(57)【要約】少なくとも１個の感応性領域を有する、ガス混合物中のガス成分を測定するための固体電解質を基礎とするガスセンサーが提案され、ガスセンサーはガス混合物の他の成分から反応ガスを生成する第１手段を有する。ガスセンサーの感応性領域内に第２手段が配置され、第２手段を使用して反応ガスと測定すべきガス成分の間で行われる反応の後で反応ガスの残留含量を測定することができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１個の感応性領域を有する、ガス混合物中のガス成分を測定するための固体電解質を基礎とするガスセンサーにおいて、ガスセンサーがガス混合物の他の成分から反応ガスを生成する第１手段を有し、感応性領域（４０）内に第２手段が配置され、反応ガスと測定すべきガス成分の間で行われる反応の後で第２手段を使用して反応ガスの残留含量を測定することができることを特徴とするガスセンサー。
【請求項２】
第１手段が電気化学的ポンプセルであり、ポンプセルがガス混合物に向かう一方の電極（２４）を有する請求項１記載のガスセンサー。
【請求項３】
ガス混合物に向かう電極（２４）に定電流を印加する請求項２記載のガスセンサー。
【請求項４】
電気化学的ポンプセルのガス混合物に向かう電極（２４）で他のガス成分、水を反応ガス、水素におよび／または他のガス成分、二酸化炭素を反応ガス、一酸化炭素に還元できる請求項２記載のガスセンサー。
【請求項５】
電気化学的ポンプセルのガス混合物に向かう電極（２４）で他のガス成分として一酸化窒素および／または硫黄酸化物をそれぞれ反応ガスに酸化できる請求項２記載のガスセンサー。
【請求項６】
第２手段が電気化学的ポンプセルである請求項１から５までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項７】
第２手段が電気化学的濃縮物セルである請求項１から５までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項８】
第２手段が抵抗測定素子である請求項１から５までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項９】
反応ガスと測定すべきガス成分の反応のために触媒（３８）が用意されている請求項１から８までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項１０】
触媒（３８）が第２手段の近傍に配置されている請求項９記載のガスセンサー。
【請求項１１】
触媒（３８）が第１手段および／または第２手段の電極（２４，２６，２７，２９）を少なくとも十分に覆う請求項９記載のガスセンサー。
【請求項１２】
第１手段および／または第２手段の前方にガス混合物中の酸素含量を調節するために電気化学的ポンプセルが接続されている請求項１から１１までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項１３】
電気化学的ポンプセルの電極（２０，２２）が、酸素含量を調節するために、ガスセンサーの他の層平面（１１ａ、１１ｂ）に触媒（３８）としておよび／または第１手段および／または第２手段の電極（２４，２６，２７，２８，２９）として配置されている請求項１２記載のガスセンサー。
【請求項１４】
固体電解質層（１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｃ１、１１ｃ２）により包囲される測定ガス空間（１３，１４）が備えられ、測定ガス空間に拡散抵抗（１９，４２）を介してガス混合物を供給することができ、測定空間内に酸素含量および／または触媒（３８）を調節するために第１手段、第２手段または電気化学的ポンプセルの電極（２０，２４，２６，２７，２９）が存在する請求項１から１３までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項１５】
測定ガス空間（１３）が２つの領域（４０、４４）に分かれ、分割手段として拡散バリア（４２）を有する請求項１４記載のガスセンサー。
【請求項１６】
拡散するガス混合物を制御する手段（３６）が備えられている請求項１から１５までのいずれか１項記載のガスセンサー。
【請求項１７】
特に請求項１から１５までのいずれか１項記載のガスセンサーを使用してガス混合物の成分を測定する方法において、ガス混合物の他の成分から過剰の反応ガスを生成し、反応ガスを測定すべき成分と反応させ、反応後に反応ガスの残留含量を測定し、反応ガスの残留含量からガス混合物中の測定すべき成分の最初の濃度を決定することを特徴とする、ガス混合物の成分を測定する方法。
【請求項１８】
ガス混合物の他の成分から還元または酸化により反応ガスを生成する請求項１７記載の方法。
【請求項１９】
ガスセンサーの内部領域（１３，１４）でガス混合物の他の成分から反応ガスを生成し、内部領域がガスセンサーを包囲するガス空間から十分に離れている請求項１７または１８記載の方法。
