(57)【要約】本発明は、光電素子配置及びこの光電素子配置を製造する方法に関する。この光電素子配置は、キャリア素子上に配置された光電素子を有する。この光電素子は、閉鎖的なダムによって包囲されている。封止体が、このダムの内部領域内に配置されている。この封止体は、光電素子を封止し、かつ２つの封止材を含む。この場合、ダムの内部領域は、特に光電素子の上の縁まで第１封止材で充填されている。光電素子の上のダムの内部領域は、少なくとも窓領域内では透明な第２封止材で充填されている。
2004528713.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
−キャリア素子（１；１０）を有し、
−このキャリア素子（１；１０）上に配置された光電素子（３；１３）を有し、この光電素子（３；１３）は、ワイヤーボンディング（４ａ，４ｂ；１４ａ，１４ｂ）を介してこのキャリア素子（１；１０）内の導体に接続されていて、
−このキャリア素子（１；１０）上の閉鎖的なダム（２；１２）を有し、このダム（２；１２）は、光電素子（３；１３）を有し、
−このダムの領域内に配置された封止体を有し、この封止体は、この光電素子  （３；１３）を封止し、かつ２つの封止材（５，６；１５，１６）を含む光電素子配置において、−ダムの内部領域は、光電素子（３；１３）の上の縁まで封止材（５；１５）で充填されていて、
−この光電素子（３；１３）の上のダムの内部領域は、少なくとも窓領域内で透明な第２封止材（６；１６）で充填されていることを特徴とする光電素子配置。
【請求項２】
第１封止材（５；１５）は、ワイヤーボンディング（４ａ，４ｂ；１４ａ，１４ｂ）の熱膨張率（αBD）とキャリア素子（１；１０）の熱膨張率（αTE）とにほぼ合わせられている熱膨張率（αVM1）を呈することを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項３】
第１封止材（５；１５）は、熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈することを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項４】
第１封止材（５；１５）の表面が、硬化された状態で大きな凹凸を有することを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項５】
第１封止材（５；１５）は、黒いエポキシ充填材であることを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項６】
第１封止材（５；１５）及びダム（２；１２）の材料は、同一の母材から成り、粘性だけが異なることを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項７】
第２封止材（６；１６）は、第１封止材（５；１５）及び光電素子配置（３；１３）の上のダムの内部領域を完全に充填することを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項８】
光電素子（３；１３）は、フォト素子又はオプトＡＳＩＣとして構成されていて、この光電素子（３；１３）のビーム感知面が、キャリア素子（１；１０）から離れて指向されていることを特徴とする請求項１に記載の光電素子配置。
【請求項９】
ガラス板（１９）が、フォト素子又はオプトＡＳＩＣのビーム感知面上に直に配置されていることを特徴とする請求項８に記載の光電素子配置。
【請求項１０】
−まず、光電素子（３；１３）がキャリア素子（１；１０）上に配置され、
−引き続き、閉鎖的なダム（２；１２）が、キャリア素子（１；１０）上で光電素子（３；１３）の周りに取り付けられ、２つの封止材（５，６；１５，１６）から成る封止体が、ダムの内部領域内に注入され、この封止体は、光電素子（３；１３）を封止する光電素子配置を製造する方法において、
−封止体を注入するため、まず、不透明な第１封止材（５；１５）が、最大で光電素子（３；１３）の上の縁までダムの領域内に注入され、
−引き続き、この光電素子（３；１３）の上のダムの内部領域は、少なくとも窓領域内で透明な第２封止材（６；１６）で充填されることを特徴とする方法。
【請求項１１】
ワイヤーボンディング（４ａ，４ｂ；１４ａ，１４ｂ）の熱膨張率（αBD）とキャリア素子（１；１０）の熱膨張率（αTE）とにほぼ合わせられている熱膨張率（αVM1）を呈する第１封止材（５；１５）が選択される請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈する第１封止材（５；１５）が選択されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１３】
