(57)【要約】回転式ラッチ作動カムに移動式に搭載されるラッチキーレセプタを含んだ横方向フローティングラッチハブ構造体が開示されている。ポートドアのラッチキーはラッチキーレセプタに受領され、ラッチキーレセプタはラッチキーを整合させるために横方向に移動することができる。ラッチキーがレセプタに受領されると、ラッチキーからのトルクはラッチキーレセプタを通ってラッチ作動カムに伝達される。
2004527100.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱体および箱体ドアを含むSMIF収容器用のラッチ構造体であって、
回転軸上で該箱体ドアに搭載され、一対のガイドを持つ回転要素と、
ラッチキーを受領するためのラッチキーレセプタであって、該ガイドと係合するための一対の係合タブを含み、それによって該回転軸に対して実質的に垂直方向で平面を移動するラッチキーレセプタと、
前記回転要素と係合した近接端部、および前記箱体内に受領される先端部をそれぞれに備えた一対のラッチアームと、
を含むことを特徴とするラッチ構造体。
【請求項２】
回転要素はその回転時に一対のラッチアームを駆動する複数のピンをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のラッチ構造体。
【請求項３】
回転要素はその回転時に一対のラッチアームを旋回させる複数のランプをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のラッチ構造体。
【請求項４】
ガイドスペースと係合する一対の係合タブを保持するカバープレートをさらに含むことを特徴とする請求項１記載のラッチ構造体。
【請求項５】
箱体および箱体ドアを含むSMIF収容器用のラッチ構造体であって、
回転軸上で該箱体ドアに搭載され、一対のガイドスペース、および凹状領域を有する回転要素と、
ラッチキーを受領するために提供され、該凹状領域内に位置するラッチキーレセプタであって、該ガイドスペースと係合するための一対の係合タブを含み、それによって該回転軸に対して実質的に垂直方向で平面を移動するラッチキーレセプタと、
前記回転要素と係合した近接端部、および箱体内に受領される先端部をそれぞれに備えた一対のラッチアームと、
を含むことを特徴とするラッチ構造体。
【請求項６】
ラッチキーレセプタを凹状領域の中心に保持する拘束手段をさらに含むことを特徴とする請求項５記載のラッチ構造体。
【請求項７】
回転要素はポッドドアに回転式に接続されることを特徴とする請求項５記載のラッチ構造体。
【請求項８】
ラッチキーレセプタはラッチキーを適切に位置させる斜状端部を有した中央開口部を持つことを特徴とする請求項５記載のラッチ構造体。
【請求項９】
ポッドドアは前面開口ポッドのポッド外殻に係止されること特徴とする請求項５記載のラッチ構造体。
【請求項１０】
箱体および箱体ドアを含むSMIF収容器用のラッチ構造体であって、
回転軸上で該箱体ドアに搭載され、それぞれがガイドスペースを提供する２対の隆起ガイドを含む回転要素と、
ラッチキーを受領するために提供され、該２対の隆起ガイド間に位置するラッチキーレセプタであって、前記ガイドスペースと係合するための一対の係合タブを含み、それによって前記回転軸に対して実質的に垂直方向で平面を移動するラッチキーレセプタと、
前記回転要素と係合した近接端部、および前記箱体内に受領される先端部をそれぞれに備えた一対のラッチアームと、
を含むことを特徴とするラッチ構造体。
【請求項１１】
隆起ガイドの各対は長形平行隆起ガイドを含んでいることを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１２】
ラッチキーレセプタを２対の隆起ガイドの中間部に保持する拘束手段をさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１３】
回転要素はポッドドアに回転式に結合されることを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１４】
回転要素はその回転時に一対のラッチアームを駆動する複数のピンをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１５】
