(57)【要約】像平面内の写真石版シートのような感光領域（１１）が概念的に２方向に再分割され、連続する（タイリングされた）副領域を形成する。可変照明手段（１、４）は、選択された画素化光パターンを準備し、この光パターンは、パターンの画素が副領域において少なくとも大きさが１５ミクロンになるように、副領域のうちの選択された１つを満たすように方向付けられ（８、９、１０）、制御手段は、映像全体が全ての副領域に亘って生成されるように、映像を表す入力信号に応答して画素化パターンの生成及び方向を連結的に制御する。図示のように、可変照明手段は、デジタル式マイクロミラーアレーデフレクタ（４）を有する光源（２）を含み、副領域は、シャッター（１０）及び偏光子アレー（９）を有するレンズアレー（８）により選択される。偏光子アレー（９）は、二軸操作可能ミラー及びレンズアレーで置き換えてもよい。副領域選択のために、オプションとして万華鏡を備えたアナログ式マイクロミラーアレーを（ａ）平行化光学機器及びレンズアレーと共に、又は、（ｂ）集束用マクロレンズと共に照明手段において使用することができる。
2004516501.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する副領域を形成するために領域が概念的に２方向に再分割された像平面内の感光領域を露出させるための装置であって、
選択された画素化光パターンを発生させるための可変照明手段と、
前記パターンの画素が副領域において少なくとも大きさが１５ミクロンになるように、副領域のうちの選択された１つを満たすために前記パターンを方向付けするための方向付け手段と、
映像全体が前記副領域の全てに亘って生成されるように前記照明手段と前記方向付け手段とを連結的に制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段と、
を含むことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記画素は、前記副領域において少なくとも大きさが４０ミクロンであることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記照明手段は、紫外線光を供給することを特徴とする請求項１又は請求項２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項４】
前記照明手段は、画素化された光源により準備されることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記照明手段は、光源と画素化された空間光変調器とを含むことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記空間光変調器は、マイクロ電気機械装置であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記マイクロ電気機械装置は、傾動可能ミラーの２次元アレーを含むことを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記照明手段は、前記光パターンを発生させるように光学的にアドレス可能であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項９】
前記照明手段は、前記光パターンを発生させるように電気的にアドレス可能であることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記照明手段及び方向付け手段は、別々の要素であることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記方向付け手段は、類似パターンのアレーを形成するために前記光パターンを複製するための手段と、前記感光領域の対応する副領域まで伝達させるための前記パターンの１つを選択するための手段とを含むことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
前記複製手段は、レンズアレーを含むことを特徴とする請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記方向付け手段は、前記光パターンを集束させるための手段と、前記集束された光パターンを受光してそのパターンを選択された前記副領域へ方向付けするための少なくとも１つの軸線の周りで傾動可能なミラーとを含むことを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
前記ミラーは、２つの軸線の周りで傾動可能であることを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記方向付け手段は、前記像平面内で前記感光領域を移動させるための手段を含むことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
レンズアレーが、前記傾動可能ミラーと前記像平面との間に位置することを特徴とする請求項１３から請求項１５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１７】
