(57)【要約】  格納部（２）はプローブカード（１）を格納する。送出機構（３ａ〜３ｄ）はプローブカード（１）を格納部（２）から送出する機能を有する。送出機構（３ｄ）にロック機構（４）が設けられている。プローバー装置に装着されたとき、ロック機構（４）が解除されて、プローブカード（１）は送出機構（３ａ〜３ｄ）によって格納部（２）から送出される。一方、プローバー装置に装着されないとき、ロック機構（４）が働き、プローブカード（１）は格納部（２）に固定される。
2008018286.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを格納する格納部と、
前記プローブカードを、前記格納部から送出するための送出機構と、
前記送出機構の動作をロックするためのロック機構とを備え、
プローバー装置に装着されたとき、前記ロック機構が解除されて、前記プローブカードが前記送出機構によって前記格納部から送出される一方、プローバー装置に装着されないとき、前記ロック機構が働き、前記プローブカードが前記格納部に固定される
ことを特徴とするプローブカードカセット。
【請求項２】
プローブカード基板と、
前記プローブカード基板の一の面に基端が接続されたプローブ針と、
前記プローブカード基板に設けられており、前記一の面から突出し、突出方向に摺動可能なストッパー部材と、前記一の面から突出した前記ストッパー部材の高さを調整するための高さ調整機構とを有するストッパー部とを備え、
前記高さ調整機構は、前記ストッパー部材の高さを、前記プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、前記プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、
媒体を、前記ストッパー部の外部から注入、および外部へ排出するための注入排出口を備え、
注入されている媒体の量に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう、構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、
前記ストッパー部の外部から操作可能な回転機構を備え、
前記回転機構の動作に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう、構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項５】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、
前記プローブカード基板は、
過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、
前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えた
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項６】
請求項２のプローブカードを格納する格納部を備え、
前記プローブカードの前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、
前記格納部は、
過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、
前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えた
ことを特徴とするプローブカードカセット。
【請求項７】
一の面に第１の電極が設けられ、かつ、孔を有するプローブカード基板と、
底板部と、この底板部から突出した突部とを有し、前記突部の先にプローブ針の基端が接続されたプローブ針部とを備え、
前記プローブカード基板と前記プローブ針部とは、前記プローブ針部の前記突部が前記プローブカード基板の前記孔に前記一の面側から挿入された状態で、かつ、前記プローブ針部が挿入方向に摺動可能なように、弾性部材を介して、接続されており、
前記プローブ針部の前記底板部における前記突部側表面に、前記第１の電極に対向して第２の電極が設けられており、
前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えたとき、前記弾性部材が収縮して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが接し、前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に接続され、
前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えないとき、前記弾性部材が伸張して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが離れ、かつ、前記プローブ針の先端が、前記プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置している
ことを特徴とするプローブカード。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路のプローブ試験時に用いられるプローブカードに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路のテストは、拡散工程終了後のウェハ状態でのテスト（以下、プローブ検査）と、組立工程終了後のパッケージングされた製品状態でのテストとに大別される。【０００３】
プローブ検査は、プローブカードをプローバー装置に装着し、ＬＳＩテスタと接続され、ウェハ上に規則的に配列されたＩＣチップ上の各電極パッドにプローブカードの各プローブ針を接触させることによって、実施するものである。【０００４】
図１０は一般的なプローブカードの構成を示す図である。図１０において、１０１はプローブカード基板、１０２ａ，１０２ｂ，…はプローブ針である。多数のプローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…は、基端がプローブカード基板１０１に接続されており、先端は下方斜め方向に向けて突き出している。プローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…の各基端は、プローブカード基板１０１を介して、ＬＳＩテスタと電気的に接続される。また、プローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…の各先端は、半導体集積回路の電極パッドのほぼ中央と対応している。【０００５】
特許文献１では、ＬＳＩチップの基準位置とプローブ針情報の基準位置を合わせることによって、自動的に電極パッドに対する全プローブ針の位置及び高さを認識する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１５０２２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のプローブカードの構成では、プローブ針が外部に露出した状態であり、このため、オペレーターの誤操作や落下等によりプローブ針が破損するという問題を有している。【０００７】
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、オペレーターの誤操作や落下等に起因したプローブ針の破損を防止可能なプローブカードおよびプローブカードカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、プローブカードカセットとして、プローブカードを格納する格納部と、前記プローブカードを前記格納部から送出するための送出機構と、前記送出機構の動作をロックするためのロック機構とを備え、プローバー装置に装着されたとき、前記ロック機構が解除されて、前記プローブカードが前記送出機構によって前記格納部から送出される一方、プローバー装置に装着されないとき、前記ロック機構が働き、前記プローブカードが前記格納部に固定されるものである。【０００９】
