(57)【要約】【解決手段】優れた照射システムを備えた光学検査システムを開示している。本発明を示すために用いられている優れた照射システムは、プリント回路基板から形成されているベースを有している。発光ダイオードで代表される照明要素を取り付けるための基体も、プリント回路基板上に形成されている。この回路基板は鋸歯状のエッジを有しており、ダイオードが鋸歯に取り付けられている。このような構造にすれば、発光要素を焦点上に焦点合わせすることができる。代表的な照射システムでは、発光要素は異なるビーム幅を有しており、仰角の関数で照射強度差が減少するようになっている。【選択図】図４
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
照明システムと検査エリアを有する光学検査システムにおいて、
ａ）支持構造体と、
ｂ）各照明要素が検査エリアから所定の間隔を空けて配置されている、平面配列内に配置されている複数の照明要素であって、前記照明要素はそれぞれ、前記検査エリアに向かい合うように傾けられている、複数の照明要素と、を備えている光学検査システム。
【請求項２】
前記複数の照明要素の第１部分は前記複数の照明要素の第２部分の所定の間隔よりも大きな所定の間隔を有しており、前記第１部分のビーム幅は前記第２部分のビーム幅よりも狭い、請求項１に記載の光学検査システム。
【請求項３】
前記複数の照明要素は発光ダイオードで構成されている、請求項２に記載の光学検査システム。
【請求項４】
前記支持構造体はプリント回路基板で構成されている、請求項３に記載の光学検査システム。
【請求項５】
前記支持構造体は、ベースと、前記ベースに取り付けられ、前記ベースから突き出ている複数のプリント回路基板とを備えており、前記複数のプリント回路基板はそれぞれ、前記ベースから離れる方向に面するエッジを有しており、前記照明要素は前記エッジに沿って取り付けられている、請求項２に記載の光学検査システム。
【請求項６】
前記支持構造体は、平面を有しているベースと、前記ベースに取り付けられ、前記平面から突き出ている複数の基体要素とを備えており、前記複数の照明要素は、前記基体要素に取り付けられている、請求項１に記載の光学検査システム。
【請求項７】
前記基体要素は、前記ベースから離れる方向に面する鋸歯状のエッジを有している、請求項６に記載の光学検査システム。
【請求項８】
前記鋸歯状のエッジは複数のプラットフォームから成っており、前記複数のプラットフォームの中の選択されたプラットフォームは、検査エリアからの距離に関係する、ベースに対する相対角度を有している、請求項７に記載の光学検査システム。
【請求項９】
前記支持構造体は、
ａ）開口部付きの平面を内部に備えたベースと、
ｂ）複数の基体要素であって、前記基体要素の第１部分は前記開口部内へ伸張しており、前記基体要素の第２部分は前記第１部分が伸張しているほどには前記開口部内へ伸張しておらず、それにより、少なくとも基体要素の無い開口部エリアが残されている、複数の基体要素と、
ｃ）前記基体要素のない開口エリアを通して焦点を合わせる少なくとも１つのカメラと、を備えている、請求項１に記載の光学検査システム。
【請求項１０】
照明システムと検査エリアを有する光学検査システムにおいて、
ａ）支持構造体と、
ｂ）各照明要素が検査エリアから所定の間隔を空けて配置されている、平面配列内に配置されている複数の照明要素であって、前記複数の照明要素の第１部分は前記複数の照明要素の第２部分の所定の間隔よりも大きな所定の間隔を有しており、前記第１部分のビーム幅は前記第２部分のビーム幅よりも狭い、複数の照明要素と、を備えている光学検査システム。
【請求項１１】
前記支持構造体は複数の基体を備えており、それぞれの基体は前記配列の中心から伸張している線に沿って配置されている、請求項１０に記載の光学検査システム。
【請求項１２】
前記基体はそれぞれエッジを有しており、複数の照明要素が前記各エッジに沿って取り付けられている、請求項１１に記載の光学検査システム。
【請求項１３】
前記基体はプリント回路基板を備えており、前記照明要素は前記プリント回路基板に取り付けられているダイオードを備えている、請求項１２に記載の光学検査システム。
【請求項１４】
前記照明要素はそれぞれ、前記検査エリアに向かい合うように傾けられている、請求項１３に記載の光学検査システム。
