Podtech/llm-jp-corpus-v4-ja_patent huggingface dataset:
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月15日(2019.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
帯状の光学フィルムが巻回されてなるロール状の光学フィルムを用いて、光学セルの少なくともいずれか一方面に、当該光学フィルムを貼り付けて光学表示パネルを形成する第１貼付工程を含む第１パネル製造工程と、
光学セルの少なくともいずれか一方面に、枚葉状の光学フィルムを貼り付けて光学表示パネルを形成する第２貼付工程を含む第２パネル製造工程と、を含む光学表示パネルの製造方法であって、
前記第１貼付工程は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出され、かつ離型フィルム、粘着剤層、光学機能フィルム、第１表面保護フィルムがこの順に積層された構成である前記帯状の光学フィルムから当該離型フィルムが剥離されて露出された当該粘着剤層を介して、当該光学フィルムを前記光学セルの前記少なくともいずれか一方面に貼り付け、
前記第２貼付工程は、
前記離型フィルム、前記粘着剤層、前記光学機能フィルム、前記第１表面保護フィルム、第２表面保護フィルムがこの順に積層された構成である前記枚葉状の光学フィルムから当該離型フィルムが剥離されて露出された当該粘着剤層を介して、当該枚葉状の光学フィルムを前記光学セルの前記少なくともいずれか一方面に貼り付け、
前記第２パネル製造工程は、
前記光学セルに貼り付けられた状態の前記枚葉状の光学フィルムから前記第２表面保護フィルムを剥離する第２表面保護フィルム剥離工程を、含み、
前記第１表面保護フィルムが、粘着剤層を有する、あるいは自己粘着型であり、
前記第２表面保護フィルムが、粘着剤層を有する、あるいは自己粘着型であり、
前記第１表面保護フィルムと前記第２表面保護フィルムが、同じ構成であり、
前記枚葉状の光学フィルムにおける各層間の剥離力の大小関係が、前記離型フィルムと前記粘着剤層との層間剥離力Ａ、前記粘着剤層と前記光学機能フィルムとの層間剥離力Ｂ、前記光学機能フィルムと前記第１表面保護フィルムとの層間剥離力Ｃ、前記第１表面保護フィルムと前記第２表面保護フィルムとの層間剥離力Ｄ、とした場合に、Ａ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｂであり、
前記枚葉状の光学フィルムの前記光学機能フィルムが、厚み６０μｍ以下の偏光フィルムであり、前記偏光フィルムが厚み１０μｍ以下の偏光子を有する、
光学表示パネルの製造方法。
【請求項２】
前記第１貼付工程は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出された当該帯状の光学フィルムを、当該光学フィルムの長手方向と直交する方向に当該離型フィルムを残して切断する切断工程と、
前記光学フィルムから前記離型フィルムを剥離する剥離工程と、を含む、請求項１に記載の光学表示パネルの製造方法。
【請求項３】
前記帯状の光学フィルムが、前記離型フィルムを除き所定間隔で切込みが形成されており、
前記第１貼付工程は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出された前記光学フィルムから前記離型フィルムを内側に折り返すことで剥離する剥離工程を含む、請求項１に記載の光学表示パネルの製造方法。
【請求項４】
帯状の光学フィルムが巻回されてなるロール状の光学フィルムを用いて、光学セルの少なくともいずれか一方面に、当該光学フィルムを貼り付けて光学表示パネルを形成する第１貼付部を含む第１パネル製造部と、
光学セルの少なくともいずれか一方面に、枚葉状の光学フィルムを貼り付けて光学表示パネルを形成する第２貼付部を含む第２パネル製造部と、を含む光学表示パネルの製造システムであって、
前記第１貼付部は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出され、かつ離型フィルム、粘着剤層、光学機能フィルム、第１表面保護フィルムがこの順に積層された構成である前記帯状の光学フィルムから当該離型フィルムが剥離されて露出された当該粘着剤層を介して、当該光学フィルムを前記光学セルの前記少なくともいずれか一方面に貼り付け、
前記第２貼付部は、
前記離型フィルム、前記粘着剤層、前記光学機能フィルム、前記第１表面保護フィルム、第２表面保護フィルムがこの順に積層された構成である前記枚葉状の光学フィルムから当該離型フィルムが剥離されて露出された当該粘着剤層を介して、当該枚葉状の光学フィルムを前記光学セルの前記少なくともいずれか一方面に貼り付け、
前記第２パネル製造部は、
前記光学セルに貼り付けられた状態の前記枚葉状の光学フィルムから前記第２表面保護フィルムを剥離する第２表面保護フィルム剥離部を、有し、
前記第１表面保護フィルムが、粘着剤層を有する、あるいは自己粘着型であり、
前記第２表面保護フィルムが、粘着剤層を有する、あるいは自己粘着型であり、
前記枚葉状の光学フィルムにおける各層間の剥離力の大小関係が、前記離型フィルムと前記粘着剤層との層間剥離力Ａ、前記粘着剤層と前記光学機能フィルムとの層間剥離力Ｂ、前記光学機能フィルムと前記第１表面保護フィルムとの層間剥離力Ｃ、前記第１表面保護フィルムと前記第２表面保護フィルムとの層間剥離力Ｄ、とした場合に、Ａ＜Ｄ＜Ｃ＜Ｂであり、
前記枚葉状の光学フィルムの前記光学機能フィルムが、厚み６０μｍ以下の偏光フィルムであり、前記偏光フィルムが厚み１０μｍ以下の偏光子を有する、
光学表示パネルの製造システム。
【請求項５】
前記第１貼付部は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出された当該帯状の光学フィルムを、当該光学フィルムの長手方向と直交する方向に当該離型フィルムを残して切断する切断部と、
前記光学フィルムから前記離型フィルムを剥離する剥離部を有する、請求項４に記載の光学表示パネルの製造システム。
【請求項６】
前記帯状の光学フィルムが、前記離型フィルムを除き所定間隔で切込みが形成されており、
前記第１貼付部は、
前記ロール状の光学フィルムから繰り出された前記光学フィルムから前記離型フィルムを内側に折り返すことで剥離する剥離部を有する、請求項４に記載の光学表示パネルの製造システム。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月22日(2019.7.22)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像形成に用いられる第１の部材を有する第１カートリッジを着脱可能な装置本体と、
