(57)【要約】コプレーナ導波体の部分ごとのインピーダンスが変更され、コンデンサ装置（２００）の容量が可変となるコンデンサ装置（２００）を備えた装置を提案する。ここでコンデンサ装置（２００）は第１の導電性接続部材（１３０）、第２の導電性接続部材（１３１）、および第３の導電性接続部材（１２１）を少なくとも部分的に有しており、導波体の部材である信号線路（１２０）は所定の長さ（１２２）で分断されており、第１の接続部材（１３０）および第２の接続部材（１３１）は導波体のアース線路（１１０、１１１）を接続しており、第３の接続部材（１２１）は分断された信号線路（１２１）の２つの部分を接続している。
2004512718.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コプレーナ導波体の部分ごとのインピーダンスが変更され、
コンデンサ装置（２００）の容量が可変となる
コンデンサ装置（２００）を備えた装置において、
コンデンサ装置（２００）は第１の導電性接続部材（１３０）、第２の導電性接続部材（１３１）、および第３の導電性接続部材（１２１）を少なくとも部分的に有しており、
導波体の部材である信号線路（１２０）は所定の長さ（１２２）で分断されており、
第１の接続部材（１３０）および第２の接続部材（１３１）は導波体のアース線路（１１０、１１１）を接続しており、第３の接続部材（１２１）は分断された信号線路（１２０）の２つの部分を接続している、
ことを特徴とするコンデンサ装置を備えた装置。
【請求項２】
第１の接続部材、第２の接続部材、および第３の接続部材（１３０、１３１、１２１）は金属の接続部材である、請求項１記載の装置。
【請求項３】
第３の接続部材（１２１）は機械的に変形可能であり、第１の接続部材（１３０）と第３の接続部材（１２１）とのあいだの第１の間隔および第２の接続部材（１３１）と第３の接続部材（１２１）とのあいだの第２の間隔は少なくとも第３の接続部材（１２１）の部分領域において可変である、請求項１または２記載の装置。
【請求項４】
コンデンサ装置（２００）の容量の変更は、第１の接続部材（１３０）と第３の接続部材（１２１）とのあいだの静電引力、または第２の接続部材（１３１）と第３の接続部材（１２１）とのあいだの静電引力により行われる、請求項１から３までのいずれか１項記載の装置。
【請求項５】
コンデンサ装置（２００）は、第１の接続部材（１３０）と第３の接続部材（１２１）とのあいだで設定された電圧に依存して第１の全容量設定値を有しており、また他方では第２の接続部材（１３１）と第３の接続部材（１２１）とのあいだで設定された電圧に依存して第２の全容量設定値を有している、請求項１から４までのいずれか１項記載の装置。
【請求項６】
コンデンサ装置（２００）が第１の全容量を有する場合、第１の接続部材（１３０）は信号線路（１２０）とアース線路（１１０、１１１）とのあいだのコンデンサ装置（２００）の第１の部分容量（２０１）に直列に第１のインダクタンスを形成しており、同様に第２の接続部材（１３１）は信号線路（１２０）とアース線路（１１０、１１１）とのあいだのコンデンサ装置（２００）の第２の部分容量（２０２）に直列に第２のインダクタンスを形成しており、該第１の部分容量（２０１）および第１のインダクタンス（２１０）の共通インピーダンスと第２の部分容量（２０２）および第２のインダクタンス（２１１）の共通インピーダンスとは駆動周波数でほぼオーム抵抗に相応する、請求項１から５までのいずれか１項記載の装置。
【請求項７】
第１の接続部材（１３０）と第２の接続部材（１３１）とのあいだには導波体に沿った方向で第３の間隔（１３３）が存在しており、該第３の間隔（１３３）は駆動周波数での波長のほぼ１／４に相応する、請求項１から６までのいずれか１項記載の装置。
【請求項８】
駆動周波数として約７７ＧＨｚまたは約２４ＧＨｚが設定されている、請求項６または７記載の装置。
【請求項９】
前記所定の長さ（１２２）は信号線路（１２０）と第３の接続部材（１２１）とのあいだの接合部での反射が補償されるように設定されている、請求項１から８までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１０】
前記所定の長さ（１２２）の位置で２つ以上の接続部材が導波体のアース線路（１１０、１１１）を接続している、請求項１から９までのいずれか１項記載の装置。
【請求項１１】
導波体のアース線路（１１０、１１１）を接続している接続部材の数は奇数である、請求項１０記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
従来の技術
