(57)【要約】本発明は、7.0より高く約11.0までのpHを有するフッ化物含有緩衝水性組成物に関する。この緩衝組成物は、酸化膜および金属のエッチング速度等pHに依存する属性が、pHが安定したままである限り安定であるので、長期間の有効寿命を有する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
フッ化物含有緩衝水性組成物であって、
A.フルオロホウ酸または一般式R4NF(式中、R1からR4は、独立に、水素、アルコール基、アルコキシ基またはアルキル基である)のフッ化物含有化合物と、
B.緩衝剤とを含み、7.0より大きく約11.0までのpHを有する組成物。
【請求項２】
前記フッ化物含有化合物が、フッ化アンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウムまたはフッ化テトラエチルアンモニウムである請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項３】
前記フッ化物含有化合物が、フッ化アンモニウムである請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項４】
さらに水に混和性の有機極性溶媒を含む請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項５】
前記水に混和性の有機極性溶媒が、アミン、スルホキシド、スルホン、アミド、ラクトン、ピロリドン、イミダゾリジノン、グリコール、グリコールエーテルおよびそれらの混合物である請求項4に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項６】
前記水に混和性の有機極性溶媒が、ジメチルアセトアミドである請求項4に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項７】
前記有機極性溶媒が、N-メチルピロリドンである請求項4に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項８】
前記緩衝剤が、弱酸またはプロトン付加型塩基、ならびに、アミン、アンモニア、水酸化アンモニウムおよび水酸化アルキルアンモニウムからなる群から選択される塩基を含む請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項９】
前記弱酸が、HEPES、ベンゾトリアゾールまたはバニリンである請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項１０】
20重量%までの量で存在する防食剤をさらに含む請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項１１】
前記pHが、7.0より大きく約9.0までである請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項１２】
前記pHが、7.0より大きく約8.4までである請求項1に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項１３】
フッ化物含有緩衝水性組成物であって、
A.0.1重量%から20重量%までのフルオロホウ酸または一般式R4NF(式中、R1からR4は、独立に、水素、アルコール基またはアルキル基である)のフッ化物含有化合物と、
B.70重量%までの水に混和性の有機極性溶媒と、
C.緩衝剤と、
D.1重量%から92重量%の水とを含み、7.0より大きく約11.0までのpHを有する組成物。
【請求項１４】
前記水が、1重量%から70重量%の量で存在する請求項13に記載のフッ化物含有緩衝水性組成物。
【請求項１５】
