(57)【要約】光放射（１０）を提供する装置であって、ポンプ放射（７）を提供するためのポンプ列（８）と、第１ポンプ結合器（１）と、導波管（３）とを備え、ポンプ列（８）からのポンプ放射（７）は、第１ポンプ結合器（１）を介して導波管（３）に結合され、導波管（３）は、ポンプ放射（７）をガイドするポンプガイド（４）と、ポンプ放射（７）によりポンプされた時に光放射（１９）を出射する利得媒体（５）とを備える。
2006517058.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光放射を提供する装置であって、
ポンプ放射を提供するためのポンプ列と、
第１ポンプ結合器と、
導波管とを備え、
前記ポンプ列からのポンプ放射は、前記第１ポンプ結合器を介して前記導波管に結合され、
前記導波管は、前記ポンプ放射をガイドするポンプガイドと、前記ポンプ放射によりポンプされた時に前記光放射を出射する利得媒体とを備える装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
複数のポンプ列と、複数の第２ポンプ結合器とを備え、
各ポンプ列により出射されたポンプ放射は、異なる前記第２ポンプ結合器により一緒に結合される装置。
【請求項３】
請求項２に記載の装置であって、前記ポンプ放射を空間的に再分配するためのビーム整形器を備える装置。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の装置であって、前記第１ポンプ結合器は、第１ポンプ導波管の列を備える装置。
【請求項５】
請求項４に記載の装置であって、前記第１ポンプ導波管は光ファイバ導波管である装置。
【請求項６】
請求項５に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管はコーティングを有するガラス導波管を備える装置。
【請求項７】
請求項５又は６に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は微細構造ファイバを備える装置。
【請求項８】
請求項６又は７に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は円形コア内に光をガイドするように構成されている装置。
【請求項９】
請求項６又は７に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は非円形コア内に光をガイドするように構成されている装置。
【請求項１０】
請求項４から９のいずれか１項に記載の装置であって、前記第１ポンプ導波管は前記ポンプガイドと実質的に同一の断面形状を有するように構成されている装置。
【請求項１１】
請求項４から１０のいずれか１項に記載の装置であって、前記第１ポンプガイドは前記第１ポンプ導波管の開口数と少なくとも等しい開口数を有する装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の装置であって、前記ポンプガイドの前記開口数は、前記第１ポンプ導波管の開口数の少なくとも１．５倍である装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載の装置であって、前記ポンプガイドの前記開口数は、前記第１ポンプ導波管の開口数の少なくとも２倍である装置。
【請求項１４】
請求項４から１３のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管の前記ポンプガイド及び前記第１ポンプ結合器の前記第１ポンプ導波管は、それぞれ断面積及び開口数が規定されており、
前記ポンプガイドの断面積とその開口数の２乗の積は、前記第１ポンプ導波管の断面積とその開口数の２乗の積に少なくとも等しい装置。
【請求項１５】
請求項２から１４のいずれか１項に記載の装置であって、前記第２ポンプ結合器は、それぞれ第２ポンプ導波管の列を備える装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の装置であって、前記第２ポンプ導波管は、光ファイバ導波管である装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管はコーティングされたガラス導波管を備える装置。
【請求項１８】
請求項１６又は１７に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は微細構造ファイバを備える装置。
【請求項１９】
請求項１６から１８のいずれか１項に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は円形コア内に光をガイドするように構成されている装置。
【請求項２０】
請求項１６から１８のいずれか１項に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は非円形コア内に光をガイドするように構成されている装置。
【請求項２１】
請求項１５から２０のいずれか１項に記載の装置であって、前記第１ポンプガイドは前記第１ポンプ導波管の開口数と少なくとも等しい開口数を有する装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の装置であって、前記ポンプガイドの前記開口数は、前記第２ポンプ導波管の開口数の少なくとも１．５倍である装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の装置であって、前記ポンプガイドの前記開口数は、前記第２ポンプ導波管の開口数の少なくとも２倍である装置。
【請求項２４】
請求項１５から２３のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプガイドの断面積とその開口数の２乗の積は、前記第２ポンプ導波管の断面積とその開口数の２乗の積に少なくとも等しい装置。
【請求項２５】
請求項１から２４のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管は端面がポンプされる装置。
【請求項２６】
請求項１から２５のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管はコアがポンプされる装置。
【請求項２７】
請求項１から２６のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管はクラッドがポンプされる装置。
【請求項２８】
請求項１から２７のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管は側面がポンプされる装置。
