(57)【要約】本発明の実施形態には、容器の封止方法が含まれる。本方法は、容器の少なくとも二つの構成要素を提供する工程、破砕性物質を少なくとも二つの構成要素間に配置する工程、反応性多層物質を少なくとも二つの構成要素間に配置する工程、破砕性物質を変形し、それにより封止を、少なくとも二つの構成要素間に形成する工程、反応性多層物質を化学変性し、それにより少なくとも二つの構成要素を接合する工程を含む。
2006522722.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
容器の少なくとも二つの構成要素を提供する工程と、
破砕性物質を前記少なくとも二つの構成要素間に配置する工程と、
反応性多層物質を前記少なくとも二つの構成要素間に配置する工程と、
前記少なくとも二つの構成要素間に封止が形成されるように破砕性物質を変形させる工程と、
前記少なくとも二つの構成要素を接合するように前記反応性多層物質を化学変性させる工程と、
を備える容器の封止方法。
【請求項２】
溶融性物質を前記少なくとも二つの構成要素間に配置する工程をさらに備えており、
前記反応性多層物質を化学変性させる工程においては、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように前記溶融性物質を化学変性させる、
請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記反応性多層物質は、反応性多層箔を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項４】
前記反応性多層物質は、溶融性物質を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項５】
前記封止は、気密封止である、
請求項１記載の方法。
【請求項６】
前記反応性多層物質を化学変性させる工程においては、前記少なくとも二つの構成要素間に他の封止を形成する、
請求項１記載の方法。
【請求項７】
前記反応性多層物質を化学変性させる工程においては、前記少なくとも二つの構成要素間の前記封止を安定化する、
請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記他の封止は、気密封止である、
請求項６記載の方法。
【請求項９】
前記破砕性物質を変形させる工程においては、前記少なくとも二つの構成要素の少なくとも一つに力を印加する、
請求項１記載の方法。
【請求項１０】
前記封止の品質を決定する工程をさらに備える、
請求項１記載の方法。
【請求項１１】
前記封止の品質を決定する工程は、前記封止のリーク速度を決定する工程を含む、
請求項１０記載の方法。
【請求項１２】
前記封止に対して予め決定された品質パラメーターを提供する工程をさらに備えており、
前記封止の品質を決定する工程は、前記封止の品質が予め決定された品質パラメーター内にあるか否かを決定する工程を含む、
請求項１０記載の方法。
【請求項１３】
前記反応性多層物質を化学変性させる工程は、前記反応性多層物質の少なくとも一部分を発火させる工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項１４】
前記破砕性物質を変形させる工程においては、前記容器の内部を外側の環境から封止する、
請求項１記載の方法。
【請求項１５】
前記反応性多層物質を、所望の封止強度に基づいて選択する工程をさらに備える、
請求項１記載の方法。
【請求項１６】
前記破砕性物質は、永久変形するように構成される、
請求項１記載の方法。
【請求項１７】
前記破砕性物質は、可逆変形するように構成される、
請求項１記載の方法。
【請求項１８】
前記破砕性物質は、軟質金属を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項１９】
前記軟質金属は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうちの少なくとも一種を含む、
請求項１８記載の方法。
【請求項２０】
前記破砕性物質は、圧縮性高分子を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２１】
前記圧縮性高分子は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうち少なくとも一種を含む、
請求項２０記載の方法。
【請求項２２】
前記破砕性物質は、前記外側環境に対して、前記反応性多層物質の内側の上に配置される、
請求項１４記載の方法。
【請求項２３】
前記少なくとも二つの構成要素の一つの上に溝を設ける工程をさらに備えており、
前記破砕性物質を配置する工程は、前記破砕性物質を前記溝に置く工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２４】
前記少なくとも二つの構成要素の一つの上に突出部を設ける工程をさらに備えており、  
前記破砕性物質を変形させる工程は、前記破砕性物質を突出部に対向して変形させる工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２５】
前記少なくとも二つの構成要素の他の上に他の突出部を設ける工程をさらに備えており、
前記破砕性物質を変形させる工程は、前記破砕性物質を前記他の突出部に対向して変形させる工程を含む、
請求項２４記載の方法。
【請求項２６】
前記少なくとも二つの構成要素の一つの上に溝を設ける工程をさらに備えており、
前記破砕性物質を変形させる工程は、前記破砕性物質を溝内に変形させる工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２７】
前記少なくとも二つの構成要素の一つの上に角を設ける工程をさらに備えており、
前記破砕性物質を配置する工程は、前記破砕性物質を前記角に置く工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２８】
前記少なくとも二つの構成要素の一つの上に角を設ける工程をさらに備えており、
前記破砕性物質を変形させる工程は、前記破砕性物質を前記角に変形させる工程を含む、
請求項１記載の方法。
【請求項２９】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、
前記少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体である、
請求項１記載の方法。
【請求項３０】
容器を画定する少なくとも二つの構成要素と、
前記少なくとも二つの構成要素間に配置され、変形された状態で、該少なくとも二つの構成要素間に封止を形成する破砕性物質と、
前記少なくとも二つの構成要素間に配置され、該少なくとも二つの構成要素を接合する反応性多層物質の化学変性の残存物と、
を備える封止製品。
【請求項３１】
前記反応性多層物質は、反応性多層箔を含む、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３２】
前記反応性多層物質は、溶融性物質を含む、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３３】
前記溶融性物質は、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように構成される、
請求項３２記載の封止製品。
【請求項３４】
前記少なくとも二つの構成要素間に配置された溶融性物質をさらに備える、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３５】
前記溶融性物質は、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように構成される、
