(57)【要約】液晶セルは第１の基板と、その第１の基板の表面上に配置されたディレクタ整列材料の複数の平行な柱体とを備えている。各柱体は第１の基板の表面と傾斜角度を形成するように配置された縦軸をそれぞれ有している。各柱体は実質的に平坦で、第１の基板の表面に実質的に平行な表面を有する遠端部において終端する。第２の基板が設けられる。液晶材料は、第１および第２の基板の表面間に配置され、このような液晶材料の部分がディレクタ整列材料の平行な柱体と接触している。液晶基板構造の形成する方法が提供される。この方法は、室内に基板を設けるステップを含んでいる。基板の表面はディレクタ整列材料の付着フラックスにさらされ、このようなフラックスは基板の表面に対する垂線に関して傾斜角度をなす第１の軸に沿って基板表面に進行し、一方粒子ビームは第２の軸に沿って基板の表面に導かれ、この第２の軸がディレクタ整列層を生成するように第１の軸に関して鈍角をなす。液晶材料はディレクタ整列層上に付着される。【選択図】図６
2004526989.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の基板と、
各柱体が第１の基板の表面に関して傾斜角度を有するように配置された縦軸をそれぞれ有し、各柱体が実質的に平坦な表面を有する遠いほうの端部において終端している、第１の基板の表面上に配置されたディレクタ整列材料の複数の平行な柱体と、
第２の基板と、
第１および第２の基板の表面間に配置された液晶材料とを含んでおり、このような液晶材料の部分がディレクタ整列材料の平行な柱体と接触している液晶セル。
【請求項２】
基板と、
各柱体が基板の表面に関して傾斜角度を有するように配置された縦軸をそれぞれ有しており、各柱体体が実質的に平坦な表面を有する遠いほうの端部において終端している、基板の表面上に配置されたディレクタ整列材料の複数の平行な柱体体とを備えている液晶基板構造。
【請求項３】
室内に基板を設置し、
その基板の表面をディレクタ整列材料の付着フラックスにさらし、このフラックスは、基板の表面に関して傾斜角度を有する第１の軸に沿って基板表面に送られ、粒子のビームが第２の軸に沿って基板の表面に導かれ、この第２の軸がディレクタ整列層を生成するように第１の軸に関して鈍角をなし、
液晶材料をディレクタ整列層上に配置するステップを含んでいる液晶基板構造の形成方法。
【請求項４】
電子ビーム蒸発源と、基板ホルダと、およびイオン銃とを有する真空室内に液晶セル基板を設置し、電子ビーム蒸発源はこの蒸発源から第１の方向に沿ってディレクタ整列材料のフラックスを生成し、イオン銃は第１の方向とは反対方向に基板の表面に向かってイオンを導き、
基板を基板ホルダに取付け、取付けられた基板の表面が第１の方向に関して傾斜角度を有するように配置し、
ディレクタ整列材料の複数の柱体を室内で生成し、ディレクタ整列材料の蒸発源とイオン銃とを付勢し、この蒸発源から第１の方向に沿ってディレクタ整列材料のフラックスを生成し、イオン銃が第１の方向とは反対方向に基板の表面に向かってイオンを導くステップを含み、
ディレクタ整列材料の柱体を有する基板を室から取出し、
生成されたディレクタ整列層上に液晶材料を配置する液晶セルの形成方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶装置およびその製造方法に関し、とくに、液晶ディレクタ整列層およびこのような液晶ディレクタ整列層を有する装置を提供する方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
