(57)【要約】３つの軸線に沿った対象物の振動を測定するための非侵襲的装置及び方法。振動測定器であって、頂点に集まっている３つの９０°に角度が付けられたコーナーを有するピラミッド形状を形成している３つの正直角三角形のパネルであって、各パネルが外側ミラー面を有している三角形パネルを有する振動測定器が提供されている。この測定器は、同測定器の頂点が振動を受ける対象物から離れる方向を向くように同対象物に取り付けられる。光の一部分が各ミラー面から反射され、反射された光を３つの異なるセンサーへと３つの方向に送るように、光ビームが測定器の頂点へと導かれる。対象物の振動の大きさは、位置の動きの差を測定することによって、３つの軸線に沿った３つの直交する方向の各々において測定することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
振動測定装置であって、
ａ）互いに合同である３つの三角形パネルにして、２つの等しい長さの辺の間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する二等辺直角三角形の形状をしている３つの三角形パネルを含む振動測定器であって、各パネルがその等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられており且つその等しい長さの辺のもう一つ別の辺に沿ってもう一つ別のパネルの等しい辺に取り付けられていて、３つの９０°の角度のコーナーが頂点に集まるような直角ピラミッド形状を形成しており、同ピラミッド形状の各三角形のパネルが外側ミラー面を有するようになされた、振動測定器と、
ｂ）３つのレーザー光センサーであって、各々が、三角形のパネルのうちの一つからの反射されたレーザー光を受け取り且つその位置の変化を検知するように配置された３つのレーザー光センサーと、
ｃ）ビームスプリッタ上にレーザー光のビームを投影することができるレーザーと、
ｄ）レーザーからレーザー光のビームを受け取り、同レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビーム区分とに分け、基準ビーム区分のうちの一つをレーザー光センサーのうちの一つへと導き、入射ビーム区分を振動測定装置の頂点へと導き、３つの三角形パネルの各々のミラー面からの入射ビーム区分の一部分をレーザー光センサーのうちの一つへと反射させる、ビームスプリッタと、
ｅ）光センサーの各々に取り付けられた光測定装置であって、レーザー光センサーの各々の上の入射ビーム区分のうちの反射された部分の位置の動きを測定し且つ同位置の動きを対応するセンサーに導かれた基準ビーム区分と比較することができる光測定装置と、を含む振動測定装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
三角形パネルの各々が、二等辺直角三角形の形状を有している装置。
【請求項３】
請求項１に記載の装置であって、
三角形パネルの外側ミラー面が金属からなる装置。
【請求項４】
請求項１に記載の装置であって、
振動測定器が開口したベースを有している装置。
【請求項５】
請求項１に記載の装置であって、
振動測定器が閉じられたベースを有している装置。
【請求項６】
請求項１に記載の装置であって、
光測定装置が光ファイバケーブルを介して光センサーの各々に取り付けられている装置。
【請求項７】
請求項１に記載の装置であって、
ビームスプリッタが銀メッキされたハーフミラーを含んでいる装置。
【請求項８】
対象物の振動を測定する方法であって、
ｉ）振動測定装置を提供するステップであって、
同振動測定装置は、
ａ）互いに合同である３つの三角形のパネルにして、２つの等しい長さの辺間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する二等辺直角三角形の形状をしている３つの三角形パネルを含む振動測定器であって、各パネルがその等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられており且つその等しい長さの辺のもう一つ別の辺に沿ってもう一つ別のパネルの等しい長さの辺に取り付けられていて、３つの９０°の角度のコーナーが頂点に集まるような直角ピラミッド形状を形成しており、同ピラミッド形状の各三角形パネルが外側ミラー面を有するようになされた、振動測定器と、
ｂ）３つのレーザー光センサーであって、各々が、三角形のパネルのうちの一つから反射されたレーザー光を受け取り且つその位置の変化を検知するように配置された３つのレーザー光センサーと、
ｃ）ビームスプリッタ上にレーザー光のビームを投影することができるレーザーと、
