(57)【要約】  隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。  粘着シート（１２）上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（１１）を、粘着シート（１２）から順次剥離して取り出すものである。剥離すべきペレット（１１）を上方から保持した状態で、粘着シート（１２）を下方から吸引しつつ、ペレット（１１）の一のペレット角部（２６）からこのペレット角部（２６）に対向する他のペレット角部（２７）乃至その近傍に向けてペレット（１１）を剥離していく。
2008004270.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、剥離すべきペレットを上方から保持した状態で、粘着シートを下方から吸引しつつ、前記ペレットの一のペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことを特徴とするピックアップ方法。
【請求項２】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、角部が一のペレット角部に対応する受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間のエアを吸引して、少なくとも前記受け部の角部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行いつつ、前記受け部を、前記ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させ、ペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことを特徴とするピックアップ方法。
【請求項３】
粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、角部がペレットの一のペレット角部に対応するように前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記受け部をペレットのペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたことを特徴とするピックアップ装置。
【請求項４】
前記駆動手段による受け部の移動方向は、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であることを特徴とする請求項３のピックアップ装置。
【請求項５】
前記駆動手段は、前記受け部の移動方向の変更を可能としたことを特徴とする請求項３のピックアップ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ピックアップ方法およびピックアップ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体装置の製造工程において、ダイシングされた半導体ペレット（以下、単にペレットという。）を粘着シートからピックアップする必要がある。従来のピックアップ装置として、粘着シートを保持するステージと、このステージに対して進退する突き上げ台と、この突き上げ台によって突き上げられるニードルとを備えたものがある。すなわち、突き上げ台によって突き上げられたニードルによりステージの粘着シートを裏面側から突いて、ペレットを粘着シートから離脱させるように構成されている。【０００３】
しかしながら、ニードルを使用するピックアップ装置では、ニードルが粘着シートを突き破ってペレットを突き上げて粘着シートから剥離する際に、ニードルの先端部が磨滅したり破損していたり曲がっていたりする場合がある。このような場合には、破損したニードルがペレット突き上げ時にペレット裏面を傷付けるおそれがある。また、磨滅や破損によって各ニードルの長さが相違することになって、ペレットが傾いて突き上げられる状態になり、隣合うペレット同士が衝突して傷付け合うおそれがある。【０００４】
さらに、ペレットはコレットにて吸着されて取り出される。しかしながら、ペレットが傾いて突き上げられれば、コレットによるペレットの吸着ミスが発生する。コレットのペレット吸着ミスが発生すると、その後の作業に支承を来たすことになる。また、ニードルの突き上げによって、ペレットが損傷する場合もあった。【０００５】
そこで、近年このようなニードルを使用しないピックアップ装置（特許文献１）が提案されている。このピックアップ装置は、図５と図６に示すように、ペレット１が貼り付けられている粘着シート２を保持するステージ３を備える。また、ステージ３には、その上面４ａがステージ上面３ａより突出する受け部４が付設される。このため、受け部４の外周側には、粘着シート２との間に図６に示すように隙間６が形成される。さらに、ステージ３には、前記隙間６に連通される吸引孔５が設けられている。なお、この吸引孔５、５は、図３に示すように平面視において、その一部がペレット１の第１辺８ａよりも外側に突出している。【０００６】
次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ装置を説明する。まず、上方からコレット（吸着コレット）７にてペレット１を吸着（保持）した状態で、吸引孔５を介して粘着シート２を吸引する。これによって、隙間６のエアが矢印Ａのように、吸引され、受け部４の周りの粘着シート２が吸引され、ペレット１の外周側において粘着シート２が剥離する。【０００７】
