(57)【要約】この発明は、少なくとも１つの光伝導手段を有する構造物からなる光波伝送装置に関する。構造物は、光ファイバ（１２）の端部（１３，１４）を収容する刳り抜き部分又は切欠き（９，１０）を有し、前記光ファイバは、前記切欠きを分断する構造物の表面（１１ａ）に跨っており、光ファイバの両端部は、それぞれ前記構造物の光伝導手段（７，８）に光学的に接続している。この発明はまた、エッチングで光マイクロ導波路の端部を切除することにより構成される装置を製作する方法にも関する。この装置は、光学スイッチを製作するのに実用的である。
2004520609.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積光波伝導手段を有する集積構造物からなる光波伝送装置において、
上記構造物は、少なくとも１つの集積光波伝導手段（４）の両側に形成された刳り抜き部分又は切欠き（９，１１）を有しており、
上記集積光波伝導手段（４）は、前記両刳り抜き部分を分断している構造物の表面（１１ａ）の下側を延びるか又は同一面に配置されており、
前記刳り抜き部分又は切欠き（９，１１）は、光ファイバの端部分（１３，１４）を受け入れかつ内部に固定するようになっており、
前記光ファイバ（１２）は前記表面（１１ａ）を跨ぐと共に、光ファイバの端部が集積光伝導手段（７，８）にそれぞれ光学的に接続していることを特徴とする光波伝送装置。
【請求項２】
請求項１記載の光波伝送装置において、
構造物は、少なくとも１つの補助光伝導手段（２６）を備えた変形可能な部分（３５）を有すると共に、上記変形可能な部分を第１の位置と第２の位置の間で移動させる作動手段（４０）が設けられており、前記補助光伝導手段の端面が、前記光ファイバの一端又は前記表面の下側を延びる構造物の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続するようになっていることを特徴とする光波伝送装置。
【請求項３】
請求項１記載の光波伝送装置において、
前記構造物は、前記表面の下側を延びる第１の集積光導波路（１８）と、前記表面の外側を延びる第２及び第３の集積光導波路（２４，２５）から構成されており、
また、構造物は、それぞれ補助光伝導手段を備えた少なくとも２つの変形可能な部分（２７，２９）を有し、
さらに、構造物は、上記変形可能な部分をそれぞれ第１の位置と第２の位置の間で移動させる２つの作動手段を備え、
一方の変形可能な部分では、第１の補助光伝導手段が第１の集積光導波路の端面又は第２の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続し、他方の変形可能な部分では、第２の補助光伝導手段が前記光ファイバの端面又は第３の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続することを特徴とする光波伝送装置。
【請求項４】
請求項１記載の光波伝送装置において、
構造物は、２つの光ファイバ（７１，７２）を支持すると共に２つの集積光導波路（６５，６６）を有しており、
また、構造物は、少なくとも４つの補助光伝導手段（５６−５９）を備えた変形可能な部分（５０）を有しており、
さらに構造物は、上記変形可能な部分を第１の位置と第２の位置の間で移動させる作動手段を備え、
補助光伝導手段の端面を、２つの光ファイバの２つの端部と２つの集積光導波路の２つの端部に、選択的にかつそれぞれ接続するようになっている光波伝送装置。
【請求項５】
請求項４記載の光波伝送装置において、
変形可能な部分（５０）は、互いに連結されると共に各々が光伝導手段（６７−７０）を備えた枝（５１−５４）から構成されていることを特徴とする光波伝送装置。
【請求項６】
請求項２乃至５に記載の光波伝送装置において、
光ファイバの端部は、構造物の集積光伝導手段（６７−７０）を介し、前記補助光伝導手段の端面に光学的に接続することを特徴とする光波伝送装置。