一般式R4NF(式中、R1からR4は、独立に、水素、アルコール基、アルコキシ基またはアルキル基である)のフッ化物含有化合物、またはフルオロホウ酸、および有機極性溶媒を含むフッ化物含有水性組成物の酸化膜エッチング速度および金属エッチング速度を安定化させる方法であって、前記フッ化物含有水性組成物のpHを、7.0より大きく約11.0までに調整し、前記組成物に緩衝剤を添加する方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、7.0より大きく約11.0までのpHを有するフッ化物含有緩衝水性組成物に関する。これらの組成物は、半導体素子の製造におけるレジスト残渣およびエッチングまたはアッシング残渣の除去剤および洗浄剤として使用される。このフッ化物含有緩衝組成物は、pHの変化を阻止し、アルミニウム、銅、チタン、タングステンなどの金属膜に対する低い腐食作用、および低い酸化膜エッチング速度を示す。より詳しくは、本発明は、一般的には緩衝剤とは見なされない分子を使用するレジスト残渣およびエッチングまたはアッシング残渣の除去剤および洗浄剤として有用なフッ化物含有緩衝水性組成物に関する。本発明の緩衝剤は、7.0より高く約11.0までのpH範囲にわたって有効である様々な弱酸または溶液が弱酸として作用するプロトン付加型塩基の使用を含む。本発明は、また、フッ化物含有組成物の調製方法およびその用途も含む。
【背景技術】
【０００２】
当技術分野においては多数のフッ化物含有組成物が開示されている。トリイ(米国特許第5,972,862号)は、剥離剤・洗浄剤として使用するフッ化物含有組成物を開示している。タナベ(米国特許第5,792,274号および第5,905,063号)は、フッ化水素(HF)の金属を含まない塩、水溶性有機溶媒、および場合によって防食剤を含有する5〜8のpHを有するレジスト除去剤組成物を開示している。
【０００３】
マルヤマ(米国特許第5,692,385号)は、HFのアンモニウム塩およびアルキルアンモニウム塩を0.1重量%〜10重量%と、水溶性有機溶媒を72重量%から80重量%と、残りは水を含有する組成物を開示している。マルヤマの教示によれば、フッ化物含有配合物および溶媒は共に所定の範囲内で存在しなければならず、さもないと、基板の腐食および不十分な性能等の有害な副作用が起こる。上で引用した参照は、いずれも、フッ化物含有組成物のpH安定性を改良するために緩衝剤が有効に使用されることは認めていない。
【特許文献１】
米国特許第5,972,862号
【特許文献２】
米国特許第5,792,274号
【特許文献３】
米国特許第5,905,063号
【特許文献４】
米国特許第5,692,385号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
酸性のフッ化物含有組成物の潜在的に負の属性は、酸化膜エッチング速度である。酸化膜エッチング速度が高すぎると、フッ化物含有組成物は、きわどい寸法調整が十分でない場合があるため、洗浄への応用には限界がある。pHを高くすると、普通は、酸化膜のエッチング速度は低下する。例えば、フッ化物含有組成物のpHを少なくとも10まで上げると、酸化膜のエッチング速度をゼロ近くまで下げることができることが示されている。しかしながら、高いpH値(＞10)においては、金属腐食およびタングステンやチタンなどある種の金属の電気化学的腐食が起こり得る。この問題は、一般的に多様な防食剤を添加することによって対処されてきた。防食剤の添加には、防食剤によってはエッチング残渣の除去を妨害することがあるという欠点がある。フッ化物含有組成物のpHを7〜9の範囲に調整すると、酸化膜エッチングならびに金属のエッチングおよび腐食の効果の均衡がとられることが見出された。タングステンの電気化学的腐食を最小または無とするためには、pHの範囲をさらに7〜約8.4に狭める必要がある。緩衝剤を添加することによって、pHをフッ化物含有組成物に対する所定の範囲に維持することができる。金属の腐食または電気化学的腐食が問題とならない場合は、緩衝したpH範囲は、7.0より大きく約11.0までである。好ましくは、その範囲は、7.0より大きく約9.0までであり、反応しやすい金属が存在する場合は、pHの範囲は、7.0より大きく約8.4までである。フッ化物含有緩衝組成物は、pH変動の減少およびより整合性のあるエッチング能力の特性を示す。
【０００５】
緩衝液に有用であるとは通常は考えられないベンゾトリアゾール(BZT)やバニリン(4-ヒドロキシ-3-メトキシベンズアルデヒド)などの化合物を本発明では使用する。BZTは、一般に緩衝剤としては考えられていない。BZTは、露出している銅金属上に酸化膜に似たパッシベーション膜を形成して銅を保護する能力があることで最も良く知られている。BZTはまた、塩基性溶液中でCu2+とキレートを形成し、それによってウエーハ上へのCu2+の再析出の可能性を低下させる能力があることでも知られている。また、本発明のフッ化物含有緩衝水性組成物中でBZTは露出しているチタンの腐食に対する保護を提供することも見出されている。
