(57)【要約】クリーンルーム拭取り材製品、これら製品の製造方法、およびこれら製品の使用方法を開示する。本発明のクリーンルーム拭取り材は、クリーンルーム環境内のアルカリ性汚染物の清浄化における使用を意図する。本発明の拭取り材は、含浸させた酸溶液、例えば、有機酸と任意成分としての溶媒との溶液を含有し、汚染された拭取り材の、即ち、拭取り材を使用してヒドロキシルアミン系製品および他の苛性系配合物のようなアルカリ性製品のこぼれ液を含有させたときの自然発火の可能性を低減または排除することを意図する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
メリヤス生地、織布および不織布からなる群から選ばれた吸収容量を有する吸収性基材；室内条件において液状である有機酸；および有機酸結晶化抑制剤を含むクリーンルーム環境からのアルカリ汚染物除去用に適する酸含浸拭取り材。
【請求項２】
上記結晶化抑制剤が溶媒を含む請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項３】
上記溶媒が水を含む請求の範囲第２項記載の拭取り材。
【請求項４】
上記有機酸が少なくとも１種の二塩基酸または三塩基酸を含む請求の範囲第２項記載の拭取り材。
【請求項５】
上記有機酸が、クエン酸、没食子酸、またはこれらの混合物を含む請求の範囲第４項記載の拭取り材。
【請求項６】
上記有機酸が、アスコルビン酸、グルコン酸、リンゴ酸、マロン酸、シュウ酸、コハク酸、および酒石酸からなる群から選ばれる請求の範囲第４項記載の拭取り材。
【請求項７】
上記結晶化抑制剤が、水とアルコール、水とグリコール、またはこれらの混合物を含む請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項８】
上記アルコールおよび／またはグリコールが３〜６個の炭素原子を有する請求の範囲第７項記載の拭取り材。
【請求項９】
上記アルコールおよび／またはグリコールが３〜４個の炭素原子を有する請求の範囲第８項記載の拭取り材。
【請求項１０】
上記有機酸が、２７℃で約１．２より大きいイオン化定数と２７℃で７ ｋＰａ未満の蒸気圧とを有する請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１１】
少なくとも１種の有機酸が、２７℃で約３より大きいイオン化定数と２７℃で７ ｋＰａ未満の蒸気圧とを有する請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１２】
上記有機酸および結晶化抑制剤の容量が、上記吸収性機材の吸収容量の約１０％〜約７０％である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１３】
上記有機酸および結晶化抑制剤の質量が、上記吸収性機材の吸収質量の約１０％〜約８０％である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１４】
上記有機酸および結晶化抑制剤の質量が、上記吸収性機材の吸収質量の約５０％〜約７０％である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１５】
有機酸の量が、上記酸含浸吸収性基材の吸収容量に等しい容積の少なくとも約７０％の量のヒドロキシルアミンを中和するのに十分である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１６】
有機酸の量が、上記酸含浸吸収性基材の吸収容量に等しい容積の少なくとも約１００％の量のヒドロキシルアミンを中和するのに十分である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１７】
有機酸の量が、上記酸含浸吸収性基材の吸収容量に等しい容積の少なくとも約１２０％の量のヒドロキシルアミンを中和するのに十分である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１８】
上記有機酸が結晶化抑制剤中の溶液の形であり、その溶液中の有機酸濃度が約１質量％〜約２５質量％である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項１９】
上記有機酸と有機酸結晶化抑制剤との溶液が、上記基材の吸収容量の約１０％〜約８０％の量で存在する請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項２０】
上記有機酸と有機酸結晶化抑制剤との溶液が、上記基材の吸収容量の約２０％〜約７０％の量で存在する請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項２１】
上記有機酸と有機酸結晶化抑制剤との溶液が、上記基材の吸収容量の約３０％〜約６０％の量で存在し；有機酸の量が、上記溶液含浸吸収性基材の吸収容量に等しい容積の少なくとも約１００％の量のヒドロキシルアミンを中和するのに十分である請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項２２】
ｐＨ指示薬をさらに含む請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項２３】
密閉可能な気密性プラスチックバッグをさらに含み、上記酸含浸拭取り材を使用前にこの密閉バック中に収容する請求の範囲第１項記載の拭取り材。