この第１の発明によると、プローバー装置に装着されないとき、ロック機構が働き、プローブカードが格納部に固定されるので、プローブ針を保護することができる。【００１０】
第２の発明は、プローブカードとして、プローブカード基板と、前記プローブカード基板の一の面に基端が接続されたプローブ針と、前記プローブカード基板に設けられており、前記一の面から突出し、突出方向に摺動可能なストッパー部材と、前記一の面から突出した前記ストッパー部材の高さを調整するための高さ調整機構とを有するストッパー部とを備え、前記高さ調整機構は、前記ストッパー部材の高さを、前記プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、前記プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されているものである。【００１１】
第２の発明によると、ストッパー部材の高さが、プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能であるので、プローブ検査を行わないときに、ストッパー部材の高さを、プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さに設定することによって、プローブ針を保護することが可能になる。一方、プローブ検査を行うときは、ストッパー部材の高さを、プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さに設定することによって、プローブ検査を実行可能にできる。【００１２】
そして、前記第２の発明における高さ調整機構は、媒体を前記ストッパー部の外部から注入および外部へ排出するための注入排出口を備え、注入されている媒体の量に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう構成されているのが好ましい。【００１３】
また、前記第２の発明における高さ調整機構は、前記ストッパー部の外部から操作可能な回転機構を備え、前記回転機構の動作に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう構成されているのが好ましい。【００１４】
また、前記第２の発明において、前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、前記プローブカード基板は、過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えたものとするのが好ましい。【００１５】
また、第３の発明は、プローブカードカセットとして、前記第２の発明のプローブカードを格納する格納部を備え、前記プローブカードの前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、前記格納部は、過去のまたは製造時の高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えたものである。【００１６】
また、第４の発明は、プローブカードとして、一の面に第１の電極が設けられ、かつ、孔を有するプローブカード基板と、底板部と、この底板部から突出した突部とを有し、前記突部の先にプローブ針の基端が接続されたプローブ針部とを備え、前記プローブカード基板と前記プローブ針部とは、前記プローブ針部の前記突部が前記プローブカード基板の前記孔に前記一の面側から挿入された状態で、かつ、前記プローブ針部が挿入方向に摺動可能なように、弾性部材を介して、接続されており、前記プローブ針部の前記底板部における前記突部側表面に、前記第１の電極に対向して第２の電極が設けられており、前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えたとき、前記弾性部材が収縮して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが接し、前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に接続され、前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えないとき、前記弾性部材が伸張して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが離れ、かつ、前記プローブ針の先端が、前記プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置しているものである。【００１７】
第４の発明によると、プローブ検査を行わないときは、プローブ針部に底板部の裏側から圧力を加えないので、弾性部材が伸張して、底板部の突部側表面とプローブカード基板の一の面とが離れ、かつ、プローブ針の先端が、プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置しているようになる。すなわち、プローブ針を保護することが可能になる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、プローブ検査を実施しないときに、プローブ針を保護することができるので、オペレーターの誤操作や落下等によるプローブ針の破損を防止することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】図１は、本発明の第１の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。
【図２】図２は、本発明の第２の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図３】図３は、本発明の第２の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図４】図４は、本発明の第３の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図５】図５は、本発明の第３の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図６】図６は、本発明の第４の実施形態に係るプローブカードの構成を示す平面図である。
【図７】図７は、本発明の第５の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。
【図８】図８は、本発明の第６の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図９】図９は、本発明の第６の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図１０】図１０は、一般的なプローブカードを示す図である。
【符号の説明】
【００２０】
１  プローブカード
２  格納部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ  送出機構
４  ロック機構
５ａ  記憶素子
５ｂ  比較器
１０１  プローブカード基板
１０１ａ  孔
１０２ａ，１０２ｂ  プローブ針
１０３  ストッパー部
１０３ｂ  ストッパー部材
１０３ｃ  媒体収容部
１０５  弾性部材
１０６  注入排出口
１０７  回転機構
１０８  プローブ針部
１０８ａ  底板部
１０８ｂ  突部
１０９ａ，１０９ｂ  第２の電極
