(57)【要約】ロードボードフィーダ（２００）は、テストヘッド（３１０）の中心部分に固定される。ロードボードフィーダ（２００）は、リフト機構（４５）を用いてロケータブロック（４０）の垂直方向の移動を制御する。ロードボード（３２５）はロケータブロック（４０）の上に載り、さらにロケータブロック（４０）上の配置デバイス（５０）は、ロードボード（３２５）のテストヘッド（３１０）とのアライメントを確実にする。ロードボードフィーダ（２００）がロードボード（３２５）を下げると、ロードボード（３２５）は繊細なポゴピン（３２０）に損傷を与えることなく、テストヘッド（３１０）上に正しく取付けられる。
2004518943.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
中心が中空であるテストヘッド上にロードボードを取付けるためのロードボードフィーダ装置であって、
基部（７０）と、
基部（７０）に接続された本体（２０）と、
本体（２０）に接続され、装置をテストヘッド（３１０）に装着するよう構成された装着デバイス（１０）と、
基部（７０）の上部側に装着されたリフト機構（４５）と、
下部表面でリフト機構（４５）に装着されたブロック（４０）と、
ブロック（４０）上に、ロードボード（３２５）を受けるよう構成されたロードボード配置デバイス（５０）とを含み、
ブロック（４０）は、ロードボード（３２５）のテストヘッド（３１０）上での取付けおよび取外しのためにリフト機構（４５）により垂直に動かされる、ロードボードフィーダ装置。
【請求項２】
装置はテストヘッド（３１０）の中空である中心内に嵌合するよう構成され、
本体（２０）はさらに、基部（７０）の上部側に装着された第１の端部を備えかつ基部（７０）から垂直に延在して、基部（７０）から離れたところに第２の端部を有する少なくとも１つのシャフト（２０）を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
装置は円筒形で、
装着デバイス（１０）は、複数のシャフト（２０）の第２の端部に装着された平坦なリングであり、さらに、
装着デバイス（１０）の円周は基部（７０）の円周よりも大きい、請求項２に記載の装置。
【請求項４】
装着デバイス（１０）は、それを通る複数のホール（１１）を有し、ホール（１１）は、テストヘッド（３１０）の複数のホール（３０５）と整列し、テストヘッド（３１０）への装着デバイスの締結を可能にする、請求項３に記載の装置。
【請求項５】
ブロック（４０）の下部側に装着された第１の端部と、基部（７０）を通って延在する第２の端部とを有する、少なくとも１つのガイドロッド（６０）と、
各々のガイドロッド（６０）につき、ガイドロッド（６０）が基部（７０）の中を通ることを可能にする、基部（７０）にある開口部（６４）と、
各々のガイドロッド（６０）につき、基部（７０）に装着され、かつそこを通ってガイドロッド（６０）を受けるリニアベアリング（６５）とをさらに含み、
各々のガイドロッド（６０）とリニアベアリング（６５）との組合せは、リフト機構（４５）がブロック（４０）を動かすとき、ブロック（４０）のために滑らかな垂直の移動を提供する、請求項１に記載の装置。
【請求項６】
少なくとも１つのリニアベアリング（６５）は、一方端上にフランジ（６６）を有するブッシング（６５）を含み、さらに、
少なくとも１つのフランジ（６６）は、ブッシング（６５）が基部（７０）の開口部（６４）を通って延在するように基部（７０）の下部側に装着される、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
リフト機構（４５）は空気圧的ジグシリンダ（４５）を含み、装置はさらに、
リフト機構（４５）を動作するためのリモートスイッチ（９５）と、
スイッチ（９５）を空気圧的ジグシリンダ（４５）に接続する、空気圧的接続部（１０９）とを含む、請求項１に記載の装置。
【請求項８】
ロードボード配置デバイスは、
ブロック（４０）の上部表面に少なくとも１つの非同心円で円形の空洞（４１）と、
