(57)【要約】ここに開示する真空吸引力制御装置は、導入口と少なくとも１つの導出口とを有するダクトを用いて制御を行うものである。ダクト内でピストン状のプランジャを移動させることで、導入口を１つの導出口に、或いは互いに隣接した複数の導出口に同時に接続し、それによって吸引力の流れを制御する。本発明は、エレクトロメカニカル真空弁並びにそれに付属する制御配線及び電源装置を使用することなく、公知の真空分配方式を実施し得るようにしたものである。従って本発明は本質的に、一旦設定した分配状態を維持するために電力ないし機械的動力を必要とするということがない。【選択図】図２
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体ないし気体状物質の流れを制御する分配制御装置において、
ダクトと該ダクト内に配設されたプランジャとを備え、
前記ダクトは、導入口と、少なくとも１つの導出口とを有しており、
前記プランジャは、前記ダクトと、該プランジャと、前記ダクトの一端の静止した壁部とで画成された可変容積室に、前記流体ないし気体状物質を封じ込めるように構成されており、
更に、前記プランジャを前記ダクト内で前後進させるプランジャ駆動手段を備えた、
ことを特徴とする分配制御装置。
【請求項２】
前記流体ないし気体状物質が、真空吸引力発生ポンプで発生された空気であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項３】
前記導入口を前記真空吸引力発生ポンプに接続する接続手段と、
前記少なくとも１つの導出口をバキュームテーブルの少なくとも１つの吸引力導入口に接続する接続手段と、
を更に備えたことを特徴とする請求項２記載の装置。
【請求項４】
前記第２の接続手段が適当な配管から成ることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項５】
前記少なくとも１つの導出口が前記少なくとも１つの吸引力導入口に直接接続されていることを特徴とする請求項３記載の装置。
【請求項６】
前記プランジャ駆動手段が、回転装置に連結されたネジ桿から成り、該ネジ桿が前記ダクトに対して同心的に前記ダクト内に配設されていることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項７】
前記プランジャが、円筒管の内面に形成された雌ネジ部と、漏出防止手段とを備えており、
前記雌ネジ部は、前記ネジ桿と螺合しており、
前記漏出防止手段は、前記雌ネジと前記ネジ桿との間に設けられており、
前記円筒管部は前記プランジャに対して同心的に設けられており、前記ネジ桿が前記プランジャを貫通している、
ことを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項８】
前記回転装置が、電気信号に応じて動作するモータから成ることを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項９】
前記回転装置が、電気パルスに応じて動作するステッピング・モータから成ることを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項１０】
前記プランジャ駆動手段が、一端が前記プランジャに連結された軸部材と、該軸部材の他端に連結されたリニア・モータとから成ることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１１】
前記プランジャと前記ダクトとの間に漏出防止封止手段を設けたことを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１２】
前記ダクトが円筒形ハウジングの一部であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１３】
前記ダクトが直方形ハウジングの一部であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１４】
前記ダクトが円筒形であり、前記プランジャが円筒形であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１５】
