【事件の表示】
　特願２０１５−５２９１１９「複数プローブの検出及び作動」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　３月　６日国際公開、ＷＯ２０１４／０３３４５１、平成２７年　９月１０日国内公表、特表２０１５−５２６７３９〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１３年（平成２５年）８月２８日（パリ条約による優先権主張　２０１２年８月３１日　 英国）を国際出願日とする出願であって、平成２９年５月２９日付けで拒絶理由が通知され、同年１２月５日に意見書及び手続補正書が提出され、平成３０年５月１４日付けで拒絶理由が通知され、同年９月５日に意見書及び手続補正書が提出され、平成３１年１月３１日付けで拒絶査定されたところ、令和元年６月４日に拒絶査定不服審判の請求がなされたものである。その後、当審において令和２年３月２７日付けで拒絶理由が通知され、同年９月２４日に意見書及び手続補正書が提出されたものである。
第２　本願発明
　本願の請求項１〜９に係る発明は、令和２年９月２４日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜９に記載された事項により特定されるものであり、そのうち請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「　　【請求項１】
　複数のプローブの位置を検出する方法であって、
　ａ．第１の入力光線を第１の光学装置に向けるステップと、
　ｂ．前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を複数の出力光線に変換するステップと、
　ｃ．各出力光線を検知光線及び前記検知光線に関連付けられた参照光線に分割するステップと、
　ｄ．前記検知光線のそれぞれを対物レンズを介して前記プローブのうちの関連付けられた１つに同時に向けて、反射光線を生成するステップと、
　ｅ．各反射光線をその関連付けられた参照光線に結合して、インターフェログラムを生成するステップと、
　ｆ．各インターフェログラムを測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定するステップと、
を含み、
　前記検知光線のそれぞれは前記対物レンズに入射する際に互いに非平行であり、
　各反射光線を関連付けられた参照光線と結合して、インターフェログラムを生成するステップは、各反射光線を前記対物レンズによって集めるステップと、各反射光線を関連付けられた参照光線と共に、センサレンズを有するセンサに向けるステップとを含み、
　前記センサは各インターフェログラムを測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定
し、
　
前記センサレンズは、前記対物レンズの焦点面に配置されている前記プローブの像を形成し、
　
前記センサレンズは、前記反射光線および前記参照線を、それぞれがプローブに対応する一連のスポットに集束させる、
　方法。」
第３　拒絶の理由
　令和２年３月２７日付けで当審が通知した拒絶理由のうち本願発明に関するものは、次のとおりのものである。
　本願発明は、本願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった以下の引用文献１に記載された発明及び引用文献２〜４に記載された事項に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
引用文献１：鳥居昭宏『干渉計を用いたAFMエンコーダ』，電学論Ｃ，１２２巻　１２号，2061-2066ページ（２００２年）
引用文献２：国際公開第２０１２／０５９８２８号
引用文献３：特表２０１２−５１１７１５号公報
引用文献４：特表２０１１−５２２２７３号公報
第４　引用文献の記載及び引用発明
１　引用文献１について
（１）引用文献１に記載された事項
　引用文献１には、以下の事項が記載されている（下線は、当審で付した。以下同じ。）。
（引１ａ）「提案するAFMエンコーダは図1の構造である。本論文で使用する座標軸は図1で示した方向とする。すなわち、
基準スケールの変位(χ 方向)をAFMカンチレバーの変形量(z方向)として検出する
（引１ｂ）「
複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する
AFMカンチレバーの変形量の検出法
光干渉法を用いて2本のAFMカンチレバーの変形量を検出する
複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する
基本的構成はマイケルソン干渉計である
複数のAFMカンチレバーの変形を検出するために、光源にはライン状に集光する赤色半導体レーザを用い
レーザ光をライン状に集光させることにより、複数のAFMカンチレバーの変形量の同時計測が容易になる
レーザから照射されたレーザ光は、ビームスプリッタにおいて参照光と物体光に2分割され
参照光は参照面として用いられる全反射ミラーによって反射され、物体光はAFMカンチレバーによって反射される
ライン状に集光したレーザ光を個々のカンチレバーが反射する
参照光と物体光はビームスプリッタで干渉して、受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する
