(57)【要約】レーザ干渉計位置決めシステムは、第１の位相計と第２の位相計とを備える第１のボードを含む。第１の位相計はアナログ基準電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル基準位相信号を出力する。ディジタル基準位相信号はシステム内のレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号である。第２の位相計は測定電気信号とクロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力する。第１のボードはバックプレーン内に挿入される。バックプレーンは、ディジタル基準位相信号とディジタル測定位相信号とを第２のボードに運ぶバスを含む。第２のボードはディジタル基準位相信号を、多数の第１のボードから受信したディジタル測定位相信号から減算する。
2006513436.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１のボードを備えるレーザ干渉計位置決めシステムであって、
前記第１のボードは、
アナログ基準電気信号とクロック信号とを受信し、該アナログ基準電気信号と該クロック信号とに基づいてディジタル基準位相信号を出力する第１の位相計と、ここで、該ディジタル基準位相信号は前記システムのレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号であり、
アナログ測定電気信号とクロック信号とを受信し、該アナログ測定電気信号と該クロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力する第２の位相計と
を備えるものである、レーザ干渉計位置決めシステム。
【請求項２】
前記第１のボードは、
アナログ基準光信号を受信し、前記アナログ基準電気信号を前記第１の位相計に出力する第１の光受信器と、
アナログ測定光信号を受信し、前記アナログ測定電気信号を前記第２の位相計に出力する第２の光受信器と
をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを受信し位相差信号を出力する演算回路と、該位相差信号を受信し位置信号を出力するプロセッサとを備える第２のボードと、
前記第１のボードと該第２のボードとを受けるバックプレーンであって、前記クロック信号を前記第１のボードに運ぶクロック線と、前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを前記第１のボードから前記第２のボードに運ぶデータバスとを備えるバックプレーンと
をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
前記第１のボードは、アナログ測定電気信号と前記クロック信号とを受信する複数の位相計をさらに備え、該位相計は前記測定電気信号と前記クロック信号とに基づいてディジタル測定位相信号を出力し、
前記第２のボードは、前記ディジタル基準位相信号と該ディジタル測定位相信号とに基づいて位相差信号を出力する複数の演算回路と、前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを前記演算回路に選択的にルーティングするマルチプレクサとをさらに備え、
前記プロセッサは前記位相差信号を受信し位置信号を出力する、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記第２のボードは、前記クロック信号を生成するクロックと、前記クロック信号を前記第２のボードから前記第１のボードに運ぶクロック線とをさらに備える、請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
ディジタル測定位相信号を出力する複数の第１のボードをさらに備え、
前記第２のボードは、前記ディジタル基準位相信号と該ディジタル測定位相信号とに基づいて位相差信号を出力する複数の演算回路と、前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを選択的に前記演算回路にルーティングするマルチプレクサとをさらに備え、
前記プロセッサは前記位相差信号を受信して位置信号を出力し、
前記バックプレーンは前記第１のボードを受け止め、前記バックプレーンは複数のデータバスと複数のクロック線をさらに備え、前記データバスは前記ディジタル測定位相信号を前記第１のボードから前記第２のボードに運び、前記クロック線は前記クロック信号を前記第２のボードから前記第１のボードに運ぶ、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記クロックから前記各第１のボードへのクロック線の距離が同じである請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
