(57)【要約】  上面に研磨対象物（３１）が支持固定される支持テーブル（３２）、支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸（３４）、回転軸の昇降を駆動する駆動装置（３５）、回転軸の回転を駆動する駆動装置（３６）、回転軸の基部に固定された弾性体（３７）、弾性体の下部に備えられた環状の砥石（３８）、弾性体に付設された複数の超音波振動子（３９）、そして超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置（４１）からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板（４２）が配置され、この接続板と上記環状弾性体とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段（４５）により連結されていて、上記の複数の超音波振動子が弾性体の所定位置に配置されている研磨装置（３０）を用いることにより、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。【特許請求の範囲】
【請求項１】
上面に研磨対象物が支持固定される支持テーブル、該支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸、該回転軸の昇降を駆動する駆動装置、該回転軸の回転を駆動する駆動装置、該回転軸の基部に固定された弾性体、該弾性体の下部に備えられた環状の砥石、該弾性体に付設された複数の超音波振動子、そして該超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、
該弾性体が環状弾性体であり、該環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、該接続板の周縁部の下側表面と該環状弾性体の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、複数の超音波振動子が該連結手段の該スペース部に面する該環状弾性体の上側表面または該スペース部の下側の該環状弾性体の外側側面もしくは内側側面に配置されているか、あるいは、
該弾性体が環状弾性体であり、該環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、該接続板の周縁部の外側側面と該環状弾性体の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、複数の超音波振動子が該連結手段の該スペース部に面する該環状弾性体の内側側面もしくは該内側側面の反対側の外側側面またはスペース部に近接する該環状弾性体の上側表面に配置されていることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
上記接続板と上記連結部が共に弾性体である請求項１に記載の研磨装置。
【請求項３】
上記接続板と上記連結部が共に弾性体であり、そして該接続板と該連結部とが上記環状弾性体と一体に形成されている請求項１に記載の研磨装置。
【請求項４】
連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比が連結部の長さとスペース部の長さとの比として、１：１乃至１：２０の範囲にある請求項１に記載の研磨装置。
【請求項５】
超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置がロータリートランスである請求項１に記載の研磨装置。
【請求項６】
連結手段の複数の連結部とスペース部のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されている請求項１に記載の研磨装置。
【請求項７】
複数の超音波振動子のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されている請求項１に記載の研磨装置。
【請求項８】
支持テーブルが回転可能であって、かつ該支持テーブルを回転駆動する駆動装置をさらに備える請求項１に記載の研磨装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ガラスやシリコンなどから形成された研磨対象物の表面を平滑に研磨するために用いられる、超音波振動を利用する研磨装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来より、薄膜型電子デバイスを形成するために、ガラス基板、シリコン基板あるいはシリコンナイトライド基板などの各種の基板が用いられている。これらの基板の表面は、研磨装置を用いて平滑に研磨される。また、レンズやプリズムなどの光学部品にも、その表面を平滑に研磨することが必要とされる場合がある。このような各種の研磨対象物の表面を研磨したり、あるいは研磨対象物をその表面の研磨を繰り返しながら所定の厚みに加工したりするために、超音波振動を利用する研磨装置を用いることは既に知られている。【０００３】
図１は、特許文献１に記載されている従来の研磨装置の正面図であり、そして図２は、図１に記入した切断線I−I線に沿って切断した研磨装置１０の断面図である。なお、図２においては、図１に示す研磨対象物１１、支持テーブル１２、および研磨液を供給するパイプ２１の記載は省略してある。【０００４】
図１及び図２に示す研磨装置１０は、研磨対象物（研磨物）１１が支持固定される回転可能な円盤状の支持テーブル（ワーク固定台）１２、支持テーブル１２の上方に配置されている、昇降及び水平方向に往復運動が可能な研磨軸１４、研磨軸１４の基部に固定された弾性体１７、弾性体１７の下部に備えられた環状の砥石１８、そして弾性体１７の上面に付設された一対の積層型圧電アクチュエータ１９などから構成されている。また、特許文献１には、他の態様の開示もあるが、いずれも前記積層型圧電アクチュエータは、弾性体の上面に配置されている。【０００５】
この研磨装置１０においては、先ず、研磨対象物１１を支持テーブル１２の上に固定し、そして支持テーブル１２を回転させながら、各々の積層型圧電アクチュエータ１９にて発生した超音波振動を弾性体１７を介して砥石１８に付与することにより、研磨対象物１１の研磨が行なわれる。【０００６】
同文献においては、上記の研磨装置１０は、砥石１８の研磨面（下面）に定在波の面内振動を発生させたり、あるいは研磨面に垂直な楕円振動を発生させたりする超音波振動発生手段として積層型圧電アクチュエータ１９（あるいはランジュバン振動子）を用いるため、砥石１８を大きな振幅にて振動させることができ、このため研磨対象物１１を高い精度で且つ短時間に研磨できると記載されている。