回転要素はその回転時に一対のラッチアームを旋回させる複数のランプをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１６】
回転要素をポッドドアに回転式に搭載するための突起をさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１７】
ガイドスペースと係合する一対の係合タブを保持するカバーをさらに含むことを特徴とする請求項１０記載のラッチ構造体。
【請求項１８】
箱体および箱体ドアを含むSMIF収容器用のラッチ構造体であって、
回転軸上で該箱体ドアに搭載され、一対の隆起ガイドを持つ回転要素と、
ラッチキーを受領するために提供され、該隆起ガイドと係合するための一対の長方形凹状部を含み、それによって前記回転軸に対して実質的に垂直方向で平面を移動するラッチキーレセプタと、
前記回転要素と係合した近接端部、および前記箱体内に受領される先端部をそれぞれに備えた一対のラッチアームと、
を含むことを特徴とするラッチ構造体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
優先権主張
本出願は、２０００年１２月１３日に出願された米国仮出願第６０/２５５,６２５号の優先権を主張する。
【０００２】
本発明は前面開口一体化ポッド（FOUP: front opening unified pod）に関し、特に被駆動ラッチキーと係合させるためのラッチ構造体の許容誤差を増加させ、またポート部でのFOUP エラーを最小限にするために、FOUPドアあるいはポートドア内に提供される横方向フローティングラッチ(LＡterＡlly floＡting lＡtch huＢ ＡssemＢly)構造体に関する。
【背景技術及び発明が解決しようとする課題】
【０００３】
Hewlett-PＡckＡrd 社が提供するSMIFシステムは、米国特許第４,５３２,９７０号および第２,５３４,３８９号で開示されている。SMIFシステムの目的は、半導体の製造過程でウエハーを格納および運搬する際に、半導体ウエハーへの粒子束を減少させることである。これは、格納・運搬の際にウエハー周囲の気体（空気や窒素など）を物理的にウエハーに対して本質的に静止させること、また粒子を周囲環境からウエハーの近接環境内に侵入させないことにより、部分的に可能になる。
【０００４】
SMIFシステムは３つの主要構成部品を持つ。（１）ウエハー及び／あるいはウエハーカセットを格納・運搬するための最小容量の密閉ポッドと、（２）露出したウエハー及び／あるいはウエハーカセットを製造ツールの内部に出入りさせる場としての（清浄空気に満たされた）小クリーンスペースを提供する半導体製造ツールに設けられた入力／出力(I/O)小環境と、（３）ウエハー及び／あるいはウエハーカセットを粒子に触れさせることなくSMIFポッドとSMIF小環境の間で往来させるインターフェースと、である。提案されている１つのSMIFシステムは、Mihir PＡrikh およびUlrich KＡempf によるSolid StＡte Technology（固形技術）, ７月号 １９８４年, １１１-１１５頁の  “SMIF; Ａ TＡCHNOLOGY FOR WＡFER CＡSSETTE TRＡNSFER IN VLSI MＡNUFＡCTURING  （SMIF；超LSI製造におけるウエハーカセット運搬技術）”  にさらに詳しく記述されている。
【０００５】
上記のようなシステムは、０.０２ミクロン（μm）〜２００μmの粒子に影響される。半導体装置製造に採用されている小構造のため、このようなサイズの粒子は半導体製造に大きなダメージを与え得る。今日の発達した半導体製造方法は、１/２μm以下の寸法を採用しているのが典型的である。０.１μm以上の寸法を持つ不都合な汚染粒子は１μm構造の半導体装置にかなりの支障を来す。もちろん半導体はさらに小型化しつつあり、今日の研究開発ラボでは０.１μm以下に近づいている。今後は構造がより小型化するため、より小さな汚染粒子と分子汚染物質が重大な問題になるだろう。
【０００６】
