(57)【要約】物質が首尾一貫して互いに結合している、第１の成分（１１）および第２の成分（１２）を有する複合材料（５）が提案されている。この場合、第１の成分（１１）は、圧電材料と同様の挙動を取り、第２の成分（１２）は、磁気弾性材料と同様の挙動を取る。複合材料は、特にセンサー素子またはアクチュエーター素子、例えば回転数センサー、流れセンサー、回転モーメントセンサー、エネルギーセンサーまたは受動センサー素子への使用に適している。それと共に、複合材料の製造法が提案されている。第１の方法は、第１の成分（１１）を有する第１の粉末および第２の成分（１２）を有する第２の粉末を有する粉末混合物から出発し、この混合物は、圧縮され、焼結される。第２の方法は、２つの成分（１１、１２）の１つの成分を有する被覆を、それぞれ別の成分（１１、１２）を有するナノ寸法の粉末粒子上に施与することが設けられている。第３の方法は、２つの成分（１１、１２）の１つの成分を有する層（１３、１４）を、スパッタリングまたは蒸着によって支持体上に製造し、次にこの層（１３、１４）上でそれぞれ別の成分を有する層（１３、１４）を施与することが設けられている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
物質が首尾一貫して互いに結合している、第１の成分および第２の成分を有する複合材料において、第１の成分（１１）が複合材料（５）に顕著な電圧または機械的応力の影響下で圧電材料と同様の挙動を取り、第２の成分（１２）が複合材料（５）に顕著な機械的応力または磁界の影響下で磁気弾性材料と同様の挙動を取ることを特徴とする、複合材料。
【請求項２】
第１の成分（１１）がセラミック圧電材料、殊にＰＺＴセラミック粉末、石英、酸化亜鉛、強誘電材料、ＢａＴｉＯ３またはＰｂＴｉＯ３、または強誘電性ピエゾセラミック材料であるかまたはセラミック圧電材料、殊にＰＺＴセラミック粉末、石英、酸化亜鉛、強誘電材料、ＢａＴｉＯ３またはＰｂＴｉＯ３、または強誘電性ピエゾセラミック材料を含有する、請求項１記載の複合材料。
【請求項３】
第２の成分（１２）が強磁性材料、殊に軟磁性材料であるかまたは強磁性材料、殊に軟磁性材料を含有する、請求項１記載の複合材料。
【請求項４】
第２の成分（１２）がＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金、酸化鉄、例えばＦｅ２Ｏ３、ＴｂＤｙＦｅ合金またはＮｉＭｎＧａ合金であるかまたはＮｉＦｅ合金、ＣｏＦｅ合金、酸化鉄、例えばＦｅ２Ｏ３、ＴｂＤｙＦｅ合金またはＮｉＭｎＧａ合金を含有する、請求項１または３に記載の複合材料。
【請求項５】
第１の成分（１１）が第１の層（１３）を形成し、第２の成分が第２の層（１４）を形成する、請求項１から４までのいずれか１項に記載の複合材料。
【請求項６】
交互に重なり合って配置されかつそれぞれ２μｍ未満、殊に５００ｎｍ未満の厚さを有する、多数の第１の層（１３）および第２の層（１４）が設けられている、請求項５記載の複合材料。
【請求項７】
第２の成分（１２）が２０ｎｍ〜３００ｎｍの平均粒径を有するナノ寸法の粉末粒子を有し、この場合粉末粒子の少なくとも一部分に第１の成分（１１）の材料を有する表面が備えられている、請求項１から６までのいずれか１項に記載の複合材料。
【請求項８】
第１の成分（１１）が２０ｎｍ〜３００ｎｍの平均粒径を有するナノ寸法の粉末粒子を有し、この場合粉末粒子の少なくとも一部分に第２の成分（１２）の材料を有する表面が備えられている、請求項１から７までのいずれか１項に記載の複合材料。
【請求項９】
複合材料が成形体に焼結されている、請求項１から８までのいずれか１項に記載の複合材料。
【請求項１０】
請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法において、次の処理工程ａ．）顕著な電圧または機械的応力の影響下で圧電材料と同様の挙動を取る第１の成分（１１）を有する第１の粉末および顕著な機械的応力または磁界の影響下で磁気弾性材料と同様の挙動を取る第２の成分（１２）を有する第２の粉末を準備する工程、ｂ．）粉末を混合する工程、ｃ．）粉末混合物を圧縮する行程およびｄ．）圧縮された粉末混合物を焼結させる工程を有することを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法。
【請求項１１】
粉末混合物に圧縮前に殊に有機結合剤および／または圧縮助剤を添加し、圧縮された粉末混合物を焼結前に脱結合する、請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