（引１ｃ）「
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　」
（２）引用文献１に記載された発明
ア　上記（引１ｂ）には、「複数のAFMカンチレバー」及び「2本のAFMカンチレバー」が記載されているが、これらは同じものを指していることから、「複数のAFMカンチレバー」として整理した。
イ　上記（引１ｂ）より、「光源」として用いる「赤色半導体レーザ」は、「ライン状に集光する」ものであるから、「赤色半導体レーザ」は、「ライン状に集光」された光を出力するものである。そして、引用文献１の「赤色半導体レーザ」は、「複数のAFMカンチレバーの変形を検出するため」のものであって、「複数のAFMカンチレバーの変形量の同時計測」を「容易に」するものであるから、引用文献１の「光源」として用いる「赤色半導体レーザ」は、「複数のAFMカンチレバー」の「変形量」を同時に検出するために、「ライン状に集光」されたレーザ光を出力するものである。
ウ　上記（引１ｃ）より、「赤色半導体レーザ」より「ライン状に集光されたレーザ光」である「レーザから照射されたレーザ光」及び「ビームスプリッタにおいて」「2分割」された「参照光と物体光」は平行ではない光である点が見て取れる。
エ　以上、上記ア〜ウを踏まえると、上記（引１ｂ）より、引用文献１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されている。
「複数のAFMカンチレバーの変形量を検出するAFMカンチレバーの変形量の検出法において、
　光干渉法を用いて複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する基本的構成はマイケルソン干渉計であり、
　光源として用いる赤色半導体レーザは、複数のAFMカンチレバーの変形量を同時に検出するために、ライン状に集光されたレーザ光を出力し、
　レーザから照射されたレーザ光は、ビームスプリッタにおいて参照光と物体光に2分割され、
　レーザから照射されたレーザ光、参照光及び物体光は平行ではない光であり、
　参照光は参照面として用いられる全反射ミラーによって反射され、
　物体光はAFMカンチレバーによって反射され、
　ライン状に集光したレーザ光を個々のカンチレバーが反射し、
　参照光と物体光はビームスプリッタで干渉して、受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する
複数のAFMカンチレバーの変形量を検出するAFMカンチレバーの変形量の検出法。」
２　引用文献２に記載された事項
　引用文献２には、以下の事項が記載されている。
（引２ａ）「[044] Figure 11-14 show a preferred embodiment hybrid staking where 
the MEMS sensor array 110 and the optoelectronics readout 15 are coupled to a device
having a via 119 aligning with each grating 116 of a cantilever 115 coupled to the substrate 118 and, at least one photodetector 17 coupled to substrate 118
a single laser may be used for the vias 119 of the entire via array 1119
a single laser may be used create an array of laser beams
 using a diffractive optical element 305
[045] in preferred embodiment shown in Figure 16, the DOE is a diffractive optical element 305 that can create an array of laser beams (i.e., fan-out grating). Figure 16 is similar figure 4 but further preferably includes a band pass filter 215 and a display unit 1000.
[046] In the preferred embodiment shown in Figure 17, optical readout is not integrated with MEMS sensor and uses more conventional optical elements such as lenses and diffraction gratings to direct the light beam reflected from the MEMS cantilevers onto a single photodetector that is placed at the Fourier plane. While not required, more preferably the laser 300 light is expanded using a beam expander 312 which couples to a diffractive optical element 305 