(57)【要約】【課題】【解決手段】光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを作製する方法は、ガラス前駆体を保持するゾルを形成するステップと、１組みの細長い要素２０２を保持する鋳型２０にゾルを注入するステップと、ゾルを経時変化させてゲル体を得るステップと、細長い要素の組みをゲル体から除去してゲル体に相応する組みの穴を形成するステップと、ゲル体を鋳型から除去するステップとを備え、該方法は、ゾルを経時変化する間、組みの細長い要素の動きを付与し、ゲルの細長い要素への接着を防止するステップを更に備え、該動きは、それぞれの軸線の周りの回転又はそれぞれの軸線に沿った交番的な平行移動動作であることが好ましい。方法を実施する手段を備える装置も特許請求されている。
2006525931.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
マイクロ構造光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを作製する方法において、
ガラス前駆体を保持するゾルを形成するステップと、
その内部に１組みの細長い要素を有する容器にゾルを注入するステップと、
ゾルを経時変化（ａｇｉｎｇ）させてゲル体を得るステップと、
細長い要素の少なくとも１つをゲル体から除去してゲル体に相応する穴を形成するステップと、
ゲル体を容器から除去するステップとを備え、
ゾルをゲルに変換するステップの少なくとも一部の間、前記少なくとも１つの細長い要素に動きを付与するステップを更に備える、中間のプリフォームを作製する方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法において、
前記少なくとも１つの細長い要素に対し動きを付与することは、前記少なくとも１つの細長い要素に対しその長手方向軸線の周りにて回転を付与するステップを備える、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法において、
前記回転は、約１ないし１２０ｒｐｍの範囲の速度にて付与される、方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法において、
前記少なくとも１つの細長い要素に対し動きを付与することは、少なくとも１つの細長い要素に対し軸方向への動きを付与するステップを備える、方法。
【請求項５】
請求項４に記載の方法において、
軸方向への動きは、交番的な動きである、方法。
【請求項６】
請求項４に記載の方法において、
軸方向への動きは、約１ないし２０ｍｍ／分の範囲である速度にて付与される、方法。
【請求項７】
請求項１に記載の方法において、
細長い要素の前記組みの細長い要素の全ては、ゲル体から除去される、方法。
【請求項８】
請求項１に記載の方法において、
ゾルをゲルに変換するステップの少なくとも一部の間、細長い要素の前記組みの全ての細長い要素に対し動きを付与するステップを更に備える、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の方法において、
前記細長い要素の少なくとも１つがゲル体内に維持される、方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法において、
ゾルを形成するステップは、少なくとも１つのガラス前駆体と水とを混合するステップを備える、方法。
【請求項１１】
請求項１に記載の方法において、
細長い要素はロッド状又は管状部材である、方法。
【請求項１２】
請求項１ないし９の何れか１つの項に記載の方法により得ることのできる、中間のプリフォーム。
【請求項１３】
マイクロ構造光ファイバを製造する方法において、
請求項１ないし９に記載の何れか１つの方法に従い、中間のプリフォームを作製するステップと、
中間のプリフォームを乾燥させるステップと、
乾燥した中間のプリフォームを焼結してガラスプリフォームを得るステップと、
ガラスプリフォームを構造的に変化させて（ｍｏｄｉｆｙｉｎｇ）マイクロ構造光ファイバを得るステップとを備える、マイクロ構造光ファイバを製造する方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法において、
中間のプリフォームは、少なくとも１つの長手方向穴を有し、
中間のプリフォームを乾燥した後で且つ、乾燥した中間のプリフォームを焼結する前に、又は乾燥した中間のプリフォームを焼結した後で且つ、円筒状のガラスプリフォームを構造的に変化させる前に、少なくとも１つのマイクロ構造生成要素を前記少なくとも１つの穴内に挿入するステップを更に備える、方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の方法において、
ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、ガラス前駆体を延伸させコアロッドを得るステップを備える、方法。
【請求項１６】
請求項１３に記載の方法において、
ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、ガラス材料をコアロッドの外部に付与して最終的なプリフォームを得るステップを備える、方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の方法において、
ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、最終的なプリフォームを引き抜き、マイクロ構造光ファイバを得るステップを備える、方法。
【請求項１８】
請求項１０ないし１７の何れか１つに記載の方法により得ることができるマイクロ構造光ファイバ。
【請求項１９】
光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを形成する装置であって、
ゲル体に変換させ得るようゾルを封じ込め得るようにされた鋳型であって、円筒状の容器と、ゲル体に相応する組みの穴を形成し得るよう容器内に配置された１組みの平行な細長い要素とを備える前記鋳型を備える光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを形成する装置において、前記鋳型は、
ゾルがゲルに変換する間、細長い部材に対し連続的な動きを付与する機構を更に備えることを特徴とする、光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを形成する装置。
