(57)【要約】本発明は、内燃機関の燃料噴射装置のための燃料噴射弁であって、アクチュエータ（１０，１１，１２）及び可動の弁部分（５，７）を備えており、弁部分が弁の開閉のために不動の弁座（２２）と協働するようになっており、弁座が弁座体（１６）に配置されており、さらに弁座（２２）の下流側に配置された渦部材（２５）を備えており、渦部材が少なくとも１つの流入領域（２７）及び少なくとも１つの流出開口（２９）、並びに流出開口（２９）の上流側の少なくとも１つの渦通路（２８）を持っている形式のものに関する。渦部材（２５）内の流入領域（２７）が中央で流入されるようになっている。該流入領域からすべての渦通路（２８）が出発していて、半径方向で内側から外側へ流過する燃料に旋回力を生ぜしめるようになっいる。該燃料噴射弁は特に、混合気圧縮外部点火式の内燃機関の燃焼室に燃料を直接に噴射する高圧噴射弁として適している。
2004510915.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内燃機関の燃料噴射装置のための燃料噴射弁であって、弁縦軸線（２）を有し、かつアクチュエータ（１０，１１，１２）及び可動の弁部分（５，７）を備えており、弁部分が弁の開閉のために不動の弁座（２２）と協働するようになっており、弁座が弁座体（１６）に配置されており、さらに弁座（２２）の下流側に配置された渦部材（２５）を備えており、渦部材が少なくとも１つの流入領域（２７）及び少なくとも１つの流出開口（２９）、並びに流出開口（２９）の上流側の少なくとも１つの渦通路（２８）を持っている形式のものにおいて、唯一の流入領域（２７）が渦部材（２５）の中央に設けられており、該流入領域からすべての渦通路（２８）が出発していて、燃料によって半径方向で内側から外側へ流過されるようになっていることを特徴とする燃料噴射弁。
【請求項２】
弁座（２２）の下流側で弁座体（１６）内の中央に流出開口（２３）を設けてあり、流出開口（２３）が直接に渦部材（２５）の流入領域（２７）に向けられている請求項１記載の燃料噴射弁。
【請求項３】
渦部材（２５）がプレート状に形成されている請求項１又は２記載の燃料噴射弁。
【請求項４】
渦部材（２５）が直接に弁座体（１６）に固定されている請求項１から３のいずれか１項記載の燃料噴射弁。
【請求項５】
渦部材（２５）の少なくとも１つの流出開口（２９）が流入領域（２７）に対して半径方向外側にずらして配置されている請求項１から４のいずれか１項記載の燃料噴射弁。
【請求項６】
流入領域（２７）から複数の渦通路（２８）が出発しており、各渦通路に対応してそれぞれ流出開口（２９）が配置されている請求項１から５のいずれか１項記載燃料噴射弁。
【請求項７】
流入領域（２７）から複数の渦通路（２８）が出発していて、唯一の流出開口（２９）に開口している請求項１から５のいずれか１項記載燃料噴射弁。
【請求項８】
流出開口（２９）がリング間隙として形成されている請求項７記載の燃料噴射弁。
【請求項９】
少なくとも１つの渦通路（２８）が切り込まれた溝状若しくはＶ字形の形状を有している請求項１から８のいずれか１項記載燃料噴射弁。
【請求項１０】
各渦通路（８）が渦室（３０）に接線方向に開口しており、渦室が流出開口（２９）を環状に取り囲んでいる請求項６記載の燃料噴射弁。
【請求項１１】
渦通路（２８）と渦室（３０）とが渦部材（２５）の同じ平面内に位置していて一緒に６の文字若しくは９の文字の形を成している請求項１０記載の燃料噴射弁。
【請求項１２】
渦部材（２５）が電気めっきによる複数層の金属デポジットで形成されている請求項１から８までのいずれか１項記載の燃料噴射弁。
【請求項１３】
渦部材（２５）が２つ若しくは３つの層を有しており、各層が互いに密接に付着して形成されている請求項１２記載の燃料噴射弁。
【請求項１４】
上側の流入層（３５）内に中央の唯一の流入領域（２７）が設けられており、下流側に続く渦形成層（３６）内に中央の領域（４２）が続いており、該領域から渦通路（２８）が半径方向外側へ延びており、下側の底部層（３７）内に、流入領域（２７）に対して外側に位置する少なくとも１つの流出開口（２９）が設けられている請求項１２又は１３記載の燃料噴射弁。
【請求項１５】
