(57)【要約】【課題】  電子放出源から放出される電子（電子ビーム）の位置をエクストラクタで直接感知することによって、マイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列をより容易に且つ簡便に行うことができ、しかも自動整列を可能にすることによって、長時間電子カラムを使用しても、正確な整列補正を容易に且つ自動に行うことができるエクストラクタ及びこれらを整列する方法を提供する。【解決手段】  本発明によるマイクロカラムに用いられるエクストラクタは、電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部と、を備える。
2006512753.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロカラムに用いられるエクストラクタにおいて、
前記エクストラクタは、
電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、
電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部と、を備えることを特徴とするマイクロカラムのエクストラクタ。
【請求項２】
前記感知領域が金属などの導体又は高濃度ドープ半導体よりなることを特徴とする請求項１に記載のマイクロカラムのエクストラクタ。
【請求項３】
前記各々の感知領域がｐ−ｎ接合部よりなることを特徴とする請求項１に記載のマイクロカラムのエクストラクタ。
【請求項４】
マイクロカラムのエクストラクタ孔と電子放出源とを整列する方法において、
請求項１乃至４のいずれか１項に記載のエクストラクタの各々の感知領域で、前記電子放出源から放出された電子ビームを感知する段階と、
前記感知された感知領域の位置及び照射された電流量を確認する段階と、
確認された各々の感知領域の位置及び照射された電流量によって、前記エクストラクタ孔と電子放出源との相対位置を計算する段階と、
前記計算されたデータによって、前記電子放出源又は前記エクストラクタ、或いは前記電子放出源及び前記エクストラクタを移動させる段階と、を備えることを特徴とするマイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列方法。
【請求項５】
前記計算する段階で計算されたデータと、予め計算された電子放出源及び前記エクストラクタ孔の整列に関するデータとを比較する段階をさらに備え、
前記電子放出源及び前記エクストラクタ孔が整列されていない場合、さらに前記感知段階から繰り返し、
前記電子放出源及び前記エクストラクタ孔が整列された場合、整列を終了させることを特徴とする請求項４に記載のマイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列方法。
【請求項６】
電子放出源と、
電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含む感知部を有する電子ビーム測定器と、
前記各々の感知領域に衝突した電子を電気的に導通するように連結する連結部と、
前記連結部により前記各々の感知領域に対応して連結され、且つ、前記各々の感知領域で感知された電子ビームの量をそれぞれ測定する測定部と、を備えることを特徴とする電子ビーム測定を用いた位置測定システム。
【請求項７】
前記感知領域が金属などの導体又は高濃度ドープ半導体よりなることを特徴とする請求項６に記載の電子ビーム測定を用いた位置測定システム。
【請求項８】
前記各々の感知領域がｐ−ｎ接合部よりなることを特徴とする請求項６に記載の 電子ビーム測定を用いた位置測定システム。
【請求項９】
第１の測定対象に電子放出源を提供する段階と、
前記電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、 
電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含み、且つ放出された電子ビームを感知する電子ビーム測定器を第２の測定対象に提供する段階と、
前記電子放出源から放出された電子を各々の感知領域で感知する段階と、
前記電子ビーム測定器により電子が感知された各々の感知領域の位置を確認し、各々の感知領域に衝突した電子ビームの量を測定する段階と、
感知された各々の感知領域の位置及び各々の電子衝突量の測定データにより第１の測定対象及び第２の測定対象の相対位置を計算する段階と、
を備えることを特徴とする電子ビーム測定を用いた位置測定方法。
【請求項１０】
第１の整列対象に電子放出源を提供する段階と、
前記電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、 電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含み、且つ放出された電子ビームを感知する電子ビーム測定器を第２の整列対象に提供する段階と、
前記電子放出源から放出された電子を感知領域で感知する段階と、
前記電子ビーム測定器により電子が感知された各々の感知領域の位置を確認し、各々の感知領域に衝突した電子ビームの量を測定する段階と、
感知された各々の感知領域の位置及び各々の電子衝突量の測定データにより第１の整列対象及び第２の整列対象の相対位置を計算する段階と、
確認された相対位置によって前記第１の整列対象又は前記第２の整列対象、或いは前記第１の整列対象及び第２の整列対象を移動させる段階と、
を備えることを特徴とする電子ビーム測定を用いた整列方法。
【請求項１１】
前記第１の整列対象及び前記第２の整列対象の相対位置に関するデータと、予め設定された相対位置によるデータとを比較する段階をさらに備え、
前記電子放出源及び前記エクストラクタ孔が整列されていない場合、さらに前記感知段階から繰り返し、
前記電子放出源及び前記エクストラクタ孔が整列された場合、整列を終了させることを特徴とする請求項１０に記載の電子ビーム測定を用いた整列方法。 
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電子ビームマイクロカラム、特に、マイクロカラムのエクストラクタ並びにエクストラクタ孔及び電子放出源の整列方法に関し、より詳細には、電子放出源から放出された電子ビームを用いてミクロンサイズのエクストラクタ孔とマイクロカラムの電子放出源のティップから放出される電子を容易に整列することができるエクストラクタ及びこれらを整列する方法に関する。
【０００２】
