(57)【要約】本発明は、色収差無発生型且つ吸収低減型の光収集システム、特に光学的分光分析に適合させた同システムに関する。このシステムは、少なくとも１つの光源（５２）によって放射される光を収集し、この収集された光を少なくとも１つの光検出装置（５４）上に集束する。このシステムは、望ましくは、光源によって放射される光を収集し、この収集された光を第２のミラー（６０）上に集束する第１のミラー（５８）を備える。次いでこの第２のミラーは、この集束された光を光検出装置上に集束する。このシステムは、全ての光、特に紫外線放射光に対して透明なチャンバを備え、このチャンバ内に光源、光検出装置とミラー、並びにこのチャンバ内に真空を生成するか、又はこのチャンバ内に紫外線放射光に対して透明であるガスを充填する手段（１１８）が設置される。
2006502399.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの光源(５２、６８、８２、９４、１０２)によって放射された光を収集し、該収集された光を少なくとも１つの光検出装置（５４、７０、８４、９６、１０６）上に集束する光収集システム（５０、６６、８０）であって、
少なくとも２つのミラー、すなわち第１のミラーと第２のミラーを備え、該第１のミラー（５８、７４、８８）は該光源によって放射された光を収集すること及び該収集された光を該第２のミラー上に集束することが可能であり、該第２のミラー（６０、７６、９０）は該第１のミラーから受けた光を光検出装置上に集束することが可能であり、システムは増幅型且つ色収差無発生型であり、且つ低吸収型、特に紫外線について低吸収型であることと、
このシステムには、
−  全ての光、特に紫外線放射光に対して透明なチャンバであって、内部に前記光源、前記光検出装置、並びに前記第１及び第２のミラーが配置されるチャンバ、並びに
−  前記チャンバ内に真空を生成するか、又はチャンバ内に紫外線放射光に対して透明なガスを充填する手段が設けられていること
とを特徴とする光収集システム。
【請求項２】
第１及び第２のミラー（５８、６０；７４、７６）が同一の軸（Ｘ１、Ｘ２）を有し、この同一の軸は該システムの光軸を形成し、第１及び第２のミラーのそれぞれの焦点（Ｆ１、Ｆ２；Ｆ３、Ｆ４）は該光軸上に位置する、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
第１及び第２のミラーのそれぞれの焦点（Ｆ１、Ｆ２；Ｆ３、Ｆ４）が一致する、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
第１及び第２のミラーの該それぞれの焦点（Ｆ１、Ｆ２；Ｆ３、Ｆ４）が別個である、請求項２に記載のシステム。
【請求項５】
第１のミラーが中央穿孔部(６４、８０)を有することで、第２のミラーによって集束された光が該光検出装置へ向けて通過することが可能となる、請求項２ないし４のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項６】
第１及び第２のミラー（８８、９０）が互いに対してオフセットされ、少なくとも第１及び第２のミラーのうちの１つが軸から外れている、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
該第１及び第２のミラー（５８、７４、８８；６０、７６、９０）の各々が、球面ミラー、放物面ミラー、及び楕円面ミラーの中から選択される、請求項１ないし６のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項８】
第１及び第２のミラー（５８、７４、８８；６０、７６、９０）の各々が、金属性又は化学性の堆積物によって覆われる、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項９】
光検出装置が、入口スリット（５６、７２、８６、１１０）を有し、第２のミラーが、第１のミラーから受けた光を該入口スリット上に集束するように設計される、請求項１ないし８のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１０】
光検出装置が、入口スリットを有する光学的分光分析装置（９６）であり、第２のミラーが、第１のミラーから受けた光を該入口スリット上に集束するように設計される、請求項１ないし８のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１１】
