(57)【要約】分析装置、特に分光分析装置は、励起システムと監視システムからなる。励起システムは、励起期間中に励起ビームを放射しターゲット領域を励起する。監視システムは、監視期間中に監視ビームを放射しターゲット領域を画像化する。励起期間と監視期間は実質的に重複している。これにより、ターゲット領域は励起と共に画像化され、ターゲット領域と励起領域の両方を表示する画像が形成される。この画像に基づき、励起ビームを高い精度でターゲット領域に照射することが可能になる。
2004518125.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起ビームを放射して励起期間中ターゲット領域を励起する励起システム；及び
監視ビームを放射して監視期間中前記ターゲット領域を画像化する監視システム；
からなる分析装置、特に分光分析装置であって、前記監視期間と前記励起期間は実質的に重複することを特徴とする分析装置。
【請求項２】
請求項１記載の分析装置であって、さらに、前記励起ビームと前記監視ビームを前記ターゲット領域に導き、反射監視ビームまたは透過監視ビームと、前記ターゲット領域から反射した反射励起ビームまたは前記ターゲット領域を透過した透過励起ビームの少なくとも一部とを、前記励起ビームにより生成されたターゲット領域からの散乱放射から分離するビームコンビネーションユニットを備えることを特徴とする分析装置。
【請求項３】
請求項２記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットは、前記散乱放射を少なくとも部分的に反射し、前記反射監視ビームと前記反射励起ビームを少なくとも部分的に透過することを特徴とする分析装置。
【請求項４】
請求項２記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットは、前記散乱放射を少なくとも部分的に透過し、前記反射監視ビームと前記励起ビームを少なくとも部分的に反射することを特徴とする分析装置。
【請求項５】
請求項３または４記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットによる部分的な透過及び／または反射は、前記ビームコンビネーションユニットが部分透過性と部分反射性を交互に示すことにより実行されることを特徴とする分析装置。
【請求項６】
請求項１記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットは、前記励起ビームには少なくとも部分的に反射的であり、前記監視ビームには実質的に不透過である反射断面と、前記監視ビームと前記反射監視ビームには少なくとも部分的、特に主として透過的である透過断面を有する反射／透過ユニットを備えることを特徴とする分析装置。
【請求項７】
請求項１記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットは、前記励起ビームと前記散乱放射には実質的に透過的である透過断面と、前記監視ビームには実質的に反射的である反射断面を有する反射／透過ユニットを備えることを特徴とする分析装置。
【請求項８】
請求項６または７記載の分析装置であって、前記反射／透過ユニットは、前記反射断面が前記励起ビームに、前記透過断面が前記監視ビームに（その逆もまた）交互に位置するよう移動可能あるいは回転可能であることを特徴とする分析装置。
【請求項９】
請求項１乃至８の何れか１項記載の分析装置であって、さらに：
出力ビームを放射する放射源；及び
前記監視ビームと前記励起ビームを前記出力ビームから分離する光分離システム；
を備えることを特徴とする分析装置。
【請求項１０】
請求項１記載の分析装置であって、さらに、
前記励起ビームにより生成されたターゲット領域からの散乱放射を検出する検出システム；
を備え、前記監視システムは共焦点映像顕微鏡と該共焦点映像顕微鏡と共焦点関係にある前記検出システムとを含むことを特徴とする分析装置。
【請求項１１】
請求項１記載の分析装置であって、前記監視システムは、直交偏光スペクトル画像化法、光コヒーランス断層画像化法、光ドップラー断層画像化法、光音響画像化法、多光子顕微鏡法の何れか１つに従うことを特徴とする分析装置。
【請求項１２】
請求項１記載の分析装置であって、前記ビームコンビネーションユニットは音響光学変調器を備えることを特徴とする分析装置。
【請求項１３】
請求項１記載の分析装置であって、前記励起システムは、前記ターゲット領域の縦軸に関して実質的に水平方向に前記励起ビームを走査するよう構成されることを特徴とする分析装置。
【請求項１４】
検査対象のオブジェクトの組成を分析する方法であって：
励起ビームを放射して励起期間中ターゲット領域を励起するステップ；及び
監視ビームを放射して監視期間中前記ターゲット領域を画像化するステップ；
からなる方法であって、前記励起期間と前記監視期間は実質的に重複することを特徴とする方法。
【請求項１５】
血液組成のスペクトル不侵入分析方法であって：
監視期間中、特に共焦点関係にある血管と実質的に一致したターゲット領域を画像化するステップ；
励起期間中励起ビームにより前記ターゲット領域を励起するステップ；及び
前記ターゲット領域の画像化と特に共焦点的に、前記励起ビームにより生成される前記ターゲット領域からの散乱放射を検出するステップ；
からなる方法であって、前記励起期間と前記監視期間は実質的に重複していることを特徴とする方法。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
一般に、考察対象のオブジェクトの組成を調べるために、分光分析装置のような分析装置が利用される。特に、可視光、赤外線あるいは紫外線のような入射電磁放射とオブジェクトの物質との相互作用に基づき、分析装置は分光分解のような分析を行う。
【０００２】
本発明は、分析装置に関し、特に、分光分析装置に関するものである。該分光分析装置は、励起ビーム（ｅｘｂ）を放射し、励起期間の間ターゲット領域を励起する励起システムと、監視ビーム（ｉｒｂ）を放射し、監視期間の間前記ターゲット領域を画像化する監視システムからなる。
【０００３】
