(57)【要約】本発明は、プラグ又はビア上のラインのオーバーラップが最小限になるか又はなくなる信頼性ある相互接続を形成する方法を提供する。１態様では、タングステン等の導電性材料からなるバリヤープラグがビア上に堆積され、ラインエッチング中のエッチストップを与え、ラインがビア上に整列していなくても、銅等の金属が周りの誘電体材料中に拡散するのを防止する。従って、バリヤープラグにより、相互接続の抵抗の減少を防止し、金属ラインを形成するのに反応性イオンエッチングを用いることが出来る。他の態様では、反応性イオンエッチング技術を用いて、金属ラインとバリヤー層を選択的にエッチングし、金属に、次にバリヤーに、次にビア又はプラグに選択性がある制御されたエッチング処理を提供する。
2004513502.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ビア上にラインを形成する方法において、
ａ）前記ビアの上側部分にエッチバリヤーを形成し、
ｂ）前記エッチバリヤーとビアの上に金属層を堆積し、
ｃ）前記ラインをエッチングする
ステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項２】
前記エッチバリヤーは、前記ビア上に金属を堆積することにより形成される請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記金属はタングステンである請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記タングステンは前記ビア上に選択的に堆積される請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記エッチバリヤーは、前記ビアの上面の一部を除去してそこに凹部を形成し、前記凹部内に導電性材料を堆積し、次に前記基板の上面を平面化して、前記凹部内にバリヤーを形成することにより形成される請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記凹部は、エッチング処理を使用して形成される請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記凹部は、化学機械的処理を使用して形成される請求項５に記載の方法。
【請求項８】
前記基板の前記上面は、化学機械的研磨を使用して平面化される請求項６に記載の方法。
【請求項９】
前記基板の前記上面は、化学機械的研磨を使用して平面化される請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記ビアと前記ラインは銅で出来ている請求項８に記載の方法。
【請求項１１】
前記ビアと前記ラインは銅で出来ている請求項９に記載の方法。
【請求項１２】
基板上に相互接続を形成する方法において、
ａ）基板の平面上と基板上に形成されたビア内に金属を堆積し、
ｂ）前記基板の前記平面から前記金属を除去し、
ｃ）前記ビア上に導電性バリヤーを堆積し、
ｄ）前記導電性バリヤーと前記基板の前記平面上にブランケット金属層を堆積し、
ｅ）前記ブランケット金属層内にラインをエッチングする
ステップを備えることを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記導電性バリヤーは、前記ビア上に選択的に堆積される請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ビア上に導電性バリヤー層を堆積する前に、前記ビアの上部に凹部を形成するステップを備える請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記凹部内に前記導電性バリヤーが堆積された後、前記基板の表面を平面化するステップを備える請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記凹部はエッチング処理を使用して形成される請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記凹部は、化学機械的処理を使用して形成される請求項１５に記載の方法。
【請求項１８】
前記ビアと前記ラインは銅で出来ている請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
前記ラインは、２つの異なる材料を選択的にエッチングするように調整したエッチング処理を使用して形成される請求項１２に記載の方法。
【請求項２０】
前記導電性バリヤーはタンタルからなり、前記金属は銅からなる請求項１２に記載の方法。
