(57)【要約】【課題】干渉計監視のための方法および装置を提供する。【解決手段】本発明で提供する干渉計の監視方法は、第１の光信号を干渉計および波長基準要素に結合するステップと、干渉計内での第１の光信号の一部の干渉の結果である第１の生成干渉信号を検出するステップと、第１の光信号と波長基準要素との相互作用の結果である生成基準信号を検出するステップと、第１の生成基準信号を生成基準信号と比較し、干渉計のドリフトが有る場合、該ドリフトを検出するステップと、を有する。
2006502391.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
干渉計（２）を監視する方法であって、
第１の光信号（６２）を前記干渉計および波長基準要素（１８）に結合するステップと、
前記干渉計内での前記第１の光信号の一部の干渉の結果である第１の生成干渉信号（６８）を検出するステップと、
前記第１の光信号と前記波長基準要素との相互作用の結果である生成基準信号（７０）を検出するステップと、
前記第１の生成基準信号を前記生成基準信号と比較し、前記干渉計のドリフトが有る場合、該ドリフトを検出するステップと、
を有する方法。
【請求項２】
前記第１の光信号の波長をほぼ恒久的に上下に掃引するステップをさらに有する、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記第１の光信号の波長を所定の掃引範囲内でほぼ恒久的に上下に掃引するステップをさらに有する、請求項１又は２に記載の方法。
【請求項４】
前記第１の光信号の波長を所定の掃引範囲内で上下にほぼ恒久的に掃引するステップと、
前記波長基準要素の吸光特性を網羅する手法で前記掃引範囲を選択するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項５】
前記第１の光信号を前記波長基準要素の吸光特性にロックするステップをさらに有する、請求項１乃至４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記干渉計内での前記第１の光信号の一部の干渉の結果である第２の生成干渉信号（２１８）を検出するステップと、
前記第１の生成干渉信号と前記第２の生成干渉信号の位相を比較し、前記ドリフトの方向を評価するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の方法。
【請求項７】
前記第１の光信号を前記波長基準要素の吸光特性にロックするステップと、
第２の光信号（３０４）を前記干渉計および前記波長基準要素に結合するステップと、
前記干渉計内での前記第２の光信号の一部の干渉の結果である第３の光干渉信号（６８）を検出するステップと、
前記第２の光信号を前記第３の生成基準信号の好ましくは極値である特定の位置にロックするステップと、
前記第１の光信号と前記第２の光信号との重畳によるビート信号の変化を検出して前記ドリフトを検出するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至６のいずれか１項に記載の方法。
【請求項８】
ほぼ同一の偏光を有する前記第１の光信号と前記第２の光信号を供給するステップをさらに有する、請求項１乃至７のいずれか１項に記載の方法。
【請求項９】
前記検出ドリフトが有る場合、該検出ドリフトを用いて前記干渉計を安定化するステップをさらに有する、請求項１乃至８のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１０】
前記第１の光信号の波長とは実質的に異なる波長を有する第３の光信号（５０４）を前記干渉計および前記波長基準要素に結合するステップと、
前記干渉計内での前記第３の光信号の一部の干渉の結果である第３の生成干渉信号（６８，２１８）を検出するステップと、
前記第３の光信号を前記波長基準要素の吸光特性にロックするステップと、
前記第１の生成干渉信号（６８，２１８）を前記第３の生成干渉信号（６８，２１８）と比較し、前記ドリフトの波長依存性が有ればこれを検出するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至９のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１１】
前記検出ドリフトが有る場合、該検出ドリフトを用いて前記干渉計内に前記ドリフトに対応する可変光遅延を導入するステップをさらに有する、請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１２】
前記検出ドリフトが有る場合に、該検出ドリフトを用いて前記干渉計又は該干渉計の一部である試験対象デバイスの特性を評価するステップをさらに有し、
前記特性は、温度、圧力、湿度、磁気、および電圧のうちの少なくとも一つへの依存性である、請求項１又は１１のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１３】
前記干渉計へ有用光信号（４）を結合するステップと、
