(57)【要約】  カバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、ベースフィルム供給装置１４００と、ｘ軸方向及びｙ軸方向に移動可能で、かつ、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフィルム供給テーブル１３００と、仮圧着テーブル１２００とを備える。仮圧着テーブル１２００の下面には、ベースフィルムＷｂを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃの位置及び／又は姿勢を調整する機能を有し、仮圧着テーブル１２００は、仮圧着領域Ｐ２において鉛直方向に沿って移動可能である。  カバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置となる。
2007138687.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ベースフィルムを仮圧着領域に供給するベースフィルム供給装置と、
カバーレイフィルム供給位置と仮圧着領域とを結ぶカバーレイフィルム供給路に直交するｘ軸方向及び前記ｘ軸方向に直交するｙ軸方向に移動可能で、かつ、前記ｘ軸方向及び前記ｙ軸方向にともに直交するｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフィルム供給テーブルと、
前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムと前記カバーレイフィルム供給テーブルによって供給されたカバーレイフィルムとを仮圧着させる仮圧着テーブルとを備えるカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、
前記仮圧着テーブルの下面には、前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、
前記カバーレイフィルム供給テーブルは、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び／又は姿勢を調整する機能を有し、
前記仮圧着テーブルは、仮圧着領域において鉛直方向に沿って移動可能であることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項２】
請求項１に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも２つの撮影用孔が設けられ、
前記カバーレイフィルム供給テーブルには、前記少なくとも２つの撮影用孔のそれぞれに対応して少なくとも２つの撮像装置が配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフィルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフィルム用撮像装置をさらに備え、
前記カバーレイフィルム供給テーブルには、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されているベースフィルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルは、供給するカバーレイフィルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルは、回動軸を中心に半回転以上回動可能であることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルは、仮圧着動作を行うときに前記カバーレイフィルム供給テーブルからの圧力を受ける緩衝機構を有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルは、カバーレイフィルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項８】
請求項１〜７のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブルは、前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムを加熱するためのヒータを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルの上面には、カバーレイフィルムを吸着するためのカバーレイフィルム吸着孔が配設され、
前記カバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルム供給テーブルを移動することによって、カバーレイフィルムから離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置をさらに備えることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
ロール状のカバーレイフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置と、前記カバーレイフィルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフィルムを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置と、前記カバーレイフィルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記カバーレイフィルム供給テーブルに載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有するカバーレイフィルム裁断・載置装置をさらに備えることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及び前記押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート巻取り装置とをさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、カバーレイフィルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１３】
請求項１２に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム載置装置は、前記カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムを前記カバーレイフィルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフィルム吸着パッドを有し、
前記カバーレイフィルム吸着パッドは、前記カバーレイフィルム供給テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから前記離型フィルム剥離装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１４】
請求項１〜１３のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記ベースフィルム供給装置は、
前記仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブルと、
ベースフィルムを前記ベースフィルム供給テーブルに供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、
ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の一方方向側から前記仮圧着領域にカバーレイフィルムを供給可能に配設され、
前記ベースフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の他方方向側から前記仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１６】
請求項１５に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記カバーレイフィルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給テーブルは、前記カバーレイフィルム供給路及び前記ベースフィルム供給路に沿って延在する同一のレールに配設されていることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１７】
請求項１〜１３のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記ベースフィルム供給装置は、
前記ｘ軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置と、
前記ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム巻き取り装置とを有することを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１８】
請求項１〜１７のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置において、
前記仮圧着テーブル、前記カバーレイフィルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることを特徴とするカバーレイフィルム貼り合わせ装置。
【請求項１９】
請求項１〜１８のいずれかに記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルム。
