(57)【要約】【課題】選ばれた温度で電子デバイスを保持する装置等を提供する。【解決手段】電子デバイスの温度を制御する装置は、一体の分離構成要素を含むベース構造に装着されたサーマルヘッドを用いる。たとえば、分離構成要素は、ベース構造のスロットによって画成された平坦なスプリングとして形成することが可能である。ベース構造は、サーマルヘッドおよび冷凍システムの構成部品との間で冷媒液を通すように構成されたマニホールドを有する。分離構成要素は、通常は平坦であるが、サーマルヘッドを電子デバイスに係合させるように移動する。また、分離構成要素は、電子デバイスの平面の配向のばらつきを補正する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの電子デバイスの温度を制御する装置であって、
前記装置は、
サーマルエネルギーを交互に吸収したり放出したりする冷媒液を導くフローループと、
前記電子デバイスに係合するように前記フローループに接続されたサーマルヘッドと、
前記サーマルヘッドが装着されたマウント部分を含み、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、前記冷媒液を通すように、前記フローループの少なくとも一部を画成するベース構造と、を具備し、
前記ベース構造は、
前記マウント部分を前記ベース構造と平面配列になるよう保持し、かつ、前記サーマルヘッドが前記電子デバイスと容易に係合するよう前記マウント部分の移動を許容する分離構成要素を含むことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記分離構成要素は、前記冷媒液の流路を画成するフレキシブルアームを少なくとも１つ含んでいることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記分離構成要素は、複数のフレキシブルアームを有し、
前記フレキシブルアームの一つは、第一および第二の流路をそれぞれ画成することを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記複数のフレキシブルアームは、前記マウント部分を支持するフレキシブルアームを計３つ含んでいることを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記フレキシブルアームは、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、前記冷媒液の侵入および排出のための２つの流路をそれぞれ並列に画成していることを特徴とする請求項２に記載の装置。
【請求項６】
前記ベース構造は、ほぼ平坦構造を有し、
前記マウント部分および前記分離構成要素は、前記ベース構造で画成された配列スロットによって形成されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記ベース構造は、互いに並設されたほぼ平坦な層を複数有することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記ベース構造は、上層と下層の間に挟まれた中間層を有することを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】
前記中間層は、前記フローループの前記少なくとも一部を形成する流路が画成されていることを特徴とする請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記ベース構造は、互いに並設された２つの層を含み、前記２つの層の少なくとも一つは、前記フローループの前記少なくとも一部を形成する流路を画成した溝を有することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項１１】
前記フローループは、サーマルエネルギーを交互に吸収したり放出したりするため、前記冷媒液が気体と液体との間の状態に変わる、コンプレッサおよび凝縮器を含む冷凍システムで前記冷媒液を循環することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１２】
請求項１に記載の装置において、前記ベース構造に設置されたバルブをさらに含み、前記バルブは、前記サーマルヘッドへの前記冷媒液の流れを制御するように動作することを特徴とする装置。
【請求項１３】