技術的に知られているように、液晶装置は、表示装置、光バルブ、空間的光変調器、および光位相ドアレイのような広範囲の用途で使用されている。一般に使用されている１つの液晶タイプであるネマチックは、分子の短軸および長軸に沿って常光（ｎｏ ）および異常光（ｎｅ ）屈折率がそれぞれ生じる細長い分子構造を有している。分子の配列は液体中のようにランダムではなく、分子はいわゆるディレクタと定義される好ましい方向に互いに整列している。分子双極子（永久または誘起された）のために、ディレクタは電界（または電磁界）を与えることによって回転されることができる。
【０００３】
図１を参照すると、典型的なネマチック液晶装置またはセル１０は、２つの平坦な基板１４ａ と１４ｂ との間に閉じ込められた液晶の薄い層１２を含み、ここでは両基板１４ａ および１４ｂ は導電性の薄膜１６ａ ，１６ｂ （電極）をそれぞれ有し、電極１６ａ ，１６ｂ の少なくとも１つが光学的に透明である。液晶セル１０に入射する電磁放射線は矢印１８で表されており、それは液晶の分子の回転平面に平行な偏光角度を有している。この電磁放射線の屈折率は、電極１６ａ ，１６ｂ に印加される電圧のために液晶層１２を通過する電界を供給されることによってディレクタが回転されると変化する。したがって、矢印１８’ で表された出て行く放射線は、液晶ディレクタの配向方向に依存するセルを通過するトランジット時間を有することになる。要するに、セルは電極１６ａ ，１６ｂ の間の電圧にしたがって調整可能な位相遅延を与える。この調整可能な位相遅延は、位相遅延装置、特殊な光変調器および光学位相ドアレイのような装置を構成するために使用されることができる。
【０００４】
しかしながら、セル１０の適切な動作には、供給されるフィールドのないときは液晶のディレクタが既知の反復動作が可能で明確な配向に緩和されることが必要である。液晶ディレクタの休止中の配向は、基板１４ａ ，１４ｂ の内側表面に与えられる表面処理または時にディレクタ整列層と呼ばれる界面層によって方位角および仰角の両方で制御される。これらの表面処理／層すなわちディレクタ整列層は図１において整列層１７として示されており、ディレクタと基板との間に平行な（ホモジニアス）または垂直な（ホメオトロピック）整列を生じさせることができる。上記の薄型セル装置において、電界は基板間のギャップを横切って供給され、ディレクタを基板に垂直であるように回転させる。したがって、整列層は休止状態で装置のダイナミックレンジを最大にするようにディレクタを強制的に均一な整列にしなければならない。ディスクリネーションの形成を避けるために、（液晶内のドメイン境界）整列層は休止状態のディレクタをわずかに上昇角度になるように設計されている。この仰角は傾斜バイアス角と呼ばれ、典型的に基板表面に関して数度であり、電界に応じて単一の回転方向をディレクタに強制する。
【０００５】
最も一般的な整列技術は、有機繊維クロスによって摩擦されたポリマーフィルム（典型的にポリイミド）の使用である。通常、摩擦方向に対して平行であり、数度の傾斜バイアスを有する整列が得られる。しかしながら、機械的、化学的および熱劣化に敏感なポリマーフィルムの使用は、装置の製造に著しい処理制約を与える。ポリマーフィルムが供給されると、最高処理温度は低く（＜３００℃）維持されなければならず、ガラスフリットシーリングおよびフリップチップのはんだボンディングのようなプロセスの使用を制限する。さらに、基板は組立ての前に汚染を除去するために溶媒で洗浄することができない。完成された装置はまた、ハイパワーレーザー、集中的な加熱を生じさせる可能性の高い適用のような高温での使用を制限される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