前記第２のボードは、
前記ディジタル測定位相信号と第２のディジタル測定位相信号とに基づいて第２の位相差信号を出力する第２の演算回路と、
前記ディジタル測定位相信号と該第２のディジタル測定位相信号を該第２の演算回路に選択的にルーティングするマルチプレクサと
をさらに備え、
前記プロセッサは前記第２の位相差信号を受信し第２の位置信号を出力する、請求項３に記載のシステム。
【請求項９】
前記第１のボードは、
前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを受信し、位相差信号を出力する演算回路と、
該位相差信号を受信し位置信号を出力するプロセッサと
をさらに備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項１０】
第２のアナログ測定電気信号と前記クロック信号とを受信し、該第２のアナログ測定電気信号と該クロック信号とに基づいて第２のディジタル測定位相信号を出力する第３の位相計をさらに備える請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
前記第１のボードは前記クロック信号を生成するクロックと、該クロックから前記第１の位相計と前記第２の位相計まで等しい距離のクロック線とをさらに備える請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
レーザ干渉計位置決めシステムにより位置を決定する方法であって、
第１のボード上で、アナログ基準電気信号とクロック信号とに基づきディジタル基準位相信号を生成するステップと、ここで、前記ディジタル基準位相信号は前記システム内のレーザヘッドのための唯一のディジタル基準信号であり、
該第１のボード上で、アナログ測定電気信号と前記クロック信号とに基づくディジタル測定位相信号を生成するステップと
を含むことを特徴とする方法。
【請求項１３】
前記第１のボード上でアナログ基準光信号を光学的に検出するステップと、
前記第１のボード上で、前記アナログ基準光信号に基づくアナログ基準電気信号を生成するステップと、
前記第１のボード上で、アナログ測定光信号を光学的に検出するステップと、
前記第１のボード上で、該アナログ測定光信号に基づくアナログ測定電気信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とを前記第１のボードから第２のボードに送信するステップと、
該第２のボード上で、前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号の演算に基づく位相差信号を生成するステップと、
前記第２のボード上で、前記位相差信号に基づく位置信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の方法。
【請求項１５】
前記第１のボード上で、アナログ測定電気信号とクロック信号とに基づくディジタル測定位相信号を生成するステップと、
前記ディジタル測定位相信号を前記第１のボードから前記第２のボードに送信するステップと、
前記ディジタル測定位相信号を前記第２のボード上の演算回路にルーティングするステップであって、該演算回路は前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とについて演算を行う、前記ディジタル測定位相信号をルーティングするステップと、
前記第２のボード上で、前記演算に基づいて位相差信号を生成するステップと、
前記第２のボード上で、該位相差信号に基づく位相信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記クロック信号を前記第２のボードから複数の第１のボードに送信するステップと、
前記第１のボード上で、アナログ測定電気信号とクロック信号とに基づくディジタル測定位相信号を生成するステップと、
前記ディジタル測定位相信号を前記第１のボードから前記第２のボードに送信するステップと、
前記ディジタル測定位相信号を前記第２のボード上の演算回路にルーティングするステップであって、該演算回路は前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号とに演算を行う、ディジタル測定位相信号をルーティングするステップと、
前記第２のボード上で、前記演算に基づく位相差信号を生成するステップと、
