(57)【要約】本発明は、取付け構造体と、取付け構造体に固定された複数の列のロケータ整列構成部品と、複数の列の流体連結ピースと、を有し、流体連結ピースの各々は流入口及び流出口、及び流入口と流出口を相互に連結する流体連絡通路を有し、流体連結ピースは対をなして配列され、各対はそれぞれの列の流体連結構成部品に隣り合って配置された流体連結ピースの２つを含み、各対の流体連結ピースはロケータ整列構成部品のそれぞれによって解放自在に保持され、且つ互いに対して整列され、複数のマニホルドピースが流体連結ピースの列を横切って延び、少なくとも１つのマニホルドピースは、中央線が対の一つの最も遠い口と相互連結する中央線を横切るマニホルド通路を有し、且つそれぞれの対が取付け構造から保持されるロケータ整列構成部品を取り外すことなく取り外せる、流体送出装置を提供する。
2006521522.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
取付け構造体と、取付け構造体に固定された複数の列のロケータ整列構成部品と、複数の列の流体連結ピースと、を有し、流体連結ピースの各々は流入口及び流出口、及び流入口と流出口を相互に連結する流体連絡通路を有し、流体連結ピースは対をなして配列され、各対はそれぞれの列の流体連結構成部品に隣り合って配置された流体連結ピースの２つを含み、各対の流体連結ピースはロケータ整列構成部品のそれぞれによって解放自在に保持され、且つ互いに対して整列され、複数のマニホルドピースが流体連結ピースの列を横切って延び、少なくとも１つのマニホルドピースは、中央線が対の一つの最も遠い口と相互連結する中央線を横切るマニホルド通路を有し、且つそれぞれの対が取付け構造から保持されるロケータ整列構成部品を取り外すことなく取り外せる、流体送出装置。
【請求項２】
ロケータ整列構成部品は、組で配列され、各組はロケータ整列構成部品のそれぞれの列において隣り合せの２つのロケータ整列構成部品を含み、各流体連結ピースはそれぞれの組における両方のロケータ整列構成部品によって保持される、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項３】
それぞれの対の流体連結ピースの間に隙間が構成され、マニホルドピースは、対を保持するロケータ整列構成部品から対を取り外すことなく隙間から取り外すことができる、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項４】
装置は、取付け構造にロケータ整列ピースを取り外し可能に締結するロケータ整列締結具を更に含む、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項５】
流体整列構成部品はクレードルである、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項６】
各クレードルは、ｘ、ｙ、θにおいてそれぞれの対の流体連結ピースの移動を阻止する、請求項５に記載の流体送出装置。
【請求項７】
装置は、流体連結通路及びマニホルド通路を介して互いに流れ連通して配置された複数の流体制御構成部品を更に含む、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項８】
流体制御構成部品の１つは、対の連結ピースの一方の流出口に連結される流入口と、それぞれの対の連結ピースのもう一方の流入口に連結した流出口を有する、請求項７に記載の流体送出装置。
【請求項９】
流体制御構成部品は、弁、調整器、大流量制御器、フィルター、及び圧力変換器の少なくとも１つを含む、請求項７に記載の流体送出装置。
【請求項１０】
各それぞれの流体連結ピースの口は、それぞれの流体連結ピースの同じ側に位置する、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項１１】
装置は更に、少なくとも３つの口を有する少なくとも１つの流体Ｔ字形ピースを含み、少なくとも１つの流体連流通路は全ての３つの口と相互連結し、Ｔ字形ピースはロケータ整列構成部品の１つに解放自在に保持され、且つ整列し、流体Ｔ字形ピースの口の１つはマニホルドピースに連結される、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項１２】