【請求項７】
請求項２乃至６に記載の光波伝送装置において、
変形可能な部分は、可撓性を有する片持ち状ビーム（３５；５０）と加圧手段（４０；６４）からなり、上記片持ち状ビームは、１つ又は複数の補助光伝導手段（２６；５６，５９）を縦向きに支持しており、加圧手段は、ビームの端部を移動させるようにビームを変形させるようになっていることを特徴とする光波伝送装置。
【請求項８】
請求項７に記載の光波伝送装置において、
加圧手段は、容量手段又は誘導手段（４０ａ）から構成されており、
容量手段又は誘導手段（４０ａ）は、前記制御手段によって供給される電流及び／又は電圧の作用によって前記ビームを加圧する力を発生させることを特徴とする光波伝送装置。
【請求項９】
構造物内で集積光マイクロ導波路に光ファイバを接続する方法において、
切欠き（９）の領域内に一端（７ｂ）が位置する少なくとも１つの集積光マイクロ導波路（７）を含む構造物（３ａ）を製造することと、
前記切欠き（９）を、前記構造物の表面に、前記集積光マイクロ導波路の端部（７ｃ）を切除することにより塹壕形状に刳り抜くことと、
光ファイバの伝送コア（１２ａ）を光マイクロ導波路の伝送コア（７ａ）に光学的に接続すると共に湾曲部分を介して前記切欠きから抜き出すように、前記構造物の表面の上から光ファイバ（１２）の端部分を前記切欠き内に係合し固定することと、
を含んでいることを特徴とする方法。
【請求項１０】
構造物内で集積光マイクロ導波路に光ファイバを接続する請求項９に記載の方法において、
光ファイバ（１２）の端部分の横方向の芯出しを提供する形態に、切欠き（９）を刳り抜くことを含む方法。
【請求項１１】
構造物内で集積光マイクロ導波路に光ファイバを接続する請求項９に記載の方法において、
光マイクロ導波路が通過して取り出されると共に、光ファイバ（１２）の端部がもたれかかる端壁（９ａ）を有する切欠きを刳り抜くことを含む方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、光伝導構造物の光波伝送の技術分野に関する。
【０００２】
（背景技術）
光導波路は光波の伝送に用いられており、これらは通常、光ファイバ及び／又は光マイクロ導波路を含む集積構成部品からなっている。光ファイバは、一般に、クラッド管と、該クラッド管により周囲を被覆されて光波を伝送するコアからなっており、コア材料の屈折率はクラッド材料の屈折率よりも大きくなっている。集積マイクロ導波路構成部品は、一般に、２つの層の間に形成された光伝送用コアを含んでおり、コアの材料の屈折率はクラッドの材料の屈折率よりも大きくなっている。
【０００３】
各種の集積光マイクロ導波路構造物は、特に、フランス特許ＦＲ−Ａ−９０／０２５７５，フランス特許ＦＲ−Ａ−９０／０３９０２及びフランス特許ＦＲ−Ａ−９５／００２０１に記載されている。さらにフランス特許ＦＲ−Ａ−９０／０２５７５には、多芯光ケーブルから構造物の集積光マイクロ導波路まで通じる光ファイバの端部を連結する方法が記載されている。
【０００４】
（発明の目的）
本発明の目的は、特に、複数チャンネルに切り換えられる構造物の寸法を小型簡素化できるように、構造物内の光波伝送チャンネルの数を改善又は増加することができる光波伝送装置を提供することである。
【０００５】
（その解決方法）
本発明に従い、構造物は、光ファイバの端部分を受け入れて内部に固定するように設計された刳り抜き部分又は切欠きを含んでおり、上記光ファイバは前記両刳り抜き部分を分断する構造物の表面を跨ぐと共に、光ファイバの端部分が前記構造物の光伝導手段に光学的に接続している。
【０００６】
本発明に従い、好ましくは、前記表面の下側を延びるか又は前記表面と同一平面に配置された少なくとも１つの集積光導波路の両側に、前記刳り抜き部分を形成する。
【０００７】