前記第２のボード上で、前記位相差信号に基づく位置信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記クロック信号を送信するステップは、前記クロック信号が前記第１のボード上に同時に到着するように同じ距離に沿って前記クロック信号を送信するステップを含むことを特徴とする請求項１６に記載のシステム。
【請求項１８】
第２のアナログ測定電気信号とクロック信号とに基づく第２のディジタル測定位相信号を生成するステップと、
該第２のディジタル測定位相信号を前記第２のボードに送信するステップと、
前記ディジタル測定位相信号と前記第２のディジタル測定位相信号とを前記第２のボード上の第２の演算回路にルーティングするステップであって、前記第２の演算回路は前記ディジタル測定位相信号と前記第２のディジタル測定位相信号に演算を行う、前記ディジタル測定位相信号と前記第２のディジタル測定位相信号とをルーティングするステップと、
前記第２のボード上で、前記演算に基づく第２の位相差信号を生成するステップと、
前記第２のボード上で、該第２の位相差信号に基づく第２の位置信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１４に記載のシステム。
【請求項１９】
前記第１のボード上で、前記ディジタル基準位相信号と前記ディジタル測定位相信号の演算に基づく位相差信号を生成するステップと、
前記第１のボード上で、前記位相差信号に基づく位置信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載のシステム。
【請求項２０】
前記第１のボード上で、第２のアナログ測定電気信号とクロック信号とに基づく第２のディジタル測定位相信号を生成するステップと、
前記第１のボード上で、前記ディジタル基準位相信号と前記第２のディジタル測定位相信号との第２の演算に基づく第２の位相差信号を生成するステップと、
前記第１のボード上で、該第２の位相差信号に基づく第２の位置信号を生成するステップと
をさらに含むことを特徴とする請求項１９に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はレーザ干渉計位置決めシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
レーザ干渉計位置決めシステムの典型的な用途には、集積回路（ＩＣ）製造装置（ウェハステッパ、ステップスキャンツール、Ｅビームリソグラフィシステム）、精密機械ツール、カスタムステージが含まれる。位置決め測定の精度と正確さは、これらのシステムの性能に不可欠である。位置決めシステムをこれらのタイプの設備に組込むと、位置決めシステムは位置を測定し、高い精度および正確さでプラットフォームの動きを制御する。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明の１つの実施形態によれば、レーザ干渉計位置決めシステムは、第１の位相計と第２の位相計を有する第１のボードを含む。第１の位相計は、アナログ基準電気信号とクロック信号に基づいてディジタル基準位相信号を出力する。ディジタル基準位相信号は、システム内のレーザヘッドに関する唯一のディジタル基準信号である。第２の位相計は、測定電気信号とクロック信号に基づいてディジタル測定位相信号を出力する。第１のボードはバックプレーンに挿入される。バックプレーンは、ディジタル基準位相信号とディジタル測定位相信号を第２のボードへ運ぶバスを含む。第２のボードは、多数の第１のボードから受信したディジタル測定位相信号からディジタル基準位相信号を減算する。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００４】
図１は、ＩＣ製造時に使用される典型的なレーザ干渉計位置決めシステム１０を示す。電源１２はレーザヘッド１４に電力を供給し、レーザヘッド１４は光ビーム１６を生成する。光学素子１８は光ビーム１６をビーム２０と２２へ分割する。基準光受信器２４はビーム２０をアナログ基準電気信号に変換し、コンピュータシステム２６（例えばＶｅｒｓａ  Ｍｏｄｕｌａｒ  Ｅｕｒｏｐｅａｎバスメインフレーム）に送信する。
【０００５】
光学素子２８はビーム２２をビーム３０と３２へ分割する。ビーム３０は、干渉計３３を使用して、可動ステージ３４から第１の軸（たとえばＸ軸）に沿って反射され、次いで、光受信器３６によって受信される。同様に、ビーム３２は、干渉計３７を使用して、ステージ３４から第２の軸（例えばｙ軸）に沿って反射され、次いで、光受信器３８によって受信される。光受信器３６と３８は、ビーム３０と３２をアナログ電気計測信号へそれぞれ変換し、コンピュータシステム２６にこれらを送信する。もちろん、追加の測定軸をとることもできる。
