(57)【要約】クリーンルーム用のエアフィルタ支持システムは、支持面に固着した支持ロッド（１２）によって支持された多数のフィルタ支持要素（１０）で構成される。アパーチャ（２４、２６、２８）を形成した一対の直交アーム（２０、２２）を有するコネクタ／ハンガー・ブラケット（１４）が、各保持ロッドに固着される。支持要素（１６、１８）が、開口（４０、６６、６８）を貫通する固着要素（３８、６２、６４）によって横方向に直交アームに固着される。支持要素の各々の頂面にはシール・ガスケット（３４、３６、７０、７２）が設けられ、支持要素、フィルタ要素間をシールしている。空気力学に則った形状の照明器具（４２、５２）が、支持要素（１６）の下部に固着してあり、クリーンルーム内へ非乱流の空気流を与えるようになっていると共に、支持要素（１８）も空気力学に則った形状となっており、クリーンルームに非乱流の空気流を与えるようにしてある。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のフィルタ要素を支持するためのクリーンルーム・エアフィルタ支持システムであって、
支持面に固着された複数の隔たった支持ロッドと、
複数の隔たった支持ロッドの各々に固着されたコネクタ／ハンガー・ブラケットとを含み、該コネクタ／ハンガー・ブラケットは、複数の異なったサイズのアームを含み、これら異なったサイズのアームの各々に少なくとも１つのアパーチャが形成してあり、
各コネクタ／ハンガー・ブラケットに横方向に固着した複数の支持要素と、
フィルタ要素の下面の下方で、複数の支持要素を各コネクタ／ハンガー・ブラケットに横方向に固着し、クリーンルーム内部でエアフィルタ支持システムにフィルタ要素を挿入したり、エアフィルタ支持システムからフィルタ要素を取り出したりすることができるようにするための固着手段と、
を含むことを特徴とするクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項２】
固着手段が、複数の支持要素に形成した開口を通して異なったサイズのアームの各々に形成した少なくとも１つのアパーチャ内へ横方向に通っている固着要素であることを特徴とする、請求項１のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項３】
複数の支持要素の各々が、その頂部支持面にシール手段を含むことを特徴とする、請求項１または２のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項４】
複数の支持要素が、好ましくは、互いに約９０度の角度で配置してあり、複数の支持要素うちの１つが、照明器具と、その底面に取り付けた空気力学に則った形状のカバーとを有することを特徴とする、請求項１から３のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項５】
さらに、第２の複数の支持要素を形成する空気力学に則った形状の支持チューブを含むことを特徴とする、請求項１から４のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項６】
複数の支持要素の各々が、対応する対になった支持チューブであることを特徴とする、請求項１から５のいずれか１項に記載ののクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項７】
複数の支持要素のうちの１つが、その頂部支持面に固着したシール・ガスケットを有する複数の支持チューブと、これら支持チューブの下面に固着してあり、照明器具または仕切り壁を支持する保持要素とを含むことを特徴とする、請求項１から６のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項８】
第１の短くて幅の広い、異なったサイズのアームが、各々が１つのアパーチャを有する別個の側部を含み、第２の長くて幅の狭い、異なったサイズのアームに、２つの側方に隔たったアパーチャが設けてあることを特徴とする、請求項１から７のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ支持システム。
【請求項９】
複数の支持要素の下縁が空気力学に則った形状となっており、エアフィルタ要素からクリーンルーム内へ滑らかな空気流を与えることを特徴とする、請求項１から８のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ・システム。