【請求項２４】
上記気密バッグが、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリ（４−メチルペンテン−１）、プロピレンとエチレンのコポリマー、エチレンと酢酸ビニルのコポリマー、エチレンとエチルアクリレートのコポリマー、およびエチレンとアクリル酸またはメタクリル酸とのコポリマーからなる群から選ばれたポリオレフィンを含み；このポリオレフィンが約１２．７〜約２５４ミクロン（約０．５〜約１０ミル）の厚さを有する請求の範囲第２３項記載のバッグ。
【請求項２５】
こぼれた苛性物質を拭取り材と接触させること、この拭取り材が、メリヤス生地、織布または不織布からなる吸収性基材であって、この吸収性基材が吸収容量を有しこの吸収性基材の吸収容量よりも少ない量の有機酸溶液を含むことを特徴とすること；上記拭取り材を上記苛性物質と交差して移動させて、上記拭取り材に上記苛性物質の少なくとも１部を吸い取らせること；および上記拭取り材を廃棄することを特徴とするクリーンルーム内の苛性こぼれ液の清浄化方法。
【請求項２６】
上記苛性物質が、アミン類、アルカノールアミン類、ヒドロキシルアミン類、およびこれらの混合物からなる群から選ばれる請求の範囲第２５項記載の方法。
【請求項２７】
クリーンルームでの使用に適する拭取り材を使用すること；この拭取り材を、有機酸と有機酸結晶化抑制剤とを含有する液体と予め選定した時間において接触させること；およびこの拭取り材を気密性バッグ内に密閉することの各工程を含むことを特徴とする酸含浸拭取り材製品の製造方法。
【請求項２８】
上記有機酸が、２７℃で約３より大きいイオン化定数と２７℃で１ ｋＰａ未満の蒸気圧とを有する請求の範囲第２７項記載の方法。
【請求項２９】
上記結晶化抑制剤が、水とアルコール、水とグリコール、またはこれらの混合物を含む請求の範囲第２７項記載の方法。
【請求項３０】
硝酸第２鉄汚染物を有機酸の液体溶液で湿潤させること；上記湿潤汚染物を拭取り材と接触させること、この拭取り材がメリヤス生地、織布および不織布からなる群から選ばれた吸収性基材を含むこと、この吸収性基材が吸収容量を有しこの吸収性基材の吸収容量よりも少ない量の有機酸溶液を含むこと；上記拭取り材を上記苛性物質と交差して移動させて、上記拭取り材に上記苛性物質の少なくとも１部を吸い取らせること；および上記拭取り材を廃棄することを特徴とする化学機械研磨具からの硝酸第２鉄汚染物の清浄化方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、一般に、クリーンルームにおいてしばしば見出される化学薬品類との接触後の拭取り材の潜在的自然発火を低減または排除するためのクリーンルーム拭取り材、並びにそのような拭取り材の製造および使用方法に関する。とりわけ、本発明は、“クリーンルーム”、半導体製造プラント、金属メッキプラント並びに他の用途および環境内で使用してアルカリ性（苛性）こぼれ液および汚染物を清浄化する拭取り材に関する。
【０００２】
（背景技術）
クリーンルームは、拡大中の各種工業的プロセス、とりわけ半導体製造方法のようなプロセスにおいて使用されており、クリーン度を維持するのに極めて厳重な条件が存在する。
汚染は、少量の糸屑または粉塵でさえも、これらの回路を橋絡し且つそのような装置に欠陥を生じせしめ得、主要な廃棄源となる。粒子および汚染物は、最小の粒子および汚染物でさえも、多くの場合、超小型電子装置内の個々のトランジスタおよびダイオード類の特徴的サイズよりも幾数倍も大きい。半導体製造中に存在するそのような粒子または他の汚染物は、いずれも、最終製造装置における重大な機能性および信頼性問題を生じ得る。
従って、すべての表面をできる限りそのような汚染がないように維持することが求められている。このことは、通常、これらの表面を拭取ることによって部分的に行われており、多数の特殊化したワイパーがこの目的のために開発されている。しかしながら、そのワイパー自体、きれいに拭取り得る以外に、粉塵問題の原因となってはならない。
クリーンルーム製品、例えば、拭取り材、手袋類、上着類、道具類、電子コンポーネント類、フィルター類および反応物類は、汚染を回避するように設計し製造しなければならない。半導体製造クリーンルームおよび薬品製造工場のような感受性領域において使用するクリーンルーム拭取り材は、諸要因の中から、とりわけ粒子発出量、イオン性汚染物量、吸着度、磨耗またはクリーニング物質への暴露による侵蝕または分解に対する耐性、および殺生剤による侵蝕または分解がないことのような特性について注意深く選定しなければならない。
【０００３】
厳重なクリーンルーム条件は、特定製造製品規定によって満たされる。これらの製品には、“アプリケーター”類および“拭取り材”類がある。これらの製品は、使用時に構造的一体性を維持しながら、極めて僅かな遊離粒子またはイオンしか発出しないように設計されている。１つの例は、Ｐａｌｅｙ等のＥＰ０３３６ ６６１ Ａ２に記載されている拭取り材である。そのようなアプリケーターまたは拭取り材およびそれらの製造方法の他の例は、Ｐａｌｅｙ等の米国特許第５，２７１，９９５号およびＢｈａｔｔａｃｈａｒｊｅｅ等の米国特許第５，２２７，８４４号に記載されている。
制御すべき汚染は、その汚染が細菌類とウィルス類の大きさ間の粒度を有する粒状物のような細かい物理的汚染物および質量百万分率または質量十億分率で典型的に表して極めて低量の化学的汚染物からなることから、しばしば“微細汚染”と称されている。クリーンルームレベルは、粒度によって汚染物の許容可能なレベルを限定している。クリーンルームレベルを表１に示す。
