【事件の表示】
　特願２０１７−５１３７０８「基板をアクティブに位置合わせするアクティブ基板位置合わせシステム及び方法」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　３月２４日国際公開、ＷＯ２０１６／０４３９８７、平成２９年１１月２４日国内公表、特表２０１７−５３５０６７、請求項の数（１４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１５年９月４日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１４年９月１５日、米国）を国際出願日とする出願であって、令和１年１０月３０日付けで拒絶査定（原査定）がなされた。その後の手続きは、概略、以下のとおりである。 
令和　２年　２月　５日　　　　　：審判請求・手続補正書
令和　２年　３月１１日　　　　　：前置報告書
令和　２年　５月　８日　　　　　：上申書
令和　２年　９月１７日（起案日）：拒絶理由通知
令和　２年１０月２２日　　　　　：意見書・手続補正書
令和　３年　１月１３日（起案日）：最後の拒絶理由通知
令和　３年　３月１８日　　　　　：意見書・手続補正書
第２　本願発明
　本願請求項１−１４に係る発明（以下、それぞれ「本願発明１」−「本願発明１４」という。）は、令和３年３月１８日付けの手続補正で補正された特許請求の範囲の請求項１−１４に記載された事項により特定される発明であり、そのうちの本願発明１、２、７−１０は以下のとおりの発明である（審決注：補正箇所に下線を付加した。）。
「【請求項１】
　プラテンと、
　前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するために前記プラテンに隣接して配置された基板係合表面を選択的に移動するように構成されたレジストレーション装置と、
　前記基板が前記プラテンの上に置かれる前にドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラと、
　前記カメラ及び前記レジストレーション装置と通信するコントローラとを備え、
　前記コントローラは、前記基板の移動を予め決められた方法で制限するために、前記基板係合表面をライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されており、
　前記カメラは、前記基板が前記プラテンの上に置かれる前に前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするように構成され、前記コントローラは、前記基板上の前記第１のドーパントパターンが、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射される第２のドーパントパターンと整列するために、前記基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されている、イオン注入装置用のアクティブ基板位置合わせシステム。」
　　
「【請求項２】
　プラテンと、
　前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するために前記プラテンに隣接して配置された基板係合表面を選択的に移動するように構成されたレジストレーション装置と、
　前記基板が前記プラテンの上に置かれる前にテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラと、
　前記カメラ及び前記レジストレーション装置と通信するコントローラとを備え、
　前記コントローラは、前記基板の移動を予め決められた方法で制限するために、前記基板係合表面を前記基板のエッジを含む前記基板の画像（ライブ画像）と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されており、
　前記コントローラは、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射されるドーパントパターンが前記基板の中心に位置するために、前記基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されている、イオン注入装置用のアクティブ基板位置合わせシステ
ム。
「【請求項７】
　プラテンと、
　前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するために、前記プラテンの第１の側面に配置された第１及び第２の基板係合表面をそれぞれ選択的に移動するように構成された第１及び第２のレジストレーション装置と、
　前記基板が前記プラテンの上に置かれる前に
ドーパントパターンを含む
　前記カメラ及び前記第１及び第２のレジストレーション装置と通信するコントローラであって、前記基板の移動を予め決められた方法で制限するために、前記第１及び第２の基板係合表面をライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように前記第１及び第２のレジストレーション装置に命令するように構成されているコントローラと、
　前記プラテンの第２の側面に互いに平行に配置され、前記基板を前記第１及び第２の基板係合表面と係合するまで押すように構成された第１及び第２のプッシャーと、
を備え、
　前記カメラは、前記基板が前記プラテンの上に置かれる前に前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするように構成され、前記コントローラは、前記基板上の前記第１のドーパントパターンが、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射される第２のドーパントパターンと整列するために、前記第１及び第２の基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記第１及び第２のレジストレーション装置に命令するように構成されている、イオン注入装置用のアクティブ基板位置合わせシステム。」
「【請求項８】
　プラテンと、
　前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するために、前記プラテンの第１の側面に配置された第１及び第２の基板係合表面をそれぞれ選択的に移動するように構成された第１及び第２のレジストレーション装置と、
　前記基板が前記プラテンの上に置かれる前にテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラと、
