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【手続補正書】
【提出日】平成30年10月4日(2018.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＥＭ波を分散させる導電性双極子を含む吸収性材料に基づいた自由空間吸収器であって、ＥＭ波を反射する導電性基板と、前記吸収器の表面上に配置された導電性グリッドとを含む点において特徴付けられる、吸収器。
【請求項２】
前記吸収性材料は、誘電材料および／または磁気材料および／または磁気誘電材料によって構成される点において特徴付けられる、請求項１に記載の吸収器。
【請求項３】
ＥＭ波を反射する前記基板は、平面状または規則的な空間構造形状である点において特徴付けられる、請求項１または２に記載の吸収器。
【請求項４】
前記導電性双極子は、ＥＭ波を分散する金属および／または非金属アンテナを構成する点において特徴付けられる、請求項１に記載の吸収器。
【請求項５】
前記導電性グリッドは金属または非金属である点において特徴付けられる、請求項１に記載の吸収器。
【請求項６】
前記導電性グリッドは、２次元または３次元構造を有する点において特徴付けられる、請求項１または５に記載の吸収器。
【請求項７】
前記導電性グリッドは、前記吸収性材料の表面上に配置される点において特徴付けられる、請求項１または５または６に記載の吸収器。
【請求項８】
前記導電性双極子は、前記吸収性材料中に確率的にまたは非確率的に分配される点において特徴付けられる、請求項１〜７のいずれか１つに記載の吸収器。
【請求項９】
前記導電性双極子は、均一または不均一な寸法および形状を有する点において特徴付けられる、請求項１〜８のいずれか１つに記載の吸収器。
【請求項１０】
前記吸収器は、前記吸収性材料の下側に配置された誘電材料層を含む点において特徴付けられる、請求項１に記載の吸収器。
【請求項１１】
前記誘電材料層は、ＥＭ波を分散させる導電性双極子を含む点において特徴付けられる、請求項１０に記載の吸収器。
【請求項１２】
前記誘電材料層中に含まれるＥＭ波を分散させる前記導電性双極子は、確率的にまたは非確率的に分配された、ＥＭ波を分散する金属および／または非金属アンテナを構成し、均一または不均一な寸法および形状を有する点において特徴付けられる、請求項１１に記載の吸収器。
【請求項１３】
減衰材料によって構成されたさらなる空間要素をさらに含む点において特徴付けられる、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の吸収器。
【請求項１４】
前記減衰材料として、前記吸収性材料と異なる磁気および誘電パラメータを有する誘電または磁気減衰材料が用いられる点において特徴付けられる、請求項１３に記載の吸収器。
【請求項１５】
前記減衰材料によって構成された空間要素は、前記吸収性材料内に配置される点において特徴付けられる、請求項１３又は１４に記載の吸収器。
【請求項１６】
前記空間要素は誘電層上に配置される、点において特徴付けられる、請求項１３〜１５のいずれか１つに記載の吸収器。
【請求項１７】
前記空間要素は過剰な吸収性質量によって被覆される点において特徴付けられる、請求項１３〜１６のいずれか１つに記載の吸収器。
【請求項１８】
前記吸収器は、前記導電性基板を前記吸収性材料から分離させる誘電材料層を含む点において特徴付けられる、請求項１〜１７のいずれか１つに記載の吸収器。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月25日(2019.7.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の回路と、第２の回路と、を有し、
前記第１の回路は、電源電圧の供給が行われる状態で、データを保持する機能を有し、
前記第２の回路は、電源電圧の供給が行われない状態で、前記データを保持する機能を有し、
前記第２の回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、を有し、
前記第１のトランジスタおよび前記第２のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有し、
前記第３のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有し、
前記第２のトランジスタのゲートは、前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続される、半導体装置。
【請求項２】
第１の回路と、第２の回路と、を有し、
前記第１の回路は、電源電圧の供給が行われる状態で、データを保持する機能を有し、
前記第２の回路は、電源電圧の供給が行われない状態で、前記データを保持する機能を有し、
前記第２の回路は、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、を有し、
前記第１のトランジスタおよび前記第２のトランジスタは、チャネル形成領域に酸化物半導体を有し、
前記第１のトランジスタのゲートは、前記データを前記第１の回路から前記第２の回路に退避させるための第１の制御信号が与えられ、
前記第３のトランジスタは、チャネル形成領域にシリコンを有し、
前記第２のトランジスタのゲートは、前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第３のトランジスタのゲートは、前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記データを前記第２の回路から前記第１の回路に復帰させるための第２の制御信号が与えられる、半導体装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記第２のトランジスタのゲート絶縁膜は、前記第３のトランジスタのゲート絶縁膜より厚い、半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一において、
容量素子を有し、
前記容量素子の一方の電極は、前記第２のトランジスタのゲートに電気的に接続される、半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至４のいずれか一において、
前記第１の回路は、ラッチ又はフリップフロップを有する、半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至５のいずれか一に記載の半導体装置と、
リードと、を有する電子部品。
【請求項７】
請求項６に記載の電子部品と、
表示部、スピーカー、マイク、又は操作キーと、を有する電子機器。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月18日(2019.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
動画を特定の視野で表示するシステムであって、
１又は複数のコンピュータプロセッサを備え、
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、読取可能な命令を実行することに応じて、
第１及び第２のユーザを含む複数のユーザの各々の端末装置に、広角の視野を有する動画として構成されると共に視野全体に仮想空間が対応付けられている特定の動画を、ライブストリーミングによって前記複数のユーザの各々の視野で表示するステップと、