【請求項２１】
前記エッチングステップは、第１に塩素ベースの化学薬品を使用して前記銅をエッチングし、次にフッ素ベースの化学薬品を使用してタンタルからなる前記バリヤー層をエッチングするステップを備える請求項２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の技術分野）
本発明は、集積回路と他の電子デバイスの製造において、相互接続と他の導電性フィーチャを形成する方法と装置に関する。より詳しくは、本発明はオーバーラップなしの相互接続を形成する方法と装置に関する。
【０００２】
（関連技術）
この十年で、集積回路の設計と製造は、一貫して予測可能な進歩を遂げてきた。成功した改善の１つの要点は、集積回路（ＩＣ）デバイス間の導電経路を与える多層レベル相互接続技術である。大規模集積回路（ＶＬＳＩ）と超大規模集積回路（ＵＬＳＩ）技術における水平ラインと垂直コンタクト即ちバイアの寸法が小さくなったので、オーバーラップなしの相互接続を形成することの重要性が増した。オーバーラップなし（ｚｅｒｏ ｏｖｅｒｌａｐ）とは、プラグ又はビア上にラインが整合していることを言う。過去においては、ラインの幅はコンタクト即ちビアの直径より大きく、ラインのパターニングとエッチングの歪みによるビアとラインのミスアライメントを防止した。しかし、回路密度が増しフィーチャのサイズが小さくなったので、オーバーラップを少なくする又はなくすことが必要になった。
【０００３】
図１は、アルミニウム金属１層１０上の基板上に形成された標準のアルミニウム相互接続を示す。この相互接続を形成するのに使用する処理手順で、誘電体を通ってホールがエッチングされ、次に金属で充填されて、誘電体を通る導電経路が作られる。次に、第１に誘電体上に金属ブランケットを堆積し、次に金属ブランケットを選択的にエッチングして充填したホール間の金属ラインを残すことにより、充填したホール間に金属ラインが形成される。処理手順は、基板上に形成された金属１アルミニウム層１０を有し、その上に酸化珪素等の低誘電率の絶縁体１１が形成された基板の上に行われる。ビア１２がパターン化され、誘電体層内にエッチングされ、導電性金属１層１０が露出される。ビア内と低ｋ誘電体層上にライナー１３がコンフォーマルに堆積されて、接着層と核形成を与え、その上に化学蒸着（ＣＶＤ）を使用してタングステンを堆積してビアを充填することが出来る。タングステンは、化学蒸着（ＣＶＤ）を使用してブランケット層として堆積され、ビアを充填し基板の平面上にブランケット層を形成する。次に、化学機械的研磨（ＣＰＭ）処理又はタングステンエッチバック処理を行い、基板の平面からタングステンを除去し、ビアをタングステンで充填したままにする。次に、第１にチタン／窒化チタンライナー層１５を堆積し、次にその上に銅をドープしたアルミニウムを堆積することにより、基板の平面上にアルミニウムスタックが形成される。アルミニウムスタックは、物理蒸着（ＰＶＤ）技術を使用して堆積するのが好ましい。次に、ＰＶＤを使用してアルミニウムスタック上にチタン／窒化チタン層１７等の反射防止コーティング（ＡＲＣ）が堆積される。次に、ＡＲＣとアルミニウムスタックはパターン化され、エッチングされて、下に形成されたビア１２の上とその間のライン１９を残す。典型的には、反応性イオンエッチング（ＲＩＥ）を使用して、アルミニウムスタックとＡＲＣをエッチングして、ラインを形成する。このＲＩＥは、アルミニウムとチタンと窒化チタンに選択的である。ＲＩＥは、アルミニウムと良く作用し、まっすぐな側壁の良いラインを画成するように示される。ここで使用するＲＩＥ処理は、これらの金属に高い選択性を示し、タングステンには低く、従ってタングステンがＲＩＥ処理のエッチストップとして作用することが出来る。
【０００４】
しかし、金属ラインを形成するのに使用するＲＩＥストップは、典型的には１０％の不均一の割合があり、そのため誘電体材料上の基板に平面から全ての金属を確実に除去するためには、金属スタックを少なくとも１０％オーバーエッチングすることが必要である。その結果、ビアとラインに同じ材料を使用すると利点があるが、ラインとビアの間にミスアライメントがあると、ビアの一部もまたエッチングされ、相互接続の信頼性に悪影響を与える。
【０００５】
