(57)【要約】調節可能な圧力領域及びそれら領域間の調節可能な隔壁を有するキャリヤにおいてウェハを平坦化する装置及び方法が開示される。キャリヤは、ウェハがＣＭＰ装置の研磨表面に押し当てられる間、ウェハ裏面に圧力を加えるように独立して制御される、中央領域と同心周囲領域とを有する。圧力領域は、複数の凹部を有するキャリヤハウジングに弾性ウェブ隔壁を取り付けることにより形成することができる。対応する複数の弾性環形状リブが、ウェブ隔壁から、前記凹部の反対側へ延びる。したがって複数の環形状リブは、一つ又は複数の同心包囲領域に取り囲まれた中央領域を画定する。領域及び隔壁は、平坦化工程中、対応する流体連通経路を利用することにより個別に加圧することができる。本発明を実施する方法は、ウェハ上のバルジ及びトラフの数及び位置に対応する調節可能な領域を有するキャリヤを選択することから始まる。ウェハ上で高い領域に対応する領域は、低い領域に対応する領域よりも大きな圧力を受ける。領域間の隔壁に作用する圧力は、領域間の漏れを防止するように、あるいは、ウェハ裏面における隣接領域間の圧力分布を滑らかにするよう最適化される。
2004500251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）中央ディスク形状プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の同心隔壁とを備え、前記同心隔壁の少なくとも一つは圧力調節可能である、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２】
（ａ）圧力調節可能な中央ディスク形状プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む圧力調節可能な複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の圧力調節可能な同心隔壁とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項３】
（ａ）キャリヤハウジングと、
（ｂ）前記キャリヤハウジングに支持された第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面とほぼ直角に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
（ｄ）前記複数のウェブプレナムのそれぞれと流体連通している複数の独立に制御可能なウェブ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項４】
前記ウェブ隔壁及び前記複数の同心リブが、一体の弾性材料から共に製造されている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項５】
（ａ）前記ウェブ隔壁又はリブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含んでなる、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項６】
前記キャリヤハウジングが、前記ウェブ隔壁の前記第二の主表面に近接し、前記複数の同心リブの反対側に位置する複数の凹部を有し、それにより複数の同心環形状キャリヤプレナムを画定する請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項７】
（ａ）少なくとも一つが前記複数のキャリヤプレナムのいずれかと流体連通している、複数のキャリヤ流体連通経路を更に含む、請求項６に記載のキャリヤ。
【請求項８】
少なくとも一つのリブ足が平坦である請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項９】
少なくとも一つのリブ足が丸みを帯びている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項１０】
少なくとも一つのリブ足が、自己密着するよう構成されている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項１１】
（ａ）前記リブ足近傍を真空にするためリブ内に通されたリブ真空ラインを更に含む、請求項１０に記載のキャリヤ。
【請求項１２】
（ａ）前記キャリヤハウジングの周縁部に結合された保持リング隔壁と、
（ｂ）前記保持リング隔壁に結合された保持リングを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リングプレナムを画定する、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項１３】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含む、請求項１２に記載のキャリヤ。
【請求項１４】
前記浮遊保持リングの系方向内側が、ウェハよりも柔らかい材料で被覆されている請求項１２に記載のキャリヤ。
【請求項１５】
（ａ）キャリヤハウジングと、
（ｂ）前記キャリヤハウジングによって支持される第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面とほぼ直角に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
（ｄ）頭及び足を有するベローであって、前記リブのうち最も外側のリブを囲み、その頭が前記キャリヤハウジングと結合しているベローと、
（ｅ）前記ベローの足と結合し、且つ、前記複数のリブ足と近接しているウェハ隔壁と、
（ｆ）前記複数のウェブプレナムのそれぞれと流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項１６】
前記ベロー及び前記ウェブ隔壁が、一体の弾性材料から共に製造されている請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項１７】
（ａ）前記ウェブ隔壁及びリブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含んでなる、請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項１８】
前記ウェハ隔壁が、前記複数のリブ足と結合している請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項１９】
前記ウェブ隔壁及び前記複数の同心リブが、共に一体の弾性材料から製造されている請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項２０】
前記キャリヤハウジングが、前記ウェブ隔壁の前記第二の主表面に近接し、前記複数の同心リブの反対側に位置する複数の凹部を有し、それにより複数の同心環形状キャリヤプレナムを画定してなる請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項２１】
（ａ）対応する複数のキャリヤプレナムと流体連通している独立制御可能な複数のキャリヤ流体連通経路を更に含む、請求項２０に記載のキャリヤ。
【請求項２２】
（ａ）前記キャリヤハウジングの周縁部と結合している保持リング隔壁と、
（ｂ）前記保持リング隔壁と結合された保持リングとを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リングプレナムを画定する、請求項１５に記載のキャリヤ。
【請求項２３】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含む、請求項２２に記載のキャリヤ。
【請求項２４】
前記浮遊保持リングの系方向内側が、ウェハよりも柔らかい材料で被覆されている請求項２３に記載のキャリヤ。
【請求項２５】
（ａ）底面に中央ディスク形状凹部と複数の包囲同心凹部とを有するキャリヤハウジングと、
（ｂ）第一及び第二の主表面を有し、前記キャリヤハウジングの前記底面によって支持されるウェブ隔壁であって、当該ウェブ隔壁の前記第二の主表面が、前記キャリヤの前記凹部を覆い、それにより複数のキャリヤプレナムを画定するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有している複数の同心環形状隔壁であって、各隔壁の前記頭が、前記キャリヤプレナムの逆側で、前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面と垂直に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の同心環形状隔壁と、
（ｄ）前記ウェブプレナムのいずれかに流体連通している少なくとも一つの制御可能なウェブ流体連通経路と、
