(57)【要約】光学的なスペクトロメータは、光検出器アレイと共に、こう配付きのファブリ・ぺロ形の線形可変光フィルタを使用する。そのフィルタは、ロング・パス、ショート・パスあるいは狭帯域通過のろ波特性を有するフィルタである。可変光フィルタの安定性により、使用されている検出器の数および間隔に応じて、高分解能が実現される。更なる実施例においては信号処理技法が使用されており、それにより、スペクトロメータの分解能が測定応答を超えるように高められている。
2004532402.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光ファイバ入力部と、
該光ファイバ入力部と線形可変フィルタとの間に設けられた光コリメータ部と
を備え、
前記線形可変フィルタはエタロン構造を有し、該エタロンにおいて形成される離間領域はその領域の方向にそって先細り形状となっており、
前記線形可変フィルタは、前記先細り形状の方向にそって配置された線形光検出器アレイに取り付けられていることを特徴とする光学的スペクトロメータ構成部分。
【請求項２】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記光コリメータ部は、拡大レンズとコリメータ・レンズとを備えていることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項３】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは第１反射器と第２反射器とを備え、
前記第１反射器は、複数の第１高率層と複数の第１ＳｉＯ２層とを有し、前記複数の第１高率層は複数の第１ＳｉＯ２層と交互に構成され、
前記第２反射器は、複数の第２高率層と複数の第２ＳｉＯ２層とを有し、前記複数の第２高率層は複数の第２ＳｉＯ２層と交互に構成され、
前記先細り形状の離間領域はＳｉＯ２を有することを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項４】
特許請求の範囲第３項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記複数の第１高率層の少なくともある数の層は、Ｔａ２Ｏ５を有することを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項５】
特許請求の範囲第３項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記複数の第１高率層の少なくともある数の層は、Ｎｂ２Ｏ５を有することを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項６】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは、周囲温度変化における安定度が５０ｐｐｍ／℃  （ｐａｒｔｓ  ｐｅｒ  ｍｉｌｌｉｏｎ  ｐｅｒ  ｄｅｇｒｅｅ  Ｃｅｎｔｉｇｒａｄｅ）  以下であることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項７】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは、周囲温度変化における安定度が２５ｐｐｍ／℃以下であることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項８】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは、周囲温度変化における安定度が１０ｐｐｍ／℃以下であることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項９】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは、帯域通過フィルタであることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項１０】
特許請求の範囲第１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変フィルタは、帯域エッジ・フィルタであることを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項１１】
光ファイバ入力部と、
前記光ファイバ入力部からの光信号を拡大してコリメータ・レンズに供給するように配置された拡大用レンズと
を備え、
前記コリメータ・レンズは、光ビームを線形可変帯域通過フィルタに与えるように配置され、
前記線形可変帯域通過フィルタは、その長さ方向にそって勾配がついた離間領域を有するエタロン構造を備え、
前記線形可変帯域通過フィルタは、周囲温度の変化に対して、５０ｐｐｍ／℃に等しいあるいはそれよりも小さい熱安定度を有し、更に、
前記勾配のついた方向にそって配置された線形光検出器をそなえたことを特徴とする光学的スペクトロメータ構成部分。
【請求項１２】
特許請求の範囲第１１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記光検出器アレイは、勾配のついた方向にそって、１２ｍｍに等しいかあるいはそれよりも小さい長さを有することを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項１３】
特許請求の範囲第１１項記載の光学的スペクトロメータにおいて、前記線形可変帯域通過フィルタは、中心波長が約１５３０−１６００  ｎｍ  の間にあり、当該中心波長で、約０．６ｎｍに等しいあるいはそれよりも小さい５０％帯域幅を有することを特徴とする光学的スペクトロメータ。
【請求項１４】
光ファイバ入力部と、
前記光ファイバ入力部からの光信号を拡大してコリメータ・レンズに供給するように配置された拡大用レンズと
を備え、
前記コリメータ・レンズは、光ビームを線形可変帯域通過フィルタに与えるように配置され、
前記線形可変帯域通過フィルタは、その長さ方向にそって勾配がついた離間領域を有するエタロン構造を備え、
前記線形可変帯域通過フィルタは、
周囲温度の変化に対して、５０ｐｐｍ／℃に等しいかあるいはそれよりも小さい熱安定度を有し、
中心波長が約１５３０‐１６００  ｎｍ  の間にあり、当該中心波長で約０．６  ｎｍ  に等しいかあるいはそれよりの小さい５０％の帯域幅を有し、更に、
