(57)【要約】金属表面とポリマー材料との間の結合を向上させるために、マイクロ−粗化された金属表面を処理する方法。この方法は、接着促進組成物を用いてマイクロ−粗化された転化被覆金属表面を形成した後に水性湿潤剤組成物でマイクロ−粗化された転化被覆金属表面を後処理することを含む。この方法は、多層回路板における層間の結合を向上させるために回路板産業において用いることができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属表面を処理する方法であって、
ａ）金属表面を接着促進組成物に接触させて、マイクロ−粗化された転化被覆金属表面を形成し、さらに次いで、
ｂ）マイクロ−粗化された転化被覆金属表面を水性湿潤組成物に接触させて、ポリマー材料を受けるための金属表面を調製する工程
を含む前記方法。
【請求項２】
金属表面を処理する方法であって、
ａ）金属表面を接着促進組成物に接触させ、さらにその後に、
ｂ）金属表面を水性湿潤組成物に接触させ、さらにその後に、
ｃ）ポリマー組成物を金属表面に適用する工程
を含む前記方法。
【請求項３】
ポリマー組成物が処理された基体に適用された積層金属表面を提供する請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
金属表面が銅または銅合金である請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項５】
金属表面が銅張積層体である請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項６】
金属表面がプリント回路板基体である請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項７】
水性湿潤組成物が、グリコール、グリコールエーテル、グリコールエーテルアセテートまたはポリ（アルキレンオキシド）ポリマーの一種以上を含む請求項１〜６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
水性湿潤組成物が、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチレングリコール、イソブチレングリコールまたはそれらの混合物の一種以上を含む請求項１〜７のいずれか一項に記載の方法。
【請求項９】
水性湿潤組成物が、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテルまたはそれらの混合物の一種以上を含む請求項１〜８のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１０】
水性湿潤組成物が、ポリ（プロピレンオキシド）、ポリ（エチレンオキシド）、ポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）、ポリ（プロピレングリコール）（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）フェニルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）４−ノニルフェノールエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）フェニルエーテルメタクリレート、ポリ（プロピレン／エチレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレートまたはそれらの混合物を包含するポリ（アルキレンオキシド）ポリマーの一種以上を含む請求項１〜９のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１１】
湿潤組成物が、一種以上の湿潤剤を約０．５重量％〜約３０重量％含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１２】
湿潤組成物が、一種以上の湿潤剤を約１〜約１５重量％含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１３】
湿潤剤が、湿潤組成物を約１．５〜約５重量％含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１４】
金属表面を水性湿潤組成物に約１秒〜約１分間接触させる請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１５】
金属表面を水性湿潤剤組成物に約１０秒〜約３０秒間接触させる請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
接着促進組成物が、酸化剤、酸および腐食抑制剤を含む請求項１〜３のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
酸化剤が過酸化物を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
酸化剤が過酸化水素を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項１９】
酸が硫酸、燐酸またはそれらの混合物を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２０】
腐食抑制剤がピロール、アゾール、オキサゾール、チアゾール、ピラゾール、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、テトラゾール、トルイルトリアゾール、ヒドロキシ置換アゾール化合物、イミダゾール、ベンズイミダゾールまたはそれらの混合物を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２１】
腐食抑制剤が、接着促進組成物を約０．１〜約２０重量％含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２２】
接着促進組成物がさらにハロゲン化物イオン源を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２３】
ハロゲン化物イオン源が塩化ナトリウム、塩化カリウム、塩素酸ナトリウム、塩素酸カリウム、塩酸またはそれらの混合物を含む請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