【請求項１５】
前記照明要素と前記検査エリアとの間の間隔が１．８ｍｍを超える、請求項１０に記載の光学検査システム。
【請求項１６】
検査エリアに焦点を合わせている複数のカメラと前記検査エリアを照らす照射システムとを有するタイプの光学検査システムにおいて、
ａ）前記検査エリアの上に配置されている開口部が設けられた平面を内部に備えているベースと、
ｂ）前記平面と平行な配列内に配置されている複数の照明要素であって、前記照明要素は前記検査エリアに向いたビームを有しており、前記照明要素の配列はその中に開口エリアを有している、複数の照明要素と、
ｃ）それぞれが前記開口エリアを通して焦点を合わせている、前記検査エリアに向けられている複数のカメラと、を備えている光学検査システム。
【請求項１７】
前記照明要素の中の所定の照明要素は、前記照明要素の内の他の照明要素よりもビーム角度が狭く、これにより、仰角に関する照射強度の変化が減じられている、請求項１６に記載の光学検査システム。
【請求項１８】
それぞれが前記開口部内の１つの点から放射状に広がっている線に沿って配置されている複数の基体を更に備えており、前記複数の照明要素の一部は、前記基体のそれぞれに、前記放射状の線に沿ったサブ配列として取り付けられている、請求項１６に記載の光学検査システム。
【請求項１９】
前記照明要素はダイオードで構成されており、前記基体は前記ベースの前記平面に垂直に取り付けられている基板で構成されており、前記基板はそれぞれ前記検査エリアに面するエッジを有しており、前記エッジはその上に鋸歯形状を有しており、前記ダイオードは前記鋸歯に取り付けられている、請求項１８に記載の光学検査システム。
【請求項２０】
前記照明要素はそれぞれビーム角度を有するビームを作り出し、前記複数の照明要素の第１部分は、前記点に近い前記複数の照明要素の第２部分よりもビーム角度が狭い、請求項１８に記載の光学検査システム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、一般的には自動光学検査システムに関しており、厳密には、そのような検査システム用の照明装置に関している。
【０００２】
【従来技術】
自動光学検査は、プリント回路基板の製造に、そして他の分野でも用いられている。コンピュータ制御システムは、検査中のプリント回路基板又はその他の対象物上でカメラを走らせ、基板上の様々な領域の画像を撮る。次にコンピュータがこの画像を走査し、基板が適切に製造されていれば存在するはずの造形がその領域内に存在し、期待どおりの形状を有していることを確認する。代わりに、システムは、その領域内に存在してはならない造形がないことを確認してもよい。造形が確認されると、基板は検査に合格する。確認されない場合、基板は欠陥品と表示されるか、或いは、人間による検査又は追加テストに送られる。
【０００３】
プリント回路基板内の対象物を検査する場合、検査対象となる造形は、電子部品のエッジ、金属トレース又ははんだのようなものとなる。しかし、これらの造形の多くは、画像を作成しているカメラに対して光が一定の角度で対象物に当たる場合にだけ画像内に捕捉される。例えば、対象物が、反射光をカメラから外れた方向に向かわせる輝面を有している場合、カメラは、対象物からの光を捕捉できないことになる。カメラが対象物から反射してくる光を捕捉できない場合、その対象物が存在するエリアは、カメラの形成する画像では黒く見える。
【０００４】
従って、自動検査で使える画像を作るためには、検査エリアの照明は、カメラに対して制御しなければならない。幾つかの自動検査システムでは、検査対象エリアの周囲全てから光を与える環状光源を用いている。しかし、このタイプの光源には幾つか欠点がある。先ず、環状光源では、通常、カメラは、プリント回路基板に垂直な方向から、上から環を通して見る場合に限って検査エリアに焦点を合わせることができる。しばしば、検査対象基板上の造形が、この方向から撮った画像では容易には判別できないこともある。
【０００５】
検査対象の同一エリアで複数の画像を撮るのに、様々な「照明モード」が必要となることも多い。それぞれの照明モードで、検査対象エリアは、異なる角度又は異なる組み合わせの角度から照明される。
【０００６】
