(57)【要約】例えば、導電性インレーフィルムが提供され、該フィルムは、粒子が静電堆積によって堆積される選択領域を形成するために好適な孔（２３）のパターンを有する誘電フィルム（２１）の層と、（ａ）誘電フィルム（２１）に積層された導電性フィルム（２２）、又は（ｂ）孔（２３）の内部に埋め込まれた導電性フィルムを備え、１部分が孔内部に現れて導電性インレーを構成するポリマーを含む導電性要素（２２）と、を含み、導電性要素（２２）が、１つまたはそれ以上の電極パッドに接触して選択領域に電位を与えるように適合され、誘電フィルム（２１）が、選択領域を電気的に絶縁する。【選択図】図１Ｂ
2004502512.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粒子が静電堆積によって堆積される選択領域を形成するために好適な孔のパターンを有する誘電フィルムの層と、
（ａ）前記誘電フィルムに積層された導電性フィルム、又は（ｂ）前記孔の内部に埋め込まれた導電性フィルムを備えた、１部分が前記孔内部に現れて導電性インレーを構成するポリマーを含む導電性要素と、
を含み、
前記導電性要素が、１つまたはそれ以上の電極パッドに接触して前記選択領域に電位を与えるように適合され、前記誘電フィルムが、前記選択領域を電気的に絶縁することを特徴とする、導電性インレーフィルム。
【請求項２】
電気誘引堆積により、前記選択領域上に堆積した粒子を更に含むことを特徴とする、請求項１に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項３】
前記選択領域上に堆積した前記粒子の量が、一定量であることを特徴とする、請求項２に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項４】
前記粒子が薬剤を含み、各選択領域が投薬単位を規定することを特徴とする、請求項２に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項５】
前記粒子が診断用試薬を含み、前記導電性インレーフィルムが、２つ又はそれ以上の選択領域で診断用試薬の一定量を有する診断用製品を含むことを特徴とする、請求項２に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項６】
前記導電性要素が、（ａ）前記誘電フィルムに積層された導電性フィルムを含むことを特徴とする、請求項１に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項７】
前記導電性要素が、（ｂ）前記孔内に埋め込まれた導電性フィルムを含み、前記導電性要素の１部分が、導電性インレー前記孔内に現れて導電性インレーを構成することを特徴とする、請求項１に記載の導電性インレーフィルム。
【請求項８】
サブストレート上への電気誘引堆積の方法であって、
表面上に少なくとも１つの電極を接触させた静電チャックの該表面上に導電性インレーフィルムを積層し、
前記導電性インレーフィルムが、前記電極から選択領域の付近への電位を伝達する能力を有する導電性ポリマーと、前記選択領域を電気的に絶縁する能力を有する誘電フィルムとを備え、
前記少なくとも１つの電極に電位を印加し、
前記導電性インレーフィルムに向けて粒子を誘導し、
前記選択領域に粒子を選択的に堆積させること含むことを特徴とする方法。
【請求項９】
導電性インレーフィルムの少なくとも１部分と、
１つまたはそれ以上の前記インレー上に選択的に堆積された、定められた量の薬剤、ビタミン、甘味料、ハーブ製品、家畜用薬剤或いは診断用試薬と、
を備え、
前記導電性インレーフィルムが、粒子が静電堆積によって堆積される選択領域を形成するために好適な孔のパターンを有する誘電フィルムの層と、ポリマーを含む導電性要素と、を含み、前記導電性要素が、（ａ）前記誘電フィルムに積層された導電性フィルム、又は（ｂ）前記孔内に埋め込まれた導電性フィルムを含み、前記導電性要素の１部分が前記孔内に現れて導電性インレーを構成し、前記導電性要素の１部分が、前記誘電フィルムによって囲まれる前記インレーを含む、
