【事件の表示】
　特願２０１７−　６１４００「基板処理装置，気化システム及びミストフィルタ並びに半導体装置の製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１０月１８日出願公開，特開２０１８−１６４０３５，請求項の数（１４）〕について，次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は，特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２９年３月２７日の特許出願であって，その手続の経緯は，概略，以下のとおりである。
　令和　元年１２月１３日付け：拒絶理由通知書
　令和　２年　２月　６日　　：意見書
　令和　２年　２月　６日　　：手続補正書
　令和　２年　３月１２日付け：拒絶査定（以下，「原査定」という。）
　令和　２年　６月１７日　　：審判請求書
　令和　２年　６月１７日　　：手続補正書
第２　原査定の概要
　原査定（令和２年３月１２日付け拒絶査定）の概要は次のとおりである。
　本願請求項１ないし１６に係る発明は，以下の引用文献１ないし３に基づいて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明できたものであるから，特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　引用文献等一覧
１．特開２０１３−２３２６２４号公報
２．特開平０８−２７０４３０号公報
３．米国特許出願公開第２０１４／０１５７７３７号明細書
第３　審判請求時の補正について
　審判請求時の補正は，特許法第１７条の２第３項から第６項までの要件に違反しているものとはいえない。
　そして，「第４　本願発明」から「第６　対比・判断」までに示すように，補正後の請求項１ないし１４に係る発明は，独立特許要件を満たすものである。
第４　本願発明
　本願請求項１ないし１４に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」ないし「本願発明１４」という。）は，令和２年６月１７日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１４に記載された事項により特定される発明であり，以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　基板を収容する処理室と，
　前記処理室に原料ガスを供給する処理ガス供給系と，
　前記処理室を排気する排気系と，
　を備え，
　前記処理ガス供給系は，
　液体原料等の原料が供給される気化器と，
　前記気化器の下流に配置されたミストフィルタと，を有し，
　前記ミストフィルタは，互いに異なる位置に，前記原料ガスの流路として複数の孔により形成される流路が各々配置される部分と，前記流路を通過した前記原料ガスの流れ方向に面する位置に設けられる複数の溝が配置される部分と，をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成される際，
中心付近に前記溝が複数設けられ，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，外周側に前記溝が複数設けられ，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートと，が交互に配置され，
前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに設けられる前記溝に衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに設けられる前記溝に衝突させるように構成される基板処理装置。
【請求項２】
　前記溝は，凹凸形状，V字形状，ノコギリ刃形状よりなる群から選択される請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
　前記溝の深さと前記溝の幅の比は，０．５乃至２の範囲である請求項１記載の基板処理装置。
【請求項４】
　前記溝の開き角度は，６０°乃至１２０°の範囲である請求項１記載の基板処理装置。
【請求項５】
　前記第１プレートに設けられる前記溝は，前記第１プレートの中心から同心円状に等間隔で形成されている請求項１記載の基板処理装置。
【請求項６】
　前記第１プレートと前記第２プレートは，前記孔及び前記溝が形成されるプレート部と，前記プレート部の外周に設けられ前記孔及び前記溝が形成されない外周部とをそれぞれ有し，前記外周部の厚さは前記プレート部の厚さよりも大きく設定され，前記第１プレートと前記第２プレートの前記外周部同士が接することによって前記第１プレートと前記第２プレートの部間に空間が形成される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項７】
