(57)【要約】駆動軸を有する駆動コンポーネントと、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、回転軸を有するフレキシブル・ジョイント・コンポーネントとを備えた電気機械システム。前記駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う。前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、ぶら下がり軸が前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸と交差するように、前記駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとは、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントで連結される。前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がり軸を、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる。
2006524345.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
駆動軸を有する駆動コンポーネントと、
重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、
回転軸を有するフレキシブル・ジョイント・コンポーネントとを備え、
前記駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行い、
前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、前記駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を、ぶら下がり軸が前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸と交差する位置となるように決定し、
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントで連結され、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がり軸を、実質的に前記駆動コンポーネントの駆動方向と平行となるように配置させる電気機械システム。
【請求項２】
前記駆動コンポーネントは、１以上の振動梁を有し、
前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）の決定に基づいて、前記駆動方向の決定を行う請求項１の電気機械システム。
【請求項３】
前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がりセンサコンポーネントにおける１以上の振動を引き起こすための加速度を働かせ、前記ぶら下がりセンサコンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）を決定するために、前記加速度の一部を計測する請求項２の電気機械システム。
【請求項４】
前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるために前記加速度の一部を働かせ、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させる請求項３の電気機械システム。
【請求項５】
前記駆動コンポーネントは、１以上のエッチング処理のなされた、１以上の振動梁を有し、前記駆動コンポーネントは、前記駆動軸と前記ぶら下がり軸との配置（位置関係）を決定するために、前記１以上の振動梁の１以上のエッチング処理を採用する請求項１の電気機械システム。
【請求項６】
前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるために前記１以上のエッチング処理を用い、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させる請求項５の電気機械システム。
【請求項７】
前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントには、１以上のエッチング処理がなされ、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントは、前記ぶら下がり軸が前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるように、前記ぶら下がり軸を配置させるために、前記１以上のエッチング処理を採用する請求項１の電気機械システム。
【請求項８】
前記ぶら下がり軸と前記駆動軸との配置（位置関係）にずれがあり、
前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がりセンサコンポーネントが、前記ずれに基いて前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを中心に振動するようにさせ、
前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がり軸が前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせるように、前記ずれを修正する請求項１の電気機械システム。
【請求項９】
前記駆動コンポーネントは、１以上の振動梁と１以上のエッチング処理とを有し、
前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントには、１以上のエッチング処理がなされ、
前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）を決定し、
前記駆動コンポーネントは、前記１以上の振動梁と前記駆動軸との配置（位置関係）に基づいて、前記駆動方向の決定を行い、
