【手続補正書】
【提出日】平成31年1月11日(2019.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
低摩擦被膜を製造する方法であって、
金属またはセラミックスを用いて形成された摺動面と、非晶質炭素系膜を含む被摺動面とが配置される空間を、水酸基含有化合物と水素および窒素の少なくとも一方とを含むガス雰囲気に置換する置換工程と、
前記空間が、水酸基含有化合物と水素および窒素の少なくとも一方とを含む前記ガス雰囲気とされている状態で、前記摺動面を前記被摺動面に対し、１．０ＧＰａ以上のヘルツ接触応力で相対摺動させる摺動工程とを含み、
前記摺動工程によって、前記摺動面に前記低摩擦被膜を形成する、低摩擦被膜製造方法。
【請求項２】
前記ガス雰囲気は、さらに炭化水素系物質を含む、請求項１に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項３】
前記水酸基含有化合物および前記炭化水素系物質は、アルコールを含む、請求項２に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項４】
前記アルコールは、メタノールを含む、請求項３に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項５】
前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、
前記液体のメタノールおよび前記液体の水に対する当該液体のメタノールの体積％濃度が、６％〜１５％である水溶液から発生する気体のメタノールと気体の水蒸気とを含む、請求項４に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項６】
前記アルコールは、エタノールを含む、請求項３に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項７】
前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、
前記液体のエタノールおよび前記液体の水に対する当該液体のエタノールの体積％濃度が、６％〜３０％である水溶液から発生する気体のエタノールと気体の水蒸気とを含む、請求項６に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項８】
前記液体のエタノールおよび前記液体の水に対するエタノールの体積％濃度が、１５％〜２５％である水溶液から発生する気体のエタノールと水蒸気とを含む、請求項７に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項９】
前記アルコールは、１−プロパノールを含む、請求項３に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１０】
前記アルコールは、２−プロパノールを含む、請求項３に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１１】
前記水酸基含有化合物は、前記アルコールを１００％の割合で含む液から発生する気体のアルコールである、請求項３，４，６，９，１０のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１２】
前記水酸基含有化合物は、水を含む、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１３】
前記ヘルツ接触応力は、１．３ＧＰａ〜２．４ＧＰａである、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１４】
前記非晶質炭素系膜が、短鎖ポリアセチレン系分子を主成分として含む、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１５】
前記非晶質炭素系膜は、炭化水素系ガスの雰囲気環境下で、バイアス電圧を印加しながらイオン化蒸着法により形成された被膜を含む、請求項１〜１４のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１６】
前記非晶質炭素系膜は、炭化水素系ガスの雰囲気環境下で、高バイアス電圧を印加しながらイオン化蒸着法により形成された被膜を含み、
前記非晶質炭素系膜には、水素および酸素の少なくとも一方が添加されている、請求項１５に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１７】
前記摺動部材は、ＺｒＯ２を用いて形成されている、請求項１〜１６のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１８】
前記空間に前記水酸基含有化合物を供給する供給工程と、
前記摺動工程の開始後、前記水酸基含有化合物の前記空間への供給を停止する供給停止工程とを含む、請求項１〜１７のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項１９】
前記摺動工程に並行して、前記空間に前記水酸基含有化合物を供給する供給状態と、当該空間に前記水酸基含有化合物の供給を停止する供給停止状態とを交互に繰り返す工程をさらに含む、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項２０】
前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、
前記メタノールは気体状態で第１のキャリアガスによって流動し、
前記水は気体状態で第２のキャリアガスによって流動し、
前記気体のメタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のメタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、６％〜１５％である、請求項４に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項２１】
前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、
前記エタノールは気体状態で第１のキャリアガスによって流動し、
前記水は気体状態で第２のキャリアガスによって流動し、
前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、６％〜３０％である、請求項６に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項２２】