【特許文献１】特開平５−２００６５９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高い精度で且つ短時間に研磨できる。しかしながら、本発明者の検討により、この研磨装置においては、積層型圧電アクチュエータにて発生した超音波振動の一部分が弾性体を介して研磨軸に伝わり易く、砥石に十分に大きな超音波振動を付与することが難しいことが判明した。【０００８】
そして、砥石に付与する超音波振動の大きさが不十分であると、砥石と研磨対象物との摩擦抵抗が大きくなり、両者が擦れ合う際に不要な機械振動を生じて研磨の精度が低下する（研磨後の研磨対象物の表面の粗さが大きくなる）ことも判明した。【０００９】
本発明の課題は、研磨対象物を高い精度で研磨することができる、超音波振動を利用する研磨装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明者は、更に検討を進めた結果、下部に砥石を備える環状の弾性体と、この砥石を回転させる回転軸の基部との間に接続板を配置して、この接続板と環状弾性体とを、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段を介して連結することにより、上記連結部と連結部との間の環状弾性体部分が、連結部に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易くなり、そして前者の環状弾性体部分に超音波振動子を固定して超音波振動を発生させると、この超音波振動が各連結部（及び接続板）を介して回転軸には伝わり難く、その大部分が環状弾性体を介して砥石に付与されるために研磨対象物を研磨する精度が向上することを見出した。【００１１】
本発明は、上面に研磨対象物が支持固定される支持テーブル、支持テーブルの上方に配置された昇降可能な回転軸、回転軸の昇降を駆動する駆動装置、回転軸の回転を駆動する駆動装置、回転軸の基部に固定された弾性体、弾性体の下部に備えられた環状の砥石、弾性体に付設された複数の超音波振動子、そして超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置からなる超音波振動を利用する研磨装置であって、
上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板の周縁部の下側表面と上記環状弾性体の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、上記の複数の超音波振動子が連結手段のスペース部に面する上記環状弾性体の上側表面またはスペース部の下側の上記環状弾性体の外側側面もしくは内側側面に配置されているか、あるいは、
上記の弾性体が環状弾性体であり、この環状弾性体と回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板の周縁部の外側側面と上記環状弾性体の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段により連結されていて、上記の複数の超音波振動子が連結手段のスペース部に面する上記環状弾性体の内側側面もしくは内側側面の反対側の外側側面またはスペース部に近接する上記環状弾性体の上側表面に配置されていることを特徴とする研磨装置にある。【００１２】
本発明の研磨装置の好ましい態様は、次の通りである。
（１）上記接続板と上記連結部が共に弾性体である。
（２）上記接続板と上記連結部が共に弾性体であり、そして接続板と連結部とが上記環状弾性体と一体に形成されている。
（３）連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比が連結部の長さとスペース部の長さとの比として、１：１乃至１：２０の範囲にある。
（４）超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置がロータリートランスである。
（５）連結手段の複数の連結部とスペース部のそれぞれが互いに回転軸に対称に配置されている。
（６）複数の超音波振動子のそれぞれが、互いに回転軸に対称に配置されている。
（７）支持テーブルが回転可能であって、かつ支持テーブルを回転駆動する駆動装置をさらに備える。
【発明の効果】
【００１３】
本発明の研磨装置においては、下部に砥石を備える環状の弾性体と、この砥石を回転させる回転軸の基部との間に接続板が配置され、この接続板と環状弾性体とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部とスペース部とからなる連結手段を介して連結されている。そして、この環状弾性体の所定位置に固定された各々の超音波振動子にて発生させた超音波振動は、上記連結部と連結部との間の環状弾性体部分が、連結部に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易いため、各連結部（及び接続板）を介して回転軸には伝わり難く、その大部分が環状弾性体を介して砥石に付与される。このため、本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１４】
次に、本発明の研磨装置を添付の図面を用いて説明する。図３は、本発明の研磨装置の構成例を示す正面図である。図４は、図３に示す研磨装置３０が備える、接続板４２、連結手段４５、環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石３８から構成される研磨具４０の拡大図であり、そして図５は、図４に示す研磨具４０の分解斜視図である。また、図６は、図４の研磨具４０が備える環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石３８の平面図であり、そして図７は、図６に記入した切断線II−II線に沿って切断した環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石３８の断面図である。【００１５】
図３から図７に示すように、研磨装置３０は、上面に研磨対象物３１が支持固定される支持テーブル３２、支持テーブル３２の上方に配置された昇降可能な回転軸３４、回転軸３４の昇降を駆動する駆動装置３５、回転軸３４の回転を駆動する駆動装置３６、回転軸３４の基部に固定された弾性体３７、弾性体３７の下部に備えられた環状の砥石３８、弾性体３７に付設された複数の超音波振動子３９、そして超音波振動子３９に電気エネルギーを伝達する伝達装置４１などから構成されている。【００１６】