請求項３４記載の封止製品。
【請求項３６】
前記破砕性物質は、前記反応性多層物質の化学変性の残存物の内側の上に配置される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３７】
前記破砕性物質および前記化学変性の残存物は、連係して、前記少なくとも二つの構成要素間に気密封止を形成する、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３８】
前記破砕性物質は、永久変形するように構成される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項３９】
前記破砕性物質は、可逆変形するように構成される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４０】
前記破砕性物質は、軟質金属を含む、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４１】
前記軟質金属は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうちの少なくとも一種を含む、
請求項４０記載の封止製品。
【請求項４２】
前記破砕性物質は、圧縮性高分子を含む、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４３】
前記圧縮性高分子は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうちの少なくとも一種を含む、
請求項４２記載の封止製品。
【請求項４４】
前記破砕性物質は、少なくとも一部分が、前記少なくとも二つの構成要素の一つの溝中に配置される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４５】
前記破砕性物質は、少なくとも一部分が、前記少なくとも二つの構成要素の他方の他の溝中に配置される、
請求項４４記載の封止製品。
【請求項４６】
前記破砕性物質は、前記少なくとも二つの構成要素の一つの上の突出部に対向して配置される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４７】
前記破砕性物質は、前記少なくとも二つの構成要素の他方の上の他の突出部に対向して配置される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４８】
前記破砕性物質は、前記少なくとも二つの構成要素の一つの角に配置される、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項４９】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、
前記少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体である、
請求項３０記載の封止製品。
【請求項５０】
接合された際に、容器を画定する少なくとも二つの構成要素と、
前記少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成された破砕性物質と、
前記少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成された反応性多層物質と、
を備えており、
前記破砕性物質は、変形された状態で、前記少なくとも二つの構成要素間に封止を実質的に形成するように構成され、
前記反応性多層物質の少なくとも一部分は、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように化学変性されるように構成される、
封止容器の形成具一式。
【請求項５１】
前記反応性多層物質は、反応性多層箔を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５２】
前記反応性多層物質は、溶融性物質を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５３】
前記溶融性物質は、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように構成される、
請求項５２記載の形成具一式。
【請求項５４】
前記少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成される前記溶融性物質をさらに備える、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５５】
前記溶融性物質は、前記少なくとも二つの構成要素を接合するように構成される、
請求項５４記載の形成具一式。
【請求項５６】
前記破砕性物質は、外側環境に対して、前記反応性多層物質の内側の上に配置されるように構成される、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５７】
前記破砕性物質および反応性多層物質の化学変性の残存物は、連係して、前記少なくとも二つの構成要素間に気密封止を形成する、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５８】
前記破砕性物質は、永久変形するように構成される、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項５９】
前記破砕性物質は、可逆変形するように構成される、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６０】
前記破砕性物質は、軟質金属を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６１】
前記軟質金属は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうちの少なくとも一種を含む、
請求項６０記載の形成具一式。
【請求項６２】
前記破砕性物質は、圧縮性高分子を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６３】
前記圧縮性高分子は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうちの少なくとも一種を含む、
請求項６２記載の形成具一式。
【請求項６４】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、少なくとも一部分が、前記破砕性物質を受けるように構成された溝を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６５】
前記少なくとも二つの構成要素の他は、少なくとも一部分が、前記破砕性物質を受けるように構成された他の溝を含む、
請求項６４記載の形成具一式。
【請求項６６】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、前記破砕性物質に対向して配置されるように構成された突出部を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６７】
前記少なくとも二つの構成要素の他は、前記破砕性物質に対向して配置されるように構成された他の突出部を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６８】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、前記破砕性物質を受けるように構成された角を含む、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項６９】