（ｅ）前記キャリヤプレナムのいずれかに流体連通している少なくとも一つの制御可能なキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２６】
（ａ）前記環形状隔壁のうち最も外側の隔壁と結合しているウェハ隔壁を更に含む、請求項２５に記載のキャリヤ。
【請求項２７】
（ａ）前記ウェハ隔壁を半径方向に均一に張設するよう構成され、最も外側の同心ウェブプレナム内に挿入されたばねリングを更に含む、請求項２６に記載のキャリヤ。
【請求項２８】
（ａ）キャリヤハウジングと、
（ｂ）前記キャリヤハウジングによって支持される第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面と結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
（ｄ）頭及び足を有するベローであって、前記リブのうち最も外側のリブを囲み、その頭が前記キャリヤハウジングと結合しているベローと、
（ｅ）前記ベローの足と結合し、且つ、前記複数のリブ足と隣接しているウェハ隔壁と、
（ｆ）前記複数のウェブプレナムに対応して流体連通している独立制御可能な複数のウェブ流体連通経路と、
（ｇ）前記リブ足近傍を真空にするため、前記ウェハ隔壁及び前記リブ内を通っているリブ真空ラインとを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２９】
前記ウェブ隔壁及び前記複数のリブが、単一の弾性材料から共に製造される請求項２８に記載のキャリヤ。
【請求項３０】
（ａ）前記ウェブ隔壁及び前記リブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含む、請求項２８に記載のキャリヤ。
【請求項３１】
前記キャリヤハウジングが、前記ウェブ隔壁の前記第二の主表面に近接し、前記複数のリブの反対側に位置する複数の凹部を有し、それにより複数の同心環形状キャリヤプレナムを画定する請求項２９に記載のキャリヤ。
【請求項３２】
（ａ）対応する複数のキャリヤプレナムと流体連通している独立制御可能な複数のキャリヤ流体連通経路を更に含む、請求項３１に記載のキャリヤ。
【請求項３３】
（ａ）前記キャリヤハウジングの周縁部と結合された保持リング隔壁と、
（ｂ）前記保持リング隔壁と結合された保持リングとを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リングプレナムを画定する、請求項２８に記載のキャリヤ。
【請求項３４】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含んでなる、請求項３３に記載のキャリヤ。
【請求項３５】
ウェハよりも柔らかな材料が、前記浮遊保持リングの系方向内側に固定されている請求項３３に記載のキャリヤ。
【請求項３６】
（ａ）複数の圧力調節可能な同心プレナムと、隣り合う前記プレナム間のぞれぞれに設けられた圧力調節可能な同心隔壁とを有するキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記キャリヤの前記複数の同心プレナムに対応する前記ウェハの複数の同心領域に対し、所望の除去速度を決定する工程と、
（ｄ）前記ウェハの特定の同心領域における所望の材料除去速度に対応するように、前記キャリヤの各同心プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｅ）同心プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｆ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ平坦化方法。
【請求項３７】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が、弾性リブからなる請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、隣り合う同心プレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項３６に記載の方法。
【請求項３９】
隣り合うプレナム間においてウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、隣り合う同心プレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項３６に記載の方法。
【請求項４０】
（ａ）圧力調節可能な周縁リングプレナムと、圧力調節可能な中間リングプレナムと、圧力調節可能な中央ディスクプレナムと、前記周縁プレナムと前記中間プレナムの間の圧力調節可能な同心隔壁と、前記中間プレナム及び前記中央ディスクプレナム間の圧力調節可能な同心隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記周縁及び中央プレナム各々における圧力が、前記中間プレナムにおける圧力よりも大きな圧力となるよう、前記周縁、中間及び中央プレナムを加圧することにより前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ上に堆積した銅薄膜又はＳＴＩウェハの平坦化方法。
【請求項４１】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項４０に記載の方法。
【請求項４２】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項４０に記載の方法。
【請求項４３】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項４０に記載の方法。
【請求項４４】
（ａ）圧力調節可能な中央リングプレナムと、圧力調節可能な第二リングプレナムと、圧力調節可能な第三リングプレナムと、圧力調節可能な周縁リングプレナムと、前記中央及び第二プレナム間の圧力調節可能な第一隔壁と、前記第二及び第三プレナム間の圧力調節可能な第二隔壁と、前記第三及び周縁リングプレナム間の圧力調節可能な第三隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記中央及び周縁プレナム各々における圧力が、前記第二及び第三プレナム各々における圧力よりも大きな圧力となるよう、前記中央、第二、第三及び周縁プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ上に堆積した銅薄膜の平坦化方法。
【請求項４５】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項４４に記載の方法。
【請求項４６】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁各々に作用する圧力が、隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項４４に記載の方法。
【請求項４７】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項４４に記載の方法。
【請求項４８】
（ａ）圧力調節可能な中央リングプレナムと、圧力調節可能な第二リングプレナムと、圧力調節可能な第三リングプレナムと、圧力調節可能な周縁リングプレナムと、前記中央及び第二プレナム間の圧力調節可能な第一隔壁と、前記第二及び第三プレナム間の圧力調節可能な第二隔壁と、前記第三及び周縁リングプレナム間の圧力調節可能な第三隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記中央、第二及び周縁プレナム各々における圧力が、前記第三プレナムにおける圧力よりも大きな圧力となるよう、前記中央、第二、第三及び周縁プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ＳＴＩウェハの平坦化方法。
【請求項４９】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項４８に記載の方法。
【請求項５０】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁各々に作用する圧力が、隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項４８に記載の方法。
【請求項５１】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項４８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、広くは、研磨表面に対向する加工物を平坦化する技術に関する。例えば、本発明は、ＣＭＰ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ‐Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　Ｐｌａｎａｒｉｚａｔｉｏｎ：化学機械的平坦化）装置における研磨パッドに対向する、調節可能な圧力領域と調節可能な圧力隔壁とを備えた改良型ウェハキャリヤにおける、ウェハ又はその上に堆積した薄膜の平坦化に利用できる。
