(57)【要約】【課題】照明光路（２）を観察対象物（７）に当て、その観察対象物（７）で反射させた対物レンズ（６）方向の光から観察対象物（７）表面の画像情報だけでなく焦点位置情報も入手して、当情報に基づき評価・調整ユニットにより焦点位置の修正を導き出す、特に顕微鏡の微調整フォーカシングなど、光学機器の共焦点オートフォーカシングのための配置構成である。【解決手段】上記種類の光学機器においては、画像情報と焦点位置情報とが互いに離れた別々の光学分岐ルートで伝送され、対物レンズ光路の中央部には、画像伝送分岐ルートとしての光束（１１）が、対物レンズ光路の周辺部には、オートフォーカシング分岐ルートが通じていて、当オートフォーカシング分岐ルートは、第１のものが焦点外の信号を、第２のものが焦点内の信号を、および第３のものが共役信号を、それぞれのオートフォーカシング画像平面（２１、２２、２３）に供給する３つの光学チャネル（１３、１４、１５）を有している。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像情報と焦点位置情報とが対物レンズ光路内の互いに離れた別々の光学分岐ルートで伝送されることを特徴とする照明光路（２）を、観察対象物（７）に当て、その観察対象物（７）で反射させた対物レンズ（６）方向の光から、観察対象物（７）表面の画像情報だけでなく焦点位置情報も入手して、当情報に基づき評価・調整ユニットにより焦点位置の修正を導き出す特に顕微鏡など光学機器の共焦点オートフォーカシングのための配置構成。
【請求項２】
対物レンズ光路の中央部に、画像伝送分岐ルートとしての光束（１１）が通じ、対物レンズ光路の周辺部に、オートフォーカシング分岐ルートが通じていることを特徴とする請求項１に記載の配置構成。
【請求項３】
画像伝送分岐ルートとオートフォーカシング分岐ルートが、共通の照明光源（１）により光学的に結合していることを特徴とする請求項１または２に記載の配置構成。
【請求項４】
第１のものが焦点外の信号を、第２のものが焦点内の信号を、および第３のものが光学軸（１２）方向での共役信号を、それぞれのオートフォーカシング画像平面（２１、２２、２３）に供給するオートフォーカシング分岐ルート内を通る３つの光学チャネル（１３、１４、１５）の形成および評価のための手段が、装備されていることを特徴とする先行請求項の１つに記載の配置構成。
【請求項５】
光学チャネル（１３、１４、１５）が、並列走行するように配置されており、各チャネル（１３、１４、１５）が、それぞれの光線横断面に共焦点領域と非共焦点領域とを有していることを特徴とする請求項４に記載の配置構成。
【請求項６】
チャネル（１３、１４、１５）の形成のため、照明光路内にスリット状絞りが配置されており、その絞りが、共焦点領域内にラインおよび／またはスリット状に配置されたピンホールを有していることを特徴とする請求項５に記載の配置構成。
【請求項７】
チャネル（１３、１４、１５）のそれぞれが、評価・調整ユニットの受光装置と呼応しており、チャネル（１３、１４、１５）が、それぞれ観察対象物（７）表面の一領域を受光器ライン（３０、３１、３２）に結像させることを特徴とする請求項４から６のうちの１に記載の配置構成。
【請求項８】
対物レンズ光路の鏡胴レンズ（５）と対物レンズ（６）間に、色分解対物レンズ（３５）が配置され、共役信号を供給するチャネル（１５）のオートフォーカシング画像平面（２３）に、スペクトル装置（３０）が配置されていることを特徴とする先行請求項の１に記載の配置構成。
【請求項９】
オートフォーカシング分岐ルートを照明光路から分離解放するため、照明光源（１）から出て観察対象物（７）の表面に到る照明光は透過させ、オートフォーカシング分岐ルート内で観察対象物（７）の表面から来る光は反射させる層を持つビームスプリッタ（１０）が、照明画像平面（９）の前に配置されていることを特徴とする先行請求項の１に記載の配置構成。
【請求項１０】
