【手続補正書】
【提出日】平成31年1月23日(2019.1.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の把持板と、
前記第１の把持板により支持され、基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第１の爪部と、
前記第１の把持板に重なるように設けられた第２の把持板と、
前記第２の把持板により支持され、前記基板の外周面に当接する当接面を前記第１の把持板の表面に対して上下に有する第２の爪部と、
前記第１の爪部及び前記第２の爪部が前記基板の外周面に交わる方向に接離して、前記第１の爪部と前記第２の爪部とで前記基板を把持または開放するように、前記第１の把持板及び前記第２の把持板を相対移動させる把持部と、
を備えることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項２】
前記第１の爪部は、
前記第１の把持板の上面に設けられ、前記当接面を有する上爪と、
前記第１の把持板の下面に設けられ、前記当接面を有する下爪と、
を有することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記把持部を昇降させる昇降部と、
第１の基板を載置する第１の高さ位置から、前記第１の基板の上又は下に位置する第２の基板を把持する第２の高さ位置に前記第１の爪部及び前記第２の爪部を位置付けるよう、前記昇降部に前記把持部の上昇又は下降を実行させ、前記把持部に前記第１の把持板及び前記第２の把持板の相対移動を実行させる制御部と、
をさらに備えることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記把持部を水平方向に移動させるアーム部をさらに備え、
前記制御部は、
前記把持部を、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が前記基板を載置する前記第１の高さ位置に位置付けられる第１の位置まで、移動させるように前記アーム部を制御し、
前記第１の位置に移動した前記把持部に、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が離れる方向に前記第１の把持板及び前記第２の把持板の相対移動を実行させ、
前記第１の把持板及び前記第２の把持板の水平位置を変えずに、前記把持部を、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が前記第１の高さ位置の下方に位置する前記第２の高さ位置に位置付けられる第２の位置まで、移動させるように前記昇降部を制御し、
前記第２の位置に移動した前記把持部に、前記第１の爪部及び前記第２の爪部が近づく方向に前記第１の把持板及び前記第２の把持板の相対移動を実行させることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部と、 
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板搬送装置と、 
前記基板を処理する基板処理部と、 
を備えることを特徴とする基板処理装置。
【請求項６】
前記基板処理部は、
基板処理台と、
前記基板処理台に設けられて前記基板を下面から支持する複数の支持部材と、
前記複数の支持部材よりも外側から前記基板を支持して昇降させる基板昇降部と、
を有することを特徴とする請求項５に記載の基板処理装置。
【請求項７】
複数の基板を所定間隔で積層して収納する収納部から、請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の基板搬送装置を用いて第１の基板を取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第１の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第１の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
前記収納部に収納された前記第１の基板の上又は下に位置する第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部から取り出す工程と、
前記収納部から取り出された前記第２の基板に処理を行う工程と、
前記処理が行われた前記第２の基板を、前記基板搬送装置を用いて前記収納部に収納する工程と、
を有することを特徴とする基板処理方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