ブロック（４０）の上部表面に装着され、そこを通る少なくとも１つの非同心円で円形の開口部（３１）を有する円形のプレート（３０）とを含み、開口部（３１）は、ブロック（４０）の上部表面のその少なくとも非同心円で円形の空洞（４１）と整列し、かつブロック（４０）の上部表面のその非同心円で円形の空洞（４１）とほぼ同じ直径を有し、さらに、
円形の空洞（４１）および円形の開口部（３１）内に嵌合するよう構成された円形のディスク（５０）を含み、
円形のディスク（５０）の第１の表面は円形の空洞（４１）の下部に接触し、さらに円形のディスク（５０）の第２の表面は円形のプレート（３０）の上方に上がり、さらに、
円形のディスク（５０）は、ロードボード（３２５）がテストヘッド（３１０）と整列すると円形の空洞（４２０）と係合する、請求項３に記載の装置。
【請求項９】
ロードボード補強材の中心のためのインサートをさらに含み、
円形の本体（４１０）と、
非同心円の開口部（４２０）とを含み、
本体（４１０）はロードボード補強材（４００）の中心の開口に圧入され、さらに、
非同心円の開口部（４２０）は、円形のディスク（５０）の、円形のプレート（３０）の上方に上がる部分を受けるよう構成される、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
中空である中心を備えたテストヘッド上にロードボードを取付ける方法であって、
テストヘッドの中心にロードボードフィーダを装着するステップを含み、
ロードボードフィーダはリフト機構と、ロードボードをテストヘッドと整列させるための配置デバイスとを含み、前記方法はさらに、
ロードボードフィーダをその上がった位置に上げるステップと、
ロードボードをロードボードフィーダ上に置くステップと、
配置デバイスを利用して、ロードボードをテストヘッドと整列させるステップと、
リフト機構を作動して、ロードボードをテストヘッドの上まで下げるステップと、
ロードボードをテストヘッドに固定するステップとを含む、方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、集積回路をテストするためのロードボードに関し、特にロードボードをテストヘッドの上に搭載することに関する。
【０００２】
【従来の技術】
テストヘッドおよびロードボードは、新しく製造された集積回路の機能性をテストするために用いられる。テストされるべき集積回路は、テストに先立ってロードボードに接続される。テストヘッドはテストの間、電力を供給し、ロードボード３２５（図９）に装着された集積回路への電気の流れを制御する。図３に見られるように、テストヘッド３１０は円形で、その中央を通る開口部を有してもよい。チャネルカード３１５は内部の開口部３１２の円周に沿って配置され、チャネルカード３１５の上部表面上にポゴピン３２０を含む。図１２に見られるように、ポゴピン３２０は、ロードボード３２５の裏面上のスロット３２６を介してテストヘッドチャネルカード３１５とロードボード３２５との間に電気的接触をもたらすばね式のピンであり、たとえばそのピン部分３２２はばね格納部分３２４の中に引っ込むことができる。
【０００３】
ロードボードは、集積回路の機能性をテストするために用いられる電気−機械のプリント回路板である。ロードボードはテストヘッドに留められるので、ポゴピン３２０がロードボードと正確に接触するようテストヘッドと正しく整列する必要がある。正しいアライメントによりテストヘッドチャネルカード３１５とロードボード３２５との間の電気的接触が確実となるので、テストヘッドは十分に集積回路のテストを行えるようになる。テストヘッド３１０に接続されたテストカード３１５のポゴピン３２０と電気的に接触しているロードボード３２５の概略図が、図１３に示される。ロードボード３２５の裏面上のスロット３２６は、ポゴピン３２０とロードボード３２５との間の接触点として示される。
【０００４】
