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(57)【要約】特にプラスチックフィルムや帯状ペーパーのような帯状製品を製造するための機械の押圧作業、乾燥作業又はスムージング作業のための温度制御された回転可能な回転対称熱交換器。当該熱交換器は好ましくは液体又は蒸気の熱伝達媒体を用いて、又は電気手段に伴う熱によって温度制御され得る。本発明の目的は、４００〜４５０ＨＶより遥かに大きな表面硬度を達成し、８０ｋＷ／ｍより大きな熱伝達能の場合ですら化学的／機械的腐食を最小限に抑えるべく上記タイプの熱交換器を構成することである。このために熱交換器はプラズマ処理される。【特許請求の範囲】
【請求項１】
特にプラスチックフィルムや帯状ペーパーのような帯状製品を製造するための機械の押圧作業、乾燥作業又はスムージング作業のための温度制御された回転可能な焼き入れ鍛鋼製回転対称熱交換器にして、好ましくは液体若しくは蒸気の熱伝達媒体を用いて、又は電気手段に伴う熱によって温度制御され得る熱交換器において、当該熱交換器がプラズマ処理されることを特徴とする熱交換器。
【請求項２】
ロールピン表面が全体として、あるいは部分的にプラズマ処理されることを特徴とする請求項１に記載の熱交換器。
【請求項３】
帯状製品に対する熱交換器の接触面がプラズマ処理されることを特徴とする請求項１又は２に記載の熱交換器。
【請求項４】
熱交換器のバレン表面がプラズマ処理されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項５】
ロール表面がプラズマ処理されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項６】
熱媒体に接する表面が全体として、あるいは部分的にプラズマ処理されることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項７】
表面に結合層が形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項８】
表面に結合層が形成されていないことを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項９】
被膜下腐食が防止されていることを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の熱交換器。
【請求項１０】
プラズマ処理されたカレンダーロールが２０℃〜５００℃のプロセス温度で用いられ得ることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載の熱交換器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、請求項１のプレアンブル部分（所謂おいて部分）に係る熱交換器に関するものである。そのような熱交換器は、産業、主に艶出し（カレンダー）工業における帯状製品の製造乃至精製のために用いられる。
【背景技術】
【０００２】
新たな多重ニップカレンダーロールに必要とされる熱伝達能と表面温度とは、その負荷限界を越えてチル鋳鉄、ダクタイル鋳鉄又はクロム鋳物のような従来通例のカレンダーロール材料に負担をかけている。鍛鋼は今のところ、この要求を満たす材料である。しかしながら適当な鍛鋼は、鍛鋼の利点を失うことなく、単に４００〜４５０ＨＶの材料硬度まで焼き入れされ得るので、このロールは例えば電気めっき的若しくは熱的に表面コーティングされるか、例えば誘導硬化（Induktivhaerten）若しくは炎焼き入れによって縁層硬化される。
【０００３】
熱的にもたらされた表面コーティングは、プロセス信頼性が不充分であるほか、完成層の多孔性が比較的大きいという欠点を有している。摩耗粒子がその穴や硬さのあまりない基質範囲に入り込む可能性があり、そうなるとこれら粒子を「洗い流す」ことになる。表面硬化された鍛鋼ロールは、不充分な焼戻し耐性や、それに関連した低過ぎる硬度のほかに、表面硬度によって引き起こされた不利な内部応力分布を有する。硬度影響域の範囲における高い引っ張り応力は、鍛鋼の良好な機械特性の利点を損ねる。
【０００４】
製紙の際の新たなコーティング材料や供給材料は、ロールバレン（Walzenballen）の化学的・機械的腐食抵抗だけでなく環境や製品路と関連があるロール全表面の化学的・機械的腐食抵抗も高めることを要する。非常に大きな熱伝達能（＞８０ｋＷ／ｍ）のために、熱伝達温度が絶えず上昇し、流体熱媒体にさらされる接触面も一層大きな化学的／機械的腐食にさらされる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上述した欠点を有さず、特に４００〜４５０ＨＶを遥かに超える表面硬度を達成し、８０ｋＷ／ｍより大きな熱伝達能の場合にも化学的／機械的腐食を最小限に抑えるように、一般概念の熱交換器を構成することを課題としている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記焼入れされた鍛鋼ロールは所望箇所でプラズマ処理（plasmatrieren、プラズマ加工）される。用語「プラズマ処理」は、これから以下において、下位概念プラズマ窒化（Plasmanitrieren）、プラズマ軟窒化（Plasmanitrocarburieren）、プラズマ酸化（Plasmaoxidieren）、プラズマ浸炭窒化（Plasmacarbonitrieren）及びプラズマ浸炭（Plasmacarborieren）のための代表用語として用いられる。これは主に０．３〜１０ミリバールの処理圧での真空室において起こる。処理温度は供給ポジションに応じて４００〜６００℃である。プロセスガスとしておおむねアンモニア、窒素、メタン及び水素が用いられる。圧力、温度、時間及びガス様式は、層（被膜）と所望表面硬度のバリエーションにおいてパラメータを形成する。所望表面で１２００ＨＶまでの表面硬度が達成可能であり、１ｍｍまでの硬化層深さが実現する。この極端な硬度のほかに、この拡散層は、摩耗プロセスに不利な多孔度増加（Prorositatserhohung）を形成しない。基層の多孔度（Prorositat）は維持されたままである。更に、化学的腐食に対する非常に大きな改善が達成される。
【０００７】
