(57)【要約】本発明は、担体粒によって担持された金属粒子の形の少なくとも一つの固体触媒と接触した気体状態の炭素源を分解することによって、整然としたカーボンナノチューブを選択的に製造する方法に関するものであって、触媒粒は、１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる平均寸法を有する金属粒子を重量で１％から５％の間で含む流動床を形成するのに適しているものである。分解は、触媒粒の流動床内で実施される。本発明は、所定の寸法の、純粋なナノチューブを高い収率で獲得することを可能にする。
2004532180.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも一つの固体触媒と接触した気体状態の炭素源を分解することによって、整然としたカーボンナノチューブを選択的に製造する方法において、
少なくとも一つの遷移金属を含む金属粒子の形をした該固体触媒は、流動床を形成するのに適した、触媒粒と呼ばれる固体担体粒によって担持されており、該金属粒子は、７５０℃に加熱して活性化した後に測定したときに１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる平均寸法を有しているものであって、
該方法は、成長反応炉（３０）とよばれる反応炉内で触媒粒の流動床を実現し、また、触媒粒床の流動化と分解反応およびナノチューブの形成を確実にするのに適した条件で、触媒粒と接触した成長反応炉（３０）内へ炭素源を連続して供給するものであり、
・重量比で１％と５％の間に含まれる金属粒子を含む触媒粒が得られるように、金属粒子を形成するのに適した少なくとも一つの前駆体が供給された蒸着反応炉（２０）と呼ばれる反応炉内に実現された担体粒の流動床内で、担体粒に金属粒子を蒸着させることにより、それぞれの触媒の触媒粒をあらかじめ製造し、
・次に、外気と接触させずに、成長反応炉（３０）内に触媒粒を置き、ついで触媒粒床を実現し、成長反応炉（３０）内でナノチューブを形成する
ことを特徴とする方法。
【請求項２】
金属粒子の平均寸法が２ｎｍと８ｎｍの間に含まれ、金属粒子の数の少なくとも９７％について、それらの寸法と金属粒子の平均寸法の差が５ｎｍ以下である触媒粒を製造することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
金属粒子の平均寸法が４ｎｍから５ｎｍ程度であり、金属粒子の数の少なくとも９７％について、それらの寸法と金属粒子の平均寸法の差が３ｎｍ程度である触媒粒を製造することを特徴とする、請求項１または２に記載の方法。
【請求項４】
金属粒子の寸法が５０ｎｍ未満である触媒粒を製造することを特徴とする、請求項１から３のいずれか一つに記載の方法。
【請求項５】
成長反応炉（３０）内の流動床を６００℃と８００℃の間に含まれる温度にすることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一つに記載の方法。
【請求項６】
金属粒子が、少なくとも重量で９８％は少なくとも一つの遷移金属で構成されており、微量の炭素および／または酸素および／または水素および／または窒素以外の非金属元素をほぼ含んでいないことを特徴とする、請求項１から５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項７】
金属粒子が、少なくとも一つの遷移金属の純粋な金属蒸着で構成されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項８】
平均寸法が１０μと１０００μの間に含まれる触媒粒を製造することを特徴とする、請求項１から７のいずれか一つに記載の方法。
【請求項９】
触媒粒の寸法と製造された触媒粒の平均寸法の差が、前記平均寸法の値の５０％未満であることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１０】
担体が、１０ｍ2／ｇを超える比表面積を呈することを特徴とする、請求項１から９のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１１】
担体が、孔の平均サイズが金属粒子の平均寸法を超える多孔性材料であることを特徴とする、請求項１から１０のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１２】
担体が、アルミナ、活性炭、シリカ、ケイ酸塩、マグネシア、酸化チタン、ジルコニア、ゼオライトあるいはこれらの金属の複数の粒の混合物の中から選択されることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１３】
金属粒子が、アルミナ粒に拡散状態で蒸着した純粋な鉄で構成されることを特徴とする、請求項１から１２のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１４】
蒸着反応炉（２０）と成長反応炉（３０）が別個のものであることを特徴とする、請求項１から１３のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１５】
少なくとも一つの気密導管（２５ａ、２６、２５ｂ）によって蒸着反応炉（２０）と成長反応炉（３０）が接続され、この導管（２５）によって、成長反応炉（３０）に触媒粒が供給されることを特徴とする、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
蒸着反応炉（２０）内の担体粒の流動床内で担体粒に金属粒子を化学的気相蒸着することによって、触媒粒を製造することを特徴とする、請求項１から１５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１７】
２００℃と３００℃の間に含まれる温度で、担体粒への粒子の蒸着を実現することを特徴とする、請求項１から１６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１８】
蒸着反応炉（２０）内の担体粒の流動床に少なくとも一つの有機金属前駆体が供給されることを特徴とする、請求項１から１７のいずれか一つに記載の方法。
【請求項１９】
有機金属前駆体としてＦｅ（ＣＯ）5を使用することを特徴とする、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
担体粒の流動化を確実にするのに適した条件で、蒸着反応炉（２０）内に連続供給される気体混合物内で、蒸気の状態で前駆体を連続的に希釈することを特徴とする、請求項１から１９のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２１】
気体混合物が、中性気体と少なくとも一つの反応性気体を含んでいることを特徴とする、請求項２０に記載の方法。
【請求項２２】
反応性気体として水蒸気を用いることを特徴とする、請求項２１に記載の方法。
【請求項２３】
