(57)【要約】気体中の湿度を判定する測定装置であって、次の構成要件を有している形式のもの、すなわち、湿度センサ（１０）、および気体中の相対湿度に依存する測定値を準備するために湿度センサに接続された評価ユニット（２０）と、湿度センサ（１０）と熱的に結合された加熱装置（３０）とを有している形式のものにおいて、加熱装置（３０）が、湿度センサの周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に、湿度センサ（１０）を保つように構成されている。
2004503746.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中の湿度を判定する測定装置であって、次の構成要件を有している形式のもの、すなわち、
湿度センサ（１０）、および気体中の相対湿度に依存する測定値を準備するために湿度センサに接続された評価ユニット（２０）と、
湿度センサ（１０）と熱的に結合された加熱装置（３０）とを有している形式のものにおいて、
加熱装置（２０）が、湿度センサの周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に湿度センサ（１０）を保つように構成されていることを特徴とする測定装置。
【請求項２】
加熱装置（３０）が、時間を通して一定の電気出力が供給される電気加熱部材（３２）を有している、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
加熱装置（３０）が、一定の電圧源（３４）に接続された加熱抵抗器を有している、請求項１または２に記載の測定装置。
【請求項４】
湿度センサ（１０）が容量式の湿度センサである、前記請求項のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項５】
評価ユニット（２０）が、湿度センサ（１０）の静電容量に依存する第１の測定信号（Ｍ１）を準備するための第１の評価ユニット（２２）を有している、請求項４に記載の測定装置。
【請求項６】
評価ユニット（２０）が、第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）を求めるために第１の評価ユニットに後置された修正ユニット（２４）を有している、請求項５に記載の測定装置。
【請求項７】
湿度センサ（１０）と、これに接続された評価ユニット（２０）と、湿度センサに熱的に結合された加熱装置とを有する測定装置によって気体中の相対湿度を判定する方法において、
湿度センサ（１０）が加熱装置（３０）によって、湿度センサ（１０）の周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に保たれることを特徴とする方法。
【請求項８】
加熱装置（３０）が、一定の電気出力が供給される電気加熱装置である、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
容量式の湿度センサが使用される、前記請求項のうちいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
評価ユニット（２０）が、湿度センサの静電容量を用いて求めた第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）を求めるための修正ユニット（２４）を有している、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）が出力される、請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
測定装置を調整するために次の方法ステップが意図されており、すなわち、
既知である第１の相対湿度と既知である第１の温度のときに湿度センサ（１０）を加熱装置（３２）とともに気体に入れ、湿度測定装置によって相対湿度の第１の調整値を求め、
既知である第２の相対湿度と第１の温度のときに湿度センサ（１０）を加熱装置（３２）とともに気体に入れ、測定装置によって相対湿度の第２の調整値を求め、
これらの調整値を用いて第１の測定値（Ｍ１）を修正された測定値（Ｎ）に換算するためのパラメータ（ｃ，ｄ）をコンピュータで求め、
前記パラメータ（ｃ，ｄ）を修正ユニットに記憶させる、前記請求項のうちいずれか１項に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念の構成要件に基づく、気体中の湿度を判定する測定装置に関するものである。
【０００２】
