(57)【要約】液体に包含された粒子Ｐは、篩い枠２内に設置された篩い面３上に置かれて篩い分けられる。液体Ｆを超音波振動Ｕにかけることによって篩い工程が進行する。超音波振動Ｕは超音波装置４を使用して発生させ、超音波装置４は液体Ｆと接触させることができる超音波照射面５を有する。少なくとも１つの超音波トランスデューサ６が超音波照射面５の液体から遠去かる側７に配列される。超音波装置４はほぼ円錐形の超音波照射面５を備える。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体（Ｆ）に包含された粒子（Ｐ）の篩い、分級、選別、ろ過又は分別装置（１）であって、
該粒子（Ｐ）を有する該液体（Ｆ）を施すことができる篩い面（３，３３，５３）を備えた少なくとも１つの篩い枠（２，３２）と、
該液体（Ｆ）中に超音波振動（Ｕ）を送出する少なくとも１つの超音波配列（ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）（４，３４，５４）とを備える装置において、
該超音波配列（４，３４，５４）が音響照射面（５，３５，５５）を有し、該音響照射面を該篩い面（３，３３，５３）上の該液体（Ｆ）と接触させることができ、かつ該音響照射面を少なくとも１つの超音波トランスデューサ（６，３６）によって振動させることができ、少なくとも該超音波トランスデューサ（６，３６）が特に該液体（Ｆ）から遠去かる側（７）に設置されることを特徴とする、装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置において、該篩い面（３，３３）の全体が該音響照射面（５，３５）によって覆われることを特徴とする、装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の装置において、該篩い面（３）が一般に略円形に作られ、及び／又は該超音波配列（４）が該篩い面（３）と直交する軸（Ａ）に対し略回転対称につくられることを特徴とする、装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれかに記載の装置において、該超音波配列（４）が該液体（Ｆ）の供給口（８）、好ましくは中心供給口を有することを特徴とする、装置。
【請求項５】
請求項４に記載の装置において、該篩い面（３，３３）と該音響照射面（５，３５）との間に間隙（１１，４１）が形成され、該間隙の幅（ａ）が該液体（Ｆ）の該供給口（８，３８）から離れるにつれ、特に篩過できない材料（Ｍ）の少なくとも１つの排出口（９，３９）に向けて減少することを特徴とする、装置。
【請求項６】
請求項３又は５に記載の装置において、該篩い面（３）と該音響照射面（５）との間の該間隙（１１）の該幅（ａ）が該超音波配列（４）の中央から外縁（１０）へ半径方向へ向かうに従い減少することを特徴とする、装置。
【請求項７】
請求項５に記載の装置において、該排出口（９）が該超音波配列（４）の外周壁（１８）における開口として作られることを特徴とする、装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれかに記載の装置において、該超音波配列（４）が篩い機（１２）に着脱自在に接続され又は接続できることを特徴とする、装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれかに記載の装置において、該篩い面（３）上の液体（Ｆ）の液位Ｎを測定及び／又は制御する手段（２１）を特徴とする、装置。
【請求項１０】
請求項１、２及び５のいずれかに記載の装置において、該篩い面（３３）が水平面（Ｈ）に対し傾斜し、かつ該音響照射面（３５）が平らであり、該篩い面（３３）に対し好ましくはある角度（β，β’）で延長することを特徴とする、装置。
【請求項１１】
