(57)【要約】【課題】本発明は、ブルドン管式圧力計測器とバイメタル式温度計測器を一つの複合計測器に組み合わせた圧力計測器兼用温度計測器（圧力計測器と結合された温度計測器）に関するものである。圧力目盛と温度目盛は、四角あるいは円型のケースにはめ込まれた文字盤上に、別々に形成されている。圧力表示針と温度表示針の中心が分離された分離型圧力計測器兼用温度計測器、および圧力表示針と温度表示針の中心が同一であるような一体型圧力計測器兼用温度計測器を提供する。【解決手段】上記のような二種類の構成は、二重連結部と二重微小スプリングに基づいて達成される。
2006519978.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
圧力計測器兼用温度計測器において、圧力計測器と温度計測器が同時に收容されているケースから成り、前記圧力計測器では、計測器の二重連結部を通って、入り口（２６）で検出された流体の圧力はブルドン管（２２）をを通過し、二重微小スプリング（２５）はブルドン管の変化に連動して動き、その値は圧力表示針（２３）によって表示される。プロセスチャンバー（１３）内部にある前記流体の温度は、温度検出ロッドの外部で検出され、圧力流体が流入する流入口（２６）が、前記二重連結部（１５）に形成され、圧力と温度のための二つの穴が前記圧力検出器と前記温度検出器を垂直および、水平に設置する方式で前記二重連結部に形成され、また前記二重連結部は中心に設置された温度検出ロッドの穴が前記二重連結部に形成され、圧力流体の他の穴が直径１ｍｍの前記検出ロッドの周囲に円型に形成される方式（１）および前記二重連結部の中心に穴が形成され、前記中心および前記連結部の外側の間に他の穴が形成される方式（２）で具現されて、前記二つの穴が前記圧力流体の流入口および前記温度検出ロッドの設置部として使用されることを特徴とする圧力計測器兼用温度計測器。
【請求項２】
圧力計測器兼用温度計測器において、圧力計測器と温度計測器が同時に收容されているケースから成り、前記圧力計測器では、二重連結部（１５）を通って流入口（２６）で検出された流体圧力は、ブルドン管の変化によって二重微小スプリングに連動している。又は前記温度計測器では、温度は前記二重連結部の温度検出ロッドの外部で検出され、同時に前記温度検出ロッドの内部に設置されたバイメタルと連動したシャフトに伝達され、前記シャフトは前記二重連結部を通じて二重微小スプリングの中心ギアシャフト（２４）の内部を貫く穴を通ってその端に装着された温度表示針が作動し、前記二重微小スプリングは前記圧力計測器の前記ブルドン管の圧力を増幅させることができ、前記中心ギヤシャフトの外側は前記圧力表示針の中心となり、前記バイメタルシャフトは前記中心ギヤシャフトの内部を貫き、前記中心軸の外側は前記温度表示針の中心となり、前記２つの機能を有する二重微小スプリングは、前記圧力計測器および前記温度計測器の核心的構成要素として二重微小スプリングと呼ばれる圧力計測器兼用温度計測器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はブルドン管式圧力計測器とバイメタル式温度計測器を一つの計測器として結合させた圧力計測器兼用温度計測器(圧力計測器と結合した温度計測器)に関する。圧力目盛りと温度目盛は、四角あるいは円型のケースに収められた文字板上に別々に形成されている。圧力表示針と温度表示針の中心が分離された、分離型圧力計測器兼用温度計測器が提供される。また、圧力表示針と温度表示針の中心が同一であるような、一体型圧力計測器兼用温度計測器が提供される。このような二つの構成は、二重連結部と二重微小スプリングに基づいて達成される。
【背景技術】
【０００２】
一般的に容量、速度、振動、温度、圧力、熱量および長さといった大きさ又は物的な状態は、あるデータ（値）に基づいて検出され、所定の計測器を利用して記録および表示される。 
【０００３】
液体や気体の圧力又は重力を測定することが出来る計測器であって、一定の重量重量及びバランスを利用する水銀式圧力計測器、負荷式圧力計測器に対して、弾性部材の弾性力と均衡を利用するブルドン管式圧力計測器、および二種の液体を隔てる隔壁と、圧力に基づいて変化する物理現象を利用する電気抵抗式圧力計測器がある。
【０００４】
上述の圧力計測器の中で、ブルドン管式圧力計測器が目盛を直接読み取ることが可能で、使用が容易であることから最も広く使用されてきた。
【０００５】
