(57)【要約】本発明は、殊に光学的なデータ担体の形成のための少なくとも２つのサブストレート（３，４）の接合の方法及び装置に関し、簡単かつ経済的な形式でサブストレートの均一な接合を可能にするために、本発明に基づき、サブストレートが互いに離間して、互いに相対して位置しかつ互いに相対的に運動可能な２つのプレート（３４，３８）間に配置され、かつフレキシブルなダイヤフラムに結合された少なくとも１つのプレート（１６）が、ダイヤフラムの相対する側に圧力差を生ぜしめることによって運動させられるようになっている。
2004516941.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも２つのサブストレートの接合のための方法、殊に光学的なデータ担体の形成のための方法であって、互いに相対して位置していてかつ互いに相対的に運動可能な２つのプレート間にサブストレートを互いに離間して配置するものにおいて、フレキシブルなダイヤフラムに結合された少なくとも１つのプレートが、ダイヤフラムの相対する側に圧力差を生ぜしめることによって運動させられることを特徴とする、サブストレートの接合のための方法。
【請求項２】
１つの壁が少なくとも部分的にダイヤフラムによって形成されていてプレートを受容した第１のチャンバー内に負圧を作用させる請求項１記載の方法。
【請求項３】
ダイヤフラムの、プレートと逆の側に位置する第２のチャンバー内に負圧を作用させる請求項１又は２記載の方法。
【請求項４】
サブストレートの接合の前に、第２のチャンバー内の圧力を第１のチャンバー内の圧力よりも低く保つ請求項２及び３記載の方法。
【請求項５】
第２のチャンバー内の圧力をサブストレートの接合のために周囲圧力にするのに対して、第１のチャンバー内の圧力を負圧に保つ請求項４記載の方法。
【請求項６】
第１のチャンバーにサブストレートの接合の後に圧力を作用させる請求項１から５のいずれか１項記載の方法。
【請求項７】
サブストレートをサブストレートの接合の前に、サブストレートの内部孔内へ入り込むセンタリングピンによって離間した状態に保つ請求項１から６のいずれか１項記載の方法。
【請求項８】
少なくとも２つのサブストレートの接合のための装置、殊に光学的なデータ担体の形成のための装置であって、サブストレートの接合のための互いに相対して位置しかつ互いに相対的に運動可能な２つのプレートを備えている形式のものにおいて、プレートのうちの少なくとも１つがフレキシブルなダイヤフラムに結合されており、ダイヤフラムの相対する側に圧力差を生ぜしめるための装置が設けられていることを特徴とする、サブストレートの接合のための装置。
【請求項９】
ダイヤフラムの第１の側にほぼ密閉された第１のチャンバーが設けられている請求項８記載の装置。
【請求項１０】
ダイヤフラムの第２の側にほぼ密閉された第２のチャンバーが設けられている請求項８又は９記載の装置。
【請求項１１】
少なくとも１つの負圧源を設けてあり、該負圧源が第１及び／又は第２のチャンバーに接続可能である請求項９又は１０記載の装置。
【請求項１２】
少なくとも１つの圧力源を設けてあり、該圧力源が第１及び／又は第２のチャンバーに接続可能である請求項９から１１のいずれか１項記載の装置。
【請求項１３】
プレートが互いに一緒にチャンバーのうちの１つのチャンバー内に配置されている請求項９から１２のいずれか１項記載の装置。
【請求項１４】
ダイヤフラムの、プレートと逆の側に、ダイヤフラム及びプレートの運動を１つの方向で制限するために対応ホルダーが設けられている請求項１３記載の装置。
【請求項１５】
プレートがほぼ水平に配置されている請求項８から１４のいずれか１項記載の装置。
【請求項１６】
ダイヤフラムに取り付けられたプレートが、別のプレートの上方に配置されている請求項８から１５のいずれか１項記載の装置。
【請求項１７】
プレートのうちの１つにセンタリングピンを設けてあり、該センタリングピンがサブストレートの内部孔内へ入り込み可能である請求項８から１６のいずれか１項記載の装置。
【請求項１８】
センタリングピンがサブストレートを、サブストレートの接合の前に互いに離間していてかつ互いにほぼ平行に保っている請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
プレートが緊締装置によって互いに離して緊締されている請求項８から１８のいずれか１項記載の装置。
