(57)【要約】クリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システムは、フィルタ・ユニットを越えて旋回することによって、クリーン・ルーム内で締め付け係合させ、解放するよう撓む協働締め付け具を画定するフィルタ・ユニットを有する。
2004515735.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
枠および前記枠内に密封されたフィルタ媒体を備えるフィルタ・ユニット、および前記枠に隣接して、前記フィルタ・ユニットを作業空間に隣接して支持するフィルタ・ユニット支持体のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システムで、前記フィルタ・ユニット支持システムが、前記フィルタ・ユニット枠および前記フィルタ・ユニット支持体によって担持され協働する締め付け具を備え、協働する一方の締め付け具が、前記協働する締め付け具によって旋回状態で撓むことができ、前記撓みに抗してバイアスを受けて、撓んでいない位置へと復帰し、撓んだ後に前記フィルタ・ユニットを前記フィルタ・ユニット支持体内に支持するクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項２】
前記１つの協働する締め付け具がばねで加重され、旋回動作するよう装着される、請求項１に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項３】
前記１つの協働する締め付け具が、前記フィルタ・ユニット支持システムの外側から逆に撓んで、前記支持システムから外れることができる、請求項１に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項４】
前記フィルタ・ユニットが複数の外向きの側面を有し、前記側面の少なくとも２つが協働する締め付け具を担持する、請求項１に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項５】
前記フィルタ・ユニット枠の外向きの側面の少なくとも２つが、前記１つの協働する締め付け具を担持し、前記１つの協働する締め付け具が、ばねで加重したラッチを備え、前記ラッチがラッチ肩を含み、前記ラッチが、前記ラッチを担持する前記フィルタ・ユニットの側面に平行な面で旋回し、前記内向きの支持体側面がそれぞれ、前記ラッチそれぞれに対向して第２協働締め付け具を担持し、かつ前記フィルタ・ユニット支持体に垂直に突出するピンを有する支持器を備え、該支持器が撓んだ状態で前記ラッチ肩と係合するよう配置され、前記ラッチがフック形状であり、前記ラッチ肩が前記ピンを通過した後、フィルタ・ユニットが前記ピン上に支持された状態で前記ピンを捕捉する、請求項４に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項６】
前記ラッチを担持する前記フィルタ・ユニットの側面が、前記側面に垂直の前面を有し、前記ラッチがそれぞれ、前記フィルタ・ユニット支持体内で前記フィルタ・ユニットがラッチした状態で、前記前側面と分離可能な状態で係合するよう配置されたフランジを有する第２後肩を有する、請求項５に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項７】
前記ラッチそれぞれに固定された係留具も含み、前記係留具が前記ラッチの１つを旋回させることにより、複数の前記ラッチをピン係合から同時に旋回させ、前記係留具がクリーン・ルーム内からアクセス可能である、請求項６に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項８】
前記ラッチ構造のセットが、前記係留具によってピン係合から同時に旋回するため、共通の係留具によって係留される、請求項７に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項９】
前記フィルタ・ユニット枠が長方形であり、第１および第２対の外向きの側面を有し、前記第１および第２対の側面はそれぞれ、縦方向に分布した状態でその上に装着された第１および第２セットの旋回ラッチを有し、前記フィルタ・ユニット支持体が、前記第１および第２セットのラッチと協働する関係でその上に装着された第１および第２セットのピンを有し、第１および第２係留具は、１つのラッチがセット内で旋回するのに応答して、ピンが分離した状態で各セット内のラッチそれぞれを一緒に旋回させるため、第１および第２セットのラッチそれぞれの部材を別個に接続する、請求項８に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項１０】