摩擦されたポリマー整列層の代りとなる一酸化シリコンＳｉＯのような斜めに付着された無機薄膜が開発された。それにおいて、ＳｉＯ付着フラックスと基板の垂線との間の傾斜角度は典型的に４５乃至９０°である。文献（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐｈｙｓｉｃｓ Ｌｅｔｔｅｒｓ ２１，１７３（１９７２），Ｊ．Ｌ．Ｊａｎｎｉｎｇ）を参照されたい。初期のレポートには、基板とＳｉＯ付着フラックスとの間の角度を変化させる［文献（Ｌｅｔｔ．Ａｐｐｌ，Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，１，１９（１９７３），Ｅ．Ｇｕｙｏｎ，Ｐ．Ｐｉｅｒａｎｓｋｉ ａｎｄ Ｍ．Ｂｏｉｘ）参照］か、あるいはＳｉＯの厚さを変化させる［文献（Ｊｐｎ Ｊ．Ａｐｐｌ．Ｐｈｙ．，１９，５５６７（１９８０）Ｋ．Ｈｉｒｏｓｉｍａ ａｎｄ Ｍ．Ｍｏｃｈｉｚｕｋｉ ）参照］ことによる傾斜バイアスの中程度の制御（２０乃至３０°の）が示されていた。高性能の装置おいて低い傾斜バイアスが必要とされていることがＳｉＯ整列層をさらに開発する動機となっている。文献［Ｍｅｙｅｒｈｏｆｅｒ ａｎｄ Ｊｏｈｎｓｏｎ ｅｔ．ａｌ（Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ，２９，６９１（１９６７），ＩＥＥＥ Ｔｒａｎｓ．Ｅｌｅｃｔ．Ｄｅｖ．，ＥＤ−２４，８０５（１９７７））には、低い傾斜バイアスを生じさせる多層ＳｉＯ付着技術が例示されている；しかしながら、この技術には、広い面積／大量生産での再現性が困難である非常に薄い（〜５オングストローム）層が必要である。近年、Ｓｍｉｔｈ ｅｔ．ａｌ による特許明細書（米国特許第 ５，５１２，１４８号明細書を参照）には、イオンビームスパッタリング付着されてアルコールで処理されたＳｉＯは低い傾斜バイアス整列を生じさせることが示されている；しかしながら、有機薄膜を使用することにより、摩擦されたポリマーフィルムと同じ問題が発生する。
【０００７】
図２には、ＳｉＯ付着を行うために使用される１つの装置が示されている。ここにおいて、基板１４ｂ は、基板の垂線１８が示されているように付着フラックス（すなわち、図１のＳｉＯｘ ディレクタ整列層１７を付着させるために使用された蒸発された化学種）の方向に対してここでは８５°の角度であるように真空室内に支持されている。このようなプロセスの効果は、図３に示されているようにＳｉＯｘ の柱体１７を“成長させる”ことである。ディレクタは、図３において符号１９で示されている。最初に、柱体１７は、基板１４ｂ の表面に関して典型的に５０°より大きい傾斜角度αの縦軸２１を有していることが認識される。
【０００８】
また図４を参照すると、衝突したＳｉＯｘ の付着フラックスの効果はＳｉＯｘの柱体１７の遠端部２０を形成することであり、表面２２は基板１４ｂ の表面に関して傾斜角度β（図３）の方向に成長することが認められる。最初に、ディレクタは実質的に平坦であり、ＳｉＯｘ の柱体１７の表面に対して実質的に平行に整列されていることが認識される。次に、ディレクタ付近のフィールド（符号２４ａ で示されている）はディレクタ１９に平行であることが認められる。したがって、ディレクタ付近のフィールド２４ａ は基板１４ｂ の表面により近い領域では柱体１７の縦軸２１に平行である。しかしながら、基板から遠いディレクタ付近のフィールド（図３において符号２４ｂ で示されている）は、柱体１７の遠端部で表面２２に向かった角度方向でそれる傾向がある。したがって、セルの実効傾傾斜角度は角度γである。典型的に、実効ディレクタ傾傾斜角度γは比較的大きく、たとえば２０°程度であり、それによってセルのダイナミックレンジが減少する。基板の表面に関する縦軸２１の角度、すなわち角度αは、付着フラックスと基板の表面に対する垂線１８（図２）との間の角度によってではなく、柱体を形成するために使用される成長プロセスの動力学によって限定されることに注目しなければならない。