通常のFOUPは、FOUP外殻と係合することによってウエハーを格納および運搬するための密閉された超清浄内部環境を提供する縦配向FOUPドアを備える。ウエハーは外殻に搭載されたカセット、あるいは外殻内部に搭載された棚により支えられる。
【０００７】
ウエハーをFOUPとウエハー構造内の製造ツールの間で往来させるため、FOUPを通常は手動あるいは自動でツール正面のロードポートに積載すると、ポッドドアが製造ツールのポートドアに隣接する。ポートドアは一対の回転可能ラッチキーを含む。これらのキーはFOUPドアの各スロットと係合し、以下の２つの目的を達成する。ドアが相互に隣接し、キーがスロット内に位置すると、キーの回転によってFOUPドア内でラッチ構造体が作動し、その結果FOUPドアがFOUPから分断される。このようなFOUPドア内のラッチ構造体に関する詳細は、例えば、ＢonorＡらによる「密閉可能で運搬可能な改良型ラッチ手段を持つコンテナ」と題された米国特許第４,９９５,４３０号で開示されており、この特許は本出願人が所有している。次に、スロット内でのラッチキーの回転によりFOUPドアがポートドアにカップリングされ、その後これらのドアが一緒にポートから離れ、ウエハーがFOUPと製造ツールの間で運搬可能になる。ウエハー製造後、ポートドアはFOUPドアをFOUPに戻す。この時ラッチキーは反対方向に回転してポートとFOUPドアを脱カップリングし、FOUPドアとFOUPを再び係止する。
【０００８】
FOUPドアとポートドアを確実に係合するため、ロードポート上におけるFOUPドアの前面の位置を正確で反復的に制御する必要がある。望むポジションとするため従来のロードポート構造体システムは動的ピンを水平支面に含み、これらのピンがFOUP底部のスロットと結合してFOUPを固定かつ反復可能な位置に支えている。しかしながら、従来の前面開口ロードポート構造体は、動的ピンに支えられたFOUPの水平表面の位置は正確であっても、FOUPドア前面の実際位置が正確に制御されず、左右約２５ミルも変動するという問題があった。このような偏差の原因は、歪み、FOUPの不適切な構成および許容誤差、FOUPドアのFOUP内での不適切な設置、動的ピン位置における許容誤差などである。
【０００９】
ポートドアラッチキーがFOUPドアスロットに正確にフィットする許容誤差の最大値は約±５ミルであるため、FOUPとポートドアの期待相対位置と実際相対位置の差は重要である。それよりも偏差が大きい場合は、ラッチキーとFOUPスロットを提供する壁部が接触して微粒子が発生する。偏差が大きい場合にポート部でのFOUPエラーが生じる可能性もあり、その際ロードポートコントローラーはエラーを認識して工程を中断する。ロードポートは技術者が問題に対処するまでそのまま待機する。ウエハー構造体に数百体のロードポートが備わる場合もあり、各ポートはFOUPスロットとラッチキーのズレによるポート部でのFOUPエラーの影響を受けやすい。そのためこの問題が製造処理能力に多大な影響を与える可能性があり、ウエハー製造の重大な懸案になっている。従来技術はラッチキーとスロットを斜加工するなどしてこの問題に取り組んできたが、この解決法では問題を部分的にしか緩和できないことが判明した。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【００１０】
それゆえ、本発明の１利点は初期的なズレがある場合でもラッチキーがFOUPスロットと適切に係合するような位置許容システムを提供することである。
【００１１】
本発明の別利点は、従来のラッチ構造体に容易に組み込むことのできる横方向フローティングラッチハブ構造体を提供することである。
【００１２】
本発明の別利点は、トルクをラッチキーからラッチ構造体へ効果的に伝達することができる横方向フローティングラッチハブ構造体を提供することである。
【００１３】
本発明のさらに別利点は、FOUPドア、あるいはFOUPの外形や寸法を変えることなくFOUPドア内に組み込むことが可能な横方向フローティングラッチハブ構造体を提供することである。
【００１４】