未公開のドイツ連邦共和国特許出願第１００３７３８５．２号明細書から、コプレーナ導波体の部分ごとのインピーダンスが変更され、コンデンサ装置の容量が可変となるコンデンサ装置を備えた装置が公知である。ここでは金属ブリッジ形素子が所定の長さ位置で分断された導波体の信号線路に架けわたされており、金属ブリッジ形素子と導波体のアース線路とのあいだに印加される電圧に応じて、導電接続されたこの金属ブリッジ形素子が機械的に変形可能であり、これによりスイッチング過程がトリガされる。遮断状態（オフ状態：金属ブリッジ形素子が下方にある状態）では電力の大部分が反射される。導通状態（オン状態：金属ブリッジ形素子が上方にある状態）では電力の大部分が伝達される。
【０００２】
本発明の利点
本発明の請求項１記載の装置ではこれに対して、オン状態で挿入減衰量が低減され、しかもオフ状態ではスイッチのアイソレーション作用が高められるという利点が得られる。これにより装置の有利な設計変更が可能となる。例えばブリッジ形素子と対向電極との間の間隔を小さくしたり、誘電体の電界強度負荷量を小さくしたりできる。さらに付加的に導波体のアース線路間を接続することにより引きつける面の面積、ひいてはブリッジ形素子を下方へ引く力が拡大され、これによりスイッチング電圧が低減される。
【０００３】
さらに有利には、第１の接続部材、第２の接続部材、および第３の接続部材は金属の接続部材である。これにより材料固有の利点およびプロセス技術上の利点の双方が本発明の導電性接続部材として金属を使用することにより得られる。
【０００４】
さらに有利には、第３の接続部材は機械的に変形可能であり、第１の接続部材と第３の接続部材とのあいだの第１の間隔および第２の接続部材と第３の接続部材とのあいだの第２の間隔は少なくとも第３の接続部材の部分領域において可変である。これにより簡単な手段で可変の全容量を有するコンデンサ装置が製造される。
【０００５】
さらに有利には、本発明のコンデンサ装置の容量の変更は、一方では第１の接続部材と第３の接続部材とのあいだの静電引力、また他方では第２の接続部材と第３の接続部材とのあいだの静電引力により行われる。これにより簡単な手段で本発明の装置に２つのスイッチング状態が設けられ、装置の迅速かつ確実な切り換えが保証される。さらにこれにより装置のスイッチング状態はどんな場合にも一義的に定義される。
【０００６】
さらに有利には、本発明のコンデンサ装置は、一方では第１の接続部材と第２の接続部材とのあいだで設定された電圧に依存して第１の全容量設定値を有しており、また他方では第２の接続部材と第３の接続部材とのあいだで設定された電圧に依存して第２の全容量設定値を有している。このため、特に第１〜第３の導電性接続部材、第１の接続部材と第３の接続部材とのあいだの誘電層、または第２の接続部材と第３の接続部材とのあいだの誘電層を適切に設計することにより、駆動周波数を広い限界領域内でコプレーナ導波体のアース線路間の間隔から独立に定めることができる。またこれにより挿入減衰量も低減される。
【０００７】
さらに有利には、コンデンサ装置が第１の全容量を有する場合、第１の接続部材は信号線路とアース線路とのあいだのコンデンサ装置の第１の部分容量に直列に第１のインダクタンスを形成しており、同様に第２の接続部材は信号線路とアース線路とのあいだのコンデンサ装置の第２の部分容量に直列に第２のインダクタンスを形成しており、この第１の部分容量および第１のインダクタンスの共通インピーダンスと第２の部分容量および第２のインダクタンスの共通インピーダンスとは駆動周波数でほぼオーム抵抗に相応する。これにより特に大きなアイソレーション作用を得ることができる。つまり短絡スイッチが遮断されている場合に特に大きな反射係数を得ることができる。
【０００８】
さらに有利には、第１の接続部材と第２の接続部材とのあいだには導波体に沿った方向で第３の間隔が存在しており、この第３の間隔は駆動周波数での波長のほぼ１／４に相応する。これにより対向電極つまり第１の接続部材および第２の接続部材によりブリッジ形素子つまり第３の接続部材で形成された容量のオン状態での反射が補償される。これはコンデンサ装置が第２の全容量を有するケースである。これによりスイッチ構造の適合化が著しく改善され、挿入減衰量が低減される。
【０００９】
さらに有利には、駆動周波数として約７７ＧＨｚまたは約２４ＧＨｚが設定されている。これにより本発明の装置はアダプティブクルーズコントロールＡＣＣまたはショートレンジレーダーＳＲＲでの適用に適している。
【００１０】
さらに有利には、前述の長さは信号線路と第３の接続部材とのあいだの接合部での反射が補償されるように設定されている。これによりスイッチの挿入減衰量、ひいてはオン状態での適合化が改善される。
【００１１】
さらに有利には、所定の長さの位置で２つ以上の接続部材が導波体の複数のアース線路を接続する。これにより一方ではスイッチング電圧が低減され、他方では新たにオフ状態でのアイソレーション作用が改善され、オン状態での挿入減衰量が低減される。