ＲＩＥ処理がラインスタックとビアを充填するタングステンの間で良い選択性を示すので、エッチングの要求と１０％の不均一性による限定を克服するため、ラインは典型的にはビアの直径より広く残される。こうすると、ラインの形成中はビアはエッチングされないことが保証される。ラインを形成するのに使用したエッチング処理は、アルミニウムに選択的であり、その間に延びる誘電体及び／又はタングステンに到達すると停止するからである。この場合のラインはビアの直径より広いので、パターニング処理による如何なるオフセットがあっても、ラインがビアの上に位置するという結果になる。更に、エッチング処理は、タングステンと比較してアルミニウムに高い選択性を有する場合がある。この場合、ラインが大きくオフセットすると、エッチング処理はタングステンのビア内に侵入しない。
【０００６】
デバイスの速度がより速くなる傾向にあり、回路密度を増加させる要求があるので、ラインとビアの間のオーバーラップを減少させ、さらにはなくし、材料をタングステンからアルミニウム及び／又は銅に変えることが必要になった。その結果、ビアとラインに同じ材料を使用でき、ラインとビアの間のオーバーラップを減少させることのできる相互接続を形成するプロセスを提供することが必要になった。
それゆえ、ビアとラインの間のミスアライメントに適応する金属相互接続を信頼性よく形成する方法と装置の必要性がある。
【０００７】
（発明の概要）
本発明は、一般にビアとラインの間がオーバーラップなしである相互接続を形成する方法と装置を提供する。本発明は、金属エッチング処理の選択性を使用して、ラインの形成中にビア内にオーバーエッチングすることを防止する。
【０００８】
１実施例では、充填されたビア上にエッチバリヤーが形成され、金属ラインがエッチングされるときエッチバリヤーとして作用する。この実施例では、誘電体層がパターン化され、エッチングされてそこを通るビアが形成される。次に、ビア内にバリヤー層がコンフォーマルに堆積され、金属（例えば、アルミニウムと銅、主に銅）が周囲の誘電体材料内に拡散するのを防止する。バリヤー層の上のビア内と基板の平面上に、金属が堆積される。ＣＶＤと、ＰＶＤ又は電気めっきの組合せ等の低温処理を使用して、金属を堆積するのが好ましい。次に、金属を化学機械的研磨、またはエッチバックして、基板の平面から金属を除去し、金属で充填されたビアを残す。次に、ビア上にエッチバリヤー層を堆積して、金属が次に堆積する誘電体材料内に拡散するのを防止し、ライン形成中エッチストップとして作用するようにする。エッチバリヤーは、タングステン等の導電性材料で形成されるのが好ましい。次に、第１にバリヤー層を堆積し、次にその上に金属層を体積することにより、ビアと基板の平面の上に金属スタックが堆積される。次に、金属層の上面上に反射防止コーティングが形成され、ラインがパターン化され金属スタック内にエッチングされる。エッチバリヤー材料と比較してビア内の金属（例えば、タングステンに対して銅）に大きい選択性を有するエッチング処理と化学薬品を使用して、ラインをエッチングし、バリヤー上で停止するようにする。
【０００９】
他の実施例では、ビアの充填中に基板の平面上に堆積された金属は、化学機械的研磨され、または十分にエッチバックされ、ビア内の金属の一部を除去し、ビアが形成される誘電体材料の上面より下のビアの上側部分に凹部を形成する。次に、基板上にバリヤー材料が堆積され、ビアの上に形成された凹部を充填し、ビアの上部の上にエッチバリヤーを形成する。次に、エッチバリヤーは、化学機械的研磨され、またはエッチバックされ、ビアの上面を基板と同一平面にする。次に、金属ビアとエッチバリヤーの上に金属スタックが形成され、そこを通ってラインがエッチングされる。
【００１０】
他の実施例では、ビアが金属で充填され、ＣＭＰ又はエッチバック処理を使用して平面化される。次に、充填されたビアと基板の平面の上にバリヤー層が形成される。次に、バリヤー層とそこを通ってエッチングされたラインとの上に金属スタックが形成される。第１にＡＲＣに、次に金属層に、次にバリヤー層に選択的なエッチング手順を使用する。エッチング手順と各プロセスの選択性を制御して、異なる化学薬品を使用して各層をエッチングすることにより、オーバーラップなしの相互接続を形成し、その結果ビア上にラインが形成することが出来る。
【００１１】
（発明の詳細な説明）
本発明の上述した態様、利点及び目的は、上に要約されているが、図面に示した実施例を参照することにより、詳細に理解できるであろう。
しかし、添付する図面は本発明の典型的な実施例を示すものであり、本発明を制限するものではない。本発明は、他の同様に有効な実施例もあるからである。
【００１２】
本発明は、一般的には反応性イオンエッチングを使用して金属ラインを形成し、相互接続を形成する方法と装置を提供する。本発明の１態様では、堆積とエッチング前に、ビアの上にエッチバリヤーが形成され、その上にラインを作る。この態様では、導電性エッチバリヤーを選択的エッチング化学作用と組合せて使用し、僅かなミスアライメントがあっても、ビア内にオーバーエッチングすることなくラインを形成する。充填されたビアの上にエッチバリヤーが形成され、使用するエッチング処理のエッチストップを提供し、ラインを形成する。