光源によって放射された光が１つ以上の紫外線成分を含む、請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の光収集システム。
【請求項１２】
光源が発光放電灯である、請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の光収集システム。
【発明の詳細な説明】
【発明の開示】
【０００１】
技術分野
本発明は、光収集システムに関するものであり、特に光学的分光分析に適用可能である。
更に詳しくは、本発明は、光路領域における、異なる技術特性を有するミラーの組み合わせに関する。
これらのミラーは、光源からの光を収集してその光を光検出装置に送る光学システムを形成する特定システムにおいて相互に関連付けられ、この光検出装置は、少なくとも光学的分光分析の分野において、及び場合によっては他の光学的適用分野において使用可能である。
図１に、光源４と光検出システム６との間に設置した光収集システム２を概略的に示す。光検出装置６には、そこを貫通する光入口スリット８がある。光路を符号１０で示す。
【０００２】
背景技術
現今用いられている光収集システムは、
−  入射光の性質、即ち入射光を構成する放射光の波長、
−  光源と光検出装置との間の距離、及び
−  光源及び光検出装置の寸法及び形状
に依存している。
大きさが数ｍｍから数１０ｍｍであり、光検出装置からの距離が数ｍｍから幾１０ｃｍである多色光源に適合させた光学システムが種々存在する。
例えば、入口スリットと称する長さ数ｍｍ、幅数μｍの小さなスリットを通してのみ光が光検出装置を貫通できるような光検出装置に対しては、既存の光伝送及び収集システムは、平行面、或いは平凸又は両凸収束レンズを有する１つのプレート、及び、２つの平凸集束レンズの組のいずれか一方から構成される。
【０００３】
図２に、平行面を有する１つのプレート１４から構成される光伝送システムの場合の光路２２を示す。符号１６，１８，２０，２２及び２３はそれぞれ、光源、光検出装置、光検出装置の光入口スリット、光路、及び光検出装置に入る光ビームを示す。
図３に、両凸集束レンズ２６から構成される光収集システムの場合の光路２４を示す。
図４に、２つの平凸集束レンズ３０，３２からなる組から構成される光収集システムの場合の光路２８を示す。
【０００４】
図２のシステムは、光を集束せずに、つまり光束を増幅せずに光を伝送する。図３及び図４のシステムは、光を集束する前に、換言すれば光束を増幅することによって光を光検出装置１８の入口スリット２０上に集中する前に、光源１６からの光の最大量を収集する。光収集システムの光検出装置からの距離が光源からの距離よりも長い場合、システムにレンズのセット(図４)を用いることにより、２つのレンズ３０及び３２の間でほぼ平行な光ビームによる光伝送が可能になり、したがって入口スリット２０上への光の集束が不十分になる危険を最小にできる。
【０００５】
図３及び図４の光収集システムは光束を増幅するが、次のような欠点がある。
１）これらの光収集システムは光の伝送を最適化しない。光学要素（平行面を有するプレート又はレンズ）が放射光を、放射光の波長に応じて吸収する。
この吸収は、場合によっては無視できる程度であり、特に可視光が例えばフッ化マグネシウムレンズを通過する場合には無視できる。この吸収は遠紫外線（２００ｎｍ未満の波長に対応）の放射光で大きくなることが多い。
例えば、波長１２０ｎｍの放射光の場合、厚さ１．４ｍｍのフッ化マグネシウムレンズによって入射光束の約８０％が吸収される。同様に、８００ｎｍよりも高い波長(赤外線の範囲)でも吸収が大きい。
【０００６】
２）図３及び図４の光収集システムは、多色光を構成している異なる波長の放射光の全てを１点に集束することができない。その理由は、色収差、詳しくは長手方向の色収差が存在するからである。この色収差の結果、集束点が放射光の波長の関数として光軸に沿って分散してしまう。
この現象は、光収集システムを構成する材料の屈折率が入射光の波長の関数として変化することによる。フッ化マグネシウム製のレンズ３４を通過する多色光についての長手方向の色収差の形成を例えば図５に示す。
【０００７】
図５において、符号３６は多色の入射光を表し、符号３８は波長の最も短い光の集束点を表し、符号４０は波長の最も長い光の集束点を表し、符号４２は光検出装置を表し、符号４４はこの光検出装置の入口スリットを表し、符号４６は最短波長光の像点を表し、そして符号４８は最長波長光の像点を表す。