気体中の湿度測定では、絶対湿度の測定と相対湿度の測定が区別される。絶対湿度は、気体の容積単位あたりに蒸発している液体の容積（通常は単位ｇ／ｍ３）を表すものである。相対湿度は、絶対湿度と飽和湿度の除算から得られるものであり、後者は、気体の容積単位あたりに蒸発する液体の最大限可能な容積を表している。このとき飽和湿度は、温度に依存して決まる。
【０００３】
気体中の湿度測定をするために、センサを取り囲んでいる気体の湿度に依存して静電容量の値が変化するコンデンサを含む、容量式の湿度センサを利用することが公知である。このような種類のセンサでは、特に、湿度が高い場合に問題が生じる可能性がある。
【０００４】
第一に、湿度が高い場合、湿度センサの温度が周囲の気体の露点温度よりも低いと、センサ表面に水分が凝結するという危険がある。このことは、一方では測定値の誤差につながるとともに、他方では、水の存在下でセンサ表面の酸形成ないしアルカリ形成につながる化学成分がセンサの周囲にあると、湿度センサの損傷にもつながる可能性がある。
【０００５】
第二に、従来の容量式の湿度センサでは、周囲の湿度が高い中で長時間使用すると測定値のドリフトが起こり、このことが測定結果の誤差につながってしまう。
【０００６】
こうした問題を回避するために、ドイツ特許明細書２８５１６８６Ｃ２より、湿度センサを加熱して、気体の温度よりも高い温度に湿度センサを保つことが公知である。この場合、相対湿度を判定するためには、湿度センサから供給される測定値に加えて、周囲温度とセンサの温度が必要であり、そのために追加的な測定および測定装置が必要となる。しかもこの公知の装置では、高いコストのかかる制御回路が必要である。
【０００７】
さらにＷＯ９７／０２４６８より、加熱によって湿度センサを、気体の温度を上回る一定の温度に保つことが公知である。この公知の装置は気体中の絶対湿度を判定する役目をするものであり、そのために、湿度センサから供給される測定値に加えて、気体の絶対温度が必要になる。そのためには追加的な測定と測定装置が必要である。そのうえ、センサの作業温度が一定であるために作業範囲が限定される。センサ表面に水分が形成される危険なしに湿度測定が可能なのは、気体の温度がセンサの作業温度を下回っている場合に限られる。ＷＯ９７／０２４６８から公知となっているこの測定装置で気体の相対湿度を判定できるようにするには、絶対湿度について得られた測定値を、コンピュータで修正することが必要である。
【０００８】
本発明の目的は、気体の温度に関わりなく利用可能であり、水分含量を判定するために追加的な測定量が必要ない、気体中の相対湿度を判定するための湿度センサを提供することである。
【０００９】
この目的は、請求項１の構成要件に基づく測定装置によって達成される。
それによれば測定装置は、湿度センサおよび湿度センサに接続された評価ユニットに加えて、湿度センサに熱的に結合された加熱装置を有しており、この加熱装置は、湿度センサの周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に湿度センサを保つように構成されている。
【００１０】
本発明による測定装置では、センサの温度が周囲温度に関わりなく周囲温度よりも高く保たれることによって、センサ表面への水分の凝結が確実に防止される。本発明による測定装置では、湿度センサとして、気体中の相対湿度を判定するための従来の容量式の湿度センサを利用可能である。このセンサは、誘電率が湿度に依存して変化する感湿性の誘電体が間に介在する、第１および第２の電極を有している。このような種類の湿度センサでは、適当な評価回路を用いて、コンデンサの静電容量を通じてセンサの周囲の湿度を判定することができる。加熱によって湿度センサ表面には高い温度が生じているので、湿度センサによって求められる測定値は気体中の実際の湿度に対して差異を含んでおり、この差異は、温度差が大きくなるほど大きくなる。しかし、求められた値と実際の値との間のこうした差異は、メーカー側での湿度センサの設定時ないし調整時にすでに考慮することができるので、測定装置の使用中には、湿度センサの初期値を除けば、気体中の相対湿度を判定するためにそれ以外の測定量は何も必要ない。
【００１１】
本発明の有利な実施形態は、従属請求項の対象となっている。
【００１２】
本発明の第１実施形態では、湿度センサを加熱するための加熱装置が、一定の電気出力が供給される電気加熱部材を有することが意図される。この加熱部材は、特に、一定の電圧源ないし一定の電流源に接続された加熱抵抗器である。この場合、抵抗で熱に変えられる電力は、印加される電圧と抵抗値の商として算出され、ないしは、加熱抵抗に流れる電流の２乗と抵抗値の積として算出される。時間を通じて一定の電気出力が熱に変えられるこの種の加熱装置は、加熱部材に熱的に結合された湿度センサを、周囲温度よりも近似的に一定の温度差だけ上回る温度に保つことを可能にする。
