(57)【要約】本明細書中に記載される本発明は、装置を操作するために無線環境で使用するハンドヘルド機器を提供する。ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの開始要求を装置コントローラに送信する。ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの動作を制御するために、情報を装置コントローラから受信する。ハンドヘルド機器は、保守コマンドを装置コントローラに送信する。次にハンドヘルド機器は、保守コマンドが実行された後の装置の状態に関する情報を受信する。
2006514449.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置コントローラを備えた半導体処理装置を操作するために無線環境で使用されるハンドヘルド機器であって、
前記半導体処理装置に対して実行する保守シーケンスの開始要求を前記装置コントローラに送信し、
前記保守シーケンスの動作を制御するために情報を前記装置コントローラから受信し、
前記装置コントローラによって実行される保守コマンドを前記装置コントローラに送信し、
前記保守コマンドが実行された後の前記半導体処理装置の状態に関する情報を前記装置コントローラから受信することができるハンドヘルド機器。
【請求項２】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記保守シーケンスがロボットの教示シーケンスを含むハンドヘルド機器。
【請求項３】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含むハンドヘルド機器。
【請求項４】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がブラウザプログラムを実行できるハンドヘルド機器。
【請求項５】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がバイトコードインタープリタを実行できるハンドヘルド機器。
【請求項６】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記装置が半導体用炉であるハンドヘルド機器。
【請求項７】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器がさらに操作パラメータに関するデータを前記装置から受信できるハンドヘルド機器。
【請求項８】
請求項７に記載のハンドヘルド機器であって、前記ハンドヘルド機器に前記データがプッシュされるハンドヘルド機器。
【請求項９】
請求項１に記載のハンドヘルド機器であって、前記装置コントローラが実行できるコマンド群のサブセットを受信するハンドヘルド機器。
【請求項１０】
製造装置であって、
情報を１つまたは複数のセンサから受信し、複数のコマンドを１つまたは複数のアクチュエータに送信することができる装置コントローラと、
前記装置コントローラに結合され、情報を無線で送受信できる無線トランシーバと、を含み、
前記無線トランシーバが複数のコマンドをハンドヘルド機器から受信し、前記複数のコマンドを前記装置コントローラに送信することができ、前記装置コントローラが前記複数のコマンドを前記１つまたは複数のアクチュエータに実行させることができる製造装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の製造装置であって、前記複数のコマンドが複数のロボット教示コマンドを含む製造装置。
【請求項１２】
請求項１０に記載の製造装置であって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含む製造装置。
【請求項１３】
請求項１０に記載の製造装置であって、前記製造装置が操作パラメータに関するデータを前記ハンドヘルド機器に送信することができる製造装置。
【請求項１４】
請求項１２に記載の製造装置であって、前記データが前記ハンドヘルド機器にプッシュされる製造装置。
【請求項１５】
工業用設備に対して保守を実施するためのシステムであって、
ハンドヘルド機器であって、
保守制御プログラムを実行するためのプロセッサとメモリと、
１つまたは複数の保守コマンドを送信するために前記ハンドヘルド機器の前記プロセッサと前記メモリとに結合される第１の無線トランシーバと、を含むハンドヘルド機器と、
処理ユニットであって、
１つまたは複数のセンサから情報を受信し、複数のコマンドを１つまたは複数のアクチュエータに送信できる処理ユニットコントローラと、
