５はドレン１８４から再生タンク１９４への流れを制御する。レベル検出口１９０は、タンク１４２内の液のレベルを検出するために、タンクに並んで上方へ延びるレベル検出チューブ１９２と処理タンク１４２とを接続している。
【００２７】
タンク蒸気排気管１８６は、タンク１４２の上端から排出バルブ２１２に延び、これによりタンクの排気が排出管２１４を通じて流出すること、または、蒸気コンデンサ１９７に流れることを可能にしている。冷水供給管２０８および冷水戻り管２１０は蒸気コンデンサ１９７と冷水源とを接続している。復水回収管２０６は蒸気コンデンサ１９７からブリーザ・バルブ１９８を通り、再生タンク１９４に延びる。化学溶液供給管２１８は充填ポンプ２２４を通じて再生タンク１９４へ延びる。清浄乾燥空気供給管２２２は、充填ポンプ２２４、輸送ポンプ１９６、および、化学溶液ドレンに接続しているドレン・ポンプ２２６に接続し、空気圧によってポンプを駆動する。代替として、電気的に動力を供給されているポンプを使用してもよい。蒸気コンデンサ排出管２１５は蒸気コンデンサ１９７から、コンデンサ排出バルブ２１６を通り、排出管２１４に延びている。
【００２８】
窒素パージシステム１８８は、パージ・バルブ１８９を通じて窒素ガスを供し、処理タンク１４２およびタンクに接続している管をパージする。窒素パージシステム１８８、ならびに、バルブ２１２、１９８、１８９、および、２１６の利用により、環境空気および湿度は洗浄ユニット１４０からパージされる。パージすることで洗浄ユニット１４０内の濃縮水蒸気は低減または除去される。
【００２９】
コンピュータ・コントローラ１３５は様々なバルブ、ポンプ、センサ、および、ドア洗浄機３４の制御操作のための他の構成要素とリンクしている。
【００３０】
再び図１を参照すれば、使用にあたり、洗浄されるべきボックス５２はコンテナ洗浄システム３０に運ばれる。システム操作者４５は一般にボックス５２をカートから持ち上げて、ドア洗浄機３４の作業領域１３４にボックスを配置する。それから操作者４５はドア１２５を取り外し、ドアをドア洗浄機３４内のエレベータ１４４のベース１５０に載せる。
【００３１】
そして、ボックス５２をボックス洗浄機３２に載せるために、操作者４５はコントロールパネルによって、空になっているホルダー・アセンブリ５０がエンクロージャのドア４０の開口部に合うまで、ロータ・アセンブリ３６を回転させる。エンクロージャのドアは、操作者がコントロールパネルを制御することで自動的にスライド開閉する。
【００３２】
図６を参照すれば、操作者はボックス５２を回転させて右側部リム６７を上にする。それから操作者４５はボックス５２を、ボックス５２の右側部リム６７をフック９６の上部かつ後方に設置しながら、空いているボックス位置５６または５８の内部へ移動させる。そして、操作者４５は、図６に示されているシーケンスのようにボックス５２を移動させることで、ボックス位置５６または５８内部にボックス５２を移動させる。ボックス５２のフレーム５４の左側部リム６６が下方フック１０８の後方にまで移動した後で、操作者４５はボックス５２を下方に動かし、そうすることで図３、図４、および、図６に示されているように、上方フック９６をもし使用しているのであれば、その足１００がリム６７の下に到達し、また、下方フック１０８の足１１０がボックス５２のリム６６の上方に到達し、係合する。
【００３３】
図６を参照すれば、搭載シーケンスの間、ベースバー１１２の傾斜部１１４は、ボックス５２が正確な位置へ誘導することに役立つ。背面ガイド８６も、ボックスがホルダー・アセンブリ５０内で後ろに行きすぎることを防ぐことで、ボックス５２を所定の位置に誘導することに役立っている。側部バンパ８２は、横方向所定の位置にボックス５２を誘導する役に立っている。ミスロード・バンパ８８は、ボックス５２が適切な方向を向いていない場合に、ボックス５２がホルダー５０内に搭載されることを防いでいる。ボックス５２と接しているホルダー５０の構成要素は、磨耗等により過剰な粒子を生成しない材料から構成されていることが望ましい。
【００３４】