ことを特徴とする、医薬品、ビタミン製剤、甘味料製剤、ハーブ製剤、家畜用製剤、診断用製品。
【請求項１０】
請求項９による医薬品投薬単位。
【請求項１１】
請求項９によるビタミン投薬単位。
【請求項１２】
請求項９による甘味料使用ユニット。
【請求項１３】
請求項９によるハーブ投薬単位。
【請求項１４】
請求項９による家畜薬投薬単位。
【請求項１５】
請求項９による診断用製品。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
（技術分野）
本発明は、局部的な堆積（付着）のために電気力で粒子を誘引する技術を用いて、粒子をその上に堆積（付着）させる支持体として使用されるサブストレート（基板、支持層）に関する。
【０００２】
（背景技術）
本出願人らは、先に材料の制御された堆積を行うために電気力を使用する装置及び技術を報告している。このような堆積は、サブストレートの空間的に分割された領域に、例えば医薬品の、制御された量を堆積させることができる。これらの技術は通常、粒子又は粒体を誘引する電気力（例えば静電気）をもたらす装置（静電チャック）に取付けたサブストレート上に、帯電した粒子又は粒体を堆積させてきた。粒子又は粒体は、一般的に帯電するが、粒子又は粒体の誘電分極を通じて誘引が発生する可能性がある。静電チャックは、例えば、電極パッドを有し、これに電位が印加されて誘引力が生成される。異なる電位を持つ隣接した電極が、誘引力を形成し、或いは粒子又は粒体を望ましくない場所から避けるために使用することができる。このような静電チャックの１つは、図３に示される。所定の場所に誘引されると、粒子又は粒体は、導体へのそれらの近接を通じて鏡像力を誘発することができ、その鏡像力は、粒子又は粒体を保持する力に強力に寄与することができる。他の保持力には、他の帯電及び帯電再分配で誘発された力、パッキング力（ｐａｃｋｉｎｇ　ｆｏｒｃｅ）及びファンデルワールス力が含まれる。
【０００３】
この技術の限界は、所定の場所に効果的に誘導されることのできる粒子又は粒体の量であった。この限界の１つの原因は、所定の堆積場所に近接した電気力の強度及び集中化に対する現実的な限界である。本発明は、導電性材料のパターン形成されたインレーを有する堆積用サブストレートを生成することによってこの問題に対処し、この導電性インレー材料は、静電チャックの電極パッドへの拡張又は補助としてはたらき、堆積場所の近隣をより大きい帯電密度にすることができる。本発明は、堆積の改善された品質を提供し、且つより多くの量が堆積することを可能にする。
【０００４】
（発明の開示）
本発明は、例えば、導電性インレー（はめ込み）フィルムを提供し、該フィルムは、粒子が静電堆積（付着）によって堆積される選択領域を形成するために好適な孔のパターンを有する誘電フィルムの層と、（ａ）誘電フィルムに積層された導電性フィルム、又は（ｂ）孔の内部に埋め込まれた導電性フィルムを備え、１部分が孔内部に現れて導電性インレーを構成するポリマーを含む導電性要素と、を含み、導電性要素が、１つまたはそれ以上の電極パッドに接触して選択領域に電位を与えるように適合され、誘電フィルムが、選択領域を電気的に絶縁する。本発明はサブストレートの選択領域へ一定量の粒子を堆積させるために使用することができ、選択領域に堆積（付着）された粒子量は一定量とすることができる。該一定量は薬剤のものであることができ、投薬単位を形成する。或いは、例えば、導電性インレーフィルムは、２つ又はそれ以上の選択領域に一定量の診断用試薬を有する診断用製品を含むことができる。
【０００５】
また、本発明は、サブストレートへの電気誘引堆積（付着）の方法を提供し、該方法は、表面上に少なくとも１つの電極を接触させた静電チャックの該表面上に導電性インレーフィルムを積層し、導電性インレーフィルムが、電極から選択領域の付近への電位を伝達する能力を有する導電性ポリマーと、選択領域を電気的に絶縁する能力を有する誘電フィルムとを備え、少なくとも１つの電極に電位を印加し、導電性インレーフィルムに向けて粒子を誘導し、選択領域に粒子を選択的に堆積（付着）させること含む。「静電チャック」の用語は、帯電した粉体／粒子を誘引するために使用されるものを示し、そのようなチャックは、粉体／粒子がそこに付着されるサブストレートを電気的に付着することはかならずしも必要ではないことに留意されたい。サブストレートは、例えば真空又は接着剤を用いて、チャック上に積層されることができる。