前記装置本体に装着された前記第１カートリッジを支持する支持部材と、
前記第１カートリッジが前記装置本体に装着された状態において、前記支持部材に支持された前記第１カートリッジを移動させることで、前記支持部材の位置を、前記第１の部材と画像形成に用いられる第２の部材とが当接する第１の位置から、前記第１の部材と前記第２の部材とが離間する第２の位置に切り替える切り替え部材と、
前記支持部材の位置が前記第２の位置にあることを検出する検出部材と、を有し、
前記検出部材は、前記装置本体に設けられ、前記支持部材が前記検出部材に当接することで、前記支持部材の位置が前記第２の位置にあることを検出することを特徴とする画像形成装置。
【請求項２】
前記第１の部材は、像担持体に現像剤像を形成するための現像剤を担持する現像剤担持体であり、
前記第２の部材は、前記像担持体であることを特徴とする請求項１に記載の画像形成装置。
【請求項３】
前記支持部材は、
前記第１カートリッジが前記装置本体に装着されていない状態では、前記支持部材の位置が、前記切り替え部材によって、前記第１の位置から前記第２の位置に切り替わらず、
前記第１カートリッジが前記装置本体に装着されている状態では、前記支持部材の位置が、前記切り替え部材によって、前記第１の位置から前記第２の位置に切り替わることを特徴とする請求項２に記載の画像形成装置。
【請求項４】
前記第２の部材は、前記第１カートリッジと一体的に装置本体から着脱可能な第２カートリッジに設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項５】
前記第２の部材は、前記第１カートリッジとは別々に、前記装置本体に着脱可能な第２カートリッジに設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項６】
前記装置本体に設けられ、前記第２カートリッジが前記装置本体に装着された場合に前記第２カートリッジを支持する別の支持部材を有することを特徴とする請求項４又は５に記載の画像形成装置。
【請求項７】
前記支持部材は、回動軸を中心に回動可能であり、
前記支持部材が前記回動軸を中心に回動することで、前記支持部材の位置が、前記第１の位置と前記第２の位置とに切り替わることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【請求項８】
前記第１の部材と前記第２の部材とが近づく方向に、前記回動軸を中心に、前記支持部材を回動させる弾性部材を有することを特徴とする請求項７に記載の画像形成装置。
【請求項９】
前記第１の部材は、像担持体に現像剤像を形成するための現像剤を担持する現像剤担持体であり、
前記第２の部材は、前記像担持体であり、
前記現像剤担持体に担持された現像剤を用いて、前記像担持体に現像剤像が形成され、
前記像担持体に形成された現像剤像を用いて、記録媒体に画像が形成されることを特徴とする請求項２から８のいずれか１項に記載の画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月1日(2019.7.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被写体を照明する照明光を発する照明光源と、前記照明光源の光量を変化させる制御手段とを有する光学機器であって、
前記制御手段は、
該光学機器を用いた撮影が静止画撮影である場合に、ユーザ操作に応じて前記光量を第１の時間で第１の光量と該第１の光量より高い第２の光量との間で変化させ、
前記撮影が動画撮影である場合に、前記ユーザ操作に応じて前記光量を前記第１の時間より長い第２の時間で前記第１の光量と前記第２の光量との間で変化させることを特徴とする光学機器。
【請求項２】
前記第１の光量は、前記照明光源を消灯させたときの光量であることを特徴とする請求項１に記載の光学機器。
【請求項３】
前記第２の光量は、前記照明光源において設定可能な最大光量であることを特徴とする請求項１または２に記載の光学機器。
【請求項４】
前記第２の時間は、前記第１の時間の１０倍以上であることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の光学機器。
【請求項５】
前記光学機器は、撮像装置に対して取り外し可能に装着される交換レンズであり、
前記制御手段は、
前記撮影装置において設定された撮影モードが静止画モードか動画モードかを示す情報を取得し、
前記撮影モードが前記静止画モードである場合は、前記ユーザ操作に応じて前記光量を前記第１の時間で前記第１の光量と前記第２の光量との間で変化させ、
前記撮影モードが前記動画モードである場合は、前記ユーザ操作に応じて前記光量を前記第２の時間で前記第１の光量と前記第２の光量との間で変化させることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の光学機器。
【請求項６】
被写体を照明する照明光を発する照明光源を有する光学機器において、前記照明光源の光量を変化させる処理をコンピュータに実行させるコンピュータプログラムであって、
前記コンピュータに、
前記光学機器を用いた撮影が静止画撮影である場合に、ユーザ操作に応じて前記光量を第１の時間で第１の光量と該第１の光量より高い第２の光量との間で変化させ、
前記撮影が動画撮影である場合に、前記ユーザ操作に応じて前記光量を前記第１の時間より長い第２の時間で前記第１の光量と前記第２の光量との間で変化させることを特徴とする照明制御プログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての光学機器は、被写体を照明する照明光を発する照明光源と、照明光源の光量を変化させる制御手段とを有する。制御手段は、該光学機器を用いた撮影が静止画撮影である場合に、ユーザ操作に応じて照明光源の光量を第１の時間で第１の光量と該第１の光量より高い第２の光量との間で変化させ、撮影が動画撮影である場合に、ユーザ操作に応じて照明光源の光量を第１の時間より長い第２の時間で第１の光量と第２の光量との間で変化させることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月18日(2019.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から像側へ順に配置された、負の屈折力の第１レンズ群、正の屈折力の第２レンズ群、１以上のレンズ群を有する中間群、正の屈折力の最終レンズ群より構成され、
ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化し、
