(57)【要約】ガラス等の透明基板１の片面に第１の多層膜フィルタ２が、他の面に第２の多層膜フィルタ３が形成されている。多層膜フィルタ２をローパスフィルタとし、多層膜フィルタ３をハイパスフィルタとする。そして、入射角の変化による分光透過特性のシフトが、多層膜フィルタ２におけるよりも、多層膜フィルタ３において大きくなるように多層膜を設計する。これにより、多層膜フィルタ２における分光透過特性のシフトによって遮光すべき波長で透過が発生するようになっても、多層膜フィルタ３における分光透過特性のシフトによって、その波長において透過が遮断されるようになる。よって、大きな入射角で入射する迷光がダイクロイックフィルタを透過する割合が大幅に低下する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはローパスフィルタ部とハイパスフィルタ部を有し、前記ローパスフィルタ部は、前記フィルタへの前記設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記ハイパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記ローパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記ハイパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計値を超えた入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタ。
【請求項２】
基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはローパスフィルタ部とバンドパスフィルタ部を有し、前記ローパスフィルタ部は、前記フィルタへの前記設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記バンドパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し低周波側のカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記ローパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記バンドパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対する低周波側カットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計値を超えた入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタ。
【請求項３】
基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはバンドパスフィルタ部とハイパスフィルタ部を有し、前記バンドパスフィルタ部は、前記フィルタへ前記設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し、高周波側のカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記ハイパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記バンドパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記ハイパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計使用角度よりも大きい入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタ。
【請求項４】
基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタは、入射角度に対する分光透過率特性の変化が異なるバンドパスフィルタからなり、一方のフィルタは、前記フィルタへの設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し高周波側のカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にある第１のバンドパスフィルタであり、他方のフィルタは、前記フィルタへの設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し低周波側のカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にある第２のバンドパスフィルタであって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記第１のバンドパスフィルタの透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記第２のバンドパスフィルタの当該斜め入射光に対する低周波側カットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計使用角度よりも大きい入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタ。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ダイクロイックフィルタに関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ダイクロイックフィルタは、光通信等の分野において、第１の波長の光を透過し、第２の波長の光を透過させずに反射する目的のために使用されている。例えば、1560nmの波長の光を透過し、1310nmの波長の光を透過せずに反射するように設計されたダイクロイックフィルタにおいては、光ファイバから出射する1560nmの波長の光を、ダイクロイックフィルタ垂直入射させて透過させると共に、別の光源から放出される1310nmの光を、同じダイクロイックフィルタで反射させて前記の光ファイバ中に入射させるようなことが行われている。【０００３】
