(57)【要約】測定装置において、校正標準を測定し誤差モデルを求め、系統誤差の影響を除去した測定結果を表示する。作業者が該測定結果に満足であれば、校正作業が終了する。また、作業者が該測定結果に不満であれば、校正標準の所望のパラメータを再測定し、誤差係数を求め直して系統誤差の影響を除去した測定結果を再表示する。該測定結果は、校正作業が終了するまで保持され、校正作業内に校正標準の再測定が行われた時には、最新の測定結果が参照されるように測定値が保持される。
2006514262.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定装置であって、
複数の測定端子を具備する測定手段と、
前記複数の測定端子から少なくとも１つを選択し、校正標準を測定し、測定される前記校正標準の特性値を設定する制御手段と、
測定される前記校正標準のパラメータ、及び、前記測定手段により測定される前記パラメータの測定値を格納する記憶手段と、
を備え、
前記測定手段は、前記パラメータの前記測定値の誤差を求め、
前記誤差は、前記記憶手段に格納され、
前記測定手段は、前記測定値から前記誤差の影響を除去して出力し、
前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記パラメータの再測定値を得て格納する、
測定装置。
【請求項２】
前記測定手段は、前記記憶手段内の前記校正標準の前記特性値を保持したまま、前記校正標準の前記再度測定値を前記記憶手段に格納する事を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記制御手段は、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を利用不能にする事を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記測定手段は、２以上の測定端子を備えたネットワークアナライザである事を特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】
複数の測定端子と記憶手段とを備える測定装置を校正標準を用いて校正する方法であって、
前記測定端子から少なくとも１つと校正標準を選択するステップと、
前記選択された校正標準の特性値を設定するステップと、
前記校正標準のパラメータを選択するステップと、
前記校正標準の前記パラメータの測定値を前記記憶手段に格納するステップと、
前記記憶手段に格納された前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を参照するステップと、
前記パラメータの前記測定値の誤差を求めるステップと、
誤差の影響を除去した後に前記測定値を出力するステップと、
前記校正標準の前記パラメータの値を再測定するステップと、
前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記再測定値を前記記憶手段に格納するステップと、
を含む方法。
【請求項６】
さらに、
前記校正標準の所望のパラメータを再選択するステップと、
前記記憶手段内の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記所望のパラメータの再測定値を前記記憶手段に格納するステップと、
を含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項７】
さらに、
前記ステップを中断あるいは終了する時に、前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を利用不能にするステップ
を含むことを特徴とする請求項５に記載の方法。
【請求項８】
複数の測定端子を備える測定装置を校正標準を用いて校正する方法であって、
前記測定端子から少なくとも１つと校正標準を選択するステップと、
前記選択された校正標準の特性値を設定するステップと、
前記校正標準のパラメータを選択するステップと、
前記記憶手段に格納された前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を参照するステップと、
前記パラメータの前記測定値の誤差を求めるステップと、
誤差の影響を除去した後に前記測定値を出力するステップと、
前記校正標準の前記パラメータの値を再測定するステップと、
前記少なくとも１つの測定端子の所望の端子に接続される被測定物の前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記記憶手段に前記再測定値を格納するステップと、
を含み、
Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせのそれぞれにおいて、事前に選択された数の前記測定端子を校正する事を特徴とする方法。
【請求項９】
前記測定装置は、２以上の測定端子を備えたネットワークアナライザである事を特徴とする請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