本発明に従い、好ましくは、光ファイバの両端部のうち少なくとも１つは、前記構造物の集積光伝導手段に光学的に接続するようになっている。
【０００８】
本発明の１つの実施の形態に従い、構造物は、少なくとも１つの補助光伝導手段を備えた変形可能な部分を有すると共に、上記変形可能な部分を第１の位置と第２の位置の間で移動させる作動手段が設けられており、補助光伝導手段の端面が、前記光ファイバの一端又は上記表面の下側を延びている構造物の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続するようになっている。
【０００９】
本発明の別の実施の形態に従い、構造物は、前記表面の下側を延びる第１の集積光導波路と、前記表面の外側を延びる第２及び第３の光マイクロ導波路から構成されている。
【００１０】
構造物は、それぞれ補助光伝導手段を備えた少なくとも２つの変形可能な部分を有すると共に、上記変形可能な部分を第１の位置と第２の位置の間でそれぞれ移動させる２つの作動手段を備えており、一方の変形可能な部分では、第１の補助光伝導手段が第１の集積光導波路の端面又は第２の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続し、他方の変形可能な部分では、第２の補助光伝導手段が前記光ファイバの端面又は第３の集積光導波路の端面のいずれかに光学的に接続するようになっている。
【００１１】
本発明の別の実施の形態に従い、構造物は、２つの光ファイバを支持すると共に２つの集積光導波路を有している。構造物は、少なくとも４つの補助光伝導手段を備えた変形可能な部分を有すると共に、上記変形可能な部分を第１の位置と第２の位置の間で移動させる作動手段を備えており、補助光伝導手段の端面を、２つの光ファイバの２つの端部と２つの集積光導波路の２つの端部に、選択的にかつそれぞれに接続するようになっている。
【００１２】
本発明に従い、前記変形可能な部分は、互いに連結されると共に各々が光伝導手段を備えた枝から構成されている。
【００１３】
本発明に従い、光ファイバの端部は、好ましくは、構造物の集積光伝導手段を介し、前記補助光伝導手段の端面に光学的に接続するようになっている。
【００１４】
本発明に従い、変形可能な部分は、可撓性を有する片持ち状ビームと加圧手段からなり、上記片持ち状ビームは、１つ又は複数の補助光伝導手段を縦向きに支持しており、加圧手段は、ビームの端部を移動させるべくビームを変形させるようになっている。
【００１５】
本発明に従い、加圧手段は、容量手段又は誘導手段から構成されており、容量手段又は誘導手段は、前記制御手段によって供給される電流及び／又は電圧の作用によって前記ビームを加圧する力を発生させる。
【００１６】
本発明は、構造物内で、集積光マイクロ導波路に光ファイバを接続する方法も提供する。
【００１７】
本発明に従った上記方法は、切欠きの領域内に一端が位置する少なくとも１つの集積光マイクロ導波路を含む構造物を製造することと、
前記切欠きを、前記構造物の表面に、前記集積光マイクロ導波路の端部を切除することにより塹壕形状に刳り抜くことと、
光ファイバの伝送コアが光マイクロ導波路の伝送コアに光学的に接続すると共に湾曲部分を介して光ファイバが前記切欠きから取り出されるように、前記構造物の表面の上から光ファイバの端部分を前記切欠き内に係合し固定することと、
を含んでいる。
【００１８】
本発明に従い、上記方法は、好ましくは、光ファイバの端部分の横の芯出しを提供する形態に切欠きを刳り抜く。
【００１９】
本発明に従い、好ましくは、光マイクロ導波路が通過して出てくると共に、光ファイバの端部がもたれかかる端壁を有する切欠きを刳り抜くことを含んでいる。
【００２０】
（発明を実施するための形態）
図面に記載されると共に限定されない方法によって説明する各種光波伝送装置を知ることにより、本発明をより良く理解することができる。
【００２１】