装置は更に、少なくとも２つの口及び両口を相互連結する少なくとも１つの流体連通通路を有する少なくとも１つの流体エルボピースを含み、エルボピースはロケータ整列構成部品の１つに対して解放自在に保持され、且つ整列し、流体エルボピースの口の１つはマニホルドピースに連結される、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項１３】
それぞれの対の流体連結ピースの間に隙間が構成され、装置はそれぞれの対の流体連結ピースの間にパージピースを更に含み、パージピースは少なくとも２つの口を有し、その一方はマニホルドピースに連結される、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項１４】
装置は、流体連結構成部品を保持し且つ整列し、またロケータ整列構成部品よりも小さいロケータ端ピースを更に含む、請求項１に記載の流体送出装置。
【請求項１５】
取付け構造体と、取付け構造体に固定された少なくとも３つのロケータ構成部品と、各々流入口、流出口、及び流入口と相互連結する流体連通通路を有する少なくとも３対の流体連結ピースと、を含み、各それぞれの対の流体連結ピースがロケータピースのそれぞれによって解放自在に保持され、且つ整列され、複数のマニホルドピースが流体連結ピースの２つの最も遠い口を相互連結する線を横切る中央線を有するマニホルド通路を有し、且つ３つのロケータ構成部品のいずれも取り外すことなく取り外しできる、流体送出装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、弁、調整器、大流量制御器、フィルター、及び圧力変換器のような相互連結した流体制御構成部品を含む種類の流体送出装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
流体送出装置は、例えば、所定の流量及び所定の圧力で所定のガス又はガスの混合物を加工室に提供するための半導体加工装置に使用される。種々の供給ガスは、かかるマニホルドの流入口に連結され、マニホルドの１以上の流出口は加工室に連結される。かかるマニホルド装置は普通、所望の流量及び圧力下で所望のガス及びガスの混合物の加工室への送出を確保する仕方で２次元領域にわたって互いに連結される弁、調整器、大流量制御器、フィルター、及び圧力変換器のような構成部品を含む。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
流体送出装置はしばしば、流体制御構成部品の間に所望の流れパターンを作るモジュール様式でベース取付け構造体に取付けることができる、より小さい構成部品の形態をとっている。かかる装置に対する保守は、単一の部品の取替えはたくさんの部品の分解及び再組み立てを必要とするため、通常、極端に厄介であり、また通常、取替えるのには費用のかかるたくさんのシールの破壊を伴う。
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本発明は、取付け構造体と、取付け構造体に固定された複数の列のロケータ整列構成部品と、複数の列の流体連結ピースと、を有し、流体連結ピースの各々は流入口及び流出口、及び流入口と流出口を相互に連結する流体連絡通路を有し、流体連結ピースは対をなして配列され、各対はそれぞれの列の流体連結構成部品に隣り合って配置された流体連結ピースの２つを含み、各対の流体連結ピースはロケータ整列構成部品のそれぞれによって解放自在に保持され、且つ互いに対して整列され、複数のマニホルドピースが流体連結ピースの列を横切って延び、少なくとも１つのマニホルドピースは、中央線が対の一つの最も遠い口と相互連結する中央線を横切るマニホルド通路を有し、且つそれぞれの対が取付け構造から保持されるロケータ整列構成部品を取り外すことなく取り外せる、流体送出装置を提供する。
【０００５】
ロケータ整列構成部品は、組で配列され、各組はロケータ整列構成部品のそれぞれの列において隣り合せの２つのロケータ整列構成部品を含み、各流体連結ピースはそれぞれの組における両方のロケータ整列構成部品によって保持される。
