(57)【要約】[要約]  検査対象の回路基板が微細ピッチの電極を有するものであっても信頼性の高い電気検査を行うことができ、回路基板を連続的に検査する際にも検査作業を円滑に行うことができる回路基板の検査装置を提供する。  第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備えた第２の補助中継ピンユニットと、第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継ピンユニットとを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを備え、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合に、前記補助接続回路ユニットを介して迂回して、他方のテスター側コネクターの電極へ電気的に接続するように構成した。【特許請求の範囲】
【請求項１】
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う回路基板の検査装置であって、
前記第１の検査治具と第２の検査治具がそれぞれ、
基板の一面側と他面側との間で電極ピッチを変換するピッチ変換用基板と、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板側に配置される第１の異方導電性シートと、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板とは逆側に配置される第２の異方導電性シートと、
を備えた回路基板側コネクターと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えた中継ピンユニットと、
前記中継ピンユニットの第２の異方導電性シートとは逆側に配置される第３の異方導電性シートと、
を備えた検査用接続回路ユニットを備えるとともに、
テスターと前記中継ピンユニットとを電気的に接続するコネクター基板と、
前記コネクター基板の中継ピンユニットとは逆側に配置されるベース板と、
を備えたテスター側コネクターとを備え、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする回路基板の検査装置。
【請求項２】
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う回路基板の検査装置であって、
前記第１の検査治具と第２の検査治具がそれぞれ、
基板の一面側と他面側との間で電極ピッチを変換するピッチ変換用基板と、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板側に配置される第１の異方導電性シートと、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板とは逆側に配置される第２の異方導電性シートと、
を備えた回路基板側コネクターと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えた中継ピンユニットと、
前記中継ピンユニットの第２の異方導電性シートとは逆側に配置される第３の異方導電性シートと、
を備えた検査用接続回路ユニットを備えるとともに、
テスターと前記中継ピンユニットとを電気的に接続するコネクター基板と、
前記コネクター基板の中継ピンユニットとは逆側に配置されるベース板と、
を備えたテスター側コネクターとを備え、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする回路基板の検査装置。
【請求項３】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継ピンユニットとを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続するように構成したことを特徴とする請求項１に記載の回路基板の検査装置。
【請求項４】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、
前記補助中継ピンユニットと補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項２に記載の回路基板の検査装置。
【請求項５】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を第1の補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、第1のテスター側コネクターから、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項４に記載の回路基板の検査装置。
【請求項６】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を第２の補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、第１のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
前記第２の補助中継ピンユニットと第１の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、第２のテスター側コネクターから、第１のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項４に記載の回路基板の検査装置。
【請求項７】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、
前記補助中継ピンユニットと補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項１に記載の回路基板の検査装置。
【請求項８】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項７に記載の回路基板の検査装置。
【請求項９】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
前記第２の補助中継ピンユニットと第１の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項７に記載の回路基板の検査装置。
【請求項１０】
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第１の補助中継基板装置と第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする請求項１に記載の回路基板の検査装置。
【請求項１１】
前記補助中継基板装置の導電部が、絶縁基板に植設した導電ピンであることを特徴とする請求項４から１０のいずれかに記載の回路基板の検査装置。
【請求項１２】
請求項１から１１のいずれかに記載の回路基板の検査装置を用いた回路基板の検査方法であって、
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行うことを特徴とする回路基板の検査方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気検査を行う検査対象である回路基板（以下、「被検査回路基板」と言う。）を、上側検査治具と下側検査治具で両面から挟圧することにより、被検査回路基板の両面に形成された電極をテスターに電気的に接続された状態として、被検査回路基板の電気的特性を検査する回路基板の検査装置および回路基板の検査方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
集積回路などを実装するためのプリント回路基板は、集積回路などを実装する前に、回路基板の配線パターンが所定の性能を有することを確認するために電気的特性が検査される。【０００３】
この電気検査では、例えば、回路基板の搬送機構を備えた検査用テスターに検査ヘッドを組み込み、検査ヘッド部分を交換することにより異なる回路基板の検査を行っている。【０００４】
例えば、特許文献１（特開平６−９４７６８号公報）に開示されているように、被検査回路基板の被検査電極に接して電気的に導通する金属の検査ピンを基板に植設した構造の検査治具を用いる方法が提案されている。【０００５】
また、特許文献２（特開平５−１５９８２１号公報）に開示されているように、導電ピンを有する検査ヘッドと、オフグリットアダプターと呼ばれるピッチ変換用の回路基板と、異方導電性シートとを組み合わせた検査治具を用いる方法が知られている。【０００６】
しかしながら、特許文献１（特開平６−９４７６８号公報）のように、金属検査ピンを直接に被検査回路基板の被検査電極に接触させる検査治具を用いる方法では、金属からなる導電ピンとの接触により被検査回路基板の電極が損傷する可能性がある。【０００７】
特に、近年では。回路基板における回路の微細化、高密度化が進み、このようなプリント回路基板を検査する場合、多数の導電ピンを被検査回路基板の被検査電極に同時に導通接触させるためには、高い圧力で検査治具を加圧することが必要となり、被検査電極が損傷し易くなる。【０００８】
そして、このような微細化、高密度化されたプリント回路基板を検査するための検査治具では、高密度で多数の金属ピンを基板に植設することが技術的に困難になりつつある。また、その製造コストも高価となり、さらに、一部の金属ピンが損傷した場合に、修理、交換することが困難である。【０００９】
一方、特許文献２（特開平５−１５９８２１号公報）のように、異方導電性シートを使用する検査治具では、被検査回路基板の被検査電極が、異方導電性シートを介してピッチ変換用基板の電極と接触することになるため、被検査回路基板の被検査電極が損傷しにくいという利点がある。また、ピッチ変換を行う基板を使用しているため、基板に植設する検査ピンを、被検査回路基板の被検査電極のピッチよりも広いピッチで植設することができるため、微細ピッチで検査ピンを植設する必要がなく、検査治具の製造コストを節約できるという利点もある。【００１０】
しかしながら、この検査治具では、検査対象である被検査回路基板ごとに、ピッチ変換用基板と、検査ピンを植設する検査治具とを作成する必要があるため、検査される被検査回路基板であるプリント回路基板と同数の検査治具が必要となる。【００１１】
このため、複数のプリント回路基板を生産している場合では、それに対応して複数の検査治具を保有しなければならないという問題がある。特に、近年では電子機器の製品サイクルが短縮し、製品に使用されるプリント回路基板の生産期間の短縮化が進んでいるが、これに伴って検査治具を長期間使用することができなくなり、プリント回路基板の生産が切り替わる度に検査治具を生産しなければならないという問題が生じている。【００１２】
このような問題への対策として、例えば、特許文献３〜５（特開平７−２４８３５０号公報、特開平８−２７１５６９号公報、特開平８−３３８８５８号公報）のような、中継ピンユニットを用いる、いわゆるユニバーサルタイプの検査治具を用いた検査装置が提案されている。【００１３】
図３３は、このようなユニバーサルタイプの検査治具を用いた検査装置の断面図である。【００１４】
この検査装置は、上側検査治具１１１ａと下側検査治具１１１ｂとを備え、これらの検査治具は、回路基板側コネクター１２１ａ、１２１ｂと、中継ピンユニット１３１ａ、１３１ｂと、テスター側コネクター１４１ａ、１４１ｂとを備えている。【００１５】
回路基板側コネクター１２１ａ、１２１ｂは、ピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂと、その両面側に配置される異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂ、１２６ａ、１２６ｂとを有している。【００１６】
中継ピンユニット１３１ａ、１３１ｂは、一定ピッチ（例えば２．５４ｍｍピッチ）で格子点上に多数（例えば５０００ピン）配置された導電ピン１３２ａ、１３２ｂと、この導電ピン１３２ａ、１３２ｂを上下へ移動可能に支持する絶縁板１３４ａ、１３４ｂとを有している。【００１７】
テスター側コネクター１４１ａ、１４１ｂは、被検査回路基板１０１を検査治具１１１ａ、１１１ｂで挟圧した際に、テスターと導電ピン１３２ａ、１３２ｂとを電気的に接続するコネクター基板１４３ａ、１４３ｂと、コネクター基板１４３ａ、１４３ｂの導電ピン１３２ａ、１３２ｂ側に配置される異方導電性シート１４２ａ、１４２ｂと、ベース板１４６ａ、１４６ｂとを有している。【００１８】
この中継ピンユニットを使用した検査治具は、異なる被検査対象であるプリント回路基板を検査する際に、回路基板側コネクター１２１ａ、１２１ｂを被検査回路基板１０１に対応するものに交換するだけでよく、中継ピンユニット１３１ａ、１３１ｂとテスター側コネクター１４１ａ、１４１ｂは共通で使用できる。【００１９】
しかしながら、従来のこのようなユニバーサルタイプの検査治具では、回路基板側コネクター１２１ａ、１２１ｂを構成する異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂとして、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有されて面方向に不均一に分散され、シート片面側に導電路形成部が突出した、偏在型の異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂを使用している。【００２０】
このため、この異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂは、検査での繰り返し使用により導電路形成部が劣化（抵抗値が上昇）し、使用寿命が短いため頻繁に異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂを交換する場合、交換の度に異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂとピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂとの位置合わせ、および回路基板側コネクター１２１ａ、１２１ｂと中継ピンユニット１３１ａ、１３１ｂとの位置合わせが必要であり、交換作業が繁雑で検査効率が低下してしまうことになる。【００２１】
また、被検査回路基板１０１の電極が、例えば、２００μｍ以下のような微小ピッチになると、上記のような偏在型の異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂを用いる場合には、異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂとピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂとの位置合わせが困難となり、さらに、複数の被検査回路基板１０１について検査を連続して行った場合、被検査回路基板１０１と繰り返し接触することにより異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂの位置ずれが生じ易くなる。【００２２】
これによって、異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂの導電路形成部と被検査回路基板１０１の電極位置とが一致しなくなり、良好な電気的接続が得られなくなるため、過大な抵抗値が測定され、本来は良品と判断されるべきプリント回路基板が不良品と誤判断され易くなる。【００２３】
一方、例えば、特許文献６（特開平６−８２５３１号公報）に記載されたような、異方導電性シートとピッチ変換用基板とが一体化したコネクターを使用した場合には、位置合わせは容易であるが、異方導電性シート部分が劣化した際にピッチ変換用基板ごと交換しなければならず、多数のピッチ変換用基板が必要となり検査コストが増大する。【００２４】
このため、本出願人は、特許文献７（特願２００４−０５８２８２号）において、既に、図３４に示したように、異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂとして、偏在型の異方導電性シートを用いる代わりに、絶縁性を有する絶縁部導電性粒子が厚み方向に配列するとともに面方向に均一に分散された分散型異方導電性シートを用いたユニバーサルタイプの検査治具を提案した。【００２５】
ところで、被検査回路基板１０１であるプリント配線基板は、多層高密度化してきており、実際には厚み方向に、例えば、ＢＧＡなどのハンダボール電極などの被検査電極１０２、１０３による高さバラツキや基板自体の反りが生じている。そのため、被検査回路基板１０１上の検査点である被検査電極１０２、１０３に電気的接続を達成するためには、上側検査治具１１１ａと下側検査治具１１１ｂとを高い圧力で加圧して、被検査回路基板１０１を平坦に変形し、被検査電極１０２、１０３の高さバラツキに対しては、上側検査治具１１１ａと下側検査治具１１１ｂ側の被検査電極１０２、１０３の高さに対する追従性が必要となる。【００２６】
従来のこのようなユニバーサルタイプの検査治具では、被検査電極１０２、１０３の高さに対する追従性を確保するために、導電ピン１３２ａ、１３２ｂの軸方向移動により追従していたが、この導電ピン１３２ａ、１３２ｂの軸方向移動量にも限界があるため、このような被検査電極１０２、１０３の高さに対する追従性が良好でない場合があり、導通不良が発生して正確な検査ができないことになる。【００２７】
また、このようなユニバーサルタイプの検査治具では、上側検査治具１１１ａと下側検査治具１１１ｂによって、被検査回路基板１０１を挟圧した際のプレス圧力は、図３４に示したように、その上下の異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂ、１２６ａ、１２６ｂ、１４２ａ、１４２ｂにて圧力吸収を行っている。【００２８】
そのため、このようなユニバーサルタイプの検査治具では、ピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂを支持しプレス圧を分散させるために一定間隔で、導電ピン１３２ａ、１３２ｂを配置する必要がある。【００２９】
また、従来のユニバーサルタイプの検査治具では、プレス圧力は導電ピン１３２ａ、１３２ｂで受けるようになっているため、一定間隔で多数の導電ピン１３２ａ、１３２ｂを配置する必要がある。【００３０】
このため、被検査回路基板１０１の電極の微細化に対応して、例えば、０．７５ｍｍピッチで１万以上の貫通孔を有する絶縁板１３４ａ、１３４ｂを形成する場合、絶縁板１３４ａ、１３４ｂの基板の厚さが薄いと強度が低くなり、曲げた時に割れることもあるので、絶縁板１３４ａ、１３４ｂの厚さは厚めにする必要があった。【００３１】
このため、本出願人は、特許文献８（特願２００５−１２６４３１号）において、既に、図３５に示しようなユニバーサルタイプの検査治具を提案している。【００３２】
すなわち、この検査治具では、中継ピンユニット１３１は、導電ピン１３２ａ，１３２ｂを挿通支持する被検査回路基板１側に配置された第１の絶縁板１３４ａ，１３４ｂと、被検査回路基板１０１側と反対側に配置された第２の絶縁板１３５ａ，１３５ｂの２枚の絶縁板を備えている。そして、この２枚の絶縁板１３４は、導電ピン１３２が上下に可動するように保持されている。【００３３】
また、中継ピンユニット１３１は、第１の絶縁板１３４ａ，１３４ｂと、第２の絶縁板１３５ａ，１３５ｂの間に、中間保持板１３６ａ、１３６ｂが配置されている。【００３４】
そして、第１の絶縁板１３４ａ，１３４ｂと中間保持板１３６ａ、１３６ｂとの間には、第１の支持ピン１３３ａ、１３３ｂが配置され、これによって、第１の絶縁板１３４ａ，１３４ｂと中間保持板１３６ａ、１３６ｂとの間を固定するようになっている。【００３５】
同様に、第２の絶縁板１３５ａ，１３５ｂと中間保持板１３６ａ、１３６ｂとの間には、第２の支持ピン１３７ａ、１３７ｂが配置され、これによって、第２の絶縁板１３５ａ，１３５ｂと中間保持板１３６ａ、１３６ｂとの間を固定するようになっている。【００３６】
そして、図３５に示したように、第１の支持ピン１３３の中間保持板１３６との第１の当接支持位置１３８Ａと、第２の支持ピン１３７の中間保持板１３６との第２の当接支持位置１３８Ｂとは、検査装置１１０を中間保持板の厚さ方向（図３５において上方から下方に向かって）に投影した中間保持板投影面Ａ上において異なる位置に配置されている。【００３７】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、加圧の初期段階では、中継ピンユニットの導電ピンの圧縮と、第１の異方導電性シートと、第２の異方導電性シートと、第３の異方導電性シートのゴム弾性圧縮にて圧力を吸収して、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキをある程度吸収することができる。【００３８】
そして、第１の支持ピンの中間保持板との第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板との第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投