【請求項２０】
緊締装置が少なくとも１つのばねを有している請求項１９記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本発明は、少なくとも２つのサブストレートの接合のため、殊に光学的なデータ担体の形成のための方法及び装置であって、サブストレートが、相対して位置しかつ互いに相対的に運動可能な２つのプレート間に互いに離間して配置される形式ものに関する。
【０００２】
前記形式の装置が、ドイツ連邦共和国特許出願第１９９２７５１６．５号明細書に記載してある。該装置においては、まず両面接着式の接着フィルムが第１のサブストレートに装着される。次いで該サブストレートが接着フィルムを上向きにして第１のプレート上に載せられる。第１のプレートにセンタリングピンを設けてあり、センタリングピンがサブストレートの内部孔内に差し込まれて、該サブストレートをセンタリングする。次いで第２のサブストレートが前記第１のサブストレート上に位置決めされ、センタリングピンに設けられた適当な突起によって該第１のサブストレートの上方に該第１のサブストレートに対して平行に離間して保たれる。次いで、サブストレートの回りに閉じたチャンバーが形成され、該チャンバー内に負圧が生ぜしめられる。所望の圧力が達成されると、チャンバー内の加圧ラムが下方へ運動させられて、両方のサブストレートが互いに圧着されて接着される。圧着に加えて、サブストレート間の接着フィルムが適切に硬化される。
【０００３】
前記装置においては問題点として、両方のサブストレートを均一に接合するために、支持プレートと加圧ラムとが互いに平面平行にされねばならず、このことは装置を複雑にかつコスト高にすることになる。
【０００４】
本発明の課題は、前述の公知技術から出発して、サブストレートの均一な接合を簡単かつ経済的に可能とする方法及び装置を提供することである。
【０００５】
前記課題を解決するために本発明の方法では、プレートのうちの少なくとも１つがフレキシブルなダイヤフラムに結合されていて、ダイヤフラムの両側に圧力差を生ぜしめることによって運動させられる。プレートのうちの１つをフレキシブルなダイヤフラムに取り付けることによって、プレートの浮遊支承が達成され、これによって両方のプレートが互いに良好にかつ一様に適合される。その結果、サブストレートの均一な圧着が保証される。さらに、ダイヤフラムの両側に比較的小さな圧力差を生ぜしめることによって、高い圧着力が得られる。
【０００６】
本発明の有利な実施態様では、圧力差が、プレートを取り囲む第１のチャンバー内に負圧を作用させることによって生ぜしめられ、該チャンバーの１つの壁が少なくとも部分的にダイヤフラムによって形成されている。プレートを取り囲む第１のチャンバー内に負圧を作用させることによって、一面では必要な圧力差が得られ、かつ他面ではサブストレートの接合が負圧条件下で行われ、このことはサブストレート間の空気封入のリスクを著しく減少させる。
【０００７】
有利にはダイヤフラムの、プレートと反対側にある第２のチャンバー内に負圧が作用させられ、これによって、ダイヤフラム及び該ダイヤフラムに取り付けられたプレートが、まず別のプレートに対して離間して保持される。この場合、サブストレートの接合の前には第２のチャンバー内の圧力が第１のチャンバー内の圧力よりも低く保たれて、プレートが早期にコントロールされることなく互いに接近する方向に運動してしまうことを防止する。本発明の有利な実施態様では、第２のチャンバー内の圧力がサブストレートの接合のために周囲圧力にされるのに対して、第１のチャンバー内の圧力が負圧に保たれる。第２のチャンバー内の圧力がコントロールして周囲圧力に移されてよく、これによって両方のサブストレートの互いに接近運動が制御され、サブストレートの均一な接合が保証される。
【０００８】
サブストレートの接合の後に第１のチャンバーに、有利には圧力が作用させられて、プレートが互いに分離される。第１のチャンバー内の圧力はさらに、サブストレート間にある接着フィルムを硬化させる。
【０００９】
本発明の特に有利な実施態様では、サブストレートがサブストレートの接合の前に、サブストレートの内部孔内へ入り込むセンタリングピンによって、互いに離間した状態に保持され、その結果、サブストレートのセンタリングが達成され、かつサブストレートのコントロールされることのない不都合な接合が避けられる。
