(57)【要約】【課題】切断された試料部分を受容するための受容装置の操作を確実に、単純にかつ容易に行なうことができ、更に、切断作業中に飛散するパーティクルによる受容装置の収容器の汚染を最小に押えることができる試料のレーザ切断装置及び顕微鏡を提供すること。【解決手段】テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される、試料のレーザ切断装置において、前記支持部材（１４）は、前記テーブル表面（４）の上方に配置され、かつｙ方向（２０ａ）及びｘ方向（２２ａ）に位置調節可能なように前記ｘｙテーブル（２）と結合し、及び前記支持部材（１４）と前記テーブル表面（４）との間には、前記受容装置（１０）が装填可能な自由作業空間（１６）が画成される。【選択図】図１
2004510955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される、試料のレーザ切断装置において、
前記支持部材（１４）は、前記テーブル表面（４）の上方に配置され、かつｙ方向（２０ａ）及びｘ方向（２２ａ）に位置調節可能なように前記ｘｙテーブル（２）と結合すること、及び
前記支持部材（１４）と前記テーブル表面（４）との間には、前記受容装置（１０）を装填可能とする自由作業空間（１６）が画成されること
を特徴とするレーザ切断装置。
【請求項２】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｘ方向（２２ａ）に走行可能な第一プレート及びｙ方向（２０ａ）に走行可能な第二プレートを有すること、及び
前記支持部材（１４）は、上側に位置する走行可能プレート上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｙ方向（２０ａ）に走行可能なプレート（２０）及びｘ方向（２２ａ）に走行可能な直進案内部材（２２）を有すること、及び
前記支持部材（１４）は、該直進案内部材（２２）上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｘ方向（２２ａ）に走行可能なプレート及びｙ方向（２０ａ）に走行可能な直進案内部材を有すること、及び
前記支持部材（１４）は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記ｘｙテーブル（２）は、ｘ方向（２２ａ）及びｙ方向（２０ａ）のそれぞれに対するモータ駆動装置（複数）を有すること
を特徴とする請求項２〜４の一に記載の装置。
【請求項６】
光軸（２４）を規定する顕微鏡が配されること、及び
前記ｘｙテーブル（２）は、開口（２６）を有し、かつ試料（８）の透過光照明を可能にするよう、該開口（２６）が前記光軸（２４）を包囲するように、前記顕微鏡に配されること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記受容装置（１０）は、前記試料（８）に対し該受容装置（１０）を位置決めする位置決め装置（４６）と結合すること
を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記位置決め装置（４６）には、手動操作用の少なくとも１つの操作要素が配されること
を特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項９】
前記位置決め装置（４６）には、少なくとも１つのモータ（４８）が配されること
を特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１０】
前記支持部材（１４）と前記受容装置（１０）との間には、前記光軸（２４）に対し位置固定的であり、該光軸（２４）を包囲する開口（４４）を有し、かつ前記テーブル表面（４）上に架設される汚染防止プレート（４２）が配設されること
を特徴とする請求項１〜９の一に記載の装置。
【請求項１１】
テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される試料のレーザ切断装置を有する顕微鏡において、
前記支持部材（１４）は、前記テーブル表面（４）の上方に配置され、かつｘ方向（２２ａ）及びｙ方向（２０ａ）に位置調節可能なように前記ｘｙテーブル（２）と結合すること、及び
前記支持部材（１４）と前記テーブル表面（４）との間には、前記受容装置（１０）を装填可能とする自由作業空間（１６）が画成されること
を特徴とする顕微鏡。