【０００６】
更に、医薬品、ビタミン製剤、甘味料製剤、ハーブ製剤、家畜用製剤、診断用製品が提供され、これらは、導電性インレーフィルムの少なくとも１部分と、１つまたはそれ以上のインレー上に選択的に堆積（付着）された、定められた量の薬剤、ビタミン、甘味料、ハーブ製品、家畜用薬剤或いは診断用試薬と、を備え、導電性インレーフィルムが、粒子が静電堆積（付着）によって堆積される選択領域を形成するために好適な孔のパターンを有する誘電フィルムの層と、ポリマーを含む導電性要素と、を含み、導電性要素が、（ａ）誘電フィルムに積層された導電性フィルム、又は（ｂ）孔内に埋め込まれた導電性フィルムを含み、導電性要素の１部分が孔内に現れて導電性インレーを構成し、導電性要素の１部分が、誘電フィルムによって囲まれるインレーを含む。
【０００７】
（発明を実施するための最良の形態）
本発明の、１つの例証となる実施形態が、図１に示される。図１Ａは、誘電フィルム２１に積層された導電性フィルム２２を有する導電性インレーフィルム２０の断面が示されている。誘電フィルム２１は、選択領域２３への帯電粒子の選択的な誘引が可能であり、一方で選択領域２３の外側の領域への粒子の如何なる誘引も制限されるような、比較的低い導電性及び厚みのものである。
【０００８】
好適な誘電フィルムには、例えば、エチルセルロース、セルロースアセテートフタレート、ヒドロキシプロピルメチルセルロース（ＨＰＭＣ）、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ヒドロキシプロピルセルロース（ＨＰＣ）、メチルセルロース、加工澱粉、蛋白質（例えば架橋ゼラチンを含む）、アルギン酸、アクリルポリマー（例えばメチルメタクリレート、エチルアクリレート、メチルメタクリレートとエチルアクリレートとのコポリマー、Ｅｕｄｒａｇｉｔ（登録商標）アクリルコポリマー等のような他類似物）、ポリアルキレンオキシド（ポリエチレンオキシド等のような）、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、架橋ＰＶＰ、ポリラクチド、ポリ（ラクチド−コ−グリコリド）、不織布、紙、その他類似物が含まれる。フィルム形成工程には、ポリマー溶液又は分散物の注型及びポリマー粉末の押出成型が含まれる。
【０００９】
導電性フィルムは、人が摂取するために適切な材料で形成されることが好ましい。ある特定の材料については、この好ましいとされる制限は、摂取製品の量及び用量が適切であることを意味する。導電性フィルムは、それ自身が伝導性であるか、或いはフィルムに組み込まれる導電性材料のための構造枠組みを形成するポリマーで形成されるのが好ましい。導電性材料は、例えば、メタリックウィーブ、金属粒子（金、銀又は鉄の粒子等のような）、カーボンブラック粒子、他のイオン種の粒子及び類似のものとすることができる。また、導電性材料は、ゼラチン或いは他の蛋白質性材料のような導電性ポリマーとすることができる。導電性材料を組み込むための好適なポリマーには、エチルセルロース、セルロースアセテートフタレート、ＨＰＭＣ、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ＨＰＣ、メチルセルロース、加工澱粉、蛋白質（例えば架橋ゼラチンを含む）、アルギン酸、アクリルポリマー（例えばメチルメタクリレート、エチルアクリレート、メチルメタクリレートとエチルアクリレートとのコポリマー、Ｅｕｄｒａｇｉｔ（登録商標）アクリルコポリマーのようなその他類似物）、ポリアルキレンオキシド（ポリエチレンオキシドのような）、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、架橋ＰＶＰ、ポリラクチド、ポリ（ラクチド−コ−グリコリド）、不織布、紙、その他類似物が含まれる。水溶性ポリマーの例は、下側臨界相溶温度（ＬＣＳＴ）を超える温度で処理される注型及び乾燥により水溶液から成型されることができる。例えばＨＰＭＣのＬＣＳＴは、通常５０−５５℃の範囲にある。フィルム形成工程もまた、ポリマー溶液又は分散物の注型及びポリマー粉末の押出成型を含むことができる。