【請求項２０】
第１の測定すべきガス成分を測定するために第１反応ガスを還元により生成し、これと交互に第２の測定すべきガス成分を測定するために酸化により第２の反応ガスを生成する請求項１７から１９までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２１】
測定すべきガス成分の量に関して化学量論的にまたは容積測定的に過剰で反応ガスを生成する請求項１７から２０までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２２】
付加的にガス混合物の酸素含量を測定する請求項１７から２１までのいずれか１項記載の方法。
【請求項２３】
ガス混合物中のガス成分の濃度を測定するための請求項１から１６までのいずれか１項記載のガスセンサーおよび／または請求項１７から２２までのいずれか１項記載の方法の使用。
【請求項２４】
内燃機関の排ガス中のガス成分を測定するための請求項１から１６までのいずれか１項記載のガスセンサーおよび／または請求項１７から２２までのいずれか１項記載の方法の使用。
【請求項２５】
窒素酸化物および／またはアンモニアを測定するための請求項１から１６までのいずれか１項記載のガスセンサーおよび／または請求項１７から２２までのいずれか１項記載の方法の使用。
【請求項２６】
ＮＯｘ貯蔵触媒の機能性および／または負荷状態を監視するための請求項１から１６までのいずれか１項記載のガスセンサーおよび／または請求項１７から２２までのいずれか１項記載の方法の使用。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は請求項１記載のガス混合物中のガス成分を測定するためのガスセンサーおよび請求項１７記載のガス混合物中のガス成分を測定する方法に関する。
【０００２】
従来の技術
進行する環境立法の流れに沿ってきわめて少ない有害物質の量を確実に測定できるセンサーに対する要求が高まっている。この場合に特に測定ガスの温度に無関係にｐｐｍの範囲でガス状有害物質の測定を可能にするガスセンサーが重要な役割を果たす。その際有害物質の量に比例したガスセンサーの測定信号はしばしば高い測定誤差を回避できないほど小さい。このジレンマからの可能な解決手段は有害物質の間接的測定である。
【０００３】
従って欧州特許第２４１７５１号明細書にはガス混合物中のアンモニア、一酸化炭素、炭化水素、窒素酸化物または二酸化硫黄の含量を監視できるガスセンサーが記載されているが、酸素含量は監視できない。窒素酸化物を測定するために、特にガス混合物に既知の量のアンモニアを反応ガスとして添加し、反応ガスをガスセンサーの触媒に接触して窒素酸化物と反応する測定方法が提案される。最初に添加するアンモニアの量が知られている場合は、残りのアンモニアの量を測定することによりガス混合物中のＮＯｘ濃度を決定できる。この方法の欠点はアンモニアの添加装置を用意しなければならないことである。
【０００４】
本発明の課題は、ガス混合物の種々のガス成分の測定を確実に、時間に正確に可能にするガスセンサーを提供することである。
【０００５】
発明の利点
本発明による請求項１記載のガスセンサーおよび請求項１７記載の方法は有利なやり方で本発明の課題を解決する。測定すべきガス成分の測定は、反応ガスが測定すべきガス成分と完全に反応した後で反応ガスの残留含量の測定を介して間接的に行う。１個または場合により複数の相当する装置を必要とするような、反応ガスをガス混合物に最初に添加するのでなく、ガスセンサー内で自然に形成されることが特に有利である。
【０００６】
このためにガスセンサーは第１手段を有し、第１手段を使用して第１工程で測定すべきガス成分でないガス混合物の他のガス成分から反応ガスを生成する。反応ガスは第２工程で測定すべきガス成分と反応する。ガスセンサーは更に感応性領域を有し、この領域内に第２手段が配置され、第２手段は第３工程で測定すべきガス成分とのこの反応の後に反応ガスの残留含量の測定を行う。測定すべきガス成分の量に対して過剰で反応ガスを生成し、形成される反応ガスの量が知られている場合は、反応ガスの残留含量から測定すべきガス成分の最初にガス混合物中に存在する量を決定することができる。
【０００７】
第１手段として電気化学的ポンプセルを用意し、ポンプセルのガス混合物に向かう電極が反応ガスを形成して他のガス成分を必要により還元または酸化できる場合が有利である。第２手段として、使用する場合に応じて電気化学的ポンプセル、電気化学的濃縮物セルまたは抵抗測定素子が該当する。
【０００８】
更にガスセンサー内に触媒が用意され、この触媒が測定すべきガス成分と反応ガスの反応に触媒作用する場合が有利である。触媒は第１手段または第２手段の電極の一方を少なくとも十分に覆うことができる。
【０００９】