接着促進組成物がさらに非界面活性アミン、４級アミン化合物またはそれらの混合物を含む請求項１６に記載の方法。
【請求項２５】
接着促進組成物が界面活性剤を含まない請求項１６に記載の方法。
【請求項２６】
金属表面を処理する方法であって、
ａ）金属表面を、酸化剤、酸および腐食抑制剤を含む接着促進組成物に接触させて、マイクロ−粗化された転化被覆を金属表面上に形成し、
ｂ）マイクロ−粗化された転化被覆金属表面をアルカリ性組成物に接触させ、さらに次に、
ｃ）マイクロ−粗化された転化被覆金属表面を水性湿潤剤組成物に接触させて、ポリマー材料を受けるためのマイクロ−粗化された転化被覆金属表面を調製する工程
を含む前記方法。
【請求項２７】
湿潤剤が、グリコール、グリコールエーテル、グリコールエーテルアセテート、ポリ（アルキレンオキシド）ポリマーまたはそれらの混合物を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項２８】
湿潤剤が、ポリエチレングリコール、ポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）コポリマーまたはそれらの混合物を含む請求項２７に記載の方法。
【請求項２９】
湿潤剤組成物が、湿潤剤を約０．５重量％〜約３０重量％含む請求項２７に記載の方法。
【請求項３０】
酸化剤が過酸化物、過硫酸塩またはそれらの混合物を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項３１】
酸が硫酸を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項３２】
腐食抑制剤がトリアゾール、ベンゾトリアゾール、イミダゾール、ベンズイミダゾール、テトラゾールまたはそれらの混合物を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項３３】
アルカリ性組成物が、アルカリ金属水酸化物、アルカリ金属炭酸塩、アルカリ金属燐酸塩、アミンまたはそれらの混合物を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項３４】
接着促進組成物がさらにハロゲン化物イオン源を含む請求項２６に記載の方法。
【請求項３５】
金属表面を湿潤剤組成物に接触させた後、ポリマー材料をマイクロ−粗化された転化被覆金属表面上に配置する工程をさらに含む、請求項２６に記載の方法。
【請求項３６】
金属表面を処理する方法であって、
ａ）金属表面を、還元剤、溶解剤またはそれらの混合物を含む接着促進組成物に接触させて、マイクロ−粗化された転化被覆表面を金属表面上に形成し、また金属表面を還元し、さらに次に
ｂ）マイクロ−粗化された還元金属表面を水性湿潤剤組成物に接触させて、ポリマー材料を受けるためのマイクロ−粗化された還元金属表面を調製する工程
を含む前記方法。
【請求項３７】
湿潤剤が、グリコール、グリコールエーテル、グリコールアセテート、ポリ（アルキレンオキシド）ポリマーまたはそれらの混合物を含む請求項３６に記載の方法。
【請求項３８】
湿潤剤が、湿潤剤組成物を約０．５重量％〜約３０重量％含む請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
還元剤が、アミノボラン、アンモニウム、ホウ水素化アルカリ金属、次亜燐酸塩、ホウ水素化アルカリ土類金属、アルカリ土類金属ハイポホスファイトアルデヒド、グリオキシル酸、還元糖またはそれらの混合物を含む請求項３６に記載の方法。
【請求項４０】
溶解剤が、ＥＤＴＡ、ＨＥＥＤＴＡ、ＮＴＡ、ＤＴＰＡ、ＤＣＴＡ、Ｑｕａｄｒｏｌ、有機ホスホン酸塩、有機酸、無機酸、アンモニウム、アミンまたはそれらの混合物を含む請求項３６に記載の方法。
【請求項４１】
接着促進組成物がさらに腐食抑制剤を含む請求項３６に記載の方法。
【請求項４２】
腐食抑制剤が、ベンゾトリアゾール、トルイルトリアゾールまたはそれらの混合物をはじめとするアゾール誘導体を含む請求項４１に記載の方法。
【請求項４３】
金属表面を水性湿潤剤組成物で処理した後、ポリマー材料を金属表面の表面上に配置する工程をさらに含む、請求項３６に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
本出願は、２０００年９月１９日に出願された米国仮出願番号６０／２３３，５１５の優先権を主張し、その全体が参考としてここに組み込まれる。
【０００１】
（技術分野）
本発明は、金属とポリマー材料との間の接着性を向上させる方法に関する。より具体的には、本発明は、接着促進工程に続いて金属を水性湿潤剤組成物で処理することにより、金属とポリマー材料との間の接着性を向上させる方法に関する。
【０００２】
（背景技術）
電子デバイス中に重量および空間を保存する要望がさらに増加しているので、一つまたは複数の回路内層を含むプリント回路が今日著しく用いられている。
【０００３】
多層プリント回路の製造において、パターン化された回路内層は、最初に、銅箔被覆誘電基体材料を所望の回路パターンのポジ型イメージのレジストでパターン化し、続いて、露出した銅をエッチングにより除去する方法により調製される。レジストの除去後、所望の銅回路パターンが残る。
【０００４】
任意の特定の型の回路パターンの一つまたは複数の回路内層、ならびにグランドプレーン（ｇｒｏｕｎｄ  ｐｌａｎｅ）と電源プレーン（ｐｏｗｅｒ  ｐｌａｎｅ）とを構成する回路内層は、回路内層の間に一つまたは複数の部分的硬化誘電基体材料（いわゆる「プリプレグ」層）を挿入することにより多層回路中に組み込まれて、交互回路内層および誘電基体材料の複合体が形成される。この複合体は、次に、加熱加圧されて、部分的硬化基体材料が硬化され、そこへの回路内層の結合が達成される。硬化された複合体は、次に、そこを通して穿孔された多くのスルーホールを有することにより、それらが次に金属化されて、全ての回路層を導電的に相互接続する手段が提供される。スルーホール金属化工程中において、多層複合体の外側表面上に、所望の回路パターンも典型的に形成される。
【０００５】