その後、図７に示すように、受け部４を矢印Ｂの方向へ移動（移動）させる。つまり、前記第１辺８ａに対面する第２辺８ｂ側へ移動させる。これによって、受け部４にて受けられているペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート２の吸着（吸引）面積が増加して、最終的にこのペレット１から粘着シート２を完全に剥離させることができる。
【特許文献１】特許第３２０９７３６号明細書
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
ところで、前記ピックアップ装置を使用した場合、図８に示すように、受け部４を、第１辺８ａに対して直交する方向に移動させることになる。このため、この受け部４の移動によって、剥離しているペレット１ａに隣設するペレット１ｂ、１ｃに対して動的な曲げ応力を付与することになり、割れが生じるおそれがある。なお、図８において、Ｓは割れが生じている部位を示し、ペレット１ｂ、１ｄのＳ１はスライドさせた際に生じる割れを示し、ペレット１ｃのＳ２は吸引に際に生じる吸着割れを示している。【０００９】
また、前記ピックアップ装置では、第１辺８ａからこれに対面する第２辺８ｂ側に向かって粘着シート２が剥離されて行くことになる。このため、第１辺８ａの長さ分づつはがすことになって、比較的大きな剥離力を必要とし、粘着シート２の粘着力が強ければ、剥離しにくいことになる。さらに、吸着（吸引応力）が２箇所の角部７、９に分散するので、薄いペレット１である場合に、吸着時にペレットがいわゆる「しなった状態」となって、剥離開始部の端部が剥離しにくいことになる。【００１０】
さらに、受け部４の形状寸法を剥離しようとするペレット１の寸法に合わせる必要があり、ペレット（チップ）１毎に受け部４を相違させる必要があり、コスト高となっていた。【００１１】
本発明は、上記課題に鑑みて、隣のペレットに割れが生じにくく、しかも剥離すべきペレットを確実かつ容易に剥離して取り出すことが可能なピックアップ方法およびピックアップ装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、剥離すべきペレットを上方から保持した状態で、粘着シートを下方から吸引しつつ、前記ペレットの一のペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くものである。【００１３】
本発明のピックアップ方法によれば、ペレットの対角線に沿って剥離することになる。このため、ペレットの一辺の長さ分づつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済む。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレットのペレット角部を構成する２辺に対応する隣のペレットの辺に対して、離れて行くことになる。これによって、隣接するペレットに動的な曲げ応力を掛けることがなくなる。また、一のペレット角部から剥離して行くものであるので、粘着シートを吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができる。このため、薄くてしなりやすいペレットであっても、剥離が可能となる。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シートが剥がれていくことになる。【００１４】
本発明の他のピックアップ方法は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ方法であって、角部が一のペレット角部に対応する受け部にて、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に隙間を形成した後、前記ペレットを上方から保持した状態で、前記隙間のエアを吸引して、少なくとも前記受け部の角部の外周側の粘着シートを剥離し、その後、このエアの吸引及び上方からのペレットの保持を行いつつ、前記受け部を、前記ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させ、ペレット角部からこのペレット角部に対向する他のペレット角部乃至その近傍に向けてペレットを剥離して行くことものである。【００１５】
本発明の他のピックアップ方法によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受けて、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引すれば、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。その後は、受け部を、ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動することによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していく。これによって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加し、最終的には、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。しかも、剥離作業開始においては、受け部の角部を、剥離すべきペレットの一のペレット角部に対応させればよいので、その幅寸法をペレットの一辺によりも僅かに小さい寸法等に設定したりする必要がない。すなわち、受け部を、ペレットの寸法に合わせて設計してその都度製作する必要がない。【００１６】
