(57)【要約】  低圧若しくは少量の気流で十分に板状物を浮上させて、その姿勢を安定化させる気流搬送装置及びその気流搬送装置に用いられるノズル板を提供する。複数の傾斜噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送させる気流搬送装置において、該装置に用いられるノズル板が、前記複数の傾斜噴射孔と、前記板状物が近接する平坦部とを備える。一方、該平坦部と同等の高さの位置に上面を備えるパネル板は、前記平坦部とともに該気流搬送装置の搬送面を構成する。該搬送面のノズル板は、該板状物の搬送方向に第1の間隔を、該搬送方向に実質的に直行する方向に第2の間隔を隔てることを特徴とする。
2007088936.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を浮上させることができる気流搬送装置であって、
前記板状物を浮上支持する搬送面を形成及び／又は支持する基台と、
前記基台が前記搬送面側に複数備える開口の１つに気密的に敷設されるノズル板と、を備え、
前記ノズル板は、前記搬送面を構成する平坦部と、該平坦部の周囲に前記搬送面側に浮上用気体を噴射する複数の傾斜噴射孔とを備えるように一体成形され、
前記複数の開口のそれぞれから流入される加圧気体は前記複数の傾斜噴射孔から浮上用気体として所定の噴射方向に噴射されることを特徴とする気流搬送装置。
【請求項２】
前記ノズル板は、前記平坦部の回りに形成され、第1の壁及び第2の壁により規定される溝部を更に備え、
前記傾斜噴射孔の開口部は、前記溝部を規定する第１の壁に形成され、
前記傾斜噴射孔は、前記第１の壁に対しほぼ直角となるように形成され、
前記噴射方向は、前記複数の傾斜噴射孔の開口部から仮想的に延長した場合、前記第１の壁に対向して前記溝部を規定する前記第２の壁には直接当たらないことを特徴とする請求項１に記載の気流搬送装置。
【請求項３】
前記溝部は、前記第１の壁及び第２の壁により所定の開き角を持つＶ字型溝を含み、
前記第１の壁及び第２の壁は互いに対向して前記平坦部の回りに延び、
前記第２の壁は、前記第１の壁より前記平坦部に近いことを特徴とする請求項２に記載の気流搬送装置。
【請求項４】
前記傾斜噴射孔は、細孔であることを特徴とする請求項１乃至３に記載の気流搬送装置。
【請求項５】
前記傾斜噴射孔は、スリット形状であることを特徴とする請求項１乃至３に記載の気流搬送装置。
【請求項６】
前記ノズル板は、所定の厚みを持つ矩形の板形状を有し、
前記搬送面側の辺部は、所定の大きさで面取りされていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項７】
前記ノズル板は、所定の厚みを持つ矩形の板形状を有し、
前記複数の傾斜噴射孔は平坦部を挟んで形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項８】
前記ノズル板は、前記平坦部から窪んだ座ぐりを有するボルト孔を少なくとも１つ備え、
前記ボルト孔は、前記搬送面側に形成される前記座ぐりの座ぐり面、及び該座ぐり面に対向する反対側に形成される対向面との間を貫通するように形成され、
当該ノズル板は、前記ボルト孔を貫通する締結部材によって、前記対向面が保持部材に当接させられて、該保持部材に固定されることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項９】
少なくとも前記ノズル板の平坦部は、帯電性の低い樹脂からなることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項１０】
前記ノズル板は、前記搬送面の反対側に、当該ノズル板の外形を規定する周縁に沿って延びる外周壁を備え、
該外周壁の頂部は、当該ノズル板の反対側の面を規定し、
前記対向面は、前記外周壁の頂部により規定される前記反対側の面から突出することを特徴とする請求項８に記載の気流搬送装置。
【請求項１１】
前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し実質的に平行となるように、それぞれの前記平坦部の高さをそろえて複数配置されていることを特徴とする請求項１に記載の気流搬送装置。
【請求項１２】
前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭いことを特徴とする請求項１１に記載の気流搬送装置。
【請求項１３】
前記ノズル板の平坦部と同等高さの位置に並ぶ上面を備えるパネル板が前記第1及び第2の間隔内に敷設され、前記搬送面を構成することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の気流搬送装置。
【請求項１４】
前記ノズル板の平坦部は、前記搬送面で最も高い位置にあることを特徴とする請求項１から１３に記載の気流搬送装置。
【請求項１５】
前記搬送面に備えられた複数のノズル板から噴射される均一な流速を持つ気体により前記板状物を浮上させて、実質的に非接触状態に保ちながら所定の搬送方向へ搬送させる気流搬送方法において、
前記板状物を搬送方向に対して垂直な方向に波打たせることを特徴とする気流搬送方法。
【請求項１６】
前記複数の傾斜噴射孔は、請求項１から９のいずれかに記載のノズル板に設けられた噴射孔であり、
前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向に及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し前記平坦部が実質的に平行となるように、複数配置されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭く、
前記板状物は、前記第２の間隔が空けられた位置で、下側に撓むことにより前記搬送方向に対して実質的に垂直な方向に波打つことを特徴とする請求項１５記載の気流搬送方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、複数の傾斜噴射孔から噴射する気体により板状物を浮上させるための該噴射孔を含むノズル板を用いる気流搬送装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、気体の噴出によりウエハ等の板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送させる気流搬送装置（気流浮上装置）に関し、例えば、特許文献１や特許文献２等において開示されているように、気体を該装置の搬送面と直交する方向に噴出させる噴出孔（以下、「垂直噴出孔」という。尚、本明細書全体を通して、この噴出及び噴出孔は、後述する噴射及び噴射孔と同じ意味を有する。また、逆の場合も同様である。）を設けたもの、或いは、気体を搬送面と直交しない方向に噴出させる噴出孔（以下、「傾斜噴出孔」という。）を設けたもの、更には、それらの両噴出孔を設けたものが知られている。これらの噴出孔から噴出される気体は板状物を浮上させるために高圧であることが好ましい。【０００３】
上記板状物の一例となるガラス基板は、例えば１辺が１〜２ｍ程度で、厚さが１ｍｍ弱の大きな基板で、重さは数Ｋｇ程度である。これは例えば液晶基板として検討されているサイズである。このような大きく薄い基板を気流で浮上させるには、高圧の気流若しくは多量の気流が必要となる。一方、このような気流を用いると基板の中央部が上向きに膨らむ傾向がある。このとき、基板の下面に沿って流れる気流から左右方向の力が加わり、左右の力がバランスしていない場合、基板が横移動したり向きが変化したりして、姿勢が不安定になる可能性がある（例えば、特許文献３）。【０００４】
また、特許文献４には、ドリル加工で開けられた噴出口が開示されているが、ガラス板（被搬送物）よりも大きな移送ユニットの加工板の搬送面に対して斜めにドリルで孔を開けて作られている。この噴出口からの気体の噴出により該ガラス板を浮上させ、ガラス板の移動や停止が制御されている。しかしながら、斜めにドリルで孔を開けるため、ドリルの刃先の逃げを完全に防ぐことは難しく、孔の噴出口近傍の寸法精度、生産性が十分とはいえない。また、特許文献４が改良する部品の組み合わせによる移送ユニットでは、複数の部品を用いるため、コスト高になりやすい。また、ガラス板とほぼ同じ大きさの広い搬送面の中心に向かって気体を噴出しても、各噴出口からの気体の噴出の相互作用による浮上力の向上は望み難い。更に、噴出口から移送方向に向かう気体の噴出も複合されるので、噴出される気体が全て有効に前記板状物を浮上させるために使われているとは言い難い。【０００５】
また、特許文献５には、水平に延びる水平通路を通った空気が、大きく広がった傾斜噴出孔から噴出されるものが開示されている。この傾斜噴出孔は、断面視で、直角三角形状をしており、噴出される気体の方向性が十分制御されているとは言い難い。【０００６】
上述のような噴出孔の構造では、低圧若しくは少量の気流では、板状物を十分に浮上させることが難しく、一方、高圧若しくは多量の気流では、板状物の姿勢が不安定になる可能性がある。更に、被搬送物の大きさと搬送面の大きさが同等となるため、大きな被搬送物を搬送するものでは、より大きな搬送面を持つ基台を用いる必要があり、その噴出孔の形成がより困難となるだけでなく、搬送面を設計する自由度が減少するおそれがある。また、大きな搬送面の中心に向かって気体を噴出しても必ずしも小さな搬送面で得られたものと同等の浮上効果が得られるとは限らない。【０００７】
