(57)【要約】比較的高い濃度の化合物が存在する場合に個々のガス化合物の検出を改善するために、吸着剤（２）を、ガスセンサ（４）の温度変化運転によって加熱し、周期的に解放された化合物を、測定ガス側からダイヤフラム状の吸着剤（２）を通してガスセンサ（４）に向かって拡散し、ガスセンサによって検出を行う、ことが提案されている。ガス検出法に応じた検出器の吸着剤（２）が、フラット形ダイヤフラムまたはチューブ形ダイヤフラムとして形成されていて、かつガスセンサ（４）に接触せずに直接的にガスセンサに沿って設けられている。吸着剤（２）が、測定ガスからガスセンサ（４）を仕切っていて、かつガスセンサ（４）の加熱器（６）によって周期的に加熱され、脱着されたガス状の化合物が、ガスセンサ（４）の反応層（５）で検出される。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出器（１）を用いて、ダストで負荷された空気中のガス状の化合物を特定する方法であって、ダイヤフラム状の吸着体（２）によって、ガス状の化合物をガスセンサから物理的に分離し、ガス状の化合物を、冷間状態で吸着体（２）において濃縮し、ガスセンサの加熱によって加熱状態で再び解放する方法において、
吸着体を、ガスセンサの温度変化運転によって周期的に加熱し、周期的に解放される化合物を、測定ガス側からダイヤフラム状の吸着体を通してガスセンサ（４）に向かって拡散し、次いでガスセンサによって検出を行うことを特徴とする、ガス検出法。
【請求項２】
脱着中に、吸着体（２）を、測定ガス側およびガスセンサ側から清潔な空気もしくは所定の基準空気で洗浄し、予め吸着された化合物だけを、吸着体を通してガスセンサに向かって拡散することによって検出する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
検出器（１）を、液体の分析のために使用し、片側から液体が吸着体（２）に流れるようにし、必要な場合に離間し、次いで吸着体（２）を加熱し、液体に由来する化合物を、加熱されたダイヤフラム状の吸着体を通ってセンサに向かって拡散する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
ガス検出を行う検出器において、
フラット形ダイヤフラムまたはチューブ形ダイヤフラムの構成をした吸着体（２）が、ガスセンサ（４）に接触せずに、直接的にガスセンサ（４）に沿って設けられており、ガスセンサが、測定ガスから仕切られており、対流、拡散または熱放射を用いる加熱型センサにおけるダイヤフラムが、周期的にガスセンサの加熱器（６）によって加熱されるようになっており、脱着されたガス状の化合物が、ガスセンサの反応層（５）で検出されるようになっていることを特徴とする、ガス検出装置。
【請求項５】
検出器のケーシング（７）に、中間室を洗浄するための開口（９，１０）が設けられている、請求項４記載の検出器。
【請求項６】
吸着体（２）が、追加的な加熱エレメント（３）を介して周期的に加熱されるようになっている、請求項４記載の検出器。
【請求項７】
中程度に揮発する化合物および揮発しにくい化合物を特定するために、吸着体（２）が、テナックスまたはエラストマ、たとえばシリコーンもしくはヴィトンのような有機吸着材料から成っている、請求項４記載の検出器。
【請求項８】
選択的に物質を吸脱着できる特定の充填材料たとえばテナックスもしくはカリックスアレーンまたは炭素ベースの吸着剤たとえばカーボントラップもしくはカーボンシーブを備えた吸着剤（２）、または揮発しやすい化合物のためにはゼオライト、シリカゲルおよび微小管を備えた吸着剤（２）が可変である、請求項４記載の検出器。
【請求項９】
揮発しやすい化合物を特定するために、吸着体（２）が、有機化合物に関する溶解度の小さな、たとえばカプトンまたはテフロンであるプラスチックから成っている、請求項４記載の検出器。
【請求項１０】
複数のガスセンサ（４）が、吸着体（２）の、ガス流方向でみて後方に位置決めされている、請求項４記載の検出器。
【請求項１１】