前記制御手段及び照明手段は、前記方向付け手段の少なくとも一部を形成し、前記パターンの画素からの光が複数の角度のうちの任意の選択された１つの角度で前記像平面に向けて方向付けされるように構成され、
前記選択された角度が、少なくとも部分的には前記選択された副領域を決める、
ことを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記ミラーアレーの各ミラーは、２つの軸線の周りで傾動可能であり、それによって前記副領域の位置を２方向で決定することを特徴とする請求項１７及び請求項７に記載の装置。
【請求項１９】
前記ミラーアレーの各ミラーは、１つの軸線の周りで傾動可能であって前記副領域の位置を一方向で決定し、
前記ミラーアレーからの光は、前記副領域の位置を第２の方向で決定するために、異なる軸線の周りで傾動可能なミラーを通じて前記像平面に方向付けされる、
ことを特徴とする請求項１７及び請求項７に記載の装置。
【請求項２０】
前記ミラーアレーの各ミラーは、１つの軸線の周りで傾動可能であって前記副領域の位置を一方向で決定し、
前記副領域の位置を第２の方向で決定するために、前記感光領域を前記像平面内で移動させるための手段が設けられる、
ことを特徴とする請求項１７及び請求項７に記載の装置。
【請求項２１】
前記ミラーアレーからの光は、平行化光学機器と、前記副領域に各レンズが対応するレンズアレーとを通じて前記像平面に方向付けされる
ことを特徴とする請求項１８から請求項２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記ミラーアレーからの光は、万華鏡と集束レンズとを通じて前記像平面に方向付けされることを特徴とする請求項１８から請求項２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２３】
連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を、映像を表す入力信号に応答して露出させる方法であって、
映像の選択された部分に対応する画素化光パターンを準備する段階と、
副領域のうちの対応する選択された１つを満たすように前記パターンを方向付けする段階と、
映像全体が感光領域の全ての副領域に亘って生成されるまで、以上の処理を他の副領域に対して反復する段階と、
を含み、
前記光パターンの画素が、前記感光領域において少なくとも大きさが１５ミクロンである、
ことを特徴とする方法。
【請求項２４】
前記感光領域は、記録媒体を含むことを特徴とする請求項２３に記載の方法。
【請求項２５】
前記記録材料は、前記照明手段からの光に露出されると選択的に硬化されるか、又は、選択的に除去可能にされることを特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記照明手段からの光は、紫外線光を含むことを特徴とする請求項２３から請求項２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
請求項２３から請求項２６のいずれか１項に記載の方法を実行する段階を含むことを特徴とする、印刷版を生成する方法。
【請求項２８】
実質的に図１から図４のいずれか１つに関連して本明細書に説明された、感光領域を露出させるための装置。
【請求項２９】
実質的に図１から図４のいずれか１つに関連して本明細書に説明された、感光領域を露出させる方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、光学パターン又は映像に対して感光面を露出させるための２方向のアクティブタイリングの使用に関する。本発明は、以下に限定されないが、印刷版、特に良好な解像度を維持することが望まれる比較的大きな寸法の印刷版の製造に特に関連する。
【０００２】
（背景技術）
例えば液晶マトリックスから表示された映像を得て、これをフォトレジストに転写し、マスク又は印刷版を作成することが可能である。しかし、これには、そのサイズに対する解像度という点で限界がある。例えば１０×２０インチの板の解像度を６００ｄｐｉにしようとすると、６，０００×１２，０００の画素を要するであろう。このような数の周辺接点を有するパッシブマトリックスアドレス液晶空間光変調器を作り出すことは、現在のところ実用的ではなく、おそらく可能でもない。更に、６００ｄｐｉは４０ミクロンの画素サイズに等しく、これも現在のアクティブマトリックス液晶ディスプレイにとっては可能ではない。
本発明は、感光面の断片的な選択的露出のためにアクティブタイリング技術を使用し、それによって、画素数の比較的小さな装置を使用してより大きな数の画素を有する映像を合成することができる。このようにして、大きな映像を高解像度で感光面上に記録できる。
【０００３】
ホログラフィ映像の作成におけるアクティブタイリングの利用が知られている。そのような装置においては、例えば光導電膜を組み込んだ双安定電子光学液晶装置のような光学的アドレス空間光変調器（ＯＡＳＬＭ）の表面上に副映像がタイリングされ、その結果得られる映像が、これを直接見ることができるように、通常可視範囲内の干渉性の光で照らされる。このような装置の一例が英国特許出願番号２３３０４７１（防衛国務大臣）に開示されている。