図５は、結果として入口スリットに生じる部分的閉鎖を示す。
波長に応じて集束点が異なる位置に生じるというこの問題は、観測波長の範囲が広い場合に特に重大で、波長の関数としての光検出装置の感度に差異を誘発する。
【０００８】
一例として、波長の異なる２つの放射光の場合、光軸上の一定の位置における光束は、各波長に対して異なる。２つの波長のうちの一方の波長の集束点上に入口スリットが位置する場合、光束が最大になるが、他方の波長に対しては必然的に小さくなる。
つまり、集束レンズからなる既知の光収集システムは、光束増幅の必要性を部分的には満足するが、この増幅を多色光の全ての波長について同時に最大化することができない。
【０００９】
これは第一には、レンズの材料に起因する時に大きな光の吸収が原因であり、第二には長手方向の色収差（光軸上で光束が最大になる位置の差異）が原因である。
１つ以上の多色光源、特にスペクトルが１つ以上の紫外線成分を含むような１つ以上の光源を検討することも必要である。更に、このような光源から放射された光をこの光が収集され光検出装置上に集束された後に検出することも必要である。
しかし、既知の光収集システムは、光源から光検出装置までのその光路上での紫外線放射光の吸収を最小にし、同時に光束を一点で色収差発生なしに増幅し且つ検討中の光源以外の光源からの紫外線が光検出装置に受光されることを防止するような手段を備えていない。
【００１０】
本発明の目的は、上記の欠点を補正することである。
この目的は、光吸収の問題及び色収差の問題を解決し、同時に１つ以上の光源と１つ以上の光検出装置との間で(全ての性質及び波長の)光束を増幅する必要性を満足するような光学システムを提供することである。
【００１１】
具体的には、本発明が目的とする光収集システムは、少なくとも１つの光源によって放射された光を収集し、該収集された光を少なくとも１つの光検出装置上に集束するシステムであって、
少なくとも２つのミラー、すなわち第１のミラーと第２のミラーを備え、
第１のミラーは光源によって放射された光を収集すること及び収集された光を第２のミラー上に集束することが可能であり、第２のミラーは第１のミラーから受けた光を光検出装置上に集束することが可能であり、このシステムが増幅型且つ収差無発生型であり、そして低吸収型(吸収低減型)、特に紫外線について低吸収型であることと、
このシステムには、
−  全ての光、特に紫外線放射光に対して透明であって、内部に光源、光検出装置、及び前記ミラーが配置されるようなチャンバ、及び
−  このチャンバ内に真空を生成するか、又はこのチャンバ内に紫外線放射光に対して透明であるガスを充填する手段
が設けられていることとを特徴とする光収集システムである。
光検出装置は入口スリットを備えても備えなくてもよい。
【００１２】
本発明によるシステムの第１の特定実施形態によれば、第１及び第２のミラーが同一の軸を有し、この軸はこのシステムの光軸を形成し、第１及び第２のミラーのそれぞれの焦点はこの光軸上に位置する。
第１及び第２のミラーのこれらそれぞれの焦点は一致してもよいし、別個であってもよい。
この第１の特定実施形態の場合、第１のミラーに中央穿孔部を設け、これによって第２のミラーによって集束された光が光検出装置へ向けて通過することを可能にできる。
【００１３】
第２の特定実施例によれば、第１及び第２のミラーが互いに対してオフセットされ、少なくとも第１及び第２のミラーのうちの１つが軸から外れている。
第１及び第２のミラーの各々は、球面ミラー、放物面ミラー、及び楕円面ミラーの中から選択できる。
第１及び第２のミラーの各々を、金属性又は化学性の堆積物によって覆ってもよい。
【００１４】
本光検出装置は入口スリットを有することができ、この場合第２のミラーは、第１のミラーから受けた光をこの入口スリット上に集束するように設計される。
本光検出装置は、入口スリットを有する光学的分光分析装置とすることができ、この場合第２のミラーは、第１のミラーから受けた光を入口スリット上に集束するように設計される。
【００１５】
光源は多色光源でもよい。
この光源によって放射された光は１つ以上の紫外線成分を含む場合がある。
この光源は、発光放電灯でもよい。
【００１６】
