(57)【要約】本発明は、基体（１、２３、２５）と、この基体（１、２３、２５）に接続された膜（５、２７）とを備え、これらにより測定室（３、２９、３１）を形成する圧力測定セルに関する。稼動時においては、膜は、測定される圧力（ｐ、ｐ１−ｐ２）に依存したたわみを受ける。セルは、膜と対向した基体（１、２３、２５）表面が形成する膜床をも備えており、この膜床上に、少なくとも１個の電極（７、３３、６７）が装備されている。この電極は、膜（５、２７）上に装備された対向電極（９、３５、６９）と共にコンデンサーを形成しており、その静電容量は、膜（５、２７）のたわみの大きさを表している。この測定セルは、電極（７、３３、６７）が基体（１、２３、２５）を通して電気的に接続され、測定室（３、２９、３１）が接触領域においては滑らかな表面を有し、この表面が、基体（１、２３、２５）を貫通した孔（１１、５７、７１）に導かれる接触ピン（１３、５９、７３）を有しているという点を特徴としている。電極（７、３３、６７）は、静電容量を測定するため、前記ピンによって電気的に接続されており、ピンは、孔（１１、５７、７１）のうち、膜の側に、半田（１９、５７、７５）を用いて半田付けされている。接触ピン（１３、５９、７３）、半田（１９、５７、７５）及び膜床は滑らかな表面を形成している。【選択図】図１
2004517305.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基体（１、２３、２５）と、
該基体（１、２３、２５）に接続されて測定室を形成し、稼動時においては、測定される圧力（ｐ、ｐ１−ｐ２）に依存したたわみをおこす膜（５、２７）と、
前記基体（１、２３、２５）の一表面によって構成され、前記膜と対向して配置された膜床であって、その上には、前記膜（５、２７）に取り付けられた対向電極（９、３５、６９）と共にコンデンサーを構成する少なくとも１個の電極（７、３３、６７）が取り付けられ、該コンデンサーの静電容量が前記膜（５、２７）のたわみ量であるような膜床と、
前記基体（１、２３、２５）に通じた孔（１１、５７、７１）を貫通する接触ピンであって、該ピンを経由して前記電極（７、３３、６７）が前記静電容量の測定用に電気的に接続されると共に、該ピンの前記膜床側が半田（１９、５７、７５）で前記孔（１１、５７、７１）中に半田付けされ、該半田（１３、５９、７３）及び前記膜床とで滑らかな表面を形成する接触ピン（１３、５９、７１）と、
を有する圧力測定セル。
【請求項２】
前記基体（１、２３、２５）及び／又は前記膜（５、２７）が、セラミックあるいは単結晶からなる請求項１記載の圧力測定セル。
【請求項３】
前記接触ピン（１３、５９、７３）がタンタルから構成され、前記半田が難活性半田、特に、銀−銅半田である請求項１記載の圧力測定セル。
【請求項４】
稼動時においては、測定される圧力（ｐ）が前記膜（５、２７）に作用し、０ ｍｂａｒに近い非常に小さい圧力あるいは前記基体（１）を介して伝わる基準圧力（ｐＲ）が、前記測定室（３）内に行き渡っている請求項１記載の圧力測定セル。
【請求項５】
前記膜（２７）は、前記基体（２３）と、もう１つの基体（２５）との間に配置され、
前記膜（２７）と前記もう１つの基体（２５）とがもう１つの測定室（３１）を構成し、
稼動時においては、第１の圧力（ｐ１）が前記測定室（２９）内に行き渡り、
稼動時においては、第２の圧力（ｐ２）が前記もう１つの測定室（３１）内に行き渡り、
前記膜（２７）のたわみは、測定される圧力に依存し、前記第１と第２の圧力との間の差分（ｐ１−ｐ２）に等しい、請求項１記載の圧力測定セル。
【請求項６】
前記基体（２３）が、前記測定室（２９）へとつながる連続した孔（３７）を有し、該孔の中には、圧力管（３９）が導入されており、稼動時には、該圧力管を経由して、前記第１の圧力（ｐ１）が前記測定室（２９）へと運ばれ、