前記１つまたは複数の保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から無線で受信し、前記コマンドを実行させるために、前記コマンドを前記処理ユニットコントローラに送信できる第２の無線トランシーバと、を含む処理ユニットと、を含むシステム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のシステムであって、前記無線環境がＢｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を含むシステム。
【請求項１７】
請求項１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がブラウザプログラムを実行できるシステム。
【請求項１８】
請求項１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がバイトコードインタープリタを実行できるシステム。
【請求項１９】
請求項１５に記載のシステムであって、前記処理ユニットが半導体用炉であるシステム。
【請求項２０】
請求項１５に記載のシステムであって、前記ハンドヘルド機器がさらに操作パラメータに関するデータを前記処理ユニットから受信できるシステム。
【請求項２１】
請求項２０に記載のシステムであって、前記データが前記ハンドヘルド機器にプッシュされるシステム。
【請求項２２】
請求項１５に記載のシステムであって、前記複数の装置コントローラコマンドのサブセットが前記ハンドヘルド機器上に備えられるシステム。
【請求項２３】
請求項１５に記載のシステムであって、前記保守がロボット教示シーケンスを含むシステム。
【請求項２４】
工業用装置に対して保守を実施する方法であって、
前記装置の制御要求をハンドヘルド機器から無線で受信するステップと、
前記装置の前記制御に関する情報を前記ハンドヘルド機器に送信するステップと、
保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から受信するステップと、
前記保守コマンドを実行するステップと、
前記装置の現況に関する更新を前記ハンドヘルド機器に送信するステップと、を含む方法。
【請求項２５】
請求項２４に記載の方法であって、前記保守がロボット教示シーケンスを含む方法。
【請求項２６】
請求項２４に記載の方法であって、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を用いて情報を前記ハンドヘルド機器から受信するステップをさらに含む方法。
【請求項２７】
請求項２４に記載の方法であって、前記情報送信ステップが装置制御命令セットのサブセットを前記ハンドヘルド機器に送信するステップをさらに含む方法。
【請求項２８】
工業用装置に対して保守を実施する方法であって、
前記装置の制御要求を無線によってハンドヘルド機器から送信するステップと、
前記装置の前記制御に関する情報を無線によって前記ハンドヘルド機器で受信するステップと、
保守コマンドを前記ハンドヘルド機器から無線によって送信するステップと、
前記装置の現況に関する前記ハンドヘルドユニットの更新を無線によって前記ハンドヘルド機器で受信するステップと、を含む方法。
【請求項２９】
請求項２８に記載の方法であって、前記保守がロボット教示シーケンスを含む方法。
【請求項３０】
請求項２８に記載の方法であって、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線規格を用いて情報を前記ハンドヘルド機器から送信するステップをさらに含む方法。
【請求項３１】
請求項２８に記載の方法であって、前記情報受信ステップが前記ハンドヘルド機器への装置制御命令セットのサブセットを受信するステップをさらに含む方法。
【請求項３２】
半導体処理装置の動作を無線によって制御するためのハンドヘルド機器であって、
無線トランシーバと、
前記無線トランシーバに結合されているプロセッサと、
前記プロセッサに結合され、画面とユーザ入力インタフェースとを備えたユーザインタフェースと、を含み、
前記ユーザ入力インタフェースを介してユーザ入力があると、前記無線トランシーバが制御プログラムを求める要求を前記半導体処理装置に伝達し、前記無線トランシーバが前記制御プログラムを受信し、前記プロセッサが前記制御プログラムを実行し、前記制御プログラムが１つまたは複数の装置制御コマンドを前記画面上に生成し、前記プロセッサが前記１つまたは複数の装置制御コマンドのうちの１つの選択を前記ユーザ入力インタフェースを介して受信し、前記プロセッサが前記１つまたは複数の装置制御コマンドのうちの前記１つの選択を前記無線トランシーバに送信し、前記選択が前記無線トランシーバから前記半導体処理装置に送信されるハンドヘルド機器。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