上記ステップに続いて、操作者４５はボックス５２を空のボックス位置５６および５８への搭載を続ける。ボックスから取り外されたドア１２５は相応に、ドア洗浄機３４のベース１５０に搭載される。全ての位置にボックス５２が搭載されるか、または、他に洗浄すべきボックスがなくなれば、操作者はエンクロージャのドア４０を閉じ、洗浄シーケンスを開始する。ロータ・アセンブリ３６は回転し、洗浄液がボックス５２に噴霧される。そして上記のように、例えば米国特許第５、７３８、１２８号のように、乾燥ガスがボックス５２の乾燥に用いられる。ボックス５２が洗浄および乾燥された後、上記ステップの逆のシーケンスで、ボックスは取り外されて、ボックス洗浄機３２から取り出される。
【００３５】
ボックスは、ボックス洗浄機３２または４００を用いて洗浄される。ドアはドア洗浄機３４を用いて洗浄されるか、または、図１１に示されているようなドア位置をロータに有するボックス洗浄機を用いてもよい。ドアを洗浄する装置および方法の選択は、ドアのデザインおよび特定の用途で様々である。
【００３６】
ドア洗浄機を用いる際には、各ドア１２５がボックス５２から取り外され、操作者４５は手でドア１２５をドア洗浄機３４の洗浄ユニット１４０内のベース１５０に配置する。ドア１２５はベース１５０のホルダー・タブ１５２によって垂直に直立して保持される。現段階においては、処理タンク１４２は空である（環境空気で満たされている。）。ここで示されている実施形態においては、洗浄ユニット１４０は１０個のドアの受容能力を有する。ドア１２５はホルダー・タブ１５２によって僅かに間隙を設けられている。
【００３７】
ドアと共に搭載されたベースに関し、操作者４５はコントロールパネル１３６を用いて洗浄シーケンスを開始する。エンクロージャ・ドア１４８は閉じられる。エレベータ・モータ１６２は電圧を印加され、ベース１５０およびドア１２５をタンク１４２内へと降ろす。エレベータ１４４が完全に降ろされると、タンクの蓋１５６が、周囲の作業台１３２の上端面に対してシールする。洗浄ユニット１４０がシールされ、好都合にも、高価な洗浄液を内部に保ち、そして環境空気と湿度を外部にとどめる。
【００３８】
窒素パージバルブ１８９が開かれる。窒素がタンクに流入し、環境空気を取り除く。そして、コンデンサ排出バルブ２１６が一瞬開き、環境空気を排出する。環境空気が排された後、バルブ１８９および２１６が閉じる。
【００３９】
ブリーザ・バルブ１９８、および、タンク充填バルブ１８５を開くことで、タンク１４２に液が充填される。輸送ポンプ１９６のスイッチがオンになり、液はポンプでくみ上げられ、再生タンク１９４から充填管２０４、フィルタ２０２、バルブ１８５を通り、注入口１８２を経てタンク１４２に注入される。洗浄液は、米国、ミネソタ、セントポールの３Ｍ社から入手可能な、ハイドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）（Ｃ３Ｆ９ＯＣＨ３、メチル　ノナフルオロブチル　エーテル）が望ましい。
【００４０】
超音波振動子１８０に、電圧が印加される。ドア１２５はタンク１４２内で超音波によって洗浄される。洗浄が完了の後、ブリーザ・バルブ１９８およびドレン・バルブ１９５が開かれる。液は処理タンク１４２から再生タンクへ、重力で戻される。
【００４１】
前記の、処理タンク１４２への充填、超音波洗浄、および、処理タンク排出のステップは、好都合にも所望のサイクル数だけ繰り返される。
【００４２】
再生サイクルにおいて、ＨＦＥは濃縮される。排出バルブ２１２が閉じられ、コンデンサ排出バルブ２１６および窒素パージバルブ１８９が所定の時間間隔だけ開かれ、そして、閉じられる。冷水が蒸気コンデンサ１９７を貫流する。濃縮蒸気（ｃｏｎｄｅｎｓａｔｅ ｖａｐｏｒ）は排出され、復水回収管２０６を通って、再生タンク１９４に戻る。濃縮されていない蒸気は排出管２１４を通って排出される。
【００４３】
