(57)【要約】  比較的簡単な構成により、グリーン固体レーザ光の特性を極めて安定にでき、かつ、グリーンノイズを解決できる半導体レーザ励起によるグリーン固体レーザ発振装置を提供する。  励起用レーザ光源と、共振器内に配置され前記励起用レーザ光源からのレーザ光を受光し基本波レーザを発振する第１の固体レーザ媒体と、前記共振器内に配置され前記基本波レーザ光を受光しグリーン固体レーザ光を発振する第２の固体レーザ媒体とを含むグリーン固体レーザ発振装置において、前記基本波レーザ光が単一縦モードとなるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を制御する第１の温度制御手段と、前記グリーン固体レーザ光の発振が最大効率となるように前記第２の固体レーザ媒体の温度を制御する第２の温度制御手段とを備えたことを特徴とする。【特許請求の範囲】
【請求項１】
励起用レーザ光をレーザ共振器内に配置された第１の固体レーザ媒体に入射しレーザ基本波を発振させ、前記レーザ基本波を前記レーザ共振器内に配置された第２の固体レーザ媒体に入射させグリーン固体レーザ光を発振させるグリーン固体レーザ光の発振方法において、
前記レーザ基本波が単一縦モードの発振となるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を制御し、かつ前記グリーン固体レーザ光の発振効率が最大となるように前記第２の固体レーザ媒体の温度を制御することを特徴とするグリーン固体レーザ光の発振方法。
【請求項２】
前記第２の固体レーザ媒体の制御温度は、前記レーザ基本波が単一縦モードの発振となる前記第１の固体レーザ媒体の温度範囲内で、グリーン固体レーザ光の発振効率を最大とする温度であることを特徴とする請求項１に記載のグリーン固体レーザ光の発振方法。
【請求項３】
前記温度制御は、ペルチェ温度制御素子を複数の単位面で分割し、各単位面毎に温度制御できるようにしたことを特徴とする請求項１又は２に記載のグリーン固体レーザ光の発振方法。
【請求項４】
励起用レーザ光源と、共振器内に配置され前記励起用レーザ光源からのレーザ光を受光し基本波レーザを発振する第１の固体レーザ媒体と、前記共振器内に配置され前記基本波レーザ光を受光しグリーン固体レーザ光を発振する第２の固体レーザ媒体とを含むグリーン固体レーザ発振装置において、
前記基本波レーザ光が単一縦モードとなるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を制御する第１の温度制御手段と、
前記グリーン固体レーザ光の発振が最大効率となるように前記第２の固体レーザ媒体の温度を制御する第２の温度制御手段とを備えたことを特徴とするグリーン固体レーザ発振装置。
【請求項５】
励起用レーザ光源と、共振器内に配置され前記励起用レーザ光源からのレーザ光を受光し基本波レーザを発振する第１の固体レーザ媒体と、前記共振器内に配置され前記基本波レーザ光を受光しグリーン固体レーザを発振する第２の固体レーザ媒体とを含むグリーン固体レーザ発振装置において、
前記第１の固体レーザ媒体が発振する前記基本波レーザ光が単一縦モードとなるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を制御するとともに、該温度範囲内であって前記グリーン固体レーザ光の発振が最大効率となるように第２の固体レーザ媒体の温度を制御する温度制御手段とを備えたことを特徴とするグリーン固体レーザ発振装置。
【請求項６】
前記温度制御手段は、ペルチェ温度制御素子を複数の単位面で分割し、各単位面毎に温度制御できる手段であることを特徴とする請求項４に記載のグリーン固体レーザ発振装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体レーザ装置から射出されたレーザ光を励起光として用いるグリーン固体レーザ光の発振方法及び発振装置に関し、特にグリーンノイズがなく、グリーン固体レーザ光を最大効率で発振するグリーン固体レーザ光の発振方法、及び発振装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
図５は特開平５−１９８８７０号公報（特許文献１参照）に記載された半導体レーザ励起固体レーザの構成を示す図である。【０００３】
