(57)【要約】  流管手段（１０２）を振動させるための駆動コイル（Ｄ）からなる小質量の駆動装置を有するコリオリ質量流量計である。このコリオリ質量流量計は流管手段に取り付けられたマグネットを用いていない。その代りに、流管手段がこれを振動させるように駆動コイルにより生ずる磁界に応答する磁性材料（１０３）をコーティングされるか、一体的にされている。流管手段は１本の流管（１０２）または複数本の流管（１４０２Ｃ１，１４０２Ｃ２）からなるようにしてもよい。磁性材料は内部磁界がない含鉄材料としてもよい。あるいは磁性材料は内部磁界を有する鋼ないしステンレス鋼としてもよい。
2006514281.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物質の流れを受け入れるようにした流管手段（１０２）と、
駆動コイルと、
物質の流れを有する上記流管手段を振動させ、該物質の流れを有する流管手段の振動が上記流管手段のコリオリ撓みを生ずるように上記駆動コイルに駆動信号を供給する流量計電子回路（３２１）と、
上記流管手段のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるように上記流管手段に連結されたピックオフ手段（ＬＰＯ，ＲＰＯ）と、
上記物質の流れを表す出力信号を生ずるように上記ピックオフ信号を上記流量計電子回路に供給するための手段（３０４，３０５，３０８，３０９）と、
からなるコリオリ流量計において、磁性材料（１０３）が上記流管手段の少なくとも一部を形成し、上記駆動コイルが上記駆動信号の供給に応答して上記物質で満たされた流管手段を振動させるように上記磁性材料と相互作用する磁界を生ずるようにしたことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項２】
上記磁性材料が上記流管手段の外面の少なくとも一部における含鉄材料の層（１０３，２０３）からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３】
上記磁性材料（１０３，２０３）が上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲であることを特徴とする請求項２に記載のコリオリ流量計。
【請求項４】
上記磁性材料（１１０１）が上記流管手段の軸方向全長の範囲であることを特徴とする請求項２に記載のコリオリ流量計。
【請求項５】
上記磁性材料が上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的な含鉄材料（１１０１）からなり、該含鉄材料は内部磁界がないものであることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項６】
上記磁性材料（１００２）が上記流管手段の軸方向全長より少ない部分を形成するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のコリオリ流量計。
【請求項７】
上記磁性材料（１１０１）が上記流管手段の軸方向全長を形成するようにしたことを特徴とする請求項５に記載のコリオリ流量計。
【請求項８】
上記磁性材料（１０３，２０３）が自発性磁界を有する硬質の磁性材料からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項９】
上記磁性材料が上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲の外側の層からなることを特徴とする請求項８に記載のコリオリ流量計。
【請求項１０】
上記磁性材料（１３０１）が上記流管手段の軸方向全長の範囲の外側の層からなることを特徴とする請求項８に記載のコリオリ流量計。
【請求項１１】
上記磁性材料（１１０１）が上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的であることを特徴とする請求項８に記載のコリオリ流量計。
【請求項１２】
上記磁性材料（１００２，１２０２）が上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲を形成するようにしたことを特徴とする請求項８に記載のコリオリ流量計。
【請求項１３】
上記磁性材料（１１０１，１３０１）が上記流管手段の軸方向全長を形成するようにしたことを特徴とする請求項１１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１４】
上記流管手段（１０２）が直線状であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１５】
上記流管手段（２０２）が不規則な形状であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１６】
上記流管手段がＵ字形であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１７】
上記ピックオフ手段が各々受光した光を電気信号に変換する発光器及び受光器からなる第１及び第２の光学的ピックオフ（７００）からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１８】
上記駆動コイル（Ｄ）が、電流で付勢された時に上記流管手段が上記駆動コイルに磁力吸引され電流が停止すると上記流管手段がその固有弾性で静止状態に復帰するようなプル・オンリーのモードで上記流管手段を振動させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１９】
上記駆動コイルが第１の駆動コイル（Ｄ１）をなし、
上記コリオリ流量計がさらに第２の駆動コイル（Ｄ２）を含み、
上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルが上記流管手段の両側に配置され、
上記流量計電子回路が上記流管手段を上記第１の駆動コイルと上記第２の駆動コイルとの間でプッシュ・プルのモードで循環的に振動させる循環的に変化する磁界を生ずるように上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルに逆の波形の電流を供給する
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２０】
