(57)【要約】システム１００と方法はベクトル・カー磁気測定を実現するために提供される。該システムはサンプル表面１４上のそれぞれの点において縦と横のカー効果測定を同時に提供する。位置移動可能なプラットフォームはある一点について３６０度の特徴づけを提供する。該プラットフォームの制御メカニズムはサンプル表面上の連続する点における縦と横のカー効果測定を得ることにより利用することが可能である。これにより迅速なサンプルの特徴づけが達成される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
サンプル表面に対する平行な磁場を該サンプル表面上の試験点において確立させるための磁場分与モジュールと、
前記磁場と平面を共有し、前記試験点において前記サンプル表面に当てられる第１の偏光を生じさせるための第１の光学エミッタと、
前記磁場と平面を共有し、前記試験点において前記サンプル表面から反射された前記第１の偏光を検出するための第１の光学ディテクタと、
前記磁場と直交し、前記試験点において前記サンプル表面に当てられる第２の偏光を生じさせるための第２の光学エミッタと、
前記磁場と直交し、前記試験点において前記サンプル表面から反射された前記第２の偏光を検出するための第２の光学ディテクタと、
前記第１と第２の光学ディテクタと通信し、前記検出された第１と第２の偏光の偏りの変化を特徴づけるための処理要素と、
を備えたベクトル・カー効果磁力計。
【請求項２】
更にサンプルステージを備え、該サンプルステージはｘ、ｙとθにおいて前記サンプルを変換させるためのものであり、ｘは前記磁場に対して平行であり、ｙはｘに直交し、θはｘ及びｙと同一平面上にある、
請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記サンプルステージはｘ、ｙとθにおいて前記サンプルの変換を制御するためのコントローラを更に備えた、
請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
前記磁場を制御する磁場コントローラを更に備えた、
請求項１に記載のシステム。
【請求項５】
前記コントローラは、更に前記試験点について前記磁場の角度をθに調節するためのものである、
請求項４に記載のシステム。
【請求項６】
前記第１と第２の光学エミッタは、１つの光源を備える、
請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
前記第１と第２の光学ディテクタは、１つの光学レシーバを備える、
請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
前記１つの光学レシーバが前記第１と第２の偏光を同時に受信する、
請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
前記１つの光学レシーバが時分割多重化ベースで前記第１と第２の偏光を受信する、
請求項７に記載のシステム。
【請求項１０】
前記第１と第２光学システムが、更に前記第１と第２の偏光の方向を変える光学リフレクタを備えた、
請求項１に記載のシステム。
【請求項１１】
磁場分与サブシステムの近くにサンプルサブストレートを配置し、
前記磁場分与サブシステムの操作により、試験点において前記サンプルサブストレートと実質的に平行となる磁場を与え、
第１の偏光ビームで前記試験点を照射し、該第１の偏光ビームは実質上前記適用された磁場と同一平面上にあり、
第２の偏光ビームで前記試験点を照射し、該第２の偏光ビームは平面内で実質的に前記適用された磁場に対して直交し、
前記第１と第２の偏光ビームの偏りに変化があればそれを検出する、
適用された磁場に対するサンプルサブストレートの反応を特徴づける方法。
【請求項１２】
前記試験点を照射する前記ステップは、前記第１と第２の偏光ビームを作り出すために、それぞれのレーザーエミッタを作動させることを含む、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記試験点を照射する前記ステップは、前記第１と第２の偏光ビームを作り出すために、１つのレーザーエミッタを作動させ且つ結果として生じたレーザー光線を光学的に分裂させることを含む、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１４】
