(57)【要約】本発明は、機械的物体または負荷（２４）を正確に二方向に移動または位置決めする二流体アクチュエータ（１０）に関する。二流体アクチュエータ（１０）は、対向する第１および第２の気体流体チャンバ（３４，３６）を規定し、チャンバ（３４，３６）の間に固定された第１の機械的物体（１６）を有する気体流体コンテナ（１２）と、対向する第１および第２の第１の作動液チャンバ（２８，３０）を規定し、第１および第２の液圧チャンバ（２８，３０）間に固定された第２の機械的物体（１８）を有する作動液コンテナ（１４）と、気体流体コントローラ（３２）と、作動液コントローラ（２６）とを有する。第１および第２の作動液チャンバ（２８，３０）間における作動液の流れを制御する一方で、気体流体を第１または第２の気体チャンバ（３４，３６）のいずれかに振り分けることで、負荷（２４）に固定された機械的物体（１６，１８）の動きと位置決めを制御する。
2004527711.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
負荷を正確に双方向移動し、位置決めする二流体アクチュエータにおいて、
（ａ）  第１の気体流体チャンバと対向する第２の気体流体チャンバとを規定し、圧縮可能な気体流体を含む気体流体コンテナと、
（ｂ）  第１の作動液チャンバと対向する第２の作動液チャンバとを規定し、圧縮不可能な作動液を含む作動液コンテナと、
（ｃ）  前記第１および対向する第２の気体流体チャンバの間に位置決めされ、前記第１または第２の気体流体チャンバ内で気体流体に衝突され位置決めされる第１の機械的物体と、
（ｄ）  前記第１の機械的物体に連結され、前記第１および対向する第２の作動液チャンバの間に位置決めされ、作動液に衝突され位置決めされる第２の機械的物体と、
（ｅ）  前記気体流体を前記気体流体コンテナの前記第１または第２の気体流体チャンバのいずれかに向けて選択的に方向づけて、前記気体流体が流入した気体流体チャンバの容積を拡大する気体流体コントローラと、
（ｆ）  前記作動液コンテナの前記第１および対向する第２の作動液チャンバ間における作動液の通過を選択的に可能にし、通過速度を制御し、または通過を停止する作動液コントローラであって、前記気体流体コントローラが第１および連結された第２の機械的物体に選択的に動力を与えて第１または対向する第２の方向に移動し、前記作動液コントローラが、前記作動液コンテナの前記第１および第２の作動液チャンバ間における作動液の通過を選択的に可能にし、通過速度を制御し、または通過を停止することによって、前記第１および連結された第２の機械的物体が前記第１または対向する第２の方向に移動することを選択的に可能にし、移動速度および位置を制御する作業液コントローラと、
を有する二流体アクチュエータ。
【請求項２】
前記第１および連結された第２の機械的物体に固定された負荷の位置を検出し、前記検出した負荷の位置を前記作動液コントローラに通信する位置決めコントローラ手段を更に有する、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項３】
前記二流体アクチュエータは、前記第１の機械的物体に固定されて前記気体流体コンテナから外に延びる第１のロッドと、前記第２の機械的物体に固定されて前記作動液コンテナから外に延びる第２のロッドとを有し、前記第１および第２のロッドは、前記二流体アクチュエータによって移動させられる負荷に固定される２ロッド二流体アクチュエータである、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項４】
前記二流体アクチュエータは、前記作動液コンテナと同軸の関係に固定された前記気体流体コンテナと、前記作動液コンテナと同軸の前記第１の機械的物体と、前記第１の機械的物体に固定され、前記気体流体コンテナから外に延びて前記負荷に固定されるロッドと、前記作動液コンテナに隣接して固定されて、作動液リザーバ開口部を通って、前記作動液コンテナおよび前記作動液コントローラと流体連通する作動液リザーバチューブと、を有し、前記第１の機械的物体は前記作動液コンテナおよび作動液リザーバチューブと同軸である単ロッド二流体アクヂュエータである、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項５】
前記アクチュエータは、前記作動液コンテナと同軸の関係にある気体流体コンテナと、前記作動液コンテナと同軸の前記第１の機械的物体と、前記第１および第２の機械的物体が移動することによって移動させられるように前記第１の機械的物体に連結し、前記気体流体コンテナに隣接して固定された負荷運搬台と、を有するロッドレスピストン二流体アクチュエータである、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項６】
前記アクチュエータは、前記作動液コンテナと同軸の関係にある前記気体コンテナと、前記作動液コンテナと同軸の前記第１の機械的物体と、を有し、前記作動液コントローラは、前記第２の機械的物体内に固定され、前記バルブにかかる圧力変化に応じて、前記バルブを通過する圧縮不可能流体の双方向の流れを可能にしたり停止したりすることで、バルブ超越圧力まで加圧された気体流体が前記空気式コントローラによって前記気体流体チャンバの１つに向けて方向付けられた場合は常に、作動液が前記バルブおよび第２の機械的物体を通過して前記第２の機械的物体および連結された第１の機械的物体の移動を可能にする２ウェイバネプレセットバルブ手段である、ロッドレスバルブ調整ピストン二流体アクチュエータである請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項７】
前記アクチュエータは回転二流体アクチュエータであり、
前記気体流体コンテナは第１の変形可能チューブであり、
前記作動液コンテナは、前記第１の変形可能チューブに隣接して固定された第２の変形可能チューブであって、前記第１および第２の変形可能チューブは、前記第１および第２の変形可能チューブが少なくとも円形の一部を規定するように、少なくとも部分的に円筒であるハウジング内に固定され、
前記第１の機械的物体は電機子に固定された第１のピンチローラであり、
前記第２の機械的物体は前記電機子に固定された第２のピンチローラであって、前記第１のピンチローラは、前記電機子によって前記第１の変形可能チューブに接触して固定され、前記チューブを変形し、前記第１のピンチローラの対向する両側に第１および第２空気チャンバを規定し、前記第２のピンチローラは前記第１のピンチローラに連結し、前記電機子によって前記第２の変形可能チューブに接触して固定され、前記チューブを変形し、前記第２のピンチローラの対向する両側に前記第１および第２液圧チャンバを規定するので、前記気体流体チャンバの１個の中の気体流体が前記第１のピンチローラに動力を与え、
作動液が作動液コントローラを通って前記作動液チャンバ間を移動することによって前記第２および連結された第１のピンチローラおよび電機子が回転できるようにする、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項８】
前記アクチュエータは回転翼アクチュエータであり、
前記気体コンテナは半シリンダであり、
前記液圧コンテナは、円筒ハウジング内に規定されて対向する半シリンダであり、
前記気体および液圧コンテナは、非回転制限壁によって分離され、
前記第１の機械的物体は、前記気体コンテナ内にあって、前記気体コンテナを対向する第１および第２の気体流体チャンバに分離する第１の半翼であり、
前記第２の機械的物体は、前記液圧コンテナ内にあって、前記液圧コンテナを対向する第１および第２の作動液チャンバに分離する第２の半翼であり、
前記第１および第２の半翼は互いに連結して、前記気体流体チャンバの１個の中の加圧された気体流体が第１の半翼に動力を与え、
前記作動液が前記作動液コントローラを通って前記第１および第２作動液チャンバの間を移動することによって、前記第１の翼および前記第２の翼が移動できるようにする、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項９】
前記作動液コントローラは、前記バルブにかかる圧力変化に応じて、前記バルブを通過する圧縮不可能流体の双方向の流れを可能にしたり、停止したりする２ウェイバネプレセットバルブ手段である、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項１０】
前記作動液コントローラは、前記バルブにかかる圧力変化に応じて、前記バルブを通過する圧縮不可能流体の双方向の流れを可能にしたり、停止したりする２ウェイバネプレセットバルブ手段であり、前記バルブ手段は前記第２の機械的物体内に固定される、請求項１に記載の二流体アクチュエータ。
【請求項１１】
負荷を正確に双方向移動し、位置決めする機械的バルブ調整二流体アクチュエータにおいて、
（ａ）  第１の気体流体チャンバと対向する第２の気体流体チャンバとを規定し、圧縮可能な気体流体を含む気体流体コンテナと、
（ｂ）  前記第１および対向する第２の気体流体チャンバの間に位置決めされ、気体流体チャンバ内において気体流体に衝突されて移動させられる第１の機械的物体であって、前記第１の機械的物体はピストンと、前記ピストンに固定されて気体流体コンテナから外に延びる中空ロッドとを有して前記中空ロッドを前記負荷に固定し、前記第１の機械的物体は前記ピストンに隣接して調整可能に固定された滑動シールを更に有し、前記滑動シールは、前記ピストンおよび滑動シールが前記気体コンテナ内を移動する際に前記ピストンの補償貫通穴を出入りする第１の機械的物体と、
