(57)【要約】本発明は、ステータ内部にで回転軸（３）を磁気的に支承する磁気軸受（２）に関する。この磁気軸受は軸と強固に結合された第１の磁気軸受部分（５）を備え、この軸は、ステータに付設された第２の軸受部分（１３）に包まれ、軸受隙間（１２）を形成する。第１の軸受部分の磁石装置（７）は永久磁石要素（８ｉ）を備え、第２の軸受部分の冷却された超伝導装置（１４）は高Ｔｃ超伝導材料を備える。両装置とも、少なくとも１つの断熱スペース（Ｖ１、Ｖ２）によって共通に包まれている。断熱スペースから分離されている追加スペース（２５）が、軸受隙間（１２）と部分スペース（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ）とを有し、これら部分スペースは、超伝導装置と磁石装置との両側端面において半径方向へ軸（３）まで延び、軸に対してシールされている。
2004507685.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステータ内部で回転軸を磁気的に支承する磁気軸受であって、
第１の軸受部分が回転軸に強固に結合され、ステータに付設された第２の軸受部分によって包まれ、これらの軸受部分の間に軸受隙間が形成され、
第１の軸受部分が、永久磁石要素を持つ磁石装置を含み、
第２の軸受部分が高Ｔｃ超伝導材料を持つ超伝導装置を含み、超伝導装置と磁石装置の永久磁石要素との間に磁気的な支承力が生じ、
超伝導装置の超伝導材料を超伝導材料の臨界温度以下の運転温度に冷却するために冷却装置が設けられている磁気軸受において、
超伝導装置（１４）と磁石装置（７）とが少なくとも１つの断熱スペース（Ｖ１、Ｖ２）によって共通に包まれ、
少なくとも１つの断熱スペースから分離された追加スペース（２５）が設けられ、この追加スペースが軸受隙間（１２）と部分スペース（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ）とを含み、この部分スペース（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ）が、超伝導装置と磁石装置との両側端面において半径方向へ回転軸（３）まで伸び、そこで回転軸に対してシールされていることを特徴とする磁気軸受。
【請求項２】
追加スペース（２５）が乾燥した保護ガスを充填されていることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受。
【請求項３】
保護ガスとしてＨｅ、Ｎｅ、ＡｒまたはＮ２、またはこれらのガスの少なくとも１つを含む混合物が用いられていることを特徴とする請求項２記載の磁気軸受。
【請求項４】
保護ガスが０．１〜１０バールの圧力状態にあることを特徴とする請求項２又は３記載の磁気軸受。
【請求項５】
追加スペース（２５）が排気されていることを特徴とする請求項１記載の磁気軸受。
【請求項６】
少なくとも１つの断熱スペース（Ｖ１、Ｖ２）が排気されていることを特徴とする請求項１乃至５の１つに記載の磁石装置。
【請求項７】
少なくとも１つの断熱スペース（Ｖ１、Ｖ２）の少なくとも一部に少なくとも１つの断熱材が充填されていることを特徴とする各請求項１乃至６の１つに記載の磁石装置。
【請求項８】
少なくとも１つの断熱材が、断熱フォーム、超断熱材、断熱フレーク、ガラス繊維のグループから選択されていることを特徴とする請求項７記載の磁気軸受。
【請求項９】
超伝導装置（１４）が、熱伝導性の悪い支持要素（２２ａ、２２ｂ）を介して、室温の軸受ケーシング（２１）の内部に固定されていることを特徴とする請求項１乃至８の１つに記載の磁石装置。
【請求項１０】
磁石装置（７）が熱伝導性の悪い支持要素（６ａ、６ｂ）を介して回転軸（３）に固定されていることを特徴とする請求項１乃至９の１つに記載の磁気軸受。
