(57)【要約】化学的および／または生物学的試料を、特に高処理量および中程度処理量スクリーニング設備中で検査する方法において、試料の観察体積（２４）中で観察ビーム（１２）を集束する。試料の検査のために、観察ビーム（１２）を試料中で運動させる。測定の質を改善するために、観察ビームを本発明により観察体積（２４）中で連続的に運動させる。
2004528543.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学的および／または生物学的試料を、特に高処理量および中程度処理量スクリーニング設備中で、次の工程：
試料の観察体積（２４）中で観察ビーム（１２）を集束する工程および
試料中で観察ビーム（１２）を運動させる工程
で検査する方法において、観察ビーム（１２）を観察体積（２４）中で連続的に運動させることを特徴とする、化学的および／または生物学的試料を検査する方法。
【請求項２】
観察ビーム（１２）を一方向に運動させる、請求項１記載の方法。
【請求項３】
観察ビーム（１２）を閉鎖軌道で運動させる、請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
観察ビームを偏向ミラー（２０）により偏向する、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
偏向ミラー（２０）が回転軸（４０）を中心に回転し、偏向ミラーは回転軸（４０）と角度（α）≠９０°を有する、請求項４記載の方法。
【請求項６】
観察体積（２４）中で照射位置での、観察ビーム（１２）の滞留時間を均等化するために、偏向ミラーの回転速度を変化させる、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
試料の照射位置に作用するフォトン量の均等化のために、観察ビーム（１２）の強度を観察体積（２４）中での観察ビームの運動速度に依存して制御する、請求項１から６までのいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
ルミネセンスのために、試料中に含有される粒子を観察ビーム（１２）により励起する、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法。
【請求項９】
粒子から放出されるビーム、特に蛍光ビームを検出する、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
励起光（１２）を生成するための照射ユニット（１０）、
観察体積（２４）中で励起光（１２）を集束するための顕微鏡対物レンズ（２２）および
観察体積（２４）中で焦点を運動させるための、励起光（１２）を偏向する偏向ミラー（２０）、その際偏向ミラー（２０）はタンブラ運動を行う、
を有する、請求項１から９までのいずれか１項記載の方法を実施するための顕微鏡。
【請求項１１】
偏向ミラー（２０）が回転軸を中心に回転可能であり、偏向ミラーは回転軸（４０）と角度（α）≠９０°を有する、請求項１０記載の顕微鏡。
【請求項１２】
回転軸（４０）に対して偏向ミラーの角度（α）の値が９０.１°〜９５°、有利に９０.１°〜９２°、特に有利に９０.１°〜９１°である、請求項１１記載の顕微鏡。
【請求項１３】
励起光（１２）が偏向ミラー（２０）上で、実質的に偏向ミラー（２０）の回転中心（４８）に当たる、請求項９から１２までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１４】
偏向ミラー（２０）の角度（α）を調節可能である、請求項１０から１３までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１５】
偏向ミラー（２０）の角度（α）の自動位置調節のための位置調節ユニットが設けられている、請求項１４記載の顕微鏡。
【請求項１６】
偏向ミラー（２０）が平坦である、請求項９から１４までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１７】
偏向ミラー（２０）の回転軸（４０）に鉛直に設けられた方向転換ミラー（１８）を特徴とする、請求項９から１６までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１８】
照射ユニット（１０）からの励起光（１２）を観察体積（２４）の方向に誘導し、かつ観察体積（２４）から放出される光を透過させるビーム分配器（１６）を特徴とし、その際このビーム分配器（１６）が付加的に偏向ミラーとしても働く、請求項１から８までのいずれか１項記載の方法を実施するための顕微鏡。