上記物質の流れの質量流量が１００００ｇ／ｈ以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２１】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有することを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２２】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１００００ｇ／ｈ以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２３】
上記物質の流れの質量流量が１０ｇ／ｈ以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２４】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有することを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２５】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１０ｇ／ｈ以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２６】
上記流管手段が０．９ｍｍ以下の内径を有することを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２７】
上記流管手段が０．９ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１００００ｇ／ｈ以下であることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２８】
上記流管手段が１本の流管（１０２，２０２）からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項２９】
上記流管手段が第１の流管（１４０２Ｃ１）と、該第１の流管に平行な第２の流管（１４０２Ｃ２）とからなり、
上記駆動コイルが上記第１の流管と上記第２の流管とを逆の位相になるように振動させるように上記第１の流管と上記第２の流管との中間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３０】
上記第１の流管及び第２の流管がそれぞれ上側の中心部分により連結された左側脚部及び右側脚部を有するＵ字形になっており、
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフからなる
ことを特徴とする請求項２９に記載のコリオリ流量計。
【請求項３１】
上記駆動コイルが上記上側の中心部分の軸方向中間部分（１４０３−１，１４０３−２）に近接して配置されていることを特徴とする請求項３０に記載のコリオリ流量計。
【請求項３２】
上記磁性材料が内部磁界を有する硬質の磁性材料からなり、
上記磁性材料がその磁界が上記ピックオフ（ＬＰＯ，ＲＰＯ）に供給されるように上記流管の軸方向全長にわたり、
上記ピックオフ（ＬＰＯ，ＲＰＯ）が上記磁性材料の磁界と上記Ｕ字形の流管のコリオリ撓みとに応答して該コリオリ撓みを表すピックオフ信号をずる
ようにしたことを特徴とする請求項２９に記載のコリオリ流量計。
【請求項３３】
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表す出力信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフ（７００）からなることを特徴とする請求項２９に記載のコリオリ流量計。
【請求項３４】
上記流管がステンレス鋼で形成されていることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３５】
上記流管手段がＳ／Ｎ内部磁界を有する硬質の磁性材料で形成され、
上記ピックオフ手段（ＬＰＯ，ＲＰＯ）が磁気変換器であり、
上記磁性材料が上記駆動コイル及び上記変換器に近接した上記流管手段の軸方向に延びており、
上記物質で満たされた流管手段の振動で上記磁気変換器におけるコリオリ撓みを表す磁界が生ずる
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３６】
上記流管手段が２本の直線状の流管（１５１１，１５１２）からなり、
上記駆動コイル（Ｄ）が上記流管の中間に配置されていて、上記２本の流管を逆の位相で振動させるように作用する
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３７】
上記流管手段が２本の平行な直線状の流管からなり、
上記コリオリ流量計がさらに上記流管の外側に配置され上記２本の流管を逆の位相で振動させるように作用する１対の駆動コイル（Ｄ１，Ｄ２）を含む
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３８】
上記ピックオが光学的ピックオフであることを特徴とする請求項３７に記載のコリオリ流量計。
【請求項３９】
上記ピックオフが磁気変換器であることを特徴とする請求項３７に記載のコリオリ流量計。
【請求項４０】
上記駆動コイル（Ｄ）が上記流管手段（１７０３−１，１７０３−２）を逆の位相となるようにプッシュ・プルのモードで振動させるように作用し、
上記ピックオフ手段が上記振動する流管手段の磁界と相互作用して上記ピックオフ信号を生ずる磁気変換器からなる
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項４１】
上記流管手段が１対の直線状の流管（１５０２−１，１５０２−２）からなり、
上記駆動コイル（Ｄ）が上記流管を逆の位相で横方向に振動させるように上記流管の軸方向中心部分に近接して上記流管の中間に配置され、
上記変換器が上記駆動コイルの両側において上記流管の中間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項４２】
上記流管手段が１対のＵ字形の流管（１４０１Ｃ１，１４０１Ｃ２）からなり、
上記駆動コイル（Ｄ）が上記流管の上側の軸方向中心部分に近接して上記流管の中間に配置され、
上記変換器（ＬＰＯ，ＲＰＯ）が上記駆動コイルの両側において上記流管の中間に配置されている
ことを特徴とする請求項３９に記載のコリオリ流量計。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明はコリオリ質量流量計に関し、特に質量の小さい駆動装置を有する軽量型コリオリ質量流量計に関する。本発明はさらに小さい径の流管を有する軽量型コリオリ質量流量計に関する。本発明はさらにまた少量の質量流量を測定するのに適切な小型で軽量型のコリオリ質量流量計に関する。
