(57)【要約】電気活性トランスデューサはは、第１及び第２の電極パターン（１４，１６）によって挟まれた強誘電体材料（１２）を含む。装置をアクチュエータとして使用するときは、電極パターン（１４，１６）に電圧を印加するとき、第１及び第２の電極パターン（１４，１６）は強誘電体材料に電界を導入するように構成されている。センサとして用いるときは、第１及び第２の電極パターン（１４，１６）は、強誘電体材料（１２）がそれらに実質的に直交する方向に反れるとき、強誘電体材料（１２）において誘起された電界を生成するように構成されている。いずれの場合も、電界は、ｉ）第１の電極パターンと第２の電極パターン（１４，１６）との間の強誘電体材料の一領域で始まり、ｉｉ）（電界が始まる）強誘電体材料（１２）のその領域から径方向外方でかつ強誘電体材料（１２）によって画定された平行面に実質的に平行に延びる。
2006515463.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面及び前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面にあるところの強誘電体材料と；  
前記第１の面に結合した第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合した第２の電極パターンと；を備え、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンがそれらに印加された電圧を有するときに、前記強誘電体材料に電界を導入するように構成されており、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れ、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記強誘電体材料が前記第１の面及び前記第２の面に実質的に直交する方向に反れるとき、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成するように構成され、前記誘起された電界が前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記誘起された電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのそれぞれにおいて誘起された電流が前記反れを示す、電気活性トランスデューサ。
【請求項２】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはそれぞれ他方の鏡像である請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面について画定されたものである請求項２に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項４】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項５】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して並んだ前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項６】
前記第１の電極パターン及びこれに結合する前記第２の電極パターンによって、前記強誘電体材料を包む誘電体材料を備える請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項７】
前記強誘電体材料の前記の少なくとも一つのピースは誘電体材料の単一シートを備え、前記第１の面及び前記第２の面のいずれかが前記の単一シートの主要面である請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項８】
強誘電体材料の第１の片であって、これに結合された前記第１の電極パターンを有する強誘電体材料の第１の片と；
強誘電体材料の第２の片であって、これに結合された前記第２の電極パターンを有する強誘電体材料の第２の片と；
前記の強誘電体材料の第１の片は、前記強誘電体材料によって画定された周縁を越えて、前記の強誘電体材料の第２の片に一体にされている請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項９】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１０】
第１の面と前記第１の面に対峙する第２の面を画定するコンポジット強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面に在り；
前記第１の面に結合された第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合された第２の電極パターンと；
前記第１の電極パターンとこれに結合した前記第２の電極パターンを備えた前記強誘電体材料を包む誘電体材料と；を備え、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンがそららに印加された電圧を有するときに、前記強誘電体材料に電界を導入するように構成されており、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れ、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記強誘電体材料が前記第１の面及び前記第２の面に実質的に直交する方向に反れるときに、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成するように構成され、前記誘起された電界が前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の前記領域で始まり、前記誘起された電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのそれぞれにおいて誘起された電流が前記反れを示す、電気活性トランスデューサ。