（ｃ）  前記第１の機械的物体の前記中空ロッド内に規定されて、第１の作動液チャンバと、対向する第２の液圧チャンバとを規定する作動液コンテナであって、前記チャンバは、圧縮不可能な作動液を含む作動液コンテナと、
（ｄ）  前記作動液コンテナ内において前記第１および第２作動液チャンバ間にバルブステムによって固定された第２の機械的物体回転穴バルブアセンブリを含む機械的バルブ調整作動液コンテナローラであって、前記バルブステムは、自身に固定されたバルブトリガを有し、前記バルブトリガが移動することによって回転バルブ穴プレートを回転し、作動液が回転穴バルブアセンブリを通って前記第１および第２の作動液チャンバ間を通過することを可能にしたり、止めたりする機械的バルブ調整作動液コントローラと、
（ｅ）  気体流体を前記気体流体コンテナの前記第１または第２の空気チャンバのいずれかに向けて方向付け、前記気体流体が流入した前記気体流体チャンバの容積を拡大する気体流体コントローラであって、前記気体流体コントローラが前記第１の機械的物体に選択的に動力を与えて第１または対向する第２の方向に動かし、前記機械的バルブ調整作動液コントローラが前記作動液コンテナの前記第１および第２の作動液チャンバ間における前記作動液の通過を選択的に許可したり、通過速度を制御したり、通過を止めることによって、前記第１の機械的物体の移動を選択的に可能にし、移動の速度および位置を制御する気体流体コントローラと、
を有する機械的バルブ調整二流体アクチュエータ。
【請求項１２】
前記第１の機械的物体のロッドに固定された負荷の位置を検出する位置決めコントローラ手段を更に有する、請求項１１に記載の機械的バルブ調整二流体アクチュエータ。
【請求項１３】
負荷を移動し、負荷の移動速度を制御し、負荷を位置決めする方法において、
（ａ）  気体流体を二流体アクチュエータの気体流体コンテナ内に規定された第１の空気チャンバまたは対向する第２の空気チャンバのいずれかに向けて方向づけ、この時、第１および第２空気チャンバは第１の機械的物体の対向する両側に配設され、
（ｂ）  前記二流体アクチュエータの作動液コンテナ内に規定された第１の作動液チャンバと第２の作動液チャンバとの間における作動液の通過を制御して、前記第１および第２の作動液チャンバ間における前記流体の通過を可能にしたり、止めたりすることで、第２の機械的物体の移動および位置づけを制御し、この時、第２の機械的物体は前記第１および第２の作動液チャンバ間に固定され、更に前記第１の機械的物体に連結され、前記第１の機械的物体は前記負荷に固定され、
（ｃ）  前記負荷が移動させられる際に位置決めコントローラを用いて前記負荷の位置を検出し、前記検出した位置を、第１および第２の作動液チャンバ間における前記作動液の通過を制御する作動液コントローラに通知する、方法。
【請求項１４】
気体流体を方向づけるステップは、前記気体流体を２ロッド二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１５】
気体流体を方向づけるステップは、前記気体流体を単ロッド二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１６】
気体流体を方向づけるステップは、気体流体をロッドレスピストン二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１７】
気体流体を方向づけるステップは、ロッドレスバルブ調整ピストン二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１８】
気体流体を方向づけるステップは、回転二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項１９】
気体流体を方向づけるステップは、回転翼二流体アクチュエータの第１または第２の気体流体チャンバに向けて方向づけることを更に含む、請求項１３に記載の方法。
【請求項２０】
検出した前記負荷の位置を前記位置決めコントローラから、前記気体流体を第１または第２の空気チャンバのいずれかに向けて選択的に方向づける気体流体コントローラに通信するステップを更に有する、請求項１３に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、負荷を正確に移動および位置決めする装置に関し、特に、自動化された移動、組立て製造、関連のロボット作業、その他正確な移動制御を必要とする産業における使用に適した、負荷を正確に移動および位置決めする際に用いられる二流体アクチュエータに関する。
【背景技術】
【０００２】
アクチュエータは、自動組立てや、気体式（pneumatic）、機械式または液圧式の位置決めシステムを利用する関連作業において周知である。例えば、組立てライン製造の反復移動にアクチュエータを用いて負荷運送台を移動させることが周知である。標準的なアクチュエータはロッドアクチュエータであって、中空コンテナ内のピストンが、コンテナから外に延びたロッドを所望の位置間で前後に可変的に移動させる。このロッドには負荷または負荷運搬台が固定される。ロッドレスアクチュエータはシリンダ等の中空の細長いコンテナ内に滑動するピストンを有する。このピストンを中空物体に隣接するレールまたは支持体に固定された負荷運搬台に機械的または磁気的に固定し、ピストンを移動することで負荷運搬台を動かす。
【０００３】
このようなアクチュエータは、ピストンの第１または反対の第２の側にあるチャンバに作動液を注入するコントローラを用いて、作動液によって動力を与える場合が多い。またこのコントローラは、ピストンが挿入されるチャンバから作動液を排出することもできる。このようなコントローラはピストンの位置検出も行い、ピストンや連結された負荷運搬台が所望の位置に来た場合にピストンの移動を止めるように機能する。液圧アクチュエータによれば負荷の移動速度や位置決めを正確に行えるが、通常は凍結や沸騰に対して耐性を有する。したがって多くの場合には危険廃棄物でもある作動液を注入しなければならないことに関連した重大な欠点もある。また、コストが高く、加圧された液圧シリンダ、シール、アキュムレータ、バイパスバルブ、コントローラとの接続ライン等が複雑であったり補修が必要であるという問題もある。アクチュエータの中には、電気モータ、サーボモータ、ネジ切りシャフト、ボールスクリュー、歯付ベルト等によって電気磁気的に動力を与えるものもある。これらも製造コストが高く、負荷を正確かつ迅速に位置決めすることは非常に難しく、多くの手入れや補修を必要とする。
【０００４】
既存のアクチュエータに気体式、つまり空気等の圧縮可能な流体を用いて動力を与えることで、コストや、液圧および電磁気アクチュエータに関連する困難を最小限にすることも周知である。しかし、空気式アクチュエータ（pneumatic  actuator）は、流体が圧縮可能であるという特性やチャンバがその寸法を変えることに関連する大きな困難がある。例えば、ピストンの一方の側にあるチャンバに圧縮空気を供給してピストンを当該チャンバから離れるように動かす場合、ピストンは静止摩擦によってこの動きに抵抗する。この時、ピストンと、このピストンを収容するシリンダ等のコンテナの内壁との間の充填剤が圧縮空気の侵入圧の機能としてシリンダ壁に粘着し易い。静止摩擦抵抗が最終的に克服されるとピストンが動き始めるが、この時ピストンは、ピストンが動き始めるために必要な低い力におけるピストンの動きを止めようとする負荷の慣性を得る。ピストンがシリンダ内で動くと圧縮空気を収容するピストンのチャンバの寸法が変わるので、圧縮空気を一定に供給しても、ピストンに空気を均質に与えることにはならず、ピストンまたはロッドや、ピストンに固定された負荷運搬台に固定された任意の負荷の移動速度を正確にしたい場合は、圧縮空気の供給速度を補正しなけばならない。ピストンの一定速度での移動は、機械的な連結等の負荷に作用する動的な力の変化にも作用される。これは、負荷に対してその抵抗を変化させることによって、ピストンの一律な速度での移動を妨害する。動いているピストンを正確な位置で止めたい場合、ピストンが中で動いているシリンダのチャンバ内の圧縮可能流体の制動性能に限界があることを考慮する必要がある。これは、動いているピストンの力によって圧縮可能流体が圧縮されるためである。このように圧縮可能流体の制動性能に制限があるので、通常の条件下では正確な動作制御は得られない。
【０００５】
負荷運搬台を比較的一定の速度で動かし、可変である位置間で負荷を反復的な方法で正確かつ迅速に位置決めする空気式アクチュエータを提供するために、多くの努力がなされてきた。空気式リニアアクチュエータの一例は、米国ミネソタ州のハーメル（Hamel）の会社であるＴＯＬ−Ｏ−ＭＡＴＩＣ，Ｉｎｃ．から「ＰＲＥＣＩＳＩＯＮＡＩＲＥ」の商標で売り出されている。この「ＰＲＥＣＩＳＳＩＯＮＡＩＲＥ」アクチュエータは細長い中空コンテナを利用し、この中には負荷運搬台に連結されたピストンが収容されている。このピストンは、中空コンテナやシリンダの、対向する両端部に設けられたプーリ間に掛けられて無端ループを形成する歯付ベルトにも固定されている。複雑な比例式磁気粒子制動装置が回転エンコーダと共に一方のプールに固定される。この回転エンコーダはコントローラと連通し、これは協働して、制動動作によって負荷運搬台の移動速度を制御し、回転エンコーダとコントローラとによって正確な位置決めを制御する。このようなハイブリッド機械−空気式（pneumatic）アクチュエータによれば圧縮空気による空気式アクチュエータの利点の幾つかを実現できるが、こうしたアクチュエータの製造や補修のコストは高い上に、これらのアクチュエータは本質的にリニアアクチュエータに限定される。また、位置付けの正確さは敏感な適用において満足する程でない場合が多い。