前記干渉計内での前記有用光信号の一部の干渉結果である有用生成干渉信号を検出し、該有用光信号の波長を評価するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１４】
有用光信号を前記第１の光信号と同じ光路（３８）に沿って前記干渉計内につなぎ、前記第１の光信号、前記第２の光信号、および前記第３の光信号のうちの少なくとも一つの偏光にほぼ直交する偏光をもたせるステップと、
前記干渉計内での前記有用光信号の一部の干渉結果である有用生成干渉信号（２１，２３）を検出し、前記有用光信号の波長を評価するステップと、
をさらに有する、請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１５】
前記有用光信号を調整するステップをさらに有する、請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項１６】
データキャリア上に記憶され、コンピュータ等のデータ処理システム上での実行時に請求項１乃至１５のいずれか１項に記載の方法をコンピュータに実施させるソフトウェアプログラム。
【請求項１７】
干渉計（２）を監視する装置であって、
第１の光源（６０）の第１の光信号（６２）を前記干渉計および波長基準要素（１８）に結合する第１のカプラ（４０）と、
前記干渉計内での前記第１の光信号の一部の干渉の結果である第１の生成干渉信号（６８）を検出する第１の検出器（６４）と、
前記波長基準要素の生成基準信号（７０）を検出し、該生成基準信号が前記第１の光信号と前記波長基準要素との相互作用の結果である、基準検出器（６６）と、
前記第１の生成干渉計信号を前記生成基準信号と比較し、前記干渉計のドリフトが有る場合、該ドリフトを検出する評価ユニット（５６）と、
を有する装置。
【請求項１８】
第１の光信号を前記波長基準要素の吸光特性にロックする第１のロック回路（２０２）をさらに有する、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記干渉計内での前記第１の光信号の一部の干渉の結果である第２の生成干渉信号（２１８）を検出する第２の検出器（２１４）と、
前記第１の生成干渉信号と前記第２の生成干渉信号の位相を比較して前記ドリフトの方向を評価するよう設計された評価ユニット（５６）と、
をさらに有する、請求項１７又は１８のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２０】
前記第１の光信号を前記波長基準要素の吸光特性にロックする第１のロック回路（２０２）と、
第２の光源（３０２）の第２の光信号（３０４）を前記干渉計および前記波長基準要素に結合する第２のカプラ（４０）と、
前記干渉計内での前記第２の光信号の一部の干渉の結果である第３の生成干渉信号（６８）を検出する第３の検出器（６４）と、
前記第２の光信号を前記第３の生成干渉信号の特定の位置、好ましくは極値へロックする第２のロック回路（３０８）と、
前記第１の光信号と前記第２の光信号との重畳によるビート信号（７０）の変化を検出し、前記ドリフトを検出する第４の検出器と、
をさらに有する、請求項１７乃至１９のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２１】
ほぼ同一の偏光をもつ第１の光信号（６２）および第２の光信号（３０４）を供給する同一の偏光ビームスプリッタ（４０）を備える前記第１のカプラ（４０）及び前記第２のカプラ（４０）をさらに有する、請求項１７乃至２０のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２２】
前記評価ユニット（５６）が検出した前記ドリフトに基づいて前記干渉計を安定化させる安定化ユニット（５６）をさらに有する、請求項１７乃至２１のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２３】
前記第１の光信号の波長とは実質的に異なる波長を有する第３の光信号（５０４）を前記干渉計および前記波長基準要素に結合する第３のカプラ（４０）と、
前記干渉計内での前記第３の光信号の一部の干渉の結果である第３の生成干渉信号（６８，２１８）を検出する第５の検出器（６４）と、
前記第３の光信号を前記波長基準要素の吸光特性へロックする第３のロック回路（５１０）と、
前記第１の生成干渉信号を前記第３の生成干渉信号と比較し、前記ドリフトが有る場合に該ドリフトの波長依存性を検出する前記評価ユニット（５６）と、
をさらに有する、請求項１７乃至２２のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２４】
前記評価ユニットが検出した前記ドリフトに基づき、前記干渉計内に可変光遅延を導入する可変光遅延ユニット（４０２）をさらに有する、請求項１７乃至２３のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２５】
試験対象デバイスの特性を前記干渉計の一部として評価するよう設計した前記評価ユニットをさらに有し、
