(57)【要約】レーザ光束（１０２）は、所望の形状のスロット開口を有するスロット（９８）を形成するように、シリコーンゴムのような薄いエラストマー材料で作られる部品用搬送具マスク（９６）を切削する。好ましい実施態様では、前記シリコーンゴムに配合される酸化鉄のような吸光性を増強させる材料が、吸光波長領域内の光を実用上十分吸収する可撓性の支持ブランクを形成する。プログラムされたコントローラからの指示を受ける光束定位装置（１０６）は、前記吸光波長領域内の波長のＵＶレーザ光束を発生させ、再現可能で正確な寸法の複数のスロットを前記マスクに作成する。切り取られた前記スロットのそれぞれは、相対する側縁を有し、超小型部品（１０）を受け入れ、超小型部品を保持し解除する最適な力を加えるのに適した形状のスロット開口を、前記側縁の間に画定する。
2006502006.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
それぞれが超小型部品を受け入れかつ保持する公称のサイズと形状とを有する複数のスロットが形成される薄くて弾性のあるマスクを有する超小型部品用搬送具における前記マスクに前記スロットを形成する方法であって、
可撓性があり、吸光波長領域内に含まれる光を実用上十分吸収する薄いエラストマー材料で作られる支持ブランクを用意するステップと、
前記吸光波長領域内に含まれる波長のレーザ光束を用意するステップと、
前記レーザ光束を前記支持ブランクに向けるステップと、
前記レーザ光束が、再現可能で正確な寸法の複数のスロットを設け、スロットの設けられた弾性のあるマスクを形成するために、前記支持ブランクに投射されるように、前記レーザ光束及び支持ブランクを互いに対して動かすステップとを含み、
前記支持ブランクは、エラストマー材料と吸光性を増強させる材料との組成物を含み、
前記エラストマー材料は前記支持ブランクを可撓性にするために前記支持ブランクに弾性を付与し、
前記吸光性を増強させる材料は、前記吸光波長領域内に含まれる光を実用上十分に吸収するが実用上前記弾性に変化を与えないような吸光性を、前記支持ブランクに付与し、
前記スロットのそれぞれには前記相対するスロットの側縁があり、該側縁の間に超小型部品を掴みかつ制御された向きに保持するように形作られている、超小型部品用搬送具におけるマスクにスロットを形成する方法。
【請求項２】
前記吸光性を増強させる材料は酸化鉄又は二酸化チタンを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記吸光波長領域は約５５０ｎｍ未満の波長を含む、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記吸光性を増強させる材料は色素又は顔料を含む、請求項１に記載の方法。
【請求項５】
前記エラストマー材料はシリコーンゴムを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項６】
前記レーザ光束は約３５５ｎｍの波長を有する、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記複数のスロットのそれぞれは相対する両端を有し、該両端の間に前記スロットの相対する側縁が伸び、
前記スロットの相対する側縁の間隔は、前記スロットの長さ方向に沿ったスロットの幅であり、
前記両端のスロットの幅は、前記両端の中央でのスロットの幅より長い、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
各スロットにおける前記両端でのスロット幅と前記中央でのスロット幅とは、それぞれ前記スロット長さ方向に沿って相対するスロット側縁の間隔の、最大と最小とである、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
各スロットの長さは実質的に同じであり、前記両端から前記中央までのスロット幅は中央がほぼ先細形状のスロットを形成するように変化する、請求項７に記載の方法。