図５に示す従来の半導体レーザ励起固体レーザにおいては、励起用半導体レーザ装置１から射出された励起用のレーザ光Ｌ0 を、レーザ共振器内に配置された固体レーザ媒体２に入射し、該固体レーザ媒体を励起して出力レーザ光Ｌ2 を得るようにするとともに、固体レーザ媒体２及びレーザ共振器３，４並びに機能光学素子５を用いるときはこの機能光学素子５を同一の熱伝導性基板７上に取り付けるとともに、この熱伝導性基板７の温度を制御する温度制御装置７ａ，７ｂを設けたものとなっている。【０００４】
同様に固体レーザ媒体２を含むレーザ共振器をペルチェ素子を用いて冷却するものとして、特開２０００−３４９３７０公報（特許文献２参照）や特開平８−３２１６０号公報（特許文献３参照）がある。またこの発明で用いている集光用レンズとしてのボールレンズについては、特開平６−７７５６０号公報（特許文献４参照）に記載されている。
【特許文献１】特開平５−１９８８７０号公報
【特許文献２】特開２０００−３４９３７０公報
【特許文献３】特開平８−３２１６０号公報
【特許文献４】特開平６−７７５６０号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
半導体レーザ励起によるグリーン固体レーザ装置においては、固体レーザ媒体２として、レーザ共振器内に配置された固体レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶）、及びこれと結合一体化した波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）が一般的に用いられている。【０００６】
このような半導体レーザ励起固体レーザにおいては、上述のように励起用半導体レーザ装置１から射出された励起用のレーザ光Ｌ0 を、レーザ共振器内に配置された固体レーザ媒体２に入射し、該固体レーザ媒体２を励起して出力レーザ光Ｌ2 を得ており、そのような固体レーザ媒体２をこれを搭載した熱伝導性基板７の温度を制御する温度制御装置によって温度制御している。そして、該固体レーザ媒体２が励起されて温度の変化があってもこれらの温度を一定に維持することで、所定の範囲内でグリーン固体レーザ光の出力が一定となるように構成されている。【０００７】
しかし近年、半導体レーザ励起によるグリーン固体レーザの用途がますます拡がってきており、それにつれて、グリーンレーザ光の強度、縦・横モード等、グリーンレーザ光の特性について、より安定した出力特性が要求されるようになってきている。【０００８】
半導体レーザ励起によるグリーン固体レーザ装置の共振器内には、レーザ発振（基本波発生）のための媒体（固体レーザ結晶）と波長変換（第２高調波発生）のための非線形光学結晶（波長変換結晶）が入っている。しかし、グリーン固体レーザ装置の基本構成を固体レーザ結晶と波長変換結晶とした場合、固体レーザ結晶から発振した基本波はマルチ縦モード発振となり、縦モード間における干渉効果によってレーザ出力である第2高調波が時間と共に周期的に変化し、安定した出力を得ることができない。これはグリーンノイズと言われ、レーザ出力の不安定要因の一つとなっている。【０００９】
かかるグリーンノイズ問題の解決法として、共振器内に１/４波長板を挿入しモード間の結合をなくす方法、リング共振器で単一縦モード発振を得る方法、あるいはエタロンを固体レーザ結晶と波長変換結晶間に挿入し、強制的に単一縦モードを発振させる方法等が考えられている。しかし、これらは手段ではいずれもグリーン固体レーザ装置の小型であるという特徴を生かすことが難しく、また装置のコストが高くなるという問題がある。【００１０】
そこで本発明の課題は、グリーン固体レーザ装置が小型であるという特徴を活かしつつ、コスト高とならないグリーン固体レーザ発振装置、およびグリーン固体レーザ光の発振方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１１】
発明者は長年の研究の結果、グリーンノイズを抑えるためには、基本波を単一縦モードの発振とすることが不可欠であると考え、これを実現するためにレーザ発振（基本波発生）のための媒体（固体レーザ結晶）と波長変換（第２高調波発生）のための非線形光学結晶（波長変換結晶）の温度依存性に注目し、レーザ発振と第2高調波発生の温度条件を最適化することによって高効率で安定したグリーン固体レーザ光を発振する方法を実現した。【００１２】