本発明の他の有利な実施態様において、第１手段または第２手段の前方に電気化学的ポンプセルが接続され、ガス混合物がガスセンサーの感応性領域に到達する前に、ポンプセルがガス混合物中の酸素含量を調節する。電気化学的ポンプセルを電気化学的濃縮物セルと組み合わせる場合に、精度が高まり、これによりガス混合物の酸素含量を調節することができ、同時にガス混合物中の酸素含量の付加的な測定を可能にする。酸素含量の調節は、例えばガスセンサーの測定ガス空間の第１領域で行われ、測定すべきガス成分と反応ガスとの反応および反応ガスの残留含量の測定は測定ガス空間の第２領域で行われる。
【００１０】
測定すべきガス成分の測定は、有利なやり方で、まずガス混合物の他のガス成分から反応ガスを生成し、測定すべきガス成分がガスセンサーの内部で反応ガスと反応するように行う。その際反応ガスが常に測定すべきガス成分の量に関して過剰で存在することに配慮すべきである。反応後、反応ガスの残留含量を測定し、残留含量から最初に生成した反応ガスの量が知られている場合に、測定すべきガス成分の最初の濃度を決定する。
【００１１】
本発明の新たな実施態様は図面に示され、以下の説明により詳細に説明する。
【００１２】
図１〜１３に使用される参照番号は、他に記載されない限り、常にセンサー素子の同じ機能の構造部品を示す。
【００１３】
実施例
図１は本発明の第１実施例の基本的な構成を示す。電気化学的ガスセンサーの平坦なセンサー素子が１０で示され、前記素子は、例えば複数の酸素イオン伝導性固体電解質層１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ、１１ｅ、１１ｆおよび１１ｇを有する。その際固体電解質層１１ａ〜１１ｇはセラミックフィルムとして形成され、平坦なセラミック体を形成する。センサー素子１０の平坦なセラミック体の集積した形は、機能層をプリントしたセラミックフィルムを一緒に積層し、積層した構造体を引き続き公知方法で焼結することにより製造する。それぞれの固体電解質層１１ａ〜１１ｇは酸素イオン伝導性固体電解質材料、例えばＹ２Ｏ３で部分的にまたは完全に安定化されたＺｒＯ２から形成されている。固体電解質層１１ａ〜１１ｇは選択的に、固体電解質中のイオン伝導性が重要でないかまたは更に好ましくない位置で、少なくとも部分的に酸化アルミニウムからなるフィルムに交換されていてもよい。
【００１４】
センサー素子１０は測定ガス空間１３を有し、測定ガス空間はガス導入開口１５を介してガスセンサーを包囲するガス混合物と接触する。ガス導入開口１５は、例えば固体電解質層１１ａを貫通する孔として形成されているが、測定ガス空間１３のような同じ層平面１１ｂ内に配置されていてもよい。ガス導入開口１５と測定ガス空間１３の間に、測定ガスの拡散方向に、緩衝空間１７および、例えば多孔質セラミック材料からなる拡散バリア１９が設けられている。緩衝空間１７はガス混合物中のガス濃度が急速に変化する場合に信号ピークを避けるために用いる。
【００１５】
センサー素子の他の層平面１１ｄ内に参照ガス通路３０が形成され、前記通路は参照ガス雰囲気を有する。参照ガス雰囲気は、例えば空気であってもよい。参照ガス通路３０はこのためにセンサー素子の測定ガスからそれた面に図示されていない開口を有し、前記開口は周囲空気とのガス交換を保証する。
【００１６】
センサー素子１０のセラミック基体内に、更に２つの絶縁層３２，３３の間に抵抗加熱部品３５が組み込まれている。抵抗加熱部品はセンサー素子１０を必要な作業温度に加熱するために用いる。
【００１７】
第１測定ガス空間１３内に１個または２個の第１内部電極２０が配置されている。固体電解質層１１ａのガス混合物に直接向かう外側の面に外部電極２２が存在し、外部電極は図示されていない多孔質保護層で覆われていてもよい。電極２０，２２は第１電気化学的ポンプセルを形成する。ポンプセルとしての作業形式はポンプセルの電極２０、２２の間の電圧の印加を含み、これにより固体電解質１１ａを通過する電極２０，２２の間のイオン搬送が生じる。供給されるイオンの数はポンプセルの電極２０，２２の間を流れるポンプ流に直接比例する。
【００１８】
測定ガスの拡散方向に、測定ガス空間１３内に第１内部電極２０の後方に配置された第２および第３内部電極２４，２６が設けられている。これに属する、参照電極２８として用いる共通する外部電極が参照通路３０内に存在する。その際第２内部電極２４は参照電極２８とともに第２電気化学的ポンプセルを形成し、第３内部電極２６は参照電極２８とともに第３電気化学的ポンプセルを形成する。更に内部電極２０は参照電極２８と一緒に接続して電気化学的ネルンストセルまたは濃縮物セルを形成してもよい。ネルンストセルまたは濃縮物セルは一般に両方の電極２０，２８が異なるガス濃度にさらされる２個の電極配置であり、電極２０，２８に印加される電位の差を測定する。この電位差はネルンストの式により電極２０，２８に隣接するガス濃度の逆推理を可能にする。
【００１９】
