【手続補正書】
【提出日】令和1年6月6日(2019.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第１の力を加えることが可能な力付加部材とを有することを特徴とする給電体。
【請求項２】
前記力付加部材は、前記領域の外周方向における前記本体部の２つの端部のうちの少なくとも１つに配置される端部部材を有し、前記端部部材は、前記２つの端部を互いに接近させるように前記２つの端部に第２の力を加えることが可能であり、前記２つの端部に前記第２の力を加えることにより、前記本体部に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする請求項１記載の給電体。
【請求項３】
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも２つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なくとも２つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも２つの部分に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする請求項１または２記載の給電体。
【請求項４】
前記アノードの外周に配置可能な導電体を有し、
前記本体部は、前記導電体の外周に配置可能であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか１項に記載の給電体。
【請求項５】
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする、請求項１ないし４のいずれか１項に記載の給電体。
【請求項６】
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第１の力を加えることが可能な力付加部材とを有し、
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも２つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なくとも２つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも２つの部分に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする給電体。
【請求項７】
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な導電体と、
前記導電体の外周に配置可能な本体部とを有することを特徴とする給電体。
【請求項８】
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部を有し、
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする給電体。
【請求項９】
前記アノードは、溶解アノードであることを特徴とする、請求項１ないし８のいずれか１項に記載の給電体。
【請求項１０】
めっき液を収容可能なめっき槽と、
前記アノードが配置可能な、請求項１ないし９のいずれか１項に記載の給電体と、
前記基板を保持可能な基板ホルダと、
前記給電体及び前記基板との間で通電可能なめっき電源と、を備え、前記基板ホルダを前記めっき液に浸漬させて、前記基板をめっき可能なめっき装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
以上、本発明の実施形態の例について説明してきたが、上記した発明の実施形態は、本発明の理解を容易にするためのものであり、本発明を限定するものではない。本発明は、その趣旨を逸脱することなく、変更、改良され得るとともに、本発明には、その均等物が含まれることはもちろんである。また、上述した課題の少なくとも一部を解決できる範囲、または、効果の少なくとも一部を奏する範囲において、特許請求の範囲および明細書に記載された各構成要素の任意の組み合わせ、または、省略が可能である。例えば、いわゆるカップ式の電解めっき装置に本発明を適用することも可能である。
以上説明したように、本発明は以下の形態を有する。
［形態１］
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第１の力を加えることが可能な力付加部材とを有することを特徴とする給電体。［形態２］
前記力付加部材は、前記領域の外周方向における前記本体部の２つの端部のうちの少なくとも１つに配置される端部部材を有し、前記端部部材は、前記２つの端部を互いに接近させるように前記２つの端部に第２の力を加えることが可能であり、前記２つの端部に前記第２の力を加えることにより、前記本体部に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする形態１記載の給電体。
［形態３］
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも２つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なく
とも２つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも２つの部分に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする形態１または２記載の給電体。
［形態４］
前記アノードの外周に配置可能な導電体を有し、
前記本体部は、前記導電体の外周に配置可能であることを特徴とする、形態１ないし３のいずれか１項に記載の給電体。
［形態５］
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする、形態１ないし４のいずれか１項に記載の給電体。
［形態６］
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部と、
前記本体部に配置されて、前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に第１の力を加えることが可能な力付加部材とを有し、
前記力付加部材は、前記本体部の少なくとも２つの部分を連結する連結部材を有し、前記連結部材は、前記領域の外部に前記領域を横断する方向に配置され、かつ、前記少なくとも２つの部分を互いに接近させるように前記少なくとも２つの部分に前記第１の力を加えることが可能であることを特徴とする給電体。
［形態７］
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な導電体と、
前記導電体の外周に配置可能な本体部とを有することを特徴とする給電体。
［形態８］
基板をめっきする際に用いられるアノードに給電可能な給電体であって、
前記アノードの外周に配置可能な本体部を有し、
前記アノードの厚さ方向における前記本体部の幅は、前記アノードの厚さより小さいことを特徴とする給電体。
［形態９］
前記本体部から、前記本体部が囲む領域に向かう方向に前記本体部に力を加えることが可能な力付加部材を有することを特徴とする形態７または８に記載の給電体。
［形態１０］
前記アノードは、溶解アノードであることを特徴とする、形態１ないし９のいずれか１項に記載の給電体。
［形態１１］
めっき液を収容可能なめっき槽と、
前記アノードが配置可能な、形態１ないし１０のいずれか１項に記載の給電体と、
前記基板を保持可能な基板ホルダと、
前記給電体及び前記基板との間で通電可能なめっき電源と、を備え、前記基板ホルダを前記めっき液に浸漬させて、前記基板をめっき可能なめっき装置。