(57)【要約】エッチングされた相互接続層のステッチされたマスクの単向性位置ずれの電気的測定する調整された可変抵抗構造のための装置および方法は、第１のテストパッド（１０１）と第２のテストパッド（１０２）であって、これらの間の抵抗値を測定するためのパッドと、第１のテストパッド（１０１）に第１の端部において電気的に接続された第１の抵抗素子（１０５）と、第２のテストパッド（１０２）に第１の端部において電気的に接続された第２の抵抗素子（１０５）と、を含む。第１の抵抗素子と第２の抵抗素子とは、縦オフセット（１１２）により、電気的に接続されている。第１のテストパッドと第２のテストパッドとの間を測定した抵抗値は、図１Ｃ−図１Ｅに見られる、縦オフセットに対する第１の抵抗素子と第２の抵抗素子との位置決めに従って可変である。指示器は、抵抗素子が位置決めされている表示を選択的に備えてもよい。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
ステッチされたマスクの位置決めの電気的測定ための装置であって、
第１のテストパッドと第２のテストパッドであって、これらの間の抵抗値を測定するためのパッドと、
前記第１のテストパッドに対し第１の端部において電気的に接続された第１の抵抗素子と、
前記第２のテストパッドに対し第１の端部において電気的に接続された第２の抵抗素子と、を備え、
前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とは、縦オフセットにより、電気的に接続されており、
前記第１のテストパッドと前記第２のテストパッドとの間を測定した抵抗値は、前記縦オフセットに対する前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子との位置決めに従って可変であることを特徴とする装置。
【請求項２】
前記第１のテストパッドと前記第２のテストパッドとの間を測定した前記抵抗値は、第１の抵抗素子と第２の抵抗素子とが第１の位置においてずれているとき、減少することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第１のテストパッドと前記第２のテストパッドとの間を測定した前記抵抗値は、第１の抵抗素子と第２の抵抗素子とが第１の位置に反対側の第２の位置においてずれているとき、増加することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とがほぼ位置決めされている場合に、前記抵抗素子の抵抗測定値は、ほぼ等しいことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第１の抵抗素子と第２の抵抗素子とは、相互に接続するために重ねられたそれぞれのマスクにエッチングされることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項６】
前記第１の抵抗素子の第２の部分と前記第２の抵抗素子の第２の部分とは、少なくとも部分的に互いに重なっていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項７】
前記テストパッド間を測定した抵抗値を表示するための手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項８】
前記パッド間を測定した抵抗値に従って音の高さが違う音響手段をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
（ａ）第１のテストパッドと第２のテストパッドであって、それらの間の抵抗値を測定するためのパッドを用意するステップと、
（ｂ）第１の抵抗素子を前記第１のテストパッドの第１の端部に電気的に接続するステップと、
（ｃ）第２の抵抗素子を前記第２のテストパッドの第１の端部に電気的に接続するステップと、
（ｄ）前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とを一緒に縦オフセットの反対の端部に接続するステップと、
（ｅ）第１のテストパッドと第２のテストパッドとの間の抵抗値を測定するステップと、
を備えることを特徴とするステッチされたマスクの位置決めの電気的測定の方法。
【請求項１０】
（ｆ）測定された抵抗値と規定の抵抗値とを比較することにより、前記第１の抵抗素子と前記第２の抵抗素子とが位置決めされているかどうかを決定するステップをさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
指示手段は、測定された抵抗値が所定の限内にあるか否かを表示することを特徴とする請求項１０に記載の方法。
【請求項１２】
前記指示手段は、視覚的指示を備えることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
前記指示手段は、聴覚的指示を備えることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
１．本発明は、調整された抵抗構造に関する。さらに詳しくは、本発明は、エッチングされた相互連結層のためのステッチされたマスク（stitched masks）の単向性位置ずれの測定に関する。
【背景技術】
【０００２】
２．先行技術において、ステッチオフセット（stitching offsets）を測定する技術は、普通、ステッチにおける変化を検出する光学的手法を用いる。例えば、Wang氏その他のU.S.特許4,431,923は、放射線の焦点を合わされたビームで選択された部材を正確に位置決めするための、または、互いに２つの選択された部材を位置決めするためのプロセスを開示している。所定の空間パターンを有する位置決めマーク(alignment marks)の組は、各々の部材の表面上に、はじめに準備される。次に、時間関数である連続的な電気信号を備えるとともに、位置決めマークの組において各々のマークの相対的位置に対応する連続的な情報を含む検出信号が、位置決めマークの組から生成される。そして、検出信号は、高い信号対雑音比で、位置決め信号（alignment signal）を生成するために電気的に処理される。次に、位置決め信号は、位置ずれの程度を表示するエラー信号を生成するため、位置決めの規定された基準を表す参照信号と比較される。最後に、ある選択された部材の横方向の移動が、照射の集束されたビームで選択された部材、または、相互の２つの部材の正確な位置決めが達成されるまで、エラー信号に応答して生成される。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