前記もう１つの基体（２５）が、前記測定室（３１）へとつながる連続した孔（４１）を有し、該孔の中には、圧力管（４３）が導入されており、稼動時には、該圧力管を経由して、前記第２の圧力（ｐ２）が前記測定室（３１）へと運ばれる、請求項５記載の圧力測定セル。
【請求項７】
前述の請求項のうちの一つに係る圧力測定セルを製造する方法であって、
前記接触ピン（１３、５９、７３）が前記孔（１１、５７、７１）内に挿入され、
前記基体（１、２３、２５）と前記接触ピン（１１、５７、７３）との間に、半田（１４、６１、７５）が前記膜床側へ導入され、
前記接触ピン（１１、５７、７３）が半田付けされ、
前記膜床が研磨され、
前記電極（７、３３、６７）が前記滑らかな膜床上に取り付けられ、
前記基体（１、２３、２５）と前記膜（５、２７）とが接合によって堅固に接続される、圧力測定セルの製造方法。
【請求項８】
前記膜（２７）が、前記基体（２３）に接続され、かつ、接合（３４）によって前記もう１つの基体（２５）に接続され、
前記第１の圧力管（３９）が前記基体（２３）内に半田付けされ、前記第２の圧力管（４３）が前記もう１つの基体（２５）内に半田付けされる、請求項６及び７に記載の圧力測定セルの製造方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、容量性の圧力測定セルに関する。
【０００２】
【従来の技術】
圧力測定技術においては、絶対圧力、相対圧力及び差分圧力の測定セルが用いられている。絶対圧力測定セルにおいては、測定される圧力は、絶対的な形で検出される、すなわち、真空と比較した圧力の差分として検出される。相対圧力測定セルでは、測定される圧力は、セルが配置されている場所に行き渡っている圧力のような、基準圧力と比較した圧力の差分の形でとらえられる。利用の大抵においては、利用する場所においては、これは大気圧である。それゆえに、絶対圧力測定セルにおいては、測定される圧力は固定の基準圧力、すなわち、真空圧を基準として検出され、相対圧力測定セルにおいては、測定される圧力は、周囲の圧力のような、種々の基準圧力を基準として検出される。差分圧力測定セルは、セルに加えられた第１と第２の圧力間の差分を検出する。
【０００３】
市販の圧力測定セルは、
基体と、
基体に接続され、測定室を形成する膜であって、稼動時においては、測定される圧力に依存したたわみを起こす膜と、
測定室中における上記基体側に、膜に対向して配置され、膜に装備された対向電極と共にコンデンサーを形成し、その静電容量が膜のたわみ量であるような電極と、
を有している。
【０００４】
かかる圧力測定セルにおいては、電極の電気的接続は、膜と基体との間の隙間を貫通して行われるか、或いは、基体を貫通して行われ得る。まず、膜と基体とを相互に接続するための結合物質が、電気的絶縁体でなくてはならない。基体を貫通して接触していることの方が好ましい。このようにすることで、基体と膜との間の接続を維持しつつ、従って漏れがなく、機械的に安定した状態にしておけるからであり、また、上記結合物質の選択に制限が伴わないからである。
【０００５】
従来の基体を貫通した接触においては、金属の接触ピンが、基体を貫通する孔の中に挿入され、例えばアーバーのようなもので孔の端部に圧縮される。結果として、接触ピンは機械的に固定され、基体の電極との電気的接触点が作り出される。
【０００６】
利用の大抵においては、この方法が非常に優れた結果をもたらしており、即時に経済的に実行することができる。しかし、この圧縮する方法が不都合となる利用も存在する。
【０００７】
圧縮することでは、大した気密性を達成できない。絶対圧力測定セルにおいて必要とされるような真空機密は得られない。結果として、とりわけ絶対圧力測定セルにおいては、貫通接続箇所を別個に密封することが必要である。
【０００８】
圧縮することにより、測定室の内部表面は、孔及び金属ピンの領域においてでこぼこであり、裂け目や窪みのような凹部を含んでいる。
