(57)【要約】液体成分を有するスラリーから積層シート材料を形成する方法。所定の厚さの湿ったシートを形成するために連続する層状態で基板にスラリーを塗布する工程と、スパッタリングによって前記層の少なくとも１つの層を塗布する工程と、前記基板から湿ったシートを取り除く工程と、少なくとも液体成分のかなりの割合を取り除くように、湿ったシートを乾燥するかまたは硬化させ、それによってシート材料を形成する工程とを含む前記方法。
2004520975.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体成分を有するスラリーから積層シート材料を形成する方法であって、
所定の厚さの湿ったシートを形成するために連続する層状態で基板にスラリーを塗布する工程と、
スパッタリングによって前記層の少なくとも１つの層を塗布する工程と、
前記基板から湿ったシートを取り除く工程と、
少なくとも液体成分のかなりの割合を取り除くように、湿ったシートを乾燥するかまたは硬化させ、それによってシート材料を形成する工程
とを含む方法。
【請求項２】
前記スラリーが、水、セルロースファイバ、シリカおよびセメントを含む混合物から形成されたセメント質のスラリーである請求項１記載の製法。
【請求項３】
ハチェックプロセス、またはその派生形を含み、前記基板が、小孔のあるベルトの形状をとり、さらに、
所定の厚さが達成されるまで、ベルトの下流側の大径ローラ上にフィルムを漸次に集積する工程と、
湿ったシートを形成するために、前記大径ローラから集積された材料を切断し、そして、取り除く工程
とを含む請求項１または２記載の製法。
【請求項４】
前記小孔のあるベルトが、フェルトから形成され、そして、フィルムが、前記ベルトと圧延接触状態であり、かつスラリーを含有するバット内に実質的に浸されている、一続きのふるいシリンダを使用して、ベルトに少なくとも部分的に堆積される請求項３記載の製法。
【請求項５】
前記スパッタリングされた層が、シートにおける少なくとも１つの他の層と実質的に異なる材料組成から形成され、前記スパッタリングされた層の組成および位置決めが、シートにおける所定の物理的特性もしくは性能特性を与え、または最適化するように選択される請求項１、２、３または４記載の製法。
【請求項６】
所望の特性または特徴が、高められた防水性、防火性、引張強さもしくは圧縮強さ、粘り強さ、耐ひび割れ性、耐衝撃性、硬度、密度、厚さ、断熱、防音、釘打ち可能性、ワーカビリティ、着色または表面テクスチャから選択される１つまたはそれ以上の特性または特徴を含む請求項５記載の製法。
【請求項７】
前記スパッタリングされたスラリーが、シリカ、セメントおよび水を含む混合物から形成されたセメント質のスラリーである請求項１、２、３、４、５または６記載の製法。
【請求項８】
前記スラリーが、５０％と約９０％とのあいだの固体含有量を有する自己均一化の脱水可能なセメント質のスラリーである請求項１、２、３、４、５、６または７記載の製法。
【請求項９】
前記スラリーが、基板を通って、スラリーの脱水を可能とするように、充分な量の脱水補助剤を含む請求項８記載の製法。
【請求項１０】
前記スパッタリングされた層が、基板にスラリーを塗布する装置を使用して塗布され、該装置が、
スラリーの層を支持するために配置される分配表面と、
該分配表面に近接して配置され、分配表面から基板にスラリーをスパッタリングするように移動可能に構成されたスパッタリング手段と、
分配表面から基板へのスラリーの流れを選択的に変更するか、または中断する調整手段とを含む請求項１、２、３、４、５、６、７、８または９記載の製法。
【請求項１１】
前記基板が、小孔のあるベルトか、セメント質のスラリーが予め堆積されたフィルムまたは層のいずれかの形状をとる請求項１０記載の製法。
【請求項１２】
前記スパッタリング装置が、前記調整手段の上流側にスラリーを含有する容器をさらに含む請求項１０または１１記載の製法。
【請求項１３】
前記容器が、供給源からスラリーを方向付けるための入口と、前記調整手段と関連付けられる出口とを含む請求項１２記載の製法。
【請求項１４】
前記調整手段が、可変式の有効流動面積の中間クリアランススペースを画定するように選択的に移動可能な一対のバリア要素を含み、それによって、バリア要素のあいだの、前記出口を通る、前期分配表面へのスラリーの流量の調整を選択的に可能とする請求項１３記載の製法。
【請求項１５】
前記バリア要素が、前記容器と分配表面とのあいだのスラリーの流動を選択的に停止するように閉鎖した形状に構成される請求項１４記載の製法。
【請求項１６】
前記バリア要素の１つが、第１の軸周りに回転可能な第１の円筒状のローラからなる請求項１５記載の製法。
【請求項１７】
前記バリア要素の他の１つが、前記第１の軸に平行な第２の軸周りに回転可能な第２の円筒状のローラである請求項１６記載の製法。
【請求項１８】
前記第１および第２のローラが、反対方向に回転するように構成される請求項１７記載の製法。
【請求項１９】
前記第１のローラが、分配ドラムの形状をとり、外側表面が分配表面を構成し、前記第２のローラが、分配ドラムから遠近方向に選択的に移動可能な計測ローラの形状をとる請求項１８記載の製法。
【請求項２０】
さらに、前記分配ドラムを支持するメインフレームと、前記計測ローラが配設される第１のサブフレームとを含み、前記第１のサブフレームが、前記第２の軸にほぼ平行でありかつ第２の軸から離れて間隔がおかれている第３の軸周りに回転可能であり、それによって分配ドラムと計測ローラのあいだの平行な方向付けを維持しながら前記分配ドラムから遠近方向に計測ローラを調節可能に変位する請求項１９記載の製法。
【請求項２１】
遠近方向に、計測ローラと分配ドラムとを互いに調節可能に移動するために、前記メインフレームと前記第１のサブフレームとのあいだに有効に延びる第１の駆動手段をさらに含む請求項２０記載の製法。
【請求項２２】
前記第１の駆動手段が、水力式または空気式シリンダを含む請求項２１記載の製法。
【請求項２３】
前記スパッタリング手段が、第４の軸周りに回転可能なほぼ円筒状の本体から半径方向外方向に延在する、ブリストル形状を呈する複数の弾力的にフレキシブルな細長いスパッタリング要素を含む請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２1または２２記載の製法。
【請求項２４】
請求項２０に従属する場合において、前記第４の軸が、前記第１の軸、第２の軸および第３の軸とほぼ平行である請求項２３記載の製法。
【請求項２５】
前記本体およびスパッタリング要素が、互いにスパッタリングローラを形成する請求項２３または２４記載の製法。
【請求項２６】
