(57)【要約】フェムト秒レーザを用いて光ファイバ（１）または導波路上にレンズを作製する方法。レンズは、熱を適用することによってさらに滑らかにすることができる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１０15Ｗ／ｍ2の出力密度および１ピコ秒以下のレーザパルス持続時間を有するレーザシステムを設けることと、
光ファイバの端部を前記レーザに当て、所望のレンズ形状が得られるように前記光ファイバの一部を切除することと、
を含む、光ファイバ上にレンズを作製する方法。
【請求項２】
前記光ファイバの切除された部分が、前記レンズ面を平滑化するために熱源に当てられる、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記熱源が、電気アーク、ＣＯ2レーザおよび火炎からなる群から選択される、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記出力密度が約１０17〜１０18Ｗ／ｍ2である、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記レーザシステムが、異なる焦点距離の２枚のレンズを具備する、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記レーザシステムが、非球面レンズを具備する、請求項１に記載の方法。
【請求項７】
前記レーザの切削角を調整することによって、前記レンズ形状を制御することができる、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記熱適用の強度および持続時間を調整することによって、前記レンズ形状を制御することができる、請求項２に記載の方法。
【請求項９】
前記光ファイバが、２つ以上の経路で前記レーザに当てられる、請求項１に記載の方法。
【請求項１０】
前記レーザが、約９００ｎｍ以下の波長で動作する、請求項１に記載の方法。
【請求項１１】
少なくとも１０15Ｗ／ｍ2の出力密度および１ピコ秒以下のレーザパルス持続時間を有するレーザシステムを設けることと、
光導波路の端部を前記レーザに当て、所望のレンズ形状が得られるように前記導波路の一部を切除することと、
を含む、光導波路上にレンズを作製する方法。
【請求項１２】
前記導波路の切除された部分が、前記レンズ面を平滑化するために熱源に当てられる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記熱源が、電気アーク、ＣＯ2レーザおよび火炎からなる群から選択される、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記出力密度が約１０17〜１０18Ｗ／ｍ2である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１５】
前記レーザシステムが、異なる焦点距離の２枚のレンズを具備する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１６】
前記レーザシステムが、非球面レンズを具備する、請求項１１に記載の方法。
【請求項１７】
前記レーザの切削角を調整することによって、前記レンズ形状を制御することができる、請求項１１に記載の方法。
【請求項１８】
前記熱適用の強度および持続時間を調整することによって、前記レンズ形状を制御することができる、請求項１２に記載の方法。
【請求項１９】
前記導波路が、２つ以上の経路で前記レーザに当てられる、請求項１１に記載の方法。
【請求項２０】
前記レーザが、約９００ｎｍ以下の波長で動作する、請求項１１に記載の方法。
【請求項２１】
前記光導波路が、平面型光回路である、請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、光ファイバまたは導波路レンズの作製方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
ガラスから構成される光ファイバおよび導波路は、光透過系および他の光学系に用いられることが多い。これらのファイバおよび導波路の端面の機械加工は、このような単一モードまたは多モードのファイバおよび導波路の使用中に、きわめて重大な役割を果たす。端面は、最小の減衰値で光学系のある素子から別の素子への移行を行うことができるように特に均一な表面を有することが重要である。また、ファイバおよび導波路の端面を所定の角度で作製することができ、これらの角度が高信頼性および再現可能であることも重要である。
