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【手続補正書】
【提出日】平成30年11月27日(2018.11.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
フィルムからなり、側面または一方の平面にてフィルムが合わさって奥行方向に沿って封止される合わせ部が形成される包装袋であって、
幅方向に沿う一方の端縁に開封開始点が設けられ、
前記開封開始点から奥行方向に沿う一方の側端に向けて、幅方向に沿う前記一方の端縁から離れるように形成されたガイド線が、奥行方向に沿って付されているとともに、
前記一方の側端の近傍に、前記ガイド線の先端をつなぐサブガイド線が、奥行方向に沿って付されており、
前記ガイド線は、袋の外面の表裏で形成位置をずらして付されることを特徴とする包装袋。
【請求項２】
袋の最裏層がポリオレフィン層からなる請求項１に記載の包装袋。
【請求項３】
袋の厚さが５０〜８０μｍである請求項１または２に記載の包装袋。
【請求項４】
前記ガイド線は間隔を置いて複数付され、その間隔は、幅方向に沿う前記一方の端縁からフィルムの封止基端までの距離を封止幅、収容予定の内容物を収容した場合の外面の表裏間距離を高さとした場合に、前記封止幅と高さの０を含む５０％以下の値との和に相当する請求項１から３のいずれかに記載の包装袋。
【請求項５】
奥行方向に沿う両側端より内方に折りこまれた一対の折込部が形成され、幅方向に沿う両端域において前記折込部および前記折込部以外の部分のいずれもが、それぞれフィルムの裏面を合わせて封止されるとともに、前記合わせ部が、一方の平面にて幅方向の双方より中央側に伸びるフィルムが合わさって奥行方向に沿って封止される包装袋であって、
前記合わせ部にかからない位置から前記折込部にかからない位置までの間のいずれかの箇所に前記開封開始点が設けられる請求項１から４のいずれかに記載の包装袋。
【請求項６】
前記サブガイド線が前記折込部に付される請求項５に記載の包装袋。
【請求項７】
前記ガイド線は、袋の外面の表裏双方の同じ側に付される請求項１から６のいずれかに記載の包装袋。
【請求項８】
前記ガイド線は、袋の外面の表裏いずれか一方の平面において、他方の平面におけるよりも形成範囲が短くなるように付される請求項７に記載の包装袋。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月12日(2019.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プログラムを分割したｍ個の分割プログラム、および検証用認証子を記憶する記憶部（１１、１５）と、
暗号演算により前記ｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算部（１２、１３、３０、２２４）と、
１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算部（１４、３０、２２４）、と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する認証子保存部（２２）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する次回生成対象保存部（２１）と、
前記検証用認証子とｍ番目の演算認証子とが一致するか否かによって前記プログラムの改ざんを検証する検証部（３０、２２４）と、
を有する電子制御装置。
【請求項２】
前記暗号演算部は、前記認証子演算部が前記ｎ−１番目の演算認証子を生成した後に、前記ｎ番目の部分認証子を生成し、
前記認証子演算部は、前記認証子保存部に保存された前記ｎ−１番目の演算認証子と、前記ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、前記ｎ番目の演算認証子を生成し、
前記認証子保存部は、前記ｎ−１番目の演算認証子に前記ｎ番目の演算認証子を上書きして保存する、
請求項１に記載の電子制御装置。
【請求項３】
前記記憶部（１１）に記憶されている前記検証用認証子が一つであり、
前記認証子演算部が、すべての前記部分認証子を用いた論理演算を行って一つの演算認証子を生成し、
前記検証部は、前記一つの検証用認証子と前記一つの演算認証子とが一致するか否かによって前記プログラムの改ざんを検証する、
請求項１または２に記載の電子制御装置。
【請求項４】
前記認証子演算部が行う前記論理演算が、排他的論理和（ＸＯＲ演算）または排他的論理和の否定（ＸＮＯＲ演算）である、
請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電子制御装置。
【請求項５】
プログラムを分割したｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）と、
前記暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）により得られた１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算ステップ（Ｓ６０）と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する保存ステップ（Ｓ７０）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する保存ステップ（Ｓ４０）と、
前記演算認証子と、あらかじめ求めた検証用認証子とが一致するか否かを判定する検証ステップ（Ｓ９０、Ｓ１００）と、
を有するプログラム改ざん検知方法。
【請求項６】
電子制御装置が起動する際に前記各ステップを実行する、
請求項５に記載のプログラム改ざん検知方法。
【請求項７】
電子制御装置の低消費電力モードから通常モードに移行する際に前記各ステップを実行する、
請求項５に記載のプログラム改ざん検知方法。
【請求項８】
プログラムを分割したｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）と、
前記暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）により得られた１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算ステップ（Ｓ６０）と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する保存ステップ（Ｓ７０）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する保存ステップ（Ｓ４０）と、
前記演算認証子と、あらかじめ求めた検証用認証子とが一致するか否かを判定する検証ステップ（Ｓ９０、Ｓ１００）と、
を有するプログラム改ざん検知方法、をコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項９】
プログラムを分割したｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）と、
前記暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）により得られた１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算ステップ（Ｓ６０）と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する保存ステップ（Ｓ７０）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する保存ステップ（Ｓ４０）と、
