(57)【要約】基板取扱いシステムが、複数の処理ステーション（３４）と連絡状態にあるミクロエンバイロンメント（３２）を含むロボット（２０）を有する。ロボット（２０）は、伸長可能なリンク装置（４０）に取り付けられたエンドエフェクタリンク装置（５０）を含むロボットアーム（３０）を有している。リンク装置は各々、関連のモータを用いて別個独立に作動可能であり、伸長可能なリンク装置（４０）はエンドエフェクタリンク装置（５０）を基板の送出し又は回収のためにターゲット処理ステーションの付近に運ぶのに役立つ。リンク装置の動作を同期させると移送時間を短くすることができ、多数のエンドエフェクタを伸長可能なリンク装置（４０）に取り付けると、処理量を増大させることができる。
2004502558.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロボットであって、
フレームと、
ロボットアームとを有し、該ロボットアームが、
フレームに取り付けられた伸長可能なリンク装置を有し、該伸長可能なリンク装置が互いに機械的に連結された複数のリンクを備え、
伸長可能なリンク装置モータを有し、該伸長可能なリンク装置モータは、その回転が前記伸長可能なリンク装置の前記リンクのうちの１つの取付け部分を伸長可能なリンク装置の経路に沿って並進させるように、前記伸長可能なリンク装置の前記リンクに機械的に連結され、
前記伸長可能なリンク装置の前記取付け部分に可動的に取り付けられた１又は２以上のエンドエフェクタリンク装置を有し、該各エンドエフェクタリンク装置が、エンドエフェクタと、互いに機械的に連結された複数のリンクを備え、
エンドエフェクタモータを有し、該エンドエフェクタモータは、その回転が前記エンドエフェクタをエンドエフェクタの経路に沿って並進させるように、各エンドエフェクタリンク装置と関連され、前記エンドエフェクタリンク装置の前記複数のリンクに機械的に連結され、
前記伸長可能なリンク装置モータ及び前記各エンドエンドエフェクタモータは、前記伸長可能なリンク装置モータによって前記伸長可能なリンク装置に与えられた運動が前記各関連したエンドエフェクタモータの各々によって前記各エンドエフェクタリンク装置に与えられた運動とは独立であるように、互いに独立して作動可能である、
ロボット。
【請求項２】
ロボットアームは、Ｔ回転軸線のところでフレームに回転自在に取り付けられ、ロボットアームに機械的に連結されていて、第１及び第２のモータとは独立して作動可能な第３のモータによってＴ回転軸線の回りに回転するよう作動されることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項３】
伸長可能なリンク装置のリンクは、Ｒ軸線回りに回転自在にフレーム内に設けられていて、前記経路は、Ｒ軸線に対する半径方向運動で構成されることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項４】
フレームは、固定フレームと、固定フレームに対してＺ軸運動を行うことができる昇降可能なフレームとから成り、ロボットアームは、昇降可能なフレーム内に設けられていることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項５】
昇降可能なフレームは、固定フレームに対して傾斜可能であることを特徴とする請求項４記載のロボット。
【請求項６】
エンドエフェクタリンク装置は、ヨー軸運動を行うことができることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項７】
エンドエフェクタは、ヨー軸運動を行うことができることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項８】
エンドエフェクタリンク装置の数は、２であることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項９】
