(57)【要約】本発明は、ホイルの第１の面に沿って延びる凹部パターンに相互に関連して配置される多数の凹部であって、各凹部が第１の面から、第１の面とは反対側のホイルの第２の面の方向に延びる、多数の凹部をホイルに提供するための方法であって、（ａ）媒質パターンを未処理ホイルに付与し、該媒質パターンが溶剤中に溶解し得る媒質を含み、該媒質パターンは提供されるべき凹部パターンに相当し、（ｂ）マスク層をホイル上に付与し、（ｃ）付与されたマスク層を有するホイルを、溶剤に接触させることによって、媒質パターンに実質的に付与されているマスク層の部分をホイルから、媒質パターンの溶解によって除去して、開口のパターンを有するマスク層を得、（ｄ）開口のパターンを有するホイルを、ホイルエッチング環境に少なくとも部分的に曝すことによって、凹部パターンを生成する、工程（ａ）〜（ｄ）を少なくとも含む方法において、工程（ａ）において、媒質パターンの付与がプリント技術を用いて実行されることを特徴とする方法に関する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
ホイルの第１の面に沿って延びる凹部パターンに相互に関連して配置される多数の凹部であって、各凹部が第１の面から、第１の面とは反対側のホイルの第２の面の方向に延びる、多数の凹部をホイルに提供するための方法であって、
（ａ）媒質パターンを未処理ホイルに付与し、該媒質パターンが溶剤中に溶解し得る媒質を含み、該媒質パターンは提供されるべき凹部パターンに相当し、
（ｂ）マスク層をホイル上に付与し、
（ｃ）付与されたマスク層を有するホイルを、溶剤に接触させることによって、媒質パターンに実質的に付与されているマスク層の部分をホイルから、媒質パターンの溶解によって除去して、開口のパターンを有するマスク層を得、
（ｄ）開口のパターンを有するホイルを、ホイルエッチング環境に少なくとも部分的に曝すことによって、凹部パターンを生成する、工程（ａ）〜（ｄ）を少なくとも含む方法において、工程（ａ）において、媒質パターンの付与がプリント技術を用いて実行されることを特徴とする方法。
【請求項２】
溶剤は、媒質溶解用溶剤であることを特徴とする請求項１に記載の方法。
【請求項３】
プリント技術は、プリンタの使用を含むことを特徴とする請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
媒質パターンは、インクジェットプリンタを用いてホイルに少なくとも部分的に付与されることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載の方法。
【請求項５】
媒質パターンは、レーザプリンタを用いてホイルに少なくとも部分的に付与されることを特徴とする請求項３または４に記載の方法。
【請求項６】
媒質は、インクを含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項７】
媒質は、トナーを含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項８】
溶剤は、インク溶解用媒質を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項９】
溶剤は、トナー溶解用媒質を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１０】
溶剤は、アセトンを含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１１】
溶剤は、マスク層内に浸透できることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１２】
工程（ｂ）は、スピンコーティングまたはスクリーンプリントを用いて行われることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１３】
マスク層は、ポリマを含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１４】
工程（ｂ）は、蒸着を用いて行われることを特徴とする請求項１〜１１のいずれかに記載の方法。
【請求項１５】
マスク層は、金属を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
マスク層は、無機材料を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１７】
ホイルは、プラスチックを含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項１８】
ホイルは、ポリイミド（商標名　Ｋａｐｔｏｎ）を含むことを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
ホイルは、ポリエチレンテレフタレートを含むことを特徴とする請求項１７に記載の方法。
【請求項２０】
ホイルエッチング環境は、ウエットケミカルエッチング処理を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項２１】
ホイルエッチング環境は、プラズマを含むことを特徴とする請求項１〜１９のいずれかに記載の方法。