前記ダクト内に該ダクトに対して非同心的に配設したロッドを備え、
前記ロッドは、前記プランジャの非同心的な位置に形成した孔を貫通して、前記ネジ桿に平行に延在している、
ことを特徴とする請求項６記載の装置。
【請求項１６】
前記プランジャと前記ロッドとの間に漏出防止封止手段を設けたことを特徴とする請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
前記ダクトが非円筒形であり、前記プランジャが非円筒形であることを特徴とする請求項１記載の装置。
【請求項１８】
第２の分配制御装置を備えたことを特徴とする請求項１記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空を利用して着脱可能に物体を固定する装置に関し、より詳しくは、バキュームテーブルのための真空分配マニホルド装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
真空を利用して物体を固定するようにした表面を備えたテーブルは、一般的にバキュームテーブルと呼ばれている。現在用いられている一般的なバキュームテーブルは、テーブル上の所定領域に多数の小孔を形成し、それら小孔を介して、テーブル上に載置された物体に真空吸引力が作用するようにしたものである。物体に作用する吸引力の大きさは、小孔を形成した領域の全域がその物体によって覆われ場合に最大となる。また多くの場合、その吸引力は、真空ポンプ装置で発生させるようにしている。そして、吸引力をオンにしている間だけ、即ち真空をオンにしている間だけ、物体はテーブルの表面に固定されている。物体が全ての小孔を覆っていない場合には、物体によって覆われていない小孔を介して吸引力の損失が発生するという問題があり、従来からこの問題を解決するために様々な解決法が用いられている。
【０００３】
それら解決法の１つは、吸引力制御機構を使用するというものであり、その制御機構としては、例えばコアンダ効果を利用したダイアフラム機構や、差圧弁機構などが使用されている。この解決法は必然的に高コストにならざるを得ず、なぜならば、バキュームテーブルに形成されている多数の小孔の各々に、その種の機構を１つずつ装備しなければならないからである。
【０００４】
これとは別の、簡明でありながら効果的な解決法として、物体によって覆われない領域を、マスクで覆うという方法があり、様々な形状のマスクが使用されている。大量生産の製造過程では、同一寸法の物体を次々と固定することになるため、一般的に、注文製作したマスクが使用されている。
【０００５】
更に別の解決法として、小孔を形成した領域を複数の部分領域に分割して、物体に接触せず従って物体によって覆われない部分領域に対しては、吸引力の供給を遮断するという方法がある。この方法を採用した生産現場のバキュームテーブルの多くは、電気制御式ソレノイドで作動させる真空弁を使用している。
【０００６】
ここで、この従来の方法に付随する問題を容易に理解できるように、図１Ａ及び図１Ｂを参照して、５つの部分領域に対して吸引力を選択的に伝達できるようにしたバキュームテーブルについて説明する。当業者には容易に理解されるように、吸引力を選択的に伝達できるようにするためには、それら５つの部分領域の各々に、実質的に同一の機構を装備する必要がある。
【０００７】
図１Ａは、従来のバキュームテーブル装置の一形態を示した模式図であり、このバキュームテーブル装置は、バキュームテーブル１０２の複数の部分領域１００に吸引力を選択的に伝達できるようにしたものである。真空ポンプ１０４がマニホルド１０６に接続されており、このマニホルド１０６は、複数の（２、３個、或いはそれ以上の個数の）接続孔１０８を備えている。各々の接続口１０８は、適当な配管１１２を介して夫々の部分領域の吸引力導入口１１０に接続されている。それら配管１１２の各々に、個別に遮断栓１１４を装備してあり、それによって、複数の部分領域１００の各々へ伝達する吸引力を個別に制御できるようにしている。
【０００８】
装備した複数の遮断栓１１４のうち、遮断栓１２８以外の全ての遮断栓は真空分配制御装置１２４によってオン・オフの制御が行われ、それによって、吸引力を伝達したくない全ての部分領域１００への吸引力の流れを遮断して、所定領域１２６へ伝達する吸引力だけをオンにする。