以下に述べる例示的実施例の説明を通読し添付図面を参照することにより、本発明をよりよく理解することができる。なお、以下の例示的実施例の説明は純粋に理解の手引きとしてなされるものであり、いかなる意味でも本発明を限定するものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明に基づく光学システムは、望ましくは、それぞれ第１のミラー及び第２のミラーと称する２つのミラーを用いる。これら２つのミラーの形状及び特性はあらかじめ定められ、金属性又は化学性の堆積物をこれらのミラー上に形成してもしなくてもよい。
この金属性又は化学性の堆積物は、この堆積物が形成されるミラーを機械的又は化学的侵害の危険から保護し、放射光の吸収を最小にすることを意図している。
【００１８】
第１のミラーは、光学システムの前に設置される光源からの光の最大量を収集し、こうして収集された光を第２のミラー上に集束するように設計される。次いで第２のミラーは、受信した光をこの光学システムに続く光検出装置上に集束する。
この装置は通常、光入口スリット（簡単には、入口スリット）を有し、この場合第２のミラーが受信した光をこの入口スリット上に集束する。本発明の好適な適用例においては、この装置は実際にこのようなスリットを有する光学的発光分光計である。
【００１９】
ミラーの大きさは、光源のパワーと大きさ、この光源とこれらのミラーとの間の距離、及びこれらのミラーと光検出装置又はより正確にはこの装置の入口スリットとの間の距離に依存する。
第１及び第２のミラーは集束型であり、これにより光束の増幅が可能になる。
更に、レンズの代わりに第１及び第２のミラーを用いることにより、上記の光吸収問題が解決される。
【００２０】
色収差問題は、色発生効果を本来持たないミラーを用いることにより解決される。
ここで用いられる第１のミラーは、望ましくは球面、放物面、又は楕円面のミラーである。第２のミラーも同様である。
【００２１】
２つのミラーが同一軸を有し、２つのミラーのそれぞれの焦点、すなわち集束点が、この光学システムの光軸をなすこの同一軸の上に配置される場合、光が第２のミラーから光検出装置へと通過できるように第１のミラーに孔を設ける（図６、図７及び図１０に示す実施例の場合）。
２つのミラーを互いにオフセットして設置し、軸から外れた設定とした場合（図８の実施例の場合）には、第１のミラーを穿孔する必要はない。
【００２２】
ここで、図６から図８に示す実施例について考える。
図６に概略的に示す本発明の光学システム５０は、光源５２と光検出装置５４との間に設置されている。光検出装置５４の入口スリットを符号５６で示す。
このシステム５０の第１のミラー５８は凹面であり、他方第２のミラー６０は凸面である。光源５２によって放射された光６２が第１のミラー５８によって採集され、同じ第１のミラー５８によってミラー６０に集束され、次にこのミラー６０がこの光をスリット５６上に集束する。
【００２３】
図６に示す実施例において、光源５２の大きさは、ミラー５８及び６０の大きさに匹敵する。しかし、もっと大きくすることも可能である。
本システム５０の光軸の符号をＸ１とする。ミラー５８は、ミラー６０よりもはるかに大きく、ミラー６０と装置５４との間に配置されており、ミラー６０によってスリット５６上に集束される光が通過する穿孔部６４を有していることがわかる。
更に、ミラー５８及び６０は例えば球面型であり、光軸Ｘ１と一致する同一の軸を有し、ミラーのそれぞれの焦点Ｆ１及びＦ２はこの光軸Ｘ１上にある。ミラー５８及び６０の焦点距離をそれぞれ、ｄ１及びｄ２とする。ここで、ｄ１はｄ２より大きい。焦点Ｆ１及びＦ２は図６の例では別個であるが、他の実施例では一致することもある。
【００２４】
図７に概略的に示す本発明による光収集システム６６は、光源６８と光検出装置７０との間に設置されている。光検出装置７０の入口スリットを符号７２で示す。
本システム６６の第１のミラー７４は凹面であり、他方本システムの第２のミラー７６は凸面である。光源６８によって放射された光７８がミラー７４によって採集され、同じ第１のミラー７４によってミラー７６に集束され、次にこのミラー７６がこの光をスリット７２上に集束する。
【００２５】
図７に示す実施例において、光源６８の大きさは、ミラー７４及び７６の大きさに比べて小さく、例えばミラーの１６分の１である。
本システム６６の光軸の符号をＸ２とする。ミラー７４は第２のミラー７６よりもはるかに大きく、ミラー７６と装置７０との間に配置されており、ミラー７６によって入口スリット７２上に集束される光が通過する穿孔部８０を有していることがわかる。