【０００６】
コンピュータシステム２６は空気センサ４０と温度センサ４２に結合し、レーザ波長の環境への依存性を補償してもよい。コンピュータシステム２６は、受信器２４からの基準信号と、受信器３６と３８からの測定信号の間の位相差を使用して、測定軸に沿ったステージ３４の位置を決定する。次いで、コンピュータシステム２６はアクチュエータ４４を使用してステージ３４を移動する。
【０００７】
図２は、システム１０の中で使用される典型的なコンピュータシステム２６Ａのフロントパネルを示す。コンピュータシステム２６Ａは多数の測定軸ボード６０〜７０を含む。各ボードはアナログ基準電気信号と１つまたは複数の測定信号を受信し、測定軸に沿ったステージ３４の位置を決定する。アナログ基準電気信号は、受信器２４から測定軸ボードのうち１つによって直接受信される。次いで、フロントパネルリボンケーブル７１はこのボードからのアナログ基準電気信号を他のボードに並列にルーティングする
【０００８】
図３は、システム１０の中で使用される別の典型的なコンピュータシステム２６Ｂのフロントパネルを示す。コンピュータシステム２６Ｂは多数の測定軸ボード８０〜９０を含む。ボードのうちの１つ（たとえばボード８５）はアナログ基準光信号（たとえばビーム２０）を光ファイバから受信し、アナログ基準電気信号に変換する。次いでボード８５はアナログ基準電気信号をケーブル１０２と１０４を使用して、隣接するボード８４と８６にルーティングする。同様に、各ボードはアナログ基準電気信号を隣接するボードにデイジーチェーンによって伝播させる。
【０００９】
コンピュータシステム２６Ａと２６Ｂは、共に、いくつかの欠点を有する。第１に、基準信号をアナログ形態からディジタル形態に変換するために必要な回路類は、測定軸ボードごとに二重になる。第２に、より多くのボードの追加による負荷の変化、ボード間のバッファリング、ケーブル上の静電放電（ＥＳＤ）により、基準信号はボードからボードに通過するときに正確に複製されない場合がある。第３に、ケーブル類はボードのフロントパネル上で貴重なスペースをとってしまう。第４に、基準信号は、信号経路が異なるのでボードへの途中で劣化に差が生じる可能性がある。第５に、ケーブル類は基準信号のルーティングの変更を困難にする。第６に、多数の基準信号が必要な場合、システムは既定の配線を必要とする。したがって、これらの欠点に対処するレーザ干渉計位置決めシステムが必要とされている。
【００１０】
図４は、本発明の１実施形態における、レーザ干渉計位置決めシステム１２１（図４Ａ）の中のコンピュータシステム１２０の構成図である。システム１２０は、電子ラックの中のバックプレーン１２５にプラグインされた位相測定ボード１２４−１、１２４−２、・・・、１２４−ｉを含む。ボード１２４−ｉによって表わされるように、各位相測定ボード（以下、「ＰＭＢ」（Ｐｈａｓｅ  Ｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔ  Ｂｏａｄ）という）は多数の光ファイバ入力信号１２６−１、１２６−２、・・・、１２６−ｊを受信する。各光ファイバの入力信号は、レーザヘッド１４からのアナログ基準光信号、またはステージ３４から測定軸に沿って反射されたアナログ測定光信号とすることができる。例えば入力信号１２６−ｊは、レーザヘッド１４からの基準光信号であり（例えば図４Ａのビーム２０）、入力信号１２６−１は、ステージ３４から第１の測定軸に沿って反射された測定光信号であり（例えば図４Ａのビーム３０）、入力信号１２６−２は、ステージ３４から第２の測定軸に沿って反射された測定光信号である（例えば、図４Ａのビーム３２）。この実施形態では、受信器２４、３６、３８（図１）は、ビーム２０、３０、３２をシステム１２０に運ぶ光ファイバに結合された光レンズ２４Ａ、３６Ａ、３８Ａ（図４Ａ）で置き換えられる。
【００１１】
ＰＭＢは各入力信号の位相を、基準であるか測定であるかにかかわらず、システム１２０内のすべてのＰＭＢの間で同期化された内部クロック信号に対して計測する。次いでＰＭＢ１２４−１、１２４−２、・・・、１２４−ｉは測定された位相をディジタルの形態で、それぞれバス１２８−１、１２８−２、・・・、１２８−ｉ上でコンバイナボード１３０にレポートする。バス１２８−１〜１２８−ｉはまた、内部クロック信号をコンバイナボード１３０からＰＭＢ１２４−１〜１２４−ｉまでそれぞれ運ぶ。
【００１２】
