(57)【要約】本発明は、上流閉じバルブ（２７）を備えた主吸引ノズルユニット（２）と、主吸引ノズルユニット（２）に並行に設けられる補助吸引ノズルユニット（３）とを備える真空発生装置（１）に関する。主吸引ノズルユニット（２）への圧力媒体の供給が、閉じバルブ（２７）を制御することにより発生する陰圧に基いて制御される一方で、補助吸引ノズルユニット（３）は、永続的に動作可能である。よって、主吸引ノズルユニット（２）が完全に停止しても真空の増大は確実に行われ、その結果、空気の節減効果が生まれる。
2004502904.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主流入ダクト（１６）を介して所定の動作圧力を加えられた圧力媒体を供給されることができる主吸引ノズルユニット（２）を備え、該圧力媒体が、主吸引ノズルユニット（２）を通って流れる際に、主吸引口（７）に隣接する主吸引ダクト（２２）に吸引効果を起こし、該主吸引ダクトは、被真空空間（２４）に接続されているかまたは接続可能であり、主流入ダクト（１６）には閉じバルブ（２７）が設けられていて、このバルブは、被真空空間（２４）で瞬間的に得られる陰圧に基いて作動可能であり、所定の目標陰圧に到達すると、このバルブが主吸引ノズルユニット（２）への圧力媒体供給を停止させるようになっている真空発生装置であって、該真空発生装置が、さらに、主吸引ノズルユニット（２）に機能的に並行に接続される補助吸引ノズルユニット（３）を備え、該補助ユニットが、該装置の動作中、動作圧力を加えられた圧力媒体を絶えず供給されると共に、該補助ユニットが主吸引ノズルユニット（２）の主吸引ダクト（２２）に流体方向に接続されている補助吸引口（８）を備え、前記２つの吸引口（７及び８）の間の主吸引ダクト（２２）上に、主吸引ノズルユニット（２）により引き起こされる吸引の方向（３８）とは逆に閉じるようになっているチェックバルブ（３９）が設けられていることを特徴とする真空発生装置。
【請求項２】
補助吸引ノズルユニット（３）に供給される圧力媒体の最大圧力媒体流速が、主吸引ノズルユニット（２）のそれよりも小さくなるように設計されていることを特徴とする、請求項１に記載の真空発生装置。
【請求項３】
補助吸引ノズルユニット（３）が、それ自身が発生する吸引流速が被真空空間（２４）での漏れ速度と同じであるように設計されることを特徴とする、請求項１または２に記載の真空発生装置。
【請求項４】
閉じバルブ（２７）が、２／２タイプバルブの形態であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項５】
閉じバルブ（２７）の操作のために、被真空空間（２４）で得られる陰圧が閉じバルブ（２７）のバルブ部材（３６）に機能的に接続されている作動領域（３２）に供給され、バルブ部材（３６）について、陰圧が供給されることによって引き起こされる作動力（ＦＢ）に反対の方向に、逆作用作動力（ＦＧ）を引き起こす逆作用作動手段（３４）が設けられることを特徴とする、請求項１ないし４のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項６】
逆作用作動手段が、好ましくは調整可能な、逆作用作動力（ＦＧ）を引き起こすスプリング手段（３７）を有することを特徴とする、請求項５に記載の真空発生装置。
【請求項７】
逆作用作動手段（３４）が、閉じバルブ（２７）のバルブ部材（３６）と機能的に接続されている逆作用作動領域（３５）を有し、この領域が、主流入ダクト（１６）に存在する動作圧力を絶えず受けることを特徴とする、請求項５に記載の真空発生装置。
【請求項８】
被真空空間（２４）内部で発生する真空が主流入ダクト（１６）で加えられる動作圧力に比例するように、作動領域（３２）及び逆作用作動領域（３５）間の関係が選択されることを特徴とする、請求項７に記載の真空発生装置。
