(57)【要約】１次光源８２０１と、第１の光学コンポーネントと、第２の光学コンポーネント８２２１と、像面８２２９と、射出瞳８２３３とを設けて照明光学系を構成する。ここで、第２の光学コンポーネント８２２１は、正の光学的パワーを有する第３のフィールド反射鏡８２２５を少なくとも備えている第１の光学系と、正の光学的パワーを有する第２のフィールド反射鏡８２２３を少なくとも備えている第２の光学系とを備え、第１の光学系は、この第１の光学系と上記第２の光学系との間の平面内に複数の２次光源を結像させて複数の３次光源を形成するとともに、第２の光学系は、これらの複数の３次光源を射出瞳内に結像させるように構成されている。
2004510340.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に１９３ｎｍ以下の波長を用いるマイクロリソグラフィ用の照明光学系であって、
１次光源（８２０１，８４０１）と、
第１の光学コンポーネントと、
第２の光学コンポーネント（８２２１，８４２１）と、
像面（８２２９，８４２９）と、
射出瞳（８２３３，８４３３）とを備え、
前記第１の光学コンポーネントは、前記第２の光学コンポーネント（８２２１，８４２１）によって前記射出瞳（８２３３，８４３３）内に結像される複数の２次光源へと、前記１次光源（８２０１，８４０１）を変換し、
前記第１の光学コンポーネントは、第１の光学素子を備え、この第１の光学素子は、前記像面（８２２９，８４２９）内に結像される複数の第１のラスタ素子（８２０９，８４０９）を有して、前記像面（８２２９，８４２９）内のフィールド上で少なくとも一部重ね合わせられる複数の像を生成し、
前記第２の光学コンポーネント（８２２１，８４２１）は、正の光学的パワーを有する第３のフィールド反射鏡（８２２５，８４２５）を少なくとも備えている第１の光学系と、正の光学的パワーを有する第２のフィールド反射鏡（８２２３，８４２３）を少なくとも備えている第２の光学系とを備え、
前記第１の光学系は、前記第１の光学系と前記第２の光学系との間の平面内に前記複数の２次光源を結像させて複数の３次光源を形成するとともに、前記第２の光学系は、前記射出瞳内に前記複数の３次光源を結像させるように構成されている照明光学系。
【請求項２】
請求項１に記載の照明光学系において、
前記第２の光学コンポーネント（８２２１）内の前記像面（８２２９）に共役な前記平面は、仮想的な共役面とされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の照明光学系において、
前記第２のフィールド反射鏡（８２２３）及び前記第３のフィールド反射鏡（８２２５）は、偏心したグレゴリアン式望遠鏡を形成していることを特徴とする照明光学系。
【請求項４】
請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第１の光学系と前記第２の光学系との間の前記平面は、自由にアクセス可能とされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項５】
請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の照明光学系において、
照明モードを変更するためのマスキングユニットをさらに備え、前記マスキングユニットは、前記複数の３次光源の位置、もしくはその近傍に配置されていることを特徴とする照明光学系。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記複数の３次光源の位置、もしくはその近傍に透過フィルタが配置されていることを特徴とする照明光学系。
【請求項７】
請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の照明光学系において、
複数の光線が、それぞれ面法線に対して２５°よりも小さな入射角で前記第２のフィールド反射鏡（８２２３，８４２３）に交差するように構成されていることを特徴とする照明光学系。
【請求項８】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第２のフィールド反射鏡（８２２３，８４２３）は、回転対称な反射面の偏心セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項９】
請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第２のフィールド反射鏡（８２２３，８４２３）は、トロイダル反射面の軸上セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１０】
請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の照明光学系において、
