(57)【要約】拡散孔を利用したジルコニア酸素センサーで、その穴は、グリーンセラミックに有機繊維または有機要素を挿入し、焼成して繊維又は要素を破壊し、その場所に穴を残すことにより作られる。センサーのパッケージが記載されており、このパッケージでは、電気的接続のためのワイヤー／柱が、センサーと発熱体と断熱材をしっかりと支えるための檻を形成し、かつ電気ソケットに差し込まれる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
（i）セラミック粉末と結合剤の密接な混合物からグリーンセラミック構造を形成し、その構造は前記セラミック構造の片面からもう一方へ直線または非直線の経路で通っている少なくとも一つの有機繊維または他の有機要素を内蔵し、（ii）前記グリーンセラミック構造を高温で焼成して、セラミックを硬化させると共に前記結合剤と前記有機繊維または他の繊維要素を破壊する、ことにより成る焼成セラミックの拡散孔の形成方法。
【請求項２】
前記有機繊維または他の有機要素が均一な断面を持つ請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記有機繊維または他の有機要素が不均一な断面を持つ請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記結合剤が水溶性または水膨潤性のポリマーである前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項５】
繊維が用いられた所での、焼成後の前記孔の直径が１０ミクロンより大きい、前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項６】
繊維が用いられた所での、焼成後の前記孔の直径が２５から２００ミクロンの範囲である、前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項７】
前記グリーン構造が１０００℃を超える温度で焼成される、前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項８】
前記セラミックが酸素イオン伝導体である、前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項９】
前記酸素イオン伝導体は、３または２価の金属酸化物で安定化された４価の金属酸化物である、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記４価の金属酸化物が二酸化ジルコニウムである、請求項９記載の方法。
【請求項１１】
前記４価の金属酸化物が二酸化セリウムである、請求項９記載の方法。
【請求項１２】
前記４価の金属酸化物が二酸化ハフニウムである、請求項９記載の方法。
【請求項１３】
前記３価の金属酸化物がイットリアである、請求項９から１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記酸素イオン伝導体がイットリアで安定化された二酸化ジルコニウムである、請求項８記載の方法。
【請求項１５】
前記セラミックがジルコニアである、請求項１から９のいずれかに記載の方法。
【請求項１６】
前記ジルコニアがイットリア安定化立方晶ジルコニアである、請求項１４または１５に記載の方法。
【請求項１７】
前記酸素イオン伝導性セラミックの結晶構造が立方晶である、前記いずれかの請求項に記載の方法。
【請求項１８】
内部空間を取り囲むエンドキャップを有する中空のシリンダーを備えたセンサーであって、前記シリンダーの一端は少なくともその内壁面に置かれた多孔質の電極を持つ酸素イオン伝導性セラミックのディスクより成るセンサー要素であり、前記シリンダーは請求項１から１７のいずれかに記載の方法によりその構造内に形成された少なくとも一つの拡散孔があるセラミックで形成された構造の少なくとも一部を有し、前記酸素イオン伝導性セラミックのディスクを加熱することができる電気発熱体を備えて成るセンサー。
【請求項１９】
少なくとも二つの内部空間を取り囲むエンドキャップ及び中間キャップを有する中空のシリンダーを備えたセンサーであって、前記シリンダーは、請求項１から１７のいずれかに記載の方法によりその構造内に形成された一つ以上の孔を持つセラミックで形成された構造の少なくも一部を有し、前記シリンダーの一端は、それぞれの面に多孔質の電極を持つ酸素イオン伝導性ディスクより成るセンサー要素であり、前記酸素イオン伝導性ディスクを加熱することができる電気発熱体を備えて成るセンサー。
