(57)【要約】  画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを防止する固体撮像装置を提供する。すなわち、固体撮像装置に、水平レジスタを駆動するための水平駆動パルスを生成する水平駆動回路に加えて、水平ブランキング期間中に、水平駆動パルスに連続した擬似水平駆動パルスを生成する擬似水平駆動回路を設ける。そして、水平ドライバ用電源部に水平駆動回路および擬似水平駆動回路を接続して、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流に等しい電流が、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成されるようにする。このように構成して、有効期間開始直後に電源リップルが発生しないようにする。
2008007726.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を信号電荷に変換する受光部と、
前記受光部により変換された信号電荷を第１の方向に転送する垂直レジスタと、
前記垂直レジスタにより転送された信号電荷を、前記第１の方向とは異なる第２の方向に転送する水平レジスタと、を備える固体撮像装置であって、
前記水平レジスタを駆動する水平駆動パルスを生成する水平駆動回路と、
ダミー負荷と、
前記水平駆動パルスが停止している期間中、前記ダミー負荷を駆動する、前記水平駆動パルスに連続した擬似水平駆動パルスを生成する擬似水平駆動回路と、
前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に接続する電源部と、
を備える固体撮像装置。
【請求項２】
前記電源部は、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に同一接続する電源供給端子を有する請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記水平駆動回路と同数の前記擬似水平駆動回路を備える請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記水平駆動回路より少ない個数の前記擬似水平駆動回路を備える請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記電源部は、少なくとも前記水平駆動回路と同数の電源供給端子を有する請求項３もしくは４のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記擬似水平駆動回路を複数個備え、前記ダミー負荷は、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された第１のコンデンサと、前記各擬似水平駆動回路間に接続された第２のコンデンサと、を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記ダミー負荷は、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された、コンデンサと抵抗の並列回路を有する請求項１ないし６のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が同一の回路基板上に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤカメラなどに用いる固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下、従来の固体撮像装置について、図面を参照しながら説明する。図２０に従来のインターライン転送型の固体撮像素子の構成の一例を示す。【０００３】
図２０に示すように、固体撮像素子１００は、フォトダイオード（受光部）１０１、読み出しゲート１０２、垂直レジスタ１０３、水平レジスタ１０４、および浮遊拡散層型の電荷検出部１０５を基板上に備える。【０００４】
フォトダイオード１０１は２次元状に配置され、入射光を光電変換して、その入射光量に応じた量の信号電荷を蓄積する。読み出しゲート１０２は、フォトダイオード１０１に蓄積された信号電荷を垂直レジスタ１０３へ読み出す。垂直レジスタ１０３は、読み出しゲート１０２を介してフォトダイオード１０１から受け取った信号電荷を垂直方向（第１の方向）に転送する。水平レジスタ１０４は、垂直レジスタ１０３から受け取った信号電荷を、上記した垂直方向に直交する水平方向（第２の方向）に転送する。電荷検出部１０５は水平レジスタ１０４の一端に設けられ、水平レジスタ１０４から受け取った信号電荷を電圧信号に変換する。ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。【０００５】
続いて、上記した固体撮像素子１００を備える従来の固体撮像装置の動作を簡単に説明する。【０００６】
まず固体撮像装置は、任意の期間、フォトダイオード１０１に光を入射させる。フォトダイオード１０１は、入射した光を、その入射光量に応じた量の信号電荷に変換し、その変換した信号電荷を蓄積する。【０００７】
次に固体撮像装置は、垂直ブランキング期間に、読み出しゲート１０２をオン状態にする。オン状態となった読み出しゲート１０２は、フォトダイオード１０１に蓄積された信号電荷を垂直レジスタ１０３へ送る。【０００８】
次に固体撮像装置は、水平ブランキング期間に、垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４によって垂直レジスタ１０３を駆動する。垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４によって駆動される垂直レジスタ１０３は、読み出しゲート１０２から受け取った信号電荷を、垂直方向へ１段転送する。このとき、垂直レジスタ１０３の最終段に存在する信号電荷は、水平レジスタ１０４に転送される。【０００９】
次に固体撮像装置は、有効期間中に、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって水平レジスタ１０４を駆動する。水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって駆動される水平レジスタ１０４は、垂直レジスタ１０３から受け取った信号電荷を、水平方向へ転送して、電荷検出部１０５へ送る。【００１０】
電荷検出部１０５は、水平レジスタ１０４から受け取った信号電荷を電圧信号に変換し、その変換した電圧信号を固体撮像素子１００の外部に出力する。【００１１】
図２１に、従来の固体撮像装置の回路の一部を示す。図２１に示すように、当該固体撮像装置は、クロックジェネレータ１、水平ドライバ用電源部２、第１の水平駆動回路３、および第２の水平駆動回路４を備える。【００１２】
クロックジェネレータ１は論理回路を備え、その論理回路において、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１、Ｈ２を生成する。水平ドライバ用電源部２は、第１の水平駆動回路３に接続する電源供給端子と、第２の水平駆動回路４に接続する電源供給端子と、を有し、水平駆動回路３、４へ供給する電力を生成する。【００１３】
第１の水平駆動回路３は、クロックパルスＨ１に基づいて、水平駆動パルスφＨ１を生成する。第２の水平駆動回路４は、クロックパルスＨ２に基づいて、水平駆動パルスφＨ２を生成する。２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されている。【００１４】
また、図２１において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３へ流れる電流である。またＩＨ２は、水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流である。【００１５】
図２２に、上記した垂直レジスタ１０３と水平レジスタ１０４の結合部の構成を示す。図２２に示すように、垂直レジスタは、転送チャネル２０１、および転送電極２０２〜２０５を備える。また、水平レジスタは、転送チャネル２０６、および転送電極２０７〜２１０を備える。【００１６】
垂直レジスタの転送電極２０２〜２０５にはそれぞれ垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４が印加される。また水平レジスタの転送電極２０７および２０９の下には、電位障壁が形成されている（図示せず）。また、水平レジスタの転送電極２０７および２０８には、水平駆動パルスφＨ１が印加される。水平レジスタの転送電極２０９および２１０には、水平駆動パルスφＨ２が印加される。【００１７】
図２３に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、および第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。また、図２４に、図２３に示す水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形のＡ部の拡大図を示す。【００１８】
図２３に示すように、水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２は互いに逆位相のパルスであり、通常そのローレベルは０Ｖ、ハイレベルは３〜５Ｖである。【００１９】
また、水平ブランキング期間中、水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。【００２０】
水平ブランキング期間の後、水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。【００２１】
このように従来の固体撮像装置では、水平ブランキング期間中に、水平レジスタの駆動タイミングを規定する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を停止させていた（特許文献１を参照。）。【００２２】
しかしながら、従来の固体撮像装置では、図２３に示すように、信号電荷を水平レジスタから電荷検出部へ転送する有効期間中は、周期的に水平ドライバ用電源部から水平駆動回路へ電流が流れているが、水平ブランキング期間においては、水平ドライバ用電源部から水平駆動回路へ電流はほとんど流れていない。したがって、有効期間開始直後に、水平ドライバ用電源部から大きな電流が急峻に流れ出ることになる。このような電流変動があると、たとえ水平ドライバ用電源部の電源供給端子の電圧が一定であっても、水平ドライバ用電源部に接続する電源ラインに寄生するリアクタンス成分の影響で、電源リップルが発生する。よって、有効期間開始直後に、水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）に、図２３に示すようなリップルが発生する。そして、その電源リップルの発生により、図２４に示すように、有効期間開始直後、約数十ビット、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れる。【００２３】
このように、有効期間開始直後、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れると、画像劣化が起こる。以下、図２５、２６を用いて、その画像劣化について説明する。【００２４】
図２５は、従来の固体撮像装置の電荷検出部において生成される電圧信号の模式図である。また図２６は、従来の画像を示す模式図である。【００２５】
有効期間開始直後、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れると、図２５に示すように、電荷検出部１０５にて生成される電圧信号の信号レベルが、有効期間開始直後に低下する。そして、有効期間開始直後に、電荷検出部１０５にて生成される電圧信号の信号レベルが低下すると、図２６に示すように、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れる。【００２６】
以上のように、従来の固体撮像装置では、有効期間開始直後に電源リップルが発生して、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるという問題があった。【００２７】
なお、水平ドライバ用電源部の電源供給端子の各々に大きな容量のコンデンサを接続して、水平ドライバ用電源部の電源供給端子と水平駆動回路の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分をキャンセルするか、もしくは、電源ラインの長さを極力短くして、電源ラインに寄生するリアクタンス成分を極力小さくすることで、有効期間開始直後に電源リップルが発生しないようにすることも考えられるが、カメラシステムによっては実装上の制約からこれらの対策が十分に対応できない場合があるため、有効な対策とはならない。
【特許文献１】特開２００４−２２９０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２８】
本発明は、上記問題点に鑑み、水平駆動パルスが停止している期間（水平ブランキング期間）中に、水平ドライバ用電源部において電流が生成されるようにすることで、有効期間開始直後に電源リップルが発生しないようにし、画面左端部の画像にシェーディングやリンキング等の画像劣化が現れるのを防止することができる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２９】
上記目的を達成するため、本発明に係る固体撮像装置は、入射光を信号電荷に変換する受光部と、前記受光部により変換された信号電荷を第１の方向に転送する垂直レジスタと、前記垂直レジスタにより転送された信号電荷を、前記第１の方向とは異なる第２の方向に転送する水平レジスタと、を備える固体撮像装置であって、前記水平レジスタを駆動する水平駆動パルスを生成する水平駆動回路と、ダミー負荷と、前記水平駆動パルスが停止している期間中、前記ダミー負荷を駆動する、前記水平駆動パルスに連続した擬似水平駆動パルスを生成する擬似水平駆動回路と、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に接続する電源部と、を備えることを特徴とする。【００３０】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記電源部が、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に同一接続する電源供給端子を有することを特徴とする。【００３１】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と同数の前記擬似水平駆動回路を備えることを特徴とする。【００３２】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路より少ない個数の前記擬似水平駆動回路を備えることを特徴とする。【００３３】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記電源部が、少なくとも前記水平駆動回路と同数の電源供給端子を有することを特徴とする。【００３４】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記擬似水平駆動回路を複数個備え、前記ダミー負荷が、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された第１のコンデンサと、前記各擬似水平駆動回路間に接続された第２のコンデンサと、を有することを特徴とする。【００３５】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記ダミー負荷が、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された、コンデンサと抵抗の並列回路を有することを特徴とする。【００３６】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されていることを特徴とする。【００３７】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が同一の回路基板上に形成されていることを特徴等する。
