(57)【要約】処理チャンバ（１００）で半導体ウェハ（１５０）を加熱する方法（２００）は、ウェハ（１５０）を、その裏面（１５２）をチャック（１１０）から延びる複数の支持要素（１１２）の上に接触させた状態で配置する工程（２１０）、処理チャンバ（１００）の内にあるシャワーヘッド（１２０）から加熱ガス（１２２，Ｈｅ）をウェハ（１５０）の前面（１５１）に向けて放出する工程（２２０）、およびウェハ裏面（１５２）がチャック（１１０）と接触するようにチャック（１１０）内の凹部（１１１）へ支持要素（１１２）を移動させる工程（２３０）の順に行われる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理チャンバで前面と裏面を有する半導体ウェハを加熱する方法であって、
ウェハを、その裏面をチャックから延びる複数の支持要素の上に接触させた状態で配置する工程（２１０）と、
前記処理チャンバ内にあるシャワーヘッドから加熱ガスを前記前面に向けて放出する工程（２２０）と、
前記ウェハ裏面が前記チャックと接触するように、チャック内の凹部へ前記支持要素を移動させる工程（２３０）と、
前記ウェハを処理ガスで処理する工程と、から成る方法。
【請求項２】
前記放出する工程が、所定の期間にわたって継続される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記放出する工程が、前記ウェハが所定閾値温度に達するまで継続される、請求項１に記載の方法。
【請求項４】
前面と裏面を有する半導体ウェハ（１５０）を処理するためのチャンバであって、該チャンバ（１００）が、
表面（１１５）と複数の支持要素（１１２）とを有するウェハチャック（１１０）であって、該支持要素（１１２）は、第１態様では前記ウェハを前記表面に対して所定距離を開けて前記裏面で保持するために前記表面から一時的に延び、第２態様では前記裏面が前記表面と直接接した状態で前記ウェハを配置するためにチャックに格納される、ウェハチャック（１１０）と、
ガスを前記ウェハの前記前面に放出するための、複数のノズルを有するシャワーヘッド（１２０）と、
前記チャンバが前記ウェハを加熱すべく前記第１態様にあるときは加熱ガスを前記シャワーヘッドに供給するための、および、前記チャンバ前記第２態様にあるときは処理ガスを前記シャワーヘッドに供給するための、手段と、
を備えたチャンバ。
【請求項５】
前記支持要素がニードルである、請求項４に記載のチャンバ。
【請求項６】
前記第１態様にあるときに、前記ウェハ裏面と前記表面の間の距離が実質的に等しい、請求項４に記載のチャンバ。
【請求項７】
前記加熱ガスがヘリウムである、請求項４に記載のチャンバ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（発明の属する技術分野）
本発明は、一般に、半導体回路を製造する装置および方法に関し、より詳細には、半導体ウェハを処理する装置および方法に関する。
【０００２】
（発明の背景）
半導体回路の製造のためには、様々な輸送および処理工程が、半導体ウェハ（直径例えば３００ｍｍ）に対して連続的に適用される。通常、ウェハは室温（例えば２０〜３０℃）でクリーンルームに輸送されるが、例えば薄膜を周知技術（例えば化学蒸着ＣＶＤ）によって堆積させるには、実質的により高い処理温度（例えばプロセスによって３００〜５００℃）で処理されることが多い。処理のため、ウェハは通常は処理温度であるチャック上に配置される。
【０００３】
しかしながら、室温から処理温度までウェハの環境温度を急速に変化させると、熱衝撃と広く呼ばれている即時のウェハ膨張が起こる。シリコン中に内在する不純物や汚染物質により、熱はウェハ中を不均一に伝わり、ウェハのたわみ、チャック上での置き違い、または故障のようなさらに望ましくない結果を引き起こす。つまり、熱いチャック表面に冷たいウェハを配置することは回避すべきである。
【０００４】
クリーンルームと処理チャンバをつなぐロードロック方式は、ウェハの環境温度を段階的に上昇させることができる。しかしながら、予備加熱のためのロードロック方式の使用は望ましくない場合があるため、以下のスキームが代わりに使用される。
【０００５】
第１の工程で、ウェハを処理チャンバへ輸送し、チャックの近くに配置する。第２の工程（浸漬、加熱）で、ウェハが処理温度に予め加熱（例えば９０秒間）されるように、ウェハ付近の環境温度をヒーターブロックにより上昇させる。第３の工程で、ウェハをチャック上に配置し、処理する。
【０００６】
このスキームは、ウェハの機械的ストレスと熱衝撃を低減するが、加熱工程でヒーターブロックが実質的に放射のみによって熱を伝えるように、チャンバは真空にされる。さらに、チャンバは一時的に処理を免れるので、それにより、スループットが減少する。言いかえれば、低い価値を付加する望ましくない長時間の加熱工程のために、高価なチャンバが使用される。
本発明の目的は、そのようなおよび他の欠点や先行技術の制限を軽減または回避する装置および方法を提供することにある。
【０００７】
（好ましい実施形態の詳細な説明）
本発明は、時間を浪費する加熱工程を、ウェハ前面に短時間高温ヘリウムのシャワーを浴びせる工程と置き換える。熱は強制対流により実質的に伝達される。そのため、ウェハの機械的ストレス、熱衝撃、およびたわみも回避される。