他の可能性は、第２内部電極２４を外部電極２２と一緒に接続して第２電気化学的ポンプセルを形成するかまたは第３内部電極２６を外部電極２２と一緒に接続して第３電気化学的ポンプセルを形成することである。
【００２０】
すべての電極の電極材料は、自体公知のやり方で、セラミックフィルムとともに焼結するために、サーメットとして使用される。
【００２１】
センサー素子１０をガスセンサーとして運転するために、第１ポンプセルを濃縮物セルと一緒に測定ガス空間１３に拡散して浸入するガス混合物の酸素含量の調節のために使用する。酸素の供給および排出により測定ガス空間１３内で、例えば０．１〜１０００ｐｐｍの一定の酸素分圧に調節する。測定ガス空間１３内の酸素分圧の調節は濃縮物セルを用いて行う。その際ポンプセルのポンプ電圧が、濃縮物セルの電極２０，２８の間に一定の電位差が生じるように変動する。その際ポンプセル内部を流れるポンプ流は拡散して浸入するガス混合物中に存在する酸素濃度の尺度であり、酸素ゾンデとしてのガスセンサーの付加的な機能を実現する。第１内部電極２０での測定すべきガス成分の早すぎる分解は好ましくないので、第１内部電極２０は有利には触媒不活性材料、例えば金または金−白金合金から製造される。ガスセンサーの使用をより安定なガス成分の測定に限定する場合は、いわゆる内部電極２０は白金、ロジウム−白金合金またはその他の適当な材料を有してもよい。
【００２２】
存在するガス混合物が少ない酸素含量を有することから出発する場合は、第１内部電極およびこれとともに第１電気化学的ポンプセルを省くことができる。これは、例えばλ値＝１で一定に運転する動力車の排ガスの場合である。これによりセンサー構造は簡略化される。
【００２３】
測定ガス空間１３内の一定の酸素分圧に調節されたガス混合物がガスセンサーの感応性領域４０に達する。この領域に第２ポンプセルの第２内部電極２４が配置されている。有利に、しかし必然的でなく同様に触媒不活性材料、例えば金または金−白金合金を有する第２内部電極２４で、測定すべきガス成分でないガス混合物の他のガス成分から相当する電位を印加することにより測定すべきガス成分と反応する反応ガスを形成する。ガスセンサーを、例えば窒素酸化物を測定するために用いる場合は、第２内部電極２４で参照電極２８に対して、例えば−５００ｍＶ〜−７５０ｍＶの電位を設定し、水または二酸化炭素を水素または一酸化炭素に還元する。その際放出する酸素は電気化学的に還元し、排出する。
【００２４】
【化１】
2004518150.tif 000003
【００２５】
第２内部電極２４は形成される反応ガス（水素または一酸化炭素）がガス混合物に含まれる測定すべきガス成分（窒素酸化物）の量に対して過剰で存在するように寸法が決定される。第２内部電極２４の強い負の電位により測定すべきガス成分（窒素酸化物）が分解し、もはや測定できないことを避けるために、第２内部電極２４に有利に保護装置３６が備えられている。保護装置３６は、例えば図１に示されるように、固体電解質材料またはその他の適当なセラミック材料から形成されていてもよい。スリットのついたまたは孔を有する被覆層の形の保護装置３６の幾何学的な形は、拡散して浸入するガス混合物の少ない部分のみが第２内部電極２４と接触することを生じる。ガス混合物のこの少ない部分が十分に多くの部分の他のガス成分（水、二酸化炭素）を有するので、それにもかかわらず常に過剰の反応ガスを使用できる。例えば空気または内燃機関の排ガスを有するガス混合物はこの前提を満たす。
【００２６】
反応ガス（水素または一酸化炭素）で多くなったガス混合物は感応性領域４０のガス導入開口１５からそれた部分に到達する。ここで測定ガス空間１３内で触媒活性層の形で触媒３８を付着し、触媒活性層は式（３）、（４）による反応ガス（水素または一酸化炭素）と測定すべきガス成分（窒素酸化物）との反応に触媒作用する。
【００２７】
【化２】
2004518150.tif 000004
【００２８】
反応ガスは過剰で存在するので、測定すべきガス成分の完全な反応が保証される。感応性領域４０のガス導入開口１５からそれた面に更に第３内部電極２６が配置され、第３内部電極は参照電極２８と一緒に第３ポンプセルを形成する。場合により触媒３８と第３内部電極２６の間の拡散区間を短縮するために、第３内部電極２６が付加的な固体電解質層３７に付着されていてもよい。
【００２９】
第３内部電極２６の電位は、酸素が参照ガス通路３０から第３内部電極２６に搬送され、ここで残留する反応ガスと反応するように選択する。この反応は反応（１）、（２）の逆反応であるので、その際他のガス成分（水または二酸化炭素）が形成される（式（５）、（６））。このために第３内部電極２６で−３００ｍＶ〜−５００ｍＶの電位に調節する。
【００３０】
【化３】
2004518150.tif 000005
【００３１】
