(57)【要約】【課題】本発明は、流体状のマイクロシステム（１００）において液体の対流運動を発生させる方法であって、液体をマイクロシステムの中で、同時に、電界及び熱勾配に晒し、電界を発生させるために、電極アセンブリ（２０）に、経時変化する電圧を加え、その結果、液体領域に、経時変化する電界が形成される方法に関する。【解決手段】熱勾配を発生させるために、コンパートメント（１０）に設けられている少なくとも１つの放射線吸収器（３０乃至３２）を、少なくとも１つの外の放射電磁界によって照射する。【選択図】図１
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
流体状のマイクロシステム（１００）において液体の対流運動を発生させる方法であって、液体を前記マイクロシステムの少なくとも１つのコンパートメントの中で、同時に、電界及び熱勾配に晒し、前記電界を発生させるために、電極アセンブリ（２０）に、経時変化する電圧を加え、その結果、液体領域に、経時変化する電界が形成される方法において、
前記熱勾配を発生させるために、前記コンパートメント（１０）に設けられている少なくとも１つの放射線吸収器（３０乃至３２）を、少なくとも１つの外の放射電磁界によって局所的に照射することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記少なくとも１つの外の放射電磁界を、前記コンパートメントの壁部の吸収面（３１）、前記電極アセンブリ（２０）の電極（３２）、あるいは前記電極アセンブリ（２０）の電極上の、放射線を吸収する表面構造体によって形成される前記少なくとも１つの放射線吸収器（３０）に向ける、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記外の放射電磁界は電磁放射線である、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
電磁放射線として、（ｉ）赤外線放射線、あるいは、前記少なくとも１つの放射線吸収器を誘導的に加熱するために用いられる（ｉｉ）高周波放射線を用いる、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記少なくとも１つの外の放射電磁界を、シングルフォーカスレーザ又はマルチフォーカスレーザによって形成する、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項６】
前記レーザの波長を、液体及びこの液体に懸濁されている粒子が吸収力を有しないか、あるいは、前記少なくとも１つの放射線吸収器の吸収力に比較して無視可能な吸収力を有してなる波長の範囲に、選択する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記放射電磁界を、前記コンパートメントの透明の壁部を通って又は光ファイバによって前記コンパートメントに導入する、請求項１乃至６のいずれか１に記載の方法。
【請求項８】
前記熱勾配を形成するために、前記コンパートメントの複数の放射線吸収器を同時に又は交互に照射する、請求項１乃至７のいずれか１に記載の方法。
【請求項９】
前記電極アセンブリへの、少なくとも１ｋＨｚの周波数を有する交流電圧の印加によって、電界の経時変化を発生させる、請求項１乃至８のいずれか１に記載の方法。
【請求項１０】
前記電極アセンブリに、液体の平均的な逆の誘電的な緩和時間に対応する周波数を有する交流電圧を加える、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
多数の放射線吸収器を、前記マイクロシステム（１００）の流路でカスケード状に照射する、請求項１乃至１０のいずれか１に記載の方法。
【請求項１２】
同時に、経時変化する電界と、液体中に懸濁されている粒子を誘電的に操作するための交番磁界とを発生させるために設けられている、前記電極アセンブリの前記複数の電極に、電圧を加える、請求項１乃至１１のいずれか１に記載の方法。
【請求項１３】
液体を収容する及び／又は流し通す少なくとも１つのコンパートメント（１０）と、経時変化する電界を発生させるためにこのコンパートメント（１０）に設けられている電極アセンブリ（２０）とを有する流体状のマイクロシステム（１００）において、
前記コンパートメント（１０）には、所定の空間的な境界を有する少なくとも１つの放射線吸収領域を形成する、少なくとも１つの固定式の放射線吸収器（３０乃至３３）が設けられていることを特徴とするマイクロシステム。
【請求項１４】
前記マイクロシステム（１００）は追加的に照射線源を含む、請求項１３に記載のマイクロシステム。
