(57)【要約】  検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路装置の検査装置および回路基板の検査方法並びに異方導電性コネクターが開示されている。  上記検査装置は、検査対象回路基板（以下「被検査基板」という）の検査対象電極（以下「被検査電極」という）と、被検査電極に対応するよう形成された検査用電極とを、測定状態において被検査電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシート（以下「導電性シート」という）を介して電気的に接続して被検査基板の検査を行うものであり複数の導電性シートが長尺なフィルム状の支持体に支持された異方導電性コネクター、当該コネクターを移動させる移動機構を備え、当該コネクターを構成する複数の導電性シートの一を被検査電極と検査用電極との間に介在させて測定状態を形成する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、
複数の異方導電性エラストマーシートが長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、
異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマーシートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする回路基板の検査装置。
【請求項２】
異方導電性コネクターが、複数の異方導電性エラストマーシートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなる構成のものであることを特徴とする請求項１に記載の回路基板の検査装置。
【請求項３】
検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、
前記検査対象回路基板における複数の検査対象電極が配設されている検査対象電極領域に対応する検査実行領域を複数形成することのできる長尺な異方導電性エラストマーシートがその両側端部の各々において長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、
異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする回路基板の検査装置。
【請求項４】
移動機構が、異方導電性コネクターが巻き付けられる回転自在な巻き付け軸と、駆動源によって回転される巻き取り軸とよりなることを特徴とする請求項１〜請求項３のいずれかに記載の回路基板の検査装置。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれかに記載の回路基板の検査装置を用い、
異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマーシートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させ、測定状態を形成することにより回路基板の電気的検査を実施することを特徴とする回路基板の検査方法。
【請求項６】
複数の異方導電性エラストマーシートと、当該複数の異方導電性エラストマーシートを支持するための長尺なフィルム状の支持体とよりなることを特徴とする異方導電性コネクター。
【請求項７】
複数の異方導電性エラストマーシートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなることを特徴とする請求項６に記載の異方導電性コネクター。
【請求項８】
長尺なフィルム状の異方導電性エラストマーシートと、当該異方導電性エラストマーシートをその両側端部の各々において支持するための支持体とよりなることを特徴とする異方導電性コネクター。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、回路基板の検査装置および回路基板の検査方法、並びに異方導電性コネクターに関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、ＢＧＡやＣＳＰ等のパッケージＬＳＩ、ＭＣＭ、その他の集積回路装置などの電子部品を構成するためのあるいは搭載するための回路基板については、電子部品を組みたてる以前にあるいは電子部品を搭載する以前に、当該回路基板の配線パターンが所期の性能を有することを確認することが必要であり、そのためにその電気的特性を検査することが行われている。かかる回路基板の検査のための検査装置としては、検査対象回路基板と、当該検査対象回路基板の複数の検査対象電極に対応するよう配列された検査用電極との間に、測定状態において複数の検査対象電極に接触するよう異方導電性エラストマーシートを介在させて当該検査対象回路基板の電気的検査を行う構成を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。【０００３】
このような回路基板の検査装置に用いられる異方導電性エラストマーシートは、厚み方向にのみ導電性を示もの、あるいは厚み方向に加圧されたときに厚み方向にのみ導電性を示す加圧導電性導電部を有するものであり、ハンダ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能であること、機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特長を有するものであることから、このような特長を利用して、電気的な接続を達成するためのコネクターとして機能している。【０００４】
一方、近年、回路基板においては、高い集積率を得るために電極サイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向にある。
このような回路基板を検査対象とする検査装置においては、検査対象回路基板の検査対象電極を、当該検査対象電極に対応する検査用回路基板の検査用電極に確実に電気的に接続するために、異方導電性エラストマーシートを、隣接する電極間の離間距離が小さい接続対象体についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能が高いものとすることが必要とされている。而して、異方導電性エラストマーシートにおいては、分解能を向上させるために、その厚みが小さくされている。【０００５】
しかしながら、異方導電性エラストマーシートは、その厚みが小さくなるに従って繰り返し使用に対する耐久性が小さいものとなり、その結果、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートを備えた検査装置においては、頻繁に異方導電性エラストマーシートの交換が必要となり、しかも、この異方導電性エラストマーシートの交換作業が、交換対象である異方導電性エラストマーシートが検査対象回路基板における検査対象電極に接触するよう表面に設けられているものであっても、当該異方導電性エラストマーシート自体のみだけでなく、この異方導電性エラストマーシートを構成要素とする、例えばアダプター装置全体を取り外してそのアダプター装置を検査装置に組み込むことが必要とされることから、この異方導電性エラストマーシートの交換作業に長時間を要することとなるため、回路基板の検査効率が低下してしまう、という問題がある。【０００６】
【特許文献１】特開平３−１８３９７４号公報
【発明の開示】
【０００７】
本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その目的は、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路基板の検査装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても、信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことのできると共に、高い検査効率の得られる回路基板の検査方法を提供することにある。
本発明の更に他の目的は、上記の回路基板の検査装置に用いられる異方導電性コネクターを提供することにある。
【０００８】
本発明の回路基板の検査装置は、検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、
複数の異方導電性エラストマーシートが長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、
異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマーシートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする。
【０００９】
本発明の回路基板の検査装置においては、異方導電性コネクターが、複数の異方導電性エラストマーシートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなる構成のものであることが好ましい。
【００１０】
本発明の回路基板の検査装置は、検査対象回路基板の複数の検査対象電極と、この検査対象電極の各々に対応するよう形成された複数の検査用電極とを、測定状態において当該複数の検査対象電極に接触するよう配置された異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続することによって当該検査対象回路基板の電気的検査を行う回路基板の検査装置において、
前記検査対象回路基板における複数の検査対象電極が配設されている検査対象電極領域に対応する検査実行領域を複数形成することのできる長尺な異方導電性エラストマーシートがその両側端部の各々において長尺なフィルム状の支持体に支持されてなる構成の異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させるための移動機構とを備えてなり、
異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートを検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させることにより測定状態が形成されることを特徴とする。
【００１１】
本発明の回路基板の検査装置においては、移動機構が、異方導電性コネクターが巻き付けられる回転自在な巻き付け軸と、駆動源によって回転される巻き取り軸とよりなることが好ましい。
