(57)【要約】  ガラスシートを用いて隔壁を形成することにより、隔壁の形成コストを低下させ、隔壁および電極の形成を容易にする。  基板上に、焼成することで誘電体層となる乾燥膜を形成し、その乾燥膜上に、形成しようとする隔壁の高さに相当する厚みのガラスシートを固定し、そのガラスシート上に隔壁形状に対応したレジストパターンを設けて、不要部分のガラスシートをサンドブラストで切削することによって、ガラスシートを隔壁形状に形成し、乾燥膜を、基板およびガラスシートの軟化点以下の温度で焼成することにより、基板とガラスシートとを焼成乾燥膜である誘電体層で固着することで、隔壁を形成する。【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上に、焼成することで誘電体層となる乾燥膜を形成し、
その乾燥膜上に、形成しようとする隔壁の高さに相当する厚みのガラスシートを固定し、
そのガラスシート上に隔壁形状に対応したレジストパターンを設けて、不要部分のガラスシートをサンドブラストで切削することによって、ガラスシートを隔壁形状に形成し、
乾燥膜を、基板およびガラスシートの軟化点以下の温度で焼成することにより、基板とガラスシートとを焼成乾燥膜である誘電体層で固着することからなるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項２】
乾燥膜が、基板上にペースト状の誘電体材料を塗布して乾燥させることで形成され、このペースト状の誘電体材料が、乾燥後にガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた材料である請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項３】
基板上にペースト状の誘電体材料を塗布する工程がスクリーン印刷法により行われる請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項４】
基板上にペースト状の誘電体材料を塗布する工程がペーストコート法により行われる請求項２記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項５】
乾燥膜が、基板上に粘着シートを貼り付けることで形成され、この粘着シートが、ガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた、あらかじめ作製された粘着シートである請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項６】
乾燥膜が、基板上にペースト状の誘電体材料を塗布して乾燥させたペースト乾燥膜に、ガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた粘着剤をスプレー噴射することで形成されてなる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項７】
ガラスシートが着色ガラスシートからなる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項８】
乾燥膜上にガラスシートを固定した後、ガラスシート上にレジストパターンを設ける前に、ガラスシート上に黒色ペーストを塗布して乾燥させる工程をさらに備えてなる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項９】
乾燥膜を焼成する際、ガラスシートを基板側に押し付けて、基板とガラスシートとの接着性を向上させる工程をさらに備えてなる請求項１記載のプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項１０】
基板上に、焼成することで誘電体層となる乾燥膜を形成し、
その乾燥膜上に、形成しようとする隔壁の高さに相当する厚みのガラスシートを固定し、
そのガラスシート上に隔壁形状に対応したレジストパターンを設けて、不要部分のガラスシートを除去することによって、ガラスシートを隔壁形状に形成し、
