(57)【要約】【課題】小形ディスクを潤滑化処理するシステムであって、内径部周囲に対して過剰な潤滑化処理を施すことなく、かつ、処理中にディスクの好ましくない動きを防止できるシステムを提供する。【解決手段】ディスク（３０２）の処理システムは、複数のフィンガー部材を有するエンドエフェクタ（３０６）を備えている。エンドエフェクタ（３０６）は回転駆動装置に取付けられ、回転駆動装置はリニアステージ（３３４）に取付けられる。リニアステージ（３３４）はエアートラック（３０３）及び貯槽（３０５）に隣接して配置される。回転駆動装置およびリニアステージ（３３４）は、フィンガー部材をエアートラック（３０３）上のディスク（３０２）の内径部の内側に位置させる。フィンガー部材はディスク（３０２）の内径部を把持する。そして、回転駆動装置およびリニアステージ（３３４）は、ディスク（３０２）を保持したフィンガー部材を貯槽（３０５）内に位置させる。貯槽（３０５）には、ディスク（３０２）を潤滑化処理する潤滑剤などの処理液が充填される。【選択図】図３
2004524642.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理のためにディスクを保持するエンドエフェクタから成るディスク処理システムであって、前記エンドエフェクタが、複数のフィンガー部材と、少なくとも１つのフィンガー部材に連結された駆動装置とから成り、当該駆動装置は、ディスクの内径部に前記フィンガー部材を挿入するために当該フィンガー部材を閉じ、ディスクの内径部を把持するために前記フィンガー部材を開く様に構成されていることを特徴とするディスク処理システム。
【請求項２】
処理液を収容する貯槽と、当該貯槽に隣接したベースと、当該ベースに取付けられた回転駆動装置とを備え、エンドエフェクタは、前記回転駆動装置に取付けられ、当該回転駆動装置は、前記貯槽上方の少なくとも第１の位置へ前記エンドエフェクタを回転させる様になされている請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
処理液がディスク潤滑化用の潤滑剤を含有する請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
処理液がディスク乾燥用のアルコール及び水を含有する請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
ベースに隣接してディスク搬送装置が配置されている請求項２に記載のシステム。
【請求項６】
ディスク搬送装置がディスクカートリッジ搬送装置である請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
ディスク搬送装置がエアートラックである請求項５に記載のシステム。
【請求項８】
回転駆動装置は、エアートラック上のディスクの内径部にフィンガー部材が挿入される少なくとも第２の位置へエンドエフェクタを回転させる様になされている請求項７に記載のシステム。
【請求項９】
リニアステージを備え、当該リニアステージに貯槽が取付けられ、かつ、前記リニアステージは、第３の位置へ前記貯槽を移動させ、第１の位置にあるエンドエフェクタの少なくとも一部を前記貯槽内に位置させる様になされている請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
回転駆動装置は、エアートラック上のディスクの内径部の上方にフィンガー部材が位置する少なくとも第２の位置へエンドエフェクタを回転させる様になされている請求項７に記載のシステム。
【請求項１１】
ベースは、リニアステージを備え、当該リニアステージは、ディスクの内径部にフィンガー部材が挿入される少なくとも第３の位置へエンドエフェクタを移動させる様になされている請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
ベースは、リニアステージを備え、当該リニアステージは、貯槽内に末端作動部の少なくとも一部が位置する少なくとも第２の位置へエンドエフェクタを移動させる様になされている請求項２に記載のシステム。
【請求項１３】
駆動装置は、孔を有するハウジングと、前記孔の内部に配置され且つフィンガー部材の少なくとも１つに連結されたプランジャーと、前記孔の内部の前記プランジャー頂部に配置された隔膜と、当該隔膜に連結された空気取入れ口と、前記孔の上端部に取付けられて前記隔膜の上方に空間を形成するカバーとから成り、前記空気取入れ口から導入された空気で前記空間が満たされることにより、前記隔膜が前記プランジャーを駆動し、当該プランジャーが前記フィンガー部材の少なくとも１つを作動させて前記フィンガー部材を閉じる様になされている請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
少なくとも１つのフィンガー部材には、面取りされた複数の角部を有するタブが備えられている請求項１に記載のシステム。
【請求項１５】
少なくとも１つのフィンガー部材には、フィンガー部材がディスクの内径部を把持し且つディスクが垂直状態になされた際、ディスクの法面に対して所定角度を形成する縁部が備えられている請求項１に記載のシステム。
【請求項１６】