複数の吸着体（２）の配置構造が、ガスセンサ（４）の、ガス流方向でみて前方に位置決めされている、請求項４記載の検出器。
【請求項１２】
複数の検出器（１）が使用されており、これらの検出器（１）が、それぞれ１つの吸着体（２）または種々異なる複数の吸着体を備えている、請求項４記載の検出器。
【請求項１３】
複数の吸着体（２）が、それぞれ異なる時間で加熱され、持続的な監視が行われるようになっている、請求項１１記載の検出器。
【請求項１４】
複数の検出器（１）が使用されており、これらの検出器（１）が、それぞれ異なる時間で加熱され、持続的な監視が行われるようになっている、請求項１２記載の検出器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１の上位概念に記載の形式のガス検出法に関しており、さらに本発明は、請求項４の上位概念に記載の形式のガス検出装置に関する。
【０００２】
そのような検出法および検出装置は、混合物における個々の化合物の識別にも、混合物の識別にも用いられる。使用例は、たとえば産業における漏れ検出のため、もしくは火災検知のために環境工学および安全工学において認められ、また食品産業および医学的な診断においても、さらに品質管理のために化学産業においても認められる。
【０００３】
たとえば個々の物質または個々の化合物の集合を、固有の性質、たとえば食料品の品質に関連付けることは有意義である。
【０００４】
物質状態は、部分的に個別的なガスセンサの構成または様々なガスセンサの組み合わせの構成で存在する検出器を用いて検出することができる。個々のガスセンサの測定信号は、予め測定するか、もしくは格納された信号と比較することができ、測定状態を表すことができる。
【０００５】
そのような方法は以前から公知である。ガスセンサアレーの構成をした、横感度を有する複数のガスセンサが用いられるような幾つかのシステムは、数年来「エレクトロニックノーズ（elektronische Nase）」の名前で知られている。このような機器は、複数のガスセンサ、たとえば水晶発振子もしくは伝導性ポリマーのような「冷間型（kalt）」ガスセンサ、または半導体ガスセンサのような「加熱型（heiss）」ガスセンサと、電子制御装置および電子評価装置もしくは評価計算機とから成っている。「冷間型」ガスセンサは、周辺温度で用いられ、これに対して「加熱型」ガスセンサは、典型的にはＴ＝２００度〜Ｔ＝６００度のガスセンサの作業温度で用いられる。
【０００６】
さらにドイツ連邦共和国特許出願公開第２３１３４１３号明細書から公知の点によれば、「加熱型」ガスセンサの作業温度の変化によって、ガスセンサの選択性も変化される、という追加的な利点がもたらされる。
【０００７】
この場合の欠点によれば、多くの使用例ではガスセンサの選択性が十分でなく、その結果ガスセンサは、たとえば高濃度で生じるが問題とはならない化合物もしくはガスに反応する。これはたとえば周辺空気における湿気もしくはオゾン、または環境工学において臭いを検出する際のメタンから、アルコール飲料のエタノールまで様々なものである。この場合ガスセンサの数を増やすことは必ずしも分離の改善にはつながらない。
【０００８】
極めて多くの場合、たとえば臭い検出の際に、ガスセンサの検出範囲が小さすぎるという欠点が存在する。別の欠点によれば、簡単なガスセンサではセンサドリフトが生じ、このセンサドリフトは、同じタイプのガスセンサ間の再生および比較においてネガティブに作用する。
【０００９】
「加熱型」ガスセンサでは、化学工業において使用する際に追加的な困難が存在する。なぜならば多くの場合防爆についても考慮する必要がある、という理由による。
【００１０】