前記バルブは、前記マウント部分に装着されていることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１４】
前記バルブは、前記ベース構造の流路で配置されたピンチポイント(pinch point)によって形成されていることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の装置において、前記サーマルヘッドを前記電子デバイスに係合状態に移動させるよう動作する制御機構をさらに有することを特徴とする装置。
【請求項１６】
前記制御機構は、圧縮ガス源により作動することを特徴とする請求項１５に記載の装置。
【請求項１７】
前記ベース構造は、各サーマルヘッドを移動させるようにした複数のマウント部分を有し、前記マウント部分の各々は、それぞれの分離構成要素によって支持されていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１８】
前記分離構成要素は、平坦なスプリングを含むことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項１９】
複数の電子デバイスの温度を制御する装置であって、
前記装置は、
複数のサーマルヘッドと、
前記複数のサーマルヘッドの各々を支持する複数の平坦なスプリングを有するベース構造と、を具備し、
前記複数の平坦なスプリングの各々は、各サーマルヘッドに対応する前記電子デバイスに係合させるように移動させることが可能なことを特徴とする装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の装置において、前記サーマルヘッドを前記各電子デバイスに係合させるように移動させるように動作する制御機構をさらに有することを特徴とする装置。
【請求項２１】
前記制御機構は、圧縮ガス源により作動することを特徴とする請求項２０に記載の装置。
【請求項２２】
前記制御機構は、前記サーマルヘッドを押して前記各電子デバイスに係合させる半剛体袋（semirigid bladder）を含むことを特徴とする請求項２１に記載の装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の装置において、前記ベース構造に装着され、かつ前記サーマルヘッドの各々に関連する各バルブをさらに含み、
前記半剛体袋は、前記サーマルヘッドを押して前記電子デバイスに係合させるため、前記バルブに係合することを特徴とする装置。
【請求項２４】
前記ベース構造は、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、前記冷媒液を通す流路を画成するマニホールドとして構成されていることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２５】
前記ベース構造は、互いに並設された複数のほぼ平坦な層を含むことを特徴とする請求項２４に記載の装置。
【請求項２６】
前記ベース構造は、上層と下層との間に挟まれた中間層を有し、前記中間層には、前記流路が画成されていることを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２７】
前記ベース構造は、上下平行に並べられた２層を含み、前記２層の少なくとも一方が、前記流路を画成する溝を有することを特徴とする請求項２５に記載の装置。
【請求項２８】
前記平坦なスプリングの各々は、前記冷媒液の流路を画成するフレキシブルアームを少なくとも１つ含むことを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項２９】
前記平坦なスプリングの各々は、複数のフレキシブルアームを含み、そのうちの２つは、第１および第２の各流路を画成していることを特徴とする請求項２８に記載の装置。
【請求項３０】
前記複数のフレキシブルアームは、計３つ含むことを特徴とする請求項２９に記載の装置。
【請求項３１】
前記フレキシブルアームは、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、冷媒液の侵入および排出のための２つの流路をそれぞれ並列に画成していることを特徴とする請求項３０に記載の装置。
【請求項３２】
前記平面状のスプリングの各々は、前記ベース構造で画成された配列スロットにより形成されていることを特徴とする請求項１９に記載の装置。
【請求項３３】
サーマルヘッドが装着されたマウント部分を画成するほぼ平坦なベース構造を含み、