前記フィルタ・ユニット支持構造の側面が、前記構造の側面に平行に延在して、ギャップによってそこから隔置された突起壁を備えるＵ字形の外部フランジを有し、前記ピンが、前記構造の側面によって所定の位置に支持され、前記支持構造の内部に突出する、請求項８に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項１１】
前記フィルタ・ユニットの支持ラッチが、前記フィルタ・ユニットの側面で旋回するラッチ部材を備え、前記ラッチ部材が、一方端でラッチの前肩を、他方の端でラッチの後肩を画定するフランジを画定する刃を備え、前記端間で旋回軌跡を画定し、前記ラッチ部材の刃が前記支持構造内で前記ピント係合する、請求項１０に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項１２】
前記フィルタ・ユニットの側面が、前記支持構造の内部に対向するＵ字形のフランジを有し、前記フィルタ・ユニットの側部フランジが、ピンを位置合わせした状態で前記ラッチを担持する、請求項１１に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項１３】
前記ラッチ同士をピン係合から旋回させるために、隣接するラッチ間に接続された係留具も含み、セットのいずれかの部材が旋回すると、セットの各部材のピン係合から同時に旋回するために、ラッチのセットが共通の係留具に係留される、請求項１１に記載のクリーン・ルーム天井フィルタ・ユニット支持システム。
【請求項１４】
支持面によって支持された支持体に装着するフィルタ・ユニットを備えるクリーン・ルーム・フィルタで、前記フィルタ・ユニットは外向きの側壁、および枠内に密封されたフィルタ媒体を有し、前記側壁および支持体が、前記支持体で前記フィルタ・ユニットを支持する構成で前記支持面から隔置された、自己撓み性協働締め付け具を画定するクリーン・ルーム・フィルタ。
【請求項１５】
１つの前記協働締め付け具が概ねフック形状のラッチであり、前記フィルタ・ユニットに垂直に突出するピンを備える支持器と協働するような構成であり、前記ラッチは、その前肩が撓んだ状態で前記ピンと係合し、前記ラッチの前肩が前記ピンを通過した後、フィルタ・ユニットが前記ピン上で支持された状態で、前記ピンを捕捉するよう構築され、配置される、請求項１４に記載のクリーン・ルーム・フィルタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の背景）
１．発明の分野
本発明はクリーン・ルーム・システムに、特にクリーン・ルームの天井システムに関する。本明細書では「天井」とは部屋の水平の上壁および下壁ばかりでなく垂直の側壁も含む。下部、上部、の上、の下などの用語およびその認識は、従来の天井の設置に関連し、「天井」が作業空間の上以外である場合に相対的用語として理解されたい。
【０００２】
２．関連技術
クリーン・ルームの天井が知られ、通常はフィルタ・ユニットとは別個、またはそれと一体の構造によって支持された１つまたは複数のフィルタ・ユニットを備える。時々交換されるフィルタ・ユニットの容易な設置および取り外しが、重要性を増している。便宜性を向上させ、費用を抑制するために、フィルタ・システムの部屋側からの交換が望ましい。フィルタ支持構造にフィルタ・ユニットを気密状態で装着する必要があるので、フィルタ・ユニットが密封状態で載るフランジまたはリップを有する支持体を使用しなければならない。フランジを通してフィルタ・ユニットを挿入すると、問題を生じることがある。より最近では、フィルタ・アレイの隙間に天井テープを使用して、濾過されていない空気の流れを遮断し、システムによっては支持フランジを使用しないようにし、挿入問題を緩和できることが実証されている。
【０００３】
本発明は、枠および枠内に密封されたフィルタ媒体、格子または他の列状の支持要素などの支持体を備える支持構造、またはフィルタ・ユニットと合致し、それと締まり嵌めする１つまたは複数の相互接続したモジュール・ベイのフィルタ・ユニット受け、および単純な押し込み、引き出し動作でフィルタ・ユニットを支持構造に別個に取り付けるため、複数のばね押しラッチおよび保持締め付け具を含む協働締め付け具を備えるフィルタ・ユニットに関する。
【０００４】