【請求項２０】
前記シリンダーは、その端または側面を通過する拡散孔を持つ酸素イオン伝導性セラミックで形成されている、請求項１８または１９のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２１】
前記ディスクが円形、長方形、正方形または楕円形である、請求項１８から２０のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２２】
前記シリンダーが円形、長方形、正方形または楕円形の断面を持つ、請求項１８から２１のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２３】
前記電極が多孔質のプラチナまたは多孔質のプラチナ／酸素イオン伝導体サーメットから作られる、請求項１８から２２のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２４】
前記サーメットの酸素イオン伝導体が、前記センサー要素の電解質を形成するためにグリーンセラミックに使われたものと同じ組成である、請求項２３記載のセンサー。
【請求項２５】
前記発熱体は前記酸素イオン伝導性セラミックのディスクに接触、内蔵または隣接した抵抗線から作られ、電流はプラチナまたは他の金属線を用いて前記発熱体に供給される、請求項１８から２４のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２６】
前記発熱体が、電流を運ぶための金属膜がプリントされ、前記酸素イオン伝導体セラミックのディスクまたは前記センサー要素に接触または隣接している、円形または正方形のセラミックディスクである、請求項１８から２５のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２７】
前記発熱体が、電流を運ぶために金属膜がプリントされ、前記センサー要素に接触または隣接している、円形または正方形のアルミナディスクである、請求項１８から２５のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２８】
二つの発熱体があって前記センサー要素の両側にサンドイッチ構造を形成し、該発熱体が直列または並列に接続されている、請求項１８から２７のいずれかに記載のセンサー。
【請求項２９】
電圧がOICセラミックのディスクのそれぞれの面に置かれた多孔質の電極に印加され、該電極間に流れる電流が監視可能である、請求項１８から２８のいずれかに記載のセンサー。
【請求項３０】
定電流がOICセラミックディスクをそのそれぞれの面の多孔質の電極を介して通過可能であり、電圧が監視可能である、請求項１８から２８のいずれかに記載のセンサー。
【請求項３１】
OICセラミックディスク上の電極は開回路上にあり、電圧が前記電極の間で測定される、請求項１８から２８のいずれかに記載のセンサー。
【請求項３２】
（i）センサー要素を、支持板を貫通し該支持板に固定された、いくつかの電気的に絶縁された導電性ワイヤー／柱を持つ前記支持板の上または隣接して配置し、該ワイヤー／柱を前記センサー要素よりも直径が大きい実質的に円形に配置し、該ワイヤー／柱により形成された前記円の中に前記センサー要素を配置し、（ii）前記ワイヤー／柱を、前記センサー要素をつかむために前記センサー要素の側面を通過させ、（iii）前記ワイヤー／柱を電極と発熱体の電気接点に接続すること、より成るセンサー要素を組み込んでいるセンサーの製造方法。
【請求項３３】
センサー要素を、支持板を貫通し該支持板に非円形に固定されたいくつかの電気的に絶縁された導電性のワイヤー／柱を有する前記支持板の上または隣接して配置し、該ワイヤー／柱を、前記センサー要素を組み込むために使われた前記支持板の片面で、前記センサー要素の寸法よりも直径が大きい実質的に円形に曲げ、該ワイヤー／柱により形成された前記円の中に前記センサー要素を配置し、（ii）前記ワイヤー／柱を、前記センサー要素をつかむために前記センサー要素の側面を通過させ、（iii）前記ワイヤー／柱を電極と発熱体の電気接点に接続すること、より成るセンサー要素を組み込んでいるセンサーの製造方法。
【請求項３４】
前記センサー要素が前記支持板の上または隣接した断熱材の上に配置され、前記センサー要素に接触、隣接、またはその一部を形成している少なくとも一つの発熱体がある、請求項３２記載のセンサーの製造方法。
【請求項３５】