影面において、異なる位置に配置されているので、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板をさらに加圧した際に、第１の異方導電性シートと、第２の異方導電性シートと、第３の異方導電性シートのゴム弾性圧縮に加えて、中継ピンユニットの第１の絶縁板と、第２の絶縁板と、第１の絶縁板と第２の絶縁板の間に配置された中間保持板のバネ弾性により、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキ、例えば、ハンダボール電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができる。【００３９】
これにより、高さバラツキを有する被検査回路基板の被検査電極の各々に対しも、安定的な電気的接触が確保され、さらに応力集中が低減されるので、異方導電性シートの局部的な破損が抑制される。その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するの
で、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上するようになっている。【００４０】
しかしながら、上記の従来のユニバーサルタイプの検査治具ではいずれも、上下それぞれのテスター側コネクター１４１ａ、１４１ｂにおいて、テスター側コネクターのテスター側電極の電極数が、例えば、６０００点である場合に、被検査回路基板１０１の上側の被検査電極１０２と、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３の電極数の関係において、下記のようなパターンが生じると検査の実行が困難な場合があった。すなわち、（テスター側）
上側のテスター側コネクター１４１ａの電極数＝６０００点
下側のテスター側コネクター１４１ｂの電極数＝６０００点
（被検査回路基板側）
上側の被検査電極１０２の電極数＝８０００点
下側の被検査電極１０３の電極数＝４０００点
すなわち、上側のテスター側コネクター１４１ａのテスター側電極１４４ａの電極数が、６０００点で、下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂの電極数が、６０００点である場合に、被検査回路基板１０１の上側の被検査電極１０２の電極数が、８０００点で、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３の電極数が、４０００点である場合が生じると、検査の実行が困難な場合があった。【００４１】
すなわち、上側の被検査電極１０２に対応する上側のテスター側コネクター１４１ａのテスター側電極１４４ａの電極数が、６０００点−８０００点＝−２０００点が不足する。【００４２】
しかしながら、この状態では、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３に対応する、下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂの電極数が、６０００点−４０００点＝＋２０００点が余剰として残っている。【００４３】
従って、本発明者等は、このように２０００点が不足する上側の被検査電極１０２に対する電気接続回路を、２０００点が余剰として残っている下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂへバイパス（迂回）することによって、上記のような場合にも、検査を可能とすることができることを知見して、本発明を完成するに至ったものである。【００４４】
ところで、上記のユニバーサルタイプの検査治具を用いた検査装置では、図３６に示したように、ピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂにおいて、被検査回路基板１０１の各被検査用電極１０２、１０３に対してそれぞれ、１個のピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂの被検査回路基板１０１側の端子電極１２５ａ、１２５ｂが電気的に接続するように配置されている。【００４５】
これにより、コネクタ基板１４３ａ、１４３ｂのピン側電極１４５ａ、１４５ｂ、異方導電性シート１４２ａ、１４２ｂ、中継ピンユニット１３１ａ、１３１ｂの導電ピン１３２ａ、１３２ｂ、異方導電性シート１２６ａ、１２６ｂ、ピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂの中継ピンユニット側の端子電極１２４ａ、１２４ｂ、ピッチ変換用基板１２３ａ、１２３ｂの被検査回路基板１０１側の端子電極１２５ａ、１２５ｂ、異方導電性シート１２２ａ、１２２ｂから、被検査回路基板１０１の被検査用電極１０２、１０３に至る導電路が形成されるようになっている。【００４６】
そして、図３６に示したように、コネクタ基板１４３ａ、１４３ｂの上下一対のピン側電極１４５ａ、１４５ｂから被検査回路基板１０１の各被検査用電極１０２、１０３に対して、電圧を印加することによって、同じ上下一対のピン側電極１４５ａ、１４５ｂを介して、テスターによって、電圧と電流を測定することによって、被検査回路基板１０１の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性が確認されるようになっている。【００４７】
しかしながら、このように上下一対の上下一対のピン側電極１４５ａ、１４５ｂを用いて、被検査回路基板１０１の各被検査用電極１０２、１０３に対して、電圧を印加して、同じ上下一対のピン側電極１４５ａ、１４５ｂを介して、電圧と電流の両方を測定する方法では、被検査回路基板１０１の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の正確な確認試験を行うことができず、また、確認試験に要する時間もかかることになる。
【特許文献１】特開平６−９４７６８号公報
【特許文献２】特開平５−１５９８２１号公報
【特許文献３】特開平７−２４８３５０号公報
【特許文献４】特開平８−２７１５６９号公報
【特許文献５】特開平８−３３８８５８号公報
【特許文献６】特開平６−８２５３１号公報
【特許文献７】特願２００４−０５８２８２号
【特許文献８】特願２００５−１２６４３１号
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００４８】
本発明は、このような現状に鑑み、被検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性について正確な確認試験を行うことができ、しかも、確認試験に要する時間も短時間で実施することが可能な回路基板の検査装置を提供することを目的とする。【００４９】
また、本発明は、検査対象である被検査回路基板が、微細ピッチの微小電極を有するものであっても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができる回路基板の検査装置を提供することを目的とする。
にある。【００５０】
また、本発明は、検査対象である被検査回路基板について、繰り返し連続検査を行う際に、異方導電性シートの位置ずれを補正する必要が少なく、検査の作業性が良好な回路基板の検査装置を提供することを目的とする。【００５１】
さらに、本発明は、検査対象である被検査回路基板の繰り返し連続検査において、異方導電性シートが劣化した際に、異方導電性シートの交換作業が容易な回路基板の検査装置を提供することを目的とする。【００５２】
また、本発明は、検査対象である被検査回路基板が変更されても、検査装置全体（検査治具全体）を別途作製することなく、検査用回路基板を変更するだけで、あらゆる被検査回路基板に対して、検査の対応が可能な回路基板の検査装置を提供することを目的とする。【００５３】
さらに、本発明は、検査対象である被検査回路基板が、微細ピッチの微小電極を有するものであっても、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる回路基板の検査装置を用いた検査方法を提供することを目的とする。【００５４】
また、本発明は、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きい場合においても、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる回路基板の検査装置を用いた検査方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００５５】
本発明は、前述したような従来技術における課題及び目的を達成するために発明されたものであって、本発明の回路基板の検査装置は、
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う回路基板の検査装置であって、
前記第１の検査治具と第２の検査治具がそれぞれ、
基板の一面側と他面側との間で電極ピッチを変換するピッチ変換用基板と、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板側に配置される第１の異方導電性シートと、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板とは逆側に配置される第２の異方導電性シートと、
を備えた回路基板側コネクターと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えた中継ピンユニットと、
前記中継ピンユニットの第２の異方導電性シートとは逆側に配置される第３の異方導電性シートと、
を備えた検査用接続回路ユニットを備えるとともに、
テスターと前記中継ピンユニットとを電気的に接続するコネクター基板と、
前記コネクター基板の中継ピンユニットとは逆側に配置されるベース板と、
を備えたテスター側コネクターとを備え、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００５６】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う回路基板の検査装置であって、
前記第１の検査治具と第２の検査治具がそれぞれ、
基板の一面側と他面側との間で電極ピッチを変換するピッチ変換用基板と、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板側に配置される第１の異方導電性シートと、
前記ピッチ変換用基板の被検査回路基板とは逆側に配置される第２の異方導電性シートと、
を備えた回路基板側コネクターと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えた中継ピンユニットと、
前記中継ピンユニットの第２の異方導電性シートとは逆側に配置される第３の異方導電性シートと、
を備えた検査用接続回路ユニットを備えるとともに、
テスターと前記中継ピンユニットとを電気的に接続するコネクター基板と、
前記コネクター基板の中継ピンユニットとは逆側に配置されるベース板と、
を備えたテスター側コネクターとを備え、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００５７】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継ピンユニットとを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続するように構成したことを特徴とする。【００５８】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に配置された、第1の補助中継ピンユニットと、第２の補助中継ピンユニットと、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００５９】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、
前記補助中継ピンユニットと補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００６０】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００６１】
しかも、被検査回路基板の種類によって、そのサイズ、厚さが異なるが、上記のように、第1の補助中継ピンユニットと、第２の補助中継ピンユニットと、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットでは、被検査回路基板の種類が変更された場合には、補助異方導電性シートの厚さを変更したものを被検査回路基板の種類毎に準備し、交換しなければならず、コストが高くつき、検査作業が煩雑で、連続的な電気検査が実施できず、検査効率が低下することになる。【００６２】
さらに、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが大きく変わる場合には、第1の補助中継ピンユニットと、第２の補助中継ピンユニットと自体も大きさなどを変更したものに交換して用いなければならず、コストが高くなり、検査作業が煩雑で、連続的な電気検査が実施できず、検査効率が低下することになる。【００６３】
しかしながら、上記のように、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置の付勢装置によって、複数の導電部を備えた補助中継基板体が、補助中継ピンユニット側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００６４】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を第1の補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、第1のテスター側コネクターから、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００６５】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、第1のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、第1のテスター側コネクターから、第２のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００６６】
しかも、上記のように、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置の付勢装置によって、複数の導電部を備えた補助中継基板体が、第1の補助中継ピンユニット側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００６７】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた補助中継基板体と、
前記補助中継基板体を第２の補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置と、
前記導電部の基端部と、第１のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極とを電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
前記第２の補助中継ピンユニットと第１の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、第２のテスター側コネクターから、第１のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とすることを特徴とする。【００６８】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、第２のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、第２のテスター側コネクターから、第１のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００６９】
しかも、上記のように、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置の付勢装置によって、複数の導電部を備えた補助中継基板体が、第２の補助中継ピンユニット側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００７０】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、
前記補助中継ピンユニットと補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００７１】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００７２】
しかも、上記のように、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置の一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置によって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体が、補助中継ピンユニット側、および、他方のテスター側コネクターの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００７３】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第1の補助中継ピンユニットと第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００７４】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第1の補助中継ピンユニットと、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００７５】
しかも、上記のように、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置の一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置によって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体が、第1の補助中継ピンユニット側、および、第２のテスター側コネクターの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００７６】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、導電ピンを支持する一対の離間した絶縁板とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
前記第２の補助中継ピンユニットと第１の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００７７】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継ピンユニットと、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００７８】
しかも、上記のように、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置の一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置によって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体が、第２の補助中継ピンユニット側、および、第１のテスター側コネクターの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００７９】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助接続回路ユニットが、
前記第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、
絶縁基板と絶縁基板に形成した複数の導電部とを備えた一対の離間した補助中継基板体と、
前記一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置と、
前記一対の補助中継基板体の導電部の基端部同士を電気的に接続する接続配線とを備え、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、
前記第１の補助中継基板装置と第２の補助中継基板装置とを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シートと、
を備えた補助接続回路ユニットを備え、
