(57)【要約】電気回路の電気的試験のための装置であって、試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、プローブアレイによって連結された電気回路の電気的特性を検知するための、プローブアレイと関連付けられた試験回路と、プローブアレイのうちの選択されたものと、試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備える。プローブアレイは、固定のアレイに配列された少なくとも２つの静的なプローブ組立品を備え、静的なプローブ組立品は、選択的に位置付け可能なプローブ素子と、プローブ素子ポジショナとを備える。この装置は、製造中に電気回路を試験するために採用される。
2004505251.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、
前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、
前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備え、
前記プローブアレイは、固定のアレイに配列された少なくとも２つの静的なプローブ組立品を備え、前記静的なプローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子と、プローブ素子ポジショナとを備える、
電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項２】
前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品は、多数の静的なプローブ組立品を備える、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３】
前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイ内の固定の位置に配置されている、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４】
前記静的なプローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは概して重なり合っていない領域上で選択的に位置付け可能である、請求項２に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項５】
前記多数の静的なプローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項６】
前記静的なプローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である、請求項４に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項７】
前記制御回路は、前記多数の静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路要素の試験のための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項８】
前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記多数の静的なプローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、他のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する、請求項２に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項９】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１０】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの第２面上に配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１１】
第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する、請求項１０に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１２】
前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１３】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１４】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む、請求項１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１５】
試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、
前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、
前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備え、
前記プローブアレイは少なくとも３つのプローブ組立品を備え、前記プローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備え、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接しない別のプローブ素子の対応する領域と概して重なり合わない領域上で選択的に位置付け可能である、
電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１６】
前記プローブ素子ポジショナは、前記アレイ中の固定の位置に配置される、請求項１５に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項１７】
前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合う領域上で選択的に位置付け可能である、請求項１５に記載の装置。
【請求項１８】
前記制御回路は、前記静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路要素の試験のための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する、請求項１５に記載の装置。
【請求項１９】
前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記プローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、別のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるように動作する、請求項１５に記載の装置。
【請求項２０】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項１５に記載の装置。
【請求項２１】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの第２面上に配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項１５に記載の装置。
【請求項２２】
第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する、請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する、請求項１５に記載の装置。
【請求項２４】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む、請求項１５に記載の装置。
【請求項２５】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む、請求項１５に記載の装置。
【請求項２６】
試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のためにあるプローブアレイと、
前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、
前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備え、
前記プローブアレイは少なくとも２つのプローブ組立品を備え、前記プローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備え、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応する領域と部分的に重なり合う領域上で選択的に位置付け可能である、
電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項２７】
前記少なくとも２つのプローブ組立品は、多数のプローブ組立品を備える、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項２８】
前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイの固定の位置に配置される、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項２９】
前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは重なり合わっていない領域上で選択的に位置付け可能である、請求項２７に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３０】
前記制御回路は、前記プローブ組立品の前記プローブ素子を、電気回路の複数の回路素子を試験するための複数の位置パターンに位置付けるように動作する、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３１】
前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記多数の静的なプローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、別のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する、請求項２７に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３２】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３３】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの第２面上に配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３４】