前記センサー要素が断熱材の上に配置され、前記センサー要素に接触、隣接、またはその一部を形成している少なくとも一つの発熱体がある、請求項３３記載のセンサーの製造方法。
【請求項３６】
前記センサー要素が挿入される前記ワイヤー／柱の円形の直径は、それぞれのワイヤーを適切に曲げ、それから断熱材と発熱体と前記センサー要素とを適宜挿入することにより変更される、請求項３４記載のセンサーの製造方法。
【請求項３７】
前記断熱材は同一のまたは異なる厚さのディスクの層内に加えられ、それぞれのディスクは均一の厚さのシートからカットされる、請求項３４から３６のいずれかに記載のセンサーの製造方法。
【請求項３８】
前記センサーと発熱体に適応させるために断熱材の前記ディスクに穴が適宜カットされる、請求項３２から３７のいずれかに記載のセンサーの製造方法。
【請求項３９】
前記センサー及び発熱体を前記ワイヤー／柱に接続するワイヤーは、断熱材のディスクの個々の層の間を通る、請求項３２から３８のいずれかに記載のセンサーの製造方法。
【請求項４０】
前記センサー要素の側面を通る前記ワイヤー／柱は、前記センサー要素をつかむために端で曲げられる、請求項３２から３９のいずれかに記載のセンサーの製造方法。
【請求項４１】
前記センサー要素が円筒形または平面形のセンサー要素である、請求項３２から４０のいずれかに記載のセンサーの製造方法。
【請求項４２】
請求項３２から４１のいずれかに記載の方法により作られたセンサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハフニア、ジルコニア、及びセリアを含む酸素イオン伝導性セラミックに基づくセンサーに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ここで、OICは酸素イオン伝導体の略称として用いられる。OICの好適なタイプは、正方晶、部分安定化または立方晶の結晶構造のようなジルコニアである。好適な結晶構造のタイプは立方晶である。ジルコニアは、イットリア、エルビア、ガドリニア、カルシア、マグネシア、その他のさまざまな３または４価の酸化物で安定化された結晶構造の二酸化ジルコニウム（４価の）の総称である。好適な安定剤はイットリアである。これらのセンサーは通常、ジルコニアセンサーと呼ばれる。しかしながら、ここでは、他の４価の酸化物をOICに用いたセンサーも含む。ジルコニアセンサーは、酸素、二酸化炭素、水蒸気などの検出に使われる。
【０００３】
ジルコニアは高温時（＞３００℃）に酸素イオン伝導体であり、その伝導性は温度が上がるにつれて増加する。それゆえに、プラチナのような多孔質電子伝導性電極をセラミックのディスクの２つの面に適用し、電極の間に電圧をかけると、電流フローと酸素は電気化学的にジルコニアに送り込まれ（アンペロメトリックモード）、また、もしディスクのそれぞれの電極で異なる酸素分圧の気体と接触すると、そのシステムは濃淡電池となり、ネルンスト起電力が２つの電極の間で生じる（ポテンショメトリックモード）。
【０００４】
アンペロメトリック（２つの電極）ジルコニアセンサーは、固体電気化学デバイスで、主に混合気体の酸素の測定のために開発、使用される。水蒸気や二酸化炭素の測定の利用に拡張した研究が報告されている。センサーに一対の電極をさらに追加することによって、ゲージを介して分析の目的で追加情報を供給する間、アンペロメトリックモードで、それをまだ使用できるポンプゲージデバイスとして操作できる。
【０００５】
アンペロメトリックジルコニアセンサーは通常、ひとつの囲まれた内部空間を持っており、それ故にシングルチャンバーデバイスと呼ばれる。いくつかのジルコニアセンサーは、お互いと、そして、穴を介して外部環境と接続されているかもしれない、２つの囲まれた内部空間を持っており、ダブルチャンバーデバイスと呼ばれる。第２のチャンバーを含むことは更なる利点を与え、本発明は、１つ、２つまたはそれ以上のチャンバーを持つセンサーを含む。
【０００６】
厚膜アンペロメトリック酸素センサーは、イットリア安定化ジルコニアの粉末から作られたインクを使い構成される。その構造は、基板にプリントされた電極（陰極）、ジルコニア、電極（陽極）の層から成る。ジルコニアは、拡散障壁（多孔質性の長所による）と電解質の二役の機能をする。これらのセンサーは、アンペロメトリックセンサー特有の特徴を表す。センサーのための準備技術は高温、たとえば約１４５０℃と、高い作動温度、たとえば約７００℃を含む。
【０００７】