【００１２】
本発明の回路基板に検査方法は、上記の回路基板の検査装置を用い、
異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマーシートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシートが検査対象回路基板の検査対象電極と検査用電極との間に介在させ、測定状態を形成することにより回路基板の電気的検査を実施することを特徴とする。
【００１３】
本発明の異方導電性コネクターは、複数の異方導電性エラストマーシートと、当該複数の異方導電性エラストマーシートを支持するための長尺なフィルム状の支持体とよりなることを特徴とする。
この異方導電性コネクターは、複数の異方導電性エラストマーシートの各々が長尺なフィルム状の支持体の長手方向に沿って形成された複数の開口を塞ぐように配置されてなることが好ましい。
【００１４】
本発明の異方導電性コネクターは、長尺なフィルム状の異方導電性エラストマーシートと、当該異方導電性エラストマーシートをその両側端部の各々において支持するための支持体とよりなることを特徴とする。
【００１５】
本発明の請求項１に係る回路基板の検査装置によれば、複数の異方導電性エラストマーシートを備えた異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させる移動機構が設けられており、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、測定に用いる異方導電性エラストマーシートとして、異方導電性コネクターを構成する複数の異方導電性エラストマーシートのうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシートを選択することができることから、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートの厚みが小さいものであることに起因して頻繁に異方導電性エラストマーシートを交換することが必要であっても、この異方導電性エラストマーシートの交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させるという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができると共に、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができる。
【００１６】
本発明の請求項３に係る回路基板の検査装置によれば、複数の検査実行領域を形成することのできる長尺な異方導電性エラストマーシートを備えた異方導電性コネクターと、当該異方導電性コネクターを移動させる移動機構が設けられており、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、この長尺な異方導電性エラストマーシートにおける一部分を検査実行領域として選択して測定に用いることができることから、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートの厚みが小さいものであることに起因してその交換が頻繁に必要であっても、この交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させ、当該異方導電性エラストマーシートにおける測定に用いる一部分を他の一部分に変更するという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができると共に、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができる。
【００１７】
本発明の回路基板の検査方法によれば、上記の回路基板の検査装置を用いることにより、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことができると共に、異方導電性エラストマーシートの交換作業を極めて短時間で行うことができることから、高い検査効率を得ることができる。
【００１８】
本発明の異方導電性コネクターは、複数の異方導電性エラストマーシートまたは長尺な異方導電性エラストマーシートを備えてなるものであることから、複数の異方導電性エラストマーシートのうちから測定に用いる一の異方導電性エラストマーシートを選択することができる、または長尺な異方導電性エラストマーシートのうちの一部分を選択して測定に用いることができるため、上記の回路基板の検査装置に用いることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本発明の第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図２】図１の回路基板の検査装置を構成する異方導電性コネクターの構成を示す説明図である。
【図３】図２の異方導電性コネクターの断面を示す説明図である。
【図４】図２の異方導電性コネクターを製造するための一面側成形部材、一面側スペーサー、支持体、他面側成形部材および他面側スペーサーを示す説明用断面図である。
【図５】他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。
【図６】一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図７】図６に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。
【図８】図６に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。
【図９】本発明の回路基板の検査装置の他の例を構成する異方導電性コネクターを示す説明図である。
【図１０】図９の異方導電性コネクターの断面を示す説明図である。
【図１１】本発明の第３の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図１２】図１１に示す回路基板の検査装置における上部側アダプター装置を拡大して示す説明用断面図である。
【図１３】複合電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。
【図１４】積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１５】積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１６】複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。
【図１７】複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１８】複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図１９】複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。
【図２０】本発明の第４の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。
【図２１】図２０に示す回路基板の検査装置における上部側アダプター装置を拡大して示す説明用断面図である。
【図２２】図２１に示す回路基板の検査装置における電極シートの要部を拡大して示す平面図である。
【図２３】電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。
【図２４】積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２５】積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２６】積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。
【図２７】図２１に示す回路基板の検査装置において、被検査回路基板の上面被検査電極が検査電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説明用断面図である。
【図２８】異方導電性コホクターにおける異方導電性エラストマーシートの変形例を示す説明用断面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１    検査対象回路基板（被検査回路基板）
２    上面検査対象電極（上面被検査電極）
３    下面検査対象電極（下面被検査電極）
１８    ホルダー
１９    位置決めピン
２１Ａ    上部側アダプター装置
２１Ｂ    下部側アダプター装置
２２Ａ    上部側検査ヘッド
２２Ｂ    下部側検査ヘッド
２３Ａ、２３Ｂ    検査電極装置
２４Ａ、２４Ｂ    検査用電極
２５Ａ、２５Ｂ    異方導電性エラストマーシート
２６Ａ、２６Ｂ    電線
２７Ａ、２７Ｂ    支柱
２８Ａ    上部側支持板
２８Ｂ    下部側支持板
２９Ａ、２９Ｂ    コネクター
３１Ａ、３１Ｂ    アダプター本体
３２Ａ、３２Ｂ    接続用電極
３３Ａ、３３Ｂ    端子電極
３５Ａ，３５Ｂ    異方導電性エラストマーシート
３６Ａ，３６Ｂ    異方導電性エラストマーシート
３７    導電路形成部
３８    絶縁部
４０Ａ、４０Ｂ    異方導電性コネクター
４１    異方導電性エラストマーシート
４１ａ    導電路形成部
４１ｂ    絶縁部
４２    支持体
４３    開口
４４    スプロケット孔
４６    巻き付け軸
４７    巻き取り軸
５１Ａ    一面側成形部材
５１Ｂ    他面側成形部材
５２Ａ    一面側スペーサー
５２Ｂ    他面側スペーサー
５３Ａ、５３Ｂ    開口
５４    加圧ロール装置
５５    加圧ロール
５６    支持ロール
５８    導電性エラストマー用材料層
５９    導電性エラストマー用材料
６１    異方導電性エラストマーシート
６２    支持体
６４    スプロケット孔
７０Ａ，７０Ｂ    複合電極シート
７０ａ    複合積層材料
７０ｂ    積層材料
７１    絶縁性シート
７１Ｈ    貫通孔
７２    コア電極
７２ａ    胴部