前記スパッタリングローラが配設される第２のサブフレームをさらに含み、該第２のサブフレームが、前記第４の軸にほぼ平行であり、かつ第４の軸から離間している第５の軸周りに回転可能である請求項２５記載の製法。
【請求項２７】
第２の駆動手段が、分配ドラムから遠近方向に、スパッタリングローラの変位を独立して調節可能にするために、前記メインフレームと前記第２のサブフレームとのあいだに有効に延び、それにより前記調整手段の一部として、スパッタリングプロセスの選択的な変更および中断を可能にする請求項２６記載の製法。
【請求項２８】
前記第２の駆動手段が、水力式または空気式シリンダを含む請求項２７記載の製法。
【請求項２９】
前記スパッタリング装置が、スラリーからなる供給物を収容するタンク、およびスラリーを前記入口を通してタンクから前記容器へ分配するための分配導管をさらに含む請求項１９、２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７または２８記載の製法。
【請求項３０】
前記容器が、前記分配ドラムおよび前記計測ローラの直上に配置されたタンクによって画定されてなる請求項２９記載の製法。
【請求項３１】
前記容器が隣接するローラのあいだに画定された閉鎖領域からなる請求項２９記載の製法。
【請求項３２】
前記計測ローラが前記分配ローラの上に配置される場合に、前記閉鎖領域が、前記分配ドラムと当接アイドラーローラとのあいだに画定される請求項３１記載の製法。
【請求項３３】
共通のハチェック機械で動作するために設けられた一続きの前記スパッタリング装置を組み込む請求項１０、１１、１２、１３、１４、１５、１６、１７、１８、１９、２０、２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８、２９、３０、３１または３２記載の製法。
【請求項３４】
１つまたはそれ以上の前記スパッタリング装置の下流側に配置された真空ボックスを用いて、シートを介してスラリーを脱水する工程をさらに含む請求項３２または３３記載の製法。
【請求項３５】
各スラリー組成が、シートにおける所望の美的特性、機能的特性または性能特性に対応する場合に、前記各スパッタリング装置が、他のスパッタリング装置によって分配されたスラリーと同一の組成または異なる組成のいずれかを有するスラリー組成を分配するように構成される請求項３３または３４記載の製法。
【請求項３６】
各スパッタリング装置を、連続するファイバセメント積層物間に１つの層または複数の層を分配するように制御する工程をさらに含む請求項３３、３４または３５記載の製法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、以下のオーストラリアの仮特許出願から優先権を請求し、その全内容は、クロスリファレンスによって本明細書に織り込まれている。
2004520975.tif 000003
【０００２】
本発明は、シート材料、好ましい形態では、積層シート材料を形成する方法および装置に関する。
【０００３】
本発明は、本来、建築業において使用される、“ハチェック（Hatschek）”プロセスを改変してセメント質のスラリーからファイバー鉄筋コンクリート（“ＦＲＣ”）のシートを形成するのに使用するために開発されたものである。そのため、主としてそれが本出願に関して記述されている。しかしながら、本発明は、この特定の分野での使用に限定されることはく、別の材料、別の製造プロセスおよび別の産業に適用可能であるということは明らかである。
【背景技術】
【０００４】
従来技術についての以下の議論は、適切な技術的背景において本発明を述べ、そして、それの趣旨が適切に認識されることを可能とするように意図されている。しかしながら、明白に示されていないかぎり、本明細書におけるあらゆる従来技術に対する言及は、そのような技術が、広範囲に知られているか、または、その分野において一般に普通の知識の一部分を形成することを認めているものとみなされるべきではない。
【０００５】
シート材料、とくにＦＲＣシート材料は、クラッディング、ライニング、枠組、フローリング、ルーフィング、ドアリング、窓枠組、断熱、防水、装飾用トリミングなどを含む様々な適用で、建築および建設業において広範囲に使用されている。その材料が異なる状況で使用される方法により、そのユニークな建築、美的、防音、保温および耐侯特性が利用される。それは、一般に、異なる適用におけるその機能的特性を最適に利用するように、異なるサイズ、形状、厚さ、密度で、そして他の材料と関連して、様々な特定の目的の添加剤を用いて製造される。
【０００６】
ＦＲＣシートは、最初のうちは、補強のために繊維状アスベストを含有するセメント質のスラリーから、改変された紙製造機を使用して製造された。そののち、繊維状構造のセルロースファイバが、アスベストへの代替として用いられ、そして、その製造設備は、とくにＦＲＣ産業に対して漸次に開発されてきた。
【０００７】
この開発作業の頂点として、その産業において最近使用されている最も普通の製造プロセスは、“Hatschek”プロセスとして現在知られている。このプロセスにおいて、最初にセメント質のスラリーが、水、セルロースファイバ、シリカ、セメント、およびその意図された適用に応じて製品に特定の特性を与えるように選択される別の添加剤から形成される。そのスラリーは、撹拌器で混合され、そして移送だめ（feed sump）に分配され、その移送だめから、一続きのバットを介してポンプで汲み上げられる。ふるいシリンダは、各バット内のスラリーに浸され、そして、これらのシリンダは、それらが、特別に組成されたフェルト材料から形成され、重ねられるベルトの下部走行部によって漸次に駆動されるにつれて回転する。大規模製造環境における典型的なハチェック（Hatschek）機械は、一続きの３つか、または４つのバットと、それに対応する数の関連したふるいシリンダとを組み込んでいる。しかしながら、バットおよびシリンダの数は変えることができ、いくつかのシリンダが１つのバットに浸されることが可能であるという意味で、それらのあいだに１対１の相関関係がある必要はない。
【０００８】
そのプロセスにおいて、バット内の比較的薄いスラリーは、それぞれのふるいシリンダに装着されるワイヤメッシュスクリーンを介して濾過される。そのスラリーが、このメッシュを通って濾過されるとき、それは、ワイヤの下側表面にセルロースファイバの層を堆積させ、その層は供給スラリー中の他の粒状物資をトラップするようにフィルタ媒体として作用する。このメカニズムによって、ほぼ０．３ｍｍの厚さを有する材料の薄いフィルムが、ふるいの表面に急速に積み重ねられる。このプロセスは、各バットにおけるほぼ７％固体の濃度からフィルムにおけるほぼ７０％固体の濃度にスラリーを濃くする。過剰な水は、濾過水としてふるいワイヤを通りぬけ、そして、ふるいシリンダの端部から出ていき、そのために、残余固体は、回収され、そして再循環されることができる。