直径が２ｃｍを超える円筒状の成長反応炉（３０）内で触媒粒の流動床が実現され、該成長反応炉が、気体の供給がいっさいないときに決定された触媒粒の初期非流動床の体積の１０から２０倍を入れるのに適した内壁高さを呈していることを特徴とする、請求項１から２２のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２４】
成長反応炉（３０）内で、少なくともチャネリングがほとんどない、気泡状態で、触媒粒の流動床が実現されることを特徴とする、請求項１から２３のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２５】
成長反応炉（３０）内で触媒粒の流動床を実現するために、
・成長反応炉（３０）の底に触媒粒床を形成し、
・触媒粒床の流動化最低速度を超え、スラッギングの出現最低速度より遅い速度の少なくとも一つの気体を、流動床下の成長反応炉（３０）に供給する
ことを特徴とする、請求項１から２４のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２６】
成長反応炉（３０）内で触媒粒の流動床を実現するために、気体状態の炭素源と、少なくとも一つの中性媒介気体を触媒粒下の成長反応炉（３０）に供給することを特徴とする、請求項１から２５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２７】
炭素源を形成する少なくとも一つの炭素質前駆体と、少なくとも一つの反応性気体と、少なくとも一つの中性気体を成長反応炉に供給し、また、成長反応炉（３０）内に導入する前にそれらを混合することを特徴とする、請求項１かた２６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２８】
炭素源が、炭化水素の中から選択された少なくとも一つの炭素質前駆体を含んでいることを特徴とする、請求項１から２７のいずれか一つに記載の方法。
【請求項２９】
反応性気体として水素を成長反応炉（３０）に供給することを特徴とする、請求項１から２８のいずれか一つに記載の方法。
【請求項３０】
炭素質前駆体に対する反応性気体のモル比が、０．５を超え１０未満、とくに３程度、であることを特徴とする、請求項２７から２９のいずれか一つに記載の方法。
【請求項３１】
気体総流量に対して５％と８０％の間に含まれる、とくに２５％程度の、炭素質前駆体流量で、成長反応炉（３０）への供給を行うことを特徴とする、請求項２７から３０のいずれか一つに記載の方法。
【請求項３２】
触媒粒と呼ばれる固体担体粒によって担持された少なくとも一つの遷移金属を含む金属粒子を含んだ触媒顆粒組成物の調製方法において、担体粒への金属粒子の化学的気相蒸着を実現し、
金属粒子を形成するのに適した少なくとも一つの前駆体が供給された担体粒の流動床内で、担体粒への金属粒子の蒸着を実現することを特徴とし、また、
・触媒粒が流動床を形成するのに適し、
・金属粒子の重量比が１％と５％の間に含まれ、
・金属粒子が、７５０℃での加熱による活性化の後に測定したとき、１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる粒子平均寸法を有する
ように担体粒を選択し、蒸着パラメータを調整することを特徴とする調製方法。
【請求項３３】
化学的気相蒸着の形で蒸着が実現されることを特徴とする、請求項３２に記載の方法。
【請求項３４】
２００℃と３００℃の間に含まれる温度で蒸着が実現されることを特徴とする、請求項３２または３３に記載の方法。
【請求項３５】
少なくとも一つの有機金属前駆体が担体粒の流動床に供給されることを特徴とする、請求項３２または３３に記載の方法。
【請求項３６】
有機金属前駆体としてＦｅ（ＣＯ）5を使用することを特徴とする、請求項３２から３５のいずれか一つに記載の方法。
【請求項３７】
担体粒の流動化を確実にするのに適した条件で蒸着反応炉（２０）内に連続供給される気体混合物内で、蒸気の状態で前駆体を連続的に希釈することを特徴とする、請求項３２から３６のいずれか一つに記載の方法。
【請求項３８】
気体混合物が、中性気体と、少なくとも一つの反応性気体を含んでいることを特徴とする、請求項３７に記載の方法。
【請求項３９】
反応性気体として水蒸気を用いることを特徴とする、請求項３８に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、整然としたナノチューブの製造方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
本発明の意味での整然としたカーボンナノチューブは、管状構造を呈しており、該管状構造は、直径が０．４ｎｍと５０ｎｍの間に含まれ、長さがその直径の１００倍を超え、とくにその直径の１０００倍と１０００００倍の間に含まれるものである。それらは、金属触媒の粒子に結びつけられるか、これらの粒子から隔離される形態を取る。カーボンナノチューブはずいぶん前から報告されていた（Ｓ．Ｉｉｊｉｍａ  「Ｈｅｌｉｃａｌ  ｍｉｃｒｏｔｕｂｕｌｅｓ  ｏｆ  ｇｒａｐｈｉｔｉｃ  ｃａｒｂｏｎ」  Ｎａｔｕｒｅ，  ３５４，  ５６（１９９１））が、しかし、まだ工業的規模の利用の対象にはなっていない。それにもかかわらず、多数の用途の対象となり、とくに、複合材料、フラットスクリーン、原子力顕微鏡用の尖端の製造、触媒の担体として水素その他の気体の貯蔵などにおいて、大変有効かつ有利になる可能性がある。
【０００３】
米国特許第４６６３２３０号と米国特許第５５００２００号は、４００μｍ未満の固体担体粒によって担持され、少なくとも一つの遷移金属を含む３．５ｎｍから７０ｎｍの金属粒子の形の固体触媒と接触した気体炭素源を高温分解することによって炭素フィブリルの触媒を調製する方法を開示している。これらの文書によれば、得られたフィブリルは、整然とした炭素の外側領域に囲繞された、あまり整然としていない炭素の内側コアを含み、また、３．５ｎｍと７０ｎｍの間で変動する直径を有するということである。米国特許第５５００２００号は、これらのフィブリルを得るための方法を流動床で実施することが可能だと述べているが、かかる方法の実施例はいっさい提供していない。記載された全ての実施例は固定床で実現されており、炭素源に対する収率は低く（２０重量％未満）、しかも、得られた生成物の実際の特徴が与えられていない。したがって、これらの文書は、本当の整然としたナノチューブの製造および／またはかかるナノチューブの製造のための流動床の使用に関して、実際の情報をいっさい提供していない。
【０００４】
他の文書は、るつぼ内に配置された担体粒に担持された（国際公開第００／１７１０２号パンフレット）、あるいは一酸化炭素やエチレンなどの炭素源気体によって供給された反応炉内にエーロゾルの形で導入された（国際公開第９９／０６６１８号パンフレット）、金属粒子で形成された触媒組成物による単層カーボンナノチューブの製造を示している。かかる方法で得られた収率（炭素源に対する、生成されたナノチューブ）はきわめて低く、また、ある量の熱分解炭素または無定形炭素の粒子が産生する。ところが、カーボンナノチューブを実際に工業的に利用するには、寸法特性、生成収率、得られた生成物の純度を、同時に正確に管理することが重要である。
【０００５】