また、本発明は、電子放出源から放出される電子ビームの電子を直接感知して、電子放出源及び電子ビーム測定器の相対位置を確認することによって、測定対象物の相対位置を確認することができる測定システムに関する。
【０００３】
また、本発明は、前記電子ビームを感知して、対象物の位置を測定及び整列する方法に関し、より詳細には、電子放出源から放出された電子ビームを電子ビーム測定器で測定することによって、対象物の相対位置を測定することができ、ひいては、一般的なアラインメントをより効果的に行うことができ、且つ自動整列を行うことができるものに関する。
【背景技術】
【０００４】
マイクロサイズで製作された電子レンズ部品を土台とする電子ビームマイクロカラムとアラインメント原理により走査透過顕微鏡（ＳＴＭ）又は微細整列ポジショナー下で作動する電子放出源は、１９８０年代後半に導入された。電子ビームマイクロカラムは、小型の物理的サイズを有し、且つ低費用製作が可能であり、微細に集中された電子ビームを形成することによって、電子ビームの電流改善を図ると共に、高解像度を提供するので、電子ビームリソグラフィ又は電子顕微鏡などのような分野において幅広く使用されることができる。
【０００５】
マイクロカラムに用いられるアラインメントの原理は、シャープティップ（マイクロカラムの場合には電子放出源のティップ）の位置の調整に精密Ｘ−Ｙ−Ｚポジショナーを使用する点、及び、ティップの位置の調整及び測定にティップから放出された電子を使用する点において、STMと類似している。
【０００６】
図１は、電子放出源１１０と電子光学カラム１２０の展開図である。電子放出源１１０は、単結晶タングステン、炭化ハフニウム又はダイヤモンドティップのような電子放出源ティップ１１２、又はＺｒ／Ｏ／Ｗショットキー電子放出源ティップのような電子放出源ティップ１１２を含む。電子放出源ティップ１１２は、小型の３軸マイクロポジショナー１１４上に装着される。マイクロポジショナー１１４は、 Ｘ−Ｙ−Ｚ方向の各々に対して数ナノメータ乃至約１ｍｍ以上の移動範囲を有する。マイクロポジショナー１１４は、電子光学カラム１２０及び電子放出源ティップ１１２を整列するのに用いられる。通常、小型の３軸マイクロポジショナー１１４の寸法は、約２×２×１．１ｃｍである。
【０００７】
通常、電子光学カラム１２０の部品は、それぞれ約数マイクロメータ乃至数百マイクロメータの直径の孔を有する電極１２８及びエクストラクタ１２４を有するマイクロソースレンズ１２２と、電子制御部品とを含む。抽出電極１２４は、数ミクロンの直径の孔を有する数乃至数百マイクロメータ厚みのシリコン膜又は金属膜から製作される。最上のレンズ作動を実現するために、電子放出源ティップ１１２は、エクストラクタ孔１２６に非常に近く、且つ正確に整列されるように位置を設定することが求められる。
【０００８】
エクストラクタ１２４と電子放出源１１０を近接させながら、エクストラクタ孔１２６と電子放出源ティップ１１２とを整列することは難しい。この問題は、エクストラクタ孔１２６の寸法と全体カラム寸法により一層深刻になる。良好なアラインメントを実現するために、ＳＴＭ型Ｘ−Ｙ−Ｚポジショナーは、エクストラクタ電極上にティップを真空状態で走査するように使用されてきた。しかしながら、このような接近方法は、電子放出源ティップの位置測定が正確でないため、エクストラクタ孔との整列時間が多く要求される。
【０００９】
したがって、マイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源を容易に且つ正確に整列する方法が必要である。国際出願番号ＰＣＴ／ＵＳ１９９９／２５４３０号公報に開示されたアラインメントは、整列において４つのＶ状溝を使用するので、真空の外部では近接した整列を行うことができるが、真空中で正確な整列が必要である時には、別の装置を必要とするという不都合がある。
【００１０】
また、長時間電子カラムを使用すれば、電子放出源及びエクストラクタ孔の整列が変化するが、これを感知することは非常に難しいという問題がある。
【００１１】
また、マイクロカラムの場合のように、一般的に測定及び／又は整列すべき部品が小さく、高い水準が要求される場合、測定及び／又は整列を繰り返す必要がある。この場合、部品の測定及び／又は整列に多くの費用や時間が必要とされる。また、使用途中、組立状態を確認し、これを補正することが極めて難しい。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
従って、本発明は、前述のような問題点を解決するためになされたもので、本発明の目的は、電子放出源から放出される電子（電子ビーム）の位置をエクストラクタで直接感知することによって、マイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列をより容易に且つ簡便に行うことができ、しかも自動整列を可能にすることによって、長時間電子カラムを使用しても、正確な整列補正を容易に且つ自動に行うことができるエクストラクタ及びこれらを整列する方法を提供する。
【００１３】
また、本発明の他の目的は、マイクロカラムにおける電子ビーム放出及びその測定原理を利用することによって、すなわち電子放出源から放出される電子（電子ビーム）を直接測定することによって、対象物の測定及び整列をより容易に行うことができる電子ビームを用いた測定システム及び測定方法を提供することにある。
【００１４】
また、本発明のさらに他の目的は、感知されたデータに基づく電子放出源及び電子ビーム測定器の相対的位置の整列を用いて部品などをより容易に且つ簡便に整列することができ、しかも自動整列することができる方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１５】
前記目的を達成するために、本発明によるマイクロカラムに用いられるエクストラクタは、電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部と、を備えることを特徴とする。
【００１６】
また、本発明によるマイクロカラムの前記エクストラクタの孔及び電子放出源の整列方法は、前記電子放出源から放出された電子ビームを前記エクストラクタの各感知領域で感知する段階と、前記感知された感知領域の位置及び照射された電流量を確認する段階と、確認された各々の感知領域の位置及び照射された電流量によって、前記エクストラクタ孔と電子放出源との相対位置を計算する段階と、前記計算されたデータによって、前記電子放出源又は前記エクストラクタ、或いは前記電子放出源及び前記エクストラクタを移動させる段階と、を備えることを特徴とする。