【請求項９】
作動領域（３２）が、主流入ダクト（１６）の動く壁部分により構成され、好ましくはバルブ部材（３６）の端面上に設けられることを特徴とする、請求項５ないし８のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項１０】
全ての吸引ノズルユニット（２及び３）が、装置の動作中に同じ圧力を加えられた圧力媒体を与えられることを特徴とする、請求項１ないし９のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項１１】
いくつかの並行接続された主吸引ノズルユニット（２及び４８）が設けられることを特徴とする、請求項１ないし１０のいずれかに記載の真空発生装置。
【請求項１２】
閉じバルブ（２７）が安定した設定動作を有することを特徴とする、請求項１ないし１１のいずれかに記載の真空発生装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、主流入ダクトを介して所定の動作圧力を加えられた圧力媒体の供給を受ける主吸引ノズルユニットを備えた真空発生装置に関する。圧力媒体は、主吸引ノズルユニットを通して流れる際に、主吸引口に隣接した主吸引ダクトに吸引効果を起こす。主吸引ダクトは、被真空空間に接続されているかまたは接続可能である。主供給ダクトには閉じバルブが設けられ、そのバルブは、被真空空間で瞬間的に得られる陰圧に応じて作動される。そのバルブは、所定の目標陰圧に到達すると主吸引ノズルユニットへの圧力媒体の供給を遮断するように構成されている。
【０００２】
このタイプの真空発生装置は、ドイツ実用新案２９，９０３，３３０に開示されている。このような真空発生装置は、例えば、損傷の危険を冒さずに作業部品またはその他の物体を移動させるための運搬技術に利用される。この場合、それぞれに被真空空間を規定する１つ以上の吸引カップが主吸引ダクトに接続され、移動物の上に配置される。吸引効果により真空状態が生まれ、移動物は陰圧によりそれぞれの吸引カップにおいて保持される。通常は圧縮空気である圧力媒体の損失を防ぐために、真空発生装置には、被真空空間が所望の陰圧に到達すると、圧縮空気の供給を遮断するための空気節減手段が設けられる。被真空容積が比較的小さい場合には、実際に所望の効果が得られるが、逆に、被真空容積が比較的大きく、その結果、陰圧の増大速度が遅い場合には、閉じバルブを閉める速度がゆっくりであることとバルブにおいて摩擦力が発生することとに関連して、主吸引ノズルユニットに供給される流れの速度は、所望の陰圧の増大が不可能になる程度にまで減じられてしまう。そのため、システムは、被真空空間で得られる陰圧が所望の目標陰圧を下回る状態に到達するまで揺動またはハンチングすることになり、この結果、吸引効果は損なわれ、閉じバルブが完全に閉じられることがないために、常にある程度の空気の損失が起こってしまう。
【０００３】
本発明の目的の一つは、圧力媒体を効果的に節減する手段を用いて、確実に所望の目標陰圧に到達できる、先に記載したタイプの真空発生装置を提供することである。
この目的を達成するために、本発明の真空発生装置は、主吸引ノズルユニットと並行して機能する補助吸引ノズルユニットを備える。補助吸引ノズルユニットは、装置の動作中、常に、動作圧力を加えられた圧力媒体の供給を受けると共に、主吸引ノズルユニットの主吸引ダクトに流体方向に接続された補助吸引口を備える。主吸引ダクトの２つの吸引口の間にはチェックバルブが設けられ、主吸引ノズルユニットによって引き起こされる吸引の方向に閉じるように構成されている。
【０００４】