２００１年１２月１３日に公開された国際公開第０１／９４２６０号パンフレットは、触媒から空気を抽出するための触媒処理予備過程に触媒還元過程が続く、複数の過程から成るカーボンナノチューブの製造方法と装置を記載している。かかる方法においても、反応によって形成された、したがって、形成されたナノチューブに対して選択的でない、無定形炭素を除去する必要がある。
【０００６】
米国特許第４６５０６５７号と米国特許第４７６７７３７号は、水素と、窒素などの中性気体、鉄金属触媒粉末の存在の下で、かつ、担体の役割を果たすことができるアルミナなどの研磨剤の存在の下で、一酸化炭素の分解によって、流動床内で鉄金属成分を含む繊維性炭素材料を製造する方法を示している。これらの文書は、かかる流動床が、形成された炭素を粒の表面から持ち上げ、細分化を促進し、流動床の活性物質のサイズを最小にする効果を有することを示している。これらの文書は、カーボンナノチューブの製造に適用される方法を記載していない。反対に、得られた生成物は、平均寸法が１μから５０μの炭素粒子である（米国特許第４６５０６５７号の表１）。
【０００７】
刊行物「Ｆｅ−ｃａｔａｌｙｚｅｄ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅｓ  ｆｏｒｍａｔｉｏｎ」  Ｋ．  Ｈｅｒｎａｄｉ  ｅｔ  ａｌ，  Ｃａｒｂｏｎ，  ３４，  Ｎｏ  １０，  （１９９６），  １２４９−１２５７」は、固定床内あるいは直径が６．４ｍｍの「流動床」とよばれる反応炉内の異なる触媒上で、カーボンナノチューブを調製する方法を記載している。かかる直径は、本物の流動床を生じることはできない。触媒は含浸によって調製される。実験室規模での利用に限定されたこの方法は、無定形炭素を生成するものであり、かかる「流動床」の使用が固定床の使用よりも適さないであろうことを示している。
【０００８】
他方で、仏国特許第２７０７５２６号は、２００℃未満で、多孔性担体粒の流動床内で２ｎｍ未満の金属粒子を化学的気相蒸着することによる、触媒調製法を記載している。この文書はとくに、ロジウム触媒の調製を記載しており、カーボンナノチューブの獲得に適した触媒は記載していない。
【特許文献１】
米国特許第４６６３２３０号
【特許文献２】
米国特許第５５００２００号
【特許文献３】
国際公開第９９／０６６１８号
【特許文献４】
米国特許第４６５０６５７号
【特許文献５】
仏国特許第２７０７５２６号
【非特許文献１】
「Ｆｅ−ｃａｔａｌｙｚｅｄ  ｃａｒｂｏｎ  ｎａｎｏｔｕｂｅｓ  ｆｏｒｍａｔｉｏｎ」  Ｋ．  Ｈｅｒｎａｄｉ  ｅｔ  ａｌ，  Ｃａｒｂｏｎ，  ３４，  Ｎｏ  １０，  （１９９６），  １２４９−１２５７
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
本発明はしたがって、とくに、炭素源に対する収率、触媒活性、生産コストおよび得られた製品のナノチューブ純度の点において、工業的規模の利用と相容れる条件の中で、均質な平均寸法の（平均値前後のばらつきが小さい）、整然とした正真正銘のカーボンナノチューブを選択的に製造する方法を提案することを目的とする。
【００１０】
本発明はまた、生成されたナノチューブの特徴が予測可能であり、方法実施パラメータを単に変更するだけで該特徴を調整することができるような方法を提案することも目的とする。
【００１１】
本発明はとくに、炭素源に対する生成されたナノチューブの収率が、重量で８０％以上であるような方法を提案することを目的とする。
【００１２】
本発明はまた、本発明による整然としたカーボンナノチューブの製造方法において使用することができる触媒顆粒組成物、ならびにかかる触媒顆粒組成物の調製法を提案することも目的とする。
（本書において、流動床の特徴に関する全ての用語と基準は、参照文献「Ｆｌｕｉｄｉｚａｔｉｏｎ  Ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ」，Ｋｕｎｉｉ，Ｄ．；  Ｌｅｖｅｎｓｐｉｅｌ，  Ｏ．；  Ｂｕｔｔｅｒｗｏｒｔｈ−Ｈｅｉｎｅｍａｎｎ  Ｅｄｉｔｉｏｎ  １９９１に定義された意味とする。）
【課題を解決するための手段】
【００１３】
このために、本発明は、固体担体粒によって担持され、少なくとも一つの遷移金属を含む金属粒子の形の固体触媒と接触した気体状態の炭素源を分解することにより、整然としたカーボンナノチューブを選択的に製造する方法に関するものであって、金属粒子を担持するこれら担体粒は、触媒粒と呼ばれ、流動床を形成するのに適しているものであり、該金属粒子は、７５０℃の加熱による活性化後に測定した場合に１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる平均寸法を有するものであるが、該方法は、成長反応炉（３０）と呼ばれる反応炉内で触媒粒の流動床を実現し、また、触媒粒床の流動化と分解反応およびナノチューブの形成を確実にするのに適した条件で、触媒粒と接触した成長反応炉（３０）内に炭素源を連続して供給するものであり、
・重量比で１％と５％の間に含まれる金属粒子を含む触媒粒が得られるように、金属粒子を形成するのに適した少なくとも一つの前駆体が供給された蒸着反応炉（２０）と呼ばれる反応炉内に実現された担体粒の流動床内で、担体粒に金属粒子を蒸着させることにより、それぞれの触媒の触媒粒をあらかじめ製造し、
・次に、外気と接触させずに、成長反応炉（３０）内に触媒粒を置き、ついで、触媒粒床を実現し、成長反応炉（３０）でナノチューブを形成する
ことを特徴としている。
【００１４】
実際、発明者らは、意外なことに、米国特許第４６５０６５７号または米国特許第４７６７７３７号が示していることに反して、本発明の条件において、大気と触媒を接触させずに、一方の流動床を触媒の調製に、他の流動床をナノチューブの調製に使用すると、粒の上で成長する炭素質生成物の断片化に至らないだけでなく、反対に、きわめて均質な寸法（平均値前後のばらつきが小さい）の整然としたカーボンナノチューブを選択的に、しかも炭素源に対して重量で８０％を超える収率で形成できることを確認した。
【００１５】
触媒は、成長反応炉内でのその調製とその使用の間に、大気によっていかなる汚染も受けず、とくに酸化されない。
【００１６】
有利には、また本発明によれば、蒸着反応炉と成長反応炉は別個のものである。有利には、また本発明によれば、少なくとも一つの気密導管によって蒸着反応炉と成長反応炉が接続され、成長反応炉にこの導管から触媒粒が供給される。変型例として、不活性雰囲気下の蒸着反応炉から触媒粒を回収し、移動させることができる。有利には、また本発明によれば、化学的気相蒸着によって触媒粒を製造する。
【００１７】
本発明の可能な別の変型例によれば、蒸着反応炉と成長反応炉として、単一かつ同一の反応炉を用いることができる。言い換えれば、二つの段階の間で、反応炉の入口の気体と反応体、ならびに作動パラメータを変えて、単一かつ同一の反応炉内で継続的に、触媒粒の調製（蒸着）、ついでカーボンナノチューブの製造（成長）という二つの段階が実現される。
【００１８】