前記少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、
前記少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体である、
請求項５０記載の形成具一式。
【請求項７０】
チャンバーと、
前記チャンバー内に配置された容器に圧力を印加するように構成された機器と、
前記チャンバーへガスを供給し、また、チャンバーからガスを除去するように構成されたポートと、
反応性多層物質の化学変性を開始するように構成された始動装置と、
前記容器からのリークを検知するように構成されたリーク検知器と、
を備える封止試験装置。
【請求項７１】
前記反応性多層物質は、反応性多層箔である、
請求項７０記載の封止試験装置。
【請求項７２】
前記機器は、プッシュロッドである、
請求項７０記載の封止試験装置。
【請求項７３】
前記チャンバーは、真空チャンバーである、
請求項７０記載の封止試験装置。
【請求項７４】
前記ポートは、チャンバー内に真空を生じるように構成される、
請求項７０記載の封止試験装置。
【請求項７５】
前記ポートは、ガス源に接続される、
請求項７０記載の封止試験装置。
【請求項７６】
前記ポートは、真空源に接続される、
請求項７０記載の封止試験装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本出願は、「気密封止方法および得られた製品（ＭＥＴＨＯＤ  ＯＦ  ＨＥＲＭＥＴＩＣ  ＳＥＡＬＩＮＧ  ＡＮＤ  ＲＥＳＵＬＴＩＮＧ  ＰＲＯＤＵＣＴＳ）」と題するデイヴィッド  Ｐ．ヴァンヘールデン（Ｄａｖｉｄ  Ｐ．ＶＡＮ  ＨＥＥＲＤＥＮ）、デイル  デジャー（Ｄａｌｅ  ＤＥＧＥＲ）、チモシー  Ｐ．ヴァイス（Ｔｉｍｏｔｈｙ  Ｐ．ＷＥＩＨＳ）、およびオマール  Ｍ．クニオ（Ｏｍａｒ  Ｍ．ＫＮＩＯ）の米国仮特許出願第６０／４６１，１９６号（２００３年４月９日出願）に対する米国特許法第１１９（ｅ）条に基づく優先権の利益を主張するものである。その全ては、本明細書に参照により援用される。
【０００２】
発明の分野
本発明は、密閉体構成要素を、変形性物質および反応性多層接合物質を用いることによって気密封止する工程を含む。反応性多層接合物質は、反応性多層箔および溶融性物質を含むであろう。
【背景技術】
【０００３】
発明の背景
気密封止は、多くの感応性装置を、有害環境に対する暴露の損傷効果から保護するのに用いられる。これらの感応性装置の例には、光学装置、光通信装置、ファイバーオプティクス、ＭＥＭＳ、および生体医学装置が含まれる。一般に、封止は、感応性構成要素をリークタイトな密閉体中に封じ込め、構成要素を環境から効果的に隔離することによって達成される。
【０００４】
数種の簡単な方法が、感応性装置および構成要素を封止するために存在する。それらの中には、接着剤、エポキシ樹脂、および機械式留め具の使用がある。しかし、それらの方法はいずれも、効果的な封止を妨げるであろう欠点を有する。例えば、接着剤およびエポキシ樹脂は、熱および湿気にさらされた場合に劣質化するであろう。他の例では、機械式留め具は、厳密な機械加工の許容度を必要とするだろうし、また潜在的な低信頼性を欠点として有するであろう（すなわち、十分にリークタイトな密閉体を提供しない）。
【０００５】
高度な適用については、好ましい封止方法には、レーザー溶接、ｅ−ビーム溶接、および熱抵抗溶接が含まれる。注意深く適用される場合には、これらの方法は、強固かつ実質的にリークタイトな均一結合をもたらし、その結果リーク速度を非常に小さな値に限定するのに極めて効果的である。これらの方法はまた、しかし、欠点を有する。例えば、これらの方法の実施は、厳密な許容度を必要とし、高い設備費用を招く。さらなる欠点には、表面処理（例えば、封止処理を実施した後の密閉体の研磨または機械加工）の必要性、および封止処理が接合される密閉体物質に対して熱損傷をもたらすであろう可能性が含まれる。これは、極端な場合には、密閉体およびそこに配置される構成要素の両方の損失をもたらす。したがって、感応性構成要素および装置を気密封止するための改良されたより効果的な手段に対する必要性が存在する。
【０００６】
感応性構成要素および装置を気密封止するための一改良方法は、反応性多層接合である。反応性多層接合は、比較的新しい接合技術である。これは、反応性多層箔を、溶融性物質の二層間、および接合される二つの構成要素間に挟み、次いで箔を発火させる工程に基づく。箔の発火により、反応性箔の温度の急速な上昇をもたらす自己伝播反応が開始される。反応によって放出された熱は、溶融性物質の層を溶融し、冷却された際に二つの構成要素が結合される。
【０００７】
反応性多層接合は、かなり長い間知られている。プロセスは、詳細に、米国特許第５，３８１，９４４号明細書に記載された。その全ては、本明細書に参照により援用される。米国特許第５，３８１，９４４号明細書におけるプロセスに対する数種の改良は、「多層物質を用いる反応性接合（Ｒｅａｃｔｉｖｅ  Ｊｏｉｎｉｎｇ  Ｕｓｉｎｇ  Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）」と題する米国仮特許出願第６０／２０１，２９２号（２０００年５月２日出願）明細書に開示される。その全ては、本明細書に参照により援用される。反応性接合プロセスで用いられる反応性多層は、ナノ構造物質である。これは、典型的には、数百のナノスケール層（大きな負の混合熱を有するＮｉおよびＡｌなどの元素が交互する）を蒸着することによって作製される。これらの方法の種々の実施は、次の刊行物に開示される。その全ての全体は、本明細書に参照により援用される。すなわち、米国特許第５，５３８，７９５号明細書、米国特許第５，５４７，７１５号明細書、「多層箔形態における自己伝播ＣｕＯｘ／Ａｌテルミット反応の堆積物および特性付け（Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ  ａｎｄ  Ｃｈａｒａｃｔｅｒｉｚａｔｉｏｎ  ｏｆ  ａ  Ｓｅｌｆ−Ｐｒｏｐａｇａｔｉｎｇ  ＣｕＯｘ／Ａｌ  Ｔｈｅｒｍｉｔｅ  Ｒｅａｃｔｉｏｎ  ｉｎ  ａ  Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  Ｆｏｉｌ  Ｇｅｏｍｅｔｒｙ）」と題する論文（Ｊｏｕｒｎａｌ  ｏｆ  Ａｐｐｌｉｅｄ  Ｐｈｙｓｉｃｓ、第９４（５）巻、２００３年９月１日発行）、米国特許出願第０９／８４６，４８６号（２００１年５月１日出願）（米国特許出願公開第２００２０１８２４３６号）明細書、および「多層物質における自己伝播反応（Ｓｅｌｆ−Ｐｒｏｐａｇａｔｉｎｇ  Ｒｅａｃｔｉｏｎｓ  ｉｎ  Ｍｕｌｔｉｌａｙｅｒ  Ｍａｔｅｒｉａｌｓ）」と題する章（Ｄ．Ａ．グロッカー（Ｄ.Ａ．Ｇｌｏｃｋｅｒ）およびＳ．Ｉ．シャー（Ｓ．Ｉ．Ｓｈａｈ）編「薄膜処理技術ハンドブック（Ｈａｎｄｂｏｏｋ  ｏｆ  Ｔｈｉｎ  Ｆｉｌｍ  Ｐｒｏｃｅｓｓ  Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）」、１９９８年版）である。ナノ構造反応性多層を作製するための別法には、機械的処理（米国特許第６，５３４，１９４号明細書に記載され、その全ては、本明細書に参照により援用される）、および電気化学的析出が含まれる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