本発明のピックアップ装置は、粘着シート上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレットを、前記粘着シートから順次剥離して取り出すピックアップ装置であって、剥離すべきペレットを上方から保持する保持手段と、粘着シートが載置されるステージと、角部がペレットの一のペレット角部に対応するように前記ペレットを粘着シートを介して受ける受け部と、この受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引するエア吸引手段と、前記受け部をペレットのペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させる駆動手段とを備えたものである。【００１７】
本発明のピックアップ装置によれば、剥離すべきペレットを粘着シートを介して受け部にて受けることができる。そして、受け部にてペレットを受けるとともに保持手段にて上方からペレットを保持した状態で、受け部の外周側において粘着シートとの間に形成される隙間のエアを吸引することによって、受け部の外周側において、粘着シートが吸引されて粘着シートがペレットから剥離する。また、受け部を、ペレット角部を構成するペレットの２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させることができる。これによって、受け部によるペレットの受け面積が減少していって、粘着シートの吸着（吸引）面積が増加していく。このため、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができる。すなわち、前記他のピックアップ方法を確実に実行することができる。【００１８】
前記駆動手段による受け部の移動方向は、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向であるようにしたり、さらには、前記駆動手段は、前記受け部の移動方向の変更を可能としたりできる。
【発明の効果】
【００１９】
本発明のピックアップ方法では、剥離力が小さくて済むので、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離すべきペレットを剥離する際には、隣接するペレットに動的な曲げ応力を掛けることがなくなる。このため、隣接するペレット（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、また、初期に粘着シートを吸引する吸着応力を受け部の角１箇所に集中させることができるので、薄くてしなりやすいペレットであっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット厚みの適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シートが剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。【００２０】
他の本発明のピックアップ方法では、受け部を移動することによって、剥離すべきペレットから粘着シートを完全に剥離させることができ、剥離の信頼性の向上を図ることができる。しかも、ピックアップ方法と同様、隣接するペレットに割れを生じさせない等の作用効果も奏する。特に、使用する受け部を、ペレットの寸法に合わせる必要がないので、一種類の受け部にて種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。【００２１】
本発明のピックアップ装置では、前記他のピックアップ方法を確実に実行できるので、安定した剥離作業および隣接するペレットの損傷を防止できる等の作用効果を奏することがきる。【００２２】
受け部の移動方向を、ペレット角部を構成する２辺に対してそれぞれ４５度をなす方向とした場合、粘着シートに対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。【００２３】
また、受け部の移動方向の変更を可能とすれば、４５度という角度は、剥離するペレットの性質等に応じて変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレットには割れやすい方向があるので、受け部の移動方向を、隣接するペレットに対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。ここで、結晶方位とは、結晶の方向を、結晶の面指数で表したものである。
【図面の簡単な説明】
【００２４】
【図１】本発明の実施形態のピックアップ方法を示す簡略工程図である。
【図２】本発明の実施形態のピックアップ装置を示し、この装置を使用したピックアップの簡略断面図である。
【図３】粘着シートに貼り付けたペレットを示す簡略平面図である。
【図４】本発明の他の実施形態のピックアップ装置の断面図である。
【図５】従来のピックアップ装置の簡略平面図である。
【図６】従来のピックアップ装置の簡略断面図である。
【図７】従来のピックアップ装置を使用した剥離工程を示す簡略断面図である。
【図８】従来のピックアップ装置を使用したピックアップ方法の問題点を示す簡略図である。
【符号の説明】
【００２５】
１１    ペレット
１２    粘着シート
１５    保持手段
１６    ステージ