前記勾配のついた方向にそって配置された線形光検出器アレイを備え、該線形光検出器アレイは、勾配のついた方向で１２  ｎｍ  に等しいかあるいはそれよりも小さい値の長さを有していることを特徴とする光学的スペクトロメータ構成部分。
【請求項１５】
特許請求の範囲第１４項記載の光学的スペクトロメータ構成部分において、前記線形光検出器アレイは、少なくとも２５６ピクセルを有することを特徴とする光学的スペクトロメータ構成部分。
【請求項１６】
特許請求の範囲第１４項記載の光学的スペクトロメータ構成部分において、前記線形光検出器アレイは、少なくとも約５１２ピクセルを有し、当該光学的スペクトロメータ構成部分の公称分解能が約３オングストロームあるいはそれより小さい値となることを特徴とする光学的スペクトロメータ構成部分。
【請求項１７】
少なくとも１つの勾配つきの離間領域を有するエタロン構造に対応した可変フィルタと、少なくともｎ検出器を有する検出器アレイとを備えた光学的スペクトロメータ構成部分に、少なくとも３ｎキャリブレイション信号を３ｎキャリブレイション波長で提供して、当該光学的スペクトロメータ構成部分をキャリブレイションし、
キャリブレイション信号のそれぞれに応答してｎ検出器のそれぞれから得られる出力を分析器で測定し、
キャリブレイション信号のそれぞれでｎ検出器のそれぞれから得られる出力を蓄積してキャリブレイション・アレイを生成し、
光入力信号を前記光学的スペクトロメータ構成部分に供給し、
ｎ検出器のそれぞれからの第２出力を測定し、
逆処理法で前記キャリブレイション・アレイを用いて光入力信号を再構成して再構成信号を発生することを特徴とする光学的スペクトロメータで光信号を測定する方法。
【請求項１８】
特許請求の範囲第１７項記載の方法において、前記光学的スペクトロメータ構成部分は、Ｘ  ｎｍ  の公称分解能を有し、再構成された入力信号はＸ／５  ｎｍ  より良好な分解能を有することを特徴とする方法。
【請求項１９】
特許請求の範囲第１７項記載の方法において、前記光学的スペクトロメータ構成部分は、公称分解能が８オングストロームに等しいかあるいはそれより小さい値であり、また、構成波長は約０．５オングストロームあるいはそれより小さい値の間隔であることを特徴とする方法。
【請求項２０】
特許請求の範囲第１９項記載の方法において、前記再構成された出力信号は、約１．６オングストロームより小さい値の有効分解能を有することを特徴とする方法。
【請求項２１】
特許請求の範囲第１７項記載の方法において、前記光学的スペクトロメータ構成部分は、少なくとも５１２ピクセルを有する検出器アレイを備え、約１５３０−１６００  ｎｍ  の間の動作帯域にわたって３オングストロームに等しいかあるいはそれよりも小さい値の公称分解能を有することを特徴とする方法。
【請求項２２】
少なくとも１つの勾配つきの離間領域を有するエタロン構造に対応した可変フィルタと、少なくともｎ検出器を有する検出器アレイを備えた光学的スペクトロメータ構成部分をキャリブレイションし、
キャリブレイション信号のそれぞれに応答してｎ検出器のそれぞれから得られる出力を分析器で測定し、
キャリブレイション信号のそれぞれでｎ検出器のそれぞれから得られる出力を蓄積してキャリブレイション・アレイを生成し、
光入力信号を前記光学的スペクトロメータ構成部分に供給し、
ｎ検出器のそれぞれからの第２出力を測定し、
逆処理法で前記キャリブレイション・アレイを用いて光入力信号を再構成して、１．６オングストロームより小さい値の有効分解能を有する再構成信号を発生するようにした、光学的スペクトロメータで光信号を測定する方法であり、
前記光学的スペクトロメータ構成部分のキャリブレイションでは、約１５３０−１６００  ｎｍ  の範囲内にある前記光学的スペクトロメータ構成部分の動作帯域にわたって８オングストロームに等しいかあるいはそれより小さいな値の公称分解能が得られ、
前記光学的スペクトロメータ構成部分のキャリブレイションは、前記動作帯域の全体にわたって複数のキャリブレイション信号を約０．５オングストロームの間隔で前記光学的スペクトロメータ構成部分に供給することを特徴とする光学的スペクトロメータで光信号を測定する方法。
【請求項２３】
ｎ検出器を有する光検出器を備え、且つ、少なくとも３ｎキャリブレイション波長でＸ  ｎｍ  の公称分解能を有する光学的スペクトロメータをキャリブレイションし、
複数の光信号を光伝送線路に供給し、
前記複数の光信号の少なくともある数の光信号における少なくとも部分を前記スペクトロメータに供給し、
前記複数の光信号の少なくともある数の光信号を前記スペクトロメータで測定し、
伝達機能を利用して前記複数の光信号の少なくともある数の光信号を再構成して、少なくともＸ／５  ｎｍ  の有効的な分解能を有する再構成信号を得ることを特徴とする光ネットワークを監視する方法。
【請求項２４】
特許請求の範囲第２３項記載の方法において、前記光ネットワークの監視は、当該光ネットワークを連続的に監視することであることを特徴とする方法。
【請求項２５】
特許請求の範囲第２３項記載の方法において、前記光ネットワークで搬送される前記複数の光信号は、約２００ＧＨｚに等しいかあるいはそれよりも小さい値の公称チャネル間隔を有する波長分割多重化光信号であることを特徴とする方法。
【請求項２６】
約２００ＧＨｚあるいはそれよりも小さい値の公称チャネル間隔を有する複数の波長分割多重化光信号を搬送するように設置された入力光ファイバと、
出力光ファイバと、光学的スペクトロメータ構成部分と、
前記入力光ファイバと前記出力光ファイバとの間に配置され、前記複数の波長分割多重化光信号の少なくともある数の光信号における部分を光学的スペクトロメータ構成部分に光結合する光分岐手段と、
前記光学的スペクトロメータ構成部分に結合されて前記複数の光信号の少なくともある数の光信号のそれぞれを監視する分析手段とを備えた光伝送網であり、
前記光学的スペクトロメータ構成部分は、少なくとも１つの勾配つき離間領域を有するエタロン構造を含む可変フィルタと、前記可変フィルタに光学的に結合された検出器アレイとを有することを特徴とする光伝送網。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
対応出願との関連
適用なし
連邦財政援助による研究あるいは開発に関するステートメント
適用なし
マイクロフィッシュ添付物件との関連
適用なし