前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、前記ぶら下がり軸の前記駆動軸との配置（位置関係）を決定するために、前記駆動コンポーネントの１以上のエッチング処理を採用し、
前記ぶら下がり軸の前記駆動軸との配置（位置関係）を決定する際に、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントは、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるように前記ぶら下がり軸を配置させるために、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの１以上のエッチング処理を採用する請求項１の電気機械システム。
【請求項１０】
駆動軸と１以上の振動梁とを有する駆動コンポーネントを備え、前記駆動コンポーネントが、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントを動かす、電気機械システムに適用される方法であって、
前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するステップと、
前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）に基いて、前記駆動コンポーネントの駆動方向を確認するステップと、
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとを連結するフレキシブル・ジョイント・コンポーネントを、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸及び前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心と交差するぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる位置に配置させるステップとを備える方法。
【請求項１１】
前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するステップは、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントにおける１以上の振動を引き起こす加速度を働かせるステップと、
前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するために、前記加速度の一部を計測するステップとを備える請求項１０の方法。
【請求項１２】
前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定するために、前記加速度の一部を計測するステップは、
前記駆動軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）に基いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを位置づけるステップとを備える請求項１１の方法。
【請求項１３】
前記１以上の振動梁には、１以上のエッチング処理がなされ、
前記駆動軸の前記１以上の振動梁との配置（位置関係）に基いて、前記駆動コンポーネントの駆動方向を確認するステップは、
前記１以上のエッチング処理を採用することにより、前記１以上の振動梁と前記駆動方向との位置関係を決定するステップと、
前記１以上の振動梁と前記駆動方向との位置関係に基いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを位置づけるステップとを備える請求項１０の方法。
【請求項１４】
前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントには、１以上のエッチング処理がなされ、
前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを、前記ぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる位置に配置させるステップは、
前記１以上のエッチング処理を採用することにより、前記ぶら下がり軸が実質的に前記駆動コンポーネントの駆動方向と平行となるように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置を決定するステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるような前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置を採用するステップとを備える請求項１０の方法。
【請求項１５】
前記駆動コンポーネントと一緒に、前記ぶら下がりセンサコンポーネントを動かすステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントを、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを中心に振動させるステップとをさらに備える請求項１０の方法。
【請求項１６】
深反応イオンプロセスを用いて駆動コンポーネントの１以上の振動梁をエッチングするステップと、
前記深反応イオンプロセスを用いて、ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びフレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸と交差するぶら下がり軸と、駆動軸との位置合わせを行なうステップとを備えた生産方法。
【請求項１７】
前記深反応イオンプロセスを用いて前記ぶら下がり軸と前記駆動軸との位置合わせを行なうステップは、
前記深反応イオンプロセスを用いて前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を増加させるステップと、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを位置づけるステップとを備える請求項１６の生産方法。