【０００４】
【表１】
表１
クリーンルーム選定分類における各粒度以上の粒子数
の空気１立方メートル （１立方フィート）当りの上限値
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【０００５】
集積回路製造、薬品製造および金属メッキ操作において使用するクリーンルーム内での標準的製造およびメンテナンス操作においては、構造体表面を乾燥または含浸拭取り材できれいに拭取って粒子、イオンまたは化学汚染物を除去しなければならない多くの状況が存在する。
粒状物同様に、クリーンルームおよび金属メッキプラント内の化学こぼれ液も大きな懸念ごとである。これらの化学薬品は、化学蒸気、液滴（粒子）を放出し、装置、人員および集積回路製品に腐蝕性の劣化を与え得る。
半導体装置の製造中には、数多くの腐蝕性および／または反応性の化学薬品を使用しなければならない。極めて頻繁に、化学薬品浴または自動化装置への移送中に、化学こぼれ液が存在する。そのようなこぼれ液は、異なるタンク間でのウェーハボートの移送中にも生じ得る。多くの場合、容器の脇から落ちて除去しなければならない化学こぼれ液も存在する。これらの化学薬品は、人員、装置および半導体装置にとって、適切にコントロールされなければ極めて危険であり得る。
金属メッキ操作においては、腐蝕性で強酸化性の溶液のこぼれ液が存在し得る。これらの溶液は、人員にとって危険であり、著しく火災の危険性があり得る。
通常、これらの化学こぼれ液は、鉱酸類、芳香族溶媒類、ケトン類、アルコール類、アミン類（ＮＭＰ）およびアルカノールアミン類（モノエタノールアミン、ジグリコールアミン等）からなる。金属メッキ操作は、種々の酸化状態の各種金属イオンによる化学作用系の苛性または有機溶媒を有し得る。従来から、乾燥させたまたは水もしくはイソプロピルアルコールで含浸した拭取り材を使用してこれらの化学こぼれ液を掃除している。
【０００６】
最近、新たな分類の化学薬品がＩＣ装置の製造において極めて重要になってきている。この分類の化学薬品は、種々のアミンおよびアルカノールアミン類中に混合したヒドロキシルアミンおよびヒドロキシルアミン化合物を含有する。これらの溶液のｐＨは、通常９〜１１．５である。これらの化学作用は、ヒドロキシアミン化合物特有の還元力のため、極めて有効であることが証明されている。そのような化学作用の例は、米国特許第５，２７９，７７１号、第５，３８１，８０７号および第５，４８２，５６６号のような特許において記載されている。
ヒドロキシルアミンを拭取る場合の慎重な実施法は、廃棄前に拭取り材を水中で失活させることを含む。しかしながら、クリーンルーム要員は、これらの拭取り材を失活させることに必ずしも頼り得ていない。１つの潜在的な問題は、これらの化学薬品がこぼれ落ちて拭取る必要がある場合、ヒドロキシルアミンが各種イオンと反応し、自己触媒性酸化を蒙ることである。また、拭取り材材料と汚染物間の発熱反応およびその結果としてのとりわけヒドロキシルアミン系配合物のようなアルカリ性化学物からの自然発火の可能性が存在する。これらの反応は、熱エネルギーを発生させ得、ある条件下においては、拭取り材をくすぶらせて煙と蒸気を発生せしめるに十分な熱を発生させ得る。
多くの場合、クリーンルーム要員は拭取り材を適切に失活させておらず、自然発火が生じていた。
金属メッキ溶液も、中和して可能性ある自然発火問題を低減する必要がある種々の酸化状態の化学薬品を含む。
【０００７】
（発明の開示）
本発明の目的は、上述の問題を解決または軽減することである。従って、本発明の目的は、クリーンルーム製品、とりわけ、化学こぼれ液とりわけヒドロキシルアミン化合物を含有するこぼれ液を中和させることのできるクリーンルーム拭取り材を製造することである。さらに詳細には、本発明の目的は、拭取り材製品のクリーンルーム特性を損なうことなく、アミン類、ヒドロキシルアミン、およびアルカノールアミンも中和し得るクリーンルーム拭取り材を提供することである。本発明のさらなる目的は、これらのアミン類、アルカノールアミン類およびヒドロキシルアミンを中和させ得る酸類を含浸させ、使用するのが比較的簡単なそのようなクリーンルーム製品を提供することである。本発明は、シアン化物メッキ溶液系の苛性物を中和することは意図していない。何故ならば、本発明の拭取り材をその目的に使用された場合、致死的なシアン化水素ガスの放出があり得るからである。本発明の上記および他の目的並びに利点は、以下の説明において示され或いは以下の説明から明らかとなろう。
【０００８】
本発明の拭取り材は、少なくとも１種の有機酸を含有する吸収性基材を有する。それらの酸は、こぼれた化学薬品中の苛性物と反応しそのような苛性物を中和し得る。吸収性基材は、クリーンルームにおいて使用される当該技術において公知の任意のタイプ、即ち、粉塵および糸屑発生に関して厳重な制限を有し且つその質量の少なくとも約５０％を液体で保持し得る基材であり得る。吸収性基材は、メリヤス生地、織布および不織布であり得る。
上記の酸は有機酸である。クリーンルーム環境は、多くの場合、鉱酸類において見出されるような濃厚イオンに暴露させることはできない。好ましいのは、上記の酸または酸類が２７℃で約１．２より大きいイオン化定数と２７℃で７ ｋＰａ未満の蒸気圧とを有することである。好ましいのは、上記酸または酸類が室温で液体であることである。