即ち、本発明は、励起用レーザをレーザ共振器内に配置された第１の固体レーザ媒体に入射させレーザ基本波を発振させ、前記レーザ基本波を前記レーザ共振器内に配置された第２の固体レーザ媒体に入射させグリーン固体レーザ光を発振させるグリーン固体レーザ光の発振方法において、前記レーザ基本波が単一縦モードの発振となるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を調整し、かつ前記グリーン固体レーザ光の発振効率が最大となるように前記第２の固体レーザ媒体波長変換結晶の温度を調整することを特徴とする。【００１３】
前記第２の固レーザ媒体波長変換結晶の温度の調整は、前記レーザ基本波が単一縦モードの発振となる前記第１の固体レーザ媒体の温度範囲内において最大効率となる温度であることは好適である。【００１４】
本発明は、励起用レーザ光源と、共振器内に配置され前記励起用レーザ光源からのレーザ光を受光し基本波レーザ光を発振する第１の固体レーザ媒体と、前記共振器内に配置され前記基本波レーザ光を受光し、グリーン固体レーザ光を発振する第２の固体レーザ媒体波長変換結晶とを含むグリーン固体レーザ発振装置において、前記第１の固体レーザ媒体が発振する前記基本波レーザ光が単一縦モードとなるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を調整する第１の温度調整手段と、前記グリーン固体レーザ光の発振が最大効率となるように前記第２の固体レーザ媒体の温度を調整する第２の温度調整手段とを備えたことを特徴とする。【００１５】
本発明は、励起用レーザ光源と、共振器内に配置され前記励起用レーザ光源からのレーザ光を受光し、基本波レーザ光を発振する第１の固体レーザ媒体と、前記共振器内に配置され前記基本波レーザ光を受光し、グリーン固体レーザ光を発振する第２の固体レーザ媒体とを含むグリーン固体レーザ発振装置において、前記第１の固体レーザ媒体が発振する前記基本波レーザ光が単一縦モードとなるように前記第１の固体レーザ媒体の温度を調整するとともに、該温度範囲内であって前記グリーン固体レーザ光の発振が最大効率となるように第２の固体レーザ媒体の温度を調整する温度調整手段とを備えたことを特徴とする。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、グリーンノイズが大幅に抑制され、安定したグリーンレーザ光を発振するグリーン固体レーザ装置を得ることができる。また、本発明によればレーザ共振器内に新たな光学部品等を挿入せずに単一縦モードの発振が実現でき、小型・低コストのグリーン固体レーザ発振装置を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１７】
【図１】この発明の第１実施例にかかる半導体レーザ励起グリーン固体レーザ装置の１実施例を示す概略図である。
【図２】グリーン固体レーザ光の出力パワーの時間分布を示したグラフである。
【図３】出力モードを示すグラフである。
【図４】単一縦モードを示すグラフである。
【図５】従来の半導体レーザ励起固体レーザ装置の概略図である。
【符号の説明】
【００１８】
１１  励起用半導体レーザ装置
１２  励起用半導体レーザ
１３  ボールレンズ
１４  レンズキャップ
１５  固体レーザ媒体
１５−１  固体レーザ結晶（第１の固体レーザ媒体）
１５−２  波長変換結晶（第２の固体レーザ媒体）
１６  ペルチェ温度制御素子
１７  温度制御装置
１８  温度センサ
２１  選択反射膜
２２  検出器
２３  ビームスプリッター
２４  Fabry-Perot走査干渉計
Ｌ0  励起用レーザ光
Ｌ1  基本波長のレーザ光
Ｌ2  グリーンレーザ光
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。本発明のグリーン固体レーザ光の発振方法は、励起用半導体レーザから射出された励起レーザ光を、レーザ共振器内に配置された固体レーザ結晶、及びこれと結合一体化した波長変換結晶からなる固体レーザ媒体にボールレンズを介して入射させ、該固体レーザ媒体を励起することでグリーンレーザ光を得るものである。【００２０】
レーザ共振器内に配置された固体レーザ結晶、及びこれと結合一体化した波長変換結晶を、ペルチェ温度制御素子からなる熱伝導性支持体上に取り付けるとともに、このペルチェ温度制御素子の温度を温度制御装置で、所定の温度に制御する。【００２１】
