(57)【要約】プラズマリアクタ（９３０）で使用するためのファラデーシールドが可変シールド効率を有する。このシールド（３００）は、各々選択的に接地されまたは接地されない多くのシールドセグメントに分けられる。完全に接地されない状態と完全に接地された状態との間の移行割合が移行期間の間プラズマリアクタ（９３０）内で安定したプラズマ状態を維持するように、制御することができる。一旦プラズマストライクが達成され、または前のシールド設定における良好なマッチングへ条件付けされると、シールド効率の変化の時間割合が所定の割合で制御されることができる。ファラデーシールド（３２０）が完全に接地されると、ウエハ上及びチャンバ上の汚染の量が、チャンバ表面のスパッタリングの割合を減少することによって減少される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
可変効率で電気的シールドを与えるためのシールドであって、
共通ノードと、
単一の、まとまったシールド素子と、
前記共通ノードとシールドセグメント間に接続された可変インピーダンス素子と、
を有するシールド。
【請求項２】
前記可変インピーダンス素子のインピーダンスは、可変であることを特徴とする請求項１に記載のシールド。
【請求項３】
前記可変インピーダンス素子のインピーダンスは、個々の値にしたがって変わることを特徴とする請求項１に記載のシールド。
【請求項４】
前記可変インピーダンス素子は、スイッチを有することを特徴とする請求項３に記載のシールド。
【請求項５】
可変効率で電気的シールドを与えるためのシールドであって、
共通ノードと、
互いに離間した複数のシールドセグメントと、
複数のスイッチと、
を備え、
前記複数のスイッチの各々は、前記共通ノード及び前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つの間に接続され、スイッチを閉じることによって、前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つが前記共通ノードに接続されることを特徴とするシールド。
【請求項６】
更に、基板上に設けられ、前記スイッチの開閉を制御するために前記複数のスイッチの各々に接続されるマルチプレック回路を有することを特徴とする請求項５に記載のシールド。
【請求項７】
前記複数のスイッチの各々は、インピーダンス素子によって前記共通ノードに間接的に接続され、各々のスイッチを閉じることによって、前記複数のシールドセグメントのそれぞれ１つが前記インピーダンス素子を介して前記共通ノードに接続されることを特徴とする請求項５に記載のシールド。
【請求項８】
前記複数のシールドセグメントは、“パイスライス”形状に放射状に配列されることを特徴とする請求項５に記載のシールド。
【請求項９】
前記共通ノードは、前記放射状に配列された複数のシールドセグメントの周りの周囲に延びていることを特徴とする請求項８に記載のシールド。
【請求項１０】
可変効率で電気的シールドを与えるためのシールドシステムであって、
シールドと、
前記シールドに接続された制御インタフェースと、
を備え、
前記シールドは、
共通ノードと、
互いに離間した複数のシールドセグメントと、
複数のスイッチと、
を有し、
前記複数のスイッチの各々は、前記共通ノード及び前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つの間に接続され、スイッチを閉じることによって、前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つが前記共通ノードに接続され、且つ
前記制御インタフェースは、
前期共通ノードを接地電位に接続する接地回路と、
前記複数のスイッチの各々に接続され、１つ以上の先行する状態の発生に基づいて前記複数のスイッチを選択的に閉じるためにコマンド信号を発生するインクレメンタルコマンド回路と、
を有することを特徴とするシールドシステム。
【請求項１１】
前記選考する状態は、所定の時間間隔を含むことを特徴とする請求項１０に記載のシールドシステム。
【請求項１２】
前記先行する状態は、プラズマを発生し、維持するために電力を与えるＲＦマッチング回路網がプラズマへ結合する最適な電力を有することの判断を含むことを特徴とする請求項１０に記載のシールドシステム。
【請求項１３】
前記複数のシールドセグメントのだんだんと増加する部分が前記共通ノードを介して接地電位に接続されるように、前記インクレメンタルコマンド回路によって発生された前記コマンド信号は、複数のスイッチの選択されたものを閉じることを特徴とする請求項１０に記載のシールドシステム。
【請求項１４】
半導体物品に活性化したプラズマを与えるのに使用するプラズマリアクタであって、
リアクタ本体と、前記リアクタ本体の少なくとも一部は、誘電体物質から形成されており、
前記リアクタ本体に近接して配置されたＲＦアンテナと、
エネルギーを前記ＲＦアンテナに結合するために、前記ＲＦアンテナに接続されたＲＦマッチング回路網と、