少なくとも１つのフィンガー部材には、フィンガー部材がディスクの内径部を把持し且つディスクが垂直状態になされた際、ディスクの両面においてディスクの法面に対して所定角度を形成する縁部が備えられている請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
少なくとも１つのフィンガー部材は、面取りされた複数の角部を備えている請求項１に記載のシステム。
【請求項１８】
フィンガー部材が開放される際、当該フィンガー部材の少なくとも一部が互いに重なり合う様に構成されている請求項１に記載のシステム。
【請求項１９】
フィンガー部材の１つの少なくとも一部分がディスクの底面を越えて張出されている請求項１に記載のシステム。
【請求項２０】
ディスク搬送装置に隣接してストッパーが配置され、当該ストッパーがディスクの移動を抑止し、そして、エンドエフェクタがストッパーの上流側に位置することにより、フィンガー部材がディスクの内径部の中心から外れて挿入される様になされている請求項５に記載のシステム。
【請求項２１】
ディスク搬送装置上のディスクの内径部において複数のフィンガー部材を開く工程と、ディスクを保持するフィンガー部材を液体が収容された貯槽の上方の位置へ回転させる工程とから成ることを特徴とするディスク処理方法。
【請求項２２】
フィンガー部材を閉じる工程と、閉じたフィンガー部材をディスクの内径部に挿入する工程とを含む請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
閉じたフィンガー部材が、内径部の中心から外れてディスクの内径部に挿入される請求項２１に記載の方法。
【請求項２４】
閉じたフィンガー部材を挿入する工程が、ディスクの内径部の上方の位置へ前記フィンガー部材を回転する工程、および、ディスクの内径部の内側へフィンガー部材を移動させる工程を含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２５】
閉じたフィンガー部材を挿入する工程が、ディスクの内径部の内側で前記フィンガー部材を回転させる工程を含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２６】
ディスクを保持したフィンガー部材を貯槽内へ移動させる工程を備えている請求項２１に記載の方法。
【請求項２７】
貯槽に液体を充填する工程を備えている請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
液体が潤滑剤を含有する請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
液体がアルコール及び水の混合物を含有する請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
ディスクが保持されたフィンガー部材を貯槽から取出す工程を備えている請求項２６に記載の方法。
【請求項３１】
ディスクを保持したフィンガー部材をディスク搬送装置の上方の位置へ回転させる工程を含む請求項３０に記載の方法。
【請求項３２】
フィンガー部材を閉じ、ディスク搬送装置上にディスクを開放する工程を備えている請求項３１に記載の方法。
【請求項３３】
ディスク搬送装置が、エアートラック又はディスクカートリッジ搬送装置の一方を有する請求項２１に記載の方法。
【請求項３４】
貯槽を移動させ、ディスクを保持したフィンガー部材を貯槽内に位置させる工程を含む請求項２１に記載の方法。
【請求項３５】
開放工程以降で且つ回転工程以前に、ディスクを保持したフィンガー部材をディスク搬送装置の上方の位置へ移動させる工程を含む請求項２１に記載の方法。
【請求項３６】
処理液を収容する貯槽と、当該貯槽に隣接して配置されたベースと、当該ベースに隣接して配置されたエアートラックと、前記ベースに取付けられた回転駆動装置と、当該回転駆動装置に取付けられたエンドエフェクタとから成り、当該エンドエフェクタは、複数のフィンガー部材と、少なくとも１つのフィンガー部材に連結された駆動装置とから成り、当該駆動装置は、ディスクの内径部に前記フィンガー部材を挿入するために当該フィンガー部材を閉じ、ディスクの内径部を把持するために前記フィンガー部材を開く様に構成され、そして、前記回転駆動装置は、前記エアートラック上のディスクの内径部の上方に前記フィンガー部材が位置する第１の位置へ前記エンドエフェクタを回転させ、リニアステージは、ディスクの内径部に前記フィンガー部材が挿入される第２の位置へ前記第１の位置にある前記エンドエフェクタを移動させ、前記回転駆動装置は、前記貯槽の上方に前記フィンガー部材が位置する第３の位置へ前記エンドエフェクタを回転させ、かつ、前記リニアステージは、前記貯槽内に前記エンドエフェクタの少なくとも一部が位置する第４の位置へ前記第３の位置にある前記エンドエフェクタを移動させる様になされていることを特徴とするディスク処理システム。
【請求項３７】
処理液を収容する貯槽と、当該貯槽に隣接して配置されたベースと、当該ベースに隣接して配置されたエアートラックと、前記ベースに取付けられた回転駆動装置と、当該回転駆動装置に取付けられたエンドエフェクタとから成り、当該エンドエフェクタは、複数のフィンガー部材と、少なくとも１つのフィンガー部材に連結された駆動装置とから成り、当該駆動装置は、ディスクの内径部に前記フィンガー部材を挿入するために当該フィンガー部材を閉じ、ディスクの内径部を把持するために前記フィンガー部材を開く様に構成され、そして、前記回転駆動装置は、エアートラック上のディスクの内径部に前記フィンガー部材が挿入される第１の位置へ前記エンドエフェクタを回転させ、かつ、前記貯槽の上方に前記フィンガー部材が位置する第２の位置へ前記エンドエフェクタを回転させる様になされていることを特徴とするディスク処理システム。