（発明が属する技術分野）
本発明は、機械装置の保守および制御に関し、特に短距離無線対応のコンピュータをサービスツールとして使用する方法およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００２】
（発明の背景）
工業用および製造用設備おいては、複雑な機械の調整および修理が必要とされる。このような調整は困難であり、機械装置の操作および他の変更を行うために複数の人間を要することが多い。機械の制御部が調整または修理対象の部分から離れている場合は、特にそうである。たとえば、半導体製造業においては、半導体ウェハーの処理に炉が使用される。これらのウェハーはカセットに搭載され、このカセットはカセットハンドリングロボットによって操作される。このカセットはストッカに収納される。カセットを収納するストッカ位置を覚え込ませるために、カセットハンドリングロボットを訓練する必要がある。これを行うには、操作者がタッチスクリーン制御盤を使用してカセットハンドリングロボットを移動させる。次に操作者（または第２の操作者）は、梯子を登って機械装置を覗き込み、カセットハンドリングロボットの移動と位置とを確認する必要がある。その後、操作者はタッチスクリーン制御盤に戻って、カセットハンドリングロボットを再度移動させる。このプロセスを数回行う必要があるので、非常に手間がかかる。１つの解決策は、カセットハンドリングロボットを制御するための第２のタッチスクリーンをロボットの近くに設けることであろう。ただし、このようなタッチスクリーンは複雑で、実現が難しいこともあろう。必要とされているものは、使い勝手のよい無線制御式のハンドヘルドユニットである。
【発明の開示】
【課題を解決するための手段】
【０００３】
（発明の要旨）
本発明は、短距離無線対応のコンピュータをサービスツールとして使用する方法およびシステムを提供する。一実施態様においては、装置を操作するために無線環境で使用するハンドヘルド機器を提供する。本ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの開始要求を装置コントローラに送信する。本ハンドヘルド機器は、保守シーケンスの動作を制御するために、情報を装置コントローラから受信する。本ハンドヘルド機器は、保守コマンドを装置コントローラに送信する。次に、本ハンドヘルド機器は、保守コマンドが実行された後のこの装置の状態に関する情報を受信する。
【０００４】
別の実施態様においては、個別装置に対して保守を実施する方法を提供する。第１のステップでは、装置を制御するための要求がハンドヘルド機器から無線で送信される。次に、この装置の制御に関する情報がハンドヘルド機器に送信される。ハンドヘルド機器は保守コマンドを送信し、装置の現況に関する更新を受信する。
【０００５】
本発明の技術的便益は、ユーザがどこからでも機械装置を操作できる無線通信の使用を含む。また、標準のハンドヘルドコンピュータをプログラミングできることから、費用便益をもたらす。制御プログラムのサブセットのみをハンドヘルド機器に備えることによって、記憶領域が節約され、実行時間が短縮される。また、必要時にのみ制御アプリケーションを送信することによって、操作者は必ず最新版ソフトウェアを読み込ませることができる。他の技術的便益は、以下の説明および特許請求の範囲から明らかである。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００６】
（図面の詳細な説明）
以下の説明においては、無線コントローラを使用して半導体用炉を制御する一実施形態を使用する。説明はこの実施形態についてであるが、当業者には明らかなように、本発明は、さまざまな種類の装置および機械装置を制御するためのさまざまな用途に使用可能である。
【０００７】
図１は、半導体用炉１１０と通信し、半導体用炉１１０を調整するために使用される典型的なハンドヘルド機器１０２を示す。ハンドヘルド機器１０２は、無線リンク１１６を介して半導体用炉１１０と通信する。
【０００８】
ハンドヘルド機器１０２は、メッセージの無線による送受信と、アプリケーションおよびプログラムの実行とが可能なハンドヘルド機器であればどのようなものでもよい。たとえば、ハンドヘルド機器１０２は、市販のハンドヘルド機器または個人情報端末でもよく、たとえばカリフォルニア州サンタクララのパーム社製Ｐａｌｍ  ｍ５１５、カリフォルニア州マウンテンバレーのハンドスプリング社製Ｈａｎｄｓｐｒｉｎｇ  Ｔｒｅｏ９０、またはテキサス州ヒューストンのコンパック・コンピュータ社製Ｃｏｍｐａｑ  Ｉｐａｑなどでもよい。