それから、エレベータ・モータ１６２に逆方向の電圧が印加され、ベース１５０が作業台１３２とおよそ同じ高さになるまで上昇する。これにより、処理タンクのシールが解かれる。タンクのエンクロージャ・ドア１４８が開かれ、ボックス・ドア１２５がベースから取り外される。洗浄されたボックス５２がボックス洗浄機３２から次々と取り外されるに従って、任意で、各ドア１２５は、作業台１３４上でボックス５２に取りつけられてもよい。適切な順序付けにより、各ドア１２５は本来備わっていた特定のボックス５２に取りつけることが可能である。
【００４４】
次のドアのバッチ処理のために、上記ステップが繰り返される。好ましくは窒素パージは、各ドアのバッチ処理の間、濃縮水をタンクおよび管に入れないようにするために用いられる。
【００４５】
ある種のキャリアは、遠心洗浄機で洗浄可能なドアを有する。図１１および図１２を参照すれば、ボックスおよびドアの両方をボックス洗浄機３２で洗浄する修正キャリア洗浄システムを形成するように、ボックス・ホルダー・アセンブリ５０の１つの代わりに、ロータ・アセンブリ３６に、ドア・ホルダー・アセンブリ３００が配されている。このようなシステムにおいては、ボックス洗浄機３２およびその使用法は、図１ないし図６と関連した上記の説明と同一であって、また図７ないし図１０を参照して上記にて説明した、別個のボックス・ドア・洗浄機は必ずしも使用されるものではない。
【００４６】
ドア・ホルダー・アセンブリ３００は、図３および図４に示されているようなボックス・ホルダー・アセンブリ５０の類似している他の構成要素と同様に、中央部プレート７４、側部プレート７８および８０、アーム９２、上方クロスバーならびに下方クロスバー１０６を備えている。
【００４７】
図２、図１１、および、図１２を参照すれば、ドア・ホルダー・アセンブリ３００は、ドア・ホルダー・アセンブリ３００の上端部プレート７２および下端部プレート７６を貫通するボルト７５によって、ロータ・アセンブリ３６の上端部リングプレート６０および下端部リングプレート６２に堅く取りつけられている。
【００４８】
図１１を参照すれば、ドア・ホルダー・アセンブリ３００は、一般に中央部プレート７４で仕切られた上方コンパートメント３０６および下方コンパートメント３０８を有する。各コンパートメント３０６および３０８は上方フック・アセンブリ３０２および下方フック・アセンブリ３０４を備えている。
【００４９】
各上方フック・アセンブリは複数の上方ドア・フック３１４および下方ドア・フック３１６を備え、好ましくは、それらは均等に間隔を隔てている。各上方および下方ドア・フック３１４および３１６は、長いアーム３２０および短いアーム３２２を有するフォークヘッド（ｆｏｒｋ ｈｅａｄ）を有し、それらの間がフォークスロット（ｆｏｒｋ ｓｌｏｔ）３２４を形成している。
【００５０】
各コンパートメント３０６および３０８は、好ましくは４つの保持位置３５０を備えており、上方コンパートメントのドア保持位置はＡ、Ｂ、Ｃ、および、Ｄと指し示され、下方コンパートメントのドア保持位置はＥ、Ｆ、Ｇ、および、Ｈと指し示されている。ドア保持位置は好ましくは同一である。図１１においては、ボックス・ドア３２５がドア保持位置Ｂに入れられているところが図示されている。
【００５１】
各コンパートメント３０６および３０８の上端後方位置のドアガイド３１２は、ドア３２５がドア保持位置に入れられた際に、ドア３２５の上方後部隅に合う隅部スロット３１１を有する。ドアガイド３１２は、（例えば、横への運動からドアを保持するために）横方向にドアを支持する役に立っている。
【００５２】
各ドア保持位置３５０に、ドア・ブロック３１０が上方および下方ドア・フック３１４および３１６と位置を合わせてある。なお図１１を参照すれば、各ドア・ブロック３１０は、支持壁３３８および支持壁３３８と鋭角をなして延びる斜向壁（ａｎｇｌｅ ｗａｌｌ）３３４を備えている。誘導ステップ３３２は斜向壁３３４から支持壁３３８へ、内部に向かって延びている。誘導ステップ３３２、スロット底部３３６、および、支持壁３３８が誘導スロット３３０を形成しており、誘導ステップ３３２はスロット底部３３２によって支持壁３３８と隔てられている。
【００５３】
各ドア保持位置Ａ−Ｈ内において、上方ドア・フック３１４および下方ドア・フック３１６内のフォークスロット３２４は、ドア・ブロック３１０の誘導スロット３３０と位置を合わせてある。上方ドア・フック３１４は、その間をドア３２５が通れるだけの寸法を互いに隔てている。下方ドア・フック３１６も同様に間隔を空けている。