【請求項１１】
第１の軸受部分（５）と回転軸（３）とが、閉じられて回転軸（３）と一緒に回転する断熱スペース（Ｖ２）を画成していることを特徴とする請求項１乃至１０の１つに記載の磁気軸受。
【請求項１２】
追加スペース（２５）の両側の部分スペース（２５ａ、２５ｂ）がそれぞれ、回転軸（３）を包んで軸線方向に位置するシール隙間（２６ａ、２６ｂ）に開口し、このシール隙間にそれぞれ少なくとも１つのシール装置（２８ａ、２８ｂ）が設けられていることを特徴とする請求項１乃至１１の１つに記載の磁気軸受。
【請求項１３】
シール装置（２８ａ、２８ｂ）がそれぞれ、強磁性流体シール、ラビリンスシール、または非接触シールのグループのうちの少なくとも１つのシールを有することを特徴とする請求項１２記載の磁気軸受。
【請求項１４】
冷却装置が少なくとも１つの冷却ヘッド（２０）を持つ少なくとも１つのクーライオクーラを有することを特徴とする請求項１乃至１３の１つに記載の磁気軸受。
【請求項１５】
クーライオクーラがギフォード・マクマホンクーラ、またはスターリングクーラ、またはパルス管冷凍機であることを特徴とする請求項１４記載の磁気軸受。
【請求項１６】
冷却ヘッド（２０）が少なくとも１つの熱伝導体（１８）を介して超伝導装置（１４）に熱的に結合されていることを特徴とする請求項１４又は１５記載の磁気軸受。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、ステータ内部で回転軸を磁気的に支承する磁気軸受であって、第１の軸受部分が回転軸に強固に結合され、ステータに付設された第２の軸受部分によって包まれ、これらの軸受部分の間に軸受隙間が形成され、第１の軸受部分が、永久磁石要素を持つ磁石装置を含み、第２の軸受部分が高Ｔｃ超伝導材料を持つ超伝導装置を含み、超伝導装置と磁石装置の永久磁石要素との間に磁気的な支承力が生じ、超伝導装置の超伝導材料を超伝導材料の臨界温度以下の運転温度に冷却するために冷却装置が設けられている磁気軸受に関する。
この種の磁気軸受は西独特許第４４３６８３１号明細書を出発点とする。
【０００２】
磁気軸受は運動部品に対する非接触で摩擦のない支承を可能にする。この磁気軸受は潤滑剤が不要であり、摩擦の少ない構造とすることができる。その際回転可能な（回転する）物体を、これを囲む周囲の環境から、気密に、例えばハーメチックシールに分離することができる。
【０００３】
従来（通常）の磁気軸受は、ステータの固定された電磁石と、ロータの一緒に回転する強磁性要素との間の磁力を利用する。この軸受タイプの場合、磁力は常に吸引力である。その結果固有安定的な支承は、原理的に３次元方向すべてにおいては得られない（「Ｔｒａｎｓ．Ｃａｍｂｒｉｄｇｅ　Ｐｈｉｌ．Ｓｏｃ．」１８４２年、第７巻、ｐ．９７〜１２０に掲載された「アーンショーの定理」参照）。従ってこのような磁気軸受は、位置センサーおよび制御回路を介して支持磁石の電流を制御し、ロータの目標位置からの偏倚を打ち消す能動的な軸受制御機能を必要とする。このため多チャンネルで実行される制御は煩瑣なパワーエレクトロニクスを必要とする。制御回路の突然の機能停止に対抗して、機械的な非常用軸受を追加して設けなければならない。同様な磁気軸受は、例えばターボ分子ポンプ、超遠心分離機、工作機械の高速回転するスピンドル、回転陽極を備えるＸ線管に用いられる。モーター、発電機、タービンおよびコンプレッサにおける使用も同様に知られている。
【０００４】