【００１０】
好ましくは、導電性インレーフィルムの導電性要素、例えば導電性フィルム２２或いは導電性インレー３２（以下を参照）は、１０５オーム／面積（ｏｈｍ／ｓｑｕａｒｅ）以下、より好ましくは１０４又は１０３オーム／面積（ｏｈｍ／ｓｑｕａｒｅ）以下の抵抗率を有する。
【００１１】
選択領域２３は、例えば、誘電フィルムを導電性フィルムに積層する前に、該フィルムをカットすることによって形成することができる。選択領域２３の寸法は、特に医薬品の用途においては、例えば１ｍｍから１０ｍｍの幅又は直径である。
【００１２】
本発明の導電性インレーフィルムは、好ましくは可撓性である。その上に粒子が堆積する導電性インレーフィルムの要素は、適切な水性溶液（例えば、堆積粒子を有する導電性インレーフィルムの意図された用途に基づく、酸性、塩基性又は中性の溶液）への堆積された粒子（下記の定義を参照）の分散又は溶解を容易にする、水膨潤性又は分散性であることが好ましい。導電性インレーフィルムの好適な厚みは、０．５ミルから１０ミルであり、より好ましくは１．０ミルから５ミルである。
【００１３】
本発明の、他の例証となる実施形態は、図２に示される。図２Ａは、誘電フィルム３１内に導電性インレー３２を有する導電性インレーフィルム３０の断面を示す。誘電フィルム３１は、選択領域３３への帯電粒子の選択的な誘引が可能であり、一方で選択領域３３の外側の領域への粒子の如何なる誘引も制限されるような、比較的低い導電性及び厚みのものである。この実施形態は、導電性インレー３２が、静電チャックの表面上の導電性パッドに揃うように設計されることができる。この場合もまた、誘電フィルムは、選択領域の電気的絶縁を維持するように選択されて、その結果粒子誘引力場が選択領域に制限される。
【００１４】
図２の実施形態は、例えば、その上に選択領域に対応する孔が形成されている誘電フィルムを、剥離層に積層することにより形成することができる。導電性粒子をその中に懸濁して有することができる、ポリマーの溶液又は水膨潤性ゲルが、孔を塞ぐために使用される。水膨潤性ゲルを生成するポリマーには、エチルセルロース、セルロースアセテートフタレート、ＨＰＭＣ、ヒドロキシプロピルメチルセルロースフタレート、ＨＰＣ、メチルセルロース、加工澱粉、蛋白質（例えば架橋ゼラチンを含む）、アルギン酸、アクリルポリマー（例えばメチルメタクリレート、エチルアクリレート、メチルメタクリレートとエチルアクリレートとのコポリマー、Ｅｕｄｒａｇｉｔ（登録商標）アクリルコポリマーのようなその他類似物）、ポリアルキレンオキシド（ポリエチレンオキシドのような）、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン（ＰＶＰ）、架橋ＰＶＰ、ポリラクチド、ポリ（ラクチド−コ−グリコリド）、不織布、紙、その他類似物が含まれる。該溶液又は水膨潤性ゲルは、例えば恒温恒湿チャンバ内で乾燥によって誘電フィルム内に埋め込まれる。このように形成された導電性インレーフィルムは、ここで該剥離層から剥されることができる。
【００１５】
図２の実施形態が導電性フィルムと積層されて、図１及び図２の実施形態を複合した実施形態を形成できることを認識されるであろう。
【００１６】
本発明の導電性インレーフィルムが、その上に粒子を静電的に堆積させる方法で使用されることができることが理解されるであろう。粒子を帯電させる方法（例えば誘導又は摩擦帯電による）及び堆積量を計量する方法を含む、このような堆積を実施するための静電チャックの使用は、以下に明らかにされる多くの特許及び特許出願で述べられている。堆積測定には、堆積後の光学的測定及び動的に堆積をモニターする電気的センサの使用を含むことができる。粒子を帯電させる有用な方法の１つは、電位が印加された導電性壁を有するジェットミルに粒子を通過させることによる誘導帯電である。