【請求項１９】
駆動ユニット（５８）と連結し、この駆動ユニット（５８）によりタンブラ運動を行うことの可能である偏向ミラー（２０）を有する、観察体積（２４）を光学的に把握するための、請求項９から１８までのいずれか１項記載の顕微鏡のための偏向ユニット。
【請求項２０】
駆動ユニット（５８）、および／または共焦点顕微鏡の対物レンズ支持との連結のための接続ユニット（５２）および顕微鏡対物レンズ（２２）を支持するための支持ユニット（５４）を備える、偏向ミラー（２０）を有するケーシング（５０）を特徴とする、請求項１９記載の偏向ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は化学的および／または生物学的試料を、特に高処理量および中程度処理量スクリーニングで、検査するための方法に関する。更に、本発明はこの方法を実施するための顕微鏡、特にフルオレセンス分光学において使用されるような顕微鏡に関する。
【０００２】
顕微鏡を用いて観察体積（Beobachtungsvolumen）中で生じている工程を光学的に把握する。公知の共焦点顕微鏡は観察ビーム、特に励起光、を生成するための照射ユニット、例えばレーザー、を有している。この励起光は、場合によるコンディショニングの後、レンズの配置により、光を観察体積の方向に反射するダイクロイックミラー上に当たる。引き続きこの光はレンズ系を通って、励起光がこれにより観察体積中で集束される顕微鏡対物レンズに達する。例えば生物学的および／または化学的試料がその中に存在する観察体積中で、それぞれの組成により励起光、例えば蛍光が惹起される。この際生じた蛍光は顕微鏡対物レンズによりおよびダイクロイックミラーにより検出ユニットに達する。この検出ユニットはアパーチャー絞りを前接続しており、この中で蛍光は集束し、こうして共焦点顕微鏡は構成されている。
【０００３】
実地において基本的に認められている共焦点顕微鏡においては、特に大きな分子において、この分子のブラウン運動により非常にゆっくりと運動するという問題がある。従って、検査すべき分子が長時間の後に初めて顕微鏡対物レンズの焦点を通って移動するということが生じることがある。このことは分子の反応性およびまたは蛍光放出が例えばすでに再び低下するので、測定結果の不正確さに導く。更に、特に高処理量および中程度処理量スクリーニングにおいて、すなわち多数の試料を短時間の間隔で検査する際に、結果に達するためには、試料を比較的長く観察しなければならないという欠点を有する。
【０００４】
この要求を満たすために、例えば試料を動かすことが可能である。このことは著しく費用がかかり、かつ場合により試料中での不所望な運動または反応に導く。このことは再び測定結果の不正確さに導く。
【０００５】
更なる可能性は、励起光のビームを動かすことである。光線を動かすためには顕微鏡のビーム進路中に、好適な駆動機構により往復的に傾倒可能な１つ以上のミラーを設置することが公知である。２つのミラーを設けることにより、光線を観察体積の平面内で動かすことは可能である。この種の配置は、ミラーの傾倒運動が頂点を有し、こうして光線の運動が急激に減速し、加速されるという欠点を有する。このことは試料中の調和の不均一な励起導き、こうして測定結果の不正確さに導く。このことは、特に蛍光分子が頂点でより長く照射され、こうして多くのフォトンを放出することができ、またはこの分子が強力に脱色されるということに起因する。更に、傾倒可能なミラーを有する顕微鏡は、光線が顕微鏡対物レンズの光軸に異なる角度で、この対物レンズを通過するという欠点を有する。このことは傾倒角度の傾斜に依存して変化する光学的不正確さという結果を示し、再び測定結果にマイナスの影響を与える。こうして、焦点の形は同様に傾倒ミラーの位置に依存して変化する。このことは同様に測定結果の不正確さに導く。
【０００６】
前記の欠点は共焦点顕微鏡においてもその他の顕微鏡においても生じる。特に、高処理量および中程度処理量スクリーニングにおいては測定値を非常に短時間に把握しなければならない。この結果、蛍光マーカーを比較的高いエネルギーで励起しなければならない。この際、励起におけるすでに僅かな不均一性が、特に長すぎるマーカーの励起が、測定結果の不正確さに並びに場合によりマーカーの分解に導く。
【０００７】