【請求項１０】
前記ほぼ中央が先細形状であるスロットは、「犬用の骨」又は「蝶ネクタイ」の形状をした、請求項９に記載の方法。
【請求項１１】
前記複数のスロットのそれぞれは、相対する両端を有し、該両端の間に前記スロットの相対する側縁が伸び、交互に形成される狭い開口と広い開口とに対応する、相対する側縁の間隔が短い部分と長い部分とが前記スロットの長さ方向に沿って交互に存在する、請求項１に記載の方法。
【請求項１２】
前記狭い開口はほぼ先細形状で、前記広い開口はほぼ平行な直線形状である、請求項１１に記載の方法。
【請求項１３】
各スロットの前記両端における相対する側縁の間隔が長い、請求項１２に記載の方法。
【請求項１４】
前記超小型部品用搬送具は搬送具テープの形態であり、
前記搬送具テープは、該テープの長さ方向に沿って間隔を置いて配置される複数の開口を有する芯の部分を含み、前記弾性のあるマスクを形成するために薄いエラストマー材料で作られた前記支持ブランクにより覆われ、
前記スロットは、前記弾性のあるマスクのエラストマー材料が開口を覆う場所に設けられる、請求項１に記載の方法。
【請求項１５】
前記搬送具テープは、前記テープ長さの方向に沿って伸びるテープの両側縁があり、前記テープ側縁のそれぞれに前記テープ長さの方向に沿って相互に間隔を置いて配置された複数の案内孔を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１６】
前記搬送具テープの芯の部分は、前記複数の開口が形成される可撓性の金属を含む、請求項１４に記載の方法。
【請求項１７】
前記可撓性の金属はステンレス鋼を含み、前記エラストマー材料はシリコーンゴムを含む、請求項１６に記載の方法。
【請求項１８】
前記超小型部品用搬送具は搬送ベルトの形態であり、
前記搬送ベルトは、複数の開口を含み、該開口のそれぞれは、複数のスロットが設けられる前記弾性のあるマスクを形成するために、薄いエラストマー材料で作られた前記支持ブランクの１個を受け入れるのに対応する、請求項１に記載の方法。
【請求項１９】
前記搬送ベルトにより受け入れられる薄いエラストマー材料の各支持ブランクの複数のスロットは、前記ベルトの長さ方向と交差する方向に並んでいる、請求項１８に記載の方法。
【請求項２０】
前記搬送ベルトは、エンドレスタイプで、前記複数の開口が含まれる可撓性の金属を含む、請求項１８に記載の方法。
【請求項２１】
前記可撓性の金属はステンレス鋼を含み、前記エラストマー材料はシリコーンゴムを含む、請求項２０に記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、超小型部品用搬送具に関し、具体的には、超小型部品を掴み、制御された向きに保持するために形作られた正確な寸法のスロットを、超小型部品用搬送具にレーザを用いて形成する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
本願は２００２年１０月４日付けで出願された米国仮出願第６０／４１６，３１１号に基づく優先権を主張する。
【０００３】
（著作権表示）２００３年エレクトロサイエンティフィックインダストリーズインク  本明細書の開示内容の一部は著作権による保護の対象となる材料を含む。本著作権者は、米国特許商標庁の特許包袋に表示されるとおりに本明細書が何人かによって複写されることを拒まないが、それ以外ではいかなる場合でも全ての著作権を留保する。
【０００４】