硬化された状態で大きな凹凸の表面を有する第１封止材（５；１５）が選択されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１４】
黒いエポキシ充填材が、第１封止材（５；１５）として選択されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１５】
第２封止材（６；１６）が、第１封止材（５；１５）の上のダムの全ての内部領域内に注入されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１６】
光電素子（３；１３）は、キャリア素子（１；１０）内のプリント配線に導電的に接続されることを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の光電素子に関する。さらに本発明は、請求項１０の上位概念に記載の光電素子を製造する方法に関する。
【０００２】
このような種類の光電素子配置は、特開平８−２４１９７６号公開公報から公知である。ＣＣＤチップとして構成された光電素子がキャリア素子上に配置されている。この光電素子は、ダムによって環状に包囲されている。この光電素子は、ワイヤーボンディングを通じてキャリア素子の導線に接続されていて、電気接触される。２つの透明な封止材から成る封止体が、ダムの内部領域内に配置されている。クラックが、熱誘導的な張力のせいで封止体内に発生しうる。場合によっては、ワイヤーボンディングが破損する。それ故に、第１ステップで透明な第１封止材をダムの内部領域内に注入すること、この第１封止材を熱的に硬化すること、そしてこの場合気泡をこの封止材から除去することが提唱される。引き続き、第２方法ステップで透明な第２封止材がダムの内部領域内に注入され、同様に熱的に硬化され、場合によっては第２封止材中の気泡を排除する。こうして、気泡が両封止材中にもはや含まれていないことを保証することができる。熱膨張率が互いに非常に異なる材料がこのような構成要素の配置で使用される場合、ワイヤーボンディングのクラックが熱的な負荷の下で発生しうる。例えば、一方で使用される透明な封止材つまりエポキシ樹脂（α≒50-70ppm/K）及び他方ではキャリア素子又はワイヤーボンディング用に使用される材料（α≒15-25ppm/K）が、明らかに異なる熱膨張率を呈する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の課題は、光電素子配置に接触するために設けられているワイヤーボンディングが温度変化でも破損しない光電素子配置及び光電素子配置を製造する方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
第１の課題は、請求項１に記載の特徴を有する光電素子配置によって解決される。
【０００５】
本発明の光電素子配置の好適な実施形は、請求項１の従属請求項に記載されている。
【０００６】
第２の課題は、請求項１０の特徴を有する光電素子配置を製造する方法によって解決される。
【０００７】
この方法の好適な実施形は、請求項１０の従属請求項に記載されている。
【０００８】
本発明では、第１封止材がダムの内部領域内に注入される。この場合、この第１封止材は、好ましくは光電素子の上の縁まで達する。この第１封止材の上には、透明な第２封止材が空間的に仕切った窓領域内に注入される。第１封止材は、好ましくは透明な第２封止材とは異なって選択される。特に第１封止材を選択する場合、この第１封止材が可能な限り小さい熱膨張率を呈することが考慮される。この熱膨張率は、使用されるワイヤーボンディングと使用されるキャリア素子の熱膨張率にほぼ合わせられている。こうして、ワイヤーボンディングの領域内の熱的に誘導される張力及びこのワイヤーボンディングの望まないクラックを回避することができる。
【０００９】
硬化された状態で可能な限り起伏の多い表面を有する材料が第１封止材の選択時に選択されることが有益であることが実証されている。したがって、その上に配置された第２封止材の良好な付着が保証される。さらにこの付着は、これらの両封止材間の熱的に引き起こされる剪断移動を生じさせないことを保証する。この剪断移動は、場合によってはワイヤーボンディングを破損しうる。さらに第１封止材を選択する場合、この第１封止材の光学特性を考慮する必要はもはやない。すなわち、この材料は、上述した最適化基準の下でだけ選択できる。
【００１０】