【発明の効果】
【００３８】
本発明の好ましい形態によれば、水平ブランキング期間（水平駆動パルスが停止している期間）中に、電源部において電流が生成されるようにして、有効期間開始直後の電源リップルを抑制し、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３９】
【図１】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図２】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図３】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図４】本発明の実施の形態２における固体撮像装置が備える固体撮像素子の構成の一例を示す図
【図５】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す平面図
【図６】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図７】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図８】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図９】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図１０】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の水平レジスタの転送電極の等価回路を示す図
【図１１】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図１２】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図１３】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図１４】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図１５】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第１例の回路の一部を示すブロック図
【図１６】本発明の実施の形態５における固体撮像装置のダミー負荷の回路図
【図１７】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第２例の回路の一部を示すブロック図
【図１８】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第３例の回路の一部を示すブロック図
【図１９】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第４例の回路の一部を示すブロック図
【図２０】従来の固体撮像素子の構成を示す図
【図２１】従来の固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図２２】従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す平面図
【図２３】従来の固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図２４】従来の固体撮像装置における水平駆動パルスの信号波形の拡大図
【図２５】従来の固体撮像装置の電荷検出部において生成される電圧信号の模式図
【図２６】従来の画像の模式図
【発明を実施するための最良の形態】
【００４０】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における固体撮像装置について説明する。【００４１】
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子１００の構成と同様である。【００４２】
また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。【００４３】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。【００４４】
図１は本実施の形態１における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。【００４５】
図１に示すように、当該固体撮像装置は、第１の擬似水平駆動回路６、第２の擬似水平駆動回路７、第１のダミー負荷８、および第２のダミー負荷９をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａ、Ｈ２ｂをさらに生成する。【００４６】
第１の擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、第１のダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。【００４７】
第２の擬似水平駆動回路７は、クロックパルスＨ２ｂに基づいて、第２のダミー負荷９を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ２ｂを生成する。【００４８】
第１、第２のダミー負荷８、９は、一端が擬似水平駆動回路６、７の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、第１、第２のダミー負荷８、９をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。【００４９】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、２つの擬似水平駆動回路６、７は同一の回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。【００５０】
また図１において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。【００５１】
またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。【００５２】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６へ流れる電流であり、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７へ流れる電流である。【００５３】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を有するものとする。【００５４】
以上のように、本実施の形態１における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂを生成する擬似水平駆動回路６、７を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。【００５５】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。【００５６】
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第１の擬似水平駆動回路６の電源端子が接続し、第２の水平駆動回路４の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第２の擬似水平駆動回路７の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。【００５７】
図２に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４および第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。【００５８】
図２に示すように、水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２は互いに逆位相のパルスであり、擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂも互いに逆位相のパルスである。また水平駆動パルスφＨ１、φＨ２および擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。【００５９】
また、水平ブランキング期間中、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図２２に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。【００６０】
また、図２に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。【００６１】
水平ブランキング期間の後、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって、図２２に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。【００６２】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２とほぼ等しい電流となる。【００６３】
よって、本実施の形態１によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態１によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。【００６４】
なお、本実施の形態１では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図３に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６、７を形成した構成であってもよい。【００６５】
図１に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。また同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分も異なる。そのため、図１に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。【００６６】
そこで、図３に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。【００６７】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【００６８】
同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【００６９】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。【００７０】
（実施の形態２）
以下に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置について説明する。【００７１】
図４に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置が備える固体撮像素子の構成の一例を示す。この固体撮像素子１００はインターライン転送型であり、その構成は、図２０に示す従来の固体撮像素子の構成と同じである。但し、この固体撮像素子１００は、水平レジスタ１０４が単相駆動される点で従来と異なる。すなわち、本実施の形態２では、水平レジスタ１０４は、水平駆動パルスφＨ１のみで駆動される。【００７２】
図５に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置の垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す。図５に示すように、垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同じである。但し、この固体撮像素子１００では、従来の固体撮像素子において水平駆動パルスφＨ２が印加される水平レジスタの転送電極２０９および２１０に、固定のバイアス電圧ＶＨｍが印加されている点で従来と異なる。ＶＨｍは、おおよそφＨ１のハイレベルとローレベルの中間の電圧である。【００７３】
図６は本発明の実施の形態２における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。【００７４】
図６に示すように、当該固体撮像装置は、クロックジェネレータ１、水平ドライバ用電源部２、水平駆動回路３、擬似水平駆動回路６、およびダミー負荷８を備える。【００７５】
クロックジェネレータ１は、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１およびクロックパルスＨ１ａを生成する。【００７６】
擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、ダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。【００７７】
ダミー負荷８は、一端が擬似水平駆動回路６の出力端子に接続され、他端がＧＮＤに接続されたコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、ダミー負荷８をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。【００７８】