前記検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニットを設けたことを特徴とする。【００８０】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置と、第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【００８１】
しかも、上記のように、第１の検査治具のコネクター基板側に配置された第１の補助中継基板装置の一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置によって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体が、第２の補助中継ピンユニット側、および、第１のテスター側コネクターの電極側に付勢されているとともに、
第２の検査治具のコネクター基板側に配置された第２の補助中継基板装置の一対の補助中継基板体を相互に離間する方向に付勢する付勢装置によって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体が、第１の補助中継ピンユニット側、および、第２のテスター側コネクターの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【００８２】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記補助中継基板装置の導電部が、絶縁基板に植設した導電ピンであることを特徴とする。【００８３】
このように、補助中継基板装置の導電部が、絶縁基板に植設した導電ピンであれば、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確実に行うことができる。【００８４】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記中継ピンユニットが、所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを軸方向に移動可能に支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えていることを特徴とする。【００８５】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、導電ピンが軸方向に移動することができるので、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキをある程度吸収することができる。【００８６】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記補助中継ピンユニットが、所定のピッチで配置された複数の導電ピンと、
前記導電ピンを軸方向に移動可能に支持する、一対の離間した絶縁板と、
を備えていることを特徴とする。【００８７】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、導電ピンが軸方向に移動することができるので、衝撃を吸収することができ、補助異方導電性シートの耐久性を向上することができる。【００８８】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記中継ピンユニットが、
前記第１の絶縁板と第２の絶縁板との間に配置された中間保持板と、
前記第１の絶縁板と中間保持板との間に配置された第１の支持ピンと、
前記第２の絶縁板と中間保持板との間に配置された第２の支持ピンと、
を備えるとともに、
前記第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されていることを特徴とする。【００８９】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、加圧の初期段階では、中継ピンユニットの導電ピンによる厚み方向への移動と、第１の異方導電性シートと、第２の異方導電性シートと、第３の異方導電性シートのゴム弾性圧縮にて圧力を吸収して、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキをある程度吸収することができる。【００９０】
そして、第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されている。【００９１】
従って、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板をさらに加圧した際に、第１の異方導電性シートと、第２の異方導電性シートと、第３の異方導電性シートのゴム弾性圧縮に加えて、中継ピンユニットの第１の絶縁板と、第２の絶縁板と、第１の絶縁板と第２の絶縁板の間に配置された中間保持板のバネ弾性により、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキ、例えば、ハンダボール電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができる。【００９２】
これにより、高さバラツキを有する被検査回路基板の被検査電極の各々に対しても、安定的な電気的接触が確保され、さらに応力集中が低減されるので、異方導電性シートの局部的な破損が抑制される。その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【００９３】
また、本発明の回路基板の検査装置は、
前記補助中継ピンユニットが、
前記第１の絶縁板と第２の絶縁板との間に配置された中間保持板と、
前記第１の絶縁板と中間保持板との間に配置された第１の支持ピンと、
前記第２の絶縁板と中間保持板との間に配置された第２の支持ピンと、
を備えるとともに、
前記第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されていることを特徴とする。【００９４】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、加圧の初期段階では、中継ピンユニットの導電ピンによる厚み方向への移動と、補助異方導電性シートによって、衝撃力をある程度吸収することができる。【００９５】
そして、第１の支持ピンの中間保持板に対する第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板に対する第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されている。【００９６】
従って、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板をさらに加圧した際に、補助異方導電性シートのゴム弾性圧縮に加えて、中継ピンユニットの第１の絶縁板と、第２の絶縁板と、第１の絶縁板と第２の絶縁板の間に配置された中間保持板のバネ弾性により、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができる。【００９７】
これにより、安定的な電気的接触が確保され、さらに応力集中が低減されるので、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制される。その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【００９８】
また、本発明の回路基板の検査装置は、一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧した際に、
前記第１の支持ピンの中間保持板との第１の当接支持位置を中心として、前記中間保持板が、前記第２の絶縁板方向に撓むとともに、
前記第２の支持ピンの中間保持板との第２の当接支持位置を中心として、前記中間保持板が、前記第１の絶縁板方向に撓むように構成されていることを特徴とする。【００９９】
このように構成することによって、中間保持板が、第１の当接支持位置、第２の当接支持位置を中心として、相互に反対方向に撓むので、第１の検査治具と第２の検査治具の間で
検査対象である被検査回路基板をさらに加圧した際に、中間保持板のバネ弾性力がさらに発揮されることになり、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１００】
また、補助中継ピンユニットが、このように構成されている場合にも、局部的な応力集中を回避することができ、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１０１】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第１の支持ピンの中間保持板との第１の当接支持位置が、前記中間保持板投影面において格子状に配置され、
前記第２の支持ピンの中間保持板との第２の当接支持位置が、前記中間保持板投影面において格子状に配置されており、
前記中間保持板投影面において、前記隣接する４個の第１の当接支持位置群からなる単位格子領域に、１個の第２の当接支持位置が配置されるとともに、
前記中間保持板投影面において、前記隣接する４個の第２の当接支持位置群からなる単位格子領域に、１個の第１の当接支持位置が配置されるように構成されていることを特徴とする。【０１０２】
このように構成することによって、第１の当接支持位置と第２の当接支持位置が、格子状に配置され、しかも、第１の当接支持位置と第２の当接支持位置の格子点位置が全てずれた位置に配置されることになる。【０１０３】
従って、中間保持板が、第１の当接支持位置、第２の当接支持位置を中心として、相互に反対方向により撓むことになり、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板を加圧した際に、中間保持板のバネ弾性力がさらに発揮されることになり、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中をさらに回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１０４】
また、補助中継ピンユニットが、このように構成されている場合にも、局部的な応力集中を回避することができ、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１０５】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第１の絶縁板と第２の絶縁板の間に、複数個の中間保持板が所定間隔離間して配置されるとともに、
これらの隣接する中間保持板同士の間に、保持板支持ピンが配置されていることを特徴とする。【０１０６】
このように構成することによって、これらの複数個の中間保持板によってバネ弾性がさらに発揮されることになり、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中をさらに回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１０７】
また、補助中継ピンユニットが、このように構成されている場合にも、局部的な応力集中を回避することができ、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１０８】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記保持板支持ピンの中間保持板との当接支持位置が、隣接する中間保持板の間で、当接支持位置が、前記中間保持板投影面において異なる位置に配置されていることを特徴とする。【０１０９】
これによって、隣接する中間保持板の間で、保持板支持ピンの中間保持板との当接支持位置がずれた位置に配置されるので、これらの複数個の中間保持板のバネ弾性がさらに発揮されることになり、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中をさらに回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１１０】
また、補助中継ピンユニットが、このように構成されている場合にも、局部的な応力集中を回避することができ、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１１１】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第１の支持ピンの中間保持板との第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板との第２の当接支持位置と、前記保持板支持ピンの中間保持板との当接支持位置とが、前記中間保持板投影面において異なる位置に配置されていることを特徴とする。【０１１２】
このように第１の当接支持位置と、第２の当接支持位置と、保持板支持ピンの当接支持位置とが、ずれた位置に配置されることになって、第１の絶縁板、第２の絶縁板、中間保持板の弾性力がさらに発揮されることになり、被検査回路基板の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中をさらに回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１１３】
また、補助中継ピンユニットが、このように構成されている場合にも、局部的な応力集中を回避することができ、補助異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０１１４】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記ピッチ変換用基板において、前記被検査回路基板の各被検査用電極に対してそれぞれ、一対の電流用端子電極と電圧用端子電極からなる接続電極が電気的に接続するように配置され、
前記コネクター基板において、前記ピッチ変換用基板の電流用端子電極と電圧用端子電極とにそれぞれ電気的に接続するように、電流用ピン側電極と電圧用ピン側電極が配置されていることを特徴とする。【０１１５】
このように構成することによって、第１の検査治具と第２の検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行う際に、被検査回路基板の各被検査用電極に対してそれぞれ、第１の異方導電性シートを介して、ピッチ変換用基板の接続電極の電流用端子電極と電圧用端子電極の両方が電気的に接続する。【０１１６】
そして、第２の異方導電性シート、中継ピンユニットの導電ピン、第３の異方導電性シートを介して、ピッチ変換用基板の電流用端子電極が、コネクタ基板の電流用ピン側電極に電気的に接続されるとともに、ピッチ変換用基板の電圧用端子電極が、コネクタ基板の電圧用端子電極に電気的に接続されるようになっている。【０１１７】
これにより、被検査回路基板の各被検査用電極に対してそれぞれ、上下一つのピッチ変換用基板の電流用端子電極を介して、電流供給経路が構成されることになる、一方、被検査回路基板の各被検査用電極に対してそれぞれ、上下一つのピッチ変換用基板の電圧用端子電極を介して、電圧計測経路が構成されることになる。【０１１８】
従って、被検査回路基板の各被検査用電極に対して、上下一つのピッチ変換用基板の電流用端子電極を介して、例えば、定電流供給装置を用いて、電流供給経路に一定の電流を供給しながら、上下一つのピッチ変換用基板の電圧用端子電極を介して、電圧計測経路によって、被検査回路基板の各被検査用電極からの電圧を電圧計によって測定することによって、被検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の確認試験を行うことができる。【０１１９】
逆に、被検査回路基板の各被検査用電極に対して、上下一つのピッチ変換用基板の電圧用端子電極を介して、例えば、定電圧装置を用いて、電圧計測経路に対して一定の電圧を加えながら、上下一つのピッチ変換用基板の電流用端子電極を介して、電流供給経路によって、被検査回路基板の各被検査用電極からの電流を電流計によって測定することによって、被検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の確認試験を行うこともできる。【０１２０】
このように、被検査回路基板の各被検査用電極に対して、別個の電圧計測経路、電流供給経路を介して、別個に電圧と電流を測定することができるので、検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性について正確な確認試験を行うことができ、しかも、確認試験に要する時間も短時間で実施することができる。【０１２１】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第１の異方導電性シートが、導電性粒子が厚み方向に配列するとともに面方向に均一に分散された異方導電性シートであることを特徴とする。【０１２２】
このように、第１の異方導電性シートとして導電性粒子が厚み方向に配列するとともに面方向に分散された異方導電性シートを使用しているので、シート横方向へ多少位置がずれしたとしても、被検査回路基板と第１の異方導電性シートとの良好な電気的接続が確保される。【０１２３】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第２の異方導電性シートが、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有され、これにより該導電性粒子は面方向に不均一に分散されるとともに、シート片面側に導電路形成部が突出していることを特徴とする。【０１２４】
また、本発明の回路基板の検査装置は、前記第３の異方導電性シートが、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有され、これにより該導電性粒子は面方向に不均一に分散されるとともに、シート片面側に導電路形成部が突出していることを特徴とする。【０１２５】
このように、第２の異方導電性シートおよび第３の異方導電性シートとして、導電路形成部と絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有されて面方向に不均一に分散され、シート片面側に導電路形成部が突出した偏在型の異方導電性シートを使用することにより、検査治具の押圧による加圧力や衝撃がこれらのシートで吸収され、これにより第１の異方導電性シートの劣化が抑制される。【０１２６】
また、本発明の回路基板の検査方法は、前述した回路基板の検査装置を用いた回路基板の検査方法であって、
一対の第１の検査治具と第２の検査治具によって、両検査治具の間で検査対象である被検査回路基板の両面を挟圧して電気検査を行うことを特徴とする。【０１２７】
このように構成することによって、被検査回路基板の各被検査用電極に対して、別個の電圧計測経路、電流供給経路を介して、別個に電圧と電流を測定することができるので、検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性について正確な確認試験を行うことができ、しかも、確認試験に要する時間も短時間で実施することができる。
【発明の効果】
【０１２８】
本発明によれば、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具のコネクター基板と、第２の検査治具のコネクター基板との間に配置された、第1の補助中継ピンユニットと、第２の補助中継ピンユニットと、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【０１２９】
また、本発明によれば、検査対象である被検査回路基板が、微細ピッチの微小電極を有するものであっても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことが可能である。【０１３０】
しかも、検査対象である被検査回路基板について、繰り返し連続検査を行う際に、異方導電性シートの位置ずれを補正する必要が少なく、検査の作業性が良好である。【０１３１】
さらに、検査対象である被検査回路基板の繰り返し連続検査において、異方導電性シートが劣化した際に、異方導電性シートの交換作業が容易である。【０１３２】
また、検査対象である被検査回路基板が変更されても、検査装置全体を別途作製することなく、検査用回路基板を変更するだけで、あらゆる被検査回路基板に対して、検査の対応が可能である。【０１３３】
さらに、一定間隔で導電ピンを配置する必要がなく、そのため、導電ピンを保持する絶縁板への貫通孔のドリル加工による穿設作業が少なく、絶縁板への貫通孔形成数が少なくなるので、絶縁板の厚みも薄くて加工に耐えることができ、欠損が生じることなく、しかも、コストを低減することが可能である。【０１３４】
さらに、被検査回路基板の各被検査用電極に対して、別個の電圧計測経路、電流供給経路を介して、別個に電圧と電流を測定することができるので、検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性について正確な確認試験を行うことができ、しかも、確認試験に要する時間も短時間で実施することができる。【０１３５】
そして、被検査回路基板の被検査回路に対して、電流を供給しながら電圧を測定できるので、従来の検査装置における導通抵抗値の良否判断の設定電圧よりも、低い設定電圧において、被検査回路基板の被検査回路の導通抵抗値の安定した測定が可能となる。【０１３６】