固体レーザ結晶及び波長変換結晶の屈折率は温度に敏感であり、温度が変化すると、屈折率の値も変化する。レーザ発振の縦モードvmは、関係式vm=ｍc/2(nLｄL+nNｄN)で与えられるが、ここで、mは縦モード数を表す正の整数、ｃは光速、nL、nNはそれぞれ固体レーザ結晶と波長変換結晶の屈折率、ｄL、ｄNはそれぞれ固体レーザ結晶と波長変換結晶の長さである。温度が変化すると、nL、nNが変化し、発振周波数vmもそれに伴って変化する。そこで、レーザ利得の最大値に最も近いところにある縦モードを、最大利得にあわせることで、利得競合により単一縦モードの発振とすることができる。【００２２】
一方、波長変換結晶により発生した第2高調波（グリーンレーザ光）の変換効率は、関数(sin(ΔkdN/2)/(ΔkdN/2))2に比例する。ここで、Δｋは位相不整合ファクターで、Type IIの位相整合方式では、式Δｋ＝ω(n1e+n1o-2n2e)/cで与えられる。ただし、ωは基本波レーザ光の角周波数、n1e、n1o、n2eはそれぞれ異常光線基本波、常光線基本波、異常光線第2高調波の屈折率である。高い変換効率を得るために位相整合条件（Δｋ=0）を満たさなければならない。結晶の温度を変えることによって結晶の屈折率も変わり、n1e+n1o-2n2e＝０、及びΔｋ=０の条件に最も近い温度で波長変換結晶を恒温させると、高効率で安定したグリーンレーザ光を得ることできる。なお、ペルチェ温度制御素子による温度制御は、±０．０１℃の温度範囲で制御することは好適である。上述したように固体レーザ結晶、波長変換結晶の温度を制御することで、グリーンノイズを含まず、高効率のグリーン固体レーザ光を得ることができる。
【実施例】
【００２３】
図１は本発明のグリーン固体レーザ装置１１の構成を示したブロック図である。グリーン固体レーザ装置１１は、励起用半導体レーザ１２、レンズキャップ１４、ボールレンズ１３、固体レーザ結晶１５−１、及び波長変換結晶１５−２、並びにペルチェ温度制御素子１６から構成される。【００２４】
半導体レーザ１２からボールレンズ１３を介して、レーザ共振器内の固体レーザ媒体１５に励起用レーザが入射される。この固体レーザ媒体１５は、この実施例においては厚さ１ｍｍの固体レーザ結晶１５−１としてＮｄ：ＹＶＯ４結晶を用い、これと結合一体化した波長変換結晶１５−２として、例えば長さ３ｍｍの波長変換結晶であるＫＴＰ結晶で構成している。ここで、ボールレンズ１３の直径は１．５ｍｍであり、半導体レーザ１２からのレーザはボールレンズ１３を介して固体レーザ媒体１５を励起しグリーンレーザ光を出力するように構成されている。【００２５】
固体レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶）１５−１と波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）１５−２とを結合一体化するには、両者の間をエポキシ系接着剤によって接着し一体化する、又は両者の側面に補強ガラスを取り付けて両者を当接する光学コンタクト方式によって一体化すればよい。【００２６】
エポキシ系接着剤としては高透明エポキシ系接着剤が望ましく、そのような接着剤は複数のメーカによって市販されているので適宜選択して使用すればよい。ちなみに、光軸が簡単に合わせられるcmオーダーの大きなＮｄ：ＹＶＯ４結晶とＫＴＰ結晶とを高透明エポキシ系接着剤で接着してから、数mmまで切り分けることによって所望のサイズの結合一体化した結晶を得ることができる。【００２７】
光学コンタクト方式においては、両者の間に接着剤を介さないで接合するため、接合面における光の吸収を低く抑えることができるが、その接合面の平滑性や密着度において、非常に高い精度が要求されることはいうまでもない。【００２８】
この実施例で固体レーザ結晶として用いたＮｄ：ＹＶＯ４結晶は、現在、半導体レーザ励起固体レーザ用としては最も効率的な結晶の１つであり、 レーザ発振波長における誘導断面積が大きく、励起波長において吸収係数が高い上に吸収バンド幅が広く、さらに、レーザ光による損傷しきい値が高いばかりでなく、物理的、光学的、機械的特性にも優れているので、Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶は、高出力で高安定、費用効果の高い半導体レーザ励起固体レーザ用として優れた結晶である。【００２９】