【００１７】
図３は、堆積電極１４がシールド電極１３から誘電体（好ましくは空気）１５によって分離されており、ベース材料１２内に配置されたこれらの特徴部を備える共平面チャック１０の断面を示している。堆積電極１４は、好ましくは３００系のステンレス鋼で形成される。堆積電極１４は、回路基板１１に接続するためのピン・ソケット１６を含む。ベース材料１２は、Ｎｏｒｙｌ（登録商標）ポリマー（マサチュセッツ州ピッツフィールドのＧＥ　Ｐｌａｓｔｉｃｓ）等の誘電体から作られる。Ｎｏｒｙｌエンジニアリングプラスチックは、改質ポリフェニレンオキシド、又はポリフェニレンオキシド及びポリフェニレンエーテルいずれかの樹脂である。これらの樹脂の改質剤は、ポリスチレン又はポリスチレン／ポリブタジエン等のような第２ポリマーとのブレンドを含む。ブレンド比率及び他の添加物を変えることにより、種々のグレードが製造される。これらの非改質ポリマーは、主分子鎖において規則的に近接して配置されたリング構造（フェニル基）によって特徴づけられる。強い分子間引力を伴うこの性質は、極度の剛性及びモビリティの欠如を引き起こす。シールド電極１３は、例えば、接着剤又はゴム系両面接着テープによってベース材料１２に接着される導電性材料（３００系ステンレス鋼等のような）から作ることができる。誘電体１５の好ましい実施形態である環状ギャップは、シールド電極１３を形成することになる導電性層に一連の孔をあけることによって形成されることができる。堆積電極１４は、ベース材料１２に例えば圧入又は接着されることができる。組立体は、好ましくは、例えば０．０００２インチの誤差内の平坦な共平面を生成するように研磨される。誘電体１５が、空気（静電チャックが中で作動する空気）である場合は、空気を含む電極の絶縁間隔部分は、誘電体１５と並んだ静電チャックの上平面が使用されて、堆積物間で完全に放電するのに十分であることが好ましい。このような絶縁間隔の量とは「堅固な」間隔である。
【００１８】
このような静電チャックは、説明された技術を用いて簡単に修正して、制御電子回路に別々に接続されることができる電気絶縁シールド電極を組み込み、前述の検知回路を提供することができる。寸法Ａは、例えば０．０１インチとすることができ、寸法Ｂは、例えば０．１５７インチとすることができ、寸法Ｃは、例えば０．２３６インチとすることができ、ピクセル間ピッチである寸法Ｄは、例えば０．３５４３インチ（９．０ｍｍ）とすることができる。静電チャックは、例えば堆積電極に印加される７００Ｖまで或いは１４００Ｖまでの電圧で動作することができる。
【００１９】
本発明により堆積された一定量の粒子又は粒体は、医薬品、ビタミン製剤、甘味料製剤、ハーブ製剤、家畜用製剤、診断用製品（対照物質又は診断用試薬の規定量を有する）及び類似物のような多くの状況において有用であるとすることができる。
【００２０】
（用語）
以下の定義は、此処でしばしば使用される、特定の用語の理解を容易にするために提供される。
【００２１】
堆積のための「粒子」は、本出願の目的に対して、通常、平均直径が少なくとも約３ｎｍで、平均直径が少なくとも約５００ｎｍ又は８００ｎｍであり、好ましくは約１００ｎｍから約５ｍｍまで、例えば約１００ｎｍから５００μｍまでの、分子の集合体である。粒子は、例えば、微粉化された粉体の粒子、或いは「ビーズ」と呼ぶことができるポリマー構造体である。ビーズは、コーディングしたもの、吸着分子、捕捉分子または他の物質を支持したものを含む。
【００２２】
「電気誘引乾燥堆積」は、帯電した粒子を、表面に誘引し或いは堆積させるために、電気力を使用する方法をいう。
【００２３】
「投薬単位」は所定の物質の都合のよい量をいう。医薬品に関しては、この用語は通常、投薬単位の都合の良い数を使用して、医薬品の適切な投薬量に達するまで加えられる量をいう。
【００２４】
