(57)【要約】本発明は、少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に平行に延びる少なくともほぼ直線の運動座標に沿う少なくともほぼ棒形状輪郭を有する磁石装置の磁界中で磁界感応センサユニットの位置を決定する装置において、磁界感応センサユニットが少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に少なくともほぼ平行な平面に延びる磁界の成分をこの長手方向軸に少なくともほぼ直角な方向から測定するように構成され、磁石装置は少なくともほぼ棒形状輪郭の第１端部領域にＮ極を持ち、少なくともほぼ棒形状輪郭の第２端部領域にＳ極を持ち、さらにＮ極とＳ極との間に延びる中間領域内に少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部を持っていることを特徴とする。これによって、位置測定のために使用できる範囲が拡張され、利用性の良好な磁石装置を構成することができる。
2006513415.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
磁石装置の磁界中で磁界感応センサユニットの位置を決定する装置であって、前記磁石装置は少なくともほぼ直線の運動座標に沿う少なくともほぼ棒形状輪郭を有し、前記運動座標は少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に平行に延びており、
前記磁界感応センサユニットは磁界の成分を測定しようとするものであり、前記磁界は少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に少なくともほぼ平行な平面において、この長手方向軸に少なくともほぼ直角となるように、延びており、
前記磁石装置は少なくともほぼ棒形状輪郭の第１端部領域にＮ極を持ち、前記少なくともほぼ棒形状輪郭の第２端部領域にＳ極を持ち、さらに前記Ｎ極とＳ極との間に延びる中間領域内に前記少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部を持っている、
ことを特徴とする磁界感応センサユニットの位置を決定する装置。
【請求項２】
前記少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部は少なくとも断面が長円の形状に少なくともほぼ従う形状に対応することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部は少なくとも断面がサイクロイドの形状に少なくともほぼ従う形状に対応することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記磁界感応センサユニットが磁気抵抗素子のホイートストンブリッジによって構成され、前記磁気抵抗素子の長手方向が少なくともほぼ運動座標に沿って延びることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項５】
運動座標に沿う第２ボディーに対する第１ボディーの相対位置を決定するために、前記磁石装置が前記第１ボディーに結合され、前記磁界感応センサユニットが前記第２ボディーに結合されていることを特徴とする請求項１ないし４の少なくとも１項に記載の装置。
【請求項６】
前記第１及び第２ボディーが自動車の部品によって形成されていることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第１及び第２ボディーが自動車の内燃機関の部品によって形成されていることを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記第２ボディーが自動車の内燃機関用弁機構の部品を含み、前記第１ボディーがこれに対して動くことができる弁機構の部品によって構成されていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、少なくともほぼ棒形状輪郭を有する磁石装置の磁界中で磁界感応センサユニットの位置を決定する装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