【００１７】
本発明は、電子放出源から放出された電子ビームがエクストラクタの孔に正確に整列されていなくても、エクストラクタ内に一定に照射されることを利用したものであって、電子ビームは、電子の移動により電流測定のように電子の流れ及び量を感知できる原理を利用したものである。このように放出された電子ビームをエクストラクタで直接感知し、その感知されたデータを用いてマイクロポジショナーなどの位置調整器により電子放出源及びエクストラクタ孔を整列する。このために、エクストラクタには、電子ビームが感知される位置と照射された電子の量を正確に感知できる（例えば、電流量を測定できる）感知部が形成されるが、電子放出源から放出された電子ビームを感知できるように、領域が分けられ、電子放出源に対向して位置する金属板又はｐ−ｎ接合層を含んでチップ上にマイクロサイズで製作される。この領域が細分化されると、電子ビームが照射される正確な位置を確認することができる。また、この原理を利用すれば、後述するように、エクストラクタ孔及び電子放出源を自動に整列することができる。
【００１８】
また、前述のような原理を利用して、本発明による電子ビームを用いた測定システムは、電子放出源と、電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含む感知部を有する電子ビーム測定器と、前記各々の感知領域に衝突した電子を電気的に導通するように連結する連結部と、前記連結部により前記各々の感知領域に対応して連結され、且つ、前記各々の感知領域で感知された電子ビームの量をそれぞれ測定する測定部と、を備えることを特徴とする。
【００１９】
また、本発明による電子ビーム測定を用いた位置測定方法は、 第１の測定対象に電子放出源を提供する段階と、前記電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、 電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含み、且つ放出された電子ビームを感知する電子ビーム測定器を第２の測定対象に提供する段階と、前記電子放出源から放出された電子を各々の感知領域で感知する段階と、前記電子ビーム測定器により電子が感知された各々の感知領域の位置を確認し、各々の感知領域に衝突した電子ビームの量を測定する段階と、感知された各々の感知領域の位置及び各々の電子衝突量の測定データにより第１の測定対象及び第２の測定対象の相対位置を計算する段階と、を備えることを特徴とする。
【００２０】
また、本発明による電子ビーム測定を用いた整列方法は、 第１の整列対象に電子放出源を提供する段階と、前記電子放出源から放出された電子ビームの電子を電気的に導通させる複数の感知領域と、 電子の流れを遮断する絶縁体又は電子の流れを減少させる低濃度ドープ半導体よりなり、前記各々の感知領域を分割する絶縁部とを含み、且つ放出された電子ビームを感知する電子ビーム測定器を第２の整列対象に提供する段階と、前記電子放出源から放出された電子を感知領域で感知する段階と、前記電子ビーム測定器により電子が感知された各々の感知領域の位置を確認し、各々の感知領域に衝突した電子ビームの量を測定する段階と、感知された各々の感知領域の位置及び各々の電子衝突量の測定データにより第１の整列対象及び第２の整列対象の相対位置を計算する段階と、確認された相対位置によって前記第１の整列対象又は前記第２の整列対象、或いは前記第１の整列対象及び第２の整列対象を移動させる段階と、を備えることを特徴とする。
【００２１】
本発明による電子ビームを用いた位置測定システム、及び方法は、前述したようなエクストラクタ及びこれを用いた整列方法などの原理をそのまま採用したもので、電子放出源と電子ビーム測定器との相対位置を、電子ビーム測定器の感知領域で感知された電子ビームの位置と各感知領域に照射された電流量を用いて確認する。このように放出された電子ビームを電子ビーム測定器で直接感知し、その感知されたデータを利用することは、前述したような電子ビームマイクロカラムで使用される技術の原理と同一であり、これを応用すれば、より精密に行うことができる。従って、電子ビームマイクロカラムのポジショナーなどの位置調整器により電子放出源と電子ビーム測定器との相対的な位置を整列すれば、本発明の電子ビーム測定システムにより位置確認を行うことができると共に、高精度の位置制御を行うことができる。
【発明の効果】
【００２２】
本発明によるマイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列方法並びに本発明によるエクストラクタによれば、本発明による新規なエクストラクタを使用して自動にエクストラクタ孔及び電子放出源を整列することができる。また、従来の整列方法のようにエクストラクタ孔及び電子放出源のティップを整列することなく、電子放出源から放出された電子ビームがエクストラクタ孔を正確に通過するように整列する。従って、マイクロカラムの作動時、電子放出源ティップから放出される電子の中心軸が正確にエクストラクタ孔の中心軸を通過することができるので、電子カラムの効能を最大化することができ、 容易に整列の自動化を実現することによって、電子カラムの作動準備時間及び費用を節減することができる。
【００２３】
また、電子カラムを長時間使用する時に発生する電子放出源とエクストラクタ孔間の整列変化を感知し、正確に整列させる効果を有する。
【００２４】
また、本発明によるシステム及び方法によれば、容易に対象物の相対位置測定及び／または整列を行うことができる。また、対象物の自動整列が可能になる。また、本発明によるシステムを対象物に永久固定して使用すれば、リアルタイムで相対位置を把握し制御することができるので、時間によって対象物の相対位置が変わる場合の制御に使用すると大変便利である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２５】
以下、添付の図面を参照して本発明を詳細に説明する。しかしながら、本発明は、下記実施例に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。なお、本明細書において、同一の参照番号は、同一の構成要素を示す。
【００２６】