【請求項２２】
プラズマは、少なくとも酸素から形成されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
マスク層は、ホイルへの凹部パターンの提供後、ホイルから除去されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項２４】
マスク層は、ホイルへの凹部パターンの提供後、ウエットケミカルエッチング処理を用いてホイルから除去される請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
マスク層は、ホイルへの凹部パターンの提供後、プラズマエッチング処理を用いてホイルから除去されることを特徴とする請求項２３に記載の方法。
【請求項２６】
プラズマは、少なくとも酸素から形成されることを特徴とする請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
凹部パターンは、第１の面から第２の面の方向にホイルの厚みの一部だけを通って延びる少なくとも１つの凹部を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項２８】
凹部パターンは、第１の面から第２の面の方向にホイルの厚み全体を越えて延びる少なくとも１つの凹部を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項２９】
凹部パターンは、複数の凹部を含むことを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項３０】
少なくとも１つの凹部が、第１の面と第２の面との間で第１の面から第２の面に向かう方向にテーパ状に形成されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【請求項３１】
少なくとも１つの凹部の設計が、ホイルエッチング環境の所定の選択によって、共に決定されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、ホイルの第１の面に沿って延びる凹部パターンに相互に関連して配置される多数の凹部であって、各凹部が第１の面から、第１の面とは反対側のホイルの第２の面の方向に延びる、多数の凹部をホイルに提供するための方法であって、（ａ）媒質パターンを未処理ホイルに付与し、該媒質パターンが溶剤中に溶解し得る媒質を含み、該媒質パターンは提供されるべき凹部パターンに相当し、（ｂ）マスク層をホイル上に付与し、（ｃ）付与されたマスク層を有するホイルを、溶剤に接触させることによって、媒質パターンに実質的に付与されているマスク層の部分をホイルから、媒質パターンの溶解によって除去して、開口のパターンを有するマスク層を得、（ｄ）開口のパターンを有するホイルを、ホイルエッチング環境に少なくとも部分的に曝すことによって、凹部パターンを生成する、工程（ａ）〜（ｄ）を少なくとも含む方法に関する。
【０００２】
このような方法はそれ自体は周知である。このような方法によれば、工程（ａ）において、フォトレジスト層がホイル上に付与される。このフォトレジスト層は露光され、一方該層の一部は開口を備えたマスクスクリーンの存在のために露光されない。このマスクスクリーンを用いて露光パターンが形成される。ここで露光パターンは、開口のパターンと一致している。フォトレジスト層の露光中に、マスクスクリーンが光源とフォトレジスト層との間に置かれる。フォトレジスト層の露光済部分は硬化する。続いて、フォトレジスト層の未露光部分が洗い落とされる。フィルム上に残っている硬化済フォトレジスト材料のパターンは、凹部パターンに相当する媒質パターンである。工程（ｂ）、すなわちマスク層の付与が実行された後、工程（ｃ）において媒質パターン上にあるマスク層の一部がそれ自体周知のリフトオフ技術を用いて除去される。ここで、マスク層を備えたホイルは、硬化済フォトレジスト層が溶解する媒質に接触させる。これによって、マスク層には開口のパターンが提供されることになる。続いて、工程（ｄ）において、それ自体周知の技術を用いて、凹部パターンがホイルに提供される。
【０００３】
このような方法の欠点は、新たな凹部パターンを提供するためには、新たなマスクスクリーンが新たな露光パターンに設けられなければならないということである。新たな露光パターンを有する新たなスクリーンを製造するにはコストがかかる。このことは、提供されるべき凹部パターンにおける自由度を制限する。
【０００４】
本発明の目的は、ホイルに凹部パターンを提供するための方法であって、現在の方法と比べて簡単で、迅速で、廉価な方法を提供することである。
【０００５】
上述した目的は本発明に従う方法を用いて達成され、本発明は工程（ａ）において媒質パターンの付与がプリント技術を用いて実行されることを特徴とする。
【０００６】
本発明に従う方法の利点は、媒質パターンが簡単で、迅速で、低コストな方法でホイルに付与されるということである。付与されるべき各新たな媒質パターンは周知のプリント技術を用いた直接的な方法で、ホイルへの付与が可能である。こうして、ホイルに凹部パターンを提供するための方法は、より簡単に、より迅速にかつより廉価なものとなる。