本発明の上記を含む利点は、横方向フローティングハブ構造体に関する好適実施例によって提供される。好適実施例では、横方向フローティングラッチハブ構造体は、回転式ラッチ作動カムに移動式に搭載されるラッチキーレセプタを含む。FOUPがロードポート構造体に向けて進められると、ポートドア内のラッチキーはラッチキーレセプタに受領される。レセプタはレセプタ内でラッチキーを適切にフィットさせるように横方向に移動することができる。ラッチキーがレセプタ内に受領されると、ラッチキーからのトルクがラッチキーレセプタを介してラッチ作動カムに伝達される。また、ポートドア内のラッチキーをポートドア内の被駆動ハブに移動式に搭載してもよく、それによりラッチキー自体がFOUPのラッチ構造体内で適切にフィットするように横方向に移動することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
以下では図面を参照にして本発明を説明する。以下では本発明を横方向フローティングラッチハブ構造体を含むFOUPドアに関する好適実施例の中で図１から１５を参照にして説明する。好適実施例では、FOUPドアをFOUP内にカップリング、あるいは脱カップリングするために、横方向フローティングラッチハブ構造体を従来型ラッチ構造体に組み込んでよい。
【００１６】
図１はFOUP外殻２４と係合して、格納されている加工品のために密閉環境を提供するFOUPドア２２を含む３００mmサイズのFOUP ２０の斜視図である。（FOUP がポートに乗せらた状態では、ポッドドア２０の背面がポートドアに面するのが通常である。しかし明確にするために図１は別状態を示す）この図ではポッド２０は３００mm加工品FOUPであるが、コンテナの容量およびタイプは本発明にとって決定的ではない。製造中の製品をFOUPと製造ツールとの間で往来させるために（図２）、FOUPは製造ツール前面のポートドアに隣接したロードポート２５に搭載される。ツール２９内で実行される加工のタイプは本発明にとって決定的ではなく、様々なテスト、モニター及び／又は加工操作が実行できる。
【００１７】
図１，２および２Ａに示すように、FOUPドア２２はポートドア２６の前面３０に面するカバープレート３１を含む。ポートドア２６は一対のラッチキー３３を含み、後述のように横方向フローティングラッチハブ構造体の対応する各スロット６２に受領される。FOUPとポートドアとを係止するために、FOUPドア２２はポッド前進プレート２７に乗せられる。それによりFOUPがポートドアまで前進すると、縦配向のラッチキー３３が縦配向のスロット６２に受領される。
【００１８】
図３はカバープレートを取り除いたFOUPドア２２の正面図である。ドア２２はFOUP外殻２４に差し込まれており、外殻の端部は図３のFOUPドアの周囲で示されている。  FOUPドア２２内部には、本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体、および一対のラッチプレート３０をそれぞれ含む一対のラッチ構造体が搭載されている。ラッチプレート３０は、FOUP外殻のスロット１５と係合するためのフィンガー１４を先端部に備える。横方向フローティングラッチハブ構造体２８がラッチキー３３により回転すると、フィンガー１４はFOUP外殻２４内に提供されるスロット１５を出入りして、FOUPドアをFOUPにカップリング、あるいはFOUPから脱カップリングさせる。
【００１９】
本発明のハブ構造体２８の横方向に浮遊する特性を除いて、ラッチ構造体に関する更なる詳細がＢonorＡらによる「密閉可能で移動可能な改良型ラッチ手段を持つコンテナ」と題された米国特許第４,９９５,４３０号で開示されている。この特許は本出願人に譲渡されている。本発明には必須ではないが、好適には、ラッチ構造体は二段階操作を含む。第一段階の操作では、横方向フローティングラッチハブ構造体２８に搭載されたピン４２がラッチプレートを横方向に移動させ、その結果フィンガーがスロット１５内に延長する。第二段階で横方向フローティングラッチハブ構造体２８がさらに回転すると、ラッチプレートが構造体２８上のランプ４０を登るため、ラッチプレートはプレートの移動方向に垂直な軸の周囲で旋回する。第二操作段階でのスロット１５内のフィンガー１４の旋回は、FOUPドアとFOUP外殻のかみ合いをきつく締め、FOUP内の密閉環境を確実にする。
【００２０】