【請求項２９】
請求項１から２８のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管は光ファイバ導波管である装置。
【請求項３０】
請求項１から２９のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管は平坦な導波管である装置。
【請求項３１】
請求項３０に記載の装置であって、前記導波管はガラス導波管である装置。
【請求項３２】
請求項３１に記載の装置であって、前記導波管は結晶導波管である装置。
【請求項３３】
請求項３２に記載の装置であって、前記結晶導波管はイットリウム・アルミニューム・ガーネットを備える装置。
【請求項３４】
請求項１から３３のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管はコアとクラッドを備える装置。
【請求項３５】
請求項３４に記載の装置であって、前記コアは前記ポンプガイドの中心に位置している装置。
【請求項３６】
請求項３４に記載の装置であって、前記コアは前記ポンプガイドの中心からずれている装置。
【請求項３７】
請求項３４から３６のいずれか１項に記載の装置であって、前記導波管は前記クラッドを囲む微細構造の網目を備える装置。
【請求項３８】
請求項３７に記載の光源であって、前記導波管は２つの端面を有し、前記微細構造の網目は前記導波管の端の少なくとも一方にシールされている装置。
【請求項３９】
請求項１から３８のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプガイドは円形の断面を有する装置。
【請求項４０】
請求項１から３９のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプガイドは少なくとも１つの平坦な表面を有する装置。
【請求項４１】
請求項４０に記載の装置であって、前記ポンプガイドは実質的に長方形である装置。
【請求項４２】
請求項４１に記載の装置であって、前記ポンプガイドは少なくとも７対１のアスペクト比を有する装置。
【請求項４３】
請求項４０に記載の装置であって、前記ポンプガイドはＤ形を有する装置。
【請求項４４】
請求項１から４３のいずれか１項に記載の装置であって、前記利得媒体は希土類ドープ剤を備える装置。
【請求項４５】
請求項４４に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は、イッテルビウム、エルビウム、ネオジム、プラセオジム、ツリウム、サマリウム、ホルミウム及びジスプロシウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたエルビウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたネオジムを備えるグループから選択される装置。
【請求項４６】
請求項４４に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は、イッテルビウム、及びイッテルビウムにより吸収される波長で出射を行うポンプ列を備える装置。
【請求項４７】
請求項４４から４６のいずれか１項に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は前記コアに含まれる装置。
【請求項４８】
請求項４４から４６のいずれか１項に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は前記クラッドに含まれる装置。
【請求項４９】
請求項４４から４６のいずれか１項に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は前記コアと前記クラッドの両方に含まれる装置。
【請求項５０】
請求項４４から４６のいずれか１項に記載の装置であって、前記希土類ドープ剤は前記導波管の中心を囲む領域内に設けられる装置。
【請求項５１】
請求項５０に記載の装置であって、前記導波管の中心を囲む前記領域は、前記コアを囲むリングである装置。
【請求項５２】
請求項５１に記載の装置であって、前記リングは１μｍから１０μｍの範囲の厚さを有する装置。
【請求項５３】
請求項１から５２のいずれか１項に記載の装置であって、前記利得媒体は誘発ラマン散乱を備える装置。
【請求項５４】
請求項１から５３のいずれか１項に記載の装置であって、前記利得媒体は誘発ブリユアン散乱を備える装置。
【請求項５５】
請求項１から５４のいずれか１項に記載の装置であって、複数の第１ポンプ結合器及び複数の導波管を備える装置。
【請求項５６】
請求項５５に記載の装置であって、前記導波管は直列に構成されている装置。
【請求項５７】
請求項５５又は５６に記載の装置であって、前記導波管は平行に構成されている装置。
【請求項５８】
請求項５７に記載の装置であって、前記ポンプ放射を空間的に再分配するビーム整形器を備える装置。
【請求項５９】
請求項５７に記載の装置であって、前記導波管は、それから出射された光放射が実質的に共通のスポットに集束されるように構成されている装置。
【請求項６０】
請求項１から５９のいずれか１項に記載の装置であって、フィードバック手段を備える装置。
【請求項６１】
請求項１から６０のいずれか１項に記載の装置であって、入力光放射源を備える装置。
【請求項６２】
請求項１から６１のいずれか１項に記載の装置であって、光スイッチを備える装置。
【請求項６３】
請求項６２に記載の装置であって、前記光スイッチは１００Ｈｚから１００ｋＨｚの範囲内のパルス繰り返し周波数で動作する装置。
【請求項６４】
請求項６３に記載の装置であって、前記パルス繰り返し周波数は５ｋＨｚから１０ｋＨｚの範囲内である装置。
【請求項６５】
請求項１から６４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は単一出射器の列を備える装置。
【請求項６６】
請求項１から６４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は半導体レーザバーを備える装置。
【請求項６７】
請求項１から６４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は半導体レーザの積層（スタック）を備える装置。
【請求項６８】
請求項１から６４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は垂直キャビティ表面放射レーザの列を備える装置。
【請求項６９】