主画像分離器（４）が偏光子（３６）として形成され、対物レンズ（６）と鏡胴レンズ（５）間に１／４波長板（３７）が配置される条件のもと、観察対象物（７）で反射し、偏光子（３６）を通って観察画像平面（８）に向けられた偏光（３９）成分が、観察画像平面（８）内の反射面（４０）に当り逆光路を辿って改めて観察対象物（７）に達し、最後に４回目の１／４波長板（３７）通過の後に、偏光子（３６）の分離層により、前記偏光成分がオートフォーカス信号としてセンサー分岐ルートの方へ転向されるように、偏光方向が設定されている顕微鏡において、特に共焦点オートフォーカシングのためになされる先行請求項の１に記載の配置構成。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】
本発明は、照明光路を観察対象物に当て、その観察対象物で反射させた対物レンズ方向の光から、観察対象物表面の画像情報だけでなく焦点位置情報も入手して、当情報に基づき評価・調整ユニットにより焦点位置の修正を導き出す、特に顕微鏡など光学機器の共焦点オートフォーカシングのための配置構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、顕微鏡やプロジェクタなど光学機器の精確で、しかも可能な限り自動式のフォーカシングにおいては、その焦点合わせ、つまり「焦準」には、しばしば主要光学伝送システムが利用される。即ち、対物レンズ光路から、観察対象物の画像情報のみならず焦点位置評価用の情報も得るものである。後者は、製品、詳しく言えばその表面のコントロールが必要な、特に連続作業式の製造工程において、焦点位置が何らかの理由でずれて、画像が「不鮮明」な場合の焦準調整のために利用される。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
これは特に、結像対象物または対象物平面が、点単位で走査される場合の配置構成にも当てはまる。その殆どの場合では、確かにｚ光学軸方向の分解能に関して満足な結果が得られるが、高度な構造または反射構造を持つ面や縁、あるいは薄層系については、高度に精密な焦準調整を行うには依然として問題がある。
【０００４】
焦点測定光束が、主光路に合一化され二色になると、受光器感度領域では遮断作用が不十分であるため、特に、焦点斑が主画像に再カップリングされることから問題が発生する。それは、オートフォーカス光束による「焦点検出」においては、色収差により、主光束に比べてｚオフセットが発生するし、またオートフォーカスシステムの波長域では、伝送システムが光学機能上誤作動を起こすからである。
【０００５】
顕微鏡検査法では、良好な深度分解だけでなく同時に良好なコントラストを得るために、ドット走査システム、それも共焦点型システムが利用されている。その場合、例えばＤＥ １９５ １１ ９３７ Ｃ２に記述されているようなニポー円板付き走査システム、または直線走査式画像構成のための特殊有孔アレイが決定的な役割を果たしている。これに伴い、迅速走査原理のほかに高分解性オートフォーカスシステムも必要である。有孔アレイ使用下の走査画像構成については、例えば雑誌“Ｍａｔｅｒｉａｌｐｒｕｅｆｕｎｇ”第３９巻／１９９７年刊、第６号の２６４ページ以降に記述されている。
【０００６】
従来から公知の方法および配置構成の場合、正確なオートフォーカシングの達成のためには複数の測定光束が使用されている。それは、局部的に求めた測定結果から、観察対象物の高度特性またはその他表面特性の情報を取得できるようにするためである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
この現状技術を踏まえて、本発明では、上記のような共焦点オートフォーカシングのための配置構成をさらに推し進めて、構造表面、辺縁部および薄層系への迅速確実なフォーカシングコントロールが保証されるように改善することを課題としている。
【０００８】
本発明に基づく上記種類の機器では、画像情報と焦点位置情報とが、対物レンズ光路内の互いに離れた別々の光学分岐ルートで伝送される。
それぞれ少なくとも１つずつの画像伝送分岐ルートとオートフォーカシング分岐ルートを用いる別々な誘導方式により、伝送可能な画像光束全体が、主画像フィールドの伝送にもオートフォーカシングフィールドの伝送にも利用されることになり、その上オートフォーカシングには広い捕捉領域が提供される。