有利には、また本発明によれば、直径が２ｃｍを超える円筒状の成長反応炉内で触媒粒の流動床が実現されるが、該成長反応炉は、気体の供給がいっさいないときに決定された触媒粒の初期非流動床の体積の１０から２０倍を入れるのに適した内壁高さを呈する。かかる反応炉によって、本当の流動床を実現することが可能である。
【００１９】
有利には、また本発明によれば、少なくともチャネリングがほとんどない、気泡状態で、触媒粒の流動床が実現される。
【００２０】
他方で、有利には、また本発明によれば、触媒粒の流動床を実現するために、
・成長反応炉の底に触媒粒床を形成し、
・触媒粒床の流動化最低速度を超え、スラッギングの出現最低速度より遅い速度の少なくとも一つの気体を、流動床下の成長反応炉に供給する。
【００２１】
有利には、また本発明によれば、触媒粒の流動床を実現するために、気体状態の炭素源と、少なくとも一つの中性媒介気体を、触媒粒下の成長反応炉に供給する。
【００２２】
より詳細には、有利には、また本発明によれば、炭素源を形成する少なくとも一つの炭素質前駆体と、少なくとも一つの反応性気体と、少なくとも一つの中性気体を成長反応炉に供給し、また、成長反応炉内に導入する前にそれらを混合する。「反応性気体」とは、ナノチューブの生成に関与し、生成を促進することのできる水素などの気体を意味するものである。
【００２３】
有利には、また本発明によれば、炭素源は、炭化水素の中から選択された少なくとも一つの炭素質前駆体を含んでいる。有利に使用可能な炭化水素の中では、エチレンとメチレンを挙げることができる。しかしながら、変型例または組み合わせとして、炭素の酸化物、とくに一酸化炭素を使用することができる。
【００２４】
有利には、また本発明によれば、炭素質前駆体に対する反応性気体のモル比は、０．５を超え１０未満、とくに３程度、である。
【００２５】
有利には、また本発明によれば、気体総流量に対して５％と８０％の間に含まれる、とくに２５％程度の、炭素質前駆体流量で、成長反応炉への供給を行う。
【００２６】
有利には、また本発明によれば、流動床は６００℃と８００℃の間に含まれる温度にされる。
【００２７】
本発明は、本発明による製造法を使用するのに適した触媒顆粒組成物にも及ぶ。
【００２８】
したがって、本発明は、触媒粒と呼ばれる固体担体粒によって担持された少なくとも一つの遷移金属を含む金属粒子を含む触媒顆粒組成物において、
・触媒顆粒が流動床を形成するのに適しており、
・金属粒子の重量比が１％と５％の間に含まれ、
・金属粒子が、７５０℃での加熱後に測定したときに、１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる粒子平均寸法を有する
ことを特徴とする組成物に関するものである。
【００２９】
本書の全体を通じて、粒子または粒の「平均寸法」とは、使用の前に伝統的な粒度測定によって、とくに沈降速度によって、求められたような、全ての粒子または粒の寸法の平均値（粒子または粒の寸法の分布曲線最大値）である。単独に用いられた「寸法」という用語は、ある粒子またはある粒について、同じく使用の前に、例えば、走査型または透過型の電子顕微鏡観察を用いる統計測定によって求められたような、その実際の最大寸法を指す。
【００３０】
金属粒子に関して、本書の全体を通じて挙げられた寸法または平均寸法の値は、ナノチューブの製造のための使用の前に、しかし７５０℃で触媒組成物を加熱した後に、測定した値である。発明者らは実際に、加熱前の粒子の寸法が、一般的に、粒子が顕微鏡では見えないために、分析できないことを確認した。この作業は、寸法の安定値を得るのに十分な時間の間、７５０℃で、例えばヘリウムおよび／または窒素などの中性雰囲気と接触させて行われる。この時間は実際にはきわめて短い（１分から数分程度）。活性化は流動床で（炭素源供給前の触媒粒の流動床内）または他のいっさいの手段、例えば、固定床で実現される。さらに、７５０℃の温度は、粒子のサイズ測定のためだけのものとみなさなければならず、本発明による方法の使用のために必然的に使用しなければならないもの、あるいは本発明による触媒組成物を得るための温度値に対応するものではない（たとえこの値が本発明のいくつかの実施態様に用いられるものに有利になり得るとしても）。言い換えれば、それは寸法基準によって本発明の特性化をもっぱら可能にするものであるが、この正確な温度にかけられない触媒組成物も本発明に合致している。
【００３１】
有利には、本発明による触媒顆粒組成物は、金属粒子の平均寸法が２ｎｍと８ｎｍの間に含まれ、とくに４から５ｎｍ程度であること、および、金属粒子の数の少なくとも９７％について、それらの寸法と金属粒子の平均寸法の差が５ｎｍ以下、とくに３ｎｍ程度、であることを特徴とする。
【００３２】
触媒顆粒組成物は、平均寸法より明らかに大きな（典型的には平均寸法の２００％を超える）寸法の金属粒子を、低い割合で含むことがある。しかしながら、有利には、また本発明によれば、流動床の使用と設置の前、そして７５０℃での活性化の後に測定したような金属粒子の寸法は、５０ｎｍ未満である。
【００３３】
有利には、また本発明によれば、金属粒子は、少なくとも重量で９８％が、少なくとも一つの遷移金属で構成されており、微量の炭素および／または酸素および／または水素および／または窒素以外の非金属元素はほぼ含まれていない。担体粒に蒸着させるために複数個の異なる遷移金属を使用することができる。同様に、本発明による複数の別個の触媒組成物（その担体粒および／または金属粒子が別個の特性を有する）を混合して使用することができる。微量の不純物が金属粒子の調製過程に由来することがある。これらの微量成分にくわえて、残りの最大２％に、遷移金属以外の一つまたは複数の金属元素が含まれることがある。好適には、有利には、また本発明によれば、金属粒子は、微量成分を除けば、少なくとも一つの遷移金属の純粋金属蒸着によって構成される。有利には、また本発明によれば、金属、とくに鉄の、粒子の重量比は、１．％と４％の間に含まれる。
【００３４】
有利には、また本発明によれば、触媒粒は、１０μと１０００μの間に含まれる平均寸法を有する。有利には、また本発明によれば、触媒粒の寸法と触媒粒の平均寸法の差は、前記平均寸法の値の５０％未満である。
【００３５】
実際、金属粒子および粒のこれらの寸法分布が、流動床の枠内で、優れた結果を得ることを可能にすることがわかった。
【００３６】
くわえて、有利には、また本発明によれば、担体は、１０ｍ2／ｇを超える比表面積を呈する。有利には、また本発明によれば、担体は、孔の平均サイズが金属粒子の平均寸法を超える多孔性材料である。有利には、また本発明によれば、担体は、孔が５０ｎｍ未満の平均サイズを有するメソポーラス材料である。有利には、また本発明によれば、担体は、アルミナ（Ａｌ2Ｏ3）、活性炭、シリカ、ケイ酸塩、マグネシア（ＭｇＯ）、酸化チタン（ＴｉＯ2）、ジルコニア（ＺｒＯ2）、ゼオライトあるいはこれらの金属の複数の粒の混合物の中から選択される。
【００３７】
とくに、炭素源がエチレンであるとき、有利には、また本発明によれば、金属粒子はアルミナ粒の上に拡散状態で蒸着した純粋な鉄で構成される。
【００３８】
有利には、本発明によるナノチューブの製造法においては、金属粒子を形成するのに適した少なくとも一つの前駆体が供給された担体粒の流動床内で、金属粒子を担体粒に化学的気相蒸着することによって、触媒粒をあらかじめ製造する。