此処で記述された本発明は、出願人らにより説明された多くの装置及び方法と関連して使用されることができる。例えば、Ｓｕｎらの出願の、１９９９年１０月１４日に提出した、米国特許出願第０９／４１７，７３６、「Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ　Ｓｅｎｓｉｎｇ　Ｃｈｕｃｋ　Ｕｓｉｎｇ　Ａｒｅａ　Ｍａｔｃｈｅｄ　Ｅｌｅｃｔｒｏｄｅｓ」、及びＳｕｎらの出願の、１９９９年１０月１４日に提出した、米国特許出願第０９／４１７，８２０、「Ｄｅｖｉｃｅ　ｆｏｒ　ｔｈｅ　Ｄｉｓｐｅｒｓａｌ　ａｎｄ　Ｃｈａｒｇｉｎｇ　ｏｆ　Ｆｌｕｉｄｉｚｅｄ　Ｐｏｗｄｅｒ」が本発明に関連して使用されることができる。本発明の種々の態様に使用できる他の装置及び方法には、例えば、移送チャック、音響式ビーズ分配装置及び他の粉体取扱装置の使用方法が含まれ、それらは、Ｓｕｎ、１９９８年８月４日に付与された、米国特許第５，７８８，８１４号、「Ｃｈｕｃｋｓ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄｓ　ｆｏｒ　Ｐｏｓｉｔｉｏｎｉｎｇ　Ｍｕｌｔｉｐｌｅ　Ｏｂｊｅｃｔｓ　ｏｎ Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ」；Ｓｕｎら、１９９９年１月１２日に付与された、米国特許第５，８５８，０９９号、「Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ　Ｃｈｕｃｋｓ　ａｎｄ　ａ　Ｐａｒｔｉｃｌｅ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ａｐｐａｒａｔｕｓ　Ｔｈｅｒｅｆｏｒｅ」；Ｐｌｅｔｃｈｅｒら、１９９８年２月３日に付与された、米国特許第５，７１４，００７号、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ　ｆｏｒ　Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｏｎａｌｌｙ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｎｇ　ａ　Ｍｅｄｉｃａｍｅｎｔ　Ｐｏｗｄｅｒ　Ｕｐｏｎ　Ｐｒｅｄｅｆｉｎｅｄ　Ｒｅｇｉｏｎｓ　ｏｆ　ａ　Ｓｕｂｓｔｒａｔｅ」（１９９９年１２月２８日に付与された、米国特許第６，００７，６３０号も参照のこと）；Ｓｕｎら、１９９８年１２月８日に付与された、米国特許第５，８４６，５９５号、「Ｍｅｔｈｏｄ　ｏｆ　Ｍａｋｉｎｇ　Ｐｈａｒｍａｃｅｕｔｉｃａｌ　Ｕｓｉｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｓｔａｔｉｃ　Ｃｈｕｃｋ」；Ｓｕｎら、１９９８年５月１９日に付与された、米国特許第５，７５３，３０２号、「Ａｃｏｕｓｔｉｃ　Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ」；Ｓｕｎら、２０００年８月１日に付与された、米国特許第６，０９８，３６８号、「Ｂｅａｄ　Ｔｒａｎｓｐｏｒｔｅｒ　Ｃｈｕｃｋｓ　Ｕｓｉｎｇ　Ｒｅｐｕｌｓｉｖｅ　Ｆｉｅｌｄ　Ｇｕｉｄａｎｃｅ」；Ｓｕｎ、１９９９年１１月２３日に付与された、米国特許第５，９８８，４３２号、「Ｂｅａｄ　Ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｎｇ　Ｃｈｕｃｋｓ　ｗｉｔｈ　Ｂｅａｄ　Ｓｉｚｅ　Ｓｅｌｅｃｔｏｒ」；Ｓｕｎ、２００１年１月２日に付与された、米国特許第６，１６８，６６６号、「Ｆｏｃｕｓｅｄ　Ａｃｏｕｓｔｉｃ　Ｂｅａｄ　Ｃｈａｒｇｅｒ／Ｄｉｓｐｅｎｓｅｒ　ｆｏｒ　Ｂｅａｄ　Ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｎｇ　Ｃｈｕｃｋｓ」；Ｓｕｎら、２０００年１１月２１日に付与された、米国特許第６，１４９，７７４号、「ＡＣ　Ｗａｖｅｆｏｒｍｓ　Ｂｉａｓｉｎｇ　Ｆｏｒ　Ｂｅａｄ　Ｍａｎｉｐｕｌａｔｉｎｇ　Ｃｈｕｃｋｓ」；Ｓｕｎら、１９９８年６月１０日に提出した、米国特許出願第０９／０９５、３２１、「Ａｐｐａｒａｔｕｓ　ｆｏｒ　Ｃｌａｍｐｉｎｇ　ａ　Ｐｌａｎａｒ　��ｕｂｓｔｒａｔｅ」；Ｐｏｌｉｎｉａｋら、２０００年５月１６日に付与された、米国特許第６，０６３，１９４号、「Ｄｒｙ　Ｐｏｗｄｅｒ　Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ　Ａｐｐａｒａｔｕｓ」；及び１９９８年６月１０日提出した、米国特許出願第０９／０９５、６１６、「Ｐａｒｍａｃｅｕｔｉｃａｌ　Ｐｒｏｄｕｃｔ　ａｎｄ　Ｍｅｔｈｏｄ　ｏｆ　Ｍａｋｉｎｇ」に記載されている。