図１〜図３は、集積マイクロ導波路を内蔵するブロック３によって形成された集積光伝導構造物２から構成される光波伝送装置を示している。
【００２２】
構造物２は、たとえばブロック３の２つの横断境界面５，６間に縦向きに延びる集積マイクロ導波路４を含んでいる。
【００２３】
構造物２は、さらにブロック３の前記両面５，６からそれぞれ縦向きに延びる集積マイクロ導波路連結部分７及び８を含んでおり、該両部分７，８は、ブロック３の上面１１に設けらた縦向きの切欠き９，１０内まで延びると共に、光導波路４の両側に一定距離を隔てて配置されている。
【００２４】
光マイクロ導波路７及び８の端面を含む切欠き９，１０の端面９ａ，１０ａは、一定の距離を置いて互いに対向している。
【００２５】
上記構造物２を構成するために、ブロック３は、たとえばシリコン製の基板２ａを有しており、該基板２ａ上に、未ドープ処理のシリカ材製の第１の層２ｂと、同様に未ドープ処理のシリカ材製の第２の層２ｃが順に積層している。第１の層２ｂの上端面であって第２の層２ｃの下側には、光マイクロ導波路４，７及び８の伝送コア４ａ，７ａ及び８ａが形成され、これら伝送コア４ａ，７ａ，８ａはたとえば、ドープ処理されたシリカ、又はシリコン窒化物又はシリコン酸化物でできている。
【００２６】
図示のように、これら同一平面上の伝送コア４ａ，７ａ及び８ａは、断面形状が矩形又は正方形に形成されており、５〜１４ミクロンの間の断面寸法を有している。さらに、前記光マイクロ導波路を構成するために、それぞれの伝送コアを構成する材料の屈折率は、それらを被覆する層の材料の屈折率よりも大きくなっている。
【００２７】
変形例として、光マイクロ導波路は、前記ブロックの表面と同一面に形成することもできる。しかし、一般的には、それらは上記表面の下側に位置する。
【００２８】
さらに、装置１は光ファイバ１２を備えており、該光ファイバ１２の両端部１２ａ、１２ｂは、構造物の前記表面の上側を経て、刳り抜かれた切欠き９及び１０内に縦向きに係合にすると共に、両端部１２ａ、１２ｂの端面が切欠き９及び１０の面９ａ及び１０ａに接続している。光ファイバ１２のこれらの端部１２ａ及び１２ｂは、たとえば、接合剤により、刳り抜かれた切欠き９及び１０に固定されている。図示のように、光ファイバはまっすぐ伸びた状態にはなっておらず、はっきりとした二重の湾曲からなるＳ字形の湾曲部分を有している。切欠きから取り出される光ファイバは２つの湾曲部分を経由している。
【００２９】
このように、切欠き９及び１０に係合する端部間に亘って延びる光ファイバ１２は、各切欠き９及び１０から上方に延び出し、ブロック１１の上面１１ａ部分を、一定の距離以上をおいて跨っている。上記上面１１ａ部分は、上記両切欠き９及び１０を分断すると共に下側に縦長の集積光マイクロ導波路４が配置されている。
【００３０】
図示のように、ブロック３の縦長の切欠き９及び１０は断面形状がＶ字形に形成され、光ファイバ１２の伝送コア１２ａは、その端部分１３及び１４が、集積光マイクロ導波路７及び８の伝送コア７ａ及び８ａと一直線上になっている。
【００３１】
前記説明から、集積光マイクロ導波路７、光ファイバ１２及び集積光マイクロ導波路８を一方向又は他方向に伝わる光波は、集積光マイクロ導波路４を一方側から他方側へ乗り越え、一方、上記集積光マイクロ導波路４内では、別の光波が一方向又は他方向に伝わる。
【００３２】
図４及び図５は、光切換装置を形成すると共に図１及び図３に示した光波伝送装置を利用した光波伝送装置１５を示している。
【００３３】
この装置１５は、ブロック１７内に集積されると共に同じ平面内に形成されたた光マイクロ導波路を有する構造物１６から構成されている。第１の集積光マイクロ導波路１８はＳ字状の伝送コア１８ａを有しており、該伝送コア１８ａは、その端部１９及び２０が縦長に延びると共に横方向に互いにずれている。
【００３４】