第１封止材とダムの材料がほぼ同じ母材から成り、粘性だけが違う場合、特に製造技術的な利点は、本発明の方法の可能な実施形で得られる。何故なら、第１封止材とダムは、同じ作業ステップで取り付けられて硬化され得るからである。
【００１１】
以下に、本発明のその他の利点と詳細を図面に基づいた実施形から説明する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１中には、本発明の光電素子配置の第１の実施形の概略的な横断面図である。この場合、素子配置のさらに後で説明する要素が、キャリア素子１上に配置されている。このキャリア素子１は、この例では公知の導体板としてＦＲ４材料から構成されている。その代わりに、しかしながら例えばＦＲ５，酸化アルミニウム，ガラス等のようなその他の材料もキャリア素子１に対して考慮される。
【００１３】
図１中では、キャリア素子１上に延在している導体が識別不可能である。これらの導体は、キャリア素子１上に配置された光電素子３と場合によってはその他の素子に電気的に接触するために使用される。この示された実施の形態では、フォト検出器の形態の組込み素子３が、光電素子３として設けられている。この組込み素子３のビーム感知面は、キャリア素子１から離れて指向されている。その代わりに、適切な組込み光源，いわゆる光学ＡＳＩＣやその他の光電素子も、光電素子３としてこの場所で使用できる。
【００１４】
それぞれ光電素子３は、ワイヤーボンディング４ａ，４ｂによってキャリア素子１内の電気導体に接続されるか又はワイヤーボンディング４ａ，４ｂを介して公知の方法で電気的に接触される。ワイヤーボンディング４ａ，４ｂに対してはこの例では、金が材料として使用される。さらに、金合金，アルミニウム，アルミニウム合金や銅も、ワイヤーボンディング材料として使用可能である。
【００１５】
光電素子３は、この実施の形態ではキャリア１上に付着されている；これとは別に、この接合は、他の金属を混ぜて合金を作ること(Legieren)，共融ボンディング(Eutektisches Bonden) ，陽極ボンディング(Anodisiertes Bonden) ，半田付けや溶接によっても製造できる。
【００１６】
さらに本発明の光電素子配置は、キャリア素子１上に配置されたダム２を有する。このダム２は、素子３を密閉して包囲するか又は包囲する。このダム２は、いろいろな包囲幾何を有し得る；例えばこのダム２は、素子３を正方形に包囲してもいいし、しかしながらその代わりに長方形のダム，多角形のダムや円形のダムを素子３の周りに延在させてもよい。
【００１７】
このダム２は、高さｈ2を有する。この高さｈ2は、この例では素子３の高さｈ1の高さよりも明らかに高く選択されている。これらの高さｈ1，ｈ2に対する一般的な値は、約ｈ1=450 μm とｈ2=800 μm である。
【００１８】
本発明の素子配置のダム２の重要な機能は、キャリア素子１の必要な面がこのダム２によって限定される点にある。この必要な面は、素子３を封止によってダムの内部領域内に固定するために必要である。本発明によれば、以下でさらに詳しく説明するように、２つの封止材５，６が、この固定のために使用される。これらの両封止材５，６による素子配置のこの固定は、素子３とワイヤーボンディング４ａ，４ｂを機械的な影響に対して保護するために使用される。
【００１９】
Emerson & Cuming社によって型名Amicon 50300 HT で市販されているような  充填されたエポキシい樹脂の形態をした公知の黒いエポキシ充填材が、適切なダムの材料として設けられ得る。その代わりに、製品名FP 4451 で市販されるDexter Hysol社のエポキシ充填材を使用してもよい。
【００２０】
図１から分かるように、ダム２は、この実施の形態ではただ１つのダム層から形成される。しかしながらこれとは別に、ドイツ連邦共和国特許出願第100 24 336.3号明細書中に記されているように、２層のダム構造や３層のダム構造を設けてもよい。さらにこの代わりに、ダム２を射出成形部材として形成することも可能である。
【００２１】
水槽状のダムの内部領域内に配置された封止体が２つの異なる封止材から構成される点が、本発明に対して重要である。この封止体は、光電素子３を封入する。この場合、この例では、ダムの内部領域が、光電素子３のほぼ上の縁まで第１封止材５で充填されている。したがってこの第１封止材５は、この例では素子３の高さｈ1にほぼ相当する高さを有する。基本的には、第１封止材５の高さを例えばより低くしてもよい。しかしながら、ダムの内部領域が特に最大で光電素子３の上の縁まで第１封止材で充填されていて、したがって光電素子３のビームに感知するか又は場合によってはビームを放出する面が第１封止材５によってほとんど覆われていないことを保証しなければならない。