【請求項３８】
複数のフィンガー部材を閉じる工程と、ディスク搬送装置上のディスクの内径部の上方の位置へ前記フィンガー部材を回転させる工程と、前記ディスク搬送装置上のディスクの内径部の内側へ前記フィンガー部材を移動させる工程と、ディスクの内径部の内側で前記フィンガー部材を開く工程と、ディスクを保持した前記フィンガー部材を液体が収容された貯槽の上方の位置へ回転させる工程と、ディスクを保持した前記フィンガー部材を前記貯槽内へ移動させる工程と、前記貯槽に液体を充填する工程とから成ることを特徴とするディスク処理方法。
【請求項３９】
複数のフィンガー部材を閉じる工程と、ディスク搬送装置上のディスクの内径部の内側へ前記フィンガー部材を回転させる工程と、ディスクの内径部の内側で前記フィンガー部材を開く工程と、ディスクを保持した前記フィンガー部材を液体が収容された貯槽の上方の位置へ回転させる工程と、ディスクを保持した前記フィンガー部材を前記貯槽内にへ移動させる工程と、前記貯槽に液体を充填する工程とから成ることを特徴とするディスク処理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気および光学記録媒体の製造に関し、特に詳しくは、前記の媒体表面に潤滑化処理を施す方法および装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ハードディスクドライブの従来のコンタクト・スタート・アンド・ストップ（ＣＳＳ）操作では、ディスクが回転始動および回転停止する際、磁気ヘッドがディスク表面をスライドする。ＣＳＳ操作の摩擦作用に対して磁気ヘッド及びディスク表面を保護するため、ディスク表面は製造時に潤滑化処理される。
【０００３】
図１は、従来技術としてのディスクの潤滑化処理のための装置１００を示す。リニアステージ１０２は、潤滑剤１１０が充填された潤滑剤貯槽１０８内へ向け、従来のディスク１０６が載せられたマンドレル１０４を下降させる。次いで、潤滑剤からディスクを引き上げるか、または、潤滑剤を排出することにより、ディスク表面に薄い（１〜１０ｎｍ）潤滑剤層を形成する。ディスク１０６は、例えば、２５ｍｍの内径（ＩＤ）１１４及び９５ｍｍの外径（ＯＤ）を備えている。矢印１１６は、潤滑剤貯槽１０８の内外へのマンドレル１０４の移動を示す。マンドレル１０４は、ディスク１０６のＩＤ１１４に係合する切欠き１１２を有する。図１に示す様に、潤滑剤の切れ（除去性）が悪いと、潤滑剤１１８は、切欠き１１２の周囲に集まり易く、過剰の潤滑剤がディスク１０６上に堆積する。過剰の潤滑剤は、媒体の信頼性および性能に問題を生じる虞があるが、ディスク１０６の総面積のうちの小さな割合に対してのみ影響するため、ディスク１０６上の堆積は許容範囲である。
【０００４】
これに対し、図２は、小形ディスク１１２に潤滑化処理を施す従来の装置１００の使用態様を示す。ディスク１２２は、例えば、７ｍｍのＩＤ１２４および２７．４ｍｍのＯＤを備えている。ここでも切欠き１１２の周囲に潤滑剤１１８が集まる。ディスク１２２上のＩＤ１２４付近に付着した過剰の潤滑剤は好ましくない結果を生じる。ディスク１０６と比較すると、ディスク１２２における過剰潤滑剤１１８は、ディスク１２２の表面積がより小さいため、大きな問題となる。すなわち、ディスク１２２においては、より大きな表面部分にディスク１０６よりも過剰の潤滑剤１１８が堆積する。また、ディスク１２２は、これをマンドレル１０４に懸架した場合、軽量であることに起因し、揺れたり、傾斜したりする。更に、潤滑剤がディスク表面を流動する際、不均衡な表面張力により、ディスクが傾斜する可能性がある。この現象は、生産性を低下させると共に、ディスクの潤滑性を不均一にする原因となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従って、小形ディスクを潤滑化処理するシステムであって、内径部周囲に対して過剰な潤滑化処理を施すことなく、かつ、処理中にディスクの好ましくない動きを防止できるシステムが要望される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
ディスク処理システムは、貯槽と、貯槽に隣接したベースと、ベースに取付けられた回転駆動装置と、回転駆動装置に取付けられたエンドエフェクタ（末端効果器）とを備え、エンドエフェクタは、複数のフィンガー部材と、少なくとも１つのフィンガー部材に連結された駆動装置とから成る。駆動装置がフィンガー部材を閉じ、フィンガー部材がディスクの内径部に挿入される。また、駆動装置はフィンガー部材を開放し、フィンガー部材によってディスクの内径部を把持する。フィンガー部材がディスクを把持すると、回転駆動装置は、貯槽の上方の位置へエンドエフェクタを回転させる。ディスクを貯槽内に下降させるか、または、貯槽を上昇させることにより、貯槽内にディスクを位置させる。そして、貯槽に処理液を充填し、ディスクを処理する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、内径部周囲に対して過剰な潤滑化処理を施す虞がなく、かつ、処理中にディスクの好ましくない動きを防止することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