本発明は、全体として光学的スペクトロメータ（ｏｐｔｉｃａｌ  ｓｐｅｃｔｒｏｍｅｔｅｒ）に関し、特に、光検出器アレイに関連付けたエタロン構造の可変光フィルタを使用する光学的スペクトロメータに関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
光通信システムでは、波長分割多重（“ＷＤＭ”）として知られる技法が汎用され、単一の光ファイバに多数の光チャネルを載せている。チャネルは、通常、音声、画素、および／あるいはビデオのようなデジタル信号を伝送するように意図されたものであっても、アナログ信号もときによっては伝送されることがある。チャネルはしばしば、それらの中央チャネルの公称波長によって説明される。光通信における要求が拡大することに伴って、チャネル毎の間隔は減少し続けてきた。チャネル間隔の減少により、より多数のチャネルを既存の光ファイバを通して送ることができる。したがって、光ケーブルを追加設置することなくして容量を拡大することが可能である。現状の密なＷＤＭ（“ＤＷＤＭ”）システムにおいては、チャネルの間隔はわずか１００ＧＨｚあるいは５０ＧＨｚである（１５５０ｎｍで０．８ｎｍあるいは１５５０ｎｍで０．４ｎｍ）。更にチャネルが近いものが望まれている。
【０００３】
更なる高性能の光通信システムの要求が増しており、それに応えるような特徴を部品、構成部分、およびシステムに持たせることが必要となっている。光部品、システム、およびサブシステムの性能は多くの方法によって定義され、且つ、測定される。例えば、信号強度、信号対雑音比、および信号波長（波長安定度を含む）に基づいてなされ得る。測定は、構成部分あるいはシステムが最初に組み立てられたときに初期の測定としてなされ、あるいは、システムあるいは信号経路を継続的あるいは周期的に監視することによってなされる。
【０００４】
一般的に、光学的スペクトロメータは光入力に対する振幅対波長を表す指示値を提供する。光検出器（単一あるいは複数）に関連付けられた可動格子あるいはフィルタをしばしば使用する光信号分析器は、同様な機能を発揮する。従来の多くの光学的スペクトロメータは、回折格子あるいはプリズムのような分光素子を使用している。この分光素子は、光信号を、検出器アレイによりそれを構成する波長で分散する。検出器アレイは、所望の位置に配置された複数の検出器を有し、その位置に関連した波長の信号強度が検出器によって測定される。このような技法によれば、信号における分散の率に適応させるために相対的に大きな装置が必要となる。また、検出器に関しては、分光素子を動かす振動および衝撃に影響を受けやすい。それに起因する装置構成のずれのため、結果的に測定誤差が生じるので、頻繁にキャリブレイション  （ｃａｌｉｂｒａｔｉｏｎ）  および／あるいはずれの解消を余儀なくされる。
【０００５】
他の光学的な分光法へのアプローチでは、広い帯域を有する検出器に関連付けられた回転形可変帯域通過フィルタを利用する。回転形フィルタは、光源と検出器との間に配置されている。光源から検出器に入る光は、光源と検出器との間で回転されたフィルタのどの部分かにかかっている。フィルタ回転方法の好例は、ステップモータによって回転させるものである。そのため、適正な正確さで且つ繰り返し可能な位置が実現され、装置のキャリブレイションが可能となる。１つの技法は、相対的に少ない層および相対的に広い帯域通過特性を有するフィルタを使用するものであり、それにより、入射光のほぼ半分のみがフィルタの各位置で当該フィルタを通して伝送される。これにより、測定信号の強度が改善されるが、分解能は悪化する。分解能は、システムおよびキャリブレイションの綿密な特性合わせによって高めることが可能である。しかしながら、このアプローチは、互いに接近した間隔の光信号において高分解能を必要とする分光法への適用よりも、化学分析および“生体内（ｉｎ  ｖｉｖｏ）”の血液のテスト（例えば、血液のぶどう糖の監視）のような概してより低い分解能の分光法に合致している。このアプローチはまたフィルタの機械的動作に依存しており、システムの複雑さ、および、機械的な故障の頻度を増す。
【０００６】
他のアプローチでは、可変フィルタを検出器アレイと組み合わせることにより、フィルタの機械的動作の必要性を除去させている。検出器アレイにおける各検出器（ピクセル）は、それの可変フィルタに対する相対的な位置に応じて、異なるスペクトルの部分に露光されるようになっている。フィルタは、可変のロング・パス  （ｌｏｎｇ−ｐａｓｓ）、ショート・パス  （ｓｈｏｒｔ−ｐａｓｓ）、あるいは帯域通過（バンド・パス）といった特性を有するフィルタで構成されえる。スペクトル分解能は、フィルタのスペクトル分散並びに検出器の数および間隔を選択することにより、限定された範囲内で調整可能である。検出器アレイにおける各ピクセルは、フィルタの各異なる部分によって閉じられ、そのため、フィルタを介して異なるスペクトルの伝送のために露光されている。しかしながら、この形式のフィルタ−検出器を使用する従来のスペクトロメータは、検出器およびフィルタ製造技術での限界に起因して、限定された分解能を有しているにすぎない。
【０００７】
したがって、小型、安定、強固な、組み立て容易、および、高波長分解能を実現する光学的スペクトロメータが望まれる。例えば２００  ＧＨｚあるいはそれよりも小さい値のチャネル間隔を有するＷＤＭシステムにおいて、隣接チャネルの測定を可能とする分解能が特に望まれる。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００８】
（発明の簡単な要約）
本発明によって提供される可変フィルタを基にした光学的スペクトロメータは、温度に対して高安定度を有するファブリ・ぺロ（エタロン）構造を、検出器アレイに組み合わせて（光学的に結合して）使用する。例えば、ロング・パス、ショート・パスあるいは狭帯域通過のフィルタが使用されえる。薄膜の反射器および反射器の間に形成される離間領域の安定性により、特徴あるフィルタ−検出器の構成および再形成技法と伴なって、波長分解能が高められる。
【０００９】
光ファイバで伝送される光信号は実質的な点光源としてファイバ端から得られ、レンズによって拡大され、光ビームとして送り出される。当該光ビームは可変フィルタを照射する。他の形式の光導波路あるいはシステムが、光ファイバに替わって使用され得る。例えば、拡大されたビームは、約５−１２  ｍｍの広がりにすぎない。したがって、相対的に小さな光検出器アレイが使用され得る。小さな光検出器アレイが特に要望されるのは、高価な化合物半導体を使用する場合、および／または、小さなサイズのものが望まれる場合である。１実施例によれば、２５６素子を有する線形ＩｎＧａＡｓダイオードが使用される。全体的には、フィルタおよびビーム・サイズの大きさは検出器アレイに合致し、フィルタで可能な全てのスペクトル範囲を実現している。しかし、フィルタおよび検出器アレイはビーム・サイズに合致する必要はなく、また、同じサイズである必要はない。