前記演算認証子と、あらかじめ求めた検証用認証子とが一致するか否かを判定する検証ステップ（Ｓ９０、Ｓ１００）と、
を有するプログラム改ざん検知方法、を電子制御装置が起動する際にコンピュータに実行させるプログラム。
【請求項１０】
プログラムを分割したｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）と、
前記暗号演算ステップ（Ｓ２０、Ｓ５０）により得られた１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算ステップ（Ｓ６０）と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する保存ステップ（Ｓ７０）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する保存ステップ（Ｓ４０）と、
前記演算認証子と、あらかじめ求めた検証用認証子とが一致するか否かを判定する検証ステップ（Ｓ９０、Ｓ１００）と、
を有するプログラム改ざん検知方法、を電子制御装置の低消費電力モードから通常モードに移行する際にコンピュータに実行させるプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記課題を解決するために、本発明の電子制御装置（１００、２００）は、
プログラムを分割したｍ個の分割プログラム、および検証用認証子を記憶する記憶部（１１、１５）と、
暗号演算により前記ｍ個の分割プログラムそれぞれのｍ個の部分認証子を生成する暗号演算部（１２、１３、３０、２２４）と、
１乃至ｎ−１番目の部分認証子を用いた論理演算を行って生成されたｎ−１番目の演算認証子と、ｎ番目の部分認証子とを用いた論理演算を行って、ｎ番目の演算認証子を生成する認証子演算部（１４、３０、２２４）、と、
前記ｎ番目の演算認証子を保存する認証子保存部（２２）と、
ｎ＋１番目の部分認証子を生成する分割プログラムを特定する情報を保存する次回生成対象保存部（２１）と、
前記検証用認証子と前記演算認証子とが一致するか否かによって前記プログラムの改ざんを検証する検証部（３０、２２４）と、
を有する。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月27日(2019.6.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
一般に、検知器１６から得られる試料からの蛍光の電気信号は、蛍光の強度を示す種々のスペクトルの形式で、表示部４２が表示する。図２〜図５は、本実施形態の分光蛍光光度計１のみならず、一般的な分光蛍光光度計によっても得られる、二つの軸を含む二次元スペクトルの例を示している。図２はスペクトルの一例である励起スペクトル、図３はスペクトルの一例である蛍光スペクトル、図４はスペクトルの一例である時間変化スペクトル、図５（ａ）、（ｂ）はスペクトルの一例である三次元スペクトルをそれぞれ示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６９】
操作者が、操作パネル４１から統合データ表示を表示する旨の入力をすると、コンピュータ３１（制御部３２）が入力に対応した指示を表示部４２に出力する。この出力を受けた表示部４２は、１）画面の左上領域（Ａ）（以下、「図１７（Ａ）」という）に三次元時間変化スペクトル、２）画面の右上領域（Ｂ）（以下、「図１７（Ｂ）」という）に三次元時間変化スペクトルから切り出された時間変化スペクトル、３）画面の右下領域（Ｃ）（以下、「図１７（Ｃ）」という）に三次元時間変化スペクトルから切り出された蛍光スペクトル、４）画面の左下領域（Ｄ）（以下、「図１７（Ｄ）」という）に試料画像、それぞれをサブ画面の形式で表示する。ただし、いずれの領域にいずれのサブ画面を表示するかは自由であり、特に限定されない。また、本実施形態では領域の数（画面の分割数、サブ画面の数）は４つであるが、この数は特に限定されない。分割の形態も特に限定はされない。以下、図１７の配置に基づき説明する。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７１】
この測定時間間隔に合わせてカメラモジュール２１が試料画像を撮影する。コンピュータ３１（制御部３２）は、測定時間に対応した複数の試料画像を含む試料画像一覧を生成する。そして、図１７（Ａ）に示す様に、表示部４２が、測定時間に対応した測定時間軸（縦軸）に合わせて試料画像一覧を示すことにより、操作者は、三次元時間変化スペクトル特性と各測定時間における試料画像を対比しながら確認することができる。この時、図では三次元時間変化スペクトルの右側に測定時間に合わせて撮影した試料画像一覧を表示しているが、測定時間と対比して表示させることが好ましいため、三次元時間変化スペクトルの左側に表示しても構わない。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７３】
Ｉ−Ｉ線が停止した位置における図１７（Ａ）の三次元時間変化スペクトルの断面が、図１７（Ｂ）の時間変化スペクトルに相当する。よって、操作者が図１７（Ａ）のＩ−Ｉ線を、操作パネル４１の操作により左右にずらし、蛍光波長を変化させることで、図１７（Ｂ）の励起スペクトルが連動して変化する。本例では、図１７（Ａ）のＩ−Ｉ線が５４０ｎｍの蛍光波長を選択しており、図１７（Ｂ）には５４０ｎｍの蛍光波長に対する時間変化スペクトルが表示されている。また、試料画像は測定時間に連動して取得しているため、試料画像一覧は測定時間の軸の下部に表示することが好ましい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
そこでコンピュータ３１（制御部３２）は、試料画像において試料領域の座標および積分球内面領域の座標を設定し、積分球内面領域の座標を基に、この領域を背景として登録する。そして、コンピュータ３１（制御部３２）は、異なる励起波長条件下における背景色を特定の色に統一して塗りつぶし、処理後の画像を表示部４２が表示する背景処理を実施する。これにより、励起波長の変化に伴う背景色を統一することができ、対比錯視の影響なく試料領域の明度や色味を比較することが可能となる。図２０は、背景色を黒に統一または白に統一した図を例示しているが（二段目及び三段目）、背景は任意の色とすることができる。励起波長の変化に伴う積分球内面領域の明度・色味を比較したい際には、試料領域の座標を統一した色で塗りつぶし表示してもよい（最下段の白の例）。背景色の比較が容易となる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１２】
2019020362.tif 000001
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2019020362.tif 000002
【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１７】
2019020362.tif 000003
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月19日(2019.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のマーカーを備えた対象物の位置情報を取得する情報処理装置であって、