【請求項１１】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはそれぞれ他方の鏡像である請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１２】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面について画定されたものである請求項１１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１３】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１４】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して並んだ前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１５】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１６】
第１の面と前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料の片であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面に在るところの強誘電体材料の片と；
前記の強誘電体材料の片より大きな誘電体材料の第１の片と；
前記の強誘電体材料の片より大きな誘電体材料の第２の片と；
前記の誘電体材料の第１の片に結合された第１の電極パターンと；
前記の誘電体材料の第２の片に結合された第２の電極パターンと；
前記の誘電体材料の第１の片であってこれに結合された前記第１の電極パターンを備えた前記の誘電体材料の第１の片と、前記の誘電体材料の第２の片であってこれに結合された前記第２の電極パターンを備えた前記の誘電体材料の第２の片とが前記の誘電体材料の片について挟まれ、前記第１の電極パターンは前記第１の面に結合され、前記第２の電極パターンは前記第２の面に結合され、
前記の誘電体材料の第１の片は、前記の強誘電体材料の片の周縁を越えて、前記の誘電体材料の第２の片に連結され、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンに電圧が印加されたときに、前記第１の電極パターンが、前記の強誘電体材料の片に電界を導入するように前記第２の電極パターンに対して整列し、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れ、
前記強誘電体材料が前記第１の面及び前記第２の面に実質的に直交する方向に反れるときに、前記第１の電極パターンが、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成するように前記第２の電極パターンに整列し、前記誘起された電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記誘起された電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのそれぞれにおいて誘起された電流が前記反れを示す、電気活性トランスデューサ。
【請求項１７】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはそれぞれ他方の鏡像である請求項１６に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１８】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面について画定されたものである請求項１７に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１９】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に実質的に直交する方向に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項１６に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２０】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して並んだ前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２１】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１６に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２２】
ｉ）前記の誘電体材料の第１の片と前記の誘電体材料の第２の片との間と、ｉｉ）前記の誘電体材料の第２の片と前記の強誘電体材料の片との間と、ｉｉｉ）前記の誘電体材料の第１の片の一部と、前記の強誘電体材料の片の周縁部を越えて配置する前記の誘電体材料の第２の片の一部との間とにおいて、非導電性接着剤をさらに備えた請求項１６に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２３】
第１の面及び前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面にあるところの強誘電体材料と；  
前記第１の面に結合した複数の第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合した複数の第２の電極パターンと；を備え、
前記の複数の第１の電極パターンのそれぞれが、電極パターン対を画定するように、前記の複数の第２の電極パターンの対応する一に対して整列し、
前記電極パターン対のそれぞれが、電圧を印加されたときに前記強誘電体材料に電界を導入し、前記電界が前記電極パターンの対の間の前記強誘電体材料の領域から出ており、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れ、
電極パターン対のそれぞれは、それらの間の前記強誘電体材料が前記第１の面及び前記第２の面に実質的に直交する方向に反れるときに、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成し、前記誘起された電界は対応する前記電極パターン対の前記強誘電体材料の前記領域で始まり、前記誘起された電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記電極パターン対のそれぞれにおいて誘起された電流が前記反れを示す、電気活性トランスデューサ。