超伝導体によって新しいタイプの磁気軸受が原理的に可能となる。この場合１つの軸受部分が永久磁石要素により形成され、この永久磁石要素は、位置が変化すると磁場が変化する結果として、この第１の軸受部分と間隔を取りながらこれを囲む第２の軸受部分の超伝導材料内に、遮蔽電流を誘起する。その結果生じる力は反発力であったり又は吸引力であったりするが，目標位置からの変位を打ち消す方向へ向いている。通常の磁気軸受とは異なり、固有安定的な軸受が得られる（例えば「Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．」１９８８年、第５３巻第１６号、ｐ．１５５４〜１５５６参照）。通常の磁気軸受と比較すると、煩瑣で故障に弱い制御回路を省略できる。しかし、超伝導材料を超伝導材料の臨界温度以下の運転温度に冷却するための冷却装置が設けられねばならない。
【０００５】
このような磁気軸受に必要な超伝導軸受部分は、１９８７年以来知られている金属酸化物の高Ｔｃ超伝導材料にとって、最初の使用分野の１つである。この材料は例えばＹ―Ｂａ―Ｃｕ―Ｏという物質系をベースとし、これを液体窒素により約７７Ｋの運転温度に冷却することができる。
【０００６】
冒頭に挙げた西独特許明細書に記載された磁気軸受の場合、同様な高Ｔｃ超伝導材料を使用することが意図されている。この磁気軸受はロータ軸に多数の永久磁石要素を備え、これらの永久磁石要素は円環板に似た形状であって、軸線方向に順次並んでいる。これらの永久磁石要素はロータ軸の軸線方向に見て極性が交互に変わるように極性を与えられている。隣接する永久磁石要素間には、それぞれ比較的薄い強磁性中間要素が配置されている。これらの中間要素には、隣接する永久磁石要素の磁束線を集中させ、それにより各中間要素の軸受隙間側に、特に高い磁界強さが生じるようにするという責務が与えられている。ロータ側の軸受部分は永久磁石要素からなる磁石装置を備え、ステータ側の位置固定された軸受部分によって囲まれている。この軸受部分は、例えばＹＢａ２Ｃｕ３Ｏｘのような高Ｔｃ超伝導材料を持つ超伝導装置を含んでいる。超伝導装置と磁石装置の永久磁石要素との間には、先に挙げた磁気的な支承力が生じている。導体装置の超伝導材料は、液体窒素（ＬＮ２）によって約７７Ｋに維持される。このために超伝導装置の外面に、冷媒を導く冷却チャンネルが設けられている。
【０００７】
低温に冷却された部品が軸受隙間に隣接している磁気軸受の場合、周囲環境の空気がこの軸受隙間を通って低温部品に到達し、そこで空気中の水分が氷結するという問題が生じる。このような氷結は、軸受の機能制限または損傷につながることがある。上記西独特許明細書に記載の磁気軸受の場合、蒸発する窒素を排出することにより、軸受隙間のこの種の氷結を防止することができる。軸受のために必要な冷却出力は、５０〜８０Ｋのとき、数ワット〜１０ワットの規模である。しかし、この公知の磁気軸受の場合とは異なり、特に間接的な冷却機能のみを持ついわゆるクーライオクーラを使用した冷却技術を採用する場合、軸受隙間の氷結の危険を防止するための手段が存在していない。この場合には蒸発する冷媒ガスを利用できないからである。
【０００８】
従って本発明の課題は、冒頭に挙げた構成要件を持つ磁気軸受において、いかなる冷却技術を選択するかにかかわらず軸受氷結のこのような危険を最小にし、シールの手間を少なくすることである。
【０００９】
この課題は、本発明によれば、超伝導装置と磁石装置とが少なくとも１つの断熱スペースによって共通に包まれ、少なくとも１つの断熱スペースから分離された追加スペースが設けられ、この追加スペースが軸受隙間と部分スペースとを含み、この部分スペースが、超伝導装置と磁石装置との両側端面において半径方向へ回転軸まで伸び、そこで回転軸に対してシールされていることによって解決される。
【００１０】