【００２２】
第１封止材の熱膨張率αVM1がワイヤーボンディング４ａ，４ｂ（αBD）とキャリア素子１（αTE）の熱膨張率にほぼ合わせられているように、この第１封止材５は本発明にしたがって選択される。そのため、例えば黒いエポキシ充填材が使用される。このエポキシ充填材は、熱膨張率αVM1≒18-19ppm/Kを呈する。金がワイヤーボンディング４ａ，４ｂ用の材料として使用される場合、これらのワイヤーボンディング４ａ，４ｂの熱膨張率αBD≒15ppm/K に対して非常に良好に適合する。既に上述したワイヤーボンディング４ａ，４ｂ用の材料の熱膨張率も、αBD≒[15ppm/K-25ppm/K] の範囲内にある。同様に、ＦＲ４をキャリア素子１用の材料として使用した場合、このキャリア素子の熱膨張率αTE≒15ppm/K に良好に適合される。適切な第１封止材５は、例えばEmerson & Cuming社又はDexter Hyson社によって製品名Amicon 50500-1又はFP 4450 で市販される。
【００２３】
したがって、第１封止材５及びダム２の材料は、この説明した実施形では同一の母材を有し、粘性だけが異なる。後でさらに説明するように、本発明の製造方法の可能な実施形の進行中でも、利点がこの材料の選択から生じる。
【００２４】
さらに、第１封止材５の表面が硬化された状態で可能な限り大きい凹凸を有するように、第１封止材５は選択される。これによって、この第１封止材５の上に配置された材料、すなわち第２封止材６との非常に良好な付着が保証され得る。第２封止材６は、商業的に入手可能な透明な封止材である。この封止材は、ダムの内部領域内の光電素子３の上の少なくとも窓領域内に、例えば光電素子のビーム感知領域内等に配置されている。例えばDexter Hysol社によって製品番号Hysol OS 2800 で市販されている製品が、第２封止材６に対して適していると実証されている。その代わりに、製品番号Hysol OS 1600, Hysol OS 1900, Hysol OS 2902, Hysol OS 4000又はHysol OS 4110 で同社によって市販されている封止材もこの場所で使用可能である。
【００２５】
図１の例では、第２封止材６が、第１封止材５及び光電素子３の上のダム内部領域を完全に充填する。しかしその代わりに、既に説明したようにより小さい窓領域だけを充填してもよい。封止材５，６を本発明にしたがって配置し選択することによって、一方ではダムの内部領域内の透明な第２封止材６で充填されなければならない総充填容積が明らかに減少され得ることが保証される。上述したように、一方では透明な封止材と他方ではワイヤーボンディング４ａ，４ｂ又はキャリア素子１との熱膨張率が非常に違うために、ワイヤーボンディング４ａ，４ｂの熱的に誘導される剪断に関連する問題が発生する。硬化時の収縮過程に起因する光電素子配置内の張力が低下するので、減少した充填容積は有利に作用する。さらに、第１封止材５の表面が起伏の多い特性であるために、この第１封止材の上にある第２封止材６と良好に係合することが保証されている。そのため、互いに向かい合うこれらの両封止材５，６の熱的に生じる剪断及びワイヤーボンディング４ａ，４ｂのクラックが、実際にもはや起こり得ない。
【００２６】
光電素子配置の説明した第１の実施形のほかにも、さらに別の実施の形態が本発明の範囲内で明らかに存在する。以下に、第２の実施の形態を図２ａ−２ｅに基づいて説明する。本発明の方法の可能な実施形もこれらの図に基づいて説明する。
【００２７】
図２ａ中に示された第１処理ステップでは、まず最初にオプトＡＳＩＣの形態の露出した光電素子１３がキャリア素子１０又はプリント基板上に配置され、その上に接着される。さらに、この光電素子１３は電気的に接触される。このことは、ワイヤーボンディングと対応するワイヤーボンディング１４ａ，１４ｂの配置によって公知の方法で実施できる。
【００２８】
次いで、ダム１２が、キャリア素子１０上に高さｈ2で取付けられる。このダム１２は、上述したように光電素子１３を完全に包囲する。対応する処理ステップが、図２ｂ中に具体的に示されている。対応するダムの材料が、この例では概略的に示された配量針５０を使用することによっていわゆる配量技術で取付けられる。既に説明したように、これとは別に射出部材として形成されたダム又はフレーム要素をキャリア素子上に設置してもよい。
【００２９】