測定端子と記憶手段とを備える測定装置を校正標準を用いて校正するためのコンピュータ読み取り可能プログラムを記録した記録媒体であって、前記プログラムは、
前記測定端子および前記校正標準を選択するためのプログラム命令と、
前記選択された校正標準の特性値を設定するためのプログラム命令と、
前記選択された校正標準のパラメータ値を測定するためのプログラム命令と、
前記測定値を前記記憶手段に格納するためのプログラム命令と、
前記記憶手段に格納された前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を参照するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータの前記参照された値から誤差を求めるためのプログラム命令と、
前記誤差の影響を除去した後に所望のパラメータの前記測定値を出力するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータを再測定するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記記憶手段に前記再測定値を格納するためのプラグラム命令と、
を含むことを特徴とする記録媒体。
【請求項１１】
前記プログラムは、さらに、
前記選択された校正標準の前記パラメータを再測定し、前記記憶手段内の前記再測定値を、前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記記憶手段に格納するためのプログラム命令、
を含むことを特徴とする請求項１０に記載の記録媒体。
【請求項１２】
前記プログラムは、さらに、
前記ステップを中断あるいは終了する時に、前記記憶手段内の前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を利用不能にするためのプログラム命令、
を含むことを特徴とする請求項１０に記載の記録媒体。
【請求項１３】
測定端子と記憶手段とを備える測定装置を校正標準を用いて校正するためのコンピュータ読み取り可能プログラムを記録した記録媒体であって、前記プログラムは、
前記測定端子および前記校正標準を選択するためのプログラム命令と、
前記選択された校正標準の特性値を設定するためのプログラム命令と、
前記選択された校正標準のパラメータ値を測定するためのプログラム命令と、
前記測定値を前記記憶手段に格納するためのプログラム命令と、
前記記憶手段に格納された前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を参照するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータの前記参照された値から誤差を求めるためのプログラム命令と、
前記誤差の影響を除去した後に所望のパラメータの前記測定値を出力するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータを再測定するためのプログラム命令と、
前記校正標準の前記パラメータの前記測定値を保持したまま、前記記憶手段に前記再測定値を格納するためのプログラム命令と、
を含み、
Ｎ個の前記測定端子が校正される時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせのそれぞれにおいて、前記測定装置の前記測定端子が校正される事を特徴とする記録媒体。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、校正機能を備えた測定装置に係り、特に２以上の測定端子を有する装置において校正時の作業効率を改善した測定装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
多くの測定装置は、少なからず不完全な部分が存在し、その装置の測定値と真の値との間にズレが生じる。そこで、測定装置は、被測定物（以降、ＤＵＴと称する）の測定に先立って測定装置を校正し、測定値からシステマティック誤差の影響を除去できるようにしている。以降、システマティック誤差を単に誤差とも称する。
【０００３】
ここで、測定装置の一例としてネットワークアナライザを例に挙げ、従来の校正方法とその手順について以下に説示する。
【０００４】
図１は、２ポート・ネットワークアナライザ１００の概略構成を示す図である。図１において、ネットワークアナライザ１００は、ＣＰＵ１２０と、記憶手段の一例であるメモリ１３０と、入力装置１４０と、測定部１５０と、出力手段の一例である表示部１６０とを備える。なお、それらの構成要素は、バス１１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ１２０は、メモリ１３０、入力装置１４０、測定部１５０または表示部１６０とデータをやりとりし、必要に応じて演算処理を実施する。メモリ１３０は、ネットワークアナライザ１００の設定情報や測定部１５０で得た測定値などを記憶する。入力装置１４０は、ネットワークアナライザ１００の外部より命令を受信する。測定部１５０は、測定端子であるポートＡとポートＢとを備え、それぞれのポートにおける入射信号電力および反射信号電力を測定する事ができる。なお、入射信号はポートにおける出力信号であり、反射信号はポートにおける入力信号である。
