(57)【要約】本発明は、目標対象（１５）の方向に光ビーム（１３）、殊にレーザビームを送信するための送信ユニット（１２）と、前記目標対象（１５）によって反射された光ビーム（１６，４９）の受信用の受信ユニット（１４）と、装置と前記目標対象（１５）との距離を求めるための制御及び評価ユニット（５６）と、ビームガイド用の少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）とを有する光学測距装置に関する。少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）と光源（１７，１８）との相対的な位置が相互に変えられる。
2004519697.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
目標対象（１５）に光ビーム（１３，２０，１８）を送信するための光源（１７，１８）を備えた送信ユニット（１２）と、前記目標対象（１５）から戻された光ビーム（１６，４９）の受信用の受信ユニット（１４）と、装置と前記目標対象（１５）との光学距離を求めるための制御及び評価ユニット（５６）と、測定ビーム（１３，４９）のビームガイド用の少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）とを有する光学測距装置において、
ビームガイド用の少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）と光源（１７，１８）との相対的な配置構成が相互に変えられるようにしたことを特徴とする光学測距装置。
【請求項２】
少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）と光源（１７，１８）との相対的な配置構成が全部で３つの空間方向で調整することができる請求項１記載の光学測距装置。
【請求項３】
少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）がレンズ（２８）を有している請求項２記載の光学測距装置。
【請求項４】
レンズ（２８）は、送信装置（１２）のビーム路内、及び／又は、受信装置（１４）のビーム路内に設けられている請求項３記載の光学測距装置。
【請求項５】
目標対象（１５）に送信される光ビーム（１３，２０，２２）及び／又は前記目標対象（１５）から戻される光ビーム（１６，４９）の発散度及び／又は方向が、ビームガイド用の少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）及び光源（１７，１８）の相対的な配置構成を変えることによって相互に変えることができる請求項１から４迄の何れか１記載の光学測距装置。
【請求項６】
レンズ（２８）の、光源（１７，１８）の位置に対する位置がアクチュエータ（３４）を介して調整される請求項１から５迄の何れか１記載の光学測距装置。
【請求項７】
装置は、制御部（３６）を有しており、該制御部は、少なくとも１つの光学手段（２６，２８，３０，５０）と光源（１７，１８）の相対的な配置構成を制御する光学測距装置。
【請求項８】
少なくとも１つのセンサ（３８）が設けられており、該センサは、測定信号（１３）及び／又は戻される測定信号（１６）の、少なくともビーム発散度及び／又はビーム方向及び／又はビーム束の直径を検出して制御部（３６）に供給する請求項７記載の光学測距装置。
【請求項９】
制御部（３６）は、マニュアル制御可能である請求項８記載の光学測距装置。
【請求項１０】
制御部（３６）は、自動制御回路（３９）の構成部である請求項８記載の光学測距装置。
【請求項１１】
光源（１７，１８）はレーザ、例えば、レーザダイオード（１８）であり、ビームは、人間の眼に可視の電磁波スペクトル波長領域内で求められる請求項１から１０迄の何れか１記載の光学測距装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、目標対象に光ビームを送信するための光源を備えた送信ユニットと、目標対象から戻された光ビームの受信用の受信ユニットと、装置と目標対象との光学距離を求めるための制御及び評価ユニットと、測定ビームのビームガイド用の少なくとも１つの光学手段とを有する光学測距装置に関する。
【０００２】