【請求項２４】
前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンとがそれぞれ他方の鏡像である請求項２３に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２５】
前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンとはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらは前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面について画定されたものである請求項２４に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２６】
前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に直交する方向に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項２３に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２７】
さらに、前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的に結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に整列した前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項２３に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２８】
前記の複数の第１の電極パターン及びこれに結合する前記の複数の第２の電極パターンによって、前記強誘電体材料を包む誘電体材料を備える請求項２３に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項２９】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項２３に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３０】
第１の面及び前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面に配置するところの強誘電体材料と；  
前記第１の面に結合した第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合した第２の電極パターンと；を備え、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンがそれらに印加された電圧を有するときに、前記強誘電体材料に電界を導入するように構成されており、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域から発し、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れる、電気活性トランスデューサ。
【請求項３１】
前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンとがそれぞれ他方の鏡像である請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３２】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面において画定されたものである請求項３１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３３】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に実質的に直交する方向に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３４】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して整列した前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３５】
前記の第１の電極パターン及びこれに結合する前記の第２の電極パターンによって、前記強誘電体材料を包む誘電体材料を備える請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３６】
前記の強誘電体材料の少なくとも一の片が単一シートの強誘電体材料を備え、前記第１の面及び前記第２の面のそれぞれが前記単一シートの主要面である請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３７】
誘電体材料の第１の片であって、これに結合された前記第１の電極パターンを備えた誘電体材料の第１の片と；
誘電体材料の第２の片であって、これに結合された前記第２の電極パターンを備えた誘電体材料の第２の片と；をさらに備え、
前記の誘電体材料の第１の片は、前記強誘電体材料によって画定された周縁を越えて前記の誘電体材料の第２の片に連結されている請求項３０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３８】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、トランスデューサに関するものである。さらに詳細には、本発明は、径方向電界をトランスデューサの面において誘起されるときに、面外の動きを生成すると共に、トランスデューサの面において印加された面外の動きをトランスデューサの面における径方向電界に変換する電気活性トランスデューサに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