更に、ミラー７４及び７６は例えば球面型であり、光軸Ｘ２と一致する同一の軸を有し、ミラーのそれぞれの焦点Ｆ３及びＦ４はこの同一軸Ｘ２上にある。ミラー７４及び７６の焦点距離をそれぞれ、ｄ３及びｄ４とする。ここで、ｄ３はｄ４より大きい。焦点Ｆ３及びＦ４は図７の例では別個であるが、他の実施例では一致することもある。
【００２６】
図８に概略的に示す本発明による光収集システム８０は、光源８２と光検出装置８４との間に設置される。光検出装置８４の入口スリットを符号８６で示す。
本システム８０の第１のミラー８８は、凹面であり、他方本システムの第２のミラー９０は、凸面である。光源８２によって放射された光９２がミラー８８によって採集され、同じミラー８８によってミラー９０に集束され、次にこのミラー９０がこの光をスリット８６上に集束する。
ミラー８８はミラー９０よりもはるかに大きいことがわかる。２つのミラー８８及び９０は、互いにオフセットされており、且つ光軸に関して軸から外れている。更に、ミラー８８及び９０は例えば球面型であり、ミラーのそれぞれの焦点は同一点Ｆにおいて一致する。ミラー８８及び９０の焦点距離をそれぞれ、ｄ５及びｄ６とする。ここで、ｄ５はｄ６より大きい。
【００２７】
このように、光源５２、６８、又は８２から放射された多色光はいずれも、対応する光検出装置の入口スリット上に集束される。
【００２８】
ここで本発明の一適用例を説明するが、この説明はこのような適用があることを知らせることのみが目的であり、いかなる意味でも限定的なものでない。ここでは、輝線、例えば１２０ｎｍから１６０ｎｍの炭素、水素、酸素、及び窒素の輝線の分光分析に適用される、発光放電による光学的発光分光測定法の場合を考える。
上記の例(図６から図８)は、発光放電電池又は発光放電灯（光源を構成）から光学的波長分散分光計（光検出装置を構成）への光出力の収集を最適化するためにこれらの光収集システムが用いられる場合に適用できる。
この種類の光源は多色光を発生し、この多色光では光線は、光検出装置内へ貫入した後それら光線の波長に応じて分散する。
【００２９】
図９に、光放電灯９４、光学的波長分散分光計９６、及び本発明によるミラーを有する光収集システム９８を示す。図９の符号９４、９６、９８の集合体において光がたどる経路を符号１００で示す。
これらのミラーを用いることにより、光束を増幅すること、特に上に述べた吸収及び色収差の問題を解決することが可能になる。図９に示す符号９４、９６、９８の集合体は、波長１２１．５６７ｎｍ、１３０．２１７ｎｍ、１４９．２６２ｎｍ、及び１５６．１４４ｎｍの光に用いられる。これらの波長の光は、発光放電電池内での放射逆励起中に水素、酸素、窒素、及び炭素の各元素によってそれぞれ放射される光である。
【００３０】
図９は、本発明によるシステムの変化実施例を示す。すなわち、光源９４からの光出力に加えて、光学システム９８は別の光源１０２から出力された光を処理することも可能である。この場合、この、別の光源１０２から出力された光は、考慮対象の光に適応する半透明ミラー１０４によって、光路１００に沿って進むことを余儀なくされる。
光学システム９８によって出力された光は、分光計９６に加え、分光計１０６により処理することも可能である。
この場合、システム９８から発起する光を分光計１０６のスリット１１０へ転送するために、適切な半透明ミラー１０８が設けられる。
【００３１】
本発明による光収集システムを用いることにより、
−  光源から検出装置へ伝送される光束をこの光収集システムによって最大化（増幅）すること、
−  光学要素による光の吸収を最小化すること、及び
−  異なる波長を有する光線の全てを同一点に集束すること（無色収差（色消し））
が可能である。
【００３２】
本発明によるシステムは、伝送され収集された光束に関して、そして同時に観測可能なスペクトル範囲に関して、大きな利得を提供する。
本発明によるシステムは、既知のあらゆる光検出装置と共に使用可能である。
本発明によるシステムの用途は、放射光の紫外線範囲に限定されない。
【００３３】
更に、本発明によるシステムの用途は、発光放電灯との使用に限定されず、あらゆる光源との使用が可能である。
本システムは、２つのミラーを有するシステムに限定されない（図１０を参照）。
更に、本発明によるシステムは、球面、放物面、又は楕円面のミラーの使用に限定されない。
又、本発明によるシステムは、炭素、水素、酸素、及び窒素という元素の分光分析に限定されることがなく、あらゆる化学元素の分光分析に適用が可能である。
【００３４】
図１０に、図６のシステムの変形例を示す。ここでは、ミラー５８及び６０に加えて、システム５０からの光出力を装置５４のスリット５６へ向けて反射させるために別のミラー１１２が用いられている。