【００５４】
ドアガイドまたは他の位置合わせ機構を用いてドアの底部の位置を合わせるのならば、上方および下方フック・アセンブリ３０２および３０４は、如何なるフック形態を持たない単純なバーまたはプレートに差し替えることが可能である。さらに、フック・アセンブリ３０２および３０４を用いるのならば、背部止め３２６、誘導ステップ３３２、斜向壁３３４、支持壁３３８、スロット底部３３６等を有する様々な形態の誘導スロット３３０が好ましいが、それらは本発明に必須ではない。
【００５５】
使用に際し、ロータ・アセンブリ３６のドア・ホルダー・アセンブリ３００にドア３２５を搭載するために、エンクロージャのドア４０が開放され、ロータ・アセンブリ３６はインデックス送り（ｉｎｄｅｘ）されるか、または、ドア・ホルダー・アセンブリ３００がエンクロージャのドア４０の位置に合うまで回転される。そして、ドア３２５がドア・ホルダー・アセンブリ３００に、手によって載置される。
【００５６】
具体的には、操作者が、ドア３２５を斜向誘導壁３３４によって、ロータの半径と鋭角をなして半径方向内側に向かって（およそロータの中心に向かって）誘導させながら、フック３１４および３１６の間をドア３２５を移動させる。ドア３２５の前端部３２８がフック３１４および３１６の短いアーム３２２を通過すれば、ドア３２５の前端部３２８を横方向に（図１１における左側へ）移動させ、ドア３２５を誘導ステップ３２２から誘導スロット３３０へ移動させる。そしてドア３２５はドア・フック３１４および３１６のフォークスロット３２４と位置合わせされる。それから、操作者はドア３２５を僅かに前方に引き、それによってドアの前端部３２８がフォークスロット３２４へ移動し、ドア・フック３１４および３１６ののフォークヘッド３１８と接する。
【００５７】
そして、ドア３２５は、（半径方向外側に向かう運動を防ぐ）ドア・フック３１４および３１６によって、ロータ・アセンブリ３６が回転する間、運動を抑止される。誘導スロット３３０にあるドアの下方端部が支持壁３３８および誘導ステップ３３２との間で横方向に拘束されているので、ドア３２５は横方向への運動をも抑止される。ドア３２５の上方後部隅もドアガイド３１２の隅部スロット３１１で横方向に支持されている。ドア・ブロック３１０の後方端の背部止め３２６が挿し込む際に、ドア３２５が内側に行きすぎないようにしている。
【００５８】
上記シーケンスを用いて、ドア・ホルダー・アセンブリ３００はドア３２５を、一般に４つのドアを上方コンパートメント３０６に、そして、４つのドアを下方コンパートメント３０８に積載する。少しの間、図２を参照すれば、ドア・ホルダー・アセンブリ３００がボックス・ホルダー・アセンブリ５０の１つと差し替わっており、ロータ・アセンブリ３６が４つのボックス・ホルダー・アセンブリ５０を備え、各々が２つのボックスを支え、総計で８つのボックスを支え、また、ドア・ホルダー・アセンブリ３００が８つのドアを支える。結果、８つのボックスとそれぞれのドアが、洗浄システムの一回のサイクルで洗浄可能である。
【００５９】
ドア３２５は、上記のステップの逆のシーケンスによって、ドア・ホルダー・アセンブリ３００から取り出される。
【００６０】
図５に示すコンテナ５２またはボックスがより大きなサイズになったり、ホルダー・アセンブリ、または、ラダー（ｌａｄｄｅｒｓ）５０内で支持される際のコンテナ５２の形状に起因して、米国特許第５、７３８、１２８号が開示するような、従来のスプレー配置では、ロータ・アセンブリ３６上のコンテナまたはボックス５２の全表面を高効率で洗浄することはできない。
【００６１】