コンピュータその他の電子装置はより高性能になり、より広範囲の仕事を行うことができる。コンピュータその他の電子装置のサイズが大きくなることを抑え、より高速度で作動させるために、電子回路は超小型電子部品を高密度配置で使用する。かかる超小型電子部品の１つである固体コンデンサは、米粒より小さい、極小の直方体状の「チップ」である。図１は、断面が正方形又は長方形状で、固体で密封された本体１２を有し、セラミックまたは他の誘電体で作られたコンデンサチップ１０を示す。コンデンサチップ１０は、本体１２の内部に間隔を置いて積層された複数の金属板を含む（図示されない）。１枚置きの各金属板の一方の端が本体１２の外部に接続され、金属化処理によって、間隔を置いて相互に相対する電子接触面又は端１４の１対を形成するように適合される。コンデンサチップ１０の１個又は２個以上の接触面１４は、乾燥され、加熱されて、後で回路基板上に直接はんだ付けできる面ができるように、はんだペーストが筋状に付着される。特許文献１は、後でペーストが加熱できるように、チップ表面にはんだペーストを筋状に付着して、ペーストを乾燥する装置を説明する。この装置は、スロットが付いたゴムのマスクが形成された、金属の搬送ベルト又はテープを使用する。前記マスクのスロットは、はんだペーストでチップの相対する端部を覆うような処理をするために、チップを定位置で受けとる。
【特許文献１】米国特許第５、２２６、３８２号明細書
【０００５】
比較的新しい電子回路チップは、複数の異なる電子回路の１つに同時にはんだ付けすることができる単一のアレイチップに取り付けられた、複数の回路部品から構成される。この装置は、１つのチップに積層された４個又は５個の別々のコンデンサのように、複数の回路部品又は回路部品のアレイを構成するので、集積受動電子部品（ＩＰＣ）又はアレイチップと呼ばれる。
【０００６】
図２Ａは、はんだペーストの筋２２で覆われた側壁を有する典型的なＩＰＣ又はアレイチップ２０を示す。アレイチップ２０の全体寸法は、頂面及び底面２４が長さ３．２ｍｍ（０．１２５インチ）、幅１．５ｍｍ（０．０６０インチ）、相対する端面２６が幅１．５ｍｍ（０．０６０インチ）、高さ１．０ｍｍ（０．０４０インチ）、相対する側面２８が高さ１．０ｍｍ（０．０４０インチ）、長さ３．２ｍｍ（０．１２５インチ）である。図２Ｂは、電子回路にアレイチップ２０を取り付けるには、側面２８（図示される）又は端面２６（図示されない）のような、相対する壁面に沿って別々のはんだペーストの筋２２を付着させ、回路基板３２に形成された銅の筋３０にはんだペーストの筋２２をはんだ付けする必要があることを示す。各々の筋２２の幅は、通常、０．３８±０．１８ｍｍ（０．０１５±０．００７インチ）に設定され、図２Ａの頂面及び底面２４に示すように、各々の筋の端に、隣接する壁面に沿った０．３±０．１８ｍｍ（０．０１２±０．００７インチ）の折り返し部を有する。他のチップ部品と同様に、ペーストが塗布された後、ペーストを付着させるために熱乾燥する過程と、その後にアレイチップ２０にペーストを溶融するために加熱する過程とが必要となる。
【０００７】
チップが小さいことと、その幅及び高さの寸法にわずかな差があることとが、チップの取り扱いと、搬送ベルト又はテープのマスクにチップを挿入することを重要にする。複数の筋は適当な回路基板の表面にのみ付着され、それらの付着は非常に正確に行われる。チップの他の表面にペーストが飛び散ることは、回路の短絡を生じ、電子装置の機能を著しく低下させる。したがって、供給装置がチップを搬送具テープ上の正確な位置に及び場所に配置し、前記チップは、特定の精度範囲内でペーストの筋が付けられるように、適当な表面が適当な向きで露出されるように、正確に取り扱われる。
【０００８】
部品を搬送し、加工用に提供する超小型部品用搬送具には、主に２つのタイプがある。搬送具の第１のタイプは、アレイチップより大きい、コンデンサチップ１０のような、単体の部品チップを搬送するために使用されるのが典型的なエンドレスベルト又はテープである。前記エンドレステープは、テープの辺縁の中間に配置され、テープの辺縁に沿って均一に間隔を置いて配置された、複数の横向きの細長い開口を有するように形成される。前記開口のそれぞれは、少なくとも１個のオリフィスを有し、好ましくは、ターミネーションに用いられる端面がマスクから外側へ伸びるような特定の向きに規則正しく並んだチップを受け入れるサイズ及び形をした一連のオリフィスを有する、薄く、弾性のあるマスクを、同一平面上で一定の位置ずれがある状態で受け入れるように適合される。
