(57)【要約】低誘電率材料は第１および第２の成分からつくられるポリマーネットワークを有する。第１の成分はポリマー鎖を含み、また第２の成分は、少なくとも３つの腕が、そこから延びている中心部分を有する分子を含み、それぞれの腕は活性基をもつ骨格を含む。第１の成分および第２の成分は、第１および第２の成分が熱的に活性化されたとき、反応基の少なくとも１つを含む反応でポリマーネットワークを形成する。想定されている低誘電率材料は、電子デバイスの製造に有利に用いられ、特に想定されているデバイスには集積回路が含まれる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも第１の成分および第２の成分からつくられたポリマーネットワークを含み、
第１の成分がポリマー鎖を含み；
第２の成分が、中心部分から延びている少なくとも３つの腕を有する中心部分を有する分子を含み、それぞれの腕が反応基を有する骨格を含み；
第１の成分と第２の成分が熱的に活性化されたとき、第１の成分と第２の成分が、前記反応基の少なくとも１つを含む反応でポリマーネットワークを形成する低誘電率材料。
【請求項２】
ポリマー鎖がポリ（アリーレン）を含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項３】
ポリ（アリーレン）が、ポリ（アリーレンエーテル）、ポリ（アリーレンエーテル−エーテル−ケトン）、ポリ（アリーレンエーテル−キノキサリン）、ポリ（アリーレンエーテル−ベンジル）、およびポリ（アリーレンエーテル−キノリン）からなる群から選択される請求項２に記載の低誘電率材料。
【請求項４】
ポリマー鎖がポリイミド、ポリアミド、ポリイミド−アミドからなる群から選択されるポリマーを含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項５】
分子の中心部分が、かご型化合物を含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項６】
かご型化合物がアダマンタン、ジアマンタンおよびフラーレンからなる群から選択される請求項５に記載の低誘電率材料。
【請求項７】
分子の中心部分がケイ素原子を含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項８】
分子の３つの腕の少なくとも１つが芳香族環を含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項９】
分子の３つの腕の少なくとも１つがエチニル基をさらに含む請求項８に記載の低誘電率材料。
【請求項１０】
分子の３つの腕の少なくとも１つが、４−エチニルフェニル、トラニル、４−フェニルエチニルビフェニル、およびビストラニルからなる群から選択される化学基を含む請求項９に記載の低誘電率材料。
【請求項１１】
前記分子が、
【化１】
2004504424.tif 000008
からなる群から選択される構造を有する請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１２】
前記分子が、構造
【化２】
2004504424.tif 000009
を有する請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１３】
前記分子が、
【化３】
2004504424.tif 000010
からなる群から選択される構造を有する請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１４】
反応基が三重結合である請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１５】
ポリマーネットワークが準相互貫入ネットワークである請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１６】
前記反応が付加環化反応を含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１７】
前記反応がさらなる架橋性分子なしに起こる請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１８】
熱活性化が第１の成分および第２の成分を少なくとも２００℃の温度に加熱することを含む請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項１９】