環状光源はよく知られている。そのような光源の中には、発光ダイオードを配列することによって作られているものもある。発光ダイオードを複数のセクターで作動させると、検査エリアを異なる方向から照らすことができる。発光ダイオードを環の中心からのダイオードの距離に基づいて群で作動させると、検査エリアを異なる仰角方向から照らすことができる。異なる仰角方向からの照明は、プリント回路基板上の異なる種類の造形を強調するのに有用である。しかし環状照明システムの欠点は、検査エリアを小さな仰角方向から照らすのに用いられる発光要素が、検査エリアを大きい仰角方向から照らすのに用いられる発光要素よりも検査エリアから遠くなるということである。更に、環の周辺では、照明エリアが発光要素のビームの中心から遠くなる。従って、小さな仰角方向からの光が必要な場合には、検査エリアは低い輝度で照らされることになる。そのような照明輝度の差は、検査システムには望ましくない。
【０００７】
米国特許第５，２４５，４２１号は、複数の照明モードを提供するのに適している表面取り付け構成要素を備えたプリント回路基板を検査するための照明装置を示している。当該特許の図１を、本出願の図１として複製している。図１は検査装置１０の一部を示している。装置１０は検査ヘッド１２を含んでいる。
【０００８】
検査ヘッド１２はＸ−Ｙテーブル１３に取り付けられ、検査対象プリント回路基板の表面上を動かせるようになっている。装置の残りは図示されていないが、それには、プリント回路基板をＸ−Ｙテーブル１３の下の検査エリア内に搬送しそこから搬出する機械構造物と、コンピュータ制御器のような他の通常の検査用構成要素が含まれる。
【０００９】
検査ヘッド１２は、基板の画像を捕捉するカメラを含んでいる。図示の実施形態では、４つのカメラ１４、１５、１６、１７が示されている。カメラ１４、１５、１６、１７は、底部３１の開いている中空の円筒３０内に取り付けられている。円筒３１の内側には光源の群が取り付けられており、その内２３と２４を図１に見ることができる。しかし特許には、円筒３０の内側には４つの光源の群があると記載されている。光源の群は、単独で又は組み合わせて作動させ、開放底部３１に様々な照明モードを提供することができるようになっている。使用時、開放底部３１は、検査対象プリント回路基板近くに検査対象エリア上に中心合わせして配置される。そのエリアは、光源群を選択して作動させることにより様々な角度から照明され、カメラを使って基板上の構成要素の画像が形成される。
【００１０】
米国特許第５，０６０，０６５号は、円筒３０内側の光源について非常に詳細に記載している。当該特許は、光源群が、ドーム型の円筒３０内側の表面に発光ダイオードを分布させた配列で形成されていると記載している。米国特許第５，０６０，０６５号に示されている照明装置のある市販の実施形態では、同じ複数のダイオードが、リング状にはんだ付けされている湾曲したプリント回路基板に取り付けられている。この方法では、各発光ダイオードは、基本的に、開放底部３１付近の検査エリアから同じ距離にある。更に、各発光ダイオードのビーム中心は、検査エリアに焦点が合っている。そのような配置にすれば、照明の均一性が飛躍的に向上する。更に、発光ダイオードを取り付けているプリント回路基板間の間の空間を使って、複数のカメラを、ドームを通して検査エリア上に焦点合わせすることができる。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、プリント回路基板上の構成要素を適切に照明するためには、開放底部３１を、検査対象プリント回路基板の表面に非常に近く、約１．７５ｍｍ（０．７インチ）以下に近づけなければならない。この制約は、トランスフォーマ又は大型キャパシタのような高さのある構成要素付きのプリント回路基板を製造する際にこのシステムを使用する妨げとなっている。我々は、プリント回路基板表面上に高い構成要素がある場合でも、光源を作動させることのできる方法を発明した。以下詳細に述べるように、我々は、照明構造物を簡単に製造する方法も発明した。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記背景を考慮して、本発明の目的は、自動光学検査システム用の改良された照明構造物を提供することがである。
【００１３】