前記マウント部分は、分離構成要素に支持され、
前記分離構成要素は、前記サーマルヘッドが引っ込み位置と伸張位置との間を動くように構成され、かつ、前記ベース構造で画成された配列スロットにより生成されていることを特徴とする装置。
【請求項３４】
請求項３３に記載の装置において、前記サーマルヘッドを前記電子デバイスに係合状態に移動させるよう動作する制御機構をさらに含むことを特徴とする装置。
【請求項３５】
前記制御機構は、圧縮ガス源により作動することを特徴とする請求項３４に記載の装置。
【請求項３６】
前記ベース構造は、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、冷媒液が通る流路を画成するマニホールドとして構成されていることを特徴とする請求項３３に記載の装置。
【請求項３７】
前記ベース構造は、互いに並設されたほぼ平坦な層を複数含むことを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３８】
前記ベース構造は、上層と下層の間に挟まれた中間層を有し、前記中間層は、前記流路を画成していることを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項３９】
前記ベース構造は、互いに上面を向かい合わせて並べられた２層を含み、前記２つの層の少なくとも一つは、前記流路を画成する溝を有することを特徴とする請求項３６に記載の装置。
【請求項４０】
サーマルヘッドが装着されたマウント部分を画成するほぼ平坦なベース構造を含み、
前記マウント部分は、分離構成要素に支持され、
前記分離構成要素は、前記サーマルヘッドが引っ込み位置と伸張位置との間を動くように構成され、冷媒液を導く流路を画成するフレキシブルアームを少なくとも一つ含むことを特徴とする装置。
【請求項４１】
前記分離構成要素は、複数のフレキシブルアームを含み、前記複数のフレキシブルアームのうちの２つは、第１および第２の流路をそれぞれ画成していることを特徴とする請求項４０に記載の装置。
【請求項４２】
前記複数のフレキシブルアームは、前記マウント部分を支持するフレキシブルアームを計３つ含むことを特徴とする請求項４０に記載の装置。
【請求項４３】
前記フレキシブルアームは、前記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから、冷媒液の侵入および排出のための２つの流路をそれぞれ並列に画成していることを特徴とする請求項４０に記載の装置。
【請求項４４】
前記ベース構造は、互いに並設されたほぼ平坦な層を複数含むことを特徴とする請求項４０に記載の装置。
【請求項４５】
前記マウント部分および前記分離構成要素は、前記ベース構造で画成された配列スロットにより形成されていることを特徴とする請求項４４に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、一般的に所定の温度で電子デバイスを保持する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
サーマル装置は、テストおよびバーンインの工程中に電子デバイスの温度を制御する電子工業で用いられる。従来、テスト下のデバイス（Device Under Test：DUT）は、「バーンインオーブン」（Burn-In Oven）がまさしく--オーブンであるかのような低電力消費であった。テストが行われる温度にするまでDUTに熱を加える必要があった。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ここ２、３年でこのような状況が変わった。なぜなら、DUTが高電力になってきたので、多少の冷却が必要になったからである。初期には冷却は、送風空気をDUTに向けて起こり、送風空気で、加えられた熱が下がった。その後、冷却された液体および熱電式冷却システム（TEC：Thermal Electric Cooler）を使用して蓄えに加えられた。これら２つについて、上記電子工業では、それらがいずれかのヒータ（冷却された液体の場合）を利用し、さらにTECがヒータそのものとなる他のテストと同様の技術を利用している。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
一面において、本発明は、少なくとも１つの電子デバイスの温度を制御する装置を提供する。上記装置は、サーマルエネルギーを交互に吸収したり放出したりする冷媒液を導くフローループを含む。サーマルヘッドは、上記電子デバイスに係合するように上記フローループに接続される。