上述のような光学系において、1560nmの光は、ダイクロイックフィルタに対して垂直入射し、高い透過率で透過するので、迷光となる量は少なく、実質的に考慮する必要はない。しかしながら、1310nmの光は、所定の角度を持ってダイクロイックフィルタに入射し反射されるので、反射された後、光学系中で迷光となり、大きな入射角で再びダイクロイックフィルタに入射してくることがある。【０００４】
一般に、多層膜（本明細書及び特許請求の範囲においては、高屈折物質と低屈折物質を交互に重ね合わせて所定の光学特性を持たせたものを意味する）で形成されたフィルタにおいては、分光透過特性が、入射角が大きくなるに従って短波長側（高周波側）にシフトすることが知られている。【０００５】
例えば、ガラスの上に形成された表１に示すような膜構成を有する多層膜からなるハイパスフィルタの分光透過特性を図８に示す。1310nmの光に対する透過率は、入射角が４０°までは、ほぼ０に保たれているが、入射角が６０°以上となると４０％近くなっていることが分かる。なお、表１において、ｎは屈折率、nmは膜厚、ｎｄは光学的膜厚（nm）を示しており、これは以下の表においても同じである。又、図８、図９において、横軸は波長(nm)である。
【表１】
2007097198.tif 000003
【０００６】
一般に、このようなフィルタにおいては、高屈折物質と低屈折物質の光学的膜厚の比が、ほぼ１となるように設計される。これに対し、発明者は、高屈折物質と低屈折物質の光学的膜厚の比を２以上とすると、前述の波長シフトがある程度抑えられ、その結果、斜め入射の場合でも特性の変化が小さくなることを発見し、この知見に基ついた発明を行った。この発明は、特開平１１−１０１９１３号公報（特許文献１）に出願公開されている。
【特許文献１】特開平１１−１０１９１３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に記載される技術を応用しても、大きな入射角で入射する迷光を透過させないようにすることは困難である。例えば、ガラスの上に形成された表２に示すような膜構成を有する多層膜からなるハイパスフィルタの分光透過特性を図９に示す。図８に比較すると特性は改善されているが、1310nmの光に対する透過率は、入射角６０度において２％程度認められ、入射角８０°においては３０％程度に達している。
【表２】
2007097198.tif 000004
【０００８】
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、迷光の入射角が大きくなっても、迷光を透過しにくいダイクロイックフィルタを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を達成するための第１の手段は、基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはローパスフィルタ部とハイパスフィルタ部を有し、前記ローパスフィルタ部は、前記フィルタへの前記設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記ハイパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記ローパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記ハイパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計値を超えた入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタである。【００１０】
前記課題を解決するための第２の手段は、基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはローパスフィルタ部とバンドパスフィルタ部を有し、前記ローパスフィルタ部は、前記フィルタへの前記設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記バンドパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し低周波側のカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記ローパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記バンドパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対する低周波側カットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計値を超えた入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタである。【００１１】
前記課題を解決するための第３の手段は、基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、、前記フィルタに前記設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタはバンドパスフィルタ部とハイパスフィルタ部を有し、前記バンドパスフィルタ部は、前記フィルタへ前記設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し、高周波側のカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にあり、前記ハイパスフィルタ部は、前記フィルタへの設計使用角度での入射光に対するカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にあって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記バンドパスフィルタ部の透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記ハイパスフィルタ部の当該設計使用角度よりも大きい入射光に対するカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計使用角度よりも大きい入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタである。【００１２】