図３は、本発明の一実施態様に係る図であり、磁気または光学ディスクを処理するためのシステム３００の斜視図である。スパッタパレット脱着装置３０１は、エアートラック３０３上のディスク３０２を取り外す。上記のパレット装着装置３０１（一部を図示する）及びエアートラック３０３に関する詳細は、同一譲受人により本願と共に出願された米国特許出願第      号及び第      号にそれぞれ記載されている。エアートラック３０３は処理工程にディスク３０２を搬送し、ストッパー装置３０４がディスク３０２の移動を規制する。上記のストッパー装置３０４に関する詳細は、上記の米国特許出願第      号に記載されている。処理工程は、回転駆動装置３５２によって駆動されるエンドエフェクタ３０６と、リニアステージ３３４とから構成される。エンドエフェクタ３０６は、ディスク３０２を拾い上げ、処理用の貯槽３０５内に配置する様になされている。貯槽３０５には、ディスクを処理する液体が充填される。
【０００９】
図４Ａ及び４Ｂは、ディスク処理のためにエアートラック３０３（何れも図３に示す）からディスク３０２を取り出すのに使用されるエンドエフェクタ３０６を示す。エンドエフェクタ３０６は、駆動装置３０８と、駆動装置３０８に装着された固定アーム３１４と、駆動装置３０８にスライド可能に取付けられた可動アーム３１６とから構成される。アーム３１４及び３１６は、各フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを備えている。当然ながら、各アーム３１４及び３１６は、１つ以上のフィンガー部材を備えていてもよい。スプリング３２６は、アーム３１４及び３１６を結合している。図４Ａに示す様に、スプリング３２６は、第１の位置にアーム３１６を保持し、駆動装置３０８が起動していないとき、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは離間状態に保持される。すなわち、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、駆動装置３０８が作動していない場合には開放状態とされる。図４Ｂに示す様に、上記の駆動装置３０８は、第２の位置へアーム３１６を移動させ、駆動装置３０８が作動しているとき、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは密接状態に保持される。つまり、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、駆動装置３０８が作動している場合には閉じた状態とされる。
【００１０】
図４Ｃは、駆動装置３０８の分解組立図を示す。駆動装置３０８は、孔３２１が設けられたハウジング３２０を備えている。プランジャー３２４は孔３２１内に配置される。幾つかの実施形態において、プランジャー３２４は、同様に孔３２１内に配置されたブッシュ３２５に挿入される。隔膜３２２は、プランジャー３２４の上端部に配置される。隔膜３２２は、例えば、ラテックスによって作製される。カバー３２３は、隔膜３２２の周縁部を孔３２１の開口部周囲に固定する。カバー３２３は、圧縮空気を導入するための空気取入れ口３２８を備えている。圧縮空気は、隔膜３２２に対して押圧力を付与し、プランジャー３２４を作動させる。プランジャー３２４は、アーム３１６に結合されており、当該アームを作動し、かつ、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを閉じる様になされている。勿論、ソレノイド、リニアモーター等の他の方式の駆動装置を使用し、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを閉じる様にしてもよい。
【００１１】
図５Ａ及び５Ｂに示す様に、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを閉じ、これらをディスク３０２の内径部（ＩＤ）３１８に挿入させることが出来る。また、図５Ｃ及び５Ｄに示す様に、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６ＡがＩＤ３１８へ挿入された場合にフィンガー部材によりＩＤ３１８を把持するため、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを開放する様になされている。スプリング３２６としては、ＩＤ３１８に適当な力を与え、かつ、損傷なく静止状態にディスク３０２を保持し得る様なものが選択される。フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、損傷なくディスク３０２を把持し得る様に、柔軟な材料（例えば、発泡体またはゴム）によって被覆することが出来る。
【００１２】