【００１０】
更なる実施例においては、再形成法を使用する光学的スペクトロメータ・システムの波長分解能を拡大するために、信号処理技法が使用される。可変フィルタ／検出器アレイは、既知の波長およびスペクトル輪郭の入力信号の列が提供されるように特徴付けられている。該入力信号は例えば、公称の（測定された）分可能が８オングストロームあるいはそれよりも小さい値を有する可変フィルタ／ダイオード・アレイ構成に対して、０．５オングストロームの波長間隔での一連のレーザ入力である。集合的に得られた応答に基づいて伝達機能  （ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ）  が生成される。当該伝達機能は、それに次いで測定される光信号に適用され、光学的スペクトロメータ・システムの分解能を高める。場合によっては、５以上の数の倍数で分解能が高められる。
（発明の詳細な説明）
Ｉ．導入部
勾配つきあるいはくさび形（先細り形状）のファブリ・ぺロ形のフィルタ構造を適用した光学的スペクトロメータは、高い波長分解能、小型化、およびコスト低減を実現する。フィルタ−検出器の構成は、少ない素子数および必要な光学的芯合わせが限定されるので、相対的に製作が容易である。この技法により、相対的に小さな、集積された検出器アレイが実現される。フォトリソグラフィ技術により、ハイブリッド回路形成技術よりも、良好な線形特性の検出器アレイが実現され、その検出器アレイは、形成ウエーファに占める面積は相対的に小さく、また、小型、強固なスペクトロメータ構成部分となる。
【００１１】
ＩＩ．可変光フィルタおよび検出器
第１Ａ図は、本発明の実施例による光学的スペクトロメータ構成部分１０を示す簡単化された断面図である。可変フィルタ１２は、コリメータ光学素子１４，１６および光検出器アレイ１８と共に組み立てられ、光学的に結合されている。コリメータ光学素子は、色補正を備えることもできる。コリメータ光学素子は拡大レンズ１４を含む。光ファイバ１５の終端１３は基本的には点光源となっている。この点光源からの光を、拡大レンズ１４は拡大する。図において、矢印３，５は光を示す。光はコリメータ・レンズ１６に入射される。コリメータ・レンズ１６は、光ビーム７，９をフィルタ１２に与える。典型的なシステムにおいては、拡大レンズおよびコリメータ・レンズの両方は円形レンズである。光ファイバ１５はコアを有し、その直径は約４０ミクロンである。それから出る光は拡大され、約１０ｍｍにわたる収束されたビームとなる。したがって、フィルタは、勾配（先細り形状）の方向にそって約１０ｍｍである。また、検出器アレイの長さも約１０ｍｍである。
【００１２】
第１Ｂ図は、可変フィルタ１２の１具体例を示す簡単化された断面図である。第１反射器２０、第２反射器２２および両反射器間に形成される離間領域（空胴）２４を有するエタロン構造が形成されている。なお、他の実施形態においては、複数の空胴のフィルタが使用されえる。離間領域２４は勾配つき（先細り）形状、つまり、くさび形状である。各反射器の全体的な構成は複数の絶縁薄膜を重ね合わせたものであり、公知である。その薄膜層は、相対的に高い屈折率および低い屈折率を有する材料が交互する材料の層である。このような構造はしばしば光学ガラスの基板２５の上に構成配置されているが、例えば、焦点光学素子に直接に配置されえる。離間領域２４は２つの反射器２０、２２と共に動作し、波長−選択構造を形成するようになっている。したがって、光を効果的に透過あるいは反射するフィルタが形成されている。
【００１３】
可変フィルタを基にした光学的スペクトロメータの実用という観点からすれば、その波長は概して１５３０  ｎｍ  -  １６００  ｎｍである。この波長は、エルビウム（Ｅｒ）がドープされたファイバの増幅器によって増幅するのに好都合であり、光通信システムで汎用されている。他の光システムで特に実用化される波長は異なるものでありえる。それらの波長についても同様に本発明は適用されえる。
【００１４】
例えば、公称中心周波数として１５５０  ｎｍを用い、二酸化シリコンの離間領域２４は、１２ｍｍの長さｄにわたって、厚さが約１１２０  ｎｍから約１０９０  ｎｍに変化している。これにより、スペクトル範囲１５３０−１５７０  ｎｍが実現される。検出器アレイ１８は２５６素子の線形アレイであり、それらの素子は、中心と中心とが公称値５０ミクロンの間隔で、充足係数（ｆｉｌｌ  ｆａｃｔｏｒ）８０％で配列されている。そのため、アレイの長さは約１２ｍｍである。例として検出器はＩｎＧａＡｓ検出器であるが、ＩｎＰ等のような他の材料で作られるものでもよい。なお、他の光システムにあっては、他形式の検出器がより好ましいこともありえる。ＩｎＧａＡｓは相対的に高価な化合物半導体であるため、特に望ましいことは、小さな領域で検出器アレイを使用することができることである。アレイの長さ方向にそって同等な間隔で２５６検出器が配置された線形アレイにより、各検出器は約０．１３ｎｍのスペクトル範囲に応答する。
【００１５】
反射器２０，２２は数種の公知材料で作製されている。その高率材料としては、ＴｉＯ２，Ｔａ２Ｏ５あるいはＮｂ２Ｏ５であり、低率材料としては、二酸化シリコン、ＭｇＦ２  あるいはＣｅＦ３である。特定の実施例にあっては、両検出器は、Ｔａ２Ｏ５とＳｉＯ２が交互する絶縁体の重ね合わせ構造である。仮に、ある種の実施例にあって必要ならば、追加的に反射防止の被膜が形成されえる。本発明実施例のエタロン構造は、可変フィルタを実現するため多くの層が勾配つきの形状となっている他の可変フィルタとは異なっている。本発明実施例におけるエタロン構造では、一様な反射器層が形成されており、離間領域のみが勾配つき（先細り）形状となっている。本発明の他の実施例においては、追加の層（すなわち、反射器層の重ね合わせ）が勾配つき形状とされえる。更なる実施例においては、エタロン構造は、追加の離間領域層を含む。更に他の実施例にあっては、ニオビア（Ｎｂ２Ｏ５）が高率材料として、Ｔａ２Ｏ５の代わりに使用される。
【００１６】