前記最終レンズ群は、中心から周辺部にかけて負の屈折力が強くなる非球面形状のレンズ面を含む負レンズＬｎを有し、
前記負レンズＬｎの物体側のレンズ面及び像側のレンズ面の曲率半径を各々Ｒｎ１及びＲｎ２、前記負レンズＬｎの材料のｄ線に対する屈折率及びアッベ数を各々Ｎｄｎ及びνｄｎとするとき、
−２５．０＜（Ｒｎ１＋Ｒｎ２）／（Ｒｎ２−Ｒｎ１）＜０．０
２０．０＜νｄｎ＜３７．５
１．８４＜Ｎｄｎ＜２．５０
なる条件式を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
広角端におけるバックフォーカスをＳｗ、広角端における全系の焦点距離をｆｗとするとき、
１．６＜Ｓｗ／ｆｗ＜３．１
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記最終レンズ群の光軸上の厚みをＤｒ、広角端における全系の焦点距離をｆｗとするとき、
１．０＜Ｄｒ／ｆｗ＜１．４
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１又は２に記載のズームレンズ。
【請求項４】
前記第１レンズ群の焦点距離をｆ１、広角端における全系の焦点距離をｆｗとするとき、
−１．４＜ｆ１／ｆｗ＜−１．０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項５】
第２レンズ群の焦点距離をｆ２、広角端における全系の焦点距離をｆｗとするとき、
２．０＜ｆ２／ｆｗ＜６．５
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項６】
前記最終レンズ群の焦点距離をｆｒ、広角端における全系の焦点距離をｆｗとするとき、
２．０＜ｆｒ／ｆｗ＜２．８
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項７】
無限遠に合焦しているときの広角端及び望遠端における開放Ｆナンバーを各々Ｆｎｏｗ及びＦｎｏｔとするとき、
２．８＜Ｆｎｏｗ＜３．０
２．８＜Ｆｎｏｔ＜３．０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記負レンズＬｎは、負の非球面量を有する非球面形状のレンズ面を含むことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項９】
物体側から像側へ順に配置された、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、負の屈折力の第４レンズ群、前記最終レンズ群より構成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１０】
物体側から像側へ順に配置された、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、負の屈折力の第３レンズ群、前記最終レンズ群より構成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１１】
物体側から像側へ順に配置された、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、負の屈折力の第３レンズ群、負の屈折力の第４レンズ群、前記最終レンズ群より構成されることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１２】
フォーカシングに際して前記第２レンズ群が移動することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１３】
請求項１乃至１２のいずれか１項に記載のズームレンズと、該ズームレンズによって形成される像を受光する撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のズームレンズは、物体側から像側へ順に配置された、負の屈折力の第１レンズ群、正の屈折力の第２レンズ群、１以上のレンズ群を有する中間群、正の屈折力の最終レンズ群より構成され、
ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化し、
前記最終レンズ群は、中心から周辺部にかけて負の屈折力が強くなる非球面形状のレンズ面を含む負レンズＬｎを有し、
前記負レンズＬｎの物体側のレンズ面及び像側のレンズ面の曲率半径を各々Ｒｎ１及びＲｎ２、前記負レンズＬｎの材料のｄ線に対する屈折率及びアッベ数を各々Ｎｄｎ及びνｄｎとするとき、
−２５．０＜（Ｒｎ１＋Ｒｎ２）／（Ｒｎ２−Ｒｎ１）＜０．０
２０．０＜νｄｎ＜３７．５
１．８４＜Ｎｄｎ＜２．５０
なる条件式を満足することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月19日(2019.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の表示素子と、第２の表示素子と、第１の表示面と、第２の表示面と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第１の絶縁層と、を有する表示装置であって、
前記第１の表示素子は、前記第１の表示面側に可視光を反射する機能を有し、
前記第２の表示素子は、前記第２の表示面側に可視光を発する機能を有し、
前記第１の表示面と前記第２の表示面とは、前記第１の表示素子、前記第２の表示素子、前記第１のトランジスタ、前記第２のトランジスタ、及び前記第１の絶縁層を挟み、且つ互いに背中合わせに位置し、
前記第１のトランジスタは、前記第１の表示素子と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタは、前記第２の表示素子と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタと、前記第２のトランジスタとは、それぞれ前記第１の絶縁層の前記第２の表示面側に形成され、
前記第１の表示素子は、前記第１の絶縁層と前記第１の表示面との間に位置し、
前記第２の表示素子は、前記第１の絶縁層と前記第２の表示面との間に位置する、表示装置。
【請求項２】
請求項１において、
前記第１の表示素子は、反射型の液晶素子である、表示装置。
【請求項３】
請求項１又は請求項２において、
前記第２の表示素子は、電界発光素子である、表示装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一において、
前記第１のトランジスタ、及び前記第２のトランジスタのうち、少なくとも一方は、チャネルが形成される半導体層に金属酸化物を含む、表示装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一に記載の表示装置と、筐体とを有し、