乾燥膜を、基板およびガラスシートの軟化点以下の温度で焼成することにより、基板とガラスシートとを焼成乾燥膜である誘電体層で固着することからなるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法。
【請求項１１】
請求項１〜１０のいずれか１つに記載の隔壁形成方法で隔壁を形成したプラズマディスプレイパネル。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の隔壁形成方法に関し、さらに詳しくは、ＡＣ駆動型の３電極面放電型ＰＤＰに主として適用される隔壁形成方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来のＰＤＰとして、ＡＣ駆動型の３電極面放電型ＰＤＰが知られている。このＰＤＰは、一方の基板（例えば前面側または表示面側の基板）の内面に面放電が可能な表示電極を水平方向に多数設け、他方の基板（例えば背面側の基板）の内面に発光セル選択用のアドレス電極を表示電極と交差する方向に多数設け、表示電極とアドレス電極との交差部を１つのセル（単位発光領域）とするものである。１画素は、赤色（Ｒ）セルと、緑色（Ｇ）セルと、青色（Ｂ）セルとの３つのセルで構成される。【０００３】
前面側の基板の表示電極は誘電体層で覆われている。背面側の基板のアドレス電極も誘電体層で覆われ、アドレス電極とアドレス電極との間には隔壁が形成され、Ｒセル、Ｇセル、Ｂセルの各対応領域の隔壁間には、それぞれＲ用、Ｇ用、Ｂ用の蛍光体層が形成されている。【０００４】
ＰＤＰは、このように作製した前面側の基板と背面側の基板とを対向させて周辺を封止した後、内部に放電ガスを封入することにより製造されている（特許文献１参照）。
【特許文献１】特開２００３−３０３５４２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ＰＤＰの隔壁形成方法としては、次のような方法が知られている。第１の方法は、基板に電極バリヤ層（誘電体の焼成膜等）を形成し、その上に低融点ガラスペーストを塗布して乾燥させることで隔壁材料層を形成し、その隔壁材料層をサンドブラストにより切削して、隔壁を形成する方法である。第２の方法は、ガラス基板を直接サンドブラストで切削して、隔壁を形成する方法である。【０００６】
上記第１の方法は、量産実績があるが、以下のような問題がある。すなわち、隔壁材料の半分以上を廃棄するため、製造コストが高くなる。また、サンドブラストで形成した乾燥膜を焼成するため、隔壁の焼成収縮により隔壁の長手方向の端部が跳ね上がって、対向基板との間に隙間ができ、これがパネル振動に伴う異音発生の原因となる。さらに、低融点ガラスペーストを用いるため、ペースト中への異物混入等があると、隔壁欠けや、隔壁に凸部ができる等の問題が発生する。【０００７】
上記第２の方法は、隔壁材料としての低融点ガラスペーストを必要とせず、材料費の低減が見込めるため、開発が進められている。しかしながら、以下のような問題がある。すなわち、隔壁形成後にアドレス電極を形成するため、アドレス電極の形成が困難である。縦方向の隔壁だけでなく、横方向の隔壁も備えた、いわゆるボックス形状の隔壁を形成する場合には、横方向の隔壁中に貫通孔を設けるか、または横方向の隔壁を乗り越えるようにアドレス電極を設けなければならないため、信頼性の面から、現時点では適用が非常に困難である。【０００８】
この発明は、このような事情を考慮してなされたもので、ガラスシートを用いて隔壁を形成することにより、隔壁の形成コストを低下させ、隔壁および電極の形成を容易にするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、基板上に、焼成することで誘電体層となる乾燥膜を形成し、その乾燥膜上に、形成しようとする隔壁の高さに相当する厚みのガラスシートを固定し、そのガラスシート上に隔壁形状に対応したレジストパターンを設けて、不要部分のガラスシートをサンドブラストで切削することによって、ガラスシートを隔壁形状に形成し、乾燥膜を、基板およびガラスシートの軟化点以下の温度で焼成することにより、基板とガラスシートとを焼成乾燥膜である誘電体層で固着することからなるプラズマディスプレイパネルの隔壁形成方法である。