【０００９】
本発明に基づく有利な実施態様では、画像伝送分岐ルートは対物レンズ光路の中央を、オートフォーカシング分岐ルートは周辺領域を通過する。その場合、画像伝送分岐ルートとオートフォーカス分岐ルートは少なくとも部分的には平行に進行する。両分岐ルートには、共通の照明光源からの光が供給される。
【００１０】
オートフォーカシング分岐ルートの分離解放は、照明光路内の中間画像平面前に配置されたビームスプリッタによって行うことができる。これは、この目的のために、観察対象物の表面に向けられた照明光を透過させる層と、観察対象物の表面からオートフォーカシング分岐ルートを辿ってきた光を反射させる層とを有している。
【００１１】
さらに、本発明に基づく場合、第１のものが焦点外の信号を、第２のものが焦点内の信号を、および第３のものが光学軸方向での共役信号をそれぞれのオートフォーカシング画像平面に供給する、オートフォーカシング分岐ルート内を通る３つの光学チャネルの形成および評価のための手段が装備されている。
焦点外れの状態が確実に把握できるように、光学チャネルは好ましくも並列走行するように配置されている。各チャネルはそれぞれの光線横断面に、共焦点領域と非共焦点領域とを有している。
【００１２】
好ましい実施態様では、個別チャネルの共焦点横断面領域は、それぞれ横列および／または縦列に設置されたピンホールによって形成されている。
ピンホールは、チャネル形成のため、照明光路内に組み込まれたスリット状の、つまり細長い長方形の輪郭を持つ構成体に設けるのが好ましい。そのようにして得られるスリット状チャネルは、それぞれ、評価・調整ユニットの受光器ラインに呼応している。その場合、好ましくも各チャネルが観察対象物表面の一部を対応の受光器ラインに結像させる。この結像においてすべてのチャネルで同一の結像スケールを達成すべき場合は、それぞれの結像ラインは、対応チャネルの位置に対応して光学軸を基準に位置調整した上で、配置しなければならない。
【００１３】
しかしまた、３つのチャネルすべてに対して、共通の平面にある受光器ラインを想定することもできる。それによれば、１つには全チャネルからの情報を同時捕捉することができ、また１つの受光器構成グループ（好ましくは複数の受光器ラインを持つタイプ）を全チャネル用に利用することもできる。その場合、確かに結像スケールが異なることになるが、フォーカシング状態の捕捉がコントラスト測定を通じて行われるので、それが不利に作用することはない。コントラスト測定による焦点位置の捕捉では、受光器平面における結像スケールの違いを無視できる。
【００１４】
対象物個別領域の評価のためおよび焦点位置の修正のために、受光器ラインの出力部は、評価・調整ユニットの信号入力部と結合させている。
対象物の観察にも、オートフォーカスシステムにも、同一の照明光源を使用するので、オートフォーカシングが光学的に殆ど完全な共役関係で行える。しかも、チャネル、対象物区分および受光器がスリット形式で構成されているので、主画像フィールドのほかにオートフォーカス画像フィールドを一覧できるという利点がある。
【００１５】
観察対象物の表面が不均一であれば、オートフォーカスフィールドおよび主画像フィールドの画像鮮鋭度にバラツキが生じるが、それに伴って現われるオートフォーカス測定面における光学主軸Ｚ方向に垂直な軸Ｘ、Ｙ方向へのずれは、評価・調整ユニットを通じての動力学制御パラメータによって補償することができる。
【００１６】
本発明に基づく配置構成のさらに別な実施態様では、共役信号を伝送する光学チャネルの結像平面にスペクトル装置が配置されていること、およびそれに加えて対物レンズ光路の鏡胴レンズと対物レンズ間に色波長誤差の明確化のための色分解対物レンズが設置されていることが特徴である。
その場合、誤謬色スペクトルをスペクトル装置で評価することが、焦点面の測定にとって補助的尺度になる。評価は、実際に捕捉した色情報と理想の高さに対応する保存色情報とを比較することによって行う。それ自体公知のこの方法は、例えばＤＥ １９７ １３ ３６２ Ａ１およびＤＥ １９６ １２ ８４６ Ａ１に記述されている。