１１０ａ，１１０ｂ  第１の電極
１１１ａ，１１１ｂ  弾性部材
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、本発明を更に理解しやすくするため、実施の形態について説明する。かかる実施形態は本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の範囲で任意に変更可能である。【００２２】
図１は本発明の第１の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。図１において、１はプローブカード、２はプローブカードを格納する格納部、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄはプローブカード１を格納部２から送出したり、格納部２に格納したりするための送出機構、４はプローブカード１の誤送出を防止するために、送出機構３ｄの動作をロックするロック機構である。ロック機構４が作動しているときは、プローブカード１は格納部２に固定される。一方、ロック機構４が解除されているときは、プローブカード１は送出機構３ａ〜３ｄによって格納部２から送出可能になる。【００２３】
プローブ検査実施時は、プローブカード１を格納した図１に示すプローブカードカセットをプローバー装置に装着する。プローバー装置に装着されたとき、プローバ装置によってロック機構４が解除されて、送出機構３ｄの動作のロックが解除され、プローブカード１が送出機構３ａ〜３ｄによって格納部２からプローバー装置内に送出される。これによって、プローブ検査が可能となる。【００２４】
一方、プローブ検査終了時は、プローバー装置から格納部２にプローブカード１が格納される。格納完了後、プローバ装置から脱着されたとき、ロック機構４が作動し、プローブカード１が格納部２に固定される。このため、プローブ針が保護される。【００２５】
図２および図３は本発明の第２の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図２はプローブ検査を行っているときの状態、図３はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図２および図３において、１０１はプローブカード基板、１０２ａ，１０２ｂはプローブ針であり、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの基端はプローブカード基板１０１の一の面に接続されている。１０３はプローブカード基板１０１に設けられたストッパー部である。ストッパー部１０３は、プローブカード基板１０１に固定された受け部１０３ａと、受け部１０３ａに対して摺動するストッパー部材１０３ｂと、受け部１０３ａとストッパー部材１０３ｂとを接続する、例えばつるまきバネで構成された弾性部材１０５と、受け部１０３ａとストッパー部材１０３ｂとによって区画形成された媒体収容部１０３ｃと外部とを連通する注入排出口１０６とを備えている。ストッパー部材１０３ｂは、プローブカード基板１０１の一の面から突出しており、その突出方向に摺動可能に構成されている。また、注入排出口１０６を介して、例えば、空気等の気体、オイル等の液体からなる媒体を、ストッパー部１０３の外部から媒体収容部１０３ｃに注入したり、媒体収容部１０３ｃから外部に排出することが可能になっている。【００２６】
媒体を、注入排出口１０６を介して媒体収容部１０３ｃに注入することによって、弾性部材１０５が伸長し、これにより、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。一方、媒体を、注入排出口１０６を介して媒体収容部１０３ｃから排出することによって、弾性部材１０５が収縮し、これにより、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。すなわち、媒体収容部１０３ｃに注入されている媒体の量に応じて、ストッパー部材１０３ｂの高さが設定される。媒体収容部１０３ｃ、弾性部材１０５および注入排出口１０６によって、高さ調整機構が構成されている。【００２７】
ここでは、高さ調整機構は、ストッパー部材１０３ｂの高さを、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている。【００２８】
プローブ検査実施時は、図２に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、注入排出口１０６から媒体が排出され、媒体収容部１０３ｃ内の媒体量が減少する。このため、弾性部材１０５が収縮して、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低くなるため、プローブ検査が可能になる。このとき、ストッパー部材１０３ｂの高さが、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりもわずかに低くなるようにするのが好ましい。これにより、プローブ検査時のオペレータの誤操作が発生した場合でも、プローブ検査時のプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の移動量を最小限にすることができ、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。【００２９】
一方、プローブ検査非実施時は、図３に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着される際に、注入排出口１０６から媒体が注入され、媒体収容部１０３ｃ内の媒体量が増加する。このため、弾性部材１０５が伸張して、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高くなるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂはストッパー部材１０３ｂによって保護される。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。【００３０】
図４および図５は本発明の第３の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図４はプローブ検査を行っているときの状態、図５はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図４および図５において、図２および図３と共通の構成要素には図２および図３と同一の符号を付しており、ここでは詳細な説明を省略する。【００３１】
ここでは、ストッパー部材１０３ｂの高さの調整を、媒体の注入・排出ではなく、例えばねじによって構成された回転機構１０７の動作によって、実現している。すなわち、ストッパー部１０３Ａは、受け部１０３ａ、ストッパー部材１０３ｂ、弾性部材１０５および回転機構１０７を備えている。回転機構１０７はストッパー部１０３Ａの外部から操作可能であり、所定の方向に回転させたときは、ストッパー部材１０３ｂを引き上げる一方、反対方向に回転させたときは、ストッパー部材１０３ｂを押し下げるように、構成されている。弾性部材１０５および回転機構１０７によって、高さ調整機構が構成されている。【００３２】
ここでも、高さ調整機構は、ストッパー部材１０３ｂの高さを、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている。【００３３】