そして、本発明の研磨装置３０においては、上記の弾性体３７が環状の弾性体であり、この環状弾性体３７と回転軸３４の基部との間に接続板４２が配置され、接続板４２の周縁部の下側表面と環状弾性体３７の上側表面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部４３とスペース部４４とからなる連結手段４５により連結されていて、上記の複数の超音波振動子３９が連結手段４５のスペース部４４に面する上記環状弾性体３７の上側表面に配置されている。【００１７】
研磨装置３０で研磨する研磨対象物３１の種類に特に制限は無いが、その代表例としては、ガラス基板、シリコン基板（シリコンウエハ）、シリコンナイトライド基板及びリチウムナイオベイト基板が挙げられる。【００１８】
研磨対象物３１は、例えば、ホットメルト型接着剤を用いて支持テーブル３２の表面に固定され支持される。研磨対象物は、例えば、別に用意した保持具に保持させて、この保持具を支持テーブルに固定することにより、支持テーブルの表面に間接的に支持固定されていてもよい。支持テーブルと保持具とは、例えば、ボルトにより固定してもよいし、あるいは電磁力を利用して固定してもよい。【００１９】
支持テーブル３２は、例えば、基台５１の上に設置され、支持テーブル３２の下面に接続された駆動装置（例、電動機）３３によって回転駆動することが好ましい。支持テーブル３２の回転数は、通常、５０乃至５００回転／分の範囲内に設定される。支持テーブル３２と駆動装置３３とは、例えば、歯車やベルトなどの動力伝達用の部品を介して接続されていてもよい。なお、支持テーブル３２は、例えば、その表面に沿って直線的に移動（例えば、往復移動）させてもよい。【００２０】
支持テーブル３２の平面形状（上面の形状）は、テーブル３２を安定に回転させるため、円形あるいは正多角形であることが好ましい。【００２１】
支持テーブル３２の上方に配置された回転軸３４は、駆動装置３５によって昇降駆動され、そして駆動装置３６によって回転駆動される。【００２２】
駆動装置３５は、基台５１の上に設置された回転駆動装置５２、回転駆動装置５２の回転軸５２ａに接続された送りねじ５３、送りねじ５３のナット５３ａに接続されている、基台５１の上に立設された支柱５４に沿って昇降可能なベアリング５５、送りねじ５３のナット５３ａに接続されているアーム５６、そしてアーム５６の先端近傍に備えられている、回転軸３４を支持するベアリング５７から構成されている。このベアリング５７としては、回転軸３４を、回転可能且つベアリング５７に対して相対的には昇降できない状態にて支持するものが用いられている。【００２３】
従って、駆動装置３５の回転駆動装置５２を駆動して、回転軸５２ａを正転あるいは逆転させると、回転駆動装置５２及びベアリング５５に接続された送りねじ５３のナット５３ａを支柱５４に沿って昇降させることができ、これによりナット５３ａに接続されたアーム５６に備えられたベアリング５７に支持されている回転軸３４を昇降させることができる。【００２４】
駆動装置３６は、上記の駆動装置３５の送りねじ５３のナット５３ａに固定された回転駆動装置５８、回転駆動装置５８の回転軸５８ａの先端に固定されたプーリ５９ａ、回転軸３４の周囲に固定されたプーリ５９ｂ、そしてプーリ５９ａとプーリ５９ｂとを連結しているベルト６０から構成されている。駆動装置３６は、回転駆動装置５８の駆動力をベルト６０を介して回転軸３４に付与して、ベアリング５７に支持された回転軸３４を回転駆動する。回転軸３４の回転数は、通常、１０００乃至１００００回転／分の範囲内に設定される。【００２５】
この回転軸３４の基部には、上記のように接続板４２、そして連結手段４５を介して環状の弾性体３７が固定されており、そして環状弾性体３７の下部には、環状の砥石３８が備えられている。【００２６】
環状の砥石３８としては、例えば、ダイヤモンド砥粒に代表される砥粒を、金属ボンドやレジンボンドで結着して形成した砥石を用いることができる。通常、砥粒の平均粒径は０．１乃至５０μｍの範囲内に設定される。【００２７】
研磨装置３０の環状の砥石３８は、例えば、その高さが５〜１０ｍｍ程度に、そして幅が３〜１０ｍｍ程度に設定される。【００２８】
なお、本明細書において、「環状の砥石」には、複数の砥石片が環状に配置されたものも含まれる。環状の砥石を複数の砥石片から構成すると、環状の砥石（特にサイズの大きいもの）の作製が容易になり、また砥石への超音波振動の付与により、あるいは研磨対象物との摩擦が原因で生ずる砥石の熱膨張により砥石内部に生じる応力が低減されるため、砥石の破損の発生（例、クラックの発生）を抑制することができる。【００２９】
砥石３８を支持する環状の弾性体３７は、公知の研磨装置が備える弾性体の材料と同様の材料、例えば、アルミニウム、青銅、ステンレススチール、あるいはジュラルミンに代表されるアルミニウム合金などの超音波振動の伝達性に優れた金属材料から形成される。【００３０】
この環状弾性体３７と回転軸３４の基部との間に配置されている接続板４２の材料の例としては、上記の環状弾性体３７を形成する金属材料の他に、チタン及び鉄などの金属材料が挙げられる。【００３１】
環状弾性体３７と接続板４２とを互いに異なる材料から形成する場合には、接続板４２は、その剛性（機械的強度）を高くするために、チタン、鉄、あるいはステンレススチールなどの金属材料から形成することが好ましい。接続板４２の剛性が高いと、環状弾性体３７が回転軸３４に安定に支持される。【００３２】
さらに、環状弾性体３７と接続板４２とは、互いに音響インピーダンスの値が大きく異なる材料から形成することが好ましい。例えば、環状弾性体３７をアルミニウム（音響インピーダンス：１７．３×１０6Ｎｓ／ｍ3）から形成し、そして接続板４２をステンレススチール（音響インピーダンス：４５．７×１０6Ｎｓ／ｍ3）から形成すると、両者の音響インピーダンスの値が大きく異なるため、超音波振動子３９にて発生した超音波振動が、環状弾性体３７、連結手段４５、そして接続板４２を介して回転軸３４に伝わり難くなる。【００３３】
そして、上記の接続板４２の周縁部の下側表面と環状弾性体３７の上側表面とは、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部４３とスペース部４４とからなる連結手段４５により連結されている。接続板４２、連結手段４５の連結部４３、および環状弾性体３７とは、例えば、これらの各々に形成されたねじ穴６２ａに、ボルト６３をねじ込むことにより連結される。連結部４３の材料の例は、上記の接続板４２の場合と同様である。【００３４】
連結手段４５の連結部４３（あるいはスペース部４４）の数に特に制限はないが、各々３乃至３０個の範囲にあることが好ましい。連結部４３（あるいはスペース部４４）の数が３個未満であると、環状弾性体３７が接続板４２に不安定に支持されるために研磨対象物を研磨する精度が低下する傾向にあり、一方、３０個を超えると研磨具４０の作製に手間がかかるからである。【００３５】