第３内部電極２６は触媒活性材料、例えば白金または白金、ロジウムおよび／またはパラジウムからなる合金から製造される。第３ポンプセル内に流動するポンプ流を測定し、ポンプ流は反応ガスの残留濃度に直接比例している。最初に第２内部電極２４で生じるガス混合物中の反応ガスの出発濃度はほぼ一定であり、検量測定により容易に測定できるので、出発濃度と測定すべきガス成分と反応後の反応ガスの残留濃度の差からガス混合物中に存在する測定すべきガス成分の最初の含量を決定できる。測定される反応ガスの残留濃度が少ないほど、本来ガス混合物中に存在する測定すべきガス成分の濃度は多い。
【００３２】
センサー素子１０を有するガスセンサーの使用は窒素酸化物の測定に限定されない。基本的に第２ポンプセルを使用して電気化学的還元または酸化により反応ガスを形成することができる。第１の場合に還元可能なガス成分を測定し、第２の場合に酸化可能なガス成分を測定することができる。
【００３３】
第２ポンプセルの第２内部電極２４で還元電位を設定する場合は、反応ガスとして水素および一酸化炭素を形成するだけでなく、原則的に二酸化窒素から一酸化窒素をまたは二酸化硫黄または三酸化硫黄から一酸化硫黄を形成することができる。
【００３４】
【化４】
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【００３５】
式（７）、（８）により形成される反応ガスを還元可能なガス成分と反応させ、これによりその測定に使用することができる。個々の場合に適した反応ガスの選択は、反応ガスの形成または反応の際に進行するレドックス反応の電気化学的標準電位に、および反応運動力学的見地に従う。
【００３６】
酸化可能なガス成分の測定は同様に可能であり、ガスセンサーの実施例に変更が必要でない。ガス混合物のガス成分の１種以上が適当な温度で意図的に酸化するように、第２内部電極２４の電位のみを選択する。これは、例えば水、一酸化窒素、一酸化硫黄または二酸化硫黄であってもよい。
【００３７】
【化５】
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【００３８】
引き続き触媒３８に接触して酸化作用する反応ガスと測定すべき還元ガス成分、例えばアンモニア、水素、メタンまたは炭化水素との反応が生じる。
【００３９】
【化６】
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【００４０】
第３内部ポンプ電極２６で酸化作用する反応ガスの残留含量を測定するために、参照電極２８に対するこの電極の電位を、第３ポンプ電極２６の反応ガスの残留含量が還元し、その際遊離する酸素が参照ガス通路３０に搬送されるように選択する。測定信号として逆の符号で進行するポンプ流を使用する。最初に存在する出発濃度と反応後に残留する反応ガスの残留濃度の差から最初に測定ガス中に存在する測定すべきガス成分の濃度を決定する。従って本発明のガスセンサーは内部電極２４，２６の電位の選択に応じてガス混合物の還元ガス成分および酸化ガス成分の測定に適している。
【００４１】
第２内部電極２４で還元電位および第３内部電極２６で酸化電位を設定する場合は、ガスセンサーを使用して酸化ガス成分を測定することができる。第２内部電極２４で酸化電位および第３内部電極２６で還元電位を設定する場合は、還元ガス成分を測定することができる。その際第２内部電極は酸素の発生に関して選択的作用を示し、検出すべきガス成分の酸化を阻止する。
【００４２】
第２内部電極２４の酸化電位または還元電位の微調整により、意図的に測定される酸化反応ガスまたは還元反応ガスまたは種々の酸化反応ガスまたは還元反応ガスの混合物を形成することができる。このために調節すべき電位は起こりうる過剰電圧を考慮して他のガス成分から必要な反応ガスが形成される、反応の標準電位から得られる。
【００４３】
電極２４、２６に印加される電位は短時間で変動することがあるので、更に周期的にまたは短い時間間隔をおいて、交互に連続して１種以上の還元ガス成分または酸化ガス成分を１つのセンサーを使用して順次測定する可能性が存在する。
【００４４】
他の実施態様においては、第２内部電極２４が定電流源と接触することが考慮され、その際例えば電気抵抗および電極２４に印加される電圧の大部分が電気抵抗で低下するように、電流源と電極２４の間に第２内部電極２４の電気抵抗に比べて大きい電気抵抗を用意する。
【００４５】
第２内部電極２４で形成される反応ガス反応ガスの量は電極２４の電極流の関数であるので、定電流の印加は単位時間当たり一定の反応ガスの容積の供給を可能にする。センサー素子のできるだけ有効な運転を可能にするために、一方では他のガス成分から所望の反応ガスの電気化学的形成が保証されるように第２内部電極２４に印加される電位を選択し、他方では形成される反応ガスが測定すべきガス成分に対して僅かに過剰で存在するように、電極２４の電極流を制限することが重要である。このやり方でセンサー素子のセンサー信号は、第２内部電極２４で反応ガスを形成する他のガス成分の濃度に関係なく供給される。
【００４６】