前記課題を解決するための第４の手段は、基板の片側に形成された、又は基板の両側にそれぞれ形成された、２種類の多層膜からなるフィルタを有しており、前記フィルタに設計使用角度で入射する第１の波長の光に対して設計値以下の透過率を有し、前記フィルタに設計使用角度で入射する前記第１の波長より長い第２の波長の光に対して前記第１の波長の光に対するよりも大きい透過率を有するダイクロイックフィルタであって、前記多層膜からなるフィルタは、入射角度に対する分光透過率特性の変化が異なるバンドパスフィルタからなり、一方のフィルタは、前記フィルタへの設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し高周波側のカットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数と前記第２の波長に対応する周波数との間にある第１のバンドパスフィルタであり、他方のフィルタは、前記フィルタへの設計使用角度で入射する入射光に対して、前記第２の波長の光を透過し低周波側のカットオフ周波数が、前記第２の波長に対応する周波数より低い周波数にある第２のバンドパスフィルタであって、光束が前記フィルタに前記設計使用角度よりも大きい入射角で入射することによって起こる前記フィルタの分光透過特性のシフトによって、前記第１の波長において、前記第１のバンドパスフィルタの透過率が、前記設計使用角度よりも大きい入射角での入射光に対して前記設計値を超えたとき、前記第２のバンドパスフィルタの当該斜め入射光に対する低周波側カットオフ周波数が、前記第１の波長に対応する周波数以上となり、その結果、前記設計使用角度よりも大きい入射光に対する前記第１の波長の光の透過率が、前記設計値以下とされることを特徴とするダイクロイックフィルタである。
【発明の効果】
【００１３】
本発明によれば、迷光の入射角が大きくなっても、迷光を透過しにくいダイクロイックフィルタを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】本発明の原理を説明する図である。
【図２】本発明の実施の形態であるダイクロイックフィルタの構成を示す概要図である。
【図３】本発明の第１の実施の形態における第１の多層膜フィルタ２と、第２の多層膜フィルタ３の分光透過特性を示す模式図である。
【図４】本発明の第２の実施の形態における第１の多層膜フィルタ２と、第２の多層膜フィルタ３の分光透過特性を示す模式図である。
【図５】本発明の第３の実施の形態における第１の多層膜フィルタ２と、第２の多層膜フィルタ３の分光透過特性を示す模式図である。
【図６】本発明の第４の実施の形態における第１の多層膜フィルタ２と、第２の多層膜フィルタ３の分光透過特性を示す模式図である。
【図７】本発明の実施例のダイクロイックフィルタの分光透過特性を示す図である。
【図８】従来のハイパスフィルタの分光透過特性を示す図である。
【図９】改善された従来のハイパスフィルタの分光透過特性を示す図である。
【符号の説明】
【００１５】
１…透明基板、２…第１の多層膜フィルタ、３…第２の多層膜フィルタ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１６】
以下、本発明の実施の形態の例を説明するが、それに先立ち、本発明の原理を図１を用いて説明する。図１は、高屈折物質と低屈折物質とを交互に積層して形成された多層膜フィルタの分光透過特性を模式的に示す図である。この多層膜フィルタの使用時の中心入射角は０°としている。実線は入射角が０°のときの分光透過特性を示し、破線は斜め入射光に対する分光透過特性を示す。【００１７】
図に示されるように、入射角が０°でなくなると、分光透過特性を示す曲線は低波長側にシフトする。このシフト量は、入射角が大きくなるに従って大きくなる。又、特許文献１に示されるように、高屈折物質の光学的膜厚（実膜厚と屈折率との積）と低屈折物質の光学的膜厚との比が大きくなればなるほどシフト量は小さくなり、逆に、これらの比が小さくなるほどシフト量は大きくなる。本発明はこの性質を利用している。【００１８】
図２は、本発明の実施の形態であるダイクロイックフィルタの構成を示す概要図である。第１の例（ａ）においては、ガラス等の透明基板１の片面に第１の多層膜フィルタ２が、他の面に第２の多層膜フィルタ３が形成されている。第２の例（ｂ）においては、ガラス等の透明基板の上に第１の多層膜フィルタ２が形成され、その上にさらに第２の多層膜フィルタ３が形成されている。両者は同等の作用効果を有する。なお、第１の多層膜フィルタ２、第２の多層膜フィルタ３の他に、他の多層膜を有するものであってもよい。【００１９】
図３は、本発明の第１の実施の形態における第１の多層膜フィルタ２と、第２の多層膜フィルタ３の分光透過特性を示す模式図である。この例においては、第１の多層膜フィルタ２がローパスフィルタ、第２の多層膜フィルタ３がハイパスフィルタである。Ａは、第１の多層膜フィルタ２の入射角０°のときの分光透過特性、Ｂは、第２の多層膜フィルタ３の入射角０°のときの分光透過特性、Ｃは、第１の多層膜フィルタ２の設計使用入射角よりも大きい入射角のときの分光透過特性、Ｄは、第２の多層膜フィルタ３の設計使用入射角よりも大きい入射角のときの分光透過特性を示す。【００２０】
この例を含め以下の例においては、第１の多層膜フィルタ２の、高屈折物質の光学的膜厚と低屈折物質の光学的膜厚との比を大きくとり（２以上であることが好ましい）、第２の多層膜フィルタ３の、高屈折物質の光学的膜厚と低屈折物質の光学的膜厚との比を小さくとっている（１以下であることが好ましい）。よって、第２の多層膜フィルタ３における分光透過率曲線のシフト量は、第１の多層膜フィルタ２における分光透過率曲線のシフト量より遙かに大きくなっている。【００２１】
又、第１の多層膜フィルタ２のカットオフ周波数は、反射すべき波長であるλ１に対応する周波数と、透過すべき波長であるλ２に対応する周波数との間にあり、第２の多層膜フィルタ３のカットオフ周波数は、λ２に対応する周波数より低周波側にある。【００２２】
設計入射角が０°でないことにより、前述のように分光透過率曲線のシフトが起こり、第１の多層膜フィルタ２において、入射角０°のときの特性Ａが、設計使用入射角より大きい入射角ではＣのようになる。その結果、波長λ１において透過率が大きくなり、これが設計における許容値を超えているとする。ところが、第２の多層膜フィルタ３においても、分光透過率曲線のシフトが起こり、入射角０°のときの特性Ｂが、設計使用入射角より大きい入射角ではＤのようになる。【００２３】
