(57)【要約】化学センサシステムにおいて、サンプルが多数の場所で採取され、それらは、製品又は処理工程のオンラインの監視を与えるように、単一のプロセッサモジュールによって処理される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
製品又はプロセスのアットライン又はオンラインの監視のための化学的センサシステムであって、
前記製品又はプロセスラインの複数の異なる位置から感知されることになる材料の少なくとも１つのサンプルを取得するように配列されたサンプリング手段と、前記サンプルを感知するように配列されたセンサアレイを含むセンサ手段と、感知される前記材料又は複数の材料に関するセンサ手段の出力から情報を得るための処理手段とを備えていることを特徴とする化学的センサシステム。
【請求項２】
前記サンプルが取得される位置はお互いに遠く離れている請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記サンプルが取得される位置はお互いに近接している請求項１又は２の記載のシステム。
【請求項４】
前記センサ手段はそれぞれの異なる位置に配置された複数のセンサアレイを備えている請求項１，２又は３に記載のシステム。
【請求項５】
前記センサアレイは別々のモジュールに収容されている請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
サンプリング手段及びセンサ手段は共通のモジュールに収容されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項７】
前記処理手段はそれぞれの異なる位置から取得されたサンプルに関する情報を同時に取得するように配列されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項８】
前記処理システムはそれぞれの異なる位置から取得されたサンプルに関する情報を連続して取得するように配列されている請求項１〜６のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項９】
処理手段は前記サンプルに関するデータにパターン認識を適用するように配列されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１０】
ユーザインターフェースを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１１】
感知された前記サンプルにより前記製品又はプロセスラインを制御する信号を得るための手段を含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１２】
感知された前記サンプルから得た情報により前記サンプリング手段及び又はセンサ手段を制御するための手段を含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１３】
前記処理手段は前記センサ手段に制御信号を供給する前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１４】
前記センサ手段はサンプル取り扱い能力を含む少なくとも１つのセンサアレイモジュールを備えている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１５】
前記センサ手段は、電子コンダクタンス又はキャパシタンスセンサ、電界効果センサ、熱量センサ、電気化学的センサ、光化学的又は光度センサ、及びバイオセンサのセンサの技術タイプのうちの少なくとも１つを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１６】
前記センサ手段はたった１つのセンサの技術タイプのセンサを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１７】
前記センサ手段は、異なる技術タイプの組合せのセンサを含んでいる請求項１〜１５のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１８】
前記サンプリング手段は、携帯用、液体の上方空間、液体散布、サンプルの蒸発、プローブ、固体の上方空間、サンプル又はサンプル流に液状の化学的センサのアレイの直接挿入、ガスライン及び環境の監視の、サンプルを取得するための技術の少なくとも１つを使用する前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項１９】