【０００５】
このようなネットワークアナライザ１００において、ポートＡとポートＢとの間に２ポート・デバイスを接続し、そのデバイスの順方向および逆方向ネットワーク特性を測定する時、信号漏れ、信号反射および周波数レスポンスに関連した１２個のシステマティック誤差が存在する。
【０００６】
測定値からこれらの誤差の影響を除去する校正法の１つとしてＴＲＬ（Thru-Reflect-Line）校正法がある。ＴＲＬ校正法は、スルー、リフレクトおよびラインの３種類の校正標準を使用する事を特徴とし、２ポート校正において１０個の誤差の影響を除去する事ができ、非同軸環境やオン・ウェハー測定に利用可能である。なお、リフレクト標準はオープン標準またはショート標準のいずれかである。
【０００７】
図２は、ネットワークアナライザ１００で実施されるＴＲＬ校正法の手順を示したフローチャートである。まず初めに、ステップＰ２１において、入力装置１４０からのデータを受け、校正に用いられる校正標準の特性値の設定が行われる。なお、校正標準の測定には、ポートＡおよびポートＢの両方が用いられる。次に、ステップＰ２２において、測定部１５０はポートＡおよびポートＢに接続される校正標準を測定し、ＣＰＵ１２０は測定部１５０から該測定値を受けてメモリ１３０へ格納する。
【０００８】
ＴＲＬ校正法は、２ポート校正の場合、校正標準の１２個のパラメータを測定する必要がある。従って、ステップＰ２３において、それらの測定値が全て得られたかどうかの判定を行い、全ての測定値が得られるまでステップＰ２２を繰り返すように処理する。
【０００９】
そして、ステップＰ２４において、ＣＰＵ１２０は、メモリ１３０に格納された１４個のパラメータ測定値を参照して、１０個の誤差の値を求め該誤差値を誤差係数としてメモリ１３０に格納する。最後に、メモリに格納された１４個のパラメータ測定値を消去する。ネットワークアナライザ１００は、上述の手順による校正の実施後、求められた誤差の影響が除去されたＤＵＴの測定値、すなわち、補正された測定値を出力する事ができる。
【００１０】
ところで、校正の実施後、校正標準の接続の不良や測定端子の多さに起因する校正標準の接続間違いなどにより誤差を正確に求める事ができず、校正標準を再度測定しなければならない場合がある。誤差を正確に求められたかどうかは、補正された測定値を観測する事によって確認する事ができるが、従来の構成手順によれば、補正された測定値は校正の実施後でなければ観測できない。校正の実施後は、校正標準のパラメータ測定値が全て消去されており、特定のパラメータのみを再度測定できず、校正作業の効率は良いものではなかった。昨今、測定装置とＤＵＴは多くのポートを備えるようになり再校正時の手間が増大し、この問題は深刻なものとなっている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
本発明は、上記の従来技術の問題点を解消することを課題とするものであって、その目的とするところは、校正作業中に、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を出力する事により、校正標準の再測定が必要な時に係る工数を軽減する事である。
【００１２】
また、他の目的は、校正作業を中断または終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利用不能にする事により、該測定値を格納する記憶手段の資源浪費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と古い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制する事である。
【００１３】
さらに、他の目的は、Ｎ個の測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正する事により、校正によって得られる誤差係数の検証と、不良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易にする事である。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
要するに、本第一発明は、測定端子と記憶手段とを備える測定装置において、校正標準を用いて測定装置を校正する方法であって、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を出力した後、格納された前記校正標準のパラメータ測定値を保持したまま、前記校正標準の所望のパラメータを再度測定し、該再測定値を前記記憶手段に格納できるようにしたものである。
【００１５】
また、本第二発明は、第一発明において、校正作業を中断または終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利用不能にするようにしたものである。
【００１６】
