(57)【要約】本発明は、シリコンセンサ構造を製造する方法及びシリコンセンサに関する。本方法によれば、単結晶シリコンウェハ（１０）中に、エッチングされた開口によって、少なくとも１つのバネ要素構成（７）と、前記バネ要素構成（７）に接続された少なくとも１つの振動マス（８）とを形成する。本発明によれば、前記シリコンウェハの深さを通じて延びる開口及び溝（８）を乾式エッチング方法によって形成し、前記バネ要素構成（７）のバネ定数を制御するのに使用するエッチングプロセスは湿式方法を基礎とする。
2004531884.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
シリコンセンサ構造を製造する方法であって、単結晶シリコンウェハ（１０）中にエッチングで穴を開けることによって、少なくとも１つのバネ要素構成（７）と、前記バネ要素構成（７）に接続した少なくとも１つの振動マス（８）とを形成するステップを具える方法において、
前記シリコンウェハの深さを通じて延びる開口及び溝（８）を乾式エッチング方法によって形成し、
前記バネ要素構成（７）のバネ定数を制御するのに使用するエッチングプロセスが湿式エッチング方法に基づくことを特徴とする方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、前記バネ要素（７）の長手軸と、ゼロと異なるように選択された前記シリコンウェハの平面における等価＜１１０＞結晶方向との間の角度αが、有利には１５°より大きく、代表的には２０°ないし６５°で、有利には約４５°であることを特徴とする方法。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の方法において、バネ要素（７）の長さＬと、その｛１１１｝結晶面の方向における長さ寸法Ｌ１との間の比Ｌ１／Ｌを、０．４５未満となるように選択することを特徴とする方法。
【請求項４】
請求項１ないし３のいずれか１項に記載の方法において、前記湿式エッチングステップを、異なった結晶方向に関して異方性のアルカリエッチングプロセスを使用して行うことを特徴とする方法。
【請求項５】
請求項１ないし４のいずれか１項に記載の方法において、前記ウェハ平面に対して垂直以外の方向における前記構造のエッチングを、前記基板中に、前記シリコンウェハの＜１１０＞方向と異なる方向において実質的に整列し、側壁においてエッチング攻撃に対して保護された垂直溝（８）を形成することによって制限することを特徴とする方法。
【請求項６】
請求項３に記載の方法において、前記乾式エッチングプロセス及び湿式エッチングプロセスの双方が異方性であることを特徴とする方法。
【請求項７】
フレーム（１０）と、
前記フレーム（１０）にその一方の端において接続された少なくとも１つの細長いバネ要素（７）と、
前記バネ要素（７）の他方の端に接続した少なくとも１つの振動マス（６）とを具えるように単結晶シリコンウェハ（１０）から製造されたシリコンセンサ構造において、
傾いた｛１１１｝結晶面の交差ライン（１１）を、前記バネ要素（７）の端においてか、少なくともこれらの近くにおいて形成したことを特徴とするシリコンセンサ構造。
【請求項８】
請求項７に記載のシリコンセンサ構造において、該シリコンセンサ構造を、単結晶（１００）シリコンウェハから形成し、これによって、すべての傾いた結晶面が｛１１１｝結晶面であることを特徴とするシリコンセンサ構造。
【請求項９】
請求項７又は８に記載のシリコンセンサ構造において、｛１１１｝結晶面の交差ライン（１１）を、バネ要素（７）の長手軸と少なくとも実質的に平行に向けたことを特徴とするシリコンセンサ構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンセンサを製造する請求項１の序文による方法に関する。
【０００２】
本発明は、請求項７の序文によるシリコンセンサにも関する。
【０００３】