複数のセンサアレイを前記処理手段に接続するバスを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２０】
前記処理手段は、非同期式のマルチドロップシリアルデータリンクを介して前記センサ手段に接続されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２１】
前記処理手段は、前記センサ手段に含まれるセンサアレイに順番にポーリングするように配列されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２２】
前記処理手段は、シングルボードコンピュータ、ハードドライブ及びユーザインターフェースディスプレイを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２３】
相対湿度センサを含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２４】
センサアレイから送られたデータはアレイを識別する識別番号を含んでいる前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２５】
化学的処理プラントからの流出物のサンプルは異なる位置で監視されている前述した請求項のいずれか１の請求項に記載のシステム。
【請求項２６】
添付図面に関連させて実質的に例示され、説明されたような製品又はプロセスのアットライン又はオンラインの監視のための化学的センサシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は化学的センサシステムに関し、より詳しくは製品またはプロセスのアットライン（ａｔ−ｌｉｎｅ）又はオンライン（ｏｎ−ｌｉｎｅ）の監視に関する。
【０００２】
液相、気体または気相で感知するためのものであって、臭気分析への使用で動作するために電子的鼻（ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｎｏｓｅ）と称されることもあるようなサブクラスのアレイを含む、そのような化学的センサアレイシステムは、上方空間の揮発性物質（ｈｅａｄｓｐａｃｅ ｖｏｌａｔｉｌｅ）の測定のために実験室の計器においてうまく使用されてきた。典型的なアプリケーションには、原材料および最終製品の品質コントロール、製品開発、及びセンサパネルのデータとの相関が含まれている。現在までに開発されたそのような計器は、主として研究室での使用を目的としたものであった。
【０００３】
材料が、製造中又は処理中に取り扱われる又は変化させられるようなアプリケーションでは、材料の、品質、確実性（ａｕｔｈｅｎｔｉｃｉｔｙ）及び／又は組成特性（ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｙ）の評価についての要件があるような処理の間には、典型的には数段階がある。化学的センサアレイシステム（ＳＡＴ， ｓｅｎｓｏｒ ａｒｒａｙ ｓｙｓｔｅｍ）を、これらの特性を評価するのに使用することができる。
【０００４】
本発明は、アットラインまたはオンラインの監視のために特に適している化学的センサシステムを提供しようとする。
【０００５】
本発明によると、製品又はプロセスのアットライン又はオンラインの監視のための化学的センサシステムであって、前記製品又はプロセスラインの複数の異なる位置から感知されることになる材料のサンプルを取得するように配列されたサンプリング手段と、前記サンプルを感知するように配列されたセンサアレイを含むセンサ手段と、感知される前記材料又は複数の材料に関するセンサ手段の出力から情報を得るための処理手段とを備えていることを特徴とする化学的センサシステムが提供される。
【０００６】
この明細書で使用されるように、「アットライン」は、監視計器が、手動又は自動的手段のいずれかによってそこからサンプルを導き入れることができるような、関心のある検出ポイントのすぐそばに配置されることを意味する。製品または処理の分析は、不連続の（ｄｉｓｃｒｅｔｅ）サンプルまたは一括処理されたサンプルから達成される。「オンライン」の語は、不連続のサンプル、一括処理されたサンプル又は連続的に自動的サンプリングされたサンプルによって製品または処理を監視することができるようにする、監視システムと検出ポイントの間に物理的関係があることを意味する。「インライン（ｉｎ−ｌｉｎｅ）」システムは、オンラインシステムのサブセットである。