また、水平駆動回路３は回路基板（チップ）５に形成されており、擬似水平駆動回路６は回路基板（チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。【００７９】
また図６において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流である。なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、水平駆動回路３に対する電源供給端子を有するものとする。【００８０】
以上のように、本実施の形態２における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１を生成する水平駆動回路３に加えて、水平駆動パルスφＨ１が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する擬似水平駆動回路６を備え、水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。【００８１】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。【００８２】
また、当該固体撮像装置は、水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、擬似水平駆動回路６の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。【００８３】
図７に水平駆動回路３が生成する水平駆動パルスφＨ１の信号波形、擬似水平駆動回路６が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａの信号波形、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流ＩＨ１の信号波形、並びに水平駆動回路３の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。なお、水平駆動パルスφＨ１および擬似水平駆動パルスφＨ１ａは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。【００８４】
図７に示すように、水平ブランキング期間中、図５に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図５に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図５に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。【００８５】
また、図７に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。【００８６】
水平ブランキング期間の後、図５に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、水平駆動パルスφＨ１によって、図５に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。【００８７】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａは水平駆動パルスφＨ１に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３へは電流は流れないが、擬似水平駆動回路６へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に水平駆動回路３へ流れる電流ＩＨ１とほぼ等しい電流となる。【００８８】
よって、本実施の形態２によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態２によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。【００８９】
なお、本実施の形態２では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図８に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３と擬似水平駆動回路６を形成した構成であってもよい。【００９０】
図６に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。そのため、図６に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。【００９１】
そこで、図８に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。【００９２】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【００９３】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。【００９４】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３における固体撮像装置について説明する。【００９５】
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子１００の構成と同様である。【００９６】
また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。【００９７】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。【００９８】
図９は本実施の形態３における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。【００９９】
図９に示すように、当該固体撮像装置は、第１の擬似水平駆動回路６、第２の擬似水平駆動回路７、第１のダミー負荷８、第２のダミー負荷９、および第３のダミー負荷１２をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａ、Ｈ２ｂをさらに生成する。【０１００】
第１の擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、第１、第３のダミー負荷８、１２を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。また第２の擬似水平駆動回路７は、クロックパルスＨ２ｂに基づいて、第２、第３のダミー負荷９、１２を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ２ｂを生成する。このように、第３のダミー負荷１２は、擬似水平駆動回路６および７によって駆動される。【０１０１】
第１、第２のダミー負荷８、９は、詳しくは、一端が擬似水平駆動回路６、７の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。また第３のダミー負荷１２は、一端が第１の擬似水平駆動回路６の出力端子に接続し、他端が第２の擬似水平駆動回路７の出力端子に接続するコンデンサで構成されている。【０１０２】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、２つの擬似水平駆動回路６、７は同一の回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。【０１０３】
また図９において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。【０１０４】
またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。【０１０５】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６へ流れる電流、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７へ流れる電流である。【０１０６】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を有するものとする。【０１０７】
図１０に水平レジスタの転送電極の等価回路を示す。水平レジスタの転送電極は等価的にキャパシタ構造となっており、水平駆動パルスφＨ１とＧＮＤとの間のキャパシタ１３と、水平駆動パルスφＨ２とＧＮＤとの間のキャパシタ１４の他に、水平駆動パルスφＨ１と水平駆動パルスφＨ２との間のキャパシタ１５が存在する。【０１０８】
そこで、第１のダミー負荷８をキャパシタ１３の容量ＣＨ１を持つコンデンサで構成し、第２のダミー負荷９をキャパシタ１４の容量ＣＨ２を持つコンデンサで構成し、第３のダミー負荷１２をキャパシタ１５の容量ＣＨ３を持つコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に、より近づけることができる。【０１０９】
以上のように、本実施の形態３における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂを生成する擬似水平駆動回路６、７を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。【０１１０】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。【０１１１】
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第１の擬似水平駆動回路６の電源端子が接続し、第２の水平駆動回路４の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第２の擬似水平駆動回路７の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。【０１１２】
なお、第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４および第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形は、前述した実施の形態１で説明した波形と同様となる（図２参照）。【０１１３】
すなわち、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２とほぼ等しい電流となる。【０１１４】
よって、本実施の形態３によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態３によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。【０１１５】
なお、本実施の形態３では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図１１に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６、７を形成した構成であってもよい。【０１１６】
図９に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。また同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分も異なる。そのため、図９に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。【０１１７】
そこで、図１１に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。【０１１８】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【０１１９】
同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【０１２０】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。【０１２１】
（実施の形態４）
前述の実施の形態１ないし３では、水平駆動回路と同数の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置について説明したが、本発明に係る固体撮像装置は、例えば、２個の水平駆動回路に対して１個の擬似水平駆動回路を備えた構成としてもよい。【０１２２】
図１２に本実施の形態４における固体撮像装置の回路の一部を示す。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。【０１２３】
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子１００はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子の構成と同様である。また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。【０１２４】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。【０１２５】
図１２に示すように、当該固体撮像装置は、擬似水平駆動回路６およびダミー負荷８をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａをさらに生成する。【０１２６】
擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、ダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。【０１２７】
ダミー負荷８は、一端が擬似水平駆動回路６の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、ダミー負荷８をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。【０１２８】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、擬似水平駆動回路６は、回路基板５とは異なる回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。【０１２９】
また図１２において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。【０１３０】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流であり、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流である。【０１３１】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を備えるものとする。【０１３２】
また当該固体撮像装置では、擬似水平駆動回路６に流れる電流は、前述の実施の形態１における擬似水平駆動回路６に流れる電流に対して約２倍となる。そこで、実施の形態１における擬似水平駆動回路６と同等の状態にするために、本実施の形態２ではダミー負荷８の容量を約２倍にする。【０１３３】
