(57)【要約】本発明は、測定個所に存在するかもしれないテストガスを検出するための方法に関する。このことは、キュベット（２）、ＩＲ光源（３）、ＩＲ検知器（４）を備えた赤外線ガスアナライザー（１）を用い、並びに赤外線ガスアナライザーに対してガスを供給するために用いられる２つのガス導管（１５，１７）を用いて行われる。ガス導管のうち１つは、測定個所において存在しているかもしれないテストガスを含んでいる測定ガスをピックアップするように決められており、かつそのうち第２の導管（１７）は、測定個所の周囲からのガス（参照ガス）をピックアップするように決められている。参照ガスはテストガスアンダーグラウンドを含んでいる可能性がある。これは測定個所でピックアップされたテストガスの検出の際に考慮されるべきものである。アナライザーの感度を改良するために、キュベット（２）が１つだけ存在していること、測定個所でピックアップされた測定ガスおよび参照ガスが赤外線ガスアナライザーのキュベットに、これらがキュベットにおいて交互に存在しているように供給されることが提案される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定個所に場合により存在しているテストガスを検出するための方法であって、
検査すべきガスを収容するキュベット（２）と、該キュベットの一方の端面に配置されている赤外線（Ｉｎｆｒａｒｏｔ＝ＩＲ）光源（３）と、キュベットの他方の端面に配置されているＩＲ検知器（４）とを有している赤外線ガスアナライザー（１）が用いられ、ＩＲ検知器の信号が測定個所においてピックアップされるテストガスを検出するために用いられ、かつ
赤外線ガスアナライザーに対してガスを供給するために用いられる２つのガス導管（１５，１７）が用いられ、該ガス導体の一方は測定個所において場合によりテストガスを含んでいる測定ガスをピックアップするように定められており、該ガス導管の第２のもの（１７）は、測定個所の周囲のガス（参照ガス）をピックアップするように定められており、該ガスは、測定個所でピックアップされるテストガスの検出の際に考慮されるべきであるテストガスバックグランドを含んでいることができる
そういう形式の方法において、
１つのキュベット（２）だけが存在しており、
測定個所でピックアップされた測定ガスおよび参照ガスは赤外線ガスアナライザーのキュベットに、これらがキュベットにおいて交番的に存在しているように供給され、
測定個所で、測定ガス中の濃度が参照ガス中のテストガス濃度よりも高いテストガスがピックアップされる場合、ＩＲ検知器から供給される交番信号が高められたテストガス濃度の検出のために用いられる
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
前記一方の導管（１５）および他方の導管（１７）をキュベットのポート（８）に交番的に接続する制御弁（２１）が使用される
請求項１記載の方法。
【請求項３】
キュベット（２）と導管（１５，１７）との間に存在していて、参照ガスおよび測定ガスをキュベット（２）に交番的に供給するためのピストン（２７，３２）を備えている中間室（２５）が使用される
請求項１記載の方法。
【請求項４】
測定個所に場合により存在しているテストガスを検出するための方法であって、
検査すべきガスを収容するキュベット（２）と、該キュベットの一方の端面に配置されている赤外線（Ｉｎｆｒａｒｏｔ＝ＩＲ）光源（３）と、キュベットの他方の端面に配置されているＩＲ検知器（４）とを有している赤外線ガスアナライザー（１）が用いられ、ＩＲ検知器の信号が測定個所においてピックアップされるテストガスを検出するために用いられ、かつ
赤外線ガスアナライザーに対してガスを供給するために用いられる２つのガス導管（１５，１７）が用いられ、該ガス導体の一方は測定個所において場合によりテストガスを含んでいる測定ガスをピックアップするように定められており、該ガス導管の第２のもの（１７）は、測定個所の周囲のガス（参照ガス）をピックアップするように定められており、該ガスは、測定個所でピックアップされるテストガスの検出の際に考慮されるべきであるテストガスバックグランドを含んでいることができる
そういう形式の方法において、
１つのキュベット（２）だけが存在しており、
測定個所でピックアップされた測定ガスおよび参照ガスは赤外線ガスアナライザー（１）のキュベット（２）に、該キュベット（２）において連続的に、測定個所でピックアップされた測定ガスが流れかつ一時的に付加的に参照ガスが流れるように供給され、かつ