前記第１のユーザから第１の入力情報を受け付けたときに、前記第１のユーザの視野に含まれる前記仮想空間上の第１の位置を特定し、前記第１の位置に前記第１の入力情報を配置するステップと、
前記第１の入力情報の配置に応じて、前記第１の位置を視野に含む前記第２のユーザの端末装置に、前記第１の入力情報を表示するステップと、を実行する、
システム。
【請求項２】
請求項１に記載のシステムであって、
前記特定の動画は、少なくとも水平方向に３６０度の視野を有する動画として構成され、
前記仮想空間は、仮想的な球体の内面として構成される、
システム。
【請求項３】
前記入力情報は、コメントである請求項１又は２に記載のシステム。
【請求項４】
前記入力情報を表示するステップは、前記第１の入力情報を、前記仮想空間上の前記第１の位置に前記特定の動画に重ねて表示する請求項１ないし３何れかに記載のシステム。
【請求項５】
前記配置するステップは、前記第１のユーザの注視点を含む第１の範囲外の位置となるように、前記第１の位置を特定することを含む請求項１ないし４何れかに記載のシステム。
【請求項６】
前記配置するステップは、前記第１のユーザの注視点から移動する方向を特定し、特定した方向に移動した位置であって、かつ、前記第１の範囲外の位置となるように、前記第１の位置を特定することを含む請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、更に、前記第２のユーザの注視点に前記第１の入力情報が表示される状態が第１の時間継続したときに、前記第１の入力情報に対する支持を受け付けるステップを実行する請求項４ないし６何れかに記載のシステム。
【請求項８】
前記注視点は、ユーザの視野の略中心である請求項５ないし７何れかに記載のシステム。
【請求項９】
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、更に、前記第１の位置に配置されてから第２の時間を経過したときに、前記第１の入力情報の配置を解除するステップを実行する請求項１ないし８何れかに記載のシステム。
【請求項１０】
請求項９に記載のシステムであって、
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、更に、前記第１の入力情報に対する支持を受け付けるステップを実行し、
前記解除するステップは、受け付けた支持の数が多いほど前記第２の時間が長くなるように、前記第１の入力情報の配置を解除することを含む、
システム。
【請求項１１】
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、更に、前記第１の入力情報の配置に応じて、前記複数のユーザの各々の端末装置に、前記複数のユーザの各々の視野と前記第１の位置との位置関係に基づく音を出力させるステップを実行する請求項１ないし１０何れかに記載のシステム。
【請求項１２】
前記出力させるステップは、ユーザの視野が前記第１の位置に近いほど大きい音量となるように、音を出力させることを含む請求項１１に記載のシステム。
【請求項１３】
前記出力させるステップは、前記第１の入力情報の配置に応じて、前記第１の位置を視野に含む前記第２のユーザの端末装置に第１の音を出力させると共に、前記複数のユーザに含まれる前記第１の位置を視野に含まない第３のユーザの端末装置に、前記第１の音とは異なる第２の音を出力させることを含む請求項１１又は１２に記載のシステム。
【請求項１４】
前記１又は複数のコンピュータプロセッサは、前記動画を再生するための画面として、異なる画面構成を有する２つの動画再生画面を前記複数のユーザの各々に提供する、請求項１ないし１３何れかに記載のシステム。
【請求項１５】
前記配置するステップでは、前記第１の入力情報と共に前記第１のユーザのアバターを配置し、
前記表示するステップでは、前記第１の入力情報と共に前記第１のユーザのアバターを表示する、請求項１〜１４何れかに記載のシステム。
【請求項１６】
１又は複数のコンピュータによって実行され、動画を特定の視野で表示する方法であって、
第１及び第２のユーザを含む複数のユーザの各々の端末装置に、広角の視野を有する動画として構成されると共に視野全体に仮想空間が対応付けられている特定の動画を、ライブストリーミングによって前記複数のユーザの各々の視野で表示するステップと、
前記第１のユーザから第１の入力情報を受け付けたときに、前記第１のユーザの視野に含まれる前記仮想空間上の第１の位置を特定し、前記第１の位置に前記第１の入力情報を配置するステップと、
前記第１の入力情報の配置に応じて、前記第１の位置を視野に含む前記第２のユーザの端末装置に、前記第１の入力情報を表示するステップと、を備える、
方法。
【請求項１７】
動画を特定の視野で表示するプログラムであって、
１又は複数のコンピュータ上で実行されることに応じて、前記１又は複数のコンピュータに、
第１及び第２のユーザを含む複数のユーザの各々の端末装置に、広角の視野を有する動画として構成されると共に視野全体に仮想空間が対応付けられている特定の動画を、ライブストリーミングによって前記複数のユーザの各々の視野で表示するステップと、
前記第１のユーザから第１の入力情報を受け付けたときに、前記第１のユーザの視野に含まれる前記仮想空間上の第１の位置を特定し、前記第１の位置に前記第１の入力情報を配置するステップと、
前記第１の入力情報の配置に応じて、前記第１の位置を視野に含む前記第２のユーザの端末装置に、前記第１の入力情報を表示するステップと、を実行させる、
プログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月30日(2019.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮像装置及び電子機器
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の光電変換素子と、第２の光電変換素子と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第４のトランジスタと、第５のトランジスタと、を有し、
前記第１の光電変換素子のカソードは、前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２の光電変換素子のアノードは、前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第３のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第４のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第４のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第５のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続されている、撮像装置。
【請求項２】
第１の光電変換素子と、第１のトランジスタと、第２のトランジスタと、第３のトランジスタと、第４のトランジスタと、第５のトランジスタと、第６のトランジスタと、第７のトランジスタと、を有し、
