(57)【要約】【課題】支持部材、特に光学部品を備えるプレートのパッシブアライメント法および装置を提供する。【解決手段】本発明では、支持部材（２、８）の位置合わせのために、これらの支持部材に互いに対応する穴（６、７、１１、１２）を形成し、一方の支持部材の穴にボールを置き、他方の支持部材の穴をボールに被せるように置いてこれらの支持部材を組み立てる。穴またはボールの大きさは、組み立てた支持部材のなす角度が事前設定で非零の角度（α）となるように選ぶ。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１つ以上の第一支持部材（２；２４１、２４２、・・・２４Ｎ）と１つ以上の第二支持部材（８；２６１、２６２、・・・２６Ｎ）のパッシブアライメント法であり：
―第一支持部材の第一表面に３つ以上の第一の穴（６、７；３８、４０、４４）が形成されていることと、
―第二支持部材の第一表面に３つ以上の第二の穴（１１、１２）が形成されており、これらの第二の穴は、第一支持部材および第二支持部材の第一表面が互いに対面するように配設されるとき、第一の穴に対面することができることと、
―第一の穴のそれぞれにボール（１４、１６；４６、４８、５０）が置かれ、各ボールの大きさはこのボールの置かれている第一の穴およびこの第一の穴に対応する第二の穴より大きいことと、
―第一および第二支持部材は、第二の穴を、該第二の穴にそれぞれ対応する第一の穴に置いたボール上に配設することにより組み立てられることと、
−第一および第二の穴および／またはボールの大きさは、組み立てた第一支部材と第二支持部材の第一表面がなす角度が非零になるように事前設定されることを特徴とする方法。
【請求項２】
さらに、第一支持部材を第二支持部材に固定する請求項１に記載の方法。
【請求項３】
被覆剤による結合、第一および第二支持部材を組み立てる前に第一支持部材に予め接着剤を塗布しておく方法、組み立ての前にボールを接着しておく局所的接着および機械的固定手段（１０６）から選択した技術を用いて第一支持部材を第二支持部材に固定する請求項２に記載の方法。
【請求項４】
第一および第二支持部材の組み立て体互いに固定する前に振動させる請求項２または３に記載の方法。
【請求項５】
第一および第二の穴は全部が同じ大きさではない請求項１ないし４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
３つの第一の穴（３８、４０、４４）を二等辺三角形のほぼ頂点の位置に配設し、これら３つの第一の穴のうち、この二等辺三角形の底辺の両端にある２つをほぼ同じ大きさにし、３つ目の穴はそれらより小さくする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
Ｎ個の第一支持部材（２４１、２４２、・・・２４Ｎ）とＮ個の第一支持部材にそれぞれ関連するＮ個の第二支持部材（２６１、２６２、・・・２６Ｎ）を使用し、Ｎは自然数で、第一および第二支持部材を結合したＮ組の組み立て体を重合可能な接着剤（３０）で被覆し、Ｎ組の組み立て体の接着剤を同時に架橋結合させる請求項１ないし６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
第一および第二支持部材は、シリコン、石英、ガラスおよび金属の中から選んだ材料でできている請求項１ないし７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
ボールは、コランダム、ステンレススチールおよび可溶物質の中から選んだ材料で作られる請求項１ないし８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