プローブ検査実施時は、図４に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、回転機構１０７が回転することによって、弾性部材１０５が収縮して、ストッパー部材１０３ｂが引き上げられる。このため、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低くなるため、プローブ検査が可能になる。このとき、ストッパー部材１０３ｂの高さが、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりもわずかに低くなるようにするのが好ましい。これにより、プローブ検査時のオペレータの誤操作が発生した場合でも、プローブ検査時のプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の移動量を最小限にすることができ、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。【００３４】
一方、プローブ検査非実施時は、図５に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着される際に、回転機構１０７が反転することによって、弾性部材１０５が伸長して、ストッパー部材１０３ｂが押し下げられる。このため、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高くなるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂはストッパー部材１０３ｂによって保護される。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。【００３５】
図６は本発明の第４の実施形態に係るプローブカードの構成を示す平面図である。図６のプローブカードは、図２〜図５に示したプローブカードと基本的には同様の構成からなり、共通の構成要素には同一の符号を付している。ただし、プローブカード基板１０１の空きスペースに、記憶素子５ａと比較器５ｂが設けられている。【００３６】
図６のプローブカードでは、上述した高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されているものとする。そして、記憶素子５ａは過去の高さ調整の結果を記憶することが可能である。また、比較器５ｂは、記憶素子５ａと信号線で接続されており、高さ調整機構から出力された現在の高さ調整の結果と、記憶素子５ａに記憶された過去の高さ調整の結果とを比較する。そして、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する。図６のプローブカードがプローバ装置に装着されたとき、比較器５ｂの出力信号はプローバー装置に送られる。これにより、異常が発生したことを表示することが可能になる。【００３７】
なお、記憶素子５ａは、製造時における、高さ調整の結果を記憶していてもかまわない。この場合も、上述したのと同様の効果が得られる。【００３８】
また、図７は本発明の第５の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。図７のプローブカードカセットは、図１に示したプローブカードカセットと基本的には同様の構成からなり、共通の構成要素には同一の符号を付している。そして、格納部２に、図２〜図５に示したプローブカードを格納している。ただし、格納部２の表面の空きスペースに、記憶素子５ａと比較器５ｂが設けられている。【００３９】
図７のプローブカードカセットに格納されたプローブカードでは、上述した高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されているものとする。そして、記憶素子５ａは過去の高さ調整の結果を記憶することが可能である。また、比較器５ｂは、記憶素子５ａと信号線で接続されており、高さ調整機構から出力された現在の高さ調整の結果と、記憶素子５ａに記憶された過去の高さ調整の結果とを比較する。そして、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する。図７のプローブカードカセットがプローバ装置に装着されたとき、比較器５ｂの出力信号はプローバー装置に送られる。これにより、異常が発生したことを表示することが可能になる。【００４０】
なお、記憶素子５ａは、製造時における、高さ調整の結果を記憶していてもかまわない。この場合も、上述したのと同様の効果が得られる。【００４１】
図８および図９は本発明の第６の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図８はプローブ検査を行っているときの状態、図９はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図８および図９において、１０１はプローブカード基板であり、一の面としての上面に第１の電極１１０ａ，１１０ｂが設けられている。この電極１１０ａ，１１０ｂはプローブカード基板１０１のテスターチャネルと接続されている。１０８はプローブ針部であり、底板部１０８ａと、この底板部１０８ａから突出した突部１０８ｂとを有し、突部１０８ｂの先にはプローブ針１０２ａ，１０２ｂの基端が接続されている。プローブカード基板１０１とプローブ針部１０８とは、突部１０８ｂがプローブカード基板１０１の孔１０１ａに上面側から挿入された状態で、かつ、プローブ針部１０８が挿入方向に摺動可能なように、例えばつるまきばねで構成される弾性部材１１１ａ，１１１ｂを介して、接続されている。また、プローブ針部１０８の底板部１０８ａにおける突部１０８ｂ側表面には、第１の電極１１０ａ，１１０ｂに対向して第２の電極１０９ａ，１０９ｂが設けられている。【００４２】
プローブ検査実施時は、図８に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、プローブカード基板１０１がプローバー装置に固定されることにより、プローブ針部１０８に底板部１０８ａの裏側から圧力が加えられ、プローブ針部１０８が押し下げられる。このとき、弾性部材１１１ａ，１１１ｂが収縮して、底板部１０８ａの突部１０８ｂ側表面とプローブカード基板１０１の上面とが接し、第１の電極１１０ａ，１１０ｂと第２の電極１０９ａ，１０９ｂとが電気的に接続される。またこのとき、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端がプローブカード基板１０１の下面よりも下に位置するため、プローブ検査が可能になる。【００４３】
一方、プローブ検査非実施時は、図９に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着されると、プローブ針部１０８に底板部１０８ａの裏側から圧力が加えられなくなる。このとき、弾性部材１１１ａ，１１１ｂが伸張して、プローブ針部１０８が押し上げられ、底板部１０８ａの突部１０８ｂ側表面とプローブカード基板１０１の上面とが離れる。またこのとき、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端がプローブカード基板１０１の他の面としての下面表面よりも内側に位置している。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂがプローブカード基板１０１内に格納されるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂが保護される。
【産業上の利用可能性】
【００４４】
本発明によると、プローブカードのプローブ針を保護することが可能になるので、誤操作や落下等によるプローブ針の破損を防止できるという効果を有し、例えば、プローブ検査を効率よく実行するのに有用である。
【図１】
2008018286.tif 000003
【図２】
2008018286.tif 000004
【図３】