図１３ないし図１５を参照すれば、改良遠心ボックス洗浄機の実施形態４００において、外側スプレー・マニホールド４０２、４０４、４０６、４０８、および、４１０が、液を半径方向内側に向かって噴霧し、ボックスまたあコンテナ５２上、および、内部に噴霧する。内側液体スプレー・マニホールド４１２が、液を半径方向外側に向かって噴霧し、ボックス５２の背面に噴霧する。内側液体スプレー・マニホールド４１２は回転ロータ３６内に放射状に配置されている。外側スプレー・マニホールド４０２、４０４、４０６、４０８、および、４１０は、図１４に示されているようにエンクロージャ３８内にあるか、または、エンクロージャ３８の外側に配置されてマニホールドのノズルが図１３に示されているように、エンクロージャの開口部を通じて延びているか、のいずれかである。
【００６２】
内側および外側液体スプレー・マニホールドは、ボックス洗浄機４００内に、乾燥サイクルにおいて清浄乾燥空気のようなガスを噴霧する目的で備えられてもよい。代わりに、別個の内側および／または外側ガス・スプレー・マニホールドを配してもよい。
【００６３】
図１４および図１５を参照すれば、第１の外側液体スプレー・マニホールド４０２は、好ましくは均等に間隔を隔てた複数のスプレー・ノズル４３０および４３２を有する。ノズル４３０は、ロータ３６の回転軸および中心Ｃに向かって直接的に吹き出す、垂直スプレー・ノズル（ｓｔｒａｉｇｈｔ ｓｐｒａｙ ｎｏｚｚｌｅ）である。垂直スプレー・ノズル４３０は円錐ノズル（ｃｏｎｅ ｎｏｚｚｌｅ）で、これは円錐パターンで吹き出して、例えば１０ないし６０度または１５ないし４５度、ならびに、好ましくはおよそ３０度の立体角で包囲する。代わりに、垂直スプレー・ノズル４３０は、平らな噴霧パターンを供するファン型ノズルであってもよい。ボックス５２の洗浄がより効果的になるように、ノズル４３２も第１マニホールド４０２に配されており、これらは斜角スプレー・ノズル（ａｎｇｌｅ ｓｐｒａｙ ｎｏｚｚｌｅ）である。好ましくは、第１マニホールド４０２は２つまたは４つの斜角スプレー・ノズル４３２を備え、これらは少なくとも１つ、好ましくは幾つかの垂直スプレー・ノズル４３０によって分けて配置されている。
【００６４】
図１５を参照すれば、第１外側液体スプレー・マニホールド４０２上の斜角スプレー・ノズル４３２は、近づいてくるＦＯＵＰボックスもしくはコンテナと反対方向に、または、ロータの回転方向Ａにθの角をなして噴霧する構成である。第１マニホールド４０２上の垂直スプレー・ノズル４３０ロータ・アセンブリ３６の中心Ｃに向かって直接的に噴霧する。第１マニホールド４０２上の垂直スプレー・ノズル４３０は、現行の噴霧技術と同様に、ボックス５２の様々な表面を洗浄する。しかし、第１マニホールド４０２上の斜角スプレー・ノズル４３２は、図１６に示すように、ボックス５２の内側隅部を洗浄するのにより適した構成である。必要に応じ、第１マニホールド上の全てのノズルを、図１５に示されているようにθなる角度をなして噴霧を行う、斜角スプレー・ノズル４３２としてもよい。代わりに、全てのノズルが斜角スプレー・ノズル４３２であって、異なる噴霧角を有してもよい。しかし、第１マニホールド４０２は、共に角θをなして噴霧する、２つまたは４つの斜角スプレー・ノズル４３２を有し、残りのノズルは垂直スプレー・ノズル４３０であることが好ましい。従って、第１マニホールド４０２は、２つもしくは４つの斜角スプレー・ノズル４３２、ならびに、５つもしくは７つの垂直スプレー・ノズル４３０を有し、全てのノズルが均等に相隔たることが望ましい。言うまでもなく、その他の数および構成を使用してもよい。
【００６５】
図１５および図１６を参照すれば、第２の外側スプレー・マニホールド４０４は好ましくは、第１マニホールド４０２に対して９０度の角をなし、エンクロージャまたはボウル（ｂｏｗｌ）３８の上または内部にある。第２マニホールド４０４は垂直スプレー・ノズル４３０を有し、これは第１マニホールド４０２上の垂直スプレー・ノズル４３０からの噴霧と一般に垂直をなす方向に吹き出すことが望ましい。第２マニホールド４０４もまた、少なくとも１つ、好ましくは２つないし４つの斜角スプレー・ノズル４３２を備えており、これらは半径方向内側に、中心Ｃに向かい、下方に角θだけ（ロータまたはボックス洗浄機４００の底部に向かって）傾いて噴霧をするように、方向付けられている。
【００６６】