【０００２】
【背景技術】
単結晶シリコンからなる平坦なディスク即ちウェハは、集積回路を製造する半導体産業における基本的な基板材料である。一般に半導体ウェハは、単結晶シリコンの細長い円柱又はボウル（ｂｏｕｌｅ）を成長させた後、この円柱からウェハを１枚ずつスライスして製造する。このスライス加工により、ウェハ両面は極度に粗くなる。加えて、出願人は、例えばＳＴＩ（ｓｈａｌｌｏｗ　ｔｒｅｎｃｈ　ｉｓｏｌａｔｉｏｎ）や銅堆積（デポジション）などの他の半導体ウェハ処理工程で、ウェハ上に余剰材料による予見可能な同心バルジ（膨れ）が形成されることに着目してきた。例えば、出願人は、従来のＳＴＩプロセスで、通常、周縁部が広い環形状バルジと、中央部に小さなディスク形状バルジとが、前記バルジ間に狭いトラフ（窪み）を伴って形成されることに着目してきた。また出願人は、従来の銅堆積プロセスにて、通常、周縁部に幅の狭い環形状バルジと、中央部の小さなディスク形状バルジとが、前記バルジ間に広いトラフを伴って形成されることにも着目してきた。
【０００３】
集積回路が形成されるウェハ表面は、続いてウェハに設けられる材料層と信頼性の高い半導体接合を形成することができるよう、極めて平坦に製造する必要がある。同様に、集積回路用の相互接続を形成する際にウェハに設けられる材料層（一般に導体としての金属又は絶縁体としての酸化膜からなる堆積薄膜層）もまた均一な厚さとする必要がある。平坦化は、突起や他の欠陥を取り除いて局所的及び全体的に平坦な平面を形成するプロセスであり、及び／又は、材料を除去してウェハ上に堆積した薄膜層の厚さを均一にするプロセスである。半導体ウェハは、ウェハ上に集積回路又は相互接続を形成する処理工程を実行する前に、滑らかで平坦な仕上げ面を得るよう平坦化又は研磨される。このため、処理前及び処理中両方のウェハの平坦化を制御下で行う加工機械が開発されてきた。
【０００４】
ここで従来のウェハ平坦化方法を説明する。ウェハは、ＣＭＰ装置のシャフトと連結したキャリヤに固定される。シャフトはキャリヤ及びウェハを、ロード／アンロードステーションと、プラテンに取り付けられた研磨パッドに隣接する位置との間で搬送する。通常はスラリーの存在下で研磨パッドにウェハを押し当てるために、キャリヤにより圧力がウェハ裏面にかけられる。ウェハ及び／又は研磨パッドは、シャフト及び／又はプラテンと連結したモータによって、色々な幾何学的又は不規則パターンで運動、回転運動、オービット（軌道）運動または直線的に振動する。
【０００５】
平坦化プロセス中、ウェハ裏面に圧力を維持・分布する技術において、様々なキャリヤの設計方法が知られている。従来のキャリヤは、一般に、ウェハの裏面に押し当てるように用いられ、ウェハの裏面にぴったりくっつかない硬く平坦な圧力板を有している。そのため圧力板は、ウェハ面積全域にわたって、特にウェハ周縁部において、均一な研磨圧力を与えることができない。この問題を解決するための試みとして、圧力板は往々にして柔軟なキャリヤフィルムで被覆される。このフィルムの目的は、均一な圧力をウェハ裏面に伝え、均一な研磨を補助することにある。キャリヤプレートとウェハ裏面との間の表面不整を整合するのみならず、フィルムは、ウェハ表面の微小な不純物の周囲で変形し、その部分を平滑化する。このようなキャリヤフィルムがなければ、前記不純物は高圧点を形成するおそれがある。しかしながらフィルムは柔軟性が限られているので局所的な効果しかもたず、一度圧力板に貼付されると全体的な調節に使用することができない。
【０００６】
硬い平坦な板を有する従来キャリヤに共通する問題は、一つ又は複数のバルジを有する複数の被処理ウェハに対応しえないことである。硬く平坦な板は、ウェハ裏面の異なる領域に印加する圧力を調節できないという事実による制限を受ける。ウェハ処理工程において、ウェハ上にバルジが残ることはよく見られることである。従来のキャリヤは、一般に、ウェハ表面全体にわたってほぼ同量の材料を除去するので、ウェハ上にバルジを残すことになる。ウェハ表面における十分に平滑な部分のみが回路形成用に有効に使用しうる。したがって、くぼみの存在により、半導体ウェハの有効利用領域が制限される。
【０００７】
他の従来キャリヤには、ウェハ裏面全域に一つ以上の圧力領域を設ける手段を実装するものがある。特に、幾つかの従来キャリヤは、隔壁により分割され、独立して加圧可能な複数の同心内部チャンバを有するキャリヤハウジングを提供している。トッププレート内で個々のチャンバを異なる圧力に加圧することにより、ウェハ裏面全域において異なる圧力分布をもたらすことができる。
【０００８】
しかしながら、出願人は、従来型のキャリヤにおいてはウェハ裏面全域の圧力分布を十分に制御しえないことを発見した。これは、ウェハ裏面上の隔壁により生ずる圧力を制御しえないことに起因する。隔壁は、ウェハ裏面の圧力を内部チャンバ間で制御するために重要である。したがって、ウェハ裏面全体にわたって印加圧力を制御する機能が制限され、結果として、予見される除去問題に対処しうる能力が制限される。
【０００９】
必要とされるものは、平坦化工程中、ウェハ裏面全体にわたり、複数の圧力領域の形成を制御し、前記領域間の隔壁に由来する圧力を制御するシステムである。
【００１０】
【発明の概要】
したがって、本発明の目的は、ウェハの平坦化工程中、独立して制御可能な複数の同心領域及び隔壁を使用してウェハ裏面の圧力分布を制御する装置及び方法を提供することである。
【００１１】
本発明の一実施例において、キャリヤは、ウェハ表面の平坦化に関して開示されている。キャリヤは、中央のディスク形状プレナム（空間）と、この中央プレナムを取り巻く複数の同心環形状（ｃｏｎｃｅｎｔｒｉｃ ｒｉｎｇ ｓｈａｐｅｄ）プレナムと、隣接するプレナム間の複数の同心隔壁（バリア）とを含む。したがってウェハ裏面の圧力分布は、プレナム内の圧力と、隔壁にかかる圧力とを調節することにより制御される。
【００１２】
他の実施例において、キャリヤは、好ましくは剛体である耐食性材料からなるキャリヤハウジングを含んで開示される。キャリヤハウジングは、第一の主表面がＣＭＰ装置へのキャリヤの連結に使用され、第二の主表面が複数の同心環形状プレナムを設けてなる円筒形状であることが好ましい。
【００１３】
弾性ウェブ隔壁は、第二の主表面を覆うように、したがってキャリヤプレナムを覆うように配置される。複数の弾性環形状リブは、環形状キャリヤプレナムに対向して、ウェブ隔壁から垂直に延びている。ウェブ隔壁及びリブは、単一成形部品で構成しうるが、むしろ別個の部材とすることが好ましい。ウェブ隔壁から延びる複数の環形状リブは、それにより一つ又は複数の同心環形状ウェブプレナムに周囲された中央のディスク形状ウェブプレナムを画定している。ウェブ隔壁及びリブは、キャリヤハウジングに圧締される圧締環（ｃｌａｍｐｉｎｇ ｒｉｎｇ）により適所に固定することができ、それによりウェブ隔壁及びリブを圧締環とキャリヤハウジングとの間に挟設（ｔｒａｐ）する。
【００１４】
キャリヤプレナムは、各キャリヤプレナムと流体連通している対応キャリヤ流体連通経路によって加圧しうる。キャリヤプレナムは、リブとウェハとの密着性を高めたり、あるいは、隣接するウェブプレナム間におけるウェハ裏面の力の分散を容易にするよう、リブに作用する力を制御するために使用される。
【００１５】
ウェブプレナムは、中央ウェブプレナムと複数の環形状ウェブプレナム各々とに流体連通している対応ウェブ流体連通経路によって加圧することができる。
ウェブプレナムは、ウェハ裏面の圧力分散制御を容易にするよう、同心領域に作用する力を制御するために使用される。更に、平坦化工程中、ウェハは、リブと、中央及び環形状ウェブプレナムとにより支持することができる。
【００１６】
リブは、その一端がウェブ隔壁により支持され、他の一端（リブ足）がウェハを支持する。リブ足は、平型、丸型あるいは、ウェハ上での足の旋回性を向上させるか、ウェハに対する足の密着性を向上させるような他の形状とすることができる。リブとウェハとの密着性を更に高めるために、リブ内に真空経路を通すことができる。リブを隣接ウェブプレナム間の隔壁として使用することは好ましい方法であるが、Ｏリング、ベロー（ｂｅｌｌｏｗｓ）又はシールドなどの他の隔壁を使用して、隣接ウェブプレナム間の流体流通を防止することもできる。
【００１７】
