【手続補正書】
【提出日】平成31年2月12日(2019.2.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる第１部分および第２部分を有するモールドを用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
インプリント材を前記基板上に供給する供給部と、
前記供給部により前記基板上に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定する処理部と、を含み、
前記処理部は、前記第１部分に対して作成されたインプリント材の第１配置パターンの情報と前記第２部分に対して作成されたインプリント材の第２配置パターンの情報とに基づいて、前記第１部分の一部と前記第２部分の一部とを含む境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とするインプリント装置。
【請求項２】
前記処理部は、前記第１部分の情報と、前記第１配置パターンの情報と、前記第２部分の情報と、前記第２配置パターンの情報とを、前記モールドのパターン構成の情報に基づいて決定することを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記第１部分の情報と前記第２部分の情報とに基づいて、前記境界部分を特定することを特徴とする請求項１又は２に記載のインプリント装置。
【請求項４】
前記処理部は、前記第１配置パターンおよび前記第２配置パターンの倍率を変更して合成することによって、前記境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を、前記境界部分でのインプリント材の密度が目標密度になるように決定することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項６】
前記第１配置パターンおよび前記第２配置パターンは、第１方向における前記インプリント材の間隔と、前記第１方向とは直交する第２方向における前記インプリント材の間隔とが互いに異なることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項７】
前記第１配置パターンおよび前記第２配置パターンは、前記第１方向における前記間隔と前記第２方向における前記間隔とが前記モールドのパターンの異方性にしたがって互いに異なることを特徴とする請求項６に記載のインプリント装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記第１配置パターンおよび前記第２配置パターンを、前記モールドのパターンを構成する凹部の体積と、前記基板上に形成されるべきインプリント材のパターンの残膜厚とに基づいて作成することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項９】
前記第１部分および前記第２部分は、互いに異なるパターン構成を有し且つ互いに隣接する、ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１０】
前記第１部分は、前記基板上のインプリント材に転写されるべき凹凸パターンを含むパターン構成を有し、
前記第２部分は、凹凸パターンを含まない平坦なパターン構成を有する、ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１１】
前記処理部は、前記第１部分に前記第１配置パターンを適用し且つ前記第２部分に前記第２配置パターンを適用した場合に、前記モールドによって形成されるインプリント材のパターンの厚さを許容範囲に収めることができない前記モールドの部分を前記境界部分として特定することを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１２】
前記処理部は、前記モールドの前記境界部分によって形成されるインプリント材のパターンの厚さが許容範囲に収まるように、前記第１配置パターンの情報と前記第２配置パターンの情報とに基づいて、前記境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１３】
前記処理部は、前記境界部分を複数の部分領域に区分けし、前記基板上に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を部分領域ごとに決定することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のインプリント装置。
【請求項１４】
互いに異なるパターン構成を有し且つ互いに隣接する第１部分および第２部分を有するモールドを用いて、基板のショット領域上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記ショット領域上にインプリント材を供給する供給部と、
前記供給部により前記ショット領域上に液滴として供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定し、前記情報に基づいて前記供給部を制御する処理部と、
を含み、
前記処理部は、
前記モールドの前記第１部分におけるパターン構成に基づいて作成されたインプリント材の第１配置パターンと、前記モールドの前記第２部分におけるパターン構成に基づいて作成されたインプリント材の第２配置パターンとを取得し、
前記第１部分に前記第１配置パターンを適用し且つ前記第２部分に前記第２配置パターンを適用した場合に、前記モールドによって形成されるインプリント材のパターンの厚さを許容範囲に収めることができない前記モールドの部分を、前記第１部分の一部と前記第２部分の一部とを含む境界部分として特定し、
前記モールドの前記境界部分によって形成されるインプリント材のパターンの厚さが前記許容範囲に収まるように、前記第１配置パターンと前記第２配置パターンとを組み合わせることにより、前記境界部分に適用すべき前記インプリント材の第３配置パターンを生成し、
前記第１配置パターン、前記第２配置パターンおよび前記第３配置パターンに基づいて、前記情報を決定する、
ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１５】
請求項１乃至１４のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１６】
互いに異なる第１部分および第２部分を有するモールドを用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント方法であって、
前記基板上に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定する決定工程と、
前記決定工程で決定された配置パターンの情報に基づいて、前記基板上に前記インプリント材を供給する供給工程と、
を含み、
前記決定工程では、前記第１部分に対して作成されたインプリント材の第１配置パターンの情報と前記第２部分に対して作成されたインプリント材の第２配置パターンの情報とに基づいて、前記第１部分の一部と前記第２部分の一部とを含む境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とするインプリント方法。
【請求項１７】
互いに異なる第１部分および第２部分を有するモールドを用いて基板上にインプリント材のパターンを形成するため、前記基板上に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定する決定方法であって、
前記第１部分に対して作成されたインプリント材の第１配置パターンの情報と前記第２部分に対して作成されたインプリント材の第２配置パターンの情報とに基づいて、前記第１部分の一部と前記第２部分の一部とを含む境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とする方法。
【請求項１８】
請求項１７に記載の方法をコンピュータに実施させることを特徴とするプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、決定方法、およびプログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、インプリント装置、インプリント方法、物品の製造方法、決定方法、およびプログラムに関する
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのインプリント装置は、互いに異なる第１部分および第２部分を有するモールドを用いて、基板上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、インプリント材を前記基板上に供給する供給部と、前記供給部により前記基板上に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定する処理部と、を含み、前記処理部は、前記第１部分に対して作成されたインプリント材の第１配置パターンの情報と前記第２部分に対して作成されたインプリント材の第２配置パターンの情報とに基づいて、前記第１部分の一部と前記第２部分の一部とを含む境界部分に供給すべきインプリント材の配置パターンの情報を決定することを特徴とする。