【００１３】
本発明の他の態様では、バリヤー層とビアの上の金属スタックを形成する色々の材料に選択性があるエッチング手順が使用され、ラインが形成される。同じチャンバ内又は別のチャンバ内で少なくとも２つのエッチング化学薬品が使用され、金属を通ってエッチングされ、次にビアと基板の平面の上に形成されたバリヤー層を通ってエッチングされる。
公知の技術により、で来た構造の上に窒化珪素（ＳｉＮ）等又は他のパッシベーション層等のパッシベーション層を堆積するのが好ましい。
【００１４】
（銅上の自己整合バリヤー）
図２から１２は、本発明の１実施例による相互接続を形成する処理手順を示す基板の断面図である。図２は、導電性即ち金属層２４上に形成された誘電体層２２を示す。誘電体層２２を通ってビア２６が形成され、金属層２４まで延びる。金属層２４は、銅で出来ているのが好ましい。しかし、アルミニウムタングステン等の他の導電性材料を使用することも出来る。誘電体層２２は、酸化珪素、フッ素をドープした酸化珪素又はフッ化炭素等の低誘電率材料で出来ているのが好ましい。次に、図３に示すように、誘電体層２２の表面上とビア２６の中に、コンフォーマルバリヤー層２８が堆積される。バリヤー層２８は、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、または他の公知のバリヤー材料で出来ているのが好ましい。バリヤー層２８は、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社の提供するイオン化金属プラズマ（ＩＰＭ）プロセス等の高密度プラズマ物理蒸着を使用して堆積され、高アスペクト比（即ち、高さと幅の比）のフィーチャ内に良いコンフォーマルなカバレッジが出来るのが好ましい。しかし、物理蒸着、化学蒸着、無電解めっき、電解めっき等の他の技術を使用することも出来る。バリヤー層２８は、金属が周囲の誘電体材料内に拡散するのを防止し、周囲の誘電体上に良い接着層を提供し、その上に金属を堆積することができる。
【００１５】
次に、図４と５に示すように、ビア２６を銅等の金属で充填する。低温プロセスを使用するのが好ましく、第１に化学蒸着技術を使用して金属を堆積し、バリヤー層２８の上にコンフォーマルなウェッティング層３０を堆積する。次に、物理蒸着（ＰＶＤ）を使用してコンフォーマルなウェッティング層３０の上に、金属層２６を堆積して、ビア２６を完全に充填する。更に、電気めっきを単独で使用し、又はＣＶＤ又はＰＶＤシード層、又はＣＶＤ／ＰＶＤシード層の組合わせと組合せて使用して、ビアを充填することが出来る。これらの方法が好ましいが、公知の他の方法を用いることも出来る。ビアを充填すると、ビアの充填材料を基板の平面上（即ち、ビア間、コンタクト間等の誘電体層の表面上）に堆積することになる。
【００１６】
次に、図６に示すように、基板の平面上に形成された金属の一部（即ち、ビアの間の誘電体層２２の上面）が、化学機械的研磨又はエッチバックプロセスを使用して除去される。平面から金属を除去すると、金属を充填したビア３３が残り、バリヤー層２８が金属を充填したビアと誘電体層２２に間にある。次に、金属を充填したビア３３とバリヤー層２８の上面の上に第２のバリヤー層３４が選択的に堆積され、銅が誘電体内へ拡散するのを防止する。第２のバリヤー層３４は、タングステン等の導電性材料で出来ているのが好ましく、又は他の材料で導電性がありエッチング処理でビアとラインを充填するのに使用する材料に対して良い選択性が得られる材料出来ているのが好ましい。
【００１７】
次に、図８と９に示すように、第１にタンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン又はこれらの組合せ等からなる次のバリヤー層３６を堆積し、次に、その上に銅等の金属層３８を堆積することにより、ブランケット金属層３８が堆積される。次に、図１０に示すように、金属層３８の上に、タンタル、窒化タンタル、窒化タングステン、チタン、窒化チタン等の反射防止コーティング（ＡＲＣ）４０を堆積させることが出来る。次に、図１１に示すように、反応性イオンエッチング技術を使用して、ＡＲＣの上に金属ライン４２がパターン化されて形成され、下に形成されたビアを接続する。次に、図１２に示すように、フィーチャの上に窒化珪素層等のパッシベーション層４４が、コンフォーマルに堆積される。
【００１８】