前記筐体は、操作ボタン、スピーカ、マイク、カメラ、外部接続ポート、アンテナ、センサのうち、いずれか一以上を有する、電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月8日(2019.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な無端状の定着部材、前記定着部材の内周側に配置されるニップ形成部材、及び記録材を前記定着部材側へ向けて押圧する押圧部材を備え、前記ニップ形成部材と前記定着部材の間に潤滑剤を塗布する定着装置において、
前記ニップ形成部材は、前記定着部材に対向する対向部分に、前記定着部材と前記押圧部材との間に形成するニップ部領域の外で前記定着部材に接触する接触部を、前記定着部材回転方向上下流側に有し、
前記ニップ部より下流側の接触部の表面粗さが前記ニップ部より上流側の接触部の表面粗さに比して小さいことを特徴とする定着装置。
【請求項２】
請求項１に記載の定着装置において、
ニップ部上流側の接触部が定着部材に接触する圧力は、ニップ部下流側の接触部が定着部材に接触する圧力よりも低いことを特徴とする定着装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載の定着装置において、
前記ニップ部領域とニップ部下流側の接触部との間に空隙部を設けていることを特徴とする定着装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一に記載の定着装置において、
前記対向部分の、前記ニップ形成部材の長手方向の中央側よりも両端部側のニップ部上流側の接触部の表面粗さを粗くしたことを特徴とする定着装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一に記載の定着装置において、
前記押圧部材は、回転する回転体であることを特徴とする定着装置。
【請求項６】
請求項５に記載の定着装置において、
前記押圧部材が回転駆動され、前記押圧部材の表面、又は前記定着部材とで挟持する記録材を介して伝達される回転駆動力により、前記定着部材が回転することを特徴とする定着装置。
【請求項７】
請求項１乃至６のいずれか一に記載の定着装置において、
前記定着部材を非ニップ部で加熱する加熱手段と、前記定着部材の両端部近傍をニップ部で加熱する端部熱源と、を備え、
前記定着部材と前記押圧部材との間に形成されるニップ部における前記定着部材の長手方向の熱移動を補助する熱移動補助部材を前記ニップ形成部材の前記対向部分として設けるとともに、前記ニップ形成部材と前記熱移動補助部材との間の長手方向両端部に前記端部熱源を設けたことを特徴とする定着装置。
【請求項８】
記録材上に形成したトナー像を、前記記録材上に定着する定着装置を備えた画像形成装置において、
前記定着装置として、請求項１乃至７のいずれか一に記載の定着装置を備えることを特徴とする画像形成装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上述した課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、回転可能な無端状の定着部材、前記定着部材の内周側に配置されるニップ形成部材、及び記録材を前記定着部材側へ向けて押圧する押圧部材を備え、前記ニップ形成部材と前記定着部材の間に潤滑剤を塗布する定着装置において、前記ニップ形成部材は、前記定着部材に対向する対向部分に、前記定着部材と前記押圧部材との間に形成するニップ部領域の外で前記定着部材に接触する接触部を、前記定着部材回転方向上下流側に有し、前記ニップ部より下流側の接触部の表面粗さが前記ニップ部より上流側の接触部の表面粗さに比して小さいことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月20日(2019.2.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両に搭載された車載機器に対する操作項目と、前記操作項目が操作される際における前記車両の状況又は当該車両の走行状態の少なくとも一つである車両環境状態とを、複数の運転者毎に取得する取得部と、
前記取得部が取得した前記複数の運転者のそれぞれの前記操作項目と前記車両環境状態とを関連付けて学習する学習部と、
前記学習部の学習結果に基づいて、特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目を推定する推定部と、
前記所定時点での前記車両環境状態を検出する検出部と、を備え、
前記取得部は、前記操作項目と前記車両環境状態とが対応付けられた、前記複数の運転者毎の個人操作履歴を取得し、
前記学習部は、前記取得部が取得した前記複数の運転者の前記個人操作履歴をモデル化することによって、少なくとも一部の運転者の前記操作項目と、前記車両環境状態との関係を示すドライバモデルを前記学習結果として構築し、
前記推定部は、前記学習部によって構築された前記ドライバモデルにおいて、前記検出部が検出した前記車両環境状態に関連付けられた前記操作項目を、前記特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目とする
情報推定システム。
【請求項２】
前記推定部は、推定した前記操作項目の頻度が所定の閾値を越えない場合には、前記操作項目を採用しない
請求項１に記載の情報推定システム。
【請求項３】
前記学習部は、
前記複数の運転者のそれぞれについて、前記取得部が取得した前記車両環境状態と、前記操作項目との関係をニューラルネットワークに学習させる第一学習部と、
前記特定の運転者に対して前記取得部が取得した前記車両環境状態と、前記操作項目とを用いて、前記特定の運転者に対する専用のニューラルネットワークを前記学習結果として構築する第二学習部とを備え、
前記推定部は、前記専用のニューラルネットワークを用いて、前記特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目を推定する
請求項１に記載の情報推定システム。
【請求項４】
さらに、前記推定部により推定された前記操作項目を報知する報知部を有する
請求項１〜３のいずれか一項に記載の情報推定システム。
【請求項５】
さらに、前記推定部により推定された前記操作項目に基づいて前記車載機器を制御する機器制御部を備える
請求項１〜４のいずれか一項に記載の情報推定システム。
【請求項６】
車両に搭載された車載機器に対する操作項目と、前記操作項目が操作される際における前記車両の状況又は当該車両の走行状態の少なくとも一つである車両環境状態とを、取得部が複数の運転者のそれぞれ毎に取得し、