図２、図３および図４には図１に示されたセンサー素子の変形が示される。図２に示される変形においては第２内部ポンプ電極２４および保護装置３６はセンサー素子の感応性領域４０のガス導入開口１５からそれた部分に移動する。これに対して触媒３８および第３内部ポンプ電極２６は感応性領域４０のガス導入開口１５に向かう面に配置されている。この変形においては感応性領域４０の測定すべきガス成分が最初に第２内部ポンプ電極２４を通過せずに触媒３８に到達するので、測定すべきガス成分が好ましくないやり方で触媒３８で反応せずに第２内部ポンプ電極２４に到達する可能性がきわめて低い。この配置では反応ガスの十分な供給が保証され、それというのもこのために必要な他のガス成分が妨害されずに第２内部電極２４に浸入するためである。
【００４７】
図３に第１実施例によるセンサー素子の第２変形が示されている。センサー素子は２つの付加的な固体電解質層１１ｃ１、１１ｃ２を有する。層１１ｃ１内に他の測定ガス空間１４が存在し、この空間は貫通孔１６により固体電解質層１１ｃを通過して第１測定ガス空間１３と接触している。第２測定ガス空間１４内に触媒３８および第３ポンプ電極２６が存在する。センサー素子のこの構成はセンサー素子の感応性領域４０内部の拡散区間の拡大を引き起こし、同時にセンサー素子を延長しなくてよい。大きな拡散区間は反応ガスの形成と、測定すべきガス成分と反応ガスの反応または反応ガスの残留含量の検出を分離する。
【００４８】
図４に第１実施例によるセンサー素子の第３変形が示されている。この構成は図３に示されたセンサー素子の連続層を有する。第２内部ポンプ電極２４および保護装置３６はこの変形では第２測定ガス空間１４に存在し、触媒３８または第３ポンプ電極２６は第１測定ガス空間１３に配置されている。この変形は図２による第１変形の利点と図３による第２変形の利点を結合する。感応性領域４０の測定すべきガス成分が最初に第２内部ポンプ電極２４を通過せずにすぐに触媒３８に到達するという事実および触媒３８と第２内部電極２４の間の延長した拡散区間は測定すべきガス成分が第２内部電極２４に到達する可能性を最小にする。
【００４９】
図５に本発明の第２実施例によるセンサー素子が示されている。センサー素子は触媒３８および別の第３内部電極２６の代わりに触媒活性の、有利には多孔質の複合電極２７を有する。この電極はセンサー素子の感応性領域４０のガス導入開口１５からそれた部分に配置されている。複合電極２７は触媒活性層で部分的にまたは完全に被覆された電極の形で形成されていてもよく、または全部が触媒活性の、有利には多孔質の材料から形成されていてもよい。複合電極２７は、反応ガスと測定すべきガス成分の反応と反応ガスの残留含量の検出の空間的な分離を解消するという利点を有する。更に複合電極２７を使用して、触媒活性材料を使用して単独で触媒作用できず、付加的に触媒への相当する電位の印加が必要である、反応ガスまたは測定すべきガス成分の反応に触媒作用することができる。更に第２実施例によるセンサー素子の製造の際にすでに記載された変形に比べて別の触媒３８の被覆を有する作業工程を回避することが有利である。
【００５０】
図５に示されたセンサー素子の変形は、図２に示された変形と同様に反応ガスを生じる内部電極２４または保護装置３６および複合電極２７の交換を行うことにある。第２内部電極２４または保護装置３６はセンサー素子の感応性領域４０のガス導入開口１５からそれた部分に配置されている。同時に複合電極２７は感応性領域４０のガス導入開口１５に向かう部分に設けられている。この変形においては測定すべきガス成分が第２内部ポンプ電極２４と接触し、測定ができない可能性を最小にする。
【００５１】
図３にすでに示される変形に広い範囲で相当する図５に示されたセンサー素子の他の変形において、複合電極２７は別の層１１ｃ１に移動する。この場合もセンサー素子の長さの延長を同時に伴って反応ガスを発生する内部電極２４と複合電極２７の間の拡散区間の延長が生じる。
【００５２】
図５に記載されるセンサー素子の第３変形は図４にすでに示される第１実施例の第３変形と同様に別の固体電解質層１１ｃ１内の第２内部ポンプ電極２４または保護装置３６の配置を有する。この変形は図５に示されるセンサー素子のすでに記載された両方の変形の利点を結合する。
【００５３】
図６には本発明の第３実施例によるセンサー素子が示され、測定ガス空間１３は付加的に拡散バリア４２を有し、拡散バリアは測定ガス空間１３を測定ガスの酸素含量を調節する領域４４および感応性領域４０に分割する。従来記載されたセンサー素子の実施態様において基本的に反応ガスが保護装置３６にもかかわらず測定ガス空間１３のガス導入開口１５に向かう部分に浸入する可能性が存在する。その際還元反応ガスを使用する場合は、ここでより高い酸素含量により反応し、酸化反応ガスを使用する場合は、第１内部電極２０で分解する。拡散バリア４２は第２内部電極２４で発生する反応ガスの測定ガス空間１３のガス導入開口１５に向かう部分への好ましくない拡散を回避する。これは、センサー素子の感応性領域４０内で発生する反応ガスの濃度が本発明による測定すべきガス成分の量にのみ依存するので、センサー素子の測定の正確性が高める。