2008018286.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
2008018286.tif 000008
【図７】
2008018286.tif 000009
【図８】
2008018286.tif 000010
【図９】
2008018286.tif 000011
【図１０】
2008018286.tif 000012
【手続補正書】
【提出日】平成19年10月26日(2007.10.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プローブカードを格納する格納部と、
前記プローブカードを、前記格納部から送出するための送出機構と、
前記送出機構の動作をロックするためのロック機構とを備え、
プローバー装置に装着されたとき、前記ロック機構が解除されて、前記プローブカードが前記送出機構によって前記格納部から送出される一方、プローバー装置に装着されないとき、前記ロック機構が働き、前記プローブカードが前記格納部に固定される
ことを特徴とするプローブカードカセット。
【請求項２】
プローブカード基板と、
前記プローブカード基板の一の面に基端が接続されたプローブ針と、
前記プローブカード基板に設けられており、前記一の面から突出し、突出方向に摺動可能なストッパー部材と、前記一の面から突出した前記ストッパー部材の高さを調整するための高さ調整機構とを有するストッパー部とを備え、
前記高さ調整機構は、前記ストッパー部材の高さを、前記プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、前記プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項３】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、
媒体を、前記ストッパー部の外部から注入、および外部へ排出するための注入排出口を備え、
注入されている媒体の量に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう、構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項４】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、
前記ストッパー部の外部から操作可能な回転機構を備え、
前記回転機構の動作に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう、構成されている
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項５】
請求項２において、
前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、
前記プローブカード基板は、
過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、
前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えた
ことを特徴とするプローブカード。
【請求項６】
請求項２のプローブカードを格納する格納部を備え、
前記プローブカードの前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、
前記格納部は、
過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、
前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えた
ことを特徴とするプローブカードカセット。
【請求項７】
一の面に第１の電極が設けられ、かつ、孔を有するプローブカード基板と、
底板部と、この底板部から突出した突部とを有し、前記突部の先にプローブ針の基端が接続されたプローブ針部とを備え、
前記プローブカード基板と前記プローブ針部とは、前記プローブ針部の前記突部が前記プローブカード基板の前記孔に前記一の面側から挿入された状態で、かつ、前記プローブ針部が挿入方向に摺動可能なように、弾性部材を介して、接続されており、
前記プローブ針部の前記底板部における前記突部側表面に、前記第１の電極に対向して第２の電極が設けられており、
前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えたとき、前記弾性部材が収縮して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが接し、前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に接続され、
前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えないとき、前記弾性部材が伸張して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが離れ、かつ、前記プローブ針の先端が、前記プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置している
ことを特徴とするプローブカード。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体集積回路のプローブ試験時に用いられるプローブカードに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路のテストは、拡散工程終了後のウェハ状態でのテスト（以下、プローブ検査）と、組立工程終了後のパッケージングされた製品状態でのテストとに大別される。
【０００３】
プローブ検査は、プローブカードをプローバー装置に装着し、ＬＳＩテスタと接続され、ウェハ上に規則的に配列されたＩＣチップ上の各電極パッドにプローブカードの各プローブ針を接触させることによって、実施するものである。
【０００４】
図１０は一般的なプローブカードの構成を示す図である。図１０において、１０１はプローブカード基板、１０２ａ，１０２ｂ，…はプローブ針である。多数のプローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…は、基端がプローブカード基板１０１に接続されており、先端は下方斜め方向に向けて突き出している。プローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…の各基端は、プローブカード基板１０１を介して、ＬＳＩテスタと電気的に接続される。また、プローブ針１０２ａ，１０２ｂ，…の各先端は、半導体集積回路の電極パッドのほぼ中央と対応している。
【０００５】
特許文献１では、ＬＳＩチップの基準位置とプローブ針情報の基準位置を合わせることによって、自動的に電極パッドに対する全プローブ針の位置及び高さを認識する技術が開示されている。
【特許文献１】特開２００５−１５０２２４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来のプローブカードの構成では、プローブ針が外部に露出した状態であり、このため、オペレーターの誤操作や落下等によりプローブ針が破損するという問題を有している。
【０００７】
本発明は上記従来の問題点を解決するものであり、オペレーターの誤操作や落下等に起因したプローブ針の破損を防止可能なプローブカードおよびプローブカードカセットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