請求項６８に記載の装置であって、前記垂直キャビティ表面放射レーザは共通の基板上にある装置。
【請求項７０】
請求項６９に記載の装置であって、前記垂直キャビティ表面放射レーザは２次元アレイ状に構成されている装置。
【請求項７１】
請求項１から７０のいずれか１項に記載の装置であって、増幅器、レーザ、Ｑスイッチファイバレーザ又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器の形である装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は光放射提供装置に関する。本発明の装置は、例えば、レーザ、Ｑスイッチレーザ、又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器のような各種の形をとり得る。本発明には、材料プロセスに関する応用もある。
【背景技術】
【０００２】
パルスのネオジム・イットリウム・アルミニューム・ガーネット(NdYAG)レーザが、溶接、切断及びマーキングのような産業プロセスで広く使用されている。これらのプロセスでは、レーザにより発生されたプラズマが、入ってくるレーザパルスと干渉しないようにすることを保証するように注意をしなければならない。ＮｄＹＡＧレーザで達成可能な高ピーク出力（パワー）での相対的に低いパルスの繰り返しレート（６ｋＨｚ）は、レーザ加工でのその広い応用を可能にしてきた。
【０００３】
ファイバレーザが、溶接、切断及びマーキングのような材料処理の応用に急激に使用されるようになってきた。それらの利点としては、高効率、強さ及び高ビーム品質がある。例としては、生物的な組織の画像化、加工への応用のためのＱスイッチレーザ、及び高出力ＣＷレーザのような多重光子処理のためのフェムト秒レーザがある。それらの欠点は、ＮｄＹＡＧレーザに比べて相対的にエネルギ蓄積容量が低いことである。このため、高ピーク出力でのパルス繰り返し周波数は、ＮｄＹＡＧレーザに比べて相対的に高い（２０ｋＨｚ）。
【０００４】
多くの応用では、ファイバレーザは、より成熟したダイオード励起固体レーザと競合しなければならない。そのため、より大きな光出力が、高信頼性及び低コストで達成されなければならない。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、上記の問題を低減する光放射を提供する装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の限定されない実施例によれば、光放射を提供する装置であって、ポンプ放射を提供するためのポンプ列と、第１ポンプ結合器と、導波管とを備え、前記ポンプ列からのポンプ放射は、前記第１ポンプ結合器を介して前記導波管に結合され、前記導波管は、前記ポンプ放射をガイドするポンプガイドと、前記ポンプ放射によりポンプされた時に前記光放射を出射する利得媒体とを備える装置が提供される。
【０００７】
この装置は、複数のポンプ列と、複数の第２ポンプ結合器とを備える。各ポンプ列により出射されたポンプ放射は、前記第２ポンプ結合器の異なるものにより一緒に結合される。この装置は、前記ポンプ放射を空間的に再分配するためのビーム整形器を備える。
【０００８】
第１ポンプ結合器は、第１ポンプ導波管の列を備える。第１ポンプ導波管は光ファイバ導波管である。ファイバ導波管はコーティングを有するガラス導波管を備える。光ファイバ導波管は微細構造ファイバを備える。光ファイバ導波管は円形コア内に光をガイドするように構成されている。光ファイバ導波管は非円形コア内に光をガイドするように構成されている。
【０００９】
第１ポンプ導波管は、ポンプガイドと実質的に同一の断面形状を有するように構成されている。
【００１０】
第１ポンプガイドは、第１ポンプ導波管の開口数と少なくとも等しい開口数を有する。ポンプガイドの開口数は、第１ポンプ導波管の開口数の少なくとも１．５倍である。ポンプガイドの開口数は、第１ポンプ導波管の開口数の少なくとも２倍である。
【００１１】
導波管のポンプガイド及び第１ポンプ結合器の前記第１ポンプ導波管は、それぞれ断面積及び開口数が規定されており、ポンプガイドの断面積とその開口数の２乗の積は、第１ポンプ導波管の断面積とその開口数の２乗の積に少なくとも等しい。
【００１２】
第２ポンプ結合器は、それぞれ第２ポンプ導波管の列を備える。第２ポンプ導波管は、光ファイバ導波管である。光ファイバ導波管はコーティングされたガラス導波管を備える。光ファイバ導波管は微細構造ファイバを備える。光ファイバ導波管は円形コア内に光をガイドするように構成されている。光ファイバ導波管は非円形コア内に光をガイドするように構成されている。
【００１３】
第１ポンプガイドは、第１ポンプ導波管の開口数と少なくとも等しい開口数を有する。ポンプガイドの開口数は、第２ポンプ導波管の開口数の少なくとも１．５倍である。ポンプガイドの開口数は、第２ポンプ導波管の開口数の少なくとも２倍である。
【００１４】
ポンプガイドの断面積とその開口数の２乗の積は、第２ポンプ導波管の断面積とその開口数の２乗の積に少なくとも等しい。
【００１５】
導波管は端面がポンプされる。導波管はコアがポンプされる。または、更に導波管はクラッドがポンプされる。または、更に導波管は側面がポンプされる。
【００１６】
導波管は光ファイバ導波管である。
【００１７】
導波管は平坦な導波管である。導波管はガラス導波管である。導波管は結晶導波管である。結晶導波管はイットリウム・アルミニューム・ガーネット（ＹＡＧ）を備える。
【００１８】
導波管はコアとクラッドを備える。コアはポンプガイドの中心に位置している。コアはポンプガイドの中心からずれている。導波管はクラッドを囲む微細構造の網目を備える。導波管は２つの端面を有し、微細構造の網目は導波管の端の少なくとも一方にシールされている。
【００１９】
ポンプガイドは円形の断面を有する。
【００２０】
ポンプガイドは少なくとも１つの平坦な表面を有する。ポンプガイドは実質的に長方形である。ポンプガイドは少なくとも７対１のアスペクト比を有する。ポンプガイドはＤ形を有する。
【００２１】
利得媒体は希土類ドープ剤を備える。希土類ドープ剤は、イッテルビウム、エルビウム、ネオジム、プラセオジム、ツリウム、サマリウム、ホルミウム及びジスプロシウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたエルビウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたネオジムを備えるグループから選択される。
【００２２】
希土類ドープ剤は、イッテルビウム、及びイッテルビウムにより吸収される波長で出射を行うポンプ列を備える。
【００２３】