本発明は、特に、シリコンベース加速度及び角速度センサの製造における使用を意図する。
【背景技術】
【０００４】
その基本的な原理に関しては、シリコンマイクロメカニクスは、いわゆる平面技術、すなわち、薄膜技術と、これらの技術において開発された製造方法とを使用する。マイクロメカニカル製造技術は、一般に複数の製造ステップにおいて、異なった様式における基本プロセスを結合し、これらのパラメータを調節して意図される用途に適合させ、レイアウトパターンを基板上に移動することによって実現される所望の構造を設計することによって仕立てられる。とりわけ、前記基本プロセスは、異なった種類の薄膜の堆積と、これらの薄膜のエッチングと、例えば制御された熱処理によるこれらの特性の変更とを含む。
【０００５】
前記薄膜技術の基本プロセスは、薄膜のパターン化と、より一般的に、パターン化プロセス及びエッチングプロセスを互いに統合した技術を使用してパターンを構造中に移動することとを含む。最も一般的に用いられるパターン化技術は、ウェハ又は他の基板の表面において、前記ウェハへの吹き付け又は前記ウェハの回転によって塗布された光感応レジストの使用を基礎とする。前記レジストを焼くプロセスと、マスクから前記基板上への紫外線によって前記パターンを露光するプロセスと、ポジティブレジストの場合において、前記レジストの露光された領域を現像液でリンスすることによって除去するプロセスとの後、前記堆積されたマスク層上にこのようにして形成されたパターンを、さらに前記ウェハの下にある層中に移動することができる。後の動作を、その作業メカニズムの性質によって湿式エッチングプロセス又は乾式エッチングプロセスのいずれかと呼ばれる当該技術分野において既知の犠牲的なプロセスを使用して行う。
【０００６】
湿式エッチングは、エッチング溶液中で行われ、これによって、犠牲材料は液体のエッチング溶液中に溶け、代表的に、複数の異なった中間化合物を形成する。前記エッチングプロセスの大部分は等方性であり、これは、これらのエッチング速度が異なった方向において同じであることを意味する。しかしながら、単結晶シリコンを、異方性エッチング溶液を使用してエッチングすることもでき、これによって、前記基板材料の異なった結晶方向におけるエッチング速度を、互いに大きく異ならせることができる。この特徴を、結晶方向にしたがって整列された精密な構造を形成するために、慣例的なシリコンマイクロメカニクスにおいて使用する。シリコンの異方性エッチングは、エッチングされた体積のきわめて均一な深さと、エッチングされた表面の滑らかな表面構造とによっても特徴付けられる。代表的に、エッチングされた体積の表面の粗さは、１０分の１パーセントのオーダである。
【０００７】
乾式エッチングプロセスにおいて、気相雰囲気の反応性成分が前記ウェハ表面において反応して揮発性化合物を形成し、これによって、固体材料はガス状の形態に変換される。代表的に、反応チャンバを、不完全な真空の下で動作し、これによって、ガス状反応生成物をポンピングによってこれらから除去する。
【０００８】
湿式エッチング技術において、パターン移動を、無機薄膜ハードマスクを慣例的なレジストマスクに加えて使用することによって実現する。この手順は、例えば、濃縮アルカリ溶液中で行われるシリコンの異方性エッチングを代表する。フォトレジストはこれらのような状況において完全のままでいられないため、慣例的には酸化物又は窒化物ハードマスクを実際のエッチングマスクとして使用する。これによって、無機材料のこれらのマスクを、乾式又は湿式エッチングプロセスとの組み合わせにおいてフォトレジストを使用して最初にパターン化する。
【０００９】
３次元マイクロメカニカル構造を、バルクマイクロメカニクスとして知られる技術により前記基板の全厚さを使用することによって、又は、代わりに、前記基板の表面、又は前記基板の表面上に堆積された薄膜層の表面層において実質的に位置するようにエッチングすることによって実現すべき構造を形成することによって製造することができる。後者の技術を、表面マイクロメカニクスと呼ぶ。バルクマイクロメカニカル構造を、薄膜パターン化プロセスを使用し、前記ウェハ表面上にエッチングマスクを形成し、次に、前記パターンを異なったエッチングプロセスによって前記基板それ自身中に移動することによって形成する。