前記検出ステップは、それぞれの光学ディテクタを用いて前記第１と第２それぞれの偏光ビームを検出し、また偏光の変化を測定することを含む、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記検出ステップは、１つの多重光学ディテクタを用いて前記第１と第２それぞれの偏光ビームを検出し、またそれぞれの偏光の変化を測定することを含む、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記配置ステップは、前記サンプルサブストレートをｘ、ｙとθにおける変換が可能であるステージ上に配置することを含み、
ｘは前記適用された磁場に対して平行であり、ｙは前記適用された磁場に直交し、θはｘとｙと同一平面上にある、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記配置ステップは、前記サンプルサブストレートをｘとｙにおける変換が可能であるステージ上に配置することを含み、
前記適用ステップは、前記サンプルサブストレート上の前記試験点についてθにおける前記適用された磁場を選択的に回転させることを含み、
ｘは前記適用された磁場に対して平行であり、ｙは前記適用された磁場に直交し、θはｘとｙと同一平面上にある、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
更に前記照射ステップを反復するたびに結果として生じるあらかじめ決められた連続したリニアインターバルにより前記サンプルサブストレートをｘ及び／又はｙに変換させるステップを備えた、
請求項１１に記載の方法。
【請求項１９】
更に、前記照射ステップと検出ステップを繰り返す前に、前記試験点について予め定められたθの量によって前記サンプルサブストレートを回転させるステップを備えた、
請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の背景
この発明は一般的にカー効果（Kerr effect）磁気測定、特に多方向（multi-dimensional）又はベクトルのカー効果磁気測定を行うシステムと方法に関する。
【０００２】
＜関連出願について＞
なし
【０００３】
＜連邦政府の後援による研究開発に関する宣明＞
なし
【背景技術】
【０００４】
磁気光学カー効果（MOKE）は、あるいはより簡単にカー効果と呼ばれているが、磁気材料（magnetic material）から反射した光の強度や偏光（polarization）の状態の変化に対応する。偏光状態あるいは強度の変化の度合いが物質の磁化（magnetization）に比例するため、この効果の利用によりサンプル物質の磁気特性を検査することが可能となる。
【０００５】
従来の技術ではサンプル物質を特徴づけるために、縦ＭＯＫＥ（longitudinal MOKE）、横ＭＯＫＥ（transverse MOKE）、ポーラーＭＯＫＥ（polar MOKE）の３つの別々の幾何学を提供してきた。縦ＭＯＫＥ幾何学の場合、磁場は膜（film）の平面と光の入射面に対して平行に適用される。横ＭＯＫＥ幾何学を用いると磁場は光の入射面に対して垂直に適用される。ポーラーＭＯＫＥ幾何学では、磁場はサンプル表面に対して直交に適用される。どんな場合でも、検出された光の偏光回転（polarization rotation）は試験サンプルの相対的な磁化（relative magnetization）の指示を提供する。
【０００６】
光透過性物質（light transmissive materials）を特徴づけるために用いられるもう一つの従来技術の手法がポーラー・ファラデー効果システム（polar Faraday effect system）である。磁場は試験物質の表面に対して平行に適用される。光は試験物質のある点を通して放射され、該物質の反対側で受け止められる。受け止められた光の強度あるいは偏光の変化は適用された該磁場に対する該物質の反応を特徴づけるために使われる。実際には、適切な光学系（optics）が受け止められた光を中継するために用いられる限り、ディテクタはどの場所に設置してもよい。
【０００７】
縦、横、又はポーラー幾何学を用いたシステムはスカラーシステム（scalar systems）と言える。今までのスカラー分析は磁気反応を検出するために非接触・非破壊方法のみを提供してきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
該物質の表面上のある点において適用された磁場に対する磁気反応が該点に関してθに変化するとき（θはサンプル物質の平面上に定義される）、ある磁気材料には異方性（anisotropic）があるという。一般的に異方性物質は、一方向あるいは多方向に磁気的振る舞い（magnetic behavior）の変化を見せ、その中のいくつかはサンプルの平面上であるかもしれないし、そうでないかもしれない。従って、ｘ方向に適用された磁場が存在するとき、あるサンプル物質はｙ方向に対して平行な平面内のサンプルから反射された光の中である特性反応を見せる一方で、ｘ方向に対して平行な平面内のサンプルから反射された光の中で別の特性反応を見せることがある。