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によると、第１の基板を有する液晶セルが設けられる。ディレクタ整列材料の複数の平行な柱体は、第１の基板の表面上に配置されている。各柱体は第１の基板の表面に関して傾斜角度を有するように配置された縦軸を有している。各柱体は、実質的に平坦で実質的に第１の基板の表面に平行な表面を有する遠いほうの端部において終端する。第２の基板が設けられる。液晶材料が第１および第２の基板の表面の間に配置され、このような液晶材料の部分がディレクタ整列材料の平行な柱体と接触している。
【００１０】
このような装置により、ディレクタの基板から遠いフィールドは比較的低い傾傾斜角度度となり、それによってセルのダイナミックレンジが減少する。
【００１１】
本発明の１実施形態において、液晶基板構造が提供される。その構造は、基板と、この基板上に配置されたディレクタ整列材料の複数の平行な柱体とを含んでいる。各柱体は基板の表面に関して傾斜角度を有するように配置された縦軸を有している。各柱体は、実質的に平坦で実質的に基板の表面に平行な表面を有する遠いほうの端部において終端する。
【００１２】
本発明の１実施形態によると、液晶基板構造を形成する方法が提供される。この方法は、室内に基板を設置するステップを含んでいる。その基板の表面はディレクタ整列材料の付着フラックスにさらされ、このフラックスは基板の表面に対する垂線に関して傾斜角度を有する第１の軸に沿って基板表面に送られ、粒子ビームが第２の軸に沿って基板のその同じ表面に導かれ、その第２の軸がディレクタ整列層を生成するように第１の軸に関して鈍角をなしている。結果的に得られるディレクタ整列層は、ディレクタ整列材料の複数の平行な柱体から構成され、これらは、第１の方向とほぼ同じ方向であるが、導かれた粒子ビームによって実質的に減少されている基板表面に関してある角度をなす縦軸を有している。さらにディレクタ整列層は、導かれた粒子ビームのために基板表面に関して実質的に非常に平坦で平行である遠端部を備えたディレクタ整列材料の列から構成されている。液晶材料はディレクタ整列層上に付着される。
【００１３】
別の実施形態によると、液晶セルを形成する方法が提供される。この方法は真空室内に液晶セル基板を設置するステップを含んでおり、この真空室は、ディレクタ整列材料のフラックスを第１の方向に沿って生じさせる電子ビーム蒸発源と、基板ホルダと、および第１の方向とは反対の方向に沿ってイオンを基板の表面に向かって導くイオン銃とを備えている。基板は基板ホルダに取付けられており、その取付けられた基板の表面に対する垂線が第１の方向に関してある傾斜角度をなすようにされている。ディレクタ整列材料の複数の列は、ディレクタ整列材料の蒸発源およびイオン銃を付勢し、蒸発源から第１の方向に沿ってディレクタ整列材料のフラックスを生成し、第１の方向とは反対の方向に沿ってイオン銃によってイオンを基板の表面に導くことによって生成される。ディレクタ整列材料の柱体を有する基板が室から取出される。生成されたディレクタ整列層上に液晶材料が配置される。
【００１４】
好ましい実施形態において、ディレクタ整列材料は無機材料であり、ＳｉＯｘであることが好ましい。
【００１５】
このような方法により、低い傾斜バイアスの無機整列層は頑強なスケール可能な単一の付着プロセスを使用して得ることがができる。特有のディレクタ整列層の表面形態および組成は、付着中にイオンビーム補助を使用して得られる。これらの表面修正はイオンビーム補助により促進され、予備傾傾斜角度度および、とくに、０°から＞３０°まで変化させられることのできる反復可能で空間的に均一な傾斜バイアスの正確な制御を行うことを可能にする。結果的に得られる整列層は高温（＞３００℃）で熱安定性であり、溶媒洗浄に耐え、高いレーザ損傷しきい値（＞１ジュール／ｃｍ２ ，近赤外線，短パルス）を有している。