【０００３】
光源からファイバまたは導波路への光の効率的な結合、またはファイバまたは導波路からの光の効率的な結合を行うためにレンズを利用することが、公知である。光源とファイバまたは導波路との光の結合効率、ファイバまたは導波路の端部の形状およびその端部から発せられる光の量を決定することにより、レンズ付きファイバまたは導波路の性能に関する情報を提供することができる。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明の一面は、光ファイバにレンズを作製する方法であって、少なくとも１０15Ｗ／ｍ2の出力密度および１ピコ秒以下のレーザパルス持続時間を有するレーザシステムを設けることと、光ファイバの端部をレーザに当て、所望のレンズ形状が得られるように光ファイバの一部を切除することと、を含む方法を特徴とする。
【０００５】
本発明のもう１つの面は、光導波路にレンズを作製する方法であって、少なくとも１０15Ｗ／ｍ2の出力密度および１ピコ秒以下のレーザパルス持続時間を有するレーザシステムを設けることと、光導波路の端部をレーザに当て、所望のレンズ形状が得られるように導波路の一部を切除することと、を含む方法を特徴とする。
【０００６】
本発明で用いられるとき、
「レンズ」は、光の屈折のために用いられる、通常はガラスで、通常は湾曲した材料を指し、
「導波路」は、所定の経路に従うために、波の形のエネルギの伝搬を導く構造を指す。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の少なくとも１つの実施形態の利点は、レーザアブレーション工程を用いて、ファイバまたは導波路の大部分における熱応力および機械応力を実質的に欠如することなく、ファイバまたは導波路のレンズの表面成形を制御することができることである。数ナノ秒以上のパルス幅を有するエキシマレーザ、Ｎｄ：ＹＡＧレーザおよびＣＯ2レーザなどのより長いパルス幅を利用する他のレーザ工程に比べて、本発明の超高速レーザ処理は、最小の付随する熱効果によって材料を除去する。所望の形状を形成する際に、熱の欠如は、リフロすることなく所望の形状を作製することができるため、火炎研磨などの他の技術に比べて利点がある。
【０００８】
本発明の少なくとも１つの実施形態の別の利点は、材料を除去するための機械加工に比べて、本発明の工程は、ファイバまたは導波路の端部に曲げ応力を印加しないことから、取り扱いにおける利点がある。
【０００９】
本発明の他の特徴及び利点は、以下に参照する図面や詳細な説明及び特許請求の範囲から明白となるであろう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
フェムト秒レーザは、短い高出力パルスを供給する。パルスのピーク出力は、１０5〜１０10ワットである。パルス長は一般に約１００フェムト秒（ｆｓ）までである。本発明では、パルス長の適切な範囲は、約５０〜約１５０ｆｓである。出力密度レーザは、約１０17〜約１０18Ｗ／ｍ2であることが好ましい。
【００１１】
従来の材料レーザ機械加工は、レーザビームからのエネルギを伝達するために、レーザ波長における材料の固有吸光度に左右される。その結果、エネルギがレーザから処理対象の材料におけるビームの全経路長にわたって吸収される。したがって、材料における特定の体積にレーザエネルギを局部集中させることは困難である。
【００１２】
本発明におけるように、フェムト秒レーザによる機械加工の場合には、用いられるレーザ波長は一般に、材料の固有吸光度がきわめて小さい波長である。したがって、実質的には、低いレーザ強度から中程度のレーザ強度までビームからエネルギが吸収されることはない。しかし、きわめて短いレーザパルス持続時間（約１００ｆｓ）を用い、ビームをきわめて密に集光することによって実現されるように、レーザ強度が十分に高い場合には、非線形機構（すなわち２つ以上の光子が同時に吸収される）によって材料がレーザビームと相互に作用することができ、エネルギはレーザから材料に伝達される。多光子吸収は、１ピコ秒（ｐｓ）より短いレーザパルス持続時間ではきわめて効果的である。短パルスにより、最小の溶融で材料を除去することができ、正確な機械加工という結果になる。しかし、この非線形な吸光度は、強度がきわめて高いレーザ焦点の周囲の小さな体積に生じるに過ぎない。これは、固有吸光度によって生じるレーザ経路全体に沿った吸光度とは対照的である。したがって、フェムト秒レーザは、レーザ機械加工処理中に除去される材料の体積をきわめて正確に制御することができる。最後に、１００ｆｓのパルス持続時間は短く、パルス中に生成される熱がレーザ吸収体積から拡散するためには不十分な時間である。したがって、付随的な熱による損傷もまた最小限に抑えられ、他のレーザによる機械加工に対してフェムト秒レーザ機械加工工程の精度をさらに向上する。一般に、レーザは、約９００ｎｍ以下の波長で作動する。ファイバまたは導波路は、１つの経路または２つ以上の経路でレーザに当てられてもよい。最初の切削は完全にするために複数の経路をとり、第２の切削およびそれ以降の切削は１つの経路で行われることが多い。
