【手続補正書】
【提出日】令和1年9月24日(2019.9.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を研磨するとともに研磨に関する信号を取得する基板処理装置を有し、
前記基板処理装置が取得した信号に基づいて、研磨処理に関するデータセットを作成し、
前記データセットに基づいて前記研磨の終了を示す研磨終点を検出し、
前記データセットは、１次元データを２次元データに加工して、前記データセットにされたものであることを特徴とする研磨装置。
【請求項２】
前記研磨装置は、前記２次元データを処理することを特徴とする請求項１記載の研磨装置。
【請求項３】
前記研磨装置は、前記データセットを２次元の画像データとして処理することを特徴とする請求項２記載の研磨装置。
【請求項４】
前記研磨装置は、複数の前記２次元データ相互間の比較を行うことを特徴とする請求項２または３記載の研磨装置。
【請求項５】
前記研磨装置は、複数の前記２次元データ相互間の相違点を検知することを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の研磨装置。
【請求項６】
前記研磨装置は、複数の前記２次元データ相互間の相違点を差分処理により検知することを特徴とする請求項５記載の研磨装置。
【請求項７】
前記研磨装置は、前記２次元データの異常を検知することを特徴とする請求項２ないし６のいずれか１項に記載の研磨装置。
【請求項８】
前記基板処理装置は、研磨パッドと、前記研磨パッドに対向して配置される前記基板との間で研磨を行い、
前記基板処理装置は、前記研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、前記基板を保持するための保持部と、前記保持部を保持するための揺動アームと、前記揺動アームを揺動するためのアーム駆動部と、前記研磨テーブルに配置された光学式センサ及び渦電流センサと、を有し、
前記データセットは、前記研磨テーブルを回転させるモータのトルクデータ、前記揺動アームに加わるアームトルクデータ、前記光学式センサの出力データ、及び前記渦電流センサの出力データのうちの少なくとも１つを含むことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の研磨装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０２３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０２３４】
以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
形態１
研磨パッドと、前記研磨パッドに対向して配置される研磨物との間で研磨を行うための研磨装置であって、
前記研磨パッドを保持するための研磨テーブルと、
前記研磨物を保持するための保持部と、
前記保持部を保持するための揺動アームと、
前記揺動アームを揺動するためのアーム駆動部と、
前記揺動アームに加わるアームトルクを直接または間接に検知するアームトルク検知部と、
前記アームトルク検知部が検知した前記アームトルクに基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出する終点検出部と、を有することを特徴とする研磨装置。
形態２
前記保持部と前記揺動アームと前記アーム駆動部と前記トルク検知部は、組を構成し、前記組は、複数組あることを特徴とする形態１記載の研磨装置。
形態３
前記研磨装置は、前記研磨テーブルを回転駆動するテーブル駆動部と、
前記研磨テーブルに加わるテーブルトルクを検知するテーブルトルク検知部とを有し、
前記終点検出部は、前記アームトルク検知部が検知した前記アームトルクと、前記テーブルトルク検知部が検知した前記テーブルトルクに基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出することを特徴とする形態１または２記載の研磨装置。
形態４
前記保持部の重量の、前記揺動アームの重量に対する比は、０．３から１．５であることを特徴とする、形態１ないし３のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態５
前記揺動アームの、前記アーム駆動部への接続部において、前記アームトルク検知部は、前記揺動アームに加わる前記アームトルクを検知することを特徴とする、形態１ないし４のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態６
前記アーム駆動部は、前記揺動アームを回転させる回転モータであり、
前記アームトルク検知部は、前記回転モータの電流値から、前記揺動アームに加わる前記アームトルクを検知することを特徴とする、形態１ないし５のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態７
前記アーム駆動部は、前記揺動アームを回転させる回転モータであり、
前記アームトルク検知部は、前記回転モータの電流値を検知し、
前記終点検出部は、前記回転モータの電流値の微分値に基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出することを特徴とする、形態１ないし５のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態８
前記揺動アームは複数のアームを有し、前記複数のアーム同士の接合部において、前記アームトルク検知部は、前記揺動アームに加わる前記アームトルクを検知することを特徴とする、形態１ないし４のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態９
前記研磨装置は、回転軸の周りに回転可能なカルーセルを有し、前記アーム駆動部は、前記カルーセルに取り付けられることを特徴とする、形態１ないし８のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態１０
前記研磨装置は、
支持フレームと、  前記支持フレームに取り付けられ、前記アーム駆動部の搬送経路を画定するトラックと、  前記トラックによって画定された前記経路に沿って、前記アーム駆動部を搬送するキャリッジであって、前記トラックに結合され、前記トラックに沿って可動であるキャリッジとを有することを特徴とする、形態１ないし８のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態１１
前記研磨装置は、
前記研磨物を研磨する研磨部と、
前記研磨物を洗浄し乾燥させる洗浄部と、
前記研磨部と前記洗浄部との間を分離する隔壁と、
前記隔壁の開口を介して研磨後の前記研磨物を前記研磨部から前記洗浄部へ搬送する搬送機構と、
側壁を有して、前記研磨部と前記洗浄部と前記搬送機構とを内部に収納する筐体とを有し、
前記洗浄部は、研磨後の前記研磨物を洗浄液により洗浄する洗浄手段と、洗浄後の前記研磨物を乾燥させる乾燥手段と、前記洗浄手段と乾燥手段間を水平および昇降自在に前記研磨物の受け渡しが可能な搬送手段とを有し、
前記研磨部は、前記研磨テーブルと、前記保持部と、前記揺動アームと、前記アーム駆動部とを有することを特徴とする、形態１ないし９のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態１２
前記終点検出部は、前記研磨物に光を当て、前記研磨物からの反射光の強度を計測する光学式センサを有し、
前記終点検出部は、前記アームトルク検知部が検知した前記アームトルクと、前記光学式センサが計測した前記研磨物からの反射光の強度とに基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出することを特徴とする、形態１ないし１１のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態１３
前記終点検出部は、
研磨時に前記研磨物と対向可能な、前記研磨テーブル内の位置に組込まれるウィンドウを有し、
前記ウィンドウの下部に、前記光学式センサが配置されることを特徴とする、形態１２記載の研磨装置。
形態１４
前記研磨テーブルは、研磨時に前記研磨物と対向可能な、前記研磨テーブル内の位置に開口を有し、
前記光学式センサは、前記ウィンドウの下部に配置され、
前記光学式センサは、洗浄用の流体を前記開口内に供給する流体供給部を有することを特徴とする、形態１２記載の研磨装置。
形態１５
前記終点検出部は、前記研磨物に磁場を生成し、生成した前記磁場の強度を検知する渦電流式センサを有し、
前記終点検出部は、前記アームトルク検知部が検知した前記アームトルクと、前記渦電流式センサが計測した前記磁場の強度とに基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出することを特徴とする形態１ないし１４のいずれか１項に記載の研磨装置。
形態１６
研磨パッドと、前記研磨パッドに対向して配置される研磨物との間で研磨を行う研磨方法において、
前記研磨パッドを研磨テーブルに保持し、
揺動アームが、前記研磨物を保持する保持部を保持し、
アーム駆動部が前記揺動アームを揺動し、
前記揺動アームに加わるアームトルクを直接または間接に検知し、
検知した前記アームトルクに基づいて、前記研磨の終了を示す研磨終点を検出することを特徴とする研磨方法。
形態１７
前記揺動アームは複数のアームを有し、前記複数のアーム同士の接合部において、前記揺動アームに加わる前記アームトルクを検知することを特徴とする、形態１６に記載の研磨方法。