第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する、請求項３３に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３５】
前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３６】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３７】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む、請求項２６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３８】
試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、
前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、
前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備え、
前記プローブアレイは、少なくとも２つの静的なプローブ組立品を備え、前記静的なプローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備え、
前記制御回路は、前記多数の静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路素子を試験するための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する、
電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項３９】
前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品は、多数の静的なプローブ組立品を備える、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４０】
前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイ内の固定の位置に配置されている、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４１】
前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは概して重なり合っていない領域上で選択的に位置付け可能である、請求項３９に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４２】
前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４３】
前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である、請求項４１に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４４】
前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記プローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、他のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する、請求項３９に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４５】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４６】
少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および第２のプローブがそれの第２面上に配置され、前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４７】
第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置され、前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する、請求項４６に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４８】
前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項４９】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項５０】
前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む、請求項３８に記載の電気回路の電気的試験のための装置。
【請求項５１】
電気回路の電気的試験のための方法であって、
個別に位置付け可能なそれぞれのプローブが、静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５２】
電気回路の電気的試験のための方法であって、
それぞれのプローブがそれに隣接しない別のプローブの対応の領域と概して重なり合っていない領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５３】
電気回路の電気的試験のための方法であって、
それぞれのプローブがそれに隣接する別のプローブの対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５４】
電気回路の電気的試験のための方法であって、
それぞれが移動可能なプローブを有する少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供し、電気回路内の複数の回路要素を試験するための複数の位置パターンを構成するよう前記プローブを連続的に移動させること、
前記プローブと試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５５】
前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供することは、多数の静的なプローブ組立品を提供することを含む、請求項５４に記載の方法。
【請求項５６】
電気回路を製造するための方法であって、
多層基板上に電気回路を構成すること、
個別に位置付け可能なそれぞれのプローブが、静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５７】
電気回路を製造するための方法であって、
多層基板上に電気回路を構成すること、
それぞれのプローブがそれに隣接しない別のプローブの対応の領域と概して重なり合っていない領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５８】
電気回路を製造するための方法であって、
多層基板上に電気回路を構成すること、
それぞれのプローブがそれに隣接する別のプローブの対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項５９】
電気回路を製造するための方法であって、
多層基板上に電気回路を構成すること、
それぞれが移動可能なプローブを有する少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供し、電気回路内の複数の回路要素を試験するための複数の位置パターンを構成するよう前記プローブを連続的に移動させること、
前記プローブと試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、
前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む方法。
【請求項６０】
取り付けられる部分から垂れ下がり、位置付け可能な端部を有する、細長い旋回可能なプローブ部材と、
前記旋回可能なプローブ部材と連合した伸長可能な接触部材と、
前記位置付け可能な端部を第１軸上で複数の位置から選択された位置に選択的に位置付ける第１のポジショナと、
前記位置付け可能な端部を第２軸上で複数の位置から選択された位置に選択的に位置付ける第２のポジショナと、
前記伸長可能な接触部材を前記プローブ部材に対して選択的に伸長させおよび後退させる第３のポジショナと、
を備えるプローブ組立品。
【請求項６１】
前記取り付けられる部分は、前記第１のポジショナに取り付けられる、請求項６０に記載のプローブ組立品。
【請求項６２】
前記取り付けられる部分は、前記第２のポジショナに取り付けられる、請求項６０または請求項６１に記載のプローブ組立品。
【請求項６３】
前記第１のポジショナは、前記プローブ部材上の支点の第１の側で前記プローブ部材に取り付けられたレバーアームを傾斜させる第１の傾斜アクチュエータを備える、請求項６０から６２のいずれかに記載のプローブ組立品。
【請求項６４】
前記第１の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである、請求項６３に記載のプローブ組立品。
【請求項６５】
前記第２のポジショナは、前記プローブ部材上の支点の第２の側で前記プローブ部材に取り付けられたレバーアームを傾斜させる第２の傾斜アクチュエータを備える、請求項６０から６４のいずれかに記載のプローブ組立品。
【請求項６６】
前記第２の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである、請求項６５に記載のプローブ組立品。
【請求項６７】
前記プローブ部材は、中空の芯によって構成され、前記伸長可能な接触部材は前記中空の芯の内部に配置される、請求項６０から６６のいずれかに記載のプローブ組立品。
【請求項６８】
前記第３のポジショナは、第３の傾斜アクチュエータと少なくとも１つのレバーアームとを備え、前記傾斜アクチュエータは、前記少なくとも１つのレバーアームを前記プローブ部材に対し近付けまたは離すよう選択的に移動させるために、前記少なくとも１つのレバーアームを片寄らせる、請求項６０から６７のいずれかに記載のプローブ組立品。
【請求項６９】
前記第３の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである、請求項６８に記載のプローブ組立品。
【請求項７０】
前記第１および第２のポジショナは、前記位置付け可能な端部を多数の可能な位置のうちのいずれ一つに選択的に位置付けるよう協同する、請求項６０から６９のいずれかに記載のプローブ組立品。
【請求項７１】
前記第３のポジショナは、概して平面の物品の面上の多数の可能な位置の内のいずれか１つと選択的に接触させるよう前記接触部材を伸長させるため、前記第１のポジショナおよび第２のポジショナと協同して動作する、請求項７０に記載のプローブ組立品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
［発明の技術分野］