さらに、本第三発明は、測定端子を備える測定装置において、校正標準を用いて測定装置を校正する方法であって、Ｎ個の前記測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正するようにしたものである。
【発明の効果】
【００１７】
本発明によれば、校正作業中に、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を出力するので、校正標準の再測定が必要な時に係る工数を軽減する事ができる。
【００１８】
また、校正作業を中断または終了する時に、校正標準のパラメータ測定値を利用不能にするので、該測定値を格納する記憶手段の資源浪費と、改めて校正作業が行われる際に新しい測定値と古い測定値との混在に起因する作業者の混乱と、を抑制する事ができる。
【００１９】
さらに、Ｎ個の測定端子を校正する時、Ｎ個の前記測定端子からＮ個より少ないＭ個の測定端子を選択して得られる前記測定端子の組み合わせにおいて、得られた前記組み合わせ毎に前記測定端子を校正するので、校正によって得られる誤差係数の検証と、不良の誤差係数が得られた時の対応と、を容易にする事ができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２０】
以下、本発明を添付の図面に示す実施例に基づいて説明する。本実施例は、本発明方法により校正される４ポート・ネットワークアナライザであって、その概略構成図を図３に示す。
【００２１】
図３において、ネットワークアナライザ３００は測定装置の一例であって、制御手段の一例であるＣＰＵ３２０と、記憶手段の一例であるメモリ３３０と、入力装置３４０と、測定手段の一例である測定部３５０と、出力手段の一例である表示部３６０と、記録媒体の一例であるハードディスクドライブ（以降、ＨＤＤと称する）３７０とを備える。なお、それらの構成要素は、バス３１０によって互いに接続されている。ＣＰＵ３２０は、ＨＤＤ３７０から読み出された校正プログラムを実行する事により、測定部３５０および表示部３６０などを制御して、ネットワークアナライザ３００を校正する。メモリ３３０は、ネットワークアナライザ３００の設定情報や測定部３５０で得た測定値などを記憶する。入力装置３４０は、図示しないがキーボードやマウスなどが接続され、外部からの命令を受信する。測定部３５０は、測定端子の一例であるポート１、ポート２、ポート３およびポート４を備え、それぞれのポートにおける入射信号電力および反射信号電力を測定する事ができる。
【００２２】
測定部３５０の内部構成図を図４に示す。図４において、測定部３５０は、信号源ＳＧと、スイッチＳＷ１、ＳＷ２、ＳＷ３およびＳＷ４と、入射信号電力を測定するためのリファレンス・レシーバＲ１、Ｒ２、Ｒ３およびＲ４と、反射信号電力を測定するためのテスト・レシーバＴ１、Ｔ２、Ｔ３およびＴ４と、を備える。
【００２３】
信号源ＳＧは、測定用の基準信号を出力する装置であって、その出力信号の振幅と周波数は可変である。
【００２４】
スイッチＳＷ１は、信号源ＳＧとポート１とに接続され、ポート１を信号源ＳＧと導通させるか終端する。スイッチＳＷ２は、信号源ＳＧとポート２とに接続され、ポート２を信号源ＳＧと導通させるか終端する。スイッチＳＷ３は、信号源ＳＧとポート３とに接続され、ポート３を信号源ＳＧと導通させるか終端する。スイッチＳＷ４は、信号源ＳＧとポート４とに接続され、ポート４を信号源ＳＧと導通させるか終端する。なお、スイッチは、いずれか１つがポートと信号源ＳＧとを導通させ、その他の３つのスイッチはポートを終端するように動作する。
【００２５】
テスト・レシーバＴ１は、方向性結合器ＣＴ１を介してポート１に接続され、ポート１における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ１は、方向性結合器ＣＲ１を介してポート１に接続され、ポート１における反射信号電力を測定する。テスト・レシーバＴ２は、向性結合器ＣＴ２を介してポート２に接続され、ポート２における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ２は、方向性結合器ＣＲ２を介してポート２に接続され、ポート２における反射信号電力を測定する。テスト・レシーバＴ３は、方向性結合器ＣＴ３を介してポート３に接続され、ポート３における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ３は、方向性結合器ＣＲ３を介してポート３に接続され、ポート３における反射信号電力を測定する。テスト・レシーバＴ４は、方向性結合器ＣＴ４を介してポート４に接続され、ポート４における入射信号電力を測定する。リファレンス・レシーバＲ４は、方向性結合器ＣＲ４を介してポート４に接続され、ポート４における反射信号電力を測定する。
【００２６】
さて、ネットワークアナライザ３００においてＴＲＬ校正法を実施する時、メモリ３３０には校正標準に関する情報、校正標準のパラメータの測定値、および、当該パラメータの測定値から求められるシステマティック誤差の値が格納される。校正標準に関する情報は、スルー標準の遅延量と特性インピーダンス、リフレクト標準の種類と遅延量と特性インピーダンス、ライン標準の遅延量と特性インピーダンスと適用周波数範囲を示す２つの周波数、が含まれる。