【請求項１８】
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを用いて非平行な位置関係で連結され、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを位置づけるステップは、
前記非平行な位置関係を変更するために、非等方的な工程で前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントをエッチングするステップと、
前記非等方的な工程を用いて、前記ぶら下がり軸と前記駆動コンポーネントの駆動方向とが実質的に平行となるように配置させるステップとを備える請求項１７の生産方法。
【請求項１９】
前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとが、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを用いて連結され、
前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値の減少を促すように、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントを位置づけるステップは、
非等方的な工程で前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントをエッチングするステップと、
前記非等方的な工程を用いて、前記ぶら下がりセンサコンポーネントの直交（振動）成分の値を減少させるステップとを備える請求項１７の生産方法。
【請求項２０】
前記生産方法によって電気機械システムが生産され、前記電気機械システムが、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネント、前記駆動コンポーネント及び前記ぶら下がりセンサコンポーネントを備える請求項１６の生産方法。
【発明の詳細な説明】
【関連出願の相互参照】
【０００１】
本出願は、（「ぶら下がり軸が駆動コンポーネントの方向と実質的に平行となるようにさせるためのフレキシブル・ジョイントの位置の配置」という発明の名称で、ロバート  イー  スチュワートによって、２００３年４月２３日に出願された）米国仮特許出願第60/464,722号に基く優先権を主張する。
【０００２】
加えて、本出願は、本出願と同じ譲受人に譲渡された次の出願の主題に関連する主題を含んでいる。下記の出願は、その全体が、参照により本願に取り込まれる。
共願のスタンレイ  エフ  ワイズによる「トルクを実質的にゼロに抑制する位置の、ぶら下がりセンサコンポーネントからパラメタの値を得るピックオフセンサ」
【技術分野】
【０００３】
本発明は、概ね、電気機械システムに関し、さらに詳細に言えば、電気機械システムにおける直交（振動）成分の削減に関する。
【背景技術】
【０００４】
ある例における電気機械システムは、パラメタを測定する。例えば、電気機械システムには、回転を計測する、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）のジャイロスコープが含まれている。ある例におけるジャイロスコープは、ぶら下がりセンサコンポーネントと、振動駆動コンポーネントと、ピックオフセンサとを備えている。振動駆動コンポーネントは、振動駆動軸に沿って動き、ぶら下がりセンサコンポーネントを振動に導く。ぶら下がりセンサコンポーネントは、回転に反応する。ピックオフセンサは、ぶら下がりセンサコンポーネントの回転に対する反応を感知する。そして、サーボ制御電子回路によって復元力が与えられ、ピックオフセンサの信号がゼロに戻って維持される。
【０００５】
コリオリ力に基く微小電気機械システムのジャイロスコープにおける偏り誤差の大きな源は、再調整局面の誤差に起因する角速度のバランス取り戻し局面に現れる直交成分サーボ・リバランス信号のコンポーネントの不安定性と非再現性である。ぶら下がりセンサコンポーネントの振動駆動軸と加速度感知軸とのずれは、微小電気機械システムのジャイロスコープのぶら下がりセンサコンポーネントに働く力をもたらす。これらの力は、望ましい回転によって誘発されるコリオリ力によって直交方向に働く。上記のずれは、一例において、製造中における、振動駆動コンポーネントの振動梁サスペンションについての、非垂直方向の深反応イオン・エッチングによって引き起こされる。上記のずれにおける変化や、再調整の局面における変化は、偏り誤差をもたらす。一つの欠点として、再調整の局面の誤差と結び付けられた、ぶら下がりセンサコンポーネントの振動駆動軸と加速度感知軸とのずれによってもたらされた直交（振動）成分は、偏り誤差の増加に帰結する。
【０００６】
従って、電気機械システムにおけるずれによってもたらされる直交（振動）成分を削減する必要がある。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００７】
ある実施態様において、本発明は、システムを含む。このシステムは、駆動軸を有する駆動コンポーネントと、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントと、回転軸を有するフレキシブル・ジョイント・コンポーネントとを備える。前記駆動コンポーネントは、駆動方向の決定を行う。前記駆動方向の決定の際に、前記駆動コンポーネントは、ぶら下がり軸が前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及び前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸と交差する位置となるように、前記駆動コンポーネントの駆動軸に対するぶら下がり軸の配置を決定する。前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとは、前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントで連結される。前記フレキシブル・ジョイント・コンポーネントの位置は、前記ぶら下がり軸を、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる。
