(57)【要約】好ましくは、テストデバイス(１)であるデバイス(１)において、前記デバイス（１）自体に関して重要であるデバイス識別データ（ＤＩＤＡ）を生成するためのデータ生成手段(５)が設けられ、デバイス識別データ（ＤＩＤＡ）が、デバイス（１）に導入される集積回路（２）に入力されることが可能であり、集積回路（２）が、デバイス識別データ（ＤＩＤＡ）を記憶するように設計されると共に、もたらされるメモリ領域（１３）をもつメモリ（１２）を有する、デバイス（１）に関する。
2004537164.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
集積回路に識別データを記憶するためのデバイスであって、当該デバイス自体に関して重要であるデバイス識別データを生成するための第１のデータ生成手段を有するデバイス。
【請求項２】
第２のデータ生成手段が、カウントデータを生成するために設けられ、前記カウントデータが、前記デバイスで処理される集積回路を備えるウェーハの数を表す、請求項１に記載のデバイス。
【請求項３】
前記デバイスが、前記集積回路をテストするためのテストデバイスの形態をとる、請求項１又は請求項２に記載のデバイス。
【請求項４】
識別データを集積回路に書き込む方法であって、デバイス識別データが生成され、前記デバイス識別データが、前記集積回路に前記識別データを記憶するように設計されるデバイス自体に関して重要であると共に、前記集積回路のメモリ手段に記憶される方法。
【請求項５】
カウントデータが、生成され、前記カウントデータが、前記デバイスで処理される集積回路を備えるウェーハの数を表し、前記カウントデータが、前記集積回路のメモリ手段に記憶される、請求項４に記載の方法。
【請求項６】
位置データが、更に生成され、前記位置データが、前記ウェーハ上の前記集積回路の位置を表すと共に、前記集積回路のメモリ手段に記憶される、請求項４又は請求項５に記載の方法。
【請求項７】
識別データを記憶するためのメモリ手段をもつ集積回路であって、前記メモリ手段が、第１のメモリ領域を有し、前記第１のメモリ領域が、デバイス識別データを記憶するように設計され、前記デバイス識別データが、前記識別データに記憶するためのデバイスに関して重要である集積回路。
【請求項８】
前記メモリ手段が、第２のメモリ領域を有し、前記第２のメモリ領域が、カウントデータを記憶するように設計され、前記カウントデータが、前記デバイスで処理される集積回路を備えるウェーハの数を表す、請求項７に記載の集積回路。
【請求項９】
前記メモリ手段が、第３のメモリ領域を有し、前記第３のメモリ領域が、位置データを記憶するように設計され、前記位置データが、前記ウェーハ上の前記集積回路の位置を表す、請求項７又は請求項８に記載の集積回路。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、集積回路に識別データを記憶するためのデバイスに関する。
【０００２】
本発明は、更に、集積回路に識別データを書き込む方法に関する。
【０００３】
本発明は、更に、識別データを記憶するためのメモリ手段をもつ集積回路に関する。
【背景技術】
【０００４】
上記デバイス、上記方法及び上記集積回路は、当業者の間で以前から知られている。この文脈において、例えば、以下の特許文献、すなわち、米国特許公報第６０１８６８６号、米国特許公報第５６４２３０７号、米国特許公報第６１５４８７２号及び米国特許公報第５３６９７４７号に参照がなされてもよい。
【０００５】
知られる解決策により、このような集積回路の製造後に、製造及びテスティングに関する結果を導くことを可能にするために、できるだけ多くの様々な識別データを集積回路に記憶することが既に知られている。例えば、製造地、製造日付、ウェーハにおける集積回路の元の位置、テスト工程の結果等に関して重要であるような識別データを集積回路に記憶することが知られている。
【０００６】
集積回路に、この集積回路に対して固有の識別番号を記憶することも同様に既に知られており、上記識別番号は、関連する集積回路を明白に識別することがいつでも可能になる可能性を提供する。このような集積回路の製造業者の中央局(central office)から、集積回路に対するこうした識別番号を発行させることは、そのような集積回路の製造が異なる生産現場で実施された場合でさえ、これまで通常に行われてきた。このような固有の識別番号の特定の割当ては、その場合、各々の生産現場で入手可能にされ、当該割当てが、その後に関連する生産現場に対して発行されてきた。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