そして、砥石３８に付与する超音波振動を発生させる複数の超音波振動子３９は、連結手段４５のスペース部４４に面する環状弾性体３７の上側表面（すなわち、互いに隣接する連結部４３と連結部４３との間の環状弾性体部分の上側表面）に配置され固定されている。【００３６】
各々の超音波振動子３９としては、例えば、環状弾性体３７に沿って湾曲した形状の板状の圧電体と、この圧電体の上面及び下面の各々に付設された一対の電極層とから構成される圧電振動子が用いられている。【００３７】
圧電体の材料の代表例としては、ジルコン酸チタン酸鉛系の圧電セラミック材料が挙げられる。圧電体は、例えば、その厚み方向に分極処理される。電極層の材料の例としては、銀やリン青銅などの金属材料が挙げられる。【００３８】
複数の超音波振動子３９は、互いに隣接する超音波振動子の圧電体の分極方向が互いに逆向き（一方の振動子の圧電体の分極方向が垂直且つ上向きに、そして他方の振動子の分極方向が垂直且つ下向き）になるようにして、環状弾性体３７の上側表面の上記所定位置に配置される。【００３９】
各々の超音波振動子３９は、例えば、エポキシ樹脂を用いて環状弾性体３７に固定される。このエポキシ樹脂により、各々の超音波振動子３９の下面の電極層と環状弾性体３７とが互いに電気的に絶縁される。また、各々の超音波振動子３９の表面に、例えば、絶縁性の塗料を塗布することにより、超音波振動子の一対の電極層が、研磨の際に用いる冷却用の液体（例、水）を介して互いに電気的に短絡することを防止することができる。【００４０】
これら複数の超音波振動子３９の上面の電極層は、電気配線６４ａを用いて互いに電気的に接続され、そして下面の電極層は、電気配線６４ｂを用いて互いに電気的に接続されている。【００４１】
研磨装置３０においては、上記の複数の超音波振動子３９に電気エネルギーを伝達する伝達装置４１として、ロータリートランスが用いられている。【００４２】
図８は、図３に示すロータリートランス（伝達装置）４１の平面図であり、そして図９は、図８に記入した切断線III−III線に沿って切断したロータリートランス４１の断面図である。以下、図３から図９を参照しながら、ロータリートランス４１の構成及び動作について説明する。【００４３】
ロータリートランス４１は、研磨対象物３１を研磨する際に環状弾性体３７と共に回転する複数の超音波振動子３９に、電源６５の電気エネルギーを供給するために用いられている。【００４４】
ロータリートランス４１は、電力供給ユニット６６ａと電力受容ユニット６６ｂとが互いに僅かに間隔をあけて近接配置された構成を有している。電力供給ユニット６６ａ及び電力受容ユニット６６ｂは、それぞれ円環状の形状に設定されている。【００４５】
電力供給ユニット６６ａは、円環状のステータコア６７ａ及びステータコイル６８ａから構成され、そして電力受容ユニット６６ｂは、円環状のロータコア６７ｂ及びロータコイル６８ｂから構成されている。そしてステータコア６７ａ及びロータコア６７ｂの各々は、例えば、フェライトなどの磁性材料から形成され、その周方向に沿って円環状の溝が形成されている。ステータコイル６８ａ及びロータコイル６８ｂの各々は、ステータコア６７ａ及びロータコア６７ｂの各々に形成された円環状の溝の長さ方向（周方向）に沿って導線がコイル状に巻かれた構成を有している。【００４６】
この電力供給ユニット６６ａのステータコイル６８ａには、電源６５が電気的に接続され、そして電力受容ユニット６６ｂのロータコイル６８ｂには、電気配線６４ｃを介して各々の超音波振動子３９が電気的に接続される。なお、電気配線６４ｃは、その上端がロータコイル６８ｂに接続され、そして中空状に形成された回転軸３４の内部、次いで接続板４２の中央に形成された透孔を通って、下端が複数の超音波振動子３９に電気的に接続されている。【００４７】
そして、ロータリートランス４１のステータコイル６８ａに、電源６５にて発生した電気エネルギーを供給することにより、ステータコイル６８ａとロータコイル６８ｂとが互いに磁気的に結合される。このため、上記のステータコイル６８ａに供給された電気エネルギーは、ロータコイル６８ｂ（すなわち電力受容ユニット６６ｂ）が回転軸３４と共に回転している場合であってもロータコイル６８ｂに伝達する。従って、電源６５にて発生した電気エネルギーを、研磨対象物３１を研磨する際に回転軸３４、そして環状弾性体３７と共に回転する各々の超音波振動子３９に付与することができる。【００４８】
超音波振動子３９の各々に（超音波振動子として用いる圧電振動子の各々の電極層に）、電源６５にて発生した電気エネルギー（例、交流電圧）を付与することにより発生した超音波振動は、環状弾性体３７を介して環状の砥石３８に付与される。【００４９】
なお、超音波振動子に電気エネルギーを伝達する伝達装置としては、上記のロータリートランスに代えて、例えば、スリップリングを用いることができる。上記のロータリートランスは、互いに非接触に配置されている電力供給ユニットと電力受容ユニットを介して電気エネルギーを伝達するため、回転軸の回転数が１００００回転／分程度までは、回転軸と共に回転する超音波振動子に安定に電力を供給できる利点がある。一方、スリップリングは、回転軸の回転数が５０００回転／分程度を超えると、回転する超音波振動子に安定に電力を供給することが難しくなる。【００５０】
次に、研磨装置３０により研磨対象物３１を研磨する手順について簡単に説明する。【００５１】
先ず、研磨対象物３１を、例えば、ホットメルト型接着剤を用いて鋼製の保持具に仮固定する。そして、研磨装置３０の支持テーブル３２の上面に、前記の研磨対象物３１が仮固定された保持具を、例えば、電磁力を利用して固定する。【００５２】
次に、駆動装置３６を作動させ、回転軸を、例えば、５０００回転／分の回転数にて回転駆動する。次に、電源６５にて発生した電気エネルギーをロータリートランス４１を介して研磨具４０の複数の超音波振動子３９に付与する。これにより、各々の超音波振動子３９にて発生した超音波振動は、環状弾性体３７を介して環状の砥石３８に付与される。【００５３】
一方、研磨の際に、砥石３８と研磨対象物３１との摩擦抵抗を低減して不要な機械振動の発生を抑制し、そして砥石との摩擦による研磨対象物の温度上昇を抑制して研磨の精度を高くするため、例えば、ノズル６１ａから冷却用の液体（例、水）を噴射して、研磨の際に支持テーブル３２と共に回転してノズル６１ａの下方に移動した研磨対象物３１の表面に冷却用の液体が噴射されるようにする。同様に、ノズル６１ｂから冷却用の液体を回転軸３４の内部に滴下して、この液体が回転軸３４の内部、そして接続板４２の中央に形成された透孔を通して、研磨の際に支持テーブル３２と共に回転して回転軸３４の下方に移動した研磨対象物３１の表面に落下して接触するようにする。【００５４】