それぞれの対の流体連結ピースの間に隙間が構成され、マニホルドピースは、対を保持するロケータ整列構成部品から対を取り外すことなく隙間から取り外すことができる。
【０００６】
装置は、取付け構造にロケータ整列ピースを取り外し可能に締結するロケータ整列締結具を更に含む。
ロケータ整列構成部品は、例えばクレードルであるのが良い。各クレードルは、ｘ、ｙ、θにおいてそれぞれの対の流体連結ピースの移動を阻止する。
【０００７】
装置は、流体連結通路及びマニホルド通路を介して互いに流れ連通して配置された複数の流体制御構成部品を更に含む。
流体制御構成部品の１つは、対の連結ピースの一方の流出口に連結される流入口と、それぞれの対の連結ピースのもう一方の流入口に連結した流出口を有する。
流体制御構成部品は、弁、調整器、大流量制御器、フィルター、及び圧力変換器の少なくとも１つを含む。
各それぞれの流体連結ピースの口は、それぞれの流体連結ピースの同じ側に位置する。
【０００８】
装置は更に、少なくとも３つの口を有する少なくとも１つの流体Ｔ字形ピースを含み、少なくとも１つの流体連流通路は全ての３つの口と相互連結し、Ｔ字形ピースはロケータ整列構成部品の１つに解放自在に保持され、且つ整列し、流体Ｔ字形ピースの口の１つはマニホルドピースに連結される。
【０００９】
装置は更に、少なくとも２つの口及び両口を相互連結する少なくとも１つの流体連通通路を有する少なくとも１つの流体エルボピースを含み、エルボピースはロケータ整列構成部品の１つに対して解放自在に保持され、且つ整列し、流体エルボピースの口の１つはマニホルドピースに連結される。
【００１０】
それぞれの対の流体連結ピースの間に隙間が構成され、装置はそれぞれの対の流体連結ピースの間にパージピースを更に含み、パージピースは少なくとも２つの口を有し、その一方はマニホルドピースに連結される。
【００１１】
装置は、流体連結構成部品を保持し且つ整列し、またロケータ整列構成部品よりも小さいロケータ端ピースを更に含む。
【００１２】
本発明は、取付け構造体と、取付け構造体に固定された少なくとも３つのロケータ構成部品と、各々流入口、流出口、及び流入口と相互連結する流体連通通路を有する少なくとも３対の流体連結ピースと、を含み、各それぞれの対の流体連結ピースがロケータピースのそれぞれによって解放自在に保持され、且つ整列され、複数のマニホルドピースが流体連結ピースの２つの最も遠い口を相互連結する線を横切る中央線を有するマニホルド通路を有し、且つ３つのロケータ構成部品のいずれも取り外すことなく取り外しできる、流体送出装置を提供する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
添付図面の図１は、ベース取付け板１２、３つのロケータ整列クレードル１４、６つのロケータ締結ねじ１６、３つの流体連結ブロック１８、６つのシール２０、３つの流体制御構成部品２２、及び１２の構成部品締結ねじ２４を含む、本発明の実施形態による１列の流体送出装置、又はガスマニホルド装置１０を図示する。ベース取付け板１２には、６つのクレードル取付け開口２６が形成されている。６つのナット２８がベース取付け板１２の底面に溶接されている。各ナット２８はクレードル取付け開口２６のそれぞれと整列したねじ穴を有する。
【００１４】
図２を参照すると、各ロケータ整列クレードル１４はベース部分３０及び４つの固定及び整列柱３２を有する。整列柱３２は、ベース部分の４つのコーナーから距離３４だけ上方に延び、ｘ方向に距離３６だけ、ｙ方向に距離３８だけ互いに間隔を隔てている。２つのベース板取付け開口４０がベース部分３０に形成されている。６つの連結ブロック整列開口４２もベース部分３０に形成されている。それぞれの構成部品取付けねじ付き開口４４が、各それぞれの整列柱３２の上面に形成されている。
【００１５】
再び図１を参照すると、ロケータ整列クレードル１４を、各ベース板取付け開口４０をクレードル取付け開口２６のそれぞれと整列させて、ベース取付け板１２に、ｘ方向に延びる列に位置決めする。
【００１６】