前記対象物を撮影した撮影画像から前記マーカーの像を抽出し、その代表点の３次元空間での位置座標を取得するマーカー位置取得部と、
前記マーカーごとの代表点の位置座標を用いて、前記対象物の位置座標を取得する目標点位置算出部と、
前記対象物が内蔵するセンサの出力値に基づき、前記対象物の位置座標を推定する位置推定部と、
前記目標点位置算出部により取得された前記対象物の位置座標と、前記位置推定部により推定された前記対象物の位置座標とを所定の割合で加算することにより、前記対象物の最終的な位置座標を決定し出力するフィルタリング部と、
を備えたことを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
前記フィルタリング部は、前記対象物の速度に応じて、前記推定された前記対象物の位置座標の加算の割合を変化させることを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記フィルタリング部は、所定のフレームレートで撮影された各フレームの画像における対象物の位置座標を順次決定し、
前記位置推定部は、前記フィルタリング部が出力した前のフレームの画像における対象物の位置座標を始点として、前記センサの出力値に基づき求めた次のフレームまでの対象物の変位量を加算することにより、当該次のフレームの画像における対象物の位置座標を推定することを特徴とする請求項１または２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
仮想３次元空間に配置した前記対象物のオブジェクトモデルを撮像面に射影してなるモデル上のマーカーの像の面積と、前記オブジェクトモデルにおけるマーカーと撮像面との角度に対応するパラメータに基づき、前記マーカーごとに重み係数を決定する重み調整部をさらに備え、
前記目標点位置算出部は、前記重み係数を前記マーカーごとの代表点の位置座標に与えたうえで前記対象物の位置座標を算出することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記重み調整部は、前記モデル上の像の面積と、前記角度に対応するパラメータを、前記オブジェクトモデルにおいて前記マーカーを構成するポリゴンごとに求め、それらを統合することにより前記マーカーごとの重み係数を決定することを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記マーカー位置取得部は、所定のフレームレートで撮影された各フレームの画像における前記代表点の位置座標を順次取得し、
前記位置推定部は、前記フィルタリング部が出力した前のフレームの画像における対象物の位置座標と前記センサの出力値に基づき、次のフレームの画像における対象物の位置および姿勢を推定し、
前記重み調整部は、推定された位置および姿勢にある前記オブジェクトモデルを用いて、前記重み係数を決定することを特徴とする請求項４または５に記載の情報処理装置。
【請求項７】
複数のマーカーを備えた対象物の位置情報を取得する情報処理装置が、
前記対象物を撮影した撮影画像から前記マーカーの像を抽出し、その代表点の３次元空間での位置座標を取得するステップと、
前記マーカーごとの代表点の位置座標を用いて、前記対象物の位置座標を取得するステップと、
前記対象物が内蔵するセンサの出力値に基づき、前記対象物の位置座標を推定するステップと、
前記取得するステップで取得された前記対象物の位置座標と、前記推定するステップで推定された前記対象物の位置座標とを所定の割合で加算することにより、前記対象物の最終的な位置座標を決定し出力するステップと、
を含むことを特徴とする位置情報取得方法。
【請求項８】
複数のマーカーを備えた対象物の位置情報を取得するコンピュータに、
前記対象物を撮影した撮影画像から前記マーカーの像を抽出し、その代表点の３次元空間での位置座標を取得する機能と、
前記マーカーごとの代表点の位置座標を用いて、前記対象物の位置座標を取得する機能と、
前記対象物が内蔵するセンサの出力値に基づき、前記対象物の位置座標を推定する機能と、
前記取得する機能が取得した前記対象物の位置座標と、前記推定する機能が推定した前記対象物の位置座標とを所定の割合で加算することにより、前記対象物の最終的な位置座標を決定し出力する機能と、
を実現させることを特徴とするコンピュータプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月2日(2019.8.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
装置であって、
粒子を備える流体を受け取るように構成された入力チャネルと、
前記入力チャネルの下流の複数の出力チャネルと、
前記入力チャネルにおいて前記粒子の光学特性を検出するように構成された光学検出器と、
前記光学検出器に通信可能に連結されたプロセッサであって、前記プロセッサは、
前記粒子の前記光学特性に基づいて前記複数の出力チャネルの選別チャネルを選択することと、
前記入力チャネルから前記選別チャネルの中へ前記粒子を選別するための選別信号を伝送することと
を行うように構成されている、プロセッサと、
前記選別チャネルにおける粒子の存在に基づいて検証信号を生成するように構成されたインピーダンス検出器と
を備え、
前記プロセッサはさらに、前記インピーダンス検出器に連結され、前記検証信号に基づいて前記入力チャネルから前記選別チャネルの中への前記検出された粒子の前記選別を検証するように構成されている、装置。
【請求項２】
前記検証信号は、前記インピーダンス検出器による前記粒子の体積にも基づく、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記粒子は、第１の粒子であり、前記選別信号は、第１の選別信号であり、前記プロセッサは、前記検証信号に基づいて前記入力チャネルから前記出力チャネルのうちの１つの中へ追加の粒子を選別するために前記プロセッサを訓練するように構成されたフィードバックモジュールをさらに備える、請求項１または請求項２に記載の装置。
【請求項４】
前記光学検出器は、前記光学特性に基づいて検出信号を生成するようにさらに構成されている、請求項１〜３のいずれかに記載の装置。
【請求項５】
前記選別信号を受信することと、前記入力チャネルから前記選別チャネルの中へ前記粒子を選別するために粒子選別接合点において前記粒子を備える前記流体の流動方向を変化させることとを行うように構成された選別要素をさらに含み、前記粒子選別接合点は、前記入力チャネルおよび前記複数の出力チャネルに流体的に連結されている、請求項１〜４のいずれかに記載の装置。
【請求項６】
前記選別要素は、前記粒子を選別するために圧力パルスを印加する、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記選別要素は、圧電アクチュエータを含む、請求項５または請求項６に記載の装置。
【請求項８】
前記入力チャネルにおいて前記粒子を照射するように構成された光源をさらに備える、
請求項１〜７のいずれかに記載の装置。
【請求項９】
前記光源は、レーザを備える、請求項８に記載の装置。
【請求項１０】
前記レーザは、４８８ｎｍの波長を有する光を出力する、請求項８または請求項９に記載の装置。
【請求項１１】
前記光学検出器は、蛍光信号を検出するように構成されている、請求項１〜１０のいずれかに記載の装置。