このような真空発生装置の場合、吸引動作のはじめに、全ての吸引ノズルユニットが、所望の動作圧力の圧力媒体を供給され、互いに並行して被真空空間から空気を除去する。この場合、吸引効果は、存在する全ての吸引ノズルの吸引流速の合計となる。一定時間後に先に記載の状態が起こった場合、すなわち、閉じバルブがゆっくり閉じることによって主吸引ノズルユニットの吸引効果が制限されてしまう場合、（なんら変わることなくまだ動作している）補助吸引ノズルユニットを通して、所望の目標陰圧に到達するまで残りの空気の排出が行われ、この陰圧により閉じバルブは完全に閉じられる。その結果、主吸引ノズルユニットの側における圧力媒体の消費がなくなり、真空発生装置全体の空気消費量が、補助吸引ノズルユニットの圧力媒体消費量に等しい状態に達する。この状態は、元々の最大圧力媒体消費量のごく一部に相当するだけであるため、圧力媒体の流れのエネルギーバランスは、圧力媒体の流れが絶えず維持されるにもかかわらず、先行技術よりも十分に好ましいものとなる。
【０００５】
本発明の真空発生装置のさらに有利な点は、吸引物を取り出すために被真空空間に存在する陰圧を解除にするのに、原則としてプライミングパルス回路を必要としないことである。通常、そのためには吸引ノズルユニットへの圧力媒体の供給を遮断することで十分であり、被真空空間は、外部に通じる補助吸引ノズルユニットの流出ダクトを通して通気される。
【０００６】
装置の動作中に被真空空間への漏れが発生し、望ましくない真空の損失が起こる場合にも、その結果として起きる圧力の増加により閉じバルブは開口するので、一定時間、全ての吸引ノズルユニットの吸引効果が再び最大限に利用可能となる。
【０００７】
本発明のさらなる有用な展開を、従属請求項に示す。
補助吸引ノズルユニットに供給される圧力媒体の最大圧力媒体流の速度が、主吸引ノズルユニットのものより小さくなるようにすると都合がよい。主吸引ノズルユニットが高流速に対応するように設計されると共に補助吸引ノズルユニットがより低流速に対応するように設計され、そして同時に高い真空発生効果または性能を発揮する。従って、節減効果は、より一層その効果を増す。
【０００８】
被真空空間への漏れは、補助吸引ノズルユニットにより、その吸引性能が許す限り、真空発生装置に補償される。そのため、動作圧力を受けた際に補助吸引ノズルユニットが発生する吸引流速が、該被真空空間での予想される漏れ速度と同じになるように、補助吸引ノズルユニットが設計されると有利である。
【０００９】
閉じバルブとしては、設定動作が安定しているまたは継続的である２／２タイプのバルブを使用するのが好ましい。
閉じバルブを作動するのに必要な陰圧信号は、閉じバルブのバルブ部材と機能的に接続された作動領域により閉じバルブに供給されるのが好ましい。この作動領域には、被真空空間で得られる陰圧が供給される。閉じバルブの応答特性を設定するために、さらに逆作用作動手段が設けられる。その作動手段は、供給された陰圧により発生する逆作用作動力を使ってバルブ部材に作用する。意図的に逆作動力を設定することにより、被真空空間において望ましい目標陰圧を選択してもよい。
【００１０】
逆作用作動手段は、逆に作用する作動力を発生させる、例えば、空気スプリング及び／または機械スプリング手段のように、好ましくは調整可能なスプリング手段を備えてもよい。特に有利な設計をする場合、逆作用作動手段は、閉じバルブのバルブ部材と機能的に接続された逆作用作動領域を備える。この領域は、主供給ダクトに存在する動作圧力の供給を絶えず受ける。そのため、逆作用作動力は、存在する動作圧力により変化する。適切に領域を設定すれば、動作圧力を選択することにより、目標陰圧レベルが直接比例して設定されるという効果が生まれる。
【００１１】
全ての吸引ノズルユニットが、装置の動作中、同じ動作圧力を供給されると都合がよい。その結果、供給する圧力媒体を共通にすることができる。