ｄ）レーザーからレーザー光のビームを受け取り、同レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビーム区分とに分け、基準ビーム区分のうちの一つをレーザー光センサーのうちの一つへと導き、入射ビーム区分を振動測定器の頂点へ導き、３つの三角形パネルの各々のミラー面からの入射ビーム区分の一部分をレーザー光センサーのうちの一つへと反射させる、ビームスプリッタと、
ｅ）光センサーの各々に取り付けられた光測定装置であって、レーザー光センサーの各々の上の入射ビーム区分のうちの反射された部分の位置の動きを測定し且つ同位置の動きを対応するセンサーに導かれた基準ビーム区分と比較することができる光測定装置と、を含む、振動測定装置を準備するステップと、
ｉｉ）前記振動測定器の頂点が対象物から離れる方向で且つビームスプリッタの方に向く方向を指すように、前記振動測定器を、振動を受ける対象物に取り付けるステップと、
ｉｉｉ）ビームスプリッタが、レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビームの区分とに分け、基準ビーム区分の各々のうちの一つをレーザー光センサーの各々の一つへと導き、入射ビーム区分の一部分が３つの三角形パネルの各々のミラー面からレーザー光センサーの各々のうちの一つへと反射されるように、入射ビーム区分を振動測定器の頂点へと導くステップと、
ｉｖ）入射ビーム区分の反射された部分をレーザー光センサーの各々によって受け取り、レーザー光センサーの各々に導かれた入射ビーム区分のうちの反射された部分の位置の動きを測定し、同位置の動きを対応するセンサーに導かれた基準ビームの区分と比較するステップと、
ｖ）同基準ビームの区分と入射ビームの区分の反射された部分との位置の動きの差を測定することによって、３つの直交方向の各々における対象物の振動の大きさを測定するステップと、を含む方法。
【請求項９】
請求項８に記載の方法であって、
前記三角形パネルの各々が二等辺直角三角形の形状を有している方法。
【請求項１０】
振動測定装置であって、互いに合同であり且つ２つの等しい長さの辺同士の間に９０°の角度のコーナーを有する二等辺直角三角形の形状を有している３つの三角形のパネルを含み、各々のパネルが、その等しい長さの辺の一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられ且つもう一つの等しい長さの辺に沿ってもう一つ別のパネルの等しい長さの辺に取り付けられて、３つの９０°の角度のコーナーが頂点で集まるような垂直ピラミッド形状を形成しており、同ピラミッド形状の各三角形のパネルが外側ミラー面を有している、振動測定装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は振動検知に関する。より特定すると、本発明は、３つの直交軸線に沿った対象物の振動を検知し且つ測定するための非侵襲的な装置及び方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
振動測定装置は当該技術において公知である。振動検知装置は、対象物又は機械、特に遠心ポンプ等のような回転する機械の振動レベルを検知するために使用されることが多い。振動レベルの変化は、このような機械が適正に作動している否かを検知し且つ適正に作動していない場合には問題点の性質を判定するために使用されることが多い。
【０００３】
従来の振動測定装置は、ばねに取り付けられている振動質量を振動体上に配置し且つ同振動体と前記振動質量との相対的な変位を測定することによって、振動体の動きを測定する装置を利用することが多い。この測定は、通常は、レジスタンス・プローブ又はキャパシタンス・プローブによってなされる。これらの構成部品を含む装置は加速度計と呼ばれている。動きの測定の正確さは測定技術の感度に依存する。このような例の一つが米国特許第４，０５１，７１８号に示されており、この特許は、低周波数の機械的な振動の速度を測定するための装置に関するものである。従って、装置は、間に振動質量が固定されている２つのばねと、同質量に機械的に結合された２つの電気コイルと、関連するコイルに対して固定されている各コイル内に設けられた永久磁石からなるコアであって、一つのコイルは測定コイルであり、一方、他方のコイルがフィードバックコイルであるコアと、測定コイルが接続される制御入力を有しており、一方、フィードバックコイルが出力に接続されている電流発生器であって、接続の極性は負のフィードバックを形成するように選択されている電流発生器と、を含んでいる。不幸にも、殆どの市販の感応加速度計でさえ、０乃至１００ヘルツの動作範囲に亘って２乃至３のマイクロ重力（μＧ）の加速度の分解能を有することができるだけである。このような感度は、光テーブル上で十分に正確な測定がなされるのを可能にせず、従って、光テーブルを利用した試験結果を得る能力は、不所望な振動が測定され得る程度まで低下せしめられていた。
