【事件の表示】
　特願２０１６−５５３８７９「差圧検知ダイ用のパッケージ」拒絶査定不服審判事件〔平成２７年　９月　３日国際公開、ＷＯ２０１５／１３１０９４、平成２９年　３月　９日国内公表、特表２０１７−５０６７５０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１５年（平成２７年）２月２７日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１４年２月２８日、アメリカ合衆国）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成３０年　９月１９日付け：拒絶理由通知書
　平成３０年１２月　７日　　：意見書、手続補正書の提出
　平成３１年　３月　５日付け：拒絶理由通知書（最後）
　令和　元年　５月１５日　　：意見書、手続補正書の提出
　令和　元年　９月　５日付け：拒絶査定（令和元年９月１０日送達、以下「原査定」という。）  
　令和　２年　１月　９日　　：審判請求書、手続補正書の提出
第２　令和２年１月９日にされた手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　令和２年１月９日にされた手続補正を却下する。
［補正の却下の決定の理由］　
１　補正の内容
　令和２年１月９日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）により、本件補正前（令和元年５月１５日にされた手続補正の後をいう。以下同様。）の特許請求の範囲の請求項１が、下記の補正前請求項１から補正後請求項１に補正された。
＜補正前請求項１＞
「【請求項１】
　差圧検知ダイ（３００）を受容するためのパッケージ（８００）であって、
　前記差圧検知ダイ（３００）が、一体型隔壁（３１３）の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合される前記一体型隔壁（３１３）を有する半導体ダイ（３１０）を備え、
　前記パッケージ（８００）が、
　前記差圧検知ダイ（３００）を受容するように構成される第１のハウジング部材（８０３）と、
　少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）および前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）が互いと合体してハウジング（８０２）を画定するように構成され、前記ハウジング（８０２）はその中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材（８０１）と、
　前記第１のハウジング部材（８０３）の壁を通して画定される第１のポート（８０９）であって、前記差圧検知ダイ（３００）が前記第１のハウジング部材（８０３）内に収容されているときに、前記差圧検知ダイ（３００）の第１の側に画定される第１の開口（３０９）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第１のポート（８０９）と、
　前記第２のハウジング部材（８０１）の壁を通して画定される第２のポート（８０７）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）が前記第２のハウジング部材（８０１）と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイ（３００）の第２の側に画定される第２の開口（３０７）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第２のポート（８０７）と、を備えるとともに、
　前記差圧検知ダイ（３００）の前記第１の開口（３０９）と、前記第１のポート（８０９）と、前記差圧検知ダイ（３００）の前記第２の開口（３０７）と、前記第２のポート（８０７）とが一直線上に配置されるとともに、
　前記第１のハウジング部材（８０３）と前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）との間に、ガスケットまたは接着剤シール（８０５）が配設され、
　前記第１のポート（８０９）が、車両のオイルフィルタの入口に接続されるように構成され、かつ、
前記第２のポート（８０７）が、前記オイルフィルタの出口に接続されるように構成される、
　パッケージ。」
＜補正後請求項１＞
「【請求項１】
　差圧検知ダイ（３００）を受容するためのパッケージ（８００）であって、
　前記差圧検知ダイ（３００）が、一体型隔壁（３１３）の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合される前記一体型隔壁（３１３）を有する半導体ダイ（３１０）
と、前記一体型隔壁（３１３）に形成されるピエゾ抵抗素子（３６５）と、
　
前記一体型隔壁（３１３）の一面と前記半導体ダイ（３１０）の一面（３１０ｕ）が面一であり、
　前記パッケージ（８００）が、
　前記差圧検知ダイ（３００）を受容するように構成される第１のハウジング部材（８０３）と、
　少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）および前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）が互いと合体してハウジング（８０２）を画定するように構成され、前記ハウジング（８０２）はその中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材（８０１）と、
　前記第１のハウジング部材（８０３）の壁を通して画定される第１のポート（８０９）であって、前記差圧検知ダイ（３００）が前記第１のハウジング部材（８０３）内に収容されているときに、前記差圧検知ダイ（３００）の第１の側に画定される第１の開口（３０９）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第１のポート（８０９）と、
　前記第２のハウジング部材（８０１）の壁を通して画定される第２のポート（８０７）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）が前記第２のハウジング部材（８０１）と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイ（３００）の第２の側に画定される第２の開口（３０７）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第２のポート（８０７）と、を備えるとともに、
　前記差圧検知ダイ（３００）の前記第１の開口（３０９）と、前記第１のポート（８０９）と、前記差圧検知ダイ（３００）の前記第２の開口（３０７）と、前記第２のポート（８０７）とが一直線上に配置されるとともに、
　前記第１のハウジング部材（８０３）と前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）との間に、ガスケットまたは接着剤シール（８０５）が配設され、
　前記第１のポート（８０９）が、車両のオイルフィルタの入口に接続されるように構成され、かつ、
　前記第２のポート（８０７）が、前記オイルフィルタの出口に接続されるように構成される
とともに、
　
前記ハウジング（８０２）は、前記差圧検知ダイ（３００）の側面が前記ハウジング（８０２）に非接触の状態で、その中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための前記内部容積が画定され、
　
前記第１のハウジング部材（８０３）および前記第２のハウジング部材（８０１）が、プラスチックから構成される、
パッケージ。」（下線は、補正箇所を示す。）
　本件補正は、本件補正前の「一体型隔壁（３１３）を有する半導体ダイ（３１０）」を備える「差圧検知ダイ（３００）」について、「前記一体型隔壁（３１３）に形成されるピエゾ抵抗素子（３６５）」をさらに備えるとともに、「前記一体型隔壁（３１３）の一面と前記半導体ダイ（３１０）の一面（３１０ｕ）が面一」であることを限定し、かつ本件補正前の「ハウジング（８０２）」について、「前記差圧検知ダイ（３００）の側面が前記ハウジング（８０２）に非接触の状態で、その中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための前記内部容積が画定され」ること、及びハウジング（８０２）を構成する「前記第１のハウジング部材（８０３）および前記第２のハウジング部材（８０１）が、プラスチックから構成される」ことを限定する補正であり、かつ本件補正前の請求項１に記載された発明と本件補正後の請求項１に記載される発明は、産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であることから、本件補正は、特許法１７条の２第５項２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とする補正である。