希土類ドープ剤はコアに含まれる。希土類ドープ剤はクラッドに含まれる。希土類ドープ剤はコアとクラッドの両方に含まれる。
【００２４】
希土類ドープ剤は、導波管の中心を囲む領域内に設けられる。導波管の中心を囲む領域は、コアを囲むリングである。リングは１μｍから１０μｍの範囲の厚さを有する。
【００２５】
利得媒体は誘発ラマン散乱を備える。利得媒体は誘発ブリユアン散乱を備える。
【００２６】
この装置は、複数の第１ポンプ結合器及び複数の導波管を備える。導波管は直列に構成されている。または、更に導波管は平行に構成されている。ポンプ放射を空間的に再分配するビーム整形器を備える。導波管は、それから出射された光放射が実質的に共通のスポットに集束されるように構成されている。
【００２７】
この装置は、フィードバック手段を備える。
【００２８】
この装置は、入力光放射源を備える。
【００２９】
この装置は、光スイッチを備える。光スイッチは１００Ｈｚから１００ｋＨｚの範囲内のパルス繰り返し周波数で動作する。パルス繰り返し周波数は５ｋＨｚから１０ｋＨｚの範囲内である。
【００３０】
ポンプ列は単一出射器の列を備える。
【００３１】
ポンプ列は半導体レーザバーを備える。
【００３２】
ポンプ列は半導体レーザの積層（スタック）を備える。
【００３３】
ポンプ列は垂直キャビティ表面放射レーザの列を備える。垂直キャビティ表面放射レーザは共通の基板上にある。垂直キャビティ表面放射レーザは２次元アレイ状に構成されている。
【００３４】
この装置は、増幅器、レーザ、Ｑスイッチファイバレーザ又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器の形である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３５】
本発明の実施例が付属の図面を参照して、例としてのみ説明される。
【００３６】
図１を参照すると、励起（ポンプ）放射７を提供するためのポンプ列８と、第１ポンプ結合器１と、導波管３とを備える、光放射１０を提供する装置が提供され、ポンプ列８からのポンプ放射７は、第１ポンプ結合器を介して導波管３に結合され、導波管３は、ポンプ放射７をガイドするためのポンプガイド４と、ポンプ放射７により励起された時に光放射１０を出射する利得媒体５とを備える。
【００３７】
図１に示したポンプ列８は、複数のポンプ９を備える。図２に示される装置は、複数のポンプ列８と、複数の第２ポンプ結合器２とを備える。各ポンプ列８から出射されたポンプ放射７は、それぞれ異なる第２ポンプ結合器２により一緒になるように結合される。図示された第１ポンプ結合器１は、第１ポンプ導波管２１の列を備える。第１ポンプ導波管２１は光ファイバ導波管で実現できる。ポンプ放射７は、結合手段２５により、第２ポンプ結合器２と第１ポンプ結合器１の間で結合される。結合手段２５は、レンズ、レンズ列、第１ポンプ導波管２１の端に形成されたレンズ、突合せ継ぎ手接続、又は傾斜（テーパしている）又は非傾斜の融着接続で実現される。
【００３８】
図３は、ガラスコア３１と、コーティング３２とを備える光ファイバ導波管３０を示す。コーティング３２は、ポリマー又はガラスである。光導波管３０の例は、プラスチッククラッドのシリカである。そのようなファイバは、典型的には約７５μｍから１２５μｍの直径のガラスを有するが、５０μｍから２０００μｍの直径も可能である。
【００３９】
図４は、コア４１と、気体クラッド４２と、ジャケット４３とを備える微細構造の形の光ファイバ導波管を示す。気体クラッド４２は、ファイバ４０の長さ方向に同じ形状で、及び／又は回転対称である長手方向に伸びる穴４７を備える。ファイバ４０は、ポリマーのコーティング４４を有する場合もある。コアの直径４５は、１０μｍから５００μｍの範囲である。コア４１はドープされていないか、又は少なくとも１つのドープ領域４９を含むようにできる。開口数は、０．２から０．８の範囲であるか、又は（気体クラッド４２内の固体材料に対する穴の割合を増加させることにより）それ以上にしてもよい。
【００４０】
図５は、非円コア５１と、気体クラッド４２と、シリカジャケット４３とを備える微細構造のファイバ５０の形の光ファイバ導波管を示す。気体ジャケット４２は、細管５５で形成され、長手方向に伸びる穴５４と、細管５５の間の隙間空間内に位置する長手方向に伸びる穴５６とを備える。コア５１は、長さ５９より短い長さ５８を有する。コア５１は、方向５８ではポンプ波長において単一モードであり、方向５９ではポンプ波長において多重モードである。コア５１は、方向５８ではポンプ波長において多重モードであり、方向５９ではポンプ波長において多重モードであってもよい。
【００４１】
ファイバ３０、４０、５０及び６０が、図２に示した第１及び第２ポンプ導波管２１、２２の例である。
【００４２】
図６、７及び８は、円形の導波管６０の配置を示す。円形の導波管は、光ファイバ３０及び／又は４０である。導波管６０は、そのコアから出射される光の集合ビームの品質を最大化するために近接して束ねられているように示されている。他の束ね方を使用することもできる。導波管６０は、融着接続、溶接、半田付け、接着又は一体接着され、好ましくはその端面がレーザへきかい及び／又は研磨されている。
【００４３】
図９は、任意の支持構造内に長方形のガイド領域９１を有する導波管９０の配置を示す。導波管９０は、図５で示したファイバ５０であればよい。図９に示した配置は、領域９１がまばらに詰め込まれているという問題を表している。これは、導波管３内に送り出されるポンプ放射の輝度又は全体的なビームの品質を低下させるという欠点を有する。
【００４４】
この輝度の低下に対する解決策が図１０に示され、そこでは第１ポンプ結合器１と導波管３の間にビーム整形器１００が含まれる。ビーム整形器１００は、各ファイバ５０の端に、ビームをコリメートするためのレンズを備えることができる。もし（ファイバ９０のような）長方形のファイバがファイバ５０の代わりに使用されるならば、各方向でビームをコリメートするためにシリンドリカルレンズを使用できる。ビームは、コリメーションの前に、デッドスペースを満たすように広げられることが好ましい。第１ポンプ結合器１は、図５で示されたファイバ５０を含むように示されるが、この配置ではどのような導波管も使用することができる。ビーム整形器１００は、図９で示された領域９１から出射されるポンプ放射の間の「デッドスペース」の少なくともいくらかを除去し、それによりビーム整形器１００により出射される光の全体的な輝度を増加させる。ビーム整形器及び輝度変換器は、米国特許第5,825,551号及び第5,887,096号、及びＰＣＴ出願WO01/27686及びWO96/02013号に記載されており、それらはここで参照される。