フィルタ・ユニットをその支持構造に直接かつ簡単に、傾斜させずに装着することが望ましく、現在ではフィルタの存在に反応するフィルタ・ユニット装着システムによって達成することができる。このようなシステムは、フィルタ・ユニットの支持体からの容易な分離、および部屋の側部からの分離も可能にすることが望ましい。
【０００５】
本発明を添付図面に関連してさらに説明する。
【０００６】
（好ましい実施形態の説明）
次に図面を詳細に参照すると、図１および図５Ａでは、本発明の第１の例示的実施形態は、概ね１０で指示される本発明のクリーン・ルームの天井システムを有する。システム１０は、水平に配置され横方向および縦方向に延在するフィルタ・ユニット支持体１４の垂下天井１２を備え、ハンガー１６は、上端１７が部屋の天井１８に取り付けられ、垂直に配置されており、フィルタ支持体は、このハンガー１６の下端１５に担持され支持構造３０を含むものとする。しかしながら他の任意の適切な垂直または水平支持体の形状を使用してもよい。フィルタ・ユニット支持構造３０は、閉空間の部屋２２およびその中の作業空間Ｗの上に横たわるよう配置される。天井システム１０の機能は、ＨＥＰＡまたはＵＰＬＡ基準の空気または他の高度濾過空気を作業空間Ｗに導入することであり、空気は通常、可撓性導管２６（図５）によって示された空気源２４から濾過するために、これで受ける。
【０００７】
クリーン・ルームの天井システム１０はさらに１つまたは複数のフィルタ・ユニットを含み、これは本明細書では長方形として図示される所定の形状を有し、枠３２および枠内に密封されるフィルタ媒体３４を備える。フィルタ・ユニット支持構造３０は、フィルタ・ユニット２８を作業空間Ｗの一方側に支持するよう、相隣接するフィルタ・ユニットの枠３２と合致し、それと締まり嵌めする。
【０００８】
１つの態様では、本発明はフィルタ・ユニット２８をフィルタ・ユニット支持体１４に装着する、迅速に作用して確実で、容易に反転し、優れた形態を提供する。特に図１から図４に示すように、フィルタ・ユニット支持体１４は個々に、または格子状に配置された支持構造３０を含み、これは通常、個々のフィルタ・ユニット２８を受けて、これを装着する１つの受け口または一連の受け口３８を画定するハウジングまたは受け器３６、フィルタ・ユニットの枠３２およびフィルタ・ユニット支持受け器３６によって担持された複数セットの協働する対ラッチおよび保持締め付け具４２を備える。締め付け具４２は、ラッチ５４とピン５６のアセンブリとして機能し、対向する（および位置合わせ可能な関係の）ペアリング４４、４６、４８、５２を備える。
【０００９】
図３Ａ、図３Ｂおよび図３Ｃを参照すると、各ラッチ５４（図３Ｃでは閉状態で図示）は前肩５８を有し、これによってラッチはピボット６２上で旋回する関係で撓むことができる。旋回は、ピン５６の形態で示した支持器６４の協働によって実行される。支持器ピン５６がラッチの前肩５８と係合すると、支持器ピンを通過するようラッチが旋回する（図２、図３Ａおよび図３Ｃ参照）。張力ばね６６が、各ラッチ５６にバイアスを加えて支持器ピン５６に押し付け、撓ませる。張力ばね６６は、旋回位置６２に隣接し、そこからオフセットするよう、ラッチ部分６８とフィルタ・ユニット枠３２の間に結合される。このように装着すると、ばね６６は、ラッチを協働する支持器ピン５６と係合状態に維持する傾向となる。各ラッチ５４は、その装着および上述したばねの加重により、支持器ピン５６が係合した関係で、撓んでいない位置（図２、図３Ａ）に戻るような構成になっていて、ラッチが支持器ピンを通過した後、フィルタ・ユニット支持受け器３６からフィルタ・ユニット２８が分離するのを阻止する。
【００１０】
ラッチ５４は、さらに、７４で示した後肩構造を有し、それによってラッチを逆に撓ませ、支持器ピン５６から係合解除することができる。逆の撓みは、以下で述べるようにフィルタ・ユニット支持受け器３６の外側から実行することが好ましい。ラッチ５４の逆の撓みは、作業空間Ｗ内からであることが適切であり、それによってフィルタ・ユニット支持受け器３６からフィルタ・ユニット２８が解放され、フィルタ・ユニット２８を支持受け器３６から下降させることができる。
【００１１】