７２ｂ    端子部
７３Ａ    金属層
７３Ｂ    金属薄層
７３Ｋ    開口
７４    レジスト膜
７４Ｈ    パターン孔
８０Ａ，８０Ｂ    電極シート
８０ａ    積層材料
８０Ｈ    貫通孔
８１    絶縁性シート
８２    貫通孔
８３    リング状電極
８４    中継電極
８５    短絡部
８６    配線部
８６ａ    金属層
８８    異方導電性エラストマーシート
８９    貫通孔
９０Ａ，９０Ｂ    複合電極シート
９１    絶縁性シート
９２    貫通孔
９５    検査用コア電極
９５ａ    胴部
９５ｂ    端子部
９６    接続用コア電極
９６ａ    胴部
９６ｂ    端子部
Ｐ    導電性粒子
Ｅ    検査実行領域
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
＜第１の実施の形態＞
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。
この回路基板の検査装置は、上面に複数の上面検査対象電極（以下、「上面被検査電極」ともいう。）２、下面に複数の下面検査対象電極（以下、「下面被検査電極」ともいう。）３が形成されたプリント回路基板などの検査対象回路基板（以下、「被検査回路基板」ともいう。）１について、例えばオープン・ショット試験などの電気的検査を行うものであって、ホルダー１８によって検査実行領域Ｅに保持され、当該ホルダー１８に設けられた位置決めピン１９によって当該検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置される被検査回路基板１の上面側に配置される、当該被検査回路基板１の上面被検査電極２の各々に対応するよう同数形成されている複数の検査用電極２４Ａを有する検査電極装置２３Ａを備えた上部側検査ヘッド２２Ａと、被検査回路基板１の下面側に配置される、当該被検査回路基板１の下面被検査電極３の各々に対応するよう同数形成されている複数の検査用電極２４Ｂを有する検査電極装置２３Ｂを備えた下部側検査ヘッド２２Ｂとが、上下に互いに対向するよう配置されてなるものであり、上部側検査ヘッド２２Ａは、支柱２７Ａによってその上方に配置されている上部側支持板２８Ａに固定され、一方、下部側検査ヘッド２２Ｂは、支柱２７Ｂによってその下方に配置されている下部側支持板２８Ｂに固定されている。【００２２】
そして、上部側検査ヘッド２２Ａの下方には、測定状態において、上面被検査電極２と接触するよう配置され、当該上面被検査電極２と検査用電極２４Ａとの間に介在した状態とされる異方導電性エラストマーシート４１（図２および図３参照）を有する上部側アダプター装置２１Ａが設けられており、一方、下部側検査ヘッド２２Ｂの上方には、測定状態において、下面被検査電極３と接触するよう配置され、当該下面被検査電極３と検査用電極２４Ｂとの間に介在した状態とされる異方導電性エラストマーシート４１を有する下部側アダプター装置２１Ｂが設けられている。
ここに、「測定状態」とは、例えば上部側アダプター装置２１Ａと下部側アダプター装置２１Ｂとの間に被検査回路基板１が挟圧されることにより、異方導電性エラストマーシート４１がその厚さ方向に押圧された状態を意味する。【００２３】
上部側アダプター装置２１Ａは、その表面（図１において下面）に、被検査回路基板１の上面被検査電極２のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極３２Ａが配置された接続用電極領域が形成された多層配線板よりなるアダプター本体３１Ａを備えており、このアダプター本体３１Ａの裏面（図１において上面）には、例えばピッチが０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．５ｍｍ、０．７５ｍｍ、０．８ｍｍ、１．０６ｍｍ、１．２７ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍまたは２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極３３Ａが配置され、これらの端子電極３３Ａの各々は、内部配線部（図示省略）によって接続用電極３２Ａに電気的に接続されている。【００２４】
そして、上部側アダプター装置２１Ａには、アダプター本体３１Ａと共に、複数の異方導電性エラストマーシート４１が長尺なフィルム状の支持体４２（図２および図３参照）に支持されてなる構成の異方導電性コネクター４０Ａと、当該異方導電性コネクター４０Ａを移動させるための移動機構とが設けられている。
この上部側アダプター装置２１Ａは、測定状態においては、アダプター本体３１Ａの表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクター４０Ａを構成するいずれか一の異方導電性エラストマーシート４１が当該アダプター本体３１Ａに接するよう配置され、この状態において異方導電性コネクター４０Ａがアダプター本体３１Ａに適宜の手段（図示省略）によって固定されることとなる。【００２５】
下部側アダプター装置２１Ｂは、その表面（図１において上面）に、被検査回路基板１の下面被検査電極３のパターンに対応する特定のパターンに従って複数の接続用電極３２Ｂが配置された接続用電極領域が形成された多層配線板よりなるアダプター本体３１Ｂを備えており、このアダプター本体３１Ｂの裏面（図１において下面）には、例えばピッチが０．２ｍｍ、０．３ｍｍ、０．４５ｍｍ、０．５ｍｍ、０．７５ｍｍ、０．８ｍｍ、１．０６ｍｍ、１．２７ｍｍ、１．５ｍｍ、１．８ｍｍまたは２．５４ｍｍの格子点位置に従って複数の端子電極３３Ｂが配置され、これらの端子電極３３Ｂの各々は、内部配線部（図示省略）によって接続用電極３２Ｂに電気的に接続されている。【００２６】
そして、下部側アダプター装置２１Ｂには、アダプター本体３１Ｂと共に、複数の異方導電性エラストマーシート４１が長尺なフィルム状の支持体４２（図２および図３参照）に支持されてなる構成の異方導電性コネクター４０Ｂと、当該異方導電性コネクター４０Ｂを移動させるための移動機構とが設けられている。
この下部側アダプター装置２１Ｂは、測定状態においては、アダプター本体３１Ｂの表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクター４０Ｂを構成するいずれか一の異方導電性エラストマーシート４１が当該アダプター本体３１Ｂに接するよう配置され、この状態において異方導電性コネクター４０Ｂがアダプター本体３１Ｂに適宜の手段（図示省略）によって固定されることとなる。【００２７】
上部側アダプター装置２１Ａおよび上部側アダプター装置２１Ｂを構成する異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂは、各々、図２および図３に示すように、その長手方向に沿って複数の開口４３が等間隔で形成された長尺なフィルム状の支持体４２と、この支持体４２の複数の開口４３を塞ぐように配置され、当該支持体４２に一体的に接着されることによって支持された異方導電性エラストマーシート４１とよりなる構成を有するものである。
図の例において、異方導電性エラストマーシート４１は、支持体４２の一面（図３における上面）および他面（図３における下面）の各々から突出した状態に配置されており、また、支持体４２の両方の縁部には、長手方向に沿って等間隔で配列された円状の孔よりなるスプロケット孔４４が穿設されている。【００２８】
支持体４２の開口４３は、被検査回路基板１における上面被検査電極２または下面被検査電極３が配設されている検査対象電極領域、およびアダプター本体３１Ａ、３１Ｂの各々に係る接続用電極領域に対応する形状を有するものであり、その大きさが接続用電極領域よりも大きいものであることが好ましい。【００２９】
支持体４２を構成する材料としては、金属材料や非金属材料を用いることができる。
金属材料の具体例としては、ステンレス、インバーなどのインバー型合金、エリンバーなどのエリンバー型合金、スーパーインバー、コバール、４２合金などの磁性金属の合金または合金鋼、金、銀、銅、鉄、ニッケル、コバルト若しくはこれらの合金などを挙げることができる。
また、非金属材料の具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを挙げることができる。
また、支持体４２の厚みは、１０〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜２００μｍである。【００３０】
異方導電性エラストマーシート４１は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐ（図８参照）が、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。【００３１】
異方導電性エラストマーシート４１を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０-1ｓｅｃで１０5 ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシート４１に良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。）が２以下のものが好ましい。【００３２】
異方導電性エラストマーシート４１に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。【００３３】
導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。【００３４】
また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。【００３５】
このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート４１中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストーシートとして必要な弾性が得られないことがある。【００３６】
また、異方導電性エラストマーシート４１の厚みは、５〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜１００μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。【００３７】