固体トランスデューサは一般に、電気活性（エレクトロアクティブ）材料を活用する。アクチュエータの場合は、印加電圧に応じて物理的変位を生成しする。一の実施形態では、これらのアクチュエータはプラナー（平坦）であり、これらの結合する一又は二以上の電極と共に一又は二以上の強誘電体材料（例えば、圧電性、ピエゾストリクティブ、焦電気等）を有する。アクチュエータの面は通常、“Ｘ−Ｙ”面として引用され、“Ｚ”方向はそれに直交する。アクチュエータによって、Ｘ−Ｙ面に横たわる電極と共に、（電圧を電極に印加するときに誘起される）電界もＸ−Ｙ面に横たわる。このようなアクチュエータの変位はＸ−Ｙ面にも起きる。装置の圧電電荷定数によって、これらの装置を“ｄ１１”、“ｄ２１”、“ｄ１２”、又は“ｄ２２”であると言われる。ここで、最初の添え字は印加された電界強度の方向を表し、第２の添え字は印加された測定誘起ひずみの方向を表す。数１，２及び３はそれぞれ、Ｘ，Ｙ及びＺ方向に対応する。まとめると、誘起された電界及び対応する変位は、このような固体プラナー型アクチュエータ用に必須にコプラナー（同一平面上）にある。逆は、プラナー型センサーである。すなわち、面内変位は、面内変位を形成する力を示す面内電界を生成する。
【０００３】
トランスデューサは、面外変位（すなわち、Ｚ方向において）は、Ｘ−Ｙ面において電界の印加によって生ずる状態でも機能する。このような状態では、トランスデューサは“ｄ１３”又は“ｄ２３”装置として作用する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明では、第１の面及びこの第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料の少なくとも一つの片を含む。第１及び第２の面は実質的に平行な面に存する。第１の電極パターンは第１の面に結合し、第２の電極パターンは第２の面に結合している。アクチュエータとして使用するときは、電極パターンに電圧を印加するとき、第１及び第２の電極パターンは強誘電体材料に電界を導入するように構成されている。電極パターンは、電界が、ｉ）第１の電極パターンと第２の電極パターンとの間の強誘電体材料の領域で始まり
、ｉｉ）（電界が始まる）強誘電体材料の領域から径方向外方でかつ強誘電体材料によって画定された平行面に実質的に平行に延びる。結果として、強誘電体材料は、電界が始まる強誘電体材料の領域に対して対称に反れる。言い換えると、強誘電体材料は、径方向に対称にかつ電界に実質的に直交する方向で反れる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
センサとして用いるときは、第１の電極パターン及び第２の電極パターンが、強誘電体材料が第１の面及び第２の面に実質的に直交する方向に反れるとき、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成するように構成されている。誘起された電界が第１の電極パターンと第２の電極パターンとの間の強誘電体材料の一領域で始まる。結果として、誘起された電界は第１及び第２の電極パターンのそれぞれに電流を誘起する。この電流が反れを示す。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
図面特に図１に示すように、本発明の電気活性トランスデューサの概略構成を符号１０で示す。この例では、トランスデューサ１０はアクチュエータとして使用される。しかしながら、トランスデューサ１０はアクチュエータ（すなわち、電圧がｚ軸方向の変位をなす電界を生成するために印加される）又はセンサ（すなわち、環境が電圧を示す電界を生成するｚ軸方向の変位を引き起こす）として作動できることは理解されたい。
【０００７】
トランスデューサ１０の必須の要素は上部電極パターン１４と下部電極パターン１６との間に挟まれた強誘電体材料１２である。さらに詳細には、電極パターンに印加される電圧が以下に説明するような電界を生成するように強誘電体材料１２に結合（カップリング）されるように、電極パターン１４及び１６が強誘電体材料１２に結合される。このような強誘電体材料１２へのカップリングは種々の公知の手法で実現できる。例えば、電極パターン１４及び１６は、蒸着、印刷、メッキ又は接着等、この選択は本発明で制限されない手法によって直接強誘電体材料１２の反対側の面に付けられる。
【０００８】
強誘電体材料１２は、圧電（性）、ピエゾストリクティブ（piezorestrictive）、電わい（マグネシウムニオブ酸チタン酸鉛（ＰＭＮ−ＰＴ）のような）、焦電気性等の電界にさらしたときに変形する材料構造である。本発明のテストにおいて十分に機能した一のクラスの強誘電体材料は、以下でさらに説明するように、トランスデューサ１０が対称的で面外の変位を維持するように十分な剛性（スティフネス）を有するジルコン酸チタン酸鉛として公知のセラミック圧電材料である。
【０００９】
強誘電体材料１２は典型的には、ここで使用されているような用語“コンポシット”は（材料のうちの一つは強誘電体）を用いて一緒に混合される一又は二以上の材料を意味し、図２に示したような側面図においてよく示されているような実質的な平行面に横たわる主要な対向面１２Ａ及び１２Ｂを有する単一シート又はモノリシックなスラブとして形成することができる。しかしながら、ここで用いられる用語“コンポシット”は：i)層１２Ｃ，１２Ｄ，１２Ｅ（図３）のような多層強誘電体材料層から成る強誘電体ラミネート、又は、ii)片１２Ｆ，１２Ｇ，１２Ｈ（図４）のような一緒に結合された多重強誘電体片を示す。それぞれの場合に、主要な対向面１２Ａ及び１２Ｂは強誘電体材料１２に対して定義されていることに留意されたい。
【００１０】
一般的に、上部電極パターン１４は、面１２Ａ及び１２Ｂで定義された平行面すなわち、Ｘ−Ｙ面において実質的に平行な面において、強誘電体材料１２に電圧を印加するときに径方向の電界Ｅが生成するように整列（アライン）している。さらに詳細には、電極パターン１４及び１６は、電界Ｅが発生し、強誘電体材料１２の領域１２ＺからＸ−Ｙ面において径方向外方へ拡がる（延びる）ように強誘電体材料１２の両側に整列している。領域１２Ｚのサイズ及び形状は電極１４及び１６によって決まる。この種類は以下に記載する。
【００１１】