密閉体を反応性多層接合を用いて封止する工程は、しかし、高度な構成要素に必要な許容可能な低リーク速度を有する密閉体を製造するのに不十分であった。この不具合は、二つのよく知られた効果に遡られるであろう。すなわち、（ｉ）反応による反応性箔の高密度化、および（ｉｉ）反応温度から室温に冷却された際の箔の収縮である。これらの両効果により、箔に沿って亀裂が形成される。これは、続いて溶融はんだまたはロウ付けによって満たされる。結果として、反応性接合構造は、延性のはんだまたはロウ付け母材によって包まれた脆性物質（反応した箔）からなる。この結果は、光学顕微鏡によって確認されるであろうが、機械的に強固な結合を形成するのに必須であるものの、反応中に形成する亀裂のいくつかは溶融性物質によって完全に満たされないことから、封止は不十分であるか、または目標リーク速度が達成されないであろう。したがって、反応性接合は、現在のところ、高度な気密封止を確実に形成するための適切な手段を提供しない。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
発明の概要
本発明の実施形態には、容器の気密封止方法が含まれる。本方法は、容器の少なくとも二つの構成要素を提供する工程、少なくとも二つの構成要素間に破砕性物質を配置する工程、少なくとも二つの構成要素間に反応性多層物質を配置する工程、少なくとも二つの構成要素間に封止を形成するように破砕性物質を変形させる工程、少なくとも二つの構成要素を接合するように反応性多層物質を化学変性させる工程を備える。
【００１０】
種々の実施形態においては、本発明は、次の態様の一つ以上を含むであろう。すなわち、少なくとも二つの構成要素間に溶融性物質を配置する工程、反応性多層物質を化学変性する工程は、溶融性物質を変性し、それにより少なくとも二つの構成要素を接合する工程を含むであろう。反応性多層物質は、反応性多層箔を含むであろう。反応性多層物質は、溶融性物質を含むであろう。封止は、気密封止であろう。反応性多層物質を化学変性する工程は、少なくとも二つの構成要素間に他の封止を形成するであろう。他の封止は、気密封止であろう。破砕性物質を変形する工程は、少なくとも二つの構成要素の少なくとも一つに力を印加する工程を含むであろう。封止の品質を決定する工程、封止の品質を決定する工程は、封止のリーク速度を決定する工程を含むであろう。封止の予め決定された品質パラメーターを提供する工程、封止の品質を決定する工程は、封止の品質が予め決定された品質パラメーター内にあるか否かを決定する工程を含むであろう。反応性多層物質を化学変性する工程は、反応性多層物質の少なくとも一部分を発火させる工程を含むであろう。破砕性物質を変形する工程は、容器の内部を外側環境から封止するであろう。反応性多層物質を、所望の封止強度に基づいて選択する工程、破砕性物質は永久変形するように構成されるであろう。破砕性物質は可逆変形するように構成されるであろう。破砕性物質は、軟質金属を含むであろう。破砕性物質は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうち少なくとも一種を含むであろう。破砕性物質は、圧縮性高分子を含むであろう。破砕性物質は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうち少なくとも一種を含むであろう。破砕性物質は、外側環境に対して、反応性多層物質の内側の上に配置されるであろう。少なくとも二つの構成要素の一つの上に溝を設ける工程、破砕性物質を配置する工程は、破砕性物質を溝に置く工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つの上に突出部を設ける工程、破砕性物質を変形させる工程は、破砕性物質を突出部に対向して変形する工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の他の上に他の突出部を設ける工程、破砕性物質を変形させる工程は、破砕性物質を他の突出部に対向して変形する工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つの上に溝を設ける工程、破砕性物質を変形させる工程は、破砕性物質を溝に変形する工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つの上に角を設ける工程、破砕性物質を配置する工程は、破砕性物質を角に置く工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つの上に角を設ける工程、破砕性物質を変形させる工程は、破砕性物質を角に変形する工程を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体であろう。
【００１１】
本発明の他の実施形態には、封止製品が含まれる。封止製品は、容器を画定する少なくとも二つの構成要素、少なくとも二つの構成要素間に配置される破砕性物質、変形された状態で、少なくとも二つの構成要素間に封止を形成する破砕性物質、および少なくとも二つの構成要素間に配置され、その少なくとも二つの構成要素を接合する反応性多層物質の化学変性の残存物を含む。
【００１２】
種々の実施形態においては、本発明は、次の態様の一つ以上を含むであろう。すなわち、反応性多層物質は、反応性多層箔を含むであろう。反応性多層物質は、溶融性物質を含むであろう。溶融性物質は、少なくとも二つの構成要素を接合するように構成されるであろう。溶融性物質は、少なくとも二つの構成要素間に配置されるであろう。破砕性物質は、反応性多層物質の化学変性の残存物の内側の上に配置されるであろう。破砕性物質、および化学変性した残存物は、連係して、少なくとも二つの構成要素間に気密封止を形成するであろう。破砕性物質は、永久変形するように構成されるであろう。破砕性物質は、可逆変形するように構成されるであろう。破砕性物質は、軟質金属を含むであろう。破砕性物質は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうちの少なくとも一種を含むであろう。破砕性物質は、圧縮性高分子を含むであろう。破砕性物質は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうちの少なくとも一種を含むであろう。破砕性物質は、少なくとも一部分が、少なくとも二つの構成要素の一つの溝中に配置されるであろう。破砕性物質は、少なくとも一部分が、少なくとも二つの構成要素のもう一方の他の溝中に配置されるであろう。破砕性物質は、少なくとも二つの構成要素の一つ上の突出部に対向して配置されるであろう。破砕性物質は、少なくとも二つの構成要素のもう一方の上の他の突出部に対向して配置されるであろう。破砕性物質は、少なくとも二つの構成要素の一つの角に配置されるであろう。少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体であろう。
【００１３】
本発明のさらなる実施形態には、封止容器の形成具一式が含まれる。形成具一式は、接合された際に、容器を画定する少なくとも二つの構成要素、少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成された破砕性物質、および少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成された反応性多層物質を備える。破砕性物質は、変形された状態で、少なくとも二つの構成要素間に封止を実質的に形成するように構成される。反応性多層物質の少なくとも一部分は、化学変性されて、それにより少なくとも二つの構成要素を接合するように構成される。
【００１４】