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、隔壁にガラスシートを用いるので、隔壁の焼成収縮に起因する隔壁端部の跳ね上がり等がなく、パネル振動による異音発生等の問題が発生しない。さらに、ガラスシート面がそのまま隔壁頂部になるため、平滑性の高い隔壁頂部が得られ、対向基板との密着性が保ちやすい。その結果、隣接セルとのクロストークが発生しにくく、十分なパネル信頼性が得られる。そして、低融点ガラスペーストが不要であるため、大幅なコスト削減が可能となる。また、基板を直接切削して隔壁を形成する際の最大の課題であった、たとえばボックス型のような閉鎖系隔壁を形成する場合でも、乾燥膜を形成する前に基板に電極を形成しておくことで、電極の形成が容易となる。
【図面の簡単な説明】
【００１１】
【図１】本発明のＰＤＰの構成を示す説明図である。
【図２】隔壁の形成方法を示す説明図である。
【図３】隔壁の形成方法を示す説明図である。
【符号の説明】
【００１２】
１０  ＰＤＰ
１１  前面側の基板
１２  透明電極
１３  バス電極
１７  誘電体層
１８  保護膜
２１  背面側の基板
２４  誘電体層
２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂ  蛍光体層
２９  隔壁
３０  放電空間
３１  誘電体材料の乾燥膜
３２  ガラスシート
３３  ドライフィルムレジストの隔壁パターン
Ａ  アドレス電極
Ｇ  荷重
Ｌ  表示ライン
Ｘ，Ｙ  表示電極
【発明を実施するための最良の形態】
【００１３】
本発明においては、まず、基板上に誘電体層となる乾燥膜を形成する。基板としては、ガラス、石英、セラミックス等の基板や、これらの基板上に、電極等の所望の構成物を形成した基板が含まれる。【００１４】
誘電体層となる乾燥膜は、たとえば基板に低融点ガラスペーストをスクリーン印刷法やペーストコート法等の公知の方法で塗布し、乾燥させることで形成することができる。低融点ガラスペーストは、当該分野で公知の各種のペースト材料を用いて形成することができる。ただし、本発明においては、乾燥膜は、乾燥後にガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた材料で形成することが望ましい。【００１５】
あるいは、乾燥膜は、ガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた、あらかじめ作製された粘着シートを基板に貼り付けることで形成してもよい。【００１６】
乾燥膜には、ガラスシートとの粘着性と耐サンドブラスト性とを持たせることが可能な量の樹脂を含有させた粘着剤をスプレー噴射してもよい。これによりガラスシートとの粘着性を持たせることができる。【００１７】
本発明においては、次に、乾燥膜上に、形成しようとする隔壁の高さに相当する厚みのガラスシートを固定する。ガラスシートは、当該分野で公知の各種の材料を用いて形成したものを適用することができる。たとえばホウケイ酸ガラスや、一般に窓ガラスとして用いられるソーダライムガラスなどを適用することができる。【００１８】
このガラスシートには、着色ガラスシートを用いてもよい。また、ガラスシート上にレジストパターンを設ける前に、ガラスシート上に黒色ペーストを塗布して乾燥させる工程をさらに設けてもよい。【００１９】
本発明においては、次に、ガラスシート上に隔壁形状に対応したレジストパターンを設けて、不要部分のガラスシートをサンドブラストで切削することによって、ガラスシートを隔壁形状に形成する。【００２０】
レジストパターンは、ドライフィルムレジストを用い、フォトリソグラフの手法で露光、現像することで、隔壁のレジストパターンを形成してもよいし、液状のレジストを塗布し、乾燥後、露光、現像することで、隔壁のレジストパターンを形成してもよい。【００２１】