【請求項１０】
複数の支持要素のうちの１つが、照明器具保持要素と、この照明器具保持要素に取り外し自在に取り付けた空気力学に則った形状のカバーとを含むことを特徴とする、請求項１、２、３、５、６、８、９のいずれか１項に記載のクリーンルーム・エアフィルタ・システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
１．発明の技術分野
本発明は、全体的には、エアフィルタ支持システムに関するものであり、一層詳しくは、クリーンルーム用のエアフィルタの底部装填式支持システムの改良に関する。
【０００２】
２．関連技術の説明
クリーンルームは、空気中の粒子数を指定限界まで減らすために、多くの産業、たとえば、電子産業、医薬産業で一般に使用されている。最も一般的なアプローチは、部屋の天井または側壁から扁平なフィルタの層を吊り下げる方法であり、フィルタは、天井または側壁の全面積にわたって延びている。加圧空気が、ブロワーからダクトを通して、または、プレナムからエアフィルタを通して、クリーンルーム内のオープンスペースへ導入され、次いで、クリーンルームの出口を経て戻される。フィルタ要素は、通常、支持要素（たとえば、格子（グリッド））で支えられており、この支持要素は、各フィルタ要素の全周フレームと係合している。加えて、格子要素とフィルタ・パネル・フレームとの間にエアシール・ガスケットまたはシール・ゲルを配置する必要がある。公知のグリッド支持システムは、常に効率よく作動するとは限らないので、クリーンルーム用のフィルタ・システムおよび／または支持システムを改良する試みが数多く行われてきた。
【０００３】
モンソン（Ｍｏｎｓｏｎ）等に対する米国特許第４，９４６，４８４号、ルドウィック（Ｌｕｄｗｉｇ）に対する米国特許第５，１９２，３４８号、スプランシー（Ｓｐｒａｎｓｙ）等に対する米国特許第５，６２０，３６９号およびビカード（Ｂｉｋａｒｄ）等に対する米国特許第５，６８７，５２７号が、クリーンルーム・フィルタ懸架システムを示しており、そこでは、フィルタ・ユニットのアレイが、未濾過空気の漏出を防ぐべくフィルタをシールするのに使用されるゲル・シーラントまたはシール・ストリップを含む格子で支持されている。
【０００４】
ジーンソウ（Ｊｅａｎｓｅａｕ）等に対する米国特許第５，８７１，５５６号が、クリーンルーム天井を開示しており、そこでは、個々のフィルタ・ユニットが、非共有懸架組立体によって個別に吊り下げられていて自立式となっており、据え付け容易であり、格子その他の多数ユニット支持手段から自由に個別に取り外すことができるようになっている。これらの非共有組立体は、仕切りの各側部に設けてある個別のフィルターパック間で各フィルタ・ユニットの中央に装着してある。
しかしながら、クリーンルーム用のフィルタ支持システムを改良しかつ簡略化することがなお望ましい。
【０００５】
（発明の概要）
本発明は、天井または側壁で使用することができ、コストが低く、性能がより良好であり、任意タイプのフィルタの据え付けも可能としたクリーンルーム・フィルタ支持システムを提供する。本発明は、現在利用できるものよりも融通性に富む支持システムを提供するものであり、複数の相互連結した支持要素を含み、実質的に任意タイプのフレーム付きフィルタ要素またはフィルタ・パネルを支持する格子システムを含む。さらに、好ましくは、空気力学的な照明器具および翼形フレーム手段を格子部材の下部に追加または形成するとよい。本発明は、個々のフィルタ要素を支持するように天井または他の支持面から吊り下げた複数の間隔を置いた支持要素を含む。各支持要素は、支持ロッドと、複数の格子部材を支持するための独特のコネクタ／ハンガー・ブラケットとを含む。フィルタ要素は、底部から、すなわち、クリーンルーム内で、格子システムに対して容易に据え付けることができ、或いは、取り外すことがができる。本発明は、隣り合った格子部材間で、および、格子部材とフィルタ要素との間での空気漏出を防ぐようにシールするガスケットを利用する。
【０００６】
本発明の格子部材は、底部すなわちクリーンルーム側からフィルタ要素／ファン・フィルタ要素の据え付け、取り外しを可能にするために、フィルタ要素／ファン・フィルタ要素の面を含む平面の下方からコネクタ／ハンガー・ブラケットに留めてある。