【背景技術】
【０００２】
コリオリ質量流量計は、物質の流れを測定し物質の流れに関する質量流量、密度等の情報を生ずるように種々の大きさ、流れの容量のものが用いられる。コリオリ流量計は、典型的には電磁駆動源により横方向に振動する１本またはそれより多くの直線状または不規則な形状の流管を有する。振動する流管を通る物質の流れにより流管のコリオリ撓みが生じ、これが１つまたはそれより多くのピックオフによって検出される。ピックオフは出力信号を生じ、これが物質の流れの情報を生ずるための付随する流量計電子回路に伝送される。コリオリ撓みとピックオフにより生じた出力信号は流管を通って流れる流体の質量に比例する。物質で満たされた流管が付随する駆動源及びピックオフの質量に対して比較的大きい質量を有する時に、コリオリ撓みとピックオフにより生じた出力信号が増強される。
【０００３】
典型的な曲管型の複管式コリオリ流量計は約１００〜７０００００ｋｇ／ｈの範囲の流量を有し、約０．３〜１１ｃｍの範囲の内径の流管を有している。駆動源とピックオフとの質量に対する物質で満たされた流管の質量の望ましい比は、典型的には１０対１またはそれ以上である。付随する駆動源及びピックオフの比較的小さい質量に対して物質で満たされた流管の質量が比較的大きいために、この比は従来のコリオリ流量計で達成可能である。
【０００４】
従来のマグネットと振動する流管に取り付けられた付随する装着装置を用いた軽量型のコリオリ質量流量計において許容される質量比を達成することが１つの問題になる。物質で満たされた金属製流管を振動させるために用いられる駆動源は、典型的にはマグネットが流管に取り付けられコイルが支持構造または他方の流管に取り付けられたマグネット−コイルの組合せである。利用可能な最小のマグネットの大きさは冶金上の面から約５ｍｇに制限されるので、軽量型流量計において１つの問題になる。マグネットを流管に取り付けるために付随の金具類が用いられるので、合わせた質量は約７ｍｇである。これにより１０対１の所望の質量比を達成するために物質で満たされた流管の質量は少なくとも７０ｍｇとすることが必要になる。小容量の質量流量を測定するために約７０ｍｇ以下の質量を有する物質で満たされた振動流管構造を有するコリオリ質量流量計を提供することが１つの問題になる。
【解決手段】
【０００５】
上述の、また他の問題は、小型、軽量で質量が小さく、低容量の物質の流れに対して質量流量及び密度の情報の測定に理想的な適合性を有するコリオリ質量流量計が与えられる本発明によって解決される。本発明の流量計は小型で、約１０ｋｇ／ｈまたはそれ以下の流量計を有し、流管は内径が約２ｍｍまたはそれ以下である。例えば、流管自体は人の毛髪と同程度に小さくして壁厚が比例するようにしてもよい。
【０００６】
本発明において、流管は磁性材料で被覆されたいずれかの適当な材料で形成してもよい。磁性材料は流管に噴霧塗布または蒸着することにより形成されよう。あるいは磁性材料は流管と一体的に形成してもよく、流管自体を磁性材料で形成してもよい。本発明により別個のマグネットを省いて質量が過大になる問題やマグネットを流管に位置決めして取り付ける製造上の問題を回避することができる。
【０００７】
本発明により駆動源と検出用マグネットとの両方を省くことができる。コリオリ検出器は流管におけるコリオリ撓みの程度についての情報を与えるように一般的に位相を検出する「ピックオフ」組立体としてのマグネット及びコイルを用いている。本発明によれば、ピックオフ組立体のマグネットは駆動源のマグネットの場合と同様に形成されよう。それゆえ、駆動源とピックオフとのいずれかのマグネット、あるいは両方が本発明において説明するようにして形成されよう。
【０００８】
非常に軽量な流管の他の実施形態では駆動源が前述のように形成されピックオフ信号が光学的測定により生ずるものがある。適切なピックオフは流管の両側に配置された発光器と受光器とを有する光学装置である。伝送される光ビームが流管の撓みで変調され、この光ビームが受光され変換されてコリオリ応答を含む流管の振動を表す信号を出力する。
【０００９】
本発明のコリオリ質量流量計の基本的特徴は流管上への磁性体のメッキないしコーティングを用いることである。このメッキはメッキ槽、蒸着、プラズマ蒸着あるいは他のいずれかのメッキ装置で施すことができる。これは流管に非常に薄い層が付着し一体化されるという点で有利である。これで流管の特定の長さ部分にごく少量だけ分布した質量となり、これは流管を適当に振動するように駆動するための駆動コイルと組み合わせて用いられる。メッキの質量が分布していることとメッキの質量が少量であることとは生じた出力情報に及ぼす密度の変化の効果を低減するのに寄与する。メッキ質量が少ないことによりまたコリオリ質量流量計が許容可能な振動数で応答して改善された密度の精度とすることができるようになる。
【００１０】
本発明で考えられる一実施例によれば、Ｎ／Ｓ内部磁界を有するマグネットと同様の振舞いをする流管上の磁性体コーティングが用いられる。本発明の他の実施例によれば、流管に軟質の磁性材料（「含鉄性の」または「透磁性の」）を付着させるためにメッキ槽が用いられる。含鉄材料は駆動コイルに吸引されるにすぎない。この材料を１つの駆動コイルと併せて用いる駆動装置は、従来のコリオリ質量流量計の標準的な「プッシュ・プル型装置」ではなく、「プル・オンリー」型のものである。しかながら、駆動波形のそれぞれの半分で駆動される対向する駆動コイルでは流管がその駆動振動数で両方向に交互に吸引されるようにできよう。本発明の他の実施例によれば、流管自体が内部のＮ／Ｓ内部磁界を有する磁性材料で形成されよう。
【００１１】
磁性金属のメッキは流管全体に連続的になるようにしてもよく、あるいは軸方向の部分だけにして最終的なメッキパターンを形成するために選択的なエッチングを用いるようにすることもできる。含鉄材料は、流管の外側に含鉄材料が一体的に形成され選択的にエッチングが施されるようにした合成流管とすることもできる。
【００１２】
本発明の一実施例によれば、流管は直線状であり、流管の軸方向中心部分に蒸着された磁性材料を有する。他の実施例は左側及び右側の脚部と、両側の脚部の上部を連結する中心部とを有するＵ字形の流管である。Ｕ字形の流管の中心部はこれに蒸着された磁性材料の層を有する。
【００１３】
直線状の流管の実施例もＵ字形の流管の実施例も流管が振動する際にそのコリオリ応答を磁性材料の蒸着層に近接した磁気コイルにより検出する光学的ピックオフを用いる流量計を具体化するものである。他の実施例によれば、磁性の層が含鉄材料で形成され１つの駆動コイルでプル・オンリーのモードで振動する。他の実施例は軟質の含鉄磁性材料の層を有し、流管の量側に配置された１対のコイルを用いてプッシュ・プルのモードで振動する。他の実施例は磁性材料が流管の軸方向中心部だけに配置されている。他の実施例は磁性材料の蒸着層を有する流管の軸方向全長を有する流管を含む。他の実施例は流管全体が磁性材料で形成されている。他の実施例は磁性材料が流管の軸方向全長に施されている。