複数の光線が、それぞれ面法線に対して２５°よりも小さな入射角で前記第３のフィールド反射鏡（８２２５，８４２５）に交差するように構成されていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１１】
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第３のフィールド反射鏡（８２２５，８４２５）は、回転対称な反射面の偏心セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１２】
請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第３のフィールド反射鏡（８２２５，８４２５）は、トロイダル反射面の軸上セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１３】
請求項１から請求項１２のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記複数の第１のラスタ素子（８２０９，８４０９） は矩形状とされ、前記フィールドは輪帯のセグメントとされ、前記第２の光学コンポーネント（８２２１，８４２１）は、前記フィールドを前記輪帯のセグメントに成形するための第１のフィールド反射鏡（８２２７，８４２７）を備えていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１４】
請求項１３に記載の照明光学系において、
前記第１のフィールド反射鏡は、負の光学的パワーを有していることを特徴とする照明光学系。
【請求項１５】
請求項１３または請求項１４に記載の照明光学系において、
複数の光線が、それぞれ面法線に対して７５°よりも大きな入射角で前記第１のフィールド反射鏡に交差するように構成されていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１６】
請求項１３から請求項１５のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第１のフィールド反射鏡（８２２７，８４２７）は、回転対称な反射面の偏心セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１７】
請求項１３から請求項１５のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第１のフィールド反射鏡（８２２７，８４２７）は、トロイダル反射面の軸上セグメントとされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項１８】
請求項１３から請求項１７のいずれか１項に記載の照明光学系において、
前記第１の光学コンポーネントは、 複数の第２のラスタ素子（８２１５，８４１５）を有する第２の光学素子をさらに備え、前記複数の第１のラスタ素子（８２０９，８４０９）のそれぞれは、前記第２のラスタ素子（８２１５，８４１５）の一つに対応していることを特徴とする照明光学系。
【請求項１９】
請求項１８に記載の照明光学系において、
前記複数の第２のラスタ素子（８２１５，８４１５）及び前記第２の光学コンポーネント（８２２１，８４２１）は、前記対応する第１のラスタ素子（８２０９，８４０９）を前記像面（８２２９，８４２９）内に結像させるように設けられていることを特徴とする照明光学系。
【請求項２０】
請求項１８または請求項１９に記載の照明光学系において、
前記複数の第２のラスタ素子（８２１５，８４１５）は、凹面鏡とされていることを特徴とする照明光学系。
【請求項２１】
請求項１から請求項２０のいずれか１項に記載の照明光学系と、前記像面（８４２９）に配置されているレチクル（８４６７）と、保持機構（８４７５）上の感光性物体と、前記感光性物体上に前記レチクル（８４６７）を結像させる投影光学系（８４７１）とを備えてなるマイクロリソグラフィ用の投影露光装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、１９３ｎｍ以下の波長で用いられる照明光学系ならびに斯かる照明光学系を備えた投影露光装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
電子部品の線幅をさらに低減、特にサブミクロン領域まで低減できるようにするには、マイクロリソグラフィに用いられる光の波長を低減することが必要である。例えば、１９３ｎｍよりも短い波長では、非常に深い紫外線（ｖｅｒｙ ｄｅｅｐ ＵＶ ｒａｄｉａｔｉｏｎ）を用いたリソグラフィ、いわゆる真空紫外（ＶＵＶ）（Ｖｅｒｙ ｄｅｅｐ ＵＶ）リソグラフィ、あるいは、軟Ｘ線（ｓｏｆｔ ｘ−ｒａｙ ｒａｄｉａｔｉｏｎ）を用いたリソグラフィ、いわゆる極短紫外（ＥＵＶ）（ｅｘｔｒｅｍｅ ＵＶ）リソグラフィが考えられる。
【０００３】
