Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】令和1年9月2日(2019.9.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
少なくとも１つの対象機器（ＢＰ）の温度を調整する機器温調装置であって、
前記対象機器の冷却時に前記対象機器から吸熱して液状の作動流体を蒸発させる機器用熱交換器（１２）と、
前記対象機器の冷却時に前記機器用熱交換器にて蒸発したガス状の作動流体を凝縮させる少なくとも１つの凝縮器（１４）と、
前記機器用熱交換器にて蒸発したガス状の作動流体を前記凝縮器に導くガス通路部（１８）と、
前記凝縮器にて凝縮した液状の作動流体を前記機器用熱交換器に導く液通路部（１６）と、
前記機器用熱交換器、前記凝縮器、前記ガス通路部、および前記液通路部を含んで構成される流体循環回路（１０）における所定箇所に設けられ、作動流体の所定の状態量を検出する状態量検出部（１６２、１６４、１８２、１８４）と、
前記状態量検出部にて検出された状態量と所定の目標状態量との差が小さくなるように前記凝縮器の放熱能力を調整する制御装置（１００）と、を備え、
前記流体循環回路には、前記凝縮器が複数設けられており、
前記制御装置は、複数の前記凝縮器のうち一部の凝縮器の放熱能力を他の凝縮器の放熱能力とは別個に調整可能に構成されている、機器温調装置。
【請求項２】
前記対象機器の発熱量に相関性を有する物理量を検出する発熱量検出部（１００ｂ）を備え、
前記制御装置は、少なくとも前記対象機器の発熱量の増加にともなって前記凝縮器の放熱能力が増加するように前記目標状態量を決定する請求項１に記載の機器温調装置。
【請求項３】
前記機器用熱交換器には、重力方向の上方側の部位に設けられて作動流体が流入または流出する上方側接続部（１２５）、前記上方側接続部よりも重力方向の下方側の部位に設けられて作動流体が流入または流出する下方側接続部（１２６）が含まれており、
前記上方側接続部には、前記ガス通路部が接続され、
前記下方側接続部には、前記液通路部が接続されている請求項１または２に記載の機器温調装置。
【請求項４】
前記制御装置は、少なくとも前記目標状態量に基づいて、複数の前記凝縮器から少なくとも１つを選択し、選択した前記凝縮器の放熱能力を調整する請求項１ないし３のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項５】
前記制御装置は、少なくとも前記状態量検出部にて検出された状態量および前記目標状態量との関係に基づいて、複数の前記凝縮器それぞれの放熱能力の調整順序を変更する請求項１ないし４のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項６】
前記状態量検出部は、少なくとも作動流体の温度または圧力を検出する請求項１ないし５のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項７】
前記状態量検出部は、前記液通路部、前記凝縮器のうちガス状の作動流体よりも液状の作動流体が存在し易い部位（１４３）、前記機器用熱交換器のうちガス状の作動流体よりも液状の作動流体が存在し易い部位（１２２）の少なくとも一箇所に設けられている請求項１ないし６のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項８】
前記状態量検出部は、前記液通路部のうち、前記凝縮器よりも前記機器用熱交換器に近い部位に設けられている請求項７に記載の機器温調装置。
【請求項９】
前記流体循環回路には、前記機器用熱交換器が複数設けられており、
前記液通路部は、前記凝縮器に接続される上流側液通路（１６５）、複数の前記機器用熱交換器に接続される複数の下流側液通路（１６６ａ〜１６６ｄ）、前記上流側液通路を前記複数の下流側液通路に分岐させる分岐部（１６７）を含んで構成されており、
前記状態量検出部は、前記上流側液通路のうち前記凝縮器よりも前記分岐部に近い部位、および前記複数の下流側液通路のうち前記分岐部よりも前記機器用熱交換器に近い部位の少なくとも一箇所に設けられている請求項７または８に記載の機器温調装置。
【請求項１０】
前記状態量検出部は、前記ガス通路部、前記凝縮器のうち液状の作動流体よりもガスの作動流体が存在し易い部位（１４４）、前記機器用熱交換器のうち液状の作動流体よりもガスの作動流体が存在し易い部位（１２１）の少なくとも一箇所に設けられている請求項１ないし６のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項１１】
前記状態量検出部は、前記ガス通路部のうち、前記凝縮器よりも前記機器用熱交換器に近い部位に設けられている請求項１０に記載の機器温調装置。
【請求項１２】
前記流体循環回路には、前記機器用熱交換器が複数設けられており、
前記ガス通路部は、前記凝縮器に接続される下流側ガス通路（１８６）、複数の前記機器用熱交換器に接続される複数の上流側ガス通路（１８５ａ〜１８５ｄ）、前記複数の上流側ガス通路を前記下流側ガス通路に合流させる合流部（１８７）を含んで構成されており、
前記状態量検出部は、前記下流側ガス通路のうち前記凝縮器よりも前記合流部に近い部位、および前記複数の上流側ガス通路のうち前記合流部よりも前記機器用熱交換器に近い部位の少なくとも一箇所に設けられている請求項１０または１１に記載の機器温調装置。
【請求項１３】
前記制御装置は、前記対象機器の冷却開始から所定の基準時間経過しても前記状態量検出部にて検出された状態量が前記目標状態量に近づかない場合、外部に情報を報知するための報知装置（１３０）に対して少なくとも作動不良状態を示す作動不良信号を出力する請求項１ないし１２のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【請求項１４】
前記制御装置は、外部に情報を報知するための報知装置（１３０）に対して少なくとも前記状態量検出部にて検出された状態量を示す作動状態信号を出力する請求項１ないし１３のいずれか１つに記載の機器温調装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本開示は、少なくとも１つの対象機器（ＢＰ）の温度を調整する機器温調装置を対象としている。上記目的を達成するため、請求項１に記載の発明は、
対象機器の冷却時に対象機器から吸熱して液状の作動流体を蒸発させる機器用熱交換器（１２）と、
対象機器の冷却時に機器用熱交換器にて蒸発したガス状の作動流体を凝縮させる少なくとも１つの凝縮器（１４）と、
機器用熱交換器にて蒸発したガス状の作動流体を凝縮器に導くガス通路部（１８）と、
凝縮器にて凝縮した液状の作動流体を機器用熱交換器に導く液通路部（１６）と、
機器用熱交換器、凝縮器、ガス通路部、および液通路部を含んで構成される流体循環回路（１０）における所定箇所に設けられ、作動流体の所定の状態量を検出する状態量検出部（１６２、１６４、１８２、１８４）と、
