(57)【要約】【課題】測定および／または分析装置（１）の制御コンポーネントの操作性を、コンパクトな構造において達成する。【解決手段】測定および／または分析装置（１）は、抜差用開口に導入でき、抜差用開口から完全に引出すことができる抜差自在可動台（２）を含む。抜差自在可動台（２）は、更に、走行面に対して垂直方向へ支持するためにフレーム（６）に設けた摺動および／または転動部材と、フレーム（６）に着脱自在に取付けた、測定および／または分析装置（１）の電気および／または電子制御コンポーネントと、測定および／または分析装置（１）と制御コンポーネントとの間で制御信号を伝送する可撓性導体束（８）とを含む。【選択図】図３
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
特に、半導体ウエファの顕微鏡観察のための測定および／または分析装置において、
抜差用開口と、抜差自在可動台とを備え、
該可動台は、抜差用開口に導入でき抜差用開口から完全に引出すことができるフレーム（６）、
走行面に対して垂直方向へ支持するためフレーム（６）に設けた摺動および／または転動部材、
フレーム（６）に着脱自在に取付けた、測定および／または分析装置（１）の電気式および／または電子式制御コンポーネント、および、
測定および／または分析装置（１）と制御コンポーネントとの間で制御信号を伝送する手段を有することを特徴とする測定および／または分析装置。
【請求項２】
制御信号を伝送する手段として、可撓性の導体束（８）が設けてあることを特徴とする請求項１に記載の測定および／または分析装置。
【請求項３】
フレーム（８）には、引出限定部材が設けてあることを特徴とする請求項１または２に記載の測定および／または分析装置。
【請求項４】
引出限定部材が、少なくとも１つの折畳自在の樞着アーム（９）を含むことを特徴とする請求項３に記載の測定および／または分析装置。
【請求項５】
樞着アーム（９）が、最初に抜差用開口に導入される、フレーム（６）の背面（１２）に固定されていることを特徴とする請求項４に記載の測定および／または分析装置。
【請求項６】
樞着アーム（９）が、端部で相互に樞着され偏平に折重ねられる複数のアーム部分（１０）を有することを特徴とする請求項４または５に記載の測定および／または分析装置。
【請求項７】
可撓性の導体束（８）が、樞着アーム（９）内に延びることを特徴とする請求項４〜６の１つに記載の測定および／または分析装置。
【請求項８】
フレーム（６）には、更に、電気式および／または電子式電力コンポーネントが着脱自在に取付けてあり、電力伝送のため、電力コンポーネントと測定および／または分析装置（１）との間に可撓性導体束が設けてあることを特徴とする請求項４〜６の１つに記載の測定および／または分析装置。
【請求項９】
フレーム（９）には、測定および／または分析装置（１）の操作のための操作コンソール（１３）が設けてあり、この場合、操作コンソール（１３）は、制御コンポーネントと共働し、抜差用開口にフレーム（６）を導入した状態において外部から操作できることを特徴とする請求項１〜８の１つに記載の測定および／または分析装置。
【請求項１０】
操作コンソール（１３）の下方には、走行面の高さ位置まで延びる自由空間が設けてあることを特徴とする請求項９に記載の測定および／または分析装置。
【請求項１１】
フレーム（６）の側部には、抜差用開口への導入時に測定および／または分析装置（１）の案内部材と共働する案内部材が設けてあることを特徴とする請求項１〜１０の１つに記載の測定および／または分析装置。
【請求項１２】
フレーム（６）の案内部材が、走行面に対して垂直な軸線のまわりに回転自在に支持されたローラ（２０）として構成されていることを特徴とする請求項１１に記載の測定および／または分析装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定および／または分析技術の分野および対応する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
