【手続補正書】
【提出日】平成30年11月15日(2018.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の複数のショット領域のそれぞれを露光する露光装置であって、
前記基板上に露光されるショット領域の形状を制御するための制御情報を用いて、前記基板上の複数のショット領域のそれぞれを前記複数のショット領域が互いに隣接するように露光する露光処理を制御する制御部を有し、
前記制御情報は、互いに隣接する複数のショット領域のレイアウト情報に基づいて前記複数のショット領域のそれぞれを露光する場合に生じる、前記複数のショット領域の形状の歪みによる前記複数のショット領域の隣接部分のずれを補正するための補正情報を含み、
前記制御部は、前記補正情報を用いて前記露光処理を制御することを特徴とする露光装置。
【請求項２】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域のレイアウト情報に従って前記複数のショット領域が基板上に露光された際に形成されたアライメントマークの座標を計測した結果に基づいて求められることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域同士が接する辺が一致するように前記ショット領域を補正するための情報を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の露光装置。
【請求項４】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域同士が接する辺が一致するように前記複数のショット領域のうちの少なくともいずれかの位置をシフトさせるための情報を含むことを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
【請求項５】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域同士が接する辺が一致するように前記複数のショット領域のうちの少なくともいずれかを回転させるための情報を含むことを特徴とする請求項３又は４に記載の露光装置。
【請求項６】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域同士が接する辺が一致するように前記複数のショット領域のうちの少なくともいずれかを変倍させるための情報を含むことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項７】
前記補正情報は、前記互いに隣接する複数のショット領域同士が接する辺が一致するように前記複数のショット領域のそれぞれの露光において露光領域の走査方向を互いに逆向きとするための情報を含むことを特徴とする請求項３乃至６のいずれか１項に記載の露光装置。
【請求項８】
前記補正情報を用いて前記露光処理を行った後、
前記基板上に互いに隣接して形成された複数のショット領域を含む領域を１ショット領域に設定し、
前記基板上に互いに隣接して形成された複数のショット領域上にパターンを重ね合わせるように、前記１ショット領域を露光する、ことを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
【請求項９】
請求項１乃至８のいずれか１項に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された基板を現像する工程と、
を有し、前記現像された基板から物品を得ることを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１０】
基板上の複数のショット領域のそれぞれを露光する露光方法であって、
前記基板上に露光されるショット領域の形状を制御するための制御情報を用いて、前記基板上の複数のショット領域のそれぞれを前記複数のショット領域が互いに隣接するように露光する露光処理を制御する工程を有し、
前記制御情報は、互いに隣接する複数のショット領域のレイアウト情報に基づいて前記複数のショット領域のそれぞれを露光する場合に生じる、前記複数のショット領域の形状の歪みによる前記複数のショット領域の隣接部分のずれを補正するための補正情報を含み、
前記補正情報を用いて前記露光処理を制御することを特徴とする露光方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】露光装置、露光方法、及び物品の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、露光装置、露光方法、及び物品の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一側面によれば、基板上の複数のショット領域のそれぞれを露光する露光装置であって、前記基板上に露光されるショット領域の形状を制御するための制御情報を用いて、前記基板上の複数のショット領域のそれぞれを前記複数のショット領域が互いに隣接するように露光する露光処理を制御する制御部を有し、前記制御情報は、互いに隣接する複数のショット領域のレイアウト情報に基づいて前記複数のショット領域のそれぞれを露光する場合に生じる、前記複数のショット領域の形状の歪みによる前記複数のショット領域の隣接部分のずれを補正するための補正情報を含み、前記制御部は、前記補正情報を用いて前記露光処理を制御することを特徴とする露光装置が提供される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