【０００９】
ハンドヘルド機器１０２は、専売権付きハンドヘルド機器でもよい。ハンドヘルド機器は画面１０４を含み、これはグレイスケール画面でも、カラーＬＣＤ画面でもよい。画面１０４は、一般に接触感知型であり、ユーザはユーザ自身の指またはスタイラスで画面に接触することによってプログラム内のメニュー項目を選択することができる。一般に、画面１０４では、ユーザがスタイラスを使ってテキストを手書き入力でき、このテキストは正しいテキスト文字に解釈される。つまり、プログラムまたはアプリケーションに対するテキスト入力が可能である。
【００１０】
ハンドヘルド機器１０２は、複数のキー１０６をさらに有する。これらのキー１０６を使用して、データの入力またはプログラムの起動を行うことができる。実施形態によっては、タッチスクリーンインタフェースが備えられていない場合の英数字入力またはいずれかのデータ入力を容易にするために、キー群１０６をキーボードにすることができる。あるいは、ハンドヘルド機器１０２は、コマンドの発声入力が可能な音声認識機能を備えることができる。
【００１１】
アンテナ１０８は、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間の無線情報の送受信に使用される。アンテナ１０８は、図３でさらに説明するトランシーバに結合されている。
【００１２】
半導体用炉１１０は、拡散と、酸化と、蒸着とに使用される炉である。半導体用炉の一例は、ネバダ州のＡＳＭインターナショナル社製のＡ４１２炉である。半導体用炉１１０は、半導体用炉１１０の運転を制御する炉コントローラ１２０を含む。炉コントローラ１２０には制御盤１１２が接続されており、この制御盤１１２で炉コントローラ１２０へのデータおよびコマンドの入力と、炉コントローラ１２０からのデータの受信とを行う。一実施形態における制御盤１１２は、タッチスクリーン式の制御盤である。ただし、標準モニタに連係させたキーボードまたは他の入力機器を使用してもよい。
【００１３】
炉コントローラ１２０には、無線トランシーバ１１４も接続される。無線トランシーバ１１４は、無線周波信号、赤外線信号、または他の無線通信手段を用いて、半導体用炉のコントローラとハンドヘルド機器との間でデータおよびアプリケーションを送受信できる機器であればどのような機器でもよい。
【００１４】
無線リンク１１６は、１つの無線通信方式とすることができる。一実施形態においては、無線リンク１１６は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ無線仕様の設備を利用する。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格は、モバイル機器（ラップトップ、携帯情報端末、電話機）とデスクトップ機器との間におけるデジタル音声およびデジタルデータの近距離通信のためのオープン規格である。この規格は、ポイントツーポイント通信アプリケーションとポイントツーマルチポイント通信アプリケーションとをサポートする。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格では、最大データ転送速度７２０Ｋｂｐｓが１０メートル以内で可能であり、パワーブースト付きで最大１００メートルまで可能である。これは、壁および他の非金属障害物を通過できる全方向電波を使用する。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格は、免許不要の２．４ＧＨｚ帯域で伝送し、信号を１秒間に１６００回切り替える周波数ホッピングスペクトラム拡散技術を使用する。他の機器からの干渉があると、伝送は停止しないが、伝送速度が低下する。無線ＬＡＮ規格など、他の無線規格も使用しうる。たとえば、８０２．１１ｂ無線ネットワーキングを使用することができる。８０２．１１ｂは、２．４ＧＨｚ帯域を使用し、ワイヤレス・フィディリティまたは「Ｗｉ−Ｆｉ」として公知である。
【００１５】