【請求項２０】
請求項１９に記載の装置において、
前記機構は、それぞれの軸線の周りにて細長い要素に回転を付与し得るようにされる、装置。
【請求項２１】
請求項２０に記載の装置において、
前記機構は歯車を備える、装置。
【請求項２２】
請求項２１に記載の装置において、
前記機構は、細長い要素に対しそれぞれの軸線に沿って交番的な平行移動を付与し得るようにされる、装置。
【請求項２３】
請求項２２に記載の装置において、
前記機構は、細長い要素に対し軸方向に一体的であり且つ、垂直方向案内部に連結された摺動体と、該摺動体を案内部に沿って動かす装置とを備える、装置。
【請求項２４】
請求項２３に記載の装置において、
細長い要素は、連結部材により摺動体に連結され、前記細長い要素の回転に対する無視し得る程度の制約を提供する、装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、マイクロ構造光ファイバを製造する方法及び装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
光ファイバは、光を１つの場所から別の場所に伝送するため使用される。通常、光ファイバは、１つ以上の材料にて出来ている。第一の材料はコアとして知られたファイバの中央の光伝達部分を形成するため使用される一方、第二の材料は第一の材料を取り囲み且つ、クラッディングとして知られたファイバの一部を形成する。光はコア／クラッディングの境界面における全内反射によりコア内に取り込まれる可能性がある。
【０００３】
これらの従来のファイバは、典型的に、ＭＣＶＤ（内付け化学気相堆積法）、ＯＶＤ（外付け溶着法）及びＶＡＤ（気相軸付け法）のような周知の気相堆積技術を使用して製造される。
【０００４】
従来の光ファイバと著しく相違した構造を有する光ファイバ導波路のより最近の型式のものは、マイクロ構造ファイバ（「フォトニック結晶ファイバ」又は「ホーリーファイバ」としても既知）である。マイクロ構造光ファイバは、ファイバに沿って長手方向に伸び且つ、所定の分布状態を有するマイクロ構造要素により画成されたマイクロ構造体（すなわち光波長スケールの構造体）を有する同一の均質な材料（典型的に、シリカ）で出来たファイバである。マイクロ構造要素として、全体と異なる材料のマイクロホール又はフィリフォーム要素を特定することが可能である。
【０００５】
マイクロ構造光ファイバの最も一般的な型式のものは、均質で且つ均一な中央（コア）領域を取り囲む、複数の等間隔に隔てられた小さい穴を示すクラッディング領域を有している。この型式のファイバは、例えば、国際出願明細書ＷＯ９９／００６８５号に記載されている。別の実施の形態において、ファイバの中央領域は、例えば、国際出願明細書ＷＯ００／６０３８８号に記載されたように中央穴を有することができる。
【０００６】
これら２つの型式のファイバは、異なる光学的現象に従って光をコア内にて伝送する。
中央穴が存在しないとき、コア領域に比して平均屈折率は低下するため、クラッディング領域内での光の伝搬は阻止される。かかる構造体は、その特徴的なパラメータの値を適宜に選ぶことにより、シリカの透過範囲内にて全ての波長に対してモノモードに止まる低損失の全シリカ光導波路を形成する。この場合の導波機構は、従来の光ファイバのものと密接に関係しており且つ、異なる屈折率を有する２つの物質（空気及びシリカ）間にて全内反射する形態をしている。
【０００７】
中央穴が存在するとき、「フォトニックバンドギャップ」のため、クラッディング領域内での光の伝搬は阻止される。固相物理学にて知られた「エレクトロニックバンドギャップ」と類似した「フォトニックバンドギャップ」は、特定の周波数の光が列状の穴が位置する領域内にて伝搬するのを妨げ、このため、光はコア領域内に封じ込まれる。フォトニックバンドを示すファイバ内での光の伝搬は、例えば、Ｊ．Ｃ．ナイト（Ｋｎｉｇｈｔ）、Ｊ．ブロエング（Ｂｒｏｅｎｇ）、Ｔ．Ａ．ビークス（Ｂｉｒｋｓ）及びＰ．Ｓｔ．Ｊ．ラッセル（Ｒｕｓｓｅｌｌ）によるサイエンス（Ｓｃｉｅｎｃｅ）２８２  １４７６（１９９８）の「光ファイバにおけるフォトニックバンドギャップの指針（Ｐｈｏｔｏｎｉｃ  Ｂａｎｄ  Ｇａｐ  Ｇｕｉｄａｎｃｅ  ｉｎ  Ｏｐｔｉｃａｌ  Ｆｉｂｅｒｓ）」に記載されている。
【０００８】
上述したマイクロ構造光ファイバの光学的特徴は、穴の数、穴の直径、隣接する穴間の相互の距離及び穴の幾何学的パターンに依存する。これらパラメータの各々は大幅に相違するため、特徴が極めて異なるファイバを設計することができる。
【０００９】
マイクロ構造光ファイバは、典型的に、いわゆる「スタックアンド引抜き（ｓｔａｃｋ−ａｎｄ−ｄｒａｗ）」法により製造され、この場合、列状のシリカロッド及び（又は）管は、プリフォームを作製し得るよう密に充填された配置状態にて積み重ねられ、該プリフォームは、従来のタワー装置を使用して引抜きファイバとなるようにする。
【００１０】
例えば、米国特許明細書ＵＳ５，８０２，２３６Ａ号において、コア要素（例えば、シリカロッド）及び多数の毛管（例えば、シリカ管）が提供され、毛管は、束として配置され、コア要素は、典型的に、束の中央にある。束は、１つ又はより多くのオーバクラッド管により互いに保持され、該オーバクラッド管は、密に充填した配置状態を維持し得るように束の上に圧潰させる。次に、プリフォームを従来の引抜きタワーの高温領域内に供給することにより、作製されるプリフォームからファイバを引き抜く。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
当該出願人は、スタックアンド引抜き製造方法には幾つかの短所があることに気付いた。
何百という極めて細い管を組み立てることの面倒さ、及びかかる管を積み重ね且つ、引き抜くときに隙間キャビティが存在する可能性は、不純物の導入、望ましくない境界面、及び管から隙間穴に向けた物質の輸送のため、形状変化すなわち変形をもたらすことにより、ファイバの減衰率に劇的な影響を与える可能性がある。スタックアンド引抜き方法の他の問題点は、管材料が低純度であること、及び要求される寸法の管を製造し且つ、要求される穴のパターンを得ることの困難性により表現することができる。更に、相対的に低生産性及び高コストは、この方法を工業的生産にとって特に不適当なものにする。
【００１２】
