(57)【要約】第１の流路および第２の流路を有するハウジングを含む逆止弁構造が提供される。液体の流れは、シール面および前記ハウジング内における前記プランジャの移動の長さを制御する複数の突起を有する可動プランジャ（２２、２４）によって前記第１および第２の流路内で制御される。前記プランジャのうちの１つは、その他のプランジャが前記流路内における圧力変化に応答して液体の流れを阻止している間、液体の流れを許容する。
2004507693.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の開口と第２の開口との間で第１のハウジングを通る第１の液体流路、および前記第１のハウジングの第３の開口と前記第１の液体流路との間の第２の液体流路を含む前記第１のハウジングと、
前記第１のハウジングと第１のコネクタとの間で前記第１の流路内に配置された第１の可動プランジャであって、
第１のシール面、前記第１のシール面の逆側の面に付設された少なくとも２つの突起、および前記第１のシール面の周縁部の周囲に配置された複数の凹状面を有する該第１の可動プランジャと、
前記第２の液体流路内に配置された、スプリング付勢された第２の可動プランジャであって、
第２のシール面、前記第２のシール面の逆側の面に付設された少なくとも２つの突起、および前記第２のシール面の周縁部の周囲に配置された複数の凹状面を有する該スプリング付勢された第２の可動プランジャと、を具備し、
前記第１の液体流路および前記第２の液体流路が、前記流路内の圧力を変化させるための手段に流体連通する、逆止弁構造。
【請求項２】
第１の開口と第２の開口との間で第１のハウジングを通る第１の液体流路、および前記第１のハウジングの第３の開口と前記第１の液体流路との間の第２の液体流路を含む前記第１のハウジングと、
前記第１のハウジングと第１のコネクタとの間で前記第１の流路内に配置された第１の可動プランジャであって、
第１のシール面、前記第１のシール面の逆側の面に付設された少なくとも２つの突起、および前記第１のシール面の周縁部の周囲に配置された複数の凹状面を有する該第１の可動プランジャと、
前記第１のハウジングと第２のコネクタとの間で前記第２の液体流路内に配置された第２の可動プランジャであって、
第２のシール面、前記第２のシール面の逆側の面に付設された少なくとも２つの突起、および前記第２のシール面の周縁部の周囲に配置された複数の凹状面を有する該第２の可動プランジャと、を具備する、
前記第１の液体流路および前記第２の液体流路が、前記流路内の圧力を変化させるための手段に流体連通する、逆止弁構造。
【請求項３】
前記第１の可動プランジャは、４つの前記第１の凹状面を有し、且つ前記第２の可動プランジャは、４つの前記第２の凹状面を有する、請求項１に記載の逆止弁構造。
【請求項４】
前記第１の可動プランジャは、４つの前記第１の凹状面を有し、且つ前記第２の可動プランジャは、４つの前記第２の凹状面を有する、請求項２に記載の逆止弁構造。
【請求項５】
前記第１のシール面は、実質的に平坦な面を備える、請求項１に記載の逆止弁構造。
【請求項６】
前記第１のシール面は、実質的に平坦な面の周縁部の周囲に延びる唇状部を備える、請求項２に記載の逆止弁構造。
【請求項７】
前記第２のシール面は、実質的に平坦な面を備える、請求項１に記載の逆止弁構造。
【請求項８】
前記第２のシール面は、実質的に平坦な面の周縁部の周囲に延びる唇状部を備える、請求項２に記載の逆止弁構造。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の背景）
（１．発明の属する技術分野）
この発明は、正確な分量の液体を繰り返し送出するためのモジュール型の双路逆止弁構造に関する。さらに詳細には、この発明は、流体流の方向を自動的に変更する逆止弁構造に関する。
【０００２】
（２．先行技術の説明）
種々の産業は、使用エリアへの正確な分量の液体の送出を必要とする。例えば、正確な分量のフォトレジスト合成物が、シリコンウェーハ基板上に均一な厚みのフォトレジスト層を形成するために、当該ウェーハへ送出される。正確な分量の送出の要求は、同一の分量のサンプルを長い期間にわたって繰り返し送出することができる装置によって果たされるはずである。
ポンプおよび逆止弁の構成を用いる広範囲の多様の装置が、現在、液体を送出するために利用可能である。逆止弁は、液体のための貯蔵器と液体の使用ポイントとの間に介挿され且つポンプによって供給される液体における圧力に応答してこの貯蔵器からの液体流を制御すべく機能する。典型的には、電気的コントローラからの信号に応答するモータによって操作される三路弁が用いられる。三路弁は動かなくなりがちな傾向を持つので、この構成の使用は、望ましくなく、そしてこの構成は、高価で且つ故障の危険にさらされているベルト伝達およびモータを必要としている。