離間領域の材料はＳｉＯ２であるが、ある種の高屈折率あるいは低屈折率の材料のいずれかの材料が使用されえる。望ましい勾配つき形状は、基板をシャドウ・マスクすることによって得られるが、他の適切な方法によっても形成可能である。１つの実施例におけるフィルタは狭帯域通過フィルタであり、公称中心周波数に関して約０．６ｎｍの５０％帯域幅を有する。なお、この公称中心周波数は、フィルタの方向による位置に応じて変わる。
【００１７】
スペクトロメータの分光範囲は検出器に照準するフィルタのスペクトル範囲に従うのに対して、スペクトロメータの分解能は概して検出器の間隔およびフィルタにおけるろ波精度によって定まる。大きなフィルタ構造が相対的により小さな検出器アレイと共に使用されえる。また、フィルタと検出器アレイの大小関係はその逆であってもよい。しかしながら、そのような構成は、部品素子を十分に活用できるものとはいえないため、概して望ましいものではない。フィルタ感度（すなわち、スロープ）は、構造の所望精度あるいは検出器の大きさによって変えられる。例えば、固定ダイオード・アレイ長および整合フィルタ長を定め、フィルタ感度を低下させること（より狭い離間くさび状構造とすること）により、分解能が改善される。しかしながら、スペクトル範囲は減少することとなる。これは、線形ダイオード・アレイに関してフィルタを回転することによって達成され、フィルタの長さ方向にそって離間領域の厚さにより少ない変化が生じることとなる。同様に、フィルタの薄いあるいは厚い終端に向けて検出器を合わせることによってスペクトルの異なる部分に適用されるスペクトロメータを、ダイオード・アレイより大きいフィルタによって作り出すことができる。
【００１８】
ラマン分光法あるいはＤＷＤＭネットワークなどのある種の応用例にあっては、狭スペクトル範囲にわたって高分解能となるように、フィルタ−検出器が最適化されえる。他の応用例にあっては、範囲を拡大することが可能であるが、分解能を犠牲することとなる。仮に、高分解能および広い範囲の両方が望まれるならば、エタロン構造の帯域外信号の有効反射によって実現されるので、一連のフィルタ−検出器アレイが縦続接続されえる。
【００１９】
第１Ｃ図は、第１Ａ図に示される光学的スペクトロメータ構成部分のスペクトル応答１１を、第１および第２の波長に対して示す。第１波長の光信号が可変フィルタ構造を照射する。フィルタにそった第１位置は、その波長において最小挿入損失でフィルタの部分の下にある検出器のピクセル番号１７に対応する。フィルタは、公称中心周波数および通過帯域特性を有する。その通過帯域特性は概ね、図示するような狭いベル形状の特性曲線１９によって表される。なお、その場合、アレイの検出器の全ては所望の光帯域に亘って完全に平たん（波長に対して）であること、また、検出器のそれぞれからは所望の検出された光信号に対して同じ出力が得られるものと仮定する。実際のピクセルは、それらの波長応答および振幅応答に関しては互いに相違する。そのような相違は、正確なスペクトル測定にとっては明らかに欠点であるが、本発明の実施例によるスペクトロメータの精度を改善するために使用されえる。
【００２０】
入力光信号は単一波長であるにも拘わらず、フィルタの形状により、ピクセル番号２１，２３，２５，２７，２９，３１，３３に照射される。各ピクセルの応答は、ピクセルの位置および検出器の特性に対応するＬＶＦの部分の透過光による。ピクセル２１−３３は互いに隣接しているが、他のピクセルをも照射されえる。例えば、フィルタにおける突出した帯域の外では、他のピクセルに最小限のある程度の照射がなされる。
【００２１】
検出器応答は、ピクセル番号に対応する“ｙ”軸の平行線とフィルタ特性曲線１９との交差によって表される。ここでは、理想的なフィルタ特性曲線を図示する目的で、連続な曲線として示されている。動作においては、各検出器は特定の応答（すなわち、曲線で示される点）をなす。ここでは、説明を簡単にするため、９個のピクセルのみが示されている。実際のスペクトロメータ構成部分においては、検出器の設置間隔およびフィルタの特性に応じて、それより少ないあるいは多いピクセルに照射されえる。中心ピクセル１７から遠く離れているピクセルの検出器応答は、ほぼ“暗”応答（雑音レベル）であっても、この情報はスペクトロメータの精度を向上させるために、キャリブレイション・アレイにおいて使用される。
【００２２】
検出器アレイにそった第２位置３５は、異なる公称中心波長に応答する。この波長において、フィルタはわずかに異なるが、概して同じ通過帯域特性を有する。この通過帯域の範囲内光信号は透過して、その下に位置する検出器３７に入射される。該検出器３７は、その公称波長で照射されるとき、上にあるＬＶＦの部分に対応した位置で当該フィルタを介して透過された光信号を測定する。
【００２３】
フィルタ−検出器の構成の応答および振幅は、使用に先立って、振幅および波長の両方についてキャリブレイションされる。従来の回折に基づいた光スペクトロメータ構成とは異なり、フィルタの安定度に必要なキャリブレイションは、典型的な例としては、１回のみである。一般的に回折格子あるいは同様な光回折素子を使用する回折に基づいた光スペクトロメータは、概して周波数キャリブレイションおよび／または温度制御を必要としており、それにより波長正確度を維持している。
【００２４】
本発明の特定の実施例においては、フィルタ−検出器のスペクトロメータ構成部分は、温度安定度が４ピコメートル／℃のフィルタを有している。複数の実施例においては、温度補償をおこなうために能動帰還システムが使用されている。他の実施例においては、フィルタ層が形成されている基板の材料を適切に選択することによって、温度に対する安定を実現している。そのような一般的な技法は、ハルオ・タカハシ（Ｈａｒｕｏ  Ｔａｋａｈａｓｈｉ）による「イオン・アシスト・デポジションによって作製された薄膜狭帯域通過フィルタの温度安定性（Ｔｅｍｐｅｒａｔｕｒｅ  Ｓｔａｂｉｌｉｔｙ  ｏｆ  Ｔｈｉｎ−Ｆｉｌｍ  Ｎａｒｒｏｗ−Ｂａｎｄｐａｓｓ  Ｆｉｌｔｅｒｓ  Ｐｒｏｄｕｃｅｄ  ｂｙ  Ｉｏｎ−Ａｓｓｉｓｔｅｄ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）」と題する論文（アプライド・オプティックス（Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｏｐｔｉｃｓ）第３４巻第４号の第６６７‐７５頁（１９９５年２月）に記載されている。更に、他の実施例においては、温度安定方法が用いられ、周囲温度から装置温度を少なくとも部分的に影響を与えないように、装置の所望動作範囲（７０℃まで）に亘って４ピコメートル／℃より小さな値の有効温度安定度を達成している（測定値３．７ピコメートル／℃）。約１−３ｐｐｍ／℃あるいは０．００１ｎｍ／℃の温度安定度の光フィルタが、多数の製造元（例えば、マサチューセッツ・ガイナーにあるプレシジョン・オプティック社（ＰＲＥＣＩＳＩＯＮ  ＯＰＴＩＣＳ  ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ）およびカリフォルニア・サンジョゼにあるオプトコム社（ＯＰＴＣＯＭ））から得ることができる。
