(57)【要約】キャリヤ速度に対するプラテン速度の比率（ＰＳ対ＣＳ）を特定の範囲内で制御することによるか、あるいは約１５０：１〜約１：１５０の範囲内のＰＳ対ＣＳ比の第１の研磨工程、及びそれに続く第１の研磨工程で使用されるキャリヤ速度を維持し、それが研磨によりパターニングされたウェーハ表面から除去される残留材料の除去を最大限にしながら、約０〜２０ｒｐｍのプラテン速度で研磨する第２の研磨工程を制御することによって、研磨パッドでキャリヤ内のウェーハを研磨する方法。【特許請求の範囲】
【請求項１】
半導体ウェーハ上の金属層の化学機械平坦化のための方法であって：
研磨機の回転可能なキャリヤ内にウェーハを取付け、回転キャリヤ速度ＣＳでキャリヤを回転させる工程；
前記研磨機の回転可能なプラテンに研磨パッドを取付け、回転プラテン速度ＰＳでプラテンを回転させる工程、ここでＣＳに対するＰＳの比が１５０：１及び１：１５０の範囲内にある；及び
両者間の相対的運動を維持しながら、設定した押し付け力でウェーハと研磨パッドを接触させ、その間にウェーハと研磨パッドとの界面に研磨用流体を供給して、実質的に平坦化されたウェーハ表面を与える工程、
を含む方法。
【請求項２】
設定した押し付け力でウェーハと研磨パッドとを接触させる工程が、ウェーハと研磨パッドを約１〜１０ｐｓｉの範囲内の設定した押し付け力で接触させる工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
研磨用流体を供給する工程が、
約２０，０００〜１５０，０００の数平均分子量を有するポリアクリル酸；
研磨用流体の重量を基準にして約３．０重量％までの砥粒；
研磨用流体の重量を基準にして１〜１５重量％の酸化剤；
５０〜５，０００重量ｐｐｍの抑制剤；
研磨用流体の重量を基準にして３重量％までの錯化剤；及び
５未満のｐＨ、
をもつ研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項４】
研磨用流体を供給する工程が、約５〜１０重量％の過酸化水素を含む研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項５】
研磨用流体を供給する工程が、芳香族トリアゾールを抑制剤として含む研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項６】
研磨用流体を供給する工程が、ベンゾトリアゾール、トリルトリアゾール及びそれらの混合物からなる群より選択される抑制剤を含む研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項７】
研磨用流体を供給する工程が、カルボン酸を含む錯化剤を約０．１〜１．０重量％含む研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
研磨用流体を供給する工程が
１つのポリアクリル酸が約２０，０００〜１００，０００の低い数平均分子量を有し、第２のポリアクリル酸が約２００，０００〜１，５００，０００の高数平均分子量を有し、高数平均分子量のポリアクリル酸に対する低数平均分子量のポリアクリル酸の重量比が約１０：１と１：１０の間にある、少なくとも２種のポリアクリル酸のブレンド；
研磨用流体の重量を基準にして約３．０重量％までの砥粒；
研磨用流体の重量を基準にして１〜１５重量％の酸化剤；
５０〜５０００重量ｐｐｍの抑制剤；
研磨用流体の重量を基準にして３重量％までの錯化剤；及び
５未満のｐＨ、
を含む研磨用流体を供給する工程をさらに含む、請求項１記載の方法。
【請求項９】
半導体ウェーハ上の金属層の化学機械平坦化のための方法であって：
研磨機の回転可能なキャリヤ内にウェーハを取付け、回転キャリヤ速度ＣＳでキャリヤを回転させる工程；
前記研磨機の回転可能なプラテンに研磨パッドを取付け、回転プラテン速度ＰＳでプラテンを回転させる工程、ここでＣＳに対するＰＳの比が１５０：１及び１：１５０の範囲内にある工程；
両者間の相対的運動を維持しながら、設定した押し付け力でウェーハと研磨パッドを接触させ、その間にウェーハと研磨パッドとの界面に研磨用流体を供給することによってウェーハを研磨し、実質的に平坦化されたウェーハ表面を提供する工程；
プラテン速度ＰＳを約０〜２０ｒｐｍの範囲まで低下させ、半導体ウェーハ表面から金属層の残留物を除去するべくウェーハの研磨を継続する工程、
を含む方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本明細書に記載されている発明は、３％未満の研摩剤含有率を有する研磨用流体を利用して、銅回路を含有する半導体構造体を研磨するための研磨プロセスに関する。
【０００２】