【００１３】
本発明の一面によれば、レーザビームの断面の形状は円形から直線までの範囲であってもよい。断面は円形であれば好ましく、楕円形であればさらに好ましい。図１に示されるようなレーザシステムを用いることによって、楕円形の断面を実現してもよい。２つ以上のレンズが用いられる場合には、レンズ間の距離を変更することによって、レーザビーム断面の形状を変更してもよい。たとえば、少なくとも２つの交差する円筒形レンズの焦点が一致せず、適切な距離だけ離隔されている場合には、楕円形を成すレーザ断面を実現することができる。具体的に言えば、第１のレンズの焦点は、第２のレンズの焦点の前に生じる。別の実施例の場合には、円形を成すレーザビーム断面を構成するために、１枚の非球面レンズを用いることができる。さらに別の実施例の場合には、円形のレーザビーム断面を形成するために、集光素子として反射対物を用いることができる。当業者に周知であるように、光学素子は、屈折性、反射性または拡散性であってもよい。当業者はまた、所望の出力密度および強度分布を得るためにレーザビームを集光するために用いる光学素子の適切な数および光学素子の適切な離隔距離を決定することができる。
【００１４】
光ファイバは一般に、光波長の単一モードまたは多モードを伝搬する比較的低い屈折率材料からなるクラッディングによって少なくとも部分的に包囲される比較的高い屈折率のガラスからなるコアを具備する円筒形構造である。
【００１５】
光導波路は、一般に比較的低い屈折率材料からなるクラッディングによって少なくとも部分的に包囲される比較的高い屈折率のガラスからなるコアを具備し、たとえば０．４〜１．７μｍの範囲にある光波長の電磁放射線（一般に長手方向に）を透過するように適合される細長い構造である。導波路構造としては、多モードファイバ、平面型光回路、ホーリーファイバおよびフォトニックバンドギャップファイバなどが挙げられるが、これらに限定されるわけではない。
【００１６】
ファイバまたは導波路レンズは、簡素な構造または複雑な構造に成形されてもよい。適切な形状としては、シングルウェッジ（図２）、切頭ウェッジ（図３）、対称なダブルウェッジ（図４）および非対称なダブルウェッジ（図５）などが挙げられる。一般に、レンズの目的は、光学系における２つの隣接する構成要素の光モードに適合させることである。たとえば、レンズは、レーザ光が進むファイバのモードに発散光源（たとえばレーザ光源）に適合させることができる。
【００１７】
レーザビームがファイバまたは導波路と交差する角度を調整することによって、異なるレンズ形状を実現してもよい。図６によって示されているように、ウェッジ角度は、切削線Ａのように急勾配であってもよく、または切削線Ｄのように浅くてもよい。行われる切削は、切削線ＡおよびＤのように、点としてレンズの先端で交差してもよく、または切削線ＢおよびＣのように先端が一定の長さを有するように中心からずれていてもよい。たとえば、４０〜１２０の角度をはじめとする切削角を変更することによって、広範囲のフルウェッジ角を作製することができる。
【００１８】
レンズ付き光ファイバ端部の利点は、レンズ付きでないファイバ端部に比べた場合、ファイバへの光の効率的な結合、またはファイバからの光の効率的な結合を行う性能が向上されることである。同様の利点は、レンズ付きの端部を有する導波路にも当てはまる。
【００１９】
レンズ付きファイバまたは導波路の結合効率は、ファイバまたは導波路の端部の幾何的形状に左右される。ファイバまたは導波路の端部の幾何的形状は、セントレーション、ウェッジ角およびファイバまたは導波路の端部の丸みを帯びた先端の半径を用いて表現されることができる。セントレーションは、レンズ付きファイバまたは導波路の先端がファイバまたは導波路の光コアに対してどれほど中心に配置されているかの測定値である。ウェッジ角は、ウェッジの一方の面から対向する面までの角度である。ファイバまたは導波路の端部は、２つ以上の半径を備えていてもよい。すなわちレンズ付き端部の表面に２つの垂直半径を備えていてもよい。