【０００８】
別の実施態様において、本発明は、方法を含む。電気機械システムは、主軸と１以上の振動梁とを有する駆動コンポーネントを備える。前記駆動コンポーネントは、重心を有するぶら下がりセンサコンポーネントを動かす。前記主軸と前記１以上の振動梁との配置（位置関係）が決定される。前記駆動コンポーネントの駆動方向が、前記主軸と前記１以上の振動梁との位置関係に基いて確認される。前記駆動コンポーネントと前記ぶら下がりセンサコンポーネントとを連結するフレキシブル・ジョイントは、前記フレキシブル・ジョイントの回転軸及び前記ぶら下がりセンサコンポーネントの重心と交差するぶら下がり軸が、前記駆動コンポーネントの駆動方向と実質的に平行となるようにさせる位置に配置される。
【０００９】
本発明のさらに別の実施態様は、生産方法を含む。駆動コンポーネントの１以上の振動梁が、深反応イオンプロセスを用いてエッチングされる。ぶら下がりセンサコンポーネントの重心及びフレキシブル・ジョイント・コンポーネントの回転軸と交差するぶら下がり軸は、深反応イオンプロセスを用いて駆動軸と位置合わせされる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１０】
図１によれば、一例における装置１００は、ハードウェアコンポーネント等の複数のコンポーネントを備えている。装置１００の一例において、多数のこれらのコンポーネントは、結合されることも可能であり、分割されることも可能である。一例における装置１００は、説明の目的のために、ここでは装置１００の一例の方向性を図解する図及び説明を用いているが、いかなる方向性（例えば、水平、斜め、垂直）を備えていてもよい。
【００１１】
一例における装置１００は、微小電気機械システム（ＭＥＭ）のジャイロスコープ、及び／又はスチュワート等に与えられた米国特許第6,474,160号に開示された加速度計を備えている。なお、この米国特許は、２００２年１１月５日に、「Counterbalanced Silicon Tuned Multiple Accelerometer-Gyro」という発明の名称で、特許査定されて、ノースロップグラマン社に譲渡されたものである。この出願は、その全体が、参照により本願に取り込まれる。例えば、装置１００は、１以上のぶら下がりセンサコンポーネント１０２と、１以上の駆動コンポーネント１０４とを備えている。フレキシブル・ジョイント１０６は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２と駆動コンポーネント１０４とを接続する。一例におけるぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、長方形のプレートを備えている。ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、重心１０８を有している。ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、フレキシブル・ジョイント１０６によって駆動コンポーネント１０４から吊るされている。ぶら下がり軸１１６と振り子加速度感知軸１２２との両方に直角な軸の周りの回転（例えば、角速度）に従って、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２は、フレキシブル・ジョイント１０６を中心に、駆動コンポーネント１０４の動きに直角な方向に振動する。
【００１２】
駆動コンポーネント１０４は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２を駆動する。例えば、駆動コンポーネント１０４は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２における振動を引き起こす。駆動コンポーネント１０４の動き（Ｘd）は、振動駆動軸１１０に沿って、
Ｘｄ＝Ｘｐｓｉｎωｄｔ
で表される。Ｘｐは、駆動コンポーネント１０４の最大駆動振幅を表し、ωｄは、駆動コンポーネント１０４の弧度法で表した振動数を表す。駆動コンポーネント１０４は、１以上の振動梁１１２（例えば、振動梁サスペンション）を備えている。振動駆動軸１１０は、１以上の振動梁１１２に直角である。それ故、振動梁１１２のずれは、振動駆動軸１１０のずれをもたらす。もし、振動梁１１２が、ぶら下がり軸１１６に直交しなければ、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、出力軸（例えば、加速度感知軸１２２）に結びつく。加速度感知軸１２２に結びつけられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、直交（振動）成分を増加させ、再調整局面の誤差に結び付けられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、偏り誤差をもたらす。例えば、加速度感知軸１２２に結びつけられた駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２に働く力を増加させる。この力は、望ましい回転によって誘発されるコリオリ力によって直交方向に働く力である。加速度感知軸１２２からのピックオフは、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部を感知する。従って、このピックオフは、駆動コンポーネント１０４の加速度の部分的な結果となる信号を感知する。
【００１３】