【０００９】
従来技術のスカラー・カー効果システム（scalar Kerr effect systems）を使用してあるサンプルの異方性の度合いを測るためには、縦１つと横１つの、２つの異なる装置から測定値を得る必要があった。別々の適用された磁場の相対的な強度を測定する能力と同様、装置を適切に配置することも困難である。
【００１０】
物質の容易軸（easy axis）とは、該物質が外部から加えられた磁場の存在下で最も容易に磁化する軸のことである。ある物質は容易軸の分散（dispersion）を見せ、そこでは容易軸がサンプル表面上を点から点へと変化する。その結果、スカラー検出システムは異方性物質の不完全な特徴づけを提供してきた。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明の概要
ベクトル・カー磁気測定を実現するシステムと方法を開示する。このシステムはサンプル表面上のある１点において縦と横のカー効果同時測定を可能とする。その結果、異方性物質をより完全で速く、正確に特徴づけることができる。このシステムはテストされる種々の物質に使用することが可能であり、例えば、ハードドライブプラッタ（hard drive platters）などの磁気媒体や薄膜ヘッド（thin film heads）、磁気ＲＡＭ（ＭＲＡＭ）、永久磁石ウエーハ（permanent magnetic wafers）等が挙げられるが、これらに限定されない。
【００１２】
ここで開示されるシステムの随意の構成要素には、移動エレメント（motive elements）を備えたサンプルプラットフォーム（sample platform）と、該試験サンプルのｘ、ｙとθにおける正確な位置決めを達成するための付随するコントローラが含まれる。このように、本システムはサンプルの位置において２方向のヒステリシス曲線（hysteresis loop）の特徴づけをサンプルの移動を伴わずに可能にするが、既に述べたように位置移動可能なプラットフォームは、もし望むならば、ある１点について完全な、３６０度の特徴づけを可能にする。代わりに、高精度の制御機構を、サンプル表面上の連続する点で縦と横のカー効果測定値を得るために使用することも可能である。迅速なサンプルの特徴づけは、従来技術の測定システムに比べてはるかに高い精度を備えた容易軸分散測定（easy axis dispersion measurement）も含め、このように達成される。
【００１３】
ここに開示されたシステムの更なる実施例は、上記ベクトル・カー磁気測定システムとポーラー・ファラデー効果エミッタ／ディテクタの組合せとの統合も含まれ、ｘ、ｙ、θ変換可能なサンプルプラットフォームを伴っても良いし、なくても良い。より正確で迅速なサンプルの特徴づけはこれにより達成される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
発明の詳細な説明
従来技術の縦の磁気光学カー効果センサシステム１０が図１に示されている。磁極片１２は試験サンプル１４の表面全域で磁場Ｈを適用するために使用される。該適用された磁場は、プログラムコンピュータ等のコントロールユニット１３の制御下にあり、該コントロールユニット１３と該極片（pole pieces）の関係は図１において破線で描かれている。該極片と試験サンプルの実際の相対的な大きさ（relative dimensions）はこの例からは推測されないと理解されるべきである。むしろ、該図は該システムの構成要素の相対的配列を表示することを意図しているにすぎない。
【００１５】
また、図１には光源又はエミッタ１６とディテクタ１８が示される。光源１６は一般的にはレーザー光源であり、ディテクタ１８は受け止められた光線の相対的な偏光を検出することが可能である。１またはそれ以上のミラー２０も一般的にサンプル１４の表面における関心ある点（point of interest）に所望の角度で光線を当てるために用いられる。光源１６とディテクタ１８、ミラー２０の実際の物理的配置は、サンプル表面上の照らされた点が、適用された磁場とサンプル表面とが実質的に平行となる領域内にある限り、重要ではない。そのように配置された場合、照射光の偏光（the polarization of the impinging light）は照射された点における該サンプルの磁化によって影響を受け、ディテクタにおいて検出された偏光の相対的な変化は該サンプルの磁気特性を見分けるために使用される。ディテクタ１８と通信しているデータプロセッサ（図示せず）は、ディテクタの出力データから特徴づけのデータ（characterizing data）を取り出すために使われる。