【０００５】
さらに、上記装置は、上記サーマルヘッドが装着されたマウント部分を含むベース構造を含む。上記ベース構造は、上記サーマルヘッドへかつ前記サーマルヘッドから上記冷媒液を通すように、上記フローループの少なくとも一部を画成する。加えて、上記ベース構造は、上記マウント部分の分離構成要素を含む。上記分離構成要素は、前記マウント部分を前記ベース構造と平面配列になるよう保持し、かつ、前記サーマルヘッドが前記電子デバイスと容易に係合するよう前記マウント部分の移動を許容する。
【０００６】
いくつか例示する実施の形態では、上記分離構成要素は、上記冷媒液の流路を画成する一つのフレキシブルアームを少なくとも含む。たとえば、上記分離構成要素は、複数のフレキシブルアームを少なくとも有し、そのうちの２つは、第一および第二の流路をそれぞれ画成する。多くの場合、分離構成要素は、上記マウント部分を支持する計３つのフレキシブルアームを備えることが望ましい。
【０００７】
実施の形態でも、上記サーマルヘッドへかつ上記サーマルヘッドから、冷媒液の侵入および排出のための２つの流路をそれぞれ並列に画成することが考えられている。
【０００８】
好ましくは、上記ベース構造は、配列スロットによって形成された、上記マウント部分および分離構成要素でほぼ平坦構造を有する。このような実施の形態では、上記ベース構造は、互いに並設されたほぼ平坦な層を複数含みうる。たとえば、上記ベース構造は、上層と下層との間に挟まれ上記冷媒液の流路を画成する中間層を有しうる。他の実施の形態では、上記ベース構造は、互いに並設された２つの層を含みうる。少なくとも、２つの層のうちの１層は、上記流路を画成する溝を有しうる。
【０００９】
多くの場合、上記装置のフローループは、コンプレッサおよび凝縮器を含む冷凍システムにおける冷媒液を循環することとなる。このようなシステムにおける上記冷媒液は、サーマルエネルギーを交互に吸収したり放出したりするために、気体と液体との間の状態を変化することとなる。
【００１０】
実施の形態でも、上記サーマルヘッドへの冷媒液の流れを制御するベース構造に設けられたバルブを含む装置が考えられている。いくつかの場合、上記バルブは、上記ベース構造の上記マウント部分に装着されうる。上記バルブは、上記ベース構造の流路で配置されたピンチポイント(pinch point)によっても形成されうる。
【００１１】
もう一つの面において、本発明は、複数の電子デバイスの温度を制御する装置を提供する。上記装置は、ベース構造および複数のサーマルヘッドを含む。上記ベース構造は、上記複数のサーマルヘッドの各々を支持する複数の平坦なスプリングを有する。上記複数の平坦なスプリングの各々は、各サーマルヘッドに対応する上記電子デバイスに係合させるように移動することが可能である。
【００１２】
例示する実施の形態では、上記装置は、上記サーマルヘッドを各電子デバイスに係合させるよう移動させる制御機構を含む。多くの場合、それは、圧縮ガス源によって作動する制御機構であることが望ましい。上記制御機構は、上記サーマルヘッドを押して各電子デバイスに係合させる半剛体袋（semirigid bladder）を含むことが望ましい。いくつかの例示する実施の形態では、半剛体袋は、各サーマルヘッドに関連するバルブに係合しうる。好ましくは、上記ベース構造は、上記サーマルヘッドへかつ上記サーマルヘッドから、冷媒液を通す流路を画成するマニホールドとして構成されうる。
【００１３】
さらなる面において、本発明は、サーマルヘッドが装着されたマウント部分を画成するほぼ平坦なベース構造を含む。上記マウント部分は、サーマルヘッドが、引っ込み位置と伸張位置との間を移動するように構成された分離構成要素によって支持されている。上記分離構成要素は、上記ベース構造で画成された配列スロットによって構成されている。
【００１４】
本発明の他の面は、サーマルヘッドが装着されたマウント部分を画成するほぼ平坦なベース構造を含む装置であることである。上記マウント部分は、分離構成要素によって支持されている。上記分離構成要素は、引っ込み位置と伸張位置との間で上記サーマルヘッドを移動するように構成されている。さらに、上記分離構成要素は、冷媒液を通す流路を画成するフレキシブルアームを少なくとも１つ含む。
【００１５】