対称的で径方向に分布した電界Ｅは（印加された電界Ｅに直交する）ｚ軸に沿って強誘電体材料１２を力学的に歪ませる。この結果は驚くべきであり、従来の電気活性トランスデューサの教示及び装置に反対である。すなわち、面外（すなわち、Ｚ軸）変位にはアクティブ（活性）材料の厚さを介して非対称な電界を要することがトランスデューサ技術において十分に受け入れられてきた。非対称電界は、電極の極性反転の際に、インサイチューバイモルフを作成するために、活性材料の一部を介して固有に誘起された極性に対抗する（逆らう）材料において広範囲の非対称ひずみ勾配を導入する。この結果、強誘電体材料の両側に電極を有することによって得られたものである。しかしながら、本発明のテストは、対称電界Ｅが発生し、領域１２Ｚから両側の径方向外方へでかつ強誘電体材料の厚さ方向を通じて延びるように、変位が強誘電体材料１２の両側に整列された電極パターン１４及び１６を用いて実質的に増大することを示している。、
【００１２】
電極パターン１４及び１６は、本発明の範囲を逸脱することなく、領域１２Ｚの種々の形状（すなわち、Ｘ−Ｙ面を横切る面から見たもの）。例えば、図５に示したように、領域１２Ｚはここから径方向外方へ延びる径方向電界Ｅを有する点であり得る。領域１２Ｚの周縁は、ここから径方向外方へ延びる径方向電界Ｅを有する円（図６）又は正方形（図７）であり得る。領域１２Ｚの他のＸ−Ｙ面形状（例えば、三角形、五角形、六角形）も本発明の範囲を逸脱することなく画定され得る。
【００１３】
本発明に対応して、径方向に延びる電界ＥはＸ−Ｙの延びる一方、変位Ｄが面１２Ａ及び１２Ｂに実質的に直交するＺ方向に生じる。どの程度の電界Ｅを印加するかに依存して、変位Ｄは正又は負のＺ軸のいずれかに沿って上昇又は下降し得るが、典型的には所定の電界に対しては通常はＸ−Ｙ面を横切らない。変位Ｄの量は、径方向電界Ｅが発生する領域１２Ｚの周縁で最大である。変位Ｄの量は、領域１２Ｚについて対称である強誘電体材料１２の反れと共に、領域１２Ｚからの径方向距離と共に減少する。すなわち、強誘電体材料１２は径方向に対称な方式でかつ面１２Ａ及び１２Ｂに実質的に直交する方向に反れる。
【００１４】
上述のように、種々の電極パターンを用いて本発明で面外若しくはＺ軸変位を得ることができる。種々の非限定的電極パターン及びこれによって発生した局所的な電界を図８〜図１５を参照して記載する。ここで、“Ａ”図は上から見たような上部電極パターン１４を示しており、“Ｂ”図は下から見たような対応する下部電極パターンを示し、“Ｃ”図は上部及び下部電極に結合されたパターンを有する強誘電体材料の断面図であり、さらに特定電極パターンに電圧を印加することによって生成された局所的な電界を示す。
【００１５】
図８Ａ〜図８Ｃでは、上部電極パターン１４及び下部電極パターン１６は、一の極性に結合された電極１４Ａ及び１６Ａと反対の極性に結合された電極１４Ｂ及び１６Ｂとを有する内部循環電極を備える。例示のために、電極１４Ａ及び１６Ａはそれらに印加される正の極性を有し電極１４Ｂ及び１６Ｂはそれらに印加される負の極性を有する。
【００１６】
パターン１４及び１６は、これらが互いに図８Ｃで示したような鏡像（ミラーイメージ）であるように配置される。その結果の局所的な電界ラインは形状ライン１８によって示されている。この例では、径方向電界Ｅは、図５で示した電界に類似する非常に小さい径の領域１２Ｚから発生する。
【００１７】
らせん状内部循環電極パターンは円に基づく必要はない。例えば、内部循環電極は図９Ａ〜図９Ｃに図示されているように正方形に基づいている。他のジオメトリの内部循環電極（例えば、三角形、矩形、五角形等）も本発明の範囲から逸脱することなく使用できる。
【００１８】
電極パターンは互いに入り込んだ（インターディジティト）リングとして作製されてもよい。例えば、図１０Ａ〜図１０Ｃは、上部電極パターン１４及び下部電極パターン１６が、図１０Ｃに示されているように極性が整列されるようにＺ軸において互いに整列するように配置した円状インターディジティトリング電極パターンを示している。またしても、インターディジティトリング電極パターンは、円以外のジオメトリ形状に基づき得る。従って、図１１Ａ〜図１１Ｃは、他の適切なジオメトリ形状の例として正方形状のインターディジティトリング電極パターンを示している。
【００１９】
上部及び下部電極パターンは鏡像又は他の整列したパターンに限定されない。例えば、図１２Ａ〜図１２Ｃは、上部及び下部電極パターンが図１２Ｃに示した断面で見るときに互いに交互交代している螺旋状電極の使用を示している。各電極パターンは、局所的電場１８が強誘電体材料１２の面１２Ａ及び１２Ｂの間に延びるように単一極の電極パターンによって画定される。できた交互交代又はクロスパターンは、図１３Ａ〜図１３Ｃで示したようなリング状電極のような他の電極パターンによって実現できることに留意されたい。
【００２０】
より大きな量の面外変位Ｄを要求する用途に対しては、電極パターンは、誘起電界Ｅがトランスデューサの局所的な歪みの場をエンハンスするように設計できる。一般に、これは、トランスデューサの力学的な歪みの場を補う電極パターンを提供することによって実現される。この結果を実現する一の手法は、上部及び下部電極パターンのそれぞれの中央部分に形作られた片（シェイプトピース）の電極材料を提供することであり、その形作られた片はそれに印加される反対の極性の電圧を印加する。形作られた電極材料の間の局所的な電界は強誘電体材料の面に直交し、他方、上部及び下部電極パターンの残余物は、径方向の電界が反対極性の形作られた電極材料の整列されたエッジから始まるように構成される。
【００２１】
例えば、図１４Ａ〜図１４Ｃは、形作られた負の電極１４Ｃは上部電極パターン１４及び下部電極パターン１６の中央部において形作られた正の電極１６Ｃは全体に整列されている。この実施形態の下では、（電極１４Ｃ及び１６Ｃの周縁に整列した（並んだ））円形に形作られた領域１２Ｚは強誘電体材料１２において、ここから径方向外方へ延びる径方向電界Ｅと共に画定される。このおうなひずみ場のエンハンスメントは、これらの形は三角形、正方形、五角形等であり得るように、円形に形作られた電極１４Ｃ及び１６Ｃに限定されないことに留意されたい。さらに、電極パターンの残留部は、上述のインターディジティトリング又は又はクロスパターン（交互交代の）電極パターンであり得る。
【００２２】