前記処理ガス供給系は，更に，前記ミストフィルタの下流に配置されたガスフィルタを有する請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項８】
前記気化器，前記ミストフィルタ，前記ガスフィルタは，夫々分離して構成される請求項７に記載の基板処理装置。
【請求項９】
前記ミストフィルタは，前記第１プレートと前記第２プレートを加熱するヒータを備える請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１０】
前記第１プレートと前記第２プレートは金属から構成される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１１】
前記第１プレートと前記第２プレートは，前記流路を構成する孔及び前記溝を除いて同一あるいは実質的に同一形状に構成される請求項１に記載の基板処理装置。
【請求項１２】
　液体原料が供給される気化器と，
　前記気化器の下流に配置されたミストフィルタと，を有し，
　前記ミストフィルタは，互いに異なる位置に原料ガスの流路として複数の孔により形成される流路が各々配置される部分と，前記流路を通過した前記原料ガスの流れ方向に面する位置に設けられる複数の溝が配置される部分と，をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成される際，
中心付近に前記溝が複数設けられ，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，外周側に前記溝が複数設けられ，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートと，が交互に配置され，
前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに設けられる前記溝に衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに設けられる前記溝に衝突させるように構成される気化システム。
【請求項１３】
　互いに異なる位置に原料ガスの流路として複数の孔により形成される流路が各々配置される部分と，前記流路を通過した前記原料ガスの流れ方向に面する位置に設けられる複数の溝が配置される部分と，をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成されるミストフィルタであって，
中心付近に複数の前記溝が設けられ，外周側に複数の前記孔が設けられる第１プレートと，外周側に複数の前記溝が設けられ，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートが交互に配置され，前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに設けられる前記溝に衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに設けられる前記溝に衝突させるよう構成されるミストフィルタ。
【請求項１４】
処理室に基板を搬入する工程と，
互いに異なる位置に原料ガスの流路として複数の孔により形成される流路が各々配置される部分と，前記流路を通過した前記原料ガスの流れ方向に面する位置に設けられる複数の溝が配置される部分と，をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成されるミストフィルタであって，中心付近に複数の前記溝が設けられ，外周側に複数の前記孔が設けられる第１プレートと，外周側に複数の前記溝が設けられ，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートが交互に配置され，前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに設けられる前記溝に衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに設けられる前記溝に衝突させるよう構成されるミストフィルタを介して前記原料ガスを前記処理室に供給して前記基板を処理する工程と，
前記処理室から基板を搬出する工程と，
を有する半導体装置の製造方法。」
第５　引用文献，引用発明等
　１　引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【請求項３】
　
基板を収容する処理室と，
　
前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給系と，
　
前記処理室を排気する排気系と，
　
を備え，
　
前記処理ガス供給系は，
　
液体原料が供給される気化器と，
　
前記気化器の下流に配置されたミストフィルタと，
を有し，
　
前記ミストフィルタは，異なる位置に穴を有する少なくとも２種のプレートを複数枚組み合わせて構成される基板処理装置
「【技術分野】
【０００１】
