【手続補正書】
【提出日】平成30年12月5日(2018.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ペリクルのペリクルフレームとフォトマスクとの間の接着剤を、当該接着剤が当該フォトマスクから分離する温度にまで冷却するステップを含み、
前記接着剤を冷却する前記ステップは、
前記フォトマスクの一部分を断熱するステップと、
前記ペリクルの前記ペリクルフレームを冷却するステップと、
前記フォトマスクから前記ペリクルを除去するステップと、
を含む、方法。
【請求項２】
前記ペリクルの前記ペリクルフレームを冷却する前記ステップは、冷却剤を入れたマニホルドを前記ペリクルフレームに当てて配置するステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項３】
前記マニホルドは、３〜５分間にわたり前記ペリクルフレームに当てて配置される、請求項２記載の方法。
【請求項４】
前記フォトマスクの一部分を断熱する前記ステップは、前記マニホルドを前記フォトマスクから離隔させて前記マニホルドと前記フォトマスクとの間に空隙を提供するステップを含む、請求項２記載の方法。
【請求項５】
前記接着剤が前記フォトマスクから剥離することを許容するステップを更に含む、請求項４記載の方法。
【請求項６】
前記接着剤を前記フォトマスクから機械的に分離するステップを更に含む、請求項４記載の方法。
【請求項７】
前記ペリクルの前記ペリクルフレームを冷却する前記ステップは、冷却剤を前記ペリクルの前記ペリクルフレーム上にスプレーするステップを含む、請求項１記載の方法。
【請求項８】
前記フォトマスクの一部分を断熱する前記ステップは、前記冷却剤スプレーと前記フォトマスクとの間にバリヤを挿入するステップを含む、請求項７記載の方法。
【請求項９】
前記接着剤が前記フォトマスクから剥離することを許容するステップを更に含む、請求項８記載の方法。
【請求項１０】
前記接着剤を前記フォトマスクから機械的に分離するステップを更に含む、請求項８記載の方法。
【請求項１１】
冷却剤流体を入れた第１のマニホルドを有し、前記第１のマニホルドは、接着剤によってフォトマスクに取り付けられたペリクルのペリクルフレームの第１の部分と接触関係をなして配置され、前記第１のマニホルドと前記ペリクルフレームの前記第１の部分との接触が前記接着剤を当該接着剤が前記フォトマスクから分離する温度にまで冷却し、
調節可能な支持体を有し、前記調節可能な支持体は、前記第１のマニホルドを前記ペリクルフレーム及び前記フォトマスクに対して固定し、前記ペリクルフレームの前記フォトマスクに対する移動が当該フォトマスクから前記ペリクルを除去する、装置。
【請求項１２】
前記第１のマニホルドは、チタンであり、前記第１のマニホルドは、厚さが０．００５〜０．１３インチ（０．１２７〜３．３０２ｍｍ）の範囲にある薄壁区分を有する、請求項１１記載の装置。
【請求項１３】
前記第１のマニホルドは、チタンであり、前記第１のマニホルドは、厚さが０．０６インチ（１．５２４ｍｍ）の薄壁区分を有する、請求項１１記載の装置。
【請求項１４】
前記フォトマスクを前記装置内に固定する構造体を更に有する、請求項１１記載の装置。
【請求項１５】
前記第１のマニホルド及び前記調節可能な支持体が収容されている露点制御式エンクロージャを更に有する、請求項１４記載の装置。
【請求項１６】
第２のマニホルドを更に有し、前記第２のマニホルドは、前記ペリクルの前記ペリクルフレームの第２の部分と接触関係をなして配置される、請求項１５記載の装置。
【請求項１７】
第１の冷却剤スプレーノズルを有し、前記第１の冷却剤スプレーノズルは、接着剤によってフォトマスクに取り付けられたペリクルのペリクルフレームの第１の部分上に冷却剤をスプレーするよう差し向けられており、前記第１の冷却剤スプレーノズルから前記ペリクルフレームへの前記冷却剤のスプレーが前記接着剤を当該接着剤が前記フォトマスクから分離する温度にまで冷却し、
調節可能な支持体を有し、前記調節可能な支持体は、前記ペリクルを前記第１の冷却剤スプレーノズルに対して固定し、前記ペリクルフレームの前記フォトマスクに対する移動が当該フォトマスクから前記ペリクルを除去し、
バリヤを有し、前記バリヤは、前記フォトマスクの一部分を前記冷却剤から遮蔽するよう差し向けられている、装置。
【請求項１８】
前記調節可能な支持体は、真空チャックを含む、請求項１７記載の装置。
【請求項１９】
前記第１の冷却剤スプレーノズル、前記調節可能な支持体、前記バリヤ及び前記真空チャックが収容されている露点制御式エンクロージャを更に有する、請求項１８記載の装置。
【請求項２０】