内部表面が膜床（ｍｅｍｂｒａｎｅ ｂｅｄ）として用いられる場合、過重負荷の際に膜が膜床と一致するまでたわむことになるが、そのように内部表面が膜床として用いられるときはいつも、上記の内部表面の不規則性が問題を引き起こす。過重負荷時に膜床が不規則であると、後に重大な測定エラー、あるいは、圧力測定セルの完全な故障までも引き起こすような、膜の永久的な変形につながりかねない。
【０００９】
電気的接触点の領域における幾何学的不規則性、特に隙間は、何らかの状況の下、測定値を取得するにあたり付随する不利益を伴う、境界抵抗（ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ ｒｅｓｉｓｔａｎｃｅｓ）の増大につながり得る。
【００１０】
測定室が圧力を媒介する液体で満たされていると、更なる問題が発生する。液体を充填した圧力測定セル内では、ごく微量の体積の液体が用いられていることが好ましい。温度による液体の熱膨張を、可能な限りわずかに保つためである。相応じて、測定精度からすると、液体が配置される箇所における体積が、可能な限り一定であることが重要である。不明な大きさの液体の量が時間の経過と共に浸透してしまうような、凹み、裂け目あるいは他の形状の凹所は、絶対に回避せねばならない。差分圧力測定セルにおいては、体積が可能な限り一定であるだけでなく、可能な限り同量の液体が差分圧力測定セルの半分の双方に存在していることが、特に重要である。不均等な液体量は、不均等な温度の動きという結果になり、これが、測定精度に直接的な影響をもたらす。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、測定室中の基体に配置されている電極が基体を貫通して電気的に接続され、かつ、接触している領域においては、測定室が滑らかな表面と、真空気密及び耐圧性を有する接続とを有する圧力測定セルを開示することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は圧力測定セルからなり、この圧力測定セルは、
基体と、
この基体に接続されて測定室を形成し、稼動時においては、測定される圧力に依存したたわみをおこす膜と、
上記基体の一表面によって形成され、上記膜の方に向けて配置された膜床であって、その上には、上記膜に取り付けられた対向電極と共にコンデンサーを構成する少なくとも１個の電極が取り付けられ、このコンデンサーの静電容量が上記膜のたわみの量であるような膜床と、
上記基体に通じた孔を貫通する接触ピンであって、このピンを経由して上記電極が上記静電容量の測定用に電気的に接続されると共に、このピンの上記膜床側が半田で上記孔中に半田付けされ、上記半田及び上記膜床とで滑らかな表面を形成する接触ピンと、
を備えている。
【００１３】
一実施例においては、上記の基体及び／あるいは膜は、セラミックまたは単結晶からなる。
更なる実施例においては、上記接触ピンはタンタルから構成され、上記半田は難活性（活性しにくい）合金、特に、銀−銅半田である。
【００１４】
更なる実施例においては、稼動時には、測定される圧力が上記膜に作用し、また、上記基体を通じて運ばれてくる、 （ゼロミリバール）に近い非常に小さな圧力または基準圧力が、測定室内に行き渡っている。
【００１５】
更なる実施例においては、上記膜は、上記基体と、もう１つの基体との間に配置され、上記膜と上記もう１つの基体とがもう１つの測定室を形成し、稼動時においては、第１の圧力が上記測定室に行き渡り、第２の圧力が上記もう１つの測定室に行き渡る。上記膜のたわみは測定される圧力に依存し、第１の圧力と第２の圧力との間の差分に等しい。
【００１６】
この後者の方の実施例の更なる構成においては、上記基体は、測定室内に導かれる連続的な孔を有しており、この孔の中には、圧力管が導入されている。稼動中には、この圧力管を経由して、第１の圧力が測定室に運ばれる。そして、上記もう１つの基体は、測定室内に導かれる連続した孔を有しており、この孔の中には、圧力管が導入されている。稼動中には、この圧力管を経由して、第２の圧力が測定室に運ばれる。