磁気軸受のこの構成にともなう利点は特に、回転部分に対する追加スペースのシールの手間を小さく抑えることができることにある。なぜならばこのシールは可能な限り小さい直径を利用し、これにより回転軸と一緒に回転するシール部品の円周速度が最小限に抑えられるからである。従ってシール機能が簡単になり、それに応じて寿命が向上する。追加スペースのシールが容易になり、効果的にもなったことにともなって、氷結の可能性のあるガスが侵入する危険は大幅に一掃される。
【００１１】
この磁気軸受の有利な実施態様は従属請求項に記載されている。
【００１２】
このようにして磁気軸受の追加スペースを簡単に排気できる。これにより摩擦損失を有利に軽減できる。回転軸のシール手段に漏れがある場合、理論上はたしかに僅かな空気侵入が生じるが、強い氷結には次のようにして対処できる。すなわち両側の部分スペースにおける対応する流れ断面積を小さく抑えることができるので、シールに欠陥があっても空気の交換が強く防止される。従ってこの磁気軸受は良好な非常運転特性を示す。
【００１３】
上記に代わり、追加スペースに乾燥した保護ガスを充填すると有利である。乾燥した保護ガスとしては、運転温度において軸受隙間の範囲に氷結を生じる成分を含んでいなければ、どんなガスまたはガス混合物でも適する。保護ガスとしてＨｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｎ２のグループから選択でき、これらのガスの少なくとも１つを含むガス混合物も適する。この追加スペースにいずれか１つのガスを充填すると、熱は、小さい断面積で有利に形成されている両側の部分スペース内で高温の回転軸から低温の軸受隙間に向かって伝導し、その場合に対流による熱損失は生じない。すなわち、密度の小さいガスを持つ両側の部分スペースの高温端部が回転軸の近くに位置することにより、対流が妨げられる。回転するときは遠心力により、安定した成層が得られる。そのほかに、ガス室中の圧力が僅かに変動しても機能するので、例えばシール領域に漏れによるガス損失があっても、広い範囲内でそれを許容できることは特に有利である。用途に対する要求に応じて、ガス圧を１バール以下、１バールあるいは１バール以上にできるので、特に最後の場合は低温領域に氷結を生じる湿った空気の侵入が確実に防止される。
【００１４】
磁気軸受の冷却されるべき部分を有効に断熱するために、少なくとも１つの断熱スペースを特に排気することができる。その代わりに、あるいは好ましくはそれに追加して、このスペースの少なくとも一部に、少なくとも１つの公知の断熱材をさらに充填することができる。
【００１５】
そのほかに、磁気軸受の冷却装置が、少なくとも１つの冷却ヘッドを持つ少なくとも１つのクーライオクーラを有することは特に有利である。この冷却ヘッドは、超伝導装置を間接的に冷却するために、好ましくは少なくとも１つの熱伝導体を介して超伝導装置に熱的に結合されている。このようなクーライオクーラを使用することは、ほぼボタンを押すだけで冷却出力を利用でき、超低温液体の取扱いが避けられるという利点がある。この公知の高Ｔｃ超伝導材料を有効に冷却するには、冷却ヘッドへの熱伝導による間接冷却で十分である。クーライオクーラを使用する場合、窒素のような蒸発する冷却ガスを流出させて軸受隙間の氷結を抑制することはたしかに存在しない。さらに、軸受隙間において超伝導材料を断熱するならば、軸受隙間の著しい拡大がもたらされ、それに対応して軸受の支持力および剛性のドラスチックな減少がもたらされる。しかし良好な機能を得るには、軸受隙間はできるだけ小さくし、例えば１ｍｍの規模とするべきであろう。このために、断熱された真空容器内に軸受を完全に収めるならば、この真空容器を原理的には２つのハーメチックシールにより回転軸に対してシールしなければならないであろう。しかしこれには、漏れを生じる場合真空が崩壊し、軸受と支承された機械部分との機能がそれに対応して障害を起こすという欠点がある。この場合永久磁石要素は主として熱放射により、超伝導材料の運転温度と周囲温度との間の中間温度までゆっくり冷却される。しかし本発明によって超伝導装置と磁石装置とを共通に包む断熱スペースから分離されている特別な追加スペースを形成することにより、前記シール問題に有利に対処することができる。なぜならば、すでに述べたように、この追加スペースのシールに課される要件は少ないからである。従って間接的冷却法を問題なく使用できる。