２つのエンドエフェクタリンク装置の各々のエンクエフェクタは、互いにずれているように設けられ、エンドエフェクタはそれにより、伸長可能なリンク装置の取付け部分に対して同一の半径方向位置及び角度位置を占めることができることを特徴とする請求項８記載のロボット。
【請求項１０】
伸長可能なリンク装置の運動は、第１の持続期間にわたって起こり、少なくとも１つのエンドエフェクタリンク装置の運動は、第２の持続期間にわたって起こり、第１の持続時間と第２の持続時間は、少なくとも部分的にオーバーラップすることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項１１】
伸長可能なリンク装置のリンクは、伸長可能なリンク装置の可逆運動を可能にするよう構成されていることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項１２】
各エンドエフェクタリンク装置のリンクは、エンドエフェクタリンク装置の可逆運動を可能にするよう構成されていることを特徴とする請求項１記載のロボット。
【請求項１３】
基板取扱いシステムであって、
ミクロエンバイロンメントエンクロージャと、
該ミクロエンバイロンメントエンクロージャと連絡している１又は２以上の処理ステーションと、
前記ミクロエンバイロンメントエンクロージャ内に収納されたロボットとを有し、該ロボットが、フレームと、ロボットアームとを有し、該ロボットアームが、
フレームに取り付けられた伸長可能なリンク装置を備え、該伸長可能なリンク装置が互いに機械的に連結された複数のリンクを持ち、
伸長可能なリンク装置モータを備え、該伸長可能なリンク装置モータは、その回転が前記伸長可能なリンク装置の前記リンクのうちの１つの取付け部分を前記伸長可能なリンク装置の経路に沿って並進させるように、前記伸長可能なリンク装置の前記リンクに機械的に連結され、
前記伸長可能なリンク装置の前記取付け部分に可動的に取り付けられた１又は２以上のエンドエフェクタリンク装置を備え、該各エンドエフェクタリンク装置が、エンドエフェクタと、互いに機械的に連結された複数のリンクを持ち、
エンドエフェクタモータを備え、該エンドエフェクタモータは、その回転が前記エンドエフェクタをエンドエフェクタの経路に沿って並進させるように、前記各エンドエフェクタリンク装置と関連され、前記エンドエフェクタリンク装置の前記複数のリンクに機械的に連結され、
前記伸長可能なリンク装置モータ及び各エンドエンドエフェクタモータは、前記伸長可能なリンク装置モータによって前記伸長可能なリンク装置に与えられた運動が前記各関連したエンドエフェクタモータによって前記各エンドエフェクタリンク装置に与えられた運動とは独立しているように、独立して作動可能である、
システム。
【請求項１４】
ロボットアームは、Ｔ回転軸線のところでフレームに回転自在に取り付けられ、ロボットアームに機械的に連結されていて、第１及び第２のモータとは独立して作動可能な第３のモータによってＴ回転軸線の回りに回転するよう作動される、請求項１３記載のシステム。
【請求項１５】
伸長可能なリンク装置のリンクは、Ｒ軸線回りに回転自在にフレーム内に設けられていて、前記経路は、Ｒ軸線に対する半径方向運動で構成される、請求項１３記載のシステム。
【請求項１６】
フレームは、固定フレームと、固定フレームに対してＺ軸運動を行うことができる昇降可能なフレームとから成り、ロボットアームは、昇降可能なフレーム内に設けられている、請求項１４記載のシステム。
【請求項１７】
昇降可能なフレームは、固定フレームに対して傾斜可能である、請求項１６記載のシステム。
【請求項１８】
エンドエフェクタリンク装置は、ヨー軸運動を行うことができる、請求項１３記載のシステム。
【請求項１９】
エンドエフェクタは、ヨー軸運動を行うことができる、請求項１４記載のシステム。
【請求項２０】
エンドエフェクタリンク装置の数は、２である、請求項１３記載のシステム。
【請求項２１】
