(57)【要約】制御装置による、金属のチップリムーブ式メタル機械加工用の金属製の工具に配設されるようになっている振動減衰装置における制動力の、制御方法であって；・前記制御装置へ接続された検出器により、該工具の振動運動を検出する段階と、・該制御装置により該振動運動における位相を識別する段階と、・該制御装置が、該工具の振動運動とほぼ同一の周波数の機械的制動力をもたらすように、前記減衰用ディバイス装置を作動する段階と、を含む制御方法。従って、該制御装置が、該工具の速度に逆向きの制動力を発生するようになっている。本発明は、チップリムーブ式機械加工用の金属製工具と、それ用の振動減衰用ディバイスにも関する。
2004515371.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
制御装置による、金属のチップリムーブ式機械加工用の金属製の工具に配設されるようになっている振動減衰装置における制動力の、制御方法であって；
・前記制御装置へ接続された検出器により、該工具の振動運動を検出する段階と、
・該制御装置により該振動運動における位相を識別する段階と、
・該制御装置が、該工具の振動運動とほぼ同一の周波数の機械的制動力をもたらすように、前記減衰装置を作動する段階と、を含む制御方法において；
該制御装置が、該工具の速度に逆向きの制動力を発生するようになっていることを特徴とする制御方法。
【請求項２】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が６０°〜１２０°又は２４０°〜３００°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１に記載の制御方法。
【請求項３】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が７０°〜１１０°又は２５０°〜２９０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１に記載の制御方法。
【請求項４】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が８０°〜１００°又は２６０°〜２８０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１に記載の制御方法。
【請求項５】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が９０°又は２７０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１に記載の制御方法。
【請求項６】
該制御装置は、該振動運動における前記速度に逆向きの力をもたらすように、前記振動減衰装置を作動するようになっているところの、請求項１〜５のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項７】
該制御装置は５０〜１５００Ｈｚ範囲の制動力を作用するようになっているところの、請求項１〜６のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項８】
少なくとも一つの圧電素子が該振動減衰装置に含まれているところの、請求項１〜７のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項９】
少なくとも一つの油圧式あるいは空気式シリンダが該振動減衰装置に含まれているところの、請求項１〜７のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項１０】
少なくとも一つの電磁気式装置が該振動減衰装置に含まれているところの、請求項１〜７のいずれか一項に記載の制御方法。
【請求項１１】
金属のチップリムーブ式機械加工用の金属製の工具に配設されるようになっている振動減衰装置と、前記振動減衰装置の制動力を制御するために前記振動減衰装置へ接続された制御装置と、該工具の振動を検出するために配設された、該制御装置へ接続している検出器とを含んでいるバイブレーション・ダンパであって；
該制御装置は、振動における振幅と周波数と位相とを識別するようになっていて、かつ前記振動減衰装置を作動するようになっているので、該工具の振動とほぼ同一の周波数の機械的減衰振動をもたらすようになっているバイブレーション・ダンパにおいて；
該制御装置が、該工具の速度に逆向きの制動力を発生するようになっていることを特徴とするバイブレーション・ダンパ。