【００２７】
【表１】
2006514262.tif 000003
【００２８】
リフレクト標準の種類は、先にも述べたようにオープン標準またはショート標準のいずれかである。また、１つのライン標準が適用可能な周波数範囲は限定されているので、本例では２つ異なるライン標準を用いて広い周波数範囲を確保するようにしている。
【００２９】
ネットワークアナライザ３００を用いて４ポート・デバイスを測定する時、最多のシステマティック誤差が存在し、その数は４８個である。ＴＲＬ校正法を用いれば、４８個のうち３６個のシステマティック誤差について該誤差値を求める事ができる。なお、システマティック誤差の値は、誤差係数とも称する。３６個の誤差係数には、以下の誤差係数が含まれる。すなわち、４つのポートのそれぞれにおける方向性Ｅｄとソース整合Ｅｄと反射トラッキングＥｒ、４つのポートから選ばれる２つのポートの組におけるロード整合Ｅｌおよび伝送トラッキングＥｔ、である。ネットワークアナライザ３００は、測定周波数範囲の複数点において測定を行うので、３６個の誤差係数の組は該測定周波数点の数の組がメモリ３３０に格納される。
【００３０】
【表２】
2006514262.tif 000004
【００３１】
なお、ロード整合および伝送トラッキングについては、プログラムからの参照が容易なように［ｎ＊ｎ］の配列に格納される。
【００３２】
また、１つの測定周波数点において３６個の誤差係数を求めるために、校正標準の６４個のパラメータを測定しなければならない。具体的には次の通りである。
【００３３】
４つのポートから２つのポートを選ぶ時の６種類のポートの組合せ、すなわち、１−２ポート、１−３ポート、１−４ポート、２−３ポート、２−４ポートまたは３−４ポートの組に対してスルー標準およびライン標準を接続した時の、各組の各ポートで測定される伝送係数および反射係数である４つのＳパラメータ。上記６種類のポートの組に対してスルー標準を接続した時の、各組の各ポートに関連して測定されるスイッチ整合である２つのパラメータ。４つのポートのそれぞれに対してリフレクト標準を接続した時の、各ポートで測定される反射係数である１つのＳパラメータ。
【００３４】
【表３】
2006514262.tif 000005
【００３５】
ここで、Ｃはｎ個から２個を選択する組合せｎＣ２である。なお、これらの測定パラメータの組も、誤差係数と同様に測定周波数点の数の組がメモリ３３０に格納される。
【００３６】
以上のように構成されるネットワークアナライザ３００において、校正するためのプログラムの処理手順を、図５に示すフローチャートを参照して以下に説示する。
【００３７】
まず初めに、ステップＰ４１において、入力装置４４０からのデータを受け、校正に用いられる校正標準に関連する情報の設定が行われる。ステップＰ４１に関連して表示部３６０が表示する画面の例を図６に示す。図６において、ダイアログボックス６００は、チャネルおよびポートを選択するためのリストボックス、校正標準の設定ダイアログボックスを開くための［Define Calkit］ボタン、校正標準の測定ダイアログボックスを開くための［Measure >］ボタン、ならびに、メッセージボックスを備えている。これらボタンやリストボックスなどは、入力装置に接続されるマウスに連動して、表示部３６０が画面に表示するポインタなどによって操作される。ネットワークアナライザ３００は、測定結果を表示するための、複数の独立したウィンドウを表示する事ができる。本実施例では該ウインドウをチャネルと称する。チャネル毎に異なる測定パラメータを表示させる時、作業者はチャネル毎に所要のポートを校正しなければならない場合がある。従って、ダイアログボックス６００において、チャネルおよびポートを選択できるようになっている。例えば、チャネルは１から９までの数値をリストから選択できる。また、校正対象となるポートは、その数が２つである時は１−２、１−３、１−４、２−３、２−４、３−４のいずれかの組のポートが選択され、その数が３つである時は１−２−３、１−２−４、１−３−４、２−３−４のいずれかの組のポートが選択され、その数が４つである時は全てのポートが選択される。
【００３８】
［define Calkit］ボタンを押す事により表示される校正標準の設定ダイアログボックスを図７に示す。図７において、ダイアログボックス７００は、校正標準に関連する情報を設定するための入力ボックス、ラジオボタンおよびチェックボックスを備えている。ライン標準は、必ずしも２つの標準を用いる必要はないので、チェックボックスによって使用するライン標準を選択できる。
【００３９】
リフレクト標準の種類は、オープン標準かショート標準のいずれかをラジオボタンにより選択する。遅延量など校正標準に関する他の設定情報は、入力ボックスに数値を入力して設定される。また、ダイアログボックス７００は、校正標準に関する情報をＨＤＤ３７０などの記憶媒体に保存するための［Save］ボタン、該記憶媒体に保存された設定情報を読出し反映させる［Recall］ボタン、または、既定の設定情報を反映する［Default］ボタンを備える。設定が終了した後［Close］を押す事により、ダイアログボックス７００において設定された情報がメモリ３３０へ格納され、ダイアログボックス７００は閉じる。