図４は、本発明の２体の横方向フローティングラッチハブ構造体２８の詳細を示すためにラッチプレート３０の一部を省いたFOUP内部の正面図である。２体のラッチハブ構造体２８は同一である。図４および図５Ａ〜１０の拡大図に示すように、横方向フローティングラッチハブ構造体２８は、一般的にラッチ作動カム３２内に搭載された横向き移動式ラッチキーレセプタ６０を含む。通常は、ラッチキーレセプタ６０は作動カム３２内で横方向に動くか浮遊し、ラッチハブ構造体２８がラッチキー３３と整合していない場合でも、ラッチキー３３がフローティングラッチハブ構造体２８へトルクを伝達できるようなオールダムカップリング(OldhＡm coupling)の役割を果たす。
【００２１】
図５Ａと図５Ｂが最も良く示しているように、ラッチ作動カム３２の１実施例は一対の半円壁部４３を含んでおり、それらは凹状内部領域４４、ならびにカムに設けられた一対の凹状ガイドスペース４６を提供する。ラッチ作動カム３２の背部は、横方向フローティングラッチハブ構造体をFOUPドア内に回転式に搭載するための突起４８などの手段を含んでよい。
【００２２】
ラッチキーレセプタ６０は、ラッチキー３３を受領するためのスロット６２、および一対の翼部６６を含む。図４と図７が最も良く示しているように、ラッチキーレセプタ６０はガイドスペース４６内に翼部６６が位置するように凹状部４４に搭載される。このように配置された場合、図８と図９のように、ラッチキーレセプタはラッチ作動カムの側面から側面までを横方向に自由に動くことができる。本発明の１実施例では、ラッチキーレセプタは中心点から各側面まで１０〜３０ミル動くことができる。しかしながら、本発明の別実施例中でラッチキーレセプタの移動範囲を変えることが可能である。
【００２３】
好適実施例では、ラッチキーレセプタはFOUPドアカバープレート３１によって凹状部４４に保持される。ラッチ作動カム、およびラッチキーレセプタは、好適には低摩擦素材で提供され、それによりラッチキーレセプタは比較的容易に凹状領域４４およびガイドスペース４６内を移動できる。ガイドスペース４６の直径は翼部６６の直径をわずかに上回り、それによりラッチキーレセプタはラッチ作動カム内で相対的に横方向に移動することができるが、ラッチ作動カムに対するラッチキーレセプタの相対回転は実質的に防止される。
【００２４】
FOUP２０をポートドア２６に向けて前進させた時にスロット６２がラッチキーと揃わない場合、ラッチキー３３の斜状端部３５（図２Ａ）はラッチキーレセプタ６０を左右何れかの方向にスライド移動させる。スロット６２はキー３３を内部で適切に位置させるための斜状端部を付加的に備えてよい。FOUPとポートドアとの間に僅かなズレがある場合でも、レセプタ６０の横方向の移動によって、ラッチキーが本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体８内に正確に収容される。
【００２５】
ラッチキー３３はスロット６２内に収容されると、回転してFOUPからFOUPドアを分離し、ポートドアにFOUPドアをカップリングする。具体的には、ラッチキーからのトルクはラッチキーレセプタ６０に与えられ、続いて翼部６６がガイドスペース４６の壁部に作用すると、ラッチ作動カムに与えられる。その結果、ラッチキーレセプタ６０とラッチ作動カムは、図１０のように一緒に回転する。このようにして、本発明のシステムはポートドアのラッチキーからFOUPドアのラッチ構造体に効果的にトルクを伝達し、それと同時にラッチキーとラッチ構造体のズレにより従来生じていたポート部のFOUPエラーを最小限にするか、または防止する位置許容システムを提供する。図１０のような回転時には、ラッチキーはカバープレート３１によりスロット６２内にロックされる。
【００２６】
図１１Ａから図１５は本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体の別実施例を示している。上記の構成部品と同様の構造と機能を示す参照番号はそのまま使用されている。
【００２７】
図１１Ａと図１１Ｂは隆起状半円部７１を含むラッチ作動ハブ７０を有する実施例を示している。隆起状半円部７１は前述の半円壁部と似ているが、カム７０の外周部にまで延びていない。しかしながら、半円部７１は壁部４３と同様に図１１Ｂに示すようにラッチキーレセプタ６０を受領するための凹状部４４およびガイドスペースを提供する。