【００２０】
ファイバまたは導波路のレンズは、フェムト秒レーザによって切削された後、平滑化を実現するために、熱源に当てることができる。熱源は、たとえば、電気アーク、ＣＯ2レーザまたは火炎であってもよい。レンズを熱に当てることにより、レンズにより滑らかな仕上げを提供する。ファイバまたは導波路は、クラッディングからコアまで実質的に均一の溶融温度を有することが好ましい。より滑らかな仕上げにより、ファイバまたは導波路の端部を通る光のより低い散乱率およびより高い透過率を実現することができる。この差異が、図７および図８を比較するによって示されている。図７および図８はそれぞれ、熱源に曝す前および曝した後のファイバレンズを示している。特に、図７ｃおよび図８ｃは、レンズを熱による平滑化によって実現することができる強度分布における改善を示している。熱適用の強度および持続時間を調整することによって、ある程度までレンズ形状を制御することができる。当然のことながら、強度および／または持続時間の増加は、レンズの形状により大きな影響をもたらす。
【実施例】
【００２１】
本発明は、以下の実施例によって説明することができる。
【００２２】
試験方法
ファイバレンズは、ウェッジ角、セントレーションおよび半径に関して測定された。平滑化されたファイバ端部のウェッジ角およびセントレーションは、４０〜１００倍の倍率で光学顕微鏡を用いて測定された。半径は、以下の遠視野レーザビームプロファイリング技術を用いて決定された。レーザ光源（但し、任意の適切な光源であってもよい）は、レンズ付きでないファイバ端部に発せられ、レンズ付き端部を通り、電荷結合素子カメラ上に結像された。発せられた光は、レンズから２つの異なる距離／位置で集光された。ビーム強度プロファイルの形状は、以下の式を用いてファイバ先端の半径を計算するために用いられた。
【００２３】
【数１】
2006510057.tif 000003
【００２４】
上式において、Ｒは先端の半径であり、ω1およびω2はそれぞれ位置１および位置２で測定されたビームプロファイルのウエストの半径であり、ｎ1はファイバにおける光の屈折率であり、ｎ2は空気の屈折率であり、ωoはファイバのモードフィールド半径であり、λは空気における光の波長であり、δは２つのビームウエスト測定のｚ軸に沿った位置１と位置２との間の距離である。本発明のレンズ付きファイバ端部に関する先端の半径は、以下の表１に示されている。
【００２５】
実施例
さまざまな形状のレンズが、一般に図１に示されている以下の技術を用いて、光ファイバの端部に作製された。単一モードの９８０ｎｍの光ファイバ１（ニューヨーク州コーニングのコーニング・インコーポレイテッド（Ｃｏｒｎｉｎｇ，Ｉｎｃ．（Ｃｏｒｎｉｎｇ，ＮＹ））の１０６０パーモード（１０６０  Ｐｕｒｍｏｄｅ））が、サーボモータ制御式可動ステージ（図示せず）に取付けられた溝付きホルダに配置された。５ｍｍのファイバがホルダの縁を過ぎて延在するようにファイバが配置された。ファイバは、ファイバの端部を切削するために、２５０ミクロン／秒の速度で、レーザビーム２の経路を通過した。レーザ工程用の光学部品は、レーザ、シャッタ、ニュートラルデンシティフィルタホイールおよび１対の交差する円柱レンズからなる。レーザ（図示せず）は、１００フェムト秒のパルス幅を有し、１ｋＨｚで動作し、１．０ワットの平均出力を有するハリケーン  Ｔｉ：サファイア８００ｎｍ赤外線レーザ（カリフォルニア州マウンテン・ヴューのスペクトラ−フィジックス（Ｓｐｅｃｔｒａ−Ｐｈｙｓｉｃｓ（Ｍｏｕｎｔａｉｎ  Ｖｉｅｗ，ＣＡ）））であった。シャッタ３は、レーザビーム用の簡素で機械的なストップであった。ファイバにおけるレーザの平均出力は、レーザビームの経路に適切なニュートラルデンシティフィルタ４を配置することによって制御された。レンズは、それぞれ焦点距離２２０ｍｍおよび１７０ｍｍを有する８００ｎｍ出力のレーザに適した簡素な円柱レンズ５、６であった。レンズは、互いに垂直に向けられ、ファイバが通過する位置からそれぞれ２４０ｍｍおよび１７０ｍｍに配置された。レンズのこの配置によって、楕円形のスポット形状が、ファイバが通過する位置で形成された。ガラスのスライドカバーにおける画像がフルレーザ出力で低下するため、この楕円形のスポット形状は長軸および短軸に関して一般にそれぞれ３００ミクロン×４０ミクロンであった。ファイバは、長軸の方向に沿って進めることによってレーザスポットを横断することになる。
【００２６】
