(57)【要約】本発明は、調合物の選択光重合によって得られた先端テーパ部を有するレンズを具備し、広範囲の適用で要求される最適化された特性を有するポリマーのテーパ部を生成することを可能にさせる新規パラメータおよび技術的プロセスの使用によって性能が改良された、モノモードまたはマルチモード光ファイバに関する。モノモードまたはマルチモード光ファイバは、ある特定の適用の場合、光を検出若しくは放出するナノメトリック開口を除いて金属被覆されたポリマーのテーパ部を設けることが可能であり、または、調合物に蛍光粒子が含有されるポリマーテーパ部を設けることが可能である。新規ファイバは、通信（高性能コネクタ）のような様々な分野における重要な構成部品、または、機器（光放射コンパレータ、走査型光学顕微鏡、および近接場光学顕微鏡用プローブ）である。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
モノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバであって、透明ポリマー先端の超小型先端部が結合され、先端レンズ付き光ファイバの特性の全体的な最適化を生ずる新しい技術プロセスによって製作され、多種多様の用途、および対応した新しい適用の開発を生み出す、モノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項２】
前記超小型先端部の調合物の化学組成が、最初に、必要な粘性値に適合させられ、次に、調合物滴（および前記超小型先端部）の必要な高さが、減少または増加させられるように加熱または冷却されることを特徴とする、請求項１に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項３】
表面張力に関係した前記調合物の粘性が、ファイバの先端に高さの低い滴を生ずる酸滴下タイプの予備処理を行うことによって変更することができることを特徴とする、請求項１または２に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項４】
前記超小型先端部の最終的な曲率半径が、入射された光重合光の強度と照射時間に応じて調整されることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項５】
前記滴と空気の境界面における前記超小型先端部の曲率半径への酸素の作用が、前記超小型先端部が挿入され、かつ前記空気の組成が変更される密閉区画で制御されることを特徴とする、請求項１から４のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項６】
調合物光重合の光開始剤が、赤色光および近赤外光の波長、例えば、１．３μｍおよび１．５５μｍに感光することを特徴とする、請求項１から５のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項７】
前記超小型先端部の寸法が、集束ビームまたは平行ビームが得られるように選択されることを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項８】
特にマルチモードファイバの場合に、超小型先端部の形成に必要な光重合が、前記ファイバの他方の先端に他の光を入射し、前記ファイバ内を長手方向に伝搬させることなく、前記超小型先端部の直ぐ近くに重合光を伝搬させる前記マルチモードファイバの外部ソースによって行われることを特徴とする、請求項１から７のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項９】
前記超小型先端部の形成に必要な光重合が、特にマルチモードファイバの場合に、前記超小型先端部と反対側の前記ファイバの先端に入射されるインコヒーレント白色光のソースによって行われることを特徴とする、請求項１から８のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１０】
前記超小型先端部の寸法が、ファイバとファイバを接続することが可能になるように調整され、前記超小型先端部が、好ましくは、薄い調合物膜の形であることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１１】
前記超小型先端部の寸法が、ファイバとレーザーダイオードとの間に最大のカップリングが得られるように選択されることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１２】