ロードボードは、テストヘッドの上に通常手動で位置決めされるが、これによりいくつかの懸念が生じる。ロードボードをテストヘッドの上に手動で位置決めすることにより、ロードボードをテストヘッドと正しく整列させることが難しくなり、結果としてポゴピン３２０がロードボード３２５と不適切に接触するおそれがある。この結果、ロードボードをテストヘッドと整列させるために、ロードボードは手動による最初の位置決めの後、しばしば位置変えまたは調整される。しかしながら、ロードボードが既に接触しているポゴピン３２０はばね式であり、このため容易に曲がるかまたは破損する。ポゴピン３２０が損傷すると、その損傷したポゴピン３２０が一部をなすチャネルカード３１５を交換しなければならなくなるが、各々のチャネルカードは通常非常に高価なものである。チャネルカード３１５の交換は、製造を遅らせかつ追加の費用を生ずるテストヘッドのダウンタイムにもつながる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
集積回路のテストに関連するテストヘッドチャネルカード上で、ポゴピンが曲がったり破損したりするのを防ぐ必要がある。また、確実にロードボードがテストヘッドと正しく整列することも必要である。これらおよび他の必要性は、ロードボードのテストヘッドとのアライメント、およびロードボードをテストヘッドの上に位置決めするための自動的なシステムを提供するこの発明により対処されている。この発明に従って、ロードボードフィーダはテストヘッドの中央開口部の中に設置される。ロードボードフィーダは、ロードボードがテストヘッドと正しく整列するとロードボードを係合する配置デバイス（ｌｏｃａｔｉｏｎ ｄｅｖｉｃｅ）を有する。ロードボードフィーダはまた、テストヘッドチャネルカード上のポゴピンに損傷を与える衝撃なしに、ロードボードをテストヘッド上のその取付け位置まで下げるための機構を含む。この機構は、ロードボードを手動で位置決めし整列させる間に起こるおそれのある、テストヘッドチャネルカード上の繊細なポゴピンへの過度の損傷を防ぐ。
【０００６】
したがって、この発明の一局面は、その中心を通る開口部を有するテストヘッドの上にロードボードを位置決めするためのロードボードフィーダに関する。ロードボードフィーダは、基部および基部に接続された本体を含む。装着デバイスは本体に接続され、ロードボードフィーダをテストヘッドに装着するために用いられる。リフト機構は基部に接続され、リフト機構に装着されるブロックを垂直に移動させる。ブロックはロードボード配置デバイスを含み、ロードボードをテストヘッドの上に位置決めする前には、ロードボードのための休止位置としての役割を果たす。
【０００７】
ある実施例では、ロードボードフィーダは円筒形であり、円形のブロック上にロードボード配置デバイスを含む。ロードボード配置デバイスは、ブロックに装着された円形のプレートと、ブロックおよびプレートを係合するディスクとを含む。円形のブロックは、ブロックの中心と同心でない円形の空洞を有する。同様に、円形のプレートは、ブロックにある円形の空洞と整列する、非同心円で円形のホールを有する。円形のディスクの外径は、円形のディスクが円形のホールおよび空洞内にちょうど嵌合できる程度に小さい。円形のディスクの上部はプレートの上部の上に突き出て、これによりロードボードのための係合要素を提供する。
【０００８】
したがって、この発明の別の局面は、その中心を通る開口部を有するテストヘッドの上にロードボードを取付ける方法に関する。リフト機構と、ロードボードをテストヘッドと整列させるための配置デバイスとを含むロードボードフィーダは、テストヘッドの中央開口部内に装着される。ロードボードフィーダはその上がった位置に動かされ、さらにロードボードはロードボードフィーダの上に置かれる。ロードボードは、ロードボード配置デバイスを係合するよう調整される。ロードボードは、ロードボードがロードボード配置デバイスを係合すると、テストヘッドと整列する。リフト機構が作動されて、ロードボードをテストヘッド上のその取付け位置まで下げ、さらにロードボードがテストヘッドに留められる。
【０００９】
この発明の他の利点は、この発明を実施するために考えられる最良の形態を単に例示する、以下の詳細な説明から容易に明らかとなるであろう。この発明は他の異なる実施例が可能であり、そのいくつかの詳細は、さまざまな自明な点において、この発明からすべて逸脱することなく、変形可能である。したがって、図面および説明は性質上、限定的ではなく例示的なものである。
【００１０】
この発明は、同じ参照番号が同様の要素を参照する添付の図面の図において、限定のためではなく例示のために図示される。
【００１１】
【発明の実施の形態】
（説明を実施するためのモード）