配量技術によるこの取付けの場合、ダム１２の所望の高さｈ2は、配量針５０の供給速度，ダムの材料の取付け量等を調整することによって一定に設定することができる。
【００３０】
図２ｃ中に示された引続く処理ステップでは、第１封止材１５がダムの内部領域内で配量針５０によって好ましくは最大で光電素子の上の縁まで注入される。上述したようにこの実施の形態では、ダム１２と同一の母材から成る第１封止材１５が選択される。そのため、例えば充填された黒いエポキシ樹脂又はエポキシ充填材が使用され得る。次いで、ダム１２と第１封止材１５の双方が、適切な焼結処理によって硬化される。図２で中に示されている以下の方法ステップでは、最初に説明した実施の形態とは違って、追加のガラス板１９が、光電素子１３又はオプトＡＳＩＣのビーム感知面上に配置される。このことは、図２ｄ中に示されたように透明な第２封止材で充填する前に実施される；しかしその代わりに、ダムの内部領域の残りを透明な第２封止材で充填した直後にガラス板１９を光電素子１３の表面に押し付けることも可能である。
【００３１】
ガラス板１９のこの配置は、不動態化処理しなかった活性面を有する光電素子１３の場合にこれらの面を保護又は密閉するために使用される。さらにガラス板１９の厚さが十分厚く選択される場合、ワイヤーボンディング１４ａ，１４ｂに対する機械的なさらなる保護が保証され得る。示された実施の形態とは違って、ガラス板の厚さを明らかにより厚くし、第２封止材から僅かに突出させてもよい。
【００３２】
図２ｅ中に示された次の方法ステップでは、ダムの残りの内部領域が、配量針７０を使用してダムの上の縁まで第２封止材１６で最終に充填される。これに対しては上述したように、透明な封止材が使用される。
【００３３】
説明した実施形のほかに、その他の実施の形態も本発明の範囲内で明らかに存在する。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
【図１】本発明の光電素子配置の第１の実施の形態の概略的な断面図である。
【図２ａ】本発明の光電素子配置の第２の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図２ｂ】本発明の光電素子配置の第２の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図２ｃ】本発明の光電素子配置の第２の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図２ｄ】本発明の光電素子配置の第２の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【図２ｅ】本発明の光電素子配置の第２の実施形を製造する本発明の方法の範囲内でのそれぞれの方法ステップを示す。
【符号の説明】
【００３５】
１  キャリア素子
２  ダム
３  光電素子
４ａ  ワイヤーボンディング
４ｂ  ワイヤーボンディング
５  第１封止材
６  第２封止材
１０  キャリア素子
１２  ダム
１３  光電素子
１４ａ  ワイヤーボンディング
１４ｂ  ワイヤーボンディング
１５  第１封止材
１６  第２封止材
１９  ガラス板
５０  配量針
【国際公開パンフレット】
2004528713.tif 000003
2004528713.tif 000004
2004528713.tif 000005
2004528713.tif 000006
2004528713.tif 000007
2004528713.tif 000008
2004528713.tif 000009
2004528713.tif 000010
2004528713.tif 000011
2004528713.tif 000012
2004528713.tif 000013
2004528713.tif 000014
2004528713.tif 000015
2004528713.tif 000016
2004528713.tif 000017
2004528713.tif 000018
2004528713.tif 000019
2004528713.tif 000020
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004528713.tif 000021
2004528713.tif 000022
【国際調査報告】
2004528713.tif 000023
2004528713.tif 000024
2004528713.tif 000025
2004528713.tif 000026
2004528713.tif 000027
2004528713.tif 000028