前記ＲＦアンテナと前記リアクタ本体の間に設けられた可変シールド効率を有するシールドと、
を備え、
前記リアクタ本体内に配置された半導体物品は、ＲＦアンテナによって活性化されたプラズマによって処理されることを特徴とするプラズマリアクタ。
【請求項１５】
前記シールドは、
基体と、
前記基体上に設けられた共通ノードと、
互いに離間され、前記基体上に配置されている複数のシールドセグメントと、
複数のスイッチと、
を備え、
前記複数のスイッチの各々は、前記共通ノードと前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つとの間に接続され、スイッチを閉じることによって、前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つが前記共通ノードに接続されることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１６】
誘電体物質から形成されている前記リアクタ本体の一部は、セラミック物質から形成された蓋を有することを特徴とする請求項１４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１７】
前記シールドは、
導電性プレートと、
前記導電性プレーと及び接地電位との間に接続されたスイッチとを有し、前記スイッチを閉じることによって、前記導電性プレートが接地電位に接続されることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１８】
前記シールドは、
導電性プレートと、
接地電位に接続されたインピーダンス素子と、
前記導電性プレーと及び前記インピーダンス素子との間に接続されたスイッチとを有し、前記スイッチを閉じることによって、前記導電性プレートが前記インピーダンス素子を介して接地電位に接続されることを特徴とする請求項１４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項１９】
前記シールドは、
導電性プレートと、
前記導電性プレートと接地電位との間に接続された可変インピーダンス素子と、
を有することを特徴とする請求項１４に記載のプラズマリアクタ。
【請求項２０】
半導体物品に活性化したプラズマを与えるのに使用するプラズマリアクタであって、
リアクタ本体と、
前記リアクタ本体に近接して配置されたＲＦアンテナと、
エネルギーを前記ＲＦアンテナに結合するために、前記ＲＦアンテナに接続されたＲＦマッチング回路網と、
前記ＲＦアンテナと前記リアクタ本体との間に設けられた可変シールド効率を有するシールドと、
を備え、
前記リアクタ本体内に配置された半導体物品は、ＲＦアンテナによって活性化されたプラズマによって処理され、
前記シールドは、
基体と、
前記基体上に設けられた共通ノードと、
互いに離間され、前記基体上に配置されている複数のシールドセグメントと、
複数のスイッチと、
を備え、
前記複数のスイッチの各々は、前記共通ノードと前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つとの間に接続され、スイッチを閉じることによって、前記複数のシールドセグメントのそれぞれの１つが前記共通ノードに接続され、
前記複数のシールドセグメントは“パイスライス”構成で放射状に配列され，前記共通ノードは、前記放射状に配列された複数のシールドセグメントの周りの周囲に延びていることを特徴とするプラズマリアクタ。
【請求項２１】
シールドする方法であって、
可変シールド効率を有するシールドを設けるステップと、
前記シールド効率を最小値に設定するステップと、
前記シールドのシールド効率を増加するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項２２】
シールド効率は、ＲＦマッチング回路網が前記シールドの近くに設けられたプラズマに結合する最適化された電力を有するときのみ、前記シールド効率の前の増加に続いて、一定量増加されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
前記シールド効果は、プラズマストライクが前記シールドの近くに設けられたプラズマを確立するために達成された後に一定量増加されることを特徴とする請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
半導体物品をエッチングする方法であって、
前記半導体物品をプラズマエッチングチャンバ内に配置するステップと、
シールドの前記シールド効果を最小値に設定するステップと、
前記半導体物品の周りにプラズマをストライクするステップと、
前記最小値から最大値まで前記シールドのシールド効率を増加するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【請求項２５】
可変効率の電気的シールドをＲＦアンテナによって囲まれた半導体処理チャンバに与える方法であって、