ところで、連なる２つの搬送ユニット間には基板（板状物）浮上装置が通常配置されないため、これらの間を搬送するためには、前の搬送ユニットで前記基板をより高く浮上させる等の特別の措置をとることが望ましい（特許文献６）。これらの２つの搬送ユニット間を搬送される際に、基板の先頭が自重により垂れてしまい、次の搬送ユニットの搬送面に乗ることが難しかったり、基板の先頭が次の搬送ユニットに引っかかってしまい、基板が損傷するおそれがあるからである。【０００８】
一方、多孔質体から加圧エアを噴出させて、薄板を非接触支持し、薄板の搬送方向正面からみて下に凸となる多孔質体からなる支持部を構成するように配置する搬送用支持装置が開示されている（特許文献７）。しかしながら、多孔質体を使用しているため、エアの静圧により薄板が支持されるので、エアの加圧効率が低いだけでなく、装置が高価になるという欠点を有する。また、多孔質体の上面を平面にしたときは、エア圧力を各多孔質体間で調整する必要があり、複雑な制御が要求される。また、帯電防止が施されておらず、静電気による悪影響に対する対策は十分ではない。
【特許文献１】特開平７−２２８３４２号公報
【特許文献２】特開平８−１８１１８２号公報
【特許文献３】特開平３−２７２１５５号公報
【特許文献４】特開２０００−７２２５０号公報
【特許文献５】特開平１１−２６８８３０号公報
【特許文献６】特開平８−９１６２３号公報
【特許文献７】特開２００４−２４４１８６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上記のような課題に鑑みて、本発明では、低圧若しくは少量の気流で十分板状物を浮上させて、その姿勢を安定化させる気流浮上装置及びその気流浮上装置に基づく気流搬送装置を提供する。また、複数のノズル板を並べることにより搬送面を形成し、これらを用いた大型の被搬送物を浮上（及び搬送）できる気流浮上装置及び気流搬送装置を提供する。更に、基板サイズに応じエアの噴射位置を容易に変更できる浮上装置及び該気流浮上装置を応用した気流搬送装置や搬送方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明において、複数の傾斜噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送させる気流搬送装置（及び気流浮上装置）は、前記板状物を浮上支持する搬送面を形成及び／又は支持する基台であって、前記搬送面側に複数の開口を備える基台と、前記複数の開口のそれぞれに気密的に敷設されるノズル板と、を備える。前記ノズル板は、前記搬送面を構成する平坦部と、該平坦部の周囲に前記搬送面側に浮上用気体を噴射する複数の傾斜噴射孔とを備えるように一体成形されてよい。そして、前記複数の開口のそれぞれから流入される加圧気体は前記複数の傾斜噴射孔から浮上用気体として所定の噴射方向に噴射される。【００１１】
また、該装置に用いられるノズル板が、前記複数の傾斜噴射孔と、前記板状物が近接する平坦部とを備え、前記複数の傾斜噴射孔のそれぞれは少なくとも噴射される気体の方向を十分に制御できるだけの長さの噴射気体の気体流路を備え、前記複数の傾斜噴射孔は、それぞれに噴射される気体により所定の位置にエア溜まりを形成するように、気体を少なくとも二方向へ噴射するように傾斜される気体流を備えることを特徴とする。この所定の位置は、前記平坦部近傍であることが好ましい。【００１２】
より具体的には、以下のものを提供する。【００１３】
（１）複数の傾斜噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させることができる気流浮上装置におけるノズル板であって、  該ノズル板は、前記板状物に面する側に、前記板状物が近接する平坦部と、  該平坦部の回りに前記複数の傾斜噴射孔の開口部と、を備え、  前記複数の傾斜噴射孔のそれぞれは、前記開口部から少なくとも２つの噴射方向に噴射される噴射気体によって所定の位置にエア溜まりが形成されるように、少なくとも２つの異なる角度で傾斜する気体流路を有することを特徴とするノズル板を提供できる。【００１４】
ここで、上記気体は、空気、窒素、その他の気体を含んでよく、上記板状物は、ウエハ、基板、その他の薄板状の被搬送物を含んでよい。上記非接触状態とは、前記板状物を浮上するにあたって、障害とならない状態を含むことができる。例えば、前記板状物と前記気流浮上装置の搬送面との間に所定の距離が保たれた状態を含んでよく、前記搬送面との間にある程度の引きずり力を生じさせる状態を含んでよく、更に、一部に接触する部分があっても、全体として搬送に支障がない状態を含んでよい。ここで、搬送面とは、搬送される前記板状物が近接（若しくは接近）する面、特に最も近接する面を含んでよい。また、前記平坦部は、前記搬送面に含まれてよく、実質的に平らな面を形成してよい。また、平坦部は、その面より突出する突起を含まないことが好ましいが、その面より凹んだ部分を含むことができる。【００１５】
（２）前記平坦部の回りに形成される溝部を更に備え、  前記複数の傾斜噴射孔の開口部は、前記溝部を規定する第１の壁に形成され、  前記気体流路は、噴射される気体のそれぞれの噴射方向を十分に制御できるだけの長さを持つことを特徴とする上記（１）に記載のノズル板を提供できる。【００１６】
前記噴射される気体の方向を十分に制御できるだけの長さの気体流路は、噴射される気体が通る気体流路であってよく、この気体流路を通ることにより噴射される気体の噴射方向及び速度がある程度規定される。即ち、この気体流路が十分長いと、気体が進む方向が１つの方向になり易く、噴射される気体の方向がその慣性力によりまとまり易くなる。一方、短すぎると噴射される気体が傾斜噴射孔を出たところで拡散し易くなり、長すぎると、気体流路を通る気体の流速が管抵抗により低下する傾向がある。例えば、該傾斜噴射孔から前記所定の位置にあるエア溜まりまでの距離Ｌに対し、１／１００００から１／１が好ましく、１／１０００から１／１０がより好ましく、更に好ましくは、１／５００から１／５０である。しかし、これらの条件は、用いられる気体の種類、温度、気圧等の種々の条件により変化し得る。また、気体流路の断面形状は、特に限定されるものではないが、断面積に対して、気体流路壁に沿う周の長さがあまり長くないものが好ましく、例えば、円形（即ち、円管状の気体流路）が好ましい。【００１７】
また、エア溜まりが形成される所定の位置は、搬送される板状物との関係で決定されてもよい。このエア溜まりは、前記搬送面上にあってもよく、前記平坦部の近傍にあってもよい。エア溜まりは、壁等によって仕切られた空間であってもよいが、壁等によって仕切られていない自由な空間を含んでよい。このエア溜まりは、周囲の圧力よりも大きい圧力を有してよく、エア溜まりの圧力は、前記搬送される板状物の浮上に貢献してよい。また、第1の壁は、第1の面を有する部材であってよく、第1の壁は第1の面をもってして、上記溝部を規定する。【００１８】
（３）前記複数の傾斜噴射孔は、前記第１の壁の表面に対しほぼ直角となるように傾斜して形成され、  前記噴射方向は、前記複数の傾斜噴射孔の開口部から仮想的に延長した場合、前記第１の壁に対向して前記溝部を規定する第２の壁には直接当たらないことを特徴とする上記（２）に記載のノズル板を提供できる。【００１９】
前記溝部は、前記平坦部よりも凹んだ形状で形成されるものであり、搬送される前記板状物との間により大きな隙間を形成し得るものである。この溝部の形状は、特に限定されるものではないが、断面形状で、楕円形、半円形、矩形、正方形、三角形等の種々な形状を含むことができる。後に述べるように、三角形形状（即ち、Ｖ字溝）がより好ましい。溝部の深さは、溝の長手方向でほぼ均一であることがより好ましい。また、前記複数の傾斜噴射孔の開口から噴射する気体が前記エア溜まりに到達する前に溝を形成する相手側の壁（第２の壁）にぶつからないことが好ましい。ぶつかると、その気流が前記エア溜まりに到達しない、若しくは、到達した時の速度が遅い等が生じる恐れがあり、気流の動圧の寄与が少なくなるからである。また、第1の壁と同様に、第2の壁は第２の面を有する部材であってよく、第２の壁は第２の面をもってして、第1の壁と同様に上記溝部を規定する。【００２０】
（４）前記平坦部は、上面視で矩形を呈し、  前記溝部は、前記第１の壁及び第２の壁により所定の開き角を持つＶ字型溝を含み、  前記第１の壁及び第２の壁は互いに対向して前記平坦部の回りに延び、  前記第２の壁は、前記第１の壁より前記平坦部に近いことを特徴とする上記（２）又は（３）に記載のノズル板を提供できる。【００２１】
前記平坦部は、前記板状物に近接し、その近傍に形成される前記エア溜まりの気体の圧力により前記板状物に力を加え、前記板状物が前記平坦部から離れるように付勢する。前記平坦部の回りに延びるとは、前記平坦部を囲むように形成されることを含んでよい。例えば、該平坦部の周に沿って該溝部が設けられることを含んでよい。このとき、前記平坦部の全周を囲む必要はなく、部分的に囲むことを含んでよい。例えば、前記平坦部を挟むように位置する対向する２つの辺に沿って２つに分かれた溝部を備えることができる。更に、溝部の形状（前記平坦部を囲む形状）は、特に限定されるものではなく、前記平坦部を囲む円又は楕円形状に溝部を備えることができる。このような溝部は、連続していてもよく、不連続であってもよい。円又は楕円形状以外に、矩形、正方形、三角形等の種々の形状を用いることができるが、矩形形状がより好ましい。矩形（又は正方形）形状を用いる場合は、前記溝部は互いに対向する辺に沿って、少なくとも１組の溝部が設けられるのが好ましい。円若しくは楕円形又は三角形形状の場合は、対向する１組の辺（２つの辺）又は３以上の辺の位置にある溝部が組合わさって、該溝部に設けられた傾斜噴射孔から噴射される気体によりエア溜りが効率よく前記平坦部上に形成されるように、このような溝部を備えることが好ましい。【００２２】