【００１７】
そのほか、特に顕微鏡の共焦点オートフォーカシングに適している有利な実施態様では、主画像分離器として偏光子が配備されることがある。その場合、さらに対物レンズと鏡胴レンズ間に１／４波長板が配置されていて、観察対象物で反射後、偏光子を通過していく偏光成分が、観察平面上の反射表面に向くようになっている。
この面で反射した光成分は、再度観察対象物の表面に達し、続いて１／４波長板および偏光子を再通過して、最終的には然るべき偏光回転後、偏光子の分離層で反射してオートフォーカシング分岐ルートに到る。偏光の使用により、好ましくも誤謬光の分離が非常に効果的にでき、受光器平面の光出力は理論上２倍に改善される。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下では本発明を実施例に基づきより詳しく説明する。
図１は、例えば共焦点顕微鏡法のための光路を例に本発明に基づく共焦点オートフォーカシングの原理を示している。
照明光源１から出ている照明光路２が、主画像スプリッタ４の部分反射層３、鏡胴レンズ５および集束性対物レンズ６を経由して観察対象物７に通じている。
観察対象物７で反射し、または散乱した光は、部分反射層３に戻り、そこを通過して観察画像平面８に到っている。そこで、観察対象物７の観察領域表面が評価される。同時に、部分反射層３では中間画像平面９への反射が部分的に行われる。
【００１９】
本発明によれば、対象物の観察に用いられる情報と焦点位置に関する情報とは、互いに位置的に離れた異なった分岐ルートで誘導される。
そのために、照明光源１と中間画像平面９との間にオートフォーカシング光分離プリズム１０が設置されている。そうすることで、オートフォーカシング分岐ルート用照明光は、中間画像平面９の前にあるオートフォーカシング光分離プリズム１０を通過した後に、光路２の周辺域を進行するようになる。
【００２０】
オートフォーカシング分岐ルートは、観察対象物７、つまり対象物平面と部分反射層３間では画像光束１１と並行に進み、観察対象物からは逆ルートを辿って元の照明光路に戻る。
オートフォーカシング分岐ルートには、互いに並行する３つの光学チャネル１３、１４および１５が形成される。その場合、チャネル１３は焦点外信号を焦点外平面１６に、チャネル１４は焦点内信号を焦点内平面１７に、チャネル１５は光学軸１２方向で共役関係にある信号を共役平面１８にそれぞれ供給する。平面１８は主光路の照明フィールド絞りに対する光学的共役位置にある。
【００２１】
図２は、図１の切断面Ａ−Ａから、伝送光束全体の中で光学チャネル１３、１４、１５の含まれる照明光路２部分を取り出したものである。
光学チャネル１３、１４、１５のそれぞれは、共焦点光線横断領域と非共焦点光線横断領域とを有していて、チャネル１３、１４、１５の共焦点光線横断領域は、平面１６、１７、１８に配置されたピンホールから成るラインおよび／またはスリットを持つ絞りにより形成されている。
【００２２】
図２にはそのほか、観察対象物７の共焦点画像を生成する、つまりその構造を持つ主画像フィールドも描かれている。
オートフォーカシング分岐ルート、つまりチャネル１３、１４および１５にのみ有効なオートフォーカシング光分離プリズム１０は、分離作用により、そのオートフォーカシング光分離プリズム１０から始まるセンサ分岐ルート１９を形成する（図１参照）。
【００２３】
互いに密に並んだ、観察対象物７のスリット状切断模様を呈する３つの光学チャネル１３、１４および１５は、センサ分岐ルート１９の伝送光学系２０を通って、スリット状に形成され相互にずらして配置され、その受光面が図１のオートフォーカシング画像平面２１、２２および２３に位置設定されている受光器に結像するように構成されている。
光学チャネル１３、１４および１５から供給され、受光器により光電子工学的に変換される信号の加工は、図示されない評価・調整ユニットにより行われる。
【００２４】
図３および図４は、フォーカシング後調整のための調整命令信号の評価および変換における修正作業データとして用いられる。