図１においてレーザ共振器内の固体レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶）１５−１、及びこれと結合一体化した波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）１５−２をペルチェ温度制御素子１６の上面に取り付ける。ペルチェ温度制御素子１６と接続した温度制御装置１７にはコントローラが内蔵されており、ペルチェ温度制御素子１６に付設した温度センサ（サーミスタ等）１８から入力される温度データに応じて、細かく温度制御することができる。【００３０】
ペルチェ温度制御素子１６の温度は、温度制御装置１７を用いて固体レーザ媒体１５を恒温制御するのではなく、固体レーザ媒体１５のレーザ出力が所定の値となる最適温度制御するものである。このような固体レーザ媒体１５の温度制御は従来全く行われてこなかったものである。【００３１】
固体レーザ媒体１５のレーザ出力が所定の値となるように温度制御するには、固体レーザ媒体１５の温度変化のデータを温度センサ１８等で収集し、その温度変化とレーザ出力との関係を細かく分析して最適温度を導き出す必要がある。そして、得た最適温度の数値は上記コントローラにフィードバックして、固体レーザ媒体１５の温度変化に応じてペルチェ温度制御素子１６の温度を温度制御する。これにより、固体レーザ媒体１５のレーザ出力が所定の値となるように温度制御できる。【００３２】
図１に示すグリーン固体レーザ装置は、固体レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶）１５−１、及びこれと結合一体化した波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）１５−２からなる固体レーザ媒体１５と、励起用半導体レーザ装置１１から射出された励起用のレーザ光との位置関係を最適化する手段を備えている。かかる最適化手段としては、励起用半導体レーザ装置１１と固体レーザ媒体１５とを台座上に配設したレールによりガイドしスライドさせる手段であることは好ましい。また、両者をそれぞれ大小の鏡筒内に固定した上で連結し、互いにスライドして伸縮できるようにすることは好適である。【００３３】
この固体レーザ媒体１５の光軸と交わる一方の端面、すなわち、図中左端面には誘電体多層膜からなる選択反射膜２１が形成されている。この選択反射膜２１は、固体レーザ媒体１５によって生ずる基本波長のレーザ光（Ｌ1 ＝１０６４ｎｍ）に対しては９９．９％以上の高い反射率をもち、一方、励起用レーザ光（Ｌ0 ＝８０８ｎｍ）を９０％以上透過する性質を有する。なお、固体レーザ媒体１５の他方の端面、すなわち、図中右端面には図示しないが、グリーンレーザ光L２に対して無反射コートが施されており、この端面での基本波長のレーザ光Ｌ1 に対する反射率も９９％以上になるようになっている。【００３４】
固体レーザ媒体１５から出射されるレーザ光Ｌ２は、検出器（detector）２２によってその出力強度や安定性が検出される。また固体レーザ媒体１５から出射されるレーザ光Ｌ２は、固体レーザ媒体１５と検出器２２との間に約４５度の角度に設置されたビームスプリッター２３により９０度折り曲げられ、Fabry-Perot走査干渉計２４で単一縦モードであるか否かを確認するようになっている。そして、上記検出器２２や干渉計２４で得たデータを温度制御装置１７にフィードバックして、ペルチェ温度制御素子１６の温度を温度制御装置１７を用いて最適温度になるよう温度制御する。【００３５】
励起用半導体レーザ装置１１は、発振の中心波長が８０８ｎｍ、出力１２０ｍＷのＧａＡｓ系の半導体レーザである。図示しないが、この実施例では、この半導体レーザ装置１１にはその温度を２５°Ｃに保持する温度制御装置が設けられており、発振波長が次に述べる固体レーザ媒体１５の吸収ピークに一致する８０８ｎｍになるように設定されている。【００３６】
ボールレンズ１３は、励起用半導体レーザ装置１１から射出された励起用レーザ光Ｌ0 を集光して固体レーザ媒体１５の選択反射膜２１が形成された端面から該固体レーザ媒体１５内に入射させて励起するものである。ボールレンズの焦点における大きな収差を利用することによって、励起光が固体レーザ結晶内に効率よく収束することができる。【００３７】