ファイバが、導波路または複雑な多目的の集積光回路を接続するために使用され、接続に使用される各ファイバの前記超小型先端部は、要求に応じて別々に調整されることを特徴とする、請求項１から１１のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１３】
ファイバ、特にマルチモードファイバの先端に製作された前記超小型先端部が、予め選択された一つ以上のモードだけを伝搬することが可能であり、これにより、モードセレクタと呼ばれる新しい装置が生成されることを特徴とする、請求項１から９のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１４】
最適化された超小型先端部が、１ミクロンよりも優れた分解能（０．１μｍ）を可能にする光放射測定プローブとして使用されることを特徴とする、請求項１から１３のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１５】
ファイバ先端の前記超小型先端部が、特に、高分解能（５００ｎｍ）走査型光学顕微鏡の適用のために製作されることを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１６】
ファイバ先端の前記超小型先端部が、近接場光学顕微鏡の範囲で発光および受光することができるナノアパーチャを除いて金属被覆されることを特徴とする、請求項１から１５のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１７】
蛍光粒子が、前記超小型先端部の重合可能な調合物に組み込まれ、前記蛍光粒子は、光重合後に、前記超小型先端部の先端に配置され、近接場のサンプルの光学特性を調べるために十分な１個または数個の蛍光粒子によって形成され、光源と同様の動作を行うことを特徴とする、請求項１から１６のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【請求項１８】
ナノアパーチャを含まないファイバの先端の金属被覆された前記超小型先端部が、表面プラズモンセンサと同様の動作を行い、特性が、例えば、超小型先端部の金属被覆と接触する化学的または生物学的物質が存在する場合に、外部媒体の光屈折率の変動によって変更されることを特徴とする、請求項１から１６のいずれか一項に記載のモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、先端レンズ付き光ファイバに関する。
【背景技術】
【０００２】
この先端レンズ付き光ファイバに関する本発明の発明者による、最初の具体化および適用は、名称「Ｎｅｗ  ｌｅｎｓ−ｅｎｄｅｄ  ｏｐｔｉｃａｌ  ｆｉｂｒｅｓ  ｗｉｔｈ  ａ  ｈｉｇｈ  ｅｎｄ  ｎｕｍｅｒｉｃａｌ  ａｐｅｒｔｕｒｅ．  Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ  ｔｏ  ｔｈｅ  ｐｒｏｄｕｃｔｉｏｎ  ｏｆ  ｎｅｗ  Ｈｉｇｈ  Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ  ｏｐｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ  ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ．（高い開口数の先端を備えた新しい先端レンズ付き光ファイバ。新しい高性能光電子部品の製造への適用。）」である、フランス特許庁から発行された仏国特許出願第９８１４３８５号に記載されている。
【０００３】
先端に透明なポリマー超小型先端部を具備した先端レンズ付き光ファイバは、光ファイバ同士の間、ならびに、光ファイバと光ファイバに接続された能動若しくは受動部品との間の光接続を著しく改良することが可能である。その結果として、複雑な高性能装置を製作することが可能になる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、様々な設計者によって要求される光学特性はますます厳しくなり、一方、全世界の市場に頻出する適用は、急速に発展し、殆どの光学分野において新しい技術の開発を要求する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の一般的な目的は、モノモードおよびマルチモードの光ファイバを用いる適用の場合に最適化された全体的な特性を備えた、ポリマー超小型先端部を製造するための新しい技術的パラメータおよびプロセスの使用と、ユーザによって求められる対応した新規性のある、特に革新的な装置の開発であるが、これらに限定されるものではない。
【０００６】
本発明は、以下の明細書を読み、図面を参照することによってより良く理解されるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