【００４０】
チャンネル、ポート、および、校正標準に関する情報が正しく設定されると、メッセージボックスに“ｏｋ”という文字列が表示され、［Measure >］ボタンを押す事ができるようになる。なお、［Measure >］ボタンは校正標準に関する情報が正しく設定されるまでは利用不能である。メッセージボックスに“ｏｋ”文字列が表示された後であっても、チャネルおよびポートは選択内容を変更する事ができ、［define Calkit］ボタンは利用可能である。［Measure >］ボタンを押すと、選択されたチャネルとポートの情報がメモリ３３０に格納され、ダイアログボックス６００は閉じ、処理はステップＰ４２へ進む。
【００４１】
ステップＰ４２において、校正標準の測定に関連するダイアログボックスが表示部３６０により表示され、該校正標準の測定が行われる。ここで、ステップＰ４２に関連して表示部３６０が表示する画面の例を図７に示す。図７において、ダイアログボックス８１０は、ダイアログボックス６００で選択されたポートに基づき、校正標準のそれぞれについて接続すべきポートまたはそれらの組がグループ化されて列挙される。図６および図７のダイアログボックスを参照して明らかなように、ネットワークアナライザ３００は測定周波数範囲１．０〜８．５ＧＨｚにおけるポート１−２間の２ポート校正が実施されるように設定されているので、ダイアログボックス８１０上の校正標準のグループ内にはポート１またはポート２もしくはポート１−２が接続すべきポートとして指示される。例えば、リフレクト標準の接続を示す［Reflection］グループには、２つのボタンが表示され、それぞれに［1］および［2］というポート番号を示した数字が表示されている。例えば、ポート１にリフレクト標準を接続して［Reflection］グループの［1］ボタンを押せば、ポート１におけるリフレクト標準の測定が行われ、測定値がメモリ３３０に格納される。他の校正標準のグループにおいても、当該校正標準を接続すべきポートまたはポートの組が表示されたボタンが列挙される。これらのボタンは押下されて関連する測定が終了すれば、その色が変化する。
【００４２】
ステップＰ４３において、校正に必要な全ての測定が完了するまでステップＰ４２の処理が継続されるよう判定および分岐処理する。ダイアログボックス８１０は、誤差係数を求め、以降の測定における誤算の影響の除去に反映させるための［Update CalCoef］ボタンを備えており、校正に必要な全ての測定が完了すれば押す事ができるようになる。さらに、該全測定の完了時、ダイアログボックス８１０上の各校正標準のグループに列挙されたボタンは全て色が変化している。そのようなダイアログボックスを、図９に例示する。なお、［Update CalCoef］ボタンは、校正に必要な全ての測定が完了するまでは利用不能である。
【００４３】
ダイアログボックス８１０は［Close］ボタンを備えているので、校正作業を中断する事ができる。校正作業の中断する場合、チャネルおよびポートの選択情報と校正標準の設定情報は保持され、中断前に得た測定値は全て消去される。また、ダイアログボックス８１０は［< Setup］ボタンを備えているので、チャネルおよびポートの再選択または校正標準に関する情報の再設定が可能である。再選択または再設定されても、校正標準のパラメータ測定値およびボタンの色は初期化または変更されない。
【００４４】
さて、［Update CalCoef］ボタンを押すと、プログラム処理はステップＰ４４へ進む。
【００４５】
ステップＰ４４において、ＣＰＵ３２０はメモリ３３０に格納されたパラメータ測定値を参照して誤差係数を計算しメモリ３３０へ格納する。すなわち、システマティック誤差が求められる。さらに、ステップＰ４５において、ＣＰＵ３２０はメモリ３３０に格納された誤差係数と測定部３５０から得られる測定値とを参照して、誤差の影響が除去された所望のパラメータ測定値を表示部３６０へ出力する。なお、除去される誤差は短期的に見るとドリフト誤差も含まれる。
【００４６】
表示部３６０の出力例を、図１０と図１１に示す。図１０において、誤差係数を良好に求める事ができなかった時の所望のパラメータの測定結果９１０が示されている。一方、図１１においては、誤差係数を良好に求める事ができた時の所望のパラメータの測定結果９２０が示されている。両測定結果９１０および９２０は、ポート１とポート２との間にスルー標準が接続された時の、ポート１からポート２への伝送係数Ｓ２１の測定結果であり、通常の測定と同様に測定されて出力されるものである。求められた誤差係数が妥当であるか否かは、例えば、測定結果の振れ幅を観測する事によって判断する事ができる（ステップＰ４５）。
【００４７】