このような分析装置は米国特許第６，０６９，６９０号において開示されている。
【０００４】
この既知の分析装置は、レーザ画像化システムと分光分析システムを統合したデュアルモードに関するものであり、半導体ウエハーのような工作物の不具合を観察及び分析するために利用される。この既知の分析装置は、２つの動作モード、すなわち、走査画像化モードと停止走査分光分析モードを備える。走査画像化モードでは、レーザビームとしての監視ビームが放射され、ターゲット領域が画像化される。停止走査モードでは、画像化とは別に励起のためにレーザービームが使用され、分光分析が実行される。
【０００５】
本発明の課題は、考察対象のオブジェクトを構成するターゲットに関する既知の分析装置よりもより信頼性の高い分析を可能にする分析装置を提供することにある。
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明よる分析装置は、励起期間と監視期間が実質的に重複することを特徴とする。
【０００７】
励起期間と監視期間の重複期間において、ターゲット領域の励起と監視が同時にかつ／あるいは交互に実行される。ターゲット領域は励起により画像化されるので、ターゲット領域と励起領域の両方を表示する画像が形成される。この画像に基づいて、励起ビームを高い精度でターゲット領域に照射することができる。この結果、ほとんどターゲット領域のみで励起ビームから散乱放射が生成されるか、あるいは少なくとも励起ビームにより励起される領域にターゲット領域は含まれる。ターゲット領域からの散乱放射が検出され、ターゲット領域の組成が散乱放射から導出される。
【０００８】
特に、本発明による分析装置では、物質の組成を決定するため、ターゲット領域からの散乱放射の分光分析が実行される。この励起ビームには、紫外線、可視光、赤外線などの様々なタイプの電磁放射が利用されうる。励起を通じて、励起領域における物質と励起ビームとの相互作用に関する様々な物理的メカニズムにより散乱放射が生成されうる。散乱放射には、弾性散乱放射、非弾性散乱放射、蛍光や燐光のような他のタイプの放射、多光子励起による散乱や励起ビームにより生成される非線形散乱などが含まれる。例えば、単一あるいは多光子励起によるラマン散乱あるいは蛍光が励起により生成されてもよい。
【０００９】
特に、本発明による分光分析装置は、検査対象の患者の毛細血管中の血液組成に関する生体内検査に効果的に利用される。この適用事例では、ターゲット領域は皮膚表面下約５０〜１５０ μｍにある毛細血管である。この毛細血管は監視システムにより画像化され、励起ビームが高い精度で毛細血管に向けられる。ラマン散乱の励起には、例えば、近赤外線が使用される。このラマン散乱放射が分光分析される。本発明による分光分析装置により得られた生体内ラマンスペクトルは、生体外で得られる血液のラマンスペクトルとほぼ同様の性質、同様のスペクトル分解及び同様のＳＢ比（ｓｉｇｎａｌ−ｔｏ−ｂａｃｋｇｒｏｕｎｄ ｒａｔｉｏ）を有する。
【００１０】
ターゲット領域の監視は様々な方法で実行されうる。好ましくは、監視ビームを使って、ターゲット領域と共にその周囲が照射され、ターゲット領域からの反射監視ビームによりターゲット領域と共にその周囲が画像化される。反射監視ビームは、正反射、拡散反射あるいは後方散乱によりターゲット領域とその周囲から反射されてもよい。また、検査対象のオブジェクトが監視ビームに対しある程度透過である場合、ターゲット領域を介して送られてきた監視ビームがターゲット領域の画像化に利用されてもよい。ターゲット領域を通過してきた励起ビームが、ターゲット領域の画像における励起領域を表示するため、ターゲット領域の画像において画像化されてもよい。
【００１１】
本発明の特徴は付随する請求項に関する実施例を参照することによりさらなる詳細な説明がなされる。
【００１２】
好ましくは、本発明による分析装置は、監視ビームと励起ビームをターゲット領域に向けるビームコンビネーションユニットを備える。ビームコンビネーションユニットは、さらに、反射監視ビームと反射励起ビームの一部を散乱放射と分離する。これにより、散乱放射と反射励起ビームの少なくとも一部を含む反射監視ビームが別々に検出することが可能になる。検出される散乱放射から、ターゲット領域における局所組成に関する情報が得られる。この局所組成は、例えば、小さな領域における分子組成に関するものかもしれない。反射監視ビームは、ターゲット領域の画像化に利用される。反射励起ビームもまた、ターゲット領域の画像化に利用されうる。ターゲット領域の画像は、実際のターゲットと、このターゲットに関する励起が行われた位置が示される。この画像により、励起ビームを正確にターゲットに向けることが容易になる。
【００１３】
本発明による分析装置の例では、ビームコンビネーションユニットは散乱放射の好ましくは実質的に全てを検出システムに反射する。散乱放射のタイプにより、様々な検出システムが利用される。ラマン散乱放射のような非弾性散乱放射を検出するために、ラマン分光計が使用されてもよい。蛍光散乱放射を検出するために、蛍光分光計が使用されてもよい。ビームコンビネーションユニットは、ターゲット領域からの反射監視ビームの好ましくは実質的に全てと反射励起ビームの少なくとも一部とを監視システムに搭載された画像化システムに透過され、ターゲット領域と励起領域を表示する画像を形成する。本発明による分析装置の他の例では、ビームコンビネーションユニットは、ターゲット領域からの反射励起ビームの少なくとも一部と反射監視ビームの好ましくは実質的に全てを反射し、ターゲット領域と励起領域を表示する画像を形成する。この例では、励起ビームによる散乱放射は、好ましくは実質的に全て検出システムに透過される。請求項３及び４に記載された分析装置では、散乱放射は反射監視ビームと反射励起ビームから空間的に分離される。
【００１４】