１７    受け部
１８    エア吸引手段
１９    隙間
２５    角部
２６    ペレット角部
２７    ペレット角部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２６】
以下、本発明の実施の形態を図１〜図４に基づいて説明する。【００２７】
図２に本発明のピックアップ装置を示す。このピックアップ装置は、粘着シート１２上に貼り付けられた複数の矩形薄肉のペレット（半導体チップ）１１を、前記粘着シート１２から順次剥離して取り出す装置である。【００２８】
ペレット１１は、ウェーハＷ(図３参照)を素材とし、この素材を矩形状に切断することによって最終製品となる。このため、ペレット１１には正方形や短冊状のもの等がある。すなわち、図３に示すように、ウェーハＷは全体として円形であり、ダイシングにより個々のペレット１１に分割かれ、このペレット１１が粘着シート１２に貼り付けられている。また、粘着シート１２の外周側にはリング体からなるフレーム１３が貼着されている。すなわち、このフレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている。そして、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態で、このピックアップ装置にてペレット１１が取り出される。【００２９】
ピックアップ装置は、図２に示すように、剥離すべきペレット１１を上方から保持する保持手段１５と、粘着シート１２が載置されるステージ１６と、ペレット１１を粘着シート１２を介して受ける受け部１７と、この受け部１７の外周側において粘着シート１２との間に形成される隙間１９のエアを吸引するエア吸引手段１８と、受け部１７を移動させる図示省略の駆動手段とを備える。【００３０】
保持手段１５は、ペレット１１を吸着するヘッド２０を有する吸着部材（コレット）２１にて構成している。ヘッド２０は、その下端面２０ａに吸着孔が設けられ、この吸着孔を介してペレット１１が真空吸引され、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１が吸着する。このため、この真空吸引（真空引き）が解除されれば、ヘッド２０からペレット１１が外れる。そして、この吸着部材２１は例えばロボットのアームに連結され、鉛直方向（図２の矢印Ｃ、Ｄ方向）、水平方向(図２の矢印Ｅ方向)、およびこれらを組み合わせた方向の移動が可能とされる。【００３１】
ステージ１６の上面には凹所２２が設けられ、この凹所２２に受け部１７が配置されている。また、受け部１７は、図１に示すように、先端に向かって細くなる先細部１７ａを備える。すなわち、先細部１７ａは、ペレット１１の第１辺２８ａに平行な第１辺２２と、ペレット１１の第３辺２８ｃに平行な第２辺２３にて構成され、この第１辺２２と第２辺２３とは９０度を成す。そして、先細部１７ａの角部２５が、剥離しようとする一のペレット角部２６に対応する。この一のペレット角部２６は、前記第１辺２８ａと第３辺２８ｃとがなす接合部である。【００３２】
この実施形態においては、ペレット１１は正方形であり、ペレット角部２６とこれに対向する他のペレット角部２７（第２辺２８ｂと第４辺２８ｄとがなす角部）を結ぶ対角線Ｌ上に前記受け部１７の角部２５が配置される。また、前記凹所２２は、深さ寸法が受け部１７の厚さ寸法と略同一の本体部２２ａと、先細部１７ａの先端側（第１辺２２と第２辺２３の前方側）に配設されるテーパ部２２ｂとを備える。テーパ部２２ｂは本体部２２ａから先端に向かって順次浅くなっている。【００３３】
前記凹所２２には、図１に示すように、ペレット１１の第１辺２８ａと第３辺２８ｃとの対応して、前記吸引手段１８を構成する吸引孔３０が連通されている。なお、この実施形態においては、第１辺２８ａと第４辺２８ｄとの角部に対応して吸引孔３０ａが設けられ、第１辺２８ａの中間部に対応して吸引孔３０ｂが設けられ、第１辺２８ａと第３辺２８ｃとの角部に対応して吸引孔３０ｃが設けられ、第３辺２８ｃの中間部に対応して吸引孔３０ｄが設けられ、第３辺２８ｃと第２辺２８ｂとの角部に対応して吸引孔３０ｅが設けられている。そして、各吸引孔３０は、平面視で分かるように、一部がペレット１１より外側へ突出している。【００３４】
そして、図２（Ａ）に示すように、ステージ１６上に、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２を配置することによって、受け部１７の外周側、具体的には第１辺２２と第２辺２３の前方側において粘着シート１２との間に隙間１９が形成される。【００３５】
吸引手段１８は、前記吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅを有し、この吸引孔３０ａ等に図示省略の真空ポンプが接続されてなる。すなわち、真空ポンプが駆動することによって、吸引孔３０ａ等を介して隙間１９内の空気が吸引される。【００３６】
受け部１７は、駆動手段を介して、ペレット角部２６を構成するペレット１の２辺２８ａ、２８ｃに対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動する。つまり、受け部１７は前記対角線Ｌに沿った方向に移動する。なお、駆動手段としては、ボルト軸部材とこれに螺合するナット部材からなる往復動機構やシリンダ機構等の種々の機構を用いることができる。また、この受け部１７は平板体からなり、これに支持部材３１が連設され、この受け部１７と支持部材３１とで、移動ブロック体３２を構成している。【００３７】