種々の実施形態においては、本発明は、次の態様の一つ以上を含むであろう。すなわち、反応性多層物質は、反応性多層箔を含むであろう。反応性多層物質は、溶融性物質を含むであろう。溶融性物質は、少なくとも二つの構成要素を接合するように構成されるであろう。少なくとも二つの構成要素間に配置されるように構成された溶融性物質、破砕性物質は、外側環境に対して、反応性多層物質の内側の上に配置されるように構成されるであろう。破砕性物質、および反応性多層物質の化学変性の残存物は、連係して、少なくとも二つの構成要素間に気密封止を形成するであろう。破砕性物質は、永久変形するように構成されるであろう。破砕性物質は、可逆変形するように構成されるであろう。破砕性物質は、軟質金属を含むであろう。破砕性物質は、銅、金、アルミニウム、ステンレススチール、コバール、および軟質はんだのうちの少なくとも一種を含むであろう。破砕性物質は、圧縮性高分子を含むであろう。破砕性物質は、ブナゴム、シリコンゴム、およびバイトンのうちの少なくとも一種を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つは、少なくとも一部分が、破砕性物質を受けるように構成された溝を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の他は、少なくとも一部分が、破砕性物質を受けるように構成された他の溝を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つは、破砕性物質に対向して配置されるように構成された突出部を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の他は、破砕性物質に対向して配置されるように構成された他の突出部を含むであろう。少なくとも二つの構成要素の一つは、破砕性物質を受けるように構成されるであろう角を含む。少なくとも二つの構成要素の一つは、蓋であり、少なくとも二つの構成要素の他は、容器本体であろう。
【００１５】
本発明のさらに他の実施形態には、封止試験装置が含まれる。封止試験装置は、チャンバー、チャンバー内に配置された容器に圧力を印加するように構成された機器、チャンバーへガスを供給し、また、チャンバーからガスを除去するように構成されたポート、反応性多層物質の化学変性を開始するように構成された始動装置、および容器からのリークを検知するように構成されたリーク検知器を含む。
【００１６】
種々の実施形態においては、本発明は、次の態様の一つ以上を含むであろう。すなわち、反応性多層物質は、反応性多層箔であろう。機器は、プッシュロッドであろう。チャンバーは、真空（減圧）チャンバーであろう。ポートは、チャンバー内に真空を生じるように構成されるであろう。ポートは、ガス源に接続されるであろう。ポートは、真空源に接続されるであろう。
【００１７】
前記の一般的な説明、および次の詳細な説明は、例証であって、単に説明のためのものであり、請求される本発明を限定しないことが理解されるべきである。
【００１８】
添付の図面は、本明細書に含まれ、その一部分を構成するが、これは、本発明の一つ（数種）の実施形態を示し、説明と併せて、本発明の原理を説明するのに役立つ。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
実施形態の説明
ここで、本発明の例証の実施形態が、詳細に参照されるであろう。その例は、添付の図面に示される。どこでも、同じ参照番号は、図面を通じて、同じ、または類似の部分を参照するのに用いられるであろう。
【００２０】
図１〜８は、気密封止製品および関連製造方法について、種々の例証の実施形態を表す。気密封止製品には、機械封止および反応性多層接合の賢明な組合せが含まれるであろう。特に、気密封止製品には、（１）“破砕性”または“軟質”物質（これは、圧力下で適切に変形される場合には、高品質の封止を装置および環境の間にもたらす）、および（２）反応性多層接合（これは、“破砕性”または“軟質”物質を変形するように加えられた力（例えば、圧力）が除去された後にも、封止の機械的完全性を保持する）の組合せが含まれるであろう。
【００２１】
気密封止製品の製造方法について、例証の実施形態には、（ａ）一つ以上の破砕性物質を、囲包空間を画定する二つ以上の構成要素間に配置する工程、（ｂ）一つ以上の反応性多層箔を、二つ以上の構成要素（例えば、蓋および容器）間に配置する工程、（ｃ）圧力をアセンブリー（例えば、二つ以上の構成要素の少なくとも一つ）に加え、それにより破砕性物質を変形し、したがって囲包空間を外側環境から封止する工程、および（ｄ）一つ以上の反応性多層箔を発火させて、反応性多層接合を形成する工程が含まれる。
【００２２】
破砕性物質は、ワイヤー、ガスケット、ワッシャー、および／または圧力下で変形されるであろういかなる他の適切な物質でもあろう。変形は、永久または可逆のいずれでもあろうが、これは、封止が、圧力を破砕性物質に加えた際に、二つ以上の構成要素間および／または破砕性物質全体に亘って形成されるものであろう。ワイヤー、ガスケット、ワッシャー、および／またはいかなる他の適切な物質もその断面は、直径１ｍｍ〜１ｃｍの範囲であろうし、および／またはこれらの物質の長さは、数ｍｍ〜１ｍ超の範囲であろう。当業者には、しかし、破砕性物質は、いかなる適切な形状、断面、またはその他も有するであろうし、および／またはいかなる適切な寸法をも有するであろうことが理解される。
【００２３】
いくつかの破砕性物質は、永久に（すなわち可塑的に）変形するであろうし、一方依然として、封止を保持するのに十分な機械的強度を維持するであろう。これは、圧力差が囲包空間および外側環境の間に存在する場合を含む。永久変形するであろう破砕性物質の例には、銅、金、および／またはアルミニウムなどの軟質金属が含まれる。永久変形するであろう破砕性物質の他の例には、硬質の芯（例えば、ステンレススチール）および軟質の外側殻（例えば、銅および／またはアルミニウム）が含まれる。
【００２４】
他の破砕性物質は、加圧中に、可逆的に変形するであろう（すなわち、圧力が除去されると、破砕性物質は、実質的にその元の構成に戻る）。これらの可逆性の破砕性物質には、高分子物質（例えば、ブナゴム、シリコンゴム、および／またはバイトン）が含まれる。可逆性の破砕性物質は、それらが、変形後に、再使用されるであろうという利点を有する。
【００２５】
さらに他の破砕性物質は、易変形性の物質の外側殻（例えば、銅および／またはアルミニウム）を、バネ様物質（例えば、ステンレススチール）の周りに含む。本明細書に示される破砕性物質のいくつかは、再使用されるだろうし、一方他は、単一の使用にのみ構成されるであろう。
【００２６】
気密封止製品の製造方法には、一つ以上の反応性多層接合方法が含まれるであろう。その例は、米国特許第５，３８１，９４４号明細書、米国特許出願第０９／８４６，４８６号（２００１年５月１日出願）（米国特許出願公開第２００２０１８２４３６号）明細書、および米国仮特許出願第６０／２０１，２９２号（２０００年５月２日出願）明細書に開示される。その全ての全体は、本明細書に参照により援用される。
【００２７】
気密封止製品の製造方法にはまた、十分な接合強度を二つ以上の構成要素間に得るための一つ以上の方法が含まれる。封止に適切な強度要求は、接合が、密閉体構成要素への圧力（予め、破砕性物質の変形を保持し続けている）が開放された後にも、破砕性物質の変形を保持する、という要求によって増大されるであろう。例えば、接合は、気密封止製品の通常の押合いまたは他の外力に耐え、一方同時に、圧力が密閉体構成要素から除去された後にも、破砕性物質の変形（およびしたがって封止）を保持するのに十分に強いであろう。
【００２８】
反応性接合処理のための溶融性物質（例えば、はんだまたはロウ付け）は、一種以上の関連要因に基づいて選択されるであろう。それらの要因のいくつかには、強度要求（例えば、用いられる破砕性物質のタイプによる）、熱疲労抵抗、耐腐食性、低スプラッター、および／または蒸気放出性が含まれるであろう。溶融性物質としてロウ付けを用いることは、封止装置が使用中に通常的に高温に付される場合に、好ましいであろう。
【００２９】
