(57)【要約】本発明は、一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置、特に一方の端部に配設された光学スピンドルのためのポリゴンミラー（２７）を有する高速回転軸の気体軸受け装置であって、半径方向に軸受けをするために軸（３）に沿ってハウジング（５）内に配設された気体軸受けが存在し、そして、第１の気体軸受け（９）及び第３の気体軸受け（８）が互いに同軸に取り付けられており、また第１の気体軸受け（９）と第３の気体軸受け（８）との間の中心に存在する第２の気体軸受け（２）が、第１の気体軸受け（９）及び第３の気体軸受け（８）に対して偏心的な変位をさせられるように取り付けられており、変位装置（１）が、増加する軸（３）の回転数により増加する第２の気体軸受け（２）の偏心的な変位を行なうために設けられている気体軸受け装置に関する。
2004538425.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置、特に一方の端部に配設された光学スピンドルのためのポリゴンミラーを有する高速回転軸の気体軸受け装置であって、半径方向に軸受けをするために軸に沿ってハウジング内に配設された気体軸受けが存在し、そして、第１の気体軸受け及び第３の気体軸受けが互いに同軸に取り付けられており、また第１の気体軸受けと第３の気体軸受けとの間の中心に存在する第２の気体軸受けが、第１及び第３の気体軸受けに対して偏心的な変位をさせられるように取り付けられている気体軸受け装置において、
変位装置（１）が、増加する軸（３）の回転数により増加する第２の気体軸受け（２）の偏心的な変位を行なうために設けられていることを特徴とする気体軸受け装置。
【請求項２】
ハウジング（１４）に対する第２の気体軸受け（２）の半径方向の遊び（４）が、少なくとも収容される軸（３）に対する気体軸受け（２）の半径方向の軸受け間隙と同じ大きさであることを特徴とする請求項１に記載の気体軸受け装置。
【請求項３】
第２の気体軸受け（２）が、軸方向の遊び（７）を備えていることを特徴とする請求項１又は２に記載の気体軸受け装置。
【請求項４】
第２の気体軸受け（２）の両方の平坦面（３１，３２）の一方が、第１の気体軸受け（９）又は第３の気体軸受け（８）の平坦面（３３，３４）と接触するように構成されていることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項５】
変位装置（１）が、半径方向の緊張力ＦＶ を電気、電磁気、油圧、又は空気圧により発生させるために形成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項６】
少なくとも１つの回転数センサ（１０）が設けられていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項７】
回転数センサ（１０）が、ホールセンサ又は光学センサとして形成されていることを特徴とする請求項６に記載の気体軸受け装置。
【請求項８】
リフティングマグネット又はブラシレスの可動コイルが、変位装置（１）の半径方向の緊張力を発生させるために設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項９】
第２の気体軸受け（２）と変位装置（１）との間に、倍力装置が取り付けられていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１０】
倍力装置が、レバー（１１）又は歯車伝動装置を備えることを特徴とする請求項９に記載の気体軸受け装置。
【請求項１１】
半周波数渦を使用する際の第２の気体軸受け（２）の半径方向の剛性ｃに対する変位装置（１）の半径方向の緊張力ＦＶ の比が、せいぜい気体軸受け装置の運転回転数におけるよりも３．３倍だけ大きいことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１２】
第２の気体軸受け（２）の軸方向の遊び（５）が、少なくとも、その長手方向膨張率α、軸受け幅Ｂ、及び運転回転数における第２の気体軸受け（２）とハウジング（５）との間の温度差Δｔから成る製品よりも１．１５倍だけ大きいことを特徴とする請求項１〜１１のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１３】
第２の気体軸受け（２）の半径方向の摩擦力ＦＲ が、せいぜい運転回転数における変位装置（１）の最大の半径方向の緊張力ＦＶｍａｘの６５％であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１４】
第２の気体軸受け（２）の偏心的な変位が、気体軸受け装置の静止状態で、第２の気体軸受け（２）の半径方向の軸受け間隙（６）の１０％の最小偏心度を備えていることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１５】