上述した問題点を少なくとも部分的に解決する異なる技術は、ガラスプリフォームを作製するゾルゲル法を使用するものである。この技術は、例えば、マイクロ構造光ファイバを製造する方法に関する、ルーセント・テクノロジーズ・インク（Ｌｕｃｅｎｔ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓ  Ｉｎｃ．）の名による欧州特許明細書ＥＰ１１７２３３９Ａ１号に記載されている。この方法は、鋳型であって、該鋳型内に伸びる多数の細長い要素を有し、この要素は鋳型に対して所定の空間的配置状態に維持される、上記鋳型を提供するステップと、シリカを保持するゾルを鋳型内に導入するステップと、ゾルがゲルとなるようにし又はゲルとなるのを許容するステップとを備えている。ゲル体が形成された後、細長い要素をゲル体から除去し、ゲル体を鋳型から除去する。これと代替的に、細長い要素は、ゲル体を鋳型から分離した後に取り出してもよい。次に、ゲル体を乾燥させ、焼結且つ純化させ、マイクロ構造ファイバを焼結本体から引き抜く。細長い部材の除去はこれらを鋳型から個々に又は少量の群毎に引き出すことにより、機械的に実現することができる。これと代替的に、細長い要素は、ポリマーから成り、また、これらは、例えば、組立体を適宜な溶剤にさらすか又熱分解によりそれぞれ化学的又は熱的作用により除去してもよい。
【００１３】
欧州特許明細書ＥＰ１１７２３３９Ａ１号に記載された細長い要素を除去する技術には、幾つかの短所がある。
当該出願人は、細長い部材の燃焼により発生された熱は、ゲル体に亀裂を生じさせるため、熱的作用による除去は実用的でないことを確認した。
【００１４】
化学的除去に関して、欧州特許明細書ＥＰ１１７２３３９Ａ１号は、この目的のため、どのロッド材料及びどの溶剤が実際に使用可能であるかを明確にしていない。当該出願人は、かかる過程は、何れの場合でもゲル体の完全さに影響を与えると考える。
【００１５】
上述した欧州特許明細書ＥＰ１１７２３３９Ａ１号にて提案された機械的取り出しに関して、当該出願人は、この場合にもゲルプリフォームに亀裂が生じる危険性があることを知った。特に、当該出願人は、実験により、要素を取り出す間、ゲルに亀裂が生じる２つの原因があることを知った。
【００１６】
第一の原因は、ゲルが要素の表面に接着することである。当該出願人は、かかる接着は、ゲルから取り出す前に、要素に対し僅かな捩れを付与することにより解消できることが分かった。しかし、要素の捩れは表面間応力を生じさせ、また、脆弱なゲル表面にマイクロ亀裂を形成する。
【００１７】
第二の原因は、長手方向要素の直径が軸方向位置の関数として一定でないことに関するものである。このことは、直径２ｍｍ以下の要素のような、小径の要素に対して特に真である。このため、１つの要素の長手方向部分は、取り出し方向に沿って隣接する長手方向位置にてゲルの穴よりも僅かに大きい直径を有することができる。取り出す間、要素のこの長手方向部分は、次に、より小径のゲル穴と強制的に表面接触され、その結果、ゲル表面に応力及び亀裂が生ずる。
【００１８】
当該出願人は、ゾルをゲル化する間、長手要素に対し動きを付与することにより、ゲル表面の応力及び亀裂という上述した問題点は防止されることを知った。この動きは、長手方向要素のそれら軸線の周りの回転及び（又は）細長い要素のそれらの軸線に沿った平行移動とすることができる。
【００１９】
当該出願人は、ゾルがゲル化する間、かかる動きを細長い要素に付与するとき、回転する要素の表面へのゲルの接着は防止されることを知った。長手方向要素が回転したならば、該面付近の液体のせん断作用も発生し、その結果、ゲル内に要素よりも僅かに大きい直径の穴が形成され、このため、取り出す間、ゲル表面に亀裂が生ずる可能性が少なくなる。しかし、長手方向要素に対し軸方向（交番的な）平行移動を与える解決策は、長手方向要素の数が多いとき、より容易に実現できる。
【課題を解決するための手段】
【００２０】
このように、本発明は、マイクロ構造光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを作製する方法であって、
ガラス前駆体を保持するゾルを形成するステップと、
その内部に１組みの細長い要素を有する容器にゾルを注入するステップと、
ゾルを経時変化させてゲル体を得るステップと、
細長い要素の少なくとも１つをゲル体から除去してゲル体に相応する穴を形成するステップと、
ゲル体を容器から除去するステップとを備え、
ゾルをゲルに変換するステップの少なくとも一部の間、前記少なくとも１つの細長い要素に動きを付与するステップを更に備える、上記方法に関する。
【００２１】
少なくとも１つの細長い要素をゲル体から除去することは、ゲル体を容器から除去する前に行われることが好ましいが、同様にそのステップの後に行ってもよい。
少なくとも１つの細長い要素に対し動きを付与することは、少なくとも１つの細長い要素に対しその長手方向軸線の周りにて回転を付与するステップを備えることができる。この回転は、約１ないし１２０ｒｐｍの範囲の速度にて付与することが好ましい。
【００２２】
これと代替的に、少なくとも１つの細長い要素に対し動きを付与することは、少なくとも１つの細長い要素に対し軸方向への動きを付与するステップを備えることができる。軸方向への動きは、交番的な動きであることが好ましく且つ、約１ないし２０ｍｍ／分の範囲であることが好ましい速度にて付与される。
【００２３】
更なる代替例として、少なくとも１つの細長い要素に対し動きを付与することは、少なくとも１つの細長い要素に対しその長手方向軸線の周りにて回転を付与し且つ、軸方向への動きを付与するステップを備えることができる。
【００２４】
この方法の可能な具体化において、上記組みの細長い要素の全ては、ゲル体から除去される。この場合、この方法は、ゾルをゲルに変換するステップの少なくとも一部の間、上記組みの全ての細長い要素に対し動きを付与するステップを備えることが好ましい。
【００２５】
これと代替的に、上記細長い要素の少なくとも１つをゲル体内に維持してもよい。
ゾルを形成するステップは、少なくとも１つのガラス前駆体と水とを混合するステップを備えることが好ましい。
【００２６】
細長い要素はロッド状又は管状部材であることが好ましい。
本発明は、上述した方法により得ることのできる中間プリフォームにも関する。
その更なる形態において、本発明は、マイクロ構造光ファイバを製造する方法であって、
上述した方法に従い、中間のプリフォームを作製するステップと、
中間のプリフォームを乾燥させるステップと、
乾燥した中間のプリフォームを焼結してガラスプリフォームを得るステップと、
ガラスプリフォームを構造的に変化させてマイクロ構造光ファイバを得るステップとを備える、上記のマイクロ構造光ファイバを製造する方法に関する。