２．４未満の誘電率をもつ請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項２０】
２．７未満の誘電率をもつ請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項２１】
４００℃より高いガラス転移温度をもつ請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項２２】
４５０℃より高いガラス転移温度をもつ請求項１に記載の低誘電率材料。
【請求項２３】
ポリマー鎖を含む第１の成分を準備すること；
中心部分から延びている少なくとも３つの腕を有する中心部分を有する分子を含む第２の成分を準備すること（ここにおいて、それぞれの腕は反応基を有する骨格を含んでおり）；および
少なくとも第１の成分および第２の成分からポリマーネットワークを形成すること（ここにおいて、第１の成分と第２の成分が熱的に活性化されたとき、反応基の少なくとも１つを含む反応において第１の成分と第２の成分がポリマーネットワークを形成する）；
を含む低誘電率材料の生成方法。
【請求項２４】
ポリマー鎖がポリ（アリーレン）を含み、中心部分がアダマンタン、ジアマンタン、フラーレン、およびケイ素原子からなる群から選択される請求項２３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の分野
本発明の分野は低誘電率材料である。
【０００２】
発明の背景
集積回路のデザインルールが減少しているので、誘電率（ｋ値）を低下させた絶縁材料が常に求められており、１．０（すなわち、空気のｋ値）の理論限界値のより近くまで絶縁材料の誘電率を下げるための様々な手法が開発されてきた。
【０００３】
１つの手法では、熱安定性ポリマーを熱不安定性（熱分解性）ポリマーとブレンドする。次に、そのブレンド混合物を架橋し、熱不安定性部分を熱分解させてナノサイズの空孔を生じさせる。例が、Ｈｅｄｒｉｃｋ他の米国特許第５，７７６，９９０号に記載されている。別法として、１つのブロックコポリマー内で熱不安定性ブロックと熱安定性ブロックを交互に繋ぎ、次にそのブロックコポリマーを加熱して熱不安定性ブロックを熱分解させる。さらなる変形形態では、熱安定性ブロックならびに熱不安定性部分を含む熱安定性ブロックを混合し、重合させてコポリマーを生成する。次に、このコポリマーを加熱して熱不安定性ブロックを熱分解させる。熱分解によりナノサイズの空孔を生成させるプロセスは比較的簡単であるが、ポリマーブレンドあるいはコポリマーに熱不安定性部分を含めることには、多くの場合かなりの制約がある。例えば、ポリマーブレンドが用いられる場合、ポリマーブレンド中の熱不安定性部分の分布は比較的制御し難い。さらに、ナノサイズの空孔のサイズは不均一になりがちである。他方、熱不安定性部分が予め組み込まれたコポリマーあるいはブロックポリマーにより、通常、ポア（ｐｏｒｅ）のサイズおよび分布をよりよく制御することができるが、このようなコポリマーおよびブロックポリマーの合成は多くの場合より大きな労力を必要とする。さらに、コポリマーあるいはブロックポリマーが合成されてしまうと、ナノサイズのポアのサイズと量を変化させるのはより困難である。
【０００４】
別の手法では、微細な空孔キャリアとしてふるまう小さな中空ガラス球を誘電材料とブレンドし、次に誘電材料をその空孔キャリアの存在下に硬化させる。小さなガラス球を含める実施例は、Ｋａｍｅｚａｋｉの米国特許第５，４５８，７０９号およびＹｏｋｏｕｃｈｉの米国特許第５，５９３，５２６号に記載されている。通常、小さなガラス球を含めても機械的安定性が低下するという結果にはならないが、多くの場合ガラス球を均一に分散させることは容易でない。さらに、ＫａｍｅｚａｋｉとＹｏｋｏｕｃｈｉの手法は一般に比較的大きな球に限定される。ガラス球よりかなり小さい空孔を含ませるために、米国特許第５，７４４，３９９号においてＲｏｓｔｏｋｅｒとＰａｓｃｈは、後で架橋され硬化されるポリマーマトリックス材料にブレンドされる空孔キャリアとしてフラーレンを使用することを記載する。場合によっては実施されるさらなるステップで、マトリックス材料を溶解させない溶剤にフラーレンを溶解させることによりフラーレンを除去することができる。ＲｏｓｔｏｋｅｒとＰａｓｃｈの手法によりガラス球よりかなり小さい空孔キャリアを都合よく含めることができるが、川下のプロセスで、特に複数の低誘電率材料層が必要とされる場合に、残留溶剤が潜在的な問題を提起することがある。さらに、ナノサイズの空孔のサイズバリエーションはフラーレンのサイズバリエーションに限りがあるために限られている。
【０００５】