以上のように、本実施の形態４における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する擬似水平駆動回路６を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。【０１３４】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。【０１３５】
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、擬似水平駆動回路６の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。【０１３６】
図１３に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、擬似水平駆動回路６が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流ＩＨ１の信号波形、水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。【０１３７】
図１３に示すように、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は互いに逆位相のパルスである。また、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２および擬似水平駆動パルスφＨ１ａは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。【０１３８】
また、水平ブランキング期間中、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図２２に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。【０１３９】
また、図１３に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。【０１４０】
水平ブランキング期間の後、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって、図２２に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。【０１４１】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａは水平駆動パルスφＨ１に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、擬似水平駆動回路６へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ１や電流ＩＨ２の約２倍の電流となる。【０１４２】
よって、本実施の形態４によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態４によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。【０１４３】
なお、本実施の形態４では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図１４に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６を形成した構成であってもよい。【０１４４】
図１２に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。そのため、図１２に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ１や電流ＩＨ２の２倍に完全にはならない。【０１４５】
そこで、図１４に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流の２倍に等しくなるようにする。【０１４６】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線の配線長と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。【０１４７】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。【０１４８】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５における固体撮像装置について説明する。【０１４９】
図１５は、本実施の形態５における固体撮像装置の第１例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。【０１５０】
図１５において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１５１】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１５２】
図１６に、本実施の形態５におけるダミー負荷の一例を示す。図１６に示すように、本実施の形態５では、ダミー負荷として、コンデンサ１６と抵抗１７を並列接続した回路を用いる。【０１５３】
水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７までの距離が長くなると、電源ラインの直流抵抗が無視できなくなってくる。その結果、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流との間に差が生ずるとともに、電源ラインの抵抗成分Ｒ１およびＲ２による電圧降下に差が生ずると、有効期間中に水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）と水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６、７の電源端子に印加される電圧（端子電圧）との間に差が生じる。そして、このように有効期間開始直後に電圧変動が起こると、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が生じる。【０１５４】
そこで、この実施の形態５の第１例では、第１の擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８、並びに第２の擬似水平駆動回路７の出力端子と接地間に接続するダミー負荷９として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。【０１５５】
図１７は、本実施の形態５における固体撮像装置の第２例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態２において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。【０１５６】
図１７において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１５７】
この実施の形態５の第２例においても、擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。【０１５８】
図１８は、本実施の形態５における固体撮像装置の第３例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態３において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。【０１５９】
図１８において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１６０】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１６１】
この実施の形態５の第３例においても、第１の擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８、並びに第２の擬似水平駆動回路７の出力端子と接地間に接続するダミー負荷９として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。【０１６２】
図１９は、本実施の形態５における固体撮像装置の第４例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態４において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。【０１６３】
図１９において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１６４】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。【０１６５】
この実施の形態５の第４例においても、擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流の２倍に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。【０１６６】
なお、本実施の形態５では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、前述の実施の形態１ないし４で説明したように、同一の回路基板（同一チップ）上に水平駆動回路と擬似水平駆動回路を形成した構成とすることも可能である。【０１６７】
上記実施の形態１ないし５では、２個の水平駆動回路と２個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置と、１個の水平駆動回路と１個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置と、２個の水平駆動回路と１個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置を例に説明を行ったが、無論、水平駆動回路と擬似水平駆動回路の数はこれに限るものではない。例えば４相駆動の水平レジスタを用いる場合には、４個の水平駆動回路と、４個以下の擬似水平駆動回路を設ければよい。
【産業上の利用可能性】
【０１６８】
本発明にかかる固体撮像装置は、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制でき、ＣＣＤカメラなどの電子機器に有用である。
【図１】
2008007726.tif 000003
【図２】
2008007726.tif 000004
【図３】
2008007726.tif 000005
【図４】
2008007726.tif 000006
【図５】
2008007726.tif 000007
【図６】
2008007726.tif 000008
【図７】
2008007726.tif 000009
【図８】
2008007726.tif 000010
【図９】
2008007726.tif 000011
【図１０】
2008007726.tif 000012
【図１１】
2008007726.tif 000013
【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
2008007726.tif 000016
【図１５】
2008007726.tif 000017
【図１６】
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【図１７】
2008007726.tif 000019
【図１８】
2008007726.tif 000020
【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
2008007726.tif 000028
【手続補正書】
【提出日】平成20年11月5日(2008.11.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
入射光を信号電荷に変換する受光部と、
前記受光部により変換された信号電荷を第１の方向に転送する垂直レジスタと、
前記垂直レジスタにより転送された信号電荷を、前記第１の方向とは異なる第２の方向に転送する水平レジスタと、を備える固体撮像装置であって、
前記水平レジスタを駆動する水平駆動パルスを生成する水平駆動回路と、
ダミー負荷と、
前記水平駆動パルスが停止している期間中、前記ダミー負荷を駆動する、前記水平駆動パルスに連続した擬似水平駆動パルスを生成する擬似水平駆動回路と、
前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に接続する電源部と、
を備える固体撮像装置。
【請求項２】
前記電源部は、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に同一接続する電源供給端子を有する請求項１記載の固体撮像装置。
【請求項３】
前記水平駆動回路と同数の前記擬似水平駆動回路を備える請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項４】
前記水平駆動回路より少ない個数の前記擬似水平駆動回路を備える請求項１もしくは２のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項５】
前記電源部は、少なくとも前記水平駆動回路と同数の電源供給端子を有する請求項３もしくは４のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項６】
前記擬似水平駆動回路を複数個備え、前記ダミー負荷は、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された第１のコンデンサと、前記各擬似水平駆動回路間に接続された第２のコンデンサと、を有する請求項１ないし５のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項７】
前記ダミー負荷は、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された、コンデンサと抵抗の並列回路を有する請求項１ないし６のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項８】
前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【請求項９】
前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が同一の回路基板上に形成されている請求項１ないし７のいずれかに記載の固体撮像装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＣＣＤカメラなどに用いる固体撮像装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