【００１６】
前述したように、従来技術には横の検出システムも含まれており、これにより光源、ディテクタ、光学要素（optical elements）２０は、ｙ軸とｚ軸により定義され、該適用された磁場の方向に対して直交する、平面内の該サンプル上に光線が当たるように位置づけられる。このような配置は図示されていない。
【００１７】
縦と横の両システムは、それらが一方向における磁化を表しているにすぎないことから、スカラーシステムと呼ぶことができる。異方性物質は磁化困難軸と容易軸の両方を持っているため、スカラーシステムではこのような物質の不完全な特徴づけを提供することになる。従来技術の欠陥は多くの異方性物質が容易軸の分散を示すという傾向により悪化し、そこでは容易軸の方向は試験物質の表面上の点から点で変化する。
【００１８】
図２はサンプルの磁化特性を複数の軸に沿って同時に測定することができるベクトル・カー効果センサシステム１００を示している。図１と同じく、極片１１２は試験物質１１４の表面全域で磁場Ｈを発生させるために用いられる。従来技術のスカラーシステムと同様、コントローラ１１３は予め定められたパラメータに従い、該磁場システムの操作を制御するために用いられる。第１のエミッタ１１６とディテクタ１１８の組合せは、連動する光学系１２０と共に第１の軸（図のx軸）に沿ってサンプル１１４を特徴づけるために用いられ、第２のエミッタ１２６とディテクタ１２８の組合せは、連動する光学系１３０と共に第２の軸（図のｙ軸）に沿って該サンプルを特徴づけるために用いられる。図１の場合と同様、図示された該要素の相対的又は絶対的な大きさはこの図からは解釈されず、前述のエミッタとディテクタ、光学系の好ましい位置は必ずしも図の通りではない。実際には、システムの設置面積（system footprint）を含めた様々な考慮（considerations）により、これら要素の物理的な位置を決めることができる。
【００１９】
エミッタ／ディテクタの組合せの操作を調整するために、多様な制御配置（control arrangements）が提供可能である。単純なので、図２、３及び４にはこのような配置が示されていない。例えば、プログラムコンピュータのような１つのコントローラは、試験放射（test radiation）の放出を引き起こすためや、検出出力を受信するために両方のエミッタ及び両方のディテクタと通信させることができる。データ処理及び／又は他のコンピュータに対する通信を、該１つのコントローラで実行することができる。代わりに別々のコントローラをそれぞれのエミッタ／ディテクタの組合せに備え付けても良い。また、別々のコントローラを共にネットワークに接続し、さらに他の処理要素（processing elements）とネットワークでつないでも良い。
【００２０】
それぞれの軸に沿って測定するための別々のエミッタ／ディテクタの組合せが図２に示されている。しかし、ここで開示されている発明の他の実施例（図示せず）においては、１つのエミッタが両方の軸に利用され、もう一つの実施例（図示せず）においては、１つのディテクタが用いられる。後者の実施例では、該ディテクタは受信シグナル間の相対的なシフトに基づいた２本の軸の反射シグナル間を区別することができる。これに代えて、反射シグナルを時分割多重化（ time-division multiplexed）しても良く、多重化とシンクロして発生する検出が得られる。
【００２１】
ディテクタは受信シグナルの偏光の変化を検出する能力がある。上記で述べたように、ローカル又はワイドエリアネットワークなどの通信経路を経由してディテクタと直接接続又は通信するパーソナルコンピュータのような処理要素が、ディテクタの出力を記録し、更に選択的に他の処理を提供するために採用される。他の処理として、グラフィカル分析（graphical analysis）や、フリーレーヤループ（the free layer loop）の変化、フリーレーヤの保磁力、ピンニングレーヤループ（the pinning layer loop）の変化、ピンニングレーヤの保磁力などのパラメータの抽出等がある。しかし重要なことは、このデータ収集と分析は縦と横、２つのスカラーからのデータに付属することである。
【００２２】
ここで開示されているシステムによって生み出されたディテクタデータは、エルステッド（Ｏｅ）で測定した適用された磁場対ｍＤｅｇ（thousands of a degree）で測定した検出されたカー回転のグラフを生成するために使うことも可能である。前述のように、異方性物質は、適用された磁場の存在下で該物質がそれに沿って容易に磁化する容易軸と、適用された磁場の存在下で該物質がそれに沿って磁化に抵抗する困難軸とを示す。