ますます複雑で高密度となる半導体構造体の生産における決定的な要件の１つは、半導体基板の平坦性を保持する能力にある。平坦化する能力がなければ、半導体ウェーハ上に構築された構造の複雑性及び密度は大幅に制限される。化学機械式研磨、すなわちＣＭＰは、半導体基板上の表面薄膜の平坦化のための最も有効な方法であることが証明されてきたことから、この分野における実現化技術である。
【０００３】
ＣＭＰ技術の最初の応用は、絶縁膜（すなわちＳｉＯ２）の研磨に焦点をあてたものであったが、現在では回路の相互接続のために使用される金属構造体の研磨が急速に増大しつつある。大部分の金属構造体は、導電性金属層（例えば銅材料）、導電性金属層と隣接する絶縁層との間のバリヤ又はライナー（例えばチタン又はタンタル合金）層及び絶縁層（例えば酸化ケイ素）といった３つの異なる膜を含んでいる。集積回路は、酸化ケイ素で作られたウェーハ上に材料層（金属、バリヤ層及び絶縁体）を被着させることによって構築される。各層が被着された後、層はエッチングされて回路のフィーチャを作り上げる。一連の層が順次被着されエッチングされるにつれて、基板の最も外側の表面は、ますます平坦性に欠けるものとなる。ウェーハ上の平坦性に欠ける表面は、結果として、次の回路層内に不良をもたらし、欠陥のある回路をもたらすことになる。したがって、平坦な表面を有することが望まれる。
【０００４】
金属研磨用スラリーが、半導体ウェーハ上の導電性層を研磨し平坦化する目的で設計されている。導電性層は一般に絶縁層上に被着され、タングステン、チタン、アルミニウム、銅、ドープシリコン、ドープポリシリコン、又は金属ケイ化物層といったような任意の導電性材料で作ることができる。絶縁層は一般に、絶縁層を貫通して先に被着された層に至る経路を与えるように導電性材料が充填された開口部（「ビア」）を有する。研磨後、導電性材料は、絶縁層内のビア中にのみ残っている。米国特許第５，３４０，３７０号には、金属用の研磨プロセス及び金属研磨のために開発されたいくつかのスラリーが記載されている。
【０００５】
研磨パッドについてのさらなる詳細は、Ｒｅｉｎｈａｒｄｔ らに対する米国特許第５５７８３６２号の中に見出すことができる。
【０００６】
米国特許第５，６５２，１７７号は、１平方インチあたり約２５０〜約３５０ポンドの基板ホルダー圧力及び約２０〜約６０ｒｐｍのプラテン回転速度でのシリコンの研磨について論述している。米国特許第５，６０７，７１８号は、ディッシングを最小限におさえるための、研磨剤との関係におけるアルミニウムの溶解速度に対するアルミニウムの研磨速度の比の増加について論述している。米国特許第５，９７２，７９２号は、平坦化用溶液が固定砥粒研磨パッド上に供給される、固定砥粒研磨パッド上での基板の化学機械平坦化方法について記載している。国際公開公報第９６／２５２７０号は、タングステンを研磨するための過酸化水素を含有する研磨剤無しの研磨用組成物について記載している。
【０００７】
ウェーハの非均一性は、研磨されているウェーハの中央部と縁部間の除去速度（ＲＲ）の差に起因する、半導体デバイスウェーハのＣＭＰ上における重大な問題である。一般的に、非均一性は、ウェーハ内非均一性（ＷＩＷＮＵ又は％ＮＵ）として表される。一般的に、ウェーハの非均一性は、保持リング圧のようなウェーハ上のさまざまなキャリヤヘッド圧力を変えることによるか、あるいはパッドの異なるコンディショニングプロセスを利用することによって、最小限におさえられる。
【０００８】
本発明の方法は、銅材料のようなより柔軟な相互接続金属を有する半導体デバイスの化学機械平坦化の間に、全体的なウェーハ均一性を最大にするものである。さらに、パターニングされた半導体ウェーハの化学機械平坦化の間における銅材料残留物の除去のための方法も同様に提示されている。
【０００９】
以下の詳細な説明と組合わせて考慮される添付図面を参考にしながら、本発明の実施態様をここに実施例として記載する。
【００１０】
本発明の方法は、導電性金属（最も好ましくは銅）の相互接続層、絶縁用絶縁層及びこれら２つの間にあるバリヤ層、すなわち、好ましくは、銅金属層、二酸化ケイ素絶縁層、及びタンタル又はタンタル合金のバリヤ層を含有する、複合半導体構造体を研磨するためのものである。本発明の方法は、（ｉ）約１５０：１〜約１：１５０（より好ましくは約６：１〜約１：６、そして最も好ましくは約２．５：１〜約１：２．５）の、キャリヤ速度に対するプラテン速度の比で操作すること、（ｉｉ）プラテンとキャリヤとを反対方向に回転させること（例えば、プラテンを時計回りに、キャリヤを反時計回りに）；及び／又は（ｉｉｉ）プラテン速度を低下させることにより、パターニングされた半導体基板上の残留金属の除去を改善することを、包含している。
【００１１】
