(57)【要約】上面および底面を有する本質的に平坦な部材を含み、前記底面に設けられた第１開口部（３０）と上面に設けられた第２開口部（３２）とを有し、それにより、前記開口部の間のチャネルと、前記開口部の間の遷移領域（３４）と、を形成するミニチュアノズル（２８）構造物。第１開口部（３０）の直径は第２開口部（３２）の直径よりも大きい。前記第１開口部（３０）と第２開口部（３２）の幾何学的形状はそれぞれ異なる。チャネルの直径は、第１開口部から第２開口部へ向かう方向に遷移領域まで低減し、遷移領域から第２開口部まで一定である。前記遷移領域（３４）における、異なる幾何学的形状間の交差部は、真の幾何学的交差部に相当する。穴を形成する方法も開示されており、この方法はリソグラフィ技術を含む。
2004511366.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
本質的に平坦な部材に穴を形成する方法であって、前記穴が、正確に画定された形状寸法を有し、かつ第１開口部および第２開口部を有し、前記第１開口部は前記第２開口部よりも大きい直径を有し、これにより前記開口部の間にチャネルが画定され、チャネルの断面積は第１開口部から第２開口部に向かって遷移領域まで縮小し、遷移領域において２つの異なる形状が真の交差部で交差する方法であって、
断面の寸法が上部に向かって縮小する突出部を有するポジ型モールドを形成するステップと、
ポジ型モールドの上に光硬化性樹脂層を塗布するステップと、
前記光硬化性樹脂を、前記第２開口部の所望の形状寸法を画定するパターン領域を有するマスクにより、前記パターン領域を前記突出部と位置合わせしてマスキングするステップと、
光硬化性樹脂を硬化状況下に露出して、前記マスクにより露光された部分のみを硬化させるステップと、
硬化しなかった樹脂を溶解するステップと、
硬化樹脂層を基板から取り外すステップとを含む方法。
【請求項２】
ポジ型モールドを形成するステップが、
エッチング可能な平坦な基板を設けるステップと、
基板に、複数の不連続のエッチング可能な領域を前記基板上に画定するエッチングマスクを設けるステップと、
基板を、前記エッチング可能な領域においてエッチングして前記基板内に凹部を形成し、それにより前記ポジ型モールドを画定し、かつ、上部に向かって断面寸法が縮小する前記突出部が残されるステップとを含む請求項１に記載の方法。
【請求項３】
基板のエッチングが等方性エッチングである請求項２に記載の方法。
【請求項４】
基板のエッチングが異方性エッチングである請求項２に記載の方法。
【請求項５】
前記第２開口部の所望の形状寸法を画定する前記マスクが、不透明な領域がその上に設けられたガラスプレートを含む請求項２に記載の方法。
【請求項６】
前記不透明な領域が前記第２開口部の形状寸法を画定する請求項５に記載の方法。
【請求項７】
硬化されていない樹脂を溶解するステップの前に、さらなる光硬化性樹脂層を塗布し、前記層を、前記第２開口部を取り囲む保護構造物を画定するマスクによりマスキングし、樹脂を硬化状況下に露出させ、マスクを取り外す請求項１乃至６のいずれか一項に記載の方法。
【請求項８】
前記マスクが平坦な部材の上面に凹部を画定し、前記凹部が前記第２開口部を取り囲む請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記マスクが、前記上面にチャネル構造物も画定する請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
上面および底面を有する本質的に平坦な部材を含むミニチュアノズル（２８）構造物であって、前記平坦な部材の前記底面に設けられた第１開口部（３０）と、前記上面に設けられた第２開口部（３２）と、を有し、それにより前記開口部の間のチャネルと、前記開口部の間の遷移領域（３４）と、が形成されたミニチュアノズル構造物において、
第１開口部（３０）の直径が第２開口部（３２）の直径よりも大きく、
チャネルの直径は、第１開口部から第２開口部へ向かう方向において遷移領域まで縮小し、遷移領域から第２開口部まで一定であり、
前記遷移領域（３４）における、異なる幾何学的形状間の交差部が真の幾何学的交差部に相当することを特徴とするミニチュアノズル構造物。
【請求項１１】
さらに、前記第２開口部を取り囲む保護構造物を含み、前記構造物が、上面における凹部（５２）の形態である請求項１０に記載のノズル構造物。
【請求項１２】
前記上面に設けられ、かつ前記凹部（５２）から前記平坦な部材の外周に向かって延在するチャネル（５４）を含む請求項１１に記載のノズル構造物。