【００１０】
乾式エッチングは、液体環境において行われる湿式エッチングプロセスと区別するために、気相エッチングプロセスと共に一般に使用される用語である。通常の乾式エッチング方法は、不完全な真空の下でガス雰囲気中でプラズマ放電、代表的にはコロナ放電を使用し、これによって、前記放電を、交流電場、またはあまり頻繁ではないが直流電場によって励起することである。エッチングプロセスを制御する基本的な技術は、前記ガス雰囲気の成分と、その圧力と、前記プラズマ放電の励起パワーと、プラズマエッチングチャンバのジオメトリとを調節することである。エッチングを、予め決められたエッチング時間の経過において、前記プラズマ放電のインピーダンスを測定することによって、又は、前記プラズマ放電の放出の監視に基づく光エッチングエンドポイントシステムを使用することによって中止する。また、監視された標本から見えるようになる構造の光学検出を、十分なエッチングのエンドポイントを決定するのに使用することができる。
【００１１】
前記エッチングすべき材料と反応することができるようなプロセスガスを使用し、ガス状反応性生物を形成するようにする。これらのプロセスガスは、例えば、六フッ化硫黄（ＳＦ６）、四フッ化炭素（ＣＦ４）及び塩素（Ｃｌ２）を含む。プラズマ中で、前記ガスは部分的に分離し、これによって、反応性フッ素、塩素又は他の遊離基は、エッチングされている前記基板と反応することができる。このプラズマプロセスを、前記反応チャンバ中に、前記反応ガスと共に、アルゴン（Ａｒ）又はヘリウム（Ｈｅ）のようないくつかの不活性ガスを導入することによって変更してもよい。これらのガスは、前記エッチング反応を安定させる、又は、前記プロセス雰囲気の熱伝導性を改善するように働く。前記プラズマ放電の特性を、反応平衡を変えることができる酸素（Ｏ２）のような特定のガスを追加することによってさらに制御してもよい。これにより、例えば、特定の反応において自由塩素のレベルを高くし、したがって、除去している材料のエッチング速度を増すことができ、又は、フォトレジストマスクを使用する場合、エッチングしている層における側壁輪郭を制御することができる。前記プラズマプロセスに影響を与える作用物の第３のグループは、三フッ化メタン（ＣＨＦ３）又は８フッ化シクロブタン（Ｃ４Ｆ８）のような不動態化又は重合化ガスである。
【００１２】
シリコンにおいて深い溝をエッチングするために、パルス又は交互エッチングサイクルに基づく特定の乾式エッチング方法を使用する。ここで、１μｍほどの深さのシリコンパターンに急速に一致させるため、ほとんど等方性のエッチングを交互ステップにおいて用いる。次に、前記基板に不活性化ステップを行い、これによって、ちょうどエッチングした部分を含む前記基板の全表面を、プラズマガスによって堆積されたポリマ層によって覆う。急速等方性エッチング段階の次のステップは、前記パターン溝の底における前記ポリマ層に穴を開け、したがって、前記パターンを１増分だけ深くする。同時に、前記パターンの側壁において堆積された前記ポリマ層は、さらなるエッチングから前記側壁を保護する。エッチングガスは、代表的に六フッ化硫黄であり、不活性化ガスは八フッ化シクロブタンである。交互のエッチング／不活性化ステップのこの連続を、エッチングパターンの所望の深さに達するまで続ける。この技術により、シリコンウェハの全厚みを通じて狭いスロットをエッチングすることができ、前記溝のアスペクト比、すなわち、深さ対幅比は１０から４０間での値を達することができる。このような乾式エッチングプロセスは、特にエッチングしている表面に関してきわめて異方性である。エッチングマスクの動作に関して、前記方法は、前記基板のエッチング速度と前記マスク材料のエッチング速度との比として規定される優れた選択性をルーチンな方法において与える。酸化物マスクを使用し、２００ないし３００ほどのエッチング選択比を達成することができ、レジストマスクは、５０−１００の範囲におけるエッチング選択比を達成することができる。代表的に、慣例的な非パルスプラズマエッチングプロセスは、これらの値の１０分の１のエッチング選択比しか与えることができない。ここで、エッチング表面粗さ値は、一般に、数パーセントのオーダである。
