(57)【要約】本発明は、加速度を測定するのに用いる測定装置、より詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明による容量型加速度センサーは、回転軸（７）に支持された、加速度センサーの可動電極（５）を有する。複数の電極対が、本発明による加速度センサーに使用されている。本発明による加速度センサー構造により、対称という利点が達成され、また信頼度の高い効率的な加速度の測定が、特に小さな容量型加速度センサー設計において、可能となる。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーであって、各電極対は、加速度に応答する可動電極（５）と、少なくとも１つの固定プレート部分（６）とを有し、
その特徴は、
各電極対がさらに回転軸（７）を有しており、該回転軸は実質的に共通の軸を形成しており、
当該加速度センサーの可動電極（５）が、回転軸（７）に堅固に支持され、該可動電極（５）が回転軸（７）の周りを自由に回転運動でき、
複数の電極対が、当該加速度センサーに用いられていること、
を特徴とする容量型加速度センサー。
【請求項２】
電極対の位置が、対称軸に関して対称であるように選択されていることを特徴とする、請求項１に記載の容量型加速度センサー。
【請求項３】
電極対の形状が、電極対の数に対して適合するように選択されていることを特徴とする、請求項１または２に記載の容量型加速度センサー。
【請求項４】
少なくとも２組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項５】
２組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項６】
１軸の加速度センサーが、２組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項５に記載の容量型加速度センサー。
【請求項７】
２軸の加速度センサーが、２組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項５に記載の容量型加速度センサー。
【請求項８】
２つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項５〜７のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項９】
各可動電極の重心間の線分の長さが、異なる可動電極のどの支持点の間に引かれた直線よりも短いことを特徴とする、請求項５〜８のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１０】
３組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１１】
１軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１０に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１２】
２軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１０に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１３】
３軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１０に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１４】
３つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１５】
各可動電極の正方向ベクトルが他の２つの可動電極の正方向ベクトルに対して１２０°、および２４０°の角度をなすように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１０〜１４のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１６】
可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差していることを特徴とする、請求項８〜１５のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１７】
４組の電極対が、加速度センサーに用いられることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１８】
１軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１９】
２軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２０】
３軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２１】
４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１７〜２０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２２】
各可動電極の正方向ベクトルが他の３つの可動電極の正方向ベクトルに対して９０°、１８０°、および２７０°の角度をなすように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１７〜２１のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２３】