尚、上記所定の開き角は、好ましくは６０度から１２０度であり、より好ましくは７０度から１１０度であり、更に好ましくは、８０度から１００度であり、約９０度近傍が最も好ましい。開き角は、垂直線に対して対称となるように均等にＶ字状に開くのが好ましい。【００２３】
（５）更に、前記複数の傾斜噴射孔の気体流路に連通する空気通路を前記板状物に面する側の反対側に備えることを特徴とする上記（１）から（４）のいずれかに記載のノズル板を提供できる。【００２４】
前記Ｖ字型溝の所定の開き角は、特に限定されることはないが、前記エア溜りが効率よくできるようなものであることが望ましい。例えば、該開き角が９０度若しくはそれ以上の場合は、傾斜噴射孔の位置にかかわらず、前記Ｖ字型溝の１の面（第１の壁）にその面に対してほぼ垂直に設けられた傾斜噴射孔から噴射される気体の大体は、前記Ｖ字型溝の他の面（第２の壁）にぶつからず方向を変えることなく、前記平坦部に向かって前期Ｖ字型溝を出ることが可能である。このようなＶ字溝は、断面形状のＶ字型が、左右対称になるように平坦面に対してほぼ垂直に凹形状を有することができる。一方、このＶ字型を所定の角度で傾けて設けることもできるが、傾けないで設けることがより好ましい。【００２５】
１つのＶ字溝に２以上の傾斜噴射孔が設けられることがより好ましい。また、該傾斜噴射孔が前記１の面の高さ方向の位置をほぼ揃えて設けられることがより好ましい。【００２６】
前記空気通路は、１つのＶ字型溝に１つずつ設けられることがより好ましい。しかしながら、２以上のＶ字型溝に対して１つの空気通路を設けてもよい。また、１つのＶ字型溝に対して２以上の空気通路を設けてもよい。【００２７】
（６）当該ノズル板は、所定の厚みを持つ矩形の板形状を有し、  前記板状物に面する側の辺部は、所定の大きさで面取りされていることを特徴とする上記（１）から（５）のいずれかに記載のノズル板を提供できる。【００２８】
面取りは、搬送される前記板状物が何かのはずみで当該ノズル板にぶつかった場合に当該ノズル板を規定する辺の角部に引っかかるのを防止することができる。このような面取りは、例えば、厚みの約１／２の大きさでほぼ４５度で行うことができる。また、アール状にすることもできる。これらの条件は、適宜選択される。【００２９】
（７）前記平坦部により凹となる座ぐりを有するボルト孔を少なくとも１つ備え、  前記ボルト孔は、前記板状物に面する側に形成される前記座ぐりの座ぐり面、及び前記板状物に面する側の反対側に形成される対向面との間を貫通するように形成され、  当該ノズル板は、前記ボルト孔を貫通する締結部材によって、前記対向面が保持部材に当接させられて、該保持部材に固定されることを特徴とする上記（１）から（６）のいずれかに記載のノズル板を提供できる。【００３０】
（８）当該ノズル板は、前記板状物に面する側の反対側に、当該ノズル板の外形を規定する周縁に沿って延びる外周壁を備え、  該外周壁の頂部は、当該ノズル板の反対側の面を規定し、  前記対向面は、前記外周壁の頂部により規定される前記反対側の面から突出することを特徴とする上記（７）に記載のノズル板を提供できる。【００３１】
（９）少なくとも前記平坦部は、帯電性の低い樹脂からなることを特徴とする上記（１）から（８）のいずれかに記載のノズル板を提供できる。【００３２】
ここで、上記帯電性の低い樹脂としては、表面固有抵抗が、例えば、２３℃で１０１３Ω以下、より望ましくは１０１２Ω以下のものが好ましい。また、２３℃で１０６Ω以下であってもよい。更に、１０３Ω以下であってもよい。これらは、帯電性が低いというよりは導電性であるといえる。表面固有抵抗が低いと、帯電し難く、好ましい。これは、絶縁性の板状物（例えば、ガラス基板）を搬送する場合に、電気的な要因から、板状物との相互作用で板状物の搬送に支障が生じることがあるからである。このような樹脂としては、炭素繊維で強化された樹脂、特に、ポリフェニレンエーテル（ＰＰＥ）を例としてあげることができる。【００３３】
このような複合材の特性として、引っ張り強度が２３℃で７０から１００ＭＰａ（ＡＳＴＭのＧＥＰＪ法）のものが好ましい。また、曲げ強度が２３℃で９０から１３０ＭＰａ（ＡＳＴＭのＤ７９０）のものが好ましい。また、曲げ弾性率が２３℃で４０００から１００００ＭＰａ（ＡＳＴＭのＤ７９０）のものが好ましい。【００３４】
また、炭素繊維以外に導電性繊維として、金属繊維等を使用できるが、炭素繊維がより好ましい。【００３５】
前記ノズル板を形成する材料は、上述のように帯電性が低い（言い換えれば、導電性を有する）こと以外に、特に限定されるものではない。しかし、その成型容易性（特に複雑形状の形成が容易であること）や気密を必要とする係合部等のシール性、更には、重量等を考慮すると、合成樹脂であることがより好ましい。このような合成樹脂としては、通常のプラスチック、エンジニアリングプラスチック等が適用でき、より具体的には、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、変性ＰＰＥ（ポリフェニレンエーテル）樹脂、ＰＳ（ポリスチレン）樹脂、その他の樹脂が適用できる。また、このようなノズル板は、射出成型により一体的に成型することが可能である。これらの樹脂だけでは、導電性は十分ではないおそれがあるので、導電性が要求される場合は、導電性のフィラー（例えば、炭素繊維、金属粉等）を混合することができる。【００３６】
（１０）複数の傾斜噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させて非接触状態に保ちながら所定方向へ搬送させる気流浮上装置であって、上記（１）から（９）のいずれかに記載されるノズル板を含む気流浮上装置を提供できる。【００３７】
（１１）前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向に及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し実質的に平行となるように、それぞれの前記平坦部の高さをそろえて複数配置されていることを特徴とする上記（１０）に記載の気流浮上装置を提供できる。
（１２）前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭いことを特徴とする気流浮上装置を提供できる。【００３８】
前記所定の間隔は、搬送される板状物に対して各ノズル板で与えられる浮上力、及び該搬送される板状物の特性等により決定される。この被搬送物である板状物が、薄く、板面が撓みやすい場合は、気流装置での搬送がより難しい。厚み方向に比較的剛性の高い被搬送物の場合は、被搬送物と搬送面との間の気体圧力が均一でなくても、被搬送物の撓みが少ないので、搬送は比較的容易である。厚み方向の剛性が低い場合は、仮に真っ平らにして搬送するならば、被搬送物と搬送面との間の気体圧力を均一にする必要がある。しかしながら、気体圧力を均一にするためには、より多くの噴射孔を必要とするばかりでなく、それらの噴射圧の厳密な制御や、このような噴射孔の開口の搬送面への均一配置が必要であり、生産性は必ずしも高くない。逆に、このような被搬送物を、規則的に波打つように撓ませると、波の尾根や谷が連なる方向において撓みに対する剛性が高くなるという利点がある。例えば、搬送方向に対して直角な方向に波打たせた場合、搬送方向には波の尾根や谷が連なるため、搬送先端部が下向きに垂れることを防ぐことができる。また、撓みにより前記平坦部と包むように撓んだ被搬送物によってエア溜まりが形成されることとなり、エア溜まりの気圧を高く保持しやすくなると考えられる。【００３９】
（１３）前記ノズル板の平坦部は、前記板状物に面する側で最も高い位置にあることを特徴とする上記（１１）又は（１２）に記載の気流浮上装置を提供できる。【００４０】
各ノズル板以外の位置では、上述のような浮上力は生じにくいため、各ノズル板上以外の所では、搬送される板状物の自重により下方向に撓むことになる。即ち、側面視（横から見た場合）、板状物は、搬送方向及び／又は横手方向に波を打つような形状を有することができる。【００４１】
（１４）上記（１０）から（１３）のいずれか記載の気流浮上装置に連なる第２の気流浮上装置を含む気流搬送システムにおいて、  前記気流浮上装置と前記第２の気流浮上装置は、それぞれ前記板状物を搬送する第１及び第２の搬送面を備え、  前記第２の気流浮上装置は、上記（１）から（９）のいずれかに記載されるノズル板を含み、  前記第１の搬送面及び第２の搬送面は、それぞれの気流浮上装置を構成する上記（１）から（９）のいずれかに記載されるノズル板により規定され、  前記板状物は前記第１の搬送面から前記第２の搬送面へと前記搬送方向に沿って移行するが、前記第１の搬送面は前記第２の搬送面よりも高い位置にあることを特徴とする気流搬送システムを提供できる。【００４２】
（１５）搬送面に備えられた複数の噴射孔から噴射される気体により板状物を浮上させて実質的に非接触状態に保ちながら所定の搬送方向へ搬送させる気流搬送方法において、前記板状物を搬送方向に対して実質的に垂直な方向に波打たせることを特徴とする気流搬送方法を提供できる。【００４３】
このように波を打つようにすると、搬送方向の先端において基板の垂れを防止することができる。基板が大型化すると自重によるたわみが大きくなり、例えば、基板サイズが５００×６００を超えるものになると、厚さ０．７ｍｍのものでは、基板の四隅を支持した状態でも１０ｍｍ以上のたわみが一般に発生する。浮上量が十分取れている場合は搬送面に接触することなく、搬送されるので問題はないが、浮上のために使用する大量及び／又は高速のエアの噴射が必要になる。搬送に支障の無い浮上高さとして、例えば、１〜２ｍｍをあげることができる。しかしながら、２つの連なる浮上ユニットの間でかかる基板を搬送する場合は、第１の浮上ユニットから次の第２の浮上ユニットへスムーズに乗り移りは、この浮上高さだけでは必ずしも保証されない。更に、大型の基板（例えば、１５００ｍｍ×１８５０ｍｍ）において、エア吹き付け位置で浮上量が２ｍｍあったとしても、６０ｍｍ離れた所では、撓んだ基板が搬送面に接触するおそれがある。しかるに、搬送方向にほぼ垂直な方向に基板を波打たせるようにすれば、搬送方向において断面２次モーメントが増大し、曲げ（即ち、撓み）に対する剛性が高くなる。【００４４】
