【手続補正書】
【提出日】令和1年8月23日(2019.8.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、
前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、
前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、
前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、
前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、
前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）と
を包含する、型の製造方法。
【請求項２】
前記投射材の平均粒径は、１０μｍ以上３５μｍ未満である、請求項１に記載の型の製造方法。
【請求項３】
前記投射材の粒度分布は、平均粒径から±１０％以内の範囲内にピークを有する、請求項１または２に記載の型の製造方法。
【請求項４】
前記工程（ｂ）と前記工程（ｃ）との間に、前記アルミニウム基材の表面に電解研磨を施す工程（ｇ）をさらに包含する、請求項１から３のいずれかに記載の型の製造方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載の型の製造方法によって製造された型。
【請求項６】
表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凹部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凹部とを有する表面構造を備え、
前記複数の第１凹部の隣接間距離は、２μｍ以上１０μｍ以下である、型。
【請求項７】
請求項５または６に記載の型を用意する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含する、反射防止膜の製造方法。
【請求項８】
請求項７に記載の反射防止膜の製造方法によって製造された反射防止膜。
【請求項９】
表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上１２μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、
６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である、反射防止膜。
【請求項１０】
２０度鏡面光沢度が０．０１以上１．０以下であり、６０度鏡面光沢度が１．０以上１０．０以下である、請求項８または９に記載の反射防止膜。
【請求項１１】
８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である、請求項８から１０のいずれかに記載の反射防止膜。
【請求項１２】
８５度鏡面光沢度が５０．０以上７５．０以下である、請求項８から１１のいずれかに記載の反射防止膜。
【請求項１３】
入射角を５°とし、受光角を横軸にとり、拡散反射光強度の最大値を８０％として規格化した、相対拡散反射率（％）の常用対数を縦軸にとった配光分布曲線は、
受光角が５°以上７°以下の範囲において、３％以上であり、
受光角が８°以上１０°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が２％以上８％以下の範囲内にある点を含み、
受光角が１０°以上１５°以下で、かつ、前記相対拡散反射率（％）が０．９％以上１．１％以下の範囲内にある点を含む、請求項８から１２のいずれかに記載の反射防止膜。
【請求項１４】
ヘイズ値が２％以上４０％以下である、請求項８から１３のいずれかに記載の反射防止膜。
【請求項１５】
機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、
前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、
前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、
前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、
前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、
前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）と
を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
を包含し、
表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である反射防止膜を製造する方法。
【請求項１６】
機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、
前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、
前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、
前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、
前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、
前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）と
を包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、
被加工物を用意する工程と、
前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、
前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程と
を包含し、
表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である反射防止膜を製造する方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
本発明の他の実施形態による反射防止膜を製造する方法は、機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）とを包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、被加工物を用意する工程と、前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含し、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、６０度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．０１以上０．１以下である反射防止膜を製造する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
本発明のさらに他の実施形態による反射防止膜を製造する方法は、機械的な鏡面加工が施されたアルミニウム基材を用意する工程（ａ）と、前記アルミニウム基材の表面に、略球状であり、アルミナ粒子を含み、平均粒径が１０μｍ以上４０μｍ以下である投射材を吹き付けることによって、複数の第１凹部を前記アルミニウム基材の表面に形成する工程（ｂ）と、前記工程（ｂ）の後に、前記アルミニウム基材の前記表面に無機材料層を形成し、前記無機材料層の上にアルミニウム膜を形成することによって、型基材を作製する工程（ｃ）と、前記工程（ｃ）の後に、前記アルミニウム膜の表面を陽極酸化することによって、複数の第２凹部を有するポーラスアルミナ層を形成する工程（ｄ）と、前記工程（ｄ）の後に、前記ポーラスアルミナ層を、エッチング液に接触させることによって、前記ポーラスアルミナ層の前記複数の第２凹部を拡大させる工程（ｅ）と、前記工程（ｅ）の後に、さらに陽極酸化することによって、前記複数の第２凹部を成長させる工程（ｆ）とを包含する型の製造方法によって型を製造する工程と、被加工物を用意する工程と、前記型と前記被加工物の表面との間に光硬化樹脂を付与した状態で、前記光硬化樹脂に光を照射することによって前記光硬化樹脂を硬化させる工程と、前記型を硬化させられた光硬化樹脂で形成された反射防止膜から剥離する工程とを包含し、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１μｍ以上５μｍ以下の複数の第１凸部と、表面の法線方向から見たときの２次元的な大きさが１０ｎｍ以上５００ｎｍ未満の複数の第２凸部とを有する表面構造を備え、８５度鏡面光沢度を１とすると、２０度鏡面光沢度は０．００１以上０．００５以下である反射防止膜を製造する。