本発明においては、次に、乾燥膜を、基板およびガラスシートの軟化点以下の温度で焼成することにより、基板とガラスシートとを焼成乾燥膜である誘電体層で固着する。焼成は、当該分野で公知の焼成炉を用いて行うことができる。【００２２】
この乾燥膜を焼成する際には、ガラスシートを基板側に押し付けて、基板とガラスシートとの接着性を向上させる工程をさらに設けてもよい。【００２３】
以下、図面に示す実施の形態に基づいて本発明を詳述する。なお、本発明はこれによって限定されるものではなく、各種の変形が可能である。【００２４】
図１（ａ）および図１（ｂ）は本発明のＰＤＰの構成を示す説明図である。図１（ａ）は全体図、図１（ｂ）は部分分解斜視図である。このＰＤＰはカラー表示用のＡＣ駆動型の３電極面放電型ＰＤＰである。【００２５】
本ＰＤＰ１０は、前面側の基板１１と背面側の基板２１とから構成されている。前面側の基板１１と背面側の基板２１としては、ガラス基板、石英基板、セラミックス基板等を使用することができる。【００２６】
前面側の基板１１の内側面には、水平方向に表示電極Ｘと表示電極Ｙが等間隔に配置されている。隣接する表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間が全て表示ラインＬとなる。各表示電極Ｘ，Ｙは、ＩＴＯ、ＳｎＯ2などの幅の広い透明電極１２と、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ及びそれらの積層体（例えばＣｒ／Ｃｕ／Ｃｒの積層構造）等からなる金属製の幅の狭いバス電極１３から構成されている。表示電極Ｘ，Ｙは、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。【００２７】
なお、本ＰＤＰでは、表示電極Ｘと表示電極Ｙが等間隔に配置され、隣接する表示電極Ｘと表示電極Ｙとの間が全て表示ラインＬとなる、いわゆるＡＬＩＳ構造のＰＤＰとなっているが、対となる表示電極Ｘ，Ｙが放電の発生しない間隔（非放電ギャップ）を隔てて配置された構造のＰＤＰであっても、本発明の隔壁形成方法を適用することができる。【００２８】
表示電極Ｘ，Ｙの上には、表示電極Ｘ，Ｙを覆うように交流（ＡＣ）駆動用の誘電体層１７が形成されている。誘電体層１７は、低融点ガラスペーストを、前面側の基板１１上にスクリーン印刷法で塗布し、焼成することにより形成している。誘電体層１７は、プラズマＣＶＤ法でＳｉＯ2膜を成膜することにより形成してもよい。【００２９】
誘電体層１７の上には、表示の際の放電により生じるイオンの衝突による損傷から誘電体層１７を保護するための保護膜１８が形成されている。この保護膜はＭｇＯ等で形成されている。保護膜は、電子ビーム蒸着法やスパッタ法のような、当該分野で公知の薄膜形成プロセスによって形成することができる。【００３０】
背面側の基板２１の内側面には、平面的にみて表示電極Ｘ，Ｙと交差する方向に複数のアドレス電極Ａが形成され、そのアドレス電極Ａを覆って誘電体層２４が形成されている。アドレス電極Ａは、表示電極Ｙとの交差部で発光セルを選択するためのアドレス放電を発生させるものであり、Ｃｒ／Ｃｕ／Ｃｒの３層構造で形成されている。このアドレス電極Ａは、その他に、例えばＡｇ、Ａｕ、Ａｌ、Ｃｕ、Ｃｒ等で形成することもできる。アドレス電極Ａも、表示電極Ｘ，Ｙと同様に、Ａｇ、Ａｕについてはスクリーン印刷のような厚膜形成技術を用い、その他については蒸着法、スパッタ法等の薄膜形成技術とエッチング技術を用いることにより、所望の本数、厚さ、幅及び間隔で形成することができる。誘電体層２４は、隔壁を形成する際に電極バリヤ層として作用するものである。【００３１】
隣接するアドレス電極Ａとアドレス電極Ａとの間の誘電体層２４上には、ストライプ状の複数の隔壁２９が形成されている。隔壁２９の形状はこれに限定されず、放電空間をセルごとに区画するメッシュ状（ボックス状）であってもよい。隔壁２９は、ガラスシートを用いてサンドブラスト法により形成する。この隔壁の形成方法については後述する。【００３２】