【０００７】
本発明を使用することによって、製品またはプロセスライン中の異なる位置からの材料のサンプルを分析すること、及びプロセスシステム全体の中で一緒にそれらを評価すること又は個々にサンプルを評価することが可能になる。これは、例えば、生産プロセスの間の数段階で監視する手段を提供するであろう。複数の異なる位置でサンプリングされた材料は、同じ材料と名目上は同じかもしれないし、又はそれは、生産プロセスの間で導き入れられ、変更され、又は生成された他の材料であるかもしれない。製品または処理ラインのより完全な特徴づけを与えるために、１つより多くの材料を、単一の位置で感知することもできる。
【０００８】
アットライン又はオンラインの構成で監視技術を使用することの利点は、製品または処理のリアルタイム監視を次に可能にする、サンプルの「使用のポイント」すなわち元の場所での測定を可能にすることである。監視されるプロセスは、中間製品または最終製品の処理（ｔｒｅａｔｍｅｎｔ）、変換または製造で使用される１つより多くの物理的又は化学的処置を含むことができる。製造の環境では、アットラインまたはオンラインの監視によって、製品または処理における許容可能な性能または品質からの逸脱があったなら、迅速な修正措置を取ることができる。実験室ベースの計器における遠隔のオフラインの分析のためのサンプルを取得する際の遅延は、許容できないことが多い。そのため、アットライン及びオンラインの監視は、工業の多くの分野で、またシステムが例えば火炎または有毒蒸気のような危険な状況を監視するような環境でも、好適である。
【０００９】
サンプリング手段は、関心のある検出ポイントに位置するようなセンサを有するセンサ手段の一部として組込むことができる。他の方法として、サンプリング手段をセンサ手段から分離したものとすることもできるであろう。サンプル手段の例としては、サンプルを取得するための以下の技術のうちの少なくとも１つを使用した装置とすることができる：ポータブル；液体の上方空間（ｌｉｑｕｉｄ ｈｅａｄｓｐａｃｅ）；液体散布（ｌｉｑｕｉｄ ｓｐａｒｇｅ）；サンプルの気化；プローブ；固体の上方空間（ｓｏｌｉｄ ｈｅａｄ ｓｐａｃｅ）；液相化学的センサアレイのサンプルまたはサンプル流の中への直接挿入；気体ライン（ｇａｓ ｌｉｎｅ）および周囲の監視。特定のシステムについては、センスさせる材料に適したサンプル取り扱い技術を選択することが必要である。
【００１０】
液体の上方空間からサンプルを抽出するサンプル取り扱い装置は、液体サンプルの上方の周囲の揮発性物質を監視するために適している。液体散布は、揮発性物質を取り除くために液体サンプルを不活性ガスを用いて洗い流すことを含む。プローブは、例えば、サンプルを取得するための曲げられるチューブ及びポンプを含む。固体の上方空間では、周囲の揮発性物質は、固体のサンプルの上方で監視される。気体流からサンプルが引き出される気体ラインを使用することができ、これは特に発酵を含むプロセスに適している。サンプル取り扱いモジュールは、局所的な環境の受動的な監視、例えば火災検出のような、周囲についての技術を使用することができる。他のアプリケーションについては他の技術が適切であろう。サンプルが液相中で監視されることになる場合、センサアレイをサンプルまたはサンプル流の中に挿入することができる。
【００１１】
このサンプル取扱い手段は、オペレータの介在なしにサンプルを取得して自動化処理を可能とするようなものとしうる。そして、サンプルは、別々の時間間隔にて取り出されうる。この時間間隔は、固定または可変または連続である。また、離散的サンプリング、バッチ式サンプリングおよび連続的サンプリングの間の切換は、生産プロセスにおける特定の時間、サンプルが取り出される場所、またはその他の何らかの理由にしたがって行われうる。
【００１２】
ある１つのシステムにおいて、サンプリング装置は、校正または基準サンプルを導入するための手段を含む。別の形として、これは、センサ手段で与えられる。こうすることにより、センサアレイ性能の校正またはチェッキングが可能となる。
【００１３】
分散型化学的センサシステムは、生産ラインまたはプロセスの動作に関する情報を与えうる。そして、この情報は、システムによって発生されるデータが、例えば、システム制御およびデータ取得（ＳＣＡＤＡ）システムにおいて制御ハードウエアのセッティングを決定するためフィードバックされるような制御フィードバックシステムにおいて、使用されうる。フィードバックは、例えば、センサセッティングまたはサンプリング周波数を調整するため、モニタリングシステムに対してもなされうる。