本発明は、総括的には回路の電気的試験のための装置および方法に関し、さらに詳細には、フィクスチャレス（ｆｉｘｔｕｒｅｌｅｓｓ）の、電気回路の電気的試験のための装置および方法に関する。
【０００２】
［発明の背景］
電気回路の電気的試験のための様々な装置が存在する。これらの装置には、電子ビーム、レーザープラズマおよび電界テスタのような非接触システム、および、ベッドオブネイル（ｂｅｄ−ｏｆ−ｎａｉｌ）およびフライングプローブシステム（ｆｌｙｉｎｇ ｐｒｏｂｅ ｓｙｓｔｅｍ）のような接触システムが含まれる。電気回路の電気的試験のための従来の装置には次のような欠点がある。すなわち、高い運転コスト、異なる回路基板構造に対する高いセットアップコスト、遅い速度、および試験する電気回路における様々なタイプの欠陥を反復可能なやり方で検出することができないことである。
【０００３】
［発明の概要］
本発明は、フィクスチャレスの、電気回路の電気的試験のための改良された装置および方法を提供しようとするものである。
【０００４】
本発明の総括的な側面によれば、少なくとも２つの電気試験プローブを備える少なくとも１つの電気的試験アレイが提供される。それぞれのプローブは選択的に位置付け可能となり、および電気回路基板の選択された部分と連結するよう構成されている。選択された連結位置で、選択された電気回路の電気的特性が検知される。
本発明の実施形態は、以下の追加の特徴の１以上を含んでいる。
少なくともいくつかのプローブは、プローブ組立品のアレイ中の固定の位置に配置された静的なプローブ組立品と、選択的に位置付け可能なプローブ素子とを備える。
少なくともいくつか、好ましくは全ての位置付け可能なプローブ素子は、他のプローブ素子に対して独立に位置付け可能である。
【０００５】
それぞれのプローブ素子は、連結領域内に配置された電気回路と連結するよう機能し、隣接のプローブ素子のそれぞれの連結領域は少なくとも部分的に重なり合う。
それぞれのプローブ素子は、連結領域内に配置された電気回路と連結するように機能し、隣接していないプローブ素子のそれぞれの連結領域は、一般的には重なり合わない。
それぞれのプローブ素子を、選択的に構成できる電気的試験パターンを提供するよう配置するために制御回路が提供される。
制御回路は、少なくともいくつかのプローブ素子を移動させるように機能し、それと同時に、他のプローブ素子は、試験すべき電気回路基板上の電気回路の電気的特性を検知するための位置に保持される。
制御回路は、プローブ素子を一連の異なる電気的試験パターンに位置付け、また、プローブ素子が様々な電気的試験パターンのそれぞれにあるときに、試験すべき電気回路基板上の電気回路の異なる部分を試験するように動作する。
【０００６】
それぞれプローブ素子を備える第１および第２の試験アレイは、それぞれ、試験すべき電気回路基板のそれぞれの面で提供され、また、試験パターンは、試験すべき電気回路基板を通っている電気回路の特性を検知するために電気回路の両面で好適に位置付けられたプローブ素子を備える。
【０００７】
それぞれプローブ素子を備える第１および第２の試験アレイは、それぞれ、試験すべき電気回路基板のそれぞれの面上で提供され、また、試験すべき電気回路基板を通っている電気回路の異なる部分の特性を連続的に検知するために、プローブ素子は、一連の試験パターンに連続的して位置付けられ、それぞれの試験パターンは、電気回路の両面上で好適に位置付けられたプローブ素子を備える。
【０００８】
プローブ素子は、選択された電気回路を物理的な接触によって連結するように動作する接触プローブ素子である。代替としてプローブ素子は、選択された電気回路を物理的な接触によらず例えばプラズマによって電気的に接続するように動作する非接触プローブ素子であっても良い。
【０００９】
本発明の追加の総括的な側面によれば、電気回路を電気的に試験するための方法は、試験すべき部分を、静的なプローブ組立品の固定のアレイ内で配列された静的なプローブ組立品にそれぞれ対応付けられたプローブと選択的に連結することによって、試験すべき電気回路の部分の電気的特性を検知することを含む。プローブは、それぞれ、隣接のプローブ組立品の対応の領域と重なり、隣接していないプローブ組立品の対応の領域とは重ならない領域内で個別に位置付け可能である。
【００１０】
本発明の追加の総括的な側面によれば、電気回路を製造するための方法は、多層基板上に電気回路導体のパターンを付着させること、および、プローブ組立品の固定のアレイ内に配置され且つそれぞれ個別に位置付け可能なプローブ素子を有する多数の静的なプローブ組立品を用いて電気回路の選択された部分の電気的特性を試験すること、を含む。
【００１１】
本発明の追加の総括的な側面によれば、電気回路の電気的試験の使用に好適なプローブ組立品は、ポジショナまたはハウジンングに取り付けられる一端と、位置付けが自由にできる他端とを有する、細長い旋回可能なプローブ部材を備える。伸長可能な接触部材が、プリント回路基板のような面上の選択された位置に接触するためプローブ部材と連合される。プローブ組立品は、さらに、位置付け可能な端部を第１の軸上の多数の位置から選択される位置に選択的に位置付ける第１のポジショナと、位置付け可能な端部を第２の軸上の多数の位置から選択される位置に選択的に位置付ける第２のポジショナと、伸長可能な前記接触部材を前記ハウジングに対して選択的に伸長させおよび後退させる第３のポジショナとを備える。第１および第２のポジショナのそれぞれは、プローブ部材上の支点の反対の側に取り付けられる。追加として、それぞれのポジショナは、圧電性の傾斜アクチュエータのような傾斜アクチュエータと、プローブ部材を移動させまたは接触部材を伸長させおよび後退させるよう動作する、チルト動作を増幅された直線的な位置の置き換えにに変換するレバーアームとを備える。
【００１２】
したがって本発明の実施形態によって提供されるのは電気回路の電気的試験のための装置であって、この装置は、試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、前記プローブアレイのうちの選択されたものと、試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備える。プローブアレイは、固定のアレイに配列された少なくとも２つの静的なプローブ組立品を備え、前記静的なプローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子と、プローブ素子ポジショナとを備える。
【００１３】
また、本発明によれば、前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品は、多数の静的なプローブ組立品を備える。
【００１４】
さらに、本発明によれば、前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイ内の固定の位置に配置されている。
【００１５】
追加として、本発明によれば、前記静的なプローブ組立品のプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは概して重なり合っていない領域上で選択的に位置付け可能である。
【００１６】
さらに、本発明によれば、前記静的なプローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である。
【００１７】
また、さらに本発明によれば、前記制御回路は、前記多数の静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路要素の試験のための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する。
【００１８】
追加として、本発明によれば、前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記多数の静的なプローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、他のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する。
【００１９】
その上、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがその回路の前記第１面上に追加として配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００２０】
さらに、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがその回路の第２面上に配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００２１】
さらに、第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置されても良い。前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する。
【００２２】
追加として、本発明によれば、前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する。
【００２３】
その上、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む。
【００２４】
代替として、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む。
【００２５】
したがって本発明の追加としての実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための装置であって、試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路とを備える。前記プローブアレイは少なくとも３つのプローブ組立品を備える。前記プローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備え、また前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接しない別のプローブ素子の対応する領域と概して重なり合わない領域上で選択的に位置付け可能である。
【００２６】
さらに、本発明によれば、前記プローブ素子ポジショナは、前記アレイ中の固定の位置に配置される。
【００２７】
追加として、本発明によれば、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合う領域上で選択的に位置付け可能である。
【００２８】
その上、本発明によれば、前記制御回路は、前記静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路要素の試験のための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する。
【００２９】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記プローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、別のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるように動作する。