一つ以上の第一支持部材（２；２４１、２４２、・・・２４Ｎ）と一つ以上の第二支持部材（８；２６１、２６２、・・・２６Ｎ）のパッシブアライメントを行う装置であって、第一支持部材がその第一表面に形成された３つ以上の第一の穴（６，７；３８、４０、４４）を含み、第二支持部材がその第一表面に形成された３つ以上の第二の穴（１１、１２）を含み、第一支持部材および第二支持部材の第一表面同士を対面するように配設するときこれらの第二の穴は第一の穴に対面でき、第一の穴にはボールが配設され、第二の穴を該第二の穴のそれぞれに対応する第一の穴の上に載っているボールの上に配設することにより、第一および第二支持部材の位置合わせが可能で、それぞれのボールはこのボールに対応する第一の穴より大きく、かつ、第一の穴に対応する第二の穴より大きく、第一および第二の穴の大きさおよび／またはボールの大きさは、組み立てた第一支持部材の第一表面と第二支持部材の第一表面がなす角（α）が事前設定した非零となるように選択されることを特徴とする装置。
【請求項１１】
第一支持部材は一つ以上の第一光学部品（１８、８８）を備え、第二支持部材は、第二の穴が第一の穴に対面したとき第一光学部品に対面することができる一つ以上の第二光学部品（２０、１００）を備え、従って、装置は第一光学部品および第二光学部品のパッシブアライメントを可能にする請求項１０に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、支持部材のパッシブアライメント法およびそのための装置に関する。
特に、例えば光学部品を備えているプレートのパッシブアライメントといった光学分野に応用できる。
本発明はＭＥＭＳ（極小電子機械システム）の分野にも適用できる。
本発明は、さらに一般的には、例えばプレート形態の支持部材の精密なアライメントが必要とされる全分野に応用できる。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
精密にかつ通常のアライメント用支持部材を用いずに、２枚のプレートを位置合わせして組み立てる技術は公知である。
特に、２枚のプレート上に光学マーカーを配設し、該２枚のプレートを光学的にまたは電気的に位置合わせし、そろった位置で固定し（接着、溶着または機械的な保持によって）組み立てるアクティブ技術は公知である。
【０００３】
要素をプレート上に配設し、これらの要素を利用して２枚のプレートを位置合わせした後固定するパッシブ技術も、公知である。例えば融解しているハンダボールに自動位置合わせ特性があることを利用して、プレートを自動位置合わせするフリップチップ技術がこの例である。
初めに、本発明はパッシブアライメント技術の一部を形成し、ほぼ平坦な２部品を組み立てるとき、光学的アライメントを必要とせずに位置合せし、固定することができるということを述べておく。
【０００４】
２つの部品のパッシブアライメント技術はすでに次の文献で述べられている。
［１］　「発光／検出装置における鉛直表面のパッシブアライメント構成部材（Ｐａｓｓｉｖｅ ａｌｉｇｎｍｅｎｔ ｍｅｍｂｅｒ ｆｏｒ ｖｅｒｔｉｃａｌ ｓｕｒｆａｃｅ ｅｍｉｔｔｉｎｇ／ｄｅｔｅｃｔｉｎｇ ｄｅｖｉｃｅｓ）」（Ｔｈｅ Ｗｈｉｔａｋｅｒ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎによる国際出願公開第９９／４４０８８号）
光学的アライメントが可能な別の技術も次の文献で公表されている。
［２］　「光学的組立体（Ｓｅｌｆ−ａｌｉｇｎｉｎｇ ｓｕｐｐｏｒｔ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ ｆｏｒ ｏｐｔｉｃａｌ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ）」（Ｌ．Ｄ． Ｃｏｍｅｒｆｏｒｄ他による米国特許第４０７９４０４号）
［３］　「Ｍｉｃｒｏｊｏｉｎｅｒｙ： ｃｏｎｃｅｐｔｓ ｄｅｆｉｎｉｔｉｏｎ， ａｎｄ ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ ｔｏ ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ」（Ｓｅｎｓｏｒｓ ａｎｄ ａｃｔｕａｔｏｒｓ Ａ ６６（１９９８年）３１５−３３２ページ）
２つの支持部材（例えば２枚のプレート）を機械的に相互に固定する際、該２つの支持部材が