　そこで、本件補正後の請求項１に係る発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるかについて検討する。
２　本件補正後の本願発明
　本件補正後の請求項１に係る発明（以下「本願補正発明」という。）は、本件補正により補正された特許請求の範囲、明細書及び図面からみて、その請求項１に記載された事項により特定されるとおりのものと認める。
３　引用刊行物に記載された発明
（１）引用刊行物１
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前の２０１０年５月２０日に頒布された刊行物である米国特許出願公開第２０１０／０１２２５８３号明細書（以下「引用刊行物１」という。）には、「DESIGN OF WET/WET DIFFERENTIAL PRESSURE SENSOR BASED ON MICROELECTRONIC PACKAGING PROCESS」（発明の名称）に関して、図面とともに以下の事項が記載されている。なお、当審による邦訳を併せて示す。
＜記載事項１＞
「[0003]In particular, one type or configuration of pressure sensor is referred to as a differential pressure sensor. This type of sensor measures the difference between two or more pressures that are supplied as inputs. 
An example application for a differential pressure sensor may involve measuring the pressure drop across a furnace filter or an oil filter to determine the level of clogging
（[0003] 具体的には、1つのタイプ又は構成の圧力センサは差圧センサと呼ばれる。このタイプのセンサは、入力として供給される2以上の圧力間の差を測定する。
差圧センサの例示的な用途は、目詰まりのレベルを決定するために、炉フィルタ又はオイルフィルタの前後の圧力降下を測定することを含み得る
＜記載事項２＞
「[0020] 
A MEMS-configured pressure sensor design utilizing wafer fabrication processes and microelectronic packaging techniques is disclosed herein
Note that in FIGS. 1-4, identical or analogous parts or elements are generally indicated by identical reference numerals
 The pressure sensor 100 generally includes a MEMS-configured pressure sense die 150 with a top side 105 and a back side 110
[0021] 
In a preferred embodiment a diaphragm 115 can be etched from the pressure sense die 150 such that one or more piezoresistors 120 can be located on pressure sense die 150
A top cap 130 can be attached to the top side 105 of the pressure sense die 150 utilizing well-known wafer bonding approaches such as, for example, anodic bonding and/or glass frit bonding
（[0020]
ウェハ製造プロセス及びマイクロエレクトロニクスパッケージング技術を利用したMEMSに構成された圧力センサの設計が、本明細書に開示されている
なお、図1-4において、同一又は類似の部品又は要素は、全体として同一の参照番号で示されている
圧力センサ100は、一般に上面105及び背面110を有するMEMSに構成された圧力検知ダイ150を備えている
[0021]
好ましい実施形態では、1つ又は複数のピエゾ抵抗120が圧力検知ダイ150上に位置することができるように、ダイアフラム115を圧力検知ダイ150からエッチングすることができる
トップキャップ130は、例えば、陽極ボンディング及び/又はガラスフリットボンディング等の周知のウエハーボンディングアプローチを利用して圧力検知ダイ150の上面105に取り付けることができる
＜記載事項３＞
「[0023] Referring to FIG. 2 a cross sectional view of the differential pressure sensor 100 with a constraint 135 for wet-wet applications is illustrated, in accordance with a preferred embodiment. 
A constraint 135 can be attached to the backside 110 of the pressure sense die 150 for stress relief utilizing well-known wafer bonding approaches such as, for example, anodic bonding and/or glass frit bonding
[0024] A separate hole 210 can be etched or drilled through the constraint 135 and can be at least partially aligned with a hole in pressure port P2 (not shown). Those of skill in the art will recognize that by forming holes 165 and 210 through the top cap 130 and the constraint 135, the method described herein can be utilized to fabricate a differential pressure sensor package for wet-wet applications where the media on the both sides of the sense element are wet. 
The media from the pressure port P1 and P2 are applied through the opening 165 and 210
[0025] 
In one preferred embodiment the silicon cap 130 and the constraint 135 can be bonded to the silicon pressure die 150 using a glass frit bonding process
（[0023]図2を参照すると、好ましい実施形態による、ウェット／ウェット用途のコンストレイント135を有する差圧センサ100の断面図が図示されている。
コンストレイント135は、例えば、陽極ボンディング及び/又はガラスフリットボンディング等の周知のウエハーボンディングアプローチを利用して、応力を緩和するため、圧力検知ダイ150の背面110に取り付けることができる
[0024]別の孔210は、コンストレイント135を通してエッチングされ又は穿孔されることができ、少なくとも部分的に圧力ポートP2(図示せず)の孔と整合されることができる。当業者であれば、トップキャップ130及びコンストレイント135を貫通するスルーホール165及び210を形成することによって、本明細書に記載の方法が、上記感知素子の両側が媒体で濡れているウェット-ウェット用途のための差動圧力センサのパッケージを製造するために利用することができることを認識するであろう。
圧力ポートP1,P2からの媒体は、孔165及び210を介して適用される
[0025] 
1つの好ましい実施形態では、トップキャップ130及びコンストレイント135は、ガラスフリット接合プロセスを使用して圧力検知ダイ150に接合することができる
＜記載事項４＞
「[0026]FIG. 3 illustrates a perspective view of a wet-wet differential pressure sensor 100, in accordance with a preferred embodiment. 