【００３０】
さらに、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがその回路の前記第１面上に追加として配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００３１】
追加として、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがその回路の第２面上に配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００３２】
さらに、第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置されても良い。この場合、前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する。
【００３３】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する。
【００３４】
さらに、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む。
【００３５】
追加として、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む。
【００３６】
したがって本発明のさらに別の実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための装置であって、試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のためにあるプローブアレイと、前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備える。前記プローブアレイは少なくとも２つのプローブ組立品を備え、前記プローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備え、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応する領域と部分的に重なり合う領域上で選択的に位置付け可能である。
【００３７】
さらに、本発明によれば、前記少なくとも２つのプローブ組立品は、多数のプローブ組立品を備える。
【００３８】
さらに、本発明によれば、前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイの固定の位置に配置される。
【００３９】
追加として、本発明によれば、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは重なり合わっていない領域上で選択的に位置付け可能である。
【００４０】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、前記プローブ組立品の前記プローブ素子を、電気回路の複数の回路素子を試験するための複数の位置パターンに位置付けるように動作する。
【００４１】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記多数の静的なプローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、別のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する。
【００４２】
さらに、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの前記第１面上に追加として配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００４３】
追加として、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがそれの第２面上に配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００４４】
さらに、第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置されても良い。前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する。
【００４５】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて、電気回路の異なる電気的特性を検知するよう動作する。
【００４６】
また、さらに、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む。
【００４７】
代替として、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む。
【００４８】
したがって本発明のさらなる実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための装置であって、試験すべき電気回路の部分との選択的な連結のために配列されたプローブアレイと、前記プローブアレイによって連結された前記電気回路の電気的特性を検知するための前記プローブアレイと関連付けられた試験回路と、前記プローブアレイのうちの選択されたものと前記試験すべき電気回路の部分のうちの選択されたものとの連結を行わせるための、前記プローブアレイと関連付けられた制御回路と、を備える。前記プローブアレイは、少なくとも２つの静的なプローブ組立品を備え、前記静的なプローブ組立品のそれぞれは、選択的に位置付け可能なプローブ素子とプローブ素子ポジショナとを備える。前記制御回路は、前記多数の静的なプローブ組立品の前記プローブ素子を、連続的に、電気回路の複数の回路素子を試験するための複数の位置パターンに位置付けるよう動作する。
【００４９】
さらに、本発明によれば、前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品は、多数の静的なプローブ組立品を備える。
【００５０】
また、さらに、本発明によれば、前記プローブ素子ポジショナは、前記プローブアレイ内の固定の位置に配置されている。
【００５１】
追加として、本発明によれば、多数のプローブ組立品内のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接していない別のプローブ素子の対応の領域とは概して重なり合っていない領域上で選択的に位置付け可能である。
【００５２】
その上、本発明によれば、前記プローブ組立品のそれぞれのプローブ素子は、それに隣接する別のプローブ素子の対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で選択的に位置付け可能である。
【００５３】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、電気回路の部分を、第１の位置パターンに配列された前記プローブ組立品のうちの選択されたプローブ素子によって電気的に試験し、同時に、他のプローブ素子を第２の位置パターンに移動させるよう動作する。
【００５４】
追加として、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および少なくとも第２のプローブがその電気回路の前記第１面上に追加として配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、少なくとも前記第１面上で部分的に広がっている、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００５５】
さらに、本発明によれば、少なくとも第１のプローブが電気回路の第１面上に配置され、および第２のプローブがその電気回路の第２面上に配置される。前記第１のプローブおよび前記第２のプローブは、前記第１面から前記第２面に通過する前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するよう動作する。
【００５６】
さらに、第３のプローブが前記電気回路の前記第１面上に追加として配置されても良い。前記第１のプローブおよび前記第３のプローブは、少なくとも前記第１面上に部分的に広がる、前記電気回路の少なくとも一つの部分を試験するように動作する。
【００５７】
さらに、本発明によれば、前記制御回路は、プローブの複数構成を提供するよう配列され、前記試験回路は、前記複数構成のそれぞれにおいて異なる電気的特性を検知するよう動作する。
【００５８】
追加として、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分と物理的に接触することを含む。
【００５９】
代替として、本発明によれば、前記選択的な連結は、試験すべき電気回路の部分との電気的な接触であるが物理的な接触ではない接触を形成することを含む。
【００６０】
してがって本発明の別の実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための方法であって、個別に位置付け可能なそれぞれのプローブが、静的なプローブ組立品の固定のアレイの部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６１】
してがって本発明のさらに別の実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための方法であって、それぞれのプローブがそれに隣接しない別のプローブの対応の領域と概して重なり合っていない領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６２】
してがって本発明のさらなる実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための方法であって、それぞれのプローブがそれに隣接する別のプローブの対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６３】
してがって本発明の別の実施形態によって提供されるのは、電気回路の電気的試験のための方法であって、それぞれが移動可能なプローブを有する少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供し、電気回路内の複数の回路要素を試験するための複数の位置パターンを構成するよう前記プローブを連続的に移動させること、前記プローブと試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６４】
さらに、本発明によれば、前記少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供することは、多数の静的なプローブ組立品を提供することを含む。
【００６５】
してがって本発明のさらに別の実施形態によって提供されるのは、電気回路を製造するための方法であって、多層基板上に電気回路を構成すること、個別に位置付け可能なそれぞれのプローブが、静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６６】