【０００９】
搬送具の第２のタイプは、アレイチップ２０のような、アレイチップを搬送するために使用されるのが典型的なエンドレスベルトである。前記ベルトは、該ベルトの長さ方向に沿って間隔を置いて配置された複数の開口を有する、ステンレス鋼製であることが典型的な芯を有する。シリコーンゴムのような薄いエラストマー材料が、弾性のあるマスクを形成するために、ステンレス鋼製の芯を覆うように成形される。前記成形の過程で、弾性のあるマスクの中で、覆うように成形されるエラストマー材料が前記開口を覆う場所に、スロットが形成される。
【００１０】
シリコーンゴムは鋳型の小さな割れ目から容易に流れるので、シリコーンゴムがベルトの上に載るように成形するのは困難である。この理由により、正確な寸法のスロットの開口を形成するのは困難である。アレイチップ部品は締まりばめにより圧縮された状態で前記スロットに保持される。０．０５ｍｍ（０．００２インチ）の望ましい締まりばめは、公称±０．０２５ｍｍ（±０．００１インチ）のスロットの開口の許容範囲が必要である。例えば、５．１ｍｍ（０．２０インチ）の厚さのアレイチップ部品は、典型的には、０．４３−０．４８ｍｍ（０．０１７−０．０１９インチ）のスロットの開口が必要である。−０．０２５ｍｍ（−０．００１インチ）未満のスロットの開口幅の許容寸法では、締まりすぎるスロットとなり、前記スロットの開口のシリコーンゴムの塊（ｎｕｂｓ）を（圧縮というよりもむしろ）ゆがめ、前記スロットに保持されたアレイチップ部品を傾ける。０．０２５ｍｍ（０．００１インチ）より大きなスロットの開口幅は、前記部品をベルトから落とす。
【００１１】
精密成形の使用は正確な寸法のスロットの開口に２５％の初期歩留まりを与えるのが典型的であり、前記ベルトは、前記歩留まりを６５〜８０％の公称の歩留まりの水準に増加させるために、再加工される必要がある。歩留まりとは、加工過程で、関連するスロットの開口に留まるチップ部品の数を表す。チップ部品の厚さ方向の寸法の変動も、前記０．０５ｍｍ（０．００２インチ）の締まりばめを実現する比較的低い歩留まりに寄与する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
したがって、必要とされることは、超小型部品用搬送具のベルトに、正確な寸法及び狭い許容範囲で、高い初期歩留まりを有した状態で、部品のスロットを形成する方法である。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明の目的は、超小型部品用搬送具の弾性のあるマスクに、再現可能で正確な寸法を有し、規則正しく並んだ超小型部品を掴み制御された向きで保持する形状をした、複数のスロットを設ける技術を提供することである。
【００１４】
本発明は、好ましくは、所望の形状の開口を有するスロットを形成するために、薄いエラストマー材料で作られた部品用搬送具マスクを切断するように向けられた紫外線（ＵＶ）レーザ光束を用いて実施される。シリコーンゴムは、超小型部品用搬送具の製造に使用される好ましい従来技術のエラストマー材料である。前記搬送ベルトのスロットの形成は、現在、射出成形技術により達成される。本発明の好ましい実施態様は、スロットが設けられたエラストマー材料製の弾性のあるマスクをＵＶ切断により形成するために、ＵＶレーザ光束を使用する。シリコーンゴムであることが好ましいエラストマー材料のＵＶ切断は、所要の形状で寸法精度を確保したスロットの形成を保証する。シリコーンゴムを含む、従来のエラストマー材料の前記ＵＶレーザ切断の波長領域（約４００ｎｍ未満）での吸収は、商業的に受け入れられるスループットでスロットを切るためには強さが不十分である。この欠点を克服するために、本方法は、レーザ切断の波長領域内の光を実用上で十分に吸収する可撓性の支持ブランクを形成するために、前記シリコーンゴムに吸光性を増強する材料を取り入れること、スロットを刻むためにＵＶレーザ光束を使用することを含む。酸化鉄又は二酸化チタンは吸光性を増強する材料として機能する好ましい色素添加物である。