【００１３】
特に従来の容量式の湿度センサである加熱された湿度センサは、湿度センサ表面ないしそのすぐ周囲の相対湿度に依存する測定値を提供する。
【００１４】
気体中の相対湿度は温度依存的なので、気体温度を上回る温度まで湿度センサを加熱することによって、湿度センサで求められた相対湿度と、それよりも低い温度である気体のその他の領域で生じている相対湿度との間には差異が出る。本発明の一実施形態では、湿度センサの静電容量を用いて求めた第１の測定値から、相対湿度の修正された第２の測定値を作成する修正ユニットが評価ユニットに設けられており、この修正された測定値は気体中の相対湿度に比例しており、もしくは気体中の相対湿度に対応している。
【００１５】
さらに本発明は、湿度センサと、これに接続された評価ユニットと、湿度センサに熱的に結合された加熱装置とを有する測定装置によって、気体中の相対湿度を判定する方法も対象としている。本発明による方法では、湿度センサが加熱装置によって、湿度センサの周囲温度を少なくとも近似的に温度差だけ上回る動作温度に保たれる。
【００１６】
本発明の方法では、特に、時間的に一定の電気出力が熱に変えられて湿度センサに放出される電気加熱装置が用いられる。
【００１７】
本発明による方法の一実施形態では、測定装置を調整するために次のような方法ステップが意図される。
【００１８】
第１の方法ステップで、湿度センサを、これと熱的に結合された加熱装置とともに、既知である第１の相対湿度と既知である温度のときに気体中に入れ、湿度センサによって相対湿度の第１の調整値を求める。測定されるべき気体の実際の湿度に対応する既知である第１の相対湿度は、湿度センサから供給される第１の調整値に対する、第１の修正された測定値である。次の方法ステップで、湿度センサを加熱装置とともに、既知である第２の相対湿度と既知である第１の温度のときに気体中に入れ、湿度センサによって相対湿度の第２の調整値を求める。このとき、既知である第２の相対湿度は、湿度センサから供給される第２の調整値に対する、第２の修正された測定値である。既知である第１および第２の相対湿度を用いて、および、湿度センサから供給される第１および第２の調整値を用いて、湿度センサから供給される測定値を、相対湿度の実際の値に換算するのを可能にするパラメータを後から求める。
【００１９】
次に、図面の実施例を参照しながら本発明について詳しく説明する。
各図面では、別途の記載がない限り、同じ符号は同じ意義をもつ同じ部分を表している。
【００２０】
図１は、気体中の相対湿度を判定するための本発明の測定装置のブロック図を示している。この測定装置は、湿度センサ１０と、気体中の相対湿度に依存する測定値を準備するための、湿度センサ１０に接続された評価ユニット２０とを有している。評価ユニット２０は、特に、求めた測定値を利用者に出力するために、図１には詳しくは図示しないディスプレイを有している。本発明による測定装置では、湿度センサ１０を加熱するために加熱装置３０が設けられており、加熱装置の加熱部材３２が湿度センサ１０と熱的に結合されている。加熱装置３０は、湿度センサ１０が、測定されるべき気体の周囲温度よりも一定の温度差だけ高く維持される動作温度に保たれるように構成されている。
【００２１】
この加熱により、相対湿度が高いときでも、測定結果の誤差および／または湿度センサの損傷につながる恐れのある液体が湿度センサ表面に凝結しない。しかも加熱によって、センサの領域で、測定信号のドリフトが生じる可能性のある高い値まで相対湿度が達することが防止される。
【００２２】
湿度センサ１０を少なくとも近似的に気体の周囲温度に関わりなく、温度差の値だけ周囲温度よりも高く保つために、図１の加熱装置３０は、時間を通して一定の電気出力が熱に変えられる電気加熱装置として構成されている。そのために加熱装置３０は、加熱部材３２と接続された一定の電圧源３４を有している。加熱部材３２は、電圧源３４によって準備される電気エネルギーを熱に変えるために、特にオーム抵抗を有しており、もしくはこのようなオーム抵抗でできている。図２から図４は、加熱部材３２Ａ；３２Ｂ；３２Ｃと湿度センサ１０Ａ；１０Ｂ；１０Ｃとを熱的に結合するための種々の実施例を示している。
【００２３】
図２は、加熱部材３２Ａと湿度センサ１０Ａの間に挿入された熱伝導性の接着剤４０によって結合された、プレート状の加熱部材３２Ａとプレート状の湿度センサ１０Ａとを側面図で示している。このとき接着剤４０の接触面としては、加熱部材３２Ａにおいても湿度センサ１０Ａにおいても、それぞれの部材の他の面と比較して広い面積を有する面が選択されており、そのようにして、加熱部材３２Ａと湿度センサ１０Ａの間の良好な熱的結合を得ている。