図１Ａおよび１Ｂは、気密封止製品１０、および関連製造方法の例証の実施形態を表す。図１Ａおよび１Ｂに表されるように、ワイヤーガスケット１１、または適切な破砕性（すなわち変形性）物質１１は、密閉体構成要素の一つの一部分中またはその上に配置されるであろう。例えば、蓋１３の溝１２である。溝１２は、いかなる適切な方法をも用いて、密閉体構成要素（例えば、蓋１３）中に形成されるであろう。反応性多層箔１４は、二つ以上の密閉体構成要素の一つ以上の表面１５、１６の上、および／またはその間に配置されるであろう。例えば、蓋１３および容器１７である。密閉体構成要素１３、１７は、密閉空間１８を画定し、その内部に装置２１が置かれるであろう。反応性多層箔１４はまた、一層以上の溶融性物質２０の上およびまたはその間に配置されるであろう。破砕性物質１１は、次いで、一つの密閉体構成要素１３の溝１２、および他の密閉体構成要素１７の表面１６の間で、例えば、圧力を、いかなる適切な方法をも用いて、密閉体構成要素の一つのいかなる適切な部分（例えば、蓋１３の頂部）にも加えることによって変形されるであろう。破砕性物質１１のこれらの変形により、密閉空間１８、および／または装置２１が、外部環境から封止されるであろう。反応性多層箔１４は、次いで発火され、強固な機械的結合を密閉体構成要素（例えば、蓋１３および容器１７）の間に形成するであろう。強固な機械的結合は、溶融性物質２０を密閉体構成要素１３、１７に結合するか、または密閉体構成要素１３、１７を直接結合するかのいずれかによって形成されるであろう。一つ以上の密閉体構成要素上のいかなる圧力も、次いで除去され、その結果、十分にリークタイトな封止を、十分な完全性で比較的長期間保持するように構成された封止密閉体１０が得られる。
【００３０】
種々の実施形態においては、反応性多層箔（物質を接合する）、および／または他の適切な“溶融性”物質は、反応性多層のいかなる側面、および／またはそのいかなる部分の上にも配置されるであろう。溶融性物質の層は、いかなる適切な形態でもあろう。例えば、自由設置シート、密閉体構成要素（例えば、容器および／または蓋）の上に予め析出された層、および／または箔表面の上に予め析出された層である。これらおよび他の適切な形態は、米国特許第５，３８１，９４４号明細書、米国特許出願第０９／８４６，４８６号（２００１年５月１日出願）（米国特許出願公開第２００２０１８２４３６号）明細書、および米国仮特許出願第６０／２０１，２９２号（２０００年５月２日出願）明細書に開示される。溶融性物質の例には、はんだおよび／またはロウ付けが含まれる。はんだおよび／またはロウ付けは、密閉体構成要素の上に析出されるか、箔および／または密閉体構成要素の間に配置される自由設置シートであるか、および／または箔表面の上に析出されるであろう。
【００３１】
図２Ａおよび２Ｂは、気密封止製品３０、および関連製造方法の他の例証の実施形態を表す。この実施形態は、密閉体構成要素の一つ（例えば、容器３１）の表面が、他の密閉体構成要素３４内またはその上に配置された破砕性物質３３と相互作用するように構成された突出部３２（例えば、リッジ）を含むであろうことを除いて、実質的に、図１Ａおよび１Ｂに示された実施形態に類似である。例えば、突出部３２は、他の密閉体構成要素（例えば、頂部蓋３４）の上の溝３５に実質的に対向して配置されるであろう。突出部３２は、いかなる適切な形状および／または寸法をも有するであろう。図２Ａおよび２Ｂに示されるリッジ形状などである。これは、いかなる適切な方法をも用いて、密閉体構成要素３１の表面３６上に形成されるであろう。この配置は、突出部３２、および密閉体構成要素内またはその上に配置された破砕性物質３３の間の相互作用により、図１の配置におけるより小さな圧力が、破砕性物質（例えば、ワイヤーガスケット３３）を変形するのに必要とされるであろうという点で好都合であろう。
【００３２】
図３Ａおよび３Ｂは、気密封止製品５０、および関連製造方法のさらなる例証の実施形態を表す。この実施形態は、破砕性物質（例えば、ワイヤーガスケット５１）が、密閉体構成要素の一つの溝５２（例えば、頂部の蓋５３中にある）中の両方に配置され、変形前に、密閉体構成要素（例えば、容器５５）の他の上の対向する溝５４（例えば、トラフ）に実質的に対向して配置されることを除いて、実質的に、図１Ａ〜１Ｂおよび２Ａ〜２Ｂに示される実施形態に類似である。トラフ５４または溝５４は、他の表面５７に比べて一段高い密閉体構成要素５５の表面５６の上に配置されるであろう。例えば、反応性箔５８が配置されるであろう表面５６である。変形中、破砕性物質５１は、溝５２およびトラフ５４間で変形される。この配置の利点は、トラフ５４または溝５４が、図２Ａ〜２Ｂの突出部３２より機械加工し易く、図１Ａ〜１Ｂの平滑面１６または図２Ａ〜２Ｂの突出部３２のいずれかより、取扱い中に損傷を受けにくいであろうことである。破砕性物質５１を変形して封止を形成するには、図２Ａ〜２Ｂの配置に加えられる圧力に類似の圧力が必要とされる（すなわち、図１Ａ〜１Ｂの配置に加えられる圧力より低い）。
【００３３】
当業者には、本明細書に示されるいかなる実施形態のいかなる特徴も、本明細書に示されるいかなる他の特徴と逆向きにされるか、置換えられるか、および／または組合されるであろうことが理解される。例えば、図４Ａおよび４Ｂは、破砕性物質７１が容器７３の上の溝７２中に配置され、蓋の対応する表面が反応性多層と相互作用するように構成されることを除いて、図１Ａおよび１Ｂの構成に類似の構成を表す。他の例においては、図４Ｃは、破砕性物質８１が容器８３の上の溝８２中に配置され、突出部８４が蓋８５の上に配置されることを除いて、図２Ａおよび２Ｂの構成に類似の構成を表す。さらなる例においては、図４Ｄは、破砕性物質９１が容器９３の上の溝９２中に配置され、対向するトラフ９４または溝９４が蓋９５の上にあることを除いて、図３Ａおよび３Ｂの構成に類似の構成を表す。
【００３４】
図５Ａおよび５Ｂは、気密封止製品１００、および関連製造方法のさらに他の例証の実施形態を表す。この実施形態においては、破砕性物質（例えば、ワイヤーガスケット１０１）は、密閉体構成要素の一つ（例えば、容器１０３）中の機械加工された（または別に製造された）角１０２中に配置される。したがって、本明細書に示される他の実施形態とは異なり、さらなる機械加工（または他の製造）工程が、一つ以上の密閉体構成要素の上に施され、それにより破砕性物質１０１および／または反応性多層１０４に十分に適合させる必要があるであろう。圧力は、一つ以上の密閉体構成要素に加えられることから、破砕性物質１０１は、他の密閉体構成要素の一部分（例えば、蓋１０６の表面１０５）によって、角１０２で変形され、その結果密閉体構成要素（例えば、蓋１０６および容器１０３）によって画定される囲包された内部空間１０７を封止するであろう。反応性多層１０４の反応性多層箔１０８は、次いで、始動されるか、および／または発火され、それにより密閉体構成要素の実質的に隣接する部分（例えば、蓋１０６および容器１０３の外側端部）が結合されるか、および／または溶融性物質１０９が密閉体構成要素１０３、１０６に結合されるであろう。長期間の封止の完全性が、その結果達成される。この封止構成および／または方法を実行することは、それが、図１Ａ〜４Ｄに示される構成および／または方法より（例えば、破砕性物質を変形するのに）小さな封止圧力を必要とするであろうことから好都合であろう。この構成および／または方法が、図１Ａ〜４Ｄに示される構成および／または方法と共有する他の利点は、破砕性物質の変形が十分な封止を形成しない場合に、破砕性物質は、反応性多層箔を始動（例えば、発火）させる前に廃棄され、封止処理が、他の破砕性物質を用いて繰返されるであろうことである。
【００３５】