【請求項１５】
前記少なくとも１つの放射線吸収器（３０）は、前記コンパートメントの壁部の少なくとも１つの吸収面（３１）、前記電極アセンブリ（２０）の電極（３２）、あるいは少なくとも１つの電極（２２）上の、放射線を吸収する表面構造体（３３）によって形成される、請求項１３又は１４に記載のマイクロシステム。
【請求項１６】
前記放射線吸収領域は、夫々、赤外線照射を吸収する材料によって形成される、請求項１３乃至１５のいずれか１に記載のマイクロシステム。
【請求項１７】
前記放射線吸収領域は、夫々、チタン、プラチナ、タンタル及び／又はケイ素によって形成される、請求項１６に記載のマイクロシステム。
【請求項１８】
前記コンパートメント（１０）の少なくとも１つの壁部は透明な材料からなる、請求項１３乃至１７のいずれか１に記載のマイクロシステム。
【請求項１９】
少なくとも１つの電極は、透明な導電性の材料からなる、請求項１３乃至１８のいずれか１に記載のマイクロシステム。
【請求項２０】
外の照射線源による電極への直接的な照射が可能となるように、前記電極アセンブリ（２０）の前記複数の電極は、前記コンパートメント（１０）に、空間的にずれて設けられている、請求項１３乃至１９のいずれか１に記載のマイクロシステム。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、流体状のマイクロシステムにおいて液体の対流運動を発生させる方法、特に、場の電気勾配及び熱勾配を同時に形成しつつ、流体状のマイクロシステム中の溶液又は粒子懸濁液を混合又は渦巻状に回転させる方法並びに方法を実現化するために設けられている流体状のマイクロシステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】
流体状のマイクロシステムは、特に、溶けた物質又は懸濁された粒子を分析及び操作するための、生化学、医学及び生物学における多数の使用を有する。マイクロシステム（又はマイクロチップ）でなされるプロセスを小型化しかつ強力に平行処理することによって、コンビナトリアルな高い多様性で存在する生物的な高分子を分析及び合成するための特別な利点が生じる（Ｇ・Ｈ・Ｗ・サンダース等、『Ｔｒｅｎｄｓ ｉｎ Ａｎａｌｙｔｉｃａｌ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ』、巻１９／６、２０００年、３６４頁以下を参照せよ；Ｗ・エーアフェルト、『Ｔｏｐｉｃｓ ｉｎ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ』、編者Ａ・マンツ等、巻１９４、シュプリンガー・フェアラーク、１９９８年、２３３頁以下を参照せよ）。流体状のマイクロシステムの使用は、特に、例えばＤＮＡ又はタンパク質を分析するための基礎研究に、あるいは、材料研究（コンビナトリアル・ケミストリー）にある。他の使用は、個々の生物学細胞又は細胞群の分析及び操作の際に、生じる（Ｇ・フーア等、『Ｔｏｐｉｃｓ ｉｎ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ』、編者Ａ・マンツ等、巻１９４、シュプリンガー・フェアラーク、１９９８年、８３頁以下を参照せよ）。
【０００３】
流体状のマイクロシステムの一般的な問題は、マイクロチップに形成されたコンパートメント（例えば流路、リザーバ等）の、サブミリの範囲での僅かな寸法によって、流体力学的な液流がレイノルズ数を有しないことにある。液体は層流として流体状のマイクロシステムの中を流れる。マイクロシステムの中で液体を混合しようとするとき、このことは層流が隣り合った場合に、拡散のみに基づくであろう。マイクロシステムの寸法が僅かであるにも拘わらず、例えば生物的な高分子の拡散は、比較的緩慢になされる。従って、マイクロシステムの輸送量は著しく制限されるだろう。
【０００４】
僅かな慣性によって及び液体の特性に著しく依存してなされて、良好な、視覚的な観察可能性を保証する、マイクロシステムの中での液体の対流運動（１つの液体の渦巻き状の回転、複数の液体の混合）、その運動に対する願望がある。
【０００５】