（１６）前記複数の噴射孔は、請求項１から９のいずれかに記載のノズル板に設けられた噴射孔であり、  前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向に及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し実質的に平行となるように、複数配置されており、  前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭く、  前記板状物は、前記第２の間隔が空けられた位置で、下側に撓むことにより前記搬送方向に対して実質的に垂直な方向に波打つことを特徴とする上記（１５）記載の気流搬送方法を提供できる。【００４５】
通常、平面状の板材と波形状の板材を比較した場合、後者のほうが曲げに対する強度が高い。従って、基板をフラットな状態で保持して搬送した場合、搬送方向の前端部分が垂れやすくなる。しかし、基板を波形状にしたことで垂れを防止でき、スムーズな搬送が実現される。また、上述のノズル板を使用することで取り扱う基板サイズが変わってもノズル板の配置を変更することで基板の所望の波形状を保持することができる。【００４６】
（１７）前記搬送面から、第２の搬送面へ前記所定の搬送方向に沿って前記板状物が搬送される際に、前記搬送面で形成された前記板状物の波打ち形態が、前記第２の搬送面でも維持されることを特徴とする上記（１５）又は（１６）記載の気流搬送方法を提供できる。【００４７】
２つの搬送面間で、基板の波打ち形状（形態）を維持することにより、より安定して基板の搬送方向に対する前端部分の垂れを防止することができる。【００４８】
本発明によれば、気流搬送装置のノズル板を低コストで製造することができる。例えば、傾斜噴射孔をドリルで開けずに、ノズル板を成形するときに同時に傾斜した気体流路を形成することも可能である。また、溝を形成する壁にこの傾斜噴射孔の開口を設けると、該開口が設けられた面と前記傾斜噴射孔の気体流路方向が実質的に垂直若しくは実質的に垂直に近い角度をなすことができ、前記傾斜噴射孔が比較的容易に形成される。また、低圧若しくは少量の気流であっても、搬送される板状物を効率よく浮上させることができる。また、このノズル板を複数用いた大型の被搬送物を浮上（及び搬送）できる気流搬送装置を提供できる。従って、このような気流搬送装置を用いれば、基板サイズに応じエアの噴射位置を容易に変更できる搬送装置を構成可能になる。そのため、搬送装置の自由度が増すだけでなく、搬送装置自身が安価に提供できる。【００４９】
また、少なくとも被搬送物が近接する平坦部の帯電性が低い（又は導電性を有する）場合、その平坦部やノズル板全体の帯電を防止することができる。例えば、被搬送物がガラス等の誘電体である場合、被搬送物が帯電により、前記平坦部に引寄せられる等の弊害を防止することができる。【００５０】
更に、以下のようなものも本発明に含まれてよい。
板状物を浮上させることができる気流搬送装置であって、  前記板状物を浮上支持する搬送面を形成及び／又は支持する基台であって、前記搬送面側に複数の開口を備える基台と、  前記複数の開口のそれぞれに気密的に敷設されるノズル板と、を備え、  前記ノズル板は、前記搬送面を構成する平坦部と、該平坦部の周囲に前記搬送面側に浮上用気体を噴射する複数の傾斜噴射孔とを備えるように一体成形され、  前記複数の開口のそれぞれから流入される加圧気体は前記複数の傾斜噴射孔から浮上用気体として所定の噴射方向に噴射されることを特徴とする気流搬送装置を提供することができる。【００５１】
ここで、基台は、上述してきたようなノズル板を支持するものであってよく、また、基台の上面が直接搬送面を構成するようなものであってもよい。更に、後に詳述するように、搬送面を構成する上面を備えるパネルを支持してもよい。基台には、ノズル板を気密的に敷設する開口を備え、該開口を通して、上記噴射孔から気体を噴射させることができる。気密的に敷設するために、パッキン、シール等の中間材を介在することも有効である。【００５２】
ここで、上記噴射孔は、細孔であってよい。また、上記噴射孔は、スリット形状であってもよい。細孔のときは、噴射される気体の流れが速くなり易い。一方、スリット形状では、大量の気体を噴射することが容易である。【００５３】
上述する複数のノズル板は、前記板状物の搬送方向及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し実質的に平行となるように、それぞれの前記平坦部の高さをそろえて複数配置されてよい。このとき、前記平坦部と同等高さの位置に並ぶ上面を備えるパネル板が前記第1及び第2の間隔内に敷設され、前記搬送面を構成してよい。このように搬送面は、パネルやノズル板等の上面（平坦部を含む）から構成されるが、上記噴射孔から噴射される気体を、前記板状物と前記搬送面との間にある空隙に保持することができる。したがって、上に凸に反った板状物を搬送する場合、搬送面の搬送方向に沿う中心線近傍の空隙は大きくなる。この空隙で十分な浮上力を持たせるには、噴射する気体の流速を十分早くして、気体が持つ運動量（つまり動圧）に依存するか、高圧の気体を多量に送り込み静圧を高くするかの方法が考えられる。前者の場合は、噴射孔として細孔がより好ましい。後者の場合は、噴射孔としてスリットがより好ましい。
【発明の効果】
【００５４】
尚、搬送面は、平坦な上面を有する部材（例えば、板、ブロック等）の一体ものを用いることも可能であるが、上述のようなノズル板やパネルを組み合わせる方が、デザインの変更を容易に行うことができる。また、より安価に搬送面を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【００５５】
【図１】ノズル板の斜視図である。
【図２】ノズル板の上面図である。
【図３】ノズル板の右側面図である。
【図４】ノズル板の正面図である。
【図５】ノズル板の底面図である。
【図６】図２のＡ−Ａ断面図である。
【図７】図２のＢ−Ｂ断面図である。
【図８】自由境界に沿って曲がる二次元定常噴流が及ぼす力を理解するためのモデルを示す図である。
【図９】ノズル板を用いた気流搬送装置の斜視図である。
【図１０】ノズル板を用いた気流搬送装置の搬送面を示す図である。
【図１１】ノズル板が気流搬送装置の基台に取り付けられた状態を示す斜視図である。
【図１２】ノズル板を用いた気流搬送装置の搬送面上に板状物が浮上する状態を示す図である。
【図１３】搬送浮上装置の基台に取り付けられるノズル板の種々のパターンを示す図である。
【図１４】もう１つのノズル板の斜視図である。
【図１５】もう１つのノズル板の上面図である。
【図１６】もう１つのノズル板の右側面図である。
【図１７】もう１つのノズル板の正面図である。
【図１８】もう１つのノズル板の底面図である。
【図１９】図１５のＡＡ−ＡＡ断面図である。
【図２０】図１５のＢＢ−ＢＢ断面図である。
【図２１】別のノズル板の斜視図である。
【図２２】別のノズル板の上面図である。
【図２３】図２２のＡ−Ａ断面図である。
【図２４】図２２のＢ−Ｂ断面図である。
【図２５】更に別のノズル板の上面図である。
【図２６】図２５のＡ−Ａ断面図である。
【図２７】図２５のＢ−Ｂ断面図である。
【図２８】別のノズル板の底面図である。
【図２９】ノズル板を用いた別の気流搬送装置の搬送面を示す図である。
【図３０】ノズル板を用いたさらに別の気流搬送装置の搬送面を示す図である。
【図３１】板状物を搬送する２つの気流搬送装置の間で先頭が垂れるようすを示す概略図である。
【図３２】板状物を搬送する２つの気流搬送装置の間を搬送方向に実質垂直な方向に波打たせて搬送するようすを示す概略図である。
【図３３】ノズル板を用いた気流搬送装置の図３２に相当する概略図である。
【図３４】ノズル板を用いた別の気流搬送装置の斜視図である。
【図３５】別のノズル板（拡張ノズル板）の上面図である。
【図３６】図３５のＡ−Ａ断面図である。
【図３７】上に凸形状に反った板状物が浮上する様子を示す搬送方向に対する横断面図である。
【図３８】ノズル板が気流搬送装置の基台に取り付けられるようすを示す分解斜視図である。
【図３９】ノズル板が別の基台に取り付けられるようすを示す分解斜視図である。
【符号の説明】
【００５６】
１０、１１、１０’、１０’’、１０ａ、１０ｂ    ノズル板
１２    基体
１４、１６    溝
１８    平坦部
２０    第１の面
２２    第２の面
２４、３０    傾斜噴射孔
２４ａ    傾斜噴射孔としてのスリット
２６    第３の面
２８    第４の面
３２    ボルト孔
３４    凹部
３６    空気通路
５０    板状物
５５    凸に反った基板
６０、６２    パネル
１００、１２０、１２５、１２７    気流搬送装置
１１０、１１１、１２２、１２４、１２６、１２８    基台
１１２    支柱
１４０、１５０、１６０    気流搬送装置
【発明を実施するための最良の形態】
【００５７】
以下に本発明の実施例について、図面に基づいてより詳しく説明する。なお、同一要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。【００５８】