異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂは、以下のようにして製造することができる。
先ず、図４に示すように、その長手方向に沿って複数の開口４３が等間隔で形成された長尺なフィルム状の支持体４２と、それぞれシート状の一面側成形部材５１Ａおよび他面側成形部材５１Ｂと、それぞれ目的とする異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂの各々に係る異方導電性エラストマーシート４１の平面形状に適合する形状の開口５３Ａ、５３Ｂを有すると共に当該異方導電性エラストマーシート４１の支持体４２からの突出高さに対応する厚みを有する枠状の一面側スペーサー５２Ａおよび他面側スペーサー５２Ｂとを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図５に示すように、他面側成形部材５１Ｂの成形面（図５において上面）上に他面側スペーサー５２Ｂを配置し、この他面側スペーサー５２Ｂ上に支持体４２を、当該他面側スペーサー５２Ｂの開口５３Ｂと支持体４２の開口４３とが重ね合うよう配置し、更に支持体４２上に一面側スペーサー５２Ａを、当該支持体４２の開口４３と一面側スペーサー５２Ａの開口５３Ａとが重ね合うよう配置し、他面側成形部材５１Ｂの成形面上における他面側スペーサー５２Ｂの開口５３Ｂ、支持体４２の開口４３および一面側スペーサー５２Ａの開口５３Ａよりなる空間内に、調製した導電性エラストマー用材料５９を塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料５９上に一面側成形部材５１Ａをその成形面（図５において下面）が導電性エラストマー用材料５９に接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材５１Ａおよび他面側成形部材５１Ｂとしては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材５１Ａおよび他面側成形部材５１Ｂを構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。【００３８】
次いで、図６に示すように、加圧ロール５５および支持ロール５６よりなる加圧ロール装置５４を用い、一面側成形部材５１Ａおよび他面側成形部材５１Ｂによって導電性エラストマー用材料５９を挟圧することにより、当該一面側成形部材５１Ａと当該他面側成形部材５１Ｂとの間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層５８を形成する。この導電性エラストマー用材料層５８においては、図７に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材５１Ａの裏面（図６において上面）および他面側成形部材５１Ｂの裏面（図６において下面）に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層５８の厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層５８においては、当該導電性エラストマー用材料層５８中に分散されている導電性粒子Ｐが、図８に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層５８を硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる異方導電性エラストマーシート４１を支持体４２に支持された状態で複数有する異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂが製造される。【００３９】
以上において、導電性エラストマー用材料層５８の硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。  導電性エラストマー用材料層５８に作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層５８の硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層５８を構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。【００４０】
移動機構は、異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂの各々が巻き付けられる回転自在な巻き付け軸４６と、駆動源によって回転される巻き取り軸４７とよりなり、異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂが巻き付け軸４６から巻き取り軸４７に至る移動路がアダプター本体３１Ａ、３１Ｂの各々の表面に沿うよう形成されており、この巻き付け軸４６と巻き取り軸４７とがアダプター本体３１Ａ、３１Ｂの両側端において当該アダプター本体３１Ａ、３１Ｂを介して対向するよう配置されている。    
この移動機構は、巻き付け軸４６に巻回されている状態の異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを、巻き取り軸４７を駆動して回転させ、これにより巻き取ることにより、当該異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを移動路に沿って移動させ、アダプター本体３１Ａ、３１Ｂの表面における接続用電極領域の直上に複数の異方導電性エラストマーシート４１のうちの一の異方導電性エラストマーシート４１が位置した状態においてその移動を停止させ、これにより、当該一の異方導電性エラストマーシート４１を所定の位置に配置する構成のものである。
図の例において、巻き付け軸４６および巻き取り軸４７には、各々、幅方向の両側部に異方導電性エラストマーシート４１における支持体４２に形成されているスプロケット孔４４と同一ピッチで当該スプロケット孔４４が係入される円錐状のスプロケット（図示省略）が突出形成されており、これらの巻き付け軸４６および巻き取り軸４７の各々においては、異方導電性エラストマーシート４１における支持体４２のスプロケット孔４４が当該巻き付け軸４６あるいは巻き取り軸４７のスプロケットに係入することによって当該異方導電性エラストマーシート４１が巻回されている。【００４１】
上部側検査ヘッド２２Ａは、板状の検査電極装置２３Ａと、この検査電極装置２３Ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート２５Ａとにより構成されている。
検査電極装置２３Ａは、その下面に上部側アダプター装置２１Ａの端子電極３３Ａと同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査用電極２４Ａを有し、これらの検査用電極２４Ａの各々は、電線２６Ａによって、上部側支持板２８Ａに設けられたコネクター２９Ａに電気的に接続され、更に、このコネクター２９Ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
異方導電性エラストマーシート２５Ａは、その厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマーシート２５Ａとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。【００４２】
下部側検査ヘッド２２Ｂは、板状の検査電極装置２３Ｂと、この検査電極装置２３Ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性エラストマーシート２５Ｂとにより構成されている。
検査電極装置２３Ｂは、その上面に下部側アダプター装置２１Ｂの端子電極３３Ｂと同一のピッチの格子点位置に配列された複数のピン状の検査用電極２４Ｂを有し、これらの検査用電極２４Ｂの各々は、電線２６Ｂによって、下部側支持板２８Ｂに設けられたコネクター２９Ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター２９Ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
異方導電性エラストマーシート２５Ｂは、上部側検査ヘッド２２Ａに係る異方導電性エラストマーシート２５Ａと同様に、その厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性エラストマーシート２５Ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。【００４３】
このような回路基板の検査装置においては、検査対象である被検査回路基板１がホルダー１８によって検査実行領域Ｅに保持されると共に、上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの各々において、異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを構成するいずれか一の異方導電性エラストマーシート４１がアダプター本体３１Ａ、３１Ｂに接続用電極領域おいて接するよう配置されて固定され、この状態で、上部側支持板２７Ａおよび下部側支持板２７Ｂの各々が被検査回路基板１に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板１が上部側検査ヘッド２２Ａおよび下部側検査ヘッド２２Ｂによって挟圧される。
この状態においては、被検査回路基板１の上面被検査電極２は、上部側アダプター装置２１Ａにおける接続用電極３２Ａに、異方導電性コネクター４０Ａにおける一の異方導電性エラストマーシート４１を介して電気的に接続され、この上部側アダプター装置２１Ａの端子電極３３Ａは、異方導電性エラストマーシート２５Ａを介して検査電極装置２３Ａの検査等電極２４Ａに電気的に接続されている。一方、被検査回路基板１の下面被検査電極３は、下部側アダプター装置２１Ｂにおける接続用電極３２Ｂに、異方導電性コネクター４０Ｂにおける一の異方導電性エラストマーシート４１を介して電気的に接続され、この下部側アダプター装置２１Ｂの端子電極３３Ｂは、異方導電性エラストマーシート２５Ｂを介して検査電極装置２３Ｂの検査用電極２４Ｂに電気的に接続されている。【００４４】