本発明の課題は、観察体積を通過する焦点の運動を測定結果の改善において可能にする、化学的および／または生物学的試料を検査するための、特に高処理量および中程度処理量スクリーニングのための方法を作製することである。更に、本発明の課題は、この方法を実施するための装置を作製することである。
【０００８】
この課題は、本発明により請求項１もしくは１０の特徴部により解決する。
【０００９】
本発明による方法においては、観察ビームの運動は実質的に連続的に行われる。観察ビーム、もしくは励起光の運動は、光線の運動の著しく急激な停止および加速に導く方向の転換なしに、試料の観察体積中で行われる。観察体積中での光線の運動のこの均等化により、蛍光に励起されるべき試料の検査の際に、励起の著しい均等化が行われる。これにより、例えば蛍光マーカーの上昇した励起による分解が阻止される。観察体積を通る観察ビームの同じ形の運動は、測定結果の質を著しく改善する。
【００１０】
本発明による方法の更なる利点は、試料を通過する観察ビームの一定のもしくは均等化した運動において、個々の粒子、例えば分子（FIMDA−測定）の揺動時間を、より良好に実施することができるということにある。このことは揺動時間の測定に際して、観察ビームの運動速度を考慮しなければならないということに基づいている。この際、運動ビームの一定の速度またはほぼ一定の速度は著しく簡単に考慮することができる。更に、それぞれの粒子の観察時間を均等化する。このことは、それぞれの粒子から、例えば同じ数の情報を把握することを意味する。このことにより、データの統計的質が著しく改善される。
【００１１】
観察ビームとは、本発明においては照射装置、例えばレーザーにより生じたビームであり、これは本発明による方法により試料中で均等化されて運動する。その際、これは例えば励起光である。しかしながら、観察ビームは観察のビーム進路であってもよい。この際、ビーム進路は反対方向に流れてもよい。この際例えば検出器により観察される範囲は試料中を運動する。こうして、例えば試料の蛍光が観察される、すなわち試料から放出されたビームが観察される。
【００１２】
観察ビームの運動は一方向で行われるのが有利である。こうして運動方向の反転は阻止される。その結果、生じたまたは観察されたフォトン量の照射体積の中での強い変動、すなわち異なる照射位置もしくは観察位置での変動は阻止される。この際、フォトン量とは、それぞれの位置で生じたもしくは放出されたフォトンの数であると理解される。こうして、フォトン量とは時間にわたって積分された強度である。試料中の観察ビームの一定の運動速度においては、試料のそれぞれの位置でのビームの滞留時間は一定であるか、もしくは公知の方法におけるより著しく狭い限界範囲内で変動する。これにより、測定結果の質を著しく改善することができる。照射ビームを閉鎖軌道で、有利には楕円の軌道で、特に有利には実質的に円形の軌道で運動させるのが有利である。
【００１３】
観察体積中での観察ビームの運動の実施のためには、回転軸を中心に回転可能である偏向ミラーを使用することが特に有利である。この際、回転軸は偏向ミラーの面と角度≠９０°を有する。これにより生じる偏向ミラーのタンブラ運動により観察ビームは観察体積中の楕円形の軌道に沿って運動する。これにより観察ビームの往復運動に対して観察体積の中での個々の照射位置での異なる滞留時間は著しく減少する。
【００１４】
しかしながら、軌道の楕円形のために、観察ビームの運動速度は一定ではない。特に楕円の頂点の範囲では、観察ビームはゆっくりとした速度を示す。従って、照射ビームの滞留時間を、偏向ミラーの回転速度を変化させることにより、均等化することが有利である。このことは、全ての場合において観察ビームが観察体積中で狭い限界の範囲で変動する速度を有するように回転速度を調節することを意味する。速度が実質的に一定であるのが有利である。
【００１５】
更に有利な実施態様においては、試料中の異なる照射位置上に作用する照射強度の均等化のために、照射強度を特に観察ビームもしくは励起ビームの滞留時間に依存させて、すなわち観察ビームもしくは励起ビームの運動速度に依存させて変化させて、このことにより観察ビームの強度を運動速度に依存させて制御することがもたらされる。観察ビームにより生じたフォトン量は照射強度の速度に依存した制御により均等化される。こうして、観察ビームが比較的ゆっくりと観察体積中を運動する場合、本発明により観察ビームの強度を減少させる。これにより、測定結果の均等化も同様に達成することができる。特に、蛍光をベースにする測定においては、個々の粒子が均等に励起されることを達成することができる。こうして、不均一な励起または蛍光マーカーの分解により、測定結果を不正確にすることは回避される。