【請求項１２】
前記光学検出器は、光電子倍増管（ＰＭＴ）、フォトダイオード、電荷結合素子（ＣＣＤ）、またはアバランシェフォトダイオード（ＡＰＤ）を備える、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記プロセッサは、前記検出信号および前記検証信号に基づいて選別精度を決定するようにさらに構成されている、請求項４〜１２のいずれかに記載の装置。
【請求項１４】
前記プロセッサは、ある量の時間に対して前記選別信号の伝送を遅延させるための遅延カウンタをさらに備える、請求項１〜１３のいずれかに記載の装置。
【請求項１５】
前記ある量の時間は、前記粒子が前記選別接合点に到達する進行時間に等しい、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記ある量の時間は、調節可能である、請求項１４に記載の装置。
【請求項１７】
前記遅延カウンタは、前記粒子が前記選別接合点中の適切な場所にあるときに流動障害が生じるように、前記選別要素の発射を遅延させる、請求項１４に記載の装置。
【請求項１８】
複数の粒子は、細胞を含む、請求項１〜１７のいずれかに記載の装置。
【請求項１９】
複数の粒子は、ビーズを含む、請求項１〜１８のいずれかに記載の装置。
【請求項２０】
前記複数の出力チャネルは、２つの出力チャネルを含む、請求項１〜１９のいずれかに記載の装置。
【請求項２１】
前記複数の出力チャネルは、３つの出力チャネルを含む、請求項１〜１９のいずれかに記載の装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月12日(2019.11.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体（Ｖ）に搭載されることで前記移動体の外側に存在する障害物（Ｂ）を検知するように構成された障害物検知装置（１）における障害物検知動作を制御する制御装置（１０）であって、
探査波を前記移動体の外側に向けて発信するとともに前記探査波の前記障害物による反射波を受信することで前記障害物との距離に対応する検知距離を前記移動体の移動に伴い繰返し取得するように設けられた測距部（２）における前記検知距離の取得毎に、今回取得した前記検知距離と前回取得した前記検知距離との変化量を取得するとともに、取得した前記変化量の度数分布を取得するように設けられた、度数分布取得部（１０１）と、
前記度数分布取得部によって取得された前記度数分布に基づいて、前記障害物の種別を判定するように設けられた、種別判定部（１０４）と、
を備えた制御装置。
【請求項２】
前記種別判定部は、
前記変化量の絶対値が小さい小変化領域の度数である第一度数に基づく第一条件と、
前記変化量の絶対値が大きい大変化領域の度数である第二度数に基づく第二条件と、
前記第一度数と前記第二度数との関係に基づく第三条件と、
に基づいて、前記障害物が車両であるか否かを判定するように設けられた、
請求項１に記載の制御装置。
【請求項３】
移動状態取得部（３）により取得した前記移動体の移動状態と前記検知距離とに基づいて、前記測距部により取得された複数の前記検知距離の各々に対応する、前記障害物による前記探査波の推定反射位置を取得するように設けられた、反射位置取得部（１０２）をさらに備え、
前記種別判定部は、前記反射位置取得部によって一個の前記障害物に対応して取得された複数の前記推定反射位置の分布状態に基づいて、前記障害物が車両であるか否かを判定するように設けられた、
請求項１又は２に記載の制御装置。
【請求項４】
移動状態取得部（３）により取得した前記移動体の移動状態と前記検知距離とに基づいて、前記測距部により取得された複数の前記検知距離の各々に対応する、前記障害物による前記探査波の推定反射位置を取得するように設けられた、反射位置取得部（１０２）と、
複数の前記推定反射位置のうちの、前記移動体の移動方向における端部に位置する前記推定反射位置に基づいて、前記障害物の端部位置を推定するように設けられた、端部位置推定部（１０３）と、
前記種別判定部により判定された前記種別に基づいて、前記端部位置を補正するように設けられた、端部位置補正部（１０５）と、
をさらに備えた、
請求項１〜３のいずれか１つに記載の制御装置。
【請求項５】
前記端部位置補正部は、前記種別判定部により判定された前記種別が前記車両である場合に、車両規格に定められた車両寸法に基づいて前記端部位置を補正するように設けられた、
請求項４に記載の制御装置。
【請求項６】
前記種別の判定結果は、複数の前記障害物の間の駐車スペース（ＰＳ）の検出、又は前記障害物との衝突を回避しつつ前記移動体が移動するための移動条件の算出に用いられるようになっている、
請求項１〜５のいずれか１つに記載の制御装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】制御装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本開示は、移動体に搭載されることでかかる移動体の外側に存在する障害物を検知するように構成された障害物検知装置における障害物検知動作を制御する、制御装置に関する。
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月27日(2018.12.27)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
回転可能な無端状の定着ベルトと、
前記定着ベルトを加熱する加熱部材と、
前記定着ベルトの内側に配設されたニップ形成部材と、
前記定着ベルトを介して前記ニップ形成部材と当接することにより前記定着ベルトとの間にニップ部を形成する対向回転体と、
前記定着ベルトをその軸方向両端部で保持し前記定着ベルトを軸方向両端部間で保持しないベルト保持部材とを有する定着装置において、
前記ベルト保持部材が、前記定着ベルトの軸方向端部の内側に配設される筒部を有し、
前記定着ベルトの軸方向端部の軸方向外側で前記ベルト保持部材の筒部の外周に回転可能に嵌められたスリップリングを有し、
前記対向回転体と前記ベルト保持部材の筒部とが、軸方向に離間した状態で配置されていることを特徴とする定着装置。
【請求項２】
前記ベルト保持部材から張り出したフランジ部が、前記定着ベルトの軸方向移動時にその軸方向移動を規制可能であることを特徴とする請求項１記載の定着装置。
【請求項３】
前記スリップリングが、前記定着ベルトと連れ回り可能である請求項１または２記載の定着装置。
【請求項４】
前記ベルト保持部材の前記筒部の先端と、前記対向回転体の端部とは軸方向に離間した状態で配置されている請求項１〜３何れか１項に記載の定着装置。
【請求項５】
前記軸方向の離間距離を５ｍｍ以上にした請求項４記載の定着装置。
【請求項６】
前記定着ベルトに、前記対向回転体および前記ベルト保持部材の双方と接触しない軸方向領域を設けた請求項１〜５何れか１項記載の定着装置。
【請求項７】
前記定着ベルトに、前記対向回転体、前記ベルト保持部材、および前記ニップ形成部材の何れとも接触しない軸方向領域を設けた請求項１〜５何れか１項記載の定着装置。
【請求項８】
前記ニップ形成部材の端部は前記対向回転体の端部よりも軸方向中央側にある請求項１〜７の何れか１項に記載の定着装置。
【請求項９】
前記ニップ形成部材を支持する支持部材を有し、前記ニップ形成部材の端部は前記支持部材の端部よりも軸方向中央側にある請求項１〜７の何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１０】