before passing though conventional lens such as a first lens 310 to the sensor array 1 10 with refracted order passing though conventional lens such as a second lens 330 to the photodetector (PD) 17. Experimental results performed both in air and liquid for a preferred embodiment where 9 resonant cantilevers are monitored using a single photodetector using the setup illustrated in this figure. .」（当審訳：「[044]図１１から図１４は、
メムスセンサアレイ１１０と光電子読み出し１５が装置に結合され
基板１１８に結合されたカンチレバーの各格子１１６と整列されたビア１１９と、基板１１８に結合された少なくとも１つの光センサ１７とを有する
１つのレーザを全ビアアレイ１１１９のビア１１９のために
回折光学要素３０５
を使用する等により、レーザビームのアレイを生成するのに使用し
[045]図１６の好ましい実施形態では、ＤＯＥは、レーザビームのアレイ（例えば、ファンアウト格子）を生成することができる回折光学要素３０５である。図１６は、図４と同様であり、さらに好ましくは、バンドパスフィルタ２１５及びディスプレイユニット１０００を備える。
[046]図１７に示す好ましい実施形態では、光学読み出しはメムスセンサとは一体化されておらず、レンズや、フーリエ平面に配置される単一の光センサ上のメムスカンチレバーから反射した光ビームを方向付ける回折格子等の従来の光学要素を使用している。必要ではないが、レーザ光３００は、光センサ（ＰＤ）１７への第２レンズ３３０等の従来のレンズを通過する回折次数を備えたセンサアレイ１１０への第１レンズ３１０等の従来のレンズを通過する前に回折光学要素３０５に結合されるビームエクスパンダ３１２を使用して広げられる。実験結果は好ましい実施形態のために気体及び液体の両方で行い、９つの応答カンチレバーがこの図に示す機構を使用する単一の光センサによってモニタされた。」）
　上記（引２ａ）より、引用文献２には、以下の技術事項（以下「技術事項２」という。）が記載されている。
「メムスセンサアレイ１１０と光電子読み出し１５とが結合された装置において、
　基板１１８に結合されたカンチレバーの各格子１１６と整列されたビア１１９と、基板１１８に結合された少なくとも１つの光センサ１７とを有し、
　１つのレーザを全ビアアレイ１１１９のビア１１９のために、回折光学要素３０５を使用する等により、レーザビームのアレイを生成する装置。」
３　引用文献３及び４に記載された事項
（１）引用文献３に記載された事項
　引用文献３には、以下の事項が記載されている。
（引３ａ）「【００６４】
　次に、本発明による検出システム２９の動作をより詳細に説明する。
光源
は、対物レンズ７８によってカンチレバーの背面１８ｂに焦点を合わせられたレーザビーム７６を放射する
反射された光８０ａ、ｂ、ｃはレンズ７８によって集められ、非偏光ビームスプリッタ８２に向けられる
【００６５】
　ビームスプリッタ８２は、ビームスプリッタ８２に入射する光のほぼ半分８４ａ、ｂ、ｃを９０°で反射し、残りの半分８６ａ、ｂ、ｃを伝送するように構成される。伝送された成分８６ａ、ｂ、ｃは干渉計８８に入力される。図２を参照して、この干渉計の動作をより詳細に説明する。ただし、要約すると、反射されたビーム８６ａ、ｂ、ｃはステージ１２の上面から反射された基準ビームによって干渉される。あるいは、ステージ表面との知られている関係を有する別の固定点を使用することができる。これは、２つのビーム間の経路差の測定値およびしたがってステージ表面の上にあるカンチレバーの背面１８ｂの瞬間的な高さの示度を提供する。このデータから、表面高さに関する情報を抽出して画像を形成することができる。
【００６６】
　
ビームスプリッタ８２から反射された成分８４ａ、ｂ、ｃは、レンズ９０によってたわみ検出器２８上で凝縮される
（引３ｂ）「【００７６】
　図３を参照すると、図１に示す検出システム２９の第１の実施形態の光学構成要素がさらに詳細に示されている。レーザ源１００からの光は、第２のビームスプリッタ１０２によって入射ビーム７６および基準ビーム１０４に分割される。入射ビーム７６は、対物レンズ７８によってカンチレバーの背面１８ｂに焦点を合わせられる。カンチレバーからの反射の後、ビーム８０は第１のビームスプリッタ８２によって分割される。前に述べたように、第１の成分８４はたわみ検出器９０、２８、９２を対象とし、第２の成分８６は干渉計８８を対象とする。
【００７７】
　
干渉計の内部で、カンチレバー１８ｂから反射されたビーム８６
および基準ビーム１０４
第１および第２のインターフェログラムを生成する。２つのインターフェログラムはそれぞれ、第１の光検出器１１２および第２の光検出器１１４で検出され
【００７８】