請求項５乃至８に記載された分析装置では、散乱放射が反射監視ビームと反射励起ビームからリアルタイムで分離される。別々のタイムスロットで、散乱放射は検出システムに、反射監視ビームは画像化システムに透過するので、同一の空間アパーチャーはこれらのビームにより交互にシェアされる。散乱放射、反射監視ビーム、反射励起ビームのような様々なビームにより空間アパーチャーを交互にシェアする本発明による分析装置の好適な実施例では、部分的透過により各ビームの部分反射が交互に行われる。各種ビームに相対的に移動される反射断面と透過断面を有する反射／透過ユニットを動かすというシンプルな方法により、反射と透過が交互に実行される。反射断面と透過断面を各種ビームに対してシフトする回転反射／透過ユニットを使用することが好ましい。
【００１５】
本発明による分析装置の他の好適な実施例では、空間アパーチャーのシェアに関する変形例が利用される。この実施例では、ビームコンビネーションユニットの反射／透過ユニットは、反射断面、好ましくは、励起ビームを励起領域に向ける反射／透過ユニットの中央部の小さな領域を有する。反射断面は反射監視ビームに対し実質的に不透明である。反射／透過ユニットは、透過断面、好ましくは、反射監視ビームを画像化システムに透過する反射断面を包囲する大きな領域を有する。励起ビームは反射断面にフォーカスされ反射される。そして、平行励起ビームとして集光され、ターゲット領域でフォーカスされる。反射断面は（反射）監視ビームに対し不透明であるので、その一部は反射断面により遮られ、画像化システムにより形成された画像に低輝度スポットを発生させる。例えば、反射監視ビームが反射／透過ユニット上を走査するように、監視ビームは反射／透過ユニット上を走査する。画像化システムにより形成された画像は、励起ビームの方向を示す不透明反射断面に対応する低強度スポットを含む。この画像はまた、励起領域とターゲット領域との対応を容易に表すようターゲット領域を示す。
【００１６】
本発明による分析装置の変形例では、励起ビームと散乱放射が透過断面を実質的に透過する。この場合、透過断面は、例えば、反射／透過ユニットの、好ましくはその中央部の、小さな開口として形成される。反射断面は、監視ビームと反射監視ビームを実質的に反射する。反射断面は、例えば、透過断面としての小さな開口の周辺領域として形成される。この開口は画像中で低輝度スポットとして画像化され、励起ビームにより到達される励起領域を示す。
【００１７】
この反射及び透過特性は、波長依存フィルタとリフレクタにより実現される。このフィルタとリフレクタは、詳細な実施例と図面を参照することにより詳細に説明される。例えば、ラマン散乱放射や多光子蛍光のような散乱反射は、励起ビームや監視ビームと異なる波長を有するので、各ビームは分離される。
【００１８】
さらなる好適な実施例において、監視ビームと励起ビームは単一の放射源から導出される。好適には、赤外線レーザや光学レーザを使ってビームが出力され、その出力ビームはその後、ディバイディングプリズム（ｄｉｖｉｄｉｎｇ ｐｒｉｓｍ）や半透明ミラーのようなビームスプリッタにより監視ビームと励起ビームに分離される。この実施例は単一の放射源しか使っていないので、相対的にシンプルで、安価に構成できる。
【００１９】
好ましくは、本発明による分析装置は共焦点映像顕微鏡のような共焦点光学画像化システムからなる監視システムを備える。共焦点レーザ走査映像顕微鏡では、特に良好な結果が得られる。共焦点光学は、監視ビームをターゲット領域の焦点平面にフォーカスし、この焦点平面を画像化システム、特に、画像ピックアップ装置に画像化する。監視システムの共焦点光学により、検査対象のオブジェクトの監視ビームがフォーカスされる領域が、主にあるいはほぼその領域のみの画像化が可能となる。従って、監視ビームの焦点を変えることにより、画像化される領域の選択が可能となり、画像は検査対象オブジェクトの隣接領域による影響をほとんどあるいは全く受けないようにすることができる。本発明によると、散乱放射を受け取る検出システムは、共焦点映像顕微鏡と共焦点関係にある。共焦点検出により、検出装置に達する散乱放射は励起ビームの焦点から主にあるいは実質的に放射される。好ましくは、検出ピンホールが検出装置の前に配置され、励起ビームがターゲット領域にフォーカスされている間、散乱放射がこの検出ピンホール上にフォーカスされる。特に、ファイバエントランス（ｆｉｂｅｒ ｅｎｔｒａｎｃｅ）検出ピンホールとして機能しうる。これより、この好適な実施例による分析装置は、監視ビームと励起ビームをターゲット領域上にフォーカスし、監視ビームの焦点平面の画像を形成し、実質的に励起ビームの焦点平面からのみの散乱放射を検出する。励起ビームと監視ビームの焦点平面が一致するので、散乱放射は検出システムにおいて反射監視ビームにより形成される画像において監視されるターゲット領域から受け取られる。
【００２０】
さらに、共焦点映像顕微鏡は焦点平面の法線方向に沿って、焦点平面の位置を調整することができる。これにより、ターゲット領域の深さが調整される。オブジェクトの深さに関して焦点平面を調整中に、検出システムと共焦点光学画像化システムとの共焦点関係から、検出装置により受け取られた散乱放射はターゲット領域から放射されるよう構成できる。この実施例では、検査対象の人間や動物の皮膚下における毛細血管中の血液の分析に、特に効果的である。
【００２１】
本発明による分析装置のさらなる好適な実施例では、直交偏光スペクトル画像化調整が監視システムにおいて利用される。この実施例では、スペクトルに関し相対的に狭い偏光監視ビームが使用される。監視ビームの偏光方向に関して直交偏光方向にある分析装置を通じて反射監視ビームが画像化される。実質的にマルチプルに拡散された極性解消放射が画像化システムに到達し、実質的に一様なバックグラウンドを形成する。検査対象オブジェクト、特に、スペクトルに関し狭い監視ビームを実質的に吸収するターゲット領域内の領域が画像中の低輝度部分として画像化される。監視システムはまた、ターゲット領域と励起領域が容易に対応するよう同一画像において反射励起ビームを画像化する。直交偏光スペクトル画像化については、血管構造を研究した「Ｏｒｔｈｏｇｏｎａｌ Ｐｏｌａｒｉｓａｔｉｏｎ Ｓｐｅｃｔｒａｌ Ｉｍａｇｉｎｇ： Ａ Ｎｅｗ Ｍｅｔｈｏｄ ｆｏｒ Ｓｔｕｄｙ ｏｆ Ｍｉｃｒｏｃｉｒｃｕｌａｔｉｏｎ」Ｗ． Ｇｒｏｎｅｒ ｅｔ ａｌ． Ｎａｔｕｒｅ Ｍｅｄｉｃｈｉｎｅ ５（１９９９） ｐｐ１２０９−１２１３を参照されたい。
【００２２】