第１の粉末および／または第２の粉末として２０ｎｍ〜２０μｍ、殊に５００ｎｍ〜５μｍの平均粒径を有する粉末を使用する、請求項１０または１１に記載の方法。
【請求項１３】
請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法において、次の処理工程ａ．）顕著な機械的応力または磁界の影響下で磁気弾性材料と同様の挙動を取るナノ寸法の粒子を有する第２の成分（１２）を準備または製造する工程、ｂ．）第１の成分（１１）を有する被覆をナノ寸法の粒子の表面上に施与する工程を有し、この場合第１の成分（１１）は、顕著な電圧または機械的応力の影響下に圧電材料と同様の挙動を取ることを特徴する、請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法。
【請求項１４】
表面被覆されたナノ寸法の粒子を粉末の形で製造し、その後にこの粉末を成形する、請求項１３記載の方法。
【請求項１５】
成形を圧縮、殊に冷間圧縮により行ない、引続き得られた成形体を焼結する、請求項１４記載の方法。
【請求項１６】
粉末に最初に殊に有機結合剤および／または圧縮助剤を添加し、次にこうして得られた物質を圧縮し、脱結合し、焼結させる、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
ナノ寸法の粒子を有する第２の成分（１２）をプラズマ中で前駆体化合物、殊に金属有機前駆体化合物から製造する、請求項１３から１６までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１８】
第１の成分（１１）を有する被覆をナノ寸法の粒子の表面上にプラズマ中で殊に他の前駆体化合物または反応性ガスの一時的な添加によって施与する、請求項１３から１７までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項１９】
１０ｎｍ〜３００ｎｍ、殊に２０ｎｍ〜１００ｎｍの厚さを有する表面被覆を製造する、請求項１３から１８までのいずれか１項に記載の方法。
【請求項２０】
請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法において、次の処理工程ａ．）顕著な電圧または機械的応力の影響下で圧電材料と同様の挙動を取るナノ寸法の粒子を有する第１の成分（１１）を準備または製造する工程、ｂ．）第２の成分（１２）を有する被覆をナノ寸法の粒子の表面上に施与する工程を有し、この場合第２の成分（１２）は、顕著な機械的応力または磁界の影響下に圧電材料と同様の挙動を取ることを特徴する、請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法。
【請求項２１】
請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法において、次の処理工程ａ．）第１の成分（１１）を有する第１の層（１３）をスパッタリングまたは蒸着によって支持体上に製造する工程、この場合第１の成分（１１）は、顕著な電圧または機械的応力の影響下で圧電材料と同様の挙動を取り、ｂ．）第２の成分（１２）を有する第２の層（１４）をスパッタリングまたは蒸着によって第１の層（１３）上に製造する工程を有し、この場合第２の成分（１２）は、顕著な機械的応力または磁界の影響下に磁気弾性材料と同様の挙動を取ることを特徴する、請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法。
【請求項２２】
請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法において、次の処理工程ａ．）第２の成分（１２）を有する第２の層（１４）をスパッタリングまたは蒸着によって支持体上に製造する工程、この場合第２の成分（１２）は、顕著な機械的応力または磁界の影響下で磁気弾性材料と同様の挙動を取り、ｂ．）第１の成分（１１）を有する第１の層（１３）をスパッタリングまたは蒸着によって第２の層（１４）上に製造する工程を有し、この場合第１の成分（１１）は、顕著な電圧または機械的応力の影響下に圧電材料と同様の挙動を取ることを特徴する、請求項１から９までのいずれか１項に記載の複合材料の製造法。
【請求項２３】
少なくとも２つ、殊に多数の重なり合って存在する層（１３、１４）を製造し、この場合層（１３、１４）は、交互に第１の成分（１１）および第２の成分（１２）を有する、請求項２１または２２に記載の方法。
【請求項２４】
