(57)【要約】レーザービームにより対象をマーキングする方法が開示されている。前記の方法は：レーザービームに対して少なくとも部分的に透過性の支持体にドナーフィルムを適用するステップと；ドナーフィルムがマーキングすべき対象に面するように、ドナーフィルムのある支持体をパターン付けすべき面に近接して位置させるステップと；支持体を通してレーザービームでドナーフィルムを照射し、それによりドナーフィルムのパターンを対象に転写するステップと；ドナーフィルムのある支持体を対象から取り除くステップとを有する。ドナーフィルムは、少なくとも０．５ミクロンの厚さを有する。また、上記の方法によって得られるマーキングされた対象が開示されており、そのマーキングは少なくとも０．５ミクロンの厚さを有する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
レーザービームにより対象をマーキングする方法であって：
レーザービームに対して少なくとも部分的に透過性の支持体にドナーフィルムを適用するステップと；
ドナーフィルムがマーキングすべき対象に面するように、ドナーフィルムのある支持体をパターン付けすべき面に近接して位置させるステップと；
支持体を通してレーザービームでドナーフィルムを照射し、それによりドナーフィルムのパターンを対象に転写するステップと；
ドナーフィルムのある支持体を対象から取り除くステップと、を有し、
前記ドナーフィルムは、少なくとも０．５ミクロンの厚さを有することを特徴とする方法。
【請求項２】
前記ドナーフィルムは、少なくとも１ミクロンの厚さを有すること、を特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記レーザービームのパルス期間が、前記ドナーフィルム層の厚さに整合すること、を特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記レーザーの前記パルス期間は２０ナノ秒以下であること、を特徴とする請求項３記載の方法。
【請求項５】
前記ドナーフィルムのある前記支持体は、マーキングすべき対象に実質的に隣接すること、を特徴とする請求項１記載の方法。
【請求項６】
請求項１乃至４のうちいずれか１項記載の方法を用いて得られるマーキングされた対象であって、前記マーキングは、少なくとも０．５ミクロンの厚さを有すること、を特徴とする対象。
【請求項７】
前記マーキングは、少なくとも１ミクロンの厚さを有すること、を特徴とする請求項６記載のマーキングされた対象。
【請求項８】
前記マーキングされた対象は、液晶表示パネル、プラズマ表示パネルもしくは陰極線管またはそれらの構成要素を有することを特徴とする請求項６または７記載のマーキングされた対象。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザービームにより対象をマーキングする方法に関し：
レーザービームに対して少なくとも部分的に透過性の支持体にドナーフィルムを適用するステップと；
ドナーフィルムがマーキングすべき対象に面するように、ドナーフィルムのある支持体をパターン付けすべき面に近接して位置させるステップと；
支持体を通してレーザービームでドナーフィルムを照射し、それによりドナーフィルムのパターンを対象に転写するステップと；
ドナーフィルムのある支持体を対象から取り除くステップとを有する。
【０００２】
本発明はさらに、上記の方法で得られるマーキングされた対象に関する。
【背景技術】
【０００３】
上記の方法は、ＬＩＦＴ法（レーザー誘起前方転写法）としても既知である。前述の方法において、薄いドナーフィルムが、レーザーの波長に対して透過性である支持体にコーティングされている。フィルムは、パターン付けすべき面に近接して位置される。レーザーパルスは、フィルムを融かし、部分的に蒸発させる。蒸発圧力は、ターゲットに向かって、溶融フィルムを進ませる。プリントパターンは、再凝固した水滴および凝縮蒸気から成る。
【０００４】
上記の方法は、ガラス、プラスチックまたはその種の他のものでできた対象に、文字、数字、記号、コード、フィギュアあるいは他のいかなる識別情報をマーキングすることに適して用いられる。前述の対象は、例えば、液晶表示パネル、プラズマ表示パネルまたは陰極線管またはそれらの構成要素を有する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
レーザー誘起前方転写法を用いてガラス基板にマーキングするとき、例えば（ミクロ）クラックが生じることによって、ガラスを損傷するリスクがある。そのようなクラックは、特にＣＲＴなどの、ガラスの力学的性質が極めて重要である場合、当然ながら避けなければならない。
【０００６】
ＬＩＦＴ法は、欧州特許第０８５０７７９号明細書において既知であり、本願に引用して援用する。前述の特許出願によると、マーキング・プロセス中は、ドナーフィルムとマーキングされる対象面との間のギャップを維持することが重要である。そのギャップは、支持体とマーキングされる対象が共に溶着しないように、狭くなりすぎるべきではない。ギャップが狭すぎると、レーザービームによって加熱されたドナーフィルムが、この効果を引き起こしうる。欧州特許第０８５０７７９号明細書によると、ドナーフィルムの厚さは、１００〜３３０ｎｍの範囲内である。もう一方で、ギャップが広すぎると、マーキングされる対象表面上の不鮮明なパターン付けを引き起こすため、ギャップは広くなりすぎるべきではない。
【０００７】
ドナーフィルムとマーキングされる対象との間の距離の厳密なコントロールの必要性は、欧州特許第０８５０７７９号明細書に係る方法の欠点であることは明らかである。
【０００８】