ＩＣの相互連結の抵抗値は、平方で測定されること、および、より狭い部分は、与えられた長さに対し、より抵抗性であることも公知である。ステッチは、マスク位置決めにより不確実を引き起こし得ることもまた知られている。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、可変抵抗のためのマスク位置ずれを用いることによりステッチされたマスクの組のエッチングされた抵抗のオフセット検出を分離するための方法および装置に向けられている。例えば、第１の構造の第１のマスクと第２の構造の第２のマスクとが位置決めされている場合、この構造は、ステッチされたマスク組の第２のマスクにおいてオフセットがない同じ抵抗値を有する。しかしながら、オフセットが発生した場合、一方の構造の抵抗値は、他方の構造の抵抗値が増加する同じ値まで、減少する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下の記述の中で、限定より説明の目的のために、本発明の完全な理解を提供するために、特定の詳細な記述、例えば、特定のアーキテクチャ、インターフェース（interfaces）、技術等が、説明される。しかしながら、本発明が、これらの特定の詳細な記述から離れた他の実施例に実施されてもよいことは、当業者にとって明らかである。その上、明瞭化の目的のために、周知のデバイス、回路、および方法についての詳細な説明は、不必要な詳説により本発明の記述が不明確にならないように省略される。
【０００６】
図１Ａは、本発明の第１の側面に従うエッチングされた抵抗構造１０５、１１０（図１Ｂに図示）の位置決めのために使用される第１のテストパッド１０１と第２のテストパッド１０２とを示す。望まれる作用は、縦オフセット１１２により電気的に接続されたある抵抗構造を形成するために、図１Aと図１Bとを重ね合わせることである。
【０００７】
構造の配置（geometry）は、オフセット方向（offset direction）を分離させ、テストパッド間の抵抗値を比例して減少させ、または、比例して増加させる原因になることがある。例えば、図１Dに示すように、テストパッド間の抵抗値は、縦オフセット１１２に比例して減少する。同様に、もし、図１Eのように、位置ずれが発生した場合には、抵抗構造間の縦オフセット１１２が長くなるとともに、テストパッド間の抵抗値は比例して増加する。
【０００８】
図１Fから図１Jに関しては、素子が結合されるとき、経路のある程度の部分的な重なりが在るように、抵抗素子１１５、１２５が設計されているのを見ることができる。
【０００９】
図１Fと図１Gとは、テストパッドにおける抵抗値が最低の水準である、図１Ｈで示される状態を作るために、それらのマスクを重ねさせることができる。もし、マスク１２５が図１Ｉに示されるようにずれている場合、パッド間の抵抗値は、縦オフセットに比例して増加する。逆に、もしマスク１２５が図１Ｊに示されるようにずれている場合、パッド間の抵抗値は、比例して減少する。
【００１０】
エッチングされたステッチマスクの位置決めの試験のための方法は、最初に第１のテストパッド１０１に第１のステッチされた抵抗１０５を接続することである。縦オフセット１１２を有する第２のステッチされた抵抗１１０は、第１および第２のステッチされた抵抗がオフセットに対して縦に位置決めされるように、第１のステッチされた抵抗の端部に接続される。このステップにおいて、抵抗値は、測定されるか若しくは表示される。抵抗素子が位置決めされた場合において、配置が正しいことを確かめる所定の抵抗の値がある。緑色の光のような、インジケータ信号（indicator signal）１０３は、さらなる位置決めが要求されていないことを指示する。
【００１１】
もし、ずれがある場合には、赤色の光のような、カラー表示が、ずれを知らせるため点灯される。信号は色である必要はなく、それらは音でもよく、またはテストパッド上に示される値（例えば、オーム）により代用され得ることができるのが理解されるべきである。視覚に加えて、または視覚の代わりに、声の指示もまた、加えてまたは代えて容易に使用されることができる。
【００１２】
構造配置は、オフセット方向を分離する。加えて、同じターン（turn）の数、広い相互接続の同じ長さ、および、狭い相互接続の同じ長さを有するために、理想的な位置決め（ゼロオフセット（zero offset））において、図１Cと図１Hに示される構成の抵抗値が等しくなるように、構造は選択される。意図的な位置ずれによる等しくない抵抗の２つの結合した構造の間の望まれる抵抗値を実際に受け入れることもできる。従って、正確な測定は、高価な光学的システムの使用を導入することなく、成される。一度、抵抗値の測定結果が規定された範囲に確定されれば、マスクは、それゆえ使用されることができ、または、代替的に、もしそれらが規定された範囲の外であれば、不良であるとして警告が発せられる。
【００１３】
本発明の好ましい実施例が、図示され、そして記述されて来たが、本発明の実際の範囲から逸脱することなく、種々の変化と改良が成され、そして同等なものがその構成に代替されることが当業者により理解されるであろう。加えて、多くの改良が、特定の状況および中心的範囲から逸脱することない本発明の教示に適用するため成される。それ故、本発明は、本発明を実施することが熟慮された最良の形態として記述された特定の実施例に限定されるのではなく、しかし、本発明は、添付されたクレームの範囲の中に全ての実施例を含むことを意図する。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１Ａ】連結される前のステッチされたマスク組のそれぞれの抵抗素子を説明する図である。
【図１Ｂ】連結される前のステッチされたマスク組のそれぞれの抵抗素子を説明する図である。
【図１Ｃ】２つの素子が結ばれるとともに位置決めされるように、図１Ａと図１Ｂの重ねられた様子を説明する図である。
【図１Ｄ】縦オフセットに対して第１の方向において位置ずれしている素子を有するステッチされたマスクの組を説明する図である。
【図１Ｅ】縦オフセットに対して第２の方向において位置ずれしている素子を有するステッチされたマスクの組を説明する図である。
【図１Ｆ】素子が重なる、本発明の他の実施例を説明する図である。
【図１Ｇ】素子が重なる、本発明の他の実施例を説明する図である。
【図１Ｈ】２つの素子が連結されるとともに位置決めされた、図１Ｆと図１Ｇの部分が重ねられた様子を示す図である。
【図１Ｉ】縦オフセットに対して第１の方向にずれている部分を有するステッチされたマスクの組を示す図である。
【図１Ｊ】縦オフセットに対して第２の方向にずれている部分を有するステッチされたマスクの組を示す図である。
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【国際調査報告】
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