可変効率の電気的シールドを与えるステップと、
前記処理チャンバと前記ＲＦアンテナとの間にシールドを据付けるステップと、
前記シールドの効率の制御を行なうために、プロセスコントローラへ前記シールドを接続するステップと、
を有することを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は電界のシールドに関する。特に、本発明はプラズマチャンバを使用した場合のファラデーシールドに関する。
【０００２】
（背景技術）
ファラデーシールドは、チャンバ表面のイオン浸蝕を生じる容量性ＲＦ結合を減少するために、プラズマチャンバに用いられている。チャンバ物質の広い範囲がこのイオン浸蝕問題に影響されやすい:セラミック、クォーツ、ＳｉＮ、ＳｉＣ、プラスチック等。ファラデーシールドは、ＲＦアンテナコイルとプラズマ抑え込みチャンバとの間に置かれ、ＲＦ電界が誘導したイオン攻撃によって起こるチャンバのイオン浸蝕の量を減少する。このシールドは、接地されるかまたはフローティングして（浮いて）いる。
【０００３】
接地されたシールドの設計は、チャンバ内でプラズマ放電を起こすことを非常に困難にする下側を有している。何故ならば、容量結合の減少は、またＲＦ電界強度の大きさを減少するからである。しかし、接地されたシールドは、チャンバのイオン浸蝕を減少するのに効果的である。フローティングシールド設計は、それがプラズマを起こすのを過度に邪魔しないと言う利点を有している。都合の悪いことに、フローティングシールドは、チャンバのイオン浸蝕を妨げるのに非常に効果的でない。
【０００４】
図１を参照すると、従来技術による接地されたファラデーシールド４０を実現する誘導結合されたプラズマエッチングリアクタ４０が示されている。このリアクタは、誘導性コイル１２によって囲まれた真空チャンバ１０を有している。ワークピース１４、通常半導体ウエハがチャンバ１０の内部でペデスタル１６上に支持されている。誘導性コイルアンテナ１２がチャンバ１０の外側の周りに巻かれ、インピーダンスマッチング回路網２０を介して無線周波数（ＲＦ）電力発生器１８に接続されて、ＲＦ電力をチャンバに与えている。このアンテナコイルに近接したチャンバの壁３０は、チャンバ１０に結合されたＲＦ電力の減衰を最小にするように、電気的絶縁物質、一般にはクォーツまたはセラミックからなっている。エッチャントガスがガス注入ポート２６を介してチャンバ１０に導入される。真空ポンプ（図示せず）がチャンバ１０を所望のチャンバ圧力まで排気する。
【０００５】
チャンバドーム３０はＲＦの開口として機能する。ファラデーシールド４０は、チャンバドーム３０のプロセス促進スパッタリングを減少するのに効果的である。ファラデーシールド４０は接地電位に接続され、従って、完全に接地されている。
【０００６】
図２を参照すると、従来技術によるフローティングファラデーシールド４０’を実現する誘導結合されたプラズマエッチングリアクタが示されている。フローティング（すなわち“絶縁されている”）ファラデーシールドは、図１の完全に接地された実施の形態に対して公知の代替例である。この方法は、プラズマチャンバに広く使用されている。しかし、その性能は、接地された設計で達成できるものと比べて制限される。
【０００７】
これら従来のファラデーシールド４０、４０’は、誘導結合されたプラズマ（inductively coupled plasma: ＩＣＰ）源のアンテナコイルと封じ込められたプラズマとの間の寄生容量結合を減少する。しかし、従来のシールドは、固定された効率設計である。
【０００８】
従って、必要なものは、完全に接地された構成の効率を与えるが、しかし完全に接地された構成のアーク減衰を形成しないファラデーシールドである。
【０００９】
従来の命名法にしたがって、処理チャンバと共に用いられるファラデーシールド構造は、“電圧分配電極”(voltage distribution electrode:ＶＤＥ）と呼ばれる。しかし、重要な構造の特徴のために、本発明による少なくとも幾つかの実施例を説明するためにこの古い用語を使用することは適当でない。
【００１０】
（発明の概要）
本発明の特徴は、プラズマを起こす能力に影響を与えることなく、半導体処理チャンバの表面に対して有害なイオン照射の強さを減少することである。
【００１１】
本発明の他の特徴は、可変シールド効率を有するファラデーシールドを提供することである。
【００１２】
本発明の他の特徴は、完全に接地されない状態と完全に接地された状態との間のファラデーシールドの移行割合を制御することである。
【００１３】
本発明の他の特徴は、移行期間において安定したプラズマ状態を維持するように、完全に接地されない状態と完全に接地された状態との間のプラズマリアクタのファラデーシールドの移行割合を制御することである。
【００１４】
本発明の他の特徴は、所定の割合でファラデーシールドのシールド効果の変化の時間変化割合を制御することである。
【００１５】
更に、本発明の特徴は、シールド効果の設定が変化するに従って、良好なマッチングに制約を与えるプラズマリアクタのファラデーシールドのシールド効率の変化の時間変化割合を制御することである。