【０００９】
図１Ｂは、個別に装備する遮断栓１１４の詳細な模式図であり、この遮断栓１１４は、その２つの主要構成要素として、真空弁１１８と、ソレノイド１２０とを備えている。ソレノイド１２０のオン・オフを制御することによって、吸引力が真空弁１１８を通過できるようにし、或いは、吸引力が真空弁１１８で遮断されるようにする。ソレノイド１２０へは、真空分配制御装置１２４（図１Ａ）から、或いは適当な制御部から、オン・オフ制御信号１２２が供給されるようにしている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
以上に示した従来の構成においては、吸引力を伝達する部分の領域面積を細かく設定できるようにするために、吸引力を選択的に伝達することのできる部分領域の個数を増大させたならば、それら多数の部分領域を制御するために、それら部分領域の個数と同数のマニホルド接続孔、同数の配管、同数の遮断栓、同数の付随装置、同数の制御配線、等々が必要となる。
【００１１】
従って、バキュームテーブル上の多数の部分領域のうちの幾つかだけに吸引力を伝達できるようにするために、多数の機械的装置、エレクトロメカニカル装置、電源装置、及び電気的制御装置が必要とされていた。当業者には容易に理解されるように、このことは、潜在的故障発生源が多数存在しているということを意味するものである。
【００１２】
そのため、従来より、複数の部分領域へ吸引力を様々な分配形態で伝達することのできる改良した吸引力伝達手段を提供し得る、新規な技術が求められていた。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明の理解のために、また、本発明をどのようにして実施することができるかを示すために、これより添付図面を参照して更に詳細に説明して行くが、ただし以下の説明は、本発明を限定することを目的としたものではなく、具体例を提示することを目的としたものである。
【００１４】
本発明は、導入口と少なくとも１つの導出口とを有するダクトを用いて流れ制御を行うものである。ダクト内でピストン状のプランジャを移動させて導入口を１つの導出口に、或いは互いに隣接した複数の導出口に同時に接続することによって、流体ないし気体状物質の流れを制御する。本発明は、従来使用されていたエレクトロメカニカル真空弁並びにそれに付属する制御配線及び電源装置を使用することなく、公知の真空分配方式を実施できるようにしたものである。従って本発明は本質的に、一旦設定した分配状態を維持するために、電力ないし機械的動力を必要とすることがない。本発明の更なる利点は、以下に提示する本発明の実施例についての説明から明らかとなる。
【００１５】
当業者には容易に理解されるように、本発明は以下に提示する具体的な実施例に限定されるものではなく、また、本発明並びに以下に説明するその実施例は以下に例示する用途ばかりでなく、例えば流体ないし気体の流れ制御をはじめとするその他の多くの用途においても有利に利用し得るものである。
【００１６】
図２は、バキュームテーブル２１２と、本発明の実施例に係る真空分配制御装置２００とを示した模式図である。ダクト２０１が適当な配管２０３を介して、真空吸引力発生源であるポンプ２０２に接続されている。ダクト２０１の形状は円筒形とすることが好ましい。ダクト２０１は、その両端が閉塞されており、導入口（真空導入口）２０５と、複数の導出口（真空導出口）Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…、Ｐｎとを備えている。複数の導出口Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…、Ｐｎの各々は、夫々に付随する適当な配管２１４を介して、複数の吸引領域２０６の夫々に設けられた真空吸引力導入口２０４の各々に接続されている。
【００１７】
ダクト２０１はハウジングの一部であり、そのハウジングの形状は、後に詳述するように、任意の適当な形状とすることができる。ダクト２０１は、プランジャ２１６が緊密に嵌合するスリーブとして機能するものである。プランジャ２１６の形状は、ディスク状、即ちピストン状とすることができるが、ただし、そのような限られるものではなく、ダクト２０１の内面に緊密に嵌合することのできる形状でありさえすれば、どのような形状としてもよい。