【０００６】
したがって、ロボット工学から正確な組み立て作業に至る全ての適用に対して、液圧アクチュエータまたはサーボモータによって提供される正確な移動速度や位置決めを実現する、効率的かつ低コストの空気式アクチュエータの必要性がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、負荷を正確に双方向移動し、位置決めする二流体アクチュエータである。この二流体アクチュエータは、圧縮可能な気体流体を含む気体流体コンテナと、圧縮不可能な作動液を含む作動液コンテナと、作動液コンテナの第１および対向する第２の気体流体チャンバの間に位置決めされ、気体流体に衝突され位置決めさせられる第１の機械的物体と、第１の機械的物体に連結され、作動液に衝突され位置決めさせられるように位置決めされた第２の機械的物体と、加圧された気体流体を気体流体コンテナの第１または第２の気体流体チャンバのいずれかに向けて選択的に方向づける気体流体コントローラと、作動液コンテナの第１および対向する第２の作動液チャンバ間における作動液の通過を選択的に可能にする作動液コントローラであって、気体流体コントローラが第１および連結された第２の機械的物体に選択的に動力を与えて第１または対向する第２の方向に移動し、作動液コントローラが、作動液コンテナの第１および第２の作動液チャンバ間における作動液の通過を選択的に可能にし、通過速度を制御し、または通過を停止することによって、第１および連結された第２の機械的物体が第１または対向する第２の方向に移動することを可能にし、移動速度および位置を制御する作業液コントローラとを有する。要するに、液圧コントローラと液圧コンテナとが閉ループ液圧回路を形成する。この回路は、気体流体が第１および第２の連結された機械的物体の移動に対して動力を与える一方で、流れの制御および正確な位置決めを行う。
【０００８】
二流体アクチュエータの例示的な２ロッド実施形態では、気体流体および作動液コンテナは隣接した中空の細長いコンテナであり、第１および第２の機械的物体はピストンであって、中空の細長いコンテナ内から外に延びて負荷運搬台に接触してこれを移動するロッドを有する。これらは、このロッドによって相互に接続される。負荷運搬台は通常、自動化された組み立てや製造において使用されて、装置を正確に移動する。圧縮可能または圧縮された空気等の気体流体によって負荷運搬台を動かす動力を与え、標準的な作動液等の圧縮不可能流体によって運搬台の移動速度および位置決めを制御することにより、非常に緩やかな圧力の負荷において圧縮不可能作動液の流れを単純に制御することで、正確な移動や位置決めを行うことができる。作動液コントローラによって、作動液が作動液コンテナの第１および第２のチャンバの間を通過するように選択的に方向づける。
【０００９】
例えば、負荷運搬台を作動液コンテナの第１のチャンバから離すように移動したい場合、作動液コンテナの第１のチャンバと整列する気体流体コンテナのチャンバが気体流体コントローラから圧縮された流体を供給される。次に作動液コントローラが圧縮不可能作動液が作動液コンテナの第２のチャンバから第１のチャンバに移動できるようする。更に、気体流体が、連結された第１および第２の機械的物体および負荷運搬台が圧縮された流体を有するチャンバから離れ、作動液コンテナの第１のチャンバから離れるように移動するように、負荷運搬台が所望の場所に到達するまで、動力を与える。この時点で作動液コントローラが作動液が第１のチャンバに流入することを止めると、連結された第１および第２の機械的物体および負荷運搬台が更に移動することを止める。
【００１０】
このように二流体アクチュエータは、自動化された機械的物体を正確に移動するための明確で低動力である清潔な解決方法を提供する。作動液によって閉システム内の低圧力負荷における位置決めを制御するので、自動化されたアクチュエータにおける周知の液圧システムに係る従来の高額で複雑な密閉、供給、加圧を回避する。また、自由に使用できる圧縮可能な空気流体は第１の機械的物体つまり負荷運搬台を移動させる動力を与えるためだけに用いるので、従来の空気式アクチュエータの場合のように正確に位置決めにおける困難は回避される。移動速度や位置決めを正確に行うことは、作動液コントローラを気体流体コントローラと協働的に一体化し、作動液によって第２の機械的物体を移動することによって実現できる。更に、動力源は容易に使用できる空気なので、負荷運搬台上の高質量の負荷を動かすためにも使用できる一方で、複雑で非常に加圧された液圧アクチュエータに関連する周知のコストや環境的な危険がない。
【００１１】
したがって、本発明の総括的な目的は、負荷を正確に移動する際に、従来のアクチュエータが有する欠点を克服する二流体アクチュエータを提供することである。
【００１２】
より具体的な目的は、圧縮不可能な作動液を注入することなく、負荷の移動速度や位置決めの精度を実現する二流体アクチュエータを提供することである。
【００１３】
更に別の目的は、リニアまたは回転アクチュエータとして使用できる二流体アクチュエータを提供することである。
【００１４】
更なる目的は、金属またはプラスチックの構成要素を用いて製造できる二流体アクチュエータを提供することである。
【００１５】
更に別の目的は、ロッドレスアクチュエータまたは可動ロッドアクチュエータとして使用できる二流体アクチュエータを提供することである。
【００１６】
本発明の上記およびそれ以外の目的および効果は、以下の説明を添付の図面を参照して読めば、より明確になるだろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
図１に、二流体アクチュエータの２ロッドの実施形態を図示し、総称して参照番号１０で示す。２ロッド実施形態１０は、中空で細長い気体流体（pneumatic fluid）コンテナ１２と、隣接する中空で細長い作動液（hydraulic fluid）コンテナ１４とを有する。第１の機械的物体１６は、気体流体コンテナ１２内にある第１のピストンの形状であり、第２の機械的物体１８は、中空の作動液コンテナ１４内にある第２のピストンの形状である。第１のロッド２０は第１の機械的物体１６と結合し、第２のロッド２２は第２の機械的物体１８と結合してこれを貫通する。２本のロッド２０、２２は負荷または負荷運搬台２４に固定される。通常、負荷または負荷運搬台２４を使って自動組み立てまたは製造において装置を正確に移動する。負荷運搬台２４は複数の車輪２５Ａ、２５Ｂまたはその他の周知の構造体を有して前後移動を容易にしてもよい。作動液コントローラ２６（液圧流制御比例式バルブ等）は、液圧ライン２７Ａ、２７Ｂを通して、第２のピストン１８の両側に規定された第１の作動液チャンバ２８および第２の作動液チャンバ３０と流体連通するように固定されるので、作動液コントローラ２６は、第１および第２の作動液チャンバ２８、３０間における作動液等の圧縮不可能流体の流れを制御することによって、第２の機械的物体またはピストン１８および第２のロッド２２の動きを制御する。
【００１８】
４ウェイ空気式バルブ等の気体流体コントローラ３２は、気体ライン３３Ａ、３３Ｂを通って、第１の機械的物体またはピストン１６の両側に規定された第１の気体流体チャンバ３４と第２の気体流体チャンバ３６との間で流体連通するように固定されるので、気体流体コントローラ３２は、加圧、圧縮または圧縮可能な流体を第１または第２の気体流体チャンバ３４、３６のいずれかに供給して第１のピストン１６、第１のロッド２０、およびこれに固定された負荷運搬台２４に動力を供給し、空気式および液圧コンテナ１２、１４に接近または離反する方向に動かしてもよい。
【００１９】
空気等の圧縮可能な気体流体によって負荷運搬台２４が移動する動力を与え、標準的な作動液等の圧縮不可能流体によって運搬台の移動速度および位置決めを制御するようにすれば、作動液コントローラ２６によって圧縮不可能作動液の流れを単に制御することによって負荷運搬台２４を正確に移動および位置決めできるだろう。作動液は液流体コントローラ２６によって、作動液コンテナ１４の第１および第２チャンバ２８、３０間を通過するように選択的に方向づける。
【００２０】
負荷運搬台の移動範囲制限３９Ａ、３８Ｂ間における負荷運搬台２４の位置を検出するように位置決めコントローラ３８を固定してもよい。位置決めコントローラは負荷運搬台の位置を光学的、機械的、電気的または任意の周知の位置決め検出技術によって検出し、検出した位置決め情報を第１の位置情報伝達機構４１Ａを通して作動液コントローラ２６に通信し、第２の位置情報伝達機構４１Ｂを通して気体流体コントローラ３２に通信してもよい。したがって、３台のコントローラ３８、２６、３２は協働して機能し、選択した時間に負荷運搬台２４を所望の場所に位置決めし、負荷運搬台２４を移動範囲制限３９Ａ、３８Ｂ内の選択した位置間において所望の移動速度で移動させてもよい。位置検出や自動アクチュエータの分野では周知なように位置決めコントローラ３８は、位置検出を行い、検出した位置を空気式および／または液圧コントローラまたは制御バルブに通信し、この通信に応じて制御バルブが開閉するようにさせることを含む位置決めプログラムを実行できる任意の周知のコントローラでもよい。第１および第２の位置情報伝達機構４１Ａ、４１Ｂは標準的な電気線でもよい。あるいは当業で周知のワイヤレス伝達でもよい。位置決めコントローラ３８は全体制御手段を含むか、これと電気通信してもよい。全体制御手段は、第１および第２の位置情報伝達機構４１Ａ、４１Ｂを通して気体および／または液圧コントローラ２６、３２と情報交換することで、位置決めコントローラ３８が例えば負荷運搬台２４の所望の場所および／または移動速度を検出および／または変更するプログラムに変更するようにしてもよい。位置決めコントローラ３８は、例えば、動く物体の位置や移動速度を制御するために使用されるコンピュータ、プロキシミティスイッチ、リニアエンコーダ、プログラム可能論理コントローラ等を含んでもよい。ある実施形態では、位置決めコントローラ３８は作動液コントローラ２６または気体流体コントローラ３２の一方とだけ通信してもよい。本明細書で説明する二流体アクチュエータの多様な実施形態と共に使用できるアクチュエータ技術において用いる例示的な位置決めコントローラが、米国カリフォルニア州マウンテンビューのＧＡＬＩＬ  Ｍｏｔｉｏｎ  Ｃｏｎｔｒｏｌ  Ｃｏｍｐａｎｙによって製造されており、「ＤＭＣ１４１５  ＣＯＮＴＲＯＬＬＥＲ」の型番で入手できる。