【０００６】
BZTは、8.38のpkaを有しており、窒素に付いた水素は酸性であり、水溶液中ではずすことができる。本発明の組成物中で、BZTは、緩衝剤および防食剤中のいずれにおいても弱酸として作用する。
【０００７】
ウェブスター(Webster)は、緩衝剤を、「酸および塩基の両方を溶液中で中和することができ、それによって溶液の最初の酸性度または塩基性度を維持する物質」として定義している。SkoogおよびWestのFundamentals of Analytical Chemistry第3版は、「緩衝液は、酸または塩基の少量添加...の結果pHの変化を阻止する溶液として定義される。最も効果的な緩衝液は多量でほぼ等濃度の共役酸-塩基対を含有する」と記述している。緩衝剤は、一般的には、弱酸性と考えられており、等モル濃度の酸および共役塩基を含めることによって、酸または塩基のいずれかに対してその弱酸性基のpkaの両側で約1pH単位の最大幅の緩衝範囲が達成される;
HB<>H++B-、ka=[H+][B-]/[HB]、[B-]=[HB]のとき、pH=pka
共役塩基対は、HBおよびB-であり、ここでB-は共役塩基である。また、プロトン付加型塩基を弱酸として使用して緩衝系を実現することもできる;
BH+<>H++B、ka=[H+][B]/[BH+]、[B]=[BH+]のとき、pH=pka
ここで共役酸塩基対は、BH+およびBであり、Bを共役塩基と呼ぶ。pHの設定は、適当なpkaを有する酸(またはプロトン付加型塩基)と酸に共役な塩基を等モル比で使用することによって非常に容易に果たすことができる。
【０００８】
本発明の緩衝剤は、非緩衝組成物とはまったく異なって、加熱または組成物全体の95重量%までの量の水で希釈した時、時間が経ってもpHの変動をほとんどまたはまったく示さないフッ化物含有水性組成物を提供する。非緩衝生成物の時間が経過した時のpHの変動の例を図1に示す。ジメチルアセトアミド(DMAC)、脱イオン水、フッ化アンモニウムおよび水酸化アンモニウムからなるpH8.3の非緩衝生成物のpHを時間の経過とともに記録している。見て分かるように、pHは、7日間で＞8から＜4まで低下しており、最大の変化は、最初の2日間で起こっている。剥離作業および洗浄作業においては、均一な性能特性であることが望ましく、時間の経過により、または使用中にpHが変化すると非緩衝組成物のエッチング速度および金属腐食も変化するので、組成物のpHの安定性が重要である。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、7.0より大きく約11.0までのpHを有するフッ化物含有緩衝水性組成物に関する。その組成物は、半導体素子の製造におけるレジスト残渣およびエッチングまたはアッシング残渣の除去剤および洗浄剤として使用される。このフッ化物含有緩衝水性組成物は、7.0より大きく約11.0までのpHを有しており、
A.一般式R4NF(式中、Rは、独立に、水素、アルコール基、アルコキシ基またはアルキル基またはそれらの混合物である)のフッ化物含有化合物、および
B.緩衝剤を含む。
重量百分率はすべて、フッ化物含有緩衝水性組成物の全重量に基づく。
【００１０】
フッ化物は、本発明の必須の成分である。フッ化物含有化合物としては、一般式R4NFのものが含まれ、式中、Rは、独立に、水素、アルコール基、アルコキシ基、アルキル基およびそれらの混合物である。そのような組成物の例は、フッ化アンモニウム、フッ化テトラメチルアンモニウムおよびフッ化テトラエチルアンモニウムである。フルオロホウ酸もまたフッ化物含有組成物として使用することができる。フッ化物含有化合物または化合物の混合物は、好ましくは、組成物の全重量を基準として、0.1重量%〜20重量%までの量で存在する。
【００１１】
本発明の組成物は、また、緩衝剤も含む。組成物のpHは、7.0より大きく約11.0まで、好ましくは、7.0より大きく約9.0まで、最も好ましくは、7.0より大きく約8.4までの範囲の望ましいpHに調整する。緩衝剤は、共役酸-塩基対からなる。使用する酸は、弱酸または溶液中で弱酸として作用するプロトン付加型塩基である。様々な弱酸またはプロトン付加型塩基を、7.0より大きく約11.0までのpH範囲におよぶ緩衝剤用として、容易に入手することができる。さらに、通常は有用な緩衝剤としては考えられていない組成物、例えば、ベンゾトリアゾール、グリシンまたはバニリンのような選択された生物学的組成物などを使用することができる。