米国特許第５，３３９，３４６号明細書から、極短紫外線（ＥＵＶ ｒａｄｉａｔｉｏｎ）を用いるリソグラフィ装置のための照明光学系が公知となっている。レチクル面内を一様に照明して瞳を満たすために、米国特許第５，３３９，３４６号明細書は、対称に配置された少なくとも４対の反射切り子面を有して集光レンズとして構成された集光器を提案している。光源としてプラズマ光源が用いられている。
【０００４】
米国特許第５，７３７，１３７号明細書には、コンデンサ反射鏡を備えたプラズマ光源を用いる照明光学系が開示されている。この明細書では、照明対象のマスクないしレチクルは、球面反射鏡を用いることによって照明される。
【０００５】
米国特許第５，３６１，２９２号明細書は、プラズマ光源が設けられた照明光学系を開示しており、点状のプラズマ光源は、中心からずらされて偏心配置された５個の非球面反射鏡を有するコンデンサによって、輪帯照明される表面に結像される。
【０００６】
米国特許第５，５８１，６０５号明細書より、複数の凹面ラスタ素子を有するプレートによって光子ビームが複数の２次光源に分割されるような照明光学系が知られている。これにより、均一で一様な照明がレチクル面内に得られる。レチクルは、従来の縮小光学系によって露光対象のウェハ上に結像される。
【０００７】
欧州特許出願公開第０９３９３４１号明細書は、円弧状ないしアーチ形をした照射野（ｉｌｌｕｍｉｎａｔｉｏｎ ｆｉｅｌｄ）にわたってＸ線波長の光で表面を照明するための照明光学系および露光装置を開示している。この照明光学系は、各々複数の反射素子を有する第１および第２のオプティカルインテグレータを備えている。これら第１および第２のオプティカルインテグレータは、該第２のオプティカルインテグレータの複数の反射素子の位置に複数の光源像が形成されるように対向配置されている。欧州特許出願公開第０９３９３４１号明細書によれば、フィールド面内にアーチ形の照射野を形成するために、第１のオプティカルインテグレータの反射素子は、アーチ形の照射野と相似のアーチ形をしている。このような反射素子は、製造が困難である。
【０００８】
欧州特許出願公開第１０２６５４７号明細書も、二つのオプティカルインテグレータを有する照明光学系を開示している。欧州特許出願公開第０９３９３４１号明細書の光学系と同様に、第１のオプティカルインテグレータの反射素子は、フィールド面内にアーチ形状の照射野を形成するためにアーチ形をしている。
【０００９】
欧州特許出願公開第０９５５６４１号明細書には、二つのオプティカルインテグレータを有する光学系が開示されている。これらのオプティカルインテグレータは、各々複数のラスタ素子を備えている。第１のオプティカルインテグレータのラスタ素子は、矩形状とされている。フィールド面内の円弧状のフィールドは、少なくとも一つの斜入射型のフィールド反射鏡によって形成される。上述の特許出願は、参照により包括的に取り入れられている。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術の光学系、例えば欧州特許出願公開第０９３９３４１号明細書ないし欧州特許出願公開第１０２６５４７号明細書による光学系は全て、照明光学系の径路長（ｔｒａｃｋ−ｌｅｎｇｔｈ）が長いという欠点を有している。
このため、本発明の課題は、従来技術による上記照明光学系の欠点を克服し、１９３ｎｍ以下の波長を用いた最先端のリソグラフィに対する要求を満たすマイクロリソグラフィ用の照明光学系を提供することにある。この照明光学系は、一層コンパクトな大きさとされていなければならないとともに、照明モードを変更したりビーム放射をフィルターしたりするために装置が内部に配置できるような一つの面を装備するものでなければならない。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本発明のこの課題は、請求項１の特徴を有する照明光学系および請求項２１に記載の投影露光装置によって解決される。
【００１２】
上記光学系は、照明光学系の像面内に配置されてパターンが形成されたレチクルを照明する。このレチクルは、投影光学系によって感光性基板上に結像されることになる。走査型のリソグラフィシステムの場合、レチクルは、矩形状ないし円弧状（アーチ形）のフィールドを用いて照明されるが、このとき、フィールド内において、走査エネルギー分布の所定の一様性、例えば±５％よりも優れた一様性が要求される。この走査エネルギーは、走査方向における光の強度に関する線積分として定義されるものである。フィールドの形状は、投影光学系の種類に依存する。全て反射型の投影光学系は、通常、輪帯のセグメントによって与えられる円弧状のフィールドを有している。さらなる要求は、投影光学系の入射瞳の位置にある照明光学系の射出瞳の照明である。略フィールドに依らない射出瞳の照明が要求される。
【００１３】