稼動中、ハンドヘルド機器１０２は、半導体用炉１１０と無線で通信する。ハンドヘルド機器１０２は、半導体用炉の制御プログラムのサブセットが機器自体に格納されているか、または半導体用炉１１０の炉コントローラ１２０から受信するかのどちらかである。一実施形態においては、この制御プログラムの特定のコンポーネント群をハンドヘルド機器に事前に読み込ませておき、他のコンポーネント群は必要時に炉コントローラから受信する。これによって、ハンドヘルド機器を操作するユーザは、ハンドヘルド機器１０２から炉コントローラ１２０にコマンドを送信することによって、ロボットアームの移動を含む、半導体用炉１１０の運転を操作することができる。一実施形態においては、ハンドヘルド機器１２０のユーザは、半導体ウェハーのカセットを置くカセットストッカ上の位置を半導体用炉のウェハーハンドリングロボットに教え込むために、ウェハーハンドリングロボットを制御するコマンドを送信する。無線による遠隔アクセスによって、ユーザはロボットの正確な位置付けを目視確認してから、別の移動コマンドをロボットに送信することができる。炉コントローラの位置にいる操作者はロボットの位置を見ることができないので、ロボットの位置付けを確認するには自身が移動するか、または第２の人間に頼らざるを得ないことから、無線による遠隔アクセスは好都合である。これは、ハンドヘルド機器１２０による制御が可能な処理のほんの一例にすぎない。ハンドヘルド機器１０２は、処理パラメータなどの情報を炉コントローラ１２０から受信することもできる。
【００１６】
図２は、半導体用炉１１０の制御システムをさらに詳細に示す。炉コントローラ１２０は、破線で示されており、複数のサブコントローラを含んでいる。この図において、主制御ステーション２１０は、処理コントローラ２１２と、温度コントローラ２１４と、ロボットコントローラ２１６とに結合されている。主制御ステーション２１０は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６およびアンテナ２０８にも結合されている。
【００１７】
一実施形態における主制御ステーション２１０は、ＩＢＭ社の製品であるＯＳ２などのオペレーティングシステムを実行するＰＣベースの制御ステーションである。勿論、他のプロセッサおよびオペレーティングシステムを使用することもできる。タッチスクリーン１１２は、主制御ステーション２１０のためのユーザ入力機器である。他の実施形態においては、キーボード、マウス、または音声認識システムなど、他のユーザ入力機器を使用することもできる。
【００１８】
Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６は、Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈ規格による無線送受信が可能なＢｌｕｅｔｏｏｔｈ準拠のトランシーバである。勿論、別の無線プロトコルを使用する場合は、異なる種類のアクセスポイントを利用することになるであろう。Ｂｌｕｅｔｏｏｔｈアクセスポイント２０６は、公知の設計のアンテナ２０８に結合されている。
【００１９】
処理コントローラ２１２は、処理室内で実行される処理プログラムの実行の制御を担当する。処理コントローラ２１２は、処理室内への化学物質および他の材料の導入および除去を主に制御する装置を制御することができる。たとえば、処理コントローラ２１２は、処理室内での処理を制御するために、制御装置の中でも、主に質量流量コントローラとバルブとを制御することができる。
【００２０】
温度コントローラ２１４は、処理室内の温度の監視と調整とを担当する。温度コントローラ２１２は、温度センサを監視し、加熱素子を制御することによって処理室内の温度を上昇または下降させることができる。
【００２１】
ロボットコントローラ２１６は、半導体用炉１１０内部のロボットを制御する。ロボットコントローラ２１６は、カセットハンドリングロボットやウェハーハンドリングロボットなど、１つまたは複数のロボットの動きを制御することができる。
【００２２】
本発明においては、これらの制御機能の制御および監視をハンドヘルド機器１０２に移管し、監視および操作を遠隔から行うことができる。図２には特定の制御アーキテクチャが示されているが、本発明はこの特定の構成に限定されるものではない。つまり、コントローラの数はこれより多くても少なくてもよく、すべての制御機能を１つの中央制御ユニットで実行することも可能である。複数のコントローラを使用する場合は、これらのコントローラ間を、ネットワーク経由など、当技術分野で周知のいずれかの方法で接続することができる。さらに、複数のユーザインタフェースを設け、システムの複数のサイトなど、複数の場所にユーザインタフェースを配置してもよい。さらに、図示の処理制御装置（質量流量コントローラ、バルブ温度センサ、ヒータ、ロボット）に加え、圧力センサ、位置センサ、濃度センサ、リレー、ランプ、音響警報など、他のセンサおよびアクチュエータを使用してもよい。さらに、本発明は半導体用炉の制御に限定されるものではない。少なくとも部分的にコントローラの制御下で運転される商用装置または工業用装置であれば、どのような装置にでも本発明を適用することができる。このような装置として、食品加工プラントおよび自動車製造装置が挙げられる。