【請求項２０】
請求項１９に記載の積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板。
【請求項２１】
請求項２０に記載のフレキシブル基板を用いて製造された電子デバイス実装基板。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、カバーレイフィルム貼り合わせ装置、積層フィルム、フレキシブル基板及び電子機器に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、フレキシブル基板を形成する工程には、銅箔等の導体パターンが形成されたポリイミド樹脂、ＰＥＴ樹脂、ポリエステル樹脂等からなるベースフィルムのパターン形成面に、熱硬化性の接着層を有するポリイミド樹脂、ＰＥＴ樹脂等からなるカバーレイフィルムを貼り合わせる工程があることが知られている。【０００３】
従来、ベースフィルムにカバーレイフィルムを貼り合わせるためのカバーレイフィルム貼り合わせ装置として、ベースフィルムに対して短冊状のカバーレイフィルムを仮圧着して積層フィルムを形成する仮圧着テーブルを備えたカバーレイフィルム貼り合わせ装置が知られている（例えば、特許文献１参照。）。【０００４】
図１１は、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１を説明するために示す図である。
従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１は、図１１に示すように、ロール状のベースフィルムＷｂをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム供給装置２００と、ベースフィルム供給装置２００によって繰り出されたシート状のベースフィルムＷｂに対して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを仮圧着して、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓを形成するための仮圧着テーブル４００と、仮圧着テーブル４００によって形成されたシート状の積層フィルムＷｓをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置３００とを備える。【０００５】
仮圧着テーブル４００は、仮圧着領域Ｐ２とカバーレイフィルム供給位置Ｐ１とを結ぶカバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿ってカバーレイフィルムＷｃを供給可能で、かつ、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整可能なカバーレイフィルム供給テーブル４１０を有する。
カバーレイフィルム供給テーブル４１０は、２つの水平方向（ｘ軸方向及びｙ軸方向）に移動可能で、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能で、かつ、仮圧着領域Ｐ２において上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されている。なお、仮圧着領域Ｐ２とは、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃを供給する領域のことである。【０００６】
従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、カバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿って、かつ、水平方向（ｘ軸方向及びｙ軸方向）に移動可能なカバーレイフィルム供給テーブル４１０を備えているため、仮圧着領域Ｐ２にカバーレーフィルムＷｃを供給することが可能となる。【０００７】
また、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、カバーレイフィルム供給テーブル４１０は、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルムＷｂに対してカバーレーフィルムＷｃを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。【０００８】
また、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１によれば、カバーレイフィルム供給テーブル４１０は、仮圧着領域Ｐ２において上方に移動することにより仮圧着動作を行うように構成されているため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置精度が高い状態でベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃを仮圧着させることが可能となる。【０００９】
【特許文献１】国際公開第２００５／１００２２０号パンフレット
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１０】
しかしながら、従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１においては、カバーレイフィルム供給テーブル４１０は、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１と仮圧着領域Ｐ２との間で移動する機能（水平移動機能）と、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整する機能（位置姿勢調整機能）と、仮圧着領域Ｐ２において上方に移動することによりベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃを仮圧着させる機能（昇降機能）との少なくとも３つの機能を有するため、カバーレイフィルム供給テーブル４１０が大掛りで複雑な構成となってしまい、その結果、カバーレイフィルムＷｃとベースフィルムＷｂとの貼り合わせ効率を高くすることが困難となり、メンテナンス作業が煩雑になる。このため、貼り合わせコストを低減することが容易ではないという問題がある。【００１１】
そこで、本発明は、このような問題を解決するためになされたもので、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置を提供することを目的とする。また、本発明は、このような優れたカバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムを提供することを目的とする。また、本発明は、このような優れた積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板及び当該フレキシブル基板を用いて製造された電子デバイス実装基板を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
（１）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置は、ベースフィルムを仮圧着領域に供給するベースフィルム供給装置と、カバーレイフィルム供給位置と仮圧着領域とを結ぶカバーレイフィルム供給路に直交するｘ軸方向及び前記ｘ軸方向に直交するｙ軸方向に移動可能で、かつ、前記ｘ軸方向及び前記ｙ軸方向にともに直交するｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフィルム供給テーブルと、前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムと前記カバーレイフィルム供給テーブルによって供給されたカバーレイフィルムとを仮圧着させる仮圧着テーブルとを備えるカバーレイフィルム貼り合わせ装置であって、前記仮圧着テーブルの下面には、前記ベースフィルム供給装置によって供給されたベースフィルムを吸着するためのベースフィルム吸着孔が配設され、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び／又は姿勢を調整する機能を有し、前記仮圧着テーブルは、仮圧着領域において鉛直方向に沿って移動可能であることを特徴とする。【００１３】
このため、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフィルム供給テーブルは、ｘ軸方向及びｙ軸方向に移動可能であるため、仮圧着領域にカバーレーフィルムを供給することが可能となる。【００１４】
また、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、カバーレイフィルム供給テーブルは、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルムに対してカバーレーフィルムを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。【００１５】
また、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、仮圧着テーブルが仮圧着領域において鉛直方向に沿って移動可能であるため、仮圧着テーブルを鉛直方向に沿って移動させることにより、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置精度が高い状態でベースフィルムにカバーレイフィルムを仮圧着させることが可能となる。【００１６】