ＩＩＩ．スペクトロメータのキャリブレイション
上述した本発明実施例によるスペクトロメータは多数の応用例に向いているが、伝達機能  （ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｆｕｎｃｔｉｏｎ）  を利用する技法に基づいた適切なキャリブレイション方法によって、波長分解能を更に高めることができる。実際には、狭帯域ＬＶＦに基づいたスペクトロメータは、そのような再構成技法  （ｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎ  ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ）  に特に向いている。その最たる３つの理由は次の通りである。１）被覆は時間経過および温度に関して非常に安定している。２）時間経過によって芯合わせにずれが生じることとなるような部品の動きがない。３）ＬＶＦは、微視的なレベルでの線形可変性について確実な連続性がある。これにより、被覆間の境界に適用される何らかのデータつなぎ合わせ技法の必要性を除去し、全ての情報がアレイに導入される。
【００２５】
本発明の１実施例によるスペクトロメータは、測定されたあるいは“公称値”として、約８オングストロームの波長分解能を有する。本発明の他の実施例によるスペクトロメータは、約３オングストロームの公称分解能を有する。レーザ入力は、０．５オングストロームの間隔（すなわち、測定された分解能より小さな間隔）でスペクトロメータに与えられる。各キャリブレイション波長で各検出器についてキャリブレイション・マトリクスが確立される。例えば、２５６検出器のアレイおよびフィルタ・レンジが４０．０ｎｍ  については、０．５オングストローム毎にキャリブレイション信号が与えられる場合、２５６ｘ８００のキャリブレイション・アレイが生成される。また、他の２５６ｘ１のキャリブレイション・アレイが生成され、“暗”応答あるいは電気雑音が検出器アレイの出力として得られる。雑音キャリブレイション・アレイは、波長キャリブレイション・アレイにおける各対応入力値から差し引かれる。結果としてのアレイは、伝達マトリクスと称される。ときには、各キャリブレイション波長について検出器出力の全てを蓄積する必要はない。例えば、狭帯域通過フィルタに関しては、中心帯域検出器から十分に離れた検出器は、“暗”応答から区別できない出力を有する。そのため、伝達機能には影響しない。このような考慮は、可変帯域エッジを有する素子にも当てはまる。しかしながら、全ての検出器からの出力を測定することは常に容易であり、キャリブレイション過程を特に複雑とすることはなく、また、入力信号の再構成は簡単化される。
ＩＶ．光学的スペクトロメータ・システムの説明
第２図は、本発明の実施例による光学的スペクトロメータ・システム３０を示す簡単化された図であり、説明のために使用されている。光学的スペクトロメータ構成部分１０は、フェルールに保持された入力光ファイバ１５からの光で照明される。光ファイバは、約４０ミクロンに亘る基本的には点光源を提供する。それは、先ず第１の円柱レンズで拡大され、そして、第２の円柱レンズで平行光にされる。これは、第１Ａ図に関連して上述したとおりである。他の光素子として使用されるのは、球状レンズ、勾配つきのファイバ・レンズ、あるいは、反射形望遠鏡システムである。代替的には、単一のレンズ素子が使用されえる。円柱レンズは、光ファイバに特に使用されるフェルールに芯合わせするのに好都合である。光ファイバは、多くの製造元から調達可能である。
【００２６】
半ミラー４３、光分割器、あるいは同様な素子は、光ファイバの伝送線路４５によって搬送される光伝送信号λ１，λ２，・・・，λｎの部分を分岐する。その分岐された光信号を、入力光ファイバ１５は受信する。分岐された信号がスペクトロメータに回送した後、光伝送信号は、出力側光ファイバ伝送線路４７に伝送される。
【００２７】
線形可変フィルタ（“ＬＶＦ”）のスペクトルの範囲内にある光は、フィルタ１２を透過して、検出器（光検出器アレイ）１８を照射する。検出器は、フィルタによって当該検出器で受光された入射光の強度を示す電気信号を発生する。電気信号は、ケーブル４２を介して分析器４０に供給される。検出器からの電気信号は当初アナログ信号であり、Ａ／Ｄ変換器４４によってデジタル信号に変換される。代替的には、Ａ／Ｄ変換器は、ハイブリッドあるいは他の集積回路として、検出器と共に集積されえる。アレイにおける検出器の測定（多重化）および連続したケーブルを介して測定された値を提供する回路など他の回路もまた、スペクトロメータ構成部分と集積されえる。特にデジタル画像システムの技術分野において公知である各種の技法が、検出器アレイからの信号の処理に使用されえる。
【００２８】
アナログ信号がスペクトロメータ構成部分から送られる場合、光学的スペクトロメータ構成部分において検出器多重化機能を利用することにより、当該スペクトロメータ構成部分と分析器との間で、良好に遮蔽され且つ低雑音のケーブルの使用が可能となる。スペクトロメータ構成部分で測定された値をデジタイズすることにより、高い耐雑音性が同様に達成できる。そのような耐雑音性が特に望まれる場合がある。それは、小さな信号を検出するとき、あるいは、相対的に等しい２つの信号の差違を決めることが望まれるときである。
【００２９】
分析器はシステムの動作を制御する処理装置４６を有している。処理装置４６は、メモリ５０に蓄積されたコンピュータが読取り可能なプログラム４８に従って、システムを制御する。処理装置は好ましくは特定化されたデジタル信号処理装置であるが、適切にプログラム化された一般的なデジタル信号処理装置、あるいは、汎用されているマイクロプロセッサであってもよい。メモリとしては、ハードディスク、フロッピー（Ｒ）ディスクなどの磁気ディスク、読取り専用メモリ（“ＲＯＭ”）、不揮発性書込み−読取りメモリ、光ディスク、および、他の種類のコンピュータ・メモリと組合されたメモリ形式のものがある。また、メモリには構成データ５２が蓄積されている。例えばプログラマブルＲＯＭである場合、フィルタ／検出器の組み立てられた構成部分１０に対応するように、工場でプログラムされている。