渦形成層（３６）が内側の複数の材料領域（４３）を有しており、該材料領域が翼の形に折り曲げられ若しくは円弧形若しくは放物線形に構成されており、材料領域（４３）間の中間室によって渦通路（２８）が折り曲げた形で形成されている請求項１４記載の燃料噴射弁。
【請求項１６】
渦部材（２５）が受容部（４０）内にはめ込まれており、受容部が弁座体（１６）に固定されている請求項１から３までのいずれか１項記載の燃料噴射弁。
【請求項１７】
受容部（４０）がつば（４６）を有しており、つばが渦部材（２５）に向かって突出しており、渦部材（２５）とつば（４６）との間に中間室を形成してあり、中間室が流出開口（２９）を成している請求項１６記載の燃料噴射弁。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の形式の、内燃機関の燃料噴射装置のため、特に内燃機関の燃焼室内に燃料を直接に噴射するための燃料噴射弁に関する。
【０００２】
前記形式の燃料噴射弁は種々公知であり、渦形成部材が噴射すべき燃料に渦を生ぜしめるようになっており、これによって噴霧を改善して液滴を小さくするようになっている。渦形成部材は弁座の下流側若しくは上流側に配置されている。
【０００３】
下流側に配置された渦形成部材においては、燃料が渦通路の半径方向外側の端部から導入されて、半径方向内側の渦室内に導かれる。渦室から燃料が渦を成して流出する。ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９８１５７７５号明細書により公知の燃料噴射弁では、弁座の下流側に渦プレートを設けてあり、渦プレートが前述の流動経過を生ぜしめる。
【０００４】
弁座の上流側に渦部材を備えた燃料噴射弁の例が、ＷＯ９８／３５１５９号明細書及びドイツ連邦共和国特許出願公開第１９７３６６８２号明細書により公知である。この場合、燃料が半径方向で外側から中央の弁座に向けて案内されるようになっている。
【０００５】
さらにドイツ連邦共和国特許出願公開第１９５２７６２６号明細書により公知の燃料噴射弁においては、弁座の下流側に設けられたノズルプレートが、羽根車状に配置された複数の渦溝を有しており、渦溝が環状に分配されている。各渦溝の流入領域から燃料が直径の大きなリング間隙に向けて搬送される。
【０００６】
ドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６０７２８８号明細書により公知の穴付きプレートの多層電気めっき成形は燃料噴射弁の成形のために適している。該製造プロセスでは電気めっきによる複数回の金属デポジットで種々のパターンが順次に形成されて、一体のプレートが得られる。
【０００７】
発明の利点
請求項１に記載の本発明の基づく燃料噴射弁においては利点として、該燃料噴射弁によって噴射すべき燃料の極めて高い噴霧特性が得られる。その結果、排ガスエミッションが減少され、燃料消費量の減少が達成される。
【０００８】
有利な形式で、渦部材が極めて簡単かつ確実に燃料噴射弁に固定できる。弁座の下流側のデッドスペースが減少され、その結果、運転中の後噴射のおそれが著しく低くなり、それというのは流過領域内に燃料がわずかしか若しくは全く蓄えられないからである。
【０００９】
中央からの流入及び半径方向外側での流出が特に外部点火式の内燃機関の燃焼室内への直接噴射の燃料噴射弁にとって有利であり、それというのは流出箇所におけるコークス化のおそれが低くなるからである。
【００１０】
従属請求項に本発明の有利な実施態様が記載してある。流出開口を弁縦軸線に対して傾斜して配置すると、弁縦軸線に対する燃料の斜めの噴射が容易に行われる。特に有利な形式では渦部材が簡単かつ安価に、しかも極めて正確に、同時に大量に製造できる。渦部材の多層電気めっき法による成形は、渦部材の良好な組み込みを可能にする。さらに多層電気めっき法の使用は渦部材の形状の大きな自由度を可能にし、それというのは渦部材内の開口領域（流入領域、渦通路、流出開口）の輪郭が自由に選ばれ得るからである。
【００１１】
渦部材を３つの段階若しくは層で形成し、金属デポジット若しくは金属沈積のために２つ若しくは３つの電気めっきステップを行うと特に有利である。この場合、上流側の層が中央の流入領域の設けられたカバー層を成し、中間の渦形成層の渦通路を完全にカバーする、即ち覆う。電気めっきプロセスによって各層が分離箇所若しくは継ぎ目箇所なしに順次に形成されて、従って一貫して均一な材料を成す。この限りにおいて、層は思想的な補助手段として理解されたい。