キャリヤは、キャリヤハウジングに連結された浮遊保持リング（ｆｌｏａｔｉｎｇ ｒｅｔａｉｎｉｎｇ ｒｉｎｇ）を有することが好ましい。この保持リングは、平坦化工程中、ウェハを囲み、ウェハと摩擦表面との間に相対運動が発生する際、ウェハがキャリヤ下側で横方向へ逃げることを防止する。浮遊保持リングは、保持リング隔壁がキャリヤハウジング周縁部の環形状凹部を覆うよう保持リング隔壁を張設状態に維持して、キャリヤハウジングに取り付けることができる。したがってキャリヤハウジングの環形状凹部と保持リング隔壁との間に保持リングプレナムが形成される。保持リング流体連通経路は、保持リングに所望の圧力を与えるよう、キャリヤハウジング及び／又は保持リングいずれかに設置可能である。保持リングは、ウェハが研磨パッドのある部分上に移動する前に、研磨パッドのその部分に予荷重を負荷し（プリロード）、成形する。したがって保持リングで生ずる圧力は、ウェハの平坦化工程、とりわけウェハ端部近傍における平坦化工程を向上させるために使用される。
【００１８】
他の実施例において、ディスク形状ウェハ隔壁は、リブ足に隣接して、それによりウェブプレナムを密閉するよう配置される。ウェハ隔壁は、リブ上に配置され、リブによって部分的に支持される。ウェブプレナム間の漏れを防止するよう、リブ足をウェハ隔壁に結合しうるが、それらは単一成形部材として構成することもできる。代替的に、リブ足は、リブ足とウェハとの密着に関し上記した方法と同様の方法で、ウェハ隔壁に密着させることができる。更に、平坦化工程中、ウェハ裏面での力の分散を制御するようキャリヤプレナム及び／又はウェブプレナムを調節しながら、ウェハをウェハ隔壁に対して配置しうる。更に他の実施例として、最も外側のリブは、ウェハ隔壁と一体の単一部材として成形したベローとしてもよく、またはウェハ隔壁に結合（ボンディング）させるものでもよい。更に他の実施例として、最も外側のリブとウェハ隔壁との接合部に対向させて、最も外側のウェブプレナム内に、ばねリングを配置しうる。圧縮されたばねリングは、半径方向外向きに均一に広がろうとするので、ウェハ隔壁を張設状態に維持するのに役立つ。
【００１９】
本発明は、様々な幾何学パターンを反復して、被処理ウェハを分析することにより実行しうる。半導体ウェハ処理工程の幾つかは、予見可能な同心バルジをウェハ上に残す。これら処理工程に由来するバルジの数、位置、幅及び高さは、往々にしてウェハ間で実質的に同じである。調節可能な同心圧力領域及び調節可能な領域間隔壁圧力を有するキャリヤを使用することにより、キャリヤはウェハ裏面全体における圧力分布を最適化できる。ウェハ裏面の圧力分布は、平坦化工程中、実質的に均一な厚さを持つウェハを製造するよう、大きなバルジのある領域をより強く押すことにより最適化される。
【００２０】
本発明における上記及び他の特徴は、以下の説明、請求項及び添付図面において詳細に解説される。
【００２１】
本発明は、以下、添付図面における番号を付して説明するが、同種の数字は同種要素を示す。
【００２２】
【好適実施例の詳細な説明】
本発明の好適な実施例は、ＣＭＰ装置におけるウェハ平坦化用の改良されたウェハキャリヤとして具現される。本発明は、ＳｐｅｅｄＦａｍ−ＩＰＥＣ社（本社：アリゾナ州チャンドラー）から販売されているＡｖａｎｔＧａａｒｄ６７６、７７６若しくは８７６、又はＡｕｒｉｇａＣ若しくはＣＥのような各種ＣＭＰ装置と共に使用することができる。本発明を実行するために使用しうるＣＭＰ装置は、当該技術分野において良く知られているので、本発明の本質を曖昧にすることを避けるため、ここではこれ以上詳しく説明しない。
【００２３】
ＣＭＰ装置におけるウェハキャリヤは、ウェハを保持し、ウェハ表面が研磨表面と対向し平坦化されている間、ウェハ裏面にかかる圧力の分散を補助するものでなければならない。研磨表面は、一般に、研磨粒子を懸濁させた化学的に活性なスラリーにより湿潤した研磨パッドからなる。好適な研磨パッド及びスラリーは、使用される特定プロセス及び加工物に極度に依存する。従来のＣＭＰ研磨パッド及びスラリーは、一般用途用に、Ｒｏｄｅｌ　Ｉｎｃ．社（デラウェア州ニューアーク）から販売されている。
【００２４】
図１及び図１１を参照して、本発明の好適な実施例を詳細に説明する。キャリヤ１５６は、頑丈な上部構造を付与する硬質の円筒形キャリヤハウジング１５４を有している。キャリヤハウジング１５４は、例えば、必要な剛性とＣＭＰ環境に必要な耐食性とを、キャリヤハウジング１５４に付与するステンレス鋼からなる。円筒形キャリヤハウジング１５４の上部主表面は、大抵の従来型ＣＭＰ装置と連結可能なように構成される。殆どの従来型ＣＭＰ装置は、キャリヤ１５６及びウェハ１５０の移送に使用される可動シャフトを持つ。可動シャフトは、一般に、ウェハローディング及び／又はアンローディングステーションと、ＣＭＰ装置の研磨表面と平行にかつ近接する位置との間で、キャリヤ１５６を移動させるものである。
【００２５】
キャリヤハウジング１５４の下部主表面は、同心の複数の環形状凹部（以下キャリヤプレナムと称する）１３１〜１３４を持つ。ウェハ裏面の圧力分布を最大限に制御するため、少なくとも一つのキャリヤ流体連通経路（ｃａｒｒｉｅｒ ｆｌｕｉｄ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ ｐａｔｈ）１４１〜１４４が、各キャリヤプレナム１３１〜１３４と流体連通（ｆｌｕｉｄ ｃｏｍｍｕｎｉｃａｔｉｏｎ）している。キャリヤ流体連通経路１４１〜１４４は、キャリヤハウジング１５４内を通過して、各キャリヤプレナム１３１〜１３４へ独立して加圧流体を送る装置まで延びているが、その目的を以下に説明する。
【００２６】
ウェブ隔壁１００は、キャリヤハウジングの下部主表面を横切るようにキャリヤハウジング１５４と結合しており、それによりキャリヤプレナム１３１〜１３４を密閉している。ウェブ隔壁１００は、接着剤、ネジ、又は他の公知技術によりキャリヤハウジング１５４と結合可能である。しかしながら、ウェブ隔壁１００は、複数のボルト１５８を締め付けることにより、キャリヤハウジング１５４に圧締リング１５７を引き寄せ、結果として、キャリヤハウジング１５４と圧締リング１５７との間にウェブ隔壁１００を挟みこむ（トラップ）するようにして、適所に固定することが好ましい。
【００２７】
複数の同心隔壁１０１〜１０４は、ウェブ隔壁１００の主表面から垂直に、キャリヤプレナム１３１〜１３４の逆側に延びている。隔壁１０１〜１０４は、Ｏリング、ベロー、又は圧力差のある隣接圧力領域同士を分割しうる他の公知形状として構成しうる。しかし好ましい隔壁は、短く弾性のある材料片であり、この材料片を以下、リブと称する。各リブ１０１〜１０４の頭は、ウェブ隔壁１００に連結され、各リブ１０１〜１０４の足は、ウェハ１５０又はウェハ隔壁３００（ウェハ隔壁３００は図３及び図１２を参照して後で説明する）を支持するために使用される。リブ１０１〜１０４は、平坦化工程中の負荷能力を最大化し、変形を最小化するため、可能な限り短く、好ましくは１５ｍｍ未満に構成され、その幅は約２．５ｍｍである。ウェブ隔壁１００及びリブ１０１〜１０４は弾性材料からなる単一部品として製造しうるが、圧締リング１５７によってキャリヤハウジング１５４に対し一緒に固定される別個の部品であることが好ましい。ウェブ隔壁１００及びリブ１０１〜１０４は、ＥＰＤＭのような弾性材料で構成することができる。
【００２８】
ウェブ１５５の同心隔壁即ちリブの数は、形成しうる独立して制御可能な圧力領域の数に直接対応している。一例として図２（図１及び図１１におけるウェブ１５５の底面図である）を参照すると、三つの同心環形状ウェブプレナム１１２〜１１４に囲まれた中央ディスク形状ウェブプレナム１１１を形成するために、四つの同心リブ１０１〜１０４が使用されている。中央ディスク形状ウェブプレナム１１１は、最も内側のリブ１０１の内径によって画定され、周囲のウェブプレナム１１２〜１１４は、リブ１０１〜１０４の外径及び内径によって画定される。リブ１０１〜１０４（及びキャリヤプレナム１３１〜１３４）間の間隔は、ウェブプレナム１１１〜１１４の幅を制御するために調節可能である。リブ１０１〜１０４の位置は（キャリヤプレナム１３１〜１３４と関連して）、ウェブプレナム１１１〜１１４の位置を変更するために調節可能である。ウェハ裏面の圧力分布を最適に制御するため、少なくとも一つの独立して制御可能なウェブ流体連通経路１２１〜１２４が、各ウェブプレナム１１１〜１１４と流体連通している。ウェブ流体連通経路１２１〜１２４は、キャリヤハウジング内を通って、キャリヤの中央部まで延びてもよい。
【００２９】
ここで図１を参照して、加圧流体をキャリヤプレナム１３１〜１３４、ウェブプレナム１１１〜１１４及び保持リングプレナム１１５へ通す方法の一例を、典型的ＣＭＰ装置設計に関連して説明する。マニホルドを介して一つ又は複数のレギュレータへ供給しうる加圧流体を発生させるため、コンプレッサを使用することができる。コンプレッサが発生する圧力は、プレナムに実際に必要とされるどの圧力よりも大きくすべきである。キャリヤ１５６のキャリヤプレナム１３１〜１３４、ウェブプレナム１１１〜１１４及び保持リングプレナム１１５のそれぞれに対し、独立して制御可能なレギュレータ一つを使用することが好ましい。レギュレータは、それらに対応するキャリヤ流体連通経路１４１〜１４４、ウェブ流体連通経路１２１〜１２４及び保持リング流体連通経路１２５と流体連通している。流体連通経路は、ＣＭＰ装置において一般的に見られるように、キャリヤ１５６と連結している中空シャフトのロータリーユニオン内を通っている。更に、流体連通経路は中空シャフト及びキャリヤ１５６内を通り、それぞれに対応するプレナムに至る。本発明は、当該分野において良く知られた種々のコンプレッサ、マニホルド、レギュレータ、流体連通経路、ロータリーユニオン及び中空シャフトを使用して実施することができる。