前記特性は、温度、圧力、湿度、磁気、および電圧のうちの少なくとも一つに依存する、請求項１７乃至２４のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２６】
第４の光源（６）の有用光信号（４）を前記干渉計に結合する第４のカプラ（４０）と、
前記干渉計内での前記有用光信号の一部の干渉の結果である有用生成干渉信号（２１，２３）を検出する第６の検出器（２２，２４）と、
前記有用光信号の波長を評価するよう設計された前記評価ユニット（５６）と、
をさらに有する、請求項１７乃至２５のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２７】
前記第１の光信号、前記第２の光信号、および前記第３の光信号のうちの少なくとも一つの偏光に直交する偏光で、第４の光源（６）の有用光信号（４）を前記干渉計に結合する偏光ビームスプリッタと、
前記干渉計内での前記有用光信号の一部の干渉の結果である有用生成干渉信号（２１，２３）を検出する第７の検出器（２２，２４）と、
前記有用光信号の波長を評価するよう設計された前記評価ユニット（５６）と、
をさらに有する、請求項１７乃至２６のいずれか１項に記載の装置。
【請求項２８】
可調整レーザ光源である第４の光源（６）をさらに有する、請求項１７乃至２７のいずれか１項に記載の装置。
【発明の詳細な説明】
【背景技術】
【０００１】
本発明は干渉計の監視に係り、特に干渉計を監視する方法及び装置に係り、より詳しくは干渉計を安定化する方法及び装置に関する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００２】
本発明の目的は、改良された干渉計監視のための方法および装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００３】
この目的は、独立請求項により解決される。好適な実施形態は、従属請求項により示される。
【０００４】
本発明の好適な実施形態によれば、干渉計を監視することが可能であり、特にドリフトについて干渉計を監視することができる。ここで、干渉計のドリフトとは、特に温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧に依存するドリフトである。
【０００５】
本発明のさらなる実施形態によれば、試験対象デバイスを干渉計に組み込んだ場合に、温度、圧力、湿度、磁気、および電圧に依存する試験対象デバイス（device under test）の特性を検出することが可能である。
【０００６】
一実施形態によれば、検出ドリフトに基づいて干渉計を安定化することが可能であり、特に干渉計に影響を及ぼす温度、圧力、湿度、磁気、または電圧の影響を受けない未知の波長（unknown wavelength）を用いて光信号の波長計測を実行し、干渉計を安定化させる。これにより、今まで未知の精度だった絶対波長基準ユニット（absolute wavelength reference unit）を提供することが可能である。
【０００７】
さらに、本発明の一実施形態によれば、干渉計の領域内の温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧の影響を受けないレーザ光源の有用光信号（useful optical signal）を調整することが可能である。これにより、連続掃引調整が可能な（continuously swept tunable）レーザ光源を用いて高精度計測を実施することが可能である。
【０００８】
さらに好適な実施形態では、第１の光信号は好ましくは所定の掃引範囲内でほぼ恒久的に波長を上下に掃引し、この掃引範囲が好ましくは波長基準要素の吸光特性を網羅する。波長基準要素は好ましくは気体吸光セル（gas absorption cell）である。この方法を用いることで、迅速かつ精密な方法で干渉計を監視し好ましくは安定化することが可能になる。
【０００９】
別の実施形態では、第１の光信号は波長基準要素の吸光特性にロックされる。干渉計内での第１の光信号の一部の干渉の結果である第１の生成干渉信号（resulting interference signal）をまだ検出している場合は、第１の光信号が波長基準要素の絶対的波長基準にロックされているので、この干渉は温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧に依存する干渉計自体のドリフトの結果でしか有り得ないことは明らかである。さらに、干渉計内の第１の光信号の一部の干渉の結果である第２の生成干渉信号を検出し、第１と第２の生成干渉信号を位相比較し、例えば二つの検出干渉信号を用いて方向感応縞計数法（direction sensitive fringe counting method）によりドリフトの方向を評価することができる。
【００１０】