一塩基酸の例としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、イソ酪酸および酪酸がある。二塩基酸の例としては、アスコルビン酸、グルコン酸、リンゴ酸、マロン酸、シュウ酸、コハク酸および酒石酸がある。三塩基酸の例としては、クエン酸および没食子酸がある。好ましい酸は、１〜７個の炭素原子と分子当り１個よりも多いカルボキシル基を有する。
【０００９】
結晶化抑制剤は、粉塵源であり得る酸結晶の形成を抑制するために、有利に存在する。結晶化抑制剤としては、溶媒があり、共溶媒、例えば、界面活性剤、アルコール、グリコールまたはこれらの混合物があり得る。共溶媒は、好ましくは３〜６個の炭素原子、より好ましくは３〜４個の炭素原子を有する。
本発明の拭取り材は、実質的に気密性の小袋内で有利に保存して、拭取り材が取扱いおよび保存中に乾燥しないようにまたは粉塵を付着しないようにする。パッケージ即ち小袋は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリ（４−メチルペンテン−１）、プロピレンとエチレンのコポリマー、エチレンと酢酸ビニルのコポリマー、エチレンとエチルアクリレートのコポリマー、およびエチレンとアクリル酸またはメタクリル酸とのコポリマーからなる群から選ばれたポリオレフィンから製造し得る。このパッケージは、約１２．７〜約２５４ミクロン（約０．５〜約１０ミル）の厚さを有する。
【００１０】
また、本発明は、とりわけ汚染物がアミン類、アルカノールアミン類およびヒドロキシルアミン類である苛性化学薬品の清浄化方法も包含する。この方法は、こぼれた化学薬品を本発明の拭取り材と接触させ、そのこぼれ液を吸い取ることを含む。その後、本発明の拭取り材は、必ずしも水中で洗浄または失活させることなく廃棄する。
また、本発明は、クリーンルーム内の苛性化学薬品の清浄化方法も包含する。この方法は、こぼれた化学薬品を本発明の拭取り材と接触させ、そのこぼれ液を吸い取ることを含む。その後、本発明の拭取り材は、必ずしも水中で洗浄または失活させる必要はないが、好ましくは密閉容器内に廃棄する。
図１は、例としての、本発明の拭取り材３１を収容する、閉じ込み可能な液体および空気耐性シール２１を一端に有する液体および空気密封性子袋またはバッグ１１を示す。
クリーンルームは、できる限り望ましくない小粒子の無い環境において種々の操作を行うことが不可欠である精密製品の製造、検査およびメンテナンスにおいて広範な用途を見出している。クリーンルームは、できる限りの努力が払われて、クリーンルーム内の制御された環境の汚染を排除するのに必要な閉鎖制御を維持した場合にのみ有効に機能し得る。そのような汚染は、殆どの場合、クリーンルーム内の作業者並びにクリーンルーム内に持込まれた物品によって発生する。クリーンルームの操作においては、制御された環境から望ましくない汚染を排除するような方法で、厳格な基準が確立され展開され続けている。
【００１１】
クリーンルームにおける１つの潜在的粒状物汚染源は、スモック、フード、ブーツ、マスク、手袋等のようなクリーンルーム防護着衣類のような繊維製品、並びにクリーンルームの制御された環境において実施する操作に関連して広く使用されているワイパー類である。例えば、半導体ウェーハ類の製造においては、ワイパー類は、クリーンルームの制御された環境内で実施する手順において生じ得るこぼれ液を拭き取るのに使用する。しかも、ワイパー類は、クリーンルーム内の各種装置および物品の表面を拭くのにも、さらに、クリーンルーム自体の壁および他の内表面を拭くのにも使用する。
クリーンルーム環境においては、“クリーン”な環境（低粒子またはイオン汚染等）のみならず“安全”なクリーンルーム環境（低毒物、低発癌物質、低刺激物等）も維持することが重要である。クリーンルームにおけるヒドロキシルアミン類および他の強酸化性および還元性薬剤の使用は、クリーンルームにおいて典型的に使用される拭取り材がヒドロキシルアミンこぼれ液を拭き取るのに使用されたときに、自己発火の危険性をもたらしている。生ずる煙は、クリーンルームを使用不能なまでに重度に劣化させ、人員と設備の双方に対して実質的なリスクであり得る。
【００１２】
ヒドロキシルアミン化合物は、拭取り材内で空気に曝された場合、１回以上の発熱反応を受け得、ヒドロキシルアミン含有廃棄物の自己発火の事例を生じている。一方、ヒドロキシルアミン化合物の酸塩は、このタイプの自然または自己触媒性酸化反応を受けない。従って、こぼれ液内のヒドロキシルアミンまたはヒドロキシルアミン化合物（ｐＨ９〜１１）をその酸塩に転化し得るならば、その残留物は、安全に廃棄できる。
本発明は、拭取り材、即ち、有機酸および有利には共溶媒を含有する吸収性基材である。
吸収性基材は、クリーンルームにおいて有用である当該技術において公知の任意のタイプ、即ち、粉塵および糸屑発生に関して厳重な制限を有する基材である。クリーンルームの制御された環境における繊維物品、とりわけワイパー類の使用は、クリーンルーム環境中に幾分かの粒子の導入を必然的に生ずる。本発明は、これらの粒子が減少量で存在し比較的良性であることを確実にするように機能する。従って、本発明の拭取り材を使用した結果としてクリーンルーム環境内で発生した粒子は、クリーンルームの制御された環境内で実施するプロセスに有害な作用を有することは恐らく少ないであろう。例えば、半導体ウェーハが製造プロセスの１部として高温に暴露される半導体ウェーハの製造においては、種々の望ましくない粒子、とりわけ金属含有粒子が半導体回路の形状および操作に有害な変化を生ずることが知られている。ある場合には、これらの汚染性粒子は、短絡回路を生ずるか、或いは半導体機能の有害な変化を引き起す擬似ドパントとして作用し得る。