測定個所で、測定ガス中の濃度が参照ガス中のテストガス濃度よりも高いテストガスがピックアップされる場合、ＩＲ検知器から供給される交番信号が高められたテストガス濃度の検出のために用いられる
ことを特徴とする方法。
【請求項５】
信号評価のためにロック・イン技術が使用される
請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
測定サイクルは参照サイクルより長めに選択される
請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
ガスアナライザーの機能性が連続的に監視される
請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
基本周波数ｆｇで行われるガス交換に対して付加的に、ＩＲ光源（３）は（一時的に）参照周波数ｆｒによって変調される
請求項７記載の方法。
【請求項９】
ガス流が連続的に監視される
請求項１から８までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１０】
供給導管（１５，１７）における圧力が測定されかつ
該両圧力の差が測定量として用いられる
請求項９記載の方法。
【請求項１１】
ＩＲ光源（３）もガス交換と同期して変調される
請求項１から１０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項１２】
請求項１の特徴部分に記載の構成を有する方法を実施するための装置において、
該装置は、測定個所でピックアップされた測定ガスおよび参照ガスを赤外線ガスアナライザーのキュベットに、該両方のガスが交番的に存在しているように供給する手段（２１ないし２３；２５ないし２９；３１ないし３７）を備えている
ことを特徴とする装置。
【請求項１３】
前記手段は制御弁（２１）から成っており、該制御弁は測定ガスを導く導管（１５）および参照ガスを導く導管（１７）をキュベットに交番的に接続する
請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記手段は２つの別個のチャンバ（２８，２９）を備えている中間室（２５）を有しており、該チャンバを介してピストン（２７，３２）を用いてキュベット（２）に測定ガスおよび参照ガスが交番的に供給される
請求項１２記載の装置。
【請求項１５】
キュベットは出口ポート（９，３０）を備えており、該出口ポートに搬送／真空ポンプ（２２）が接続されている
請求項１２から１４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１６】
参照ガスの供給のために用いられる導管（１７）に制御弁が存在している
請求項４の特徴部分に記載の構成を有する方法を実施するための装置。
【請求項１７】
測定ガスの供給のために用いられる導管（１５）に絞り（４２）が存在している
請求項１６記載の装置。
【請求項１８】
請求項５の特徴部分に記載の構成を有する方法を実施するための装置において、
電子装置の構成部分はロック・イン増幅器（６）であり、該増幅器の、タイミングを割り当てる線路（２４）は弁（２１）と、ピストン（２７，３２）の駆動部（２６，３７）と、弁（４１）と、場合によってはＩＲ光源（３）とに接続されている
ことを特徴とする装置。
【請求項１９】
請求項７または８の特徴部分に記載の構成を有する方法を実施するための装置において、
別のロック・イン増幅器（５１）が設けられており、該増幅器の、参照周波数に対するタイミングを予め定める線路５４はＩＲ光源に接続されている
ことを特徴とする装置。
【請求項２０】
参照周波数ｆｒは、基本周波数ｆｇより大きい、有利には大体係数２．５だけ大きい
請求項１９記載の装置。
【請求項２１】
第２のロック・イン増幅器は評価ユニット（５３）に接続されており、該評価ユニットはシステムエラーの検出のために用いられる
請求項１８または１９記載の装置。
【請求項２２】
評価ユニットは較正係数の整合のためにも使用される
請求項２１記載の装置。
【請求項２３】
請求項９または１０の特徴部分に記載の構成を有する方法を実施するための装置において、
差圧力センサ（４５）が前記導管（１５，１７）に接続されておりかつ
該圧力センサの出力側は評価電子装置（４７）に接続されている
請求項２３記載の装置。
【請求項２４】
評価電子装置は固有のロック・イン増幅器を含んでいる
請求項２３記載の装置。
【請求項２５】
ロック・イン処理、測定および制御信号の制御および処理のために、所属のソフトウェアを備えているマイクロコンピュータ回路ないしマイクロプロセッサ回路が使用される