請求項１乃至１０のいずれかに記載の装置において、該音響照射面（５，３５）と該篩い面（３，３３）との間の該距離（ａ，ｂ）及び／又は該角度（α，β）が調節自在であることを特徴とする、装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の装置において、該篩い面（５３）が少なくとも１つの超音波配列（５４）に対し移動自在に設置されることを特徴とする、装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の装置において、該音響照射面が該篩い面に対しある角度で設置されて該篩い面（５３）と該音響照射面（５５）との間の該間隙の該幅が材料送り（５８）から材料吐出し（５９）へと減少し、該篩い面（５３）が材料送り（５８）と材料吐出し（５９）との間を該材料吐出しの方向（Ｒ）に移動自在であることを特徴とする、装置。
【請求項１４】
請求項１２又は１３に記載の装置において、該篩い面が回動支持された２つのローラ（５２）上に締付けられる閉鎖型可撓性篩いとして作られることを特徴とする、装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のいずれかに記載の装置のための超音波配列（ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）において、該超音波配列（４，３４）が該液体（Ｆ）と接触させることができる音響照射面（５，３５）を有し、特に少なくとも１つの超音波トランスデューサ（６，３６）が該液体から遠去かる側（７）に設置されていることを特徴とする、超音波配列。
【請求項１６】
請求項１５に記載の超音波配列において、該超音波配列（４）を従来の篩い機（１２）の篩い枠（２）上に着座させることができることを特徴とする、超音波配列。
【請求項１７】
請求項１４又は１５に記載の超音波配列において、該音響照射面（５）が略円錐形に延長し、好ましくは互いにある角度をなす構成部分面（２０）から作られることを特徴とする、超音波配列。
【請求項１８】
篩い面（３，３３，５３）上の液体（Ｆ）に包含された粒子（Ｐ）の篩い、分級、選別、ろ過又は分別方法であって、
超音波振動（Ｕ）を超音波配列（ｕｌｔｒａｓｏｎｉｃ　ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）（４，３４，５４）により該液体中に送出する方法において、
該液体（Ｆ）と接触させることができる音響照射面（５，３５，５５）を介して該超音波振動（Ｕ）を該液体（Ｆ）中に送出し、該音響照射面（５，３５，５５）を、特に少なくとも１つの超音波トランスデューサ（６）であって、該音響照射面（５，３５，５５）の該液体（Ｆ）から遠去かる側（７）に設置される前記超音波トランスデューサ（６）によって振動させることを特徴とする、方法。
【請求項１９】
請求項１８に記載の方法において、該粒子（Ｐ）を備えた該液体を、該音響照射面（５）と該篩い面（３）との間の間隙（１１）を通じて送ることを特徴とする、方法。
【請求項２０】
請求項１８又は１９に記載の方法において、該篩い面（３）上の該液体の液位（Ｎ）を測定及び／又は制御することを特徴とする、方法。
【請求項２１】
請求項１８乃至２０のいずれかに記載の方法において、該篩い面（５３）を篩い工程時に移動させることを特徴とする、方法。
【請求項２２】
請求項２１に記載の方法において、該篩い面（５３）を材料送り（５８）から材料吐出し（５９）の方向（Ｒ）に移動させることを特徴とする、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、独立請求項の前段部分の特徴を備えた物質の篩い、分級、選別、ろ過又は分別装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
超音波振動が篩い機における篩い材料のためになることは知られている。振動運動は凝集力及び表面張力を減少させ、したがって篩いの目を詰まらせる危険を減少又は防止することができる。
【０００３】
国際公開ＷＯ９４／２７７４８には、例えば篩いクロスに指様共振ロッドを備えた共振器を設けて、超音波振動をできるだけ篩いクロスの全体に行き渡らせるようにすることが開示されている。この配列（ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）は乾燥篩い材料に関しては満足に機能するが、液体に保持された粒子の篩い分けにはある程度問題が生じる。それは特に、液体はクロスの超音波振動を比較的強力に減衰させるので、共振ロッドにもかかわらず篩いクロスの一部が振動に暴露されない、という事実のためである。篩い分け／篩いの呼称はここ及び以下では通常の意味に使用され、材料のどのような処理、特に分級、選別、ろ過又は分別もこの概念に含まれるものである。