【００１４】
他の実施例によれば、流量計は１対のＵ字形の流管を有し、この流管は上側中心部に磁性材料を施し、各々の流管の脚部に配置された光学的検出器と１対の流管の間に配置された駆動マグネットを有している。他の実施例において、コリオリ質量流量計は１対の直線状流管を有し、この流管は磁性材料が蒸着されていて流管の中間に配置された光学的検出器及び駆動コイルを有している。他の実施例において、１対の直線状の流管が互いに平行な向きになっており、流管の外側に配置されたマグネットにより振動する。他の実施例において、コリオリ質量流量計は磁性材料で形成された平行な流管を有し、この流管は磁性を有していて平行な流管の間に配置された駆動マグネット及び１対のピックオフマグネットを有する。
【００１５】
かくして本発明のコリオリ質量流量計は現在利用されている金属で形成されたコリオリ質量流量計に比較して格段に小型で質量が小さいコリオリ質量流量計を提供することにより技術的進歩を達成するものであることがわかる。本発明は小型のコリオリ質量流量計を指向するものであるが、この解決策により示される利点はより大型の検出器にも同様に適用される。
【００１６】
本発明の１つの面は、
物質の流れを受け入れるようにした流管手段と、
駆動コイルと、
物質の流れを有する上記流管手段を振動させ、該物質の流れを有する流管手段の振動が上記流管手段のコリオリ撓みを生ずるように上記駆動コイルに駆動信号を供給する流量計電子回路と、
上記流管手段のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるように上記流管手段に連結されたピックオフ手段と、
上記物質の流れを表す出力信号を生ずるように上記ピックオフ信号を上記流量計電子回路に供給するための手段と、
からなるコリオリ流量計において、磁性材料が上記流管手段の少なくとも一部を形成し、上記駆動コイルが上記駆動信号の供給に応答して上記物質で満たされた流管手段を振動させるように上記磁性材料と相互作用する磁界を生ずるようにしたコリオリ流量計である。
【００１７】
上記磁性材料は上記流管手段の外面の少なくとも一部における含鉄材料の層からなるようにしてもよい。
【００１８】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲であるようにしてもよい。
【００１９】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長の範囲であるようにしてもよい。
【００２０】
上記磁性材料は上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的な含鉄材料からなり、該含鉄材料は内部磁界がないようにしてもよい。
【００２１】
上記磁性材料が上記流管手段の軸方向全長より少ない部分を形成してもよい。
【００２２】
上記磁性材料が上記流管手段の軸方向全長を形成するようにしてもよい。
【００２３】
上記磁性材料は自発性磁界を有する硬質の磁性材料からなるようにしてもよい。
【００２４】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲の外側の層からなるようにしてもよい。
【００２５】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長の範囲の外側の層からなるようにしてもよい。
【００２６】
上記磁性材料は上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的であるようにしてもよい。
【００２７】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲を形成してもよい。
【００２８】
上記磁性材料は上記流管手段の軸方向全長を形成してもよい。
【００２９】
上記流管手段は直線状であるようにしてもよい。
【００３０】
上記流管手段は不規則な形状であるようにしてもよい。
【００３１】
上記流管手段はＵ字形であるようにしてもよい。
【００３２】
上記ピックオフ手段は各々受光した光を電気信号に変換する発光器及び受光器からなる第１及び第２の光学的ピックオフからなるようにしてもよい。
【００３３】
上記駆動コイルは、電流で付勢された時に上記流管手段が上記駆動コイルに磁力吸引され電流が停止すると上記流管手段がその固有弾性で静止状態に戻るようなプル・オンリーのモードで上記流管手段を振動させるようにしてもよい。
【００３４】
上記駆動コイルが第１の駆動コイルをなし、
上記コリオリ流量計がさらに第２の駆動コイルを含み、
上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルが上記流管手段の両側に配置され、
上記流量計電子回路が上記流管手段を上記第１の駆動コイルと上記第２の駆動コイルとの間でプッシュ・プルのモードで循環的に振動させる循環的に変化する磁界を生ずるように上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルに逆の波形の電流を供給する
ようにしてもよい。
【００３５】
上記物質の流れの質量流量は１００００ｇ／ｈ以下であるようにしてもよい。
【００３６】
上記流管手段は２ｍｍ以下の内径を有するようにしてもよい。
【００３７】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１００００ｇ／ｈ以下であるようにしてもよい。
【００３８】
上記物質の流れの質量流量は１０ｇ／ｈ以下であるようにしてもよい。
【００３９】
上記流管手段は２ｍｍ以下の内径を有するようにしてもよい。
【００４０】
上記流管手段が２ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１０ｇ／ｈ以下であるようにしてもよい。
【００４１】
上記流管手段は０．９ｍｍ以下の内径を有するようにしてもよい。
【００４２】
上記流管手段が０．９ｍｍ以下の内径を有し、上記物質の流れの質量流量が１００００ｇ／ｈ以下であるようにしてもよい。
【００４３】
上記流管手段は１本の流管からなるようにしてもよい。
【００４４】
上記流管手段が第１の流管と、該第１の流管に平行な第２の流管とからなり、
上記駆動コイルが上記第１の流管と上記第２の流管とを逆の位相になるように振動させるように上記第１の流管と上記第２の流管との中間に配置されている