マイクロシステムで液体を渦巻き状に回転させ又は混合する種々の試みは知られている。マクロ世界では通常に用いられる機械的ミキサの有用性は、マイクロシステムにおける摩耗（摩擦）が大きい故に、著しく限定されている。マイクロシステムの、機械的に可動な部分は、高分子の付着の故に、非常に故障し易い。更に、Ｗ・エーアフェルト（上記参照せよ）は、流れを部分流路に分配し、続いて、空間的な配置が変わった部分流路を纏めることによって、液体を混合することを記述する。この技術は層流が再度部分流路に流れるという欠点を有する。完全な混合は達成されない。Ｓ・ショージは、『Ｔｏｐｉｃｓ ｉｎ Ｃｕｒｒｅｎｔ Ｃｈｅｍｉｓｔｒｙ』（編者Ａ・マンツ等、巻１９４、シュプリンガー・フェアラーク、１９９８年）の１６７頁以下で、例えば、非常に角の多い長い流路の、慣性力を用いて液体を混合することを記述する。しかし、この技術は、マイクロシステムが複雑な構造を保っているという欠点を有する。更に、折曲した流路における液体の混合は、非常に高い流速（レイノルズ数２−１００）の場合のみ、達成可能である。
【０００６】
流体状のマイクロシステムにおいて場の電気勾配及び熱勾配を同時に形成することによって、液体の対流運動を発生させることは知られている。図４では、例えばＷＯ ００／３７１６５から知られるように、液体に対流運動させるための従来のシステムが略示されている。流体状のマイクロシステム１００´のコンパートメント１０´には、例えば粒子懸濁液が（矢印方向Ａに）流し通される。コンパートメント１０´には、液体の渦巻状の回転が意図されている。この目的のために、底面１１´には、場の電気勾配を発生させるために流れ方向Ａに対し直角方向に据えられている電極アセンブリ２０´が設けられている。同時に、場の電気勾配を発生させるために、コンパートメント１０´中の液体を加熱する。加熱によって、熱勾配が形成される。熱勾配に従って設けられており、かつ夫々異なった誘電特性を有する種々の部分層からなる液体の積層がなされる。場の電気勾配の作用の下で、液体を対流式に効率的に渦巻き状に回転させる力が、種々の部分層に加えられる。熱勾配を発生させるためには、ＷＯ ００／３７１６５では、透明な上面１３´を通ってレーザビームを（矢印方向Ｂに）液体に集束することが提案される。液体は局所的に加熱されるので、所望の熱勾配が形成される。焦点４０´は底面及び側面から間隔（矢印を参照）をあけて液体中に発生される。
【０００７】
液体の対流運動においては、図４に示すように、複数の欠点を有する。液体の局所的な発生は、液体における適切な放射線吸収を前提とする。これらの欠点によって、特に生物学的使用の場合に多数の望ましい溶液又は懸濁媒体のためには、照射のために使用可能なレーザの著しい制限がある。他の欠点は、懸濁された粒子が場合によってはレーザ（光のわな）を用いてマイクロシステム内で操作され又は光で検知されてしまうことがある。つまり、種々の照射の相互の妨害が生じることがある。最後に、場又は放射線で引き起こされる対流が制限される。何故ならば、液体において局所的に加熱するために、限定された再現性をもってのみ、焦点を位置決めすることができるからである。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の課題は、流体状のマイクロシステムにおいて液体の対流運動を発生させるための改善された方法であって、液体を混合又は渦巻き状に回転させるための従来の技術の欠点を解消する方法を提供することである。この方法は、特に、拡大された使用可能性を有さねばならず、液体の対流運動がマイクロシステム内の液体の吸収特性又は他の特性に係わりなくなされ、高い再現性をもって調整可能である。本発明の課題は、この方法を実現化するための改善されたマイクロシステムを提供することでもある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
これらの課題は、請求項１又は１３夫々に記載の特徴を有する方法及びマイクロシステムによって解決される。本発明の好都合な実施の形態は従属請求項から明らかである。
【００１０】
本発明の基本思想は、液体に対流運動させる従来の技術を、電気勾配又は熱勾配を同時に加えることによって改善して、経時変化する複数の電界が、コンパートメントに設けられている固定式の放射線吸収器の照射によって、マイクロシステムのその時々に所望のコンパートメントの中で、同時に発生されることである。マイクロシステムに放射線吸収器を設けることは、外からの照射の際に局所的な加熱がなされ、所定の熱勾配が、液体の特性に関係なく、再現可能な幾何学的特性をもって及びマイクロシステムにおける他の光学的測定又は操作の妨害なしに発生されるという利点を有する。
【００１１】
本発明によれば、マイクロシステムにおける局所的な加熱は放射線吸収器の照射によってなされる。加熱は照射線源によって発生される。この照射線源からエネルギが向けられ（集束され）、無接触で、放射線吸収器へ伝達される。放射線吸収器と放射線電磁界の源との間には、直接的な機械的接触はない。むしろ、照射線源及び放射線吸収器は互いに離隔している。放射線吸収器の加熱は、例えば、少なくとも１つのレーザビームを放射線吸収器に集束することによってなされ、あるいは、適切な加熱は高周波の放射線（マイクロ波放射線）によってなされる。