真空発生装置は、有利な方法を用いて、たった１つの主吸引ノズルユニットで操作されてもよい。しかしながら、数個の並行接続された主吸引ノズルを備えることも可能である。それらのノズルをまとめて接続することにより、特に所望された操作特性が実現される。
【００１２】
以下に、本発明を付属の図面を参照しながら詳細に説明する。
図１及び２に示された真空発生装置１は、主吸引ノズルユニット２と補助吸引ノズルユニット３とを備える。「主」及び「補助」という用語は、区別を明確にするために、本真空発生装置の他の構成部品に関してもまた使用される。さらに、主吸引ノズルユニット２及び補助吸引ノズルユニット３の両方に関係する記載に限り、特に説明を加えずに、「吸引ノズルユニット」という用語を概ね使用することとする。
【００１３】
吸引ノズルユニット２及び３は、従来の設計と同様に設計され、ジェットノズルダクト５を有するエジェクタ手段４と、ジェットノズルダクト５の軸方向の延長線上に配置される受容ノズルダクト６とを備える。上述の２つのダクトの間には中間空間があり、それは一方の側に開いて吸引口を構成している。２つの吸引ノズルユニット２及び３の吸引口を明確に区別するために、主吸引口７及び補助吸引口８と称する。
【００１４】
各吸引ノズルユニット２及び３は、それぞれのジェットノズルダクト５の入り口を規定する主及び補助流入口１２及び１３を有する。外気Ｒに通じる主及び補助流出ダクト１４及び１５が、それぞれ、受け取りノズル６に隣接して設けられている。
【００１５】
主流入口１２は、供給口１８につながる主流入ダクト１６の前に配置される。主流入ダクト１６を通して、動作圧力ｐＢの圧力媒体、好ましくは圧縮空気、が供給される。好ましくは同じ供給口１８につながる補助流入ダクト１７を通して、補助吸引ノズルユニット３の補助供給口１３に圧力媒体を供給することも可能である。ここで、２つの補助ダクト１６及び１７は、図２に示すように、適切な流体ダクトを設計する際の構造的な複雑さを最小に抑えるために、その全長の少なくとも一部が統合されてもよい。
【００１６】
流入ダクト１６及び１７が異なる供給口につながっている場合、非常に単純な方法で２つの吸引ノズルユニット２及び３に異なる動作圧力を設定することが可能である。しかしながら、本実施例の場合においてそうであるように、基本的に、全ての吸引ノズルユニット２及び３が同じ動作圧力を有するようにすることが好ましい。
【００１７】
主吸引ダクト２２は、主吸引口７に接続されていて、被真空空間２４につながっている。その空間は、例えば、真空運搬装置の一部としての吸引カップまたは吸引プレートの内部空間であってもよい。吸引カップや吸引プレートにより、物体は吸引され、移動され、再配置される。
【００１８】
図２に示すように、真空発生装置１は、被真空空間２４を除く、装置の全ての構成要素を含むハウジング２５を備える。主吸引ダクト２２は、ハウジング２５の外表面に位置する接続口２６につながっている。この接続口２６は、被真空空間２４を規定する構成要素につながるダクトまたは流体路に接続されることができる。
【００１９】
補助吸引ノズルユニット３の補助吸引口８は、吸引ダクト２２にもまた接続されている。これは図２に示した設計の場合に起こる。それは補助吸引口８が主吸引ダクト２２に沿ったある地点に直接配置されるためである。しかしながら、図１の回路図に示したように、適切な補助吸引ダクト２３を介して接続されることも可能である。しかしながら、その場合、吸引口７及び８の両方が同時に被真空空間２４に接続されるので、ここで使用されるダクトは、必要に応じて、少なくとも部分的に単一構成要素の形になる。
【００２０】