【０００９】
各ふるいシリンダの表面に形成されるフィルムは、重ねられるベルトの外側表面との接触接触により移動させられる。この移動プロセスは、フェルトが、ふるいよりも小さい小孔であるという事実によって起こり、その結果、気圧がその移動を容易にする。
【００１０】
フェルトが、直列に各連続するバットを通りこすとき、それは、対応する一続きのフィルムの連続したレイヤを関連したふるいからピックアップし、そして、そののち、ベルトの上部走行部に沿って位置決めされる真空ボックスを通りこし、そこでベルトの上の集積されたフィルムの層はそれらの水分含有量を減少させる。
【００１１】
層状に積み重ねられたフィルムは、つぎに、ベルトに駆動力をさらに供給するトレッドローラと、比較的大きい直径のドラムの形状をとる隣接した集積、または、“大径（size）”ローラとのあいだを通過する。トレッドローラおよび大径ローラは、新たな水がフィルムの外にプレスされ、同時に、以前にふるいシリンダからベルトに運ばれたのと類似するメカニズムによって大径ローラに運ばれるように位置決めされる。大径ローラが、可能な巻数だけ多数の層状に積み重ねられたフィルムを集積したのちに、フィルムが切断される。したがって、より厚いシートの形成は、フィルムを切断する前の多数の回転を可能とすることによって達成される。切断プロセスにおいて、ワイヤまたはブレードが、大径ローラの表面から半径方向外方向に突出されて、そのローラの表面に漸増的に形成された層状に積み重ねられたフィルム材料の円筒を長手方向に切断する。
【００１２】
切断されると、材料のシートは、大径ローラから離れ、ランオフコンベヤによって取り除かれる。この段階での材料は、湿ったボール紙と近似する軟度を有し、その結果、ランオフコンベヤ上で容易にフラットな形状をとる。湿気端でそのプロセスを完了するために、フェルトは、フィルムの新しい層をピックアップするためにバットに戻る前に、シャワーの列と真空ボックスとを通り抜けるときにきれいにされる。ハチェックプロセスから製造されるシート材料の品質および特性は、スラリー組成と関連付けられる変数の広い範囲と、機械の湿気端での様々なセッティングとによることは明らかである。
【００１３】
さらにプロセスラインを下ると、“グリーン”シートは、高圧噴射水カッターを使用してグリーントリムステーションで、一定の大きさになるように粗くトリムされ、そののち、それは、個々のシートとしてスタッカーに前進する。スタッカーで、グリーンシートは、真空パッドによってピックアップされ、そして挿入シート（interleaving sheet）とともにオートクレーブパックに形成される。
【００１４】
密度を増すために、部分硬化、そして、任意に、新たな圧縮プロセスののち、シートは、高められた温度および圧力条件のもとに、最終硬化のためにオートクレーブユニットに積め込まれる。オートクレーブにおいて、化学反応が、セルロース補強ファイバに結合されるカルシウム珪酸塩マトリックスを形成するために、原料のあいだに生ずる。このプロセスは約１２時間を要し、そして、その完了時に、シートは精密な最終トリミング、最後の仕上およびパッキングの準備ができるように、完全に硬化されて現れる。
【００１５】
ＦＲＣシートの製造のためのハチェックプロセスおよび他の周知のプロセスでの主な制約の１つは、フィルムの層がセメント質のスラリーから漸次に形成される方法のため、そして、スラリー自体の組成が形成プロセスに臨界的であるために、実質的に異なる材料組成を有する複数の離散層状態で精密にシート材料を形成することは難しいということである。このことは、多くの理由で、主として、特定の適用におけるその性能特性を最適化するように、材料の建設、美的および他の特性に合わせて作るためにより大きい程度のフレキシビリティーを可能とするために望ましいことである。たとえば、防火材料物質の層、特定の美的効果を達成するための織り込まれた外側層、サンディング（sanding）および仕上を容易にするための軟質の外側層、塗装の必要性を回避するための着色した外側層、または、防水、強度、耐衝撃、断熱、防音もしくは他の特性を加減するための層を組み込むことが望ましい。これに関して、漸次に形成される際の選択された段階で、補充層をシートに導入するための様々な試みが行われてきた。とはいえ、現在までのところ、これらの試みは成功していないか、または、せいぜい、部分的に効果があっただけである。今までのところ解決されなかった問題の１つは、シートに予め定められたレベルで精密に異なる材料組成の層を位置決めすることが可能であるのが望ましいことに関係している。この問題は、ある程度までは、シートが漸次に成長する方法のために、ある程度までは、製造プロセスのあいだにバット内で材料組成もしくは濃度を変更する際における難しさのために、そして、ある程度までは、その他のプロセスと同期化しつつ、高速であらゆる種類の補充噴射または注入プロセスを正確に停止および開始する際に伴う難しさのために起こる。
【００１６】
既存のプロセスの比較的厳密な制約内で、特定の選択された特性を高めるために、異なるスラリー組成を使用することによって、ある程度はシート材料の組成全体を一様に変えることは可能である。しかしながら、異なる組成の複数の層を適応させないことによって、その結果は、性能またはコストのいずれかの点からみると、ある点で妥協せざるを得ない。たとえば、サンディングおよび仕上を容易にするためには、シート材料の上に比較的軟質の外側層を形成することは望ましいのに対し、完全に軟質組成から形成されるシートは、構造上の保全の点からみると大いに危険にさらされることがある。同様に、比較的薄い防火材料層でも、実質的にシートの防火性能を増大するのに充分であるのに対して、完全に防火材料組成から形成されるシートは、費用が非常に高くなることがある。
【００１７】
ＦＲＣシートの最終硬化後、１つ以上の異なる層を組み合わせることによって、たとえば、異なる組成の複数のシートを互いに接着することによって、積層製品を形成することは可能である。しかしながら、これは、今度は、製造の時間およびコストをかなり増し、そして、特定の目的の接着剤の開発の必要性および反り、層関剥離などの可能性の点からみると新たな問題を生じる。
【００１８】