２つのエンドエフェクタリンク装置の各々のエンクエフェクタは、互いにずれているように設けられ、エンドエフェクタはそれにより、伸長可能なリンク装置の取付け部分に対して同一の半径方向位置及び角度位置を占めることができる、請求項２０記載のシステム。
【請求項２２】
伸長可能なリンク装置の運動は、第１の持続期間にわたって起こり、少なくとも１つのエンドエフェクタリンク装置の運動は、第２の持続期間にわたって起こり、第１の持続時間と第２の持続時間は、少なくとも部分的にオーバーラップする、請求項１３記載のシステム。
【請求項２３】
伸長可能なリンク装置のリンクは、伸長可能なリンク装置の可逆運動を可能にするよう構成されている、請求項１３記載のシステム。
【請求項２４】
各エンドエフェクタリンク装置のリンクは、エンドエフェクタリンク装置の可逆運動を可能にするよう構成されている、請求項１３記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
〔発明の背景〕
１．発明の分野
本発明は、基板取扱いシステムに関し、特に、基板を互いに異なる場所相互間で搬送するロボットを用いるシステムに関する。
２．関連技術の説明
集積化チップの製造及び他の産業上の利用用途にあたり、例えば半導体ウェーハのような基板は、多くの処理ステップが施される。典型的には、互いに且つ基板を保持するのに用いられる貯蔵容器又はカセットから遠隔に位置した専用処理ステーションで行われる。集積化チップの製造では、チップを製造するもととなるウェーハは、注意深く制御されたエンバイロンメント（環境）内に封じ込められる必要があり、かかるエンバイロンメント内では、種々の要因の中でもとりわけ温度、湿度及び汚染要因物レベルを注意深く制御する必要がある。ウェーハを処理ステーション相互間で搬送し、又はウェーハを回収してこれを処理前後において貯蔵カセットに戻すのにロボットが使用される場合が多い。
【０００２】
半導体基板を取り扱う１つの従来装置が、図１に示されており、かかる装置では、ロボットアーム１０が、基板（図示せず）を列状に並べられた処理ステーション１２相互間で搬送するのに用いられる。ロボットアーム１０は、ベース１９内に設けられた３つのアームリンク１４，１６，１８を有している。最も近位側に位置するリンク１４は、その近位側端部がベース１９に回転自在に取り付けられ、リンク１６，１８はこれと同様に、次々に位置するリンクがその前のリンクの最も遠位側の端部に回転自在に取り付けられるよう設けられている。リンク１４，１６，１８の回転は、適当なリンク装置、例えばベルトとプーリ（図示せず）を用いて機械的に結合され、最も遠位側のリンク１８の遠位端部をベース１９に対して伸縮させることができるようになっている。第１のモータ（図示せず）が、この運動を生じさせる。最も遠位側のリンク１８の遠位端部は、エンドエフェクタ２２を支持し、このエンドエフェクタは、第２のモータ（図示せず）を用いて別個独立に運動自在に設けられるのがよく、従ってエンドエフェクタのヨー運動を達成できるようになっている。
【０００３】
ロボットアーム１０の到達距離を横方向に延長させるため、ベース１９は、ｘ方向に並進自在に軌道２４に取り付けられている。このように、ロボットアーム１０及び特にエンドエフェクタ２２を、多くの数の処理ステーション１２に到達するようｘ方向に沿って動かすことができる。第３のモータ（図示せず）が、この並進を生じさせるのに用いられる。
【０００４】
上述の従来構造には、幾つかの欠点がある。第１に、貴重なスペース、即ち図１において全体が破線２６で境界付けられたスペースが、ロボットアーム１０をｘ方向に並進させるのに必要な軌道２４及び支持構成要素によって無駄になる。第２に、軌道２４に沿う運動により、摩擦が生じ、この摩擦により、半導体処理に必要な「クリーンルーム」環境を汚染する粒子が生じる。
【０００５】
〔発明の概要〕