熱的スプレー被覆に際し若しくは硬質クロムコーティングに際しても知られた被膜下腐食（Unterkorrosion）はプラズマ処理の際に可能でない。表面における結合層は当該表面を酸化侵食に対して不動態化させる。上記方法の際に同じく知られたミクロクラッキングはここでは同様に起きない。
【国際調査報告】
2006518013.tif 000002
2006518013.tif 000003
2006518013.tif 000004
2006518013.tif 000005
(57)【要約】本発明は、押出し又は連続鋳造により、構成部品（１、２）を製造する方法に関する。前記構成部品（１、２）は、成形工程のためにその寸法を画定するために、金型を利用して要求許容値に較正される。前記発明によれば、潤滑剤が、構成部品（１、２）と金型との間に配置される。
2006524574.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
金属合金の連続鋳造品又は押出品から、自動車用構成部品（１、２）を製造する方法であって、
ａ）構成部品素材が、前記連続鋳造品又は押出品を分割することによって製造され、
ｂ）前記構成部品素材が、前記分割の前又は後の成形工程において、鋳型を用いて前記構成部品（１、２）の要求寸法に較正されることを特徴とする製造方法。
【請求項２】
前記構成部品素材を前記構成部品（１）の仕上り寸法に成形することが、冷間圧縮又は冷間成形工程、温間圧縮又は温間成形工程、或いは熱間圧縮又は熱間成形工程によって達成されることを特徴とする請求項１に記載の製造方法。
【請求項３】
前記構成部品素材及び／又は前記鋳型の、少なくとも互いに接触している表面部分が、前記較正の前に潤滑剤で湿らされることを特徴とする請求項１或いは２に記載の製造方法。
【請求項４】
使用される前記潤滑剤が、油、固体潤滑剤、及び／又はプラスチックであることを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の製造方法。
【請求項５】
自動車用押出し又は連続鋳造構成部品であって、前記構成部品の形体の寸法が、少なくとも一部分、前記構成部品素材を製造する工程後に行われる成形工程によって成形されることを特徴とする押出し又は連続鋳造構成部品。
【請求項６】
前記構成部品が、カム軸調節器用のロータ（２）として又はロータハウジング（１）として設計されることを特徴とする請求項５に記載の押出し又は連続鋳造構成部品。
【請求項７】
前記ロータ（２）が、中心軸の周囲に所望の方法で分散されるよう配置された羽根（２．２）を備えることを特徴とする請求項６に記載の押出し又は連続鋳造構成部品。
【請求項８】
前記ハウジング（１）が、前記羽根（２．２）のための窪み（１．２）を有し、該窪み（２．２）が、中心軸の周囲に所望の方法で分散されるよう配置されることを特徴とする請求項７に記載の押出し又は連続鋳造構成部品。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属合金の連続鋳造品又は押出品から、自動車用構成部品を製造する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
特許文献１では、自動車のバルブ駆動装置について開示しており、このロータ及びハウジングは、押出しアルミニウム合金から製造される。この場合、鋼片は、所望の長さに切り落とされ、次いで切断及び研磨工程によって処理される。
【０００３】
【特許文献１】特開２００２−１８０８０９明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の目的は、素早くかつコスト効果の高い製造が確実となる製造方法を設計し、配置することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記目的は、本発明に従って、構成部品素材が、連続鋳造品又は形材或いは押出品又は形材を分割することによって製造され、その構成部品素材が、分割の前又は後の成形工程において鋳型を用いて、その構成部品の要求寸法に較正されることによって達成される。
【発明の効果】
【０００６】
このようにして製造された構成部品素材は、高価な切断又は研磨工程によって処理する必要がない。構成部品素材が鋳型内又は鋳型全体の圧縮操作によって得られるので、成形工程は、極めて素早くかつ簡単にその効果が生じる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００７】
このため、構成部品素材をその構成部品の仕上り寸法に成形することは、冷間圧縮又は冷間成形工程、温間圧縮又は温間成形工程、或いは熱間圧縮又は熱間成形工程によって達成されることが好ましい。
【０００８】
この場合、成形工程は、構成部品が冷たい状態の時にその効果が生じ得る。また、鋳型内の加熱状態の熱膨張を考慮しながら、構成部品素材を成形する手段が講じられる。
【０００９】
発展形態によれば、さらに、構成部品素材及び／又は鋳型の、少なくとも互いに接触している表面部分を、較正の前に潤滑剤で湿らせることができる。
【００１０】
潤滑剤を使用することにより磨耗のない成形操作が確実となるので、構成部品と鋳型との間の冷間溶接現象が防止される。この場合、構成部品及び鋳型は、それぞれ、対応する表面の、冷間溶接現象を助ける、少なくとも重要な領域内が潤滑剤で湿らされる又は覆われる。
【００１１】
さらに、使用される潤滑剤は、油、固体潤滑剤、及び／又はプラスチックであることが好ましい。
【００１２】
グリース又は噴霧プラスチック潤滑剤などの固体潤滑剤を使用することにより、冷間溶接現象のない成形工程が実現できる。
【００１３】
このため、構成部品の寸法が、少なくとも一部分、構成部品素材を製造する工程後に行われる成形工程によって成形されることも好ましい。
【００１４】
この場合、成形工程は、切断又は研磨工程より実質的に簡単かつ素早く配置され得る。このようにして成形された構成部品は、必要な許容範囲の大きさを有する。
【００１５】
最後に、本発明による解決方法の好ましい実施形態によれば、構成部品を、カム軸調節器用のロータとして又はロータハウジングとして設計する手段が講じられる。
【００１６】
本発明の特に重要な点は、ロータが、中心軸の周囲に均一に分散されるよう配置された４枚の羽根を備えることが好ましいということにある。
【００１７】