蒸着またはスパッタリングをＣＶＤ法、ＰＶＤ法、ＭＯＣＶＤ法またはＰＥＣＶＤ法により行なう、請求項２１または２２に記載の方法。
【請求項２５】
センサー素子またはアクチュエーター素子、殊に、回転数センサー、流れセンサー、回転モーメントセンサー、エネルギーセンサーまたは受動センサー素子への請求項１から２４までのいずれか１項に記載の複合材料の使用。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、独立請求項の上位概念に記載された、ピエゾ抵抗特性および磁気弾性特性を有する複合材料、その製造法および該複合材料のセンサー素子またはアクチュエーター素子への使用に関する。
【０００２】
背景技術
圧電効果または反対の圧電効果を示す圧電材料は、多種多様で公知である。そのために、例えば鉛・ジルコネート・タイタネート−セラミック（ＰＺＴセラミック）または例えば、Marco GmbH社, Dachauから販売されているような強誘電体ピエゾセラミック材料が挙げられる。そのことについては、特にwww.marco.deのウェブページ、殊にwww.marco.de/D/fpm/001/010.htmlのウェブページに指摘されている。
【０００３】
更に、公知技術水準から多種多様の磁気弾性材料は、公知である。そのために、例えばEtrema Products Inc., Itowa, USAによって製造されかつ販売されている材料が指摘され、この材料は、概要としてインターネットでwww.etrema-usa.comのウェブページから理解することができる。殊に、Etrema Products Inc.によって磁気弾性粉末は、Terfenol-Dの商品名で販売されており、この場合この粉末は、テルビウム−ジスプロシウム−鉄合金を基礎とする。それと共に、強磁性体粉末、例えばニッケル−鉄粉末またはコバルト−鉄粉末から出発する、数多くの磁気弾性材料は、公知である。
【０００４】
Y. LiおよびR. O'Handleyによって刊行物”An Innovative Passive Solid-State Magnetic Sensor”, Sensors, Oktober 2000には、さらに既に磁気ひずみ効果ならびに圧電効果を利用するセンサー素子が提案されている。そのために、このセンサー素子は、圧電材料の断片および磁気ひずみ材料の断片を有し、この場合この磁気ひずみ材料または磁気弾性材料は、圧電材料上に外部電界を印加した際に機械的応力を発揮し、したがって圧電材料は、電気出発信号を発生させ、この電気出発信号は読み取られる。記載された刊行物は、www.sensorsmag.com/articles/1000/52/main.shtmlでインターネットで知ることができる。
【０００５】
発明の利点
本発明による複合材料およびこの複合材料を製造するための本発明による方法は、公知技術と比較して、それによって、圧電材料の性質を磁気弾性材料と結合させる新しい種類の材料を提供するかまたは製造することができるという利点を有する。殊に、この場合には、むき出しで互いに一列に接する全機種類の種々の材料が重要なのではなく、物質が首尾一貫して互いに結合している、その中に含まれている多数の成分を有する新規材料が重要である。
【０００６】
本発明による複合材料を用いた場合には、殊に公知技術水準と比較して安価で簡単なセンサー素子またはアクチュエーター素子を製造することもできるし、このようなセンサー素子またはアクチュエーター素子のための新規の用途を開発することもできる。殊に、本発明による複合材料は、回転数センサー、流れセンサー、回転モーメントセンサー、エネルギーセンサーへの使用、例えば自動車、電気駆動工具または家庭用品工業への使用に適している。従って、それとともに、極めて有利に受動センサー素子、即ち決して電圧の供給を必要としないセンサー素子が実現可能である。
【０００７】
更に、本発明による複合材料の利点は、相応するセンサー素子への使用の際にセンサー素子へのエネルギーの供給なしに、即ち受動的に磁界の無接触の測定が可能であることにある。また、これは、なかんずくそれぞれのセンサー信号の遠隔測定法による確認をエネルギーの供給なしに可能にする。その上、本発明による複合材料は、困難な条件下または負荷された環境下で、例えば自動車のエンジンの環境内または自動車のブレーキ上での極めて高い温度で使用可能である。
【０００８】