　理想的には、光検出器信号は、９０°の位相差を有する相補的な正弦信号および余弦信号である。さらに、これらの信号はｄｃオフセットを有さず、等しい振幅を有し、カンチレバーの位置およびレーザの波長λにのみ依存するべきである。等しい振幅を有し、直交位相である完全に調和振動していない２つの光検出器信号の結果として生じる誤差の補正を決定し適用するために、知られている方法を使用して光経路差を変化させながら光検出器１１２、１１４の出力を監視する。同様に、ｄｃオフセットレベルも当技術分野で知られている方法に従って補正される。
【００７９】
　
これらの光検出器信号は、
カンチレバーの位置における変位を測定することができる。
（２）引用文献４に記載された事項
　引用文献４には、以下の事項が記載されている。
（引４ａ）「【００８２】
　これらの領域には広い定義が与えられ、各領域の開始は、特定の動作条件、ならびに顕微鏡および調査対象の試料のパラメータに明らかに依存する。
　次いで、本発明による検出システム７４の動作をより詳細に説明する。
光源
がレーザビーム７６を発し、ビーム７６は、対物レンズ７８によりカンチレバーの後部１８ｂ上で焦点を結ぶ。反射光８０ａ、ｂ、ｃがレンズ７８で収光され、非偏光ビームスプリッタ８２に誘導される。
【００８３】
　ビームスプリッタ８２は、入射する光の実質的に半分８４ａ、ｂ、ｃを９０度反射し、残りの半分８６ａ、ｂ、ｃを透過させるように構成される。透過した成分８６ａ、ｂ、ｃは、干渉計８８に入力される。この干渉計の動作については、下記で図５を参照してより詳細に説明する。要約すると、反射ビーム８６ａ、ｂ、ｃは、台１２の上部表面から反射された参照ビームと干渉する。あるいは、台表面との間に既知の関係を有する別の固定点が使用されてもよい。これにより、２つのビーム間の経路の差、および、したがって、台表面上方のカンチレバーの後部１８ｂの高さの指示が得られる。この測定された高さの変動が抽出されて、画像を形成する。
【００８４】
　
ビームスプリッタ８２から反射された成分８４ａ、ｂ、ｃは、レンズ９０によってたわみ検出器２８上に集光される。
（引４ｂ）「【００９３】
　図５を参照すると、検出システム７４の光学構成要素をさらに詳細に示す。前出の図と同様に、共通の構成要素には同様の参照符号を付す。レーザ光源１００からの光は、第２のビームスプリッタ１０２により、入射ビーム７６と参照ビーム１０４に分割される。入射ビーム７６は、対物レンズ７８によりカンチレバーの後部１８ｂ上で焦点を結ぶ。カンチレバーで反射された後、ビーム８０は、第１のビームスプリッタ８２で分割される。先に述べたように、第１の成分８４は、たわみ検出器９０、２８、９２に誘導され、第２の成分８６は干渉計８８に誘導される。
【００９４】
　
干渉計の内部で、カンチレバー１８ｂから反射されたビーム８６
と参照ビーム１０４
第１および第２のインターフェログラムを生成する
この２つのインターフェログラムは、それぞれ第１の光検出器１１２および第２の光検出器１１４で検出され
【００９５】
　理想的には、光検出器信号は、９０°の位相差を有する相補的な正弦信号および余弦信号である。さらに、それらの信号は、ＤＣオフセットがなく、等しい振幅を有し、カンチレバーの位置ｘおよびレーザの波長λのみに依存すべきである。２つの光検出器信号が、等しい振幅で直角位相である完全な高調波でない結果生じる誤差を求め、その誤差に補正を適用するために、知られた方法を使用して光路差を変化させながら光検出器１１２、１１４の出力を監視する。同様に、ＤＣオフセットのレベルも当技術分野で知られる方法により補正される。
【００９６】
　
この光検出器信号は、
カンチレバーの位置の変位を
測定することができる
（３）周知技術について
ア　上記（引３ａ）より、引用文献３には、「光源は、対物レンズ７８によってカンチレバーの背面１８ｂに焦点を合わせられたレーザビーム７６を放射」し、「反射された光８０ａ、ｂ、ｃはレンズ７８によって集められ、非偏光ビームスプリッタ８２に向けられる」構成及び「ビームスプリッタ８２から反射された成分８４ａ、ｂ、ｃは、レンズ９０によってたわみ検出器２８上で凝縮される」構成が、（引４ａ）より引用文献４には、「光源がレーザビーム７６を発し、ビーム７６は、対物レンズ７８によりカンチレバーの後部１８ｂ上で焦点を結」び、「反射光８０ａ、ｂ、ｃがレンズ７８で収光され、非偏光ビームスプリッタ８２に誘導される」構成及び「ビームスプリッタ８２から反射された成分８４ａ、ｂ、ｃは、レンズ９０によってたわみ検出器２８上に集光される」構成が、それぞれ記載されている。そして、引用文献３及び４は、いずれも「カンチレバー」の変位を干渉光により計測するためのものである。
　そうすると、引用文献３及び４には、いずれも、「カンチレバーの変位を計測する装置において、光源からの光がカンチレバーの後部上に焦点を結ぶように対物レンズを配置し、カンチレバーからの反射光を対物レンズにより集光する技術事項」及び「カンチレバーからの反射光を検出する検知器はレンズを有する技術事項」が記載されているから、これら技術事項は周知技術（以下「周知技術１」という。）であるといえる。
イ　上記（引３ｂ）より引用文献３には、「干渉計の内部で、カンチレバー１８ｂから反射されたビーム８６および基準ビーム１０４から、第１および第２のインターフェログラムが生成され、２つのインターフェログラムはそれぞれ、第１の光検出器１１２および第２の光検出器１１４で検出され、これらの光検出器信号により、カンチレバーの位置における変位を測定することができる」技術事項が、（引４ｂ）より、引用文献４には、「干渉計の内部で、カンチレバー１８ｂから反射されたビーム８６と参照ビーム１０４とから第１および第２のインターフェログラムが生成され、この２つのインターフェログラムは、それぞれ第１の光検出器１１２および第２の光検出器１１４で検出され、この光検出器信号により、カンチレバーの位置の変位を測定することができる」技術事項が、それぞれ記載されている。