図１０に示した配置は、レーザダイオードによるポンプ放射から、小さなコアで高開口数の（ファイバ４０、５０のような）ファイバにできる限りポンプパワーを結合して大きな輝度を保持するのに特に効果的である。ファイバ４０、５０は、それぞれレーザダイオードに結合されるか、１つ以上のレーザダイオードからの光を各ファイバ４０、５０に結合するための光学系を設けることができる。好ましくは、（ファイバ５０のような）長方形のコアのファイバが、端面放射の半導体レーザに使用することができる。このような高出力レーザダイオードは、一方向は単一モードであるが、他の方向はマルチモードであることが多く、このビームは、単一モード方向は幅５９より小さい幅５８に結合されるように設計された（ファイバ５０のような）長方形のコアに結合できる。長方形のコアのファイバは、レーザダイオードからの輝度が実質的に劣化しないように、モード数及びモード次数を実質的に維持するように構成されていることが望ましい。これにより、例えば、長方形のコアのファイバは、一方向では単一モード化（又は低モード化）され、他の方向では多（マルチ）モード化されることができる。同様に、（ファイバ４０のような）円形コアのファイバは、（垂直キャビティ表面放射レーザのような）実質的に対称に出射する半導体レーザダイオードに使用可能である。レーザダイオードにより出射される光からできるだけ輝度を保持する性能は、高出力（平均出力で１Ｗから数ｋＷ）の応用に重要であり、（例えばコアポンピングにより）導波管３の長さをできるだけ短くする高ピーク出力パルス化レーザ応用では特に重要である。
【００４５】
図２を参照すると、ビーム整形器１００は、第１と第２ポンプ結合器１、２の間、及び／又は第１ポンプ結合器１と導波管３の間に配置される。
【００４６】
図２を参照すると、第１ポンプ導波管２１の列は、端２９の断面形状がポンプガイド４の端２３の断面形状と同じである。同様に、第２ポンプ導波管２２の列は、端２８の断面形状がポンプガイド２１の端２４の断面形状と同じである。
【００４７】
ポンプガイド４の開口数は、第１ポンプ導波管２１の開口数と少なくとも等しい。ポンプガイド４の開口数は、第１ポンプ導波管２１の開口数の少なくとも１．５倍であってもよい。更に、ポンプガイド４の開口数は、第１ポンプ導波管２１の開口数の少なくとも２倍であってもよい。構造に沿って光が伝播する導波管の開口数が増加することは、より小さい直径の導波管の使用を可能にするので、高出力のレーザ及び増幅器に有利である。
【００４８】
特に、ポンプガイド４の断面積とその（端２３における）開口数の２乗の積は、少なくとも第１ポンプ導波管２１の断面積とその開口数の２乗の積の合計に等しいことが望ましい。断面積は、ポンプ放射７がガイドされる断面積を意味する。図３のように、断面積はガラスコア３１の断面積である。そして図４及び図５で、断面積はコア４１と５１の断面積である。
【００４９】
図２に示した第２ポンプ結合器２の設計の思想は、図２及び図１０に示した第１ポンプ結合器１と類似している。図２を参照すると、第２ポンプ結合器２は端２９を有する第２ポンプ導波管２２を備える。第２ポンプ導波管２２は、図３から図４を参照して示されるように、光ファイバ導波管である。
【００５０】
ポンプガイド４の開口数は、少なくとも第２ポンプ導波管２の開口数に等しい。ポンプガイド４の開口数は、第２ポンプ導波管２２の開口数の少なくとも１．５倍である。ポンプガイド４の開口数は、第２ポンプ導波管２２の開口数の少なくとも１．５倍である。
【００５１】
ポンプガイド４の断面積とその開口数の２乗の積は、少なくとも第２ポンプ導波管２２の断面積とその開口数の２乗の積の合計に等しいことが望ましい。
【００５２】
第１ポンプ導波管２１の開口数は、第２ポンプ導波管２２の開口数と同じである。
【００５３】
導波管３は、（図１、図２及び図１０に示されるように）端でポンプされる。
【００５４】
図１１は、側面と端面の両方でポンプされる導波管３を示す。側面のポンピングは、導波管であるか又は自由空間光学系を備えるポート１１０を使用して実現される。この装置は、導波管３から逃げる光の少なくともいくらかを導波管３に戻すように反射する反射手段１１１を有する。反射手段１１１は、反射器、再帰反射器、ミラー、又は金属表面である。反射手段１１１は、導波管３の表面上に位置するか、又は導波管３に切った溝の表面上に位置する。側面ポンピングは、複数のポート１１０を通して、導波管に沿ってポンプエネルギを分配するのに有用である。
【００５５】
端面及び側面ポンピング技術は、米国特許第4,674,830号、第4,938,556号及び第4,553,238号、ＰＣＴ出願WO96/20519及び欧州特許出願第0893862号に記載されており、それらはここで参照される。技術は、（ポンプエネルギを導波管のコアに結合し、コアによるガイドされる）コアポンピング、及び／又は（ポンプエネルギを導波管のクラッドに結合し、クラッドによるガイドされる）クラッドポンピングを有する。
【００５６】
導波管３は、光ファイバ導波管である。
【００５７】
導波管３は、平面導波管である。平面導波管は、ガラス導波管である。平面導波管は、結晶導波管である。結晶導波管はＹＡＧを備える。
【００５８】
導波管３は、コア及びクラッドを備える光ファイバ導波管である。ポンプガイド４は、コア及び／又はクラッドであるか、又はすべて又は一部がコアで及び／又はすべて又は一部がクラッドで形成される。
【００５９】
図１２は、コア１２１及びクラッド１２２を備える光ファイバ１２０を示す。コア１２１は、クラッド１２２の中心に配置されている。ファイバ１２０は、希土類のドープ１２３を備え、ドープ１２３はコア内及び／又はクラッド１２２内に配置されている。ファイバ１２０は、モード結合を補助し且つクラッドポンプ導波管における効率を高める抑制された屈折率の領域１２４も有する。すなわち、抑制領域１２４は、クラッド１２２内を伝播するモードのポンプ放射を、クラッド１２２内を伝播する他のモードに結合する。領域２４は、非対称の温度歪をコア１２１を横切って印加するように設計された歪ロッドであり、それにより複屈折が低下する。
【００６０】
図１３は、平坦な表面１３６と、クラッド１２２より小さな屈折率のポリマーコート１３５とを備える光ファイバ１３０を示す。平坦な表面１３６は、クラッドモードのコアモードとの相互作用を改善する。
【００６１】
図１４は、複数の平坦な表面１３６を備える光ファイバ１４０を示す。ファイバ１４０は、付加的なクラッド１４１を有するように示してある。クラッド１４１は、クラッド１２２より小さいか又は等しい屈折率を有する。クラッド１４１は、感光性であり、コアは希土類ドープ剤１２３を含む。又はさらに、クラッド１４１は希土類のドープ剤１２３を含み、コア１２１は感光性である。感光性と希土類ドープ剤の領域の分離は、例えばエルビウム・イッテルビウムのドーピングを使用して、光学的な利得を提供するように同一のファイバに書き込まれたファイバブラッグ格子を有する応用で重要である。