【００１８】
ダクト２０１内にネジ桿２１８が配設されており、このネジ桿２１８はダクト２０１の中心に位置している。モータ２２０が、このネジ桿２１８を回転させるようにしてあり、その回転方向は両方向である。本発明の１つの実施例では、モータ２２０を、電気信号２２１に応じて回転運動を発生するステッピング・モータとしており、その電気信号２２１は、ステッピング・モータ制御回路（不図示）が出力する所定の個数の電気パルスから成るものである。
【００１９】
別法として、プランジャ２１６を移動させる手段として、例えばリニア・モータなどのその他の手段を用いるようにしてもよい。リニア・モータを用いる場合には、ネジ桿２１８の替わりに軸部材を使用し、その軸部材をリニア・モータで、ダクト２０１の長手方向に前後進させるようにすればよい。また、その場合には、その軸部材の一端にプランジャ２１６を連結し、その軸部材の他端にリニア・モータを連結するようにすればよい。
【００２０】
ネジ桿２１８は、ダクト２０１の全長に亘って延在するものとしてもよく、或いは、ダクト２０１の全長に亘って延在する軸部材の一部をネジ桿２１８として形成するようにしてもよい。後者の場合には、その軸部材のうちのネジ桿２１８の部分が、少なくともダクト２０１内のプランジャ２１６の可動領域に亘って延在するようにする。
【００２１】
プランジャ２１６は、プランジャ本体に同心的に取付けられた円筒管の内面に形成された雌ネジ部を備えており、この雌ネジ部に、ネジ桿２１８が螺合している。プランジャ２１６は（摩擦力や慣性力によって）回転することがないように、その回転が阻止されている。この回転阻止は、ダクト２０１内の、このダクト２０１に対して非同心的な位置に配設されていて、ネジ桿２１８に対して平行に、そしてダクト２０１の全長に亘って延在する静止部材であるロッドないしケーブル２２２によって達成されている。別法として、ネジ桿２１８を、ダクト２０１内の、ダクト２０１に対して非同心的な位置に配設するようにしてもよく、そうした場合には、ロッド２２２を省略し得る可能性がある。また、ダクト２０１を非円筒形にし、それに合わせてプランジャ２１６も非円筒形にしてもよく、そうした場合にも、ロッド２２２を省略し得る可能性がある。更に、以上の構成において、プランジャ２１６をリニア・モータで駆動するようにした場合にも、ロッド２２２を省略し得る可能性がある。
【００２２】
プランジャ２１６は、ネジ桿２１８の回転方向に応じて、その長手方向に前進または後進する。また、雌ネジ部とネジ桿２１８とが螺合している部分には、例えばガスケット、リング、グリースなどの適当な漏出防止封止手段を設けるようにしている。静止部材であるロッド２２２と、ネジ桿２１８と、それらに付随する部品とについては、後に、図４、図５、図６Ａ、及び図６Ｂを参照して更に詳細に説明する。
【００２３】
ダクト２０１と、このダクト２０１の一端の静止した壁部と、プランジャ２１６とで、ダクト２０１内に可変容積室２２４が画成されている。そのため、真空吸引力発生ポンプ２０２で発生される吸引力は、導入口２０５を介して可変容積室２２４へ導入され、そして複数の導出口のうち、その時点で可変容積室２２４に連通している導出口を介して導出される。
【００２４】
一例として、図２に示した設定状態にあるときには、プランジャ２１６が、導出口Ｐ２とＰ３との間に位置している。そのため、プランジャ２１６より向こう側に位置している導出口Ｐ３〜Ｐｎは、事実上、閉塞されているのと同じ状態にある。従って、この設定状態にあるときには、導出口Ｐ１及びＰ２だけが可変容積室２２４に連通しているため、それら導入口Ｐ１、Ｐ２の吸引力だけがオンになっている。
【００２５】
当業者には容易に理解されるように、この真空分配制御装置２００は、このように１つの導入口から、１つの導出口へ、或いは互いに隣接した複数の導出口へｍ吸引力を伝達するようにしたものであるため、本質的に簡明性を備えたものとなっている。また、後に具体的に説明するように、吸引力をバキュームテーブル上の複数の領域に伝達することが必要とされている場合、一般的に、それら複数の領域は互いに隣接して位置している。