【００２７】
上述した方法に従い作製された中間のプリフォームは、少なくとも１つの長手方向穴を有し、この方法は、中間のプリフォームを乾燥した後で且つ、乾燥した中間のプリフォームを焼結する前に、又は乾燥した中間のプリフォームを焼結した後で且つ、円筒状のガラスプリフォームを構造的に変化させる前に、少なくとも１つのマイクロ構造生成要素を上記少なくとも１つの穴内に挿入するステップを更に備えることができる。
【００２８】
ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、ガラス前駆体を延伸させコアロッドを得るステップを備えることができる。
ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、ガラス材料をコアロッドの外部に付与して最終的なプリフォームを得るステップを更に備えることができる。
【００２９】
更に、ガラスプリフォームを構造的に変化させるステップは、最終的なプリフォームを引き抜き、マイクロ構造光ファイバを得るステップを備えることができる。
本発明は、上述した過程により得ることができるマイクロ構造光ファイバにも関する。
【００３０】
その更なる形態に従い、本発明は、光ファイバを製造する過程にて中間のプリフォームを形成する装置であって、ゲル体に変換させ得るようゾルを封じ込め得るようにされた鋳型であって、円筒状の容器と、ゲル体に相応する組みの穴を形成し得るよう容器内に配置された１組みの平行な細長い要素とを有する上記鋳型を備え、ゾルがゲルに変換する間、細長い部材に対し連続的な動きを付与する機構を更に備える上記装置に関する。
【００３１】
上記機構は、例えば、歯車を備える機構のような、それぞれの軸線の周りにて細長い要素に回転を付与するのに適した型式のものとすることができる。
これと代替的に、上記機構は、細長い要素に対しそれぞれの軸線に沿って平行移動、好ましくは交番的な動きを付与するのに適した型式のものとしてもよい。例えば、上記機構は、細長い要素に対し軸方向に一体的であり且つ、垂直方向案内部に連結された摺動体と、該摺動体を案内部に沿って動かす装置とを備えることができる。この場合、細長い要素は、連結部材により摺動体に連結され、上記細長い要素の回転に対する無視し得る程度の制約を提供することが好ましい。
【００３２】
更なる代替例として、上記機構は、細長い要素に対しそれぞれの軸線に沿った平行移動（好ましくは交番的な動き）と、それぞれの軸線の周りの回転との双方を付与するのに適した型式のものとしてもよい。
【００３３】
添付図面に関する以下の説明にて更なる詳細を理解することができよう。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
図１には、電気通信用光信号を伝送するのに適したマイクロ構造光ファイバ１の断面図が示されている。
ファイバ１は、中心軸線２と、中心軸線２に対して平行で且つ中心軸線２の周りに対称に配置された１組みの長手方向穴３とを有する。穴は中心軸線２に沿って存在しないから、穴３の列は、その中央領域にて「欠陥部又は空孔部（ｄｅｆｅｃｔ）」を示す。周知であるように、ファイバの所望の導光性質を有するためには、かかる「欠陥部」が存在することが必要である。
【００３５】
穴３は同一の直径を有することが好ましいが、例えば、米国特許明細書５，８０２，２３６号に記載されたように異なる寸法とすることもできる（この特許において、内側クラウン部の穴は、より外側の穴よりも大きい寸法を有する）。
【００３６】
穴３は、空気又は別の気体を保持するようにし又は液体又は受け入れるガラス体の材料と異なる材料にて充填することができる。穴３が異なる材料にて充填されるならば、この材料は、典型的に、周囲の材料と異なる屈折率を有することになろう。
【００３７】
１つの代替的な実施の形態（図示せず）において、ファイバは、穴３よりも大きい寸法をした、中心軸線２に対し同軸状の中央穴を有することができる。この場合にも、この中央穴は、空気又は別の気体を保持し、又は、液体又は受け入れるガラス体の材料と異なる材料にて充填することができる。
【００３８】
上述したマイクロ構造ファイバの特徴であるパラメータは、穴３の直径ｄ、隣接する２つの穴３間の間隔（ピッチ）Λ、ファイバの外径Ｄ、及び中央穴が存在するならば、その中央穴の直径である。
【００３９】
光ファイバの性質は、所定の光波長λにて、ｄ／ΛとΛ／λの比に依存する。典型的に、量ｄ、Λは、ミクロン範囲にあり、Ｄは、標準的なファイバの場合、１２５μｍである。比ｄ／Λは、０．１ないし０．５の範囲にあることが好ましく、また、比Λ／λは、０．５ないし１０の範囲にあることが好ましい一方、比ｄ／Ｄは、０．００４ないし０．０８（典型的な値は、１／１２５）の範囲にあることが好ましい。穴３の直径ｄがピッチΛの十分に小さい割合であるならば、ファイバは光をシングルモードにて導く。
【００４０】
上述した型式のマイクロ構造ファイバの製造に適した組立体は、図２に概略図的に示されており、また、この場合、全体として、参照番号１０にて示されている。組立体１０は、ゾルからゲルコアのプリフォームを作製する成形装置２０と、その乾燥後、ゲルコアプリフォームを焼結し、これにより中間のガラスコアプリフォームを得る加熱炉３０と、中間のガラスコアプリフォームをコアロッドに延伸する延伸装置４０と、外側クラッディングをコアロッドに取り付け、これにより最終的なプリフォームを得るオーバクラッディング組立体５０と、最終的なプリフォームから光ファイバを引き抜く引抜きタワー６０とを備えている。破線は組立体１０の異なる部分の連続的な作動順序を示す。
【００４１】
図３及び図４を参照すると、成形装置２０は、ゾルがゲルコアプリフォームに作製される、円筒状容器２０１と、容器２０１を長手方向に横切り且つ、ゾルからゲルへの変換過程の終了時に、ゲルプリフォームから機械的に除去するのに適した１組みの隔たった細長い要素２０２（その一部は図示せず）とを備えている。
【００４２】
細長い要素２０２は、ワイヤー、ロッド又は管とし、また、ゲルコアプリフォームの所定の内部構造体を画成し得るように配置されている。このプリフォームの内部構造体は、最終的なファイバの内部マイクロ構造体に相応し、このため、細長い要素２０２は、「マイクロ構造生成要素」とも称する。
【００４３】
容器２０１は、中心軸線２０４を有する円筒状の側壁２０３と、側壁２０３の端部に嵌まる第一及び第二のカバー２０５、２０６（それぞれ上側及び下側）とを備えている。容器２０１の直径の選択は、取り扱い及び加工の容易さという実際的な考慮に基づくものである。