【００２８】
図１２Ａと図１２Ｂは本発明のさらなる別実施例を示している。半円部７１は縮小した単純な隆起状片７２となり、ラッチ作動カム７３上に固定式に搭載されている。図１２Ｂの示すように、隆起部７１の各対は翼部４４を受領するように両者間にガイドスペースを提供し、これによりラッチキーレセプタ６０がラッチ作動カム７３上で横方向に移動できる。隆起部７２はレセプタ６０とカム７３の間の相対回転を妨げるが、キー３３がレセプタ６０を作動させると、カム７３はレセプタ６０とともに回転する。
【００２９】
図１３Ａから図１３Cは、横方向フローティングラッチハブ構造体２８のさらなる別実施例を示している。この実施例は、２対の平行隆起ガイド７６を持つラッチ作動カム７５を含み、各対は図１３Ａの示すようにその間にガイドスペース４６を提供している。図１３Ｂは、前述のごとく翼部６６とスロット６２を含むラッチキーレセプタ７８を示している。図１３Cの示すように、レセプタ７８は２対のガイド７６の提供するガイドスペース４６内を横方向に移動することができ、翼部６６がガイドに作用すると、カム７５はレセプタ７８とともに回転する。
【００３０】
図１４Ａから図１４Cは横方向フローティングラッチハブ構造体２８の更なる別実施例を示している。この実施例は、一対の横方向に間隔が開けられた隆起ガイド８２を含むラッチ作動カム８０を備える。この実施例は、背部にスロット６２と一対の長方形凹状部８６を備えたラッチキーレセプタ８４をさらに含む。図１４Cの示すようにラッチキーレセプタ８４がラッチ作動カム８０にフィットすると、長方形凹状部８６は隆起状ガイド８２上にフィットする。ガイド８２の長さは凹状部８６より短いため、レセプタ８４はガイドを横方向に浮遊できる。しかしながら、ガイドの幅は凹状部より僅かに狭いだけであるため、レセプタ８４の回転は全てカム８０に付与される。レセプタ上、およびカム上のガイド８２と凹状部８６の相対位置は、別実施例では交換可能である。
【００３１】
本明細書では、横方向フローティングラッチハブ構造体の幾つかの実施例が開示されている。しかしながら、トルクをポートドアのラッチキーからFOUPドアのラッチ構造体へ効果的に伝達し、ラッチキーレセプタをラッチ作動カム内で横方向に移動させるその他の多くの構成も提供可能である。
【００３２】
ラッチキーレセプタをラッチ作動カム内で横方向に自由に浮遊するものとして記述してきた。本発明のまた別の実施例では、ラッチキーレセプタ６０に対して、例えばラッチ作動カム７０の中心部などの定位置へバネ力をかけてよい。このような実施例の１つが図１５に示されている。この実施例では、ラッチキーレセプタ６０は、隆起部７１とレセプタ６０の間に備えられた一対のバネ９０により、ラッチ作動カム７０の中央にバイアスされている。レセプタはこのバネによってラッチキー３３と係合した状態で横方向に動くが、ラッチキーがレセプタから外されると、バネはレセプタをラッチ作動カム中央の定位置に戻す。上記の他の実施例にもバネのごときバイアス手段を使用してよい。別のバイアス手段によってもレセプタにラッチ作動カム内の定位置へバイアスをかけられることは、当業者にとって明白であろう。
【００３３】
横方向フローティング構造体は、ここまでFOUP内のラッチ構造体の一部として記述されてきた。しかしながら、本発明では、付加的に、または別手段としてラッチキーを横方向に移動できるよう提供することができる。このような実施例では、ラッチキー３３を被駆動ハブ上に搭載し、横方向移動させることができる。被駆動ハブはポートドアに回転式に搭載され、ポートドアの背後あるいは離れた位置のモーターにより回転させられる。この実施例によると、ラッチキー３３は前述のガイドスペースに乗るために、被駆動ハブ上に前述の翼部のごとき構成部品を含んでも良い。ゆえに、ラッチキー３３は横方向に移動してキーをラッチ構造体内に適切にフィットさせ、一方でまた被駆動ハブからのトルクをラッチキーを介してFOUP内のラッチ構造体へ確実に伝達させる。
【００３４】