コンバイナボード１３０は、基準位相信号をＰＭＢ１２４−１〜１２４−ｉの測定位相信号の各々から減算する。コンバイナボード１３０は位相差からステージ３４の位置を決定する。次いで、コンバイナボード１３０は、ステージ３４の位置をバス１３２（たとえばＰ２バス）上でコントローラ１３４にレポートする。コントローラ１３４は、バス１３６（例えばＶｅｒｓａ  Ｍｏｄｕｌａｒ  Ｅｕｒｏｐｅａｎバス）上でコンバイナボード１３０にコマンドを発行することができる。バス１３４と１３６は、標準ＶＭＥ（Ｖｅｒｓａ  Ｍｏｄｕｌａｒ  Ｅｕｒｏｐｅａｎ）バックプレーン１３８上で実装できる。次いでコンバイナボード１３０は、これらのコマンドをバックプレーン１２５上のバス１４０上でＰＭＢ１２４−１〜１２４−ｉに渡す。
【００１３】
上述のように、基準位相信号はＰＭＢによって１度計算され、次いでコンバイナボード１３０によって一括してディジタル形態に処理される。システム１２０は、各ボード上の基準位相回路類および関連づけられたフロントパネルケーブル類を二重にする必要を除去する。フロントパネルケーブルを除去すると、ケーブル類に関連するＥＳＤ問題も除去される。さらに、基準位相信号は追加のボードの負荷の影響を受けない。また、同じ基準位相信号が多数の軸からの測定位相信号と比較されるので、位置計算はより正確になる。
【００１４】
図５はＰＭＢ１２４−ｉの１実施形態を示す。ＰＭＢ１２４−ｉはそれぞれ、入力信号１２６−１、１２６−２、・・・、１２６−ｊを受信する測定チャネル１６０−１、１６０−２、・・・、１６０−ｊを含む。測定チャネル１６０−１〜１６０−ｊは位相信号１６１−１、１６１−２、・・・、１６１−ｊを生成する。１実施形態では、信号１６１−１と１６１−２は測定位相信号であり、１６０−ｊは基準位相信号である。
【００１５】
測定チャネル１６０−ｊによって表わされるように、各測定チャネルは光受信器１６２と位相計１６４を含む。光受信器１６２はアナログ光入力信号１２６−ｊをアナログ電気入力信号に変換する。位相計１６４は、クロック信号Ｔｉｍｅｂａｓｅに対する信号１２６−ｊの位相を測定する。クロック信号Ｔｉｍｅｂａｓｅはバックプレーン１２５（図４）によって、ＰＭＢ１２４−ｉ（また他のＰＭＢ）に供給される。位相計１６４はクロック信号Ｆｒａｍｅｓｙｎｃに応答して、測定された位相信号１６１−ｊをバックプレーン１２５上でコンバイナボード１３０に周期的に送信する。
【００１６】
図６は、コンバイナボード１３０の１実施形態を示す。コンバイナボード１３０はマルチプレクサ１８０を含み、マルチプレクサ１８０はＰＭＢ内の測定チャネルから測定された位相信号を、減算ブロック１８２−１、１８２−２、・・・、１８２−ｋのうち任意のブロックにルーティングする。例えば、マルチプレクサ１８０はバス１２８−ｉ上のすべての測定された位相信号をＰＭＢ１２４−ｉ（図４と図５）から減算ブロック１８２−ｋにルーティングする。マルチプレクサ１８０は、測定された位相信号のうち任意の信号を、他の測定された位相信号から減算すべき基準位相信号としてルーティングすることができる。典型的には、マルチプレクサ１８０は、光レンズ２４Ａ（図４Ａ）からの測定された位相信号を基準位相信号としてルーティングし、光レンズ３６Ａと３８Ａ（図４Ａ）からの測定された位相信号を測定位相信号としてルーティングする。しかし一部の応用では、光学レンズ３６Ａまたは３８Ａからの測定された位相信号を基準位相信号として使用することができる。マルチプレクサ１８０は、測定された位相信号を転送時にルーティングするようにプログラミングすることができる。
【００１７】
減算ブロック１８２−ｋによって表わされるように、各減算ブロックは減算回路１８４−１、１８４−２、・・・、１８４−ｍを含む。各減算回路は測定位相信号から基準位相信号を減算する。たとえば、減算回路１８４−２は測定位相信号１６１−２から基準位相信号１６１−ｊを減算する。次いで、各減算回路は位相差を位置プロセッサ１８６に供給する。位置プロセッサ１８６は位相差を使用して、測定軸に沿ったステージ３４の位置を決定する。
【００１８】
またコンバイナボード１３０は、クロック信号ＴｉｍｅｂａｓｅとＦｒａｍｅｓｙｎｃを生成するクロック１８８を含む。１実施形態では、クロック信号ＴｉｍｅｂａｓｅとＦｒａｍｅｓｙｎｃを各ＰＭＢに運ぶバックプレーン１２５（図４）上の線は同じ長さなので、クロック信号ＴｉｍｅｂａｓｅとＦｒａｍｅｓｙｎｃは同時に各ＰＭＢに到着する。これにより位相を同じクロック信号に対して測定することが保証される。
【００１９】
１実施形態では、コンバイナボード１３０は、上記のブロックと回路で構成される、フィールドプログラマブルゲートアレイ（ＦＰＧＡ）で実装される。ＦＰＧＡは、測定された位相信号のうち任意の信号を基準位相信号または測定位相信号として減算ブロックのうち任意のブロックにルーティングするようにプログラミングできる。ＦＰＧＡも、位相差からステージ３４の位置を決定する任意の方法でプログラミングできる。