【００２１】
「気体流体コントローラ」という用語は、空気等の圧縮された、または圧縮可能な気体流体の流れを選択的に圧縮および／または方向付けする性能を含むことを意味し、当業では周知の標準（regular）および比例式バルブに関連して含まれることが多いように、通常の空気コンプレッサも含んでもよいことを強調する。本明細書における目的のために、「選択的に方向付けする」または「選択的に可能にする」「空気式コントローラ」または「液圧コントローラ」における「選択的」という用語は、コントローラを制御して流れを停止する、可変の任意の速度における流れを可能にする、またはコントローラを通過する流体の流れを注入する、ことをいってもよいことを示すことを意味する。更に、本明細書の目的のために、上述の第１および第２のピストン１６、１８等の機械的物体の両側に規定される空間を意味する「チャンバ」という用語は、機械的物体が移動するにつれて寸法や容積が変化するチャンバまたは隙間を意味し、制限された、または特定の寸法または容量を有する隙間として構成されるのではない。
【００２２】
二流体アクチュエータの以下の実施形態も、気体流体コントローラと作動液コントローラとを含み、二流体アクチュエータの、説明した実施形態の特定のタスクに対して適切な位置決めコントローラも含んでもよい。以下で説明する空気式、液圧式および位置決めコントローラも、特に別の記載がない限り、上記または当業において周知な方法と本質的に同じ方法で動作するので、以下の実施形態ではこれらの構成要素の動作を繰り返して説明することはしない。
【００２３】
図２には、二流体アクチュエータ４０の単ロッドの実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ４２はスリーブとして、同軸の作動液コンテナ４４の周囲を囲む。第１の機械的物体４６は「Ｏ」形状、つまりドーナツ型のピストンの形状であって、作動液コンテナ４４の周囲を囲む、または部分的に囲む。第２の機械的物体４８は、作動液コンテナ４４内にあるピストンの形状である。ピストンは、端部キャプ５１に固定された固体シャフト４９を通って第１の機械的物体４６に機械的に連結される。端部キャプ５１は中空ロッド５０に機械的に固定される。中空ロッド５０は第１の機械的物体４６に固定され、気体流体コンテナ４２から外に延びて負荷運搬台（図２には示さず）に固定されてこれを移動する。この負荷運搬台は、端部キャプ５１のネジ切り部またはその他の固定装置によって中空ロッド５０に固定される。
【００２４】
第１の機械的物体４６は、気体流体コンテナ４２の第１の気体流体チャンバ５２と第２の気体流体チャンバ５４との間に固定される。第２の機械的物体４８は、中空ロッド５０を有する作動液コンテナ４４の第１の作動液チャンバ５６と第２の作動液チャンバ５８との間の固定される。サーバチューブ５９は作動液コンテナ４４と隣接してこれに並列に設けられ、液圧コンテナ４４の第１の液圧チャンバ５６と流体連通する。第１の機械的物体４６は液圧リサーバチューブ５９の周囲も囲んでもよい。作動液は第２の作動液チャンバ５８から液圧コントローラ６２を通って作動液リサーバチューブ５９に流れ、その後、作動液コンテナ４４に固定された液圧端部キャップ６８内に規定された作動液リザーバ開口部５７を通って第１の液圧チャンバ５６に流れることで、閉流体ループを規定する。第２の機械的物体４８が作動液コンテナ４４に沿って第２の作動液チャンバ５８から離れる方向（図２では右から左）に移動すると、作動液が第１の作動液チャンバ５６から流体リザーバ開口部５７を通って作動液リサーバチューブ５９に流れ、更に、第２の気体チャンバ５４と第２の液圧チャンバ５８の両方を封鎖するヘッダ６５を通過する。作動液リサーバチューブ５９は第１の液圧チャンバ５６の流体延長部である。
【００２５】
気体流体コントローラ６０は、標準的な気体ライン（pneumatic line）６１Ａ、６１Ｂによって第１および第２の気体チャンバ５２、５４間で流体連通するように固定されるので、気体コントローラ（pneumatic controller）６０は、気体流体を気体流体コンテナ４２の第１または第２の気体流体チャンバ（pneumatic fluid chamber）５２、５４のいずれかの方に選択的に向けるか、これに圧入する。作動液コントローラ６２は、標準的な液圧ライン６３Ａ、６３Ｂによって第１および第２の作動液チャンバ５６、５８間で流体連通するように固定される。液圧ライン６３Ａは作動液コントローラ６２と第１の作動液チャンバ５６との間で液圧リサーバチューブ５９を通って流体連通し、液圧ライン６３Ｂは作動液コントローラ６２と第２の作動液チャンバ５８との間で流体連通する。液圧ライン６３Ａ、６３Ｂは共に、気体流体コンテナ４２の第１の端部シール７１に固定されたヘッダ６５を通過する。ヘッダ６５は、作動液を作動液リサーバチューブ５９または第２の作動液チャンバ５８の方に向ける。
【００２６】
図２Ａは、静止液圧回路４３を示す。静止液圧回路４３は液圧コンテナ４４を有する。液圧コンテナ４４は一端がヘッダ６５に固定され、他端が液圧端部キャップ６８に固定されて、液圧コンテナ４４は液圧端部キャップ６８を機械的に支持する。作動液リサーバチューブ５９も一端がヘッダ６５に装着され、他端が液圧端部キャップ６８に装着されるので、作動液リサーバチューブ５９も液圧端部キャップ６８を機械的に支持する。作動液リサーバチューブ５９は、端部キャップ６８内に規定された作動液リザーバ開口部５７と流体連通する。開口部５７があるために流体は作動液リサーバチューブ５９を通って第１の作動液チャンバ５６を出入りするように流れることができる。ヘッダ６５、液圧チャンバ４４、作動液リサーバチューブ５９、作動液リザーバ開口部５７、液圧端部キャップ６８は、相互に移動しない。
【００２７】
可動液体気体回路（moving hydro-pneumatic circuit）４５を図２Ｂに示す。液体気体回路４５は内部の固体シャフト４９に固定された第２の機械的物体４８を有する。固定シャフト４９はネジ切りアダプタ５１に固定され、ネジ切りアダプタ５１は中空ロッド５０に固定され、中空ロッド５０は第１の機械的物体４６に固定される。第２の機械的物体４８の全体の組立体と、内部固体シャフト４９と、ネジ切りアダプタ５１と、中空ロッド５０と、第１の機械的物体４６とは、全て１個の回路４５として圧縮可能または気体流体コンテナ４２内を移動する。
【００２８】
図２に示すように、空気またはその他の圧縮可能流体に衝突された第１の機械的物体４６は中空ロッド５０を動かすので、端部キャップ５１のネジ切りアダプタが第２の端部シール６９に接近または離反するように動く。これは、一般に流通する標準的な空気シリンダと同様である。空気またはその他の圧縮可能流体がライン６１Ａまたは６１Ｂを通って供給されると第１の機械的物体４６に対して動的な力を生じ、中空ロッド５０を伸縮する。図２に示すように液体気体回路４５を静止液圧回路４３と一体化すると、中空ロッド５０を有する作動液コンテナ４４の内部に第１および第２の液圧チャンバ５６、５８が規定される。第１の液圧チャンバ５６は作動液リザーバ開口部５７から流入する作動液を収容するか、作動液を作動液リザーバ開口部５７の外に押し出すアキュムレータとして作用する。作動液リザーバ開口部５７があるために作動液は作動液リサーバチューブ５９と第１の液圧チャンバ５６との間を流れることができる。第１の機械的物体４６の移動によって動力を与えられた第２の機械的物体４８が移動することによって作動液が移動する際に作動液は、作動液リザーバチューブ５９があるために、ライン６３Ａを通って作動液コントローラ６２に流れ、更に第２の液圧チャンバ５８に流れることができる。可動液体気体回路４５と静止液圧回路４３とによって形成される閉ループ液圧回路を用いて中空ロッド５０の移動の速度および／または開始および停止を制御できる。システム内の環境が封鎖されているため、開放口５３を形成して、空気が中空ロッド５０から抜けられるようにする必要がある。
【００２９】
連結された第１および第２の機械的物体４６、４８によって移動させられるロッド５０に固定された任意の負荷運搬台または装置（図示せず）の、範囲制限６６Ａ，６６Ｂ間での位置を検出するように、位置決めコントローラ６４を固定してもよい。位置決めコントローラ６４は検出した位置決め情報を第１の情報伝達機構６７Ａを通して気体流体コントローラ６０に通信し、第２の情報伝達機構６７Ｂを通して液圧コントローラ６２に通信する。当業では周知のコンピュータ化された全体制御手段によって３個のコントローラ６０、６２、６４を一体化して、中空ロッド５０を所望の時間に所望の場所に位置決め、所望の速度で移動させられるようにしてもよい。
【００３０】