前記取得部が取得した前記複数の運転者のそれぞれの前記操作項目と前記車両環境状態とを関連付けて学習部が学習し、
前記学習部の学習結果に基づいて、特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目を推定部が推定する際に、
前記所定時点での前記車両環境状態を検出部が検出すると、前記取得部は、前記操作項目と前記車両環境状態とが対応付けられた、前記複数の運転者毎の個人操作履歴を取得し、
前記学習部は、前記取得部が取得した前記複数の運転者の前記個人操作履歴をモデル化することによって、少なくとも一部の運転者の前記操作項目と、前記車両環境状態との関係を示すドライバモデルを前記学習結果として構築し、
前記推定部は、前記学習部によって構築された前記ドライバモデルにおいて、前記検出部が検出した前記車両環境状態に関連付けられた前記操作項目を、前記特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目とする
情報推定方法。
【請求項７】
車両に搭載された車載機器に対する操作項目と、前記操作項目が操作される際における前記車両の状況又は当該車両の走行状態の少なくとも一つである車両環境状態とを、複数の運転者のそれぞれ毎に取得し、
取得した前記複数の運転者のそれぞれの前記操作項目と前記車両環境状態とを関連付けて学習し、
学習結果に基づいて、特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目を推定する際に、
前記所定時点での前記車両環境状態を検出すると、前記操作項目と前記車両環境状態とが対応付けられた、前記複数の運転者毎の個人操作履歴を取得し、
取得した前記複数の運転者の前記個人操作履歴をモデル化することによって、少なくとも一部の運転者の前記操作項目と、前記車両環境状態との関係を示すドライバモデルを前記学習結果として構築し、
前記ドライバモデルにおいて、検出された前記車両環境状態に関連付けられた前記操作項目を、前記特定の運転者の所定時点での前記車両環境状態に対する前記操作項目とすることをコンピュータに実行させる
プログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月18日(2019.7.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
主面を有する環状のフレームと、
前記フレームを前記主面に平行な面内で振動させる駆動部と、
前記フレームの前記主面における変形量に基づいて、前記主面に直交する第１の軸まわりの角速度を検出する第１の検出部と、
前記フレームの振動に同期して振動する複数の振り子部と、
前記第１の軸と直交する第２の軸まわりの角速度が生じた場合に前記主面上の振動モードの節となる位置に配置され、前記第１及び第２の軸にそれぞれ直交する第３の軸まわりの角速度を検出する第２の検出部と、
前記第３の軸まわりの角速度が生じた場合に前記主面上の振動モードの節となる位置に配置され、前記第２の軸まわりの角速度を検出する第３の検出部と
を具備するジャイロセンサ。
【請求項２】
請求項１に記載のジャイロセンサであって、
前記フレームは、前記第２の軸方向に延在し前記第３の軸方向に相互に対向する第１の梁の組と、前記第３の軸方向に延在し前記第２の軸方向に相互に対向する第２の梁の組と、前記第１の梁と前記第２の梁との間を接続する複数の接続部とを有し、
前記駆動部は、前記第１及び第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、前記一方の組が離間したときに前記他方の組が近接する振動モードで、前記フレームを前記主面に平行な面内において振動させ、
前記複数の振り子部は、前記複数の接続部に支持される一端部をそれぞれ有し、
前記第２の検出部は、前記第２の梁の長さ方向の中央部にそれぞれ配置された一対の圧電素子を含み、
前記第３の検出部は、前記第１の梁の長さ方向の中央部にそれぞれ配置された一対の圧電素子を含む
ジャイロセンサ。
【請求項３】
請求項２に記載のジャイロセンサであって、
前記複数の振り子部は、
前記主面に平行な面内で前記第２及び第３の軸方向と交差する第４の軸方向に相互に対向する一対の第１の振り子部と、
前記主面に平行な面内で前記第２、第３及び第４の軸方向と交差する第５の軸方向に相互に対向する一対の第２の振り子部と、を含む
ジャイロセンサ。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のジャイロセンサであって、
前記第２の検出部を構成する一対の圧電素子は、前記第２の梁の幅方向の中心に配置され、前記第２の梁に沿って直線的に延びる短冊形状を有する
ジャイロセンサ。
【請求項５】
請求項２〜４のいずれか１つに記載のジャイロセンサであって、
前記第３の検出部を構成する一対の圧電素子は、前記第１の梁の幅方向の中心に配置され、前記第１の梁に沿って直線的に延びる短冊形状を有する
ジャイロセンサ。
【請求項６】
請求項２〜５のいずれか１つに記載のジャイロセンサであって、
前記第２の検出部を構成する一対の圧電素子の出力の差分に基づいて前記第３の軸まわりの角速度を検出し、前記第３の検出部を構成する一対の圧電素子の出力の差分に基づいて前記第２の軸まわりの角速度を検出するコントローラをさらに具備する
ジャイロセンサ。
【請求項７】
主面を有する環状のフレームと、
前記フレームを前記主面に平行な面内で振動させる駆動部と、
前記フレームの前記主面における変形量に基づいて、前記主面に直交する第１の軸まわりの角速度を検出する第１の検出部と、
前記フレームの振動に同期して振動する複数の振り子部と、
前記第１の軸と直交する第２の軸まわりの角速度が生じた場合に前記主面上の振動モードの節となる位置に配置され、前記第１及び第２の軸にそれぞれ直交する第３の軸まわりの角速度を検出する第２の検出部と、
前記第３の軸まわりの角速度が生じた場合に前記主面上の振動モードの節となる位置に配置され、前記第２の軸まわりの角速度を検出する第３の検出部と
を有するジャイロセンサ
を具備する電子機器。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
図６に示すように、基本振動で振動するフレーム１０にＸ軸まわりの角速度が作用すると、各振り子部２１ａ〜２１ｄにその瞬間での振動方向と直交する方向のコリオリ力Ｆ３がそれぞれ発生する。これにより、Ｘ軸方向に隣接する一方の振り子部２１ａ，２１ｄの組は、コリオリ力Ｆ３によりＺ軸の負の方向へ変形し、その反力で梁１１ａの中央部がＺ軸の正の方向へ変形する。また、Ｘ軸方向に隣接する他方の振り子部２１ｂ，２１ｃの組は、コリオリ力Ｆ３によりＺ軸の正の方向へ変形し、その反力で梁１１ｂの中央部がＺ軸の負の方向へ変形する。圧電検出部５３ｘ１，５３ｘ２は、これら梁１１ａ，１１ｂの変形量に相当する検出信号（ｘ１，ｘ２）をそれぞれ出力する。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月19日(2019.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