本発明の好適な実施形態では、干渉計内での第２の光信号の一部の干渉の結果である第２の生成干渉信号を検出する追加検出器（further detector）を用いた、第２の光源による干渉計および波長基準要とへの第２の光信号と、第２の光信号を第２の生成干渉信号の極値等の特定の位置へロックするロック回路と、第１と第２の光信号の重畳によるビート（beat、うなり）信号の変化を検出してドリフトを検出する追加検出器とが追加的に備わっている。好ましくは、第２の光信号は第１の光信号とは若干異なる波長を有し、第１の光信号と同一の偏光を有する。しかしながら、両信号は同じ経路を使用することができる。二つの信号間でビート信号の偏差が発生した場合、第２の生成干渉信号の特定の位置は温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧に依存する干渉計のドリフトを被っている筈であり、このドリフトは干渉計により検出することができる。
【００１１】
本発明の一実施形態によれば、検出されたドリフトは可変光遅延ユニットによる可変光遅延で補償される。このユニットは、干渉計内のどの箇所にも導入することができる。このユニットは、好ましくは干渉計光路内の屈折率を可変することが可能であり、この種の光路内の光路長を変えることができる要素を用いる。このユニットは、好ましくは光路の素早い変更を実行して温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧に依存する監視対象干渉計の高速な特性変化に対する迅速な反応をもたらす液晶（liquid crystal）を配設することができる。
【００１２】
さらに、第１の光信号に類似するが実質的には異なる波長を有する別の光信号を用いるのが好ましい。好ましくは第１の光信号と同じ光路内に追加光信号（further optical signal）を結合し、この追加光信号を同じ光波長基準要素へロックし、また追加光信号の生成干渉信号を検出する。これにより、実質的に異なる波長を有する追加光信号に基づいて評価した干渉計のドリフトに比べ第１の光信号に基づいて評価したドリフトとの間に差異が存在する場合に、検出されたドリフトの波長依存性を評価することができる。
【００１３】
第１、第２、および追加光信号に同一の偏光を用い、第１と第２及び／又は追加光信号に直交する偏光を有用光信号に用いるのが好ましい。これにより、特に一部又は全ての光信号が同一の光路を用いるときに、干渉計内の有用光信号と他の光信号との間に偏光相互結合がなくなる。
【００１４】
本発明は、１以上の適切なソフトウェアプログラムにより一部実施またはサポートすることが可能である。このプログラムは任意種のデータキャリア（data carrier）に記憶させるかまたは提供することができる。このプログラムは、任意の適当なデータ処理ユニット内でまたはそのユニットにより実行することもできる。ソフトウェアプログラムやルーチンを、好ましくは本発明方法の実施に適用する。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１５】
本発明の他の目的と多くの付随する長所は、添付図面と関連させて考察するときに以下の詳細な説明を参照することで即認識され、より良く理解されよう。図面中の構成要素は必ずしも実寸ではなく、その代わりに本発明原理を明確に例示することに強調が施してある。実質的に或いは機能的に同一又は類似の特徴は、同一の参照符号でもって参照することにする。
【００１６】
図面をより詳細に参照するに、図１は干渉計２を監視する装置１を示す。表示した装置１は、可調整レーザ光源６の有用（useful）光信号４の波長の評価に用いる。
【００１７】
干渉計２には、３ポートカプラ８と、ファイバ１４，１６を介してカプラ８へ結合した２個のファラデーミラー（Faraday mirror）１０，１２と、検出器として機能し、偏光ビームスプリッタ２６，２８、レンズ３０，３２、およびファイバ３４，３６を介してカプラ８へ接続したフォトダイオード２２，２４と、偏光ビームスプリッタ４０とレンズ４２を介して有用光信号４を供給するファイバ３８とが備わっている。
【００１８】
加えて、カプラ８はファイバ２０を介して吸光セル（absorption cell）１８へ接続してある。吸光セル１８の出射ファイバ４４の信号は、レンズ４６と偏光ビームスプリッタ４８を介して検出器５０が検出する。
【００１９】
検出器２２，２４，５０は、接続線路５２，５３，５５を介して評価ユニット（evaluation unit）５６へ接続してある。
【００２０】
評価ユニット５６による光信号４の波長の評価は、以下のように実行される。未知の（unknown）波長の光信号４を、偏光ビームスプリッタ４０とレンズ４２を介して干渉計２のファイバ３８内へ結合する。ファイバ３８に接続したカプラ８は、ファイバ１４，１６，２０へ結合された３個の部分へ光信号４を分割する。ファイバ１４内へはループ５８により遅延（delay）が導入され、これによりファイバ１４を通過しファラデーミラー１０により反射される個別部分がファイバ１６を通過しファラデーミラー１２により反射される部分に対し遅延されるようにしてある。これにより、二つの反射信号間の干渉がカプラ８内で発生し、生成重畳信号（resulting superimposed signal）２１，２３内の干渉縞は、ファイバ３４，３６、レンズ３０，３２、および偏光ビームスプリッタ２３，２６，２８を介して検出器２２，２４で検出することができる。