【００３９】
本発明は、本発明による触媒顆粒組成物の調製法にも及ぶ。
【００４０】
したがって、本発明は、触媒粒と呼ばれる固体担体粒によって担持された少なくとも一つの遷移金属を含む金属粒子を含んだ触媒顆粒組成物の調製法に関するものであり、該方法においては、担体粒への金属粒子の化学的気相蒸着を実現するものであって、
金属粒子を形成するのに適した少なくとも一つの前駆体が供給された担体粒の流動床内で、担体粒への金属粒子の蒸着、とくに化学的気相蒸着、を実現することを特徴とし、また、
・触媒粒が流動床を形成するのに適し、
・金属粒子の重量比が１％と５％の間に含まれ、
・金属粒子が、７５０℃で加熱した後に測定したとき、１ｎｍと１０ｎｍの間に含まれる粒子平均寸法を有する
ように、担体粒を選択し、蒸着パラメータを調整する、ことを特徴とする。
【００４１】
有利には、また本発明によれば、２００℃と３００℃の間に含まれる温度で蒸着を実現する。
【００４２】
有利には、また本発明によれば、少なくとも一つの有機金属前駆体、とくにＦｅ（ＣＯ）5、が担体粒の流動床に供給される。
【００４３】
有利には、また本発明によれば、担体粒の流動化を確実にするのに適した条件で蒸着反応炉内に連続供給される気体混合物内で、蒸気の状態で前駆体を連続的に希釈する。したがって、有利には、また本発明によれば、流動床には連続的に前駆体が供給される。有利には、また本発明によれば、気体混合物は、中性気体と、少なくとも一つの反応性気体を含んでいる。有利には、また本発明によれば、反応性気体として水蒸気を用いる。２００℃と３００℃の間で、水は実際にＦｅ原子を遊離させて、Ｆｅ（ＣＯ）5前駆体の分解を可能にする。くわえて、寸法が大きすぎる金属粒子の金属触媒のいっさいの焼結および凝集現象が防止される。
【００４４】
本発明は、上述または後述の特徴の全てまたは一部と組み合わされることを特徴とする、ナノチューブ製造方法、触媒顆粒組成物および触媒顆粒組成物の調製法にも関するものである。
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
本発明のその他の目的、利点と特徴は、付属の図面を参照して下記の説明と実施例から明らかになるだろう。
−図１は、本発明によるナノチューブ製造方法を実施する設備の、第一の変型例の図である。
−図２は、本発明によるナノチューブ製造方法の設備の、第二の変型例の図である。
−図３は、実施例５で得られた本発明による触媒組成物の金属粒子の寸法の棒グラフである。
−図４と５は、実施例９に記載のごとく、本発明によって得られたナノチューブの顕微鏡写真である。
【００４６】
図１は、本発明によるナノチューブ製造方法を実施することができる設備の図である。この設備には二つの反応炉が含まれている：触媒合成のための、蒸着反応炉２０と呼ばれる反応炉と、ナノチューブ調製のための、成長反応炉３０と呼ばれる反応炉である。
【００４７】
化学的気相蒸着（ＣＶＤ）による触媒合成のための蒸着反応炉２０は、ガラス製の昇華装置１を含んでおり、該昇華装置の中に有機金属前駆体が導入される。この昇華装置は焼結プレートを含み、加熱浴２によって所望の温度にすることができる。
【００４８】
使用される有機金属前駆体の蒸気を随伴する、ヘリウムなどの中性媒介気体３は、ボンベ内に貯蔵され、（図示されていない）流量調節器によって昇華装置１内に入れられる。
【００４９】
昇華装置１は、焼結プレートを含む下部ガラス室４に接続されており、該ガラス室には、有機金属前駆体の分解を促進するのに用いられる水蒸気が導入される。水の存在により、活性の高い触媒を得ることが可能になる。この室４には、（図示されていない）温度調節器によって調整することができる、一定温度に保たれた二重カバーがある。水蒸気は、ボンベ内に貯蔵された窒素などの中性媒介気体５によって、それとともに送られ、（図示されていない）流量調節器によって室４内に入れられる。窒素などの中性媒介気体６の供給は、流動化条件内になるように流量を調整するためのものである。この媒介気体６は、ボンベ内に貯蔵され、（図示されていない）温度調節器によって室４内に入れられる。
【００５０】
室４の上部は、直径５ｃｍのガラス製の流動化カラム７に気密に接続されており、該カラムは、基部に気体分配機を備えている。二重カバーのこのカラム７は、温度調節器８によって調整することのできる一定温度に保たれている。
【００５１】
カラム７の上部は、放出した分解ガスを保持するために、トラップを介して真空ポンプ９に接続されている。
【００５２】
ＣＶＤによる触媒調製に関する実施例の実施手順は、次の通りである。
【００５３】
ある質量Ｍａの前駆体が昇華装置１内に導入される。
【００５４】
ある質量Ｍｓの担体粒Ｍｓがカラム７内に注入され、ある質量Ｍｅの水が、注入器によって室４内に導入される。室４とカラム７によって形成された全体の中が真空にされる。床の温度がＴｌにされる。
【００５５】
昇華装置１は温度Ｔｓにされ、圧力は、媒介気体３、５および６の導入（総流量Ｑ）によって、装置全体の中で値Ｐａに固定される。このとき蒸着が開始され、時間ｔcの間持続する。
【００５６】
蒸着の終わりに、ゆっくりとした冷却によって温度が室温に戻され、真空ポンプ９は停止される。システムが室温と大気圧に戻ると、（窒素などの）不活性気体の雰囲気の下で、カラム７から触媒顆粒組成物が出される：それはナノチューブ製造のためにすぐ使用することができる。
【００５７】
ナノチューブの成長のための実施例において、直径の異なる、成長反応炉３０の二つの変型が用いられた。
【００５８】
図１に示した第一の変型例において、成長反応炉３０は、石英製流動化カラム１０（直径２．５ｃｍ）で構成されており、該カラムの中央には、触媒顆粒組成物粉末が置かれた分配プレート１１（石英焼結）が備えられている。カラム１０は外部炉１２によって所望の温度にすることができ、該炉は、流動化カラム１０に沿って垂直方向に摺動可能である。使用した手順において、この炉１２は、流動床を加熱しない高い位置、または床の加熱を確保する低い位置を有する。気体１３（ヘリウムなどの中性ガス、炭素源と水素）はボンベ内に貯蔵され、流量調節器１４によって流動化カラム内に導入される。
【００５９】
上部において、流動化カラム１０は、場合によっては存在する触媒顆粒組成物の微粒子または触媒顆粒組成物とナノチューブの混合物を回収するためのトラップ１５に、気密に接続されている。
【００６０】
カラム１０の高さは、作動中に、触媒粒の流動床を収納するのに適した高さである。該高さはとくに、気体供給がないときに測定された触媒顆粒床の初期高さの少なくとも１０から２０倍に等しく、また、加熱区域に対応しなければならない。実施例においては、炉１２によって高さ６０ｃｍにわたって加熱された、全高７０ｃｍのカラム１０を選択する。
【００６１】
図示されていない第二の変型例において、成長反応炉は、ステンレス製の流動化カラム（直径５ｃｍで、その全高に対する加熱総高さが１ｍ）で構成されており、該カラムの基部には、触媒粉末が置かれる分配プレート（ステンレス）が備えられている。カラムは二基の固定炉によって所望の温度にすることが可能であり、設定温度は、流動床内に埋め込まれた熱電対によって制御される。気体（中性ガス、炭素源と水素）はボトル内に貯蔵され、流量調節器によって流動化カラム内に入れられる。