　本発明は，半導体装置の製造方法，基板処理方法，基板処理装置，気化システムおよびミストフィルタに関し，特に液体原料を使用して半導体ウエハを処理する工程を有する半導体装置の製造方法，基板処理方法ならびにこれらに好適に使用される気化システムおよびミストフィルタに関する。」
「【００２１】
　図４，図５を参照すれば，
ミストフィルタ３００のミストフィルタ本体３５０は，両端の端部プレート３１０，３４０と，端部プレート３１０，３４０間に配置された２種類のプレート３２０，３３０とを備えている
【００２２】
　
２種類のプレート３２０，３３０はそれぞれ複数個設けられ，端部プレート３１０，３４０間に交互に配置されている。プレート３２０は平板状のプレート（プレート部）３２８と，プレート３２８の外周に設けられた外周部３２９とを備えている。プレート３２８には，その外周付近のみに穴３２２が複数設けられている。プレート３３０は平板状のプレート（プレート部）３３８と，プレート３３８の外周に設けられた外周部３３９とを備えている。プレート３３８には，その中心付近のみ（プレート３２８において穴３２２が形成される位置とは異なる位置）に穴３３２が複数設けられている
【００２３】
　プレート３２０とプレート３３０は，穴３２２，３３２の形成位置を除き，同一あるいは略同一形状とされる。平板状のプレート３２８とプレート３３８は，平面視円形を呈し，穴３２２，３３２の形成位置を除き，同形状あるいは略同形状とされる。複数の穴３２２は，プレート３２８の外周側に，同心円を描くように形成される。複数の穴３３２は，プレート３３８の中心側に，同心円を描くように形成される。ここで，複数の穴３２２によって描かれる円と複数の穴３３２によって描かれる円の半径は相違させられる。具体的には，複数の穴３２２によって描かれる円の半径の方が，複数の穴３３２によって描かれる円の半径よりも大きい。換言すれば，プレート３２８において穴３２２が形成される領域と，プレート３３８において穴３３２が形成される領域は，異なる。それぞれの領域は，プレート３２０とプレート３３０を交互に配置（積層，重ね合わせ）したときに，その積層方向において，互い違いとなる位置に設定される。これにより，プレート３２０，３３０を交互に配置することによって，ミストフィルタ３００の上流側から下流側に向け，穴３２２と穴３３２が互い違いに配置される。すなわち，穴３２２と穴３３２は，ミストフィルタ３００の上流側から下流側に向け，互いに重ならないように配置される。
【００２４】
　プレート３２０，３３０の外周部３２９，３３９の厚さは，プレート３２８，３３８の厚さよりも大きく設定される。外周部３２９，３３９のそれぞれが，隣接するプレートの外周部３２９，３３９と接することにより，各プレート３２８，３３８の間には空間（後述）が形成される。また，外周部３２９，３３９は，プレート３２８，３３８に対してオフセットされた位置に形成される。より具体的には，外周部３２９，３３９は，その一方の面(プレート３２０とプレート３３０の積層方向における一方の面)がプレート３２８，３３８の平面から突出するように形成され，他方の面がプレート３２８，３３８の縁部上に位置するように形成される。これにより，プレート３２０とプレート３３０を積層したときに，プレート３２０の外周部３２９がプレート３３０のプレート３３８の縁部に嵌め合わされると共に，プレート３３０の外周部３３９がプレート３２０のプレート３２８の縁部に嵌め合わされ，プレート３２０，３３０が互いに位置合わせされる。
【００２５】
　このようなプレート３２０，３３０を交互に配置することによって，入り組んだ複雑なガス経路３７０となり，気化不良や再液化で発生した液滴が，加熱された壁面（プレート３２８，３３８）に衝突する確率を高めることができる。なお，穴３２２，３３２の大きさはミストフィルタ本体３５０内の圧力に依存し，好ましくは，直径１〜３ｍｍである。下限値の根拠は，穴の大きさがあまりに小さいと詰まりが発生するためである。また，プレート３３０に設けられた穴３３２においては，中心に設けられた穴をその周辺より小さくしてもよい。
【００２６】
　
液体原料が気化器２７１ａ（図２参照）で気化して気体状態となった原料ガスおよび気化不良や再液化で生じた液滴は，端部プレート３１０および継手３１２内のガス経路３１１からミストフィルタ本体３５０内に導入され，１枚目のプレート３２０の平板状のプレート３２８の中央部４２１（穴３２２が形成されていない部位）に衝突し，その後，プレート３２８の外周付近に設けられた穴３２２を通過して，２枚目のプレート３３０の平板状のプレート３３８の外周部４３２（穴３３２が形成されていない部位）に衝突し，その後，プレート３３８の中心付近に設けられた穴３３２を通過して，３枚目のプレート３２０の平板状のプレート３２８の中央部４２２（穴３２２が形成されていない部位）に衝突し，その後，同様にしてプレート３３０，３２０を順次通過して端部プレート３４０および継手３４２内のガス経路３４１を通ってミストフィルタ本体３５０から導出され，下流のガスフィルタ２７２ａ（図２参照）に送られる
【００２７】