１００ｎｍから２００ｎｍまでの間の波長に対して通常用いられる光源は、エキシマレーザであり、例えば、１９３ｎｍに対してはＡｒ−Ｆレーザ、１５７ｎｍに対してはＦ２レーザ、１２６ｎｍに対してはＡｒ２レーザ、１０９ｎｍに対してはＮｅＦレーザである。この波長領域における光学系に対しては、ＳｉＯ２、ＣａＦ２、ＢａＦ２ないしその他のクリスタリットからなる屈折型のコンポーネントが用いられる。光学材料の透過率は、波長が短くなるとともに低下するので、照明光学系は、反射型と屈折型のコンポーネントの組み合わせで構成される。１０ｎｍから２０ｎｍまでの間のＥＵＶ波長領域内の波長に対しては、上記の投影露光装置は、全て反射型（ａｌｌ−ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ）として構成される。典型的なＥＵＶ光源は、レーザ生成プラズマ光源（Ｌａｓｅｒ−Ｐｒｏｄｕｃｅｄ−Ｐｌａｓｍａ−ｓｏｕｒｃｅ）、ピンチプラズマ光源（Ｐｉｎｃｈ Ｐｌａｓｍａ−Ｓｏｕｒｃｅ）、ウィグラー光源（Ｗｉｇｇｌｅｒ−Ｓｏｕｒｃｅ）、アンジュレータ光源（Ｕｎｄｕｌａｔｏｒ−Ｓｏｕｒｃｅ）である。
【００１４】
上記の１次光源の光は、第１の光学素子に向けられる。ここで、第１の光学素子は、第１の光学コンポーネントの一部とされている。第１の光学素子は、複数の第１のラスタ素子として編成されており、上記１次光源を複数の２次光源へと変換する。第１のラスタ素子のそれぞれが一つの２次光源に対応し、第１のラスタ素子と交わる全ての光線から画定される入射光束を、当該対応する２次光源に集束させる。２次光源は、照明光学系の瞳面内、ないしこの面の近傍に配置される。照明光学系の像面と瞳面との間には、第２の光学コンポーネントが設けられ、照明光学系の射出瞳内に２次光源を結像させるようになっている。照明光学系の射出瞳は、後続の投影光学系の入射瞳に対応している。
【００１５】
第１のラスタ素子は、像面内に結像される。このとき、これらの像は、照明されるべきフィールド（ｆｉｅｌｄ）上で少なくとも一部重ね合わせられる。このため、第１のラスタ素子は、フィールド用ラスタ素子（ｆｉｅｌｄ ｒａｓｔｅｒ ｅｌｅｍｅｎｔ）もしくはフィールド用ハニカム（ｆｉｅｌｄ ｈｏｎｅｙｃｏｍｂ）としても知られている。
【００１６】
ＥＵＶ波長領域において用いられる全反射型（ａｌｌ−ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ）の投影光学系は、通常、輪帯のセグメントとされているオブジェクトフィールドを有している。そのため、フィールド用ラスタ素子の像が少なくとも一部重ね合わされる照明光学系の像面内におけるフィールドは、同じ形を有していることが好ましい。照明されるフィールドの形は、コンポーネントの光学的な設計によって生成することができるか、あるいは、像面の近くかもしくは像面に共役な面内に付加されるべきマスキングブレードによって生成することができる。
【００１７】
本発明によれば、照明光学系の第２の光学コンポーネントは、照明光学系の射出瞳に共役な平面内に複数の３次光源を形成する少なくとも一つの第３のフィールド反射鏡を備えた第１の光学系を有している。３次光源は、少なくとも第２のフィールド反射鏡および第１のフィールド反射鏡を備えた第２の光学系によって、照明光学系の射出瞳に結像される。照明光学系の射出瞳内の３次光源の像は、４次光源と称される。
【００１８】
フィールド用ラスタ素子は、矩形状とされていることが好ましい。矩形状のフィールド用ラスタ素子は、相互にずらされている複数の列の中にこれらのフィールド用ラスタ素子を配置できるという利点を有している。これらのフィールド用ラスタ素子は、照明されるべきフィールドに応じて、５：１から２０：１の範囲の辺のアスペクト比を有している。矩形状のフィールド用ラスタ素子の長さは、通常１５ｍｍから５０ｍｍの間とされ、幅は１ｍｍから４ｍｍの間とされている。
【００１９】
矩形状のフィールド用ラスタ素子によって像面内の円弧状のフィールドを照明するために、第２の光学コンポーネントの第１のフィールド反射鏡は、矩形状のフィールド用ラスタ素子の矩形状の像を円弧状の像に変換する。この弧の長さは、通常８０ｍｍから１０５ｍｍの範囲とされ、半径方向の幅は、５ｍｍから９ｍｍの範囲とされている。矩形状のフィールド用ラスタ素子の矩形状の像は、負の光学的パワーを有する斜入射型の反射鏡とされた第１のフィールド反射鏡による円錐反射（ｃｏｎｉｃａｌ ｒｅｆｌｅｃｔｉｏｎ）を用いて変換することができる。言い換えれば、円弧状の像が得られるようにフィールド用ラスタ素子が歪められて結像され、このとき、円弧の半径は、投影光学系のオブジェクトフィールドの形によって決定される。上記第１のフィールド反射鏡は、照明光学系の像面の前側（上流側）に配置されることが好ましく、このとき、自由な作動距離（ｆｒｅｅ ｗｏｒｋｉｎｇ ｄｉｓｔａｎｃｅ）が存在することが必要である。反射型のレチクルを有する構成に対して、この自由な作動距離は、レチクルから投影光学系へと伝播する光が第１のフィールド反射鏡によって口径食を受けないように適合させられるものでなければならない。
【００２０】