状態量検出部にて検出された状態量と所定の目標状態量との差が小さくなるように凝縮器の放熱能力を調整する制御装置（１００）と、を備え、
流体循環回路には、凝縮器が複数設けられており、
制御装置は、複数の凝縮器のうち一部の凝縮器の放熱能力を他の凝縮器の放熱能力とは別個に調整可能に構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月5日(2019.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の輝度ダイナミックレンジに対応する色データから第２の輝度ダイナミックレンジに対応する色データに変換されたフレーム画像中の各画素の色データの値が所定の飽和値を超えたか否かにより画素毎の前記各色データの飽和を検出する飽和検出回路と、
前記飽和が検出された画素が飽和していない状態の輝度値を保つために必要なデータ量を計算して、前記飽和が検出された画素において前記飽和が検出された飽和色データ以外の飽和していない他の非飽和色データに、配分して出力するデータ配分回路と、
を有するダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項２】
前記データ配分回路は、前記他の非飽和色データの前記所定の飽和値までの差に応じたデータから前記データ量を計算して、前記他の非飽和色データに配分する、請求項１に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項３】
前記フレーム画像は、ＲＧＢの３つの色データを含み、
前記データ配分回路は、前記３つの色データの中の１又は２つの色データの値が前記所定の飽和値を超えたとき、前記３つの色データの中の前記１又は２つの色データ以外の他の色データについての前記差に応じたデータから前記データ量を計算して、前記他の非飽和色データである前記他の色データに配分する、請求項２に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項４】
前記第２の輝度ダイナミックレンジの前記各画素の色データと、前記データ配分回路において計算された前記データ量が配分された前記非飽和色の色データとを、設定されたブレンドパラメータに基づいて前記各画素の色毎にブレンドするブレンド回路を有する、請求項１に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項５】
第１の輝度ダイナミックレンジに対応する色データから第２の輝度ダイナミックレンジに対応する色データに変換されたフレーム画像中の各画素の色データの値が所定の飽和値を超えたか否かにより画素毎の前記各色データの飽和を検出する飽和検出回路と、
前記飽和が検出された画素において前記飽和が検出された飽和色データ以外の飽和していない他の非飽和色データに、前記飽和色データの一部を加算するように配分して出力するデータ配分回路と、
を有するダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項６】
前記データ配分回路は、前記他の非飽和色データに、前記飽和が検出された前記飽和色データの前記所定の飽和値をオーバーしている分だけ加算する、請求項５に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項７】
前記フレーム画像は、ＲＧＢの３つの色データを含み、
前記データ配分回路は、前記３つの色データの中の１つの色データの値が前記所定の飽和値を超えたとき、前記１つの色データの値が前記所定の飽和値からオーバーしている分に応じたデータを、前記飽和色データの一部として前記他の非飽和色データの１つ又は２つに加算する、請求項６に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項８】
前記第２の輝度ダイナミックレンジの前記各画素の色データと、前記データ配分回路において前記飽和が検出された画素の色データの一部が加算された前記非飽和色の色データとを、設定されたブレンドパラメータに基づいて前記各画素の色毎にブレンドするブレンド回路を有する、請求項５に記載のダイナミックレンジ圧縮装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか１つに記載のダイナミックレンジ圧縮装置を有する画像処理装置。
【手続補正書】
【提出日】平成31年3月22日(2019.3.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
カメラの撮像データから抽出した文字を含む抽出文字要素を取得する第１取得手段と、
場所に関する関係情報と当該場所の特定に用いる文字情報とを関連付けて記憶するデータベースから、前記抽出文字要素に対応する前記関係情報を取得する第２取得手段と、
前記撮像データにより示される画像と共に、前記第２取得手段によって取得された前記関係情報をディスプレイに表示させる表示制御手段と、
を備える情報処理装置。
【請求項２】
前記第１取得手段は、複数の前記抽出文字要素を取得し、
前記第２取得手段は、前記場所の特定に用いる複数の前記文字情報を含む前記データベースから、複数の前記抽出文字要素を用いて特定される前記場所に対応する前記関係情報を取得する
請求項１記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記第１取得手段は、複数の前記抽出文字要素にそれぞれ対応する複数の抽出位置の位置関係を示す抽出位置関係をさらに取得し、
前記第２取得手段は、前記データベースから、前記抽出位置関係に応じて特定される前記場所に対応する前記関係情報を取得する
請求項２記載の情報処理装置。
【請求項４】
前記抽出位置関係に基づいて、前記カメラによる撮像方向及び撮像位置の少なくとも一方を特定する特定手段をさらに備える
請求項３記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記第１取得手段は、前記抽出文字要素と共に前記抽出文字要素の特徴を示す抽出特徴要素を取得し、
前記第２取得手段は、前記関係情報と前記文字情報に係る実在特徴要素とを関連付けて記憶する前記データベースから、前記抽出特徴要素に対応する前記実在特徴要素に関連付けられている前記関係情報を取得する
請求項１から請求項４の何れか１項記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記第１取得手段は、前記カメラにより連続的に撮像された複数の前記撮像データから、当該各撮像データにおいて抽出位置が変化しない前記抽出文字要素を取得する
請求項１から請求項５の何れか１項記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記カメラの位置を示す位置情報を取得する第３取得手段をさらに備え、