【００１５】
光束定位装置は、前記レーザの光束が再現可能で正確な寸法を有する複数のスロットをマスクに刻むようにプログラムされたコントローラから指示を受ける。設けられた前記スロットのそれぞれは、超小型部品を受け取り、該超小型部品を保持し解除する最適な力を加えるのに適した形状を有するスロットの開口を画定する相対する側縁を有する。異なる輪郭を有する超小型部品を収納するために、異なる形状のスロットの開口が用いられる。プログラム可能なコントローラは、既知の寸法を有するチップ部品の特定のロットを受け入れるためにカスタマイズされたスロットの開口寸法を加工することにより、歩留まりを改善することができる。特定のチップ部品のサイズに対するスロットの開口を調整することは、条件の厳しい前記締まりばめの寸法許容範囲に適合する可能性が増大する。
【００１６】
紫外線（ＵＶ）波長であることが好ましい、５５０ナノメータ未満の波長を有する光を発生するレーザは、酸化鉄又は二酸化チタンが配合され、スロットが設けられたシリコーンゴム製の部品用搬送具を作るための光源として好ましい。
【００１７】
本発明のその他の局面、目的及び利点は、添付図面を参照して実施され、以下の好ましい実施態様の詳細な説明に示される。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１８】
図３は、厚さが約０．１３ｍｍ（０．００５インチ）、幅が約５．１ｃｍ（２．０インチ）の、ステンレス鋼その他の高強度の金属製の可撓性金属テープの形態をしたエンドレスの部品用搬送具を示す。テープ５０は、始点と終点がなく、特許文献１に説明されるような様々な加工台の間を一連のプーリ及びスプロケットを介して操作される「エンドレス」様式のものである。テープ５０は、間隔を置いて相互に平行な側縁５２及び５４により画定され、搬送用スプロケット（図示されない）の送り歯（ｄｒｉｖｅ  ｓｔｕｂｓ）を受け入れる送り穴（ｐｅｒｆｏｒａｔｉｏｎｓ）としての機能を果たす一連の案内孔又はスプロケット孔５６を含む。スプロケット孔５６は、側縁５２及び５４の少なくとも一方、好ましくは両方に、隣り合って配置され、テープ５０の長さ方向に沿って均一な間隔を置いて配置される。図４は、マスクが挿入される、形状が異なる様々な開口を有するように形成されるテープ５０を示す。別々のパターンで形成される複数の第１の開口６０は、テープ５０の長さ方向に沿って均一に間隔を置いて、好ましくは側縁５２及び５４の中間の位置に配置される。開口６０は、図３に示される一連の接近した円形の穴か、図４の端に示される一連の細長い長方形の開口か、図４の中央に示される一連の横並びに配置された繰り返しパターンの細長い開口かの場合がある。円形以外の輪郭の穴では、開口６０は、１対の短い端縁６４によって終了する１対の間隔を置いて配置された細長い側縁６２により画定されるのが一般的である。開口６０のそれぞれは、複数のチップ部品をテープ５０に固定し搬送するサイズと形状とを有するマスク６６を受け入れる。「マスク」は、チップ部品の製造加工のある段階で、チップ部品を囲い部分的に包む、シリコーンゴムその他の弾性のある材料で作られた構成要素を定義するために当業者が使う用語である。マスク６６の目的は、チップ部品の両端を金属化処理する間一時的に該チップを保持する、細長いことが一般的な弾性のある壁面を有するホルダを提供することである。テープ５０による搬送に対応できるタイプのチップコンデンサの例が図１に示される。
【００１９】