The wet-wet differential pressure sensor 100 can be utilized in wet/wet applications where both sides of the sense element 150 being exposed to the sensed media such as water or oil
The top cap 130 with the hole 165 can be attached to a top package cap 230 utilizing a topside seal 220
A topside pressure port 305 of the MEMS-configured pressure sense die 150 with the pressure sensing diaphragm 115 allows the sensed media with pressure P1 to come in contact with the top side 105 of the pressure sensing diaphragm 115
[0027]The gasket or media seal 220 provide a pressure seal to the topside surface of the top cap 130. 
The optional constraint 135 with the hole 210 for stress relief can be attached to a bottom package cap 330 utilizing the bottom side seal 320
A bottom side pressure port 310 of the MEMS-configured pressure sense die 150 allows the sensed media with pressure P2 to come in contact with the bottom side 110 of the pressure sensing diaphragm 115
The diaphragm 115 can be incorporated with piezoresistive elements 120 that can receive the stress or media pressure applied on the diaphragm 115
[0028]
The top cap 130 can seal the media from the bond pads 360 in order to avoid creation of harsh environment for the exposed bond pads 360
 The die attach or gasket 220 and 320 can be utilized to seal the pressure sense die 150 allowing media to be sensed to come in contact with both sides of the pressure-sensing diaphragm 115 without affecting the wirebond pads 360, wirebonds 370, and the package terminals 350
[0029]Each pressure port 305 and 310 can carry media at different pressures. 
The difference between pressures in each pressure ports 305 and 310 can be measured by exposing both sides of the silicon pressure-sensing diaphragm 115 to the media
 In such a way the differential pressure sensor 100 can sense the differential pressure in media, including but not limited to water, fuel, oil, acids, bases, solvents and corrosive gases
（[0026]図３は、好ましい実施形態による、ウェット／ウェット型の差圧センサ100の斜視図を示している。
このウェット／ウェット型の差圧センサ100は、圧力検知ダイ150の両側が水やオイルなどの検知媒体に曝されるウェット／ウェット用途で利用することができる
孔165を有するトップキャップ130は、上側側部シール220を利用してトップパッケージキャップ230に取り付けることができる
MEMSに構成された圧力検知ダイ150の上部圧力ポート305は、圧力P1を有する感知媒体が圧力感知ダイヤフラム115の上側105と接触することを可能にする
[0027]ガスケット又は媒体シール220は、トップキャップ130の上側面に圧力シールを提供する。
応力緩和のための孔210を有するオプションのコンストレイント135は、下側シール320を利用して、ボトムパッケージキャップ330に取付けることができる
MEMSに構成された圧力検知ダイ150の下部の圧力ポート310は、圧力P2を有する感知媒体が圧力感知ダイヤフラム115の底側110と接触することを可能にする
ダイアフラム115には、ダイアフラム115に加えられた応力又は圧力を受けることが可能なピエゾ抵抗素子120を組み込むことができる
[0028]
露出した接合パッド360の過酷な環境の生成を回避するため、トップキャップ130は、媒体をボンドパッド360から封止することができる
ダイ接着剤又はガスケット220及び320は、圧力検知ダイ１５０を封止するために使用することができ、ワイヤボンド・パッド360、ボンディングワイヤ370及びパッケージ端子350に影響を及ぼすことなく、検知媒体が感圧ダイアフラム115aの両側面に接触することを可能にする
[0029]各圧力ポート305及び310は、異なる圧力の媒体を運ぶことができる。
各圧力ポート305及び310間の圧力の差は、シリコン圧力センサダイアフラム115の両側を媒体に接触させることによって測定することができる
このように、差圧センサ100は、水、燃料、オイル、酸、塩基、溶媒及び腐食性ガスを含むがこれらに限定されない媒体の差圧を感知することができる
［図１］
［図２］
［図３］
　［図３］から、トップパッケージキャップ２３０、下部パッケージキャップ３３０により内部に空間を有する筐体が構成され、当該空間内に、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が収容されていることが読み取れる。よって、上部の圧力ポート３０５を有するトップパッケージキャップ２３０及び下部の圧力ポート３１０を有する下部パッケージキャップ３３０は、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０を収容するパッケージとして機能しているといえる。