【００１６】
【発明の実施の形態】
本発明の１以上の実施形態の詳細は以下の添付図面および説明に記載されている。この説明および図面ならびに請求の範囲から本発明のその他の特徴、目的および利点が明らかになるであろう。
図５を参照すると、ディレクタ整列層１０２ （図６）を生成する装置１００ が示されている。最初に、装置１００ は真空室１０４ 内にイオン銃１０６ を含んでいることを除いて、図１に示されている装置と同じであることが認識される。したがって、ここでは、たとえば、ガラスである基板１４ｂ は、イオン銃１０６ および電子ビーム（Ｅビーム）蒸発源１０８ と共に真空室１０４ 内に配置されている。ここで、蒸発源は一酸化シリコン（たとえばＳｉＯ）のような無機材料である。基板１４ｂ は基板ホルダ１１０ 上に取付けられている。基板１４ｂ の上部露出表面に対する垂線１１２ は、図５に示されているように、蒸発源１０８ のフラックス付着軸１１４ に関してある角度をなし、それはここでは８５°であり、フラックス軸１１６ に関して６５°の角度をなしている。イオン源１０６ によって放出されるイオンの方向は、付着フラックスの方向とは逆向きであることを認識することが重要である。イオン銃はここでは、イオンビームがＳｉＯ付着フラックスと同じ平面内に入射するが、しかし付着フラックスと反対の方向から基板上を照射するように配置されている。したがって、図５に示され、上述されているように、垂線１８に関してＳｉＯフラックスの角度は−８５°であり、イオンビームの角度は＋６５°である。ここでイオン銃１０６ は図１乃至４と関連して上述したようにアルゴンイオンのフラックスを生成し、イオン銃１０６ からのイオンのビームが存在しないと、蒸発源は図３に示されているように基板１４上にＳｉＯの柱体１７を生成する。しかしながら、ここでは、蒸発源により生成される付着フラックスの方向とは反対の方向に進行するイオンの効果は、ＳｉＯ粒子のモーメンタムを減少させ、それによって実質的に平坦で、基板１４ｂ の表面に実質的に平行な表面を備えた遠端部２０を有する柱体１７’ を生成する（図６および７）ことであり、それはまた図３に関連して図示および説明されている角度αと比較して、縦軸２１’ と基板の表面との間の角度、すなわち角度α´を減少させる。ここで角度α´は３６°であり、一方イオンビームのない角度αは５６°である。
【００１７】
図９は、３つのネマチック液晶に対するイオンビーム電流の関数として表された液晶傾斜バイアスのグラフを示す。Ｅ７ およびＥ４６で示されたサンプルはシアノバイフェニルであり、ＩＲ９３で示されたサンプルは、ジアルキル（ＰＴＴＰ−ｎｍ）とジフルオロ（ＰＴＴＦ−ｎＦ）同族体からなるジフェニルジアセチレン（ＰＴＴＰ）化合物の混合物に基づいている。図９に示されているデータを発生するために使用される薄膜に対して、イオンビームエネルギは１５０ｅＶに固定され、付着フラックスは１秒当り２．０オングストロームに固定された。示されているように、イオンビーム補助を使用することにより、柱体構造は表面を平坦化しながら、サンプルの垂線からさらに傾斜する。イオンビーム電流の増加（柱体の角度を大きくし、平坦化を強める）は傾斜バイアスを減少させることを認識しなければならない。
【００１８】