そのような光学測距装置は、かなり前から公知である。この装置は、変調された光ビームを放射し、この光ビームは、装置との間隔が求められる所望の目標面に配向される。位置測定される目標対象から反射され、又は、散乱された光が、装置によって部分的に再度検出され、求められる間隔を検出するために利用される。その際、求められる間隔を測定するために、所謂位相測定方式と純粋な経過時間方式とが区別される。経過時間測定方式では、例えば、出来る限り短いパルス期間の光パルスが装置から放射され、この光パルスがターゲットまで行って再び測定装置に戻ってくる経過時間が求められる。光速度の公知の値を用いて、この経過時間から、装置とターゲットとの距離が算出される。
【０００３】
位相測定方式では、間隔を測定するために、通過区間での位相の変化が利用される。放射された光と比較して、戻って来る光の位相差を介して、光が通過した区間、従って、目標対象迄の間隔が測定される。
【０００４】
その種の測距装置の使用領域は、数ミリメートル〜数百メートルの領域内での距離を含む。
【０００５】
測定すべき経過区間と目標対象のビーム反射能力に依存して、光源、測定ビームの質及び検出器に種々異なった要求が生じる。
【０００６】
目標迄、数メートル以内の領域内の、比較的短い間隔では、しかも、良好なビーム反射能力を有している場合、有利には、完全にコリメートされた回折限界光ビームが使用されて、良好な位置分解能と相応の強度の反射信号を得ることができる。
【０００７】
大きな距離では、所望の目標が、フォーカシングされた回折限界レーザビーム束が示すような、微細な光ビームで照射されるという問題点が生じ、その結果、比較的大きな直系の測定ビームをこの種の用途に用いると有利である。
【０００８】
従来技術から公知の光学距離測定装置は、基本的に、送信及び受信チャネルの装置構成に相応して、２つのカテゴリに分けられる。一方では、送信チャネルが受信チャネルの横に所定の間隔で設けられていて、その結果、各々の光軸が相互に平行であるような装置である。他方では、受信チャネルが送信チャネルに対して同軸である単軸の測定装置である。
【０００９】
ドイツ連邦共和国特許公開第１９８４００４９号公報からは、測地、建築、工業用途用の単軸光学測距装置が公知であり、この装置を用いて、強い反射目標対象も劣悪な反射目標対象も測定することができる。この装置は、劣悪な反射対象の場合でも、更に高い位置解像度を有している。
【００１０】
ドイツ連邦共和国特許公開第１９８４００４９号公報記載の装置は、分割可能な２つのビーム束を形成するために１つ又は２つの光学ビーム源を備えた送信ユニットを有している。その際、一方のビーム束は、回折限界の、可視波長領域内の光を有しており、それに対して、他方のビーム束は、発散性であって、可視又は赤外波長領域内である。
【００１１】
ドイツ連邦共和国特許公開第１９８４００４９号公報記載の装置の欠点は、種々異なる測定ビームを形成するのにコスト高であるという点である。実施形式に応じて、装置は２つの別個のレーザダイオード又は２波長レーザを両測定ビームの形成のために有している。種々異なる発散ビーム束は、高価なテレスコープ光学系によって、この装置の両ビーム路内に形成される。更に、ドイツ連邦共和国特許公開第１９８４００４９号公報記載の装置は、種々異なる同軸ビーム形式及びビーム束の検出用の選択手段を必要としている。ドイツ連邦共和国特許公開第１９８４００４９号公報に記載されている選択手段、例えば、光学フィルタ、制御可能な周波数重複器及びＱスイッチは、コスト高で高価な光学コンポーネントであって、測定系を非常に複雑で扱いにくく且つ高価にしてしまう。
【００１２】
それに対して、２軸測定系は、コスト高なビーム分割を必要とせず、その結果、送信チャネルの光学的なクロストークを受信チャネル内で一層良く抑制することができるという利点を有している。
【００１３】
他方、２軸測距装置では、パララックスにより、短い測定距離の領域では、検出上の問題点を生じることがあるという欠点がある：つまり、目標対象の、検出器表面上への投影が、測定距離が短くなるに連れて受信分路の光軸が長くなって、検出器面内でのビーム横断面が変化してしまう。
【００１４】
発明の利点
それに対して、独立請求項１記載の要件を有する本発明の光学測距装置が有する利点は、測距装置で形成されたビーム束が種々異なった測定課題（即ち、種々異なった目標対象又は測定すべき目標迄の距離）に、１つの光学手段しか用いずに適合させることができるという点にある。殊に、測定ビームの発散度及び方向を、この１つの光学手段を用いて各々の測定要求に適合させることができる。
【００１５】
本発明の装置では、種々異なった発散ビーム束を形成するための種々異なる別個の２つのビーム路を必要としない。その結果、有利には、例えば、コンパクトな、手で持てる測定装置にすることができる。
【００１６】
測定ビーム束の種々異なったビーム発散度は、光源と光学手段の相対的な配置構成を単に変えることによって達成することができる。