【００１０】
前記課題を解決するために本発明に基づく構成では、プレートのうちの少なくとも１つがフレキシブルなダイヤフラムに結合されており、ダイヤフラムの相対する側に圧力差を生ぜしめるための装置が設けられている。プレートのうちの少なくとも１つをフレキシブルなダイヤフラムに結合することによって、すでに述べてあるように利点として、プレートが浮遊式に支承され、従って別のプレートへの良好な適合が可能である。さらに、ダイヤフラムの両側に小さい圧力差を生ぜしめることによって高い圧着力が得られ、それというのは差圧力がプレート及びダイヤフラムから成る比較的大きな面に作用するからである。
【００１１】
有利には、ダイヤフラムの第１の側にほぼ密閉された第１のチャンバーが形成されており、ダイヤフラムの両側に圧力差が生ぜしめられる。本発明の有利な実施態様では、ダイヤフラムの第２の側にほぼ密閉された第２のチャンバーが設けられており、これによって圧力差の良好な制御が保証される。
【００１２】
有利には、少なくとも１つの負圧源を設けてあり、該負圧源が第１及び／又は第２のチャンバーに接続可能である。負圧源は、所望の圧力差を生ぜしめ、かつ負圧環境内でのサブストレートの接合を可能にするものであり、これによってサブストレート間の空気封入が避けられる。
【００１３】
さらに本発明の有利な実施態様では、少なくとも１つの圧力源を設けてあり、該圧力源が、所望の圧力差を生ぜしめるため、若しくはサブストレートをサブストレートの接合の後に圧力雰囲気内に保持しかつサブストレート間の接着材を硬化させるために、第１及び／又は第２のチャンバーに接続可能である。
【００１４】
有利には、プレートが互いに一緒に１つのチャンバー内に配置されている。ダイヤフラム及び該ダイヤフラムに取り付けられたプレートの、別のプレートから離れる方向での運動を制限するために、ダイヤフラムの、プレートと逆の側に対応ホルダーが設けられていると有利である。このような運動制限によって、ダイヤフラムの寿命が著しく長くなり、それというのは変位が実質的に１つの方向でしか行われないからである。
【００１５】
ダイヤフラムの均一で良好な負荷並びにプレート相互の良好な適合のために、プレートが有利にはほぼ水平に配置されている。この場合、ダイヤフラムに取り付けられたプレートが別のプレートの上方に配置されていると有利である。このようは配置は、ダイヤフラムに取り付けられた１つのプレートが例えば回転割り出しテーブルに設けられた別の複数のプレートと協働することを可能にする。これによって、コストの削減と共に装置の処理能力の増大が達成される。さらに同一のダイヤフラムの使用によって、連続的に一様な処理結果が得られる。本発明の有利な実施態様では、ダイヤフラムが弾性的な部材、特にばねによって上方へ対応ホルダーに向けて緊締されている。
【００１６】
有利には、プレートのうちの１つにセンタリングピンを設けてあり、該センタリングピンが、サブストレートの接合の際にサブストレートをセンタリングするために、サブストレートの内部孔内へ入り込み可能である。
【００１７】
本発明に基づく方法及び装置は、特に光学式の記録媒体、例えばＣＤ若しくはＤＶＤ等に適している。このような記録媒体は、データ担体の形成のために２つのサブストレートを互いに接着してなるものである。複数のサブストレートを前述の形式で接合することも可能である。本発明に基づく方法及び装置は、サブストレートの接合の前に両面接着性の接着フィルムをサブストレートの１つに装着する装置と組み合わせて用いられると有利であり、該装置は例えばドイツ連邦共和国特許出願第１９９２７５１６．５号明細書に記載してある。
【００１８】
次に本発明を図示の実施例に基づき詳細に説明する：
図１は、サブストレートの接合のための装置をサブストレートの接合の前の状態で断面した概略図であり、
図２は、図１の装置をサブストレートの接合中の状態で断面した概略図であり、
図３は、図１の装置内に用いられたセンタリングピンの概略図であり、
図４は、サブストレートの接合のための装置の別の実施例の概略図である。
【００１９】
