【手続補正書】
【提出日】令和1年7月2日(2019.7.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第１光電変換部と、
前記基板の上に形成された第１制御電極を含み、前記第１光電変換部から前記電荷を転送する第１転送トランジスタと、
前記第１制御電極よりも上に配された複数の配線層と、
前記複数の配線層のうち最も前記基板に近い配線層である第１配線層が含む第１配線と、
前記第１配線層よりも上に配された第２配線層が含む駆動配線と、
前記第１転送トランジスタを制御する制御信号を出力する走査回路と、を有し、
前記制御信号は前記駆動配線と前記第１配線とを介して前記第１制御電極に伝送され、かつ、
前記第１配線の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極の少なくとも一部と重なるように配され、かつ、前記第１配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極の前記第１光電変換部に面する側の端部に沿うように配されている
ことを特徴とする光電変換装置。
【請求項２】
前記第１配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第１光電変換部の端部の少なくとも一部に沿うように配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項３】
前記第１配線は、可視光を透過しない材料で形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の光電変換装置。
【請求項４】
前記第１配線が、平面視において、前記第１光電変換部の外周を囲うように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項５】
前記第１配線層は、第２配線を更に含み、
前記第２配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第１光電変換部の端部の少なくとも一部に沿うように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項６】
前記第２配線は、平面視において、前記第１配線に対して前記第１光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されている
ことを特徴とする請求項５に記載の光電変換装置。
【請求項７】
前記第１配線と前記第２配線を含む前記第１配線層の配線が、平面視において、前記第１光電変換部の外周を囲うように配されている
ことを特徴とする請求項５又は６に記載の光電変換装置。
【請求項８】
前記第２配線は、フローティング状態であるか、又は所定の電位が与えられている、ダミー配線である
ことを特徴とする請求項５乃至７のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項９】
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第２光電変換部と、
前記基板の上に形成された第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から前記電荷を転送する第２転送トランジスタと、
前記第１転送トランジスタ及び前記第２転送トランジスタにより、前記電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
を更に有し、
前記第１配線層は、第３配線を更に含み、
前記第３配線の少なくとも一部が、平面視において、前記第２制御電極と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１０】
前記第３配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第２制御電極の前記第２光電変換部に面する側の端部の少なくとも一部に沿うように配されている
ことを特徴とする請求項９に記載の光電変換装置。
【請求項１１】
前記第１配線及び前記第３配線のうちの少なくとも一方の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極と前記第２制御電極の間の領域の少なくとも一部に配されている
ことを特徴とする請求項９又は１０に記載の光電変換装置。
【請求項１２】
前記第１配線は、前記第１制御電極に接続され、
前記第３配線は、前記第２制御電極に接続され、
前記第１配線の面積と前記第３配線の面積が異なる
ことを特徴とする請求項９乃至１１のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１３】
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第２光電変換部と、
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第３光電変換部と、
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第４光電変換部と、
前記基板の上に形成された第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から前記電荷を転送する第２転送トランジスタと、
前記基板の上に形成された第３制御電極を含み、前記第３光電変換部から前記電荷を転送する第３転送トランジスタと、
前記基板の上に形成された第４制御電極を含み、前記第４光電変換部から前記電荷を転送する第４転送トランジスタと、