請求項１２から２４までのいずれか１項記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、請求項１および２の上位概念の特徴部分に記載の構成を有する、測定個所に存在しているかもしれないテストガスを検出するための方法並びにこの方法を実施するために適している赤外線ガスアナライザーに関する。
【０００２】
この形式の方法および装置はＤＥ−Ａ−１９９１１２６０（出願２０００−６０５１８６）から公知である。これらは殊に、スニッファ漏れ検査での使用に適している。いずれのスニッファ漏れ検査でも、有効ガスを含んでいる検査体が、測定ガスをピックアップするスニッファの先端部を用いて走査される。漏れが存在していると、有効ガスは外に出る。これはスニッファの先端部を介してガス検知器に供給される。有効ガスが赤外線活性でなければ、検査体の有効ガスに赤外線活性のテストガスが付加される。この場合、場合により存在している漏れを通って出る測定ガスは有効ガスとテストガスとから成る混合物である。有効ガスが既にそれ自体赤外線活性（例えばハロゲンガス）であるならば、それ自体がテストガス（ないし測定ガス）であってよい、
スニッファ漏れ検査では、スニッファの先端部から場合によっては存在する漏れ（測定個所）から出ているテストガスのみならず、測定個所の周囲から出ているガスも吸い込まれるという問題がある。このガスが、例えば以前に検出された漏れまたは生産ラインの充填ステーションから発生している可能性があるテストガスの濃度を僅かでも含んでいるならば、これらも同様にガス検知器によって検出される。このためにテストバックグラウンドが高い場合には誤測定を来す可能性があり、すなわち気密の検査体がエラーありと「識別」されることになる。
【０００３】
この形式の欠点を回避するために、ＤＥ−Ａ−１９９１１２６０号において、測定個所でピックアップされるガスのテストガス濃度を参照ガス（測定個所の周囲でピックアップされるガス）のテストガス濃度と、２つのキュベット、すなわち測定用キュベットおよび参照用キュベットを用いて比較し、これにより障害となる影響を考慮することができることが提案される。１つまたは２つの正確に変調されるＩＲ光源を用いた２つの別個のキュベットの使用は技術的に煩雑であるばかりでなく、それはいくつかの欠点も有している。これらの欠点のうちの１つは、キュベットがその特性を均一に変えないという点にある。キュベットは不均一に汚れる可能性がある。すなわち２つのＩＲ光源を使用する際、これらは異なって老化する可能性がある。確かに従来技術に挙げられる文献に、ＩＲ光源を１個だけ使用することも可能であることが提案される。しかしこのためにビーム分割が必要になる。このビーム分割および上記の文献で開示されているビーム統合も（唯一のＩＲ検知器を使用する目的のために）結果的に比較的高い損失を産むことになり（約５０％）、これにより殊に、ガスアナライザーの感度が損なわれる。
【０００４】
本発明の課題は、この関連形式の方法および装置を簡単化することおよび、殊にその感度に関して改善することである。
【０００５】
本発明によればこの課題は、各請求項の特徴部分に記載の構成によって解決される。
【０００６】
本発明の方法および装置では、１つのキュベットしか必要でない。全体のビーム路（ランプ−キュベット−検知器）の汚れおよび変化は測定サイクルの期間および参照サイクルの期間均一に作用する。唯一のＩＲ光源は必ずしも変調される必要はなく、変調はガス交換によって実現される。とりわけ、従来技術においては必要である、特別正確な変調は省略され、すなわち比較的緩慢でかつ比較的明るい光源を使用することができ、このことはアナライザーの感度に有利に作用する。ビーム分割およびビーム統合も必要ない。唯一のキュベットは一時的に場合によってはテストガスを含んでいる測定ガスによって充填されかつ一時的に参照ガス（または付加的に参照ガスによって）によって充填される。測定ガス中の、すなわち測定個所におけるテストガスの濃度が参照ガスにおけるテストガスの濃度より高いとき、ＩＲ検知器は交番する信号を検出する。これが濃度差に対する尺度である。その際実際に、テストガスバックグラウンドが存在しているか否かは何の役目も果たさない。このことから最終的に、本発明の対象では零ライン（測定ガス＝参照ガス）が従来技術の場合より著しく安定しているという利点が生じる。その理由は、測定ガスおよび参照ガスが同一である場合のガス交換は変調成分を発生しないからである。これに対して、従来技術の場合２つの比較的大きな変調された信号が相互に比較され、このことは一般に無視できない障害成分と結び付いている。