図２３Ａに示す一実施形態において、エンドエフェクタ３０６は、ストッパー３０４がディスク３０２を規制する位置の上流側に位置し、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、ＩＤ３１８への挿入の際、ＩＤ３１８の中心１９０２から外れて位置する様に構成される。図２３Ｂに示す様に、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、これらが開放された際、上流側に且つストッパー３０４から離れる様にディスク３０２を移動させる（矢印１９０４で示す）。ストッパー３０４からのディスク３０２の離間により、エンドエフェクタがエアートラック３０３からディスク３０２を拾い上げる際、ディスク３０２がストッパー３０４に接触するのを防止する。ディスク３０２とストッパー３０４の接触は、ディスク３０２を汚染するパーティクルを発生する可能性がある。
【００１３】
図６Ａ及び６Ｂで示す一実施形態においては、アーム３１４、フィンガー部材３１４Ａ、アーム３１６及びフィンガー部材３１６ＡがＬ字形部材によって形成される。フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、ディスク３０２の内径部表面との接触を低減するため、薄肉に形成される。フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、単調な表面（すなわち、平坦面）を備えている。これらの特徴により、ディスク３０２の内径部とフィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａとの接触点の周囲における潤滑剤６１８の堆積量が低減される。
【００１４】
図７Ａ及び７Ｂに示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、更に、それぞれにタブ（突起）７０２及び７０４を有する。タブ７０２及び７０４は、ディスク３０２のＩＤ３１８の表面との接触面積を更に低減すると共に、ディスク３０２からフィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを離間させるため、面取りされた角部を備えている。
【００１５】
図１８に示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａは、ディスク３０２が垂直な状態になされた際、ディスク３０２の法面に対してα度の傾斜を形成する内縁部３６２を備えている。角度αは、例えば、０〜３０度の範囲である。同様に、フィンガー部材３１６Ａは、ディスク３０２がな状態になされた際、ディスク３０２の法面に対してα度の傾斜を形成する縁部３６４を備えている。液体（例えば、潤滑剤）中にディスク３０２を保持するのに使用した場合、縁部３６２及び３６４は、ディスク３０２上に潤滑剤を不均一に被覆する可能性のある波紋を形成することなく、液面を徐々に通り抜けて浸漬される。
【００１６】
図１９に示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａは、ディスク３０２の両面において、ディスク３０２の法面に対してα度の傾斜を形成する内縁部３６２を備えている。斯かる構成により、ディスク３０２の両面から液体の排出が促進される。同様に、フィンガー部材３１６Ａは、ディスク３０２の両面においてディスク３０２の法面に対して角度αをなす縁部３６４を備えている。
【００１７】
図２０に示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａの先端は、角βをなす面取りされた角部３６６を有する。面取り角βは、例えば、０〜６０度の範囲である。フィンガー部材３１６Ａも、同様な構造を有することが出来る。面取りされた角部３６６により、ディスク３０２のＩＤ３１８表面とフィンガー部材との接触面積を低減させることが出来る。
【００１８】
図２１Ａ及び２１Ｂに示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、これら部材が閉じた状態（図２１Ａ）又は開いた状態（図２１Ｂ）の場合に互いに重なり合っている。この重なり合った配置により、ディスク３０２上に潤滑剤を不均一に被覆する可能性のある波紋を形成することなく、液面を通り抜けて連続した表面を形成することが出来る。
【００１９】
図２１Ｃに示す他の実施形態において、フィンガー部材３１４Ａは、ディスク３０２の底面を越えて張出された端部３１４Ｂを有する。端部３１４Ｂは、ディスク３０２の下端からの潤滑剤の排出を促進し、その結果、潤滑剤の排出により生じる波紋によってディスク３０２上に潤滑剤を堆積させることがない。
【００２０】
図３は、回転駆動装置３５２に取付けられたエンドエフェクタ３０６を示す。回転駆動装置３５２は、矢印３３６により示す方向にエンドエフェクタ３０６を回転させる様になされている。回転駆動装置３５２は、リニアステージ３３４に取付けられる。リニアステージ３３４は、矢印３３８により示す方向にエンドエフェクタ３０６を上昇および下降させる様になされている。
【００２１】
一実施態様において、システム３００は、以下の様に作動する。図８に示す様に、回転駆動装置３５２は、貯槽３０５の上方の位置へエンドエフェクタ３０６を回転移動させ、その長手部を下方に向ける。ストッパー装置３０４（図３参照）は、エアートラック３０３を下降させ、ディスク３０２の移動を規制する。図５Ｂ及び５Ｄに示す様に、エアートラック３０３の一部は、その幅方向に対して傾斜して設けられており、ディスク３０２をエアートラック３０３の基準縁部３５６に当接させる。斯かる構成により、ディスク３０２は、処理前に所定位置に的確に位置決めすることが可能となる。
【００２２】
