(57)【要約】光学測定システムの構成部品は、このシステムの光学素子をそれぞれ有する２つのハウジング（２０，２２）と、ベース（１０）とを含む。２つのハウジングは、運動学的支持体（１８）の相互補完部分を少なくとも１つの面にそれぞれ与えられ、これら光学部品は、運動学的支持体が係合されると光学部品が正確に位置調整されるように、それぞれのハウジング内に配置される。ベースは、その表面に運動学的支持体（１６）が与えられ、このベースが機械の軸線に対して位置調整されると、運動学的支持体の上に置かれた何れかのハウジングが自動的に機械の軸線と位置調整されるように配置され、これらハウジングがベースおよび運動学的支持体を用いて相互に連結されると、このシステムの光学部品が自動的に位置調整されよう。
2004502955.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械のための光学測定システムであって、機械の２つの相対的可動部分に装着される２つのハウジングを具え、これらハウジングのそれぞれは、少なくともそれらの１つの面に取り付け装置の相互補完部分を与えられ、取り付け装置はこの取り付け装置の２つの部分が相互に連結された場合、これらハウジングが相互に位置調整されて機械の２つの部分の既知の相対運動の方向に対して位置調整されるようになっている光学測定システム。
【請求項２】
取り付け装置は、相互補完運動学的台座をそれぞれのハウジングに具えた運動学的取り付け台である請求項１による光学測定システム。
【請求項３】
各ハウジングは、光学測定システムの光学部品を包含し、前記光学部品は、取り付け装置の２つの部分が相互に連結されると、２つのハウジングの光学部品が相互に正しく位置調整されるように個々のハウジング内にあらかじめセットされている請求項１または請求項２による光学測定システム。
【請求項４】
少なくとも１つのハウジングは、３つの直交する回転軸の少なくとも１つを中心とするその向きを限定された範囲で変更されることを可能にする調整可能なコネクタを与えられている任意の先行する請求項による光学測定システム。
【請求項５】
調整可能なコネクタは、これが連結されるハウジングの向きが３つの直交する軸線に関して変更されることを可能とする請求項４による光学測定システム。
【請求項６】
ハウジングの一方が機械のベッドにそれ自身調整可能に取り付けられるベース上の固定位置における複数の台座要素によって機械に取り付けられている請求項１による光学測定システム。
【請求項７】
複数の台座要素がベース上の運動学的支持体の一部を形成している請求項６による光学測定システム。
【請求項８】
ハウジングの一方が運動学的支持体を形成する３つの台座要素によって機械ベッドに直接取り付けられている請求項１による光学測定システム。
【請求項９】
３つの台座要素が調整可能である請求項８による光学測定システム。
【請求項１０】
ハウジングの一方がこのハウジングのカップと係合する機械に設けられた単一のボールによって機械に取り付けられている請求項１による光学測定システム。
【請求項１１】
ボールおよびカップが磁力によって係合状態に付勢されている請求項１０による光学測定システム。
【請求項１２】
ボールが機械の固定ベース構造体に取り付けられている請求項１０による光学測定システム。
【請求項１３】
ボールが機械の調整可能な支持体に取り付けられている請求項１０による光学測定システム。
【請求項１４】
２つのハウジングがボールバーの２つの部分を形成している請求項１から請求項３の何れか１つによる光学測定システム。
【請求項１５】
機械にある光学測定システムの光学部品を位置調整する方法であって、前記システムは測定システムの光学部品を包含する２つのハウジングを具え、
それぞれのハウジングの少なくとも１つの面に取り付け装置の複数の相互補完部分を設け、前記相互補完部分が相互に連結されると、これらハウジングが相互に位置調整されて機械に関する既知の方向に位置調整されるようにするステップと、
２つのハウジングを機械の相対的可動部分に取り付け、ハウジングの少なくとも一方が調整可能なコネクタによって取り付けられるステップと、