また、上述のような圧力計測器と共に、半導体製造工程の酸化および拡散設備に於いて一般的に使用されている温度計測器として、熱振動式温度計と水銀式温度計、および温度センサーがある。前記温度計は、二種類の金属の端同士を結合させて閉回路を形成し、両方の結合ポイントの温度を変化させることで、温度の計測を行う。前記水銀式温度計は、水銀の熱膨張を利用しており、また前記温度センサーは、工業用として広く利用されており、４００℃から１４００℃の範囲で温度を計測することが出来る熱電対を利用している。
【０００６】
しかし、上述した温度計測器及び圧力計測器では、温度計測器と圧力計測器は個別に設置される。従って、追加的な設置場所が両者それぞれに対して必要である。さらに、温度計測器と圧力計測器は個別に設置されるため、同時に確認することが出来ない。パイプ内の液体の圧力と温度を同時に計測しなければならないにも拘らず、同一物の圧力と温度が個別に測定されるため、誤差範囲が大きくなる。計測作業中に生じた不都合に対して、計測装置の保守を行う際に、様々な問題がおこり、安全上の問題のため作業効率が低下する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
従って、本発明の目的は、上記のような従来技術の問題点を克服することである。
【０００８】
本発明の他の目的は、圧力と温度の同時計測が可能な複合型の計測装置を提供することであり、そうすることで、温度と圧力が単一の計測装置で、一ヶ所で同時に計測することが出来るようにすることである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
二重連結部を異なった方法で連結することで、圧力と温度との干渉は無くなり、圧力と温度の表示針の共有が可能となる。
【００１０】
正確な値の表示が出来るように、二重微小スプリングを採用しており、それによって本発明の実施が可能となる。
【００１１】
上記の目的を達成するため、圧力と温度の同時計測が可能な複合型計測装置が提供されており、前記計測装置では圧力と温度の表示針は、分離型と一体型が採用されているが、これは圧力値と温度値の表示方法に基づいて、内部構造や部品に違いがあるためである。
【発明の効果】
【００１２】
本発明によって実現される圧力計測器兼用温度計測器によって、これまで個別に設置されていた温度計測器及び圧力計測器の設置に於いて、追加的な設置場所が必要なくなることによる省スペース化とそれに伴う安全性の向上、といった効果が考えられる。さらに、個別設置によって生じる、両者の値を同時に確認できない、といった問題を解決することが出来る。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
上記の目的を達成するため、一つのケース内で圧力と温度が計測される分離型圧力計測器兼用温度計測器が提供される。
【００１４】
温度計測器は、温度表示針１１に連結されたバイメタルおよび検出ロッドの上部外側に結合され、プロセスチャンバーの固定が可能な二重連結部を含んでいる。
【００１５】
圧力計測器は、温度計測器の二重連結部の下側を通って流体の圧力の検出と伝達を行うソケットと、前記ソケットに取り付けられ圧力に基づいて移動するブルドン管と、前記ブルドン管と連動し、ブルドン管の微少な動きを大きく増幅させることが可能な二重微小スプリングおよび前記微小スプリングのシャフトと連動した表示盤上に圧力値を表示する圧力表示針を含んでいる。
【００１６】
二重連結部は流体の圧力及び温度を計測部に伝達することができる経路であり、二重連結部の中心に穴が形成され、前記中心穴は外部スクリューとの間の厚い位置に形成されており、そうすることで圧力用と温度用の二つの穴を使用した交換動作を遂行することが可能となる。
【００１７】
他の方法としては、温度検出ロッドが二重連結部の中心に挿入され、検出ロッドの外側と二重連結部の内壁の間に大きさ１ｍｍの検出ロッドの周辺部に穴が形成されており、検出ロッドを取り囲む円形穴が圧力流体の経路として使用されている。
【００１８】
従って、本発明に従う分離型圧力計測器兼用温度計測器では二重連結部のみが使用され、二重微小スプリングは適用されていない。すなわち、一般的な二重微小スプリングが適用されている。
【００１９】
本発明に従う一体型圧力計測器兼用温度計測器では、圧力値および温度値は単一のケース内に表示される。
【００２０】
温度計測器では、バイメタルを有する検出ロッドは二重連結部の中心を貫き、二重連結部の外部で流体と接触する。
【００２１】
この際、バイメタルは流体温度を検出し、収縮と膨張を行う。このような変化はシャフトに伝達される。シャフトは二重微小スプリングの中心ギアシャフトの内径部分を貫いており、シャフトの端部に連結された表示針を動かす。そうすることで、温度が表示される。
【００２２】
二重連結部は、中心部に設置された温度検出ロッドの直径と比べて１ｍｍ以上大きくなっており、そうすることで検出ロッドと二重連結部の壁との間に１ｍｍの隙間が生じ、圧力流体の経路として使用される（タイプ１）。