磁界感応センサ、特に磁気抵抗センサとして構成された磁界感応センサは磁界測定のために多くのシステムで用いられている。最も良く用いられる用途は自動車技術のアンチロックシステム又は内燃機関の電子制御システムすなわちエンジン管理システムとも称されるシステムにおけるエンジン速度センサとして、さらには回転運動を検知するための角度センサとしての使用を含む。しかしながら、自動車技術分野における新たな応用においては、少なくともほとんど直線的である運動座標に沿う自動車の構造部品の動きを決定するために、磁界感応センサ、特にＡＭＲセンサ（異方性磁気抵抗センサ）と称されるセンサを使用することが望まれている。
【０００３】
フィリップス・セミコンダクター社による一連のデータシート「ディスクリート・セミコンダクター（Discrete Semiconductors）」の中に出てくるデータシート「概説・磁界センサ（General−Magnetic field sensors）」１９９７年１月９日、第４９ページ以下に、磁気抵抗センサを用いる直線位置測定について記載されている。ここで述べられている装置は、図１に再現（reproduce）されているように、いわゆる標準ブリッジ、すなわち、そこでは棒磁石として構成された磁石装置を有する４つの磁気抵抗素子のホイートストンブリッジ回路を備えた磁気抵抗センサを使用することを示している。一例として、その図はフィリップス・セミコンダクター社によって販売されているＫＭＺ１０Ｂという型の磁気抵抗センサを使用することを示している。このセンサは上述のデータシートの第４ページに、より詳細に説明されている。その場合、棒磁石によって発生された磁界の磁力線は、図１に示されているように、図の上方に示されたＮ極から図の下方に示されたＳ極へと走る。磁気抵抗センサは直交座標ｘ及びｙによって生成される平面内に配置される。その平面内に模式的に表示された磁力線も走り、同様に棒磁石がその長手方向中心軸に沿って配置されている。棒磁石の位置が磁気抵抗センサに対して変化すると、棒磁石の長手方向中心軸に直角に延びるｙ方向の磁界強度、及び棒磁石の長手方向中心軸に平行に延びるｘ方向の磁界強度が共に磁気抵抗のセンサの位置で変化する。両磁界成分はセンサのホイートストンブリッジ回路によって出力されるブリッジ出力信号に影響を与える。ブリッジ出力信号はｙ方向の磁界強度に比例するが、センサの感応度はｘ方向の磁界強度が増大するにつれて減少する。
【０００４】
図１に示す装置においては、Ｘ方向の磁界強度は、測定対象の磁気抵抗センサに関して棒磁石の全ての位置に対して所定の符号を持っている。これはフリッピンッグ、すなわちセンサ転送特性の反転として知られているものを排除するために重要なものである。センサが磁石の上端部に位置していると、すなわち、そのＮ極に向かって運動座標に沿って押されると、棒磁石によって発生されるｙ方向の磁界の磁界強度に対して負の値が測定される。他方、センサが磁石の下端部に位置していると、すなわちそのＳ極に向かって運動座標に沿って押されると、棒磁石によって発生されるｙ方向の磁界の磁界強度に対して正の値が測定される。
【０００５】
しかしながら、ｘ方向の磁界強度が変化するため、センサによって出力されるブリッジ出力信号はｙ方向で測定される磁界強度の値に比例して変化することはない。図２は、一例として、１０ｍｍの長さを有する棒磁石において、最大±５ｍｍの棒磁石のＮ極とＳ極との間の、運動座標に沿う棒磁石に関するセンサの位置変化に対する、供給電圧５Ｖにおけるブリッジ出力信号の時間に伴う変化（variation over time）を示すものである。ブリッジ出力信号が「Ｕｏｕｔ/ｍＶ」なる表示をもってミリボルト単位の電圧として与えられ、運動座標に沿う棒磁石に対するセンサ位置の変化が棒磁石のＮ極とＳ極との間の中心から計算された直交座標ｘの値として「ｘ/ｍｍ」なる表示をもって与えられている。
【０００６】
図２のグラフは運動座標に沿う棒磁石に対するセンサの位置変化の全範囲、ここでは位置変化の平均値的な値として±５ｍｍのうち、ここでは、約−３ｍｍから＋３ｍｍまでのｘの値に対して、ブリッジ出力信号が棒磁石に対するセンサの位置変化に直線的に比例して走り、他方、全体的に示されている位置のこの変化の範囲の終端に向かう領域部分において、この場合は最大限±５ｍｍの領域部分において、ブリッジ出力信号はｘ方向の磁界強度に対してその値が大きく減少し、そのため非直線特性を呈している。この非直線特性が存在する所では、ブリッジ出力信号はもはや所望の位置測定のために用いることはできない。この位置測定装置で用いることができる棒磁石のＮ極とＳ極との間の運動座標に沿う領域は「変位範囲」なる表示によって図１に示されている。