可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差していることを特徴とする、請求項１７〜２２のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２４】
８組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２５】
１軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項２４に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２６】
２軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項２４に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２７】
３軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項２４に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２８】
４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項２４〜２７のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２９】
異なる電極対が、異なる範囲の加速度を測定するように適合したものとされていることを特徴とする、請求項１〜２８のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項３０】
当該加速度センサーの電極対のいくつかが、余剰な電極対であることを特徴とする、請求項１〜２９のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項３１】
当該加速度センサーの電極対のいくつかが、キャパシタンスの変化の線形化のために用いられていることを特徴とする、請求項１〜３０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
発明の分野
本発明は、加速度の測定において用いられる測定装置に関し、詳細には、容量型加速度センサーに関する。本発明の目的は、信頼度の高い効率的な加速度測定を、特に小さい容量型加速度センサーの設計において可能にする、改善されたセンサー構造を提供することである。
【背景技術】
【０００２】
発明の背景
容量型加速度センサーに基づく測定は、シンプルな原理を有し、加速度の測定において信頼度の高い方法を提供することがわかっている。容量型の測定(capacitive measuring)は、センサーの電極対の、２つの表面間のギャップの変化に基づいている。表面間のキャパシタンス、すなわち電荷を蓄えるための容量は、表面の面積および表面間の距離によって決まる。容量型の測定は、既に、加速度のいくぶん低い測定範囲において用いることが可能である。
【０００３】
以下に、添付した図を参照に例示して、先行技術を説明する。
図１は、先行技術による加速度センサーの電極対（一対の電極）の構造を示す斜視図であり、また図２は、先行技術による加速度センサーの、直動運動に基づいた、電極対の機能的構造の側面図である。
【０００４】
図１は、先行技術による加速度センサーの、電極対の構造の斜視図を示している。先行技術による加速度センサーの電極対は、可動電極１（これは、加速によって動く）と、固定電極２とを有する。可動電極１は、部分１であり、加速度センサーの加速に応答し、そしてこの部分は、加速の結果、固定電極２に関して移動する。可動電極１と固定電極２とは電極対を構成し、該電極対は、加速度を、電気的に測定しうる量（即ちキャパシタンス）へと変換する。図においては、加速度センサーの可動電極１は、点３および４によって支持されている。一般的に、可動電極１の反対側には、先行技術の加速度センサーは、さらに第二の電極対を有するが、該電極対は、明瞭性のため図には示されていない。
【０００５】
加速度センサーは、電極対の可動電極の直動運動または回転運動のどちらかに基づいて実施されうる。
【０００６】
図２は、先行技術による加速度センサーの、直動運動に基づいた、電極対の機能的構造の側面図である。先行技術による加速度センサーの電極対は、可動電極１と固定プレート部分２とを有する。加速度センサーの可動電極１の支持点は、点４で示されている。加速度センサーの可動電極１が、上方のポジションにあるので、キャパシタンスは、可動電極１の底表面と、プレート部分２の上表面との間に形成される。キャパシタンスの大きさ(magnitude)は、表面１、２の面積と、表面１、２間の距離とによって決まる。加速度センサーの可動電極１が下方のポジションへ移動すると、表面１、２間の距離が減少するので、表面１、２間のキャパシタンスは大幅に増加する。
【０００７】
本発明による加速度センサーの、電極対の可動電極を支持するための配置、および電極の構造は、出願人の同時係属中の国際出願において詳細に記載されている。
【発明の開示】
【０００８】
発明の要旨
本発明の目的は、対称という利点を達成でき、また特に小さな容量型加速度センサー設計において信頼度が高く効率的な加速度測定することを可能にする、改善されたセンサー構造を提供することである。
【０００９】
本発明の第一の特徴によれば、少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーが提供され、各電極対は、加速度に応答する１つの可動電極と、少なくとも１つの固定プレート部分とを有し、各電極対はさらに回転軸を有し、該回転軸は実質的に共通の軸を形成し、
当該加速度センサーの可動電極が、回転軸に堅固に支持され、該可動電極が回転軸の周りを自由に回転運動でき、
当該加速度センサーに、複数の電極対が用いられている。