【００１４】
本発明の一つの実施の形態においては、センサ手段は、それぞれ異なる場所に配置される複数のセンサアレイを備える。こうすることにより、サンプリング手段とセンサ手段との間のパスを最小とすることができる。この場合において、これらセンサアレイは、各センサアレイモジュールがサンプルの取得される検出点に配置されうるように、別々のハウジングに収納される。
【００１５】
化学的センサにおいては、導電率の変化の如き物理的特性の変化は、感知されるべきガスまたは蒸気に応答して発生される。多くの種々なセンサ技術をこのセンサ手段に使用することができる。センサ手段は、次のようなタイプのセンサ技術のうちの少なくとも１つを使用したセンサアレイを含むと効果的である。質量感知センサ、電子式コンダクタンスまたはキャパシタンスセンサ、電界効果型センサ、熱量センサ、電気化学的センサ（例えば、電流、電位または伝導センサ）、オプトケミカルまたはフォトメトリックセンサ、およびバイオセンサ。実際に、ある薬品が感知されるときに特性の変化に対応する有用な出力を発生する任意のセンサが適している。質量センサは、例えば、バルク音響波または表面音響波技術を使用したものでありうる。電子式コンダクタンスおよびキャパシタンスセンサは、例えば、導電ポリマーまたは金属酸化物半導体材料に基づくケモレジスタでありうる。熱量センサは、例えば、ペリスターでありうる。電気化学的センサは、例えば、電位セルである。赤外線およびファイバオプチックに基づく技術をオプトケミカルまたはフォトメトリックセンサに使用することができる。バイオセンサおよび電気化学的センサは、特に、液相感知に適している。
【００１６】
本発明によるシステムは、１つのタイプの技法のセンサのみを有するセンサアレイを含みうる。この場合においては、センサ環境を、そのタイプのセンサに使用するに適したものとして特定的に調整することができる。別の構成として、センサアレイは、種々なタイプの技法を組合せたようなセンサを含む。こうすることにより、感知すべき材料に対して特定の組み合わせを調整することにより、ある場合場合における感度および／または識別度を増大させることができる。異なるタイプの技法または技法の異なる組み合わせからなるいくつかのセンサアレイを一つのシステムに含めることができる。
【００１７】
処理手段は、それぞれ異なる場所から取得されるサンプルに関する情報を同時に受け入れたり、または、そのような情報を順次に得るように構成されうる。異なる点で取り出されるサンプルから得られる情報は、製品またはプロセスオンラインの状態を評価するのに個々に使用されうるし、または、それら情報は組合せて使用することもできる。したがって、処理手段は、個々の場所での材料を区別することができるし、また、そのラインの状態を全体として区別することができる。
【００１８】
処理手段は、材料を特徴付けるためパターン認識を使用するのが好ましい。処理モジュールに使用されるパターン認識は、次のうちの少なくとも１つを使用しうる。統計学的方法（例えば、主成分分析（ＰＣＡ）または多重識別分析（ＭＤＡ））、ファジーロジック、人工ニューラルネットワーク、および特性分類アルゴリズム。採用される技法は、感知すべき材料およびモニタリングプロセスを通して取得される情報をシステムがどのように使用するかに依存している。
【００１９】
次に、添付図面を参照して、本発明の実施のいくつかの形態について説明する。
【００２０】
図１を参照する。化学的センサアレイシステムは、幾つかのプロセスのステップを含んだプロセスによって製造される製品を監視するために使用される。この場合、このプロセスラインの有効性を知るために、この処理方法の様々なポイントで材料の組成を監視することが望まれる。この監視システムは、第１のポイントＡにサンプラー１を有し、このポイントで、材料のサンプルが適当なサンプリング技術を用いて抽出される。この場合、サンプルは一定の時間間隔で採取される。サンプルを収容する容器は、固体サンプル上部の上部空間に存在する揮発性物質がアレイのセンサの上部に移動されるよう、パイプを介してセンサアレイモジュール２に接続される。これらのセンサの出力は、それらのセンサが露出されている揮発性物質に対してのそれらセンサの反応によって決定される。この場合、センサアレイモジュール２は、複数の異なるセンサ技術を組み合わせてそのサンプルの材料の一組の信号出力特性を与える。中央プロセッサ３は、固定リンク４を介してセンサアレイモジュール２の出力にアクセスし、送られてくるサンプルの一連のデータポイント特性を与える。中央プロセッサ３では前処理が行われ、取得したデータを、それらのデータに適用されるべきパターン認識技術にとって適当な形にする。