図７は、マスク６６がテープ５０の所定の位置に固定されたときに、それぞれテープ５０の上及び下にあって、テープ５０の表面と同一平面上に存在する、１対の間隔を置いて配置された外表頂面及び外表底面７０及び７２により、マスク６６が画定されることを示す。図３に示される、最も簡単な形状においては、複数のマスク６６がテープ５０の長手方向の軸に対して平行又は垂直に配置されるように、それぞれのマスク６６は開口６０の周囲に成形される。第１の開口６０より小さいサイズの１個又は２個以上の第２の開口７４は、テープ５０の金属の芯がチップ部品と接触しないようにそれぞれのマスク６６に形成される。第２の開口７４のサイズは、前記チップ部品がある加工段階から次の加工段階に進む過程で、前記チップ部品が所定の位置に受けられ抵抗により保持されるように、少なくとも１つの方向においては前記チップ部品のサイズよりわずかに小さい。マスク６６は、頂面及び底面７０及び７２に加え、テープ５０に形成された第１の開口の細長い側縁６２を受け入れるために頂面及び底面７０及び７２の中間に位置する、１対の相対する細長いスロット７６により画定される。取り外し可能なマスク６６の長さはテープ５０の幅より短く、隣り合ったスプロケット孔５６の間の間隔より短いことが好ましい。
【００２０】
図８Ａ及び図８Ｂは、シリコーンゴムのマスク細片６６’が、ほぼ長方形で芯の部分に曲線の付いた端を有する開口６０’に成形又は被覆されることを除いてテープ５０と類似した、代替的な部品用搬送具テープ５０’のそれぞれ平面図及び部分拡大図である。開口７４’は、搬送具テープ５０’の幅方向に沿ってマスク細片６６’のそれぞれに１列に並ぶように形成される。
【００２１】
図９Ａ及び図９Ｂは、テープの長さ方向に沿って間隔を置いて配置された複数の開口９４を有する芯の部分９２が、マスク９６を形成するために薄い弾性のあるエラストマー材料の支持ブランクにより覆われる、一体成形タイプ又は被覆加工タイプの部品用搬送具テープ９０のそれぞれ平面図及び断面拡大図である。単一のスロット９８は、前記エラストマー材料が開口９４を覆うそれぞれの場所でマスク９６に設けられる。
【００２２】
図１０Ａは、例として本発明に従って搬送具テープ９０にスロット９８を設けることを示す、レーザを用いたシステム１００の簡単な模式図である。レーザ１０４から形成される光束１０２の形状で伝播する光エネルギーは、光束定位装置１０６に投射され、光束定位装置１０６によってマスク９６の表面の開口９４の場所に制御可能に誘導され、正確な寸法で所望の形状を有するスロット９８を設ける。光束定位装置１０６は、本願の譲受人であるオレゴン州ポートランドのエレクトロサイエンティフィックインダストリーズ社により販売されるモデル５３２０ビアドリリングシステム（Ｖｉａ  Ｄｒｉｌｌｉｎｇ  Ｓｙｓｔｅｍ）の一部として装備されるコントローラのような、プログラム可能なコントローラ１０８により発生された信号に応答して光束１０２を誘導する。テープ供給装置（図示されない）は、スロット９８を設けるための光束１０２を開口９４に照準を合わせるように搬送具テープ９０を供給する。搬送具テープ９０は、図１０Ｂに示されるエンドレステープの形状が好ましく、テープ供給装置は、エレクトロサイエンティフィックインダストリーズ社により販売されるモデル７５０ベルトターミネーションシステム（Ｂｅｌｔ  Ｔｅｒｍｉｎａｔｉｏｎ  Ｓｙｓｔｅｍ）の一部として装備されるテープ供給装置が適している。マスク９６にスロット９８を設けることは、レーザ光束１０２の波長が実用上重複する吸光波長領域を有するマスク９６を提供することにより達成される。
【００２３】
マスク９６を形成する前記支持ブランクは、エラストマー材料と吸光性を増強させる材料との組成物を含む。前記エラストマー材料は、前記支持ブランクが可撓性になるように該支持ブランクに弾性を与える。シリコーンゴムのような前記エラストマー材料は、スロットを設けるためには光エネルギーの吸収が実用上不十分であるので、酸化鉄又は二酸化チタンのような前記吸光性を増強させる材料は、スロットを設けることはできるが、前記エラストマー材料により与えられた弾性を変化させないような吸光波長領域内に含まれる光エネルギーを実用上十分に吸収させるために、前記支持ブランクに吸光性を付与する。光束１０２の発光波長は５５０ｎｍ未満が好ましく、２６６ｎｍが酸化鉄を配合したシリコーンゴムで形成されたマスク９６にスロットを設けるための波長として好ましい。
【００２４】
