(57)【要約】本発明は、一般的に、材料処理装置に関し、より詳細には、そこで使用されるノズルならびにこのようなノズルを通るフローを制御するための装置および方法に関する。本発明は、例えば、ワークピースにおいて作製される切断部の品質および正確性を改善するガス速度プロフィールを作り出すバッフルを有するノズルを備える、材料処理装置を特徴とする。さらに、ノズルは、材料処理装置の構成要素であるエネルギービームの軸とそのノズル自体を整列させ、さらに、正確性を改善しそしてその操作寿命を増加する。
2004514560.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料処理装置であって、以下：
エネルギービームを提供する、エネルギー供給源；
流体および該エネルギービームを通過させるため流体供給源および該エネルギー供給源と連絡した、処理ヘッドアセンブリ；
該処理ヘッドアセンブリに配置されたノズルであって、該ノズルは、該流体および該エネルギービームが通過する中央出口オリフィスを規定する、ノズル；
該中央出口オリフィスを通過する該流体のフローを構成するために、該ノズルに対して配置された、設置可能なバッフル、
を備える、材料処理装置。
【請求項２】
前記エネルギー供給源が、プラズマ供給源を含み、そして前記エネルギービームが、プラズマを含む、請求項１に記載の材料処理装置。
【請求項３】
前記エネルギー供給源が、レーザー供給源を含み、そして前記エネルギービームが、レーザービームを含む、請求項１に記載の材料処理装置。
【請求項４】
前記処理ヘッドアセンブリが、前記流体を受容するためのチャンバをさらに含む、請求項１に記載の材料処理装置。
【請求項５】
前記チャンバが、プレナムである、請求項４に記載の材料処理装置。
【請求項６】
前記チャンバが、プラズマチャンバである、請求項４に記載の材料処理装置。
【請求項７】
請求項１に記載の材料処理装置であって、前記設置可能なバッフルが、前記エネルギービームの伝搬の軸に対して垂直な開口部を規定し、該開口部が、前記中央出口オリフィスと実質的に一致し、そして該開口部が、該エネルギービームの断面と実質的に等しい寸法を有する、材料処理装置。
【請求項８】
処理ヘッドアセンブリあって、以下：
流体を受容するためのチャンバ：
該チャンバと流体連絡するノズルであって、該ノズルは、該流体が通過する中央出口オリフィスを規定する、ノズル；および
該中央出口オリフィスを通過する該流体のフローを構成するために、該ノズルに対して配置された、設置可能なバッフル、
を備える、処理ヘッドアセンブリ。
【請求項９】
前記チャンバが、プレナムである、請求項８に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１０】
前記チャンバが、プラズマチャンバである、請求項８に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１１】
請求項８に記載の処理ヘッドアセンブリであって、前記設置可能なバッフルが、開口部に衝突するエネルギービームの伝搬の軸に対して垂直な開口部を規定し、該開口部が、前記中央出口オリフィスと実質的に一致し、そして該開口部が、該エネルギービームの断面と実質的に等しい寸法を有する、処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１２】
前記エネルギービームが、プラズマを含む、請求項１１に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１３】
前記エネルギービームが、レーザービームを含む、請求項１１に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１４】
請求項８に記載の処理ヘッドアセンブリであって、前記設置可能なバッフルが、前記フローの速度分布を構成するように意図された、分布粘性構造を備える、処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１５】
前記分布粘性構造が、金属エレメントをさらに備える、請求項１４に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１６】
前記分布粘性構造が、グリッドをさらに備える、請求項１４に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１７】
前記分布粘性構造が、浸透膜をさらに備える、請求項１４に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１８】
前記分布粘性構造が、多孔性膜をさらに備える、請求項１４に記載の処理ヘッドアセンブリ。
【請求項１９】
レーザーを備えた材料処理装置において使用するためのノズルであって、該ノズルが、以下：
軸を形成する本体であって、該本体は、処理ヘッドアセンブリに設置された場合、隣接構造と嵌合させるために、予め決められた軸の範囲にわたって形作られた外部表面を有し、処理ヘッドアセンブリの軸と該ノズルの軸を整列させる、本体、
を備える、ノズル。
【請求項２０】
材料処理装置に使用するための消耗品であって、該消耗品は、以下：
内部ノズル中央出口オリフィスを有する、内部ノズル成分；