集積回路をテストするためのテスト構成において、ロードボードをテストヘッドの上に整列させて取付けるための装置が説明される。以下の説明では、説明のために、多くの特定的な詳細がこの発明の完全な理解を提供するために述べられる。しかしながら、この発明がこれらの特定的な詳細なしに実施され得ることは当業者には明らかであろう。他の例では、周知の構造およびデバイスは、この発明を不必要に不明瞭にすることを避けるために、ブロック図の形で示される。
【００１２】
図１は、この発明に従ったロードボードフィーダの一実施例を示す。ロードボードフィーダは、ロードボードがテストヘッドの上に位置決めされる前に、ロードボードがテストヘッドと正しく整列することを可能にする。ロードボードフィーダはまた、ロードボードをテストヘッドの上に機械的に下げる。ロードボードをテストヘッドの上に整列させかつ機械的に下げることにより、ロードボードフィーダは、ロードボードが手動でテストヘッドの上に位置決めされるときよくあるように、チャネルカードの繊細なポゴピンが曲がるかまたは破損することを防ぐ。
【００１３】
（この発明の実施例のアセンブリ）
図１および２を参照して、この発明の一実施例の構成要素および組立てが説明される。ロードボードフィーダ２００をテストヘッドに装着するのに用いられる上部リング１０は、そこを通る締結開口部１１および柱締結開口部１３を有する。締結開口部１１および柱締結開口部１３は、平坦な頭のねじの上部が上部リング１０の表面と同一平面にあることを可能にするよう皿穴に埋められる。
【００１４】
ピン１５は、上部リング１０の裏面にあるピン開口部１２の中に、たとえば圧入を用いて挿入される。ロードボードフィーダ２００がテストヘッド３１０（図３）に装着されると、ピン１５は、中央開口部３１２を囲む中心リング３００のピンホール（図３に図示せず）と整列する。ピン１５は上部リング１０の円周に沿って等しく間隔をあけられておらず、これにより、ピン１５がピンホールと整列すると、確実にロードボードフィーダはテストヘッド３１０と正しく整列することとなる。
【００１５】
ベースプレート柱２０は、ロードボードフィーダのための本体としての役割を果たすが、本発明は本体については柱に限定されるものではない。というのも、ベースプレート７０および上部リング１０を接続する他の機械的要素が同じ機能を備えるためである。たとえば、エアチューブ１０９のためのカットアウトを備えたシリンダは、柱２０の代わりに、ある実施例で用いられる。ベースプレート柱２０は、たとえば、ねじ付きスタッド７２によりベースプレート７０に装着される。ベースプレート柱の各々の端部はねじ付きスタッド開口部７１を含み、そのうちの１つはねじ付きスタッド７２を受け、これによりベースプレート柱２０をベースプレート７０に接合する。ベースプレート柱２０の反対側の端部は、上部リング１０の裏面に支えられている。上部リング１０を通る柱締結開口部１３は、ねじが上部リング１０をねじ付きスタッド開口部７１を介してベースプレート柱２０に締結することを可能にする。柱締結開口部１３は、平坦な頭のねじの上部が上部リング１０の表面と同一平面にあることを可能にするよう、皿穴に埋められる。
【００１６】
ロードボードフィーダベースプレート７０は、ベースプレート柱２０および空気圧的ジグシリンダ４５を装着するためのプラットホームを提供する。スライドブッシング６５およびブロックガイドシャフト６０もベースプレート７０に装着される。たとえば、空気圧的ジグシリンダ４５は、ベースプレート７０の開口部７３を貫いて突き出ているねじ７４により締結される。また一例として、スライドブッシング６５は、一方端にフランジ６６を有する。スライドブッシング６５が開口部６４を貫いて突き出ているので、フランジ６６はベースプレート７０の裏面と接触し、さらにスライドブッシング６５はベースプレート７０の中を通る。フランジ６６を通るねじ（図示せず）は、スライドブッシング６５をベースプレート７０に締結する。
【００１７】
ガイドシャフト６０はスライドブッシング６５の中を通る。各々のガイドシャフト６０は、ガイドシャフトの端部に装着されてガイドシャフト６０がベースプレート７０から離れていくことを防ぐ留め具８０を有する。たとえば留め具８０は、ガイドシャフト６０の端部に溶接されるか、またはねじにより締結され得る。