第１のフィールド反射鏡の表面は、非球面ないし球面にすることが可能な回転対称な反射面の偏心セグメント（ｏｆｆ−ａｘｉｓ ｓｅｇｍｅｎｔ）とされていることが好ましい。保持面（ｓｕｐｐｏｒｔｉｎｇ ｓｕｒｆａｃｅ）の対称軸線は、保持面の頂点を通る。したがって、頂点周りのセグメントは軸上（ｏｎ−ａｘｉｓ）と呼ばれ、頂点を含まない表面の各セグメントは偏心（ｏｆｆ−ａｘｉｓ）と呼ばれる。保持面は、回転対称であるおかげで、比較的簡単に製造することができる。保持面の作製後、上記セグメントが周知の技術によって切り出される。
【００２１】
また、第１のフィールド反射鏡の表面は、トロイダル反射面の軸上（ｏｎ−ａｘｉｓ）セグメントとして形成することもできる。このため、この表面は、局所的に加工処理されなければならないものの、表面処理の前に周囲の形状を作ることができるという長所を有している。
【００２２】
入射光線が第１のフィールド反射鏡上へ入射する地点での面法線に対する該入射光線の入射角は、好適には７０°より大きいものとされているため、第１のフィールド反射鏡の反射率は、８０％より大きい。
【００２３】
正の光学的パワーを有する第２のフィールド反射鏡は、非球面ないし球面に設けることができる回転対称な反射面の偏心セグメントとされているか、又はトロイダル反射面の軸上セグメントとされていることが好ましい。
【００２４】
入射光線が第２のフィールド反射鏡上へ入射する地点での面法線に対する該入射光線の入射角は、２５°よりも小さいことが好ましい。反射鏡は、ＥＵＶ波長領域用の多層膜によってコーティングされていなければならないので、入射光線の発散角および入射角は、反射率を高めるためにできるだけ小さいことが好ましく、このとき、反射率は、６５％よりも高くなければならない。直入射型の反射鏡として設けられている第２のフィールド反射鏡を用いることで、ビーム径路は折り曲げられ、照明光学系は一層コンパクトに作製可能となる。
【００２５】
第２の光学コンポーネントの第３のフィールド反射鏡を用いることによって、照明光学系の長さを低減することができる。この第３のフィールド反射鏡は、２次光源を有する平面および第２のフィールド反射鏡の間に配置されている。
【００２６】
上記第３のフィールド反射鏡は、第３のフィールド反射鏡と第２のフィールド反射鏡との間の平面に上記２次光源の像を生成するために正の光学的パワーを有し、３次光源を形成する。
【００２７】
３次光源を有する平面は、射出瞳に共役に配置されるため、この平面は、照明モードを変更するためのマスキングブレードを配置したり、あるいは透過フィルタを追加したりするために用いることができる。ビーム径路内におけるこの場所は、自由な接近ないしアクセスが可能という長所を有している。
【００２８】
第２のフィールド反射鏡と第３のフィールド反射鏡との間の距離を大きくしないために、そして少なくとも第２の反射鏡および第３の反射鏡の屈折によるパワーを低減するためにも、第２の光学コンポーネント内の像面に対して共役な面は、仮想の共役面とされている。このことは、第２の光学コンポーネントにおいて円弧状のフィールドが形成されるような、アクセス可能な共役な真の像面が存在しないことを意味する。
【００２９】
こういったことは、コンパクトな構成にとって有利である。加えて、小さな光学的パワーを有するフィールド反射鏡は、遥かに容易に製造することができる。
【００３０】
第３のフィールド反射鏡は、第２のフィールド反射鏡と同様に、好ましくは、非球面ないし球面に設けることができる回転対称な反射面の偏心セグメントとされているか又はトロイダル反射面の軸上セグメントとされている。
【００３１】
入射光線が第３のフィールド反射鏡上へ入射する地点での法線に対する該入射光線の入射角は、２５°よりも小さいことが好ましい。直入射型の反射鏡として設けられている第３のフィールド反射鏡を用いることによって、ビーム径路は、照明光学系の全体の大きさをさらにまた小さくするように折曲されることが可能になる。
【００３２】
ビーム径路の口径食を防ぐために、第１、第２、及び第３のフィールド反射鏡は、中心合わせされていない非共軸な無心系（ｎｏｎ−ｃｅｎｔｅｒｅｄ ｓｙｓｔｅｍ）に設けられていることが好ましい。複数反射鏡のための共通の対称軸線は存在しない。光軸は、フィールド反射鏡上で用いられる領域の中心同士間を結んでいる線として定義することができ、このとき、光軸は、フィールド反射鏡の位置で、フィールド反射鏡の傾斜角に応じて偏向される。
【００３３】
照明光学系の反射型のコンポーネントの傾斜角度によって、コンポーネント間のビーム径路が偏向可能となる。従って、光源によって放射されるビーム円錐の方向および像面系（ｉｍａｇｅ ｐｌａｎｅ ｓｙｓｔｅｍ）の方向は、光学系全体に対する要求に応じて調整することができる。好ましい構成は、一の方向にビーム円錐を放射する光源と、この方向に略垂直に向けられた法線を有する像面とを有している。一実施形態において、光源は水平に放射し、像面は垂直な法線を有している。アンジュレータやウィグラーといった幾つかの光源は、水平面内だけに放射する。その一方で、レチクルは、重さのゆえに水平に配置されなければならない。従って、ビーム径路は、光源から像面の間で殆ど９０°程偏向されなければならない。３０°から６０°の間の入射角を有する反射鏡は、偏光作用をもたらし、それゆえに光の損失につながるので、ビームの偏向は、斜入射型ないし直入射型の反射鏡のみを用いて行なわれなければならない。効率的な理由から、反射鏡の数はできるだけ少なくしなければならない。