【００４４】
タイロッド及びナット、ねじキャップ又はフランジ付き接続具のような、適宜な連結手段（図示せず）は、カバー２０５、２０６を壁２０３に固定するため使用することができる。側壁２０３とカバー２０５、２０６との間に密封部材を介在させ、流体が容器２０１の内部から外部に、又はその逆に流れるのを防止することができる。
【００４５】
下側カバー２０６に代えて、単一体のカップ形状容器を形成し得るよう側壁と一体的な基部壁が存在するようにすることができる。
側壁２０３は、ガラス、プラスチック又は金属で出来た管状部材とすることができる。カバー２０５、２０６は、ＰＴＦＥで出来た円板状部材とすることができる。上側カバー２０５は、マイクロ構造生成要素２０２として配置された複数の貫通穴２０５ａを有することが好ましい。
【００４６】
同様に、下側カバー２０６は、穴２０５ａとして配置された複数の凹所２０６ａを有することができる。カバー２０５、２０６は、穴２０５ａが凹所２０６ａと整合するよう配置される。基準記号又はピンによる連結のような、この整合を容易に許容する手段を設けることができる。好ましくは、上側カバー２０５は、相対的に厚く、マイクロ構造生成要素２０２に対する誘導機能を提供するようにする。
【００４７】
中央穴がファイバの軸線２０４に沿って形成されるならば、組みのマイクロ構造生成要素２０２は、中央のマイクロ構造生成要素を有し、また、カバー２０５、２０６には、相応する穴と、相応する係合凹所とがそれぞれ設けられよう。
【００４８】
成形装置２０が組み立てられたとき、マイクロ構造生成要素２０２は、一端にて複数の穴２５ａを通り且つ、他端にて凹所２６ａと係合する。マイクロ構造生成要素２０２は、成形装置の取り扱い及び組み立てを容易にすることを許容する寸法及び剛性を有し、また、同一の円筒状部材とするか又は異なる寸法及び及び異なる材料のものすることが有益である。
【００４９】
マイクロ構造生成要素２０２の材料は、ゾル重合化過程にて腐食を回避し且つ、引抜き工程にて損傷を回避し得るようなものであることが好ましい。要素２０２は、金属、プラスチック、ゴム又はガラスにて出来ていることが好ましい。要素２０２は、ゲルの接着を減少させるＰＴＦＥにて形成し又はＰＴＦＥにて被覆することができる。その他の有用な材料は、セラミック被覆を有することが好ましい被覆金属、及び要素の表面の滑らかさを向上させるシラン化ガラスである。
【００５０】
相対的に大きい断面（数ｍｍ以上）の穴の場合、要素２０２は、ゴムのような、エラストマー性材料にて出来ていることが好ましく、また、これらの要素は、室温にて機械的負荷を加えることにより引き出すことができる。この場合、ゴム管又はロッドの直径は、引張り応力下にて、材料のポイソン比に関連したファクタだけ減少するため、内面の損傷の虞れは制限される。
【００５１】
組みの要素２０２の１つ又はより多くの要素は、プリフォームの構造要素となり、次にファイバの構成要素となるようにプリフォーム内に埋め込んだままであるよう設計することができる。これら要素の機能は、光学的又は機械的なものとすることができる。例えば、成形装置２０は、その中央の構成要素を形成し得るようゲル構造体内に埋め込んだままである設計とされた中央のマイクロ構造生成要素を有することができる。プリフォーム内に埋めこんだままである設計とされた要素は、プリフォームの全体材料と異なり且つ、ファイバを製造する過程の終了時に、延伸させて最終的なプリフォームが光ファイバに引き抜かれるようにするのに適した所定の材料にて出来たものとなるであろう。例えば、中央のマイクロ構成要素２０２は、ゲルマニウムを保持するガラスロッドとすることができる。
【００５２】
マイクロ構造生成要素２０２の配置及び寸法は、製造すべきファイバの所定の空間的配分及び穴の寸法が得られるよう選ぶ必要がある。特に、要素２０２の直径とそれらの相互の距離との間の比は、最終的なファイバの穴５（より全体的には、クラッディング領域におけるマイクロ構造要素）の直径ｄとそれらの周期Λとの間の所定の比ｄ／Λに相応するものでなければならない。別言すれば、要素２０２の直径と容器２１の内径との間の比は、必ずしも穴の直径ｄと最終的なファイバの外径Ｄとの間の比ｄ／Ｄに相応する必要はなく、取り扱い及び加工が容易であるという基準に従って選ぶことができる。特に、穴の寸法及び間隔が過少であるならば、成形装置の組み立ては極めて困難となる一方、過大な直径の容器は、プリフォームの後加工を複雑にし且つ、スクラップを発生させる可能性がある。
【００５３】
図３に示すように、成形装置２０は、マイクロ構造生成要素２０２に対しそれぞれの軸線の周りにて回転を付与し得るようにされた回転機構２１０を備えることができる。機構２１０は、各々が相応するマイクロ構造生成要素２０２に剛性に連結された複数の歯車２１１を備えることが好ましい。歯車２１１は、同一の直径を有し、異なるマイクロ構造生成要素２０２に対し同一の回転速度を付与することができるようにすることが好ましい。
【００５４】
組みの歯車２１１は、煩雑さの理由のため、異なる高さに配置された第一の群２１１ａと第二の群２１１ｂとに分割されることが都合良い。この配置は、例えば、異なる長さのマイクロ構造生成要素２０２を提供することにより得ることができる。図３の特別な実施の形態において、歯車２１１ａの第一の群は、外側組みのマイクロ構造生成要素２０２（図３にて１２個）と関係付けられる一方、第二の群２１１ｂは、内側組みのマイクロ構造生成要素２０２（図３にて６個）と関係付けられる。
【００５５】
マイクロ構造生成要素２０２の１つは、それぞれ第一の群２１１ａ及び第二の群２１１ｂの２つの重ね合わせた歯車２１１´、２１１´´を支持し且つ、これらに回転を付与するのに適したモータ２１３に連結されている。
【００５６】
伝導歯車２１１´、２１１´´は、第一の群２１１ａ及び第二の群２１１ｂの外側歯車とチェーン伝導状態に係合している。
図５に図示するように、成形装置は、回転機構２１０に加えて、マイクロ構造生成要素２０２に対し軸方向（すなわち、長手方向）動き、好ましくは、交番的な動きを提供するのに適した平行移動機構２２０を有する、この場合、参照番号２０´で示したより複雑な装置とすることができる。ゾルをゲル化する間、ゲルがマイクロ構造生成要素２０２に接着するのを防止し得るよう軸方向への動きが、マイクロ構造生成要素２０２に付与される。
【００５７】
装置２０´は、容器２０１に対する水平方向基部２２１と、平行移動機構２２０を支持し得るよう水平方向基部２２１から伸びる垂直壁２２２とを備える支持構造体２１９も有している。垂直壁２２２は、容器２０１の高さの２倍以上の高さを有している。