図１は、内部孔を有する２つのサブストレート３，４の接合のための装置１を示しており、サブストレートが例えばＣＤ、ＤＶＤ若しくは別の情報担体を形成している。図１は装置をサブストレート３，４間の接合の前の状態で示している。サブストレート３，４間の接合に際してサブストレートの接着を保証するために、図１に示してあるようにサブストレート４上に、二面接着性の接着フィルム（ａｄｈａｅｓｉｖｅ ｆｉｌｍ）の形状の接着材５が装着されている。二面接着性の接着フィルム並びに該接着フィルムの装着のための装置は、例えばドイツ連邦共和国特許出願第１９９２７５１６．５号明細書に記載してあるので、該装置の説明は重複を避けるために省略してある。
【００２０】
装置１がケーシング７を有しており、ケーシングが相対して運動可能な２つのケーシング半部９，１０によって形成されており、ケーシング半部（ケーシング部分）がほぼＵ字形の横断面を有している。両方のケーシング半部９，１０は、互いに接近運動させられた状態でケーシング半部間にチャンバー１２を形成している。チャンバー１２が両方のケーシング半部９，１０間の分離箇所１４で周囲に対して密閉されている。
【００２１】
図１で下側のケーシング半部を成すケーシング半部１０内に、プラスチックから成るフレキシブルなダイヤフラム１６を設けてあり、該ダイヤフラムが完全にケーシング半部１０全体にわたって張設されていて、従ってケーシング半部９，１０間のチャンバー１２を上側のチャンバー半部１８と下側のチャンバー半部１９とに分割している。ダイヤフラム１６は別の適当な材料、例えばメタルから成っていてよい。下側のチャンバー半部１９が負圧源２２、例えば真空ポンプ、並びにケーシング半部１０の適当な管路２３を介して負圧を生ぜしめられるようになっている。同様に、上側のチャンバー半部１８が負圧源２６、並びにケーシング半部９の適当な管路２７を介して負圧を生ぜしめられるようになっている。上側のチャンバー半部１８はさらに圧力源、例えばポンプ３０、並びにケーシング半部９の適当な管路３１を介して圧力を生ぜしめられるようになっている。負圧源並びに圧力源の機能については後で詳細に述べる。
【００２２】
ダイヤフラム１６の、上側のチャンバー半部１８の側にプレート３４を適切な形式で取り付けてあり、従ってプレート３４がフレキシブルなダイヤフラム１６によって運動可能である。例えば１つの実施例ではプレート３４はダイヤフラム１６に接着されていてよく、若しくはプレート３４と締め付けリング（図示せず）とがダイヤフラム１６を該プレートと締め付けリングとの間に締め込んで（挟み込んで）いてよい。プレート３４にセンタリングピン３６を設けてあり、該センタリングピン（ｃｅｎｔｅｒｉｎｇ ｐｉｎ）は図３にさらに詳細に示してある。
【００２３】
上側のケーシング半部９に別のプレート３８をプレート３４と相対するように設けてあり、該別の、即ち上側のプレート３８が中央開口４０を備えており、該中央開口内にセンタリングピン３６が、図２に示してあるように、下側のプレート３４を上側のプレート３８に向けて運動させることによって入り込むようになっている。
【００２４】
プレート３４，３８はサブストレートに適合された幾何学形状を有している。図１ではプレート３８は別個の構成部分として形成されており、該構成部分がケーシング半部に取り付けられている。もちろん、該プレートもケーシング半部９と一体的に形成されていてよく、若しくはケーシング半部９の内壁が下側のプレート３４のための対応面として若しくはプレートとして用いられてよく、これによってプレート３８のような付加的なプレートが省略される。
【００２５】
下側のチャンバー半部１９内に対応ホルダー４２を設けてあり、該対応ホルダー（支持手段）がほぼプレート３４の下側に配置されている。対向ホルダーがダイヤフラム１６及び上側のプレート３４の下向きの運動を制限しており、従ってダイヤフラム１６が実質的に上方へしか変位させられず、このことはダイヤフラムの寿命を長くすることになる。もちろん２つの対向ホルダーを設ける代わりに、有利には中央に配置された１つの対応ホルダー４２だけしか設けられなくてもよい。対応ホルダーは次のように配置されていてよく、即ち対応ホルダーがダイヤフラム１６の、プレート３４によって覆われていない領域とオーバーラップして、該領域でダイヤフラム１６に作用する力を受け止めるようになっていてよい。
【００２６】