ハウジングの一方を機械に関する前記既知の方向に位置調整し、取り付け装置の相互補完部分を係合する一方、調整可能なコネクタの調整を可能とするステップとを具えた方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、光学測定システムの部品を、測定操作においてこれらを使用するのに先立って位置調整するための方法および装置に関する。
【０００２】
光学測定システムの１つの既知の型式は、２つ以上のハウジングからなり、その少なくとも一方が機械のベッドに固定され、他方は機械の可動アームまたはスピンドルで運ばれることになっている。ハウジングの一方は、１つ以上の光源および検出器を包含し、以下に「光源ハウジング」として呼称される一方、他方のハウジングはリフレクタを包含し、以下に「反射ハウジング」として呼称されよう。通常、光源ハウジングは機械のベッド上の固定位置に保持され、反射ハウジングは機械の可動部、例えば機械スピンドルに取り付けられる。
【０００３】
多くの場合、光学部品を位置調整することは、最初に光源ハウジングの位置合わせを伴う時間のかかる処理であり、ここで発生させられるビームまたはビーム群が機械のＸ，ＹおよびＺ軸の１つ以上に沿って、またはこれらと平行に導かれるようにする。次に、反射されたビームが逆に検出器へと導かれるように、リフレクタがビームまたはビーム群に対して位置調整される必要がある。この位置合わせは、用いられる検出器の型式に依存して数秒角以内に正確でなければならない場合がある。
【０００４】
本発明の方法および装置は、光源，リフレクタおよび検出器の位置合わせを機械の３つの軸すべてに関して容易かつ迅速に達成されることを可能にする。
【０００５】
本発明の１つの形態によると、機械のための光学測定装置は、機械の２つの相対的可動部分に装着される２つのハウジングを具え、これらハウジングのそれぞれは、それらの少なくとも１つの面に取り付け装置の相互補完部分を与えられており、取り付け装置は、この取り付け装置の２つの部分が相互に連結されると、これらハウジングが相互に位置調整されて機械の２つの部分の既知の相対運動の方向に対して位置調整されるようになっている。
【０００６】
好ましい実施例において、取り付け装置の２つの部分は運動学的取り付け台を相互に形成する運動学的台座であり、磁石が運動学的取り付け台の２つの部分を相互に付勢するために用いられる。
【０００７】
光学部品はそれぞれのハウジング内にあらかじめセットされ、取り付け装置の２つの部分が相互に連結されると、２つのハウジングの光学部品が相互に正確に位置調整されるようになっている。
【０００８】
ハウジングの一方は、その向きが３つの直交する回転軸を中心として限定された範囲で変更されることを可能とする調整可能なコネクタの一部を与えられることができる。調整可能なコネクタの他の部分は、機械の相対的可動部分の一方に連結される。
【０００９】
発明の独立した形態によると、少なくとも１つの運動学的台座のための台座要素をそれらの面の少なくとも１つに有するベースが設けられ、その３つの直交面のそれぞれにこのような座を有することができる。ベースは、これが３つの直交機械軸に対して位置調整されることができるようにする調整手段を与えられている。従って、光源ハウジングは、これがその運動学的台座によってベースの運動学的台座の任意の１つに装着されると、機械軸の１つに対して自動的に位置調整される。
【００１０】
しかしながら、代わりに運動学的支持体の３つの台座要素が機械ベッドの既知の位置に直接設けられることができ、運動学的支持体の対応する台座要素をベース板またはハウジングにそれぞれ設けることにより、ベース板または一方のハウジングが直接機械ベッドの既知の位置に取り付けられることができるようになっている。
【００１１】
またさらなる実施例において、ベース板の代わりに単一のボールがハウジングに対する取り付け台を形成することができる。ボールは、ベース構造体が機械に対して位置合わせされた場合、これが固定されたままとなるように、ベース構造体に対して一体的に取り付けられることができるか、または機械に対するハウジングの位置合わせに若干の追従性を与えるため、ベース構造体に関して調整可能となるように取り付けられることができる。ベース構造体は、磁力によって機械の所定位置に保持されることが好ましい。ハウジングは、機械にあるボールに対して収まるカップを内部に与えられ、このハウジングは、これが機械軸に対して位置調整されることができるようにボールの中心を通る水平および垂直軸の両方を中心としてピボット回転可能となるようになっている。位置調整された場合、これは好ましくはカップとボールとの間の磁力によって所定位置に保持される。ボールに対するハウジングのピボット回転は、他のハウジングを機械スピンドルに関して位置決めすると共に２つのハウジングの間の運動学的台座要素を係合するためにハウジングのボールに向けて機械スピンドルを駆動し、その後ハウジングを工作機械に対して再度方向付けをするために機械スピンドルを駆動することにより、達成されることができる。