【００２１】
検出器２２，２４が検出する信号２１，２３内の干渉縞は、評価ユニット５６によりディジタル的に計数される。二つのフォトダイオード２２，２４の存在により、評価ユニット５６による方向感応縞の計数（counting）が可能である。光信号４の第３の部分はカプラー８からファイバ２０を介して吸光セル１８内に結合してあり、吸光セル１８の出力信号４９は、ファイバ４４、レンズ４６、および偏光ビームスプリッタ４８を介して検出器５０により検出できるため、干渉計２の較正は本発明の本実施形態になる波長基準要素（wavelength reference element）として機能する吸光セル１８の既知の吸光特性に基づき干渉計２の自由スペクトル領域（free spectral range；ＦＳＲ）を割り出すことで可能となる。吸光セル１８用の気体として、Ｃ２Ｈ２を用いることができる。
【００２２】
干渉計２は、温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧等の外部因子の作用を受け、これらの因子は時間依存位相シフトと可変ＦＳＲの原因となる。それ故、図１に表示した実施形態になる装置１を用い、評価／安定化ユニット（evaluation and stabilizing unit）５６が干渉計２の温度、圧力、湿度、磁気及び／又は電圧依存性ドリフトを検出し、干渉計２の評価ドリフトを考慮した光信号４の波長の計測値を供給することでもって干渉計２の挙動を監視し安定化させる。
【００２３】
前述の目的に合わせ、装置１は第１の光信号６２を偏光ビームスプリッタ４０へ供給して第１の光信号６２を干渉計２内と波長基準要素１８内とへ結合する分布帰還型（distributed feedback；ＤＦＢ）レーザ６０が設けてある。両光信号４，６２が偏光ビームスプリッタ４０へ供給されるので、それらの信号は干渉計２内の同一光路を進行することができる。何故ならそれらの信号は、偏光ビームスプリッタ４０により直交偏光を受け、そのために光信号４，６２の間には偏光相互結合（polarization cross coupling）が一切存在しないからである。従って、偏光ビームスプリッタ２８は、検出器６４による第１の生成干渉信号（resulting interference signal）６８の検出を可能とする。ここで、第１の生成干渉信号６８は、干渉計２内の第１の光信号６２の一部の干渉の結果である。また、偏光ビームスプリッタ４８は、検出器６６による波長干渉要素１８の生成基準信号（resulting reference signal）７０の検出を可能とする。ここで、生成基準信号７０は、第１の光信号６２と波長基準要素１８との相互作用の結果である。検出器６４，６６は接続線路５４，７２を介して評価ユニット５６に接続してあり、評価ユニット５６が第１の生成干渉信号６８を生成干渉信号７０と比較し、干渉計２のドリフトが有ればドリフトを検出することを可能とする。この比較を容易にするため、ＤＦＢレーザ６０は所定の波長掃引範囲内で掃引される恒久的な波長としてあり、この範囲は吸光セル１８の少なくとも一つの吸光特性全体を網羅し、そのため光検出器６４の第１の生成干渉信号６８と検出器６６が検出する基準セル１８の吸光スペクトルとを比較することができ、起こりうるＦＳＲドリフトを評価ユニット５６により干渉させることができる。
【００２４】
図２は、本発明の第２実施形態になる第２の装置２００を示す。図２によれば、装置２００内では、ＤＦＢレーザ６０の第１の光信号６２をロック回路（locking circuit）２０２を介して吸光セル１８の吸光特性にロックする。ロック回路２０２は、接続線路２０６により検出器６６の信号を、接続線路２０８によりＤＦＢレーザ６０の局部（local）発振信号２１０を受信し、接続線路２１２を介してＤＦＢレーザ６０へロック信号を出力するミキサー（mixer）２０４を備える。代替として、ＤＦＢレーザ６０は固定波長の第１の光信号６２を有するレーザとすることもできる。
【００２５】
実施形態２００の機能は、以下の通りである。評価ユニット５６が光検出器６４による干渉縞を検出した場合に、干渉計２のドリフトが発生したことは明白である。ドリフト方向を検出すべく、装置２００は、検出器２１４をさらに備え、評価ユニット５６へ検出器６４，２１４の二つの検出信号５４，２１６を供給する。装置２００は、評価ユニット５６が第１の生成干渉信号６８と第２の生成干渉信号２１８との位相の比較に基づく方向感応縞を計数するのを可能にする。
【００２６】
図３は、本発明の第３の実施形態になる装置３００を示す。図２の装置２００に加え、装置３００は第２のＤＦＢレーザ３０２をさらに備える。第２のＤＦＢレーザ３０２は、半透明鏡３０６、偏光ビームスプリッタ４０、およびレンズ２を介して干渉計２および吸光セル１８へ第２の光信号３０４を供給する。ＤＦＢレーザ３０２の光信号３０４は、ロック回路３０８により第２の生成干渉信号６８の極値等の特定の位置へロックする。