本発明による設計及び配置と関連して、ハウジングが羽根用に４つの窪みを有することが好ましく、これらの窪みが中心軸の周囲に均一に分散されるよう配置されることが好ましい。中心軸に対する窪み内の各羽根の角位置は、操作中に変化する。
【００１８】
本発明のさらなる利点及び詳細が、頭記の特許請求の範囲及び以下の記述に説明され、図に示されている。
【００１９】
本明細書に示されている構成部品１及び２は、ハウジング１、及び前記ハウジング１によって収容されるロータ２である。この場合、ハウジング１もロータ２も、カム軸（図示せず）と同軸状に又はカム軸の中心軸３と同軸状に配置される。ロータ２及びハウジング１は、この場合、放射状に走る表面１．３、２．３を介して作動連結している。中心軸３に対するロータ２とハウジング１との間の相対角位置は、操作中、調整機構（図示せず）によって変化する。
【００２０】
このため、ロータ２は、ロータハウジング２の対応する窪み１．２〜１．２’’’内に配置された４枚の羽根２．２〜２．２’’’を備えるが、対応する窪みを有する別の数の羽根も考えられる。
【００２１】
製造工程中の重要な要因は、基本的に、連続鋳造後の鋳型を利用した成形工程により、仕上り寸法に形作られる又は較正される、羽根２．２及び窪み１．２の大きさである。
2006524574.tif 000003
【国際調査報告】
2006524574.tif 000004
2006524574.tif 000005
2006524574.tif 000006
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(57)【要約】チーズフランの調理方法は、シナモンとレモン皮によって風味付けられたミルク、砂糖、熟成していないチーズそして溶き卵の混合物の調合；得られた混合物と液状キャラメルの真空密封された容器内での均等な混合；そして低温殺菌された容器内の製品の焼き上げ、０〜８℃の保存温度での製品の冷却を含んでいる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
シナモンとレモン皮によって風味付けられたミルク、砂糖、熟成していないチーズそして溶き卵の混合物を調合する第１の調理段階と；得られた混合物と液状キャラメルを選ばれた型の容器内で均等に混合し、一度充填されて真空密封される第２の調理段階と；そして、容器が２５〜３５分間、７０〜１０５℃の温度下に置かれ、低温殺菌された容器内の製品を焼き、そして０〜８℃の保存温度で製品を最終冷却する第３の焼き段階とを含んでいることを特徴とするチーズフランの調理方法。
【請求項２】
クリームキャラメルは、５０〜６０％のミルク、１２〜１８％の熟成していないチーズ、１４〜２０％の溶き卵、１２〜１５％の砂糖、０．８〜１．３％のシナモン、２〜３％のレモン皮、そして５〜８％の液状キャラメルの余裕比率で得られることを特徴とする前記の請求項に記載のチーズフランの調理方法。
【請求項３】
得られたクリームキャラメルは、前記の請求項に示された製品のみならず、２〜３％の溶解性のコーヒーもまた含まれていることを特徴とする前記の請求項に記載のチーズフランの調理方法。
【請求項４】
得られたクリームキャラメルは、請求項２または３に示された製品のみならず、１０〜１２％の純粋のダークチョコレートの衣もまた含まれていることを特徴とする請求項２および３に記載のチーズフランの調理方法。
【請求項５】
請求項２，３および４に示された製品のみならず、請求項３および４と同様のパーセンテージで、例えばバニラもまた含まれていることを特徴とする請求項２，３および４に記載のチーズフランの調理方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、発明の名称で述べているように、フランの調理方法に関し、前記方法によって得られた製品だけでなく、加えられるクリームチーズに特徴を有しているフランの調理方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
フランは、ミルクと溶き卵とが混ぜられ、この混合物に砂糖もしくは低カロリーのフランを作るときには甘味料、そしていくつかの他の種類の香料が加えられてできる製品である。混合物は、カラメルになった砂糖が入れられた容器内で盛り付けられ、そして、次に水溶液の状態で焼かれる。
【０００３】
スペインの特許文献ＥＳ２１４２９４０は、ミルクベースで酸化しない食用ゲルの製法とこのゲルの使用方法について開示している。このゲルは、０．１〜０．５％の比率で構成されたヒト系のミルクを加えたトランスグルタミナーゼを有しているという特徴がある。
【０００４】
スペインの特許文献ＥＳ２１６４１７８は、この場合において従来のチョコレートフランの調理方法について開示している。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
この実施形態で記載されている方法は、溶き卵、砂糖そしてシナモンおよび／またはレモン皮のような風味が付けられたミルクベースの乳製品の混合物に、熟成していないクリームチーズを一緒に付け加える第１の調理段階を含んでいる。この熟成していないクリームチーズは、健康によくカロリーの少ない品質によって特徴づけられた食味を与える製品である。ミルクあるいは乳製品は、完全なミルク、スキムミルク、クリームミルクまたは粉ミルクでもよく、そして、脂肪分が０〜５０％含まれている動物起源でなければならない。
【０００６】
例えばコーヒーまたはチョコレートといった異なる風味のフランを得ることができる。コーヒーまたはチョコレート風味のフランを得る場合は、溶解性のコーヒー２％および／または純粋なダークチョコレートの衣（ころも）１０％を混合物に加える。あるいは同様の割合で他の風味を得ることもできる。
【０００７】
このようにして得られた混合物は、液状キャラメルが加えられて個別の容器に盛られる。そして、その容器は、続いて、０〜８℃の保存温度で次の冷却されている製品と一緒に容器自体の冷却低温殺菌のために真空密封され、そして焼き工程にかけられる。
【０００８】
それで得られた製品は、以下の材料が以下の比率で含まれているクリームキャラメルのような堅さと普通の外観を有している。
【０００９】
・ミルク………………………５０〜６０％
・熟成していないチーズ……１２〜１８％
・溶き卵………………………１４〜２０％
・砂糖…………………………１２〜１５％
・シナモン……………………０．８〜１．３％
・レモン皮……………………０．４〜１．５％
・液状キャラメル……………５〜８％
【００１０】