―（組み立て前にそれぞれの支持部材上に形成した空間的マーカーに対して）固定した後、互いに完全に位置合わせされ、
―互いの間に角度をなすようにするのが望ましい。
この問題は、文献［１］で開示されている技術で部分的に解決されている。この技術により、２つの部品互いに直交するＸ方向およびＹ方向に沿って、互いに位置合わせすることができるが、Ｘ方向およびＹ方向に直行する第三の方向であるＺ方向については、スペーサまたは部品の間隔を調整するための別の同様な手段を用いなければ位置合わせをすることができない。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は従来の欠点を克服することである。
本発明は、２つ以上の支持部材を精密にかつ受動的な方法で位置合わせすることを目的とし、特に、例えば一本以上の光ファイバーまたは１個以上の光源および／または受容器など、光学部品を備えている２つの支持部材を位置合わせすることが目的である。
本発明は、互いに直交する３本の軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸についてこれらの２つの支持部材を精密に組み立てることを可能にし、２つの支持部材がなす角の調整を可能にする。
本発明の正確な目的は、１つ以上の第一支持部材と１つ以上の第二支持部材のパッシブアライメント法を提供することであり、この方法は：
第一支持部材の第一表面に３つ以上の第一の穴が形成されていることと、
第二支持部材の第一表面に３つ以上の第二の穴が形成されており、これら第二の穴は、第一支持部材および第二支持部材の第一表面が互いに対面するように配設されるとき、第一の穴に対面することができることと、
第一の穴のそれぞれにボールが置かれ、各ボールの大きさはそれぞれのボールの置かれている第一の穴およびこの第一の穴に対応する第二の穴より大きいことと、
第一および第二支持部材は、第二の穴を、該第二の穴にそれぞれ対応する第一の穴に置いたボール上に配設することにより組み立てられることと、
第一および第二の穴および／またはボールの大きさは、組み立てられた第一支部材と第二支持部材のそれぞれの第一表面がなす角度が、事前に設定した非零の角度になるように選択されることを特徴とする。
【０００６】
本発明の主題である本方法を実行するのに好適な形態では、さらに第一支持部材を第二支持部材に固定する。
本発明の具体的な実施例では、第一支持部材を第二支持部材に固定するために、被覆剤による結合、第一および第二支持部材を組み立てる前に第一支持部材に予め接着剤を塗布しておく方法、組み立ての前にボールを接着する局所的接着、および機械的固定手段から選択した技術を用いる。
互い固定する前に、この組み立て体を振動させることにより、第一および第二支持部材の組み立てを支援することもできる。
好適には、第一および第二の穴の大きさは、全部が同じ大きさではない。
【０００７】
本発明の一施例として、３つの第一の穴（および必然的に対応する３つの第二の穴）を二等辺三角形のほぼ頂点の位置に配設し、これらの３つの第一の穴のうち、この二等辺三角形の底辺の両端にある２つをほぼ同じ大きさにし、３つ目の穴はそれらより小さくする。
本発明を実行するための特定の実施形態では、Ｎ個の第一支持部材とＮ個の第一支持部材にそれぞれ関連するＮ個の第二支持部材を使用し、Ｎは自然数で、第一および第二支持部材を結合したＮ組の組み立て体を重合可能な接着剤で被覆し、Ｎ組の組み立て体の接着剤を同時に架橋結合させる。
【０００８】
第一および第二支持部材は、例えばシリコン、石英、ガラスおよび金属の中から選択した材料からなる。
ボールは例えばコランダムまたはステンレススチールまたは可溶物質で作る。
【０００９】