【請求項１３】
チャネルが、ほぼトランペットベルの形状を有する第１の部分、およびほぼ管状の第２の部分を含む請求項１０、１１または１２に記載のノズル構造物。
【請求項１４】
前記第２の部分がクローバーの葉の形状の断面を有する請求項１３に記載のノズル構造物。
【請求項１５】
第２の断面の形状がインゲン豆の形状である請求項１３に記載のノズル構造物。
【請求項１６】
前記第１開口部（３０）と第２開口部（３２）の幾何学的形状がそれぞれ異なる請求項１〜１５のいずれか一項に記載の方法。
【請求項１７】
請求項１０に記載のノズル構造物を含むインクジェットプリンタノズル。
【請求項１８】
請求項１７に記載のノズルを含むインクジェットプリンタ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、改良された形状寸法を有する穴を基板に形成する方法、および、かかる穴を含む構造物、例えば種々の用途のためのノズルに関する。詳細には、本発明は、対向する側にある開口部がそれぞれ異なる断面形状を有し、かつこれらの２つの幾何学的形状の交差部（共通部分）が真の幾何学的交差部である穴に関する。
【０００２】
発明の背景
多くの技術分野において、正確に制御された形状および寸法を有する小穴を形成することが必要とされる。インクジェットプリンタ技術、種々の試薬の分配装置、薬品用のエアゾールスプレイなどに例を見ることができる。幾何学的形状および寸法の他に、表面の特性を、当該用途の特定の要求条件を満たすように化学的に変えることができ、例えば、濡れ性（湿潤性）がコントロールされる。
【０００３】
現在用いられている方法の中で、レーザアブレーションおよび電気めっき技術について言及することができる。レーザアブレーションは昇華を伴い、複雑で費用が高いプロセスであり、穴の形状および寸法を画定するマスクを利用する。電気めっき技術は成形技術を用い、この技術において、「ピン」を突き出すことにより穴を画定するポジ型モールド（雄型）の半分が、蓋またはカバーを画定する第２のモールド（型）の半分とぴったりと嵌合されなければならない。モールド間の嵌合が完全でないと、成形完了後に、穴を覆う薄い成形「膜」が残ることになる。この膜を何らかの物理的処理により除去しなければならず、不完全な縁部が残ることが多く、この縁部は、例えばノズルとしての用途において穴の機能に有害な影響を及ぼすことになる。
【０００４】
穴を形成するための先行技術の例が、本件の出願人によるスウェーデン国特許出願ＳＥ−０００３２９３−８号に開示されている。
【０００５】
しかし、前記特許出願に開示された方法を用いると、対向する端部の断面が異なり、かつ、これらの異なる断面形状の間に真の交差部を有する穴を形成することは可能ではない。
【０００６】
入口開口部が或る形状寸法を有し、出口は入口と異なる別の形状寸法を有する穴、および、これらの穴を形成する方法が必要である。
【０００７】
異なる２つの形状寸法を有する２つの穴の間に形成されたチャネル内部の遷移領域、すなわち、異なる断面形状間の交差部がチャネル内の材料の通過を妨げ、その結果、放出される材料がコントロールできない様にふるまってはならない。
【０００８】
先行技術の方法、および、先行技術の教示に従ってつくられた穴はいずれも、この条件を十分に満たさない。
【０００９】
発明の概要
したがって、小穴を形成する分野において、入口の形状寸法から出口の形状寸法へと断面が変化する穴の製造を、製造プロセスにより生じる遷移（遷移領域）の障害物、例えば、成形により生じるギザギザ（ばり）を有さずに可能にする方法が必要である。
【００１０】
本発明の目的は、このような方法を提供することにある。本発明の方法は請求項１に明らかに示されている。
【００１１】
本発明の別の態様において、上記の特性を有する穴を含むノズル構造物も提供される。このような構造物は請求項１０に明らかに示されている。
【００１２】
本発明の利点は、
改良された形状寸法の穴を形成することを可能にし、
複雑な断面の間に、他の方法では形成できない「真の交差部」をもたらし、
従来の成形により生じる、穴を覆う成形「膜」を排除し、
本発明による穴が、ノズルとして用いられる際に材料を穴から分与するときに液滴の方向を制御することである。
【００１３】
ここで本発明を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
【００１４】
好ましい実施形態の詳細な説明