してがって本発明のさらなる実施形態によって提供されるのは、電気回路を製造するための方法であって、多層基板上に電気回路を構成すること、それぞれのプローブがそれに隣接しない別のプローブの対応の領域と概して重なり合っていない領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６７】
してがって本発明の別の実施形態によって提供されるのは、電気回路を製造するための方法であって、多層基板上に電気回路を構成すること、それぞれのプローブがそれに隣接する別のプローブの対応の領域と部分的に重なり合っている領域上で個別に位置付け可能であり、それぞれのプローブが静的なプローブ組立品の固定のアレイの一部分を構成する静的なプローブ組立品と関連付けられているプローブと、前記電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６８】
してがって本発明のさらに別の実施形態によって提供されるのは、電気回路を製造するための方法であって、多層基板上に電気回路を構成すること、それぞれが移動可能なプローブを有する少なくとも２つの静的なプローブ組立品を提供し、電気回路内の複数の回路要素を試験するための複数の位置パターンを構成するよう前記プローブを連続的に移動させること、前記プローブと試験すべき電気回路の部分とを選択的に連結すること、および、前記プローブによって連結された前記電気回路の部分の電気的特性を検知すること、を含む。
【００６９】
してがって本発明のさらなる実施形態によって提供されるのは、プローブ組立品であって、取り付けられる部分から垂れ下がり、位置付け可能な端部を有する、細長い旋回可能なプローブ部材と、前記旋回可能なプローブ部材と連合した伸長可能な接触部材と、前記位置付け可能な端部を第１軸上で複数の位置から選択された位置に選択的に位置付ける第１のポジショナと、前記位置付け可能な端部を第２軸上で複数の位置から選択された位置に選択的に位置付ける第２のポジショナと、前記伸長可能な接触部材を前記プローブ部材に対して選択的に伸長させおよび後退させる第３のポジショナと、を備える。
【００７０】
さらに、本発明によれば、前記取り付けられる部分は、前記第１のポジショナに取り付けられる。
【００７１】
また、さらに本発明によれば、前記取り付けられる部分は、前記第２のポジショナに取り付けられる。
【００７２】
追加として、本発明によれば、前記第１のポジショナは、前記プローブ部材上の支点の第１の側で前記プローブ部材に取り付けられたレバーアームを傾斜させる第１の傾斜アクチュエータを備える。
【００７３】
その上、本発明によれば、前記第１の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである。
【００７４】
さらに、本発明によれば、前記第２のポジショナは、前記プローブ部材上の支点の第２の側で前記プローブ部材に取り付けられたレバーアームを傾斜させる第２の傾斜アクチュエータを備える。
【００７５】
また、さらに本発明によれば、前記第２の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである。
【００７６】
追加として、本発明によれば、前記プローブ部材は、中空の芯によって構成され、前記伸長可能な接触部材は前記中空の芯の内部に配置される。
【００７７】
その上、本発明によれば、前記第３のポジショナは、第３の傾斜アクチュエータと少なくとも１つのレバーアームとを備え、前記傾斜アクチュエータは、前記少なくとも１つのレバーアームを前記プローブ部材に対し近付けまたは離すよう選択的に移動させるために、前記少なくとも１つのレバーアームを片寄らせる。
【００７８】
さらに、本発明によれば、前記第３の傾斜アクチュエータは、圧電性の傾斜アクチュエータである。
【００７９】
また、さらに本発明によれば、前記第１および第２のポジショナは、前記位置付け可能な端部を多数の可能な位置のうちのいずれ一つに選択的に位置付けるよう協同する。
【００８０】
追加として、本発明によれば、前記第３のポジショナは、概して平面の物品の面上の多数の可能な位置の内のいずれか１つと選択的に接触させるよう前記接触部材を伸長させるため、前記第１のポジショナおよび第２のポジショナと協同して動作する。
【００８１】
［発明の詳細な記載］
ここで図１を参照する。図１は、本発明の一つの実施形態または例にしたがって構成されおよび動作する、電気回路を電気的に試験するためのフィクスチャレスの電気的試験システム１０の簡略化した部分図形の部分ブロック図である。以下の記載で全体にわたって用いられる“電気回路”という用語は、ネット、および適切に相互接続されたときに完全な電気回路を形成するその他の相互接続されたおよび相互接続可能な電気回路の一部と同様に、完全な電気回路を含んでいると考えられるべきである。
【００８２】
図１Ａにみられるように、システム１０は、試験すべき電気回路１４の部分との選択可能な連結のために配列されたプローブアレイ１２を備えている。プローブアレイ１２は、固定のアレイ内に配列された多数の静的なプローブ組立品１６（図１Ｂに拡大して図示されている）を備える。前記静的なプローブ組立品１６は、通常はカーボンファイバーのまたは他の好適なファイバーメッシュのハウジング２０で囲まれた導体金属コア１９によって構成された選択的に位置付け可能なプローブ素子１８と、およびそれぞれのプローブ素子１８を可能な位置の範囲内の選択できる位置に移動させるよう動作する少なくとも一つのプローブ素子ポジショナ２１とを備えている。アレイ１２は、電気回路１４の一面側に提供されていても良く、またはそれに代えて、アレイ１２は、相互接続され且つ電気回路１４の両側に配置されたコンタクトを有する、電気回路１４の部分の試験を可能にするために、それぞれの面側に提供されていても良い。
【００８３】
システム１０は、通常、プローブアレイ１２と関連付けられたプローブ位置制御回路３０を備える。回路３０は、プローブ１８を選択的に位置付けし、選択されたプローブ１８と試験すべき電気回路１４の選択された部分とを連結させるように動作する。図１Ｂにさらに詳細にみられるように、プローブ組立品１６は、プローブ素子１８をＸ軸上で位置付けるよう動作するＸポジショナ２２と、プローブ素子１８をＹ軸上で位置付けるよう動作するＹポジショナ２４と、プローブ素子１８の内部に配置された導体金属コア１９に対して上下の位置付けを提供し、電気回路１４の選択された部分と連結するときにプローブ素子１８の導体金属コア１９によって加えられる圧力を制御するように動作するＺポジショナ２６とを含む、それに関連付けられたいくつかのポジショナを有していても良い。
【００８４】
図１Ｂにみられるように、別個のポジショナ２１、或いは所望の位置付け機能（不図示）のそれぞれを提供するように動作する単一ユニットを、プローブ１８を位置付けるために採用することができることが理解される。さらには、様々なポジショナ構造が好適で選択的なＸ−Ｙおよび／またはＺ軸の位置付けを提供する為、および個々のプローブと電気回路１４の部分とを接触させるために採用されても良い。好適なポジショナは、マイクロモータ、ナノモータおよび圧電モータを含んでいる。模範的でおよび非限定的と考えられるプローブ１８の構築の為の構造が、図５−１０Ｂを参照して以下、記載される。さらに、それぞれのプローブ組立品１６がプローブ１８に対する好適なＸ−Ｙ位置付けを提供する一方、全体的なポジショナ（不図示）が電気回路１４を支持する支持テーブル２８および／またはアレイ１２と共同で、電気回路１４とアレイ１２を相互接触の状態にしおよび相互接触から外れる状態に移動させるようにアレイ１２を配置することができることが理解される。
【００８５】
本発明の様々な実施形態においてコンピュータ３２は、試験すべき電気回路１４のレイアウトを記述したＣＡＤおよび／またはＣＡＭデータ３４からの入力を受けとり、回路１４上の様々な位置で１以上の所望の電気的試験を実行する為に必要であるような、アレイ１２内のそれぞれのプローブ素子１８の好適な位置を決定するためにデータ３４を処理する。プローブの好適な位置を決定するためのおよび／またはこのような位置内でプローブを位置付けるために必要な、電流のような適切な信号を決定するの処理が、電気回路１４の試験に先行して部分的にまたは全体的にオフラインの動作で実行されても良い。したがって、それぞれのプローブ素子１８の好適な位置を決定する為の処理は、メモリ（不図示）に格納されていても良く、または、全体的にまたは部分的に、作動中に計算されても良い。
【００８６】
それぞれのプローブ素子１８の好適な位置を決定するための処理の結果は、試験すべき電気回路１４の試験プログラムを考え出すためにコンピュータ３２によって採用されても良い。それぞれのプローブの位置情報は、適切な時間に、適切な位置制御命令をそれぞれのポジショナ２１に対して提供するプローブ位置コントローラ３０に送信される。
【００８７】
プローブアレイ１２内のプローブ素子１８と対応付けられた電気回路試験回路４０は、様々なプローブ１２によって連結された電気回路１４の部分の様々な電気的特性を検知するために提供される。試験は、通常、例えばインピーダンス、キャパシタンス、電気的接触の有無、または他の望ましい電気的特性を決定するために電気回路１４内の様々な露出しているリード間の試験を行うことを含んでいる。
【００８８】
システム１０を用いる電気回路１４の電気的試験の試験は、少なくともいくつかのプローブ１８が、シーケンスにおけるそれぞれの段階において電気回路１４の多数の部分と同時に連結するようなシーケンスの試験で実行される。１以上のプローブ１８の位置は、試験シーケンスのそれぞれの段階で変更される。追加として、１以上の電気的試験を、プローブ１８の異なる組合わせを用いて実行することができる。
【００８９】
図１Ａにみられるように、電気的試験回路４０は、検知された電気的特性と電気回路１４の特定の部分とを互いに関係付けることを可能にするために、ＣＡＤデータ３４、および／またはコンピュータ３２からのデータ、および／またはプローブ位置制御回路３０からのデータ（接続は図示されていない）のインプットを受信する。電気的特性の試験結果は、良品であることが知られた試験されている模範の試験回路１４の基準試験結果（不図示）と比較され、また、レポート４４が、好適な電気的特性を持つ、電気回路１４の試験されている部分および／または欠陥がありまたは不良品である電気回路１４の部分を表示するために提供される。
【００９０】
基準試験結果は、ＣＡＭデータ３４から直接、受信されても良く、またはＣＡＭデータ３４の入力に基づいて試験された回路１４のそれぞれの部分について計算されても良く、または不良品でないことが分かっている類似の電気回路の以前の電気的試験の結果に基づいてメモリに格納されていても良い。
【００９１】
コンピュータ３２と電気的試験回路４０は、図示されているように分かれたコンピュータユニットであっても良く、またはそれらは一つの回路ユニットの部分であっても良い。さらに、電気的試験回路４０はコンピュータ３２にフィードバックを提供しても良いことが図１Ａには示されている。このようなフィードバックは、例えば、検知された電気的特性と所望の試験結果とが一致していない電気回路１４の部分の試験を反復することを可能にするために用いられても良い。したがって、実際の不良であるのかまたは誤った警報があるのかを確かめるために、不良であると思われる電気回路１４の部分を再試験することができるように、プローブ組立品１８を再び位置付けるためにフィードバックが採用されても良い。