本発明は、エンドエフェクタリンク装置（ｅｎｄ ｅｆｆｅｃｔｏｒ ｌｉｎｋａｇｅ）が伸長可能なリンク装置に取り付けられたロボットアームを提供することにより、従来技術の上述の欠点及び他の欠点を解決する。伸長可能なリンク装置の伸縮により、Ｘ方向におけるエンドエフェクタリンク装置の並進が得られ、それにより、Ｘ方向におけるロボットアームのレンジが増大する。伸長可能なリンク装置及びエンドエフェクタリンク装置の運動を切り離し、一方のリンク装置の運動は、他方のリンク装置の運動とは無関係である。
【０００６】
伸長可能なリンク装置は、２以上のエンドエフェクタリンク装置を支持するのに使用できる。各エンドエフェクタリンク装置を、他方のエンドエフェクタリンク装置及び伸長可能なリンク装置とは別個独立の運動が可能なように設けるのがよい。このようにすると、ロボットアームは、２以上の処理ステーション又は貯蔵場所に接近できる。
【０００７】
本発明によれば、上述したようなロボットアームは、半導体処理が行われるミクロエンバイロンメントエンクロージャ内に収納されたロボットに取り付けられる。処理及び（又は）貯蔵ステーションは、ミクロエンバイロンメントエンクロージャと連絡状態にあり、ロボットは、基板をこれらの間で搬送するのに役立つ。
本発明の多くの利点は、この明細書を添付の図面を参照して読むと当業者には明らかになろう。なお、図中、同一の符号は同一の要素に付けられている。
【０００８】
〔好ましい実施形態の詳細な説明〕
図２は、本発明のロボットアーム３０を有するロボット２０を示している。ロボット２０及びロボットアーム３０は、ミクロエンバイロンメントエンクロージャ３２内に収納されており、このミクロエンバイロンメントエンクロージャは、２つの列３６，３８に沿って配置された複数のステーション３４と連絡状態にある。各ステーション３４は、半導体製造プロセスのステップが半導体ウェーハ（図示せず）又は貯蔵モジュール、例えば積重ね（スタック）状態のかかるウェーハを収容したカセットに対して行われる処理ステーションであるのがよい。
【０００９】
ロボットアーム３０は、伸長可能なリンク装置４０及びエンドエフェクタリンク装置５０を有している。伸長可能なリンク装置４０は、個々のリンク４２，４４，４６を有し、リンク４２は、最も近位側に位置すると考えられ、その近位部分がロボット２０内に回転自在に設けられている。これと同様に、リンク４４は、その近位部分がリンク４２の遠位部分に回転自在に取り付けられ、リンク４６は、その近位部分がリンク４４の遠位部分に回転自在に取り付けられている。本明細書で用いる「近位」、「最も近位側」、「遠位」及び「最も遠位側」という用語は、相対的な用語であり、説明対象の特定の物理的要素に限定されるものではなく、要素相互間の関係を単に指示するようになったものである。
【００１０】
エンドエフェクタリンク装置５０は、伸長可能なリンク装置４０の最も遠位側のリンク４６の遠位部分のところに設けられている。エンドエフェクタ支持構造体５８が、エンドエフェクタリンク装置５０を支持するためにリンク４６の遠位部分のところに設けられている。エンドエフェクタリンク装置５０は、近位部分が支持構造体５８に取り付けられた最も近位側のリンク５２を有している。リンク５２は、構造体５８に対する回転により、或いは構造体５８それ自体の回転により自在である。回転は、以下に説明する適当なモータを用いることによって得られる。リンク５４は、その近位部分がリンク５２の遠位部分に回転自在に取り付けられている。エンドエフェクタ５６が、リンク５４の遠位部分のところに回転自在に設けられ、このエンドエフェクタは、基板、例えば半導体ウェーハを保持し、これら基板を互いに異なるステーション３４に出し入れできるよう適当に構成されている。
【００１１】