また、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置によれば、仮圧着のための昇降動作を、カバーレイフィルム供給テーブルではなく仮圧着テーブルに行わせているため、カバーレイフィルム供給テーブルの構成を従来より簡素なものとすることが可能となる。このため、カバーレイフィルムとベースフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能となり、メンテナンス作業が容易となる。【００１７】
従って、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置は、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置となる。【００１８】
（２）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルには、互いに離隔して配置された少なくとも２つの撮影用孔が設けられ、前記カバーレイフィルム供給テーブルには、前記少なくとも２つの撮影用孔のそれぞれに対応して少なくとも２つの撮像装置が配設されていることが好ましい。【００１９】
このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの位置及び姿勢を少なくとも２つの撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００２０】
なお、カバーレイフィルムには２つの撮影用孔に対応させた位置にアライメント用孔を形成しておき、ベースフィルムには２つの撮影用孔に対応させた位置にアライメント用マークを形成しておくことが好ましい。このようなカバーレイフィルム及びベースフィルムを用いることにより、アライメント用孔を通してアライメント用マークを撮影し、アライメント用孔の中央部にアライメント用マークが配置されるようにカバーレイフィルムの位置及び姿勢を調整すれば、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００２１】
（３）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフィルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフィルム用撮像装置をさらに備え、前記カバーレイフィルム供給テーブルには、前記仮圧着テーブルにおける前記ベースフィルム吸着孔に吸着されているベースフィルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されていることが好ましい。【００２２】
このように構成することにより、カバーレイフィルムの位置及び姿勢をカバーレイフィルム用撮像装置により測定し、ベースフィルムの位置及び姿勢をベースフィルム用撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００２３】
また、上記（２）に記載のカバーレイフィルム貼り合わせ装置における２つの撮像装置にかからないような、小さいサイズのカバーレイフィルムの位置及び姿勢をも精度よく測定することが可能となるため、１枚のベースフィルムに対して複数のカバーレイフィルムを貼り合わせることが可能となる。このため、複数のカバーレイフィルムそれぞれについて位置及び姿勢を精度良く配置することが可能となるため、また、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの間の収縮率の違いに起因してベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ精度が低下することを抑制することが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合せ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００２４】
（４）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、供給するカバーレイフィルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有することが好ましい。【００２５】
このように構成することにより、１つのカバーレイフィルム供給テーブルで様々な形状のカバーレイフィルムに対応することが可能となる。【００２６】
なお、カバーレイフィルム供給テーブルは、吸着不要な領域を覆うことによって吸着領域を変更可能にするための吸着領域変更用マスクを装着可能に構成されていることが好ましい。このように構成することにより、吸着領域を容易に変更することが可能となる。【００２７】
（５）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、回動軸を中心に半回転以上回動可能であることが好ましい。【００２８】
このように構成することにより、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの向きを任意なものとすることが可能となるため、様々な形状のカバーレイフィルムをベースフィルムに対して貼り合わせることが可能となる。【００２９】
（６）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、仮圧着動作を行うときに前記カバーレイフィルム供給テーブルからの圧力を受ける緩衝機構を有することが好ましい。【００３０】
このように構成することにより、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを均一な力で仮圧着させることが可能となる。【００３１】
（７）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、カバーレイフィルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。【００３２】
このように構成することにより、カバーレイフィルムを供給する過程で、仮圧着に先立ってカバーレイフィルムの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【００３３】
（８）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブルは、前記ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムを加熱するためのヒータを有することが好ましい。【００３４】
このように構成することにより、カバーレイフィルムを供給する過程で、仮圧着に先立ってベースフィルムの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【００３５】
（９）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルの上面には、カバーレイフィルムを吸着するためのカバーレイフィルム吸着孔が配設され、前記カバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、前記カバーレイフィルム供給路に沿ってカバーレイフィルム供給テーブルを移動することによって、カバーレイフィルムから離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置をさらに備えることが好ましい。【００３６】
このように構成することにより、カバーレイフィルム供給テーブルがカバーレイフィルムをカバーレイフィルム供給位置から仮圧着領域まで搬送する工程中にカバーレイフィルムから離型フィルムを剥離することが可能となるため、わざわざカバーレイフィルムから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【００３７】
また、仮圧着テーブルにカバーレイフィルムを載置するまでは、カバーレイフィルムを離型フィルムがついた状態で取り扱うことが可能となるため、カバーレイフィルムの取り扱いが極めて容易となる。【００３８】
（１０）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、ロール状のカバーレイフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置と、前記カバーレイフィルム繰り出し装置により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムを裁断して短冊状のカバーレイフィルムを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置と、前記カバーレイフィルム裁断装置によって形成された短冊状のカバーレイフィルムを前記カバーレイフィルム供給テーブルに載置するためのカバーレイフィルム載置装置とを有するカバーレイフィルム裁断・載置装置をさらに備えることが好ましい。【００３９】
このように構成することにより、ロール状のカバーレイフィルムを出発材料として用いることが可能となるため、全体としての生産性をさらに高くすることが可能となる。【００４０】
（１１）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断装置は、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型及び前記押し切り刃金型を受ける受け金型を有し、前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、前記押し切り刃を受ける刃受けシートを前記押し切り刃金型と前記受け金型との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置と、刃受けシートを巻き取る刃受けシート巻取り装置とをさらに有することが好ましい。【００４１】