これらの問題を解決するために、それぞれの層が、そのプロセスの湿った状態のあいだに一体化されることが可能であるように、ハチェックプロセスに補充塗布装置を組み込むことによって、スラリーの追加の層を適用するという試みが行われた。これに関して、基板に液体をあてがう様々な形状の装置が知られている。たとえば、１つのプロセスは、スプレーバーを使用し、それによって、ペイントまたはプライマーなどの液体コーティングは、一般にコンベヤのスプレーバーの下を漸次に通過する基板をコーティングするように、間隔がおかれて離れているノズルを介して噴出されて、霧化される。このタイプの装置に伴う１つの問題は、均一のコーティングを必要とする霧化の程度を達成するのに必要とされる比較的精度の高いノズルが、とくに、縣濁液中に固体成分を含有するスラリーの場合、すぐに詰まることである。これにより、相互に調和しない塗布という結果となり、そして、頻繁にクリーニングをすることが必要となり、それは、時間の浪費であり、費用が高くなり、かつ、製造プロセスを中断させることになる。霧化は、粘性の高い液体およびスラリーの場合に問題を含むことになる。
【００１９】
別の知られている装置は、移動する基板の上に掛け、そして、直接ぬぐう作用によってコーティングを塗布する、軟質ファブリック材料のシートまたはカーテンを使用するカーテンコーティング装置である。しかしながら、カーテンコーティング装置は、相互に調和しない塗布になりがちであり、スラリーとの使用にあまり適切でなく、それらが製造環境において効果的に作動することが可能な速度の点において制約され、そして比較的厚いコーティングを塗布するようには適切には構成されていない。
【００２０】
別の知られている形状のアプリケータは、通常、フラッドコーティング装置と呼ばれており、そのフラッドコーティング装置は、本質的に、基板の上に液体のたまりを形成し、そして、基板の上の該たまりをエアジェットで広げることによって作動する。しかしながら、塗布の均一性、使用可能な液体またはスラリーの粘性、および塗布可能な層またはコーティングの厚さの点からみるとこの技術にも制約がある。
【００２１】
したがって、一般に、これらの知られている形状の装置は、詰まりによる故障発生度、相互に調和しない塗布、速度における制約、コーティングが塗布されることが可能なシート材料の幅における制約、塗布可能な液体またはスラリーの軟度における制約、これらの欠点の１つ以上のいくつかの組み合わせを含む様々な制約を受けやすい。それらは、さらに、かなりの厚さの中間層とは異なり、一般に、積層シートの一部として比較的薄い外側表面コーティングを塗布するように構成されている。これらの制約は、従来の装置を、シート物質、とくにＦＲＣシートの実質的なサイズで、比較的高速での製造に使用するのに一般に不適切にしている。
【００２２】
別の知られている形状の装置は、スパッタリングコーティング装置であり、そのスパッタリングコーティング装置は、基板にコーティングをスパッタリングするために、半径方向の配列のフレキシブルなフィラメントまたはブリストル（bristle）を組み込んだ回転ローラを使用する。スパッタリングコーティング装置は、たとえば、製造ラインで、表面コーティングを粘土またはメーソンリータイルに塗布するのに使用される。スパッタリングコーティング装置は、とくに、詰まりの点からみると、他の知られている形状のコーティング装置の欠点のいくつかをある程度解消できる。しかしながら、シート材料の製造に関して、知られているスパッタリングコーティング装置は、さらに、固有の制約を受ける。
【００２３】
とくに、知られているスパッタリングコーティング装置は、精密に制御されたコーティングまたは積層を可能とするために、断続的に、塗布プロセスを精密に停止および再開始することができない。これは、スラリーの供給が停止されるかまたはスパッタリングローラが一時的に停止されるとしても、“自己均一化”を確実とするのに必要とされる比較的やわらかくて液状化した軟度と、その結果として過剰のスラリーが基板上に滴下する傾向とのために、とくに、ＦＲＣシートの製造に一般に使用されるスラリータイプの場合にあてはまる。
【００２４】
塗布プロセスの断続的な停止および開始に関するこの精密なコントロールは、異なる層、厚さ、または特性を有する異なる群のシートが、コーティング装置を通って連続して動くのに必要とされ、そして、不正確な変動するコントロールは、まだらな塗布、または製品のつぎの群にはみ出す１つの群のコーティングを結果として生ずる可能性があるという、とくに高速製造環境において重要である。
【００２５】
新たな問題が、セメント質のスラリーを使用してＦＲＣシートまたは他製品の製造において、これが、装置においてまたはプロセスの上流側部分において、スラリーの停滞もしくは集積を結果として生ずるので、装置自体へのスラリーの供給を停止しないことが望ましいという事実により起こる。これは、オーバーフロー、スラリーの軟度または濃度の変化、沈殿もしくは堆積、または好ましくない変化をもたらす結果となりうる。
【００２６】
知られているスパッタリング装置は、スラリー塗布プロセスの精密な中断を行わず、そして、さらに、装置へのスラリーの供給を停止することなく中断することができない。それらは、その結果、とくに、シート材料のための高速製造環境において、精密に制御された断続塗布プロセスを可能とするのには効果的でない。
【００２７】
従来技術の前述の説明は、本発明が、その技術の背景において、より完全に理解され、そして、認識され、そして、その趣旨が、より完全に認識されることができるように提供されている。しかしながら、明白に示されていないかぎり、この議論は、従来技術のいずれかが言及した明示または暗示の事柄が、広く知られまたはその分野において一般に普通の知識の一部分を形成するものとして解釈されないし、そして、解釈されるべきではない。
【００２８】
本発明の目的は、従来技術の１つ以上の制約を解消すること、実質的に改善することまたは少なくとも有益な別の方法を提供することである。
【発明の開示】
【００２９】
したがって、第１の態様において、本発明は、液体成分を有するスラリーから積層シート材料を形成する方法を提供し、前記方法は、
所定の厚さの湿ったシートを形成するために連続する層状態で基板にスラリーを塗布する工程と、
スパッタリングによって前記層の少なくとも１つの層を塗布する工程と、
前記基板から湿ったシートを取り除く工程と、
少なくとも液体成分のかなりの割合を取り除くように、湿ったシートを乾燥するか、または、硬化し、それによって、シート材料を形成する工程と
を含んでいる。
【００３０】
本明細書で使用されているような“スパッタ（spatter）”、“スパッタリング（spattering）”などの用語は、あらゆる塗布技術を包含するように意図されるものであり、それによって、スラリーは、ブラシをかけること、跳ね飛ばすこと、回転すること、撹拌すること、霧化すること、または他の離散手段によって製造されるかどうかにかかわりなく、そして、機械的手段、静電気手段、静水圧手段、流体手段、重力手段、または他の手段によって推進されるかどうかにかかわりなく、飛沫、小滴、微粒子または霧化された形状で、表面または基板上に堆積される。