この工程は、かなり多数の未使用の識別番号が浪費されてきたという点で、不利であることが明らかになった。集積回路の製造及びテスティングに関係する一定のデータ及び情報が、それまでに発行された識別番号に含まれておらず、このことにより、用途によっては問題が引き起こされることも更に明らかとなっている。
【０００８】
本発明の目的は、上記に説明された問題を取り除くと共に、改善されたデバイス、改善された方法及び改善された集積回路を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上述の目的を実現するために、本発明による特徴が、本発明によるデバイスにもたらされるので、本発明によるデバイスは、以下の態様によって特徴付けられてもよい。すなわち：
集積回路に識別データを記憶するためのデバイスであって、当該デバイスが、デバイスそれ自体に関して重要なデバイス識別データを生成するための第１のデータ生成手段を有するデバイスである。
【００１０】
上述の目的を実現するために、本発明による特徴が、本発明による方法にもたらされるので、本発明による方法は、以下の態様によって特徴づけられてもよい。すなわち：
集積回路に識別データを書き込む方法であって、当該方法においてデバイス識別データが生成され、このデバイス識別データは、集積回路に識別データを記憶するように設計されるデバイス自体に関して重要であると共に、集積回路のメモリ手段に記憶される方法である。
【００１１】
上述の目的を実現するために、本発明による特徴が、本発明による集積回路にもたらされるので、本発明によるこのような集積回路は、以下の態様によって特徴づけられてもよい。すなわち：
識別データを記憶するためのメモリ手段をもつ集積回路であって、このメモリ手段が、第１のメモリ領域を有し、この第１のメモリ領域が、デバイス識別データを記憶するように設計され、このデバイス識別データが、識別データを記憶するためのデバイスに関して重要である集積回路である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
本発明による特徴をもたらすことにより、非常に簡略な態様において且つ非常に僅かな追加の作業により、集積回路に製造中に、デバイス識別データが生成されることを確実にすることが可能になり、このデバイス識別データは、集積回路に識別データを記憶するように設計されるデバイス自体に関して重要であるので、完成した集積回路の場合に、そのデバイス自体に関して重要であるデバイス識別データが、この集積回路に記憶される。このことによって、上記集積回路の識別データが、関連する集積回路に記憶されるので、完成した集積回路の場合に、当該集積回路に記憶されたデバイス識別データが記憶されたことによって、更に設定され得るという、顕著で従来は未達成の利点が得られる。このことは、集積回路に識別データを記憶するために、１つの生産現場に複数のデバイスがある場合においてさえ、これらのデバイスの各々が、その後に、集積回路に記憶されたデバイス識別データによって、再び発見可能又は追跡可能であり得るという利点を提供し、このことは、集積回路の場合、その完成後に欠点が発見されるとき、とりわけ大きな利点となり、このことは、識別データを記憶するデバイスに帰するものであり得る。
【００１３】
本発明による手段をもたらすことにより、デバイス識別データを使用するために、集積回路に対する固有の識別番号が、中央局から発行されることがもはや必要でなくなり、それよりもむしろ、これらの固有の識別番号の各々に含まれるデバイス識別データが識別されることにより、簡略なやり方で上記固有の識別番号が互いに識別され得るため、集積回路に識別データを記憶するための各デバイスによって、上記識別番号が分散された態様で有利に発行され得るという、更なる利点が実現される。
【００１４】
本発明による方法は、集積回路に識別データを記憶するためのデバイスが、当該集積回路をテストするためのテストデバイスである場合、特に重要であると共に有利である。この場合、データワードが、デバイス識別データとして集積回路に記憶されることが極めて有利であることが分かっており、これらのデータワードは、関連するテストデバイスの場所と、更にこのテストデバイスに対して発行された番号とを記憶する。