前記第１転送トランジスタ、前記第２転送トランジスタ、前記第３転送トランジスタ及び前記第４転送トランジスタにより、前記電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
を更に有し、
前記第１光電変換部、前記第２光電変換部、前記第３光電変換部、前記第４光電変換部が、平面視において、前記第１配線層上の配線により２個ずつ外周を囲われている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１４】
前記駆動配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極の前記第１光電変換部に面する側の端部に沿うように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１５】
前記駆動配線を含む前記第２配線層の配線が、平面視において、前記第１光電変換部の外周を囲うように配されている
ことを特徴とする請求項１４に記載の光電変換装置。
【請求項１６】
前記第１配線と前記駆動配線とを接続するコンタクト部を更に有し、
平面視において、前記第１配線は、前記コンタクト部と前記第１光電変換部との間に配された第１の部分を有する
ことを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項１７】
平面視において、前記第１の部分は、前記第１制御電極の少なくとも一部と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項１６に記載の光電変換装置。
【請求項１８】
平面視において、前記第１の部分は、前記第１制御電極の少なくとも一部と重なり、かつ、前記駆動配線と重ならないように配されている
ことを特徴とする請求項１６に記載の光電変換装置。
【請求項１９】
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第２光電変換部と、
前記基板の上に形成された第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から前記電荷を転送する第２転送トランジスタと、
前記第１転送トランジスタ及び前記第２転送トランジスタにより、前記電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
を更に有し、
平面視において、前記第１の部分は、前記第２転送トランジスタの前記第２制御電極の少なくとも一部と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項１８に記載の光電変換装置。
【請求項２０】
前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第２光電変換部と、
前記基板の上に形成された第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から前記電荷を転送する第２転送トランジスタと、
前記第１転送トランジスタ及び前記第２転送トランジスタにより、前記電荷が転送されるフローティングディフュージョンと、
を更に有し、
平面視において、前記第１配線の少なくとも一部は、前記第２転送トランジスタの前記第２制御電極の少なくとも一部と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項２１】
平面視において、前記第１光電変換部と前記第２光電変換部とは第１方向に隣り合って配されており、
平面視において、前記第１配線は、前記第１方向に延在する第１の部分と、前記第１方向と直交する第２方向に延在する第２の部分とを有し、
平面視において、前記第１の部分は、前記第１制御電極の少なくとも一部及び前記第２制御電極の少なくとも一部と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項２０に記載の光電変換装置。
【請求項２２】
平面視において、前記第１配線は、前記駆動配線と重ならないように配されている第１の部分を有する
ことを特徴とする請求項２０に記載の光電変換装置。
【請求項２３】
前記第１配線と前記駆動配線とを接続するコンタクト部を更に有し、
平面視において、前記第１の部分は、前記コンタクト部と前記第１光電変換部との間に配される
ことを特徴とする請求項２２に記載の光電変換装置。
【請求項２４】
前記第１光電変換部からの信号と、前記第２光電変換部からの信号とは、位相差検出方式による焦点検出に用いられる
ことを特徴とする請求項１９乃至２３のいずれか１項に記載の光電変換装置。
【請求項２５】
第１光電変換部と、
前記第１光電変換部と隣り合って配された第２光電変換部と、
第１制御電極を含み、前記第１光電変換部から電荷を転送する第１転送トランジスタと、
第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から電荷を転送する第２転送トランジスタと、
第１配線層及び第２配線層を有する複数の配線層であって、前記複数の配線層は、前記第１制御電極及び前記第２制御電極よりも上に配されており、前記第１配線層は基板に最も近く、前記第２配線層は前記第１配線層よりも上に配されている、複数の配線層と、
前記第１転送トランジスタを制御する制御信号を出力する走査回路と、を有し、
前記制御信号は、前記第２配線層が含む駆動配線と、前記第１配線層が含む第１配線とを介して、前記第１制御電極に伝送され、
平面視において、前記第１配線は、前記第１制御電極及び前記第２制御電極と重なるように配されている
ことを特徴とする光電変換装置。
【請求項２６】
前記第１配線層は、第２配線を更に含み、