ジルコニアセンサーの一種は両端が閉じた中空のシリンダーより成り、一端はジルコニアのディスクより成り、そのディスクは両面にガス透過性の電極を持つ。シリンダーは、中空のシリンダーの内部空間と周囲の気体をつなぐ構造の中に拡散孔を持つ。
【０００８】
使用時、センサーは加熱され、適切な極性で電位差は一組の電極によってディスクを通して加えられる。酸素を含んだ気体が拡散孔を通って入るときに流れる電流が、センサーの周囲の気体の中の酸素濃度の尺度である。
【０００９】
従来のセンサーはグリーン（すなわち未焼成）ジルコニアセラミック（結合剤入りのジルコニア粉末の密接な混合物から成る）から形成するセンサーにより作られる。たとえば、グリーンジルコニアセラミックのディスク及びリングを組み立てて所望の形状に形成し、電極に電気的接続を形成するためのたとえばプラチナのワイヤーを挿入し、グリーンジルコニアセラミック上に電極を印刷、塗布またはその他の方法で形成し、拡散孔を形成するためにグリーンジルコニアセラミック内に金属ワイヤーを挿入してから取り除き、そしてその構造を焼成する。
【００１０】
形成された穴は、ワイヤーの引き抜きとその後の穴の周りの物質の弛緩の両方の悪影響を受け、不明確で、はっきりしない穴が生じることがある。これは、センサーごとに結果の精度と再現性に影響を与える。
【発明の開示】
【００１１】
我々は、拡散孔の形成方法の改良を創案した。それはまた、単純または複雑な形状の穴の設計を可能にする。
本発明によれば、セラミック粉末と結合剤の密接な混合物からグリーンセラミック構造を形成し、それは通常ポリマーで、その構造は、均一または不均一な断面で、セラミック構造の片面からもう一方へ直線または非直線の経路で通っている、有機繊維または他の有機要素を内蔵し、グリーンセラミック構造を高温で焼成することで、セラミックを焼結すると共に結合剤と有機繊維または有機要素を破壊する、ことより成る、焼成セラミックの拡散孔の形成方法が与えられる。
【００１２】
好適なセラミックは、ハフニア、ジルコニアまたはセリアのようなOICである。
有機要素が均一な円断面の１本又は複数の繊維であるセンサーにとって、焼成後の穴の直径は、１０ミクロン以上が望ましく、さらに望ましくは２５から２００ミクロンの範囲で、繊維のサイズは適宜選ばれる。ジルコニアセラミックにおいては、通常、焼成で約２０％の線形のサイズの収縮があり、これは、グリーンセラミック及び使用される繊維または他の有機要素の寸法に対して許容される。
【００１３】
繊維は、気化、炭化、燃焼のうちの１つまたはそれ以上によって、あるいは、有機繊維を破壊して取り除く他の何らかの方法によって、破壊可能である。
グリーンセラミックは、ポリマー及びその溶剤のような結合剤とジルコニア粉末との密接な混合物を形成し、それでシートまたはテープを形成するというような、従来の手法で形成可能である。望ましくは、ポリマーは水溶性または水膨潤性で、溶剤は水であること。この材質のディスクとリングは、そのようなテープから単純な鋼工具を使い、容易に打ち抜かれる。
【００１４】
グリーンの構造は従来型の炉で焼成され、ハードセラミック材になり、一般的に温度は１０００℃以上、例えば１４５０℃が使われる。この温度に熱する過程の間に、結合剤と有機繊維は気化、またはそうでなければ破壊される。
【００１５】
本発明はまた、一端の少なくとも一部がジルコニアのような酸素イオン伝導性セラミックのディスクで形成された中空のシリンダーを備えるセンサーを提供し、そのディスクは両側にガス透過性の電極を持つ。そして、何らかのエンドキャップを含む上記シリンダーは、上述の方法により、それを貫通して形成された少なくとも一つの拡散孔をもつセラミックで形成された、その構造の少なくとも一部を持っている。拡散孔は、中空のシリンダーの内部空間と周囲の外気を接続している。
【００１６】
望ましくは、シリンダーはジルコニアのような酸素イオン伝導性セラミックで形成される。すなわち、シリンダーの壁と端が、シリンダーの端または側面を通過する拡散孔を持つジルコニアのような酸素イオン伝導性セラミックで形成される。
【００１７】
酸素イオンセラミックのディスクはいかなる形にもできる。例えば、円形、長方形、正方形、楕円形などである。
シリンダーは通常、円断面を持っているであろうが、この断面はいかなる形にもできる。例えば、長方形、正方形、楕円形などである。
【００１８】
望ましくは、少なくともシリンダーの内側の電極は、酸素が電極を通して三相界面（電極‐ガス‐電解質（電解質は、例えばジルコニアのようなOIC））に拡散可能なように、多孔質である。望ましくは、電極は多孔質のプラチナまたは多孔質のプラチナサーメットで作られており、このサーメット内のセラミックは望ましくは電解質に使われたのと同じ組成である。