【００１２】
本発明の好ましい実施の形態では、液体に対流運動させる方法は、赤外線を吸収する放射線吸収器を用いるために定められている。放射線吸収器がコンパートメントの壁面に、あるいはコンパートメントにある電極に設けられていることは好ましい。少なくとも１つの電極又は電極部分（例えば部分層、表面構造体）を放射線吸収器として形成することは、特に好都合である。このことによって、電極の直接的な加熱は可能となる。熱勾配は電気勾配と同じ液体領域で自動的に発生される。
【００１３】
経時変化する電界の周波数は用途に応じて選択される。この周波数は、好ましくは、液体の平均的な逆の誘電的な緩和時間に対応し、例えば、水溶液に関しては少なくとも１ｋＨｚであり、あるいは、油性の液体に関しては１Ｈｚ又はそれより少ない。
【００１４】
本発明の主題は、本発明に係わる液体の対流運動の実現化のために設けられており、この目的のために、特に少なくとも１つの固定式の放射線吸収器を有する少なくとも１つのコンパートメントを具備するマイクロシステムである。好ましい実施の形態では、少なくとも１つの固定式の放射線吸収器を局所的に加熱する少なくとも１つの外の照射線源を有するマイクロシステムを提供することは好ましい。この組合せは、コンパクトな及び多様に使用可能な構造の特別な利点を有する。
【００１５】
本発明に係わるマイクロシステムは簡略化された構造という利点を有する。流体状のマイクロシステムの任意の箇所には、放射線吸収器を具備し、電界を発生させるための電極及び放射線吸収器を適切に位置決めすることによって液体に対流運動させてなるコンパートメントが、設けられていることができる。
【００１６】
本発明の他の利点及び詳細は、添付した図面の説明から明らかである。
【００１７】
【発明の実施の形態】
まず、放射線吸収器の種々の実現化が示されている図１を参照して、本発明の基本思想を説明する。しかし、本発明の実現化は種々の変更の実施の形態の同時的な実現化に限定されない。むしろ、実際には、図１に示された１つ又は複数の放射線吸収器が、用途に応じてマイクロシステムに設けられていることができる。
【００１８】
図１は流体状のマイクロシステム１００のコンパートメント１０を示している。コンパートメント１０はマイクロシステム１００の任意の部分を示しており、例えば、流路、リザーバ、合流点、分岐点又は他の構造体によってマイクロシステムに形成されている。コンパートメント１０には例えば粒子懸濁液が矢印方向Ａに流れ通り、コンパートメントは少なくとも１つの底部１１及び複数の側面１２を含む。コンパートメント１０の上面は開いているか、上面１３によって閉じられていることができる。コンパートメント１０の横断面寸法は典型的にはサブミリの範囲にある。流体状のマイクロシステム１００において、特にその機能、製造及び構造の他の詳細は知られているので、ここでは詳述しない。
【００１９】
コンパートメント１０では、矢印方向Ａに流れる（又は静止している）液体に対流運動させることが意図されている。この目的のために、コンパートメント１０には、経時変化の電界を形成するための電極アセンブリ２０が設けられている。電極アセンブリ２０は少なくとも１つ、好ましくは少なくとも２つの自由電極２１，２２を含む。これらの電極はコンパートメント１０の１つ又は複数の壁部に設けられている。図１には底面１１に２つのストリップ状の電極２１，２２が例示されている。電圧源（図示せず）と接続するための接続ラインは周知の如く設けられている。
【００２０】
コンパートメント１０には、更に放射線吸収器３０が設けられている。放射線吸収器は、所定の空間的な境界をもってコンパートメントに形成されている放射線吸収領域である。このことは、放射線吸収材料をコンパートメント１０に収容しかつ構造化することによって及び／又は外の放射電磁界をコンパートメント１０の固定構成要素（例えば、電極、壁部）へ（矢印方向Ｂに）集束することによってなされることができる。このことは、放射線吸収器を、場合によっては壁部領域によって又は電極の非導電性延長部によって形成することを意味する。放射線吸収器としては、特に吸収面３１が、コンパートメント１０の種々の壁部（底面１１、側面１２、上面１３）に設けられている。吸収面３１は、外の放射電磁界のための出来る限り高い吸収力を有する、適切に選択された材料からなる。放射線吸収器の大きさは、用途に応じて、コンパートメント１０の寸法に及び場合によっては外の放射電磁界（特に集束可能性）の形状に適合されており、好ましくは、用いられた放射線の半波長に少なくとも同じに選択されている。大きさは、例えば０．５乃至２５μｍの範囲にある。