【０００３】
したがって、正確な分量の液体を繰り返し送出することができる双路逆止弁装置を提供することが望まれるであろう。加えて、逆止弁装置を制御する補助的なモータを必要とすることなく、長く続く時間期間にわたって正確な分量の液体を送出すると同時に流れ方向を自動的に変更することができるような逆止弁装置を提供することが望まれるであろう。
【０００４】
（発明の概要）
本発明は、分離された液体流路内に各々配置された２つの自由浮動性プランジャか、あるいは、分離された液体流路内に各々配置された１つの自由浮動性プランジャとスプリング付勢プランジャかのいずれかを用いる逆止弁構造を提供する。自由浮動性プランジャは、液体貯蔵器とポンプの間の液体流路に配置される。第２の自由浮動性プランジャまたはスプリング付勢プランジャは、ポンプと液体の使用ポイントとの間の液体流路内に配置される。この自由浮動性プランジャおよびスプリング付勢プランジャは、液体の流れを許容し、またはポンプによって生成される圧力に応答して液体の流れを阻止すべく機能する。自由浮動性プランジングおよびスプリング付勢プランジャは、開放時に液体流を制限することがないようなサイズに作られる。本発明の逆止弁は、モータおよびそれに付随して逆止弁を操作するためのモータサポート手段の必要性を排除する。
【０００５】
（特定の実施の形態の説明）
この発明の逆止弁構造は、シール面と、このシール面の逆側の面に配置された少なくとも２つの突起、好ましくは３つまたは４つの突起、とを有する少なくとも１つの自由浮動性プランジャを含んでいる。シール面は、平坦な面であってもよく、あるいはシール面の周縁部の周囲に延びる起立された唇状部を含んでいてもよい。起立された唇状部は、使用されるときには、当該シール面として機能する。突起は、液体流路内における液体の流れを交互に許容または阻止させるように、液体流路内においてプランジャの位置を安定化させるための手段を提供する。突起は、流路内において基底部と協働し、そしてその突起は、シール面のための基底部と共に、液体流路内におけるプランジャの移動の許容される長さを定める。自由浮動性プランジャは、液体貯蔵器とポンプの間の液体流路内に配置される。
【０００６】
上述された自由浮動性プランジャまたはスプリング付勢プランジャは、ポンプと液体の使用ポイントの間の液体流路内に配置される。スプリング付勢プランジャは、平坦なシール面、あるいは当該シール面の周縁部の周囲に起立された唇状部を有していてもよいシール面を有している。少なくとも２つの突起、好ましくは３つまたは４つの突起、は、シール面の逆側の面上に固定されている。これらの突起は、ポンプによって生み出された圧力に応答して当該スプリング付勢プランジャが液体流路を開路しまたは閉路することを許容させるスプリングに接触している。突起は、スプリング付勢プランジャを、内部にそれが配置されている液体流路を開路または閉路するその機能を果し得るように、方向付ける。
【０００７】
自由浮動性プランジャは、液体貯蔵器とポンプの間の液体流路内で使用される。ポンプと液体の使用ポイントの間の液体流路内には、スプリング付勢プランジャを用いることが好ましい。
【０００８】
図１を参照すれば、この発明の逆止弁構造は、液体流路１８および２０を形成すべく、開口１２、開口１４および開口１６を有するハウジング１０を含んでいる。自由浮動性プランジャ２２は、開口１２内に適合するようにサイズ決定される。スプリング付勢プランジャ２４は、開口１４内に適合するようにサイズ決定される。スプリング付勢プランジャ２４は、スプリング２６に接触している。自由浮動性プランジャ２２は、プランジャ２２が、取り付け部品２８とハウジング１０内において自由に移動するように、取り付け部品２８内に適合取着される。コネクタ３２および３４は、取り付け部品３０および２８内にそれぞれ適合取着され、且つナット３６および３８によって固定される。ナット３６および３８は、チューブが柱状コネクタ３２および３４で位置設定されるように挿入されることができる開口４０および４２を含んでいる。コネクタ３４は、液体貯蔵器（図示せず）と流体連通している。コネクタ３２は、液体の使用ポイント（図示せず）と流体連通している。コネクタ４４は、ナット４６によって開口１６内に固定され、且つポンプ（図示せず）と流体連通している。
【０００９】