図１０または図１１を参照して明らかなように、校正標準を測定するためのダイアログボックスが測定結果とともに表示されているので、既に測定された校正標準のパラメータのうち所望のパラメータのみを再測定する事できる。例えば、求められた誤差係数が不良であった時、図１０において、ダイアログボックス８３０上に列挙される、ポート番号が表示されたボタンを選択して、図１１に示す測定結果が得られるように校正標準の所望のパラメータを再測定する事ができる。ダイアログボックス８３０は、図９に示すダイアログボックスと同様に［Update CalCoef］ボタンを備えているので、再測定した後［Update CalCoef］ボタンを押すと、新しい誤差係数が求められ該誤差係数が反映された測定結果が表示される。
【００４８】
図５のフローチャートで概略を示し詳細に上述した校正プログラムの処理中、表示されるダイアログボックスの背景には、その時点で指定されている所望のパラメータの測定結果が表示されるようになっており、同プログラムの処理中であっても、通常の測定と同様に所望のパラメータを指定する事ができ、また該パラメータの測定結果の表示形式を変更する事ができる。例えば、測定結果が表示部３６０に表示されるウィンドウ内に表示される時、波形あるいはリスト表示された数値もしくは他の形式で表示する事でき、また、測定結果がリスト表示される時にウィンドウのスクロールバーを操作する事もできる。測定に関する他の設定についても、校正プログラムの処理中に変更する事ができる。
【００４９】
図１１において、ダイアログボックス８４０は図１０におけるダイアログボックス８３０と同一の物であり［Close］ボタンを備えているので、求められた誤差係数が妥当であると判断されれば、その［Close］ボタンを押す事により校正作業を終了する事が出来る。なお、校正作業を終了しても、チャネルおよびポートの選択情報と校正標準の設定情報は保持されるが、終了前に得た測定値は全て消去される。
【００５０】
さて、上述の通り、ダイアログボックス８１０は［< Setup］ボタンを備えているので、チャネルおよびポートの再選択または校正標準に関する情報の再設定が可能であり、再選択または再設定されても校正標準のパラメータ測定値およびボタンの色は初期化も変更もなされない。この事は、ｎポート校正を複数の２ポート校正に分割して段階的に実施する事を可能にし校正作業の効率改善に貢献する。
【００５１】
例えば、１−２−３ポートに対して３ポート校正する時、１−２ポートに対する２ポート校正と１−３ポートに対する２ポート校正とをそれぞれ実施する事により代替えする事ができる。２ポート校正は、３ポート校正に比べて、校正標準の接続ポートや接続状態など、校正標準の測定結果に影響を及ぼす要因が限定されるので求められた誤差係数が妥当であるか否か検証と、求められた誤差係数が妥当でなかった時の対応が容易になる。
【００５２】
上述の校正プログラムは、ネットワークアナライザ３００が当該プログラムを実行できるように記録媒体に記憶されていれば、その記憶媒体は、ネットワークアナライザ３００に内蔵されても、ネットワークアナライザ３００とは別に提供されても良い。例えば、当該プログラムを、ＣＤＲＯＭ、フレキシブルディスク、メモリーカード、外部接続型のＨＤＤなどの記憶媒体に記録しておき、これらの記憶媒体からネットワークアナライザ３００にプログラムを実装する事もできる。また、当然の事ながら、当該プログラムはＲＯＭに記録されてネットワークアナライザ３００に実装されても良い。
【図面の簡単な説明】
【００５３】
【図１】従来方法により校正可能なネットワークアナライザの概略構成図である。
【図２】従来方法による校正手順を示すフローチャートである。
【図３】本発明方法により校正可能なネットワークアナライザの概略構成図である。
【図４】本発明方法により校正可能なネットワークアナライザの測定部の詳細な内部構成を示す図である。
【図５】本発明方法による校正手順を示すフローチャートである。
【図６】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【図７】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【図８】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【図９】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【図１０】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【図１１】本発明方法による校正プログラムが表示する画面を示す図である。
【符号の説明】
【００５４】
１００、３００  ネットワークアナライザ
１１０、３１０  バス
１２０、３２０  ＣＰＵ
１３０、３３０  メモリ
１４０、３４０  入力装置
１５０、３５０  測定部
１６０、３６０  表示部
３７０  ハードディスクドライブ
６００，７００，８１０，８２０，８３０，８４０  ダイアログボックス
９１０，９２０  測定結果
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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