多層プリント回路板の形成のための別の手法は、アディティブまたは表面薄層（ｓｕｒｆａｃｅ  ｌａｍｉｎａｒ）回路技術による。これらの技術は、非導電性基体から始まり、その上に回路要素が付加的にメッキされる。回路上に画像形成性被覆を適用し、さらに画像形成性被覆上にさらなる回路要素メッキすることを繰り返すことにより、さらなる層が達成される。
【０００６】
回路内層の銅金属と硬化されたプリプレグ層、またはそこに接触する他の非導電性被覆との間に形成される接着結合の強さには問題点があり、その結果、硬化された多層複合体または被覆は、その後の加工および／または使用において層剥離し易いことは以前から知られている。この問題に対して、当該技術分野において、回路内層の銅表面上に（プリプレグ層と組み合わせて多層複合体にする前に）、例えば、銅表面の化学的酸化によるような、酸化銅の層を形成する技術が開発された。これ（いわゆる「黒色酸化物」接着促進剤）に関する初期の努力は、酸化銅なしで得られたものと比較して、最終多層回路での、回路内層の誘電基体層への結合における、幾分か最小限の向上を生じさせた。黒色酸化物技術のその後のバリエーションには、銅表面上にまず黒色酸化物を形成し、続いて１５％硫酸で黒色酸化物付着物を後処理して、接着促進剤として作用する「赤色酸化物」を提供する方法を含み、これは、例えば、Ａ．Ｏ．Ｏｓｂｏｒｎｅ著「内層用赤色酸化物への代替経路（Ａｎ  Ａｌｔｅｒｎａｔｅ  Ｒｏｕｔｅ  Ｔｏ  Ｒｅｄ  Ｏｘｉｄｅ  Ｆｏｒ  Ｉｎｎｅｒ  Ｌａｙｅｒｓ）」、ＰＣ  Ｆａｂ．１９８４年８月に開示されており、また、赤色酸化物接着促進剤を直接形成するバリエーションがあるが、得られる成功の程度は変化するものであった。Ｌａｎｄａｕの米国特許第４，４０９，０３７号および同第４，８４４，９８１号は、比較的高度の次亜塩素酸塩／比較的低度の苛性銅酸化組成物から形成される特定の酸化物を報告し、実質的に向上された回路内層接着を生じさせることを報告しており、いずれの技術もその全てが本明細書の一部として参照される。
【０００７】
最初に記載したように、組み合わされ硬化された多層回路組成物はスルーホールを備えて提供され、該スルーホールは次に、回路の回路層の導電性相互接続のための手段として供されるための金属化を必要とする。スルーホールの金属化は、ホール表面の樹脂デスミア、触媒活性化、無電解銅堆積、電解銅堆積などの工程を含む。これらの加工工程の多くは、スルーホールにおいてまたはその付近で露出される回路内層部分上の酸化銅接着促進剤被覆を溶解することができる酸をはじめとする媒体の使用を含む。スルーホールの周りのピンクリングまたはハロ（それにより露出される下側銅金属のピンク色のためである）の形成により示される、酸化銅のこの局所的溶解は、多層回路における局所的層剥離を次に引き起こし得る。当該技術は、この「ピンクリング」現象を充分に認識しており、そのような局所的層剥離に感受性でない多層プリント回路形成方法に到達することを求める広範囲な努力を費した。一つの提案された手法は、単に存在する酸化銅のシェア体積によってその後の加工における溶解を遅延させるように、厚い被覆として接着促進酸化銅を提供することであった。しかしながら、厚い酸化物被覆はそれ自体接着促進剤として本来あまり効果的でないので、これは本質的に非生産的であるとわかる。多層複合体を組み合わせるための加圧／硬化条件の最適化に関する他の提案は、限定された成功しか得られなかった。
【０００８】
この問題への他の解決手段は、回路内装およびプリプレグ層を多層複合体に組み合わせる前に、酸化銅接着促進剤被覆を後処理することを含む。例えば、Ｃｏｒｄａｎｉの米国特許第４，７７５，４４４号は、回路内層の銅表面にまず、酸化銅被覆を提供し、次に、回路内層が多層アセンブリに組み込まれる前に、クロム酸水溶液と接触される特定の方法を報告している。この処理は、その後の加工工程（例えば、スルーホール金属化）において遭遇する酸性媒体における溶解に対して、酸化銅被覆を安定化および／または保護し、それによりピンクリング／剥離の可能性を最小限にすると言われている。
【０００９】
Ａｋａｈｏｓｈｉらの米国特許第４，６４２，１６１号、Ｎａｋａｓｏらの米国特許第４，９０２，５５１号およびＫａｊｉｈａｒａらの米国特許第４，９８１，５６０号、およびそこで引用された多くの参考文献は、回路内層を多層回路アセンブリに組み込む前に、回路内層の銅表面がまず処理され、接着促進酸化銅の表面被覆を提供する特定の方法に関する。このように形成された酸化銅を、次に、特定の還元剤および条件を用いて金属銅に還元する。その結果、そのような回路内層を用いる多層アセンブリは、その後のスルーホール加工における下側銅の局所的溶解および局所的露出に関する酸化銅が存在しないので、ピンクリング形成を示さない。しかしながら、他の技術を用いる場合と同様に、この種の方法は、誘電基体層と金属銅回路内層との間での接着の達成という点では疑わしい。このことは、回路結合表面が金属銅であるのみならず、相境界に沿って分離／層剥離を起こし易い、異なる相における金属銅（すなわち、（２）銅箔の銅を覆う（１）酸化銅の還元からの銅）も提供するので、これらの還元プロセスにおいて特にあてはまる。
【００１０】
Ａｄｌｅｒの米国特許第４，９９７，７２２号および同第４，９９７，５１６号は、回路内層の銅表面上に特定の酸化銅被覆を形成し、続いて、特別の還元溶液で処理して酸化銅を還元して金属銅にすることを報告している。酸化銅のある部分は、明らかに、金属銅になるまで還元されず（その代わり含水の酸化第一銅または水酸化第一銅に還元される）、これらの種は、その後、既に金属銅に還元された部分を攻撃または溶解しない非酸化性酸に溶解除去される。そのようなものとして、そのような回路内層を用いる多層アセンブリは、その後のスルーホール加工における下側銅の局所的溶解および局所的露出に関する酸化銅が存在しないので、ピンクリング形成を示さない。しかしながら、ここでも、第一には結合表面が金属銅であり、第二には金属銅が主に異なる相（すなわち、（２）銅箔の銅を覆う（１）酸化銅の還元からの銅）に存在し、相境界に沿って分離／層剥離の傾向があるので、誘電体層と金属銅回路内層との間の接着についての問題が生じ得る。
【００１１】
Ｆｅｒｒｉｅｒらの米国特許第５，２８９，６３０号は、酸化銅の接着促進層が回路要素上に形成され、続いて、トポグラフィーに悪影響を与えない態様で、実質量の酸化銅の制御された溶解および除去が行われる、特定のプロセスを報告しており、その全体が本明細書の一部として参照される。
【００１２】