図３に関連して、センタリングピン３６の構造を説明する。センタリングピンの構造の詳細は、例えばドイツ連邦共和国特許出願第１９９２７５１４．９号明細書に記載してある。センタリングピン３６は上向きに開いた中空室４５を有しており、該中空室が側方を環状の側壁４７によってかつ下方をピン３６の底部４８によって制限（画成）されている。側壁４７の外周がサブストレート３，４の内部孔の形状に適合されており、特にピンが下側の領域に正確に研削された外周を有していて、両方のサブストレート３，４の相互の良好なセンタリング及び案内を保証している。側壁４７が上側の端部を面取りされて、上方へ先細のテーパー４９を形成している。テーパー４９がピン３６の差し込みに際してサブストレートのセンタリング及び案内を可能にする。
【００２７】
ピン３６の側壁４７に運動可能な複数の突起５０が取り付けられており、このうちの２つが図３に示してある。有利な実施例では４つの突起５０が設けられている。突起５０はピン３６の側壁４７に旋回可能に取り付けられていて、図１に示す位置と図２に示す位置との間での運動を可能にしている。
【００２８】
突起５０が圧縮ばね５２によってピン３６から半径方向外側へ図３に示す位置へプレロード（予圧又は予荷重）されていて、該ばねプレロード力に抗して図２に示す位置へ旋回可能である。ピン３６の中空室４５内に円錐体５３を設けてあり、該円錐体（コーン［ｃｏｎｅ］）が上方に向かって先細になっていて、中空室４５内を運動可能である。円錐体５３がばね５５によって上方へ図３に示す位置にプレロードされている。
【００２９】
圧縮ばね５２が一方の端部で円錐体５３に支えられ、かつ他方の端部で突起５０に支えられていて、該突起を外側へ押圧している。ばね５２は、円錐体５３をばね５５のプレロードに抗して下方へ押圧した場合に、該円錐体の円錐面に沿って滑動して、外側へ向けられたプレロード力を変化させる。
【００３０】
突起５０がまっすぐな外面を有しており、該外面に沿ってサブストレートが滑動して、サブストレートの正確な案内が行われる。第１のサブストレート４が該サブストレートに施された接着層５と一緒に図３に示す位置へ運動させられ、次いで第２のサブストレート３が突起５０上に載せられる。突起５０が半径方向外側へプレロードされていることによって、突起はサブストレート３を第１のサブストレート４から離間された位置に保持する。突起５０のまっすぐな外面によって、サブストレート３がサブストレート４に対して平行に保たれる。サブストレート３がサブストレート４に向けて押圧されると、突起５０がばね５２のプレロードに抗して内側へ押圧され、これによってサブストレート３がサブストレート４に向かって運動できる。該運動に際してサブストレート３が、サブストレート４に対して正確にセンタリングされ、かつ平行に保たれて案内される。
【００３１】
図示のセンタリングピンにおいては、サブストレートがサブストレートの相互の接合の前には突起によって互いに離間して保持される。このような離間した保持は別の実施例では、半径方向外側へプレロードされた球体、ばねリング、ピン若しくは類似の装置によって行われてよく、該球体、ばねリング、ピン若しくは類似の装置がサブストレートを相互の接合の前には互いに離間してかつ互いにほぼ平行に保つ。
【００３２】
以下に図１及び図２に沿って本発明に基づく装置１の運転について詳細に述べる。装置１内への装着のために、ケーシング半部９，１０が互いに離されて、操作装置によってサブストレート４，３がプレート３４若しくはセンタリングピン３６上に載せられる。この場合、サブストレート４が接着材層５を上側にして直接にプレート３４に載せられる。次いでサブストレート３がセンタリングピン３６の突起５０に載せられて、サブストレート３，４が互いに離間されかつ互いに平行に保たれる。
【００３３】
次いでケーシング半部９，１０が図１に示す位置へ運動させられてまとめられ、その結果、上側のチャンバー１８が周囲に対して密閉される。この場合、上側のプレート３８がサブストレート３の上方を向いた面と係合するようになるものの、サブストレート３，４は引き続きセンタリングピン３６によって互いに離間して保たれている。次いで真空ポンプ２２及び管路２３を介して下側のチャンバー１９内に負圧が生ぜしめられる。同時に若しくは次いで、真空ポンプ２６及び管路２７を介して上側のチャンバー１８内にも負圧が生ぜしめられる。この場合、下側のチャンバー１９内の圧力が上側のチャンバー１８内の圧力よりも小さくされており、その結果、ダイヤフラムが対応ホルダー４２に向けて引っ張られる。上側のチャンバー１８内に所定の圧力が達成され、サブストレート間の空気封入が防止されると、下側のチャンバー１９内の圧力が制御して周囲圧力まで高められる。この場合に両方のチャンバー１８，１９間に生じる圧力差及び上側のチャンバー１８内の低い圧力によって、ダイヤフラム１６が該ダイヤフラムに取り付けられたプレート３４と一緒に上方へ上側のプレート３８に向けて図２に示す位置へ運動させられる。該位置でサブストレート３，４が互いに均一に圧着される。プレート３４のこのような浮遊支承によって、上側のプレート３８へのプレート３４の良好な適合が生ぜしめられ、その結果、サブストレート全体にわたって均一な圧着力が生ぜしめられる。