隔壁２９の側面及び隔壁間の誘電体層２４上には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂが形成されている。蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末とバインダー樹脂と溶媒とを含む蛍光体ペーストを隔壁２９間の凹溝状の放電空間内にスクリーン印刷、又はディスペンサーを用いた方法などで塗布し、これを各色毎に繰り返した後、焼成することにより形成している。この蛍光体層２８Ｒ，２８Ｇ，２８Ｂは、蛍光体粉末と感光性材料とバインダー樹脂とを含むシート状の蛍光体層材料（いわゆるグリーンシート）を使用し、フォトリソグラフィー技術で形成することもできる。この場合、所望の色のシートを基板上の表示領域全面に貼り付けて、露光、現像を行い、これを各色毎に繰り返すことで、対応する隔壁間に各色の蛍光体層を形成することができる。【００３３】
ＰＤＰは、上記した前面側の基板１１と背面側の基板２１とを、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとが交差するように対向配置し、周囲を封止し、隔壁２９で囲まれた放電空間３０にＸｅとＮｅとを混合した放電ガスを充填することにより作製されている。このＰＤＰでは、表示電極Ｘ，Ｙとアドレス電極Ａとの交差部の放電空間３０が、表示の最小単位である１つのセル（単位発光領域）となる。１画素はＲ、Ｇ、Ｂの３つのセルで構成される。【００３４】
図２（ａ）〜図２（ｃ）および図３（ａ）〜図３（ｂ）は隔壁の形成方法を示す説明図である。以下、本発明の隔壁形成方法を工程順に説明する。【００３５】
乾燥膜形成工程
まず、アドレス電極Ａを形成した背面側のガラス基板２１上に誘電体材料を用いて乾燥膜３１を形成する（図２（ａ）参照）。アドレス電極Ａは当該分野で公知の材料と方法を用いて形成されたものである。誘電体材料の乾燥膜３１は、低融点ガラスペーストをスクリーン印刷法やペーストコート法などで塗布して乾燥させることで形成する。低融点ガラスペーストは、低融点ガラスフリットに、セラミックスなどのフィラー、バインダー樹脂、溶媒を加えたものである。誘電体材料の乾燥膜３１は、シート状になったもの（グリーンシートなどと呼ばれる）を貼り付けることで形成してもよい。【００３６】
誘電体材料の乾燥膜３１は、電極バリヤ層として機能する。すなわち、後述するサンドブラスト時にサンドブラストの切削を食い止め、アドレス電極Ａを保護する役割をする。このため、使用する低融点ガラスペーストには樹脂を多めに含有させ、十分な粘弾性を持たせておく。【００３７】
ガラスシート固定工程
次に、誘電体材料の乾燥膜３１上に所望の隔壁高さに対応した厚みを持つガラスシート３２をのせ、固定する（図２（ｂ）参照）。この際、誘電体材料の乾燥膜３１は十分な粘着性を持っているため、ガラスシート３２の固定が可能である。ガラスシート３２の厚みは５０〜５００μｍであることが好ましい。【００３８】
レジスト膜形成工程
次に、ガラスシート３２上にドライフィルムレジストを貼り付け、所望のフォトマスクを介して露光し、現像することで、ガラスシート３２上にドライフィルムレジストの隔壁パターン３３を形成する（図２（ｃ）参照）。この際、アドレス電極Ａのパターンをアライメントマークに使用してもよい。つまり、ガラスシート上のレジストパターン焼き付け時（露光時）のアライメントを、アドレス電極パターン形成時に同時に形成したアライメントマークを使って行えば、正確な位置合わせが可能になる。【００３９】
次に、サンドブラストにより、不必要な部分のガラスシート３２を底まで切削して除去することにより、ガラスシート３２を隔壁形状にする（図３（ａ）参照）。研磨材としては、アルミナ、ジルコニア、炭酸カルシウム、金属等を使用する。この際、誘電体材料の乾燥膜３１は十分な弾性を持っているため、サンドブラストの研磨材によって切削されず、ストッパー層（電極バリヤ層）の役割をする。【００４０】
乾燥膜焼成工程
サンドブラストによる切削後、背面側の基板２１を焼成炉に入れ、誘電体材料の乾燥膜３１に含まれる低融点ガラスの軟化温度以上で、かつガラスシート３２のガラス転移温度以下の温度で乾燥膜３１を焼成し、軟化した乾燥膜３１にガラスシート３２を固着させる。この際、ガラスシート３２の自重により、乾燥膜３１中にガラスシート３２が沈み込むため、十分な密着強度が得られる。【００４１】