上記の目的及び他の目的は、実質的に平坦なベースと、そのベースに支えられている複数の発光要素とを有する照明構造物で実現されている。好適な実施形態では、発光要素は、ベースから突き出ている基体に群を成して取り付けられているダイオードである。現段階で好適な実施形態では、ベース及び基体の両方がプリント回路基板であり、プラグ型コネクタによって連結されている。
【００１４】
好適な実施形態では、基体は、共通の点から放射状に拡がる線に沿って取り付けられており、発光要素は、この共通の点の下の検査エリアでそのビームが合焦するように取り付けられている。好適な実施形態のもう１つの特徴は、共通の点から離れて取り付けられている発光要素のビーム角度が、共通の点の近くに取り付けられている発光要素のビーム角度よりも狭いことである。異なるビーム角度を備えた発光要素を利用することによって、各発光源によって照明されるエリアの大きさの変動が低減し、検査エリアから異なる距離にある発光要素からの、検査エリアにおけるビーム輝度の変動も低減する。
【００１５】
【発明の実施の形態】
本発明は、以下の詳細な説明及び添付図面を参照すれば、よく理解頂けるであろう。
【００１６】
図２は、本発明による照射システム２１０を示している。使用の際、照射システム２１０は、図１の円筒３０の適所に用いられる。ある好適な実施形態では、照射システム２１０は、プリント回路基板用の自動光学検査システムに用いられている。照射システム２１０は、基板上に、その様々な製造の段階で照明を提供することになる。照射システム２１０は、照射システム２１０と検査対象基板表面との間の間隙を１．７ｍｍ以上としなければならない、高さのある構成要素を備えたプリント回路基板の検査に照明を提供するのに用いることができる。
【００１７】
そのようなシステムは、プリント回路基板の製造に用いることができる。回路基板は、しばしば製造工程の間の複数の段階で検査される。時には、検査の結果次第で個々の基板の作業の流れが変更されることもある。例えば、検査の結果、基板上にある構成要素の欠けていることが分かれば、その基板は再作業のため処理経路変更になることもある。製造における作業の流れを変更するために本発明のシステムを用いる方法そのものは、本発明には重要でない。
【００１８】
照射システム２１０はベースを有しており、そのベースは、図示の実施形態ではプリント回路基板２１２である。基板２１２は、導電性トレースを備えていれば、従来型のプリント回路基板でもよい。これらのトレースは、個々の照明要素３１０（図３）を制御する信号を運ぶ。電気コネクタ２１６は、従来型のピンとソケットタイプのコネクタでもよく、基板２１２上の通常の場所に取り付けられている。図示の実施形態では、基板２１２は概ね方形であり、コネクタ２１６は基板の角に取り付けられている。
【００１９】
基板２１２には、中に開口部２１４が設けられている。開口部２１４は、カメラに、照射システム２１０を通して、テスト対象プリント回路基板上の検査エリアに焦点を合わせる場所を提供している。図示の実施形態では、そのような場所が５箇所ある。開口部２１４の周囲には、異なる角度で配置されている４つのカメラ位置２１８ａ、２１８ｂ、２１８ｃ、２１８ｄ（図２−４）がある。開口部２１４の中心に５つ目のカメラ位置２１８ｄ（図４）がある。これらのカメラ位置は、カメラが複数の角度から検査エリアの画像を形成できるようにしている。
【００２０】
複数の照明基体が、基板２１２に取り付けられている。図示の実施形態では、照明基体に、複数のプリント回路基板２２０ａ及び２２０ｂが設けられている。基板２２０ａ及び２２０ｂの製造については、図５に関連付けて、後に詳細に説明する。
【００２１】
基板２２０ａ及び２２０ｂは両方共、開口部２１４内へ伸張している。基板２２０ａ及び２２０ｂのどちらも、開口部２１４の中心までは伸張していない。基板を開口部２１４の中心まで伸張させないことによって、カメラ位置２１８ｄが形成されている。更に、基板２２０ａは基板２２０ｂより短く、開口部２１４の途中までしか伸張していない。このように、開口部２１４を通る閉塞されていない経路があり、カメラ位置２１８ａ．．．２１８ｄを形成している。
【００２２】
基板２２０ａ及び２２０ｂは、図３に分かり易く示されているように、照射システムのこの側が、システムの作動中、検査対象のプリント回路基板に面している。各基板２２０ａ及び２２０ｂには、それぞれ複数の照明要素が取り付けられている。好適な実施形態では、照明要素はフォトダイオードである。基板２２０ｂは基板２２０ａより長いので、基板２２０ｂにはより多くの照明要素が取り付けられているように図示されている。