【００１７】
本発明の有利な実施例は、従属請求項から得られる。
【００１８】
本発明の測距装置の第１の有利な実施例では、使用される光学手段がレンズ又はレンズ組み合わせ系であって、対物レンズとして使われ、例えば、測定装置の送信ユニットのビーム路内に入れられる。別の光学手段についても後述する。
【００１９】
有利には、本発明の光学測距装置をレーザを光源として用いて構成してもよい。現在、多様な小型レーザがあり、その種の測定装置内に組み込むことができる。このために、特に有利には、大きさが小さいこと、性能の高さの点で半導体レーザが提供されており、この間、電磁波のスペクトルの可視部用にも相応の質のものが提供されている。
【００２０】
コリメートされた回折限界測定ビーム束の形成のために、対物レンズの対象側の焦点に光源が設定される。光源から放射された発散ビーム束は、レンズを透過した後コリメートされて、ほぼ平行な測定ビームを形成し、例えば、高い位置解像度で間隔を測定するのに使用することができる。
【００２１】
比較的大きな測定距離を測定する必要があって、発散度が増強された測定ビーム束が必要である場合、本発明の装置では、対物レンズが測定信号の光軸の方向に動かされて、測定ビーム束の所望の発散度を変化させて調整することができる。
【００２２】
本発明の装置では、例えば、先ず発散ビーム束を用いて作動して、装置をかなり離隔した目標対象に配向して、測定ビーム束が目標対象を照射した後、測定ビームを回折限界により再コリメートして、良好な位置解像度と、測定装置に反射して戻される一義的に測定可能な信号を達成することができる。
【００２３】
ビームの発散度を変えるために、対物レンズは、制御部によって制御される種々異なるアクチュエータを介して、当該対物レンズの位置が調整される。
【００２４】
本発明の装置の別の実施例では、光源の位置が相応のアクチュエータ及び所属の制御部を介して、その際、場合によっては固定のコリメーション光学系に対して変えられる。
【００２５】
アクチュエータの制御により、レンズと光源との相対的な装置構成を変えることができる。この制御は、この装置の実施例では、マニュアルにより、操作者が、先ず、例えば、装置の操作要素のボタンを押して測定ビームを拡げ、目標対象に配向し、装置によって、反射信号が表示されるようにして行われる。続いて、操作者は、測定ビームの所望のコリメーション度を調整して、例えば、高い位置解像度又は相応に拡大された受信信号を得ることができる。測定スポットを小さくすることによって点を正確に測定することができ、その際、例えば、かなり離隔した目標対象の位置を測定するために小さな測定スポットを表示するという欠点は生じない。
【００２６】
本発明の測定装置の別の有利な実施例では、光学手段、例えば、レンズ用のアクチュエータの制御を自動制御調整回路によって行ってもよい。センサは、測定ビーム束で、又は、測定ビーム束内でビームの直径又は束の発散度を検出し、この情報を自動制御部に供給する。それから、この制御部は、所望のようにアクチュエータを制御して、レンズ及び／又は光源をシフトする。センサにより、所望の、又は、必要なビーム発散度が検出されると、光学要素を更にシフトするのが停止される。
【００２７】
測定ビーム束の発散度の他に、本発明の装置によると、同様に、ビームの位置を変えることができる。光軸に対して垂直方向にレンズをシフトすることによって、測定ビームを偏向して、例えば、コリメートされたビームを用いて所定角度領域だけ掃引するようにしてもよい。
【００２８】
従って、本発明の装置の有利な実施例では、「スキャンモード」が設けられており、これにより、対物レンズを水平方向及び／又は垂直方向に所定角度領域にわたって相応に高速シフトすることによって、測定ビームを偏向することができる。本発明の装置を、このように装置構成することによって、有利には、大して離隔していない、又は、かなり離隔した目標対象の位置を測定することができるようになる。例えば、前述のような自動制御回路によって、測定装置の受信ユニットが反射信号を検出した場合、スキャンモードを停止することができるようになる。それから、制御部は、レンズを調整して、例えば、最大反射信号を測定することができるようにする。
【００２９】
本発明の装置の別の有利な実施例では、相応の光学手段が測定装置の受信分路内に設けられている。典型的には、従来技術の装置では、測距装置の受信分路内に収束レンズが設けられている。このレンズは、反射光を収束し、検出器上のパワー密度を高めるようにフォーカシングする。そのために、このコリメーションレンズの焦点距離は検出器の前に設けられていて、光をかなり離隔したところから正確に検出器にフォーカシングすることができるようになる。