該内部ノズル成分に外接し、該外部部材と該内部ノズル成分との間で確実な嵌合を達成するための外部部材であって、該外部部材は、該内部ノズル中央出口オリフィスと整列する外部中央出口オリフィスを有する、外部部材；および
該内部ノズル成分および該外部部材に対して配置された設置可能なバッフルであって、該設置可能なバッフルは、該内部ノズル中央出口オリフィスおよび該外部中央出口オリフィスと一致する、設置可能なバッフル、
を備える、消耗品。
【請求項２１】
前記外部部材が、外部ノズルをさらに備える、請求項２０に記載の消耗品。
【請求項２２】
前記外部部材が、シールドをさらに含む、請求項２０に記載の消耗品。
【請求項２３】
請求項２０に記載の消耗品であって、前記設置可能なバッフルが、以下：
一定量のバッフル材料；および
バッフル材料の第１部分を、前記内部ノズル中央出口オリフィスから離れた位置まで移動させ、そしてバッフル材料の第２部分を、該内部ノズル中央出口オリフィスと一致する位置まで移動させる、機構、
を備える、消耗品。
【請求項２４】
請求項２３に記載の消耗品であって、前記機構が、以下：
バッフル材料の前記第１部分が配置される、バッフル供給リール；および
バッフル材料の前記第２部分が配置される、バッフル供給リール、
をさらに備える、消耗品。
【請求項２５】
請求項２０に記載の消耗品であって、該消耗品は、処理ヘッドアセンブリに設置した場合、隣接構造の嵌合するネジ山付き表面と係合するための、ネジ山付き表面をさらに備える、消耗品。
【請求項２６】
ノズル装置であって、以下：
中央出口オリフィスを規定するノズル；および
該ノズルオリフィスに対して配置された設置可能なバッフル、
を備える、ノズル装置。
【請求項２７】
前記設置可能なバッフルが、前記中央出口オリフィスと摩擦ばめを達成するような大きさのフレームをさらに備える、請求項２６に記載のノズル装置。
【請求項２８】
請求項２６に記載のノズル装置であって、前記設置可能なバッフルが、開口部に衝突するエネルギービームの伝搬の軸に対して垂直な開口部を規定し、該開口部が、前記中央出口オリフィスと実質的に一致し、そして該開口部が、該エネルギービームの断面と実質的に等しい直径を有する、ノズル装置。
【請求項２９】
処理ヘッドアセンブリに使用するために、ノズルに対して配置された設置可能なバッフルを形成する方法であって、該方法は、以下：
前記ノズルの中央出口オリフィスに対して設置可能なバッフルを固定する工程；
エネルギー供給源からエネルギービームを放射する工程；および
該設置可能なバッフル上に該エネルギービームを向け、該設置可能なバッフルの一部を選択的に除去し、これにより、前記中央出口オリフィスと一致するバッフル開口部を規定する、工程、
を包含する、方法。
【請求項３０】
前記エネルギー供給源が、プラズマ供給源をさらに含み、そして前記エネルギービームが、プラズマをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３１】
前記エネルギー供給源が、レーザー供給源をさらに含み、そして前記エネルギービームが、レーザービームをさらに含む、請求項２９に記載の方法。
【請求項３２】
ワークピースを処理する方法であって、該方法は、以下：
エネルギー供給源を提供する工程；
チャンバを有する処理ヘッドアセンブリ、中央出口オリフィスを規定するノズル、および該ノズルに対して配置された設置可能なバッフルを提供する工程であって、該ノズルおよび該設置可能なバッフルが、該チャンバと流体連絡する、工程；
該エネルギー供給源を活性化して、該設置可能なバッフルおよび該中央出口オリフィスにエネルギービームを伝達させる工程；
設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスへと輸送し、そして該設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスを通して輸送するために、該チャンバへアシストガスを方向付け、これにより、該エネルギービームの断面を通るガスフローの速度に対して、該エネルギービームを取り囲む該ガスフローの速度を減速させる、工程；ならびに
該ワークピース上に該エネルギービームを方向付ける工程、
を包含する、方法。
【請求項３３】
前記エネルギー供給源が、プラズマ供給源をさらに含み、前記エネルギービームが、プラズマをさらに含み、そして前記チャンバが、プラズマチャンバである、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
前記エネルギー供給源が、レーザー供給源をさらに含み、前記エネルギービームが、レーザービームをさらに含み、そして前記チャンバが、プレナムである、請求項３２に記載の方法。
【請求項３５】
材料処理装置であって、以下：
ガス供給源；
レーザービームを供給するレーザー供給源；
該レーザー供給源と光通信する処理ヘッドアセンブリ；
該処理ヘッドアセンブリと流体連絡する、該ガスを受容するためのプレナム；
該処理ヘッドアセンブリに配置されたノズルであって、該ノズルが、該ガスおよび該レーザービームが通過する中央出口オリフィスを規定する、ノズル；ならびに
該中央出口オリフィスを通過するガスを調節するための該ノズルに配置された設置可能なバッフルであって、該設置可能なバッフルは、該レーザービームの伝搬の軸に対して垂直な開口部を規定し、該開口部は、該中央出口オリフィスと実質的に一致し、そして該開口部が、該レーザービームの断面と実質的に等しい寸法を有する、設置可能なバッフル、