　また、［図３］から、収容された当該圧力検知ダイ１５０の側面は、トップパッケージキャップ２３０及び下部パッケージキャップ３３０から構成される筐体に接触していないことが読み取れる。
　［図１］〜［図３］から、ダイアフラム１１５の上面と、圧力検知ダイ１５０の上面は、面一であることが読み取れる。
　［図３］から、上部の圧力ポート３０５は、トップパッケージキャップ２３０の上壁を貫通して設けられていること、下部の圧力ポート３１０は、下部パッケージキャップ３３０の底壁を貫通して設けられていることが読み取れる。
　［図３］から、トップキャップ１３０が有する孔１６５とトップパッケージキャップ２３０が有する圧力ポート３０５が連通していること、コンストレイント１３５が有する孔２１０と下部パッケージキャップ３３０が有する圧力ポート３１０が連通していることが読み取れる。
　［図３］から、コンストレイント１３５が有する孔２１０と、下部の圧力ポート３１０の端部と、トップキャップ１３０が有する孔１６５と、上部の圧力ポート３０５の端部は、一直線上に配置されているが、下部の圧力ポート３１０及び上部の圧力ポート３０５が直線状でなくＬ字状に形成されているため、コンストレイント１３５が有する孔２１０と、Ｌ字状の下部の圧力ポート３１０と、トップキャップ１３０が有する孔１６５と、Ｌ字状の上部の圧力ポート３０５は、全体としてみた場合、コ字状に配置されていることが読み取れる。
　以上を総合すると、上記記載事項２〜４及び上記図１〜３の記載からみて、引用刊行物１には、以下の発明（以下「引用発明」という。）が記載されているものと認められる。
「トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０を収容するパッケージであって（［００２１］、［００２３］、［図３］）、
　トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が、両側に接触するオイルなどの検知媒体の圧力の差を測定するダイアフラム１１５を有する圧力検知ダイ１５０（［００２６］、［００２９］、［図３］）と、前記ダイアフラム１１５に組み込まれたピエゾ抵抗素子１２０（［００２７］、［図１］、［図２］）と、を備え、
　前記ダイアフラム１１５の上面と、前記圧力検知ダイ１５０の上面は、面一であり（［図１］〜［図３］）、
　前記パッケージが、
　前記トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０を受容する下部パッケージキャップ３３０と（［図３］）、
　上部パッケージキャップ２３０であって、前記下部パッケージキャップ３３０と前記上部パッケージキャップ２３０により内部に空間を有する筐体が構成され、当該空間内には、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が収容される、上部パッケージキャップ３３０（［図３］）と、
　下部パッケージキャップ３３０の底壁を貫通して設けられている下部の圧力ポート３１０であって、前記トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が前記下部パッケージキャップ３３０に受容されているときに、前記圧力検知ダイ１５０の背面に取り付けられたコンストレイント１３５が有する孔２１０と連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止するように配置される、下部の圧力ポート３１０と（［００２６］〜［００２８］、［図３］）、
　上部パッケージキャップ２３０の上壁を貫通して設けられている上部の圧力ポート３０５であって、前記下部パッケージキャップ３３０が前記上部パッケージキャップ２３０と合体するときに、前記圧力検知ダイ１５０の背面と反対側の上面に取り付けられたトップキャップ１３０が有する孔１６５と連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止するように配置される、上部の圧力ポート３０５と（［００２６］〜［００２８］、［図３］）、を備えるとともに、
　前記コンストレイント１３５が有する孔２１０と、Ｌ字状の前記下部の圧力ポート３１０と、前記トップキャップ１３０が有する孔１６５と、Ｌ字状の前記上部の圧力ポート３０５が、コ字状に配置されるとともに（［図３］）、
　前記上部パッケージキャップ２３０及び前記下部パッケージキャップ３３０により構成される筐体は、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０の側面が前記筐体に接触していない状態で、前記圧力検知ダイ１５０を収容する内部空間を有する（［図３］）、
　パッケージ。」
（２）引用刊行物２
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前の平成６年３月２９日に頒布された刊行物である特開平６−８８７６２号公報（以下、「引用刊行物２」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
＜記載事項５＞
「【００２１】
　そして、Ｐ型シリコン基板１側からは絶縁台座１１を、導圧台１０側からは絶縁台座１２を被せるようにして突き合わせ接合し、半導体圧力センサ本体を図示するごとくパッケージングする。」
【図１】
（３）引用刊行物３
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前の平成２０年１２月１８日に頒布された刊行物である特開２００８−３０４２４５号公報（以下、「引用刊行物３」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
＜記載事項６＞
「【００２５】
　（第１実施形態） 以下、本発明の第１実施形態について図を参照して説明する。本実施形態で示される圧力センサは、例えば車両のエンジンから排出される排気ガスを浄化するＤＰＦシステムにおいて、フィルタであるＤＰＦを通過する排気ガスの通過前と通過後との差圧を検出することでＤＰＦの目詰まりの診断する際等に用いられるものである。
【００２６】
　図１は、本発明の第１実施形態に係る圧力センサを示したものであり、（ａ）は圧力センサの概略断面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ矢視断面図である。図１に示されるように、圧力センサＳ１は、ケース１０と、当該ケース１０に収納される第１センサチップ２１と、第２センサチップ２２とを備えている。」
＜記載事項７＞
「【００３２】
　
上記ケース１０は、例えばＰＰＳ（ポリフェニレンサルファイド）、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）やエポキシ樹脂等の樹脂材料を型成形してなるものである