【００２３】
図５はｘ軸に沿って測定された（例えば巨大磁気抵抗（ＧＭＲ）ヘッドなどの）薄膜磁気読取ヘッド材料（thin film magnetic read head material）のヒステリシス応答曲線を示している。ここでは、比較的小さな適用された磁場におけるカー回転の激しい変化によって証明されるように、容易軸はｘ軸と並ぶ（aligned）。図６は、サンプルの容易軸が、観測点において実質上ｙ軸と並ぶときに、横もしくはｙ軸に沿って出された測定値を示している。
【００２４】
図７は、縦又はｘ軸測定値の応答曲線（response curve）を示しており、該物質の困難軸は実質上ｘ軸と並ぶ。適用された磁場がゼロから各々の方向に向かって増大するにつれ、相対的な偏光回転（relative polarization rotation）はピーク回転に達するまで徐々に増加することに注目されたい。図８は、横又はｙ軸測定値のプロットであり、困難軸は実質上ｙ軸と並ぶ。結果として生じた出力は横の、困難軸測定の特性である。
【００２５】
最後に、図９は、およそ４５度の角度でｘ軸から外れた容易軸と困難軸についての、ｘ軸測定値を示している。図１０は、同様におよそ４５度で測定軸から外れる容易軸と困難軸についての、横の測定値を示している。
【００２６】
これらのグラフは典型的な異方性物質に対する磁化反応（the magnetization response）が、該測定システムに関しては、容易軸と困難軸の配列に大きく依存して変化することを示している。このように、サンプルを完全に特徴づけるためには、縦と横の測定両方が必要である。このような両測定が、従来技術のスカラー反応（scalar response）と比べて独特なベクトル反応（vector response）の創造を可能にする。
【００２７】
本発明の更なる実施例２００は、図２において開示されたシステムに基づいており、図３に示されている。ここでは、試験物質１１４が置かれているプラットフォーム又はステージは、正確な直線及び回転運動、つまり、ｘ、ｙとθ方向における正確な運動が可能である。このようなプラットフォームはカリフォルニア州アーヴィンのニューポートコーポレーション（Newport Corporation）によって製造された多軸変換ステージ（multi-axis translation stage）でもよい。プログラムコンピュータ又は他の処理要素２１０の制御下にある１あるいはそれ以上のステッピングモータ（図示せず）をこの運動を達成するために用いても良い。該実施例によると、プラットフォームモータ用のコントロール２１０は、該試験サンプル上のそれぞれの点における休止時間を最小にするために、エミッタ１１６，１２６、ディテクタ１１８，１２８、適用磁場コントロール１１３と通信している。該試験サンプルの高精度な変換により、該試験サンプルが変換している間に、測定値の特徴づけが行われる可能性があると考えられ、このようにして該サンプルの特徴づけ処理の速度は更に速まる。
【００２８】
ｘ、ｙとθにおける運動を持つシステムの１番目の実施例において、該移動手段は該サンプルをｘ、ｙとθ方向に動かす、高精度のコンピュータ制御可能モータとして実現されている。該サンプル上の試験点と回転の中心を適切に位置づけることにより、処理要素２１０と連結しているコンピュータ又は運動制御ファームウエアは、あらゆる測定点をθ度回転した後に元の位置に戻すのに必要なｘとｙの運動を計算する。このように、どんな点においても完全な３６０度の回転が達成可能となり、対応する縦と横のカーシグナル（Kerr signals）が分析可能となる。
【００２９】
代わりに、ベクトルマグネットシステムを用いても良く、ここでは該サンプルをｘとｙ方向に変換させ、適用された磁場をθで回転させる。該極片又は該サンプル自体の機械による移動を必要とせず、操縦可能な適用された磁場を与えるシステムは知られている。処理要素２１０に類似する処理要素は該試験サンプルのリニア変換（the linear translations）と該適用された磁場の回転を正確に制御するために用いられる。
【００３０】