トランスデューサの局所的ひずみ場のエンハンスメントは、径方向電界は局所的電界の始まりによって画定された周縁から必須で始まるように、電極パターンの中央部で電極ボイド又は“ホール”を提供することによって達成される。例えば、図１５Ａ〜図１５Ｃは、電極のボイドであるそれぞれ中央に位置する上部及び下部領域１４Ｄ及び１６Ｄを画定する螺旋状内部循環電極パターンを示す。結果として、誘起径方向電界Ｅは、局所的な電界１８が始まる点すなわち、整列した領域１４Ｄ及び１６Ｄの周縁近傍が始まりである。また、中央電極ボイド領域１４Ｄ及び１６Ｄは円形形状に限定されず、電極パターンは上述のインターディジティトリング又はクロスパターン電極パターンであり得る。さらに、強誘電体材料１２は除去され、又は“打ち抜き”され得、ここでそれは領域１４Ｄ及び１６Ｄに並んでおり、これによって、トランスデューサアセンブリ１０を通り抜けるホールを提供する。
【００２３】
電極パターンの種類にかかわらず、電気活性トランスデューサの構成は種々の方式で実現できる。例えば、電極パターンは強誘電体材料上に直接付けることができる。さらに、トランスデューサは、トランスデューサを環境から防水するために、又はさもなければ、保護するために、誘電材料にすっぽり包むことができる。非限定的な例では、一の例及び廉価な構成を図１６に分解図を示す。上部電極パターン１４をエッチングし、印刷し、メッキし、又はさもなければ、誘電材料から成る膜２０に付ける。下部電極パターン１６は同様に誘電材料から成る膜２２に付ける。それぞれの電極パターンを有する膜２０及び２２を、点線２４によって示された非導電性接着剤を用いて強誘電体材料に結合する。膜２０及び２２のそれぞれは、強誘電体材料材料１２の周縁を越えて延びる膜部２０Ａ及び２２Ａを非導電性接着剤２４を用いて互いに結合できる。図１６に示した構造を互いに押しつけるとき、環境から保護される電界活性トランスデューサアセンブリ１０を図１７で示したように形成される。図において、非導電性接着剤を図の明解さのために省略している。
【００２４】
本発明は、以下にしめすような単一の電気活性トランスデューサに限定されない。さらに特定的には、本発明の教示は、電気活性トランスデューサアセンブリアレイを提供することに拡張でき、この例を図１８において符号１００で示した。トランスデューサアセンブリアレイ１００は、１４−１／１６−１、…、１４−Ｎ／１６−Ｎの複数の電極パターン対を有する強誘電体材料１２を含む。各電極パターン対は、上部電極パターン及び下部電極パターンによって画定された前述の電極パターン対として機能する。トランスデューサアセンブリアレイ１００で用いられる各電極パターン対は同じであり得るが、異なるものでもよい。各電極パターン対用のオプションは、本発明に対応する単一の電気活性トランスデューサに対して記載した全ての前述のものを含む。さらに、単一の電気活性トランスデューサについての場合のように、強誘電体材料１２及び電極パターン対１４−１／１６−１、…、１４−Ｎ／１６−Ｎは保護用誘電材料３０に包まれている。
【００２５】
本発明は、個々のトランスデューサパラメータ及び機能が特定の用途用に調整可能である。例えば、電極パターン及び電極間の間隔を変更して、電界強度、ひずみベクトル及び変位ベクトルを調整することができる。強誘電体材料組成物及び／又はジオメトリを変更して、装置の電気的及び機械的挙動を調整することができる。誘電包装及び接着剤の性能パラメータは、構成された装置の処理パラメータ、作動パラメータ及び耐久パラメータに影響を与える。印加された電圧の電力及び周波数は、ひずみ、変位及び電力消費パラメータを与える。
【００２６】
電気活性トランスデューサを使用して、Ｘ−Ｙ面誘起電界からＺ軸の面外変位を生成することができる。面外の動きは径方向電界点又は開始点領域について同心である。面外の動きは機械的連係（リンケージ）なしでもたらされ、これによって装置のサイズ及び重量を低減する。本発明は薄膜作製自体につながるので、本発明の教示によってなされた装置は関心の高いサイズである幅広い種類のマイクロエレクトロニクス製品に組み込まれる。
【００２７】
本発明の電気活性トランスデューサは、Ｚ軸面外変位をＸ−Ｙ面誘起電界に変換する構成でもあり得る。さらに詳細には、強誘電体材料のＺ軸面外変位は、上部及び下部電極パターンにおいて電位を生成する径方向電界を誘起／生成する。電極パターンにおける電流（又は電圧）を測定でき、かつ、Ｚ軸変位量を示すものである。このＺ軸変位量はこのような変位を生ずる力のＺ軸成分を示すものである。
【００２８】
この本発明のわずかの実施例を上に詳述したが、当業者は本発明の新規な教示及び利点から実質的に逸脱することなく、多くの変形が可能である。従って、このような全ての変形は、特許請求の範囲に画定されているような本発明の範囲内に含まれるものである。特許請求の範囲では、ミーンズプラスファンクション及びステッププラスファンクションの文節は、記載された機能及び構造的な均等物だけでなく、均等な構造をも実施するような構造又は行為をカバーすることを意図している。釘とネジは、釘は一緒に木製部位を固定するための円筒面を利用し、他方、ネジは木製部位を締める環境においてらせん面を用いい、釘とネジは等価な構造であってもよい。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】本発明による電気活性トランスデューサの概略構成図である。
【図２】径方向電界及びこれによって生成された面外変位を図示する図１で示した電気活性トランスデューサの側面概略構成図である。
【図３】トランスデューサの強誘電体材料の層状構造の側面図である。
【図４】トランスデューサの強誘電体材料の片構造の側面図である。
【図５】トランスデューサの強誘電体材料のＸ−Ｙ面における点から生じる径方向の電界の模式図である。
【図６】トランスデューサの強誘電体材料のＸ−Ｙ面における円の周縁から出る径方向の電界の模式図である。
【図７】トランスデューサの強誘電体材料のＸ−Ｙ面における正方形の周縁から出る径方向の電界の模式図である。
【図８Ａ】円形内部循環電極を用いて上部電極パターンの孤立（アイソレート）図である。
【図８Ｂ】円形内部循環電極を用いて下部電極パターンの分離図である。
【図８Ｃ】図８Ａ及び図８Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図９Ａ】正方形内部循環電極を用いて上部電極パターンの分離図である。
【図９Ｂ】正方形内部循環電極を用いて下部電極パターンの分離図である。