波長変換結晶１５−２は、長さ３ｍｍのType IIのＫＴＰ結晶である。このＫＴＰ結晶は、結晶カット面θ＝９０．０°、φ＝２３°になるようにカットされている。ここで、φは光軸が結晶Ｚ軸となす角度、θは光軸の結晶ＸＹ平面への射影がＸ軸となす角度であり、室温で位相整合を満たす条件である。これにより、Ｎｄ：ＹＶＯ4結晶を用いた固体レーザ結晶１５−１で発生した波長１０６４ｎｍのレーザ光Ｌ1 を入射して波長532nmのグリーン光Ｌ2 を発生するものである。【００３８】
上述の構成において、励起用半導体レーザ装置１１から射出された励起用レーザ光Ｌ0 はボールレンズ１３によって集光されて固体レーザ媒体１５内に入射され、固体レーザ媒体１５を励起する。これにより、固体レーザ媒体１５から基本波長のレーザ光Ｌ1 が発生するが、この基本波長のレーザ光Ｌ1 はレーザ共振器内の固体レーザ結晶（Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶）、及びこれと結合一体化した波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）内に閉じこめられる。この閉じこめられた基本波長のレーザ光Ｌ1 が波長変換結晶（ＫＴＰ結晶）を通過し、2次の非線形光学効果である第2高調波発生(SHG)によってグリーン光Ｌ2を発生させる。こうして発生したグリーン光Ｌ2は、グリーンレーザ光として外部に取り出される。【００３９】
図２は、異なるレーザ動作温度でグリーン固体レーザ光の出力パワーの時間分布を示したグラフである。縦軸は任意単位の出力（power）とし、横軸は時間（time）である。この実験の条件は、半導体レーザへの注入電流が140-160mA、Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶の厚みは１ｍｍ、ＫＴＰ結晶の厚みは３mm、ボールレンズの直径は1.5ｍｍである。Ｎｄ：ＹＶＯ４結晶とＫＴＰ結晶は接着剤で接着している。【００４０】
図２に示すようにレーザの動作温度が７．５℃（図２（ａ））、１０℃（図２（ｂ））、１５℃（図２（ｅ））と１７．５℃（図２（ｆ））のときに、グリーン固体レーザの出力は周期的に変動し、温度によって出力パワーの時間変動の形も異なる。しかし、レーザの動作温度が１２℃（図２（ｃ））及び１４℃（図２（ｄ））になると、グリーン固体レーザの出力パワーは安定する。レーザの動作温度が１４℃、半導体レーザの励起パワーが１２０mWの条件では、最大で１５．４mWのグリーン固体レーザを得ることができた。【００４１】
これらの結果から、レーザの動作温度を最適化することによって、従来のようにレーザ共振器を恒温する効果のみならず、レーザ出力の不安定要因であるグリーンノイズ問題も解決できることが示された。【００４２】
上述した条件によりグリーン固体レーザ装置によってレーザ発振実験を行ったところ、図３に示すようなレーザ出力のグラフが得られた。図３に示すように縦軸を出力（power）とし、横軸を時間（time）として見た場合、発振出力が約６ａ.ｕ.（任意単位）で、レーザ出力のぶれが０．５％以下という、極めて安定したグリーンレーザ光が得られた。【００４３】
図４は単一縦モードを示すグラフである。図４に示す通り、縦軸をFabry-Perot干渉計の出力信号（F-P signal）とし、横軸を走査時間（scanning time）として見た場合、単一縦モードの安定したグリーンレーザ光の発振を実現することが可能となった。【００４４】
本明細書は、２００５年８月４日出願の特願２００５−２２７３１２に基づく。この内容はすべてここに含めておく。
【産業上の利用可能性】
【００４５】
本発明のグリーン固体レーザ装置は、加工、材料プロセス、分光、ウエハ検査、ライトショウ、医療診断、レーザプリント、その他情報処理および光計測の分野で広く応用することが可能であることから、産業上の利用可能性がある。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【国際調査報告】
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2007015501.tif 000008