【００１３】
（基板表面に対して垂直の方向におけるエッチング速度が基板表面と平行の方向におけるエッチング速度よりはるかに高い）異方性乾式エッチングプロセスのようなプロセスを含む、エッチングしている基盤の表面方向に関して異方性のエッチングプロセスは、実質的に垂直の側壁を有するシリコンウェハ全体を通じての深さに、ほとんど規定されていない形状において延長する開口の製造を容易にする。しかしながら、前記方法の固有の性質による瞬時のエッチング速度（ＡＲＤＥ、アスペクト比依存エッチング）は、形成している開口のジオメトリに依存する。結果として、所望の深さの狭いアスペクトスロット、または、例えば、ウェハの中心面における薄いバネ要素を製造することは不正確に、または不可能になる。
【００１４】
ウェハの中心面において位置するバネ要素を、異方性エッチングプロセスを（すべての方向において等しいエッチング速度を有する）等方性エッチングプロセスとの組み合わせて使用することによって形成することができる。しかしながら、良好な等方性エッチングプロセスは、シリコンに関してはまだ開示されていない。等方性エッチングガスとしてＸｅＦ２の使用のみが、当該技術分野において報告されている（エサシ他）。
【００１５】
実質的に結晶構造の｛１００｝面に平行に整列された表面を有する単結晶シリコンウェハを、シリコンの異なった結晶方向に沿って異方性にエッチングする湿式エッチングプロセス（代表的に、水酸化ポタジウム溶液）を使用することによって、中央平面において位置するバネ要素を形成するのに使用することができる。この方法は、前記バネ要素の良好な表面品質と、均一なエッチング速度とを与える。
【００１６】
先行技術の欠点の１つは、単一プロセスとしての乾式エッチングは、シリコンウェハの中央平面において高い寸法精度のバネ要素を形成するのに適切でなかったことであった。他方において、湿式エッチングは、エッチングによる深い構造の製造において大きいウェハ面積を必要とする。細長いバネ要素の製造における慣例的な湿式エッチング技術の使用は、特に、前記バネ要素を、エッチングされた表面が｛１１１｝結晶面によって形成された大きい領域の穴によって囲ませる。同じ理由により、前記バネ要素の寸法精度を、特に、慣例的な方法において、前記エッチングプロセス中に前記ばね要素厚の目的値に近づいた場合、急激な速度で減少するこれらの幅に関して、制御するのはきわめて困難である。前記製造プロセスにおける、又は、前記ウェハの初期厚さにおける最小の変化も、前記バネ要素の目標幅における大きな偏差を生じるおそれがある。したがって、所望のバネ要素品質を、前記バネ要素の断面におけるこの種のジオメトリを使用して達成することが重要になるかもしれない。
【００１７】
加速度センサを、重ねられた層の組、すなわち、誘電体層−薄膜シリコン層−誘電体層−薄膜シリコン層を具えるＳＯＩ形式の多層構造を基礎として製造することもできる。この技術の欠点は、複雑で費用が掛かる製造プロセスを含むことである。
【００１８】
本発明の目的は、先行技術の問題点を克服し、全く新奇の製造方法及びこれらに基づくシリコンセンサを提供することである。
【００１９】