監視システムの他の適当な選択肢としては、例えば、光コヒーレンス断層画像化法（ｏｐｔｉｃａｌ ｃｏｈｅｒｅｎｃｅ ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ ＯＣＴ）、光ドップラー断層画像化法（ｏｐｔｉｃａｌ Ｄｏｐｐｌｅｒ ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ ＯＤＴ）、光音響撮像法（ｐｈｏｔｏ−ａｃｏｕｓｔｉｃ ｉｍａｇｉｎｇ ＰＡＩ）、多光子顕微鏡法（ｍｕｌｔｉｐｈｏｔｏｎ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ ＭＰＭ）などによるものがある。特に、ＯＣＴ、ＯＤＴ及びＰＡＩによるものは、皮膚下数ミリメータまでの深さの血管や他のターゲット領域を監視するのに良好な結果を与える。共焦点画像化と関連して、ＭＰＭによると、３〜５ μｍの詳細が良好に観察できる高い解像度を提供することができる。ＭＰＭによるものは、０．２５ ｍｍまでの深さの詳細の画像化に適している。
【００２３】
さらなる好適な実施例では、光音響変調器がビームコンビネーションユニットに備えられる。この光音響変調器では、各種ビームの回折を発生させる音響波が生成される。進行音響波と定在音響波の両方が使われてもよい。進行音響波は走査監視ビームと組み合わせて利用される。特に、０次回折励起ビームと１次回折監視ビームがターゲット領域に到達する。１次反射監視ビーム、１次回折散乱放射及び１次反射励起ビームが画像化システムを通過する。０次回折散乱放射は検出システムを通過する。
【００２４】
本発明のさらなる好適な実施例による分析装置では、励起ビームがターゲット領域の縦軸を水平に走査する。この実施例は縦軸に沿って細長くなっているターゲット領域を調べるのに特に効果的である。励起ビームがこの細長いターゲット領域を走査するとき、ターゲット領域から少なくとも部分的に散乱放射を受け取る確率かなり高くなる。
【００２５】
本発明のさらなる課題は、生体内の血液組成の分光不侵入分析方法を提供することにある。この課題に対して過去数十年の間になされてきた多くの試みにもかかわらず、これらの試みは不満足な結果に終わっている。これは、生体内の血液のスペクトルに関して適正なＳＢ比が得られないということにある。Ｄｉａｂｅｔｅｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＆ Ｔｈｅｒａｐｅｕｔｉｃｓ， Ｖｏｌ． ２， ｐｐ２１１−２２０， ２０００， Ｌ． Ｈｅｉｎｅｍａｎｎ ｅｔ ａｌにおける不侵入グルコース監視において、「２０年以上の多くの研究、刊行物や発表にもかかわらず、現在までいかなる信頼できるシステムも完成されなかった。」と記述されている。「Ｃａｐｉｌｌａｒｙ Ｂｌｏｏｄ Ｃｅｌｌ Ｖｅｌｏｃｉｔｙ ｉｎ Ｈｕｍａｎ Ｓｋｉｎ Ｃａｐｉｌｌａｒｉｅｓ Ｌｏｃａｔｅｄ Ｐｅｒｐｅｎｄｉｃｕｌａｒｌｙ ｔｏ Ｔｈｅ Ｓｋｉｎ Ｓｕｒｆａｃｅ： Ｍｅａｓｕｒｅｄ ｂｙ Ａ Ｎｅｗ Ｌａｓｅｒ Ｄｏｐｐｌｅｒ Ａｎｅｍｏｍｅｔｅｒ」Ｍ． Ｓｔｕｃｈｅｒ ｅｔ ａｌ． Ｍｉｃｒｏｖａｓｃｕｌａｒ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ５２（１００６）１８８では、血液細胞の速度の測定のみに関する報告がなされ、血液の組成に関しての記述はない。米国特許第５，６１５，６７３号によると、血液と組織に対しラマン顕微鏡法が利用されている。しかしながら、この開示された方法によると、毛細血管と、皮膚表面と毛細血管の間の組織とからラマン散乱放射が検出される。このため、検出されたラマンスペクトルは生体内の血液のスペクトルに関し適切なＳＢ比を備えていない。（当該特許の国際出願ＷＯ９２／１５００８では、ラマン顕微鏡法による組織検査方法が開示されている。）米国特許第５，３７２，１３５号では、微分光吸収スペクトル（ｄｉｆｆｅｒｅｎｔｉａｌ ｏｐｔｉｃａｌ ａｂｓｏｒｐｔｉｏｎ ｓｐｅｃｔｒｕｍ）からの血液分析法が開示されている。「Ａ Ｎｏｎｉｎｖａｓｉｖｅ Ｇｌｕｃｏｓｅ Ｍｏｎｉｔｏｒ： Ｐｒｅｌｉｍｉｎａｒｙ Ｒｅｓｕｌｔｓ ｉｎ Ｒａｂｂｉｔｓ」Ｍａｒｋ Ｓ． Ｂｏｒｃｈｅｒｔ， ｅｔ ａｌ Ｄｉａｂｅｔｅｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ ＆ Ｔｈｅｒａｐｅｕｔｉｃｓ Ｖｏｌ． １（２）， １９９９では、ラマン顕微鏡法のウサギの目への適用事例が提供されている。米国特許第５，５５３，６１６号では、人差し指の皮膚におけるグルコース濃度を調べるため、ラマン散乱強度のニューラルネットワーク判別装置による分析が開示されている。この分析では、生体内の血液のスペクトルに関し、適切なＳＢ比を得ることができない。これは、基準線の正確な検出ができないことによると考えられている。さらに、肉眼による測定から信頼性の高いグルコース血液レベルを得ることは疑問である。このように、従来技術による分析方法では、十分高い信号対雑音比を提供することができない。さらに、サーベイ論文「Ｏｖｅｒｖｉｅｗ ｏｆ Ｎｏｎ−Ｉｎｖａｓｉｖｅ Ｇｌｕｃｏｓｅ Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ Ｕｓｉｎｇ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅｓ ｔｏ Ｍａｉｎｔａｉｎ Ｇｌｕｃｏｓｅ Ｃｏｎｔｒｏｌ ｉｎ Ｄｉａｂｅｔｅｓ Ｍｅｌｌｉｔｕｓ」Ｒ．Ｗ． Ｗａｙｎａｎｔ ｅｔ ａｌ． Ｌｅｏｓ Ｎｅｗｓｌｅｔｔｅｒ Ｖｏｌ． １２（２）， １９９８において、「現���の計測器は実質的な化学及び物理干渉による特異性を欠いている。」と記述されている。
【００２６】
本発明は、これまで求められてきた人間あるいは動物の血液の精度の高い生体内分析を実現することにある。本発明のさらなる課題は、請求項１５に記載された方法により達成される。請求項１５に記載の方法は、生体内の人間の血液中のグルコースの正確な測定に特に適している。好ましくは、励起ビームは赤外線レーザビームであり、散乱放射はラマン散乱赤外線である。
【００２７】