引き続いて、ロケータ締結ねじ１６のそれぞれをベース板取付け開口４０、及びクレードル取付け開口２６の各それぞれに挿入し、次いでナット２８の各々にねじ込む。それにより、ロケータ取付けクレードル１４をベース取付け板１２に固定する。保守の目的のために、ロケータ整列クレードル１４を取り外す必要性ほとんどないはずであるけれども、例えば、ロケータ整列クレードル１４のいくつかを取り外したり、或いはロケータ整列クレードル１４をモジュール様式に配列し直す目的で、ロケータ整列クレードル１４は、ロケータ締結ねじ１６を外すことによって依然として、取り外すことができる。
【００１７】
図３を参照すると、流体連結ブロック１８の各々はｚ方向に高さ４８、ｘ方向に長さ５０、ｙ方向に幅５２を有する。流入口及び流出口５４は流体連結ブロック１８の上面５６に形成される。通路６０が端面６２に穴明けされ、且つ口５４の下部分と相互連結する。通路６０は面６２で封鎖される。それにより流体連結通路が口５４を形成する開口の下部分及び通路６０によって共同して構成される。ガスが、口５４の１つに流入し、流体連結ブロック１８の中を通り、他の口５４を通って出ることができる。４つのクレードル整列ピン６４が流体連結ブロック１８の下面に盛り上がって立っている。
【００１８】
再び図１を参照すると、流体連結ブロック１８をロケータ整列クレードル１４に挿入する。左の流体連結ブロック１８は、左のロケータ整列クレードル１４に位置した左部分、及び中央のロケータ整列クレードル１４に位置した右部分を有する。中央の流体連結ブロック１８は、中央及び右のロケータ整列クレードル１４によって共同して保持される。各流体連結ブロック１８の幅（図３の５２）は、ロケータ整列クレードル１４によって定められたｙ方向（図２の３８）の距離と一致しているので、流体連結ブロック１８は、ｙ方向及びｚ軸の周りのｘ−ｙ平面でのθの移動が阻止される。クレードル整列ピン（図３の６４）は、連結ブロック整列開口（図３の６４）と係合して、ｙ方向及びθの流体連結ブロック１８の移動を更に阻止する。連結ブロック整列開口４２とクレードル整列ピン６４との相互係合により、流体連結ブロック１８が相対的互いに近づいてたり、離れてたりｘ方向に滑動するのを阻止し、隣接した流体連結ブロック１８の間に隙間６８が維持される。流体連結ブロック１８は、口をｘ方向に延びる列７０に整列させ、且つ隙間６８を流体連結ブロック１８間に作って、互いに関して位置決めされる。
【００１９】
図４は、追加のロケータ整列クレードル１４及び追加の流体連結ブロック１８を含む、流体送出装置１０の追加の構成部品を図示する。追加のロケータ整列クレードル１４及び流体連結ブロック１８は、図１に示すように、ｘ方向に延びる列に取付けられるが、ｙ方向に互いに隣接して位置する。
流体送出装置１０は、流体Ｔ字形ピース７４、マニホールドピース７６、及びパージピース７８を更に有する。
【００２０】
図５を参照すると、流体Ｔ字形ピース７４は、図３の流体連結ブロック１８の長さ５０に図１の隙間６８の長さを加えたものに等しいｘ方向の長さ８０を有する。流入口及び流出口５４に加えて、流体Ｔ字形ピース７４はまた、ｙ方向に延びる第３の口８２を有する。第３の口８２は、流体Ｔ字形ピース７４の流入口及び流出口５４の両方と流れ連通している。例えば、ガスは流入口及び流出口５４へ下方ｚ方向に流れて、流体Ｔ字形ピース７４内で合流し、且つ第３の口８２からｙ方向に流出する。
【００２１】
再び、図４を参照すると、マニホルドピース７６は第３の口８２に連結され、流体Ｔ字形ピース７４からｙ方向に延びる。図６を参照すると、パージピース７８は、上面に１つの口５４、及びそこからｙ方向に延びる追加の口８４を有する。パージピース７８の口５４及び８４は、互いに流れ連通しているから、例えば、ガスはｙ方向に追加の口８４に流入し、パージピース７８の口５４からｚ方向に出る。パージピース７８は図１の隙間６８と実質的に等しい幅８８を有する。再び図４を参照すると、パージピース７８の追加の口８４はマニホルドピース７６に連結される。
【００２２】