本発明の目的を、ウェハを通じてのエッチングを行う乾式エッチングプロセスを使用するステップと、次に、前記ウェハの中心面において位置する高精度構造を湿式エッチングプロセスによって決定的にするステップとによって達成する。有利には、センサ構造のバネ要素のまっすぐな側壁と、角のあるバネ脚のまっすぐな部分部分又はこれらの曲がった部分の接線とは、シリコン基板の＜１１０＞方向から斜め、有利には少なくとも１５°、好適には＜１００＞方向と等価の４５°に遠ざかり、又は、前記バネ要素の形状が長方形の平行六面体と異なる場合、＜１１０＞方向から約４５°斜めの前記バネ要素の側壁又は接平面を有する。異なったカット方向を有するシリコンウェハを使用する場合において、一般的なアイデアは、前記バネ要素によって占められる体積内で、｛１１１｝結晶面において向けられた斜めの表面の領域を最小にすることである。
【００２０】
より特には、本発明による方法は、請求項１の特徴部分に示すことによって特徴付けられる。
【００２１】
さらに、本発明によるセンサは、請求項７の特徴部分に示すことによって特徴付けられる。
【００２２】
本発明は、著しい利点を提供する。
【００２３】
本発明の特徴は、２つの異なった種類のエッチングプロセスの利点を結合することである。
【００２４】
既知のように、アルカリエッチング溶液における異方性湿式エッチングは、異なった結晶方向において異なって働き、したがって、シリコン表面全体にわたるきわめて均一なエッチング速度と、エッチングされた表面のきわめて滑らかで無傷の品質とを与える。慣例的には、このエッチング方法の最大の欠点は、結果として、前記バネ要素ジオメトリの設計における制限を生じていた。例えば、長方形状のバネ要素の位置を、これらの要素について必要な領域はこれら自身のフットプリントに関して多様であるため、自由に選択することができない。
【００２５】
現在シリコンに使用される異方性乾式エッチングプロセスは、バネ要素の自由な設計及び位置を可能にする。しかしながら、これらのエッチング方法は、異方性湿式エッチングの結果と比べて低い程度の表面粗さ及び品質を与える。
【００２６】
本発明は、異方性乾式エッチングプロセスによって形成されるバネ要素の制限されない位置及び形状と、アルカリエッチングプロセスによって提供される表面滑らかさ及び品質とを、先例がない方法において結合することを可能にする。
【００２７】
ウェハの中央面におけるバネ要素の形成に加えて、上記で概説した方法を、ウェハの他の側面におけるバネ要素の形成にも使用することができる。ここで、前記異方性湿式エッチングを、前記ウェハのある側面から、前記ウェハの全厚さをほとんど通じて延びる深さまで行う。
【００２８】
ウェハの中央面において実質的に位置し、前記ウェハの面から外側にそらせることができるバネ要素を形成するのに好適であるのに加えて、本方法は、前記ウェハの面においてそらせることができ、前記異方性エッチングプロセスによって制御された厚さを有し、したがって、曲げ剛性が幅によって実質的に決定されるバネ要素の形成にも好適である。
【００２９】
本方法は、垂直及び水平部分を具える高剛性のねじりバネ、又は、前記シリコンウェハの面においてのみ自由に動く垂直部分のみを具えるカンチレバー／ねじりバネ要素を形成するのにも好適である。さらに、これらの要素を、前記ウェハの中央面において位置するバネ要素と結合することができる。
【００３０】
以下において、本発明を、添付した図面に示す好適実施例の助けと共により詳細に説明する。
【００３１】
図面及び以下の文において、以下のような括弧記法を使用し、シリコンの結晶ジオメトリを示す。
＜．．．＞  等価の結晶方向
｛．．．｝  等価の結晶面
［．．．］  個々の結晶方向
（．．．）  個々の結晶面
【００３２】
したがって、本発明は、以下に示す製造技術に代表的に関する。
【００３３】