【００３４】
照明光学系は、複数の第２のラスタ素子を有する第２の光学素子を備えているこが好ましい。第２のラスタ素子を有する第２の光学素子を、第１のラスタ素子を有する第１の光学素子の下流側の光路内に挿入することが有利であり、このとき、第１のラスタ素子の各々が第２のラスタ素子の一つに対応するようにする。このため、第１のラスタ素子の偏向角は、第１のラスタ素子上に入る光線束を、対応する第２のラスタ素子に向けて偏向するように設けられている。第２のラスタ素子は、好ましくは２次光源の位置に配置され、第２の光学コンポーネントと協働して、上記複数の第１のラスタ素子つまり複数のフィールド用ラスタ素子を、照明光学系の像面内に結像するように設けられている。このとき、複数のフィールド用ラスタ素子の像は、少なくとも部分的に重ね合わされる。この第２のラスタ素子は、瞳用ラスタ素子もしくは瞳用ハニカムと呼ばれる。２次光源の位置における強度が大きいことが原因で第２のラスタ素子が損傷するのを防ぐために、第２のラスタ素子は、２次光源がデフォーカスされた状態（集束ずれの状態）において配置されるが、ただ０ｍｍから、第１及び第２ラスタ素子間距離の１０％まで、の範囲内に配置されることが好ましい。
【００３５】
定義により、像面内のフィールドに交差する全ての光線は、照明光学系の射出瞳を通過しなければならない。フィールドの位置および射出瞳の位置は、投影光学系の入射瞳およびオブジェクトフィールドにより決定される。中心合わせされた有心系（ｃｅｎｔｅｒｅｄ ｓｙｓｔｅｍｓ）の幾つかの投影光学系に対しては、オブジェクトフィールドは、光軸から外されて（ｏｆｆ−ａｘｉｓ）配置され、入射瞳は、物体面に対して有限な距離内で軸上に配置される。斯かる投影光学系に関しては、オブジェクトフィールドの中心から入射瞳の中心に向かう直線と、物体面の面法線との間の角度を決めることができる。この角度は、ＥＵＶ投影光学系に対して３°から１０°の範囲とされている。そのため、照明光学系のコンポーネントは、投影光学系のオブジェクトフィールドに交差する全ての光線が、オブジェクトフィールドに対して中心がずらされている投影光学系の入射瞳を通過するように構成されかつ配置されなければならない。反射型のレチクルを有する投影露光装置に対しては、レチクルに交差する全ての光線は、照明光学系のコンポーネントでの、反射光線の口径食を防ぐために、０°よりも大きい入射角を有している必要がある。
【００３６】
ＥＵＶ波長領域においては、全てのコンポーネントが反射型のコンポーネントとされ、これらのコンポーネントは、これらのコンポーネント上への全ての入射角が２５°より小さいかあるいは６５°より大きいように配置されていることが好ましい。従って、約４５°の角度での入射角において生じてくる偏光作用は、最小限に抑えられる。斜入射型の反射鏡は、８０％を超す反射率を有しているため、６５％よりも大きい反射率を有する直入射型の反射鏡に比べて、光学的設計上望ましい。
【００３７】
上記照明光学系は、通常、メカニカルボックス（ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｂｏｘ）内に設けられている。反射鏡を用いてビーム径路を折曲することにより、このボックスの全体的な大きさを小さくすることができる。このボックスは、レチクルならびにレチクル保持機構の設けられる像面と干渉せず、妨げにならないことが好ましい。従って、反射型のコンポーネントを配置するとともに傾斜させ、これにより、全てのコンポーネントが完全にレチクルの一方の側にのみ配置されるようになっていると有利である。これが実現されるのは、フィールドレンズが偶数個の直入射型の反射鏡だけを備えている場合である。
【００３８】
上記照明光学系は、上述したように、照明光学系、この照明光学系の像面に配置されたレチクル、及び投影光学系の像面に配置されたウェハ上に上記レチクルを結像させる投影光学系を備える投影露光装置において好適に用いることができる。レチクル及びウェハのいずれも、レチクルないしウェハの交換あるいは走査を可能にする保持ユニット上に設けられている。
【００３９】
上記投影光学系は、１００ｎｍから２００ｎｍの間の範囲における波長に関する米国特許第５，４０２，２６７号明細書から知られているように、反射屈折型のレンズとされていてもよい。これらの光学系は、透過形のレチクルを有している。
【００４０】
ＥＵＶ波長領域に対して、上記投影光学系は、例えば、６反射鏡式投影レンズを開示している米国特許出願番号０９／５０３６４０から知られるように、４個から８個の反射鏡を有する全反射型の光学系（ａｌｌｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ ｓｙｓｔｅｍ）とされていることが好ましい。これらの光学系は、通常、反射型のレチクルを有している。