ここで開示された発明の更なる実施例３００は、図４に示されており、図２のベクトル・カー効果センサシステム１００の要素に加えて、放射エミッタ（radiation emitter）３１０とディテクタ３２０の組合せから成るポーラー・ファラデー効果センサシステムを含む。当該技術に熟練している者なら承知のとおり、ファラデー・ディテクタ（Faraday detector）は放射偏光（radiation polarization）が目標物質を通過するときの変化を観察するために用いられる。このケースにおいて、観察された変化は適用された磁場Ｈに対する対象物質の応答の特性となる。統合されたファラデー効果検出システム（integrated Faraday effect sensing system）の提供は、光透過性物質の迅速かつ正確な特徴づけを更に可能とする。ファラデーシステムの制御は独立して与えても良いし、カー効果センサシステムに備えられたものと統合しても良い。このような制御は直接接続あるいはデータネットワークを通じて与えることが可能である。結果として生じたデータもまた、独立して処理しても良いし、オペレータもしくは他のデータ処理システムによるその後の検討のためにグラフ（graphical）又はテキスト結果データに統合しても良い。
【００３１】
該サンプルが変換し、回転する実施例においても、該サンプルが線形に変換し、適用磁場が回転する実施例においても、キーボードやマウス、ディスプレイなどのユーザーインターフェース（図示せず）はユーザが操作のパラメータを定義付けできるように配備されている。該インターフェースはまた、システム操作やディテクタ１１８，１２８からの出力に基づいた様々な試験結果を検討するために使っても良い。このようなユーザーインターフェースは、一連のサンプルに対する予め定められた試験プログラム（testing regimens）を実行するためのプログラムコンピュータ、あるいはネットワーク又は相互通信プログラムコンピュータ（intercommunicating programmed computers）などのシステムコントローラと関連して与えることが可能である。このようなシステムコントローラの使用は、連続するサンプルの迅速かつ自動化された特徴づけを可能にするために適当である。この自動化された操作を容易にするために当該技術において知られるサンプルハンドリングロボット（図示せず）を、該システムコントローラと通信可能に配備することも可能である。
【００３２】
図解され、前述された本発明概念のこれら及び他の実施例は、あくまで実施例として意図されたものであり、本発明の実際の範囲は下記クレームにより決定される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
図面の簡単な説明
本発明のこれら及び他の特徴は以下の詳細な説明と添付図面において、より完全に示される。
【図１】従来技術によるスカラー磁気光学カー効果センサ（scalar magneto-optic Kerr effect sensor）の斜視図である。
【図２】本発明によるベクトル磁気光学カー効果センサ（vector magneto-optic Kerr effect sensor）の斜視図である。
【図３】位置移動可能なサンプルプラットフォームと組み合わせて使用される図２のベクトル磁気光学カー効果センサの斜視図である。
【図４】統合された（integrated）ファラデー効果センサ（Faraday effect sensor）と組み合わせて使用される図２のベクトル磁気光学カー効果センサの斜視図である。
【図５】適用された磁場対ｘ軸に沿って検出されたカー効果回転（Kerr effect rotation）のグラフであり、ここでは該標本点における該物質の容易軸は実質上ｘ軸に対して平行である。
【図６】適用された磁場対ｙ軸に沿って検出されたカー効果回転のグラフであり、ここでは該標本点における該物質の容易軸は実質上ｙ軸に対して平行である。
【図７】適用された磁場対ｘ軸に沿って検出されたカー効果回転のグラフであり、ここでは該標本点における該物質の困難軸（hard axis）は実質上ｘ軸に対して平行である。
【図８】適用された磁場対ｙ軸に沿って検出されたカー効果回転のグラフであり、ここでは該標本点における該物質の困難軸は実質上ｙ軸に対して平行である。
【図９】適用された磁場対ｘ軸に沿って検出されたカー効果回転のグラフであり、ここでは容易軸と困難軸はおよそ４５度の角度でｘ軸から外れる。
【図１０】適用された磁場対ｙ軸に沿って検出されたカー効果回転のグラフであり、ここでは容易軸と困難軸はおよそ４５度の角度でｙ軸から外れる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際公開パンフレット】
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2004529329.tif 000036
2004529329.tif 000037
【国際調査報告】
2004529329.tif 000038