センサバネ要素を、シリコンウェハから、エッチングプロセスによって一方又は双方の側面から前記ウェハを薄くすることによって形成する。前記シリコンウェハの表面は、実質的に理想｛１００｝結晶面である。前記バネ要素は、前記シリコンウェハの中央面において本質的に位置する。前記バネ要素を薄くすることを、結晶方向に関して異方性にシリコンをエッチングするアルカリ水酸化物又は有機ベースのような化学物質を使用して行う。前記シリコンウェハの面における前記バネ要素の形状を、前記ウェハの所定の面に対して垂直に異方性に攻撃するエッチングプロセスによって、所定の寸法に制御する。上述した方法において形成されたバネ要素を、垂直及び水平部分の双方を具えるねじりバネ要素や、前記ウェハの厚さと等しい高さを本質的に有する１つの狭い部分のみを具える他のたわみ又はねじりバネにさらに接続してもよい。
【００３４】
本発明による実施例における新奇の特徴は、とりわけ、以下の特徴をなす詳細である。第１に、前記バネ要素のまっすぐな側壁、角度のついたバネ脚のまっすぐな部分、またはその曲がった部分の接線が、前記シリコン結晶構造の＜１００＞方向から少なくとも１４°、好適には４５°、すなわち＜１００＞方向において斜めになっており、前記バネ要素が長方形でない場合、前記要素の側壁又は接線が＜１１０＞方向から平均において約４５°斜めである。第２に、前記バネ要素の端が、少なくとも部分的に、２つの交差する｛１１１｝結晶面によって輪郭をなす。
【００３５】
本発明の予期しない発見は、アルカリ水酸化物又は他の異方性基本湿式エッチングプロセスを使用してエッチングを行う場合、＜１１０＞方向におけるパターンのまっすぐな側壁の整列において最高の精度を目指すことが、当該技術分野において慣例となったことである。ここで、本発明は、新奇の概念を使用し、この概念にしたがって、パターン側壁の慣例的な整列から比較的小さい偏差は、異方性エッチングが、シリコンの｛１１１｝結晶面がエッチングを遅らせるように露出されなくなるように働くようにすることができる。本発明において、重大な方向におけるエッチング速度を、前記シリコン基板において、慣例的に使用される＜１１０＞方向から斜めの方向、すなわち実質的に＜１００＞方向において形成され、その側壁においてエッチングに対してさらに保護された垂直溝によって制御する。
【００３６】
図１に示すように、代表的な加速度センサ構造は、フレーム１０を具え、このフレーム１０にバネ７を介して振動マス６を接続する。振動マス６を、基板１０から、乾式エッチングされた溝８の助けによってマイクロマシーン化する。バネ７を湿式エッチングによって形成し、これによって、前記バネ要素の端は、｛１１１｝結晶面において斜めになる。
【００３７】
溝８の乾式エッチングを、通常、プラズマ支援プロセスにおいて行い、これによって、気相の反応種が前記ウェハ表面において反応し、揮発性成分を形成する。結果として、溝８から除去すべき固体基板材料をガス状に変換し、これによって、不完全真空における動作によって反応チャンバから汲み出すことができる。前記反応を、反応処理ガスの連続的な供給と、保持された真空ポンピングと、これらに接続された反応チャンバ圧力制御システムと、ＲＦフィールドによって励起されたプラズマシステムとによって保持する。エッチング深さを、代表的に、エッチング時間を調節するか、プラズマの発光を監視することを基礎とするエッチングエンドポイント検出器を使用することによって制御する。乾式エッチングプロセスにおいて、エッチング選択性を、プロセスパラメータと、ほとんど等方性のエッチングから強度に異方性のエッチングまでの使用するエッチング方法との選択によって変化させることができる。現在の方法の情況において、異方性エッチングという用語は、基板表面に対して垂直方向と、基板表面に対して平行方向とに関して等しくないエッチング速度に言及する場合に用いられる。また、エッチングされたエッジの輪郭を、エッチング化学物質及びプロセスパラメータを変更することによって制御することができる。乾式エッチングにおいて、しかしながら、エッチング速度は、一般的に、結晶方向とは完全に無関係である。
【００３８】