【００１６】
本発明による磁気軸受のそのほかの有利な実施態様を、そのほかの請求項に記載した。
【００１７】
以下において図面を参照して本発明をさらに詳しく説明する。図には、本発明による磁気軸受の１つの実施例の重要な部分が概略的に示されている。図１は磁気軸受の縦断面図、図２は図１に示した磁気軸受のシール装置の詳細図を示す。各図とも同じ部品には同じ参照記号を付した。
【００１８】
図１では磁気軸受全体に番号２を付したが、この磁気軸受は前記西独特許４４３６８３１号明細書に記載の実施例に基づいている。この軸受は、（回転可能な）ロータ軸３を磁気的に支承するために設けられ、ロータ軸３は非磁性材料、例えばスチール（鋼）からなる。例えばこのロータ軸３は図示されていない電気的機械、例えば発電機の一部である。ロータ軸３にはこのロータ軸３と一緒に回転する第１の軸受部分５が付設され、この第１の軸受部分５が軸受範囲においてロータ軸３を同心円的に包んでいる。この第１の軸受部分５は、ディスク状の支持要素６ａ，６ｂを介してロータ軸３に強固に固定される。これらの支持要素６ａ，６ｂが、熱伝導を最小限に抑えるために、熱伝導性の悪い材料（例えばガラス繊維強化プラスチック）から構成されていると有利である。第１の軸受部分５は、上記西独特許明細書に従って、永久磁石材料からなる円環板状要素８ｉを持つ磁石装置７を有している。これらの円環板状要素８ｉは、軸線方向に見て交互に磁気的に極性を与えられ、例えば鉄のような強磁性材料からなる円環板状の中間要素９ｉによって互いに離間している。この中間要素９ｉの強磁性材料は、第１の軸受部分５の円筒形外側表面に磁束を集中させるために用いられ、それにより磁気軸受の支持力を向上させる。すべての要素８ｉ，９ｉは１つの支持体１０の中に積層状に並べて配置され、この支持体１０は円環板状の支持要素６ａ，６ｂを介してロータ軸３との摩擦結合を保証している。
【００１９】
永久磁石要素８ｉを持ちロータ軸３と一緒に回転する第１の軸受部分５は、位置固定された中空円筒形の第２の軸受部分１３に囲まれ、軸受隙間１２によって第２の軸受部分１３と分離されている。軸受隙間１２の隙間幅ｗは数ミリメートルの大きさにすることができる。位置固定されてステータを形成する第２の軸受部分１３は、第１の軸受部分５側の内側に中空円筒形の超伝導装置を有し、この超伝導装置は公知の高Ｔｃ超伝導材料の１つからなり、運転の際にはこの材料をその臨界温度以下の運転温度に保たなければならない。永久磁石要素８ｉの位置が変化すると磁場も変化するので、この永久磁石要素によってその超伝導材料内に遮蔽電流が誘起される。この遮蔽電流は軸受部分５，１３間に所望の磁気的な支承力を生じる。
【００２０】
位置固定された第２の軸受部分１３にある中空円筒形の超伝導装置１４は、その軸受隙間１２とは反対側を、例えばＣｕのような熱伝導性の良好な材料からなる中間円筒１５を介して、支持体１６の内部に固定されている。この超伝導装置１４を冷却するために、超伝導装置１４が、熱伝導体１８を介して、ここには詳しく記載しないクーライオクーラの冷却ヘッド２０に熱的に結合されている。このクーライオクーラは、特にはＨｅガスの閉じた圧縮ガス回路を備え、例えばギフォード・マクマホンタイプまたはスターリングタイプであるか、あるいはいわゆるパルス管冷凍機として形成されている。