【００３０】
中央ディスク形状ウェブプレナム１１１及び周囲の環形状ウェブプレナム１１２〜１１４は、ウェハ１５０裏面に複数の同心定圧領域を形成するように、独立に加圧することができる。ウェブプレナム１１１〜１１４を小さめに構成すれば、圧締リング１５７のサイズを大きくすることにより、より迅速且つ容易に加圧できる。各圧力領域に対し選定される特定の圧力は、被処理ウェハを構成する材料及び表面形状並びにＣＭＰ装置における他のプロセスパラメータに依存する。ＳＴＩ又は銅堆積半導体ウェハの場合、従来型のＣＭＰ装置においては１から１０ｐｓｉの圧力、好ましくは３から７ｐｓｉの圧力が使用される。
【００３１】
制御可能な付加的圧力領域を更に有するキャリヤ１５６は、平均幅が小さな領域を有するので、キャリヤ１５６におけるウェハ１５０裏面の圧力分散を更に微細に制御することができる。しかしながら付加的領域は、製造費、付加的配管設備費及びキャリヤ１５６の複雑さを増大させる。したがって好ましいキャリヤ１５６は、与えられたウェハの表面形状に対し必要最小限の数のウェブプレナム１１１〜１１４を使用している。
【００３２】
リブの環強度（ｈｏｏｐ　ｓｔｒｅｎｇｔｈ）を向上させ、リブ１０１〜１０４の変形を最小化するために、付加的構造支持部材を使用することもできる。リブ１０１〜１０４の付加的構造支持部材は、外輪又は内輪をリブ１０１〜１０４の側面に取り付けるか、リブ１０１〜１０４の外側又は内側に構造的にねじ山を設けるか、あるいは、弾性率の大きなリブ１０１〜１０４用材料を使用することにより追加可能である。
【００３３】
リブの対応キャリヤプレナム１３１〜１３４を加圧することにより、各リブ１０１〜１０４の頭に独立に制御可能な押圧力を印加することができる。キャリヤプレナム１３１〜１３４により発生する下向きの力は、リブ１０１〜１０４を介してリブ足へ伝わる。
【００３４】
各リブ１０１〜１０４にかかる力は、リブ足をウェハ１５０又はウェハ隔壁３００（図３及び図１２を参照して後で説明する）いずれかに押し当て、各ウェブプレナム１１１〜１１４に対し良好なシールを形成する。各リブ１０１〜１０４にかかる圧力は、隣接するウェブプレナム１１１〜１１４間における流体の漏れを防止するよう、隣接するウェブプレナム１１１〜１１４における圧力と等しく設定するか、その圧力より大きく設定すると有利である。キャリヤプレナム１３１〜１３４、ウェブプレナム１１１〜１１４及び保持リングプレナム１１５用の加圧流体は、液体又は気体であり、好ましくは濾過空気である。
【００３５】
リブ足は、隣接するウェブプレナム１１１〜１１４間における加圧流体の漏れを防止するよう強化することができる。
【００３６】
リブ足の形状は、リブ足のシール性能、リブ１０１〜１０４からウェハ１５０への圧力伝播、並びに、リブ足によるウェハ１５０上のジンバル機能に影響を与える。
【００３７】
図５を参照すると、表面５０１と密着する前の、ウェブ隔壁１００ａに結合された角型足１０１ａの断面図が示されている。角型足１０１ａは、製造が容易であり、足と密着すべき表面５０１との接触面積は中程度であるが、ジンバル機能に若干難がある。
【００３８】
図６を参照すると、ウェブ隔壁１００ｂと結合し、表面６０１と密着すべき丸型足１０１ｂの断面図が示されている。丸型足１０１ｂは、角型足よりも製造が困難であり、足と密着すべき表面６０１との接触面積が小さいが、ジンバル機能が優れている。
【００３９】
図７を参照すると、表面７０１と密着する前の、ウェブ隔壁１００ｃに結合された象足１０１ｃの断面図が示されている。象足１０１ｃは、製造が非常に困難であり、ジンバル機能も劣るが、足と密着すべき表面７０１との接触面積が大きい。加えて、象足１０１ｃの表面７０１に対する密着性を高めるため、隣接プレナム７０２及び７０３内の圧力を使用して、矢印Ａ７０２及びＡ７０３で図示するように象足１０１ｃを押すことができる。
【００４０】
図８を参照すると、表面８０１と密着する前の、ウェブ隔壁１００ｄに結合された象足１０１ｄの断面図が示されている。このリブ足１０１ｄ構造の場合、リブ足１０１ｄと表面８０１との密着性を高めるために、真空ライン８０２が、リブ足１０１ｄ内を通っている。真空ライン８０２は、象足設計と共に示されているが、他の足設計においてもその密着性を向上させるため使用することができる。
【００４１】
図１及び図１１を参照すると、保持リングメンブレン１５３によってキャリヤハウジング１５４から浮遊保持リング１５１が懸垂（サスペンド）している。保持リングメンブレン１５３は、フェアプレンのような弾性材料からなることが好ましい。保持リング１５１の上部は、キャリヤハウジング１５４及び保持リングメンブレン１５３により画定される保持リングプレナム１１５により包囲されている。保持リング１５１の下部は、保持リングメンブレン１５３の下側に延びて、研磨パッドと接触する。保持リング１５１が研磨パッドに加える圧力を制御するため、加圧流体を、保持リング流体連通経路１２５を介して保持リングプレナム１１５に導入しうる。研磨パッド上における保持リング１５１の最適圧力は、用途により変化するが、大抵の従来型ウェハ処理用途の場合、一般に１０ｐｓｉ未満、通常は４から８ｐｓｉである。保持リング１５１の最適圧力は、通常、研磨パッドに対するウェハ１５０の圧力とほぼ同一である。
【００４２】
研磨パッドに対するウェハ１５０の圧力と比較して保持リング１５１の圧力を調節することにより、ウェハ１５０の、とりわけその周縁部における、材料除去速度を制御できる。特に、ウェハ１５０の周縁部に関して、保持リング１５１の圧力を大きくすると、一般に、材料除去速度は遅くなり、保持リング１５１の圧力を小さくすると、一般に、材料除去速度は速くなる。
【００４３】
保持リング１５１は、平坦化工程中、ウェハ１５０を囲い、ウェハ１５０がキャリヤ１５６の下側から横方向に逃げることを防止する。保持リングメンブレン１５３は、研磨パッドの厚さの変化に対し、キャリヤハウジング１５４を不所望に傾斜させることなく、保持リング１５１を調節することを可能にするものである。保持リング１５１は磨耗性研磨パッドと擦れ合うので、セラミクスのような耐磨耗性材料からなることが好ましい。しかし、保持リング１５１の内径（ｉｎｎｅｒ ｄｉａｍｅｔｅｒ）は、ウェハ１５０と繰り返し接触するので、ウェハ１５０を不用意に欠損させる可能性がある。ウェハ１５０の欠損を防止するために、デルリンなど、ウェハよりも柔らかい材料を使用して、ウェハ１５０と保持リング１５１との間に隔壁１５２を形成することができる。
【００４４】
図３を参照して、本発明の他の実施例を説明する。図示のキャリヤ３０５は、既に説明したものと同様のキャリヤハウジング１５４、キャリヤプレナム１３１〜１３４、キャリヤ流体連通経路１４１〜１４４、ウェブ隔壁１００、リブ１０１〜１０４、リブプレナム１１１〜１１４、ウェブ流体連通経路１２１〜１２４及び浮遊保持リング１５１を有している。しかし、ウェハ隔壁３００が、ウェハ１５０とリブ１０１〜１０４との間に配置され、リブ１０１〜１０４の足で支持される。リブ１０１〜１０４は、キャリヤ１５８の前記実施例におけるウェハ１５０へのリブ足密着と同様の方法で、ウェハ隔壁３００に密着させることができる。しかし、リブ１０１〜１０４は、隣接するプレナム１１１〜１１４間における漏れ防止に役立つよう、ウェハ隔壁３００に結合させることが好ましい。
【００４５】
最も外側のウェブプレナム１１４内において、最も外側のリブ１１４とウェハ隔壁３００との接合部近傍に、圧縮されたばねリング３０１を挿入してもよい。ばねリング３０１は、ウェハ隔壁３００を張設状態に維持するため、半径方向に均一に拡張するよう設計することが望ましい。
【００４６】
図１２を参照すると、キャリヤ１５６の他の実施例が示されている。この実施例は、前出の実施例で示したものと同様の、リブ１０１〜１０３、ウェブプレナム１１１〜１１４、キャリヤプレナム１３１〜１３３、キャリヤ流体連通経路１４１〜１４３及びウェブプレナム流体連通経路１２１〜１２４を有している。しかし、図３に示す最も外側のリブ１０４が、ベロー３０４に置換されている。ベロー３０４は、キャリヤプレナム１３４又はキャリヤ流体連通経路１４４（両方とも図３に図示）を必要としないので、キャリヤ１２００の設計及び製造が簡略化される。
【００４７】
図９は、ウェハ隔壁３００ａが実際にリブ９０１に取り付けられ、ウェブプレナム９０４が密閉された他の実施例を示している。ウェブプレナム９０４は、既に説明した他の実施例の場合と同様の方法で、ウェブ流体連通経路９０３により加圧できる。この実施例は、真空によりウェハ１５０の吸い上げを容易にし、あるいは、点９０５ａにおいて流体を迅速排出することによりキャリヤからのウェハ１５０の取り外しを容易にするための、真空又は排出経路９００の付加的な機能を備える。