コーヒー風味のチーズフランは、様々な可溶性のコーヒーが２％〜３％の比率で加えられている。チョコレートが風味付けられているときは、クリームキャラメルに純粋なダークチョコレートの衣が１０％〜１２％で加えられている。他の変形例は、同様のパーセンテージで他の風味が加えられる。
【実施例１】
【００１１】
およその内容量が１００〜１１５ｇの容器で１０００〜１０２０個のチーズフランを得るための一実施例は、６５リットルのスキム牛乳が入るほど十分な容量の大樽で実現される。このスキム牛乳は、シナモン１２５ｇとのレモン皮０．５５ｋｇによって風味付けられ、溶き卵１５ｋｇ，２０ｋｇ、砂糖または同様の割合の別の甘味料１４ｋｇの割合において、熟成していないクリームチーズが加えられ、機械的手段によって３０分間混ぜられる。そして、包装機により、後半は、液状キャラメル６ｋｇと前もって得られた混合物約１１７ｋｇがおよそ容量０．１２リットルの容器約１０００個に入れられる。これらは、いずれの容器も満量になるまで均等にかつ適切な割合で分けられ、真空密封される。１０００個〜１０２０個の容器は、７０〜１０５℃の温度で、２５〜３５分間加熱するという用途に適した装置で低温殺菌工程を経ることによって得られる。この容器は、続いて、０〜８℃間の温度の冷蔵庫内で包装されたまま保存される。
【００１２】
液状キャラメルの含有物は、同じ方法で得ることができるキャラメルを有しているまたは有していないチーズフランによって選択される。
【００１３】
別に添加された風味、例えば、溶解性のコーヒー２％〜３％および／または純粋なダークチョコレートの衣１０％〜１２％を混合物に加えることにより、同じ方法のフランを得ることができる。どのようなコーヒーまたはチョコレートまたは他の風味のフランも、同じようなパーセンテージで例えばバニラ風味のものを得ることができる。
【国際調査報告】
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2006524499.tif 000003
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(57)【要約】材料４は、容器２内に材料を配置し、材料を蒸発させそれが基板上に移るように材料４の表面に電子ビームを接触させることによって基板８上に堆積される。電子を通さないシールド７は、電子ビームによって接触される表面の一部を覆うように配置される。以前には電子ビームによって接触されていた表面の一部が、もはやシールドによって覆われず、基板８に露出するように、一方の容器２と他方のシールド７及び電子ビームの間に相対運動が生じる。
2006522222.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
材料が自由表面を有するように容器内に堆積させる前記材料を配置するステップと、
前記材料を蒸発させて基板へ前記材料を移すように前記表面に電子ビームを接触させるステップであって、電子を通さないシールドが前記電子ビームによって接触される前記表面の一部を覆うように配置されるステップと、
以前には前記電子ビームによって接触されていた前記表面の前記一部が、もはや前記シールドによって覆われず、前記基板に露出するように、一方の前記容器と他方の前記シールド及び前記電子ビームの間に相対運動を生じさせるステップとを含む、
基板上に材料を堆積させる方法。
【請求項２】
前記相対運動が相対回転運動を含む、請求項１に記載の方法
【請求項３】
前記容器が動かされ、その間前記シールド及び電子ビームが静止したままである、請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記電子ビームに加え、熱源によって前記材料を加熱するステップを含む、請求項１、２、又は３に記載の方法。
【請求項５】
堆積される材料を収容する容器と、
前記材料を蒸発させ、前記材料を基板へ移すように前記材料を電子ビームと接触させる電子銃と、
前記容器の一部を覆うように配置された、電子を通さないシールドと、
一方の前記容器と他方の前記シールド及び前記電子銃の間で相対運動を生じさせる手段とを備える、
基板上に材料を堆積させる装置。
【請求項６】
前記相対運動を生じさせる手段が、前記容器を軸の周りで回転させる手段を含む、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記電子銃に加え、前記材料を加熱する手段を含む、請求項５又は６に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板上に材料を堆積させる方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
本発明は、これに限定されないが、敏感な材料をすでに有している基板上への封入材料の堆積に特に適用可能である。例えば、有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）のアレイを有する半導体基板は、カルシウムなどの低仕事関数材料の層を含む上部電極を有することができる。カルシウムは、酸素及び水と非常に反応しやすく、したがって、酸素及び水の浸入を防ぐために、例えば酸化アルミニウム又は二酸化シリコンの封入層でカルシウム層をコーティングする必要がある。
【０００３】
提案されている封入材料の一堆積方法は、電子ビーム蒸発である。これは、電子を熱フィラメントから放出させ、この電子がるつぼ内に入れられた封入材料の表面に衝突することを含む。高真空下で、電子は、封入材料を蒸発させ基板へと移す。
【０００４】
電子ビーム蒸発の主要な欠点は、封入材料から放出される２次電子が存在することである。これらの２次電子は、ＯＬＥＤのポリマー層に損傷を与えて、例えば製作しようとする任意のＯＬＥＤデバイスを役に立たなくする。
【０００５】
２次電子の閉じ込めの手段として磁場が提案されてきた。しかし、るつぼ内の封入材料の表面が粗い場合や、２次電子が広範なエネルギー及び／又は方向を有する場合には、磁場は効果がない。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の目的は、２次電子によって引き起こされる基板への損傷が防止される、又は最小化される、電子ビーム蒸発を使用して基板上へ材料を堆積する方法を提供することである。
【０００７】