図３に、二流体アクチュエータ６６のロッドレスピストンの実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ７３はスリーブ、または「Ｏ」型または「Ｃ」型の隙間を規定する部分的なスリーブの形状であり、作動液コンテナ７０は中空の細長いコンテナであって気体流体コンテナ７３内にこれと同軸に配置される。第１の機械的物体７２は「Ｏ」または「Ｃ」型のピストンであって、ロッドレスまたは平坦ピストンの形状である第２の機械的物体７４に磁気的（図３に示す）または機械的に連結する。第１の機械的物体７２は、気体流体コンテナ７３内に嵌合し、この中で滑動する空気封鎖を形成する寸法を有する。第１の機械的物体７２は更に作動液コンテナ７０を囲む、または部分的に囲む寸法であり、気体流体コンテナ７３に隣接して気体流体コンテナ７３の第１の端部シール７７と第２の端部シール７９との間に延びるトラック７８上に支持された負荷運搬台７６に機械的または磁気的（図３に示す）に連結する。第１の機械的物体７２は第１の気体流体チャンバ８０と第２の気体流体チャンバ８２との間に固定される。第２の機械的物体７４は第１の作動液チャンバ８４と第２の作動液チャンバ８６との間に固定される。
【００３１】
気体流体コントローラ８８は、気体ライン８７Ａ、８７Ｂを通って第１および第２の気体流体チャンバ８０、８２の間に流体連通するように固定される。作動液コントローラ９０は、液圧ライン９１Ａ、９１Ｂを通って第１および第２の作動液チャンバ８４、８６の間に流体連通するように固定される。図２を参照して上述したように、気体コントローラ８８は圧縮された気体流体を気体ライン８７Ａを通して第１の気体流体チャンバ８０に向けてもよく、気体流体が気体ライン８７Ｂを通って第２の気体流体チャンバ８２から大気中に排出されるようにする。次に、液圧コントローラ９０も、作動液が第２の作動液チャンバ８６から液圧ライン９１Ｂ、作動液コントローラ９０、作動液ライン９１Ａを通って第１の作動液チャンバ８４に流れることによって、第２の機械的物体７４、連結された第１の機械的物体７２、および第１の機械的物体７２に連結された負荷運搬台７６が第２の端部シール７９に向かって移動できるようにする。
【００３２】
負荷運搬台７６、または連結された第１および第２の機械的物体７２、７４に固定された他の装置の、移動範囲制限８９Ａ、８９Ｂ間での位置を検出するために位置付けコントローラ９２を適切に固定または配置してもよい。位置付けコントローラ９２は検出した位置決め情報を第１の情報伝達機構９３Ａを通して気体流体コントローラ８８に通信し、第２の情報伝達機構９３Ｂを通して液圧コントローラ９０に通信する。位置付け、気体、および液圧コントローラ９２、８８、９０は通常上記のように動作して、負荷運搬台７６の位置および移動速度を制御する。二流体アクチュエータの全ての実施形態について、上述したように、位置付けコントローラは、検出した所望の位置決めコマンドを液圧および気体コントローラ８８、９０に通信する全体的なコントローラ手段を含んでもよいし、これと一体化または通信しても良い。
【００３３】
図４には、二流体アクチュエータ９４のロッドレスバルブ調整ピストンの実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ９６はスリーブ、または「Ｏ」型または「Ｃ」型の隙間を規定する部分的なスリーブの形状であり、作動液コンテナ９８は、気体流体コンテナ９６の内部にこれと同軸に配置された中空の細長いコンテナである。第１の機械的物体１００は「Ｏ」または「Ｃ」型のピストンの形状であって、ロッドレスピストンの形状である第２の機械的物体１０２に磁気的（図４に示す）または機械的に連結する。第１の機械的物体１００は、気体流体コンテナ９６に隣接するかこの中に規定されたトラック１０６上に支持された負荷運搬台１０４と機械的または磁気的に（図４に示す）連結する。トラック１０６は、気体流体コンテナ９６の第１のヘッダ１０５および第２のヘッダ１０７間に延びる。第１の機械的物体１００は第１の気体流体チャンバ１０８と第２の気体流体チャンバ１１０との間に固定される。第２の機械的物体１０２は第１の作動液チャンバ１１２と第２の作動液チャンバ１１４との間に固定される。
【００３４】
気体流体コントローラ１１６は気体ライン１１７Ａ、１１７Ｂを通り、第１のヘッダ１０５内の第１のヘッダ１１９を通る第１の気体流体チャンバ１０８と、第２のヘッダ１０７内の第２のヘッダ１２１を通る第２の気体流体チャンバ１１０と、の間で流体連通するように固定されている。作動液コントローラ１１８は第１および第２の作動液チャンバ１１２、１１４間で流体連通するように固定される。位置決めコントローラ１２０は、負荷運搬台１０４、または連結された第１および第２の機械的物体１００、１０２に固定されたその他の装置の、移動範囲制限１１５Ａ、１１５Ｂ間での位置を検出するために固定される。位置決めコントローラ１２０は検出された位置決め情報を情報伝達機構１２３を通して気体流体コントローラ１１６に通知してもよい。位置決めコントローラ１２０は全体制御手段と一体化、またはこれと通信してもよい。標準的な「Ｏリング」シール等の複数のシール１１１が、第１および第２の機械的物体１００、１０２と空気式および作動液コンテナ９６、９８との間で当業において周知な一般的な方法で固定され、滑動を許容しながら流体封鎖を行う。
【００３５】
図４に示すように、二流体アクチュエータ９４のロッドレスバルブ調整ピストンの実施形態において、作動液コントローラ１１８は第２の機械的物体１０２内に固定された２ウェイバネプレセットバルブ１１８であり、気体流体コントローラ１１６によって第１または第２の気体流体チャンバ１０８、１１０のいずれかに向けられた気体流体の特定のバルブ超越圧力負荷が適切な力を、連結された第１および第２の機械的物体１００、１０２を通過するように方向づけてバルブ１１８のプレセット圧力を超越することによってバルブ１１８が開き、圧縮不可能な作動液がバルブ１１８を通過することができる。これにより、第２の機械的物体１０２、連結された第１の機械的物体１００、および負荷運搬台１０４が、特定のバルブ超越圧力負荷を有する、つまり動力を与えられた、気体流体チャンバから離れるように動く。次に、位置決めコントローラによって負荷運搬台が所望位置にあることが検出された場合は常に、位置決めコントローラ１２０と気体流体コントローラ１１６とが協働して、駆動されたチャンバへ供給される圧縮された流体負荷を減少するので、作動液コントローラまたは２ウェイバネプレセットバルブ１１８が閉じ、作動液がバルブ１１８を通過する動きを止める。これにより、第２の機械的物体１０２、第１の機械的物体、および連結された負荷運搬台１０４の動きを止める。
【００３６】
図４Ａ、図４Ｂに示すように、２ウェイバネプレセットバルブ１１８は、バイパス筒２５２を収容する外部スリーブ２５０を有する。バイパス筒２５２は少なくとも１個または複数の第１の液圧チャンバ流体バイパス溝２５４Ａ、２５４Ｂを規定する。第１の液圧チャンバ流体バイパス溝２５４Ａ、２５４Ｂは、対応する複数の第１の作動液チャンバ穴２５６Ａ、２５６Ｂ（図４Ａに最もよく示す）と流体連通する。バイパス筒は少なくとも１個または複数の第２の作動液チャンババイパス溝２５８Ａ、２５８Ｂを規定する。第２の作動液チャンババイパス溝２５８Ａ、２５８Ｂは、対応する複数の第２の作動液チャンババイパス穴２６０Ａ、２６０Ｂと流体連通する。バイパス筒２５２はバネ壁２６２（図４および図４Ａにのみ表示）を有するバイバス貫通穴１３１も規定する。バネ壁２６２は、第１の液圧チャンババイパス穴２５６Ａ、２５６Ｂと、第２の作動液チャンババイパス穴２５８Ａ、２５８Ｂとの間でバイパス筒２５２と一体化、つまり筒２５２内に固定されてもよい。
【００３７】
第１のコイルバネ２６４は、バイバス貫通穴１３１中で、第１の作動液チャンバ１１２のバネ壁２６２に最も近い側面に接して固定され、第２のコイルバネ２６６は、バイバス貫通穴１３１中で、第２の作動液チャンバ１１４のバネ壁２６２に最も近い側面に接して固定される。第１の可動シール２６８は第１のコイルバネ２６４に固定され、第２の可動シール２７０は第２のコイルバネ２６６に固定される。第１のシールロック２７２はバイバス貫通穴１３１の中で、第１のコイルバネ２６４が伸びた場合に第１の可動シール２６８と隣接するように固定されるので、第１のコイルバネ２６４が圧縮されると、第１のシールロック２７２と第１の可動シール２６８と間に隙間ができる。第１のシールロック２７２は第１のバイパス通路２７４を規定する。第２のシールロック２７６はバイバス貫通穴１３１の中で、第２のコイルバネ２６６が伸びた場合に第２の可動シール２７０に隣接するように固定されるので、第２のコイルバネ２６６が圧縮されると、第２のシールロック２７６と第２の可動シール２７０との間に隙間ができる。第２のシールロックは第２のバイパス通路２７８を規定する。
【００３８】
第１および第２の可動シール２６８、２７０の直径は協同して第１および第２のバイパス通路２７４、２７８の対応する直径より大きいので、第１または第２のコイルバネ２６４、２６６の力によって第１および第２の可動シール２６８、２７０が、隣接する第１および第２のシールロック２７２、２７６に接触している場合は常に、可動シール２６８、２７０が第１または第２のバイパス通路２７４、２７８を完全に遮断する。そのため、遮断された第１および第２のバイパス通路２７４、２７８を通過しようとする作動液の動きが制限される。このような遮断は、第１および第２の可動シール２６８、２７０の端部を面取りすれば容易に行える。または、圧縮可能なリングシール（図示せず）等といった当業において周知なその他の封鎖手段によって容易に行ってもよい。第１および第２の可動シール２６８、２７０の最短直径も共同してバイバス貫通穴１３１の直径より小さいので、第１および第２の可動シール２６８、２７０が第１または第２のシールロック２７２、２７６との接触から外れた場合は常に、作動液は第１または第２の可動シール２６８、２７０の周囲を流れて、第１または第２の作動液チャンババイパス穴２５６Ａ、２５６Ｂ、２６０Ａ、２６０Ｂおよびそれらに対応する複数の第１または第２の作動液チャンバ溝２５４Ａ、２５４Ｂ、２５８Ａ、２５８Ｂのいずれかに流入する。