【００１３】
一般に、有機物のみを含有する粒子は、そのような粒子中の有機物が、半導体ウェーハがそのような製造プロセスにおいて受ける高温中に、本質的に消失するであろうことから、有害性が少ないようである。しかしながら、金属および金属塩のような無機物を含有する粒子は、無機物を通常残存させ、必ずしも消失せず、ウェーハと一緒に残って有害な作用を引き起す傾向を有する。
クリーンルーム操作に関連する吸収性基材用の好ましい材料は、合成高分子材料、とりわけ低金属含有量を有する高分子材料である。クリーンルーム用途において成功裏に使用され且つ有機酸で湿潤または含浸させ得る吸収性基材としては、ポリエステルまたはナイロンのメリヤス生地、織布または不織布、好ましくは連続フィラメントヤーンからのメリヤス生地がある。このタイプの拭取り材は、商品名ＡＬＰＨＡＷＩＰＥ、ＡＬＰＨＡＳＯＲＢ、ＡＬＰＨＡＬ ０、およびＭＩＲＡＣＬＥＷＩＰＥとして、ニュージャージー州アッパーサドルリバーのＴｅｘｗｉｐｅ Ｃｏｍｐａｎｙ社から商業的に入手可能である。ポリエステル織布またはナイロン織布も使用可能である。
別の吸収性基材材料は、スパンボンドポリプロピレンである。これら織布の繊維は、ランダムに配列され、熱または化学作用によって一緒に結合している。このタイプの拭取り材は、商品名ＰＯＬＹＳＡＴとして、Ｔｅｘｗｉｐｅ Ｃｏｍｐａｎｙ社から商業的に入手可能である。さらに別の吸収性基材は、ヒドロエンタングルメント（ｈｙｄｒｏｅｎｔａｎｇｌｅｍｅｎｔ）によって一緒に結合した５５％セルロースと４５％ポリエステルとの繊維または１００％ポリエステルである。典型的な製品は、Ｔｅｘｗｉｐｅ Ｃｏｍｐａｎｙ社から入手可能なＴＥＣＨＮＩＣＬＯＴＨである。ポリウレタン発泡拭取り材、並びにレーヨン、アクリル、マニラアサ（例えば、Ｔｅｘｗｉｐｅ Ｃｏｍｐａｎｙ社から市販されているＭ−ＷＩＰＥ）、大麻、および綿等から製造した拭取り材も、許容し得る吸収性基材材料である。スポンジ類、とりわけ合成スポンジは、高容量拭取り基材用に使用できる。
【００１４】
本発明の拭取り材は、少なくとも１種の有機酸を含有する吸収性基材を有する。有機酸は、こぼれた化学薬品中の苛性物と反応し或いは苛性物を中和し得る。無機酸、例えば、硝酸、硫酸および塩酸は、一般に、１〜２のｐＫａを有する。そのような強酸は、高中和容量を有するが、清浄化した装置、布類および人員に対して容易に腐蝕を生じ得る。クリーンルーム環境は、多くの場合、市販の鉱酸において見出されるような濃厚イオンに暴露させることもできない。
好ましい酸は有機酸である。有機酸は、式Ｒ−（Ｙ）ａを有し得、式中、ａは１〜３範囲の数であり、Ｙは −ＣＯＯＨ、−ＣＨ２ＣＯＯＨおよび −ＣＨＯＨ−ＣＯＯＨからなる群から選ばれ、Ｒはａが１に等しい場合のみ−Ｈであり得、或いはａが１〜３に等しい場合には、Ｒは脂肪族炭化水素または芳香族炭化水素からなる群から選ばれる。また、有機酸は、下記の式も有し得る：
【００１５】
【化１】
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（式中、Ｘは、−ＯＨ、−ＮＨＲ、−Ｈ、−ハロゲン、−ＣＯ２Ｈおよび−ＣＨ２−ＣＯ２Ｈもしくは−ＣＨＯＨ−ＣＯ２Ｈであり；Ｒは、−Ｈ、脂肪族炭化水素および芳香族炭化水素からなる群から選ばれる）。
【００１６】
一塩基酸の例としては、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、イソ酪酸および酪酸がある。二塩基酸の例としては、アスコルビン酸、グルコン酸、リンゴ酸、マロン酸、シュウ酸、コハク酸および酒石酸がある。三塩基酸の例としては、クエン酸および没食子酸がある。
好ましいのは、有機酸（１種以上）が１．２よりも大きい、より好ましくは３よりも大きい２７℃でのイオン化定数ｐＫａを有することである。代表的な酸のｐＫａを表２に示している。高めのｐＫａを有する有機酸は腐蝕性が小さく、多くの場合、これらの有機酸は、食品用途において使用されている。従って、その使用において、良好な安全性限界が存在する。有機酸溶液の酸性度は、低ｐＨがある種の生物類の増殖を抑制することから、包装した拭取り材の有機安定性の維持を助長する。極めて低いｐＨ値はヒトの皮膚に刺激をもたらし得るので、湿潤用液体のｐＨは約２．０よりも高いことが好ましい。このレベルの酸性度は、消費者製品において異常ではない。例えば、ソフトドリンクは、約２〜４のｐＨ値を有する。
【００１７】
【表２】表２
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【００１８】
好ましい酸は、１〜７個の炭素原子と分子当り１個よりも多い、即ち、分子当り２個または３個のカルボン酸基を有する。
高揮発性有機酸による問題は、それらの酸がクリーンルーム環境の汚染の原因となり得ることである。高濃度の蟻酸と酢酸は、あまり好ましくない。有機酸は、２７℃で７ ｋＰａ未満、好ましくは２７℃で約１ ｋＰａ未満の蒸気圧を有すべきである。
