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　特願２０１６−５００３１３「基板位置アライナ」拒絶査定不服審判事件〔平成２６年　９月２５日国際公開、ＷＯ２０１４／１４９３４０、平成２８年　５月　９日国内公表、特表２０１６−５１２９２４、請求項の数（１２）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１４年（平成２６年）２月２０日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１３年３月１５日、米国）を国際出願日とする出願であって、その後の手続の概要は、以下のとおりである。
　平成３０年　１月１６日付け：拒絶理由通知書（起案日）
　平成３０年　６月２２日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成３０年　７月２４日付け：拒絶理由通知書（起案日）
　平成３１年　１月２９日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成３１年　４月１１日付け：拒絶査定（起案日）（以下、「原査定」という。）
　令和　元年　８月１９日　　：審判請求書、手続補正書の提出
　令和　元年　９月３０日　　：手続補正書（方式）
　令和　２年　５月２７日付け：拒絶理由通知書（起案日）（以下、この拒絶理由通知書による拒絶理由を「当審拒絶理由」という。）
　令和　２年１１月３０日　　：意見書、手続補正書の提出
第２　本願発明
　本願請求項１−１２に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明１２」という。）は、令和　２年１１月３０日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−１２に記載された事項により特定される発明であり、本願発明１−１２は以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　基板を垂直な向きに保持するように構成された基板保持アセンブリと、
　少なくとも２つのアイドラローラおよび駆動ローラを含み、それぞれのローラの周囲の１点が、前記基板保持アセンブリ内に画定された基板回転の中心から共通の半径のところに離隔されて位置する複数のローラと、
　前記駆動ローラを選択的に回転させるように構成された回転機構と、
　ほぼ前記共通の半径のところに置かれたセンサであり、前記基板が存在しカットダウンオリエンテーションにあるときであってオリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるときに前記オリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサと
　を備える基板位置アライナ。
【請求項２】
　基板保持アセンブリが、前記基板を間に保持するように構成された第１のプレートおよび第２のプレートを有する三日月形の本体を備える、請求項１に記載の基板位置アライナ。
【請求項３】
　前記三日月形の本体が、セラミックまたはポリエーテルエーテルケトンから製作された、請求項２に記載の基板位置アライナ。
【請求項４】
　前記共通の半径が７５ｍｍである、請求項１に記載の基板位置アライナ。
【請求項５】
　前記アイドラローラと前記駆動ローラの間の半径方向距離が５９ｍｍ〜６５ｍｍの間である、請求項１に記載の基板位置アライナ。
【請求項６】
　前記駆動ローラの頂部と前記第１および第２のプレートの隣接する頂部エッジとの間の距離が、テーパの付いたリップを画定する、請求項２に記載の基板位置アライナ。
【請求項７】
　前記テーパの付いたリップの高さが０．５ｍｍ〜１．５ｍｍの間である、請求項６に記載の基板位置アライナ。
【請求項８】
　前記回転機構がモータまたはアクチュエータである、請求項１に記載の基板位置アライナ。
【請求項９】
　前記センサが、前記センサと前記基板の前記オリエンテーションカットの間に投射された光を使用することによって前記基板の前記オリエンテーションカットの存在を検出するように構成された、請求項１に記載の基板位置アライナ。
【請求項１０】
　基板を垂直な向きに保持するように構成された基板保持アセンブリであり、前記基板保持アセンブリ内に画定された基板回転の中心を有する基板保持アセンブリと、
　少なくとも３つのアイドラローラおよび駆動ローラであり、それぞれのローラの周囲の１点が、前記基板回転の中心から共通の半径のところに離隔されて位置するローラと、
　前記駆動ローラを回転させるように構成された回転機構と、
　前記基板が前記基板保持アセンブリ内に位置するときに前記基板を検出するように構成された第１のセンサと、
　前記基板の向きがカットダウンオリエンテーションに近いかまたはカットダウンオリエンテーションであるときに前記基板を検出するようにそれぞれが構成された第２のセンサおよび第３のセンサと
　を備え、
　前記第２のセンサは、オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるときに前記オリエンテーションカットを検出するように構成された