【００２３】
図示の実施形態では、基板２２０ａ及び２２０ｂはそれぞれ、開口部２１４の中心から放射状に拡がる線に沿って基板２１２に取り付けられている。照明要素３１０は、概ね開口部２１４の中心から放射状に拡がる線に沿うパターンで基板２２０ａ及び２２０ｂに取り付けられている。
【００２４】
このような配列は、開口部２１４の中心が、プリント回路基板の検査対象エリアと整列している場合には有用である。照明要素３１０は、このように、検査対象エリアを囲む半径が変化する円内に配置される。先行技術の場合のように、照明要素３１０は、複数のセクターで同時に作動させてもよい。照明要素を１つのセクターで作動させると、検査エリアが１つの側から照らされることになる。替わりに、又は加えて、検査エリアから特定の半径にある照明要素だけを作動させると、検査エリアを、異なる仰角方向から照らすようになる。
【００２５】
図３に示すように、基板２２０ａ及び２２０ｂはそれぞれ、基板２１２から突出するよう取り付けられている。好適な実施形態では、基板２２０ａ及び２２０ｂはそれぞれ、基板２１２から実質的に直角に突出している。この構成は、各基板２２０ａ及び２２０ｂの１つのエッジを基板２１２と相対するように配置し、各基板２２０ａ及び２２０ｂの第２のエッジを、検査対象プリント回路基板２１２と概ね向かい合うように配置することになる。基板２２０ａ及び２２０ｂのこれらのエッジは、各基板２２０ａ及び２２０ｂを基板２１２に接続するための電気コネクタ（図４の４１２ａ及び４１２ｂ）に、好都合な取り付け位置を提供する。これらのエッジは、発光要素３１０にも好都合の取り付け位置を提供する。
【００２６】
基板２２０ａ及び２２０ｂ内のトレースは、コネクタと照明要素との間を走っている。このようにして、電気信号は個々の照明要素に送られる。具体的には、電気信号は、システム制御器（図示せず）から、コネクタ２１６経由で、基板２１２上のトレース、コネクタ４１２ａ及び４１２ｂ、基板２２０ａ及び２２０ｂ上のトレースを通って、照明要素３１０へ送られる。個々の照明要素３１０への多くの個別の経路が、製造するのに簡単な方法で提供されている。具体的には、構成要素及びコネクタは、プリント回路基板にはんだ付けされてサブアッセンブリを作り、次に、サブアッセンブリは最終アッセンブリにプラグ接続される。
【００２７】
図４には、図２の４−４線に沿う照射システム２１０の断面を示す。この図には２つの基板２２０ｂが示されている。コネクタ４１２ａ及び４１２ｂは、照明要素３１０として示されている。図４で分かるように、照明要素３１０はそれぞれ、検査エリアにビームを向けるように取り付けられており、この実施形態では開口部２１４の中心の下にある。この好適な実施形態に用いられている発光ダイオードでは、この様式でビームを向けるためには、各発光ダイオードを異なる角度で取り付ける必要がある。
【００２８】
この好適な実施形態では、発光ダイオードは、基板２２０ａ及び２２０ｂのエッジに沿って第１形成プラットフォーム（その内の幾つかが、図５で５１０ａ．．．５１０ｃと番号を付けられている）によって、異なる角度で取り付けられている。図５に示されているように、導電性パッドがプラットフォーム（５１０ａ．．．５１０ｃと番号を付けられている）上に形成されており、それに、発光ダイオードのリード線が何らかの都合の良い機構を使ってはんだ付け又は貼り付けられている。プラットフォームは、プリント回路基板２２０ａ及び２２０ｂのエッジに鋸歯状の外観を与える。プラットフォームの方向は、照明要素を照射エリアに向けるように選択される。このパターンは、フレネルパターンと呼ばれる。
【００２９】
この好適な実施形態では、各基板２２０ｂ上の発光要素は同一ではない。検査エリア４１４近くに取り付けられている発光ダイオード４１６は、検査エリア４１４から最も遠くに取り付けられている発光ダイオード４１８より広いビーム角度を有している。このように、検査エリア４１４における輝度は均等化されている。理論的には、各基板２２０ｂ上の各発光要素はビーム角度が異なっていてもよいが、実際には容易に入手可能なビーム角度には制約がある。ある実施形態では、２つの異なるタイプの発光ダイオードだけが用いられており、一方は最も狭いビーム角度を有しており、所望される選択された特定の位置に装着される。