ＣＭＰにおいて、研磨すべき基板（半導体ウェーハ）は、キャリヤ又は研磨ヘッド上に取付けられる。基板の露出表面は、回転する研磨パッドに押しつけるように置かれる。半導体デバイスと接触状態にある研磨層の表面が、研磨層と呼ばれる。研磨パッドは、研磨剤を含まない標準パッド（研磨層内にいかなる研磨剤も含まないもの）又は固定砥粒研磨パッド（研磨層内に研磨剤を含むもの）であってよい。キャリヤヘッドは、研磨パッドに対し基板を押しつけるため、基板上に制御可能な圧力（又は押し付け力）を与える。次いで、砥粒を伴う又は伴わない研磨用流体が、ウェーハと研磨パッドとの界面に供給され、ターゲット層（たとえば金属ＣＭＰプロセスにおいては金属）の除去を高める。研磨用流体は、好ましくは水性であり、研磨パッドの研磨層の組成により、砥粒の存在を必要とすることもあればしないこともある。反応性液体とも呼ばれる研磨剤無しの研磨用流体が、パッドと共に一般的に用いられ、一方、砥粒を含有する研磨用流体が、研磨剤を含まない標準パッドと共に一般的に用いられる。研磨剤無しの研磨用流体は実質的に砥粒を含まない、つまり研磨用流体の０．０１重量％未満の砥粒しか含まない。銅材料といったようなより柔軟な金属相互接続を研磨するためには、研磨用流体は、３重量％までの砥粒を含有できる。使用可能な一般的な砥粒は、アルミナ、シリカ、セリア、チタニア、ジルコニアなどといったような半導体のＣＭＰ研磨に用いられる通常の研磨剤のいずれかである。好ましくは、本発明の方法で使用される組成物は、砥粒を含有しない。
【００１２】
本発明の方法で使用可能な研磨用流体は、ｐＨ５未満、好ましくは約２．８〜４．２、より好ましくは２．８〜３．８を有する水性組成物である。４．５以上であるｐＨが、半導体基板のＣＭＰの間における銅材料の除去速度の著しい低下を、結果としてもたらすことが見出された。
【００１３】
さらに、研磨用流体は、組成物重量を基準にして約０．１〜１．０重量％の、ポリアクリル酸、あるいは比較的高い数平均分子量を有する少なくとも１種のポリアクリル酸と、比較的低い数平均分子量を有するその他の１種もしくは複数のポリアクリル酸とのブレンド又は混合物を含有する。
【００１４】
ポリアクリル酸の数平均分子量は、ＧＰＣ（ゲル浸透クロマトグラフィ）によって決定される。研磨用流体内で使用されるポリアクリル酸は約２０，０００〜１５０，０００、より好ましくは２５，０００〜７５，０００である数平均分子量を有することができる。２種のポリアクリル酸のブレンド又は混合物が使用される場合、約２０，０００〜１００，０００，より好ましくは２０，０００〜４０，０００の分子量を有する、数平均分子量の低い重合体が用いられる。数平均の高いポリアクリル酸は、約２００，０００〜１，５００，０００、より好ましくは１５０，０００〜３００，０００である分子量を有する。高分子量の重合体に対する低分子量のポリアクリル酸重合体の重量比は、約１０：１〜１：１０，好ましくは４：１と１：４の間、より好ましくは２：１〜１：２の間である。
【００１５】
アクリル酸共重合体、ポリメタクリル酸、メタクリル酸共重合体、ポリアクリルアミド、アクリルアミド共重合体、ポリメタクリルアミド、メタクリルアミド共重合体、及び上述のもののさまざまなその他の共重合体といったようなアクリル系の重合体を使用し、許容しうる研磨組成物を得ることが可能である。
【００１６】
生物分解性、光分解性、又は研磨用組成物のために本発明で使用できるその他の手段により分解可能なポリアクリル酸重合体を形成することも可能である。このような組成物の一例としては、ポリ（アクリレートコメチル２−シアノアクリレート）のセグメントを含有する生物分解性ポリアクリル酸がある。
【００１７】
１つの特に好ましいブレンドは、約３０，０００の低数平均分子量を有するポリアクリル重合体及び約２５０，０００である高数平均分子量を有するポリアクリル重合体を１：１の重量比で含む。１，０００〜５，０００の数平均分子量を有するポリアクリル酸のような低分子量のポリアクリル酸をブレンドにさらに使用することも可能である。研磨条件及び研磨用流体のその他の成分を適切に調整することにより、追加的な添加剤として、これらの研磨用流体に、非常に高い分子量のポリアクリル酸重合体（１，５００，０００を超える分子量）又は架橋ポリアクリル酸重合体を使用することが可能である。同様に、前述の１種のポリアクリル酸又は複数のポリアクリル酸のブレンドに代えて、これらの高分子量又は架橋のポリアクリル酸を使用することも可能である。
【００１８】
研磨用流体は、一般的に酸化剤、金属の溶解度を高める化学物質（キレート化剤又は錯化剤）及び界面活性剤をも含有する。研磨剤を含有する研磨用流体は又、砥粒を懸濁状態に保つ有機重合体といったような添加剤をも含んでいる。一般的な錯化剤は、マロン酸、グルコン酸、グリコール酸、クエン酸、フタル酸、ピロカテコール、ピロガロール、没食子酸、又はタンニン酸である。さらに、ベンゾトリアゾール（又はＢＴＡ）といったような腐食抑制剤も、研磨用流体に添加できる。
【００１９】