図１から図４に示す実施形態では、フィルタ・ユニット枠３２が４つの外向きの側面７６、７８、８２および８４を画定する。側面７６〜８４のうち好ましくは２つ、しかし多ければ４つが１つまたは複数のラッチ５４（または指示器ピン５６）を担持し、各ラッチは、フィルタ・ユニット支持受け器３６によってそれぞれ担持された対合支持器（またはラッチ）とラッチ係合関係にある。フィルタ・ユニット支持受け器３６は、各フィルタ・ユニット枠３２の周囲に配置される。各受け器３６は、フィルタ・ユニット２８の外向きの側面７６〜８４に対応する４つの内向きの側面８６、８８、９２、９４を有し、内向きの側面は、フィルタ・ユニットの個々の外向きの（ラッチ５４または支持器ピン５６が担持する）側面それぞれと対向するよう配置される。したがって、少なくとも２つ、多ければ４つのフィルタ・ユニット支持受け器の内向きの側面８６〜９４が、フィルタ・ユニット受け器の外向きの側面７６〜８４によって担持されたラッチ（または支持器）とラッチ係合関係にある１つまたは複数の支持器ピン３６（またはラッチ５４）を、ラッチが位置合わせ可能な関係で担持する。
【００１２】
フィルタ・ユニット枠３２の対面する長辺７６、７８がそれぞれ１対または１セットのばね押しラッチ５４を担持することが好ましい。支持器ピン５６は受け器の内部３７内へ突出し、受け器の内向きの側部８６、８８に垂直に延在し、ラッチ肩５８に対向する。各ラッチ５４は、ラッチを担持するフィルタ・ユニット側部（７６、７８）に平行な面で旋回するよう、（ピボット６２）で個々の外向きの側部に装着される。ラッチの前肩５８は、肩５８の１点で対向する支持器ピン５８と接触し、これによって肩が撓んでピン５６から離れ、ラッチが旋回する。
【００１３】
各ラッチ５４はフック形で、ピボット６２で旋回する本体部分９６、本体部分から延在するアーム部分９８を有することが好ましい。アーム部分９８は、ラッチ前方肩部５８を画成する。アーム部分９８は、ラッチ５４が回転して撓むと、アーチ状に移動する支持器ピン５６受けスロット１０４を画定するよう、ラッチ本体部分９６から小さい距離だけ隔置される。アーム部分９８は、撓んだ方向または状態では、支持器ピン５６を通過させ、ラッチ５４およびアーム部分が図３Ａに示すように撓んでない方向または状態で、ピンをスロット１０４で受けることによって支持器ピン５６と係合するよう配置され、サイズを決定される。
【００１４】
アーム前肩５８は、その回転軸がピボット６２からオフセットした図示のようなカム形状、または肩が支持器ピン５６と係合すると、旋回位置を中心にラッチ５４を回転駆動する他の任意の形状を有する。前肩５８の湾曲は、前肩が支持器ピン５６と接触すると、支持器ピン５６がスロット１０４に入るようにスロットの口１０６が位置決めされる方法でラッチが倒れるような湾曲である。
【００１５】
フィルタ・ユニット側面７６〜８４はそれぞれ前面１０８を有し、これは側面に垂直に延在して、作業空間Ｗに面する。各ラッチ５４は、図示の実施形態では、ラッチ本体部分９６の後肩７４から直角に延在するフランジ１１０を有することが好ましい。フランジ１１０は、前側面１０８と分離可能な状態で係合し、ばね６６のバイアス力によるラッチ５４の過剰回転を阻止するよう働き、ラッチを作業空間Ｗ内から回転するための指ホールドも提供する。
【００１６】
各ラッチ５４をともに逆回転させて、ラッチを支持器ピン５６から外すのを容易にするため、ラッチは係留具１１２として図示された連結バーまたはケーブルと接続することが好ましい。係留具１１２は、ラッチ部分６８に適切に固定され、２つ以上のラッチ５４をピン５６との係合からセットにして同時に旋回させるために、適切な長さおよび配置構成を有する。係留具１１２は、作業空間Ｗ内からアクセス可能なフランジ１１０によって結合ラッチ５４の１つを回転させることによって起動され、したがってフィルタ・ユニット２８のラッチ係合の逆は、１つのラッチ上で部屋に露出したフランジ１１０を引っ張り、それによって係留具１１２で１つのラッチに結合された１つまたは複数のラッチをピン５６との係合から同時にシフトさせることによって容易に実行される。
【００１７】
図示の配置構成では、各フィルタ・ユニット枠側面、例えば７６、７８の各セットまたは各対のラッチ５４１、５４２にある別個のラッチを、共通の係留具１１２によって相互に接続する。あるいは、フィルタ・ユニット２８または受け器３６の任意のラッチ・セットにある全てのラッチを、１つの係留具１１２で接続することができる。各配置構成で、フィルタ・ユニット２８が滑らかに、予期した通りに受け器３６から解放されるよう、係留具１１２によってラッチ起動の十分な同時性を提供することが望ましい。幾つかのラッチ５４を共通の係留具１１２に結合することによって、１人の作業者が、これを受け器３６から外す際にフィルタ・ユニット２８を外して、制御することができ、したがってフィルタ・ユニットの取り外しを扱うために２人以上の作業員を必要とするシステムより経済的な配置構成を提供する。
【００１８】