前記第１の光電変換素子のカソードは、前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１の光電変換素子のカソードは、前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１の光電変換素子のアノードは、前記第３のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１の光電変換素子のアノードは、前記第４のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第３のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第４のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第５のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第６のトランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第６のトランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第７のトランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２のトランジスタのソースまたはドレインの他方には配線が電気的に接続され、
前記配線は、高電位と低電位を切り替えて供給する機能を有する、撮像装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２において、
容量素子を有し、
前記容量素子の一方の端子は、前記第１のトランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続されている、撮像装置。
【請求項４】
請求項１乃至３のいずれか一項に記載の撮像装置と、表示装置と、を有する、電子機器。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月5日(2019.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１トランジスタ乃至第４トランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１トランジスタのソースまたはドレインの一方は、第１配線と電気的に接続され、
前記第１トランジスタのゲートは、前記第１配線と電気的に接続され、
前記第１トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第２トランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２トランジスタのソースまたはドレインの他方は、第２配線と電気的に接続され、
前記第２トランジスタのゲートは、前記第４トランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記第３トランジスタのソースまたはドレインの一方は、第３配線と電気的に接続され、
前記第３トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第４トランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第３トランジスタのゲートは、前記第１トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第４トランジスタのソースまたはドレインの他方は、第４配線と電気的に接続され、
前記容量素子の一方の電極は、前記第３トランジスタのゲートと電気的に接続され、
前記容量素子の他方の電極は、前記第３トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続されている半導体装置。
【請求項２】
第１トランジスタ乃至第４トランジスタと、容量素子と、を有し、
前記第１トランジスタ乃至前記第４トランジスタのそれぞれは、第１ゲートおよび第２ゲートを有し、
前記第１トランジスタの第１ゲートは、第１配線と電気的に接続され、
前記第１トランジスタの第２ゲートは、前記第１配線と電気的に接続され、
前記第１トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第１配線と電気的に接続され、
前記第１トランジスタのソースまたはドレインの他方は、前記第２トランジスタのソースまたはドレインの一方と電気的に接続され、
前記第２トランジスタのソースまたはドレインの他方は、第２配線と電気的に接続され、
前記第２トランジスタの第１ゲートは、前記第２トランジスタの第２ゲートと電気的に接続され、
前記第３トランジスタのソースまたはドレインの一方は、第３配線と電気的に接続され、
前記第３トランジスタの第１ゲートは、前記第１トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第３トランジスタの第２ゲートは、前記第３トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第４トランジスタのソースまたはドレインの一方は、前記第３トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続され、
前記第４トランジスタのソースまたはドレインの他方は、第４配線と電気的に接続され、
前記第４トランジスタの第１ゲートは、前記第４トランジスタの第２ゲートと電気的に接続され、
前記第２トランジスタの第１ゲートは、前記第４トランジスタの第１ゲートと電気的に接続され、
前記容量素子の一方の電極は、前記第３トランジスタの第１ゲートと電気的に接続され、
前記容量素子の他方の電極は、前記第３トランジスタのソースまたはドレインの他方と電気的に接続されている半導体装置。
【請求項３】
請求項２において、
前記第１トランジスタ乃至前記第４トランジスタのそれぞれが有する前記第１ゲートおよび前記第２ゲートのうち、一方はゲートとして機能し、他方はバックゲートとして機能する半導体装置。
【請求項４】
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
前記第１トランジスタ乃至前記第４トランジスタは、チャネルが形成される半導体層に酸化物半導体を含む半導体装置。
【請求項５】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記第１トランジスタのチャネル長よりも、前記第２トランジスタのチャネル長が短い半導体装置。
【請求項６】
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
前記第１トランジスタのチャネル幅よりも、前記第２トランジスタのチャネル幅が長い半導体装置。
【請求項７】
請求項１乃至請求項６のいずれか一項に記載の半導体装置と、モーター、蓄電装置、高周波加熱装置、または、スピーカと、を有する電子機器。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月2日(2019.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上層と、
中間層と、
下層と、
前記上層と前記中間層との間に配置された第１の接着結合層と、