【００４１】
反射型のレチクルを有する光学系に対しては、光源からレチクルまでの間の照明ビーム径路と、レチクルからウェハまでの投影ビーム径路とは、レチクル近傍でのみ干渉することが好ましい。このレチクル近傍では、隣接する物点に関する入射および反射光線が同じ領域を伝播する。照明ビーム径路と投影ビーム径路との交差がそれ以上どこでも起こらなければ、レチクル領域を除いて、照明光学系と投影光学系とを分離することができる。
【００４２】
投影光学系は、上記レチクルと第１の結像素子との間に、投影光学系の光軸に向かって傾けられた投影ビーム径路を有していることが好ましい。特に、反射型のレチクルを有する投影露光装置に対しては、照明光学系と投影光学系との分離が、一層容易に実現できる。
【００４３】
以下、本発明を図面に基づき詳述する。
【００４４】
図１は、本発明の完全に反射型の一実施形態を概略的に示す図である。この実施形態は、光源８２０１と、集光反射鏡８２０３と、フィールド用ラスタ素子８２０９を有するプレートと、瞳用ラスタ素子８２１５を有するプレートと、第２の光学コンポーネント８２２１と、像面８２２９と、射出瞳８２３５とを備えている。第２の光学コンポーネントは、第３のフィールド反射鏡８２２５を有する第１の光学系と、第２のフィールド反射鏡８２２３を有する第２の光学系とを備えている。第３のフィールド反射鏡８２２５ならびに第２のフィールド反射鏡８２２３は、正の光学的パワーを有している。さらに、第２の光学コンポーネントは、第１のフィールド反射鏡８２２７を備えている。第１のフィールド反射鏡８２２７は、フィールド成形用の負の光学的パワーを有する斜入射型の反射鏡とされている。図１に示された完全に反射型の実施形態において、フィールド反射鏡８２２５及びフィールド反射鏡８２２３は、いずれも凹面鏡とされていて、偏心した非共軸グレゴリアン式望遠鏡の構成をなす。フィールド反射鏡８２２５は、フィールド反射鏡８２２５とフィールド反射鏡８２２３との間の射出瞳に対して共役な平面内に２次光源８２０７を結像させ、３次光源８２５９を形成する。図１には、中央の２次光源８２０７の結像だけが示されている。射出瞳に共役な３次光源８２５９を有する平面の位置には、射出瞳８２３３の照明モードを変えるために、マスキングユニット８２６１が配置されている。絞りブレードを用いることで、３次光源８２５９を遮蔽することが可能となり、そしてそれによって照明光学系の射出瞳８２３３の照明を変更することが可能となる。考えられる絞りブレードは、丸い形状、ないし四重極照明等のための例えば二つか四つの丸い開口部を有している。上記絞りブレードに代えて、あるいはこの絞りブレードに付け加えて、３次光源を有する平面内もしくはその近傍に透過フィルタも配置することができる。フィールド反射鏡８２２３及びフィールド反射鏡８２２７は、３次光源８２５９を照明光学系の射出瞳８２３３内に結像させて４次光源８２３５を形成する。
【００４５】
照明光学系の光軸８２４５は、一直線ではなくて、単体のコンポーネント同志の間を結ぶ線によって定められ、このコンポーネントの中心を該光軸８２４５が交差するようになっている。従って、照明光学系は、口径食の無いビーム経路が得られるように、各コンポーネントの位置で向きが変えられている光軸８２４５を持つ無心系つまり中心に合わされていない系（ｎｏｎ−ｃｅｎｔｅｒｅｄ）になっている。上記複数の光学コンポーネントに対する共通の対称軸は存在しない。ＥＵＶ露光装置のための投影光学系は、通常、真直ぐな光軸を持ちかつ偏心したオブジェクトフィールドを有する有心系つまり中心合わせされた系（ｃｅｎｔｅｒｅｄ ｓｙｓｔｅｍ）とされている。投影光学系の光軸８２４７は、破線によって示されている。フィールド８２３１の中心と投影光学系の光軸８２４７との間の距離は、フィールド半径Ｒｆｉｅｌｄに等しくなっている。フィールド反射鏡８２２３，８２２５は、軸上のトロイダル型反射鏡として設けられている。このことは、光軸８２４５が軸上トロイダル型反射鏡８２２３，８２２５，８２２７の頂点を通過することを意味する。第２及び第３のフィールド反射鏡８２２３，８２２５は、直入射型の反射鏡とされている。このことは、入射光線が第２及び第３の反射鏡上へ入射する地点での面法線に対する該入射光線の入射角は、２５°よりも小さいことが好ましいことを意味する。
【００４６】
第１のフィールド反射鏡８２２７は、斜入射型の反射鏡とされている。このことは、入射光線が第１の反射鏡上へ入射する地点での面法線に対する該入射光線の入射角は、７０°よりも大きいことが好ましいことを意味する。
【００４７】
図１に示された実施形態において、第１のフィールド反射鏡８２２７、第２のフィールド反射鏡８２２３、及び第３のフィールド反射鏡８２２５を備えている第２の光学コンポーネントは、像面８２２９に対する仮想の共役面だけを有している。これにより、フィールド反射鏡のための低い屈折パワーを有する第２の光学コンポーネントの大きさがコンパクトになる。
【００４８】