　ミストフィルタ本体３５０は，ヒータ３６０（図３参照）によって外側から加熱される。ミストフィルタ本体３５０は，複数のプレート３２０とプレート３３０を備え，プレート３２０は，平板状のプレート３２８とプレート３２８の外周に設けられた外周部３２９とを備え，プレート３３０は，平板状のプレート３３８とプレート３３８の外周に設けられた外周部３３９とを備えている。プレート３２８と外周部３２９は一体的に構成され，プレート３３８と外周部３３９は一体的に構成されているので，ヒータ３６０によってミストフィルタ本体が外側から加熱されると，熱は効率よく平板状のプレート３２８，３３８に伝えられる。なお，プレート３２８と外周部３２９は一体的に構成されていなくても，完全に接触している状態であれば，また，プレート３３８と外周部３３９は一体的に構成されていなくても，完全に接触している状態であれば，ヒータ３６０からの熱を同様に十分効率よく，プレート３２８，３３８に伝えられる。
【００２８】
　ミストフィルタ本体３５０では，上述のように，
複数のプレート３２０とプレート３３０により入り組んだ複雑なガス経路３７０を構成しているので
加熱された平板状のプレート３２８，３３８への衝突確率を高めることができる
気化不良や再液化で生じた液滴は，十分な熱量をもったミストフィルタ本体３５０内で，加熱された平板状のプレート３２８，３３８に衝突しながら再加熱され，気化される
「
」
「
」
「
」
「
」
（２）上記記載から，引用文献１には，引用文献１の請求項３に記載された発明の一態様として，次の発明（以下，「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「基板を収容する処理室と，
　前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給系と，
　前記処理室を排気する排気系と，
　を備える基板処理装置であって，
　前記処理ガス供給系は，
　液体原料が供給される気化器と，
　前記気化器の下流に配置されたミストフィルタ３００と，を有し，
　前記ミストフィルタ３００のミストフィルタ本体３５０は，両端の端部プレート３１０，３４０と，端部プレート３１０，３４０間に配置された２種類のプレート３２０，３３０とを備えており，
　前記２種類のプレート３２０，３３０はそれぞれ複数個設けられ，端部プレート３１０，３４０間に交互に配置されており，
　前記プレート３２０は平板状のプレート（プレート部）３２８と，プレート３２８の外周に設けられた外周部３２９とを備えており，プレート３２８には，その外周付近のみに穴３２２が複数設けられており，
　前記プレート３３０は平板状のプレート（プレート部）３３８と，プレート３３８の外周に設けられた外周部３３９とを備えており，プレート３３８には，その中心付近のみ（プレート３２８において穴３２２が形成される位置とは異なる位置）に穴３３２が複数設けられており，
　液体原料が気化器で気化して気体状態となった原料ガスおよび気化不良や再液化で生じた液滴は，端部プレート３１０および継手内のガス経路からミストフィルタ本体３５０内に導入され，１枚目のプレート３２０の平板状のプレート３２８の中央部４２１（穴３２２が形成されていない部位）に衝突し，その後，プレート３２８の外周付近に設けられた穴３２２を通過して，２枚目のプレート３３０の平板状のプレート３３８の外周部４３２（穴３３２が形成されていない部位）に衝突し，その後，プレート３３８の中心付近に設けられた穴３３２を通過して，３枚目のプレート３２０の平板状のプレート３２８の中央部４２２（穴３２２が形成されていない部位）に衝突し，その後，同様にしてプレート３３０，３２０を順次通過して端部プレート３４０および継手内のガス経路を通ってミストフィルタ本体３５０から導出される基板処理装置。」
　２　引用文献２について
　また，原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２には，図面とともに次の事項が記載されている。
「【請求項１】
　
クランク室からのブローバイガスを吸気通路に導き，ブローバイガスに含まれるオイルミストを分離するオイルセパレータ室を備える内燃機関のオイルセパレータ構造において，
　
オイルセパレータ室を通過するブローバイガスを蛇行させるじゃま板と，
　
じゃま板の表面に刻まれるオイル捕集溝と，
　
オイル捕集溝を画成し，ブローバイガスの流れに対向するオイル衝突面と，
　
オイル捕集溝を画成し，ブローバイガスの流れに沿って傾斜するオイル戻し面と，
　
を備えたことを特徴とする内燃機関のオイルセパレータ構造
「【０００１】
【産業上の利用分野】
　
本発明は，内燃機関のオイルセパレータ構造の改良に関するものである
【０００２】
【従来の技術】
　
燃焼室からクランク室またはシリンダヘッド上の動弁室に吹き抜けたブローバイガスを吸気系に還流する内燃機関にあっては，ブローバイガスと共にオイルミストが持ち去られることを防止する必要がある
【０００３】
　
従来のオイルセパレータ構造として，例えば図９に示すようなものがある