第１の発明は、プローブカードカセットとして、プローブカードを格納する格納部と、前記プローブカードを前記格納部から送出するための送出機構と、前記送出機構の動作をロックするためのロック機構とを備え、プローバー装置に装着されたとき、前記ロック機構が解除されて、前記プローブカードが前記送出機構によって前記格納部から送出される一方、プローバー装置に装着されないとき、前記ロック機構が働き、前記プローブカードが前記格納部に固定されるものである。
【０００９】
この第１の発明によると、プローバー装置に装着されないとき、ロック機構が働き、プローブカードが格納部に固定されるので、プローブ針を保護することができる。
【００１０】
第２の発明は、プローブカードとして、プローブカード基板と、前記プローブカード基板の一の面に基端が接続されたプローブ針と、前記プローブカード基板に設けられており、前記一の面から突出し、突出方向に摺動可能なストッパー部材と、前記一の面から突出した前記ストッパー部材の高さを調整するための高さ調整機構とを有するストッパー部とを備え、前記高さ調整機構は、前記ストッパー部材の高さを、前記プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、前記プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されているものである。
【００１１】
第２の発明によると、ストッパー部材の高さが、プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能であるので、プローブ検査を行わないときに、ストッパー部材の高さを、プローブ針の先端の位置よりも高い第１の高さに設定することによって、プローブ針を保護することが可能になる。一方、プローブ検査を行うときは、ストッパー部材の高さを、プローブ針の先端の位置よりも低い第２の高さに設定することによって、プローブ検査を実行可能にできる。
【００１２】
そして、前記第２の発明における高さ調整機構は、媒体を前記ストッパー部の外部から注入および外部へ排出するための注入排出口を備え、注入されている媒体の量に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう構成されているのが好ましい。
【００１３】
また、前記第２の発明における高さ調整機構は、前記ストッパー部の外部から操作可能な回転機構を備え、前記回転機構の動作に応じて、前記ストッパー部材の高さが設定されるよう構成されているのが好ましい。
【００１４】
また、前記第２の発明において、前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、前記プローブカード基板は、過去の、または、製造時の、高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えたものとするのが好ましい。
【００１５】
また、第３の発明は、プローブカードカセットとして、前記第２の発明のプローブカードを格納する格納部を備え、前記プローブカードの前記高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されており、前記格納部は、過去のまたは製造時の高さ調整の結果を記憶する記憶素子と、前記高さ調整機構から出力された信号と、前記記憶素子に記憶された過去のまたは製造時の高さ調整の結果とを比較し、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する比較器とを備えたものである。
【００１６】
また、第４の発明は、プローブカードとして、一の面に第１の電極が設けられ、かつ、孔を有するプローブカード基板と、底板部と、この底板部から突出した突部とを有し、前記突部の先にプローブ針の基端が接続されたプローブ針部とを備え、前記プローブカード基板と前記プローブ針部とは、前記プローブ針部の前記突部が前記プローブカード基板の前記孔に前記一の面側から挿入された状態で、かつ、前記プローブ針部が挿入方向に摺動可能なように、弾性部材を介して、接続されており、前記プローブ針部の前記底板部における前記突部側表面に、前記第１の電極に対向して第２の電極が設けられており、前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えたとき、前記弾性部材が収縮して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが接し、前記第１の電極と前記第２の電極とが電気的に接続され、前記プローブ針部に前記底板部の裏側から圧力を加えないとき、前記弾性部材が伸張して、前記底板部の前記突部側表面と前記プローブカード基板の前記一の面とが離れ、かつ、前記プローブ針の先端が、前記プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置しているものである。
【００１７】
第４の発明によると、プローブ検査を行わないときは、プローブ針部に底板部の裏側から圧力を加えないので、弾性部材が伸張して、底板部の突部側表面とプローブカード基板の一の面とが離れ、かつ、プローブ針の先端が、プローブカード基板の他の面表面よりも内側に位置しているようになる。すなわち、プローブ針を保護することが可能になる。
【発明の効果】
【００１８】
本発明によれば、プローブ検査を実施しないときに、プローブ針を保護することができるので、オペレーターの誤操作や落下等によるプローブ針の破損を防止することが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１９】
以下、本発明を更に理解しやすくするため、実施の形態について説明する。かかる実施形態は本発明の一態様を示すものであり、この発明を限定するものではなく、本発明の範囲で任意に変更可能である。
【００２０】
図１は本発明の第１の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。図１において、１はプローブカード、２はプローブカードを格納する格納部、３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄはプローブカード１を格納部２から送出したり、格納部２に格納したりするための送出機構、４はプローブカード１の誤送出を防止するために、送出機構３ｄの動作をロックするロック機構である。ロック機構４が作動しているときは、プローブカード１は格納部２に固定される。一方、ロック機構４が解除されているときは、プローブカード１は送出機構３ａ〜３ｄによって格納部２から送出可能になる。
【００２１】
プローブ検査実施時は、プローブカード１を格納した図１に示すプローブカードカセットをプローバー装置に装着する。プローバー装置に装着されたとき、プローバ装置によってロック機構４が解除されて、送出機構３ｄの動作のロックが解除され、プローブカード１が送出機構３ａ〜３ｄによって格納部２からプローバー装置内に送出される。これによって、プローブ検査が可能となる。
【００２２】
一方、プローブ検査終了時は、プローバー装置から格納部２にプローブカード１が格納される。格納完了後、プローバ装置から脱着されたとき、ロック機構４が作動し、プローブカード１が格納部２に固定される。このため、プローブ針が保護される。
【００２３】