図２ａおよび図２ｂを参照すれば、自由浮動性プランジャ２２は、コネクタ１０への流体の流れを阻止すべくコネクタ２８内の基底面にぴったりはまる平坦なシール面５０を含んでいる。プランジャ２２は、コネクタ１０内でプランジャ２２を位置設定する脚４８を含んでいる。突起４８は、典型的には、約０．４２５インチと約０．４３５インチの間の長さを有する。プランジャ２２は、液体がプランジャ２２をバイパスすることを許容させるスペースを形成する凹状面５１を含んでいる。凹状面５１とコネクタ２８またはコネクタ１０の内側面との間のスペースのトータルの断面積は、コネクタ２８における液体流路の断面積、およびコネクタ１０における液体流路の断面積と等しいかまたはそれを超える。図２ａおよび図２ｂに示されるように、４つの凹状面が使用されている。少なくとも２つの凹状面、好ましくは３つまたは４つの凹状面が使用され得ることが理解されるべきである。したがって、プランジャ２２は、それが設置される液体流路内における液体の流れを制限しない。開口１６に流体連通しているポンプ（図示せず）によって真空引きがなされるとき、プランジャ２２は、開口１２を通してコネクタ１０に向かって移動され、それによってコネクタ２８からコネクタ１０への液体の流れを許容する。同時に、スプリング２６は、プランジャ２４をコネクタ１０内に配置させ、それによってコネクタ３０への液体の流れを阻止すべく、拡張する。ポンプ（図示せず）が圧力を増大させると、プランジャ２２の移動の方向は、反転されて、それがコネクタ２８内での液体のシールを行ない且つスプリング２６を圧縮させ、それによってプランジャ２４を含む流路内での流れが、プランジャ２４を通り過ぎて液体の使用ポイントへ液体を向かわせるのを許容する。
【００１０】
図３ａおよび図３ｂに示されるように、スプリング付勢プランジャ２４は、面５３の周縁部の周囲に延びる起立された唇状部５５を支持する平坦な面５３を備えるシール面を含んでいる。スプリング付勢プランジャ２４は、突起５２および凹状面５４も含んでいる。突起５２は、平坦な面５３の逆側の面に付設されている。突起５２は、典型的には、約０．００８５インチと約０．０９５インチとの間の長さを有している。凹状面５４とコネクタ３０またはコネクタ１０の内側面とで定義されるトータルのスペースは、コネクタ１０または３０、コネクタ３２およびナット４０における最小の断面積と等しいかまたはそれより大きなトータルの断面積の液体を有する。図３ａおよび図３ｂに示されるように、４つの凹状面が使用される。少なくとも２つの凹状面、好ましくは３つまたは４つの凹状面、が使用され得ることが、理解されるべきである。また、プランジャ２２のシール面５０も、図３ａおよび図３ｂを参照して説明された通り、シールを形成すべくその周縁部の周囲に唇状部を含み得ることも理解されるべきである。さらに、面５３は、面５０または図２ａおよび図２ｂを参照して説明された通り、面５３がシール面として機能し得るために、唇状部５５がなくてもよいことも理解されるべきである。
【００１１】
図４を参照すると、基底部５６は、プランジャ２２の移動を止めるためにプランジャの脚４８と協働する面を備えている。基底部５８は、開口１４内のシールを達成するためにプランジャ２２のシール面５３と協働する。
【００１２】
図５を参照すると、この発明の逆止弁構造６２を用いるデスペンスアセンブリ６０が示されている。このアセンブリ６０は、ハウジング６４内に配置されたポンプ（図示せず）を含んでいる。ナット４６は、導管６８、貯蔵器７０および導管７２を介して液体のための使用ポイント（図示せず）へ接続される導管６６に接続している。ナット３８は、供給液体貯蔵器（図示せず）に接続されている。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、この発明の逆止弁構造の一つの実施の形態の分解組立図である。
【図２ａ】図２ａは、この発明の逆止弁構造に用いられる自由浮動性プランジャの等角立体図である。
【図２ｂ】図２ｂは、図２ａの自由浮動性プランジャの正面図である。
【図３ａ】図３ａは、この発明の逆止弁構造に用いられるスプリング付勢プランジャの等角立体図である。
【図３ｂ】図３ｂは、図３ａのスプリング付勢プランジャの正面図である。
【図４】図４は、この発明の逆止弁構造に用いられるプランジャハウジングの断面図である。
【図５】図５は、この発明の逆止弁構造に用いられる液体送出装置の等角立体図である。
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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