図１は、本発明の実施例の１つであるノズル板１０を示す斜視図である。図２は、同ノズル板１０の上面図である。図３は、同ノズル板１０の右側面図である。左側面図は、対称に現れるので、ここでは省略する。図４は、同ノズル板１０の正面図である。同ノズル板１０の背面図は対称に現れるので、ここでは省略する。図５は、同ノズル板の底面図である。図６は、図２におけるＡ−Ａ断面図である。図７は、図２におけるＢ−Ｂ断面図である。【００５９】
このノズル板１０は、通常、図５に示す底面を底にして平板を水平に置いたような状態で用いられる。そのため、以下の説明では、上下等の位置関係をこの状態に基づいて表現する。即ち、図１の斜視図において、上向きは、実際の説明において同様に上向きである。【００６０】
ノズル板１０は、上から見るとほぼ正方形となる上面を有する板状の基体１２から構成される。基体１２の上面の４つの辺の近傍には、それぞれの辺にほぼ平行に、時計回りに４つの溝１４、１６、１４、１６が形成される。これらの溝１４、１６、１４、１６により、上面の中ほどに平坦部１８が囲まれている。各溝は、横断面視においてＶ字形状となるＶ字型溝である。溝１４は、基体１２の外側に位置する第１の面２０と、基体１２の内側に位置する第２の面２２から構成される。これらの第１及び第２の面２０及び２２は、そのＶ字型溝の底部で、交差若しくは隣接し、これらの面から作られる開き角の角度は、約９０度である。この溝１４は、基体１２の一端から他端まで延びており、横から見るとＶ字型のノッチが見えるのである（図４参照）。【００６１】
上述の第１の面２０には、面幅のほぼ中央に傾斜噴射孔２４が複数個（本実施例では１０個）、所定間隔を隔てて設けられている。この所定間隔は、本実施例においては、全て同じ（大体溝１４の長さの１０分の１程度）であるが、全てを異ならせることも、また一部を同じにすることもできる。この傾斜噴射孔２４は、断面図（図６及び７参照）からもわかるように、第１の面２０にほぼ垂直に開けられており、その孔の長さは、第１の面２０の肉厚（本実施例では、基体１２の一辺の長さの約５０分の１）にほぼ等しい。【００６２】
この溝１４に直交する方向に溝１６が延びており、溝１４にぶつかるところで溝１６の両端が規定される。溝１６も溝１４と同様に、基体１２の外側に位置する第３の面２６と、基体１２の内側に位置する第４の面２８から構成される。これらの第３及び第４の面は、そのＶ字型溝の底部で、交差若しくは隣接し、これらの面から作られる開き角の角度は、約９０度である。【００６３】
上述の第３の面２６には、面幅のほぼ中央に傾斜噴射孔３０が複数個（本実施例では８個）、所定間隔を隔てて設けられている。この所定間隔は、本実施例においては、全て同じ（大体基体１２の一辺の長さの１０分の１程度）であるが、全てを異ならせることも、また一部を同じにすることもできる。この傾斜噴射孔３０が示された断面図はないが、図７に示される断面図の傾斜噴射孔２４の場合と同様に、第３の面２６にほぼ垂直に開けられており、その孔の長さは、第３の面２６の肉厚（本実施例では、基体１２の一辺の長さの約５０分の１）にほぼ等しい。【００６４】
平坦部１８のほぼ中央には、基体１２の厚みの約１０分の１程度の深さで、凹部３４が形成されている。この凹部３４は、特にノズル板１０の機能に関係するものではなく、ノズル板１０を一体的に成形する際に、用いられるものである。このノズル板１０は、帯電性の低い合成樹脂例えば変性ＰＰＥ樹脂からなるものである。【００６５】
平坦部１８の四隅には、ボルト孔３２が１つずつ設けられており、断面図（図７参照）からもわかるように、ボルトの頭が隠れるように座ぐり（ザグリ）がなされている。また、このボルト孔３２の対向する位置でノズル板の底側（又は裏側）には、高さが低い円柱（又は円板）３２’が飛び出ている（図３から７参照）。これは、ノズル板１０をボルト締結する際に外周部分はパッキンを当てるが、円柱３２’が飛び出し面（底面）と基台１１０の取付け面が当接することでノズル板１０の平坦取り付けを精度よく行えるからである。つまり、厚いパッキンを介在して当接しする面同士ではノズル取り付け時の平坦度確保が困難となるからである。【００６６】
図５から７において示すように、傾斜噴射孔２４、３０は、基体１２の裏側に貫通しており、それぞれ空気通路３６、３８に連通している。空気通路３６は、溝１４の裏側に配置され、ノズル板１０が取付られる基台（後述する）に、パッキン等により気密的に結合され、送られてくる空気等の気体を、それぞれの傾斜噴射孔２４に供給する。この空気通路３６は、傾斜噴射孔２４の口径（本実施例では、該傾斜噴射孔の孔の長さと同じくらい若しくはやや小さい）に比べて、大きく、各傾斜噴射孔２４にほぼ同じくらいの圧力で気体を噴射するように供給空気等を通過させる。溝１４は、基体１２の一辺の両端まで延びているが、この空気通路は、気密性を得るために両端を半円形にして閉じる構造となっている。そのため、溝１４に設けられた傾斜噴射孔２４のうち、両端の傾斜噴射孔２４は、その孔の長さが他のものよりも若干長くなっている。従って、図５に示される傾斜噴射孔２４のうち両端のものは、空気通路３６の縦中心軸にやや寄ったところに位置しているのである。尚、ノズル板１０の空気通路側には、図５において中央に十字に表れる空間４６が設けられている。この十字形により分けられた矩形部材４２は、ボルト穴３２からの気体の漏れを防ぐために、パッキンにより、ノズル板１０が取り付けられる基台の対向する部材と気密性が保たれて互いに押しつけ合うこととなる。【００６７】
ここで、エア溜まりになると考えられるところは、平坦部１８のほぼ中央あたり、又は、凹部３４のあたりを含んでよい。更に、凹部３４の外側であっても、平坦部１８の上にエア溜まりがあってもよく、四隅のボルト孔３２の間の平坦部１８上もエア溜まりになり得る。このエア溜まりの効果を、一般的に考察すれば、図８に示すようなモデルを考えると分かりやすい。【００６８】
本実施例におけるノズル板は、日本ジーイープラスチックス株式会社の変性ＰＰＥ樹脂（商品名：ノリルのＣＦシリーズ（炭素繊維強化）、型番：ＮＣ２０８）を用いて作成した。【００６９】
図８は、自由境界に沿って曲がる二次元定常噴流が及ぼす力を理解するためのモデルである。ここで、両端にノズルを持つ板Ｂが静止無限平面Ｃ上ｈの距離にあることを仮定する。ＰｃはＢ、Ｃ両面間の圧力であり、Ｐａは外周の圧力であり、板Ｂの面積はＡである。このとき板Ｂが受ける力Ｆは、
Ｆ＝（Ｐｃ−Ｐａ）×Ａ＋ρ×Ｑ×ｖ×ｃｏｓθ  ・・・・  （式１）
である。また、圧力差Ｐｃ−Ｐａは、噴流の幅をｔとして、
Ｐｃ−Ｐａ＝ρ×ｔ×ｖ２×（１＋ｓｉｎθ）／ｈ  ・・・  （式２）
である。【００７０】
本実施例は、図８のモデルと異なり、噴流は帯状ではなくビーム状で、噴射後は広がってしまう。また、３次元の流れであり、一辺の長さもそれほど長くないため、エッジ効果を無視することもできないため、２次元の噴流モデルで近似するのは、必ずしも正確ではないが、ある程度の目安になると考えられる。ここで、図８の状態を上下逆さまにひっくり返したものが、本実施例の場合に相当するため、ノズル板が板Ｂに相当する。そこで、被搬送物である板状物が受ける力は、噴流を吹くわけではないので、２つの面間の圧力と周囲の圧力の差（圧力差）に起因するものとなる。即ち、
Ｆ（板状物）＝（Ｐｃ−Ｐａ）×（Ｐｃの圧力で押される面積）  ・・・  （式３）
となる。【００７１】
式３及び式２から、圧力差が大きいほど浮上力が大きくなることがわかり、また、噴射速度ｖが大きい程浮上力が大きくなることがわかる（特に二乗で効果がある）。一般に噴射速度は、押し出す圧力に概ね比例するため、高圧で噴射させ、しかもその噴射方向が噴射気体のビームとしてまとまっている方が、浮上力は大きくなることが期待される。図８にモデル的に示されるように、対向する噴射気体の流れにより、エア溜まりの圧力が高く維持できることが期待できる。従って、後述するような、４辺に溝を設け、それぞれに噴射孔を設けた方が、対向する２辺に溝を設けて噴射孔を設けるノズル板よりは好ましいと考えられる。【００７２】
また、式２から、θが９０度に近づく方が、浮上力は高くなるようにみえるが、例えば、幅ｔが十分取れなくなる等のその他の要因から、９０度に近い（ほぼ水平に近い）場合は、あまり好ましくはない。【００７３】
図９は、ノズル板１０を用いた気流搬送装置（気流浮上装置）１００の主要部を示す。各ノズル板１０は、空気チャンバを内蔵する基台１１０の上に脱着可能に取付けられる。このノズル板１０と基台１１０装着口（図示せず）とが間にゴム製のパッキンを挟んで取り付けられている。基台１１０は、支柱１１２により所定の高さでほぼ水平に支えられている。この所定の高さは、図中複数の基台１１０がノズル板１０の上面の高さをそろえるように、それぞれの支柱１１２毎に調整されている。各支柱１１２内には、圧縮空気が通る配管（図示せず）があり、それは、Ｌ字型の配管１１６に結合されており、この配管１１６から上記基台１１０の空気チャンバ内に圧縮空気が送り込まれる。各支柱１１２は、前後左右に所定の間隔を隔てて設置されており、上面視において好ましいノズル板１０によるパターンを形成する。各支柱１１２は、ほぼ水平面となる床面に設置されたフレーム１１４上に立てられている。【００７４】
図９には示していないが、この気流搬送装置（気流浮上装置）１００の搬送面に被搬送物である板状物が所定のパターンで設置されたノズル板１０により生じる浮上力によって、浮上するようにおかれ、ほぼ水平に搬送される。【００７５】