【００１０】
好ましくは、電極対の位置は，対称軸に対して対称であるように選択される。好ましくは、電極対の電極の形状は、電極対の数に対して適合するように選択される。好ましくは、少なくとも２組の電極対が、当該加速度センサーに用いられる。
【００１１】
あるいは、２組の電極対が、当該加速度センサーに使用される。好ましくは、２組の電極対を用いることによって、１軸の加速度センサーが提供される。好ましくは、２組の電極対を用いることによって、２軸の加速度センサーが提供される。好ましくは、２つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされる。好ましくは、それぞれの可動電極の重心間の線分の長さが、異なる可動電極のどの支持点間に引かれた直線よりも短いものである。
【００１２】
好ましくは、３組の電極対が加速度センサーにおいて使用される。好ましくは、１軸の加速度センサーが３組の電極対を用いることによって提供される。あるいは、２軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供される。あるいは、３軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供される。好ましくは、３つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされる。好ましくは、各可動電極の正方向ベクトル間の角度が他の２つの可動電極の正方向ベクトルに対して１２０°、および２４０°をなすように、電極対が位置決めされる。好ましくは、可動電極の負方向ベクトルは実質的に単一の点で交差している。
【００１３】
あるいは、４組の電極対が当該加速度センサーに使用される。好ましくは、１軸の加速度センサーが４組の電極対を用いることによって提供される。あるいは、２軸の加速度センサーが４組の電極対を用いることによって提供される。あるいは、３軸の加速度センサーが４組の電極対を用いることによって提供される。好ましくは、４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされる。
【００１４】
好ましくは、各可動電極の正方向ベクトルと、他の３つの可動電極の正方向ベクトルとの間の角度が、９０°、１８０°、および２７０°となるように、電極対が位置決めされる。好ましくは、可動電極の負方向ベクトルは実質的に１つの点で交差している。
【００１５】
あるいは、８組の電極対が加速度センサーにおいて使用される。好ましくは、１軸の加速度センサーが８組の電極対を用いることによって提供される。あるいは、２軸の加速度センサーが８組の電極対を用いることによって提供される。
【００１６】
あるいは、３軸の加速度センサーが４組の電極対を用いることによって提供される。好ましくは、４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされる。好ましくは、様々な電極対が、異なる加速度の範囲で測定するように適合したものとされている。好ましくは、当該加速度センサーの電極対のいくつかは、余剰の電極対である。好ましくは、加速度センサーの電極対のいくつかはキャパシタンス変化の線形化のために用いられる。
【００１７】
本発明、およびそれを実施する好ましい方法は、添付の図面を参照する例示を伴って、以下に詳細に記載される。
【００１８】
図１〜２については上述されている。以下に、本発明およびその実施のための好ましい方法を、図３〜１１を参照して記載する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
発明の詳細な説明
図３は、本発明による加速度センサーの、電極対(a pair of electrodes)の機能的構造の側面図を示している。本発明による加速度センサーの電極対は、可動電極５、固定電極６および回転軸７を有する。
【００２０】
当該加速度センサーの可動電極５は、回転軸７に堅固に支持されており、該可動電極５は、回転軸７の周りを自由に回転し回転運動できる。回転運動する可動電極は、加速度センサーの一部分を構成し、加速度に応答し、かかる部分は、加速の結果として回転軸７の周りの回転運動を行なう。
【００２１】
回転運動の前に、加速度センサーの可動電極５が上方ポジションにある場合、キャパシタンスは、可動電極５の底表面と、固定電極６の上表面との間に形成される。キャパシタンスの大きさ(magnitude)は、表面５、６の面積と、表面５、６間の距離とによって決まる。当該加速度センサーの可動電極５が、回転運動の後、下方ポジションへ回転する場合、表面５、６の距離が減少するので、表面５、６間のキャパシタンスは増加する。
【００２２】
表面５、６間の距離が変化しているために、本発明による加速度センサーの電極対における表面間のキャパシタンスは、表面５、６上に不均一に分配される。本発明による加速度センサーは、さらに、可動電極５の反対側に、第二の電極対を有していてもよい。
【００２３】
本発明による加速度センサーでは、可動電極の回転運動におけるキャパシタンスの変化は、電極対の形状によって、矩形の電極対と比較してより強められる。キャパシタンス変化のその増加は、回転運動によって起こる電極距離の不均一性に基づいている。
【００２４】
回転運動における可動電極の先端のポジションは、回転角度の最大値を制限する要因である。一般的には、固定電極の上にはバッファ構造があり、可動電極がこの構造にぶつかるときに、電極対は最大キャパシタンスを達成する。キャパシタンスの変化に関して最も感度の高いエリアもまた可動電極の先端にあるが、それは、そこが電極対の距離が最も変化する場所だからである。
【００２５】
回転角度の最大値は、回転軸からの可動電極の最大距離に依存するが、電極の先端に形成されるキャパシタンスの大きさは、電極対の幅に依存する。無負荷の電極対のキャパシタンスは、電極対の表面にのみ依存する。