本発明の他の目的、特徴および態様は、後記する発明の詳細な説明に説明している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、図面を参照して本発明について説明する。なお、ここでの説明は、実施の形態の単なる例示であり、構成例で具体化された本発明のより広い態様を制限するものでないことを理解すべきである。
【００１７】
図１は本発明における装置１０の構成を例示している。ここでは、装置１０は、バーンイン工程を経る多数の電子デバイス１２の温度が同じようになるように制御する。おわかりのように、デバイス１２は、それぞれのキャリア基板１４に設けられた集積回路装置である。各基板１４は、バーンインの据付具１８の対応するソケットと合う複数のコンタクトピン１６（あるいは他の好ましいコンタクト）を有している。当業者であればわかるとは思うが、据付具１８は、各デバイス１２を駆動するためのエネルギーを供給する。また、据付具１８は、バーンイン工程中、デバイス１２が受けることとなる種々のコマンド（リード／ライト）の初期化も行う。
【００１８】
装置１０は、対応するデバイス１２に関連して、複数のサーマルヘッド２０を有する。サーマルヘッド２０は、その下面が、対応するデバイス１２の上面とサーマル係合するように移動する。その結果、デバイス１２の動作温度は、所望に制御されることとなる。
【００１９】
ここでは、サーマルヘッド２０は、コンプレッサ２２および凝縮器２４をも含む冷凍システムにおける蒸発器として構成されている。冷凍システムは、サーマルエネルギーを交互に吸収したり放出したりするように、液フローループを循環する冷媒液を用いる。これは、冷媒液が、公知の冷凍サイクルにおける気体と液体の間の状態で変わるときに生じる。この目的のために選ばれる特定の冷媒は、用途の具体的な要求によって決まる。
【００２０】
冷媒液が液体から気体の状態に気化するとき、冷媒液は、デバイス１２の位置で余分のサーマルエネルギーを吸収する。この気化は、各サーマルヘッドで画成された循環流路２６（図４）で生じる。サーマルヘッドを出ていく低圧ガスは、アウトレットチューブ２８に沿ってコンプレッサ２２に供給される。そうして得られる高圧ガスは、チューブ３０に沿って、サーマルエネルギーの放熱を蓄積するコンプレッサ２４に供給される。その結果、冷媒液が液体に凝縮される。
【００２１】
凝縮器２４からの高圧液は、インレットチューブ３２に沿ってサーマルヘッド２０に戻される。本実施の形態では、チューブ３２の内径は、毛管（キャピラリチューブ）３４を形成するため所定の位置で変化している。
【００２２】
おわかりのように、サーマルヘッド２０は、ほぼ平坦なベース構造３６の下に設置されている。例示の実施の形態では、ベース構造３６は、毛管３４から各サーマルヘッド２０までを冷媒液が通る流路を画成するマニホールドとして機能する。同様に、サーマルヘッドを出ていく冷媒液が、ベース構造３６の流路によってアウトレットチューブ２８に戻っていく。
【００２３】
当業者には、ベース構造３６は、冷媒液が循環するフローループの部分を含むことがわかる。上記装置は、所望の温度降下をうむフローループの下流部分で冷媒液の膨張が生じるように構成されている。冷媒を膨張させる方法は、特定の設計によって決められる。たとえば、膨張は、毛管３４とベース構造３６の内部の流路との組み合わせをまたいで生じうる。
【００２４】
現時点で好ましい実施の形態では、膨張は、毛管３４と、各サーマルヘッド蒸発器の入口との間に定置された制御用バルブ３８でも生じうる。ここでは、バルブ３８の各々が、バルブ要素４２が設けられたバルブハウジング４０を有して構成されている。０９／８７１，５２６の出願番号の出願で詳述されているように、バルブ要素４２は、正確な温度制御を行う方法で冷媒液を計量して対応するサーマルヘッドに供給する機能を持つ。
【００２５】
当業者には、冷凍システムは、液圧ポンプを備えたサーマルコンプレッサを含んで構成されうることがわかる。（すなわち、戻り管に接続されたサーマルヘッドから戻される飽和蒸気圧より低圧の圧力である温度下での凝縮器である。）上記凝縮器で蒸気が凝縮し、冷媒液が、サーマルヘッドへの排出を押し進めるための圧力差を発生させる普通の液圧ポンプで圧送される。このことは、凝縮器を備えたコンプレッサ２２と、液圧ポンプを備えた凝縮器２４とを配置した図１に図示されている。この配置が用いられる状況においては、図示された配置で有益なエネルギーの節約が可能となりうる。
【００２６】