【０００４】
液体に保持された粒子を超音波で篩い分ける様々な装置が知られている。
米国特許４，６９３，８７９は、超音波ソノトロード（ｓｏｎｏｔｒｏｄｅ）を回転篩いの面に隣接して取付けることを教示する。この配列の１つの不利点は、全篩い面を超音波に暴露させることができないことである。そのため一度に篩い面の一部分のみを能動的に使用できる。
【０００５】
米国特許４，２８２，１００も同様に回転篩いの使用を提案する。篩い分けられる材料はソノトロードと篩い面との間の間隙を通じて送られる。ここでもまた篩い面の限られた部分のみを能動的に使用できる。
【０００６】
米国特許３，４９０，５８４は、篩いクロス上に保持された液体を超音波ソノトロードによって超音波振動に暴露する従来の篩い機を示す。しかしながら、ソノトロードの限られた寸法の結果、全篩い面を超音波振動に暴露するためには篩い機を回動させることが必要である。それ故、回転駆動装置を備えた篩い機は構成が複雑になってしまう。
【０００７】
米国特許３，７５６，４００は、篩い分けられる液体及び篩いクロスが包含される筒状容器内に超音波ソノトロードを挿入することを開示する。この配列の１つの不利点は、ソノトロードの限られた断面積の結果比較的小さい篩い面のみを使用できることである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、公知のものの不利点を回避することであり、それ故特に、液体に包含された粒子を篩い分けるための、構造的に簡単な仕方で本質的に篩い面の全体を超音波に暴露させることができる装置及び方法を案出することである。その際可能であれば篩いを回動させる配列は回避される。本発明で特許請求された装置はそのうえ現存の篩い機に容易に適用可能である。本発明の他の目的は、超音波に対する暴露効率を高めることである。さらに他の目的は、液体中に送出できる超音波エネルギを高めることである。本装置はそのうえ信頼できる動作を可能とする。特に、過負荷、例えば過度に少量の篩い材料によって超音波配列が破壊されるのを回避する。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
これらの目的は、本発明で特許請求されたように、独立請求項の特徴部分の特徴を備えた装置及び方法によって達成される。
【００１０】
液体に包含された粒子を篩い分ける装置は、篩い面を備えた少なくとも１つの篩い枠を有する。篩い分けられる粒子を備えた液体は篩い面に施すことができる。装置はそのうえ超音波振動を液体中に送出する少なくとも１つの超音波配列を有する。超音波配列は音響照射面を有し、該面は篩い面上の液体と接触させることができる。音響照射面は少なくとも１つの超音波トランスデューサによって振動させることができる。超音波トランスデューサは好ましくは音響照射面の液体から遠去かる側に設置される。
【００１１】
それ故、本発明で特許請求されたように、超音波配列はいわゆる浸漬型トランスデューサとして作られる。１つ以上の超音波トランスデューサが、一般にシート状物として作られる音響照射面に超音波振動を生じさせる。全体的に振動する音響照射面は、粒子を包含する液体と接触させることができる。したがって、本質的に篩い面上の全液体を音波に暴露させることができる。その際、液体は直接真上から、すなわち篩い面を介さないで音波に暴露される。そのうえ、これら浸漬型のトランスデューサにより、超音波ソノトロードによるよりもずっと高い、一般に１０ｋＷまでの超音波エネルギを液体中に送出することが可能である。
【００１２】
加えて、篩い分けられる粒子を備えた液体はある程度篩い面と音響照射面との間で圧搾されるので、篩い特性に積極的な効果を有することができる静圧が形成される。
【００１３】
それ故、１つの好ましい実施の形態によれば、音響照射面は本質的に全篩い面を覆う。
篩い面は一般に略円形に作られる（従来の篩い機におけるように）。超音波配列は、篩い面と直交する軸に対し略回転対称に作られる。一般に超音波配列は六角形に作ることができる。
【００１４】
超音波配列は供給口を有すると有利である。供給口は好ましくは中心に配列される。これにより、篩い面の上方に設置された超音波配列を通じて篩い面の略中心に液体を供給することが可能となる。
