【手続補正書】
【提出日】令和1年8月5日(2019.8.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板の主面から立ち上がるように当該基板の主面に規則的に配列された複数の単位パターンの倒壊状況を表現する画像を生成する方法であって、
前記基板の主面を見下ろす平面視での前記基板の画像である基板画像を取得するステップと、
前記取得された基板画像から、前記基板の主面を見下ろす平面視における前記単位パターンの形状を表す複数のパターン形状画像を抽出するステップと、
各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じた色に当該パターン形状画像を着色することによって、前記複数のパターン形状画像を色分けするステップと
を含む、倒壊状況画像生成方法。
【請求項２】
前記基板画像が多値画像データで表現されており、
前記パターン形状画像を抽出するステップが、前記基板画像の多値画像データを二値化して二値基板画像を生成するステップと、
前記二値基板画像中の閉じた画像部分を前記パターン形状画像として抽出するステップと
を含む、請求項１に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項３】
前記複数のパターン形状画像を色分けするステップが、
前記複数のパターン形状画像のそれぞれの面積を求めるステップと、
前記求められた面積に基づいて、各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じて前記複数のパターン形状画像を分類するステップと
を含む、請求項１または２に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項４】
基板の主面から立ち上がるように当該基板の主面に規則的に配列された複数の単位パターンの倒壊状況を表現する画像を生成する方法であって、
前記基板の主面を見下ろす平面視での前記基板の画像を多値画像データで表現した基板画像を取得するステップと、
前記基板画像を表す多値画像データを二値化して二値基板画像を生成するステップと、
前記二値基板画像中の閉じた画像部分を抽出することにより、前記基板の主面を見下ろす平面視における前記単位パターンの形状を表す複数のパターン形状画像を抽出するステップと、
前記複数のパターン形状画像のそれぞれの面積を求めるステップと、
前記求められた面積に基づいて、各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じて前記複数のパターン形状画像を分類するステップと
を含む、倒壊状況画像生成方法。
【請求項５】
前記分類するステップにおいて、前記面積に関する閾値に基づいて、前記複数のパターン形状画像が分類される、請求項３または４に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項６】
前記分類するステップが、
前記パターン形状画像の面積に関するヒストグラムを作成するステップと、
前記ヒストグラムに基づいて、前記面積に関する閾値を設定するステップと
をさらに含む、請求項４または５に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項７】
前記閾値を設定するステップが、
前記ヒストグラムを平滑化するステップと、
前記平滑化されたヒストグラムの谷部に前記閾値を設定するステップと
を含む、請求項６に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項８】
前記パターン形状画像を構成している単位パターンの個数が、前記パターン形状画像において一体化している単位パターンの個数である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の倒壊状況画像生成方法。
【請求項９】
請求項１〜８のいずれか一項に記載の倒壊状況画像生成方法をコンピュータにより実行させるためのコンピュータプログラム。
【請求項１０】
基板の主面から立ち上がるように当該基板の主面に規則的な配列で形成された複数の単位パターンの倒壊状況を表現した画像であって、
前記基板の主面を見下ろす平面視における前記単位パターンの形状を表す複数のパターン形状画像を含み、
各パターン形状画像が、当該パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じた色に着色されており、前記複数のパターン形状画像が色分けされている、パターン倒壊状況画像。
【請求項１１】
前記複数のパターン形状画像が、面積に基づいて色分けされている、請求項１０に記載のパターン倒壊状況画像。
【請求項１２】
請求項１０または１１に記載のパターン倒壊状況画像が記録された画像記録媒体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
この発明は、基板の主面から立ち上がるように当該基板の主面に規則的に配列（たとえば規則的な繰り返しパターンで配列）された複数の単位パターンの倒壊状況を表現する画像を生成する方法を提供する。この方法は、前記基板の主面を見下ろす平面視での前記基板の画像である基板画像を取得するステップと、前記取得された基板画像から、前記基板の主面を見下ろす平面視における前記単位パターンの形状を表す複数のパターン形状画像を抽出するステップとを含む。