すなわち、高精度な検査の要件として低い設定電圧での回路の良否判断が必要とされるが、本発明によれば、従来の検査装置よりも、潜在的な電気的な欠陥を有する被検査回路基板を高い確率で不良品として判断し除去できるので、信頼性の高い回路基板の確認試験を実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【０１３７】
【図１】図１は、本発明の検査装置の実施例を説明する断面図である。
【図２】図２は、図１の検査装置の検査使用時における積層状態を示した断面図である。
【図３】図３は、ピッチ変換用基板の回路基板側の表面を示した図である。
【図４】図４は、ピッチ変換用基板のピン側表面を示した図である。
【図５】図５は、第１の異方導電性シートの部分断面図である。
【図６】図６は、第２の異方導電性シートの部分断面図である。
【図７】図７は、第１の異方導電性シートをピッチ変換用基板に積層した状態を示した断面図である。
【図８】図８は、本発明の検査装置の実施例の使用状態を説明する部分拡大断面図である。
【図９】図９は、中継ピンユニットの導電ピン、中間保持板および絶縁板の一部を示した断面図である。
【図１０】図１０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する断面図である。
【図１１】図１１は、図１０の検査装置の検査使用時における積層状態を示した断面図である。
【図１２】図１２は、中継ピンユニットの断面図である。
【図１３】図１３は、中継ピンユニットの中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面の部分拡大図である。
【図１４】図１４は、本発明の検査装置の実施例を説明する部分拡大断面図である。
【図１５】図１５は、本発明の検査装置の実施例の使用状態を説明する部分拡大断面図である。
【図１６】図１６は、本発明の検査装置の中継ピンユニットの使用状態を説明する部分拡大断面図である。
【図１７】図１７は、本発明の検査装置の実施例の使用状態を説明する部分拡大断面図である。
【図１８】図１８は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１４と同様な断面図である。
【図１９】図１９は、図１８の実施例における中継ピンユニットの拡大断面図である。
【図２０】図２０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図２１】図２１は、図２０の検査装置の検査使用時における積層状態を示した図２と同様な断面図である。
【図２２】図２２は、補助中継基板体３０２の内部の部分拡大図である。
【図２３】図２３は、補助中継基板体の導電ピンの基端部と配線の接続状態の一例を示す部分拡大図である。
【図２４】図２４は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図２５】図２５は、図２４の検査装置の検査使用時における積層状態を示した図２と同様な断面図である。
【図２６】図２６は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図２７】図２７は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図２８】図２８は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図２９】図２９は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図３０】図３０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図３１】図３１は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図３２】図３２は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。
【図３３】図３３は、従来における回路基板の検査装置の断面図である。
【図３４】図３４は、従来における回路基板の検査装置の断面図である。
【図３５】図３５は、従来における回路基板の検査装置の断面図である。
【図３６】図３６は、従来の検査装置の使用状態を説明する部分拡大断面図である。
【符号の説明】
【０１３８】
１０  検査装置
１１ａ  第１の検査治具
１１ｂ  第２の検査治具
２１ａ、２１ｂ  回路基板側コネクター
２２ａ，２２ｂ  第１の異方導電性シート
２３ａ，２３ｂ  ピッチ変換用基板
２４  端子電極
２５  接続電極
２６ａ，２６ｂ  第２の異方導電性シート
２７ａ、２７ｂ  電流用端子電極
２８ａ、２８ｂ  電圧用端子電極
３１ａ、３１ｂ  中継ピンユニット
３２ａ，３２ｂ  導電ピン
３４ａ，３４ｂ  絶縁板（第１の絶縁板）
３５ａ，３５ｂ  第２の絶縁板
３６ａ  中間保持板
３７ａ、３７ｂ  第２の支持ピン
３８Ａ  第１の当接支持位置
３８Ｂ  第２の当接支持位置
３９  保持板支持ピン
３９Ａ  当接支持位置
４１ａ，４１ｂ  テスター側コネクター
４２ａ，４２ｂ  第３の異方導電性シート
４３ａ，４３ｂ  コネクター基板
４４ａ，４４ｂ  テスター側電極
４５ａ，４５ｂ  ピン側電極
４６ａ，４６ｂ  ベース板
４７ａ、４７ｂ  電流用ピン側電極
４８ａ、４８ｂ  電圧用ピン側電極
５１  絶縁基板
５２  配線
５３  内部配線
５４  絶縁層
５５  絶縁層
５６ａ、５６ｂ  検査用接続回路ユニット
６１  シート基材
６２  導電性粒子
７１  絶縁部
７２  導電路形成部
７３  突出部
８１ａ，８１ｂ  端部
８２  中央部
８３  貫通孔
１０１  被検査回路基板
１０２  被検査電極
１１１ａ  上側検査治具
１１１ｂ  下側検査治具
１２１ａ  回路基板側コネクター
１２２ａ  異方導電性シート
１２３ａ  ピッチ変換用基板
１３１ａ  中継ピンユニット
１３２ａ  導電ピン
１３４ａ  絶縁板
１４１ａ  テスター側コネクター
１４２ａ  異方導電性シート
１４３ａ  コネクター基板
１４６ａ  ベース板
２００  補助接続回路ユニット
２２２  補助異方導電性シート
２３１ａ  第1の補助中継ピンユニット
２３１ｂ  第２の補助中継ピンユニット
２３２ａ、２３２ｂ  導電ピン
２３３ａ、２３３ｂ  第１の支持ピン
２３４ａ、２３４ｂ  絶縁板（第１の絶縁板）
２３５ａ，２３５ｂ  第２の絶縁板
２３６ａ、２３６ｂ  中間保持板
２３７ａ、２３７ｂ  第２の支持ピン
３００ａ        第1の補助中継基板装置
３００ｂ        第２の補助中継基板装置
３０２ａ        第１の補助中継基板体
３０２ｂ        第２の補助中継基板体
３０４ａ、３０４ｂ      付勢装置
３０６ａ、３０６ｂ      下方枠体
３０８ａ、３０８ｂ      スライド案内部材
３１０ａ、３１０ｂ      弾性部材
３１２ａ、３１２ｂ      絶縁基板
３１４ａ、３１４ｂ      ベース絶縁基板
３１６ａ、３１６ｂ      植設孔
３２０ａ、３２０ｂ      導電ピン
３２２ａ、３２２ｂ      抜け止めフランジ
３２４ａ、３２４ｂ      抜け止め孔
３２６ａ、３２６ｂ      基端部
３２８ａ、３２８ｂ      接続配線
３３０ａ、３３０ｂ      接続用開口部
３４０ａ、３４０ｂ      第２の補助中継基板体
３４２ａ、３４２ｂ      接続配線
Ａ  中間保持板投影面
Ｌ１  距離
Ｌ２  距離
Ｑ１  対角線
Ｑ２  対角線
Ｒ１  単位格子領域
Ｒ２  単位格子領域
【発明を実施するための最良の形態】
【０１３９】
以下、本発明の実施の形態（実施例）を図面に基づいてより詳細に説明する。【０１４０】
なお、以降の記述において、第１の検査治具と第２の検査治具における一対の同一の構成要素（例えば回路基板側コネクタ２１ａと回路基板側コネクタ２１ｂ、第１の異方導電性シート２２ａと第１の異方導電性シート２２ｂなど）を総称する場合には、記号「ａ」、「ｂ」を省略することがある（例えば、第１の異方導電性シート２２ａと第１の異方導電性シート２２ｂとを総称して「第１の異方導電性シート２２」と記述することがある。【０１４１】
図１は、本発明の検査装置の実施例を説明する断面図、図２は、図１の検査装置の検査使用時における積層状態を示した断面図、図３は、ピッチ変換用基板の被検査回路基板側の表面を示した図、図４は、ピッチ変換用基板のピンユニット側表面を示した図である。【０１４２】
この検査装置１０は、集積回路などを実装するためのプリント回路基板などの検査対象である被検査回路基板１において、被検査電極間の電気抵抗を測定することにより被検査回路基板の電気検査を行うものである。【０１４３】
そして、検査装置１０は、図１および図２に示したように、被検査回路基板１の上面側に配置される第１の検査治具１１ａと、下面側に配置される第２の検査治具１１ｂとが、上下に互いに対向するように配置されている。【０１４４】
第１の検査治具１１ａは、その両側に異方導電性シート２２ａ、２６ａを備えた回路基板側コネクター２１ａと、中継ピンユニット３１ａを備えている。また、第１の検査治具１１ａは、その中継ピンユニット３１ａ側に第３の異方導電性シート４２ａが配置されるコネクター基板４３ａと、ベース板４６ａからなるテスター側コネクター４１ａを備えている。【０１４５】
第２の検査治具１１ｂも、第１の検査治具１１ａと同様に構成され、その両側に異方導電性シート２２ｂ、２６ｂを備えた回路基板側コネクター２１ｂと、中継ピンユニット３１ｂを備えている。また、第２の検査治具１１ｂは、その中継ピンユニット３１ｂ側に異方
導電性シート４２ｂが配置されるコネクター基板４３ｂと、ベース板４６ｂからなるテスター側コネクター４１ｂとを備えている。【０１４６】
被検査回路基板１の上面には、被検査用の電極２が形成され、その下面にも被検査用の電極３が形成されており、これらは互いに電気的に接続されている。【０１４７】
回路基板側コネクター２１ａ，２１ｂは、ピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂと、その両側に配置される第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂおよび第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂを有している。【０１４８】
そして、このピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂと、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂと、第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂとから構成される回路基板側コネクター２１ａ，２１ｂと、中継ピンユニット３１ａ、３１ｂと、第３の異方導電性シート４２ａ、４２ｂとから、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂが構成されている。【０１４９】
また、テスターと中継ピンユニット３１ａ、３１ｂとを電気的に接続するコネクター基板４３ａ、４３ｂと、コネクター基板４３ａ、４３ｂの中継ピンユニット３１ａ、３１ｂとは逆側に配置されるベース板４６ａ、４６ｂとから、テスター側コネクター４１ａ、４１ｂが構成されている。【０１５０】
図３は、ピッチ変換用基板２３の被検査回路基板１側の表面を示した図であり、図４は、その中継ピンユニット３１側の表面を示した図である。【０１５１】
ピッチ変換用基板２３の一方の表面、すなわち、被検査回路基板１側には、図３に示したように、被検査回路基板１の電極２、３に電気的に接続される複数の接続電極２５が形成されている。これらの接続電極２５は、被検査回路基板１の被検査電極２，３のパターンに対応するように配置されている。【０１５２】
また、この接続電極２５は、図３および図７、図８に示したように、被検査回路基板１の被検査用の電極２、３のうち１個の電極に対して、一対の相互に所定間隔離間した電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８とから構成されている。【０１５３】
この場合、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８の形状は、図３では、矩形状としたが、この形状は特に限定されるものではなく、円形状、三角形状など種々の形状とすくことができる。また、これらの一対の電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８が占める領域が、被検査回路基板１の被検査用の電極２、３のうち１個の電極が占める領域と略同一の領域内に配置されるのが、測定誤差を少なくするためには望ましい。【０１５４】
また、この場合、ピッチ変換用基板２３において、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８との間の離間距離Ｌ１は、１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離Ｌ１が１０μｍより小さい場合には、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂを介して電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８との間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難になることがあり、正確な電気特性検査を実施することができないからである。【０１５５】
一方、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８との間の離間距離Ｌ１の上限は、被検査回路基板１の被検査用の電極２、３の寸法およびピッチ、ならびに電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８の寸法によって定まるものであって、特に限定されるものではないが、通常は５００μｍ以下である。この離間距離Ｌ１が大きすぎる場合には、サイズの小さい被検査回路基板１の被検査用の電極２、３の１個に対して、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８の両方を適切に配置することが困難となるからである。【０１５６】
一方、ピッチ変換用基板２３の他方の表面、ずなわち、被検査回路基板１と反対側には、図４に示したように、中継ピンユニット３１の導電ピン３２ａ、３２ｂに電気的に接続される複数の端子電極２４が形成されている。これらの端子電極２４は、例えば、ピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍ、１．２７ｍｍ、１．０６ｍｍ、０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、０．５ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．３ｍｍまたは０．２ｍｍの一定ピッチの格子点上に配置されており、そのピッチは中継ピンユニットの導電ピン３２ａ、３２ｂの配置ピッチと同一である。【０１５７】
なお、この場合、図４では、ピッチ変換用基板２３の表面の一部に、複数の端子電極２４を、一定ピッチの格子点上に配置したが、図示しないが、ピッチ変換用基板２３の表面の全体にわたって、複数の端子電極２４を、一定ピッチの格子点上に配置することも可能である。【０１５８】
図３のそれぞれの接続電極２５、すなわち、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８はそれぞれ、別々の配線５２および絶縁基板５１の厚み方向に貫通する内部配線５３によって、対応する図４の端子電極２４に、図７、図８に示したように、電気的に接続されている。【０１５９】
ピッチ変換用基板２３の表面における絶縁部は、例えば、図７に示したように、絶縁基板５１の表面に、それぞれの接続電極２５が露出するように形成された絶縁層５４で構成され、この絶縁層５４の厚みは、好ましくは５〜１００μｍ、より好ましくは１０〜６０μｍである。この厚みが過小である場合、表面粗さが小さい絶縁層を形成することが困難となることがあるからである。一方、この厚みが過大である場合、接続電極２５と異方導電性シートとの電気的接続が困難となることがあるからである。【０１６０】
ピッチ変換用基板の絶縁基板５１を形成する材料としては、一般にプリント回路基板の基材として使用されるものを用いることができる。具体的には、例えばポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂などを挙げることができる。【０１６１】
図７の絶縁層５４、５５の形成材料としては、薄膜状に成形可能な高分子材料を用いることができ、具体的には、例えばエポキシ樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、これらの混合物、レジスト材料などを挙げることができる。【０１６２】
ピッチ変換用基板２３は、例えば、次のようにして製造することができる。まず、平板状の絶縁基板の両面に金属薄層を積層した積層材料を用意し、この積層材料に対して、形成すべき端子電極に対応するパターンに対応して積層材料の厚み方向に貫通する複数の貫通孔を、数値制御型ドリリング装置、フォトエッチング処理、レーザー加工処理などにより形成する。【０１６３】
次いで、積層材料に形成された貫通孔内に無電解メッキおよび電解メッキを施すことによって、基板両面の金属薄層に連結されたバイアホールを形成する。その後、金属薄層に対してフォトエッチング処理を施すことにより、絶縁基板の表面に配線パターンおよび接続電極を形成するとともに、反対側の表面に端子電極を形成する。【０１６４】
そして、図７に示したように、絶縁基板５１の表面に、それぞれの接続電極２５が露出するように絶縁層５４を形成するとともに、反対側の表面に、それぞれの端子電極２４が露出するように絶縁層５５を形成することにより、ピッチ変換用基板２３が得られる。なお、絶縁層５５の厚みは、好ましくは５〜１００μｍ、より好ましくは１０〜６０μｍである。【０１６５】
回路基板側コネクター２１を構成し、ピッチ変換用回路基板２３と積層される第１の異方導電性シート２２は、図５に示したように、絶縁性の弾性高分子からなるシート基材６１中に多数の導電性粒子６２が面方向に分散されるとともに厚み方向に配列した状態で含有されている。【０１６６】
第１の異方導電性シート２２の厚みは、０．０３〜０．５ｍｍであることが好ましく、より好ましくは０．０５〜０．２ｍｍである。この最小厚みが０．０３ｍｍ未満である場合には、第１の異方導電性シート２２の機械的強度が低いものとなりやすく、必要な耐久性が得られないことがある。一方、この第１の異方導電性シート２２の厚みが０．５ｍｍを超える場合には、厚み方向の電気抵抗が大きいものとなりやすく、また、接続すべき電極のピッチが小さいものである場合には、加圧により形成される導電路間における所要の絶縁性が得られず、被検査電極間で電気的な短絡が生じて検査対象回路基板の電気的検査が困難となることがある。【０１６７】
第１の異方導電性シート２２のシート基材６１を構成する弾性高分子物質は、そのデュロメータ硬さが３０〜９０のものとされ、好ましくは３５〜８０のものとされ、さらに好ましくは４０〜７０のものとされる。【０１６８】
本発明において、「デュロメータ硬さ」とは、ＪＩＳ  Ｋ６２５３のデュロメータ硬さ試験に基づいて、タイプＡデュロメータによって測定されたものをいう。弾性高分子物質のデュロメータ硬さが３０未満である場合には、厚み方向に押圧された際に、異方導電性シートの圧縮、変形が大きく、大きな永久歪みが生じるため、異方導電性シートが早期に劣化して検査使用が困難となり耐久性の低いものとなりやすい。【０１６９】
一方、弾性高分子物質のデュロメータ硬さが９０を超える場合には、異方導電性シートが厚み方向に押圧されたときに、厚み方向の変形量が不十分なものとなるため、良好な接続信頼性が得られず、接続不良が発生しやすくなる。【０１７０】
第１の異方導電性シート２２の基材を構成する弾性高分子物質としては、上記のデュロメータ硬さを示すものであればとく限定されないが、形成加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。【０１７１】
第１の異方導電性シート２２を構成する導電性粒子６２に、磁性導電性粒子を使用する場合は、その数平均粒子径Ｄ1が３〜５０μｍであることが好ましく、さらに５〜３０μｍであることが好ましく、８〜２０μｍであることが特に好ましい。【０１７２】
ここで、「磁性導電性粒子の数平均粒子径」とは、レーザー回折散乱法によって測定されたものをいう。【０１７３】
磁性導電性粒子の数平均粒子径Ｄ1が３μｍ以上であることにより、得られる異方導電性シートが磁性導電性粒子が含有されている部分の加圧変形が容易なものとなり、また、その製造工程において、磁場配向処理によって磁性導電性粒子を配向させる場合、磁性導電性粒子の配向が容易となりやすく、そのため、得られる異方導電性シートが異方性の高いものとなり、異方導電性シートの分解能（異方導電性シートを加圧して、厚み方法に対向する電極間の電気的導通達成しつつ、横方法に隣接する電極間の電気的絶縁を保持する能力）が良好なものとなる。【０１７４】