そして、駆動装置３３を作動させ、支持テーブル３２を、例えば、３００回転／分の回転数にて回転駆動して、駆動装置３５を作動させて回転軸３４を次第に下降させることにより、超音波振動が付与された砥石３８の側面の下端近傍が、研磨対象物３１の側面の上端近傍に接触し、次いで研磨対象物３１の表面（上面）の全体が研磨（研削）される。そして、回転軸３４を更に下降させながら、所定の厚みになるまで研磨対象物３１の研磨を続ける。【００５５】
上記のように、本発明の研磨装置３０においては、下部に砥石３８を備える環状弾性体３７と、この砥石３８を回転させる回転軸３４の基部との間に接続板４２が配置され、この接続板４２と環状弾性体３７とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部４３とスペース部４４とからなる連結手段４５を介して連結されている。そして、この環状弾性体３７の所定位置に固定された各々の超音波振動子３９にて発生させた超音波振動は、上記連結部４３と連結部４３との間の環状弾性体部分が、連結部４３に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易いため、各連結部４３（及び接続板４２）を介して回転軸３４には伝わり難く、その大部分が環状弾性体３７を介して砥石３８に付与される。このため、本発明の研磨装置３０を用いることにより、研磨対象物３１を高い精度で研磨することができる。【００５６】
本発明の研磨装置においては、上記の連結手段における連結部とスペース部との接続板の周縁に沿った長さの比が、連結部の長さとスペース部の長さとの比として、１：１乃至１：２０の範囲にあることが好ましい。上記の研磨装置３０の場合には、図５に示すように、上記連結部４３の長さ（Ｌ1 ）とスペース部４４の長さ（Ｌ2 ）との比が、概ね１：８に設定されている。【００５７】
上記の連結部４３の長さ（Ｌ1 ）とスペース部４４の長さ（Ｌ2 ）との比、すなわち（Ｌ2 ／Ｌ1 ）の値が１未満であると、接続板４２と環状弾性体３７とが強固に結合され、両者が一体の構造物として超音波振動し易くなるため、各々の超音波振動子３９にて発生した超音波振動が連結手段４５の連結部４３、そして接続板４２を介して回転軸３４に伝わり易くなる。従って、砥石３８に十分に超音波振動が付与されなくなり、研磨対象物を研磨する精度が低下する。一方、上記の（Ｌ2 ／Ｌ1 ）の値が２０を超えると、各々の連結部４３の剛性が小さくなり、回転軸３４に対して砥石３８が不安定な状態で支持されるため、研磨対象物を研磨する精度が低下する。【００５８】
更に、上記の連結手段４５の複数の連結部４３とスペース部４４のそれぞれは互いに回転軸（図３：３４）に対称に配置されていることが好ましい。このように複数の連結部４３を配置して、そして各々の超音波振動子３９にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状弾性体３７に、例えば、図６に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動（面内曲げ振動と呼ばれる固有振動）を生じ易くなる。この超音波振動は、図６の二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線で示す変位に対して対称な形状の変位を示す。【００５９】
また、複数の超音波振動子３９のそれぞれは、互いに回転軸（図３：３４）に対称に配置されていることが好ましい。このような配置により、環状弾性体３７に回転軸（図３：３４）に対称に変位する超音波振動（例えば、上記の図６に二点鎖線で示すように変位する超音波振動）を更に生じ易くなるからである。【００６０】
環状弾性体３７に図６に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせると、各々の連結部４３に接続している環状弾性体部分に殆ど変位（振動）を生じなくなるため、各々の超音波振動子３９にて発生した超音波振動は、各々の連結部４３を介して接続板には殆ど伝わることなく、その大部分が環状弾性体３７を介して砥石３８に付与される。従って、研磨対象物を更に高い精度で研磨することができるようになる。【００６１】
なお、環状弾性体３７に発生させる超音波振動（例えば、上記の図６に二点鎖線で示すように変位する固有振動）の周波数を調節するには、有限要素法により研磨具の固有振動数の計算を行なって、接続板４２、連結手段４５、環状弾性体３７、あるいは砥石３８の形状を調節すればよい。【００６２】
また、上記の連結手段４５のスペース部４４には、環状弾性体３７にて発生した超音波振動を接続板４２に伝え難い材料（例えば、音響インピーダンスが環状弾性体を形成する金属材料と大きく異なるシリコーンゴムなど）が充填されていてもよい。【００６３】
図１０は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の別の構成例を示す正面図であり、そして図１１は、図１０に示す研磨具１００の分解斜視図である。図１０及び図１１に示す研磨具１００の構成は、環状弾性体３７に連結手段４５の各々の連結部４３が予め固定され、そして接続板４２と各連結部４３とが、各々に形成されたねじ孔６２ａにボルトをねじ込むことにより互いに固定されていること以外は図４の研磨具４０と同様である。【００６４】
また、研磨具１００の各々の超音波振動子３９にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状弾性体３７に、例えば、図１０に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動（面垂直曲げ振動と呼ばれる、上記の図６を用いて説明した固有振動とは異なる固有振動）を生じさせることもできる。この超音波振動は、図１０の二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線に対して対称な形状の変位を示す。【００６５】
そして、環状弾性体３７に図１０に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせると、上記の各連結部４３に接続している環状弾性体部分に殆ど変位（振動）を生じなくなるため、各々の超音波振動子３９にて発生した超音波振動は、各々の連結部４３を介して接続板４２には殆ど伝わることなく、その大部分が環状弾性体３７を介して砥石３８に付与される。従って、研磨対象物を更に高い精度で研磨することができるようになる。【００６６】