【図９Ｃ】図９Ａ及び図９Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１０Ａ】円形インターディジティトリング電極を用いて上部電極パターンの分離図である。
【図１０Ｂ】円形インターディジティトリング電極を用いて下部電極パターンの分離図である。
【図１０Ｃ】図１０Ａ及び図１０Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１１Ａ】正方形インターディジティトリング電極を用いて上部電極パターンの分離図である。
【図１１Ｂ】正方形インターディジティトリング電極を用いて下部電極パターンの分離図である。
【図１１Ｃ】図１１Ａ及び図１１Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１２Ａ】螺旋状電極を用いる上部電極パターンの分離図である。
【図１２Ｂ】螺旋状電極を用いる下部電極パターンの分離図である。
【図１２Ｃ】図１２Ａ及び図１２Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１３Ａ】同心リング電極を有する上部電極パターンの分離図である。
【図１３Ｂ】同心リング電極を用いる下部電極パターンの分離図である。
【図１３Ｃ】図１３Ａ及び図１３Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１４Ａ】内部循環電極に基づく他の上部電極パターンの分離図である。
【図１４Ｂ】内部循環電極に基づく他の下部電極パターンの分離図である。
【図１４Ｃ】図１４Ａ及び図１４Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１５Ａ】内部循環電極に基づく電極パターンの他の実施形態の分離図である。
【図１５Ｂ】内部循環電極に基づく電極パターンの他の実施形態の分離図である。
【図１５Ｃ】図１５Ａ及び図１５Ｂに示した上部及び下部電極パターンを有する電気活性トランスデューサの一部の断面図である。
【図１６】誘電体材料パッケージに包まれた本発明の電気活性トランスデューサの分解図である。
【図１７】構成を完成した後に、図１６の電気活性トランスデューサの側面図である。
【図１８】本発明による電気活性トランスデューサアレイの概略構成図である。
【符号の説明】
【００３０】
１０  トランスデューサ
１２  強誘電体材料
１４  上部電極パターン
１６  下部電極パターン
【図１】
2006515463.tif 000003
【図２】
2006515463.tif 000004
【図３】
2006515463.tif 000005
【図４】
2006515463.tif 000006
【図５】
2006515463.tif 000007
【図６】
2006515463.tif 000008
【図７】
2006515463.tif 000009
【図８Ａ】
2006515463.tif 000010
【図８Ｂ】
2006515463.tif 000011
【図８Ｃ】
2006515463.tif 000012
【図９Ａ】
2006515463.tif 000013
【図９Ｂ】
2006515463.tif 000014
【図９Ｃ】
2006515463.tif 000015
【図１０Ａ】
2006515463.tif 000016
【図１０Ｂ】
2006515463.tif 000017
【図１０Ｃ】
2006515463.tif 000018
【図１１Ａ】
2006515463.tif 000019
【図１１Ｂ】
2006515463.tif 000020
【図１１Ｃ】
2006515463.tif 000021
【図１２Ａ】
2006515463.tif 000022
【図１２Ｂ】
2006515463.tif 000023
【図１２Ｃ】
2006515463.tif 000024
【図１３Ａ】
2006515463.tif 000025
【図１３Ｂ】
2006515463.tif 000026
【図１３Ｃ】
2006515463.tif 000027
【図１４Ａ】
2006515463.tif 000028
【図１４Ｂ】
2006515463.tif 000029
【図１４Ｃ】
2006515463.tif 000030
【図１５Ａ】
2006515463.tif 000031
【図１５Ｂ】
2006515463.tif 000032
【図１５Ｃ】
2006515463.tif 000033
【図１６】
2006515463.tif 000034
【図１７】
2006515463.tif 000035
【図１８】
2006515463.tif 000036
【手続補正書】
【提出日】平成16年11月16日(2004.11.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面及び前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面にあるところの強誘電体材料と；  
前記第１の面に結合した第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合した第２の電極パターンと；を備え、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンがそれらに印加された電圧を有するときに、前記強誘電体材料に電界を導入するように構成されており、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れ、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記強誘電体材料が前記第１の面及び前記第２の面に実質的に直交する方向に反れるとき、前記強誘電体材料において誘起された電界を生成するように構成され、前記誘起された電界が前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域で始まり、前記誘起された電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのそれぞれにおいて誘起された電流が前記反れを示す、電気活性トランスデューサ。