図１には、コア１およびクラッド２を含み、光重合可能な樹脂タイプの材料を使用して製作されたポリマー超小型先端部３を具備した光ファイバ４の先端が示され、超小型先端部の寸法および幾何形状は、例えば、想定される適用に応じて、新規な物理化学パラメータを最適化することによって調整されることができる。
【０００８】
本発明の第１の目的によれば、超小型先端部を製作するため使用される操作プロセスは、プロセスの開始時に付着される滴の高さ（数ミクロンから数百ミクロン）および曲率半径の値に優れた多様性を与える。その結果として、調合物（フォーミュレーション）滴の寸法に直接に応じる超小型先端部の寸法は、要求される適用に応じて正確に制御することが可能である。
【０００９】
図２ａ、ｂに一例として示されている第１の超小型先端部の製造操作は、ピペット５を使用して、図２ａに示されるような調合物滴を、分割されたファイバ４の先端に付着させ、同時に、図２ｂに示されているように、調合物滴の高さおよび曲率半径が、ファイバの直径と表面張力（毛細現象）に直接関係している毛細管メニスカス６を形成する。これらの値は、使用される調合物の粘性に本質的に応じる。粘性パラメータは、本発明の第１の目的に対して最も重要である。本発明によれば、調合物の化学組成は、最初に、必要な粘性値に適合させられるが、調合物の温度も非常に重要な役割を果たす。
【００１０】
したがって、付着した滴の高さは、調合物の粘性が低下するように調合物を僅かに加熱することによって小さくされる。逆に、付着した滴は、調合物の粘性を高め、より大きい滴の高さを得るため、先に冷却される。例えば、調合物を構成する樹脂の温度が、１０℃から６５℃で変化する場合、１０ミクロンから５０ミクロンの高さの滴が得られる。
【００１１】
一般的に、本発明者による最初の産業的保護の文書には、光重合可能な調合物は、ファイバの先端の超小型先端部を、緑色光に感光する液体材料のように作用させ、光開始剤（エオシン＋ＭＤＥＡ）とモノマー（ＰＥＴＩＡ）により構成される手段であることが記載されている。
【００１２】
本発明における改良によれば、光開始剤は、調合物が、緑色光の波長よりも長い波長、即ち、赤色光、近赤外光、およびより厳密には通信の分野で頻繁に使用される波長（例えば、１．３μｍおよび１．５μｍ）に感光するように変更されることができる。
【００１３】
本発明の第１の目的の別の態様によれば、調合物の粘性に直接関連した表面張力は、滴が付着される前に、ファイバに予備処理を適用することによって変更されることができる。好ましくは（しかし、限定的ではなく）、この処理は、分割された光ファイバを、２４時間に亘って、スルホクロム酸に浸漬することを含む。ファイバの表面は親水性にされ、弱められた毛細現象は滴の高さを低くする（例えば、１０ミクロン）。
【００１４】
超小型先端部の最終的な幅は、光（通常は緑色光）の殆ど全部を、調合物滴が付着させられたファイバの先端へ導くファイバコアの径に応じる。
【００１５】
光照射条件、特に、重合光の強度の値およびその印加時間は、同様に、必要に応じて調整されるべき重要なパラメータである。
【００１６】
製作されるべき超小型先端部の最終的な曲率半径は、滴の曲率半径よりも遙かに小さく、その超小型先端部に必要な先端レンズ付き特性を実現する際に重要な要因である。この曲率半径は、照射時間（非限定的な例として、０．５秒から９０秒）と、ファイバへ入射される光重合光の強度（非限定的な例として、１μワットから１００μワットのファイバ出力電流）とに応じて調整される。
【００１７】
超小型先端部の曲率半径は、滴と空気の境界面での酸素の作用にも応じる。本発明によれば、酸素の作用は、操作フィールド付近の空気組成を調整することによって制御される。非限定的には、窒素を、ファイバの先端が挿入されているグローブボックス型の密閉区画に注入してもよい。
【００１８】
本発明の第１の目的によれば、操作プロセス、および関係している種々の超小型先端部パラメータは、種々の超小型先端部の生産、および多数の考えられる適用におけるそれらの必要な特性を十分に制御するためだけに最適化されるのではなく、ファイバ先端の超小型先端部を「大量生産」可能である簡単で安価な製造プロセスを開発するためにも最適化される。
【００１９】
本発明の第１の目的の非限定的な態様によれば、光重合に必要なレーザー照射は、従来の光学プロセスによって光ビームを広げ均質化した後に、先端の超小型先端部を具備する多数の光ファイバに分配される。
【００２０】
光重合に必要な光パワーは、超小型先端部につき数マイクロワットに過ぎず、したがって、同時に１００個以上（非限定的な例）の超小型先端部を「大量生産」することは、本発明によれば実現可能である。
【００２１】