【００１７】
更には、本発明は圧力測定セルの製造方法からなり、この製造方法では、
上記接触ピンが上記孔内に挿入され、
上記基体と上記接触ピンとの間に、半田が上記膜床側へ導入され、
上記接触ピンが半田付けされ、
上記膜床が研磨され、
上記電極が上記滑らかな膜床に取り付けられ、
上記基体と上記膜とが接合によって堅固に接続される。
【００１８】
この方法の構成では、上記膜が、上記基体と上記もう１つの基体とに接合によって接続され、上記第１の圧力管は上記基体中に半田付けされ、上記第２の圧力管は上記もう１つの基体中に半田付けされる。
【００１９】
【発明の実施の形態】
本発明と、本発明による更なる利点とを、３つの典型的な実施例を示す図面と共に、以下に更に詳細に述べる。図面中においては、同一の要素は、同一の参照番号で識別している。
【００２０】
図１は、本発明における圧力測定セルの断面を示す。この圧力測定セルは、円筒形の基体１と、この基体１に接続された円盤型の膜５とを備え、これらは測定室３を形成している。
【００２１】
膜５と基体１とは、絶縁体から構成され、好ましくは、サファイアのようなセラミックあるいは単結晶から構成されている。膜５と基体１とは、接合６、例えばジルコニウム−鉄−チタン−ベリリウム半田といったような、難活性の半田によって、それぞれ外側環状端部上で相互に接続されている。
【００２２】
稼動中は、膜５は、測定される圧力ｐに依存したたわみを経験する。そのためには、圧力ｐが膜５の、例えば外側に作用する。このことは、図１中において、矢印で象徴的に表されている。
【００２３】
上記膜と対向する基体１の表面は、膜床を形成している。電極７が膜床に取り付けられており、電極７は、膜５に取り付けられた対向電極９と共に、コンデンサーを構成している。このコンデンサーの静電容量は、膜５のたわみ量である。
【００２４】
対向電極９は、その外側端部上で、接合６と電気伝導的に隣接しており、アースされているか、あるいは電気導電性を有する接合６を経由して固定の基準電位に接続されているのが好ましい。
【００２５】
基体１は、連続した孔１１を有し、この孔１１を接触ピン１３が貫通されている。接触ピン１３は、電気伝導性物質から構成され、半田１４で、膜床側の孔１１中に半田付けされている。接触ピン１３としては、例えばタンタルが特に適している。タンタルが、融点の高い延性物質であるためである。タンタルは、ほとんど全ての酸やアルカリに対して耐性があり、特に、耐腐食性を有する。膜５及び基体１に酸化アルミニウムセラミックを用いる際には、タンタルは、酸化アルミニウムセラミックの熱膨張率と非常に類似した熱膨張率を有している、といった更なる長所をあらわす。半田としては、難活性半田、特に銀−銅半田が、とりわけ適している。半田で、接触ピン１３と孔１１との間を密封させることができる。
【００２６】
本発明によると、接触ピン１３、半田１４及び膜床は、滑らかな表面を有している。例えば研磨された表面のような、傷のない滑らかな表面は、均等な静電容量を構成する、といった利点をあらわす。そのような静電容量は、後に取り付けられる電極７と均一に接続される。その接続を介して、非常に大きな電気伝導性が達成される。
【００２７】
更なる利点は、この点における滑らかな表面により、全体が滑らかであるような膜床が作り出され、膜５は、過重負荷の際には、損傷を受けずに膜床に適合することができる。したがって、膜５は、例えば、４０、０００ｋＰａ（４００ｂａｒ）といった、大きな過重負荷のかかる場合でも、安全にくい止められ、一旦過重負荷が弱くなると、測定セルは、その仕様に従って正確に機能し続ける。
【００２８】