重要な考慮事項は、斜め蒸発により達成された柱体の傾斜角度（基板垂線に関する）が典型的に、付着フラックス角度より小さいことである。入射したビームと柱体の角度と間の相違を説明するためにいくつかのモデルが示されているが、しかし最も確かなことは上記に簡単に述べられている平行なモーメンタムの保存である。このモデルにおいて、付着した化学種の平行なモーメンタムは結果的に、サンプル表面と平行な方向における入射平面内での原子の好ましい表面拡散を生じさせる。この好ましい表面拡散により、図４に示されているように柱体は基板の垂線に向かって蒸気ビームと反対側に傾斜する。このモデルに基づいて、整列層は図７に示されているように斜め蒸発中にイオンビーム補助を使用して対向する平行なモーメンタムを付着原子に伝達するために設計された。イオン銃の向きのために、イオンビームにより伝達されるモーメンタムは、付着の平行モーメンタムとは逆方向であり、それが効果を最小に（または逆に）する。原子は逆方向に選択的な表面拡散を行われ、その結果（ａ）柱体の角度α´（図６）がα（図３）と比較して減少し、（ｂ）付着された柱体１７’ の密度が高くなり、（ｃ）表面、すなわち柱体１７’ の遠端部２０’ が平坦化する（図６および７）。高いイオンビームエネルギでは表面スパッタリングが発生し、それによってサンプル表面の平坦化が助けられる。
【００１９】
設計された実験装置は整列層に十分に特性を与えるために使用され、その結果、イオンビーム電流と、イオンビームエネルギと付着レートとの関数として傾斜バイアス（サンプルＥ４６に対する）の広範囲にわたるモデルが示されている。実験装置は、合計２０回の試験に対して１５か所の実験ポイントと中心点の６つの再生物とを（分散（ｖａｒｉａｎｃｅ）の推定値を得るために）必要とする中心複合回転可能な設計を使用した。位相遅延装置（すなわち、液晶セル）は各試験に対して製造され、立証サンプル（位相遅延装置の整列層を示す）は各整列層付着物中に含まれていた。薄膜を付着する前に、基板表面の残留汚染を除去して良好な接着を促進するために、短いイオンビームスパッタ洗浄が使用された。この作業では、イオン銃１０６で２０ｍＡ、３００ｅＶのＡｒイオンビームを＋６５°の角度で２分間使用してイオン洗浄プロセスが行われた。整列層付着は、電子ビーム源および付着中ずっと同時に動作するイオン銃の両方により行われた。蒸発源１０８ からのＳｉＯ付着レートは１．０から３．０オングストローム／分に変更された。Ｅビーム源１０８ はここではＭＫＳ４０００シリーズのビーム源であり、非常に均一な付着が生じるようにサンプルからほぼ１．３ｍの位置に配置された。イオン銃１０６ はここではプラズマブリッジニュートラライザを備えた３ｃｍのイオン・テック銃であり、これが１０乃至４０ｍＡのビーム電流、７５乃至２２５ｅＶのビームエネルギおよび７００ｅＶの加速器電圧で動作された。真空システム制約のために、イオン銃１０６ は基板の近く（〜１０ｃｍ）に配置された。イオン銃１０６ において使用されたガスはＡｒ（３ｓｃｃｍで）およびＯ２ （１．５ｓｃｃｍで）であった。最小化のために酸素が追加された。
【００２０】
少なくとも２つの傾斜バイアス（ＴＢ）測定が各位相遅延装置から行われ、ＴＢを付着パラメータの関数として表す多項式を生成するために回帰解析において測定値の平均が使用された。ＳＥＭによる解析のために１５回の中の６回の試験から立証サンプル（広範囲の傾斜バイアスを有する位相遅延装置に対応した）が選択された。液晶による充填の前に、全ての位相遅延装置に関してギャップの厚さが測定された（分光光度計中のファブリーペロー指数を測定することによって）。以下の表１は、マトリックス中での全ての試験に対する付着パラメータ、製造順番、ＴＢ、厚さおよび位相遅延装置指示を示している。
【００２１】
ＴＢデータの回帰解析から、ＴＢをイオンビーム電流、イオンビームエネルギおよび付着レートの関数として表した以下の２次の多項式が得られた：
ＴＢ＝ ３６．５ − １９．３Ｃ − ０．０１４ＡＢ ＋ ０．５９６ＡＣ ＋ ０．０８２ＢＣ         式（１）