　そうすると、引用文献３及び４には、いずれも「干渉計において、カンチレバーから反射されたビームと参照ビームとにより生成されたインターフェログラムを検知することによりカンチレバーの位置の変位を測定することができる技術」が記載されているから、該技術は周知技術（以下「周知技術２」という。）であるといえる。
第５　対比
　本願発明と引用発明とを比較する。
１　引用発明の「複数のAFMカンチレバー」は、本願発明の「複数のプローブ」に相当する。そして、上記（引１ａ）より、「基準スケールの変位(χ 方向)をAFMカンチレバーの変形(z方向)として検出する」から、「複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する」ことは、「複数のAFMカンチレバー」の位置を検出することであるといえる。
　そうすると、引用発明の「複数のAFMカンチレバーの変形量を検出するAFMカンチレバーの変形量の検出法」は、本願発明の「複数のプローブの位置を検出する方法」に相当する。
２　引用発明は、「光源として用いる赤色半導体レーザは」、「ライン状に集光されたレーザ光を出力」するものであるから、引用発明の「赤色半導体レーザ」は、「赤色半導体レーザ」からのレーザ光を入力し、「ライン状に集光されたレーザ光を出力する」光学装置を有しているといえる。
　そうすると、引用発明の「赤色半導体レーザ」が有する該光学装置及び半導体レーザからの該光学装置に入力するレーザ光は、本願発明の「光学装置」及び「第１の入力光線」に相当する。
　そして、引用発明の「光源として用いる赤色半導体レーザ」が、「ライン状に集光されたレーザ光を出力」する工程の内、「赤色半導体レーザ」からの光を「ライン状に集光されたレーザ光を出力する」光学装置に入力する工程は、本願発明の「ａ．第１の入力光線を第１の光学装置に向けるステップ」に相当する。
　また、引用発明の光学装置は、「赤色半導体レーザ」からのレーザ光を「ライン状に集光されたレーザ光」に変換するから、引用発明の「赤色半導体レーザ」からのレーザ光を「ライン状に集光されたレーザ光」に変換する工程と、本願発明の「ｂ．前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を複数の出力光線に変換するステップ」とは、「ｂ’．前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を出力光線に変換するステップ」である点で共通する。
３　引用発明の「参照光」及び「物体光」は、本願発明の「参照光線」及び「検知光線」に相当する。そうすると、引用発明の「レーザから照射されたレーザ光」を、「ビームスプリッタにおいて参照光と物体光に2分割」する工程と、本願発明の「ｃ．各出力光線を検知光線及び前記検知光線に関連付けられた参照光線に分割するステップ」とは、「ｃ’．出力光線を検知光線及び前記検知光線に関連付けられた参照光線に分割するステップ」である点で共通する。
４　引用発明の「物体光はAFMカンチレバーによって反射され」るから、引用発明の「物体光」は、「AFMカンチレバー」に向けられるものであって、「個々のカンチレバー」は、「ライン状に集光したレーザ光」を「反射」するものであるから、引用発明の「物体光」は、「ライン状に集光したレーザ光」である。そして、引用発明の「ライン状に集光されたレーザ光」は、「複数のAFMカンチレバーの変形量を同時に検出するため」のものであって、この「ライン状に集光したレーザ光を個々のカンチレバーが反射」することにより反射光が生成されるから、引用発明の「ライン状に集光されたレーザ光」である「物体光」は、「個々のカンチレバー」に同時に向けられるものである。そうすると、引用発明の「ライン状に集光されたレーザ光」である「物体光」を同時に「個々のカンチレバー」に向けて反射光を生成する工程と、本願発明の「ｄ．前記検知光線のそれぞれを対物レンズを介して前記プローブのうちの関連付けられた１つに同時に向けて、反射光線を生成するステップ」とは、「ｄ’．前記検知光線を前記プローブのそれぞれに同時に向けて、反射光線を生成するステップ」である点で共通する。
５　引用発明の「参照光と物体光はビームスプリッタで干渉して、受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」ものであって、「ビームスプリッタで干渉して」「フォトダイオードアレイの各感光部に入射する」光は干渉光であって、インターフェログラムは干渉光の一形態である。また、「参照光と物体光」は、「光干渉法を用いて複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する」ものであるから、「ビームスプリッタで干渉」する「参照光と物体光」とは、関連づけられたものであるといえる。
　そうすると、引用発明の関連づけられた「参照光と物体光」とを、「ビームスプリッタで干渉」させて、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」干渉光を生成する工程と、本願発明の「ｅ．各反射光線をその関連付けられた参照光線に結合して、インターフェログラムを生成するステップ」とは、「ｅ’．各反射光線をその関連付けられた参照光線に結合して、干渉光を生成するステップ」である点で共通する。