【請求項２】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはそれぞれ他方の鏡像である請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項３】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面について画定されたものである請求項２に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項４】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項５】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して並んだ前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項６】
前記第１の電極パターン及びこれに結合する前記第２の電極パターンによって、前記強誘電体材料を包む誘電体材料を備える請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項７】
前記強誘電体材料の前記の少なくとも一つのピースは誘電体材料の単一シートを備え、前記第１の面及び前記第２の面のいずれかが前記の単一シートの主要面である請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項８】
強誘電体材料の第１の片であって、これに結合された前記第１の電極パターンを有する強誘電体材料の第１の片と；
強誘電体材料の第２の片であって、これに結合された前記第２の電極パターンを有する強誘電体材料の第２の片と；
前記の強誘電体材料の第１の片は、前記強誘電体材料によって画定された周縁を越えて、前記の強誘電体材料の第２の片に一体にされている請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項９】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１０】
第１の面及び前記第１の面に対峙する第２の面を画定する強誘電体材料であって、前記第１の面及び前記第２の面は実質的に平行な面に配置するところの強誘電体材料と；  
前記第１の面に結合した第１の電極パターンと；
前記第２の面に結合した第２の電極パターンと；を備え、
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンが、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンがそれらに印加された電圧を有するときに、前記強誘電体材料に電界を導入するように構成されており、前記電界は前記第１の電極パターンと前記第２の電極パターンとの間の前記強誘電体材料の領域から発し、前記電界は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方でかつ前記第１の面及び前記第２の面に実質的に平行に延び、これによって、前記強誘電体材料が前記電界に実質的に直交する方向において前記領域に対して対称に反れる、電気活性トランスデューサ。
【請求項１１】
前記第１の電極パターンと前記電極パターン対の少なくとも一に関連する前記第２の電極パターンとがそれぞれ他方の鏡像である請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１２】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンはいずれも、反対の極性を有しかつ交互の順番で配置された少なくとも２つの独立した電極を備え、それらの独立した電極は前記強誘電体材料の前記領域から径方向外方へ延び、前記交互の順番は前記電気活性トランスデューサの断面において画定されたものである請求項１１に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１３】
前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンは前記の実質的に平行な面に実質的に直交する方向に沿って互いに交互交代に配置され、前記第１の電極パターンは第１の極性の電圧で印加され、前記第２の電極パターンは前記第１の極性に反対の第２の極性の電圧で印加される請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１４】
さらに、前記第１の電極パターン及び前記第２の電極パターンのいずれかの中央部にも電気的結合された形作られた電極を備え、前記中央部のそれぞれが互いに対して整列して共通の周縁を画定し、前記第１の電極パターンの前記中央部に印加された電圧が前記第２の電極パターンの前記中央部に印加された電圧の反対の極性であり、前記周縁に対して整列した前記強誘電体材料は前記電界が始まる前記強誘電体材料の前記領域を画定する請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１５】
前記の第１の電極パターン及びこれに結合する前記の第２の電極パターンによって、前記強誘電体材料を包む誘電体材料を備える請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１６】
前記の強誘電体材料の少なくとも一の片が単一シートの強誘電体材料を備え、前記第１の面及び前記第２の面のそれぞれが前記単一シートの主要面である請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１７】
誘電体材料の第１の片であって、これに結合された前記第１の電極パターンを備えた誘電体材料の第１の片と；
誘電体材料の第２の片であって、これに結合された前記第２の電極パターンを備えた誘電体材料の第２の片と；をさらに備え、
前記の誘電体材料の第１の片は、前記強誘電体材料によって画定された周縁を越えて前記の誘電体材料の第２の片に連結されている請求項１０に記載の電気活性トランスデューサ。
【請求項１８】
前記強誘電体材料はセラミック圧電材料を備えた請求項１に記載の電気活性トランスデューサ。
【国際調査報告】
2006515463.tif 000037
2006515463.tif 000038