例えば、このような配置は、光検出装置を光源５２と一線上に設置不可能なときに用いることができる。
【００３５】
ここで、図６から図１０までの例を再度検討する。
検出装置５４、７０、及び８４を用いて、多色光、特にスペクトルに１つ以上の紫外線成分が含まれる多色光を研究する場合を考える。この可能性は上記で、詳しくは光源が発光放電電池又は発光放電灯である場合に既に検討した。
本発明によれば、全ての光、特に紫外線放射光に対して透明なチャンバが設けられ、このチャンバの内部には、計測値が乱されないように光検出装置とミラーとが配置される。このチャンバ内に真空を生成するか、又はこの該チャンバ内に紫外線放射光に対して透明なガスを充填する手段も設けられる。
【００３６】
この配置を図６に概略的に例示する。図６はシールされ且つ全ての光に対して透明なチャンバ１１４を示し、その内部に、光源５２、ミラー５８、６０、及び装置５４が配置されている。このチャンバは例えば、ステンレス鋼のような金属で作られる。
紫外線放射光を吸収する水蒸気又はジオキシゲン（dioxygen）等の全てのガスを除去できるようにこのチャンバ内に真空を生成するため、ポンピング手段１１６が設けられる。
図９及び図１０にも、チャンバ１１４及びポンピング手段１１６が概略的に示されている。
【００３７】
図７の実施例では、これらのポンピング手段が、紫外線放射光に対して透明であり且つ例えば水又はジオキシゲンを含まないガスをチャンバ１１４に充填する手段によって置き換えられる。例えば、純粋な二窒素又はアルゴンのような希ガスを用いることができる。
このようなチャンバ１１４へのガス充填手段は、このガスをチャンバ内へ注入する手段１１８からなる。ガス入り口から離れた位置でチャンバ壁部に孔１１９を設けてガスの排出を可能にしている(その後、このガスは図示しない手段によってポンピングにより排出される)。結果として、チャンバ内をガスが循環することになる。
【００３８】
図６に示す例において、チャンバは剛性である。しかし、「柔軟性」のチャンバも使用が可能である。
これを図８に概略的に示す。図８においては、チャンバはいくつかの部分から構成される。すなわち、２つのミラーを内蔵する主チャンバ１２０、及び光源８２を内蔵し金属製ベロー１２４により主チャンバ１２０に接続されてシールされる補助チャンバ１２２である。更に、検出装置８４がシールされたチャンバ１２６内に配置され、このチャンバは別の金属製ベロー１２８により主チャンバ１２０に接続され、シールされている。
【００３９】
このようにして、システム、ミラー、及び光源はベローにより「柔軟性」チャンバ内に配置される。特に、こうすることでミラーを移動して集束設定の精密調整を行うことが可能になる。
このような「柔軟性」のチャンバは、図６、図７、図９、及び図１０の実施例にも有利に用いることができる。
【００４０】
図示しない本発明の一実施例においては、光源及びミラーを内蔵する例えば管状の剛性のチャンバが用いられ、このチャンバは、剛性又は柔軟性のダクト(ベロー)により検出装置を内蔵する別のシールされたチャンバに接続されてシールされる。
当然ながら、チャンバ間の接続は全て、光源から光検出装置までの光伝搬が阻害されないようになされる。
【図面の簡単な説明】
【００４１】
【図１】光源と光検出装置との間に設置された光収集システムの概略図である。
【図２】平行面を有する１つのプレートから構成される既知の光伝送システムの光路の概略図である。
【図３】両凸集束レンズから構成される既知の光伝送システムの光路の概略図である。
【図４】２つの平凸集束レンズからなる組から構成される既知の光伝送システムの光路の概略図である。
【図５】多色光用の図３及び図４の検出装置の入口スリットに存在する部分的閉鎖を概略的に示す。
【図６】光軸上に設置した２つのミラーを用いた本発明による光学システムの第１の実施形態を示す概略図であり、光源がこれらのミラーに比べて大きい場合を示す。
【図７】光軸上に設置した２つのミラーを用いた本発明による光学システムの第２の実施形態を示す概略図であり、光源がこれらのミラーに比べて小さい場合を示す。
【図８】２つのミラーを用いた本発明による光学システムの第３の実施形態を示す概略図であり、ミラーのうちの少なくとも１つが軸から外れている場合を示す。
【図９】発光放電光源、本発明によるミラーを有する光収集システム、及び発光分光計から構成される光検出装置からなる設備における光の伝送を概略的に示す。