前記第２取得手段は、前記関係情報と前記文字情報に係る地域要素とを関連付けて記憶する前記データベースから、前記位置情報に対応する前記地域要素に関連付けられている前記関係情報を取得する
請求項１から請求項６の何れか１項記載の情報処理装置。
【請求項８】
コンピュータを、
カメラの撮像データから抽出した文字を含む抽出文字要素を取得する第１取得手段と、
場所に関する関係情報と当該場所の特定に用いる文字情報とを関連付けて記憶するデータベースから、前記抽出文字要素に対応する前記関係情報を取得する第２取得手段と、
前記撮像データにより示される画像と共に、前記第２取得手段によって取得された前記関係情報をディスプレイに表示させる表示制御手段と、
して機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】情報処理装置及びプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、情報処理装置及びプログラムに関するものである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、より簡易に被写体に関する情報を実画像と共にディスプレイに表示できる、情報処理装置及びプログラムを提供することを目的とする。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月7日(2019.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】チャージポンプ回路
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明の実施形態は、チャージポンプ回路に関する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
実施形態は、雑音の発生を抑え、かつより小型化することができるチャージポンプ回路を提供することを目的とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
定電流源の基準電流をミラーした電流を第１出力端子と第２出力端子に流すカレントミラー回路と、
前記第１出力端子とチャージポンプ出力端子を接続又は遮断する第１駆動スイッチと、
コンデンサと、
前記第２出力端子と所定電圧を与えるノードの間の放電経路上、又は、前記チャージポンプ出力端子とＧＮＤの間の充電経路上のいずれかに、前記コンデンサを接続するスイッチ回路と、
を有するチャージポンプ回路。
【請求項２】
前記スイッチ回路は、放電スイッチと充電スイッチを有し、
前記放電スイッチは、前記コンデンサの第１端と前記第２出力端子、及び、前記コンデンサの第２端と前記ノードの接続又は遮断を行い、
前記充電スイッチは、前記第１端と前記ＧＮＤ、及び、前記第２端と前記チャージポンプ出力端子の接続又は遮断を行い、
前記放電スイッチを接続状態、かつ前記充電スイッチを遮断状態にすると、前記コンデンサは、前記放電経路上に接続され、
前記放電スイッチを遮断状態、かつ前記充電スイッチを接続状態にすると、前記コンデンサは、前記充電経路上に接続される、
請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【請求項３】
増幅器を有し、
前記増幅器は、反転入力端子と増幅器出力端子が互いに接続され、非反転入力端子が前記チャージポンプ出力端子と接続され、
前記増幅器出力端子は、前記ノードと接続される、
請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【請求項４】
接地スイッチを有し、
前記接地スイッチは、前記第２出力端子と前記ＧＮＤの接続又は遮断を行う、
請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【請求項５】
前記接地スイッチは、前記コンデンサが前記放電経路上に接続される前に、前記第２出力端子と前記ＧＮＤを接続する、請求項４に記載のチャージポンプ回路。
【請求項６】
前記第１駆動スイッチの駆動によって前記第１出力端子から前記チャージポンプ出力端子に前記電流の出力を行い、前記出力を行った後、前記スイッチ回路の駆動によって前記コンデンサを前記放電経路上に接続し、前記第２出力端子から出力される前記電流によって電荷の放電を行い、前記放電を行った後、前記スイッチ回路の駆動によって前記コンデンサを前記充電経路上に接続し、前記チャージポンプ出力端子から入力される充電電流によって充電を行う、請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【請求項７】
前記カレントミラー回路は、第１カレントミラーと第２カレントミラーを有し、
前記第１カレントミラーと前記第２カレントミラーは、互いに接続され、
前記第１カレントミラーは、ＮＭＯＳによって構成され、前記定電流源と接続され、
前記第２カレントミラーは、ＰＭＯＳによって構成され、前記第１出力端子と前記第２出力端子を有する、
請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【請求項８】
前記第１カレントミラーは、第１ゲートが互いに接続された第１トランジスタ、第２トランジスタ及び第３トランジスタを有し、
前記第２カレントミラーは、第２ゲートが互いに接続された第４トランジスタ、第５トランジスタ及び第６トランジスタを有し、
前記第１トランジスタのドレインは、前記第１ゲート及び前記定電流源と接続され、
前記第２トランジスタと前記第４トランジスタの各々のドレインは、互いに接続され、
前記第３トランジスタは、ソースが前記ＧＮＤと接続され、ドレインが第２駆動スイッチと接続され、
前記第２駆動スイッチは、前記第３トランジスタを介し、前記ＧＮＤと前記チャージポンプ出力端子を接続又は遮断し、
前記第５トランジスタは、前記第１出力端子を有し、
前記第６トランジスタは、前記第２出力端子を有する、
請求項７に記載のチャージポンプ回路。
【請求項９】
ドライバを有し、
前記ドライバは、前記スイッチ回路を駆動する、請求項１に記載のチャージポンプ回路。
【手続補正書】
【提出日】令和1年9月17日(2019.9.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両（１）の使用者によって携帯されて、前記使用者の操作に応じた操作信号を前記車両に送信することによって、前記車両を遠隔操作で移動させることが可能な携帯端末（１００）であって、
前記車両を撮影する撮影部（１０１）に接続されて、該撮影部から撮影画像を取得する画像取得部（１０２）と、
前記撮影画像を表示する画像表示部（１０３）と、
前記撮影画像の中から前記車両を検出して、前記車両までの距離に関する距離情報を取得する距離情報取得部（１０７）と、