図１０は、別の実施形態の気流搬送装置（気流浮上装置）１２０の搬送面（上面）を上から見たものである。図中１０本の縦長の基台１２２が横方向に両端面をそろえて並べられている。図では、左から右へと（１）から（１０）の番号が付されている。（１）の基台１２２の左側には、被搬送物の搬送方向が矢印Ｐにより示されている。それぞれの基台１２２には、ノズル板１０及び１１が所定のパターンで並べられている。これらのノズル板１０，１１の平坦部１８は、搬送面である上面をほぼ水平に構成する。ノズル板１１は、対向する２辺にのみ溝１４及び噴射孔２４が設けられている。しかしながら、これらのノズル板１１の代わりに、４辺に溝１４、１６及び噴射孔２４、３０が設けられたノズル板１０を並べることができる。また、その方が、同じ気流量で浮上力を大きくすることができ、より好ましいと考えられる。【００７６】
図１０のノズルパターンは、２：４：２という行が搬送方向に所定間隔を隔てて並べられるものである。この所定間隔は、２：４：２のパターンの間隔と同様、変更することができ、更に、状況に応じて可変とすることもできる。図中Ａ及びＣは、評価実験で、板状物がどれほど浮上したかを測定した位置である。種々の条件により異なるが、概ね、０．１から３．０ｍｍ程度の浮上高さを確保することができた。また、この図からもわかるように、ノズル板１０又は１１が存在しない場所では浮上力は生じないため、自重により板状物は下方向に撓みやすくなる。従って、薄い板状物であれば、ノズル板１０又は１１のあるところで浮上し、他の場所で、下方向に撓む、波を打つような形状を呈することになる。この波状の形状は、図の縦方向及び横方向のいずれにも生じることができ、ノズル板１０、１１間に開けられる間隔との兼ね合いで、縦波、横波、或いは、まだら模様（若しくは、市松模様）状になる。【００７７】
このような波打ち形状は、程度がひどくなり過ぎると、板状物に好ましくない応力（ストレス）を与えることになるので、好ましくない。しかしながら、発生応力が許容範囲内であるならば、波打ち方向に直交する方向に対して曲げ剛性を高める効果があり、好ましいと考えられる。【００７８】
図１１には、ノズル板１１を基台１２４に取付けた状態が示されている。上述のように、ノズル板１１は、ノズル板１０に比べて、溝１６や噴射孔３０がない点で異なるだけである。基台１２４上に、ノズル板１１の一辺の長さの約３分の１程度離れたところに次のノズル板１１が配置されている。【００７９】
図１２は、基台１２６上に並べられたノズル板１０の上に浮上する板状物５０の状態を側面視において示している。ノズル板１０が下にある位置５２で、板状物５０は上に凸に膨らむが、ノズル板１０の間になってしまう位置５４で凹形状にへこんでしまうのである。これは、板形状が十分薄く、撓むことができるからであるが、板状物５０全体で波を打ったような形状となる。この形状では、図中手前から奥に向かう方向に、即ち波打ち形状に対してほぼ垂直な方向に、曲げる場合、波打ち形状の分だけ曲げ剛性が高くなり曲がりにくくなるため、搬送において有利となりえる。【００８０】
尚、この図では、基台１２６の長手方向の波打ち形状を示している。しかし、基台１２６が所定間隔を空けて配置されることにより同様な波打ち形状ができることは、いうまでもないのである。ここでは、簡単のため、詳しい図示を省略しているが、図１２の基台１２６が長く連続するのではなく、ノズル板１０の下にのみ基台１２６があり、２つのノズル板１０の間に何もないものが、そのような図に相当する。【００８１】
図１３は、種々の条件で行った浮上実験の条件を示している。ノズル板１０及び１１は、それぞれの条件に従って基台１２２上に配置されている。ここで、図１３にあらわされる基台１２２及びノズル板１０，１１は、条件ごとに１つだけであるが、図１０と同様に、搬送方向に１０個並べられ、評価された。基板１から６までは、１の種類の基板であり、基板７及び８は、別の種類の基板である。また、ブロアの１５００と２２００では、２２００の方が気流量が多くなっている。ここでは、ノズル板１１も用いられているが、全てノズル板１０にした方がより好ましい。【００８２】
図１４は、本発明の実施例のもう１つのノズル板１０’を示す斜視図である。図１５は、同ノズル板１０’の上面図である。図１６は、同ノズル板１０’の右側面図である。左側面図は、対称に現れるので、ここでは省略する。図１７は、同ノズル板１０’の正面図である。同ノズル板１０の背面図は対称に現れるので、ここでは省略する。図１８は、同ノズル板の底面図である。図１９は、図１５におけるＡＡ−ＡＡ断面図である。図２０は、図１９におけるＢＢ−ＢＢ断面図である。【００８３】
図１等のノズル板１０と同様、このノズル板１０’は、通常、図１８に示す底面を底にして平板を水平に置いたような状態で用いられる。そのため、以下の説明では、上下等の位置関係をこの状態に基づいて表現する。即ち、図１４の斜視図において、上向きは、実際の説明において同様に上向きである。【００８４】
ノズル板１０’は、基本的にノズル板１０と同じ形状をしている。特にその上面図では、４辺の角が面取り（上面２で側面１の割合）１３されていることを除けば、同じであるので、同一部材は同一の符号で示しており、重複する説明は割愛する。【００８５】
この面取り１３には、これらのノズル板１０’上を搬送される板状物が、ノズル板１０’の周縁部において、下からの気体の圧力による支持を十分得られないときに、該板状物がこのノズル板１０’に接触しても損傷しないようにする効果がある。【００８６】
図１８から２０において示すように、傾斜噴射孔２４、３０は、ノズル板１０’の裏側に貫通しており、それぞれ空気通路３６’、３８’に連通している。空気通路３６’、３８’は、溝１４の裏側に配置され、ノズル板１０’が取付られる基台に、パッキン等により気密的に結合され、送られてくる空気等の気体を、それぞれの傾斜噴射孔２４に供給する。この空気通路３６’、３８’は、傾斜噴射孔２４の口径（本実施例では、孔（気体流路）の長さと同じくらい若しくはやや小さい）に比べて、大きく、各傾斜噴射孔２４にほぼ同じくらいの圧力で気体を噴射するように供給空気等を通過させる。この空気通路３６’、３８’は、ノズル板１０’の裏側の４つの辺に沿った壁３７及びその内側に同様に４つの辺に沿って延びる壁３９との間で気密性が保たれている。このような壁３７、３９以外に、補強用のリブが、図５の矩形部材４２に相当する矩形枠４２’において、ボルト穴３２の回りに十字に立てられている。さらに、図５において空間４６であったところに、同様に空間４６’が設けられ、その空間の補強部材として壁４３がやはり、十字に立てられている。【００８７】
図１等に示すノズル板１０に比べて、このノズル板１０’は、肉厚が薄くなっており、用いられる材料を減らすことができ、軽量となるばかりでなく、コスト的にも有利である。また、肉厚が薄くなることにより、射出成形等における引けを少なくすることもできる。【００８８】
図２１は、本発明の実施例の別のノズル板１０’’を示す斜視図である。図２２は、同ノズル板１０’’の上面図である。同ノズル板１０’’の右側面図は、図３と同一であるのであるので、図３をこのノズル板１０’’の右側面図とすることができる。このノズル板１０’’の左側面図は、対称に現れるのでここでは省略する。このノズル板１０’’の底面図は、図５と同一であるので、図５をこのノズル板１０’’の底面図とすることができる。図２３は、図２２におけるＡ−Ａ断面図である。図２４は、図２２におけるＢ−Ｂ断面図である。【００８９】
図１等のノズル板１０と同様、このノズル板１０’’は、通常、図５に示す背面を底にして平板を水平に置いたような状態で用いられる。そのため、以下の説明では、上下等の位置関係をこの状態に基づいて表現する。即ち、図２１の斜視図において、上向きは、実際の説明において同様に上向きである。従って、図２１において正面図として表現される面が、以下の説明では、上面として取り扱われる。【００９０】
ノズル板１０’’は、上面に溝が形成されていないことを除けば、基本的にノズル板１０と同じ形状をしている。従って、同一部材は同一の符号で示し、以下重複する説明は割愛する。【００９１】
図２１から２４において示すように、傾斜噴射孔２４’、３０’は、ノズル板１０’’の裏側に貫通しており、それぞれ空気通路３６、３８（図５参照）に連通している。空気通路３６、３８は、ノズル板１０’’の下側（裏側）に配置され、ノズル板１０’’が取付られる基台に、パッキン等により気密的に結合され、送られてくる空気等の気体を、それぞれの傾斜噴射孔２４’、３０’に供給する。この空気通路３６、３８は、傾斜噴射孔２４’の口径（本実施例では、孔（気体流路）の長さと同じくらい若しくはやや小さい）に比べて、大きく、各傾斜噴射孔２４’にほぼ同じくらいの圧力で気体を噴射するように供給空気等を通過させる。【００９２】
図２４に示すように、傾斜噴射孔２４’、３０’の気体流路は、溝がない分長く形成することができる。これにより、噴射気体の噴射方向性が高くなり、より速い速度で噴射気体がエア溜まりに到達することが期待される。このような孔は、従来から行われているドリルによる形成も可能であるが、樹脂の射出成型法による一体成形でも製造することができる。【００９３】
図２５から２８は、傾斜噴射孔２４ａがスリット形状であるノズル板を図示する。図２５は、該ノズル板の上面図である。図２６は、図２５のＡ−Ａ断面を示し、図２７は、図２５のＢ−Ｂ断面を示す。また、図２８は、該ノズル板の底面図である。傾斜噴射孔２４ａがスリット形状であること以外は、図１から７に示すものと基本的に同じであるので、重複する説明は、省略する。【００９４】
図２５に示すように、スリット形状の傾斜噴射孔２４ａは、溝１４、１６を形成する第１の壁に開口がスリット状に開けられている。この図では、明確に示すために、スリットの実際の幅よりは大きめに記載されてはいるが、これまでの細孔にくらべ、ノズル板当たりのトータルの断面積がより大きくなっていることがわかる。このため、大量の気体を噴射することができるが、大量に噴射するため、噴射速度又は噴射圧は小さくなる傾向がある。図２６及び２７からわかるように、傾斜噴射孔２４ａは、第１の壁から斜めにハの字型に傾斜している。図２８は、底面にもスリット形状の傾斜噴射孔２４ａが開口している様子を示している。以上のように、スリット状及び細孔状の何れの形状であってもよいが、それぞれの特性に合わせて選択することが好ましい。したがって、同一のノズル板にスリット状及び細孔状の傾斜噴射孔を取り混ぜて配置することができる。【００９５】