本発明の別の目的は、一つ以上の第一支持部材と一つ以上の第二支持部材のパッシブアライメントを行う装置を提供することであって、この装置は、第一支持部材がその第一表面に形成された３つ以上の第一の穴を含み、第二支持部材がその第一表面に形成された３つ以上の第二の穴を含み、第一支持部材および第二支持部材の第一表面同士を対面するように配設するときこれらの第二の穴は第一の穴に対面でき、第一の穴にはボールが配設され、第二の穴を該第二の穴のそれぞれに対応する第一の穴の上に載っているボールの上に配設することにより、第一および第二支持部材の組み立てが可能で、それぞれのボールはこのボールに対応する第一の穴および第一の穴に対応する第二の穴より大きく、第一および第二の穴の大きさおよび／またはボールの大きさは、組み立てた第一支持部材の第一表面と第二支持部材の第一表面がなす角が事前設定した非零の角度になるように選択されることを特徴とする。
【００１０】
本発明の主題である装置の具体的な実施例では、第一支持部材は一つ以上の第一光学部品を備え、第二支持部材は、第二の穴が第一の穴に対面したとき第一光学部品に対面することができる一つ以上の第二光学部品を備えるので、本装置は第一光学部品および第二光学部品のパッシブアライメントを可能にする。
【００１１】
下記の実施例の記述は本発明をよりよく理解するためのものであり、純粋に例示的なもので限定的なものではなく、添付の図面を参照して説明される。
【００１２】
【実施例】
図１に断面の略図が描かれている本発明の主題である装置の例は、一直線上にない３つのブラインドホールを備えるプレート型の第一の支持部材２を含み、それらの穴はこのプレートの表面４に形成されている。
図１では、２つだけ穴が図示されており、その参照番号は６および７である。
第三の穴は図１の左側の穴６の後ろにある。
【００１３】
図１の装置は、一直線上にない３つのブラインドホールを備えるプレートの形態の第二支持部材８も含み、それらの穴はこの第二支持部材の表面１０に形成されている。３つの穴のうち、２つだけが図示されており、その参照番号は１１および１２である。第三の穴は図１の左側の穴１１の後ろにある。
プレート２および８と同じタイプのプレートを上から見た図が図４に描かれているが、後で説明する。
【００１４】
２つの支持部材にある穴は、表面４および１０が対面するとき支持部材８の穴がそれぞれ支持部材２の穴に対応するように形成される。
図１の装置は３つのアライメントボール（以後の記述ではより簡単に「ボール」という）を含んでいる。それらは支持部材に設けられた穴とそれぞれ結合する。これらのボールのうちの２つのボール、１４および１６だけが、図１に図示されており、ボール１４は穴６および１１に結合し、ボール１６は穴７および１２に結合する。
それぞれのボールはそれに対応するプレート２の穴に置かれ、プレート８を、プレート８の穴がこの穴に対応するボールの上にくるように、プレート２の上に配設する。
【００１５】
それぞれのボールの直径は、プレート２および８のこのボールに対応する二つの穴の直径より大きく、図１の例ではこれらの穴の直径は等しい。
また図１では、プレート２に配設された光学部品１８および、プレート８に配設され光学部品１８にほぼ位置合わせされている別の光学部品２０が図示されており、穴とボールが嵌合することにより、プレートを組み立てたとき、このような位置合わせが可能となる。
【００１６】
図１の例では、部品１８は光源で、部品２０は光検出器である。部品１８をプレート２の表面４に形成し、部品２０をプレート８の表面１０の反対側である上側の表面２２に形成している。後者（プレート８）は部品１８が発した光を透過する材料でできているので、光は検出器２０に到達できる。
プレート２はプレート８と接着層２３を介して一体化する。
図１の例では、部品１８が発した光を透過する接着剤が使用されるので、光はプレート間の接着剤の部分を通過できる。
ボール１６の直径は他の２つのボールより大きいと述べたが、図１の例では同じである。このようにしてプレート２とプレート８の間の非零の角度αが得られる。
【００１７】
さらに一般的には、ボールの直径または穴の直径またはボールおよび穴両方の直径の値を適切に選択することにより、プレート２および８の間の角度を事前設定された非零の値にすることが可能である。
同一の穴および同一のボール（ボールの直径は穴の直径より大きい）を用いた場合に、プレート間の角度が零となる。
【００１８】