好ましいのは、有機酸が室温で液状であることである。用語“液状で”とは、本発明に関する限りは、室温で通常は固体であるが、その酸が１種以上の溶媒に溶解してその溶液が室温で安定であるような場合の液状にある酸も包含する。これらの酸の多くは室温で固形であるが、使用する１種以上の酸は溶液中に存在して室温で液体であることが好ましい。有機酸は水に溶解し得る。濃度は、水または他の溶媒中で約１〜約２５質量％の有機酸の範囲で変動し得る。重要な要因は、水溶液中での有機酸と何らかの添加薬剤を含む塩基性製品との溶解性である。関連する配慮としては、有機酸が保存中の拭取り材内で結晶を形成しないことである（その結晶形成は、本発明の拭取り材を収容する密閉小袋を開封したときに粒子の放出を生じ得る）。そのような粒子は、クリーンルーム環境を汚染し得る。クエン酸、没食子酸、マロン酸、酒石酸、シュウ酸等のような酸類は、水のみを使用した場合、これらの結晶を形成し得る。
【００１９】
水は好ましい溶媒であるけれども、水以外の他の溶媒も、有機酸溶液を調製するのに使用できる。また、水と共溶媒も併用できる。結晶化抑制剤は、粉塵源となり得る酸結晶の形成を抑制するのに有利に存在する。結晶化抑制剤は、共溶媒、例えば、アルコール、グリコールまたはこれらの混合物であり得る。結晶化抑制剤は、３〜６個の炭素原子、好ましくは３〜４個の炭素原子を有するグリコール類およびアルコール類からなる群から選ばれる共溶媒であり得る。結晶化抑制剤は、界面活性剤、例えば、非イオン性、カチオン性またはアニオン性界面活性剤を含み得る。好ましくは、その界面活性剤は、３〜６個の炭素原子を有する。他の溶媒または共溶媒の例としては、プロピレングリコール、エチレングリコール、または好ましくは分子当り約３〜６個の炭素原子を含有するアルコール類がある。これらの共溶媒は、水に比較して極めて低い蒸発速度を有する；例えば、２５℃において、プロピレングリコールは０．０２ ｋＰａの蒸気圧を有し、水は３．２ ｋＰａの蒸気圧を有する。有機酸類は、そのような液体中では、その溶媒の蒸発性に基づき結晶を形成することが少ないようである。
【００２０】
勿論、有機酸は、溶媒および１種以上の共溶媒を含む酸溶液中で化学的に安定であり且つ可溶性でなければならない。界面活性剤の例は、グリコール類およびアルコール類からなる群から選ばれる界面活性剤である。さらに、有機酸は、極めて長時間の保存のためには、吸収性基材材料と適合性でなければならない。
含浸させる有機酸の量は、勿論、溶媒または共溶媒中の酸濃度並びに吸収性材料に加えた酸溶液の総量の関数である。この酸溶液量は、基材の吸収容量に依存する。典型的には、含浸させる有機酸溶液の量は、基材質量の１０％〜８０％の範囲であり得、好ましいのは５０〜７０％である。
一般的には、有機酸溶液が基材の吸収容量の約１０％〜約８０％を占めるのが好ましい。好ましくは、有機酸溶液は、基材の吸収容量の約２０％〜約７０％を占める。より一層好ましいのは、有機酸溶液は、基材の吸収容量の約３０％〜約６０％を占める。
幾つかの実施態様においては、吸収性基材は、有機酸溶液によっておおよそ飽和される。この飽和は、最高の希釈および中和効果を提供するが、こぼれ液を吸収する本発明の拭取り材の能力を実質的に低下させる。もう１つの実施態様においては、有機酸溶液は、吸収性基材に、吸収性基材の吸収容量よりも低い量で加える。
【００２１】
有利には、有機酸溶液中の酸濃度は、本発明の拭取り材を、その後、例えばヒドロキシルアミンで飽和させた場合に、拭取り材中の酸量が少なくとも７０％の拭取り材中のヒドロキシルアミンと結合し中性塩を形成するのに十分なように調整する。さらに有利には、有機酸溶液中の酸濃度は、本発明の拭取り材を、その後、ヒドロキシルアミンで飽和させた場合に、拭取り材中の酸量が少なくとも１００％の拭取り材中のヒドロキシルアミンと結合するのに十分なように調整する。幾つかの実施態様においては、有機酸溶液中の酸濃度は、本発明の拭取り材を、その後、ヒドロキシルアミンで飽和させた場合に、拭取り材中の酸量が少なくとも１２０％の拭取り材中のヒドロキシルアミンと結合するのに十分なように調整する。このことは、幾分過剰の酸がクリーニング操作中に拭取り材から消失することを考慮している。この説明を利用すれば、拭取り材の吸収容量並びにその結果としての拭取り材がその後保持し得るヒドロキシルアミンの所望画分を中和するのに必要な酸溶液の量および濃度を決定することは、当業者の能力の範囲内である。
本発明の別の実施態様においては、溶媒および／または共溶媒、拭取り材に含浸させる酸溶液量、および酸溶液中の酸濃度は、ヒドロキシルアミンまたはヒドロキシルアミン化合物の酸塩が、一旦拭取り材中の酸溶液と結合してしまえば、結晶を形成しないように調整する。
【００２２】
製造中に拭取り材を含浸させる時間は、例えば、約０．１時間〜約０．５時間、好ましくは約０．１〜約０．１５時間の範囲の任意の時間量であり得る。この処理時間は、例えば、含浸用酸溶液中の酸濃度、この溶液に加える拭取り材の量、含浸工程温度および撹拌量を変えることによって、かなり大きな度合で変動し得る。例えば、拭取り材の厚さの中心を拭取り材の厚さの両外側端で所望される濃度よりもより酸性の酸溶液で含浸させること、或いは人および／または表面と接触し得る酸を最小限にすることおよび溶媒の蒸発による酸結晶形成の可能性を最小限にすることの双方が望まれる場合がある。
界面活性剤（非イオン系、アニオン系およびカチオン系）を上記の配合物中に含ませ得る。上記有機酸溶液の表面張力は典型的に６０〜７０ダイン／ｃｍ （６００〜７００μＮ／ｃｍ）であるけれども、表面張力を低下させる必要がある特別な場合も存在し得る。