位置測定のために使用できる運動座標に沿うこの範囲は、棒磁石のＮ極とＳ極との間のうち、一部の不十分な範囲内でしか使用することができないことが分かる。従って、図１に示されている装置を使用する場合、磁石の長さ、すなわち運動座標に沿う棒磁石の寸法を、位置測定のために用いられうる範囲よりかなり大きく選択することが必要である。図１及び２に示されている例では、位置測定のために用いられうる範囲の約１．５倍の長さの棒磁石が必要となる。これは装置の必要空間及び棒磁石のための材料必要量が増大することから欠点となる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明の目的は、磁石装置の磁界中における磁界感応センサユニットの位置を決定する装置を提供することにあり、前記磁石装置は少なくともほぼ棒状輪郭を有し、それによって、位置測定に用い得る範囲よりも、磁石装置の大きさを決めるのに有用に用い得ることができる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明によればこの目的は、磁石装置の磁界中で磁界感応センサユニットの位置を決定する装置であって、前記磁石装置は少なくともほぼ直線の運動座標に沿う少なくともほぼ棒形状輪郭を有し、前記運動座標は少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に平行に延びており、前記磁界感応センサユニットは磁界の成分を測定しようとするものであり、前記磁界は少なくともほぼ棒形状輪郭の長手方向軸に少なくともほぼ平行な平面において、この長手方向軸に少なくともほぼ直角となるように、延びており、前記磁石装置は少なくともほぼ棒形状輪郭の第１端部領域にＮ極を持ち、前記少なくともほぼ棒形状輪郭の第２端部領域にＳ極を持ち、さらに前記Ｎ極とＳ極との間に延びる中間領域内に前記少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部を持っている装置によって達成される。
【０００９】
本発明は、磁石装置の長手方向軸の方向、すなわち運動座標の方向つまりｘ方向の、Ｎ極及びＳ極の領域に位置する磁石装置の端部においてもそれ相当の磁界強度を発生することができれば、磁石装置の短小化が達成できるとの認識に基づいている。
【００１０】
本発明は、上述の認識を用いて、本発明による測定により好ましいやり方でこの結果を達成する。磁石装置の中間部を狭小化することによって、Ｎ極及びＳ極の領域に位置する磁石装置の端部における磁力線の出口角が変化され、より強い磁界強度がｘ方向に発生される。そのため、位置測定のために利用されうる範囲の大きさを変えることなしに磁石装置の狭小化を達成することができる。
【００１１】
本発明による磁石装置の少なくともほぼ棒形状輪郭の正確な形状は各用途に対する簡単な実験手段によって容易に決定し最適化することができる。しかしながら、本発明の好ましい構成によれば、少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部は少なくとも断面が長円の輪郭に少なくともほぼ従う形状に対応する。本発明の他の好ましい構成によれば、少なくともほぼ棒形状輪郭の狭小部は少なくとも断面がサイクロイドの輪郭に少なくともほぼ従う形状に対応する。数学的及び構造的な用語で明確に定義された上述の輪郭手段によって、本発明による磁石装置の形状は容易に再現可能に得られる。
【００１２】
好ましくは、磁界感応センサユニットは磁気抵抗素子のホイートストンブリッジによって構成され、磁気抵抗素子の長手方向は少なくともほぼ運動座標に沿って延びる。このようなセンサユニットは、フィリップス・セミコンダクター社によって販売されているＫＭＺ１０Ｂなる型の上記の磁気抵抗センサによって簡単かつ低コストで得られる。
【００１３】
本発明を相対的に運動する第１ボディー及び第２ボディー、例えば第１及び第２機械要素の相対位置を決定する装置に利用することができるように、運動座標に沿う第２ボディーに対する第１ボディーの相対位置を決定するために、好ましくは、磁石装置が第１ボディーに結合され、磁気感応センサユニットが第２ボディーに結合される。特に、センサユニットはセンサに接続されるべき評価制御装置に対しても固定的に配置されるボディーに結合され、磁石装置は第１ボディーに対して相対的に動くように構成されるボディーに結合される。これはセンサユニットによる信号出力の伝送を容易にし、そのセンサユニットへの信号及び電力の供給を容易にする。しかしながら、もし信号及び電力の供給のための適当な手段がそれらの装備状態に合わせて作られていれば、センサユニット及び磁石装置は他の方式によってボディーに結合してもよい。