実施形態に係る基板搬送装置は、第１の把持板と、第１の把持板により支持され、基板の外周面に当接する当接面を第１の把持板の表面に対して上下に有する第１の爪部と、第１の把持板に重なるように設けられた第２の把持板と、第２の把持板により支持され、基板の外周面に当接する当接面を第１の把持板の表面に対して上下に有する第２の爪部と、第１の爪部及び第２の爪部が基板の外周面に交わる方向に接離して、前記第１の爪部と前記第２の爪部とで前記基板を把持または開放するように、第１の把持板及び第２の把持板を相対移動させる把持部とを備える。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３４】
第２の把持板２２は、図４に示すように、第１の把持板２１に重なるようにその第１の把持板２１の上面に設けられている。この第２の把持板２２は、第１の把持板２１と同様、二本の第２の指部２２ａを有している。それらの指部２２ａの先端には、第２の爪部２２ｂが個別に設けられている。この第２の爪部２２ｂは、図６に示すように、基板Ｗの外周面（側面）に当接する当接面Ｍ２（Ｍ２ａ、Ｍ２ｂ）を上下に有している。なお、図６では、図４に示すＢ方向（斜め下方向）から二本の第２の指部２２ａが示されている。この図６に示すように、第２の爪部２２ｂは、上爪２２ｂ１及び下爪２２ｂ２が一体に形成された爪ブロックである。上爪２２ｂ１及び下爪２２ｂ２は、それぞれ当接面Ｍ２（Ｍ２ａ、Ｍ２ｂ）を有している。この第２の爪部２２ｂは、第２の把持板２２の下面（裏面）に設けられている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４６】
なお、貫通孔Ｈ２は、エアシリンダ２３ｇのロッドの所定の移動範囲において、揺動ピン２３ｈ２が第２の把持板２２及び第２の連結板２３ｆに当接しない孔サイズになるように形成されている。また、貫通孔Ｈ３も、エアシリンダ２３ｇのロッドの所定の移動範囲において、揺動ピン２３ｈ２が第１の把持板２１に当接しないサイズに形成されている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
また、第１の把持板２１にも、前述の各貫通孔Ｈ１、Ｈ２の位置に合せて二つの貫通孔
Ｈ３、Ｈ４が形成されている。これらの貫通孔Ｈ３、Ｈ４は、前述の各貫通孔Ｈ１、Ｈ２の開口サイズと逆の開口サイズになるように形成されている。このため、貫通孔Ｈ４のサイズは、貫通孔Ｈ３のサイズよりも小さい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４９】
（基板処理工程）
次に、前述の基板処理装置１０が行う基板処理の流れについて説明する。なお、基板Ｗに対して２種類の処理を行う場合には、図１において、上下に延びる第２のロボット移動路を挟んで左側の４つの処理室１５ａ（以下、第１の処理室１５ａとすることがある）と、右側の４つの処理室１５ａ（以下、第２の処理室１５ａとすることがある）が異なる処理を行うように設定されている。異なる処理を行う場合、第１の処理室は、第１の処理が行われる処理室であり、第２の処理室は、第１の処理の次の処理（第２の処理）が行われる処理室である。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
以上説明したように、第１の実施形態によれば、基板Ｗの外周面に当接する当接面Ｍ１（Ｍ１ａ、Ｍ１ｂ）を上下に有する第１の爪部２１ｂと、その第１の爪部２１ｂを支持する第１の把持板２１と、基板Ｗの外周面に当接する当接面Ｍ２（Ｍ２ａ、Ｍ２ｂ）を上下に有する第２の爪部２２ｂと、この第２の爪部２２ｂを支持する第２の把持板２２と、第１の把持板２１及び第２の把持板２２を水平方向に相対移動させる把持部２３とを設けることによって、第１の把持板２１及び第２の把持板２２のハンドの両面（上側及び下側）に基板を保持することが可能となる。例えば、処理済の基板Ｗを上側に保持したハンドは、処理済の基板Ｗをバッファユニット１３に置き、そのまま、下降して次の未処理の基板Ｗを下側で把持することができる。これにより、ハンドの出し入れが通常の二回に比べ一回となって省略されるので、基板搬送時間を短縮することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
その後、図１５に示すように、未処理の基板Ｗを下側に保持する第１のアームユニット１４ａにより、未処理の基板Ｗが処理室１５ａの各支持部材３２上に載置される。次いで、図１６に示すように、第１のアームユニット１４ａによる把持が開放され、未処理の基板Ｗが各支持部材３２により支持される。その後、図１７に示すように、第１のアームユニット１４ａは、一対の昇降部材３３ａ上の処理済の基板Ｗを把持する把持位置まで上昇する。そして、図１８に示すように、把持位置まで上昇した第１のアームユニット１４ａは、一対の昇降部材３３ａ上の処理済の基板Ｗを把持する。次いで、図１９に示すように、一対の昇降部材３３ａが下降すると、処理済の基板Ｗを上側に保持した第１のアームユニット１４ａは、基板保持部１５ｂ上から退避し、処理室１５ａから処理済の基板Ｗを取り出す。このようにして、第１のアームユニット１４ａは、未処理の基板Ｗと処理済の基板Ｗを持ち替えることができる。