【００１２】
本発明の他の実施例において、２つのハウジングがボールバーの２つの部分を形成している。この場合におけるボールバーは、運動学的支持体を用いて相互に連結される２つの分離可能な部分をもたらすように変更される。これらの部分の一方は、光源ハウジングの等価物になり、リニア干渉計の光源，干渉系光学系および検出器を包含し、他方の部分はリフレクタを包含する。この実施例に対する変更において、光源および／または検出器は、ボールバーに対して遠くに離し、光ファイバケーブルを介してこれに連結されることができる。
【００１３】
分離された時にボールバーの２つの部分が倒れる（すなわちボール端を中心にピボット回転する）のを阻止するため、釣り合い錘がボールの反対側に与えられることができ、またはボールが支持されるカップはボールを所定位置に保持する磁石を包含することができる。ボールバーの２つの部分が分離されることになっている場合、このような場合における磁力は電磁石によって補われることができる。
【００１４】
さて、添付図面を参照し、単なる例として本発明がより詳細に記述されよう。
【００１５】
ここで図面を参照すると、図１において、機械に取り付ける光学測定システムの第１の実施例が示されている。
【００１６】
この光学測定システムは、ベース板１０と、光源ハウジング２０と、反射ハウジング２２とを包含し、これらのすべてが１つ以上の機械の軸線に対して正確に位置調整される必要がある。ベース板１０は、ねじ１２，１４によって機械のベッドに連結されている。
【００１７】
第１の実施例において、光源ハウジング２０は、光源２４と、ビームスプリッタ２６と、平行光ビームをハウジングの外に通すコリメートレンズ２８と、反射ハウジング２２からの戻り光ビームをビームスプリッタ２６を介して受光する検出器３０とにより、光学的順番に形成されたオートコリメータを包含する。
【００１８】
また、光源ハウジングは三角形状に配置されて１２０度の間隔を置かれた３つの球形台座要素１６の形態にある運動学的台座を包含する。この台座要素１６は、ベース板にある３つのＶ溝（図示されず）と対応し、ベース板に対するハウジングの再現可能な位置決めのための一般的な運動学的台座を形成する。
【００１９】
ベース板それ自体、あるいは代わりとしてベース板と光源ハウジングとの組み合わせは、機械の１つの軸線、例えばＸ軸に対して位置調整される。ベース板が単独でこの軸線に対し位置調整される場合、これは、例えば接触プローブを使用することにより位置決めされる複数の参照面または参照端縁（図示されず）を用いて達成されることができる。従って、光源ハウジングは、光源からのビームをベース板上の参照面に対して平行に位置調整するために方向付けられる運動学的支持体を用いてベース板に対し位置合わせされる。
【００２０】
しかしながら、ベース板および光源ハウジングの双方が機械の軸線と相互に位置調整されるようになっている場合、これは光源ハウジングからの平行光ビームを適当な光学目標に導くことによって容易に達成されることができ、同時に光源ハウジングはベース板に設置される。
【００２１】
何れかの場合において、ベース板のＸ，Ｙ平面に関する位置合わせの精密な調整は、ねじ１２，１４とこれらが挿通されるベース板のそれぞれの穴との間に隙間を与えることによって可能である。この例において、ＸＺおよびＹＺ平面における位置合わせは、機械ベッドの平面度とベース板および運動学的支持体の製造の精度とによって達成される。
【００２２】
光源ハウジングは、反射ハウジングが設置されることができるその前面（すなわちビーム方向と直交する面）にさらなる運動学的台座１８を有している。光源およびリフレクタは、反射ハウジングが光源ハウジングの前面にある運動学的台座１８に設置される場合、光ビームとリフレクタとが正確に位置調整されることを保証するため、その製造段階の間に位置調整される。