したがって、本発明は、材料が自由表面を有するように容器内に堆積させる材料を配置するステップと、材料を蒸発させて基板へ材料を移すように前記表面に電子ビームを接触させるステップであって、電子を通さないシールドが前記電子ビームによって接触される表面の一部を覆うように配置されるステップと、以前には電子ビームによって接触されていた前記表面の一部が、もはやシールドによって覆われず、基板に露出するように、一方の容器と他方のシールド及び電子ビームの間に相対運動を生じさせるステップとを含む、基板上に材料を堆積させる方法を提供する。
【０００８】
シールドは、２次電子が基板に到達するのを妨げ、材料は、電子ビームによって実際には接触されていないが、以前に接触されていたことによる余熱に依然としてさらされている表面の一部から蒸発する。
【０００９】
相対運動は特に相対回転運動を含んでもよく、シールド及び電子ビームが静止したままで、容器を動かすことができる。
【００１０】
電子ビームの余熱が十分でない場合には、電子ビームに加えて、熱源によって材料を加熱することができる。
【００１１】
本発明は、堆積される材料を収容する容器と、材料を蒸発させ、材料を基板へ移すように材料を電子ビームと接触させる電子銃と、容器の一部を覆うように配置された、電子を通さないシールドと、一方の容器と他方のシールド及び電子銃の間で相対運動を生じさせる手段とを備える、基板上に材料を堆積させる装置も提供する。
【００１２】
相対運動を生じさせる手段は、特に容器を軸の周りで回転させる手段を含んでもよい。
【００１３】
この装置は、電子銃に加え、材料を加熱する手段を含んでもよい。
【００１４】
次に、本発明をより容易に理解できるように、例としてのみ添付の図面を参照する。
【実施例】
【００１５】
この図面は、プラットフォーム１を備える装置を示していて、電気モータ３などの手段によって駆動される、プラットフォーム１上のるつぼ２が軸の周りを回転するように配置された。公知の電子ビーム蒸発装置は、蒸発のために様々な材料を選択できるように回転する回転台を備える。本発明によれば、この回転台は、るつぼ２に置き換えられる。るつぼ２は、封入材料４を収容する。
【００１６】
電子銃５は、矢印で示す電子ビームを放出するフィラメント６を備える。シールド７は、るつぼ２内の材料４の表面の一部（例えば、半分）を覆い、電子ビームはこの部分に入射する。材料から放出される２次電子のすべては、シールド７によって捕捉される。
【００１７】
シールド７に覆われていない材料４の表面の一部は、基板８に面している。表面のこの露出した部分から蒸発した材料は、基板８へ移される。
【００１８】
電熱源などのオプションの補助熱源９を、材料４を加熱するために設けることができる。
【００１９】
本明細書で使用される動詞「備える、含む（ｔｏ  ｃｏｍｐｒｉｓｅ）」のすべての型は、「から成る又は含む（ｔｏ  ｃｏｎｓｉｓｔ  ｏｆ  ｏｒ  ｉｎｃｌｕｄｅ）」の意味を有する。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】本発明の一実施例による装置の概略図である。
2006522222.tif 000003
【国際調査報告】
2006522222.tif 000004
2006522222.tif 000005
2006522222.tif 000006
(57)【要約】本発明は照明器具の光拡散器に関するもので、その全表面に均一に分散された穴または開口部（１６）を持つ前面板（１４）と前面板の内表面に組み合わされた内面シ−ト（１５）で構成され、幅方向には異なった直径（１７、１７‘、１７“）の穴を持ちそれぞれの穴は前面板の開口部に合わせて配置される。前面板と内面シ−トは二つの組み合わされた本体部または単一の統合された本体部を形成する。
2006522447.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
前記本体部または筐体の前で、適切に支持され配線され光拡散器に面した多数の光源を囲む本体部または筐体（１１）からなる照明器具用光拡散器であって、その全表面に均一に分散された穴または開口部（１６）を有する前面板（１４）と、前面板の内表面に組み合わされ、その表面の異なる部分に異なる直径（１７、１７’、１７”）の穴を有する内面シート（１５）とからなり、各穴は前面板の開口部と一致して配置されることを特徴とする照明器具用光拡散器。
【請求項２】
前面板（１４）と内面シ−ト（１５）は互いに重なり固定される二つの要素より構成されることを特徴とする請求項１に記載の照明器具用光拡散器。
【請求項３】
前面板（１４）と内面シ−ト（１５）が単一の統合されたユニットを形成することを特徴とする請求項１に記載の照明器具の光拡散器。
【請求項４】
前面板（１４）は全長にわたり同一寸法の多数の穴または開口部（１６）により穴が開けられ、光源と一致した部分には規定の直径の穴（１７）、光源から離れた部分およびそれらの間はより大き大きさのな穴（１７’）、拡散器の端に沿ったより小さな穴（１７”）を有することを特徴とする請求項１および２または３に記載の照明器具の光拡散器。
【請求項５】
適切に支持され配線され光拡散器により前面が閉じられた多数の光源（１２）を囲む本体部または筐体（１１）からなる照明器具であり、前記拡散器がその全表面に均一に配置された穴または開口部（１６）を有する前面板（１４）と、前面板の内表面と組み合わされその表面の異なる場所では異なる直径（１７、１７’、１７”）の穴を有する内面シート（１５）とからなり、各穴は前面板の開口部と一致して配置されることを特徴とする照明器具。
【請求項６】
拡散器の前面板（１４）と内面シ−ト（１５）が互いに重なり固定されたそれぞれ適切な要素よりなることを特徴とする請求項５に記載の照明器具。
【請求項７】
拡散器の前面板（１４）と内面シ−ト（１５）が単一の統合された本体部を形成することを特徴とする請求項５に記載の照明器具。
【請求項８】
拡散器の前面板（１４）はその全長にわたり全て同一寸法の多数の穴または開口部（１６）により穴が開けられており、拡散器の内面シ−ト（１５）は、光源に一致する部分には規定の直径の穴（１７）、光源から遠く離れた部分とこれらの間には別のより大きな穴（１７’）、さらに拡散器の端に沿ったより小さな穴（１７”）を有することを特徴とする請求項５、６または７に記載の照明器具。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は一般の照明器具に関するもので、特にそのような設備のための光拡散器に関する。