一方、磁性導電性粒子の数平均粒子径Ｄ1が５０μｍ以下であることにより、得られる異方導電性シートが、その弾性が良好で加圧変形が容易なものとなり、微細で微小ピッチの電極に対しても分解能が良好なものとなる。【０１７５】
そして、第１の異方導電性シート２２においては、その厚みＷ1（μｍ）と、磁性導電
性粒子の数平均粒子径Ｄ1（μｍ）との比率Ｗ1／Ｄ1が１．１〜１０であることが好まし
い。【０１７６】
比率Ｗ1／Ｄ1が１．１未満である場合には、異方導電性シートの厚みに対して磁性導電性粒子の直径が同等あるいは大きいものとなるため、この異方導電性シートはその弾性が低いものとなり、そのため、この異方導電性シートをプリント配線基板などの被検査物（被検査回路基板１）と検査電極との間に配置して加圧を行い接触導通状態を達成する際に、被検査物が傷つきやすくなる。【０１７７】
一方、比率Ｗ1／Ｄ1が１０を超える場合には、異方導電性シートをプリント配線基板などの被検査物と検査電極との間に配置して加圧を行い接触導通状態を達成する際に、被検査物と検査電極との間に多数の導電性粒子が配列して連鎖を形成することとなり、そのため、多数の導電性粒子同士の接点が存在することから、電気的抵抗値が高いものとなりやすく、電気的検査の使用が困難となりやすい。【０１７８】
磁性導電性粒子としては、後述する製造方法により異方導電性シートを形成するためのシート成形材料中において、当該磁性導電性粒子を磁場の作用によって容易に移動させることができる観点から、その飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ2  以上のものを好ましく用いることができ、より好ましくは０．３Ｗｂ／ｍ2  以上、特に好ましくは０．５Ｗｂ／ｍ2  以上のものである。【０１７９】
飽和磁化が０．１Ｗｂ／ｍ2  以上であることにより、その製造工程において磁性導電性粒子を磁場の作用によって確実に移動させて所望の配向状態とすることができるため、異方導電性シートを使用する際に磁性導電性粒子の連鎖を形成することができる。【０１８０】
磁性導電性粒子の具体例としては、鉄、ニッケル、コバルトなどの磁性を示す金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に高導電性金属を被覆した複合粒子、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、高導電性金属のメッキを施した複合粒子、あるいは芯粒子に、フェライト、金属間化合物などの導電性磁性体および高導電性金属の両方を被覆した複合粒子などが挙げられる。【０１８１】
ここで、「高導電性金属」とは、０℃における導電率が５×１０6  Ω-1ｍ-1以上の金
属をいう。【０１８２】
このような高導電性金属としては、具体的に、金、銀、ロジウム、白金、クロムなどを用いることができ、これらの中では、化学的に安定でかつ高い導電率を有する点で金を用いることが好ましい。【０１８３】
これらの磁性導電性粒子の中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に金や銀などの高導電性金属のメッキを施した複合粒子が好ましい。【０１８４】
芯粒子の表面に高導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば、無電解メッキ法を用いることができる。【０１８５】
磁性導電性粒子は、その数平均粒子径の変動係数が５０％以下のものであることが好ましく、より好ましくは４０％以下、さらに好ましくは３０％以下、特に好ましくは２０％以下のものである。【０１８６】
ここで、「数平均粒子径の変動係数」とは、式：（σ／Ｄｎ）×１００（但し、σは、粒子径の標準偏差の値を示し、Ｄｎは、粒子の数平均粒子径を示す。）によって求められるものである。【０１８７】
磁性導電性粒子の数平均粒子径の変動係数が５０％以下であることにより、粒子径の不揃いの程度が小さくなるため、得られる異方導電性シートにおける部分的な導電性のバラツキを小さくすることができる。【０１８８】
このような磁性導電性粒子は、金属材料を常法により粒子化し、あるいは市販の金属粒子を用意し、この粒子に対して分級処理を行うことにより得ることができる。【０１８９】
粒子の分級処理は、例えば、空気分級装置、音波ふるい装置などの分級装置によって行うことができる。【０１９０】
また、分級処理の具体的な条件は、目的とする導電性金属粒子の数平均粒子径、分級装置の種類などに応じて適宜設定される。【０１９１】
磁性導電性粒子においては、その具体的な形状は、特に限定されるものではないが、複数の球形の一次粒子が一体的に連結されてなる二次粒子からなる形状のものを好ましい形状の粒子として挙げることができる。【０１９２】
磁性導電性粒子として、芯粒子の表面に高導電性金属が被覆されてなる複合粒子（以下、「導電性複合金属粒子」ともいう。）を用いる場合には、良好な導電性が得られる観点から、当該導電性複合金属粒子の表面における高導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する高導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。【０１９３】
また、高導電性金属の被覆量は、芯粒子の重量の２．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは３〜４５質量％、さらに好ましくは３．５〜４０質量％、特に好ましくは５〜３０質量％である。【０１９４】
このような、絶縁性の弾性高分子物質中に多数の導電性粒子６２が面方向に分散し厚み方向に配列した状態で含有されてなる異方導電性シートは、例えば、特開２００３−７７５６０号公報に示されるように、硬化されて弾性高分子物質となる高分子物質用材料中に、磁性を示す導電性粒子が含有されてなる流動性の成形材料を調製し、この成形材料よりなる成形材料層を、当該成形材料層における一面に接する一面側成形部材と、当該成形材料層における他面に接する他面側成形部材との間に形成し、この成形材料層に対してその厚み方向に磁場を作用させると共に、当該成形材料層を硬化処理する方法等により製造することができる。【０１９５】
ピッチ変換用基板２３の中継ピンユニット３１側に配置される第２の異方導電性シート２６は、図６に示したように、絶縁性の弾性高分子材料中に多数の導電性粒子６２が厚み方向に配列して形成された導電路形成部７２と、それぞれの導電路形成部７２を離間する絶縁部７１から構成されている。このように、導電性粒子６２は導電路形成部７２中にのみ、面方向に不均一に分散されている。【０１９６】
導電路形成部７２の厚みＷ2は、好ましくは０．１〜２ｍｍ、より好ましくは０．２〜
１．５ｍｍである。この厚みＷ2が０．１ｍｍ未満である場合、厚み方向の加圧に対する
吸収能力が低く、検査時において検査治具による加圧力の吸収が小さくなり、回路基板側コネクター２１への衝撃を緩和する効果が減少する。このため、第１の異方導電性シート２２の劣化を抑制しにくくなり、結果として被検査回路基板１の繰り返し検査時における第１の異方導電性シート２２の交換回数が増加して、検査の効率が低下する。一方、この厚みＷ2が２ｍｍを超える場合、厚み方向の電気抵抗が大きくなり易く電気検査が困難となることがある。【０１９７】
絶縁部７１の厚みは、導電路形成部７２の厚みと実質的に同一か、それよりも小さいことが好ましい。図６に示したように、絶縁部７１の厚みを導電路形成部７２の厚みよりも小さくして導電路形成部７２が絶縁部７１より突出した突出部７３を形成することにより、厚み方向の加圧に対して導電路形成部７２の変形が容易になり、加圧力の吸収能力が増大するため、検査時において検査治具の加圧力を吸収し、回路基板側コネクターへ２１の衝撃を緩和することができる。【０１９８】
第２の異方導電性シート２６を構成する導電性粒子６２に、磁性導電性粒子を使用する場合、その数平均粒子径は好ましくは５〜２００μｍ、より好ましくは５〜１５０μｍ、さらに好ましくは１０〜１００μｍである。ここで、「磁性導電性粒子の数平均粒子径」とは、レーザー回折散乱法によって測定されたものをいう。磁性導電性粒子の数平均粒子径が５μｍ以上であると、異方導電性シートの導電路形成部の加圧変形が容易になる。また、その製造工程において磁場配向処理によって磁性導電性粒子を配向させる場合、磁性導電性粒子の配向が容易である。磁性導電性粒子の数平均粒子径が２００μｍ以下であると、異方導電性シートの導電路形成部７２の弾性が良好で加圧変形が容易になる。【０１９９】
導電路形成部７２の厚みＷ2（μｍ）と、磁性導電性粒子の数平均粒子径Ｄ2（μｍ）との比率Ｗ2／Ｄ2は１．１〜１０であることが好ましい。【０２００】
比率Ｗ2／Ｄ2が１．１未満である場合、導電路形成部７２の厚みに対して磁性導電性粒子の直径が同等あるいはそれよりも大きくなるため、導電路形成部７２の弾性が低くなり、その厚み方向の加圧力の吸収能力が小さくなる。検査時における検査治具の加圧圧力を吸収が小さくなり、回路基板側コネクター２１への衝撃を緩和する効果が減少するため、第１の異方導電性シート２２の劣化を抑制しにくくなり、結果として被検査回路基板１の繰り返し検査時において、第１の異方導電性シート２２の交換回数が増加して、検査の効率が低下し易くなる。【０２０１】
一方、比率Ｗ2／Ｄ2が１０を超える場合、導電路形成部７２に多数の導電性粒子が配列して連鎖を形成することとなり、導電性粒子同士の接点が多数存在することになるため、電気的抵抗値が高くなり易い。【０２０２】
導電路形成部７２の基材である弾性高分子（エラストマー）は、そのタイプＡデュロメータによって測定されたデュロメータ硬さが好ましくは１５〜６０、より好ましくは２０〜５０、さらに好ましくは２５〜４５である。【０２０３】
弾性高分子のデュロメータ硬さが、１５よりも小さい場合、厚み方向に押圧された際のシートの圧縮、変形が大きく、大きな永久歪が生じるためシート形状が早期に変形して検査時の電気的接続が困難となり易い。弾性高分子のデュロメータ硬さが、６０よりも大きい場合、厚み方向に押圧された際の変形が小さくなるため、その厚み方向の加圧力の吸収能力が小さくなる。このため、第１の異方導電性シート２２の劣化を抑制しにくくなり、結果として、被検査回路基板１の繰り返し検査時において、第１の異方導電性シート２２の交換回数が増加して、検査の効率が低下しやすくなる。【０２０４】
導電路形成部７２の基材となる弾性高分子としては、上記のデュロメータ硬さを示すものであれば特に限定されないが、加工性および電気特性の点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。【０２０５】
第２の異方導電性シート２６の絶縁部７１は、実質的に導電性粒子を含有しない絶縁材料により形成される。絶縁材料としては、例えば、絶縁性の高分子材料、無機材料、表面を絶縁化処理した金属材料などを用いることができるが、導電路形成部に使用した弾性高分子と同一の材料を用いると生産が容易である。絶縁部の材料として弾性高分子を使用する場合、デュロメータ硬さが上記の範囲であるものを使用することが好ましい。【０２０６】
磁性導電性粒子としては、前述の第１異方導電性シートに用いられる導電性粒子を用いることができる。【０２０７】
本発明の第２の異方導電性シート２６は、以下のようにして製造することができる。【０２０８】
例えば、それぞれ全体の形状が略平板状であって、互いに対応する上型と下型とよりなり、上型と下型との間の成形空間内に充填された材料層に磁場を作用させながら当該材料層を加熱硬化することができる構成の異方導電性シート成形用金型を用意する。【０２０９】
この異方導電性シート成形用金型は、材料層に磁場を作用させて適正な位置に導電性を有する部分を形成するために、上型および下型の両方は、鉄、ニッケルなどの強磁性体からなる基板上に、金型内の磁場に強度分布を生じさせるための鉄、ニッケルなどよりなる強磁性体部分と、銅などの非磁性金属若しくは樹脂よりなる非磁性体部分とが互いに隣接するよう交互に配置されたモザイク状の層を有する構成のものであり、強磁性体部分は、形成すべき導電路形成部のパターンに対応するパターンに従って配列されている。【０２１０】
ここで、上型の成形面は平坦であり、下型の成形面は形成すべき異方導電性シートの導電路形成部に対応してわずかに凹凸を有するものである。【０２１１】
そして、上記の異方導電性シート成形用金型を用いて、以下のようにして異方導電性シートが製造される。【０２１２】
先ず、異方導電性シート成形用金型の成形空間内に、硬化されて弾性高分子物質となる高分子物質材料中に磁性を示す導電性粒子が含有されてなる成形材料を注入して成形材料層を形成する。【０２１３】
次に、上型および下型の各々における強磁性体部分および非磁性体部分を利用し、形成された成形材料層に対してその厚み方向に強度分布を有する磁場を作用させることにより、その磁力の作用によって、導電性粒子を、上型における強磁性体部分と、その直下に位置する下型における強磁性体部分との間に集合させ、更には導電性粒子を厚み方向に並ぶように配向させる。そして、その状態で当該成形材料層を硬化処理することにより、複数の柱状の導電路形成部が、絶縁部によって互い絶縁されてなる構成を有する異方導電性シートが製造される。【０２１４】
一方、テスター側コネクター４１ａ，４１ｂは、図１に示したように、第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂとコネクター基板４３ａ，４３ｂと、ベース板４６ａ，４６ｂとを備えている。第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂは、前述した第２の異方導電性シート２６と同様のものが使用され、図６に示したような、絶縁性の弾性高分子材料中に多数の導電性粒子が厚み方向に配列して形成された導電路形成部と、それぞれの導電路形成部を離間する絶縁部とから構成されている。【０２１５】
コネクター基板４３ａ，４３ｂには、絶縁基板から構成され、その表面の中継ピンユニット３１側に、図１、２に示したようにピン側電極４５ａ，４５ｂが形成されている。【０２１６】
これらのピン側電極４５は、図８に示したように、前述したピッチ変換用基板２３の接続電極２５、すなわち、電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８とに別個にそれぞれ電気的に接続するように、電流用ピン側電極４７と電圧用ピン側電極４８から構成されており、後述する中継ピンユニット３１の導電ピン３２に対応する位置に配置されている。【０２１７】
この場合、これらのピン側電極４５は、一定ピッチ、例えば、２．５４ｍｍ、１．８ｍｍ、１．２７ｍｍ、１．０６ｍｍ、０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、０．５ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．３ｍｍまたは０．２ｍｍの一定ピッチの格子点上に配置されており、その配置ピッチは中継ピンユニット３１の導電ピン３２の配置ピッチと同一である。【０２１８】
それぞれのピン側電極４５は、絶縁基板の表面に形成された配線パターンおよびその内部に形成された内部配線によって、テスター側電極４４ａ，４４ｂに電気的に接続されている。【０２１９】
なお、この実施例では、ピン側電極４５は、ピン形状としたが、この形状はピン形状に限定されるものではなく、例えば、平坦な電極とするなど種々の変更が可能である。【０２２０】
中継ピンユニット３１は、図１、図２に示したように、上下方向を向くように並列に、所定のピッチで設けられた多数の導電ピン３２ａ，３２ｂを備えている。また、中継ピンユニット３１は、これらの導電ピン３２ａ，３２ｂの両端側に設けられ、導電ピン３２ａ，３２ｂを挿通支持する被検査回路基板１側に配置された絶縁板３４ａ，３４ｂと、被検査回路基板１側と反対側に配置された絶縁板３４ａ，３４ｂの２枚の（一対の）絶縁板を備えている。【０２２１】
導電ピン３２は、例えば、図９に示したように、直径の大きい中央部８２と、これよりも直径の小さい端部８１ａ，８１ｂとからなる。【０２２２】
これらの一対の絶縁板３４ａ，３４ｂには導電ピン３２の端部８１が挿入される貫通孔８３が形成されている。そして、貫通孔８３の直径が、導電ピン３２の端部８１の直径よりも大きく、且つ中央部８２の直径よりも小さく形成され、これにより導電ピン３２が脱落しないように保持されている。【０２２３】
２枚の絶縁板３４は、支持ピン３３ａ、３３ｂによりこれらの間隔が導電ピン３２の中央部８２の長さよりも長くなるように固定され、これにより導電ピン３２が上下に可動するように保持されている。【０２２４】
導電ピン３２の端部８１の長さは、絶縁板３４の厚みよりも長くなるように形成され、これにより、少なくとも一方の絶縁板３４から導電ピン３２が突出するようになっている。【０２２５】
中継ピンユニットは、多数の導電ピンが、一定ピッチ、例えば、２．５４ｍｍ、１．８ｍｍ、１．２７ｍｍ、１．０６ｍｍ、０．８ｍｍ、０．７５ｍｍ、０．５ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．３ｍｍまたは０．２ｍｍのピッチの格子点上に配置されている。【０２２６】
中継ピンユニット３１の導電ピン３２の配置ピッチと、ピッチ変換用基板２３に設けられた端子電極２４の配置ピッチとを同一とすることにより、導電ピン３２を介してピッチ変換用基板２３がテスター側に電気的に接続されるようになっている。【０２２７】
なお、２枚の絶縁板３４との間の距離としては、特に限定されるものではないが、２０ｍｍ以上、好ましくは４０ｍｍ以上とするのが望ましい。【０２２８】
具体的に、絶縁板３４の材料としては、固有抵抗が１×１０10Ω・ｃｍ以上の絶縁性材料、例えばポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポチエチレンテレフタレート樹脂、シンジオタクチック・ポリスチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエチルケトン樹脂、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の機械的強度の高い樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強フェノール樹脂、ガラス繊維補強型フッ素樹脂等のガラス繊維型複合樹脂材料、カーボン繊維補強型エポキシ樹脂、カーボン繊維補強型ポリエステル樹脂、カーボン繊維補強型ポリイミド樹脂、カーボン繊維補強型フェノール樹脂、カーボン繊維補強型フッ素樹脂等のカーボン繊維型複合樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料を充填した複合樹脂材料、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にメッシュを含有した複合樹脂材料などが用いられる。また、これらの材料からなる板材を複数積層して構成された複合板材等も用いることができる。【０２２９】
絶縁板３４の各々の厚みは、絶縁板３４を構成する材料の種類に応じて適宜選択されるが、例えば、１〜１０ｍｍであるのが望ましい。【０２３０】
絶縁板３４としては、具体的には、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂よりなり、その厚みが２〜５ｍｍのものが挙げられる。【０２３１】
このように構成される検査装置１０では、図２に示したように、被検査回路基板１の電極２および電極３は、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂ、ピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂ、第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂ、導電ピン３２ａ，３２ｂ、第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂ、コネクター基板４３ａ，４３ｂを介して、最外側に配置されたベース板４６ａ，４６ｂをテスターの加圧機構により規定の圧力で押圧することによってテスター（図示せず）に電気的に接続され、被検査回路基板１の電極間における電気抵抗測定などの電気検査が行われる。【０２３２】
測定時に被検査基板に対して上側および下側の第１の検査治具１１ａ、第２の検査治具１１ｂから押圧する圧力は、例えば、１００〜２５０ｋｇｆである。【０２３３】
この場合、図８に示したように、被検査回路基板１の被検査用の電極２、３のうち１個の電極に対して、第１の異方導電性シート２２を介して、ピッチ変換用基板２３の被検査回路基板１側の一対の電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８が電気的に接続される。【０２３４】