変位装置（１）が、半径方向の緊張力ＦＶ を空気圧により発生させるために形成されており、その際、孔（１３）を介して軸受け間隙（６，７）と接続されている圧力室（１２）が、半径方向の緊張力ＦＶ を発生させるために設けられていることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項１６】
圧力室（１２）が、第２の気体軸受け（２）とハウジング（５）との間に配設されていることを特徴とする請求項１５に記載の気体軸受け装置。
【請求項１７】
圧力室（１２）が、圧力損失に対するシール装置を備えることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の気体軸受け装置。
【請求項１８】
シール装置が、少なくとも１つのシール（１６，１７）を備えることを特徴とする請求項１７に記載の気体軸受け装置。
【請求項１９】
シール（１６，１７）が、シリコンから成ることを特徴とする請求項１８に記載の気体軸受け装置。
【請求項２０】
圧力室（１２）の周囲角度βが、約１２０°であることを特徴とする請求項１５〜１９のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項２１】
圧力室（１２）の角度βが、最大で約２１０°であることを特徴とする請求項１５〜２０のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項２２】
運転状態にある圧力室（１２）の間隙高さ（１８）が、少なくとも第２の気体軸受け（２）の半径方向の遊び（４）の７０％であることを特徴とする請求項１５〜２１のいずれか１つに記載の軸受け装置。
【請求項２３】
圧力室（１２）の直径が、少なくとも第２の気体軸受け（２）の直径よりも１．７倍だけ大きいことを特徴とする請求項１５〜２２のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項２４】
圧力室（１２）の幅が、少なくとも第２の気体軸受け（２）の軸受け幅の４０％であることを特徴とする請求項１５〜２３のいずれか１つに記載の気体軸受け装置。
【請求項２５】
一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置を運転するための方法、特に、一方の端部に配設された光学スピンドルのためのポリゴンミラーを有する高速回転軸の気体軸受けのための方法であって、半径方向の軸受けをするために軸に沿ってハウジング内に配設された３つの気体軸受けが存在し、そして、第１及び第３の気体軸受けが互いに同軸に取り付けられており、また第１の気体軸受けと第３の気体軸受けとの間の中心に存在する第２の気体軸受けが、第１及び第３の気体軸受けに対して偏心的な変位をさせられるように取り付けられているようにする、特に請求項１〜２４のいずれか１つに記載の高速回転軸の気体軸受けを運転するための方法において、
変位装置を介して、増加する軸の回転数と共に増加する第２の気体軸受けの偏心的な変位が行なわれるようにすることを特徴とする気体軸受け装置を運転するための方法。
【請求項２６】
変位装置の半径方向の緊張力が、増加する軸の回転数と共に少なくとも線形に増加するようにすることを特徴とする請求項２５に記載の気体軸受け装置を運転するための方法。
【請求項２７】
変位装置の半径方向の緊張力が、電気、電磁気、油圧、又は空気圧により発生させられるようにすることを特徴とする請求項２５又は２６に記載の気体軸受け装置を運転するための方法。
【請求項２８】
変位装置が、空気圧により操作され、その際、孔を介して、第２の気体軸受けに作用する変位装置の圧力室の圧力供給が、半径方向又は軸方向の軸受け間隙によって行なわれるようにすることを特徴とする請求項２５〜２７のいずれか１つに記載の気体軸受け装置を運転するための方法。
【請求項２９】
孔に対する開口部における半径方向又は軸方向の軸受け間隙内の圧力が、増加する軸の回転数と共に増加し、減少する回転数と共に降下するようにすることを特徴とする請求項２８に記載の気体軸受け装置を運転するための方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、特許請求項１の上位概念の特徴を有する、一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置に関する。更に、本発明は、特許請求項２５の上位概念の特徴を有する、高速回転軸の気体軸受け装置を運転するための方法に関する。
【０００２】