【００２１】
好ましいとして実現化された変更の実施の形態では、放射線吸収器は、少なくとも１つの電極（全体としては参照符号３２）によって、あるいは、少なくとも１つの電極（電極２１を参照せよ）上の、放射線を吸収する表面構造体３３によって形成される。外の放射電磁界として赤外線光を用いるとき、電極２１，２２が、赤外線スペクトル域で「黒の」物質、例えばチタン、タンタル又はプラチナからなることは好ましい。例えばチタン／プラチナ又はクロム／金からなる多層電極をも用いることができる。他には、導電性の透明な材料（例えばＩＴＯ、導電性のポリマー）からなる電極の使用も可能である。この材料の上には、吸収領域が完全に覆われているように又は（電極２１において図解されるように）構造化されていて塗布されている。
【００２２】
渦巻き状の回転又は混合は、従来の液体の対流運動については部分的に知られている機械機構に従って、コンパートメント１０内でなされる。不均質な媒体に電界を形成することによって、電圧が誘発される。このような電圧の作用によって、液体運動が生じる。マイクロシステムにおける幾何学的な寸法が僅かである故に、電界強度の勾配がｋＶ乃至ＭＶの範囲で実現化される。電界強度の勾配の作用下で、ミクロの渦巻きが発生される。媒体（コンパートメント１０内の液体）を不均質にするために、局所的な熱勾配の形成がなされる。放射線吸収器を局所的に加熱することによって、放射線吸収器の温度が上昇する。液体の中では、勾配を有する温度の場が形成される。電極２１，２２を赤外線照射、例えば赤外レーザによって直接加熱することは好ましい。この実施の形態の特別な利点は、最高の電界強度の領域が限定的に加熱され、従って、誘電的に不均質となることにある。このことは特に効率的な渦巻き状の回転をもたらす。本発明に基づいて設けられた放射線吸収器は、更に、渦巻きが局所的に限定され、システムの慣性が、加熱される容量が少ない故に、特に僅か（＜０．１ｓ）であること、を可能にする。他の利点は、懸濁された粒子を誘電泳動により（ｄｉｅｌｅｋｔｒｏｐｈｏｒｅｔｉｓｃｈ）操作するように調整されている流体状のマイクロシステムにある。これらの場合には、電極アセンブリ２０を、同時に、経時変化する電界を形成するために及び（例えば生物学的細胞の）粒子を誘電泳動により操作するために、用いることができる（図３を参照せよ）。
【００２３】
放射電磁界の導入（Ｅｉｎｋｏｐｐｌｕｎｇ）は、外から、コンパートメント１０の少なくとも１つの透明な壁部を通って、あるいは光ファイバを通ってなされる。放射電磁界の導入は、好ましくは、コンパートメント内の流れ方向（Ａ）とは異なる方向（Ｂ）で、なされる。壁部を通って導入するために、例えば、上面１３又は底面１１が、透明な材料（例えばプラスチック、ガラス等）から製造されている。
【００２４】
コンパートメント１０の照射は、放射線吸収器の形及び吸収特性に従って、拡大された又は集束されたビームによってなされることができる。シングルフォーカスレーザ又はマルチフォーカスレーザを用いることができる。拡大したビームによる照射の際に、複数の放射線吸収器を同時に加熱することができる。放射線吸収器の幾何学的な配置に応じて、コンパートメント１０に所定の渦巻きパターンが生じる。集束された照射の際には、少なくとも１つの焦点（例えば参照符号４０）が相応して少なくとも１つの放射線吸収器に向けられる。照射がコンパートメントの底面、上面又は側面に対し垂直方向になされることは好ましい。
【００２５】
マイクロシステムの状態及びコンパートメント１０内の液体の特性に係わりなく、放射線吸収器の照射を保証するためには、１つ又は複数の放射線吸収器、例えば電極がある壁部が、透明な材料から製造されていることは好ましい。例えば、透明な底面１１に、赤外線吸収材料の電極あるいは底面に設けられた赤外線吸収材料の多層電極が設けられていることが提案されている。
【００２６】
コンパートメントの壁部の部分領域が、製造に応じて、赤外線吸収材料からなるとき、別個の放射線吸収器の取付を省略することができる。この場合、本発明に係わる方法は、外の放射電磁界がコンパートメントの壁部に集束されることによって実現化される。焦点が、電極に直ぐに隣接した箇所、例えば、底面１１又は上面１３にあることは好ましい。
【００２７】
外の放射電界を、電極アセンブリ２０の誘電加熱を引き起こす高周波の電磁放射線によって、形成することもできる。コンパートメント１０の壁部（例えば底面１１）に埋設されている加熱要素による、電極アセンブリ２０の加熱（熱放射）も実現化されていることができる。
【００２８】