【０００７】
本発明の枠内で、本発明のＩＲガスアナライザーの機能性を監視するための手段を設けて、汚れまたは欠陥により生じる誤測定が回避されるようにすると有利である。汚れにより、ガス供給が障害を受けるばかりでない。ガスアナライザーの感度自体も汚れが大きくなるに従って低減される。
【０００８】
障害を受けているガス供給を回避するために、ガス供給導管における圧力を流れ監視のための測定量として使用することが提案される。ガスアナライザーの機能の監視それ自体は本発明によれば、ＩＲ光源が参照周波数によって変調され、その信号がＩＲ検知器において連続的に監視される（有利には独自のロック・イン評価によって）。
【０００９】
更に、ＩＲ光源として、テストガスを−少なくとも部分的に−含んでいるガスランプを使用すると特別効果的である。ガスランプは熱電子放出を有するランプに比べて、これらはより明るく（光出力の利用効率の改善）かつより迅速にスイッチング可能である−変調可能である−という一般的な利点を有している。ＩＲ検知器は制限されたＳＮ比を有しているので、アナライザーの分解能は光源の輝度とともに高くなる。
【００１０】
ガスランプとして閃光ランプ、ガス放電ランプ、グローランプなどを使用することができる。これらは検出されるべきガスによって作動されるので、フィルタを省略することができる。更に、吸収スペクトルの大きな領域を利用することができる。というのは、発生されるスペクトルおよび測定ガスのスペクトルはほぼ一致しているからである。利用される光出力の割合は高く、これによりＩＲ検知器の大幅に改善されるガス選択度が生じる。別の種類のガスへの置き換えは、別の種類のガスを有するガスランプを使用することによって簡単な仕方で行うことができる。
【００１１】
本発明の別の利点および詳細を図１ないし図６に示されている実施例に基づいて説明したい。
【００１２】
図１ないし図４は、測定ガスおよび参照ガスを唯一のキュベットに供給するための種々の装置を備えている赤外線ガスアナライザーを示している。このことはそれぞれ次の形態において行われる：
−図１によれば弁システムを用いて、
−図２によれば線形に移動するピストンを有する中間室を介して、
−図３によれば回転式振動ピストンを有する中間室を介して、
−図４によれば絞り（測定ガス）および弁（参照ガス）を介して。
【００１３】
図５にはスニッファ流監視部を備えた実施例が示されている。
【００１４】
図６には、機能性を検査するための手段を備えている実施例が示されている。
【００１５】
すべての図において、赤外線ガスアナライザーには共通に１が、そのキュベットには２が、端面に配置されているＩＲ光源には３が、相対向する端面に配置されている赤外線検知器には４が、そこに接続されている電子モジュール（増幅器／フィルタ）には５が、それに接続されている別の、信号処理のために用いられる電子モジュール（ロック・イン増幅器）には６が、指示部には７が示されている。ロック・イン処理は大抵はソフトウェア的にマイクロコントローラで実施される。説明しやすくするためにだけ別個のブロック６が図示されている。キュベット２はそれぞれ端面側に配置されている接続部８および９を備えている。これらを介してずっと後に説明する方法に従って測定ガスおよび参照ガスが供給ないし放出される。
【００１６】
キュベット２の端面はそれぞれ鎖線で示されている。これにより、それ自体気密な、キュベットの壁がその端面側の領域で赤外線光に対して透過であるとことを表そうとしている。赤外線光源および赤外線検知器として、ＤＥ−Ａ−１９９１１２６０号に記載されているような装置を使用することができる。
【００１７】
すべての実施例においで、本発明の対象の用途としてスニッファ漏れ検査が選択されている。１１で漏れについて検査すべき検査体が示されており、１２で漏れが示されている。漏れの個所はこの場合測定個所である。スニッファの先端部１３は、漏れ１２の存在のためにテストガスを含んでいる測定ガスをピックアップするために用いられる。スニッファの先端部に接続されている導管１５を介してピックアップされた測定ガスがキュベット２に流れる。スニッファの先端部の環境からガスをピックアップする（参照ガス）ためにホース導管１７の開口１６が用いられる。このガスはテストガスバックグランドを含んでいることができる。テストガスバックグランドは漏れ１２から流れ出るガスの濃度を検出する際に考慮されるべきものである。
【００１８】