このように構成することにより、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置によって繰り出される刃受けシートが常に押し切り刃を受けることが可能となるため、カバーレイフィルムを適切に裁断することが可能となる。また、押し切り刃の刃先が損傷してしまうことを防止することが可能となる。【００４２】
（１２）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム裁断・載置装置は、カバーレイフィルムを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃をさらに有することが好ましい。【００４３】
このように構成することにより、カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフィルムは、離型フィルム離型刃によって予め部分剥離部が形成されるようになる。このため、離型フィルム剥離装置は、離型フィルムの端部を容易に把持することが可能となる。【００４４】
（１３）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム載置装置は、前記カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムを前記カバーレイフィルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフィルム吸着パッドを有し、前記カバーレイフィルム吸着パッドは、前記カバーレイフィルム供給テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから前記離型フィルム剥離装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、前記部分剥離部を吸着することが好ましい。【００４５】
このように構成することにより、カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフィルムは、離型フィルムの部分剥離部がカバーレイフィルム吸着パッドによって吸着されてめくれ上がった状態となるため、離型フィルム剥離装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することが可能となる。【００４６】
（１４）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置は、前記仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブルと、ベースフィルムを前記ベースフィルム供給テーブルに供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有することが好ましい。【００４７】
このように構成することにより、短冊状のベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフィルムとベースフィルムとを仮圧着させることが可能となる。【００４８】
（１５）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の一方方向側から前記仮圧着領域にカバーレイフィルムを供給可能に配設され、前記ベースフィルム供給テーブルは、前記仮圧着領域の他方方向側から前記仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されていることが好ましい。【００４９】
このように構成することにより、カバーレイフィルム供給テーブルが移動するカバーレイフィルム供給路とベースフィルム供給テーブルが移動するベースフィルム供給路とが経路の途中で交差しないため、カバーレイフィルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルは互いに邪魔し合うことなく移動可能となる。このため、カバーレイフィルムの供給、ベースフィルムの供給及び積層フィルムの回収を効率よく行うことが可能となる。【００５０】
（１６）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記カバーレイフィルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給テーブルは、前記カバーレイフィルム供給路及び前記ベースフィルム供給路に沿って延在する同一のレールに配設されていることが好ましい。【００５１】
このように構成することにより、カバーレイフィルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルが個々にレールを備える必要がなくなるため、カバーレイフィルム貼り合わせ装置の構成を従来よりもさらに簡素なものとすることが可能となる。【００５２】
また、カバーレイフィルム供給テーブルとベースフィルム供給テーブルとが同一のレールに配設されているため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの位置合わせ精度を高めることが可能となる。【００５３】
（１７）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記ベースフィルム供給装置は、前記ｘ軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置と、前記ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム巻き取り装置とを有することが好ましい。【００５４】
このように構成することにより、ロール状に巻かれたベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフィルムをベースフィルムに貼り合わせることが可能となる。【００５５】
（１８）本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置においては、前記仮圧着テーブル、前記カバーレイフィルム供給テーブル及び前記ベースフィルム供給装置を同期して動作させるためのコントローラをさらに備えることが好ましい。【００５６】
このように構成することにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着することが可能となるため、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として積層フィルムの生産性を高くすることが可能となる。【００５７】
（１９）本発明の積層フィルムは、上記した本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムである。【００５８】
このため、本発明の積層フィルムは、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムであるため、安価な積層フィルムとなる。【００５９】
（２０）本発明のフレキシブル基板は、本発明の積層フィルムを用いて製造されたフレキシブル基板である。【００６０】
このため、本発明のフレキシブル基板は、安価なフレキシブル基板となる。【００６１】
（２１）本発明の電子機器は、本発明のフレキシブル基板を用いて製造された電子機器である。【００６２】
このため、本発明の電子機器は、安価な電子機器となる。
【図面の簡単な説明】
【００６３】
【図１】実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００を示す平面図である。
【図２】実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００を簡略化して示す平面図である。
【図３】実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００をｙ軸方向に沿って見たときの図である。
【図４】カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００を説明するために示す側面図である。
【図５】カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００をｙ軸方向に沿って見たときの図である。
【図６】実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００を簡略化して示す側面図である。
【図７】実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００におけるカバーレイフィルム供給テーブル２３００を簡略化して示す平面図である。
【図８】仮圧着テーブル２２００を下側から見た図である。
【図９】実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００を簡略化して示す側面図である。
【図１０】実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００を簡略化して示す平面図である。
【図１１】従来のカバーレイフィルム貼り合わせ装置１を説明するために示す図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００６４】
以下、本発明のカバーレイフィルム貼り合わせ装置、積層フィルム、フレキシブル基板及び電子デバイス実装基板について、図に示す実施の形態に基づいて説明する。【００６５】
［実施形態１］