本発明のために、用語「真の交差部（共通部分）」は、数学的に構成された交差部に相当する、２個の３次元的形状物の交差部を意味すると解釈されるべきである。
【００１５】
用語「穴」は、本質的に平坦な部材内を通るチャネル状の構造物と理解されるべきである。「穴」は、前記部材の両側に第１の開口部および第２の開口部を有する。前記２つの開口部の形状寸法は任意の形状であることができ、それらは互いに異なってもよい。本発明の好ましい複数の実施形態において、これらの開口部の形状寸法は異なる。
【００１６】
用語、幾何学的形状の「直径」は、この語の数学的意味よりも広い意味で解釈されるべきである。したがって、本発明のために、「直径」は、当該形状に完全に外接する最小の円の直径を意味するものとする。
【００１７】
先に定義した「真の交差部」の概念を示すために、図１を参照する。
【００１８】
図１は、本発明に従って形成された穴２の断面を示す。穴２は、円形底部を有するトランペットベルの形状の円錐状部４を含み、円錐状部４は、断面の形状が「クローバーの葉」状の直線的な（直進する）管６と合流している。これらの２つの形状物、すなわち直線的な管と円錐状部とが交わる線が太線Ｉで示されている。図示されている幾何学的形状物の構造は、本発明の発明者が知っている先行技術の方法のいずれによっても得ることはできないであろう。例えば、このタイプの構造物を、２枚の基板、すなわち、円錐状の穴を有する第１の基板と、クローバーの葉状の穴を有するもう一枚の基板とを結合させることにより形成しようとするならば、結合領域に縁が形成されることは避けられないであろう。このような縁は、先に記載した遷移領域の障害物となり、チャネルを通る流れにとって問題である。
【００１９】
図１に示した構造は、単に例として示したものではあるが、実際の使用においても、例えば、種々の液体材料を分与するためのノズルとしても（使用例を以下に示す）非常に有用であろう。チャネルを通る流れを、乱流を低減することにより制御し、また、液体中の圧力パルスを出口穴に向けるために、円錐状部をトランペットのような形状にすることが望ましい。すなわち、この３次元的形状物を画定する面は、湾曲母線により画定される。この湾曲は、用途に応じて、異なる数学的関数、例えば指数関数、高次多項式などに準じることができる。しかし、この３次元的形状は、真直な線により画定される円錐であってもよい。厳密な数学的関数に必ずしも従う必要もない。実際には、最も簡単かつ成形加工に有利な形状であってよい。
【００２０】
穴が満たすべき１つの基準は、一方の開口部が他方の開口部よりも大きく、かつ、直径が、大きい方の開口部から小さい方の開口部に向かって徐々に小さくなることである。この条件が満たされなければ、本発明の方法は、望ましい結果、すなわち、２つの異なる幾何学的形状物の、本文にて先に定義した真の交差部による併合をもたらすように実行されることができないであろう。
【００２１】
好ましい実施形態において、大きい方の穴は本質的に円形であり、トランペット状の延長部を基板内に有する。小さい方の穴は、本質的に、当分野で知られているリソグラフィ技術（以下にさらに詳細に論じる）により形成され得るいずれの形状も有し得る。図２ａ〜ｃに、多数の可能な形状が示されている。三つ葉の形状（図２のｂ））は、インクジェットに用いるのに好ましい。しかし、液体中に含まれる粒子が穴に詰る危険性がある用途には円形が好ましい。「インゲン豆」のような形状（図２のａ））は、中央に延在する部分の先端を、中央の非常に近くに、また、穴のちょうど中央にも配置することもできるという点で有利であろう。図２には、先に定義した「直径」の概念も、それらの形状の外接円を点線で描くことにより示されている。このように、穴の「直径」は、点線で描かれた円の直径である。
【００２２】
ここで、本発明に従う方法を、大きい円形開口部と、図２ｂに示した断面（「三つ葉のクローバー」）を有する小さい開口部と、を含む実施形態に関して詳細に説明する。この特別の形状は、インクジェット技術での使用に非常に有利な特性を有する。これについては以下にさらに詳細に説明する。ここで、図３〜１０に関して説明する。
【００２３】
本発明に従う方法は、全体として２つの主要なステップを含む。第１の主要なステップは、構造物の一部のためのテンプレートとしての構造化された基板、すなわち、大きい方の開口部と、この開口部に連結するチャネルの第１の部分と、を有する基板を準備するステップである。前記第１の部分の直径は徐々に小さくなる。本発明の方法は、また、第２の開口部と、前記チャネルの第２の部分と、を形成する第２の主要なステップを含み、それにより前記第２の部分が構造物の一部に、先に定義した真の交差部により併合される。
