(57)【要約】本発明はウェーハ検査用装置におけるウェーハ用保持装置に関する。これは２つの把持部（１１、１２）を備え、把持部（１１、１２）の各々は、保持装置（８）の閉状態において、ウェーハ外周の小部を囲み、把持部（１１、１２）は駆動装置（２７）に連結され、後者が駆動される場合、把持部（１１、１２）は保持装置（８）を開くために互いから離れ、保持装置（８）を閉じるために互いに接近し、２つの把持部（１１、１２）が枢動可能に装着される保持アーム（１３）を備える。この場合、保持アーム（１３）は、ウェーハ（Ｗ）によって覆われる面内に実質的に存する、軸（Ａ）を中心として回転できるように装着され、そのため軸（Ａ）を中心とする１８０度までの回転後、把持部（１１、１２）間に保持されたウェーハ（Ｗ）が向きを変えられる。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ウェーハ検査装置におけるウェーハ用保持装置であって、
−２つの把持部（１１、１２）であって、該把持部（１１、１２）の各々は、保持装置（８）の閉状態においてウェーハ外周の小部を囲み、且つ駆動装置（２７）に連結され、後者が駆動される場合、把持部（１１、１２）は保持装置（８）を開くために互いから離れ、保持装置（８）を閉じるために互いに接近する２つの把持部（１１、１２）と、
−２つの把持部（１１、１２）が枢動可能に装着される保持アーム（１３）と、を備えるような保持装置において、
−保持アーム（１３）は、ウェーハ（Ｗ）によって覆われる面内に実質的に存する軸（Ａ）を中心として回転可能なように装着され、そのために軸（Ａ）を中心とする１８０度の回転後、把持部（１１、１２）間に保持されたウェーハ（Ｗ）が向きを変えられることを特徴とする保持装置。
【請求項２】
保持アーム（１３）が別の軸（Ｂ）を中心として枢動可能に装着され、該軸（Ｂ）はウェーハ外周に対してほぼ接して通り、上記軸（Ａ）と少なくともほぼ直角に交差することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
【請求項３】
保持アーム（１３）が直線案内中を移動され得るように装着され、移動方向（Ｃ）が上記両軸（Ａ、Ｂ）とほぼ直角に交差することを特徴とする請求項１または２に記載の保持装置。
【請求項４】
軸（Ａ）が、把持部（１１、１２）のための２つのピボット軸受の間のほぼ中心を通ることを特徴とする請求項３に記載の保持装置。
【請求項５】
それぞれの場合に、別個の駆動装置（２６、２７、２８、２９）が、把持部（１１、１２）を枢動させ、軸（Ａ）を中心とする回転によってウェーハ（Ｗ）の向きを変え、軸（Ｂ）を中心として保持アーム（１３）を枢動させ、保持アーム（１３）を移動方向（Ｃ）に移動させるために設けられることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項６】
把持部（１１、１２）が、ウェーハ外周に面するそれらの部分で、中間部品（１４、１５）を各々有し、それらの少なくとも１つは、ウェーハ（Ｗ）がその外周縁における接触によってのみ保持されるように、幾何学的に構成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項７】
把持中、ウェーハ（Ｗ）の両外周縁に当接する少なくとも１つの中間部品（１４、１５）が設けられることを特徴とする請求項６に記載の保持装置。
【請求項８】
少なくとも１つの中間部品（１４、１５）が、ウェーハに対してＶ字形に開かれ、ウェーハ（Ｗ）の外周縁がＶ字形輪郭に載って保持されることを特徴とする請求項７に記載の保持装置。
【請求項９】
中間部品（１４）の少なくとも１つがローラーとして構成され、これは把持部（１１、１２）に偏心して装着され、選択された角位置に固定され得ることを特徴とする請求項６〜８のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１０】
中間部品（１５）の少なくとも１つが、把持部（１１、１２）に弾性的に支持されることを特徴とする請求項６〜９のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１１】