ＭｃＧｒａｔｈのＰＣＴ出願ＷＯ９６／１９０９７は、ポリマー材料の金属表面への接着を向上させるための特定の方法を報告しており、その全体が本明細書の一部として参照される。記載されたこの方法は、金属表面を、過酸化水素、無機酸、腐食抑制剤および４級アンモニウム界面活性剤を含む接着促進組成物に接触させることを含む。
【００１３】
Ｆｅｒｒｉｅｒの「金属表面へのポリマー材料の接着性を向上する方法（Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｆｏｒ  Ｉｍｐｒｏｖｉｎｇ  Ａｄｈｅｓｉｏｎ  ｏｆ  Ｐｏｌｙｍｅｒｉｃ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ  ｔｏ  Ｍｅｔａｌ  Ｓｕｒｆａｃｅｓ）」と題する米国特許第５，８６９，１３０号は、多層プリント回路の製造において、金属表面、特に銅または銅合金表面へのポリマー材料の接着を向上させる特定の方法を報告している。記載された方法は、金属表面を、（ａ）酸化剤、（ｂ）酸、（ｃ）腐食抑制剤、（ｄ）ハロゲン化物イオン源、および（ｅ）任意に、水溶性ポリマーを含む特定の接着促進組成物に接触させることを提供する。この方法は、前記従来の方法と比べてピンクリングを除去または最少化し、かつ経済的に操作しつつ、金属とポリマー表面（すなわち、回路および中間絶縁層）との間に向上した接着を提供すると言われている。
【００１４】
しかしながら、酸性過酸化物処理溶液の使用は、ガラス繊維充填樹脂に積層された銅の良好な剥離強度および安定性を与えるが、完成したプリント回路板を作るための積層板のさらなる加工において傷を生じさせ得ることを見出した。すなわち、一部の樹脂系、特に低Ｔｇ材料を用いると、穿孔することが、ドリルが銅層に交差する地点において、エッチング処理された銅の表面から少量の有機材料を除去し、この現象は「ウェッジ（ｗｅｄｇｅ）」と呼ばれる。板を調製およびめっきする化学的工程を通じて穿孔された板をさらに加工することが、穿孔されたホール周囲の処理された銅表面において小さな領域を作りだし、ここで、被覆が攻撃および除去され、「ピンクリング」と呼ばれる現象を作り出す。このピンクリングの領域は、積層用の銅表面を調製するための標準的酸化物加工において観察されるピンクリングよりはかなり小さい。それにも拘わらず、この攻撃領域において、溶融はんだ上に板を浮かせた後、銅表面から収縮する樹脂の小さな領域が観察され得る。樹脂収縮の（「樹脂ボイド」と呼ばれる）のこれらの領域は、これらがなお関係している板を拒絶するのに充分な原因であることはできない。
【００１５】
特に、これらのウェッジ、ピンクリングおよび樹脂ボイド傷が、これらの酸性過酸化物処理溶液で処理された板を、強アルカリ後処理により加工し、続いて濯ぎおよび乾燥することにより、大幅に低下または除去されることができることが見出された。
【００１６】
Ｆｅｒｒｉｅｒらの米国特許第６，０２０，０２９号は、酸化剤、酸、腐食抑制剤、任意にハロゲン化物イオン源および任意に水溶性ポリマーを含む酸性化酸化物接着促進組成物を報告している。好ましくは、水溶性ポリマーは湿潤剤または界面活性剤ではないが、低分子量の水溶性ホモポリマーまたはコポリマーである。組成物は金属表面に適用される。酸性過酸化物溶液を金属に適用した後、金属を、強アルカリ性溶液で後処理し、続いて水で濯ぐ。金属がそのような処理された後、ポリマー材料が金属表面に結合される。’０２９の特許は、酸性過酸化物組成物中でハロゲン化物と水溶性ポリマーを組み合わせると、金属表面とポリマー材料との間の最良の結合結果が提供されることを述べている。
【００１７】
ＷＯ  ００−０２４２６は、金属表面とポリマー被覆との間の結合一体性を得るためのもう一つの方法を開示している。ＷＯ  ００−０２４２６に報告されている方法は、第二銅系有機金属化合物を第一銅系有機金属転化被覆に転化して結合一体性を向上させるものである。この方法は、有機金属被覆を還元および／または部分的に溶解し、さらに任意に銅酸化抑制剤を適用することにより達成される。用いられる還元剤には、アミノボランが含まれ、溶解剤には、第二銅イオンキレート形成剤、有機または無機酸およびそれらの塩が含まれる。銅酸化抑制剤には、アゾール誘導体、例えば、そのハロゲン置換誘導体が含まれる。組成物の効果を上げるために、カチオン性、両性、アニオン性および／または非イオン性界面活性剤を組成物に含むことができる。
【００１８】
金属表面とポリマー材料との間の結合一体性を向上させる多くの方法があるが、回路板産業において、金属表面とポリマー材料との間の接着性を向上させる要望および必要性がなお存在する。前記開示方法の多くが、酸性またはアルカリ性である処理溶液を用い、金属表面上にすみずみまでのタイルを形成する。しかしながら、前記開示方法のどれもが、金属とポリマー材料との結合をさらに向上させる粗い金属表面を開発しようとはしていない。従って、金属とポリマー材料との間の接着特性を向上させるために金属の表面粗さを利用する方法が必要とされている。
【００１９】
（発明の開示）
本発明は、銅張プリント回路板積層体の銅表面のような金属表面を処理するための新規方法を提供する。これらの方法は、エポキシ樹脂などの適用されたポリマー積層体の充分に向上した剥離強度を提供することができる。
【００２０】
より詳しくは、本発明の好ましい方法は、金属表面を接着促進組成物で処理し、続いて、湿潤剤組成物で処理することを含む。その後、ポリマー組成物（積層体）を金属表面に適用する。
【００２１】
いかなる理論にも束縛されないが、水性湿潤剤組成物は、好ましくは、マイクロ−粗化された（ｍｉｃｒｏ−ｒｏｕｇｈｅｎｅｄ）（例えば、すみずみまで）表面を提供することができ、それにより、金属表面上に被覆すべきポリマー材料に、金属表面がより容易に接触することになる。処理された金属表面を、水性湿潤剤組成物で後処理した後、ポリマー材料を金属の表面上に配して、金属表面とポリマー材料との間の高い一体結合を形成する。有利なことに、本発明の方法および湿潤剤組成物は、既知の接着促進方法と比較して、金属表面とポリマー材料との間の向上した接着性を提供する。従って、金属表面とポリマー材料との間の接着は、本発明の方法を用いて調製された多層回路板が、ポリマー材料を金属表面から剥離させることなく作業者が容易に取り扱えるようにするものである。
【００２２】