【００２１】
第２のサンプラー５は、位置Ａの下流の第２の位置Ｂで（この段階では処理された材料は変更されていることが予想される）サンプルを採取するように構成されている。サンプルは、その物理的若しくは化学的特性の変化を検出するため、サンプル取り扱い処理手段５によって、材料の、及び、最も適当な型のセンサ技術の形態に適当な方法で採取される。サンプルはサンプル取り扱い手段５の近くに配置された第２のセンサアレイモジュールに付与される。この第２のセンサアレイモジュール６は、サンプリングされる材料組成の一組の応答特性を生成する。これらも中央プロセッサ３によってアクセスされる。他のサンプルをプロセスラインの他の複数のポイントで採取することもできる。これらの検出ポイントは、第１のポイントの下流であってもよいし、位置ＡやＢにおけるものであってもよいが、異なる材料のサンプルを採取するように構成されている。
【００２２】
中央プロセッサ３は、第２のセンサアレイモジュール６から取得したデータに適当なパターン認識技術を適用するよう構成されている。中央プロセッサ３はその後、各センサアレイから引き出されたデータにアクセスして、そのセンサアレイモジュールに関連付けられた検出ポイントでサンプリングされた材料の特徴付けを行う。更に、中央プロセッサ３は、プロセスシステム全体の特徴付けを行うため、製造ラインの全体像を全体として提供する。
【００２３】
この処理段階で生じた情報はその後、リンク７によりユーザインタフェース８へ付与される。ユーザインタフェース８は、この場合には、オペレータがそこからシステムの性能を閲覧することができるような視覚ディスプレイの形とされている。更に、オペレータはこのユーザインタフェース８によって制御データを入力し、例えば、サンプルが採取される頻度を変更したり、センサアレイモジュール２又は６におけるセンサの特性を制御したり、或いは、中央プロセッサ３の異なる機能を実行することができる。監視システムに対する他の変更は、実行されるように構成されてもよいし、また、中央プロセッサ３を介する自動的なものであってもよい。例えば、中央プロセッサ３は、一組のサンプルの特性が急速に変化していることを検出した場合、制御信号をサンプル手段に送信してサンプルが採取される速度を速めることもできる。
【００２４】
中央プロセッサ３は、ライン９を介して、製造制御システム１０にも結合されている。この製造制御システム１０は、監視システムから取得した情報を利用して、サンプル組成から検出された、所望の特性からの何らかの変動に依存して、プロセスラインのパラメータを調整する。
【００２５】
中央プロセッサ３は、単一のセンサアレイモジュール、又は、幾つかのセンサアレイモジュールのいずれかから伝達されたデータを取得して、それらのデータを更なる処理に適した形にすることができるように構成されてもよい。パターン認識技術を各センサアレイモジュールに次々に適用してもよいし、複数のセンサアレイモジュールに同時に適用してもよい。
【００２６】
本発明による他のシステムが図２に示されている。このシステムは、化学プラントからの廃棄ウェハを監視する際に使用される。サンプルは、自身のセンサモジュール１４、１５、１６に各々が関連付けられているようなサンプラー１１、１２、１３を介して、３つの位置ＸＡ、ＸＢ、ＸＣで採取される。センサモジュール１４、１５、１６の出力は、バス装置１７を介して処理モジュール１８に接続される。ユーザインタフェース１９は、処理モジュール１８と同じ包囲体２０の中に組み込まれている。包囲体２０の概略図が図３に示されている。
【００２７】
モジュール１８のプロセッサ素子は、増設メモリを提供するために、シングルボードコンピュータ（ＳＢＣ）２１とハード・ドライブ２２を備える。ユーザインタフェースは、包囲体２０の前面に取り付けられたフラットパネルディスプレイ２３とキーパッド２４とを有する。システムを捕捉し制御するソフトウェアは、シングルボードコンピュータ２１にインストールされたＤＯＳオペレーティングシステムで実行される。システムのセットアップと操作は、ディスプレイ２３上で見ることができるソフトウェアを介してメニューによって駆動される。メニュー項目を選択するためにキーパッド２４上のボタンが使用される。ＳＢＣ２１は、非同期のＲＳ４８５マルチドロップシリアルデータリンクを介してセンサモジュール１４、１５、１６に接続される。電源ユニット（ｐｓｕ）２５も包囲体２０に含まれる。