弾性的に支持される中間部品（１５）が、関連する把持部（１１、１２）に板ばね（１８）によって取り付けられることを特徴とする、請求項１０に記載の保持装置。
【請求項１２】
把持部（１１、１２）が、それらのピボット軸受において弾性的にプレストレスを加えられることを特徴とする請求項１〜１１のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１３】
止め子（２０）が把持部（１１、１２）と保持アーム（１３）との間に設けられ、これは把持部の運動中に旋回角度を制限することを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１４】
把持部（１１、１２）が引張ばね（２２）によって互いに連結され、これによってウェーハ（Ｗ）が、把持部（１１、１２）間に弾性張力下に保持されることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか一項に記載の保持装置。
【請求項１５】
把持部（１１、１２）間のウェーハ（Ｗ）の存在を監視するセンサー（１９）が、少なくとも１つの把持部（１１、１２）上にあることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか一項に記載の保持装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明はウェーハ検査用装置におけるウェーハ用保持装置に関する。保持装置は２つの把持部を備え、把持部の各々は、保持装置の閉状態において、ウェーハ外周の小部を囲み、把持部は駆動装置に連結され、後者が駆動される場合、把持部は保持装置を開くために互いから離れ、保持装置を閉じるために互いに接近し、２つの把持部が枢動可能に装着される保持アームを備える。
【０００２】
この型の保持装置が米国特許第５，７００，０４６Ａ号によって開示される。そこに記載される保持装置は、ウェーハが、例えば集配ステーションから検査ステーションへ移送されるとき、可動であり、ウェーハを保持するために使用されるように装着される。このために、保持装置は、水平軸に沿って移動可能であり、上下に動かされ、かつ移送方向に対して直角である軸を中心として枢動され得る。移送方向およびウェーハの主長さ方向が、この場合に１つの面内に常に在り、すなわち、２つの対向するウェーハ表面の移送方向に対する整列が、移送中維持される。
【０００３】
移送中、ウェーハは把持部によって弧状に囲まれる。このプロセス中、ウェーハは把持部に設けられた中間部品にのみ当たっている。米国特許第５，７００，０４６Ａ号に記載される保持装置において、これらは、ウェーハはその構造化されない下面または裏面で、かつその外周縁の点でのみ水平に保持されるように構成される。中間部品は、このためにＬ字形である。この場合、ウェーハは中間部品の水平脚上にその下面または裏面で載り、垂直脚によって中央にあるように保たれ、垂直脚はウェーハの側縁に当たる。
【０００４】
米国特許第５，８０７，０６２Ａ号が、ウェーハが種々の検査ステーションを通過する検査装置を開示する。ここでは、ウェーハの顕微鏡検査が行われる顕微鏡検査ステーションに加えて、ウェーハは検査員によって直接目視検査される、マクロ命令ステーションがまた設けられる。この場合、例えば引っかき傷または色偏差が、検出される本質的に面積の大きい欠陥である。また、ウェーハに付着する汚染物質、例えば塵粒が検出され得る。
【０００５】
しかしながら、米国特許第５，８０７，０６２Ａ号に記載される検査装置において、移送方向およびウェーハの主長さ方向が、１つの面内に常に同じように在り、すなわち、ウェーハの構造化された上面および構造化されない下面の移送方向に対する整列が移送中維持され、そしてウェーハの回転がこの保持装置では不可能であるけれども、検査員または顕微鏡の対物レンズに向くウェーハ表面のみを検査することが可能である。通常これはウェーハの構造化された上面である。しかしながら、しばしば、ウェーハの下面または裏面を同様に評価することに関心が集まっている。