【００３０】
構成データの典型例はマトリクスあるいは多次元アレイで表される。マトリクスあるいはアレイでの値は、既知の振幅の信号の複数のキャリブレイション波長で、各検出器の測定出力を表す。キャリブレイション波長の数は検出器の数より大きく、また、好ましい実施例の場合、検出器の数の少なくとも３倍以上である。これにより、公称値として検出器分解能よりも大きな分解能を有する既知の入力から、スペクトロメータにおける伝達機能の構成が可能となる。そのような技法は、ガンズ外による米国特許第５，３０３，１６５号「分光装置の標準化およびキャリブレイション」、モロウスキー外による米国特許第５，９９１，０２３号「分光データを解読する方法」およびバーウイッツ外による米国特許第６，００２，４７９号「光スペクトル測定のための装置および測定」に説明されており、これらの特許は全ての目的のために参考文献としてここに取り入れられる。
【００３１】
これらの特許によって開示されているのは概して、回折格子を使用して光の分散およびスペクトルの像を形成することである。発明者は、これらの技法は、可変フィルタを基にしたシステムに使用されるように採用することは容易にできないものと信じていた。８オングストロームよりも良好な分解能を実現することの確実性はなかった。なんとなれば、フィルタの温度および経年経過に因る変動（ドリフト）が、キャリブレイション・データを無効化してしまい、所望の分解能を達成するためには再キャリブレイションが頻繁に必要とされた。相対的に少ない入力信号で為されえる単純な回折スペクトロメータのキャリブレイションと異なって、本発明による分解能向上のためのキャリブレイションは、既知の振幅の相互に近接した多数の信号を使用している。それを為すことは、この分野では極めて困難なことである。特に、スペクトロメータが光通信網でのチャネルを監視するのに使用されている場合にはそうである。
【００３２】
長期間にわたって許容範囲で安定したフィルタの作製が可能であると、発明者にとって理解されて初めて、本発明による光学的スペクトロメータを組み立てることを試みた。温度および時間経過に対して安定した可変フィルタが製作された。これらのフィルタは、５０ｐｐｍ／℃より小さい温度ドリフトおよび１０ｐｐｍ／年より小さい経年変化を示す。本発明による他の実施例における可変フィルタは、２５ｐｐｍ／℃より小さい温度ドリフトを有する。更に、本発明による他の実施例における可変フィルタは、１０ｐｐｍ／℃より小さい温度ドリフトを有する。ある特定のフィルタでは、約２ｐｐｍ／℃の温度安定性が測定された。しかしながら、そのような低い値の測定にあっては、測定の不確実性は際立った要素である。
【００３３】
この安定性により、特に実用に供される装置が工場でキャリブレイションされえる。また、その装置は、動作試験を行う際の適当な期間にわたって使用されえる。当然、装置は必要ならば再キャリブレイションされる。また、適切なキャリブレイション・システムが準備されており即利用可能であるならば、動作試験中においても、装置のキャリブレイションあるいは再キャリブレイションが可能である。キャリブレイション・データは、再構成の伝達機能において使用できる。あるいは、スペクトロメータの公称分解能が所望の応用動作にとって十分であれば（光学的スペクトロメータが８オングストロームより小さい公称分解能を有するか、または、公称分解能が約３オングストロームあるいはそれより小さい値であるなどの場合）、直接の測定値で再構成することなく、測定されたそのままのデータをキャリブレイション・データにより訂正することができる。更に、本発明による光学的スペクトロメータを製作するのに、可変帯域通過フィルタが必要であるものと信じられていたが、発明者の理解によれば、可変エッジ・フィルタ（すなわち、可変なロング・パスあるいはショート・パスのろ波特性を有するフィルタ）も同様に使用されえる。
【００３４】
可変エッジ・フィルタを評価するとき、所望の入力スペクトルに対して、ダイオード・アレイにおける連続した光検出器が、狭い帯域通過フィルタでの同様な構成の場合と比較して、所望の入力信号に対して相対的に高い出力を有することを発明者は知りえた。例えば、入力スペクトルが２つの波長でなっているものとする。それぞれの波長でなるスペクトルの中心は正確に検出器の波長と一致し、且つ、当該検出器に関連しているＬＶＦフィルタは理想的な（矩形状の）帯域通過のろ波特性を有するものとする。フィルタの下部に位置する各検出器からは相対的に高い出力が得られ、また、その付近の検出器からは相対的に低い出力が得られる。いま、帯域エッジが、両波長よりも“低い”場合を考える。検出器は帯域エッジよりも高いが、最も近い波長（すなわち、フィルタの長さ方向にそった位置）よりも低い。その検出器は基本的に両波長を検出し、また、ほぼ同じ出力信号を提供する。その差はわずかであり、それは、一般的には広帯域検出器のスペクトル応答に起因する。フィルタの長さ方向にそって波長を更に動かすにつれ、最初の１つの波長そして他の波長は検出されたスペクトルから“消去”される。可変エッジを有するフィルタの適用により単純な再構成アルゴリズムが可能なように思われるが、動作においては深刻な欠点が派生する。可変エッジのフィルタの再構成は、小さな数の結果を得るためには、２つの大きな数の減算を繰り返し必要とする。このアプローチは、何らかの光あるいは電気的な雑音がシステムに生じたときに、非常に誤差を生じ易い。また、検出器アレイにとって可能なダイナミック・レンジを完全には使用しないが故に動作に悪影響がでる。したがって、高い波長および強度の正確さといった利点を有する高性能システムを実現するためには、可変狭帯域フィルタを使用することが望ましい。
Ｖ．方法の説明
第３Ａ図は、本発明の実施例による光学的スペクトロメータ６０で、光信号を測定する方法を示す簡単化されたフローチャートである。光学的スペクトロメータがキャリブレイションされ（ステップ６２）、一連のキャリブレイション信号を供給する（ステップ６４）。キャリブレイション信号同士の間隔は、ＬＶＦ−検出器アレイの公称分解能より小さい。例えば、フィルタ・アレイ構成は２５６ピクセルの検出器アレイで、８オングストロームの公称分解能を有することが可能である。更には、２５６あるいは５１２ピクセルの検出器アレイで、公称分解能は３オングストロームである。