ここで、Ａはビーム電流（ｍＡ）であり、Ｂはビームエネルギ（ｅｖ）であり、Ｃは付着レート（オングストローム／秒）である。Ｃは、蒸発源に対して垂直であり、イオンビームから遮蔽された結晶モニタによって測定されたことを認識すべきである。全ての１次、２次およびバイリニア（相互作用）の項が評価され、信頼度が９０％未満の係数が除去される。多項式は主に相互作用項から構成され、プロセス変数間の強い相互作用を示している。ビーム電流またはエネルギの一方あるいはその両方が低いとき、ＴＢは高いことを注意すべきである。ビーム電流およびエネルギが増加すると、傾斜バイアスはゼロに減少し、その後符号を変化させて漸次的に負になる。付着レートを増加すると、結果的に傾斜バイアスが若干増加することもまた認識すべきである。
【００２２】
高い正の傾斜バイアスのサンプルは、粗い多孔性の表面を生成する明確な柱体構造を有することが認められた。これらは、柱体の傾傾斜角度が断面ＳＥＭマイクログラフで正確に測定されることができ、＋４９°および＋５７°の角度（基板の垂線に関して）を与える唯一のサンプルである。これらのサンプルは、比較的低いビーム電流に対応していることに注意すべきである。高いビーム電流およびエネルギについては、薄膜の厚さおよび密度を減少させると、柱体構造の高い解像度の映像の獲得が困難になる。ビーム電流が増加しているが、ビームエネルギは依然として中程度である場合、薄膜の厚さは減少する。これは、高いイオンフラックス密度が大量のスパッタリングを生じさせるという予想と一致する。
【００２３】
データは、イオンビームにより誘起された表面修正により、実験装置で観察される広い範囲にわたってＴＢを制御する能力がどのようにして発生するかを示している。機械的整列メカニズムは終始優位を占めているが、ＴＢの範囲は３つの異なった領域に分割されることができると考えられている。最初に、低いビーム電流およびエネルギに対して、イオン補助によりＳｉＯＸ 柱体の傾斜角度を減少させる能力は、大きい正の角度に対してＴＢを調整する能力を生じさせる。柱体のＳｉＯＸ 薄膜に対するネマチック液晶の整列は多くの著者により報告されている。清浄なＳｉＯＸ 表面に対して、液晶は均一に整列し、ディレクタの方向は弾性ひずみエネルギを最小化することにより決定される。第２の領域において、小さい傾斜バイアス角に対する整列は、表面の平坦化により柱体角度が減少した結果発生する。低い傾斜バイアス角度は高度なダイナミックレンジ装置に対して望ましいので、この領域こそ最も重要である。第３の領域において（高いビーム電流およびエネルギに対して）、イオンミリングによる粗仕上げの結果、負のＴＢ角が生じる。イオンミリングされた表面に対する整列が説明されているが、弱い整列および大きいプロセスバリエーションのために、その重要性は低い。３つの領域にわたる転移は連続的であり、付着パラメータを調節することによって高い正確度で（とくに、正の角度に対して）制御されることができる。
【００２４】
はじめに説明したように、中程度のビーム電流およびエネルギによるイオン補助は、柱体傾傾斜角度を劇的に増加させるが、しかし表面平坦化に対するその影響はわずかである。図６に示されているこれらの層１７’ （ここでは、１６ｍＡのイオン補助電流、１０５ｅＶのイオンビームエネルギレベルおよび１秒当り１．４オングストロームのＳｉＯｘ 付着レートからなる中程度のイオンビーム補助を使用して付着された）と接触しているネマチック液晶に対するディレクタの配向を決定するために弾性ひずみモデリングが再び使用された。実験上、これらの薄膜は、９°の傾斜バイアスα´（液晶Ｅ４６に対して）を生じ、これは〜８°を示すモデルに良好に一致することが認められた。中程度のイオン補助による、およびイオン補助なしの薄膜に対するモデリングは、バルク中の傾斜バイアスが柱体の傾斜角度によって優勢に決定されるが、しかし柱体の先端の周辺の摂動（ｐｅｒｔｕｒｂａｔｉｏｎｓ）もまた傾斜バイアスに影響を与えることを示している。