【００１４】
本発明による装置の好ましい応用例においては、第１及び第２ボディーが自動車の部品によって形成される。特に、第１及び第２ボディーが自動車の内燃機関の部品によって形成される。特に好ましい応用例においては、第２ボディーは自動車の内燃機関用弁機構の部品を含み、第１ボディーはこれに対して動くことができる弁機構の部品によって構成される。
【００１５】
本発明は、自動車の内燃機関用電磁弁機構のための好ましい構造として用いることができる。その場合、弁を操作する電磁アクチュエータ内の、弁ディスクに結合された接極子の位置が弁ディスクを弁座上に位置させる時の速度を調整する目的で測定される。自動車の内燃機関の一般的な弁リフトは８ないし１２ｍｍの間で動き、例外的な場合は、より大きな弁リフトもありうることを考慮しなければならない。この理由のため、そのような範囲を超える直線運動を検知することができる装置が必要とされる。本発明による装置は好ましくは、その小型設計及びその堅固性のためのみならず、必要な処理速度でのセンサ出力信号の発生によっても、この目的のために適している。今日の自動車の内燃機関において出現するエンジン速度にとって、つまり弁機構に要求される短い操作時間にとって、電磁アクチュエータの切替時間は３ないし１０ｍｓとなり、「ＡＭＲ」センサを備えた本発明による装置は十分高速の信号処理を行うことができる。さらに本発明による装置は、あらゆる動作状況において、直ちに起動する場合でも、アクチュエータの測定された位置、いわゆる「絶対位置」についての正確な情報を供給することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
次に図面に示す実施例を参照して本発明をさらに詳細に説明する。なお本発明は図面に示す実施例に限定されるものではない。
【００１７】
図３に示す本発明の実施例では、上述のデータシート「General-Magnetic field sensors」１９９７年１月９日の第４ページにより知られている、ＫＭＺ１０Ｂという型の磁気抵抗センサを用いる直線位置測定のための装置が再び示されている。図３の装置はここでも棒磁石として示された磁石装置を有する磁気抵抗センサを使用することを示している。この場合、棒磁石によって発生された磁界の磁力線は、図３に示されているように、図において上方に示されたＮ極から、図において下方に示されたＳ極へと走っている。磁気抵抗センサは直交座標ｘ及びｙによって生成される平面内に配置される。同平面内では、概略表示された磁力線が走り、同様に棒磁石がその長手方向中心軸に沿って配置される。磁気抵抗センサに対して棒磁石の位置が変化すると、棒磁石の長手方向中心軸に対して直角に延びるｙ方向の磁界強度、及び棒磁石の長手方向中心軸に対して平行に延びるｘ方向の磁界強度は共に、磁気抵抗センサの位置で変化する。両磁界成分はセンサのホイートストンブリッジ回路によって出力されるブリッジ出力信号に影響を及ぼす。ブリッジ出力信号はここでもｙ方向の磁界強度に比例するが、センサの感応度はｘ方向の磁界強度が増大するにつれて低減する。
【００１８】
図１に示す装置においては、ｘ方向の磁界強度は測定対象の磁気抵抗センサに関して棒磁石の全ての位置に対して一定の符号を持っている。これは、フリッピングすなわちセンサ転送特性の反転として知られているものを排除するために重要なものである。センサが磁石の上端部に位置していると、すなわち、そのＮ極に向かって運動座標に沿って押されると、棒磁石によって発生されるｙ方向の磁界の磁界強度に対して負の値が測定される。他方、センサが磁石の下端部に位置していると、すなわちそのＳ極に向かって運動座標に沿って押されると、棒磁石によって発生されるｙ方向の磁界の磁界強度に対して正の値が測定される。
【００１９】
図３に示す装置で用いられる棒磁石は、少なくともほぼ棒状に形成された輪郭（ontour）の第１端部におけるＮ極と、少なくともほぼ棒状に形成された輪郭の第２端部におけるＳ極との間の中間領域に狭小部（narrowing）を持っている。これは、Ｎ極とＳ極との領域内で磁石装置の両端部でさえも、棒磁石の長手方向、すなわち運動座標の方向つまりはｘ方向に十分な磁界強度が生成されることを可能にする。棒磁石の中間部を狭小に形成することにより、Ｎ極領域及びＳ極領域内で棒磁石の端部における磁力線の出口角が変化させられ、その結果、ｘ方向に、より大きな磁界強度が生成される。その結果、位置測定のために使用できる範囲の大きさを変化させることなしに棒磁石の短小化を達成することができる。