空孔の導入に用いられる手法によらず、ナノ多孔材料を製造するに際しては頻繁に構造上の問題が現れる。とりわけ、多孔度が臨界範囲（公知のナノ多孔材料では、通常約３０％）を超えて上昇すると、より多くの多孔材料は潰れてしまいがちである。熱安定性部分を他の熱安定性部分に繋ぐ架橋性添加剤を加えることにより、より強固なネットワークを生成させて、ある程度潰れることを防ぐことは可能であり、ナノ多孔材料の熱安定性部分を架橋する２つの異なる技法が、当技術分野において一般に知られている。
【０００６】
１つの技法では、特殊な架橋性官能基をポリマーに予め組み込む。これらの官能基は、熱不安定性部分を熱分解するかあるいは他の何かを除去してナノ多孔を生成させる前に、互いに反応してポリマー鎖を架橋させる。例えば、Ａｕｍａｎの米国特許第５，１７７，１７６号では、ポリマー鎖の末端に位置する様々な架橋性官能基を用いてポリマー鎖を架橋させる。別の技法においては、外から導入された架橋性分子を架橋に用いる。熱不安定性部分を熱分解するために、架橋したポリマーを次に加熱する。例えば、Ｓｔｒｅｃｋｌｅ，Ｊｒ．の米国特許第５，７１０，１８７号では、外から添加された多官能性アシルハライドあるいはベンジルハライドを用いて、芳香族モノマーを架橋させる。
【０００７】
固有のあるいは外から添加された架橋成分による架橋により、ナノ多孔材料の構造特性は多くの場合少なくともある程度は向上するが、固有のあるいは外から添加された架橋成分を使用することにより新しい問題が頻繁に生じる。例えば、固有の架橋成分を含む、熱不安定性および熱安定性部分をもつコポリマーあるいはブロックポリマーは一般に合成が難しい。さらに、適切な固有架橋成分の選択は、熱安定性部分の反応基の反応性および導入可能性によりさらに制限される。他方、架橋成分が外から添加される場合には、外的な架橋成分の溶解性、化学的適合性および選択的反応性が多くの場合限られている。
【０００８】
このように、当技術分野においてポリマー材料の誘電率を低下させる多くの手法が知られているが、それらの全てあるいはほとんど全てには１つまたは複数の不都合がある。したがって、低誘電率材料を与える、改良された方法および組成物を提供することが依然として求められている。
【０００９】
発明の概要
本発明は、２つの成分からつくられるポリマーネットワークを含む低誘電率材料を対象とする。第１の成分はポリマー鎖を含み、第２の材料は、そこから３つ以上の腕が延びる中心部分をもつ星型分子を含む。それぞれの腕は反応基をもつ骨格を含む。ポリマーネットワークは、第１および第２の成分を熱活性化することにより、前記反応基の少なくとも１つを含む反応において形成される。
【００１０】
本発明の主題の一態様において、第１の成分にはポリマー鎖、好ましくはポリ（アリーレン）、より好ましくはポリ（アリーレンエーテル）、ポリ（アリーレンエーテル−エーテル−ケトン）、ポリ（アリーレンエーテル−キノキサリン）、ポリ（アリーレンエーテル−ベンジル）、およびポリ（アリーレンエーテル−キノリン）が含まれる。さらに想定されているポリマー鎖には、ポリイミド、ポリアミド、およびポリイミド−アミドが含まれる。
【００１１】
本発明の主題の別の態様において、第２の成分には、中心部分が好ましくはアダマンタン、ジアマンタンあるいはフラーレンを含む星型分子が含まれる。好ましい別の中心部分にはケイ素原子および少なくとも１個の芳香族環が含まれる。
【００１２】
本発明の主題のさらなる態様において、星型分子の少なくとも１個の腕は芳香族環を含み、好ましくはエチニル基をさらに含み、また特に好ましい腕には４−エチニルフェニル、トラニル、４−フェニルエチニルビフェニル、およびビストラニルが含まれる。想定されている腕の反応基は三重結合であることが一般に好ましく、またネットワーク（好ましくは、準相互貫入ネットワーク）の形成には付加環化反応が含まれることがさらに想定されている。
【００１３】
添付図と合わせて、本発明の好ましい実施形態の以下の詳細な説明から、本発明の様々な目的、特徴、態様および利点がより明らかとなるであろう。
【００１４】
図１Ａ〜１Ｂは、中心部分としてかご形化合物を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【００１５】
図２は、中心部分として芳香族環を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【００１６】
図３Ａ〜３Ｃは、中心部分としてケイ素原子を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【００１７】