クーライオクーラは一般に知られている。このクーライオクーラは、特に再生器ないし再生形の動作サイクルを持ついわゆる再生形クーラ（クーライオクーラの通常の分類に対応して）として実施されている（日本国北九州市で１９９６年５月２０〜２４日に開催された“第１６回国際低温工学会議（ＩＣＥＣ　１６）”の議事録、エルゼフィーア・サイエンス出版社、１９９７年、ｐ．３３〜４４参照。「Ａｄｖ．Ｃｒｙｏｇ．Ｅｎｇｎｇ．」、第３５巻，１９９０年、ｐ．１１９１〜１２０参照、または米国特許第５，３３５，５０５号明細書参照）。
【００２１】
冷却ヘッド２０は、室温にあり軸受２を完全に包んでいる軸受ケーシング２１の外側にある。この軸受ケーシング２１の内側には、位置固定された第２の軸受部分１３が、円環板状の支持要素２２ａ，２２ｂを介して固定されている。この支持要素が、熱伝導を最小にするために、例えばガラス繊維強化プラスチックのような熱伝導性の悪い材料からなっていると有利である。断熱のために、軸受ケーシング２１の内側スペースの少なくとも一部を少なくとも１つの断熱スペースとして形成し、この断熱スペースの少なくとも大部分が、超伝導装置１４と磁石装置７とからなるユニットを包んでいる。特に以下に記載するように、このスペースを排気することができる。その代わりに、あるいは好ましくはそれに加えて、このスペースの少なくとも一部に、少なくとも１つの断熱材を充填することもできる。それに適する断熱材は、例えば断熱フォーム、超断熱材、断熱フレーク、またはガラス繊維である。ここに示す実施例に従って、断熱のために２つの互いに分離された真空スペースＶ１，Ｖ２が設けられている。真空スペースＶ１は２つの側面領域Ｖ１ａ，Ｖ１ｂと半径方向外側にある中央領域Ｖ１ｃとから構成されている。中央領域Ｖ１ｃは、位置固定された第２の軸受部分１３と、真空ケーシング２１の半径方向外側に位置する部分との間にある。真空スペースＶ２は、ロータ軸３と、これと一緒に回転する第１の軸受部分５との間に位置し、側面を支持要素６ａ，６ｂによって形成されている。従ってこの真空スペースＶ２はこれらの部品と一緒に回転する。ここに示した図とは異なるが、これらの真空スペースＶ１，Ｖ２の少なくとも一部に、さらに例えば超断熱材または断熱フォームのような公知の断熱材の少なくとも１つを充填することができる。
【００２２】
本発明により磁気軸受を形成する場合、ロータ軸３に対する真空スペースＶ１のシールが不要であるのは有利である。なぜならば本発明では、ロータ軸３と一緒に回転する第１の軸受部分５と、位置固定された第２の軸受部分１３との間に形成される軸受隙間１２の隙間幅ｗが小さく、この軸受隙間１２は真空スペースＶ１と結合されていないからである。むしろこの軸受隙間の中間スペースを（別の）追加スペース２５の一部とし、この中間スペースを軸に対してシールしている。このため軸受隙間１２のスペースはその軸線方向の両側端部で、それぞれ半径方向にロータ軸３まで伸びる部分スペース２５ａ，２５ｂに開口している。これらの部分スペース２５ａ，２５ｂがそれぞれほぼ円環状のスペース容積を有し、軸線方向においては非常に狭く維持されると有利である。これらの部分スペースはロータ軸に接するところで、軸線方向に外側へ延びるシール隙間２６ａ，２６ｂに移行している。これらのシール隙間２６ａ，２６ｂはシール装置２８ａ，２８ｂの一部である。追加スペース２５は、排気されるか、あるいは例えばＮ２のような乾燥した保護ガスを充填されている。ガス圧力は一般に０．１〜１０バールであり、標準圧力よりも僅かに過圧状態にあると特に有利である。シール装置２８ａ，２８ｂは図１には詳細を示されていない。その詳細は図２に示されている。
【００２３】