図２に示す好適実施例において、バネ要素７の表面は、ほとんどその全領域にわたって、｛１００｝結晶面によって形成される。本発明によるエッチング方向の選択により、｛１１１｝結晶面はバネ要素７の端においてのみ形成される。センサ強度の観点から見てこの情況の追加の利点は、｛１１１｝結晶面がバネ要素７の双方の支持端、すなわち、振動マス６に接続された端と、基板１０に接続された端との双方において、より薄い部分を形成することである。｛１１１｝結晶面は、バネ要素７の端において、又は、これらに近い付近において、交差ラインに沿って互いに交差する。
【００３９】
シリコンウェハの全厚さを通じて延びる溝８を規定する領域１を、図３ａと、後に説明すべきプロセス図５ｃとにおいて見ることができる。それぞれ、図３ｂは、湿式エッチングによってバネ要素中に形成すべき部分を規定する領域２を示す。この領域を、プロセス図５ａ及び５ｅにおいても見ることができる。図３ｃは、領域１及び２と結晶方向｛１１０｝とに関して湿式エッチングによって処理すべき任意領域３を示す。湿式エッチングすべき任意領域３の側壁は、図に示すように｛１１０｝結晶方向において整列するようになる。実行可能なプロセスにおいて、任意領域３は、｛１１１｝結晶面の制限されたエッチング速度によって生じる妨害によって小さな程度にのみ、図２において規定された部分と、エッチングマスクの下になる小さい領域４のみをエッチングされる。振動マス６を、前記処理された領域の中央において形成し、点線で示す領域は、｛１１１｝面によって終了する前記バネの双方の端が形成される領域を表し、適切なバネは、前記ウェハ表面の（１００）結晶面において整列する。
【００４０】
図３ｄにおいて、形成されたバネ要素７の端において、ライン２２に沿って交差するように｛１１１｝結晶面によって輪郭を描かれた領域を示す。示した場合において、等価の＜１１０＞結晶方向を表すように対角に引かれた［０１１］結晶方向と、前記バネ要素の長手軸１５との間の角度αは４５°であり、これにより、｛１１１｝結晶面の交差ライン１１の表面投影も、バネ要素７の長手軸と平行に向けられる。本発明の目的は、バネ要素７の平坦な部分を最大にすること、すなわち、（１００）結晶面の最長に長い領域を得て、バネ表面を自由なままにすることであるから、この目的を達成するために、角度αを十分４０°に近づけるべきである。
【００４１】
前記プロセスを、バネ要素７の長さＬを｛１１１｝結晶面の方向におけるバネ要素７の長さ寸法Ｌ１に関して考慮することによって検査してもよい。明らかに、Ｌ１の寸法は、エッチング深さ及び角度αに直接依存する。前記センサの設計を、比Ｌ１／Ｌが小さい、例えば、０．２未満である場合、生産偏差に影響を受けないようにすることができる。これは、前記バネ要素に関して確保される前記基板領域の比較的大きい部分が適切なバネを形成することを保証し、これにより、前記バネ要素の他の寸法を、生産公差の範囲に最小化する必要がなくなる。角度αが４５°と異なる場合、比Ｌ１／Ｌは増加する。本発明によれば、比Ｌ１／Ｌの適切な値は０．４５未満であり、これにより、バネ要素７の適度に大きい領域を平坦にすることができる。本発明によれば、バネ要素７の長手軸と、前記シリコンウェハの面における等価の＜１１０＞結晶方向との間の角度αを、代表的に２５°ないし６５°、有利には約４０°とする。
【００４２】
図４において、（１００）方向において形成された代表的な単結晶シリコンウェハの結晶方向を示す。ここで、＜１００＞方向は［１００］結晶方向と等価のすべての結晶方向を示し、その総数は６である。それぞれ、｛１００｝面は、（１００）面と等価のすべての結晶面を示す。｛１００｝面に対する法線を、＜１００＞方向として示す。前記ウェハを、この図において前記ウェハ面に垂直な方向から考察すると、前記ウェハ表面は（１００）面であり、前記ウェハ表面法線が［１００］方向であることを意味する。さらに、前記ウェハの平面は、＜１１０＞方向と等価の［０１１］結晶方向と平行である。＜１００＞方向と等価の２つの結晶方向、すなわち図４に示す［０１０］及び［００１］方向は、前記ウェハの平面に対して及びこの平面において４５°の角度である。