ファイバは、所望の切削角で位置決めされ、切削線７に沿った第１の切削を成すために、２つ以上の経路によって楕円形のスポットの長軸に沿ってレーザビームを移動させた。一般に、ファイバは、第１の切削を完成するために、４００ｍＷ、５２５ｍＷおよび７００ｍＷの平均出力でレーザビームを通過させ、それによって切り取られるファイバ部分８を除去した。
【００２７】
次に、ファイバは、ファイバ軸およびレーザビーム方向を含む平面において異なる切削角までその先端を中心にして回転された。この向きでは、ファイバは、第２の切削を切削するために、７００ｍＷの平均出力でレーザビームを移動させた。シングルウェッジの場合には、レーザ処理ステップは完成することになる。切頭ウェッジおよびダブルウェッジの場合には、レーザ処理は、もう２回の切削のために続行された。ファイバは、その軸を中心にして９０°回転され、適切な切削角まで回転され、ファイバの中心または所望の量だけ中心からずれた位置に第３の切削を成すように位置合せされた。続いて、ファイバは、７００ｍＷの平均出力でレーザビームを移動させた。ファイバは、その軸を中心にして１８０°回転され、ファイバの中心または所望の量だけ中心からずれた位置に第４の切削を成すように位置合せされた。これらのステップの後、切頭ウェッジおよびダブルウェッジのレーザ処理が終了した。
【００２８】
この処理は、以下に記載される実施例の代表である。この説明は、レーザビームを集光するために用いられるレンズの数または種類、レーザビームの形状、通過回数またはこれらの形状を形成するために用いることができるファイバの可能な向きに限定するわけではない。実際には、平均出力およびスポットサイズの要件のみは、そのレーザビームに対してファイバを曝すことによって材料除去を生じるようになっている。各切削角に関する通過の実行もまた、適切に変更することができる。
【００２９】
実施例１（シングルウェッジ）
図２に示されているように、光ファイバの端部にウェッジ形状のレンズを作製するために、（レーザの伝搬方向からファイバの光軸まで測定したときに）１８°の切削角で楕円形のレーザスポットにファイバを最初に通過させ、ファイバを切削した。次に、ファイバは１８０°回転され、続いて、第２回目のスポットを通過し、ウェッジを成した端部を作製した。形成された光ファイバの端部は、次に、２つの電極の間に端部を配置することによって溶融して平滑化した。１０〜１３ミリアンペアの電流および１〜３秒の持続時間で、２つの電極間に電気アークが形成された。エリクソン（Ｅｒｉｃｓｓｏｎ）  ＦＵＳ  ９９５融着スプライサ（スウェーデンストックホルムのエリクソン・ケーブルズ・ＡＢ（Ｅｒｉｃｓｓｏｎ  Ｃａｂｌｅｓ  ＡＢ（Ｓｔｏｃｋｈｏｌｍ，Ｓｗｅｄｅｎ）））が、平滑化ステップに用いられた。平滑化されたファイバは、６２°のウェッジ角（ウェッジの一方の面から対向する面まで測定）、１２５ミクロンの先端長さ、１０．６ミクロンの先端半径および０．１ミクロンのファイバコアに対する先端のセントレーションを備えていた。
【００３０】
実施例２（シングルウェッジ）
ファイバが２５°の切削角で切削された点を除き、ウェッジ形状のレンズは実施例１と同様に作製された。平滑化されたファイバは、７２°のウェッジ角（ウェッジの一方の面から対向する面まで測定）、１２５ミクロンの先端長さ、１１．４ミクロンの先端半径および０．１ミクロンのファイバコアに対する先端のセントレーションを備えていた。
【００３１】
実施例３（切頭ウェッジ）
図３に示されているように、光ファイバの端部に切頭ウェッジ形状のレンズを作製するために、最初の２つの切削では２２°の切削角が用いられた点を除き、実施例１の手順に従った。互いから１８０°で最初の２つの切削から９０°を成す２つのさらなる切削が、２２°の切削角でファイバ端部に施された。平滑化されたファイバは、６３°のウェッジ角（ウェッジの一方の面から対向する面まで測定）、３０ミクロンの先端長さ、１２．８ミクロンの先端半径および０．１ミクロンのファイバコアに対する先端のセントレーションを備えていた。
【００３２】
実施例４（対称なダブルウェッジ）
図４に示されているように、光ファイバの端部にダブルウェッジ（ピラミッド）形状のレンズを作製するために、最初の２つの切削では２２°の切削角が用いられた点を除き、実施例１の手順に従った。互いから１８０°で最初の２つの切削から９０°を成す２つのさらなる切削が、２２°の切削角でファイバ端部に施された。切削は、２組の面が互いに対称であり、ファイバの先端が点で終端されるように位置決めされた。平滑化されたファイバは、１４．３ミクロンの第１の半径、１３．９ミクロンの第２の半径（第１の半径から直角に測定）、６３°のウェッジ角（ウェッジの一方の面から対向する面まで測定）、１．４ミクロンのファイバコアに対する先端のセントレーションを有する２つの凸状の先端を備えていた。