【００２４】
ここで、構造化された基板（テンプレート）の準備を、図３〜１０を参照しつつ例として詳細に説明する。この例は、本発明の範囲を、特許請求の範囲にて明確に示されているように限定するとみなされるべきではない。テンプレートの準備を、インクジェットプリント用のノズルとして用いるのに好適な形状寸法の穴を有する薄膜の製造に関して詳細に記載する。しかし、熟練者がその能力下で行う適切な変更により、このプロセスは、他の用途にも十分に利用される。
【００２５】
最初に、（１００）の結晶方位を備えた、直径が１００ｍｍ（４インチ）のシリコンウェハ２を設ける。このシリコンウェハ上にクロム層４をスパッタリングにより２０ｎｍの厚さまで堆積させ、次いで金層６をスパッタリングにより４００ｎｍの厚さまで堆積させる（図３参照、寸法は等尺でない）。クロムが金をシリコンウェハに接着させて、金は、次のステップで用いられる酸によりシリコンがエッチングされることを防止する。これらの層は、シリコン基板をエッチングするために後で用いられるマスクのための出発材料を形成する。金マスクのためのパターンを画定するためにリソグラフィ技術が用いられる。レジスト８（感光性ポリマー）が、先に記載したようにクロムおよび金でコーティングされた側のディスク全体の上に設けられる。電子素子を製造する分野にて一般的に用いられている標準的なリソグラフィ処理に従って、パターンを画定するガラス１０上のマスクをレジストの上に配置する。パターンは、直径が１４０μｍで、１７０μｍの間隔で規則正しくマトリックス状に配置された円形スポット１２が適切であろう。マスクを取り付けたディスクを紫外線ｈνに露出させ、これにより、マスクされていない領域のレジストをポリマー化する。別の電磁スペクトルも、レジストのポリマーブレンドをわずかに適切に変更すれば利用可能である。
【００２６】
レジストを現像した後（図４）、レジストの硬化スポット１４が残存する。この状態でディスクを、金エッチング液、例えば、ＫＩ（ヨウ化カリウム）、ヨウ素、水が４：１：４０の割合の水溶液中に浸漬させて、レジストマスクを通して露光された金を全て溶解させる。次いで、ディスクをクロミウムエッチング液に（例えば、マーチクロミウム（クロム）エッチング液に浸漬させ、ここでクロムが溶解する（図５参照）。最後に、レジスト８をアセトンにより除去する。
【００２７】
このようにして、シリコンディスク２に、硬化樹脂スポット１４により画定されたエッチング可能な領域１６を有する金マスクを施した。
【００２８】
トランペットベル状の円錐状部をシリコンディスクに形成するために等方性エッチング溶液を用いる。これは、溶液が全方向に同速でエッチングを行うことを意味する。好適な溶液は、ＨＮＯ３、ＨＦおよびＨ２Ｏを９０：５：５の比率で有する溶液であり、エッチングは室温で実行される。これにより、約１μｍ／分のエッチング速度が得られる。適切なエッチング深さ、すなわち、最終的な円錐状部の高さは６５μｍである。この速度と深さを組み合わせることにより、エッチング穴の底部の直径は約１４０μｍとなり、円形の断面、およびトランペットベルのような形状の湾曲面を有する「直立ピン」１８の母型がもたらされる。エッチング液は等方性であるため、突出ピンの間の領域は本質的に平坦になる。得られる構造物は、次のプロセスのためのポジ型「モールド」構造物」を構成する。
【００２９】
等方性エッチングは、１９８２年５月のＩＥＥＥ（米国電気電子学会）のｐｒｏｃ．（論文集）第７０巻、第５番、４２０〜４７０頁の、ペターセン　Ｅ．，カートによる「機械的材料としてのシリコン」に記載されている。
【００３０】
他の形状の直立ピンを用いることも可能である。マスキングされた領域１４が矩形または正方形であり、エッチングが異方性（異なる方向ではエッチング速度が異なる）であれば、ピラミッドが形成される。この目的のための適切なエッチング溶液はＫＯＨ（６０％水溶液）である。異方性エッチングは、１９７８年１０月のＩＥＥＥのＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ ｏｎ Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｄｅｖｉｃｅｓ（電子装置に関する論文集）第２５巻、第１０番に記載されている。
【００３１】
所望の突出ピン１８が得られたら、ピンの上部に残っている金およびクロムを、金／クロム層に穴を形成した手順と同じ手順を用いて除去する。
【００３２】