図６Ａおよび６Ｂは、気密封止製品１２０、および関連製造方法のさらにさらなる例証の実施形態を表す。この実施形態においては、二つ以上の密閉体構成要素１２３、１２４の対向する表面１２１、１２２には、破砕性物質１２７と相互作用するように構成された突出部１２５、１２６（例えば、鋭い端部のリッジ）が含まれる。それらの鋭さを維持するために、リッジ１２５、１２６は、破砕性物質１２７を配置する前に、保護される必要があろう。二つ以上の密閉体構成要素１２３、１２４が、封止前に並べられる際には、それぞれのリッジ１２５、１２６は、実質的に、互いに対向するであろう。リッジ１２５、１２６は、少なくともガスケット、ワッシャー、または他の適切な破砕性物質１２７に比べて、硬質物質であろう。ガスケット、ワッシャー、および／またはいかなる他の適切なより軟質（例えば、リッジ１２５、１２６、および／または密閉体構成要素１２３、１２４に比べて）、および／または破砕性の物質１２７は、対応するリッジ１２３、１２４の間に置かれるであろう。ガスケット１２７および／またはワッシャー１２７は、変形する際に効果的な封止を形成するために、適切および／または正確にリッジ１２５、１２６の上に配置される必要があろう。封止は、十分な圧力を、一つ以上の密閉体構成要素１２３、１２４に働かせることによって達成され、そのためにより硬質の鋭い端部のリッジ１２５、１２６は、適切に、より柔軟な破砕性物質１２７を変形する。この方法の潜在的な利点には、（１）簡単なガスケットおよび／またはワッシャーを取扱うことが、他の物質より容易であろうこと、（２）（例えば、密閉体構成要素の）表面の平面性および仕上げに対する必要条件がより低いだろうこと、および／または（３）例えば、本明細書に示される他の実施形態に比べて、より低い圧力が、破砕性物質を変形し、適切な封止を形成するのに必要であろうことが含まれる。
【００３６】
図７Ａ〜７Ｄは、気密封止製品１４０、１６０、および関連製造方法の、さらにより例証の実施形態を表す。これらの実施形態においては、軟質のワッシャー、ガスケット、または他の別個の破砕性物質の使用が排除され、その代わりに一つの密閉体構成要素１４２、１６２の上の鋭い端部のリッジ１４１、１６１、または突出部１４１、１６１が、他の密閉体構成要素１４３、１６３のより軟質の表面に直接対向し、そこに押付けるように用いられるであろう。軟質または硬質物質は、好ましくは、電池対物質の発生を防止するように選択されるであろう。図７Ａおよび７Ｂは、容器１４２の鋭い端部のリッジ１４１が、蓋１４３のより軟質な物質に直接対向し、そこに押付けられる実施形態を表す。図７Ｃおよび７Ｄは、蓋１６２の鋭い端部のリッジ１６１が、容器１６３のより軟質な物質に直接対向し、そこに押付けられる実施形態を表す。当業者には、各密閉体構成要素の単に一部分が、より硬質および／またはより軟質の物質（例えば、密閉体構成要素間の封止を効果的にするのに必要であろう）から作られるであろうことが理解される。これらの設計のいくつかの利点には、より低い機械加工労力（すなわち、製造し易い）、およびワイヤー、ガスケット、ワッシャー、および／または別個の破砕性物質の排除が含まれる。この実施形態のさらなる一利点（特に、図７Ａおよび７Ｂの配置に関して）は、特定の幾何学的特性を有さない密閉体構成要素（例えば、図７Ａおよび７Ｂの蓋１４３、または図７Ｃおよび７Ｄの容器１６３）が、封止が不十分であることが見出される場合には、廃棄および／または交換されるであろうことである。他の構成要素はまた、再使用されるであろう。他の利点は、より軟質および／または破砕性物質から作られた密閉体構成要素（例えば、図７Ａおよび７Ｂの蓋１４３、または図７Ｃおよび７Ｄの容器１６３）が、特定の幾何学的特性を含まないことから、密閉体構成要素が、本明細書に示される他の密閉体構成要素と比べて、製造および／または交換するのに比較的安価であろうことである。
【００３７】
本発明の一利点は、その例証的な実施形態が本明細書に示されるが、これは、容器の囲包空間内に配置された感応性構成要素が、封止表面および／または破砕性物質によって、反応性接合処理で用いられる溶融性物質（例えば、はんだまたはロウ付け）が流れることから保護されることである。特に、封止表面および／または破砕性物質が、全く用いられなかった先の方法においては、溶融性物質は、溶融した状態であるものの、しばしば、容器の囲包空間中に漏れ出て、その結果その中にある感応性構成要素を損傷するであろう。本明細書に開示される実施形態においては、しかし、封止表面および／または破砕性物質が、溶融性物質の内側、すなわち溶融性物質および囲包空間の間に配置されることから、溶融性物質が囲包空間中に流れ、その中にある感応性構成要素を損傷するであろう可能性は、効果的に排除されないとしても、実質的に低減される。溶融された溶融性物質（例えば、はんだまたはロウ付け）は、封止表面および／または破砕性物質（例えば、ワイヤー、ガスケット、ワッシャー、およびその支持物）によって（または鋭い端部のリッジによって）封じ込められるであろう。これは、従来の反応性接合方法に勝る利点である。
【００３８】
本発明の他の利点は、その例証的な実施形態が本明細書に示されるが、これは、封止の品質（例えば、封止表面および／または破砕性物質による）が、封止が（例えば、反応性接合により）永久にされる前に、評価され、保証されるであろうことである。これは、箔の発火および反応性接合の前に、封止が、圧力を一つ以上の密閉体構成要素に加え、封止表面および／または破砕性物質を変形することによって得られるであろうからである。この圧力の適用による封止の品質が、不十分であると考えられる場合には、密閉体アセンブリーの一つ以上の部分は、容器内に配置された感応性構成要素を損失する危険を冒すことなく、調整されるであろう。これらの調整には、ワイヤー、ガスケット、ワッシャー、および／または他の適切な物質の交換、一つ以上の密閉体構成要素（例えば、蓋および／または容器）の表面研磨、または密閉体アセンブリーの欠陥部分の再仕上げが含まれるであろう。密閉体を永久封止する前に、封止の品質を評価するこの能力は、封止がアセンブリーに対する永久または回復しがたい変更により達成される殆どの別の方法に勝る実質的な利点である。これらの別法の例には、レーザー溶接、はんだ付けまたはロウ付け、およびスクリューまたは機械的留め具の使用が含まれる。
【００３９】
本発明の種々の実施形態においては、封止の品質の検証が、永久結合を形成する前に、封止試験装置を用いて達成されるであろう。これらの封止試験装置２００の例を、図８に示す。図８に表されるように、装置２００には、一つ以上の真空チャンバー２０１、プッシュロッド２０２または類似の機械装置が含まれるであろう。これにより、一つの密閉体構成要素（例えば、蓋２０３）が、他の密閉体構成要素に関して（例えば、容器２０４の頂部の上に）配置されるか、および／または圧力が、密閉体の一つ以上の部分、チャンバー２０１をガス（例えば、ＨｅまたはＡｒなどの不活性ガス）またはガス混合物（例えば、Ｈｅを含む不活性ガス混合物）で充填するための一つ以上の入口２０５、チャンバー２０１からガス（例えば、ＨｅまたはＡｒなどの不活性ガス）またはガス混合物（例えば、Ｈｅを含む不活性ガス混合物）を排出するための一つ以上の出口２０６、および反応性多層２０８（例えば、溶融性および／または接合物質を有するか、または有さないであろう反応性多層箔）を発火させるための手段２０７に加えられる。 プッシュロッド２０２には、蛇腹２１２が含まれるであろう。これは、例えば、プッシュロッド２０２を動かすのを助けるか、および／またはプッシュロッド２０２およびチャンバー２０１の壁の間の界面を封止する。そこを通って、プッシュロッド２０２が伸びる。入口および出口はまた、同じポートであろう（すなわち、ガスまたはガス混合物は、同じ入口、出口、および／またはポートによって、チャンバーに充填されるか、および／またはそこから排出されるであろう）。反応性多層２０８を発火させるための手段２０７の例には、電気、熱、または機械的刺激を提供するであろう内部装置、および／またはレーザーなどの外部装置が含まれる。反応性多層を発火させるための手段がレーザーである場合には、光路は、真空チャンバー２０１の壁を通って提供されるであろう。