【００１２】
さらに有利には、導波体のアース線路を接続している接続部材の数は奇数である。これによりスイッチング電圧はさらに低減される。なぜならアース線路を接続している接続部材は、設定された力で最大の偏向度が得られ、また所定の偏向度で最小の力しか必要ない長さ位置の中央に設けられるからである。
【００１３】
図面
本発明の実施例を図示し、以下に詳細に説明する。
【００１４】
図１には本発明のコンデンサ装置を備えた装置の平面図が示されており、ここには切断線Ａ、Ｂ、Ｃ１、およびＣ２が設けられている。図２のａには切断線Ｃ１で切断した本発明の装置の断面図が示されており、図２のｂには切断線Ｃ２で切断した本発明の装置の断面図が示されている。図３には切断線Ａで切断した本発明の装置の断面図が示されている。図４には切断線Ｂで切断した本発明の装置の断面図が示されている。図５には本発明の装置の斜視図が示されている。図６には本発明の装置の等価回路図が示されている。
【００１５】
実施例の説明
図１にはマイクロメカニカルな高周波数短絡スイッチが本発明のコンデンサ装置を備えた装置の実施例として示されている。本発明の装置では基板１００上にコプレーナ導波体が被着されている。コプレーナ導波体は本発明によれば３つのコプレーナ形の導電性接続線路から成っており、これらの線路は少なくとも局所的には相互にほぼ並列に接続されている。コプレーナ導波体の線路は例えば金属で構成されており、基板１００上に例えば１つまたは複数の電気化学的プロセスステップにより被着される。基板１００は、本発明によれば、例えば僅かな損失角しか有さない特性を有している。コプレーナ導波体の３つの線路のうち外側の２つの線路は第１のアース線路１１０および第２のアース線路１１１に相応しており、中央の線路はコプレーナ導波体の信号線路１２０に相応している。
【００１６】
図１には本発明の装置の平面図により基板１００上に接続されたコプレーナ導波体の主要部分が示されている。コプレーナ導波体の２つのアース線路１１０、１１１は第１の導電性接続部材１３０および第２の導電性接続部材１３１を介して接続されている。第１の接続部材１３０も第２の接続部材１３１もこの場合には例えば基板１００上に直接に被着されており、アース線路１１０、１１１の“高さ”に比べて低い“高さ”を有している。すなわち第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１はアース線路１１０、１１１を相互に基板１００上の“脚部”で接続している。第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１の領域ではコプレーナ導波体の信号線路１２０が分断されている。したがって第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１は信号線路１２０に導電接続されていない。第１の接続部材１３０上および第２の接続部材上では、本発明によれば信号線路１２０の分断領域に、図１には図示されていない誘電体層が被着されている。誘電体の被着面はここでは第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１の双方に及んでいてもよいし、また分断された状態で第１の接続部材１３０に対しても第２の接続部材１３１に対してそれぞれ固有の誘電体の面が設けられていてもよい。さらに分断された信号線路１２０は第３の導電性接続部材１２１を介して接続されている。第３の接続部材１２１は本発明によれば金属ブリッジ形素子として構成されており、分断された信号線路１２０の端部どうしを接続している。第３の接続部材１２１は、本発明によれば、基板１００のレベルに対して所定の間隔を置いて設けられており、ここで第３の接続部材１２１から基板１００までの間隔、または第３の接続部材１２１から第１の接続部材１３０までの間隔、または第３の接続部材１２１から第２の接続部材１３１までの間隔はそれぞれほぼ信号線路１２０の高さに相応する。これにより第３の接続部材１２１へかかる力がないときには、分断された信号線路１２０の端部間を接続している第３の接続部材１２１は“揺動する”のである。このために第３の接続部材１２１はブリッジ形素子または金属ブリッジ形素子とも称される。
【００１７】
図１にはさらに参照記号Ｃ１で示された第１の切断線と、参照記号Ｃ２で示された第２の切断線と、参照記号Ａで示された第３の切断線と、参照記号Ｂで示された第４の切断線とが存在する。第１の切断線Ｃ１は本発明の装置をアース線路１１０、１１１および信号線路１２０の延長方向に対して垂直に、第１の接続部材１３０の近傍で切断している。第２の切断線Ｃ２は本発明の装置をアース線路１１０、１１１および信号線路１２０の延長方向に対して垂直に、第２の接続部材１３１の近傍で切断している。第３の切断線Ａは本発明の装置をコプレーナ導波体のアース線路１１０、１１１および信号線路１２０の延長方向に対して平行に、第１のアース線路１１０の近傍で切断している。第４の切断線Ｂは本発明の装置をコプレーナ導波体のアース線路１１０、１１１および信号線路１２０の延長方向に対して平行に、信号線路１２０の近傍または信号線路１２０が分断されている個所では第３の接続部材１２１の近傍で切断している。
