【手続補正書】
【提出日】平成31年4月24日(2019.4.24)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
アルミナの原料としてはバイヤライト、ギブサイト、ノルストランダイトなどが挙げられるが、これらの原料を加熱すると、その加熱条件によって、非晶質酸化アルミニウム以外に、ベーマイト、擬ベーマイト、αアルミナ、γアルミナ、擬γアルミナ、δアルミナ、ηアルミナ、θアルミナ、κアルミナ、ρアルミナ、χアルミナと種々の構造が生じ得る。その中で、フッ素含有ガス除去剤に関連して構造が記載されているものは非晶質酸化アルミニウム（特許文献５）と、γアルミナ（特許文献２）のみであり、それ以外の結晶構造の分解特性については知られていない。またそれら非晶質酸化アルミニウム、γアルミナは、高まる処理能力の向上の要求などに応えられていない。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０９】
［解析例３］
図２の低回折強度領域（Ｉｎｔｅｎｓｉｔｙ：０〜１００ｃｐｓ）に着目した拡大図を図３に示した。化学式においてＡｌ（ＯＨ）３で表される水酸化アルミニウムには、バイヤライト、ギブサイト、ノルストランダイトがある。それらを大気圧下７００℃で焼成した場合に生成することが可能なのはηアルミナ、χアルミナ、ベーマイトを経てγアルミナである。それら活性アルミナの特徴として、２θ＝６７°の回折角に細密充填した酸素原子間距離の１／２に由来するピークを持つこと、回折ピークは低強度でブロードなことが知られている。図３の２θ＝６７°の回折角を見ると、比較例１の酸化カルシウムそのものであるサンプルに比べてその他のサンプルはピークの裾が広いことがわかる。これは、アルミニウム原料を含まない比較例１は酸化カルシウムに起因する２θ＝６７．４°の高強度でシャープなピークだけが現れているのに対し、その他のサンプルには、酸化カルシウムに起因する２θ＝６７．４°のピークと活性アルミナに起因する低強度でブロードなピークが重なっていることを示している。活性アルミナは結晶であるための電子線回折像にスポットが現れることが知られている。これらの結果と知見から、実施例２、実施例６、比較例２のサンプル中に含まれるアルミニウム化合物は、どれも結晶性アルミナであると結論付けられる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
アルミナを含むフッ素含有ガス除去剤であって、質量電荷比が１５のアンモニアＴＰＤ−ＭＳ法によるアンモニア脱離曲線が、２００℃未満の範囲にピークを有し、かつ２００℃以上の範囲にショルダーを有する、フッ素含有ガス除去剤。
【請求項２】
上記ショルダーが２３０〜３５０℃の範囲に存在する、請求項１に記載の除去剤。
【請求項３】
質量電荷比が１５のアンモニアＴＰＤ−ＭＳスペクトル測定において、１００〜４５０℃の範囲の温度で脱離するアンモニア量が、除去剤重量当たり１０．０〜１００．０ｍｍｏｌ／ｋｇである、請求項１または２に記載の除去剤。
【請求項４】
質量電荷比が１５のアンモニアＴＰＤ−ＭＳスペクトル測定において、１００〜４５０℃の範囲の温度で脱離するアンモニア量を１００としたときに、２３０〜４５０℃の範囲の温度で脱離するアンモニア量が３５．０〜５５．０である、請求項１〜３のいずれか１つに記載の除去剤。
【請求項５】
アルミナが結晶性アルミナを含む、請求項１〜４のいずれか１つに記載の除去剤。
【請求項６】
結晶性アルミナが、そのＸ線回折パターンにおいて、２θ＝４５〜４７°に単ピークを有する、請求項５に記載の除去剤。
【請求項７】
結晶性アルミナがηアルミナを含有する、請求項５または６に記載の除去剤。
【請求項８】
結晶性アルミナが、そのＸ線回折パターンにおいて、２θ＝４２．６±０．５°にピークを有する、請求項５に記載の除去剤。
【請求項９】
結晶性アルミナがχアルミナを含有する、請求項５または８に記載の除去剤。
【請求項１０】