図２乃至図４を参照すれば、図２は、本発明によるエクストラクタ孔及び電子放出源の自動整列に関する流れ図であり、本発明による整列が行われる各段階を示す流れ図である。図３は、本発明の一実施例によるマイクロカラムのエクストラクタを示す平面図であり、図４は、図３の実施例の断面図である。エクストラクタ２１０は、その中心に形成されるエクストラクタ孔２１１と、該エクストラクタ孔２１１を中心として直角に形成され、４つの絶縁体または低濃度ドープ半導体よりなる絶縁部２１３と、該絶縁部２１３により４つの領域に分けられる感知領域２１２とを含む。各々の感知領域は、導線２２０により各々の測定器２３０に連結されている。感知領域２１２の下部は、従来の低濃度ドープシリコンのような低濃度ドープ半導体層２１５よりなる。感知領域２１２は、電流が良く流れることができる金属のような導体層又は高濃度ドープシリコンのような半導体層よりなる。本実施例では、連結部として導線２２０を使用したが、これは、感知領域２１２に照射された電子ビームの電子を測定器２３０に送るためのものに過ぎない。測定器２３０は、連結部から供給された電流を確認し、その電流量を測定することを主な目的とし、例えば電流計などを使用することができる。絶縁部２１３は、各感知領域２１２の間に形成され、各々の感知領域２１２間の電子の流れを遮断又は減少させる。絶縁部２１３の幅は、電子放出源１１０から放出される電子の電子ビームの直径などにより定められるが、絶縁部２１３に電子ビームが照射されても、絶縁部２１３に隣接した感知領域２１２でも散乱された電子ビームがある程度測定され、各々の該当測定器２３０で確認できるので、絶縁部２１３の幅は、隣接した感知領域２１２で電子ビームの存在を確認できる程度なら十分である。従って、使用されるべきシステムの電子放出源１１０及び整列されるべき対象によって異なる。しかしながら、絶縁部２１３の幅は、できるだけ小さくすることが好ましい。その理由は、絶縁部２１３が電子ビームにより充電され、ある瞬間に放電されることもありうるからである。従って、絶縁部２１３の材料は、電子ビームにより充電されにくい材料である低濃度ドープシリコンのような半導体を選択することが好ましい。また、絶縁部２１３の幅は、材料によって異なるが、感知領域２１２間に電子の流れを遮断又は減少させることができる程度の最小幅で使用することが好ましい。従って、絶縁部２１３は、従来の低濃度ドープシリコンのような半導体物質から構成することができる。
【００２７】
図５は、電子放出源１１０から放出された電子ビームが図３のエクストラクタ２１０に照射されることを示す図である。以下、図５を参照して、本発明によるエクストラクタ２１０を説明する。電子放出源１１０から放出された電子ビームがエクストラクタ２１０の左側上段の感知領域２１２ａに照射されている。これにより、左側上段の感知領域２１２ａに対応する測定器２３０ａは、電流の流れを感知しつつその量を測定する。従って、どの感知領域２１２に電子ビームが照射されたかを把握することができ、そして照射された量を把握することができる。もし電子ビームが上側の左右感知領域２１２ａ、２１２ｂに同時に照射されると、測定器２３０ａ、２３０ｂでそれぞれ電流の流れ及びその量を測定する。また、電子ビームがエクストラクタ孔２１１の中心近くに照射されると、感知領域２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄにそれぞれ対応する測定器２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄでそれぞれ電流の流れ及びその量を測定する。
【００２８】
図６は、 本発明の他の実施例によるマイクロカラムのエクストラクタを示す断面図であり、感知領域が図３の実施例の感知領域よりさらに細分化され、各感知領域２１２は、一般的な導体よりさらに電流の流れ及び量を確認しやすいように、ｐ−ｎ接合部よりなる。図６のエクストラクタ３１０では、３１２で表したｐ型半導体物質、３１４で表したｎ型半導体物質、そして３１３で表した拡散部から構成されるｐ−ｎ接合部が使用される。また、各ｐ−ｎ接合部に対応する測定器３３０は、導線３２０により連結されている。各ｐ−ｎ接合部は、絶縁部３１５により区分されている。
【００２９】
本発明によるエクストラクタ孔２１１及び電子放出源１１０の整列方法は、エクストラクタ２１０、３１０のいずれを使用しても、その原理が非常に類似しているので、以下、図２及び図３乃至図５の実施例を参照して説明する。
【００３０】
本発明によるエクストラクタ孔２１１及び電子放出源１１０の整列方法において、図２の流れ図及び図５を参照すれば、電子放出源１１０から放出された電子が左側上部の感知領域２１２ａで感知されている。従って、測定器２３０ａで電子の流れ及び量が確認される。エクストラクタ２１０を移動させて整列する場合、エクストラクタ２１０を左側及び上側に所定の距離だけ移動させる。そして、電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１が正確に一致しなければ、同じ及び／又は異なる感知領域２１２でさらに電子が感知される。もし同じ感知領域で感知されると、さらに所定の距離だけ移動し、続けて同様の過程を繰り返す。また、異なる感知領域で感知されると、その直前の移動方向と反対に、且つその直前の移動距離より短い距離だけさらにエクストラクタが移動する。例えば、右側下部の感知領域で感知されると、さらに右側及び下側にエクストラクタが移動するが、その各々の距離は、直前の各々の方向による移動距離より短い距離を移動する。これを続けて繰り返すと、電子放出源１１０から放出された電子ビームは、横又は縦のいずれか１つの絶縁部２１３の中心に配置されるか、又はエクストラクタ孔２１１の中心を貫通する。電子放出源１１０から放出された電子ビームが、横又は縦軸の絶縁部２１３を含む複数の感知領域２１２ａ、２１２ｂで同時に感知されると、電子放出源１１０がエクストラクタ孔２１１の中心に位置するように、エクストラクタ孔２１１の中心軸の縦方向にエクストラクタ２１０を上向き移動させ、この移動により、エクストラクタ２１０の反対部分の絶縁部２１３を含む複数の感知領域２１２ｃ、２１２ｄで電子が感知されると、さらに反対方向にエクストラクタ２１０を以前の移動より少し移動させる。これを続けて繰り返すと、エクストラクタ孔２１１の中心及び電子放出源１１０は整列される。エクストラクタ２１０を移動することについて説明したが、エクストラクタ２１０及び電子放出源１１０は相対的に位置するので、電子放出源１１０を移動させるか、又はエクストラクタ２１０及び電子放出源１１０を同時に所定の方向に且つ所定の距離だけ移動させることによって、同様の結果を得ることができる。前述のような方法を繰り返すことによって、エクストラクタ２１０及び電子放出源１１０は、同一軸線上に位置するようになる。その後、エクストラクタ２１０及び電子放出源１１０の高さ間隔を調整するために、エクストラクタ２１０及び／又は電子放出源１１０を上下移動させるが、これは、後述する電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１の整列を確認する方法を用いて行うことができる。