【００２７】
図３の装置３００は、以下のように動作する。第１の光信号６２と第２の光信号３０４の両方が同一の偏光を有するため、両信号は干渉計２内で干渉し、干渉計２のドリフトが存在する場合に検出器６６にてビート信号７０が生み出される。このビート信号７０がヘテロダイン計測により検出され、接続線路７２により評価ユニット５６へ給送される。最良の結果を得るには、検出器６６によるビート周波数計測のため非常に広い周波数領域を実現すべきである。
【００２８】
図４は、本発明の第４実施形態になる装置４００を示す。装置４００は図２の装置２００と実質的に同一であるが、干渉計２の光路１４内に導入された可変光遅延ユニット４０２をさらに備える。遅延ユニット４０２は、接続線路４０４を介して評価ユニット５６へ接続してある。評価ユニット５６が干渉計２のドリフトを評価する場合、それは図示しない制御信号発生器により制御信号を発生し、線路４０４を可変遅延光学ユニット４０２へ接続して干渉計２の光路１４内へ可変光遅延を導入し、それによって干渉計２の起こりうるドリフトを補償することで制御信号を給送することができる。評価ユニット５６が制御するこの種の可変光遅延ユニットは、全ての実施形態１００，２００，３００，４００，５００に導入することができる。可変光遅延ユニット４０２として、光路１４の屈折率を可変することのできる任意の要素、例えば液晶（liquid crystal）を用いることができる。
【００２９】
図５は、本発明の第５の実施形態になる装置５００を示す。図２の装置２００に加え、装置５００はさらなるレーザ光源５０２を備える。本実施形態では、ＤＦＢレーザ５０２はＤＦＢレーザ６０の第１の光信号６２の波長から実質的に掛け離れた波長を有する第３の光信号５０４を生成する。第３の光信号５０４は、干渉計内と波長基準ユニット５０６内とへ結合してある。図５中、波長基準ユニット５０６は図面を簡略にすることだけを目的に導入してある。波長基準ユニット５０６は、図面に示した他の実施形態と同じ要素、すなわち吸光セル１８、レンズ４６、偏光ビームスプリッタ４８、および検出器５０，６６を備える。装置５００は装置２００に類似するが、ＤＦＢレーザ５０２の光信号５０４を吸光セル１８の吸光特性にロックするロック回路５１０をさらに備える。ロック回路５１０は、ロック回路２０２と同一要素、すなわち波長基準ユニット５０６からの入来接続線路２０６と、ロック信号５１６をＤＦＢレーザ５０２へ供給する混合器５１２へ局部発振信号５１８を給送する入来線路５１４とを備える。それにより、干渉計２のどんなドリフトの波長依存性も検出することができる。
【００３０】
示した全ての実施形態１００，２００，３００，４００は、説明した目的に使用できるだけでなく、干渉計２内に組み込まれた試験対象デバイスの特性の割り出しにも用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００３１】
【図１】本発明の第１の実施形態を示す概略図である。
【図２】本発明の第２の実施形態を示す概略図である。
【図３】本発明の第３の実施形態を示す概略図である。
【図４】本発明の第４の実施形態を示す概略図である。
【図５】本発明の第５の実施形態を示す概略図である。
【符号の説明】
【００３２】
１  装置
２  干渉計
４  有用光信号
６  可調整レーザ光源
８  ３ポートカプラ
１０，１２  ファラデーミラー
１４，１６  ファイバ
１８  吸光セル
２０  ファイバ
２２，２４  検出器
２６，２８  偏光ビームスプリッタ
３０，３２  レンズ
３４，３６，３８  ファイバ
４０，４２  偏光ビームスプリッタ
４２  レンズ
４４  出射ファイバ
４６  レンズ
４８  偏光ビームスプリッタ
５０  検出器
５２，５３，５４，５５  接続線路
５６  評価ユニット
５８  ループ
６０  ＤＦＢレーザ
６２  第１の光信号
６４，６６  検出器
６８，７０  生成基準信号
７２  接続線路
２００  第２の装置
２０２  ロック回路
２０４  混合器
２０６，２０８，２１２  接続線路
２１０  局部発振信号
２１４  検出器
２１６  検出信号
２１８  第２の生成基準信号
３００  装置
３０２  ＤＦＢレーザ
３０４  第２の光信号
３０６  半透明鏡
３０８  ロック回路
４００  装置
４０２  可変光遅延ユニット
４０４  接続線路
５００  装置
５０２  レーザ光源
５０４  第３の光信号
５０６  波長基準ユニット
５１０  ロック回路
５１２  混合器
５１４  入来線路
５１６  ロック信号
５１８  局部発振信号
【図１】
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【図２】
2006502391.tif 000004
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
2006502391.tif 000008
2006502391.tif 000009