を備える、材料処理装置。
【請求項３６】
処理ヘッドアセンブリであって、以下：
ガスを受容するためのプレナム；
中央出口オリフィスを規定する、該プレナムと流体連絡するノズル；
該中央出口オリフィスを通過するガスを調節するための該ノズルに配置された設置可能なバッフルであって、該設置可能なバッフルは、金属グリッドをさらに含み、そして開口部に衝突するエネルギービームの伝搬の軸に対して垂直な開口部を規定し、該開口部が、前記中央出口オリフィスと実質的に一致し、そして該開口部が、該レーザービームの断面と実質的に等しい寸法を有する、設置可能なバッフル、
を備える、処理ヘッドアセンブリ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の分野）
本発明は、一般的に、材料処理装置に関し、より詳細には、そこで使用されるノズルならびにこのようなノズルを通るフローを制御するための装置および方法に関する。
【０００２】
（関連出願の相互参照）
本発明の譲受人に譲渡された、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄ　ｏｆ　Ｉｍｐｒｏｖｅｄ　Ｃｏｎｓｕｍａｂｌｅ　Ａｌｉｇｎｍｅｎｔ　ｉｎ　Ｍａｔｅｒｉａｌ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ａｐｐａｒａｔｕｓ」と題される同時係属出願番号０９／６３１，８１４号が、本明細書中において参考として援用される。
【０００３】
（発明の背景）
材料処理装置（例えば、レーザーおよびプラズマアークトーチ）は、金属材料の切断、溶接、および加熱処理において広く使用される。レーザーベースの装置は、一般的に、ガスストリームおよびレーザービームが通過してワークピースと相互作用するノズルを備える。レーザービームは、ワークピースを加熱する。ビームおよびガスストリームの両方が、オリフィスを通ってノズルを出て、ワークピースの標的領域上に衝突する。ワークピースの得られる加熱は、ガスとワークピース材料との間の任意の化学反応と組み合わせて、ビームの焦点およびエネルギーレベルに依存して、ワークピースの選択された領域を加熱するか、液化するか、または気化するのに役立つ。この作用によって、操作者は、ワークピースを切断するかまたは他の方法で改変し得る。
【０００４】
同様に、プラズマアークトーチは、一般的に、電極が中に取り付けられるカソードブロック、中央出口オリフィスがトーチ本体内に取り付けられるノズル、電気接続、流体を冷却およびアーク制御するための通路、電極とノズルとの間に形成されるプラズマチャンバ内の流体フローパターンを制御するための渦流リング（ｓｗｉｒｌ　ｒｉｎｇ）、ならびに電源を備える。トーチは、プラズマアークを生成する。プラズマアークは、ノズルオリフィスを通って出て、ワークピース上に衝突する、高温および高い運動量を有するプラズマガスの制限されたイオン化ジェットである。トーチに使用されるガスは、非反応性（例えば、アルゴンまたは窒素）であり得るかまたは反応性（例えば、酸素または空気）であり得る。
【０００５】
任意の材料処理の結果が高い品質であることが一般的に望ましい。例えば、レーザーおよびプラズマ切断によって作製される切溝の縁部は、真っ直ぐで均一であるべきである。例えば、レーザーによるワークピースの非均一な加熱、アシストガス（ａｓｓｉｓｔ　ｇａｓ）とワークピースとの間の過剰な化学反応、または切断細片の不完全な除去によって引き起こされる縁部の不規則性は、最小化されるべきである。
【０００６】
処理品質を改善するための１つの方法は、エネルギービームと同時にワークピースに衝突するガスのフロー最適化することによる。このガス（時々、「アシストガス」または「切断ガス」と呼ばれる）は、単一ノズルまたは多数のノズルを通して供給され得る。単一ノズルの場合、アシストガスのフローは、所望のフロー特性を達成するためのノズルの輪郭によって最適化され得る（例えば、米国特許第６，１１８，０９７号および日本国特許第８１１８０６３号を参照のこと）。多数ノズル設計の場合、さらなるノズルは、個別の様式または軸対称の様式で中央ノズルの周りに分配され得る（例えば、米国特許第５，７８６，５６１号を参照のこと）。
【０００７】
酸素アシストレーザー切断の場合、アシストガスのフローは、液体の完全な除去を確実にする（あか（ｄｒｏｓｓ）を残さない）ための液化材料に十分な剪断力を提供するように調整されなければならない。同時に、ワークピース酸化のレベルは、過剰な材料の除去を妨げるように制御されなければならない。これらの２つの制限は、大部分のレーザー切断適用において、互いに対抗する。なぜなら、酸素速度は、液体金属をより効果的に除去するために増加されなければならないからである。それにもかかわらず、ノズル直径がレーザービーム、従って切溝の幅よりも大きいので、増加した酸素の速度は、切溝入口領域近くの動圧を増加し、これは、望まない材料の燃焼および乏しい切断品質を促進する。
【０００８】
システムの性能を改良するためにガス圧力を増加することは、欠点である。第１に、それは、ガスの消費を増加する。これは、切断装置の操作効率を下げる。
【０００９】