図２９は、別の実施形態の気流搬送装置１４０の搬送面（上面）を上から見たものである。図中１８本の縦長の基台１２２が横方向に両端面をそろえて並べられて形成される行が、それぞれ並列に配置されている。図では、左から右へと（１）から（１８）の番号が付されている。それぞれの基台１２２には、ノズル板１０’が所定のパターンで並べられているが、ノズル板１０を並べても、或いは、これらを組み合わせて並べてもよい。これらのノズル板１０’の平坦部１８は、搬送面である上面をほぼ水平に構成する。この搬送装置１４０の左側には、もう一つの搬送装置１５０の上面の一部が描かれている。詳細は、図３０を参照しつつ後述する。【００９６】
図２９のノズル板によるノズルパターンは、３：３という列が搬送方向に所定間隔を隔てて並べられるものである。この所定間隔は、３：３のパターンの間隔と同様、変更することができ、更に、状況に応じて可変とすることもできる。図中Ａ及びＣは、評価実験で、板状物がどれほど浮上したかを測定した位置である。種々の条件により異なるが、概ね、０．１から３．０ｍｍ程度の浮上高さを確保することができる。また、図１０において述べたように、ノズル板１０’が存在しない場所では浮上力は生じないため、自重により板状物は下方向に撓みやすくなる。従って、薄い板状物であれば、ノズル板１０’のあるところで浮上し、他の場所で、下方向に撓む、波を打つような形状を呈することになる。この波状の形状は、図の縦方向及び横方向のいずれにも生じることができ、ノズル板１０’間に開けられる間隔との兼ね合いで、縦波、横波、或いは、まだら模様（若しくは、市松模様）状になり得る。【００９７】
図３０は、別の実施形態の気流搬送装置１５０の搬送面（上面）を上から見たものである。図中２４本の縦長の基台（図示せず）が横方向に両端面をそろえて並べられて形成される行が、それぞれ並列に配置されている。図では、左から右へと（１）から（２４）の番号が付されている。それぞれの基台１２２には、ノズル板１０’が所定のパターンで並べられているが、ノズル板１０を並べても、或いは、これらを組み合わせて並べてもよい。これらのノズル板１０’の平坦部１８は、搬送面である上面をほぼ水平に構成する。【００９８】
図２９に示すように、搬送方向（例えば、図中右から左）に直交する幅を、搬送装置１４０の幅とそろえれば、被搬送物である板状部材をこの搬送装置１５０から、図２９の搬送装置１４０へと移動させることができる。このとき、図２９に示すように、搬送装置１５０の方が、幅がやや広くなっている。これは、両搬送装置１４０、１５０をできるだけ近づけるためである。また、移動の際に板状物の垂れを考慮して、搬送装置１５０の搬送面を、搬送装置１４０の搬送面よりも若干高く（例えば、約１ｍｍ）することが好ましい。【００９９】
図３１は、板状物５０がフラットな状態で、気流搬送装置（気流浮上装置）１２５から気流搬送装置（気流浮上装置）１２７へと搬送される状態を模式的に示している。それぞれの気流搬送装置１２５、１２７の搬送面には、噴射口２４が開いており、エアを噴射する。噴射されたエアにより板状物５０は浮上するが、気流搬送装置１２５、１２７の間には、浮上エアが噴射しないので、図示するように先端部分が自重により垂れ下がる。一方、図３２では、複数ある噴射口２４からのエアの吹き出しを調整して、板状物が波を打ったような形状になるようにしている。波形状は、気流搬送装置１２５から１２７への搬送方向に対してほぼ垂直な方向に形成されている。このため、先端部分が垂れないことがわかる。【０１００】
図３３は、気流搬送装置１２５’から１２７’に、本発明のノズル板１０’を用いて、図３２と同様な搬送を行っている。この場合、ノズル板１０’の配置を適宜換えることにより、板状物５０の波打ち形状を自在に形成できることがわかる。このようにノズル板１０’を用いると、噴射口からのエア吹き出しの調整、又は、エア噴射口を所定のパターンに開けるということをする必要がなく、より簡単に板状物５０の特性に合わせて、気流搬送装置１２５’から１２７’の搬送面をデザインすることができる。【０１０１】
図３４は、ノズル板１０、１０ａを用いた気流搬送装置１６０の主要部を示す。各ノズル板１０、１０ａは、空気チャンバを内蔵する基台１１０の上に脱着可能に取付けられる。図９の気流搬送装置１００と比較して、パネル６０、６２を用い、ノズル板１０ａを用いる点が相違するだけであり、重複する説明は、省略する。パネル６０は、搬送方向に沿った向きに並べられる薄板であってよく、その上面が、ノズル板１０の平坦部とツライチ（面一）である。また、このパネル６０の材質は、特に限定されないが、搬送される板状物（図示せず）の下に溜められる空気を少なくとも所定時間保持できる程度に気体不透過の材料であることが好ましい。例えば、ノズル板１０と同じ材質であってよい。一方、パネル６２は、図３５及び３６に示すように、図１のノズル板の両側に両翼のように取り付けられた薄板である。この薄板の材質及び特性については、パネル６０の場合と同様である。尚、図３５及び３６では、パネル６２は、ノズル板１０ａと一体に形成されており、同じ材質からなる。しかしながら、別々の部材とし、ノズル板１０ａの側端面でパネル６２を接着、溶接等で結合することもできる。強度を考慮すると、一体成形がより好ましい。【０１０２】
図９や１０に示すように、搬送装置１００、１２０の搬送面は、ノズル板を配置することにより、ノズル板がある凸部及び無い所の凹部からなる凹凸面となっている。そのため、凸部にあるノズル板から吹きだした気体（例えばエア）が、ノズル板がない凹部から容易に逃げてしまう。したがって、搬送面内に被搬送物の波うち形状を作るために、浮上力を弱めるための手段とすることも可能である。しかし、エアの噴射量が十分でない場合は、浮上力が十分とれず、非接触状態を保つことが難しくなる場合がある。そこで、エアの逃げ道となっている凹部を埋めるようにノズル板の平坦部と同等高さの位置に上面を持つパネル６０を敷き詰めて、浮上力を増加させることができる。パネル６０は、搬送方向に沿って、ノズル板１０が存在しない位置に敷き詰められるので、その敷設は容易である。【０１０３】
一方、ノズル板１０が飛び飛びに配置される位置に同様なパネルを敷き詰めるのは、基台によるサポートが難しい。そこで、敷設されるノズル板１０の両側にパネル６２を取り付けたノズル板１０ａを用いることができる。このような変形ノズル板は、容易に隙間を埋め、安価に搬送面をほぼフラットな状態にすることができる。このように全体をパネル６０、６２でフラットにした場合は、最も少量のエアの量（流速及び流量）で十分な浮上力を得ることができる。たとえば、図３７に示すような上に凸となった基板５５を気流５７で搬送する搬送装置１００ａでは、エアの量を特に増やすことなく、反った基板５５が搬送に支障ない程度まで浮上することができる。【０１０４】
ここでは、全ての凹部をパネルで覆った例を示したが、一部の凹部にのみパネルを敷き詰めても、あるいは、フラットな搬送面から一部のパネルを取り外してもよい。このとき、上述してきたような、被搬送物（特に薄板）を搬送するときに、波打たせるような形状にするように、パネルを敷き詰めるのが好ましい。パネルのないところでは、浮上力が少なく、ある所では大きくなる。従って、想定する波のトップに当たる位置には、パネルを敷き、ボトムに当たる位置からはパネルを外すことが好ましい。【０１０５】
図３７に示すような、シンプルな反った被搬送物の断面形状を形成するためには、このような詳細なパネルの並び方を考慮しなくてもよいが、図３２及び３３に示すような少なくとも搬送方向に対して実質的に直角な向きに波打ちする場合は、波のトップが少なくとも２回現れることがより好ましい。図３７のような１回しかない場合は、高い浮上力を要求され得るからである。また、被搬送物の高低差が大きくなり、薄板を搬送するにもかかわらず、高さ方向に十分なクリアランスを設けなければならないからである。一方、波のトップが少なくとも２回現れる場合は、全体としての高さは低くなり、また、浮上力もあまり高くなくてもよいからである。更に、図３７のような形状では、局所的な捻りに弱く、図３２や３３に示す波板状であれば、捻りに対する剛性も向上すると考えられる。【０１０６】
図３８は、搬送装置（例えば、１００、１６０）の基台１２８に、ノズル板１０ｂ（ノズル板１０、１０’、１０’’、１０ａでもよい）を取り付ける様子を示している。基台１２８には、開口１３５が設けられている。この基台１２８は、右側で破断した部分破断図で示されているが、図示しない箇所に他の同様な開口がある。開口１３５は、周縁シール部１３６、１３８により囲われており、そのシール部１３６、１３８上には、ゴムパッキン１３４が載置される。このゴムパッキン１３４は、ノズル板１０ｂの底面の周縁の壁（図１８の壁３７に相当）の頂部と接触し、気密性を担保する。【０１０７】
開口１３５内には、ノズル板１０ｂを保持する固定部材１３２ａが、ノズル板１０ｂのボルト孔３２にあう位置に配置され、更に、ゴムパッキン１３３を介して、ボルト孔３２の底面側の周縁部（例えば、図１９等の円柱３２’の底面）に接触し、ボルト孔３２からの気体のリークを防止する。例えば、ボルト１３２ｂを固定部材１３２ａのねじ穴にねじ込み締め付けると、ゴムパッキン１３４が介在されて、開口部１３５が気密状態に閉鎖される。一方、ゴムパッキン１３３は、ノズル板１０ｂの基本底面より少し出っ張ったボルト受け座面（底面側）とねじ穴の上端周縁部１３２（少しフランジ状に広がってもよい）の間に挟まれ、ボルト孔３２からのリークを防止する。上述するように、図１９の円柱３２’の底面に相当する周縁部は、少し出っ張っているので、固定部材１３２ａが少し内部に入っていても、気密性を十分担保することができる。開口１３５を含め、基台１２８は、プレナムとして機能し、圧力の変動を緩和することができる。開口１３５から送られる加圧された空気は、各傾斜噴射孔２４’の底面開口から導入され、表面にあるそれぞれの開口から噴射される。【０１０８】
