【手続補正書】
【提出日】令和1年6月6日(2019.6.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を保持するチャックを保持するステージ装置であって、
第１クリーニング面と、前記第１クリーニング面とは反対側の第２クリーニング面とを含むプレート又は前記チャックを保持して移動可能な保持部と、
前記保持部に保持された前記プレートの前記第２クリーニング面で前記チャックが前記基板を保持するための第１保持面及び前記ステージ装置が前記チャックを保持するための第２保持面の少なくとも一方のクリーニングを行い、前記第２保持面に保持された前記プレートの前記第１クリーニング面で前記保持部に保持された前記チャックの前記第１保持面とは反対側の裏面のクリーニングを行う処理部と、
を有することを特徴とするステージ装置。
【請求項２】
前記保持部は、垂直方向の保持力が水平方向の保持力より小さくなるように前記プレート又は前記チャックを保持することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記チャックを移動可能に保持することを特徴とする請求項１又は２に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記処理部は、
前記保持部に保持された前記プレートの前記第２クリーニング面と前記第２保持面とを接触させた状態において前記第２クリーニング面と前記第２保持面とを相対的に摺動させることで前記第２保持面のクリーニングを行い、
前記保持部に保持された前記チャックの前記裏面と前記第２保持面に保持された前記プレートの前記第１クリーニング面とを接触させた状態において前記裏面と前記第１クリーニング面とを相対的に摺動させることで前記裏面のクリーニングを行い、
前記保持部に保持された前記プレートの前記第２クリーニング面と前記第２保持面に保持された前記チャックの前記第１保持面とを接触させた状態において前記第２クリーニング面と前記第１保持面とを相対的に摺動させることで前記第１保持面のクリーニングを行うことを特徴とする請求項１乃至３のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記プレートは、前記プレートの垂直方向の移動を規制する第１壁面及び前記プレートの水平方向の移動を規制する第２壁面で構成された少なくとも２つの開口を含み、
前記保持部は、前記水平方向に延在する挿入部分を含み、前記挿入部分を前記開口に挿入することで前記プレートを保持することを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、前記第２保持面の面積より大きい面積を有することを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記ステージ装置に配置された基準マークを更に有し、
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、前記第２保持面及び前記裏面のクリーニングの際に前記基準マークに重ならないことを特徴とする請求項６に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記第１クリーニング面は、前記第１保持面の耐摩耗性より低い耐摩耗性を有し、
前記第２クリーニング面は、前記第２保持面の耐摩耗性及び前記第１保持面の耐摩耗性より低い耐摩耗性を有することを特徴とする請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、複数の凸部を含むことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記第２保持面に対して垂直方向に移動可能な吸着ピンを有し、
前記第２クリーニング面の前記複数の凸部は、前記吸着ピンの周りに対応するように設けられたリング状凸部を含むことを特徴とする請求項９に記載のステージ装置。
【請求項１１】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、粘着材を含むことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載のステージ装置。
【請求項１２】
基板を保持するチャックを保持するステージ装置であって、
第１クリーニング面と、前記第１クリーニング面とは反対側の第２クリーニング面とを含むプレートを保持する保持部と、
前記保持部に保持された前記プレートの前記第２クリーニング面で前記チャックが前記基板を保持するための第１保持面及び前記ステージ装置が前記チャックを保持するための第２保持面の少なくとも一方のクリーニングを行う処理部と、を有し、
前記保持部は、垂直方向の保持力が水平方向の保持力より小さくなるように前記プレートの開口に水平方向に延在する挿入部分を挿入することで前記プレートを保持する
ことを特徴とするステージ装置。
【請求項１３】
前記保持部は、垂直方向の保持力が水平方向の保持力より小さくなるように前記チャックの開口に前記挿入部分を挿入することで前記チャックを保持し、
前記処理部は、前記第２保持面に保持されたプレートの前記第１クリーニング面で前記保持部に保持された前記チャックの前記第１保持面とは反対側の裏面のクリーニングを行うことを特徴とする請求項１２に記載のステージ装置。
【請求項１４】
パターンを基板に形成するリソグラフィ装置であって、
前記パターンが形成される基板を保持して移動するステージ装置として請求項１乃至１３のうちいずれか１項に記載のステージ装置を有することを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１５】
レチクルのパターンを前記基板に投影する投影光学系を更に有することを特徴とする請求項１４に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
基板を保持するチャックを保持するステージ装置のクリーニングを行うためのプレートであって、
前記プレートは、前記チャックが基板を保持するための第１保持面及び前記ステージ装置が前記チャックを保持するための第２保持面の少なくとも一方のクリーニングを行うための第１クリーニング面と、前記第１クリーニング面とは反対側の面であって前記第１保持面とは反対側の裏面のクリーニングを行うための第２クリーニング面とを含むことを特徴とするプレート。
【請求項１７】
前記プレートの垂直方向の移動を規制する第１壁面及び前記プレートの水平方向の移動を規制する第２壁面で構成された少なくとも２つの開口を含むことを特徴とする請求項１６に記載のプレート。
【請求項１８】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、前記第２保持面より大きい面積を有することを特徴とする請求項１６又は１７に記載のプレート。
【請求項１９】
前記第１クリーニング面は、前記第１保持面の耐摩耗性より低い耐摩耗性を有し、
前記第２クリーニング面は、前記第２保持面の耐摩耗性及び前記第１保持面の耐摩耗性より低い耐摩耗性を有することを特徴とする請求項１６乃至１８のうちいずれか１項に記載のプレート。
【請求項２０】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、複数の凸部を含むことを特徴とする請求項１６乃至１９のうちいずれか１項に記載のプレート。
【請求項２１】
前記ステージ装置は、第２保持面に対して、垂直方向に移動可能な吸着ピンを有し、
前記第２クリーニング面の前記複数の凸部は、前記吸着ピンの周りに対応するように設けられたリング状凸部を含むことを特徴とする請求項２０に記載のプレート。
【請求項２２】
前記第１クリーニング面及び前記第２クリーニング面は、粘着材を含むことを特徴とする請求項１６乃至１９のうちいずれか１項に記載のプレート。
【請求項２３】
請求項１４又は１５に記載のリソグラフィ装置を用いてパターンを基板に形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、
を有し、
処理された前記基板から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ステージ装置、リソグラフィ装置、プレート及び物品の製造方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ステージ装置、リソグラフィ装置、プレート及び物品の製造方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としてのステージ装置は、基板を保持するチャックを保持するステージ装置であって、第１クリーニング面と、前記第１クリーニング面とは反対側の第２クリーニング面とを含むプレート又は前記チャックを保持して移動可能な保持部と、前記保持部に保持された前記プレートの前記第２クリーニング面で前記チャックが前記基板を保持するための第１保持面及び前記ステージ装置が前記チャックを保持するための第２保持面の少なくとも一方のクリーニングを行い、前記第２保持面に保持された前記プレートの前記第１クリーニング面で前記保持部に保持された前記チャックの前記第１保持面とは反対側の裏面のクリーニングを行う処理部と、を有することを特徴とする。