【００３１】
電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１の整列を確認することは、電子ビームのサイズ及びエクストラクタ孔２１１のサイズによって異なる形態で行うことができる。電子ビームのサイズよりエクストラクタ孔２１１が非常に大きい場合、各々の感知領域２１２で電子の流れは感知されないが、一般的に、電子放出源１１０からの電子は、外側に広がった分布を持って流れるので、エクストラクタ２１０の各々の感知領域２１２での電子流れの感知は一定になる。すなわち各々の測定器２３０で測定される電流量が同一であるか、電流量の差が許容範囲内に存在すればよい。これにより、電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１が同心軸上に位置するようになる。そして、この状態で、各々の測定器２３０で電流量を確認すれば、エクストラクタ孔２１１と電子放出源１１０間の距離を確認することができる。その理由は、一般的に電子ビームは、電子が放射状に分布し広がって放出されるので、放出される電子ビームが一定なら、エクストラクタ孔２１１と電子放出源１１０間の距離によって測定器２３０で感知される電流の量が異なるため、予め電流量に対するデータを用意しておけば、垂直間隔の整列が確認される。すなわち測定器２３０で感知された電流量が基準値より小さければ、所定の距離だけ間隔を狭くすればよく、その反対の場合は、広くすればよい。
【００３２】
従って、電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１が整列されていない場合には、電子放出源１１０から放出された電子ビームをエクストラクタ２１０で検出する段階から電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１の整列を確認する段階を繰り返すと、電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１の整列を自動に行うことができる。
【００３３】
本実施例で、感知領域２１２を細分化するほど電子放出源１１０とエクストラクタ孔２１１の相対距離のデータが正確になり、整列時間を短縮することができる。すなわち、各感知領域２１２で確認された電子の衝突量を測定して得られた相対座標データを用いて水平及び垂直整列を同時に行うことができる。
【００３４】
また、感知領域２１２にそれぞれ対応する測定器２３０を使用せずに、金属膜などの下部の半導体回路などを用いてより簡便に且つ容易にどの領域で電子が感知されたかを確認することができる。すなわち、電子の流れを感知するいろいろな手段をエクストラクタ２１０に組み込むことによって、前述のような本発明の方法を実施することができる。
【００３５】
また、前記エクストラクタ２１０、３１０は、矩形の形態で図示されているが、円形など必要に応じて他の形態で製作することが可能である。
【００３６】
前述のような電子放出源及びエクストラクタ孔の整列方法並びにエクストラクタは、実施例に過ぎないものである。つまり、前記実施例で、エクストラクタの感知領域は、４つの領域に分けて説明したが、領域は、当業者なら本発明を実施する状況によって多数の領域に分けることができる。また、各領域で感知された電子ビームの位置によってエクストラクタを移動させる距離も、操作者が予め移動距離を決めておき、単純に移動過程を繰り返すこともできるが、コンピュータプログラムを用いて各段階の反復回数を低減するように、各距離を毎回調整することもできる。また、第２実施例のエクストラクタは、どの位置で電子が衝突したかを確認するために、電子の衝突による電流の量を測定するか、ｐ−ｎ接合の原理を利用することによって、第１実施例より整列時間を短縮することができる。このように電子放出源から放出された電子ビームをエクストラクタで感知する方法は、エクストラクタで電子を感知できるように、 ｐ−ｎ接合の原理を利用するか、又は電子の衝突を感知するものであって、好ましくは、電流を測定するか、 ｐ−ｎ接合の原理を利用することによって構成すればよいので、当業者は、上述した本発明の詳細な説明により多様な実施例を具現することができる。このような方法は、一般的に使用する電子カラムにも使用可能である。しかしながら、当業者がエクストラクタをいろいろな構成で応用しても、電子放出源及びエクストラクタ孔を自動に整列する方法は、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で具現されるだろう。
【００３７】
図７乃至図９及び図１１は、図３乃至図６とほぼ同一に対応する。但し、エクストラクタとは異なって、その中央にエクストラクタ孔２１１が必ず必要なものではないため、図示されていない。
【００３８】
図７及び図８を参照すれば、まず、図７は、本発明の一実施例による電子ビーム測定器を示す平面図であり、図８は、図７の実施例の断面図である。図７及び図８は、図３及び図４の構成に対応するもので、電子ビーム測定器２１０はエクストラクタに相当し、４つの感知領域１１は感知領域２１２に相当し、絶縁部１２は絶縁部２１３に相当し、導線１７は導線２２０に相当する。但し、電子ビーム測定器１０は、中央に電子ビームが通過する必要がないため、中央に孔が形成されていない。したがって、エクストラ孔２１１を除いては、その構成が、図３及び図４の構成と同様に構成されることができる。したがって、感知領域１１、導線１７、測定器１９及び絶縁部１２は、図３及び図４の説明をそのまま適用することができるので、ここでは説明を省略する。しかしながら、絶縁部１２での放電は、瞬間的なものであるから、測定器１９で感知される瞬間的な電流量の変化を無視すれば、特別な問題は発生しない。
【００３９】
図９は、図７の電子ビーム測定器１０に電子放出源（図示せず）から放出された電子ビームが照射されることを示すもので、図５とほぼ同一である。本発明による電子ビーム測定器システムは、図９を参考にして説明することができ、これも、図５で説明した内容を同様に適用することができる。従って、ここでは、反復を避けるために、説明を省略する。図９には電子放出源が示されていないが、電子放出源は、一般的な電子銃のようなものを使うことができる。電子放出源は、図９に示したような円錐型の電子ビームを一定に放出できればよいが、より超小型で且つ超精密の位置確認及び／または制御のために、電子ビームマイクロカラムで使われる電子放出源を利用することが望ましい。