ようにしてもよい。
【００４５】
上記第１の流管及び第２の流管がそれぞれ上側の中心部分により連結された左側脚部及び右側脚部を有するＵ字形になっており、
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフからなるようにしてもよい。
【００４６】
上記駆動コイルは上記上側の中心部分の軸方向中間部分に近接して配置されているようにしてもよい。
【００４７】
上記磁性材料が内部磁界を有する硬質の磁性材料からなり、
上記磁性材料がその磁界が上記ピックオフに供給されるように上記流管の軸方向全長にわたり、
上記ピックオフが上記磁性材料の磁界と上記Ｕ字形の流管のコリオリ撓みとに応答して該コリオリ撓みを表すピックオフ信号をずる
ようにしてもよい。
【００４８】
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表す出力信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフからなるようにしてもよい。
【００４９】
上記流管はステンレス鋼で形成されてもよい。
【００５０】
上記流管手段がＮ／Ｓ内部磁界を有する硬質の磁性材料で形成され、
上記ピックオフ手段が磁気変換器であり、
上記磁性材料が上記駆動コイル及び上記変換器に近接した上記流管手段の軸方向に延びており、
上記物質で満たされた流管手段の振動で上記磁気変換器におけるコリオリ撓みを表す磁界が生ずる
ようにしてもよい。
【００５１】
上記流管手段が２本の直線状の流管からなり、
上記駆動コイルが上記流管の中間に配置されていて、上記２本の流管を逆の位相で振動させるように作用する
ようにしてもよい。
【００５２】
上記流管手段が２本の平行な直線状の流管からなり、
上記コリオリ流量計がさらに上記流管の外側に配置され上記２本の流管を逆の位相で振動させるように作用する１対の駆動コイルを含む
ようにしてもよい。
【００５３】
上記ピックオフは光学的ピックオフであるようにしてもよい。
【００５４】
上記ピックオフは磁気変換器であるようにしてもよい。
【００５５】
上記駆動コイルが上記流管手段を逆の位相となるようにプッシュ・プルのモードで振動させるように作用し、
上記ピックオフ手段が上記振動する流管手段の磁界と相互作用して上記ピックオフ信号を生ずる磁気変換器からなる
ようにしてもよい。
【００５６】
上記流管手段が１対の直線状の流管からなり、
上記駆動コイルが上記流管を逆の位相で横方向に振動させるように上記流管の軸方向中心部分に近接して上記流管の中間に配置され、
上記変換器が上記駆動コイルの両側において上記流管の中間に配置されている
ようにしてもよい。
【００５７】
上記流管手段が１対のＵ字形の流管からなり、
上記駆動コイルが上記流管の上側の軸方向中心部分に近接して上記流管の中間に配置され、
上記変換器が上記駆動コイルの両側において上記流管の中間に配置されている
ようにしてもよい。
【００５８】
本発明の上記及び他の特徴及び利点は添付の図面を参照して以下の詳細な説明からよりよく理解されよう。
【００５９】
（図１の説明）図１は硬質の磁性材料または軟質の含鉄磁性材料のいずれかからなる磁性素子１０３よって取り囲まれた軸方向部分を有する中空の管１０２からなる直線状の流管１０１の細部を示している。中空の管１０２は左側端部１０４Ｌ及び右側端部１０４Ｒを有する。磁性素子１０３は直線状の管１０２の面に施されたメッキでもよい。メッキは約０．０１３ｃｍの厚さを有する薄層である。メッキを施した素子１０３は図１１に示とれるように流管１０２の軸方向の全長にわたって施してもよく、あるいは図１及び図１０に示されるように流管１０２の軸方向中間部分に集中していてもよい。１つの考えられる実施例において、素子１０３はマグネットと全く同様の振舞いをする磁性コーティングでもよい。この材料はプラズマ蒸着装置で蒸着させられる。このような材料を用いることにより素子１０３がＮまたはＳの磁界を有するマグネットと全く同様の振舞いをすることができる。これによりまた流管１０１が１つの駆動コイルにより「プッシュ・プル」動作をするように振動できるようになる。
【００６０】
本発明の第２の考えられる実施例によれば、素子１０３は固有のＮ／Ｓ磁界を有していないが素子１０３をコイルに吸引することだけができる１つのコイルと組み合わせて動作する軟質の含鉄磁性材料からなるものとされよう。この型の駆動装置は、駆動コイルが含鉄材料１０３を吸引することだけができるので、「プル・オンリー」装置と呼ばれる。含鉄材料１０３はコイルを通る電流の向きにかかわらず付勢されたコイルに吸引される。流管１０１は使用時に含鉄素子１０３をコイルに向けて吸引するように対応する駆動コイルを付勢することにより振動する。駆動コイルを通る電流が停止した時に流管１０１を静止状態に曲げ戻すために流管の固有弾性が利用される。図８にこの型の流管及び対応するコイルが示されている。
【００６１】
あるいは、流管１０１が図９に示されるように２つの駆動コイルを用いて動作してコイルＤ１及びＤ２が電流により交互に付勢される際に流管１０２と素子１０３を振動させるようにしてもよい。
【００６２】
（図２の説明）図２は流管１０１と同様なＵ字形の流管２０１を示している。Ｕ字形の流管２０１は左側２０２Ｌ及び右側２０２Ｒを有する管体２０２と管体２０２の上側中心部２０２Ｃに連結された磁性素子２０３とからなる。Ｕ字形の流管２０２は左側下端部２０４Ｌ及び右側下端部２０４Ｒを有している。使用時に、管体２０２は図５及び６に示されるように磁性素子２０３と対応する駆動コイルとの間の磁気的相互作用により振動する。
【００６３】
（図３、図４の説明）図３及び図４は流管管１０１を備えたコリオリ質量流量計３００を示している。コリオリ質量流量計３００は流管組立体１０１を含み、これは管体１０２、磁性材料１０３、駆動コイルＤ、左側のピックオフＬＰＯ、右側のピックオフＲＰＯ、右側のフランジないしプロセス連結部１０５及び右側のフランジないしプロセス連結部ＲＰＯを含む。コリオリ質量流量計３００はさらに流量計電子回路３２１を含み、その導線３０６及び３０７は、付勢された駆動コイルＤを通る電流により流管１０１が駆動コイルに向かって撓み駆動コイルＤを通る電流の停止時に流管１０１の固有弾性が流管１０１を静止状態に戻すのに用いられるプル・オンリーのモードで流管１０１を振動させるように駆動コイルＤを付勢する。
【００６４】