本発明の方法で使用するための研磨用流体は、約１〜１５重量％、好ましくは５〜１０重量％の割合で、酸化剤、例えば過酸化水素、ヨウ化カリウムといったヨウ化物、硝酸セシウム、硝酸バリウム、硝酸アンモニウムといった硝酸塩、硝酸アンモニウムと硝酸セシウムの混合物、炭酸アンモニウムといった炭酸塩、硫酸アンモニウムそして硫酸ナトリウムといった過硫酸塩、及び過塩素酸塩をも含有してもよい。過酸化水素が、約９重量％の量で、好ましい酸化剤である。
【００２０】
組成物は、参照として本明細書に組み込まれている１９９５年２月２１日発行Ｂｒａｎｃａｌｅｏｎｉ らの米国特許第５，３９１，２５８号の中で開示されているような、ヒドロキシ基と共に２つ以上のカルボキシレート基を含有するカルボン酸といったような錯化剤を、３．０％まで、そして好ましくは０．１〜１．０％含有する。一般的な錯化剤としては、直鎖のモノ及びジカルボン酸ならびにそれらの塩、例えばリンゴ酸とリンゴ酸塩、酒石酸と酒石酸塩、グルコン酸とグルコン酸塩、クエン酸とクエン酸塩、マロン酸とマロン酸塩、ギ酸とギ酸塩、乳酸と乳酸塩が含まれる。ポリヒドロキシ安息香酸と酸性塩、フタル酸と酸性塩も使用可能である。
【００２１】
本発明の方法で使用するための研磨用流体は、さらに約５０〜５，０００重量ｐｐｍ（百万分の１部）のＢＴＡ（ベンゾトリアゾール）及びＴＴＡ（トリルトリアゾール）といった抑制剤をも含有してもよく、又はその混合物が好ましい。使用可能なその他の抑制剤としては、１−ヒドロキシベンゾトリアゾール、Ｎ―（１Ｈ―ベンゾドリアゾール−１−イルメチル）ホルムアミド、３，５−ジメチルピラゾール、インダゾール、４−ブロモピラゾール、３−アミノ−５−フェニルピラゾール、３−アミノ−５−フェニルピラゾール、３−アミノ−４−ピラゾールカルボニトリル、１−メチルイミダゾール、インドリンＱＴＳなどがある。
【００２２】
本発明の方法で使用するための研磨用流体は、アミンのようなｐＨ緩衝液、界面活性剤、解こう剤、粘度調節剤、湿潤剤、洗浄剤などをも含有してもよい。
【００２３】
図１は、ＣＭＰのために用いられる研磨機の概略図を示す。研磨用プラテン１は、研磨パッドを保持している。キャリヤ３は、研磨すべき基板を保持し、スピンドル４によって駆動される。パイプ５により、研磨用流体６が、研磨パッドと研磨されている基板間の界面に送られる。図からわかるように、キャリヤとプラテンの回転方向は時計回りである。市販の研磨機では、キャリヤとプラテンの回転速度は、駆動機構及び歯車機構により独立して制御可能である。
【００２４】
一般的に、ＣＭＰで使用される研磨パッドは、剛性なベース基板と親水性の研磨層を有する。好ましいベース層は、布、紙、非腐食性金属、又は疎水性プラスチック、例えばポリアミド、ポリイミド及び／又はポリエステル、特にポリエチレンテレフタレートすなわち「ＰＥＴ」で作ることができる。ベース層は、またポリエステルウレタン又はポリエーテルウレタンで含浸されたポリエステル繊維でできていてもよく、その結果として微孔性構造が得られる。さらに、パッド材料には、パッドの特性を加減するために、凝集に先立ちその他の研磨助剤又は研磨剤を含浸させてもよい。好ましいパッド材料は、ウレタン部分、カーボネート部分、アミド部分、スルホン部分、塩化ビニル部分、アクリレート部分、メタクリレート部分、ビニルアルコール部分、エステル部分又はアクリルアミド部分を含む。パッド材料は多孔質体であっても非多孔質体であってもよい。さらに、パッドマトリックスは、繊維補強を伴う又は伴わない非多孔質体であってもよい。
【００２５】
研磨パッドは、一般的に充填されているか又は充填されていない。好ましい充填材には、微量成分、砥粒、気体、流体、及び研磨性能に過度にマイナスの働きをしないことを条件として、高分子化学において一般に使用されるあらゆる充填材が含まれるが、これらに制限されるわけではない。好ましい砥粒としては、単独の、又はパッド材料の連続相から分離したもろいマトリックス内に散在する形での、アルミナ、セリア、シリカ、チタニア、ゲルマニア、ダイアモンド、シリコンカーバイド、又はそれらの混合物が含まれるが、これらに制限されるわけではない。あるいは、砥粒は、結合剤材料により、研磨パッドの表面に保持され得る。いくつかの市販のパッドにおいては、高分子マイクロスフェアがパッドに多孔性を付加し、表面粗さを増大させ、それにより、ハイドロプレーニングの傾向及びパッドの積極的なコンディショニングの必要性は低減される。一般的に、パッド表面のマイクロテクスチャは、０．５マイクロメートル未満の平均突出長を有する複数の突出部を含む。
【００２６】