静電容量を測定するための電極７は、接触ピン１３を経由して電気的に接続されている。接触ピン１３の第１の端部が、電極７と電気伝導的に接続されている。残りの第２の端部は基体１から突き出ており、実施例においては、基体１上に配置されている電気回路１５へと装着される。電気回路１５は、コンデンサーの静電容量の変化を、例えば、可変電圧のような、電気的出力信号に変更する。出力信号は、接続線１７を経由して、更に先の工程及び／あるいは評価に利用することができる。
【００２９】
より優れた気密性と改善された機械的安定を達成するため、接触ピンは、半田１９によって、膜床から離れた側で、孔１１と接続されている。このことによりさらに、機械的な力が、膜床側の、接触ピン１３の端部にまで伝わることがなく、したがって、電極７の電気的接触箇所にまで伝わることがない、という利点を有する。半田１９に固定することによって、外部からはたらく力が、膜床から離れた側で遮られる。
【００３０】
接触している領域において互いに隣接している物質が異なる熱膨張率を有している場合、及び、圧力測定セルが、少なからぬ温度変化のある環境下に配置されている場合、接触ピン１３は一端のみを適切に半田付けするか、あるいは、孔１１を、その全長に渡って半田で満たすことが、更に好ましい。この、後者の変形によって、温度を原因とする圧力が全長に渡って分散される、という利点を有する。
【００３１】
本発明は、単一の電極を備えた圧力測定セルに限定されるものでもなく、半田付けされた接触ピンを経由した、本発明による接続に限定されるものでもない。複数の電極を備えたものであってもよく、そのような複数の電極は、典型的な実施例として示されるような方法で電気的に接続されている。
【００３２】
図１に、絶対圧力測定セルを示す。測定室３が排気されているため、測定室の内側には、０ ｍｂａｒに近い、ごくわずかな圧力が行き渡っており、測定される圧力ｐは、測定室３の内部の真空圧を基準にして検出される。
【００３３】
基準圧力の測定セルは、まったく同様の方法で作られる。この実施例を図２に示す。測定室３は排気されていない、という点のみで、図１に示す絶対圧力測定セルと区別される。その代わりに、基体１を通じて供給される基準圧力ｐＲが、測定室３に行き渡っている。基準圧力ｐＲは、例えば、測定セルの周囲の環境中に行き渡っている圧力である。例えば、図２に示すように、基準圧力ｐＲは、基体１を貫通している孔２１を通して、測定室３中に誘導される。
【００３４】
図１及び２で示される圧力測定セルは、接触ピン１３が、まず、その先端が膜床側の面と揃うように、孔１１内に挿入される。
半田１４、１９は、膜床側における、基体１と接触ピン１３との間に挿入され、また、任意ではあるが、膜床に対面する側にも挿入される。次に、接触ピン１３は、真空の火炉で、あるいは保護するためのガス雰囲気中で、一端あるいは両端を適切に半田付けされる。
【００３５】
次の作業段階においては、膜床が、特に半田１４によって隙間がなくなった滑らかな表面を有するようになるまで、膜床を研磨する。
例えばスパッタあるいは蒸着によって、電極７が、この滑らかで特に隙間のない表面に取り付けられる。電極７は、タンタルから構成されているのが好ましい。しかし、他の金属を用いることとしてもよい。
【００３６】
スパッタあるいは蒸着した電極は、例えば、０．１μｍというように、非常に正確に薄く作られる。適切に接触ピン１３を半田付けすることによって得られる滑らかな表面は、これらの層を薄くするという利点を有する。たとえ薄い層であっても、良好な電気的接触面を提供することができるためである。
【００３７】
同じ方法によって、膜５にも対向電極９が取り付けられ、最後の作業段階においては、膜５と基体１との間の接合６が作られる。前述のジルコニウム−鉄−チタン−ベリリウムの難活性半田といったような、接合用の物質を、基体１の縁上の、円盤状の表面に取り付け、膜５をその上に配置させる。基体１と膜５とを、真空の火炉で、あるいは保護するためのガス雰囲気中で、互いに強固に接続させる。
【００３８】