プレート２および８のパッシブアライメントについて説明する。
初めに、ボールをプレート２の対応する穴に置く。それぞれのボールは重力のために対応する穴にしっかりと嵌る。次に、プレート８をプレート２の上にほぼ揃うように位置合わせし、少なくともそれぞれのボールの頂点がプレート８の対応する穴に対面するように該プレート８をプレート２上に設置する。すると、重力のためにプレート２および８の自動位置合わせができる。
振動させることにより、この自動位置合わせを支援することができる。
従って摩擦による位置決めの不正確さを制限することができる。
振動させるためには、超音波または振動円板を用いる。
【００１９】
その後、プレート８をプレート２に接着する。例えば次の文献に記述されている接着被覆の技術を用いてこれを行う。
［４］　「基板上の隆起によりハイブリダイズされた電子部品の被覆方法（Ｐｒｏｃｅｓｓ ｆｏｒ ｃｏａｔｉｎｇ ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ ｃｏｍｐｏｎｅｎｔｓ ｈｙｂｒｉｄｉｚｅｄ ｂｙ ｂｕｍｐｓ ｏｎ ａ ｓｕｂｓｔｒａｔｅ）」（Ｆ．ＭａｒｉｏｎおよびＭ．Ｂｏｉｔｅｌによる米国特許第５４９６７６９号。仏国特許第２７０４６９１号も参照。）
【００２０】
接着被覆でプレートを接着する代わりに、プレート８をプレート２上に載せる前にプレート２上に接着剤を予め塗っておくことが可能である。変形として、プレート８をプレート２の上に載せる前にボールを局所的接着することにより結合することもできる。あるいは、例えばネジまたはスプリングといった機械的取り付け手段を用いてプレート８をプレート２の上に取り付けてもよい。
【００２１】
本発明の利点を次に述べる。
基本的な予備の位置合わせを行うことにより、形成した穴の半分の大きさより高い精度で２つの部品を結合することができる。よって、自動位置合わせの後の最終的な位置合わせが非常に精密になる（穴の精度によって約１μｍ）。
さらに、部材の間に得られる角度αを非常に精密に調整することができる。
加えて、本発明による装置を形成する際に、複雑で高価な位置決め用の機械を用いる必要はない。
【００２２】
図２は本発明による方法の一実施例を略図で表したもので、図１のタイプの装置を複数、共同製造することができる。
このために、Ｎ枚のプレート２４１、２４２、・・・２４Ｎ（ここでＮは自然数）を適切な表面２６の上に載せて用いる。これらのプレート２４１、　２４２・・・２４Ｎは、Ｎ枚の別のプレート２８１、　２８２・・・２８Ｎとそれぞれ関連している。
これらの全プレートにも穴を形成し、ボールを用いて互いに結合させ、図１と同じタイプの組み立て体Ｎ組を得る。
次にＮ組の組み立て体それぞれを紫外線照射で重合できる接着剤３０で被覆し、その後Ｎ組の組み立て体の接着剤は、そのような紫外線照射３２により同時に架橋結合する。
【００２３】
そのように形成されたプレートの組み立て体の結合特徴は重要である。なぜなら通常の使用される位置合わせおよび接着方法では、互いに結合させようとしている一対の部材を、接着剤固化の過程中保持しなくてはならないからである。結果として、部材のそのような対を順番に結合させることになる。全架橋結合時間は１組の架橋結合時間のＮ倍になる。位置合わせおよび結合用の機械がこの間中使用され、「１時間当たりの処理部材」で表されるその処理能力は非常に小さい。
【００２４】
これに対し、図４に示す本発明の例で実行される自動位置合わせでは、架橋結合の間、対になったプレートを保持する必要がない。全架橋結合時間は、１対のプレートを接着する架橋結合時間に等しい。この操作は位置合わせ用の機械以外の機械で行うことができる。例えば熱によって架橋結合する接着剤には簡単な炉を使用し、紫外線照射によって架橋結合する接着剤には紫外線の放射束を用いる。
図３および図４を参照しながら数値の例についてこれから述べるが、本発明の実施例を純粋に例示するものであり、何ら限定的なものではない。