測定および／または分析装置は、一般に、関連の機能コンポーネントの周辺に設けることができる多数の制御コンポーネントを含む。多くの場合、制御コンポーネントは、更に、共通の箇所（例えば、スイッチ盤）に集約配置される。定置の装置の場合、このようなスイッチ盤は、当該の測定および／または分析装置とは別個に設置できる。この場合、各制御コンポーネント、特に、電気機器、電子機器、差込カード、抜差カード、差込モジュールおよび抜差モジュールに良好に触手できるという利点が得られる。しかしながら、通常、この種のスイッチ盤は、片側から触手できるに過ぎず、従って、この種のスイッチ盤は、比較的大きいスペースを占める。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
測定および／または分析装置の設置箇所を頻繁に変更する必要がある場合は特に、制御コンポーネントを測定および／または分析装置に直接に設ける必要がある。コンパクトな構造態様に鑑みて、上記スイッチ盤は、この目的には不適である。制御コンポーネントをできる限り密に括める試みがなされる。しかしながら、かくして、制御コンポーネントにおいて補修作業または保守作業が必要である場合には特に、制御コンポーネントの操作が著しく困難となる。
【０００４】
差込カードおよび抜差カードの使用は、各コンポーネントについて個々に、適切な解決法をなすが、制御コンポーネントがより多数である場合には、実行できない。
【０００５】
本発明の課題は、上記先行技術から出発して、測定および／または分析装置において、その制御コンポーネントに対する良好な操作性を創成することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、特に、半導体ウエファの顕微鏡観察のための測定および／または分析装置において、抜差用開口と、抜差自在可動台（ないしワゴン車）とを備え、該可動台は、
抜差用開口に導入でき抜差用開口から完全に引出すことができるフレーム、
走行面に対して垂直方向へ支持するためフレームに設けた摺動および／または転動部材、
フレームに着脱自在に取付けた、測定および／または分析装置の電気式および／または電子式制御コンポーネント、および、
測定および／または分析装置と制御コンポーネントとの間で制御信号を伝送する手段を有すること、によって解決される。
【発明の効果】
【０００７】
本発明に係る解決法にもとづき、測定および／または分析装置の多数の制御コンポーネントまたはすべての制御コンポーネントを、保守時に抜差用開口から容易に引出される空間的に密に限定されたモジュールに、極めてコンパクトに配設できる。抜差自在可動台のフレームは、抜差用開口から完全に引出すことができるので、制御コンポーネントをフレーム背面に自由に設置できる。この場合、各コンポーネントの固定態様は、従来のスイッチ盤における固定態様に対応するが、設置のフレキシビリティが大きいという点で異なる。更に、抜差自在可動台を完全に引出すことによって、制御コンポーネントの極めて自由な操作性を実現できる。なぜならば、引出状態において、すべての側からまたは相互に対向する２つの側からフレームにアクセスできるからである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
制御信号の伝送は、基本的に、ワイヤレスで行うことができる。しかしながら、本発明の有利な実施態様の場合、制御信号の伝送のため、制御コンポーネントを測定および／または分析装置に接続する可撓性導体束を設ける。導体束を介して、特に、より多量のデータを高速で伝送できる。導体束の可撓性にもとづき、フレームを抜差用開口から十分に引出すことができる。
【０００９】
導体束の損傷を避けるため、フレームと測定および／または分析装置との間に引出限定部材を設ければ有利である。
【００１０】
引出限定部材は、例えば、少なくとも１つの折畳自在の枢着アーム（ないし関節式枢着アーム：Gelenkarm）を含む。この枢着アームは、一方では、抜差自在可動台の完全な引出時に導体束の破断を阻止するため、十分に大きい強度を与えるのに役立つ。他方では、折畳自在の枢着アームは、折畳状態において、殆どスペースを必要とせず、従って、抜差用開口をフレームよりも大きく構成する必要はない。
【００１１】
これに関連して、更に、本発明の更なる実施態様に対応して、最初に抜差用開口に導入されるフレーム背面に枢着アームを固定すれば有利である。かくして、特に、敏感な導体束の圧壊の危険性を減少できる。
【００１２】
枢着アームが、端部で相互に枢着され平坦に折重ねられる複数のアーム部分を有していれば好ましい。このような枢着アームは、ベローの如く、極めてコンパクトに折重ね
ることができる。
【００１３】