第２に、ガス圧力を増加することは、反応性ガスが使用される場合、「過剰燃焼」に起因するレーザー切断の幅を拡大し得る。レーザービームの寸法を越えて、増加した圧力がガスとワークピースとの間の反応の物理的範囲を（例えば、酸化を増強することによって）拡大するので、これは、生じる。これは、狭い切断が望ましい場合、材料処理工業において、一般的に望ましくない。
【００１０】
最後に、増加したガス圧力は、切溝の頂部領域を損傷する傾向があり、「ぎざぎざ（ｒａｇｇｅｄ）」または「ぎざぎさ（ｊａｇｇｅｄ）」の縁部を生じる。切断片が分離しない場合、この１つの現れが生じる。なぜなら、これらの隣接切断部面上の不規則性がつかまえられるからである。
【００１１】
多数のオリフィスを有するノズルは、ワークピース上での衝突のためのガスのフローを改変するために使用され得る。このようなノズルによって、代表的に、レーザービームおよびガスが、特大の（ｏｖｅｒｓｉｚｅｄ）中央オリフィスを通過し得る。中央オリフィスを取り囲む（同心的にまたは周辺的にのいずれか）いくつかの他のオリフィスはまた、ワークピースにガスを送達する。この一例は、いくつかのより小さな周辺オリフィスが大きな中央オリフィスを取り囲む「シャワーノズル」である。複数のオリフィスを有するノズルにおいて、他のオリフィスからそれぞれのオリフィスを分離することが可能である。これによって、例えば、各オリフィスが、独立したガスフローを異なる圧力でノズル下に配置されたワークピースの異なる領域に送達することを可能にする。ガスフローのこのような調節（ｔａｉｌｏｒｉｎｇ）によって、切断の品質は、改善され得る。例えば、高圧ガスフローによって有益となる切断の領域（例えば、切断の深い部分）は、その領域に隣接するノズルの１つ以上のオリフィスを通って送達され得るようなフローに供され得る。逆に、低い圧力のガスフローによってより良く供給されるワークピース領域（例えば、切溝の頂部領域）は、その領域に隣接する１つ以上の異なるオリフィスから低い圧力のフローを受け取る。高圧ガスフローおよび低圧ガスフローのこの送達は、同時に生じ、そして単一ノズルを通して提供され得る。しかし、複数のオリフィスを有するノズルは、製造が複雑になり得ることが注意されるべきである。さらに、特定のガスフローとワークピースの選択された領域との間で正確に位置づけることは、レーザービームとノズルの中心線との間の整列を維持することが必要である。これは、典型的なでこぼこした（ｒｕｇｇｅｄ）領域の環境で達成するのは困難であり得る。
【００１２】
切断の正確性もまた、材料処理装置の操作において重要である。例えば、ノズルオリフィスの中心線に対するレーザービームの配置は、正確性に影響する。切断方向に依存して、任意の間違った配置は、不適切な寸法および歪んだ縁部を有するワークピースに作製を生じ得る。ノズルオリフィスの非対称な装着はまた、代表的には、エンネルギー源がプラズマジェットである場合、ノズルの早い（ｐｒｅｍａｔｕｒｅ）交換を必要とする。ノズルの交換は、理想的には、代表的に、厳しい条件下の場で実行されるので、エネルギービームおよびガスフローの適切な整列が、迅速に、そして困難なく達成されることが望ましい。
【００１３】
上記から、高い品質の正確な切断部を作製するのに必要なガス速度プロフィールを生成し得る、低コストで容易に製造可能であり、そして容易に交換可能なノズルについての必要性が存在することが明かである。このようなノズルはまた、効率的な装置の操作を促進し、そしてレーザービームとの整列が容易であるべきである。
【００１４】
（発明の要旨）
本発明は、例えば、ワークピースにおいて作製される切断部の品質および正確性を改善するガス速度プロフィールを作り出すバッフルを有するノズルを備える、材料処理装置を特徴とする。さらに、ノズルは、材料処理装置の構成要素であるエネルギービームの軸とそのノズル自体を整列させ、さらに、正確性を改善しそしてその操作寿命を増加する。バッフルの較正およびノズルの整列は、使用者の介入がほとんどないか全くなく、本発明の操作を単純にし、これは、典型的なでこぼこした場の条件下で望ましい。
【００１５】
１つの実施形態において、材料処理装置は、エネルギービームを提供する、エネルギー源（例えば、レーザーまたはプラズマ源）を含む。このビームは、流体（例えば、アシストガス）を受け取るためのチャンバまたはプレナムを備える処理ヘッドアセンブリを通過する。処理ヘッドアセンブリはまた、中央出口オリフィスおよび設置可能なバッフルを有するノズルを備える。設置可能なバッフルは、ノズルの中央出口オリフィスに配置される。設置可能なバッフルは、ノズル中央出口オリフィスと実質的に一致した開口部を有し得、そしてビームの伝搬の軸に対して垂直である。この開口部は、ビームの断面積に実質的に等しい寸法を有するように、エネルギービームによって形成され得る。ビームおよび流体は、設置可能なバッフルおよびオリフィスを通過し、流体が、規定された速度のプロフィールでオリフィスを出る。
【００１６】
別の実施形態において、処理ヘッド装置は、流体を受け入れるためのチャンバまたはプレナム、中央出口オリフィスを有するノズル、および設置可能なバッフルを備える。流体は、設置可能なバッフルおよびオリフィスを通過し、規定された速度プロフィールでオリフィスを出る。設置可能なバッフルは、ノズルの中央出口オリフィスに配置される。設置可能なバッフルは、ノズル中央出口オリフィスに実質的に一致した開口部を有し得る。この開口部は、エネルギービーム（例えば、レーザービームまたはプラズマ）の伝搬の軸に対して垂直である。この開口部は、エネルギービームによって形成され得、そして結果として、ビームの断面積に実質的に等しい寸法を有する。
