【手続補正書】
【提出日】令和1年5月31日(2019.5.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の試験に使用可能な試験方策を生成するコンピュータ化システムであって、
前記試料の１つまたは複数のダイから１つまたは複数の画像を取り込み、前記１つまたは複数の画像上のノイズ分布を表すノイズマップを得るように構成された試験ツールと、
前記１つまたは複数のダイの設計データを受け取るように構成された入出力インターフェースであって、前記設計データが、同じ設計パターンを有する１つまたは複数のダイ領域にそれぞれが対応する複数の設計群を表す入出力インターフェースと、
前記試験ツールおよび前記入出力インターフェースに動作可能に接続された処理ユニットであって、動作可能に接続されたメモリおよびプロセッサを含む処理ユニットとを備え、前記処理ユニットが、
前記複数の設計群のうちの各設計群の群スコアを計算するように構成され、前記ノイズマップは、前記複数の設計群のうちの各設計群が、１つまたは複数の対応するダイ領域内のノイズデータと関連付けられるように、前記設計データと位置合わせされ、前記複数の設計群のうちの所与の設計群の群スコアが、前記所与の設計群に関連付けられたノイズデータと、前記所与の設計群の領域に割り当てられた欠陥バジェットとに基づいて計算され、前記処理ユニットがまた、
その結果、計算された前記群スコアに基づいて、各所与の設計群を、様々なノイズレベルを表すセグメンテーションラベルの所定の組のうちの１つのセグメンテーションラベルに関連付けることによって、前記１つまたは複数のダイに関連したセグメンテーションを行うように構成され、それによって、同じ前記セグメンテーションラベルと、前記セグメンテーションの情報を与えるセグメンテーション構成データとに関連付けられた１つまたは複数の設計群にそれぞれ対応するダイセグメントの組が得られ、前記処理ユニットがまた、
前記セグメンテーション構成データを使用して試験方策を生成するように構成される、コンピュータ化システム。
【請求項２】
前記処理ユニットがさらに、前記ノイズマップが前記設計データと位置合わせされるように、前記設計データを前記ノイズマップに重ね合わせるように構成される、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項３】
前記ノイズマップが、少なくとも前記試料の複数のダイから取り込まれた複数の画像上の統計的ノイズ分布を示す、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項４】
前記ノイズ分布が、ノイズの位置を含めて前記ノイズマップに示されたノイズの１つまたは複数のノイズ特性を含む、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項５】
前記ノイズ分布が、ノイズの位置と、ノイズの強度およびサイズのうちの少なくとも１つとを含めて、前記ノイズマップに示されたノイズの１つまたは複数のノイズ特性を含む、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項６】
前記ノイズマップに示されたノイズがパターン関連ノイズを含む、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項７】
前記ノイズマップが、植え付け欠陥に関連する情報を含み、前記植え付け欠陥が、前記１つまたは複数の画像に、設計対象パターン（ＰＯＩ）に関連付けられた所定の位置において付加された模擬欠陥であり、前記設計ＰＯＩを含む前記所与の設計群の前記群スコアが、植え付け欠陥の前記情報に基づいて計算される、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項８】
前記試験ツールが、前記試料を走査して前記１つまたは複数の画像を高感度試験構成を用いて取り込むように構成された検査ツールであり、前記ノイズマップが低い検出閾値を使用して得られる、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項９】
前記群スコアが、前記所与の設計群に割り当てられた前記欠陥バジェットを、前記所与の設計群に関連付けられた前記ノイズデータに基づいて作成されたノイズヒストグラムに適用することによって計算される閾値である、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項１０】
前記計算がさらに、前記複数の設計群同士の重なり合いに基づく、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項１１】
前記セグメンテーションラベルの所定の組が、ノイズが少ない、ノイズが多い、およびノイズが非常に多いというノイズレベルを示す、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項１２】
前記セグメンテーション構成データが、各ダイセグメントの検出閾値を構成するために使用される、請求項１に記載のコンピュータ化システム。
【請求項１３】
試料の試験に使用可能な試験方策を生成するコンピュータ化方法であって、
試験ツールによって、前記試料の１つまたは複数のダイから１つまたは複数の画像を取り込み、前記１つまたは複数の画像上のノイズ分布を表すノイズマップを得るステップと、