【００１６】
更に、本発明の特徴は、パイ形状のシールドセグメントと放射状の対称性を有する可変効率ファラデーシールドを提供することである。
【００１７】
上記の特徴の幾つかは、可変効率で電気的なシールドを与えるシールドによって具現化される。このシールドは基板、基板上に設けられた共通のノード、及び互いに離間され、基板上に設けられている複数のシールドセグメントを有する。また、このシールドは、複数のスイッチを有し、複数のスイッチの各々は、共通のノードと複数シールドセグメントのそれぞれの一つとの間に接続されていて、スイッチを閉じることによって、複数のシールドセグメントのそれぞれ一つが共通のノードに接続される。
【００１８】
上記の特徴の他のものは、可変効率で電気的なシールドを与えるシールドシステムによって具現化される。このシールドは、基板、基板上に設けられた共通のノード、及び互いに離間され、基板上に設けられている複数のシールドセグメントを有する。また、このシールドは、複数のスイッチを有し、複数のスイッチの各々は、共通のノードと複数シールドセグメントのそれぞれの一つとの間に接続されていて、スイッチを閉じることによって複数のシールドセグメントのそれぞれ一つが共通のノードに接続される。制御インタフェースは、共通ノードを接地電位に接続する接地回路、及び先行する１つ以上の条件の発生に基づいて複数のスイッチを選択的に閉じるために、複数スイッチの各々に接続され、コマンド信号を発生する増加コマンド回路を有する。
【００１９】
上記のあるものは、活性化されたプラズマを半導体物品に与えるのに有用なプラズマリアクタによって具現化される。このプラズマリアクタは、リアクタ本体（リアクタの少なくとも一部が誘電体物質から作られている）、このリアクタ本体に接近して設けたれたＲＦアンテナ、エネルギーをＲＦアンテナに結合するためにＲＦアンテナに接続されたＲＦマッチング回路網及びＲＦアンテナとリアクタ本体との間に設けられた可変シールド効率を有するシールドを有する。このリアクタ本体に配置された半導体物品は、ＲＦアンテナによって活性化（エネルギーが与えられる）されたプラズマによって処理される。
【００２０】
上記の特徴のあるものは、シールドする方法によって、具現化される。このシールド方法は、可変シールド効率を有するシールドを与えるステップ、シールド効率を最小値に設定するステップ、及びシールドのシールド効率を増大するステップを有する。
【００２１】
上記の特徴の幾つかは、半導体物品をエッチングする方法によって具現化される。この方法は、プラズマエッチングチャンバ内に半導体物品を置くステップ及びシールドのシールド効率を最小値に設定するステップを有する。プラズマは、半導体物品の周りに形成され、その後シールドのシールド効率は、最小値から最大値まで増加される。
【００２２】
上記の特徴の幾つかを具現化する他の方法は、可変効率の電気的シールドをＲＦアンテナによって囲まれた半導体処理チャンバに与える方法である。この方法は、可変効率の電気的シールドを与えるステップ、処理チャンバとＲＦアンテナとの間にシールドを接地するステップ、及びシールドの効率の制御を行なうために、シールドをプロセスコントローラへ接続するステップを有する。
【００２３】
また、本発明のいろいろな実施例によれば、完全に接地されていない状態と完全に接地されている状態との間の移行の割合は、移行期間における安定したプラズマ状態を維持するように、制御することができる。この新規なアプローチに関しては、プラズマストライク(plasma strike)が行なわれる、または前のシールド設定で成功したマッチングに対して条件付けされると、シールド効率の変化の時間割合は所定の割合に制御される。
【００２４】
（発明の詳細な説明）
接地されない受動電圧分配電極（voltage distribution electrode:ＶＤＥ）がエッチングチャンバにおいて励振アンテナコイルとＲＦドームとの間に一般に挿入されている。このＶＤＥは接地されないファラデーシールドの特定の応用例である。
【００２５】
上述したように、接地されたシールドは、励振アンテナとチャンバのプラズマとの間の容量性結合を最小にする、したがって、プラズマの大きさおよびＲＦ開口の内面間のプラズマ電位差を減少するのにより効果的である。この位置でプラズマ電位を減少することによって、開口のセラミック物質のスパッタ浸蝕速度が著しく減少される。
【００２６】
都合の悪いことに、接地したシールド設計は、チャンバ内のプラズマストライクを困難にする下部を有しており、集合アンテナ回路が同調回路網の公称範囲の外側へ外れるようにする。これは、より効果的な接地した設計が従来のプラズマチャンバ設計へ組込まれなかった主な理由である。
【００２７】
本発明は、２つの間で急激な変化がなく、従来の接地されないシールド構成及び接地されたシールド構成の機能を得る。
【００２８】