６　引用発明は「光干渉法を用いて複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する」ものであるから、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」干渉光を測定し、「各感光部」に関連づけられた「AFMカンチレバーの変形量を検出する」ものである。
　そうすると、引用発明の「受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」干渉光を測定し、「各感光部」に関連づけられた「AFMカンチレバーの変形量を検出する」工程と、本願発明の「ｆ．各インターフェログラムを測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定するステップ」とは、「ｆ’．各干渉光を測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定するステップ」である点で共通する。
７　引用発明の「物体光は平行ではない光であ」るから、本願発明の「前記検知光線のそれぞれは前記対物レンズに入射する際に互いに非平行であ」ることと、「前記検知光線は非平行であ」る点で共通する。
８　引用発明の「フォトダイオードアレイ」は、本願発明の「センサ」に相当する。そして、引用発明は、「参照光と物体光はビームスプリッタで干渉して、受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」から、引用発明の関連づけられた「参照光と物体光」とを、「ビームスプリッタで干渉」させて、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に入射する」干渉光を生成する工程と、本願発明の「各反射光線を前記対物レンズによって集めるステップと、各反射光線を関連付けられた参照光線と共に、センサレンズを有するセンサに向けるステップとを含」む「各反射光線を関連付けられた参照光線と結合して、インターフェログラムを生成するステップ」とは、「各反射光線を関連付けられた参照光線と共に、センサに向けるステップを含」む「各反射光線を関連付けられた参照光線と結合して、干渉光を生成するステップ」で共通する。
　そして、引用発明の「フォトダイオードアレイ」は、「各感光部に入射する」干渉光を測定し、「各感光部」に関連づけられた「AFMカンチレバーの変形量を検出する」ものであるから、本願発明の「前記センサは各インターフェログラムを測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定」することとは、「前記センサは各干渉光を測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定」することで共通する。
９　以上１〜８より、本願発明と引用発明との間には、以下の一致点と相違点がある。
（一致点）
「複数のプローブの位置を検出する方法であって、
　ａ．第１の入力光線を第１の光学装置に向けるステップと、
　ｂ’．前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を出力光線に変換するステップと、
　ｃ’．出力光線を検知光線及び前記検知光線に関連付けられた参照光線に分割するステップと、
　ｄ’．前記検知光線を前記プローブのそれぞれに同時に向けて、反射光線を生成するステップと、
　ｅ’．各反射光線をその関連付けられた参照光線に結合して、干渉光を生成するステップと、
　ｆ’．各干渉光を測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定するステップと、
を含み、
　前記検知光線の非平行であり、
　各反射光線を関連付けられた参照光線と結合して、干渉光を生成するステップは、各反射光線を関連付けられた参照光線と共に、センサに向けるステップを含み、
　前記センサは各干渉光を測定して、前記プローブのうちの関連付けられた１つの前記位置を特定する
　方法。」
（相違点）
（相違点１）「ｂ’．前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を出力光線に変換するステップ」、「ｃ’．出力光線を検知光線及び前記検知光線に関連付けられた参照光線に分割するステップ」及び「ｄ’．前記検知光線を前記プローブのそれぞれに同時に向けて、反射光線を生成するステップ」が、本願発明は、「ｂ’．」のステップが、「前記第１の光学装置を用いて前記第１の入力光線を複数の出力光線に変換するステップ」であり、「ｄ’．」のステップが、「ｃ’．」のステップで、「ｂ’．」のステップで変換された「複数の出力光線」の各々を分割した「検知光線のそれぞれを」「前記プローブのうちの関連付けられた１つに同時に向け」るものであるのに対し、引用発明は、「ｃ’．」及び「ｂ’．」のステップが、「赤色半導体レーザ」が有する光学装置が「ライン状に集光されたレーザ光を出力」するものであって、「ｄ’．」のステップが、「ライン状に集光したレーザ光」を「ｃ’．」のステップで「ビームスプリッタに」よって分割した「物体光」を、「個々のカンチレバー」に向けるものである点。
（相違点２）各反射光線を関連付けられた参照光線と結合して生成される干渉光が、本願発明は「インターフェログラム」であるのに対し、引用発明は「干渉光」である点。