【００４０】
図１０は、図７の実施例の変形例であって、感知領域１１間が絶縁部１２により区分されており、電子ビーム測定器１０の幅を低減するために使われるものである。すなわち感知領域１１間を絶縁部と共に接着などを用いて構成したもので、本発明による電子ビーム測定器１０の幅を最小化させることができる。また、エクストラクタも、図１０に示すように、孔を形成すれば、図１０の構成のように製作することができる。
【００４１】
図１１は、図７の実施例の他の変形例であり、図６に対応する。感知領域が図７の実施例の感知領域より細分化されており、各感知領域１１が一般的な導体よりも電流の流れ及び量を確認しやすいように、ｐ−ｎ接合部よりなる。図１１で、電子ビーム測定器２０には、参照符号２１で表示されるｐ型半導体物質、参照符号２３で表示されるｎ型半導体物質、そして参照符号２２で表示される拡散部（diffusion）よりなる典型的なｐ−ｎ接合部が使用され、各ｐ−ｎ接合部に対応する測定器２９は、やはり導線２７により連結されている。各ｐ−ｎ接合部は、絶縁部２５により区分される。
【００４２】
本発明による電子ビーム測定器１０、２０を用いて位置測定及び制御または整列を行う方法は、どの電子ビーム測定器１０、２０を利用しても、その原理が非常に類似しているので、図７及び図８の実施例により説明することができ、また、図３及び図４の説明とも類似している。以下の説明では、測定または整列対象及び電子放出源が図示されていない。しかしながら、実際使われる場合は、電子放出源を第１の測定または整列対象に固定しなければならないし、電子ビーム測定器を第２の測定または整列対象に固定しなければならない。説明の便宜のために、対象物の相対的位置の確認及び整列方法においては、第１の測定または整列対象は電子放出源に対応し、第２の測定または整列対象は電子ビーム測定器に対応するものとする。対象物と電子放出源及び電子ビーム測定器の固定は、永久的な固定であってもよく、一時的な固定であってもよい。マイクロカラム技術を使用する場合、電子放出源及び電子ビーム測定器を非常に小型化、すなわち数マイクロメータまで小型化することができるので、永久固定も容易になる。もちろんクランプなどを用いた一時的な固定も可能であるが、継続的な測定及び整列のためには、接着、ボルト、クランピングなどを用いた 永久的な固定が好ましい。
【００４３】
図８では、電子放出源から放出された電子が左側上部の感知領域１１ａで感知される。したがって、測定器１９ａで電子の流れ及び量が確認される。これにより、電子放出源と電子ビーム測定器１０の整列は、電子放出源及び／または電子ビーム測定器１０を移動させて行うことができるが、その移動は、各状況に合う位置移動器を使用すればよい。好ましくは、電子ビームマイクロカラムのポジショナーのような位置移動器を使用すれば、超小型で且つ超精密の位置移動が可能となる。以下では、電子ビーム測定器１０を移動させることについて説明する。この場合、電子ビーム測定器１０を左側と上側に所定の距離だけ移動させる。そして、電子放出源１１０と電子ビーム測定器１０の中心が正確に一致しなければ、同一及び／または異なる感知領域１１でさらに電子が感知される。仮りに同一感知領域で感知されると、さらに所定の距離だけ移動し、続けて同様の過程を反復する。そして、異なる感知領域で感知されると、その直前の移動方向の反対に且つその直前の移動距離より短い距離だけ電子ビーム測定器が移動するが、例えば、右側下部の感知領域１１ｃで感知されると、さらに右側と下側に電子ビーム測定器１０が移動するようになる。これを続けて反復すれば、電子放出源１１０から放出された電子ビームは、横または縦のいずれか１つの絶縁部１２の中心に配置されるか、又は、電子ビーム測定器１０の中心に配置される。電子放出源１１０から放出された電子ビームが、横または縦軸の絶縁部１２を含む複数の感知領域１１で同時に感知されると、電子放出源１１０が電子ビーム測定器１０の中心に位置するように、電子ビーム測定器１０の中心に向かって電子ビーム測定器１０を移動させ、この移動により電子ビーム測定器１０の反対部分の絶縁部１２を含む複数の感知領域１１で電子が感知されると、さらに反対方向に電子ビーム測定器１０を以前の移動より少なく移動させる。これを続けて反復すれば、電子ビーム測定器１０の中心と電子放出源１１０は、整列される。電子ビーム測定器１０を移動することについて説明したが、電子ビーム測定器１０と電子放出源は、相対的に位置するので、電子放出源を移動させたり、電子ビーム測定器１０と電子放出源を同時に予め定められた方向及び距離で移動させても、同様の効果を奏することができる。前述のような方法の反復により、電子放出源は電子ビーム測定器の中心に位置するようになる。
【００４４】
電子放出源と電子ビーム測定器１０の整列の確認については、一般的に電子放出源からの電子は外側に広がった分布を持って流れるため、電子ビーム測定器１０の各感知領域１１ａ、１９ｂ、１１ｃ、１１ｄでの電子の流れの量が一定になる。すなわち各測定器１０ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄで測定される電流量が同一であるか、電流量の差が許容範囲内に存在すればよい。これにより、電子放出源と電子ビーム測定器１０の中心が同心軸上に位置するようになる。
【００４５】
そして、この状態で、それぞれの測定器１９で電流量を確認すれば、電子ビーム測定器１０の中心と電子放出源間の距離を確認することができるが、この実施例では、感知領域１１が４つの領域に分離されているので、適用が困難になり得る。しかし、電子ビーム測定器１０の各感知領域１１が細分化されると、一般的に電子ビームは、電子が放射状に分布して広がって放出されるので、放出される電子ビームが一定なら、電子ビーム測定器１０の中心と電子放出源間の距離によって測定器１９で感知される電流の量と感知する感知領域１１の数が異なり、また、各感知領域１１と衝突する電子の量も異なるため、予め電子ビームの特性を確認しておけば、距離を測定することができる。電子ビーム測定器の中心に孔を形成すれば、４つの感知領域だけでもこれを確認することができる。なぜなら、各感知領域１１で測定される電流量が、電子ビーム測定器１０と電子放出源の距離によって電子ビーム測定器１０の中心孔を通り抜ける電子量が異なるため、予め電流量に対するデータを用意しておけば、垂直間隔の整列が確認される。すなわち測定器１９で感知された電流量が基準値より小さければ、所定の距離だけ間隔を狭めればよく、その反対の場合は、間隔を広めればよい。したがって、高さに関するデータを用いて、以後電子ビーム測定器１０と電子放出源間の高さ間隔を調整するためには、電子ビーム測定器１０及び／または電子放出源を上下移動させればよい。