前述のように、第１の多層膜フィルタ２の、高屈折物質の光学的膜厚と低屈折物質の光学的膜厚との比を大きくとり、第２の多層膜フィルタ３の、高屈折物質の光学的膜厚と低屈折物質の光学的膜厚との比を小さくとっている結果、第２の多層膜フィルタ３における分光透過率曲線のシフト量は、第１の多層膜フィルタ２における分光透過率曲線のシフト量より遙かに大きくなっており、その結果、第２の多層膜フィルタ３におけるカットオフ周波数は、λ１に対応する周波数より高周波となっている。【００２４】
ダイクロイックフィルタ全体としての分光透過特性は、各周波数において曲線Ｃと曲線Ｄで示される値を掛け合わせたものとなるので、波長λ１における透過率は非常に小さくなり、設計で許容される範囲に入る。なお、図３から明らかなように、設計使用入射角より大きい入射角におけるダイクロイックフィルタ全体としての透過率は、波長λ２においても０に近い値になるが、波長λ２の光は垂直入射であり、迷光を考慮する必要がないので、設計使用入射角より大きい入射角において透過率が０となっても差し支えない。【００２５】
同様の作用効果は、第２の多層膜フィルタ３としてハイパスフィルタでなくバンドパスフィルタを使用し、このバンドパスフィルタの高周波側のカットオフ周波数が、λ２に対応する周波数より高周波側にあり、低周波側のカットオフ周波数がλ２に対応する周波数より低周波側にあるようにし、バンドパスフィルタは第１の実施の形態と同じでよい。これを第２の実施の形態とする。この場合の分光透過特性を図４に示す、各符号は、図３に示したものと同じものを示す。この場合、設計使用入射角より大きい入射角における波長シフトにより、バンドパスフィルタの低周波側のカットオフ周波数がλ１に対応する周波数より高周波側となり、その結果、設計使用入射角より大きい入射角において波長λ１の光がバンドパスフィルタである第２の多層膜フィルタ３によっても遮断されるようになって、結局、ダイクロイックフィルタとしての波長λ１の光に対応する透過率を設計値以下に抑えることができる。【００２６】
又、同様の効果は、第１の多層膜フィルタ２としてローパスフィルタでなくバンドパスフィルタを用いても得られる。この場合、このバンドパスフィルタの高周波側のカットオフ周波数が、λ１に対応する周波数とλ２に対応する周波数との間にあるようにし、低周波側のカットオフ周波数がλ２に対応する周波数より低周波側にあるようにする。その他は、第１の実施の形態と同じようにする。これを第３の実施の形態とする。【００２７】
この場合の分光透過特性を図５に示す、各符号は、図３に示したものと同じものを示す。この場合、設計使用入射角より大きい入射角における波長シフトにより、バンドパスフィルタの低周波側のカットオフ周波数がλ１に対応する周波数より高周波側となり、その結果、設計使用入射角より大きい入射角において波長λ１の光がローフィルタである第１の多層膜フィルタ３によっても遮断されるようになって、結局、ダイクロイックフィルタとしての波長λ１の光に対応する透過率を設計値以下に抑えることができる。【００２８】
さらに、同様の効果は、第１の多層膜フィルタ２、第２の多層膜フィルタ３として、バンドパスフィルタを使用しても得られる。この場合、第１の多層膜フィルタ２に対応するバンドパスフィルタの高周波側のカットオフ周波数が、λ１に対応する周波数とλ２に対応する周波数との間にあるようにし、低周波側のカットオフ周波数がλ２に対応する周波数より低周波側にあるようにする。そして、第２の多層膜フィルタ３に対応するバンドパスフィルタの高周波側のカットオフ周波数が、λ２に対応する周波数より高周波側にあり、低周波側のカットオフ周波数がλ２に対応する周波数より低周波側にあるようにする。その他は第１の実施の形態と同じとする。これを第４の実施の形態とする。【００２９】
この場合の分光透過特性を図６に示す、各符号は、図３に示したものと同じものを示す。この場合、設計使用入射角より大きい入射角における波長シフトにより、第２の多層膜フィルタ３に対応するバンドパスフィルタの低周波側のカットオフ周波数がλ１に対応する周波数より高周波側となり、その結果、設計使用入射角より大きい入射角において波長λ１の光がバンドパスフィルタである第２の多層膜フィルタ３によっても遮断されるようになって、結局、ダイクロイックフィルタとしての波長λ１の光に対応する透過率を設計値以下に抑えることができる。【００３０】
なお、設計使用入射角は、多層膜フィルタ３の用途にもよるが、０〜１５°近傍で設定することが好ましい。
【実施例】
【００３１】
ガラス基板の上に、SiＯ２（低屈折物質）とNb２Ｏ５（高屈折物質）を交互に積層して形成されるローパスフィルタ、調整層、SiＯ２（低屈折物質）とNb２Ｏ５（高屈折物質）を交互に積層して形成されるハイパスパスフィルタをこの順に積層してダイクロイックフィルタを作成した。【００３２】
ローパスフィルタは、まずガラス基板面にSiＯ２を239.1nm（光学的膜厚346.7nm）成膜し、その上に、Nb２Ｏ５とSiＯ２の対（Nb２Ｏ５の膜厚62.5nm、光学的膜厚138.8nm、SiＯ２の膜厚478.1nm、光学的膜厚693.3nm）を２９層積層し、その上に、厚さ62.5nm、光学的膜厚138.8nmのNb２Ｏ５を１層積層したものである。調整層は、厚さ239.1nm、光学的膜厚346.7nmのSiＯ２と、厚さ126.5nm、光学的膜厚280.8nmのNb２Ｏ５層をこの順に積層したものである。ハイパスフィルタは、SiＯ２とNb２Ｏ５の対（SiＯ２の膜厚95.2nm、光学的膜厚138.0nm、Nb２Ｏ５の膜厚253.0nm、光学的膜厚561.5nm）を２4層積層したものである。ハイパスフィルタは、先の調整層の上に積層した。【００３３】
このダイクロイックフィルタの分光透過特性を図７に示す。図７において、横軸は波長（nm）である。入射角０°において、波長1310nmの光の透過率はほとんど０であり、波長1560nmの光の透過率は１００％に近い。そして、波長1310nmの光の透過率は。入射角が８０°になってもほぼ０に保たれている。
【図１】
2007097198.tif 000005
【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【国際調査報告】
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