【００１９】
センサーは、また、望ましい作動温度（例えば３５０℃‐８００℃）にセンサーの温度を上げるための発熱体を含む。発熱体は、セラミックディスクに接触、内蔵または隣接した抵抗線から作られ、電流はプラチナまたは他の金属線を用いて発熱体に供給される。望ましくは、発熱体は基板の表面で金属層の形で、電流はプラチナまたは他の金属線を用いて発熱体に供給される。
【００２０】
発熱体のための好適な構造は、円形または正方形のディスクで、アルミナで作られ、電流を運ぶために金属膜が付けられ、センサー要素構造に接触または隣接する。さらに望ましくは、二つの発熱体があり、センサーの両側にサンドイッチ構造を形成すると、この配置はセンサーに、より均一な加熱を与える。金属膜のための好適な金属はプラチナで、基板に金属膜を付けるための好適なプロセスはスクリーン印刷である。発熱体は、直列または並列に接続されている。もしそれらが並列ならば、一つの発熱体が故障しても、なお加熱し続ける。
【００２１】
使用時、電極間に流れる電流を観察可能であり、これは酸素濃度の尺度として使われる。あるいは、定電流をディスクに通過させて、その電圧を観測することも可能であり、また、ディスク上の電極を開回路上に設け、その電極間で電圧を測定することも可能である。
【００２２】
本発明は、また、センサー要素の組み込まれているセンサーの製造方法を提供するものであり、この方法は、（i）センサー要素を、支持板を貫通して該支持板に固定された、いくつかの電気的に絶縁された導電性ワイヤー／柱を持つ上記支持板上に設置し、ワイヤー／柱をセンサー要素よりも直径が大きい実質的に円形に配置し、ワイヤー／柱により作られた上記円の中にセンサー要素を配置し、（ii）センサー要素をつかむために、ワイヤー／柱をセンサー要素の側面を通過させ、（iii）ワイヤー／柱を電極と発熱体のための電気接点に接続する、ことより成る。
【００２３】
円筒形、平面形、または他の何らかの形状のセンサー要素が組み込まれているセンサーの好適な製造方法は、支持板を貫通して該支持板に固定された、いくつかの電気的に絶縁された導電性のワイヤー／柱を有する上記支持板上の適当な場所に、センサー要素に加えて発熱体及び断熱材を設置することより成る。ワイヤー／柱は、センサー要素の直径よりも大きな直径の実質的に円形に配置し、ワイヤー／柱がセンサー要素をつかむためにセンサー要素の側面を通り、電極と発熱要素のための接点に接続されるように、ワイヤー／柱で形成された上記円の中に上記円筒形または平面形のセンサー要素（適当な場所に発熱体と断熱材を含んでいる）を配置する。ワイヤー／柱は通常、その後、センサー要素をつかんで保持するよう、一端が曲げられる。この場合、断熱材が使われる場所では、通常、断熱材の層が支持板とセンサー要素との間、または支持板とセンサー要素／発熱体の結合体との間に配置される。
【００２４】
さらなる好適実施例では、電気的に絶縁された導電性のワイヤー／柱が支持板を実質的に円配置で貫通する。それらは、放射状に外側（または内側）に直角に曲げられ、そして、さらにワイヤー／柱に沿った地点で、導電性ワイヤー／柱が再び、お互い基本的に平行で、支持板に直角であるが、今は実質的に、ワイヤー／柱が支持板を横切る地点の直径よりも大きい（または小さい）円配置（センサー要素の直径よりも大きい）であるようにもう一度曲げられる。センサーと発熱体と断熱材は、上記の支持板とワイヤー／柱の間の領域に取り入れられる。この場合、センサー要素と発熱体と断熱材との組み合わせは、支持板に接触せず、その代わりに、ワイヤーを曲げることによって形成されたプラットホーム上に支持される。
【００２５】
さらなる実施例では、絶縁した導電性のワイヤー／柱が支持板を非円形に貫通する。それらは、導電性のワイヤー／柱が、基本的に互いに平行で支持板と直角になるが、今は実質的に円配置となるように、支持板／柱の少なくとも一方の側で曲げられる。
センサーと発熱体と断熱材は、その後、上記のように支持板とワイヤー／柱の間の領域に取り入れられる。前記の場合と同様、センサー要素と発熱体と断熱材との組み合わせは、支持板に接触せず、その代わりに、ワイヤーを曲げることによって形成されたプラットホーム上に支持される。
【００２６】