【００１８】
図１にはさらに第１の接続部材１３０が第２の接続部材１３１から間隔を置いて配置されていることが示されている。この第１の接続部材１３０と第２の接続部材１３１とのあいだの間隔は第３の間隔１３３とも称される。本発明によれば、この第３の間隔１３３は例えば駆動周波数の波長の１／４にほぼ等しい。
【００１９】
図２のａには本発明の装置を図１の第１の切断線Ｃ１に沿って切断した断面図が示されている。基板１００、コプレーナ導波体の第１のアース線路１１０および第２のアース線路１１１が示されている。コプレーナ導波体のアース線路１１０、１１１間に導波体の信号線路１２０が配置されている。図２のａでの第１の接続部材１３０および第３の接続部材１２１の空間的な配置のしかたは基板１００の表面からの距離の点で特に際立っている。第１の接続部材１３０は図２のａでは基板１００上に直接に被着されている。一方、第３の接続部材１２１は信号線路１２０上に被着されており、この部材に力が作用していないときには、信号線路１２０およびアース線路１１０、１１１の高さ分だけ間隔を置いて基板１００のレベルから遠ざけられた状態で設けられている。図２のａに示された第３の接続部材１２１と第１の接続部材１３０とのあいだの間隔に参照番号１３５を付し、これを第１の間隔１３５と称する。
【００２０】
図２のｂには本発明の装置を図１の第２の切断線Ｃ２に沿って切断した断面図が示されている。図２のａとｂとはほぼ相応しており、その相違点は、図２のｂでは図２のａから周知の第１の接続部材１３０第２の接続部材１３１とが置換される点のみである。相応に第１の間隔１３５は第２の間隔１３６と置換される。ここで第２の間隔１３６とは第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１とのあいだの間隔のことである。
【００２１】
図３には第３の切断線Ａに沿って本発明の装置を切断した断面図が示されている。ここでは基板１００および第１のアース線路１１０しか見えない。
【００２２】
図４には本発明の装置を第４の切断線Ｂに沿って切断した断面図が示されている。基板１００上にはコプレーナ導波体の信号線路１２０が設けられている。信号線路１２０は予め定められた長さ１２２で分断されている。この分断領域で第３の接続部材１２１が信号線路１２０を橋絡している。この場合第３の接続部材１２１は信号線路１２０の分断によって生じた２つの端部を接続している。第３の接続部材１２１は、図４では基板１００から信号線路１２０の高さに相応する距離を置いて設けられている。さらに図４には第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１も示されている。第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１上にはすでに図１に関連して言及した誘電体層１４０が存在している。図４では第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１に対して共通の誘電体層１４０が設けられている。
【００２３】
図５には本発明の装置の斜視図が示されている。基板１００上に導波体の第１のアース線路１１０および第２のアース線路１１１が存在している。これらのアース線路１１０、１１１間には分断された信号線路１２０が存在している。信号線路１２０の２つの端部は第３の接続部材１２１を介して橋絡されている。さらに図５には誘電体層１４０が示されている。誘電体層１４０の下方すなわち基板１００の方向へ向かって設けられているアース線路１１０、１１１間の第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１は図５が斜視図であるためにここには示されていない。
【００２４】