（銅上にＣＭＰ又はエッチバックによるバリヤーを有するブランケットタングステン）
図１３から２４は、本発明による相互接続を形成するための処理手順の他の実施例を示す基板の断面図である。この実施例で、同様の層は同じ番号を付ける。図１３から１６は、前述した図２から５に示すのと同様のステップを示し、誘電体層２２内にビアを形成し、ビア内にコンフォーマルなバリヤー層２８を形成し、ビア内に金属を堆積することによりビアを充填するステップを含む。前述したように、２ステップ低温プロセスが好ましいが、電気めっき、ＣＶＤ、ＰＶＤ等の他の公知の蒸着技術を使用することも出来る。
【００１９】
次に、基板の上に形成された金属層３０，３２と、基板の平面上のバリヤー層２８が、反応性イオンエッチングを使用してエッチバックされるか、又は化学機械的研磨（ＣＭＰ）され、誘電体層２２に到達する。反応性エッチングの場合は、終了点が検出（即ち、平面から全ての材料がエッチングされる）されても、エッチングプロセスは継続され、図１７に示すように、ビア２６をオーバーエッチングし、ビアの上面に凹部３１を形成する。ＣＭＰを使用すると、ビア内にオーバーポリッシングが起こり、その上部内に凹部を形成するように、処理条件が調節される。次に、図１８に示すように、凹部３１内と基板の平面上に、第２のバリヤー層３４（好ましくは、タングステンで出来ている）が、ブランケット層として堆積され、凹部を充填する。次に、図１９に示すように、第２のバリヤー層３４が化学機械的研磨され、表面を平面化し、ビアの上面に形成された凹部内にバリヤープラグ３５を残し、平面からバリヤー材料を除去する。次に、図２０に示すように、プラグ３５と基板の平面の上にバリヤー層２８が形成される。次に、図２１に示すように、バリヤー層２８とバリヤープラグ３５の上に金属層３８が形成される（図９を参照して説明した）。次に、金属層３８の上に反射防止コーティング４０が堆積され（図２２に示す）、この組合わせが反応性イオンエッチングを使用してエッチングされ、ラインを形成する（図２３に示す）。次に、図２４に示すように、ライン上に窒化珪素層等のパッシベーション層４４を堆積するのが好ましい。
【００２０】
（タンタル上と銅上のスタックエッチストップ）
図２５から３４は、本発明により相互接続を形成するための処理手順の他の実施例を示す基板の断面図である。この実施例で、同様の層は同じ番号を付ける。図２５から２８は、前述した図３から６に示すのと同様のステップを示し、誘電体層２２にビアを形成し、ビア内にコンフォーマルなバリヤー層２８を形成し、ビア内に金属を堆積することによりビアを充填するステップを含む。前述したように、２ステップ低温プロセスが好ましいが、他の公知の蒸着技術を使用することも出来る。次に、ＣＰＭを使用して基板を平面化する。次に、図２９に示すように、基板の平面とビアの上面を含む基板表面の上に、Ｔａ／ＴａＮ層２８等のバリヤー層が形成される。次に、図３１に示すように、バリヤー層２８の上に、金属層３８とＡＲＣ層４０からなる金属スタックが形成される（前述した）。
【００２１】
次に、１つのチャンバ又は２つのチャンバ内で、少なくとも２つの異なる化学薬品を使用して、金属スタックとバリヤー層がエッチングされる。銅相互接続の場合、図３３に示すように、タンタル又は窒化タンタルに対して銅に選択的な塩素ベースの反応性イオンエッチング処理を使用して、銅ラインをエッチングする。この化学薬品は、銅に選択的で、バリヤー層２８の上で停止する。このバリヤー層は、タンタル又は窒化タンタルで出来ているのが好ましい。いったん、銅エッチング処理の終了点が検出され即ち求められると、フッ素ベースの化学薬品を使用して、バリヤー層２８をエッチングし、誘電体層２２と銅ビア３３に到達する。塩素ベースガスには、ＳｉＣｌ４、ＢＣｌ３、ＨＣｌ、Ｃｌ２等がある。フッ素ベースガスには、ＣＨＦ３、ＣＦ４等がある。
【００２２】
例１
次の例は、ＡＳＭから入手できるフォトリソグラフ機と、カリフォルニア州サンタクララのアプライドマテリアルズ社から入手できる一体化Ｅｎｄｕｒａ処理システム（ＩＭＰ ＰＶＤ Ｔａ／ＴａＮチャンバ、ＣＶＤ Ｃｕチャンバ、ＰＶＤ Ｃｕチャンバ、その上のＣＶＤ Ｗチャンバを有する）と、アプライドマテリアルズ社から入手できるＣｅｎｔｕｒａ ＤＰＳ ＲＩＥ金属エッチングシステムとを使用して行われた。
導電性層の上に酸化珪素層（ＳｉＯ２）が形成された基板を使用して、本発明の１実施例による相互接続を形成した。誘電体を通って幅０．３５μｍ、高さ１．２μｍのビアがエッチングされた。基板をＥｎｄｕｒａ処理システムに入れ、３５０℃で約４０秒間脱ガスした。
【００２３】