【００３１】
明細書および請求の範囲を通じて、明白に別の方法を要求していないかぎり、‘comprise’、‘comprising’などの言葉は、限定的または網羅的な意味にとは反対に、包括的な意味で、すなわち、“限定されるものでなく、含む”という意味に解釈されるものである。
【００３２】
スラリーは、シート材料の望ましい特性により、所定の割合で、水、セルロースファイバ、シリカ、セメント、および、任意に、他の添加剤の混合物から形成されるセメント質のスラリーであることが好ましい。
【００３３】
その方法は、“ハチェック（Hatschek）”プロセスまたはその派生形、または変更であることが好ましく、基板は、小孔のあるベルトの形状をとり、そして、その方法は、さらなる工程、すなわち
所定の厚さが達成されるまで、ベルトの下流側の大径ローラ上にフィルムを漸次に集積する工程と
湿ったシートを形成するために、その大径ローラから集積された材料を切断し、そして、取り除く工程と
を含んでいる。
【００３４】
好ましくは、小孔のあるベルトは、フェルトから形成され、そして、フィルムは、前記ベルトと圧延接触状態であり、かつスラリーを含有するバット内に実質的に浸されている、一続きのふるいシリンダを使用して、ベルトに少なくとも部分的に堆積される。
【００３５】
好ましい実施の形態において、スパッタリングされた層は、シートにおける少なくとも１つの他の層と実質的に異なる材料組成から形成され、そのスパッタリングされた層の組成および位置決めは、シートにおける所定の物理的特性もしくは性能特性を与え、または、最適化するように選択される。所望の特性または特徴は、高められた防水性、防火性、引張強さもしくは圧縮強さ、粘り強さ、耐ひび割れ性、耐衝撃性、硬度、密度、厚さ、断熱、防音、釘打ち可能性、ワーカビリティ、着色、または表面テクスチャに限定されるものではないが、それらを含むことができる。
【００３６】
好ましい実施の形態において、スパッタリングされたスラリーは、セメント質のスラリーであり、シリカ、セメント、水、および、任意の他の添加剤の混合物から形成されることがより好ましい。スラリーは、５０％と約９０％とのあいだの固体含有量を有する、自己均一化の脱水可能なセメント質のスラリーであることが最も好ましい。そのスラリーは、好ましくは、真空の助力があっても、または、真空の助力なくても、基板を通って、スラリーの脱水を可能とするように、充分な量の脱水補助剤を含むことが好ましい。
【００３７】
スパッタリングされた層は、基板にスラリーを塗布する装置を使用して塗布されることが好ましく、その装置は、
スラリーの層を支持するために配置される分配表面と、
該分配表面に近接して配置され、分配表面から基板にスラリーをスパッタリングするように移動可能に構成されたスパッタリング手段と、
分配表面から基板へのスラリーの流れを選択的に変更するか、または中断する調整手段と
を含んでいる。
【００３８】
本発明の好ましい適用において、基板は、小孔のあるベルトか、セメント質のスラリーが予め堆積されたフィルムまたは層のいずれかである。
【００３９】
前記装置は、調整手段の上流側にスラリーを含有する容器を含むことが好ましい。その容器は、供給源からスラリーを方向付けるための入口と、調整手段と関連付けられる出口とを含むことが好ましい。
【００４０】
前記調整手段は、可変式の有効流動面積の中間クリアランススペースを画定するように選択的に移動可能な一対のバリア要素を含み、それによって、バリア要素のあいだのスラリーの流量の調整を選択的に可能とすることが好ましい。バリア要素は、容器と分配表面とのあいだのスラリーの流動を選択的に停止するように閉鎖した形状に構成されることが好ましい。
【００４１】
バリア要素の１つは、第１の軸周りに回転可能な第１の円筒状のローラであることが好ましい。バリア要素の他の１つは、ほぼ第１の軸に平行な第２の軸周りに回転可能な第２の円筒状のローラであることが好ましい。それらのローラは、反対方向に回転するように構成されることが好ましい。
【００４２】
第１のローラは、分配ドラムの形状をとることが好ましく、その外側表面が、分配表面を構成する。第２のローラは、調整手段の一部として、スパッタリングプロセスの変更または、中断を選択的に可能とするように、分配ドラムから遠近方向に選択的に移動可能な計測ローラの形状をとる。
【００４３】
１つの実施の形態において、容器は、分配および計測ローラの真上に位置決めされるタンクによって少なくとも部分的に画定される。別の実施の形態において、容器は、単に、近接したローラ間に、好ましくは、分配ローラと隣接するアイドラーローラとのあいだに画定される閉じ込め領域であり、計測ローラは、分配ローラの上に位置決めされる。
【００４４】
前記装置は、さらに、分配ドラムを支持するメインフレームと、計測ローラが配設される第１のサブフレームとを含むことが好ましい。第１のサブフレームは、第２の軸にほぼ平行で、そして、第２の軸から離間している第３の軸周りに回転可能であることが好ましく、それによって、第３の軸周りの第１のサブフレームの回転が、分配ローラから遠近方向に計測ローラを調節可能に変位させる。
【００４５】
１つの好ましい実施の形態において、前記装置は、計測ローラと分配ドラムとを互いに調節可能に移動する水力式駆動手段または空気式駆動手段を含んでいる。
【００４６】
スパッタリング手段は、その他の軸とほぼ平行な第４の軸周りに回転可能なほぼ円筒状の本体と、該本体から半径方向外方向に延在する複数の弾力的にフレキシブルな細長いスパッタリング要素とを含むことが好ましい。本体およびスパッタ要素は、一緒にスパッタリングローラを形成することが好ましい。
【００４７】
前記装置は、スパッタリングローラが配設される第２のサブフレームを含むことが好ましく、第２のサブフレームは、分配ドラムから遠近方向に、スパッタリングローラの変位を調節可能にするために、第４の軸にほぼ平行でかつ当該第４の軸から離間している第５の軸周りに回転可能である。
【００４８】
様々なローラ間のスペーシングおよびローラの速度は、製造プロセスの速度、スパッタリングされた層の所望の厚さ、スパッタリングされたスラリーの軟度および他の関連したパラメータにより、スパッタリング割合の調節を可能とするように選択的に調節可能である。
【００４９】