【００６２】
図１５は、第１コア１５１と第２コア１５２とを備えるファイバ１５０を示す。この配置は、利得を提供する（そしてそのために希土類ドープ剤１２３がドープされた）コア１５２を、ガイドを提供するコア１５１から分離するのに有用である。
【００６３】
図１６は、コア１２１に近接する希土類ドープ剤を含む領域１６１を備えるファイバ１６０を示す。図示の構成では、領域１６１は、リングの形である。リングは１から１０μｍの範囲の厚さを有する。この構成は、（図１２に示すような）コア内に希土類ドープ剤が含まれるファイバにおけるより、リングドープされたファイバにおいてより多くの光エネルギを保持できることが多いので、重要である。
【００６４】
図１７は、図４を参照して示したファイバ４０に類似しているが、コア１２１を有するファイバ１７０を示す。ファイバ１７０は、任意に付加されるクラッド１７１、１７２を有しても、希土類ドープ剤でリング状に又はコアがドープされていてもよい。ファイバ１７０は、コア５１がポンプ放射をガイドできる（すなわち、コア５１がポンプガイド４として働く）という利点を有する。（円形の）コアのサイズを小さくすると、より短い装置にすることができ、非線形効果の対応する減少をもたらす。ポンプガイド４は、実質的に長方形である。ポンプガイド４は、その短軸に沿って単一モードであり、その長軸に沿ってマルチモードである。コア５１は、少なくとも７対１のアスペクト比を有する。高出力装置では、気体クラッド４２が薄く、例えば５から５０μｍの範囲であることが望ましい。気体クラッド４２は、クラッド５１を囲む微細構造の網目を備える。気体クラッド５１は、ファイバ１７０の２つの端の少なくとも１つでシールされていることが望ましい。
【００６５】
ファイバ１２０、１３０、１４０、１５０、１６０及び１７０には、各種の設計の特徴がある。これらのファイバの１つにおける設計の特徴は、他のファイバでも使用することができ、これらのファイバは導波管３の例を形成する。これらの導波管３のコア１２１は、従来のステップインデックスコア、又はより複雑な設計であってもよく、例えば、ここで参照される米国特許第6614975号に記載されたような大モード面積導波管であってもよい。導波管３の他の例は、いわゆる穴だらけの又は微細構造のファイバを含む。
【００６６】
利得媒体５は、図１２から図１７を参照して説明される希土類ドープ剤１２３を備える。希土類ドープ剤１２３は、イッテルビウム、エルビウム、ネオジム、プラセオジム、ツリウム、サマリウム、ホルミウム及びジスプロシウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたエルビウム、又はイッテルビウムを一緒にドープしたネオジム、又は遷移金属又は半導体をドープしたものを備えるグループから選択された希土類ドープ剤を備える。
【００６７】
希土類ドープ剤１２３はイッテルビウムを備え、そしてポンプ列８は、イッテルビウムにより吸収される波長で発光する。
【００６８】
利得媒体５は、誘発ラマン散乱を備える。利得媒体５は、誘発ブリユアン散乱を備える。
【００６９】
図１８は、フィードバック手段１８１、１８２を備えるレーザ１８０の形の装置を示す。フィードバック手段１８１は、ダイクロイックミラーである。フィードバック手段１８２は、導波管３の端面からの端面反射である。フィードバック手段１８１、１８２のいずれかは、反射器、ファイバブラッグ格子、格子を有し、導波管３からの出力を導波管３にフィードバックする他の手段を使用できる。装置はスイッチ１８２を有し、装置はＱスイッチレーザの形であることも任意に可能である。光スイッチ１８２は、１００Ｈｚから１００ｋＨｚの範囲のパルス繰り返し周波数で動作される。パルス繰り返し周波数は、５ｋＨｚから１０ｋＨｚの範囲であってもよい。
【００７０】
装置は、図１９に示す複数の第１ポンプ結合器１と複数の導波管３とを備え、図１９は導波管３により出射された光学的な放射１０の集合輝度を増加させるための（図３を参照して説明したもののような）任意に設けられるビーム整形器１００も示している。または、更に導波管３は光放射１０が実質的に共通のスポットに集束されるように構成されている。これは、例えば、導波管３の出力における適切なコリメータレンズ１９１及びビームを集束する第２集束レンズ１９２により実現される。導波管３は、互いに非平行であるのが適当である。この配置は、（レーザ溶接又はレーザ可能のような）材料処理の応用で特に有用である。
【００７１】
図１９は、平行に構成された導波管３を示す。または、更に導波管３は、前の導波管３からの出力が次の導波管３により増幅されるように直列に構成されてもよい。
【００７２】
図２０は、マスタ・オシレータ・パワー増幅器（ＭＯＰＡ）２００の形の装置を示す。オシレータ２０３からのレーザ出射は、光プリアンプ２０４により増幅され、第１ビーム結合器１により導波管２０２に送信される。オシレータ２０３は、分配フィードバックレーザ、レーザダイオード、分配フィードバックファイバレーザ、パルスレーザ、フェムト秒レーザ、ピコ秒レーザ、又はＱスイッチレーザである。オシレータ２０３は、直接変調できる又は利得切り替えできるレーザダイオードである。これは、溶接、穴あけ及び切断のような材料処理の応用で重要な各種のパルス形状及び期間を達成できるため、効果が大きい。オシレータ２０３の適当なパルス繰り返し周波数は、１００Ｈｚから１ＭＨｚの範囲内であり、特に１０ｋＨｚから２５０ｋＨｚが多くの材料処理で好ましい。これらの周波数範囲では、レーザダイオードにより出射されるピーク出力は、（電話通信のような）多くの高周波数の応用で出射されるピーク出力よりはるかに高くでき、レーザダイオードの破損限界は、レーザダイオードからの平均出力である。レーザダイオードから達成できる適当かピーク出力は５０ｍＷから１０Ｗである。
【００７３】
ポンプ列８からのポンプ放射７は、第１及び第２ビーム結合器１、２を介して、導波管２０２に導かれる。任意に、ＭＯＰＡ２００は、マルチモードポンプ放射７を単一モードポンプ放射２０５に変換する導波管２０１を備える。例えば、導波管２０１は、イッテルビウムがリング状にドープされたファイバ１３０を備える。イッテルビウムが９１５ｎｍのレーザダイオードでポンプされる時、それは９８０ｎｍのレーザ放射を出射し、レーザ放射は１０４０ｎｍから１１４０ｎｍの波長範囲で導波管２０２内にドープされたイッテルビウムイオンをポンプするのに使用できる。又は、導波管２０１は、１０４０ｎｍから１１４０ｎｍの波長範囲のレーザ放射を出射し、これが導波管２０２内でのラマン又はブリユアン増幅のためのポンプ源を提供するように使用できる。
