(57)【要約】この発明は、特にプリント配線板及び／又はＨＦケーブル用の高周波プローブチップに関する。このチップは、測定装置に測定ケーブルを接続するための接続端（１０）と、接地接触子と、少なくとも一つの信号接触子（１４）を配置するための測定チップ（１２）からなる。接地導体装置（２０）と、誘電体（２４）によって囲繞されている少なくとも一つの信号導体（２２）とからなる同軸導体（１８）は、接続端（１０）と測定チップ（１２）とを接続している。測定チップ（１２）から延び、高周波プローブチップの所定の区域（３０）に設けられている接地導体装置（２０）は、少なくとも一つの信号導体（２２）が囲繞する誘電体（２４）と共に、装置（２０）内で移動可能となるように構成されている。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定装置に繋ぐ測定ケーブルを接続するための接続端（１０）と、接地接触子（１６）と共に、少なくとも一つの信号接触子（１４）がその上に形成されうる測定チップ（１２）とを具え、接地導体装置（２０）を持つ同軸導体（１８）と、誘電体（２４）によって囲繞される少なくとも一つの信号導体（２２）とが、該接続端（１０）と該測定チップ（１２）とを接続している高周波プローブチップにおいて、
前記少なくとも一つの信号導体（２２）が、前記接地導体装置（２０）内で、前記信号導体を囲繞している前記誘電体（２４）と共に移動可能なように、前記測定チップ（１２）から延びている前記接地導体装置（２０）が所定の区域（３０）で設けられていることを特徴とする、特にプリント配線板及び／又はＨＦケーブル用として適している高周波プローブチップ。
【請求項２】
所定の区域（３０）における接地導体装置（２０）が、箱形状に設計されている請求項１記載の高周波プローブチップ。
【請求項３】
箱形状の接地導体装置は、その横断面において、小さな径と大きな径を持っており、該小さな径は、信号導体の誘電体（２４）の径よりも小さい請求項１又は２記載の高周波プローブチップ。
【請求項４】
測定チップ端に、大きな径の方向に移動可能なスライダー（３８）が設けられており、これによって、信号導体（２２）は誘電体（２４）と共に動く請求項３記載の高周波プローブチップ。
【請求項５】
接地導体装置（２０）は、所定の区域（３０）において、平坦化されたチューブ形状に設計されている請求項１乃至４のいずれか一項に記載の高周波プローブチップ。
【請求項６】
測定ケーブルに接続させるための標準同軸コネクター（２８）が、接続端（１０）に設けられている請求項１乃至５のいずれか一項に記載の高周波プローブチップ。
【請求項７】
二つの信号導体（２２）が設けられ、いずれかが信号接触子（１４）である請求項１乃至６のいずれか一項に記載の高周波プローブチップ。
【請求項８】
接地接触子（１６）が、測定チップ（１２）に設けられている請求項１乃至７のいずれか一項に記載の高周波プローブチップ。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、高周波プローブチップに関し、特に、請求項１の前提項に記載されているように、プリント配線板及び／又はＨＦケーブル用として適している高周波プローブチップに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ＴＤＲ（時間領域反射率測定法）測定がプリント配線板に適用されるとき、すなわち、測定目的のために異なった接触子を測定チップに取り付けなければならないときに、問題が生じる。異なった測定チップは、全ての測定に対応して用いられるための信号接触子と接地接触子との間の調整された隔離距離を持っていないので、測定チップに、接地接触子が挿入されうる渦巻き状の凹部を予め備えておくことが要求されている。この方法は、特殊な格子状パターンにおける信号接触子と接地接触子との間の異なった隔離距離を実現しうる。しかしながら、この隔離距離が、格子状パターン以外のパターンで変化すると、この隔離距離に対応させるため、測定チップを分解しなければならない。
【０００３】
測定チップは、また、接地接触子の測定スパイクが回転可能になるようにすることも要求されていた。測定スパイクの好適な回転によって、接地接触子と信号接触子との間の異なった隔離距離が実現しうる。しかしながら、インピーダンス整合に関する問題が発生し、望ましくない反射が、この種の測定チップが用いられる高周波領域を限界づける。例えば、最大周波数１２５ＭＨｚ以下でしか用いられないということである。しかしながら、今日では、測定チップはＧＨｚ領域で使用可能であることが要求されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、前記したタイプを改良した高周波プローブチップを提供するものであり、取り扱いやすく、且つ、ＧＨｚ領域のような高周波でも、良好な信頼性のある機能を保証するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の目的は、請求項１に記載された特徴を持つ、前記したタイプの高周波プローブチップによって達成される。
【０００６】
本発明によると、前記したタイプの高周波プローブチップにおいて、測定チップから延びる接地導体装置が、高周波プローブチップの所定の区域に設けられ、信号導体が接地導体装置内で、該信号導体を囲繞している誘電体で隔離されている。
【０００７】
これは、信号接触子と接地接触子との間の隔離距離が、簡単に且つすばやく、連続的に調整しうるという利点がある。それと同時に、インピーダンス整合を損なわない。それゆえに、本発明に係る測定チップは、ＧＨｚ領域に拡張される広い周波数帯幅を持つ。
【０００８】
所定の区域に設けられている箱形状の接地導体装置において、接地導体装置と信号導体装置との間の電界は、この区域内で働く。実際には、信号導体を囲繞している誘電体の区域、すなわち、両装置の間に対応して平坦にされた誘電体の区域を通してのみ働く。この結果、インピーダンスは接地導体装置内の信号導体の位置から独立している。この効果は、箱形状の接地導体装置の横断面の大きな径であっても小さな径であっても通用する。小さな径は、信号導体の誘電体の径よりも更に小さくすることができる。
【０００９】