【０００６】
これに基づいて、本発明は、ウェーハの構造化された表面および構造化されない表面の両方の観察を可能にする装置を提供するという目的に基づいている。
【０００７】
この目的を達成するために、初めに述べられた型の保持装置が提案され、そこでは保持アームは軸Ａを中心として回転できるように装着され、軸Ａはウェーハによって覆われる面内に実質的に在り、そのため軸を中心とする１８０度までの回転後、把持部間に保持されたウェーハが向きを変えられる。
【０００８】
軸Ａは、把持部のための２つのピボット軸受の間のほぼ中心を通ることが有利である。
【０００９】
本発明による保持装置を用いて、ウェーハがしっかりと保持され、保持装置のどんな所望の移送位置でも、すなわち検査ステーションで、または２つのステーション間の途中でさえも向きを変えられることが可能であり、そのため前面および裏面の両方を確定した観察ステーションによって検査することが可能である。ウェーハは把持部によって側縁でのみ保持されるので、その両表面の視野が制限されないか、またはほんのわずかだけ制限される。
【００１０】
保持装置はウェーハの目視検査装置で使用されることが好ましい。この装置は、移送ステーション、マクロ命令ステーション、マイクロ命令ステーション、およびまたウェーハを個々のステーション間で移送する装置を備える。この場合、保持装置はマクロ命令ステーションに配置される。
【００１１】
したがって、ウェーハが検査装置を通過する間、その構造化された前面およびその裏面の両方が肉眼で評価され得る。
【００１２】
この場合、ウェーハを使用できなくするだろう損傷をもたらすこともありうるので、ウェーハはその構造化された前面を下にして置かれてはならないことを考慮することもまた必要である。保持装置では、ウェーハの検査中、前面のそのような損傷が避けられる。
【００１３】
本発明の有利な一改良において、保持アームは、別の軸Ｂを中心として枢動可能に装着される。軸Ｂはウェーハ外周に対してほぼ接して通り、軸Ａと少なくともほぼ直角に交差する。これは、ウェーハの向きを変える前にウェーハをその位置から枢動することを可能にする。これは、ウェーハ検査装置の構成部品が向きを変える間にウェーハまたは把持部と衝突することがありうる場合、特に有利である。
【００１４】
軸Ａは、把持部用の２つのピボット軸受間のほぼ中心を通ることが有利である。
【００１５】
そのような衝突は、保持アームが直線案内中を移動され得るようにそれを装着することによっても避けられ、この移動方向Ｃが軸ＡおよびＢとほぼ直角に交差する。向きを変える間の衝突が避けられる程度まで、ウェーハをその最初の移送面から持ち上げることも、このような方法で可能である。
【００１６】
前述の可能な運動によって、運動移動および旋回角度が減らされ、この結果、ウェーハの向きを変える時間を短くできる。この運動、すなわち保持アームの並進運動および旋回運動が同時に行われることが好ましい。
【００１７】
それぞれの場合に、把持部を枢動させ、軸Ａを中心とする回転によってウェーハの向きを変え、軸Ｂを中心として保持アームを枢動させ、そして保持アームを移動方向Ｃに移動させる、別個に駆動可能な駆動装置が設けられる場合、十分に調整された運動シーケンスの可能性が生じる。
【００１８】
本発明の特に有利な一改良において、把持部は、ウェーハ外周に面するそれらの部分に、中間部品を各々有し、それらの少なくとも１つは、ウェーハがその外周縁における接触によってのみ保持されるように、幾何学的に成形される。このような方法で、最初にウェーハの確かな保持が確保され、第２に前面とのどんな接触も避けられる。さらに、特にウェーハの裏面の目に見える表面の欠陥が非常に少ないままである。非常に小さい接触領域の結果として、粒子を移送する危険も軽減される。
【００１９】
原則として、中間部品が１つの外周縁と係合し、他の中間部品がウェーハの他の外周縁とのみ係合するように、個々の中間部品を構成することが可能である。しかしながら、把持中ウェーハの両外周縁に当たる、少なくとも１つの中間部品が設けられることが好ましい。そのような中間部品は、例えば、ウェーハに対してＶ字形に開くことが可能であり、ウェーハの外周縁はＶ字形輪郭に載って保持される。