前記中間層と前記下層との間に配置された第２の接着結合層であって、前記中間層と、前記第１および第２の接着結合層との径方向外縁部が、前記上層および前記下層に対して環状スロットを形成している第２の接着結合層と、
前記環状スロット内に配置されたエッジシールであって、径方向内面と、径方向外面と、上面と、底面とを含む環状の本体を含むエッジシールと、を備える静電チャックであって、
前記径方向内面は、連続凸形曲面を有する、静電チャック。
【請求項２】
請求項１に記載の静電チャックであって、前記径方向内面と、前記径方向外面と、前記上面と、前記底面と、の間の隅部が、丸みを付けられている静電チャック。
【請求項３】
請求項１に記載の静電チャックであって、
前記本体の前記径方向外面が、前記上面と前記径方向外面との間の第１の隅部と、前記底面と前記径方向外面との間の第２の隅部との間で略平面状であり、
前記本体の前記上面が、前記上面と前記径方向内面との間の第３の隅部と、前記上面と前記径方向外面との間の前記第１の隅部との間で略平面状であり、
前記本体の前記底面が、前記底面と前記径方向内面との間の第４の隅部と、前記底面と前記径方向外面との間の前記第２の隅部との間で略平面状であり、
前記本体の前記径方向内面が、前記上面と前記径方向内面との間の前記第３の隅部と、前記底面と前記径方向内面との間の前記第４の隅部との間の連続凸形曲面を有する、静電チャック。
【請求項４】
請求項１に記載の静電チャックであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも１０％〜３０％大きい静電チャック。
【請求項５】
請求項１に記載の静電チャックであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも１５％〜２５％大きい静電チャック。
【請求項６】
請求項１に記載の静電チャックであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも２０％〜２４％大きい静電チャック。
【請求項７】
請求項１に記載の静電チャックであって、前記上層がセラミック層を含み、前記中間層がヒータプレートを含み、前記下層が下側電極を含む静電チャック。
【請求項８】
請求項７に記載の静電チャックであって、前記第１および第２の接着結合層がエラストマーシリコーンを含む静電チャック。
【請求項９】
請求項７に記載の静電チャックであって、前記第１および第２の接着結合層がシリコーンゴムを含む静電チャック。
【請求項１０】
基板処理システムであって、
処理チャンバと、
プロセスガスを前記処理チャンバに送給するためのガス送給システムと、
前記処理チャンバ内でプラズマを発生するためのプラズマ発生器と、
請求項１に記載の静電チャックと、を備える基板処理システム。
【請求項１１】
基板処理システムの静電チャック用のエッジシールであって、
環状の本体であって、
前記本体の上面と、
前記本体の底面と、を備える本体と、
前記本体の径方向内面であって、連続凸形曲面を有する径方向内面と、
前記本体の径方向外面であって、前記本体の前記径方向外面が、前記上面と前記径方向外面との間の第１の隅部と、前記底面と前記径方向外面との間の第２の隅部との間で略平面状である径方向外面と、を備えるエッジシール。
【請求項１２】
請求項１１に記載のエッジシールであって、前記径方向内面と、前記径方向外面と、前記上面と、前記底面と、の間の隅部が、丸みを付けられているエッジシール。
【請求項１３】
請求項１１に記載のエッジシールであって、
前記本体の前記上面が、前記上面と前記径方向内面との間の第３の隅部と、前記上面と前記径方向外面との間の前記第１の隅部との間で略平面状であり、
前記本体の前記底面が、前記底面と前記径方向内面との間の第４の隅部と、前記底面と前記径方向外面との間の前記第２の隅部との間で略平面状であり、
前記本体の前記径方向内面が、前記上面と前記径方向内面との間の前記第３の隅部と、前記底面と前記径方向内面との間の前記第４の隅部との間の連続凸形曲面を有する
エッジシール。
【請求項１４】
請求項１１に記載のエッジシールであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも１０％〜３０％大きいエッジシール。
【請求項１５】
請求項１１に記載のエッジシールであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも１５％〜２５％大きいエッジシール。
【請求項１６】
請求項１１に記載のエッジシールであって、前記本体の中心での前記本体の径方向厚さが、前記上面および前記底面に隣接する部分での前記本体の径方向厚さよりも２０％〜２４％大きいエッジシール。
【請求項１７】
静電チャックであって、
セラミック層と、
ヒータプレートと、
下側電極と、
前記セラミック層と前記ヒータプレートとの間に配置された第１の接着結合層と、
前記ヒータプレートと前記下側電極との間に配置された第２の接着結合層であって、前記ヒータプレートと、前記第１および第２の接着結合層と、の径方向外縁部が、前記セラミック層および前記下側電極に対して環状スロットを形成する第２の接着結合層と、
請求項１１に記載のエッジシールと、を備え、
前記エッジシールが、前記環状スロット内に配置される、静電チャック。
【請求項１８】
請求項１７に記載の静電チャックであって、前記第１および第２の接着結合層がエラストマーシリコーンを含む静電チャック。
【請求項１９】
請求項１７に記載の静電チャックであって、前記第１および第２の接着結合層がシリコーンゴムを含む静電チャック。
【請求項２０】
処理チャンバと、
プロセスガスを前記処理チャンバに送給するためのガス送給システムと、
前記処理チャンバ内でプラズマを発生するためのプラズマ発生器と、
請求項１７に記載の静電チャックと
を備える基板処理システム。
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月7日(2018.12.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
大気圧よりも減圧された雰囲気において、基板に処理を施す処理部と、
前記処理を施す際の圧力よりも高い圧力の環境において、前記基板を搬送する搬送部と、
前記処理部と、前記搬送部と、の間に設けられたロードロック部と、
前記ロードロック部と、前記処理部と、の間に設けられた受け渡し部と、
を備え、
前記ロードロック部は、
前記基板を支持する支持部と、
前記支持部の回転方向における位置を移動させる駆動部と、
を有し、
前記受け渡し部は、前記処理部における処理の途中において、前記処理部から前記支持部に前記基板を受け渡し、
前記駆動部は、前記受け渡された基板の回転方向における位置を移動させ、
前記受け渡し部は、回転方向における位置を移動させた前記基板を前記ロードロック部から取り出して前記処理部に受け渡し、
前記処理部は、回転方向における位置を移動させた前記基板に残りの処理を施す基板処理装置。
【請求項２】
前記基板は平面形状が四角形であり、
前記駆動部は、前記受け渡された基板の回転方向における位置を９０°×ｎ（ｎは自然数）移動させる請求項１記載の基板処理装置。
【請求項３】
前記駆動部は、前記搬送部と、前記支持部と、の間で前記基板を受け渡す際には、前記支持部に受け渡された前記基板の辺が延びる方向が、前記搬送部による搬送方向と平行または垂直となるように、前記受け渡された基板の回転方向における位置を移動させる請求項１または２に記載の基板処理装置。
【請求項４】