なお、研磨具１００の各々の超音波振動子３９にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、環状体３７に、図６に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることもできる。【００６７】
図１２は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図１２の研磨具１２０の構成は、接続板４２と連結部４３が共に弾性体であり（上記環状弾性体３７の材料と同じ金属材料から形成されており）、接続板４２と連結部４３とが環状弾性体３７と一体に形成されていること以外は図４の研磨具４０と同様である。【００６８】
このように、接続板４２と連結部４３とが環状弾性体３７と一体に形成されていると、例えば、円盤状の金属製部材をその軸方向に穴あけ加工し、次いで直径方向に連結手段４５のスペース部４４として用いる複数の透孔を切削加工し、そして超音波振動子３９や砥石３８を固定することにより、研磨具１２０を簡単に作製することができる。なお、研磨具１２０の環状の砥石３８としては、複数の砥石片３８ａが環状に配置されたものが用いられている。【００６９】
研磨具１２０は、円盤状の取り付け部材（図示は略する）を介して回転軸（図３：３４）の基部に固定される。この円盤状の取り付け部材と研磨具１２０とを、例えば、ボルトにより固定するため、接続板４２にはねじ孔６２ｂが形成されている。【００７０】
そして、研磨具１２０の各々の超音波振動子３９にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、図６あるいは図１０に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることができる。図１２には、研磨具１２０の環状弾性体３７に、図１０の研磨具１００の場合と同様の超音波振動を生じさせた場合の振動の変位を一点鎖線と二点鎖線とを用いて示した。【００７１】
図１３は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図１３の研磨具１３０の構成は、複数の超音波振動子３９が連結手段４５のスペース部４４の下側の環状弾性体３７の外側側面に配置されていること以外は図１２に示す研磨具１２０と同様である。【００７２】
このように、複数の超音波振動子３９は、連結手段４５のスペース部４４の下側の環状弾性体３７の外側側面（あるいは内側側面）に配置されていてもよい。【００７３】
複数の超音波振動子を環状弾性体の外側側面（あるいは内側側面）に配置する場合には、各々の超音波振動子として、例えば、下記のような構成を持つ超音波振動子を用いることが好ましい。【００７４】
図１４及び図１５は、それぞれ図１３の研磨具１３０が備える超音波振動子３９の構成を示す正面図及び平面図である。【００７５】
図１４及び図１５に示す超音波振動子３９は、環状弾性体３７の周縁に沿って湾曲した形状の圧電体３９ｅ、この圧電体３９ｅの上側部分を厚み方向に挟むようにして配置された一対の電極層３９ａ、３９ａ、そして下側部分を挟むようにして配置された一対の電極層３９ｂ、３９ｂから構成されている。一対の電極層３９ａ、３９ａに挟まれた圧電体部分は、図１４の紙面の手前側から奥側に向かう方向に分極処理されており、そして一対の電極層３９ｂ、３９ｂに挟まれた圧電体部分は、図１４の紙面の奥側から手前側に向かう方向に分極処理されている。一対の電極層３９ａ、３９ａ、そして一対の電極層３９ｂ、３９ｂのいずれにも挟まれていない圧電体部分は分極処理されていない（超音波振動子としては用いられていない）。【００７６】
このような超音波振動子３９の、図１４の紙面の手前側にある電極層３９ａと電極層３９ｂとからなる（振動子の外側表面に備えられた）電極層の組、そして紙面の奥側にある電極層３９ａと電極層３９ｂとからなる（振動子の内側表面に備えられた）電極層の組のいずれか一方の電極層の組を正極とし、他方の電極層の組を負極として超音波振動子３９に交流電圧を供給することにより、圧電振動子３９は、例えば、図１４に記入した一点鎖線を中心として、二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じる。この超音波振動は、図１２に二点鎖線で示す変位を示した後、振動の周期の半周期後には、一点鎖線を中心として上記の二点鎖線に対して対称な形状の変位を示す。【００７７】
そして、図１３の研磨具１３０の複数の超音波振動子３９の各々に、互いに隣接する振動子に供給される交流電圧の位相が逆相となるように（例えば、一方の振動子の外側表面に備えられた電極層の組を正極とする場合、他方の振動子の外側表面に備えられた電極層の組を負極として）交流電圧を供給することにより、環状弾性体３７に、上記のように図１３に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせることができる。【００７８】
図１６は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す正面図であり、図１７は、図１６の研磨具１６０の平面図であり、そして図１８は、図１７に記入した切断線IV−IV線に沿って切断した研磨具１６０の断面図である。【００７９】
図１６の研磨具１６０の構成は、接続板４２及び環状の弾性体３７の各々の外側周縁の形状が八角形に設定されていること以外は図１３の研磨具１３０と同様である。【００８０】
このように環状弾性体３７の外側周縁（あるいは内側周縁）の形状を多角形（特に、環状弾性体を安定に回転することができる正多角形）に設定すると、連結手段４５のスペース部４４の下側の環状弾性体３７の外側側面（あるいは内側側面）が平面となり、この外側側面（あるいは内側側面）に付設する超音波振動子として、製造が容易な平板状の振動子を用いることができるようになる。なお、接続板４２の外側周縁あるいは内側周縁の形状に特に制限はないが、環状弾性体３７と同一の形状に設定すると研磨具１６０の作製が容易になる。【００８１】
また、図１７に示すように、複数の超音波振動子３９に、互いに隣接する超音波振動子に供給される交流電圧の位相差が９０度となるように交流電圧を供給することにより、環状弾性体３７に、例えば、図１３に二点鎖線で示す変位と同様に変位し且つ環状弾性体３７の周方向に進行する超音波振動（超音波振動の進行波）を生じさせることができる。この超音波振動の進行波が環状の砥石３８（各々の砥石片３８ａ）に付与されると、各砥石片３８ａが垂直方向に振動すると共に、水平方向（環状弾性体の周方向）にも振動するため、研磨対象物を研磨する速度を高くすることができる。【００８２】