【００２０】
さらに、そのような中間部品をローラーとして構成することが可能であり、これは把持部に偏心して装着され、選択した角位置に固定され得る。これは、特に簡単な方法で、ウェーハと把持部との間の位置の調整を行うことを可能にする。
【００２１】
把持部の少なくとも１つの中間部品の弾性支持の結果として、最初に確かな把持が確保され、第２に接触点の収縮力がうまく処理されることが可能であり、そのため損傷が大いに確実に避けられ得る。
【００２２】
弾性支持は、例えば、板ばねによって設けられることが可能であり、中間部品は関連する把持部に板ばねによって取り付けられる。これはばねの保持力が向きを変える間に減じないという利点を有する。代わりに、把持部に対するウェーハの位置が向きを変える間に維持される。
【００２３】
さらに、このような方法で、特に把持部を閉じる場合、ウェーハの外周縁への損傷の危険を小さく保つために、把持部の運動自体に弾性的にプレストレスを加えることも可能である。
【００２４】
本発明の別の有利な改良において、少なくとも１つの止め子が把持部と保持アームとの間に設けられ、これは把持部の運動中旋回角度を制限する。保持装置の安全度がそれによって特に改善される。
【００２５】
保持装置においてウェーハの確かな保持を確保するために、特に動作電圧の故障時でさえも、引張ばねが把持部間に設けられ、これによって、駆動力が全く無くても、ウェーハは把持部間に弾性張力下に保持される。
【００２６】
本発明の別の有利な改良において、把持部間のウェーハの存在を監視するセンサーが、少なくとも１つの把持部に設けられる。これは保持装置の自動動作モードの場合に特に有利であり、ここではウェーハは自動的に把持され、続いて向きを変えられ、次いでその最初の位置に反転され、最後に再びはずされる。
【００２７】
本発明は、図面に示される例示的実施形態を用いて、以下により詳しく説明されるであろう。
【００２８】
第１例示的実施形態が図１に検査装置１を示し、これを用いて、ウェーハＷのような２次元基板が、直接目視および顕微鏡の両方で検査され得る。具体的にいえば、検査装置１を用いて、製造中に欠陥があると評価され、分離されるウェーハＷが、結果として、欠陥要因について結論を出すためにさらに綿密に検査される。しかしながら、この検査装置はまた、他の検査にも用いることができる。
【００２９】
示される例示的実施形態において、検査装置１は３つのステーションを備え、そこで様々な作業および準備作業が行われる。これらの３つのステーション、すなわち移送ステーション２、マクロ命令ステーション３、およびマイクロ命令ステーション４が、共通の筐体５内に配置され、筐体は外側と遮断される。個々のウェーハＷは、移送装置６によって個別のステーション２、３、および４の間を移送される。ここで、移送装置６は星形の容器を備え、これは中心軸Ｚを中心として回転し、個々のステーションで停止される。
【００３０】
移送ステーション２において、ウェーハＷは移送装置７によって検査装置１に載せられ、移送装置６に置かれる。そこから、移送装置６の１２０度の回転によって、ウェーハＷはマクロ命令ステーション３に渡る。後者において、評価が検査装置１の側に立つか、または座っている検査員Ｐによって行われる。
【００３１】
移送状態において、ウェーハＷの構造化されない裏面は移送装置６の上に載っているのに対して、ウェーハＷの構造化された前面は上を向いている。前面が観察された後、検査員Ｐがその裏面も検査できるように、ウェーハＷの向きが変えられる。このために、保持装置８がマクロ命令ステーション３に設けられ、先ずウェーハＷを把持し、それを移送装置６から上方へ持ち上げ、次いでそれの向きを変える。ウェーハの裏面の検査に続いて、ウェーハＷは先ず元に戻され、次いで移送装置６上に裏面を下にして再び置かれる。
【００３２】