このようにして、被検査回路基板１の上面被検査電極２および下面被検査電極３の各々が、上部側検査ヘッド２２Ａにおける検査電極装置２３Ａの検査用電極２４Ａおよび下部側検査ヘッド２２Ｂにおける検査電極装置２３Ｂの検査用電極２４Ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成され、この状態で所要の電気的検査が行われる。【００４５】
そして、この回路基板の検査装置においては、回路基板の電気的検査を繰り返し行うことによって上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの各々を構成する異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂにおける一の異方導電性エラストマーシート４１が劣化した場合には、巻き取り軸４７を回転させることによって巻き付け軸４６に巻回されている異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを当該巻き取り軸４７に向かう方向に移動させ、上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの各々に係るアダプター本体３１Ａ、３１Ｂの表面における接続用電極領域上に位置している使用済みの異方導電性エラストマーシート４１を巻き取り軸４７に巻回させると共に、この使用済みの異方導電性エラストマーシート４１に隣接した未使用の異方導電性エラストマーシート４１を接続用電極領域上に配置させ、適宜の手段によって固定することにより、測定に用いられる異方導電性エラストマーシート４１の交換作業を実行することができる。【００４６】
従って、このような回路基板の検査装置によれば、巻き付け軸４６および巻き取り軸４７よりなる移動機構によって異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを移動させることにより、測定に用いる異方導電性エラストマーシートとして、異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを構成する複数の異方導電性エラストマーシート４１のうちのいずれか一の異方導電性エラストマーシート４１を選択することができることから、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことを目的として異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを構成する異方導電性エラストマーシート４１として厚みの小さいものを用いた場合であっても、この異方導電性エラストマーシート４１の厚みが小さいものであることに起因して頻繁に異方導電性エラストマーシート４１を交換することが必要となるが、この異方導電性エラストマーシート４１の交換作業を、異方導電性エラストマーシート自体のみだけでなく、この異方導電性エラストマーシートを構成要素とするアダプター装置全体を取り外し、このアダプター装置から使用済みの異方導電性エラストマーシートを取り外して未使用の異方導電性エラストマーシートに交換した後、そのアダプター装置を検査装置に組み込む、という従来の回路基板の検査装置における異方導電性エラストマーシートの交換作業に必要とされていたアダプター装置の取り外しおよび組立操作を行うことなく、移動機構によって異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを移動させ、異方導電性エラストマーシート４１自体のみを交換するという容易な操作によって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができる。【００４７】
＜第２の実施の形態＞
第２の実施の形態に係る回路基板の検査装置は、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置において、図２および図３に示される構成の異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂの各々に代えて、被検査回路基板１における上面被検査電極２または下面被検査電極３が配設されている検査対象電極領域に対応する検査実行領域を複数形成することのできる長尺な異方導電性エラストマーシートが、その両側端部において長尺なフィルム状の支持体に支持されなる構成の異方導電性コネクターを備えていること以外は図１に係る回路基板の検査装置と同様の構成を有するものである。【００４８】
この回路基板の検査装置においては、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々は、測定状態において、アダプター本体の表面における接続用電極領域上に、異方導電性コネクターを構成する長尺な異方導電性エラストマーシートの一部分が当該アダプター本体に接するように配置され、この状態において異方導電性コネクターがアダプター本体に適宜の手段によって固定されることとなる。【００４９】
この回路基板の検査装置を構成する異方導電性コネクターは、例えば図９および図１０に示すように、長尺な異方導電性エラストマーシート６１と、この異方導電性エラストマーシート６１を、その両側端部の各々において、適宜の手段により一体的に接着されることによって支持する長尺なフィルム状の支持体６２、６２とよりなる構成を有するものである。
この図の例において、異方導電性エラストマーシート６１は、支持体６２、６２により、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成するアダプター本体と接触する面の逆面、すなわち測定状態において被検査回路基板における上面被検査電極または下面被検査電極に接触する面に、当該支持体６２、６２の各々の一面（図１０において右面）が接着された状態で支持されており、また、異方導電性コネクターの両方の縁部には、長手方向に沿って等間隔で配列された円状の孔よりなるスプロケット孔６４が穿設されている。【００５０】
支持体６２、６２間の離間距離は、被検査回路基板における上面被検査電極または下面被検査電極が配設されている検査対象電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向（図１における紙面に垂直な方向）の長さ、および上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成するアダプター本体に係る接続用電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向の長さ（図１における紙面に垂直な方向）に対応し、これらの検査対象電極領域および接続用電極領域の異方導電性コネクターの移動方向に垂直な方向の長さよりも大きいことが好ましい。【００５１】
支持体６２を構成する材料としては、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置に係る異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを構成する支持体４２を構成する材料として例示したものを用いることができる。
また、支持体６２の厚みは、１０〜２５０μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜２００μｍである。【００５２】
異方導電性エラストマーシート６１としては、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置に係る異方導電性コネクター４０Ａ、４０Ｂを構成する異方導電性エラストマーシート４１と同様の構成のものが用いられる。
また、異方導電性エラストマーシート６１の厚みは、５〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜１００μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。【００５３】
このような構成の異方導電性コネクターは、例えば長尺なフィルム状の異方導電性エラストマーシート用部材と、当該異方導電性エラストマーシート用部材と同様の全長を有する支持体用部材とを用意し、これらを適宜の手段によって接着することによって異方導電性エラストマーシート用部材の一面における両側端部の各々に支持体用部材が一体的に貼り合わせられてなるシート体を形成し、この得られたシート体の両方の縁部に貫通孔を等間隔で形成することにより、製造することができる。【００５４】
このような回路基板の検査装置においては、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々において、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシート６１の一部分が検査実行領域としてアダプター本体に接続用電極領域において接するよう配置されて固定され、この状態で被検査回路基板が上部側検査ヘッドおよび下部側検査ヘッドに挟圧されることにより、同様にして異方導電性エラストマーシート６１を介して被検査回路基板の上面被検査電極および下面被検査電極の各々が、上部側検査ヘッドにおける検査電極装置の検査用電極および下部側検査ヘッドにおける検査電極装置の検査用電極の各々に電気的に接続されて所要の電気的検査が行われる。【００５５】
そして、この回路基板の検査装置においては、回路基板の電気的検査を繰り返し行うことによって上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々を構成する異方導電性コネクターにおける異方導電性エラストマーシート６１の一部分が劣化した場合には、巻き取り軸を回転させることによって巻き付け軸に巻回されている異方導電性コネクターを当該巻き取り軸に向かう方向に移動させ、上部側アダプター装置および下部側アダプター装置の各々に係るアダプター本体の表面における接続用電極領域上に位置している使用済みの異方導電性エラストマーシートの一部分を巻き取り軸に巻回させると共に、この使用済みの異方導電性エラストマーシートの一部分に連続する未使用の異方導電性エラストマーシート６１の他の一部分を接続用電極領域上に配置させ、適宜の手段によって固定することにより、異方導電性エラストマーシート６１の交換作業を実行することができる。      【００５６】
