【手続補正書】
【提出日】平成30年11月28日(2018.11.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルが形成されたノズル基板と、
前記複数のノズルの各々に連通し、インクを貯留する複数の圧力室が形成された圧力室基板と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を付与する複数の圧力発生手段を格納するスペーサー基板と、
前記圧力発生手段の各々に駆動電位を供給する第１電極に接続する個別配線と、
を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記個別配線の少なくとも前記スペーサー基板側の面に第１絶縁膜を有しており、
前記スペーサー基板の少なくとも前記個別配線が設けられる側の面に、ポリパラキシリレン又はその誘導体を含有する第２絶縁膜が積層されており、
前記第１絶縁膜と前記第２絶縁膜との間に隣接して、絶縁樹脂からなる密着層が積層されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
前記個別配線の前記スペーサー基板側とは反対側の面に更に絶縁膜を有することを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘッド。
【請求項３】
配線用基材と、当該配線用基材に積層された前記絶縁膜、前記個別配線及び前記第１絶縁膜と、を有する配線基板を備えることを特徴とする請求項２に記載のインクジェットヘッド。
【請求項４】
前記密着層は、複数の層によって積層形成されており、
前記複数の層のうち、前記第１絶縁膜に面する層は、前記第２絶縁膜よりも前記第１絶縁膜に接着性が高く、前記第２絶縁膜に面する層は、前記第１絶縁膜よりも前記第２絶縁膜に接着性が高いことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項５】
前記スペーサー基板は、前記複数の圧力室の各々へのインク供給路であるインク導通路を有し、
前記インク導通路の流路表面に、前記第２絶縁膜が積層されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項６】
前記スペーサー基板の前記個別配線が設けられた側とは反対側の面に、前記第２絶縁膜が積層されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項７】
前記圧力発生手段の前記第１電極が設けられる側の反対側に設けられ、前記複数の圧力発生手段に対して共通にグランド電位を供給する第２電極を備え、
前記スペーサー基板は導電性を有し、前記第２電極と電気的に接続されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項８】
前記第２電極は、前記複数の圧力発生手段のすべてに、前記グランド電位を共通に供給することを特徴とする請求項７に記載のインクジェットヘッド。
【請求項９】
前記第２電極は、前記圧力発生手段と前記圧力室との間に設けられ、前記圧力発生手段の変形を前記圧力室に伝える振動板であることを特徴とする請求項７又は８に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１０】
前記第１絶縁膜が、二酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなることを特徴とする請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１１】
前記スペーサー基板は、４２アロイからなることを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
【請求項１２】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するため、請求項１に記載の発明は、インクジェットヘッドであって、
複数のノズルが形成されたノズル基板と、
前記複数のノズルの各々に連通し、インクを貯留する複数の圧力室が形成された圧力室基板と、
前記複数の圧力室の各々に対応して設けられ、対応する前記圧力室内のインクに圧力を付与する複数の圧力発生手段を格納するスペーサー基板と、
前記圧力発生手段の各々に駆動電位を供給する第１電極に接続する個別配線と、
を有するインクジェットヘッドにおいて、
前記個別配線の少なくとも前記スペーサー基板側の面に第１絶縁膜を有しており、
前記スペーサー基板の少なくとも前記個別配線が設けられる側の面に、ポリパラキシリレン又はその誘導体を含有する第２絶縁膜が積層されており、
前記第１絶縁膜と前記第２絶縁膜との間に隣接して、絶縁樹脂からなる密着層が積層されていることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記個別配線の前記スペーサー基板側とは反対側の面に更に絶縁膜を有することを特徴とする。
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
配線用基材と、当該配線用基材に積層された前記絶縁膜、前記個別配線及び前記第１絶縁膜と、を有する配線基板を備えることを特徴とする。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記密着層は、複数の層によって積層形成されており、
前記複数の層のうち、前記第１絶縁膜に面する層は、前記第２絶縁膜よりも前記第１絶縁膜に接着性が高く、前記第２絶縁膜に面する層は、前記第１絶縁膜よりも前記第２絶縁膜に接着性が高いことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記スペーサー基板は、前記複数の圧力室の各々へのインク供給路であるインク導通路を有し、
前記インク導通路の流路表面に、前記第２絶縁膜が積層されていることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
請求項６に記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記スペーサー基板の前記個別配線が設けられた側とは反対側の面に、前記第２絶縁膜が積層されていることを特徴とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記圧力発生手段の前記第１電極が設けられる側の反対側に設けられ、前記複数の圧力発生手段に対して共通にグランド電位を供給する第２電極を備え、
前記スペーサー基板は導電性を有し、前記第２電極と電気的に接続されていることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第２電極は、前記複数の圧力発生手段のすべてに、前記グランド電位を共通に供給することを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
請求項９に記載の発明は、請求項７又は８に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第２電極は、前記圧力発生手段と前記圧力室との間に設けられ、前記圧力発生手段の変形を前記圧力室に伝える振動板であることを特徴とする。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項１０に記載の発明は、請求項１〜９のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記第１絶縁膜が、二酸化ケイ素又は窒化ケイ素からなることを特徴とする。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
請求項１１に記載の発明は、請求項１〜１０のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記スペーサー基板は、４２アロイからなることを特徴とする。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１２に記載の発明は、
請求項１〜１１のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えることを特徴とするインクジェット記録装置である。