【００１５】
１つの特に好ましい実施の形態によれば、篩い面と音響照射面との間に間隙が形成される。間隙の距離は、粒子を備えた液体の供給口から、篩過できない材料の排出口に向けて小さくなる。装置の動作時、新たに供給された液体のため、篩い分けられる液体は供給口から排出口に向かって移動する。音響照射面及び篩い面間の角度及び／又は間隙の幅は調節可能とすることができる。
【００１６】
篩い機の振動運動のため、篩い材料は遠心力により外側に運ばれる。篩い材料の静圧は、間隙の幅が減少するにつれて篩い材料を若干圧縮する。これにより、音響照射面が常に篩い材料と接触することが確保される。
【００１７】
篩い面と音響照射面との間の間隙が超音波配列の中心から外縁に向けて連続的に減少する半径方向に対称の超音波配列は特に好ましい。それ故、音響照射面は略円錐形に作られ、そして構造上の理由から平らな構成部分片から成る構造体が考えられる。
【００１８】
篩い枠に、篩過できない材料のための少なくとも１つの側面排出口を設けると有利である。篩いの縁に達したときに未だ篩過されていない材料は、ある程度液体に洗われて排出口を通じて排出される。したがって、本発明で特許請求された装置の連続動作が可能である。
【００１９】
超音波配列は、従来の篩い機に使用できるよう従来の篩い機の外壁（トップカバー）に着脱自在に接続できるよう作ると有利である。
超音波配列の過負荷を防止するため、装置には好ましくは篩い面上の液体の液位を測定及び／又は制御する手段を設けることができる。したがって、音響照射面が液体と完全に又は部分的に離れること、したがって非湿動作が発生することを防止可能である。液位を測定するため測定センサを使用することができる。しかしながら、液位は、特に有利には超音波配列の発生器の負荷を介して、間接的に測定することができる。
【００２０】
１つの好ましい実施の形態によれば、いわゆる静止篩い機を使用することができる。篩いクロスを水平面に対しある角度で設置し（篩い材料の動作位置において）、篩い材料が重力の結果篩い面の上を下降するようにする。
【００２１】
音響照射面を篩い面に対しある角度で設置する。音響照射面と篩い面との間の距離は下方に向かって減少する。
この実施の形態では１つ以上の超音波配列を設けることができる。
【００２２】
音響照射面はそれぞれ平らに作られ、音響照射面と篩い面との間の角度及び／又は距離も調節自在とすることができる。
他の代替の実施の形態によれば、装置の篩い面は少なくとも１つの超音波配列に対し移動自在に設置すると有利である。音響照射面は好ましくは篩い面に対しある角度で設置することができる。このようにして、篩い面と音響照射面との間の間隙の幅を材料送りから材料吐出しへと減少させる。篩い面は材料送り及び材料吐出し間を移動させると有利である。これにより様々な利点が与えられる。篩い面、したがってまた篩い材料を幅寄せ間隙の方向に移動させることにより、圧力が追加的に篩い材料に加えられる。このようにして超音波作用が高められる。同時に、篩過できない大きな粒子は篩いの動きによって排出される。篩過できない粒子の堆積はしたがって防止される。
【００２３】
篩い面を閉鎖型可撓性篩いとして作り、回動支持された２つのローラに締め付けると有利である。
それ故、本発明はとりたてて言えば、液体中の篩い材料を音波に暴露するため浸漬型のトランスデューサ（例えば、超音波洗浄で公知の）を使用することにある。この関連において、粒子を備えた液体とは篩い分けられる粒子を包含するすべての流動媒体、それ故一般に分散液と定義され、実際の液体部分は処理される液体がスラッジ様の稠度を有する程わずかであってもよい。
【００２４】
本発明を以下実施の形態において及び図面を使用して詳述する。
【００２５】
【発明の実施の形態】
図１は、液体Ｆに包含される粒子Ｐを篩い分けるのに使用される装置１を示す。装置１は、篩い面３を支持する篩い枠２を有する。篩い面３は一般に公知の篩いクロスである。篩い枠２及び篩い面３は従来の篩い機１２の一部を形成する。篩い機１２は、従来の設計のものであり、円板型振動又は起振篩い機として作られる。
【００２６】