入出力インターフェースによって、前記１つまたは複数のダイの設計データを受け取るステップであって、前記設計データが、同じ設計パターンを有する１つまたは複数のダイ領域にそれぞれが対応する複数の設計群を表す、ステップと、
前記試験ツールおよび前記入出力インターフェースに動作可能に接続された処理ユニットによって、前記複数の設計群のうちの各設計群の群スコアを計算するステップであって、前記ノイズマップは、前記複数の設計群のうちの各設計群が、１つまたは複数の対応するダイ領域内のノイズデータと関連付けられるように、前記設計データと位置合わせされ、前記複数の設計群のうちの所与の設計群の群スコアが、前記所与の設計群に関連付けられた前記ノイズデータと、前記所与の設計群の領域に割り当てられた欠陥バジェットとに基づいて計算される、ステップと、
前記処理ユニットによって、その結果、計算された前記群スコアに基づいて、各所与の設計群を、様々なノイズレベルを表すセグメンテーションラベルの所定の組のうちの１つのセグメンテーションラベルに関連付けることによって、前記１つまたは複数のダイに関連したセグメンテーションを行うステップであって、それによって、同じ前記セグメンテーションラベルと、前記セグメンテーションの情報を与えるセグメンテーション構成データとに関連付けられた１つまたは複数の設計群にそれぞれ対応するダイセグメントの組が得られる、ステップと、
前記処理ユニットによって、前記セグメンテーション構成データを使用して試験方策を生成するステップとを含む、コンピュータ化方法。
【請求項１４】
前記試験ツールが検査ツールであり、前記１つまたは複数の画像が、高感度試験構成を用いて前記検査ツールによって取り込まれ、前記ノイズマップが低い検出閾値を使用して得られる、請求項１３に記載のコンピュータ化方法。
【請求項１５】
前記ノイズマップが、植え付け欠陥に関連する情報を含み、前記植え付け欠陥が、前記１つまたは複数の画像に、設計対象パターン（ＰＯＩ）に関連付けられた所定の位置において付加された模擬欠陥であり、前記設計ＰＯＩを含む前記所与の設計群の前記群スコアが、植え付け欠陥の前記情報に基づいて計算される、請求項１３に記載のコンピュータ化方法。
【請求項１６】
前記群スコアが、前記所与の設計群に割り当てられた前記欠陥バジェットを、前記所与の設計群に関連付けられた前記ノイズデータに基づいて作成されたノイズヒストグラムに適用することによって計算される閾値である、請求項１３に記載のコンピュータ化方法。
【請求項１７】
前記関連付けがさらに、前記複数の設計群同士の重なり合いに基づく、請求項１３に記載のコンピュータ化方法。
【請求項１８】
コンピュータによって実行されるときに、試料の試験に使用可能な試験方策を生成する方法を前記コンピュータに実行させる命令のプログラムを有形に具現化する、非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体であって、前記方法が、
前記試料の１つまたは複数のダイから１つまたは複数の画像を取り込み、前記１つまたは複数の画像上のノイズ分布を表すノイズマップを得るステップと、
前記１つまたは複数のダイの設計データを受け取るステップであって、前記設計データが、同じ設計パターンを有する１つまたは複数のダイ領域にそれぞれが対応する複数の設計群を表す、ステップと、
前記複数の設計群のうちの各群スコアを計算するステップであって、前記ノイズマップは、前記複数の設計群のうちの各設計群が、１つまたは複数の対応するダイ領域内のノイズデータと関連付けられるように、前記設計データと位置合わせされ、前記複数の設計群のうちの所与の設計群の群スコアが、前記所与の設計群に関連付けられた前記ノイズデータと、前記所与の設計群の領域に割り当てられた欠陥バジェットとに基づいて計算される、ステップと、
その結果、計算された前記群スコアに基づいて、各所与の設計群を、様々なノイズレベルを表すセグメンテーションラベルの所定の組のうちの１つのセグメンテーションラベルに関連付けることを含めて、前記１つまたは複数のダイに関連したセグメンテーションを行うステップであって、それによって、同じ前記セグメンテーションラベルと、前記セグメンテーションの情報を与えるセグメンテーション構成データとに関連付けられた１つまたは複数の設計群にそれぞれ対応するダイセグメントの組が得られる、ステップと、
前記セグメンテーション構成データを使用して試験方策を生成するステップとを含む、非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体。
【請求項１９】
前記ノイズマップが、植え付け欠陥に関連する情報を含み、前記植え付け欠陥が、前記１つまたは複数の画像に、設計対象パターン（ＰＯＩ）に関連付けられた所定の位置において付加された模擬欠陥であり、前記設計ＰＯＩを含む前記所与の設計群の前記群スコアが、植え付け欠陥の前記情報に基づいて計算される、請求項１８に記載の非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体。
【請求項２０】
前記群スコアが、前記所与の設計群に割り当てられた前記欠陥バジェットを、前記所与の設計群に関連付けられた前記ノイズデータに基づいて作成されたノイズヒストグラムに適用することによって計算される閾値である、請求項１８に記載の非一時的なコンピュータ可読ストレージ媒体。