【図１】
（４）引用刊行物４
　本願の優先日前の平成１３年１０月５日に頒布された刊行物である特開２００１−２７２２９４号公報（以下、「引用刊行物４」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
＜記載事項８＞
「【０００２】
【従来の技術】ＭＥＭＳセンサ、つまり集積回路サイズのミニチュア・センサは、種々の周囲状態を感知するために小型装置を必要とする多種多様な消費製品および工業製品に導入されている。ＭＥＭＳ圧力センサの組込みの潜在的可能性が自動車タイヤより大きい適用分野は、現在、おそらく存在しない。この適用分野は、ＲＦ送信機を装備した１つまたはそれ以上のＭＥＭＳ圧力センサを自動車タイヤ内に埋め込むことが必要である。このセンサはタイヤ空気圧を監視し、低空気圧警報を提供する信号を自動車の処理装置および表示装置に送信して、危険なタイヤのことをドライバに警告する。
【０００３】
　
図１は、接着剤１７によりプラスチック・パッケージ１２に結合された圧力センサ・ダイ１３を有するプラスチック・パッケージ１２上に形成されたキャビティに封止ゲル１１を注入する、ＭＥＭＳデバイス１０の従来の封止を示す
【図１】
（５）引用刊行物５
　本願の優先日前の平成６年１月１４日に頒布された刊行物である実願平４−３８２２７号（実開平６−２１８８号）の願書に最初に添付した明細書及び図面の内容を記録したＣＤ−ＲＯＭ（以下、「引用刊行物５」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
＜記載事項９＞
「【０００８】
【実施例】図面を参照して実施例を説明する。図１において、１は、先側が自動車のエンジンオイル室にねじ込まれる金属製の接続本体であり、その基部側には、後方にポテンショメータ２が立設された金属製のベース３が、かしめられて固定されている。
【０００９】
　接続本体１とベース３との間には、ダイアフラム室４が形成されていて、ダイアフラム室４は、面と垂直の方向に変位自在な可撓性薄膜からなるダイアフラム５によって仕切られている。
【００１０】
　そして、接続本体１の先端とダイアフラム室４との間には連通孔７が穿設されていて、その連通孔７を経由して、エンジンオイルの油圧がダイアフラム５の外面側の面に加わるようになっている。８はシール用のＯリング、９はダイアフラム５を受ける受け盤であり、中央には孔が穿設されている。
【００１１】
　ベース３中央の孔内には、一端がダイアフラム５の内面の中央部分に当接する短いロッド１１が摺動自在に配置されている。また、ダイアフラム５側からみてベース３の逆側の面には、図２にも示されるような回動板１２が、回動自在に両端で軸支されている。
【００１２】
　この回動板１２の中央部分には、ロッド１１の端面に当接する突起１４が突設されており、回動板１２の一端側には、突起１４をロッド１１の端面に押し付ける方向に回動板１２を付勢するバネ１６が取り付けられている。
【００１３】
　このように、回動板１２は、油圧によって押されるダイアフラム５の力をロッド１１と突起１４を介して受けると共に、それと逆方向の力をバネ１６から受け、両方の力がつり合う位置で静止する。
【００１４】
　回動板１２の他端側には、ポテンショメータ２の抵抗（電気抵抗）列２１に接触するブラシ２２が固着されている。したがって、油圧が変化するとそれに追随してダイアフラム５が変位し、さらにその変位に追随して回動する回動板１２と共にブラシ２２が回動する。
【００１５】
　その結果、抵抗列２１に対してブラシ２２先端の電気接点２２ａの接触位置が変化すると、抵抗列２１から外部に引き出されたリード線２３の電位が変化して、その電位から油圧を検出することができる。」
＜記載事項１０＞
「【００１８】
　
このような機構が配置されたベース３の裏面側には、図３にも示されるような、回動板１２とポテンショメータ２の形状に合わせて形成されたプラスチック製の内キャップ１７が被せられている
【００１９】
　
そして、内キャップ１７の外側には、膨縮自在な膜状のゴム製のゴムキャップ１８が、外気との間を完全にシールする状態で被せられて、その内側を気密室２０に形成している
そして、さらにその外側には、プラスチック製又は金属製の円筒状の外キャップ１９が被せられている
【図１】
【図３】
（６）引用刊行物６
　原査定の拒絶の理由に引用され、本願の優先日前の昭和５８年１１月７日に頒布された刊行物である実願昭５７−６４４８８号（実開昭５８−１６６８２０号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（以下、「引用刊行物６」という。）には、図面とともに以下の事項が記載されている。
＜記載事項１１＞
「この考案によれば
フイルター本体に対する入側・出側の圧力差検出用のセンサーを流路に付設した構成
例えば自動車用燃料フイルター、自動車用オイルフイルター、自動車用エアクリーナー等のフイルター装置として広い用途に供することができるものである
【図３】
４　対比
（１）本願補正発明と引用発明の対比
　本願補正発明と引用発明を対比する。
ア　引用発明の「トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０」、「収容する」は、それぞれ本願補正発明の「差圧検知ダイ（３００）」、「受容する」に相当する。
　よって、引用発明の「トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０を収容するパッケージ」は、本願補正発明の「差圧検知ダイ（３００）を受容するためのパッケージ（８００）」に相当する。
イ　引用発明の「ダイアフラム１１５」は、［００２１］の「ダイアフラム115を圧力検知ダイ150からエッチングすることができる。」という記載からみて、「圧力検知ダイ150」と一体となって形成されているものといえるから、本願補正発明の「一体型隔壁（３１３）」に相当する。
　引用発明の「両側に接触するオイルなどの検知媒体の圧力の差を測定する」、「ダイアフラム１１５に組み込まれたピエゾ抵抗素子１２０」は、それぞれ本願補正発明の「対向する両面に加えられる差圧を測定する」、「一体型隔壁（３１３）に形成されるピエゾ抵抗素子（３６５）」に相当する。
　引用発明の「圧力検知ダイ１５０」は、［００２０］の「ウェハ製造プロセス及びマイクロエレクトロニクスパッケージング技術を利用したMEMSに構成された圧力センサの設計が、本明細書に開示されている。」という記載からみて、本願補正発明の「半導体ダイ（３１０）」に相当する。
　よって、引用発明の「トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が、両側に接触するオイルなどの検知媒体の圧力の差を測定するダイアフラム１１５を有する圧力検知ダイ１５０と、前記ダイアフラム１１５に組み込まれたピエゾ抵抗素子１２０と、を備え、」は、本願補正発明の「差圧検知ダイ（３００）が、一体型隔壁（３１３）の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合される前記一体型隔壁（３１３）を有する半導体ダイ（３１０）と、前記一体型隔壁（３１３）に形成されるピエゾ抵抗素子（３６５）と、を備え、」に相当する。