（相違点３）「ｄ’．前記検知光線を前記プローブのそれぞれに同時に向けて、反射光線を生成するステップ」及び「ｅ’．各反射光線をその関連付けられた参照光線に結合して、干渉光を生成するステップ」が、本願発明は、「ｄ’．」のステップが、「前記検知光線のそれぞれを対物レンズを介して前記プローブのうちの関連付けられた１つに同時に向けて、反射光線を生成」し、「ｅ’．」のステップが、「各反射光線を前記対物レンズによって集めるステップ」を含み、「ｅ’．」のステップにおける「各反射光線」が「関連付けられた参照光線と共に」「向け」られる「センサ」が「センサレンズを有」しており、「前記センサレンズは、前記対物レンズの焦点面に配置されている前記プローブの像を形成し、前記センサレンズは、前記反射光線および前記参照線を、それぞれがプローブに対応する一連のスポットに集束させる」ものであるのに対し、引用発明は、「対物レンズ」や「センサレンズ」に関する特定がない点。
第６　判断
　上記相違点について検討する
１　相違点１について
　技術事項２の「１つのレーザ」は、「全ビアアレイ１１１９のビア１１９のために、回折光学要素３０５を使用する等により、レーザビームのアレイ」に生成され、「全ビアアレイ１１１９のビア１１９」は、「カンチレバーの各格子１１６と整列され」ているから、技術事項２の「回折光学要素３０５」は、「１つのレーザ」から「レーザビームのアレイ」を生成し、「レーザビームのアレイ」の各レーザ光は、「カンチレバーの各格子１１６」に向けられるものである。そして、引用発明の「赤色半導体レーザ」が有する光学装置が出力する「ライン状に集光された光」は、「個々のカンチレバー」に向けられるものであるから、引用発明の「赤色半導体レーザ」が有する光学装置として、技術事項２の「回折光学要素３０５」を適用し、「赤色半導体レーザ」の光を「レーザビームのアレイ」に変換し、該「レーザビームのアレイ」のそれぞれのレーザビームを「個々のカンチレバー」に向ける構成とすることは、当業者が容易に想到できることであるといえる。
２　相違点２について
　周知技術２より、「カンチレバーの位置の変位を測定する」ために「干渉計において、カンチレバーから反射されたビームと参照ビームとにより生成されたインターフェログラム」を使用することは周知であるから、引用発明の「複数のAFMカンチレバーの変形量を検出する」ための干渉光として「インターフェログラム」を使用することは、当業者が容易に想到できたことであるといえる。
３　相違点３について
　周知技術１より、カンチレバーの後部上に焦点を結ぶように、また、カンチレバーからの反射光を集光するように対物レンズを配置すること、及び、検知器がレンズを有することは、いずれも周知技術であって、対物レンズ及び検知器が有するレンズをどのような配置とするかは、他の構成要素の光学特性等を考慮して適宜設定されるものであって、検知器が有するレンズが、対物レンズの焦点面にあるカンチレバーの像を形成し、かつ、検知器に対し特定のスポットに収束するような配置は、検知器に効率よく集光する配置の一つであって、このような配置とすることは常套手段にすぎないから、引用発明に周知技術１を適用し、「物体光」が「AFMカンチレバー」の後部上に焦点を結び、「AFMカンチレバー」からの反射光を集光するように対物レンズを配置し、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイ」はレンズを有するものとし、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイ」が有するレンズを、対物レンズの焦点面にある「AFMカンチレバー」の像を形成し、「ビームスプリッタで干渉し」た「参照光と物体光」が「受光器として用いられるフォトダイオードアレイの各感光部に」収束させるものとすることは、当業者が容易に想到できることであるといえる。
４　本願発明の効果について
　本願発明の効果は、引用文献１〜４に記載された事項から、当業者が予測しうる範囲のものであるといえる。
５　小括
　以上のことから、本願発明は、引用発明、技術事項２並びに周知技術１及び２から、当業者が容易に発明できたものであるといえる。
第７　請求人の主張について
１　意見書における請求人の主張について
　令和２年９月２４日に提出した意見書において請求人は、以下のとおり主張している。
「引用文献３，４には、光てこ検出器（たわみ検出器）が開示され、レンズ９０によって光が光てこ検出器に凝縮されることは開示されています。しかしながら、引用文献３の図３および引用文献４の図５に記載される
干渉計８８
干渉計
　引用文献３，４に記載の光てこ検出器は反射光線の位置を正確に測定する必要があり、したがって、レンズ９０によって光線を小さなスポットに集束させています。これにより、より正確な測定が可能となります。
　干渉計８８の測定原理は光てこ検出器とは異なり正確な位置測定は不要であり、したがって、センサレンズは要求されません。むしろ、プローブからの反射光線と参照光線とが各光検出器１１２，１１４で重なることが重要であり、光線が各光検出器１１２，１１４上に小さなスポットとして集束することは
重要ではありません
　本願の発明者は、複数のプローブが存在する場合にセンサレンズが特に重要であることを見いだしました。センサレンズは、プローブ（対物レンズの焦点面に配置されている）の像を形成します。また、センサレンズは、反射光線および参照光線を、それぞれプローブに対応する一連のスポットに集束させます。