【００９２】
ここで図２を参照する。図２は、２次元の通常のおよび拡張されたプローブの空間範囲の両方を表す簡略化した平面図である。図２には、試験すべきプリント回路基板１４が、プリント回路基板１４を下方に向け保持するように動作する、真空テーブルのような支持台２８上に位置していることが示されている。電気回路１４の領域５０は、プローブ組立品１６（図１）が対象として含む空間範囲の場所を示すための説明的な基準枠としての役割を担う仮想グリッド５２と重ね合わされて図示されている。
【００９３】
名目上の中心プローブ位置マーカー５４で表されるそれぞれのプローブ１８（図１）は、通常は四角形でありマーカー５４を中心とし、また全体的には符号５６で示されている通常の空間範囲内で選択的に位置付け可能である。また、名目上の中心プローブ位置マーカー５４のそれぞれのプローブ１８は、追加として、通常は四角形でありマーカー５４を中心とし、また全体的には符号５８で示されている拡張された空間範囲内で選択的に位置付け可能である。それぞれのプローブ１８は、それぞれの通常および拡張された空間範囲内でアレイ１２中の他のプローブ１８とは別個に選択的に位置付け可能である。図２には、２つの中心プローブ位置マーカー６０および６２がみられる。マーカー６０を取り囲む通常および拡張された空間範囲は、それぞれ６４と６６を指定されている。マーカー６２を取り囲む通常および拡張された空間範囲は、それぞれ６８と７０を指定されている。対応する通常の空間範囲５６および拡張された空間範囲５８は、領域５０の外側に配置されたものも含むアレイ１２（図１）中のそれぞれのプローブ１８と対応付けられることが理解される。
【００９４】
図２の配置においてプローブ１８の通常および拡張された空間範囲は、以下のレイアウト構造を有していることが分かる。すなわち、（１）マーカー６０に対応するプローブと関連付けらた通常の空間範囲６４のような、第１のプローブ１８と関連付けられた通常の空間範囲５６は、マーカー６２に対応するプローブに関連付けらた通常の空間範囲６８のような、隣接するプローブ１８の通常の空間範囲５８とは重なっていない。（２）例えばマーカー６０に対応するプローブに関連付けられた通常の空間範囲６４と拡張された空間範囲６６のような、プローブ１８に関連付けられた通常の空間範囲５６と対応の拡張された空間範囲５８は、概略的にはそれに隣接していないプローブ１８の通常の空間範囲５６および拡張された空間範囲５８とは重なり合っていない。（３）例えばマーカー６０に対応するプローブに関連付けられた拡張された空間範囲６６のような、プローブ１８に関連付けられた拡張された空間範囲は、概略的にはマーカー６２に対応するプローブに関連付けられた拡張された空間範囲のような、隣接するプローブ素子１８に関連付けられた拡張された空間範囲と重なり合っている。（４）試験すべき電気回路１４上のそれぞれの要素の領域は、少なくとも２つのプローブ１８によって取り扱うことができる（図１）。
【００９５】
通常の空間範囲５６のサイズは、１／２” Ｘ １／２” から ２” Ｘ ２”の間、通常は約１” Ｘ １”であっても良い。拡張された空間範囲５８のそれぞれの辺の直線の長さは、通常の空間範囲５６の対応の辺の１．５−３倍の間、好ましくは約２倍であっても良い。したがって、拡張された空間範囲５８の面積は、隣接するプローブ１８と関連付けられた拡張された空間範囲内に部分的に重なるように、通常の空間範囲５６の面積より４倍大きいのが好ましい。
【００９６】
図２に示されたプローブ１８の配列は、プローブ素子についての可能なレイアウトの単なる一例であることが理解される。したがって、例えば、上述の設計の原理から逸脱しておらず、電気回路１４のそれぞれの要素の領域を少なくとも２つのプローブ１８で取り扱うことを可能にすることを含む、図２に示されたパターンから一つおきのプローブが取り除かれた配列が提供されても良い。代替の好適なプローブレイアウトを設計することは十分に当業者の能力の範囲内であり、好適なプローブレイアウトの選択は、技術設計、システムコスト、および所望の冗長性の程度についての関数であろう。
【００９７】
ここで図３Ａおよび３Ｂを参照する。図３Ａおよび３Ｂは、プローブ１８の通常のおよび拡張された空間範囲を２次元で表した図２に示した面に垂直な面内で作られた簡略図である。通常、プローブ８０および８２のようなプローブ１８は、そのリード線、例えばパッド８４および８６が各プローブの各通常の空間範囲の内側に配置されているような電気回路の部分と接触するようポジショナ２１によって位置付けられる。したがって、図３Ａには、プローブ８０が、符号８８で示されたプローブ８０の通常の空間範囲ｘの内側に配置されたパッド８４と接触するよう位置付けられ、プローブ８２は、パッド８４と接続され且つ符号９０で示されたプローブ８２の通常の空間範囲ｘの内側に配置されたパッド８６と接触するように位置付けられる。
【００９８】
図３Ｂには、符号９２と９４でそれぞれ示された２つのパッドが一つのプローブ、つまり図示されているプローブ８２の通常の空間範囲９０の内側に配置されていることがみられる。したがってプローブ８２は、対応の通常の空間範囲９０の内部に配置されているパッド９２と接触するために位置付けられ、一方、プローブ９６は、対応の通常の空間範囲９８の外側であるがプローブ８１の通常の空間範囲の内側であり、また半影部１００で表されたその拡張された空間範囲の内側でもあるパッド９４と接触するように位置付けられる。図３Ａおよび３Ｂに示された例において、プローブ８２の拡張された空間範囲１０１のような、それぞれのプローブ１８の拡張された空間範囲は、符号９０が指定されたプローブ８２の対応の通常の空間範囲ｘのような通常の空間範囲の２倍である。
【００９９】
ここで図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃを参照する。図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃは、図１Ａ−３のシステムによって提供される、マルチプローブ電気回路接触連結の通常のシーケンスについての簡略化した図である。図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃにみられるように、プローブ１８は電気回路１４の両面に配置され、それによって電気回路１４の単一面上にリード線を有する電気回路１４の部分の電気的特性を試験できるように、および一つの面から他の面に伸びるリード線を有する電気回路１４の部分もまた電気的特性を試験できるようになている。
【０１００】
図４Ａにみられるように試験の第１段階では、選択されたプローブ１１０および１１２は、電気回路１４の相互接続部１１７によって相互接続されたパッド１１４および１１６と接触するよう位置付けられる。本発明によれば、プローブ１８（図１）の少なくともいくつか、通常はその全てが、他のプローブ１８と独立して選択的に制御可能である。したがってプローブ１８のアレイ１２は、電気回路１４の相互接続された部分の多数の組合わせの試験を可能とするために、例えばプローブ１８を個別に所望の試験パターンに移動させることによって配列されても良い。
【０１０１】
図４Ａ、さらには図４Ｂおよび図４Ｃにみられるように、電気的接触が有ることのような電気的試験が、選択されたプローブ１１０および１１２を用いて、部分１１７のような選択された相互接続の回路部分で実行されている間、プローブ１２２のような他のプローブは（単独で、または不図示の他のプローブと共に）、電気回路１１４の異なる部分を同時に試験するために用いられても良い。さらに、プローブ１１８および１２０のようなさらに別のプローブは、プローブ１１０、１１２および１２２のような他のプローブによる他の試験の実行と同時に、試験の次の段階のために電気回路１４の他の部分と接触するための位置に移動されても良い。
【０１０２】
図４Ｂにみられるように試験の次の段階において、プローブ１１０、１１２および１２２は持ち上げられ、試験される電気回路１４の他の部分に向けて移動され、一方、図４Ａに示した段階で移動していたプローブ１１８および１２０は、パッド１２４と１２６の間で伸びる追加の相互接続部分１２３を試験するために位置付けられる。
【０１０３】
図４Ｂでは、プローブ１１８はパッド１２４から僅かにずれて図示されているが、結果として不完全な試験になるかもしれないことが分かる。したがって、不完全な試験結果のイベントにおいては、選択されたプローブは、つまり図４Ｂにおいてはプローブ１１８は、疑いのある試験の欠陥を検証しまたは排除するために繰り返し試験を実行するために再配置されても良い。
【０１０４】
繰り返し試験は、完了した試験シーケンスの最後に、または図４Ｃにみられるように動作中に発生しても良いことが図４Ｃから理解される。したがって、例えば、繰り返し試験は、両方共に電気回路１４の同一面に配置されたパッド１２８および１３０間の追加の相互接続の部分を試験するためにそれぞれの再配置を完了させたプローブ１１０および１２２で示されるように、試験ルーチンが継続する間に発生しても良い。
【０１０５】
試験シーケンスの様々な段階において、プローブは、電気回路１４の様々な部分を試験する為に組み合わされても良い。したがって、電気的試験回路は、通常、引き続いて起きる試験シーケンスの段階の間でプローブの機能的な相互接続を変化させるよう動作するスイッチング回路（不図示）を備える。したがって、スイッチング回路を、例えば相互接続性またはインピーダンスのように、プローブの同じ組の間で試験のタイプを変化させるよう動作するようにすることができ、またはそれに替えて、プローブの異なる組合わせがそれぞれ電気回路１４の異なった選択された部分を順次試験するよう、プローブがランダムに組み合わされても良いように、プローブの様々な組の間で相互接続を変化させるよう動作するようにすることができる。
【０１０６】
ここで図４Ｄおよび４Ｅを参照する。図４Ｄおよび４Ｅは、図１Ａ−３Ｂのシステムのプローブによって提供されるマルチ電気回路接触連結の別のシーケンスの簡略化した平面図である。離れて間隔をおいたプローブマーカー１４０のアレイアは、図１Ａおよび１Ｂにおけるプローブ組立品１６に対応する静的なプローブ組立品のそれぞれの位置を示している。いくつかのプローブマーカー１４０は、１４２を指定され通常の空間範囲を示すボックスと対応付けられている。３つのプローブマーカー１４０は、それぞれのプローブ１４４、１４６および１４８と共に、および、拡張されたボックス１５０、１５２および１５４によってそれぞれ表された対応の拡張された空間範囲と共に図示されている。
【０１０７】
プローブマーカー１４０によって表されるアレイは、互いに離れて間隔をおかれた、ボックス１４２で表され、プローブマーカー１４０と対応付けられそれぞれのプローブに対応する通常の空間範囲によって特徴づけられる。アレイは、互いに重なり合った、プローブ１４４、１４６および１４８と対応付けられた拡張ボックス１５０、１５２および１５４についてみられる、拡張された空間範囲でさらに特徴づけられる。