【請求項１２】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が６０°〜１２０°又は２４０°〜３００°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１１に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１３】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が７０°〜１１０°又は２５０°〜２９０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１１に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１４】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が８０°〜１００°又は２６０°〜２８０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１１に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１５】
該制御装置が、該振動運動に対する位相が９０°又は２７０°異なる制動力を作用するようになっているところの、請求項１１に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１６】
該制御装置は、該振動運動における前記速度に逆向きの力をもたらすように、前記振動減衰装置を作動するようになっているところの、請求項１１〜１５のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１７】
該制御装置は５０〜１５００Ｈｚ範囲の制動力を作用するようになっているところの、請求項１１〜１６のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１８】
少なくとも一つの圧電素子が該振動減衰装置に含まれているところの、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項１９】
該振動減衰装置が、少なくとも一つの油圧式あるいは空気式シリンダを備えているところの、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項２０】
該振動減衰装置が、少なくとも一つの電磁気式装置を備えているところの、請求項１１〜１７のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパ。
【請求項２１】
請求項１１〜２０のいずれか一項に記載のバイブレーション・ダンパを含んでいる金属製の工具。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
発明の技術分野
本発明は制御方法に関するものであって、制御装置による、金属のチップリムーブ式機械加工用の金属製の工具に配設されるようになっている振動減衰装置における制動力の、制御方法が；
・前記制御装置へ接続された検出器により、該工具の振動運動を検出する段階と、
・該制御装置により該振動運動における位相を識別する段階と、
・該制御装置が、該工具の振動運動とほぼ同一の周波数の機械的制動力をもたらすように、前記減衰用ディバイスを作動する段階と、を含んでいる。
本発明は、バイブレーション・ダンパ及び機械的構造体にも関する。
【０００２】
背景
チップフォーマ式機械加工用の金属製工具は、力により誘発される振動あるいは再生振動（振動）にさらされる；Ｓｔｅｐｈｅｎｓｏｎ及びＡｇａｐｉｏｕ 著“Ｍｅｔａｌ Ｃｕｔｔｉｎｇ Ｔｈｅｏｒｙ ａｎｄ Ｐｒａｃｔｉｃｅ”（Ｍａｒｃｅｌ Ｄｅｋｋｅｒ Ｉｎｃ．刊；ＩＳＢＮ：０−８２４７−９５７９−２ ）参照。本書によると、力により誘発された振動は過渡的な切削力により発生し、これに対して再生振動は、動的な切削プロセスが閉ループを形成することにより生じるものである。本特許出願は再振動（自己誘発あるいはフィードバック振動とよばれる）だけに関するものである。
【０００３】
チップリムーブ式機械加工用工具における振動の減衰は、従来純すいに機械的減衰により行なわれてきており、シャフトにはキャビティが形成され、キャビティには例えば重金属のような振動抑制質量が付加される。その場合、質量の大きさと位置とは、振動の減衰を一定の周波数範囲とするために調整される。さらにキャビティは粘性流体例えばオイルで充填され、かつプラグされる。しかしながら、この方法は取付け装置からのシャフトのオーバハングがシャフトの直径の約４〜１０倍より長い場合だけに利用される。さらにこの制限に加えて、純すいに機械的減衰は、減衰が作用する周波数の範囲が非常に限定されているという点に関して著しい欠点を有している。さらにシャフトに形成されたキャビティがもたらす強度劣化の欠点もある。