さらなる好適実施例では、断熱材がシート材からディスクとしてカットされ、ワイヤー／柱の円配置の中に適合させるため、組み立て中に層内に加えられる。あるいは、いくつかまたはすべての断熱材のディスクがワイヤー／柱の円配置の直径を超えようにカットされる。この場合、どちらのワイヤー／柱もそのようなディスクの外縁、または、ワイヤー／柱が、生じた窪みに適合するような外周のパターンカットを持つ、いくつかまたはすべてのディスクの外縁を通る。これらそれぞれの選択肢において、それぞれのディスクは均一な厚さを持っている、しかしディスクの厚さはディスクごとに異なることがある。
【００２７】
発熱体とセンサーが加えられた段階で、絶縁体が動的要素を囲んで発熱体またはセンサーとワイヤー／柱との間のギャップを満たすように、絶縁体の層に穴がカットされてもよい。
【００２８】
それぞれの発熱体は、発熱体に電力を供給するために接続された一般にプラチナの二つのワイヤーを持っている。センサーは、少なくとも二つのワイヤーを有しており、それらは通常、プラチナであり、それぞれのワイヤーをセンサー電極の少なくとも一つに接続することでセンサーに通じている。発熱体からとセンサーからのワイヤーは、断熱材の層の間を通り、支持板を貫通するワイヤー／柱に接続される。上述した実装方法では、センサーと発熱体は、取り付け用のワイヤーで支持されてはおらず、それ故、ワイヤーの直径は機械的強度以外の基準、例えばコスト、によって選ばれることがある、ということも注意すべきである。この実装方法の更なる利点は、センサー／発熱体の振動と衝撃抵抗が改善されることである。
【００２９】
例えば、セラミックを通って流れる電流を測定したり、要素を加熱するために、センサーから反対側の支持板上のワイヤー／柱の端部は、適切な電源に接続することができる。もし、標準PCB（プリント基板）ソケットが使われるなら、センサーから反対側の支持板上のワイヤー／柱の端部は、標準基板上に装着されたソケットに差し込むことができる。
【００３０】
この構造は、作るのが容易で、強固で、使用が容易である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
以下、本発明を、図を用いて説明する。
図１を参照すると、センサー要素は内部に空洞（４）を持つ焼成ジルコニアセラミックシリンダー（１）で形成され、拡散孔（３）はその中に形成される。ジルコニアシリンダー（１）の端（１４）の両側にプラチナ電極（５）、（６）がある。
【００３２】
センサー要素は、水溶性または水膨潤性の結合剤及び水とグリーンイットリア安定化立方晶ジルコニアとから形成され、その一端／一面を貫通する有機繊維があった。その構造は１４５０℃で焼成され、有機繊維と結合剤は高温により破壊された。ジルコニア粉末は焼結し、図１の構造を形成した。センサー上の電極と接触しているプラチナワイヤー（２）は、従来のセンサーと同様に含まれていた。センサーを作動温度に加熱する電気発熱体（図２に示される）がある。
【００３３】
使用時、適切な極性の電位差がワイヤー（２）の間に加わる。酸素を含む気体が穴（３）を通り拡散するとき、ワイヤー（２）の間に流れる電流が酸素濃度の尺度である。
図２を参照すると、組み立てられたセンサーは、発熱体（７）、（８）が両面にある、図１にあるようなセンサー要素（９）より成る。
【００３４】
図３を参照すると、これは、組み立てられたセンサーの支持を示しており、堅固なディスク（１０）を備え、その中にワイヤー（１１ａ）が固定されて、端部（１１ｂ）がソケットに差し込まれるようになされている。センサー要素を組み立てるために、発熱体と断熱材を含むセンサーはワイヤー（図４）によって形成された円の中に設置され、このワイヤー（１１）は、センサーをつかんで保持するよう、センサーの上部で曲げられている。ワイヤー（１１）の全部または一部は、センサー要素の電極に電圧を加え、センサー要素に流れる電流を測定し、発熱体を作動させるために、センサーのさまざまな要素に接続されている。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】センサー要素の断面を示す図である。
【図２】組み立てられたセンサーの断面を示す図である。
【図３】センサーの好適な構造を示す図である。
【図４】センサーの好適な構造を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
2006503284.tif 000005
【図４】
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【国際調査報告】
2006503284.tif 000007
2006503284.tif 000008
2006503284.tif 000009
2006503284.tif 000010