請求項１乃至１３何れか１項記載の分析装置は、請求項１５記載の方法を実行することができる。
【００２８】
本発明の特徴は、以下に述べられる実施例と添付された図面を参照することにより明らかになるだろう。
【００２９】
図１は、本発明による分析システムの概略図である。本発明による分析システムは、考察対象であるオブジェクト（ｏｂｊ）の光学画像を形成する光学画像システム（ｌｓｏ）に光源（ｌｓ）を組み込んだ監視システムを備える。光学画像システム（ｌｓｏ）は共焦点映像顕微鏡（ｃｏｎｆｏｃａｌ ｖｉｄｅｏ ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）を形成する。本実施例では、オブジェクトは考察対象の患者の前腕皮膚の一部である。分析システムはまた、多光子（ｍｕｌｔｉ−ｐｈｏｔｏｎ）あるいは非線形光学処理によりオブジェクト（ｏｂｊ）内に生成された光の分光分析のため、例えば、多光子、非線形、弾性あるいは非弾性散乱光学検出システムを備えていてもよい。図１に示される例は、ラマン分光装置の形態での、非弾性ラマン散乱検出システム（ｄｓｙ）を利用している。光学という用語は、可視光だけでなく、紫外線及び赤外線、特に、近赤外線をも含むものである。
【００３０】
光学画像システム（ｌｓｏ）の光源（ｌｓ）は、考察対象のオブジェクト、すなわち、皮膚への出力電力が１５ ｍＷである８３４ ｎｍＡｌＧａＡｓ半導体レーザにより形成される。８３４ ｎｍ半導体レーザの赤外線監視ビーム（ｉｒｂ）は、出射焦点（ｅｘｉｔ ｆｏｃｕｓ）における光学画像システムにより、オブジェクト（ｏｂｊ）内あるいはオブジェクト上の焦点平面（ｆｏｃａｌ ｐｌａｎｅ）においてフォーカスされる。光学画像システムは、偏光ビームスプリッタ（ｐｂｓ）、回転反射ポリゴン（ｐｇｎ）、レンズ（１１， １２）、走査ミラー（ｓｍｍ）及び顕微鏡対物レンズ（ｍｏ）からなる。フォーカスされた監視ビーム（ｉｒｂ）はポリゴン（ｐｇｎ）を回転させ、走査ミラーを移動させることにより焦点平面上をシフトさせることができる。半導体レーザ（ｌｓ）の出射面は入射焦点（ｅｎｔｒａｎｃｅ ｆｏｃｕｓ）にある。半導体レーザはまた入射焦点における入射孔（ｅｎｔｒａｎｃｅ ｐｉｎｈｏｌｅ）を照射することができる。光学画像システムは、焦点平面から反射された光を戻りビームとして偏光ビームスプリッタ（ｐｂｓ）を介してアバランシェフォトダイオード（ａｐｄ）に導く。さらに、顕微鏡対物レンズ（ｍｏ）は、戻りビームの偏光が監視ビームの偏光に直交するよう１／４λプレートにより先行される。これにより、偏光ビームスプリッタ（ｐｂｓ）は戻りビームと監視ビームを分離することができる。光学表示ユニットは、アバランシェフォトダイオードの出力信号を使って、考察対象のオブジェクト内あるいはオブジェクト上の焦点平面のモニタに表示される画像（ｉｍｇ）を形成する。実際、光学表示ユニットはワークステーションであり、画像はワークステーションのプロセッサによりアバランシェフォトダイオードの出力信号から電子映像信号を導出することにより実現される。この画像は分光解析を監視するために使用され、特に、励起領域がターゲット領域に入り、ターゲット領域から散乱放射を受け取るようなターゲット領域を励起するために利用される。ラマン分光装置（ｏｄｓ）は、この場合、８５０ ｎｍ赤外線ビーム（ｅｘｂ）で励起ビームを生成するＡｒイオン／Ｔｉサファイアレーザとして構成される励起システム（ｅｘｓ）を備える。Ｔｉサファイアレーザは、Ａｒイオンレーザにより光学的に活性化される。Ａｒイオンレーザ光は、光学フィルタ（ｏｆ）により抑制される。ミラーシステムにより、励起ビームは光学カップリングユニット（ｏｃ）に導かれ、光学カップリングユニットにより、励起ビームは監視ビーム（ｉｒｂ）に沿って導かれる。その後、顕微鏡対物レンズにより、励起ビームは監視ビームの焦点領域における焦点平面上にフォーカスされる。光学カップリングユニット（ｏｃ）はビームコンビネーションユニットとして機能する。光学カップリングユニットにより、顕微鏡対物レンズの光主軸、すなわち、監視ビームと同一光路に沿って、励起ビームは導かれる。ターゲット領域からのラマン散乱放射は、光学カップリングユニット（ｏｃ）によりファイバ（ｆｂｒ）の入口へ反射される。ラマン散乱赤外光は、ファイバエントランス（ｆｉｂｅｒ ｅｎｔｒａｎｃｅ）（ｆｂｒ−ｉ）の前の顕微鏡対物レンズ（ｍｏ）とレンズ（１３）により検出孔のファイバ入口にフォーカスされる。ファイバエントランスはそれ自身検出孔として機能する。半導体レーザのある入射焦点、考察対象オブジェクト（ｏｂｊ）の詳細領域における出射焦点、及びファイバエントランス（ｆｂｒ−ｉ）の検出孔との共焦点関係が、光学画像システムによって確立される。ファイバ（ｆｂｒ）はＣＣＤ検出器（ＣＣＤ）を備える分光計（ｓｐｍ）の入力に接続される。ＣＣＤ検出器を備えた分光計は、約１０５０ ｎｍ以下の波長に対するラマン分光を記録する検出システム（ｄｓｙ）に組み込まれる。ＣＣＤ検出器を備える分光計の出力信号は、ラマン散乱赤外光のラマン分光を表す。実際、このラマン分光は、励起波長に依存して７３０ ｎｍあるいは８６０ ｎｍ以上の波長領域で生じる。ＣＣＤ検出器の信号出力は、例えば、モニタに記録されたラマン分光（ｓｐｃｔ）を表示するワークステーションのような分光表示ユニット（ｓｐｄ）に接続される。
【００３１】
実際、光学表示ユニットとスペクトル表示ユニットの機能は、同様のワークステーションにより実行されうる。モニタの表示スクリーンの個々のパーツ（ウィンドウ）が光学画像とラマンスペクトルの同時表示のため使用される。
【００３２】