【００３０】
図５には、基板２２０ｂの製造を示す見取り図を示している。基板２２０ａも同様の方法で形成される。複数の基板２２０ｂが、繊維強化ガラス材５３０の１枚のシート、又は、プリント回路基板を作るのに適した他の材料から形成される。従来のように、所望のパターンのトレースが、繊維強化ガラス材５３０の２つの面上に照明要素取り付け用のパッド５１２を含めて形成される。
【００３１】
次に、５２０ａ及び５２２ｂのようなチャネルが、繊維強化ガラス材５３０内に成形され、基板２２０ｂの所望のエッジが形成される。図示のように、チャネル５２０ａは、５１０ａ．．．５１０ｃのようなプラットフォームを形成する形状を有している。縦筋５２４ａ及び５２４ｂも切断されるが、繊維強化ガラス材５３０を貫通して完全に切断されるわけではない。全処理段階が完了すると、エポキシ材は縦筋５２４ａ及び５２４ｂに沿って切り離され、複数のプリント回路基板２２０ｂが残る。
【００３２】
１つの実施形態について説明してきたが、様々な代替実施形態又は変更が可能である。例えば、異なるビーム角度を有する照明要素を用いて、異なる仰角における照射強度の変化を減じることを説明した。照射強度を均等化するために、他の方法を用いてもよい。照明要素群は個別に制御できるので、ある群への入力を上げることによって、その群からの照射強度を上げることもできる。或いは、閃光しているところで、ある群は長く点灯したままに制御することもできる。
【００３３】
また、発光ダイオードが好適な照明要素の実施形態として用いられていると説明した。他の光源を用いても構わない。例えば、光ファイバーを使って、所望の場所から所望の方向に光を分配してもよい。
【００３４】
更に、ベースと基体要素をサブアッセンブリとし製造し、次に両者を１つに連結して照射システムを形成すると説明した。そのような構造は、製造工程を単純化するので望ましいが、必ずしもそうでなくともよい。例えば、照明要素を他の種類の支持構造体に取り付けてもよい。例えば、支持構造体は、単一部材であってもよい。代わりに、何本かの放射線に沿って配置されている照明要素を同じ部材に取り付けて、本明細書に示されているよりも多くの照明要素を備えたサブアッセンブリを作ってもよい。
【００３５】
更に、好適な実施形態では、プリント回路基板が用いられていると説明している。トレースを有する普通のエポキシ繊維ガラス基板を利用してもよいが、唯一の適した要素というわけではない。プリント回路基板を形成するのに、ガラスやセラミックのような他の基体を利用することもできる。更に、導電性トレースを作るのに、フォトエッチング以外の方法を用いてもよい。蒸着技術を用いることもできる。基体に個別の配線を取り付けて、等価構造物を作ることもできる。更に、本発明の利点を実現するのに、トレースを「プリント回路基板」という基体と必ずしも一体にする必要はない。
【００３６】
更に、ダイオード照明要素がプリント回路基板２２０のエッジ上にあるように図示した。照明の光が回路基板２２０のエッジを超えて放射できるようにするものであれば、どの様な取り付け装置でも使用できる旨理解されたい。従って、照明要素をエッジに沿って取り付ける方法であれば、どんな方法でも使用することができる。
【００３７】
更に、ダイオードはプリント回路基板のエッジにはんだ付けされていると説明した。ダイオードを取り付けるのに他の方法を用いてもよい。例えば、ダイオードをソケットに取り付けてもよい。
【００３８】
従って、本発明は、上記特許請求の範囲に述べる精神及び範囲によってのみ制限されるものとする。
【図面の簡単な説明】
【図１】
先行技術の照射システムの見取り図である。
【図２】
本発明による照射システムの表面の見取り図である。
【図３】
図２の照射システムの裏側の見取り図である。
【図４】
図２の４−４線に沿う、照射システムの断面図である。
【図５】
図２の照射システムを形成するのに用いられるプリント回路基板の見取り図である。
【図１】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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