処理される物質の流れはプロセス連結部１０５により図示しない物質供給源から受け入れられる。それから物質の流れは流管１０２を通ってプロセス連結部１０６に向かって右方に流れ、ここでコリオリ質量流量計から出ていく。駆動コイルＤによる流管１０２の振動と物質の流れとにより流管１０２にコリオリ撓みが生ずる。この撓みがピックオフＬＰＯ及びＲＰＯによって検出され、電気信号に変換される。この電気信号は線路３０４，３０５，３０８及び３０９を介して信号を処理し物質の流れに関する情報を生成する流量計電子回路３２１に供給される。この情報は出力線路３２２を介して図示しない利用回路に供給される。図を複雑にしないようにするため、流量計電子回路３２１は図３に示されていない。
【００６５】
駆動コイルＤは、導線３０６及び３０７により間欠的に付勢された時に、付勢されたコイルＤが間欠的に流管１０２を吸引する「プル・オンリー」のモードで流管１０２を振動させる。コイルＤを通る電流が停止する毎に流管１０２はその固有弾性により静止状態に戻る。駆動コイルＤを図４に示されるように流管を上下に振動させる。図３に示されるように流管１０２の振動は図３の紙面に対して内方及び外方である。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯは図７に示されるように発光ダイオード７０１及び光検出器７０２からなる光学的ピックオフであるのがよい。流管１０２は駆動コイルＤの作用を受けて振動する。流管１０２は振動時にＬＥＤ７０１から光検出器７０２に伝送される光ビーム７０３を遮って変調する。光検出器７０２は受け取った光波のパターン出力信号に変換し、これが線路３０４，３０５，３０８及び３０９を介して流量計電子回路３２１に電送される。
【００６６】
（図５、図６の説明）図５及び図６はコリオリ質量流量計５００に適用される図２の流管２０１の側面図及び斜視素図である。Ｕ字形の流管２０２の脚部２２０Ｌ及び２０２Ｒはマニホルド５０３に連結されており、マニホルド５０３はプロセス連結部５０１で物質の流れを受け入れ、受け入れた物質の流れを脚部２０２Ｌに通し、さらに中心部２０２Ｃ及び右側脚部２０２Ｒに通して、脚部２０２Ｒから物質の流れがマニホルド５０３の出口側端部で受け入れられて右側のプロセス連結部５０２に供給される。駆動コイルＤは図３及び図４のコリオリ質量流量計３００に関して説明したのと同様の「プル・オンリー」のモードで流管２０２Ｃを振動させる。流管２０２の振動と物質の流れとにより流管２０２のコリオリ撓みが生じ、これがピックオフＬＰＯ及びＲＰＯにより検出され導線３０４，３０５，３０８及び３０９を介して流量計電子回路３２１に供給され、流量計電子回路３２１は信号を処理し物質の流れに関する出力情報を生ずる。この出力情報は線路３２２を介して図示しない利用回路に伝送される。
【００６７】
図５及び図６ノコリオリ質量流量計は駆動源及びピックオフの質量に対する物質で満たされた流管の質量の１０対１の比に適合するように形成されている。この一例として流管内径０．２ｍｍで流量１０ｇ／ｈの流管がある。他の例として内径０．９ｍｍで流量が１００００ｇ／ｈの流管がある。
【００６８】
（図８、図９の説明）流管１０２は図８に示されるように流管に取り付けられた１つの駆動コイルＤを用いて「プル・オンリー」の振動モードで動作する。このモードで、駆動コイルＤを通る電流により流管が流管１０２が固有の静止位置から吸引される。流れが停止すると流管１０２がその固有弾性で静止位置に復帰できるようになる。あるいは図９に示されるように流管１０２は１対の駆動コイルＤ１及びＤ２を用いて「プッシュ・プル」のモードで振動するようにしてもよい。このモードで駆動コイルＤ１を通る電流と駆動コイルＤ２を通る電流とがともに停止すると素子１０３及び流管１０２が下方に撓む。このように駆動コイルＤ１及びＤ２を交互に付勢−消勢すると交番磁界が生じ、それにより図９に示されるように流管１０２が横方向に振動する。図８の実施例は、流管１０２の構造の固有弾性が、駆動コイルの付勢されていない時に流管１０２を静止位置に復帰させるのに十分であるような用途に用いられよう。図９の「プッシュ・プル」の実施例は、流管１０２がその縦方向に対してこれを横切る各方向の磁界の作用を受けて振動するのが望ましい用途に用いられよう。Ｕ字形の流管２０２は「プル・オンリー」あるいは「プッシュ・プル」のいずれかのモードで動作するであろう。図９の導線３０６Ａ及び３０７Ａは流量計電子回路３２１に接続されよう。
【００６９】
（図１０−１３の説明）図１０−１３は、流管１０１及び２０２を具体化するのに用いられる他の異なる構造を示している。図１０は磁性材料が流管１０００の軸方向中心部に一体的になっている流管を示している。端部１００１及び１００３は磁性材料を含まない。図１１の実施例は、流管１１００全体がその全長にわたって磁性材料が一体的になっていることを示すように黒くしてある点で図１０のものと異なっている。図１１の流管１１００の磁性材料は軟質の型でも硬質の型でもよい。また、流管１１００は全体として固有のＮ／Ｓ内部磁界を有する鋼またはステンレス鋼のような材料４００で形成されよう。図１２は磁性材料が流管の表面に薄膜として付与されている実施例を示している。図１２において、磁性材料１２０２が流管の中心部１２０２に磁性材料が付与されているが、端部１２０１及び１２０３は磁性材料を有していない。図１３の実施例は、流管１３００がその全長の表面に磁性材料１３０１が付与されている点で図１２のものと異なっている。流管１０−１３の流管の磁性材料は軟質の型でも硬質の型でもよい。
【００７０】
図１０−１３は図１の直線状流管１０１の他の実施例を示している。Ｕ字形の流管２０３は磁性材料が流管全体またはその一部と一体的であるような同様の実施例としてもよい。あるいは、磁性材料は図２のＵ字形の流管２０３の全長またはその一部の表面に蒸着されよう。あるいは、図２のＵ字形の流管は固有のＮ／Ｓ内部磁界を有する鋼またはステンレス鋼のような材料４００で形成されよう。
【００７１】
ここで用いる「磁性材料」という語は固有のＮ／Ｓ内部磁界を有していない「軟質の」含鉄材料に当てはまるものである。この語はまたＮ／Ｓ永久磁界を有し得る硬質の磁性材料にも当てはまる。
【００７２】