図６には本発明の装置の等価回路図が示されている。この等価回路図では２つのアース線路１１０、１１１がコプレーナ導波体の唯一の線路の形態で示されている。したがってアース線路１１０、１１１は同じ電位に置かれることになる。さらにコプレーナ導波体の信号線路１２０も図６に示されている。信号線路１２０とアース線路１１０、１１１との間には相互に並列に第１のインピーダンスおよび第２のインピーダンスが設けられる。第１のインピーダンスは第１の部分容量２０１および第１のインダクタンス２１０を直列に有している。第２のインピーダンスは第２の部分容量２０２および第２のインダクタンス２１１を直列に有している。２つのインピーダンスは共通にコンデンサ装置２００を形成している。第１の部分容量２０１は少なくとも部分的に第１の接続部材１３０および第３の接続部材１２１により実現されているが、これらは２つとも図６には図示されていない。第２の部分容量２０２は少なくとも部分的に第２の接続部材１３１および第３の接続部材１２１により実現されているが、これらも図６には図示されていない。２つの部分容量２０１、２０２はその容量が可変であるように構成されている。ここで本発明によれば特に第３の接続部材１２１が機械的に変形され、少なくとも部分領域で第１の接続部材１３０または第２の接続部材１３１までの距離を変化させ、部分容量２０１、２０２の容量が制御される。第１のインダクタンス２１０は主として第１の接続部材１３０により実現され、第２のインダクタンス２１１は主として第２の接続部材１３１により実現される。第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１をアース線路１１０、１１１間の直流電圧の短絡素子として作用するようにパターニングすることにより、第１のインダクタンス２１０および第２のインダクタンス２１１が形成される。これらのインダクタンスは形状（例えばメアンダ状その他）の長さと幅の比を変更することにより種々に設定可能である。
【００２５】
図４、図５には機械的に変形可能な第３の接続部材１２１が示されており、コプレーナ導波体の部材は図示の素子により高い伝達係数および低い反射係数を得る。第１の接続部材１３０と第３の接続部材１２１とのあいだの間隔、および第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１とのあいだの間隔は図４では最大に示されている。これらの間隔は誘電体層１４０の電気特性とともにコンデンサ装置２００の容量を定めている。コンデンサ装置２００の容量はこの場合きわめて小さく、例えば短絡スイッチの入力減衰量にとって重要である。第１の接続部材１３０と第３の接続部材１２１との間、または第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１との間に電圧（例えば直流電圧）が印加されると、第１の接続部材１３０と第３の接続部材１２１との間、または第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１との間に静電引力が発生する。これにより機械的に変形可能な第２の接続部材１２１が変形され、少なくとも部分領域で、すなわち金属ブリッジ形素子のほぼ中央で、第１の接続部材１３０、第２の接続部材１３１またはこれらの部材上に被着された誘電体層１４０のほうへこの素子が引きつけられる。誘電体、例えばケイ素酸化物またはケイ素窒化物は特にスイッチとして構成された装置が遮断状態で電気化学的に接触するのを阻止する。これにより部分容量２０１、２０２が変化し、コンデンサ装置２００の容量が大きくなる。
【００２６】
本発明によれば第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１とのあいだに電圧を印加または除去することにより本発明の装置のコンデンサ装置２００の容量が変更され、こうした構成でスイッチとしての装置が切り換えられる。図４、図５に示されている第３の接続部材１２１の位置は導通・遮断を切り換える素子を備えた装置の駆動に相応しており、オン状態が示されている。電圧により第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１のほうへ引きつけられた状態の第３の接続部材１２１は図４には示されていないが、こちらはスイッチの遮断状態に相応する。これは本発明により図１〜図４に示されている部材を備えた導波体が所定の駆動周波数で駆動されるように構成されているためである。コンデンサ装置２００の容量は第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１とのあいだの電圧に依存して２つの容量値を取る。これらの値について以下では第１の全容量および第２の全容量と称する。第１の全容量は遮断状態、すなわち第２の接続部材１２１が印加された電圧によって第１の接続部材１３０または第２の接続部材１３１のほうへ引きつけられている状態に相応する。第２の全容量は図４に示されているオン状態、すなわち第２の接続部材１２１が機械的に変形されていない状態に相応する。本発明によれば、第１の全容量および第２の全容量は第１の接続部材１３０、第２の接続部材１３１、および第３の接続部材１２１の幅および長さ、誘電体層１４０の厚さおよび材料特性、ならびに信号線路１２０の高さを変更することにより定められる。本発明によれば特に、第１〜第３の接続部材１３０、１３１、１２１、誘電体層１４０および信号線路１２０の寸法は、第１のインピーダンスが駆動周波数における本発明の装置のオフ状態でちょうど消去されるか、または最小限の大きさとなるように設計されている。第１のインダクタンス２１０の調整は、本発明によれば、導波体のアース線路１１０、１１１間の第１の接続部材１３０の寸法および形状の適切な設計により行われる。第２のインピーダンスについても同様のことが当てはまり、ここでは第２の接続部材１３１の形状設計が第２のインダクタンス２１１にとって重要である。