以上に開示したプロセスは、本発明に従うプロセスにおける第１の主要なステップの一具体例である。このステップは、ポジ型モールドをつくり、それにより、本発明の構造物を製造するためのテンプレート、すなわち、望ましくかつ改良された形状寸法を有する穴を有するフィルムを形成するステップである。詳細には、直立ピンが、本発明の構造物の大きい方の第１の開口部と、開口部を連結する、直径が縮小するチャネルの第１の部分と、を画定する。
【００３３】
ここで、第２の主要なステップを説明する。
【００３４】
突出ピンを有するシリコンディスク上に、ＵＶ硬化性エポキシ樹脂２０（例えば、マイクロケム社から入手可能なＳＵ８）を、スピンコーティングにより望ましい厚さまで塗布する。インクジェット印刷におけるノズルとしての用途に適切な厚さは６０〜１２０μｍであり、好ましくは８０〜１００μｍである。スピンコーティングのステップの後に残存する溶剤を除去するために、ディスクを約１時間９５℃に加熱する。
【００３５】
スピンコーティングされたエポキシ樹脂の厚さは、必ずしもピンと同一の高さでなくともよい。実際、エポキシ樹脂は、ピンの高さを超える厚さに塗布されることができ、あるいは、樹脂の厚さをピンの高さよりも低くして、ピンの上部が樹脂層の表面を超えてもよい。
【００３６】
第２の開口部、および、第２の開口部と同一の断面積を有するチャネルの一部をつくるために、新しいマスク２２をエポキシ樹脂の上に配置する。マスクは樹脂層と物理的に接触する必要はなく、ピンが樹脂を超えて延在する場合、マスクはピン上に載置されることができる。
【００３７】
マスクは、好ましくは、不透明な領域２４が適切な技術によりその上に設けられたガラスプレート２２である。マスク製造は当業者によく知られた技術であり、本文においてさらに論じる必要はない。これらの領域は、任意の望ましい形状、例えば図２に示したような形状を有することができる。マスクは、不透明なスポットがピンと位置合わせされてピンの中央に位置決めされるように配置される（図７参照）。次いで、ディスクを再び紫外線に露出して、非遮光部分をポリマー化させる。適切な露光時間（例えば１５０秒）と９５℃への加熱の後、樹脂は、図８に示されているように、遮光スポット以外の領域にて硬化される。ＳＵ８層の非硬化部２６をプロピレングリコールエーテルアセテート中で溶解すると、図９に示されているように穴が形成される。最後に、図１０に示されているように、樹脂フィルムをシリコン基板から機械的に除去すると、ノズル構造物２８が得られる。
【００３８】
図１０は、インクジェット用のノズルとして適用される構造物を概略的に示す。この構造物は第１の開口部３０および第２の開口部３２、ならびにこれらの開口部間の遷移領域３４を含む。第１開口部／穴の寸法は第２開口部の寸法よりも大きい。さらに、前記第１開口部と第２開口部の幾何学的形状はそれぞれ異なる。また、本発明に従って、前記遷移領域における異なる幾何学的形状間の交差部は、本文において先に定義された真の交差部である。
【００３９】
硬化しなかった樹脂を溶解させる前に、樹脂の新しいコーティングをスピンコーティングにより塗布することも可能である。各ピン上の、より大きいマスク領域に用いたのと同じ手順により、機械的保護物として機能する構造物、または、穴から漏れるインクを除去するための補助チャネルを表面に提供するための構造物を形成することができる。
【００４０】
先に述べたように、図２ｂに示された形状（「三つ葉のクローバー」）は、インクジェット印刷の分野において特に有用であり、幾つかの有益な特性を有する。すなわち、インクの液滴がインクジェットプリンタのノズルを通って排出されるときに、液体は、液滴が出口穴のリムまたは縁の或る点に尾部を残すように動く。これが、液滴の落下方向に対して垂直な小さい力をもたらし、液滴を望ましい軌道から逸らす。尾部が、穴の中央に近い点にてリムから離れるならば、液滴に対する垂直方向の力は減少し、軌道の正確性が向上するであろう。三つ葉の形状では、各葉が他の葉と合流する点が中央付近に位置し、尾部はこれらの点の１つに優先的にくっつき、したがって穴の中央付近でリムから離れ、これによりよりよい精度をもたらす。
【００４１】
本発明に従って得られる構造物に適する用途は、明確に画定された複雑な形状寸法を有する穴、特に、チャネルの異なる部分における異なる断面の間に真の交差部を有する穴を有するフィルムである。このようなフィルムは、例えばインクジェットプリンタ用のノズルとして適切である。適切な直径は、チャネル長さが６０〜１２０μｍ、好ましくは８０〜１００μｍであり、断面の寸法、すなわち「直径」が約３５μｍである。これらの寸法は決定的なものではなく、用途に応じて変更できる。