また、冷凍効果は、冷媒を気化する以外にも、冷媒を暖めることによっても得ることができる。一般的に、冷却には２つの効果がある。第一に、液体からガス（潜熱）への状態変化によるものがある。第二に、冷たい温度から暖かい温度（顕熱）にガスを暖めることによるものである。潜在している冷却効果からは、許容の温度変化内で循環する冷媒につき、有効な高冷却効果を得ることができるが、上記２つの効果は、上記電子デバイスの熱負荷の状況に左右し、上記サーマルヘッドで利用される。
【００２７】
ここで、図２Ａおよび図２Ｂを参照すると、制御機構は、好ましくはサーマルヘッド２０を、各デバイス１２と係合状態に移動させるように設けられる。種々の異なるタイプの機構がこの目的（たとえば電気機構）に利用されているが、例示した実施の形態では、サーマルヘッド２０を所定のポジションに信頼しかつ正確に移動するための膨張可能な半剛体袋（semirigid bladder）４４が用いられる。おわかりのように、半剛体袋４４は、チャンバ４８を形成するようにハウジング４６の内側に設けられている。ここでは、半剛体袋４４は、半固着シート５２に接合されたフレキシブルシート５０を有する合成物である。
【００２８】
矢印５４に示されるように、ドライエアのような圧縮ガスがチャンバ４８に入る。そうすると、半剛体袋４４が膨張し、半固着シート５２が各バルブハウジング４０のすべてを同時に押すこととなる。この膨張中、フレキシブルシート５０の形状により、半固着シート５２がほぼ水平に保持されることとなる。その結果、複数のサーマルヘッド２０は、制御力で、引っ込み位置（図２Ａ）からデバイス１２に係合する伸張位置（図２Ｂ）の側に動かされる。
【００２９】
ここで、上記装置のさらなる特徴を図３Ａおよび図３Ｂを参照して説明する。図３Ａに示すように、上記引っ込み位置では、サーマルヘッド２０は、ベース構造３６に並設されている。しかし、図３Ｂに示すように、上記伸張位置では、サーマルヘッド２０は、ベース構造３６の静止位置から離間されている。このベース構造の下端の方で、ベース構成３６は、各サーマルヘッド２０が装着されるマウント部分５６を有する。マウント部分５６は、サーマルヘッド２０の下方への移動を可能にする、対応する分離構成要素５８によって支えられている。
【００３０】
例示の実施の形態では、分離構成要素５８は、上記引っ込み位置において、ベース構造３６の静止部分と同一の平面上にあることとなる平坦なスプリングとして構成されている。したがって、これらの要素（マウント部分など）は、図３Ａの側面図では「隠れ」ている。
【００３１】
また、分離構成要素５８は、ベース構造３６の静止部分について、サーマルヘッド２０を浮動させるようにすることも可能にする。このことは、サーマルヘッド２０とデバイス１２の各平面の配向の間に多少の変化があるにもかかわらず、サーマルヘッド２０とデバイス１２の間を同一平面にする。このようにすることによって、デバイス１２とサーマルヘッド２０との間では、より効果的なサーマル係合（したがって、熱伝達）が容易になる。
【００３２】
ここで図４を参照すると、ベース構造３６は、互いに並設されたほぼ平坦な層を複数有して構成されている。多層構造は、冷媒液の流路がベース構造３６の内部で容易に構成されることを可能とする。たとえば、例示の実施の形態では、上層６２と下層６４との間に挟まれた中間層６０を含んでいる。中間層６０は、冷媒液の侵入および排出（それぞれ符号６６および６７で示されている）のための流路を画成するように形成されている。ベース構造３６の上記層は、ステンレス鋼のような適切な材料で構成されうる。上記層がシート金属で構成される実施の形態では、上記層を互いに接合するために、ろう付け法が利用されうる。
【００３３】
一連のスロット６８は、マウント部分５６と分離構成要素５８とを形成するために、ベース構造３６を介して画成されている。このようにして、スロット６８は、平坦なスプリングを作製するフレキシブルアーム６９をそれぞれ形成する。
【００３４】
ここで、好ましい実施の形態にみられる３層６０、６２、６４の特定の構成について図５Ａないし図５Ｃを参照して説明する。３層はすべて、バルブ要素４２からの冷媒液がサーマルヘッド２０の流路２６を通って導かれる中心穴７０を画成している。
上層６２は、入口路６６（中間層６０で画成されている）のターミナル部分７４と合わさる穴７２をさらに画成している。その結果、上記入口路に沿って導かれる冷媒液は、穴７２、バルブ要素４２、それから穴７０を通る。冷媒液は、サーマルヘッド２０の流路２６を通過した後、下層６４の排出穴７６ａ、７６ｂを介してサーマルヘッド２０を出ていく。排出穴７６ａ、７６ｂは、排出路６７（中間層６０でも画成されている）のターミナル部分７８ａ、７８ｂと一直線上にある。意義深いことに、入口路６６および排出路６７は、フレキシブルアーム６９に沿って延びていることがわかる。