【００２０】
図７は、ＰＭＢとコンバイナボードの特徴を含む位相測定コンバイナボード２１０の１実施形態を示す。ボード２１０は、アナログ光入力信号１２６−１〜１２６−ｊをそれぞれ受信する測定チャネル１６０−１〜１６０−ｊを含む。測定チャネル１６０−１〜１６０−ｊは、クロック１８８からのクロック信号Ｔｉｍｅｂａｓｅに対する入力信号の位相を測定する。測定チャネル１６０−１〜１６０−ｊはクロック１８８からのクロック信号Ｆｒａｍｅｓｙｎｃに応答して位相をマルチプレクサ１８０に出力する。マルチプレクサ１８０は、位相信号のうち１つの信号を基準位相信号として減算回路１８４−１〜１８４−ｍにルーティングし、残りの位相信号を入力信号として減算回路１８４−１〜１８４−ｍにルーティングする。マルチプレクサ１８０の代りに、基準位相信号と測定位相信号は既定の減算回路にハードワイヤードしてもよい。減算回路１８４−１〜１８４−ｍは位相差を計算し、計算された位相差を位置プロセッサ１８６に出力する。位置プロセッサ１８６は位相差を使用して、測定軸に沿ったステージ３４の位置を決定する。
【００２１】
開示された実施形態の特徴の、種々の他の適応および組み合わせも本発明の範囲内である。上述のように、１つのレーザヘッドを使用する実施形態では、単一の光基準入力信号が必要である。他のすべての入力信号は測定光信号であってもよい。多数のレーザヘッドを使用する実施形態では、各レーザヘッドについて１つの光基準入力信号が必要である。マルチプレクサ１８０が光基準入力信号を適切な減算回路にルーティングする限り、光基準入力信号はＰＭＢのうち任意のＰＭＢによって受信できる。一部の実施形態では、測定チャネルは光受信器を含んでいなくてもよい。したがって、位相計はアナログ基準電気信号または測定信号を、位相測定ボードまたは位相測定コンバイナボードから離れた位置にある光受信器２４、または、３２、３６（図１）から受信することができる。多くの実施形態が次の請求項に包含される。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】レーザ干渉計位置決めシステムを示す図である。
【図２】図１のシステムにおけるコンピュータシステムを示す図である。
【図３】図１のシステムにおけるコンピュータシステムを示す図である。
【図４】本発明の１実施形態における、レーザ干渉計位置決めシステムの中のコンピュータシステムの構成図である。
【図４Ａ】本発明の１実施形態におけるレーザ干渉計位置決めシステムを示す図である。
【図５】本発明の１実施形態における図４のシステム内の位相測定ボードの構成図である。
【図６】本発明の１実施形態における図４のシステム内のコンバイナボードの構成図である。
【図７】本発明の１実施形態におけるレーザ干渉計位置決めシステムのコンピュータシステム内の位相測定コンバイナボードの構成図である。
【符号の説明】
【００２３】
１０  レーザ干渉計位置決めシステム
１２  電源
１４  レーザヘッド
１６  光ビーム
１８  光学素子
２０  ビーム
２２  ビーム
２４  基準光受信器
２６  コンピュータシステム
２８  光学素子
３０  ビーム
３２  ビーム
３３  干渉計
３４  可動ステージ
３６  光受信器
３７  干渉計
３８  光受信器
４０  空気センサ
４２  温度センサ
４４  アクチュエータ
６０〜７０  測定軸ボード
７１  フロントパネルリボンケーブル
８０〜９０  測定軸ボード
１０２、１０４  ケーブル
１２０  コンピュータシステム
１２１  レーザ干渉計位置決めシステム
１２４−１〜１２４−ｉ  位置測定ボード
１２５  バックプレーン
１２６−１〜１２６−ｊ  光ファイバ入力信号
１３０  コンバイナボード
１３４  コントローラ
１３６  バス
１３８  バックプレーン
１４０  バス
１６０−１〜１６０−ｊ  測定チャネル
１８０  マルチプレクサ
１８２−１〜１８２−ｋ  減算ブロック
１８４−１〜１８４−ｍ  減算回路
１８６  位置プロセッサ
１８８  クロック
２１０  位相測定コンバイナボード
【図１】
2006513436.tif 000003
【図２】
2006513436.tif 000004
【図３】
2006513436.tif 000005
【図４】
2006513436.tif 000006
【図４Ａ】
2006513436.tif 000007
【図５】
2006513436.tif 000008
【図６】
2006513436.tif 000009
【図７】
2006513436.tif 000010
【国際調査報告】
2006513436.tif 000011
2006513436.tif 000012