更に、本発明による複合材料は、それによって複合材料の透過性の変化に依存して電界をも測定可能であるという利点を提供する。即ち、例えば複合材料に印加された電圧は、共鳴回路の共鳴周波数を変化させうる。殊に、こうして本発明による複合材料上に作用する静的エネルギーを自体公知の磁気弾性ピックアップを測定することも可能であるし、複合材料上に作用する動的エネルギーを圧電変換器上での相応する電圧ピックアップによって測定することも可能である。
【０００９】
その限りにおいて、公知の磁気弾性センサーおよび圧電センサーの利点は、任意に組み合わせることができ、この場合動的エネルギーおよび静的エネルギーは、本発明による複合材料を有するセンサー素子と、殊に同時に測定することもできる。
【００１０】
これに関連して、さらに好ましくは、本発明による複合材料は、通常の成形法により、例えばエネルギーセンサーへの使用のために形成させることができ、また、複合材料中へのエネルギーの導入は、問題がない。それというのも、本発明による複合材料における磁気弾性効果または圧電効果は、それぞれボリューム効果であるからである。
【００１１】
最後に、本発明による複合材料を有するセンサー素子またはアクチュエーター素子が直ちに自己診断のためにも使用可能であることは、好ましい。それというのも、問題なしにセンサー機能からアクチュエーター機能へ切り換えることができるし、反対に切り換えることもできるからである。
【００１２】
複合材料を製造するための本発明による方法に関連して、多大な規模で軟磁性複合材料を製造するための公知の完成方法または表面被覆を有するナノ寸法の粉末を製造するための方法を使用することができることは、好ましい。それと共に、本発明による複合材料を製造するために、通常の蒸着法またはスパッタリング法、例えばＣＶＤ法（”Chemical Vapor Deposition”）、ＰＶＤ法（”Physical Vapor Deposition”）、ＰＥＣＶＤ法（”Physically Enhanced Chemical Vapor Deposition”）またはＭＯＣＶＤ法（”Metall Organic Chemical Vapor Deposition”）が使用可能であることは、好ましい。
【００１３】
本発明の他の好ましい実施態様は、従属請求項に記載された方法から明らかである。
【００１４】
即ち、圧電材料と同様の挙動を取る、複合材料の第１の成分がセラミック圧電材料、例えばＰＺＴセラミックであることは、特に好ましい。それと共に、好ましくは、石英、酸化亜鉛、強誘電体材料、例えばチタン酸バリウムもしくはチタン酸鉛または強誘電体圧電材料がこれに該当する。本発明による複合材料の第２の成分は、好ましくは軟磁性の強磁気弾性材料、例えばニッケル−鉄合金、コバルト−鉄合金、酸化鉄、例えばＦｅ２Ｏ３、テルビウム−ジスプロシウム−鉄合金またはニッケル−マンガン−ガリウム合金である。
【００１５】
本発明による複合材料の構造に関連して、この複合材料は、第１の成分と第２の成分とからの粉末の混合物から製造された場合には、有利であることが判明し、この場合使用された粉末粒子は、有利に２０ｎｍ〜２０μｍ、殊に５００ｎｍ〜５μｍの平均粒径を有する。この場合、このような粉末混合物は、通常成形体に焼結されうる。
【００１６】
更に、本発明による複合材料が少なくとも２つ、有利には多数の層から形成されていることは、好ましく、これらの層は、重なり合って配置されており、交互に圧電材料からの第１の成分と磁気弾性材料からの第２の成分を有する。この場合には、これらの層は、それぞれ２μｍ未満、殊に５００ｎｍ未満の厚さを有する。
【００１７】
最後に、第１の成分または第２の成分がナノ寸法の粉末として存在することは、有利であることが判明し、この場合この粉末は、表面的にそれぞれ別の成分の材料を有する被覆を備えている。この場合、粉末粒子が第２の成分、即ち磁気弾性材料からなり、表面被覆が圧電材料、即ち第１の成分によって形成されていることは、特に好ましい。
【００１８】
本発明を図面につき以下に詳説する。
【００１９】
実施例
以下に説明する複合材料およびその製造法は、磁界、殊に静的磁界が磁気弾性材料中で磁気弾性効果に基づいて伸びまたは圧縮を惹起し、次に同様に複合材料中に含有されている圧電材料中で電圧を誘発させるという原則的な認識から出発する。
【００２０】
この場合、変換チェーンは、最初に例えばコイル、磁石または軟磁性変調器により発生される外部磁界により、磁気弾性効果が本発明による複合材料中で惹起されるように典型的なことであり、この場合この複合材料は、第２の成分、即ち磁気弾性材料によって占められる、複合材料の範囲内で伸びまたは圧縮を生じる。
【００２１】
更に、この伸びまたは圧縮は、複合材料中で第１の成分、即ち圧電材料に移され、したがってそこで圧電効果が発生し、即ち複合材料上で通常の電極によってピックアップされかつ後処理されることができる電圧が誘発される。