次に、基板をアプライドマテリアルズ社のプレクリーンＩＩチャンバへ移送し、そこで、パターン化した誘電体の表面から約２５０Åが除去された。
次に、清浄化された基板は、窒化タンタル高密度プラズマ物理蒸着（ＨＤＰ−ＰＶＤ）チャンバへ移送され、そこで、ビア内と基板の平面上にタンタル／窒化タンタル／タンタルからなるバリヤー層をコンフォーマルに堆積した。初めには、チャンバ内にアルゴンプラズマがあり、初めに基板上にタンタルが堆積された。次に、チャンバ内に窒素を流入させ、タンタル上に窒化タンタルを堆積した。次に、窒素の供給を止め、窒化タンタル上にタンタルをスパッタ堆積した。
【００２４】
次に、基板を銅ＣＶＤチャンバ内へ移送し、そこで、化学蒸着（ＣＶＤ）技術を使用して、ビア内にコンフォーマルなウェッティング層が堆積された。チャンバ内の圧力は約１から５Ｔｏｒｒの間であり、基板温度は約２６０℃に保持された。銅のソースとして、Ｃｕ（Ｉ）ｈｆａｃ　ｔｍｖｓを使用した。ソースの液体は、Ｈｅ、Ｈ２、又はＡｒ等のキャリヤーガスと共に約０．２５から２．０ｍｌ／分で流された。
【００２５】
次に、基板を銅ＰＶＤチャンバへ移送し、そこで低温（即ち、４５０℃未満）ＰＶＤ技術を使用して、ビアは完全に充填された。
次に、基板を化学機械的研磨システムに移動し、銅層をバリヤー層まで平面化し、次にバリヤー層を低ｋの誘電体まで平面化した。
【００２６】
又は、基板をアプライドマテリアルズ社のＤＰＳエッチバックチャンバに入れ、そこで基板の平面上に堆積した銅層とバリヤー層を除去することも出来る。
次に、基板をＷｘＺ　ＣＶＤチャンバへ移動し、そこで、銅ビアの上とビア内に配置された窒化タンタルバリヤー層の上に、タングステンバリヤー層が選択的に堆積された。
【００２７】
次に、基板をＰＶＤ　Ｔａ／ＴａＮチャンバへ移動し、タンタル、窒化タンタル、タンタルからなる他のバリヤー層を基板の上に堆積し、次にその上に形成される銅ラインのための、底部バリヤー層を形成する。
次に、基板をＣｕ　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、ＰＶＤ技術を使用して、バリヤー層の上に約１．２μｍの銅ブランケット層を堆積した。ターゲットバイアス出力は約２から約１０ｋＶ、圧力は約０．１から約１５ｍＴｏｒｒで、処理が行われた。
【００２８】
次に、基板をＴａ／ＴａＮ　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、銅ブランケット層の上に反射防止コーティング（ＡＲＣ）を堆積し、次に銅ラインをパターン化するのに使用するフォトリソグラフィーステップの解像度を向上させる。
酸化物ハードマスクを使用してＡＲＣをパターン化し、ＡＲＣと銅ブランケット層はエッチングされて、下に形成されたプラグ上にラインを画成する。研磨プロセス又はエッチバックプロセスのＷ−Ｃｕの選択性は約４：１より大きいのが好ましい。塩素ベースエッチング処理を使用して銅ラインがエッチングされた。
【００２９】
例２
例１と同じ装置を使用して、この例の処理手順を行った。ただし、タングステンＣＶＤチャンバは、アプライドマテリアルズ社のタングステンＰＶＤチャンバで置き換えた。
導電性層の上に酸化珪素層（ＳｉＯ２）が形成された基板を使用して、本発明の１実施例による相互接続を形成した。誘電体を通って幅０．３５μｍ、高さ１．２μｍのビアがエッチングされた。基板をＥｎｄｕｒａ処理システムに入れ、３５０℃で約４０秒間脱ガスした。
【００３０】
次に、基板をアプライドマテリアルズ社のプレクリーンＩＩチャンバへ移送し、そこで、パターン化した誘電体の表面から約２５０Åが除去され、ビア／コンタクトの底部に形成された任意の酸化物が確実に除去された。
次に、清浄化された基板は、タンタル／窒化タンタル高密度プラズマ物理蒸着（ＨＤＰ−ＰＶＤ）チャンバへ移送され、そこで、ビア内と基板の平面上にタンタル／窒化タンタル／タンタルからなるバリヤー層をコンフォーマルに堆積した。
【００３１】
次に、基板を銅ＣＶＤチャンバへ移送し、そこで、例１と同様の化学蒸着（ＣＶＤ）技術を使用して、ビア内にコンフォーマルなウェッティング層が堆積された。
次に、基板を銅ＰＶＤチャンバへ移送し、そこで低温（即ち、４５０℃未満）ＰＶＤ技術を使用して、ビアは完全に充填された。
【００３２】
次に、基板をアプライドマテリアルズ社のエッチバックシステムに入れ、そこで、基板の平面上の銅層が除去された。ビアをオーバーエッチングし、ビアの上面に凹部が形成されるまで、エッチング処理を継続した。
【００３３】
次に、アプライドマテリアルズ社のプレクリーンＩＩチャンバで基板を脱ガスし、事前清浄化した。