【００２４】
同じく加熱部材３２Ｂと、熱的に結合された湿度センサ１０Ｂとを側面図で示す図３の実施例では、同じく加熱部材３２Ｂと湿度センサ１０Ｂが、それぞれの部材３２Ｂ，１０Ｂの他の側面に比べて広い面積を有する側面で互いに接合されており、それによって、加熱部材３２Ｂと湿度センサ１０Ｂの間の良好な熱的結合を可能にしている。図３の実施例では、熱伝導性の接着剤が省略されている。その代わりに、加熱部材３２Ｂと湿度センサ１０Ｂは互いに直接的に接合されており、このことは、たとえば薄層技術や厚層技術の方法で、加熱部材３２Ｂとしての加熱抵抗器をセンサ１０の上に直接載せることによって行うことができる。
【００２５】
図４は、加熱部材３２Ｃと湿度センサ１０Ｃからなる機構のさらに別の実施例を平面図で示しており、ここでは加熱部材３２Ｃと湿度センサ１０Ｃは短辺で互いに接合されているので、プレート状に構成された加熱部材３２Ｃとプレート状に構成された湿度センサ１０Ｃの前面ないし背面が、ほぼ１つの平面に位置している。
【００２６】
湿度センサ１０は、特に、気体中の相対湿度を測るための従来の容量式の湿度センサである。このような種類の湿度センサ１０が、図５に側面図で模式的に示されている。この湿度センサは、第１のプレート状の電極１２と、第２のプレート状の電極１４と、これらの間に介在する感湿性の誘電体１６とを有しており、これらが１つのコンデンサ１１を形成している。この誘電体１６の誘電率は、誘電体１６の領域に存在する水分とともに変化し、第１の電極１２は、水分が誘電体１６に侵入することができるように水分透過性になっている。そのために第１の電極１２は特に多孔性材料でできており、もしくは格子状に構成されている。周囲の湿度に依存する誘電体１６の誘電率の値が、第１の電極１２、第２の電極１４、および誘電体１６で構成されたこのコンデンサの静電容量を規定する。誘電率ないしコンデンサ静電容量を評価し、それによって湿度センサ１０の周囲における相対湿度を判定するために、湿度センサ１０は評価ユニット２０と接続されている。
【００２７】
評価ユニットは、特に、詳しくは図示しない共振回路を有しており、コンデンサ１１はこの共振回路の一部であり、コンデンサ１１の静電容量は、この共振回路の基準周波数を用いて求めることができる。コンデンサの静電容量の値、ないし共振回路の基準周波数の値から相対湿度を求めるためには、これらの値を相対湿度の値に換算もしくは標準化することが必要である。コンデンサを製作するときには製造誤差が生じるので、換算量もしくは標準化量は、それぞれの湿度センサによって異なっている。
【００２８】
湿度測定をするときにこのような製造誤差を取り除くために、それぞれの湿度センサで求めた測定値を、実際の測定値で個別的に補正ないし個別的に調整することが必要である。このような調整はメーカー側で行われ、それ以降の利用条件には左右されないので、後で利用に起因する測定装置の再調節を行う必要はない。
【００２９】
最初に利用する前の測定装置の調整は公知であり、たとえば、コンデンサの製造上の公差を補正するためにメーカー側で設定されたポテンショメータによって、評価回路で行われる。
【００３０】
本発明の一実施形態では、評価ユニットが、コンデンサの静電容量すなわち湿度センサ１０の領域の湿度に依存する第１の測定信号Ｍ１を出力する、第１の評価ユニット２２を有することが意図される。この第１の測定信号では、実際の湿度値と比べたときに、コンデンサの製造公差や、周囲温度に対する湿度センサの加熱によって生じる差異がある。
【００３１】
気体中の相対湿度は温度依存的である。相対湿度は、気体の容積単位あたりの蒸発している液体の容積を表す絶対湿度と、気体の容積単位あたりの最大限可能な蒸発する液体の容積を表す飽和湿度との商として算出される。このとき、気体の所与の絶対湿度のとき、相対湿度は温度が上がるにつれて低下する。したがって本発明の測定装置では、湿度センサ１０で測った相対湿度の値は、気体中の相対湿度の実際の値よりも常に低くなる。
【００３２】
図６には、第１の評価ユニット２２の第１の測定値Ｍ１が、０％から１００％までの相対湿度のさまざまな値について図示されている。ここで記号Ｎが付されている曲線は実際の湿度値であり、ないしは、これらの湿度値についての測定装置の望ましい出力である。図から明らかなように、第１の測定値Ｍ１は実際の測定値Ｎと異なっている。この差異は、一方では、湿度センサのコンデンサの製造公差や、湿度センサの加熱の結果として生じるものである。念のために図６には、加熱をしない同一の湿度センサで測った測定値Ｍ０の曲線も示されている。