好ましい実施態様において、マスク９６を形成する前記支持ブランクは、シリコーンゴムの弾性を変化させずに茶色のシリコーンゴムを提供するために、シリコーンゴム（９９重量％）及び酸化鉄（１重量％）の液体配合物から調製される。図１１及び１２は、それぞれシリコーンゴム及び酸化鉄（１重量％）を配合したシリコーンゴムの、厚さ０．３５６ｍｍ（０．０１４インチ）のサンプルにおける光の波長の関数としての透過性（吸光性）曲線を示す。図１１は、無配合のシリコーンゴムでは、２６６ｎｍ及び５５０ｎｍにおいて光の透過性がそれぞれ約３％及び約１７％であることを示す。図１２は、酸化鉄を配合したシリコーンゴムでは、２６６ｎｍ及び５５０ｎｍにおいて光の透過性が約０．０１％であることを示す。無配合のシリコーンゴムによる前記約３％の光の透過性は、シリコーンゴムの支持ブランクにスロットを設けるためには実用上吸光性を不十分にするのに十分である。
【００２５】
図１０Ａ及び図１０Ｂに示されるように、表面の特徴がないゴムの表面で形成される搬送具９０は、レーザを用いたシステム１００の加工装置に配置される。十分なエネルギーを有するレーザ光束１０２は、開口９４の場所で前記ゴムのマスク９６にスロット又はポケット９８を設ける。システム１００のプログラム可能なコントローラ１０８は、前記スロットの位置を制御するソフトを備え、前記スロットの形状及びサイズは最終用途（すなわち、チップ部品のサイズ及び形状）により決定される。
【００２６】
レーザ光束１０２の出力及び波長は、スロットを設ける加工の過程で発生する熱を前記シリコーンゴムに対する損傷を起こす点より下に維持するように制御される。レーザのパルスパラメータの例は、１５ＫＨｚのパルス繰返頻度、２．８５ワットの出力で作動する３５５ｎｍのＵＶレーザである。７５ｍｍ／秒の供給速度、５μｍのレーザ光束のバイトサイズで、厚さ０．３５６ｍｍ（０．０１４インチ）の搬送具テープ９０に３．０５ｍｍ（０．１２インチ）×０．７１１ｍｍ（０．０２８インチ）の直方体の棒状のスロットを設けるには、完成するために３５パルス繰返頻度で３．５１秒かかる。
【００２７】
図１３Ａ、図１３Ｂ、図１４Ａ及び１４Ｂは、異なる形状のスロットを有するテープを示す。図１３Ａ及び図１３Ｂは、先細形状のスロット９８１がそれぞれ「犬用の骨」又は「蝶ネクタイ」の形状をしたテープ９０１を示す。先細形状のスロット９８１は、両端１１２ではより長い間隔で、両端の中央位置１１４ではより短い間隔で長さ方向に沿って隔てられた、相対するスロットの側縁１１０をテープ９０１に形成する切り口によって作り出される。好ましい実施態様では、前記スロットの間隔は両端１１２から中央位置１１４に向かって徐々に小さくなる。図１４Ａ及び図１４Ｂは、スロット９８２のそれぞれが「鋸歯」の形状をしたテープ９０２を示す。スロット９８２は、対応して交互に狭い開口と広い開口とを形成するような、交互に短い間隔と長い間隔で長さ方向に沿って隔てられた、相対するスロットの側縁１１６をテープ９０２に形成する切り口によって作り出される。好ましい実施態様では、前記狭い開口は先細で凹形状の部分１１８からなる一般的な形状で、前記広い開口は平行な直線状の部分１２０からなる一般的な形状である。
【００２８】
本発明の原理を逸脱することなく、上記の本発明の実施態様の詳細に多くの変更がなされる場合があることは当業者には自明である。したがって、本発明の範囲は、特許請求の範囲の記事によってのみ決定されるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００２９】
【図１】従来技術のコンデンサチップの拡大等角投影図。
【図２Ａ】はんだペーストが塗布された、典型的な従来技術の集積受動電子部品又はアレイチップの拡大等角投影図。
【図２Ｂ】回路基板の表面に取り付けられた図２Ａの従来技術のアレイチップの拡大等角投影図。
【図３】一連の開口がチップ部品を保持するマスクが取り付けられた部品用搬送具テープの部分平面図。
【図４】様々な異なる開口を有する搬送具テープを示す部分平面図。