【００７４】
前の図に示したポンプ列８は、単一出射器、半導体レーザ、半導体レーザの積層（スタック）の列、又は垂直キャビティ表面放射レーザの列を備える。垂直キャビティ表面放射レーザは、共通の基板上にある。垂直キャビティ表面放射レーザは２次元アレイ上に構成される。本発明は、ポンプ列８により出射される全ポンプ出力が１０Ｗから１０ｋＷの範囲内である特別な応用を有し、そして全ポンプ出力が１００Ｗから１０ｋＷの範囲内である時に特に重要である。
【００７５】
図２１は、コリメータレンズ２１９の列と回折多重開口ビームインテグレータ２１０とを備える結合手段２５の例を示す。インテグレータ２１０は、（レンズ要素の列又は個別レンズの列の）レンズ列２１１と、主集束要素２１２とを備える。この利点は、個別の第１ポンプ導波管２１からのポンプ放射が共通の平面２１３の複数の点２１４に集束されることであるが、ポンプ放射７は、あたかもレンズの列２１１が無いように、ポンプガイド４の同一の開口数を実質的に満たせるようにできる。この配置は、（ｉ）もしすべてのビームが同一点に集束されたら生じる気体のイオン化に起因する問題を避けることができるため、（ii）導波管３の端面２３上でのポンプ放射７のピーク強度を少し小さくでき、それにより光損傷閾値がより大きくなるため、（iii ）配置が導波管２１、３及びレンズ２１１、２１２、２１９の（例えば、熱効果、振動、又は経時変化に起因する）縦方向及び横方向の配置ずれに対してより影響されにくいため、有利である。コリメータレンズ２１９とレンズ２１１の両方の組み合わせは、単一のレンズ列２１１が複雑な機能を提供するのに使用できるので、厳密には要求されない。
【００７６】
図２２は、コア２２５と、第１、第２及び第３クラッド２２１、２２２、２２３とを備える３重クラッドファイバ２２０を示す。好適な実施例では、第１及び第２クラッド２２１、２２２は、ガラスクラッドであり、第３クラッド２２３はポリマークラッドである。第１クラッド２２１はシリカクラッドであり、第２クラッド２２２は、（より高い屈折率を有する）シリカに対して０．２２の開口数を有するHereaus Tenevoにより作られたFluorosilicate SWS1.4のようなフッ化ケイ素である。第３クラッド２２３は、フッ素添加アクリルポリマーのような紫外線硬化ポリマーである。フッ素添加アクリルポリマーの例は、Luvantix Efiron PC-375及びDSM Resins 5D1-63であり、これらはシリカより低い約０．４５の開口数を有する。コア２２５は、単一モードコア又はマルチモードコアである。３重クラッドファイバ２２０は、第１クラッド２２１によりガイドされる出力の高い出力操作性を有する。これは、第２クラッド２２２の開口数より高い開口数を有する第１クラッド２２１に沿って伝播する高角度の光線のみが第３クラッド２２３を見るためである。３重クラッドファイバ２２０で使用される３重クラッド設計は、その出力操作性を高めるために明細書で説明したいずれのファイバにも組み込むことができ、それらのファイバには、第１及び第２ポンプ導波管２１、２２及び図３から図５及び図１２から図１７に示したファイバが含まれる。例えば、図５において、毛細管５５及びシリカジャケット４３はフッ化ケイ素から作ることができ、シリカジャケット４３は紫外線硬化ポリマーでコートすることができる。このような設計は、非円形のコア５１の開口数を増加する。
【００７７】
図２３は、レーザ２３０の形の装置を示す。ポンプモジュール２３１は、ポンプ放射７（図示せず）を送信ケーブル２３２内に出射し、それは少なくとも１つの導波管３をポンプするのに使用される。レーザ２３０は、光スイッチ２３３を備え、ポンプ放射７はレンズ２３４により出力が集束される異なる導波管３に向けることができる。送信ケーブル２３２は、１ｍと１ｋｍの間の長さの少なくとも１つの光ファイバを備える。光ファイバは第１又は第２ポンプ導波管２１、２２であるか、又はポンプパワーを導波管３に伝送する付加的なファイバである。図２３に示した配置は、光ファイバを通してより高い輝度のレーザ信号より長い距離でポンプ放射７を送信可能であるため、より高い（１Ｗから１００Ｗ又はそれ以上の）パワーのレーザで特に有用である。これは、ラマン散乱のような非線形プロセス及び損傷効果が高パワー、高輝度レーザ放射の送信距離を制限するためである。この配置は、ポンプモジュール２３１を位置させる配置を容易にするため特に有効であり、それはレーザ加工機の近くの能動的な媒体（すなわち導波管３）を有する工場内で容易に提供できるようになる。ポンプモジュール２３１は、図１、２、１０、１１、１８、１９、２０及び２１で示した配置から導波管３を除いた構成を備える。
【００７８】
この装置は、増幅器、レーザ、Ｑスイッチファイバレーザ又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器の形である。
【００７９】
付属の図面を参照して上記で説明した本発明の実施例は例としてのみ示されたもので、変形例や付加的な要素が性能を向上させるために設けることが適当である。更に、本発明はレーザ、Ｑスイッチレーザ、又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器であると考えることができる。
【００８０】
本発明は、上記の特徴のみ又はそれらを組み合わせるように広げることができる。
【図面の簡単な説明】
【００８１】
【図１】図１は、本発明の光放射を提供する装置を示す。
【図２】図２は、第２ビーム結合器を備える装置を示す。
【図３】図３は、光ファイバの例を示す。
【図４】図４は、光ファイバの例を示す。
【図５】図５は、光ファイバの例を示す。
【図６】図６は、光ファイバ配置の例を示す。
【図７】図７は、光ファイバ配置の例を示す。
【図８】図８は、光ファイバ配置の例を示す。
【図９】図９は、光ファイバ配置の例を示す。
【図１０】図１０は、光スイッチを備えるＱスイッチレーザの形の装置を示す。
【図１１】図１１は、導波管が横から励起される装置を示す。
【図１２】図１２は、導波管の例を示す。
【図１３】図１３は、導波管の例を示す。
【図１４】図１４は、導波管の例を示す。
【図１５】図１５は、導波管の例を示す。
【図１６】図１６は、導波管の例を示す。
【図１７】図１７は、導波管の例を示す。
【図１８】図１８は、レーザの形の装置を示す。
【図１９】図１９は、平行導波管を備える装置を示す。
【図２０】図２０は、マスタオシレータパワー増幅器の形の装置を示す。
【図２１】図２１は、回折多重アパーチャビーム結合器の形の結合手段を示す。