図４Ａ〜４Ｄは、本発明の主題に従ってつくられた例示的ポリマーネットワークの概略的構造を示す図である。
【００１８】
詳細な説明
本発明の主題による低誘電率材料は一般に、少なくとも第１の成分および第２の成分からつくられたポリマーネットワークを有し、第１の成分はポリマー鎖を含み、また第２の成分は、少なくとも３つの腕がそこから延びている中心部分を有する分子を含み、それぞれの腕は骨格を含み、またそれぞれの腕は骨格に反応基をもつ。ポリマーネットワークは、第１および第２の成分が熱的に活性化されたとき、反応基の少なくとも１つの反応を含む、第１の成分および第２の成分により形成される。
【００１９】
本発明の主題の好ましい態様において、第１の成分は構造１で示される一般式をもつポリ（アリーレンエーテル）であり、
【００２０】
【化４】
2004504424.tif 000002
上式中、ｎはほぼ２０から２００の間である。第２の成分は構造２で示されるテトラキス（トラニル）シランであり、
【００２１】
【化５】
2004504424.tif 000003
上式中、ケイ素原子が中心部分であり、各トラニル基が腕を表す。トラニル基の三重結合が反応基である。第１の成分および第２の成分は、ほぼ等モル比で溶剤（例えば、アニソール）に溶かし（例えば、５０ｍＭ）、標準的なスピンコート法によりこの溶液を適切な基材（例えば、シリコンウェハ）に塗布し、基材に塗布された溶液を約１８０℃でほぼ２時間加熱することにより第１の成分および第２の成分を熱的に活性化する。準相互貫入ネットワークは、トラニル基の三重結合を用いる付加環化反応で重合され架橋されるポリ（アリーレンエーテル）と複数のテトラキス（トラニル）シラン分子により形成される。
【００２２】
本発明の主題の別の態様においては、第１の成分のポリマー鎖は必ずしもポリ（アリーレンエーテル）に限定される必要はなく、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリイミド、ポリアミド、ポリイミド−アミドなどを含む、様々な代わりとなる有機ポリマー鎖を一般に含むことができる。比較的ガラス転移温度が高いこと（すなわち、Ｔｇ＞３００℃）が特に望ましい場合、特に好ましい有機ポリマー鎖には、ポリ（アリーレンエーテル）、ポリ（アリーレンエーテル−エーテル−ケトン）、ポリ（アリーレンエーテル−キノキサリン）、ポリ（アリーレンエーテル−ベンジル）およびポリ（アリーレンエーテル−キノリン）などのポリ（アリーレン）が含まれる。別法として、有機金属および無機ポリマー鎖もまた本明細書に記載された教示に関連して適切なポリマー鎖でありうる。例えば、改善された接着性あるいは構造靭性が望まれる場合、有利には、ポリマー鎖にポリシランを加えることができる。さらに別の例で、５００℃を超える耐熱性が必要とされる場合、シリカあるいはアルミナが特に企図される。
【００２３】
本明細書では、用語「ポリマー鎖」は、繰り返し、共有結合で少なくとも１個の他のモノマーに結合している何らかのモノマー成分を意味する。例えば、ポリマー鎖は、それぞれのモノマーが２個の他のモノマーに共有結合してモノマーからなる直鎖（すなわち、線状ポリマー鎖）を形成する、複数のモノマーを含んでいてもよい。別の例では、ポリマー鎖は、それぞれのモノマーが２個、３個あるいはより多数のモノマーと共有結合してモノマーからなる非直鎖（すなわち、分岐ポリマー鎖あるいは線状もしくは分岐ポリマー鎖からなる３次元ネットワーク）を形成する、複数のモノマーを含んでいてもよい。
【００２４】
適当なポリマー鎖は様々な分子量であってよいということがさらに理解されるべきである。ポリマー鎖は約５０００Ｄａと１０００００Ｄａの間の平均分子量をもつことが一般に好ましいが、他の様々な分子量もまた想定されている。例えば、モノマーが２００未満の分子量をもち、ポリマー鎖の長さが約２５個のモノマーの繰返しより短いことが好ましい場合、５０００Ｄａと１０００Ｄａの間あるいはこれより小さい分子量が想定されている。同様に、ポリマー鎖が比較的分子量の大きい（例えば、＞１０００Ｄａ）モノマーを含む場合、あるいはポリマー鎖が比較的多数のモノマーを含むべきである場合、１０００００Ｄａから１００００００Ｄａ、あるいはこれより大きい分子量が想定されている。
【００２５】