【０００４】
この種類のホログラフィ映像作成システムは、画素が適度に小さい場合にしか機能せず、その画素サイズは干渉性放射の波長程度であるのが好ましいが、現在実用化されているのは、これよりも幾分大きく６ミクロン程度であり、このサイズであってもそれを得るのが極めて困難であるというのが現状である。１つ又は複数の空間光変調器における各画素の有効ピッチ（すなわち、「ＯＡＳＬＭ」上に入射した時）を減少させるために、上述の特許出願がマイクロ化光学機器の使用について言及している点を注目すべきである。更に、この種類の応用においては、実用に足る装置にするためには非常に大きな数の画素（例えば、１０１０程度）が要求される。１つの試みでは、対角線長３インチの「ＯＡＳＬＭ」が２５（５×５）のタイリング映像をサポートし、２５×１０６の画素が１つのチャンネルを形成して、そのようなチャンネルの集合があり、それが完全なホログラムの（わずか）一部分を形成する。
【０００５】
マスク印刷システムに対する技術的要件は様々である。フォトレジスト／光硬化材料又は逆に露光された時に除去可能（例えば溶解可能）になる材料のような異なる種類の感光材料と共に、より短波長の紫外線が使用されるのが普通である。印刷に必要な解像度は、ホログラフィックシステムのための解像度よりもずっと低く、従って解像度に対する要求は低い。上述の通り、４０ミクロンは約６００ｄｐｉに等しく、これが普通要求される解像度である。ただし用途によっては、２０ミクロン又はもっと微細な１５ミクロンといった解像度が好ましいこともある。
【０００６】
更に、印字された材料の印刷を伴う応用においては、感光材料を選択的に露出させるために液晶マトリックスを使用することが知られている。これに関しては、例えば、米国特許第４，８３０，４６８号（ゼロックス）及び第４，７８３，１４６号（ゼロックス）、及び、米国特許第３，８２４，６０４号（スタイン）及び第４，４２９，３６９号（スタンリー）を参照されたい。前の２つの米国特許においては、映像を１行ずつ印刷するために液晶シャッターの線形アレーが使用され、後の２つの米国特許は、電子写真機械又は写真材料へ伝送するための英数字を形成するために液晶マトリックスを使用する。この種類の装置においては、アレーは、感光面（または、感光面の使用される領域）の一方向全体に亘って延びるか、又は、基本的な英数字映像のサイズが非常に小さくて、何らかの方法で受像面に対して移動される。英数字で形成されたテキストは、各文字対の間に自然にスペースが形成され、従ってタイリングはタイル間の映像内容にある程度の相関関係が存在する映像ほど精密である必要がないという点で、他の種類の映像とは異なる。
【０００７】
（発明の開示）
第１の態様において、本発明は、連続的な副領域を形成するために２方向に概念的に再分割された所定の像平面内の感光領域を露出させるための装置を提供し、本装置は、選択された画素化光パターンを発生させるための可変照明手段と、この副領域のうちの選択された１つを満たすために光パターンを方向付けするための方向付け手段と、映像全体が像平面内の全ての副領域に亘って生成されるように、照明手段と方向付け手段とを連結的に制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段とを含む。例えば、印刷版を作成するためには、画素は、像平面において１５ミクロンよりも小さくないことが必要であり、好ましくは２０ミクロンよりも小さくないことが必要である。画素は、目標とする結果を得るためにかなり大きくなる可能性もあるが（例えば１００ミクロン）、４０ミクロンよりも大きくないことが好ましい。
【０００８】
照明手段は、光源（例えば、発光ダイオードのアレー、垂直空隙面発光レーザ（ＶＣＳＥＬ）、又は、電子発光アレー）、又は、別個の光源から照明される光変調器としてもよい。典型的な光変調器は、液晶アレー、及び、非常に小さな可動ミラーのアレーのようなマイクロ電気機械（「ＭＥＭ」）装置である。使用可能なコントラストの量は、少なくとも部分的には使用される照明手段の種類によって判断されることになる。
【０００９】
典型的な「ＭＥＭ」ミラーアレーは、１０００×１０００の画素、又は、２０００×２０００の画素を含み、各画素は、例えばアレーの平面に対して±１０°という２つの状態間で切り換え可能なミラーによって提供される。これらの装置は、２０×２０インチの感光領域に対して１２×１２又は６×６の複製（副領域）を必要とするであろう。各ミラーの偏角が、３つ又はそれ以上（例えば、特に後述する７つ）の値のうちの選択された１つの値をとることのできる「ＭＥＭ」ミラーアレーも知られている。最も単純な構造形態においては、各ミラー素子の偏向は単一の軸線の周りで行なわれるが、各素子が２つの軸線の周りで偏向可能な構成も提案されている。
【００１０】
例えば感光面を紫外線（ＵＶ）又は近ＵＶ光（スペクトルの青色端）で露出させることが望まれるようないくつかの場合には、波長制限により、ある特定の光学素子（例えば、過剰のＵＶ照射により劣化する傾向があるか、又は、必要な変調を提供することのできない液晶）の使用が阻止され、また、照明手段の選択が制限される場合がある。そのような場合、又は、異なる目的のために広い光学範囲の照明波長を用いる必要があり得る場合、波長に対するその比較的低い感受性のために、「ＭＥＭ」装置の使用が好ましいであろう。「ＭＥＭ」装置は、高い放射強度に対しても比較的感度が低く、偏光用の光学機器を必要としない。