前記駆動部は、前記受け渡し部と、前記支持部と、の間で前記基板を受け渡す際には、前記支持部に受け渡された前記基板の辺が延びる方向が、前記受け渡し部の中心と、前記支持部が設けられる領域の中心と、を結ぶ線と平行または垂直となるように、前記受け渡された基板の回転方向における位置を移動させる請求項１〜３のいずれか１つに記載の基板処理装置。
【請求項５】
大気圧よりも減圧された第１の環境において、基板に処理を施す工程と、
前記基板に処理を施す工程における処理の途中において、前記基板を、前記第１の環境から第２の環境に移動させる工程と、
前記第２の環境において、前記基板の回転方向における位置を移動させる工程と、
回転方向における位置を移動させた前記基板を前記第２の環境から前記第１の環境に移動させて残りの処理を施す工程と、
を備え、
前記第２の環境は、前記第１の環境から離隔し、かつ、前記第１の環境の圧力以下の圧力となっている基板処理方法。
【請求項６】
前記基板は平面形状が四角形であり、
前記基板の回転方向における位置を移動させる工程において、前記基板の回転方向における位置を９０°×ｎ（ｎは自然数）移動させる請求項５記載の基板処理方法。
【請求項７】
回転方向における位置を移動させた後の前記基板は、回転移動前に処理されていた前記処理部と同じ前記処理部に搬入されることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の基板処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
実施形態に係る基板処理装置は、
大気圧よりも減圧された雰囲気において、基板に処理を施す処理部と、
前記処理を施す際の圧力よりも高い圧力の環境において、前記基板を搬送する搬送部と、
前記処理部と、前記搬送部と、の間に設けられたロードロック部と、
前記ロードロック部と、前記処理部と、の間に設けられた受け渡し部と、
を備え、
前記ロードロック部は、
前記基板を支持する支持部と、
前記支持部の回転方向における位置を移動させる駆動部と、
を有し、
前記受け渡し部は、前記処理部における処理の途中において、前記処理部から前記支持部に前記基板を受け渡し、
前記駆動部は、前記受け渡された基板の回転方向における位置を移動させ、
前記受け渡し部は、回転方向における位置を移動させた前記基板を前記ロードロック部から取り出して前記処理部に受け渡し、
前記処理部は、回転方向における位置を移動させた前記基板に残りの処理を施す。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月6日(2019.2.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像装置の動きの角速度を算出する第１の算出手段と、
前記撮像装置の撮像手段により撮像された複数の画像から、被写体の動きベクトルを算出する第２の算出手段と、
前記撮像装置の動きに起因する像ブレを補正する像ブレ補正手段の現在位置を算出する第３の算出手段と、
前記第１乃至第３の算出手段の出力に基づいて、被写体の動きの角速度を算出する第４の算出手段と、
前記撮像装置がレリーズされる前は、前記第１の算出手段の出力に基づいて前記像ブレ補正手段が像ブレを補正し、前記撮像装置がレリーズされた後の所定のタイミングで前記像ブレ補正手段の位置を移動させるとともに、前記第３の算出手段により算出された前記像ブレ補正手段の現在位置に基づいて算出された前記像ブレ補正手段の移動量に基づいて前記撮像手段からの画像の出力位置を移動させ、前記撮像手段の露光が開始された後に、前記第１の算出手段により算出された前記撮像装置の動きの角速度と、前記第４の算出手段により算出された被写体の動きの角速度とに基づいて、前記像ブレ補正手段が像ブレを補正するように、前記像ブレ補正手段を制御する制御手段と、
を備えることを特徴とする像ブレ補正装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記撮像手段の露光が開始された後に、前記第１の算出手段により算出された前記撮像装置の動きの角速度と、前記第４の算出手段により算出された被写体の動きの角速度との差分に基づいて、前記像ブレ補正手段が像ブレを補正するように制御することを特徴とする請求項１に記載の像ブレ補正装置。
【請求項３】
前記第３の算出手段は、フレームを取得する周期に合わせて、前記像ブレ補正手段の現在位置を算出することを特徴とする請求項１または２に記載の像ブレ補正装置。
【請求項４】
前記第２の算出手段は、２枚以上の画像から、被写体の動きベクトルを算出することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の像ブレ補正装置。
【請求項５】
前記所定のタイミングとは、前記撮像装置がレリーズされてから前記撮像手段の露光開始までの間のタイミングであることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の像ブレ補正装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記所定のタイミングで、前記像ブレ補正手段を、該像ブレ補正手段の可動範囲の中央位置、または、前記撮像装置がレリーズされた後に前記像ブレ補正手段が動く動き量を確保できる位置に移動させることを特徴とする請求項５に記載の像ブレ補正装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記第１の算出手段により算出された前記撮像装置の動きの角速度と、前記第４の算出手段により算出された被写体の動きの角速度とに基づいて、前記像ブレ補正手段を動かす位置を、該像ブレ補正手段の可動範囲の中央位置、または、前記撮像装置がレリーズされた後に前記像ブレ補正手段が動く動き量を確保できる位置に切り替えることを特徴とする請求項６に記載の像ブレ補正装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記第２の算出手段により算出された動きベクトルの変化に基づいて、前記像ブレ補正手段を動かす位置を、該像ブレ補正手段の可動範囲の中央位置、または、前記撮像装置がレリーズされた後に前記像ブレ補正手段が動く動き量を確保できる位置のいずれかに切り替えることを特徴とする請求項６に記載の像ブレ補正装置。
【請求項９】
前記制御手段は、前記撮像手段からの画像の出力位置を移動させる場合に、前記撮像手段の全画像領域から必要な領域を切り出すことにより、画像の出力位置を移動させることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の像ブレ補正装置。
【請求項１０】
前記第１の算出手段の出力に対して、所定のフィルタ処理を行うことにより、前記像ブレ補正手段を移動させる量を算出する第５の算出手段をさらに備えることを特徴とする請求項９に記載の像ブレ補正装置。
【請求項１１】
前記所定のフィルタ処理では、前記像ブレ補正手段を移動させる量が、前記撮像手段の全画像領域から切り出す領域に収まるように、フィルタの特性を変更することを特徴とする請求項１０に記載の像ブレ補正装置。
【請求項１２】
前記制御手段は、前記必要な領域のみを切り出して表示装置に表示させることを特徴とする請求項９に記載の像ブレ補正装置。
【請求項１３】
撮像装置の動きの角速度を算出する第１の算出工程と、
前記撮像装置の撮像手段により撮像された複数の画像から、被写体の動きベクトルを算出する第２の算出工程と、