【０００４】
　エンジンのクランク室から排出されるブローバイガスを吸気系に導くオイルセパレータ室９１の内部に，複数のじゃま板９２が通路方向に直交して設けられる。ブローバイガスは，じゃま板９２に案内されて蛇行しながら流れる。
【０００５】
　
じゃま板９２の表面には多数の窪み９３か形成される
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
　
しかしながら，このような従来装置にあっては，各窪み９３に溜まったオイル分が再びブローバイガス中に飛散するため，オイルの戻りが遅れ，オイル消費を増大させる可能性があった
【０００７】
　
本発明は上記の問題点を解消し，オイルセパレータ室からオイルを速やかに戻す構造を提供することを目的とする
「【００３３】
　図２に示すように，オイルセパレータ室２は，ロッカーカバー５とバッフルプレート１７の間に画成される。
【００３４】
　バッフルプレート１７の前端にはブローバイガス取入口２１が開口し，ロッカーカバー５の後端にはブローバイガス排出口２２が開口する。
【００３５】
　オイルセパレータ室２を通過するブローバイガスを蛇行させる複数のじゃま板２３，２４を備える。なお，オイルセパレータ室１を通過するブローバイガスを蛇行させる複数のじゃま板（図示せず）を備える。
【００３６】
　３枚のじゃま板２３がバッフルプレート１７の底面１７ａからオイルセパレータ室２に突出する一方，３枚のじゃま板２４がロッカーカバー５の天井面５ａからオイルセパレータ室２に突出し，ブローバイガスを図中矢印で示すように蛇行させるようになっている。
【００３７】
　図１にも示すように，じゃま板２３の表面には多数のオイル捕集溝２５が刻まれる。
【００３８】
　オイル捕集溝２５の断面はノコ歯状に形成される。すなわち，オイル捕集溝２５は，図１，図２に矢印で示すブローバイガスの流れに対向するオイル衝突面２６と，ブローバイガスの流れに沿って傾斜するオイル戻し面２７とによって画成される。
【００３９】
　オイル捕集溝２５はじゃま板２３の先端部２３ａと平行方向に延びる直線状に形成される。すなわち，じゃま板２３は垂直方向に配置されるのに対して，オイル衝突面２６は水平方向に配置され，オイル戻し面２７は水平線に対して所定角度で傾斜して形成される。
【００４０】
　この実施例では，各オイル捕集溝２５は，水平方向に直線状に延びている。
【００４１】
　バッフルプレート１７にはオイルセパレータ室２でブローバイガスから分離されたオイル分を動弁室１６を経てオイルパン１９へと戻す複数のオイル戻し穴２８が開口する。オイル戻し穴２８はバッフルプレート１７に接続される筒状をしたガイドパイプ２９によって画成される。
【００４２】
　各オイル戻し穴２８は，じゃま板２３の基端部２３ｂに近接してバッフルプレート１７に開口される。これにより，各オイル戻し穴２８は，オイルセパレータ室２においてブローバイガスの流速が最も低い領域に開口する。この実施例では，各オイル戻し穴２８は，じゃま板２４に背後に対峙するじゃま板２３の直上流側に位置して開口する。
【００４３】
　なお，ロッカーカバー５の天井面５ａからオイルセパレータ室２に突出した各じゃま板２４にも，図２に矢印で示すブローバイガスの流れに対向するオイル衝突面と，ブローバイガスの流れに沿って傾斜するオイル戻し面とによって画成されるオイル捕集溝２５が形成される。
【００４４】
　以上のように構成され，次に作用について説明する。
【００４５】
　オイルセパレータ室２を流れるブローバイガスは，図２に矢印で示すように，各じゃま板２３，２４に案内されて蛇行する。
【００４６】
　ブローバイガスがオイルセパレータ室２を蛇行しながら通過する過程で，ブローバイガス中に含まれるオイルミストがじゃま板２３に付着し，じゃま板２３からバッフルプレート１７上を経てオイル戻し穴２８へと流下する。オイル戻し穴２８から動弁室１６に流下したオイルは，オイル落とし穴１８を通ってオイルパン１９へと戻される。
【００４７】
　図１に矢印で示すように，ブローバイガスがじゃま板２３に沿って流れる過程で，ブローバイガス中で比重が大きいオイルミストは，これに働く慣性力によりその多くがじゃま板２３に衝突する。
【００４８】
　じゃま板２３に刻まれた各オイル捕集溝２５は，そのオイル衝突面２６がブローバイガスと共にじゃま板２３に衝突するオイルミストに対向する構造のため，オイルミストがブローバイガスと分離してじゃま板２３に付着する捕集効率を高められる。
【００４９】
　オイルセパレータ室２に突出するじゃま板２３の端部２３ａと平行方向に延びるオイル捕集溝２５は，そのオイル衝突面２７がじゃま板２３に沿って流れるブローバイガスに正面図上直交して対向する構造のため，オイルミストがブローバイガスと分離してじゃま板２３に付着する捕集効率を高められる。
【００５０】
　各オイル捕集溝２５のオイル衝突面２６に付着したオイルは，じゃま板２３に沿って流下する。オイル戻し面２７は，ブローバイガスの流れ方向に沿って傾斜しているため，一旦じゃま板２３に付着したオイル分が再びブローバイガス中に飛散することを抑制し，じゃま板２３からバッフルプレート１７上へと速やかに流下する。