前記第２配線は、平面視において、前記第１制御電極と重なる前記第１配線に対して前記第１光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されている
ことを特徴とする請求項２５に記載の光電変換装置。
【請求項２７】
前記第２配線は、平面視において、前記第２制御電極と重なる前記第１配線に対して前記第２光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されている
ことを特徴とする請求項２６に記載の光電変換装置。
【請求項２８】
前記第２配線は、前記第１光電変換部及び前記第２光電変換部が並んで配置されている方向である第１方向に延在するように配されている
ことを特徴とする請求項２７に記載の光電変換装置。
【請求項２９】
前記第２配線は、前記第１方向と交差する第２方向に延在するように配されている
ことを特徴とする請求項２８に記載の光電変換装置。
【請求項３０】
第１光電変換部と、
第１方向において、前記第１光電変換部と隣り合って配された第２光電変換部と、
前記第１光電変換部に対して、前記第１方向と交差する第２方向に配された第３光電変換部と、
前記第１方向において、前記第３光電変換部と隣り合って配された第４光電変換部と、
第１制御電極を含み、前記第１光電変換部からフローティングディフュージョンに電荷を転送する第１転送トランジスタと、
第２制御電極を含み、前記第２光電変換部から前記フローティングディフュージョンに電荷を転送する第２転送トランジスタと、
第３制御電極を含み、前記第３光電変換部から前記フローティングディフュージョンに電荷を転送する第３転送トランジスタと、
第４制御電極を含み、前記第４光電変換部から前記フローティングディフュージョンに電荷を転送する第４転送トランジスタと、
第１配線層及び第２配線層を有する複数の配線層であって、前記複数の配線層は、前記第１制御電極、前記第２制御電極、前記第３制御電極及び前記第４制御電極よりも上に配されており、前記第１配線層は基板に最も近く、前記第２配線層は前記第１配線層よりも上に配されている、複数の配線層と、
前記第１転送トランジスタを制御する第１制御信号を出力する走査回路と、を有し、
前記第１制御信号は、前記第２配線層が含む第１駆動配線と、前記第１配線層が含む第１配線とを介して、前記第１制御電極に伝送され、
前記第１配線は、平面視において、前記第１制御電極と重なり、前記第１方向に延在するように配されており、
前記第１配線層が含む第２配線は、平面視において、前記第１制御電極と重なる前記第１配線に対して前記第１光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されており、
前記第２配線は、前記第１方向に延在するように配されている
ことを特徴とする光電変換装置。
【請求項３１】
前記走査回路は、前記第３転送トランジスタを制御する第２制御信号を更に出力し、
前記第２制御信号は、前記第２配線層が含む第２駆動配線と、前記第１配線層が含む第３配線とを介して、前記第３制御電極に伝送され、
前記第３配線は、平面視において、前記第３制御電極と重なり、前記第１方向に延在するように配されている
ことを特徴とする請求項３０に記載の光電変換装置。
【請求項３２】
前記第１配線層が含む第４配線は、平面視において、前記第３制御電極と重なる前記第３配線に対して前記第３光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されており、
前記第４配線は、前記第１方向に延在するように配されている
ことを特徴とする請求項３１に記載の光電変換装置。
【請求項３３】
前記第１配線は、平面視において、前記第２制御電極と重なるように配されており、
前記第３配線は、平面視において、前記第４制御電極と重なるように配されている
ことを特徴とする請求項３２に記載の光電変換装置。
【請求項３４】
前記第２配線は、平面視において、前記第２制御電極と重なる前記第１配線に対して前記第２光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されており、
前記第４配線は、平面視において、前記第４制御電極と重なる前記第３配線に対して前記第２光電変換部を間に挟んで対向する位置に配されている
ことを特徴とする請求項３３に記載の光電変換装置。
【請求項３５】
請求項１乃至３４のいずれか１項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置から出力される信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とする撮像システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一実施形態に係る光電変換装置は、基板と、前記基板に形成され、入射光を光電変換して電荷を生成する第１光電変換部と、前記基板の上に形成された第１制御電極を含み、前記第１光電変換部から前記電荷を転送する第１転送トランジスタと、前記第１制御電極よりも上に配された複数の配線層と、前記複数の配線層のうち最も前記基板に近い配線層である第１配線層が含む第１配線と、前記第１配線層よりも上に配された第２配線層が含む駆動配線と、前記第１転送トランジスタを制御する制御信号を出力する走査回路と、を有し、前記制御信号は前記駆動配線と前記第１配線とを介して前記第１制御電極に伝送され、かつ、前記第１配線の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極の少なくとも一部と重なるように配され、かつ、前記第１配線の端部の少なくとも一部が、平面視において、前記第１制御電極の前記第１光電変換部に面する側の端部に沿うように配されていることを特徴とする。