第２の冷却剤スプレーノズルを更に有し、前記第２の冷却剤スプレーノズルは、冷却剤を前記ペリクルの前記ペリクルフレームの第２の部分上にスプレーするよう差し向けられている、請求項１９記載の装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに別の観点では、本開示は、ペリクルをフォトマスクから分離する装置を説明している。この装置は、第１の冷却剤スプレーノズルを有し、第１の冷却剤スプレーノズルは、冷却剤をペリクルのフレームの第１の部分上にスプレーするよう差し向けられている。この装置は、調節可能な支持体を更に有し、これら調節可能な支持体は、ペリクルを冷却剤スプレーノズルに対して固定する。この装置は、バリヤを更に有し、このバリヤは、フォトマスクの一部分をスプレー冷却剤から遮蔽するよう差し向けられている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
【図１】本発明の一観点に従ってペリクルをフォトマスクから除去する例示の装置の上から見た斜視図である。
【図２】図１の装置の横から見た斜視図である。
【図３】フォトマスク及びペリクルに係合した図１の冷却マニホルドの部分断面側面図である。
【図４】本発明の一観点による冷却剤分布システムの略図である。
【図５】本発明のペリクル除去方法及び装置の別の観点の略図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
別個の支柱１３６がベース１０２に取り付けられており、この支柱１３６は、ベース１０２の平面に垂直な軸線回りに回転することができるようになっている。Ｖ字形溝付きジグ１３８が回転可能な支柱１３６に取り付けられており、このＶ字形溝付きジグを、回転運動を側方運動に変換する仕方でＶ字形溝付きジグ１３８に取り付けられているねじ山付きロッド（図示せず）に連結されているノブ１４２の回転によってハウジング１４０内で上下に動かすことができるようになっている。ハウジング１４０は又、ハウジング１４０に設けられているねじ穴内にねじ込まれているねじ山付きロッド（図示せず）に取り付けられたノブ１４４の回転によって支柱１３６に対して内外に動かすことができる。ハウジング１４０の位置をねじ山付きロックノブ１４６によって支柱に対して固定することができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
図３に示されているように、フォトマスク１５６には、典型的には高さが３ミリメートルから６．３５ミリメートルまでの範囲にわたるフレーム１５８を備えたペリクルが施されることになる。他の代表的なペリクルフレーム高さは、３．１５ミリメートル、４ミリメートル、５ミリメートル及び６ミリメートルである。ペリクルフレーム１５８は、接着剤１６０によってフォトマスク１５６に固定されている。マニホルド１０６，１１８の構成及び動作中におけるマニホルド１０６，１１８の向きは、マニホルドが任意高さのペリクルフレームを収容することができるようなものである。図３に示されているように、マニホルド１０６，１１８は、マニホルド１０６，１１８の包囲された状態の冷却剤流体通路１６４の一部をなすと共にフレーム及び接着剤１６０の熱伝達による冷却を可能にするようペリクルフレーム１５８に押し付けられる薄壁区分１６２を有している。好ましい実施形態では、マニホルド１０６，１１８は、チタンから３Ｄ印刷され、マニホルド１０６，１１８の薄壁区分１６２は、少なくとも一方のマニホルド１０６への切欠き１６８の形成を可能にするよう０．００５インチ（０．１２７ｍｍ）から０．１３インチ（３．３０２ｍｍ）までの範囲にある厚さ、好ましくは０．０６インチ（１．５２４ｍｍ）の厚さを有する。チタンが好ましい実施形態で用いられるが、その理由は、チタンが高い熱伝達率及び低い熱膨張率を有しているからである。また、チタンの強度により、薄壁区分１６２の厚さの減少が可能になり、それにより動作中におけるマニホルドの損傷を阻止するのに十分な強度を維持した状態でペリクルフレームから冷却剤への熱の伝達を増大させることができる。変形実施形態では、マニホルドは、熱膨張率が低い材料、例えば鉄ニッケル合金又はステンレス鋼で構成される。本発明の目的を達成すると共に全体的コストを減少させる他の実施形態としては、マニホルド１０６，１１８の製造に用いられる材料、例えば、薄壁区分１６２に用いられるチタンとマニホルドの残部のためのステンレス鋼の組み合わせが挙げられる。変形実施形態では、冷却を促進するために冷却剤が直接ペリクルフレームに接触することができるようにするための水抜き穴又はウィープホールがマニホルド１０６，１１８に設けられている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