【００１２】
実施例の説明
図１は、混合気圧縮外部点火式の内燃機関の燃料噴射装置のための燃料噴射弁の形の弁の第１の実施例の、図２のＩ−Ｉ線に沿った概略的な断面図である。該噴射弁は管状の弁座支持体１を有しており、弁座支持体内に弁縦軸線２に対して同軸的に縦開口３が形成されている。縦開口３内に弁ニードル５を配置してあり、弁ニードルが下流側の端部に弁閉鎖区分７を有している。
【００１３】
噴射弁の作動は公知の形式で例えば電磁式に行われる。弁ニードル５の軸線方向の運動、ひいては噴射弁の戻しばね（図示せず）のばね力に抗した開放若しくは閉鎖のために、マグネットコイル１０、可動子１１及びコア１２を備えた概略的に示す電磁回路が役立っている。可動子１１が弁ニードル５に例えばレーザー溶接で結合されていて、かつコア１２に向けられている。
【００１４】
電磁回路の代わりに別の励起可能なアクチュエータ、例えばピエゾスタックが用いられてよく、若しくは弁ニードルの運動の操作が液圧若しくはサーボ圧力によって行われてよい。
【００１５】
軸線方向運動中の弁ニードル５の案内のために、案内部材１４の案内孔１３が役立っている。案内部材１４が少なくとも１つの流過開口１５を有しており、該流過開口を経て、縦孔３からの燃料が弁座へ流れる。例えばプレート状の案内部材１４が環状の溶接継ぎ目によって弁座体１６に堅く結合されている。弁座体１６が弁座支持体１の、コア１２と逆の側の端部に溶接によって密に組み込まれている。
【００１６】
弁座体１６の位置が弁ニードル５の行程の大きさを規定しており、それというのは弁ニードル５の一方の終端位置がマグネットコイル１０の非励磁時に、弁閉鎖区分７と弁座体１６の下流側へ円錐形に先細の弁座面２２との接触によって規定されるからである。弁ニードル５の他方の終端位置がマグネットコイル１０の励磁に際して例えば可動子１１とコア１２との接触によって規定される。即ち、弁ニードル５の両方の終端位置間の距離が行程を成している。弁閉鎖区分７が弁座体１６の円錐台形の弁座面２２と協働してシール座を形成している。弁座体１６が弁座面２２の下流側に中央の流出開口２３を有している。
【００１７】
弁座体１６に、それも流出開口２３の下流側に例えばプレート状の渦部材２５を配置してあり、渦部材が例えば同じく溶接によって弁座体１６に固定されている。渦部材２５が中央の唯一の流入領域２７を有しており、該流入領域（流入開口）が弁縦軸線２の領域に位置していて、直接に弁座体１６の流出開口２３に続いている。流入領域２７から出発して半径方向外側へ少なくとも１つの渦通路２８を設けてあり、該渦通路が半径方向外側で渦部材２５の流出開口２９に通じている。
【００１８】
燃料噴射弁は例えばいわゆる多孔弁（図４）として形成されており、このような多孔弁は特に燃焼室（図示せず）内への燃料の直接噴射に適している。
【００１９】
燃焼室内への燃料の直接噴射、即ち筒内噴射に用いられて燃焼室内雰囲気に直接にさらされる燃料噴射弁は、コークス化の影響を受けやすい。燃焼室内のコークス化物質堆積物が流出開口２９をふさぎ、ひいては噴射量が燃料噴射弁の耐用年数にわたって著しく変化することを、本発明に基づく燃料噴射弁によって確実に避けたい。
【００２０】
渦部材２５はプレート状の構成部分であり、該構成部分が噴射孔プレートとして形成されていて、少なくとも開口構造（開口パターン）２７，２８，２９の領域で二層に構成されている。この場合、開口構造の、弁座体１６に向けられた上側の層が中央の流入領域２７及び渦通路２８を含んでいるのに対して、下側の層が流出開口２９を含んでいる。即ち上層の開口構造が流入領域及び渦通路によって形成されており、下層の開口構造が流出開口によって形成されている。渦部材２５は例えば薄板から成っており、開口輪郭が打ち抜き、エンボス加工、浸食、及び／又はレーザー加工によって施される。
【００２１】
図２は、図１の燃料噴射弁の渦部材２５の平面図である。図２に示してあるように、渦通路２８が中央の流入領域２７から半径方向外側へ延びていて、弁縦軸線２に対してずれて、若しくは弁縦軸線から離れて位置する渦室３０に接線方向に開口している。従って、渦部材２５の上側の層の開口輪郭がほぼ６の文字の形若しくは９の文字の形を成している。流入領域２７、渦通路２８及び渦室３０の縁部が図示の例では傾斜しており、従って、切り込まれた若しくは刻み込まれた溝形若しくはＶ字形の幾何学形状、即ち逆の棟形が得られる。渦通路２８が渦室３１に接線方向に開口しており、かつ流出開口２９が渦室３１に対して中央に配置され、即ち該渦室によって環状に取り囲まれているので、弁縦軸線２に対して平行に延びる流出開口２９は、渦通路２８に対してずれて位置している。これによって、渦室３０を流過する燃料に旋回力（渦作用）が生ぜしめられる。