次に、前記ピックアップ装置を使用したピックアップ方法を説明する。まず、図３に示すように、フレーム１３と粘着シート１２とが一体化されている状態において、図１に示すように、２辺（この場合、第２辺２８ｂと第４辺２８ｄ）に、他のペレット１１が対応しないペレット１１（この場合、ペレット１１ａ）を選択して、このピックアップ装置のステージ１６をこのペレット１１ａの下方に位置させて、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２を介して、移動ブロック体３２の受け部１７にて受ける。この際、図１（Ａ）に示すように、受け部１７の第１辺２２がペレット１１ａの第１辺２８ａに対して平行となるとともに、受け部１７の第２辺２３がペレット１１ａの第３辺２８ｃに対して平行となるように、受け部１７の角部２５をペレット１１ａの対角線Ｌ上に配置する。また、角部２５がペレット１１ａの角部２６に対して、図１の矢印αの方向、つまり対角線Ｌに沿って、角部２６に対向する角部２７側にずれている。【００３８】
このため、受け部１７の先細部１７ａの前方側（第１辺２２及び第２辺２３の前方側）には、図２（Ａ）に示すように、粘着シート１２の下方側に隙間１９が形成される。この状態で、保持手段１５のコレット２１を、矢印Ｄのように下降させ、ヘッド２０をペレット１の上面に当接するとともに、吸着孔を介してペレット１１ａを真空吸引して、このヘッド２０の下端面２０ａにペレット１１ａを吸着させる。【００３９】
前記隙間１９は、前記したように、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅに連通されている。そこで、吸引手段１８を駆動することによって、吸引孔３０ａ、３０ｂ、３０ｃ、３０ｄ、３０ｅを介して隙間１９のエアを吸引する。これによって、図２（Ｂ）に示すように、隙間１９に対応する粘着シート１２の一部が吸引され、受け部１７の先細部１７ａの前方側の粘着シート１２をペレット１１ａから剥離する。【００４０】
その後、図１（Ｂ）（Ｃ）および図２（Ｃ）（Ｄ）に示すように、受け部１７を前記対角線Ｌに沿って矢印αのように移動（スライド）させる。これによって、受け部１７によるペレット１の受け面積が減少していって、粘着シート１２の下方への吸着（吸引）面積が増加していく。この際、ペレット１１ａはコレット２１に保持（吸着）されているので、粘着シート１２が順次ペレット１１ａから剥離していく。このため、図２（Ｄ）に示すように、吸着面積がペレット面積と同一乃至ペレット面積よりも大きくなれば、この剥離すべきペレット１から粘着シート１２を完全に剥離させることができる。【００４１】
そして、剥離後は、図２（Ｅ）に示すように、コレット２１を矢印Ｃのように上昇させてステージ１６から離すことによって、ペレット１１ａを粘着テー１２から取り出すことができる。その後は、図２（Ｆ）に示すように、受け部１７が矢印Ｇのように戻して待機状態とし、次に剥離すべきペレット１１を受け部１７にて受けるように配置する。この場合、図１の１１ｂのペレット１１に対応することになる。【００４２】
このように、順次ペレット１１にこのピックアップ装置を対応させて行けば、粘着シート１２上のすべてのペレット１１を粘着シート１２から剥離して取り出すことができる。【００４３】
なお、各ペレット１１にピックアップ装置を対応させる場合、ピックアップ装置側を移動させても、ペレット１１が貼り付けられた粘着シート１２側を移動させても、さらには両者を移動させてもよい。【００４４】
本発明では、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになる。このため、ペレット１１の一辺の長さ分づつ剥離する場合と相違して、その剥離力が小さくて済み、粘着シートの剥離が容易となる。しかも、剥離して行く際には、剥離を開始するペレット１１のペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対応する隣のペレット１１の辺に対して、受け部１７が離れて行くことになる。これによって、隣接するペレット１１に動的な曲げ応力を掛けることがなくなり、隣接するペレット１１（特に、剥離すべきペレットに対応する辺）に割れを生じさせない。また、一のペレット角部２６から剥離して行くものであるので、粘着シート１２を吸引する吸着応力が１箇所に集中させることができ、薄くてしなりやすいペレット１１であっても、剥離が可能となり、剥離させることができるペレット１１の適用範囲が拡大する利点がある。さらに、剥離部位が斜めに移動するので、せん断を掛けつつ吸着力で粘着シート１２が剥がれていき、剥離性能の向上を図ることができる。【００４５】
特に、剥離作業開始においては、受け部１７の角部２５を、剥離すべきペレット１１の一のペレット角部２６に対応させればよいので、その幅寸法をペレット１１の一辺よりも僅かに小さい寸法等に設定して受け部１７をその都度製作する必要がない。すなわち、受け部１７を、ペレット１１の寸法に合わせることなく、一種類の受け部にて位置調整するのみで種々のサイズのペレットに合わせることができ、汎用性にすぐれ、コスト低減に寄与する。また、受け部１７の移動方向が、ペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対してそれぞれ４５度をなす方向であるので、粘着シート１２に対して均等な剥離力で剥離していくことができ、製品（ペレット）への不要な負荷を掛けずに済み、製品損傷を防止できる。【００４６】