【０００４】
他の技術分野において、とりわけ圧電素子を利用したより有効で適用可能な減衰技術の改善が始まっている。圧電素子は、通常セラミックタイプの材料から作られていて、ある方向（極性方向）に圧縮あるいは伸びると、同一方向に電界を発生する。圧電素子は通常極性方向のある長方形プレート形状を有していて、その極性方向はプレートの主軸に平行である。圧電素子を制御モジュールを含んでいる電気回路へ接続することにより、かつ圧電素子を極性方向に圧縮あるいは伸張することにより、電流が発生し回路内を流れ、コントロールモジュールに含まれている電気抵抗要素が公知の物理学にもとずき熱を発生する。その場合、振動エネルギは熱エネルギに変換され、従って、振動に対して減衰効果のない、受動的減衰が行なわれる。さらにコントロールモジュールを抵抗要素と作動要素例えば合流器との組合せで構成することにより、選択された周波数が特に効率的に減衰される。利点のあることに、そのような周波数は、加振される物体の“固有モード”に対応するいわゆる“固有周期”である。
【０００５】
一方圧電素子は、圧電素子に作用される電圧により圧縮あるいは伸張することができ、電圧作用時に圧電素子は制御装置あるいは駆動装置（アクチュエータ）として使用することができる。その関連において、この圧電素子は、駆動装置の機械的応力が外力として機械的応力の反対方向に作用するように、作用する電圧の極性を選択することにより能動的振動制御に使用することができ、他の運動エネルギ例えば回転エネルギが振動エネルギへ変換されることを防止されているという事実により振動の発生が抑制されている。その場合、反対方向に作用する機械的外部応力の点に関連して作用される電圧の周期は変形検出用センサからのフィードバック信号により行なわれていて、そのフィードバック信号は、ロジックコントロール回路例えばプログラム可能なマイクロプロセッサの形態である制御手段へ供給されており、そのロジックコントロール回路において、信号は、駆動装置へ作用される電圧を制御するために処理される。制御機能、すなわちセンサからの入力信号と出力電圧との間の関係は非常に複雑になるかも知れない。例えば、条件を変更するために使用する自己学習システムは、有効なものである。センサは独立した変形検出用装置例えば第二圧電素子であってもよいし、又は駆動装置と共通していてもよい。
【０００６】
振動減衰を目的とした圧電素子の利用における、実際の適用例及び現在の開発分野が、１９９５年１１月発刊のＭｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ、７６〜８１頁に記載されている。アルペンスキー用のスキー（Ｋ２ Ｆｏｕｒ ｓｋｉ， Ｋ２ Ｃｏｒｐ．， ＵＳＡ）は、所望されない振動抑制用の圧電素子を備えていて、他の方法では地面との接触を低減し、従って、スキーヤーの安定し制御したスキーへの期待をそこなってしまう。さらに、飛行機翼の安定性の改善、自動車における乗心地の改善、ヘリコプタの回転翼と回転シャフトとにおける振動抑制、フレキシブル生産用のプロセスプラットフォームの振動制御、及び兵器の精度向上のような応用が記載されている。米国のＡｃｔｉｖｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｅＸｐｅｒｔｓ （ＡＣＸ）社（圧電素子製造会社）による情報誌に、スノーボードの振動制御が記載されている。
【０００７】
前述した種類の方法及びバイブレーション・ダンパと機械構造体とがそれぞれスエーデン国特許出願９９００４４１−８号（ＳＥ−Ａ−９９００４４１−８）により公知である。
【０００８】
このタイプのバイブレーション・ダンパは振動により誘発された力に対しては適切なものではなくて、再生振動すなわちフィードバック振動にだけ適しているものであって、その再生振動は、小さな外乱が工具内における機械的フィードバックを与える場合の機械加工時に、工具内に生じるものである。そのような機械的フィードバックは振動運動の増大を招ねき、従って所望されない不均一な機械加工面及び工具の有効寿命の低減をもたらす。
【０００９】
スエーデン国特許出願第９９００４４１−８号（ＳＥ−Ａ−９９００４４１−８）において、どのように制振力を機械構造体に作用させるかについては明確に記載されていない。今まで知られている振動運動を減衰する方法は、振動運動と同位相の反力を与えることであった。この方法は低周波数に関する限りうまくいくものである。約５００Ｈｚからの高周波数において、位相誤差なしに反力を作用することは困難である。もし位相誤差が発生すると以下のリスクがあって、振動運動と制振力とがアンバランスになり、従って部分的にお互いに増幅し合い、振動運動が所定の度合に減衰されないことになる。従って、そのような振動減衰を行なうための前提は、逆向きの力が非常に精度高く振動動作と同位相であることである。