【００３４】
次いで、上側のチャンバー内の負圧が同じく周囲圧力まで高められ、その結果、ダイヤフラム１６がプレート３６と一緒に再び下方へ運動させられる。互いに接合された両方のサブストレートがプレート３４と一緒に運動して、プレート３８から外される。ダイヤフラム１６が対応ホルダー４２に当接して、対応ホルダーがダイヤフラムの下方へのたわみを防止する。
【００３５】
今や上側のチャンバー１８内の圧力がポンプ３０及び管路３１を介して過圧にされて、サブストレート３，４間にある接着材５のボンディング若しくは硬化過程を加速する。別の実施例として接着材が別の方法、例えばＵＶ−照射若しくは類似の手段によって装置１内で硬化されてよい。もちろん接着材は別個の硬化ステーションで硬化されてよい。
【００３６】
前述のように接合されたサブストレート３，４の取り出しのために、両方のケーシング半部９，１０が互いに離反運動させられて、サブストレートの取り出しのための適当な操作装置のアクセスを可能にする。
【００３７】
図４に本発明の別の実施例が示してある。図４は、内部孔を有する２つのサブストレート１０３，１０４間の接合のための装置１００を示しており、該サブストレートが第１の実施例と同じように例えばＣＤ、ＤＶＤ若しくは別の情報担体を形成する。サブストレート１０３，１０４間の接合に際して該サブストレートの接着を保証するために、サブストレート１０４上に二面接着性の接着フィルムの形状の接着材５が装着されている。
【００３８】
装置１００がケーシング１０７を有しており、該ケーシングが相対して運動可能な２つのケーシング半部１０９，１１０によって形成されており、該ケーシング半部が第１の実施例と同じくほぼＵ字形の横断面を有している。両方のケーシング半部１０９，１１０は、互いに接近運動させられた状態でケーシング半部間にチャンバー１２を形成しており、該チャンバーが両方のケーシング半部１０９，１１０間の分離箇所１４で周囲に対して密閉されている。
【００３９】
上側のケーシング半部１０９内に、フレキシブルなダイヤフラム１１６を設けてあり、該ダイヤフラムが完全にケーシング半部１０９の内側領域全体にわたって張設されていて、従ってケーシング半部１０９，１１０間のチャンバー１２を上側のチャンバー半部１１８と下側のチャンバー半部１１９とに分割している。
【００４０】
上側のチャンバー半部１１８が負圧源１２２、例えば真空ポンプ、並びに上側のケーシング半部１０９の適当な管路１２３を介して負圧を生ぜしめられるようになっている。同様に、下側のチャンバー半部１１９が負圧源２６、並びに上側のケーシング半部１０９の適当な管路２７を介して負圧を生ぜしめられるようになっている。上側のチャンバー半部１１８はさらに圧力源、例えばポンプ３０、並びに上側のケーシング半部１０９の適当な管路１３１を介して圧力を生ぜしめられるようになっている。
【００４１】
ダイヤフラム１６の、下側のチャンバー半部１１９の側にプレート１３４を適切な形式で取り付けてあり、従ってプレート３４がフレキシブルなダイヤフラム１６と一緒に運動可能である。
【００４２】
下側のケーシング半部１１０に別のプレート１３８をプレート１３４と相対するように設けてあり、該別の、即ち下側のプレート１３８にセンタリングピン１３６が取り付けられている。センタリングピン１３６は第１の実施例のセンタリングピン３６と同じ構造を有している。ダイヤフラム１１６に取り付けられたプレート１３４が中央開口１４０を備えており、該中央開口内にセンタリングピン１３６が、上側のプレート１３４を下側のプレート１３８に向けて運動させることによって入り込むようになっている。
【００４３】
上側のチャンバー１１８内に対応ホルダー１４２を設けて、ダイヤフラム１１６及び該ダイヤフラムに取り付けられたプレート１３４の上向き、即ちチャンバー１１８内への運動を制限するようになっている。
【００４４】