向かい合う２つの光学部品を２μｍ未満の誤差で位置合わせすることが必要とされている。そのため、これら２つの光学部品を２枚のプレート３４および３６にそれぞれ配設し、それぞれ深さが２００μｍ＋／−２μｍである２つの穴３８および４０を設け、またこれらの２つの穴の間の距離を８００μｍとする。
【００２５】
図４では、プレート３４または３６の、２つの穴３８および４０が形成された表面４２が図示されている。
３つ目の穴４４がこの表面４２に形成されており、この３つ目の穴の中心は、２つの穴の中心を結ぶ線分の垂直二等分線上にあり、５ｍｍの長さの該線分から距離Ｄの位置にある。
穴３８および４０には直径２４０μｍ＋／−２μｍのボール４６および４８を置き、直径１２０μｍのボール５０を直径１００μｍの穴４４に置く。
【００２６】
図３は、ボール４６または４８または５０が、プレート３４または３６に形成した穴３８または４０または４４に配設された状態を図示している。ボールの半径をＲ、穴の半径をＲｔとする。ボールの中心とプレート上面の平面との距離をＨとする。２つのボール４６および４８ではＨの値はＨ１となる。３つ目のボール５０ではＨの値はＨ２となる。ここで、Ｈは（Ｒ２−Ｒ２ｔ）の平方根に等しい。よって、Ｈ１は６６μｍ、そしてＨ２は３３μｍである。
従って、プレート３４および３６はボール４６および４８の位置で１３２μｍ離れており、穴およびボールを２μｍ未満の誤差で形成すれば、最終的には２μｍ未満の誤差で配置できる。最初の事前位置合わせの際の許容誤差は＋／−１００μｍである（穴の直径の半分）。
【００２７】
２枚のプレート３４および３６の間の角度は、（Ｈ１−Ｈ２）／Ｄ、つまり０．３８度とは僅かに異なる。
図５は、本発明で（同じ物を一対として）使用できるプレート５２を上から見たときの部分的な略図である。このプレートは、例えば並行ではない２本の直線６６および６８に沿って形成されたそれぞれ３つの穴、５４−５６−５８および６０−６２−６４の２つのセット、といった３つ以上の穴を含む。一直線上に並んだ３つの穴５４，５６および５８は、徐々に直径が小さくなり、別の３つの穴６０、６２および６４はそれぞれ３つの穴５４、５６および５８に等しく、間隔も後者（穴５４、５６、５８）に等しい。
【００２８】
穴５４、５６、５８には、対応する穴の直径より大きく、徐々に直径が小さくなるボール７０、７２、７４を置き、穴６０、６２、６４にはボール７０、７２、７４と同じボール７６、７８、８０を置く。
このようにすることで、ボールを備えたプレート５２を全く同じプレートに結合し、その後、接着被覆でプレート同士を付着することが可能である。
上記で述べたように、本発明は、たとえばシリコン製の２つのプレート上にそれぞれが形成された２つの光学部品の連結を可能にする。例えば、ＶＣＳＥＬの第一の励起レーザまたはレーザ類を発光する鉛直空隙表面と、第一のＶＣＳＥＬに対面しそれにより励起される第二のＶＣＳＥＬレーザを、このように連結することが可能である。
【００２９】
穴を備えるプレートは好適にはシリコン、つまり穴の形成が広く行われている素材で作られる。さらに、シリコンはＭＥＭＳシステムで知られている媒体である。
穴は検討中の応用例で使用した、例えばガラスまたは金属という、光学用またはフルイディクス材料にも形成できる。
位置合わせ用のボールは、ボールの形状が得られる硬質材料のコランダムから、安価な較正済みボールの形状のステンレススチールまで、所望の材料で作ることができる。
【００３０】
ボールは例えばＳｎＰｂまたはＩｎのようなハンダといった、可溶性材料で作ることもでき、該材料は較正済みボールの形にすることができる。
インジウム・ハンダは、インジウムの全材料に対する接着特性のために、加圧すると、変形および結合の前の事前接着が必ず起こる。
【００３１】
本発明には多くの応用例がある。
例えば、使用されている２つの支持部材のうちの１つに形成した空隙に挿入した光ファイバーと、他方の支持部材に形成したＶＣＳＥＬの連結に適用できる。
ファイバーとＶＣＳＥＬを所定の角度（例えば図１の角度α）で連結することにより、ＶＣＳＥＬに直接反射光が入ることを避けることができる。さらに、そのような角度は、戻った光が直接入射しないように光ファイバーまたは、より一般的には光学部品を結合する際に必要である。