【００２６】
本発明では、可動電極によって、固定電極によって、または両方の電極によって、電極対が形を定められ、電極対のエリアの有効な部分は、固定電極における回転運動の軸から可能な限り離れて置かれる。本発明によれば、電極対の形状は、例えば、三角状、ドロップ(drop)状、ハンマー状の電極対である。本発明による該構造を有すれば、電極対によって生み出されるキャパシタンスの大部分が、電極対の距離が大きく変化するこのエリアで生み出される。
【００２７】
図４は、本発明による加速度センサーの電極対の構造の斜視図を示している。本発明による加速度センサーの電極対は、デザインされた可動電極８（これは加速によって動く）を有し、かつ、デザインされた固定電極９を有する。可動電極８は、加速度センサーの一部分８を構成し、加速度に応答し、かつ該部分は、該加速の結果として、プレート部分９に対して動く。可動電極８と固定電極９とは、電極対を形成し、それが、加速度を、電気的に測定しうる量（即ちキャパシタンス）へと変換する。図において、加速度センサーの可動電極８は、回転の軸の点１０および１１において支持されている。
【００２８】
電極対の代替的な形状は、例えば、三角状、ドロップ状、ハンマー状の電極対である。このような構造により、電極対によって生み出されるキャパシタンスの大部分が、電極対の距離が大きく変化するこのエリアで生み出される。
【００２９】
図５は、電極対の表面間の距離が変化したときの、本発明による加速度センサーの電極対のキャパシタンスの変化（パーセンテージで表している）を示している。水平軸は電極対の表面間の距離（ｄ）を示している。これに対応して、縦軸は、電極対のキャパシタンスの変化（％Ｃ変化）を示しており、パーセンテージで表している。曲線１２は、電極対の表面間の距離が変化した時の、通常の電極対のキャパシタンスの変化であって、パーセンテージで表しており、該電極は、方形状の表面を持っており、平行移動の動作にて動く。曲線１３は、それぞれ、電極対の表面間の距離が変化したときの、電極対のキャパシタンスの変化であって、パーセンテージで表しており、該電極は、方形状の表面を持っており、回転運動にて動く。
【００３０】
このように、測定で用いた、回転運動で動く電極対についてのキャパシタンスの変化は、平行移動の動作にて動く、四角形の表面を持った、通常の電極対のものほど大きくないことがわかる。測定のために必要なこの変化感度は、電極対の形を定めることによって補正することができる。曲線１４は、電極対の表面間の距離が変化するときの、電極対のキャパシタンスの変化であって、パーセンテージで表しており、該電極は、三角形状の表面を持っており、回転運動にて動く。
【００３１】
本発明による加速度センサーの電極対の可動電極は、スプリングが連結された、実質的に２つの支持点を有し、該スプリングは、該支持点を通って引かれた直線の周りの回転の自由度を、可動電極に提供している。
【００３２】
可動電極は、加速度に対する感度の方向を有するものに限定してよく、該方向は電極面と平行ではない。ここで、電極面とは、最小二乗法によって形成される電極の面を意味するものとする。よって、可動電極の重心は、可動電極の電極面に垂直な方向に、可動電極の電極面に平行な面へ投影され、この可動電極の電極面に平行な面は、可動電極の支持点を通過しており、前記の投影された可動電極は、該可動電極の支持点の間に引かれた直線上にあってはならない。
【００３３】
複数組の電極対を、本発明による加速度センサーにおいて用いてもよい。それによって、加速度は、いくつかの異なった軸に関して測定されてもよい。電極対の位置決め(positioning)は、対称軸に関して対称になるように選択され、それにより、温度ストレスまたはその他の対称的な負荷を受けた場合に、それらの電極対の挙動が同等になる。
【００３４】
当該加速度センサーの電極対の形状は、電極対の数に適するように選択され、それによって、最適なパッキング密度が、その形状を役立たせることおよび質量アイテムの位置決めによって達成される。本発明による加速度センサーの電極対の可動電極の支持配置(support arrangement)、および電極構造は、出願人の同時係属中の国際特許出願においてより詳細に記載されている。
【００３５】
図６は、２組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。該図では、三角形の可動電極に加え、対称軸、スプリング取付け点、回転軸、およびセンサーの外壁が示されている。複数組の電極対を用いることによって、また支持点を適切に選択することによって、１つまたは２つの軸を代替的に有する加速度センサーを実施することができる。該図では、２つの軸を有する加速度センサーが、２組の電極対を用いて実施されている。それら電極対は、２つの対称軸が得られるように位置決めされている。本発明による該加速度センサーでは、各可動電極の重心、および重心間の線分の長さは、異なる可動電極のどの支持点の間に引かれた直線よりも短くなくてはならない。
【００３６】
図７は、３組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。該図では、三角形の可動電極に加え、対称軸、スプリング取付け点、回転軸、およびセンサーの外壁が示されている。複数組の電極対を用いることによって、また支持点を適切に選択することによって、１つ、２つまたは３つの軸を代替的に有する加速度センサーを実施することができる。該図では、３つの軸を有する加速度センサーが、３組の電極対を用いて実施されている。それら電極対は、３つの対称軸が得られるように位置決めされている。本発明による該加速度センサーでは、正方向とは、可動電極の支持軸から重心へと向う方向であると解され、負方向とはその反対の方向であると解される。本発明による該加速度センサーでは、電極対は、次のようにセンサー中に位置している。即ち、各可動電極の正方向ベクトルが、他の２つの可動電極の正方向ベクトルに対して１２０°、および２４０°の角度をなすように、かつ、可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差するようにである。