円錐形クラウドチャンバを含む付加的な粉体取扱装置は、Ｏ’Ｍａｒａら、１９９９年１１月１２日に提出した、米国特許出願第０９／４３８、８０１、「Ａｒｔｉｃｌｅ　Ｃｏｍｐｒｉｓｉｎｇ　ａ　Ｄｉｆｆｕｓｅｒ　ｗｉｔｈ　Ｆｌｏｗ」に記載されている。
【００２５】
本明細書に引用された特許及び特許出願に限定されずにそれらを含む全ての公報及び引用文献は、全体として本明細書に引用により組込まれ、各公報及び引用文献は、具体的且つ個別に、引用により本明細書に完全に記載されたものとして組込まれて示される。本出願が優先権を主張する任意の特許出願もまた、公報及び引用文献に関して上述と同様、引用により全体として本明細書に組込まれる。
【００２６】
下記の実施例は、本発明をさらに説明するが、当然ながら、本発明の範囲を限定するものと解釈されるべきでない。
【００２７】
実施例１：エチルセルロース（ＥＣ）及びＨＭＰＣの２層ポリマーフィルム
２層ポリマーフィルムは、疎水性のエチルセルロース（ＥＣ）フィルム層及び親水性のＨＰＭＣフィルム層からなる。第１段階：トリアセチン又は他の可塑剤で可塑化したＥＣ分散液をマイラーフィルム上に注ぎ、エチルセルロース（ＥＣ）層を形成する。乾燥は、恒温恒湿チャンバ内で５５℃及び相対湿度３５％で実施される。第２段階：得られたＥＣフィルムの上にＨＰＭＣ溶液を注ぎ、親水性層を形成する。乾燥は、２８℃及び相対湿度４５％で実施される。次いで、２層フィルムが、マイラーフィルムから剥される。
【００２８】
実施例２：導電性領域が付帯したポリマーフィルム
カーボンブラックをヒドロキシプロピルセルロースポリマー溶液中に分散し、導電性ポリマーフィルムを形成する。該フィルムからディスク様フィルム部分が打ち抜かれる。この導電性ディスクは、次にＥＣフィルム（実施例１のような）上に積層され、超音波溶着によってシールされる。ＥＣフィルムは、高い表面抵抗率（相対湿度２０％で２．６Ｅ＋１２オーム／面積、相対湿度３０％で１．２Ｅ＋１２オーム／面積をそれぞれ目標とする）を有する。
【００２９】
本発明は、好ましい実施形態に重点をおいて説明されたが、この好ましい装置及び方法における変形形態が使用することができ、且つ本明細書に具体的に記載されたものとは別の方法で実施できることが意図されることは、当業者には明白であろう。従って、特許請求の範囲で定義された本発明の技術的思想及び範囲内に包含される全ての変更形態は、本発明に含まれる。
【図面の簡単な説明】
【図１Ａ】
本発明による導電性インレーフィルムを表す図である。
【図１Ｂ】
本発明による導電性インレーフィルムを表す図である。
【図２Ａ】
本発明による他の導電性インレーフィルムを示す図である。
【図２Ｂ】
本発明による他の導電性インレーフィルムを示す図である。
【図３】
例示的な静電チャックを示す図である。
【国際公開パンフレット】
2004502512.tif 000003
2004502512.tif 000004
2004502512.tif 000005
2004502512.tif 000006
2004502512.tif 000007
2004502512.tif 000008
2004502512.tif 000009
2004502512.tif 000010
2004502512.tif 000011
2004502512.tif 000012
2004502512.tif 000013
2004502512.tif 000014
2004502512.tif 000015
2004502512.tif 000016
2004502512.tif 000017
2004502512.tif 000018
2004502512.tif 000019
【国際調査報告】
2004502512.tif 000020