ウ　引用発明の「前記ダイアフラム１１５の上面と、前記圧力検知ダイ１５０の上面は、面一であり」は、本願補正発明の「前記一体型隔壁（３１３）の一面と前記半導体ダイ（３１０）の一面（３１０ｕ）が面一であり」に相当する。
エ　引用発明の「トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０を受容する下部パッケージキャップ３３０」は、本願補正発明の「差圧検知ダイ（３００）を受容するように構成される第１のハウジング部材（８０３）」に相当する。
オ　引用発明の「上部パッケージキャップ２３０」、及び「筐体」は、それぞれ本願補正発明の「少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）」、及び「ハウジング（８０２）」に相当するから、上記エをふまえると、引用発明の「上部パッケージキャップ２３０であって、前記下部パッケージキャップ３３０と前記上部パッケージキャップ２３０により内部に空間を有する筐体が構成され、当該空間内には、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が収容される、上部パッケージキャップ３３０」は、本願補正発明の「少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）および前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）が互いと合体してハウジング（８０２）を画定するように構成され、前記ハウジング（８０２）はその中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材（８０１）」に相当する。
カ　引用発明の「下部パッケージキャップ３３０の底壁を貫通して設けられている下部の圧力ポート３１０」、「前記圧力検知ダイ１５０の背面に取り付けられたコンストレイント１３５が有する孔２１０」、「連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止する」、「配置される」は、それぞれ本願補正発明の「第１のハウジング部材（８０３）の壁を通して画定される第１のポート（８０９）」、「前記差圧検知ダイ（３００）の第１の側に画定される第１の開口（３０９）」、「流体連通して封止を行う」、「位置付けられる」に相当する。
　よって、引用発明の「下部パッケージキャップ３３０の底壁を貫通して設けられている下部の圧力ポート３１０であって、前記トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０が前記下部パッケージキャップ３３０に受容されているときに、前記圧力検知ダイ１５０の背面に取り付けられたコンストレイント１３５が有する孔２１０と連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止するように配置される、下部の圧力ポート３１０」は、本願補正発明の「第１のハウジング部材（８０３）の壁を通して画定される第１のポート（８０９）であって、前記差圧検知ダイ（３００）が前記第１のハウジング部材（８０３）内に収容されているときに、前記差圧検知ダイ（３００）の第１の側に画定される第１の開口（３０９）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第１のポート（８０９）」に相当する。
キ　引用発明の「上部パッケージキャップ２３０の上壁を貫通して設けられている上部の圧力ポート３０５」、「前記圧力検知ダイ１５０の背面と反対側の上面に取り付けられたトップキャップ１３０が有する孔１６５」、「連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止する」、「配置される」は、それぞれ本願補正発明の「第２のハウジング部材（８０１）の壁を通して画定される第２のポート（８０７）」、「前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイ（３００）の第２の側に画定される第２の開口（３０７）」、「流体連通して封止を行う」、「位置付けられる」に相当する。
　よって、引用発明の「上部パッケージキャップ２３０の上壁を貫通して設けられている上部の圧力ポート３０５であって、前記下部パッケージキャップ３３０が前記上部パッケージキャップ２３０と合体するときに、前記圧力検知ダイ１５０の背面と反対側の上面に取り付けられたトップキャップ１３０が有する孔１６５と連通して、オイルなどの検知媒体から、前記圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を封止するように配置される、上部の圧力ポート３０５」は、本願補正発明の「第２のハウジング部材（８０１）の壁を通して画定される第２のポート（８０７）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）が前記第２のハウジング部材（８０１）と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイ（３００）の第２の側に画定される第２の開口（３０７）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第２のポート（８０７）」に相当する。
ク　引用発明の「前記上部パッケージキャップ２３０及び前記下部パッケージキャップ３３０により構成される筐体」、「前記筐体に接触していない状態」、「前記圧力検知ダイ１５０を収容する内部空間を有する」は、それぞれ本願補正発明の「前記ハウジング（８０２）」、「前記ハウジング（８０２）に非接触の状態」、「前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための前記内部容積が画定」するに相当する。
　よって、引用発明の「前記上部パッケージキャップ２３０及び前記下部パッケージキャップ３３０により構成される筐体は、トップキャップ１３０及びコンストレイント１３５が取り付けられた圧力検知ダイ１５０の側面が前記筐体に接触していない状態で、前記圧力検知ダイ１５０を収容する内部空間を有する」は、本願補正発明の「前記ハウジング（８０２）は、前記差圧検知ダイ（３００）の側面が前記ハウジング（８０２）に非接触の状態で、その中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための前記内部容積が画定され」に相当する。
（２）一致点及び相違点
　上記（１）の検討を総合すると、本願補正発明と引用発明の両者は、以下の一致点で一致し、以下の相違点で相違する。
＜一致点＞
　差圧検知ダイを受容するためのパッケージであって、