要するに、本発明の実施形態のフィルタ・ユニット枠３２は長方形であり、第１および第２対の外向きの側面７６、７８を有し、これは側面の長軸に沿って縦方向に分布する関係で装着された第１および第２セットの旋回ラッチ５４１、５４２をそれぞれ有する。フィルタ・ユニット支持体１４は、第１および第２セットの支持器ピン５６１、５６２を含み、これも縦方向に分布し、第１および第２セットのラッチ５４１、５４２と協働する関係で装着される。第１および第２係留具１１２１、１１２２は、ピン５６を分離する関係で、各セット内でラッチ５４１または５４２を共に旋回させるため、第１および第２セットのラッチ５４１、５４２それぞれと別個に接続する。
【００１９】
フィルタ・ユニット支持構造の側面８６、８８、９２および９４はそれぞれ、構造の側面に平行に延在して、そこから狭いギャップ１２２を介して隔置された突起壁１１８を備えるＵ字形の外部フランジ１１６を有する。支持構造は、以下で説明するように密封目的のナイフ・エッジ１２５（図３Ｃ）を有する内部フランジ１２３も含んでよい。支持器ピン５６は、構造の側部、例えば８６によって、および適切には突起壁１１８によってギャップ１２２を横断する状態で所定の位置に支持される。
【００２０】
フィルタ・ユニット側面７６、７８、８２および８４も、Ｕ字形の外部フランジ１２４を有し、これは周囲がフィルタ・ユニット支持受け部３６内に填るようサイズ決定され、支持構造内部フランジ１２３を受けるよう図示のように形成される。フランジ１２４は流体または固体の密封材１２７を含み、これはネオプレンなどの本質的に知られている密封材、またはフランジのナイフ・エッジ１２５が密封材に封止されるとフィルタ・ユニット２８を受け器３６に封止するため、他の材料の密封ガスケットまたは密封ゲルである。あるいは、これらの部品の密封は、密封ビードまたはテープが突き当て位置にあることによって実行することができる。例えばＪｅａｎｓｅａｕおよびＢｒａｍａｎに帰される米国特許第５，８７１，５５６号を参照されたい。その開示は参照により本明細書に組み込まれる。
【００２１】
フィルタ・ユニット・フランジ１２４は、回転するラッチ本体９６が載る旋回ピン６２を支持することによって、ラッチ・セット５４１、５４２も支持する。したがって本発明は、支持表面１８で支持された支持体３０に装着するため、フィルタ・ユニット２８を備えるクリーン・ルームの天井システムで使用する独特のフィルタ・ユニット２８を提供する。フィルタ・ユニットは、外向きの側壁７６〜８４を伴う枠３２、および枠内に永久的に、または交換可能な状態で密封されたフィルタ媒体３４を有する。フィルタ・ユニットの側壁７６、７８は、協働する締め付け具を支持し、これは支持体３０でフィルタ・ユニット２８を支持するような構成になっていて、支持面１８から隔置されたラッチ５４および支持器ピン５６を備える。
【００２２】
この態様では、本発明の方法は、フィルタ・ユニット２８およびフィルタ・ユニット支持構造３０を、クリーン・ルーム２２内の作業空間Ｗへの空気を濾過する関係で維持することと、支持器と接触するとラッチが撓んで支持器を通過することによって協働するラッチ５４および支持器ピン５６で、フィルタ・ユニットを支持構造と結合することとを含み、ラッチは、フィルタ・ユニットを支持構造上で支持する関係で支持器を通過すると、ラッチを支持器上にラッチ係合させるような構成であり、さらにフランジ１１０を起動させ、同時に係留具１１２を共有し、かつ隣接する結合ラッチを撓ませてラッチ５４を逆に撓ませフィルタ・ユニットを支持構造から外すことを含む。
【００２３】
次に図５Ａ、図５Ｂおよび図６を参照すると、本発明は、クリーン・ルームに装着されたフィルタ・ユニットの高効率の粒子状空気濾過媒体を試験する装置および方法も提供し、媒体の下流側にあるロッドの入口でテスト材料をロッド内に導入することと、ロッドの出口でテスト材料を媒体の上流側に放出しながら、空気を媒体の上流側から下流側へと通過させることとを含む。
【００２４】
この実施形態では、図５Ａおよび図５Ｂを参照すると、フィルタ・ユニット２８および支持体３０は前述したものと非常に似ているが、以下のように改造されている。フィルタ・ユニット２８は通常は別個のユニットであるが、受け器３６が図１に示すように幾つかの格子パターンの１つである場合に、配列状であってもよい。フィルタ・ユニット２８は複数のフィルタ媒体パック３４ａ、３４ｂを有し、これは仕切り１１４によって分離され、枠３２内に密封される。ブラケット１１５が仕切り１１４に載り、ブッシュ１５８を担持する。フィルタ・ユニット２８は、さらに、枠の側面７６〜８４に固定された上部カバー１３２を含む。上部カバー１３２は、カラー１３６に囲まれた中心開口１３４を有する。フィルタ・ユニット２８に供給された加圧空気２４が、可撓性導管１４６の出口１４４によって形成された空気入口１４２と連絡する。導管の開口１４８は入口のカラー１３６と位置合わせされ、液密関係でそれに固定される。