【００１７】
この設置可能なバッフルは、例えば、分散型の流れ抵抗構造体であり得る。幾つかの実施形態において、この構造体は、例えば、グリッドのように形成された金属部品を備え得る。他の実施形態において、この構造体は、浸透性または多孔性の膜であり得る。
【００１８】
別の実施形態において、レーザー装備した材料処理装置は、所定の軸方向の範囲にわたって輪郭をもつ表面を有するノズルを備える。処理ヘッドアセンブリに挿入される場合、このノズルの輪郭面は、隣接した構造体と嵌合し、それによって、ノズルの軸を処理ヘッドアセンブリの軸と整列させる。
【００１９】
別の実施形態において、本発明は、材料処理装置において使用される消耗品を特徴とする。この消耗品は、中央出口オリフィスを有するノズルおよびこのノズルを囲む外部部材を備える。この外部部材は、ノズル中央出口オリフィスと整列する外部中央出口オリフィスを有する。この実施形態において、設置可能なバッフルは、オリフィスと一致するノズルおよび外部部材に対して、配置される。この外部部材は、例えば、第２の（すなわち、「外部」）ノズルであり得、それによって二片のノズル構造体を形成する。この外部部材はまた、シールドであり得るが、これは、装置操作の間のノズルに対する損失を最小化するために使用され得る。この消耗品はまた、処理ヘッドアセンブリ内に挿入される際に隣接した構造体を係合するためのねじ切り面を有し得る。
【００２０】
さらなる実施形態において、この消耗品中の設置可能なバッフルは、ある量のバッフル材料を備える。このバッフル材料の一部は使用によって劣化するので、それは、ノズル中央出口オリフィスから離れて移動され得、バッフル材料の新しい部分と取り換え得る。このバッフル材料を移動するための機構として、例えば、未使用のバッフル材料を保持する供給リール（ｓｕｐｐｌｙ　ｒｅｅｌ）および使用済みのバッフル材料を受け取る取り込みリール（ｔａｋｅ−ｕｐ　ｒｅｅｌ）を備え得る。
【００２１】
別の実施形態において、本発明は、中央出口オリフィスおよびこのオリフィスに対して配置された設置可能なバッフルを有するノズルを特徴とする。この設置可能なバッフルは、例えば、中央出口オリフィスとの摩擦ばめを達成するような大きさにされたフレームを備え得る。好ましくは、この設置可能なバッフルは、中央出口オリフィスと実質的に一致する開口部を有する。上で議論されるように、この開口部は、このバッフルに衝突するエネルギービーム、またはこのバッフルを通過するエネルギービーム、またはその両方の伝播の軸に対して垂直である。この開口部は、このエネルギービームによって形成され、結果として、ビームの断面積に実質的に等価な寸法を有する。
【００２２】
なお別の実施形態において、本発明は、処理ヘッドアセンブリ内のノズルに対して設置された設置可能なバッフルを形成する方法を特徴とする。この方法は、例えば、設置可能なバッフルをこのノズルの中央出口オリフィスに固定する工程、エネルギー供給源からエネルギービームを放射する工程、およびこの設置可能なバッフル上にビームを方向付ける工程、を包含する。結果は、この設置可能なバッフルの一部の選択的な除去であり、それによって中央出口オリフィスと一致するバッフル開口部を規定する。このエネルギー供給源は、例えば、エネルギービームをそれぞれレーザービームまたはプラズマジェットにするレーザー源またはプラズマ源であり得る。
【００２３】
本発明の１実施形態は、ワークピースを処理する方法を特徴とする。この方法は、例えば、エネルギー源ならびにチャンバ、ノズル、および設置可能なバッフルを有する処理ヘッドアセンブリを提供する工程を包含する。この設置可能なバッフルは、代表的には、このノズルに対して配置され、このノズルは中央出口オリフィスを備える。ノズルおよび設置可能なバッフルの両方とも、チャンバと流体連通しており、このチャンバ内に補助ガスが方向付けられる。一般に、このエネルギー源は、設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスを通してエネルギービームを伝送するために活性化される。この補助ガスはまた、設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスを通して移動する。このガスは、代表的に、エネルギービームの断面を通る流速に対してエネルギービームを囲む領域内の設置可能なバッフルによって低減される流速で中央出口オリフィスを出る。上記のように、例えば、エネルギー源は、エネルギービームをそれぞれレーザービームまたはプラズマビームにするレーザー源またはプラズマ源であり得る。
【００２４】
例示の構成において、本発明の実施形態は、ガス源、レーザービームを提供するレーザー源、および処理ヘッドアセンブリを備える材料処理装置を特徴とする。この処理ヘッドアセンブリは、レーザー源と光通信しており、ガスを受容するプレナムと流体連通している。処理ヘッドアセンブリ内に、レーザービームおよびガスが通過する中央出口オリフィスを有するノズルが含まれる。中央出口オリフィスを通過するガス流を構成するために、設置可能なバッフルがノズルに対して配置される。この設置可能なバッフルは、レーザービームの伝播の軸に対して垂直であり、中央出口オリフィスと実質的に一致する開口部を有する。好ましくは、この開口部の寸法は、レーザービームの断面積に実質的に等価である。１実施形態において、これは、開口部をレーザービームに形成させることによって達成される。