この発明の一実施形態では、前記方法は、各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じた色に当該パターン形状画像を着色することによって、前記複数のパターン形状画像を色分けするステップを含む。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
この発明の一実施形態によれば、基板画像内の複数のパターン形状画像が抽出され、その各パターン形状画像がそれぞれ着色される。それによって、複数のパターン形状画像が色分けされる。各パターン形状画像は、各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数（１以上の整数）に応じた色で着色される。
単位パターンが倒壊して別の単位パターンに接触すると、基板画像中において、それらの接触した複数の単位パターンが一体化して、一つのパターン形状画像を構成する。したがって、パターン形状画像を構成している単位パターンの数は、当該パターン形状画像内で生じている倒壊に関与している単位パターンの個数（０以上の整数）に対応している。倒壊が生じていなければ、「倒壊に関与している単位パターンの個数」は、零である。倒壊が生じていれば、「倒壊に関与している単位パターンの個数」は、２以上である。したがって、パターン形状画像を構成している単位パターンの数に応じて当該パターン形状画像を着色することによって、倒壊に関与しているパターンの個数に応じて色分けされた複数のパターン形状画像を含むパターン倒壊状況画像が生成される。このパターン倒壊状況画像を見る観察者は、基板上（より正確には基板画像の領域内）におけるパターン倒壊の状況を一目で把握することができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
基板の主面を平面視したときに、単位パターンが正常に起立していればその平面視における面積は小さく、単位パターンが倒壊しているとその平面視における面積が大きくなる。さらに、単位パターンが倒壊して近傍の単位パターンと接触することにより、複数の単位パターンは平面視における画像においては一体化して見える。そのため、パターン形状画像の面積は、単位パターンの倒壊が生じていれば大きく、かつその倒壊に関与して互いに接触して一体化した画像を構成する単位パターンの数が多いほど大きくなる。そこで、この実施形態では、パターン形状画像の面積に基づいてパターン形状画像が分類され、その分類に従ってパターン形状画像が着色される。それにより、パターン形状画像を構成する単位パターンの個数（すなわち、倒壊に関与した単位パターンの個数）に応じて、複数のパターン形状画像を分類および色分けできる。
この発明の一実施形態は、基板の主面から立ち上がるように当該基板の主面に規則的に配列された複数の単位パターンの倒壊状況を表現する画像を生成する方法であって、前記基板の主面を見下ろす平面視での前記基板の画像を多値画像データで表現した基板画像を取得するステップと、前記基板画像を表す多値画像データを二値化して二値基板画像を生成するステップと、前記二値基板画像中の閉じた画像部分を抽出することにより、前記基板の主面を見下ろす平面視における前記単位パターンの形状を表す複数のパターン形状画像を抽出するステップと、前記複数のパターン形状画像のそれぞれの面積を求めるステップと、前記求められた面積に基づいて、各パターン形状画像を構成している単位パターンの個数に応じて前記複数のパターン形状画像を分類するステップとを含む、倒壊状況画像生成方法を提供する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
この発明の一実施形態では、前記分類するステップにおいて、前記面積に関する閾値に基づいて、前記複数のパターン形状画像が分類される。この方法により、面積に対して定めた閾値を用いることで、複数のパターン形状画像を、当該パターン形状画像を構成する単位パターンの個数に応じて（すなわち、倒壊に関与したパターンの個数に応じて）分類できる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
この発明の一実施形態では、前記分類するステップが、前記パターン形状画像の面積に関するヒストグラムを作成するステップと、前記ヒストグラムに基づいて、前記面積に関する閾値を設定するステップとをさらに含む。
パターン形状画像の面積は、当該パターン形状画像を構成する単位パターンの個数（すなわち、当該パターン形状画像中で倒壊に関与した単位パターンの個数）に対応している。そのため、パターン形状画像の面積に関するヒストグラムを作成すると、パターン形状画像を構成する単位パターンの個数（すなわち、倒壊に関与した単位パターンの数）に対応した複数の山部が表れ、その複数の山部の間に谷部が表れる。そこで、谷部に閾値を設定すれば、複数のパターン形状画像を、各パターン形状画像を構成する単位パターンの個数（すなわち、倒壊に関与したパターン個数）に応じて分類できる。