この場合、出来上がり隔壁高さを制御するため、ガラスシート３２上に荷重Ｇをかけてもよい（図３（ｂ）参照）。すなわち、荷重Ｇの大きさによって隔壁の高さを制御する。たとえば荷重Ｇを大きくすれば低めの隔壁を形成することができ、荷重Ｇを小さくすれば高めの隔壁を形成することができる。【００４２】
上記隔壁形成方法には、以下のような方法を適用してもよい。
乾燥膜形成工程では、上述したように、グリーンシートを貼り付けることで乾燥膜を形成してもよいが、グリーンシートは樹脂量を調整して粘着性を持たせておくことで、基板への貼り付けを容易にすることができる。このグリーンシートは、あらかじめロール状に巻いて保管しておき、使用の際にロールから引き出して使用するようにしてもよい。【００４３】
誘電体材料の乾燥膜３１は、乾燥した時に粘性のない低融点ガラスペーストを用いて形成してもよい。その場合には、スクリーン印刷法やペーストコート法で低融点ガラスペーストを塗布した後、ペースト乾燥後に、スプレー噴射で粘着性の樹脂を吹き付ければよい。つまり、乾燥膜に対して、ガラスシートとの粘着性を持たせ、かつサンドブラスト研磨材に耐え得るだけの弾性を持たせることが可能な量の粘着性の樹脂を含有させた粘着剤をスプレーで噴射するようにする。【００４４】
ガラスシート固定工程においては、一般に、画面のコントラストを向上させる場合には、隔壁の頂部を黒色にする方法が採られるが、そのような必要がある場合には、黒色に着色したガラスシートを使用してもよい。【００４５】
あるいは、隔壁頂部を黒くする方法として、ガラスシートを乾燥膜上に固定した後、レジスト膜を形成する前に、黒色ペーストをスクリーン印刷法またはペーストコート法で塗布し、乾燥後にレジスト膜を形成するようにしてもよい。【００４６】
また、隔壁頂部を黒くする方法として、サンドブラスト後にレジスト膜を剥離したガラスシートに、黒色ペーストをスクリーン印刷法で塗布し、乾燥後、誘電体材料の乾燥膜の焼成時に、同時に黒色ペースト乾燥膜を焼成するようにしてもよい。【００４７】
レジスト膜形成工程においては、ガラスシート３２上にドライフィルムレジストを貼り付けることで形成したが、ガラスシート３２上に液状レジストを塗布して乾燥させることで、レジスト膜を形成するようにしてもよい。【００４８】
この工程で形成する隔壁のレジストパターンは、特に限定されず、どのようなパターンであってもよい。たとえばストライプ状であってもよいし、閉鎖系の隔壁形状、たとえばボックス形状、デルタ形状、その他のストレート形状以外の形状であってもよい。【００４９】
サンドブラスト工程の後、ガラスシート上に残ったレジスト膜の除去は、粘着ロールによって剥離してもよい。あるいは、乾燥膜の焼成時に同時に焼き飛ばすようにしてもよい。【００５０】
このようにして、隔壁にガラスシートを用いることにより、隔壁の焼成工程がないため、隔壁焼成時の収縮で生ずる隔壁端部の跳ね上がりがなく、これに起因するパネルからの異音発生を防止できる。また、ガラスシートの上面がそのまま隔壁頂部になるため、隔壁頂部の平滑性が高まり、前面側の基板との密着性が向上し、その結果、隣接セルとの放電結合（クロストーク）が発生しにくく、十分なパネル信頼性が得られる。さらに、低融点ガラスペーストを必要としないので、隔壁材料費が低減される。そして、ガラス基板を直接切削して隔壁を形成する際の最大の課題であった、たとえばボックス型のような閉鎖系隔壁を形成する場合でも、乾燥膜を形成する前に基板に電極を形成しておくことで、電極の形成が容易となる。
なお、ガラスシートの切削には、上述したサンドブラスト加工に代えて、レーザー微細加工や、薬液によるケミカルエッチング加工も採用可能である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【国際調査報告】
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