図１は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００を示す平面図である。図２は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００を簡略化して示す平面図である。図３は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００をｙ軸方向に沿って見たときの図である。図４は、カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００を説明するために示す側面図である。図５は、カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００をｙ軸方向に沿って見たときの図である。【００６６】
なお、以下の説明においては、互いに直交する３つの方向をそれぞれｘ軸方向（図１における紙面に平行で左右方向）、ｙ軸方向（図１における紙面に平行かつｘ軸に直交する方向）及びｚ軸方向（図１における紙面に垂直な方向）とする。【００６７】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、図１〜図３に示すように、各種の装置（後述する。）を搭載・固定するための基台１１００と、ベースフィルムＷｂを仮圧着領域Ｐ２に供給するベースフィルム供給装置１４００と、ｘ軸方向及びｙ軸方向に移動可能で、かつ、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能なカバーレイフィルム供給テーブル１３００と、ベースフィルム供給装置１４００によって供給されたベースフィルムＷｂとカバーレイフィルム供給テーブル１３００によって供給されたカバーレイフィルムＷｃとを仮圧着させる仮圧着テーブル１２００と、短冊状のカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム供給テーブル１３００に供給するカバーレイフィルム裁断・供給装置１５００と、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムＷｅを剥離する離型フィルム剥離装置１６００とを備えている。【００６８】
基台１１００には、図２に示すように、仮圧着領域Ｐ２とベースフィルム供給位置Ｐ４とを結ぶベースフィルム供給路Ｌ１と、仮圧着領域Ｐ２とカバーレイフィルム供給位置Ｐ１とを結ぶカバーレイフィルム供給路Ｌ２と、ベースフィルムＷｂをベースフィルム供給位置Ｐ４に供給し、積層フィルムＷｓをベースフィルム供給位置Ｐ４から回収するベースフィルム供給・積層フィルム回収路Ｌ４と、カバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム供給位置Ｐ１に供給するカバーレイフィルム搬送路Ｌ３とが形成されている。【００６９】
なお、積層フィルムＷｓは、ベースフィルムＷｂの一方のパターン形成面側に短冊状のカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された構造を有する。【００７０】
基台１１００には、カバーレイフィルム供給路Ｌ２及びベースフィルム供給路Ｌ１に沿ってｘ軸方向に延在するレール１１１０が配設されている。カバーレイフィルム供給テーブル１３００及び後述するベースフィルム供給テーブル１４１０は、このレール１１１０に配設されている。そして、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、仮圧着領域Ｐ２の一方方向側（図２における左側）から仮圧着領域Ｐ２にカバーレイフィルムＷｃを供給可能に配置され、ベースフィルム供給テーブル１４１０は、仮圧着領域Ｐ２の他方方向側（図２における右側）から仮圧着領域Ｐ２にベースフィルムＷｂを供給可能に配置されている。【００７１】
また、基台１１００には、仮圧着テーブル１２００、カバーレイフィルム供給テーブル１３００及びベースフィルム供給装置１４００を同期して動作させるためのコントローラ（図示せず。）が配設されている。【００７２】
仮圧着テーブル１２００は、図３に示すように、緩衝機構１２１０と、ベースフィルム吸着部１２２０とを有し、仮圧着テーブル移動装置１２５０を介して仮圧着テーブル支持体１２６０に配設されている。仮圧着テーブル１２００の下面には、ベースフィルム供給装置１４００によって供給されたベースフィルムＷｂを吸着するためのベースフィルム吸着孔（図示せず。）が配設されている。【００７３】
仮圧着テーブル移動装置１２５０は、仮圧着テーブル１２００を鉛直方向（ｚ軸方向）に沿って移動させるためのアクチュエータ１２１２を有し、仮圧着テーブル支持体１２６０に配設されている。これにより、仮圧着テーブル１２００は、仮圧着領域Ｐ２において鉛直方向（上下方向）に沿って移動することが可能となる。【００７４】
カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、図３に示すように、第１移動装置１３１０と、第２移動装置１３２０と、第３移動装置１３３０と、カバーレイフィルムＷｃを載置するカバーレイフィルム載置部１３４０とを有する。【００７５】
第１移動装置１３１０は、サーボモータ１３１２と、サーボモータ１３１２に軸支されたスクリューシャフト１３１４（図示せず。）と、第１テーブル１３１６を有する。第１移動装置１３１０は、第１移動装置１３１０及び後述するベースフィルム供給テーブル１４１０の軌道となるｘ軸方向に沿って延在するレール１１１０を介して基台１１００に配設されている。第１移動装置１３１０は、サーボモータ１３１２の駆動によるスクリューシャフト１３１４の回転により、第１テーブル１３１６がレール１１１０上をｘ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００７６】
第２移動装置１３２０は、サーボモータ１３２２と、サーボモータ１３２２に軸支されたスクリューシャフト１３２４と、第２テーブル１３２６とを有し、ｙ軸方向に沿って延在するレール１３２８を介して第１テーブル１３１６に配設されている。第２移動装置１３２０は、サーボモータ１３２２の駆動によるスクリューシャフト１３２４の回転により、第２テーブル１３２６がレール１３２８上をｙ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００７７】
第３移動装置１３３０は、サーボモータ１３３２と、ベルト１３３４と、第３テーブル１３３６と、第３テーブル１３３６に回転力を付与するプーリ１３３８とを有し、第２テーブル１３２６に配設されている。第３テーブル１３３６は、第２テーブル１３２６上の枢軸に枢支され、サーボモータ１３３２及びベルト１３３４によって駆動されるプーリ１３３８の回転により、枢軸を回動中心として半周以上回動可能に構成されている。【００７８】
カバーレイフィルム載置部１３４０は、カバーレイフィルムＷｃを加熱するためのヒータ（図示せず。）を有し、第３テーブル１３３６に配設されている。カバーレイフィルム載置部１３４０には、互いに離隔して配置された２つの撮影用孔１３４２が設けられ、各撮像用孔１３４２のそれぞれに対応して設けられた撮像素子１７１０が配設されている（図１参照。）。また、カバーレイフィルム載置部１３４０の上面には、カバーレイフィルムＷｃを吸着するためのカバーレイフィルム吸着孔（図示せず。）が配設されている。【００７９】
ベースフィルム供給装置１４００は、図１〜図３に示すように、ベースフィルム供給路Ｌ１に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブル１４１０と、ベースフィルムＷｂをベースフィルム供給テーブル１４１０に供給するためのベースフィルム供給用吸着パッド１４２０と、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓをベースフィルム供給テーブル１４１０から回収するための積層フィルム回収用吸着パッド１４３０（図示せず。）とを有する。【００８０】
ベースフィルム供給テーブル１４１０は、ここでは図示による説明を一部省略するが、ベースフィルム供給テーブル移動装置１４４０を有する。ベースフィルム供給テーブル移動装置１４４０は、サーボモータ１４４２と、サーボモータ１４４２に軸支されたスクリューシャフト１４４４とを有し、レール１１１０を介して基台１１００に配設されている。ベースフィルム供給テーブル移動装置１４４０は、サーボモータ１４４２の駆動によるスクリューシャフト１４４４の回転により、ベースフィルム供給テーブル１４１０がレール１１１０上をｘ軸方向に沿って移動するように構成されている。【００８１】
カバーレイフィルム裁断・供給装置１５００は、図４及び図５に示すように、ロール状のカバーレイフィルムＷｃ０をシート状にして間欠的に繰り出すためのカバーレイフィルム繰り出し装置１５１０と、カバーレイフィルム繰り出し装置１５１０により繰り出されたシート状のカバーレイフィルムＷｃ０を裁断して短冊状のカバーレイフィルムＷｃを形成するためのカバーレイフィルム裁断装置１５２０と、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムＷｅを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃１５４０とを有する。【００８２】
カバーレイフィルム繰り出し装置１５１０は、繰り出しローラ１５１２と、駆動ローラ１５１４と、ガイドローラ１５１６とを有する。繰り出しローラ１５１２は、トルクモータ１５１８の駆動による回転によってロール状のカバーレイフィルムＷｃ０をシート状に繰り出すように構成されている。【００８３】