図３９は、搬送装置（例えば、１００、１６０）の別の種類の基台１２９に、ノズル板１０ｃ（図５のような底面図を呈するノズル板１０等でもよい。）を取り付ける様子を示している。基台１２９には、開口１３５ａ、及びそれを囲むように４つ並んだねじ穴１３２ａが設けられている。この基台１２９は、右側で破断した部分破断図で示されているが、図示しない箇所に他の同様な開口及びねじ穴のセットが備えられている。開口１３５ａの回りは、ノズル板１０ｃを配置する敷設面１２９ａが広がり、その敷設面１２９ａには、ねじ穴１３２ａを開口部１３４ｂに合わせてゴムパッキン１３４ａが載置される。このゴムパッキン１３４ａは、ノズル板１０ｃの底面の周縁の壁（図１８の壁３７及び図５の周縁の壁に相当）の頂部と接触し、気密性を担保する。【０１０９】
開口１３５ａは、エアを送り込むダクトとして機能し、ゴムパッキン１３４ａの開口部１３４ｃから、底部の空気通路（例えば、図５の３６、３８）を経由して各傾斜噴射孔２４’の底面開口へとエアを送り込む。ボルト孔３２の底面側の周縁部（例えば、図１９等の円柱３２’の底面）は、ゴムパッキン１３４ａの開口部１３４ｂを通り抜け、敷設面１２９ａのねじ穴１３２ａの周辺部１３２ｃに直接接触し、その高さ位置等を厳密に規定する。他の面（例えば、図５のの矩形部材４２の底面）は、ゴムパッキン１３４ａを介して敷設面１２９ａのねじ穴１３２ａから少し遠ざかった遠隔部１３２ｄ等に接触するため、ボルト穴３２からのリークを防ぐことができる。このとき、円柱３２’の出っ張りは、ゴムパッキン１３４ａの厚み分を見越して作られたもので、丁度よい締め付け圧で、ゴムパッキン１３４ａによるシールが行われる。基台１２９内部は、プレナムとして機能し、圧力の変動を緩和することができる。【０１１０】
このように、本発明のノズル板を用いた浮上装置及び／又は搬送装置では、板状物をそれぞれ処理する工程に合わせた浮上装置及び／又は搬送装置に移し替えることができ、生産設備における生産性が向上できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【図２７】
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【図２８】
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【図２９】
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【図３０】
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【図３１】
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【図３２】
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【図３３】
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【図３４】
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【図３５】
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【図３６】
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【図３７】
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【図３８】
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【図３９】
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【手続補正書】
【提出日】平成20年6月2日(2008.6.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
板状物を浮上させることができる気流搬送装置であって、
前記板状物を浮上支持する搬送面を形成及び／又は支持する基台と、
前記基台が前記搬送面側に複数備える開口の１つに気密的に敷設されるノズル板と、を備え、
前記ノズル板は、前記搬送面を構成する平坦部と、該平坦部の周囲に前記搬送面側に浮上用気体を噴射する複数の傾斜噴射孔とを備えるように一体成形され、
前記複数の開口のそれぞれから流入される加圧気体は前記複数の傾斜噴射孔から浮上用気体として所定の噴射方向に噴射されることを特徴とする気流搬送装置。
【請求項２】
前記ノズル板は、前記平坦部の回りに形成され、第１の壁及び第２の壁により規定される溝部を更に備え、
前記傾斜噴射孔の開口部は、前記溝部を規定する第１の壁に形成され、
前記傾斜噴射孔は、前記第１の壁に対しほぼ直角となるように形成され、
前記噴射方向は、前記複数の傾斜噴射孔の開口部から仮想的に延長した場合、前記第１の壁に対向して前記溝部を規定する前記第２の壁には直接当たらないことを特徴とする請求項１に記載の気流搬送装置。
【請求項３】
前記溝部は、前記第１の壁及び第２の壁により所定の開き角を持つＶ字型溝を含み、
前記第１の壁及び第２の壁は互いに対向して前記平坦部の回りに延び、
前記第２の壁は、前記第１の壁より前記平坦部に近いことを特徴とする請求項２に記載の気流搬送装置。
【請求項４】
前記傾斜噴射孔は、細孔であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項５】
前記傾斜噴射孔は、スリット形状であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項６】
前記ノズル板は、所定の厚みを持つ矩形の板形状を有し、
前記搬送面側の辺部は、所定の大きさで面取りされていることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項７】
前記ノズル板は、所定の厚みを持つ矩形の板形状を有し、
前記複数の傾斜噴射孔は平坦部を挟んで形成されていることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項８】
前記ノズル板は、前記平坦部から窪んだ座ぐりを有するボルト孔を少なくとも１つ備え、
前記ボルト孔は、前記搬送面側に形成される前記座ぐりの座ぐり面、及び該座ぐり面に対向する反対側に形成される対向面との間を貫通するように形成され、
当該ノズル板は、前記ボルト孔を貫通する締結部材によって、前記対向面が保持部材に当接させられて、該保持部材に固定されることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項９】
少なくとも前記ノズル板の平坦部は、帯電性の低い樹脂からなることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の気流搬送装置。
【請求項１０】
前記ノズル板は、前記搬送面の反対側に、当該ノズル板の外形を規定する周縁に沿って延びる外周壁を備え、
該外周壁の頂部は、当該ノズル板の反対側の面を規定し、
前記対向面は、前記外周壁の頂部により規定される前記反対側の面から突出することを特徴とする請求項８に記載の気流搬送装置。
【請求項１１】
前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し実質的に平行となるように、それぞれの前記平坦部の高さをそろえて複数配置されていることを特徴とする請求項１に記載の気流搬送装置。
【請求項１２】
前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭いことを特徴とする請求項１１に記載の気流搬送装置。
【請求項１３】
前記ノズル板の平坦部と同等高さの位置に並ぶ上面を備えるパネル板が前記第１及び第２の間隔内に敷設され、前記搬送面を構成することを特徴とする請求項１１又は１２に記載の気流搬送装置。
【請求項１４】
前記ノズル板の平坦部は、前記搬送面で最も高い位置にあることを特徴とする請求項１から１３に記載の気流搬送装置。
【請求項１５】
請求項１に記載の気流搬送装置の前記搬送面に備えられた複数のノズル板から噴射される均一な流速を持つ気体により前記板状物を浮上させて、実質的に非接触状態に保ちながら所定の搬送方向へ搬送させる気流搬送方法において、
前記板状物を搬送方向に対して垂直な方向に波打たせることを特徴とする気流搬送方法。
【請求項１６】
前記複数の傾斜噴射孔は、前記ノズル板に設けられた噴射孔であり、
前記ノズル板は、前記板状物の搬送方向に及びそれに実質的に直交する方向に、それぞれ所定の第１及び第２の間隔を隔てて、前記板状物に対し前記平坦部が実質的に平行となるように、複数配置されており、
前記第１の間隔は、前記第２の間隔より狭く、
前記板状物は、前記第２の間隔が空けられた位置で、下側に撓むことにより前記搬送方向に対して実質的に垂直な方向に波打つことを特徴とする請求項１５記載の気流搬送方法。
【国際調査報告】
2007088936.tif 000042
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