図３においては、本発明に係る圧力測定セルの、さらなる典型的な実施例を示す。これは、差分圧力測定セルに係るものであり、基体２３と、もう１つの基体２５とを有する。膜２７は、基体２３ともうつの基体２５との間に配置される。膜２７は、基体２３と接続されて測定室２９を構成しており、かつ、もう１つの基体２５に接続されて測定室３１を構成している。
【００３９】
膜２７、基体２３及びもう１つの基体２５とが、好ましくは、サファイアのような、セラミックあるいは単結晶の絶縁体から構成される。基体２３、２５は、各々の接合３２、３４を介し、例えばジルコニウム−鉄−チタン−ベリリウム半田のような難活性半田によって、外環の縁において、それぞれ膜２７に接続されている。
【００４０】
稼動時においては、第１の圧力ｐ１が測定室２９内に行き渡っており、第２の圧力ｐ２がもう１つの測定室３１内に行き渡っている。膜２７のたわみは、測定される圧力に依存しており、測定される圧力は、第１の圧力ｐ１と第２の圧力ｐ２との間の差分に等しい。
【００４１】
圧力を伝えるため、基体２３は連続した孔３７を有しており、孔３７は、測定室２９内につながっており、測定室２９内には圧力管３９が導入されている。稼動時には、圧力管３９を経由して第１の圧力ｐ１が測定室２９に伝わる。同様に、圧力の伝達のため、もう１つの基体２５は連続した孔４１を有しており、孔４１は、測定室３１内につながっており、測定室３１内には圧力管４３が導入されている。稼動時には、圧力管４３を経由して第２の圧力ｐ２が測定室３１に伝わる。
【００４２】
典型的な実施例においては、各々の圧力管３９、４３は、圧力媒介４５、４７とそれぞれ連絡している。各々の圧力媒介４５、４７は、仕切り用の膜４９、５１をそれぞれ有しており、各々の膜は、室５３、５５をそれぞれ覆っている。外部からは、第１の圧力ｐ１が仕切り用の膜４９に作用し、第２の圧力ｐ２が第２の仕切り用の膜５１に作用する。室５３と５５、圧力管３９と４３及び測定室２９と３１は、シリコーンオイルのような、十分に耐圧縮性を有する液体で満たされている。仕切り用の膜４９、５１に外部から作用している第１と第２の圧力ｐ１及びｐ２は、液体によって、それぞれ膜２７の各々の側に伝達される。
【００４３】
正に上記圧力測定セルと同様に、再度コンデンサーが電気機械変換器として用いられる。この圧力測定セルにおいても、電極３３が、基体２３の膜と対向する側の表面によって形成された膜床に取り付けられており、膜２７に取り付けられた対向電極３５と共に、静電容量が膜２７のたわみ量であるようなコンデンサーをなしている。隣接した接合３２を経由して、対向電極３５は、例えばアースされている、というように、基準電位に電気的に接続されている。
【００４４】
図３における、基体２３、膜２７、電極３３及び対向電極３５を備えた差分圧力測定セルの左半分は、原理的には、図１及び２で示した圧力測定セルと同様である。しかし、すでに述べたように、測定室２９が液体で満たされており、圧力媒体４５に接続されている。
【００４５】
ちょうど前述の実施例にあるように、ここでもまた接触ピン５９が設けられ、この接触ピン５９は孔５７を介して基体２３を貫通しており、この接触ピン５９を介して、静電容量測定用の電極３３が電気的に接続されている。接触ピン５９は、孔５７内の膜床側に、半田６１で適切に半田付けされ、接触ピン５９、半田６１及び膜床は、滑らかな、例えば研磨された、表面を形成する。
【００４６】
差分圧力測定セルの右半分が、左半分と全く同一の構造であることが好ましく、すなわち、基体２５の膜と対向する側の表面に取り付けられた電極６７を有し、この電極６７が、膜２７に取り付けられた対向電極６９と共にコンデンサーをなし、その静電容量が膜２７のたわみ量であることが好ましい。隣接する接合３４を経由して、対向電極６９は、例えばアースされている、というように、基準電位と電気的に接続されている。ちょうど左手側のように、右手側には、孔７１を介して基体２５を貫通する接触ピン７３が取り付けられており、この接触ピン７３を経由して、静電容量測定用の電極６７が電気的に接続されている。接触ピン７３は、膜床側に、半田７５で孔７１中に半田付けされており、接触ピン７３、半田７５及び膜床は、滑らかで、例えば研磨されているような、表面を形成する。