【００１２】
緩衝剤を調製する方法は当技術分野では良く知られている。本発明の組成物は、弱酸またはプロトン付加型塩基および共役塩基を必要量加えることによって所望のpHで緩衝させることができる。また、計算量の弱酸またはプロトン付加型塩基および塩基をフッ化物含有組成物に添加することにより、緩衝剤をインサイチュで調製することもできる。
【００１３】
塩基の例としては、アミン、アンモニア、水酸化アルキルアンモニウム、水酸化アンモニウムなどが挙げられる。
【００１４】
pHが7以上付近の緩衝剤に使用することができる弱酸およびプロトン付加型塩基の例を表1に掲げる。
【００１５】
【表１−Ａ】
2004536175.tif 000003
【表１−Ｂ】
2004536175.tif 000004
【表１−Ｃ】
2004536175.tif 000005
【００１６】
好ましい弱酸の例としては、HEPES、ベンゾトリアゾール、およびバニリンが挙げられる。
【００１７】
フッ化物含有緩衝組成物中には水が存在する。それは、フッ化アンモニウム水溶液または緩衝剤水溶液等の発明の他の要素の成分として同時に存在させることができ、またはそれは、別に添加することができる。水は、組成物全体の1重量%〜92重量%の量存在し、好ましくは、水は、1重量%〜70重量%の量存在する。水の存在により、本発明のフッ化物含有組成物中のフッ化アンモニウムの溶解性が改善され、同時に、無機のエッチング残渣を除去する能力も改善される。
【００１８】
ほかに、フッ化物含有緩衝水性組成物は、水に混和性の有機極性溶媒をさらに含有することができる。水に混和性の有機極性溶媒は、剥離および洗浄に適用するための調合物に一般的に使用される溶媒である。適合する有機極性溶媒の例としては、ジメチルスルホキシド(DMSO)等のスルホキシド、ジメチルスルホン等のスルホン、モノエタノールアミン(MEA)、トリエタノールアミン(TEA)またはN-メチルエタノールアミン(NMEA)等のアミン、ホルムアミドまたはジメチルアセトアミド(DMAC)等のアミド、γ-ブチロラクトン等のラクトン、N-メチルピロリドン(NMP)等のピロリドン、1,3-ジエチル-2-イミダゾリジノン等のイミダゾリジノン、ポリエチレングリコール(PEG)またはエチレングリコールモノブチルエーテル等のグリコールその他が挙げられる。DMACが好ましい有機極性溶媒である。有機極性溶媒は、好ましくは、組成物の全重量を基準として70重量%までの量で存在する。
【００１９】
防食剤等の他の成分を、フッ化物含有緩衝水性組成物に添加することができる。存在する場合、防食剤は、組成物の全体重量を基準として20重量%までの量を添加する。好ましくは、防食剤は、1重量%〜5重量%までの量で存在する。適当な防食剤の例としては、ベンゾトリアゾール、没食子酸、カテコール、ピロガロールおよび没食子酸のエステルが挙げられる。ベンゾトリアゾールは、防止剤としておよび緩衝液中の弱酸としての両方で機能する。
【００２０】
フッ化物含有緩衝水性組成物は、酸性または苛性媒質で汚染された後でさえもそのpHを維持することができる。pHの変動を受けやすいフッ化物含有非緩衝組成物とは異なり、本発明の緩衝組成物は、酸化膜エッチング速度の低下、金属腐食および電気化学的腐食の低下、ならびに、より長期間の洗浄効力等のpHと関係する性能特性を維持することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以上、本発明を説明してきたので以下の実施例を提供するが、それは説明のためのものであって、限定するものと解釈すべきではまったくない。別に断りのない限り、量はすべて、重量百分率で示している。pH測定は、5%水溶液について室温で行う。金属エッチング速度は、CDE ResMap 273  4点プローブ(E-M-DGLAB-0007)を使用して測定した。500mlの試験溶液を600mlのビーカーにかき混ぜながら入れ、必要な場合は、特定の温度まで加熱した。試験する金属がチタンの場合は、最初にリン酸中への浸漬を必要とした。ウエーハの最初の厚さをCDE ResMap 273  4点プローブを使用して測定した。最初の厚さを測定した後、テストウエーハを試験溶液中に浸した。1個だけのテストウエーハを試験している場合はダミーウエーハを溶液に加えた。5分後テストウエーハを試験液から取り出し、脱イオン水で3分間ゆすぎ、窒素下で完全に乾燥した。ネガティブ剥離液を使用する場合は、DMACまたはIPA(イソプロピルアルコール)等の溶媒中でテストウエーハの中間のすすぎを水洗浄の前に3分間行った。各ウエーハの厚さを測定し、必要な場合はテストウエーハについてこの手順を繰り返した。