基板位置アライナ。
【請求項１１】
　前記駆動ローラが、前記第２のセンサと前記第３のセンサの間に配置された、請求項１０に記載の基板位置アライナ。
【請求項１２】
　オリエンテーションカットを有し、垂直な向きに保持される基板の位置合わせをする方法であって、
　複数のローラ上に前記基板を置くこと
　を含み、前記基板が常に少なくとも２つのローラ上で支持されるような態様で前記ローラが分布しており、前記方法がさらに、
　前記ローラ上に前記基板が存在することを感知すること、
　前記基板がカットダウンオリエンテーションにあり、前記オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるときに前記オリエンテーションカットの存在を感知すること、及び
　前記オリエンテーションカットの前記存在が検出されるまで前記ローラを回転させること
　を含む方法。」
第３　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開平８−２８８３７０号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。（下線は当審による。以下同じ。）
「【００１２】
【実施例】
図１は、本発明の一実施例に係るウエハ位置合せ装置における回路構成を示すブロック図である
ウエハ位置合せ装置３０は、前記センサおよびアクチュエータとしてオリフラ左検出センサ５９、オリフラ右検出センサ６０、ウエハ検出センサ６１、およびウエハ５０を時計回りまたは反時計回りのどちらの方向にも回転を与えることができる駆動モータ６１を有する
【００１３】
図２（ｂ）は装置本体３０におけるプリアライメント装置の平面図であり、同図（ａ）はその断面図である
【００１４】すなわち、従来のもののハードウェアの一部を削除することによりハード構成を簡略化し、その代わりに、ソフトウェアにより、デッドポイントを回避するようにしている。次に、図３のフローチャート、図２、および図１を参照して、装置の動作を説明する。不図示のウエハ搬送手段により、図２（ｂ）に示すように、
ウエハ５０がプリアライメントステージ（以下、ＰＡステージという）５１上に搬送されると、まず、不図示のＰＡステージ傾斜手段により、ウエハ５０が駆動ローラ５４、従動ローラ５５，５６，５３に接触する方向にＰＡステージ５１を傾斜させる
供給された空気をＰＡステージ５１の表面に向って複数個開けられた傾斜穴５２を経てウエハ５０裏面に吹き付ける
ウエハ５０は矢印６４の方向に押し付けられる
ウエハ５０は駆動ローラ５４、従動ローラ５５，５６のどれかに接触することになる
ウエハ検出センサ６１がウエハ５０を検出すると駆動ローラ５４を回転させる
ウエハ５０はその円周が駆動ローラ５４、および従動ローラ５５，５６のいずれかと位置決めローラ５３に接触しながら矢印６５の方向に回転を開始する
【００１５】次に、ソフトウェア上のタイマを起動させる（ステップＳ５）。
タイマには、ウエハ５０を回転動作させてオリフラ検出するのに必要な時間があらかじめ設定されている
このタイマ設定時間内に、オリフラ左検出センサ６０およびオリフラ右検出センサ６１が同時にウエハ５０を検出する（ウエハがこれらセンサへの光を遮断する）か否かを監視する
オリフラが検出された場合は
駆動ローラ５４を停止する
駆動ローラ５４の停止は、それに不図示のリンク機構で接続されている駆動モータ３９を停止させることにより行う
　【図１】、【図２】は、以下のとおりのものである。
「【図１】
【図２】
」
　引用文献１の【図１】、【図２】から、ＰＡステージ５１と、従動ローラ５５、５６、５３（位置決めローラ５３）及び駆動ローラ５４と、駆動モータ３９と、オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０と、を備えるウエハ位置合せ装置が見てとれる。
　また、引用文献１の【図２】から、ウエハ５０が回転するほぼ円周上に配置されたオリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０が見てとれる。
（２）上記（１）から、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「ＰＡステージ５１と、従動ローラ５５、５６、５３（位置決めローラ５３）及び駆動ローラ５４と、駆動モータ３９と、オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０と、を備えるウエハ位置合せ装置であって、
　供給された空気をＰＡステージ５１の表面に向って複数個開けられた傾斜穴５２を経てウエハ５０裏面に吹き付け、駆動ローラ５４、従動ローラ５５、５６のどれかに接触するように、ウエハ５０は矢印６４の方向に押し付けられ、
　ウエハ５０はその円周が駆動ローラ５４、および従動ローラ５５、５６のいずれかと位置決めローラ５３に接触しながら矢印６５の方向に回転を開始し、
　オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０は、ウエハ５０が回転するほぼ円周上に配置され、同時にウエハ５０を検出する（ウエハがこれらセンサへの光を遮断する）か否かを監視し、オリフラ検出し、