複数の超音波振動子３９に、上記のように互いの位相差が９０度に設定された交流電圧を付与するには、例えば、図３の研磨装置３０の回転軸３４に、ロータリートランス４１とは別のロータリートランスを付設して、その電力供給ユニットに電源６５とは別の電源を電気的に接続し、そして一方の電源及びロータリートランスにより正弦波（ｓｉｎ波）交流電圧を、そして他方の電源及びロータリートランスにより余弦波（ｃｏｓ波）交流電圧を各々の超音波振動子３９に供給すればよい。【００８３】
なお、例えば、図１７に矢印と共に記入した「ｓｉｎ」は、この矢印で示す超音波振動子に、その外側の電極層を正極、そして内側の電極層を負極として正弦波交流電圧を供給することを意味し、そして矢印と共に記入した「−ｓｉｎ」は、この矢印で示す超音波振動子に、その外側の電極層を負極、そして内側の電極層を正極として正弦波交流電圧を供給することを意味する。【００８４】
また、別の方法として、図３に示すロータリートランス４１を２チャンネル化（例、ロータリートランスの電力供給ユニット及び電力受容ユニットに互いに対向配置されたコイルの組を二組付設して、各組のコイルにて互いに独立に交流電圧を伝達できるようにすること）して、一方のチャンネルを介して正弦波交流電圧を、そして他方のチャンネルを介して余弦波交流電圧を各々の超音波振動子に供給してもよい。【００８５】
図１９は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図であり、そして図２０は、図１９に記入した切断線V−V線に沿って切断した研磨具１９０の断面図である。【００８６】
図１９の研磨具１９０の構成は、接続板４２の周縁部の外側側面と環状弾性体３７の内側側面とが、交互に形成されたそれぞれ複数の連結部４３とスペース部４４とからなる連結手段４５により連結されていて、上記の複数の超音波振動子３９が連結手段のスペース部４４に近接する上記環状弾性体３７の上側表面に配置されていること以外は図４に示す研磨具４０と同様である。【００８７】
図１９の研磨具１９０を備える本発明の研磨装置においても、環状弾性体３７の上側表面の所定位置に固定された各々の超音波振動子３９にて発生させた超音波振動は、上記連結部４３と連結部４３との間の環状弾性体部分が、連結部４３に接続している環状弾性体部分と比較して大きく超音波振動し易いために、各々の連結部４３（及び接続板４２）を介して回転軸（図３：３４）には伝わり難く、その大部分が環状弾性体３７を介して砥石３８に付与される。このため、図１９の研磨具１９０を備える本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を高い精度で研磨することができる。【００８８】
そして、研磨具１９０の各々の超音波振動子３９にて発生する超音波振動の周波数を調節することにより、図６あるいは図１０に二点鎖線で示す変位と同様に変位する超音波振動を生じさせることができる。図１９には、研磨具１９０の環状弾性体３７に、図１０の研磨具１００の場合と同様の超音波振動を生じさせた場合の振動の変位を一点鎖線と二点鎖線とを用いて示した。【００８９】
なお、図１９の研磨具１９０は、図１２の研磨具１２０の場合と同様に、接続板４２と連結部４３が共に弾性体であり、接続板４２と連結部４３とが環状弾性体３７と一体に形成されている。図１９の研磨具１９０は、連結手段４５の複数のスペース部４４として用いる複数の透孔の形成が容易であるという利点を有している。【００９０】
図１９の研磨具１９０の各々の超音波振動子３９としては、例えば、下記のような構成を持つ超音波振動子が用いられている。【００９１】
図２１及び図２２は、それぞれ図１９の研磨具１９０が備える複数の超音波振動子３９の平面図及び正面図である。【００９２】
図２１及び図２２に示す複数の超音波振動子３９は、円環状の圧電体３９ｅと、圧電体３９ｅをその厚み方向に挟むようにして配置された合計で四対の電極層（電極層３９ａ、３９ａの対、電極層３９ｂ、３９ｂの対、電極層３９ｃ、３９ｃの対、そして電極層３９ｄ、３９ｄの対）とから構成されている。電極層３９ａ、３９ａの対、そして電極層３９ｃ、３９ｃの対に挟まれた各圧電体部分は、図２１の紙面の手前側から奥側に向かう方向に分極処理されており、そして電極層３９ｂ、３９ｂの対、そして電極層３９ｄ、３９ｄの対に挟まれた各圧電体部分は、図１４の紙面の奥側から手前側に向かう方向に分極処理されている。そして、これら四対の電極層のいずれにも挟まれていない圧電体部分は分極処理されていない（超音波振動子としては用いられていない）。【００９３】
そして、これらの超音波振動子３９に、例えば、図２１の紙面の手前側にある電極層３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄを正極として、そして紙面の奥側にある四つの電極層を負極として交流電圧を供給することにより、環状弾性体３７に、上記のように図１９に二点鎖線で示すように変位する超音波振動を生じさせることができる。【００９４】
図２３は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図であり、そして図２４は、図２３に記入した切断線VI−VI線に沿って切断した研磨具の断面図である。【００９５】
図２３及び図２４に示す研磨具２３０の構成は、複数の超音波振動子３９が連結手段４５のスペース部４４に面する環状弾性体３７の内側側面と、更にこの内側側面の反対側の外側側面とに付設されていること以外は図１９の研磨具１９０と同様である。このように複数の超音波振動子は環状弾性体の側面に付設されていてもよい。なお、各々の超音波振動子３９としては、図１４及び図１５に示す超音波振動子と同様の構成ものが用いられている。【００９６】
図２５は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。図２５の研磨具２５０の構成は、環状弾性体３７の外側周縁（および内側周縁）の形状が八角形とされていること、そして複数の超音波振動子３９が連結手段４５のスペース部４４に面する上記環状弾性体３７の内側側面の反対側の外側側面に付設されていること以外は図２３の研磨具２３０と同様である。【００９７】
図２６は、本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。図２６の研磨具２６０の構成は、連結手段４５の各スペース部４４に面する環状弾性体３７の内側側面の反対側の外側側面に三個ずつ超音波振動子３９が固定され、そして上記の環状弾性体の外側側面の各々の振動子３９の上側部分に、連結手段４５のスペース部４４にまで到達する透孔４４ａが形成されていること以外は図２３の研磨具２３０と同様である。【００９８】