【００２２】
酸化膜エッチング速度は、Nanospec AFT 181(E-M-DGLAB-0009)を使用して測定した。200mlの試験溶液を250mlのビーカーにかき混ぜながら入れ、必要な場合は、指定の温度まで加熱した。試験すべき各ウエーハに3つの輪を刻み付けた。各ウエーハの刻印した部分は、寸法を取ろうとする部分である。各ウエーハについて最初の寸法を取った。最初の寸法測定の後、ウエーハを試験溶液中に5分間浸けた。1個だけのウエーハを溶液の入ったビーカーに入れる場合は、ダミーウエーハをそのビーカーに入れた。5分後各テストウエーハを脱イオン水で3分間洗浄し、窒素下で乾燥した。ネガティブ剥離液を使用する場合は、DMACまたはIPAまたは他の適当な溶媒を使用して、テストウエーハを水洗浄の前に3分間ゆすいだ。各ウエーハの刻印した部分の寸法を取り、必要な場合はこの手順を繰り返した。
【実施例１】
【００２３】
バニリン(4-ヒドロキシ-3-メトキシベンズアルデヒド)およびNH4OHを使用してフッ化物含有緩衝組成物を調製した。バニリンは、7.40のpkaを有する。酸(バニリン)と塩基の濃度が同じであることを確保するため、NH4OHのモル数を酸のモル数の半分とした。すべての成分を容器中でかき混ぜながら混合した。
成分                        重量
DMAC                        64.05
脱イオン水                  28.90
バニリン                    4.00
NH4OH(28%NH3溶液)            0.80
NH4F(40%溶液)                1.25
ベンゾトリアゾール          1.00
この溶液の計算値pHは、7.39、測定値pHは、7.34であった。
【実施例２】
【００２４】
実施例1と同様にして溶液を調製した。
成分                        重量
DMAC                        51.70
脱イオン水                  35.00
バニリン                    4.00
NH4OH(28%NH3溶液)            0.80
NH4F(40%溶液)                7.50
ベンゾトリアゾール          1.00
この溶液の計算値pHは、7.28、測定値pHは、7.19であった。
【実施例３】
【００２５】
実施例1および2の組成物を、40℃で3時間、開放容器中で加熱した。それぞれの溶液のpHは、約0.6pH単位だけ変化した。
【実施例４】
【００２６】
実施例1と同様にして溶液を調製した。
成分                        重量
DMAC                        49.65
脱イオン水                  35.00
HEPES                       6.00
NH4OH(28%NH3溶液)            0.85
NH4F(40%溶液)                7.50
ベンゾトリアゾール          1.00
計算値pHは、7.43であった。測定値pHは、7.34であった。
【実施例５】
【００２７】
実施例1と同様にして溶液を調製した。
成分                        重量
DMAC                        62.00
脱イオン水                  28.90
HEPES                       6.00
NH4OH(28%NH3溶液)            0.85
NH4F(40%溶液)                1.25
ベンゾトリアゾール          1.00
計算値pHは、7.48であった。測定値pHは、7.51であった。
【実施例６】
【００２８】
比較例(非緩衝)
実施例1と同様にして溶液を調製した。
成分                        重量
DMAC                        67.50
脱イオン水                  30.00