【００５８】
平行移動機構２２０は、垂直壁２２２に摺動可能に連結された水平方向プラットフォーム２２３と、水平方向プラットフォーム２２３に対し平行移動動作を付与するモータ駆動装置２２６とを備えている。
【００５９】
水平方向プラットフォーム２２３は、マイクロ構造生成要素２０２が貫通する複数の穴を有している。図６ａ、図６ｂに示すように、マイクロ構造生成要素２０２の各々は、平行移動動作をする間、水平方向プラットフォーム２２３と一体であるよう、水平方向プラットフォーム２２３の両側部に配置された２つの当接部２２４により水平方向プラットフォーム２２３に連結することができる。望ましくは、当接部２２４は、マイクロ構造生成要素２０２の回転に対し実質的に無視し得る程度の制約を提供するものとする。換言すれば、マイクロ構造生成要素２０２は、実質的に回転自在である。
【００６０】
当接部２２４は、マイクロ構造生成要素２０２の各々に設けられたそれぞれの環状座部２２５（その１つのみを図示）に取り付けられた、例えば、「シーガ（Ｓｅｅｇｅｒ）」リングにより画成することができる。
【００６１】
マイクロ構造生成要素２０２の軸方向への制約及び回転自由度を提供する別の解決策は、水平方向プラットフォーム２２３の両側部にてマイクロ構造生成要素２０２に対し２つのボール軸受第五輪（図示せず）を取り付けることである。２つのボール軸受第五輪は、シーガリングによりマイクロ構造生成要素２０２に軸方向に固定することができる。
【００６２】
モータ駆動装置２２６は、マイクロ構造生成要素２０２が容器２２１に沿って下側カバー２０６まで下方に伸びる位置である、容器２２１の頂部に近い第一（下方）位置と、マイクロ構造生成要素２０２がマイクロ容器２２１から取り出される位置である、壁２２２の頂部に近い第二の（上方）位置との間にてプラットフォーム２２３を垂直方向に動かすのに適している。
【００６３】
装置２２６は、垂直壁２２２の凹所２２８内にて垂直に伸びる細長いねじ部２２７と、ねじ部２２７に対し回転動作を付与し得るよう垂直壁２２２の頂部に配置されたモータ２２９とを備えている。ねじ部２２７は、プラットフォーム２２３に設けられ、特に、凹所２２８内に嵌まるプラットフォーム２２３の伸長部２２３ａに設けられたナットねじ２３０と連結され、このため、ねじ部２２７の回転はプラットフォーム２２３の垂直方向への動きを生じさせる。
【００６４】
回転機構２１０及び平行移動機構２２０は、組み合わせて互いに独立的に作動させ、マイクロ構造生成要素２０２を平行移動せずに回転させ、回転せずに平行移動させ、又は、同時に平行移動させ且つ回転させることが可能であることが理解できる。
【００６５】
成形装置２０によりゲルプリフォームを製造する過程、及び最終的なファイバが得られる迄、ゲルプリフォームを変換する後続のステップは、以下に、図７ａないし図７ｍに関して説明する。
【００６６】
液体前駆体、特に、本明細書にて参照番号８０で示した、無機質ゾルから成る原材料を作製することで過程は開始する（図７ａ）。ゾル８０は、ガラス前駆体と水とを混合させることにより得ることができ、特に、ゾル８０は、アルコール系溶剤中の金属アルコキシド及び水を意味する化学的反応により得ることができる。第一の反応は、典型的に、シラノールＳｉ−ＯＨ基によりシリコンに連結されたＯＲ基の置換を誘発する加水分解である。これらの化学的種は、互いに反応して、Ｓｉ−Ｏ−Ｓｉ（シロキサン）結合体を形成し、その結果、シリカ回路網が形成されることになる。この相は、容器の全容積に侵入する立体回路網を確立する。これら２つの合成にて異なる化学的反応を行わせるべく溶剤として使用される液体は、固体回路網の孔内に止まる。
【００６７】
第二のステップ（図７ｂ）において、成形装置２０を組み立てた後、無機質系ゾル８０を容器２０１内に注入する。ゾル８０は、マイクロ構造生成要素２０２を挿入する前に、穴２５ａから、又は上側カバー２０５に設けられた適宜な入口（図示せず）から注入することができる。第一の場合、構造生成要素２０２は、ゾルを注入した後で且つ、ゾルがゲル化する前に、容器２０１内に挿入される。
【００６８】
次に、ゾルがより硬化し且つ、この場合、参照番号８１で示したゲル体（図７ｃ）に完全に変換するのに必要な時間、適宜な温度及び圧力状態、好ましくは、通常の周囲温度及び圧力を付与する。
【００６９】
ゾルがゲルに変換する間、動き、好ましくは、連続的な動きをマイクロ構造生成要素２０２に付与する。当該出願人は、実際に、ゾルがゲル化する間、マイクロ構造生成要素２０２の動きはゲルが要素の表面に接着するのを防止することを知った。
【００７０】
本発明の過程の１つの可能な実施例において、回転機構２１０は、マイクロ構造生成要素２０２に対し遅い回転を付与するため作動される。特に、この動きは、モータ２１３から歯車２１１´、２１１´´に、次に、他の歯車及び該歯車と関係したマイクロ構造生成要素２０２に伝達される。
【００７１】
当該出願人は、回転要素の表面近くで液体がせん断作用する結果、要素の直径に比して僅かに大きい直径の穴がゲルに形成され、これにより要素を取り出す間、ゲル表面に亀裂が生じる可能性が減少することを知った。
【００７２】
当該出願人は、上記の有利な効果を得るためにマイクロ構造生成要素２０２の回転速度の便宜な範囲は、約１ないし１２０ｒｐｍの範囲であることを確認した。
本発明の過程の第二の可能な実施例において、平行移動機構２２０は、好ましくは、１ないし２０ｍｍ／分の範囲の速度にて交番的な軸方向への動きをマイクロ構造生成要素２０２に付与し得るよう作動させる。この動き方向は、好ましくは、０ないし１００反転／分の周期にて反転させる。
【００７３】
本発明の過程の第三の可能な実施例において、回転機構２１０及び平行移動機構２２０の双方は、マイクロ構造生成要素２０２に対し回転及び軸方向への交番的な平行移動の双方を付与し得るよう作動させる。回転速度は、約１ないし１２０ｒｐｍの範囲にあることが好ましく、また、平行移動速度は、１ないし２０ｍｍ／分の範囲にあることが好ましい。軸方向への動き方向は、好ましくは、０乃至１００反転／分の範囲の周期にて反転させる。
【００７４】
ゲル体が形成されるとき、マイクロ構造生成要素２０２は、プラットフォーム２２３をその上方位置まで持ち上げることにより、容器２１から除去する。これにより、上記ゲル体の内部構造が画成される。
【００７５】