本発明の実施例によるシールドは、誘導性結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ＩＣＰ)源のＲＦアンテナと誘導結合された半導体処理チャンバのＲＦ開口との間に配置される。本発明は、コンパクトな設計を有しており、広範囲の機械的な、又はＲＦの再設計に対する必要性がなく前からあるチャンバへ追加することができる。本発明の好適な実施例によれば、多くの独立した“パイスライス（パイのようにスライスされた）”セグメント（区分）に分割され、各々は接地電位に切り替え可能なファラデーシールド設計を有するシールド装置が構成される。
【００２９】
本発明の１つの特徴によれば、接地されないから接地されるへの移行は、存在しているＲＦ回路網がプラズマへの最適な電力結合を追跡し、維持する割合で生じるように、シールドセグメントが接地される割合を正確に制御することができる。本発明の他の特徴は、ファラデーシールド装置が臨界制御及びスイッチング素子用の構造を有し、ファラデーシールドがＲＦの暑い環境において確実に動作することができることである。
【００３０】
本発明の非常に有用な特徴は、シールド効率の増加比率が調整可能なパラメータであることである。したがって、シールド効率の変化の割合は、与えられたプラズマチャンバに対する有限なマッチングの同調割合を一致するようにすることができる。
【００３１】
図３を参照すると、本発明による可変効率のファラデーシールド３００の平面図が示されている。ファラデーシールド３００は、ＲＦアンテナ３１２とプラズマチャンバのドーム３３０との間に配置される。
【００３２】
ファラデーシールド３００は、多くの独立した“パイスライス”形状のセグメントに分割される。シールドセグメント３２０の各々は、対応するスイッチ３４０を介して接地電位に切り替ることができる。このスイッチ３４０は、そのそれぞれのシールドセグメント３２０をフレキシブルな周囲のセグメント３５０上にある接地された回路へ選択的に接続する。切替えが可能なために、シールド３００は、単一の移行特性を有する受動装置とは異なって能動的に調整可能である。
【００３３】
個々のシールドセグメント３２０と周りのセグメント３５０は、フレキシブルな回路技術を用いて形成され、スイッチング３４０と制御エレクトロニックス３６０は、周囲のセグメント３５０の構造に直接表面に取り付けられる。周囲のセグメント３５０上の接地された回路は、程度の大きいＲＦノイズ分離をスイッチングエレクトロニックス３４０を駆動する制御エレクトロニックス３６０に、及び制御信号の入力ラインに与える接地された素子（図示せず）を内臓するように構成されるのが好適である。また、シールドセグメント３２０と周囲のセグメント３５０は、共通のフレキシブル基板を共有するのが好適である。
【００３４】
図４を参照すると、図３の実施例による可変効率のファラデーシールド３００の一部の詳細な斜視図が示されている。この実施例によると、全体のアドレス可能なシールドレベルを管理可能な数へ減少するために、幾つかのセグメントの組がクループ化され、すなわち同時に活性化される。この実施例は、最大値の０、２０、４０、６０、８０および１００％の６つのレベルで選択可能なシールドを与えるように、電極セグメント３２０の５つのグループ３２１，３２２，３２３、３２４，３２５を有する。同時に活性化されるセグメントの各々のクループ化された組３２１，３２２，３２３，３２４，３２５の部材は、それらが各々の組３２１，３２２，３２３，３２４，３２５から１つのセグメントからなる８つ（この実施例では）の小グループ３２７を形成するように放射状に分布されている。
【００３５】
他の実施例によると、各々のシールドセグメント、及び単一のシールドセグメント毎のスイッチ３４０は、各シールドセグメント３２０が独立して切替え可能であるように、独立してアドレス可能である。これは、シールドの細かな分解能に対して変化を効率的に与え、動作の最大のフレキシビリティを生じる。一方、これは、スイッチ３４０へのアドレッシングの複雑性を最大にする。
【００３６】
スイッチ制御のエレクトロニックス素子３６０間の相互接続３５２、３５４は、周辺に走り、システムコントローラ（この図には示されていない）へインタフェースする単一のインタフェースコネクタ３７０に集められる。
【００３７】
ファラデーシールドの任意の特徴は、周囲のセグメント３５０の薄くされた部分３５６である。この薄くされた部分３５６は、単一のファラデーシールド構成が異なった大きさおよび形状の範囲を有するチャンバの蓋及びドームに対して利用できるように大きさおよび形状の適合性を備える。薄くされた部分３５６は、全ての駆動回路３６０間を走る接地ラインと信号ライン３５２、３５４を支えるのに充分広い必要があるだけである。
【００３８】
駆動回路３６０は、５つのチャネルが多重化された駆動チップとして例示されている。駆動チップの形式は、スイッチ３４０を具体化するために使用される装置の型に基づかれる。ＰＩＮダイオードがスイッチ３４０のために選択される場合、駆動回路３６０のための好ましい選択は、375 West Hollis Street, Nashua, NH 03060のImpellimaxによる指定“ＤＳシリーズ”で売られているデコードされたＰＩＮ駆動装置である。