以下では、このモードにおいて、図６のように、第１露光で形成されたＹ方向（走査方向）に互いに隣り合う２ショット領域に対して、Ｙ方向にその２ショット領域を包含する画角で第２露光を行う場合を例に説明する。図７は、第１露光の際にショットシフトを使ってつなぎ目を連続にする例を示している。ショット領域Ａ（第１ショット領域）、ショット領域Ｂ（第２ショット領域）がそれぞれ、矩形領域同士がＸ方向に平行四辺形状に歪んでいる場合、配列誤差がなければ、ショット領域Ａとショット領域Ｂの位置関係は図７における補正前として示されるような、隣接部分にずれが生じた関係になる。具体的には、ショット領域Ａとショット領域Ｂとは一辺において接しているが頂点がずれており、つなぎ目が不連続となっている。そこで本実施形態では、領域同士が接する辺が一致するように、第１露光において、ショット領域Ａを走査方向と直交するＸ方向にシフト量ΔＸだけシフトさせて、ショット領域Ｂ，Ａを順次に露光することができる（ショットシフトスキャン）。これにより、２つのショット領域のつなぎ合わせの誤差が低減し、図７における補正後として示されるようにつなぎ目が連続的になる。よって、第２露光を行う際には、走査中にステージを不連続に駆動する必要がなくなり、重ね合わせ誤差を低減できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
図８は、第１露光の際にショット回転を使ってつなぎ目を連続にする例を示している。各ショット領域の形状が図８のように歪んでいる場合、配列誤差がなければ、ショット領域Ａとショット領域Ｂの位置関係は図８における補正前として示されるような関係になる。この場合、ショット領域Ａとショット領域Ｂのつなぎ目は不連続である。そこで本実施形態では、領域同士が接する辺が一致するように、第１露光において、ショット領域Ａを回転量Δθだけ回転させて露光することができる（ショット回転スキャン）。これにより、２つのショット領域のつなぎ合わせの誤差が低減し、図８における補正後として示されるようにつなぎ目が連続的になる。よって、第２露光を行う際には、走査中にステージを不連続に駆動をする必要がなくなり、重ね合わせ誤差を低減できる。この場合の第２露光における走査中のステージ制御は、原版と基板との相対関係を理想状態から回転させることである。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
図９は、第１露光の際にショット倍率変更を使ってつなぎ目を連続にする例を示している。各ショット領域の形状が図９のようになっている場合、配列誤差がなければ、ショット領域Ａとショット領域Ｂの位置関係は図９における補正前として示されるような関係になる。この場合、ショット領域Ａとショット領域Ｂのつなぎ目は不連続である。そこで本実施形態では、領域同士が接する辺が一致するように、第１露光において、ショット領域ＡのＸ方向の倍率を変更するよう投影光学系を制御して露光することができる（ショット変倍スキャン）。これにより、２つのショット領域のつなぎ合わせの誤差が低減し、図９における補正後として示されるようにつなぎ目が連続的になる。よって、第２露光を行う際には、走査中にステージを不連続に駆動をする必要がなくなり、重ね合わせ誤差を低減できる。この場合の第２露光における連続駆動は、例えば特許第３２７８３０３号公報に記載されているような、走査中に投影光学系の露光倍率を変化させる方法を用いることで実現できる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
図１０は、第１露光の際に走査方向を変更することでつなぎ目を連続にする例を示している。各ショット領域の形状が図１０のようになっていて、この形状が走査方向に依存している場合を考える。ショット領域Ａとショット領域Ｂが同じ方向の走査方向で露光されていて、かつ配列誤差がない場合、ショット領域Ａとショット領域Ｂの位置関係は図１０における補正前として示されるような関係になる。この場合、ショット領域Ａとショット領域Ｂのつなぎ目は不連続である。そこで本実施形態では、第１露光において、走査方向変更により、ショット領域Ａの走査方向を逆向きにすることができる（逆方向スキャン）。これにより、２つのショット領域のつなぎ合わせの誤差が低減し、図１０における補正後として示されるようにつなぎ目が連続的になる。よって、第２露光を行う際には、走査中にステージを不連続に駆動をする必要がなくなり、重ね合わせ誤差を低減できる。この場合の第２露光における連続駆動も、例えば特許第３２７８３０３号公報に記載されているような、走査中に投影光学系の露光倍率を変化させる方法を用いることで実現できる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
この場合、ショット領域Ａとショット領域Ｂのつなぎ目を連続にするために、補正パラメータが走査方向変更を示すパラメータを含む。このような走査方向変更を示すパラメータを補正パラメータに含める条件を、例えば以下のように定めることができる。
・ショット領域Ａ，Ｂがそれぞれ、制御情報（ショットレイアウト情報）により定義される矩形から台形状に歪んでいること。
・ショット領域Ａ（第１の領域）の下底とショット領域Ｂ（第２の領域）の上底とが重複しており（図１０における補正前の状態）、ショット領域Ａの上底とショット領域Ｂの上底との長さの差が許容値以下であること。許容値とは、両者の上底の長さの差が実質的にないとみなせる値に設定されうる。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
この場合のつなぎ目を合わせる前後でのショット領域Ａ，Ｂの関係を図１４に示す。実線がショット領域Ａ、破線がショット領域Ｂを示す。図１４において、左図がつなぎ目を合わせる前の状態、右図がつなぎ目を合わせた後の状態を示している。なお、図１４では、ショット領域の関係が分かりやすいように座標ずれを強調してプロットしている。