【手続補正書】
【提出日】令和1年7月30日(2019.7.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
差圧センサのための圧力センサダイアセンブリであって、
第１の表面を有し、前記第１の表面上に第１の過剰圧停止構造を含むベース基板と、
前記第１の表面に結合されたダイアフラム構造であって、
第１の空洞および前記第１の空洞を囲む第２の空洞を含む空洞区画を有する第１の側、ならびに前記第１の側の反対側にある第２の側と、
第１の厚さを有し、前記第１の空洞によって画定された感圧ダイアフラム部分であって、前記第１の過剰圧停止構造が前記第１の空洞の一部分中に突出するように前記第１の過剰圧停止構造上方にあって前記第１の過剰圧停止構造から離間された、感圧ダイアフラム部分と、
第２の厚さを有し、前記第２の空洞によって画定された過剰圧ダイアフラム部分であって、前記第２の厚さは、前記感圧ダイアフラム部分の第１の厚さよりも大きい、過剰圧ダイアフラム部分と、を備え、
前記感圧ダイアフラム部分は、前記ダイアフラム構造の前記第１の側の反対側にある前記第２の側に感圧面を有する、ダイアフラム構造と、
前記ダイアフラム構造の前記第２の側に結合され、下面を有する最上部キャップであって、前記下面に第２の過剰圧停止構造を含み、過剰圧が作用する前には、前記感圧面と前記第２の過剰圧停止構造との間に間隙がある、最上部キャップと、を備え、
過剰圧が前記ダイアフラム構造の前記第１の側に作用するとき、前記感圧ダイアフラム部分の少なくとも一部の領域は、前記感圧面の少なくとも一部分が前記第２の過剰圧停止構造と接触するように撓まされ、
過剰圧が前記ダイアフラム構造の前記第２の側に作用するとき、前記感圧ダイアフラム部分の少なくとも一部の領域は、前記第１の過剰圧停止構造によって撓まされて支持され、
前記第１および第２の過剰圧停止構造は、前記ダイアフラム構造の前記第１または第２の側で過剰圧が増加した際に前記感圧ダイアフラム部分の歪み領域の概ね全てを支持するようにそれぞれ寸法設定される、圧力センサダイアセンブリ。
【請求項２】
前記ベース基板、前記ダイアフラム構造、および前記最上部キャップが、それぞれ、シリコン、ゲルマニウム、サファイヤ、ガラス、金属、またはセラミックを含む材料を含む、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項３】
前記過剰圧ダイアフラム部分が、前記感圧ダイアフラム部分の剛性よりも大きい剛性を有する、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項４】
前記第１の空洞が第１の深さを有し、そして前記第２の空洞が前記第１の深さよりも小さい第２の深さを有する、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項５】
前記第１の空洞と前記第２の空洞とは、前記過剰圧力ダイアフラム部分が前記感圧ダイアフラム部分の外側周囲よりも大きい外側周囲を有するように同心の円形空洞である、請求項４に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項６】
前記第１の空洞および前記第２の空洞が、矩形空洞である、請求項４に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項７】
前記第１の過剰圧停止構造は、過剰圧が前記ダイアフラム構造に作用する前には、前記第１の過剰圧停止構造と前記感圧ダイアフラム部分との間に間隙が維持されるように、第１の空洞の一部分中に突出する、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項８】
前記感圧面に結合された複数の圧電性ブリッジ抵抗器を更に備え、前記圧電性ブリッジ抵抗器は、前記ダイアフラム構造上の複数の結合パッドに電気的に接続される、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項９】
前記最上部キャップの前記下面が、前記第２の過剰圧停止構造に隣接する複数の陥凹領域と、前記最上部キャップの下側周辺部付近の複数のアンダーカット部分と、を含む、請求項８に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項１０】
前記複数の陥凹領域が、過剰圧が前記ダイアフラム構造の前記第１の側に作用するとき、クリアランスを前記圧電性ブリッジ抵抗器に提供するよう構成される、請求項９に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項１１】
前記最上部キャップは、前記ダイアフラム構造上の前記結合パッドが前記最上部キャップの周辺部外側にあるように、面積が前記ダイアフラム構造よりも小さい、請求項１０に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項１２】
前記圧電性ブリッジ抵抗器から前記結合パッドへの相互接続が、前記アンダーカット部分を通る、請求項１１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項１３】
前記圧力センサダイアセンブリは、最大測定限界の最大約１００倍の過剰圧への曝露に対して構成される、請求項１に記載の圧力センサダイアセンブリ。
【請求項１４】
差圧センサであって、
ベース基板の第１の表面上に第１の過剰圧停止構造を含むベース基板と、
前記第１の表面に結合されたダイアフラム構造であって、
第１の空洞および前記第１の空洞を囲む第２の空洞を含む空洞区画を有する第１の側、ならびに前記第１の側の反対側にある第２の側と、
第１の厚さを有し、前記第１の空洞によって画定された感圧ダイアフラム部分であって、前記第１の過剰圧停止構造が前記第１の空洞の一部分中に突出するように前記第１の過剰圧停止構造上方にあって前記第１の過剰圧停止構造から離間された、感圧ダイアフラム部分と、
第２の厚さを有し、前記第２の空洞によって画定された過剰圧ダイアフラム部分であって、前記第２の厚さは、前記感圧ダイアフラム部分の前記第１の厚さよりも大きい、過剰圧ダイアフラム部分と、を備える、ダイアフラム構造と、
前記ダイアフラム構造の前記第２の側に結合され、下面を有する最上部キャップであって、前記下面に第２の過剰圧停止構造を含み、過剰圧が作用する前には、前記感圧ダイアフラム部分と前記第２の過剰圧停止構造との間に間隙がある、最上部キャップと、
を備え、
前記第１および第２の過剰圧停止構造は、前記ダイアフラム構造の前記第１または第２の側で過剰圧が増加した際に前記感圧ダイアフラム部分の歪み領域の概ね全てを支持するようにそれぞれ寸法設定される、差圧センサ。
【請求項１５】
前記過剰圧ダイアフラム部分が、前記感圧ダイアフラム部分の剛性よりも大きい剛性を有する、請求項１４に記載の差圧センサ。
【請求項１６】
前記第１の空洞が第１の深さを有し、そして前記第２の空洞が前記第１の深さよりも小さい第２の深さを有する、請求項１４に記載の差圧センサ。
【請求項１７】
前記第１の過剰圧停止構造は、過剰圧が前記ダイアフラム構造に作用する前には、前記第１の過剰圧停止構造と前記感圧ダイアフラム部分との間に間隙が維持されるように、前記第１の空洞の一部分中に突出する、請求項１４に記載の差圧センサ。
【請求項１８】
前記感圧面に結合された複数の圧電性ブリッジ抵抗器を更に備え、前記圧電性ブリッジ抵抗器は、前記ダイアフラム構造上の複数の結合パッドに電気的に接続される、請求項１４に記載の差圧センサ。
【請求項１９】
前記最上部キャップの前記下面が、前記第２の過剰圧停止構造に隣接する複数の陥凹領域と、前記最上部キャップの下側周辺部付近の複数のアンダーカット部分と、を含む、請求項１８に記載の差圧センサ。
【請求項２０】
前記複数の陥凹領域が、過剰圧が前記ダイアフラム構造の前記第１の側に作用するとき、クリアランスを前記圧電性ブリッジ抵抗器に提供するよう構成される、請求項１９に記載の差圧センサ。