以下、従来の固体撮像装置について、図面を参照しながら説明する。図２０に従来のインターライン転送型の固体撮像素子の構成の一例を示す。
図２０に示すように、固体撮像素子１００は、フォトダイオード（受光部）１０１、読み出しゲート１０２、垂直レジスタ１０３、水平レジスタ１０４、および浮遊拡散層型の電荷検出部１０５を基板上に備える。
【０００３】
フォトダイオード１０１は２次元状に配置され、入射光を光電変換して、その入射光量に応じた量の信号電荷を蓄積する。読み出しゲート１０２は、フォトダイオード１０１に蓄積された信号電荷を垂直レジスタ１０３へ読み出す。垂直レジスタ１０３は、読み出しゲート１０２を介してフォトダイオード１０１から受け取った信号電荷を垂直方向（第１の方向）に転送する。水平レジスタ１０４は、垂直レジスタ１０３から受け取った信号電荷を、上記した垂直方向に直交する水平方向（第２の方向）に転送する。電荷検出部１０５は水平レジスタ１０４の一端に設けられ、水平レジスタ１０４から受け取った信号電荷を電圧信号に変換する。ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。
【０００４】
続いて、上記した固体撮像素子１００を備える従来の固体撮像装置の動作を簡単に説明する。
まず固体撮像装置は、任意の期間、フォトダイオード１０１に光を入射させる。フォトダイオード１０１は、入射した光を、その入射光量に応じた量の信号電荷に変換し、その変換した信号電荷を蓄積する。
【０００５】
次に固体撮像装置は、垂直ブランキング期間に、読み出しゲート１０２をオン状態にする。オン状態となった読み出しゲート１０２は、フォトダイオード１０１に蓄積された信号電荷を垂直レジスタ１０３へ送る。
【０００６】
次に固体撮像装置は、水平ブランキング期間に、垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４によって垂直レジスタ１０３を駆動する。垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４によって駆動される垂直レジスタ１０３は、読み出しゲート１０２から受け取った信号電荷を、垂直方向へ１段転送する。このとき、垂直レジスタ１０３の最終段に存在する信号電荷は、水平レジスタ１０４に転送される。
【０００７】
次に固体撮像装置は、有効期間中に、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって水平レジスタ１０４を駆動する。水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって駆動される水平レジスタ１０４は、垂直レジスタ１０３から受け取った信号電荷を、水平方向へ転送して、電荷検出部１０５へ送る。
【０００８】
電荷検出部１０５は、水平レジスタ１０４から受け取った信号電荷を電圧信号に変換し、その変換した電圧信号を固体撮像素子１００の外部に出力する。
図２１に、従来の固体撮像装置の回路の一部を示す。図２１に示すように、当該固体撮像装置は、クロックジェネレータ１、水平ドライバ用電源部２、第１の水平駆動回路３、および第２の水平駆動回路４を備える。
【０００９】
クロックジェネレータ１は論理回路を備え、その論理回路において、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１、Ｈ２を生成する。水平ドライバ用電源部２は、第１の水平駆動回路３に接続する電源供給端子と、第２の水平駆動回路４に接続する電源供給端子と、を有し、水平駆動回路３、４へ供給する電力を生成する。
【００１０】
第１の水平駆動回路３は、クロックパルスＨ１に基づいて、水平駆動パルスφＨ１を生成する。第２の水平駆動回路４は、クロックパルスＨ２に基づいて、水平駆動パルスφＨ２を生成する。２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されている。
【００１１】
また、図２１において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３へ流れる電流である。またＩＨ２は、水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流である。
【００１２】
図２２に、上記した垂直レジスタ１０３と水平レジスタ１０４の結合部の構成を示す。図２２に示すように、垂直レジスタは、転送チャネル２０１、および転送電極２０２〜２０５を備える。また、水平レジスタは、転送チャネル２０６、および転送電極２０７〜２１０を備える。
【００１３】
垂直レジスタの転送電極２０２〜２０５にはそれぞれ垂直駆動パルスφＶ１〜φＶ４が印加される。また水平レジスタの転送電極２０７および２０９の下には、電位障壁が形成されている（図示せず）。また、水平レジスタの転送電極２０７および２０８には、水平駆動パルスφＨ１が印加される。水平レジスタの転送電極２０９および２１０には、水平駆動パルスφＨ２が印加される。
【００１４】
図２３に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、および第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。また、図２４に、図２３に示す水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形のＡ部の拡大図を示す。
【００１５】
図２３に示すように、水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２は互いに逆位相のパルスであり、通常そのローレベルは０Ｖ、ハイレベルは３〜５Ｖである。
また、水平ブランキング期間中、水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。
【００１６】
水平ブランキング期間の後、水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。
【００１７】
このように従来の固体撮像装置では、水平ブランキング期間中に、水平レジスタの駆動タイミングを規定する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を停止させていた（特許文献１を参照。）。
【００１８】
しかしながら、従来の固体撮像装置では、図２３に示すように、信号電荷を水平レジスタから電荷検出部へ転送する有効期間中は、周期的に水平ドライバ用電源部から水平駆動回路へ電流が流れているが、水平ブランキング期間においては、水平ドライバ用電源部から水平駆動回路へ電流はほとんど流れていない。したがって、有効期間開始直後に、水平ドライバ用電源部から大きな電流が急峻に流れ出ることになる。このような電流変動があると、たとえ水平ドライバ用電源部の電源供給端子の電圧が一定であっても、水平ドライバ用電源部に接続する電源ラインに寄生するリアクタンス成分の影響で、電源リップルが発生する。よって、有効期間開始直後に、水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）に、図２３に示すようなリップルが発生する。そして、その電源リップルの発生により、図２４に示すように、有効期間開始直後、約数十ビット、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れる。
【００１９】
このように、有効期間開始直後、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れると、画像劣化が起こる。以下、図２５、２６を用いて、その画像劣化について説明する。
図２５は、従来の固体撮像装置の電荷検出部において生成される電圧信号の模式図である。また図２６は、従来の画像を示す模式図である。
【００２０】
有効期間開始直後、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の位相が乱れると、図２５に示すように、電荷検出部１０５にて生成される電圧信号の信号レベルが、有効期間開始直後に低下する。そして、有効期間開始直後に、電荷検出部１０５にて生成される電圧信号の信号レベルが低下すると、図２６に示すように、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れる。
【００２１】
以上のように、従来の固体撮像装置では、有効期間開始直後に電源リップルが発生して、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるという問題があった。
【００２２】
なお、水平ドライバ用電源部の電源供給端子の各々に大きな容量のコンデンサを接続して、水平ドライバ用電源部の電源供給端子と水平駆動回路の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分をキャンセルするか、もしくは、電源ラインの長さを極力短くして、電源ラインに寄生するリアクタンス成分を極力小さくすることで、有効期間開始直後に電源リップルが発生しないようにすることも考えられるが、カメラシステムによっては実装上の制約からこれらの対策が十分に対応できない場合があるため、有効な対策とはならない。
【特許文献１】特開２００４−２２９０５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００２３】
本発明は、上記問題点に鑑み、水平駆動パルスが停止している期間（水平ブランキング期間）中に、水平ドライバ用電源部において電流が生成されるようにすることで、有効期間開始直後に電源リップルが発生しないようにし、画面左端部の画像にシェーディングやリンキング等の画像劣化が現れるのを防止することができる固体撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００２４】
上記目的を達成するため、本発明に係る固体撮像装置は、入射光を信号電荷に変換する受光部と、前記受光部により変換された信号電荷を第１の方向に転送する垂直レジスタと、前記垂直レジスタにより転送された信号電荷を、前記第１の方向とは異なる第２の方向に転送する水平レジスタと、を備える固体撮像装置であって、前記水平レジスタを駆動する水平駆動パルスを生成する水平駆動回路と、ダミー負荷と、前記水平駆動パルスが停止している期間中、前記ダミー負荷を駆動する、前記水平駆動パルスに連続した擬似水平駆動パルスを生成する擬似水平駆動回路と、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に接続する電源部と、を備えることを特徴とする。
【００２５】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記電源部が、前記水平駆動回路および前記擬似水平駆動回路に同一接続する電源供給端子を有することを特徴とする。
【００２６】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と同数の前記擬似水平駆動回路を備えることを特徴とする。
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路より少ない個数の前記擬似水平駆動回路を備えることを特徴とする。
【００２７】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記電源部が、少なくとも前記水平駆動回路と同数の電源供給端子を有することを特徴とする。
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記擬似水平駆動回路を複数個備え、前記ダミー負荷が、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された第１のコンデンサと、前記各擬似水平駆動回路間に接続された第２のコンデンサと、を有することを特徴とする。
【００２８】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記ダミー負荷が、一端が前記擬似水平駆動回路に接続し、他端が接地された、コンデンサと抵抗の並列回路を有することを特徴とする。
【００２９】
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されていることを特徴とする。
また本発明に係る固体撮像装置は、上記した固体撮像装置において、前記水平駆動回路と前記擬似水平駆動回路が同一の回路基板上に形成されていることを特徴とする。
【発明の効果】
【００３０】
本発明の好ましい形態によれば、水平ブランキング期間（水平駆動パルスが停止している期間）中に、電源部において電流が生成されるようにして、有効期間開始直後の電源リップルを抑制し、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００３１】
（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１における固体撮像装置について説明する。
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子１００の構成と同様である。
【００３２】
また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。
【００３３】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。
【００３４】
図１は本実施の形態１における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００３５】
図１に示すように、当該固体撮像装置は、第１の擬似水平駆動回路６、第２の擬似水平駆動回路７、第１のダミー負荷８、および第２のダミー負荷９をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａ、Ｈ２ｂをさらに生成する。
【００３６】
第１の擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、第１のダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。
第２の擬似水平駆動回路７は、クロックパルスＨ２ｂに基づいて、第２のダミー負荷９を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ２ｂを生成する。
【００３７】
第１、第２のダミー負荷８、９は、一端が擬似水平駆動回路６、７の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、第１、第２のダミー負荷８、９をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。