動作原理を説明すると、形状が全体として長方形であるフォトマスク１５６の２つの側部を支持プレート１２４，１２６によって固定すると共に反対側のコーナー部をＶ字形溝付きジグ１３８によって固定する。容易に理解されるように、種々のサイズのフォトマスクをベース１０２に対する支持プレート１２４，１２６及びＶ字形溝付きジグ１３８の調節によって装置内に保持することができる。本発明のこの実施形態の具体化において、フォトマスク１５６をペリクルが下に向いた状態で装置１００内に保持し、係合部品１３５及びＶ字形溝付きジグ１３８を上方又は下方に調節してマニホルド１０６，１１８がフォトマスクに触れることがないようにすると共に更にＬ字形マニホルド１０６，１１８とペリクルフレーム１５８の係合状態を調節する。好ましい実施形態では、フォトマスク１５６からのペリクルフレーム１５８の迅速な離脱時間は、マニホルド１０６，１１８とペリクルフレーム１５８の接触を最大にすることによって達成される。ペリクルフレーム１５８は、フィルタ（図示せず）を備えた通気穴を備え、これら通気穴は、ペリクルとフォトマスクとの間のキャビティ内の均圧を可能にするよう縁に沿って設けられている。切欠き１６８は、均圧が起こることができるようにするために動作中にペリクルのフィルタと位置合わせされる少なくとも一方のマニホルド１０６に設けられている。ペリクルフレームの通気穴と位置合わせされる切欠き１６８を提供することが必要ではない用途では、マニホルド１０６の薄いプロフィールの壁１６２が一般的には、冷却容量を増大させる上で好ましい。一実施形態では、ペリクルフレームが装置の作用によってフォトマスクから離されると、そり状部１０８を引っ込めてペリクルに対するグリップを解除し、ペリクルが落下するようになる。変形実施形態では、係合部品１３５及びＶ字形溝付きジグ１３８を持ち上げることによってフォトマスクをペリクルフレームから遠ざけても良い。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
変形実施形態が図４に示されており、この図４には、フォトマスク１７４に取り付けられたペリクルフレーム１７２を有するペリクル１７０が示されている。この実施形態では、ペリクルフレーム１７２の４つの側部の各々を別々のマニホルド１７６，１７８，１８０，１８２に係合させる。別々のマニホルドの使用により、ペリクル除去装置は、広範なペリクルサイズに対応することができる。供給ライン１８４，１８６を通って適当なリザーバ、例えば極低温貯蔵ジュワー１６６から冷却剤を第１のマニホルド１７６に供給する。この実施形態では、マニホルドを互いに連結している供給ライン１８８，１９０，１９２経由で連続体をなして位置するマニホルド１７８，１８０，１８２の各々に冷却剤を順次供給する。認識されるように、変形実施形態では、冷却剤をマニホルドに平行に設けても良い。冷却剤は、かかる連続体中の最後のマニホルド１８２から収集リザーバ１９６、例えば開口ジュワーに流れる。図４に示されているように、弁がマニホルドに対する冷却剤の供給を制御するために設けられている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】
動作原理を説明すると、ペリクルが取り付けられたフォトマスクをペリクル除去装置内に固定する。好ましい実施形態では、接着剤が残滓を殆ど又は全く残さない状態でフォトマスクから剥離することができるのに十分な時間の間、冷却剤の流れをマニホルドに供給する。変形実施形態では、機械的力によってペリクルフレーム及び接着剤をフォトマスクから離脱させることができて残滓を殆ど又は全く残さない脆化温度まで接着剤を冷却する。ペリクルフレームと接着剤の分離は、単独で又は組み合わせ状態で働く以下の要因、即ち、（１）接着剤の接着力が冷却剤によって大幅に低下する要因、（２）ペリクルフレーム、接着剤及びフォトマスクの互いに異なる熱膨張率及び熱収縮率が接着剤とフォトマスクとの間に歪を加える要因、及び、（３）例えばペリクルフレームに対するマニホルドの運動による装置に対するペリクルフレーム又はフォトマスクの運動が接着剤とフォトマスクとの間に歪力をもたらすという要因、のうちの１つ又は２つ以上の結果として達成される。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
例えば、ペリクルフレームとフォトマスクがほぼ同じ熱膨張率及び熱収縮率を有する場合のように、ペリクルに加えられる歪が殆どなく又は全くない状態で接着剤がフォトマスクから分離するレベルまで接着剤の温度を減少させることによって本発明の方法を採用することができる。また、例えば接着剤がフォトマスクから分離することがない脆化点まで接着剤の温度を減少させ、ペリクルフレーム、接着剤及びフォトマスクの互いに異なる熱膨張率及び熱収縮率によって歪を発生させることによって、本発明の方法を採用することができる。本発明の方法及び装置を採用して上述の要因の各々を単独で又は組み合わせ状態で利用することができるので、冷却剤、冷却剤の適用方法及びペリクル除去に必要な時間の選択において融通性が提供される。