【００５１】
　一方，ロッカーカバー５の天井面５ａからオイルセパレータ室２に突出した各じゃま板２４についても，オイル捕集溝２５のオイル衝突面を介して，オイルミストの捕集効率が高められる。オイル衝突面上に付着したオイルミストは，大きな液滴に成長し，再びブローバイガス中に飛散することなく，じゃま板２４からバッフルプレート１７上へと速やかに流下する。
【００５２】
　各オイル戻し穴２８は，オイルセパレータ室２においてブローバイガスの流速が最も低い領域に開口しているため，じゃま板２３またはバッフルプレート１７からオイル戻し穴２８に流入するオイルが，再びブローバイガス中に飛散することを抑制する。
【００５３】
　
この結果，オイル分が十分に分離されたブローバイガスが吸気通路７に還流され，オイルの消費量を低減することができる
「
」
「
」
　３　引用文献３について
　また，原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３には，図面とともに次の事項が記載されている。
「［0018］FIG. 1  shows a section of an oil mist separator of a device for crankcase venting of an internal combustion engine of a motor vehicle, comprising a deflector wall with pyramid-shaped structural bodies according to a first embodiment.」（当審で作成した日本語訳：図１は，第１実施形態によるピラミッド状の構造体を有する偏向壁からなる自動車の内燃機関のクランクケースベント用装置のオイルミスト分離の一例を示す断面図である。）
「
」
第６　対比・判断
　１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比すると，次のことがいえる。
　ア　引用発明における「『平板状のプレート（プレート部）３２８と，プレート３２８の外周に設けられた外周部３２９とを備えており，プレート３２８には，その外周付近のみに穴３２２が複数設けられて』いる『前記プレート３２０』」と，本願発明１における「中心付近に前記溝が複数設けられ，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレート」は，いずれも，「外周側に前記孔が複数設けられる第１プレート」である点で一致する。
　イ　引用発明における「『平板状のプレート（プレート部）３３８と，プレート３３８の外周に設けられた外周部３３９とを備えており，プレート３３８には，その中心付近のみ（プレート３２８において穴３２２が形成される位置とは異なる位置）に穴３３２が複数設けられて』いる『前記プレート３３０』」と，本願発明１における「外周側に前記溝が複数設けられ，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレート」は，いずれも，「中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレート」である点で一致する。
　したがって，本願発明１と引用発明との間には，次の一致点，相違点があるといえる。
（一致点）
「基板を収容する処理室と，
　前記処理室に原料ガスを供給する処理ガス供給系と，
　前記処理室を排気する排気系と，
　を備え，
　前記処理ガス供給系は，
　液体原料等の原料が供給される気化器と，
　前記気化器の下流に配置されたミストフィルタと，を有し，
　前記ミストフィルタは，互いに異なる位置に，前記原料ガスの流路として複数の孔により形成される流路が各々配置される部分，をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成される際，
外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートと，が交互に配置され，
前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに衝突させるように構成される基板処理装置。」
（相違点）
（相違点１）本願発明１では，第１プレートの「中心付近に前記溝が複数設けられ」，また，第２プレートの「外周側に前記溝が複数設けられ」ており，その結果として，ミストフィルタは，互いに異なる位置に「前記流路を通過した前記原料ガスの流れ方向に面する位置に設けられる複数の溝が配置される部分」をそれぞれ有する少なくとも２種のプレートを組み合わせて構成されるものとなり，さらに，「前記第１プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第２プレートに設けられる前記溝に衝突させ，前記第２プレートの前記孔を通過した前記原料ガスを前記第１プレートに設けられる前記溝に衝突させる」ように構成されているのに対し，引用発明では，プレート３２０におけるプレート３２８の内周部，及び，プレート３３０におけるプレート３３８の外周部は，いずれも「平板状」であること。