前記撮像装置の動きに起因する像ブレを補正する像ブレ補正手段の現在位置を算出する第３の算出工程と、
前記第１乃至第３の算出工程での出力に基づいて、被写体の動きの角速度を算出する第４の算出工程と、
前記撮像装置がレリーズされる前は、前記第１の算出工程での出力に基づいて前記像ブレ補正手段が像ブレを補正し、前記撮像装置がレリーズされた後の所定のタイミングで前記像ブレ補正手段の位置を移動させるとともに、前記第３の算出工程において算出された前記像ブレ補正手段の現在位置に基づいて算出された前記像ブレ補正手段の移動量に基づいて前記撮像手段からの画像の出力位置を移動させ、前記撮像手段の露光が開始された後に、前記第１の算出工程により算出された前記撮像装置の動きの角速度と、前記第４の算出工程により算出された被写体の動きの角速度とに基づいて、前記像ブレ補正手段が像ブレを補正するように、前記像ブレ補正手段を制御する制御工程と、
を有することを特徴とする像ブレ補正装置の制御方法。
【請求項１４】
請求項１３に記載の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラム。
【請求項１５】
請求項１３に記載の制御方法の各工程をコンピュータに実行させるためのプログラムを記憶したコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明に係わる像ブレ補正装置は、撮像装置の動きの角速度を算出する第１の算出手段と、前記撮像装置の撮像手段により撮像された複数の画像から、被写体の動きベクトルを算出する第２の算出手段と、前記撮像装置の動きに起因する像ブレを補正する像ブレ補正手段の現在位置を算出する第３の算出手段と、前記第１乃至第３の算出手段の出力に基づいて、被写体の動きの角速度を算出する第４の算出手段と、前記撮像装置がレリーズされる前は、前記第１の算出手段の出力に基づいて前記像ブレ補正手段が像ブレを補正し、前記撮像装置がレリーズされた後の所定のタイミングで前記像ブレ補正手段の位置を移動させるとともに、前記第３の算出手段により算出された前記像ブレ補正手段の現在位置に基づいて算出された前記像ブレ補正手段の移動量に基づいて前記撮像手段からの画像の出力位置を移動させ、前記撮像手段の露光が開始された後に、前記第１の算出手段により算出された前記撮像装置の動きの角速度と、前記第４の算出手段により算出された被写体の動きの角速度とに基づいて、前記像ブレ補正手段が像ブレを補正するように、前記像ブレ補正手段を制御する制御手段と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月13日(2019.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体側から像側へ順に配置された、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、１つ以上のレンズ群を含む後群から構成され、ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化するズームレンズにおいて、
広角端に比べて望遠端において、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔は減少し、
前記第２レンズ群の全体もしくは前記第２レンズ群の一部である負の屈折力の部分群は、像ぶれ補正に際して光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動する第１防振群であり、前記第３レンズ群の一部である負の屈折力の部分群または前記後群に含まれる負の屈折力のレンズ群は像ぶれ補正に際して光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動する第２防振群であり、
望遠端における前記第１防振群の最も物体側のレンズ面から像面までの距離をＤ１ｔ、望遠端における前記第２防振群の最も物体側のレンズ面から像面までの距離をＤ２ｔ、望遠端における前記ズームレンズの焦点距離をｆＴするとき、
０．２＜Ｄ１ｔ／ｆＴ＜０．６５
０．２＜Ｄ２ｔ／ｆＴ＜０．６５
なる条件式を満足することを特徴とするズームレンズ。
【請求項２】
前記第１防振群の焦点距離をｆＩＳ１とするとき、
０．０５＜｜ｆＩＳ１／ｆＴ｜＜０．２５
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１に記載のズームレンズ。
【請求項３】
前記第２防振群の焦点距離をｆＩＳ２とするとき、
０．０５＜｜ｆＩＳ２／ｆＴ｜＜０．２５
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１または２に記載のズームレンズ。
【請求項４】
前記第１防振群よりも物体側に配置される全てのレンズ系の望遠端における合成焦点距離をｆＩＳ１ｆとするとき、
｜ｆＩＳ１ｆ／ｆＴ｜＜２．０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項５】
前記第２防振群よりも物体側に配置される全てのレンズ系の望遠端における合成焦点距離をｆＩＳ２ｆとするとき、
｜ｆＩＳ２ｆ／ｆＴ｜＜２．０
なる条件式を満足することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項６】
前記第１防振群および前記第２防振群のそれぞれは、２枚または３枚のレンズより構成されることを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項７】
前記第１防振群と前記第２防振群との間に、開口径が可変の開口絞りが配置されていることを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項８】
前記第１防振群は、物体側から像側へ順に配置された、負レンズと正レンズを接合した接合レンズ、負レンズよりなることを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項９】
前記第２防振群は、物体側から像側へ順に配置された、正レンズ、負レンズよりなることを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１０】
前記後群は、負の屈折力の第４レンズ群より構成され、
前記第３レンズ群は、物体側から像側へ順に配置された、正の屈折力の第３ａ部分群、負の屈折力の第３ｂ部分群、正の屈折力の第３ｃ部分群より構成され、
前記第２レンズ群は前記第１防振群であり、前記第３ｂ部分群は前記第２防振群であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１１】
広角端から望遠端へのズーミングに際して、前記第１レンズ群、前記第２レンズ群、前記第３レンズ群、前記第４レンズ群はいずれも互いに異なる軌跡で物体側へ移動することを特徴とする請求項１０に記載のズームレンズ。
【請求項１２】
前記後群は、物体側から像側へ順に配置された、正の屈折力の第４レンズ群、負の屈折力の第５レンズ群、正の屈折力の第６レンズ群より構成され、前記第２レンズ群は前記第１防振群であり、前記第５レンズ群は前記第２防振群であることを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載のズームレンズ。
【請求項１３】
ズーミングに際して前記第２レンズ群は不動であり、