照明手段は、電気的にアドレスされるのが好ましいが、採用される照明手段の種類としてそれ自体が公知の他の画素式アドレス手段を使用することもできる。
【００１１】
多くの場合、照明手段は、それから発する光を方向付けするためのいかなる装備も含まないことになる。そのような場合、方向付け手段は、照明手段から完全に分離されることになり、照明される副領域を選択するための可変的光デフレクタ又は空間セレクタ、及び／又は、感光領域を移動するための手段さえも含むことができる。他の場合には、照明手段によって提供される光の方向は、１つの方向のみであり（例えば、単一軸線の周りで複数角度のうちの選択された１つの角度に対して傾動可能なマイクロミラーのアレー）、第２の方向に対しては、別の手段、例えば、上述の可変的光デフレクタ、空間セレクタ、又は、移動手段が必要とされるであろう。
【００１２】
構成の１つの種類において、照明手段からの光は、例えば像平面において拡散装置を使用することにより広い角度に亘って広がり、例えばレンズ状レンズアレーを使用して照明手段の多重映像が形成される。得られた光を受けるのに適した空間セレクタは、照明手段からの光を受けるための光平行化光学機器、それに続いて、各レンズが平行化光学機器からの照明の同一パターンを受けるレンズ状レンズアレーのような複製光学機器、及び、選択された副領域に対応するレンズ状レンズを選択するための空間シャッターアレーを含む。空間シャッターは、適切な任意の公知の装置とすることができるであろうが、その速度に対して好ましい１つの装置には、ネマチック液晶πセルのアレーが含まれる。
【００１３】
しかし、２方向に作用することができる光デフレクタを使用することは、多くの場合、より単純でより効率的である。当業技術で公知の任意の適切な光デフレクタ又は光デフレクタの組合せ（各方向に１つ）をこの目的のために使用できるが、好ましい装置は、ここでもまた波長及び高い放射強度に対して比較的敏感でないという特徴を有する二軸操作可能なミラーによって提供される。一実施形態においては、照明手段からの光パターンは、レンズのような集束光学機器を通じて、二軸操作可能ミラー上へ、更に続いて集束用レンズ状レンズアレーに方向付けされる。操作可能なミラーは、選択された副領域に対応してどのレンズ状レンズが照明されるかを選択するように制御される。
上述のいずれの構成も、デジタル式に作動される、すなわち、アレーの個々の単一ミラー（パターンの画素をもたらす）が所定の像平面に向う方向、又は、別の方向に光を向けるようにデジタル式に作動される、「ＭＥＭ」ミラーアレーと共に使用することができる。
【００１４】
他の事例においては、照明手段自体が光の方向を決定し、従って光方向付け手段の一部を形成することができる。その典型的な好ましい例は、アナログ式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーである。選択された副領域に対してパターンを準備するために、このアレーは上述のように準デジタル式に作動される。しかし、像平面に方向付けされる光を供給する全てのミラーは、選択された副領域の位置に従って変えることのできる同じ角度だけ偏向される。すなわち、この方式で作動される装置には、万華鏡システムと集束用マクロレンズとを後置することができ、アレーのミラーの偏向角度が、そのレンズのどの領域が隣接する（選択された）副領域へ伝達させるために照明されるかを決定する。この構成においては、万華鏡は、空間光変調器を一様に照明し、この空間光変調器からは内部反射により多重映像を得ることができ、これらの多重映像に実際に含まれる光エネルギは、ミラーによって形成される偏向角度に依存する。代替的に、アナログ式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーからの光は、上述のように選択領域が照明されたマクロレンズのような平行化光学機器により、選択された副領域に対応するレンズ状レンズアレーのうちの選択された１つのレンズまで通すことができるであろう。上記の３つの段落で述べた２つの構成とは異なり、これらの構成の両方とも比較的良好に平行化された光を必要とする。
【００１５】
第２の態様において、本発明は、映像を表す入力信号に応答して、連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を露出させる方法を提供し、本方法は、映像の選択された部分に対応する光パターンを準備する段階と、副領域のうちの対応する１つを満たすためにこのパターンを方向付けする段階と、感光領域の全ての副領域に亘って映像全体が生成されるまで他の副領域に対してこの処理を反復する段階とを含む。
本発明の更なる詳細及び利点は、特許請求の範囲を読むことにより、また、添付図面を参照しながら進める本発明の実施形態に関する以下の説明を考察することにより明らかになるであろう。
【００１６】
（発明を実施するための最良の形態）