【００２５】
別の例示の構成において、本発明の実施形態は、ガスを受容するためのプレナムおよびこのプレナムと流体連通するノズルを備える処理ヘッドアセンブリを特徴とする。このノズルは、中央出口オリフィスを備え、この設置可能なバッフルはこのノズルに対して配置される。この設置可能なバッフルは、例えば、金属製グリッド（例えば、スクリーン）であり得る。上で議論されるように、設置可能なバッフルは、レーザービームの伝播の軸に対して垂直であり、中央出口オリフィスと実質的に一致する開口部を有する。好ましくは、この開口部の寸法は、レーザービームの断面積と実質的に等価である。１実施形態において、これは、開口部をレーザービームに形成させることによって達成される。
【００２６】
本発明の他の局面および利点は、単なる例示の目的で本発明の原理を示す添付の図面を組み合わせて考慮することにより、以下の詳細な説明から明らかである。
【００２７】
本発明の上記および他の目的、特徴、および利点、ならびに本発明自体は、添付の図面と一緒に解釈すれば、種々の実施形態の以下の説明からより完全に理解される。
【００２８】
（詳細な説明）
例示の目的のための図面に示されるように、本発明に従うシステムは、ワークピースに作製される切断部の品質および精度を改善し、ユーザーによる較正および整列のための介入をほとんどまたは全く必要としない。本発明に従う材料処理装置のためのノズルは、それを通過する流体（すなわち、ガス）の流れを構成する設置可能なバッフルを備える。このバッフルは、例えば、処理装置によって発生する衝撃エネルギービームによって形成される開口部を有し得る。結果として、この開口部は、エネルギービームの断面と同軸であり、エネルギービームの断面積と実質的に等価な寸法を有する。この構成は、誤整列に関連した問題を回避する一方で、エネルギービーム内およびエネルギービームの周りの流体流れを合わせるための単純かつコスト有効な方法を表す。それはまた、ノズルと、バッフルと、使用される特定の材料処理装置との間の密接な適合を生じる。
【００２９】
図１は、材料処理システム１００の１実施形態の概略断面図を示す。エネルギー源１０２は、エネルギービーム１１０を生成し、それを処理ヘッドアセンブリ１０４に送達する。流体供給源１０６は、補助ガスのような流体を、処理ヘッドアセンブリ１０４に供給する。ノズル１０８は、処理ヘッドアセンブリ１０４内に配置される。この処理ヘッドアセンブリ１０４はまた、流体供給源１０６によって供給される流体を受容するためのチャンバ１１４を備え得る。ワークピース１１２を切断、溶接、熱処理、または他の方法で改変するために、このエネルギービーム１１０および流体は、ノズル１０８を通過し、ワークピース１１２上に衝突する。
【００３０】
１実施形態において、エネルギー源１０２は、プラズマ源であり、このエネルギービーム１１０は、プラズマである。別の実施形態において、このエネルギー源１０２は、レーザーであり、このエネルギービーム１１０は、レーザービームである。プラズマバージョンにおいて、チャンバ１１４は、プラズマチャンバの形態であり得る。レーザーバージョンにおいて、チャンバ１１４は、プレナムの形態であり得る。
【００３１】
図２は、処理ヘッド１０４およびノズル１０８のさらなる詳細を例示する。図２Ａは、ノズル１０８の一部の拡大図を提供する。このノズルは、中央出口オリフィス２０６を備える。設置可能なバッフル２０２は、ノズル１０８に対して配置される。この設置可能なバッフル２０２は、エネルギービーム１１０の伝播の軸に対して垂直であり、中央出口オリフィス２０６と実質的に一致する開口部２０４を備える。
【００３２】
１つの実施形態において、設置可能なバッフル２０２は、その最初の使用の前には、開口部２０４を含まない。設置可能なバッフル２０２の最初の使用の際に、エネルギービーム１１０がこのバッフルに衝突し、そして設置可能なバッフル２０２の一部を選択的に除去する。この部分は、エネルギービーム１１０の断面積と実質的に等価な寸法を有する。この選択的な除去が、開口部２０４を形成するので、この開口部もまた、エネルギービーム１１０の断面積と実質的に等価な寸法を有する。
【００３３】
設置可能なバッフル２０２は、ノズル１０８を通過する流体（例えば、補助気体）の流れの速度分布を構成するように働く、分布流れ抵抗構造体として働く。１つの実施形態において、設置可能なバッフル２０２は、金属製である。他の実施形態において、設置可能なバッフル２０２は、格子、透過性膜、または多孔性膜である。設置可能なバッフル２０２の組成にかかわらず、開口部２０４は常に、ノズル１８０および設置可能なバッフル２０２が材料処理装置に設置される場合に、エネルギービーム１１０による設置可能なバッフル２０２の一部の選択的除去によって形成される。
【００３４】