図９に示す様に、回転駆動装置３５２は、例えば、２７０度だけエンドエフェクタ３０６を回転させ、ディスク３０６のＩＤ３１８の直上にフィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを配置する。一実施形態において、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、ＩＤ３１８の中心の上方に位置する。
【００２３】
図１０に示す様に、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを閉じ、リニアステージ３３４は、エンドエフェクタ３０６を下方に移動させ、ＩＤ３１８内に閉止フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを挿入する。図５Ａ及び５Ｂに示す様に、エアートラック３０３は、移動した上面３６０の一部を備えている。一実施形態において、上記の上面３６０は、スロット溝３５８（図５Ａ及び５Ｃ参照）を有する。リニアステージ３３４は、閉じたフィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａをスロット溝３５８内に移動させる。斯かる構成により、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａは、エアートラック３０３上のディスク３０２の高さの範囲内でＩＤ３１８に確実に挿入することが出来る。フィンガー部材３１４及び３１６がＩＤ３１８に挿入されると、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４及び３１６を開き、ＩＤ３１８を把持する。図５Ａ及び５Ｃに示す様に、ディスク３０２は、フィンガー部材３１４及び３１６が開いた場合、スライドして基準縁部３５６から離れてもよい。
【００２４】
図１１に示す様に、リニアステージ３３４は、エンドエフェクタ３０６を上昇させ、エアートラック３０３の上方にディスク３０２を持ち上げる。図１２に示す様に、回転駆動装置３５２は、エ例えば、−２７０度だけンドエフェクタ３０６を回転させ、貯槽３０５上方にディスク３０６を位置させる。
【００２５】
図１３に示す様に、リニアステージ３３４は、エンドエフェクタ３０６を下降させ、貯槽３０５内にディスク３０２を位置させる。他の方法では、別のリニアステージにより貯槽３０５を持ち上げ、貯槽内にディスク３０２を位置させる。次いで、貯槽３０５に処理液を充填する。一実施形態において、上記の処理液は、ディスク３０２の潤滑化処理に使用する潤滑剤である。他の実施形態において、上記の処理液は、マランゴニ効果によりディスク３０２を乾燥するために使用するアルコール及び水の混合物である。また、貯槽内にディスク３０２を位置させるにあたり、貯槽３０５に液体を充填することも出来る。
【００２６】
貯槽３０５に潤滑剤が入っている実施形態では、ディスク３０２の取出し前に、貯槽３０５を排出処理してもよい。他の方法では、貯槽３０５が潤滑剤で満たされた状態において、リニアステージ３３４によりエンドエフェクタ３０６を上昇させ、ディスク３０２を取り出すことも出来る。また、貯槽３０５が混合液で満たされたにおいて、ディスク３０２から離れる様に貯槽３０５を下降させることにより、ディスク３０２を取り出してもよい。
【００２７】
貯槽３０５にアルコール及び水の混合物が入っている実施形態では、貯槽３０５が混合液で満たされた状態において、リニアステージ３３４によりエンドエフェクタ３０６を上昇させてディスク３０２を取り出す。他の方法では、貯槽３０５が混合液で満たされた状態において、ディスク３０２から貯槽３０５を離す様に下降させ、ディスク３０２を取り出す。
【００２８】
エアートラック３０３へディスク３０２を戻す際には、上記の工程を逆に実行する。ディスク３０２は、潤滑化処理中、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａによって保持されている間にその位置を変えてもよい。エアートラック３０３上にディスク３０２を配置した場合、ディスクは、潤滑化処理前と同一方向に向いていないことがある。しかしながら、エアートラック３０３の使用により、上記のディスクの向きの変動を許容することが出来る。その理由は、エンドエフェクタ３０６によりディスク３０２がエアートラック３０３上に戻された場合、エアートラック３０３によってディスク３０２の緩衝および再方向付けが出来るからである。
【００２９】
他の実施形態において、システム３００は、以下の様に作動する。斯かる実施形態において、リニアステージ３３４は、回転駆動装置３５２及びエンドエフェクタ３０６を移動させない。換言すれば、リニアステージ３３４は、単に、回転駆動装置３５２及びエンドエフェクタ３０６を取付ける固定ベースとして機能する。図１４に示す様に、回転駆動装置３５２は、貯槽３０５上方の位置へエンドエフェクタ３０６を回転させ、エンドエフェクタ３０６の長手部を下方に向ける。ストッパー装置３０４（図３参照）は、エアートラック３０３で搬送されるディスク３０２の移動を規制する。
【００３０】