前記車両までの距離が所定の許容距離以内であるか否かを、前記距離情報に基づいて判断する判断部（１０９）と、
前記使用者が前記撮影画像の表示を確認しながら操作可能に設けられた操作部（１１２）に接続されて、前記操作部に対する操作内容を検出する操作内容検出部（１１１）と、
前記車両までの距離が前記許容距離以内であると判断された場合には、前記操作内容に応じた前記操作信号を、前記車両に向けて送信する操作信号送信部（１１０）と
を備え、
前記操作信号送信部は、前記車両に向けて前記操作信号を送信した後であっても、前記撮影画像から前記車両が検出できない場合、あるいは前記車両までの距離が前記許容距離を超えていると判断された場合には、前記車両までの距離が前記許容距離以内であると判断されるまで、前記操作内容に応じた前記操作信号の送信を停止する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項２】
請求項１に記載の携帯端末であって、
前記画像表示部は、前記撮影画像に加えて、前記撮影画像に写った前記車両についての前記距離情報と、前記距離情報が前記許容距離以内であるか否かを示す情報とを表示する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の携帯端末であって、
前記距離情報取得部は、前記撮影画像に写った前記車両の大きさに基づいて、前記距離情報を取得する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項４】
請求項１または請求項２に記載の携帯端末であって、
前記撮影画像を解析して前記撮影部の焦点位置を変更することにより、前記撮影部を前記車両に合焦させる自動合焦部（１２６）を備え、
前記距離情報取得部は、前記自動合焦部が変更した前記撮影部の焦点位置の情報に基づいて、前記距離情報を取得する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項５】
請求項１ないし請求項４の何れか一項に記載の携帯端末であって、
前記使用者による前記遠隔操作の対象となる正規車両を識別するための車両識別情報を、記憶している車両識別情報記憶部（１０６）と、
前記撮影画像に写った前記車両の画像から前記車両識別情報を抽出することによって、前記車両が前記正規車両か否かを判断する正規車両判断部（１０５）と
を備え、
前記操作信号送信部は、前記車両までの距離が前記許容距離以内であると判断され、尚且つ、前記車両が前記正規車両であると判断された場合に、前記操作信号を送信する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項６】
請求項３に記載の携帯端末であって、
前記使用者による前記遠隔操作の対象となる正規車両の車両寸法に関する車両寸法情報を、記憶している車両寸法情報記憶部（１０８）を備え、
前記距離情報取得部は、前記撮影画像に写った前記車両の大きさと、前記車両寸法情報とに基づいて、前記距離情報を取得する
ことを特徴とする携帯端末。
【請求項７】
請求項１ないし請求項６の携帯端末であって、
前記車両から送信された所定の認証要求信号を受信する受信部（１１３）と、
前記認証要求信号が受信されると、予め記憶されている所定の認証信号を送信する認証信号送信部（１１４）と
を備える携帯端末。
【請求項８】
車両の使用者によって携帯された携帯端末を用いて、前記車両を遠隔操作で移動させる遠隔操作方法であって、
前記携帯端末に搭載された撮像部から、前記車両を撮影した撮影画像を取得して、前記撮影画像を表示する工程（Ｓ１０３）と、
前記撮影画像の中から前記車両を検出して、前記車両までの距離に関する距離情報を取得する工程（Ｓ１０８）と、
前記車両までの距離が所定の許容距離以内であるか否かを、前記距離情報に基づいて判断する工程（Ｓ１０９）と、
前記使用者が前記撮影画像の表示を確認しながら操作可能に設けられた操作部（１１２）に対して行われた操作内容を検出する工程（Ｓ１１２）と、
前記車両までの距離が前記許容距離以内であると判断された場合には、前記操作内容に応じた操作信号を、前記車両に向けて送信する工程（Ｓ１１４）と
を備え、
前記操作信号を送信する工程は、前記車両に向けて前記操作信号を送信した後であっても、前記撮影画像から前記車両が検出できない場合、あるいは前記車両までの距離が前記許容距離を超えていると判断された場合には、前記車両までの距離が前記許容距離以内であると判断されるまで、前記操作内容に応じた前記操作信号の送信を停止する
ことを特徴とする遠隔操作方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上述した問題を解決するために本発明の携帯端末および遠隔操作方法は、携帯端末を用いて車両を撮影して、得られた撮影画像を表示すると共に、撮影画像の中から車両を検出して、その車両までの距離に関する距離情報を取得する。更に、携帯端末には、使用者が撮影画像の表示を確認しながら操作可能な操作部が設けられており、その操作部に対する操作内容を検出する。そして、車両までの距離が許容距離以内であると判断された場合には、携帯端末から車両に向けて操作信号を送信する。但し、車両に向けて操作信号を送信した後であっても、撮影画像から車両が検出できない場合や、あるいは車両までの距離が許容距離を超えていると判断した場合には、車両までの距離が許容距離以内であると判断されるまで、操作内容に応じた操作信号の送信を停止する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
携帯端末から車両までの距離が許容距離よりも遠かった場合には、携帯端末から車両に向けて操作信号が送信されることはないから、車両が携帯端末からの操作信号を受信したと云うことは、携帯端末が車両から許容距離以内に存在することに他ならない。加えて、携帯端末から車両までの許容距離を、撮影画像に基づいて取得しているので、電波強度などに基づいて取得する場合に比べて、外乱などの影響を受け難く、このため、携帯端末が車両から許容距離以内に存在するか否かを、高い信頼性で判断することができる。その結果、車両の使用者が電子キーを携帯していなくても、車両を遠隔操作するための携帯端末を携帯していれば、許容距離よりも遠くから車両が遠隔操作される事態を回避することが可能となる。加えて、遠隔操作は、使用者が撮影画像の表示を確認しながら操作可能に儲けられた操作部を用いて行われるようになっており、遠隔操作が開始された後であっても、撮影画像から車両が検出できなくなったり、あるいは車両までの距離が許容距離を超えたりした場合には、車両までの距離が許容距離以内であると判断されるまで、遠隔操作が停止されるので、車両を安全に遠隔操作することが可能となる。
【手続補正書】