カバーレイフィルム裁断装置１５２０は、シート状のカバーレイフィルムＷｃ０を短冊状に裁断するための押し切り刃を有する押し切り刃金型１５２２及び押し切り刃金型１５２２を受ける受け金型１５２４と、押し切り刃を受ける刃受けシートＷｈを押し切り刃金型１５２２と受け金型１５２４との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置１５２６と、刃受けシートＷｈを巻き取る刃受けシート巻き取り装置１５２８とを有する。【００８４】
カバーレイフィルム載置装置１５３０は、図２及び図３に示すように、カバーレイフィルム裁断装置１５２０によって裁断された短冊状のカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ３にに受け渡すための移動クランパ１５３２と、カバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ４に載置されたカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム供給位置Ｐ１のカバーレイフィルム供給テーブル１３００まで搬送するためのカバーレイフィルム吸着パッド１５３４とを有する。カバーレイフィルム吸着パッド１５３４は、ｙ軸方向に移動可能であり、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１及びカバーレイフィルム受け渡し位置Ｐ４において昇降可能である。【００８５】
離型フィルム剥離装置１６００は、図１〜図３に示すように、離型フィルム把持装置１６１０を有する。離型フィルム把持装置１６１０は、カバーレイフィルム載置装置１５３０によってカバーレイフィルム供給テーブル１３００に載置されたカバーレイフィルムＷｃにおける離型フィルムＷｅの端部を把持した状態で、カバーレイフィルム供給位置Ｐ１から仮圧着領域Ｐ２に向けてカバーレイフィルム供給テーブル１３００が移動することによって、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムＷｅを剥離するように構成されている。【００８６】
以上のように構成された実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００によれば、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、ｘ軸方向及びｙ軸方向に移動可能であるため、仮圧着領域Ｐ２にカバーレーフィルムＷｃを供給することが可能となる。【００８７】
また、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００によれば、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、ｚ軸方向に沿った軸を回動軸として回動可能であるため、ベースフィルムＷｂに対してカバーレーフィルムＷｃを位置及び姿勢精度よく配置することが可能となる。このため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高くすることが可能となる。【００８８】
また、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００によれば、仮圧着テーブル１２００が仮圧着領域Ｐ２において鉛直方向に沿って移動可能であるため、仮圧着テーブル１２００を鉛直方向に沿って移動させることにより、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置精度が高い状態でベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃを仮圧着させることが可能となる。【００８９】
また、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００によれば、仮圧着のための昇降動作を、カバーレイフィルム供給テーブル１３００ではなく仮圧着テーブル１２００に行わせているため、カバーレイフィルム供給テーブル１３００の構成を従来より簡素なものとすることが可能となる。このため、カバーレイフィルムＷｃとベースフィルムＷｂとの貼り合わせ効率を高くすることが可能となり、メンテナンス作業が容易となる。【００９０】
従って、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００は、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置となる。【００９１】
なお、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを圧着（本圧着）させるのに要する時間としては、少なくとも、カバーレイフィルム及びベースフィルムを仮圧着領域に供給する時間と、供給されたベースフィルム及びカバーレイフィルムを本圧着装置（例えば真空プレス機。）によって圧着（本圧着）させる時間とが必要になるが、ベースフィルムとカバーレイフィルムとを一段階で完全に圧着させることとした場合には、本圧着装置による圧着時間が極めて長くなるため、全体としての生産性を向上することが困難となる。【００９２】
これに対し、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００によれば、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを完全に圧着させて積層フィルムを形成する代わりに、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを仮圧着させて仮圧着状態の積層フィルムＷｓを形成することとしている。これにより、本圧着装置による圧着時間を大幅に短縮して、全体としての生産性の向上を図ることが可能となる。この場合、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを完全に圧着させるには、カバーレイフィルムＷｃが仮圧着された積層フィルムＷｓを圧着（本圧着）するための専用の本圧着装置（例えば真空プレス機。）を別途準備して、この本圧着装置を用いてベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを完全に圧着させることとすればよい。【００９３】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００には、互いに離隔して配置された２つの撮影用孔１３４２が設けられ、少なくとも２つの撮影用孔１３４２のそれぞれに対応して２つの撮像装置１７１０が配設されているため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を少なくとも２つの撮像装置１７１０により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００９４】
なお、カバーレイフィルムＷｃには２つの撮影用孔１３４２に対応させた位置にアライメント用孔を形成しておき、ベースフィルムＷｂには２つの撮影用孔１３４２に対応させた位置にアライメント用マークを形成しておくことが好ましい。このようなカバーレイフィルムＷｃ及びベースフィルムＷｂを用いることにより、アライメント用孔を通してアライメント用マークを撮影し、アライメント用孔の中央部にアライメント用マークが配置されるようにカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を調整すれば、ベースフィルムＷｂに対してカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【００９５】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、回動軸を中心に半回転以上回動可能であるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの向きを任意なものとすることが可能となる。このため、様々な形状のカバーレイフィルムＷｃをベースフィルムＷｂに対して貼り合わせることが可能となる。【００９６】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、仮圧着テーブル１２００は、仮圧着動作を行うときにカバーレイフィルム供給テーブル１３００からの圧力を受ける緩衝機構１２１０を有するため、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを均一な力で仮圧着させることが可能となる。【００９７】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、カバーレイフィルムＷｃを加熱するためのヒータを有する。これにより、カバーレイフィルムＷｃを供給する過程で、仮圧着に先立ってカバーレイフィルムＷｃの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【００９８】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、仮圧着テーブル１２００は、ベースフィルム吸着孔に吸着されたベースフィルムＷｂを加熱するためのヒータを有する。これにより、カバーレイフィルムＷｃを供給する過程で、仮圧着に先立ってベースフィルムＷｂの温度を予め高くすることが可能となるため、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【００９９】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００の上面には、カバーレイフィルムＷｃを吸着するためのカバーレイフィルム吸着孔が配設されている。また、カバーレイフィルム吸着孔に吸着されたカバーレイフィルムＷｃにおける離型フィルムの端部を把持した状態で、カバーレイフィルム供給路Ｌ２に沿ってカバーレイフィルム供給テーブル１３００を移動することによって、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを剥離する離型フィルム剥離装置１６００をさらに備える。これにより、カバーレイフィルム供給テーブル１３００がカバーレイフィルムＷｃをカバーレイフィルム供給位置Ｐ１から仮圧着領域Ｐ２まで搬送する工程中にカバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを剥離することが可能となるため、わざわざカバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを剥離するための特別の工程を別途設ける必要がなくなる。このため、ベースフィルムＷｂとカバーレイフィルムＷｃとを仮圧着させるために要する時間を短縮することが可能となる。【０１００】