本発明の第２の目的によれば、図３ａ、ｂに基づいて、本発明の第１の目的によって改良された上記の技術およびプロセスの基本的な態様は、集束させること（図３ａ）、または平行にすること（図３ｂ）が可能であるビームを供給するファイバ状の化合物を製作するように、マルチモードおよびモノモードのファイバに適用される。
【００２２】
マルチモードファイバの特定のケースでは、光重合を開始させる入射光は、好ましくは、ソースによって出力されたビームの整形部品に結合されるマルチモードファイバの外部にあるソースから発せられる。
【００２３】
光重合は、マルチモードファイバ自体で重合光を長手方向に伝搬させること無く行われる。その結果として、光重合光がファイバの先端に入射されたときに、マルチモードファイバ内を伝搬する全ての多様な横モードで調合物を照射することが回避される。
【００２４】
この場合、作られる超小型レンズの幾何形状は、先に付着された調合物滴の幾何形状と類似している。
【００２５】
本発明の第２の目的の他の態様によれば、いくつかの適用が、超小型先端部の幾何形状をファイバモード間の現在の分布とは無関係にする必要があるとき、ポリマー超小型先端部は、透過波長のスペクトルが、ファイバ内を伝搬させられ得る様々なモードと適合するように選択された、インコヒーレント光を出力するファイバの他方の先端に白色光源を結合することによって製作されることができる。また、設置場所の理由から、または、より一般的には、超小型先端部の生産機器の全体の複雑な構造が原因となって、通常はマルチモードであるファイバの先端付近に単色光源の存在を想定することが難しい、コンパクトな設備を必要とするいくつかの適用の場合、使用される光重合光源は、同様に非限定的なインコヒーレント白色光源である。
【００２６】
本発明の第３の目的によれば、本発明の第１および第２の目的に記載され、超小型先端部の生産の条件、および光学素子の接続のための一般的な技術に応じて、超小型先端部の特性の対応した詳細な知識と関連付けられた多様の改良が、開発され、多数の用途に適用可能である。
【００２７】
本発明による非限定的に与えられた主要な接続タイプは、以下の図面に記載されている。
【００２８】
図４は、モノモードまたはマルチモードのファイバ間の接続のタイプを示す図である。
【００２９】
光重合光７は、接続されかつ揃えられた二つのファイバ４の先端に入射される。ファイバ間の接点は、超小型先端部を製作するために要求される技術的プロセスと同じ技術的プロセスを用いて製作された、膜８の形のポリマー調合物によって製作される。その結果として、膜の屈折率よりも小さい屈折率を有する接着剤のような光学被覆物および機械保護被覆物と共に「コールド」はんだが生じる。このような接続の挿入損は、０．１ｄｂ程度に低い。
【００３０】
図５は、レーザーダイオード９と光ファイバ４のタイプの接続を概略的に示す図である。
【００３１】
このタイプの接続の場合、ファイバ４の先端に製作された超小型先端部３は、レーザー１０からの放射と超小型先端部３との間のカップリングが最大となるように寸法が決められる。
【００３２】
図４および図５に示された接続は、例としてのみ示されたものであって、網羅的なものではない。
【００３３】
本発明の第３の目的に関して、例えば、一体化された光導波路が含まれている光電子回路の個数および複雑さにかかわらず、上述の技術と同じ簡単な技術を用いて接続することが可能である。
【００３４】
本発明の第４の目的によれば、超小型先端部は、一つまたは数種類のモードだけを伝搬することができるマルチモードファイバの先端に製作される。
【００３５】
調合物滴に光を照射する前に、機械応力をマルチモードファイバに加え、かつ必要なモードが得られるまで緑色光の入射条件を変更することによって、必要なモードが選択される。
【００３６】
図６ａ、ｂに一例として示されている、９ミクロンのコアを備えたファイバに製作された（図６ａ）ダブルポリマー超小型先端部１１は、放射１２からのファイバ４のモードＬＰ１１だけを伝送する。ダブル超小型先端部１１によって伝送された強度分布１２’は図７ａに示され、この強度分布は、ダブル超小型先端部１１を製作するために使用された強度分布と同じである。図７ｂには、製造後のダブル超小型先端部素子が示されている。
【００３７】
逆に、ポリマー超小型先端部１１は、入射光ビーム１２（図６ｂ）によって照射されたファイバへの「入力」としても使用可能であり、光エネルギーは、超小型先端部１１によって、選択された例では、ＬＰモード１１に対応した空間分布に従ってマルチモードファイバ内を伝送される。ＬＰモード１１だけが、ファイバへの入射条件とは無関係にファイバ内で励起される。
【００３８】