【００６２】
図２は、本発明による方法の変型例を示しており、該変形例においては、触媒顆粒組成物が、蒸着反応炉２０内で連続的に、本発明にしたがって調製され、導管２５ａによってこの蒸着反応炉２０から連続的に抽出され、該導管によって中間緩衝タンク２６内に導入され、そこからナノチューブが製造される成長反応炉３０内に、導管２５ｂによって連続的に供給される。蒸着反応炉２０は、タンク１８から導管１９によって担体粒を連続的に供給される。ナノチューブが担持された触媒粒粉末は、緩衝タンク２８に通じている抽出導管２７によって、成長反応炉３０から連続的に抽出される。つぎにナノチューブは、既知の仕方で、担体粒と金属粒子から分離され、ついで貯蔵タンク２９内に貯蔵される。
【００６３】
図示した変型例において、蒸着反応炉２０とは別個の成長反応炉３０が使用される。図示されていない変型例において、後の工程で、つづいてナノチューブの成長を実現するために蒸着反応炉２０を用いることができる。しかしながら、この最後の変型例では、異なる作動パラメータで連続して二つの工程を実現しなければならず、そして成長反応は、とくにその初期段階で、蒸着過程の残留副産物によって妨害されるおそれがある。
【００６４】
本発明によるナノチューブ製造に関する実施例の実施手順は次の通りである。
【００６５】
ある質量Ｍｃの触媒（本発明による触媒顆粒組成物）を不活性ガスの雰囲気下の流動化カラム１０に導入する。
【００６６】
炉１２は触媒床に対して低い位置にあるので、不活性ガスの雰囲気下で、あるいは不活性ガスと水素（反応性気体）の混合物の雰囲気下で、該炉の温度は、ナノチューブ合成のための所望の値Ｔｎにされる。
【００６７】
この温度に達したとき、炭素源、水素および中性ガス不足分がカラム１０に導入される。総流量ＱTによって、床は、チャネリングなしに、温度Ｔｎでの気泡状態が確保される。
【００６８】
このときナノチューブの成長が始まり、時間ｔnの間継続する。
【００６９】
成長の終わりに、炉１２は触媒床に対して高い位置に置かれ、炭素源と水素に対応する気体の流れは停止され、ゆっくりとした冷却によって、温度が室温に戻される。
【００７０】
固定炉の反応炉の場合、手順は同様である。
【００７１】
金属粒子に結合され担体粒に担持されたカーボンナノチューブは、成長反応炉３０から抽出され、特別な注意なしに貯蔵される。つぎにカーボンナノチューブは、例えば、国際公開第０１／９４２６０号パンフレットに記載のごとく、酸性溶解によって、純粋状態を呈するように金属粒子と担体粒から分離することができる。
【００７２】
蒸着した炭素の量は秤量によって、および重量熱分析によって測定することができる。
【００７３】
このようにして製造されたナノチューブは、サイズと分散の測定のために透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）および走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によって、またナノチューブの結晶性を評価するためにＸ線結晶学およびラマン分光学によって分析される。
【００７４】
実施例
触媒調製
【実施例１】
【００７５】
（比較例１）
金属塩液体含浸の既知の方法によって、２．６％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3で触媒を調製する。鉄の前駆体は硝酸鉄水和物Ｆｅ（ＮＯ3）3・９Ｈ2Ｏである。アルミナ製の担体粒は、平均粒度１２０μ、密度１．１９ｇ／ｃｍ3、比表面積１５５ｍ2／ｇである。媒介気体は窒素である。触媒調製の実施は次の通りである：
担体はメソポーラスアルミナである。この担体１００ｇを１２０分間真空下で脱水する。２．６％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3を得るのに適切な量の塩を、脱気エタノール２５０ｃｍ3内でアルミナと接触させる。３時間の接触時間の後に溶剤を蒸発させ、触媒を減圧下で（０．１Ｔｏｒｒ）一晩乾燥させる。触媒はつぎに５００℃で２時間か焼され、ついで６５０℃で２時間、窒素／水素混合物（体積で８０／２０）下で還元される。
【００７６】
得られた生成物は金属粒子の平均寸法が１３ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動は、それらの少なくとも９８％について、最大１１ｎｍ程度であった。
【実施例２】
【００７７】
上述のごとく、しかし前駆体の分解促進に水を使わずに、蒸着反応炉２０内で、本発明による方法に従って、２．６％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3で触媒を調製する。使用された有機金属前駆体はＦｅ（ＣＯ）5錯体であり、一方、使用された担体粒と媒介気体は実施例１と同じである。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍａ＝９．１１ｇ、
Ｍｓ＝１００ｇ、
Ｔｌ＝２２０℃、
Ｐａ＝２２Ｔｏｒｒ、
Ｔｓ＝３５℃、
Ｑ＝８２ｃｍ3／分、
ｔc＝１５分。
【００７８】
得られた生成物（本発明による触媒顆粒組成物）は、粒に蒸着した金属粒子を呈する。５分間７５０℃で窒素の下で加熱した後の金属粒子寸法は４ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動はそれらの少なくとも９７％について、最大３．５ｎｍ程度であった。
【実施例３】
【００７９】
本発明によって、１．３％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3で触媒を調製する。媒介気体は窒素である。使用された有機金属前駆体、担体粒と媒介気体は実施例２と同じである。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍａ＝７．１２ｇ、
Ｍｓ＝１５０ｇ、
Ｍｅ＝１０ｇ、
Ｔｌ＝２２０℃、
Ｐａ＝２６Ｔｏｒｒ、
Ｔｓ＝３５℃、
Ｑ＝８２ｃｍ3／分、
ｔc＝７分。
【００８０】
得られた生成物の粒子平均寸法は３ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動は、それらの少なくとも９８％について、最大２．５ｎｍ程度であった。
【実施例４】
【００８１】
この実施例は、２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での触媒の調製を目的とする。使用された有機金属前駆体、担体粒と媒介気体は実施例２と同じである。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍａ＝１７．９５ｇ、
Ｍｓ＝２００ｇ、
Ｍｅ＝２５ｇ、
Ｔｌ＝２２０℃、
Ｐａ＝２０Ｔｏｒｒ、
Ｔｓ＝３５℃、
Ｑ＝８２ｃｍ3／分、
ｔc＝１８分。
【００８２】