【００２２】
しかし、また、反対の変換方法も可能である、即ち印加された電圧が複合材料の磁性特性、例えば透過性を変化させ、さらに磁界を発生させることは、強調される。最後に２つの効果の間では、所望に応じて行きつ戻りつ接続されてよい。
【００２３】
図１により説明されている第１の実施例は、第１の成分１１からの第１の粉末から出発する。第１の成分１１は、圧電材料であるか、または顕著な電圧下または機械的応力下で圧電材料と同様の挙動を取る。更に、第２の粉末は、第２の成分１２から調製され、この場合第２の成分１２は、磁気弾性材料であるか、または顕著な機械的応力または磁界の影響下で磁気弾性材料と同様の挙動を取る。
【００２４】
第１の粉末および第２の粉末は、好ましくはそれぞれ２０ｎｍ〜２０μｍ、殊に５００ｎｍ〜５μｍの平均粒径を有する粉末として使用される。更に、この出発粉末は、好ましくは結合剤、例えば有機結合剤および／または通常の圧縮助剤と混合される。
【００２５】
第１の成分１１と第２の成分１２とからの２つの成分の混合および有機結合剤の添加の後、成形、例えば圧縮、例えば冷間圧縮が行なわれ、したがってその後に成形体を得ることができる。更に、この成形体は、通常、脱結合され、最後に焼結され、したがって第１の成分１１と第２の成分１２とからの複合材料５が生じ、この場合これらの成分は、物質が首尾一貫して互いに結合している。
【００２６】
更に、複合材料５は、図１によれば、表面的に電極２０を備えていてよく、この電極は、電圧源２５と結合されている。また、しかし、電圧源２５の代わりに、電圧ピックアップが設けられていてもよい。電極２０の製造は、常法で、蒸着、スパッタリングまたは接着もしくは押圧によって行なわれる。
【００２７】
ところで、図１に記載の図の場合には、単に原理図が重要であり、即ち第１の成分１１または第２の成分１２の粉末粒子は、決して全て同じ大きさであってはならないか、または図示された規則的な配置を有していなければならない。
【００２８】
更に、最終的に得ることができる複合材料５が焼結後にできるだけ高い密度を有するようにするために、圧縮前に製造された圧縮材料中で有機結合剤の含量ができるだけ少なくなるように選択されていることに注意すべきである。
【００２９】
具体的には、第１の成分１１のための粉末としては、例えばセラミック圧電粉末、例えば通常のＰＺＴ粉末または石英粉末、酸化亜鉛粉末、チタン酸バリウム粉末、チタン酸鉛粉末または強誘電体ピエゾセラミック粉末が適している。
【００３０】
第２の成分１２によって提供される第２の粉末は、有利に強磁性体粉末、殊に軟磁性体粉末、例えばニッケル−鉄合金、コバルト−鉄合金、酸化鉄粉末、例えばＦｅ２Ｏ３粉末、テルビウム−ジスプロシウム−鉄合金またはニッケル−マンガン−ガリウム合金の粉末である。
【００３１】
第２の実施例は、図２により詳説される。この図２には、複合材料５が多数の重なり合って配置された、第１の層１３および第２の層１４によって形成されていることが設けられており、この場合第１の層１３は、それぞれ第１の成分１１からなり、第２の層１４は、それぞれ第２の成分１２からなる。個々の層１３、１４の厚さは、通常、２μｍ未満、殊に５００ｎｍ未満である。
【００３２】
図２に記載の層状装置を製造するために、最初に第１の成分１１からの第１の層１３は、十分に任意の支持体上に蒸着されるかまたはスパッタリングされ、その後に第２の成分１２からの第２の層１４は、第１の層１３上にスパッタリングされるかまたは蒸着され、引続き再び第１の層１３から繰り返される。また、この場合には、明らかに最初に第２の層１４は、支持体上に蒸着されることができ、さらにこの第２の層上には、第１の層１３が蒸着されるというように繰り返される。この場合、最終的には、製造された層状装置上には、既に説明したように電極２０が施こされる。
【００３３】
個々の層１３、１４を付着させるために、機能層を製造するための普通の物理的／化学的な付着方法、例えばＣＶＤ方、ＰＶＤ法、ＰＥＣＶＤ法またはＭＯＣＶＤ法が適しており、この場合この最後のＭＯＣＶＤ法は、金属有機前駆体または前駆体化合物からの酸化物の製造の例につきR. Xu, Journal of Material, Oktober 97, Vol. 49, Nr. 10, "The Challenge of Precurser Compounds in the NOCVD of Oxides"に詳細に説明されている。この刊行物は、インターネットでwww.tms.org/pubs/journals/JOM/9710/Xu/Xu-9710.htmlのウェブページから知ることができる。