【請求項１２】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｘ方向（２２ａ）に走行可能な第一プレート及びｙ方向（２０ａ）に走行可能な第二プレートを有すること、及び
前記支持部材（１４）は、上側に位置する走行可能プレート上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１１に記載の顕微鏡。
【請求項１３】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｙ方向（２０ａ）に走行可能なプレート（２０）及びｘ方向（２２ａ）に走行可能な直進案内部材（２２）を有すること、及び
前記支持部材（１４）は、該直進案内部材（２２）上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１１に記載の顕微鏡。
【請求項１４】
前記ｘｙテーブル（２）は、定置の基底プレート（１８）、並びにｘ方向（２２ａ）に走行可能なプレート及びｙ方向（２０ａ）に走行可能な直進案内部材を有すること、及び
前記支持部材（１４）は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサ（１５）に固定されること
を特徴とする請求項１１に記載の顕微鏡。
【請求項１５】
前記ｘｙテーブル（２）には、ｘ方向（２２ａ）及びｙ方向（２０ａ）のそれぞれに対するモータ駆動装置（複数）が配されること
を特徴とする請求項１２〜１４の一に記載の顕微鏡。
【請求項１６】
顕微鏡は、光軸（２４）を規定すること、及び
試料（８）の透過光照明を可能にするよう、前記ｘｙテーブル（２）は、前記光軸（２４）を包囲する開口（２６）を有すること
を特徴とする請求項１１に記載の顕微鏡。
【請求項１７】
前記受容装置（１０）は、前記試料（８）に対し該受容装置（１０）を位置決めする位置決め装置（４６）と結合すること
を特徴とする請求項１１に記載の顕微鏡。
【請求項１８】
前記位置決め装置（４６）には、手動操作用の少なくとも１つの操作要素が配されること
を特徴とする請求項１６に記載の顕微鏡。
【請求項１９】
前記位置決め装置（４６）には、少なくとも１つのモータ（４８）が配されること
を特徴とする請求項１６に記載の顕微鏡。
【請求項２０】
前記支持部材（１４）と前記受容装置（１０）との間には、前記光軸（２４）に対し位置固定的であり、該光軸（２４）を包囲する開口（４４）を有し、かつ前記テーブル表面（４）上に架設される汚染防止プレート（４２）が配設されること
を特徴とする請求項１１〜１９の一に記載の顕微鏡。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料のレーザ切断装置に関する。とりわけ、本発明は、テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される試料のレーザ切断装置に関する。
【０００２】
更に、本発明は、試料のレーザ切断装置と共に使用される顕微鏡に関する。とりわけ、本発明は、テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される試料のレーザ切断装置を有する顕微鏡に関する。
【０００３】
【従来の技術】
ドイツ特許ＤＥ １９６ １６ ２１６ Ａ１に、生物学的物体のレーザ切開用の方法及び装置が記載されている。この文献には、物体支持体上の物体の薄片を観察するための顕微鏡装置が記載されているが、この装置では、物体支持体は、ｘｙテーブルに組み込まれた支持装置に載置され、物体の薄片は、物体支持体の下面に載置される。レーザ装置は、物体の薄片から試料材料を切り出すための収束レーザビームを生成する。レーザ装置及び物体支持体は、互いに相対的に摺動可能にされている。ｘｙテーブルの下方には、切り出された試料材料を受容するための受容装置が配される。受容装置は、一又は複数の収容器を有する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この装置には、テーブル開口の試料の下方の領域に下方から受容装置が装填されなければならないという欠点がある。この領域は、利用者が覗き込んだりアクセスしたりするのが困難な部分である。ｘｙテーブルが、３ピースプレートテーブルとして構成されかつそれゆえ嵩高な構造を有する場合、この領域はとりわけアクセスしにくい。ｘｙテーブルがモータ駆動される場合でも、当該領域はアクセスし難い。というのは、駆動モータが、試料の下方の領域へのアクセスを困難にするからである。とりわけ、複数の収容器のアレイ（配列）からなる受容装置は、殆どの場合使用することができない。