　オリフラが検出された場合は、駆動モータ３９を停止させることにより、駆動ローラ５４の停止を行う、
　ウエハ位置合せ装置。」
２　周知技術
（１）周知技術１
ア　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２（特開平１１−３５４６１４号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００３４】次に、この発明の姿勢制御装置について説明する。
姿勢制御装置２０は、
ウエハＷを回転可能に保持する保持手段３０と、ウエハＷの周縁部に接触してウエハＷを回転する回転伝達手段４０と、
で主に構成されている
【００３５】上記
保持手段３０は、垂直に配列されたウエハＷの下端部を保持する１つの下部保持棒３１と、ウエハＷの下方両側を保持する２つの側部保持棒３２，３３とで構成されている
【００３６】上記
回転伝達手段４０は、図３及び図４に示すように、上記両側部保持棒３２，３３の内側の下部保持棒３１を挟んで左右両側に配設される第１及び第２の回転伝達ローラ群４１，４２にて形成されている
【００３７】なおこの場合、ウエハＷは、３本の保持棒３１，３２，３３と２個の回転伝達ローラ群４１，４２とで保持されているが、少なくともウエハＷを支持する１本の側部保持棒３２と、回転伝達ローラ群４１，４２とでウエハＷを保持するようにしてもよい。」
　【図３】は、以下のとおりのものである。
「【図３】
」
　引用文献２の【図３】から、下部保持棒３１及び２つの側部保持棒３２、３３と回転伝達手段４０とを、基板回転の中心から共通の半径のところに配置することが見てとれる。
イ　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献３（特開２００２−１６４４１８号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。図１及び図２は本発明の好ましい一実施形態を概略的に示すもので、図中１は位置決め装置、２は該位置決め装置１上に支持手段５により一定間隔を保って並立状態に支持された円板形の半導体ウエハであって、該ウエハ２は、その外周の一部にＶ字形のノッチ２ａを有している。
【００１３】上記位置決め装置１は、左右一対の側板６，６を有している。この側板６，６はＴ字形をしていて、下端部や中間部などの適宜位置に取り付けられた結合部材７，８によって一体に結合されており、これらの側板６，６間には、上記
支持手段５を構成する複数の支持ローラー１０ａ，１０ｂ，１０ｃが回転自在なるように取り付けられている
【００１４】上記左右の側板６，６の間にはまた、上記中間の支持ローラー１０ｃに隣接する位置に、上記
ウエハ２を回転させて位置決めを行うための位置決めローラー１３
【００１５】上記
位置決めローラー１３は、上記ノッチ２ａの幅より小さい均一な直径を有していて、上記支持ローラー１０ａ，１０ｂ，１０ｃにより縦向きに支持された各ウエハ２の外周に下側から当接するように、該ウエハ２の軸線と平行に向けて回転自在なるように配設されている
　【図１】は、以下のとおりのものである。
「【図１】
」
　引用文献３の【図１】から、支持ローラー１０ａ、１０ｂ、１０ｃと位置決めローラー１３とを、基板回転の中心から共通の半径のところに配置することが見てとれる。
ウ　上記ア、イから、以下の技術的事項は周知であるものと認められる。
　「少なくとも２つの基板支持部と基板を回転させる駆動ローラとを、基板回転の中心から共通の半径のところに配置すること。」
（２）周知技術２
ア　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献４（特開２００２−２８９６７４号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００３１】（第４の実施の形態）本発明のオリフラ整列装置においてオリフラの整列は、ウェハ回転用ローラとウェハとの接触によってウェハを回転し整列させるものであるが、ウェハ回転用ローラとウェハとの接触が点接触となるため、ウェハ回転用ローラやウェハ周辺部の表面状態によってスリップが発生することがある。その場合、ウェハ回転用ローラは空転してしまい、ウェハが所定時間内に整列するとは限らない。そのため、前記第１の発明の実施の形態において説明した整列のシーケンスの最終段階で、オリフラの整列状態を検知し、必要に応じて再度オリフラ整列のシーケンスを実施すれば、さらに信頼性の高い整列装置が実現できることとなる。
【００３２】このようなオリフラ整列状体を検知する機構を設けたオリフラ整列装置を図５に示す。すなわち、この装置は、
オリフラ整列ユニット３にセンサ１２を配設することによって、オリフラ１ａの整列状態の検出を行う
【００３３】図５において、
センサ１２はオリフラ整列ユニット３の中央部に配置することが、最も確度の高いオリフラ検知を行うことができる
イ　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献５（特開昭６０−８５５３６号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「