【００１６】
例えば、レーザーの時間に依存した調整により行うことのできる観察ビームの強度の調節は、観察ビームの連続的運動に依存しない、独立した発明である。例えば観察ビームの傾倒するミラーによる簡単な往復運動においても、例えば照射ビームの強度の相応する制御により照射強度の均等化を達成することができる。しかしながら、速度の変化および照射強度の変化の組合せが均等化のために、特に有利である。このことは、例えば回転する偏向ミラーの速度を非常に僅かに変化させるだけで十分であり、こうして生じる慣性モーメントは高すぎることはないという、利点を有する。照射ビームの強度の変化も僅かな調整により、大きな揺れにおけるよりも著しく簡単に実現することができる。
【００１７】
照射強度の調整は例えば軌道上に適合させたフィルターによっても実施することができる。
【００１８】
この顕微鏡は本発明による方法を実施するために、照射ユニットにより生じた観察ビーム、例えば励起光を偏向する、偏向ミラーを有する。これにより焦点は観察体積中を運動する。往復運動の代わりに、偏向ミラーは本発明によりタンブラ運動を実施する。このタンブラ運動により焦点は閉鎖軌道に沿って観察体積中を運動する。こうしてこの運動は連続的である。傾倒ミラーにおいて生じるような光線の完全な停止および引き続く加速は、タンブラ運動を実施するミラーにおいては起こらない。更に、本発明による顕微鏡の構成は、費用のかかる駆動および制御エレクトロニクスを備える傾倒ミラーもしくはＧａｌｖｏ−スキャナーの設置より著しく安価に実施することができる。本発明による装置を用いて軌道上を光線が連続的に運動することを実現することができ、かつ強い急激な減速および加速を回避することができるので、傾倒ミラーを使用するより更に高い走査速度が可能である。傾倒ミラーにおいては、特にミラーの著しい質量慣性を考慮しなければならず、迅速なミラーの運動は阻止される。迅速なミラーの運動においては、更に測定が影響を受けるバイブレーションが生じることがある。
【００１９】
本発明の方法を実施するための顕微鏡は試料を観察するためにのみ働くことができる。この種の顕微鏡においては、照射ユニットから生じたビームのいずれもタンブラ運動をしない。その際、タンブラミラーまたはその他の好適な装置は試料中の観察検出器により観察される試料中の位置の運動のために働く。
【００２０】
タンブラ運動は例えばミラーの裏側の３点支持により惹起される。この際、ミラーは個々の支持の運動によりタンブラ運動を開始する。
【００２１】
有利な実施態様においては、ミラーを回転軸を中心に回転させる。その際偏向ミラーは回転軸と９０°ではない角度を含む。ミラーの回転だけでタンブラ運動が生じ、これにより観察体積中での相応する光線の運動が生じる。
【００２２】
例えばマイクロリットルの範囲またはマイクロリットル以下の範囲にある、非常に小さい試料の検査のための顕微鏡においては偏向ミラーの回転軸に対する角度は９０.１°〜９５°、有利に９０.１°〜９２°、特に有利に９０.１°〜９１°の範囲である。このことはｆ＝５ｍｍの代表的な対物レンズ焦点距離において、ｒ＝ｆ・ｔａｎ（ｄ−９０°）＝８μｍ〜４５０μｍ（有利に８μｍ〜１８０μｍ、特に有利に８μｍ〜９０μｍ）の半径を有する回転運動に導く。円運動はタンブラ運動を行うミラーにおいて、ビーム進行が回転軸に対して平行であることにより惹起する。回転軸にある角度を持って進行するビームは試料中で、もしくは観察体積中で観察ビームの楕円の運動を生じる。
【００２３】
有利には、観察体積中で焦点が閉鎖軌道で運動するように偏向ミラーが運動するのが有利である。その際タンブラ運動はミラーの表面およびミラー上の光線の反射位置に依存して、タンブラ運動の比較的中心に関して、考慮されなければならない。回転により惹起するタンブラ運動および有利に平坦な偏向ミラーにおいて、励起光が偏向ミラーの実質的に回転中心でミラー上に当たることにより良好な測定結果が達せられる。この種の配置は、光線が測定対物レンズの中心軸に対して同じ距離で測定対物レンズを通過するという、利点を有する。対物レンズの対物レンズ軸中を通過する光線に対する焦点の悪化は、こうして実質的に一定であり、従って、例えば調整したジャステージ（Justage）により、補償することができる。こうしてミラーの位置に依存する焦点の変化もしくは試料中での焦点の位置の変化は惹起されないので、達成可能な測定結果は著しく改善される。
【００２４】