【００４６】
そして、自動整列する方法においては、電子放出源と電子ビーム測定器１０の整列を電子放出源及び／または電子ビーム放出源の移動後に確認し、整列されていない場合には、電子放出源から放出された電子ビームを電子ビーム測定器１０間位置データを用いて、続けて前述の方法を反復すれば、電子放出源と電子ビーム測定器１０の中心の整列を自動に行うことかができる。
【００４７】
前述のような整列方法により整列対象物のｘ−ｙ−ｚ３軸の整列または位置制御が可能になる。本発明による実施例で、感知領域が細分化すればするほど、電子放出源と電子ビーム測定器との相対位置に対するデータが正確になり、直ちに確認することができ、また、整列時間をも短縮することができる。すなわち各感知領域に衝突した電子の量を測定して得られた相対座標データを利用すれば、水平及び垂直整列を同時に行うことができる。また、電子ビーム測定器の傾斜が変化すると、各感知領域に衝突する電子の量と感知状態にある感知領域の数が変化するので、傾斜調整も可能になる。
【００４８】
また、感知領域１１に各々対応する測定器１９を使用せずに、金属膜などの下部の半導体回路などを用いてより簡便で且つ容易にどの領域で電子が感知されたかを確認することができる。すなわち電子の流れを感知する色々な手段が電子ビーム測定器１０に含まれれば、前述のような本発明の方法を実施することができる。
【００４９】
また、前述の電子ビーム測定器１０、２０は、添付の図面では矩形の形態で製作されるが、円形など必要に応じて他の形状でも製作可能である。
【００５０】
上述した電子放出源と電子ビーム測定器を用いた測定システム及び測定方法並びに整列方法は、実施例に過ぎないものである。すなわち当業者であれば上述した本発明の詳細な説明により多様な実施例を具現することができる。すなわち感知領域で感知される感知量を正確に測定器に送ることができる色々な他の材料に変更して使用することができ、また、感知領域と測定器間の連結を、導線を使用せずに、直接連結接触式で行うことができ、又は他の信号に変換して増幅して、測定部で相対電流量を確認するなどの色々な多様な方法を状況に応じて変化させて本発明のシステムで応用することができる。すなわち本発明によるシステム及び方法は、本発明の技術的思想により状況に応じて色々な構成または方法で変形されて具現されることができる。また、上述した説明において、図７の実施例で電子ビーム測定器の感知領域は、４つの領域に区分したが、領域は、本発明が実施される状況に応じて当業者により多数の領域に分けられることができる。また、各領域で感知された感知領域の位置と電流量による相対位置のデータを予め確認し準備すれば、当業者が予め確保した関連データを用いて容易に対象物の相対位置及び移動距離を確認することができ、コンピュータプログラムを用いてより精密な相対位置及び移動距離を計算することができる。したがって、各整列時の移動距離をより正確に計算することによって、段階の反復回数を低減することができる。
【００５１】
以上、本発明の好適な実施例に係るＳＯＩ基板の製造方法について説明したが、本発明は、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形及び変更が可能であり、上述した実施例及び添付された図面に限定されるものではない。
【図面の簡単な説明】
【００５２】
【図１】従来のマイクロカラムの展開図である。
【図２】本発明による自動整列方法(automatic alignment method)を示す流れ図である。
【図３】本発明の一実施例によるマイクロカラムのエクストラクタを示す平面図である。
【図４】図３の実施例の断面図である。
【図５】電子放出源から放出される電子が図３のエクストラクタに照射されることを概略的に示す平面図である。
【図６】本発明の他の実施例によるマイクロカラムのエクストラクタを示す断面図である。
【図７】本発明による電子ビーム測定器を示す平面図である。
【図８】図７の実施例の断面図である。
【図９】図７の実施例に電子ビームが照射されることを示す平面図である。
【図１０】図７の実施例の変形例を示す断面図である。
【図１１】図７の実施例の他の変形例を示す断面図である。
【符号の説明】
【００５３】
２１０、３１０  エクストラクタ
２１１  エクストラクタ孔
２１２、２１２ａ、２１２ｂ、２１２ｃ、２１２ｄ  感知領域
２１３  絶縁部
２１５、３１５  半導体層
２２０、３２０  導線
２３０、２３０ａ、２３０ｂ、２３０ｃ、２３０ｄ、３３０  測定器
３１２  ｐ型半導体物質
３１４  ｎ型半導体物質
３１３  拡散部
【図１】
2006512753.tif 000003
【図２】
2006512753.tif 000004
【図３】
2006512753.tif 000005
【図４】
2006512753.tif 000006
【図５】
2006512753.tif 000007
【図６】
2006512753.tif 000008
【図７】
2006512753.tif 000009
【図８】
2006512753.tif 000010
【図９】
2006512753.tif 000011
【図１０】
2006512753.tif 000012
【図１１】
2006512753.tif 000013
【手続補正書】
【提出日】平成17年8月4日(2005.8.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項４】
マイクロカラムのエクストラクタ孔と電子放出源とを整列する方法において、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載のエクストラクタの各々の感知領域で、前記電子放出源から放出された電子ビームを感知する段階と、
前記感知された感知領域の位置及び照射された電流量を確認する段階と、
確認された各々の感知領域の位置及び照射された電流量によって、前記エクストラクタ孔と電子放出源との相対位置を計算する段階と、
前記計算されたデータによって、前記電子放出源又は前記エクストラクタ、或いは前記電子放出源及び前記エクストラクタを移動させる段階と、を備えることを特徴とするマイクロカラムのエクストラクタ孔及び電子放出源の整列方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