図面において、同じ参照番号は、同様の機能を実行する対応する要素を表すために使用される。
図１において、ランプ又はレーザ光源１からの光は、レンズ２とビームスプリッタ３とを通じて、各々が２つの角度の間で偏向可能な１０００×１０００のミラーから成るマイクロ電気機械的ミラーアレー４上に方向付けされる。１つの角度でミラーから反射された光７はこのシステムから失われるが、別の角度でミラーから反射されてスプリッタ３を透過した発散光５は、レンズ６により平行化された後、１２×１２のレンズ状レンズアレー８に入射する。各レンズ状レンズは、アレー４の別々の映像を形成する。
【００１７】
１つのそのような映像は、πセルの液晶アレー１０と、１２×１２アレーの「グラン−テイラー」偏光子９（単一の大形偏光子も使用し得る）とにより形成された対応する１２×１２アレーのシャッターから選択される。液晶アレーに入射した光は偏光されるべきであって、これは、例えば光源１の直後に配置された別個の偏光子によって行なわれるか、レーザ光源１を使用することにより行なわれるか、又は、偏光ビームスプリッタ３を設けることによって行なわれる。使用時には、選択されたπセルが活性化されて入射光の平面を９０°だけ回転させ、アレー４全体の映像が像平面１１の選択された副領域上に形成されるように、公知の方法で対応する偏光子９による伝達を可能にする。
【００１８】
本システムの作動時には、画素数で表現すると例えば１２，０００×１２，０００といった非常に大きい映像を表す入力信号が、１２×１２の連続する（タイリングされた）副映像を表す副映像信号へと効果的に分割される。各副映像信号は、次に、ミラーアレー４をアドレスするために使用され、一方、全体映像内における副映像の位置に関する情報は、副映像が平面１１の正しい位置に方向付けされ、それによって最終的に映像全体が平面１１に再現されるように、シャッターアレーを制御するために使用される。副映像は、いかなる所定の順序で供給されてもよいが、すぐ隣の副映像は直ぐ次に連続して形成されるのが好ましく、例えば、１２個の副映像の第１の線に沿って連続的に、又は、それに続く線に沿って連続的に、同じ線の方向（従来のラスタ走査の場合のように）又は逆方向（ボウストロフェドラル走査の場合のように）のいずれかによって形成される。
使用時には、感光面は平面１１内に置かれる。この面が印刷マスク又は印刷版を生成するための例えばフォトレジスト層である場合には、ＵＶ供給装置１を使用することが必要であろう。
【００１９】
本システムにおいては、光５がレンズアレー８を一様に照らすように十分発散することが保証されるべきである。ある特定の光源又は照明用光学機器を使用することにより、又は、ミラーアレー４の代わりに代替種類の光変調器が使用される時は、これが自然に起こる場合があるが、その他の場合には、光の十分な発散を保証するために公知の追加的手段が設けられる。
一般に、偏光用光学機器の使用は避けるのが好ましく、図２から図４にはそのような要件はない。これらの図面において、光源は、偏光された光（例えばレーザ）又は偏光されていない光を供給することができる。
【００２０】
図２において、発散光線５は、レンズ１２により、ミラー１３と１２×１２レンズアレー１４とを通じて像平面１１上で集束される。ミラー１３は２つの軸線の周りで傾動可能であるから、レンズアレー１４内の選択された１つのレンズは、アレー４から来る実質的に全ての副映像光５を受けて、対応する副映像を平面１１内のその位置に作り出し、それによって、ここでもまた、完全な映像をタイリングにより最終的に平面１１上に合成することができる。この構成においては、光源１からの光は平行化される必要がない。図示したように、また好ましくは、ミラーは平面鏡であるが、光を集束させるために１方向又は２方向において湾曲したミラーを使用し、レンズ１２と組み合わせて、又は、単独ででも（その場合には、より大きな可動構成要素が必要であるが）作用させることができるであろう。
【００２１】
図３は図１と幾分似ているが、ここではミラーアレー４は、少なくとも７つの異なる方向に傾けることのできる２０００×２０００のミラーから成る電気機械的マイクロミラーアレー１５で置き換えられている。１つの方向は、このシステムから失われる光７を生じさせ、残りの少なくとも６つは有用な方向である。この場合、ミラーアレーに入射する光は十分妥当に平行化されるように構成されるので、有用な角度のうちの１つの角度に設定されたアレー内のミラーにより反射された光は、スプリッタ３を透過して、平行化レンズ６の対応する制限領域に入り、そこから平面１１の対応するローカル領域を照らす６×６のレンズアレー１６のうちの対応する１つのレンズに入る。
【００２２】
使用時には、副映像信号がアレー１５に供給され、その信号の平面１１上における位置は、アレー１５内の選択されたミラーの偏向角度の選択により少なくとも第１の方向で選択される。どの副映像に対しても、この偏向角度は６つの有用角度から選択され、その副映像に対する全ての選択されたミラーに共通である。アレー１５のミラーが２つの軸線の周りの多重角度偏向（各軸線につき６つの有用な方向）が可能な場合、それだけで２方向の副映像位置の選択を可能にし、ここでもまた、副映像を平面１１上でタイリングすることにより完全な映像が合成される。