【０００５】
それゆえ本発明の課題は、この従来技術（の欠点の解消）を出発点とし、切断された試料部分を受容するための受容装置の操作（取扱い）を確実に、単純にかつ容易に行なうことができるように、顕微鏡試料のレーザ切断装置を構成することである（第一の課題）。更に、切断作業中に飛散するパーティクルによる受容装置の収容器の汚染を最小に押えることも付加的課題とする。
【０００６】
本発明の第二の課題は、試料から試料部分をレーザによって切断することができ、その際切断された試料断片を確実かつ単純に受容することを保証する顕微鏡を提供することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
第一の課題を解決するために、本発明の第一に視点によれば、テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される試料のレーザ切断装置が提供される。このレーザ切断装置において、支持部材は、テーブル表面の上方に配置され、かつｙ方向及びｘ方向に位置調節可能なようにｘｙテーブルと結合すること、及び支持部材とテーブル表面との間には、受容装置を装填可能とする自由作業空間が画成されることを特徴とする（形態１・第一基本構成）。
【０００８】
第二の課題を解決するために、本発明の第二の視点によれば、テーブル表面を画成するｘｙテーブルと；試料支持体を受容する支持部材と；切断された試料部分を受容する少なくとも１つの収容器を有する受容装置とを有すると共に、試料がテーブル表面に相対して配置されるよう試料支持体が支持部材に載置されるよう構成される試料のレーザ切断装置を有する顕微鏡が提供される。この顕微鏡において、支持部材は、テーブル表面の上方に配置され、かつｘ方向及びｙ方向に位置調節可能なようにｘｙテーブルと結合すること、及び支持部材とテーブル表面との間には、受容装置を装填可能とする自由作業空間が画成されることを特徴とする（形態１’・第二基本構成）。
【０００９】
【発明の実施の形態】
本発明でとりわけ有利なことは、切断された試料部分を、当該部分を受容する受容装置の収容器内へ確実かつ取扱い（操作）も容易に受容することが保証されることである。試料支持体とｘｙテーブルのテーブル表面との間を空間的に分離するよう作用する、ｘｙテーブルの上方の試料支持体の支持部材の特別な構成によって、支持部材により形成される自由作業空間に、適切な受容装置を装填することが可能となる。切断された試料部分がそれを受容する収容器内に到達するような位置へ、少なくとも１つの収容器を有する受容装置を配置することは、とりわけ単純な態様で行なうことができる。本発明のレーザ切断装置ないし顕微鏡の利用者は、その際、複雑な操作を行なう必要は全くない。受容装置は、テーブル表面上の自由作業空間において摺動可能に構成される。受容装置の摺動は、手動でもモータ駆動でも行うことができる。
【００１０】
本発明の更に有利な一形態では、支持部材における試料支持体の特別な構成により、レーザビームにより切断された試料部分が、重力の作用により、切断部分を受容する収容器内へ到達する。そのため、付加的な作用（操作）は全く必要なく、汚染ないし試料損傷の虞は殆どない。周囲の空気中の塵又はレーザ切断によって飛散する試料飛沫による収容器の汚染を更に回避するために、試料支持体のための支持部材の直ぐ下に（下方に近接して）汚染防止プレートが配設される。支持部材の下方のテーブル表面と汚染防止プレートとの間にほぼ隔絶された空間が形成されるように、汚染防止プレートは、ｘｙテーブルの位置固定の（定置の）基底プレートの支持要素と結合する。汚染防止プレートは、対物レンズの光軸対し位置固定の開口を有し、この開口を通って、試料照明用の光が（試料に）到達し、切断された試料部分は、収容器内へ落下する。
【００１１】
本発明の更に有利な一形態では、通常の顕微鏡テーブルに関して利用者の信頼を得ているｘｙテーブルの既存の操作要素によって、試料の摺動操作を行なうことができる。その際、ｘｙテーブルの運動は、手動でもモータ駆動でも行なうことができる。
【００１２】
本発明の更なる実施形態ないし利点は、従属請求項から明らかである。即ち、