ウエハ外周に３個の光電式位置検出器１３、１４、１５を配置する
　
光電式位置検出器の配置はウエハが位置決め完了した時にウエハの外周が光電式位置検出器の光束を半分さえぎる様にし、１ケ１３を円周上オリフラに対してほぼ直角な線を検出する位置に、２ケをオリフラ上に配置する
オリフラの長さの中央付近に１ケ１４
配置する
ウ　上記ア、イから、以下の技術的事項は周知であるものと認められる。
　「ウエハ位置決め装置において、センサをオリフラの中央付近に配置すること。」
（３）周知技術３
ア　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献６（特開２００６−１５６５９９号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００１０】
　以下、本発明の実施形態を図面にしたがって説明する。
　はじめに、処理対象のウェハについて説明する。図５に示すように、ウェハ９０は、円板形状をなしている。ウェハ９０のサイズ（半径ｒ）には、種々の規格がある。このウェハ９０の円形外周部９１の一部が平らに切り欠かれ、オリフラ部９２（切欠部）が形成されている。オリフラ部９２の大きさは、ＳＥＭＩやＪＥＩＤＡ等の規格で決められている。
例えばｒ＝１００ｍｍのウェハのオリフラ長Ｌ９２は、Ｌ９２＝５５ｍｍ〜６０ｍｍとなっている
イ　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献７（特開平８−１７８９８号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ウェーハ７の外形に適応する位置に、部材４と固定ピン５を設定する前記従来のアライメント方法およびその装置は、オリエンテーションフラット71の長さが一定、換言すればウェーハ７の中心とオリエンテーションフラット71の距離が一定、さらに換言すればオリエンテーションフラット71の両端とウェーハ７の中心とを結ぶ角度が一定なら何ら問題ない。
【０００９】ところが、半導体チップの製造工程において、オリエンテーションフラット71はその規格の違い等により、
オリエンテーションフラット71の長さの異なるウェーハ７が混在することがある
ウ　上記ア、イから、以下の技術的事項は周知であるものと認められる。
　「オリフラの長さに様々なものがあること。」
第４　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比すると、次のことがいえる。
ア　引用発明の「ウエハ位置合せ装置」は、本願発明１の「基板位置アライナ」に対応する。
イ　引用発明では、「供給された空気をＰＡステージ５１の表面に向って複数個開けられた傾斜穴５２を経てウエハ５０裏面に吹き付け、駆動ローラ５４、従動ローラ５５、５６のどれかに接触するように、ウエハ５０は矢印６４の方向に押し付け」ることで、ウエハを保持するように構成されており、本願発明１と引用発明とは、「基板を」「保持するように構成された基板保持アセンブリ」を備える点で共通する。
ウ　引用発明の「従動ローラ５５、５６」及び「従動ローラ５３（位置決めローラ５３）」は、本願発明１の「少なくとも２つのアイドラローラ」に相当し、引用発明の「駆動ローラ５４」は、本願発明１の「駆動ローラ」に相当する。
　そして、引用発明では、「ウエハ５０はその円周が駆動ローラ５４、および従動ローラ５５、５６のいずれかと位置決めローラ５３に接触しながら矢印６５の方向に回転を開始」するものであるから、回転する「ウエハ５０」の円周と接触する位置、つまり基板回転の中心から共通の半径のところに「位置決めローラ５３」及び「駆動ローラ５４」の周囲の一点が位置するものと認められ、本願発明１と引用発明とは、「少なくとも２つのアイドラローラおよび駆動ローラを含み」、１つのアイドラローラ及び駆動ローラ「の周囲の１点が、前記基板保持アセンブリ内に画定された基板回転の中心から共通の半径のところに離隔されて位置する複数のローラ」を備える点で共通する。
エ　引用発明の「駆動モータ３９を停止させること」により、「駆動ローラ５４」の停止を行うことから、引用発明の「駆動モータ３９」は、本願発明１の「前記駆動ローラを選択的に回転させるように構成された回転機構」に相当する。
オ　引用発明の「オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０は、ウエハ５０が回転するほぼ円周上に配置され」たものであり、「同時にウエハ５０を検出する（ウエハがこれらセンサへの光を遮断する）か否かを監視し、オリフラ検出」するものであるから、本願発明１と引用発明とは、「ほぼ前記共通の半径のところに置かれたセンサ」であり、「前記基板が存在しカットダウンオリエンテーションにあるとき」に「前記オリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサ」を備える点で共通する。
カ　したがって、本願発明１と引用発明との、一致点と相違点は、以下のとおりである。
（一致点）
　「基板を保持するように構成された基板保持アセンブリと、