基本的に、制御信号伝送のための可撓性の導体束を枢着アームと別個に設置することができる。抜差自在可動台の引出中または導入中に導体束の圧壊または他の損傷を避けるため、本発明の他の有利な実施例にもとづき、可撓性の導体束を枢着アーム内に案内する。このため、枢着アームの各アーム部分は、所定の態様で折畳自在且つ展開自在な自立の構造体を形成するよう、十分に剛に構成されている。
【００１４】
フレームには、制御コンポーネント以外に、更に、電気式および／または電子式電力コンポーネントも着脱自在に取付けることができる。この場合、更に、電力コンポーネントと測定および／または分析装置との間に可撓性導体束を設ける。この導体束は、制御信号の導体束とともに案内することができる。しかしながら、制御信号の劣化を避けるため、
その導体束をシールドするか、電力伝送のための導体束を別個に案内するのが有利である。この場合、更に、電力伝送用導体束のための補足の枢着アームを使用することができる。この場合、枢着アームは、上記の態様で構成できる。
【００１５】
本発明の他の有利な実施態様の場合、フレームには、測定および／または分析装置の操作のための操作コンソールが設けてあり、この場合、操作コンソールは、制御コンポーネントと共働し、抜差用開口にフレームを導入した状態において外部から操作できる。かくして、制御コンポーネントの保守容易性または操作性が、更に向上される。なぜならば、抜差自在可動台の引出時に、操作コンソールを制御コンポーネントに接続でき、測定および／または分析装置をスタンバイ状態に保持でき、かくして、操作コンソールと制御コンポーネントとの間に着脱自在のインタフェースを設ける必要はないからである。
【００１６】
多数の作動部材および表示装置を有することができる操作コンソールの作動を容易化するため、操作コンソールの下方には、走行面の高さ位置まで（走行面に至るまで）自由空間が設けてある。かくして、作業員は、操作コンソールの近傍に立入ることができるか、操作コンソールの前に適当に座って作業できる。
【００１７】
本発明の他の有利な実施態様の場合、フレームの側には、抜差用開口への導入時に測定および／または分析装置の案内部材と共働する案内部材が設けてある。かくして、抜差自在可動台が、導入時に、傾斜することはなく、あるいは、場合によっては、測定および／または分析装置の部分が損傷されることはなく、しかも、抜差用開口は、抜差自在可動台を密に囲むことができる。フレームの案内部材は、例えば、走行面に対して垂直な軸線のまわりに回転するローラとして構成する。かくして、抜差自在可動台の導入時および引出時の走行抵抗は小さくなる。
【実施例】
【００１８】
以下に、図示の２つの実施例を参照して本発明を詳細に説明する。
【００１９】
第１実施例を示す図１〜５に、抜差自在可動台（ワゴン車）２を有する測定分析装置１を示した。台座部分のみを示した測定分析装置１は、半導体ウエファの顕微鏡調査のための点検装置として構成されている。台座部分は、トラスの態様で組立てた多数の梁からなるフレーム３からなる。フレーム３は、支持脚４を介して、抜差自在可動台２の走行面としても役立つ床上に支持されている。
【００２０】
更に、フレーム３には、フレーム３の降下後に測定分析装置１を走行させるための複数の車輪５が取付けてある。この場合、支持脚４を引込む。しかしながら、変更例にもとづき、車輪５を下方へ引出し得るよう構成することもできる。
【００２１】
測定分析装置１のフレーム３には、１つの側に、測定分析装置１の載置面へ向かって開放した、即ち、下方へ開放した抜差用開口が設けてあり、抜差自在可動台２は、フレーム３に十分に受容されるよう、上記開口に導入できる。
【００２２】
さて、この抜差自在可動台２を詳細に説明する。図１に示した如く、抜差自在可動台２は、トラス構造体６として構成され、測定分析装置１の制御コンポーネント（図１には示してない）の多数の受容箇所７を有するフレーム６を含む。制御コンポーネント（例えば、電気および／または電子機器、差込モジュール、抜差モジュール、差込カード、抜差カード）は、各受容箇所７に挿入され、かくして、フレーム６に着脱自在に結合される。制御コンポーネントと測定分析装置１との間で制御信号を伝送するため、適切な伝送手段が設けてある。図示の実施例の場合、この伝送手段は、可撓性導体束８である。
【００２３】