前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、１５％〜２５％である、請求項２１に記載の低摩擦被膜製造方法。
【請求項２３】
前記炭化水素系物質は、エチレンを含む、請求項２に記載の低摩擦被膜製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】低摩擦被膜製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
摺動面（摺動部）の摩擦係数を、潤滑剤を別途用いることなく低減させることが求められている。さらに、摩擦係数が低い状態が、摺動面で安定的に生じることも望まれている。
そこで、本発明の目的は、低い摩擦係数を安定的に発揮する低摩擦被膜を製造するための低摩擦被膜製造方法を提供することである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
前記の目的を達成するための請求項１の発明は、低摩擦被膜（５）を製造する方法であって、金属またはセラミックスを用いて形成された摺動面（６）と、非晶質炭素系膜（９）を含む被摺動面（７）とが配置される空間（１０）を、水酸基含有化合物と水素および窒素の少なくとも一方とを含むガス雰囲気に置換する置換工程と、前記空間が、水酸基含有化合物と水素および窒素の少なくとも一方とを含む前記ガス雰囲気とされている状態で、前記摺動面を前記被摺動面に対し、１．０ＧＰａ以上のヘルツ接触応力で相対摺動させる摺動工程とを含み、前記摺動工程によって、前記摺動面に前記低摩擦被膜を形成する、低摩擦被膜製造方法を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
なお、括弧内の数字等は、後述する実施形態における対応構成要素等を表すが、このことは、むろん、本発明がそれらの実施形態に限定されるべきことを意味するものではない。以下、この項において同じ。
請求項２に記載の発明は、前記ガス雰囲気は、さらに炭化水素系物質を含む、請求項１に記載の低摩擦被膜製造方法である。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
請求項３に記載の発明は、前記水酸基含有化合物および前記炭化水素系物質は、アルコールを含む、請求項２に記載の低摩擦被膜製造方法である。
請求項４に記載の発明は、前記アルコールは、メタノール（ＣＨ３ＯＨ）を含む、請求項３に記載の低摩擦被膜製造方法である。
請求項５に記載の発明は、前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、前記液体のメタノールおよび前記液体の水に対する当該液体のメタノールの体積％濃度が、６％〜１５％である水溶液から発生する気体のメタノールと気体の水蒸気とを含む、請求項４に記載の低摩擦被膜製造方法である。なお、「前記液体のメタノールおよび前記液体の水に対する当該液体のメタノールの体積％濃度」とは、混合する前の液体のメタノール単体の体積と、混合する前の液体の水単体の体積と、を合計した値に対する混合する前の液体のメタノール単体の体積を示す。同様に、「前記液体のエタノールおよび前記液体の水に対する当該液体のエタノールの体積％濃度」とは、混合する前の液体のエタノール単体の体積と、混合する前の液体の水単体の体積と、を合計した値に対する混合する前の液体のエタノール単体の体積を示す。同様に、「前記液体のアルコールおよび前記液体の水に対する当該液体のアルコールの体積％濃度」とは、混合する前の液体のアルコール単体の体積と、混合する前の液体の水単体の体積と、を合計した値に対する混合する前の液体のアルコール単体の体積を示す。同様に、「前記液体の１−プロパノールおよび前記液体の水に対する当該液体の１−プロパノールの体積％濃度」とは、混合する前の液体の１−プロパノール単体の体積と、混合する前の液体の水単体の体積と、を合計した値に対する混合する前の液体の１−プロパノール単体の体積を示す。同様に、「前記液体の２−プロパノールおよび前記液体の水に対する当該液体の２−プロパノールの体積％濃度」とは、混合する前の液体の２−プロパノール単体の体積と、混合する前の液体の水単体の体積と、を合計した値に対する混合する前の液体の２−プロパノール単体の体積を示す。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項１９に記載の発明は、前記摺動工程に並行して、前記空間に前記水酸基含有化合物を供給する供給状態と、当該空間に前記水酸基含有化合物の供給を停止する供給停止状態とを交互に繰り返す工程をさらに含む、請求項１〜１８のいずれか一項に記載の低摩擦被膜製造方法である。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
請求項２０に記載の発明は、前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、前記メタノールは気体状態で第１のキャリアガスによって流動し、前記水は気体状態で第２のキャリアガスによって流動し、前記気体のメタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のメタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、６％〜１５％である、請求項４に記載の低摩擦被膜製造方法である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
請求項２１に記載の発明は、前記水酸基含有化合物は、水をさらに含み、前記エタノールは気体状態で第１のキャリアガスによって流動し、前記水は気体状態で第２のキャリアガスによって流動し、前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、６％〜３０％である、請求項６に記載の低摩擦被膜製造方法である。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
請求項２２に記載の発明は、前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量と、前記気体の水を含んだ第２のキャリアガスの流量と、の合計に対する前記気体のエタノールを含んだ第１のキャリアガスの流量の比が、１５％〜２５％である、請求項２１に記載の低摩擦被膜製造方法である。
請求項２３に記載の発明は、前記炭化水素系物質が、エチレンを含む、請求項２に記載の低摩擦被膜製造方法である。