【手続補正書】
【提出日】令和1年10月25日(2019.10.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、
前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタと
を備え、
前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードと、
前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部、および前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有する制御部とを有し、
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とする検査システム。
【請求項２】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項３】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項４】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩでかつ選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１に記載の検査システム。
【請求項５】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたＤＵＴのＤＵＴ番号を検出し、選択されたＤＵＴを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の検査システム。
【請求項６】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
前記ウエハマップを描画する際の、前記ウエハマップ上の各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴと前記ウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタモジュールボードの番号およびＬＳＩ番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の検査システム。
【請求項７】
複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、ウエハマップを表示するウエハマップ表示器であって、
前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部と、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションとを有し、
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とするウエハマップ表示器。
【請求項８】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項７に記載のウエハマップ表示器。
【請求項９】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項７に記載のウエハマップ表示器。
【請求項１０】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩでかつ選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項７に記載のウエハマップ表示器。
【請求項１１】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたＤＵＴのＤＵＴ番号を検出し、選択されたＤＵＴを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項７から請求項１０のいずれか１項に記載のウエハマップ表示器。
【請求項１２】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
前記ウエハマップを描画する際の、前記ウエハマップ上の各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴと前記ウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタモジュールボードの番号およびＬＳＩ番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項７から請求項１１のいずれか１項に記載のウエハマップ表示器。
【請求項１３】
複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示部に表示するウエハマップ表示方法であって、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するにあたり、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分を、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けし、
前記ウエハマップに示された前記検査結果および／または前記自己診断結果から前記テスタの故障解析または故障予知を行うことを特徴とするウエハマップ表示方法。
【請求項１４】
前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項１３に記載のウエハマップ表示方法。
【請求項１５】
前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項１３に記載のウエハマップ表示方法。
【請求項１６】
前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩでかつ選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示することを特徴とする請求項１３に記載のウエハマップ表示方法。
【請求項１７】
前記ウエハマップ上でＤＵＴを選択し、選択されたＤＵＴのＤＵＴ番号を検出し、選択されたＤＵＴを強調表示させることを特徴とする請求項１３から請求項１６のいずれか１項に記載のウエハマップ表示方法。
【請求項１８】
複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、表示部に前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示するコンピュータプログラムであって、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有し、
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とするコンピュータプログラム。
【請求項１９】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１８に記載のコンピュータプログラム。
【請求項２０】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードの選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１８に記載のコンピュータプログラム。
【請求項２１】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップのＤＵＴ表示にフィルタをかけ、前記複数のテスタモジュールボードのうち選択されたテスタモジュールボードのＬＳＩでかつ選択された番号のＬＳＩに対応するＤＵＴの前記検査結果および／または前記自己診断結果のみを表示する機能を有することを特徴とする請求項１８に記載のコンピュータプログラム。
【請求項２２】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記ウエハマップ上で選択されたＤＵＴのＤＵＴ番号を検出し、選択されたＤＵＴを強調表示する機能を有することを特徴とする請求項１８から請求項２１のいずれか１項に記載のコンピュータプログラム。
【請求項２３】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、
前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、
前記ウエハマップを描画する際の、前記ウエハマップ上の各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴと前記ウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタモジュールボードの番号およびＬＳＩ番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、
前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画することを特徴とする請求項１８から請求項２２のいずれか１項に記載のコンピュータプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを備え、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードと、前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部、および前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有する制御部とを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とする検査システムを提供する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画する際に描画をコントロールするウエハマップ描画コントロール部と、前記ウエハマップを描画する際の、前記ウエハマップ上の各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴと前記ウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタモジュールボードの番号およびＬＳＩ番号との関連付けの情報を記述したウエハマップ描画情報記述部とを有し、前記ウエハマップ描画コントロール部は、前記ウエハマップ描画情報記述部の情報に基づいてウエハマップを描画するように構成することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