本発明を本明細書により詳述してきたが、本発明はここで開示された実施例により制限されることはない。当業者によって様々な変更、置き換え、改善が本発明の範囲内で加えられることは可能である。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】図１は本発明のFOUPの背面斜視図である。
【図２】図２は本発明のFOUPを受領するロードポート構造体の前面斜視図である。
【図２Ａ】図２Ａは本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体内に受領されるラッチキーの拡大斜視図である。
【図３】図３は本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体を含む一対のラッチ構造体を示すFOUPドアおよび外殻の内部正面図である。
【図４】図４は本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体を示すためにラッチプレートを一部省略したFOUPドアと外殻の内部正面図である。
【図５Ａ】図５Ａは本発明のラッチ作動カムの側面拡大図である。
【図５Ｂ】図５Ｂは本発明のラッチ作動カムの正面図である。
【図６Ａ】図６Ａは本発明のラッチキーレセプタの側面図である。
【図６Ｂ】図６Ｂは本発明のラッチキーレセプタの正面図である。
【図７】図７はラッチ作動カムの中央に横向きに配置されたラッチキーレセプタを含む本発明の組立て後の横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図８】図８はラッチ作動カムの第一側面に平行移動されたラッチキーレセプタを含む本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図９】図９はラッチ作動カムの第二側面に平行移動されたラッチキーレセプタを含む本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図１０】図１０はラッチ作動カムの第二側面に平行移動されて回転するラッチキーレセプタを含む本発明の横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図１１Ａ】図１１Ａは本発明のラッチ作動カムの別実施例の正面図である。
【図１１Ｂ】図１１Ｂは１１Ａのラッチ作動カムに搭載されたラッチキーレセプタを示す正面図である。
【図１２Ａ】図１２Ａは本発明の別実施例のラッチ作動カムの正面図である。
【図１２Ｂ】図１２Ｂは図１２Ａのラッチ作動カム内に搭載されたラッチキーレセプタの正面図である。
【図１３Ａ】図１３Ａは本発明の別実施例のラッチ作動カムの正面図である。
【図１３Ｂ】図１３Ｂは本発明の別実施例のラッチキーレセプタの正面図である。
【図１３Ｃ】図１３Cは図１３Ａのラッチ作動カムと図１３Ｂのラッチキーレセプタを含む横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図１４Ａ】図１４Ａは本発明のさらに別実施例のラッチ作動カムの正面図である。
【図１４Ｂ】図１４Ｂは本発明のさらに別実施例のラッチキーレセプタの正面図である。
【図１４Ｃ】図１４Cは図１４Ａのラッチ作動カムと図１４Ｂのラッチキーレセプタを含む横方向フローティングラッチハブ構造体の正面図である。
【図１５】図１５はセンタリングスプリングを含む横方向フローティングラッチハブ構造体の１実施例である。
【国際公開パンフレット】
2004527100.tif 000003
2004527100.tif 000004
2004527100.tif 000005
2004527100.tif 000006
2004527100.tif 000007
2004527100.tif 000008
2004527100.tif 000009
2004527100.tif 000010
2004527100.tif 000011
2004527100.tif 000012
2004527100.tif 000013
2004527100.tif 000014
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【国際調査報告】
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