フッ素含有ガスが、フッ化炭化水素及びパーフルオロ化合物からなる群から選択される、請求項１〜９のいずれか１つに記載の除去剤。
【請求項１１】
フッ化炭化水素が、ＣＨＦ３、ＣＨ２Ｆ２、ＣＨ３Ｆ、Ｃ２ＨＦ５、Ｃ２Ｈ２Ｆ４、Ｃ２Ｈ３Ｆ３、Ｃ２Ｈ４Ｆ２およびＣ２Ｈ５Ｆからなる群から選択される、請求項１０に記載の除去剤。
【請求項１２】
パーフルオロ化合物が、ＣＦ４、Ｃ２Ｆ６、Ｃ３Ｆ８、Ｃ４Ｆ１０、Ｃ４Ｆ８、Ｃ４Ｆ６、Ｃ５Ｆ１２、Ｃ５Ｆ１０、Ｃ５Ｆ８、ＳＦ６およびＮＦ３からなる群から選択される、請求項１０または１１に記載の除去剤。
【請求項１３】
以下のステップ：
−ηアルミナおよび／またはχアルミナを、金属化合物および任意選択的に分散媒と、混合および／または混練すること；
−得られた混合物を成形すること；および
−任意選択的に、成形した混合物を乾燥および／または焼成すること、
を含む、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の除去剤の製造方法。
【請求項１４】
以下のステップ：
−バイヤライトおよび／またはギブサイトおよび／またはノルストランダイトを、金属化合物および任意選択的に分散媒と、混合および／または混練すること；
−得られた混合物を成形し、任意選択的に乾燥すること；および
−成形した混合物を焼成すること、
を含む、請求項１〜１２のいずれか１つに記載の除去剤の製造方法。
【請求項１５】
乾燥を１００〜１５０℃で行う、請求項１３または１４に記載の製造方法。
【請求項１６】
焼成を５５０〜８００℃で行う、請求項１３〜１５のいずれか１つに記載の製造方法。
【請求項１７】
以下のステップ：
−請求項１〜１２のいずれか１つに記載の除去剤を３５０〜８００℃の温度に加熱すること；および
−上記温度を保持しながら、フッ素含有ガスを上記除去剤中に、１００〜１０００ｈ−１の空間速度で流入させること、
を含む、フッ素含有ガスを分解し、分解により生成したフッ素を除去剤中に固定化する方法。
【請求項１８】
上記温度が３５０〜６００℃である、請求項１７に記載の方法。
【請求項１９】
フッ素含有ガスと請求項１〜１２のいずれか１つに記載の除去剤とを、外部から水も酸素も供給することなく接触させることを含む、フッ素含有ガスを分解し、除去する方法。
【請求項２０】
以下のステップ：
−フッ素含有ガスと請求項１〜９のいずれか１つに記載の除去剤とを接触させることにより、フッ素含有ガスを分解し、分解により生成したフッ素を除去剤中にアルカリ土類金属フッ化物の形態で固定化すること；
−任意選択的に、フッ素が固定化された除去剤を粉砕し、アルカリ土類金属フッ化物とアルミナを分離すること；および
−フッ素が固定化された除去剤あるいは、それを粉砕・分離して得たアルカリ土類金属フッ化物を、アルカリ土類金属フッ化物を溶解できる溶液で処理し、フッ素を除去剤から分離すること、
を含む、フッ素含有ガスからフッ素を回収する方法。
【請求項２１】
さらに金属化合物を含む、請求項１に記載の除去剤。
【請求項２２】
上記金属化合物はアルカリ土類金属化合物を含む、請求項２１に記載の除去剤。
【請求項２３】
アルカリ土類金属化合物が、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、水酸化カルシウムおよび水酸化マグネシウムからなる群から選択される少なくとも一種の化合物である、請求項２２に記載の除去剤。
【請求項２４】
アルミニウム原子：アルカリ土類金属原子のモル比が１：９〜５：５である、請求項２２に記載の除去剤。
【請求項２５】
アルミニウム原子は酸化アルミニウム（Ａｌ２Ｏ３）として換算し、アルカリ土類金属原子はその酸化物に換算したときに、除去剤全重量を基準として酸化アルミニウムとアルカリ土類金属酸化物の重量の合計が、７０重量％以上である、請求項２２記載の除去剤。
【請求項２６】
アルミニウムとアルカリ土類金属以外の金属元素を含まない、請求項２２に記載の除去剤。
【請求項２７】
金属化合物がアルカリ土類金属化合物を含む、請求項１３〜２０のいずれか１つに記載の製造方法。