回転軸に対するミラーの角度、もしくは偏向ミラーに当たる光線に対するミラーの角度が調節可能であるのは有利である。このためには、例えば偏向ミラーの角度の自動的な調整のための調整ユニットを備えるのが有利である。例えば、試料の検査の間も偏向ミラーの角度を変化させ、こうして試料中の焦点の軌道を変化させることができるのは利点である。偏向ミラーの回転中心中に当たる励起光においては角度の調整により、焦点の円運動の半径をもしくは楕円の主軸の半径を、試料中で変化させることができる。このようにして、一平面上での試料の完全な調査を実現することができる。
【００２５】
一平面上での試料の完全な調査のための更なる可能性は、偏向ミラーの角度を検査の間一定に保持し、こうして焦点を不変に保持される軌道上を運動させることである。試料の調査のためには、付加的に検査すべき試料を保持するテーブルが運動することである。この際、テーブルの運動は一次元または二次元であってよい。共焦点原理で操作する場合には、特に一平面上での試料の調査のために前記の両方の方法を組み合わせることも可能である。
【００２６】
顕微鏡において存在するビーム分配器として働くダイクロイックミラーを、これが偏向ミラーとして働きかつ好適なタンブラ運動をすることができるように構成することも可能である。このためにはダイクロイックミラーは有利に骨子ガイド（Kulissenfuehrung）に積層されている。回転は外側から行われ、こうしてビームの進行は影響を受けない。この種のビーム分配器の運動は検出器に写された像の相応する運動にも導くので、この実施態様における検出器としては有利に接合センサー（Flaechensensor）、例えば大きな面積の接合光ダイオード（grossflaechige Photodiode）を使用する。共焦点でない顕微鏡においては、検出器上に当たった光は検出器に当たった場所には無関係に、同じシグナルを形成するので、大きな面積の接合光センサーを用いてセンサー面を積分して読みきることができる。
【００２７】
前記の顕微鏡は特に共焦点顕微鏡である。共焦点顕微鏡においては、測定結果は本発明による偏向ミラーの使用により著しく改善される。
【００２８】
本発明によるその他の実施態様は観察体積を工学的に把握するための、顕微鏡のための偏向ユニットである。偏向ユニットは駆動ユニットと連結した偏向ミラーを有し、この偏向ミラーは駆動ユニットによりタンブル運動を行うことができる。偏向ユニットとは従来の顕微鏡と結合することのできる補助部材である。更に、この偏向ユニットは有利に駆動ユニットおよび／または偏向ミラーを有するケーシングを有する。このケーシングは顕微鏡の対物レンズ支持と結合するための接続ユニットおよび顕微鏡対物レンズを支持するための支持ユニットを有する。こうして、例えば従来の顕微鏡において顕微鏡対物レンズを外し、その代わりに対物レンズ支持中に偏向ユニットを挿入し、前に外しておいた顕微鏡対物レンズをケーシングの支持ユニットに固定することが可能である。こうして従来の顕微鏡を偏向ユニットにより簡単にタンブル運動を行うミラーを有する本発明による顕微鏡に装備変更することが可能である。
【００２９】
本発明による偏向ユニットを備える偏向ミラーは前記の有利な態様を有していてよい。
【００３０】
前記の偏向ユニットは特に共焦点顕微鏡に使用するのが好適である。
【００３１】
以下に、本発明を有利な実施態様につき図面に関連させて詳細に説明する。
【００３２】
図面は以下のものを示す：
図１    本発明による回転可能な偏向ミラーを有する共焦点顕微鏡の概略図、
図２    本発明による偏向ユニットの部分断面を示す概略図、
図３    図２に示した矢印ＩＩＩの方向で、図２中に示した顕微鏡対物レンズを上方から見た図。
【００３３】
図１中に概略的に示した共焦点顕微鏡はレーザーの形の照射装置１０を示す。レーザーにより生じた励起光１２はレンズ配置１４によりビーム分配器１６に誘導される。励起光はビーム分配器１６を通過して方向転換ミラー１８の方向に誘導される。このビームはここから偏向ミラー２０の方向に反射し、この偏向ミラーは励起光を顕微鏡対物レンズ２２の方向に反射する。顕微鏡対物レンズ２２から励起光１２は観察体積２４中に集束する。
【００３４】
図示した実施例においては、観察体積２４はタイタープレート２６の溝であり、その開口部２８はガラス床３０により閉鎖されている。
【００３５】
窪み２８中に存在する試料から放出される光は顕微鏡対物レンズを通過して正反対の方向に誘導され、偏向ミラー２０および方向転換ミラー１８によりビーム分配器１６の方向に反射される。ビーム分配器１６は観察体積２４からくる光を鏡胴レンズ３２の方向に方向転換する。鏡胴レンズ３２は光をアパーチャー絞りの開口部３４に集束する。最終的に光は検出ユニット３８に達する。