箱型のケーシングと、
このケーシングの内部の下方に圧縮機を収容する圧縮機容器を上方に電装箱を有してなり、
前記ケーシング内部の電装箱の下端よりも低い位置で、かつ、前記圧縮機の上端よりも高い位置にトランス用箱を備えてなる、
ことを特徴とする空気調和装置の室外機。
【請求項２】
前記トランス用箱は、上面視で前記電装箱と重なる位置に設けられる、
ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置の室外機。
【請求項３】
前記ケーシングの支柱間に側部保持部材が設けられ、
この側部保持部材により、前記トランス用箱を固定する、
ことを特徴とする請求項１に記載の空気調和装置の室外機。
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月27日(2019.5.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置底面に露出するリード（３）またはダイパッド（４）となる金属部が母型（２０）上に形成された半導体装置用基板であって、
前記母型（２０）は最表層となる第１基材（２０ａ）を含む複数の基材が積層形成されたものであり、
前記第１基材（２０ａ）は、接着性を有する樹脂を介して第２基材（２０ｂ）上に接合されていることを特徴とする半導体装置用基板。
【請求項２】
前記第１基材（２０ａ）と前記第２基材（２０ｂ）は、突弧面あるいは凹弧面どうしが対向する状態で接合されていることを特徴とする請求項１に記載の半導体装置用基板。
【請求項３】
前記第１基材（２０ａ）は、前記第２基材（２０ｂ）より薄く形成されていることを特徴とする請求項１または２に記載の半導体装置用基板。
【請求項４】
装置底面に露出するリード（３）またはダイパッド（４）となる金属部が母型（２０）上に形成された半導体装置用基板の製造方法であって、
最表層となる第１基材（２０ａ）を含み、第２基材（２０ｂ）上に接着性を有する樹脂を介して前記第１基材（２０ａ）を接合して前記母型（２０）を形成する工程と、
前記母型（２０）の前記第１基材（２０ａ）表面に、前記金属部を形成するためのレジストパターン層（２５）を形成する工程と、
前記レジストパターン層（２５）から露出する前記第１基材（２０ａ）表面に、前記金属部を形成する工程と、
前記レジストパターン層（２５）を除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置用基板の製造方法。
【請求項５】
前記母型（２０）を形成する工程において、前記第１基材（２０ａ）と前記第２基材（２０ｂ）の突弧面あるいは凹弧面どうしが対向する状態で前記両基材（２０ａ・２０ｂ）を接合することを特徴とする請求項４に記載の半導体装置用基板の製造方法。
【請求項６】
半導体素子（２）と、該半導体素子（２）と接続されるリード（３）または該半導体素子（２）が載置されるダイパッド（４）となる金属部とが樹脂により封止され、底面に前記金属部が露出する半導体装置の製造方法であって、
最表層となる第１基材（２０ａ）を含み、第２基材（２０ｂ）上に接着性を有する樹脂を介して前記第１基材（２０ａ）を接合して前記母型（２０）を形成する工程と、
前記母型（２０）の前記第１基材（２０ａ）表面に、前記金属部を形成するためのレジストパターン層（２５）を形成する工程と、
前記レジストパターン層（２５）から露出する前記第１基材（２０ａ）表面に、前記金属部を形成する工程と、
前記レジストパターン層（２５）を除去する工程と、
前記金属部上に、前記半導体素子（２）を搭載するとともに、前記半導体素子（２）と前記金属部とを電気的に接続する工程と、
前記半導体素子（２）及び前記金属部を樹脂で封止して樹脂封止体（７）を形成する工程と、
前記樹脂封止体（７）から前記母型（２０）を除去する工程とを有することを特徴とする半導体装置の製造方法。
【請求項７】
前記母型（２０）を形成する工程において、前記第１基材（２０ａ）と前記第２基材（２０ｂ）の突弧面あるいは凹弧面どうしが対向する状態で前記両基材（２０ａ・２０ｂ）を接合することを特徴とする請求項６に記載の半導体装置の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月14日(2019.5.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
搬送エリアとメンテナンスエリアとの間に配置された複数の測定部であって、ウエハ上に形成された半導体素子の検査の際に用いられる被メンテナンス装置と、前記被メンテナンス装置を前記メンテナンスエリア側に引き出す引出機構と、を備えた複数の測定部と、
前記測定部と一定距離隔てて設けられ、搬送物を収納する搬送物収納部と、
前記搬送物を前記搬送物収納部から取り出して、前記搬送物を前記搬送先の測定部内に搬送する搬送ユニットと、を備え、
前記被メンテナンス装置の引出方向と前記搬送物の搬送方向とが同じ方向であり、
前記被メンテナンス装置は、テストヘッドであるプローバ。
【請求項２】
前記搬送物はウエハないしはプローブカードである請求項１に記載のプローバ。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月13日(2019.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
非矩形状の表示領域内に、第１方向と第２方向とに沿って配列された複数の画素と、
前記第１方向に沿う第１画素群に、走査線を介して、走査信号を出力する走査回路と、
前記第２方向に沿う第２画素群に、データ線を介して、前記走査信号が入力される画素の発光輝度に応じたデータ信号を出力するデータ信号回路と、
前記走査回路を制御する第１信号が供給される第１配線部と、
前記データ信号回路を制御する第２信号が供給される第２配線部と、
前記第１配線部と前記走査回路とを接続する第１補助配線部と、
前記第２配線部と前記データ信号回路とを接続する第２補助配線部とを備え、
前記走査回路と前記データ信号回路とは、前記表示領域の外周における第１領域に配置され、
前記第１配線部と前記第２配線部とは、前記第１領域の外周における第２領域に配置され、
前記第１補助配線部は、前記第１配線部の延伸方向と略直交する方向に沿って配置され、