閉じバルブ２７は、好ましくは主流入ダクト１６上に配置される２／２タイプのバルブの形態であり、そのバルブは、主吸入ダクト２２で、ひいては被真空空間２４で得られる陰圧ｐＵの瞬時値に基いて操作される。通常、閉じバルブ２７は、図１に示した開位置になっており、その場合には、主吸引ノズルユニット２への圧力媒体の供給を制限しない。一旦閉位置に切り替えられると、主流入ダクト１６を通る路は閉じられ、主吸引ノズルユニット２への圧力媒体の供給は遮断される。閉じバルブ２７の現在位置の制御は、電気的な手段を用いずに、被真空空間２４でその時得られる陰圧ｐＵにより直接実行される。この圧力は、タップポイント２８において主吸引ダクト２２から閉じバルブ２７の作動領域３３への流体圧力信号として供給される。この目的で、図１に示すように、適切に設計された供給ダクト３３が、タップポイント２８と作動領域３２との間に延在するように設けられる。図２の設計の場合、作動領域３２が主吸引ダクト２２の動く壁の形態となっていて、タップポイント２８が直接主吸引ダクト２２上にあるために、供給ダクト３３は不要になる。
【００２１】
閉じバルブ２７のホームポジションは開位置であり、逆作用作動手段３４によって規定される。主流入ダクト１６で得られる陰圧ｐＵが、作動領域３２で閉じバルブ２７を閉じる方向に作動力ＦＢを行使する一方で、逆作用作動手段３４は、作動力ＦＢの反対方向に逆作用作動力ＦＧを引き起こす。この力ＦＧは、開く方向に働く。
【００２２】
実施例において、逆作用作動力ＦＧは、閉じバルブ７の逆作用作動領域３５に作用する動作圧力ｐＢによって引き起こされる。この場合、作動領域３２と逆作用作動領域３５とは、閉じバルブ２７のバルブ部材３６と機能的に接続されるのが好ましく、またバルブ部材３６上に直接設けられるのが好ましい。
【００２３】
逆作用作動領域３５は絶えず動作圧力ｐＢを加えられるため、逆作用作動力ＦＧが、バルブ部材３６を絶えず開位置に推し進めることになる。バルブ部材３６を完全に切り替える力は、逆作用作動力ＦＧと、その時得られた陰圧ｐＵから発生する作動力ＦＢとの合力の結果である。ここで、閉じバルブ２７の切替特性は、作動領域３２と逆作用作動領域３５との割合を適当に変更することにより影響される。その結果、目標陰圧ｐＵＳと称される真空レベルで、閉じバルブ２７またはバルブ部材３６のそれぞれが閉じる位置、すなわち閉位置をとり、主吸引ノズルユニット２への圧力の供給を遮断する効果が生まれる。
【００２４】
実施例において、逆作用作動力ＦＧは、動作圧力ｐＢのレベルに左右されるため、選択された任意のレベルでの動作圧力ｐＢを選択することにより所望の目標陰圧を有利に設定できる。この場合、領域の割合を適当に変更することにより、陰圧または真空のレベルを入力動作圧力に比例させることができる。
【００２５】
代案として、逆作用作動力を発生させるための逆作用作動手段が、図１に一点鎖線で示されたような、例えば空気スプリングまたは機械スプリング手段のような、スプリング手段３７を備えることもできる。このスプリング力は、逆作用作動力、ひいては必要とされる所望の目標陰圧を設定できるように、調整可能であることが好ましい。
【００２６】
本真空発生装置の好ましい操作方法を以下に説明する。
まず、取り扱う物体を適切に配置することにより、確実に被真空空間２４が周辺的に閉じられ、一定量の空気を含むようにする。
動作圧力ｐＢでの圧力媒体、好ましくは圧縮空気、は、供給口１８を通して供給され、２つの吸引ノズルユニット２及び３の流入口１２及び１３にスムーズに流れた後、流出ダクト１４及び１５を通って外部Ｒに放出される。
【００２７】
吸引ノズルユニット２及び３を通して流れる際に、吸入口７及び８で吸引効果が生まれ、次いで、吸引口７及び８に隣接するダクトと被真空空間２４とから空気が除去される。吸引方向３８を図１に矢印で示す。