図２は、ＥＵＶ投影露光装置を詳細に示す図である。対応する素子は、２００だけ加えられた図７における符号と同じ符号を有している。従って、対応する素子に関する記載は、図１に対する記載から分かる。図２の照明光学系は、直入射型の集光器８２０３の代わりに、複数の反射表面を有する斜入射型の集光器８４０３を備えている。加えて、波長を選別するために、上記照明光学系は、回折格子素子８４０４及び絞り８４０６を備えている。１次光源８４０１の中間像８４０８は、絞り８４０６の位置に存在している。上記光学系は、図１に示された光学系のように、第１のラスタ素子を有する第１の光学素子８４０９と、第２のラスタ素子を有する第２の光学素子８４１５と、第１のフィールド反射鏡、第２のフィールド反射鏡８４２３、及び第３のフィールド反射鏡８４２５を有する第２の光学コンポーネント８４２７とを備えている。第２のフィールド反射鏡８４２３及び第３のフィールド反射鏡８４２５は、いずれも凹面鏡とされている。フィールド反射鏡８４２５は、フィールド反射鏡８４２５とフィールド反射鏡８４２３との間の射出瞳に共役な平面内に２次光源を結像させて、３次光源を形成する。射出瞳に対して共役な３次光源を有する平面８４５８の位置には、射出瞳の照明モードを変えるためにマスキングユニット８４６１を配置することができる。フィールド反射鏡８４２３及びフィールド反射鏡８４２７は、図２には図示されぬ照明光学系の射出瞳内に３次光源を結像させて、４次光源を形成する。
【００４９】
図２に示される光学系の光学コンポーネントに関するデータは、表１に与えられている。これらのコンポーネントは、ｙ−ｚ方向断面図で示されており、このとき、各コンポーネントに対してｙ軸およびｚ軸を有する局所座標系が示されている。フィールド反射鏡８４２３，８４２５，８４２７に対して局所座標系が反射鏡の頂点に定義されている。ラスタ素子を有する二つのプレートに関しては、局所座標系は、プレートの中心に定義されている。表１には、像面の局所座標系を基準にした局所座標系が与えられている。局所座標系のｘ軸の周りの傾斜角αは、像面内の基準座標系の当該局所座標系への変換に起因するものである。全ての座標系は右手系とされている。
【表１】
2004510340.tif 000003
表１：光学コンポーネントの座標系
【００５０】
レチクル８４６７は、照明光学系の像面８４２９に配置されている。レチクル８４６７は、保持機構８４６９によって位置決めされている。６個の反射鏡を有する投影光学系８４７１は、同じく保持機構８４７５によって位置決めされるウェハ８４７３上にレチクル８４６７を結像させる。投影光学系８４７１の反射鏡は、共通の一直線の光軸８４４７に中心が合わせられている。円弧状のオブジェクトフィールドは、偏心配置されている。レチクル８４６７と投影光学系８４７１の一番目の反射鏡８４７７との間のビーム径路の方向は、投影光学系８４７１の光軸８４４７に向かって傾けられている。レチクル８４６７の法線に対する主光線８４７９の角度は、３°から１０°の間、好ましくは５°から７°の間とされている。図１に示されているように、照明光学系８４７９は、投影光学系８４７１から上手く分離されている。照明ビーム径路及び投影ビーム経路は、ただレチクル８４６７の近傍でのみ干渉している。
【図面の簡単な説明】
【図１】二つの共役な瞳面を有する本発明に係る照明光学系の一実施形態を示す概略図である。
【図２】図１の照明光学系を有する投影露光装置を詳しく示す図である。
【符号の説明】
８２０１，８４０１・・・１次光源
８２０３，８４０３・・・集光反射鏡
８２０７・・・２次光源
８２０９，８４０９・・・フィールド用ラスタ素子（第１のラスタ素子）
８２１５，８４１５・・・瞳用ラスタ素子（第２のラスタ素子）
８２２１，８４２１・・・第２の光学コンポーネント
８２２３，８４２３・・・第２のフィールド反射鏡（第２の光学コンポーネント）
８２２５，８４２５・・・第３のフィールド反射鏡（第２の光学コンポーネント）
８２２７，８４２７・・・第１のフィールド反射鏡（第２の光学コンポーネント）
８２２９，８４２９・・・レチクル面（照明光学系の像面）
８２３３，８４３３・・・照明光学系の射出瞳（投影光学系の入射瞳）
８４６７・・・レチクル
８４７１・・・投影光学系
８４７３・・・ウェハ（感光性物体）
８４７５・・・ウェハの保持機構
【国際公開パンフレット】
2004510340.tif 000004
2004510340.tif 000005
2004510340.tif 000006
2004510340.tif 000007
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2004510340.tif 000026
2004510340.tif 000027
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004510340.tif 000028
【国際調査報告】
2004510340.tif 000029
2004510340.tif 000030
2004510340.tif 000031