本発明の格子部材は、一体であってもよいし、或いは、長さ方向において一対の協働する半分部分に分割してあってもよい。完成した格子システムは、一体格子部材であってもよいし、分割格子部材であってもよいし、両方の組み合わせであってもよい。組み合わせが何であれ、各格子部材または半分格子部材は、個別に据え付け、取り外しが可能である。これにより、隣り合った要素類を動かすことなく、フィルタ要素／ファン・フィルタ要素の据え付けまたは取り外しが可能となる。
【０００７】
完成した時、本発明の格子部材および照明器具要素は、翼形となり、格子誘因の乱流を低減する。乱流があると、空気搬送汚染物を捕らえ、ルーム清浄度を低減することになるのである。
本発明の格子部材は、実質的に任意の製造業者からのフィルタ／ファン・フィルタ要素を受け入れる。
いくつかの格子部材は、照明器具を含み、他のものより僅かに幅が広くなっている。これら幅の広い格子部材は、クリーンルーム内へ下からシステムを通して防火用スプリンクラ配管、電線管その他の部材を延ばせるスペースを提供する。格子部材の下方にある照明器具のランプは、短くなっており、これを可能にするスペースを両端に創り出す。
【０００８】
したがって、本発明の包括的な目的は、クリーンルームのエアフィルタ・システムのための改良して、簡略化した支持システムを提供することにある。本発明の特別な目的は、複数の個別の支持要素または支持部材で構成された改良して、簡略化したクリーンルーム・エアフィルタ支持システムを提供することにある。本発明の別の特別な目的は、独特のコネクタ／ハンガー・ブラケットを設けたオーバーヘッド天井その他の支持構造から吊り下げ、クリーンルーム内部から挿入したフィルタ要素を支持する容易に据え付け、取り外し可能な格子要素を保持する支持ロッドで構成された改良して、簡略化したクリーンルーム・エアフィルタ支持システムを提供することにある。
【０００９】
本発明のこれらの目的および他の目的は、フィルタ要素またはパネルのアレイのためのエアフィルタ支持システムを提供することによって達成される。この支持システムは、天井その他の支持面に固着した隔たった支持ロッドによって保持された複数の格子部材を含む。独特のコネクタ／ハンガー・ブラケットは、各支持ロッドに取り付けてある。格子部材は、フィルタ・パネルを保持した剛性フレームを有するフィルタ要素を支持するように各コネクタ／ハンガー・ブラケットに連結してある。格子部材は、コネクタ／ハンガー・ブラケットに設けた開口内へ横方向に挿入した要素固着手段によって隔たった支持ロッド上にあるコネクタ／ハンガー・ブラケットに横方向に固着する。格子部材は、フィルタ要素と協働するシール・ガスケットがその頂面に設けてある。本発明の好ましい実施例においては、空気力学に則った形状の照明器具が格子部材のいくつかの下に固着され、残りの格子部材は、それ自体、空気力学に則った形状である。
【００１０】
本発明の、新規である考えられる目的および特徴は、特に添付の特許請求の範囲の各項に記載されている。本発明は、さらなる目的および利点と共に、構成、作動方法の両方について、添付図面に関連して行った以下の説明を参照することによって、最も良く理解することができる。
【００１１】
（好ましい実施例の説明）
以下の説明は、当業者が発明を使用できるように行っており、発明者の意図した、その発明を実施する最良のモードを記載している。しかしながら、本発明の全体的な原理を簡略化した底部装填式エアフィルタ支持システムを提供するように特別に定義したので、当業者にとって種々の変更は容易に明らかとなろう。
次ぎに図面を参照して、ここには、本発明の底部装填式エアフィルタ天井支持システムの好ましい実施例が示してある。しかしながら、本発明のエアフィルタ支持システムを側壁にも取り付けることができることを理解すべきである。
【００１２】
本発明の底部装填式エアフィルタ支持システムは、ねじ付きの支持ロッド１２を有する複数の個別の間隔を置いた支持部材１０を含み、便宜上、そのうちの１つの支持部材のみが図示してある。各支持ロッド１２には、たとえば、支持ロッド１２が、コネクタ／ハンガー・ブラケット１４の中央開口１５にねじ締めすることによって、コネクタ／ハンガー・ブラケット１４が取り付けてある。。支持ロッド１２は、天井その他の支持構造から吊り下げてあり、格子部材または支持要素１６、１８によって、隣接のフィルタ要素７８（図３参照）を支持するように間隔を置いている。格子部材１６、１８は、一体要素として形成してもよいし、２つ以上の部片に分割または作ってあってもよい。フィルタ要素７８は、好ましくは、格子部材１６で支えられるフレームを有するとよい。