　前記差圧検知ダイが、一体型隔壁の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合される前記一体型隔壁を有する半導体ダイと、前記一体型隔壁に形成されるピエゾ抵抗素子と、を備え、
　前記一体型隔壁の一面と前記半導体ダイの一面が面一であり、
　前記パッケージが、
　前記差圧検知ダイを受容するように構成される第１のハウジング部材と、
　少なくとも１つの第２のハウジング部材であって、前記第１のハウジング部材および前記少なくとも１つの第２のハウジング部材が互いと合体してハウジングを画定するように構成され、前記ハウジングはその中に前記差圧検知ダイを収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材と、
　前記第１のハウジング部材の壁を通して画定される第１のポートであって、前記差圧検知ダイが前記第１のハウジング部材内に収容されているときに、前記差圧検知ダイの第１の側に画定される第１の開口と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第１のポートと、
　前記第２のハウジング部材の壁を通して画定される第２のポートであって、前記第１のハウジング部材が前記第２のハウジング部材と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイの第２の側に画定される第２の開口と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第２のポートと、を備えるとともに、
　前記ハウジングは、前記差圧検知ダイの側面が前記ハウジングに非接触の状態で、その中に前記差圧検知ダイを収容するための前記内部容積が画定される、
パッケージ。
＜相違点１＞
　本願補正発明では「前記差圧検知ダイ（３００）の前記第１の開口（３０９）と、前記第１のポート（８０９）と、前記差圧検知ダイ（３００）の前記第２の開口（３０７）と、前記第２のポート（８０７）とが一直線上に配置され」ているのに対して、引用発明では、コンストレイント１３５が有する孔２１０と、Ｌ字状の下部の圧力ポート３１０と、トップキャップ１３０が有する孔１６５と、Ｌ字状の上部の圧力ポート３０５は、全体としてみた場合、コ字状に配置されている点。
＜相違点２＞
　本願補正発明では「前記第１のハウジング部材（８０３）と前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）との間に、ガスケットまたは接着剤シール（８０５）が配設され」ているのに対して、引用発明では、下部パッケージキャップ３３０と上部パッケージキャップ２３０との間に、ガスケットまたは接着剤シールが配設されているかどうか不明な点。
＜相違点３＞
　本願補正発明では「前記第１のポート（８０９）が、車両のオイルフィルタの入口に接続されるように構成され、かつ、前記第２のポート（８０７）が、前記オイルフィルタの出口に接続されるように構成され」ているのに対して、引用発明では、下部の圧力ポート３１０及び上部の圧力ポート３０５の接続先については特定されていない点。
＜相違点４＞
　本願補正発明では「前記第１のハウジング部材（８０３）および前記第２のハウジング部材（８０１）が、プラスチックから構成され」ているのに対して、引用発明では、下部パッケージキャップ３３０及び上部パッケージキャップ２３０の材質については特定されていない点。
５　当審の判断
（１）相違点１について
　上記相違点１について、検討する。
　圧力ポートをＬ字状とするか直線状とするかは、差圧センサと当該差圧センサの検出対象の位置関係に応じて、当業者が適宜に選択し得るものであるから（例えば、引用刊行物２の図１には圧力ポートが直線状のものが示されている。）、引用発明の下部の圧力ポート３１０及び上部の圧力ポート３０５において、Ｌ字状でなく直線状にすること、すなわち「差圧検知ダイの第１の開口と、第１のポートと、前記差圧検知ダイの第２の開口と、前記第２のポートとが一直線上に配置される」構成とすることに格別の困難性があるものではない。
　したがって、上記相違点１に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
（２）相違点２について
　上記相違点２について、検討する。
　２つの部材間の接続箇所に気密性及び液密性を持たせるために、シールやガスケットを用いることは、例えば、引用刊行物１の[0026]〜[0028]に記載されているように周知技術である。
　そして、引用発明においては、圧力検知ダイ１５０のワイヤボンド・パッド３６０、ボンディングワイヤ３７０及びパッケージ端子３５０を、オイルなどの検知媒体から封止するという課題を有しているところ、当該封止をさらに強固にするために、下部パッケージキャップ３３０と上部パッケージキャップ２３０の間にも、当該周知技術を適用してシールやガスケットを配設するようにすることは当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、上記相違点２に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
（３）相違点３について
　上記相違点３について、検討する。
　オイルフィルタの前後の圧力降下を測定し、当該オイルフィルタの目詰まりのレベルを決定することは、差圧センサの用途の一つとして、例えば引用刊行物１の[0003]、引用刊行物６の第７頁第１〜１５行に記載されているように、本願優先日前に公知である。よって、同様に差圧センサである引用発明において、下部の圧力ポート３１０及び上部の圧力ポート３０５に当該オイルフィルタの入口と出口を接続し、当該オイルフィルタの目詰まりのレベルを決定するようにすることは、当業者が容易に想到し得たものである。
　したがって、上記相違点３に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明及び引用刊行物６に記載された技術に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
（４）相違点４について
　上記相違点４について、検討する。
　圧力センサを収容するケースやパッケージの材質をプラスチックとすることは、例えば、引用刊行物３の【００２５】、【００２６】、【００３２】、【図１】、引用刊行物４の【０００２】、【０００３】、【図１】、引用刊行物５の【０００８】〜【００１５】、【００１８】、【００１９】、【図１】、【図３】に記載されているように周知技術である。よって、引用発明において当該周知技術を適用して、下部パッケージキャップ３３０及び上部パッケージキャップ２３０の材質をプラスチックにすることは格別なことでない。
　したがって、上記相違点４に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明及び周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