移送装置６を再び１２０度だけ回転させることによって、ウェーハＷは顕微鏡検査ステーション４に渡る。ここで、ウェーハＷは顕微鏡９によって詳しく区分毎に検査され得る。顕微鏡９は可動台１０を備え、その上に、検査対象のウェーハＷは検査のために一時的に置かれる。検査後、ウェーハＷは移送ステーション２へ前送りされ、ここでウェーハＷは移送装置７によって除去される。適当な移送装置が当業者に知られており、したがって具体的な説明は必要ではない。例えば、米国特許第５，７００，０４６Ａ号に記載の装置をここで使用可能である。
【００３３】
次に、本発明による、マクロ命令ステーション３に配置される、ウェーハＷの向きを変える保持装置８が、さらに詳細に説明される。
【００３４】
図２に詳細に示される保持装置８が、２つの弧状の把持部１１および１２を備え、これらは、形状の点で、保持されるウェーハＷの直径に適合し、ウェーハの約４分の３をその側縁で包囲する。２つの把持部１１および１２は保持アームに装着され、互いに対して動かされ得る。それらを開くために、把持部１１および１２は互いから離れるように枢動され、そのため把持部の内側がウェーハ縁のレベルに案内され得る。ウェーハＷを保持するために保持装置は閉じられ、すなわち把持部１１および１２は、後者が中間部品１４および１５によってウェーハ縁に接触するまで、互いに向かって動かされる。
【００３５】
中間部品１４および１５は、それらがウェーハＷを保持する場合、図７に示されるように、それらがウェーハ外周の該外周縁のみに当たるように、この場合構成される。これによって、先ず確かな把持が確保され、第２にウェーハＷの構造化された前面および裏面とのいかなる接触も避けられる。さらに、収縮要素１４および１５とウェーハＷとの間の接触面積が小さいままであり、そのためウェーハＷを把持するか、または放す場合、可能なかぎり少ない粒子が解き放たれるか、または移送される。
【００３６】
選択した例示的実施形態において、合計４つの均等に分散された中間部品１４が、把持部１１および１２に恒久的に配置され、各々はローラーのように設計される。把持面に対して直角で観察される場合、このローラーは、ローラーの中心に向かって次第に細くなる楔形の輪郭をもつ。２つの相互に向き合うくさび形面１６および１７が、把持する場合、ウェーハＷの外周縁にその都度当たり、このようにしてウェーハＷの把持面内のセンタリングも達成する。
【００３７】
恒久的に配置された中間部品１４は、関連する把持部１１または１２にいずれの場合も偏心的に装着される。回転の結果として、このようにして保持されたウェーハＷの把持部１１または１２に対する位置が設定され得る。調整が行われた後、中間部品１４は選択した角位置で固定される。
【００３８】
固定された中間部品１４から離れて、弾性中間部品１５も設けられ、これは図８に詳細に示される。その形状の点で、この中間部品１５は中間部品１４のほぼ半分に相当し、そのため弾性的に装着された中間部品１５も２つの楔形面１６および１７でウェーハＷの外周縁に当たり得る。中間部品１５は、ウェーハＷの側縁の方に向く把持部１１の内側面に、その役割のために、固定される板ばね１８に更に固定される。板ばね１８は把持面で弾力的に撓ませられ得るが、他方、これに対する直角な方向で堅い。この半径方向のばねは、ウェーハＷの特に緩やかな把持を可能にする。
【００３９】
さらに、それぞれの場合にセンサー１９が把持部１１および１２に取り付けられ、それにより、把持部１１と１２との間のウェーハＷの存在が判定され得る。センサー１９によって発生する信号が、保持装置８の自動動作を可能にするために、制御装置（具体的に示さず）で評価される。例えば、ウェーハの向きが変えられる前に、前記ウェーハが適切に把持されたかどうかを判定することが可能である。さらに、ウェーハＷが移送装置６上に再び置かれる場合、把持部１１および１２がウェーハＷから取り外される前に、後者は実際には放されたかどうかを判定することが可能である。センサー１９はそれに応じて構成され、配置される。示される例示的実施形態において、それらは把持部１１および１２の内側面に設置される。
【００４０】
把持部１１および１２を開閉するために、それらは保持アーム１３に枢動可能に装着される。把持部１１および１２の旋回運動が、把持部１１に取り付けられた止め子２０によって制限される。前記止め子は図１０に詳細に示され、これは把持部１１および１２の閉位置を示す。この閉位置で、止め子２０は保持アーム１３の停止面２１に突き当たる。