【００３９】
２ウェイバネプレセットバルブ１１８を用いる場合、第１および第２のコイルバネ２６４、２６６を選択して、バネ２６４、２６６を圧縮するために必要な特定の圧縮力またはバルブ超越圧力負荷を得る。負荷運搬台を、図４の矢印１３３の方向等の特定の方向に特定の位置まで移動したい場合、上述した全体制御手段、または４ウェイソレノイドバルブと一体化された空気式比例式バルブでもよい空気式コントローラが、適切な空気圧力を第２の気体チャンバ１１０に向けて方向づけて第１のコイルバネ２６４のバルブ超越圧力負荷を克服する。すると、第１のコイルバネ２６４と第１の可動シール２６８とが移動して第１のシールロック２７２（図４Ａに図示する）との接触が外れ、作動液が第１の作動液チャンバ１１２からバイバス貫通穴１３１を通って第２の作動液チャンバ１１４に移動する。これによって、第２の機械的物体１０２、第１の機械的物体１００、および負荷運搬台が移動できる。
【００４０】
位置決めコントローラ１２０によって負荷運搬台が所望の位置にあることを検出した場合等、負荷運搬台の移動を止めたい場合、気体コントローラ１２０またはその他の任意の制御手段が空気式コントローラに指示して第２の気体チャンバ１１０内の圧縮可能流体の圧力を第１のコイルバネ２６４の特定のバルブ超越圧力負荷より低くする。すると、バネ２６４によって第１の可動シール２６８が動いて第１のシールロック２７２と再び接触するので、作動液がバイパスの貫通穴を通過できなくなる。実際には、第２の機械的物体１０２が作動液コンテナ９８内で作動液中を移動できなくなる。これによって、第２の機械的物体１０２の移動が止まる。
【００４１】
２ウェイバネプレセットバルブ１１８は上述の形式でもよいし、バルブに作用する、当業において周知の圧力変化に応じて圧縮不可能流体がバルブを通る双方向の流れを可能にしたり止めたりする任意の２ウェイバネプレセットバルブ手段でもよい。さらに、２ウェイバネプレセットバルブ１１８は空気式および作動液コンテナ９６、９８の外で標準的な液圧ラインを通って第２の機械的物体１０２と流体連通するように配設してもよい。
【００４２】
気体コントローラ１１６は４ウェイソレノイドバルブ（図示せず）と流通連通する、つまり気体ライン１１７Ａ、１１７Ｂと流通連通する比例式圧力バルブ（図示せず）を有していなければならない。位置決めコントローラ１２０は、比例式圧力バルブおよび／または４ウェイソレノイドバルブと流通連通するであろう。空気式コントローラは、空気圧モニタ装置（図示せず）を更に有してもよい。空気圧モニタ装置は、動力を与えられた空気チャンバ（上記の動作例においては第２の気体チャンバ１１０等）内の圧力測定値を常に空気式コントローラ、または気体流体コントローラ１１６と一体化、またはこれと通信する全体コントローラに通信する。更に、空気式コントローラは、圧力レベルを迅速に正確に変化させることができる、当業で周知の精度レギュレータを有して、二流体アクチュエータのロッドレスバルブ調整ピストン実施形態の動作効率を高めてもよい。
【００４３】
図５には、二流体アクチュエータ１２２の回転実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ１２４は第１の変形可能チューブの形状であり、作動液コンテナ１２６は、並列な円形配置において第１の変形可能チューブ１２４と隣接して固定された第２の変形可能チューブの形状である。「変形可能チューブ」とは、当業においては通常「蠕動チューブ」を示す。第１および第２の変形可能チューブ１２４、１２６の双方は円筒ハウジング１２８内に固定される。第１の機械的物体１３０は、円筒ハウジング１２８に接触して気体流体コンテナ１２４を掴む、または変形させる第１のピンチローラの形状であり、第２の機械的物体１３２は、第１のピンチローラ１３０に固定されて円筒ハウジング１２８に接触して作動液コンテナ１２６を掴む、または変形させる第２のピンチローラの形状である。
【００４４】
第１および第２の機械的物体１３０、１３２またはピンチローラ１３０、１３２は電機子１３４に固定される。電機子１３４は、第１および第２の変形可能チューブ１２４、１２６および円筒ハウジング１２８によって規定される円の中心の周りを回転する寸法を有する。電機子１３４は鍵付きシャフト１５３に固定されてもよく、鍵付きシャフト１５３は回転可能ベアリング１５７に固定される。回転可能ベアリング１５７には、負荷運搬台（図示せず）または、特定の位置間を特定の移動速度で回転するその他の機械的構造体が固定されてもよい。ハウジングキャップ１３５は円筒ハウジング１２８に固定されてもよい。第１のピンチローラまたは第１の機械的物体１３０は気体流体コンテナ１２４を変形させて、第１のピンチローラ１３０の両側に第１の気体流体チャンバ１３６と第２の気体流体チャンバ１３８を規定する。第２のピンチローラまたは第２の機械的物体１３２は作動液コンテナ１２６を変形して、第２のピンチローラ１３２の両側に第１の作動液チャンバ１４０と第２の作動液チャンバ１４２を規定する。
【００４５】
気体流体コントローラ１４４は第１および第２の気体流体チャンバ１３６、１３８間で流体連通するように気体ライン１３７Ａ、１３７Ｂによって固定される。気体ライン１３７Ａ、１３７Ｂは接合ヘッダ１３９に固定され、接合ヘッダ１３９は別々の気体通路を規定し、この通路に対して第１および第２気体流体チャンバ１３６、１３８が流体連通するように固定される。作動液コントローラ１４６は液圧ライン１４１Ａ、１４１Ｂによって、自身と接合部ヘッダ１３９との間で流体連通するように固定される。接合部ヘッダ１３９は、第１および第２の作動液チャンバ１４０、１４２と流体連通するように固定された別々の液圧通路も規定する。
【００４６】
ベアリング１５７またはこれに固定された負荷運搬台の、移動範囲制限１４９Ａ、１４９Ｂ間での回転位置を検出するように位置決めコントローラ１４８を適切に固定または配置してもよい。位置決めコントローラ１４８は検出した位置決め情報を第１の情報伝達機構１５１Ａを通して作動液コントローラ１４４に通信し、第２の情報伝達機構１５１Ｂを通して作動液コントローラ１４６に通信する。位置決め、気体、および液圧コントローラ１４８、１４４、１４６は通常上記のように動作して、ベアリング１５７の位置と移動速度とを制御する。二流体アクチュエータ１２２の回転実施形態では、鍵付き軸シャフト１５３は、電機子１３４内に規定されてベアリング１５７に固定される鍵付き軸貫通穴１５５と噛み合う寸法を有し、電機子１３４を回転可能に回転可能ベアリング１５７に固定する。
【００４７】
第１および第２の作動液チャンバ１４０、１４２間を移動する作動液に衝突されて移動させられる第２の機械的物体または第２のピンチローラ１３２の作用は、変形可能なチューブを通して流体を注入する、当業において周知な蠕動ポンプと構造的に類似する。ここで、人体用の静脈注射用ポンプにおいて一般的であるように、流体がポンプインペラ等の機械的物体と接触しないで保持されることが重要である。しかし、二流体アクチュエータ１２２のこの回転実施形態では、作動液を動かすのではなく、連結された第１の機械的物体または第１のピンチローラ１３０にかかる圧縮された気体流体の力によって第２の機械的物体または第２のピンチローラ１３２に動力を与え、連結された第１および第２の機械的物体の移動速度、移動方向、および位置決めは、作動液コントローラ１４６によって制御されるように、第１および第２気体流体チャンバ１３６、１３８間の作動液の移動によって制御される。
【００４８】
図６には、二流体アクチュエータ１５０の回転翼実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ１５２は半シリンダの形状であり、作動液コンテナ１５４は共通の円筒ハウジング１５６内に規定された対向する半シリンダの形状である。非回転抑制壁１５８が空気式および作動液コンテナ１５２、１５４の非円形壁の間に固定されてこれらを規定する。第１の機械的物体１６０は気体流体コンテナ１５２を二分する第１の半翼形状であり、第２の機械的物体１６２は作動液コンテナ１５４を二分する第２の半翼形状である。ここで、第１および第２の半翼または第１および第２の機械的物体１６０、１６２は相互に連結され、ハウジング１５６によって規定された円の中心にある電機子１６４にも連結されるので、第１の半翼１６０が動くと第２の半翼１６２と電機子１６４の両方が動く。第１の半翼または第１の機械的物体１６０は、第１の半翼１６０の対向する両側において第１の気体流体チャンバ１６６および第２の気体流体チャンバ１６８を規定する。第２の半翼または第２の機械的物体１６２は、第２の半翼１６２の対向する両側において第１の作動液チャンバ１７０および第２の作動液チャンバ１７２を規定する。
【００４９】