【提出日】平成31年3月26日(2019.3.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アラームを特定する識別情報であるアラーム情報に対して複数の判断情報を登録可能なアラームデータベースを有する記憶部と、
前記アラーム情報に対する前記判断情報が入力された場合に、前記判断情報を前記アラーム情報と対応付けて前記アラームデータベースに登録する登録部と、
を備えたプラント監視装置。
【請求項２】
前記記憶部は、さらに、前記判断情報と、前記判断情報の詳細を表す詳細情報と、表示態様と、を対応付けた判断データベースを有し、
前記アラームデータベースに登録された前記アラーム情報と、当該アラーム情報に対応する前記判断情報に対応付けられた前記詳細情報と、を、前記判断データベースにおいて当該アラーム情報に対応する前記判断情報に対応付けられた前記表示態様に基づいて表示部に表示する表示制御部、をさらに備えた、
請求項１に記載のプラント監視装置。
【請求項３】
前記登録部は、さらに、前記判断情報と、前記詳細情報と、前記表示態様とが入力された場合に、入力された前記判断情報と、前記詳細情報と、前記表示態様とを対応付けて前記判断データベースに登録し、前記判断情報と、前記詳細情報と、前記表示態様とを他のプラント監視装置から受信した場合に、受信した前記判断情報と、前記詳細情報と、前記表示態様とを対応付けて前記判断データベースに登録する、
請求項２に記載のプラント監視装置。
【請求項４】
前記アラーム情報と、前記アラーム情報に対する前記複数の判断情報の各々が入力された時刻と、を対応付けた判断履歴データベースをさらに備え、
前記表示制御部は、前記アラーム情報に対する前記判断情報の変更履歴を前記表示部に表示する、
請求項２または３に記載のプラント監視装置。
【請求項５】
前記アラーム情報は、前記アラームが発生した処理と、前記アラームの種類とを示すタグデータである、
請求項１から４のいずれか１項に記載のプラント監視装置。
【請求項６】
プラントを制御するコントローラと、前記コントローラと通信可能に接続された複数のプラント監視装置と、を含む分散制御システムであって、
前記コントローラは、
アラームを特定する識別情報であるアラーム情報を前記プラント監視装置に送信する送信部を備え、
前記プラント監視装置は、
前記コントローラから送信された前記アラーム情報に対して複数の判断情報を登録可能なアラームデータベースを有する記憶部と、
前記アラーム情報に対する前記判断情報が入力された場合に、前記判断情報を前記アラーム情報と対応付けて前記アラームデータベースに登録する登録部と、
を備えた分散制御システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
実施形態のプラント監視装置は、記憶部と、登録部とを備える。記憶部は、アラームを特定する識別情報であるアラーム情報に対して複数の判断情報を登録可能なアラームデータベースを有する。登録部は、アラーム情報に対する判断情報が入力された場合に、判断情報をアラーム情報と対応付けてアラームデータベースに登録する。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月7日(2019.8.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面と、前記第１の面と対向する第２の面を有する半導体層と、
前記第１の面に接する第１の電極と、
前記第２の面に接する第２の電極と、
前記半導体層の中に設けられた第１導電型の第１の半導体領域と、
前記半導体層の中に設けられ、前記第１の半導体領域と前記第２の面との間に位置する第２導電型の第２の半導体領域と、
前記半導体層の中に設けられ、前記第１の半導体領域と前記第１の面との間に位置する第２導電型の第３の半導体領域と、
前記半導体層の中に設けられた第１のゲート電極と、
前記半導体層の中に設けられ、前記第１のゲート電極との間に前記第１の半導体領域が位置する第２のゲート電極と、
前記第１のゲート電極と前記第１の半導体領域との間に設けられた第１のゲート絶縁膜と、
前記第２のゲート電極と前記第１の半導体領域との間に設けられた第２のゲート絶縁膜と、
前記第１のゲート電極と前記第１の電極との間、及び、前記第２のゲート電極と前記第１の電極との間に設けられた絶縁層と、を備え、
前記第１の電極が第１の領域と第２の領域を有し、前記第１の領域は前記半導体層に接し、前記第１の領域は前記第２の領域と前記第１の半導体領域との間に位置し、前記第１の領域の一部は前記第１のゲート電極と前記第２のゲート電極との間に位置し、前記第１の領域の別の一部は前記絶縁層の第１の部分と第２の部分との間に挟まれ、前記第１の領域の前記別の一部は逆テーパ形状を有する半導体装置。
【請求項２】
前記半導体層の中に設けられ、前記第１の領域と前記第１の半導体領域との間に位置し、前記第１の半導体領域の第１導電型の不純物濃度よりも第１導電型の不純物濃度の高い第１導電型の第４の半導体領域を、更に備える請求項１記載の半導体装置。
【請求項３】
第１の面と、前記第１の面と対向する第２の面を有し、第１導電型の第１の半導体領域と、前記第１の半導体領域と前記第２の面との間に位置する第２導電型の第２の半導体領域と、前記第１の半導体領域と前記第１の面との間に位置する第２導電型の第３の半導体領域と、を有する半導体層の上に、第１の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層に第１の開口部を形成し、
前記第１の開口部の内壁面に第１の側壁を形成し、
前記半導体層に、前記第１の絶縁層と前記第１の側壁をマスクに、前記第１の半導体領域よりも深い第１のトレンチを形成し、
前記第１のトレンチの中にゲート絶縁膜を形成し、
前記第１のトレンチの中の前記ゲート絶縁膜の上にゲート電極を形成し、
前記ゲート電極の上に第２の絶縁層を形成し、
前記第１の絶縁層の上の前記第２の絶縁層を除去し、
前記第１の絶縁層を除去して前記第２の絶縁層に第２の開口部を形成し、
前記第２の開口部の内壁面に第２の側壁を形成し、
前記半導体層に、前記第２の絶縁層と前記第２の側壁をマスクに、前記第３の半導体領域よりも深く前記第１の半導体領域よりも浅い第２のトレンチを形成し、
前記第２の側壁の少なくとも一部を除去し、
前記第２のトレンチの中に電極を形成する半導体装置の製造方法。
【請求項４】
前記第２の側壁が逆テーパ形状を有する請求項３記載の半導体装置の製造方法。
【請求項５】
前記第２の側壁の少なくとも一部の除去は、ウェットエッチングによる請求項３又は請求項４記載の半導体装置の製造方法。
【請求項６】
前記第２の開口部が逆テーパ形状を有する請求項３ないし請求項５いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記第１の開口部が順テーパ形状を有する請求項３ないし請求項６いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項８】