【００１８】
ロードボードロケータブロック４０は、空気圧的ジグシリンダ４５に装着される。たとえば、ロケータブロック４０は空気圧的ジグシリンダ４５に溶接されてもよく、または、空気圧的ジグ４５の端部がロケータブロック４０の下部にあるねじ付き開口部に通されてそこに収容されてもよい。ロードボードロケータブロック４０は、その上部表面に少なくとも１つの円形の空洞４１を有する。配置ディスク５０は、ロードボードロケータブロック４０の上部表面上の空洞４１内に嵌合するよう構成される。
【００１９】
ロードボードロケータプレート３０は、ロードボードロケータブロック４０の上部表面に締結され、またそこを通る開口部３１を含み、これにより、空洞４１に置かれた配置ディスク５０はロードボードロケータプレート３０の中を通ることができる。配置ディスク５０と、開口部３１および／または空洞４１との間に圧入があってもよいが、この発明は圧入を必要としない。ロケータプレート３０は、たとえば、ロケータプレート３０の表面と同一平面にあるよう皿穴に埋められるねじによって締結される。ロケータプレート３０はロケータブロック４０を摩耗から守る。
【００２０】
ロードボードロケータブロックガイドシャフト６０は、スライドブッシング６５を通って自由に摺動し、さらに溶接、ねじ山、または他の装着物によりロードボードロケータブロック４０の裏面に装着される。ロケータブロックガイドシャフト６０はスライドブッシング６５と共働して、空気圧的ジグシリンダ４５がロケータブロック４０を移動させるときのロケータブロック４０の移動を滑らかにする。ロードボードロケータブロックガイドシャフト６０の端部に装着されたガイドシャフトストッパ８０は、空気圧的ジグシリンダ４５がロードボードロケータブロック４０をロードボードフィーダベースプレート７０のはるか上に上げることを防ぐ。
【００２１】
好ましくは、上述の構成要素は、ロードボードフィーダの重量を最低限に保ち、さらにテストヘッドにより生じた熱がロードボードフィーダに悪影響を与えないようにアルミニウムで作られる。しかしながら、この発明は構成材料としてアルミニウムに限定されない。
【００２２】
制御ボックス９０は、機械的エアスイッチ制御９５を格納する。空気制御バルブ１００は機械的エアスイッチ９５に装着され、空気圧的ジグシリンダ４５の動作のために加圧空気を制御する。管継手１０５は、機械的エアスイッチ９５への加圧空気の供給を制御する。２つの管継手１１０は、空気圧的ジグシリンダ４５に対して加圧空気の出入れを行う。管継手１１０は、給気チューブ１０９により空気制御装置１００に接続される。
【００２３】
（テストヘッド構成）
説明されるテストヘッドは、中心が中空であるＭ９７３テラダイン・テスタ・テスト・ヘッド（Ｍ９７３ Ｔｅｒａｄｙｎｅ Ｔｅｓｔｅｒ Ｔｅｓｔ Ｈｅａｄ）であるが、この発明では、中心が中空であるいかなるテストヘッドも用いることができる。図３に示されるテストヘッド３１０は、テストヘッドの中心を通る円形の開口部３１２を有する。開口部３１２の上部表面はリング３００を形成する。図３に示されるように、中心リング３００の内側の部分は、リップ３０６を残して取除かれている、すなわち、フライス加工されている。リップ３０６は、ロードボードフィーダ２００がテストヘッド３１０の上に取付けられるとき、上部リング１０を囲むことによりロードボードフィーダ２００を中心に置くことを助けるが、リップ３０６は必須ではない。中心リング３００に穿孔された開口部３０５はねじ切りされて、ロードボードフィーダ２００を上部リング１０を介してテストヘッド３１０に締結するための締結器、たとえばねじ、のための場所を提供する。他の方法、たとえばリベット締めまたは溶接もまた、ロードボードフィーダ２００を上部リング１０を介してテストヘッド３１０に装着することに用いることができる。
【００２４】
テストヘッド３１０は、ロードボードのテストを制御するのに用いられるチャネルカード３１５も含む。チャネルカード３１５の上部上のポゴピン３２０は、チャネルカードおよびそれによりテストヘッドと、ロードボード３２５（図９）との間に電気的接触をもたらす。支持部３０２はテストヘッド３１０の剛性を確実にする。