図２および図３は本発明の第２の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図２はプローブ検査を行っているときの状態、図３はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図２および図３において、１０１はプローブカード基板、１０２ａ，１０２ｂはプローブ針であり、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの基端はプローブカード基板１０１の一の面に接続されている。１０３はプローブカード基板１０１に設けられたストッパー部である。ストッパー部１０３は、プローブカード基板１０１に固定された受け部１０３ａと、受け部１０３ａに対して摺動するストッパー部材１０３ｂと、受け部１０３ａとストッパー部材１０３ｂとを接続する、例えばつるまきバネで構成された弾性部材１０５と、受け部１０３ａとストッパー部材１０３ｂとによって区画形成された媒体収容部１０３ｃと外部とを連通する注入排出口１０６とを備えている。ストッパー部材１０３ｂは、プローブカード基板１０１の一の面から突出しており、その突出方向に摺動可能に構成されている。また、注入排出口１０６を介して、例えば、空気等の気体、オイル等の液体からなる媒体を、ストッパー部１０３の外部から媒体収容部１０３ｃに注入したり、媒体収容部１０３ｃから外部に排出することが可能になっている。
【００２４】
媒体を、注入排出口１０６を介して媒体収容部１０３ｃに注入することによって、弾性部材１０５が伸長し、これにより、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。一方、媒体を、注入排出口１０６を介して媒体収容部１０３ｃから排出することによって、弾性部材１０５が収縮し、これにより、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。すなわち、媒体収容部１０３ｃに注入されている媒体の量に応じて、ストッパー部材１０３ｂの高さが設定される。媒体収容部１０３ｃ、弾性部材１０５および注入排出口１０６によって、高さ調整機構が構成されている。
【００２５】
ここでは、高さ調整機構は、ストッパー部材１０３ｂの高さを、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている。
【００２６】
プローブ検査実施時は、図２に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、注入排出口１０６から媒体が排出され、媒体収容部１０３ｃ内の媒体量が減少する。このため、弾性部材１０５が収縮して、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低くなるため、プローブ検査が可能になる。このとき、ストッパー部材１０３ｂの高さが、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりもわずかに低くなるようにするのが好ましい。これにより、プローブ検査時のオペレータの誤操作が発生した場合でも、プローブ検査時のプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の移動量を最小限にすることができ、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。
【００２７】
一方、プローブ検査非実施時は、図３に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着される際に、注入排出口１０６から媒体が注入され、媒体収容部１０３ｃ内の媒体量が増加する。このため、弾性部材１０５が伸張して、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高くなるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂはストッパー部材１０３ｂによって保護される。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。
【００２８】
図４および図５は本発明の第３の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図４はプローブ検査を行っているときの状態、図５はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図４および図５において、図２および図３と共通の構成要素には図２および図３と同一の符号を付しており、ここでは詳細な説明を省略する。
【００２９】
ここでは、ストッパー部材１０３ｂの高さの調整を、媒体の注入・排出ではなく、例えばねじによって構成された回転機構１０７の動作によって、実現している。すなわち、ストッパー部１０３Ａは、受け部１０３ａ、ストッパー部材１０３ｂ、弾性部材１０５および回転機構１０７を備えている。回転機構１０７はストッパー部１０３Ａの外部から操作可能であり、所定の方向に回転させたときは、ストッパー部材１０３ｂを引き上げる一方、反対方向に回転させたときは、ストッパー部材１０３ｂを押し下げるように、構成されている。弾性部材１０５および回転機構１０７によって、高さ調整機構が構成されている。
【００３０】
ここでも、高さ調整機構は、ストッパー部材１０３ｂの高さを、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高い第１の高さと、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低い第２の高さとの間で、調整可能に構成されている。
【００３１】
プローブ検査実施時は、図４に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、回転機構１０７が回転することによって、弾性部材１０５が収縮して、ストッパー部材１０３ｂが引き上げられる。このため、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが低くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも低くなるため、プローブ検査が可能になる。このとき、ストッパー部材１０３ｂの高さが、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりもわずかに低くなるようにするのが好ましい。これにより、プローブ検査時のオペレータの誤操作が発生した場合でも、プローブ検査時のプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の移動量を最小限にすることができ、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。
【００３２】
一方、プローブ検査非実施時は、図５に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着される際に、回転機構１０７が反転することによって、弾性部材１０５が伸長して、ストッパー部材１０３ｂが押し下げられる。このため、ストッパー部材１０３ｂがプローブカード基板１０１の一の面から突出する高さが高くなる。そして、その高さがプローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端の位置よりも高くなるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂはストッパー部材１０３ｂによって保護される。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの破損を防止することができる。
【００３３】
図６は本発明の第４の実施形態に係るプローブカードの構成を示す平面図である。図６のプローブカードは、図２〜図５に示したプローブカードと基本的には同様の構成からなり、共通の構成要素には同一の符号を付している。ただし、プローブカード基板１０１の空きスペースに、記憶素子５ａと比較器５ｂが設けられている。
【００３４】