第３の外側液体スプレー・マニホールド４０６は好ましくは、実質的に第１の外側液体スプレー・マニホールド４０２の鏡像として設計される。つまり、第３の外側液体スプレー・マニホールド４０６は中心Ｃに向かって噴霧する垂直スプレー・ノズル、ならびに、近づいてくるボックスに向かって、そして、回転方向Ａと反対の方向に向かって角θをなす方向を向いた斜角スプレー・ノズル４３２も有する。
【００６７】
第４の外側液体スプレー・マニホールド４０８は中心Ｃに向かって噴霧する垂直スプレーノズル４３０、および、上方に角θをなして（ボックス洗浄機４００の上端部に向かって）噴霧するように方向付けられた、少なくとも１つ（好ましくは２つないし４つ）の斜角スプレー・ノズル４３２を有する。
【００６８】
隣接するスプレー・ノズルとの干渉を防ぐために、第２の外側スプレー・マニホールド４０４上の下方を向いた斜角スプレー・ノズル４３２、および、第４の外側スプレー・マニホールド４０８上の上方を向いた斜角スプレー・ノズル４３２は、好都合にも、（それぞれに）隣接している下方の、および、上方の垂直スプレー・ノズル４３０と、噴霧パターンが大きくは衝突しない程度の間隔を相隔てられている。従って、第２および第４の外側スプレー・マニホールド４０４および４０８の垂直スプレー・ノズル４３０と斜角スプレー・ノズル４３２との間隔は、好ましくは均等ではない。それにひきかえ、第１および第３の外側スプレー・マニホールド４０２および４０６の斜角スプレー・ノズル４３２の間隔は、たいていの場合、そして好ましくは、およそ均一である。
【００６９】
第４および第２の外側スプレー・マニホールド４０８および４０４の斜角スプレー・ノズル４３２の上向きおよび下向き角は、互いに、または、第１および第３の外側スプレー・ノズル４０２および４０６の斜角スプレー・ノズル４３２の角θと均等である必要は無い。角度は利用目的によって変化してよいが、好ましくは全ての角度（マニホールド４０２における右向き、マニホールド４０４における下向き、マニホールド４０６における左向き、および、マニホールド４０８における上向き）は、１０ないし８０度、２０ないし７０度、３０ないし５０度、および、より好ましくは４０ないし５０度である。図示した実施形態においては、斜角スプレー・ノズルの全ては、４５度である角θへ噴霧するように設計されている。
【００７０】
マニホールド４０２、４０４、４０６、および、４０８は好都合にもチャンバ３８の内壁の円周に沿って、等しく９０度の間隔である。好ましくは、斜角スプレー・ノズルを備えたマニホールド４０２、４０４、４０６、および、４０８それぞれの間には、少なくとも１つの垂直スプレー・マニホールド４１０があり、それは好ましくは図１５に示されているように、垂直スプレー・ノズル４３０のみを有する。
【００７１】
内側スプレー・マニホールド４１２のは、好ましくは全て、垂直スプレー・ノズル４３０のみを備え、主にボックス５２の背後面の洗浄を目的とする。しかし、内側スプレー・マニホールド４１２も、外側スプレー・マニホールドと同様に斜角スプレー・ノズル４３２を備えてもよい。
【００７２】
図示している実施形態においては、計８つとなる、外側スプレー・マニホールド、４０２、４０４、４０６、４０８、および、４つの垂直スプレー・マニホールド４１０を有する。また、好ましくは８つの内側液体スプレー・マニホールドを有し、これらは図１５に示されているように、外側スプレー・マニホールドと位置を合わせるか、または、縦にオフセットするか、もしくは、交互交代的にしてもよい。また、角度的にオフセットを付けてもよく、それによって内側液体スプレー・マニホールド４１２からの噴霧は２つの外側スプレー・マニホールドの間の一点を目標とするようになる。必要であれば、外側スプレー・マニホールドのノズル４３０および４３２の縦位置はオフセットするかまたは交互にすることで、噴霧の範囲をより広い範囲にしてもよい。
【００７３】
図２１および図２２に示すように、斜角スプレー・ノズル４３２はノズル口４３６から延びた誘導面４３４を備えており、それがノズル本体４３８の中心軸先端部と角θをなす円錐状のスプレー・パターンを作る。設置すれば、軸Ｎは一般にロータの回転中心Ｃと交差し、その一方で誘導面４３４は軸Ｎに対して角θをなして広がる噴霧パターンを形成する。