前記第２のトレンチを形成した後、前記第２のトレンチの底部の前記半導体層の中に前記第１の半導体領域の第１導電型の不純物濃度よりも第１導電型の不純物濃度の高い第１導電型の第４の半導体領域を、更に形成する請求項３ないし請求項７いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
【請求項９】
前記第１の絶縁層は窒化シリコンを含み、前記第２の絶縁層は酸化シリコンを含む請求項３ないし請求項８いずれか一項記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月3日(2019.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方法であって、
携帯電子デバイスのタッチスクリーンディスプレイ上にユーザインタフェースを表示することであって、前記ユーザインタフェースは表示された第１のウィンドウを含む、表示することと、
前記表示された第１のウィンドウを表示している間に、前記タッチスクリーンディスプレイ上でジェスチャを検知することと、
前記タッチスクリーンディスプレイ上で前記ジェスチャを検出することに応じて、前記表示された第１のウィンドウ、１つ以上の部分的に隠されたウィンドウ、及び、前記タッチスクリーンディスプレイ上で前記ジェスチャを検出する前には表示されていなかったアイコンを表示することと、
前記表示された第１のウィンドウ、及び、前記１つ以上の部分的に隠されたウィンドウを表示している間に、前記タッチスクリーンディスプレイ上でスワイプジェスチャを検出することと、
前記スワイプジェスチャを検出することに応じて、前記表示された第１のウィンドウを前記タッチスクリーンディスプレイから部分的または完全に外れるように移動し、前記１つ以上の部分的に隠されたウィンドウから選択された第２のウィンドウを前記タッチスクリーンディスプレイの中央に移動することと、
前記アイコン上でのジェスチャを検出することに応じて、前記タッチスクリーンディスプレイの前記中央において前記第２のウィンドウを拡大することと
を含む、方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記スワイプジェスチャを検出することに応じて、前記１つ以上の部分的に隠されたウィンドウから選択された第３のウィンドウを前記タッチスクリーンディスプレイから外れるように移動することを含む、方法。
【請求項３】
請求項１または２に記載の方法であって、
検出された前記スワイプジェスチャは、左から右へのスワイプジェスチャであって、前記方法は更に、
前記左から右へのスワイプジェスチャを検出することに応じて、
前記第１のウィンドウを部分的に画面から外れるように右に移動することと、
前記第２のウィンドウを前記タッチスクリーンディスプレイの前記中央に移動することと、
前記１つ以上の部分的に隠されたウィンドウから選択された第４のウィンドウを完全に画面から外れるように移動することと、を含む方法。
【請求項４】
請求項１から３のいずれか１項に記載の方法であって、
前記表示された第１のウィンドウは、前記タッチスクリーンディスプレイ上で前記ジェスチャを検出する前は第１のサイズで表示され、前記タッチスクリーンディスプレイ上で前記ジェスチャを検出することに応じて前記第１のサイズとは異なる第２のサイズで表示される、方法。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか１項に記載の方法であって、前記タッチスクリーンディスプレイの前記中央における前記第２のウィンドウは、前記タッチスクリーンディスプレイを満たすように拡大される、方法。
【請求項６】
請求項１から５のいずれか１項に記載の方法であって、
前記アイコン上で前記ジェスチャを検出することに応じて、前記アイコンと前記１つ以上の部分的に隠されたウィンドウとの表示を停止することを更に含む、方法。
【請求項７】
電子デバイスであって、
請求項１から６のいずれか１項に記載の方法を実行するための命令群を含む１つ以上のコンピュータプログラムを格納したメモリと、
前記メモリに格納された前記命令群を実行可能な１つ以上のプロセッサと
を備える電子デバイス。
【請求項８】
コンピュータに請求項１から６のいずれか１項に記載の方法を実行させるための命令群を含むコンピュータプログラム。
【請求項９】
請求項１から６のいずれか１項に記載の方法を実行するための手段を備える電子デバイス。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月10日(2019.7.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
処理対象の画像と、前記画像における処理対象の領域を示すオブジェクトとを、表示画面に表示させる表示制御手段と、
前記表示画面において前記表示制御手段により表示されたオブジェクトの外の位置がユーザにより指定された場合、前記オブジェクトの外周上の点が前記指定された位置に移動し且つ前記オブジェクトが前記画像からはみ出さないように、前記オブジェクトを移動させる移動制御手段と、
を有することを特徴とする画像処理装置。
【請求項２】
前記移動制御手段は、
前記表示画面において前記オブジェクトの中の位置がユーザにより指定された場合、ユーザによる前記指定された位置からのドラッグ指示に応じて、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１に記載の画像処理装置。
【請求項３】
前記表示画面においてユーザにより指定された位置を特定し、前記特定された位置が前記オブジェクトの中であるか判定する判定手段をさらに有し、
前記移動制御手段は、
前記判定手段により前記位置が前記オブジェクトの中であると判定された場合、前記位置からのドラッグ指示に応じて、前記オブジェクトを移動させ、
前記判定手段により前記位置が前記オブジェクトの中であると判定されなかった場合、前記オブジェクトの外周上の点が前記位置に移動し且つ前記オブジェクトが前記画像からはみ出さないように、前記オブジェクトを移動させる
ことを特徴とする請求項２に記載の画像処理装置。
【請求項４】
ユーザにより前記オブジェクトの外の位置が指定されることで前記移動制御手段により前記オブジェクトが移動されたときに、前記位置の指定に継続してユーザによるドラッグ指示が入力された場合、前記移動制御手段は、前記ドラッグ指示に応じて前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項５】
前記移動制御手段は、前記表示画面においてユーザにより前記オブジェクトの外の位置が指定された場合、前記表示画面において前記オブジェクトの外周上で前記位置に最も近い点が前記位置に移動するように、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項６】