実施形態の別の例によれば、９ミクロンのコア径を有するマルチモードファイバで、ＬＰモード２１を選択するために使用できるポリマーマルチ超小型先端部が製作された。光１２ａが超小型先端部によって入射されたファイバからの出力におけるＬＰモード２１に従う強度分布は、図８ａに示されている。図８ｂは、製造後の４個の超小型先端部を備えたポリマー素子を示す。
【００３９】
このように、本発明によれば、「横モードフィルタ」を製作することが可能であり、より一般的には、「モードセレクタ」と呼ばれる新しい装置を製作することが可能である。
【００４０】
本発明の第５の目的によれば、本発明に基づいて最適化された新しい先端レンズ付き光ファイバは、１ミクロンよりも優れた分解能を備えた光放射測定プローブとして使用される。
【００４１】
これらの新しいプローブの使用例として、図９は、レーザー１３によって放出されたエネルギーを測定する本発明による装置、特に、レーザーからの出力における光学場曲線の構成を概略的に示す図である。
【００４２】
実験で使用されたレーザー１３は、シャープ社から販売されている２００μｍの広い活性層を有するレーザーダイオードである。
【００４３】
超小型先端部３が取り付けられた先端レンズ付き光ファイバ４の先端は、ダイオードから、それぞれ、２．５μｍ、１μｍ、および０．１μｍの距離にある三つの平面に沿って連続的に動かされる。
【００４４】
先端レンズが付いていない光ファイバ４のもう一方の先端は、光電子増倍管１４に接続され、測定感度を高める。
【００４５】
図１０は、三つの距離（２．５μｍ、１μｍ、および０．１μｍ）で記録されたレーザーダイオードの光放射像を示す図であり、先端レンズ付き光ファイバは、８×８μｍ２の領域内で動かされる。図１０では、超小型先端部からレーザーダイオードまでの距離が減少するほど、レーザーの活性層がよく見えるようになることに注意する必要がある。更に、超小型先端部からファイバ４の表面までの、例えば、２．５μｍの距離に対して、徐々に減少する光レベルの曲線を明瞭に区別することができる。
【００４６】
本発明の第６の目的によれば、本発明に基づく先端レンズ付き光ファイバのいくつかの最適化は、特に、これらのファイバの顕微鏡への適用、および対応した測定プローブの製造への適用を対象としている。
【００４７】
従来の走査型光顕微鏡の場合、この新しい先端レンズ付き光ファイバは、図１１に示されるように、外部ソース１６により照明された対象物１５の表面によって拡散された光の測定プローブとして使用される。観察領域の光学像は、先端レンズ付き光ファイバを対象物の上で移動することによって生成することが可能である。
【００４８】
このように、高分解能の走査型光学顕微鏡は、簡単な非常に低コストのプローブを使用して実現される。３００ｎｍから５００ｎｍの分解能が容易に達成される。
【００４９】
近接場光学顕微鏡の適用の場合、本発明に基づいて最適化された先端レンズ付きファイバのポリマー超小型先端部は、図１２に示されるように、金属被覆１７が形成された典型的に数十ナノメートルの直径を有する円形ナノアパーチャ１８を除いて、完全に金属被覆される。このナノアパーチャは、近接場光学顕微鏡の実験の際に、発光または受光する能力を維持する。このタイプの金属被覆された超小型先端部を備えた先端レンズ付きファイバは、一般的に、要求に応じて、ナノソースまたはナノコレクタとして機能する。
【００５０】
超小型先端部のほぼ全体を覆うため使用された金属の種類は、好ましくは、クロムまたは金であるが、これらに限定されない。
【００５１】
図１３に示されたサブミクロンプローブの一変形形態によれば、超小型先端部の末端がある種の粒子を包含し、この粒子によって、選択性光励起が光学顕微鏡の空間分解能を改良することを実現するため、蛍光粒子１９が、光重合可能な調合物に含有される。調合物に加えられた蛍光粒子のサイズは、１ミクロン未満である。粒子濃度は、超小型先端部の形成後に、１個または数個の粒子が超小型先端部の先端で得られるように調整される。次に、粒子の蛍光は、１ミクロンよりも高い精度で、近接場のサンプルの光学特性を調査することができる局部的な光源１５を実現するため、ファイバを通じて選択的に励起される。
【００５２】
粒子組み込みによって、近接場光学顕微鏡の適用における１ミクロンよりも優れた分解能を備えたプローブを生産する明らかに類似している方法は、近年、研究者Ｊ．  ＭＩＣＨＡＥＬＬＳらによって確認された。しかし、これらの研究者によって使用された方法は、非常に複雑であり、更に、粒子接着がプローブの先端に生じるかどうかは明らかではない。
【００５３】
本発明の目的の一つによるタイプの粒子プローブは、非常に簡単で、より信頼性の高いプロセスの使用を可能にさせる。
【００５４】