【００４１】
止め子２０の側に引張ばねが配置され、これは、把持部１１および１２を閉位置に引き込むために、把持部１１および１２の両方に連結される。これは、ウェーハＷが把持部１１と１２との間で常に確実に保持されることを確かにする。開閉は駆動装置によって行われ、これは把持部１１および１２に結合される
【００４２】
ウェーハＷの向きを変えるために、別の駆動装置が設けられ、これはウェーハの軸Ａを中心とする１８０度までの回転を可能にする。この回転軸Ａを中心とする回転の後に、ウェーハＷはほぼ最初の位置にあるが、前面および裏面が入れ替わっている。図２が示すように、回転軸Ａは、保持アーム１３を通り、把持面に平行に、またはそれを通り、そして好ましくはまたウェーハＷの中央軸Ｍを通り抜ける。
【００４３】
保持アーム１３は、ブラケット２３に更に枢動可能に装着される。旋回軸Ｂは、この場合、回転軸Ａに対して横切って通る。示される例示的実施形態において、旋回軸Ｂは水平に、かつ把持部１１と１２との間に保持されたウェーハＷの外側を通る。
【００４４】
ブラケット２３はその役割のために基部２４に支持され、移動方向Ｃへ後者に対して直線的に案内される。ここで線形案内２５がブラケット２３、従って同時に、保持アーム１３、および把持部１１と１２の上下運動を可能にする。
【００４５】
個々の運動の各々、すなわち把持部１１および１２の開閉、保持アーム１３の把持部１１および１２と一緒の回転軸Ａを中心とする回転、保持アーム１３の旋回軸Ｂを中心とする旋回、およびブラケット２３の移動方向Ｃに沿う上下運動も、別々に制御可能な駆動装置を介して行われる。この場合、個々の運動は互いに無関係に完全に行われ得るように、アクチュエーティングまたはステッピングモーターが設けられ得る。個々の駆動装置は図２〜５に標示２６〜２９によって示される。
【００４６】
以下に、保持装置８の動作モードが、図３〜図５を用いてさらに詳細に説明される。この場合、図３は最初の位置を示し、ここでウェーハＷは、移送装置６によって移送面Ｔ内のマクロ命令ステーション３に運び込まれる。この場合、把持部１１および１２は移送面Ｔの下の位置に設置される。把持部１１および１２の把持面が移送面Ｔにほぼ平行に整列される。ウェーハＷを保持するために、先ず駆動装置２６は、ブラケット２３を移動方向Ｃに沿って動かすために起動される。前記駆動装置２６は、ここではリニアモーター２６として構成される。同時に、把持部１１および１２は関連する駆動装置２７の起動の結果として開かれ、そのため中間部品１４および１５は、それらが上方へ動くとき、ウェーハＷと衝突しない。
【００４７】
移動方向Ｃに沿った上方への運動は、把持面が移送面Ｔに一致する場合、停止される。駆動装置２７、ここでは電気モーターの新たな起動によって、把持部１１および１２は閉位置へ動かされ、そこで中間部品１４および１５はウェーハＷと接触するに至り、その過程でその側縁の周りで係合する。この状態が図４に示される。ウェーハＷの適当な把持がセンサー１９によって信号で伝えられる場合、駆動装置２６は、ウェーハＷを移送装置６から持ち上げるために、かつそれをさらに上方へ動かすために再び起動される。同時に、あるいは少し遅れて、保持アーム１３は、図５に示されるように、ブラケット２３に対して軸Ｂを中心にして枢動される。このために、電気モーターとしてやはり構成される、関連する駆動装置２８が起動される。ウェーハＷは上方へ動かされ、ウェーハＷと共に把持部１１および１２が回転軸Ａを中心にして支障なく回転され得るまで、その過程で移送装置６と衝突せずに軸Ｂを中心にして枢動される。
【００４８】
旋回軸Ｂを中心として枢動する可能性の結果として、移動方向Ｃに沿った運動が比較的小さく保たれ得る。２つの運動の同時性が、実際の回転が次いで行われ得る、図５に示される位置に速く達することを可能にする。
【００４９】
ウェーハＷの裏面の評価が、検査装置の側の観察スペースから、この旋回位置での保持装置８の適当な整列によって実行され得る。このために、駆動装置２９が軸Ａを中心として回転するために起動される。