さらに、パッド表面は、マクロテクスチャを有することができる。このマクロテクスチャは、パッド厚みを貫通した穿孔又は表面溝模様のいずれかであることができる。かかる表面溝模様には、同心もしくはらせん溝であってよい円形溝、パッド表面全体にわたってＸ−Ｙ格子として配置されたクロスハッチパターン、六角形、三角形及びタイヤトレッドタイプのパターンといったようなその他の規則的模様、又はフラクタルパターンといった不規則な模様、又はそれらの組合せが含まれるが、これらに制限されるわけではない。溝の縦断面形状は、真直ぐな側壁を伴う矩形であってよく、又、溝の横断面は、「Ｖ」字形、「Ｕ」字形、三角形、のこぎり歯などであることができる。さらに、円形模様の幾何学的中心は、パッドの幾何学的中心と一致してもよいし、又はずれていてもよい。溝の模様は、パッド表面全体にわたって変化してもよい。模様の選択は、研磨される材料、及び研磨機のタイプ〔これは、異なる研磨機が異なるサイズ及び形状のパッド（すなわち円形対ベルト）を使用するからである〕に応じてなされる。溝の模様は、特定の利用向けに設計することができる。一般的に、これらの溝模様は、一つ又はそれ以上の溝を含んでいる。
【００２７】
本発明の方法で使用するための溝付き研磨パッドは、代表的に、約０．０７５〜約３ｍｍ（より好ましくは約０．３〜約１．３ｍｍ、そして最も好ましくは約０．４〜１ｍｍ）の、範囲内の溝深さ；約０．１２５〜約１５０ｍｍ（より好ましくは約０．７５〜約５ｍｍ、そして最も好ましくは約１〜約２ｍｍ）の範囲内の溝幅；そして約０．５〜約１５０ｍｍ（より好ましくは約３〜約１５ｍｍ、そして最も好ましくは約１０〜約１５ｍｍ）の範囲内の溝ピッチを有する。
【００２８】
研磨パッドの表面上の溝模様は、研磨中に観察される除去速度を左右する。例えば、溝がより深いほどパッド−ウェーハ界面でのスラリーの滞留時間が増大し、それによってウェーハ表面全体にわたる除去速度が増大することになる。ウェーハの中心部と外縁部での除去速度に差が望まれる場合、パッドのいろいろな場所での溝模様を変えることができる。例えば、ウェーハの中心部でより高い除去速度が望まれる場合、この目標を達成するために２つの異なる方式を利用することができる。パッド上のウェーハトラックの中心部にある溝の数は、パッド上の他の場所の溝の数を増やすのに反して、減らすことができる。こうして、ウェーハの中心部と接触しているパッド部域が増大し、ウェーハの中心部における除去速度の増大を助ける。ウェーハの中心部での除去速度を増大させるためのもう１つの方式は、研磨パッドの中心部に浅い溝を、そしてパッド周辺にはより深い溝を具備させることである。除去速度に対する溝模様の影響は、研磨剤を含まない研磨用流体が基板（例えば半導体ウェーハ）の研磨のために使用されるときに、より顕著となる。
【００２９】
以下のものは、金属半導体基板を研磨するための本発明の新規な方法において使用できる一般的な研磨パッドである：すなわち、２０００年２月８日発行のＲｏｂｅｒｔｓ らの米国特許第６，００２，２６８号に記載されている金属パッド、２０００年２月８日発行のＣｏｏｋ らの米国特許第６，０２２，２６４号に記載されている研磨剤粒子を含有するパッド、１９９６年２月６日発行のＣｏｏｋ らの米国特許第５，４８９，２３３号に記載されているパッド、ＳＵＢＡという商標名でＲｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより販売されているパッドに代表されるポリマー含浸繊維マトリックス、中空充填材料のその場での取込み又は製造によりもたらされる空隙空間を含有するポリマーシートのパッド（代表的には、ＰＯＬＩＴＥＸ及びＩＣ１０１０の商標名でＲｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより販売されているパッド）、中空充填材料のその場取込み又は系内製造のいずれかによりもたらされる空隙空間を場合により含有し得る、充填材として、添加された固体粒子を含有するポリマーシートのパッド（代表的には、ＭＨの商標名でＲｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより販売されているパッド）、及び上述のもののうちの１つから選択されたパッドからなる表面とその外側基盤とが接触している材料の多層からなる複合パッド。
【００３０】
研磨パッドのコンディショニングは、一般的にパッドから砥粒及び摩耗した粒子を除去するため行なわれ、新しい研磨用流体でパッド表面をリフレッシュする。コンディショニングの間に研磨パッドの研磨層上の光沢が除去され、微視的凹凸がパッド表面上に形成される。一般的に、ダイヤモンドグリットのような研磨剤材料の付いた円盤が研磨パッドのコンディショニングに用いられる。パッド表面をコンディショニングするためには、ナイロンブラシも使用可能である。
【００３１】
第１の概算として、研磨中のターゲット基板の除去速度は、除去速度が研磨押し付け力およびウェーハとパッド間の相対速度の積に比例することを述べているＦ． Ｗ． プレストン， Ｊ． Ｓｏｃ． Ｇｌａｓｓ Ｔｅｃｈ． ＸＩ， ２１４， （１９１７）の中に記載されているプレストンの式によって決定される。ウェーハとパッドの同期的回転のためには、ウェーハ表面上の全ての点は、同じ相対速度を経験する。一般的に、パッドとウェーハの回転速度は約１０％異なり、結果として除去速度の差、ひいては、中心低速形研磨又は中心高速型研磨を生み出すウェーハ表面を全体にわたる不均一性がもたらされる。