本発明の１つのとくに好ましい実施の形態において、前記方法は、シートを介した脱水を容易にするために、各スパッタリング装置の後ろに任意に位置決めされる真空ボックスとともに、同一のハチェック機械上で作動するように配置される一続きのスパッタリング装置を組み込んでいる。この構造において、各スパッタリング装置は、仕上がったシートにおける所望の美的特性、機能的特性または性能特性に対応する、同一の組成または異なる組成のいずれかを有するスラリー組成を分配するように構成することができる。スパッタリング装置の列が、連続するファイバセメント積層物間に１つの層または複数の層を分配するように制御されることができることは明らかである。
【００５０】
本発明は特定の例示を参照として記述してきたが、当業者によって本発明が多数の他の形状に実施されることができることは明らかである。
【００５１】
本発明の好ましい実施の形態は、ここでは、添付の図面を参照しつつ単に例示によって記述されている。
【発明を実施するための最良の形態】
【００５２】
図面を参照すると、好ましい実施の形態における本発明は、ＦＲＣシート製造のためのプロセスプラントに組み込まれるように構成されている。最初に、図１を参照すると、製造ライン１は、その前端に、セルロースファイバが、パルプの梱（bales）のまま受け入れられ、精製され、そして貯蔵されるセルロースプラント２を組み込んでいる。シリカプラント３において、シリカは、未処理の砂のまま受け入れられ、ボールミルでかなりの大きさに粉砕され、そして密にされる。セメントプラント４において、セメントは、それ以上に処理されることなく、受け入れられ、そしてサイロに貯蔵される。セルロースプラント２、シリカプラント３およびセメントプラント４からの原料混合プラント５の方に方向付けられ、そこで、あらゆる特定の添加剤を含む原料のすべてが、計量ホッパー６で精密に計量され、ミキサー７で水と混合され、そして、供給スラリーとして撹拌器８に運ばれる。
【００５３】
前記撹拌器から、供給スラリーは、ハチェック機械１０の湿気端（図２参照）に進み、そこで沈殿を防止するために、ビーター（beater）１３を組み込んでいるそれぞれのバット１２内で回転する一続きの４つのふるいシリンダ１１によって濾過される。濃縮したスラリーは、層状に積み重ねられたフィルム１６としてフェルトベルト１５の下方を走行する外側表面に移される。真空ボックス１７上での脱水後、前記フィルムは、所定のいくつかの回転のために大径ローラ１８に漸次に巻き込まれる前に、さらなる脱水のために、サイズまたは集積ローラ１８とトレッドローラ１９とのあいだの一はさみで圧搾され、それによって、フィルムの連続する層が、所定の厚さにローラ上で対応する層状態に蓄積される。そのフィルムは、つぎに、作動時に集積ローラの外側表面から半径方向外方に延在する長手方向のナイフ（図示せず）によって切断され、そして、湿ったボール紙と近似する軟度を有するシートを形成するために平らにされる。
【００５４】
そこから、シートは、グリーントリミングステーション（green trimming station）２０に運ばれ、そして、高圧噴射水カッター（図示せず）を使用して切断される。そして、トリミングの切れ端は、再使用のために、スクラップパルププラント（同様に図示せず）でパルプ化される。シートは、つぎに、積み重ねステーション２１に前進し、そこで、それらは、真空パッドによってピックアップされ、そして、予め硬化されたとじ込みシートとともに、オートクレーブパック２２に組み込まれる。該パック２２は、つぎに、任意に、密度を高めるためにさらなるプレス２３を介して部分的硬化のための保持ステーション２５に運ばれる。
【００５５】
部分的に硬化されたシートは、ほぼ９００ｋｐａの圧力下での最終硬化のために高圧スチームオートクレーブユニット２６に詰め込まれ、そこで、スタック中に、約１８０℃の温度が与えられる。オートクレーブでのこれらの状況の下で、化学反応が、セルロース補強ファイバに結合されるカルシウム珪酸塩マトリックスを形成するために原料間に生じる。このプロセスは、約１２時間を要し、そして、完了すると、シートは、完全に硬化されて現れる。
【００５６】
オートクレーブ硬化に続いて、前記シートは、サンディングステーション２９とトリミングステーション３０とを組み込む仕上げプラント２８に前進し、そこで、シートは、長さと幅に精密にトリムされ、そして、ある製品の場合、シートの表面は、サンドペーパーでみがかれて、そして、シーラーが塗布される。仕上プロセスの終りに、シートは貯蔵および引渡しの準備のために、積み重ねステーション３１においてパックされる。この範囲まで、この基本的な製造プロセスは、当業者には知られており、かつ、理解されているので、より詳細に記述される必要はない。
【００５７】
図２は、本発明にかかわるスパッタリング装置４０（図２に概略的に示されている）を組み込むことによって変更されているハチェック機械１０の拡大図である。図２に概略的に示されている範囲において、スパッタリング装置自体は、図３ないし図５により詳細に示されている。これらの図面を参照すると、スパッタリング装置４０は、スパッタリングされるスラリーを収容する細長い容器４３と該容器からスラリーの層またはフィルムを受け取り、そして表面張力によって支持するための外側分配表面４５を有する分配ドラム４４とを備えている。前記装置は、さらに、容器から分配ドラムの分配表面へのスラリーの流動割合を選択的に調節するための円筒状の計測ローラ４７と、その分配表面から基板にスラリーをスパッタリングするように構成されるスパッタリングローラ４８とを備えている調節手段４６を含んでいる。この場合、前記基板は、ハチェック機械のフェルトベルト１５か、またはハチェックプロセスによってベルトに予め堆積されているスラリーの予備の層もしくはフィルムのいずれかを備えている。
【００５８】
容器４３の頂部で、多数の入口４９が、装置の水平面の下方に位置決めされている５００リットル保持タンク５０（図５を参照）の形状をとる供給源からスラリーを受け入れる。そのスラリーは、マニホールド５１を介して保持タンクから容器にポンプ（図示せず）によって分配される。前記マニホールドは、タンクと流体連絡するヘッダーパイプ５２と、そのヘッダーパイプから下方に延在する多数の平行な分配パイプ５３と含んでいる。該分配パイプ５３は、図５において矢印Ａによって示されるようにスラリーを分配するために、容器の方に入口４９を介して開口している。オーバーフローパイプ５４は、容器内のスラリーが、所定のレベルをこえるとき、容器のオーバーフローを防止するために、矢印Ｂによって示されるように、スラリーが保持タンクに戻って再循環されるように、容器と保持タンクとのあいだに延在している。
【００５９】
分配ドラム４４は、本質的に、円筒状のローラであり、装置のメインフレーム５６上の第１の軸５５周りに、矢印Ｃによって示される方向に回転するために配設されている。そのドラムは、容器の出口５７の下方に配置され、それによって、容器が分配表面４５上に直接供給するように、矢印Ｄによって示されるように、容器から下方に供給されるスラリーの通路に位置決めされている。