好ましいポリマー鎖は一般的には線状ポリマー鎖であるが、分岐および架橋ポリマー鎖を含む非線状ポリマー鎖も企図されている。例えば、剛性が増加した構造が特に望ましい場合、適当なポリマー鎖を様々な度合いで架橋してもよい。架橋度は本明細書に記載された本発明の構想にとって重要ではないことが一般に企図されているが、通常適当なポリマー鎖は、１００モノマーあたり１個所と１００００モノマーあたり１個所の間の架橋を有することが好ましい。しかし、比較的大きな架橋度が好ましい場合、１００モノマーあたり１架橋より多いことが企図されている。別法として、また剛性のある構造がポリマー鎖にすでに組み込まれている場合（例えば、剛直棒状ポリマー）は特に、１００００モノマーあたり１架橋より少ないこともまた企図されている。さらに、適当なポリマー鎖は分岐ポリマー鎖を含み、ポリマー鎖の枝は構造的および物理化学的性質を向上させるのに寄与しうる。例えば、あるポリマー鎖は架橋性官能基のある枝を含み、別のポリマー鎖は、そのポリマー鎖を含む材料の全体としての密度を効果的に低下させることによりその材料の誘電率を低下させる立体障害の大きい枝を含むことができる。
【００２６】
第１の成分は、１種または複数の溶剤、加工を容易にする分子あるいは組成物、架橋成分などを含む、ポリマー鎖以外の様々な分子をさらに含むことができるということもまた理解されるべきである。例えば、想定される溶剤には、様々なエーテル、アニソール、および塩化メチレンが含まれる。想定される、加工を容易にする分子あるいは組成物には、接着性向上剤、消泡剤、および安定剤が含まれる。
【００２７】
分子の中心部分に関して、ケイ素原子以外の多くの原子および／または原子団も適切であると企図されている。本明細書では、用語「中心部分」は、それに対して少なくとも３つの腕が、全ての腕が空間で実質的に異なる方向に延びるように共有結合している原子あるいは原子団を意味する。例えば、テトラキス（トラニル）シランあるいはテトラキス（トラニル）アダマンタンのケイ素原子あるいはアダマンタン基は、４個のトラニル基の全てがケイ素原子あるいはアダマンタン基に共有結合で付けられており、また４個のトラニル基の全てが空間で実質的に異なる方向に向けられているので、この定義の範囲のもとで中心部分と考えられる。特に好ましい別の中心部分には、かご型化合物（すなわち、共有結合した原子により形成される複数の環がある体積を定め、その体積内に位置する点は環を通過しなければその体積を出ることができない分子）が含まれ、また特に想定されているかご型化合物はアダマンタン、ジアマンタンおよびフラーレンである。別法として、中心部分が１原子である場合、想定されている別の原子にはリンおよびゲルマニウムが含まれうる。
【００２８】
本発明の主題の別の態様において、中心部分に共有結合している腕は３個の同一のトラニル基に限定される必要はなく、かなり多様でありうる。こうして、適当な腕は通常少なくとも１個の芳香族環をもつ腕を含み、腕が芳香族環を含む場合さらにエチニル基もまたその腕にあることが好ましい。特に好ましい別の腕は、三重結合および芳香族環を含む化学基を含み、またさらに一層好ましい別の腕は、４−エチニルフェニル、４−フェニルエチニルビフェニル、およびビストラニルである。全ての腕が同一であることが一般には好ましいが、１つあるいは複数の腕が、同一分子内の１つあるいは複数の他の腕とは異なる化学成分および／または長さをもちうるということも想定されている。例えば、第２の成分がポリマー鎖を形成するために用いられる場合、第１の組の腕の第１の組の反応基を重合のために用い、第２の組の腕の第２の組の異なる反応基を架橋に用いることもできる。別法として、中心部分が４つの腕に繋がれ、４つの腕の全てが重合および／または架橋のための反応基をもつ場合、長さが同一でない腕を不均一な構造をもつ架橋ポリマーを生成させるために用いることができる。さらに、中心部分の化学的性質によっては、腕の数は４つの腕に限定される必要はないということが理解されるべきである。例えば、中心部分がフェニル環（例えば、フロログルシノール）を含む場合、３つの腕が想定されている。別法として、中心部分がセキシフェニレン（ｓｅｘｉｐｈｅｎｙｌｅｎｅ）環系を含む場合、分子に３つあるいは４つより多い腕を用いることができる。しかし、想定されている分子の腕の数は３つの腕より少なくはないであろうということが理解されるべきである。このように、２つあるいはたった１つの腕をもつ分子は、本明細書に記載された教示に関連すると考えられていない。
【００２９】
腕の化学的性質に応じて、反応基が骨格にある限り反応基はかなり多様でありうる。本明細書では、用語「骨格」は、いずれかの原子あるいは原子団を除去すると鎖が途切れる結果になるように共有結合している切れ目のない原子あるいは原子団の鎖を意味する。特に好ましい腕において、反応基は三重結合である。別法として、反応基はジエンおよびジエノフィル、求核および求電子基を含んでいてもよい。結果として、反応基の化学的性質に応じて、反応はかなり多様でありうるが、反応が付加環化反応を含むことが好ましい。