導体束８の損傷を阻止するため、抜差自在可動台２と測定分析装置１との間には、可撓性導体束８の長さに適合させた引出限定部材（限定材構）が設けてある。図２および図３に、部分的に引出した状態にある引出限定部材を示した。この引出状態において、抜差自在可動台２のフレームは、測定分析装置のフレーム３の抜差用開口外にあり、相対的に自由に移動できる。引出限定部材は、例えば、各ヒンジ１１を介して１対づつ端部で相互に結合した多数の（図示の実施例の場合は４つの）アーム部分１０を有する折畳可能な枢着アーム（ないし関節式枢着アーム）９として構成されている。各アーム部分１０は、相互に支持するか、一方では、測定分析装置のハウジングに固定され、他方では、抜差自在可動台２のフレームに懸架され、その相互の枢着にもとづき、偏平な束に折畳むことができる。図４に、抜差自在可動台を抜差用開口に最大に導入した場合の折畳状態を示した。
【００２４】
抜差自在可動台２の背面またはフレーム６に続く引出限定部材は、同時に、制御信号の導体束８の受容に役立つ。このため、導体束８の各導体は、枢着アーム９に組込（例えば、埋込）まれている。導体束８を枢着アーム９内に可動に案内することもでき、この場合、枢着アーム９の各要素は、中空に構成する。更に、枢着アーム９の外面に導体束８を設置することもできる。
【００２５】
枢着アーム９の代わりに、例えば、それ自体である程度の引張強度を有し、従って、引出限定部材の機能を同時に果たす多芯平導体を可撓性導体束８として使用することもできる。この場合、しかしながら、測定分析装置１の側および抜差自在可動台の側の接続は、引裂防止のため、張力緩和部材によって更に確保するのが好ましい。更に、抜差自在可動台２を導体束８から簡単に分離できるよう、抜差自在可動台２の背面１２と導体束８との間に差込結合部材を設けることができる。これは、導体束８を枢着アーム９に組込んだ場合も有効である。
【００２６】
抜差自在可動台２のフレーム６には、制御コンポーネント以外に、更に、測定分析装置１の電力コンポーネントを設けることもできる。上記電力コンポーネント（電源パワーユニット）と測定分析装置１との接続は、電力伝送のための独自の導体束（図示してない）を介して行うのが好ましい。この補足の導体束は、制御信号の導体束と同様に構成できるが、この場合、導体横断面積は、より高いパワレベルに適合させなければならない。
【００２７】
制御信号の導体束をシールドすることによって、双方の導体束を相互に統合し、例えば、同一の枢着アーム９に組込むこともできる。
【００２８】
抜差自在可動台２のフレーム６には、更に、多数の操作部材１４および表示装置１５を有する操作コンソール１３が設けてある。フレーム６の制御コンポーネントに結合された操作コンソール１３を介して、測定分析装置１の作動態様を制御できる。
【００２９】
操作コンソール１３は、同じく抜差自在可動台２のフレーム６に結合された突出部分１６に固定されている。突出部分１６は、操作コンソール１３を、好ましくは、高さ可変に且つ取外し可能に支持した２つの垂直な支柱１７を含む。支柱１７は、抜差自在可動台２の幅方向へ相互に離隔して抜差自在可動台２の双方の側に設けてあり、それぞれ２つの横梁１８，１９を介してフレーム６に結合されている。従って、操作コンソール１３の下方には、自由空間が形成され、この自由空間にもとづき、操作コンソール１３の前に座って作業を行うことができる。足および膝のスペースが解放され且つ操作コンソール１３の高さが可変であることによって、抜差自在可動台２を測定分析装置１に導入した場合に特に、人間工学的観点で好適な作業箇所が得られる。全装置のこの本来の運転位置を図４および図５に示した。
【００３０】
抜差用開口に抜差自在可動台２を導入する際または抜差用開口から抜差自在可動台を引出す際に傾動を避けるため、抜差自在可動台２のフレーム６には、測定分析装置１のフレーム３と共働する案内部材が設けてある。図示の実施例の場合、フレーム６の案内部材は、測定分析装置１の載置面および抜差自在可動台２の走行面に対して垂直に延びる回転軸線を有するローラ２０として構成されている。抜差用開口を介する抜差自在可動台２の抜差に際して、上記ローラ２０は、測定分析装置１の案内レール２１に沿って走行する。
【００３１】
抜差自在可動台２の運動を容易化するため、フレーム６は、車輪２２に支持されている。上記車輪２２の代わりに、この場合、同時に抜差自在可動台２の走行面をなす測定分析装置１の載置面上の操作性を向上する他の転動部材または摺動部材を使用することもできる。
【００３２】