図２は、本発明による分析システムにおいて使用される光学カップリングシステムのより詳細な図である。光学カップリングユニット（ｏｃ）は、部分反射プレート（ｇｐ２）及び補正プレート（ｇｐ１）を備える。この部分反射プレート及び補正プレートは、例えば、厚さ１．５ ｍｍのガラス板からなり、このガラス板が、監視ビーム及び励起ビームの平面に（好ましくは、垂直に）水平方向にそして互いに垂直に配置されている。顕微鏡対物レンズ側のガラスプレート（ｇｐ２）には、７２０〜７４０ ｎｍ及び８６０〜１０５０ ｎｍの波長領域に対して０．８０の反射率の酸化表面コーティング（ｏｘ）された光学フィルタコーティングがなされている。ガラスプレート（ｇｐ２）は、ラマン散乱光と監視ビームとを分離するビームスプリッタの形態による光学選択フィルタとして機能する。ガラスプレート（ｇｐ２）は、実質的に減衰なく監視ビームの赤外光を送信するが、監視ビームは屈折により若干シフトする。補正プレート（ｇｐ１）は、監視ビームを補正シフトし、補正された監視ビームはアバランシェフォトダイオード（ａｐｄ）に正確にフォーカスされる。オブジェクト（ｏｂｊ）から部分的に反射された励起ビームはまた、光学カップリングユニット（ｏｃ）によりある程度まで送信され、反射された励起ビームはそれがオブジェクトに入射した光学画像（ｉｍｇ）のスポット（ｓｐｔ）を示すのに利用されうる。
【００３３】
反射防止層（ａｒ）が補正プレートの両側に備えられる。この反射防止層は、監視ビームがほとんど反射されないように、８３４ ｎｍに対し０．０１５以下の反射率を有する。
【００３４】
表１に示されるように、（両方向の偏光方向に対して）透過及び反射特性を備えるフィルタコーティングにより良好な結果が得られた。表１には、様々な波長範囲に対する適切な透過及び反射係数がリストされている。
【００３５】
【表１】
2004518125.tif 000003
このような光学フィルタコーティングにより、励起ビームはターゲット領域に対して良好に反射される。監視ビームはほとんど減衰することなく、散乱放射は検出システムに効果的に接続される。
【００３６】
表２は２つの波長に対する反射防止コーティングの適切な反射率を示している。
【００３７】
【表２】
2004518125.tif 000004
図３及び図４は、光学フィルタに関して与えられた他の光学カップリングシステ
ムを示す。光学フィルタは、２つのプレートｇｐ１とｇｐ２（ｇｐ１はビーム位置シフト補正を実行し、ｇｐ２はローパスフィルタＦである。）。ｇｐ２のもう一方の側とｇｐ１の両側は反射防止コーティング（ＡＲ）されることが好ましい。入射ビームに関しては：
監視ビーム（ｉｒｂ）は、ｐとｓの両偏光方向に対してＴ ＞ ９０％である２つのフィルタプレート（１， ２）を透過する。ラマン励起ビーム（ｅｘｂ）は、例えば、Ｒ〜８５％のプレートｇｐ２において反射する。戻りビームに関して、弾性散乱ラマン励起ビームのほとんどはＦによりラマン分光器と検出器方向に反射され、戻りビームの一部が監視システムの共焦点映像顕微鏡方向に透過され、画像中に可視スポットとして現れる。非弾性散乱ラマン光（λＲ ＞λ２）がＦにおいて（好ましくは、Ｒ＝１００％）検出システム方向に反射される。図４に示されるように、プレートｇｐ１とｇｐ２は、プレート１におけるラマン励起ビームの入口で交換されてもよい。フィルタは共焦点映像顕微鏡とラマン励起ビームの入口が交換されるよう構成されてもよく、このときフィルタＦはハイパスフィルタである（ｇｐ１はビーム位置シフト補正を実行し、ｇｐ２はハイパスフィルタＦである。）。ｇｐ２のもう一方の側とｇｐ１の両側は反射防止コーティング（ＡＲ）されうる。
【００３８】
どちらの方法でもビームシフト補正プレートは取り除くことができるが、その場合対物レンズは光軸に関してシフトされる必要がある。
【００３９】
図５は、ビームスプリットプリズムセットの形でのビームコンビネーションユニットのシンプルな実施例を示す。監視ビーム（λ１）、ラマン励起ビーム（λ２）、弾性散乱ラマンビーム（λ２Ｓ）及び非弾性散乱ラマン光（λＲａｍａｎ）のうち約５０％がビームスプリッタＢＳにより透過され、残り５０％が反射される。このようにして、集められた約５０％のλ２ＳとλＲａｍａｎは、共焦点映像顕微鏡（ｌｓｏ）に達し、画像上に可視スポットが生成される。反射防止コーティングＡＲが任意に選べる。
【００４０】
図６は、ビームコンビネーションユニットのさらなるシンプルな実施例を示す。この実施例では、２つの同一の対物レンズ（Ｏ１とＯ２）が利用される。監視ビームλ１とラマン励起ビームλ２が皮膚の同一のスポットにフォーカスされる。ラマン励起ビームλ２の一部は弾性散乱され、Ｏ１により収集され、共焦点顕微鏡により検出される。これにより画像上に可視スポットが生成される。対物レンズは深さ走査中に同時に移動した方がよい。
【００４１】
図７及び図８は、本発明による分析装置の他のビームコンビネーションユニットを示す。図７及び図８に示されるビームコンビネーションユニットは、一時的にアパーチャーをシェアすることにより動作する。監視ビーム（λ１）とラマン励起ビーム（λ２）は反射パターンによりコーティングされた回転ホイール（ｒｔｗ）の形で反射／透過ユニット（Ｒ／ｔ−ｕ）において結合されている。図７は回転ホイール（ｒｔｗ）の側面図であり、図８は回転ホイールの前面図である。回転の期間中、ビームは反射断面を形成する反射層（ｒｆｓ）にぶつかる。この期間においては、励起ビームλ２はサンプルに反射される一方、ターゲット領域は画像化されず、弾性散乱ラマン励起ビーム（１２Ｓ）と非弾性散乱ラマン光（λＲａｍａｎ）は反射され、ラマン分光計（ｓｐｍ）に戻る。回転の他の期間中、λ１とλ２は透過断面を形成するシンプルな開口（ａｐｔ）のような反射コーティングにおける透過開口を通じて透過され、この場合ラマン信号は生成されない。監視ビームλ１はサンプル上を透過し、戻りで再び透過し、画像の一部が形成される。回転中のある瞬間において、λ１とλ２の２つのビームの一部が（スポットｓｐｔ１として示される）開口を透過し、また一部はコーティングにより反射される。このとき、λ２ＳとλＲａｍａｎの一部は開口を透過し、画像上に可視スポットが形成される。
【００４２】
図９ａ及び図９ｂはビームコンビネーションユニットにおいて利用される反射／透過ユニットのさらなる例を示す。これらの反射／透過ユニットは「一時的な開口シェア」と同様の動作に基づき動作する。
【００４３】