【００５４】
図６に示されるセンサー素子の変形は、すでに図２に示されるセンサー素子による内部電極２４，２６または保護装置３６および触媒３８の位置の交換を行うことにある。他の変形は、図３と同様に、別の層平面１１ｃ１内の第３内部電極２６または触媒３８の配置に関する。別の試験電解質層１１ｃ１内の第２内部電極２４または保護装置３６の配置により、図４に示される変形に匹敵する第３変形が生じる。
【００５５】
図７には本発明の第４実施例によるセンサー素子が示されている。図７に示されるセンサー素子は第２実施例の特徴の利点と第３実施例の特徴の利点を結合する。センサー素子は測定ガス空間１３の酸素調節領域および感応性領域４０、４４の間の拡散バリア４２を有し、触媒３８および第３内部電極２６の複合電極２７への結合を有する。ここで第２内部電極２４または保護装置３６および複合電極２７の位置の交換が可能であり、複合電極２７または第２内部電極２４の別の層平面１１ｃ１への移動が可能である。
【００５６】
図８には本発明の第５実施例によるセンサー素子が記載されている。図８に示されるセンサー素子は図６に示されるセンサー素子にもとづき、測定ガス空間１３内部に拡散バリア４６を有し、拡散バリアはガス混合物の流動方向で第２内部ポンプ電極２４の後方に接続され、感応性領域４０をガス導入開口１５に向かう部分とガス導入開口１５からそれた部分に空間的に分割している。この種の実施例は、特に発生する反応ガスが酸素に対して不活性であり、または第１内部電極２０で分解が行われない適用事例を考慮している。拡散バリア４６により触媒３８または第３内部電極２６への拡散が困難になり、第２内部電極および第３内部電極２４，２６の間の延長した拡散区間の作用がなお強化される。
【００５７】
付加的に、図９に示されるように、触媒３８または第３内部ポンプ電極２６が別の層平面１１ｃ１に配置する場合は、第５実施例のこの第１変形により固体電解質層１１ｃの貫通孔１６内に拡散バリア４６を付着することにより困難になった拡散の作用が更に強化される。困難になった拡散はガス混合物内部の不均一性を取り除く。
【００５８】
他の変形は、触媒３８および第３内部電極２６を複合電極２７に統合することであり、複合電極は、例えば第２内部電極２４と同様に別の層平面１１ｃ１に配置してもよい。
【００５９】
本発明の基礎となるセンサー素子の変形は測定原理を維持して同様に本発明の対象である。従って測定ガス空間１３，１４は場合により拡散抵抗として多孔質材料で充填されていてもよく、または複数の拡散バリアを有してもよい。更に測定ガスの酸素含量を調節するために１個以上の電気化学的セルが設けられていてもよく、または還元反応ガスまたは酸化反応ガスを発生するために１個以上の電気化学的セルが設けられていてもよい。反応ガスの残留含量の測定に用いる手段は２回以上の実施に備えることができる。
【００６０】
ガス混合物中の反応ガスの残留含量の検出は、前記実施例において例示的に第３ポンプセルを使用して電流滴定法で行う。しかし濃縮物セルを使用して電位差滴定により検出を行うことも可能である。このために第３内部電極２６を、例えば参照電極２８と一緒にネルンストセルまたは濃縮物セルに接続する。
【００６１】
水素または一酸化炭素のような反応ガスの電位差滴定による検出は、特に有利にはいわゆる不均衡センサーを使用して行う。この種のセンサー素子は図１０に示されている。測定ガス空間１３内に付加的に第４内部電極２９が存在し、この電極は触媒不活性であり、触媒活性第３内部電極２６と一緒にネルンストセルまたは濃縮物セルに接続されている。触媒活性第３内部電極２６で触媒不活性第４内部電極２９と異なる電位が形成されるので、電圧を測定信号として測定することができる。第３内部電極として複合電極２７を使用し、触媒３８を省いた場合に、この作用は特に際立っている。
【００６２】
反応ガスを検出する他の可能性は、抵抗測定素子の使用にある。相当する実施例は図１１に示されている。第３内部電極および第４内部電極２６、２９に電圧を供給し、２つの内部電極２６、２９の間のガス感応性層５０の抵抗を測定する。
【００６３】
他の有利な構成において、図１２により触媒３８を第２内部電極２４と組み合わせる。その際触媒は第２内部電極２４を部分的にまたは完全に被覆することができ、その際測定すべきガス成分が触媒３８に接触して電気化学的に反応することを避けるために、触媒３８と第２内部電極２４の表面の間に、付加的な、有利には多孔質の固体電解質層４８が配置されている。触媒３８および第２内部電極２４の組み合わせは、測定すべきガス成分が第２内部電極２４に到達する前に、まず多孔質触媒３８を通過しなければならないので、測定すべきガス成分の第２内部電極２４への流入を特に効果的に阻止する。触媒３８において測定すべきガス成分が逆方向に拡散する過剰の反応ガスに衝突し、完全に反応する。