得られた生成物の金属粒子平均寸法は４ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動は、それらの少なくとも９８％について、最大３．５ｎｍ程度であった。
【実施例５】
【００８３】
この実施例は、３．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での触媒の調製を目的とする。使用された有機金属前駆体、担体粒と媒介気体は実施例２と同じである。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍａ＝１２．２７ｇ、
Ｍｓ＝１００ｇ、
Ｍｅ＝２５ｇ、
Ｔｌ＝２２０℃、
Ｐａ＝２４Ｔｏｒｒ、
Ｔｓ＝３５℃、
Ｑ＝８２ｃｍ3／分、
ｔc＝２０分。
【００８４】
得られた生成物の粒子平均寸法は５ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動は、それらの少なくとも９８％について、最大４．５ｎｍ程度であった。粒子のサイズの棒グラフが図３に示されている。この図において、粒子の平均寸法は横座標に、その数は縦座標に示されている。
【実施例６】
【００８５】
この実施例は、５．６５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での触媒の調製を目的とする。使用された有機金属前駆体、担体粒と媒介気体は実施例２と同じである。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍａ＝９．８９ｇ、
Ｍｓ＝１００ｇ、
Ｍｅ＝１５ｇ、
Ｔｌ＝２２０℃、
Ｐａ＝２３Ｔｏｒｒ、
Ｔｓ＝３５℃、
Ｑ＝８２ｃｍ3／分、
ｔc＝２３分。
【００８６】
得られた生成物の粒子平均寸法は６ｎｍに等しく、この値に対する金属粒子寸法の変動は、それらの少なくとも９８％について、最大５．５ｎｍ程度であった。
【００８７】
実施例１から６の結果は下の表Ｉにまとめられている。
【００８８】
【表１】
2004532180.tif 000003
【００８９】
ナノチューブ製造
【実施例７】
【００９０】
（比較例７）
２．６％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での比較実施例１の触媒を用いて、多層ナノチューブを製造する。この試験において、触媒の量は、高い収率が得られないように、さらに、触媒調製方法の影響をよりはっきりさせるように、意図的に減らされた。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝５ｇ、
Ｔｎ＝７５０℃、
ＱT＝３２０ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝３ｇ、
ｔn＝６０分。
【００９１】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は０．１６ｇであり、これは、実施例１２の試験５（同じ鉄の百分率と同一条件）で得られた結果、すなわち１．５７ｇと比較されるべきものである。床の高さはほぼ同じままであるが、実施例１２の試験５では約１ｃｍから８．７ｃｍに移行する。ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが蒸着の一部しか構成せず、カプセル化された粒子がこの場合にきわめて多数であることを示している。したがって、本発明による触媒組成だけが、均質な平均寸法の多層ナノチューブの選択的製造を可能にする。
【実施例８】
【００９２】
前駆体の分解を促進する水を使用せずに調製された２．６％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での実施例２の触媒を用いて、多層ナノチューブを製造する。この試験において、触媒の量は、高い収率が得られないように、さらに、水による触媒活性化の影響をよりはっきりさせるように、意図的に減らされた。各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝５ｇ、
Ｔｎ＝７５０℃、
ＱT＝３２０ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝３ｇ、
ｔn＝６０分。
【００９３】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は０．８８ｇであり、これは、実施例１２の試験５（水の添加以外は、同じ鉄の百分率と同一条件）で得られた結果、すなわち１．５７ｇと比較されるべきものである。したがって、水による触媒活性化は、ナノチューブの高い収率の獲得を促進する。
【００９４】
ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが蒸着反応の唯一の生成物を構成することを示している。
【実施例９】
【００９５】
内径５ｃｍのステンレス製の反応炉を用いて、２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での実施例４の触媒とエチレンから、ナノチューブを製造する。結果の再現性を確認できるように、同一条件で五つの試験を実現した。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝１００ｇ、
Ｔｎ＝６５０℃、
ＱT＝１２００ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝３０ｇ、
ｔn＝１２０分。
【００９６】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は、実現された全ての試験について２７±０．２ｇであり、導入した炭素に対して９０％の収率である。ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが反応の唯一の生成物を構成することを示している。熱分解炭素またはカプセル化金属粒子は、蒸着に明らかに存在しない。形成されたナノチューブのＴＥＭ顕微鏡写真が図４と５に示しされている。図４において、実線によって与えられた目盛りは４００ｎｍである。それは図５では２０ｎｍである。ナノチューブの外径は２０±５ｎｍであり、その内径は４±２ｎｍであって、それは金属粒子の平均寸法にほぼ対応する。得られたナノチューブのＸＲＤおよびラマン分析は、該ナノチューブの黒鉛化の度合いが良好であることを示している；これは図５でも見られ、黒鉛の平面図を見ることができる。
【実施例１０】
【００９７】
内径５ｃｍのステンレス製の反応炉を用いて、２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での実施例４の触媒とエチレンからナノチューブを製造する。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝１００ｇ、
Ｔｎ＝６５０℃、
ＱT＝１２００ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝４５ｇ、
ｔn＝１８０分。