監視ビーム（λ１）とラマン励起ビーム（λ２）はより高い反射物質とより低い反射物質のパターンでコーティングされた回転ホイールにおいて結合される。このパターンにおけるより高い反射性を有する部分が反射断面を形成し、より低い反射性を有する部分が透過断面を形成する。回転期間中、ビームはパターンの高反射部分にぶつかる。励起ビームλ２は大部分（例えば、９０％）がサンプル上で反射され、弾性散乱ラマン励起ビーム（λ２Ｓ）と非弾性散乱ラマン光（１Ｒａｍａｎ）は主として（例えば、９０％）反射され、ラマン分光計（ｓｐｍ）に戻る。弾性散乱ラマン励起ビーム（λ２Ｓ）と非弾性散乱ラマン光（１Ｒａｍａｎ）の一部（例えば、１０％）が透過し、共焦点映像顕微鏡に達する。これにより、画像中に可視スポットが形成される。回転の他の期間では、λ１とλ２は主に透過する。低ラマン信号である反射監視ビームλ１はサンプル上で透過し、戻りで再度透過する。これにより画像形成に寄与する。任意のＡＲコーティングが補正プレートの両側あるいはホイールの後方に使用される。図９ａ及び図９ｂの例では、パターン高低反射性、Ｒ１／Ｒ２比及び回転周波数は可変とされる。
【００４４】
図１０はビームコンビネーションユニットの他の例を示し、図１１は図１０のビームコンビネーションユニットに搭載された反射／透過ユニットの直線Ｉ−Ｉ’に関する断面を示す。ラマン励起ビームと監視ビームはスポット反射装置で結合され、ラマン励起ビーム（λ２）は反射断面（ｒｆｓ）を形成する小さな反射ドットにフォーカスされ、反射され、サンプルに達する。弾性散乱ラマン励起ビーム（λ２Ｓ）とラマン光（λＲａｍａｎ）は同じドットで反射され、ラマン分光器に達する。監視ビーム（λ１）はレンズＬ１によりフォーカスされる。レンズＬ１、Ｌ２及びＬ３は同様の構成でそれらの焦点平面の中央部が一致するよう配置される。走査中、監視ビーム（λ１）はその期間の大部分反射／透過ユニットの透過断面（ｔｒｓ）を透過し、画像が形成される。監視ビームが反射ドットにぶつかると、サンプルのラマンスポットの位置を示す暗いスポットが画像上に生じる。このドットの反射率が１００％未満（例えば、９０％）であれば、λ２ＳとλＲａｍａｎの対応する部分は共焦点映像顕微鏡に達し、画像の暗いスポットの上部（あるいは内部）に明るいスポットが形成される。このとき、λ２のスイッチを（例えば、シャッターによって）切り替えることにより、λ１との配置を確認することができる。ビーム結合要素であるスポット反射装置とレンズＬの表面に任意にＡＲコーティングを行うことにより、スポット反射装置とレンズＬは１つの要素に結合されてもよい。図１０及び図１１に示される例は、シンプルな構成のビームコンビネーションユニットを提供する。
【００４５】
図１２は音響光学変調器を備えるビームコンビネーションユニットの他の例を示す。監視ビーム（λ１）とラマン励起ビーム（λ２）が音響光学変調器により結合される。０次回折ビームλ２がサンプルに達し、弾性及び非弾性（ラマン）散乱光（それぞれλ２ｓとλＲａｍａｎ）を生成する。０次回折ビームλ２ＳとλＲａｍａｎはラマン検出器に達する。０次回折ビームλ２ＳとλＲａｍａｎの一部は共焦点映像顕微鏡方向に開設され、画像中に可視スポットが形成される。ＡＯＭを透過した音響波の周波数は、（若干異なる波長のλ１の）１次回折λ１ビームが０次回折λ２ビームに平行になるよう選ばれる。サンプルからの戻りで、（波長λ１の）１次回折λ１ビームはもとのλ１ビームと同一の光路に沿って進行し、共焦点映像顕微鏡に達する。
【００４６】
図１３は光分離システムを備えた本発明による分析装置の一例を示す。（λ１）におけるレーザは共焦点画像化と同時にラマン励起のために使用される放射源を形成する。（例えば２０〜８０％の）ビームスプリッタ（ＢＳ１）により形成された光分離システムにより、ビームは２つに分離される。一方は共焦点画像化のため、もう一方はラマン励起のため利用される。監視ビームは偏光ビームスプリッタ（ＰＢＳ）により線形偏光される。共焦点映像顕微鏡における走査ビーム光路は、画像形成のためθ−φミラーによりｘ−ｙ平面上で偏向される。レンズＬ１とＬ２はビームの拡張に利用され、レンズＬ２は顕微鏡対物レンズ（ｍｏ）の入射瞳（ｅｎｔｒａｎｃｅ ｐｕｐｉｌ）におけるθ−φミラーの中央部の画像化に利用される。このようにして、θ−φミラーの反射レーザ光は、θ−φミラーの実際のθ−φ位置と無関係に、常に同じ位置で対物レンズに入射する。線形偏光された監視ビーム（λ１）は、１／４波長板（１／４λ）による循環偏光光に変換される。ラマン励起ビームはハイパスフィルタＨＰＦにおいて反射され、ミラーＭ１及びＭ２と反射ビームスプリッタ（ＢＳ２）を介して対物レンズに向けられる。戻り光路において、オブジェクトからの反射光は、入射ビームの偏光方向に関して９０°シフトされて再度線形偏光光に変換される。反射ビームスプリッタＢＳ２の透過光（一部は監視ビームで、一部は弾性散乱ラマン光）は偏光ビームスプリッタＰＢＳによりＡＰＤ検出器方向に偏向され、画像及びその中にスポットを形成する。オブジェクトからの弾性及び非弾性散乱ラマン光はＢＳ２において反射される。非弾性散乱ラマン光（λＲ）は、ハイパスフィルタＨＰＦを透過し、ラマン検出パスに向けられる。ビームスプリッタＢＳ２は図７及び図８に示されたスポット反射装置により換えられてもよい。
【００４７】
図１４は監視システムが直交偏光スペクトル画像化に従う本発明による分析装置のさらなる実施例を示す。本実施例では、ＯＰＳＩによる画像化とラマン分光法による画像化が結合されている。直交偏光スペクトル画像化（ＯＰＳＩ）に対しては、光源が特定の波長帯で使用される。このために、白色光源が帯域通過フィルタ（λ−Ｆｔｒ）によりフィルタされる。その光は偏光子（Ｐ）により線形偏光される。偏光された光は対物レンズ（Ｏｂｊ）によりオブジェクトにフォーカスされる。その反射光は直交偏光方向でアナライザを通じて検出される。これは、濁りを有するオブジェクト深くのマルチプルな（拡散された）散乱光から生じる偏光解消された光のみが検出されるということを意味する。この光子の後方散乱により、ＣＣＤ検出器（図１のＣＣＤを参照）において画像中のある強度の均一な輝度を与える「逆光照明」が生成される。（皮膚の毛細血管のような）浅いオブジェクトにおける（部分的な）吸収に応じた波長（λ−Ｆｔｒ）の適切な選択によって、これらのオブジェクトは明るい背景において（吸収を通じて）対照的に暗く見える。ラマン励起ビームは、フィルタや他のビームコンビネーションユニットを使った共焦点画像化と同様な方法で、ＯＰＳＩ画像に連結されうる。ＯＰＳＩはそのコンパクトさと安いコストにおいて特に効果的である。