【背景技術】
【０００２】
照明器具は、特に大きければ、通常は筐体の中には数個の光源を含み、光源に対向して光拡散器が配置される。しかし、しばしば照明器具は内部の光源が並んだ部分がより明るく、光源から遠い部分はより暗い。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
本発明の一つの目的は、正面拡散器を使用する照明器具において発光を均等にするためにこの欠点を克服することである。
【０００４】
本発明の別の目的は、その本体部の内部に局部的な離れた光源があっても、その全範囲にわたり均一な発光を可能にする光拡散器を提供することである。
【０００５】
更に本発明のさらなる目的は、その一部分で配線部品を隠すような配置の光拡散器を提供することで、こうしなければ本体部の外から部品が見えるため美学的にも受け入れがたいものになる。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
これらの目的とこれらによる絶対的な利点は、いくつかの光源を有する照明器具により達成され、そこで光拡散器はその全表面に均一に配置された穴を持つ前面板と、前面板の内表面に組み合わされた内面シ−トにより構成され、内面シ−トの穴は幅方向に場所により異なる半径を持ち、前面板自身の開口部に合わせて配置される。
【０００７】
しかし本発明の更なる詳細は、添付の図面を参照してなされた、続く記述により一層明らかとなる。これらは一例であり限定的なものではない。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００８】
既に示したように、照明器具は、適切に支持され配線された多くの光源１２を保持し前面が光拡散器１３にて閉じられる本体部または筐体１１を含む。
【０００９】
光源はいかなる種類の光からなってもよく、その寸法は照明器具の寸法に適合できればよい。
【００１０】
拡散器１３は前面板外面１４と前面板と直接付随する内面シ−ト１３よりなる。
【００１１】
前面板１４は全長に沿って同じ幅の多数の穴または開口部１６が横断している。穴または開口部１６は均一に分散されており、たとえば必ずしも蜂の巣状をしているとは限らない。（図１および図２）
【００１２】
内面シ−ト１５は図３の例に示されたように、前面板１４の内表面に適用される別のシ−トまたはフィルム状の独立した要素でできている。しかし好ましくは内面シ−トはこの場合いわゆる前面板と一体な部分を形成するために前面板１４とともに得られるのが好ましい。
【００１３】
いかなる場合でも内面シ−ト１５は図３で見られるごとく各部で異なる直径の穴１７を持っている。内面シ−ト１５の各穴１７はどんな寸法でも前面板１４の穴または開口部１６に合わせて配置される。
【００１４】
より正確には内面シ−トは、光源と一致した部分には所定の直径の穴１７、光源から離れた部分と光源の間の部分にはより大きい直径の穴１７’、そして拡散器の端に沿った部分にはより小さな穴１７”を持つ。
【００１５】
穴１７と１７’違いが、前面板１４の穴または開口部１６が同一寸法であっても、光源から離れた部分でも拡散器１３を通して発光を強化することができ、一方より小さな穴１７”は光源内部の支持部および配線を隠すことに役立ち、これによりもはや前面板を通してこれらをみることができなくなる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
【図１】本発明による光拡散器を内蔵する照明器具の実施形態を示す。
【図２】光拡散器の前面板および内面シ−トの外観を示す。
【図３】光拡散器の前面板および内面シ−トの外観を示す。
【図４】照明器具の縦方向の断面図である。
【図１】
2006522447.tif 000003
【図２】
2006522447.tif 000004
【図３】
2006522447.tif 000005
【図４】
2006522447.tif 000006
【国際調査報告】
2006522447.tif 000007
2006522447.tif 000008
2006522447.tif 000009
(57)【要約】３０−１５０℃の温度を有し、かつ０．００１−１ 体積％のＳＯ２を含むオフガス（Off-gases）中のＳＯ２を除去する方法であって、オフガスから生成する硫酸を除去するエアロゾルフィルターの上流で、Ｈ２Ｏ２の水溶液をオフガス中に噴霧することによって、ＳＯ２をＨ２ＳＯ４に酸化させることを特徴とする上記方法。
2006512190.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
３０−１５０℃の温度を有し、かつ０．００１−１ 体積％のＳＯ２を含むオフガス（Off-gases）中のＳＯ２を除去する方法であって、オフガスから生成する硫酸を除去するエアロゾルフィルターの上流で、Ｈ２Ｏ２の水溶液をオフガス中に噴霧することによって、ＳＯ２をＨ２ＳＯ４に酸化させることを特徴とする上記方法。
【請求項２】
フィルターの上流でオフガス中に噴霧される溶液に含まれる水を気化させることによって、オフガスを冷却させる、請求項１記載の方法。
【請求項３】
エアロゾルフィルターの代わりに、湿式電気分離器（wet electrostatic separator）を使用する、請求項１記載の方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｈ２Ｏ２との反応により、オフガス（Off-gases）からＳＯ２を除去する方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
１９８９年８月にＬｕｒｇｉ／Ｓｕｅｄｃｈｅｍｉｅ  ＡＧから出版された刊行物２１６４ｅに記載されているとおり、オフガスをＨ２Ｏ２を含む希硫酸の還流溶液と吸着塔（absorption tower）で接触させ、それによってＳＯ２を溶液中に溶解させ、そしてＨ２ＳＯ４に酸化することによって、オフガスからＳＯ２を除去することができることは３０年以上もの間知られている。通常、還流溶液は、３０から６０％までのＨ２ＳＯ４および０．１から０．５％までのＨ２Ｏ２を含む。通常、この吸着は５０ないし８０℃の還流溶液の温度で実施される。Ｈ２Ｏ２は、Ｈ２Ｏ２の濃厚水溶液として還流中の酸に添加されるか、または、還流中の酸の副流の電気分解によって生成する。生成した酸は還流中の酸より取り除かれる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