【００３４】
第１の成分１１からの第１の層１３を形成させるための材料としては、既に第１の実施例により詳説された、第１の成分１１のための材料が適している。第２の成分１２からの第２の層１４のための材料についても同様のことが云える。
【００３５】
本発明の第３の実施例は、図３につき説明される。この場合には、第２の成分１２、即ち磁気弾性材料からの２０ｎｍ〜３００ｎｍの平均粒径を有するナノ寸法の粉末粒子に、第１の成分１１の材料、即ち圧電材料からの表面被覆が備えられていることが設けられている。しかし、反対の手段を取ることもできる、即ち第１の成分１１のナノ寸法の粉末粒子には、第２の成分１２の材料からの表面被覆が備えられていることが強調される。
【００３６】
更に、それによってそれぞれ得ることができる、ナノ寸法の粒子からの表面被覆された粉末から、成形体が製造される。これは、例えば圧縮、殊に冷間圧縮、および引続く焼結により行なわれる。
【００３７】
そのために、第１の実施例と同様に、表面被覆されたナノ寸法の粒子を有する粉末に最初に殊に有機結合剤および／または最初に殊に有機結合剤および／または圧縮助剤が添加されることができ、したがってこうして得られた物質は、簡単に圧縮され、引続き脱結合されることができ、最後に常法で焼結されることができる。
【００３８】
好ましくは、前記の表面被覆を有するナノ寸法の粉末粒子は、例えばナノ寸法の粒子を有する第２の材料をプラズマ中で前駆体化合物、殊に金属有機前駆体化合物、例えばニッケル−鉄−カルボニルから製造することにより、プラズマ中で製造される。
【００３９】
この場合、詳細には適当な金属有機前駆体化合物は、プラズマ中で第１の成分１１または好ましくは第２の成分１２からなるナノ寸法の粉末粒子に変換される。この場合には、同時にプラズマは、形成されたナノ寸法の粒子の表面上で前駆体化合物の有機成分の除去を生じ、したがってこの表面には、次の加工段階で、例えば既にプラズマ中で適当な反応成分の意図的な添加によって望ましい表面被覆を備えることができる。殊に、そのために反応成分は、プラズマに単に一時的に添加される。
【００４０】
好ましくは、添加される反応成分は、他の前駆体化合物または反応性ガスであり、したがってこの他の前駆体化合物または反応性ガスから第２の成分１２からなるナノ寸法の粒子の表面上で第１の成分１１、即ち圧電材料、例えば酸化亜鉛からなる表面被覆が形成される。この場合、反応性ガスとしては、例えば酸素が適している。
【００４１】
こうして全体的に表面被覆は、１０ｎｍ〜３００ｎｍ、有利に２０ｎｍ〜１００ｎｍの典型的な厚さを有するナノ寸法の粉末粒子上で製造される。
【００４２】
ところで、ナノ寸法の粉末粒子の前記の表面被覆の場合には、施こされた被覆は個々のナノ寸法の粉末粒子をできるだけ完全に包囲していることに注意すべきである。
【００４３】
ナノ寸法の粒子、即ち第２の成分１２のための材料としては、相応する粒径を有する第１の実施例に記載の相応する粉末粒子が適している。表面被覆、即ち第１の成分１１のための粒子としては、酸化亜鉛と共に、なかんずくチタン酸バリウムも適している。
【００４４】
その上、前記実施例の範囲内で、この場合に既に磁性ドメインの十分に単一の方向を磁気弾性材料からなるナノ寸法の粉末粒子中で達成させるために、既に表面被覆をナノ寸法の粉末粒子中で製造させる場合には磁界を粉末粒子に印加することは、しばしば有利である。この結果、望ましい感知方向に関連して後に高められた、得られた複合材料の感度が生じる。
【図面の簡単な説明】
【００４５】
【図１】電極を介して電圧源と接続されている、複合材料の第１の実施例の原理を示す略図。
【００４６】
【図２】第２の実施例の原理を示す略図。
【００４７】
【図３】第３の実施例の原理を示す略図。
【符号の説明】
【００４８】
５  複合材料
１１  第１の成分
１２  第２の成分
１３  第１の層
１４  第２の層
２０  電極
２５  電圧源
【国際公開パンフレット】
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2004526329.tif 000004
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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2004526329.tif 000026
【国際調査報告】
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