従って、このような回路基板の検査装置によれば、巻き付け軸および巻き取り軸よりなる移動機構によって異方導電性コネクターを移動させることにより、この異方導電性コネクターを構成する長尺な異方導電性エラストマーシートにおける一部分を検査実行領域として選択して測定に用いることができることから、検査対象電極のサイズおよびピッチまたは離間距離が小さい回路基板についても信頼性の高い回路基板の電気的検査を行うことを目的として異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシート６１として厚みの小さいものを用いた場合であっても、この異方導電性エラストマーシート６１の厚みが小さいものであることに起因して頻繁に交換が必要となるが、この交換作業を、移動機構によって異方導電性コネクターを移動させ、当該異方導電性エラストマーシート６１における測定に用いる一部分を他の一部分に変更するという容易な操作のみによって短時間で行うことができるため、高い検査効率を得ることができる。【００５７】
＜第３の実施の形態＞
図１１は、本発明の第３の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。
この回路基板の検査装置において、上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの各々には、アダプター本体３１Ａ，３１Ｂの表面上に、異方導電性エラストマーシート３５Ａ，３５Ｂを介して複合電極シート７０Ａ，７０Ｂが設けられている。また、この回路基板の検査装置において、被検査回路基板１は、その両面の各々に、例えば半田バンプよりなる突起状の上面被検査電極２および下面被検査電極３を有するものである。この回路基板の検査装置におけるその他の具体的な構成は、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置と基本的に同様である。【００５８】
上部側アダプター装置２１Ａにおける異方導電性エラストマーシート３５Ａは、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。異方導電性エラストマーシート３５Ａを構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、異方導電性コネクター４０Ａ，４０Ｂにおける異方導電性エラストマーシートと同様のものを用いることができる。【００５９】
上部側アダプター装置２１Ａにおける複合電極シート７０Ａは、図１２に示すように、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔７１Ｈが被検査回路基板１の上面被検査電極２のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート７１と、この絶縁性シート７１の各貫通孔７１Ｈに当該絶縁性シート７１の両面の各々から突出するよう配置された複数のコア電極７２とにより構成されている。
コア電極７２の各々は、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈに挿通された円柱状の胴部７２ａと、この胴部７２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート７１の両面に露出する端子部７２ｂとにより構成されている。コア電極７２における胴部７２ａの長さは、絶縁性シート７１の厚みより大きく、また、当該胴部７２ａの径は、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径より小さいものとされており、これにより、当該コア電極７２は、絶縁性シート７１の厚み方向に移動可能とされている。また、コア電極７２における端子部７２ｂの径は、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径より大きいものとされている。【００６０】
絶縁性シート７１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、複合電極シート７０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート７１として、線熱膨張係数が３×１０-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０-6〜２×１０-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０-6〜６×１０-6／Ｋである。このような絶縁性シート１１を用いることにより、当該絶縁性シート１１の熱膨張によるコア電極７２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート７１の厚みｄは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。【００６１】
コア電極７２を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
コア電極７２における胴部７２ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、当該コア電極７２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径とコア電極７２における胴部７２ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート７１の厚み方向に対してコア電極７２を移動させることが困難となることがある。
コア電極７２における端子部７２ｂの径は、上面被検査電極２の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、コア電極７２における端子部７２ｂの径と絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、コア電極７２が絶縁性シート７１から脱落する恐れがある。
コア電極７２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート７１の厚み方向におけるコア電極７２の移動可能距離、すなわちコア電極７２における胴部７２ａの長さと絶縁性シート７１の厚みとの差は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。コア電極７２の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、コア電極７２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈから露出するコア電極７２の胴部７２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、コア電極７２の胴部７２ａが座屈または損傷するおそれがある。【００６２】
このような複合電極シート７０Ａは、例えば以下のようにして製造することができる。  先ず、図１３に示すように、絶縁性シート７１の一面に易エッチング性の金属層７３Ａが一体的に積層されてなる積層材料７０ｂを用意し、この積層材料７０ｂにおける金属層７３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１４に示すように、金属層７３Ａに上面被検査電極２のパターンに対応するパターンに従って複数の開口７３Ｋを形成する。次いで、図１５に示すように、積層材料１０ｂにおける絶縁性シート７１に、それぞれ金属層７３Ａの開口７３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔７１Ｈを形成する。そして、図１６に示すように、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの内壁面および金属層７３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層７３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔７１Ｈが形成された絶縁性シート７１と、この絶縁性シート７１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈに連通する複数の開口７３Ｋを有する易エッチング性の金属層７３Ａと、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの内壁面および金属層７３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層７３Ｂとを有してなる複合積層材料１０ａが製造される。
以上において、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層７３Ａおよび金属薄層７３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層７３Ａの厚みは、目的とするコア電極７２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層７３Ｂの厚みは、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの径と形成すべきコア電極７２における胴部７２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層７３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。【００６３】
そして、この複合積層材料１０ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈの各々にコア電極７２を形成する。具体的に説明すると、図１７に示すように、絶縁性シート７１の一面に形成された金属層７３Ａの表面および絶縁性シート１１の他面の各々に、形成すべきコア電極７２における端子部７２ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈに連通する複数のパターン孔７４Ｈが形成されたレジスト膜７４を形成する。次いで、金属層７３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層７３Ａにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層７３Ｂの表面に金属を堆積させて絶縁性シート７１の貫通孔７１Ｈ内およびレジスト膜７４のパターン孔７４Ｈ内に金属を充填することにより、図１８に示すように、絶縁性シート７１の厚み方向に伸びるコア電極７２を形成する。