【００１０】
他の圧電ダンパは、スエーデン国特許出願第９８０３６０５−６号（ＳＥ−Ａ−９８０３６０５−６）と第９８０３６０６−４号（ＳＥ−Ａ−９８０３６０６−４）と第９８０３６０７−２号（ＳＥ−Ａ−９８０３６０７−２）、及び米国特許第４８４９６６８号（ＵＳ−Ａ−４８４９６６８）と第５４８５０５３号（ＵＳ−Ａ−５４８５０５３）、及び独国特許出願第１９９２５１９３号（ＤＥ−Ａ−１９９２５１９３）、及び欧州特許出願第０１９６５０２号（ＥＰ−Ａ−０１９６５０２）、及び日本国特許出願第６３１８０４０１号（ＪＰ−Ａ−６３１８０４０１）に開示されている。
【００１１】
旋削あるいはドリル加工のようなチップリムーブ機械加工時、特に取付装置からのシャフトあるいは工具の長さ（いわゆるオーバハング）が直径の少なくとも３倍より長い場合には振動の問題が生じるのはまれなことではない。振動の一つのタイプは曲げ振動であって、シャフトは、曲がりかつ曲げ変形をうける。この現象には共通の問題があって、例えば旋削時とくに内部旋削時、ボーリングバー形状のシャフトは、工作物の機械加工する領域に届くために長くなければならず、同時にバーの直径は機械加工を行なう穴の寸法により制限されている。そのようなドリル加工、旋削加工、フライス削り加工時において、工作物への距離が長い場合エクステンダが使用されており、そのエクステンダはしばしば曲げ振動を引きおこしており、その曲げ振動は、工作物の寸法精度を損ないかつゆがみをもたらすばかりでなく、工具と切削用差し込み工具あるいは機械加工要素との有効寿命を低減している。
【００１２】
発明の概要
本発明の目的は再生振動運動をする切削工具用の振動減衰装置の制御を改善することである。このことはそれぞれ前述した方法とバイブレーション・ダンパとにより達成される。制御装置は切削工具の速度に逆向きの制動力を発生するようになっている。このことは、制動力が工具に、工具の運動速度方向に逆向きの変形を与えることを意味している。
【００１３】
この方法で振動が、アンバランスに至り、従って制動力に付与される位相変差に関して多大な精度を必要とすることなく、振動運動にいっそうのエネルギを供給するリスクなしに、再生運動は達成される。すなわち、制動力は速度を定常的に阻止していて、さらに最大の減衰効果を得るために、最大制動力は常時作用されている。しかしながら、振動運動の終了点において最大制動力は重要なものではない。というのは速度が小さいからである。従って減衰効果は切削プロセスにより大きく寄与するものであって、再生振動は止まり、機械的構造体例えば旋削用シャフトあるいはボーリングバーにより滑らかな切削プロセスが得られる。
【００１４】
好ましくは制御装置は、振動運動に対する位相が６０°〜１２０°又は２４０°〜３００°異なる制動力を作用するようになっている。適切には制御装置は、振動運動に対する位相が７０°〜１１０°又は２５０°〜２９０°異なる制動力を作用するようになっている。より好ましくは制御装置は、振動運動に対する位相が８０°〜１００°又は２６０°〜２８０°異なる制動力を作用するようになっている。制御装置は、振動運動に対する位相が９０°又は２７０°異なる制動力を作用するようになっている場合、最良の結果が達成される。
【００１５】
好ましくは制御装置が、前記振動運動の速度に逆向きの力を作用するように、前記振動減衰装置を作動するようになっている。逆向きの力が振動運動に対して２４０°〜３００°異なる位相で作用される一方で、同じ向きの力が振動運動に対して６０°〜１２０°異なる位相で作用される場合、同じ向きの力が発生されるかも知れない。
【００１６】
好ましくは制御装置は５０〜１５００Ｈｚ範囲の制動力を与えるようになっている。
【００１７】
適切には少なくとも一つの圧電素子が振動減衰装置に含まれている。代りに、振動減衰装置が油圧式若しくは空気式シリンダ、又は電磁式装置であってもよい。
【００１８】
好ましくは、前記機械的構造体はチップリムーブ式機械加工用工具を備えている。
【００１９】
以下に添付図を参照して本発明を詳述する。
【００２０】
詳細な説明
図１において、工具のバーあるいはシャフト形状の細長いボデー１が示めされていて、そのボデー１は旋削時あるいはフライス削り時に一つ以上の差込み工具をクランプするようになっている。ボデー１は取付け端部２と自由外端部３とを有している。ボデーは、外表面４を有していて、ボデーが円筒体である場合、その外表面４は包絡面を構成する。ボデーは、多角形例えば正方形断面形状である場合、複数の平らな表面を含んでいてもよい。ボデー１は任意形状断面を有していてもよいけれど、たいていの場合円形断面あるいは正方形断面を有している。図１において、符号５は、取付部から片持ばり状に延伸しているボデーに取りつけられたボデー１における一部分である。図１において、ボデー１は、一次曲げ“固有モード”に変形された状態で示めされている。