面３の上方には、本発明で特許請求されたように超音波配列（ａｒｒａｎｇｅｍｅｎｔ）４がある。超音波配列４は、従来の浸漬型トランスデューサのように作られ、音響照射面５を有する。音響照射面から遠去かる側７には１２個の超音波トランスデューサ６がある。超音波配列４は密閉箱として作られ、超音波トランスデューサ６がその内側７に設置される（図４をも参照）。超音波配列４の音響照射面５は、粒子Ｐを含有する液体Ｆと接触させることができる。このようにして、超音波振動Ｕを音響照射面５を介して液体Ｆ中に送出することができる。
【００２７】
超音波配列４は、篩い面３と直交する軸Ａに対し回転対称に作られる。構成は一般に六角形である（図２又は３参照）。そのような六角形の構成は構造上の理由から推奨される。もちろん角部が６つより多い又は少ない円形の配列や多角形の配列も考えられるであろう。超音波配列４には中央に供給口８が設けられ、該供給口により篩い分けられる材料を篩い面３に施すことができる。
【００２８】
超音波配列４は円形の外壁１８内に保持される。外壁１８（トップカバー）は篩い機１２の一部である。篩い枠２又は外壁１８には開口９がある。篩過されなかった又は篩過できない材料Ｍは開口９を通じて排出できる。
【００２９】
超音波配列４の音響照射面５は篩い面３に対し略１０°の角度で傾斜して（図４参照）、篩い面３と音響照射面５との間に幅寄せ間隙１１が形成される。篩い面３と音響照射面５との間の距離ａは、超音波配列４の中央から外縁１０に向けて連続的に減少する。距離ａはまた、例えば篩い機１２への超音波配列４の取付けを調節することにより調節することができる。
【００３０】
動作時、篩い分けられる材料（粒子Ｐを備えた液体Ｆ）は、超音波配列４の中央の篩い面３上に送出される。篩過できる材料は篩い面３を通過し、ドレン１９によって篩い機１２から除去される。篩過されなかった又は篩過できない材料は、新たに供給された篩い材料及び篩い機の振動の結果半径方向外側に移動する。外縁１０に達したときに未だ篩過されなかった材料は排出開口９を通じて排出される。
【００３１】
篩い面３上の液体Ｆは一定の液位Ｎを有する。超音波配列４が負荷なしで動作して壊れてしまうのを防止するため、液体Ｆの液位Ｎが所定の値を超えて降下しないようにしなければならない。このため図示の測定センサ２１があり、該センサが液位Ｎを測定する。液位Ｎが設定点を超えて降下したらすぐに、超音波発生器を停止し、及び／又は追加の篩い材料を加える。しかし、超音波トランスデューサ６の発生器の負荷を介して液位Ｎを測定することも考えられる。
【００３２】
図２は超音波配列４の構成を示す。超音波配列４は箱として作られる。
箱形の超音波配列４の後壁４にはそのうえ補強又は保持シート１６が設けられ、該シートは篩い材料の供給管１５の周囲に星形に配列されている（図２及び３）。超音波配列は好ましくは外壁１８に保持シート１６を介して着脱自在に接続される。保持シート１６は、距離ａを設定できるよう外壁１８に調節自在に接続できる。保持シート１６のサイズを選択することにより、超音波配列を篩い枠２の寸法に合わせることができる。箱形の超音波配列４は外部に対し耐密溶接される。音響照射面５の液体Ｆから遠去かる側７には超音波トランスデューサ６がある（図１参照）。超音波トランスデューサの電源（図示せず）は箱の面を通じて（例えば、背面を通じて）ルーティング（ｒｏｕｔｅ　ｏｕｔ）される。
【００３３】
箱様の超音波配列４は外側で６つの側壁１３及び内側で６つの内壁１７によって縁取られる（図３及び４参照）。背壁の円形供給口８の延長物として背壁１４には供給管１５があり、該管により篩い分けられる材料を導入することができる。
【００３４】
箱は６つの構成部分面２０を包含し、該面は全体として音響照射面５を形成する（図３及び４参照）。構成部分面２０はそれぞれ台形に作られる。互いに隣り合った２つの構成部分面２０はそれらの側面に沿って互いに溶接されるが、構成部分面２０は同一平面上に位置せず、音響照射面５が多少円錐形の全体形状を有するようになっている（図４参照）。
【００３５】
図３は六角形の超音波配列４の実施例を示す。保持シート１６により配列４が外壁１８に連結される。外壁は円形に作られ、篩い機の一部を形成する。超音波配列４は、篩い枠２より多少小さい寸法を有し、外側で側壁１３によって縁取られ、六角形に作られている。超音波装置４の背壁１４の円形の供給口８は、内壁１７に対しより小さく作られる。内壁１７は同様に全体として六角形を形成する。