被真空容積が比較的小さい場合、目標陰圧ｐＵＳは急に発生し、すぐに閉じバルブ２７を閉じる。従って、主吸引ノズルユニット２は、あらゆる機能を奪われ、補助吸引ノズルユニット３だけが使用可能となる。その最大圧力媒体流速は、設計上の制限により制限されるため、全体としての圧力媒体消費量は削減され、真空発生装置１をより経済的に動作させることが可能になる。
【００２８】
被真空容積が比較的大きい場合、目標陰圧ｐＵＳはまず被真空空間２４にゆっくりと発生する。従って、作動力ＦＢは間断なく増加して、安定したまたは継続的な動作特性を備えた閉じバルブ２７を移動させる、すなわち、そのバルブ部材３６を非常にゆっくりと閉位置へと導く。これにより、閉じバルブ２７により許容される流速はゆっくりと減じられ、その結果、完全に閉じる前に流れが縮小され、主吸引ノズルユニット２の吸引効果をかなり減じてしまう。補助吸引ノズルユニット３なしでは、この吸引効果は所望の目標陰圧ｐＵＳを発生させることができなくなる。これは、同時に比較的高いレベルの空気消費を伴う。
【００２９】
しかしながら、補助吸引ノズルユニット３は、閉じバルブ２７の設定の影響を受けることなく、継続して絶え間なく動作するので、最終的には確実に目標陰圧が発生し、閉じバルブ２７を完全に閉じる。その結果、主吸引ノズルユニット２は完全に停止し、空気消費量は、再び、主吸引ノズルユニット２と機能的に並行に接続された補助吸引ノズルユニット３の幾何学パラメータに左右されることになる。
【００３０】
主吸引ノズルユニット２が圧縮媒体を供給されていない時に、被真空空間２４が主流出ダクト１４を介して真空にされないようにするために、部分的に２つの吸引口７及び８の間に置かれた主吸引ダクト２２上にチェックバルブ３９が配置される。図２に示すように、それはフラップチェックバルブであってもよい。そのように設計することで、主吸引ノズルユニット２により引き起こされる吸引方向３８に反対の流体流を妨げると共に、主吸引ノズルユニット２が動作可能である時に、所望の方法での流出を可能にする。
【００３１】
真空発生装置１から生じる圧力媒体節減システムの強力な効果は、高い吸引効果または成果について示す図３及び４の線図から明らかになる。
図３は、供給口１８を介し、吸引ノズルユニット２及び３を通して供給される全ての圧力媒体の貫流速Ｖと時間との関係、別の言葉で置き換えれば、時間ｔに対する流体消費量Ｖを座標軸で表したものを示している。本発明に基く真空発生装置１の流速は、実線４２で表されている。つまり、本装置をＯＮにする時間ｔ０において、２つの吸引ノズル２及び３を通る流速の合計としての最大流が設定され、その後、閉じバルブ２７により設定される流れの断面が削減されるに従って、補助吸引ノズルユニット３の動作のみに基く、最小流量である曲線部４２ａに最終的に到達するまで、ゆっくりと流量は減っていく。
【００３２】
比較として、空気節減システムを持たず、主吸引ノズルユニット２に相当するたった１つの吸引ノズルユニットを有する従来の真空発生装置１の空気消費量を鎖線４３で示す。この鎖線４３によると、従来の真空発生装置では、より多くの空気が絶えず必要になる。
【００３３】
また、一点鎖線曲線４４は、従来技術に基き、上流閉じバルブ２７のあとに主吸引ノズルユニットを１つだけ有し、本発明の補助吸引ノズルユニット３は有しない真空発生装置の空気消費量を表す。曲線の形は、本発明のものによく似ているが、曲線部分４４ａで示される最小空気消費量は、補助吸引ノズルユニット３は絶えず動作可能であるにもかかわらず、本発明に基く設計の場合よりはるかに多い。
【００３４】
図４は、動作時間に基く、陰圧ｐＵの増大状態を表す。本発明の真空度の増大は、実線４５で示されている。空気節減機能を有しない装置における鎖線４６で示される真空度の増大状態と比較すると、違いはほんのわずかであることは明白である。一点鎖線４７は、本発明によく似ているが補助吸引ノズルユニットを全く持たない装置における真空度の増大状態を示す。この場合、初期の真空度の増大は同じような状態で起こるが、その最大値は、本発明に基く設計のものをかなり下回る。