【００２２】
噴流形状及び／噴流均質化、若しくはシリンダーヘッドの構造条件及び燃焼室構造条件に関連した要求に応じて、流出開口２９の数及び流出開口間の相互の配置状態及び流出開口と弁縦軸線２との間の角度を変えることも有意義である。図３及び図４に、本発明に基づく渦部材２５の異なる２つの実施例が示してある。
【００２３】
図３に示す実施例の燃料噴射弁では、流出開口２９が弁縦軸線２に対して角度γを成して延びており、この場合、流出開口２９は弁縦軸線２に向けて傾斜されている。傾斜方向は逆でもよく、流出開口２９の曲がった構造も可能である。
【００２４】
図４に示す実施例の渦部材２５は３つの渦通路２８を備えている。中央の流入領域２７から出発する３つの渦通路２８が、例えば互いに１２０゜の角度間隔で半径方向外側へ延びている。渦通路２８は該渦通路の終端でそれぞれ各渦室３０に開口しており、該渦室から燃料が渦巻いて流出開口２９内に流入して、そこから噴射される。渦通路２８は周囲にわたって不均等に分配されていてよい。燃焼室に燃料を所望の状態で満たすために、流出開口２９が例えば弁縦軸線２に対して異なる角度で方向付けられていてよく、例えばすべての流出開口２９が流過方向で弁縦軸線２から離れるように傾斜され、若しくは逆に近づくように傾斜されていてよい。
【００２５】
図５乃至図９に示す実施例の渦部材２５は、図１乃至図４に示す実施例と同じ原理で流入及び流出されるものの、多層電気めっき法で製造されている。
【００２６】
図５は、多層電気めっき法で製造された第１実施例の渦部材２５の縦断面図である。プレート状の渦部材２５が例えば電気めっき法で重ねてデポジットされた３つの面、被覆若しくは層から形成され、該層は形成された状態で軸線方向に連続的に続いている。渦部材２５の３つの層は以下においては機能に対応して、流入層３５、渦形成層３６、及び底部層３７と呼ぶことにする。上側の流入層３５が渦形成層３６及び底部層３７よりも大きな直径を有している。このような外形輪郭は、受容部４０（図９）の受容開口３９内への渦部材２５の簡単かつ確実な組み込みのために有利である。
【００２７】
燃料が、上側の流入層３５の円形の流入開口として形成された中央の流入領域２７を介して渦部材２５内に流入する。流入層は流入領域を除いて純然たる材料層である。燃料は流入領域から下流側へ中間の渦形成層３６の中央の領域４２内に達する。中央の領域４０から燃料は渦形成層３６の例えば４つの渦通路２８内へ入る。渦形成層３６は電気めっきの材料デポジットによって、所望のパターンで材料領域４３と開口領域（中央の領域４２、渦通路２８）とを交互に配置することに基づき形成される。図６が、図５の渦部材２５の中間の渦形成層３６の横断面図である。
【００２８】
内側の材料領域４３が翼形に折り曲げられた、若しくは円弧状に若しくはパラボラ状に形成されており、材料領域４３間の中間室によって渦通路２８が同様に折り曲げられた形で得られる。渦通路２８は中央の領域４２から外側へ流過されるようになっており、そこで渦通路から流出する燃料が、通路形状に基づき渦を成してリング状の流過領域４４内に入り、部分的に外側の材料領域４３′の内壁にぶつかって旋回させられる。即ち、リング状の流過領域４４は外側を、同じくリング状の材料領域４３′によって取り囲まれている。図５に示す実施例では、中間の渦形成層３６のリング状の流過領域４４に、下側の底部層３７のリング間隙が流出開口２９として接続されている。従って流出開口２９は渦部材２５の中央の流入領域２７に対して外側にずれて位置している。
【００２９】
図７及び図８が、多層電気めっき法で形成された別の２つの渦部材２５の中間の渦形成層３６の横断面を示している。両方の渦部材２５においては、中間の渦形成層３６内に内側の３つの材料領域４３を設けてあり、該材料領域４３は該材料領域間に形成された渦通路２８がフック形に延びていて、流過する燃料に旋回力を与えるようにデポジットされている。外側のリング状の材料領域４３′が内側を例えば六角形に形成されており、従ってリング状の流過領域４４が六角形の壁によって制限されている。