【００３３】
図５の測定装置では、第１の測定値Ｍ１を、これに対応する帰属の測定値Ｎに換算する修正ユニット２４が、第１の評価ユニット２２に後置されている。第１の測定値の曲線と、修正された測定値の曲線はいずれも直線をなしており、第１の測定値の曲線は式Ｍ１＝ａｘ＋ｂを満たしているのに対し、実際の測定値の曲線は式Ｎ＝ｘを満たしており、このときｘは実際の相対湿度を表すパラメータである。第１の測定値Ｍ１はすべて、前述したＭ１とＮについての関係を用いて、次の式で実際の測定値（標準化された測定値）に換算することができる：
Ｎ＝１／ａ・Ｍ１−ｂ／ａ＝ｃ・Ｍ１−ｄ　（１）
【００３４】
図６に示す実施例では、係数についてはｃ＝１．４３が当てはまり、加算値についてはｄ＝３５．７１が当てはまる。
【００３５】
第１の測定値Ｍ１を、相対湿度の実際の測定値Ｎに換算ないし割り当てることは、修正ユニットでさまざまなやり方で行うことができる。
【００３６】
たとえば本発明の一実施形態では、式（１）を用いて実際の測定値Ｎを第１の測定値Ｍ１から算出する計算ユニットが修正ユニットに設けられており、実際の測定値Ｎが表示ユニット２６に出力されることが意図される。式（１）の両方のパラメータは、メーカー側の調節の際に修正ユニットに記憶させられる。両方のパラメータｃ，ｄを求めるには、第１の測定値Ｍ１の直線の式が基本となる。この直線式を立てるには、一定の温度と異なる湿度についての２つの測定値があれば足りる。
【００３７】
第１の測定値Ｍ１を、出力される標準化された測定値Ｎに換算するために求めたパラメータは、温度にほぼ依存していない。たとえば本発明による測定装置の検査では、第１の測定値Ｍ１の直線についての式は、２５℃の温度と、既知である１１％および７５％の相対湿度とで測定されたただ２つの測定値から立てられた。この両方の測定値を用いてパラメータｃおよびｄを求めて記憶させ、次いで、第１の測定値Ｍ１と式（１）とを用いて、温度が−３０℃から１２０℃までの気体の相対湿度を、湿度センサの評価ユニットで決定したが、相対湿度の実際の値と出力された測定結果と間に、温度に起因するさほどの差異は観察することができなかった。
【００３８】
修正された測定値に対して第１の測定値を割り当てるには、第１の測定値と、これに帰属する修正された測定値とを含む表を修正ユニットにファイルしておくという方法もあり、この場合、修正ユニットに供給されるそれぞれの第１の測定値Ｍ１に対して、これに帰属する修正された測定値が表から読み出される。
【００３９】
第１の測定値Ｍ１から標準化された測定値Ｎへの換算にとって、第１の測定値Ｍ１の曲線と標準化された測定値Ｎの曲線との差異が、コンデンサの製造時の製造公差によって生じたのか、湿度センサの加熱によって生じたのか、それともこの両方の要因によって生じたのかは重要でない。したがって評価ユニットとしては、湿度センサを製造後に個別に調節することが可能な、公知の湿度センサの通常の評価ユニットを本発明のために用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
第１実施形態に基づく本発明の測定装置のブロック図である。
【図２】
相互に接着された加熱部材と湿度センサを示す平面図である。
【図３】
直接的に接触している加熱部材と湿度センサを示す平面図である。
【図４】
相並んで配置された加熱部材と湿度センサを示す前面図である。
【図５】
湿度センサと加熱装置、ならびに湿度センサに接続された評価ユニットの詳細な図を含む、本発明による測定装置の一実施形態のブロック図である。
【図６】
湿度センサの初期信号と、測定されるべき気体中の実際の湿度のグラフの推移である。
【符号の説明】
１０　湿度センサ
１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ　湿度センサ
１１　コンデンサ
１２　第１の電極
１４　第２の電極
１６　誘電体
２０　評価ユニット
２２　第１の評価ユニット
２４　修正ユニット
２５　記憶ユニット
２６　表示ユニット
３０　加熱装置
３２　加熱部材
３２Ａ，３２Ｂ，３２Ｃ　加熱部材
３４　直流電圧源
４０　熱伝導性の接着剤
【国際公開パンフレット】
2004503746.tif 000003
2004503746.tif 000004
2004503746.tif 000005
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【手続補正書】
【提出日】平成14年8月29日(2002.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