リンク装置４０，５０の運動は好ましくは互いに切り離される。このようにすると、伸長可能なリンク装置４０は、エンドエフェクタリンク装置５０が取り付けられたリンク４６の最も遠位側の部分を側方経路に沿って並進させることによりエンドエフェクタリンク装置５０を全体としてＸ方向に沿って横方向に搬送するのに役立つ。かくして、エンドエフェクタリンク装置５０は、所望のステーション３４の近くに運ばれ、それによりエンドエフェクタリンク装置５０はステーション３４に到達してウェーハをこのステーションに届け、又はウェーハをこのステーションから回収することができる。エンドエフェクタリンク装置５０及び特にエンドエフェクタ５６のかかる運動は、ステーションの配列及び意図した特定の用途に応じて直線経路に沿うものであってもよく、或いはこれとは異なる経路に沿うものであってもよい。加うるに、リンク装置４０，５０の運動は、機械的に切り離された状態であっても、特定のステーション３４に到達するのに必要な時間の長さを短くするために時間的に同期させることができるということは理解されよう。具体的に説明すると、伸長可能なリンク装置４０の伸縮は、第１の持続期間にわたって起こり、エンドエフェクタリンク装置５０の伸縮は、第２の持続期間にわたって起こる。しかしながら、第１及び第２の持続期間は、組合せ状態の運動の総時間を減少させるよう少なくとも部分的にオーバーラップするのがよい。当然のことながら、かかる同期状態は、リンク装置４０，５０及びエンドエフェクタ５６の運動中における特定の時点で障害物があるかどうかを考慮に入れて、全体としてシステムの特定のレイアウトによって定められる。
【００１２】
伸長可能なリンク装置４０への運動は、まず最初に、図３及び図４に示すようにロボット２０内に収納されたＲ軸モータ６２を用いて与えられる。Ｒ軸運動は、Ｘ方向に沿うリンク装置４０の伸縮運動であり、この半径運動方向の起点は、最も近位側のリンク４２の近位部分の回転軸線６３に取られる。モータ６２の回転は、図３及び図４で分かるようにプーリ、例えばプーリ６８と協働するベルト６４，６６を含む第１の機械的リンク装置を経てリンク４２，４４，４６に伝えられる。伸長可能なリンク装置４０及びエンドエフェクタリンク装置５０のリンクの本数は、図示の本数と異なってもよいことは理解されよう。３リンク構成では、リンクを互いに結合するのに用いられる機械的リンク装置は好ましくは、第１のリンクと第２のリンクに１：２の運動比をもたらし、次に、第２のリンクと第３のリンクに２：１の運動比をもたらし、したがって結果的に全体としてリンク装置の直線運動が得られるようにする。したがって、上述のように、モータ６２を回転させると、リンク装置４０がＸ方向に直線的に伸縮し、それにより、これに取り付けられているエンドエフェクタリンク装置５０はステーション３４の列３６，３８の方向に並進する。当然のことながら、特定の用途及びアクセスしようとするステーション３４の構造に応じて他の運動が可能である。たとえば、ロボットアーム３０を、例えば互いに異なる構造のステーション３４に対応するよう回転させることができる（Ｔ軸運動）。Ｔ軸運動をロボット２０内に設置されたモータ７０によって生じさせることができる。図４において、Ｔ軸線は、リンク４２の回転の中心としての軸線６３と一致しているように示されている。しかしながら、このことは必要ではなく、軸線が一致していない形態も又、本発明の範囲に含まれることは理解されよう。
【００１３】
エンドエフェクタリンク装置５０を、伸長可能なリンク装置４０とは別個独立に伸縮させることができる。エンドエフェクタリンク装置５０の伸縮運動は、支持構造体５８内に設けられたモータ７２によって引き起こされる。例えばベルト６９，７１を含む適当なベルトとプーリから成るリンク装置は、モータ７２の回転を、伸長可能なリンク装置４０について説明したのと同様な仕方で、リンク５２，５４及びエンドエフェクタ５６に伝える。エンドエフェクタリンク装置５０の伸縮運動は、支持構造体５８から見た場合、二次半径運動方向と称されることになろう。伸長可能なリンク装置４０及びエンドエフェクタリンク装置５０にそれぞれ対応したモータ６２，７２は、２つのリンク装置の運動が切り離されるよう互いに別個独立に作動される。
【００１４】