【００１５】
本発明による上記に説明された方法に関連して、カウントデータが、デバイス識別データに加えて集積回路に記憶されることは極めて有利であることが分かっており、このカウントデータは、集積回路に識別データを記憶するためのデバイスにより処理される集積回路を備えるウェーハの数を表す。これは、有利なことに、集積回路に記憶される識別番号の固有の性質を確かなものにする。
【００１６】
それに加えて、上記手段に関連して、位置データが、更に、デバイス識別データ及び任意にカウントデータに加えて、集積回路に記憶されることは有利であることが分かっており、この位置データは、ウェーハ上の集積回路の位置を表す。この手段は、それ自体が既に知られているけれども、本発明の内容においても有利である。
【００１７】
上述された本発明の態様及びその更なる態様は、後述される実施例から明らかになると共に、この実施例を参照して説明されるだろう。
【００１８】
本発明は、図面に示される実施例を参照して更に説明されるであろう。ただし、本発明は、これらの図面に限定されるものではない。
【実施例１】
【００１９】
図１は、集積回路２に識別データＩＤＡを記憶するためのデバイス１を示している。この実例では、デバイス１はテストデバイス１であり、このテストデバイスによって、集積回路２が適切なサービス状態であることを検査するために、集積回路２がテストされ得る。
【００２０】
テストデバイス１は、テスト段階４を示すテスト手段３を有し、このテスト段階によって、テストデバイス１に導入されると共に、ウェーハ上に位置される集積回路２をテストするように、テスト工程が実行され得る。前述されたテスト工程及び集積回路２のテストデバイス１への導入は、本文脈において関連性がないので、本明細書ではこれ以上詳細に考察されない。
【００２１】
テスト手段３は、更に、第１のデータ生成手段５、第２のデータ生成手段６、第３のデータ生成手段７及び第４のデータ生成手段８を有している。これら４つの上記データ生成手段５、６、７及び８は、テスト手段３のデータ処理手段９の構成要素である。第１のデータ生成手段５は、テストデバイス１自体に関して重要なデバイス識別データＤＩＤＡを生成するように設計されると共に、もたらされている。デバイス識別データＤＩＤＡは、この場合、テストデバイス１の場所と、集積回路２の製造業者又はテストデバイス１の製造業者のいずれかによって発行された、テストデバイス１の番号とを表すデータから構成されている。第２のデータ生成手段６は、カウントデータＣＤＡを生成するように設計されると共に、もたらされている。カウントデータＣＤＡは、テストデバイス１によってテストされるウェーハの数を表している。第３のデータ生成手段７は、位置データＰＤＡを生成するように設計されると共に、もたらされている。位置データＰＤＡは、ウェーハ上の集積回路２の位置を表している。これは、集積回路２がウェーハから分離する前に、このウェーハに占めていた位置であってもよい。第４のデータ生成手段８は、製造業者データＭＤＡを生成するように設計されると共に、もたらされている。製造業者データＭＤＡは、集積回路２の製造業者に関して重要である。
【００２２】
集積回路をテストする間に、テスト手段３によって生成される識別データＩＤＡ、すなわち、デバイス識別データＤＩＤＡ、カウントデータＣＤＡ、位置データＰＤＡ及び製造業者データＭＤＡは、好ましくは、上記テストの終わりで、図１に概略的に示されている接続部１０を介して、テストデバイス１に導入される集積回路２に伝送される。
【００２３】
集積回路２は、ＩＣデータ処理手段１１を有し、該手段によって、集積回路２に伝送されるデータが処理されてもよく、該手段によって、集積回路２に含まれるデータも同様に処理されてもよい。集積回路２は、更に、メモリ手段１２を有している。このメモリ手段１２は、複数のデータを記憶するように設計されると共に、もたらされているけれども、このことは、本明細書においてこれ以上詳細には全体的に考察されないであろう。しかしながら、本事例において、メモリ手段１２が、第１のメモリ領域１３、第２のメモリ領域１４、第３のメモリ領域１５及び第４のメモリ領域１６を有していることには留意されるべきである。
【００２４】
第１のメモリ領域１３は、デバイス識別データＤＩＤＡを記憶するように設計されると共に、もたらされている。第２のメモリ領域１４は、カウントデータＣＤＡを記憶するように設計されると共に、もたらされている。第３のメモリ領域１５は、位置データＰＤＡを記憶するように設計されると共に、もたらされている。第４のメモリ領域１６は、製造業者データＭＤＡを記憶するように設計されると共に、もたらされている。