【００２３】
図３は、ハンドヘルド機器１０２の構成要素のブロック図である。一実施形態におけるハンドヘルド機器１０２は、プロセッサ３０２と、メモリ３０４と、アンテナ１０８に結合されているトランシーバ３０６とを含む。
【００２４】
プロセッサ３０２は、オペレーティングシステム（ＯＳ）３０８の制御下で、ハンドヘルド機器１１０の動作を制御する。プロセッサ３０２は、インテル社製、モトローラ社製、または日立製のプロセッサを含む複数のプロセッサのうちのどれでもよい。プロセッサ３０２は、制御信号と、アドレス信号と、データ信号とをハンドヘルド機器１０２のオペレーティングシステム３０８および他の構成要素とやり取りする。プロセッサ３０２は、メモリ３０４からフェッチつまり取り出された命令を解釈して実行する。メモリ３０４は、ブラウザ３１０やＪａｖａ（登録商標）仮想マシン３１２などの複数のプログラムを含む。プロセッサ３０２は、単一または複数の集積回路として実現してもよい。
【００２５】
トランシーバ３０６は、データを無線で送受信できる装置であれば、どのような装置でもよい。一実施形態においては、トランシーバ３０６はＢｌｕｅｔｏｏｔｈ対応のトランシーバである。無線ＬＡＮ規格や８０１．１１ｂなど、他の無線規格を使用することもできる。
【００２６】
メモリ３０４は、揮発性または非揮発性メモリ、ランダムアクセスメモリ（「ＲＡＭ」）、読み出し専用メモリ（「ＲＯＭ」）、フラッシュメモリ、または他の種類のメモリとして実現してもよい。オペレーティングシステム３０８、ブラウザ３１０、および／またはＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、メモリ３０４に格納され、メモリ３０４内部で実行される。
【００２７】
オペレーティングシステム３０８は、ＰＡＬＭ  ＯＳやＷＩＮＤＯＷＳ（登録商標）  ＣＥなど、ハンドヘルド機器１０２を動作させることができるオペレーティングシステムであればどのようなものでもよい。
【００２８】
この実施形態におけるブラウザ３１０は、ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットまたは同様のプログラムの実行、またはこれらとの連係が可能ないずれかのプログラムでる。ブラウザ３１０は、一般的なウェブブラウザなどのプログラムにすることも、アプレットビューアにすることもできる。一般的なウェブブラウザは、ウェブページで使用されるハイパーテキストマークアップ言語（ＨＴＭＬ）などのマークアップ言語を解釈することも、ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを実行することもできる。アプレットビューアは、一般にアプレットを単に実行するだけである。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションまたは同様のアプリケーションプログラムを実行できるいずれかのプログラムである。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２は、オペレーティングシステム３０８の上で実行され、ＪＡＶＡ（登録商標）バイトコードプログラムを実行する。ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン３１２は、ソフトウェアによって実現されるという意味で「仮想」である。ブラウザ３１０とＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２の主要な違いは、ブラウザ３１０は一般にＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを実行するだけであるが、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシン（ＪＶＭ）３１２はＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを実行する点である。ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットは、セキュリティを念頭において設計されている。したがって、アプレットは、セキュリティの観点から危険性がある特定の機能を行えない。これは、ローカルファイルに対する書き込みまたは読み取りの能力を含む。ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションにはこのような制限はない。