前記第２補助配線部は、前記第２配線部の延伸方向と略直交する方向に沿って配置される表示装置。
【請求項２】
複数の走査回路と、
複数のデータ信号回路とを備え、
前記複数のデータ信号回路の各々は、複数のデータ線に時分割でデータ信号を順次出力するデマルチプレクサである請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記走査回路と前記データ信号回路とは、前記表示領域の外周に沿って配置され、更に、隣接する請求項１に記載の表示装置。
【請求項４】
前記複数の走査回路は、前記表示領域の外周の辺から略等距離に配置され、
前記データ信号回路は、前記表示領域の外周の辺から略等距離に配置される請求項１に記載の表示装置。
【請求項５】
前記複数の走査回路の各々は、前記第１信号がゲートに入力される薄膜トランジスタを備え、
前記薄膜トランジスタの半導体層のチャネル領域において電流が流れる方向と前記第１配線の延伸方向とが略平行である請求項２に記載の表示装置。
【請求項６】
前記複数のデータ信号回路の各々は、前記第２信号がゲートに入力される薄膜トランジスタを備え、
前記薄膜トランジスタの半導体層のチャネル領域において電流が流れる方向と前記第２配線の延伸方向とが略平行である請求項２に記載の表示装置。
【請求項７】
前記画素は、有機発光層を含む発光部と、輝度に応じた電流を前記発光部に流す駆動トランジスタを含む画素回路とを備え、
前記画素回路は基板面に層状に形成され、前記発光部は、前記画素回路が形成された層の上側に形成され、
層状に形成された前記画素回路において、前記駆動トランジスタに含まれるソースとドレインの少なくとも１つに接続する配線が形成される配線層に前記第１配線部と前記第２配線部とが形成され、前記容量の金属電極が形成される層に前記第１補助配線と前記第２補助配線とが形成される請求項１に記載の表示装置。
【請求項８】
前記画素は、有機発光層を含む発光部と、輝度に応じた電流を前記発光部に流す駆動トランジスタを含む画素回路とを備え、
前記画素回路は基板面に層状に形成され、前記発光部は、前記画素回路が形成された層の上側に形成され、
層状に形成された前記画素回路において、前記駆動トランジスタに含まれるソースとドレインの少なくとも１つに接続する配線が形成される配線層に前記第１配線部と前記第２配線部とが形成され、前記容量の第１金属電極が形成される層又は前記容量の第２金属電極が形成される層に前記第１補助配線と前記第２補助配線とが形成される請求項１に記載の表示装置。
【請求項９】
前記画素回路の駆動トランジスタは、前記電流を前記画素回路の直上に配置された前記発光部に流す請求項７又は８に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記データ線は、前記第２方向に沿って配置され、
さらに、前記データ線の一端側に配置された、前記走査回路とデータ信号回路とを制御する制御回路に接続する接続配線部を備え、
前記第１領域は、前記接続配線部側の第３領域と前記第３領域と異なる第４領域とを含み、
前記第３領域に配置された走査回路の幅は、前記第４領域に配置された走査回路の幅に比べて短い請求項７又は８に記載の表示装置。
【請求項１１】
前記データ線は、前記第２方向に沿って配置され、
さらに、前記データ線の一端側に、前記走査回路とデータ信号回路とを制御する制御回路と接続する接続配線部を備え、
前記画素回路の駆動トランジスタは、前記電流を、前記画素回路の直上に配置された発光部を基準にして前記データ線の一端側に向けて１画素分ずれた位置に配置された発光部に流す請求項７又は８に記載の表示装置。
【請求項１２】
前記表示領域において最も外側に配置されている画素の配置領域と、前記駆動回路又は前記データ信号回路の配置領域との間の領域に、金属層が配置された請求項１に記載の表示装置。
【請求項１３】
非矩形状の表示領域内に、第１方向と第２方向とに沿って配列された複数の画素と、
前記第２方向に沿う第２画素群に、データ線を介して、走査信号が入力される画素の発光輝度に応じたデータ信号を出力するデータ信号回路と、
前記データ信号回路を制御する制御信号が供給される制御配線部と、
前記制御配線部と前記データ信号回路とを接続する補助配線部とを備え、
前記データ信号回路は、前記表示領域の外周における第１領域に円弧状に配置され、
前記制御配線部は、前記第１領域の外周における第２領域に円弧状に配置され、
前記補助配線部は、前記制御配線部の延伸方向と略直交する方向に沿って配置され、
円弧状に配置された複数のデータ信号回路の各々の配置角度は、前記第１方向又は前記第２方向に対して異なる、表示装置。
【請求項１４】
前記データ信号回路は、所定の本数のデータ線を介して、前記第２画素群にデータ信号を出力し、
更に、前記所定の本数のデータ線と、前記所定の本数のデータ線に前記データ信号を出力する前記データ信号回路とを接続する所定の本数の出力配線を備え、
前記所定の本数の出力配線の各々は、前記所定の本数のデータ線の各々と一対一で接続する、請求項１３に記載の表示装置。
【請求項１５】
前記所定の本数の出力配線は、前記所定の本数のデータ線と前記データ信号回路とを最短距離で接続する、請求項１４に記載の表示装置。
【請求項１６】
第１の出力配線の前記第１方向に対する傾き角と、第２の出力配線の前記第１方向に対する傾き角とが異なる、請求項１５に記載の表示装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月24日(2019.7.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
互いに異なる第１方向および第２方向のうちの一方における高さばらつきより他方における高さばらつきの方が大きい面を有する基板に対し、当該面の高さ分布を計測する計測装置であって、
検出領域内において前記基板の面の高さを検出する検出部と、
前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより走査方向における前記基板の面の高さ分布を求める処理部と、
を含み、
前記処理部は、前記第１方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第１方向における前記基板の面の高さ分布を第１分布として求め、前記第１分布における高さばらつきが基準値より小さい場合には、前記第２方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第２方向における前記基板の面の高さ分布を更に求める、ことを特徴とする計測装置。
【請求項２】
前記基板は、パターンが形成された複数のパターン領域と、前記複数のパターン領域の間に設けられた間隙領域とを含み、