Ｗ．Ｍｕｅｎｃｈｍｅｙｅｒ  ｅｔ  ａｌ．（２０００），Ｓｅｎｓｏｒｓ  ａｎｄ  Ａｃｔｕａｔｏｒｓ  Ｂ６９，３７９−３８３およびドイツ連邦共和国特許第１９８０７６５８号明細書から、粒体として小管に充填された吸着剤の使用によって選択的な濃縮を実現することが公知である。このためにガス混合物は、吸着体−粒体、たとえば特別なポリマー（Ｔｅｎａｘ（Ｒ））または炭素ベースの吸着体を介して案内される。吸着体による作用変化によって、記載の吸着体では、中程度に揮発する化合物および揮発しにくい化合物が集められ、これに対して揮発しやすい化合物は吸着体を通って案内される。一般的に測定ガスはガスポンプによって吸着体に搬送される。加熱によって、所定の集合時間が経つと物質は再び解放され、検出器もしくはセンサ構造体によって検出される。別の吸着剤、たとえばゼオライト、活性炭またはケイ酸塩を介して、比較的小さく揮発しやすい化合物が濃縮される。
【００１１】
この場合の欠点によれば、後者の場合に揮発しにくい物質も濃縮されるが、熱脱着によって解放することができず、吸着剤の特性が変化され得る。
【００１２】
欧州特許公開第００５５６２４号明細書から公知のように、吸着体はダイヤフラム状に製作することもできる。濃縮段階のあとで、ダイヤフラムは加熱され、後方配置（ガス流方向でみて）された検出器、ここでは質量分析器によって、解放された化合物が検出される。
【００１３】
この方法の欠点によれば、濃縮とガスセンサとが物理的に分離されており、通常２つの機器が形成されるので、これに応じて適当な高い電力を供給する必要のある、部分的に複数のポンプと広範囲にわたる電子系とを備えた複雑なガス経路が必要である。さらに別の欠点によれば、ダストによる負荷が高い場合に吸着体が汚染され、吸着体の特性が変化する。
【００１４】
米国特許第５７８３１５４号明細書から公知の点によれば、加熱型金属酸化物センサが薄いケイ素の層で被覆され、したがって拡散効果に関してセンサの選択性に影響を及ぼすことができる。
【００１５】
この場合の欠点によれば、センサとの直接的な接触によって濃縮が実現できず、選択性が主に分子のジオメトリに関して制御される。ここではポリマーはセンサの高温につき用いることができない。
【００１６】
特開昭５８−１２４９３９号公報およびＭｏｔｏｒｏｌａ“ＭＧ１１００  Ｃａｒｂｏｎ  Ｍｏｎｏｘｉｄｅ  Ｇａｓ  Ｓｅｎｓｏｒ”，Ｍｏｔｏｒｏｌａ  Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ  Ｔｅｃｈｎｉｃａｌ  Ｄａｔａ，  ＭＧＳ１１００／Ｄ（１９９７）から公知の点によれば、シリカゲル、ゼオライト、塩化カルシウムから成る多孔質層（Ｍｏｔｏｒｏｌａでは活性炭フィルタ）と加熱型センサとの連結によって、選択性に影響を与えることができる。そこでたとえばＭｏｔｏｒｏｌａでは、揮発性の有機化合物に対するＣＯセンサの横感度が減少されている。
【００１７】
この場合の欠点によれば、センサがクリーニングされず、多孔質粒子、もしくは活性炭フィルタは、ある程度の時間が経つと、もはや濾過作用を行わず、関連性のない物質がセンサに到達し、測定エラーが発生する。したがってＭｏｔｏｒｏｌａのデータシートによれば、高濃度の溶媒、たばこの煙またはアンモニアは使用を避ける必要がある。
【００１８】
水晶振動子センサ（冷間型ガスセンサ）では、吸収体として水晶振動子にもたらされるポリマーを備えた測定対象物質の様々な作用変化が生じる、ということが公知である。
【００１９】
この場合の欠点によれば、揮発しにくい化合物を層で濃縮する場合に、敏感な層（ポリマー）を脱着するかもしくはクリーニングするのに長い時間が必要である。
【００２０】
Ｐ．Ｂｏｅｃｋｅｒ  ｅｔ  ａｌ．（２０００），Ｓｅｎｓｏｒｓ  ａｎｄ  Ａｃｔｕａｔｏｒｓ  Ｂ７０，３７−４２から公知の点によれば、冷間型センサの温度変化運転によって、物質の脱着が加速され、したがって測定サイクルも短縮される。
【００２１】
この場合の欠点によれば、センサとの直接的な接触によってセンサが加熱される。このようなタイプのセンサでは、測定信号が温度に極めて強く影響されるので、温度変化を考慮するための第２のセンサが必要である。
【００２２】
したがって本発明の課題は、冒頭で述べたような形式のガス検出法およびガス検出装置を改良して、センサの測定範囲を改善し、同時に選択性、つまり著しく高い濃度の別の化合物が同時に存在する場合でも個々の化合物の検出性を高めることである。さらにセンサドリフトを改善し、かつダストおよびエーロゾルからの保護によってガスセンサの耐用年数を改善する必要性がある。