また、仮圧着テーブル１２００にカバーレイフィルムＷｃを載置するまでは、カバーレイフィルムＷｃを離型フィルムがついた状態で取り扱うことが可能となるため、カバーレイフィルムＷｃの取り扱いが極めて容易となる。【０１０１】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム繰り出し装置１５１０と、カバーレイフィルム裁断装置１５２０及びカバーレイフィルム載置装置１５３０を有するカバーレイフィルム裁断・載置装置１５００をさらに備える。これにより、ロール状のカバーレイフィルムを出発材料として用いることが可能となるため、全体としての生産性をさらに高くすることが可能となる。【０１０２】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム裁断装置１５２０は、押し切り刃金型１５２２及び受け金型１５２４を有し、カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００は、刃受けシートＷｈを押し切り刃金型１５２２と受け金型１５２４との間に繰り出す刃受けシート繰り出し装置１５２６と、刃受けシート巻取り装置１５２８とをさらに有する。これにより、シート状のカバーレイフィルムを短冊状に裁断する際に、刃受けシート繰り出し装置１５２６によって繰り出される刃受けシートＷｈが常に押し切り刃を受けることが可能となるため、カバーレイフィルムを適切に裁断することが可能となる。また、押し切り刃の刃先が損傷してしまうことを防止することが可能となる。【０１０３】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム裁断・載置装置１５００は、カバーレイフィルムＷｃを裁断するのに先立って、カバーレイフィルムＷｃから離型フィルムを部分的に剥離して部分剥離部を形成するための離型フィルム剥離刃１５４０をさらに有する。これにより、カバーレイフィルム供給テーブル１３００に載置されたカバーレイフィルムＷｃは、離型フィルム離型刃１５４０によって予め部分剥離部が形成されるようになる。このため、離型フィルム剥離装置１６００は、離型フィルムの端部を容易に把持することが可能となる。【０１０４】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム載置装置は、カバーレイフィルム裁断装置によって裁断されたカバーレイフィルムをカバーレイフィルム供給テーブルに搬送するためのカバーレイフィルム吸着パッドを有し、カバーレイフィルム吸着パッドは、カバーレイフィルム供給テーブル上にカバーレイフィルムを載置してから離型フィルム剥離装置によって離型フィルムの端部を把持するまでの間も、部分剥離部を吸着するため、カバーレイフィルム供給テーブル１３００に載置されたカバーレイフィルムＷｃは、離型フィルムの部分剥離部がカバーレイフィルム吸着パッドによって吸着されてめくれ上がった状態となる。このため、離型フィルム剥離装置が離型フィルムの端部をさらに容易に把持することが可能となる。【０１０５】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、ベースフィルム供給装置１４００は、仮圧着領域とベースフィルム供給位置とを結ぶベースフィルム供給路に沿ってベースフィルムを供給可能なベースフィルム供給テーブル１４１０と、ベースフィルムをベースフィルム供給テーブル１４１０に供給するためのベースフィルム供給用吸着パッドと、ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着された積層フィルムを前記ベースフィルム供給テーブルから回収するための積層フィルム回収用吸着パッドとを有するため、短冊状のベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフィルムとベースフィルムとを仮圧着させることが可能となる。【０１０６】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００は、仮圧着領域の一方方向側から仮圧着領域にカバーレイフィルムを供給可能に配設され、ベースフィルム供給テーブル１４１０は、仮圧着領域の他方方向側から仮圧着領域にベースフィルムを供給可能に配設されている。これにより、カバーレイフィルム供給テーブルが移動するカバーレイフィルム供給路とベースフィルム供給テーブルが移動するベースフィルム供給路とが経路の途中で交差しないため、カバーレイフィルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルは互いに邪魔し合うことなく移動可能となる。このため、カバーレイフィルムの供給、ベースフィルムの供給及び積層フィルムの回収を効率よく行うことが可能となる。【０１０７】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル１３００及びベースフィルム供給テーブル１４１０は、カバーレイフィルム供給路Ｌ２及びベースフィルム供給路Ｌ１に沿って延在する同一のレール１１１０に配設されている。これにより、カバーレイフィルム供給テーブル及びベースフィルム供給テーブルが個々にレールを備える必要がなくなるため、カバーレイフィルム貼り合わせ装置の構成を従来よりもさらに簡素なものとすることが可能となる。【０１０８】
また、カバーレイフィルム供給テーブルとベースフィルム供給テーブルとが同一のレールに配設されているため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの位置合わせ精度を高めることが可能となる。【０１０９】
実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００においては、仮圧着テーブル１２００、カバーレイフィルム供給テーブル１３００及びベースフィルム供給装置１４００を同期して動作させるためのコントローラをさらに備える。これにより、タクトタイムを合わせながら仮圧着することが可能となるため、ベースフィルムＷｂに対するカバーレイフィルムＷｃの貼り合わせ位置精度を高く保ったまま、全体として積層フィルムの生産性を高くすることが可能となる。【０１１０】
実施形態１に係る積層フィルムＷｓは、上記した実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００を用いて製造された積層フィルムである。【０１１１】
このため、実施形態１に係る積層フィルムＷｓは、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ効率を高くすることが可能でメンテナンス作業が容易で貼り合わせコストの安価なカバーレイフィルム貼り合わせ装置を用いて製造された積層フィルムであるため、安価な積層フィルムとなる。【０１１２】
実施形態１に係るフレキシブル基板（図示せず。）は、実施形態１に係る積層フィルムＷｓを用いて製造されたフレキシブル基板であるため、安価なフレキシブル基板となる。【０１１３】
実施形態１に係る電子機器（図示せず。）は、実施形態１に係るフレキシブル基板を用いて製造された電子機器であるため、安価な電子機器となる。【０１１４】
［実施形態２］
図６は、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００を簡略化して示す側面図である。図７は、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００におけるカバーレイフィルム供給テーブル２３００を簡略化して示す平面図である。図８は、仮圧着テーブル２２００を下側から見た図である。図８においては、ベースフィルムＷｂに４枚のカバーレイフィルムＷｃが仮圧着された状態を模式的に示している。【０１１５】
実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と基本的には同様の構成を有しているが、ベースフィルム用撮像装置及びカバーレイフィルム用撮像装置をさらに備える点と、カバーレイフィルム供給テーブルが吸着領域を変更可能な構成を有する点で、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と異なる。【０１１６】
すなわち、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００においては、図６に示すように、カバーレイフィルム供給テーブル２３００には、仮圧着テーブル２２００におけるベースフィルム吸着孔（図示せず。）に吸着されているベースフィルムＷｂの位置及び姿勢を計測するための撮像素子２７２０が配設されている。また、カバーレイフィルム供給テーブル２３００に載置されたカバーレイフィルムＷｃの位置及び姿勢を計測するための撮像素子２７３０をさらに備えている。【０１１７】