【００２３】
代替的に、第２の方向の副領域位置の選択をもたらす何らかの他の方法が提供されるべきであり、例えば、平面１１内における感光面の位置を変えることが可能であり、ミラーアレー１５全体を第２の軸線の周りで回転させることも可能であり、又は、スプリッタ３とレンズ６との間に更なる操作可能な偏向ミラーを配置することも可能であろう。図に示したように、図１のシャッターアレーの必要性が図３にはないということが分る。
【００２４】
図４の構成は、スプリッタ３とミラーアレー１５の間で万華鏡１７を使用することにより、図３のレンズアレー１６に対する要件を排除している。スプリッタ３から出た副映像光は、アレー１５で反射された後、マイクロミラーの偏向角度に応じてレンズ１８のローカル領域上に入る。レンズ１８は、副映像光を平面１１の対応するローカル領域上に集束させるから、少なくとも１つの方向における副映像のタイリングを達成することができる。第２の方向におけるタイリングに対する構成は、図３に関連して検討した構成とほとんど同じである。
【００２５】
上述の実施形態は典型的な例に過ぎず、特許請求の範囲で規定された本発明の範囲内で様々な変更を為し得ることが当業者には明らかであろう。例えば、図１及び図２は、シャッターアレー１０又は二軸ミラー１３の制御による各副映像の平面１１内における２次元配置に関連して説明されたが、一方の方向の配置も、他方の方向の配置を制御する代替方法と共に同様にもたらすことができることは明白である（すなわち、線形シャッターアレー又は一軸ミラー）。図３及び図４に関連して検討したように、これは、例えば、感光面の移動、更なる一軸傾動可能ミラーの設置（それにより図２において、そのような２つのミラーが直列に配置されることになる）、又は、アレー４を傾けることによりもたらすことができるであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】
デジタル式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーを空間シャッターアレーと共に使用する本発明の第１の実施形態を示す図である。
【図２】
デジタル式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーを二軸操作可能なミラーと共に使用する本発明の第２の実施形態を示す図である。
【図３】
アナログ式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーを平行化光学機器及びレンズ状レンズアレーと共に使用する本発明の第３の実施形態を示す図である。
【図４】
アナログ式に作動される「ＭＥＭ」ミラーアレーを万華鏡及び光集束用光学機器と共に使用する本発明の第４の実施形態を示す図である。
【図１】
2004516501.tif 000003
【図２】
2004516501.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
2004516501.tif 000024
2004516501.tif 000025
【手続補正書】
【提出日】平成15年3月31日(2003.3.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
連続する副領域を形成するために領域が概念的に２方向に再分割された像平面内の感光領域を露出させるための装置であって、
選択された画素化光パターンを発生させるための可変照明手段と、
前記パターンの画素が副領域において少なくとも大きさが１５ミクロンになるように、副領域のうちの選択された１つを満たすために前記パターンを方向付けするための方向付け手段と、
映像全体が前記副領域の全てに亘って生成されるように前記照明手段と前記方向付け手段とを連結的に制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段と、
を含み、
前記方向付け手段は、類似パターンのアレーを形成するために前記光パターンを複製するための手段と、感光領域の対応する副領域に伝達させるための前記パターンの１つを選択するための選択手段とを含む、
ことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記選択手段は、光シャッターのアレーを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
各シャッターは、前記副領域のそれぞれ１つに対応することを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記複製手段は、前記副領域のそれぞれ１つに各レンズが対応するレンズアレーを含むことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