NH4OH(28%NH3溶液)            0.30
NH4F(40%溶液)                2.50
追加の水酸化アンモニウムを添加して、最初のpH値を8.3まで上げた。
【実施例７】
【００２９】
実施例4と5の組成物を開放容器中で25℃で7日間セットしたまま放置した。この間実施例4と5の緩衝組成物のpH値を記録した。その結果を図2に示す。実施例6の組成物を実施例4と5と同様に処理した。緩衝試料のpHは、7日間を通して0.25pH単位未満のpH変化で、比較的無変化のままであった。対照的に、非緩衝の例は、7日間を通して4pH単位を超えるpH変化を示した。
【実施例８】
【００３０】
実施例4,5および6を40℃で3時間加熱し、pH値を測定した。その結果を図3に示す。非緩衝組成物は4単位を超えるpH値の低下を示したが、一方、緩衝の実施例4および5は、1単位以下のpH低下であった。
【実施例９】
【００３１】
この実施例は、酸化膜のエッチング速度がpHの機能でどのように変化するかを明らかにするものである。この手順を進めるため、弱塩基を添加して、pHを上方の約9.3に調整した。そのpHは、実施例6の組成物の試料を、その組成物が脱イオン水95重量%となるように希釈することにより改変した。酸化膜エッチング速度は、任意でNanospec AFTに基づき、標準手順E-M-DGLAB-0009を使用して測定した。エッチング速度の検討は、シリコン上のTEOS(オルトケイ酸テトラエチル)からなるテストウエーハにより行った。結果を図4に示す。
【実施例１０】
【００３２】
実施例5および6について様々な金属のエッチング速度の違いを測定した。金属としては、Al/Cu(4%)、Cu、Ti、W、Ta、TaN、TiN、TiW、非高密度化TEOS、高密度化TEOS、および熱二酸化物を含む。金属のエッチング速度は、CDE ResMap 273および標準手順E-M-DGLAB-0007、CDE ResMap 273  4点プローブエッチング速度を使用して測定した。テストウエーハは、シリコン上のSiO2上の適当な金属からなるものであった。結果を図5に示す。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】剥離作業および洗浄作業に一般的に使用されるタイプのフッ化物含有非緩衝組成物の時間の経過に対するpHの変化を示すグラフである。
【図２】本発明のフッ化物含有緩衝組成物の時間の経過に対するpHの変化を示すグラフである。
【図３】40℃、3時間加熱による1個の非緩衝試料および2個の緩衝試料のpHの低下を示す棒グラフである。
【図４】フッ化物非緩衝剥離/洗浄組成物のpHの変化に伴うTEOSエッチング速度の変化を示すグラフである。
【図５】様々な金属にフッ化物含有酸性組成物および中性付近のフッ化物緩衝組成物を作用させた時のエッチング速度を示す棒グラフである。
【図１】
2004536175.tif 000006
【図２】
2004536175.tif 000007
【図３】
2004536175.tif 000008
【図４】
2004536175.tif 000009
【図５】
2004536175.tif 000010
【国際公開パンフレット】
2004536175.tif 000011
2004536175.tif 000012
2004536175.tif 000013
2004536175.tif 000014
2004536175.tif 000015
2004536175.tif 000016
2004536175.tif 000017
2004536175.tif 000018
2004536175.tif 000019
2004536175.tif 000020
2004536175.tif 000021
2004536175.tif 000022
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2004536175.tif 000024
2004536175.tif 000025
2004536175.tif 000026
2004536175.tif 000027
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【国際調査報告】
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