【００２０】
図４は一例として、１１ｍｍの長さを有する棒磁石において、供給電圧５Ｖにおける最大±５ｍｍの棒磁石のＮ極とＳ極との間の、運動座標に沿った棒磁石に関するセンサの位置における変化に対する、ブリッジ出力信号の時間に伴う変化（variation over time）を示すものである。ブリッジ出力信号が「Ｕｏｕｔ/ｍＶ」なる表示をもってミリボルト単位の電圧として与えられ、運動座標に沿う棒磁石に対するセンサの位置の変化が棒磁石のＮ極とＳ極との間の中心から計算された直交座標ｘの値として「ｘ/ｍｍ」なる表示をもって与えられている。
【００２１】
図４のグラフはブリッジ出力信号の時間に伴う変化を示すものである。これによれば、ブリッジ出力信号はその全領域でここでは±５ｍｍの直交座標に沿って棒磁石に対するセンサの位置が変化しており、その全領域において棒磁石に対するセンサの位置の変化においてその変化に比例して直線的に推移している。そのため、その変化領域の終端部でさえも全表示領域内で、この場合は最大限±５ｍｍの範囲内で、ブリッジ出力信号はｘ方向の磁界強度のために大きく減少しているにもかかわらず直線性を維持している。このようにして、ブリッジ出力信号は所望の位置測定のために用いることが可能になる。位置測定のためのこの装置で用いられうる棒磁石のＮ極及びＳ極間の運動座標に沿う範囲が図４でも「変位範囲」として示されている。位置測定のために用いられうる運動座標に沿うこの範囲を、棒磁石のＮ極とＳ極との間の少なくとも大部分の領域の使用を可能にすることが分かる。従って図４に示されている装置を使用することによって、位置測定のために使用可能な範囲と同じ範囲の大きさで磁石の長さを選択すること、すなわち運動座標に沿う棒磁石の寸法を選択することが可能になる。これは装置の所要空間及び棒磁石の所要材料を大幅に減少させる。
【００２２】
図５は、本発明の一適用例として自動車の内燃機関のための弁機構の、弁軸１に沿う縦断面図を示すものである。この弁機構は、２つの環状電磁石２，３を含むアクチュエータを備えている。電磁石２及び３はそれぞれポット形状の鉄心４及び５、並びに環状巻線６及び７を備えている。弁軸１はポット状鉄心４，５の中央ポール（pole）８内の円筒状貫通穴１０又は１１を貫通する形で配置されている。環状電磁石２，３は互いに所定間隔をおいて互いに鏡面対称に配置されている。両電磁石２，３の間に磁化可能な鋼板からなるディスク状の接極子２１が配置されている。この接極子２１は弁軸１に固定され、弁軸１、及びこれに結合された弁ディスク１２と一緒に、同時に弁軸１の運動座標を形成する弁軸１の長手方向軸１３に沿って環状電磁石２，３に対して動かされる。弁ディスク１２は弁座１４から開離させられたり、弁座１４に押し付けられたりする。弁ディスク１２側に弁軸１用の第１ガイド１５、及び混合気又は排気ガス用の吸排気チャネル１６、及び環状電磁石２，３用の固定部１７を有する円筒状ヘッドの要部が図５に示されている。さらに固定部１７に弁軸１に対して同心的にねじ穴１８が形成され、そのねじ穴１８に、弁軸１用の第２ガイド２０と一体に形成された調整ねじ１９がねじ込まれる。
【００２３】
さらに弁軸１には長手方向軸１３に対して同心的に第１及び第２ばね受け板２２，２３が固定されており、そのばね受け板２２，２３にそれぞれ第１及び第２圧縮ばね２４及び２５の一端が支持されている。第１圧縮ばね２４はその他端が円筒ブロックに、すなわち図示の例では、弁ディスク１２側で弁軸１用の第１ガイド１５に支持されている。第２圧縮ばね２５はその他端が調整ねじ１９に、すなわち図示の例では、弁軸１用の第２ガイド２０上に支持されている。このようにして、第１圧縮ばね２４は弁を閉じるように作用する。すなわち弁ディスク１２を弁座１４に対して押し付けるように作用する。仮にアクチュエータが存在しない場合、確実に第１圧縮ばね２４は弁がきつく閉じられるようにする。第２圧縮ばね２５は弁を開くように作用し、弁ディスク１２を弁座１４から引き離す。もしもアクチュエータが存在しない場合、確実に第２圧縮ばね２５は弁が開くようにする。両ばねは「互いに相手方に対して」作用する。この構造設計によって特に接極子２１が、ねじ穴１８内で調整ねじ１９を調整することによって接極子２１を調整しうる中間位置に保持される。
