(57)【要約】【解決手段】１つの光ネットワークは、本発明の一実施形態における１つの波長分割多重光信号の複数のチャネルのそれぞれの電力を検出する１つの検出器（２８）を含むことができる。各チャネルは、基板（２６）に形成された１つのコア（１４）により、１つの検出器（２８）直下の１つのインターフェースに伝達することができる。インターフェースは、光を上方へ反射して検出器（２８）により検出させる１つの反射器（１８）を形成するように傾斜をつけた一側面を有する１つのトレンチ（２２）を含むことができる。また、前記トレンチ（２２）の他の複数の表面は、複数の隣接チャネル間のクロストークを減少させるように、反射性とすることができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つの基板内に１つのコアを形成する１つのステップと、
前記コアに光接続した前記基板に１つの第１および第２壁部を有する１つのトレンチを形成するステップと、
前記第１壁部に傾斜をつけた１つの反射器を形成して前記コアからの光を反射させるステップと、
前記トレンチの１つの第２壁部を、反射材料によりライニングするステップと、
を有することを特徴とする１つの方法。
【請求項２】
前記コアを前記トレンチおよび２個の対向する側壁へ案内する１つの第１側壁を含む４個の側壁および１つの底部を持つトレンチを形成するステップと、前記トレンチの第４の側壁上に１つの反射器を形成するステップとを含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記コアを有する前記第１側壁の１つの領域を、反射材料のない状態に維持するステップを含むことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記トレンチの底部を、反射材料によりライニングするステップを含むことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記対向する側壁を、１つの反射材料により覆うステップを含むことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項６】
前記コアを前記トレンチへ案内する前記第１側壁を、１つの反射材料により覆うステップを含むことを特徴とする、請求項２記載の方法。
【請求項７】
複数のインターフェースを形成するステップと、各インターフェース間の１つの隔離材料を形成するステップと、前記複数のインターフェースのそれぞれに接続する１つのコアを形成するステップとを含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記基板の表面に１つの電力検出器を設けて、前記反射器により前記基板の中から反射された光を受信するステップを含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項９】
前記トレンチを含む１つの平面状光回路を形成するステップを含むことを特徴とする、請求項１記載方法。
【請求項１０】
前記トレンチを、クロストークを減少させるように適応させるステップを含むことを特徴とする、請求項１記載の方法。
【請求項１１】
１つの基板と、
前記基板における１つの光コアと、
前記コアに光接続された他前記基板において、１つの側壁と１つの反射器とを含むトレンチと、
前記トレンチ上にあって、前記反射器により反射される前記コアからの光を受光する電力検出器と、
１つの反射被膜を有する前記側壁と、
を含む１つの光学装置。
【請求項１２】
前記トレンチは、対向する１対の反射側壁を含むことを特徴とする、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記トレンチは、前記反射器に対向する１つの側壁を含み、前記コアは前記対向壁部を介して前記トレンチに接続され、前記対向壁部は１つの反射被膜を含むことを特徴とする、請求項１２記載の装置。
【請求項１４】
前記トレンチは、ほぼ完全に反射性であることを特徴とする、請求項１１記載の装置。
【請求項１５】
複数のコアにそれぞれ接続された複数のトレンチを含むことを特徴とする、請求項１１記載の装置。
【請求項１６】
前記基板は、１つの平面状光電流を形成することを特徴とする、請求項１１記載の装置。
【請求項１７】
１つの基板と、
前記コアに光接続された基板における１つのキャビティであって、少なくとも２個の対向する側壁および傾斜をつけた反射器を含むキャビティと、
前記反射器により前記基板の中から反射される前記コアからの光を受光する前記キャビティ上の電力検出器と、
反射被膜を有する前記対向する側壁と、
を含むことを特徴とする１つの光学装置。
【請求項１８】
前記キャビティは前記反射器に対向する１つの側壁を含み、前記コアは前記対向壁部を介して前記キャビティに接続され、前記対向壁部は１つの反射被膜を含むことを特徴とする、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記キャビティは、ほぼ完全に反射性であることを特徴とする、請求項１７記載の装置。
【請求項２０】
前記基板が１つの平面型光回路を形成することを特徴とする請求項１７記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、全体として、複数の平面状光回路に関する。
【背景技術】
【０００２】
１つの平面状光回路は、複数の集積導波路を使用した１つの光学回路である。これらの複数の導波路は、実施形態によっては、１つの集積回路基板とすることのできる１つの基板に集積化することができる。平面状光回路は、複数の集積回路を形成する際の、周知の複数の技術を用いて形成することができる。
【０００３】