【００２３】
従って、一度光源ハウジング２０が光ビームを機械軸の１つ、例えばＸ−軸に沿って導くように正確に位置調整されると、反射ハウジングは光源ハウジングの前面にある運動学的台座に装着されることができ、光源２４からのビームに対して自動的に位置調整されることを理解されることができる。磁石５０，５２は、２つのハウジングを相互に運動学的台座に付勢するように用いられる。
【００２４】
機械スピンドルと反射ハウジングとの間の正常な位置に対する何らかの食い違いを処理するため、これら２つが相互に連結されと、反射ハウジング２２は、このハウジング２２が機械のスピンドル３４に対して連結されることができる手段による調整可能なコネクタを使って限られた量の追従性を与えられている。調整可能なコネクタは、機械スピンドルの球形ソケット３８に装着されるようになっているボール３６を有する。このボール３６は、任意の適当な手段、例えばねじ山結合４２によってハウジング２２に同様に連結される保持装置４０に調整可能に支持される。
【００２５】
図２および図３に見られることができるように、保持装置は、円柱状の穴４６を囲む一対のジョー４４からなる。これらジョーは、ジョー４４のそれぞれに対する固定ボルト４８のねじ山螺合によって開閉されることができる。ボール３６は、ステム５０によって穴４６の内側にあるさらなるボール５２に連結されている。ボール５２を穴４６の外に付勢するばね５４が設けられている。
【００２６】
従って、ボール３６は、これが機械スピンドルのソケット３８に係合されることを可能にするように、限定された角度の範囲で調整されることができる。ボール３６は、このボール３６，ソケット３８，またはこれらの両方に磁石（図示されず）を設けることにより、既知の方法でソケット３８に保持される。上述された型式の調整装置は、我々の欧州特許第５０８６０６Ｂ１号により詳細に記述されており、これにより、ここの説明が参照することによってこの明細書に組み入れられる。
【００２７】
従って、光源ハウジングが機械の軸線に対して位置調整されると、機械スピンドルに装着された反射ハウジング２２が光源ハウジングに導かれることができる。固定ボルト４８が緩められるに従い、調整可能なコネクタは、反射ハウジングが運動学的台座１８に装着されるように回転するのに充分自由となろう。このようにして、光源ハウジングと反射ハウジングとの自動的な位置合わせが保証されることができる。運動学的台座１８に装着されると、固定ボルト４８はハウジング２２のその向きを保持するために締め付けられる。
【００２８】
光源ハウジング２０を他の機械軸に対して位置調整するため、いくつかの代りの配置が可能である。上述された例において、光源ハウジングがベース板に取り付けられる場合、光源ハウジングは他の運動学的台座をその下面またはその直交面の他の１つに有することができる。これにより、これは異なる平面において９０°の範囲で回転され、ベース板の運動学的台座に対して異なる向きで再装着されることができる。このようにして、光源からの光ビームは、異なる機械軸の１つに沿って導かれる。この場合、反射ハウジングは、これがまた異なる軸線に対しても位置調整されるように、光源ハウジングの同じ運動学的台座１８に装着され続けよう。
【００２９】
あるいは、立方体または直方体の形態にあるブロックがベース板の代わりに用いられることができる。このようなブロックは、光源ハウジングに対して単一の運動学的台座を使用することにより、ブロックにあるこれらの任意の１つに対してその運動学的台座を係合させてこれが異なる方向に向けられることができるように、その種々の直交面の１つに運動学的台座を与えられよう。また、この場合においても反射ハウジングは光源ハウジングにある同じ運動学的台座を使用し続けよう。
【００３０】
さらなる代わりの実施例において、光源ハウジングは、異なる機械軸線に沿って方向付けられる光ビームをもたらす複数の光源を包含することができ、それぞれのビーム方向に対して直交するこれらの面のそれらに運動学的台座を与えられることができる。この場合において、反射ハウジングは、任意のそれぞれの面に設置することができ、機械スピンドルによってそれぞれのビームの方向に移動するように受け取られることができる。複数の光源の代わりに、この実施例は、異なる直交方向に光ビームの構成要素を導くため、単一の光源と複数のビームスプリッタとを設けることによって変更することができる。