（２）相違点についての判断
　上記相違点１について検討すると，引用文献２には，内燃機関のオイルセパレータ構造の改良に関する以下のア，イのとおりの技術的事項が記載されている。
　ア　燃焼室からクランク室またはシリンダヘッド上の動弁室に吹き抜けたブローバイガスを吸気系に還流する内燃機関にあっては，ブローバイガスと共にオイルミストが持ち去られることを防止する必要があるところ，従来のオイルセパレータ構造として知られている，じゃま板９２の表面に多数の窪み９３を形成する構造では，各窪み９３に溜まったオイル分が再びブローバイガス中に飛散するため，オイルの戻りが遅れ，オイル消費を増大させる可能性があったこと。
　イ　クランク室からのブローバイガスを吸気通路に導き，ブローバイガスに含まれるオイルミストを分離するオイルセパレータ室を備える内燃機関のオイルセパレータ構造において，じゃま板の表面に刻まれるオイル捕集溝を，ブローバイガスの流れに対向するオイル衝突面と，ブローバイガスの流れに沿って傾斜するオイル戻し面によって画成されるものとすることによって，ブローバイガスと共にオイルミストが持ち去られることを防止し，オイルセパレータ室からオイルを速やかに戻す構造が提供されること。
　また，引用文献３には，ピラミッド状の構造体を有する偏向壁からなる自動車の内燃機関のクランクケースベント用装置のオイルミスト分離の一例を示す断面図が記載されている。
　そうすると，「基板を収容する処理室と，前記処理室に処理ガスを供給する処理ガス供給系と，前記処理室を排気する排気系と，を備える基板処理装置」に適用される引用発明と，「内燃機関」に適用される引用文献２，３に記載された技術とは，その技術が適用される製品の観点において，技術分野が異なる。
　さらに，引用発明は，「気化不良や再液化で生じた液滴は，十分な熱量をもったミストフィルタ本体３５０内で，加熱された平板状のプレート３２８，３３８に衝突しながら再加熱され，気化される」（【００２８】）という作用，機能を奏させることを課題とした発明であるのに対して，引用文献２，３に記載された技術は，オイルを分離し，回収することを目的とするものであるから，引用発明と，引用文献２，３に記載された技術とは，課題や作用，機能といった観点においても相違する。
　してみれば，引用発明と，引用文献２，３に記載された技術とは，関連する技術分野が異なるから，引用発明に，引用文献２，３に記載された技術を適用する動機付けを見いだすことはできない。したがって，本願発明１の上記相違点１に係る構成は，当業者であっても引用発明，引用文献２，３に記載された技術的事項に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
　２　本願発明２ないし１３について
　本願発明２ないし１３も，本願発明１の「中心付近に前記溝が複数設けられ」，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，「外周側に前記溝が複数設けられ」，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートという構成を備えるものであるから，本願発明１と同じ理由により，当業者であっても，引用発明，拒絶査定において引用された引用文献２，３に記載された技術的事項及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
　３　本願発明１４について
　本願発明１４は，本願発明１に対応する方法の発明であり，本願発明１の「中心付近に前記溝が複数設けられ」，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，「外周側に前記溝が複数設けられ」，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートに対応する構成を備えるものであるから，本願発明１と同様の理由により，当業者であっても，引用発明，拒絶査定において引用された引用文献２，３に記載された技術的事項及び上記周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第７　原査定について
　審判請求時の補正により，本願発明１ないし１４は，「中心付近に前記溝が複数設けられ」，外周側に前記孔が複数設けられる第１プレートと，「外周側に前記溝が複数設けられ」，中央付近に複数の前記孔が設けられる第２プレートという事項を有するものとなっており，当業者であっても，拒絶査定において引用された引用文献１ないし３に基づいて，容易に発明できたものとはいえない。したがって，原査定の理由を維持することはできない。
第８　むすび
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。