【０００４】
米国特許第４，９０５，５１９号は、薄い金属シートに結合されたミラーを有する振動センサーを記載している。このシートは、ミラーの面に直角である線に沿ってミラーの振動を許容するミラーにクランプされる。この振動ビームとミラーとの組立体は、光テーブル上に配置されている大きなベースにクランプされる。振動するベース及び光テーブルに対するミラーの一方向の動きが、振動の振幅及び周波数を誘導するために測定される。
【０００５】
米国特許第５，２６７，０１４号は、可動の対象物の空間内での傾きの測定のための非接触装置を開示している。この装置は、逆反射器が３つの互いに直角の反射面を有しているような対象物に取り付けられた逆反射器を含んでいる。光源が、逆反射器上の基準マーク上に光ビームを投影する。光ビームは、次いで、反射されて光源に向かって戻され、半透明のミラーが、反射された光ビームの一部分を、基準マークによって生じるパターンを備えた画像が形成される面へと偏向させる。この画像によって提供される情報は、可動対象物の空間内の傾きを測定するために使用することができる。
【０００６】
米国特許第５，８０８，７４３号は、目標物の位置、速度及びダイオードレーザーの作動周波数における光学的フィードバックによって誘起される脈動に基づく振動を測定するためのレーザーセンサーを教示している。このセンサーは、目標物に向けられたダイオードレーザーを含んでいる。目標物は、光の小部分を散乱させてレーザーダイオードキャビティ内へと戻す。光学的フィードバックは、レーザーの作動周波数を変化させる。この光の小部分は、光の周波数の選別器を迂回し、この光の周波数選別器においては、レーザーの作動周波数の変化が分析され、目標物の位置、速度及び振動周波数を測定するために使用することができる電気的な信号が発生される。
【０００７】
米国特許第５，５５２，８８３号は、センサーを使用している非接触位置測定装置を教示している。反射する光学的目標物が、位置が検知されるべき目標対象物上に設けられている。光ビームが光学的目標物に向けて導かれ、反射されたビームを生成する。投影され且つ反射された各ビームの位置と、光センサーと発光体との相対的な配置とを知ることによって、センサーに対する一組のビームの動きが計算されて、３つの非平行な軸線に沿った目標物の位置の変化とされる。
【０００８】
米国特許第４，１２５，０２５号は、高い感度によって振動対象物の振幅を測定するための装置を開示している。この装置は、振動している対象物に回折格子像を周期的に投影するための第１の光学的装置と、対象物の近くで第１の光学的装置の光軸と交差する光軸を有し、対象物に投影され且つ同対象物から反射される像を分配され且つ分配された像を写真フィルム上に記録するための第２の光学的装置とからなる。振幅の測定は、干渉模様の形態で得られる。
【０００９】
他の振動検知装置は、ストレンゲージ又は圧電装置を使用している。ストレンゲージ型の振動センサーは、振動の大きさによって変化し且つ電気抵抗の変化を対応するアナログ電圧出力に変換して振動検知信号を発生する電気抵抗を使用している。同様に、圧電装置は、誘起された歪みを対応するアナログ電圧出力に変換する水晶板を使用している。これらの両方の形式の振動検知装置においては、振動に応答して装置によって提供される電気抵抗の変化又は圧電応答は極めて小さく、複雑な電気回路を設けなければならない。この回路は、典型的には、測定されている対象物とセンサーとの間及びセンサーと検知されたデータを受け入れる装置との間に、複雑な配線を含んでいる。この配線は、費用がかかり且つ測定されている対象物の物理的一体性に対して破壊的であることが多い。
【００１０】
従って、対象物の振動を測定するための非侵襲的な方法を考案することが望ましい。本発明は、この問題に対する解決を提供する。本発明に従って、互いに合同である３つの直交直角三角形のパネルを有して、３つの９０°の角度のコーナーが頂点に集まっているピラミッド形状であり且つピラミッド形状の各三角形パネルが外側ミラー面を有しているピラミッド形状を形成している振動測定装置が提供される。この装置は、装置の頂点が対象物から離れる方向に向きビームスプリッタに向かうように振動を受ける対象物に取り付けられるのが好ましい。光ビームは、次いで、レーザーからビームスプリッタ上に投影され、ビームスプリッタは、レーザーの光ビームを一つの入射ビーム区分と３つの基準ビーム区分とに分ける。基準ビーム区分は、各々、３つの光センサーのうちの一つへと導かれる。入射ビーム区分は、入射ビーム区分の一部分が３つの三角形のパネルの各々のミラー面から反射されるように、振動測定装置の頂点へと導かれる。入射ビーム区分のうちの反射された部分の各々は、次いで、レーザー光センサーによって受け取られ、このレーザー光センサーは、三角形のパネルのうちの一つからの反射レーザー光を受け取り、その位置の変化を検知することができる。レーザー光センサーの各々への入射ビーム区分の反射された部分の位置の動きを測定し且つこれらの位置の動きを対応するセンサーへ導かれた基準ビーム区分と比較するために、光センサーの各々に光測定装置が取り付けられている。次いで、基準ビーム区分と入射ビーム区分の反射された部分との位置の動きの差を測定することによって、対象物の振動の大きさが、３つの軸線に沿った３つの直交方向の各々において測定することができる。