重用なことに、本発明の水性湿潤組成物後処理は、最終生成物の寿命を長くする。本発明に従って後処理され、電子装置に装着された多層回路板は、後処理していない多層回路板のように容易に経時的に層剥離することはない。すなわち、電子製品は向上した寿命を有する。
【００２３】
また、本発明の後処理方法は、多くの異なる接着促進処理と共に用いて、金属表面とポリマー材料との間の接着性をさらに向上させることができる。すなわち、本発明の方法は、回路板産業で知られている接着促進方法を改良する容易に利用できる手段である。
【００２４】
本発明の目的は、金属表面とポリマー材料との間の接着一体性を向上させる手段を提供する。
【００２５】
もう一つの目的は、金属表面とポリマー材料との間の向上した剥離強度を提供することである。
【００２６】
本発明のさらなる目的は、金属表面からポリマー被覆が分離することなく、種々の製造工程により容易に加工することができる多層回路板を提供することである。
【００２７】
本発明のさらなる目的は、既知の接着方法を改良するために用いることができる、金属表面とポリマー材料との間の接着性を向上させる方法を提供することにある。
【００２８】
本発明のさらなる目的および利点は、当業者には、以下の本発明の記載および添付の請求の範囲を読んだ後に明白である。
【００２９】
（発明の詳細な説明）
前述したように、本発明は、金属表面を接着促進組成物で処理し、続いて、処理された表面を水性湿潤剤組成物に接触させることにより、金属表面とポリマー材料との間の接着性を向上させる方法を含む。
【００３０】
金属表面を接着促進組成物で処理した後に、後処理工程として水性組成物を用いる。接着促進組成物は、好ましくは、マイクロ−粗化された表面、すなわち、すみずみまで金属表面上に形成することができる。いかなる特定の理論または機構にも束縛されることもないが、金属表面を水性湿潤剤組成物で後処理することにより、湿潤剤が隅々まで行き渡り、そのすみずみとポリマー材料との間の表面張力を低下させ、および／または金属表面を平坦化することを可能にする。本発明の範囲における湿潤剤は、薬剤が、マイクロ−粗化された金属表面のすみずみとポリマー材料との間の接触を提供するような適当な量の該薬剤である。好ましくは、水性湿潤剤組成物は、湿潤剤および水を含み、さらなる添加剤は含まない。
【００３１】
本発明は、多層プリント回路板の製造に特に適している。すなわち、本出願において、内層の金属回路（通常は銅）が、接着促進組成物で処理される。接着促進処理後、任意に水で濯いだ後、内層を、水性湿潤剤組成物で後処理する。任意に、ポリマーを金属に適用する前に、もう一つの濯ぎ工程を用いることができる。内層は、プリプレグまたは画像形成性誘電体のようなポリマー材料と結合されて、多層プリント回路板が得られる。
【００３２】
処理すべき金属表面は、銅、ニッケル、鉄およびそれらの各々の合金のような種々の金属を含んでよい。しかしながら、本発明の方法では、金属表面が銅または銅合金を含む場合に最良の結果が得られる。ポリマー材料は、プリプレグ材料、画像形成性誘電体、光画像形成性樹脂、ソルダマスク、接着剤またはポリマーエッチングレジストを含む種々のポリマー材料であり得る。
【００３３】
適当な水混和性湿潤剤が、その剤が先に記載した湿潤剤の定義の範囲に入る限り、本発明を実施するのに使用されうる。適当な水混和性湿潤剤の例には、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリブチレングリコール、イソブチレングリコール等のようなグリコールが含まれるが、これらに限定されない。
【００３４】
適当なグリコールエーテルには、水混和性グリコールエーテル、例えば、エチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等が含まれるが、これらに限定されない。他の適当なグリコールエーテルには、好ましさは劣るが、グリコールモノ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルエーテルおよびグリコールジ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルエーテル、例えば、（Ｃ１〜Ｃ２０）アルカンジオール（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルエーテルおよび（Ｃ１〜Ｃ２０）アルカンジオールジ（Ｃ１〜Ｃ６）アルキルエーテルがあるが、これらに限定されない。前記開示のグリコールエーテルの酢酸エステルも用いることができる。
【００３５】
湿潤剤としても有用である適当なポリ（アルキレンオキシド）ポリマーには、ポリ（プロピレンオキシド）、ポリ（エチレンオキシド）、ポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）、ポリ（プロピレングリコール）（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）フェニルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（プロピレングリコール）４−ノニルフェノールエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレート、ポリ（エチレングリコール）フェニルエーテルメタクリレート、ポリ（プロピレン／エチレングリコール）アルキルエーテル（メタ）アクリレートまたはそれらの混合物があるが、これらに限定されない。ジおよびトリ（アルキレンオキシド）ポリマーも用いることができる。
【００３６】
用いることができるさらなる適当な湿潤剤には、エトキシル化アルキルフェノール、脂肪酸エトキシレート、脂肪族アルコールエトキシレート、エチレンオキシド／プロピレンオキシド（ＥＯ／ＰＯ）コポリマー等が含まれる。エチレンオキシド／プロピレンオキシドコポリマーは、ＢＡＳＦ社（ワイアンドット、ミシガン州（Ｗｙａｎｄｏｔｔｅ，Ｍｉｃｈｉｇａｎ））から得られ、Ｐｌｕｒｏｎｉｃｓ（登録商標）およびＴｅｔｒｏｎｉｃｓ（登録商標）の名で知られている。
【００３７】
好ましい湿潤剤は、ポリエチレングリコールのようなグリコール、およびエチレンオキシド／プロピレンオキシドコポリマー、またはＰｌｕｒｏｎｉｃｓ（登録商標）である。
【００３８】
湿潤剤は、水性組成物中に、金属表面のすみずみまでポリマー材料を接触させ得るのに充分な量で用いられる。組成物中の湿潤剤の量は、組成物の約０．５重量％〜約３０重量％、好ましくは約１重量％〜約１５重量％、最も好ましくは約１．５重量％〜約５重量％である。好ましくは、水性湿潤剤組成物は、本質的に湿潤剤と水からなる。