【００２６】
次に、図３に示した本発明の別実施例について説明する。この実施例においては、導出口Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…、Ｐｎが、夫々に対応する吸引力導入口２０４に直接接続されており、配管２１４を実質的に不要化している。その他の位置ないし構成についての相違点は設計事項に関するものである。
【００２７】
図４は本発明の一実施例に係る真空分配制御装置２００の更に詳細な模式的斜視図である。
ダクト２０１は直方形ハウジングの一部であり、図４はそれを斜め上方及び斜め側方から見た斜視図である。これによって、導入口２０５、複数の導出口Ｐ１、Ｐ２、Ｐ３、…、Ｐｎ、プランジャ２１６、静止部材であるロッド２２２、それにネジ桿２１８の間の相対的な３次元位置を明示したものである。既述のごとく、モータ２２０は、ダクト２０１から離れた位置に配設してもよく、また、必ずしもダクト２０１の軸心とモータ２２０の軸心とを揃えて配設する必要もない。モータ２２０の配設位置及び配設姿勢は設計事項に関するものである。
【００２８】
図４に示した状態では、プランジャ２１６が、図２及び図３に示したプランジャの状態と同じく、導出口Ｐ２とＰ３との間に位置している。ここで、プランジャ２１６を、一方の移動限界位置まで移動させたならば、全ての導出口へ吸引力が伝達されるようになり、従って、それら導出口の夫々に結合されている全ての領域へ吸引力が伝達されるようになる。逆に、プランジャ２１６を、他方の移動限界位置まで移動させたならば、吸引力はどの導出口へも伝達されなくなり、従って、複数の導出口の夫々に結合されているどの領域へも吸引力が伝達されなくなる。
【００２９】
プランジャ２１６を、ダクト２０１の内面に略々完全に密接させて、上述した吸引力の損失を軽減するためには、プランジャ２１６に、バネ圧式リング４００を装着するようにするとよい。その場合には、プランジャ２１６の外周面に１本または複数本の周溝を形成し、その周溝にバネ圧式リング４００を嵌合することによって、自動車用エンジンの燃焼室シリンダ内のピストン・リングの装着方式と同様の方式で、バネ圧式リング４００を装着するようにすればよい。また、バネ圧式リング以外の、例えばガスケット、リング、グリースなどのその他の適当な漏出防止封止手段を用いるようにしてもよく、それら手段を用いても、吸引力を可変容積室２２４の中に好適に封じ込めることができる。
【００３０】
図５は、図４に示した平面４０２に沿って切断した断面を正面から見た模式的な断面図である。
同図には、ダクト２０１の底部に形成された導入口２０５と、ダクト２０１の頂部に形成された導出口のうちの１つの導出口５００（図２、図３、及び図４にＰ１で示した導出口である）とが示されている。バネ圧式リング４００がプランジャ２１６とダクト２０１との間の隙間を封止している。同様に、プランジャ２１６に形成した孔５０２の中にも、１つまたは複数のバネ圧式リング５０４が嵌挿されており、静止ロッド２２２と孔５０２との間の隙間を封止している。尚、上で述べたように、バネ圧式リングに替えて様々な封止手段を用いることが可能である。プランジャ２１６に形成した孔５０２を貫通して静止部材であるロッド２２２が延在しているため、プランジャ２１６はこのロッド２２２によって回転を阻止されており、そのため、ネジ桿２１８に螺合しているプランジャ２１６はこのネジ桿２１８の回転に伴って前後進する。
【００３１】
図６Ａは、別の実施例を示した模式図であり、この実施例は複数列の導出口を備えている。導入口２０５、導出口５００、導出口６０２、導出口６０４、並びにその他の導出口（不図示）は、互いの間に所定の相対位置関係をもって形成されている。この構成とすることによって、ある種の設計上の制約を回避できるなどの更なる利点が得られ、例えば、ダクトの導出口とバキュームテーブルの吸引力導入口との間を接続する配管を短縮ないし省略し得る可能性があり、また、両者を直接的または間接的に接続する接続構造を容易に構成できる可能性がある。
【００３２】