【実施例２】
【００２５】
図２は、識別データの可能な構成の実施例としてのデータワードの概略図である。このデータワードは、合計７バイトで構成され、これらのバイトはバイト番号ＵＩＤ０、ＵＩＤ１、ＵＩＤ２、ＵＩＤ３、ＵＩＤ４、ＵＩＤ５及びＵＩＤ６を示している。製造業者データＭＤＡは、バイト番号ＵＩＤ０をもっているバイトに記憶されている。ｘ座標を表す位置データＰＤＡの８個の最下位ビットは、バイト番号ＵＩＤ１をもっているバイトに記憶されている。ｙ座標を表す位置データＰＤＡの８個の最下位ビットは、バイト番号ＵＩＤ２をもっているバイトに記憶されている。デバイス識別データＤＩＤＡ、すなわち、テストデバイス１の場所及びテストデバイス１の番号を表すデータは、バイト番号ＵＩＤ３をもっているバイトに記憶されている。カウントデータＣＤＡの１６個の最下位ビットは、バイト番号ＵＩＤ４及びＵＩＤ５をもっている２つのバイトに記憶され、これらが、テストデバイス１の２０ビットカウンタの１６個の最下位ビットとなり、この２０ビットカウンタが、テスト手段３の第２のデータ生成手段６の構成要素である。ｘ座標を表す位置データＰＤＡの２個の最上位ビットの後に、ｙ座標を表す位置データＰＤＡの２個の最上位ビットが続き、その後に、テストデバイス１の２０ビットカウンタの４個の最上位ビットを構成する、カウントデータＣＤＡの４個の最上位ビットが、バイト番号ＵＩＤ６をもっているバイトに連続して記憶されている。
【００２６】
テスト段階４とデータ処理手段９との双方は、マイクロコンピュータ又はハードワイヤード論理回路の形態をとり得ることが言及されてもよい。マイクロコンピュータを用いる好ましい構造において、２０ビットカウンタが、単にカウント変数という形態をとってもよい。集積回路を備える新規のウェーハが、テストデバイス１に導入される場合、カウント変数は、開始値、例えば１０進法のゼロ（０）から、ある値、例えば１０進法の１ずつ増加される。そのため、位置データＰＤＡ及びカウントデータＣＤＡのテストデバイスの組み合わせは常に異なるので、識別データＩＤＡが、更なる集積回路にその後に記憶されるとき、当該識別データＩＤＡは固有であること、すなわち、同一の識別データＩＤＡを有する集積回路が存在し得ないことが保証される。２０ビットカウンタが、別の開始値、例えば、この２０ビットカウンタが、表示し得る最大値から、ある値、例えば１ずつ減少されてもよいことが言及されるべきである。このような及び他のカウンタ操作は、当業者に知られており、かかる理由のために、本明細書においてこれ以上詳細には考察されないであろう。
【００２７】
カウントデータＣＤＡが、識別データＩＤＡに関して実行される記憶プロセスの回数を同様に表してもよいことが言及されてもよい。この点に関して、集積回路に識別データＩＤＡを記憶することが正常に終了している場合、２０ビットカウンタは、例えば、ある値の１ずつ常に増加されるので、識別データＩＤＡの一意性は、更なる集積回路における識別データＩＤＡの連続的な記憶の場合に保証される。理解できることだが、この方法により実現可能な歩留りは、「ウェーハカウント」を用いる方法よりも低い。すなわち、固有の識別データＩＤＡをもつより少ない集積回路が可能である。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】集積回路用のテストデバイスから構成される、本発明の実施例によるデバイスの、ブロック図形式での極めて概略的な図である。
【図２】本発明の実施例による集積回路に記憶される識別データを概略的に示す。
【図２】
2004537164.tif 000003
【国際公開パンフレット】
2004537164.tif 000004
2004537164.tif 000005
2004537164.tif 000006
2004537164.tif 000007
2004537164.tif 000008
2004537164.tif 000009
2004537164.tif 000010
2004537164.tif 000011
2004537164.tif 000012
2004537164.tif 000013
2004537164.tif 000014
【国際調査報告】
2004537164.tif 000015
2004537164.tif 000016