【００６０】
このようにして、分配ドラムは、調節手段４６の一部分を形成し、そして、第１の軸５５にほぼ平行である第２の軸５９周りに、矢印Ｅによって示される方向に回転するために第１のサブフレーム５８（図４を参照）に配設されている計測ローラ４７と共同して作動する。前記サブフレーム５８は、第２の軸５９に平行な第３の軸６０周りの回転のためにメインフレーム５６に配設される。
【００６１】
空気式または水圧式ラム６１の形状をとる駆動手段が、矢印Ｆによって示されるように、分配ドラムから遠近方向に計測ローラ４７を動かすためにサブフレーム５８を漸次に、かつ、選択的にサブフレーム５８を回転するように配置されている。したがって、分配ドラムおよび計測ローラは、容器から分配表面へのスラリーの流れを調節するために、それらのあいだの中間クリアランススペース６２を画定する一対のバリア要素として機能するということが明らかである。その動きは、別の方法として、ねじ付き調節具または何か他の適切な調節メカニズムによってもたらされることができる。
【００６２】
分配ドラムおよび計測ローラは、モータ、ギヤボックスおよびチェーン駆動アセンブリ（図示せず）を介して反対方向に駆動される。分配ドラムおよび計測ローラの両方は、所望の表面硬度を与えるために、クロムでめっきされている。しかしながら、別の実施の形態として、分配ドラムおよび計測ローラは、ポリウレタン、カーバイド、または適切な他の物質でコーティングすることもできる。
【００６３】
スパッタリングローラ４８は、円筒状の本体６３と、該本体から半径方向外方向に延在するブリストル６４の形状をとる複数の弾力的にフレキシブルな細長いスパッタリング要素とを含んでいる。スパッタリングローラは、第１の軸５５にほぼ平行である第４の軸６６回りの回転のために第２のサブフレーム６５に配設されている。該サブフレーム６５は、その他の軸にほぼ平行である第５の軸６７周りの回転のためにメインフレーム５６に配設されている。ラム６８または他の適切はアクチュエータは、前記軸６７周りに第２のサブフレーム６５を回転させるために、そして、矢印Ｇによって示されるように、分配ドラムから遠近の方向に調節可能にスパッタリングローラを動かすために設けられている。前記スパッタリングローラは、さらに、Ｖ−ベルト駆動アセンブリ（図示せず）を介して、モータによって駆動される。オーバーフローだめ６９は、スパッタリングローラによって取り除かれることなく、分配ドラムから落ちる過剰のスラリーを捕捉するために、装置の基部に設けることができる。
【００６４】
使用に際して、前記装置は、予め図２に概略的に示されているように、理想的には、大径または集積ローラ１８の上流側に、ハチェック機械１０のフェルトベルト１５の上方走行の上に位置決めされる。この位置決めは、都合のよいことには、最初は、メイン真空ボックス１７の上で、そして、実質的には、大径ローラ１８とトレッドロール１９とのあいだの一はさみで、他の層ととともにスパッタリングされた層の脱水を可能とする。スパッタリング装置は、スパッタリングされたスラリーの組成とＦＲＣシートにおけるその意図された機能とにより、プロセスにおけるあらゆる段階で位置決めされることができるということは、明らかである。
【００６５】
部分的に形成されたシートまたはフィルムが、装置の下を通過するとき、容器から流れてくるスラリーは、回転分配ドラム４４の上に移動する。スパッタリングローラは、同時に回転し、それによって、ブリストル６４は、隣接した分配ドラムの上を急速に引きずられて、ドラムの分配表面４５に付着する層からスラリーをピックアップする。ブリストル６４が、分配ドラムから充分に離れて動くと、スラリーは、下を通るベルトまたはシート材料７０の上に下方にはじき飛ばされるかまたはスパッタリングされ、それによって、シートに対して、スラリーの最初の層、追加の層またはフィルムを均一に塗布する。
【００６６】
反対回転の計測ローラ４７が分配ドラムから離れて位置決めされる間隔は、中間スペース６２の断面領域、すなわち分配ドラム上へのスラリーの流動割合を決定する。これは、分配表面に形成されるスラリーの層の厚さを決定し、そのことは、スパッタリングローラによるスラリーのスパッタリングにも影響を及ぼす。この厚さは、使用されるスラリーの特定の組成およびシートに塗布されるスラリーの層の所望の特性により、ラム６１によって所望のとおりに調節されることが可能である。
【００６７】
クリアランススペース６２の断面流動面積を調節するのに加えて、スパッタリング特性は、さらに、第２のラム６８を使用して、分配ドラムから遠近方向にスパッタリングローラを動かすことによって変更されることが可能である。これにより、ブリストル４４が、分配表面のスラリー層を貫通する程度、分配表面上のブリストル４４の圧力、および追加したコントロールの大きさを与えるためのブリストルの弾力的な変形の程度を変える。さらなる調節およびコントロールは、スパッタリングローラの絶対的な速度、および分配ローラに対する速度の両方の意味で速度を変えることによって達成されることが可能である。これらの様々な操作パラメータを変えることによって、最大約１０ｍｍ以上の異なる厚さが、単一の層、中間の層または表面層において達成されることが可能である。オレンジピール、スタッコなどの異なる表面も達成することが可能である。
【００６８】
第２のサブフレーム６５は、その軸６７周りに充分回転することができ、スパッタリングローラが、分配ドラムから充分に離れて移動することを可能とする。調節手段の一部分として、これは、下記により詳細に記述されるように、塗布プロセスを精密に停止および開始するだけでなく、スパッタリングローラおよびドラムのクリーニングおよびメンテナンスを容易にすることを可能とする。
【００６９】
容器からのスラリーの多少の滴下は、地面にぶつかり、そして、分配ドラムににぶつかるだけでなく、計測ローラによってまわりに運ばれるということは明らかである。このスラリーだけでなく、スパッタリングローラによって取り除かれなかった、容器からの別のスラリーは、オーバーフローとして計測ローラから落ちる。このオーバーフロースラリーは、液だめ６９で捕捉され、そこから、重力でメインタンク５０に戻る。
【００７０】