【００５０】
小さい角度による軸ＡおよびＢを中心とする、組み合された旋回運動によって、ウェーハＷと一体のタンブリング運動が、図５に示される位置で行われることが可能であり、ウェーハＷの所与の適当な照明が、ウェーハＷ上の欠陥、およびウェーハに付着する塵粒に対する、目視による検出能力を向上させる。このタンブリング運動は、構造化された前面の観察、および裏面の観察の両方について行われ得る。
【００５１】
しかしながら、ウェーハＷを図４に相当する位置に戻すことも考えられるが、前記ウェーハは、ウェーハＷの構造化された前面を損傷しないために、移送装置６の少し上で停止される。このようにして、事実上の同一の観察状態が前面および裏面について実施される。しかしながら、軸Ｂおよび移動方向Ｃに対する旋回および上昇運動が次いで２度行われる必要があるので、これは図５に示される位置における検査より少し時間がかかる。
【００５２】
ウェーハＷが図５に示される位置に戻された後、次いでそれは裏面を下にして移送装置６に置かれ、このために保持装置８は図４に示される位置に動かされる。ウェーハは把持部１１および１２を開くことによって放される。これはセンサー１９によっても検出される。ブラケット２３をさらに下げることによって、次いで図３に示される最初の位置に達し、ここで把持部１１および１２は移送面Ｔから引き戻され、関連する駆動装置２７にかかる負荷を軽減するために閉じられる。
【００５３】
説明された保持装置は、ウェーハの前面および裏面の迅速かつ効果的な顕微鏡検査を１回の動作で可能にする。マクロ命令ステーション内の装置の結果として、検査装置の検査の範囲が増大される。
【図面の簡単な説明】
【図１】ウェーハの向きを変える保持装置を有する検査装置の概略図である。
【図２】保持装置の３次元図である。
【図３】ウェーハを把持する前の第１位置にある保持装置の側面図である。
【図４】ウェーハを把持する場合の第２位置にある保持装置の側面図である。
【図５】ウェーハの向きを変える直前の第３位置にある保持装置の側面図であり、この位置でウェーハは既に上方へ持ち上げられ、枢動されている。
【図６】ウェーハの領域における把持部の詳細図である。
【図７】中間部品の詳細図である。
【図８】弾性中間部品の詳細図である。
【図９】センサーの詳細図である。
【図１０】把持部用の止め子の詳細図である。
【符号の説明】
１  検査装置
２  移送ステーション
３  マクロ命令ステーション
４  顕微鏡検査ステーション
５  筐体
６  移送装置
７  移送装置
８  保持装置
９  顕微鏡
１０  台
１１  把持部
１２  把持部
１３  保持アーム
１４  中間部品
１５  弾性中間部品
１６  楔形面
１７  楔形面
１８  板ばね
１９  センサー
２０  止め子
２１  停止面
２２  引張ばね
２３  ブラケット
２４  基部
２５  直線案内
２６、２７、２８、２９  駆動装置
Ｗ  ウェーハ
Ｒ  回転軸
Ａ、Ｂ  軸
Ｃ  移動方向
Ｍ  中心軸
【国際公開パンフレット】
2004524709.tif 000003
2004524709.tif 000004
2004524709.tif 000005
2004524709.tif 000006
2004524709.tif 000007
2004524709.tif 000008
2004524709.tif 000009
2004524709.tif 000010
2004524709.tif 000011
2004524709.tif 000012
2004524709.tif 000013
2004524709.tif 000014
2004524709.tif 000015
2004524709.tif 000016
2004524709.tif 000017
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【国際調査報告】
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