【発明の概要】
【００１１】
本発明は、振動測定装置を提供し、この装置は、
ａ）互いに合同であり且つ２つの等しい長さの辺の間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する３つの三角形パネルを含む振動測定器であって、各パネルがその等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられており且つその等しい長さの辺のもう一つ別の辺に沿ってもう一つ別のパネルの等しい辺に取り付けられて、直角ピラミッド形状を形成して、３つの９０°の角度のコーナーが頂点で集まり、ピラミッド形状の各三角形のパネルが外側のミラー面を有するようになされた振動測定器と、
ｂ）３つのレーザー光センサーであって、各々が、三角形のパネルのうちの一つからの反射されたレーザー光を受け取りその位置の変化を検知するように配置された３つのレーザー光センサーと、
ｃ）ビームスプリッタ上にレーザービームを投影することができるレーザーと、
ｄ）レーザーからのレーザー光のビームを受け取り、同レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビーム区分とに分け、基準ビーム区分の各々のうちの一つをレーザー光センサーの各々のうちの一つへと導き、入射ビーム区分を振動測定装置の頂点へと導き、入射ビーム区分の一部分を、３つの三角形パネルの各々のミラー面からレーザー光センサーの各々のうちの一つへと反射させる、ビームスプリッタと、
ｅ）光センサーの各々に取り付けられた光測定装置であって、レーザー光センサーの各々上の入射ビーム区分のうちの反射された部分の位置の動きを測定し且つ同位置の動きを、対応するセンサーに導かれた基準ビーム区分と比較することができる光測定装置と、を含んでいる。
【００１２】
本発明はまた、対象物の振動を測定するための方法を提供し、
この方法は、
ｉ）振動測定装置を提供するステップであって、
同振動測定装置は、
ａ）互いに合同である３つの三角形のパネルを含んでおり且つ２つの等しい長さの辺間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する二等辺直角三角形の形状を有し、各パネルは、等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられており且つ等しい長さの辺のもう一つ別のものに沿ってもう一つ別のパネルの等しい長さの辺に取り付けられていて、３つの９０°の角度のコーナーが頂点で集まっているような直角ピラミッド形状を形成しており、同ピラミッド形状の各三角形パネルが外側ミラー面を有している、振動測定器と、
ｂ）各々が、三角形のパネルのうちの一つからの反射されたレーザー光を受け取り且つその位置の変化を検知するように配置された３つのレーザー光センサーと、
ｃ）レーザー光のビームをビームスプリッタ上に投影することができるレーザーと、
ｄ）レーザーからレーザー光のビームを受け取ることができ、レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビーム区分とに分け、基準ビーム区分のうちの一つをレーザー光センサーの各々のうちの一つへと導き、入射ビーム区分を振動測定器の頂点へ導き、３つの三角形パネルの各々のミラー面から入射ビーム区分の一部分をレーザー光センサーの各々のうちの一つへと反射させることができるビームスプリッタと、
ｅ）光センサーの各々に取り付けられた光測定装置であって、レーザー光センサーの各々の上の入射ビーム区分の反射された部分の位置の動きを測定し且つ同位置の動きを対応するセンサーに導かれた基準ビーム区分と比較することができる光測定装置と、を含む振動測定装置を準備するステップと、
ｉｉ）前記振動測定器の頂点が対象物から離れる方向で且つビームスプリッタの方に向く方向を指すように、前記振動測定器を、振動を受ける対象物に取り付けるステップと、
ｉｉｉ）ビームスプリッタが、レーザー光のビームを入射ビーム区分と３つの基準ビームの区分とに分け、基準ビーム区分の各々のうちの一つをレーザー光センサーの各々の一つへと導き、入射ビーム区分の一部分が３つの三角形パネルの各々のミラー面からレーザー光センサーの各々のうちの一つへと反射されるように、入射ビーム区分を振動測定器の頂点へと導くステップと、