前記処理部は、前記複数のパターン領域のレイアウト情報に基づいて、前記間隙領域において前記検出部による高さの検出が行われるように前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させる、ことを特徴とする請求項１に記載の計測装置。
【請求項３】
前記処理部は、前記第１方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に１回だけ走査させることにより前記第１分布を求め、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値より小さい場合には、前記第２方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に１回だけ走査させることにより前記第２方向における前記基板の面の高さ分布を更に求める、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の計測装置。
【請求項４】
前記基板は、矩形形状を有し、
前記第１方向および前記第２方向は、前記基板の面の辺のうち互いに直交する２つの辺にそれぞれ平行である、ことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項５】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値以上である場合には、前記第１分布から生成される、前記基板の面内における高さ分布を示す分布情報を取得する、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項６】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値以上である場合には、前記第１分布から、前記基板の面内における高さ分布を示す分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項７】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値以上である場合には、前記第２方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させずに、前記第１分布から、前記基板の面内における高さ分布を示す分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項８】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値以上である場合、前記第２方向における複数の位置の各々についても、前記第１方向に平行な方向における前記基板の面の高さ分布が前記第１分布であると推定して、前記分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項５乃至７のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項９】
前記処理部は、前記第２方向における前記複数の位置の各々について前記第１分布を適用することにより、前記分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項８に記載の計測装置。
【請求項１０】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値より小さい場合には、前記第２方向における前記基板の面の高さ分布に基づいて、前記基板の面内における高さ分布を示す分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１１】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値より小さい場合には、前記第１分布にも基づいて前記分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項１０に記載の計測装置。
【請求項１２】
前記処理部は、前記第１分布における高さばらつきが前記基準値より小さい場合、前記第１分布と前記第２方向における前記基板の面の高さ分布とに基づいて、前記基板の面のうち前記検出部による検出が行われていない未検出部分の高さを補間することにより、前記基板の面内における高さ分布を示す分布情報を生成する、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１３】
前記第１分布における高さばらつきは、前記第１分布における高さの最大値と最小値との差を含む、ことを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１４】
前記基板を保持する保持面を有するステージを含み、
前記検出部は、前記基板の厚さを検出し、前記基板の厚さの検出結果および前記保持面の高さ分布を示す情報に基づいて、前記保持面により保持された前記基板の面の高さを求める、ことを特徴とする請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載の計測装置。
【請求項１５】
基板を露光する露光装置であって、
マスクのパターンを前記基板に投影する投影光学系と、
前記基板の面の高さ分布を計測する請求項１乃至１４のうちいずれか１項に記載の計測装置と、
前記計測装置での計測結果に基づいて、前記基板の露光中における前記投影光学系の投影像を制御する制御部と、
を含むことを特徴とする露光装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された前記基板を現像する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての計測装置は、互いに異なる第１方向および第２方向のうちの一方における高さばらつきより他方における高さばらつきの方が大きい面を有する基板に対し、当該面の高さ分布を計測する計測装置であって、検出領域内において前記基板の面の高さを検出する検出部と、前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより走査方向における前記基板の面の高さ分布を求める処理部と、を含み、前記処理部は、前記第１方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第１方向における前記基板の面の高さ分布を第１分布として求め、前記第１分布における高さばらつきが基準値より小さい場合には、前記第２方向に前記基板と前記検出領域とを相対的に走査させることにより前記第２方向における前記基板の面の高さ分布を更に求める、ことを特徴とする。