【００２３】
次に本発明の実施例を図示し、詳しく説明する。
【００２４】
ガス状の化合物を特定する方法を実施するための装置は、その主要部分は検出器１から成っており、この検出器１は、吸着体２とガスセンサ４との組み合わせから成っており、吸着剤２は、選択的に加熱手段、つまり加熱エレメント３を備えている。ガスセンサ４は、ガス感応層５からの測定信号を読み取るため、かつガスセンサにエネルギ供給するための電気的な線路８を備えている。さらにガスセンサのための加熱器６を備えた支持基板、および検出器のケーシング７が示されている。必要不可欠な電気的な接続部８および洗浄ガスのための選択的な入口９もしくは出口１０が追加的に示されている。
【００２５】
吸着体２は、有利にはダイヤフラム（Membran；膜）の構成をしており、この吸着体２はガスセンサ４に接触することなくこれを覆っている。ダイヤフラム材料としてポリマー、たとえばシリコーン、フルオロエラストマまたはテナックスダイヤフラム（Tenaxmembran）が用いられ、これらは冷間状態で揮発しにくい化合物および中程度に揮発する化合物を濃縮することができる。熱脱着、つまりダイヤフラムの加熱を介して、濃縮された化合物は再び解放することができる。温度変化運転、つまり化合物を濃縮するための冷間状態のダイヤフラムと、化合物を解放するための加熱状態のダイヤフラムとによって、ガスセンサの選択性が高められる。脱着された化合物は、溶解−拡散プロセスによって、測定ガス側から、ダイヤフラムの構成をした吸着体を通って検出器に到達する。
【００２６】
ダイヤフラムによって検出範囲が改善され、しかも同時にダイヤフラムは検出器の保護にも役立つ。なぜならば干渉性の粒子または粒子を形成する物質が検出器に到達できないからである。その上特に加熱型センサにおける検出器の防爆特性を改善することができる。
【００２７】
ダイヤフラムの構成をした吸着体の選択性を変化させるために、有利には別の吸着剤、たとえばテナックス（Tenax（Ｒ））、炭素ベースの吸着剤、ゼオライト、カリックスアレーンなどで充填されたダイヤフラムも用いられる。シリコーンまたはヴィトン（Viton）のようなエラストマをダイヤフラム材料として用いる場合、吸着体の耐用年数も改善される。なぜならば平滑なダイヤフラムを通って粒子が吸着体の粒体の孔に到達せず、孔の詰まりが生じないからである。追加的に、使用される充填剤（吸着剤）によって熱的には脱着することができない拡散性の小さな揮発しにくい化合物がダイヤフラムを通って吸着体に到達する、ということが防止されている。
【００２８】
加熱型ガスセンサ、たとえばＭＯＳトランジスタ、ＭＯＳ電界効果トランジスタまたはペリスタ（Pellistoren）を使用する場合、吸着剤の直接的な加熱は必ずしも必要ではない。なぜならばガスセンサの温度変化運転によって、同時に吸着剤は熱輸送（熱の流れ）、たとえば対流または拡散によって加熱されるからである。
【００２９】
特に前述のガスセンサが有利であり、冷間状態のダイヤフラム、たとえばテナックスの充填されたシリコーンダイヤフラムの場合には、小さな分子、たとえばＨ２、ＣＯ、ＣＨ４しか測定されず、これに対して加熱状態では揮発しにくい化合物および中程度に揮発する化合物も検出される。
【００３０】
図２には、温度変化運転の際の検出器の測定信号の一例を示した。ＭＯＳガスセンサの、純然たる温度作用によって修正された測定信号は、周期的に加熱されるダイヤフラムで時間を関数として示した。揮発しやすい化合物と揮発しにくい化合物とから成る混合物の測定信号は、熱脱着の間の基準空気の調量の行われる場合と行われない場合とで示した。ダイヤフラムが冷間状態である間は、揮発しやすい化合物だけが測定される。揮発しやすい化合物しか存在していないと、ダイヤフラムの温度上昇は、測定信号に僅かな影響しか及ぼさない。揮発しやすい化合物１１の検出器信号の示す特徴によれば、検出器の測定信号における温度との関連性は顕著には現れていない。