従来技術としては、独国特許第１９７  ２５  ７８４号明細書から、高速回転する工具の気体軸受け装置が公知であり、その際、軸を半径方向に軸受けするために、少なくとも３つの気体軸受けが存在し、その第１の気体軸受けの軸受け穴と第３の気体軸受けの軸受け孔は、互いに同軸に配設されており、一方、第２の気体軸受けの軸受け孔は、第１及び第３の気体軸受けの軸受け孔に対して偏心的な変位をさせられるように取り付けられている。
【０００３】
更に、独国特許第１９８  ２１  ６０１号明細書（独国特許第１９７  ２５  ７８４号明細書に対する追加特許）には、ハウジングに対する中心の気体軸受けの半径方向の剛性の値が、ハウジングに対する第１又は第３の気体軸受けの半径方向の剛性の値に対してできるだけ小さく選択されるべきである高速回転軸の気体軸受け装置が記載されている。
【０００４】
本発明の基本にある課題は、個々に一定の運転条件に適合させることができる、一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置を提供することである。更に、この様式の気体軸受け装置を運転するための方法が提供されるべきである。
【０００５】
この課題は、気体軸受け装置に対して、上位概念と関連して特許請求項１を特徴付ける部分の特徴によって解決される。気体軸受け装置の有利な実施形は、従属請求項２〜２４に記載されている。方法に対して、この課題は、特許請求項２５を特徴付ける部分の特徴によって解決される。有利な方法の変形例は、従属請求項２６〜２９に記載されている。
【０００６】
本発明による気体軸受け装置は、軸の回転数に依存して第２の気体軸受けの偏心的な変位を行なうための変位装置を備えている。高速回転軸の気体軸受け装置が、非常に高い１２０，０００ｒｐｍの回転数又はそれ以上で運転される場合には、軸の最終回転数が超臨界の振動領域に存在する。これにより、最終回転数へと軸を増速する際は、気体軸受け装置の第１の固有振動を通過しなければならず、このことは、使用者側が必要とする常に高い最終回転数で増々困難となる。何故なら、常に高い軸のバランス状態が要求されるべきであるからである。
【０００７】
本発明による気体軸受け装置では、変位装置を介して、増速及び減速する際の軸の回転数に依存して変化し易い半径方向の緊張力が第２の気体軸受けに導入され、その際、変位装置の半径方向の緊張力は、特に増速する際に増加する回転数と共に増加する。これにより、軸受けされた軸は、最終回転数に達した際に初めて運転されるのではなく、超臨界の振動領域にある最終回転数に向かう全増速領域の間も運転される。これにより、気体軸受け装置のいかなる固有振動も、もはや通過する必要はなく、僅かな軸のバランス状態を要求することができる。
【０００８】
軸の回転数に依存して変位装置の緊張力を変化させる場合、軸に対する第２の気体軸受けの半径方向の軸受け間隙も、またこれにより、ハウジングに対する第２の気体軸受けの間隙高さも変化する。
【０００９】
軸を増速する際の増大した安定性を得るため、ハウジングに対する第２の気体軸受けの半径方向の遊びが、少なくとも収容される軸に対する第２の気体軸受けの半径方向の軸受け遊びと同じ大きさであるべきであるということが分かった。
【００１０】
気体軸受け装置の別の有利な実施形によれば、第２の気体軸受けから、第１又は第３の気体軸受けを介して摩擦熱が空気又は水で冷却されるハウジングに導出される。
【００１１】
第２の気体軸受けの十分な変位能力を全ての運転状態にわたって得るために、その軸方向の遊びは、少なくとも、その長手方向の膨張率α、軸受け幅Ｂ、及び運転回転数における第２の気体軸受けとハウジングとの間の温度差Δｔから成る製品よりも１．１５倍だけ大きくあるべきである。
【００１２】
本発明による変位装置は、要求プロフィルに応じて、必要な半径方向の緊張力を、電気、電磁気、油圧、又は空気圧により発生させることができる。
【００１３】
軸の回転数に依存して第２の気体軸受けの半径方向の緊張力を調整するため、有利な様式では、回転数センサが、軸の回転数を検出するために設けられている。この回転数センサは、例えば、ホールセンサ又は光学センサとして形成することができる。
【００１４】
形成された変位装置が電磁気による場合は、リフティングマグネット又はブラシレスの可動コイルが、変位装置の半径方向の緊張力を発生させるために設けることができ、これにより、市販の構成要素を使用することができる。
【００１５】
必要な場合は、力の増幅及び力の配分をするために、第２の気体軸受けと変位装置との間に、例えばレバー及び／又は歯車伝動装置の形をした倍力装置を設けることができる。これにより、第２の気体軸受けに導入される半径方向の緊張力は、正確に配分することができる。
【００１６】
更に、回転数を増速する際の軸受け装置の改善された安定性は、半周波数渦を使用する際の第２の気体軸受けの半径方向の剛性ｃに対する変位装置の半径方向の緊張力ＦＶ の比が、せいぜい気体軸受け装置の運転回転数におけるよりも３．３倍だけ大きい場合に得られる。