【０１０８】
図４Ｄにみられる試験の第１の段階において、プローブ１４４はプローブ１４８の通常の空間範囲１５６内に配置されたパッド（見られない）と連結するよう位置付けられ、プローブ１４６はプローブ１４４の通常の空間範囲１５８内に配置されたパッド（見られない）と連結するために位置付けられ、プローブ１４８は拡張ボックス１５４によって表された拡張された空間範囲内に配置されるがどの通常の空間範囲１４２ないにもないパッド（見られない）と連結するよう位置付けられる。
【０１０９】
図４Ｅにみられる次の試験段階において、プローブ１４４はプローブ１４８の拡張された空間範囲１５２内に配置されたパッド（見られない）と連結するように位置付けられ、またさらにプローブ１４６は、拡張された空間範囲１５２内に配置されたパッド（見えない）と連結するよう位置付けられる。プローブ１４４と１４６の両方が、どの通常の空間範囲１４２内にも配置されていないパッドと連結するよう位置付けられる。同時に、プローブ１４８は、拡張ボックス１５４によって表された拡張された範囲内に配置されたパッド（見られない）と連結するよう位置付けられる。
【０１１０】
図４Ｄと４Ｅにみられる両方の試験段階において、プローブは、隣のプローブの対応する通常の空間範囲内に交差しているか、または全てのプローブの通常の空間位置の外側に配置された電気回路の部分と連結している。他のプローブに対応付けられた空間範囲内に交差するためのこの機能は、プローブを移動させる間の衝突を避けることを可能にするよう意図されている。
【０１１１】
ここで図５を参照する。図５は、図１のシステムに採用されているプローブ１６に対応するプローブ組立品１６０の、部分的に分解され、部分的に切り取られた図である。ここでは、プローブ組立品１６０は、選択的に位置付け可能な剛体のプローブハウジング１６６の内部に配置され、プローブ先端部１６４とともに形成された伸長可能な導体プローブ素子１６２を備えることが詳細にみられる。本発明のいくつかの実施形態において、ハウジング１６６は、好適な剛性および寸法の安定性を提供するために、カーボンまたはセラミックファイバーメッシュから作られる。
【０１１２】
図５にみられるように、ハウジング１６６は、ハウジング１６６を矢印１７２で示す方向に移動させるＸ軸ポジショナ１７０と、ハウジング１６６を矢印１７６で示す方向に移動させるＹ軸ポジショナ１７４とにそれぞれ取り付けられた一組の環状リング１６８からつりさげられる。電気回路１４（図３Ａおよび３Ｂ）の部分と連結するための所望の伸び縮みの動きを提供するために、Ｚ軸ポシショナ１８０が伸長可能なプローブ素子１６２の端部１８２に取り付けられる。電気回路１４（図１）の部分と連結しおよび取り外しするために、プローブ素子１６２がハウジング１６６内部をスライドしそれによりハウジング１６６に対して選択的に伸び縮みできるように、Ｚ軸ポシショナ１８０は、端部１８２を矢印１８４の方向で移動させる。
【０１１３】
図５にみられる実施形態において、ポジショナ１７０、１７４および１８０は、傾斜アクチュエータ１９０、１９２および１９４をそれぞれ備え、および、それぞれがアクチェータ１９０、１９２および１９４の傾斜動作を増幅する１以上のレバー部材１９６、１９８および２００をそれぞれ備えている。好適な傾斜アクチュエータの一つの例は、その開示が参照によって本明細書に組み込まれる米国特許６，１９１，５２２に詳細に記載されているような圧電トルクアクチュエータである。他の好適な傾斜の機構が採用されても良い。
【０１１４】
ここで図６Ａ−６Ｃを参照する。図６Ａ−６Ｃは、図５のポジショナ１７０または１７４のようなポジショナの動作の側面の図である。動作はポジショナ１７０に関して記載されているが、ポジショナ１７４の動作は実質的に同一である。ポジショナ１７０は、プローブ組立品ベース部品２０２に例えば固定具ネジ２０３（図５）によって固定された傾斜アクチュエータ１９０と、レバー部品１９６とを備える。図６Ａ−６Ｃから、および上記参照の米国特許６，１９１，５２２から、傾斜アクチュエータ１９０は、それに印加される電流の関数として拡張または収縮するよう動作しそれによってアクチュエータ１９０の上面２０６上に傾斜を生じさせる複数の薄片素子２０４を備えることが理解できる。電流が無い場合には上面２０６は面２０２に対して概して傾斜せず、レバー部品１９６は、垂直軸２１０（図６Ｂ）の参照となる矢印２０８で示されるように概して垂直に整列される。アクチュエータ１９０に印加される電流に応じて、上面２０２は、図６Ａおよび６Ｃにおいてそれぞれ矢印２１２および２１４で示されるように、垂直軸２１０に対して傾斜する。アクチュエータ１９０の傾斜動作は、比較的小さく０．１°のオーダーであり、角度のあるリング１６８および１６９（図５）に取り付けられたレバー部品１９６は、上面２０１の小さな傾斜をレバー部品１９６の上面の大幅な直線的な位置の置き換えに変換することが理解される。直線的な位置の置き換えの範囲は設計条件であり、レバー部品１９６の長さに関連している。
【０１１５】
ここで、図７Ａ−７Ｃを参照する。図７Ａ−７Ｃは、図１のシステムに採用されたプローブ１６に対応するプローブ組立品１６０のＸ軸に沿っての動作を図示する簡略化した側面図である。図７Ａ−７Ｃにおいてハウジング１６６は、Ｙ軸に沿ってあらゆる傾斜角度に位置付けられていても良い。図７Ａにおいてポジショナ１７０はアクチュエータ１９０の上面２０６がベース２０２の面と概して平行となるようにニュートラル位置にあり、プローブハウジング１６６はＸ軸に対し概して垂直に整列されている。図７Ｂにおいて、アクチュエータ１９０に電流が印加されたとき上面２０６が傾斜し、レバー部品１９６は矢印２２０の方向に傾斜する。ハウジング１６６は環状リング１６８および１６９からつり下げられているので、レバー部品１９６に取り付けられているリング１６８は、ハウジング１６６の上部２２２を矢印２２０の方向に引っ張り、リング１６９の位置の支点に対しててこで動かし、それによってプローブ先端部１６４を図７Ａの位置に対して矢印２２４の方向に移動させる。図７Ｃでは、電流がアクチュエータ１９０に印加されたとき、図７Ｃにおいて印加されているその電流は図７Ｂにおいて印加されている電流とは異なって特徴づけられ、上面２０６は傾斜し、レバー部品１９６は矢印２３０の方向に傾斜することが理解される。ハウジング１６６は環状リング１６８および１６９からつり下げられているので、レバー部品１９８に取り付けられているリング１６８は、ハウジング１６８の上部２２２を矢印２３０の方向に押してリング１６９の位置の支点に対しててこで動かし、それによってプローブ先端部１６４を図７Ａの位置に対して矢印２３２の方向に移動させる。
【０１１６】
ここで、図８Ａ−８Ｃを参照する。図８Ａ−８Ｃは、図１のシステムに採用されたプローブ１６に対応するプローブ組立品１６０のＹ軸に沿っての動作を図示する簡略化した側面図である。図８Ａ−８Ｃにおいてハウジング１６６は、Ｘ軸に沿ってあらゆる傾斜角度に位置付けられていても良い。図８Ａにおいてポジショナ１７４はアクチュエータ１９２の上面２４０がベース２０２の面と概して平行となるようにニュートラル位置にあり、プローブハウジング１６６はＹ軸に対し概して垂直に整列されている。図８Ｂにおいて、アクチュエータ１９２に印加された電流に応じて上面２４０が傾斜し、レバー部品１９８は矢印２４２の方向に傾斜する。ハウジング１６６は環状リング１６８および１６９からつり下げられているので、レバー１９８に取り付けられたリング１６９は、ハウジング１６６の上部２２２を矢印２４２の方向に引っ張り、リング１６８の支点に対しててこで動かし、それによってプローブ先端部１６４を図８Ａの位置に対して矢印２４４の方向に移動させる。図８Ｃにおいて印加されているその電流は図８Ｂにおいて印加されている電流とは異なって特徴づけられる、アクチュエータ１９２に印加される電流に応じて上面２４０は傾斜し、レバー部品１９８は矢印２４６の方向に傾斜することが図８Ｃにおいて理解される。ハウジング１６６は環状リング１６８および１６９からつり下げられているので、レバー１９２に取り付けられたリング１６９は、ハウジング１６６の上部２２２を矢印２４６の方向に押してリング１６８の位置の支点に対しててこで動かし、それによってプローブ先端部１６４を図７Ａの位置に対して矢印２４８の方向に移動させる。Ｙ軸上での端部１６４の位置は、Ｘ軸上でのそれの位置付けとは独立である。
【０１１７】
ここで図９Ａ−９Ｄを参照する。図９Ａは、図１のシステムで採用されているプローブ１６に対応するプローブ組立品１６０のＺ軸に沿った動作を図示する簡略化された側面図であり、図９Ｂ−９Ｄは、その動作をさらに説明するための、プローブ組立品１６０のそれぞれの位置での拡大図である。図９Ａにみられるように、Ｚ軸ポジショナは、傾斜アクチュエータ１９４、および、レバー部品２００を構成する一組の傾斜アーム２５０および２５２を備える。傾斜アーム２５０よび２５２は第１および第２の支点２５４および２５６でそれぞれ連結されていること、また、矢印２６０で示されるように傾斜アーム２５０および２５２が相互に湾曲することができるように好適なクリアランス２５８が提供されることが注目される。図９Ｂを参照。したがって、アクチュエータ１９４が矢印２６２で示される傾斜動作を生じさせるときに、第１の傾斜アーム２５０は支点２５４の位置で上方にまたは下方に片寄らされ、このことは、結果として矢印２６４で示された増幅された直線的な位置の置き換えという状態で第２の傾斜アーム２５２を上方または下方に片寄らせる。図９Ｃ参照。図９Ａ−９Ｃにみられる実施形態において、レバー部品は、レーザーを用いるなどしてクリアランスが切り離された、例えばアルミニウムのような柔軟な金属の一単位のブロックから作られる。
【０１１８】
また図９Ａおよび９Ｃにみられるように、傾斜アーム２５２の上方および下方への動きがプローブ先端部１６４の距離Ｌの動きに置き換わるように、傾斜アーム２５２は、伸長可能な導体プローブ素子１６２に接続される。図９Ｄ参照。したがって、プローブ素子１６２は例えば銅のような柔らかい金属で作られるので、プローブ先端部１６４は、Ｘ−Ｙ平面においてハウジング１６６の方向づけとは独立に、ハウジング１６６に対して選択的に伸長されまたは後退されても良い。
【０１１９】
ここで図１０Ａ−１０Ｂを参照する。図１０Ａは、図１のシステムに採用されたプローブ１６に対応し、代替としての構造を有する、プローブ組立品３６０のＺ軸上での動作を表す簡略化した側面図であり、図１０Ｂは、さらにその動作を説明するためのプローブ組立品３６０のそれぞれの部分の拡大図である。図１０Ａにみられるように、Ｚ軸ポジショナ３８０は、傾斜アクチュエータ３８２、および、伸長可能なプローブ素子１６２に取り付けられたレバー部品３８６を構成する傾斜アーム３８４を備える。したがって、傾斜アクチュエータ３８２が傾斜動作を生じさせるときに、レバー部材は矢印３８８の方向に片寄らされ、プローブ素子１６４とプローブ先端部１６４の上方または下方への動きを生じさせる。図１０Ｂ参照。したがって、プローブ素子１６２が例えば銅のような柔らかい金属で作られているときには、Ｘ−Ｙ平面でのハウジング１６６の動作とは独立に、プローブ先端部１６４は、ハウジング１６６に対して選択的に伸長されおよび後退されても良い。
【０１２０】