【００３１】
中程度に揮発する化合物から揮発しにくい化合物１２が存在する場合の検出器信号は、加熱中の極端な信号上昇を示している。なぜならばこのような化合物は、その時点において解放され、かつダイヤフラムを順調に通過するからである。中程度に揮発する化合物および揮発しにくい化合物を検出しないようにする場合、ダイヤフラムの加熱中にダイヤフラムとセンサとの間の室が清潔な空気で洗浄される。離脱１３の間にゼロ空気で洗浄される際の、揮発しやすい化合物のための検出器信号の曲線は、洗浄されない場合の結果とは大きく異なっている。なぜならば濃縮された化合物は、全く薄められた状態でしかガスセンサに到達しないからである。
【００３２】
ダイヤフラムの充填剤の選択に関して、幾つかの化合物のための検出範囲を大幅に改善することができる。たとえばゼオライトまたはプラスチックから成る「微小管（Nanoroehrchen」を使用することができ、これによって選択的に比較的小さな分子、つまり永久ガスから水素までも濃縮することができる。検出範囲の増加ならびに選択性の改善以外に、記載の構成によって生産コストを大幅に削減することもできる。
【００３３】
ここでは粒子、液体による汚染、および空気流による干渉に関する特にダイヤフラムの保護効果も考慮されている。保護効果によって、検出器は、極めてダストの多い周辺環境、たとえば排ガスのガス測定器にも火災警報器にも使用することができる。液体、たとえば水溶液の分析もこの検出器を用いて行うことができ、特に加熱段階中にダイヤフラムから液体が離間される場合に行うことができる。
【００３４】
さらに有利には、このようなガスセンサとダイヤフラム、たとえば種々異なるダイヤフラムとの組み合わせに関して、ガスセンサまたはガスセンサ配置構成を備えたダイヤフラムでは、様々な形式で使用するための測定システムを実現することができる。検出器は、サンプリングシステムを備えたセンサ室に組み込むことも、直接プロセスに組み入れることもできる。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】フラットなダイヤフラムを備えた検出器を示す図である。
【００３６】
【図２】検出器の、温度効果によって修正された測定信号を示す線図である。
【符号の説明】
【００３７】
１  検出器、  ２  吸着体、  ３  加熱エレメント、  ４  ガスセンサ、  ５  層、  ６  加熱器、  ７  ケーシング、  ８  接続部、  ９  入口、  １０  出口、  １１  揮発しやすい化合物、  １２  中程度に揮発する化合物から揮発しにくい化合物、  １３  脱着
【図２】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【手続補正書】
【提出日】平成15年7月16日(2003.7.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
この場合の欠点によれば、センサとの直接的な接触によってセンサが加熱される。このようなタイプのセンサでは、測定信号が温度に極めて強く影響されるので、温度変化を考慮するための第２のセンサが必要である。
国際公開第００／６２０４６号パンフレットから公知の点によれば、多孔質シリコーンから成るダイヤフラムを薄膜−金属酸化物センサの手前に位置決めすると、金属酸化物センサの感度を変化させることができる。触媒作用を有する物質でダイヤフラムを被覆することによって、化合物の励起以外に、化学反応を行うこともでき、これによって特に薄膜センサでは検出範囲が改善される、という利点がもたらされる。
この場合の欠点によれば、多孔質厚膜センサでは、検出範囲の改善がみられず、シリコーン−ダイヤフラムでは有機化合物の濃縮を行うことができない。


【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