図６Ｂは、本発明のまた別の実施例を示した図であり、この実施例のように、ダクト２０１を円筒形６１０とすることもでき、この場合には、導入口２０５、導出口５００、６０２、６０４、並びにその他の導出口（不図示）の間の相対的な角度位置を、様々に設定することが可能である。この構成とすることによって得られる利点は、図６Ａの実施例に関して説明したのと同じく、ある種の設計上の制約を回避できる可能性があるということである。
ということである。
【００３３】
図６Ｃは、本発明の更に別の実施例を示した図であり、この実施例は、直方形のプランジャ６１２を使用しており、直方形のダクト６１４が、このプランジャ６１２が緊密に嵌合するスリーブを構成している。プランジャ６１２は、直方形であるため回転するおそれがなく、そのため静止部材であるロッド（図２に２２２で示した）が不要である。
【００３４】
当業者であれば容易に理解するように、プランジャの形状と、このプランジャが緊密に嵌合するスリーブとして機能するダクトの形状とに関しては、基本的に何の機能上の制約も存在していない。従って、図６Ｃの実施例は、設計事項ないし空間に封じ込めるという要求条件に関する更なる利点をもたらす可能性のある様々な非円筒形の形態のうちの１つの具体例に過ぎない。
【００３５】
また、図４、図５、図６Ａ、図６Ｂ、及び図６Ｃは、複数の導出口の様々な配列のうちの３つの具体例を、理解が容易なように示したものである。
図７に模式的に示した構成は、図１を参照して説明した従来の構成とも類似しており、また、図３を参照して説明した本発明の１つの実施例の構成とも類似したものである。
【００３６】
一般的にバキュームテーブルにおいては、互いに隣接した複数の吸引力導入口に真空吸引力を供給することが必要とされる。本発明は、図２を参照して先に説明した構成の可変容積室２２４を備えていることによって、本質的に、真空吸引力を供給すべき複数の吸引力導入口が互いに隣接しているということに対して好適に適合し得るものとなっている。
【００３７】
バキュームテーブル２１２は、所定の複数の横方向延在領域７０２、７０４、７０６、７０８、及び７１０に区分されている。そして、プランジャ２１６を、位置７２２、７２４、７２６、７２８、または７３０の夫々へ移動させることによって、次第に多くの横方向延在領域へ吸引力を伝達できるようになる。尚、ここでは理解が容易なように、横方向延在領域の個数が５つである場合を例示した。ただし、当業者には容易に理解されるように、横方向延在領域の個数がいくつであろうとも、５つの場合と同様に真空分配制御を行うことができる。
【００３８】
本発明の真空分配制御装置２００には、真空吸引力発生ポンプ２０２が、適当な配管２０３を介して接続されている。また、プランジャ２１６を移動させるモータ２２０へは、モータ制御回路などの専用の制御部から、電気信号の形の位置制御信号２２１が供給されるようにしてある。
【００３９】
図７に示した状態においては、プランジャ２１６が位置７２２にあるため、吸引力がオンになっているのは横方向延在領域７０２だけである。この状態にあるときに、バキュームテーブル２１２上に載置された物体を吸引固定するために、横方向延在領域７０２だけでなく、更にその他の横方向延在領域までも含めた、より広い面積の部分に吸引力を発揮させることが必要になったものとする。その場合には、モータ２２０へ、制御信号２２１として、所定の極性の所定の個数のパルス信号を供給することにより、ネジ桿２１８（図２）を所定の回転方向へ所定の回転角度で所定の回数回転させ、それによってプランジャ２１６を、例えば設定位置７２４へ移動させればよい。このようにすることで、横方向延在領域７０２と共に、横方向延在領域７０４へも吸引力が供給されるようになる。
【００４０】
同様にして、プランジャ２１６をその他の設定位置へ、即ち、例えば位置７２６、位置７２８、位置７３０へ移動させることによって、真空吸引領域を、夫々、横方向延在領域７０６、７０８、７１０にまで拡大させることができる。
【００４１】
本発明がもたらす多くの重要な利点のうちの１つに、真空吸引領域の広さを変化させる必要がない間は、全ての機械的機構及び電気的機構をオフ状態（非活動状態）にしておけるということがある。即ち、真空弁並びにそれに付随する装置を使用していないため、ある設定状態にしてしまえば、その設定状態を維持するためには電力も機械的動力も必要としないのである。
【００４２】