（２）　レーザ切断装置において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｘ方向に走行可能な第一プレート及びｙ方向に走行可能な第二プレートを有すること、及び支持部材は、（前記第一プレート及び第二プレートのうち）上側に位置する走行可能プレート上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態２）。
（３）　レーザ切断装置において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｙ方向に走行可能なプレート及びｘ方向に走行可能な直進案内部材を有すること、及び支持部材は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態３）。
（４）　レーザ切断装置において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｘ方向に走行可能なプレート及びｙ方向に走行可能な直進案内部材を有すること、及び支持部材は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態４）。
（５）　レーザ切断装置において、ｘｙテーブルは、ｘ方向及びｙ方向のそれぞれに対するモータ（ないし自動）駆動装置（複数）を有することが好ましい（形態５）。
（６）　レーザ切断装置において、光軸を規定する顕微鏡が配されること、及びｘｙテーブルは、開口を有し、かつ試料の透過光照明を可能にするよう、該開口が光軸を包囲するように、顕微鏡に配されることが好ましい（形態６）。
（７）　レーザ切断装置において、受容装置は、試料に対し該受容装置を位置決めする位置決め装置と結合することが好ましい（形態７）。
（８）　レーザ切断装置において、位置決め装置には、手動操作用の少なくとも１つの操作要素が配されることが好ましい（形態８）。
（９）　レーザ切断装置において、位置決め装置には、少なくとも１つのモータが配されることが好ましい（形態９）。
（１０）　レーザ切断装置において、支持部材と受容装置との間には、光軸に対し位置固定的であり、該光軸を包囲する開口を有し、かつテーブル表面上に架設される汚染防止プレートが配設されることが好ましい（形態１０）。
（１２）　顕微鏡において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｘ方向に走行可能な第一プレート及びｙ方向に走行可能な第二プレートを有すること、及び支持部材は、（前記第一プレート及び第二プレートのうち）上側に位置する走行可能プレート上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態２’）。
（１３）　顕微鏡において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｙ方向に走行可能なプレート及びｘ方向に走行可能な直進案内部材を有すること、及び支持部材は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態３’）。
（１４）　顕微鏡において、ｘｙテーブルは、定置の基底プレート、並びにｘ方向に走行可能なプレート及びｙ方向に走行可能な直進案内部材を有すること、及び支持部材は、該直進案内部材上の少なくとも１つのスペーサに固定されることが好ましい（形態４’）。
（１５）　顕微鏡において、ｘｙテーブルには、ｘ方向及びｙ方向のそれぞれに対するモータ（ないし自動）駆動装置（複数）が配されることが好ましい（形態５’）。
（１６）　顕微鏡は、光軸を規定すること、及び試料の透過光照明を可能にするよう、ｘｙテーブルが光軸を包囲する開口を有することが好ましい（形態６’）。
（１７）　顕微鏡において、受容装置は、試料に対し該受容装置を位置決めする位置決め装置と結合することが好ましい（形態７’）。
（１８）　顕微鏡において、位置決め装置には、手動操作用の少なくとも１つの操作要素が配されることが好ましい（形態８’）。
（１９）　顕微鏡において、位置決め装置には、少なくとも１つのモータが配されることが好ましい（形態９’）。
（２０）　顕微鏡において、支持部材と受容装置との間には、光軸に対し位置固定的であり、該光軸を包囲する開口を有し、かつテーブル表面上に架設される汚染防止プレートが配設されることが好ましい（形態１０’）。
【００１３】
【実施例】
本発明の実施例を図面を参照して詳細に説明する。
【００１４】