したがって、本発明の目的は、上述の欠点が無い方法を提供することである。本発明はさらに、マーキングされる対象を損傷するリスクを減らしながら、そのような方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
この目的を達成するために、本発明は、ドナーフィルムが、少なくとも０．５ミクロン、好ましくは少なくとも１ミクロンの厚さを有することを特徴とする請求項１前文記載の方法を提供する。
【００１０】
そのような比較的に厚いドナーフィルムを提供することによって、マーキングされる対象は、効果的にレーザービームからシールドされ、その結果、マーキングされる対象におけるクラックの形成を防ぎ、基板と対象とが、共に溶着することも防ぐ。したがって、ドナーフィルムと対象との間のギャップの厳密なコントロールが不要になる。
【００１１】
ある特定の実施例においては、レーザービームのパルス期間が、ドナーフィルムの厚さに整合する。
【００１２】
比較的厚いドナーフィルムを提供し、レーザービームのパルス期間を整合することによって、ドナーフィルムとマーキングされる表面との間へ、ギャップを設けずに、ドナーフィルムを転写することが可能である。そのようなギャップが無くても、２つの面が、共に溶着することを防ぐ。本発明は、ドナーフィルムが、基板からマーキングされる対象へ転写するのには、有限な時間、つまり遅延時間がかかるという洞察に基づく。パルス期間が、遅延時間よりも短く選択された場合、ドナーフィルムは、レーザー・パルスが終了した後に転写する。さらに、ドナー層の厚さが、熱伝達深さよりも大きい場合、レイヤーの上部は溶融温度であり、一方で対向部分は、常温のままである。したがって、溶着が避けられる。
【００１３】
有益な実施例において、レーザーのパルス期間は、２０ナノ秒以下である。
【００１４】
上述の通り、本発明に係る方法は、基板とマーキングされる対象との間のギャップの厳密なコントロールが不要である一方、ドナーフィルムのある支持体は、実質的にマーキングされる対象に隣接できるという重要な利点を提供する。ギャップを設ける必要性を避けられることにおいての、本発明に係る方法のさらなる利点は、湾曲した面へのマーキングにも有利に用いることができる点にある。そのような湾曲した面の一例として、ハロゲン・ランプがある。
【００１５】
本発明はまた、上記の方法を用いて得られるマーキングされる対象に関する。マーキングは、少なくとも０．５ミクロン、好ましくは少なくとも１ミクロンの厚さを有する。
【００１６】
原則として、このマーキング方法は、すべての種類の対象をマーキングするために用いることができるが、液晶表示パネル、プラズマ表示パネルまたは陰極線管またはそれらの構成要素にマーキングするのに特に適している。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明を、実施例および図面を参照しながらさらに説明する。図面は単に概略的に描かれており、実際の比率によらない。明瞭にするために、一部の寸法は拡大されている。
【実施例】
【００１８】
図１は、ドナーフィルム３が貼付された支持体２を示す。本実施例では、支持体基板は、１ｍｍの厚さのガラス基板である。しかし、支持体として、薄いフレキシブルホイルを用いることも可能である。（例えば、Ｄｕｐｏｎｔ社の１９ミクロン・マイラーホイル）ドナーフィルム３は、レーザービームの照射による加熱の際に、蒸発しまたは昇華するいかなる材料を有してもよい。それは、一般的に、真空蒸発コーティング・スパッタリングなどの薄膜形成技術によって使用される材料である。マーキングの目的のために、その材料は、好ましくは、透過性ではない。ドナーフィルムの典型例は、クロム、アルミニウム、タンタルならびにニッケルおよび銅の合金である。本実施例において、支持体２は、１ミクロンの厚さを有するクロム層でコーティングされている。明瞭にするために、図１には示されていないが、支持体２は、ターゲットあるいはマーキングすべき対象４と連絡している。
【００１９】
参照符号５は、１０６４ｎｍのパルスＮｄ−ＹＡＧを有するレーザービームを表す。他の種類のレーザービームもまた使用することができ、例えば、２０ｎｓｅｃ未満のパルス期間のダイオードポンプ固体レーザー（Ｎｄ−ＹＶＯ４およびＮｄ−ＹＡＧ）があり、第１次（１０６４ｎｍ）、第２次（５３２ｎｍ）、第３次（３５５ｎｍ）および第４次（２６６ｎｍ）の高調波放射で動作する。別の可能性としては、２０ｎｓｅｃ未満のパルス期間の、３５１ｎｍ、３０８ｎｍおよび２４８ｎｍで動作するエキシマー・レーザーがある。
【００２０】
図１ａに示すように、レーザービーム５は、支持体２を通して、ドナーフィルム３を照射する。本発明の方法によると、レーザービームのパルス期間は、ドナーフィルムの厚さと整合しており、このケースでは２０ナノ秒以下である。ドナーフィルムをそのような振動するレーザー照射の対象にすることによって、レーザーパルスはドナーフィルムを融かし、部分的に蒸発させる。その蒸発圧力は、ターゲットに向かって、溶融フィルムを進ませる。プリントパターン８は、再凝固した水滴および凝縮蒸気から成る。図１ｂは、融除部分７およびプリントパターン８を示す。比較的高い厚さのドナーフィルム３は、基板２が、ターゲット４へ溶着するのを防ぎ、ターゲット４を、レーザービーム５からシールドすることによって、クラックの形成を防ぐ。すなわち、レーザー照射は、ドナーフィルム３によってブロックされ、結果としてターゲット４のシールドとなる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１ａ】ＬＩＦＴ法の論理を概略的に示す。
【図１ｂ】ＬＩＦＴ法の論理を概略的に示す。
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【国際調査報告】
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