次に、図４は他の実施形態を示し、この場合、受け部１７がステージ１６の上面より突出している。このため、受け部１７にて剥離すべきペレット１１を受けた場合、ステージ１６の上面よりも上位でペレット１１を受けることになる。【００４７】
従って、この図４に示すピックアップ装置であっても、受け部１７の先細部１７ａの前方側に隙間１９が形成される。このため、コレット２１にてペレット１１を上方から保持した状態で、隙間１９にエアを吸引すれば、受け部１７の先細部１７ａの前方側において、粘着シート１２がペレット１１から剥離する。【００４８】
そこで、この状態で受け部１７を、ペレット１１のペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動させれば、図２に示すピックアップ装置と同様、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することになり、粘着シート１２を容易に剥離して行くことができる。【００４９】
ところで、前記各実施形態では、受け部１７をステージ１６に対して移動させていたが、別の実施形態として、受け部１７をステージ１６に一体的に設けて、ステージ１６を移動させることによって、受け部１７をペレット１１に対して移動させるようにしてもよい。この場合であっても、ペレット１１の対角線Ｌに沿って剥離することができ、図２や図４に示すピックアップ装置と同様の作用効果を奏することができる。【００５０】
また、前記各実施形態では、受け部１７がペレット１１の対角線Ｌに沿って移動するものであって、ペレット角部２６を構成する２辺２８ａ、２８ｃに対してそれぞれ４５度をなす方向に移動していた。しかしながら、４５度をなす方向に限らず、例えば、第１辺２８ａに対して３０度をなし、第３辺２８ｃに対して６０度をなす方向に沿って移動させるようにしても、第１辺２８ａに対して６０度をなし、第３辺２８ｃに対して３０度をなす方向に沿って移動させるようにしてもよい。【００５１】
すなわち、一つの辺（例えば、第１辺２８ａに対して直交する方向でなくて、一つのペレット角部（例えばペレット角部２６）からこれに対向する他のペレット角部（例えばペレット角部２７）に近傍に向かって受け部１７が移動すればよい。【００５２】
さらに、受け部１７に移動方向を任意に変更できるようにすることも可能である。すなわち、図１や図２に示すピックアップ装置において、ペレット１１に対する受け部１７の移動(スライド)方向を変更することができる。【００５３】
このように、受け部１７の移動方向の変更を可能とすれば、剥離するペレット１１の性質等に応じて移動方向を変更することができる。すなわち、結晶方位によってペレット１１には割れやすい方向があるので、受け部１７の移動方向を、隣接するペレット１に対して割れにくい方向の力が作用するように設定できる。このため、隣接するペレットの損傷（割れ）を一層安定して防止できる。【００５４】
以上、本発明の実施形態につき説明したが、本発明は前記実施形態に限定されることなく種々の変形が可能であって、例えば、ステージ１６に設けられる吸引孔３０としては、大きさ、数、形状等を、隙間１９のエアの吸引可能範囲で任意に設定できる。このため、吸引孔３０は１個であってもよい。また、剥離すべきペレット１１として、正方形に限るものではなく、短辺と長辺とを有する長方形であっても、さらには、短辺に比べて長辺が極めて長い短冊状であってもよい。粘着シート１２の厚さとしても、吸引力等によって相違するが、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できるように、湾曲変形できるものであればよい。【００５５】
受け部１７の肉厚としても、吸引手段１８にて隙間１９のエアを吸引した際に、ペレット１１から剥離できる範囲によって、任意に設定できる。受け部１７の形状としても、図８に示すような矩形平板体であってもよい。要は、ペレット１１の一つのペレット角部(例えば、ペレット角部２６)に対応する角部があって、この角部がペレット１１のペレット角部２６を構成する辺２８ａ、２８ｃに対向する２辺から形成されていればよく、そして、ペレット１１に対する受け部１７が、ペレット角部を構成する２辺に対して傾斜する方向に水平方向に沿って移動できればよい。また、受け部１７の角部２５の角度として９０度に限るものではなく、多少鋭角であっても鈍角であってもよい。【００５６】
粘着シート１２上に貼り付けられているペレット１１の数としても任意であり、本発明では、数に影響されることなく、粘着シート１２上の全てのペレット１１を順次剥離して行くことができる。また、図１に示すように、剥離すべきペレット１１の第２辺２８ｂと第４辺２８ｄとに他のペレット１１が対応していなければよいので、剥離して行く順序としてはこの条件を満たす範囲で任意に設定できる。
【産業上の利用可能性】
【００５７】
切断されたウェーハ、もしくは最終製品になる前の板材を、粘着シートに貼り付けて、この状態でダイシングソー等にて切断することによって、複数枚のペレットを形成することができる。そして、このピックアップ装置には、粘着シートからペレットを一枚づつ剥離させて取り出すことができる。取り出したペレットは、リードフレームの所定のランドに供給することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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