前記照明手段は、画素化された光源により準備されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記照明手段は、光源と画素化された空間光変調器とを含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記空間光変調器は、マイクロ電気機械装置又は液晶アレーであることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記マイクロ電気機械装置は、傾動可能ミラーの２次元アレーを含むことを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記照明手段は、前記光パターンを発生させるように光学的にアドレス可能であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記照明手段は、前記光パターンを発生させるように電気的にアドレス可能であることを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記照明手段及び方向付け手段は、別々の要素であることを特徴とする請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１２】
連続する副領域を形成するために概念的に第１及び第２の方向に再分割された、像平面内の感光領域を露出させるための装置であって、
選択された画素化光パターンを生成し、かつ、前記パターンの画素が副領域において少なくとも大きさが１５ミクロンとなるように、前記パターンを像平面内の副領域のうちの選択された１つの副領域に対応する方向に方向付けするための可変照明手段と、
映像全体を合成するためにそれぞれの前記画素化光パターンが連続して前記副領域の各々に供給されるように前記照明手段を制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段と、
を含み、
前記照明手段は、選択的に作動可能な素子のアレーを含み、各素子が、前記画素化光パターンを形成するために、少なくとも第１の方向に複数の角度のうちの任意の選択された１つの角度で前記像平面に向けて入射光を個別に方向付けすることができ、前記選択された角度が、少なくとも部分的に前記選択された副領域を決定する、
ことを特徴とする装置。
【請求項１３】
前記照明手段は、傾動可能なミラーの２次元アレーの形態を有するマイクロ電気機械装置を含むことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記ミラーアレーの各ミラーは、２つの軸線の周りで傾動可能であり、それによって前記第１及び第２方向の両方における副領域の位置を決定することを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１５】
前記ミラーアレーの各ミラーは、１つの軸線の周りで傾動可能であって前記第１の方向における副領域の位置を決定し、
前記ミラーアレーからの光は、異なる軸線の周りで傾動可能なミラーを通じて像平面に方向付けされ、前記第２の方向における副領域の位置を決定する、
ことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１６】
前記ミラーアレーの各ミラーは、１つの軸線の周りで傾動可能であって前記第１の方向における副領域の位置を決定し、
像平面内の感光領域を移動させるための手段が設けられ、前記第２の方向における副領域の位置を決定する、
ことを特徴とする請求項１３に記載の装置。
【請求項１７】
前記ミラーアレーからの光は、平行化光学機器と、前記複数の角度のうちの１つの角度に各レンズが対応する類似レンズのアレーとを通じて前記像平面に方向付けされることを特徴とする請求項１２から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１８】
前記ミラーアレーからの光は、万華鏡と集束レンズとを通じて前記像平面に方向付けされることを特徴とする請求項１２から請求項１６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項１９】
前記画素は、前記副領域において大きさが少なくとも４０ミクロンであることを特徴とする請求項１から請求項１８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
前記照明手段は、紫外線光を供給することを特徴とする請求項１から請求項１９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
映像の選択された部分に対応する画素化光パターンを準備する段階と、副領域のうちの対応する選択された１つを満たすように前記パターンを方向付けする段階と、映像全体が感光領域の全ての副領域に亘って生成されるまで以上の処理を他の副領域に対して反復する段階とを含み、前記光パターンの画素が前記感光領域において少なくとも大きさが１５ミクロンである、連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を映像を表す入力信号に応答して露出させる方法であって、
類似パターンのアレーを形成するために光パターンを複製する段階と、
感光領域の対応する副領域に伝達させるための前記パターンのうちの１つを選択する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２２】