【００３８】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、２つの擬似水平駆動回路６、７は同一の回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。
【００３９】
また図１において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。
【００４０】
またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。
【００４１】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６へ流れる電流であり、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７へ流れる電流である。
【００４２】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を有するものとする。
以上のように、本実施の形態１における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂを生成する擬似水平駆動回路６、７を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。
【００４３】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第１の擬似水平駆動回路６の電源端子が接続し、第２の水平駆動回路４の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第２の擬似水平駆動回路７の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。
【００４４】
図２に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４および第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。
【００４５】
図２に示すように、水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２は互いに逆位相のパルスであり、擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂも互いに逆位相のパルスである。また水平駆動パルスφＨ１、φＨ２および擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。
【００４６】
また、水平ブランキング期間中、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図２２に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。
【００４７】
また、図２に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａおよびφＨ２ｂは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。
【００４８】
水平ブランキング期間の後、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって、図２２に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。
【００４９】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２とほぼ等しい電流となる。
【００５０】
よって、本実施の形態１によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態１によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【００５１】
なお、本実施の形態１では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図３に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６、７を形成した構成であってもよい。
【００５２】
図１に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。また同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分も異なる。そのため、図１に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。
【００５３】
そこで、図３に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。
【００５４】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【００５５】
同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【００５６】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。
【００５７】
（実施の形態２）
以下に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置について説明する。
図４に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置が備える固体撮像素子の構成の一例を示す。この固体撮像素子１００はインターライン転送型であり、その構成は、図２０に示す従来の固体撮像素子の構成と同じである。但し、この固体撮像素子１００は、水平レジスタ１０４が単相駆動される点で従来と異なる。すなわち、本実施の形態２では、水平レジスタ１０４は、水平駆動パルスφＨ１のみで駆動される。
【００５８】
図５に、本発明の実施の形態２における固体撮像装置の垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す。図５に示すように、垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同じである。但し、この固体撮像素子１００では、従来の固体撮像素子において水平駆動パルスφＨ２が印加される水平レジスタの転送電極２０９および２１０に、固定のバイアス電圧ＶＨｍが印加されている点で従来と異なる。ＶＨｍは、おおよそφＨ１のハイレベルとローレベルの中間の電圧である。
【００５９】
図６は本発明の実施の形態２における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００６０】
図６に示すように、当該固体撮像装置は、クロックジェネレータ１、水平ドライバ用電源部２、水平駆動回路３、擬似水平駆動回路６、およびダミー負荷８を備える。
クロックジェネレータ１は、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１およびクロックパルスＨ１ａを生成する。
【００６１】
擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、ダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。
ダミー負荷８は、一端が擬似水平駆動回路６の出力端子に接続され、他端がＧＮＤに接続されたコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、ダミー負荷８をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。
【００６２】
また、水平駆動回路３は回路基板（チップ）５に形成されており、擬似水平駆動回路６は回路基板（チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。
【００６３】
また図６において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流である。なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、水平駆動回路３に対する電源供給端子を有するものとする。
【００６４】
以上のように、本実施の形態２における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１を生成する水平駆動回路３に加えて、水平駆動パルスφＨ１が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する擬似水平駆動回路６を備え、水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。
【００６５】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。
また、当該固体撮像装置は、水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、擬似水平駆動回路６の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。
【００６６】
図７に水平駆動回路３が生成する水平駆動パルスφＨ１の信号波形、擬似水平駆動回路６が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａの信号波形、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流ＩＨ１の信号波形、並びに水平駆動回路３の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。なお、水平駆動パルスφＨ１および擬似水平駆動パルスφＨ１ａは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。
【００６７】
図７に示すように、水平ブランキング期間中、図５に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図５に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図５に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。
【００６８】
また、図７に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。
【００６９】
水平ブランキング期間の後、図５に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、水平駆動パルスφＨ１によって、図５に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。
【００７０】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａは水平駆動パルスφＨ１に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３へは電流は流れないが、擬似水平駆動回路６へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に水平駆動回路３へ流れる電流ＩＨ１とほぼ等しい電流となる。
【００７１】
よって、本実施の形態２によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態２によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【００７２】
なお、本実施の形態２では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図８に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３と擬似水平駆動回路６を形成した構成であってもよい。
【００７３】
図６に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。そのため、図６に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。
【００７４】
そこで、図８に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。
【００７５】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【００７６】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。
【００７７】
（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３における固体撮像装置について説明する。
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子１００の構成と同様である。
【００７８】
また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。
【００７９】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。
【００８０】
図９は本実施の形態３における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
【００８１】
図９に示すように、当該固体撮像装置は、第１の擬似水平駆動回路６、第２の擬似水平駆動回路７、第１のダミー負荷８、第２のダミー負荷９、および第３のダミー負荷１２をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａ、Ｈ２ｂをさらに生成する。
【００８２】
第１の擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、第１、第３のダミー負荷８、１２を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。また第２の擬似水平駆動回路７は、クロックパルスＨ２ｂに基づいて、第２、第３のダミー負荷９、１２を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ２ｂを生成する。このように、第３のダミー負荷１２は、擬似水平駆動回路６および７によって駆動される。
【００８３】
第１、第２のダミー負荷８、９は、詳しくは、一端が擬似水平駆動回路６、７の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。また第３のダミー負荷１２は、一端が第１の擬似水平駆動回路６の出力端子に接続し、他端が第２の擬似水平駆動回路７の出力端子に接続するコンデンサで構成されている。