測定チップ端で、信号接触子と接地接触子との間の隔離距離を、簡単に且つ機能的に、しかも確実に調整するため、スライダーが設けられている。スライダーは、箱の大きな径の方向へ移動可能であり、信号導体を誘電体と共に移動させうるものである。
【００１０】
好ましい態様は、接地導体装置が、所定の区域で平坦チューブ形状に設計されていることである。
【００１１】
好ましくは、接続端において、測定ケーブルの接続のための標準的な同軸コネクターが設けられている。接地接触子は、好ましくは測定チップ上に形成されている。
【００１２】
実施例によると、いずれかが一つの信号接触子となる二つの信号導体が設けられている。
【００１３】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を図面に基づいて、より詳細に説明する。
【００１４】
図１及び図２に示されている本発明に係る高周波プローブチップの好ましい例は、測定装置（図示せず）に繋ぐための測定ケーブル（図示せず）を接続しうる接続端１０と、信号接触子１４と接地接触子１６とが設けられている測定チップ１２とを備えている。接触子１４，１６は、例えば試験物体に対して、ＨＦ遷移（ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ）を形成する。接地導体装置２０と信号導体２２とを備えた同軸導体１８は、接続端１０と測定チップ１２とを繋いでいる。接続端１０において、把持部２６が形成され、測定ケーブルに接続するための標準的な同軸コネクター２８が設けられている。
【００１５】
測定チップ１２から延びる、接地導体装置２０の所定の区域３０は、平坦チューブ形状に設計されている。図３から明らかなように、このチューブ２０の横断面は、大きな径３２と小さな径３４を持っている。小さな径３４は、誘電体２４の通常の径よりも、いくらか小さくなる。この結果、誘電体２４は、所定の区域３０において、いくらか圧縮される。３６として示された区域において、同軸ケーブル１８から、チューブ形状の接地導体装置２０への転換が起こる。同軸ケーブル１８のシースは、チューブ２０の開放端に結合されている。一方、内部導体すなわち信号導体２２は、誘電体２４と共に、一つの片として連続している。区域３０のチューブ２０の平坦化は、同様の絶縁径であるにも拘わらず、同軸ケーブル１８におけるのと同様のインピーダンスとなることを保証する。
【００１６】
信号導体２２が移動可能であるため、接地接触子１６と信号接触子１４との間の隔離距離は、連続的に調整可能である。この端に、スライダー（図１及び図２）がチューブ２０上に設けられ、ピン４０の間で把持された柔軟な信号導体２２を移動せしめる。この方法において、信号導体２２は、チューブ２０内で矢印４２の方向に滑り、左右に動く。
【００１７】
接地接触子１６と信号接触子１４との間の隔離距離の大きな範囲での調整にも拘わらず、測定チップ１２は、全ての隔離距離で、また、とりわけ好ましいＴＤＲ測定で、ずっと一定のインピーダンスを持っている。これによって、正確で鮮明な測定は、できる限り反射が生じない試験物体の遷移（ｔｒａｓｉｔｉｏｎ）に依っている。信号接触子１４と接地接触子１６との間の隔離距離は、スライダー３８を動かすことによって、簡単に変更しうる。スライダー３８の移動によって、柔軟な内部導体すなわち信号導体２２は、その絶縁体２４と共に、箱形状の外部導体２０内で動く。区域３０における外部導体２０と内部導体２２との間の電界は、実際には、誘電体２４の平坦区域を通してのみ働く。それゆえ、インピーダンスは、チューブ２０内の内部導体２２の位置とは独立している。
【００１８】
図４乃至図６に示されている本発明に係る高周波プローブチップの他の例において、同様の機能を持っている部分は、図１乃至図３における符号と同一の符号を付した。したがって、これら符号の詳細については、図１乃至図３の説明を参照されたい。図１乃至図３に係る例に対して、この高周波プローブチップは、二つの信号導体２２を持つ対称形のチップを含んでいる。したがって、測定チップ１２上に二つの信号接触子１４を持っている。同軸ケーブル４４に対応する各外部導体は、同軸接触子２８から把持部２６を通って伸びているが、それらは転換区域３６でチューブ形状の外部導体２０と結合している。非対称の同軸導体（離れた接地導体を持つ）として設計された二つの測定導体２２は、チューブ２０を通して共に機能し、二重のインピーダンスを持つ対称形の導体を形成する。測定チップ１２上の接地接触子に代えて、この高周波プローブチップは、等価の第二信号接触子１４ａを測定チップ１２上に有しており、これは図中の上部の剛直な導体２２ａに取り付けられている。図中の下部の第二導体２２は、図１乃至図３による非対称の測定チップ１２と同様な方法で、移動しうる。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明に係る高周波プローブチップの好ましい例を示した斜視図である。
【図２】
図１の高周波プローブチップの縦断面図である。
【図３】
図２のＡ−Ａ線断面図である。
【図４】
本発明に係る高周波プローブチップの他の例を示した斜視図である。
【図５】
図４の高周波プローブチップの縦断面図である。
【図６】
図５のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１０    接続端
１２    測定チップ
１４    信号接触子
１６    接地接触子
１８    同軸導体
２０    接地導体装置
２２    信号導体
２４    誘電体
２６    把持部
２８    同軸コネクター
３０    所定の区域
３８    スライダー
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【国際公開パンフレット】
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【国際公開パンフレット（コレクトバージョン）】
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【国際調査報告】
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