　少なくとも２つのアイドラローラおよび駆動ローラを含み、１つのアイドラローラ及び駆動ローラの周囲の１点が、前記基板保持アセンブリ内に画定された基板回転の中心から共通の半径のところに離隔されて位置する複数のローラと、
　前記駆動ローラを選択的に回転させるように構成された回転機構と、
　ほぼ前記共通の半径のところに置かれたセンサであり、前記基板が存在しカットダウンオリエンテーションにあるときに前記オリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサと
　を備える基板位置アライナ。」
（相違点）
（相違点１）本願発明１の「基板保持アセンブリ」は、基板を「垂直な向きに」保持するのに対し、引用発明では、「ＰＡステージ５１」について、そのような特定はなされていない点。
（相違点２）周囲の１点が基板回転の中心から共通の半径のところに離隔されて位置するローラとして、本願発明１では、「少なくとも２つのアイドラローラおよび駆動ローラ」の少なくとも３つのローラであるのに対し、引用発明では、「位置決めローラ５３」及び「駆動ローラ５４」の２つのローラである点。
（相違点３）オリエンテーションカットを検出するセンサについて、本願発明１では、「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成されたものであるのに対し、引用発明では、「オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０」について、そのような特定はなされていない点。
（２）相違点についての判断
　事案に鑑み、相違点３について先に検討する。
　引用発明において、オリエンテーションカットの検出は、「オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０」が「同時にウエハ５０を検出」することで行われ、引用文献１の【図２】に示される位置に「オリフラ左検出センサ５９及びオリフラ右検出センサ６０」が配置されることから、「駆動ローラ５４」上でオリエンテーションカットがほぼ水平に位置したときに「同時にウエハ５０を検出」できるものと認められる。
　そうすると、引用発明では、オリエンテーションカットの検出できる範囲は、水平近傍のみであり、引用文献１に検出範囲に関する課題も記載されていないことから、引用発明において、検出範囲を、「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲」まで広げることが、設計的事項とはいえない。
　また、「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成することは、上記引用文献２−７に記載された周知技術にも記載されていない。
　したがって、他の相違点について判断するまでもなく、本願発明１は、当業者であっても引用発明、引用文献２−７に記載された周知技術に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
２　本願発明２−１１について
　本願発明２−１１も、本願発明１の「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサと同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２−７に記載された周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
３　本願発明１２について
　本願発明１２は、本願発明１に対応する方法の発明であり、本願発明１の「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサに対応する構成を備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２−７に記載された周知技術に基づいて容易に発明できたものとはいえない。
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は、本願の請求項１−１３に係る発明は、上記引用文献１−７に基づいて、当業者が容易に発明できたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。しかしながら、令和　２年１１月３０日付け手続補正により補正された請求項１−９、１０−１１、１２に係る発明、すなわち本願発明１−９、１０−１１、１２は、それぞれ「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサという事項、「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるとき」にオリエンテーションカットを検出するように構成されたセンサに対応する構成を有するものとなっており、上記のとおり、本願発明１−１２は、上記引用文献１に記載された発明及び上記引用文献２−７に記載された周知技術に基づいて、当業者が容易に発明できたものではない。したがって、原査定を維持することはできない。
第６　当審拒絶理由について
１　特許法第３６条第４項第１号について