【００２５】
（ロードボードフィーダの実施例の、構成されたテストヘッドへの取付および締結）
図４は、図１および２に示されるロードボードフィーダ２００の、図３に示される構成されたテストヘッド３１０への取付けの最初の段階を示す。エアホース１０９は空気圧的ジグシリンダ４５に接続される前に、中央開口部３１２を通ってテストヘッド３１０の裏面から挿入される。図４に示されるように、ロードボードフィーダ２００は、テストヘッド３１０の上方からテストヘッド３１０の中に取付けられる。
【００２６】
図５には、ロードボードフィーダ２００の、テストヘッド３１０にある中央開口部３１２との整列が示される。図５に示されるように、ベースプレート７０の円周はテストヘッド３１０の中央開口部３１２の中を通る程度に小さく、したがってロードボードフィーダ２００の本体、すなわちベースプレート柱２０、空気圧的ジグシリンダ４５およびブロックガイドシャフト６０が中央開口部３１２の中を通ることを可能にする。しかしながら、上部リング１０の円周はリップ３０６（図３）内にちょうど嵌合し、かつテストヘッド３１０の中心リング３００の上に載る。したがって、上部リング１０は、ロードボードフィーダ２００がテストヘッド３１０の中央開口部３１２を完全に通り抜けることを防ぐ。
【００２７】
図６は、テストヘッド３１０の中心リング３００上に取付けられたロードボードフィーダ２００の上部リング１０を示す。上部リング１０の裏面にあるピン１５は、ロードボードフィーダ２００がテストヘッド３１０と正しく整列すると、中心リング３００の上部にあるピンホール（図示せず）と適合する。ねじは上部リング１０の締結開口部１１を通って、中心リング３００のねじ付き開口部３０５に入り、ロードボードフィーダ２００をテストヘッド３１０に固定する。ロードボードフィーダ２００の上部は、チャネルカード３１５の上部と実質的に平行である。上がった位置にあるとき、図６に示されるように、ロードボードフィーダ２００の上部、すなわちロケータプレート３０は、チャネルカード３１５の上部およびそこから突き出ているポゴピン３２０の上方にある。ポゴピン３２０の上方にロードボードフィーダ２００の上部があることにより、ロードボード３２５（図９）がロードボードフィーダ２００の上に搭載されるとき、図１２に示されるように、ロードボード３２５とポゴピン３２０との間に接触がないことを確実にする。
【００２８】
（ロードボードフィーダの実施例上へのロードボードの搭載）
図７は、明確にするために、ロードボードフィーダ２００の上に搭載されたロードボード補強材４００を、ロードボード３２５のない状態で示す。ロードボード補強材４００をロードボードフィーダ２００の上に搭載する前に、補強材インサート４１０がロードボード補強材４００の中心に装着される。たとえば、補強材インサート４１０とロードボード補強材４００の内側の開口との間の公差が、圧入を作り出すか、補強材インサート４１０が、ねじまたは類似の締結器により所定の位置に保持されるか、溶接される、等である。補強材インサート４１０がロードボード補強材４００の上部と同じ面にあるか、またはロードボード補強材４００の上部よりも下で同一平面にあるかどうかについては、ロードボード補強材４００の上部および補強材インサート４１０が実質的に平行である限り、比較的重要ではない。ロードボード補強材４００と補強材インサート４１０との間の実質的に平行な関係は、補強材インサート４１０が水平に、すなわち傾かずに、ロケータプレート３０に接触するとき、ロードボード補強材４００の上部（およびロードボード補強材４００の上部に装着されるロードボード３２５）が、ロードボードフィーダ２００の上部と実質的に平行であることを確実にする。ロードボード補強材４００がロードボードフィーダ２００の上に搭載されるとき、ロードボード補強材４００は、補強材インサート４１０がロードボードロケータプレート３０の上に載るように置かれる。次に、配置ディスク５０が補強材インサート４１０の配置開口部４２０を係合するまで、ロードボード補強材４００をゆっくりと回転させる。補強材インサート４１０はロケータプレート３０と水平に接触し、さらにテストヘッド３１０と正しく整列する。
【００２９】