本発明の過程の可能な実施例において、二次的な組みのマイクロ構造生成要素２０２は、ファイバのマイクロ構造部分を形成し得るようにゲル体に埋め込まれたままとすることができる。マイクロ構造生成要素２０２が取り出されると、実質的に同一寸法及び幾何学的の穴がゲル体に形成される。ゾルがゲル化する間、マイクロ構造生成要素２０２を動かす上述した技術は、要素の取り出しに起因する何らの亀裂が存在しないこと及び穴の均一性を保証する。この最後のステップの結果物は、所定の内部構造を有するゲルコアプリフォーム８２である。
【００７６】
次に、ゲルプリフォーム８２を容器２０１から取り出す（図７ｅ）。特に、カバー２０５、２０６を側壁２３から分離させ、ゲルプリフォームを側壁２３から取り出す。
次に、亀裂の原因となるであろうゲル材料の孔から溶剤を除去することにより、ゲルコアプリフォーム８２をエーロゲルコアプリフォーム８３に変換する（図７ｆ）。ゲルをエーロゲルに変換する過程は、経時変化、溶剤の交換及び超臨界的乾燥ステップを含むことができる。好ましくは、ゲルは最初に、溶剤の交換を行い、その後に溶剤に対する超臨界状態下にて熱処理することにより乾燥が行われる。ゲルをエーロゲルに変換する過程は、例えば、米国特許明細書ＵＳ５，２０７，８１４号に記載されている。
【００７７】
次に、穴の直径とプリフォームの外径との間の同一比を有する、中間のガラスコアプリフォーム８４（図７ｇ）を得るためエーロゲルコアプリフォーム８３を焼結加熱炉３０内にて焼結させる。焼結加熱炉３０は、ゲルプリフォームをガラスプリフォームに焼結するのに適した当該技術にて既知の任意の加熱炉、特に、ヘリウム及び（又は）塩素ガスの雰囲気中にて少なくとも１３００°までの範囲の時間可変の温度を発生させるのに適した任意の加熱炉とすることができる。焼結は、有機質残留物及び水を除去するため、酸素、塩素及びヘリウムのような、適宜なガスの存在下にて、エーロゲルを圧密化するための熱処理を含むことが好ましい。熱処理は、エーロゲル内の有機残留物の酸化、水を除去するための脱水を行い、最終的に、エーロゲルの圧密化のため変化する温度にて行われることが好ましい。
【００７８】
必要であるならば、この段階にて、例えば、異なる屈折率（図７ｈ）を有するガラス質のコアロッド８５のような、１又はより多くの更なる構造的要素を中間のコアプリフォームに予め形成された穴内に挿入することができる。過程の開始時から形成中ゲル体内に残る可能性のあるもののような、かかる要素は、プリフォームの構造的要素となり、その後にファイバのマイクロ構造要素になる。これら要素の機能は、光学的又は機械的なものとすることができる。前者の場合、要素は、最終的なファイバの光伝搬性質を変化させ得るよう挿入されており、また、全体に比してより高又はより低屈折率を有することができる。応力誘発の光学的効果を通じて光学的性質を変化させるため、１つ又はより多くの要素を挿入することもできる。更なる構造的要素を挿入するこのステップは、これと代替的に、プリフォームを焼結するステップの前に行ってもよい。
【００７９】
次に、生成するプリフォーム８４は、既知の型式の延伸装置４０により延伸させ、コアロッド５１を得ることができる。（図７ｉ）。概略図的に示すように、延伸装置４０は、典型的に、従来の引抜き加熱炉４１と、コアロッド５１をガラスプリフォーム８４から引き抜くトラクタ装置４２とを備えている。
【００８０】
次に、オーバクラッディング層は、いわゆる「ロッドインチューブ」技術（図７ｌ）により又は既知の型式の気相堆積法（ＯＶＤ法のような）により延伸したコアロッド５１に取り付けることができる。「ロッドインチューブ」技術に従って、既知の型式のロッドインチューブ組立体５０を使用して、先に製造したガラス製管状体５２をコアロッド５１に取り付け、また、本体５２をコアロッド５１に圧潰させる。このステップの終了時、構造的に最終的なプリフォームが得られる。
【００８１】
延伸し且つ、オーバクラッディングするステップは、所定のｄ／Ｄ比を有する構造的に最終のガラスプリフォームを得るために必要とされるであろう。実際には、成形装置２０にて容器２０１及びマイクロ構造生成要素２０２の寸法を選ぶことは、取り扱い及び加工の容易さの実際的な考慮に基づくため、コアプリフォームにおける比ｄ／Ｄは、マイクロ構造ファイバにて必要とされるよりも大きくなるであろう。しかし、寸法比ｄ／Λは維持される。このため、穴の直径を更に減少させるために延伸することは都合良い。
【００８２】
全体的な過程の最後のステップ（図７ｍ）は、既知の型式の引抜きタワー６０により、参照番号６１で示した、このように得られた構造的な最終のプリフォームを引き抜き、リール６３に巻かれるマイクロ構造ファイバ６２を得ることである。
【００８３】
１つの可能な代替例として、引き抜くステップは、中間のガラスコアプリフォーム８４（エーロゲルコアプリフォーム８３を焼結することにより得られる）又はコアロッド５１の上で直接、行うことができる。
【００８４】
当該技術分野の当業者には、本発明の範囲又は精神から逸脱せずに本発明の開示された実施の形態に対し色々な形態変更及び変更例を為すことが可能であることが明らかであろう。
【００８５】
特に、上述した過程の幾つかのステップは、廃止し又は異なる順序にて行うことができる。
例えば、焼結ステップの終了時に得られたガラスコアプリフォームは、直接、引き抜き、これにより延伸させ且つ、ロッドインチューブ組み立てを行うステップを廃止することができる。これと代替的に、このガラスコアプリフォームに対し、それ以前に延伸させることなくロッドインチューブ過程を直接、行うこともできる。
【００８６】
以下の実施例は、本発明の過程に従い異なるエーロゲルプリフォームを製造することに関する。
実施例１
マイクロ構造ファイバは、次のようにして製造される。第一に、５０ｇのテトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）を、１５０ｍｌの塩酸の０．０１Ｎ溶液にて室温で約３０分間、攪拌する。コロイド状溶液のｐＨは、アンモニア溶液にて４．０まで増大させ、後続のゲル化ステップのための適宜なゾルを得る。
【００８７】
次に、三角形の形態に配置された３つのマイクロ構造生成要素２０２と共に既に組み立てられた容器２０１内にゾルを注入する。容器２０１はＰＴＦＥ材料で出来ている。マイクロ構造生成要素２０２は、直径３ｍｍ及び長さ２５０ｍｍのステンレス鋼ロッドにて出来ている。
【００８８】
ゾルを注入した後、容器を閉じてマイクロ構造生成要素２０２を８０ｒｐｍの速度にて回転させる。
ゾルのゲル化は長時間かけて行われる。約６８時間にて僅かな収縮が観察された後、マイクロ構造生成要素２０２の回転を停止させ、マイクロ構造生成要素２０２を容器２０１から引き出すことにより取り出す。