【００３６】
方向転換ミラー１８は図示した実施例においては励起光１２に対して４５°の角度で設置されている。これにより通常のビーム進行からの励起光１２の偏向が生じる。このことは偏向ミラー２０の駆動ユニットを簡単にビーム進路の外側に設けることができるという利点を有している。更に、共焦点顕微鏡の通常の配置も維持され、この場合試料を下から照射する。
【００３７】
偏向ミラーが偏向ミラー回転軸４０を中心として矢印４２の方向に回転可能であることにより、偏向ミラー２０はタンブラ運動を行う。このミラー２０は回転軸と角度αをなし、このαは９０°ではない。この角度αは回転軸４０とミラー２０との間の両方の角度の大きい方である。ミラー２０の回転により、方向転換ミラーからくる励起光１２の間の入射角度は偏向ミラー２０の回転位置により変化する。図１に示した投影図においては、これにより観察体積中での焦点４４の運動は線状の方向に見ると矢印４６の方向に行われる。上から見ると、焦点４４の運動は閉鎖軌道で行われ、この軌道は楕円である。励起光が偏向ミラー２０上の実質的に回転中心４８に当たる場合、この円運動はビーム軸に対して同心である。
【００３８】
図２および３中に示した偏向ユニットは従来の共焦点顕微鏡のための取り付け部材である。偏向ユニットはケーシング５０を包含する。ケーシング５０は接続ユニット５２を有する。その際、例えば固定装置である。好適なアダプターを介して偏向ユニットを通常の対物レンズ支持と連結することができる。通常顕微鏡対物レンズ２２を支持するために使用される支持と連結することにより、接続ユニットを共焦点顕微鏡と連結する。このためには顕微鏡対物レンズ２２を相応する取り付け装置からネジをゆるめて抜いて、偏向ユニットを接続ユニット５２を用いて、場合によりアダプターを用いて共焦点顕微鏡の相応する支持にねじって止める。
【００３９】
ケーシングの中側には励起光１２に対して実質的に４５°の角度で設けられた方向転換ミラー１８が設けられている。方向転換ミラー１８は図示した実施例においてはプリズムである。
【００４０】
更に、ケーシング５０の中空室５６中にミラー２０を設ける。このミラー２０は図１に示したミラー２０に相当し、回転軸４０に角度を付けて設けられている。偏向ミラー２０の回転運動への駆動のためには駆動ユニット５８、例えば電気モータが設けられている。偏向ミラー２０の回転により励起光１２のビームは顕微鏡対物レンズ２２中に点線６０により図示されたように偏向される。こうして、図２中に図示された投影図においては矢印４６の方向の偏向光の運動を行う。対物レンズ２２（図３）を上から見る場合には、励起光は楕円６２上を運動する。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】本発明による回転可能な偏向ミラーを有する共焦点顕微鏡の概略図。
【００４２】
【図２】本発明による偏向ユニットの部分断面を示す概略図。
【００４３】
【図３】図２に示した矢印ＩＩＩの方向で、図２中に示した顕微鏡対物レンズを上方から見た図。
【符号の説明】
【００４４】
１０  照射ユニット、  １２  観察ビーム、  １８  方向転換ミラー、  ２０  偏向ミラー、  ２２  顕微鏡対物レンズ、  ２４  観察体積、  ５０  ケーシング、  ５２  接続ユニット、  ５４  支持ユニット、  ５８  駆動ユニット
【国際公開パンフレット】
2004528543.tif 000003
2004528543.tif 000004
2004528543.tif 000005
2004528543.tif 000006
2004528543.tif 000007
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2004528543.tif 000009
2004528543.tif 000010
2004528543.tif 000011
2004528543.tif 000012
2004528543.tif 000013
2004528543.tif 000014
2004528543.tif 000015
2004528543.tif 000016
2004528543.tif 000017
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2004528543.tif 000019
2004528543.tif 000020