ヘッダキャップ１６５は円筒ハウジング１５６に非回転式に固定され、自身によって空気式および作動液コンテナ１５２、１５４を流体シールする寸法を有する。ヘッダキャップ１６５は電機子スリーブ１６７も有する。電機子スリーブ１６７は、中央電機子１６４がスリーブ１６７を通過し、同時に、流体が電機子スリーブ１６７を通過することを抑制できる寸法を有する。負荷運搬台（図示せず）を、ヘッダキャップ１６５を超えて伸びる中央電機子に固定して、負荷運搬台が制限付きで回転移動できるようにしてもよい。ヘッダキャップ１６５は第１の作動液取付け部品１６９と第２の作動液取付け部品１７１とを更に有する。第１の液圧取付け部品１６９および第２の作動液取付け部品１７１の各々は別々の作動液通路を規定する。第１の作動液取付け部品１６９はヘッダプレート１６５上に固定されるかこの中に規定され、これを通過する作動液は、第１の作動液チャンバ１７０を出入りするように方向づけられる。第２の作動液取付け部品１７１はヘッダキャップ１６５に固定されるかこの中に規定され、取付け部品１７１を通過する作動液が第２の作動液チャンバ１７２を出入りする。
【００５０】
同様に、ヘッダプレート１６５は第１の気体流体取付け部品１７３および第２の気体流体取付け部品１７５も有する。これらの取付部品１７３、１７５は共に別々の空気式通路を規定する。第１の気体取付け部品１７３はヘッダプレート１６５内に規定され、ここを通過する気体流体が第１の気体流体チャンバ１６６を出入りするように方向づける。第２の気体流体取付け部品１７５はプレート１６５内に規定され、ここを通過する作動液が第２の気体流体チャンバ１６８を出入りする。
【００５１】
気体流体コントローラ１７４は、第１および第２気体流体チャンバ１６６、１６８間で、自身とヘッダプレート１６５の第１および第２の気体取付け部品１７３、１７５との間に固定された標準的な気体ライン１７７Ａ、１７７Ｂによって流体連通するように固定される。作動液コントローラ１７６は、第１および第２の作動液チャンバ１７０、１７２間で、自身とヘッダプレート１６５の第１および第２の液圧取付け部品１６９、１７１との間に固定された一般的な液圧ライン１７９Ａ、１７９Ｂによって流体連通するように固定される。ベアリング中央電機子１６４または、電機子１６４に固定された任意の負荷運搬台（図示せず）の、移動範囲制限１８１Ａ、１８１Ｂ間での回転位置を検出するように位置決めコントローラ１７８を適切に固定または配置してもよい。位置決めコントローラ１７８は検出した位置決め情報を第１の情報伝達機構１８３Ａを通して気体流体コントローラ１７４に通信し、第２の情報伝達機構１８３Ｂを通して液圧コントローラ１７６に通信する。位置決め、気体、および液圧コントローラ１７８、１７４、１７６は通常上記のように動作して、中央電機子１６４またはこれに固定された任意の負荷運搬台（図示せず）の位置および移動速度を制御する。
【００５２】
二流体アクチュエータ１５０の回転翼実施形態は、１８０度未満に制限された所望の移動範囲を有する物体の回転動作に特に適する。ここで、回転動作の所望の速度は、上述して図５に示す二流体アクチュエータ１２２の回転実施形態によって回転する負荷運搬台の回転動作の効率的な速度よりも遙かに大きくてもよい。
【００５３】
図７には、二流体アクチュエータ１８０の機械バルブ調整実施形態を示す。ここで、気体流体コンテナ１８２は細長い中空のコンテナの形状である。第１の機械的物体は、固定された中空ロッド１８６を有するピストン１８４の形状である。ここで、ロッドは気体流体コンテナ１８２から外に延び、ネジ切りロッドアダプタ１８５によって負荷運搬台（図示せず）に固定される。作動液コンテナ１８８は、第１の機械的物体またはピストン１８４の中空ロッド１８６内に規定された隙間の形状である。ピストン１８４または第１の機械的物体は、その両側に第１の気体流体チャンバ１９０および第２の気体流体チャンバ１９２を規定する。シール１９５を有するＴ型ピストン１９１は第１の機械的物体またはピストン１９４に隣接し、第１および第２気体チャンバ１９０、１９２の間に固定される。
【００５４】
機械バルブ作動液コントローラ１９４は、作動液コンテナ１８８内に固定された第２の機械的物体または回転穴バルブアセンブリ１９６を有する。回転穴バルブ１９６は回転穴プレート２１３を有する。回転穴プレート２１３はバルブステム１９８に固定される。バルブステム１９８は、第１の機械的物体１８４に固定された中空ロッド１８６と同軸であって、気体流体コンテナ１８２の第１の端部シール１８７に隣接する気体流体コンテナ１８２の外側に位置する機械バルブトリガ２００に固定される。第２の端部シール１８９が気体流体コンテナ１８２の反対側の端部に固定され、ロッド１８６が第２の端部シール１８９を貫通する。
【００５５】
バルブステム１９８はこれを囲むステムスリーブ２１１内に支持される。バルブステム１９８およびステムスリーブ２１１は回転穴バルブアセンブリ１９６と共に終端する。図７Ａの回転穴バルブアセンブリ１９６の拡大挿入図に最もよく示されるように、バルブステム１９８は、１個以上の回転作動液穴２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ、２１４Ｄを規定する回転バルブ穴プレート２１３を有する。回転バルブ穴プレート２１３は作動液コンテナ１８８内にぴったり嵌合する寸法なので、作動液は回転バルブ穴プレート２１３の回転作動液穴２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ、２１４Ｄのみを通過し、回転穴プレート２１３の周囲を通過しない。ステムスリーブ２１１は、１個以上の静止作動液穴２１８Ａ、２１８Ｂ、２１８Ｃ、２１８Ｄを規定する静止穴プレート２１６を有する。静止バルブ穴プレート２１６は作動液コンテナ１８８内にぴったり嵌合する寸法なので、作動液は静止穴プレート２１６の静止作動液穴２１８Ａ、２１８Ｂ、２１８Ｃ、２１８Ｄだけを通過し、静止穴プレート２１６の周囲は通過しない。回転穴プレート２１３は静止穴プレート２１６に隣接して固定されるので、回転作動液穴２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ、２１４Ｄが静止作動液穴２１８Ａ、２１８Ｂ、２１８Ｃ、２１８Ｄと整列しない限り、流体はプレート２１３、２１６を通過できない。回転穴プレート２１３は、第１の端部シール１８７に隣接するバルブステム１９８上の突起部２１９によって静止穴プレート２１６に密接に固定されるので、バルブステム１９８は自身が回転して回転穴プレート２１３を回転させる一方で、回転穴プレート２１３と静止穴プレート２１６との間を封鎖する。
【００５６】
固定位置ステムスリーブ２１１内のバルブステム１９８に固定されたバルブトリガ２００を回転させることにより、バルブステム１９８が回転し、回転バルブ穴プレート２１３とその回転作動液穴２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃ、２１４Ｄとが回転して静止プレート２１６の静止作動液穴２１８Ａ、２１８Ｂ、２１８Ｃ、２１８Ｄの一個と重なる。これにより、全体の作動液チャンバ１８８が第１の機械的物体１８４と、これに隣接して作動液チャンバ１８８を有するＴ型ピストン１９１とが一緒に移動する際に作動液がプレート２１３、２１６を通過できるようにしたり、停止したりする。バルブトリガ２００を回転して、回転バルブ穴プレート２１３の回転作動液穴２１４Ａ、２１４Ｂ、２１４Ｃが静止バルブ穴プレート２１６の静止作動液穴２１８Ａ、２１８Ｂ、２１８Ｃ、２１８Ｄと重ならないようにすると、作動液チャンバ１８８および、Ｔ型ピストン１９１に隣接する第１の機械的物体１８４またはピストンに固定された中空ロッド１８６の動きが直ちに停止する。同様に、ロッドのアダプタ１８５に固定された任意の負荷運搬台または負荷（図示せず）の動きも直ちに停止する。
【００５７】
第１の作動液チャンバ２０２および第２の作動液チャンバ２０４は、作動液コンテナ１８８内において、回転穴バルブまたは第２の機械的物体１９６の回転バルブ穴プレート２１３および静止バルブ穴プレート２１６の両側に規定される。
【００５８】
気体流体コントローラ２０６は、標準的な気体ライン２０１Ａ、２０１Ｂによって、第１および第２気体流体チャンバ１９０、１９２間に流体連通するように固定される。気体ライン２０１Ａは、気体流体コントローラ２０６と、第１の気体チャンバ１９０および第１の端部シール１８７に隣接する、気体流体コンテナ１８２内に規定される第１の穴２０３との間に固定される。図７に示すように、気体ライン２０１Ｂは、気体流体コントローラ２０６と、第２の気体流体チャンバ１９２および第２の端部シール１８９に隣接する、気体流体コンテナ１８２内に規定される第２の穴２０５との間に固定される。ロッドアダプタ１８５に固定された任意の負荷運搬台（図示せず）のロッド１８６の、移動範囲制限２０７Ａ、２０７Ｂ間における位置を検出するために位置決めコントローラ２０８を適切に固定または配置してもよい。位置決めコントローラ２０８は検出した位置決め情報を第１の情報伝達機構２０９Ａを通して気体流体コントローラ２０６に通信し、第２の情報伝達機構２０９Ｂを通して機械バルブトリガ２００に通信する。
【００５９】
機械バルブトリガ２００を操作者（図示せず）によって手動で稼働して回転穴バルブアセンブリ１９６を開閉し、中空ロッド１８６が移動できるようにしたり、中空ロッド１８６の移動速度を制御したりしてもよい。手動操作は、位置決めコントローラ２０８が検知した情報に基づいて行ってもよい。また、位置決めコントローラ２０８を使用しない場合は、操作者が直接集めた視覚観察情報またはその他の情報を元にして単純にバルブトリガ２００を用いてもよい。あるいは、位置決めコントローラ２０８から得た位置決めおよびプログラム情報に応じて、当業において周知である装置によってバルブトリガ２００を電気磁気的に操作してもよい。通常、位置決めコントローラ２０８、気体コントローラ２０６、および電気磁気的に操作されるバルブトリガ２００は上記のように動作して、中空ロッド１８６または、ロッドアダプタ１８５に固定された任意の負荷運搬台（図示せず）の位置および移動速度を制御する。
