【手続補正書】
【提出日】令和1年9月30日(2019.9.30)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体に液体を供給する液体供給装置であって、
液体を吐出する吐出部と、
前記吐出部を第１位置および第２位置を含む複数の位置に配置するための駆動機構と、
前記第１位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第１位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第１排出口と、
前記第２位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第２位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第２排出口と、を備える
ことを特徴とする液体供給装置。
【請求項２】
前記吐出部は、液体を吐出する吐出口を有する吐出ヘッドと、前記吐出口からの液体の吐出を制御する電気部品と、前記電気部品を収容する容器と、を含み、
前記容器は、複数の開口を有し、
前記吐出部が前記第１位置に配置されたときは、前記複数の開口の少なくとも１つを通して前記容器の中に入った気体は、前記複数の開口の他の少なくとも１つを通して前記容器から出て、前記第１排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第２位置に配置されたときは、前記複数の開口の少なくとも１つを通して前記容器の中に入った気体は、前記複数の開口の他の少なくとも１つを通して前記容器から出て、前記第２排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項３】
前記複数の開口は、第１開口および第２開口を含み、
前記吐出部が前記第１位置に配置されたときは、前記第１開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第２開口を通して前記容器から出て、前記第１排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第２位置に配置されたときは、前記第１開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第２開口を通して前記容器から出て、前記第２排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項４】
前記複数の開口は、第１開口および第２開口を含み、
前記吐出部が前記第１位置に配置されたときは、前記第１開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第２開口を通して前記容器から出て、前記第１排出口に吸引され、
前記吐出部が前記第２位置に配置されたときは、前記第２開口を通して前記容器の中に入った気体は、前記第１開口を通して前記容器から出て、前記第２排出口に吸引される、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項５】
前記第１開口および前記第２開口は、前記容器の重心を通る仮想平面が前記第１開口と前記第２開口との間に位置するように配置されている、
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の液体供給装置。
【請求項６】
前記吐出部は、前記物体が前記吐出部の下方に配置されているときに液体を下方に吐出することによって前記物体に該液体を供給するように構成され、
前記容器は、上面、下面および側面を有し、前記吐出ヘッドは、前記容器の下面の下方に配置され、前記複数の開口は、前記側面に配置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の液体供給装置。
【請求項７】
前記複数の位置は、第３位置を含み、
前記第２排出口は、前記吐出部が前記第２位置に配置されたとき、および、前記吐出部が前記第３位置に配置されたとき、のいずれにおいても前記吐出部に対向する大きさを有し、
前記吐出部が前記第２位置に配置されたとき、および、前記吐出部が前記第３位置に配置されたとき、のいずれにおいても前記吐出部が発生する熱が前記第２排出口を通して排出される、
ことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載の液体供給装置。
【請求項８】
前記吐出部をクリーニングするクリーニング機構を更に備え、
前記第１位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第２位置は、前記クリーニング機構によって前記吐出部のクリーニングを行う位置である、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体供給装置。
【請求項９】
前記吐出部から吐出された液体を撮像する撮像装置をさらに備え、
前記第１位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第２位置は、前記撮像装置によって前記吐出部から吐出される液体の状態を撮像する位置である、
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の液体供給装置。
【請求項１０】
前記吐出部をクリーニングするクリーニング機構と、
前記吐出部の部品と新たな部品とを交換する交換機構と、を更に備え、
前記第１位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、前記第２位置は、前記クリーニング機構によって前記吐出部のクリーニングを行う位置であり、前記第３位置は、前記交換機構によって前記部品と新たな部品との交換を行う位置である、
ことを特徴とする請求項７に記載の液体供給装置。
【請求項１１】
前記第１位置は、前記吐出部により前記物体に液体を供給する処理を行う位置であり、
前記吐出部が前記第１位置に配置され、前記吐出部が前記物体に液体を供給する前記処理を行っている状態で、前記吐出部が発生する熱が前記第１排出口を通して排出される、
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体供給装置。
【請求項１２】
前記駆動機構は、前記第１位置および前記第２位置が配置された線に沿って前記吐出部を駆動し、
前記吐出部は、液体を吐出する吐出口を有する吐出ヘッドと、前記吐出口からの液体の吐出を制御する電気部品と、前記電気部品を収容する容器とを含み、
前記容器は、前記線に平行な面を有し、前記面は開口を有し、前記第１位置に前記吐出部が配置された状態において、前記第１排出口が前記開口に対向する、
ことを特徴とする請求項１に記載の液体供給装置。
【請求項１３】
前記第１排出口および前記第２排出口が接続された排出部を更に備え、前記排出部は、前記第１位置および前記第２位置が配置された線に沿って延びている、
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の液体供給装置。
【請求項１４】
基板の上にインプリント材を供給し、該インプリント材に型を接触させ、該インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記液体としての前記インプリント材を前記物体としての前記基板に供給するように構成された請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の液体供給装置を備える、
ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１５】
請求項１４に記載のインプリント装置を用いて基板にパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記基板を処理する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】液体供給装置、インプリント装置および物品製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、液体供給装置、該液体供給装置を含むインプリント装置、および、該インプリント装置を用いて物品を製造する物品製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の第１の側面は、物体に液体を供給する液体供給装置に係り、前記液体供給装置は、液体を吐出する吐出部と、前記吐出部を第１位置および第２位置を含む複数の位置に配置するための駆動機構と、前記第１位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第１位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第１排出口と、前記第２位置に配置された前記吐出部に対向するように配置され、前記第２位置に配置された前記吐出部から気体を吸引することによって前記吐出部が発生する熱を排出する第２排出口と、を備える。