【００７４】
図１５ないし図２０は、ボックス５２を搬送しながら方向Ａにロータが回転する際のボックス洗浄機４００の動作を示している。洗浄液が全てのマニホールド４０２、４０４、４０６、４０８、４１０、および、４１２に供給され、好ましくは全てのマニホールドの全てのノズル４３０および４３２から一斉に液体が吹き出る。図１５においては、マニホールド４１０の垂直スプレー・ノズル４３０からの垂直噴霧はボックス５２の特定の側部および後部内側表面に到達して、それを洗浄する。ロータがボックス５２を図１６に示す位置に搬送すると、マニホールド４０２の垂直スプレー・ノズル４３０が、好ましくはボックス５２およびその内部へ、図１５のマニホールド４１０からの垂直噴霧と同様のパターンおよび構成で噴霧を行う。しかし、マニホールド４０２の斜角スプレー・ノズル４３２は角θをなして噴霧を行い、それによって図５および図１６に示すように後方外側面４５２、ならびに、前方内側隅部４５４および内側側壁４５６は、より直接的に噴霧され、洗浄される。
【００７５】
図１７を参照して、ボックス５２が回転されてマニホールド４０４の領域内に来ると、マニホールド４０４の垂直ノズル４３０が、マニホールド４１０および４０２の垂直ノズル４３０と同様に、ボックスの内外に噴霧する。しかし、マニホールド４０４の斜角スプレー・ノズル４３２は、下方に角をつけて噴霧する。そうすることで、図５に示されているように、ボックス５２の上向きの面４５０がよりよく洗浄される。
【００７６】
図１８を参照して、ロータの回転に伴い、ボックス５２はマニホールド４０６の領域内に移動する。マニホールド４０６の垂直スプレー・ノズル４３０は、マニホールド４１２、４０２、および、４０４の垂直スプレー・ノズルに関する上記の説明のように、ボックス５２の内外に噴霧を行う。マニホールド４０６の斜角スプレー・ノズル４３２はマイナスθの角をなして噴霧を行い、ボックス５２の先に来る（ｌｅａｄｉｎｇ）外側側壁および後から来る（ｔｒａｉｌｉｎｇ）内側隅部をよくカバーし、洗浄する。
【００７７】
図１９を参照して、ボックス５２がマニホールド４０８の領域内に移動すると、マニホールド４０８の垂直スプレー・ノズル４３０が、上記説明のように、ボックスの内外に噴霧を行う。マニホールド４０８の斜角スプレー・ノズル４３２は上方に噴霧する。したがって、ボックス５２の下方を向いた面がよく洗浄される。ロータは一般に、２００ないし５００ｒｐｍで回転する。Ａ方向に回転の後、一般に回転方向は逆転する。結果、マニホールド４０２および４０６でのノズル角に関する、前方／後方、の関係性は逆になる。
【００７８】
効率のよい生産性のためには、マニホールド４０２ないし４１０は同一物であってよく、後からノズル４２０および４３２は上記のように左向き、右向き、上向き、または、下向きに取りつけられる。結果、全てのマニホールド４０２、４０４、４０６、４０８、および、４１０を生産するためには、ただ１つのマニホールドのデザイン、および、たった２つのノズルのデザインのみが必要である。この場合、下方に噴霧を行うノズル４３２を備えたマニホールド４０４、上方に噴霧を行うノズル４３２を備えたマニホールド４０８は、ノズル穴を栓４６０で封鎖可能で、それにより、上向きまたは下向きの斜角噴霧パターンが隣接する垂直噴霧パターンと干渉することを防止する。
【００７９】
垂直スプレー・ノズル４３０は、好ましくは１５ないし４５度の立体円錐角で、望ましくはおよそ３０度の立体円錐角で吹き出しを行う。好ましくは、全ての外側スプレー・マニホールドには、斜角スプレー・ノズルよりも多くの垂直スプレー・ノズルが備わっている。これにより、ボックスのみならず、ロータ自体の洗浄も行われる。マニホールドにある全ての斜角スプレー・ノズルを使用すれば、ロータの洗浄を損ないがちである。２つのボックス位置を有するラダー５０のようなラダーを備えたロータの場合、２つ、３つ、または、４つの斜角ノズルがマニホールド４０２ないし４０８に備えられていることが好ましい。より多くのボックス位置を有するラダーの場合は、より多くの斜角ノズルを備えることが望ましい。