広角端から望遠端へのズーミングに際して前記第１レンズ群、前記第３レンズ群、前記第４レンズ群、前記第５レンズ群、前記第６レンズ群はいずれも互いに異なる軌跡で物体側へ移動することを特徴とする請求項１２に記載のズームレンズ。
【請求項１４】
請求項１乃至１３のいずれか１項に記載のズームレンズと、該ズームレンズによって形成された像を受光する撮像素子を有することを特徴とする撮像装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のズームレンズは、物体側から像側へ順に配置された、正の屈折力の第１レンズ群、負の屈折力の第２レンズ群、正の屈折力の第３レンズ群、１つ以上のレンズ群を含む後群から構成され、ズーミングに際して隣り合うレンズ群の間隔が変化するズームレンズにおいて、
広角端に比べて望遠端において、前記第１レンズ群と前記第２レンズ群の間隔は増大し、前記第２レンズ群と前記第３レンズ群の間隔は減少し、
前記第２レンズ群の全体もしくは前記第２レンズ群の一部である負の屈折力の部分群は、像ぶれ補正に際して光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動する第１防振群であり、前記第３レンズ群の一部である負の屈折力の部分群または前記後群に含まれる負の屈折力のレンズ群は像ぶれ補正に際して光軸に対して垂直方向の成分を持つ方向に移動する第２防振群であり、
望遠端における前記第１防振群の最も物体側のレンズ面から像面までの距離をＤ１ｔ、望遠端における前記第２防振群の最も物体側のレンズ面から像面までの距離をＤ２ｔ、望遠端における前記ズームレンズの焦点距離をｆＴするとき、
０．２＜Ｄ１ｔ／ｆＴ＜０．６５
０．２＜Ｄ２ｔ／ｆＴ＜０．６５
なる条件式を満足することを特徴としている。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月8日(2019.2.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像手段から順次出力される複数の画像のそれぞれにおいて動きベクトル検出枠を設定し、前記動きベクトル検出枠を分割した複数の領域のそれぞれにおいて動きベクトルを検出する検出手段と、
前記動きベクトルのうち被写体の動きベクトルを判定し、前記被写体の動きベクトルに基づいて像振れ補正制御を行う制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、
前記被写体の動きベクトルに基づいて前記被写体の大きさを判定し、
前記被写体の大きさが所定の大きさより大きいと判定した場合、前記動きベクトル検出枠を変更せず、
前記被写体の大きさが所定の大きさより小さいと判定した場合、前記被写体の位置に応じて前記動きベクトル検出枠を変更する、ことを特徴とする像振れ補正装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記動きベクトルのうち被写体と背景の動きベクトルを判定し、
前記被写体の動きベクトルを検出した前記領域の数が第１の閾値より小さく、かつ、前記背景の動きベクトルを検出した前記領域の数が第２の閾値より大きい場合に、前記被写体の大きさが前記所定の大きさより小さいと判定し、前記動きベクトル検出枠の大きさを小さく変更するとともに、前記動きベクトル検出枠の中心位置を前記被写体の中心位置に近づけるように変更する、
ことを特徴とする請求項１に記載の像振れ補正装置。
【請求項３】
前記制御手段は、前記動きベクトル検出枠の大きさおよび中心位置を変更した後、前記被写体と前記背景の動きベクトルを判定し、前記被写体の動きベクトルを検出した前記領域の数が前記第１の閾値よりも大きくなるまで、前記動きベクトル検出枠の大きさを小さく変更するとともに、前記動きベクトル検出枠の中心位置を前記被写体の中心位置に近づけるように変更することを特徴とする請求項２に記載の像振れ補正装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記動きベクトル検出枠の大きさを小さく変更する際に、前記領域の数が変わらないように、前記領域の大きさを小さくすることを特徴とする請求項２または３に記載の像振れ補正装置。
【請求項５】
振れを検出する振れ検出手段から出力される信号を取得する取得手段を更に有し、
前記制御手段は、
前記動きベクトル検出枠の大きさおよび中心位置を変更した後、前記被写体と前記背景の動きベクトルを判定し、
前記領域の数が増加していないと判定した場合に、前記振れ検出手段により検出される前記振れの方向に応じて前記動きベクトル検出枠の中心位置を移動させることを特徴とする請求項２ないし４のいずれか１項に記載の像振れ補正装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記振れ検出手段により検出される前記振れと平行な方向に前記動きベクトル検出枠の中心位置を移動させることを特徴とする請求項５に記載の像振れ補正装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記被写体の大きさが前記所定の大きさより小さいと判定した場合、前記被写体の動きベクトルの大きさに基づいて、前記変更を行うか否か判定することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の像振れ補正装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記被写体の動きベクトルの大きさが所定値よりも小さい場合に前記変更を行うことを特徴とする請求項７に記載の像振れ補正装置。
【請求項９】
撮像手段と、
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の像振れ補正装置と、を備えた撮像装置。
【請求項１０】
撮像手段から順次出力される複数の画像のそれぞれにおいて動きベクトル検出枠を設定し、前記動きベクトル検出枠を分割した複数の領域のそれぞれにおいて動きベクトルを検出する検出ステップと、
前記動きベクトルのうち被写体の動きベクトルを判定し、前記被写体の動きベクトルに基づいて像振れ補正制御を行う制御ステップと、
を有し、
前記制御ステップは、
前記被写体の動きベクトルに基づいて前記被写体の大きさを判定し、
前記被写体の大きさが所定の大きさより大きいと判定した場合、前記動きベクトル検出枠を変更せず、
前記被写体の大きさが所定の大きさより小さいと判定した場合、前記被写体の位置に応じて前記動きベクトル検出枠を変更する、
ことを特徴とする像振れ補正装置の制御方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の制御方法の各ステップが記述されたコンピュータで実行可能なプログラム。
【請求項１２】