【００６０】
機械的にバルブ調整された二流体アクチュエータ１８０の動作では、機械バルブ作動液コントローラ１９４のバルブトリガ２００を回転することで、作動液が第１および第２の作動液チャンバ２０２、２０４間を移動できるようにする。したがって、気体流体コンテナ１８２の第１または第２気体流体チャンバ１９０、１９２に圧縮流体が収容され、バルブトリガ２００を回転した場合は常に、圧縮不可能な作動液が第１および第２の作動液コンテナ２０２、２０４間を移動し、これによってＴ型ピストン１９１に隣接するピストン１８４または第１の機械的物体および中空ロッド１８６が移動できる。これは、バルブトリガ２００を再び回転して、第１および第２の作動液チャンバ２０２、２０４間での作動液の動きが止まるまで、続く。機械バルブトリガ２００はバルブを操作する任意のトリガ手段でもよく、手動、機械、電気磁気、空気式装置等でもよい。更に、図示した例では機械バルブトリガ２２０は気体流体コンテナ１８２の外に置かれているが、トリガ２２０をコンテナ１８２内に一体的に形成して電気磁気的な稼働等を行ってもよい。
【００６１】
ピストン１８４または第１の機械的物体とＴ型ピストン１９１との間に真空部（pneumatic void）２２０が規定されることに注意する。Ｔ型ピストン１９１および真空部２２０の作用は、作動液が第２の圧縮不可能または作動液チャンバ２０２から第１の作動液チャンバ２０４に流れる際に中空ロッド１８６が第１の端部シール１８７から離反して動するために生じる容積の変化を補償する一助となる。ピストン１８４内の欠如部（void）２２０は、Ｔ型ピストンが中空ロッド１８６に沿って移動することで、機械バルブ作動液コントローラ１９４のステムスリーブ２１１およびバルブステム１９８が存在する第２の作動液チャンバ２０４の容積の変化を補償できる寸法を有する。中空ロッド１８６内の第２の作動液チャンバ２０４はステムスリーブ２１１を有するので、第２の作動液チャンバ２０４内の容積の変化は、ステムスリーブ２１１が無い中空ロッド１８６内の第１の作動液チャンバ２０２内の容積の変化とは異なる。作動液が第２の液圧チャンバ２０４から第１の液圧チャンバ２０２に移動する際にＴ型ピストン１９１は、第１の機械的物体またはピストン１８４内に規定される補償貫通穴２１１に引き込まれる。Ｔ型ピストン１９１が補償貫通穴２１１を埋めるので真空部２２０および第２の作動液チャンバ２０４の容積が減少する。代替的な実施形態においては、Ｔ型ピストン１９１を、そのステム部分を滑動シールとして補償貫通穴２２１内におくことで代用してもよい。
【００６２】
作動液およびシール１９５がＴ型ピストンと、ピストン１８４の補償貫通穴２２１との間を移動することによって生じる部分的な真空によって、Ｔ型ピストン１９１または滑動シールが第１の機械的物体またはピストン１８４に固定される。部分的な真空によってＴ型ピストン１９１はピストン１８４に接近して補償貫通穴２２１に挿入されるか、ピストン１８４から更に遠ざかるように移動させられるので、真空部２２０の容積が増減させられる。真空部２２０に空気が過剰に蓄積しないように、真空部２２０と第２の気体チャンバ１９２との間で流体連通するようにリードバルブ１９２をピストン１８４内に固定して、ピストン１８４とＴ型ピストン１９１との間に蓄積された空気が真空部２２０から第２の気体流体チャンバ１９２に開放されるようにする。
【００６３】
中空ロッド１８６を延長させてロッドアダプタ１８５を第２の端部シール１８９から最も遠い延長部まで動かすと、第１の作動液チャンバ２０２内により多くの圧縮不可能流体が必要となり、第２の作動液チャンバ２０４内により少ない圧縮不可能流体が必要となる。シール１９５によってピストン１８４の補償貫通穴１２１内に形成される真空のために、Ｔ型ピストンが補償貫通穴１２１に引き込まれるので、真空部２２０の容積が減少する。ロッドアダプタ１８５が第２の端部１８９に向かって後退すると、第１の作動液チャンバ２０２を占める圧縮不可能流体の容量が第２の作動液チャンバ２０４に移動する。第２の作動液チャンバ２０４にはステムスリーブ２１１があるので、このチャンバ２０４の体積を拡大してこの分を補償しなければならない。このためには、Ｔ型ピストンを第１の機械的物体またはピストン１８４内の補償貫通穴１２１から引き出せばよい。Ｔ型ピストン１９１をピストン１８４から抜き出してこれから遠ざけるように動かすと真空部２２０の容積が増加し、空気がリードバルブ１９３を通って真空部２２０に侵入することができる。二流体アクチュエータの機械的にバルブ調整された実施形態１８０を使用しているので、真空部２２０の容積が変化しても、アダプタ１８５の正確さ、移動速度、位置決めに作用しない。
【００６４】
上述の、図１に示す２ロッド実施形態、図２の単ロット実施形態、図３のロッドレスピストン、図４のロッドレスバルブ調整ピストン、図５の回転実施形態、図６の回転翼実施形態、図７の機械的バルブ調整実施形態の全てが、圧縮可能な気体流体を用いて機械的物体または負荷運搬台を動かす動力を与えるという共通の原理に依存する一方で、圧縮不可能な作動液を用いて、気体によって動力を与えられたこの機械的物体の移動を正確に制御する装置に一体化される二流体アクチュエータを示すことが分かるだろう。作動液は、機械的物体を移動する動力を与えるためではなく、主に機械的物体の位置や移動速度を制御するために用いるので、大型のコンプレッサや高圧力ホース等によって作動液を注入、制御する必要がない。更に、主な力は、自由に使える空気等の気体流体を圧縮して供給するので、本発明の二流体アクチュエータは、周知の液圧および電子アクチュエータにおいて周知であるコスト、サービス、危険物質等のリスクがない。
【００６５】
上述し図示した実施形態では二流体アクチュエータを説明したが、本発明はこれらの説明および図示した実施形態に限定されるものではないことが分かる。例えば、任意の特定の実施形態の空気、液圧および位置決めコントローラ自身を、当業において周知であるコンピュータ化された全体制御手段によって制御または一体化させることも本発明の範囲内である。また、図２の単ロッド実施形態、図３のロッドレスピストン実施形態、図４のロッドレスバルブ調整ピストン実施形態は全て、作動液コンテナを囲む、または部分的に囲む気体流体コンテナを有するものとして説明したが、作動液コンテナと同軸である気体流体コンテナを単純に有する、気体流体コンテナが少なくとも部分的にそれぞれの作動液コンテナに囲まれるような実施形態も本発明の範囲内である。更に、図１〜７に説明した実施形態の具体的な構成要素を他に説明した実施形態と共に使用してもよい。例えば、図４のロッドレスバルブ調整ピストンの２ウェイバネプレセットバルブ作動液コントローラ１１８を他の実施形態の作動液コントローラとして使用してもよい。２ウェイバネプレセットバルブ手段を、図１〜７の第１および第２の作動液チャンバ間に固定した第２の機械的物体と流体連通するように固定してもよい。あるいは、２ウェイバネプレセットバルブ手段を、図４のロッドレスバルブ調整ピストン実施形態に用いるように、図１〜３、６および７に示す実施形態の第２の機械的物体内に実際に固定してもよい。
【００６６】
更に、「気体流体」および「作動液」という用語は単に「空気」や、炭化水素ベースの油等の周知の作動液に対して限定的に用いられるわけではない。むしろ、「気体流体」という用語は任意の圧縮可能な流体を含んでもよく、「作動液」という用語は任意の圧縮不可能な流体を含んでも良い。例えば、水、周知の不凍液等である。更に、上記の説明は「気体流体コントローラ」が加圧または圧縮された気体流体を第１または第２の空気チャンバに向けて方向づけることによって第１の機械的物体に動力を与えてチャンバ間で移動させることを特長としたが、「気体流体を選択的に方向付ける空気流体コントローラ」との用語は、部分的な真空をいずれかの空気チャンバに適用することで圧力差を形成し、小型の質量負荷を移動させる環境等において第１の機械的物体に動力を与えることを含んでもよい。更に、本発明の範囲を規定するためには、上記の説明ではなく、添付の請求項を主に参照すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００６７】
【図１】本発明に係る二流体アクチュエータの２ロッド実施形態として構成された二流体アクチュエータの概略図である。
【図２】二流体アクチュエータの単ロッド実施形態の部分断面斜視図である。
【図２Ａ】図２に示す二流体アクチュエータの単ロッド実施形態の第１の部分図である。
【図２Ｂ】図２に示す二流体アクチュエータの単ロッド実施形態の第２の部分図である。
【図３】二流体アクチュエータの単ロッド実施形態の部分断面斜視図である。
【図４】二流体アクチュエータのロッドレスバルブ調整ピストンの実施形態の概略図である。
【図４Ａ】二流体アクチュエータのロッドレスバルブ調整ピストン実施形態の部分拡大図である。
【図４Ｂ】二流体アクチュエータのロッドレスバルブ調整ピストン実施形態の第２の機械的物体の展開図である。
【図５】二流体アクチュエータの回転実施形態の展開斜視図である。
【図６】二流体アクチュエータの回転はね実施形態の展開斜視図である。
【図７】二流体アクチュエータの機械的バルブ付き実施形態の部分断面斜視図である。
【図７Ａ】図７に示す一部の拡大図である。
【図６】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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