図１に、レーザ切断のための試料の支持装置を示した。該装置は、従来の顕微鏡（不図示）に設置可能なｘｙテーブル２を有する。ｘｙテーブルは、手動又はモータ（不図示）によって運動可能に構成される。顕微鏡については当業者には十分既知であるので、顕微鏡の構造については、ここでは詳細に説明しない。顕微鏡は、図１に破線で示された光軸２４を規定する。
【００１５】
ｘｙテーブル２は、位置固定の基底プレート１８を有する。位置固定基底テーブル１８には、この（図１の）実施例ではｙ方向２０ａに運動可能に構成される走行可能プレート２０が配される。ｙ方向２０ａは、図１に、双方向矢印で示した。
【００１６】
走行可能プレート２０上には、ｘ方向に運動可能な直進案内部材２２が配される。ｘ方向２２ａも、図１に、双方向矢印で示した。直進案内部材２２上には、試料支持体６の支持部材１４と結合するスペーサ１５が固定される。走行可能プレート２０及び直進案内部材２２は、それぞれ、ころがり軸受２３によって運動可能にされる。この（図１の）実施例では、支持部材１４は、２つのローレット（ぎざ付き）頭ネジ２１によってスペーサ１５と分離可能に固定される。
【００１７】
ｘｙテーブル２は、テーブル表面４を画成（規定）する。テーブル表面４と支持部材１４との間に自由作業空間１６が形成されるように、支持部材１４は、スペーサ１５によってテーブル表面から離隔される。
【００１８】
ｘｙテーブル２は、開口２６を有する。光軸２４が開口２６を貫通するように、開口２６は、顕微鏡に対し配向される。支持部材１４は、Ｕ字状に構成され、第一及び第二脚部（ないしアーム部）２８及び３０が形成される。第一脚部２８と第二脚部３０との間には、試料支持体６が上方に延在する自由空間３２が形成される。自由空間３２は、光軸２４が２つの脚部２８、３０間を通過するように、開口２６に関して配向される。ｘｙテーブル２の開口２６と自由空間３２とのこの位置関係によって、試料支持体（スライドガラス）６に載置される試料８の透過光照明（図２参照）が可能となる。
【００１９】
図２に、光軸とｘ方向とによって規定される面に関する図１の装置の断面を示した。位置固定の基底プレート１８には、ｙ方向走行可能プレート（第二プレート）２０が配される。走行可能プレート２０は、ｘｙテーブル２のテーブル表面４を画成する。テーブル表面４上には、位置決め装置（図３参照）が配属可能な受容装置１０が載置される。自明なことではあるが、スペーサ１５によって画成される自由作業空間１６中を手動でも受容装置１０を運動させることができる。
【００２０】
試料支持体６は、試料８が完全に自由空間３２内に位置するように、支持部材１４の自由空間３２の上方に配される。試料８が直接テーブル表面４に相対する（対向配置される）ように、支持部材１４上に位置（載置）する試料支持体６に試料８は載置される。顕微鏡の対物レンズ系３６は、光軸２４上で、試料支持体６に配向し、試料８の像を生成する。更に、差込入射されたレーザビーム３８は、対物レンズ系３６を介して試料８に照射され、試料８から小さな部分（断片）を切断する。受容装置１０は、当該切断された部分が重力の作用によって直接受容装置１０の収容器１２内に落下するよう、試料８の下方に位置する。受容装置１０の収容器１２の個数は、使用条件
（目的）に応じて変更可能である。
【００２１】
図３に、試料８のレーザ切断装置の第二実施例を示した。位置固定の基底プレート１８には、２つの支持要素４０が固定される。支持要素４０は、支持部材１４と受容装置１０との間に光軸２４に対し位置固定的に配される汚染防止プレート４２を担持する。汚染防止プレート４２は、テーブル表面４の全面に亘ってその上方に延在し、そのため、自由作業空間１６の上限を画する。汚染防止プレート４２は、（支持要素４０に担持された状態において）光軸２４を包囲する開口４４を有する。切断された試料部分を受容する収容器１２を有する受容装置１０は、自由作業空間１６内に配置される。受容装置１０は、一連の収容器１２（収容器の配列）を有する。
【００２２】
周囲の空気中の塵又はその他のパーティクルの受容装置１０の収容器１２内への侵入は、汚染防止プレート４２によって阻止される。更に、レーザ切断作業中に試料８から飛散する試料部分の収容器１２への落下侵入も、汚染防止プレート４２によって阻止される。この場合有利なことに、受容装置１０の収容器１２は、常にただ１つのみが、汚染防止プレート４２の開口４４を介して（外部に）開放され、他方、残りの収容器１２は（外部に対し）閉鎖される。
【００２３】
