【手続補正書】
【提出日】平成31年4月16日(2019.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
［項目１０］
前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が下記式（VI）
【化１４】
2018180151.tif 000001
（式中、Ｒ2、Ｒ3は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１〜３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１〜３のアルキル基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ4は、水素原子、炭素原子数１〜６の直鎖あるいは環状アルキル基、フェニル基、又は、ヒドロキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基及び炭素原子数１〜６のアルコキシ基からなる群より選ばれた少なくとも一種で置換されたフェニル基を表す。）
で表されるモノマー単位を有する、項目７〜９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
その他の重合性単量体は、下記式（VI）
【化３３】
2018180151.tif 000002
（式中、Ｒ2及びＲ3は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１〜３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１〜３のアルキル基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ4は、水素原子、炭素原子数１〜６の直鎖若しくは環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基及び炭素原子数１〜６のアルコキシ基からなる群より選ばれた少なくとも一種で置換されたフェニル基を表す。）で表されるモノマー単位を形成し得るものが好ましい。該モノマー単位を形成し得るその他の重合性単量体としては、フェニルマレイミド及びシクロヘキシルマレイミドが特に好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、及び（Ｂ）キノンジアジド化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が、
分子鎖の少なくとも一方の末端に下記式（I）で表される構造、及び
分子内に下記式（II）で表される構造の少なくとも一方と、下記式（III）で表される構造を有する重合体であるアルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【化１】
2018180151.tif 000003
【化２】
2018180151.tif 000004
（式中、Ｚは水素原子、塩素原子、カルボキシル基、シアノ基、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数８〜２０の１価の芳香族炭化水素基、炭素原子とヘテロ原子との合計原子数３〜２０の１価の複素環式基、−ＯＲ、−Ｎ（Ｒ）２、−ＯＣ（＝Ｏ）Ｒ、−Ｃ（＝Ｏ）ＯＲ、−Ｃ（＝Ｏ）Ｎ（Ｒ）２、−Ｐ（＝Ｏ）（ＯＲ）２、−Ｐ（＝Ｏ）（Ｒ）２から選ばれる少なくとも一種を示し、各Ｒは相互に独立に炭素原子数１〜１８のアルキル基、炭素原子数２〜１８のアルケニル基、炭素原子数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基又は炭素原子とヘテロ原子との合計原子数３〜１８の１価の複素環式基を示し、＊は重合体との結合部を示す。）
【化３】
2018180151.tif 000005
（式中、Ｒaは電子求引基であり、Ｒb及びＲcは炭素原子数１〜５のアルキル基であり、＊は重合体との結合部である。）
【請求項２】
前記Ｒaが、−ＣＯＯＨ、−ＣＮ、−ＣＯＯＣＨ３、又は
【化４】
2018180151.tif 000006
である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項３】
前記式（I）〜式（III）で表される構造が、下記式(IV−１)〜（IV−８）で表される群より選ばれる少なくとも１種の化合物に由来する構造である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
【化５】
2018180151.tif 000007
【化６】
2018180151.tif 000008
【化７】
2018180151.tif 000009
【化８】
2018180151.tif 000010
【化９】
2018180151.tif 000011
【化１０】
2018180151.tif 000012
【化１１】
2018180151.tif 000013
【化１２】
2018180151.tif 000014
（式中、Ｚは水素原子、塩素原子、カルボキシル基、シアノ基、炭素原子数１〜２０のアルキル基、炭素原子数８〜２０の１価の芳香族炭化水素基、炭素原子とヘテロ原子との合計原子数３〜２０の１価の複素環式基、−ＯＲ、−Ｎ（Ｒ)2、−ＯＣ（＝Ｏ）Ｒ、−Ｃ（＝Ｏ）ＯＲ、−Ｃ（＝Ｏ）Ｎ（Ｒ)2、−Ｐ（＝Ｏ）（ＯＲ)2、−Ｐ（＝Ｏ)(Ｒ)2から選ばれる少なくとも一種を示し、各Ｒは相互に独立に炭素原子数１〜１８のアルキル基、炭素原子数２〜１８のアルケニル基、炭素原子数６〜１８の１価の芳香族炭化水素基又は炭素原子とヘテロ原子との合計原子数３〜１８の１価の複素環式基を示し、Ｒb及びＲcは炭素原子数１〜５のアルキル基であり、Ｒdは炭素原子数１〜２０のアルキル基である。）
【請求項４】
前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の重量平均分子量が５，０００〜８０，０００である、請求項１〜３のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
（Ｃ）黒色着色剤をさらに含有する、請求項１〜４のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂の総量１００質量部に対して、（Ｂ）キノンジアジド化合物の含有量が１０〜１００質量部、及び存在する場合は（Ｃ）黒色着色剤の含有量が１０〜１００質量部である、請求項１〜５のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項７】
前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が、アルカリ可溶性基を有する重合性単量体とその他の重合性単量体の共重合体である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
前記アルカリ可溶性基がカルボキシル基、フェノール性水酸基、及び酸無水物基からなる群より選ばれる少なくとも一種である、請求項７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が下記式（V）
【化１３】
2018180151.tif 000015
（式中、Ｒ1は水素原子又は炭素原子数１〜５のアルキル基を表し、ｒは１〜５の整数を表す。）
で表されるモノマー単位を有する、請求項７又は８に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が下記式（VI）
【化１４】
2018180151.tif 000016
（式中、Ｒ2及びＲ3は、それぞれ独立して水素原子、炭素原子数１〜３のアルキル基、完全若しくは部分的にフッ素化された炭素原子数１〜３のアルキル基、又はハロゲン原子を表し、Ｒ4は、水素原子、炭素原子数１〜６の直鎖あるいは環状アルキル基、フェニル基、又はヒドロキシ基、炭素原子数１〜６のアルキル基及び炭素原子数１〜６のアルコキシ基からなる群より選ばれた少なくとも一種で置換されたフェニル基を表す。）
で表されるモノマー単位を有する、請求項７〜９のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１１】
（Ａ）アルカリ可溶性樹脂が、エポキシ基とフェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂（ａ２）をさらに含有する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１２】
重合性単量体の総量１００質量部に対して、式（I）又は（II）の構造、及び式（III）の構造を付与し得るＲＡＦＴ剤０．０１〜１０質量部の存在下で重合性単量体を重合して得られる、アルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含有する（Ａ）アルカリ可溶性樹脂を製造する工程と、
前記（Ａ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｂ）キノンジアジド化合物、及び任意に（Ｃ）黒色着色剤を混合して樹脂組成物を製造する工程と
を含む、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の製造方法。
【請求項１３】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からなる有機ＥＬ素子の隔壁又は絶縁膜。
【請求項１４】
請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物の硬化物を含む有機ＥＬ素子。
【請求項１５】
（１）請求項１〜１１のいずれか一項に記載の感光性樹脂組成物を溶媒に溶かし、これを基材に塗布する塗布工程、
（２）塗布された感光性樹脂組成物中の溶媒を除去する乾燥工程、
（３）放射線をフォトマスク越しに照射する露光工程、
（４）アルカリ現像によりパターン形成する現像工程、及び
（５）１００〜３５０℃の温度で加熱する加熱処理工程
を含む放射線リソグラフィー構造物の製造方法。