（１）当審では、段落【００２３】の「オリエンテーションカットの向きが水平から約−４４度〜約＋４４度の範囲内」や「約−３８度〜約＋３８度の範囲内」を検出することを実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものでないとの拒絶の理由を通知した。
　これに対し、令和　２年１１月３０日付けの補正において、請求項１、１０、１２の検出範囲を「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲」と補正された結果、当該範囲は、段落【０００２】、【００１７】、【００２０】に記載される基板のサイズやオリエンテーションカットの長さに基づいた値であることから、この拒絶の理由は解消した。
（２）当審では、段落【００２３】には、オリエンテーションカットの向きが略水平にないときに、オリエンテーションカットの存在を検出する旨が記載されており、段落【００２３】は、当業者が実施することができる程度に明確かつ十分に記載されたものでないとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「ないとき」を「あるとき」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
２　特許法第３６条第６項第１号について
（１）当審では、請求項１−１３に対し、「オリエンテーションカットの向きが水平から−４４度〜＋４４度の間の範囲内にないときに基板を検出する」という点は、発明の詳細な説明に記載されていないとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるときに前記オリエンテーションカットを検出する」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（２）当審では、請求項１０、１１に対し、「センサ２１４」及び「センサ４１８」は「それぞれ」、「オリエンテーションカットの向きが水平から−４４度〜＋４４度の間の範囲内にないときに前記基板を検出する」という点は、発明の詳細な説明に記載されていないとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「前記第２のセンサは、オリエンテーションカットの向きが水平から−２２度〜＋２２度の間の範囲内にあるときに前記オリエンテーションカットを検出する」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（３）当審では、請求項１２、１３に対し、オリエンテーションカット２０２の向きが特定の位置にあるときに、「基板存在センサ２１２」が、基板の存在を検出するという点は、発明の詳細な説明に記載されていないとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「前記オリエンテーションカットの存在を感知すること」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（４）当審では、請求項１２に対し、「前記ローラ上に前記基板が存在することを感知すること」、「前記基板がカットダウンオリエンテーションにあり、・・・ないときに前記基板の存在を感知すること」を含む点は、発明の詳細な説明に記載されていないとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「前記基板の存在を感知すること」を「前記オリエンテーションカットの存在を感知すること」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
３　特許法第３６条第６項第２号について
（１）当審では、請求項１−１３の「オリエンテーションカットの向き」という記載の意味が不明確であるとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付け意見書を踏まえれば、「オリエンテーションカットの向き」がオリエンテーションカットの延伸方向という意味であることは明確であるから、この拒絶の理由は解消した。
（２）当審では、請求項１２に対し、どのようにして「基板の位置合わせ」を実現するのか不明確であるとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、「前記オリエンテーションカットの前記存在が検出されるまで前記ローラを回転させること」を追加する補正がされた結果、この拒絶の理由は解消した。
（３）当審では、請求項１３の「オリエンテーションカットの前記存在が検出されるまで」という記載の意味が不明確であるとの拒絶の理由を通知したが、令和　２年１１月３０日付けの補正において、請求項１２に請求項１３の構成を追加し、請求項１２の「前記基板の存在を感知すること」を「前記オリエンテーションカットの存在を感知すること」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明１−１２は、当業者が引用発明及び引用文献２−７に記載された周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。