【００３１】
上記実施例のすべてにおいて、異なる運動学的台座の向きまたは複数の光ビーム方向の間の角度は、なされるべき直角度測定のために調整される必要があろう。
【００３２】
図４は、光源ハウジングから３つのビームをもたらす一実施例を示している。前に記述したように、光源ハウジングは、ビームスプリッタ／検出器装置２６／３０を通ってコリメートレンズ２８を順に通過する光ビームを生じさせる単一の光源２４を包含する。レンズ２８から出射する平行光ビームは、一対のビーム分割ペンタプリズム６０および６２を通過し、その出力は、光源ハウジングの３つの直交面から出射する３つの直交平行ビームＡ，ＢおよびＣである。
【００３３】
運動学的台座６４，６６（２つのみ図示される）は、光源ハウジングの３つの直交面に設けられている。このようにして、機械スピンドルにより運ばれる反射ハウジング６８は、これを３つの直交方向の任意の１つに関して位置調整するため、光源ハウジングの３つの直交面のそれぞれに取り外し可能に装着されることができる。
【００３４】
図５および図６は、ベース板が機械ベッドに一体的に装着され、光源ハウジング２０が調整可能な取り付け台によってベース板に取り付けられたさらなる別な実施例を示している。
【００３５】
調整可能な取り付け台は、ベース板１０と光源ハウジング２０との間に一部球形軸受を含んでいる。この球形軸受は、光源ハウジングにある凸面部８２と、ベース板にある凹面部８４とを包含する。光源ハウジングの後部（すなわち球形軸受の反対端）において、光源ハウジングの後端部を上げ下げするため、これが部分的球面８２，８４を中心として垂直面に関しピボット回転することができるように、調整ねじ８６がばね（図示されず）の作用に抗してベース板を垂直に押している。
【００３６】
また、光源ハウジングの同じ端部において、ベース板に取り付けられた水平調整ねじ９０は、光源ハウジングが球形軸受面８２，８４を中心として水平面に関しピボット回転することができるように、第２のばね（図示されず）の作用に抗して光源ハウジングの突起９２を押圧している。
【００３７】
一部球形軸受の中心は、反射ハウジングが運動学的台座１８に設置された場合、反射ハウジングの光学的中心に置かれる点Ｏに位置決めされ、光学的位置合わせ処理中にピッチおよびヨー軸に対する光源ハウジングのちょっとした調整が反射ハウジングに関して光源ハウジングの平行移動を結果として生じないようになっている。従って、反射ハウジングが運動学的台座１８に置き直されると、これは光源ハウジングからのビームに対して自動的に再度位置調整されよう。
【００３８】
この測定システムを用いて測定を行う方法は、記述されたすべての実施例に対して同じである。
【００３９】
最初に、光源ハウジングが前に記述されたように機械軸の１つに対して位置調整される。次に、光ビームが発せられる光源ハウジングの面に反射ハウジングが運動学的台座の１つによって装着され、そして反射ハウジングが調整可能なコネクタを用いて受け取られることができるように、機械スピンドルは正しい位置にもたらされる。
【００４０】
スピンドルの小さな最初の動き（ｄ）がその運動学的台座から反射ハウジングを外すために測定されるべき軸線に沿ってなされる。光学測定システムの検出器からの読み取りがこの位置において行われる。次に、スピンドルはさらなる一定距離（ｄ１）を動かされ、さらなる検出器の読み取りが行われる。この運動の偏角がオートコリメータの読み取りから決定されて記録される。この処理は、偏角の記録を集めるために軸線に沿って繰り返され、一定位置（ｄ２）から（ｄｎ）までの測定を行う。
【００４１】
他の光学部品が光源ハウジングおよび反射ハウジングに含まれることができる。例えば、リニア干渉計は、光源ハウジングに配置されるそのレーザーおよび検出器と、反射ハウジングに配置される干渉計の光学系とを有して含まれることができる。
【００４２】
２つのハウジングを種々の機械軸に対して位置調整する目的を達成するため、いくつかの異なる配置が可能である。
【００４３】