図１の実施形態では、制御弁２１が測定ガスおよび参照ガスの交番的な供給のために用いられる。弁は、導管１５か導管１７がキュベット２の入口ポート８に接続されているように実現されている。それぞれのガスはキュベットを軸線方向に流れかつキュベットを出口ポート９を通って離れる。出口ポートは搬送ないし真空ポンプ２２に接続されている。これにより吸収能力に応じてキュベット２内の検査すべきガスの流れ速度が決められる。
【００１９】
ガス交換は有利には周期的に行われる。このために制御弁２１の制御ユニット２３は線路２４を介してロック・イン増幅器６に接続されている。それ自体公知のロック・イン技術の使用は、有効信号が周波数および位相選択的にフィルタリングされるという利点を有している。これにより障害信号は非常に効果的に抑圧される。ＩＲ光源３もガス交換と同期して変調されるべきである場合には、光源もロック・イン増幅器６に接続されている。この変形例は破線２４′によって示されている。制御部を含むロック・イン処理は適当なソフトウェアを有するマイクロコントローラによって引き受けられても構わない。
【００２０】
図２の実施例ではキュベット２と導管１５，１７との間に有利には−図示されているように−円筒形に実現されている中間室２５が存在している。この中に、クランク駆動装置２６に連結されているピストン２７が存在している。導管１５および１７はそれぞれ、中間室２５の相対向している端面側の領域に入って終わっている。これらの領域において中間室は入口ポート８および１０でキュベット２とも接続されている。ピストン２７は中間室で２つの別個のチャンバ２８，２９を形成している。チャンバ２８は測定ガスの取込および放出のために用いられ、チャンバ２９は参照ガスの取込および放出のために用いられる。ピストン２７の往復運動により、測定ガスおよび参照ガスが交番的にキュベット２に供給されることになる。供給されたガスはキュベットを有利にはキュベット２のほぼ真ん中に配置されている出口ポート３０を介して離れる。出口ポートはポンプ２２（図１）に接続されている。図１の実施例に比べて、キュベット２内の一層迅速かつ完全なガス交換が行われる。
【００２１】
図３の実施例においても、チャンバ２８，２９を有する中間室２５が存在している。これらは断面が円形のケーシング３１と、断面が半円形の回転振動形ピストン３２と半径方向の分離壁３３とから形成される。チャンバ２８，２９は導管３５，３６を介してキュベット２のポート８，９に接続されている。導管３５，３６には導管１５，１７が、ピストン３２の振動運動が、駆動部３７によって生成されて、キュベット２に測定ガスおよび参照ガスを交番的に充填するように入り込んでいる。これらのガスはキュベット２を真ん中のポート３０を介して離れる。
【００２２】
図１，図２および図３の実施例の場合のキュベットにおける周期的なガス交換を行うタイミングクロックはロック・イン増幅器６によって決められる。この増幅器はそれぞれ、線路２４を介して弁２１，クランク駆動部２６または振動ピストン３２の駆動部３７に接続されている。周期当たり１ｓｅｃないし１／６ｓｅｃのクロック時間が有利であることが分かっている。
【００２３】
図１ないし３の実施例において、キュベット２は第１の時間周期には測定ガスが充填されかつ第２の時間周期には参照ガスが充填される。これに対して図４の実施例では、測定ガスはキュベット２に導管１５を介して連続的に供給される。参照ガスは周期的にしか供給されない。参照ガスは導管１７に配置されている弁４１を介して制御ユニット４３によって供給される。この弁の開放および閉鎖時間は同じく、ロック・イン増幅器６によって前以て決められるタイミングによって決定される。測定作動の期間、キュベット２には参照ガスおよび測定ガスもしくは参照ガスだけが交番的に流れる。測定ガスが漏れからでているテストガスを含んでいると、検知器４は所望の交番信号を送出する。
【００２４】
漏れ率感度は測定ガスないしテストガス流に依存しているので（測定ガス流が小さい場合感度は高い）、測定ガス流がキュベットにちょうど１／２周期において測定ガスを充填するように定められている絞り４２を導管１５が備えているようにすると効果的である。これに対して参照ガス流は高くても構わない。実際に十分な参照ガスを使用することができるからである。
【００２５】
更にすべての実施例において、参照ガス測定サイクルを測定ガス測定サイクルより短く選択する可能性がある。これにより、デッドタイムは短縮され、一層迅速および／または一層感度の高い測定が可能である。
【００２６】