　センサレンズを用いることで、プローブの密度を増加できるという技術的効果が得られます。センサレンズは光線を空間的に分離するので、各光線はセンサの異なる部分に照射されます。これにより、分離されたインターフェログラムを生成して、各プローブの位置を決定することが可能となります。その結果、プローブの密度を増加させることができます。言い換えると、プローブをより密に詰めることができます。プローブが接近していても、センサレンズによって、光線がセンサの異なる位置に集束することが保証されます。
　このように、複数のプローブを有する検知システムにおいて、センサの前にセンサレンズを配置することにより、相乗的な効果が得られます。」
　確かに、請求人が主張するとおり、引用文献３及び４には、「干渉計８８」のインターフェログラムを検知する光検出器がレンズを有する旨の特定はないが、インターフェログラムを測定するセンサにおいて、その位置上に合焦するレンズを有する構成は、下記２に示すとおり特開昭６３−２２２２０８号公報（以下「参考文献１」という。）及び特表２０１２−５１５３４１号公報（以下「参考文献２」という。）の記載から周知の構成であるといえ、また、請求人が主張する上記効果も、当業者が予測しうる効果であるといえるから、引用発明に該周知の構成を適用し、「受光器として用いられるフォトダイオードアレイ」がレンズを有するという構成とすることは、当業者が容易に想到できたことであるといえるから、上記請求人の主張は採用されない。
２　参考文献に記載された事項
（１）参考文献１について
　参考文献１には、以下の事項が記載されている。
（参１ａ）「
マイケルソン干渉計２２
ビームスプリッタ３０の下方には結像レンズ４６を介して光検出器４８が配設されている
行光線束Ｌ１はその１部がビームスプリッタ３０により反射され、固定鏡３２により反射され、次いでビームスプリッタ３０、結像レンズ４６を通過して光検出器４８の位置へ集光され
平行光線束Ｌ１の残部はビームスプリッタ３０を透過し、移動鏡３４、ビームスプリッタ３０により反射され、結像レンズ４６を透過して光検出器４８の位置へ集光され
（参１ｂ）「第３図上段にはマイケルソン干渉計２２への入射光線のスペクトルが示されており、下段には移動鏡３４を偏位させることにより
光検出器４８により検出されるインタフェログラム
（２）参考文献２について
　参考文献２には、以下の事項が記載されている。
（参２ａ）「【００３１】
　図１ａは、
表面特性測定装置１００
（参２ｂ）「【００３７】
　結合素子ＢＳ２は、光を、基準経路ＲＰに沿って基準表面、一般的には基準ミラー１２に向けて誘導すると共に、サンプル経路又は測定経路ＳＰに沿って、サンプル支持ステージ１１上に取り付けられたサンプル１０の表面１０’に向けて誘導する。サンプル経路に沿って誘導された光は、対物レンズＬ１によってサンプル表面１０’上に合焦され、基準経路に沿って誘導された光はレンズＬ２によって基準表面１２上に合焦される。サンプル表面１０’によって反射された光は、サンプル経路に沿ってレンズＬ１を介し結合素子ＢＳ２に戻る一方、基準表面１２によって反射された光は、基準経路に沿ってレンズＬ２を介し結合素子ＢＳ２に戻る。
サンプル表面によって反射された光及び基準表面によって反射された光は干渉して、
インターフェログラムを生成する
【００３８】
　
第３のビームスプリッタＢＳ３は、
インターフェログラムを測定干渉計からレンズＬ３に誘導し、レンズＬ３は、
インターフェログラムをセンサ６２上に合焦する
（３）周知の構成について
　（参１ａ）及び（参１ｂ）より、参考文献１には、「ビームスプリッタ３０の下方には結像レンズ４６を介して光検出器４８が配設され、平行光線束Ｌ１はその１部がビームスプリッタ３０により反射され、固定鏡３２により反射され、次いでビームスプリッタ３０、結像レンズ４６を通過して光検出器４８の位置へ集光され、平行光線束Ｌ１の残部はビームスプリッタ３０を透過し、移動鏡３４、ビームスプリッタ３０により反射され、結像レンズ４６を透過して光検出器４８の位置へ集光され、光検出器４８によりインタフェログラム検出されるマイケルソン干渉計２２。」が記載されている。
　また、（参２ａ）及び（参２ｂ）より、参考文献２には、「サンプル表面によって反射された光及び基準表面によって反射された光は干渉して、インターフェログラムを生成し、第３のビームスプリッタＢＳ３は、インターフェログラムを測定干渉計からレンズＬ３に誘導し、レンズＬ３は、インターフェログラムをセンサ６２上に合焦する表面特性測定装置１００。」が記載されている。
　参考文献１の「光検出器４８」及び参考文献２の「センサ６２」は、いずれも本願発明の「センサ」に相当する。そして、参考文献１の「光検出器４８」及び参考文献２の「センサ６２」は、いずれも「インターフェログラム」を測定するものであって、その位置上に合焦するレンズを有している。
　そうすると、インターフェログラムを測定するセンサにおいて、その位置上に合焦するレンズを有する構成は周知の構成であるといえる。
第８　むすび
　以上のとおり、本願発明は、その優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献１に記載された発明、引用文献２に記載された事項及び周知技術に基づいて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。