前記定着ベルトを、前記対向回転体に対して従動回転させる請求項１〜９何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１１】
前記筒部の外周面形状を非真円形状にした請求項１記載の定着装置。
【請求項１２】
前記ニップ部の下流端で前記ニップ形成部材を前記対向回転体側に突出させた請求項１〜１１何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１３】
前記ベルト保持部材から張り出したフランジ部の端面と前記対向回転体の端部との間の軸方向距離から前記スリップリングの厚さを差し引いた値が１０ｍｍ以上である請求項１〜１２何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１４】
前記定着ベルトが、金属材料で形成された基材を有する請求項１〜１３何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１５】
軸方向から見たときに前記スリップリングの外周の一部は、前記定着ベルトと当接するニップ形成部材の面よりも前記対向回転体側にある請求項１〜１４何れか１項に記載の定着装置。
【請求項１６】
請求項１〜１５の何れかに記載した定着装置を備える画像形成装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年5月23日(2019.5.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
車両（２）の周囲の道路を含む範囲を撮像するように当該車両に搭載された撮像部（２０）によって撮像された画像を取得し、その取得された画像から前記車両の周囲に存在する特定の対象物を認識する車両周囲認識装置（１）であって、
前記画像を構成する複数の要素の間で、各要素が表す色に含まれる特定の色成分の度合、及び輝度をそれぞれ比較した差分に基づいて、前記画像において道路の路面上に影がかかっている領域である影領域を検出するように構成された影検出部（１１）と、
前記画像の中から特徴点を検出するように構成された特徴点検出部（１２）と、
前記影検出部により検出された影領域と前記特徴点検出部により検出された特徴点群とに基づいて、前記対象物を認識するように構成された認識部（１４）とを備え、
前記撮像部は、前記車両の周囲の異なる範囲を撮像するように構成された複数のカメラ（２０ａ，２０ｂ，２０ｃ，２０ｄ）を有し、
前記影検出部は、前記複数のカメラにより撮像された複数の画像の間で色調を比較し、色調が同じと判定された複数の画像の間で、各画像内の要素における特定の色成分の度合及び輝度をそれぞれ比較することによって前記影領域を検出するように構成されている、
車両周囲認識装置。
【請求項２】
前記影検出部は、前記画像における特定の領域内に含まれる複数の要素における特定の色成分の度合及び輝度をそれぞれ比較することによって前記影領域を検出するように構成されている、
請求項１に記載の車両周囲認識装置。
【請求項３】
前記影検出部は、検出された影領域に該当する部位の色及び輝度を表す画像情報を記憶し、その記憶された画像情報を用いて、後に撮像された画像に含まれる影領域を検出するように構成されている、
請求項１に記載の車両周囲認識装置。
【請求項４】
前記特徴点検出部により検出された特徴点群から、前記影検出部により検出された影領域のエッジに該当する特徴点を除去するように構成された影エッジ除去部（１３）を更に備え、
前記認識部は、前記影エッジ除去部により影領域のエッジが除去された後の特徴点群から、前記対象物を認識するように構成されている、
請求項１ないし請求項３の何れか１項に記載の車両周囲認識装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月25日(2019.6.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５１】
但し、本例の場合には、金属環２１ａを構成する屈曲部２５ａの円周方向複数箇所に透孔２７、２７が設けられていると共に、金属環２１ａを構成する外向鍔部２４ａの円周方向１箇所に切り欠き２６が設けられている。この為、樹脂底板部２９ａの成形用空間から樹脂筒部２８ａの成形用空間に送り込まれた溶融樹脂は、図２に矢印Ｘ2、Ｘ3で示す様に、各透孔２７及び切り欠き２６を通じて、外周覆部３０の成形用空間に効率良く送り込む事ができる。
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月10日(2019.10.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
温度調整された空気を室内へ送り出す複数の吹出口と、
該複数の吹出口にそれぞれ配置され、空気の吹出方向を制御する複数のルーバと、
を備えた空気調和機の室内ユニットにおいて、
前記複数のルーバそれぞれは、リモコンからの入力によって、動作を個別に設定できるものであり、前記ルーバの個別設定開始時に、選択したルーバが所定の通知動作を実行することを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【請求項２】
温度調整された空気を室内へ送り出す複数の吹出口と、
該複数の吹出口にそれぞれ配置され、空気の吹出方向を制御する複数のルーバと、
を備えた空気調和機の室内ユニットにおいて、
前記複数のルーバそれぞれは、リモコンからの入力によって、動作を個別に設定できるものであり、前記ルーバの個別設定開始時に、前記複数のルーバが定められた順番に所定の通知動作を実行することを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の空気調和機の室内ユニットにおいて、
前記所定の通知動作は、他のルーバと異なる動作であることを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【請求項４】
請求項３に記載の空気調和機の室内ユニットにおいて、
前記他のルーバと異なる動作は、スイングであることを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【請求項５】
請求項１から請求項４の何れか一項に記載の空気調和機の室内ユニットにおいて、
前記通知動作を実行する前のルーバ状態を記憶し、通知動作を実行した後に、ルーバが記憶された元の状態に戻ることを特徴とする空気調和機の室内ユニット。
【請求項６】
請求項１から請求項５の何れか一項に記載の室内ユニットと、
前記室内ユニットを操作するリモコンと、を備えた空気調和機において、
前記リモコンは、
前記複数のルーバを操作する操作スイッチと、
前記複数のルーバに関する情報を表示する表示部と、
を有し、
前記表示部には、前記通知動作を実施しているルーバを特定する情報が表示されることを特徴とする空気調和機。
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月19日(2019.7.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
水中の目標物体を探知する探知装置と、
レーザ光を生成するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器からの前記レーザ光の方向と集光位置とを定める照射光学系と、