（図１４の説明）図１４は本発明を具体化したＵ字形複管型のコリオリ質量流量計１４００を示している。コリオリ質量流量計１４００は、図１４のコリオリ質量流量計が１対のＵ字形の流管１４０２−１及び１４０２−２を有することのほかは、図６のＵ字形単管型コリオリ質量流量計と同様である。駆動コイルＤは２本の流管の中間に配置されている。流管の上部の軸方向中間部分における磁性材料は１４０３−１及び１４０３−２で示されている。磁性材料は硬質の型あるいは軟質の型のいずれでもよい。軟質の型であれば、駆動コイルＤは、電流を供給して付勢された時に流管が駆動コイルＤに吸引されるようにして２本の流管を逆の位相で振動させ、電流が停止した時に固有の弾性によって通常の静止位置に復帰する。磁性材料がＮ／Ｓ内部磁界を有する硬質の型であれば、駆動コイルＤは２本の流管を双方向に逆位相で振動させられる。ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯ発光素子及び光検出器からなる。それらは周知のようにして２本の流管の振動を表す出力信号を生ずるように動作する。出力信号は流管の振動位置に応じて光検出器の受けた光の量により変調される。流量計電子回路３２１に接続される出力導線３０４，３０５，３０８，３０９，３０６，３０７は図６について説明したのと同様に示されている。これらの作用は駆動コイルＤが物質の流れを有する流管の共振振動数で２本の流管を振動させるように駆動コイルＤを制御することを含む。これらの作用はまた流量計電子回路３２１が物質の流れに関する情報を出力しこの情報を線路３２２を介して図示しない利用回路に送出するように流量計電子回路３２１にピックオフの出力信号を送出することを含む。マニホルド５０３は図６に関連して説明したのと同様に動作する。Ｕ字形の流管の左側脚部は１４０２Ｌ１及び１４０２Ｌ２で示されている。右側脚部は１４０２Ｒ１及び１４０２Ｒ２で示されている。流管の上側部分は１４０２Ｃ１及び１４０２Ｃ２で示されている。
【００７３】
（図１５、図１６の説明）図１５及び図１６は直線状複管型コリオリ質量流量計１５００及び１６００を示している。図１５の実施例は２本の流管を逆の位相で振動させるように流管の中間に配置された１つの駆動コイルＤを用いている。流管素子１５０３−１及び１５０３−２が軟質の磁性材料からなる場合、駆動コイルＤは流管をプル・オンリーのモードを用いて逆の位相で振動させるように作用する。このモードで、流管は駆動コイルＤが付勢された時にこれに吸引される。電流が停止すると、流管はその固有の弾性により静止状態に復帰する。磁性材料がＮ／Ｓ内部磁界を有する硬質の型である場合、駆動コイルＤは流管を「プッシュ・プル」のモードで振動させる用に作用する。上側及び下側のピックオフＬＰＯも上側及び下側のピックオフＲＰＯも流管の振動位置を表すピックオフ信号を生ずる図１４において図示、説明した光学式
のものでよい。ピックオフ信号は図１４について説明したのと同様に流量計電子回路３２１に伝送される。
【００７４】
図１５及び図１６の実施例は開口１５０８において物質の流れを受け入れる左側の流入マニホルド１５０５を含む。図１５及び図１６の実施例はさらに、流管の右側に連結されていて流出口１５０９を有する流出マニホルド１５０６を含み、流出口１５０９を経て物質がコリオリ質量流量計から放出される。
【００７５】
図１６はＤ１及びＤ２で示される１対の駆動コイルを設けていることだけが図１５と異なっている。これらの駆動コイルＤ１及びＤ２は流量計電子回路３２１の制御を受けて２本の流管を逆の位相で振動させるように作用する。磁性材料が軟質の型であれば、「プル・オンリー」のモードが用いられる。磁性材料が硬質の型であれば、「プッシュ・プル」のモードが用いられる。
【００７６】
（図１７の説明）図１７は流管が固有のＮ／Ｓ内部磁界を有する磁性鋼で形成されている複管型コリオリ質量流量計を示している。この型の鋼はステンレス鋼４００あるいは固有の内部磁界を有する能力をもつ従来の鋼でもよい。このような鋼を用いれば、別個の磁性コーティングないし内側または外側の材料は必要とされない。その代りに、このような鋼で形成された流管の内部磁界が用いられる。図１７に示されるように、１つの駆動コイルＤが２本の流管１７０３−１及び１７０３−２を逆の位相で振動させるように流量計電子回路３２１により制御される。物質の流れを有する振動する流管によって生ずるコリオリ撓みを含む流管の振動を表す信号を流量計電子回路３２１に伝送する磁気ピックオフＬＰＯ及びＲＰＯにより２本の流管の振動位置が検出される。図１７のコリオリ質量流量計の利点は、流管が固有の磁界を有する材料で形成されるので、外部磁性コーティング材を蒸着することや流管に磁性材料を付加するための特殊な製造技術を用いることが必要とされないことである。図５、６及び１４に示されるＵ字形流管を有するコリオリ質量流量計は硬質ないし軟質の磁性材料コーティングの代りに流管の形成のために磁性鋼を用いて形成されよう。図１７に示されるように、２本のＵ字形流管の実施例は、「プッシュ・プル」のモードで流管を振動させるために駆動コイルを用い、物質の流れによるコリオリ撓みを含む流管の撓みを検出するためのピックオフとして磁気変換器を用いている。
【００７７】
本発明は好ましい実施例の説明事項に限定されるものではなく、発明の思想の範囲内での他の変更、変形をも含むものである。「軟質の磁性材料」あるいは「含鉄材料」の用語は磁界により吸引されるが固有のＮ／Ｓ内部磁界を有していない材料を特徴づけるものとして理解すべきである。
【００７８】
「軟質の磁性材料」、「硬質の磁性材料」は、すでに形成されている流管へのコーティング、薄膜、または外層として付与され、あるいは製造時に用いられる軟質または硬質の磁性材料として作用する一体的構造を形成するように製造される際に流管に結合されよう。
【００７９】
ここで用いる「流体」及び「流体の流れ」という用語は、液体等の流体、スラリー、プラズマ、ガスのような流れるいずれかの材料として理解されよう。また、本発明は小さい流管で小さい流量の小型のコリオリ質量流量計で用いるのに特に有利ではあるが、本発明の原理はまたいずれの大きさでいずれの材料で形成された流量計にも適用可能で有利なものであるのがわかるであろう。
【図面の簡単な説明】
【００８０】
【図１】直線状流管として考えられる一実施例の図である。
【図２】Ｕ字形流管の例を示す図である。
【図３】図１の直線状流管を備えたコリオリ質量流量計の細部を示す図である。
【図４】図１の直線状流管を備えたコリオリ質量流量計の細部を示す図である。
【図５】図２のＵ字形流管を備えたコリオリ質量流量計の細部を示す図である。
【図６】図２のＵ字形流管を備えたコリオリ質量流量計の細部を示す図である。
【図７】図３−６のピックオフをなす発光ダイオード及び光検出器の細部を示す図である。
【図８】１つの「プル・オンリー」型の駆動コイルが付随する図１の流管を示す図である。
【図９】「プッシュ・プル」型の駆動コイルが付随する図１の流管を示す図である。
【図１０】直線状流管の他の実施例を示す図である。
【図１１】直線状流管の他の実施例を示す図である。
【図１２】直線状流管の他の実施例を示す図である。
【図１３】直線状流管の他の実施例を示す図である。
【図１４】本発明の複管型のＵ字形流管の実施例を示す図である。
【図１５】本発明の複管型の直線状流管の実施例を示す図である。
【図１６】本発明の複管型の直線状流管の実施例を示す図である。