コンピュータに、請求項１０に記載の制御方法の各ステップを実行させるためのプログラムが記憶されたコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一側面としての像振れ補正装置は、撮像手段から順次出力される複数の画像のそれぞれにおいて動きベクトル検出枠を設定し、前記動きベクトルを分割した複数の領域のそれぞれにおいて動きベクトルを検出する検出手段と、前記動きベクトルのうち被写体の動きベクトルを判定し、前記被写体の動きベクトルに基づいて像振れ補正制御を行う制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記被写体の動きベクトルに基づいて前記被写体の大きさを判定し、前記被写体の大きさが所定の大きさより大きいと判定した場合、前記動きベクトル検出枠を変更せず、前記被写体の大きさが所定の大きさより小さいと判定した場合、前記被写体の位置に応じて前記動きベクトル検出枠を変更することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月1日(2019.2.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
各軸力Ｆを検出するセンサー群（第１のセンサー群）１８が備えられる。このセンサー群１８は、各ボルト１２−１、１２−２・・・１２−８に対応し、複数のセンサー１８−１、１８−２・・・１８−８が備えられる。各センサー１８−１、１８−２・・・１８−８には軸力Ｆを電気信号で出力するセンサーを用いればよく、圧力センサー、歪ゲージ、変移計、荷重計などのいずれを用いてもよく、ガスケット８の締付け力を直接検出するセンサーであってもよい。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１７４】
２  施工モニタリング装置
４  シール施工部
４−１  第１のシール施工部
４−２  第２のシール施工部
６  フランジ継手
６−１、６−２  フランジ
８  ガスケット
１０−１、１０−２  配管
１２−１、１２−２・・・１２−８  ボルト
１４  ナット
１６  締付け工具
１８  第１のセンサー群（センサー群）
２８  第２のセンサー群（センサー群）
１８−１、１８−２・・・１８−８  センサー
２８−１、２８−２・・・２８−４  センサー
２０  データ集積部
２２  情報生成部
２４  モニター
２６−１  目標軸力の分布図形
２６−２  検出軸力の分布図形
３０  施工モニタリングシステム
３２  架台
３４  架台
３６  床
３８  キャスター
４０  ケーブル
４２  台座
４４  棚
４６  データロガー
４８  ＰＣ
５０  天板
５２  ケーブル
５４  実習者
５６  画面
５８  ボルト本体
６０  ひずみゲージ
６２  プロセッサ
６４  記憶部
６６  入出力部（Ｉ／Ｏ）
６８  通信部
７０  操作入力部
７２  ＤＢ
７４  軸力テーブル
７６  平行度テーブル
７８  締付けマーク
８０  評価テーブル
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月9日(2019.1.9)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
穀物乾燥室を挟む熱風室と排風室を備えてなる乾燥機本体上部に設けた穀物タンクを構成する前後方向に対向する第１タンクプレートの群と左右方向に対向する第２タンクプレートの群からなるタンクプレートであって、前記各タンクプレートは矩形の鋼板の上辺部を折曲して二重壁部となし、該二重壁部を用いて、前記タンクの外方側に向く水平壁と該水平壁端部から下方に向くリブ壁をそれぞれ形成して上辺フランジとなす一方、前記鋼板の下辺部を折曲して二重壁部となし、該二重壁部を用いて、前記タンクの下方側に向く自立壁と該自立壁上部から前記タンク外方側に向く水平壁をそれぞれ形成し、さらに、前記水平壁端部から下方に向くリブ壁を形成して下辺フランジとなしたことを特徴とする穀物乾燥機のタンクプレート。
【請求項２】
前記下辺フランジの鋼板の終端縁部を前記自立壁の二重壁間で狭着して三重壁となすとともに、前記自立壁下端は前記下辺フランジのリブ壁下端よりも下方に延伸させてなる請求項１の穀物乾燥機のタンクプレート。
【請求項３】
穀物乾燥室を挟む熱風室と排風室を備えてなる乾燥機本体上部に設けた穀物タンクを構成する前後方向に対向する第１タンクプレートの群と左右方向に対向する第２タンクプレートの群からなるタンクプレートであって、前記第１タンクプレートの左右辺部を前記穀物タンクの外側にそれぞれ折曲して筒状の摺動嵌合部を形成して左辺フランジ及び右辺フランジとなすとともに、前記左辺フランジ及び右辺フランジに対してそれぞれ直角状に隣接する前記第２タンクプレートの各左右辺部を折曲して前記前記第１タンクプレートの摺動嵌合部と嵌合させる左辺内側フランジ及び右辺内側フランジを形成し、前記左辺内側フランジ及び右辺内側フランジを前記第１タンクプレートの摺動嵌合部内に上方からそれぞれ嵌入させるよう、前記各摺動嵌合部の全長にわたって開放部を設けたことを特徴とする穀物乾燥機のタンクプレート。
【請求項４】
前記第１タンクプレートの摺動嵌合部の内径は前記第２タンクプレートの左右辺の各内側フランジの外径よりもやや大きく形成するとともに、前記摺動嵌合部及び前記左右辺の各内側フランジの各筒径が下方に向かって縮径するようテーパ状に形成してなる請求項３の穀物乾燥機のタンクプレート。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれかの前記タンクプレートにより穀物タンクを構成してなる穀物乾燥機。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するため、本発明の穀物乾燥機のタンクプレートは、穀物乾燥室を挟む熱風室と排風室を備えてなる乾燥機本体上部に設けた穀物タンクを構成する前後方向に対向する第１タンクプレートの群と左右方向に対向する第２タンクプレートの群からなるタンクプレートであって、前記各タンクプレートは矩形の鋼板の上辺部を折曲して二重壁部となし、該二重壁部を用いて、前記タンクの外方側に向く水平壁と該水平壁端部から下方に向くリブ壁をそれぞれ形成して上辺フランジとなす一方、前記鋼板の下辺部を折曲して二重壁部となし、該二重壁部を用いて、前記タンクの下方側に向く自立壁と該自立壁上部から前記タンク外方側に向く水平壁をそれぞれ形成し、さらに、前記水平壁端部から下方に向くリブ壁を形成して下辺フランジとなしたことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
また、上記目的を達成するため、本発明の穀物乾燥機のタンクプレートは、穀物乾燥室を挟む熱風室と排風室を備えてなる乾燥機本体上部に設けた穀物タンクを構成する前後方向に対向する第１タンクプレートの群と左右方向に対向する第２タンクプレートの群からなるタンクプレートであって、前記第１タンクプレートの左右辺部を前記穀物タンクの外側にそれぞれ折曲して筒状の摺動嵌合部を形成して左辺フランジ及び右辺フランジとなすとともに、前記左辺フランジ及び右辺フランジに対してそれぞれ直角状に隣接する前記第２タンクプレートの各左右辺部を折曲して前記前記第１タンクプレートの摺動嵌合部と嵌合させる左辺内側フランジ及び右辺内側フランジを形成し、前記左辺内側フランジ及び右辺内側フランジを前記第１タンクプレートの摺動嵌合部内に上方からそれぞれ嵌入させるよう、前記各摺動嵌合部の全長にわたって開放部を設けたことを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
前記第１タンクプレートの摺動嵌合部の内径は前記第２タンクプレートの左右辺の各内側フランジの外径よりもやや大きく形成するとともに、前記摺動嵌合部及び前記左右辺の各内側フランジの各筒径が下方に向かって縮径するようテーパ状に形成することが好ましい。
さらに、いずれかの前記タンクプレートにより穀物タンクを構成した穀物乾燥機とするとよい。