【００２１】
さらに図２において、グラフは、この場合における曲げトルクＭｂがボデーに沿ってどのように変化するかを図示している。グラフに図示されるように、最大曲げモーメント、従って最大伸びが取付端部２においてあるいは取付端部２近傍において発生している。同様な事がすべての低次モードにおいて推論され、そのすべての低次モードは、チップリムーブ式機械加工時における工具の曲げ振動の際においては、通常エネルギ卓越状態である。
【００２２】
図３において、図１における曲げにより変形された取付端部におけるボデー１の一部が示めされている。この関連で、ボデーの断面内において曲げ変形における伸びがどのように変化するかを図示している（説明図であることから、伸びは著しく誇張されている）。図示されているように最大伸びはボデーの包絡面あるいは外表面４に生じている。
【００２３】
図４において、バーあるいはシャフト１の基本構造が概略的に示めされていて、二つのプレート状の長方形圧電素子８が、正方形断面形状のシャフトにおける対向している長手方向の平な表面４に取りつけられている。圧電素子８はシャフトの取付端部２の近傍に位置決めされている。シャフトは、シャフトの外端部３において、切削工具９の形状の加工用要素を有している。従って、圧電素子８は曲げ変形時に最大伸びが生じている領域に位置決めされている。この場所は好適であるが他の場所でもよい。さらに圧電素子８が、バーあるいはシャフト１の平らな表面４に平行な主面と、バーあるいはシャフト１の延伸長手方向に平行な主軸とに配向されていて、圧電素子８は曲げ振動時に変形されるけれども長方形状を維持している。
【００２４】
図５における実施例において、ボデー１は円形断面を有するフライスを意図したバーエクステンダから構成されている。この場合、切削刃形状のチップフォーマ式機械加工要素９は、バーエクステンダの自由端部３におけるチップポケット１０に近接して形成されている。圧電素子８は、バーエクステンダの包絡面４における取付端部２の近傍に取りつけられている。圧電素子の主軸はバーエクステンダの延伸長手方向に平行である。従ってこの方向で、圧電素子８は曲げ振動の減衰に対して最も効果的に作動している。
【００２５】
曲げ及びねじり振動における同時的減衰のために、工具のシャフトは複数の圧電素子を取りつけていて、圧電素子のあるものは自身の長手方向をシャフトの長手延伸方向にほぼ平行に配向されており、他のものはほぼ４５°に配向されている。代りに一つ以上の圧電素子が前記方位の間に配向されていてもよい。
【００２６】
圧電素子は一般にもろくて、セラミックタイプにおいて特に顕著である。従って必要とされる環境において、圧電素子は許容可能な有効寿命とするために防護されるべきである。
【００２７】
図６〜８において、正方形断面の工具のシャフトが示めされていて、圧電素子８はそれぞれの方法で取りつけられ防護されている。すべての場合において、圧電素子は取付け部分５の近傍に位置決めされている（取付け部分は工具が着脱可能に取りつけられている従来形クランプユニットから構成されている）。
【００２８】
図６において圧電素子８は、皿穴１１の中に取りつけられていて、さらに利点のあることに例えばエポキシタイプのような防護層によりおおわれている。
【００２９】
図７において圧電素子は、皿穴１１の中に取りつけられ、さらに固いふた１２でおおわれている。
【００３０】
図８において圧電素子８はシャフトの外側に取りつけられ例えば接着されている。これらの代案は例として示めすものであって図６及び７が好適なものである。圧電素子用の同一のタイプの防護装置は工具シャフトの断面形状とは無関係なものである。
【００３１】
圧電素子は電気的制御用あるいは誘導手段と協働している。工具１が制御手段とどのように構成されているかを、図９及び１０に例示している。これらの場合、工具は取付台１３に取りつけられている。図１０において、減衰用制御手段は制御モジュール１４と電気的接続１５との形状で示めされていて；その制御モジュール１４は取付け端部２の近傍に形成されており；一つ以上の圧電素子８が、その電気的接続装置１５を介して、それぞれの圧電素子８を個別的にあるいは共通的に制御するための制御モジュール１４へ接続されている。このモジュール１４は少なくとも電気抵抗要素を備えている。好ましくは制御モジュール１４は、選択された周波数を効率的に減衰できる一つ以上の分流器を備えている。
【００３２】