【０００７】
図面を参照して本発明をさらに説明する。
図１は、本発明の方法に従う凹部パターンを備えた完成ホイルを示す。凹部パターンは、ホイル１の第１の面３から、第１の面３とは反対側のホイル１の第２の面４の方向に延びる貫通凹部２を含む。本発明に従う方法は、ホイルにそのような凹部パターンを提供することに向けられている。ホイルは、たとえばポリイミド（商標名　Ｋａｐｔｏｎ）またはポリエチレンテレフタレートのようなプラスチックを含んでいてもよい。
【０００８】
本発明に従う方法の特別な実施形態について、以下の図面に基づいて以下に述べられる。
【０００９】
図２は、プリンタ５を用いて、ホイル１に媒質パターン７を提供する工程（ａ）を示す。この場合、媒質パターン７はインクパターンまたはトナーパターンを含む。媒質パターンは、凹部パターンに相当する。プリンタ５はコンピュータ８によって駆動される。この場合、プリンタはインクジェットプリンタまたはレーザプリンタである。工程（ｂ）において、それ自体周知の技術を用いて、マスク層９が媒質パターン７を備えたホイル１に付与される。この工程の生成物を図３に示す。続いて、図３に示された工程（ｂ）の生成物は、図４に示したように、工程（ｃ）において媒質溶解用溶剤１０に接触させられる。図４に示した方法の実施形態において、媒質パターン７およびマスク層９を有したホイル１は、媒質溶解用溶剤１０中に浸される。概略的には、Ａ、Ｂ、およびＣの位置でマスク層９に開口のパターンを提供する３つの異なる段階が示される。ホイル１に提供されるべき凹部２の位置は、破線を用いて示される。
【００１０】
位置Ａにおいて、媒質パターン７、この場合インクパターンが見られる。媒質溶解用溶剤１０、この場合インク溶解用溶剤、たとえばアセトンは、マスク層９内を浸透し、その方向を矢印で示している。位置Ｂにおいてインクが溶解し、インクパターン７の上方に位置したマスク層９の一部分１１はマスク層９から離れる。この技術はリフトオフ技術とも呼ばれる。位置Ｃにおいて、開口１２のパターンが形成される。図４は概略図である。マスク層の厚みは、使用されている材料に依存し、１０ｎｍ〜１００μｍである。ホイルに提供されるべき円筒状の凹部の直径は、多くの場合１〜１００μｍである。したがって、マスク層から除去される部分の直径も、１〜１００μｍである。工程（ｃ）の生成物は図５に示され、ホイル１に開口１２のパターンを有するマスク９が設けられる。工程（ｄ）、すなわち凹部パターンの提供は図示されていない。この工程は、たとえばそれ自体周知のウエットケミカルエッチング処理を含む。酸素を用いたプラズマエッチング処理のような、それ自体周知のプラズマエッチング技術もまた可能である。
【００１１】
随意に、それ自体周知の別のエッチング技術、たとえば酸素またはＣＦ４を用いるプラズマエッチング技術を用いて、凹部パターンを備えたホイルからマスク層が除去される。
【００１２】
本発明の方法のこのような実施形態もまた、ホイルの第１の面から、第２の面の方向にホイルの厚みの一部だけを越えて延びる、少なくとも１つの凹部を含む凹部パターンを提供するために使用することができる。
【００１３】
本発明の方法のこのような実施形態もまた、ホイルの第１の面から、第２の面の方向にホイルの厚み全体を越えて延びる、少なくとも１つの凹部を含む凹部パターンを提供するために使用することができる。
【００１４】
第１の面と第２の面との間で、凹部は第１の面から第２の面に向かってテーパ状に形成することができる。それ自体周知の技術を用いて、ホイルエッチング環境が凹部の設計に対して調整効果を与えることができる。凹部の設計は、ホイルエッチング環境の所定の選択によって共に決定できる。
【００１５】
本発明の方法は、複数の凹部を含む凹部パターンを提供するための簡単な方法に使用できる。
【００１６】
本発明の方法は、図示された例に限定されるものではない。
媒質はトナーでもよい。その場合、媒質溶解用溶剤はトナー溶解用溶剤である。
【００１７】
本発明の方法の代替実施形態において、マスク層がホイル上に蒸着される。マスク層は金属を含んでもよい。ただし、マスク層はプラスチックを含むこともできる。その場合、マスク層はスピンコート法またはスクリーンプリント法によって付与されることが好ましい。マスク層がホイルエッチング環境からホイルを保護し、さらに溶剤がマスク層に浸透できる特性を有している。マスク層の除去は、加熱および／または、たとえばホイルが浸される液体内での超音波振動の発生によって支援され得る。
このような変形例は、すべて本発明の範囲内に含まれると理解される。
【図面の簡単な説明】
【図１】凹部を備えた完成ホイルを示す図である。
【図２】本発明に従う考えられる方法の工程（ａ）を示す図である。
【図３】マスク層を備えた媒質パターンを有するホイルを示す図である。
【図４】本発明に従う考えられる方法の工程（ｃ）を示す図である。
【図５】開口のパターンが設けられたマスク層を備えたホイルの断面図である。
【国際公開パンフレット】
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2004504180.tif 000013
【国際調査報告】
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