2004528543.tif 000021
2004528543.tif 000022
2004528543.tif 000023
2004528543.tif 000024
【手続補正書】
【提出日】平成15年5月5日(2003.5.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
化学的および／または生物学的試料を、特に高処理量および中程度処理量スクリーニング設備中で、次の工程：
試料の観察体積（２４）中で観察ビーム（１２）を集束する工程および
観察ビーム（１２）を、回転軸（４０）と９０.１〜９５°の範囲の角度（α）を有する、タンブラ運動を行う偏向ミラー（２０）によって偏向して、試料の観察体積（２４）中で観察ビーム（１２）を連続的に運動させる工程、
により検査する、化学的および／または生物学的試料を検査する方法。
【請求項２】
観察ビーム（１２）を一方向に運動させる、請求項１記載の方法。
【請求項３】
観察ビーム（１２）を閉鎖軌道で運動させる、請求項１または２記載の方法。
【請求項４】
観察体積（２４）中で照射位置での、観察ビーム（１２）の滞留時間を均等化するために、偏向ミラーの回転速度を変化させる、請求項１から３までのいずれか１項記載の方法。
【請求項５】
試料の照射位置に作用するフォトン量の均等化のために、観察ビーム（１２）の強度を観察体積（２４）中での観察ビーム（１２）の運動速度に依存して制御する、請求項１から４までのいずれか１項記載の方法。
【請求項６】
試料中に含有される粒子を、ルミネセンスのために観察ビーム（１２）により励起する、請求項１から５までのいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
粒子から放出されるビーム、特に蛍光ビームを検出する、請求項６記載の方法。
【請求項８】
励起光（１２）を生成するための照射ユニット（１０）、
観察体積（２４）中で励起光（１２）を集束するための顕微鏡対物レンズ（２２）および
観察体積（２４）中で焦点を運動させるための、励起光（１２）を偏向する偏向ミラー（２０）、その際この偏向ミラー（２０）はタンブラ運動を行う、
を有する顕微鏡において、偏向ミラー（２０）と回転軸（４０）との間の角度（α）が９０.１°〜９５°であることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法を実施するための顕微鏡。
【請求項９】
励起光（１２）が偏向ミラー（２０）上で、実質的に偏向ミラー（２０）の回転中心（４８）に当たる、請求項８記載の顕微鏡。
【請求項１０】
偏向ミラー（２０）の角度（α）を調節可能である、請求項８または９記載の顕微鏡。
【請求項１１】
偏向ミラー（２０）の角度（α）の自動位置調節のための位置調節ユニットが設けられている、請求項１０記載の顕微鏡。
【請求項１２】
偏向ミラー（２０）が平坦である、請求項８から１１までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１３】
偏向ミラー（２０）の回転軸（４０）に鉛直に設けられた方向転換ミラー（１８）を特徴とする、請求項８から１２までのいずれか１項記載の顕微鏡。
【請求項１４】
照射ユニット（１０）からの励起光（１２）を観察体積（２４）の方向に誘導し、かつ観察体積（２４）から放出される光を透過させるビーム分配器（１６）を特徴とし、その際このビーム分配器（１６）が付加的に偏向ミラーとしても働く、請求項１から７までのいずれか１項記載の方法を実施するための顕微鏡。
【請求項１５】
駆動ユニット（５８）と連結し、この駆動ユニット（５８）によりタンブラ運動をさせることの可能である偏向ミラー（２０）を有する、観察体積（２４）を光学的に把握するための偏向ユニットであって、この際偏向ミラー（２０）は回転軸（４０）と９０.１〜９５°の範囲の角度を有する、請求項８から１４までのいずれか１項記載の顕微鏡のための偏向ユニット。
【請求項１６】
駆動ユニット（５８）、および／または共焦点顕微鏡の対物レンズ支持との連結のための接続ユニット（５２）および顕微鏡対物レンズ（２２）を支持するための支持ユニット（５４）を備え、かつ偏向ミラー（２０）を有するケーシング（５０）を特徴とする、請求項１５記載の偏向ユニット。
【国際調査報告】
2004528543.tif 000025
2004528543.tif 000026
2004528543.tif 000027
2004528543.tif 000028