例えば、ベース板は除かれることができ、機械の固定部分に取り付けられるべきハウジングは、機械ベッドに対して直接に運動学的支持体を形成するように配置された３つのボールに直接取り付けられることができる。これらのボールは、それらの最初の配置が決定的ではないように、例えば図２および図３に示されるような調整可能なコネクタによって、調整可能にそれぞれ取り付けられることができる。保持装置４０は、要求される機械軸線に沿ってハウジングを位置調整するために方向付けられる運動学的支持体を形成するように、ぼほ正しい位置に最初に置かれる（好ましくは、ねじ山付きステム４２に代えてこれらを所定位置に固定するために磁石を使用する）。次に、緩められた調整機構と共に、機械スピンドルに連結されたカップが順番にそれぞれのボール３６の上に置かれ、それぞれのボール３６の位置が正確に調節され、固定される前に機械スケールの読み取りから記録される。
【００４４】
他の実施例において、ハウジング２０と機械との間の運動学的台座配列に代え、ハウジングのカップに着座する単一のボールが用いられることができる。これは、図７に概略的に示されている。ボールは、図示された実施例におけるように、ベース構造体に一体的に取り付けられることができるか、または図２および図３に示される調整可能に取り付けられたボールと同様な方法でベース構造体に調整可能に取り付けられることができる。ハウジングを装着する前に、ボールの位置は、例えばプローブ検査によって最初に正確に決定される必要がある。
【００４５】
ここで図７を参照すると、ハウジング２０はベース構造体、すなわち例えば機械ベッドに配置されるブロック８０上に示されている。このブロックは、これに固定された支柱８２を有し、この支柱は、この実施例において垂直であるように示され、その自由端に固定されたボール８４の形態の支持体を有する。ハウジング２０は、ボール８４が所定位置に支持されて磁気的に保持されることができるその内部構造体の一部として形成されたカップを有し、このハウジング２０は、支柱およびボールが通過することができる適当な開口を有している。従って、ハウジングは、支持体に対し水平面に関して３６０°の範囲および垂直面に関して１８０°の範囲をピボット回転することができ、ハウジングの壁が支柱８２にぶつかるのを回避するため、適当な溝がハウジングに設けられている。
【００４６】
機械軸線に対してハウジング２０を位置調整するため、反射ハウジング２２が機械スピンドルに取り付けられ、２つのハウジングの間の運動学的支持体１８が係合されるまでハウジング２０に向けて駆動される。これは、手作業でハウジング２０の位置を調整することによって最初になされる。単一の固定ボールに取り付けられるハウジング２０と共に、ハウジング２２は何らかの追従性を有し、例えば図２に示された調整可能な装置を使用することにより、機械のスピンドルに取り付けられる必要があろう。
【００４７】
別な実施例において、ボールは調整可能な装置を用いて機械に取り付けられ、調整機構を締め付ける前に、機械スピンドルのカップをボールに対して装着関係にもたらすことにより、その位置が決定される。次に、ボールの位置が機械スケールの読み取りから決定されることができる。また、ボールの位置が決定されると、ハウジングはボールに取り付けられ、上述されるような運動学的台座１８を用いて異なる機械軸の方向に向けられることができる。
【００４８】
図８に示されるようなさらに別な実施例において、２つのハウジング２０および２２は、ボールバーの２つの部分を形成している。第１の部分は、磁石１０１によって機械に磁気的に保持されるカップ１０２内に収めることができるボール１００を有する。ハウジング１０４はボールに連結され、直線測定干渉計１０５の光源および干渉光学系を包んでいる。第２の部分は、磁石１０７によって機械に磁気的に保持されるカップ１０８内に収めることができるボール１０６を有し、さらに干渉計の再帰反射器１０９を含むハウジング１１０を有する。好ましくは、これらカップはボール１００および１０６が運動学的に装着される３つのパッドをそれぞれ包含している。ボールバーの２つの部分は、磁石１１６によって係合するように付勢されるボールバーのそれぞれの部分にある台座要素により形成された運動学的結合部１１４にて結合される。
【００４９】
カップ１０２，１０８は、図２に示された調整可能な型式のものである。
【００５０】