【００２８】
センサモジュール１４の１つが、図４に示され、プロセッサモジュール１８からのデータ及び制御信号を送信し受信するための手段を具備している。センサモジュールは、化学的センサアレイ２６を含み、該センサアレイ２６は、サンプルを該センサ上を通過せしめる、温度制御されたハウジング２７の中にある。幾つかのセンサでは、流れ及び相対湿度（ＲＨ）も測定される。センサ動作に関する他のパラメータも制御される。センサ及び制御ハードウエア３０は、マイクロコンピュータ２９の入力／出力とコンパチブル（適合可能）にするためにインタフェース電子回路２８を必要とする。マイクロコンピュータ２９は、センサデータを取得し、プロセッサ１８へドライバＩＣ３１を経由してＲＳ４８５接続線上でデータを送信する。ＲＳ４８５ドライバＩＣ３１は、マイクロコンピュータ２９へのデータ通信バス１７上の信号をインタフェースするのにも必要とされる。データが収集されて、処理されて、プロセッサモジュール１８に送信される。他のセンサモジュール１５及び１６も同様に構成されている。
【００２９】
センサモジュール１４内のマイクロコンピュータ２９及びプロセッサ１８内のＳＢＣ（シングルボードコンピュータ）２１は、同じインタフェースプロトコルに定められている。実施例において、データリンクは１９，２００ボーであり、データモードは、８データビット、１ストップビット、偶数パリティである。これは、異なるアプリケーションについては再構成することができる。
【００３０】
ＳＢＣ２１は、多数のコマンド、例えば、アイドルモード、データ取得、クリーンアップモード、診断等のコマンドによって、センサモジュール１４又は１５又は１６と通信する。センサモジュールのセットアップを変更することに関する他のコマンドが、送信されてもよい。センサモジュールは、メッセージが受信されて理解されたことを通知するために、ＳＢＣ２１へ応答を送信するのが好ましい。各センサモジュールは、コマンドの受信者を識別するためにＳＢＣによって使用される固有の識別番号を有する。ＲＳ４８５バスはマルチドロップであるので、多数のユニットが同じワイヤ対に接続できる。通常、通信は一時に１つのセンサモジュールを用いて行われるが、一定のコマンド（複数でもよい）は、グローバルな識別子の使用によって１度に全センサモジュールに送信されてもよい。データがセンサモジュールからＳＢＣに送信されるとき、そのセンサモジュールの識別に関するデータが添付される。１つの動作モードにおいて、各センサモジュールは、メッセージの衝突を防止するため、プロセッサモジュールによって順にポーリングされる。
【００３１】
本発明から利益を受けることのできるアプリケーションは、化学組成物が環境機関によって設定されたレベルを越えないようにモニターされている廃液を持つ処理プラントである。それらの場所では、通例、多数の廃液源があり、それらが１つの排水路に接続される。センサモジュールは、適当なサンプリング技術を用いる廃液源の各々に設置することができる。データリンクを通してプロセッサユニットにおいて全化学的センサデータを収集することによって、全体の場所に渡る廃液の量のプロファイル（特性曲線）を提供する。この情報は、化学物質含有量のレベルがその場所で越えるのを防止するため、一時的な貯蔵場所に汚水を迂回するのを制御するのに用いることができる。
【００３２】
他のアプリケーションには、一様な品質の最終製品を得るために複数のバッチが混合される処理が含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明による化学的センサシステムを概略示す図である。
【図２】
本発明による別の化学的センサシステムに係る図である。
【図３】
本発明による別の化学的センサシステムに係る図である。
【図４】
本発明による別の化学的センサシステムに係る図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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2004506174.tif 000024
2004506174.tif 000025
【国際調査報告】
2004506174.tif 000026
2004506174.tif 000027
2004506174.tif 000028