【００４２】
構造物を、上記の用途のための寸法より小さい寸法、例えば、チャネル長さ２０μｍ、直径５μｍの寸法でつくると、このような構造物は医療用および他の用途のためのエアゾールノズルとして有益に用いられる。
【００４３】
ここで、図１１を参照しつつ、複数のノズルを有するミニチュアノズル構造物の形態である本発明の構造物の一実施形態を説明する。
【００４４】
図１１は、多数の穴４２が列状に配置されて設けられた、先に記載した方法により得られる樹脂フィルムストリップ４０の一部の断面図である。この構造物はインクジェット印刷ノズルにおいて用いられて、インクを制御して排出させる望ましい穴をもたらすことができる。
【００４５】
各穴４２は第１の開口部４６および第２の開口部４４を有する。第１の開口部の直径は第２の開口部の直径よりも大きい。これらの開口部の間にチャネル４８が形成されている。それぞれの穴の幾何学的形状はこの図に示されていないが、インクジェット印刷の用途のために、第２開口部の好ましい幾何学的形状は、図２のｂ）の三つ葉のクローバーの形状である。第１の開口部は、好ましくは円形である。チャネル４８は２つの領域を有する。第１の領域は第１の開口部と同一の断面を有し、かつ第２開口部に向かう方向に直径が小さくなる。第２の領域は本質的に管状であり、第２開口部４４と同一の形状寸法を有し、直径が変化しない。さらに、遷移領域５０が存在し、この領域において、それぞれの開口部の２つの異なる形状が、本文中に先に定義した真の幾何学的交差部に相当する交差部にて併合している。インクジェットの用途においては、第１の開口部４６がインクの入口となり、第２開口部４４がインクの出口となる。実際の使用において、印刷される紙は、ノズル構造物に隣接して、またはその非常に近くに、あるいはノズル構造物と接触して配置される。紙の構造が、非常に小さい開口部と接触する際に出口開口部の縁を損傷し、これにより液滴の排出が制御できなくなる。この現象を避けるために、出口穴の周りに保護構造物を設けることが好ましい。このような構造物は、出口開口部付近を取り囲む面領域に凹部（逃げ溝切り）５２を設けることにより得られる。方法の説明において記載したように、これは、さらなるステップにより、すなわち、例えばＳＵ８の蒸着、その後のマスキングおよび溶解により行われることができる。このようにすると、紙は出口開口部と直接接触することはなく、したがって出口開口部は保護される。
【００４６】
また、過剰なインクが、以上に記載した方法で形成された凹部に堆積することがある。この過剰なインクを除去するために、樹脂ストリップの縁に向かって延在するチャネル５４を形成することができる。
【００４７】
本文の開示を読んで当業者に明らかになる他の用途も、特許請求の範囲内にあるとみなされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は、本発明に従って形成された穴における２つの幾何学的形状の間の真の交差部を示す。
【図２】
図２は、本発明と共に用いられ得る開口部の種々の幾何学的形状を示す。
【図３】
図３は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図４】
図４は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図５】
図５は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図６】
図６は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図７】
図７は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図８】
図８は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図９】
図９は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図１０】
図１０は、本発明に従う製造プロセスを示す。
【図１１】
図１１は、本発明に従うミニチュアノズル構造物の実施形態を示す。
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図８】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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