【００３０】
図７の実施例では、内側の材料領域４３の外側に向いた制限面４５が、外側の材料領域４３′の六角形の内壁の壁区分に対して平行に延びている。これに対して図８では、渦形成層３６の材料領域４３が、該材料領域４３の外側に向いた個別の各制限面４５の中心をほぼ外側の材料領域４３′の六角形の内壁の角隅に相対するように形成されている。渦形成層３６のこのような構造は任意に変えられてよい。
【００３１】
図９は、別の実施例の燃料噴射弁を部分的に示している。該燃料噴射弁の渦部材２５は前述のすべての実施例に対して著しい相違点を有している。渦部材２５の底部層３７が、該底部層の上側にある渦形成層３６の外径よりも大きな外径で構成されていて、流出開口２９を備えるものではない。これの代わりに、渦部材２５の底部層３７の高さで受容部４０に内側へ突出したつば４６を設けてある。つば４６が渦部材２５の渦形成層３６の下側に係合していて、正確に底部層３７の近傍まで達している。底部層３７とつば４６との間に狭い間隙を残してあり、該間隙がリング間隙として流出開口２９を形成している。溶接継ぎ目、例えばレーザー溶接継ぎ目を用いた受容部４０、並びに受容部４０内での渦部材２５の図９に示す固定手段は、図５乃至図８の渦部材２５の固定に用いられ得る。
【００３２】
リング間隙として形成された流出開口２９の幅は、流出開口２９が渦通路２８の横断面に対して絞り横断面を成すように規定されている。これによって流過領域４４及び流出開口２９に生じる流れせき止め、即ち流体せき止めに基づき、流出開口２９の周囲にわたる速度分布が均一化される。従って局所的な燃料量増大及び噴流が避けられる。しかしながらこのような噴流が所定の噴流状態のために所望される場合には、リング間隙から成る流出開口２９の幅が渦通路の幅に対して増大されてよく、これによって、流過領域４４内に開口する渦通路２８の領域で燃料量増大が生ぜしめられる。流出開口２９としてリング間隙の代わりに、全く異なる形状の流出開口２９も可能である。
【００３３】
図５乃至図９の渦部材２５は、例えば電気めっき的なデポジット若しくは沈積による金属質の複数の層で形成される（多層電気めっき）。ディープリソグラフィ及び電気めっき技術の製造に基づき、輪郭形成の利点が得られ：
プレート面にわたる一定の厚さの層、
貫通する中空室を形成するために層内のディープリソグラフィでのパターニングによる著しく垂直な切れ込み（垂直な壁若しくは垂線に対するほぼ３°のずれしか生ぜず）、
パターニングされた材料層を複数段に重ねることによる切れ込みの覆い並びに所望のアンダーカット、
ほぼ軸線平行な壁を有する任意な横断面形状の切れ込み、
個別の材料デポジットを直接に連続的に行うことに基づく渦部材の一体構造。
【００３４】
次ぎに、渦部材２５の製造方法について述べる。１つの穴付きプレートの製造のための電気めっき的な材料デポジットの方法はすでにドイツ連邦共和国特許出願公開第１９６０７２８８号明細書に記載してある。フォトリソグラフィ段階（ＵＶ−ディープリソグラフィ）とマイクロ電気めっきとを順次に用いる方法は、大きな面積でもパターンの高い精度を保証し、従って著しく大きな個品数での大量生産（高いバッチ処理量）に申し分なく使用される。ウエーハ上に多数の渦部材２５が同時に製造され得る。
【００３５】
方法の出発点として、例えば金属（チタン、鋼）、珪素、ガラス若しくはセラミックから成っていてよい平らで安定的な支持プレートを用いる。支持プレート上に選択的にまず少なくとも１つの補助層が施される。これは例えば電気めっきスタート層（例えば ＴｉＣｕＴｉ、ＣｒＣｕＣｒ、Ｎｉ）であり、該層が後のマイクロ電気めっきのための導電体として用いられる。補助層の形成が例えばスパッターリング若しくは無電流の材料デポジットによって行われる。支持プレートのこのような前処理の後に、補助層上にフォトレジスト（フォトラッカ）が全面的に例えばローラを用いて若しくは遠心力によって施される。
【００３６】