【００４０】
種々の実施形態においては、気密封止製品を製造するための方法には、次の工程の一つ以上が含まれるであろう。すなわち、（１）二つ以上の密閉体構成要素（例えば、容器および蓋）をチャンバー２０１内に配置する工程、（２）チャンバー２０１を、当業界で知られた適切な手段、例えば、出口２０６に接続された真空ポンプを用いて排気する工程（特に空気および湿気を除去する）、（３）チャンバー２０１を、当業界で知られた適切な手段を用いてガスまたはガス混合物で再補充する工程（例えば、チャンバー２０１を、入口２０５を経て不活性ガスで充填する）、（４）一つの密閉体構成要素を、他の密閉体構成要素に関して配置（例えば、蓋２０３を容器２０４の頂部上に置く）し、圧力を、少なくとも一つの密閉体構成要素に（例えば、プッシュロッド２０２を経て蓋２０３に）加えて、内部チャンバー２０９および／または装置２１０を、チャンバー２０１の残り部分から封止する工程（例えば、破砕性物質を変形するか、一つの密閉体構成要素の鋭い端部のリッジをもう一方の密閉体構成要素中に置くか、および／または本明細書に示されるいかなる実施形態のいかなる変形にもよる）、（５）チャンバー２０１を、当業界で知られる適切な手段、例えば出口２０６に接続された真空ポンプを用いて排気する工程、（６）リーク速度を、当業界で知られるいかなる適切な手段および／または方法（例えば、出口２０６に接続されたリーク検知器２１１）をも用いて、測定／検証する工程である。測定されたリーク速度が満足なものである場合には、箔および／または反応性多層２０８を発火させ、したがって密閉体を永久封止されたい。測定されたリーク速度が不満足なものである場合には、一つ以上の欠陥に着目し、一つ以上の処理工程を繰返されたい。本発明の一利点は、それが、封止処理中の感応性構成要素の損失をなくすか、または最小化することである。
【００４１】
当業者には、いかなる実施形態のいかなる前記の態様も、いかなる他の実施形態のいかなる態様と組合されるであろうことが理解される。さらに、当業者には、いかなる前記の態様も、本発明の真の範囲から逸脱することなく、いかなる実施形態からも除かれるであろうことが理解される。加えて、当業者には、本明細書に参照により援用されたいかなる文献にも開示された実施形態は、単に例証であり、開示に記載されるであろうものに係わらず、本発明をいかなる意味でも限定しないことが理解される。
【００４２】
本発明の他の実施形態は、本明細書に開示される本発明の明細書および実施を考慮することにより、当業者に自明であろう。明細書および例は、単に例証であると考えられ、また本発明の真の範囲および精神は、請求項によって示されるものである。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１Ａ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図１Ｂ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図２Ａ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図２Ｂ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図３Ａ】本発明のさらなる実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図３Ｂ】本発明のさらなる実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図４Ａ】本発明のさらに他の実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図４Ｂ】本発明のさらに他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図４Ｃ】本発明のさらにさらなる実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図４Ｄ】本発明のさらに他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図５Ａ】本発明のさらにさらなる実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図５Ｂ】本発明のさらにさらなる実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図６Ａ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図６Ｂ】本発明の他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図７Ａ】本発明のさらなる実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図７Ｂ】本発明のさらなる実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図７Ｃ】本発明のさらに他の実施形態に係る封止製品の構成要素の概略図である。
【図７Ｄ】本発明のさらに他の実施形態に係る封止製品の一部分の概略図である。
【図８】本発明のさらにさらなる実施形態に係る封止試験装置の概略図である。
【図１Ａ】
2006522722.tif 000003
【図１Ｂ】
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【図２Ａ】
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【図２Ｂ】
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【図３Ａ】
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【図３Ｂ】
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【図４Ａ】
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【図４Ｂ】
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【図４Ｃ】
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【図４Ｄ】
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【図５Ａ】
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【図５Ｂ】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図７Ａ】
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【図７Ｂ】
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【図７Ｃ】
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【図７Ｄ】
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【図８】
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【国際調査報告】
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