図２の構成は、ステーション３４の２つの列（３６，３８）が、向かい合った関係をなして配置され、これらの間にアーム３０が配置されているようなものである。向かい合ったステーションに接近するため、エンドエフェクタ５６は、その運動が「反転可能」であり、これを「反転」させて列３６又は列３８のいずれからでもステーション３４に接近できるようエンドエフェクタリンク装置５０内に設けられている。具体的に説明すると、図３から分かるように、リンク５２，５４及びエンドエフェクタ５６は、次々に上に積み重ねられていて、リンクの内の任意のものの回転が他のどのリンクの回転も邪魔しないようになっている。これと類似した構成が、伸長可能なリンク装置４０について示されており、Ｘ方向に沿うロボット２０の各側のステーションに接近できるよう「反転可能」な伸長方向をもたらしている。換言すると、伸長可能なリンク装置４０は、図１の紙面においてロボット２０又は右側又は左側に伸びるように構成できる。
【００１５】
エンドエフェクタリンク装置５０は、Ｙ軸運動、即ち、ヨー運動を行うことができるような装備になっている。かかる運動は、Ｙ軸モータ７４によって得られ、このＹ軸モータは、伸長可能なリンク装置４０の第２のリンク４４に取り付けられると共に、ベルト７６及びプーリ７８を介して支持構造体５８に連結されていて、支持構造体及びこれに取り付けられたエンドエフェクタリンク装置５０を回転させるようになっている。このように、エンドエフェクタリンク装置５０のＹ軸運動、即ち、ヨー運動が達成される。この運動は、上述したエンドエフェクタリンク装置５０の反転運動を達成するためにエンドエフェクタリンク装置５０の二次半径方向運動を補完し又はこれに取って代わるのに使用できる。加うるに、エンドエフェクタ５６それ自体を、ヨー軸運動を生じるよう取り付けてもよい。別個のモータ（図示せず）をこの目的のために設けるのがよい。
【００１６】
ロボット２０は好ましくは、ＧＰＲ（グローバルポジショニング（全地球位置発見）ロボット）タイプのロボットであり、このロボットは、アーム３０のための高さ方向Ｚ軸運動手段を備えている。静止状態のフレーム８１内に設けられた複数のＺ軸モータ（１つしか示さず）が、上下運動をロボットアーム３０に与えるために、プレート８２（これは、アーム３０が収納されている昇降可能なフレームの一部である）を垂直方向に動かすのに用いられる。ロボット２０は又、Ｚ軸に対して傾動可能であるように設計されている。その目的は、追加の運動の自由度を一般的にはアーム３０に、特にエンドエフェクタ５６に与えることにある。傾動は、例えば回転モータ８０により、関連の米国特許第５，９５４，８４０号明細書及び第６，０５９，５１６号明細書に詳細に説明されているような種々の程度まで達成される。なお、これら米国特許明細書は、ＧＰＲロボットを開示しており、これら米国特許明細書の開示内容を明細書の一部を形成するものとしてここに引用する。ＧＰＲロボットは、並列−直列型マニプレータであり、高さ方向Ｚ軸運動は、並列成分を含み、アーム３０の実質的に平らな多数のリンク運動は、直列成分を含む。並列−直列型マニプレータは本発明に用いるうえで適しているただ一つのものである。というのは、このマニプレータは，個別的に考えた場合の並列型マニプレータ及び直列型マニプレータと関連した欠点を解決するからである。同等な運動の自由度を達成するためには、直列型マニプレータは、自在手首及びこれと関連したアクチュエータを必要とし、これらは相当大きなサイズ及び重量のものであり、これらの質量の影響を軽減するためには実際問題としてこれらをロボットのベースに近付けて配置することはできない。他方、並列型マニプレータは、運動及び作業スペースが非常に限定されている。これら制約は、半導体処理の場合に一層問題となり、この場合、マニプレータの重量及び大きさ並びに使用される構成部品、例えばモータ、リンク及び機械的リンク装置のタイプに関して厳しい制約が課される。これら制約は、摩擦、汚染、湿度、温度等の高度に制御される条件の関数である。ＧＰＲロボットは、並列型マニプレータと直列型マニプレータの利点を組み合わせ、単純な平面状（Ｔ，Ｒ，Ｙ）直列型アームを介して迅速なグローバル（広い作業領域全体にわたる）運動及び正確な高さ方向（Ｚ）及び傾動運動をもたらす。
【００１７】