【００４７】
すでに述べた効果に加え、図３で示す実施例にかかる滑らかな表面は、付加的な効果を有する。それは、不定量の液体が染み込み得るような凹みが全くないということである。左右両方の半分中に、可能な限り少量かつ可能な限り同量ずつ、正確に一定量の液体が存在することが、高度な測定精度の達成にとっては非常に重要な必要条件である。
【００４８】
先に述べた実施例と同様に、接触ピン５９、７３は、半田６２で基体２３内の膜床とは離れている側に、半田７７で基体２５内の膜床とは離れている側に半田付けされる。しかし、たいていの実施においては、膜床側にのみ半田付けすれば十分足りる。
【００４９】
接触ピン５９は電気回路６３と電気的に接続されており、電気回路６３は、コンデンサーの瞬間の静電容量を検出し、静電容量を電気出力信号に変換する。電気出力信号は、接続線６７を経由して、更に先の工程及び／あるいは評価に利用することができる。
【００５０】
同様に、接触ピン７３は電気回路７９と電気的に接続されており、電気回路７９は、コンデンサーの瞬間の静電容量を検出し、静電容量を電気出力信号に変換する。電気出力信号は、接続線８１を経由して、更に先の工程及び／あるいは評価に利用することができる。
【００５１】
２つの静電容量に差分があり、そこから、圧力測定セルに作用する圧力の差分を突き止めるのが好ましい。
図３における、差分圧力測定セルの製造方法は、本質的には前述の製造方法と同様である。従って、その唯一の違いは、以下に述べる点にある。
【００５２】
これらの違いは、本質的には、接合を介して、膜２７が基体２３に接続され、そしてもう１つの基体２５にも接続されている、という事実を意味する。これは、単一の工程でできる。この工程においては、第１の圧力管３９も基体２３内に半田付けされ、第２の圧力管４３ももう１つの基体２５内に半田付けされるのが好ましい。
【００５３】
例えば特殊鋼で構成されるような圧力管３９、４３は、基体２３、２５内に、例えば、銀−銅半田のような、難活性半田で半田付けされている。その代わりに、もっと高品質な物質を圧力管３９、４３に用いることもできる。例えば、タンタル、あるいは、コバール（Ｋｏｂａｒ）またはベーコン（Ｖａｃｏｎ）等の商品名で得られる鉄−ニッケル−コバルト合金である。
【００５４】
半田はまず、膜２７と、第１及び第２の基体２３、２５との間に配置され、半田が孔３７、４１の中に導入される。次に、圧力管３９、４３が導入され、測定セルが炉に置かれる。炉内では、真空中あるいは保護するためのガス雰囲気中で半田作業が行われる。
【００５５】
当然ながら、本発明は、単一の電極を備えた圧力測定セルに限られるものではない。上記の全ての実施例において、測定値を得るために、また、例えば、較正の目的のため、単一の電極７、３１、６７の代わりに、二つ、あるいはそれ以上の電極を用いることができる。かかる場合には、電極は基体１、２３、２５上にそれぞれ配置され、個々の電極は、適当な孔の中に半田付けされた接触ピンを介して、互いに上記の方法で接続される。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、容量性の絶対圧力測定セルとして構成された、本発明の圧力測定セルの断面を示す。
【図２】
図２は、容量性の相対圧力測定セルとして構成された、本発明の圧力測定セルの断面を示す。
【図３】
図３は、容量性の差分圧力測定セルとして構成された、本発明の圧力測定セルの断面を示す。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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