図示の第１実施例の場合、抜差自在可動台２のフレーム６は、測定分析装置１の抜差用開口から完全に引出すことができ、即ち、引出状態において、すべての側から上記フレームに触手できる。対応して、フレーム６における制御コンポーネントおよび場合による電力コンポーネントの受容箇所７は、コンパクトな態様で、順次に配置できる。このコンパクトな配置にも拘わらず、各コンポーネントは、必要に応じて、極めて良好に操作できる。この場合、フレーム６を測定分析装置１に完全に受容した抜差自在可動台２をその抜差用開口から引出すだけでよい。このため、何らかの蓋、カバーまたは同様のものを取外す必要はなく、あるいは、電気素子、例えば、操作コンソール１３を切離す必要はない。
【００３３】
この場合、抜差自在可動台２のフレーム６における制御コンポーネントおよび電力コンポーネントの配置は、図６の第２実施例を参照して説明する如く、任意に選択できる。図６に、第１実施例の抜差自在可動台２の代わりに図２〜図５に示した測定分析装置１に導入できる他の抜差自在可動台２３を示した。抜差自在可動台２３は、同じく、複数の制御コンポーネント２５〜２９を着脱自在に取付けたフレーム２４を含む。制御コンポーネント２５〜２９と測定分析装置１との間の制御信号の伝送は、枢着アーム３１に組込んだ導体束３０によって行われる。導体束３０および枢着アーム３１は、第１実施例と関連して説明した如く、構成できる。この場合も、同様に、更に、電力コンポーネントをフレーム２４に着脱自在に取付けることができる。
【００３４】
第１実施例とは異なり、見台状操作コンソール１３を除くこともでき、組込んだ操作コンソール３２を代わりに設けることができる。このコンソールも、抜差自在可動台２３を最大に引出した状態において、外部から操作できる。
【００３５】
第２実施例の抜差自在可動台２３も、抜差用開口から完全に引出すことができ、測定分析装置１に枢着したことにもとづき、操作性の改善のため上記装置の前に回転できる。
【図面の簡単な説明】
【００３６】
【図１】本発明に係る抜差自在可動台の第１実施例の斜視図である。
【図２】引出状態にある第１実施例の抜差自在可動台および測定および／または分析装置の台座部分の側面図である。
【図３】図２の位置の抜差自在可動台および測定および／または分析装置の斜視図である。
【図４】測定および／または分析装置に最大に導入した状態の抜差自在可動台の斜視図である。
【図５】最大に導入した状態の抜差自在可動台および測定および／または分析装置の斜視図である。
【図６】抜差自在可動台の他の実施例の図１に対応する図面である。
【符号の説明】
【００３７】
１    測定および／または分析装置
２    抜差自在可動台
３    測定および／または分析装置のフレーム
４    支持脚
５    車輪
６    抜差自在可動台のフレーム
７    受容箇所
８    導体束
９    枢着アーム（関節式枢着アーム）
１０  アーム部分
１１  ヒンジ
１２  背面
１３  操作コンソール
１４  作動部材
１５  表示素子
１６  突出部分
１７  支柱
１８  横梁
１９  横梁
２０  ローラ
２１  案内レール
２２  車輪
２３  抜差自在可動台
２４  フレーム
１５〜２９  制御コンポーネント
３０  導体束
３１  枢着アーム
３２  操作コンソール
【国際公開パンフレット】
2004527103.tif 000003
2004527103.tif 000004
2004527103.tif 000005
2004527103.tif 000006
2004527103.tif 000007
2004527103.tif 000008
2004527103.tif 000009
2004527103.tif 000010
2004527103.tif 000011
2004527103.tif 000012
2004527103.tif 000013
2004527103.tif 000014
2004527103.tif 000015
2004527103.tif 000016
2004527103.tif 000017
2004527103.tif 000018
2004527103.tif 000019
2004527103.tif 000020
2004527103.tif 000021
2004527103.tif 000022
2004527103.tif 000023
2004527103.tif 000024
2004527103.tif 000025
【国際調査報告】
2004527103.tif 000026
2004527103.tif 000027
2004527103.tif 000028
2004527103.tif 000029