気体中の湿度を判定する、温度センサのない測定装置であって、次の構成要件を有しており、すなわち、
湿度センサ（１０）、および気体中の相対湿度に依存する測定値を準備するために湿度センサに接続された評価ユニット（２０）と、
湿度センサ（１０）と熱的に結合された加熱装置（３０）とを有しており、加熱装置（２０）は、湿度センサの周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に湿度センサ（１０）を保つように構成されるとともに、時間を通して一定の電気出力が供給される電気加熱部材（３２）を有しており、
評価ユニット（２０）は、第１の測定信号（Ｍ１）を準備するための第１の評価ユニット（２２）と、記憶されている値を用いて第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）を求めるために第１の評価ユニットに後置された修正ユニット（２４）とを含んでいる、測定装置。
【請求項２】
加熱装置（３０）が、一定の電圧源（３４）に接続された加熱抵抗器を有している、請求項１に記載の測定装置。
【請求項３】
湿度センサ（１０）が容量式の湿度センサである、前記請求項のうちいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項４】
第１の測定信号（Ｍ１）が湿度センサ（１０）の静電容量に依存している、請求項３に記載の測定装置。
【請求項５】
湿度センサ（１０）と、これに接続された評価ユニット（２０）と、湿度センサに熱的に結合された加熱装置とを有する、温度センサのない測定装置によって気体中の相対湿度を判定する方法において、
湿度センサ（１０）が加熱装置（３０）によって、湿度センサ（１０）の周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に保たれ、湿度センサ（１０）を用いて検出された第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）が、修正ユニット（２４）に記憶された値を用いて求められる方法。
【請求項６】
加熱装置（３０）が、一定の電気出力が供給される電気加熱装置である、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
容量式の湿度センサが使用される、前記請求項のうちいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）が出力される、請求項６に記載の方法。
【請求項９】
測定装置を調整するために次の方法ステップが意図されており、すなわち、
既知である第１の相対湿度と既知である第１の温度のときに湿度センサ（１０）を加熱装置（３２）とともに気体に入れ、湿度測定装置によって相対湿度の第１の調整値を求め、
既知である第２の相対湿度と第１の温度のときに湿度センサ（１０）を加熱装置（３２）とともに気体に入れ、測定装置によって相対湿度の第２の調整値を求め、
これらの調整値を用いて第１の測定値（Ｍ１）を修正された測定値（Ｎ）に換算するためのパラメータ（ｃ，ｄ）をコンピュータで求め、
前記パラメータ（ｃ，ｄ）を修正ユニットに記憶させる、前記請求項のうちいずれか１項に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】平成14年10月22日(2002.10.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項１】
気体中の湿度を判定する温度センサのない測定装置であって、
容量式の湿度センサ（１０）、および気体中の相対湿度に依存する測定値を準備するために湿度センサに接続された評価ユニット（２０）と、
湿度センサ（１０）と熱的に結合された加熱装置（３０）とを有しており、加熱装置（２０）は、湿度センサの周囲温度より少なくとも近似的に一定の温度差だけ上回る動作温度に湿度センサ（１０）を保つように構成されるとともに、電気加熱部材（３２）を有しており、
評価ユニット（２０）は、第１の測定信号（Ｍ１）を準備するための第１の評価ユニット（２２）と、記憶されている値を用いて第１の測定値（Ｍ１）に対して修正された測定値（Ｎ）を求めるために第１の評価ユニットに後置された修正ユニット（２４）とを含んでいる、測定装置。
【国際調査報告】
2004503746.tif 000027
2004503746.tif 000028
2004503746.tif 000029
2004503746.tif 000030
2004503746.tif 000031
2004503746.tif 000032