【手続補正書】
【提出日】令和1年11月8日(2019.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
入射光により生じた電荷の蓄積を行う光電変換部と、前記光電変換部から転送された前記電荷を保持する電荷保持部と、前記電荷保持部から転送された前記電荷を受ける入力ノードを含む増幅部と、を各々が有する複数の画素が前記基板に二次元状に配された画素アレイと、
少なくとも前記電荷保持部を覆うように配された遮光部と、
を有し、
前記複数の画素は、前記基板に対し垂直な方向からの上面視において、第１の方向と、前記第１の方向と交差する第２の方向とに並び、
前記上面視において、１つの前記画素に含まれる前記光電変換部及び前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第２の方向に並び、
前記遮光部は前記第２の方向に並ぶ複数の前記電荷保持部の間の領域を覆うように、前記第２の方向に沿って前記複数の前記電荷保持部に渡って延在する部分を含み、
前記画素の各々は、前記基板に設けられた電極と前記基板の上方に形成された配線層とを接続する複数のコンタクトを更に有し、
前記上面視において、前記第１の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、
前記複数のコンタクトは、前記第１の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域に形成され、
前記遮光部は、前記複数の画素の各々において前記光電変換部と前記複数のコンタクトの間に在る部分を含む
ことを特徴とする撮像装置。
【請求項２】
前記配線層は、前記電荷保持部を覆うように配されている
ことを特徴とする請求項１に記載の撮像装置。
【請求項３】
前記遮光部は、前記上面視において、前記光電変換部が形成された領域に形成された第１の開口部と、前記複数のコンタクトが形成された領域に形成された第２の開口部とを有する
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の撮像装置。
【請求項４】
１つの前記画素に含まれる前記複数のコンタクトが、１つの前記第２の開口部に集約されている
ことを特徴とする請求項３に記載の撮像装置。
【請求項５】
前記上面視において、前記第１の開口部と前記第２の開口部が前記第２の方向に並ぶ
ことを特徴とする請求項３又は４に記載の撮像装置。
【請求項６】
前記画素アレイには、前記光電変換部と前記電荷保持部とを電気的に分離する素子分離領域が配されており、
前記素子分離領域は、前記電荷保持部に入射する光を制限する材料で形成されている
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項７】
前記素子分離領域は、ＰＮ接合分離を形成する不純物拡散領域である
ことを特徴とする請求項６に記載の撮像装置。
【請求項８】
前記画素アレイは長辺及び短辺を有する長方形をなしており、
前記第２の方向は前記長辺と平行な方向である
ことを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項９】
前記画素の各々は、複数の前記電荷保持部を有し、 
前記上面視において、前記複数の前記電荷保持部は前記第２の方向に並ぶように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１０】
前記画素の各々は、複数の前記電荷保持部を有し、
前記上面視において、前記複数の前記電荷保持部は、前記光電変換部を間に挟んで前記第１の方向に並ぶように配されている
ことを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１１】
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記光電変換部が前記第２の方向に並び、
前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記光電変換部の間の領域には、前記光電変換部で生じた前記電荷を電気信号として読み出すための読み出し回路部が配されている
ことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域には、前記第２の開口部が配されない
ことを特徴とする請求項３乃至５のいずれか1項に記載の撮像装置。
【請求項１３】
前記遮光部は、前記第２の方向に沿った１つの列を成す複数の前記電荷保持部を覆うように、前記画素アレイの一方の端から他方の端まで連続している
ことを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１４】
前記複数の画素は、ゲート電極を有し前記光電変換部から前記電荷保持部に電荷を移動させるトランジスタを含み、
前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部のうち隣接する２つの電荷保持部間の隔たりが前記トランジスタのゲート電極幅よりも小さい
ことを特徴とする請求項１乃至１３のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１５】
前記上面視において、前記増幅部の入力ノードを構成するフローティングディフュージョン部と前記光電変換部は前記第２の方向に並ぶ
ことを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１６】
前記フローティングディフュージョン部は、前記第２の開口部に向かって延在する部分を有する
ことを特徴とする請求項１５に記載の撮像装置。
【請求項１７】
前記遮光部の前記電荷保持部を覆う部分は、前記基板に設けられたトランジスタのゲート電極を覆う部分よりも、前記上面視において低い位置にある
ことを特徴とする請求項１乃至１６のいずれか１項に記載の撮像装置。
【請求項１８】
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置の前記画素から出力される信号を処理する信号処理部とを有する
ことを特徴とする撮像システム。
【請求項１９】
移動体であって、
請求項１乃至１７のいずれか１項に記載の撮像装置と、
前記撮像装置からの信号に基づく視差画像から、対象物までの距離情報を取得する距離情報取得手段と、
前記距離情報に基づいて前記移動体を制御する移動体制御手段とを有する
ことを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の一実施形態によれば、基板と、入射光により生じた電荷の蓄積を行う光電変換部と、前記光電変換部から転送された前記電荷を保持する電荷保持部と、前記電荷保持部から転送された前記電荷を受ける入力ノードを含む増幅部と、を各々が有する複数の画素が前記基板に二次元状に配された画素アレイと、少なくとも前記電荷保持部を覆うように配された遮光部と、を有し、前記複数の画素は、前記基板に対し垂直な方向からの上面視において、第１の方向と、前記第１の方向と交差する第２の方向とに並び、前記上面視において、１つの前記画素に含まれる前記光電変換部及び前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、前記上面視において、前記第２の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第２の方向に並び、前記遮光部は前記第２の方向に並ぶ複数の前記電荷保持部の間の領域を覆うように、前記第２の方向に沿って前記複数の前記電荷保持部に渡って延在する部分を含み、前記画素の各々は、前記基板に設けられた電極と前記基板の上方に形成された配線層とを接続する複数のコンタクトを更に有し、前記上面視において、前記第１の方向に並ぶ複数の前記画素の前記電荷保持部が前記第１の方向に並び、前記複数のコンタクトは、前記第１の方向に並ぶ前記複数の前記電荷保持部の間の領域に形成され、前記遮光部は、前記複数の画素の各々において前記光電変換部と前記複数のコンタクトの間に在る部分を含むことを特徴とする撮像装置が提供される。