検出器（１）を用いて、ダストで負荷された空気中のガス状の化合物を特定する方法であって、ガス状の化合物を前処理し、次いで化合物を、吸着体（２）と、冷間状態のガスセンサまたは加熱可能なガスセンサ（４）との間の所定の間隔を通過させることによってガスセンサ（４）に供給し、化合物の測定を行う方法において、
前処理においてダイヤフラム状の吸着体（２）によって、ガス状の化合物をガスセンサ（４）から物理的に分離し、化合物を冷間状態で吸着体（２）において濃縮し、ガスセンサ（４）の加熱によって、化合物を、加熱状態で測定ガス側から吸着体（２）を通ってガスセンサに向かって再び解放し、吸着体（２）を、ガスセンサ（４）の温度変化運転に基づいて周期的に加熱することを特徴とする、ガス検出法。
【請求項２】
吸着体（２）の周期的な加熱を、直接的に吸着体（２）に作用する加熱エレメント（３）によって行う、請求項１記載の方法。
【請求項３】
脱着中に、吸着体（２）を、測定ガス側およびガスセンサ（４）側から清潔な空気もしくは所定の基準空気で洗浄し、予め吸着された化合物だけを、吸着体（２）を通してガスセンサに向かって拡散することによって検出する、請求項１記載の方法。
【請求項４】
検出器（１）を、液体の分析のために使用し、片側から液体が吸着体（２）に流れるようにし、必要な場合に離間し、次いで吸着体（２）を加熱し、液体から形成されるガス状の化合物を、加熱されたダイヤフラム状の吸着体（２）を通ってガスセンサ（４）に向かって拡散する、請求項１記載の方法。
【請求項５】
ガス状の化合物を特定するための検出器であって、該検出器が、加熱可能なガスセンサ（４）から成っており、該ガスセンサに、ガス状の化合物を収容するためのガス感応層（５）と、測定信号を処理するための電気的な接続部（８）と、ガスセンサ（４）を加熱するための加熱器（６）とが設けられており、ガスセンサ（４）が、該ガスセンサに接触することなくダイヤフラムによって取り囲まれている形式のものにおいて、
ダイヤフラムが、吸着体（２）として形成されており、該吸着体（２）が、測定ガスをガスセンサ（４）から仕切っており、該吸着体（２）が、測定ガスを冷間状態で濃縮し、かつ測定ガスを加熱状態でガスセンサ（４）に向かって解放するようになっており、ガスセンサ（４）と吸着体（２）との間の間隔が次のように選択されていて、つまり一方では解放されたガス状の化合物がガスセンサ（４）に到達し、他方ではガスセンサ（４）の熱が吸着体（２）に放射されるように選択されており、加熱体（６）がガスセンサ（４）を周期的に加熱するための装置を備えていることを特徴とする、ガス検出器。
【請求項６】
ガスセンサのケーシング（７）に、吸着体（２）とガスセンサ（４）との間の中間室を洗浄するための洗浄ガスの出入口（９，１０）が設けられている、請求項５記載の検出器。
【請求項７】
吸着体（２）が、該吸着体（２）を周期的に加熱するための加熱エレメント（３）を追加的に備えている、請求項５記載の検出器。
【請求項８】
複数のガスセンサ（４）が、吸着体（２）の、ガス流方向でみて後方に位置決めされている、請求項５記載の検出器。
【請求項９】
複数の吸着体（２）が、ガスセンサ（４）の、ガス流方向でみて前方に位置決めされている、請求項５記載の検出器。
【請求項１０】
吸着体（２）が、それぞれ異なる時間で加熱され、持続的な監視が行われるようになっている、請求項９記載の検出器。
【請求項１１】
複数の検出器（１）が使用されており、これらの検出器（１）が、それぞれ１つの吸着体（２）または種々異なる複数の吸着体を備えている、請求項５記載の検出器。
【請求項１２】
複数の検出器（１）が使用されており、これらの検出器（１）が、それぞれ異なる時間で加熱され、持続的な監視が行われるようになっている、請求項１３記載の検出器。
【国際調査報告】
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2004537715.tif 000018
2004537715.tif 000019
2004537715.tif 000020
2004537715.tif 000021
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