ｉｖ）入射ビーム区分の反射された部分をレーザー光センサーの各々によって受け取り、レーザー光センサーの各々に導かれた入射ビーム区分のうちの反射された部分の位置の動きを測定し、同位置の動きを対応するセンサーに導かれた基準ビームの区分と比較するステップと、
ｖ）同基準ビームの区分と入射ビームの区分の反射された部分との間の位置の動きの差を測定することによって、３つの直交方向の各々における対象物の振動の大きさを測定するステップと、を含んでいる。
【００１３】
本発明は更に、振動測定器を提供し、この振動測定器は、互いに合同であり且つ２つの等しい長さの辺の間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する二等辺直角三角形の形状を有する３つの三角形パネルを含んでおり、各パネルは、等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられ且つもう一つ別の等しい長さの辺に沿ってもう一つ別の等しい長さの辺に取り付けられていて、３つの９０°の角度のコーナーが頂点に集まるように直角ピラミッド形状を形成しており、同ピラミッド形状の各三角形パネルの各々が外側ミラー面を有している。
【好ましい実施形態の詳細な説明】
【００１４】
本発明の振動測定装置は、振動測定器と、３つのレーザーセンサーと、レーザーと、ビームスプリッタと、光測定装置とを含んでいる。この振動測定装置は、図１に示されているもののような対象物の振動を測定するために使用することができる。
【００１５】
図２に示されているように、振動測定器２は、直角ピラミッド又は立方体のコーナーの形状である。この測定器は、各々、等しい長さであるのが好ましい２つの辺の間に９０°の角度が付けられたコーナーを有する二等辺直角三角形の形状を有する３つの合同の三角形パネル４を含んでいる。図２においては、これらの９０°の角度は、角度ＡＢＣ、ＣＢＤ及びＡＢＤとして示されている。最も好ましい実施形態においては、三角形パネル４は、各々、二等辺直角三角形の形状を有している。三角形パネル４の各々は、等しい長さの辺のうちの一つに沿って他のパネルのうちの一つの等しい長さの辺に取り付けられ、他方の等しい長さの辺に沿って第２のパネルの等しい長さの辺に取り付けられるのが好ましい。他の２つのパネルは、それらの他の等しい長さの辺の各々に沿って互いに取り付けられる。パネル４は、３つの９０°の角度が付けられたコーナーＡＢＣ、ＣＢＤ及びＡＢＤが頂点Ｂにおいて集まって、ベース５を画成している３つの側方パネルを有している垂直ピラミッド形状を形成するように取り付けられている。ベース５は開口していても閉じていても良い。３つのパネルが互いに直角に配向された状態に維持されている限り、装置のパネルのいずれかの１以上の辺は、任意的に、パネルの他の辺よりも遠くまで延びていても良い。従って、装置の直角ピラミッドを形成するために種々の形状及び大きさの三角形を使用しても良い。装置２の各パネル４の底辺は、任意的に、振動が監視されるべきである図１に示された対象物１の外形に合致するような不規則な形状としても良い。
【００１６】
ピラミッド形状の三角形パネル４の各々は、レーザー光のビームを反射させることができる外側ミラー面を含んでいるのが好ましい。ミラー面は、金属又はその他のあらゆる反射材料を含むことができる。ミラー面は金属からなるのが最も好ましい。
【００１７】
図３及び４に示されているように、振動測定器２は、振動が測定されるか又は監視されるべきである対象物１に取り付けられるのが好ましい。測定器２は、接着等のようなあらゆる一般的な手段によって取り付けることができる。測定器２は、以下に説明するように、測定器の頂点Ｂが対象物１から離れる方向で且つビームスプリッタに向かう方向を向くように、対象物１に取り付けられるのが好ましい。
【００１８】
図５に示されているように、レーザー８は、レーザー光のビーム１０をビームスプリッタ１２上に投影する機能を果たす。レーザー光のビーム１０は、当業者が適切だと考えるあらゆる周波数及び波長を有していても良い。本発明に従って使用するのに適したレーザーは、非限定的であるが、米国ニュージャージー州バーリントンにあるEdmund Scientific's Industrial Optics Divisionによって市販されているようなものを含む。
【００１９】