【００３９】
前述のように、接着促進組成物が金属上にマイクロ−粗化された転化被覆表面を提供するならば、任意の適当な接着促進処理工程を用いることができる。そのような表面は、非処理金属表面と対照的に、ポリマー材料との結合に特に適している。そのような接着促進浴は、酸化剤、酸および腐食抑制剤を含んでよい。そのような接着促進組成物のための追加の成分および改変は、後述のように使用されうる。そのような接着促進組成物は約２．０〜せいぜい約１３．０までのｐＨ範囲を有する。
【００４０】
接着促進組成物中で用いられる酸化剤は、接着促進組成物のマトリクス中で金属表面を酸化することができる任意の酸化剤を含み得る。過酸化水素および過硫酸塩が、本発明の方法で用いるのに特に好ましい酸化剤であり、過酸化水素が最も好ましい酸化剤である。接着促進組成物中の酸化剤の濃度は、組成物の合計重量を基準に少なくとも約０．０１重量％からせいぜい約６０．０重量％である。好ましくは、過酸化水素が約０．１〜約２０重量％、より好ましくは約０．５〜約１０重量％、最も好ましくは約１〜約５重量％で存在する。過酸化水素は、例えば、水中３５重量％の濃度で市販されている。
【００４１】
接着促進組成物は、任意に、過酸化水素用の安定化剤を含んでよい。任意の好適な過酸化水素用の安定化剤を用いて良い。その例としては、ジピコリン酸、ジグリコール酸およびチオジグリコール酸、エチレンジアミン四酢酸およびその誘導体、アミノポリカルボン酸のマグネシウム塩、珪酸ナトリウム、燐酸塩およびスルホン酸塩があるが、これらに限定されない。安定化剤は、接着促進組成物の約０．００１重量％以上の量、好ましくは少なくとも約０．００５重量％の量で添加される。より好ましくは、安定化剤の濃度は組成物の約０．５〜約５．０重量％で変化する。
【００４２】
接着促進組成物中で用いられる酸は、マトリックス中で安定ないかなる酸でも良い。好ましい酸は無機酸であり、単一の酸または酸の混合物として用いて良い。限定はされないが、硫酸、硝酸、塩酸、燐酸およびそれらの混合物を含む種々の無機酸を用いることができる。硫酸、燐酸またはそれらの混合物が特に好ましい。無機酸の混合物を用いる場合、酸は任意の適当な比で組み合わせることができる。約９９：１〜約１：９９、好ましくは約７５：２５〜約２５：７５の比を用いることができる。硫酸と燐酸との混合物を用いる場合、好ましくは硫酸が過半量で用いられ燐酸が半量未満で用いられる。接着促進組成物中の酸の濃度は約５〜約３６０ｇ／ｌ、好ましくは約７０〜約１１０ｇ／ｌであることができる。
【００４３】
接着促進組成物中で用いられる腐食抑制剤は、金属表面と効果的に反応して保護複合体層を形成する化合物である。好ましい腐食抑制剤は、ピロール、アゾール、オキサゾール、チアゾール、ピラゾール、トリアゾール、ベンゾトリアゾール、テトラゾール、トルイルトリアゾール、ヒドロキシ置換アゾール化合物、イミダゾール、ベンズイミダゾール、例えば、５−メチルベンズイミダゾール、２−ブロモベンジルベンズイミダゾール、２−クロロベンジルベンズイミダゾール、２−ブロモフェニルベンズイミダゾール、２−クロロフェニルベンズイミダゾール、２−ブロモフェニルベンズイミダゾール、２−クロロエチルフェニルベンズイミダゾールおよび２−ウンデシル−４−メチルイミダゾール、またはそれらの混合物である。ヒドロキシ置換アゾール化合物は２個以上のヒドロキシ置換基を有して良く、さらに、（Ｃ１〜Ｃ６）アルキル、（Ｃ１〜Ｃ６）アルコキシ、ハロゲン等で置換されて良い。適当なヒドロキシ置換アゾール化合物は、ヒドロキシ置換トリアゾールおよびヒドロキシ置換テトラゾールを含むが、これらに限定されない。１−ヒドロキシベンゾトリアゾールは、好ましいヒドロキシ置換トリアゾールである。適当なベンゾトリアゾールの例には、ベンズトリアゾール、カルボキシベンゾキシトリアゾールおよびそれらの混合物があるが、これらに限定されない。腐食抑制剤は種々の市販源から入手され、さらに精製することなく用いることができる。接着促進組成物中の腐食抑制剤の濃度は、組成物の合計重量を基準に約０．１〜約２０重量％、好ましくは約０．２〜約１重量％、最も好ましくは約０．３〜約０．６重量％である。
【００４４】
任意に、ハロゲン化物イオン源を、接着促進組成物中に用いることができる。接着促進組成物のマトリックス中でハロゲン化物イオンを提供する限り、いかなる適当なハロゲン化物源も用いることができる。適当なハロゲン化物イオン源の例は、塩化ナトリウムまたは塩化カリウムのようなアルカリ金属塩、塩素酸ナトリウムまたは塩素酸カリウムのようなオキソハロゲン化物、または塩酸のようなハロゲン化物を有する鉱酸である。最も好ましい源は、テトラアルキルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライドおよびそれらの混合物のようなテトラアルキルアンモニウムハライドのような界面活性剤基を含まないハロゲン化物源である。接着促進組成物中のハロゲン化物イオン源の濃度は、約１〜約５０ｐｐｍの範囲であり得る。塩化物を用いる場合、塩化物イオンは好ましくは約１〜約８ｐｐｍ、最も好ましくは約４〜約７ｐｐｍの量で存在する。
【００４５】
任意に、接着促進組成物は水溶性ポリマーも含む。水溶性ポリマーは、エチレンオキシドのポリマー、エチレンオキシドプロピレンオキシドコポリマー、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコールまたはポリビニルアルコールである。最も好ましいものには、エチレンオキシドのポリマー、またはユニオン・カーバイド・カンパニー（Ｕｎｉｏｎ  Ｃａｒｂｉｄｅ  Ｃｏｍｐａｎｙ）からＣａｒｂｏｗａｘの商品名で販売されているポリエチレングリコールがある。特に有用なのは、エチレンオキシドポリマー、またはＢＡＳＦ社からＰｌｕｒｏｎｉｃの商品名で販売されているエチレンオキシド−プロピレンオキシドコポリマーである。接着促進組成物中での水溶性ポリマーの濃度は、１〜１５ｇ／ｌの範囲であり得るが、好ましくは３〜６ｇ／ｌである。
【００４６】
本発明の接着促進組成物は、好ましくは、界面活性剤を含まない。
【００４７】