【００８０】
結果として、回転方向に向かう方向もしくは逆の方向、または、上向きもしくは下向きに方向付けられたスプレー・ノズルをマニホールドに備えることで、洗浄の改良が達成されている。言うまでもなく、垂直スプレー・ノズルを、角度もしくはオフセットを付けて、同値的にマニホールドに取りつけられても、または、マニホールド自体に角度を与えてもよく、そうすることでノズルから角度の付いた吹き出しが行われ、上記の有益な結果を達成することになる。斜角噴霧パターンは、図１１および図１２に示されているような、ボックスまたはＦＯＵＰドアをも保持するロータを備えたボックス洗浄機で使用してもよい。マニホールド４０２ないし４０８は、（同一のマニホールドに）少なくとも１つのマイナスθ方向に噴霧を行う斜角スプレー・ノズル、および、少なくとも１つのプラスθ方向に噴霧を行う斜角スプレー・ノズルを有してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】半導体ウェハおよび類似した物品を取り扱う際に利用されるキャリア・ボックスおよびキャリア・ドアを洗浄するためのシステムの斜視図である。
【図２】図１に示されているボックス洗浄機内のロータの斜視図である。
【図３】図２に示されているボックス・ホルダー・アセンブリの拡大斜視図である。
【図４】図３のボックス・ホルダー・アセンブリの側部立面図である。
【図５】キャリア・ボックスの斜視図である。
【図６】図５に示されているボックスを図３ないし図４に示されているホルダー・アセンブリに装着するシーケンスを示す、部分断面側面図である。
【図７】図１に示されているキャリア・ドア洗浄機の斜視図である。
【図８】図７に示されているエレベータおよびタンクの斜視図である。
【図９】図７のエレベータおよびタンクの部分断面側面図である。
【図１０】図７に示されているドア洗浄機の概略図である。
【図１１】図２に示されているロータと共に用いられるボックス・ドア・ホルダー・アセンブリの斜視図である。
【図１２】図１１のボックス・ドア・ホルダー・アセンブリの側面図である。
【図１３】図１ないし図６に示されているシステムと類似のシステムではあるが、改良されたスプレー・ノズル構造体を備えた代替システムの側面図である。
【図１４】図１３に示されているシステムのエンクロージャー、ロータ、および、スプレー・マニホールドの斜視図である。
【図１５】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図１６】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図１７】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図１８】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図１９】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図２０】図１３ないし図１４に示されているシステム内の噴霧パターン、ノズルの方向性、および、コンテナ／ロータの動作図である。
【図２１】図１３ないし図２０に示されているシステムで用いられている斜めを向いたスプレー・ノズルの斜視図である。
【図２２】図２１に示されているノズルの拡大断面図である。
【図２３】左方または右方スプレー・マニホールドの切断部分の斜視図である。
【図２４】上方または下方スプレー・マニホールドの切断部分の斜視図である。
【符号の説明】
３０　・・・　キャリア洗浄システム
３２　・・・　遠心ボックス洗浄機
３４　・・・　ドア洗浄機
３６　・・・　ロータ・アセンブリ
３８　・・・　エンクロージャ
４０　・・・　エンクロージャのドア
４５　・・・　操作者
５２　・・・　ボックス
１２５　・・・　ドア
【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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