【００８９】
次に、ゲルを最初に水中に且つその後に更なる乾燥ステップにて使用される液体であるアセトン中に浸漬させる。乾燥は、ゲルを５リットル容積のオートクレーブ内に入れることにより超臨界状態にて行われ、その後、オートクレーブは窒素にて５０００ｋＰａ（５０バール）まで加圧する。次に、１００℃／時の率にて加熱を開始する。圧力は６５００ｋＰａ（６５バール）まで上昇させ、次に、温度が２９０℃に達する迄、排気弁を作用させることにより一定に保つ。この時点にて、弁を開け、圧力を７５０ｋＰａ（７．５バール）／時の率にて降下させる。次に、オートクレーブを室温まで冷却させる。得られたサンプルは、欠陥又は亀裂が存在しない構造的エーロゲルプリフォームである。
【００９０】
得られた構造的エーロゲルプリフォームは、空気中にて５℃／分の加熱率で２８０℃まで次第に加熱し、１℃／分にて２８０℃から４００℃に、次に、２℃／分にて４００℃から１２５０℃まで加熱する。次に、温度を６時間維持し、最終的に２５℃に低下させる。構造的ガラスプリフォームの寸法は、開始構造的エーロゲルプリフォームの約５０％である。
【００９１】
実施例２
異なる実験において、１００ｇのテトラエチルオルトシリケート（ＴＥＯＳ）を３００ｍｌの塩酸の０．０１Ｎ溶液と共に室温にて約３０分間、攪拌する。次に、１４０ｍｌのエタノール／水分が除去される迄、ロートベーパー法を使用することにより透明な溶液を濃縮させる。次に、５８ｇのヒュームシリカを透明な溶液に添加する。形成される混合体は、均質化される迄、強く攪拌し、次に、１０分間、１５００ｒｐｍにて遠心分離する。コロイド状溶液のｐＨはアンモニア溶液にて３．９まで増大させ、後続のゲル化ステップに適したゾルを得る。
【００９２】
次に、ゾルを容器２０１内に注入する。容器２０１は、ＰＴＦＥ材料で出来ている。マイクロ構造生成要素２０２は、直径３ｍｍ及び長さ２５０ｍｍのステンレス鋼ロッドである。２つの要素の間の間隔は７．５ｍｍ（ｄ／Λ＝０．４）である。マイクロ構造生成要素２０２のパターンは、図１におけるように六角形の形状を有する。
【００９３】
ゾルを注入した後、容器２０１を閉じ、マイクロ構造生成要素２０２を１００ｒｐｍの率にて回転させる。
ゾルのゲル化は、数時間かけて行なわれる。１５ないし２０時間にて僅かな収縮が観察された後、マイクロ構造生成要素２０２を容器２０１から引き出すことにより手で取り出すことができる。
【００９４】
その後、ゲルはアセトンに、その後、更なる乾燥ステップにて使用される液体であるエチルアセテートに浸漬させる。乾燥は、ゲルを容積５リットルのオートクレーブ内に入れることにより超臨界状態にて行われ、次に、このオートクレーブを５０００ｋＰａ（５０バール）まで窒素にて加圧する。次に、１００℃／時の率にて加熱を開始する。圧力を６０００ｋＰａ（６０バール）まで上昇させ、次に、温度が２９０℃に達する迄、排気弁を作用させることにより一定に保つ。この時点にて、弁を開き、圧力を７５０ｋＰａ（７．５バール）／時の率にて降下させる。次に、オートクレーブを室温まで冷却させる。得られたサンプルは、欠陥又は亀裂が存在しない構造的エーロゲルプリフォームである。
【００９５】
構造的エーロゲルプリフォームは、１℃／分の加熱率にて５００℃までヘリウム及び酸素流中で次第に加熱し、ヘリウム、酸素及び塩素流中で１℃／分の加熱速度にて５００から９００℃に加熱し、ヘリウム、酸素及び塩素流中で０．８℃／分にて９００から１２００℃、ヘリウム流中にて０．８℃／分にて１２００から１３５０℃に加熱する。次に、６時間、温度を維持し、最終的に、２５℃に低下させる。その後、開始構造的エーロゲルプリフォームと比較して寸法が約５０％減少した、ヒドロキシル基（１ｐｐｍ以下）が存在しない構造的ガラスプリフォームが得られる。
【図面の簡単な説明】
【００９６】
【図１】マイクロ構造光ファイバの図である。
【図２】本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する組立体のブロック図である。
【図３】本発明に従った成形装置の図である。
【図４】図３の成形装置の頂面図である。
【図５】本発明の成形装置の１つの代替的な実施の形態の図である。
【図６】６ａは、図５の成形装置の特定部分の図である。
【００９７】
６ｂは、図５の成形装置の別の特定部分の図である。
【図７】７ａは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程のステップを示す概略図である。
【００９８】
７ｂは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
７ｃは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
【００９９】
７ｄは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
７ｅは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
【０１００】
７ｆは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
７ｇは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
【０１０１】
７ｈは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
７ｉは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
【０１０２】
７ｌは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の別のステップを示す概略図である。
７ｍは、本発明に従ってマイクロ構造光ファイバを製造する過程の更に別のステップを示す概略図である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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2006525931.tif 000008
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【国際調査報告】
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2006525931.tif 000011