前記探知装置により探知された前記目標物体から所定の距離だけ離れた水中の目標位置に前記レーザ光を集光して前記目標位置に存在する水を気化またはプラズマ化するように前記レーザ発振器および前記照射光学系を制御する制御装置と
を具備し、
前記水の気化によって発生する気泡による衝撃、または、前記水のプラズマ化によって発生するプラズマによる衝撃で前記目標物体を破壊する
水中物体破壊システム。
【請求項２】
請求項１に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記レーザ発振器は、
パルスレーザ光を発振するパルスレーザ発振器
を具備する
水中物体破壊システム。
【請求項３】
請求項１に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記レーザ発振器は、
連続波レーザ光を発振する連続波レーザ発振器
を具備する
水中物体破壊システム。
【請求項４】
請求項２に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記レーザ発振器は、
連続波レーザ光を発振する連続波レーザ発振器
をさらに具備する
水中物体破壊システム。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項に記載の水中物体破壊システムにおいて、
照射したレーザ光に起因する前記気泡または前記プラズマの発生の有無を探知するソナー
をさらに具備し、
前記制御装置は、前記発生の有無を探知した結果に応じて照射条件を調整するフィードバック制御を行う
水中物体破壊システム。
【請求項６】
請求項５に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記ソナーは、発生した前記気泡または前記プラズマに起因する前記衝撃の位置情報をさらに探知し、
前記制御装置は、探知した前記位置情報に基づいて前記レーザ光の集光位置を調整するフィードバック制御をさらに行う
水中物体破壊システム。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記制御装置を搭載する第１本体と、
前記照射光学系を搭載する第２本体と
をさらに具備し、
前記第１本体および前記第２本体のうち、一方は、他方から分離している
水中物体破壊システム。
【請求項８】
請求項７に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記第１本体は、船舶であり、
前記第２本体は、前記船舶に曳航されている曳航式デコイである
水中物体破壊システム。
【請求項９】
請求項８に記載の水中物体破壊システムにおいて、
前記レーザ発振器は、前記船舶に搭載されており、
前記レーザ発振器が発振する前記レーザ光を前記照射光学系まで導光する光ファイバケーブル
をさらに具備する
水中物体破壊システム。
【請求項１０】
水中の目標物体を探知することと、
レーザ光を生成することと、
前記探知された前記目標物体から所定の距離だけ離れた水中の目標位置に前記レーザ光を集光して、前記目標位置に存在する水を気化またはプラズマ化することと、
前記水の気化によって発生する気泡による衝撃、または、前記水のプラズマ化によって発生するプラズマによる衝撃で前記目標物体を破壊することと
を具備する
水中物体破壊方法。
【請求項１１】
請求項１０に記載の水中物体破壊方法において、
前記レーザ光を集光した結果を観測することと、
前記観測の結果、前記気泡または前記プラズマが水中に発生しなかったことを検知した場合に、前記レーザ光の照射条件を調整するフィードバック制御を行うことと
をさらに具備する
水中物体破壊方法。
【請求項１２】
請求項１１に記載の水中物体破壊方法において、
前記観測の結果、前記目標物体が破壊されなかったことを検知した場合に、前記レーザ光の集光位置を調整するフィードバック制御を行うこと
をさらに具備する
水中物体破壊方法。
【請求項１３】
請求項１０〜１２のいずれか一項に記載の水中物体破壊方法において、
前記気泡または前記プラズマを水中に発生させることは、
複数の前記気泡または複数の前記プラズマを水中に発生させること
を具備する
水中物体破壊方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年8月29日(2019.8.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
食品鮮度保持用シートであって、
第１のハイドロゲルシート
を備え、
前記第１のハイドロゲルシートは、第１のアガロース又はその誘導体、前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得るポリマー、及び水を含む、
ことを特徴とする、前記食品鮮度保持用シート。
【請求項２】
前記第１のアガロース又はその誘導体が寒天であることを特徴とする、請求項１に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項３】
前記第１のハイドロゲルシートが、該第１のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の前記第１のアガロース又はその誘導体を含むことを特徴とする、請求項１又は２に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項４】
前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得る前記ポリマーが、ポリエチレングリコール、ポリアクリルアミド、ポリアクリル酸、ポリメタクリル酸、ポリ（エチレングリコール）メタクリレート、ポリリン酸、ポリスチレンスルホン酸、及びこれらのポリマーを構成するモノマーの共重合体からなる群から選ばれることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項５】
前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得る前記ポリマーが、１０００以上の重量平均分子量を有することを特徴とする、請求項１〜４のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項６】
前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得る前記ポリマーが、１００００以上の重量平均分子量を有することを特徴とする、請求項５に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項７】
前記第１のハイドロゲルシートが、該第１のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得る前記ポリマーを含むことを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項８】
前記第１のハイドロゲルシートが、該第１のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の水を含むことを特徴とする、請求項１〜７のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項９】
さらに、
前記第１のハイドロゲルシートに積層された第２のハイドロゲルシート
を備え、
前記第２のハイドロゲルシートは、第２のアガロース又はその誘導体、架橋した水溶性ポリマーの塩、及び水を含む、