【０００８】
図１〜２は、第１態様（図１）と第２態様（図２）における本発明の処理室すなわち処理チャンバ１００の略側面図により、本発明の方法を示している。
図３に関して、配置工程２１０、放出工程２２０、移動工程２３０を有する方法２００のための詳細が図３に関しても説明される。工程２１０，２２０はチャンバ１００が第１態様である場合に行なわれ、工程２３０はチャンバ１００が第２の態様に入る場合に行なわれる。
【０００９】
半導体ウェハ１５０は前面１５１と裏面１５２を有する。チャンバ１００は、上部表面１１５と複数の支持要素１１２とを備えたウェハチャック１１０を有する。好ましくは、要素１１２はニードルである。要素１１２は表面１１５まで垂直に（Ｚ方向）延びるか、またはチャック１１０内の凹部１１１の中に格納される。ウェハ１５０がＸまたはＹ方向へ移動するのを防止するリングなどの要素がよく知られているが、よく知られているので図示しない。
【００１０】
さらに、チャンバ１００は、好ましくはヘリウムである加熱ガス１２２を一時的に放出するための複数のノズル１２１（「シャワーホール」）を有するシャワーヘッド１２０を有する。図示されているように、ノズル１２１は例えば質量流量制御装置（ＭＦＣ）１３０によって、ガス１２２を受け取ることができる。ＭＦＣ１３０は、供給管１３１（圧力約２５〜５０ｐｓｉ（約１．７〜３．４×１０５Ｐａ））からガスを受け取り、約８〜１０ｓｃｃｍ（標準立方メートル／秒）の合計ガス流をノズル１２１に供給する。任意選択で、ＭＦＣは、各ノズルに別々に作用することもできる。シャワーヘッド１２０は、例えばチャンバ１００内のプラズマまたは処理ガスにより、連続的に処理温度まで加熱され、その結果、好ましくはガス１２２は供給管１３１からノズル１２１へ行くまでの間に熱くなる。
【００１１】
第１態様（図１参照）では、要素１１２は表面１１５から延び、チャック１１０が表面１１５に対して所定距離Ｄ１を開けてウェハ１５０を保持するように、ウェハ１５０を裏面１５２で保持する。好ましくは、距離Ｄ１は（ウェハ裏面１５２と表面１１５の間の距離）は、すべてのＸおよびＹ座標に関して実質的に等しい。ノズル１２１は、ウェハ１５０を所定の処理温度まで加熱するために、ウェハ１５０の前面１５１に加熱ガス１２２を放出する。
【００１２】
第２態様（図２参照）では、ウェハ１５０が表面１１５の上に直接接触配置される（つまりＤ１＝０）ように、要素１１２はチャック１１０の凹部１１１の中に格納される。ノズル１２１は実質的にガスを放出しない。ウェハ１５０はその処理温度に達しており、処理を開始することができる。
【００１３】
都合のよい場合には、第１態様でのヘッド１２０の表面１２５とチャック１１０の表面１１５間の距離Ｄ２は、第２態様でよりも短い。これはチャック１１０またはヘッド１２０をＺ方向に変位させることにより遂行される。
両方の態様で、チャンバ１００の圧力は低真空（約２トル（約２．６×１０２Ｐａ））に維持されることが望ましい。
【００１４】
図３は、処理チャンバ１００にて半導体ウェハ１５０を加熱する方法２００についての簡略化した方法のフローチャート図を示す。工程は以下のように行なわれる。配置工程２１０では、ウェハ１５０が、その裏面１５２がチャック１１０（図１参照）から延びる複数の支持要素１１２の上に接触した状態で配置される。これは例えば当該技術分野において周知のロボットによって遂行することができる。
【００１５】
放出工程２２０では、シャワーヘッド１２０（チャンバ１００内に配置、ノズル１２１を介して）から前面１５１へと加熱ガス１２２が放出される。この時点でウェハ１５０の温度は、所定の処理温度まで上昇している。工程２２０は、例えば所定の期間にわたって継続される。あるいは工程２２０は、ウェハ１５０が処理温度に近い所定閾値温度に達するまで継続される。ウェハ温度の監視は当該技術分野では周知であり、ここでさらに詳しく説明しなくても遂行することができる。
【００１６】
移動工程２３０では、支持要素１１２が、ウェハ裏面１５２がチャック１１０と表面１５０で接触するようにチャック１００内の凹部１１１へ入る（距離Ｄ１＝０）。
【００１７】
先行技術に従う上述の方法と比較して、ウェハの処理温度への加熱は、対流により遂行され、所要時間はより少ない（例えば７〜１０秒）。
当業者は、例えば加熱ガスがＣＶＤに使用されるプロセスガスに干渉しないよう（工程２１０の後に）加熱ガスを送出する工程のような、さらなる工程を追加することができる。
【００１８】
本発明を特定の構造、デバイスおよび方法の点から説明しているが、当業者は本願の説明に基づいて、本発明はそのような例にのみ制限されるわけではなく、本発明の全範囲は特許請求の範囲により適切に決定されることを、理解するだろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】第１態様における本発明の処理チャンバの略側面図により、本発明の方法を示す。
【図２】第２態様における本発明の処理チャンバの略側面図により、本発明の方法を示す。
【図３】方法についての簡略化した方法のフローチャート図を示す。
【図３】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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