連結集積光マイクロ導波路２１は、光マイクロ導波路１８の端部分２０と一直線状に配置された伝送コア２１ａを有しており、連結集積光マイクロ導波路２２は、光マイクロ導波路１８の端部分１９と一直線状に配置された伝送コア２２ａを有している。連結光マイクロ導波路２１及び２２は、光マイクロ導波路１８のの各側方であって光マイクロ導波路１８から一定距離隔てた個所に位置している。
【００３５】
集積光マイクロ導波路２１及び２２の対向端部は、図１及び図３で述べたように光ファイバ２３を介して接続しており、この光ファイバ２３は、下側に集積光マイクロ導波路１８を配置したブロック１７の表面を跨っている。
【００３６】
第２及び第３の集積光マイクロ導波路２４及び２５は、前述のように前記各集積光マイクロ導波路によって構成された組立体の両側に、縦向きに延びる伝送コア２４ａ及び２５ａを有している。
【００３７】
さらに構造物１６は、前記各集積光マイクロ導波路及び光ファイバ２３からなる組立体が納まる領域の各側部に、４つの補助集積光マイクロ導波路２６，２８，３０及び３２を有している。これら補助集積光マイクロ導波路２６，２８，３０及び３２は、縦向きに延びると共に、下記手段によって前述の光マイクロ導波路に選択的に接続することができる。
【００３８】
補助光マイクロ導波路２６の伝送コア２６ａは、光学スイッチ２７を介して、連結マイクロ導波路２１の伝送コア２１ａまたは連結マイクロ導波路２４の伝送コア２４ａのいずれかに、選択的に、光学的に接続することができる。
【００３９】
補助光マイクロ導波路２８の伝送コア２８ａは、光学スイッチ２９を介して、連結マイクロ導波路１８の伝送コア１８ａの端部分１９、または連結マイクロ導波路２５の伝送コア２５ａのいずれかに、選択的に、光学的に接続することができる。
【００４０】
補助光マイクロ導波路３０の伝送コア３０ａは、光学スイッチ３１を介して、連結マイクロ導波路１８の伝送コア１８ａの端部分２０、または連結マイクロ導波路２４の伝送コア２４ａのいずれかに、選択的に、光学的に接続することができる。
【００４１】
補助光マイクロ導波路３２の伝送コア３２ａは、光学スイッチ３３を介して、連結マイクロ導波路２２の伝送コア２２ａ、またはマイクロ導波路２５の伝送コア２５ａのいずれかに、選択的に、光学的に接続することができる。
【００４２】
ここで図５を参照して光学スイッチ２７の実例を説明するが、光学スイッチ２９，３１及び３３についても同様な構造を有する。
【００４３】
ブロック１７は空洞３４を有しており、該空洞３４内には縦長の可撓性のあるビーム３５が前記空洞３４の垂直壁３６に片持状に支持されている。ビーム３５の端面３７はビーム長さ方向に対して垂直に形成されると共に、空洞３４の垂直端面３８に対して短い間隔をおいて平行に延びている。前記空洞３４の垂直端面３８は垂直壁５と平行であり、前記両面３７，３８間にスペース３９を形成している。
【００４４】
光マイクロ導波路２６ａは、ビーム３５に沿ってビーム３５の端部３７まで設けられている。
【００４５】
光マイクロ導波路２１ａ及び２４ａは、空洞３４の端面３８において空洞３４に開口している。
【００４６】
可撓性のあるビーム３５は作動部材４０を備えており、該作動部材４０は、特に、特許ＦＲ−Ａ９０／０３９０２で提案され、さらに詳しくは、以下の手段によって形成されている。
【００４７】
空洞３４内において、可撓性のあるビーム３５は、その端部３７から短い間隔を置いた位置に横向きアーム４１を有しており、該横向きアーム４１は、両側に縦向きの枝４２及び４３をそれぞれ支持している。各枝４２及び４３は互いに一定距離をおいた位置に形成されており、これにより空洞３４の両端垂直壁に枝４４及び４５を突設できるようになっている。
【００４８】
一方の枝４２及び４３の対向垂直面と、他方の枝４４及び４５の対向垂直面には、容量性又は誘導性駆動部材４０ａの電極を形成するように金属層（図示せず）が被覆されている。これらの電極は、給電線（図示せず）に、たとえばトラック及び／又はワイヤブリッジ（図示せず）を介して接続している。