【００３０】
本発明の光学手段として、レンズを、前述のように、検出器に対して相対的に、従って、光源に対しても相対的に位置調整することができる受信ビーム路内に挿入する場合、反射ビームのフォーカシングを補償することができる。特に、本発明の装置の、このような実施例を用いると、２軸測定装置のパララックスの問題点を解消することができる。
【００３１】
２軸測定装置では、空間的に離れていることにより、２つの離れている、大抵は平行な光軸が、送信信号及び受信ビームに対して形成される。フォーカシングの上述の依存性、従って、検出器上のフォーカスの大きさの依存性の他に、目標対象と測定装置との間隔により、受信分路の光軸に対して相対的に、反射ビーム束が横方向にシフトするようにもなる。この横方向シフトは、目標対象迄の間隔が非常に小さい場合には、反射信号は最早検出器に入射しないか、又は、不十分にしか検出器に入射しないような大きさになってしまう。
【００３２】
受信分路内で光学系を横方向にシフトすることによって、このパララックスによるビームのずれを補償することができ、例えば、本発明の測定装置を、反射ビームに対して検出最大値となるように調整することができる。
【００３３】
有利には、センサを介して、例えば、検出器での信号強度を測定して、アクチュエータを制御して、例えば、検出信号が最大となるようにする自動制御回路を介して、レンズの位置を変えることができる。
【００３４】
図面
以下、本発明の装置について図示の実施例を用いて詳細に説明する。
【００３５】
その際、
図１は、本発明の装置の実施例の略図、
図２は、本発明の装置のビーム路を詳細に示す図、
図３は、本発明の装置の可能な制御回路の略図
である。
【００３６】
図１には、本発明の測距装置の機能を説明するのに重要なコンポーネントが略示されている。
【００３７】
本発明の装置１０は、ケーシング１１を有しており、このケーシングの中に、測定信号１３の形成用の送信装置１２並びに目標対象１５からの反射測定信号１６の検出用の受信装置１４が収容されている。
【００３８】
送信装置１２は、光源１７を有しており、この光源は、図１の実施例では、半導体レーザダイオード１８によって構成されている。本発明の装置に、他の光源を用いてもよい。レーザダイオード１８は、レーザビーム２０を人間の眼に可視のビーム束２２の形式で送信する。
【００３９】
レーザダイオード１８は、制御装置２４を介して駆動され、この制御装置は、相応の電子回路によって、電気入力信号１９を変調してダイオード１８に供給する。例えば、ダイオード電流を、そのようにして変調することによって、測距用の測定信号１３を同様に所望のように変調することができるようになる。
【００４０】
ダイオード１８から放射されたレーザビーム２０は、実施例では、第１の光学系２５を透過し、この第１の光学系によって、一般的にレーザダイオードのあまりよくないビームプロフィールを改善することができる。この第１の光学系２５は、例えば、円柱レンズ又は複数レンズの組み合わせからなり、ここでは更に説明しない。そのような光学系は、レーザダイオードの構成部品でもある。
【００４１】
レーザビーム束２０は、続いて、図１には、単一レンズ３０の形式で図示されているレンズ２８の形式のコリメーション光学系２６を透過する。レンズ２８は、位置調整部３２上に設けられており、この位置調整部は、レンズの位置を全部で３つの空間方向に変えることができる。そのために、多数のアクチュエータ３４が、例えば、位置調整要素と結合されており、この位置調整要素により、レンズを送信装置の光軸に沿って動かすことができ、この光軸に対して直交する両空間方向にも動かすことができる。アクチュエータ３４は、制御部３６を介して作動される（後で詳細に説明する）。
【００４２】
レンズ２８の透過後、例えば、振幅変調された測定信号１３が、図１に略示されているように平行光束３７の形式で形成される。光束は、装置１０内でセンサ３８を透過し、例えば、ビーム直径、発散度及びレーザビームの正確な方向についての情報を検出することができる。このセンサは、種々異なる検出器を組み合わせてもよい。センサ３８は、同様に制御部３６と接続されている。
【００４３】
択一選択して、光束３７の一部分を、測定信号１３のビーム路内に挿入されたビームスプリッタを介して取り出して、相応の非透過センサの方に方向を変えるようにしてもよい。
【００４４】
ビーム路内にセンサ３８を設ける代わりに、位置調整部３２の位置を検出するセンサを設けて、測定ビーム束のビームパラメータを所定のように変えるようにしてもよい。