【００６４】
図１３には第９実施例によるセンサー素子が示されている。その際触媒３８は第２内部電極２４および第３内部電極２６と組み合わせる。この配置は測定すべきガス成分の第２内部電極への拡散を特に効果的に回避する。
【００６５】
ガスセンサー内部で特に有利なガス流を保証するために、保護装置３６の上に測定ガス空間１３，１４内部にガス流を導く１個以上の装置が設けられていてもよい。
【００６６】
本発明の基礎となるガスセンサーの適用可能性は、例えば内燃機関の排ガス中の有害物質の検出に見出される。従って特に窒素酸化物の検出は、例えばＮＯｘ貯蔵触媒の良好な機能の制御または負荷状態の制御を可能にする。このためにガスセンサーを排ガス排出位置に排ガスの流動方向でＮＯｘ貯蔵触媒の後方に配置して取り付ける。更にアンモニアの測定によりアンモニアまたは尿素を使用して運転するＳＣＲ装置の制御を可能にする。その際ガスセンサーは排ガス後処理装置と排ガスの間の排ガス排出位置に配置され、排出する排ガスのアンモニア含量を制御する。
【００６７】
加熱目的の内燃機関においてガスセンサーを有害物質の分析に使用することができる。更に例えばメタンの検出により燃焼の完全性を検査する可能性が存在する。
【００６８】
ガスセンサーは原則的に測定すべきガス成分の存在の純粋な定性的検出およびガス混合物中のガス成分の濃度の測定を可能にする。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明の第１実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図２】
第１手段および第２手段または触媒の位置が入れ替わっている第１実施例の第１変形によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図３】
第２手段および触媒がガスセンサーの別の層平面に配置されている、第１実施例の第２変形によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図４】
第１手段がガスセンサーの別の層平面に配置されている、第１実施例の第３変形によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図５】
触媒が第２手段に組み込まれている第２実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図６】
測定ガス空間が拡散バリアにより分割されている第３実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図７】
測定空間が拡散バリアにより分割され、触媒が第２手段に組み込まれている第４実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図８】
拡散バリアが測定ガス空間を分割するために第１手段と第２手段の間に配置されている第５実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図９】
第２手段および触媒がガスセンサーの別の層平面に配置されている第５実施例の第１変形によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図１０】
測定すべきガス成分を電位差滴定法により測定する第６実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図１１】
測定すべきガス成分を抵抗測定法により測定する第７実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図１２】
触媒が第２手段と組み合わされてしている第８実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【図１３】
触媒が第１手段および第２手段と組み合わされている第９実施例によるセンサー素子を拡大した面積で示す断面図である。
【符号の説明】
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ  固体電解質層、  １３，１４  測定ガス空間、  ２０、２２、２４、２６、２７、２９  電極、  ３８  触媒、  ４０  感応性領域、  ４２  拡散バリア
【国際公開パンフレット】
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2004518150.tif 000010
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【国際調査報告】
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