ことを特徴とする、請求項１〜８のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１０】
前記第２のアガロース又はその誘導体が寒天であることを特徴とする、請求項９に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１１】
前記第２のハイドロゲルシートが、該第２のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の前記第２のアガロース又はその誘導体を含むことを特徴とする、請求項９又は１０に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１２】
前記架橋した水溶性ポリマーの塩が、高吸水性樹脂であることを特徴とする、請求項９〜１１のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１３】
前記架橋した水溶性ポリマーの塩が、架橋したポリメタクリル酸塩、ポリリン酸塩、ポリスチレンスルホン酸塩、及びこれらの水溶性ポリマーの塩を構成するモノマーの共重合体からなる群から選ばれることを特徴とする、請求項９〜１２のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１４】
前記第２のハイドロゲルシートが、該第２のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の前記架橋した水溶性ポリマーの塩を含むことを特徴とする、請求項９〜１３のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１５】
前記第２のハイドロゲルシートが、該第２のハイドロゲルシート全体の重量を基準として、０．１〜１０重量％の水を含むことを特徴とする、請求項９〜１４のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１６】
前記第１のハイドロゲルシートが食品に対向するように、前記第１のハイドロゲルシートに第２のハイドロゲルシートが積層されていることを特徴とする、請求項９〜１５のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１７】
さらに、
前記第２のハイドロゲルシートの、前記第１のハイドロゲルシートと対向する面とは反対の面に積層された第３のハイドロゲルシート
を備え、
前記第３のハイドロゲルシートは、前記第１のアガロース又はその誘導体、前記第１のアガロース又はその誘導体と水素結合を形成し得る前記ポリマー、及び水を含む
ことを特徴とする、請求項９〜１６のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シート。
【請求項１８】
食品輸送用容器であって、請求項１〜１７のいずれか１項に記載の食品鮮度保持用シートを備えることを特徴とする、前記食品輸送用容器。
【請求項１９】
さらに、食品を保持するための緩衝シートを備えることを特徴とする、請求項１８に記載の食品輸送用容器。
【請求項２０】
前記緩衝シートが、水蒸気が通過し得る大きさの孔を有することを特徴とする、請求項１９に記載の食品輸送用容器。
【請求項２１】
前記緩衝シートが、食品の寸法及び形状に適合した凹部を有することを特徴とする、請求項１９又は２０に記載の食品輸送用容器。
【請求項２２】
前記緩衝シートが、３Ｄプリンターを使用して作製した鋳型を用いて成形したものであることを特徴とする、請求項１９〜２１のいずれか１項に記載の食品輸送用容器。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月7日(2019.11.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
遷移金属を含む原料溶液を用いて熱可塑性樹脂からなる基体上に金属酸化膜を成膜する積層体の製造方法であって、前記原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスを用いて前記基体近傍まで搬送し、ついで、前記ミストまたは前記液滴を熱反応させることにより、前記基体上に前記金属酸化膜を形成することを特徴とする積層体の製造方法。
【請求項２】
前記遷移金属が、周期律表第４族遷移金属である請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
前記遷移金属が、チタンである請求項１または２に記載の製造方法。
【請求項４】
前記原料溶液が、前記遷移金属のジケトン錯体を含む請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
【請求項５】
前記熱可塑性樹脂が、アクリル樹脂である請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
【請求項６】
前記キャリアガスとして、不活性ガスを用いる請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法。
【請求項７】
前記熱反応を、大気圧下で行う請求項１〜６のいずれかに記載の製造方法。
【請求項８】
熱可塑性樹脂からなる基体上に遷移金属を主成分として含む金属酸化膜が成膜されている積層体であって、請求項１〜７のいずれかに記載の製造方法により得られた積層体。
【請求項９】
熱可塑性樹脂からなる基体上に遷移金属を主成分として含む金属酸化膜が成膜されている積層体であって、波長３５０ｎｍにおける光透過率が８０％以上であることを特徴とする積層体。
【請求項１０】
前記遷移金属が、周期律表第４族遷移金属である請求項８または９に記載の積層体。
【請求項１１】
前記遷移金属が、チタンである請求項８〜１０のいずれかに記載の積層体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
すなわち、本発明は、以下の発明に関する。
［１］  遷移金属を含む原料溶液を用いて熱可塑性樹脂からなる基体上に金属酸化膜を成膜する積層体の製造方法であって、前記原料溶液を霧化または液滴化し、得られたミストまたは液滴をキャリアガスを用いて前記基体近傍まで搬送し、ついで、前記ミストまたは前記液滴を熱反応させることにより、前記基体上に前記金属酸化膜を形成することを特徴とする積層体の製造方法。
［２］  前記遷移金属が、周期律表第４族遷移金属である前記［１］記載の製造方法。
［３］  前記遷移金属が、チタンである前記［１］または［２］に記載の製造方法。
［４］  前記原料溶液が、前記遷移金属のジケトン錯体を含む前記［１］〜［３］のいずれかに記載の製造方法。
［５］  前記熱可塑性樹脂が、アクリル樹脂である前記［１］〜［４］のいずれかに記載の製造方法。
［６］  前記キャリアガスとして、不活性ガスを用いる前記［１］〜［５］のいずれかに記載の製造方法。
［７］  前記熱反応を、大気圧下で行う前記［１］〜［６］のいずれかに記載の製造方法。
［８］  熱可塑性樹脂からなる基体上に遷移金属を主成分として含む金属酸化膜が成膜されている積層体であって、前記［１］〜［７］のいずれかに記載の製造方法により得られた積層体。
［９］  熱可塑性樹脂からなる基体上に遷移金属を主成分として含む金属酸化膜が成膜されている積層体であって、波長３５０ｎｍにおける光透過率が８０％以上であることを特徴とする積層体。
［１０］  前記遷移金属が、周期律表第４族遷移金属である前記［８］または［９］に記載の積層体。