【００９８】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は４４ｇであり、導入した炭素に対して９７％の収率である。ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが反応の唯一の生成物を構成することを示している。
【実施例１１】
【００９９】
実施例３から６の触媒と、同様に調製された鉄が０．５％の触媒、および炭素源としてエチレンを用いて、多層ナノチューブ調製に対する金属量の影響を研究するように、直径２．５ｃｍの反応炉内で一連の試験を実施した。これらの試験において、触媒の量は、高い収率が得られないように、さらに、金属量の影響をよりはっきりさせるように、意図的に減らされた。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝５ｇ、
Ｔｎ＝７５０℃、
ＱT＝３２０ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝３ｇ、
ｔn＝６０分。
【０１００】
この実施例の試験１から５を下の表ＩＩにまとめた。
【０１０１】
【表２】
2004532180.tif 000004
【０１０２】
ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが蒸着反応の唯一の生成物あるいはほぼ大半の生成物を構成することを示している。熱分解炭素またはカプセル化金属粒子は、試験１から５に明らかに存在しない。試験１においては、鉄の濃度が低いので（０．５％）、その収率は強く影響されている。試験５においては、鉄の濃度が高いので、鉄粒子のサイズは大きく、カプセル化鉄粒子の形成が認められる。
【実施例１２】
【０１０３】
２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での実施例４の触媒および炭素源としてのエチレンを用いて、多層ナノチューブ調製に対する温度の影響を研究するように、直径２．５ｃｍの反応炉内で一連の試験を実施した。これらの試験において、触媒の量は、高い収率が得られないように、さらに、温度の影響をよりはっきりさせるように、意図的に減らされた。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝５ｇ、
Ｔｎ＝５００から８５０℃まで変動、
ＱT＝３２０ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝３ｇ、
ｔn＝６０分。
【０１０４】
この実施例の試験１から６を下の表ＩＩＩにまとめた。
【０１０５】
【表３】
2004532180.tif 000005
【０１０６】
ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は多層ナノチューブが蒸着反応の唯一の生成物あるいはほぼ大半の生成物を構成することを示している。熱分解炭素またはカプセル化金属粒子は試験１から５に明らかに存在しない。試験１においては、温度が低すぎるので反応が正確に行われない。試験６においては、温度が高すぎ、エチレンの熱分解のために熱分解炭素の形成に至る。
【実施例１３】
【０１０７】
この実施例は、内径５ｃｍのステンレス製の成長反応炉を用いて、２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での実施例４の触媒およびエチレンからナノチューブを調製することを目的とする。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝１００ｇ、
Ｔｎ＝６５０℃、
ＱT＝１４０５ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝４８．５ｇ、
ｔn＝１２０分。
【０１０８】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は４６．２ｇであり、導入した炭素に対して９５％の収率である。ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが反応の唯一の生成物を構成することを示している。
【実施例１４】
【０１０９】
この実施例は、内径５ｃｍのステンレス製の成長反応炉を用いて、実施例４に記載の操作態様に従って調製された０．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3での触媒およびエチレンからナノチューブを調製することを目的とする。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍｃ＝１００ｇ、
Ｔｎ＝６５０℃、
ＱT＝１４０５ｃｍ3／分、
導入した炭素の量＝４８．５ｇ、
ｔn＝１２０分。
【０１１０】
これらの条件において、蒸着した炭素の質量は２０．４ｇであり、導入した炭素に対して４２％の収率である。ＳＥＭおよびＴＥＭ分析は、多層ナノチューブが反応の唯一の生成物を構成することを示している。この実施例は、鉄が０．５％の触媒の性能が悪いことを確認するものである。
【実施例１５】
【０１１１】
この実施例は、実施例９に記載の操作態様に従い、内径５ｃｍのステンレス製の成長反応炉を用いて２．５％Ｆｅ／Ａｌ2Ｏ3の触媒およびエチレンから生成したナノチューブを精製することを目的とする。反応炉から出た固体粉末は、水５００ｍｌと９８％の硫酸５００ｍｌの存在の下で、２リットルのバルーン内に導入された。
各種のパラメータは次のように調整された：
Ｍ（ナノチューブ粉末＋触媒）＝７５ｇ、
Ｖ（Ｈ2Ｏ）＝５００ｍｌ、
Ｖ（Ｈ2ＳＯ4、９８％）＝５００ｍｌ、
Ｔ＝１４０℃、
ｔn＝１２０分。
【０１１２】
酸によるアルミナの二時間の溶解反応の後、溶液を濾過し、ナノチューブを数回水洗いし、乾燥機で乾燥させた。乾燥生成物（熱重量測定）は、質量で９７％のカーボンナノチューブと３％の鉄で構成されている。
【図面の簡単な説明】
【０１１３】
【図１】本発明によるナノチューブ製造方法を実施する設備の、第一の変型例の図
【図２】本発明によるナノチューブ製造方法の設備の、第二の変型例の図
【図３】実施例５で得られた本発明による触媒組成物の金属粒子の寸法の棒グラフ
【図４】実施例９に記載のごとく、本発明によって得られたナノチューブの顕微鏡写真
【図５】実施例９に記載のごとく、本発明によって得られたナノチューブの顕微鏡写真
【符号の説明】
【０１１４】
２０  蒸着反応炉
３０  成長反応炉
【国際公開パンフレット】
2004532180.tif 000006
2004532180.tif 000007
2004532180.tif 000008
2004532180.tif 000009
2004532180.tif 000010
2004532180.tif 000011
2004532180.tif 000012
2004532180.tif 000013
2004532180.tif 000014
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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