ロードボード補強材４００の裏面が図８に示される。ロードボード補強材４００の上部側にはロードボード３２５が装着されている。ロードボード３２５はロードボード補強材４００の固い支柱４０２の間に見え、また、ロードボード３２５の裏面に、各々がチャネルカード３１５およびその関連するポゴピン３２０を収容するように適合された複数のスロット３２６が含まれることが示される。インサート４１０は、上述のように、ロードボード補強材４００の中心に装着される。インサート４１０は、ロードボード補強材がロケータプレート３０（図６）の上に載ることを可能にする。インサート４１０にある開口部４２０は、配置ディスク５０を収容するような寸法とされる。ロードボード３２５は、配置ディスク５０が開口部４２０を係合したときにロードボード３２５がテストヘッド３１０と正しく整列するように予め定められた態様で、ロードボード補強材４００に締結される。ロードボード３２５は、たとえばねじまたは類似の締結器によりロードボード補強材４００に締結される。図８に示されるように、ロードボード３２５が装着されたロードボード補強材４００が、図７に示されるのと同じ態様でロードボードフィーダ２００上に搭載されると、ロードボード３２５は自動的にテストヘッド３１０と正しく整列する。
【００３０】
ロードボード３２５が装着され、またテストヘッド３１０に装着されたロードボードフィーダ２００（図示せず）上に搭載された、ロードボード補強材４００の例が図９に示される。図９では、ロードボードフィーダ２００は図１０に示されるように上がった位置にあり、ロードボード３２５は図１２に示されるように、ポゴピン３２０と接触しない。ロードボードフィーダ２００が、図１１に示されるように下がった位置に移動すると、ロードボード３２５は、図１３に示されるようにポゴピン３２０と接触し、さらにテストヘッド３１０の上部とほぼ同一平面にあることとなる。
【００３１】
（ロードボードフィーダの実施例の動作）
ロードボード３２５は、上述のようにロードボード補強材４００に装着される。ロードボードフィーダ２００は、上述のようにテストヘッド３１０に装着される。ロードボード３２５は次に、ロードボードフィーダ２００の上に搭載され、さらに上述のようにテストヘッド３１０と自動的に整列する。
【００３２】
機械的エアスイッチ９５は下がった位置まで移動して、空気圧的ジグシリンダ４５を作動する。空気圧的ジグシリンダ４５は、テストヘッド３１０の上にロードボード３２５を下げる。ブロックガイドシャフト６０がロードボード３２５の移動を滑らかにするので、ロードボード３２５の裏面上のスロット３２６がチャネルカード３１５の上部上のポゴピン３２０を係合するとき、不利益な衝撃はない。ロードボード３２５のテストヘッド３１０との正しいアライメントを、ロケータブロック４０の滑らかで制御された移動と組合せることにより、ロードボードフィーダ２００は、ポゴピン３２０に損傷を与えることなく、ポゴピン３２０がロードボード３２５に正確に接触することを確実にする。
【００３３】
図１１は、完全に下がった位置にあるロードボードフィーダ２００を示す。ここで、下がった位置では、ロケータプレート３０は上部リング１０のわずかに下にあることに留意されたい。このため、ロードボード３２５はロードボードフィーダ２００により、確実にポゴピン３２０を係合し（図１３）、またポゴピン３２０のいずれとも非接触状態に保たれることがない。ロードボード３２５がチャネルカード３１５を係合すると、個々のチャネルカード３１５のポゴピン３２０は、ポゴピン部分３２２を係合するレセプタ３２７（図１２）を有するロードボード３２５の裏面上のスロット３２６と接触する。ロードボード３２５が取付けられると、各々のポゴピン３２０の部分３２４にあるばねが縮む。ポゴピン部分３２４内のばね圧縮は、チャネルカード３１５間にわずかな高さの変化があるときでさえ、ロードボード３２５がテストヘッド３１０内のさまざまなチャネルカード３１５上のすべてのポゴピン３２０と接触することを確実にする。ロードボード３２５がテストヘッド３１０の上に取付けられると、ロードボード３２５はテストヘッド３１０に接続される。たとえば、この接続は、テストヘッド３１０上のラッチボタン（図示せず）を押すことにより達成される。
【００３４】