【図１０】３つ以上のミラーを用いた本発明による別のシステムの概略図である。
【図１】
2006502399.tif 000003
【図２】
2006502399.tif 000004
【図３】
2006502399.tif 000005
【図４】
2006502399.tif 000006
【図５】
2006502399.tif 000007
【図９】
2006502399.tif 000008
【図６】
2006502399.tif 000009
【図７】
2006502399.tif 000010
【図８】
2006502399.tif 000011
【図１０】
2006502399.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成16年12月10日(2004.12.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの光源(５２、６８、８２、９４、１０２)によって放射された光を収集し、該収集された光を少なくとも１つの光検出装置（５４、７０、８４、９６、１０６）上に集束する光収集システム（５０、６６、８０）であって、
少なくとも２つのミラー、すなわち第１のミラーと第２のミラーを備えること、
光源が発光放電灯であり、該第１のミラー（５８、７４、８８）は該光源によって放射された光を収集すること及び該収集された光を該第２のミラー上に集束することが可能であり、該第２のミラー（６０、７６、９０）は該第１のミラーから受けた光を光検出装置上に集束することが可能であり、よって本システムは光束増幅型であり、色収差無発生型であり、且つ低吸収型、特に紫外線放射光について低吸収型であることと、
このシステムには、
−  全ての光、特に紫外線放射光に対して透明なチャンバであって、内部に前記光源、前記光検出装置、並びに前記第１及び第２のミラーが配置されるチャンバ、並びに
−  前記チャンバ内に真空を生成するか、又はチャンバ内に紫外線放射光に対して透明なガスを充填する手段が設けられていること
とを特徴とする光収集システム。
【請求項２】
第１及び第２のミラー（５８、６０；７４、７６）が同一の軸（Ｘ１、Ｘ２）を有し、この同一の軸は該システムの光軸を形成し、第１及び第２のミラーのそれぞれの焦点（Ｆ１、Ｆ２；Ｆ３、Ｆ４）は該光軸上に位置する、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
第１及び第２のミラーのそれぞれの焦点（Ｆ１、Ｆ２；Ｆ３、Ｆ４）が異なる、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
第１のミラーが中央穿孔部(６４、８０)を有することで、第２のミラーによって集束された光が該光検出装置へ向けて通過することが可能となる、請求項２又は３に記載のシステム。
【請求項５】
第１及び第２のミラー（８８、９０）が互いに対してオフセットされ、少なくとも第１及び第２のミラーのうちの１つが軸から外れている、請求項１に記載のシステム。
【請求項６】
該第１及び第２のミラー（５８、７４、８８；６０、７６、９０）の各々が、球面ミラー、放物面ミラー、及び楕円面ミラーの中から選択される、請求項１ないし５のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項７】
第１及び第２のミラー（５８、７４、８８；６０、７６、９０）の各々が、金属性又は化学性の堆積物によって覆われる、請求項１ないし６のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項８】
光検出装置が、入口スリット（５６、７２、８６、１１０）を有し、第２のミラーが、第１のミラーから受けた光を該入口スリット上に集束するように設計される、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項９】
光検出装置が、入口スリットを有する光学的分光分析装置（９６）であり、第２のミラーが、第１のミラーから受けた光を該入口スリット上に集束するように設計される、請求項１ないし７のいずれか１項に記載のシステム。
【請求項１０】
光源によって放射された光が１つ以上の紫外線成分を含む、請求項１ないし９のいずれか１項に記載の光収集システム。
【国際調査報告】
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