本発明においては、半導体用炉１１０用の制御機能群の限定サブセットがＪＡＶＡ（登録商標）アプレットまたはＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションとしてハンドヘルド機器１０２上で実行される。ＪＡＶＡ（登録商標）アプレットを備える場合は、ブラウザプログラム３１０を一般に使用する。ＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを使用する場合は、ＪＶＭ３１２を使用することになる。これらの例においてはＪＡＶＡ（登録商標）の使用について言及してきたが、これは典型的な用途の場合についてのみ言及しており、Ｃ＋＋、Ｆｏｒｔｒａｎ、Ｖｉｓｕａｌ  Ｂａｓｉｃ、アセンブリ言語などを含む他のプログラミング言語を使用することもできる。
【００２９】
上記のように、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間では、情報が無線によってやり取りされる。このやり取りは、複数ある通信方式のうちのいずれか１つで行うことができる。
【００３０】
第１の方式として、メッセージとデータとを無線ネットワーキング用のＴＣＰ／ＩＰソケットを介して送信することができる。この実施形態においては、ハンドヘルド機器１０２および炉コントローラ１２０の両方がＴＣＰ／ＩＰソケットをセットアップし、このソケット経由で直接やり取りすることができる。ＴＣＰ／ＩＰソケット経由の通信は、当技術分野では周知である。
【００３１】
ＴＣＰ／ＩＰ接続に加え、遠隔メソッド呼び出しを使用することもできる。この通信プロトコルにおいては、リンクの一方の側（ハンドヘルド機器側など）がもう一方の側のメソッド、つまりオペレーション、をローカルメソッドであるかのように呼び出すことができる。したがって、ハンドヘルド機器のユーザは、炉制御ステーション上に常駐するメソッドを起動（呼び出）して、動き（ロボットアームの移動など）を起こさせることができる。このアプローチの利点は、メソッドをハンドヘルド機器に読み込ませる必要がないことから、ハンドヘルド機器上の記憶領域が節約され、効率が向上する点である。
【００３２】
通信方式のもう１つの候補は、シリアライゼーションである。シリアライゼーションでは、クラス（クラスはプログラムの最小実行可能要素）がハンドヘルド機器１０２に送信され、ハンドヘルド機器上で実行される。複数のクラスを同時に送信することも、それぞれ別の時点で送信することもできる。
【００３３】
さらに、アプレットまたはアプリケーションが特定のデータを必要とする場合は、リスナを使用することができる。リスナの一部はハンドヘルド機器に置かれ（実リスナ）、別の部分は炉コントローラに置かれる（インフォーマ）。リスナは特定のデータの発生を監視し、この情報をハンドヘルドユニットに「プッシュ」する。ハンドヘルドユニットに「プッシュ」する情報は、プラントパラメータに関する情報など、どのような情報でも可能である。
【００３４】
次の図４および図５には、ハンドヘルド機器１０２でブラウザを使用し、アプレットをダウンロードする一実施形態と、Ｊａｖａ（登録商標）仮想マシンを使用し、Ｊａｖａ（登録商標）仮想マシン上で実行するＪａｖａ（登録商標）アプリケーションのクラスを受信する一実施形態とが開示されている。これらの実施形態の共通点は、半導体用炉または他の装置の制御に必要な情報の少なくとも一部を、ハンドヘルド機器１０２に事前に読み込まず、必要時に送信する点である。この結果、ハンドヘルド機器に送信するソフトウェアのみを更新すればよいので、ソフトウェアの更新が容易になる。ただし、半導体用炉または他の機器の制御に必要なすべての情報とデータとをハンドヘルド機器１０２に事前に読み込ませておくことも可能である。
【００３５】
図４は、ハンドヘルド機器１０２と半導体用炉１１０との間の情報の流れを示す情報流れ図である。図４では、ブラウザ３１０が使用されている。第１のステップ４０２で、ハンドヘルド機器１０２は、炉制御アプレットにアクセスするために、炉コントローラ１２０へのアクセスを要求することによって、保守手順の開始を要求する。ステップ４０４で、炉コントローラはログイン画面を返す。ステップ４０６で、ユーザがログイン情報を入力して送信する。ログイン情報は、炉コントローラ１２０へのアクセス許可を受けるために必要なユーザ名およびパスワードなどの情報を含む。この情報を暗号化してもよい。ステップ４０８で、選択肢を表示する主画面を含むアプレットがハンドヘルド機器１０２に送信される。これらの選択肢は、炉コントローラの手動制御と、診断情報と、現況情報とを含む。