【００２３】
穴は、二重連結部の中心に形成される。更に、中心と外部スクリュー部の間に穴が形成される。即ち、いずれも二つの穴が形成され、一つは温度検出ロッドのために、もう一つは適合性を実行するために、圧力棒の経路用として形成される。
【００２４】
このような方式で通過する流体は、二重微小スプリングの中心軸の外部に連結された圧力表示針を動かして圧力を表示する。
【００２５】
従って、本発明に従う一体型圧力計測器兼用温度計測器では、二重連結部と二重微小スプリングが適用されており、そうすることで要望に沿う機能を達成すること可能となる。
【００２６】
以下に本発明の好ましい実施形態を添付された図面を参照して詳細に説明する。
【実施例１】
【００２７】
分離型圧力計測器兼用温度計測器 
図1に示されたように、円型又は四角型のケースでは圧力目盛が文字板の上側に設けられ、温度目盛が下側に設けられている。圧力および温度目盛の範囲は、１８０度あるいは２７０度である。この場合、二重連結部の一例を図８の参照番号１５に示す。 
【実施例２】
【００２８】
一体型圧力計測器兼用温度計測器
図2に示されたように、一体型は円型ケースを使用する。圧力目盛は文字板上に形成され、文字板の外側に形成される。温度目盛は内側に形成される。圧力と温度の表示針の大きさは同一である。温度目盛と温度表示針の色は同一で、圧力目盛と圧力表示針の色は同一であるので、温度と圧力を容易に認識することが可能である。また、温度と圧力とでは、明暗の差を大きくしている。
【産業上の利用可能性】
【００２９】
本発明に従う圧力計測器兼用温度計測器の構成は、流体の圧力が二重連結部にかかると、同時に温度計測器の検出ロッドが二重連結部周辺の温度を検出することで温度が表示されるようになっている。このように測定された圧力と温度は、妨害や邪魔をされることなく、二重微小スプリングを通過して法事針に伝達され、圧力と温度が文字盤上に表示される。
【００３０】
本発明で、一つの計測装置を使用して計測しようとする流体を同一地点で同時に、温度と圧力を容易に計測することが可能になる。
【００３１】
本発明で空間的な制約、設置コストが二倍に増加する、圧力と温度の計測地点が上部に位置することによって生じる流体測定値のエラーが生じる、といった問題を克服することが可能となる。
【００３２】
また、温度計測器と圧力計測器が個別に設置された場合に比べ、操作者の安全性を確保することが出来る。圧力と温度が一ヶ所で測定できるため、作業時間とエネルギーの節約が出来る。ケースや連結部のような部品が必要なくなるので、組み立て費用や人件費を減らすことが出来る。
【００３３】
本発明は上述した実施形態に限定されない。本発明は、発明の思想あるいは本質的な特性を外れなければ、多様な形態で実施することが出来るので、上述した実施形態は他に明示されない限り、上述した説明の細部事項に限定されず、添付した請求項に定義された思想および範囲内で幅広く解釈しなければならない。よって、請求項の要求条件および範囲内にある全ての変更および変形、または要求条件および範囲の等価物は添付した請求項に含まれなければならない。
【図面の簡単な説明】
【００３４】
本発明は、以下に添付した図面を参照することで、より明確に理解できるであろう。前記図面は、単に例証として示されるものであり、本発明に何ら制限を与えるものではない。
【図１】本発明に従う分離型圧力計測器兼用温度計測器を示す平面図。
【図２】本発明に従う一体型圧力計測器兼用温度計測器を示す平面図。
【図３】図１の側面図。
【図４】二重連結部の形式1の断面図。
【図５】二重連結部の形式2の断面図。
【図６】二重微少スプリングの平面図。
【図７】図６の側面図。
【図８】本発明に従う分離形圧力測定計兼用温度測定計の内部構造。
【符号の説明】
【００３５】
１０    表示盤
１１    温度表示針
１３    プロセスチャンバー
１４    温度検出ロッド
１５    二重連結部
２０    表示盤
２２    ブルドン管
２３    圧力表示針
２４    中心ギアシャフト
２５    二重微小スプリング
２６    流入口
３１    シャフト
【図１】
2006519978.tif 000003
【図２】
2006519978.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
2006519978.tif 000010
【図９】
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【国際調査報告】
2006519978.tif 000012