このようにしてコア電極７２を形成した後、金属層７３Ａの表面からレジスト膜７４を除去することにより、図１９に示すように、金属層７３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層７３Ａおよび金属薄層７３Ｂを除去することにより、図１１に示す複合電極シート７０Ａが得られる。【００６４】
下部側アダプター装置２１Ｂにおける異方導電性エラストマーシート３５Ｂおよび複合電極シート７０Ｂは、上部側アダプター装置２１Ａにおける異方導電性エラストマーシート３５Ａおよび複合電極シート７０Ａと基本的に同様の構成である。【００６５】
このような回路基板の検査装置によれば、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置と同様の効果に加えて、以下の効果が得られる。
すなわち、複合電極シート７０Ａ，７０Ｂにおけるコア電極７２の各々が、絶縁性シート７１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、上面被検査電極２および下面被検査電極３によって厚み方向に加圧されたときには、異方導電性コネクター４０Ａ，４０Ｂにおける異方導電性エラストマーシート４１および当該複合電極シート７０Ａ，７０Ｂの他面に配置された異方導電性エラストマーシート３５Ａ，３５Ｂは、コア電極７２が移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの凹凸吸収能として発現され、従って、高い凹凸吸収能を得ることができる。
また、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、異方導電性コネクター４０Ａ，４０Ｂにおける異方導電性エラストマーシート４１および異方導電性エラストマーシート３５Ａ，３５Ｂの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、隣接する上面被検査電極２間または隣接する下面被検査電極３間の離間距離が小さく、電極の高さレベルにバラツキがある被検査回路基板１についても、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を確実に達成することができる。【００６６】
＜第４の実施の形態＞
図２０は、本発明の第４の実施の形態に係る回路基板の検査装置の構成を、検査対象回路基板と共に示す説明用断面図である。この回路基板の検査装置は、被検査回路基板１について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うために用いられるものである。
この回路基板の検査装置において、上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂの各々には、アダプター本体に代えて、電極シート８０Ａ，８０Ｂと、この電極シート８０Ａ，８０Ｂの裏面に配置された異方導電性エラストマーシート８８Ａ，８８Ｂと、この異方導電性エラストマーシート８８Ａ，８８Ｂの裏面に配置された複合電極シート９０Ａ，９０Ｂとが設けられている。また、この回路基板の検査装置において、被検査回路基板１は、その両面の各々に、例えば半田バンプよりなる突起状の上面被検査電極２および下面被検査電極３を有するものである。また、上部側アダプター装置２１Ａと上部側検査ヘッド２２Ａとの間に配置された異方導電性エラストマーシート３６Ａは、図２１に示すように、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部３７が絶縁部３８によって相互に絶縁されてなるものであり、下部側アダプター装置２１Ｂと下部側検査ヘッド２２Ｂとの間に配置された異方導電性エラストマーシート３６Ｂも、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部が絶縁部によって相互に絶縁されてなるものである。この回路基板の検査装置におけるその他の具体的な構成は、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置と基本的に同様である。【００６７】
上部側アダプター装置２１Ａにおける電極シート８０Ａは、被検査回路基板１における上面被検査電極２のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔８２が形成された柔軟な絶縁性シート８１を有する。この絶縁性シート８１の表面には、図２２にも示すように、当該絶縁性シート８１の貫通孔８２の各々を包囲するよう複数のリング状電極８３が形成されている。また、絶縁性シート８１の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極８４が形成されている。図示の例では、中継電極８４の各々は、絶縁性シート８１の貫通孔８２の間の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極８４の各々は、絶縁性シート８１をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部８５および絶縁性シート８１の表面に形成された配線部８６を介して、リング状電極８３に電気的に接続されている。【００６８】
絶縁性シート８１を構成する材料としては、高い機械的強度を有する樹脂材料を用いることが好ましく、その具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。
また、リング状電極８３、中継電極８４、短絡部８５および配線部８６を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
絶縁性シート８１の厚みは、当該絶縁性シート８１が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜３０μｍである。
絶縁性シート８１の貫通孔８２の径は、後述する複合電極シート９０Ａの検査用コア電極９５が移動可能に挿入される得る大きさであればよく、例えば検査用コア電極９５の径の１．０５〜２倍、好ましくは１．１〜１．７倍である。
リング状電極８３の内径は、当該リング状電極８３に電気的に接続される被検査電極の径に応じて設定され、被検査電極に対する電気的接続を確実に達成することができる点で、被検査電極の径の５０〜１１０％であることが好ましく、より好ましくは７０〜１００％である。
また、リング状電極８３の内径は、後述する複合電極シート９０Ａにおける検査用コア電極９５との絶縁性を確保する観点から、検査用コア電極９５の径の１．１〜２倍であることが好ましく、より好ましくは１．２〜１．７倍である。【００６９】
このような電極シート８０Ａは、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図２３に示すように、絶縁性シート８１の表面に金属層８６ａが形成されてなる積層材料８０ａを用意し、この積層材料８０ａに、図２４に示すように、絶縁性シート８１および金属層８６ａの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔８０Ｈを、形成すべき電極シート８０Ａの短絡部８５のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔８０Ｈが形成された積層材料８０ａに対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことにより、図２５に示すように、絶縁性シート８１の裏面に中継電極８４を形成すると共に、当該中継電極８４と金属層８６ａとを電気的に接続する、当該絶縁性シート８１の厚み方向に伸びる短絡部８５を形成する。その後、金属層８６ａに対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図２６に示すように、絶縁性シート８１の表面にリング状電極８３および配線部８６を形成する。そして、リング状電極８３をマスクとして絶縁性シート８１にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁性シート８１に貫通孔８２を形成し、以て電極シート８０Ａが得られる。【００７０】
上部側アダプター装置２１Ａにおける異方導電性エラストマーシート８８Ａは、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。異方導電性エラストマーシート８８Ａを構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、異方導電性コネクター４０Ａ，４０Ｂにおける異方導電性エラストマーシート４１と同様のものを用いることができる。
この異方導電性エラストマーシート８８Ａには、それぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔８９が、被検査回路基板１における上面被検査電極２のパターンに対応するパターンに従って形成されている。
異方導電性エラストマーシート８８Ａの貫通孔１９の径は、後述する第２の電極シート９０Ａの検査用コア電極８５が移動可能に挿入される得る大きさであればよく、例えば検査用コア電極８５の径の１．１〜２倍、好ましくは１．２〜１．７倍である。
異方導電性エラストマーシート８８Ａの貫通孔８９は、例えばレーザー加工を施すことによって形成することができる。【００７１】
上部側アダプター装置２１Ａにおける複合電極シート９０Ａは、被検査回路基板１の上面被検査電極２のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極９５と、電極シート８０Ａにおける中継電極８４のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極９６と、検査用コア電極９５および接続用コア電極９６の各々を支持する絶縁性シート９１とにより構成されている。具体的には、絶縁性シート９１には、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔９２が、被検査回路基板１の上面被検査電極２のパターンに対応するパターンおよび電極シート８０Ａにおける中継電極８４のパターンに対応するパターンに従って形成されており、この絶縁性シート９１の各貫通孔９２に、検査用コア電極９５および接続用コア電極９６の各々が当該絶縁性シート９１の両面の各々から突出するよう配置されている。