本発明は、電子放出源から放出された電子ビームがエクストラクタの孔に正確に整列されていなくても、エクストラクタ内に一定に照射されること、及び、電子の流れとその量を電流などで感知できることを、原理として利用したものである。このように放出された電子ビームをエクストラクタで直接感知し、その感知されたデータを用いてマイクロポジショナーなどの位置調整器により電子放出源及びエクストラクタ孔を整列する。このために、エクストラクタには、電子ビームが感知される位置と照射された電子の量を正確に感知できる（例えば、電流量を測定できる）感知部が形成されるが、電子放出源から放出された電子ビームを感知できるように、領域が分けられ、電子放出源に対向して位置する金属板又はｐ−ｎ接合層を含んでチップ上にマイクロサイズで製作される。この領域が細分化されると、電子ビームが照射される正確な位置を確認することができる。また、この原理を利用すれば、後述するように、エクストラクタ孔及び電子放出源を自動に整列することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１の整列を確認することは、電子ビームのサイズ及びエクストラクタ孔２１１のサイズによって異なる形態で行うことができる。電子ビームのサイズよりエクストラクタ孔２１１が非常に大きい場合、各々の感知領域２１２で電子の流れは感知されないが、一般的に、電子放出源１１０からの電子は、外側に広がった分布を持って流れるので、エクストラクタ２１０の各々の感知領域２１２での電子流れの感知は一定になる。すなわち各々の測定器２３０で測定される電流量が同一であるか、電流量の差が許容範囲内に存在すればよい。これにより、電子放出源１１０及びエクストラクタ孔２１１が同心軸上に位置するようになる。そして、この状態で、各々の測定器２３０で電流量を確認すれば、エクストラクタ孔２１１と電子放出源１１０間の距離を確認することができる。その理由は、一般的に電子ビームは、電子が放射状に分布し広がって放出されるので、放出される電子ビームが一定なら、エクストラクタ孔２１１と電子放出源１１０間の距離によって測定器２３０で感知される電流の量が異なるため、予め電流量に対するデータを用意しておけば、垂直間隔の整列が確認されるからである。すなわち測定器２３０で感知された電流量が基準値より小さければ、所定の距離だけ間隔を狭くすればよく、その反対の場合は、広くすればよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
図７及び図８を参照すれば、まず、図７は、本発明の一実施例による電子ビーム測定器を示す平面図であり、図８は、図７の実施例の断面図である。図７及び図８は、図３及び図４の構成に対応するもので、電子ビーム測定器１０はエクストラクタ２１０に相当し、４つの感知領域１１は感知領域２１２に相当し、絶縁部１２は絶縁部２１３に相当し、導線１７は導線２２０に相当する。但し、電子ビーム測定器１０は、中央に電子ビームが通過する必要がないため、中央に孔が形成されていない。したがって、エクストラ孔２１１を除いては、図７の実施例の構成要素は、図３及び図４の構成要素と対応している。したがって、感知領域１１、導線１７、測定器１９及び絶縁部１２は、図３及び図４の説明をそのまま適用することができるので、ここでは説明を省略する。しかしながら、絶縁部１２での放電は、瞬間的なものであるから、測定器１９で感知される瞬間的な電流量の変化を無視すれば、特別な問題は発生しない。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
電子放出源と電子ビーム測定器１０の整列の確認については、一般的に電子放出源からの電子は外側に広がった分布を持って流れるため、電子ビーム測定器１０の各感知領域１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄでの電子の流れの量が一定になる。すなわち各測定器１９ａ、１９ｂ、１９ｃ、１９ｄで測定される電流量が同一であるか、電流量の差が許容範囲内に存在すればよい。これにより、電子放出源と電子ビーム測定器１０の中心が同心軸上に位置するようになる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
そして、この状態で、それぞれの測定器１９で電流量を確認すれば、電子ビーム測定器１０の中心と電子放出源間の距離を確認することができるが、この実施例では、感知領域１１が４つの領域に分離されているので、適用が困難になり得る。しかし、電子ビーム測定器１０の各感知領域１１が細分化されると、一般的に電子ビームは、電子が放射状に分布して広がって放出されるので、放出される電子ビームが一定なら、電子ビーム測定器１０の中心と電子放出源間の距離によって測定器１９で感知される電流の量と感知する感知領域１１の数が異なり、また、各感知領域１１と衝突する電子の量も異なるため、予め電子ビームの特性を確認しておけば、距離を測定することができる。電子ビーム測定器の中心に孔を形成すれば、４つの感知領域だけでもこれを確認することができる。なぜなら、電子ビーム測定器１０と電子放出源の距離によって電子ビーム測定器１０の中心孔を通り抜ける電子量が異なるためである。従って、予め各感知領域１１で測定される電流量に対するデータを用意しておけば、垂直方向の整列が確認される。すなわち測定器１９で感知された電流量が基準値より小さければ、所定の距離だけ間隔を狭めればよく、その反対の場合は、間隔を広めればよい。したがって、高さに関するデータを用いて、以後電子ビーム測定器１０と電子放出源間の高さ間隔を調整するためには、電子ビーム測定器１０及び／または電子放出源を上下移動させればよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
以上、本発明の好適な実施例について説明したが、本発明は、本発明の技術的思想を逸脱しない範囲内で、様々な置換、変形及び変更が可能であり、上述した実施例及び添付された図面に限定されるものではない。
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2006512753.tif 000014
【手続補正９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2006512753.tif 000015
【国際調査報告】
2006512753.tif 000016
2006512753.tif 000017