【００３６】
図４は図１の一部拡大図であり、平明化のため篩い分けられる粒子Ｐを備えた液体Ｆは示されていない。
図４は様々な平面上にある個々の構成部分面２０の配列を示し、該配列により音響照射面５は多少円錐形となっている。
【００３７】
超音波トランスデューサ６は一般に１２個の圧電トランスデューサである。圧電トランスデューサ６は、超音波配列４の液体から遠去かる側７に接合される。超音波トランスデューサ６は、従来の超音波発生器により略３０ｋＨｚの周波数で互いに並列動作される。ここに図示する１２個のトランスデューサにより０．６ｋＷまでの動力を液体Ｆ中に送出することができる。
【００３８】
箱形の超音波配列４は、一般に厚みが２ｍｍの相互溶接されたステンレスクロム鋼（１．４３０１）の部品から成る。
図５は１つの代替の実施の形態を図示する。本装置は静止篩い機３１として作られる。篩い面３３は水平面Ｈに対し角度γで篩い枠３２に締付けられる。篩い面３３の上方には２つの超音波配列３４がある。粒子Ｐを備えた、篩い分けられる液体Ｆは、超音波配列３４の音響照射面３５と篩い面３３との間に送られる。超音波配列３４は、例えば篩い材料によって音響照射面３５と篩い面３３との間の角度β、β’を調節できるよう調節自在に配列される。図５は２つの超音波配列３４を示す。篩い分けられる材料は重力により篩い面３３の上を供給口３８から排出口３９へと下降し、その間超音波振動Ｕに暴露される。篩い面３３と音響照射面３５との間の間隙４１の幅ｂは下方に向かって減少する。図５の上方の超音波配列３４は篩い面３３に対しある距離で設置され、未篩過の材料が篩い面３に沿ってさらに移動して、図５の下方の超音波配列３４による振動に暴露されることができるようにする。
【００３９】
角度β、β’は個々に設定でき、一般に５−１５°とすることができる。
図６は本発明でクレームされた他の代替の実施の形態の装置を示す。装置５１は２つの回動取付けされたローラ５２を有する。閉鎖型可撓性篩い５３がローラ５２に締付けられる。篩い５３は、ローラを回転させることにより略０．５−３ｍ／分の速度で方向Ｒに移動できる。液体Ｆ中の篩い分けられる粒子Ｐは、材料送り５８において篩い５３に送出される。篩い５３の運動の結果、液体Ｆは粒子Ｐと共に、音響照射面５５が設けられた超音波配列５４の方向に運ばれる。音響照射面５５と篩い面５３との間には間隙が形成され、該間隙は材料送り５８から材料吐出し５９の方向Ｒにつれて減少する幅を備える。篩過できない材料Ｍは、篩い面５３の運動の結果材料吐出し５９で篩い面５３から除去される。さらに、ドクターブレード等の剥離機構を設けて、篩過できない粒子Ｍを篩い面５３から除去するようにすることもできる。
【００４０】
篩過材料は篩いの下でトラフに捕捉される。トラフは例えば傾斜させて篩過材料が流れ去るようにすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明で特許請求された装置の断面図である。
【図２】
本発明で特許請求された超音波配列の斜視図である。
【図３】
図２に示す超音波配列の平面図である。
【図４】
図１の一部拡大図である。
【図５】
１つの代替の実施の形態の略図である。
【図６】
他の代替の実施の形態の略図である。
【符号の説明】
１　装置　　　　　　　　　　　　　　　　　２　篩い枠
３　篩い面　　　　　　　　　　　　　　　　４　超音波配列
５　音響照射面　　　　　　　　　　　　　　６　超音波トランスデューサ
７　側　　　　　　　　　　　　　　　　　　３２　篩い枠
３３　篩い面　　　　　　　　　　　　　　　３４　超音波配列
３５　音響照射面　　　　　　　　　　　　　３６　超音波トランスデューサ
５３　篩い面　　　　　　　　　　　　　　　５４　超音波配列
５５　音響照射面　　　　　　　　　　　　　Ｆ　液体
Ｐ　粒子　　　　　　　　　　　　　　　　　Ｕ　超音波振動
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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2004508178.tif 000027
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