できる限り大きな捕捉領域の形成には、受光器で得られた非共焦点光線横断面領域における画素強度の総和だけがコントラスト関数として求められる。それにより、図３に描かれているように、各光学チャネル１３、１４、１５毎に別々な、それぞれフォーカスパラメータｚ依存性の強度関数が得られることになる。その場合、強度関数２４は焦点外チャネル１３に、強度関数２５は焦点内チャネル１４に、強度関数２６は共役チャネル１５に対応している。
【００２５】
強度関数２４、２５および２６は、互いにＺ方向にずれた、フォーカシング方向信号の生成に利用される釣鐘型曲線関数である。その場合、想定焦点位置ｚ１として、焦点外チャネル１３では値Ｉｅ（ｚ１）が、焦点内チャネル１４では値Ｉｉ（ｚ１）が、共役チャネル１５では値Ｉｋ（ｚ１）が測定される。
なお、必要な焦点修正は次のようにして求める：
１．Ｉｅ（ｚ１）の値がＩｉ（ｚ１）より小さい場合、焦点外方向へのフォーカシングを行う。
２．Ｉｅ（ｚ１）の値がＩｉ（ｚ１）より大きい場合、焦点内方向へのフォーカシングを行う。
３．Ｉｅ（ｚ１）とＩｉ（ｚ１）が同一であれば、フォーカシング修正は行わない。
この場合基本条件として、Ｉｋ（ｚ１）はＩｅ（ｚ１）およびＩｉ（ｚ１）より大きいものとする。
【００２６】
高分解能による微調整フォーカシングには、チャネル１３、１４および１５の共焦点領域が評価される。その場合コントラスト関数としては、例えば画素強度と共焦点領域における平均強度との偏差の二乗の総和を求める。
そのようにして、側方曲線傾斜の険しい３つの共焦点コントラスト関数、即ち焦点外コントラスト関数２７、焦点内コントラスト関数２８および共役コントラスト関数２９が得られる。それらのフォーカスパラメータｚへの依存性は非共焦点領域の強度関数２４、２５および２６と共に図４に描かれている。得られた３関数は半値幅が小さく、それぞれ図３の広幅強度関数２４、２５および２６内に納まるが、それらは共焦点パラメータ、ピンホール直径および結像倍率に大きく依存している。
【００２７】
微調整フォーカシングの必要性は次のようにして決める：
１．同一焦点位置ｚ１でのコントラスト関数の測定。
その場合コントラスト関数は、焦点外チャネル１３については値Ｋｅ（ｚ１）、焦点内チャネル１４については値Ｋｉ（ｚ１）、共役チャネル１５については値Ｋｋ（ｚ１）と定義付けする。
２．Ｋｅ（ｚ１）の値がＫｉ（ｚ１）より小さい場合、焦点外方向への微調整フォーカシングを行う。
３．Ｋｅ（ｚ１）の値がＫｉ（ｚ１）より大きい場合、焦点内方向への微調整フォーカシングを行う。
４．Ｋｅ（ｚ１）とＫｉ（ｚ１）が同一であれば、フォーカシング修正は行わない。
この場合基本条件として、Ｋｋ（ｚ１）は、Ｋｅ（ｚ１）およびＫｉ（ｚ１）より大きく、Ｋｅ（ｚ１）は、Ｋｉ（ｚ１）にほぼ等しいものとする。
【００２８】
図５に示された本発明に基づく配置構成は改良の加えられたもので、共役チャネル１５（図１参照）のオートフォーカシング画像平面にスペクトル装置３０が配置されており、一方焦点外チャネル１３のオートフォーカシング画像平面にはスリット状受光器３１が、焦点内チャネル１４のオートフォーカシング画像平面にはスリット状受光器３２が設置されている。色波長誤差の捕捉、明確化のために、対物レンズ光路の鏡胴レンズ５と対物レンズ６との間に色分解対物レンズ３５が配置されている。
【００２９】
色分解対物レンズ３５と共にスペクトル装置３０を使用することにより、共役的光学チャネル１５の誤謬色スペクトルに対する評価から、焦点面の微調整に関する補足情報を得ることができる。その場合評価ユニットにおいて、実際に求めた色情報と高さが正しく焦準された場合の保存データ色情報との比較から評価が行われる。
観察対象物７が高さ構造を持っているので、主画像フィールドでの共焦点画像生成の場合の「対象物個別部分に対する焦準」の際には極めて偏差のある状況が生じる。図７に描かれているように、主画像にフォーカス値ｚ依存性の多義的コントラスト関数３４が発生する。
【００３０】
図７は強い共焦点結像の場合に、即ち、深度特性および複数の反射観察平面を持つ観察対象物７の場合に現われる特徴を示している。そのように、高さデータおよび反射特性など、観察対象物７の様々な平面における特性に相応して、フォーカス値ｚに依存した様々な観察対象物画像が生成される。