【００１７】
第１又は第３の気体軸受けの平坦面と中心の第２の気体軸受けの平坦面との間の半径方向の摩擦力ＦＲ のベクトルは、その半径方向の緊張力を変化させる際の第２の気体軸受けの運動方向と対向している。従って、最終回転数へと軸を増速する際は、半径方向の摩擦力が、変位装置の半径方向の緊張力とは反対に作用し、一方、軸を減速する際は、摩擦力が、緊張力と同じ方向に作用し、これにより、第２の気体軸受けは、軸を減速する際に付加的に負荷を受ける。第２の気体軸受けの過負荷を回避するため、第２の気体軸受けの半径方向の摩擦力は、せいぜい運転回転数における変位装置の最大の半径方向の緊張力ＦＶｍａｘの６５％であるべきである。
【００１８】
最終回転数へと増速する際の初期段階で既に軸を有利に安定化することは、変位装置が、気体軸受け装置の静止状態で、軸に対する第２の気体軸受けの半径方向の軸受け間隙の１０％の最小偏心度を備える場合に得られる。半径方向の緊張力を電気又は電磁気により発生させる変位装置では、調整が、回転数に依存した電気信号（例えば、電圧）によって行なわれる。高速回転軸は、大抵、電気により駆動されるので、既に存在する回転数を確定するための構成要素（例えば、ホールセンサ）が、半径方向の緊張力を設定するための回転数検出装置に加えて利用することができる。
【００１９】
半径方向の緊張力を油圧又は空気圧により発生させる変位装置では、付加的に、電気により操作される調整弁を使用することができ、この調整弁は、回転数センサの電気信号を圧力信号に変換する。
【００２０】
変位装置の特に有利な実施形は、半径方向の緊張力が、空気圧により発生させられ、孔を介して軸の軸受け間隙と接続されている圧力室が半径方向の緊張力を発生させるために設けられている場合に得られる。この孔は、圧力補償孔として使用され、これにより、軸の半径方向又は軸方向の軸受け間隙内で上昇させられる圧力は、第２の気体軸受けの圧力室に更に伝導され、これにより、第２の気体軸受けでは、所望の半径方向の緊張力が、その時間的な経過と共に、回転数に依存して上昇もしくは降下する。これにより、例えば半径方向の緊張力を電気又は電磁気により発生させるためのいかなる付加的なユニットも必要なく、半径方向の緊張力は、運転回転数へと軸を増速する際に自動的に形成される。
【００２１】
圧力室は、気体軸受け装置のハウジング内に取り付けることができ、特に有利な実施形にあっては、気体軸受けとハウジングの間に配設され、その際、いかなる別の構成要素も必要とされない。圧力補償孔及び圧力室は、できるだけ小さな容積を占めるべきである。何故なら、気体軸受け装置の移送能力は低く、従って、最終回転数へと軸を増速する際の所望の迅速な圧力上昇においては、第２の気体軸受けとハウジングとの間の圧力室が、できるだけ小さい間隙高さを備えるべきであるからである。
【００２２】
しかしながら、有利な様式では、運転状態にある圧力室の間隙高さが、少なくとも第２の気体軸受けの半径方向の遊びの７０％である。圧力室の幅は、必要な半径方向の緊張力を調達するために、少なくとも第２の気体軸受けの軸受け幅の４０％であるべきである。
【００２３】
圧力室内での確実な圧力上昇を得るために、シール装置が設けられるべきであり、このシール装置は、有利な様式では、シールリングを介して構成される。これらのシールリングは、第２の気体軸受けの半径方向の剛性をできるだけ僅かに増大させるために、シリコンから構成することができる。
【００２４】
自己調整的な空気圧による半径方向の緊張力の発生を行なうための説明した形成される変位装置では、半径方向の緊張力の発生を行なうための言及した他の原理による変位装置とは逆に、いかなる電気による制御装置／調整装置も必要ない。むしろ、自己調整的な空気圧による半径方向の緊張力の発生が行なわれ、これは、補償孔が圧力室へと通じる加圧ポイントを相応に選択することにより、最終回転数へと増速する際に増加する所望の半径方向の緊張力の経過を生じさせる。
【００２５】
シリンダ状に形成された第２の気体軸受けでは、圧力室が、有利な様式では、第２の気体軸受けの外側の表面の部分領域に取り付けられており、その際、半径方向の緊張力の発生を行なうための圧力室の周囲角度βは、最大約２１０°である。特に有利な、また適切な半径方向の緊張力の作用は、圧力室の周囲角度βが約１２０°である場合に生じる。
【００２６】
一方の端部に配設された工具を有する高速回転軸の気体軸受け装置を運転するための本発明による方法では、変位装置を介して、増加する軸の回転数により増加する第２の気体軸受けの偏心的な変位が行なわれる。この場合、有利な方法の変形例によれば、偏心的な変位及びこれにより変位装置の半径方向の緊張力は、増加する軸の回転数と共に、少なくとも線形に、また特に累進的に増加する。この場合、変位装置の半径方向の緊張力は、電気、電磁気、油圧、又は空気圧により発生させることができる。