この場合にフォトレジストの厚さは、後に行われる電気めっきプロセスで形成される金属層の厚さ、即ち下側の底部層３７の厚さでありたい。レジスト層は、フォトパターニング可能なシートの単数若しくは複数の層若しくは流体層（ポリイミド、フォトラック）から成っていてよい。選択的に犠牲層を後で形成されるラッカパターンで電気めっきしたい場合には、フォトレジストの厚さが犠牲層の厚さだけ増大される。形成すべき金属パターンがフォトリソグラフィ式のマスクを用いてフォトレジストに転写される。フォトレジストを直接にマスクを介してＵＶ−照射装置（導体プレート照射器若しくは半導体照射器）を用いて露光して次いで現像することも可能である。
【００３７】
渦部材２５の後の層３７のための最終的にフォトレジスト内に生じるネガパターンが電気めっきによって金属（例えば、Ｎｉ、ＮｉＣｏ、ＮｉＦｅ、ＮｉＷ、Ｃｕ）で満たされる（金属デポジット）。金属が電気めっきによってネガパターンに密着し、従って所定の輪郭が正確に再現される。渦部材２５のパターンを形成するために、補助層の選択的な形成からの段階が所望の層の数に相応して繰り返され、即ち三層の渦部材２５の場合には２つの（横方向の成長）若しくは３つの電気めっき段階が設けられる。１つの渦部材２５の各層にとって、それぞれ新たな電気めっき段階で施される異なる金属が用いられてよい。
【００３８】
上側の流入層３５のデポジットの後に、残留するフォトレジストが金属パターンから化学薬品の含まれた紐によって取り除かれる。平滑な支持プレート（サブストレート）の場合には渦部材２５がサブストレートから外されて、個別化される。支持プレートと渦部材２５とが強く付着している場合には、犠牲層がエッチング除去されて、渦部材が支持プレートから離されて個別化される。
【図面の簡単な説明】
【図１】
燃料噴射弁の部分的な縦断面図。
【図２】
図１の渦部材の平面図。
【図３】
別の実施例の燃料噴射弁の部分的な縦断面図。
【図４】
別の実施例の渦部材の平面図。
【図５】
多層電気めっきによって成形された渦部材の縦断面図。
【図６】
図５の渦部材の中間の渦形成層の横断面図。
【図７】
多層電気めっきによって成形された別の渦部材の中間の渦形成層の横断面図。
【図８】
多層電気めっきによって成形された更に別の渦部材の中間の渦形成層の横断面図。
【図９】
別の実施例の渦部材を備えた燃料噴射弁の部分的な縦断面図。
【符号の説明】
１　弁座支持体、　２　弁縦軸線、　３　縦孔、　５　弁ニードル、　７　弁閉鎖区分、　１０　マグネットコイル、　１１　可動子、　１２　コア、　１６　弁座体、　２２　弁座面、　２３　流出開口、　２５　渦部材、　２７　流入領域、　２８　渦通路、　２９　流出開口、　３０　渦室、　３５　流入層、　３６　渦形成層、　３７　底部層、　３９　受容開口、　４０　受容部、　４２　中央の領域（開口領域）、　４３　材料領域、　４４　流過領域、　４５　制限面、　４６　つば
【国際公開パンフレット】
2004510915.tif 000003
2004510915.tif 000004
2004510915.tif 000005
2004510915.tif 000006
2004510915.tif 000007
2004510915.tif 000008
2004510915.tif 000009
2004510915.tif 000010
2004510915.tif 000011
2004510915.tif 000012
2004510915.tif 000013
2004510915.tif 000014
2004510915.tif 000015
2004510915.tif 000016
2004510915.tif 000017
2004510915.tif 000018
2004510915.tif 000019
2004510915.tif 000020
2004510915.tif 000021
2004510915.tif 000022
2004510915.tif 000023
2004510915.tif 000024
2004510915.tif 000025
2004510915.tif 000026
2004510915.tif 000027
2004510915.tif 000028
2004510915.tif 000029
【国際調査報告】
2004510915.tif 000030
2004510915.tif 000031
2004510915.tif 000032
2004510915.tif 000033
2004510915.tif 000034
2004510915.tif 000035