接着組成物または浴に添加して良いさらなる成分は、非界面活性アミンまたは４級アンモニウム化合物である。ここで用いられるアミンという用語は、低級脂肪族、環式脂肪族または芳香族アミン、すなわち、１〜約８個の炭素原子を含む基による置換を有する１級、２級または３級アミンと定義される。ここで用いられる４級アンモニウム化合物という用語は、低級脂肪族、環式脂肪族または芳香族アミン化合物を含む。各用語は、好ましくは、脂肪族置換または他の界面活性基を有する材料をその範囲から排斥する。アミン上の各置換基は、脂肪族、環式脂肪族または芳香族であることができ、そのような置換基の各々は、カルボキシル、ニトロ、スルホニル、ヒドロキシ等のような基でさらに置換されて良い。アミンの例には、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、トリエチルアミン、トリプロピルアミン、イソプロピルアミン、トリアリルアミン、ｎ−ブチルアミン、ｔ−ブチルアミン、ｎ−アミルアミン、シクロヘキシルアミン、ジシクロヘキシルアミン等がある。４級アミンまたはアンモニウム化合物の例には、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、およびジメチルジエチルアンモニウムヒドロキシド、テトラメチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライドおよびジメチル−ジメチルアンモニウムクロライドがある。アミン化合物は、約０．０１重量％〜約２．５重量％、より好ましくは、約０．１重量％〜約１．０重量％で使用される。
【００４８】
接着促進および後処理工程の前に、金属表面、特に銅、または銅合金表面を、好ましくは、機械的または化学的清浄により清浄化し、次に、接着促進組成物と接触させる。金属表面を、浸漬、噴霧または浸水（ｆｌｏｏｄ）を含む種々の方法により接着促進組成物で処理することができる。処理中の接着促進組成物の温度は、好ましくは７５℃を超えず、より好ましくは、約２０℃〜約５０℃の間で変化する。接触時間は、少なくとも約１秒であり、好ましくは約５秒〜約２分であり、最長接触時間は約１０分までであることができる。約１秒以下の接触時間が特に好ましい。
【００４９】
金属表面を接着促進組成物で処理した後、金属を、水性湿潤剤組成物で、噴霧被覆もしくは浸漬被覆、または当該分野の任意の適当な手段により被覆する。そのような被覆方法は、垂直と水平の両方の方法および装置を含む。処理された金属と水性湿潤剤との接触時間は、約１秒〜約１分、好ましくは約１０秒〜約３０秒である。好ましくは、後処理は、約１８℃〜約２２℃の温度（室温）で行われる。後処理工程は、より高い温度で行うことができるが、室温を超える温度でこの工程を行う利点がない。任意に、処理された金属を、後処理前におよび／またはポリマー材料を金属表面上に配する前に、水で濯ぐことができる。
【００５０】
当該分野で用いられる任意な方法によりポリマー材料を金属表面上に配して、金属表面との結合を形成することができる。加熱を伴う機械的加圧は、ポリマーを金属表面に結合させるのに非常に適した方法である。ポリマー材料は、ポリマーフォトレジスト、スクリーンレジストソルダマスク、接着材料等の前に存在することができる。
【００５１】
本発明のもう一つの実施形態において、酸性酸化物処理の後でかつ水性湿潤剤後処理の前に、金属表面をアルカリ性溶液で処理することができる。好ましいアルカリ性溶液は、水酸化アルカリ金属（例えば、水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウム）、炭酸アルカリ金属（例えば、炭酸ナトリウムまたは炭酸カリウム）、燐酸アルカリ金属（例えば、燐酸ナトリウムまたは燐酸カリウム）、もしくはアミンまたはこれらの化学物質の混合物の水性アルカリ性溶液である。水溶液中におけるそのような化学物質の好ましい量は、用いられる特定の化学物質並びに伴われる正確な用途に依存する。最も好ましくは、水酸化ナトリウムまたはカリウムの水溶液が、水酸化ナトリウムまたはカリウムの濃度が２〜１５０ｇ／ｌ、最も好ましくは２５〜５０ｇ／ｌで、アルカリ処理液として用いられる。接触は、浸漬、コンベア浸水または噴霧により成されるが、コンベア浸水が好ましい。接触時間は２０秒〜１０分であることができるが、１〜３分が好ましい。接触温度は室温〜８５℃であることができるが、２０℃〜４０℃が好ましい。このアルカリ処理は、完成積層製品における傷の数を減少させる。アルカリ処理後、金属表面を水で濯ぐことができる。処理された金属表面を、次に、水性湿潤剤組成物で後処理し、次に、金属表面を、任意の従来の方法によりポリマー材料に結合させる。
【００５２】
本発明のもう一つの実施形態において、接着促進段階は、銅表面上の第二銅系有機金属化合物を第一銅系有機金属転化被覆に転化する工程である。そのような工程は、有機金属被覆の還元および／または部分的溶解により、並びに任意に銅酸化抑制剤を同時に適用することにより達成される。
【００５３】
還元および／または溶解組成物は、還元剤および／または溶解剤、並びに任意に銅酸化抑制剤を含む。還元剤の例には、ＤＭＡＢ（ジメチルアミノボラン）、ジエチルアミノボラン、モルホリンボラン等があるが、これらに限定されない。他の適当な還元剤には、アンモニウム、ホウ水素化アルカリおよび／またはアルカリ土類金属、次亜燐酸塩、亜硫酸塩、重亜硫酸塩、ヒドロ亜硫酸塩、メタ重亜硫酸塩、ジチオン酸塩、テトラチオン酸塩、チオ硫酸塩、チオ尿素、ヒドラジン、ヒドロキシルアミン、アルデヒド（ホルムアルデヒドおよびグリオキサールを含む）、グリオキシル酸および還元糖がある。電流も同様に用いることができる。
【００５４】
用いられる溶解剤には、本発明の用途に用いることができる、任意の既知の第二銅イオンキレート形成剤（錯化剤）、有機または無機酸および／またはそれらの塩（または、それらの組み合わせ）を挙げることができる。そのような溶解剤には、ＥＤＴＡ（エチレンジアミン四酢酸）、ＨＥＥＤＴＡ、ＮＴＡ、ＤＴＰＡ、ＤＣＴＡ、Ｑｕａｄｒｏｌ（ＢＡＳＦから得られるエトキシル化／プロポキシル化エチレンジアミン誘導体）、有機燐酸塩（Ｄｅｑｕｅｓｔｓ）、有機酸（クエン酸、酒石酸、グルコン酸、グルタミン酸、スルファミン酸、グリコール酸、グリシン、リンゴ酸、マレイン酸、サリチル酸、アスコルビン酸、蟻酸等）、無機酸（塩酸、フッ化水素酸、臭化水素酸、硝酸、クロム酸等）、および／またはそれらのアンモニウムヒドロキシド、ピロ燐酸塩等があるが、これらに限定されない。Ｑｕａｄｒｏｌ、ＥＤＴＡおよび燐酸塩が好ましい。さらに、一種以上の還元剤と共に溶解剤を用いることが有利である場合がある。