【００４８】
図３及び図１２に示すキャリヤは、空気などの流体へのウェハ１５０裏面露出をウェハ隔壁３００により防止することにより、ウェハ裏面へのスラリー付着や乾燥を防止しうる利点を有する。ひとたびウェハ１５０上にスラリーが乾燥又は付着すると、除去することが非常に困難であるため、ウェハ１５０に悪影響を与える不純物が取り込まれてしまう。
【００４９】
図１及び図１１に示すキャリヤ１５６、図３に示すキャリヤ３０５並びに図１２に示すキャリヤ１２００は、ウェハ１５０の裏面に一つ又は複数の真空領域を形成することにより、ウェハ１５０を吸い上げるように使用することができる。真空領域は、ウェブプレナム１１１〜１１４の一つと真空を連通する一つ又は複数のウェブ流体連通経路１２１〜１２４によって形成しうる。図１及び図１１に示すキャリヤ１５６における真空は、ウェハ１５０の裏面と直接通じている。図３に示すキャリヤ３０５又は図１２に示すキャリヤ１２００における真空は、ウェハ１５０裏面からウェハ隔壁３００を持ち上げ、ウェハ隔壁３００とウェハ１５０との間に真空を作り出す。
【００５０】
図１及び図１１に示すキャリヤ１５６、図３に示すキャリヤ３０５及び図１２に示すキャリヤ１２００は、キャリヤからウェハ１５０を放出するよう使用しうる。図１及び図１１に示すキャリヤ１５６の場合、一つ又は複数のウェブ流体連通経路を介して流体を迅速排出することにより、ウェハ１５０が直接作用を受け、ウェハ１５０がキャリヤ１５６外に放出される。図３に示すキャリヤ３０５又は図１２に示すキャリヤ１２００におけるウェハ１５０は、ウェブプレナム１１１〜１１４を加圧することによりキャリヤから取り外し可能であり、前記プレナムの加圧によりウェハ隔壁３００が外側へ拡張し、キャリヤ３０５からウェハ１５０が外れるものである。
【００５１】
本発明を使用する代表的工程を、図４及び図１０を参照して説明する。第一の工程は、被処理ウェハにおける同心バルジの数、位置、高さ及び／又は幅を測定することである（工程１０００）。この工程は、平坦化の前に、各種公知計測機器、例えばＫＬＡ−Ｔｅｎｃｏｒ社（カリフォルニア州サンノゼ所在）製ＵＶ１０５０などを使用して、被処理ウェハを検査することにより実施しうる。
【００５２】
被処理ウェハの表面形状に対応する調節可能な同心圧力領域を有するキャリヤは、用途に応じて有利に選択しうる（工程１００１）。キャリヤは、ウェハ上のリッジに対応した調節可能な圧力領域と、ウェハ上のリッジ間のトラフに対応した調節可能な圧力領域とを有すべきものである。
【００５３】
次いでウェハは、選択されたキャリヤに装填され、キャリヤ及びウェハは、ウェハが研磨パッドなどの研磨表面に平行に近接（近傍又はかろうじて接触）するように移動する（工程１００２）。次いで独立して制御される圧力領域（ウェブプレナム）を加圧することにより、ウェハが研磨表面に対し押し当てられる。各領域における圧力は、当該ウェハの表面形状に対し最適な平坦化工程となるよう、領域の対応ウェブ流体連通経路と連通する圧力を調節することにより独立して制御できる（工程１００３）。
【００５４】
図４は、中央領域１と三つの周囲領域２〜４とを有するウェハ裏面が取りうる圧力分布の一例を示している。中央領域１（図３におけるウェブプレナム１１１）は、４ｐｓｉまで加圧され、領域２及び３（それぞれ図３のウェブプレナム１１２及び１１３）は、５ｐｓｉまで加圧され、領域４（図３のウェブプレナム１１４）は、６ｐｓｉまで加圧される。ウェハ裏面のこの圧力分布は、周縁部に薄いバルジを有し、且つ、中央部付近に小さな凹部を有するウェハに対し使用される。この圧力変化により、実質的に均一な厚さのウェハを製造するための平坦化工程中、バルジを有する領域ではキャリヤを強く押圧し、トラフ又は凹部を有する領域ではキャリヤを弱く押圧することが可能になる。付加的な領域、更に小さな領域又は可変寸法領域を使用して、ウェハ裏面の圧力分布を更に微細に調節することができるが、キャリヤの複雑さと製造費とが増大する。
【００５５】
出願人は、ある半導体ウェハ処理工程が、予見可能な同心バルジをウェハ上に残すことに着目してきた。これら処理工程に由来するバルジは、ウェハが典型的に同一表面形状を有しているウェハ間においては実質的に同一である。例えば、出願人は、現行の銅堆積プロセスは、一般に、ウェハ周縁部近傍に狭いバルジを有し、ウェハ中央部近傍に小さなディスク形状の他のバルジを有することに着目してきた。更に、出願人は、現行のＳＴＩプロセスは、一般に、ウェハ周縁部近傍に広いバルジを有し、ウェハ中央部近傍に小さなディスク形状の他のバルジを有することに着目してきた。図１及び図３に示すような四つのほぼ等しい領域を有する単一のキャリヤ設計は、この場合、銅堆積ウェハにもＳＴＩウェハにも有利に使用できる。特別な例の場合、銅堆積ウェハ上のバルジに対応する領域１及び４は、例えば６ｐｓｉの大きな圧力を有し、トラフに対応する領域２及び３は、例えば５ｐｓｉの小さな圧力を有する。同様に、ＳＴＩウェハ上のバルジに対応する領域１、３及び４は、例えば６ｐｓｉの大きな圧力を有し、トラフに対応する領域２は、例えば５ｐｓｉの小さな圧力を有する。この方法により、二つの異なる工程を経たウェハの平坦化に対し、一つのキャリヤ設計を使用することができる。
【００５６】
更にキャリヤは、対応するキャリヤ流体連通経路により個別に加圧しうるキャリヤプレナムも有することが好ましい。加圧されたキャリヤプレナムはそれぞれ、各リブの頭に力を加え、この力はリブを介して伝わり、リブの足をウェハ裏面（ウェブ隔壁が使用されている場合はウェブ隔壁）に対して押し当てることに寄与する。この押圧力は、リブ足がウェハ裏面と良好なシールを形成することに寄与する。キャリヤプレナム内の圧力は、隣接するウェブプレナム間における漏れ防止に寄与するよう、隣接するウェブプレナムの圧力と等しいか僅かに大きく（約０．１から０．３ｐｓｉ）なるように調節することができる（工程１００４）。もしくは、各キャリヤプレナム内の圧力は、ウェハ裏面に滑らかな圧力分布を形成するよう、その隣接ウェブプレナムにおける圧力間に設定することができる。
【００５７】
ウェハ表面から材料を除去して、ウェハ表面を平坦化するためには、ウェハと研磨表面との間の相対運動が不可欠である。研磨表面及び／又は本発明キャリヤは、回転、軌道（オービット）、直線振動、特定幾何学パターンの運動、ディザー（振動）、不規則運動、またはウェハ表面から材料を除去する他のあらゆる動きをさせてもよい。加えて、研磨表面及び／又はキャリヤは、ウェハ表面が研磨表面と接触する前又は後に互いに対し運動させてもよい（工程１００５）。しかし好ましい相対運動は、キャリヤの回転と研磨パッドの軌道運動（オービット）とにより生ずる。キャリヤ及び研磨パッドの運動は、ウェハ裏面の圧力を所望の水準に上昇させていくと同時に、所望の速度まで上昇させることができる。
【００５８】
以上の記載は、本発明の好ましい代表的な実施例及び操作方法について説明したものであるが、本発明の範囲は、上記特定実施例又は上記操作方法に限定されない。本発明の実施に必要不可欠ではない多くの詳細部分が開示されているが、それらは、本発明を構成及び利用する工程並びに操作及び方法の最適実施例を十分に開示するために記載したものである。以下の請求項で明示される本発明の範囲及び精神から逸脱することなく、本発明の特定実施例及び設計の変更・変形も可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】調節可能な圧力領域を間に画定してなる調節可能な同心リブを有するキャリヤの簡略化した断面図。
【図２】同心環形状ウェブプレナムに囲まれた中央のディスク形状ウェブプレナムを画定する同心リブが垂直に取り付けられたウェブ隔壁の底面図。
【図３】調節可能な圧力領域を間に画定する調節可能な同心リブを有し、前記領域がウェハ隔壁により閉じられているキャリヤの簡略化した断面図。
【図４】圧力とウェハ裏面の対応領域との関係を示すグラフ。
【図５】角型足を持つリブの断面図。
【図６】丸型足を持つリブの断面図。
【図７】象型足若しくは自己密着（ｓｅｌｆ ｓｅａｌ）足を持つリブの断面図。
【図８】真空補助装置を具備する自己密着足を持つリブの断面図。
【図９】本発明の他の実施例の断面図。
【図１０】本発明を実行する代表的工程のフローチャート。
【図１１】図１のキャリヤに類似したキャリヤをより詳細に示す図。
【図１２】調節可能な複数の圧力領域を画定する調節可能な複数の同心リブを有し、前記領域がウェハ隔壁により閉じられており、最外リブがベローとして構成されているキャリヤの断面図。
【図１０】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【手続補正書】