【００１３】
コネクタ／ハンガー・ブラケット１４の各々は、複数のアーム２０、２２を含む。これらのアームは、好ましくは、長さおよび幅が異なっており、互いにほぼ直角、すなわち、９０度で延びている。より短くて、より幅が広い２０の両側部には、１つずつ、アパーチャ（孔）２４が形成してあり、より長くて幅の狭いアーム２２の各々には、間隔を置いたアパーチャ２６、２８が形成してある。図面に示すように、格子部材１６は、個別のチューブ３０、３２に分割した頂部を有し、これらのチューブの頂面にはガスケット３４、３６が接着してある。チューブ３０、３２は、それらの対向端に形成した開口４０を貫いてアパーチャ２４内へ横方向に通る留め手段３８によって、アーム２０に固着してある。
【００１４】
もし、コネクタ／ハンガー・ブラケット１４が角（コーナ）に取り付けてあるならば、各アーム２０、２２のうちの１つだけが必要となろう。一方、コネクタ／ハンガー・ブラケット１４が壁面に対して取り付けてある場合には、３つのアームが必要である。さらに、格子部材１６、１８にある対になったチューブのうちの１つは、必要に応じて省略されることになる。
【００１５】
照明器具のための保持手段またはホルダ４２が、たとえば、取り付け手段または固着手段、たとえば、ねじ（図示せず）によって、チューブ３０、３２の下面に固着してある。ガスケットのようなシール手段４４が、保持手段４２の頂面４８に形成したスロット４６内に保持されている。もし照明が必要ならば、ライト・チューブ５０を保持手段４２内に電気的に接続する。このライト・チューブは、好ましくは、プラスチックで作った空気力学に則った形状のカバー５２によって覆われており、光が通過できるようにするとよい。空気力学に則った形状のカバー５２は、好ましくは、たとえば、カバーに形成してあって、保持ブラケット４２の拡大下端５６内に弾力的に保持されたスロット５４によって、保持ブラケット４２内の所定位置に取り外し自在に保持されているとよい。仕切り壁の諸部位で、保持手段４２の代わりに、仕切り壁を支えるのに特に適している同様の保持手段を使用する。
【００１６】
各アーム２２には、格子部材１８が固着してある。図面に示すように、格子部材は、好ましくは、アーム２２の両側面に取り付けた突き合わせ式の空気力学に則った形状のチューブ５８、６０から形成するとよい。しかしながら、チューブ５８、６０は、一体に形成してもよい。これらのチューブ５８、６０は、それらの端部に形成した整列状態のオフセット開口６６、６８を貫いてアパーチャ２６、２８内へ横方向に延びる留め手段６２、６４によって、各アーム２２に支持されている。チューブ５８、６０は、各々、その頂部支持面にあるシール・ガスケット７０、７２とシール要素７４、７６とを含み、これらが協働して組み立て位置でチューブをシールする（図３を参照）。
【００１７】
したがって、本発明の底部装填式支持システムが、クリーンルーム用のほぼ任意タイプのエアフィルタ・パネルのための独特の支持システムを提供することがわかる。このシステムは、複数の挿入、取り出しの容易な格子部材を含み、これらの格子部材は、フィルタ・パネル面を含む平面下方で、隔たった支持ロッド上に保持されたコネクタ／ハンガー・ブラケットに横方向に固着されている。
【００１８】
当業者であれば、本発明の範囲、精神から逸脱することなく、ここに説明した好ましい実施例の種々の適用および変更を行うことができることは明らかであろう。したがって、添付の特許請求の範囲内で、本発明をここに特別に説明した形態以外の形態で実施できることを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】支持面から吊り下げ、フィルタ要素のアレイを支持するための複数の個別の格子部材を有する支持ロッドおよびコネクタ／ハンガー・ブラケットを示す部分展開斜視図である。
【図２】本発明の独特の支持システムを示す別の部分展開斜視図である。
【図３】完全組み立て位置で本発明のエアフィルタ支持システムを示し、照明器具を格子部材の１つの下方位置で示し、それに直角な空気力学に則った形状の格子部材を示す別の斜視図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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