図２は本発明に係わるマイクロシステム１００の実施の形態の平面略図を示している。夫々側面１２によって区画されている２つの流路１５，１６には異なった液体が流れ通り、これらの流路は共通の流路１７に通じている。液体の混合がなされることが意図されるコンパートメント１０は、流路１５，１６の共通の合流点に設けられているが、合流点から間隔をあけて下流の流路１７に設けられていてもよいだろう。電極アセンブリ２０は、コンパートメント１０の底面１２に設けられている、破線で示された２つの電極２１，２２と、電極に向かい合った側でコンパートメント１０の上面（図示せず）に設けられている、実線で示された２つの電極２３，２４とを含む。コンパートメント１０の照射は、見る人の目線方向から図面の面に対し直角になされる。底面１１は照射から離隔した面である。上面は、コンパートメント１０の、照射に向いた面である。
【００２９】
電極２１乃至２４は外の交流電圧源に接続されている。これらの電極の間には、交番磁界が発生される。外からの照射によって、個々の又はすべての電極の加熱がなされる。例えば、照射に向いた上方の電極のみが加熱されることが実現化されていることができる。
【００３０】
好ましい実施の形態では、底面及び上面に設けられている電極は異なった形状で形成されている。それ故に、これらの電極は、照射方向からの投射の際に、完全に等しい訳ではない。このことは、コンパートメントの底面又は上面夫々に下方の電極のみか、上方の電極のみを照射することを可能にする。電極の非対称は図２に示されている。下方の電極２１，２２はより大きな長さを有するので、上方の電極２３，２４の投影を越えて延びている。下方の電極２１，２２の端部への外からの照射の集束の際には、下方の電極のみが加熱される。
【００３１】
加熱によって、コンパートメント１０の中を流れる液体の不均等が生じる。交番電界の作用下で、電極及び放射線吸収器によって生起された液体領域には、液体の対流循環が生じるので、液体は混合される。
【００３２】
図３には、本発明の他の実施の形態が平面略図で示されている。この実施の形態では、マイクロシステム１００は、同様に、コンパートメント１０で合流する２つの流路１５，１６を有する。この実施の形態では、電極アセンブリ２０は八極子によって形成される。４つの電極２１乃至２４（大径で示した）はコンパートメント１０の底面１１にある。残りの４つの電極２５乃至２８は（図示しない）上面に設けられている。八極子は、回転する電圧による負荷の際に、場のかご（Ｆｅｌｄｋａｅｆｉｇ）を形成する。この場のかごでは、周知の如く、粒子（例えば生物学細胞）を懸濁状態で保つことができる。
【００３３】
図３に示した装置の課題は、粒子５０を流路１５及び１６から流出する液体で同時に処理することにある。電極アセンブリ２０は、同時に、誘電場のかご（ｄｉｅｌｅｋｔｒｉｓｃｈｅｓ Ｆｅｌｄｋａｅｆｉｇ）を形成するために及び液体の対流運動へと交番電界を発生させるために用いられる。図２の描写に類似して、下方の及び上方の電極が照射方向に完全に等しくはないので、下方の電極を、点４０で、外から、集束して照射し従って加熱することができる。流入する液体に、場のかごの領域で、局所的に渦巻き状に回転が与えられる。
【００３４】
図示した実施の形態とは異なり、液体の混合を、平面状の電極アセンブリによっても達成することができるだろう。この電極アセンブリは電圧が加えられる電極２１乃至２４を底面１１に含むだけであり、これに対して、照射に向いた面には、電極が全然設けられていないか、あるいは、自由電極又は浮動電極が設けられている。しかし、この場合、前記の実施の形態に比べて少ない有効性をもって混合がなされる。
【００３５】
前の記述、図面及び請求項に開示された、本発明の特徴を、本発明の実現化のために、個々に又は任意の組合せで、本発明の種々の実施の形態において重要であり得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】
本発明に係わる方法を実現化するために設けられている、流体状のマイクロシステムの斜視略図を示している。
【図２】
本発明に係わるマイクロシステムの実施の形態の平面略図を示している。
【図３】
本発明に係わるマイクロシステムの他の実施の形態の平面略図を示している。
【図４】
液体の対流運動のために設けられている従来のマイクロシステム（従来の技術）の斜視略図を示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【国際公開パンフレット】
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【国際調査報告】
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