テストヘッド３１０からロードボード３２５を取外すには、ロードボード３２５とテストヘッド３１０との接続が解除される。たとえば、この接続解除は、テストヘッド３１０上のデラッチボタン（図示せず）を押すことにより達成される。機械的エアスイッチ９５がその上がった位置へ動かされると、空気圧的ジグシリンダ４５が作動し、ロケータブロック４０を上げる。前に説明したように、ブロックガイドシャフト６０はロケータブロック４０の移動を滑らかにする。この滑らかな移動により、ロードボード３２５がポゴピン３２０から離れている間にその不規則な移動によって、ポゴピン３２０が確実に損傷を受けないようになる。
【００３５】
こうして、ロードボード３２５が装着されたロードボード補強材４００は、ロードボード３２５がもはやポゴピン３２０と接触しない地点まで上げられる（図１２）。ロードボードフィーダ２００がその完全に上がった位置に達すると（図１０）、ロードボード３２５が装着されたロードボード補強材４００は、ロードボードフィーダ２００から取外される。
【００３６】
この発明は、ロードボードがテストヘッドの上に取付けられる前に、ロードボードを予めテストヘッドと整列させることを提供する。この発明はまた、ロードボードを、滑らかでかつ制御された態様で垂直方向に移動させる。ロードボードをテストヘッドと予め整列させ、かつロードボードをテストヘッドと滑らかに係合することにより、この発明は、テストヘッドとロードボードとの間に電気的接触をもたらすテストヘッドの中のチャネルカードの一部である、繊細なポゴピンへの不利益な衝撃をなくす。この発明は、ロードボードをテストヘッドの上に手動で置いたり、ロードボードがテストヘッド上に載った後でロードボードをテストヘッドと正しく整列するよう調整することによってポゴピンに生ずる損傷の量を大いに減らす。ポゴピンへの損傷を減らすことにより、この発明は、テストヘッドが集積回路をテストするために用いられる時間の量を増やし、また高価なチャネルカードを交換する頻度を大いに減らす。
【００３７】
この発明を最も実用的な好ましい実施例であると現在考えられているものに関連して説明してきたが、この発明は含まれる実施例に限定されず、反対に、前掲の請求項の精神および範囲内に含まれるさまざまな変更および等価の構成を包含することを意図するものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明のロードボードフィーダの一実施例を示す図である。
【図２】図１に示されたロードボードフィーダの分解図である。
【図３】図１に示されたロードボードフィーダの実施例で利用される、テストヘッドを示す図である。
【図４】図３に示されたテストヘッドの中央開口部の中を通る、図１に示されたロードボードフィーダのためのエアホースを示す図である。
【図５】図３に示されたテストヘッドの中央開口部に挿入するために位置決めされた、図１に示されたロードボードフィーダを示す図である。
【図６】図３に示されたテストヘッドの中央開口部に挿入され、かつ図３に示されたテストヘッドの中心リングに装着された、図１に示されたロードボードフィーダを示す図である。
【図７】図６に示されたロードボードフィーダ上に正しく取付けられた、（明確にするためにロードボードなしの）ロードボード補強材を示す図である。
【図８】中央インサートが中に配されたロードボード補強材に装着された、ロードボードの底面図である。
【図９】図６に示されたロードボードフィーダ上に取付けられたロードボード補強材に、図８に示されるように装着されたロードボードを示す図である。
【図１０】図１に示されたロードボードフィーダの実施例を、上がった位置で示す図である。
【図１１】図１に示されたロードボードフィーダの実施例を、下がった位置で示す図である。
【図１２】図１０に示されたロードボードフィーダの実施例が上がった位置にあるときの、ロードボードから離れたポゴピンを示す図である。
【図１３】図１１に示されたロードボードフィーダの実施例が下がった位置にあるときの、ロードボードに接触するポゴピンを示す図である。
【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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