そして、ピッチ変換用基板２３の被検査回路基板１側の一対の電流用端子電極２７と電圧用端子電極２８から、ピッチ変換用基板２３の被検査回路基板１と反対側の端子電極２４、第２の異方導電性シート２６、中継ピンユニット３１の導電ピン３２、第３の異方導電性シート４２を介して、ピッチ変換用基板２３の電流用端子電極２７が、コネクター基板４３の電流用ピン側電極４７に電気的に接続されるとともに、ピッチ変換用基板２３の電圧用端子電極２８が、コネクター基板４３の電圧用端子電極４８に電気的に接続されるようになっている。【０２３５】
これにより、図８に示したように、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対してそれぞれ、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電流用端子電極２７ａ、２７ｂを介して、電流計測経路Ｉが構成されることになる、一方、被検査回路基板１の各被検査用電極２，３に対してそれぞれ、上下一つのピッチ変換用基板２、３の電圧用端子電極２８ａ、２８ｂを介して、電圧計測経路Ｖが構成されることになる。【０２３６】
従って、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電圧用端子電極２８ａ、２８ｂを介して、電圧計測経路Ｖに電圧を印加しながら、上下一つのピッチ変換用基板２３の電流用端子電極２７ａ、２７ｂを介して、電流計測経路Ｉによって、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、電流を測定して、被検査回路基板１の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の確認試験を行うことができる。【０２３７】
逆に、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電流用端子電極２７ａ、２７ｂを介して、電流計測経路Ｉに電流を供給しながら、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電圧用端子電極２８ａ、２８ｂを介して、電圧測経路Ｖによって、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、電圧を測定して、被検査回路基板１の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の確認試験を行うことができる。【０２３８】
このように、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、別個の電圧計測経路Ｖ、電流計測経路Ｉを介して、別個に電圧と電流を測定することができるので、検査回路基板の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性について正確な確認試験を行うことができ、しかも、確認試験に要する時間も短時間で実施することができる。【０２３９】
また、被検査回路基板１の被検査回路に対して、電流を供給しながら電圧を測定できるので、従来の検査装置における導通抵抗値の良否判断の設定電圧よりも、低い設定電圧において、被検査回路基板１の被検査回路の導通抵抗値の安定した測定が可能となる。【０２４０】
すなわち、高精度な検査の要件として低い設定電圧での回路の良否判断が必要とされるが、本発明によれば、従来の検査装置よりも、潜在的な電気的な欠陥を有する被検査回路基板を高い確率で不良品として判断し除去できるので、信頼性の高い回路基板の確認試験を実施することが可能である。【０２４１】
なお、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３に対して、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電圧用端子電極２８ａ、２８ｂを介して、例えば、定電圧装置を用いて、電圧計測経路Ｖに対して一定の電圧を加えながら、上下一つのピッチ変換用基板２３ａ、２３ｂの電流用端子電極２７ａ、２７ｂを介して、電流供給経路Ｉによって、被検査回路基板１の各被検査用電極２、３からの電流を電流計によって測定することによって、被検査回路基板１の配線パターンが所定の性能を有するか否かについての電気的特性の確認試験を行うこともできる。【０２４２】
ところで、上記従来技術の欄で述べたように、図３３〜図３５に示したような、従来の検査治具ではいずれも、上下それぞれのテスター側コネクター１４１ａ、１４１ｂにおいて、テスター側コネクターのテスター側電極の電極数が、例えば、６０００点である場合に、被検査回路基板１０１の上側の被検査電極１０２と、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３の電極数の関係において、下記のようなパターンが生じると検査の実行が困難な場合があった。すなわち、
（テスター側）
上側のテスター側コネクター１４１ａの電極数＝６０００点
下側のテスター側コネクター１４１ｂの電極数＝６０００点
（被検査回路基板側）
上側の被検査電極１０２の電極数＝８０００点
下側の被検査電極１０３の電極数＝４０００点
すなわち、上側のテスター側コネクター１４１ａのテスター側電極１４４ａの電極数が、６０００点で、下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂの電極数が、６０００点である場合に、被検査回路基板１０１の上側の被検査電極１０２の電極数が、８０００点で、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３の電極数が、４０００点である場合が生じると、検査の実行が困難な場合があった。【０２４３】
すなわち、上側の被検査電極１０２に対応する上側のテスター側コネクター１４１ａのテスター側電極１４４ａの電極数が、６０００点−８０００点＝−２０００点が不足する。【０２４４】
しかしながら、この状態では、被検査回路基板１０１の下側の被検査電極１０３に対応する、下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂの電極数が、６０００点−４０００点＝＋２０００点が余剰として残っている。【０２４５】
従って、本発明者等は、このように２０００点が不足する上側の被検査電極１０２に対する電気接続回路を、２０００点が余剰として残っている下側のテスター側コネクター１４１ｂのテスター側電極１４４ｂへバイパス（迂回）することによって、上記のような場合にも、検査を可能とすることができることを知見したものである。【０２４６】
このため、本発明では、図１に示したように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂとは別に、補助接続回路ユニット２００が備えられている。【０２４７】
この補助接続回路ユニット２００は、第1の補助中継ピンユニット２３１ａを備えてお
り、この第1の補助中継ピンユニット２３１ａは、所定のピッチで配置された複数の導電
ピン２３２ａと、この導電ピン２３２ａを支持する一対の離間した絶縁板２３４ａとから構成されている。【０２４８】
また、補助接続回路ユニット２００は、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂを備えており、この第２の補助中継ピンユニット２３１ｂは、所定のピッチで配置された複数の導電ピン２３２ｂと、この導電ピン２３２ｂを支持する一対の離間した絶縁板２３４ｂとから構成されている。【０２４９】
さらに、補助接続回路ユニット２００は、第1の補助中継ピンユニット２３１ａと第２
の補助中継ピンユニット２３１ｂとを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シート２２２を備えている。【０２５０】
この場合、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１
ｂは、上記の中継ピンユニット３１と同様な構成であり、同様な材質から構成することができる。【０２５１】
すなわち、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１
ｂは、図１、図２に示したように、上下方向を向くように並列に、所定のピッチで設けられた多数の導電ピン２３２ａ，２３２ｂを備えている。【０２５２】
また、中継ピンユニット２３１は、これらの導電ピン２３２ａ，２３２ｂの両端側に設けられ、導電ピン２３２ａ，２３２ｂを挿通支持する被検査回路基板１側に配置された絶縁板２３４ａ，２３４ｂと、被検査回路基板１側と反対側に配置された絶縁板２３４ａ，２３４ｂの２枚の（一対の）絶縁板を備えている。【０２５３】
導電ピン２３２は、図９に示した導電ピン３２と同様に、直径の大きい中央部８２と、これよりも直径の小さい端部８１ａ，８１ｂとからなる。【０２５４】
これらの一対の絶縁板２３４ａ，２３４ｂには導電ピン２３２の端部８１が挿入される貫通孔８３が形成されている。そして、貫通孔８３の直径が、導電ピン３２の端部８１の直径よりも大きく、且つ中央部８２の直径よりも小さく形成され、これにより導電ピン２３２が脱落しないように保持されている。【０２５５】
２枚の絶縁板２３４は、支持ピン２３３ａ、２３３ｂによりこれらの間隔が導電ピン２３２の中央部８２の長さよりも長くなるように固定され、これにより導電ピン２３２が上下に可動するように保持されている。【０２５６】
また、補助異方導電性シート２２２は、第１の異方導電性シート２２のように、導電性粒子が厚み方向に配列するとともに面方向に均一に分散された異方導電性シートであってもよく、また、第２の異方導電性シート２２、第３の第２の異方導電性シート４２と類似して、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有され、これにより該導電性粒子は面方向に不均一に分散されるとともに、シート両面側に導電路形成部が突出している構成のもののいずれも使用可能である。【０２５７】
なお、図１および図２では、説明の便宜上、補助異方導電性シート２２２は、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有され、これにより該導電性粒子は面方向に不均一に分散されるとともに、シート両面側に導電路形成部が突出している構成のものを示している。【０２５８】
このように構成することによって、図２に示したように、検査装置１０では、被検査回路基板１の電極２および電極３は、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂ、ピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂ、第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂ、導電ピン３２ａ，３２ｂ、第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂ、コネクター基板４３ａ，４３ｂを介して、最外側に配置されたベース板４６ａ，４６ｂをテスターの加圧機構により規定の圧力で押圧することによって、テスター（図示せず）に電気的に接続され、被検査回路基板１の電極間における電気抵抗測定などの電気検査が行われる（図２の矢印Ａおよび矢印Ｂ参照）。【０２５９】
そして、この補助接続回路ユニット２００によって、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合に、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続される（図２の矢印Ｃ参照）。【０２６０】
すなわち、図２に示したように、例えば、被検査回路基板１の一方の表面の被検査電極、この実施例では、上側の被検査電極２の電極数（８０００点）が、被検査回路基板１の他方の表面の被検査電極、この実施例では、下側の被検査電極３の電極数（６０００点）よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数（６０００点）よりも大きくなっている。【０２６１】
これによって、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａの電極数が不足する（８０００−６０００＝２０００点が不足）。【０２６２】
この場合において、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に配置された、第1の補助中継ピンユニット２３１
ａと、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００を介して、図２の矢印Ｃで示したように、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回するように構成されている。【０２６３】
すなわち、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回するように、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａから、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、補助異方導電性シート２２２、第２の補助中
継ピンユニット２３１ｂを介して、他方のテスター側コネクター、この実施例では、第２の検査治具１１ｂのテスター側コネクター４１ｂのテスター側電極４４ａへ電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を実施することができるようになっている。【０２６４】
なお、この実施例では、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａの電極数が不足する場合について説明したが、第２の検査治具１１ｂのテスター側コネクター４１ｂのテスター側電極４４ｂの電極数が不足する場合には、図２の矢印Ｄで示したように、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａへ電気的に接続される。【０２６５】
図１０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する断面図、図１１は、図１０の検査装置の検査使用時における積層状態を示した断面図である。【０２６６】
この実施例の検査装置１０は、図１に示したと基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付して、その詳細な説明を省略する。【０２６７】
この実施例の検査装置１０では、図１０、図１１に示したように、中継ピンユニット３１は、第１の絶縁板３４ａ，３４ｂと、第２の絶縁板３５ａ，３５ｂの間に、中間保持板３６ａ、３６ｂが配置されている。【０２６８】
そして、第１の絶縁板３４ａ，３４ｂと中間保持板３６ａ、３６ｂとの間には、第１の支持ピン３３ａ、３３ｂが配置され、これによって、第１の絶縁板３４ａ，３４ｂと中間保持板３６ａ、３６ｂとの間を固定するようになっている。【０２６９】
同様に、第２の絶縁板３５ａ，３５ｂと中間保持板３６ａ、３６ｂとの間には、第２の支持ピン３７ａ、３７ｂが配置され、これによって、第２の絶縁板３５ａ，３５ｂと中間保持板３６ａ、３６ｂとの間を固定するようになっている。【０２７０】
この場合、第１の支持ピン３３と、第２の支持ピン３７の材質としては、特に限定されるものではなく、例えば、真鍮、ステンレスなどの金属製である。【０２７１】
なお、第１の絶縁板３４と中間保持板３６との間の距離Ｌ１と、第２の絶縁板３５と中間保持板３６との間の距離Ｌ２としては、特に限定されるものではないが、後述するように、第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５の弾性による、被検査回路基板１の被検査電極２，３の高さバラツキの吸収性を考慮すれば、２ｍｍ以上、好ましくは、２．５ｍｍ以上とするのが望ましい。【０２７２】
そして、図１１に示したように、第１の支持ピン３３の中間保持板３６との第１の当接支持位置３８Ａと、第２の支持ピン３７の中間保持板３６との第２の当接支持位置３８Ｂとは、検査装置１０を中間保持板の厚さ方向（図１０において上方から下方に向かって）に投影した中間保持板投影面Ａ上において異なる位置に配置されている。【０２７３】
この場合、異なる位置としては、特に限定されるものではないが、第１の当接支持位置３８Ａと、第２の当接支持位置３８Ｂは、図１２に示したように、中間保持板投影面Ａ上において格子上に形成されていることが好ましい。【０２７４】
具体的には、図１２に示したように、中間保持板投影面Ａ上において、隣接する４個の第１の当接支持位置３８Ａ群からなる単位格子領域Ｒ１に、１個の第２の当接支持位置３８Ｂが配置される。また、中間保持板投影面Ａにおいて、隣接する４個の第２の当接支持位置群３８Ｂからなる単位格子領域Ｒ２に、１個の第１の当接支持位置３８Ａが配置されるように構成されている。なお、図１２においては、第１の当接支持位置３８Ａが黒丸、第２の当接支持位置群３８Ｂが白丸で示している。【０２７５】
なお、この場合、この実施例では、第１の当接支持位置３８Ａの単位格子領域Ｒ１の対角線Ｑ１の中央に、１個の第２の当接支持位置３８Ｂを配置するとともに、第２の当接支持位置３８Ｂの単位格子領域Ｒ２の対角線Ｑ２の中央に、１個の第１の当接支持位置３８Ａを配置している。しかしながら、これらの相対的な位置は、特に限定されるものではなく、上記のように、検査装置１０を中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面Ａ上において異なる位置に配置されていればよい。すなわち、格子状に配置されない場合には、このような相対位置関係に拘束されるものではなく、上記のように、検査装置１０を中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面Ａ上において異なる位置に配置されていればよい。【０２７６】
また、この場合、互いに隣接する第１の当接支持位置３８Ａの間の離間距離、第２の当接支持位置３８Ｂの間の離間距離は、特に限定されるものではなく、１０〜１００ｍｍであるのが好ましく、より好ましくは１２〜７０ｍｍであり、特に好ましくは１５〜５０ｍｍであるのが望ましい。【０２７７】
なお、第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５としては、可撓性を有するものが用いられる。【０２７８】
第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５に要求される可撓性の程度は、以下の通りである。【０２７９】
第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５の両端部を、それぞれ１０ｃｍ間隔で支持した状態で水平に配置した場合において、上方から５０ｋｇｆの圧力で加圧することによって生ずる撓みが、これらの絶縁板の幅の０．０２％以下であり、かつ上方から２００ｋｇｆの圧力で加圧することによっても破壊および永久変形が生じないことが好ましい。【０２８０】
具体的に、第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５の材料としては、固有抵抗が１×１０10Ω・ｃｍ以上の絶縁性材料、例えばポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、フェノール樹脂、ポリアセタール樹脂、ポリブチレンテレフタレート樹脂、ポチエチレンテレフタレート樹脂、シンジオタクチック・ポリスチレン樹脂、ポリフェニレンサルファイド樹脂、ポリエーテルエチルケトン樹脂、フッ素樹脂、ポリエーテルニトリル樹脂、ポリエーテルサルホン樹脂、ポリアリレート樹脂、ポリアミドイミド樹脂等の機械的強度の高い樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強フェノール樹脂、ガラス繊維補強型フッ素樹脂等のガラス繊維型複合樹脂材料、カーボン繊維補強型エポキシ樹脂、カーボン繊維補強型ポリエステル樹脂、カーボン繊維補強型ポリイミド樹脂、カーボン繊維補強型フェノール樹脂、カーボン繊維補強型フッ素樹脂等のカーボン繊維型複合樹脂、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にシリカ、アルミナ、ボロンナイトライド等の無機材料を充填した複合樹脂材料、エポキシ樹脂、フェノール樹脂等にメッシュを含有した複合樹脂材料などが用いられる。また、これらの材料からなる板材を複数積層して構成された複合板材等も用いることができる。【０２８１】
第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５の各々の厚みは、第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５を構成する材料の種類に応じて適宜選択されるが、例えば、１〜１０ｍｍであるのが望ましい。【０２８２】
第１の絶縁板３４、中間保持板３６、第２の絶縁板３５としては、具体的には、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂よりなり、その厚みが２〜５ｍｍのものが挙げられる。【０２８３】