【００２５】
これらのモデルはまた、柱体の角度の減少により傾斜バイアスは減少するが、柱体の角度減少だけでは低傾斜バイアスを得ることができないことを示している。
【００２６】
低傾斜バイアスの薄膜（０乃至１０°）の解析は、低傾斜バイアスを得るためには、柱体の先端の幾何学的形状を変化させる薄膜の平坦化が必要であることを示している。高いイオン補助エネルギおよびビーム電流を使用して、低い柱体の角度および良好な平坦性を有する薄膜が得られる。また、空隙率（柱体間の小さい間隔）が減少されることを認識すべきである。これらの薄膜に対するディレクタ角度のモデリングは、図８に示されているように、柱体の頂点に沿った強い平行整列の結果としてわずかな傾斜バイアスを生じさせる柱体間の周期的な空隙を伴って低い傾斜バイアスが得られることを示している。この図８には、３４ｍＡのイオン補助電流、１０５ｅＶのイオンビームエネルギレベル、および１秒当り２．６オングストロームのＳｉＯｘ 付着レートの条件下でディレクタが２°の傾斜バイアスα´に達した場合が示されている。これは、バルク傾斜バイアスに対する主な影響が、柱体の先端の幾何学的形状ではなく柱体の角度から生じる非イオン補助柱体薄膜との顕著な相違を表している。
【００２７】
最後に、ビーム電流およびエネルギをさらに増加すると、最終的にはイオンミリングレートがＳｉＯ付着レートを越えることになる。この方式では、サンプル上へのＳｉＯｘ の堆積は生ぜず、その代りに表面が浅い角度のイオンミリングによって粗く仕上げられる。この場合、傾斜バイアスは反転され、あるいは上記において展開された符号の定義が維持される（ディレクタはＳｉＯｘ 源とは逆の方向を向いている）ならば、傾斜バイアスは負である。イオン粉砕された表面は潜在的に有用であるが、その安定性が斜めイオンビーム補助蒸発（ＯＩＢＡＥ）薄膜より劣ることを示し、そのために高性能の装置に対して望ましくない。
【００２８】
本発明のいくつかの実施形態が記載されている。しかしながら、本発明の技術的範囲を逸脱することなく種々の修正が可能であることが認識されるであろう。したがって、その他の実施形態は添付された請求の範囲の技術的範囲内において可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】
従来技術による液晶セルの概略図。
【図２】
従来技術による図１の液晶セルにおいてディレクタ整列層を形成するために使用される装置の概略図。
【図３】
従来技術による図２の基板構造上のディレクタ整列材料の柱体を示す図１のセルの基板構造の一部分の概略図。
【図４】
従来技術による図３のディレクタ整列層を生成する図２の装置の効果を理解するのに役立つ概略説明図。
【図５】
本発明による液晶セル中にディレクタ整列層を形成するために使用される装置の概略図。
【図６】
本発明による基板構造上のディレクタ整列材料の柱体を示す本発明による図５の装置により形成されるセルの基板構造の一部分の概略図。
【図７】
本発明による図６のディレクタ整列層を生成する図５の装置の効果を理解するのに役立つ概略説明図。
【図８】
本発明の別の実施形態による図６の基板構造上のディレクタ整列材料の柱体を示す液晶セルの基板構造の一部分の概略図。
【図９】
３つのネマチック液晶に対するイオンビーム電流の関数として表された液晶傾斜バイアスのグラフ。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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