従って、対象物平面の明確な区別が可能であるが、但しそれには高さのコード化が前提条件になる。
【００３１】
この場合、共役チャネル１５は完全な共焦点型に構成されていて、スペクトル装置３０の入射スリットを照明する。フォーカシングは既に最初の方で説明した方法に準じて行う。焦点外チャネル１３および焦点内チャネル１４の非共焦点光線横断領域における光学信号の評価についても同じことが当てはまる。
図６、図７および図８には上記に関連する様々なコントラスト関数が描かれている。
【００３２】
焦点面が明確に測定できるように、共役チャネル１５の誤謬色スペクトルも補足的に評価する。広帯域の照明光源１を使用した場合、当スペクトルの色極大値は相互間で固定した距離になる。反射平面の選択は、観察対象物７へのフォーカシング、続いてのスペクトル観察を通じて、当該極大値が照明スペクトルの最短波長色に合致するように行う。それ以上の微調整フォーカシングには、焦点外チャネル１３および焦点内チャネル１４の共焦点領域も評価する。予備選択した反射平面の最終的な微調整フォーカシングは既述の通り行う。
【００３３】
図９に描かれているのは、本発明に基づく配置構成の補足的実施態様の１つである。
主画像分離器（図１および図５参照）の代わりに偏光子３６が使用されている。さらに、対物レンズ６と鏡胴レンズ５間には１／４波長板３７が設置されている。
観察対象物７で反射して偏光子３６を通過した偏光成分３９は、受光器画像平面８に配置された反射面４０に当って再び観察対象物７に達し、そこから１／４波長板を通って偏光子３６の部分反射層３に到り、そこで転向してオートフォーカシング分岐ルートに入る。
【００３４】
チャネル１３、１４、１５で定義付けされた対象物内領域は、既述の実施態様に準じ伝送光学系２０を通じて結像するが、この場合受光器３３はただ１つである。受光器３３は焦点外信号、焦点内信号および共役信号を同時に評価することができる。その際発生する結像基準の偏差は、既述の通り、焦点位置の測定にとっては問題にはならない些細なことである。
【図面の簡単な説明】
【図１】顕微鏡オートフォーカシングのための配置構成原理図
【図２】本発明に基づく光学チャネルの配置における照明画像フィールドの切断面
【図３】フォーカスパラメータｚを変数とする強度関数の例
【図４】フォーカスパラメータｚを変数とするコントラスト関数の例
【図５】スペクトル評価装置使用時の配置構成
【図６】高度に構造化されたウェハ表面における非共焦点ラインコントラストの表示
【図７】高度に構造化されたウェハ表面における共焦点ラインコントラストの表示
【図８】非共焦点ラインコントラストと共焦点ラインコントラストの比較
【図９】偏光使用時の配置構成
【符号の説明】
１　　照明光源
２　　照明光路
３　　部分反射層
４　　主画像スプリッタ
５　　鏡胴レンズ
６　　集束性対物レンズ
７　　観察対象物
８　　観察画像平面
９　　中間画像平面
１０　　オートフォーカシング光分離プリズム
１１　　画像光束
１２　　光学軸
１３，１４，１５　　チャネル
１６　　焦点外平面
１７　　焦点内平面
１８　　共役平面
１９　　センサ分岐ルート
２０　　伝送光学系
２１，２２，２３　　オートフォーカシング画像平面
２４，２５，２６　　強度関数
２７　　焦点外コントラスト関数
２８　　焦点内コントラスト関数
２９　　共役コントラスト関数
３０　　スペクトル装置
３２　　スリット状受光器
３３　　受光器
３４　　コントラスト関数
３５　　色分解対物レンズ
３６　　偏光子
３７　　１／４波長板
３８　　受光器画像平面
３９　　偏光成分
４０　　反射面
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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2004509360.tif 000044
【国際調査報告】
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