【００３０】
別の態様において、適当な反応は様々な（例えば、求核、芳香族）置換反応、脱離反応、および付加反応を含みうる。中心部分と延びた腕をもつ好ましい分子は、第１の成分の存在下に重合し架橋しうる（すなわち、熱硬化性モノマーとして機能する）ということが特に理解されるべきである。中心部分として、かご型化合物を有する例示的な第２の成分の構造が図１Ａおよび１Ｂに示されており、中心部分として芳香族環を有する例示的な第２の成分が図１Ａに示されている。図３Ａ〜３Ｃは中心部分としてケイ素原子を有する例示的な第２の成分の構造を示す。さらなる例示的な分子およびそれらの合成は、「Ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎｓ　Ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　Ｆｏｒ　Ｔｈｅｒｍｏｓｅｔｔｉｎｇ　Ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ　Ｉｎ　Ｏｒｇａｎｉｃ　Ｃｏｍｐｏｓｉｔｉｏｎｓ（有機組成物中の熱硬化性分子のための組成物および方法）」という名称の、Ｌａｕ等の同時係属の米国特許出願に記載されており、これを完全に本明細書に組み込む。
【００３１】
熱活性化に関しては、反応基の化学的性質に応じて、第１の成分および第２の成分を少なくとも２００℃の温度に加熱することに限定される必要はなく、かなり多様でありうると想定されている。例えば、活性化された反応基が用いられる場合には、加熱は２００℃より低い温度を必要とし、１５０℃と２００℃の間、あるいはより低い温度を含みうる。別の場合には、加熱は２００℃を超える温度を必要とし、２００℃と３５０℃の間、あるいはより高い温度を含みうる。別法として、ネットワークの形成には、熱活性化以外の機構が含まれていてもよく、想定されている代わりとなる機構には、ラジカル重合、光重合、マイクロ波誘起重合などが含まれる。第２の成分を第１の成分に、第２の成分を別の第２の成分に、あるいは第２の成分を第１の成分および別の第２の成分に架橋するかのいずれかである外から加えられた架橋成分の添加によりネットワークを形成することもできるということがさらに理解されるべきである。
【００３２】
第２の成分には、１種または複数の溶剤、重合反応を開始させる活性化剤、加工を容易にするための分子もしくは組成物、架橋成分などを含む、さらなる分子が含まれていてもよいということがさらに理解されるべきである。例えば、想定されている溶剤には、様々なエーテル、アニソール、および塩化メチレンが含まれる。想定されている、加工を容易にするための分子あるいは組成物には、接着性向上剤、消泡剤、および安定剤が含まれ、また想定されている重合活性化剤には、ラジカル開始剤および光増感剤が含まれる。
【００３３】
ポリマーネットワークは準相互貫入ネットワークであることが好ましいが、様々な別のネットワークも想定されている。例えば、第２の成分を線状ポリマー鎖の存在下に重合し架橋して、さらなる架橋を第２の成分と線状ポリマー鎖の間に形成させる場合、改変された準相互貫入ネットワークが形成されるであろう。同様に、第２の成分を架橋されたポリマー鎖の存在下に重合し架橋する場合、相互貫入ネットワークが形成されるであろう。別法として、第２の成分を架橋されたポリマー鎖の存在下に重合し架橋して、さらなる架橋を第２の成分と架橋されたポリマー鎖の間に形成させる場合、改変された相互貫入ネットワークが形成されるであろう。改変された準相互貫入ネットワーク、改変された相互貫入ネットワーク、あるいは相互貫入ネットワークの形成は、構造の安定性を有利に増大させうると想定されている。本明細書では、用語「ポリマーネットワーク」は、少なくとも２種のポリマー鎖が混ざり合って、少なくとも１種のポリマー鎖が架橋されている、入り組んだ構造を形成している材料を意味する。
【００３４】