改善された作動のために、ノズル１０８の軸は、処理ヘッドアセンブリ１０４の軸と整列する。このことは、エネルギービーム１１０がワークピース１１２への途中で中央出口オリフィス２０６を通過する場合に、中央出口オリフィス２０６において中心を合わせられることを確実にする。この整列を維持するために、本発明の１つの実施形態は、予め決定された軸の範囲を覆って輪郭付けられた、輪郭付き表面２０８を有するノズル１０８を備える。輪郭付き表面２０８は、処理ヘッドアセンブリ１０４に設置される場合に、処理ヘッドアセンブリ１０４の隣接する構造と嵌合する。この嵌合作用の結果、ノズル１０８および処理ヘッドアセンブリ１０４が同軸整列し、これによって、装置の正確さおよび質を改善し、そして作動寿命を延長させる。
【００３５】
処理ヘッドアセンブリ１０４の「作業端部」は、ワークピース１１２に最も近い部分である。この作業端部は、代表的に、金属処理の間にワークピース１１２に存在する極端な条件に直接曝されることに起因して、使用によって分解する。これらの条件としては、例えば、高温および高度に反応性の気体の局所的な雰囲気が挙げられる。適切な作動を維持し、そして装置の作動寿命を延長させるために、本発明の別の実施形態は、作業端部において、２部品の消耗品を提供する。図３に詳述されるように、この消耗品３００は、内部ノズル構成要素３０２、および内部ノズル構成要素３０２を囲む外部部材３０４を備える。内部ノズル構成要素３０２は、内部ノズル中央出口オリフィス３０６を備え、そして外部部材３０４は、外部中央出口オリフィス３０８を備える。設置可能なバッフル２０２は、内部ノズル構成要素３０２および外部部材３０４に対して配置される。設置可能なバッフル２０２は、内部ノズル中央出口オリフィス３０６および外部中央出口オリフィス３０８と一致するように配置される。
【００３６】
他の実施形態は、外部部材３０４が別のノズル（すなわち、「外部ノズル」）またはシールドである実施形態を含む。いずれの場合においても、このような構成の目的は、使用による劣化に供される作業端部の部分の容易な交換を可能にすることである。消耗品はまた、ねじ山付き表面を備えて、処理ヘッドアセンブリ１０４に設置される場合に、隣接する構造の嵌合ねじ山表面と係合し得る。
【００３７】
消耗品の交換の後に適切な整列を生じることを確実にするために、囲んでいる輪郭付き表面３１０、３１２が、内部ノズル構成要素３０２および外部部材３０４の両方において、使用される。囲んでいる輪郭付き表面３１０、３１２は、隣接する構造と嵌合し、これによって、内部ノズル構成要素３０２、外部部材３０４、およびエネルギービーム１１０の同軸整列を生じる。このことは、装置の正確さおよび質を改善し、そして作動寿命を延長させる。
【００３８】
作動の間、設置可能なバッフル２０２は使用によって分解し、そして交換されなければならない。この交換を容易にし、そして潜在的に時間を消費する解体および再組み立てのプロセスを回避するために、別の実施形態は、設置可能なバッフル２０２のインサイチュでの交換を可能にする。図４は、再生可能バッフル構造体４００として、この実施形態を示す。この実施形態は、一定量のバッフル材料４０２、およびバッフル材料４０２を移動させる機構を備える。この移動の結果、バッフル材料４０２の一部（代表的に、分解した部分）が、内部ノズル中央出口オリフィス３０６から離れるように移動される。この移動の結果、さらに、バッフル材料４０２の別の部分（代表的に、未使用部分）が、内部ノズル中央出口オリフィス３０６と一致する位置に移動する。
【００３９】
上記のように、バッフル材料４０２の未使用部分には、開口部が存在しない。本発明のこの実施形態によれば、エネルギービーム１１０が、バッフル材料４０２に衝突し、これによって、この材料の一部を選択的に除去する。この部分は、エネルギービーム１１０の断面積と実質的に等価な寸法を有する。この選択的な除去は、バッフル材料４０２に、エネルギービーム１１０の断面積と実質的に等価な寸法を有する開口部を形成する。
【００４０】
バッフル材料４０２を移動させる機構は、当該分野において公知の任意の好都合な設計を有し得る。１つの実施形態において、この機構は、バッフル取り込みリール４０４およびバッフル供給リール４０６を備える。バッフル材料４０２の未使用部分は、バッフル供給リール４０６に配置される。バッフル材料４０２の使用済み部分は、バッフル取り込みリール４０４に配置される。バッフル材料４０２のインサイチュでの交換の間に、リール４０４、４０６は、バッフル材料４０２の未使用部分を、内部ノズル中央出口オリフィス３０６に一致する位置に移動させるように作動される（例えば、回転される）。同時に、バッフル材料４０２の分解した部分は、内部ノズル中央出口オリフィス３０６から離れて、バッフル取り込みリール４０４へと移動する。次いで、エネルギービーム１１０が活性化されて、バッフル材料４０２に開口部を形成する。これは、バッフル材料４０２を構成し、そしてこの装置の使用の準備ができる。
【００４１】