【提出日】平成13年10月29日(2001.10.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（ａ）中央ディスク形状プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の同心隔壁とを備え、前記同心隔壁の少なくとも一つは圧力調節可能である、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２】
（ａ）圧力調節可能な中央ディスク形状プレナムと、
（ｂ）前記中央プレナムを囲む圧力調節可能な複数の同心環形状プレナムと、
（ｃ）すべての隣り合うプレナム間に一つずつ配される複数の圧力調節可能な同心隔壁とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項３】
キャリヤハウジングと、
前記キャリヤハウジングに支持された第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面とほぼ直角に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
前記複数のウェブプレナムのそれぞれと個々に流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路と、
前記ウェブ隔壁の第二の主表面に近接する複数の凹部であって、当該複数の凹部はそれぞれは環形状リブのそれぞれの反対に位置し、それによって複数の環形状キャリアプレナムを形成する複数の凹部と、
離隔配置された複数の環形状リブに加えられる前記複数のキャリアプレナム内の圧力を制御するために、前記複数のキャリアプレナムと流体連通する独立制御される複数のキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項４】
前記ウェブ隔壁及び前記複数の環形状リブが、一体の弾性材料から共に製造されている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項５】
（ａ）前記ウェブ隔壁又はリブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含む、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項６】
少なくとも一つのリブ足が平坦である請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項７】
少なくとも一つのリブ足が丸みを帯びている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項８】
少なくとも一つのリブ足が、自己密着するよう構成されている請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項９】
（ａ）前記リブ足近傍を真空にするためリブ内に通されたリブ真空ラインを更に含む、請求項８に記載のキャリヤ。
【請求項１０】
前記キャリヤハウジングの周縁部に結合された保持リング隔壁と、
前記保持リング隔壁に結合された保持リングを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リング隔壁を画定する、請求項３に記載のキャリヤ。
【請求項１１】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含む、請求項１０に記載のキャリヤ。
【請求項１２】
前記保持リングの系方向内側が、ウェハよりも柔らかい材料で被覆されている請求項１０に記載のキャリヤ。
【請求項１３】
（ａ）キャリヤハウジングと、
（ｂ）前記キャリヤハウジングによって支持される第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面とほぼ直角に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
（ｄ）頭及び足を有するベローであって、前記リブのうち最も外側のリブを囲み、その頭が前記キャリヤハウジングと結合しているベローと、
（ｅ）前記ベローの足と結合し、且つ、前記複数のリブ足と近接しているウェハ隔壁と、
（ｆ）前記複数のウェブプレナムのそれぞれと流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項１４】
前記ベロー及び前記ウェブ隔壁が、一体の弾性材料から共に製造されている請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項１５】
（ａ）前記ウェブ隔壁及びリブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含んでなる、請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項１６】
前記ウェハ隔壁が、前記複数のリブ足と結合している請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項１７】
前記ウェブ隔壁及び前記複数の同心リブが、共に一体の弾性材料から製造されている請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項１８】
前記キャリヤハウジングが、前記ウェブ隔壁の前記第二の主表面に近接し、前記複数の同心リブの反対に位置する複数の凹部を有し、それにより複数の同心環形状キャリヤプレナムを画定してなる請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項１９】
（ａ）対応する複数のキャリヤプレナムと流体連通している独立制御可能な複数のキャリヤ流体連通経路を更に含む、請求項１８に記載のキャリヤ。
【請求項２０】
（ａ）前記キャリヤハウジングの周縁部と結合している保持リング隔壁と、
（ｂ）前記保持リング隔壁と結合された保持リングとを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リングプレナムを画定する、請求項１３に記載のキャリヤ。
【請求項２１】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含む、請求項２０に記載のキャリヤ。
【請求項２２】
前記浮遊保持リングの系方向内側が、ウェハよりも柔らかい材料で被覆されている請求項２１に記載のキャリヤ。
【請求項２３】
（ａ）底面に中央ディスク形状凹部と複数の包囲同心凹部とを有するキャリヤハウジングと、
（ｂ）第一及び第二の主表面を有し、前記キャリヤハウジングの前記底面によって支持されるウェブ隔壁であって、当該ウェブ隔壁の前記第二の主表面が、前記キャリヤの前記凹部を覆い、それにより複数のキャリヤプレナムを画定するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有している複数の同心環形状隔壁であって、各隔壁の前記頭が、前記キャリヤプレナムの逆側で、前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面と垂直に結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の同心環形状隔壁と、
（ｄ）前記ウェブプレナムのいずれかに流体連通している少なくとも一つの制御可能なウェブ流体連通経路と、
（ｅ）前記キャリヤプレナムのいずれかに流体連通している少なくとも一つの制御可能なキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２４】
（ａ）前記環形状隔壁のうち最も外側の隔壁と結合しているウェハ隔壁を更に含む、請求項２３に記載のキャリヤ。
【請求項２５】
（ａ）前記ウェハ隔壁を半径方向に均一に張設するよう構成され、最も外側の同心ウェブプレナム内に挿入されたばねリングを更に含む、請求項２４に記載のキャリヤ。
【請求項２６】
（ａ）キャリヤハウジングと、
（ｂ）前記キャリヤハウジングによって支持される第一及び第二の主表面を有するウェブ隔壁と、
（ｃ）一つ一つが頭及び足を有する複数の環形状リブであって、各リブの頭が前記ウェブ隔壁の前記第一の主表面と結合し、それにより複数の同心ウェブプレナムを画定してなる複数の環形状リブと、
（ｄ）頭及び足を有するベローであって、前記リブのうち最も外側のリブを囲み、その頭が前記キャリヤハウジングと結合しているベローと、
（ｅ）前記ベローの足と結合し、且つ、前記複数のリブ足と隣接しているウェハ隔壁と、
（ｆ）前記複数のウェブプレナムに対応して流体連通している独立制御可能な複数のウェブ流体連通経路と、
（ｇ）前記リブ足近傍を真空にするため、前記ウェハ隔壁及び前記リブ内を通っているリブ真空ラインとを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項２７】
前記ウェブ隔壁及び前記複数のリブが、単一の弾性材料から共に製造される請求項２６に記載のキャリヤ。