本発明の第６の目的に関して、上述の金属被覆されているが、ナノアパーチャのないプローブは、表面プラズモンセンサとして使用することができる。本発明に基づいて改良されたモノモードまたはマルチモードの先端レンズ付き光ファイバが使用される。
【００５５】
ポリマー超小型先端部は、優れた金属被覆、好ましくは、金または銀で覆われる。
【００５６】
プラズモンの特性は、光を他方の分割されたファイバの先端に入射し、金属と空気の境界面で表面プラズモンの励起のための条件を設定することにより、外部媒体の光屈折率を変えることによって変更可能である。このように、金属層と接触した化学的または生物学的物質の存在は、プラズモンの光学特性を変更し、その結果として、金属被覆されたポリマー超小型先端部が取り付けられたファイバの先端によって透過または反射される光信号の変動が生じる。
【図面の簡単な説明】
【００５７】
【図１】光ファイバの先端を示す図である。
【図２ａ】第１の超小型先端部の製造操作を示す図である。
【図２ｂ】第１の超小型先端部の製造操作を示す図である。
【図３ａ】本発明の技術およびプロセスをファイバに適用させた図である。
【図３ｂ】本発明の技術およびプロセスをファイバに適用させた図である。
【図４】ファイバ間の接続を示す図である。
【図５】レーザーダイオードと光ファイバの接続を概略的に示す図である。
【図６ａ】ダブルポリマー超小型先端部を示す図である。
【図６ｂ】ダブルポリマー超小型先端部を示す図である。
【図７ａ】ダブル超小型先端部によって伝送された強度分布１２’を示す図である。
【図７ｂ】製造後のダブル超小型先端部素子を示す図である。
【図８ａ】光がＬＰモード１２に従う超小型先端部によって入射されたファイバからの出力における強度分布を示す図である。
【図８ｂ】製造後の４個の超小型先端部を備えたポリマー素子を示す図である。
【図９】レーザー１３によって放出されたエネルギーを測定する本発明による装置を概略的に示す図である。
【図１０】三つの距離で記録されたレーザーダイオードの光放射像を示す図である。
【図１１】新しい先端レンズ付き光ファイバを示す図である。
【図１２】本発明に基づいて最適化された先端レンズ付きファイバのポリマー超小型先端部を示す図である。
【図１３】サブミクロンプローブの一変形を示す図である。
【図１】
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【図２ａ】
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【図２ｂ】
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【図３ａ】
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【図３ｂ】
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【図４】
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【図５】
2004537745.tif 000009
【図６ａ】
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【図６ｂ】
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【図７ａ】
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【図７ｂ】
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【図８ａ】
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【図８ｂ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【国際公開パンフレット】
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2004537745.tif 000023
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2004537745.tif 000039
2004537745.tif 000040
2004537745.tif 000041
【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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2004537745.tif 000043
【国際調査報告】
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