映像の選択された部分に対応する画素化光パターンを準備する段階と、副領域のうちの対応する選択された１つを満たすように前記パターンを方向付けする段階と、映像全体が感光領域の全ての副領域に亘って生成されるまで以上の処理を他の副領域に対して反復する段階とを含み、前記光パターンの画素が前記感光領域において少なくとも大きさが１５ミクロンである、連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を映像を表す入力信号に応答して露出させる方法であって、
光で画素化パターンを生成するため、及び、複数の角度のうちの任意の選択された１つの角度で光を像平面に方向付けすることにより、選択された副領域を少なくとも部分的に決定するために、光変調器アレーの個々の素子を制御する段階、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項２３】
マイクロ電気機械ミラーのアレーの形態を有する光変調器を設ける段階を含むことを特徴とする請求項２２に記載の方法。
【請求項２４】
前記感光領域は、記録媒体を含むことを特徴とする請求項２１から請求項２３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２５】
前記記録材料は、前記照明手段からの光に露出されると選択的に硬化されるか、又は、選択的に除去可能にされることを特徴とする請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
前記照明手段からの光は、紫外線光を含むことを特徴とする請求項２１から請求項２５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項２７】
請求項２１から請求項２６のいずれか１項に記載の方法を実行する段階を含むことを特徴とする、印刷版を生成する方法。
【請求項２８】
連続する副領域を形成するために領域が概念的に２方向に再分割された像平面内の感光領域を露出させるための装置であって、
選択された画素化光パターンを発生させるための可変照明手段と、
副領域のうちの選択された１つを満たすために前記パターンを方向付けするための方向付け手段と、
映像全体が前記副領域の全てに亘って生成されるように前記照明手段と前記方向付け手段とを連結的に制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段と、
を含み、
前記方向付け手段は、類似パターンのアレーを形成するために前記光パターンを複製するための手段と、感光領域の対応する副領域に伝達させるための前記パターンの１つを選択するための選択手段とを含む、
ことを特徴とする装置。
【請求項２９】
連続する副領域を形成するために概念的に第１及び第２の方向に再分割された、像平面内の感光領域を露出させるための装置であって、
選択された画素化光パターンを生成し、かつ、前記パターンを像平面内の副領域のうちの選択された１つの副領域に対応する方向に方向付けするための可変照明手段と、
映像全体を合成するためにそれぞれの前記画素化光パターンが連続して前記副領域の各々に供給されるように前記照明手段を制御するための、映像を表す入力信号に応答する制御手段と、
を含み、
前記照明手段は、選択的に作動可能な素子のアレーを含み、各素子が、前記画素化光パターンを形成するために、少なくとも第１の方向に複数の角度のうちの任意の選択された１つの角度で前記像平面に向けて入射光を個別に方向付けすることができ、前記選択された角度が、少なくとも部分的に前記選択された副領域を決定する、
ことを特徴とする装置。
【請求項３０】
映像の選択された部分に対応する画素化光パターンを準備する段階と、副領域のうちの対応する選択された１つを満たすように前記パターンを方向付けする段階と、映像全体が感光領域の全ての副領域に亘って生成されるまで以上の処理を他の副領域に対して反復する段階とを含む、連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を映像を表す入力信号に応答して露出させる方法であって、
類似パターンのアレーを形成するために光パターンを複製する段階と、
感光領域の対応する副領域に伝達させるための前記パターンのうちの１つを選択する段階と、
を含むことを特徴とする方法。
【請求項３１】
映像の選択された部分に対応する画素化光パターンを準備する段階と、副領域のうちの対応する選択された１つを満たすように前記パターンを方向付けする段階と、映像全体が感光領域の全ての副領域に亘って生成されるまで以上の処理を他の副領域に対して反復する段階とを含む、連続する副領域を形成するために概念的に２方向に再分割された感光領域を映像を表す入力信号に応答して露出させる方法であって、
光で画素化パターンを生成するため、及び、複数の角度のうちの任意の選択された１つの角度で光を像平面に方向付けすることにより、選択された副領域を少なくとも部分的に決定するために、光変調器アレーの個々の素子を制御する段階、
を含むことを特徴とする方法。
【国際調査報告】
2004516501.tif 000026
2004516501.tif 000027
2004516501.tif 000028