【００３２】
有効なＣＭＰプロセスは一般的に、次の特徴を有する基板表面を結果としてもたらす：
・　基板上のターゲット層についての高い除去速度とそれに伴う高い平坦度を有する最終的表面；
・　小スケールでの低い粗さ
・　低い波状性
・　低い不均一性；及び
・　最小限のひっかき。
【００３３】
上述の通り、研磨されるウェーハの中心と縁部の間の除去速度（ＲＲ）の差に起因する、半導体デバイスウェーハのＣＭＰ中のウェーハの不均一性が重要な問題である。一般的に、不均一性は、ウェーハ内不均一性（ＷＩＷＮＵ又は％ＮＵ）として表現される。ＷＩＷＮＵは、６ｍｍの縁部除外及び１０ｍｍの縁部除外の両方で行なわれる、標準４９点ＳＥＭＩ厚み測定を用いて測定することができる。本発明を裏づける実施例中では、９１点での直径走査が、除去速度及び％ＮＵを決定するために行われた。
【００３４】
一般的に、キャリヤ及びプラテンの回転速度は、互いの１０％以内でつり合わされる。こうして、約０．９〜１．１の範囲内のプラテン速度対キャリヤ速度比が決められる。以下では、簡潔さを期して、プラテン回転速度をプラテン速度（ＰＳ）と言い、キャリヤ回転速度をキャリヤ速度（ＣＳ）と言う。さらに、プラテン速度対キャリヤ速度の比は、以下、ＰＳ対ＣＳ比と言うものとする。異なるパッドコンディショニングプロセスと共にキャリヤヘッド圧力を変更することにより、ＣＭＰ中の全体的なウェーハ不均一性の問題を解決することは、半導体業界での標準手法である。図２は、保持リング圧力部分についてのキャリヤヘッド圧力の方向を示す、ウェーハとのキャリヤの横断面である。ただし、本発明の方法は、３％未満の全体的なウェーハ不均一性値を得るための、ＰＳ対ＣＳ比の動作範囲を実証している。
【００３５】
以下の実施例は、本発明の方法特有の態様を例示する目的で提供されている。銅材料除去速度を測定するためには、Ｃｒｅａｔｉｖｅ Ｄｅｓｉｇｎ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ， Ｉｎｃ．により製造されたシート抵抗測定器具を用いた。全てのケースで、９１の点を含む直径走査がウェーハ表面全体にわたって行なわれた。
【００３６】
実施例１．
サブパッドとしてＳＵＢＡ ＩＶ（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃ製）を備えたＩＣ１０１０パッド（Ｒｏｄｅｌ Ｉｎｃ製研磨剤無しパッド）を利用するＡＭＡＴ Ｍｉｒｒａ研磨機の上で、研磨試験を行った。研磨用流体ＭＳＣ−２１（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃ製）を用いて、２００ｍｌ／分の流量で銅材料シートウェーハを研磨した。パッドは、１００グリットのダイアモンドディスク（Ａｂｒａｓｉｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ． 製）を利用して２０分間予備コンディショニングした。全コンディショニング工程において、６３ｒｐｍのプラテン速度と１０ｐｓｉの押し付け力を用いた。全ての試験を、２つのウェーハにつき繰り返して行った。かくして、図３、４及び５の各データ点が、２つのウェーハについての同一の試験から収集されたデータの平均である。持続時間２０秒のコンディショニング工程もまた、ウェーハのランとランの間に実施した。各ウェーハは、６０秒の持続時間中研磨された。
【００３７】
図３は、ＰＶに対する毎分オングストローム単位で測定された銅材料除去速度のプロットである。ＰＶは、ｒｐｍ単位のプラテン速度とｐｓｉ単位で表わしたキャリヤ上の押し付け力の積である。したがって、設定したプラテン速度のために、ＰＶは押し付け力の１つの尺度となる。プラテン速度は、銅材料除去速度に対する異なるキャリヤ速度（２５ｒｐｍ、７５ｒｐｍ、及び１４０ｒｐｍ）の影響を決定する間１５０ｒｐｍで維持される。１５０ｒｐｍに設定したプラテン速度でのさまざまなキャリヤ速度は、３つの異なるＰＳ対ＣＳの比、すなわち順に６：１、２：１、及び１．１：１に対応した。この実験中に、１ｐｓｉ、３ｐｓｉ、及び５ｐｓｉの３つの異なる押し付け力値につき調べた。
【００３８】
図３からわかるように、６：１のＰＳ対ＣＳの比での銅材料の除去速度は、所与のＰＶ値すなわち押し付け力値（プラテン速度が一定であるため）に関して、２：１及び１．１：１のＰＳ対ＣＳ比での対応する銅材料除去速度よりも高かった。さらに重要なことは、図４に示されているように、％ＮＵは、１５０ｒｐｍに設定したプラテン速度でのＰＶの異なる値に関して、６：１のＰＳ対ＣＳ比については、一貫して３％未満であった。対応するＰＶ値での、２：１及び１．１：１のＰＳ対ＣＳ比についての％ＮＵ値は、これに比べ、はるかに高かった。