本発明の別の実施態様においては、適切なｐＨ指示薬を、０．００１％〜０．１％の濃度で、有機酸溶液に添加する。好ましいｐＨ指示薬は、５〜８のｐＨ範囲で変色するであろう。適切なｐＨ指示薬としては、ブロモクレゾールパープル、クロロフェノールレッド、アリザリンおよびフェノールレッドがある。ｐＨ指示薬を含有する拭取り材は苛性物を吸取ったときに変色し、その色は、苛性物を中和する拭取り材中の酸が不足した場合、変化したままである。
【００２３】
本発明の拭取り材は、有利には、実質的に気密性の小袋内で保存し、その拭取り材が乾燥しないように或いは取扱いまたは保存中に粉塵を吸引しないようにする。そのパッケージ即ち小袋は、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリ（４−メチルペンテン−１）、プロピレンとエチレンのコポリマー、エチレンと酢酸ビニルのコポリマー、エチレンとエチルアクリレートのコポリマー、およびエチレンとアクリル酸またはメタクリル酸とのコポリマーからなる群から選ばれたポリオレフィンから製造し得る。そのパッケージは、１２．７〜２５４ミクロン（０．５〜１０ミル）の厚さを有する。
本発明の酸含有クリーンルーム拭取り材は、好ましくは、液体密封性で気密性のプラスチックバッグまたは小袋内に包装する。液体密封性、気密性プラスチックバッグの例は、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリブテン、ポリ（４−メチルペンテン−１）、プロピレンとエチレンのコポリマー、エチレンと酢酸ビニルのコポリマー、エチレンとエチルアクリレートのコポリマー、およびエチレンとアクリル酸またはメタクリル酸とのコポリマーから製造した透明なポリオレフィンプラスチックバックである。そのポレオレフィンは、約１２．７〜約２５４ミクロン（約０．５〜約１０ミル）、好ましくは約２５．４〜約１２７ミクロン（約１〜約５ミル）の厚さを有する。
【００２４】
ポリオレフィンから製造され、約１２．７〜約２５４ミクロン（約０．５〜約１０ミル）、好ましくは約２５．４〜約１２７ミクロン（約１〜約５ミル）の厚さを有し、バッグの１端または縁部でのシーリング、ロッキングまたは閉じ込み構造に特徴を有する食品保存用バッグも使用可能である。図１は、拭取り材３１を収容する、閉じ込み可能な液体および空気耐性シール２１を一端に有する液体および空気密封性子袋またはバッグ１１を例として示している。得られるパッケージは、本発明に従う拭取り材３１を収容している。即ち、本発明の拭取り材３１は、（ｉ）有機酸および（ｉｉ）有機酸用の結晶化抑制剤を含有する吸収性基材を有する。その酸は、前述した式を有する有機酸である。酸結晶の形成を抑制する結晶化抑制剤は界面活性剤であり得、拭取り材３１の吸収性基材は、メリヤス生地、織布および不織布からなる群から選ばれた生地である。
【００２５】
一般に、本発明は、汚染物を、汚染物と反応し得る化合物を含有する吸収性基材の形にある吸収性拭取り材と接触させることによる環境の脱汚染方法を含む。
さらに詳細には、本発明は、苛性物質の清浄化方法も含む。中和させることのできる苛性物質としては、約８以上のｐＨを有する任意の物質、とりわけ、アミン類、アルカノールアミン類およびヒドロキシルアミン化合物がある。とりわけ、ヒドロキシルアミン化合物の酸塩を形成させることが重要である。何故ならば、ヒドロキシルアミン化合物の酸塩は、自然または自己触媒性酸化反応を受けないからである。酸塩に転化したヒドロキシルアミンまたはヒドロキシルアミン化合物（ｐＨ９〜１１）は、安全に廃棄し得る。本発明方法は、こぼれた苛性物質、即ち、ヒドロキシルアミンまたはヒドロキシルアミン化合物を本発明の拭取り材と接触させ、こぼれ液を吸い取らせることを含む。その後、拭取り材は、拭取り材を水中で必ずしも洗浄または失活させることなく、廃棄する。
さらに詳細には、本発明は、クリーンルーム環境内のアルカリ性または苛性化学薬品の清浄化方法を含む。クリーンルーム環境とは、直径０．５ミクロンよりも大きい粒子数が空気１立方メートル当り３５３１．５個未満（１立方フィート当り１００個未満）および直径０．３ミクロンよりも大きい粒子数が空気１立方メートル当り１０５９４．４個未満（１立方フィート当り３００個未満）であることに特徴を有する環境を一般に意味する。本発明の拭取り材は、有機酸を含有する吸収性基材を有する。本発明方法は、こぼれた化学薬品を本発明の拭取り材と接触させ、こぼれ液を吸い取らせることを含む。その後、拭取り材は、拭取り材を水中で洗浄または失活させる必要はないが、好ましくは、密閉容器内に廃棄する。
【００２６】
本発明のさらなる局面は、適切な基材材料に適切な酸を含浸させることによる拭取り材の製造方法である。本発明の拭取り材は、有機酸を含有する吸収性基材を有する。適切な吸収力を有する拭取り材を有機酸で含浸させることができる。吸収性基材は、メリヤス生地、織布および不織布からなる群から選ばれた生地である。有機酸は、通常の室温条件下で液状であり、２７℃で７ ｋＰａ未満の蒸気圧を有することが好ましい。用語“液状で”とは、本発明に関する限りは、室温で通常は固形であるが、その酸が１種以上の溶媒に溶解してその溶液が室温で安定であるような場合の液状にある酸も包含する。
現在開示されている中和クリーンルーム拭取り材製品は、クリーンルーム内でこぼれた苛性化学薬品の中和に備えている。その苛性化学薬品は、８より高いｐＨを有する任意の化学薬品であり得る。本発明は、アミン類、アルカノールアミン類およびヒドロキシルアミン化合物に対してより特異性である。