【００２７】
第３の接続部材１２１は本発明によれば薄い金属ブリッジ形素子であり、この素子は導波体の信号線路１２０の分断されている端部のあいだに架けわたされている。アース線路１１０、１１１間では第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１が直流電圧短絡部材として作用する。第１の接続部材１３０は第３の接続部材１２１とともに第１の部分容量２０１を形成し、第２の接続部材１３１は第３の接続部材１２１とともに第２の部分容量２０２を形成する。第１のインダクタンス２１０が第１の部分容量２０１へ直列に接続され、また第２のインダクタンス２１１が第２の部分容量２０２へ直列に接続されていることにより直列振動回路が形成され、その共振周波数は第３の接続部材１２１の遮断状態でインダクタンス２１０、２１１および部分容量２０１、２０２を適切に設計すれば装置の駆動周波数近傍に存在する。これにより信号線路１２０とアース線路１１０、１１１とのあいだのインピーダンスは純粋な部分容量の（インダクタンスを省いた）インピーダンスに対して強く低減され、これにより高周波数スイッチとして構成された装置のアイソレーション作用は著しく改善される。
【００２８】
アイソレーション作用の制限となるのはここでは第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１におけるオーム抵抗損失である。オン状態では装置またはモジュールまたは構成素子は駆動周波数で各部分容量２０１、２０２が低減されることにより（金属ブリッジ形素子１２１が“上方”にあるので）共振周波数の外側で駆動され、高い挿入減衰量を発生しない。第３の接続部材１２１の長さが適切に（例えば駆動周波数での有効波長の１／２として）設計される場合、コプレーナ導波体すなわち信号線路１２０の端部と第３の接続部材１２１とのあいだの突き合わせ位置または接合位置での反射が補償される。これにより例えばスイッチとして設けられた装置の挿入減衰量、ひいては装置の適合特性が改善される。これは第３の接続部材１２１のインピーダンスをコプレーナ導波体のインピーダンスへ変換することに相応する。第３の接続部材１２１の長さは高い駆動周波数でのアース線路間の最大間隔により制限される。これにより比較的高い駆動周波数では第１の接続部材１３０または第２の接続部材１３１と第３の接続部材１２１とのあいだに印加されるスイッチング電圧をあまり大きくはできない。
【００２９】
本発明によれば、特に有利には、駆動周波数は７７ＧＨｚまたは約２４ＧＨｚの範囲で選定される。これにより本発明の装置はアダプティブクルーズコントロールＡＣＣまたはショートレンジレーダーＳＲＲなどの適用分野での使用に適している。
【００３０】
第３の間隔１３３は、本発明によれば、挿入減衰量をできる限り小さくするように選定されている。第３の間隔１３３を有効波長のほぼ１／４の値に選定すると、対向電極（つまり第１の接続部材１３０および第２の接続部材１３１）とブリッジ形素子（つまり第３の接続部材１２１）とによって形成される容量でのオン状態での反射が補償される。すなわちスイッチ構造の適合化が著しく改善される。
【００３１】
本発明では、導波体のアース線路１１０、１１１のあいだに２つ以上の接続部材を設けることもできる。この場合特に有利には、接続部材の個数を奇数とする。なぜなら接続部材が導波体のアース線路１１０、１１１のあいだで中央に存在していると金属ブリッジ形素子１２１の変形が容易に可能となって有利だからである。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の装置の平面図である。
【図２】
ａは切断線Ｃ１で切断した本発明の装置の断面図であり、ｂは切断線Ｃ２で切断した本発明の装置の断面図である。
【図３】
切断線Ａで切断した本発明の装置の断面図である。
【図４】
切断線Ｂで切断した本発明の装置の断面図である。
【図５】
本発明の装置の斜視図である。
【図６】
本発明の装置の等価回路図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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