図１５に示す様に、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４Ａ及び３１６Ａを閉じ、回転駆動装置３５２は、例えば、２７０度だけエンドエフェクタ３０６を回転させ、その閉じたフィンガー部材３１４Ａ及び３１６ＡをＩＤ３１８内に挿入する。フィンガー部材３１４及び３１６がＩＤ３１８内に挿入されると、駆動装置３０８は、フィンガー部材３１４及び３１６を開き、ＩＤ３１８を把持する。図１６に示す様に、回転駆動装置３５２は、例えば、−２７０度だけエンドエフェクタ３０６を回転させ、貯槽３０５の上方にディスク３０２を位置させる。
【００３１】
図１７に示す様に、リニアステージ３５４は、貯槽３０５を上昇させ、貯槽３０５内にディスク３０２を位置させる。次いで、貯槽３０５に上記の液体の１つが充填される。他の方法では、貯槽内にディスク３０２を位置させるにあたり、貯槽３０５に上記の液体を充填する。ディスク３０２の取り出し前に貯槽３０５から液体を排出する。更に他の方法では、貯槽３０５が液体で満たされた状態において、ディスク３０２から貯槽３０５を離す様に下降させる。エアートラック３０３へディスク３０２を戻す場合には、上記の工程を逆に行う。
【００３２】
特定の実施形態について本発明を上述したが、これらの記載は、単なる例示であり、本発明を限定するものではない。例えば、エアートラック搬送装置に代え、他の従来の搬送装置を使用することも出来る。ロボットエンドエフェクタは、ディスクカセットからディスクを取り上げるか、または、ディスクカセットからディスクを持ち上げるリフターから取り出すことも出来る。この場合、上記の作動装置は、カセットからディスクを持ち上げるリフターを有するか又は有しないディスクカセット搬送装置によって構成される。更に、複数のエンドエフェクタ３０６及び複数のストッパー装置３０４をシステム３００において使用することも出来る。図２２に示す様に、回転駆動装置３５２に複数のエンドエフェクタ３０６を取付けることが出来、更に、エアートラック３０３に複数のストッパー装置３０４を取付けることが出来る。斯かる構成により、回転駆動装置３５２及びリニア駆動装置３３４は、複数のエンドエフェクタ３０６を駆動することが出来る。使用に際し、ストッパー装置３０４は、複数のディスクの移動を抑止し、エンドエフェクタ３０６は、処理用の貯槽３０５内に複数のディスクを同時に配置する。上記の実施形態の特徴についての他の種々の適用および組合わせも、以下の特許請求の範囲で規定される発明の範囲内に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】従来のディスクに潤滑化処理を施す従来装置を示す図である。
【図２】小形ディスクに潤滑化処理を施す図１の従来装置を示す図である。
【図３】本発明の一実施形態に係るディスク処理システムを示す図である。
【図４Ａ】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクの内径部を把持することによりディスクを保持するロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図４Ｂ】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクの内径部を把持することによりディスクを保持するロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図４Ｃ】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクの内径部を把持することによりディスクを保持するロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図５Ａ】エアートラックからディスクを拾い上げる図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図５Ｂ】エアートラックからディスクを拾い上げる図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図５Ｃ】エアートラックからディスクを拾い上げる図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図５Ｄ】エアートラックからディスクを拾い上げる図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタを示す図である。
【図６Ａ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図６Ｂ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図７Ａ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図７Ｂ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図８】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図９】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１０】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１１】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１２】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１３】本発明の一実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１４】本発明の他の実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１５】本発明の他の実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１６】本発明の他の実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１７】本発明の他の実施形態に係る図であり、ディスクに処理液を塗布する図３のシステムを示す図である。