また、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル２３００は、供給するカバーレイフィルムＷｃの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有する。【０１１８】
実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００においては、図７に示すように、吸着領域を変更可能な構成として、吸着不要な領域における吸着孔２３６０を覆うことによって吸着領域を変更可能にするための吸着領域変更用マスク２３５０が装着されている。【０１１９】
このように、実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００は、ベースフィルム用撮像装置及びカバーレイフィルム用撮像装置をさらに備える点と、カバーレイフィルム供給テーブルが吸着領域を変更可能な構成を有する点で、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と異なるが、その他の点では実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と同様の構成を有しているため、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００が有する効果をそのまま有する。【０１２０】
実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００においては、カバーレイフィルム供給テーブルに載置されたカバーレイフィルムの位置及び姿勢を計測するためのカバーレイフィルム用撮像装置をさらに備え、カバーレイフィルム供給テーブルには、仮圧着テーブルにおけるベースフィルム吸着孔に吸着されているベースフィルムの位置及び姿勢を計測するためのベースフィルム用撮像装置が配設されているため、カバーレイフィルムの位置及び姿勢をカバーレイフィルム用撮像装置により測定し、ベースフィルムの位置及び姿勢をベースフィルム用撮像装置により測定することが可能となる。このため、ベースフィルムに対してカバーレイフィルムの位置及び姿勢を精度よく配置することが可能となり、ベースフィルムに対するカバーレイフィルムの貼り合わせ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【０１２１】
また、実施形態１で説明した２つの撮像装置１７１０（図１参照。）にかからないような、小さいサイズのカバーレイフィルムの位置及び姿勢をも精度よく測定することが可能となるため、１枚のベースフィルムに対して複数のカバーレイフィルムを貼り合わせることが可能となる。このため、複数のカバーレイフィルムそれぞれについて位置及び姿勢を精度良く配置することが可能となるため、また、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの間の収縮率の違いに起因してベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合わせ精度が低下することを抑制することが可能となるため、ベースフィルムとカバーレイフィルムとの貼り合せ位置精度をさらに高くすることが可能となる。【０１２２】
実施形態２に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置２０００においては、カバーレイフィルム供給テーブル２３００は、供給するカバーレイフィルムの大きさ又は形状にあわせて吸着領域を変更可能な構成を有するため、１つのカバーレイフィルム供給テーブルで様々な形状のカバーレイフィルムに対応することが可能となる。【０１２３】
[実施形態３]
図９は、実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００を簡略化して示す側面図である。図１０は、実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００を簡略化して示す平面図である。【０１２４】
実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００は、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と基本的には同様の構成を有しているが、ベースフィルムＷｂとして、シート状ではなくロール状のベースフィルムを用いる点で、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と異なる。【０１２５】
すなわち、実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００においては、図９及び図１０に示すように、ベースフィルム供給装置３４００は、カバーレイフィルム供給路Ｌ２に直交する方向に沿ってロール状のベースフィルムＷｂをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム巻き取り装置３４１０と、ベースフィルムＷｂにカバーレイフィルムＷｃが仮圧着されたシート状の積層フィルムＷｓをロール状に巻き取るための積層フィルム回収装置３８００とを有する。【０１２６】
このように、実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００は、ベースフィルムＷｂとして、シート状ではなくロール状のベースフィルムを用いる点で、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と異なるが、その他の点では実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００と同様の構成を有しているため、実施形態１に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置１０００が有する効果のうち該当する効果をそのまま有する。【０１２７】
実施形態３に係るカバーレイフィルム貼り合わせ装置３０００においては、ベースフィルム供給装置３４００は、ｘ軸方向に沿ってロール状のベースフィルムをシート状にして間欠的に繰り出すためのベースフィルム繰り出し装置３４１０と、ベースフィルムにカバーレイフィルムが仮圧着されたシート状の積層フィルムをロール状に巻き取るための積層フィルム巻き取り装置３８００とを有するため、ロール状に巻かれたベースフィルムを出発部材として用いてカバーレイフィルムをベースフィルムに貼り合わせることが可能となる。
【符号の説明】
【０１２８】
Ｗｂ…カバーレイフィルム、Ｗｃ…カバーレイフィルム、Ｗｃ０…シート状のカバーレイフィルム、Ｗｅ…離型フィルム、Ｗｓ…積層フィルム、Ｗｈ…刃受けシート、
Ｐ１…カバーレイフィルム供給位置、Ｐ２…仮圧着領域、Ｐ３…カバーレイフィルム受け渡し位置、Ｐ４…ベースフィルム供給位置、Ｌ１…ベースフィルム供給路、Ｌ２…カバーレイフィルム供給路、Ｌ３…カバーレイフィルム搬送路、Ｌ４…ベースフィルム供給・積層フィルム回収路、１０００，２０００，３０００…カバーレイフィルム貼り合わせ装置、１１００…基台、１１１０…レール、１２００，２２００，３２００…仮圧着テーブル、１２１０…緩衝機構、１２１２…アクチュエータ、１２２０…ベースフィルム吸着部、１２５０…仮圧着テーブル移動装置、１２６０…仮圧着テーブル支持体、１３００，２３００…カバーレイフィルム供給テーブル、１３１０…第１移動装置、１３１２，１３２２，１３３２，…サーボモータ、１３１４，１３２４…スクリューシャフト、１３１６…第１テーブル、１３２０…第２移動装置、１３２６…第１テーブル、１３２８…レール、１３３０…第３移動装置、１３４０…カバーレイフィルム載置部、１３４２…撮像用孔、２３５０…マスク、２３６０…吸着孔、１４００，２４００，３４００…ベースフィルム供給装置、１４１０，２４１０，３４１０…ベースフィルム供給テーブル、１４２０…ベースフィルム供給用吸着パッド、１４３０…積層フィルム回収用吸着パッド、１４４０…ベースフィルム供給テーブル移動装置、１４４２…サーボモータ、１４４４…スクリューシャフト、１４５０…ベースフィルム載置部、１５００，３５００…カバーレイフィルム裁断・供給装置、１５１０，３５１０…カバーレイフィルム繰り出し装置、１５１２…繰り出しローラ、１５１４…駆動ローラ、１５１５…トルクモータ、１５１６…ガイドローラ、１５１８…トルクモータ、１５２０，３５２０…カバーレイフィルム裁断装置、１５２２…押し切り刃金型、１５２４…受け金型、１５２６…刃受けシート繰り出し装置、１５２８…刃受けシート巻き取り装置、１５３０…カバーレイフィルム載置装置、１５３２…移動クランパ、１５３４…カバーレイフィルム搬送用吸着パッド、１５４０…離型フィルム剥離刃、１６００…離型フィルム剥離装置、１６１０…離型フィルム把持装置、１７１０，２７２０，２７３０…撮像素子、３８００…積層フィルム回収装置
【図１】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図９】
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【図２】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図１０】
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【図１１】
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【国際調査報告】
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