次に、基板をタングステンＰＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、銅ビアの上と基板の平面上の窒化タンタルバリヤー層の上にタングステンバリヤー層を堆積した。タングステンターゲットを使用し、アルゴン流量は約１から約５０ｓｃｃｍで、ターゲットのバイアスは約５００Ｗから約１６ｋＷで処理が行われた。
【００３４】
次に、基板をＣＭＰシステム内へ移動し、そこで基板の平面からＷを除去して、ビアに形成された凹部に薄いタングステンプラグを形成した。
次に、基板をＴａＮ　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、例１と同様のＰＶＤ技術を使用して、タングステンプラグと平面の上にＴａＮ層を堆積した。
次に、基板をＣｕ　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで、例１と同様のＰＶＤ技術を使用して、ＴａＮ層の上に銅ブランケット層を堆積した。
【００３５】
次に、基板をＴａ／ＴａＮ　ＰＶＤチャンバ又はＷＮ　ＣＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、銅ブランケット層の上に反射防止コーティング（ＡＲＣ）を堆積し、次に銅ラインをパターン化するのに使用するフォトリソグラフィーステップの解像度を向上させる。
ＡＲＣをパターン化し、ＡＲＣと銅ブランケット層はエッチングされて、下に形成されたプラグ上にラインを画成する。図３０に出来た構造を示す。
【００３６】
例３
例１と同じ装置を使用して、この例の処理手順を行った。ただし、タングステンＣＶＤチャンバは、アプライドマテリアルズ社のタングステンＰＶＤチャンバで置き換えた。
導電性層の上に酸化珪素層（ＳｉＯ２）が形成された基板を使用して、本発明の１実施例による相互接続を形成した。誘電体を通って幅０．３５μｍ、高さ１．２μｍのビアがエッチングされた。基板をＥｎｄｕｒａ処理システムに入れ、３５０℃で約４０秒間脱ガスした。
【００３７】
次に、基板をアプライドマテリアルズ社のプレクリーンＩＩチャンバへ移送し、そこで、パターン化した誘電体の表面から約２５０Åが除去された。
次に、清浄化された基板は、タンタル／窒化タンタル高密度プラズマ物理蒸着（ＨＤＰ−ＰＶＤ）チャンバ（ＩＭＰチャンバといわれる）へ移送され、そこで、ビア内と基板の平面上にタンタル／窒化タンタル／タンタルからなるバリヤー層をコンフォーマルに堆積した。
【００３８】
次に、基板を銅ＣＶＤチャンバへ移送し、そこで、前述した化学蒸着（ＣＶＤ）技術を使用して、ビア内にコンフォーマルなウェッティング層が堆積された。
次に、基板を銅ＰＶＤチャンバへ移送し、そこで低温（即ち、４５０℃未満）ＰＶＤ技術を使用して、ビアは完全に充填された。
【００３９】
次に、基板をアプライドマテリアルズ社のＭｉｒｒａ ＣＭＰシステムに入れ、そこで、基板の平面上の銅層が除去された。
【００４０】
次に、アプライドマテリアルズ社のプレクリーンＩＩチャンバで基板を脱ガスし、事前清浄化した。
次に、基板をタンタル／窒化タンタル　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、基板と銅ビアの上にタンタル／窒化タンタルバリヤー層を堆積した。
【００４１】
次に、基板をＣｕ　ＰＶＤチャンバへ移動し、そこで、ＰＶＤ技術を使用して、ＴａＮ層の上に銅ブランケット層を堆積した。
【００４２】
次に、基板をＴａ／ＴａＮ　ＰＶＤチャンバ又はＷＮ　ＣＶＤチャンバへ移動し、そこで次に、銅ブランケット層の上に反射防止コーティング（ＡＲＣ）を堆積し、次に銅ラインをパターン化するのに使用するフォトリソグラフィーステップの解像度を向上させる。
ＡＲＣをパターン化し、ＡＲＣと銅ブランケット層は、ＳｉＣｌ４、ＨＣｌ、ＢＣｌ３等を有する塩素ベースの化学薬品を約５０〜２５０ｓｃｃｍの流量で流してエッチングし、平面上に銅ラインを作る。圧力は約５ｍＴｏｒｒから約５０ｍＴｏｒｒに保持され、基板温度は約１５０〜９００Ｗに保持され、電源出力は約８００〜１８００Ｗでチャンバに送られた。次に、ＣＨＦ３又はＣＦ４からなるフッ素ベースの化学薬品を使用し、塩素ベースのエッチング処理と同様の処理パラメータを使用して、平面上のタンタル／窒化タンタルバリヤー層が除去された。
【００４３】
本発明の好適な実施例について述べてきたが、本発明の基本的な範囲から離れることなく、本発明の他の実施例を考えることが出来る。本発明の範囲は、特許請求の範囲により決められる。
【図面の簡単な説明】
【図１】標準の相互接続の断面図。
【図２】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図３】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図４】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図５】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図６】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図７】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図８】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図９】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図１０】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図１１】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図１２】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の１つの手順を示す断面図。
【図１３】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１４】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１５】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１６】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１７】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１８】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図１９】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２０】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２１】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２２】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２３】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２４】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の他の手順を示す断面図。
【図２５】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図２６】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図２７】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図２８】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図２９】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３０】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３１】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３２】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３３】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３４】導電性金属層の上に形成されたオーバーラップなしのプロセスを示す本発明の別の手順を示す断面図。
【図３５】本発明の１実施例により形成された相互接続を示すＳＥＭ写真。
【図３５】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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