一般的に、１つの平面状光回路の各チャネルで、電力を監視することが望ましい。例えば、複数の波長分割多重ネットワークにおいて、それぞれが１つの異なる波長をもつ多数のチャネルを同時に多重化することができる。各チャネルをその所望の宛先において、多重信号から最終的に分離することができ、各チャネルの電力を認識することが重要となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数の平面状光回路を使用した複数の既存の電力監視用回路は、複数の異なるチャネルの複数の隣接して位置する位置検出器間のクロストークの影響を受ける。クロストークとは、他のチャネルによって発生する、１つのチャネルの歪みのことをいう。
【０００５】
以上のように、複数の平面状光回路における電力を監視するよりよい方法が必要とされている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の第1の形態によれば、電力監視方法は、１つの基板内に１つのコアを形成する１つのステップと、前記コアに光接続した前記基板に１つの第１および第２壁部を有する１つのトレンチを形成するステップと、前記第１壁部に傾斜をつけた１つの反射器を形成して前記コアからの光を反射させるステップと、前記トレンチの１つの第２壁部を、反射材料によりライニングするステップと、を有する。
【０００７】
本発明の第２の形態による光学装置は、１つの基板と、該基板における１つの光コアと、前記コアに光接続された他前記基板において、１つの側壁と１つの反射器とを含むトレンチと、該トレンチ上にあって、該反射器により反射される前記コアからの光を受光する電力検出器と、１つの反射被膜を有する前記側壁と、を含む。
【０００８】
また本発明の第３の形態によれば、１つの基板と、前記コアに光接続された基板における１つのキャビティであって、少なくとも２個の対向する側壁および傾斜をつけた反射器を含むキャビティと、前記反射器により前記基板の中から反射される前記コアからの光を受光する前記キャビティ上の電力検出器と、反射被膜を有する前記対向する側壁と、を含む。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
図１のように、一実施形態において、シリコンから形成することができるが他の複数の基板材料を使用することもできる１つの基板１２を、１つの平面状光回路１０は含むことができる。複数のコア１４ａ−１４ｄを、基板１２の一端から内方へ延伸させることができる。各コア１４は、１つの波長分割多重信号に関連する１つの信号を伝播することができる。各コア１４は、複数のコア１４を図１には図示しない１つの電力監視アレイに連係させる１つのインターフェース１６と接続することができる。
【００１０】
各インターフェース１６は、複数の反射端３２ａ、３２ｂおよび傾斜をつけた反射器１８により囲まれた１つのトレンチ２２を含むことができる。反射器１８は、１つのコア１４からの入射光を、１つのオーバレイ電力検出器により検出されるように上方向に偏向させる。
【００１１】
図２のように、基板１２は、コア１４および１つの上部クラッド２４と１つの下部クラッド２６を画成することができる。コア１４は、ひとつのトレンチ２２で終端する。これにより、基板１２に入射した光はコア１４を通過して反射器１８で反射され、上方へ移動して検出器２８で検出される。
【００１２】
図３のように、各インターフェース１６は、１つの反射材料で被覆された複数の側壁３２ａを有する１つのトレンチ２２を含むことができる。実施形態によっては、底面３２ｃを反射型にすることができる。
【００１３】
その１つの結果、いずれかの迷光は、最終的に検出器２８まで反射され、隣接の複数のインターフェースからのクロストークが減少する。図１に示すように、各インターフェース１６は、物理的に隣接する複数のチャネルから１個のチャネルを光絶縁させるように働く１つのクラッド２４により、隣接する複数のインターフェースから隔離される。
【００１４】
最後に図４を参照すると、表面３２ｃ、複数の側壁３２ｂおよび３２ａ並びに反射器１８は、光を検出器２８上方へ偏光するライニングされた１つのキャビティ２２を画成する。複数の反射面３２は、物理的に隣接する複数のチャネル間のクロストークを除去または削減することができる。
【００１５】
本発明の一実施形態によれば、トレンチ２２を形成することができ、トレンチ２２の複数の側壁３２ａ、３２ｂおよび底部３２ｃを１つの周囲金属反射層で被覆することができる。好適な複数の反射材料として、アルミニウム、金および銀が含まれる。金または銀を使用した場合、１つの下塗りを施して基板２６を銀材料から隔離することが望ましい。
【００１６】
実施形態によっては、コア１４に近接する複数の領域を除いたキャビティ２２全体を、反射材料で被覆することが望ましい。こうして、コア１４からの光だけが、割当てられたトレンチ２２に達することができ、これにより、二次元クラッド領域へ導かれた光は、最近接の近隣導波路コアに進入することが困難となる。このようにして、クロストークを減少させることができる。また、所与の個別チャネルのいずれかからの光は、いずれも、トレンチキャビティ２２内で反射し、割当てられた検出器により、最終的に捕捉される。このように、実施形態によっては、周囲に張り巡らされておいた複数の反射器を使用することにより、トレンチ内のすべての光を検出器によって検出する。このように、実施形態によっては、クロストークが少なくなり、効率改善を示すことができる。
【００１７】
限られた数の実施形態に関して本発明を説明してきたが、当業者は、本発明の数多くの修正および変更を理解するであろう。添付の請求項が本発明の真の趣旨および範囲に該当するような複数の修正および変更のすべてをカバーすることを意図する。
【図面の簡単な説明】
【００１８】
【図１】電力検出器アレイを持たない本発明の一実施形態の平面図である。
【図２】図１において、線２−２にほぼ沿った拡大断面図である。
【図３】、図１において、線３−３にほぼ沿った拡大断面図である。
【図４】図１において、線４−４にほぼ沿った拡大断面図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際調査報告】
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