機械軸線に沿ってボールバーを位置調整して測定を行うため、カップ１０２が機械に配置され、ボール１００，１０６の一方がカップに収められる。機械スピンドルは、ボール１００，１０６を嵌合するカップを与えられ、ボール１００に対して収まるように導かれる。機械スケールの読み取りから、ボール１００の位置が決定されることができる。次に、機械スピンドルはボールバーの長さと等しい距離だけ機械軸の１つに沿って動かされ、あらかじめほぼ正しい場所に設置された第２のカップに第２のボール１０６が収められる。カップ１０８とボール１０６との間の適正な装着が達成されると、カップの調整機構が締め付けられる。この時、ボールバーは、機械軸線に対して位置調整されている。
【００５１】
軸線に沿った測定を行うため、機械スピンドルはその軸線に沿って動かされ、運動学的結合部を外すことによってボール１０２および反射ハウジングを運ぶ。干渉計は動かされた距離を測定する。
【００５２】
運動学的結合部１１４が外された場合にボールバーの倒れを阻止するため、ボールバーの重量が釣り合わされることができるか、またはカップ内にボールを保持するために用いられる磁石が倒れに対抗するため、例えば電磁石で磁力を強化することによって十分にパワフルに作られる。
【００５３】
ボールバーの重量を減らすため、光源は光ファイバケーブルによってボールバーに接続される遠隔光源であってよい。
【００５４】
ボールバーが機械スピンドルのカップ内でピボット回転することができるので、ボールバーを９０°の範囲でピボット回転することにより、測定が機械のＸおよびＹ軸の両方に沿ってなされることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の第１実施例による光学測定システムの構成の概略正面図である。
【図２】
調整可能なコネクタの１つの実施例を示す。
【図３】
調整可能なコネクタの１つの実施例を示す。
【図４】
本発明の他の実施例を示す。
【図５】
本発明のさらなる実施例を示す。
【図６】
本発明のさらなる一実施例を示す。
【図７】
本発明の光源ハウジングのための固定支持体を示す。
【図８】
本発明のさらなる一実施例を示す。
【図１】
2004502955.tif 000003
【図２】
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【図３】
2004502955.tif 000005
【図４】
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【図５】
2004502955.tif 000007
【図６】
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【図７】
2004502955.tif 000009
【図８】
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【国際公開パンフレット】
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2004502955.tif 000012
2004502955.tif 000013
2004502955.tif 000014
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2004502955.tif 000019
2004502955.tif 000020
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2004502955.tif 000024
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2004502955.tif 000028
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2004502955.tif 000030
2004502955.tif 000031
2004502955.tif 000032
2004502955.tif 000033
2004502955.tif 000034
2004502955.tif 000035
【国際調査報告】
2004502955.tif 000036
2004502955.tif 000037