このように構成される検査装置１０では、図１１に示したように、被検査回路基板１の電極２および電極３は、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂ、ピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂ、第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂ、導電ピン３２ａ，３２ｂ、第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂ、コネクタ基板４３ａ，４３ｂを介して、最外側に配置されたベース板４６ａ，４６ｂをテスターの加圧機構により規定の圧力で押圧することによってテスター（図示せず）に電気的に接続され、被検査回路基板１の電極間における電気抵抗測定などの電気検査が行われる。【０２８４】
測定時に被検査基板に対して上側および下側の第１の検査治具１１ａ、第２の検査治具１１ｂから押圧する圧力は、例えば、１００〜２５０ｋｇｆである。【０２８５】
この場合、図１５に示したように、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１の両面を挟圧して電気検査を行う際に、加圧の初期段階では、中継ピンユニット３１の導電ピン３２の圧縮と、第１の異方導電性シート２２と、第２の異方導電性シート２６と、第３の異方導電性シート４２のゴム弾性圧縮にて圧力を吸収して、被検査回路基板１の被検査電極の高さバラツキをある程度吸収することができる。【０２８６】
そして、第１の支持ピンの中間保持板との第１の当接支持位置と、前記第２の支持ピンの中間保持板との第２の当接支持位置とが、中間保持板の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されているので、図１６の矢印で示したように、上下方向に力が作用することになって、図１７に示したように、第１の検査治具１１ａと第２の
検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１をさらに加圧した際に、第１の異方導電性シート２２と、第２の異方導電性シート２６と、第３の異方導電性シート４２のゴム弾性圧縮に加えて、中継ピンユニット３１の第１の絶縁板３４と、第２の絶縁板３５と、第１の絶縁板３４と第２の絶縁板３５の間に配置された中間保持板３６のバネ弾性により、被検査回路基板１の被検査電極の高さバラツキ、例えば、ハンダボール電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができる。【０２８７】
すなわち、図１６、図１７に示したように、第１の支持ピン３３の中間保持板３６との第１の当接支持位置３８Ａを中心として、中間保持板３６が、第２の絶縁板３５の方向に撓むとともに（図１７の一点鎖線で囲んだＥの部分参照）、第２の支持ピン３７の中間保持板３６との第２の当接支持位置３８Ｂを中心として、中間保持板３６が、第１の絶縁板３４の方向に撓むことになる（図１７の一点鎖線で囲んだＤの部分参照）。なお、以下、本明細書で「撓む」および「撓み方向」とは中間保持板３６が凸状になる方向に突出するように撓むことおよびその突出方向を言う。【０２８８】
このように、中間保持板３６が、第１の当接支持位置３８Ａ、第２の当接支持位置３８Ｂを中心として、相互に反対方向に撓むので、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１をさらに加圧した際に、中間保持板３６のバネ弾性力がさらに発揮されることになる。【０２８９】
また、図１７の一点鎖線で囲んだＢ部分で示したように、第２の異方導電性シート２６の導電路形成部の突出部の圧縮によって、導電ピン３２ｂの高さが吸収されるが、この突出部の圧縮よって吸収しきれない圧力が、第１の絶縁板３４ｂに加わることになる。【０２９０】
従って、これにより、図１７の一点鎖線で囲んだＣ部分で示したように、第１の絶縁板３４と第２の絶縁板３５もそれぞれ、ある程度、第１の支持ピン３３、第２の支持ピン３７との当接位置で、相互に反対方向に撓むので、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１をさらに加圧した際に、第１の絶縁板３４と第２の絶縁板３５のバネ弾性力がさらに発揮されることになる。【０２９１】
これにより、高さバラツキを有する被検査回路基板１の被検査電極の各々に対しも、安定的な電気的接触が確保され、さらに応力集中が低減されるので、異方導電性シートの局部的な破損が抑制される。その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上することになる。【０２９２】
また、この実施例においても、図１０に示したように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂとは別に、補助接続回路ユニット２００が備えられている。【０２９３】
この補助接続回路ユニット２００は、第1の補助中継ピンユニット２３１ａを備えてお
り、この第1の補助中継ピンユニット２３１ａは、所定のピッチで配置された複数の導電
ピン２３２ａと、この導電ピン２３２ａを支持する一対の離間した絶縁板２３４ａとから構成されている。【０２９４】
また、補助接続回路ユニット２００は、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂを備えており、この第２の補助中継ピンユニット２３１ｂは、所定のピッチで配置された複数の導電ピン２３２ｂと、この導電ピン２３２ｂを支持する一対の離間した絶縁板２３４ｂとから構成されている。【０２９５】
さらに、補助接続回路ユニット２００は、第1の補助中継ピンユニット２３１ａと第２の補助中継ピンユニット２３１ｂとを、相互に電気的に接続する補助異方導電性シート２２２を備えている。【０２９６】
この場合、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１
ｂは、上記の中継ピンユニット３１と同様な構成であり、同様な材質から構成することができる。【０２９７】
すなわち、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１
ｂは、図１０、図１１に示した中継ピンユニット３１と同様に、第１の絶縁板２３４ａ，２３４ｂと、第２の絶縁板２３５ａ，２３５ｂの間に、中間保持板２３６ａ、２３６ｂが配置されている。【０２９８】
そして、第１の絶縁板２３４ａ，２３４ｂと中間保持板２３６ａ、２３６ｂとの間には、第１の支持ピン２３３ａ、２３３ｂが配置され、これによって、第１の絶縁板２３４ａ，２３４ｂと中間保持板２３６ａ、２３６ｂとの間を固定するようになっている。【０２９９】
同様に、第２の絶縁板２３５ａ，２３５ｂと中間保持板２３６ａ、２３６ｂとの間には、第２の支持ピン２３７ａ、２３７ｂが配置され、これによって、第２の絶縁板２３５ａ，２３５ｂと中間保持板２３６ａ、２３６ｂとの間を固定するようになっている。【０３００】
そして、図１１に示した中継ピンユニット３１と同様に、第１の支持ピン２３３の中間保持板２３６との第１の当接支持位置２３８Ａと、第２の支持ピン２３７の中間保持板２３６との第２の当接支持位置２３８Ｂとは、検査装置１０を中間保持板の厚さ方向（図１０において上方から下方に向かって）に投影した中間保持板投影面Ａ上において異なる位置に配置されている。【０３０１】
このように構成することによって、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１の両面を挟圧して電気検査を行う際に、加圧の初期段階では、中継ピンユニット２３１の導電ピン２３２による厚み方向への移動と、補助異方導電性シート２２２によって、衝撃力をある程度吸収することができる。【０３０２】
そして、第１の支持ピン２３３の中間保持板２３６に対する第１の当接支持位置２３８Ａと、第２の支持ピン２３７の中間保持板２３６に対する第２の当接支持位置２３８Ｂとが、中間保持板２３６の厚さ方向に投影した中間保持板投影面において、異なる位置に配置されている。【０３０３】
従って、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂの間で検査対象である被検査回路基板１をさらに加圧した際に、補助異方導電性シート２２２のゴム弾性圧縮に加えて、中継ピンユニット２３１の第１の絶縁板２３４と、第２の絶縁板２３５と、第１の絶縁板２３４と第２の絶縁板２３５の間に配置された中間保持板２３６のバネ弾性により、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避することができる。【０３０４】
これにより、安定的な電気的接触が確保され、さらに応力集中が低減されるので、補助異方導電性シート２２２の局部的な破損が抑制される。その結果、補助異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、補助異方導電性シート２２２の交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０３０５】
このように構成することによって、図１１に示したように、検査装置１０では、被検査回路基板１の電極２および電極３は、第１の異方導電性シート２２ａ，２２ｂ、ピッチ変換用基板２３ａ，２３ｂ、第２の異方導電性シート２６ａ，２６ｂ、導電ピン３２ａ，３２ｂ、第３の異方導電性シート４２ａ，４２ｂ、コネクター基板４３ａ，４３ｂを介して、最外側に配置されたベース板４６ａ，４６ｂをテスターの加圧機構により規定の圧力で押圧することによって、テスター（図示せず）に電気的に接続され、被検査回路基板１の電極間における電気抵抗測定などの電気検査が行われる（図１１の矢印Ａおよび矢印Ｂ参照）。【０３０６】
そして、この補助接続回路ユニット２００によって、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合に、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続される（図２の矢印Ｃ参照）。【０３０７】
すなわち、図１１に示したように、例えば、被検査回路基板１の一方の表面の被検査電極、この実施例では、上側の被検査電極２の電極数（８０００点）が、被検査回路基板１の他方の表面の被検査電極、この実施例では、下側の被検査電極３の電極数（６０００点）よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数（６０００点）よりも大きくなっている。【０３０８】
これによって、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａの電極数が不足する（８０００−６０００＝２０００点が不足）。【０３０９】
この場合において、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に配置された、第1の補助中継ピンユニット２３１
ａと、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００を介して、図１１の矢印Ｃで示したように、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回するように構成されている。【０３１０】
すなわち、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回するように、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａから、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、補助異方導電性シート２２２、第２の補助中
継ピンユニット２３１ｂを介して、他方のテスター側コネクター、この実施例では、第２の検査治具１１ｂのテスター側コネクター４１ｂのテスター側電極４４ａへ電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を実施することができるようになっている。【０３１１】
なお、この実施例では、一方のテスター側コネクター、この実施例では、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａの電極数が不足する場合について説明したが、第２の検査治具１１ｂのテスター側コネクター４１ｂのテスター側電極４４ｂの電極数が不足する場合には、図１１の矢印Ｄで示したように、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第１の検査治具１１ａのテスター側コネクター４１ａのテスター側電極４４ａへ電気的に接続される。【０３１２】
図１８は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１０と同様な断面図、図１９は、その中継ピンユニットの拡大断面図である。【０３１３】
この実施例の検査装置１０は、図１０に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３１４】
この実施例の検査装置１０では、図１８、図１９に示したように、第１の絶縁板３４と第２の絶縁板３５の間に、複数個（この実施例では３個）の中間保持板３６が所定間隔離間して配置されるとともに、これらの隣接する中間保持板３６同士の間に、保持板支持ピン３９が配置されている。【０３１５】
この場合、保持板支持ピン３９の中間保持板３６との当接支持位置３９Ａが、隣接する中間保持板３６の間で、当接支持位置３９Ａが、中間保持板投影面Ａにおいて異なる位置に配置されているのが望ましい。【０３１６】
さらに、図示しないが、第１の支持ピン３３の中間保持板３６との第１の当接支持位置３８Ａと、第２の支持ピン３７の中間保持板３６との第２の第２の当接支持位置３８Ｂと、保持板支持ピン３９の中間保持板３６との当接支持位置３９Ａとが、中間保持板投影面Ａにおいて異なる位置に配置されているのが望ましい。【０３１７】
この場合、詳述しないが、「異なる位置」とは、前述した実施例のように、第１の支持ピン３３の中間保持板３６との第１の当接支持位置３８Ａと、第２の支持ピン３７の中間保持板３６との第２の当接支持位置３８Ｂとの間の関係で説明した相対位置関係と同様な配置とすることが可能である。【０３１８】
このように構成することによって、これらの複数個の中間保持板３６によってバネ弾性がさらに発揮されることになり、被検査回路基板１の被検査電極の高さバラツキに対して、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中をさらに回避することができ、異方導電性シートの局部的な破損が抑制され、その結果、異方導電性シートの繰り返し使用耐久性が向上するので、異方導電性シートの交換回数が減り、検査作業効率が向上する。【０３１９】
なお、この場合、中間保持板３６の個数としては、複数個であれよく、特に限定されるものではない。【０３２０】
また、図示しないが、補助接続回路ユニット２００の第1の補助中継ピンユニット２３
１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂも、図１８、図１９示した中継ピンユニット３１と同様に、第１の絶縁板２３４と第２の絶縁板２３５の間に、複数個（この実施例では３個）の中間保持板２３６が所定間隔離間して配置されるとともに、これらの隣接する中間保持板２３６同士の間に、保持板支持ピン１３９が配置された構成とすることができる。【０３２１】
図２０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図、図２１は、図２０の検査装置の検査使用時における積層状態を示した図２と同様な断面図、図２２は、補助中継基板体３０２の内部の部分拡大図、図２３は、補助中継基板体の導電ピンの基端部と配線の接続状態の一例を示す部分拡大図である。【０３２２】
この実施例の検査装置１０は、図１に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３２３】
この実施例の検査装置１０では、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニット２００を設けている。【０３２４】
すなわち、この実施例の検査装置１０では、図１の実施例のように第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継ピンユニット２３１ｂの代わりに、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に第２の補助中継基板装置３００ｂが配置されている。【０３２５】
この第２の補助中継基板装置３００ｂは、図２０、図２１に示したように、補助中継基板体３０２ｂを備えている。また、補助中継基板体３０２ｂを第1の補助中継ピンユニット側に付勢する付勢装置３０４ｂを備えている。【０３２６】
すなわち、この付勢装置３０４ｂは、下方枠体３０６ｂと、この下方枠体３０６ｂに複数本立設されたスライド案内部材３０８ｂと、補助中継基板体３０２ｂと下方枠体３０６ｂとの間に介装された、例えば、コイルスプリングからなる弾性部材３１０ｂとから構成されている。これにより、スライド案内部材３０８ｂに沿って案内され、弾性部材３１０ｂの付勢力によって、補助中継基板体３０２ｂが、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ側に付勢されるようになっている。【０３２７】
なお、弾性部材３１０ｂとしては、上記のように、補助中継基板体３０２ｂを、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ側に付勢するものであればよく、特に限定されるものではなく、コイルスプリング以外にも、皿バネ、弾性ゴムなど適宜変更可能である。【０３２８】
なお、図示しないが、スライド案内部材３０８ｂには、補助中継基板体３０２ｂの上方限界位置を越えて上方に移動しないように、ストッパー部材が設けられている。【０３２９】
また、補助中継基板体３０２ｂには、図２２に示したように、その内部に、絶縁基板３１２ｂと、ベース絶縁基板３１４ｂとを備えており、これらの絶縁基板３１２ｂ、３１４ｂに形成した植設孔３１６ｂ、３１８ｂに、導電部を構成する導電ピン３２０ｂが植設されている。【０３３０】
なお、この導電ピン３２０ｂの中間部には、抜け止めフランジ３２２ｂが形成されており、この抜け止めフランジ３２２ｂが絶縁基板３１２ｂに形成した抜け止め孔３２４ｂに嵌合して、導電ピン３２０ｂが抜け落ちるのが防止されるようになっている。【０３３１】
この場合、導電ピン３２０ｂの数、配置位置は、第1の補助中継ピンユニット２３１ａの導電ピン２３２ａの数、配置位置と同じになるように配置されている。【０３３２】
また、導電ピン３２０ｂの材質としては、導電性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、第1の補助中継ピンユニット２３１ａの導電ピン２３２ａと同様な材料から構成するのが望ましい。【０３３３】
そして、この導電ピン３２０ｂの基端部３２６ｂが、接続配線３２８ｂを介して、第２のテスター側コネクター４１ｂに接続される、図示しないテスターの電極に電気的に接続されるようになっている。【０３３４】
なお、接続配線３２８ｂとしては、特に限定されるものではなく、例えば、銅線の表面を絶縁部材で被覆したエナメル線などを用いることができる。【０３３５】
また、導電ピン３２０ｂの基端部３２６ｂと、接続配線３２８ｂとを接続する方法は、例えば、図２３に示したように、導電ピン３２０ｂの基端部３２６ｂの接続用開口部３３０ｂの内部に、接続配線３２８ｂの一端部が挿入された状態でカシメ加工（圧潰）３３２ｂすることによって、電気的に固定するようにすればよい。しかしながら、導電ピン３２０ｂの基端部３２６ｂと、接続配線３２８ｂとを接続する方法は、このようなカシメ加工による固定方法に限らず、例えば溶着など、その他の接続方法を採用することができ、特に限定されるものではない。【０３３６】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、一方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継ピンユニットと、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置と、補助異方導電性シートとを備えた補助接続回路ユニットを介して、検査用接続回路ユニットを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる。【０３３７】
すなわち、この実施例の検査装置１０によれば、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、第1のテスター側コネクター４１ａの電極数が不足する場合においても、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第1のテスター側コネクター４１ａから、第２のテスター側コネクター４１ｂに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができるようになっている。【０３３８】