前記オブジェクトは矩形のオブジェクトであり、
前記移動制御手段は、
前記オブジェクトの四角のいずれかの点、または前記オブジェクトの辺上の前記四角とは異なる点が前記位置に移動するように、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項５に記載の画像処理装置。
【請求項７】
前記移動制御手段は、前記表示制御手段により表示された前記画像における前記オブジェクトの外において設定された複数の領域のうち、ユーザにより指定された位置に対応する領域を特定し、前記特定された領域に対応する移動方法に従って、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項８】
前記移動制御手段は、前記オブジェクトの外である位置がユーザにより指定された場合に、前記オブジェクトを前記位置に対応する領域に新たに表示させることにより、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項９】
前記移動制御手段は、前記オブジェクトの外である位置がユーザにより指定された場合に、前記オブジェクトを前記位置に対応する領域において再描画することで、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１０】
前記オブジェクトは、前記画像におけるトリミングの対象の領域を示すことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１１】
前記表示制御手段は、前記画像と前記オブジェクトを、タッチパネルが配置されている表示画面に表示させ、前記移動制御手段は、前記タッチパネルにおいてユーザにより指定された位置に応じて、前記オブジェクトを移動させることを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１２】
画像を記録紙に印刷する印刷部を有することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１３】
前記移動制御手段は、
前記表示画面において前記オブジェクトの外であり且つ前記画像の中の第１の位置がユーザにより指定された場合、前記オブジェクトの外周上の点が前記第１の位置に移動し且つ前記オブジェクトが前記画像からはみ出さないように、前記オブジェクトを移動させ、
前記表示画面において前記画像の外の第２の位置がユーザにより指定された場合、前記オブジェクトを前記第２の位置に対応する領域には移動させないことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１４】
前記表示画面において前記オブジェクトの外周上の所定の位置がユーザにより指定された場合、ユーザによる前記所定の位置からのドラッグ指示に応じて、前記オブジェクトを前記表示画面において拡大または縮小する変倍手段をさらに有することを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の画像処理装置。
【請求項１５】
処理対象の画像と、前記画像における処理対象の領域を示すオブジェクトとを、表示画面に表示させる表示制御工程と、
前記表示画面において前記表示制御工程において表示されたオブジェクトの外の位置がユーザにより指定された場合、前記オブジェクトの外周上の点が前記指定された位置に移動し且つ前記オブジェクトが前記画像からはみ出さないように、前記オブジェクトを移動させる第２の移動制御工程と、
を有することを特徴とする画像処理方法。
【請求項１６】
請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の画像処理装置の各手段としてコンピュータを機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記問題点を解決するために本発明の画像処理装置は、処理対象の画像と、前記画像における処理対象の領域を示すオブジェクトとを、表示画面に表示させる表示制御手段と、前記表示画面において前記表示制御手段により表示されたオブジェクトの外の位置がユーザにより指定された場合、前記オブジェクトの外周上の点が前記指定された位置に移動し且つ前記オブジェクトが前記画像からはみ出さないように、前記オブジェクトを移動させる移動制御手段と、を有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年3月12日(2019.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
イベントの情報と、人物に関する情報と、前記人物の属性情報と、を記憶する記憶部と、
前記イベントごとに、前記人物の属性情報に含まれる、前記イベントにおいて商品を受け取る人との関係に少なくとも基づいて、前記商品の購入費用を分担する候補者を、前記人物の中から決定する決定部と、
商品に関する評価情報及び店舗に関する評価情報の少なくとも一方を提供する外部装置から取得した情報に基づいて、前記候補者によって実際に購入される商品及び前記実際に購入される商品を購入する店舗の少なくとも１つを調整する調整部と、
を備える電子機器。
【請求項２】
イベントの情報と、人物に関する情報と、前記人物の属性情報と、を記憶する記憶部と、
前記イベントごとに、前記人物の属性情報に含まれる、前記イベントにおいて商品を受け取る人との関係に少なくとも基づいて、前記商品の購入費用を分担する候補者を、前記人物の中から決定する決定部と、
前記候補者の電子機器に入力された情報に基づいて、前記候補者によって実際に購入される商品及び前記実際に購入される商品を購入する店舗の少なくとも１つを調整する調整部と、
を備える電子機器。
【請求項３】
前記調整部は、前記候補者によって実際に購入される商品及び前記実際に購入される商品を購入する店舗を調整する、
請求項１又は２に記載の電子機器。
【請求項４】
前記記憶部は、前記イベントにおいて商品を受け取る人が受け取ったことがある商品の情報及び前記イベントにおいて商品を受け取る人が最近購入した商品の情報を記憶し、
前記イベントにおいて商品を受け取る人が受け取ったことがある商品の情報及び前記イベントにおいて商品を受け取る人が最近購入した商品の情報の少なくとも一方に関連する商品のジャンルに関する情報を前記候補者の電子機器に送信する情報提供部を備える、
請求項１から３のいずれか１項記載の電子機器。
【請求項５】
イベントの情報と、人物に関する情報と、前記人物の属性情報と、を記憶する記憶部と、
前記イベントごとに、前記人物の属性情報に含まれる、前記イベントにおいて商品を受け取る人との関係に少なくとも基づいて、前記商品の購入費用を分担する候補者を、前記人物の中から決定する決定部と、