（５）小括
　以上のとおり、上記相違点１〜４に係る本願補正発明の発明特定事項は、引用発明、引用刊行物６に記載された技術及び周知技術に基づいて当業者が容易に想到し得るものである。
　そして、本願補正発明によって奏される効果は、引用発明、引用刊行物６に記載された技術及び周知技術から当業者が予測し得る程度のものにすぎない。
　よって、本願補正発明は、引用発明、引用刊行物６に記載された技術及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができない。
６　まとめ
　以上のとおり、本件補正は、特許法１７条の２第６項で準用する同法１２６条７項の規定に違反するものであり、同法１５９条１項で読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下されるべきものである。 
　よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。
第３　本願発明
　本件補正は上記のとおり却下されたので、本願の請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、令和元年５月１５日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲、明細書及び図面の記載からみて、その請求項１に記載された事項により特定される、次のとおりのものと認める。
「【請求項１】
　差圧検知ダイ（３００）を受容するためのパッケージ（８００）であって、
　前記差圧検知ダイ（３００）が、一体型隔壁（３１３）の対向する両面に加えられる差圧を測定するように適合される前記一体型隔壁（３１３）を有する半導体ダイ（３１０）を備え、
　前記パッケージ（８００）が、
　前記差圧検知ダイ（３００）を受容するように構成される第１のハウジング部材（８０３）と、
　少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）および前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）が互いと合体してハウジング（８０２）を画定するように構成され、前記ハウジング（８０２）はその中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための内部容積が画定される、第２のハウジング部材（８０１）と、
　前記第１のハウジング部材（８０３）の壁を通して画定される第１のポート（８０９）であって、前記差圧検知ダイ（３００）が前記第１のハウジング部材（８０３）内に収容されているときに、前記差圧検知ダイ（３００）の第１の側に画定される第１の開口（３０９）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第１のポート（８０９）と、
　前記第２のハウジング部材（８０１）の壁を通して画定される第２のポート（８０７）であって、前記第１のハウジング部材（８０３）が前記第２のハウジング部材（８０１）と合体するときに、前記第１の側と反対側の前記差圧検知ダイ（３００）の第２の側に画定される第２の開口（３０７）と流体連通して封止を行うように位置付けられる、第２のポート（８０７）と、を備えるとともに、
　前記差圧検知ダイ（３００）の前記第１の開口（３０９）と、前記第１のポート（８０９）と、前記差圧検知ダイ（３００）の前記第２の開口（３０７）と、前記第２のポート（８０７）とが一直線上に配置されるとともに、
　前記第１のハウジング部材（８０３）と前記少なくとも１つの第２のハウジング部材（８０１）との間に、ガスケットまたは接着剤シール（８０５）が配設され、
　前記第１のポート（８０９）が、車両のオイルフィルタの入口に接続されるように構成され、かつ、前記第２のポート（８０７）が、前記オイルフィルタの出口に接続されるように構成される、
　パッケージ。」
第４　原査定における拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１に係る発明は、本願の優先日前に日本国内又は外国において、頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１−４に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
引用文献１.米国特許出願公開第２０１０／０１２２５８３号明細書（上記引用刊行物１と同じ）
引用文献２.特開平０６−０８８７６２号公報（上記引用刊行物２と同じ）
引用文献３.特開２００８−３０４２４５号公報（上記引用刊行物３と同じ）
引用文献４.実願昭５７−６４４８８号（実開昭５８−１６６８２０号）の願書に添付した明細書及び図面の内容を撮影したマイクロフィルム（上記引用刊行物６と同じ）
第５　引用文献に記載された発明
　引用文献１に記載された発明、引用文献２〜４に記載された技術は、前記第２の「３　引用刊行物に記載された発明」において、引用発明、引用刊行物２〜３、６に記載された事項として示したとおりである。
第６　対比・判断
　本願発明は、本願補正発明から、前記第２の「４　対比」で検討した上記相違点４に係る構成である「前記第１のハウジング部材（８０３）および前記第２のハウジング部材（８０１）が、プラスチックから構成される」という限定事項、「差圧検知ダイ（３００）」が「前記一体型隔壁（３１３）に形成されるピエゾ抵抗素子（３６５）」を備えるとの限定事項、「前記一体型隔壁（３１３）の一面と前記半導体ダイ（３１０）の一面（３１０ｕ）が面一」であるとの限定事項及び「ハウジング（８０２）」に「前記差圧検知ダイ（３００）の側面が前記ハウジング（８０２）に非接触の状態で、その中に前記差圧検知ダイ（３００）を収容するための前記内部容積が画定され」るとの限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願補正発明と引用発明は、前記第２の「４　対比」で検討したとおり、前記相違点１〜４において相違し、その他の点で一致しているから、本願発明と引用発明は、前記相違点４を除いた前記相違点１〜３において相違し、その他の点で一致していることになることは明らかである。
　そして、前記相違点１〜３については、前記第２の「５　当審の判断」において示した理由のとおり、当業者が、引用発明、引用文献４に記載された技術及び周知技術に基づいて容易に発明をすることができたものである
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明は、引用発明、引用文献４に記載された技術及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない。
　したがって、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本件出願は拒絶すべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。