すなわち、図２１の矢印Ｃで示したように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板側４３ａに配置された第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、補助異方導電性シート２２２、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂを介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第1のテスター側コネクター４１ａから、第２のテスター側コネクター４１ｂに接続される図示しないテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板１の電気的検査を、信頼性が高く実施することができるようになっている。【０３３９】
しかも、被検査回路基板１の種類によって、そのサイズ、厚さが異なるが、上記のように、図１に示した実施例のように、第1の補助中継ピンユニット２３１ａと、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００では、被検査回路基板１の種類が変更された場合には、補助異方導電性シート２２２の厚さを変更したものを被検査回路基板１の種類毎に準備し、交換しなければならず、コストが高くつき、検査作業が煩雑で、連続的な電気検査が実施できず、検査効率が低下することになる。【０３４０】
さらに、被検査回路基板１の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが大きく変わる場合には、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂ自体も大きさなどを変更したものに交換して用いなければならず、コストが高くなり、検査作業が煩雑で、連続的な電気検査が実施できず、検査効率が低下することになる。【０３４１】
しかしながら、上記のように、他方の検査治具のコネクター基板側に配置された補助中継基板装置の付勢装置によって、複数の導電部を備えた補助中継基板体が、補助中継ピンユニット側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【０３４２】
すなわち、この実施例の検査装置１０によれば、上記のように、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂの付勢装置３０４ｂによって、複数の導電部である導電ピン３２０ｂを備えた補助中継基板体３０２ｂが、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ側に付勢されているので、被検査回路基板１の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置３０４ｂの付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニット２００の電気的な導通を確保することができる。【０３４３】
図２４は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図、図２５は、図２４の検査装置の検査使用時における積層状態を示した図２と同様な断面図である。【０３４４】
この実施例の検査装置１０は、図２０に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３４５】
この実施例の検査装置１０でも、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続する補助接続回路ユニット２００を設けている。【０３４６】
すなわち、この実施例の検査装置１０では、図１の実施例のように第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂとの間に、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に配置された第１の補助中継ピンユニット２３１ａの代わりに、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に、図２０の実施例の第２の補助中継基板装置３００ｂと同様な構成の第１の補助中継基板装置３００ａが配置されている。【０３４７】
この実施例の検査装置１０によれば、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、第２のテスター側コネクター４１ｂの電極数が不足する場合においても、補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第２のテスター側コネクター４１ｂから、第１のテスター側コネクター４１ａに接続されるテスターの電極へ、電気的に接続することができるようになっている。【０３４８】
すなわち、図２５の矢印Ｄで示したように、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板側４３ｂに配置された第２の補助中継ピンユニット２３１ｂ、補助異方導電性シート２２２、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に配置された第１の補助中継基板装置３００ａを介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、第２のテスター側コネクター４１ｂから、第１のテスター側コネクター４１ａに接続される図示しないテスターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板１の電気的検査を、信頼性が高く実施することができるようになっている。【０３４９】
また、この実施例の検査装置１０によれば、上記のように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に配置された第１の補助中継基板装置３００ａの付勢装置３０４ａによって、複数の導電部である導電ピン３２０ａを備えた補助中継基板体３０２ａが、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂ側に付勢されているので、被検査回路基板１の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置３０４ａの付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニット２００の電気的な導通を確保することができる。【０３５０】
なお、図２０、図２４の実施例の第１の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂとしては、図１０〜図１９で説明したように、第１の絶縁板２３４ａ，２３４ｂと、第２の絶縁板２３５ａ，２３５ｂの間に、中間保持板２３６ａ、２３６ｂを配置し、これらの絶縁板の間に、第１の支持ピン２３３ａ、２３３ｂ、第２の支持ピン２３７ａ、２３７ｂを配置したような構成として、中間保持板２３６のバネ弾性により、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避するような構成とすることももちろん可能である。【０３５１】
例えば、図２６は、図２０の実施例の検査装置１０において、第１の補助中継ピンユニット２３１ａを、図１０に示した実施例の第１の補助中継ピンユニット２３１ａとした構成、図２７は、図２４の実施例の検査装置１０において、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂを、図１０に示した実施例の第２の補助中継ピンユニット２３１ｂとした構成を示している。【０３５２】
また、図２０、図２４の実施例においては、補助中継基板体３０２として、導電部として、導電ピン３２０を用いたものについて説明したが、導電ピン３２０以外にも、例えば、ポゴピン（登録商標）等のスプリングピンプローブなどの導電部を用いることも可能である。【０３５３】
図２８は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。【０３５４】
この実施例の検査装置１０は、図２０に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３５５】
この実施例の検査装置１０では、第２の補助中継基板装置３００ｂには、図２０の実施例の下方枠体３０６ｂの代わりに、第１の補助中継基板体３０２ｂと一対で同様な構成を有し、補助中継基板体３０２ｂと離間した別の第２の補助中継基板体３４０ｂを備えている。なお、この第２の補助中継基板体３４０ｂにも、導電部を構成する導電ピン３２０ｂが植設されている。【０３５６】
そして、これらの一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ｂを備えている。【０３５７】
さらに、これらの一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂの導電部である導電ピン３２０ｂの基端部同士を電気的に接続する接続配線３４２ｂを備えている。【０３５８】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具１１ａのコネクター基板側４３ａに配置された第1の補助中継ピンユニット２３１ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる（図２の矢印Ａ〜Ｄのルートと同様）。【０３５９】
しかも、上記のように、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂの一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ｂによって、導電部である導電ピン３２０ｂを備えた一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂが、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ側、および、第２のテスター側コネクター４１ｂの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置３０４ｂの付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【０３６０】
図２９は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。【０３６１】
この実施例の検査装置１０は、図２４に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３６２】
この実施例の検査装置１０では、第１の補助中継基板装置３００ａには、図２４の実施例の下方枠体３０６ａの代わりに、第１の補助中継基板体３０２ａと一対で同様な構成を有し、補助中継基板体３０２ａと離間した別の第２の補助中継基板体３４０ａを備えている。なお、この第２の補助中継基板体３４０ａにも、導電部を構成する導電ピン３２０ａが植設されている。【０３６３】
そして、これらの一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ａ備えている。【０３６４】
さらに、これらの一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａの導電部である導電ピン３２０ａの基端部同士を電気的に接続する接続配線３４２ａを備えている。【０３６５】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板側４３ｂに配置された第２の補助中継ピンユニット２３１ｂと、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に配置された第１の補助中継基板装置３００ａと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる（図２の矢印Ａ〜Ｄのルートと同様）。【０３６６】
しかも、上記のように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板４３ａ側に配置された第１の補助中継基板装置３００ａの一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ａによって、導電部である導電ピン３２０ａを備えた一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａが、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂ側、および、第１のテスター側コネクター４１ａの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置３０４ａの付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【０３６７】
図３０は、本発明の検査装置の別の実施例を説明する図１と同様な断面図である。【０３６８】
この実施例の検査装置１０は、図２０、図２４に示した検査装置と基本的には同様な構成であり、同一の構成部材には同一の参照番号を付している。【０３６９】
この実施例の検査装置１０では、図２４の第１の補助中継基板装置３００ａと、図２０の第２の補助中継基板装置３００ｂとを備えた構成となっている。【０３７０】
このように構成することによって、被検査回路基板の一方の表面の被検査電極の電極数が、被検査回路基板の他方の表面の被検査電極の電極数よりも大きくて、テスター側コネクターの所定の検査可能な電極数よりも大きく、一方のテスター側コネクターの電極数が不足する場合においても、第１の検査治具１１ａのコネクター基板側４３ａに配置された第１の補助中継基板装置３００ａと、第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂと、補助異方導電性シート２２２とを備えた補助接続回路ユニット２００を介して、検査用接続回路ユニット５６ａ、５６ｂを迂回して、一方のテスター側コネクターから、他方のテスター側コネクターの電極へ、電気的に接続することができ、被検査回路基板の電気的検査を、信頼性が高く実施することができる（図２の矢印Ａ〜Ｄのルートと同様）。【０３７１】
しかも、上記のように、第１の検査治具１１ａのコネクター基板側４３ａに配置された第１の補助中継基板装置３００ａの一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ａによって、複数の導電部を備えた一対の補助中継基板体３０２ａ、３４０ａが、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂ側、および、第１のテスター側コネクター４１ａの電極側に付勢されているとともに、
第２の検査治具１１ｂのコネクター基板４３ｂ側に配置された第２の補助中継基板装置３００ｂの一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂを相互に離間する方向に付勢する付勢装置３０４ｂによって、導電部である導電ピン３２０ｂを備えた一対の補助中継基板体３０２ｂ、３４０ｂが、第1の補助中継ピンユニット２３１ａ側、および、第２のテスター側コネクター４１ｂの電極側に付勢されているので、被検査回路基板の種類が変更され、被検査回路基板の厚さが変わっても、この付勢装置の付勢力によって、厚さの変化を吸収して、補助接続回路ユニットの電気的な導通を確保することができる。【０３７２】
なお、図２８、図２９の実施例の第１の補助中継ピンユニット２３１ａ、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂとしても、図１０〜図１９で説明したように、第１の絶縁板２３４ａ，２３４ｂと、第２の絶縁板２３５ａ，２３５ｂの間に、中間保持板２３６ａ、２３６ｂを配置し、これらの絶縁板の間に、第１の支持ピン２３３ａ、２３３ｂ、第２の支持ピン２３７ａ、２３７ｂを配置したような構成として、中間保持板２３６のバネ弾性により、圧力集中を分散させて、局部的な応力集中を回避するような構成とすることももちろん可能である。【０３７３】
例えば、図３１は、図２８の実施例の検査装置１０において、第１の補助中継ピンユニット２３１ａを、図１０に示した実施例の第１の補助中継ピンユニット２３１ａとした構成、図３２は、図２４の実施例の検査装置１０において、第２の補助中継ピンユニット２３１ｂを、図１０に示した実施例の第２の補助中継ピンユニット２３１ｂとした構成を示している。【０３７４】
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲内において種々の変形、変更および修正が可能である。【０３７５】
例えば、被検査回路基板１は、プリント回路基板以外に、パッケージＩＣ、ＭＣＭ、ＣＳＰなどの半導体集積回路装置、ウェハに形成された回路装置であってもよい。また、プリント回路基板は、両面プリント回路基板だけではなく片面プリント回路基板であってもよい。【０３７６】
第１の検査治具１１ａと第２の検査治具は、使用材料、部材構造などにおいて必ずしも同一である必要はなく、これらが異なるものであってもよい。また、上記の実施例では、第１の検査治具１１ａと第２の検査治具１１ｂとを上下に配置したが、いわゆる横方向に配置した横置き型とすることも可能である。【０３７７】
また、テスター側コネクターは、コネクター基板のような回路基板と異方導電性シートを複数積層して構成してもよい。【０３７８】
さらに、上記実施例では、第１の異方導電性シート２２が、導電性粒子が厚み方向に配列するとともに面方向に均一に分散された異方導電性シートとし、第２の異方導電性シート２６および第３の異方導電性シート４２が、厚み方向に延びる複数の導電路形成部と、これらの導電路形成部を互いに絶縁する絶縁部とからなり、導電性粒子が導電路形成部中にのみ含有され、これにより該導電性粒子は面方向に不均一に分散されるとともに、シート片面側に導電路形成部が突出しているものを用いたが、この組み合わせは、特に限定されるものではない。【０３７９】
また、図１０、図１１、図１４、図１５、図１７および図１９に示したように、テスター側コネクタ４１におけるコネクタ基板４３とベース板４６との間に、支持ピン４９を配置してもよい。これらの支持ピン４９によって、第１の支持ピン３３、第２の支持ピン３７（図１６では第１の支持ピン３３、第２の支持ピン３７および保持板支持ピン３９）が与える作用と同様に、面圧を分散させる作用を与えることも可能である。【０３８０】
この面圧分散作用を与えるためには、支持ピン４９の位置と、第２の支持ピン３７の位置とが面方向において互いに異なるように（すなわち、支持ピン４９ａの位置と第２の支持ピン３７ａの位置、および支持ピン４９ｂの位置と第２の支持ピン３７ｂの位置が、面方向において互いにずれた位置となるように）これらを配置することが好ましい。【０３８１】
このような構成の本発明の検査装置によれば、従来の検査装置に比較して従来の検査装置に比較して、本発明の検査装置によれば、最低プレス圧も低く、異方導電性シートの耐久性も格段と向上した。【０３８２】
また、従来の検査装置に比較して、本発明の検査装置によれば、被検査回路基板の回路に対して、専用の電流用端子を介して電流を供給しながら電圧を測定できるため、低い設定電圧における導通抵抗の良否判断が安定的に行えるので、被検査回路基板の電気的特性試験を正確に行うことが可能である。【０３８３】
すなわち、４端子検査の場合、良否判断の設定電圧を下げていけば、潜在的な欠陥を有する回路基板を検出することができることになる。一方、設定電圧を下げれば、電流を供給して検査するので、それだけ不良の大きい基板を検出することができることになる。【０３８４】
一方、２端子検査の場合、例えば、設定電圧が１００Ω程度であれば、良否判断は４端子検査と同程度に行うことができるが、設定電圧を下げていくと、測定結果が安定せず、バラバラで再現性が無くなることになる。すなわち、微小な電気的欠陥を有する回路基板を検出するのが困難となる。【０３８５】
高精度に微小な潜在的欠陥を有する回路基板（製品として使用して短期間で不良品となるような基板）を検出する方法として、従来より、バーンイン試験（促進試験）があるが、それとは別に高い検出精度で不良を見出す方法として本発明の４端子検査を有効に用いることができる。【０３８６】
これにより、被検査回路基板の回路の潜在的な欠陥の検出割合が大きく向上するので、欠陥の発生しやすい、あるいは早期に欠陥が生じる被検査回路基板を高い精度で不良品として除去することが可能となり、被検査回路基板に対して高い精度の良品、不良品の判断が可能となる。
【産業上の利用可能性】
【０３８７】
集積回路などを実装するためのプリント回路基板を、集積回路などを実装する前に、回路基板の配線パターンが所定の性能を有することを確認するための電気的特性の検査に適用することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【国際調査報告】
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