【００８４】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、２つの擬似水平駆動回路６、７は同一の回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。
【００８５】
また図９において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。
【００８６】
またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。
【００８７】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６へ流れる電流、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７へ流れる電流である。
【００８８】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を有するものとする。
図１０に水平レジスタの転送電極の等価回路を示す。水平レジスタの転送電極は等価的にキャパシタ構造となっており、水平駆動パルスφＨ１とＧＮＤとの間のキャパシタ１３と、水平駆動パルスφＨ２とＧＮＤとの間のキャパシタ１４の他に、水平駆動パルスφＨ１と水平駆動パルスφＨ２との間のキャパシタ１５が存在する。
【００８９】
そこで、第１のダミー負荷８をキャパシタ１３の容量ＣＨ１を持つコンデンサで構成し、第２のダミー負荷９をキャパシタ１４の容量ＣＨ２を持つコンデンサで構成し、第３のダミー負荷１２をキャパシタ１５の容量ＣＨ３を持つコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に、より近づけることができる。
【００９０】
以上のように、本実施の形態３における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂを生成する擬似水平駆動回路６、７を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。
【００９１】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第１の擬似水平駆動回路６の電源端子が接続し、第２の水平駆動回路４の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、第２の擬似水平駆動回路７の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。
【００９２】
なお、第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４および第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形は、前述した実施の形態１で説明した波形と同様となる（図２参照）。
【００９３】
すなわち、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａ、φＨ２ｂは水平駆動パルスφＨ１、φＨ２に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に第１、第２の擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に第１、第２の水平駆動回路３、４へ流れる電流ＩＨ１、ＩＨ２とほぼ等しい電流となる。
【００９４】
よって、本実施の形態３によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態３によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【００９５】
なお、本実施の形態３では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図１１に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６、７を形成した構成であってもよい。
【００９６】
図９に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。また同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分も異なる。そのため、図９に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流と完全に等しい電流とはならない。
【００９７】
そこで、図１１に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流に等しい電流となるようにする。
【００９８】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第１の擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【００９９】
同様に、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線（電源ライン）の配線長と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線（電源ライン）の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第２の水平駆動回路４との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と第２の擬似水平駆動回路７との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【０１００】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。
【０１０１】
（実施の形態４）
前述の実施の形態１ないし３では、水平駆動回路と同数の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置について説明したが、本発明に係る固体撮像装置は、例えば、２個の水平駆動回路に対して１個の擬似水平駆動回路を備えた構成としてもよい。
【０１０２】
図１２に本実施の形態４における固体撮像装置の回路の一部を示す。但し、前述の図２１に基づいて説明した部材に対応する部材には同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
【０１０３】
当該固体撮像装置が備える固体撮像素子１００はインターライン転送型であり、その構成は図２０に示す従来の固体撮像素子の構成と同様である。また、当該固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成は、図２２に示す従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成と同様である。
【０１０４】
ここでは、４相駆動の垂直レジスタと、２相駆動の水平レジスタを例に説明を行う。但し、本発明は４相駆動の垂直レジスタと２相駆動の水平レジスタに限定されるものではない。
【０１０５】
図１２に示すように、当該固体撮像装置は、擬似水平駆動回路６およびダミー負荷８をさらに備える。またクロックジェネレータ１は、クロックパルスＨ１、Ｈ２に加えて、所要周期かつ所要振幅のクロックパルスＨ１ａをさらに生成する。
【０１０６】
擬似水平駆動回路６は、クロックパルスＨ１ａに基づいて、ダミー負荷８を駆動する擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する。
ダミー負荷８は、一端が擬似水平駆動回路６の出力端子に接続し、他端がＧＮＤに接続するコンデンサで構成されている。すなわち、インターライン転送型の固体撮像素子において、水平レジスタの転送電極は、等価的にキャパシタ構造となっている。そこで、ダミー負荷８をコンデンサで構成することによって、当該固体撮像装置の水平ブランキング期間中の動作状態を有効期間中の動作状態に近づけることができる。
【０１０７】
また、２つの水平駆動回路３、４は同一の回路基板（同一チップ）５に形成されており、擬似水平駆動回路６は、回路基板５とは異なる回路基板（同一チップ）１０に形成されている。このように当該固体撮像装置では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板（別チップ）上に形成されている。
【０１０８】
また図１２において、Ｌ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。ここでは、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は等しいと考える。またＬ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）に寄生するリアクタンス成分である。
【０１０９】
またＩＨ１は、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流であり、ＩＨ２は水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流である。
【０１１０】
なお、ここでは、水平ドライバ用電源部２は、第１および第２の水平駆動回路３および４それぞれに対する電源供給端子を備えるものとする。
また当該固体撮像装置では、擬似水平駆動回路６に流れる電流は、前述の実施の形態１における擬似水平駆動回路６に流れる電流に対して約２倍となる。そこで、実施の形態１における擬似水平駆動回路６と同等の状態にするために、本実施の形態２ではダミー負荷８の容量を約２倍にする。
【０１１１】
以上のように、本実施の形態４における固体撮像装置は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２を生成する水平駆動回路３、４に加えて、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２が停止している期間（水平ブランキング期間）中、水平駆動パルスφＨ１に連続した擬似水平駆動パルスφＨ１ａを生成する擬似水平駆動回路６を備え、水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６が水平ドライバ用電源部２に接続する構成となっている。
【０１１２】
この構成により、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２において電流が生成され、水平ドライバ用電源部２で生成される電流が一定となる。
また、当該固体撮像装置は、第１の水平駆動回路３の電源端子に接続する水平ドライバ用電源部２の電源供給端子に、擬似水平駆動回路６の電源端子が接続する構成となっているが、例えば、擬似水平駆動回路用の電源供給端子を水平ドライバ用電源部に追加して、擬似水平駆動回路の電源端子を、その追加した電源供給端子に接続してもよい。
【０１１３】
図１３に第１、第２の水平駆動回路３、４が生成する水平駆動パルスφＨ１、φＨ２の信号波形、擬似水平駆動回路６が生成する擬似水平駆動パルスφＨ１ａの信号波形、水平ドライバ用電源部２から第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６へ流れる電流ＩＨ１の信号波形、水平ドライバ用電源部２から第２の水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ２の信号波形、並びに第１、第２の水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）の波形の一例を示す。
【０１１４】
図１３に示すように、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は互いに逆位相のパルスである。また、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２および擬似水平駆動パルスφＨ１ａは、ローレベルが０Ｖ、ハイレベルが３〜５Ｖである。
【０１１５】
また、水平ブランキング期間中、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０７および２０８に印加される水平駆動パルスφＨ１はハイレベルの状態で停止し、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０９および２１０に印加される水平駆動パルスφＨ２はローレベルの状態で停止する。この水平ブランキング期間中に、図２２に示す垂直レジスタの転送チャネル２０１の最終段に存在する信号電荷が、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送される。
【０１１６】
また、図１３に示すように、水平ブランキング期間には、擬似水平駆動パルスφＨ１ａが生成されるが、擬似水平駆動回路はダミー負荷に接続され、ダミー負荷はＧＮＤに接続されているので、水平レジスタの転送電極には擬似水平駆動パルスφＨ１ａは印加されない。よって、水平ブランキング期間中に信号電荷が水平レジスタ中を転送されることはない。
【０１１７】
水平ブランキング期間の後、図２２に示す水平レジスタの転送電極２０８下に転送された信号電荷は、互いに逆位相の水平駆動パルスφＨ１およびφＨ２によって、図２２に示す水平レジスタの転送チャネル２０６中を転送され、電荷検出部１０５において電圧信号に変換される。
【０１１８】
このように、垂直レジスタから水平レジスタに信号電荷を転送する水平ブランキング期間中、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２は停止しているが、擬似水平駆動パルスφＨ１ａは水平駆動パルスφＨ１に連続したパルスとなっている。したがって、水平ブランキング期間中、水平ドライバ用電源部２から第１、第２の水平駆動回路３、４へは電流は流れないが、擬似水平駆動回路６へは電流が流れる。この水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、水平駆動パルスφＨ１、φＨ２によって信号電荷を水平レジスタ１０４から電荷検出部１０５へ転送する有効期間中に水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ１や電流ＩＨ２の約２倍の電流となる。
【０１１９】
よって、本実施の形態４によれば、水平ドライバ用電源部２で生成される電流を一定電流とすることができる。したがって、本実施の形態４によれば、水平ドライバ用電源部２に接続する電源ラインにリアクタンス成分が存在する場合でも、有効期間開始直後の電源リップルを抑制することができ、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制することができる。
【０１２０】