【００３３】
実施例５（非対称なダブルウェッジ）
図５に示されているように、光ファイバの端部にダブルウェッジ（ピラミッド）形状のレンズを作製するために、非対称のファイバ端部を生じる第２の２つの切削では５２°の切削角が用いられた点を除き、実施例４の手順に従った。切削は、ファイバの先端が点で終端されるように位置決めされた。平滑化されたファイバは、１３ミクロンの第１の半径、１６．１ミクロンの第２の半径（第１の半径から直角に測定）、第１の組のウェッジ面には６３°のウェッジ角、第２の組のウェッジ面には１３８°のウェッジ角、０．４ミクロンのファイバコアに対する先端のセントレーションを有する２つの凸状の先端を備えていた。
【００３４】
本発明の種々の修正および変更は、本発明の範囲および精神を逸脱することなく当業者には明白となるであろう。また、本発明は、本願明細書に記載された例示の実施形態に過度に制限するわけではないことを理解すべきである。
【図面の簡単な説明】
【００３５】
【図１】本発明に適した具体的なレーザシステムを示した模式図である。
【図２ａ】本発明によって実現することができるテーパ型円柱シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図２ｂ】本発明によって実現することができるテーパ型円柱シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図２ｃ】本発明によって実現することができるテーパ型円柱シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図３ａ】本発明によって実現することができるテーパ型の切頭シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図３ｂ】本発明によって実現することができるテーパ型の切頭シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図３ｃ】本発明によって実現することができるテーパ型の切頭シングルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図４ａ】本発明によって実現することができるテーパ型の対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図４ｂ】本発明によって実現することができるテーパ型の対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図４ｃ】本発明によって実現することができるテーパ型の対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図５ａ】本発明によって実現することができるテーパ型の非対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図５ｂ】本発明によって実現することができるテーパ型の非対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図５ｃ】本発明によって実現することができるテーパ型の非対称ダブルウェッジレンズを備えたファイバの形状を示した模式図である。
【図６】本発明によって実現することができる複数の切削線の角度を示した模式図である。
【図７ａ】レーザ切削後であって研磨前の光ファイバレンズの顕微鏡写真のディジタル画像である。
【図７ｂ】レーザ切削後であって研磨前の光ファイバレンズの顕微鏡写真のディジタル画像である。
【図７ｃ】異なる色の陰影が一定の強度の領域を表す遠視野ビームのプロファイルのディジタル画像である。
【図８ａ】レーザ切削およびアーク研磨後の光ファイバレンズの顕微鏡写真のディジタル画像である。
【図８ｂ】レーザ切削およびアーク研磨後の光ファイバレンズの顕微鏡写真のディジタル画像である。
【図８ｃ】異なる色の陰影が一定の強度の領域を表す遠視野ビームのプロファイルのディジタル画像である。
【図１】
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【図６】
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【国際調査報告】
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2006510057.tif 000013
2006510057.tif 000014