【００４５】
その際、実際のビームパラメータは測定できないが、レーザダイオードの出力データとコリメーション光学系２６の実際の位置とからその都度算出することができる。
【００４６】
本発明の装置の送信分路内に、更にもう一つの有利にはスイッチング可能なビーム方向変換部４０を設けて、これにより、測定信号１３を目標対象を回避して直接、装置１０の受信ユニット１４の方に方向を変えるようにしてもよい。このようにして、装置内部に基準区間４２を形成して、測定系を較正することができる。
【００４７】
測定する際、測定ビーム１３が、装置１０の端面壁４５に設けられた光窓４４を通って本発明の装置のケーシング１１を透過する。光窓は、シャッタ４６によって確実に開くことができる。
【００４８】
測定のために、測定装置１０が目標対象１５の方に配向され、目標対象から測定装置迄の距離が求められる。所望の目標対象１５で反射した、又は、散乱した信号１６が、反射して戻って来る測定ビーム４９を形成し、この測定ビームが所定部分で再度測定装置１０の方に戻される。装置１０の端面壁４５に設けられた入射窓４７を通って、反射して戻ってきた測定ビーム４９が測定装置に入射され、図１の実施例では、受信光学系５０に供給される。図１の実施例では同様に単一レンズによってシンボルで示されている受信光学系５０が、同様に位置調整部５１上に設けられており、この位置調整部５１は、装置１０の送信分路内のレンズ２８の位置調整部３２と同様に構成されている。位置調整部５１は、制御部３６と接続されている。
【００４９】
受信光学系５０は、反射して戻ってくる測定信号４９を受信検出器５２に収束し、この受信検出器５２は、図１の実施例では、フォトダイオード５４の形式で設けられており、入射光信号４９を電気信号５５に変換する。本発明の装置の受信検出器５２は、フォトマルチプライヤ又は空間解像面検出器、例えば、ＣＣＤカメラ、又は、当業者には周知の、相応の他の光ビーム検出系として構成するとよい。受信検出器５２は、電気接続部５５を介して制御部３６と接続されている。
【００５０】
制御部３６は、図１の実施例では、データ及び測定指示の入力用の操作ユニット５８、制御及び評価ユニット５６、供給された情報の処理用の中央計算ユニット６０、及び、表示装置６２を有する。制御部は、マニュアルにより操作しても、又は、完全に自動化された制御回路３９に接続してもよい。
【００５１】
測定装置に設けられてはいるが、本発明の装置を理解するのには必要ない別のコンポーネントについては、ここでは更に説明しない。
【００５２】
図２には、本発明の装置の送信装置１２のビーム路の一部分が詳細に示されている。相応の装置は、測定装置１０の受信分路内に設けてもよい。
【００５３】
放射されたレーザビームのビームプロフィールを変えるために光学系２５が統合されたレーザダイオード１８は、電気信号１９によって制御され、発散ビーム束２２を送信する。ビーム束２２は、続いてレンズ２８の形式のコリメーション光学系２６を透過し、このコリメーション光学系２６は、通常位置では、この光学系の、光源１８から焦点距離ｆの間隔をあけて設けられている。このレンズ２８は、位置調整部３２内に装着されており、この位置調整部によって、測定装置１０の光源１８とレンズ２８との間の間隔が、アクチュエータ３４を介して所定のように変えられる（ｘ方向）。更に、位置調整部３２により、送信ユニット１２の光軸に対して直交する両方向ｙ及びｚにレンズをシフトすることができる。そのために、レンズ２８は、保持部６４内に装着されており、。この保持部６４は、取付固定要素６６に対して相対的に動くことができる。取付固定要素６６を介して、位置調整部３２は、測定装置１０内に固定されている。
【００５４】
位置調整部３２は、例えば、相互に直交方向に設けられた３つの並進テーブルから構成されており、これら３つの並進テーブルは、各々ステップモータ制御によって動かすことができ、そのようにして、対物レンズ２８を、これら３つの方向にシフトすることができる。並進制御用のステップモータは、制御部３６の制御及び評価ユニット５６を介して制御される。しかし、並進移動を制御するためにピエゾアクチュエータを用いてもよい。簡単に、例えば、コリメーション光学系２６と光源１８との間隔を変えることによって、測定指示に適合させて、発散乃至収束又は平行な測定光束を形成することができる。
【００５５】