【００３５】
本発明に基く吸引ノズルユニット１の場合、最大限可能な流速及び吸引効果または成果について異なる方法で吸引ノズルユニット２及び３を設計して、それぞれの使用法に合わせるようにすることも可能である。具体的には、動作圧力を加えた際に、その結果生じる吸引流速が被真空空間２４で起きる漏れ速度に大体対応するように、補助吸引ノズルユニット３を設計することも可能である。なぜなら、例えば、各吸引カップは、取り扱う物体それぞれを完全に密封して保持しないからである。
【００３６】
さらに、主吸引ノズルユニット２と比べて、補助吸引ノズルユニット３が、供給される圧力媒体に関して、より小さな最大圧力媒体流速用に設計されると有利である。これにより、主吸引ノズルユニット２を高流速用に設計することが可能になり、確実に比較的大きな容積を比較的速く真空にすることができる。補助吸引ノズルユニット３は、反対に、真空率を高く設計することができる。
【００３７】
一般に、本発明の真空発生装置は、空気節減システムのない装置と比べて、９０％の空気節減効果がある。
図１に４８という番号で一点鎖線で示されているように、１つ以上の主吸引ノズルユニットを備えることはもちろん可能である。数個のそのような主吸引ノズルユニット２は互いに並行接続され、その吸引ダクトは、１つの共通の主吸引ダクトにまとめられる。全ての主吸引ノズルユニット２への圧力媒体の供給が、単一の閉じバブル２７により制御されると便利である。
【００３８】
図１の一点鎖線５２は、排気が共通の流出口を介して起きるように、存在する流出ダクト１４及び１５をまとめることができることをより明確に表している。　図２は、非常に有利でコンパクトな設計の真空発生装置１を示している。この真空発生装置１の場合、閉じバルブ２７は、吸引ノズルユニット２及び３もまた内部に有するハウジング２５に統合されている。既に示したように、この場合、作動領域３２は、主流ダクト２２の動く壁部分により構成される。動く壁部分は、ハウジング２５の対応するソケット５３内に自在に移動可能なバルブ部材３６のピストン部の端部上に位置する。想定される位置に応じて、バルブ部材３６は、主吸引ダクト２２内部により大きくまたはより小さく突出し、圧力媒体が流れの断面５３を利用できるように設定する。逆作用作動領域３５は、作動領域３２と同様に配置され、穴５５を介して大気圧ｐＡにさらされているバルブ部材３６のもう１つの作動領域５４に面していない。
【００３９】
最後に、本真空発生装置１に関して、節減システムに関わらず、最大可能真空率に到達することを明記しておく。動作圧力及び真空率の特性は、節減システムがあってもなくても同一である。空気節減閉じバルブと称されることのできる閉じバルブの圧力依存制御は、吸引ダクトにおける及び被真空空間におけるまたはそれへの漏れ率がごくわずかである場合、ほぼ安定している。これにより摩耗が少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図１】好ましい実施例における本発明の真空発生装置の回路図である。
【図２】図１の回路図を基に実現された本真空発生装置の一形態を示す。
【図３】本真空発生装置の節減効果を表す線図である。
【図４】従来の設計と比較した本真空発生装置における圧力の増大を表す線図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
2004502904.tif 000025
2004502904.tif 000026
2004502904.tif 000027
2004502904.tif 000028
2004502904.tif 000029
2004502904.tif 000030