【００２７】
これにより、特に有利な方法の変形例は、変位装置が自動的に空気圧により操作され、その際、いかなる外部からの気体供給も行なわれず、半径方向の緊張力を発生させるための圧力上昇は、軸の軸受け間隙と圧力室との間の孔を介して行なわれる。
【００２８】
この場合、有利な様式では、孔の開口部における半径方向又は軸方向の軸受け間隙内の圧力が上昇し、減少する回転数と共に降下し、これにより、軸を増速もしくは減速する際に上昇もしくは降下する所望の半径方向の緊張力の経過が生じる。
【００２９】
本発明を、指図における実施例を基にして詳細に説明する。
【００３０】
図１は、本質的にシリンダ状に形成されたハウジング１４内での高速回転軸３の気体軸受け装置の第１の実施形を示す。軸３は、モータ１５、例えば、直流モータ又は三相交流非同期モータによって駆動され、その際、気体軸受け装置は、中心の第２の気体軸受け２と第１の気体軸受け９と第３の気体軸受け８とから成り、これらの気体軸受けは、ウェブ３５を介して結合することができる。
【００３１】
モータ１５とは逆の方向に面する軸３の端部には、ポリゴンミラー２７が存在することができ、このポリゴンミラーは、ハウジング１４内の開口部２８を介して光線、例えばレーザ光線によって照明を受けることができ、その際、反射されたレーザ光線は、レーザディスプレイテクノロジ（ＬＤＴ）によるデジタル画像を構成するために使用することができる。この場合、軸３は、１２０，０００ｒｐｍの回転数又はそれ以上で運転される。言及したＬＤＴ応用のための応用例は、多数の内のただ１つに過ぎない。軸３の端部には、他の任意の工具を取り付けることもできる。
【００３２】
図１による気体軸受け装置では、例えば電磁気により作動する変位装置１は、図２によるハウジング１４の保持装置２０に設けられており、この変位装置は、アンカ２２、ジョイント２３、レバー１１、ホルダ３９の軸受け２５における別のジョイント２４、プル／プッシュロッド２１を介して、中心の第２の気体軸受け２と結合されている。変位装置１を操作する場合、第２の気体軸受け２に対して、力の方向２９にプル／プッシュロッド２１を介して半径方向の緊張力ＦＶ が導入される。これにより、変位装置１は、増加する軸３の回転数により増加する第１の気体軸受け９及び第３の気体軸受け８に対する第２の気体軸受け２の偏心的な変位を行なうために使用され、この回転数は、例えば回転数センサ１０、例えばホールセンサを介して確定される。回転数センサ１０は、図示されてない制御装置／調整装置を介して変位装置１の制御装置と接続されており、従って、制御装置は、運転回転数へと軸３を増速する際に軸３の回転数が増加する場合、増加する半径方向の緊張力ＦＶ を、第２の気体軸受け２に加えることができる。この場合、プル／プッシュロッド２１は、ネジ３０を介して第２の気体軸受け２と結合されている。
【００３３】
図１及び２による本発明による気体軸受け装置の実施形では、外部の変位装置１が設けられており、この変位装置は、半径方向の緊張力ＦＶ を、第２の気体軸受け２に、軸３の回転数に依存して第１の気体軸受け９及び第３の気体軸受け８に対して第２の気体軸受けの偏心的な変位を行なうために導入する。
【００３４】
図３〜５からは、本発明による気体軸受け装置の特に有利な実施形が分かり、その際、いかなる独立した変位装置１も設けられておらず、軸３を増速及び減速する際に第２の気体軸受け２の偏心的な変位を行なうための半径方向の緊張力ＦＶ は、空気圧によって半径方向の軸受け間隙６又は軸方向の軸受け間隙７内で上昇させられた圧力により発生させられ、この圧力は、圧力室１２を有する孔１３ａ又は１３ｂを介して、半径方向の緊張力ＦＶ を調達するための第２の気体軸受け２に供給される。
【００３５】
第２の気体軸受け２は、平坦面３１，３２を備えており、これらの平坦面は、第３の気体軸受け８及び第１の気体軸受け９の平坦面３３，３４に、第２の気体軸受け２から熱を導出するために接触させることができる。平坦面３１，３２の間の間隔は、第２の気体軸受け２の幅Ｂに相応する。図３，５による気体軸受け装置の実施形にあっては、固定ネジ３８を設けることができ、しかしながらこの固定ネジは、穿孔することによって製造する際に第２の気体軸受け２を固定するためにだけ使用され、第２の気体軸受け２の偏心的な変位と関連したいかなる応用も備えていない。
【００３６】
第２の気体軸受け２は、ハウジング１４に対する半径方向の遊び４を、また、ここでは第１の気体軸受け９に対する軸方向の遊び５を有する。
【００３７】
図３による気体軸受け装置は、孔１３ａを備えており、この孔は、第２の気体軸受け２と軸３との間の半径方向の軸受け間隙６から出発して、第２の気体軸受け２とハウジング５との間の圧力室１２への接続部を確立する。軸３を増速する際、半径方向の軸受け間隙６内で上昇させられた圧力は、孔１３ａを介して圧力室１２に更に伝導され、その際、そこで、第１の気体軸受け９及び第３の気体軸受け８に対する第２の気体軸受け２の偏心的な変位を行なうために増加する所望の半径方向の緊張力ＦＶ が構成される。