公知の方法は、スタックガス（stack gas）中に約５ ｍｏｌ ｐｐｍ未満のＨ２ＳＯ４を要求する酸霧（acid mist）放出規制を満たすために、通常、吸着塔の下流に低速度エアロゾルフィルターを設置して硫酸エアロゾルを除去することを必要としている。オフガス中に存在する酸霧微粒子（エアロゾル）は、吸着塔では効率的に除去されない。酸霧微粒子はまた、吸着液から気化したＳＯ２とＨ２Ｏ２との反応によって、吸着塔自体においても形成される。
【０００４】
公知方法の不利な点は、吸着塔と低速度エアロゾルフィルターの両方が必要なことである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の方法においては、オフガス中のＳＯ２は、Ｈ２Ｏ２の水溶液または希硫酸溶液を、低速度エアロゾルフィルターまたは湿式電気集塵器（WESP）上流のオフガス中に噴霧することにより、吸着塔を使用しないで、Ｈ２Ｏ２と反応させることによって、除去される。
【０００６】
本発明の好ましい実施態様を図１に示す。ライン（line）１中の０．１−３０％のＨ２Ｏ２溶液を、通常１００から１０００ｐｐｍの間のＳＯ２を含み、そして通常５０−１２０℃の領域の温度を有するライン２のオフガスの流れ中に、噴霧ノズル（spray nozzles）３によって噴霧する。ノズルはダクト（duct）４に位置しているので、噴霧は、ガスがいくつかの低速度キャンドル（candle）フィルター６を通して同時に通過するミストフィルター（mist filter）５上流のガスの流れに、均等に導入される。ガス中の液滴の均等な散布はこの方法にとって望ましいことであり、そして最も均等な液滴の散布は、極小の液滴を生成する空気噴霧ノズルを用いることにより達成される。プロセス中で形成されるＨ２ＳＯ４は、フィルターエレメント（filter elements）またはキャンドルに蓄積し、そこからライン７を通して排出される。ガスがフィルターキャンドルに入る前にほとんどまたはすべての量の液滴が気化し、それによってほとんどのＨ２Ｏ２は、ガス相の中で気化し、かつ反応して、硫酸エアロゾルを形成する。しかし、ガスがフィルターエレメントに入る前に、液滴が完全に気化する必要はない。ＳＯ２とＨ２Ｏ２との反応は、ＳＯ２除去の効率を減少させることなく、ミストフィルターエレメント中で完了し熱平衡に達する。
【０００７】
このように、ＳＯ２水溶液の導入は２つの目的に利用できる。
【０００８】
第一に、以下の反応
Ｈ２Ｏ２  ＋  ＳＯ２  ＝  Ｈ２ＳＯ４
による所望のＳＯ２のＨ２ＳＯ４への転化を達成するのに必要な量のＨ２Ｏ２を、オフガスに添加する。
【０００９】
ほとんどの転化は、酸霧形成下、ガス相でのＳＯ２と気化したＨ２Ｏ２との間、またはＳＯ２と液滴に溶解したＨ２Ｏ２との間の反応により起こる。この反応は、残留ＳＯ２が吸収され、そして繊維素材を湿らせている希硫酸に含まれる残留Ｈ２Ｏ２と反応するエアロゾルフィルター中で完了する。
【００１０】
第二に、溶液中に含まれる水は、液滴の気化によりライン２でオフガスを冷却し、それによりオフガスは所望のフィルターエレメントまたはキャンドルの温度、通常５０℃から７０℃の間まで冷却される。生成する酸中のＨ２ＳＯ４の濃度は、ガス相における実際の温度およびＨ２Ｏ分圧でＨ２ＳＯ４の平衡濃度になる。
【００１１】
ＳＯ２除去は、通常約９５％のＨ２Ｏ２の利用で、９８％まで達成することができる。
【実施例】
【００１２】
１００℃における１０００Ｎｍ３／ｈのオフガス流は、２００ｐｐｍのＳＯ２＋１０％Ｈ２Ｏを含み、１００℃の温度を有する。９６％のＳＯ２除去が所望される。エアロゾルフィルターは最高７０℃において操作されるものとして設計されている。生成される酸において、できるだけ高い酸強度および低含量の残留Ｈ２Ｏ２を達成するために、６７−７０℃での操作が選択される。
【００１３】
工程は以下に従う：２．０ 質量％Ｈ２Ｏ２を含む１５．７ｋｇ／ｈの水をオフガス中に導入すると、オフガスが熱平衡で６５−７０℃に冷却される。ミストフィルターは７５ ｍｍの厚さで、２．５ｍ２の流量範囲を有する。繊維の直径は約８μｍである。これらの条件下で行った実験により、約５００ｐｐｍのＨ２Ｏ２とともに、約９６％のＳＯ２が除去されて１．７ｋｇ／ｈの５０％Ｈ２ＳＯ４が生成することが示される。処理後のガスは、２ｐｐｍより少ないＨ２ＳＯ４を含み、そしてＨ２Ｏ２の含量は検出限界以下である。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の好ましい実施態様を示す。
【図１】
2006512190.tif 000003
【国際調査報告】
2006512190.tif 000004
2006512190.tif 000005
(57)【要約】金属基板の表面、特に銅基板の表面で使用する接着剤であって、（a）カルボキシルベンゾトリアゾールと、（b）反応性二重結合を有するエポキシ樹脂と、（c）ラジカル硬化樹脂と、（d）ラジカル開始剤とを含む接着剤。成分（c）と（d）からなるラジカル硬化樹脂系の中で成分（a）と（b）を組み合わせると、成分（c）と（d）を含むが成分（a）と（b）は含まない組成物と比較して金属銅に対する接着強度が大きくなる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
（a）カルボキシルベンゾトリアゾールと、
（b）反応性二重結合を有するエポキシ樹脂と、
（c）ラジカル硬化樹脂と、
（d）ラジカル開始剤と、
を含む接着剤組成物。
【請求項２】
上記エポキシ樹脂（b）を、エポキシ化されたポリ(ブタジエン)、(3,4-エポキシシクロヘキシル)メチルメタクリレート、
【化１】
2006512455.tif 000008
の構造を有するエポキシからなる群から選択する、請求項1に記載の接着剤組成物。
【請求項３】
上記ラジカル硬化樹脂を、アクリレート樹脂、メタクリレート樹脂、マレイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリ(ブタジエン)樹脂、ポリエステル樹脂からなる群から選択する、請求項1に記載の接着剤組成物。
【請求項４】
上記ラジカル開始剤を、有機過酸化物及びアゾ化合物からなる群から選択する、請求項1に記載の接着剤組成物。