流体Ｔ字形ピース７４は、マニホルドピース７６及びパージピース７８とともに、ロケータ整列クレードル１４に下方に挿入することができる。流体Ｔ字形ピース７４は、流体Ｔ字形ピース７４が流体連結ブロック１８の内の１つよりもクレードル１４を超えて左に更に延びることを除いて、流体連結ブロック１８の内の１つと同じ仕方でクレードル１４の２つに嵌る。マニホルドピース７６は隙間（図１の６８）を通って延びる。マニホルドピース７６は、上から見たとき、列７０の中央を横切る中央線を有する。パージピース７８は、流体連結ブロック１８の２つの間の隙間に挿入する。流体Ｔ字形ピース７４の流入口及び流出口５４は、列７０の１つに位置し、またパージピース７８の口５４は別の列７０に位置する。
【００２３】
再び図１を参照すると、シール２０を口５４の各々に配置し、流体制御構成部品２２を流体連結ブロック１８上に位置決めする。各流体制御構成部品２２は、４つのクレードル取付け開口９２を備えたフランジ９０を有する。各構成部品２２のクレードル取付け開口９２は、それぞれのロケータ整列クレードル１４の構成部品取付け開口４４上に位置する。それぞれの構成部品締結ねじ２４をクレードル取付け開口９２に挿入し、且つ構成部品取付け開口４４にねじ込んで、それぞれの流体制御構成部品２２をそれぞれのロケータ整列クレードル１４に固定し、且つシール２０の２つを圧縮する。ロケータ整列クレードル１４のように、流体制御構成部品２２を列に配置する。隣接した流体制御構成部品２２は、流体連結ブロックのそれぞれを通して互いに流れ連通する。ｘ方向に延びる列に位置した流体制御構成部品２２を、図１に示す構成部品を利用して互いに流れ連通して配置することができる。再び図４を参照すると、流体Ｔ字形ピース７４、マニホルドピース７６、及びパージピース７８を使用して、互いに流れ連通してｙ方向に互いに間隔を置いた異なる列にある流体制御構成部品を配置することができる。
【００２４】
本発明の利点は、流体送出装置１０が容易に維持されることである。例えば、マニホルドピース７６上に位置した流体制御ピースのどれかを簡単に取り外し、次いでロケータ整列クレードル１４からマニホルドピース７６を流体Ｔ字形ピース７４及びパージピース７８と一緒に持ち上げることによってマニホルドピース７６を取り替えることができる。従って、マニホルドピース７６の中央線が列７０を切るとしても、マニホルドピース７６を取り替えるのに、ロケータ整列クレードル１４のいずれも又は流体連結ブロック１８のいずれも取り外す必要がない。
【００２５】
図７乃至１５は、流体送出装置１０を構成するのに使用され、且つ完成の目的で提示される構成部品を更に図示する。図７は、２つの柱９８のみを有するロケータ端ピース９６を示す。ロケータ端ピース９６は、ｘ方向のロケータ整列クレードル１４の長さ１０２よりも短い長さ１００をｘ方向に有する。図１６に示すように、ロケータ端ピース９６は、例えば、ロケータ整列クレードル１４の列の隣接した端に使用されるが、ｘ方向に空間を省くために、ロケータ整列クレードル１４の追加の柱を有していない。
【００２６】
図９は、第３の口１０８が第３の口８２と反対の方向に延びることを除いて、図５の流体Ｔ字形ピース７４と同じ流体Ｔ字形ピース１０６を示す。図８は、Ｔ字形ピース１１０が反対方向に延びる第３の口１１２及び第４の口１１４を有することを除いて、図５の流体Ｔ字形ピース７４と同じ流体Ｔ字形ピース１１０を示す。図５，８及び９の流体Ｔ字形ピースの組み合わせは、ガスが上、下、或いはｙ軸上で両方向に差し向けられるモジュール設計を許容する。
【００２７】
図１０は、図６のパージピース７８の口５４及び８４に加えて、口８４と反対方向に延びる追加の口１１６が設けられていることを除いて、図６のパージピース７８と同じパージピース１２０を示す。かくして、パージピース１２０はｙ軸上で上下両方に流れを可能にする。
【００２８】
図１１は、ｚ方向とｘ方向の間で流れを変えるのに使用され、且つ典型的に列の端に配置されるフランジピース１２２を示す。図１２は、例えば、外部ガス源との連結の目的のために、ｘ方向に流れを差し向けるべく、図１１のフランジ連結ピース１２２と組み合わせて使用されるフランジ連結体１２４を示す。
【００２９】
図１３乃至１５は、それぞれエルボピース１３０，１３２及び１３４を示す。エルボピース１３０，１３２及び１３４は、その上面に単一の口５４を有するので、ｘ方向の流れを終わらせる。口１３６は、エルボピース１３０，１３２又は１３４にｙ方向における流入流出を可能にする。