本発明の第２の観点は、複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、ウエハマップを表示するウエハマップ表示器であって、前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示する表示部と、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションとを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とするウエハマップ表示器を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明の第３の観点は、複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示部に表示するウエハマップ表示方法であって、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するにあたり、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分を、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けし、前記ウエハマップに示された前記検査結果および／または前記自己診断結果から前記テスタの故障解析または故障予知を行うことを特徴とするウエハマップ表示方法を提供する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の第４の観点は、複数のＤＵＴが形成された半導体ウエハを保持するステージと、半導体ウエハを前記ステージに搬送する搬送部と、複数のプローブを半導体ウエハ上の複数のＤＵＴの電極に接触させるプローブカードとを有するプローバと、前記プローブカードを介して前記半導体ウエハ上の複数のＤＵＴに電気的信号を与え、前記ＤＵＴの電気特性を検査するテスタとを有し、前記テスタは、前記複数のＤＵＴの各々に対応するＬＳＩを複数搭載した複数のテスタモジュールボードを有する検査システムにおいて、表示部に前記複数のＤＵＴの検査結果および／または前記テスタの自己診断結果を示したウエハマップを表示するコンピュータプログラムであって、前記表示部に表示する前記ウエハマップを描画するウエハマップ描画アプリケーションを有し、前記ウエハマップ描画アプリケーションは、前記検査結果および／または前記自己診断結果を、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するとともに、前記ウエハマップにおける前記複数のＤＵＴの各々の表示部分が、前記複数のテスタモジュールボードに搭載された前記複数のＬＳＩの各々に紐付けられていることを特徴とするコンピュータプログラム。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
本発明によれば、ウエハマップにおける複数のＤＵＴの各々の表示部分が、複数のテスタモジュールボードに搭載された複数のＬＳＩの各々に紐付けられているので、所定の検査および／またはテスタの自己診断においてテスタ起因のＦＡＩＬが生じた場合に、テスタの故障箇所を視覚的に把握することができ、故障解析の時間短縮および工数の削減を実現することができる。また、ウエハマップにテスタ構成を反映させるだけでなく、所定の検査において、検査結果および／またはテスタの自己診断結果を複数のＤＵＴの各々の表示部分に段階的に表示するので、ＰＡＳＳであってもウエハマップ上で各ＤＵＴにおける基準値からの乖離を段階的に表示することができ、検査結果および／または自己診断結果がＦＡＩＬに近い値のＤＵＴから、故障が起こりやすいテスタ部分を把握して故障予知も行うことができる。しかも、故障予知をウエハマップ表示で視覚的に行うことにより、故障前の問題抽出を迅速に行うことができ、テスタの故障前に迅速に対応することができるので、装置のダウンタイムを短縮することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
ウエハマップ描画情報記述部６２は、ウエハマップを描画する際に必要となる、ウエハマップ上の各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタモジュールボードのＳｌｏｔ Ｎｏ．およびＬＳＩ Ｎｏ．との関連付けの情報を記述したｘｍｌファイル（Ｗａｆｅｒｍａｐ．ｘｍｌ）である。これらの情報は、ウエハマップ描画コントロール部（ウエハマップコントロールクラス）６１をクリエイト（メモリ上に展開）した際に予めロードさせる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
図４は、ウエハマップ描画コントロール部６１により描画したウエハマップの全体を示すものであり、テスタの故障解析を行うために所定の検査、例えば電圧測定を行った結果を示すものである。図４において、一つのマス目が一つのＤＵＴを表しており、各ＤＵＴの表示部分がテスタモジュールボード３３のＬＳＩに紐付けられている。また、テスタ３００による検査結果および／または自己診断結果のデータがＤＵＴごとに示されており、そのデータの基準値からの乖離の程度の違いが異なる色で表示されている。例えば、テスタに故障が生じていないＰＡＳＳの状態を４段階で示しており、基準値からの乖離が小さく故障の可能性がほとんどないレベル０では緑色（図４では中間の灰色）、それよりも基準値からの乖離が大きくなる順にレベル１、レベル２、レベル３とし、レベル１では水色（図４では薄い灰色）、レベル２では黄色（図４ではドット）、レベル３では赤色（図４では濃い灰色）で表している。レベルが上がるほどＦＡＩＬに近づき、故障の可能性が高くなる。また、ＦＡＩＬは実際に故障が発生していることを示し、黒で表している。また、図４ではＦＡＩＬになったＤＵＴの表示部分をクリックすることにより強調表示（枠表示）されていることを示している。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
また、図７では、黒色のＦＡＩＬとなったＤＵＴの表示部分をクリックした状態を示しているが、特定のＤＵＴの表示部分をクリックすることにより、上述したように、そのＤＵＴが強調表示されるとともに、クリックされたＤＵＴの番号およびすべての検査結果および／または自己診断結果が表示されるようになっている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４０】
具体的には、テスタ３００からウエハ上のＤＵＴに対して、電圧、電流、ロジック波形等を出力し、デバイスからの電圧、電流、ロジック波形を測定し、ＤＵＴのＰＡＳＳおよびＮＧを判断する。また、プローブとＤＵＴのコンタクト抵抗やリーク電流といった自己診断項目の測定を実施し、ＰＡＳＳおよびＮＧを判断する。そして、それらの結果をウエハマップに表示する。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
また、このような検査した電気特性および／または自己診断結果によりテスタ３００の故障解析を行うことができる。本実施形態では、テスタ３００の構成を加味したウエハマップを作成し、ウエハマップ上の個々のＤＵＴの表示部分にテスタ３００による検査結果および／または自己診断結果を表示できるようにし、その結果に基づいて故障解析をできるようにした。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
具体的には、ウエハマップには、テスタ３００による検査結果および／または自己診断結果のデータがＤＵＴごとに示されており、各ＤＵＴの表示部分がテスタモジュールボード３３のＬＳＩに紐づけられ、かつ、ＤＵＴごとに示されるテスタ３００による検査結果および／または自己診断結果のデータが、そのデータの基準値からの乖離の程度を色分けして示しており、あるＤＵＴがＦＡＩＬになった場合に、複数のテスタモジュールボード３３のうちどのボードのどのＬＳＩが故障しているかを短時間で解析することができる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
さらにまた、ウエハマップ表示画面上で特定のＤＵＴの表示部分をクリックすることにより強調表示し、そのＤＵＴ番号を特定することができるので、そのＤＵＴに紐付けられたテスタモジュールボード３３のＬＳＩを特定することができ、故障したＬＳＩを把握することができる。また、クリックしたＤＵＴの全ての情報を表示することができるので、ある検査項目で問題となったＤＵＴの他の検査履歴も把握することができ、故障解析を詳細に行うことができる。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
さらに、本実施形態では、ウエハマップ描画情報記述部（Ｗａｆｅｒｍａｐ．ｘｍｌ）６２に、各ＤＵＴの表示色、ＤＵＴ数、各ＤＵＴとウエハマップ上の座標との関連付け、ならびに、各ＤＵＴとテスタのＳｌｏｔ Ｎｏ．およびＬＳＩ Ｎｏ．との関連付け情報が記述され、これによりウエハマップ表示色、ＤＵＴ数、対応Ｓｌｏｔ（テスタマザーボード）、対応ＬＳＩ等を定義している。このため、ウエハマップの表示色の変更、ＤＵＴ数の変更等に柔軟に対応することが可能であり、リソースの再利用性が高い。これにより、ソフトウェア開発の工数を削減することができる。