【手続補正書】
【提出日】平成30年12月4日(2018.12.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子を変形させる光学装置であって、
前記光学素子に取り付けられた第１磁性部材と、前記第１磁性部材と非接触に対向して配置される第１コイルと、を含み、前記光学素子を変形させる第１アクチュエータユニットと、
前記光学素子に取り付けられた第２磁性部材と、前記第２磁性部材と非接触に対向して配置される第２コイルと、を含み、前記光学素子を変形させる第２アクチュエータユニットと、
前記第１コイルと前記第２コイルを冷却する冷却部と、を備え、
前記第１アクチュエータユニットが発生する推力は、前記第２アクチュエータユニットが発生する推力より大きく、
前記冷却部が前記第１コイルを冷却する第１冷却力は、前記冷却部が前記第２コイルを冷却する第２冷却力より大きいことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記第１冷却力は前記第１コイルの発熱量により決定され、前記第２冷却力は前記第２コイルの発熱量により決定されることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記第１コイルの発熱量は、前記光学素子の厚みを含むパラメータに基づき推定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記光学素子を保持し、前記第１コイルと前記第２コイルが配置される基準プレートを備え、
前記第１コイルの発熱量は、前記基準プレートが前記光学素子を保持する部分と前記第１コイルが配置される位置との距離を含むパラメータに基づき推定され、
前記第２コイルの発熱量は、前記基準プレートが前記光学素子を保持する部分と前記第２コイルが配置される位置との距離を含むパラメータに基づいて推定されることを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
【請求項５】
前記第１コイルと前記第２コイルの近傍の温度を計測する計測部と、
前記冷却部の冷却力を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記計測部の計測結果に基づいて、前記冷却力を制御することを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項６】
前記冷却部は、前記第１コイルに連結され、前記第１コイルから発生した熱を伝える第１伝熱体と、前記第２コイルに連結され、前記第２コイルから発生した熱を伝える第２伝熱体と、を含み、
前記第１伝熱体は、前記第１コイルから伝わった熱の放熱量を調節する第１放熱部を備え、
前記第１伝熱体は、前記第１コイルから伝わった熱を一律に放熱する第２放熱部を備え、
前記制御部は、前記計測結果に基づいて、前記第１放熱部の放熱量を制御することを特徴とする請求項５に記載の光学装置。
【請求項７】
前記第１伝熱体と前記第２伝熱体はそれぞれ棒状の形状であり、
前記第１伝熱体の径は、前記第２伝熱体の径よりも大きいことを特徴とする請求項６に記載の光学装置。
【請求項８】
前記計測部は、前記第１コイルの近傍の温度を計測することを特徴とする請求項５ないし７のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項９】
前記光学素子を保持し、前記第１コイルと前記第２コイルが配置される基準プレートを備え、
前記冷却部は、冷媒を流す流路を内部に備えた前記基準プレートを含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の光学装置。
【請求項１０】
前記光学素子は表面に反射面を有するミラーであり、
前記ミラーの裏面に設けられることを特徴とする請求項１ないし９のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項１１】
請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の光学装置を有することを特徴とする露光装置。
【請求項１２】
請求項１１に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された前記基板を現像する工程と、を含み
現像された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、光学素子を変形させる光学装置であって、光学素子に取り付けられた第１磁性部材と、第１磁性部材と非接触に対向して配置される第１コイルと、を含み、光学素子を変形させる第１アクチュエータユニットと、光学素子に取り付けられた第２磁性部材と、第２磁性部材と非接触に対向して配置される第２コイルと、を含み、光学素子を変形させる第２アクチュエータユニットと、第１コイルと第２コイルを冷却する冷却部と、を備え、第１アクチュエータユニットが発生する推力は、第２アクチュエータユニットが発生する推力より大きく、冷却部が第１コイルを冷却する第１冷却力は、冷却部が第２コイルを冷却する第２冷却力より大きいことを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
ミラー１０１の目標形状によっては、各アクチュエータユニット１０３に要求される推力、すなわち、各コイル１０５の発熱量が異なる。ミラー１０１等の熱変形を抑えるためには、最も発熱量の大きなコイル１０５に合わせて、たとえば、伝熱体１２４を太くしたり、冷却プレート１２５の厚みを増したり、冷媒の流量を増大させたりする必要がある。これは、装置の大形化およびコスト増を招く。各アクチュエータユニット１０３の推力は、ミラー１０１、ミラー固定部１０２、基準プレート１２１の構成やミラー１０１の目標形状に基づいて決まる。コイル１０５の発熱量は、当該推力に基づいて推定することができる。光学装置１００の構成は、推定したコイル１０５の発熱量により決定される。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
ミラー１０１の目標形状に応じてコイルの発熱量は変動するが、特に発熱量の大きいミラー固定部１０２周辺のコイル１０５ａは、発熱量の変動幅も大きい。本実施形態では、フィードバック制御によりペルチェ素子３０１の電流値を制御しているので、コイル１０５ａの発熱量に応じて冷却力（放熱量）を制御（調節）できる。また、ペルチェ素子３０１は、コイル１０５ａに近い伝熱体１２４ａの温度に基づいて制御部（不図示）により制御されているので、コイル１０５ａを効率よく冷却できる。もし、ペルチェ素子３０１の替わりに、一定温度（２３℃）の冷媒が供給されるヒートシンクを用いると、ヒートシンクとコイル１０５ａ間の熱抵抗（伝熱体１２４ａなど）の影響によりコイル１０５ａの冷却効率は低下することになる。本実施形態では、ペルチェ素子３０１の冷却負荷を低減するために、伝熱体１２４ａは、ミラー１０１の外周部の伝熱体１２４ｂよりも太くし、コイル１０５ａとペルチェ素子３０１との熱抵抗値を下げている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
なお、本実施形態では、ペルチェ素子３０１を用いているが、ペルチェ素子３０１の替わりに温度フィードバック方式のヒートシンクを用いてもよい。その場合、各ヒートシンクに流れる冷媒の温度を温度センサ３０２に基づいて、フィードバック制御することになる。また、本実施形態では、光学素子１０１はミラーであるが透過性の光学素子でもよい。その場合、アクチュエータユニット１０３、冷却プレート１２５、ペルチェ素子３０１は光学素子の光が透過しない非有効領域に配置する。さらに、アクチュエータユニット１０３ａを直接冷却する構成でもよく、伝熱体１２４ａは必ずしも必須ではない。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
コイル１０５ａおよびコイル１０５ｂで発生した熱は、伝熱体１２４ａおよび１２４ｂに伝熱し、隙間５０３の空気層を介して基準プレート５０１に伝熱し、流路５０２で回収される。この場合、隙間５０３に熱伝導率の良い熱伝導部材を挿入することで、冷却効果を向上させることができる。発熱量の大きなコイル１０５ａに連結する伝熱体１２４ａは、端部にペルチェ素子３０１を有し、流路５０２の冷却能力を補い、コイル１０５ｂに比べ冷却能力が強化されている。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
本実施形態は、上記実施形態と比べて、別体の冷却プレート１２５がないため、装置サイズおよび装置構成の点で有利である。特に、基準プレート５０１内に流路５０２が形成されているため、基準プレート５０１の温度は冷媒と略等しい温度となり、光学装置５００の置かれている環境温度が変動しても、基準プレート５０１の温度変動は低減される。本実施形態の光学装置も、第１実施形態および第２実施形態と同様の効果を奏する。なお、上記実施形態の基準プレートは、本実施形態の基準プレート５０１と置き換えてもよい。