【００２５】
孔あきプレート１５４を備えるダンパ１５２が導管１４６からの空気の流入を制御する。垂直方向または軸方向にシフト可能なロッド１５６が、仕切り１１４内に固定された管１５５内に延在する。Ｏリング１５７が管１５５内でロッド１５６を密封する。ロッド１５６は、ブラケット１１５に固定されたブッシュ１５８と軸承され、かつそれによって支持される。ロッド１５６はダンパ・プレート１５４を担持し、仕切り１１４内の管１５５の中で作業空間Ｗから空気入口１４２まで延在する。ロッド１５８は、固定したブッシュに対して垂直方向に調節するため、作業空間Ｗに露出したロッドの下端１６２に作用するねじ回しまたは他の工具で回転させることにより、フィルタ媒体３４ａ、３４ｂの面１５７上に支持されたブッシュ１５８にねじ込むことが適切である。
【００２６】
このように、ダンパ１５２はブッシュ１５８内のロッド１５６を調節することによってカラー１３６へと多少シフトし、フィルタ・ユニットの前後で、または列状になった複数のフィルタ・ユニット間で空気流のバランスをとるために、必要に応じてフィルタ・ユニット２８へと空気流を増減させる。作業空間Ｗ内からダンパ１５２の設定を調節できる機能は、本発明のこの実施形態の１つの利点である。さらなる特徴は、ダンパ１５２およびロッド１５６をフィルタ・ユニット２８に組み込むことであり、したがって交換用フィルタ・ユニットそれぞれがアセンブリ全体に利便性とコスト低下をもたらす。
【００２７】
特に図６に示すさらなる実施形態では、ロッド１５６が管状に作成される。ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡフィルタの効率を試験するために適切なサイズの粒子のエアゾール調査噴霧などのテスト材料１６４を、フィルタ・ユニット内のフィルタ媒体の上流で、その頂部にあるフィルタ前の媒体空気流に作業空間Ｗから送出するために、供給源１６６から注入するか、フィルタ媒体３４ａ、３４ｂの下からロッド１５６へと他の方法で送り出す。媒体３４を通過する材料１６４を測定して、フィルタ・ユニット２８を試験する。オペレータがフィルタ・ユニットの上に行く必要なく試験を実行できるこの能力は、本発明のこの実施形態の重要な利点である。
【図面の簡単な説明】
【図１】
締め付け具を示すためにフィルタを分離した本発明のクリーン・ルームの天井の斜め斜視図である。
【図２】
本発明のフィルタ・ユニットおよび受けユニット支持構造の分解展開図である。
【図３Ａ】
取り付けたラッチが旋回してピンと係合したフィルタ・ユニット側部の部分詳細立面図である。
【図３Ｂ】
取り付けた旋回ラッチが、旋回してピンから離れた図３Ａと同様の図である。
【図３Ｃ】
各側のラッチが共通の係留具でともに係留されているフィルタ・ユニットおよび支持構造の部分詳細立面図である。
【図４】
作業空間で通常見られるように組み立てた状態のフィルタ・ユニットおよび支持体の底面図である。
【図５Ａ】
ダンパおよびダンパ調節機構を装備したフィルタ・ユニットの側面部分断面図である。
【図５Ｂ】
フィルタ・ユニットのダンパおよびダンパ調節機構の部分詳細図である。
【図６】
試験材料を空気流に導入するために使用されるフィルタ・ユニットの側面部分断面図である。
【国際公開パンフレット】
2004515735.tif 000003
2004515735.tif 000004
2004515735.tif 000005
2004515735.tif 000006
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2004515735.tif 000014
2004515735.tif 000015
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2004515735.tif 000017
2004515735.tif 000018
2004515735.tif 000019
2004515735.tif 000020
2004515735.tif 000021
【国際調査報告】
2004515735.tif 000022
2004515735.tif 000023