【００３９】
図５は、６：１のＰＳ対ＣＳ比についてのウェーハ表面上の異なる直径走査場所での（プラテン速度：１５０ｒｐｍ、キャリヤ速度：２５ｒｐｍ）除去速度を示している。プレストンの式から予想されるように、設定したＰＳ対ＣＳ比について、銅材料の除去速度は、より高押し付け力では著しく高かった。
【００４０】
要約すると、低いキャリヤ速度について、優れた均一性（あるいは低い不均一性）が観察された。特に、６：１のＰＳ対ＣＳ比について、優れた均一性（＜３％）が観察された。異なるスラリーで、１：６のＰＳ対ＣＳ比について、これに匹敵する結果が予想される。
【００４１】
実施例２
この例は、ウェーハ表面上で除去速度の優れた均一性を得るための最適な範囲のキャリヤ速度を詳しく示した。基板として銅材料シート；金属２６（Ｋ−Ｘ−Ｙ溝）研磨パッド（研磨剤無しの溝付きパッド）；及びＧＰＭ１０００サブパッドを利用する、Ｗｅｓｔｅｃｈ３７２Ｕ研磨機で、研磨試験を実施した。両方のパッド共、Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃ製である。同じくＲｏｄｅｌ Ｉｎｃ製の開発用研磨用流体 ＧＲＰ−０４を、２００ｍｌ／分の流量で使用した。１００ｒｐｍに設定したプラテン速度及び５ｐｓｉの押し付け力について、異なる直径走査点での銅材料除去速度に対するさまざまなキャリヤ速度値の影響を測定した。１００グリットのダイヤモンドディスク（Ａｂｒａｓｉｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ製）を利用して、１０ｐｓｉでコンディショニングを実施した。１２０回掃引の予備コンディショニングを、ウェーハランとランの間で２回掃引して利用した。全ての試験は２つのウェーハについて繰り返して行なった。図６の各データ点は、２つのウェーハについての同一の試験から収集されたデータの平均である。各ウェーハを６０秒の間研磨した。
【００４２】
図６に例示されているように、４０ｒｐｍのキャリヤ速度は、ウェーハ表面全体にわたって均一の銅材料除去速度を生じた。この実験におけるＰＳ対ＣＳ比は２．５：１である。低いキャリヤ速度で、ウェーハの中心での銅材料除去速度は、ウェーハ縁部での銅材料除去速度に比べ非常に高かった（業界で中心高速型と呼ばれている研磨特性）。また一方高いキャリヤ速度で、ウェーハ縁部での銅材料除去速度は、ウェーハの中心よりもはるかに高かった（業界では縁部高速型と呼ばれる研磨特性）。この例における最適なキャリヤ速度は、２．５：１のＰＳ対ＣＳ比に対応する３０〜４０ｒｐｍの範囲内にあった。金属２６パッドについては、キャリヤ速度が低下すると、研磨パッドの弛緩が改善される結果となり、ウェーハ表面によりうまく適合する研磨層が生み出され、これは、ウェーハ表面上のより均一な銅材料除去という形で現われた。異なるスラリーの場合、１：２．５のＰＳ対ＣＳ比で匹敵する結果が予想される。
【００４３】
実施例３
基板としての銅材料シート；金属２６（Ｋ−Ｘ−Ｙ溝）研磨パッド；及びＧＰＭ１０００サブパッドを利用する、ＡＭＡＴ Ｍｉｒｒａ研磨機で、研磨試験を実施した。両方のパッド共、Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃ製であった。同じくＲｏｄｅｌ Ｉｎｃ製の開発用研磨用流体 ＧＲＰ−０６を、２００ｍｌ／分の流量で使用した。１００ｒｐｍに設定したプラテン速度及び５ｐｓｉの押し付け力について、異なる直径走査点での銅材料除去速度に対するさまざまなキャリヤ速度値の影響を決定した。１００グリットのダイヤモンドディスク（Ａｂｒａｓｉｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ製）を利用して、パッドを２０分間予備コンディショニングした。全てのコンディショニング工程について、１０ｐｓｉの押し付け力及び６３ｒｐｍのプラテン速度を利用した。全ての試験は２つのウェーハについて繰り返して行なった。かくして、図７及び８の各データ点は、２つのウェーハについての同一の試験から収集されたデータの平均である。持続時間２０秒のコンディショニング工程もウェーハランとランの間に行った。各ウェーハを６０秒の間研磨した。
【００４４】
図７に示されているように、５ｐｓｉの押し付け力で１００ｒｐｍでの一定プラテン速度を保持し、キャリヤ速度を９０から１７５ｒｐｍまで増大させることで、縁部高速プロセスが作り上げられた。この実験でのＰＳ対ＣＳ比は１．１：１〜０．５７：１の範囲内にあった。しかしながら、その他全ての条件は等しいまま、ＰＳ対ＣＳ比を１．１：１から４：１まで上昇させると、ウェーハ表面全体にわたって均一な除去速度が生じた。図８は、設定したプラテン速度１００ｒｐｍ及び押し付け力５ｐｓｉについてキャリヤ速度を低下させることにより、すなわち、ＰＳ対ＣＳ比を１．１：１から４：１まで増大させることにより見られた除去速度の均一性を例示している。異なるスラリーの場合、約１：４〜１：１．１のＰＳ対ＣＳ比について匹敵する結果が予想される。