前記イベントにおいて商品を受け取る人が受け取ったことがある商品の情報及び前記イベントにおいて商品を受け取る人が最近購入した商品の情報の少なくとも一方に関連する商品のジャンルに関する情報を前記候補者の電子機器に送信する情報提供部と、
を備える電子機器。
【請求項６】
前記候補者を、前記人物の属性情報に基づいて、第１グループと、前記第１グループとは異なる第２グループと、に分類する分類部と、
前記商品の共同購入に関する第１情報を前記第１グループに含まれる前記候補者の電子機器に送信し、前記第１情報とは異なる、前記商品の共同購入に関する第２情報を前記第２グループに含まれる前記候補者の電子機器に送信する情報提供部と、
を備える請求項１から３のいずれか１項記載の電子機器。
【請求項７】
前記候補者を、前記人物の属性情報に基づいて、第１グループと、前記第１グループとは異なる第２グループと、に分類する分類部、を備え、
前記情報提供部は、前記商品の共同購入に関する第１情報を前記第１グループに含まれる前記候補者の電子機器に送信し、前記第１情報とは異なる、前記商品の共同購入に関する第２情報を前記第２グループに含まれる前記候補者の電子機器に送信する、
請求項４又は５に記載の電子機器。
【請求項８】
前記情報提供部は、前記第１情報および前記第２情報を前記商品を受け取る人の電子機器に送信する、
請求項６又は７に記載の電子機器。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月6日(2019.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料がプラズマ処理される処理室と、マイクロ波の高周波電力を供給する高周波電源と、前記マイクロ波との相互作用によりプラズマを生成するための磁場を形成する磁場形成手段とを備えるプラズマ処理装置において、
前記磁場形成手段は、前記処理室内に磁場を形成する第１の磁場形成用コイルに電流を流す第１の電源と前記処理室内に磁場を形成する第２の磁場形成用コイルに電流を流す第２の電源とを具備し、
前記第１の磁場形成用コイルによる磁場変更の感度は、前記第２の磁場形成用コイルによる磁場変更の感度より高く、
前記第１の電源の応答時定数は、前記第２の電源の応答時定数より小さいことを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載のプラズマ処理装置において、
前記第１の電源の応答時定数は、前記第２の電源の応答時定数の１／２以下であることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項３】
請求項１に記載のプラズマ処理装置において、
前記第１の電源の応答時定数または前記第２の電源の応答時定数を制御する応答時定数変更装置を更に備えることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項４】
請求項１に記載のプラズマ処理装置において、
前記第１の磁場形成用コイルは、前記第２の磁場形成用コイルの下方に配置されていることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項５】
請求項１に記載のプラズマ処理装置において、
前記第１の磁場形成用コイルに流れる電流の大きさの変化量が前記第２の磁場形成用コイルに流れる電流の大きさの変化量よりも大きくなるように前記第１の電源および前記第２の電源を制御する制御装置をさらに備えることを特徴とするプラズマ処理装置。
【請求項６】
請求項４に記載のプラズマ処理装置において、
前記磁場形成手段は、前記第２の磁場形成用コイルの上方に配置され前記処理室内に磁場を形成する第３の磁場形成用コイルをさらに具備することを特徴とするプラズマ処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するため、本発明による代表的なプラズマ処理装置は、試料がプラズマ処理される処理室と、マイクロ波の高周波電力を供給する高周波電源と、前記マイクロ波
との相互作用によりプラズマを生成するための磁場を形成する磁場形成手段とを備えるプラズマ処理装置である。前記磁場形成手段は、前記処理室内に磁場を形成する第１の磁場形成用コイルに電流を流す第１の電源と前記処理室内に磁場を形成する第２の磁場形成用コイルに電流を流す第２の電源とを具備する。前記第１の磁場形成用コイルによる磁場変更の感度は、前記第２の磁場形成用コイルによる磁場変更の感度より高く、前記第１の電源の応答時定数は、前記第２の電源の応答時定数より小さい。
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月29日(2019.5.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
欠陥検出デバイス１０２は、ＳｉＣ−ＭＯＳＦＥＴ１０１のドレイン電極２５に高電圧を印加した場合に影響が出ないように、耐圧保持領域１６から発生する空乏層と干渉しないように充分離れていることが望ましい。エピタキシャル層１２の厚みは空乏層が広がる領域と同程度に設計される場合があり、耐圧保持領域１６の最外周から欠陥検出デバイス１０２までの距離は、エピタキシャル層１２の厚みと同程度に設計すると良い。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
また、半導体装置１００Ｃはウエハ状態においてスクリーニングを行うのに適しているが、上述したように、ダイシング後も電極パッド２６は残るのでダイシング工程で個々のチップにカットした後のチップ状態の半導体装置１００Ｃに対して行っても良い。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
このリセス部３５に接するアノード電極２７の底面および側面が結晶欠陥を検出する領域となり、アノード電極２７の底面だけがエピタキシャル層１２に接していた半導体装置１００と比べて、結晶欠陥を検出する領域が広くなる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１０】
図１８に示すように、半導体装置３００においては欠陥検出デバイス１０２がＰｉＮダイオード領域とショットキーバリアダイオード領域を有している。すなわち、欠陥検出デバイス１０２は、エピタキシャル層１２上に設けられたアノード電極２７が、エピタキシャル層１２の上層部に選択的に設けられたｐ型のアノード領域４３およびアノード領域４３の上層部に設けられたｐ型のコンタクト領域４４に接触する領域と、エピタキシャル層１２に接触する領域とを有している。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2018182242.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2018182242.tif 000002