【図１７】本発明の複管型の直線状流管の実施例を示す図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年1月6日(2006.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物質の流れを受け入れるようにした流管手段（１０２）と、
駆動コイルと、
物質の流れを有する上記流管手段を振動させ、該物質の流れを有する流管手段の振動が上記流管手段のコリオリ撓みを生ずるように上記駆動コイルに駆動信号を供給する流量計電子回路（３２１）と、
上記流管手段のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるように上記流管手段に連結されたピックオフ手段（ＬＰＯ，ＲＰＯ）と、
上記物質の流れを表す出力信号を生ずるように上記ピックオフ信号を上記流量計電子回路に供給するための手段（３０４，３０５，３０８，３０９）と、
からなるコリオリ流量計において、磁性材料（１０３）が上記流管手段の少なくとも一部を形成し、上記駆動コイルが上記駆動信号の供給に応答して上記物質で満たされた流管手段を振動させるように上記磁性材料と相互作用する磁界を生ずるようにしたことを特徴とするコリオリ流量計。
【請求項２】
上記磁性材料が上記流管手段の外面の少なくとも一部における含鉄材料の層（１０３，２０３）からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項３】
上記磁性材料（１０３，２０３）が上記流管手段の軸方向全長より少ない範囲であることを特徴とする請求項２に記載のコリオリ流量計。
【請求項４】
上記磁性材料（１１０１）が上記流管手段の軸方向全長の範囲であることを特徴とする請求項２に記載のコリオリ流量計。
【請求項５】
上記磁性材料が上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的な含鉄材料（１１０１）からなり、該含鉄材料は内部磁界がないものであることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項６】
上記磁性材料（１０３，２０３）が自発性磁界を有する硬質の磁性材料からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項７】
上記磁性材料（１１０１）が上記流管手段の少なくとも半径方向外側の部分と一体的であることを特徴とする請求項６に記載のコリオリ流量計。
【請求項８】
上記ピックオフ手段が各々受光した光を電気信号に変換する発光器及び受光器からなる第１及び第２の光学的ピックオフ（７００）からなることを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項９】
上記駆動コイル（Ｄ）が、電流で付勢された時に上記流管手段が上記駆動コイルに磁力吸引され電流が停止すると上記流管手段がその固有弾性で静止状態に復帰するようなプル・オンリーのモードで上記流管手段を振動させるようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１０】
上記駆動コイルが第１の駆動コイル（Ｄ１）をなし、
上記コリオリ流量計がさらに第２の駆動コイル（Ｄ２）を含み、
上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルが上記流管手段の両側に配置され、
上記流量計電子回路が上記流管手段を上記第１の駆動コイルと上記第２の駆動コイルとの間でプッシュ・プルのモードで循環的に振動させる循環的に変化する磁界を生ずるように上記第１の駆動コイル及び第２の駆動コイルに逆の波形の電流を供給する
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１１】
上記流管手段が第１の流管（１４０２Ｃ１）と、該第１の流管に平行な第２の流管（１４０２Ｃ２）とからなり、
上記駆動コイルが上記第１の流管と上記第２の流管とを逆の位相になるように振動させるように上記第１の流管と上記第２の流管との中間に配置されている
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１２】
上記第１の流管及び第２の流管がそれぞれ上側の中心部分により連結された左側脚部及び右側脚部を有するＵ字形になっており、
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表すピックオフ信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフからなる
ことを特徴とする請求項１１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１３】
上記磁性材料が内部磁界を有する硬質の磁性材料からなり、
上記磁性材料がその磁界が上記ピックオフ（ＬＰＯ，ＲＰＯ）に供給されるように上記流管の軸方向全長にわたり、
上記ピックオフ（ＬＰＯ，ＲＰＯ）が上記磁性材料の磁界と上記Ｕ字形の流管のコリオリ撓みとに応答して該コリオリ撓みを表すピックオフ信号をずる
ようにしたことを特徴とする請求項１１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１４】
上記ピックオフ手段が上記流管のコリオリ撓みを表す出力信号を生ずるための上記流管に近接した第１及び第２の光学的ピックオフ（７００）からなることを特徴とする請求項１１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１５】
上記流管手段がＳ／Ｎ内部磁界を有する硬質の磁性材料で形成され、
上記ピックオフ手段（ＬＰＯ，ＲＰＯ）が磁気変換器であり、
上記磁性材料が上記駆動コイル及び上記変換器に近接した上記流管手段の軸方向に延びており、
上記物質で満たされた流管手段の振動で上記磁気変換器におけるコリオリ撓みを表す磁界が生ずる
ようにしたことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【請求項１６】
上記駆動コイル（Ｄ）が上記流管手段（１７０３−１，１７０３−２）を逆の位相となるようにプッシュ・プルのモードで振動させるように作用し、
上記ピックオフ手段が上記振動する流管手段の磁界と相互作用して上記ピックオフ信号を生ずる磁気変換器からなる
ことを特徴とする請求項１に記載のコリオリ流量計。
【国際調査報告】
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