単一のエンドエフェクタ５６及びエンドエフェクタリンク装置５０について説明したが、好ましい実施形態では、ロボットアームは、図５〜図７に示すようなドュアルエンドエフェクタ及び関連のリンク装置を備えている。エンドエフェクタ９２，９４が、伸長可能なリンク装置９８の遠位部分のところに設けられた支持構造体９６内、より具体的には、その最も遠位側のリンク９９内に設けられている。支持構造体９６は、Ｙ軸運動又はヨー運動を達成するよう回転自在である。モータ１００及びベルト１０２とプーリ１０４で構成された適当な機械的リンク装置は、この運動を引き起こし、モータ１００は、伸長可能なリンク装置９８の第２のリンク９７内に設けられている。エンドエフェクタ９２は、リンク１０８，１１０を含むエンドエフェクタリンク装置１０６の一部である。エンドエフェクタ９４は、リンク１１４，１１６を含む、エンドエフェクタリンク装置１１２の一部である。モータ１１８，１２０は、それぞれベルト１２２，１２４及びプーリ１２６，１２８を含む適当な機械的リンク装置を用いてリンク装置１０６，１１２を可動させる。リンク装置１１２，１１６の運動は互いに切り離されていて、これらを互いに且つ伸長可能なリンク装置９８とは独立して動かすことができるようになっている。図７から分かるように、エンドエフェクタ９２，９４は、これらのそれぞれのリンク装置が同一程度まで伸長されるとこれらエンドエフェクタが互いにオーバーラップすることができるよう垂直方向にずれているよう設計されている。この目的のため、上側エンドエフェクタ９２は、ブラケット部分１３０を備え、このブラケット部分は、下側エンドエフェクタ９４によって担持された任意の基板、例えば半導体ウェーハ１３２を通過させるような寸法形状になっている。このように、エンドエフェクタ９２，９４は、エンドエフェクタリンク装置１０６，１１２が収納されている伸長可能なリンク装置４０の取り付け部分に対し同一の半径方向及び角度位置を占めることができる。
【００１８】
２つの別個独立に作動されるエンドエフェクタ９２，９４を用いることにより、いくつかの利点が得られ、かかる利点としては、図２に示すステーションの二重列構造により、２つの互いに向かい合って配置されたステーション３４に同時に接近できるということが挙げられる。加うるに、単一のステーション３４からの基板の入れ替えを、実質的に同時に行うことができ、一方のエンドエフェクタは、ステーション３４内の場所から基板を取り出し、他方のエンドエフェクタは、これに替えて第２の基板を同一場所に配置する。これにより、第１の基板をステーション３４から取り出し、第１の基板を別のステーション３４のところで降ろし、第２の基板をピックアップして第１のステーション３４に戻し、第２の基板を第１のステーションのところで降ろす必要がなくなる。ドュアルエンドエフェクタ構造により可能になる時間の節約（これは、とりもなおさず処理費用の相当な節約となる）は容易に理解されよう。
【００１９】
上記は、本発明を実施する例示の態様であり、本発明を限定するものではない。特許請求の範囲に記載された本発明の精神及び範囲から逸脱することなく、その変形例を想到できることは当業者には明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図１】
従来技術の基板取扱いシステムの概略平面図である。
【図２】
本発明の基板取扱いシステムの概略平面図である。
【図３】
本発明のロボットの概略平面図である。
【図４】
図３のロボットの概略側面図である。
【図５】
本発明の好ましい実施形態のロボットの概略平面図である。
【図６】
図５のロボットの概略部分側面図である。
【図７】
基板を担持した図５のロボットの概略正面図である。
【国際公開パンフレット】
2004502558.tif 000003
2004502558.tif 000004
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【国際調査報告】
2004502558.tif 000025