【００５５】
適当な酸化抑制剤または腐食抑制剤は先に開示している。接着促進溶液の効果を向上させるために、接着促進溶液中でカチオン性、両性、アニオン性および／または非イオン性界面活性剤を利用することもできる。
【００５６】
適当なｐＨ、温度、成分濃度および処理時間が、最適の還元および／または溶解を促進するのに望ましいように適宜調節され得る。最適条件は実験的に容易に決めることができる、すなわち、一連の基体を種々の条件下に本発明により処理することができ、完成された積層基体を、金属基体とポリマー積層体との間の接着一体性（剥離強度）について試験することができる。好ましい条件も、以下の実施例に開示されている。
【００５７】
銅表面上の第二銅系有機金属化合物を還元および／または溶解により第一銅系有機金属化合物に転化した後、銅を水性湿潤剤組成物で後処理する。銅表面を、後処理の前および／または後に水で濯ぎ、続いて、ポリマー材料を銅表面上に配することができる。
【００５８】
（実施例）
以下の実施例により、本発明の方法および組成物を詳細に説明するが、実施例は本発明の範囲の制限を意図するものではない。
【００５９】
実施例１〜１２
以下の１２の実施例は、本発明の後処理水性湿潤剤組成物で銅表面を処理した後の銅表面とポリマー材料との間の向上した接着性を示す。銅表面とポリマー材料との間の接着性は、剥離強度により測定した。
【００６０】
各々の厚さが約４ｍｍである１２枚の３０．５ｃｍ×３０．５ｃｍのＲＴＦ（登録商標）銅箔を用いた。各銅箔を、Ｃｉｒｃｕｂｏｎｄ  Ｔｒｅａｔｍｅｎｔ１８０（登録商標）浴配合物（Ｓｈｉｐｌｅｙ  Ｃｏｍａｐａｎｙ、マルボロ、マサチューセッツ州（Ｍａｒｌｂｏｒｏｕｇｈ，ＭＡ）から得られる）の水性接着促進溶液で処理した。Ｃｉｒｃｕｂｏｎｄ  Ｔｒｅａｔｍｅｎｔ１８０（登録商標）浴配合物の組成を以下に示す。
【００６１】
硫酸（５０％）：９体積％
過酸化水素（３５％）：３．５体積％
ベンゾトリアゾール：９ｇ／ｌ
塩化テトラブチルアンモニウム（ＴＢＡＣ）：１２〜１８ｐｐｍ
水：残部
【００６２】
コンベア浸水機械において処理を行った。各銅箔を、接着性促進溶液に約６０秒間晒した。処理後に、実施例３〜７、９および１１の銅箔を蒸留水で濯いだ。次に、実施例１（対照）の箔を除く全ての箔を、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）の２ｇ／ｌ水溶液を用いて、各銅箔をその溶液に約６０秒間浸すことにより、後処理した。実施例３、５、７、９、１０および１２の後処理溶液の温度は約２０℃であり、実施例１を除く残りの実施例の後処理溶液の温度は約３０℃であった。後処理後、実施例２〜５、７および１１〜１２の銅箔を蒸留水で濯いだ。次に、全ての箔を、Ｎｅｌｃｏ（登録商標）プリプレグ（ポリエチレンポリマー）、７６２８，４０００（登録商標）シリーズの１枚のシートと１０８０，４０００（登録商標）シリーズの２枚のシートを用いて加圧した。加圧は、Ｗａｂａｓｈ（登録商標）プレス標準加圧サイクル（約１時間４５分）を用いて行った。次に、この産業で用いられる標準的装置、Ｉｎｓｔｒｏｎ（登録商標）Ｐｅｅｌ  Ｔｅｓｔｅｒモデル番号２５３０−４３７によって、剥離強度試験を行った。剥離強度は、プリプレグ材料から箔を分離するのに必要な、ポンド／平方インチで測定する。結果を以下に示す。
【００６３】
【表１】
2004515645.tif 000002
【００６４】
データは、本発明の水性湿潤組成物を用いる接着性促進溶液の後処理が、銅表面とポリマー材料との間の接着性を向上させることを示している。対照である実施例１についての剥離強度は、５．７０１ポンド／平方インチであった。これに対して、他の全ての銅箔についての剥離強度は、６．３〜せいぜい７．３であった。従って、本発明の後処理法で処理された多層回路板は、向上した結合一体性を有するので、回路板産業での作業者は、板が層剥離する可能性を心配することなく、多くの製造段階において板を容易に取り扱うことができる。
【００６５】
重用なことに、本発明の後処理法は、多層回路板の外部寿命を増加させ、それらが用いられる電子製品は、後処理しない場合よりも、長い機能寿命を有する。すなわち、多層板は、長期の使用において容易に剥離しない。
【００６６】
本発明を、特定の実施形態に関して前述したが、ここに開示の本発明の概念から離れることなく多くの変化、改良および変更を設けることができることは明らかである。従って、添付の請求の範囲の精神および広い範囲内に入る全ての変化、改良および変更を含むものとされる。ここで引用される全ての特許出願、特許および他の公報は、その全体を参考に取り入れる。
【国際公開パンフレット】
2004515645.tif 000003
2004515645.tif 000004
2004515645.tif 000005
2004515645.tif 000006
2004515645.tif 000007
2004515645.tif 000008
2004515645.tif 000009
2004515645.tif 000010
2004515645.tif 000011
2004515645.tif 000012
2004515645.tif 000013
2004515645.tif 000014
2004515645.tif 000015
2004515645.tif 000016
2004515645.tif 000017
2004515645.tif 000018
2004515645.tif 000019
2004515645.tif 000020
2004515645.tif 000021
2004515645.tif 000022
2004515645.tif 000023
2004515645.tif 000024
2004515645.tif 000025
2004515645.tif 000026
2004515645.tif 000027
2004515645.tif 000028
2004515645.tif 000029
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004515645.tif 000030
【国際調査報告】
2004515645.tif 000031
2004515645.tif 000032