深反応イオンプロセスは、駆動コンポーネント１０４の１以上の振動梁１１２のエッチング処理を行う。ある例において、振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）は、駆動コンポーネント１０４の動きの意図された方向に直行する方向である（例えば、垂直エッチング）。それ故、その結果となる振動駆動軸１１０は、ぶら下がり軸１１６に平行となる。別の例において、振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）は、駆動コンポーネント１０４の動きの意図された方向に直行しない方向である（例えば、非垂直エッチング）。それ故、その結果となる振動駆動軸１１０は、ぶら下がり軸１１６に平行にはならない。例えば、振動駆動軸１１０とぶら下がり軸１１６との成す角度が、ずれ角１１８（γ）だけ異なると、出力軸に結びつく、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、
Ｚｄ＝−γωｄ２Ｘｐｓｉｎωｄｔ
と表され得る。この出力軸に結びつけられた、駆動コンポーネント１０４の加速度の一部は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２により測定された回転の出力値と９０度位相がずれている。
【００１４】
振動梁１１２の深反応イオン・エッチング（の方向）が、ぶら下がり加速度感知軸１２２に平行でなければ、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２と駆動コンポーネント１０４との間にずれが生じる。このずれは、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２への直交（振動）成分をもたらす。再調整誤差に結びつく直交（振動）成分は、微小電気機械システムのジャイロスコープの偏りの増加を促進する。直交（振動）成分における不安定性も、再調整局面における不安定性も、偏り誤差を招く。
【００１５】
一例におけるフレキシブル・ジョイント１０６は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２についての屈曲点を備えている。フレキシブル・ジョイント１０６は、その軸周りにぶら下がりセンサコンポーネント１０２が振動する回転軸１２０を備えている。製造中に、フレキシブル・ジョイント１０６は、最後の製造工程の処置として非等方的にエッチングされる。フレキシブル・ジョイント１０６は、振動梁１１２の深反応イオン・エッチングの後で、非等方的にエッチングされる。それ故、振動駆動軸１１０の方向とずれ角１１８とを検証すると、フレキシブル・ジョイント１０６は、回転軸１２０及び重心１０８と交差するぶら下がり軸１１６を実質的に振動駆動軸１１０と平行にさせる位置に配置されるかもしれない。例えば、フレキシブル・ジョイント１０６の回転軸１２０は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２の加速度感知軸１２２の位置を変えるためや、ずれ角１１８の削減を促進するために、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２に対して上方又は下方に調整され得る。加速度感知軸１２２は、ぶら下がり軸１１６と直交する。
【００１６】
フレキシブル・ジョイント１０６の位置調整は、最終の厚さへの一様なエッチング処理が始まる前に、フレキシブル・ジョイント１０６の一方の側におけるエッチングを一歩先んじて開始することを取り入れることにより達成される。それ故、フレキシブル・ジョイント１０６は、結局オフセット位置になる。これにより、振動梁１１２の、特有で、再現可能な非垂直エッチングに起因する直交（振動）成分は、実質的に削減される。それ故、機械的再調整法における予期しないフェーズエラーに起因する偏り誤差のリスクも削減される。
【００１７】
図２を参照して、フレキシブル・ジョイント１０６の１つの典型的なリ・ポジショニング（正常な位置に戻すこと）についての事例的な説明が、説明の目的のために示される。振動梁１１２の深反応イオン・エッチングの製造工程処置の後であって、フレキシブル・ジョイント１０６の非等方的なエッチングの製造工程処置の前に、製造工程の作業者は、ぶら下がりセンサコンポーネント１０２のずれを指摘するために振動梁１１２の向きをチェックする。例えば、製造工程の作業者は、駆動コンポーネント１０４の主軸と１以上の振動梁との配置（位置関係）を決定する。もし、振動梁１１２の向きが、振動駆動軸１１０とぶら下がり軸１１６とのずれを示すならば、フレキシブル・ジョイント１０６の非等方的なエッチングの製造工程処置は、ぶら下がり軸１１６が実質的に振動駆動軸１１０と平行となるようにさせる位置に、フレキシブル・ジョイント１０６を位置づける可能性がある。図２に示されるように、上記ずれの決定の際に、製造工程の作業者は、振動駆動軸１１０の角度とぶら下がり軸１１６の角度との差を減じるように、フレキシブル・ジョイント１０６を位置づけた。例えば、フレキシブル・ジョイント１０６の位置は、ずれ角１１８を減じる。
【００１８】
ここに述べられた処置や工程は、例示に過ぎない。本発明の精神から逸脱せずに、これらの処置や操作に多くの変更を行なうことが可能である。例えば、上記の処置は、異なる順序で実行されることが可能であり、また、上記処置は、追加、削除、又は修正され得る。
【００１９】
本明細書において、本発明の例示的な実施態様を詳細に表現し、記述してきたが、本発明の精神から逸脱することなく、様々な修正、追加、置き換え等を行うことができ、それ故、これらの修正、追加、置き換え等が請求項において定義される発明の範囲内にあるとみなされるということは、関連する技術分野の当業者にとって明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
本発明の実施例の特徴は、明細書、請求項、及び次の添付図面から明らかになるだろう。
【図１】１以上の駆動コンポーネントと１以上のぶら下がりセンサコンポーネントとを備えた装置の一実施例を示す。
【図２】上記装置のフレキシブル・ジョイント・コンポーネントについて再配置された、１以上の駆動コンポーネントと１以上のぶら下がりセンサコンポーネントとを備えた装置の別の実施例を示す。
【図１】
2006524345.tif 000003
【図２】
2006524345.tif 000004
【国際調査報告】
2006524345.tif 000005
2006524345.tif 000006