図５に示されているように、ビームスプリッタ１２は、レーザー光源８からレーザー光のビーム１０を受け取り、ビーム１０を複数のビーム区分に分ける。一つの好ましい実施形態においては、４つのビーム区分が形成されている。ビーム区分は、一つの入射ビーム区分１４と３つの基準ビーム区分１６とを含んでいるのが好ましい。ビームスプリッタ１２は、以下に説明する３つのセンサー６のうちの一つの上に基準ビーム区分１６の各々のうちの一つを導くのが好ましい。ビームスプリッタ１２はまた、入射ビーム区分１４を、振動測定器２の頂点上に導くこともする。これによって、入射ビーム区分１４の一部分が３つの三角形パネル４の各々のミラー面から反射されるようにして、入射ビーム区分の３つの反射された部分１５を形成し、これらは、各々、センサー６の各々のうちの一つへと導かれる。本発明において使用するための適当なビームスプリッタは、当業者に知られている銀メッキしたハーフミラーと、米国ニュージャージー州バーリントンにあるEdmund Scientific's Industrial Optics Divisionから市販によって入手可能なもののようなその他の種々のビームスプリッタを非限定的に含んでいる。
【００２０】
３つのレーザー光センサー６が存在し、これらの各々が、振動測定器２の三角形パネル４のうちの一つから入射ビーム区分の反射された部分１５を受け取り且つ同反射された部分の位置の変化を検知する役目を果たす。光センサー６は、このような位置の変化を検知するために、アナログ装置又はデジタル装置を使用しても良い。本発明に従って使用するための適当な光センサーは、米国カリフォルニア州レークフォレストにあるOn-Trak Photonics, Incから市販によって入手可能なもののような位置検知フォトダイオードを非限定的に含んでいる。
【００２１】
光測定装置２０が、装置取り付け手段１８によって光センサー６の各々に取り付けられている。装置取り付け手段１８は、配線、光ファイバケーブル等を含んでいるのが好ましい。光測定装置２０は、レーザー光センサー６の各々における入射ビームのうちの反射された部分１５の位置の動きを測定する。光測定装置２０は、このような位置の動きを測定するために、アナログ装置又はデジタル装置を使用することができる。装置２０はまた、前記の位置の変化を、対応するセンサーの各々に導かれた基準ビーム区分１６と比較することもできる。本発明に従って使用するための適当な光測定装置は、コンピュータ、データ処理装置又は光ビームの位置の動きを測定することができるものとして当業者に知られているその他の電子機器を非限定的に含んでいる。
【００２２】
次いで、基準ビーム区分１６の各々と入射ビーム区分のうちの反射された部分１５との位置の動きの差を測定することによって、対象物の振動の大きさを３つの直交方向の各々において測定することができる。
【００２３】
次の非限定的な例は、本発明を例示する役目を果たす。本発明の構成要素の部品の大きさの変化及び代替が、当業者に明らかであり且つ本発明の範囲に含まれるであろうということは理解されるであろう。
【００２４】
例１
３つの三角形パネルを含んでいる外側ミラー面を有している垂直ピラミッドを、振動を受ける対象物に接着する。ピラミッドは、同ピラミッドの頂点が、対象物から離れ且つ銀メッキしたハーフミラーを含んでいるビームスプリッタに向かう方向を向くように、対象物に取り付けられる。光のビームが一つの入射ビームと３つの基準ビーム区分とに分けられるように、光ビームがレーザーから銀メッキされたハーフミラー上に投影される。基準ビーム区分の各々は、３つのレーザー光センサーのうちの一つに導かれ、入射ビーム区分は、垂直ピラミッドの頂点へと導かれる。入射ビーム区分が頂点に当たると、入射ビーム区分の一部分が３つの三角形パネルの各々のミラー面によって反射され、レーザー光センサーの各々のうちの一つの上に導かれる。光ファイバケーブルを介して光センサーの各々に取り付けられた光測定装置は、ピラミッドから受け取った入射ビーム区分の反射された部分と銀メッキされたハーフミラーから対応する各センサーへ導かれた基準ビーム区分の反射された部分との位置の動きの差を測定することによって、３つの直交する方向における対象物の大きさを測定するために使用される。
【図面の簡単な説明】
【００２５】
【図１】図１は、振動が測定されるべき対象物の斜視図である。
【図２】図２は、本発明の振動測定器の斜視図である。
【図３】図３は、振動が測定されるべき対象物に取り付けられた本発明の振動測定器の斜視図である。
【図４】図４は、振動が測定されるべき対象物に取り付けられた本発明の振動測定器の頂面図である。
【図５】本発明の振動測定装置の構成図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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2004532987.tif 000025
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