図５−１０Ｂから理解されるように、プローブ素子１８（図１）は、プローブ先端部が概して四角形の領域内で様々な位置に連結できるように、あらゆる多数の空間方向に位置付けることができる。通常、ハウジング１６６を選択された方向に好適に向かせるため、および電気回路１４と連結するときに所望の量の圧力が印加されるように端部１６４を好適に伸長させるために、アクチュエータ１９０および１９２に印加する必要のある電流の特性を決定するための較正機能を場合によっては実行する必要がある。
【０１２１】
図５−１０Ｂを参照して記載されたプローブ１６０の機構は、模範的であり非限定的であると考慮されるべきものである。したがって、例えば、好適なステップモータまたはナノモータのようなあらゆる好適な傾斜動作アクチュエータを採用しても良い。加えて、プローブ素子の好適な位置の置き換えを提供するためのプローブの構造は様々な設計上の考慮にしたがって変更されても良い。
【０１２２】
ここで、本発明にしたがって電気回路を電気的に試験するための方法を表すフローチャートである図１１−１４を参照する。これらの方法は、図１−９を参照して上述した装置を利用しており、電気回路の部分を電気的に試験するために用いられる、独立におよび選択に位置付け可能なプローブ素子をそれぞれ有する、固定のアレイに配列された多数の静的なプローブ組立品を備えるフィクスチャレスの電気的試験システムの文脈の中で概して自明のものであった。また、図１１−１４に表された方法は、通常、プリント回路基板の製造において採用される。したがって、本発明によれば、プリント回路基板の製造のための方法は、あらゆる従来のプリント回路基板製造プロセスまたは他のあらゆる好適なプロセスによって多層基板の導体部分のパターンを付着させ、次に上述の装置を用いおよび／または図１１−１４に表された方法を採用して電気回路の部分の様々な電気的特性を電気的に試験することを含む。試験にパスしなかったプリント回路基板は、修理されるか廃棄される。
【０１２３】
上述の発明は接触の電気的試験システムの文脈で概して記述されてきたけれども、電気回路１４の部分と電気的には接触するが物理的には接触しないプローブが採用されても良い。
【０１２４】
当業者によれば、本発明が特に図示され上述されたものに限定されないことが理解される。むしろ、本発明は請求項によってのみ定義される。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
図１Ａは、本発明したがって構成されおよび動作する、フィクスチャレスの、電気回路の電気的試験のための装置の簡略化した部分図形の部分ブロック図である。
【図１Ｂ】
図１Ｂは、図１Ａに示されたプローブ組立品の部分的な断面図である。
【図２】
２次元でプローブの通常のおよび拡張された空間範囲の両方を表す簡略化した図である。
【図３Ａ】
図３Ａおよび３Ｂは、図２に示した面に垂直な面でかかれた簡略化した図であり、２次元でプローブの通常のおよび拡張された空間範囲の両方を表している。
【図３Ｂ】
図３Ａおよび３Ｂは、図２に示した面に垂直な面でかかれた簡略化した図であり、２次元でプローブの通常のおよび拡張された空間範囲の両方を表している。
【図４Ａ】
図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃは、図１Ａ−３のシステムによる、複数プローブ電気回路接触連結の通常のシーケンスを表す簡略化した側面図である。
【図４Ｂ】
図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃは、図１Ａ−３のシステムによる、複数プローブ電気回路接触連結の通常のシーケンスを表す簡略化した側面図である。
【図４Ｃ】
図４Ａ、４Ｂおよび４Ｃは、図１Ａ−３のシステムによる、複数プローブ電気回路接触連結の通常のシーケンスを表す簡略化した側面図である。
【図４Ｄ】
図４Ｄおよび４Ｅは、図１Ａ−３のシステムによる、複数プローブ電気回路接触連結の別のシーケンスを表す簡略化した平面図である。
【図４Ｅ】
図４Ｄおよび４Ｅは、図１Ａ−３のシステムによる、複数プローブ電気回路接触連結の別のシーケンスを表す簡略化した平面図である。
【図５】
図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の部分的に分解され、部分的に切り取られた図である。
【図６Ａ】
図６Ａ−６Ｃは、図５のプローブに採用されたポジショナの動作を表す簡略化した側面図である。
【図６Ｂ】
図６Ａ−６Ｃは、図５のプローブに採用されたポジショナの動作を表す簡略化した側面図である。
【図６Ｃ】
図６Ａ−６Ｃは、図５のプローブに採用されたポジショナの動作を表す簡略化した側面図である。
【図７Ａ】
図７Ａ−７Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第１の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図７Ｂ】
図７Ａ−７Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第１の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図７Ｃ】
図７Ａ−７Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第１の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図８Ａ】
図８Ａ−８Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第２の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図８Ｂ】
図８Ａ−８Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第２の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図８Ｃ】
図８Ａ−８Ｃは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の、第２の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図９Ａ】
図９Ａは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の第１の実施形態の、第３の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図９Ｂ】
図９Ｂ−９Ｄは、その動作を表すために、図９Ａ内でみられるプローブ組立品のそれぞれの部分の拡大図である。
【図９Ｃ】
図９Ｂ−９Ｄは、その動作を表すために、図９Ａ内でみられるプローブ組立品のそれぞれの部分の拡大図である。
【図９Ｄ】
図９Ｂ−９Ｄは、その動作を表すために、図９Ａ内でみられるプローブ組立品のそれぞれの部分の拡大図である。
【図１０Ａ】
図１０Ａは、図１Ａのシステムに採用されたプローブ組立品の第２の実施形態の、第３の軸上での動作を表す簡略化した側面図である。
【図１０Ｂ】
図１０Ｂは、その動作を表すために、図１０Ａ内でみられるプローブ組立品の部分の拡大図である。
【図１１】
図１１−１４は、図１−１０Ｂのシステムおよび装置を用いる電気回路を試験するための方法の簡略化したフロー図である。
【図１２】
図１１−１４は、図１−１０Ｂのシステムおよび装置を用いる電気回路を試験するための方法の簡略化したフロー図である。
【図１３】
図１１−１４は、図１−１０Ｂのシステムおよび装置を用いる電気回路を試験するための方法の簡略化したフロー図である。
【図１４】
図１１−１４は、図１−１０Ｂのシステムおよび装置を用いる電気回路を試験するための方法の簡略化したフロー図である。
【符号の説明】
１０　電気的試験システム
１２　プローブアレイ
１４　電気回路
１６　プローブ組立品
１８　プローブ素子
３０　プローブ位置制御回路
３２　コンピュータ
４０　電気的試験回路
【図１Ａ】
2004505251.tif 000003
【図１Ｂ】
2004505251.tif 000004
【図２】
2004505251.tif 000005
【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
2004505251.tif 000007
【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
2004505251.tif 000009
【図４Ｃ】
2004505251.tif 000010
【図４Ｄ】
2004505251.tif 000011
【図４Ｅ】
2004505251.tif 000012
【図５】
2004505251.tif 000013
【図６Ａ】
2004505251.tif 000014
【図６Ｂ】
2004505251.tif 000015
【図６Ｃ】
2004505251.tif 000016
【図７Ａ】
2004505251.tif 000017
【図７Ｂ】
2004505251.tif 000018
【図７Ｃ】
2004505251.tif 000019
【図８Ａ】
2004505251.tif 000020
【図８Ｂ】
2004505251.tif 000021
【図８Ｃ】
2004505251.tif 000022
【図９Ａ】
2004505251.tif 000023
【図９Ｂ】
2004505251.tif 000024
【図９Ｃ】
2004505251.tif 000025
【図９Ｄ】
2004505251.tif 000026
【図１０Ａ】
2004505251.tif 000027
【図１０Ｂ】
2004505251.tif 000028
【図１１】
2004505251.tif 000029
【図１２】
2004505251.tif 000030
【図１３】
2004505251.tif 000031
【図１４】
2004505251.tif 000032
【国際公開パンフレット】
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2004505251.tif 000035
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2004505251.tif 000048
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2004505251.tif 000064
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2004505251.tif 000066
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2004505251.tif 000068
2004505251.tif 000069
2004505251.tif 000070
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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