位置決め装置４６は、受容装置１０と結合し、位置決め装置４６及び受容装置１０は、テーブル表面４上に配される。位置決め装置４６の手動操作手段の他に、位置決め装置４６をテーブル表面４上で自動的に運動させるモータ４８を設けることも可能である。モータ４８は、位置決め装置４６の制御を行うコンピュータ５０と接続する。コンピュータ５０は、開口４４の下方、従ってまさにレーザ切断プロセスに掛けられている試料８の領域下に所望の収容器１２をそれぞれ位置させるように受容装置１０を摺動させる。レーザ切断プロセスが終了すると、切断された試料部分（断片）は、重力の作用により収容器１２内に落下する。コンピュータ５０は、必要があれば、他の又は空の収容器を相応に位置決めして、切断されるべき新たな試料部分を受容させることもできる。
【００２４】
コンピュータ５０は、更に、モニタ５２と接続する。モニタ５２を介して、例えばマウス（不図示）を用いて、利用者は所望の（試料の）切断ラインを選択したり切断プロセスを観察したりすることができる。コンピュータ５０にインストールされた画像分析システム（ないしプログラム、不図示）によって、切断プロセスを制御及び監視することができる。コンピュータ５０は、適正な切断を行うために必要なパラメータ、例えばレーザの強度、切断ラインの幅、ｘｙテーブルの運動速度、顕微鏡の照明等のパラメータを自動的に調節することができる。
【００２５】
汚染防止プレート４２は、支持部材１４の下方に近接して（直ぐ下に）配設される。支持部材１４上に載置される試料支持体６は、顕微鏡の対物レンズ系３６を介して観察することができる。対物レンズ系３６は、利用者が異なる複数の倍率で試料を観察できるように、例えばレボルバ（不図示）に複数配設される。同様に、レーザビーム３８が対物レンズ系３６の光軸２４にほぼ沿って推移するよう、レーザビーム３８を顕微鏡に差込入射する光学要素（不図示）が設けられる。同一の対物レンズ系３６によって、利用者のために試料８の像が生成（結像）され、更に同時に切断用のレーザビームが試料８上に結像（照射）される。
【００２６】
本発明は、特別な実施例について説明したが、請求の範囲による保護範囲を逸脱しない範囲において修正・変更等を行うことができることは、当業者には自明である。
【図面の簡単な説明】
【図１】
レーザ切断のための試料支持装置の斜視図。
【図２】
光軸とｘ方向とによって規定される面に関する本発明の装置の断面図。付加的に受容装置の設置状態を示した。
【図３】
本発明の第二実施例。図２と同様、光軸とｘ方向とによって規定される面に関する断面図である。
【符号の説明】
２　　　ｘｙテーブル
４　　　テーブル表面
６　　　試料支持体（Ｏｂｊｅｋｔｔｒａｅｇｅｒ）
８　　　試料（Ｐｒａｅｐａｒａｔ）
１０　　受容装置
１２　　収容器
１４　　支持部材
１５　　スペーサ
１６　　自由作業空間
１８　　定置（位置固定）基底プレート
２０　　ｙ方向走行可能プレート
２０ａ　ｙ方向
２１　　ローレット頭ネジ
２２　　直進案内部材
２２ａ　ｘ方向
２３　　ころがり軸受
２４　　光軸
２６　　開口
２８　　第一脚部
３０　　第二脚部
３２　　自由空間
３６　　対物レンズ系
３８　　レーザビーム
４０　　支持要素
４２　　汚染防止プレート
４４　　開口
４６　　位置決め装置
４８　　モータ
５０　　コンピュータ
５２　　モニタ
【図１】
2004510955.tif 000003
【図２】
2004510955.tif 000004
【図３】
2004510955.tif 000005
【国際公開パンフレット】
2004510955.tif 000006
2004510955.tif 000007
2004510955.tif 000008
2004510955.tif 000009
2004510955.tif 000010
2004510955.tif 000011
2004510955.tif 000012
2004510955.tif 000013
2004510955.tif 000014
2004510955.tif 000015
2004510955.tif 000016
2004510955.tif 000017
2004510955.tif 000018
2004510955.tif 000019
2004510955.tif 000020
2004510955.tif 000021
2004510955.tif 000022
【国際調査報告】
2004510955.tif 000023
2004510955.tif 000024
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