【００３９】
図５を参照すると、図３の実施例による可変効率のファラデーシールド３００の詳細な断面図が示されている。ファラデーシールド３００は、プラズマチャンバのいろいろなハードウェアに関して配置されて示されている。ファラデーシールド３００のシールドセグメント３２０がアンテナコイル３１２とドーム３３０との間に設けられている。
【００４０】
クランプリング５３２がドーム３３０周囲に係合されている。ＴＥＦＬＯＮTMリング５３４がその周囲の周りにフレキシブルなファラデーシールド３００を正しく保持するために、クランプリング５３２とドーム３３０の端に載置される。インタフェースコネクタ３７０は、ＴＥＦＬＯＮTMリング５３４の下および周りに巻きつく平らなフレキシブルなインタフェースケーブル３７５を介して結合され、ファラデーシールド３００の回路に接続する。
【００４１】
本発明の１つの特徴は、シールド３００の各々のセグメント３２０がスイッチ３４０を介して周囲のセグメント３５０上で接地された回路に接続されていることである。スイッチ３４０は、切替え可能なＰＩＮダイオードとして具体化することができ、また代わりに同等のデバイスとして具体化することもできる。これらのスイッチ３４０の各々は、駆動回路３６０によって制御される。スイッチ３４０がＰＩＮダイオードとして具体化される場合、駆動回路３６０は、ＰＩＮダイオードの駆動チップであるのが好適である。
【００４２】
図６を参照すると、本発明の他の実施例による簡単化された可変効率のファラデーシールド６１０の概略図が示されている。単一プレートのファラデーシールド６１０の効率は、シールドを、シールドが選択的に接続され、または接地電位から切り離すことができるスイッチ６２０を介して接地へ結合することによって可変にされる。
【００４３】
このシールド構造が用いられると、ファラデーシールド６１０がそのフローティング状態へスイッチされる場合にプラズマアークが発生される。その後、安定したプラズマが確立されると、ファラデーシールド６１０を接地するためにスイッチ６２０が閉じられる。
【００４４】
ある環境の下で，このシールド構成は、従来技術のプラズマストライク対ドームエッチングのジレンマに対して満足のいく解決策を提供する。それは、シールドがフローティング状態から完全に接地された状態へ切替えられたとき、幾つかの形状はプラズマを維持することが困難とはいえ、可能であるからである。シールドがフローティング状態から接地された状態へスイッチされると、これは、ＲＦアンテナ（この図には示されていない）に見られる電気的インピーダンスを実質的に変化する。ＲＦマッチング回路網（この図には示されていない）は、電力の移行効率を非常に降下するのを防ぐためにインピーダンスの急激な変化に充分早く適応しなければならない。電力の移行における電位の不安定性がプラズマを不安定にし、および消滅するようにするので、この実施例はある環境においては好適でない。
【００４５】
図７を参照すると、本発明の他の実施例による可変効率のファラデーシールド７１０の概略図が示されている。単一プレートのファラデーシールド７１０の効率は、可変インピーダンス素子７２０を介してシールド７１０を接地することによって可変にされる。この可変インピーダンス素子７２０は、ＲＦ励振周波数で容量性または誘導性のいずれかの成分を有するか,または純抵抗性であるインピーダンス値Ｚを有することができる。可変インピーダンス素子７２０のインピーダンス値の大きさは、最大値からゼロ（すなわち短絡回路）までの様々な値に変えることができる。
【００４６】
この実施例によるシールド構造がとられると、高い値に設定された可変インピーダンス素子７２０のインピーダンス値Ｚを有することによって、ファラデーシールド７１０が、実質的にフロートされている、高インピーダンスにある場合、プラズマアークが起こされる。一旦安定したプラズマが確立されると、インピーダンス値Ｚは、徐々に大きさが減少する。
【００４７】
本発明によるインピーダンス構造と組み合わされたファラデーシールドの具現化は、スイッチ３４０の代わりに置きかえられた１つ以上のインピーダンス素子を有する図４の実施例の場合と同様な構成で果たされる。
【００４８】
図８を参照すると、本発明の更に他の実施例による可変効率のファラデーシールド８１０の概略図が示されている。多重セグメントファラデーシールド８１０の効率は、シールドセグメント８１２、８１４、８１６、８１８のいずれか、または全てをフロートすることによって、及びシールドセグメント８１２、８１４、８１６、８１８のいずれか、または全てをインピーダンス素子８２０（インピーダンスｚを有する）または直接接続８３０を介して接地へ選択的に接続することによって可変にされる。インピーダンス素子か、または直接接地へのシールドセグメントの選択的な接続のためのスイッチングは、タンデム駆動回路８４０、８４２によってなされる。このタンデム駆動回路８４０、８４２は、どのシールドセグメント８１２、８１４、８１６、８１８がフロートされるべきか、どれがインピーダンス素子を介して接地されるべきか、及びどれが直接接地されるべきかを選択するために、制御ライン８５０によって制御される。図示された回路構成を用いて、あらゆる接続の組み合わせが可能であり、従って、無数の可能なシールド効率の選択を可能にする。図示された多くのシールドセグメントは単に図示したにすぎず、従ってそれらに限定されるように意図されたものでない。