本発明の別の実施形態は、図５に詳述されており、これは、摩擦ばめ構成５００を示す。この実施形態において、設置可能なバッフル２０２は、設置可能なバッフルと中央出口オリフィス２０６との間に摩擦ばめを提供する構成を有する。これは代表的に、設置可能なバッフル２０２の周囲にフレーム（図示せず）を備えることによって、達成される。このフレームは、摩擦ばめを生じる大きさにされる。設置可能なバッフル２０２が使用によって劣化すると、操作者は、この摩擦力に打ち克つことによって、このバッフルを取り外す。次いで、操作者は、例えば、新たな設置可能なバッフルを中央出口オリフィスに物理的に「押し込む」ことによって、周囲のフレームを備える新たな設置可能なバッフル２０２を中央出口オリフィス２０６に挿入する。適切な大きさのフレームによって得られる摩擦力は、設置可能なバッフル２０２を中央出口オリフィス２０６に捕捉するために十分である。上で議論された他の実施形態と同様に、エネルギービーム１１０は、設置可能なバッフル２０２に、エネルギービームの伝播の軸に対して垂直に、開口部を形成する。この開口部（図５には示さない）は、中央出口オリフィス２０６と実質的に一致し、そしてエネルギービーム１１０の断面積に実質的に等価な寸法を有する。これにより、設置可能なバッフル２０２の使用の準備ができる。
【００４２】
本発明のさらなる実施形態は、処理ヘッドアセンブリにおいて使用されるノズルに対して配置される、設置可能なバッフルを形成する方法を包含する。この方法は、設置可能なバッフルを、ノズルの中央出口オリフィスに対して固定する工程、エネルギービームをエネルギー供給源から放出する工程、およびこのエネルギービームを設置可能なバッフルに指向する工程を包含する。次いで、エネルギービームは、設置可能なバッフルの一部を選択的に除去し、これによって、このバッフルに開口部を規定する。エネルギービームが開口部を作製したので、この開口部は、中央出口オリフィスと一致し、そしてエネルギービームの断面積と実質的に等価な寸法を有する。１つの実施形態において、エネルギー供給源は、プラズマ供給源であり得、そしてエネルギービームは、プラズマであり得る。別の実施形態において、エネルギー供給源は、レーザー供給源であり得、そしてエネルギービームは、レーザービームであり得る。
【００４３】
本発明の別の実施形態は、ワークピースを処理する方法を包含する。この実施形態において、エネルギー供給源および処理ヘッドアセンブリが提供される。この処理ヘッドアセンブリは、チャンバ、中央出口オリフィスを有するノズル、およびこのノズルに対して配置された設置可能なバッフルを備える。ノズルと設置可能なバッフルとの両方が、チャンバと流体連絡する。
【００４４】
エネルギー供給源は、活性化されて、エネルギービームを、設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスを通して伝達する。同時に、補助気体が、設置可能なバッフルおよび中央出口オリフィスを通してそこへの移送のために、チャンバ内に方向付けられる。設置可能なバッフルは、エネルギービームによって形成された開口部を備える。この開口部は、エネルギービームの伝播の軸に対して垂直であり、中央出口オリフィスと一致し、そしてエネルギービームの断面積に実質的に等価な寸法を有する。この開口部に起因して、エネルギービームの周りの気体流の速度は、エネルギービームの断面領域を通る気体流の速度と比較して、低下される。次いで、エネルギービームと、異なる速度の気体流との両方が、処理のためにワークピースに方向付けられる。１つの実施形態において、エネルギー供給源はプラズマ供給源であり得、そしてエネルギービームはプラズマであり得ることに注目のこと。この実施形態において、チャンバは、プラズマチャンバである。別の実施形態において、エネルギー供給源はレーザー供給源であり得、そしてエネルギービームはレーザービームであり得る。この第２の実施形態において、チャンバはプレナムであり、そして処理ヘッドアセンブリは、レーザー供給源と光通信する。
【００４５】
前述のことから、本発明によって提供される設置可能なバッフルは、材料処理装置において使用される流体（例えば、補助気体）の流速を調節する、単純かつ効果的な様式を与えることが理解される。最適でない流体流によって引き起こされる低い質および不正確な切断の問題は、大いに排除される。
【００４６】
当業者は、本発明が、本発明の精神または本質的な特徴から逸脱することなく、他の特定の形態で実施され得ることを認識する。従って、前述の実施形態は、本明細書中に記載される本発明の限定ではなく、全ての局面において説明的であると考えられるべきである。従って、本発明の範囲は、前述の説明によってではなく添付の特許請求の範囲によって示され、従って、特許請求の範囲の均等物の意味および範囲内の全ての変化は、特許請求の範囲に包含されることが意図される。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、本発明の１実施形態に従う材料処理装置のブロック図である。
【図２】
図２は、本発明の１実施形態に従う処理ヘッドアセンブリの概略断面図である。図２Ａは、本発明の１実施形態に従うノズルの拡大概略図である。
【図３】
図３は、本発明の１実施形態に従う消耗品の概略断面図である。
【図４】
図４は、本発明の１実施形態に従う再生可能なバッフル構造体の概略断面図である。
【図５】
図５は、本発明の１実施形態に従う摩擦ばめ構成の概略断面図である。
【図１】
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【図２】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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