【図５】開口を覆って形成されるマスクが取り付けられた搬送具テープの部分等角投影図。
【図６】図５の線６−６により得られた、搬送具テープ及びマスクの断面図。
【図７】チップ部品を搬送するために図６のマスクに形成された典型的なパターンの開口の部分等角投影図。
【図８Ａ】図３の搬送具テープに対する代替的なタイプの搬送具テープの平面図。
【図８Ｂ】図８Ａの搬送具テープのマスク細片にある構成部品を保持する開口の部分拡大図。
【図９Ａ】一体成形タイプ又は被覆加工タイプの搬送具テープの平面図。
【図９Ｂ】図９Ａの線９Ｂ−９Ｂにより得られた拡大断面図。
【図１０Ａ】搬送具テープにスロットを作成中のレーザ式システムの簡単な模式図。
【図１０Ｂ】間隔を置いて配置された２組の積層スプールに巻き取られた、本発明のエンドレスタイプの搬送具テープの斜視図。
【図１１】シリコーンゴムの、光の波長に対する透過性曲線を示すグラフ。
【図１２】酸化鉄を配合したシリコーンゴムの、光の波長に対する透過性曲線を示すグラフ。
【図１３Ａ】犬用の骨又は蝶ネクタイの形状をしたスロットが設けられた搬送具テープの模式図。
【図１３Ｂ】搬送具テープ及びスロットの一部を示す斜視図。
【図１４Ａ】鋸歯の形状をしたスロットが設けられた搬送具テープの模式図。
【図１４Ｂ】図１４Ａの搬送具テープのスロットの１個の拡大模式図。
【符号の説明】
【００３０】
１０    コンデンサチップ
１２    本体
１４    接触面
２０    アレイチップ
２２    はんだペーストの筋
２４    頂面及び底面
２６    端面
２８    側面
３０    銅の筋
３２    回路基板
５０    テープ
５２、５４、６２、１１０、１１６    側縁
５６    案内孔又はスプロケット孔
６０、７４、９４、６０’、７４’    開口
６４    端縁
６６、９６    マスク
７０    頂面
７２    底面
７６、９８、９８１、９８２    スロット
６６’    マスク細片
９０、５０’    搬送具テープ
９２    芯の部分
１００    レーザを用いたシステム
１０２    光束
１０４    レーザ光源
１０６    光束定位装置
１０８    プログラム可能なコントローラ
１１２    両端
１１４    中央位置
１１８    先細で凹形状の部分
１２０    平行な直線状の部分
９０１、９０２    テープ
【図１】
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【図２Ａ】
2006502006.tif 000004
【図２Ｂ】
2006502006.tif 000005
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図９Ａ】
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【図９Ｂ】
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【図１０Ａ】
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【図１０Ｂ】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３Ａ】
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【図１３Ｂ】
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【図１４Ａ】
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【図１４Ｂ】
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【国際調査報告】
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