【００４９】
図９を参照すると、本発明の他の実施例による可変効率のファラデーシールド９１０が示されている。シールド９１０は平らな上部チャンバ９３０を横切って設けられた複数のセグメント９２０を有している。セグメント９２０は、駆動回路９４０、９４２によってフローティング状態から接地状態へ選択的に切替え可能である。本発明の応用は、ドームのあるチャンバに限られないし、放射の対称性（シンメトリー）を有するシールド構成に限られない。
【００５０】
図１０を参照すると、平らな頂部を有する処理チャンバ１０１０の断面図が示されている。可変効率のファラデーシールド１０２０が誘電体シールド１０１２上に配置されている。プラズマは、処理されるべきウエハ１０３０上の空間に形成される。プラズマは、可変効率のファラデーシールド１０２０上に設けられたＲＦアンテナ１０４０によって活性化（エネルギーが与えられる）される。
【００５１】
可変効率のファラデーシールド１０２０がどのようにしてシールドシステム１０００に一体化されるかが図１０のブロックダイアグラム部分によって示されている。シールド１０２０は接地及びコマンド信号を与える制御インタフェース１０５０に接続されている。シールド１０２０におけるスイッチは、増加コマンド回路１０５２から受信されるコマンド信号によって制御される。コマンド信号は、前の状態、例えば時間の経過、またはＲＦマッチング回路網によるＲＦマッチングの表示に基づいて出される。シールド１０２０におけるスイッチが閉じられるにしたがって、シールド１０２０のセグメントはグランド（接地）回路１０５４に接続される。
【００５２】
図１１を参照すると、本発明の更に他の実施例による可変効率ファラデーシールド１１０の分解図が示されている。この実施例によるシールドは、互いの上部で層化されている多重シールドセグメント１１１０、１１３０、１１５０を有し、そしてこれらの導電性シールドセグメント１１１０、１１３０、１１５０の分離層は、非導電性層１１２０、１１４０によって互いに絶縁されている。導電性シールドセグメント１１１０、１１３０、１１５０の各々は、直接またはインピーダンス素子を介して、独立して、選択的にグランドに接続可能である。実際に、シールドセグメント１１１０、１１３０、１１５０及び非導電性層１１２０、１１４０は、この分解図に示されているように離間されているのではなく一緒にサンドウィッチ状にされている。シールドセグメントをグランドに選択的に接続するための回路は、示されていないが、他の実施例についてこの明細書の外の場所で説明されているように具現化されるのが好ましい。最も低いシールド効率が必要とされる場合、全てのシールドセグメント１１１０、１１３０、１１５０は、それらがフロートするように切り離される。
【００５３】
最下部のシールドセグメント１１５０は、放射状の対称性を有する構成でスポーク形状の狭い放射状部材１１５２を有している。最も低いレベル以上シールドの効率を増加することが必要とされる場合、下部セグメント１１５０だけがグランドに接続され、残りのセグメント１１１０、１１３０はフロートされたままである。
【００５４】
中間のシールドセグメント１１３０は、放射状の対称性を有する構成で中間幅の放射状部材を有する。中間層１１３０の放射状部材１１３２は、下部層１１５０の放射状の対称性に重なるのが好ましい。中間のシールドセグメント１１３０を接地することは、シールド１１００のシールド効率をさらに増大する。
【００５５】
最上部のシールドセグメント１１１０は、放射状の対称性を有する構成で広いパイスライス形状の放射状部材を有する。最上部層１１１０の放射状部材は、中間層と最下部層１１３０、１１５０の放射状部材に重なるのが好ましい。最上部のシールドセグメント１１１０を接地することは、シールド１１００のシールド効率を最大レベルに増大する。
【００５６】
シールド１１１０のこの実施例は、３つの層上セグメントとして示されているけれども、シールドは簡単にするために２つだけの層で任意に実現されか、あるいはシールド効果の僅かな増分の変化を可能にするために４つ以上で実現されてもよい。放射状の対称性（チャンバ内部のプラズマの一様性を促進する）が好適であるけれども、この実施例による本発明の具現化は説明された特定の形状（例えば、スポーク形状、パイスライス形状）に限定されない。図示された放射状部材の数及び相対的大きさは、本発明の重要な特徴ではない。例えば、下部セグメント１１５０の放射状部材１１５２は長さを変えて（長くまたは短く）構成することができる。
【００５７】
本発明の方法の特徴が図１２乃至図１４に示されている。
【００５８】