図６のプローブカードでは、上述した高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されているものとする。そして、記憶素子５ａは過去の高さ調整の結果を記憶することが可能である。また、比較器５ｂは、記憶素子５ａと信号線で接続されており、高さ調整機構から出力された現在の高さ調整の結果と、記憶素子５ａに記憶された過去の高さ調整の結果とを比較する。そして、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する。図６のプローブカードがプローバ装置に装着されたとき、比較器５ｂの出力信号はプローバー装置に送られる。これにより、異常が発生したことを表示することが可能になる。
【００３５】
なお、記憶素子５ａは、製造時における、高さ調整の結果を記憶していてもかまわない。この場合も、上述したのと同様の効果が得られる。
【００３６】
また、図７は本発明の第５の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。図７のプローブカードカセットは、図１に示したプローブカードカセットと基本的には同様の構成からなり、共通の構成要素には同一の符号を付している。そして、格納部２に、図２〜図５に示したプローブカードを格納している。ただし、格納部２の表面の空きスペースに、記憶素子５ａと比較器５ｂが設けられている。
【００３７】
図７のプローブカードカセットに格納されたプローブカードでは、上述した高さ調整機構は、高さ調整の結果を示す信号を出力可能に構成されているものとする。そして、記憶素子５ａは過去の高さ調整の結果を記憶することが可能である。また、比較器５ｂは、記憶素子５ａと信号線で接続されており、高さ調整機構から出力された現在の高さ調整の結果と、記憶素子５ａに記憶された過去の高さ調整の結果とを比較する。そして、その差分が基準値を超えたとき、その旨を示す信号を出力する。図７のプローブカードカセットがプローバ装置に装着されたとき、比較器５ｂの出力信号はプローバー装置に送られる。これにより、異常が発生したことを表示することが可能になる。
【００３８】
なお、記憶素子５ａは、製造時における、高さ調整の結果を記憶していてもかまわない。この場合も、上述したのと同様の効果が得られる。
【００３９】
図８および図９は本発明の第６の実施形態に係るプローブカードの構成を示す断面図である。図８はプローブ検査を行っているときの状態、図９はプローブ検査を行っていないときの状態を示す。図８および図９において、１０１はプローブカード基板であり、一の面としての上面に第１の電極１１０ａ，１１０ｂが設けられている。この電極１１０ａ，１１０ｂはプローブカード基板１０１のテスターチャネルと接続されている。１０８はプローブ針部であり、底板部１０８ａと、この底板部１０８ａから突出した突部１０８ｂとを有し、突部１０８ｂの先にはプローブ針１０２ａ，１０２ｂの基端が接続されている。プローブカード基板１０１とプローブ針部１０８とは、突部１０８ｂがプローブカード基板１０１の孔１０１ａに上面側から挿入された状態で、かつ、プローブ針部１０８が挿入方向に摺動可能なように、例えばつるまきばねで構成される弾性部材１１１ａ，１１１ｂを介して、接続されている。また、プローブ針部１０８の底板部１０８ａにおける突部１０８ｂ側表面には、第１の電極１１０ａ，１１０ｂに対向して第２の電極１０９ａ，１０９ｂが設けられている。
【００４０】
プローブ検査実施時は、図８に示すように、プローバー装置にプローブカードが装着されると、プローブカード基板１０１がプローバー装置に固定されることにより、プローブ針部１０８に底板部１０８ａの裏側から圧力が加えられ、プローブ針部１０８が押し下げられる。このとき、弾性部材１１１ａ，１１１ｂが収縮して、底板部１０８ａの突部１０８ｂ側表面とプローブカード基板１０１の上面とが接し、第１の電極１１０ａ，１１０ｂと第２の電極１０９ａ，１０９ｂとが電気的に接続される。またこのとき、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端がプローブカード基板１０１の下面よりも下に位置するため、プローブ検査が可能になる。
【００４１】
一方、プローブ検査非実施時は、図９に示すように、プローバー装置からプローブカードが脱着されると、プローブ針部１０８に底板部１０８ａの裏側から圧力が加えられなくなる。このとき、弾性部材１１１ａ，１１１ｂが伸張して、プローブ針部１０８が押し上げられ、底板部１０８ａの突部１０８ｂ側表面とプローブカード基板１０１の上面とが離れる。またこのとき、プローブ針１０２ａ，１０２ｂの先端がプローブカード基板１０１の他の面としての下面表面よりも内側に位置している。すなわち、プローブ針１０２ａ，１０２ｂがプローブカード基板１０１内に格納されるため、プローブ針１０２ａ，１０２ｂが保護される。
【産業上の利用可能性】
【００４２】
本発明によると、プローブカードのプローブ針を保護することが可能になるので、誤操作や落下等によるプローブ針の破損を防止できるという効果を有し、例えば、プローブ検査を効率よく実行するのに有用である。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】本発明の第１の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。
【図２】本発明の第２の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図３】本発明の第２の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図４】本発明の第３の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図５】本発明の第３の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図６】本発明の第４の実施形態に係るプローブカードの構成を示す平面図である。
【図７】本発明の第５の実施形態に係るプローブカードカセットの構成を示す斜視図である。
【図８】本発明の第６の実施形態に係るプローブカードのプローブ検査時における構成を示す断面図である。
【図９】本発明の第６の実施形態に係るプローブカードのプローブ非検査時における構成を示す断面図である。
【図１０】一般的なプローブカードを示す図である。
【符号の説明】
【００４４】
１  プローブカード
２  格納部
３ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ  送出機構
４  ロック機構
５ａ  記憶素子
５ｂ  比較器
１０１  プローブカード基板
１０１ａ  孔
１０２ａ，１０２ｂ  プローブ針
１０３  ストッパー部
１０３ｂ  ストッパー部材
１０３ｃ  媒体収容部
１０５  弾性部材
１０６  注入排出口
１０７  回転機構
１０８  プローブ針部
１０８ａ  底板部
１０８ｂ  突部
１０９ａ，１０９ｂ  第２の電極
１１０ａ，１１０ｂ  第１の電極
１１１ａ，１１１ｂ  弾性部材
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008018286.tif 000013
【図２】
2008018286.tif 000014
【図３】
2008018286.tif 000015
【図４】
2008018286.tif 000016
【図５】
2008018286.tif 000017
【図６】
2008018286.tif 000018
【図７】
2008018286.tif 000019
【図８】
2008018286.tif 000020
【図９】
2008018286.tif 000021
【図１０】
2008018286.tif 000022
【国際調査報告】
2008018286.tif 000023
2008018286.tif 000024