装置の実施の形態は、異なる特性および異なる層の組み合わせを有するＦＲＣシートが迅速に連続して製造される製造ラインに使用されるということが意図されている。その結果、装置は、スパッタリングプロセスを中止、そして再開始することが可能であるだけでなく、迅速かつ精密に、スラリーの流動割合の調節を可能とすることが必要である。そうでなければ、製造ラインに沿って通過する１つのタイプのシートのつぎに続くタイプのシートに対するスパッタリング状態のキャリーオーバーが生じる。スパッタリングプロセスを一時的に停止するために、スパッタリングローラは、断続的に分配ローラから離れて移動される。このように、スパッタリングローラは、さらに、スラリー流動調節手段の一部分を形成する。付加的にまたは別の方法として、計測ローラは、クリアランススペース６２を完全に閉鎖するように、当該計測ローラが分配ドラムに直接当接するまで、簡単に移動されることができ、その結果、関連付けられた出口を通過しての分配表面に対するスラリーの供給が停止される。
【００７１】
しかしながら、このプロセスのあいだに、メインタンクから容器へのスラリーの分配割合を停止または減少させることは、望ましくない。というのは、これが、オーバーフロー、スラリーの軟度もしくは濃度の変化、沈殿もしくは堆積、他のプロセスパラメータの混乱、および／またはパイプの詰まりを含む不利な結果を上流側においてもたらすことがあるからである。したがって、スパッタリングプロセスが中止されるとき、容器からのスラリーの流動割合が減少されるか、または停止されるという結果を生じ、容器内のスラリーのレベルが上がり始める。それが、オーバーフローパイプ５４のレベルに達すると、スラリーは、メインタンクに戻って再循環され始め、そこから、スラリーは、分配が再開するまで容器を行ったり来たり循環し続ける。
【００７２】
図４は、本発明の他の実施の形態を示す概略図であり、その対応する特性は、対応する参照符号で示されている。この場合、容器のための独立したタンクは使用されていない。むしろ、容器は、簡単に、分配ローラ４４と、該分配ローラと回転接触しており、かつ該分配ローラに対して並んだ関係で位置決めされるアイドラーローラ７２とのあいだに画定される無蓋閉じ込め領域７１の形状をとっている。アイドラーローラは、ポリウレタンでコーティングされ、そして、駆動されない。アイドラーローラの高さおよび直径は、閉じ込め領域７１内のスラリーが、分配ローラ４４と、この実施の形態において、分配ローラの真上に位置決めされている計測ローラ４７とのあいだに画定されるクリアランススペース６２に自然に流動するように構成されている。追加の収集トレー７４は、アイドラーローラからのあらゆるスラリー滴下を収集し、そして、再循環のために、オーバーフロー導管５４を介してメインタンク５０にスラリーを戻すために設けられている。大部分の他の点に関して、この実施の形態は、本質的に、以前に記述されたのと同じ方法で機能する。
【００７３】
装置は、プロセスラインに沿ってあらゆる所望の場所に位置決めされることができ、そしてスパッタリングされた１つの層または複数の層を適切に位置決めするために、断続的に、そしてプロセスにおけるあらゆる所望の段階で、選択的に操作されることができる。たとえば、スパッタリングされた層は、まず、最終的にシートの外側層となるものを形成するように、フィルムの第１の層としてベルトに塗布されることができる。このことは、たとえば、外側にスパッタリングされた層が、サンドペーパーでのみがきおよび仕上を容易にするための軟質のＦＲＣ組成、強く印象付けるためもしくは塗装の必要を回避するための着色組成または所望の美的効果を達成するための織り込まれた層を備えている場合に行われる。同一の考えが、スパッタリングされた層が最終層であって、仕上がったシートの外表面を形成する場合にも適用されることができる。別の方法として、スパッタリングされたスラリーは、内部層を形成するために、中間段階で塗布されることができる。これは、たとえば、防火材料層、水分バリア層、あるいは、構造上のために加えられる層の場合であり、この場合は、表面仕上または美的考慮は、直接には関係がない。複数のスパッタリングステーションは、さらに、シート材料の所望の形状を達成するために、ハチェックプロセスと組み合わせるかまたは独立して、同一または異なるスラリー組成のいずれかを使用して、プロセスにおける異なる段階で、直列でまたは並行で使用されることができる。実際に、単一の均一の層または同一もしくは異なる組成の複数の層として形成されるシーティングは、適切な状況において、スパッタリングによって完全に製造されることができる。
【００７４】
本発明は、スラリーからシート材料を製造する効果的、そして、効率のよい方法および装置を提供しているということは明らかである。ハチェックプロセスに対する変更としてのその好ましい適用において、それは、広い様々な性能基準および美的特性を達成するために、容易に作られかつ最適化されることが可能な積層シート材料を精密に製造する手段を提供している。装置は、さらに、スラリーの塗布特性が、走行間のセットアップタイムが最小である高速製造環境で、積層製品を含む異なる製品を製造するべく、かなりの程度のフレキシビリティを提供するように、容易にかつ迅速に変更されることが可能である。これらのすてべの点に関して、本発明は、従来技術をこえる実用的で、そして商業的に顕著な改善を表わしている。
【００７５】
本発明は、特定の例示を参照しつつ記述してきたが、当業者には、本発明は、多数の他の形状で実施されることができるということは明らかである。とくに、本発明の方法および装置は、複合製品、脱水可能なスラリーのための添加剤、そして、様々な優先権書類に記述されるような建築製品のためのコーティングと関連して使用されるように構成されることができる。
【図面の簡単な説明】
【００７６】
【図１】ハチェック機械を使用してＦＲＣシートを製造する現在知られているプロセスを概略的に図示するフローチャートである。
【図２】本発明にかかわるスパッタ方法および装置の組み込むことによって変更された図１のハチェック機械の湿気端を示す拡大図である。
【図３】図２のスパッタリング装置をより詳細に示している拡大斜視図である。
【図４】図３のスパッタリング装置の側面立面図である。
【図５】図３および図４のスパッタリング装置を通るスラリーの流れを示す概略側面立面図である。
【図６】本発明にかかわるスパッタリング装置の他の実施の形態を示す概略側面立面図である。
【国際公開パンフレット】
2004520975.tif 000004
2004520975.tif 000005
2004520975.tif 000006
2004520975.tif 000007
2004520975.tif 000008
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2004520975.tif 000034
【国際調査報告】
2004520975.tif 000035
2004520975.tif 000036
2004520975.tif 000037