【００３７】
図８は、４組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。該図では、三角形の可動電極に加え、対称軸、スプリング取付け点、回転軸、およびセンサーの外壁が示されている。複数組の電極対を用いることによって、また支持点を適切に選択することによって、１つ、２つまたは３つの軸を代替的に有する加速度センサーを実施することができる。該図では、３つの軸を有する加速度センサーが、４組の電極対を用いて実施されている。それら電極対は、４つの対称軸が得られるように位置決めされている。本発明による該加速度センサーでは、電極対は、次のようにセンサー中に位置している。即ち、各可動電極の正方向ベクトルが、他の３つの可動電極の正方向ベクトルに対して、９０°、１８０°、および２７０°の角度をなすように、かつ、可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差するようにである。
【００３８】
図９は、８組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。該図では、三角形の可動電極に加え、対称軸、スプリング取付け点、回転軸、およびセンサーの外壁が示されている。複数組の電極対を用いることによって、また支持点を適切に選択することによって、１つ、２つまたは３つの軸を代替的に有する加速度センサーを実施することができる。該図では、３つの軸を有する加速度センサーが、８組の電極対を用いて実施されている。それら電極対は、４つの対称軸が得られるように位置決めされている。
【００３９】
加速度の異なる範囲は、本発明による加速度センサーの、異なる電極対をもって測定することができる。また、当該加速度センサーの電極対のいくつかは、余剰な電極対であってもよい。さらに、当該加速度センサーの電極対のいくつかは、キャパシタンス変化の線形化(linearisation)のために用いることができる。
【００４０】
図１０は、４組の電極対をもって実施された、本発明による代替的な加速度センサーを示している。本発明による代替的な加速度センサーでは、電極対は、次のようにセンサー中に位置している。即ち、各可動電極の正方向ベクトルが他の３つの可動電極の正方向ベクトルに対して９０°、１８０°、および２７０°の角度をなすように、かつ可動電極の負方向ベクトルが実質的にアセンブリの中心における１つの点で交差するようにである。可動電極の、電極面および支持点は、電極面における４つの対称軸に関して対称である。
【００４１】
図１１は、４組の電極対をもって実施された、本発明による第二の代替的な加速度センサーを示している。本発明によるこの第二の代替的な加速度センサーでは、電極対は、次のようにセンサー中に位置している。即ち、各可動電極の正方向ベクトルが、他の３つの可動電極の正方向ベクトルに対して、９０°、１８０°、および２７０°の角度をなすように、かつ可動電極の負方向ベクトルが実質的にアセンブリの中心における１つの点で交差するようにである。可動電極の、電極面および支持点は、電極面における４つの対称軸に関して対称である。
【００４２】
本発明による加速度センサー構造により、対称性の利点が達成され、また信頼度の高い効率的な加速度の測定が、特に小さな容量型加速度センサー設計において、可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、先行技術による加速度センサーの電極対の構造の斜視図を示している。
【図２】図２は、先行技術による加速度センサーの、動直運動に基づいた、電極対の機能構造の側面図を示している。
【図３】図３は、本発明による加速度センサーの電極対の機能的構造の側面図を示している。
【図４】図４は、本発明による加速度センサーの電極対の構造の斜視図を示している。
【図５】図５は、電極対の表面間の距離が変化したときの、本発明による加速度センサーの電極対のキャパシタンスの変化（パーセンテージで表している）を示している。
【図６】図６は、２組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。
【図７】図７は、３組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。
【図８】図８は、４組の電極対電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。
【図９】図９は、８組の電極対をもって実施された、本発明による加速度センサーを示している。
【図１０】図１０は、４組の電極対をもって実施された、本発明による代替的な加速度センサーを示している。
【図１１】図１１は、４組の電極対電極対をもって実施された、本発明による第二の代替的な加速度センサーを示している。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【手続補正書】
【提出日】平成16年9月10日(2004.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１対の電極を有する容量型加速度センサーであって、各電極対は、加速度に応答する可動電極（５）と、少なくとも１つの固定プレート部分（６）とを有し、各電極対はさらに回転軸（７）を有しており、該回転軸は実質的に共通の軸を形成しており、当該加速度センサーの可動電極（５）は、回転軸（７）に堅固に支持され、該可動電極（５）は回転軸（７）の周りを自由に回転運動でき、