【００２４】
図５において上方電磁石である第１電磁石２に電流が流れると、接極子２１が上方に引きつけられ、弁が閉じられる。これに対して図５において、下方電磁石である第２電磁石３に電流が流れると、接極子２１は下方に動き、弁を開ける。電磁石２，３のいずれにも電流が流れていなければ、接極子２１はばね２４，２５によって前述の中間位置に保持され、弁は半開きとなる。
【００２５】
アクチュエータと協働して互いに作用を及ぼし合う圧縮ばね２４，２５を備えたこの構造設計の主たる利点は、それによって実現される切替原理にある。もし電流が上方の第１電磁石２を通って流れれば、接極子２１はその上方位置にあって、第１電磁石２に対してきつく当接し、それによって上方の第２ばね２５が圧縮され、下方の第１ばね２４が緩められる。その結果、弁が閉じられる。弁が開かれるべき場合は、上方の第１電磁石２の電流がスイッチオフされる。接極子２１はばね力によって、その下方位置に達するところまで開離される。理想的にはほとんど下方位置に達するところまでであるが、実際には機械的構造の摩擦力のために完全にという訳にはいかない。この下方位置で接極子２１は第２電磁石３に対してきつく当接し、上方の第２ばね２５は緩み、下方の第１ばね２４が圧縮され、その結果、弁は開かれる。この場合、接極子２１を十分その下方位置にするために、下方の第２電磁石３に小さな電流を流しておく必要がある。ばね構造なしでは、約８〜１２ｍｍという一般的な弁リフト、及びそれに関連する接極子２１の上方位置における接極子２１と下方の第２電磁石３との間の大きな間隔の場合の接極子の大きなストロークにより、接極子２１に十分強力な力を作用させるために下方の第２電磁石３に大きな電流を流さなければならない。
【００２６】
弁軸１、弁ディスク１２、及び接極子２１を含むアセンブリの位置を測定するために、非磁性ハウジング２７内に収納された棒磁石２８を備えた装置が、弁軸１の、弁ディスク１２とは反対側の端部２６に取り付けられている。図示の実施例においては、この取付は弁軸１の、弁ディスク１２とは反対側の端部２６及びハウジング２７に形成された両ねじ部によって行われている。棒磁石２８は弁軸１の長手方向軸１３に対して同軸的にＮ極とＳ極との間の長手方向軸に整列している。一例として、Ｎ極は相対的に弁ディスク１２から遠く離れて位置し、Ｓ極は弁ディスク１２に近く位置する。従って弁軸１の長手方向軸１３も棒磁石２８の運動座標を形成する。
【００２７】
磁気抵抗センサ３１がセンサ固定部２９に配置される。この固定部２９は、図５に示されている実施例では環状電磁石２，３用の固定部１７上に取り付けられた被せ板３０上に装着されている。この磁気抵抗センサ３１は、好ましくはここでもＫＭＺ１０Ｂ型のものである。この目的のために、センサ固定部２９は装着面（マウンティング面）を備えており、その装着面上にセンサ３１が平面接触式に装着（フィット）される。センサ３１の磁気抵抗素子は図５の画面に一致する平面に整列され、そこに棒磁石２８の運動座標も位置する。それらの長手方向にはセンサ３１の磁気抵抗素子が棒磁石２８の運動座標の方向に整列している。センサ３１は図面の平面内の運動座標に直角に位置する棒磁石２８によって発生される磁界の磁界成分を測定する。図５においては、この位置測定装置で用いられる棒磁石２８のＮ極とＳ極との間の運動座標に沿う領域が矢印３２によって示されている。
【図面の簡単な説明】
【００２８】
【図１】いわゆる標準ブリッジを有するＫＭＺ１０Ｂ型の磁気抵抗センサを用いる従来の直線位置測定装置を示す。
【図２】１例として、図１の装置におけるＫＭＺ１０Ｂ型磁気抵抗センサのブリッジ出力信号の時間に対する変化を示す。
【図３】いわゆる標準ブリッジを有するＫＭＺ１０Ｂ型磁気抵抗センサを用いる本発明の直線位置測定装置の一実施例を示す。
【図４】１例として、図３の装置におけるＫＭＺ１０Ｂ型磁気抵抗センサのブリッジ出力信号の時間に伴う変化を示す。
【図５】本発明の一応用例として、自動車の内燃機関用弁機構の概略図を示す。
【図１】
2006513415.tif 000003
【図２】
2006513415.tif 000004
【図３】
2006513415.tif 000005
【図４】
2006513415.tif 000006
【図５】
2006513415.tif 000007
【国際調査報告】
2006513415.tif 000008
2006513415.tif 000009