［１１］  前記遷移金属が、チタンである前記［８］〜［１０］のいずれかに記載の積層体。
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月11日(2019.4.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
構成元素として、希土類元素、酸素およびハロゲン元素を含み、
希土類元素オキシハロゲン化物と希土類元素ハロゲン化物との混晶を含む、溶射用材料。
【請求項２】
前記希土類元素のハロゲン化物である希土類元素ハロゲン化物を実質的に含まない、請求項１に記載の溶射用材料。
【請求項３】
前記希土類元素の酸化物である希土類元素酸化物を実質的に含まない、請求項１または２に記載の溶射用材料。
【請求項４】
前記希土類元素オキシハロゲン化物を実質的に含まない、請求項１〜３のいずれか１項に記載の溶射用材料。
【請求項５】
前記混晶における前記希土類元素ハロゲン化物の割合は、５モル％以上９５モル％以下である、請求項１〜４のいずれか１項に記載の溶射用材料。
【請求項６】
前記希土類元素としてイットリウムを含み、
前記ハロゲン元素としてフッ素を含み、
前記希土類元素オキシハロゲン化物としてイットリウムオキシフッ化物を含み、
前記希土類元素ハロゲン化物としてフッ化イットリムを含む、
請求項１〜５のいずれか１項に記載の溶射用材料。
【請求項７】
平均粒子径が５μｍ以上６０μｍ以下の粉体である、
請求項１〜６のいずれか１項に記載の溶射用材料。
【請求項８】
前記粉体における細孔半径が１μｍ以下の累積細孔容積は、０．１ｃｍ３／ｇ以下である、請求項７に記載の溶射用材料。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００４】
そこで従来より、半導体デバイス製造装置においては、パーティクルの発生を低減させる目的で、酸素ガスやハロゲンガス等のプラズマに晒される部材に、耐プラズマエロージョン性を備えるセラミックの溶射皮膜を設けることが行われている。例えば、特許文献１には、イットリウムオキシフッ化物が高い耐プラズマエロージョン性を備え得ることが開示され、少なくとも一部にイットリウムのオキシフッ化物を含む顆粒（造粒粒子）を溶射用材料として用いることが記載されている。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月6日(2019.11.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
成膜対象物及びターゲットが配置されるチャンバと、
前記チャンバの内部に反応性ガスを供給する反応性ガス供給部と、
前記チャンバの内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、
前記ターゲットに電力を供給する電源と、
前記電力の供給によって生じるプラズマが発する光を受ける受光部と、
光の強度と成膜速度とが比例関係と異なる関係で対応付けられた対応データを用いて、前記受光部にて受けた光の強度に対応する推定の成膜速度を求め、前記推定の成膜速度が目標成膜速度に近づくように、前記反応性ガスの流量、前記不活性ガスの流量及び前記電源の出力のうち少なくとも１つを制御する制御部と、を備えることを特徴とするスパッタリング装置。
【請求項２】
前記対応データは、成膜速度を示す変数が光の速度を示す変数の１次以上の式で表される関数であることを特徴とする請求項１に記載のスパッタリング装置。
【請求項３】
前記関数は、ｒａｔｅを成膜速度を示す変数、Ｉｐを光の強度を示す変数、ａ０，ａ１，ａ２，ａ３，ａ４を定数とし、ａ４≠０としたとき、
ｒａｔｅ＝ａ０＋ａ１×Ｉｐ＋ａ２×Ｉｐ２＋ａ３×Ｉｐ３＋ａ４×Ｉｐ４
で表される４次関数であることを特徴とする請求項２に記載のスパッタリング装置。
【請求項４】
前記関数は、ｒａｔｅを成膜速度を示す変数、Ｉｐを光の強度を示す変数、ｂ０，ｂ１を定数とし、ｂ０≠０，ｂ１≠０としたとき、
ｒａｔｅ＝ｂ０＋ｂ１×Ｉｐ
で表される１次関数であることを特徴とする請求項２に記載のスパッタリング装置。
【請求項５】
前記対応データにおける光の強度は、前記ターゲットの材料が発する光の強度と前記不活性ガスが発する光の強度との強度比であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
【請求項６】
前記対応データを記憶する記憶部を更に備えたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記推定の成膜速度を周期的に求め、前記推定の成膜速度から推定の膜厚を求め、前記推定の膜厚が目標膜厚に達するまで成膜を行うことを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記推定の成膜速度が前記目標成膜速度に近づくように、前記反応性ガスの流量及び前記電源の出力を制御することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のスパッタリング装置。
【請求項９】
成膜対象物及びターゲットが配置されたチャンバの内部に反応性ガス及び不活性ガスを供給し、電源により前記ターゲットに電力を供給して前記チャンバの内部にプラズマを発生させて、前記成膜対象物に膜を形成する膜の製造方法であって、
光の強度と成膜速度とが比例関係と異なる関係で対応付けられた対応データを用いて、受光部にて受けた光の強度に対応する推定の成膜速度を求め、前記推定の成膜速度が目標成膜速度に近づくように、前記反応性ガスの流量、前記不活性ガスの流量及び前記電源の出力のうち少なくとも１つを制御することを特徴とする膜の製造方法。
【請求項１０】
前記対応データは、成膜速度を示す変数が光の速度を示す変数の１次以上の式で表される関数であることを特徴とする請求項９に記載の膜の製造方法。
【請求項１１】
前記対応データは、ｒａｔｅを成膜速度を示す変数、Ｉｐを光の強度を示す変数、ａ０，ａ１，ａ２，ａ３，ａ４を定数とし、ａ４≠０としたとき、
ｒａｔｅ＝ａ０＋ａ１×Ｉｐ＋ａ２×Ｉｐ２＋ａ３×Ｉｐ３＋ａ４×Ｉｐ４
で表される４次関数であることを特徴とする請求項１０に記載の膜の製造方法。
【請求項１２】
前記対応データは、ｒａｔｅを成膜速度を示す変数、Ｉｐを光の強度を示す変数、ｂ０，ｂ１を定数とし、ｂ０≠０，ｂ１≠０としたとき、
ｒａｔｅ＝ｂ０＋ｂ１×Ｉｐ
で表される１次関数であることを特徴とする請求項１１に記載の膜の製造方法。
【請求項１３】
前記対応データにおける光の強度は、前記ターゲットの材料が発する光の強度と前記不活性ガスが発する光の強度との強度比であることを特徴とする請求項９乃至１２のいずれか１項に記載の膜の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明のスパッタリング装置は、成膜対象物及びターゲットが配置されるチャンバと、前記チャンバの内部に反応性ガスを供給する反応性ガス供給部と、前記チャンバの内部に不活性ガスを供給する不活性ガス供給部と、前記ターゲットに電力を供給する電源と、前記電力の供給によって生じるプラズマが発する光を受ける受光部と、光の強度と成膜速度とが比例関係と異なる関係で対応付けられた対応データを用いて、前記受光部にて受けた光の強度に対応する推定の成膜速度を求め、前記推定の成膜速度が目標成膜速度に近づくように、前記反応性ガスの流量、前記不活性ガスの流量及び前記電源の出力のうち少なくとも１つを制御する制御部と、を備えることを特徴とする。