図９は、自立形のロジックコントロール回路１６形状の能動式減衰用制御手段を示めしていて、そのロジックコントロール回路１６は、例えばプログラム可能なマイクロプロセッサであって、圧電素子８に作用される（概略的に図示されている電気的接続１５を介しての）電圧を個別的にあるいは共通的に制御するためのものである。
【００３３】
たとえ図１０に例示した実施例における能動式減衰用圧電素子８が、駆動装置とセンサとの両者として同時的に作用するとしても、駆動装置とセンサとを分離することにより同一の二つの機能を実現してもよくて、その場合センサは圧電素子８で構成される必要はない。例示の制御モジュール１４とロジックコントロール回路１６との場所はそれぞれ好適なものであるが他の場所であってもよい。例えば、制御モジュール１４をロジック制御ユニット１６のように工具から自立形の形式にしてもよい。制御モジュール１４を取付け端部近傍に位置決めすることの利点は、モジュールを圧電素子８へ接続することが簡単になることであり、さらに自立している位置におけるモジュール１４を有害な機械的作用に対して防護することが容易になることである。
【００３４】
バイブレーション・ダンパとしての圧電素子の利用を通じて、達成することのできチップリムーブ式機械加工用の耐久性のある工具は、広範囲の周波数にわたる曲げ振動の能動的な減衰の可能性を有している。さらに工具は、一方で工具の切削あるいは機械加工要素におけるのと同様に工具自身におけるより長い有効寿命を提供していて、他方で工作物の機械加工面におけるすぐれた品質を提供している。さらに、従来形工具に比較して高周波ノイズの低減により、改善された作業環境が達成される。
【００３５】
図１１は構造体における所望されない振動運動の減衰がどのように発生するかを概略的に示めしている。振動運動２２に対して逆向きで同位相の力２０は急速に弱まってゆく。しかしながら、これには位相の補正に関して非常に高い精度が必要とされる。もし位相誤差が生じると、逆向きの力は部分的に運動と同一向きの力になり、振動運動が所望する程度に弱まらない結果を招くかも知れない。
【００３６】
図１２は、本発明による構造体における振動運動の減衰を概略的に示めしている。
【００３７】
センサが振動運動を検出する。信号が制御装置へ伝送され、制御装置は信号を処理し、かつ正と負とそれぞれの零交叉を規定することにより、振動運動における位相を決定する。制御装置は振動における振幅と周波数も計算する。
【００３８】
制御装置は、続いて工具の速度に逆向きの力を発生するバイブレーション・ダンパ（アクチュエータ）へ制御信号を伝送する。位相は、振動運動に関する波長の１／４又は３／４ずれている。
【００３９】
図１３において、反力の低減は、新たな振動の発生を回避するために振動の振幅の低減においてもたらされ、かつ制御することが容易であることが示めされている。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、振動（一次共振振動数）における曲げ変形時の工具シャフトの形状をした細長いボデーの概略側面図である。
【図２】
図２は、ボデーにおける曲げトルクを示めすグラフである。
【図３】
図３は、取付端部に接続している、ボデーの切断面部分の側面図であって、伸びに比例した、曲げ変形時のボデーにおける応力を示めしている。
【図４】
図４は工具シャフトの斜視図である。
【図５】
図５は、円形断面のフライス工具用のバーエキステンダの斜視図である。
【図６】
図６は、他の実施例−１における正方形断面の工具シャフトの斜視図である。
【図７】
図７は、他の実施例−２における正方形断面の工具シャフトの斜視図である。
【図８】
図８は、他の実施例−３における正方形断面の工具シャフトの斜視図である。
【図９】
図９は、キャリアに取りつけた能動式振動減衰用工具の斜視図である。
【図１０】
図１０は、キャリアに取りつけた受動式振動減衰用工具の同様な斜視図である。
【図１１】
図１１は、振動に同位相の、反力による振動運動の減衰を概略的に示めす。
【図１２】
図１２は、本発明による振動運動の減衰（１）を概略的に示めす。
【図１３】
図１３は、本発明による振動運動の減衰（２）を概略的に示めす。
【国際公開パンフレット】
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2004515371.tif 000004
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2004515371.tif 000023
2004515371.tif 000024
【国際調査報告】
2004515371.tif 000025
2004515371.tif 000026