【００３０】
図１６及び図１７は、流体送出装置の最終組立体を示す。完全に組み立てられると、図１７に示すように、流体送出装置１０は、調整器、大流量制御器、フィルター、及び圧力変換器を含む、ｘ及びｙ配列に互いに連結された種々の流体制御構成部品２２を含む。
【００３１】
本発明の他の実施形態もまた、液体のようなガス以外の流体を流すのに使用しても良い。流体送出装置の構成部品は、異なる密封界面を利用する流体制御構成部品の異なるデザインに適用するように異なって寸法決め及び形成されても良い。完全な流体送出装置がマニホルドピースを含む必要はなく、且つロケータ整列クレードル、流体連結ピース、及び流体制御構成部品の列を有する必要はない。
【００３２】
特定の例示的実施形態を説明し且つ添付図面に示したが、かかる実施形態は単に例示であり、本発明の限定ではなく、本発明は、当業者には修正が思い浮かぶから、図示し、且つ記載した構造及び構成に制限されない。
【図面の簡単な説明】
【００３３】
【図１】本発明の実施形態による流体送出装置の一列の構成部品の斜視図である。
【図２】装置の一部を形成する多くのロケータ整列クレードルの１つの斜視図である。
【図３】装置の一部を形成する多くの流体連結ブロックの１つの斜視図である。
【図４】ｘ方向に延びる列を、ｙ方向に互いに相互連結するように使用される装置の追加の構成部品の斜視図である。
【図５】装置の一部を形成する流体Ｔ字形ピースの斜視図である。
【図６】装置の一部を形成するパージピースの斜視図である。
【図７】装置の一部を形成するロケータ端ピースの斜視図である。
【図８】図５のＴ字形ピースの代わりに使用される流体Ｔ字形ピースの斜視図である。
【図９】図５のＴ字形ピースの代わりに使用される別の流体Ｔ字形ピースの斜視図である。
【図１０】図６のパージピースの代わりに使用されるパージピースの斜視図である。
【図１１】装置の一部を形成するフランジピースの斜視図である。
【図１２】図１１のフランジピースと一緒に使用されるフランジ構成部品の斜視図である。
【図１３】流体連結ブロックの列の端に使用されるエルボピースの斜視図である。
【図１４】図１３のエルボピースの代わりに使用されるエルボピースの斜視図である。
【図１５】図１３のエルボピースの代わりに使用されるエルボピースの斜視図である。
【図１６】図７のロケータ端ピースの位置決めを特に図示する、装置の更なる構成部品の斜視図である。
【図１７】完全に組み立てられた装置の斜視図である。
【符号の説明】
【００３４】
１０  流体送出装置
１２  ベース取付け板
１４  クレードル
１６  ロケータ締結ねじ
１８  流体連結ブロック
２０  シール
２２  流体制御構成部品
２４  構成部品締結ねじ
２６  クレードル取付け開口
２８  ナット
３０  ベース部分
３２  整列柱
４０  ベース板取付け開口
４２  連結ブロック整列開口
５０  長さ
５２  幅
５４  口
５６  上面
６０  通路
６８  隙間
７０  列
７４  Ｔ字形ピース
７６  マニホルドピース
７８  パージピース
【図１】
2006521522.tif 000003
2006521522.tif 000004
【図３】
2006521522.tif 000005
【図６】
2006521522.tif 000006
【図７】
2006521522.tif 000007
【図８】
2006521522.tif 000008
【図９】
2006521522.tif 000009
【図１０】
2006521522.tif 000010
【図１１】
2006521522.tif 000011
【図１２】
2006521522.tif 000012
【図１３】
2006521522.tif 000013
【図１４】
2006521522.tif 000014
【図１５】
2006521522.tif 000015
【図４】
2006521522.tif 000016
【図１６】
2006521522.tif 000017
【図１７】
2006521522.tif 000018
【国際調査報告】
2006521522.tif 000019