【００３２】
本発明では、光ファイバーとレーザを着脱可能な方法で連結することもできる。図６に略図を示すように、下側のプレート８２は、このプレートの上面に形成した３つのブラインドホール、８４および８６（図６では３番目の穴は見えない）と、光源または検出器である上面に形成されたＶＣＳＥＬ８８とを備える。
上側のプレート９０も使用する。プレート９０は、３つの穴、例えば穴９２および９４がブラインドホールではないという点つまり上側のプレート９０を貫通している（別の実施例としてブラインドホールも可能）という点を除けばプレート８２と同一である。
【００３３】
図６の例では、全部の穴の直径は等しく、例えばボール９６および９８等の直径が等しい（穴の直径より大きい）ボールを使用する。結果として、プレート８２および９０の対面する表面がなす角度は零になる。
上側のプレート９０は光ファイバー１００の一端が挿入されたブラインドホールも備える。図６において、組み立て体に含まれる穴は、組み立て体を形成したとき光ファイバーの芯の軸１０４がＶＣＳＥＬ８８と接触するように設けられている。
ファイバーからＶＣＳＥＬへまたは相互に光を通すために、プレート９０は光を透過する材料の中から選ぶ。
【００３４】
図示されていない例では、光ファイバーのアレイと光源または検出器のアレイを位置合わせするために、図６と同じタイプの組み立て体を使用する。
図６ではまた、プレート８２と９０を機械的に互いに固定することができる固定スプリング１０６が描かれている。
本発明はまた、ＭＥＭＳの分野でさまざまな応用が可能で、例えば液晶表示画面のカバーに利用することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の主題である装置の、具体的な実施例の横断面の略図。
【図２】本発明の主題である方法の、具体的な実施形態の略図。
【図３】本発明の実施例における、支持部材中に形成された穴の中に配設されたボールの横断面の略図。
【図４】本発明の実施例における、３つの穴を有する支持部材の平面略図。
【図５】本発明の別の実施例における、３つ以上の穴を有する別の支持部材の平面略図。
【図６】本発明による装置の別の実施例の横断面の略図であって、一つ以上の光学ファイバーと一つ以上の光源または検出器の位置合わせが可能な装置を示す。
【符号の簡単な説明】
２　第一支持部材
４　第一支持部材の第一表面
６、７　穴
８　第二支持部材
１０　第二支持部材の第一表面
１１、１２　穴
１４、１６　ボール
１８　光学部品（光源）
２０　光学部品（光検出器）
２２　上面
２３　接着層
２４　支持部材
２６　支持部材
３０　接着剤
３２　紫外線
３４、３６　プレート
４３　表面
３８、４０、４４　穴
４６，４８，５０　ボール
５２　プレート
５４、５６、５８、６０、６２、６４　穴
６６、６０　直線
７０、７２、７４、７６、７８、８０　ボール
８２　下側のプレート
８４、８６　穴
８８　光学部品（ＶＣＳＥＬ）
９０　上側のプレート
９２、９４　穴
９６、９８　ボール
１００　光学部品（光ファイバー）
１０４　光ファイバーのコア部分の軸
１０６　機械的固定手段（固定スプリング）
【国際公開パンフレット】
2004512563.tif 000003
2004512563.tif 000004
2004512563.tif 000005
2004512563.tif 000006
2004512563.tif 000007
2004512563.tif 000008
2004512563.tif 000009
2004512563.tif 000010
2004512563.tif 000011
2004512563.tif 000012
2004512563.tif 000013
2004512563.tif 000014
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【国際調査報告】
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