【手続補正書】
【提出日】令和1年5月31日(2019.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
方法であって、
コマンドコントローラによって、レシピセットをマスタコントローラに送信することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピセットをプラズマシステムのサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に実施される、ことと、
前記コマンドコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記コマンドコントローラによって、前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記実行の時間は、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のクロックサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
前記コマンドコントローラによって、追加のレシピセットを前記マスタコントローラに送信することと、
前記マスタコントローラによって、前記追加のレシピセットを前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる実行のために前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクルの一部の間に実施される、ことと、
を備える方法。
【請求項２】
請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットを前記コマンドコントローラから前記マスタコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記マスタコントローラにパケットを送信することを含み、前記レシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、転送媒体を通して前記サブシステムコントローラに前記パケットを送信することを含む、方法。
【請求項３】
請求項１に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを前記プラズマシステムの別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することを備え、
前記実行の時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
【請求項４】
請求項１に記載の方法であって、
前記コマンドコントローラは、コンピューティングデバイス内に位置し、前記コンピューティングデバイスは、ラップトップコンピュータ、又はデスクトップコンピュータ、又はタブレット端末、又は携帯電話を含む、方法。
【請求項５】
請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、ＲＦ発生器によって生成される高周波数（ＲＦ）信号の電力、又は前記ＲＦ信号の周波数、又は前記プラズマシステムのプラズマチャンバ内の圧力、又は前記プラズマチャンバ内の温度、又は前記プラズマチャンバ内の電極間のギャップ、又は前記プラズマチャンバへのガスの流量、又は前記プラズマシステムのインピーダンス整合回路網のコンデンサのキャパシタンス、又は前記インピーダンス整合回路網のインダクタのインダクタンス、又はこれらの組み合わせを含む、方法。
【請求項６】
請求項１に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記レシピセットが前記サブシステムコントローラからサブシステムに送信されるときに前記サブシステムコントローラによって実行され、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続されている、方法。
【請求項７】
請求項６に記載の方法であって、
前記サブシステムは、高周波数（ＲＦ）発生器、又は圧力サブシステム、又は温度サブシステム、又はギャップサブシステム、又はガスフローサブシステム、又はインピーダンス整合回路網である、方法。
【請求項８】
請求項１に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、対応する１本以上のＲＦケーブルを通して前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、ＲＦ伝送路を通して前記プラズマチャンバに接続される、方法。
【請求項９】
請求項１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記コマンドコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、サブシステムを制御し、前記サブシステムコントローラによって受信される前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの即座の実行を引き起こす、方法。
【請求項１０】
請求項１に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラからサブシステムに前記レシピセットが送信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラから前記レシピセットを受信するために前記マスタコントローラに接続される、方法。
【請求項１１】
請求項１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
【請求項１２】
請求項１に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。
【請求項１３】
方法であって、
マスタコントローラによって、クロック信号の第１のクロックサイクル中に、レシピセットをサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記サブシステムコントローラは、プラズマシステムのコンポーネントを制御するように構成される、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を送信することであって、前記レシピセットの前記実行の時間は、前記レシピセットが送信される前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じ、前記第２のサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
前記マスタコントローラによって、追加のレシピセットを前記プラズマシステムの前記サブシステムコントローラによる実行のために前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムコントローラに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクルの一部の間に実施される、ことと、
を備える方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムコントローラにパケットを送信することを含む、方法。
【請求項１５】
請求項１３に記載の方法であって、
前記プラズマシステムは、１つ以上の高周波数（ＲＦ）発生器と、インピーダンス整合回路網と、プラズマチャンバとを含み、前記１つ以上のＲＦ発生器は、前記インピーダンス整合回路網に接続され、前記インピーダンス整合回路網は、前記プラズマチャンバに接続される、方法。
【請求項１６】
請求項１３に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、前記クロック信号の前記第１のクロックサイクル中に、別のレシピセットを別のサブシステムコントローラによる実行のために送信することであって、前記別のサブシステムコントローラは、前記プラズマシステムの別のコンポーネントを制御するように構成される、ことを備え、
前記実行の時間は、前記プラズマシステムの前記別のサブシステムコントローラによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
【請求項１７】
請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記サブシステムコントローラによって、前記レシピセットを前記コンポーネントに送信することによって実行される、方法。
【請求項１８】
請求項１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記サブシステムコントローラは、前記マスタコントローラに接続され、前記コンポーネントを制御する、方法。
【請求項１９】
請求項１３に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記サブシステムコントローラから前記コンポーネントに前記レシピセットが送信される時間である、方法。
【請求項２０】
請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
【請求項２１】
請求項１３に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記サブシステムのための前記サブシステムコントローラによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。
【請求項２２】
方法であって、
マスタコントローラによって、プラズマ処理システムのサブシステムのプロセッサにレシピセットを送信することであって、前記マスタコントローラから送信することは、クロック信号の第１のクロックサイクル中に生じる、ことと、
前記マスタコントローラによって、レシピイベント信号を生成することと、
前記マスタコントローラによって、前記レシピセットの実行の時間を示す前記レシピイベント信号を、前記サブシステムの前記プロセッサに送信することであって、前記実行の時間の送信は、前記第１のクロックサイクルに続く第２のクロックサイクル中に生じる、ことと、
前記マスタコントローラによって、追加のレシピセットを前記サブシステムの前記プロセッサによる実行のために前記サブシステムの前記プロセッサに送信することであって、前記追加のレシピセットを前記マスタコントローラから前記サブシステムの前記プロセッサに送信することは、前記クロック信号の前記第２のクロックサイクルの一部の間に実施される、ことと、
を備える方法。
【請求項２３】
請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピセットを送信することは、ケーブルを通して前記サブシステムの前記プロセッサにパケットを送信することを含む、方法。
【請求項２４】
請求項２２に記載の方法であって、更に、
前記マスタコントローラによって、別のレシピセットを別のサブシステムの別のプロセッサによる実行のために送信することであって、前記別のプロセッサは、前記プラズマ処理システムの前記別のサブシステムを制御するように構成され、前記別のレシピセットを送信することは、前記第１のクロックサイクル中に生じる、ことを備え、
前記実行の時間は、前記別のサブシステムの前記別のプロセッサによる前記別のレシピセットの実行のための時間である、方法。
【請求項２５】
請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピセットは、前記プロセッサによって、前記サブシステムの前記プロセッサが信号を生成するためにドライバに信号を送信するときに実行される、方法。
【請求項２６】
請求項２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プロセッサによって前記マスタコントローラから前記レシピイベント信号が受信される時間であり、前記プロセッサは、前記マスタコントローラに接続され、前記サブシステムを制御する、方法。
【請求項２７】
請求項２２に記載の方法であって、
前記実行の時間は、前記プラズマ処理システムの一部を駆動するために前記プロセッサからドライバに前記レシピセットが送信される時間である、方法。
【請求項２８】
請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記レシピセットの実行をトリガする、方法。
【請求項２９】
請求項２２に記載の方法であって、
前記レシピイベント信号は、前記プロセッサによって受信されるときに、前記レシピセットの実行の即座の起動を示している、方法。
【請求項３０】
請求項１に記載の方法であって、更に、
前記コマンドコントローラによって、追加のレシピイベント信号を生成することと、
前記コマンドコントローラによって、前記サブシステムコントローラによる前記追加のレシピセットの実行の時間を示す前記追加のレシピイベント信号を、前記サブシステムコントローラに送信することであって、前記実行の時間は、前記第２のクロックサイクルに続く第３のクロックサイクル中に生じ、前記第３のサイクルは、前記クロック信号のサイクルである、ことと、
を備える方法。