測定光束の実際に形成された発散度は、図２の実施例では並進するように駆動されるセンサ３８を介して検出され、この情報が制御部の制御及び評価ユニット５６に伝送され、形成された発散度をどの程度変える必要があるのか求められる。制御及び評価ユニット５６は、この情報をアクチュエータ３４に供給し、アクチュエータは、光学系２８を更にシフトするか、又は、シフトを終えるようにする。この場合、コリメーション光学系３６は、接続された制御回路３９によって自動的に調整される。
【００５６】
元の光軸に対して垂直方向の面（ｙ−ｚ面）で、コリメーション光学系２６を相応にシフトすることによって、測定ビーム束３７の方向を変えることができる。この方向を変える程度は、センサ３８によって検出され、制御及び評価ユニット５６に伝送され、制御及び評価ユニット５６は、この情報をアクチュエータ３４に供給する。特別な場合、この制御回路により、本発明の測定装置１０を「スキャン作動」することができ、アクチュエータを発振器を用いて高速で移動させることによって、測定ビーム１３を所定の角度領域にわたって偏向することができる。測定装置１０の検出器５２で、反射して戻された信号４９が検出される場合、スキャン角度の振幅を小さくするか、又は、装置のスキャンモードを完全に遮断することができる。これは、同様に自動化された形式で、測定装置の制御回路３９によって行うことができる。
【００５７】
図３には、本発明の測定装置１０用の制御回路３９が図示されている。
【００５８】
光源１８から出て、測定光束２２がコリメーション光学系２６を通ってガイドされる。この測定ビーム束の主要な物理パラメータ、例えば、ビーム発散度、ビーム直径、又は、ビーム方向が、センサ３８によって検出され、制御部３６に伝送される。自動制御回路３９内の制御及び評価ユニット５６は、実際のビームパラメータを所望のパラメータと比較し、相応の命令を位置調整部３２のアクチュエータ３４に伝送し、この位置調整部３２は、制御及び評価ユニット５６の設定に従って、コリメーション光学系２６をシフトする。
【００５９】
そのようなコリメーション光学系が測定装置１０の受信分路内に使用されている場合、従って、例えば、検出された測定信号４９を最適化することができ、その際、自動制御回路３９が、測定装置１０の受信器５２に最適な信号が供給される迄レンズ５０の位置を適合させる。そのために、例えば、フォトダイオード５４での受信信号４９の高さが、制御回路３９に伝送され（図１参照）、コリメーション光学系５０が、反射され戻ってきた測定信号４９が検出器５２で最大となるように調整される。従って、受信側のコリメーション光学系５０を横方向にシフトすることによって、２軸測定装置のパララックスの問題点を解消することができる。
【００６０】
同様に、既述の、接続された制御回路３９による調整に対して、簡単且つ有利に、位置調整部３２のアクチュエータ３４を調整することができる。そのために、自動制御回路３９が設けられており、位置調整部のアクチュエータ３２が、制御部３６を用いて測定装置１０の相応の操作要素５８を介してユーザによって作動される。
【００６１】
このようにして、例えば、簡単に、ビームの発散度を変えることによって、離隔した目標対象を確実に測定することができ、その際、先ず強く拡げられたビーム束を用いて作動されて、目標対象が照射され、測定信号が測定装置の検出器に供給されると直ぐに、回折限界ビーム束に移行して、位置解像度を良好にし、且つ、受信信号を強くすることができるようになる。
【００６２】
本発明の装置は、既述の実施例に限定されるものではない。
【００６３】
同様に、択一に選択して、コリメーション光学系２６を移動する必要がないか、移動できない場合には、光源１７の位置を変えてもよい。
【００６４】
本発明の測定装置１０内のコリメーション光学系２６乃至５０に対して付加的に、光ファイバをビームガイド用の光学手段として使用してもよい。この光ファイバの位置は、コリメーション光学系２８又は５０及び／又は光源１７に対して相対的に変えることができ、その結果、光源１７もコリメーション光学系自体も動かす必要はない。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の装置の実施例の略図
【図２】
本発明の装置のビーム路を詳細に示す図
【図３】
本発明の装置の可能な制御回路の略図
【国際公開パンフレット】
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2004519697.tif 000004
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【国際調査報告】
2004519697.tif 000027
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