なお、本実施の形態４では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、図１４に示すように、同一の回路基板（同一チップ）１１上に水平駆動回路３、４と擬似水平駆動回路６を形成した構成であってもよい。
【０１２１】
図１２に示す回路では、水平駆動回路と擬似水平回路が異なる回路基板上に形成されているため、実際は、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分は異なる。そのため、図１２に示す回路では、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６へ流れる電流は、有効期間中に水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流ＩＨ１や電流ＩＨ２の２倍に完全にはならない。
【０１２２】
そこで、図１４に示すように、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一基板上に形成されたチップを使用して、水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路へ流れる電流が、有効期間中に水平駆動回路へ流れる電流の２倍に等しくなるようにする。
【０１２３】
すなわち、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が同一の基板上に形成されたチップを使用することで、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線の配線長と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線の配線長とをより等しくすることができ、水平ドライバ用電源部２と第１の水平駆動回路３との間の配線に寄生するリアクタンス成分と、水平ドライバ用電源部２と擬似水平駆動回路６との間の配線に寄生するリアクタンス成分とをより等しくすることができる。
【０１２４】
よって、有効期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部において生成される電流とをより等しくでき、その結果、有効期間開始直後の水平駆動パルスの位相の乱れをより抑制でき、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのをより抑制することができる。
【０１２５】
（実施の形態５）
以下、本発明の実施の形態５における固体撮像装置について説明する。
図１５は、本実施の形態５における固体撮像装置の第１例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態１において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【０１２６】
図１５において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
【０１２７】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
図１６に、本実施の形態５におけるダミー負荷の一例を示す。図１６に示すように、本実施の形態５では、ダミー負荷として、コンデンサ１６と抵抗１７を並列接続した回路を用いる。
【０１２８】
水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４並びに擬似水平駆動回路６、７までの距離が長くなると、電源ラインの直流抵抗が無視できなくなってくる。その結果、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流と、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流との間に差が生ずるとともに、電源ラインの抵抗成分Ｒ１およびＲ２による電圧降下に差が生ずると、有効期間中に水平駆動回路３、４の電源端子に印加される電圧（端子電圧）と水平ブランキング期間中に擬似水平駆動回路６、７の電源端子に印加される電圧（端子電圧）との間に差が生じる。そして、このように有効期間開始直後に電圧変動が起こると、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が生じる。
【０１２９】
そこで、この実施の形態５の第１例では、第１の擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８、並びに第２の擬似水平駆動回路７の出力端子と接地間に接続するダミー負荷９として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。
【０１３０】
図１７は、本実施の形態５における固体撮像装置の第２例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態２において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【０１３１】
図１７において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
この実施の形態５の第２例においても、擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。
【０１３２】
図１８は、本実施の形態５における固体撮像装置の第３例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態３において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【０１３３】
図１８において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および第１の擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
【０１３４】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４および第２の擬似水平駆動回路７の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
この実施の形態５の第３例においても、第１の擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８、並びに第２の擬似水平駆動回路７の出力端子と接地間に接続するダミー負荷９として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６、７へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３、４へ流れる電流に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。
【０１３５】
図１９は、本実施の形態５における固体撮像装置の第４例の回路の一部を示すブロック図である。但し、前述した実施の形態４において説明した部材に対応する部材には同一符号を付して、説明を省略する。
【０１３６】
図１９において、Ｒ１は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第１の水平駆動回路３および擬似水平駆動回路６の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
【０１３７】
またＲ２は、水平ドライバ用電源部２の電源供給端子と第２の水平駆動回路４の電源端子とを接続する配線（電源ライン）の抵抗成分である。
この実施の形態５の第４例においても、擬似水平駆動回路６の出力端子と接地間に接続するダミー負荷８として、図１６に示す、コンデンサ１６と抵抗１７とを並列接続した回路を用いる。このようにすれば、抵抗１７の抵抗値を調整することによって、水平ブランキング期間中に水平ドライバ用電源部２から擬似水平駆動回路６へ流れる電流を、有効期間中に水平ドライバ用電源部２から水平駆動回路３や水平駆動回路４へ流れる電流の２倍に近づけることが可能となり、画像劣化を抑制することができる。
【０１３８】
なお、本実施の形態５では、水平駆動回路と擬似水平駆動回路が異なる回路基板上に形成されている固体撮像装置について説明したが、前述の実施の形態１ないし４で説明したように、同一の回路基板（同一チップ）上に水平駆動回路と擬似水平駆動回路を形成した構成とすることも可能である。
【０１３９】
上記実施の形態１ないし５では、２個の水平駆動回路と２個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置と、１個の水平駆動回路と１個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置と、２個の水平駆動回路と１個の擬似水平駆動回路を備えた固体撮像装置を例に説明を行ったが、無論、水平駆動回路と擬似水平駆動回路の数はこれに限るものではない。例えば４相駆動の水平レジスタを用いる場合には、４個の水平駆動回路と、４個以下の擬似水平駆動回路を設ければよい。
【産業上の利用可能性】
【０１４０】
本発明にかかる固体撮像装置は、画面左端部の画像にシェーディングやリンギング等の画像劣化が現れるのを抑制でき、ＣＣＤカメラなどの電子機器に有用である。
【図面の簡単な説明】
【０１４１】
【図１】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図２】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図３】本発明の実施の形態１における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図４】本発明の実施の形態２における固体撮像装置が備える固体撮像素子の構成の一例を示す図
【図５】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す平面図
【図６】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図７】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図８】本発明の実施の形態２における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図９】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図１０】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の水平レジスタの転送電極の等価回路を示す図
【図１１】本発明の実施の形態３における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図１２】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図１３】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図１４】本発明の実施の形態４における固体撮像装置の他例の回路の一部を示すブロック図
【図１５】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第１例の回路の一部を示すブロック図
【図１６】本発明の実施の形態５における固体撮像装置のダミー負荷の回路図
【図１７】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第２例の回路の一部を示すブロック図
【図１８】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第３例の回路の一部を示すブロック図
【図１９】本発明の実施の形態５における固体撮像装置の第４例の回路の一部を示すブロック図
【図２０】従来の固体撮像素子の構成を示す図
【図２１】従来の固体撮像装置の回路の一部を示すブロック図
【図２２】従来の固体撮像装置における垂直レジスタと水平レジスタの結合部の構成を示す平面図
【図２３】従来の固体撮像装置の各信号波形の一例を示す図
【図２４】従来の固体撮像装置における水平駆動パルスの信号波形の拡大図
【図２５】従来の固体撮像装置の電荷検出部において生成される電圧信号の模式図
【図２６】従来の画像の模式図
【符号の説明】
【０１４２】
１      クロックジェネレータ
２      水平ドライバ用電源部
３      水平駆動回路
４      水平駆動回路
５      回路基板
６      第１の擬似水平駆動回路
７      第２の擬似水平駆動回路
８      第１のダミー負荷
９      第２のダミー負荷
１０    回路基板
１１    回路基板
１２    第３のダミー負荷
１３    キャパシタ
１４    キャパシタ
１５    キャパシタ
１６    コンデンサ
１７    抵抗
１００  固体撮像素子
１０４  水平レジスタ
１０５  電荷検出部
２０１  垂直レジスタの転送チャネル
２０６  水平レジスタの転送チャネル
２０７  水平レジスタの転送電極
２０８  水平レジスタの転送電極
２０９  水平レジスタの転送電極
２１０  水平レジスタの転送電極
【手続補正３】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】全図
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2008007726.tif 000029
【図２】
2008007726.tif 000030
【図３】
2008007726.tif 000031
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【図１９】
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【図２０】
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【図２１】
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【図２２】
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【図２３】
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【図２４】
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【図２５】
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【図２６】
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【国際調査報告】
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