このような透孔４４ａが備えられていると、透孔４４ａが上記の連結手段４５のスペース部４４と同様に機能し、透孔４４ａと透孔４４ａとの間にある接続部４３ａが連結手段４５の連結部４３と同様に機能する。このため、各々の超音波振動子３９にて発生させた超音波振動は、環状弾性体３７の上記透孔４４ａよりも上側の部分にも伝わり難くなる。このため、図２６の研磨具２６０を備えた本発明の研磨装置を用いることにより、研磨対象物を更に高い精度で研磨することができる。【００９９】
なお、本明細書において、「複数の超音波振動子が配置される環状弾性体の上面、内側側面あるいは外側側面」には、これらの面に透孔（例えば、図２６に示す環状弾性体３７の透孔４４ａ）や溝が形成されている場合には、この透孔や溝の内側表面をも含む。すなわち、例えば、図２６の研磨具２６０においては、各々の超音波振動子３９が連結手段４５の各スペース部４４に面する環状弾性体３７の内側側面の反対側の外側側面に配置されているが、ここで云う「外側側面」には、この外側側面に形成された透孔４４ａの内側表面も含まれる。すなわち、図２６に示す各々の超音波振動子３９は、透孔４４ａの内側表面に配置することもできる。
【図面の簡単な説明】
【０１００】
【図１】従来の研磨装置の構成例を示す正面図である。
【図２】図１に記入した切断線I−I線に沿って切断した研磨装置１０の断面図である。但し、図１に示す研磨対象物１１、支持テーブル１２及び研磨液を供給するパイプ２１の記載は省略してある。
【図３】本発明の研磨装置の構成例を示す正面図である。
【図４】図３に示す研磨装置３０が備える、接続板４２、連結手段４５、環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石３８から構成される研磨具４０の拡大図である。
【図５】図４に示す研磨具４０の分解斜視図である。
【図６】図４の研磨具４０が備える環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石３８の平面図である。
【図７】図６に記入した切断線II−II線に沿って切断した環状弾性体３７、超音波振動子３９及び砥石２８の断面図である。
【図８】図３に示すロータリートランスの平面図である。
【図９】図８に記入した切断線III−III線に沿って切断したロータリートランスの断面図である。
【図１０】本発明の研磨装置に用いる研磨具の別の構成例を示す正面図である。
【図１１】図１０に示す研磨具１００の分解斜視図である。
【図１２】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。
【図１３】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。
【図１４】図１３の研磨具１３０が備える超音波振動子３９の構成を示す正面図である。
【図１５】図１３の研磨具１３０が備える超音波振動子３９の構成を示す平面図である。
【図１６】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す正面図である。
【図１７】図１６の研磨具の平面図である。
【図１８】図１７に記入した切断線IV−IV線に沿って切断した研磨具の断面図である。
【図１９】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。
【図２０】図１９に記入した切断線V−V線に沿って切断した研磨具１９０の断面図である。
【図２１】図１９の研磨具１９０が備える超音波振動子３９の構成を示す平面図である。
【図２２】図１９の研磨具１９０が備える超音波振動子３９の構成を示す正面図である。
【図２３】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。
【図２４】図２３に記入した切断線VI−VI線に沿って切断した研磨具の断面図である。
【図２５】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す平面図である。
【図２６】本発明の研磨装置に用いる研磨具の更に別の構成例を示す斜視図である。
【符号の説明】
【０１０１】
１０  研磨装置
１１  研磨対象物
１２  支持テーブル
１４  研磨軸
１７  弾性体
１８  砥石
１９  積層型圧電アクチュエータ
２１  パイプ
３０  研磨装置
３１  研磨対象物
３２  支持テーブル
３３  駆動装置
３４  回転軸
３５  駆動装置
３６  駆動装置
３７  環状弾性体
３８  砥石
３８ａ  砥石片
３９  超音波振動子
３９ａ、３９ｂ、３９ｃ、３９ｄ  電極層
３９ｅ  圧電体
４０  研磨具
４１  伝達装置（ロータリートランス）
４２  接続板
４３  連結部
４３ａ  接続部
４４  スペース部
４４ａ  透孔
４５  連結手段
５１  基台
５２  回転駆動装置
５２ａ  回転軸
５３  送りねじ
５３ａ  ナット
５４  支柱
５５  ベアリング
５６  アーム
５７  ベアリング
５８  回転駆動装置
５８ａ  回転軸
５９ａ、５９ｂ  プーリ
６０  ベルト
６１ａ、６１ｂ  ノズル
６２ａ、６２ｂ  ねじ穴
６３  ボルト
６４ａ、６４ｂ、６４ｃ  電気配線
６５  電源
６６ａ  電力供給ユニット
６６ｂ  電力受容ユニット
６７ａ  ステータコア
６７ｂ  ロータコア
６８ａ  ステータコイル
６８ｂ  ロータコイル
１００、１２０、１３０、１６０、１９０、２３０、２５０、２６０  研磨具
【図１】
2006137453.tif 000002
【図２】
2006137453.tif 000003
【図３】
2006137453.tif 000004
【図４】
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【図５】
2006137453.tif 000006
【図６】
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【図７】
2006137453.tif 000008
【図８】
2006137453.tif 000009
【図９】
2006137453.tif 000010
【図１０】
2006137453.tif 000011
【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
2006137453.tif 000014
【図１４】
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【図１５】
2006137453.tif 000016
【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【国際調査報告】
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