検査用コア電極９５の各々は、絶縁性シート９１の貫通孔９２に挿通された円柱状の胴部９５ａと、この胴部９５ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート９１の両面に露出する端子部９５ｂとにより構成されている。検査用コア電極９５における胴部９５ａの長さは、絶縁性シート９１の厚みより大きく、また、当該胴部９５ａの径は、絶縁性シート９１の貫通孔９２の径より小さいものとされており、これにより、当該検査用コア電極９５は、絶縁性シート９１の厚み方向に移動可能とされている。また、検査用コア電極９５における端子部９５ｂの径は、絶縁性シート９１の貫通孔９２の径より大きいものとされている。
接続用コア電極９６の各々は、絶縁性シート９１の貫通孔９２に挿通された円柱状の胴部９６ａと、この胴部９６ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート２１の両面に露出する端子部９６ｂとにより構成されている。接続用コア電極９６における胴部９６ａの長さは、絶縁性シート９１の厚みより大きく、また、当該胴部９６ａの径は、絶縁性シート９１の貫通孔９２の径より小さいものとされており、これにより、当該接続用コア電極９６は、絶縁性シート９１の厚み方向に移動可能とされている。また、接続用コア電極９６における端子部９６ｂの径は、絶縁性シート９１の貫通孔９２の径より大きいものとされている。【００７２】
複合電極シート９０Ａにおける絶縁性シート９１を構成する材料並びに絶縁性シート９１およびその貫通孔の具体的な寸法は、第３の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートにおける絶縁性シートと同様である。
また、複合電極シート９０Ａにおける検査用コア電極９５および接続用コア電極９６を構成する材料、並びに検査用コア電極９５および接続用コア電極９６の寸法は、第３の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートにおけるコア電極と同様である。
また、複合電極シート９０Ａは、第３の実施の形態に係る回路基板の検査装置の複合電極シートの製造方法と同様の方法により製造することができる。【００７３】
下部側アダプター装置２１Ｂにおける電極シート８０Ｂ、異方導電性エラストマーシート８８Ｂおよび複合電極シート９０Ｂは、上部側アダプター装置２１Ａにおける電極シート８０Ａ、異方導電性エラストマーシート８８Ａおよび複合電極シート９０Ａと基本的に同様の構成である。【００７４】
このような回路基板の検査装置においては、被検査回路基板１がホルダー１８によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板２８Ａおよび下部側支持板２８Ｂの各々が被検査回路基板１に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板１が上部側アダプター装置２１Ａおよび下部側アダプター装置２１Ｂ０によって挟圧される。
この状態においては、被検査回路基板１の上面被検査電極２の各々は、図２７に示すように、上部側アダプター装置２１Ａにおける電極シート８０Ａのリング状電極８３および複合電極シート９０Ａの検査用コア電極９５の両方に、異方導電性コネクター４０Ａの異方導電性エラストマーシート４１を介して電気的に接続され、複合電極シート９０Ａの検査用コア電極９５および接続用コア電極９６の各々は、異方導電性エラストマーシート３６Ａを介して検査電極装置２３Ａの電極ピン２４Ａに電気的に接続されている。また、上部側アダプター装置２１Ａにおける電極シート９０Ａの接続用コア電極９６の各々は、異方導電性エラストマーシート８８Ａを介して、電極シート８０Ａの中継電極８４に電気的に接続される。
一方、被検査回路基板１の下面被検査電極３は、下部側アダプター装置９０Ｂにおける電極シート８０Ｂのリング状電極および複合電極シート９０Ｂの検査用コア電極の両方に、異方導電性コネクター４０Ｂの異方導電性エラストマーシートを介して電気的に接続され、複合電極シート９０Ｂの検査用コア電極および接続用コア電極の各々は、異方導電性エラストマーシート３６Ｂを介して検査電極装置２３Ｂの電極ピン２４Ｂに電気的に接続されている。また、下部側アダプター装置２１Ｂにおける電極シート９０Ａの接続用コア電極の各々は、異方導電性エラストマーシート８８Ｂを介して、電極シート８０Ｂの中継電極に電気的に接続される。
このとき、上部側アダプター装置２１Ａにおいて、電極シート８０Ａのリング状電極８３は、絶縁性シート８１の貫通孔８２を包囲するよう形成されているため、絶縁性シート８１の貫通孔８２に進入する検査用コア電極９５の中心位置が上面被検査電極２の中心位置から位置ずれした場合であっても、上面被検査電極２に検査用コア電極９５が電気的に接続されていれば、リング状電極８３も必ず上面被検査電極２に電気的に接続される。また、下部側アダプター装置２１Ｂにおいても、下面被検査電極３に検査用コア電極が電気的に接続されていれば、リング状電極も必ず上面被検査電極３に電気的に接続される。【００７５】
このようにして、被検査回路基板１の上面被検査電極２および下面被検査電極３の各々が、上部側検査ヘッド２２Ａにおける検査電極装置２３Ａの検査電極２４Ａおよび下部側検査ヘッド２２Ｂにおける検査電極装置２３Ｂの検査電極２４Ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。
そして、この測定可能状態において、被検査回路基板１における複数の上面被検査電極２のうち１つの上面被検査電極２を指定し、この指定された上面被検査電極２に電気的に接続された、上部側アダプター装置２１Ａにおけるる検査用コア電極９５およびリング状電極８３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いると共に、指定された上面被検査電極２に対応する下面被検査電極３に電気的に接続された、下部側アダプター装置２１Ｂにおける検査用コア電極およびリング状電極のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、上部側アダプター装置２１Ａにおける電流供給用電極とされた検査用コア電極９５またはリング状電極８３と、下部側アダプター装置２１Ｂにおける電流供給用電極とされた検査用コア電極またはリング状電極との間に電流を供給すると共に、上部側アダプター装置２１Ａにおける電圧測定用電極とされた検査用コア電極２５またはリング状電極１３と、下部側アダプター装置２１Ｂにおける電圧測定用電極とされた検査用コア電極またはリング状電極との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された上面被検査電極２とこれに対応する下面被検査電極３との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する上面被検査電極２を順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。【００７６】
このような回路基板の検査装置によれば、第１の実施の形態に係る回路基板の検査装置と同様の効果に加えて、以下の効果が得られる。
すなわち、電極シート８０Ａ（８０Ｂ）における絶縁性シート８１には、複合電極シート９０Ａにおける検査用コア電極９５が進入する貫通孔８２が形成され、この貫通孔８２の周囲には、当該貫通孔８２を包囲するようリング状電極８３が形成されているため、被検査回路基板１における上面被検査電極２上に、検査用コア電極９５の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該上面被検査電極２上にはリング状電極８３の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の上面被検査電極２を有するものであっても、上面被検査電極２に対する検査用コア電極９５およびリング状電極８３の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検査用コア電極９５およびング状電極８３は互いに電気的に独立されているので、当該上面被検査電極２に電気的に接続された検査用コア電極９５およびリング状電極８３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。【００７７】
以上、本発明について具体的に説明したが、本発明は以上の例に限定されるものではなく、種々の変更を加えることができる。
例えば、本発明の回路基板の検査装置においては、異方導電性コネクターを構成する異方導電性エラストマーシートとして、図１の検査装置を構成する、いわゆる分散型の異方導電性エラストマーシートを好適に用いることができるが、無論、電極に対応するパターンに従って形成された複数の導電路形成部を有するもの、具体的には、導電性粒子が密に充填された、それぞれ厚み方向に伸びる複数の柱状の導電路形成部と、これらの導電路形成部を相互に絶縁する、導電性粒子が全くあるいは殆ど存在しない絶縁部とよりなる、いわゆる偏在型の異方導電性エラストマーシートを用いることもできる。
また、図２８に示すように、異方導電性コネクターにおける異方導電性エラストマーシートとして、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子Ｐが含有されてなる、厚み方向に伸びる複数の導電路形成部４１ａと、これらの導電路形成部４１ａを相互に絶縁する弾性高分子物質よりなる絶縁部４１ｂとからなるものを用いることができ、このような異方導電性エラストマーシート４１としては、導電路形成部４１ａの各々が絶縁部４１ｂの表面から突出するよう形成されたものを用いることができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【国際調査報告】
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