上側のケーシング半部１０９とダイヤフラム１１６との間を延びるばね１４４によって、ダイヤフラム１１６が対応ホルダー１４２に向けて緊締されている。ばね１４４の力が、チャンバー１１８，１１９内の圧力の互いに同じである場合に該ばねによってダイヤフラム１１６を対応ホルダー１４２に向けて引っ張り、ダイヤフラム１１６及びプレート１３４を図４の位置に保持するように規定されている。もちろん別の緊締装置によってプレートを互いに離して緊締することも可能である。
【００４５】
図４の装置１００の運転は、第１の実施例の運転とほぼ同じであるものの、図４の実施例では、サブストレート１０３，１０４のコントロールされることのない接合を避けるために、まず上側のチャンバー１１８内に負圧が生ぜしめられ、次いで下側のチャンバー１１９内に負圧が生ぜしめられる。
【００４６】
図４に示す実施例においては図１の実施例に対する相違点として、ダイヤフラムに取り付けられたプレートが、ケーシングに不動に取り付けられたプレートの上方に配置されている。さらに真空ポンプ１２２，１２６並びに圧力ポンプ１３０に接続される管路１２３，１２７，１３１がすべて上側のケーシング半部１０９に設けられている。即ち下側のケーシング半部１１０には、ポンプ若しくは真空ポンプに接続すべきいかなる管路も形成されていない。
【００４７】
下側のケーシング半部１１０が簡単かつ安価に回転割り出しテーブルの一部分として形成されてよく、回転割り出しテーブルが下側の複数のケーシング半部を備えている。上側のケーシング半部１０９が下側の複数のケーシング半部のために利用されてよく、これによって装置の処理能力が高められ、それというのはサブストレートの装填及び取り出しが上側のケーシング半部１０９の領域の外側で行われ得るからである。
【００４８】
プレート１３４，１３８は、図示してないものの、サブストレート１０３，１０４に向いた適当な表面構造、例えば溝を備えていてよく、該溝を介して例えば空気圧がサブストレートの圧着のためにサブストレートに作用せしめられる。サブストレートに圧縮空気を直接に作用させてサブストレートの圧着を可能にするこの種の表面構造は、前記ドイツ連邦共和国特許出願第１９９２７５１６．５号明細書に記載してあるものであるので、表面構造の詳細は省略してある。
【００４９】
本発明は図示の実施例に限定されるものではなく、種々の変更が可能である。図４に示す実施例において、下側のケーシング半部１１０を扁平に形成するのに対して、上側のケーシング半部の断面Ｕ字形状の脚部（側壁）を延長することも可能である。１つのチャンバーだけを設けて、ダイヤフラムの両側に圧力差を生ぜしめることも可能である。プレート及びサブストレートを受容するチャンバーは、負圧で負荷されるだけでも十分である。チャンバー内に所定の圧力を形成する前にサブストレートがコントロールされることなく接合されてしまうことを避けるために、ダイヤフラムが例えばばね、電磁石若しくはそのたの保持装置によって、プレートを互いに離間する位置に保たれるようになっていてよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】
サブストレートの接合のための装置の、サブストレートの接合の前の状態での概略的な断面図。
【図２】
図１の装置の、サブストレートの接合中の状態での概略的な断面図。
【図３】
図１の装置内に用いられたセンタリングピンの概略図。
【図４】
サブストレートの接合のための装置の別の実施例の概略的な断面図。
【符号の説明】
１  装置、  ３，４  サブストレート、  ５  接着材、  ９，１０  ケーシング半部、  １２  チャンバー、  １４  分離箇所、  １６  ダイヤフラム、  １８，１９  チャンバー半部、  ２２  負圧源、  ２３  管路、  ２６  負圧源、  ２７  管路、  ３０  ポンプ、  ３１  管路、  ３４  プレート、  ３６  センタリングピン、  ３８  プレート、  ４０  中央開口、  ４２  対応ホルダー、  ４５  中空室、  ４７  側壁、  ４８  底部、  ５０  突起、  ５２  圧縮ばね、  ５３  円錐体、  ５５  ばね
【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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