【請求項５】
カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の比が、1：2〜1：40である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
【請求項６】
カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の比が、1：2〜1：5である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
【請求項７】
カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の合計量が、接着剤組成物の5重量％〜40重量％の範囲である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
【請求項８】
カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の合計量が、接着剤組成物の10重量％〜15重量％の範囲である、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接着剤組成物。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、金属基板の表面、特に半導体パッケージ内の銅製リードフレームの表面で使用する接着剤組成物に関する。
【背景技術】
【０００２】
カルボキシルベンゾトリアゾールは、金属銅に対する優れたキレート材料として知られている。カルボキシルベンゾトリアゾールは、金属基板の酸化防止剤としてだけでなく、エポキシ樹脂ペーストの接着促進剤としても使用されている。ラジカル硬化樹脂（例えばアクリレートエステル、メタクリレートエステル、マレイミド樹脂、ビニルエステル樹脂、ビスマレイミド樹脂）が以前から研究されており、半導体のパッケージングにおけるダイ接着剤に使用されている。というのもラジカル硬化樹脂は、水分の吸収が少なく、硬化能力に優れ、ポットライフが長いからである。しかしこれら組成物は、銅製リードフレームに対する接着力がまだ不足している。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
本発明は、金属基板の表面、特に銅基板の表面で使用する接着剤であり、（a）カルボキシルベンゾトリアゾールと、（b）反応性二重結合を有するエポキシ樹脂と、（c）ラジカル硬化樹脂と、（d）ラジカル開始剤とを含んでいる。成分（c）と（d）からなるラジカル硬化樹脂系の中で成分（a）と（b）を組み合わせると、成分（c）と（d）を含むが成分（a）と（b）は含まない組成物と比較して金属銅に対する接着強度が大きくなる。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００４】
カルボキシルベンゾトリアゾールは、
【化１】
2006512455.tif 000002
という構造を持っており、城北化学工業株式会社から入手することができる。本発明の接着剤組成物で使用する場合には、カルボキシルベンゾトリアゾールが0.5〜15重量％の量存在することになろう。
【０００５】
反応性二重結合を有する適切なエポキシ樹脂としては、ポリマー（例えばダイセル化学工業株式会社から入手可能なエポキシ化されたポリ(ブタジエン)）；脂環式エポキシ（例えば
【化２】
2006512455.tif 000003
という構造を持つ、ダイセル化学工業株式会社から入手可能な(3,4-エポキシシクロヘキシル)メチルメタクリレート）；芳香族エポキシ（例えば
【化３】
2006512455.tif 000004
という構造を持つもの）などが挙げられる。
【０００６】
金属基板に対する接着力に関してエポキシ樹脂とカルボキシルベンゾトリアゾールを添加したことの恩恵を受けるラジカル硬化樹脂としては、アクリレート樹脂、メタクリレート樹脂、マレイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、ビニルエステル樹脂、ポリ(ブタジエン)樹脂、ポリエステル樹脂などが挙げられる。適切なラジカル開始剤としては、クロンプトン社、アクゾノーベル社、化薬アクゾ株式会社から入手できる有機過酸化物とアゾ化合物が挙げられる。
【実施例】
【０００７】
ラジカル硬化樹脂とラジカル開始剤からなる2つの組成物（RCR）を対照として調製した。次に、これら対照組成物を、反応性二重結合を有するエポキシとカルボキシルベンゾトリアゾールをさまざまな割合で組み合わせたものを用いて強化した。すべての組成物につき、以下のプロトコルに従ってダイ剪断強さを調べた。
【０００８】
それぞれの組成物を、平井精密工業株式会社（日本）から供給された金属銅リードフレームの表面に塗布した。次に、300×300×15ミルの裸のケイ素製ダイを手で接着剤の上に取り付けた。すべてのサンプルを箱型炉の中で硬化させた。温度は30分かけて175℃まで上げ、窒素雰囲気下で15分間にわたって175℃に維持した。次に、サンプルを240℃のホットプレートの上に1分間載せた後、箱型炉の中で4時間にわたって175℃にし、半導体のパッケージング・プロセスを促進した。ダギー社のダギー2400PCというモデルを使用し、得られたサンプルのダイ剪断強さを調べた。
【０００９】
組成物と測定結果を以下の表に示す。
【表１】
2006512455.tif 000005
【００１０】
【表２】
2006512455.tif 000006
【００１１】
【表３】
2006512455.tif 000007
【００１２】
上記の実施例から、炭素二重結合に対する少なくとも1つの反応性炭素を含むエポキシ樹脂とカルボキシルベンゾトリアゾールを組み合わせると、金属基板に対するラジカル硬化樹脂の接着力が大きくなることがわかる。カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の合計量は、充填剤を除き、接着剤組成物の5重量％〜40重量％の範囲であることが好ましい。より好ましい量は、接着剤組成物の10重量％〜15重量％の範囲である。カルボキシルベンゾトリアゾールとエポキシ樹脂の比は、1：2〜1：40にする。この比は、1：2〜1：5であることが好ましい。
【国際調査報告】
2006512455.tif 000009
2006512455.tif 000010