依然としてさらに、前記ウェハ平面において、＜１１０＞方向と等価の他の方向、すなわち、前記平面に対する法線である［０−１１］方向がある。前記ウェハの平面において、＜１１０＞方向と等価の［０１１］及び［０−１１］方向は、２つの他のウェハ表面方向、すなわち、＜１００＞方向と等価の［０１０］及び［００１］と４０°の角度を形成し、同時に後者の２つは、前記ウェハの平面に対して法線方向である＜１００＞方向と等価の［１００］方向と９０°の角度を形成する。したがって、＜１１０＞と等価の方向の総数は１２であり、これらのうち４つが前記ウェハの面（１００）において位置する。これらの方向のうち２つ、すなわち、［０１１］及び［０−１１］の個々の結晶方向を図４において示す。
【００４３】
図５ａ−５ｇに示すように、代表的なセンサ製造プロセスは、以下のステップの連続を含む。
図５ａ：
２０．酸化物層１２を堆積する。
２１．バネ要素開口２を規定する。
２２．窒化物層１３を堆積する。
図５ｂ：
２３．フォトレジスト１４によって貫通エッチングする領域１を規定する。
図５ｃ：
２４．領域１における窒化物層１３（及び酸化物層１３）をエッチング除去する。
２５．領域１における一方又は双方の側においてウェハを貫通する乾式エッチングを行う。
図５ｄ：
２６．フォトレジスト１４を剥ぎ取る。
２７．溝８の側壁を酸化する。
図５ｅ：
２８．窒化物層１３を除去し、バネ要素開口２を露出する。
図５ｆ：
２９．バネ要素７を湿式エッチングによって形成する。
図５ｇ：
３０．マスクを除去する。
【００４４】
図６において、加速度センサバネ７の構造をより詳細に示す。この図は、バネ要素７と等価＜１１０＞結晶方向との間の約４０°の角度を説明する。
【００４５】
図７において、結晶方向によって影響されない正確な貫通エッチングを成し遂げ、きわめて狭いバネ要素を形成する乾式エッチングの能力を説明する。
【００４６】
図８において、等価＜１１０＞結晶方向に関して４０°の角度において形成された４個のセンサ要素７をすべて有するより複雑なセンサ構造を説明する。
【００４７】
図９において、振動マス６中に延びるバネ要素７を有するセンサ構造をさらに説明する。センサ要素７の端において、｛１１１｝結晶面を見ることができ、これによって、これらの交差ラインの前記ウェハ表面への投影は、実質的にバネ要素７の長手軸と平行である。
【００４８】
図１０において、図８のバネ要素の端の詳細を示す。
【００４９】
図１１において、本発明によって形成されたねじりバネ要素をさらに説明する。ここで｛１１１｝結晶面を容易に見ることができる。
【００５０】
本発明を、例えば、加速度センサ及び発振角速度センサに用いることができる。
【００５１】
本発明の範囲及び精神から逸脱することなしに、単結晶（１００）シリコンウェハと異なるウェハの加工に用いることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】本発明によるシリコンセンサの斜視図である。
【図２】図１のものと本質的に同様のシリコンセンサの上面図である。
【図３】ａ−ｄはセンサの製造ステップを説明する。
【図４】シリコンウェハの結晶方向を説明する。
【図５】ａ−ｇは本発明によるセンサの製造ステップを、センサ慣性マスにおいてとった断面図において説明する。
【図６】製造中の本発明によるセンサ構造の第一実施例からとった写真である。
【図７】乾式エッチングと、側壁マスクの除去前のセンサの狭いバネ要素とにおいてとった写真である。
【図８】本発明による加速度センサの第２実施例の写真である。
【図９】本発明による加速度センサの第３実施例の写真である。
【図１０】図８のセンサの細部からとった写真である。
【図１１】本発明によるねじりバネ要素の写真である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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