有機酸は、好ましくは１〜７個の総炭素数を有する（一、二または三官能性）であり得る。最も一般的には、有機酸は、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、ｎ−酪酸、イソ酪酸および酪酸からなる群から選ばれた一塩基酸；アスコルビン酸、グルコン酸、リンゴ酸、マロン酸、シュウ酸、コハク酸および酒石酸からなる群から選ばれた二塩基酸；またはクエン酸および没食子酸からなる群から選ばれた三塩基酸である。二官能性および三官能酸が好ましい。有機酸は、１．２よりも大きい２７℃でのイオン化定数ｐＫａにさらに特徴を有する。
【００２７】
本発明のさらなる局面は、表１に記載したクリーンルーム環境の各々、例えば、直径０．５ミクロンよりも大きい粒子数が空気１立方メートル当り３５３１．５個未満（１立方フィート当り１００個未満）および直径０．３ミクロンよりも大きい粒子数が空気１立方メートル当り１０５９４．４個未満（１立方フィート当り３００個未満）であることに特徴を有する環境からの汚染物の除去方法を提供することである。本発明の脱汚染方法によれば、汚染物を、汚染物と反応し得る酸を含有する吸収性基材の形にある吸収性拭取り材と接触させる。
本発明のさらなる局面は、化学機械研磨具からの硝酸第２鉄汚染物の清浄化方法である。これらの汚染物は、酸化剤の硝酸第２鉄を半導体工業におけるタングステン研磨において使用するときに形成される。この酸化剤の幾分かは、研磨装置上にはねかかり、硝酸第２鉄、酸化第２鉄および水酸化第２鉄化合物として乾燥し、スラリー粒子を含有する。これらの汚染物はある一定の間隔で除去して、これらの汚染物が、他の研磨ウェーハに劣化をその後引き起すことによって研磨プロセスを干渉することがないようにする必要がある。
【００２８】
本発明のさらに別の局面は、有機酸を含有する拭取り材と追加の有機酸を含有するスプレーびんとを含むキットである。スプレーびん内の酸溶液は、拭取り材中の酸溶液と同じである必要はない。酸溶液は、スプレーびんから分配され、化学機械研磨具、ドラムおよび他の大表面または複雑表面構造体のクリーニングにおいてとりわけ有用である。
ヒドロキシルアミンタイプの製品のこぼれ液が生じた場合、上述したような酸含浸拭取り材を、密封小袋から取出し、その拭取り材が飽和するまでこぼれ液と交差させて拭く。追加の拭取り材を使用して苛性ヒドロキシルアミン化学物を除去することもできる。本発明の拭取り材は、適切な廃棄容器に廃棄すべきである。中和した残留物は、自然発火を起すことはないであろう。
【００２９】
（発明を実施するための最良の形態）
以下の実施例は、本発明の範囲に属する有機酸を含有する拭取り材の製造方法の幾つかの例示である。勿論、これらの実施例は、如何なる形でも、本発明を限定するものとみなすべきではない。酸、溶媒および任意成分としての界面活性剤の選定；各割合の範囲；操作中の時間と温度等のような数多くの変更と修正が、本発明においてはなされ得る。
実施例１
２５部のプロピオン酸と７５部の水を含有する溶液を使用して、標準の吸収性クリーンルーム拭取り材を部分的に飽和させる。この拭取り材を１０分間ソーキングさせ、上記溶液から取出し、水切りする。得られた拭取り材は、乾燥させずに、保存用の“小袋”中に密閉する。
実施例２
２０部のクエン酸、１０部のプロピレングリコールおよび７０部の水を含有する溶液を使用して、標準の吸収性クリーンルーム拭取り材を飽和させる。この拭取り材を１０〜１５分間ソーキングさせ、上記溶液から取出し、水切りする。その後、得られた拭取り材は、図１に示すような保存用の“小袋”中に密閉する。
【００３０】
実施例３
２部の酢酸、１８部のクエン酸、５部のマロン酸、５部のプロピレングリコールおよび７０部の水を含有する溶液を使用して標準の吸収性クリーンルーム拭取り材を飽和させる。この拭取り材を上述のようにして処理する。
実施例４
９０部の約９２％乳酸水溶液と１０部のプロピレングリコールを含有する溶液を使用してクリーンルーム拭取り材を飽和させる。この拭取り材を上述のようにして処理する。
実施例５
ペーパータオルをクエン酸溶液で湿潤させた。次いで、これらの湿潤タオルを使用して、カリフォルニア州ヘイワードのＥＫＣ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ社から入手可能なヒドロキシルアミン−、アルカノールアミン−およびカテコール−含有クリーナー、ＥＫＣ２６５を拭き取った。中和熱の消散後、二次的な自己酸化熱は検知されなかった。深赤色の溶液色は、活性成分が酸形であったために、著しく退色した。
上記の各拭取り材を使用してヒドロキシルアミン化合物のこぼれ液を吸い取らせた。自己酸化の形跡は観察されなかった。
【００３１】
本発明をある種の好ましい実施態様と例示によって説明してきたけれども、これらの実施態様および例示は、特許請求の範囲によって限定されるような本発明の範囲を限定するものではない。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の拭取り材を収容する、閉じ込み可能な液体および空気耐性シールを一端に有する液体および空気密封性子袋またはバッグの１例を示す。
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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2004502862.tif 000028
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