【００３５】
ここで、図６ないし図８を参照すると、他のベース構造８０が例示されている。ここでは、ベース構造８０は、上述した３層ではなく、上層８２および下層８４で構成されている。中間層がないので、液路は、２層の一方または双方で画成された溝で形成される。たとえば、図８では、入口路８６が上層８２の溝８７によって形成されていることがわかる。その他、ベース構造８０の構成は、ベース構造３６とほぼ同様である。
【００３６】
いくつかの場合、上記ベース構造は、上述した外部に取り付けられたバルブではなく、上記各サーマルヘッドと一体にバルブを有して構成されている。図６に示すように、たとえば、入口路８６は、選ばれた位置で幅広の部分８８を有している。ここで、図７Ａを参照すると、部分８８は、通常、冷媒液が流れるように開くこととなる。しかし、図７Ｂの矢印９０で示されるように、下方への力が加えられると、入口路がこの位置で細くなる。その結果、冷媒液の流れを調整して、関連するサーマルヘッドの温度を制御することが可能となる。当業者には、上記バルブを作動する適切な機構が設けられていることがわかる。
【００３７】
図９は本発明におけるベース構造９２の構成を例示している。ここでは、上記分離構成要素は、絞り半径のスパイラルを画成するスロット９４によって形成されている。したがって、スロット９４は、好ましい実施の形態で例示された多層のフレキシブルアームではなく、単一のフレキシブルアーム９６を有する分離構成要素を生成する。図１０に示すように、冷媒液の侵入および排出は、アーム９６の長さに沿って平行に延びる一対の液路９８および１００によって設けられている。
【００３８】
本発明は、選ばれた温度で電子デバイスを保持する装置を提供することがわかる。発明の好ましい実施の形態が示され説明されているが、本発明の本旨および範囲から離れないで変更および改造を加えうる。たとえば、上記サーマルヘッドの冷却部分は、上述した実施の形態において蒸発器として構成されている。しかし、冷却された液体がサーマルヘッドを通して循環させられることも実施の形態で考えられる。なお、上記説明が単なる態様の例示であって、請求の範囲でさらに詳述された発明を制限するものではない。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】電子デバイスの温度を制御する本発明について構成された装置の線図である。
【図２Ａ】サーマルヘッドが引っ込み位置にある状態における図１の装置のベース構造を示す説明図である。
【図２Ｂ】サーマルヘッドが伸張位置にある状態における図１の装置のベース構造を示す説明図である。
【図３Ａ】引っ込み位置での単一のサーマルヘッドの拡大図である。
【図３Ｂ】伸張位置での単一のサーマルヘッドの拡大図である。
【図４】図３Ａの４−４矢視断面図である。
【図５Ａ】図４に示した３層のベース構造の上層を示す説明図である。
【図５Ｂ】図４に示した３層のベース構造の中間層を示す説明図である。
【図５Ｃ】図４に示した３層のベース構造の下層を示す説明図である。
【図６】互いに並設された２層を有する他の第１のベース構造の上面図である。
【図７Ａ】バルブが開いた位置にある状態における図６の７−７矢視断面図である。
【図７Ｂ】バルブが閉じた位置にある状態における図６の７−７矢視断面図である。
【図８】図６の８−８矢視断面図である。
【図９】単一のフレキシブルアームを有する他の第２のベース構造の上面図である。
【図１０】図９の１０−１０矢視断面図である。
【図１】
2006523838.tif 000003
【図２Ａ】
2006523838.tif 000004
【図２Ｂ】
2006523838.tif 000005
【図３Ａ】
2006523838.tif 000006
【図３Ｂ】
2006523838.tif 000007
【図４】
2006523838.tif 000008
【図５Ａ】
2006523838.tif 000009
【図５Ｂ】
2006523838.tif 000010
【図５Ｃ】
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【図６】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【国際調査報告】
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