その特徴は、
電極対の位置が、対称軸に関して対称であるように選択されていること、および、
少なくとも３組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることである、
前記容量型加速度センサー。
【請求項２】
電極対の形状が、電極対の数に対して適合するように選択されていることを特徴とする、請求項１に記載の容量型加速度センサー。
【請求項３】
３組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１または２に記載の容量型加速度センサー。
【請求項４】
１軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項３に記載の容量型加速度センサー。
【請求項５】
２軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項３に記載の容量型加速度センサー。
【請求項６】
３軸の加速度センサーが、３組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項３に記載の容量型加速度センサー。
【請求項７】
３つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項３〜６のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項８】
各可動電極の正方向ベクトルが他の２つの可動電極の正方向ベクトルに対して１２０°、および２４０°の角度をなすように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項３〜７のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項９】
可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差していることを特徴とする、請求項３〜８のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１０】
４組の電極対が、加速度センサーに用いられることを特徴とする、請求項１または２に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１１】
１軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１０に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１２】
２軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１０に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１３】
３軸の加速度センサーが、４組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１４】
４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１０〜１３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１５】
各可動電極の正方向ベクトルが他の３つの可動電極の正方向ベクトルに対して９０°、１８０°、および２７０°の角度をなすように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１０〜１４のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１６】
可動電極の負方向ベクトルが実質的に１つの点で交差していることを特徴とする、請求項１０〜１５のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１７】
８組の電極対が、当該加速度センサーに用いられていることを特徴とする、請求項１または２に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１８】
１軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項１９】
２軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２０】
３軸の加速度センサーが、８組の電極対を用いることによって提供されていることを特徴とする、請求項１７に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２１】
４つの対称軸が形成されるように、電極対が位置決めされていることを特徴とする、請求項１７〜２０のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２２】
異なる電極対が、異なる範囲の加速度を測定するように適合したものとされていることを特徴とする、請求項１〜２１のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２３】
当該加速度センサーの電極対のいくつかが、余剰な電極対であることを特徴とする、請求項１〜２２のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【請求項２４】
当該加速度センサーの電極対のいくつかが、キャパシタンスの変化の線形化のために用いられていることを特徴とする、請求項１〜２３のいずれか１項に記載の容量型加速度センサー。
【国際調査報告】
2006517661.tif 000014
2006517661.tif 000015