【００３８】
図４による断面図Ｇ−Ｈからは、傾斜角度γが分かり、この傾斜角度は、垂直に対する孔１３ａの位置を示す。圧力室１２は、間隙高さ３６及び周囲角度βを備えており、気体軸受け装置の軸方向にはシール１６，１７によって、また第２の気体軸受け２の接線方向にはシール１８，１９によって、ハウジング１４に対してシールされている。この場合、シール１６，１７，１８，１９は、アーチ形の四角形を構成する。加圧ポイント３７ａを有する孔１３ａは、圧力室１２に通じる。
【００３９】
図５による気体軸受け装置の実施形にあっては、半径方向の孔１３ａの代わりに、加圧ポイント３７ｂを有する軸方向の孔１３ｂが設けられており、この孔は、圧力室１２と軸３の軸方向の軸受け間隙７との間の接続部を確立する。
【００４０】
半径方向の孔１３ａを有する実施形の場合（図３，４を参照のこと）も、また軸方向の孔１３ｂを有する実施形の場合も、いかなる独立した変位装置１も必要としない。図１，２による変位装置１のように第２の気体軸受け２に作用する半径方向の緊張力を調達するために必要な圧力は、独立した気体供給装置を有することなく、軸受け間隙６，７内で上昇させられる圧力によって内部で発生させられる。従って、一体化された空気圧による変位装置を有するこの様式の気体軸受け装置及び半径方向の緊張力ＦＶ の調達装置は、特に確実であり、僅かな数の構成要素しか必要としない。
【図面の簡単な説明】
【図１】
気体軸受け装置の第１の実施形の本質的にシリンダ状に形成されたハウジングを経る図２による縦断面Ｃ−Ｄを示す。
【図２】
図１による断面Ａ−Ｂを示す。
【図３】
気体軸受け装置の第２の実施形の本質的にシリンダ状のハウジングを経る図４による断面Ｅ−Ｆを示す。
【図４】
図３による断面Ｇ−Ｈを示す。
【図５】
気体軸受け装置の別の実施形の本質的にシリンダ状のハウジングを経る縦断面を示す。
【符号の説明】
１                      変位装置
２                      第２の気体軸受け
３                      軸
４                      半径方向の遊び
５                      軸方向の遊び
６                      半径方向の軸受け間隙
７                      軸方向の軸受け間隙
８                      第３の気体軸受け
９                      第１の気体軸受け
１０                      回転数センサ
１１                      レバー
１２                      圧力室
１３ａ，１３ｂ            孔
１４                      ハウジング
１５                      モータ
１６，１７，１８，１９    シール
２０                      保持装置
２１                      プル／プッシュロッド
２２                      アンカ
２３，２４                ジョイント
２５                      軸受け
２７                      ポリゴンミラー
２８                      開口部
２９                      力の方向
３０                      ネジ
３１，３２，３３，３４    平坦面
３５                      ウェブ
３６                      間隙高さ
３７ａ，３７ｂ            加圧ポイント
３８                      固定ネジ
３９                      ホルダ
ＦＶ                       半径方向の緊張力
ＦＲ                       半径方向の摩擦力
ｃ                        半径方向の剛性
α                        軸受け膨張率
β                        周囲角度
γ                        傾斜角度
Δｔ                      温度差
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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