様々な公知の方法でポリマーネットワークを形成することができ、これらの全てが、本明細書に記載された教示に関連して使用されると想定されている。想定される例示的な選びうるポリマーネットワークが図４Ａ〜４Ｄに示されている。図４Ａでは、準相互貫入ネットワーク１が複数のポリマー鎖１０、中心部分２４および３つの腕２２を有する複数の星型分子２０を有している。この分子は共有結合２６により重合／架橋されている。図４Ｂでは、相互貫入ネットワーク１０１が架橋１１２により架橋された、複数のポリマー鎖１１０を有している。星型分子１２０は中心部分１２４と３つの腕１２２を有している。この分子は共有結合１２６により重合／架橋されている。図４Ｃでは、改変された準相互貫入ネットワーク２０１が複数のポリマー鎖２１０を有している。星型分子２２０は中心部分２２４と３つの腕２２２を有する。この分子は共有結合２２６により重合／架橋されており、さらに共有結合２３０によりポリマー鎖に共有結合で繋がれている。図４Ｄでは、改変された相互貫入ネットワーク３０１が架橋３１２により架橋されている、複数のポリマー鎖３１０を有する。星型分子３２０は中心部分３２４と３つの腕３２２を有する。この分子は共有結合３２６により重合／架橋されており、さらに共有結合３３０によりポリマー鎖に共有結合で繋がれている。図４Ａ〜４Ｄでは、ポリマー鎖の続きの延長は破線で示されており、中断された直線は、２本のポリマー鎖が重なっている箇所を示す。
【００３５】
本発明の主題の特に好ましい態様において、本低誘電率材料がエレクトロニクス基材（好ましくはシリコンウェハ）の表面に適用される。さらに、低誘電率材料は３．０未満、より好ましくは２．７未満、またより一層好ましくは２．４未満の誘電率を示すであろうと想定されている。想定されている低誘電率材料のガラス転移温度（Ｔｇ）に関しては、低誘電率材料のＴｇは一般に、３５０℃より高く、より好ましくは４００℃より高く、また最も好ましくは４５０℃より高いと想定されている。
【００３６】
実施例
以下の実施例は第１および第２の成分の例示的合成ならびに本発明の主題による改良された低誘電率材料の例示的調製を示す。
【００３７】
実施例１
例示的ポリ（アリーレンエーテル）ポリマー鎖の合成
ポリ（アリーレンエーテル）ポリマー鎖をつくるための一般的合成スキームが下のスキーム１に示されている。ＡＲおよびＡＲ’は通常、芳香族あるいは縮合芳香族部分であることが多いが、何らかの適切な熱安定構造を独立に含み、スキーム１の例では、ＨＯ−Ｃ６Ｈ４−ＡＲ−Ｃ６Ｈ４−ＯＨはフルオレンビスフェノールであり、Ｆ−Ｃ６Ｈ４−ＡＲ’−Ｃ６Ｈ４−Ｆは、少なくとも１つのトラン部分を含むジフルオロ芳香族化合物である。
【００３８】
【化６】
2004504424.tif 000004
フルオレンビスフェノールと４−フルオロ−３’−（４−フルオロベンゾイル）トランの間の反応により例示されるポリ（アリーレンエーテル）の一般的合成手順は次の通りである：磁気攪拌子、熱伝対、ディーンスタークトラップ、還流冷却管およびＮ２の入口−出口接続を備えた１Ｌの３つ口丸底フラスコを数時間Ｎ２でパージし、０．２Ｌの温かいスルホランを入れた。７０〜８０℃で、３５．０４２ｇ（０．１Ｍｏｌ）のフルオレンビスフェノール（ＦＢＰ）、３１．８３２０ｇ（０．１Ｍｏｌ）の４−フルオロ−３’−（４−フルオロベンゾイル）トラン（ＦＢＺＴ）および２７．６４ｇ（０．２Ｍｏｌ）の炭酸カリウムを加えて、１６５ｍＬの温かいスルホランおよび１６５ｍＬのトルエンでリンスした。反応物を１４０℃に加熱し、この温度で１〜２時間共沸させて、次いでトルエンを除去することにより温度を徐々に１７５℃に上昇させて、共沸させながら１７５℃で１５〜２０時間反応を続けた。温度を１６５℃に下げ、４−フルオロベンゾフェノンを加え、エンドキャッピングを５時間続けた。反応物を１６５ｍＬのＮＭＰで希釈し、一夜放置した。次に、冷めた反応物を濾紙で濾過し、５倍のＭｅＯＨ（０．０３％ＨＮＯ３）に沈殿させ、ＮＭＰに再び溶解させ、５倍のＭｅＯＨ（０．０１％ＨＮＯ３）に沈殿させた。濾紙を用いて沈殿を濾過し、それぞれ１ＬのＭｅＯＨを用いて３回、濾紙上で洗い、６０°〜７０℃で一夜、真空乾燥した。
【００３９】
実施例２
【００４０】
【化７】
2004504424.tif 000005
アダマンタンは、Ｓｏｌｌｏｔ，Ｇ．Ｐ．とＧｉｌｂｅｒｔ，Ｅ．Ｅ．によりＪ．Ｏｒｇ．Ｃｈｅｍ．４５，５４０５−５４０８（１９８０）に以前記載された手順に従って、ＴＢＡへと臭素化する。
【００４１】
【化８】
2004504424.tif 000006
ＴＢＡを、Ｒｅｉｃｈｅｒｔ，Ｖ．ＲおよびＭａｔｈｉａｓ，Ｌ．Ｊ．により、Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，２７，７０１５−７０２２（１９９０）に記載されたように、ブロモベンゼンと反応させて、テトラキス（３／４−ブロモフェニル）アダマンタン（ＴＢＰＡ）を生成させた。予想に反して、反応の結果様々な副生成物が形成され、望みのＴＢＰＡの収率はほぼ５０％であった。しかし、生成混合物を新しい試薬および触媒（ブロモベンゼンおよびＡｌＣｌ３、２０℃で１分）と反応させたとき、ＴＢＰＡをほぼ９０％の収率で得た。