【請求項２８】
（ａ）前記ウェブ隔壁及び前記リブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含む、請求項２６に記載のキャリヤ。
【請求項２９】
前記キャリヤハウジングが、前記ウェブ隔壁の前記第二の主表面に近接し、前記複数のリブの反対側に位置する複数の凹部を有し、それにより複数の同心環形状キャリヤプレナムを画定する請求項２７に記載のキャリヤ。
【請求項３０】
（ａ）対応する複数のキャリヤプレナムと流体連通している独立制御可能な複数のキャリヤ流体連通経路を更に含む、請求項２９に記載のキャリヤ。
【請求項３１】
（ａ）前記キャリヤハウジングの周縁部と結合された保持リング隔壁と、
（ｂ）前記保持リング隔壁と結合された保持リングとを更に含み、前記キャリヤハウジングが、前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それにより保持リングプレナムを画定する、請求項２６に記載のキャリヤ。
【請求項３２】
（ａ）前記保持リングに作用する圧力を制御するため、前記保持リングプレナムと流体連通している保持リング流体連通経路を更に含んでなる、請求項３１に記載のキャリヤ。
【請求項３３】
ウェハよりも柔らかな材料が、前記浮遊保持リングの系方向内側に固定されている請求項３１に記載のキャリヤ。
【請求項３４】
（ａ）複数の圧力調節可能な同心プレナムと、隣り合う前記プレナム間のぞれぞれに設けられた圧力調節可能な同心隔壁とを有するキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記キャリヤの前記複数の同心プレナムに対応する前記ウェハの複数の同心領域に対し、所望の除去速度を決定する工程と、
（ｄ）前記ウェハの特定の同心領域における所望の材料除去速度に対応するように、前記キャリヤの各同心プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｅ）同心プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｆ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ平坦化方法。
【請求項３５】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が、弾性リブからなる請求項３４に記載の方法。
【請求項３６】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、隣り合う同心プレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項３４に記載の方法。
【請求項３７】
隣り合うプレナム間においてウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、隣り合う同心プレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項３４に記載の方法。
【請求項３８】
（ａ）圧力調節可能な周縁リングプレナムと、圧力調節可能な中間リングプレナムと、圧力調節可能な中央ディスクプレナムと、前記周縁プレナムと前記中間プレナムの間の圧力調節可能な同心隔壁と、前記中間プレナム及び前記中央ディスクプレナム間の圧力調節可能な同心隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記周縁及び中央プレナム各々における圧力が、前記中間プレナムにおける圧力よりも大きな圧力となるよう、前記周縁、中間及び中央プレナムを加圧することにより前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ上に堆積した銅薄膜又はＳＴＩウェハの平坦化方法。
【請求項３９】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項３８に記載の方法。
【請求項４０】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項３８に記載の方法。
【請求項４１】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項３８に記載の方法。
【請求項４２】
（ａ）圧力調節可能な中央リングプレナムと、圧力調節可能な第二リングプレナムと、圧力調節可能な第三リングプレナムと、圧力調節可能な周縁リングプレナムと、前記中央及び第二プレナム間の圧力調節可能な第一隔壁と、前記第二及び第三プレナム間の圧力調節可能な第二隔壁と、前記第三及び周縁リングプレナム間の圧力調節可能な第三隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記中央及び周縁プレナム各々における圧力が、前記第二及び第三プレナム各々における圧力よりも大きな圧力となるよう、前記中央、第二、第三及び周縁プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ウェハ上に堆積した銅薄膜の平坦化方法。
【請求項４３】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項４２に記載の方法。
【請求項４４】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁各々に作用する圧力が、隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項４２に記載の方法。
【請求項４５】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項４２に記載の方法。
【請求項４６】
（ａ）圧力調節可能な中央リングプレナムと、圧力調節可能な第二リングプレナムと、圧力調節可能な第三リングプレナムと、圧力調節可能な周縁リングプレナムと、前記中央及び第二プレナム間の圧力調節可能な第一隔壁と、前記第二及び第三プレナム間の圧力調節可能な第二隔壁と、前記第三及び周縁リングプレナム間の圧力調節可能な第三隔壁とからなるキャリヤに、被処理ウェハを装填する工程と、
（ｂ）前記ウェハが研磨表面に近接又は接触するまで前記キャリヤを移動する工程と、
（ｃ）前記中央、第二及び周縁プレナム各々における圧力が、前記第三プレナムにおける圧力よりも大きな圧力となるよう、前記中央、第二、第三及び周縁プレナムを加圧することにより、前記研磨表面へ前記ウェハを押し当てる工程と、
（ｄ）プレナム間の前記複数の隔壁の各々に作用する圧力を調節する工程と、
（ｅ）前記ウェハを平坦化するよう、前記ウェハと前記研磨表面との間に相対運動を生じさせる工程とを実行する、ＳＴＩウェハの平坦化方法。
【請求項４７】
隣り合うプレナム間の前記隔壁が弾性リブからなる請求項４６に記載の方法。
【請求項４８】
隣り合うプレナム間における漏れを防止するよう、前記複数の隔壁各々に作用する圧力が、隣り合うプレナムにおけるそれぞれの圧力と同等以上である請求項４６に記載の方法。
【請求項４９】
隣り合うプレナム間におけるウェハ裏面の滑らかな圧力変化を促進するよう、前記複数の隔壁の各々に作用する圧力が、前記隣り合うプレナムにおける圧力と等しいか、それらの圧力間にある請求項４６に記載の方法。
【請求項５０】
キャリヤハウジングと、
ウェハに接触する第一主面と第二の主表面とを有するウェハ隔壁と、
離隔配置された複数の環形状リブであって、各リブはその一端において前記ウェハ隔壁の前記第二の主表面と結合し、その他端において前記キャリアハウジングと結合し、前記キャリアハウジングと前記ウェハ隔壁とにより複数の同心ウェブプレナムを画定する複数の環形状リブと、
前記同心ウェブプレナムのそれぞれの圧力を制御するために、前記複数のウェブプレナムのそれぞれと流体連通している複数の独立制御可能なウェブ流体連通経路と、
前記キャリアハウジング内に形成され、前記複数の離隔配置された環形状リブと整合するように配置された複数の同心環形状キャリアプレナムと、
離隔配置された複数の環形状リブに加えられる前記複数のキャリアプレナム内の圧力を制御するために、前記複数のキャリアプレナムと流体連通する独立制御される複数のキャリヤ流体連通経路とを備える、ウェハ表面平坦化用キャリヤ。
【請求項５１】
前記リブを前記キャリヤハウジングに結合する複数の圧締リングを更に含む、請求項５２に記載のキャリヤ。
【請求項５２】
前記キャリアハウジングの周縁部の結合される保持リング隔壁と、前記保持リング隔壁に結合される保持リングとを更に含み、前記キャリアハウジングは前記保持リング隔壁に対向する保持リング凹部を有し、それによって保持リング隔壁を画定している、請求項５２に記載のキャリア。
【国際調査報告】
2004500251.tif 000036
2004500251.tif 000037
2004500251.tif 000038