【００４９】
駆動部材４０は、次のような手段によって電気的に制御できるように設計されている。すなわち、可撓性のあるビーム３５は、補助光マイクロ導波路２６の伝送コア２６ａの端面が連結光マイクロ導波路２１の伝送コア２１ａの端面に光学的に接続する位置と、光マイクロ導波路２４の伝送コア２４ａの端面に光学的に接続する位置との２つの端位置に亘って変形可能となっている。
【００５０】
図４に示す構造は、結局、２つの光チャンネルを切り換えるための光切換装置を形成しており、２つのチャンネル内では、入ってくる光波と出て行く光波が同じ縦向き方向に伝送されるようになっている。
【００５１】
このことは、スイッチ２７，２９，３１及び３３を駆動するための装置４０ａを選択的に制御することによって、いかなる光マイクロ導波路も交錯することなく、光入力／出力マイクロ導波路２６及び２８を補助出力／入力光マイクロ導波路３０及び３２に選択的に接続することができる。その理由は、光マイクロ導波路１８の上方を越えるブリッジを構成する光ファイバ２３が存在しているからである。
【００５２】
図６を参照して光波伝送装置４６を説明する。該装置４６は光切換装置を形成すると共に、図１〜図３を参照に既に説明した光波伝送装置の構造を採用している。
【００５３】
装置４６の構造物４８の集積光マイクロ導波路を備えたブロック４７ａは空洞４９を有しており、該空洞４９内には、前記図５を参照して説明したように、片持ち状の縦向きビームが配設されている。該装置のビーム５０は、横方向に互いに間隔を置いて配設された４つの縦長の枝５１，５２，５３及び５４から構成されている。そうして、各枝５１，５２，５３及び５４の端面は、空洞４９の横断壁５５から短い間隔を置いている。ビーム５０の硬さは枝５１−５４の断面によって決定される。
【００５４】
ビーム５０の枝５１−５４は、それらの端部の近くで横断部材６０，６１及び６２を介して連結している。横向きの枝５４は、作動部材６４に接続された横向きのアーム６３を支持している。上記作動部材６４は、たとえば、図５を参照に説明した例の作動部材４０と同様である。
【００５５】
そうして、その例のように、ビーム５０を形成する枝５１−５４は、駆動部材６４によって水平方向に移動可能に空洞４９の前記面５５に対向している。
【００５６】
さらに構造物４８は、ビーム５０の端部に対向するブロック４７部分に、２つの集積光マイクロ導波路６５及び６６を有している。これら集積光マイクロ導波路６５及び６６の伝送コア６５ａ及び６６ａは馬蹄形に形成され、集積光マイクロ導波路６５及び６６の伝送コア６５ａ及び６６ａの端部は、空洞４９の壁５５を通して空洞４９内に縦向きに開口し、一方は枝５１及び５２に対向し、他方は枝５３及び５４にそれぞれ対向している。
【００５７】
集積光マイクロ導波路６５及び６６の４つの端部分の近くには、４つの連結光マイクロ導波路６７，６８，６９及び７０が設けられ、それらの伝送コア６７ａ，６８ａ，６９ａ及び７０ａは縦向きに延びて壁５５を通って空洞４９に開口している。
【００５８】
一方の連結光マイクロ導波路６７及び７０と他方の連結光マイクロ導波路６８及び６９は、図１〜図３を参照に説明した構成にしたがって、光ファイバ７１及び７２によって光学的に接続している。
【００５９】
これらの光ファイバ７１及び７２は馬蹄形に湾曲しており、一方の光ファイバ７１が集積光マイクロ導波路６５を跨り、他方の光ファイバ７２が集積光マイクロ導波路６６を跨ることにより、それぞれブロック４７の表面の上を通過している。
【００６０】
作動部材６４はビーム５０を変形できるように設計されており、それにより横断部材６０−６２を介して連結されたビームの枝５１−５４が２つの端位置間を一緒に移動できるようになっている。
【００６１】