【００４２】
【化９】
2004504424.tif 000007
ＴＢＰＡを、芳香族置換反応の一般的反応プロトコル（例えば、Ｒ．Ｊ．Ｃｏｔｔｅｒによる、Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ−Ａ　Ｈａｎｄｂｏｏｋ　ｏｆ　Ｐｏｌｙａｒｙｌｅｔｈｅｒｓ（エンジニアリングプラスチック−ポリアリールエーテルのハンドブック）（Ｇｏｒｄｏｎ　ａｎｄ　Ｂｒｅａｃｈ　Ｐｕｂｌｉｓｈｅｒｓ，ＩＳＢＮ　２−８８４４９−１１２−０））に従って、フェニルアセチレン（市販品）と反応させて、最終生成物テトラキス（トラニル）アダマンタンを得た。
【００４３】
実施例３
ポリマーネットワークの作製
実施例１によるポリ（アリーレンエーテル）を約５〜１５％（重量で）の濃度でシクロヘキサンに溶解させることにより、第１の溶液を調製する。この第１の溶液を、シクロヘキサン中に５〜２０％（重量で）のテトラキス（トラニル）アダマンタン（実施例２参照）を含む第２の溶液とブレンドし、得られたブレンドをウェハ上にスピンキャストする。次に、このウェハを２５０℃でほぼ２分間乾燥させて溶剤を除去し、酸素を排除した制御された炉中で、４００℃で約１時間硬化させて、ポリマーネットワークを生成させた。ＦＴＩＲにより２２００ｃｍ−１で、エチニル基の消滅をモニタすることができる。
【００４４】
以上のように、ポリマーネットワークをもつ低誘電率材料についての特定の実施形態および応用が開示された。しかし、本明細書における本発明の構想から逸脱することなく、すでに記載されたもの以外にさらに多くの変更が可能であるということが、当分野の技術者には明らかであろう。したがって、本発明の主題は特許請求の範囲の精神以外によっては限定されるべきでない。さらに、明細書と特許請求の範囲の双方を解釈するにあたり、全ての用語は情況と両立する最も広い妥当な仕方で解釈されるべきである。特に、用語「含む（ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」および［含んでいる（ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ）］は、要素、成分、あるいはステップの非排除的な仕方での参照として解釈されるべきであり、参照された要素、成分、あるいはステップが、特に参照されなかった他の要素、成分、あるいはステップと共に存在するか、あるいは用いられるか、あるいは組み合わされうるということを示している。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
中心部分としてかご形化合物を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図１Ｂ】
中心部分としてかご形化合物を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図２】
中心部分として芳香族環を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図３Ａ】
中心部分としてケイ素原子を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図３Ｂ】
中心部分としてケイ素原子を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図３Ｃ】
中心部分としてケイ素原子を有する例示的第２成分の構造を示す図である。
【図４Ａ】
本発明の主題に従ってつくられた例示的ポリマーネットワークの概略的構造を示す図である。
【図４Ｂ】
本発明の主題に従ってつくられた例示的ポリマーネットワークの概略的構造を示す図である。
【図４Ｃ】
本発明の主題に従ってつくられた例示的ポリマーネットワークの概略的構造を示す図である。
【図４Ｄ】
本発明の主題に従ってつくられた例示的ポリマーネットワークの概略的構造を示す図である。
【図１Ａ】
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【図１Ｂ】
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【図２】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図３Ｃ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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