図１２を参照すると、ワークピース（例えば、半導体ウエハ）がプラズマチャンバ１２１０内に置かれた後、システムコントローラは、プロセスのプラズマストライクフェーズ１２３０において、全てのシールド素子が非接地される１２２０（すなわち、フローティング）ように信号を与える。プラズマストライク１２３０後直ぐに、最小の反射電力にマッチング同調して、シールドコントローラはシールドセグメント１２４０を接地し始め、最後には最大のシールド効率を得るように全てのセグメントを接地する。
【００５９】
図１３を参照すると、シールドセグメントは、所定の割合で接地される全体の数を増加することによって接地される。シールド効果１３１０のインクレメント増加を行なった後、所定の時間遅延まで、勿論、最大効率（全てのセグメントが接地される）に達したことが判断１３２０されない限り、更なる増加は行なわれない、
【００６０】
図１４を参照すると、シールド効率を増加する他の方法が示されている。シールドこんとローラは、次ぎの増加１４１０を接地された全数までゲーティング１４４０するマッチング同調１４３０で、条件的に接地されたセグメントの全体数を増加することができる。
【００６１】
本発明による実現されるファラデーシールドは、製造するのに容易である。セグメント化されたシールドは、表面に取り付けられたエレクロニックス素子を有するフレキシブル回路用の標準的な製造技術で容易に実現される具現化に役立つ。
【００６２】
チャンバ用の摩滅を減少するのに加えて、本発明の更なる利点は、セラミックチャンバの表面のスパッタリングの速度を減少することによってウエハ上およびチャンバ上の汚染の量を減少することである。
【００６３】
更に、本発明は、プラズマストライクが成功裡に実行された後、制御可能な方法でスパッタリングの速度を減少する。減少は、全体のシールドが接地されるまで、最適化され、セグメント化されたファラデーシールド設計の多くの素子をうまく、増加して、急速に接地することによって達成される。ファラデーシールドは、全体的に接地されると、最大のシールド効率を有する。代わりに、シールド効率は、セグメントが実質的に接地されるまでセグメントに対してインピーダンスを減少して、接地することによって増大される。
【００６４】
可変効率のシールドは、アンテナからプラズマへ結合する容量性素子を変える方法、及び存在するＲＦハードウェアを再設計することなく、プラズマ状態の広い範囲を収容する方法を提供することによって、固定された設計に重要な利点を提供する。
【００６５】
シールドセグメントの“パイ形状”の構成は、本発明の実施にとって本質的ではなく、開示されたセグメントの数、グループ化またはまとめるパターンも本質的ではない。シールドセグメントの数及び形状構成は、シールドが作られているプラズマリアクタの形状に基づいて最適なシールド性能を提供するように、選ばれるのが好ましい。本発明の有用な特徴及び利点は、大きさ、あらゆる形状または構成のプラズマリアクタで動作するように如何なる形状に広げられることができる。
【００６６】
本発明は、好適な実施例によって説明されたけれども、いろいろな変形及び改良が本発明の範囲から逸脱することなく説明された実施例に対して行なわれることができることが理解されるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】完全に接地されたファデーシールドを有する、従来技術によるプラズマリアクタの断面概略図を示す。
【図２】接地さないファデーシールドを有する、本発明の実施例によるプラズマリアクタの断面概略図を示す。
【図３】ＲＦアンテナ及びドーム形状のプラズマチャンバ間に配置された本発明の実施例による可変効率のファラデーシールドの平面図を示す。
【図４】図３の実施例による可変効率のファラデーシールドの一部の詳細な斜視図を示す。
【図５】プラズマチャンバのいろいろなハードウェアに関して配置された、図３の実施例による可変効率のファラデーシールドの詳細な断面図を示す。
【図６】本発明の他の実施例による簡単化した可変効率のファラデーシールドの概略図を示す。
【図７】本発明の他の実施例による可変効率のファラデーシールドの概略図を示す。
【図８】本発明の他の実施例による可変効率のファラデーシールドの斜視図を示す。
【図９】本発明に更に他の実施例による可変効率のファラデーシールドの斜視図を示す。
【図１０】平らな頂部を有する処理チャンバの断面図を示す。
【図１１】本発明による他の実施例による可変効率のファラデーシールドの分解図を示す。
【図１２】本発明の実施例による半導体物品をエッチングする方法を示す。
【図１３】本発明による他の実施例によるシールド効率を増加する方法を示す。
【図１４】本発明の更に他の実施例によるシールド効率を増加する方法を示す。
【図１】
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【図２】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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