ビーム５０が一方の端位置に位置した時には、枝５１の光マイクロ導波路５６は、連結光マイクロ導波路６７及び７０並びに光ファイバ７１を介して枝５４の光マイクロ導波路５９に光学的に接続し、それと共に、枝５２の光マイクロ導波路５７は、連結光マイクロ導波路６８及び６９並びに光ファイバ７２を介して、枝５３の光マイクロ導波路５８に光学的に接続する。
【００６２】
ビーム５０が他方の端位置に位置した時には、枝５１の光マイクロ導波路５６は、光マイクロ導波路６５を介して枝５２の光マイクロ導波路５７に光学的に接続し、それと共に、枝５３の光マイクロ導波路５８は、光マイクロ導波路６６を介して枝５４の光マイクロ導波路５９に光学的に接続する。
【００６３】
図７に示された配置は、結局は、２つの光チャンネルに２つの光チャンネルを切り換え接続するための光切換装置であり、チャンネル内では、入ってくる光波と出て行く光波が、ビーム５０を介して縦向きに反対方向に伝送される。
【００６４】
図１〜図３を参照して説明した集積構造物２のブロック３に縦向き切欠き９及び１０を加工する手段は、例として切欠き９を採用し、図８及び図９に示す例に適用することもできる。
【００６５】
前記切欠き９内に端部７ｂを有する前記伝送コア７ａが、構造物の表面の端縁から一定距離をおいて延長するように、マイクロ導波路７を備えたブロック３ａが製作される。
【００６６】
次に、フォトリソグラフィ及びエッチング方法を用い、塹壕形の切欠き９を刳り抜く。この刳り抜き作業はたとえば、伝送コア７ａの端部分７ｃを数ミクロン切除し、端面９ａと反対端面を形成すると共に、光ファイバの横の支持部としての縦向き面を形成する。前記端面９ａ及び反対側の端面は、縦向きのコア７ａ及び切欠き９に対して直角方向に延びており、切欠き９の端縁は構造物の面１１の端縁までは至っていない。
【００６７】
そうすることにより、切欠き９の位置決めは、伝送コア７ａの端部７ｂの位置によっては影響を及ぼされない。さらに、伝送コア７ａの端面は、切欠き９の端壁９ａと正確に一致し、伝送コア７ａと光ファイバ１２の伝送コア１２ａの間を、光により高品質で接続することができる。
【００６８】
図１〜図３における構成の別の適用例（図示せず）として、集積構造物は、２つの入力チャンネルと２つの出力チャンネルとこれら入出力チャンネル間を選択的に変位するデマルチプレクサーと、１つ又は複数の特定の波長を伝送する各ラインと、光学的マルチプレクサーから構成されている。前述のように設けられた一つ又は複数の光ファイバを使用することにより、複数の入力チャンネルのうち１つの入力チャンネルの１つのラインから与えられた波長の光波を、別の出力チャンネルに導くように取り出すことが可能になる。
【００６９】
そのような配置は、光波の一部を一つのチャンネルから別のチャンネルに切り換えるためのスイッチを構成する。
【００７０】
本発明は上記構成例に限定されるものではない。請求項に記載された事項から外れない範囲で多くの変形例が可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に従った基本的な伝送装置の平面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ断面図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ断面図である。
【図４】図１乃至図３の装置を利用した切換光波伝送装置の平面図である。
【図５】図４の伝送装置の水平断面図である。
【図６】図４の伝送装置の側面図である。
【図７】図１乃至図３の装置を利用した別の切換光波伝送装置の平面図である。
【図８】図７の装置の側面図である。
【図９】製造中の状態を示す図１乃至図３の伝送装置の断面図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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