【００３５】
特定の実施例において、キャリブレイション信号の間隔は０．５オングストロームである。ＬＶＦは勾配つきの離間領域があるエタロン構造を有し、また、帯域通過あるいは帯域エッジ・フィルタである。ＬＶＦの動作範囲あるいは帯域は例えば、現在の光通信網において測定あるいは監視を行うために、１５３０‐１６００  ｎｍの範囲内にある。しかしながら、他の応用（他の光伝送システムを含む）にとっては他の帯域が望ましいこともありえる。ＬＶＦは、１５３０‐１６００  ｎｍ帯域の小さな部分のみである動作帯域を有するか、あるいは、その帯域の全体に対応する動作帯域を有する。
【００３６】
各検出器の出力が、各キャリブレイション波長で測定される（ステップ６６）。更なる実施例においては、各検出器が測定の対象となる。しかしながら、閾値を越す値を得る検出器出力のみが蓄積の対象となる。そうでない場合、無効値がストアされで再構成の伝達機能において使用される。代替的な実施例においては、“暗”応答を大きく上回る応答検出器出力のみが測定される。キャリブレイション値が、キャリブレイション・アレイに蓄積される（ステップ６８）。ここで、構成“アレイ”なる単語は、共通の説明用の用語としてのみに使用されている。また、キャリブレイション・データが実際はどのように構成されているかあるいは蓄積されるかのを限定するものではない。
【００３７】
キャリブレイション後、光入力信号がスペクトロメータに与えられ（ステップ７０）、また、ｎ個の検出器のそれぞれからの出力を読むことによって測定される（ステップ７２）。なお、代替的な実施例においては、ある数の検出器は無視される場合がある。それは、特に、スペクトロメータの動作帯域の部分のみが測定の対象となっている場合、あるいは、検出器の応答が“暗”応答を大きく超えない場合である。その後、逆伝達処理  （ｉｎｖｅｒｓｅ  ｔｒａｎｓｆｅｒ  ｐｒｏｃｅｓｓ）  において、光入力信号を再構成するために、キャリブレイション・アレイが使用される（ステップ７４）。再構成された光入力信号における有効分解能は改善され、逆伝達処理によって再構成しないときの分析器の公称分解能を超えている。例えば、分析器の公称分解能は約８オングストロームである。それに対して、再構成後の有効分解能は、１．６オングストロームあるいはそれ以下の値を示す。
【００３８】
逆伝達処理による再構成を使用することにより、光通信網上を運ばれる近接ＷＤＭ信号の測定および監視が可能である。ＷＤＭ信号のチャネルとチャネルの間隔は、１実施形態において２００ＧＨｚであり得、別の実施形態において１００ＧＨｚであり得、さらに別の実施形態において５０ＧＨｚであり得、さらに別の実施形態において５０ＧＨｚ未満であり得る。高められた分解能は、安定の組み合わせにより達成され、連続したＬＶＦ、エタロン構造を有し到達できるフィルタ応答（帯域通過またはエッジ転位形状、すなわち急勾配、鋭い転位）、および、逆伝達処理による再構成は、このように近接された光信号の測定および監視を可能にする。例えば、それぞれの調節チャネルのチャネルドリフトは、干渉の可能性を警告するために監視される。
【００３９】
第３Ｂ図は、本発明の他の実施例による方法を示す簡単化されたフローチャートである。当該方法は、光ネットワーク１００を監視する方法である。ｎ個の検出器を有する光検出器とＸ  ｎｍ  の公称分解能を有する光学的スペクトロメータが、少なくとも３ｎのキャリブレイション波長でキャリブレイションされる（ステップ１０２）。第３Ａ図で参照して上述したようなキャリブレイション・アレイが生成される。光ネットワークは例えば光通信網である。１つの応用例としては、スペクトロメータの有効分解能は、例えば、２００ＧＨｚ，１００ＧＨｚあるいは５０ＧＨｚのチャネル間隔を有する隣接チャネルを識別し且つ監視するのに十分である。フィルタの動作帯域は、検出器アレイのピクセル数に応じて選ばれており、複数の実施例における所望分解能を実現する。例えば、１５３０  ｎｍ−１６００  ｎｍ帯域の全体にわたってチャネルの分解能が５０ＧＨｚであるとき、２５６よりも多数のピクセルを有する検出器が望ましい。
【００４０】
多数のＷＤＭ信号が光伝送線路に供給される（ステップ１０４）。また、ＷＤＭチャネルの全てあるいは所望のチャネル部分が分岐され（ステップ１０６）、光学的スペクトロメータに供給される（ステップ１０８）。光学的スペクトロメータは、帯域内の光信号を測定する（ステップ１１０）。また、測定された光信号を、伝達機能技法を使用して再構成する（ステップ１１２）。１つの実施例においては、再構成された信号の有効分解能はＸ／３ｎｍであった。他の実施例にあっては、再構成された信号の有効分解能はＸ／５ｎｍであった。
【００４１】
本発明の好ましい実施例の詳細が開示されたが、添付された特許請求の範囲に記載された限定を逸脱することなく、変形例、応用例、説明された実施例と実施的に同等な例が多数あることは、本発明に属する技術の当業者にとっては明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００４２】
【図１Ａ】第１Ａ図は、本発明の実施例による光学的スペクトロメータの部分を示す簡単化された断面図である。
【図１Ｂ】第１Ｂ図は、本発明の実施例によるスペクトロメータに用いられる先細り形状の離間領域を有するエタロン構造を示す簡単化された断面図である。
【図１Ｃ】第１Ｃ図は、検出器の応答と検出器のピクセル番号との関係を示す特性図である。
【図２】第２図は、本発明の実施例による光ネットワークにおける光学的スペクトロメータを示す簡単化されたフローチャートである。
【図３Ａ】第３Ａ図は、本発明の実施例による光スペクトルを測定する方法を示す簡単化されたフローチャートである。
【図３Ｂ】第３Ｂ図は、本発明の実施例による光ネットワークを監視する方法を示す簡単化されたフローチャートである。
【図１Ｃ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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2004532402.tif 000031
【国際調査報告】
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2004532402.tif 000033
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