【図２２】図２２は、３重クラッドファイバを示す。
【図２３】図２３は、送信ケーブルを備えるレーザの形の装置を示す。
【図１】
2006517058.tif 000003
【図２】
2006517058.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
2006517058.tif 000019
【図１８】
2006517058.tif 000020
【図１９】
2006517058.tif 000021
【図２０】
2006517058.tif 000022
【図２１】
2006517058.tif 000023
【図２２】
2006517058.tif 000024
【図２３】
2006517058.tif 000025
【手続補正書】
【提出日】平成17年10月6日(2005.10.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光放射を提供する装置であって、
ポンプ放射を提供するためのポンプ列と、
第１ポンプ結合器と、
導波管とを備え、
前記ポンプ列からのポンプ放射は、前記第１ポンプ結合器を介して前記導波管に結合され、
前記導波管は、前記ポンプ放射をガイドするポンプガイドと、前記ポンプ放射によりポンプされた時に前記光放射を出射する利得媒体とを備える装置。
【請求項２】
請求項１に記載の装置であって、
複数のポンプ列と、複数の第２ポンプ結合器とを備え、
各ポンプ列により出射されたポンプ放射は、異なる前記第２ポンプ結合器により一緒に結合される装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の装置であって、
ポンプ放射を前記導波管に向かわせる送信ケーブルを有する装置。
【請求項４】
請求項３に記載の装置であって、
前記送信ケーブルは、１ｍと１ｋｍの間の長さを有する装置。
【請求項５】
請求項３又は４に記載の装置であって、
前記ポンプ列は、工場内で容易に使用できる位置に配置されている装置。
【請求項６】
請求項３から５のいずれか１項に記載の装置であって、
複数の導波管と、前記ポンプ放射を異なる前記導波管に向かわせる光スイッチとを有する装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ放射を空間的に再分配するためのビーム整形器を備える装置。
【請求項８】
請求項１から７のいずれか１項に記載の装置であって、前記第１ポンプ結合器は、第１ポンプ導波管の列を備える装置。
【請求項９】
請求項８に記載の装置であって、前記第１ポンプ導波管は光ファイバ導波管である装置。
【請求項１０】
請求項９に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は非円形コアを有する装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の装置であって、前記ポンプ列は、第１の方向には単一モードで、第２の方向にはマルチモードである少なくとも１つのレーザダイオードを備え、前記光ファイバ導波管は、前記第１の方向には低モードで、前記第２の方向にはマルチモードである装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は前記第１の方向には単一モードである装置。
【請求項１３】
請求項２から１２のいずれか１項に記載の装置であって、前記第２ポンプ結合器は、第２ポンプ導波管の列を備える装置。
【請求項１４】
請求項１３に記載の装置であって、前記第２ポンプ導波管は、光ファイバ導波管である装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は非円形コアを有する装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の装置であって、前記ポンプ列は、第１の方向には単一モードで、第２の方向にはマルチモードである少なくとも１つのレーザダイオードを備え、前記光ファイバ導波管は、前記第１の方向には低モードで、前記第２の方向にはマルチモードである装置。
【請求項１７】
請求項１６に記載の装置であって、前記光ファイバ導波管は前記第１の方向には単一モードである装置。
【請求項１８】
請求項１から１７のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ導波管は少なくとも平坦な表面を有する装置。
【請求項１９】
請求項１から１８のいずれか１項に記載の装置であって、前記利得媒体は、イッテルビウム、エルビウム、ネオジム、プラセオジム、ツリウム、サマリウム、ホルミウム及びジスプロシウムを備えるグループから選択される少なくとも１つの希土類ドープ剤を備える装置。
【請求項２０】
請求項１から１９のいずれか１項に記載の装置であって、複数の第１ポンプ結合器及び複数の導波管を備える装置。
【請求項２１】
請求項１から２０のいずれか１項に記載の装置であって、入力光放射源を備える装置。
【請求項２２】
請求項１から２１のいずれか１項に記載の装置であって、光スイッチを備える装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の装置であって、前記光スイッチは１００Ｈｚから１００ｋＨｚの範囲内のパルス繰り返し周波数で動作する装置。
【請求項２４】
請求項２３に記載の装置であって、前記パルス繰り返し周波数は５ｋＨｚから１０ｋＨｚの範囲内である装置。
【請求項２５】
請求項１から２４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は単一出射器の列を備える装置。
【請求項２６】
請求項１から２４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は半導体レーザバーを備える装置。
【請求項２７】
請求項１から２４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は半導体レーザの積層（スタック）を備える装置。
【請求項２８】
請求項１から２４のいずれか１項に記載の装置であって、前記ポンプ列は垂直キャビティ表面放射レーザの列を備える装置。
【請求項２９】
請求項１から２８のいずれか１項に記載の装置であって、増幅器、レーザ、Ｑスイッチファイバレーザ又はマスタ・オシレータ・パワー増幅器の形である装置。
【国際調査報告】
2006517058.tif 000026
2006517058.tif 000027
2006517058.tif 000028
2006517058.tif 000029
2006517058.tif 000030