既に説明したように、ＩＲ光源はロック・イン増幅器のタイミングによって変調される必要はない。というのはガス交換で既に所望の変調が生じるからである。しかしＩＲ光源３をガス交換と同期して付加的に変調して、測定信号の一層急峻な側縁が実現されるようにすることができる。変調しなければ測定信号側縁はガス交換の速度によって決められる。
【００２７】
図５には、図１の実施例に基づいて、どのようにして作動期間中スニッファ流を高い感度で検査／監視することができるかが示されている。このことは差圧力センサ４５を用いて行われる。差圧力センサは弁２１の高さにおいて導管１５，１７に接続されている。測定された差圧力信号は増幅器４６を介して評価ロジック４７に供給される。この差圧力信号を切換周波数に対して位相選択的に評価すると、一方または他方のスニッファ導管または両方のスニッファ導管の流れが変化したかどうかに関する情報が得られる。ポンプの導管のつまりもしくはポンプの欠陥も検出される。
【００２８】
差圧力監視の別の可能性は流れセンサを用いて実現することができる。しかしこの手法は上に説明してきた手法と比べると煩雑である。
【００２９】
図６には、同じく図１の実施例に基づいて、どのようにしてガスアナライザー１の機能を高い感度で検査／監視することができるかが示されている。これは、センサにおける信号が基本周波数ｆｇ（ロック・イン増幅器６から供給される）によって変調されかつ周波数選択受信ユニットが漏れ率を求める解決法に使用可能である。
【００３０】
図６の解決法において第２のロック・イン増幅器５１が設けられている。これは周波数ｆｒを有する参照クロックを供給する。ロック・イン増幅器６および５１の入力側は導管５２を介して相互に接続されている。ロック・イン増幅器５１の出口には評価ユニット５３が接続されている。評価ユニットはその情報を指示部７に送出する。ロック・イン増幅器５１は増幅器５５を有する線路５４を介してＩＲ光源３に接続されている。
【００３１】
図６に図示されている実施例では、ガスアナライザー１の監視は、赤外線ランプ３が別の周波数の（付加的な）信号によって変調されるようにして行われる。有効信号ｆｇとの干渉を回避するために、例えばｆｒ＝２．５ｆｇの周波数が提供される。変調振幅は、この信号が受信ユニットにおいて周波数選択的に申し分なく評価される得るような大きさに選択されなければならない。その場合周波数ｆｇを有する測定信号および周波数ｆｒを有する参照信号が得られ、これらは相互に独立して評価可能である。システム感度が障害によって低減するようにあれば、このことはｆｒでの信号成分の振幅が低減することで識別される（たとえ漏れが測定されないときでも）。このことから障害報知に対する限界値を確定することができる。
【００３２】
評価はブロック５３において行われる。評価は、感度が低下していく際に較正係数を整合し、これにより測定精度を高めるためにも用いることができる。
【００３３】
図面および実施例にはそれぞれ、使用の回路の構成部分である別個のブロックが示されている。好適には集積されたシステムの使用である。例えばロック・イン処理、測定および制御信号の制御および処理のために、所属のソフトウェアを有するマイクロコンピュータないしマイクロプロセッサ回路を使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
弁システムを用いてガス供給が行われる赤外線ガスアナライザーのブロック線図である。
【図２】
線形に移動するピストンを有する中間室を介してガス供給が行われる赤外線ガスアナライザーのブロック線図である。
【図３】
回転式振動ピストンを有する中間室を介してガス供給が行われる赤外線ガスアナライザーのブロック線図である。
【図４】
絞り（測定ガス）および弁（参照ガス）を介してガス供給が行われる赤外線ガスアナライザーのブロック線図である。
【図５】
スニッファ流監視部を備えた実施例のブロック線図である。
【図６】
機能性を監視するための手段を装備している実施例のブロック線図である。
【国際公開パンフレット】
2004515777.tif 000003
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2004515777.tif 000027
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004515777.tif 000028
2004515777.tif 000029
【国際調査報告】
2004515777.tif 000030
2004515777.tif 000031
2004515777.tif 000032
2004515777.tif 000033