【図１８】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図１９】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２０】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２１Ａ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２１Ｂ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２１Ｃ】本発明の実施形態に係る図４Ａ〜４Ｃのロボットエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２２】本発明の他の実施形態に係るディスク処理システムを示す図である。
【図２３Ａ】内径部の中心からずれてディスクの内径部に挿入されたエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図２３Ｂ】内径部の中心からずれてディスクの内径部に挿入されたエンドエフェクタのフィンガー部材を示す図である。
【図１】
2004524642.tif 000003
【図２】
2004524642.tif 000004
【図３】
2004524642.tif 000005
【図４Ａ】
2004524642.tif 000006
【図４Ｂ】
2004524642.tif 000007
【図４Ｃ】
2004524642.tif 000008
【図５Ａ】
2004524642.tif 000009
【図５Ｂ】
2004524642.tif 000010
【図５Ｃ】
2004524642.tif 000011
【図５Ｄ】
2004524642.tif 000012
【図６Ａ】
2004524642.tif 000013
【図６Ｂ】
2004524642.tif 000014
【図７Ａ】
2004524642.tif 000015
【図７Ｂ】
2004524642.tif 000016
【図８】
2004524642.tif 000017
【図９】
2004524642.tif 000018
【図１０】
2004524642.tif 000019
【図１１】
2004524642.tif 000020
【図１２】
2004524642.tif 000021
【図１３】
2004524642.tif 000022
【図１４】
2004524642.tif 000023
【図１５】
2004524642.tif 000024
【図１６】
2004524642.tif 000025
【図１７】
2004524642.tif 000026
【図１８】
2004524642.tif 000027
【図１９】
2004524642.tif 000028
【図２０】
2004524642.tif 000029
【図２１Ａ】
2004524642.tif 000030
【図２１Ｂ】
2004524642.tif 000031
【図２１Ｃ】
2004524642.tif 000032
【図２２】
2004524642.tif 000033
【図２３Ａ】
2004524642.tif 000034
【図２３Ｂ】
2004524642.tif 000035
【国際公開パンフレット】
2004524642.tif 000036
2004524642.tif 000037
2004524642.tif 000038
2004524642.tif 000039
2004524642.tif 000040
2004524642.tif 000041
2004524642.tif 000042
2004524642.tif 000043
2004524642.tif 000044
2004524642.tif 000045
2004524642.tif 000046
2004524642.tif 000047
2004524642.tif 000048
2004524642.tif 000049
2004524642.tif 000050
2004524642.tif 000051
2004524642.tif 000052
2004524642.tif 000053
2004524642.tif 000054
2004524642.tif 000055
2004524642.tif 000056
2004524642.tif 000057
2004524642.tif 000058
2004524642.tif 000059
2004524642.tif 000060
【国際調査報告】
2004524642.tif 000061
2004524642.tif 000062