図２は、シール装置、例えばシール装置２８ａに関する詳細図である。そこに示されているように、シール隙間２６ａは軸受ケーシング２１と磁気軸受２とを囲む外部スペースＲに開口している。この外部スペースＲは一般に室温かつ標準圧力にある。外部スペースに対してシールするために、シール隙間２６ａ内にシール装置２８ａの少なくとも１つのシール要素３０が設けられており、このシール要素３０は例えば強磁性流体シール要素（独国特許出願公開第２０３４２１３号明細書参照）として形成されている。従ってこのシール装置２８ａは、磁極Ｎ，Ｓと、側面からそれに当接し磁束を導く２つのヨーク脚３４ａ，３４ｂとを持つ永久磁石３３を含んでいる。このヨーク脚３４ａ，３４ｂはそのロータ軸側がシール隙間２６ａの領域に先端を備え、これらの先端に強磁性流体リング３５ｉが磁気により保持されている。このためには、ロータ軸３の少なくともそれぞれのシール要素３０の領域が強磁性でなければならない。従って例えば、強磁性材料から成る図示されていない中空管が、非磁性材料から製造されたロータ軸上に嵌め込まれている。
【００２４】
ここに示したタイプのシール装置の代わりにそのほかの公知の例、例えばラビリンスシールまたは非接触シールを使用することもできる。シール隙間２６ｂを持つシール装置２８ｂとして適切なシールが設けられている。
【００２５】
さらに図２の詳細図に記載するように、真空スペースＶ１つまりその部分スペースＶ１ａは、ロータ軸３の領域でシール隙間２６ａの位置固定された壁３１によって、またヨーク脚３４ａによって密閉されている。このヨーク脚は、軸受ケーシング２１の側壁２１ａの延長部分である。その代わりに、この側壁２１ａを壁３１まで伸ばして、シール装置２８ａの側面を側壁２１ａに当接させ、例えばＯリングと気密にフランジ接合することもできる。
【００２６】
本発明による磁気軸受におけるこれらの実施例の場合、回転部分の断熱された真空スペースＶ１ないしは断熱スペースに、密封問題が生じないのは有利である。従ってこの軸受の場合、ロータ軸３における軸受隙間１２に、問題がなくて手間のあまりかからないシールをただ１つ設ければよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は磁気軸受の縦断面図を示す。
【図２】図２は図１に示した磁気軸受のシール装置の詳細図を示す。
【符号の説明】
２　　　　磁気軸受
３　　　　ロータ軸、回転軸
５　　　　第１の軸受部分
６ａ，６ｂ　支持要素
７　　　　磁石装置
８ｉ　　　永久磁石要素
９ｉ　　　中間要素
１２　　　　軸受隙間
１３　　　　第２の軸受部分
１４　　　　超伝導装置
１６　　　　支持体
２０　　　　冷却ヘッド
２１　　　　軸受ケーシング
【国際公開パンフレット】
2004507685.tif 000003
2004507685.tif 000004
2004507685.tif 000005
2004507685.tif 000006
2004507685.tif 000007
2004507685.tif 000008
2004507685.tif 000009
2004507685.tif 000010
2004507685.tif 000011
2004507685.tif 000012
2004507685.tif 000013
2004507685.tif 000014
2004507685.tif 000015
2004507685.tif 000016
2004507685.tif 000017
2004507685.tif 000018
2004507685.tif 000019
2004507685.tif 000020
【国際調査報告】
2004507685.tif 000021
2004507685.tif 000022
2004507685.tif 000023
2004507685.tif 000024