【００４５】
実施例４
１００ｒｐｍのプラテン速度；５ｐｓｉの押し付け力；及び１５ｒｐｍのキャリヤ速度で、金属２６（Ｋ−Ｘ−Ｙ溝）研磨パッド；ＧＰＭ１０００サブパッド及びＧＲＰ−０４研磨用流体を用いて、ＡＭＡＴ Ｍｉｒｒａ研磨機上で、１５，０００オングストロームの初期銅材料厚みを有するＳＥＭＡＴＥＣＨ９３１ウェーハを研磨した。１０ｐｓｉの押し付け力及び６３ｒｐｍのプラテン速度を全てのコンディショニング工程について再び使用した。この研磨試験の持続時間は１００秒であった。かかる研磨は、パターニングされたウェーハ上に材料の残留物が残ることを除けば、銅材料を実質的に除去した。１５ｒｐｍのキャリヤ速度で２０ｒｐｍの低いプラテン速度以外は同じ研磨用流体及びコンディショニング工程を利用してパターニングされたウェーハをさらに研磨した。この研磨試験の持続時間は４０秒であった。第２の研磨工程後のパターニングされたウェーハでは、研磨により除去すべき材料の残留物は、取るに足らないものであるか又は最小限となっていた。第２の研磨工程中の低いプラテン速度が、研磨パッド上の研磨用流体の滞留時間を増加させ、それにより残留銅材料の除去を増大させた。第１の研磨工程の終りでの銅材料層厚みが約５００〜１，０００オングストロームの範囲内にあるということに留意されたい。第２の研磨工程中にプラテン速度を減少させることで研磨パッド上の研磨用流体の滞留時間を増大させることにより、パターニングされたウェーハ表面上の残留銅材料の除去は高められた。この効果は、異なる溝模様を有する溝付きパッドが半導体基板を研磨するために使用される場合に高まることになる。
【００４６】
本発明のＣＭＰ方法には、半導体ウェーハ表面全体にわたるウェーハの非均一性（３％未満）を最小限にするべく、ＰＳ対ＣＳ比を変えることを包含している。本発明の方法は、約６：１〜約１：１（好ましくは約６：１〜２：１、そして最も好ましくは約２．５：１）の範囲内で操作するＰＳ対ＣＳ比での第１の研磨工程、及びそれに続いて、研磨パッド上の研磨用流体の滞留時間の増大に起因するパターニングされたウェーハ表面からの残留銅材料の除去を最大限にするべく第１の研磨工程で使用されたキャリヤ速度を維持しながらの、約０〜２０ｒｐｍのプラテン速度での第２の研磨工程、を提示している。異なるスラリーの場合、約１：６〜約１：１（好ましくは約１：６〜１：２、そして 最も好ましくは約１：２．５）の範囲内で操作するＰＳ対ＣＳ比での第１の研磨工程、及びそれに続く研磨パッド上の研磨用流体の滞留時間の増大に起因するパターニングされたウェーハ表面からの残留銅材料の除去を最大限にするべく第１の研磨工程で使用されたキャリヤ速度を維持しながらの、約０〜２０ｒｐｍのプラテン速度での第２の研磨工程について、匹敵する結果が予想される。
【図面の簡単な説明】
【図１】プラテン及びキャリヤを示す研磨機の概略図である。
【図２】研磨パッド、ウェーハならびに内部管圧、膜圧及び保持リング圧の方向を示す、ウェーハキャリヤの横断面図である。
【図３】１５０ｒｐｍに設定したプラテン速度についての異なるキャリヤ速度での銅材料除去速度を示す。
【図４】研磨用流体ＭＳＣ−２１を用いた、１５０ｒｐｍの一定プラテン速度での異なるキャリヤ速度についての不均一性％データを示している。
【図５】研磨用流体ＭＳＣ―２１（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃ製）を用いた、それぞれ１ｐｓｉ， ３ｐｓｉ及び５ｐｓｉの押し付け力で、１５０ｒｐｍのプラテン速度、２５ｒｐｍのキャリヤ速度での銅材料除去速度を示している。
【図６】１００ｒｐｍの一定プラテン速度で、ＧＲＰ−０４流体（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより開発中）の場合の、異なるキャリヤ速度での銅材料除去速度を示している。
【図７】ＧＲＰ−０６研磨用流体（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより開発中）を利用した、１００ｒｐｍに設定したプラテン速度についての増大したキャリヤ速度における銅材料除去速度を例示する。
【図８】ＧＲＰ−０６研磨用流体（Ｒｏｄｅｌ， Ｉｎｃにより開発中）を利用した、１００ｒｐｍに設定したプラテン速度についての減少したキャリヤ速度における銅材料除去速度を例示する。
【符号の説明】
１　研磨用プラテン
３　キャリヤ
４　スピンドル
５　パイプ
６　研磨用流体
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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