当業者には容易に理解されるように、ある設定状態を非常に長期に亘って維持したければ、そうすることも可能であり、その場合に、真空分配状態を変化させることができない構成とした場合と比べて、何ら不利をもたらすことはない。
【００４３】
図８は、別実施例を示した模式図であり、この実施例では、バキュームテーブル２１２を複数の横方向延在領域に分割すると共に、複数の縦方向延在領域にも分割している。
即ち、バキュームテーブル２１２は、複数の横方向延在領域７０２〜７１０と、複数の縦方向延在領域８０２〜８１４とを備えている。そして、バキュームテーブル２１２の、真空分配制御装置２００を装備した側辺と直交する側辺に沿って、本発明に係る第２の真空分配制御装置８００が装備されている。真空吸引力発生ポンプ２１２は、２つの吸引力導出口を備えており、それら吸引力導出口に適当な配管２０３及び８１６が接続されている。別法として、真空吸引力発生ポンプを２台、別々に用いるようにしてもよい。配管８１６は、第２の真空分配制御装置８００に接続されている。第２の真空分配制御装置８００は、第１の真空分配制御装置２００と同様に機能する。制御信号をモータ８２４へ供給することによって、第２の真空分配制御装置８００のプランジャ８２２の移動及び設定位置を制御できるようにしてある。ただし、別法として、同じ制御信号でモータ２２０とモータ８２４との両方を制御するようにしてもよい。
【００４４】
これによって、吸引力を伝達すべき領域面積に応じて、１つまたは互いに隣接する複数の横方向延在領域に吸引力を伝達することも、また、１つまたは互いに隣接する複数の縦方向延在領域に吸引力を伝達することも可能となっている。
【００４５】
以上に本発明を、かなり具体的に説明した。ただし、当業者には容易に理解されるように、本発明は、特許請求の範囲に記載した範囲から逸脱することなく、様々な形態で実施し得るものである。
【図面の簡単な説明】
【００４６】
【図１Ａ】従来のバキュームテーブル装置の構成を示した模式図である。
【図１Ｂ】従来の遮断栓の模式図である。
【図２】本発明の実施例に係る真空分配制御装置の模式図である。
【図３】本発明の別実施例に係る真空分配制御装置の模式図である。
【図４】真空分配制御装置の更に詳細な模式的斜視図である。
【図５】真空分配制御装置の模式的正面図である。
【図６Ａ】真空分配制御装置の１つの構成例を示した模式的正面図である。
【図６Ｂ】真空分配制御装置の別の構成例を示した模式的正面図である。
【図６Ｃ】真空分配制御装置の更に別の構成例を示した模式的正面図である。
【図７】従来のバキュームテーブル装置と組み合わせた本発明の別実施例に係る真空分配制御装置の模式図である。
【図８】本発明に係る第２の真空分配制御装置を用いた本発明の別実施例に係る真空分配制御装置の模式図である。
【図１Ａ】
2004523709.tif 000003
【図１Ｂ】
2004523709.tif 000004
【図２】
2004523709.tif 000005
【図７】
2004523709.tif 000006
【図８】
2004523709.tif 000007
【国際公開パンフレット】
2004523709.tif 000008
2004523709.tif 000009
2004523709.tif 000010
2004523709.tif 000011
2004523709.tif 000012
2004523709.tif 000013
2004523709.tif 000014
2004523709.tif 000015
2004523709.tif 000016
2004523709.tif 000017
2004523709.tif 000018
2004523709.tif 000019
2004523709.tif 000020
2004523709.tif 000021
2004523709.tif 000022
2004523709.tif 000023
2004523709.tif 000024
2004523709.tif 000025
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004523709.tif 000026
2004523709.tif 000027
【国際調査報告】
2004523709.tif 000028