【００４８】
図１５は励起ビームがターゲット領域をその縦軸に対して実質的に水平方向に走査する本発明による分析装置のさらなる実施例を示す。共焦点映像顕微鏡における走査監視ビーム光路は、別々のミラーθとφによりｘ−ｙ平面において偏向され、画像が形成される。ラマン励起ビームはφミラーから偏向され、画像中に直線を形成する。この細長い励起領域は、画像（ｌｅｘｃ）中に表示され、毛細血管のようなオブジェクトのターゲット領域に水平方向に延びる。これにより、画像の中の対象領域におけるオブジェクトの動きに影響を受けないようにすることができるという効果がある。ローパスフィルタを介して、反射監視ビームとラマン励起ビームの一部が透過し、検出器において画像が形成される。非弾性散乱ラマン光はＬＰＦフィルタにおいて反射され、スプリッタを介して検出され、ＣＣＤ検出器上に２つの次元に関する空間情報を含む直線を形成する。
【００４９】
図１６は本発明の第２実施例による分析システムを示す。図１６に示された実施例では、多光子蛍光装置の形態による多光子あるいは非線形光検出システムが利用される。２色性ビームスプリッタ（ｄｂｓ）は、検査対象のオブジェクト内で励起ビームにより生成された多光子蛍光光を透過する。このような２色性ビームスプリッタは、異なる波長と異なる色の光を分離する。分析システムはまた、複屈折ビームスプリッタの後ろに配置された折り返しミラー（ｆｍ）を備える。図１６に示された位置で、多光子蛍光光は光検出器（２ｐｄ）に導かれる。光検出器はワークステーション（ｓｐｄ）に接続される。ワークステーション（ｓｐｄ）のプロセッサは、光検出器の出力信号から電子映像信号を導出する。ＣＣＤ検出器が使用されるとき、出力信号は電子映像信号として使用されうる。この電子映像信号はモニタ上に表示される多光子蛍光画像を表している。折り返しミラーはまた、多光子蛍光スペクトルを記録するため多光子蛍光光が分光計（ｓｐｍ）を透過するよう光路から取り除かれてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】
図１は本発明による分析システムを示す。
【図２】
図２は本発明による分析システムにおいて利用される光学カップリングシステムの形態によるビームコンビネーションユニットを詳細に示す。
【図３】
図３は光学フィルタに関して表された他の光学カップリングシステムを示す。
【図４】
図４は光学フィルタに関して表された他の光学カップリングシステムを示す。
【図５】
図５はビームコンビネーションユニットのシンプルな実施例を示す。
【図６】
図６はビームコンビネーションユニットの他のシンプルな実施例を示す。
【図７】
図７は本発明による分析装置のビームコンビネーションユニットのさらなる実施例を示す。
【図８】
図８は本発明による分析装置のビームコンビネーションユニットのさらなる実施例を示す。
【図９ａ】
図９ａはビームコンビネーションユニットにおいて使われる反射／透過ユニットのさらなる実施例を示す。
【図９ｂ】
図９ｂはビームコンビネーションユニットにおいて使われる反射／透過ユニットのさらなる実施例を示す。
【図１０】
図１０はビームコンビネーションユニットの他のシンプルな実施例を示す。
【図１１】
図１１は図１０のビームコンビネーションユニットに搭載された反射／透過ユニットの断面図である。
【図１２】
図１２は音響光学変調器を備えたビームコンビネーションユニットの他の実施例を示す。
【図１３】
図１３は本発明による光分離システムを備えた分析装置を示す。
【図１４】
図１４は監視システムが直交偏光スペクトル画像化法に従う本発明による分析装置を示す。
【図１５】
図１５は励起ビームがターゲット領域をその縦軸に関して実質的に水平方向に走査する本発明による分析装置を示す。
【図１６】
図１６は本発明の第２実施例による分析システムを示す。
【図１】
2004518125.tif 000005
【図３】
2004518125.tif 000006
【図４】
2004518125.tif 000007
【図１３】
2004518125.tif 000008
【図１４】
2004518125.tif 000009
【図１５】
2004518125.tif 000010
【図１６】
2004518125.tif 000011
【国際公開パンフレット】
2004518125.tif 000012
2004518125.tif 000013
2004518125.tif 000014
2004518125.tif 000015
2004518125.tif 000016
2004518125.tif 000017
2004518125.tif 000018
2004518125.tif 000019
2004518125.tif 000020
2004518125.tif 000021
2004518125.tif 000022
2004518125.tif 000023
2004518125.tif 000024
2004518125.tif 000025
2004518125.tif 000026
2004518125.tif 000027
2004518125.tif 000028
2004518125.tif 000029
2004518125.tif 000030
2004518125.tif 000031
2004518125.tif 000032
2004518125.tif 000033
2004518125.tif 000034
2004518125.tif 000035
2004518125.tif 000036
2004518125.tif 000037
2004518125.tif 000038
2004518125.tif 000039
2004518125.tif 000040
2004518125.tif 000041
2004518125.tif 000042
2004518125.tif 000043
2004518125.tif 000044
2004518125.tif 000045
【国際調査報告】
2004518125.tif 000046
2004518125.tif 000047
2004518125.tif 000048