ステップ４１０で、ユーザはこれらの選択肢から選択する。このケースでは、装置の手動制御を選択している。ステップ４１２で、各種の手動制御機能を表示する第２のアプレットがハンドヘルド機器に送信される。ステップ４１４で、ユーザがロボットの教示オプションを選択し、この選択内容が送信される。次にステップ４１６で、「ロボットの教示」アプレットが送信される。ステップ４１８で、このアプレットはロボットの位置をハンドヘルド機器に自動的に送信する。この位置更新は一定間隔で行うことができる。ステップ４２０で、ユーザは、ロボットを移動するコマンドをハンドヘルド機器１０２から発行することができる。このコマンドは炉コントローラ１２０によって受信され、次に炉コントローラ１２０がこのコマンドをロボットコントローラに発行する。次にロボットが移動され、ユーザはこの移動を目視確認することができる。ステップ４２２で、ロボット位置の更新がハンドヘルド機器に対して行われる。この実施形態では複数のアプレットの読み込みを伴ったが、これらのアプレットの全機能を提供する単一のアプレットを読み込むことも可能である。複数のアプレットを使用する理由の１つは、一度にハンドヘルド機器１０２に送信する情報量を減らすことにある。
【００３６】
このアプローチの１つの利点は、必要時までアプレットがハンドヘルド機器１０２に送信されないことから、ハンドヘルド機器１０２上の記憶領域が節約される点である。また、制御機能群のサブセットのみがハンドヘルドユニットに送信されるので、どの時点においてもハンドヘルドユニット上に存在するのは制御機能群のサブセットのみであることから、すべての制御機能を無線ユニット上に複製する場合に比べ、動作が高速である。さらに、必要時までアプレット群を読み込まないので、更新はアプレット群に対してのみ行えばよく、ハンドヘルド機器１０２に対しては必要ない。更新されたアプレット群を読み込んだ時点で、ハンドヘルド機器１０２上のソフトウェアは必ず最新版になる。
【００３７】
図５は、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシンでＪＡＶＡ（登録商標）アプリケーションを使用する場合の本発明のデータ流れ図である。図５のステップ５０２で、ユーザは、ログイン要求をハンドヘルド機器から送信することによって、保守シーケンスの開始を要求する。ステップ５０４で、メインメニュー用のクラスがハンドヘルド機器１０２に送信される。次にステップ５０６でユーザが「手動制御」用オプションを選択すると、ステップ５０８で手動制御用のクラスが送信される。このとき、診断ルーチンや現況情報の要求など、他のオプションを提示してもよい。次にステップ５１０でユーザがロボットの教示を選択すると、ステップ５１２でロボット教示クラスが送信される。このプロセスは図４と同じように続き、その後、ロボットの調整が行われる。この実施形態においては、特定のクラス群をハンドヘルド機器１０２に初めに読み込ませておいてもよい。これらの初期クラス群に、ログインアプリケーション、暗号化、および一般通信機能のためのクラスを含めてもよい。また、必要なすべてのクラスを一度にダウンロードすることも可能である。
【００３８】
これらの両例では、ロボットの教示と調整とを例として使用した。本発明はこのような例だけに限定されるものではない。本発明は、運転中の処理パラメータの遠隔監視、処理の遠隔制御など、他の多くの分野でも使用することができる。さらに、本発明は、半導体用炉での使用のみに限定されるものではなく、装置コントローラを備えたものであれば、どのような半導体処理装置または工業用装置でも使用することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】図１は、半導体用炉と通信する典型的なハンドヘルド機器を示す。
【図２】図２は、半導体用炉の制御システムを示す。
【図３】図３は、ハンドヘルド機器の構成要素のブロック図である。
【図４】図４は、アプレットの場合のハンドヘルド機器と半導体用炉との間の情報の流れを示す情報流れ図である。
【図５】図５は、ＪＡＶＡ（登録商標）仮想マシンを使用した場合の本発明のデータ流れ図である。
【図１】
2006514449.tif 000003
【図２】
2006514449.tif 000004
【図３】
2006514449.tif 000005
【図４】
2006514449.tif 000006
【図５】
2006514449.tif 000007
【国際調査報告】
2006514449.tif 000008
2006514449.tif 000009
2006514449.tif 000010