　前記カメラ及び前記第１及び第２のレジストレーション装置と通信するコントローラであって、前記基板の移動を予め決められた方法で制限するために、前記第１及び第２の基板係合表面を前記基板のエッジを含む前記基板の画像（ライブ画像）と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように前記第１及び第２のレジストレーション装置に命令するように構成されているコントローラと、
　前記プラテンの第２の側面に互いに平行に配置され、前記基板を前記第１及び第２の基板係合表面と係合するまで押すように構成された第１及び第２のプッシャーと、
を備え、
　前記コントローラは、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射されるドーパントパターンが前記基板の中心に位置するために、前記第１及び第２の基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記第１及び第２のレジストレーション装置に命令するように構成されている、イオン注入装置用のアクティブ基板位置合わせシステム。」
「【請求項９】
　基板を位置合わせする方法であって、前記方法は、
　前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするステップと、
　前記基板の前記ライブ画像とドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）との比較に基づいて、プラテンに隣接して配置された基板係合表面を、前記基板がプラテンの上に置かれた後で所定の向きを呈するように移動させるステップと、
　前記第１のドーパントパターンを含む前記基板を前記プラテンの上に置くステップと、
　前記基板を前記基板係合表面と係合するまで移動させるステップと、
を備え、
　前記基板のライブ画像をキャプチャするステップは、前記基板上の第１のドーパントパターンのライブ画像をキャプチャするステップを含み、前記基板係合表面を移動させるステップは、前記第１のドーパントパターンが、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射される第２のドーパントパターンと整列するように前記基板係合表面を移動させるステップを含む、基板を位置合わせする方法。」
「【請求項１０】
　基板を位置合わせする方法であって、前記方法は、
　前記基板のエッジを含む前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするステップと、
　前記基板の前記ライブ画像とテスト基板の画像（テスト画像）との比較に基づいて、プラテンに隣接して配置された基板係合表面を、前記基板がプラテンの上に置かれた後で所定の向きを呈するように移動させるステップと、
　前記基板を前記プラテンの上に置くステップと、
　前記基板を前記基板係合表面と係合するまで移動させるステップと、
を備え、
　前記基板係合表面を移動させるステップは、前記基板が前記プラテンの上に置かれた後で、前記基板上に投射されるドーパントパターンが前記基板の中心に位置するように前記基板係合表面を移動させるステップを含む、基
板を
　なお、本願発明３−６、１１−１４の概要は以下のとおりである。
　本願発明３−６は、本願発明１又は２を減縮した発明である。
　本願発明１１は、本願発明９を減縮した発明である。
　本願発明１２は、本願発明１０を減縮した発明である。
　本願発明１３、１４は、本願発明９又は１０を減縮した発明である。
第３　引用文献、引用発明等
１　引用文献１について
（１）原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開２００２−７１７５３号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、カセットから検査前のデバイスを取り出し、取り出したデバイスを取付台まで搬送して位置決めし、位置決めしたデバイスをテスト部で検査し、検査後のデバイスを所定の場所まで搬送するハンドラに関するものである。」
「【００１５】
【発明の実施の形態】以下図面を用いて本発明を詳しく説明する。図１及び図２は本発明の一実施例を示す構成図である。図１は搬送系の概略構成図、図２はハンドラの正面図である。図２のＡ方向から搬送系が見える。
【００１６】図１及び図２で、カセット１０は検査前のデバイスと検査後のデバイスを格納する。検査前のデバイスと検査後のデバイスはカセット１０の異なる位置に格納されている。デバイスは、例えばＣＳＰ（Chip Size Package）、ＢＧＡ（Ball Grid Array）等である。ハンド１１は、検査前のデバイス１２をカセット１０から取り出して取置台１３に載せる。ハンド１４は、取置台１３に載せられたデバイスを搬送して取置台１５に載せる。
ハンド１９は、取置台１５に載せられたデバイスを搬送する。搬送の途中で画像計測が行われる。ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せる。カメラ１６は、ハンド１９に載せられたデバイスの配置状態を画像計測する
【００１７】
オプトブリッジ１７は
カメラ１６のＹ軸方向の位置決めをする
演算手段１８は、カメラ１６の計測結果からデバイスの位置ずれの補正データを生成する。補正データは、予め用意した基準データと画像計測により得られたデータを比較して求める
例えば、デバイスには基準マークが付けられている。基準マークの正規の位置データを基準データとして用意しておく
計測した画像から基準マークの位置を算出する。算出した位置と基準データとを比較して補正データを求める
【００１８】取付台２０はチャック部２０１とＺθ移動部２０２からなる。チャック部２０１は、真空圧を利用してデバイスを吸着し、位置固定する。Ｚθ移動部２０２は、チャック部２０１をＺ軸方向（上下方向）とＺ軸まわりの回転方向に移動する。
位置決め装置２１は、取付台２０上のデバイスを演算手段１８で求めた補正データに基づいて位置決めする
この位置決め装置２１によって、デバイスのＸ軸方向の位置ずれ、Ｙ軸方向の位置ずれ及びＺ軸まわりの回転ずれが補正される
【００１９】位置決め装置２１は、例えば本出願人による特開２０００−６５９７０号公報または特願平１１−３０８７９７号の出願明細書に記載された装置である。
位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上にスライダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を発生するモータをフィードバック制御することによりスライダ部２１２を２次元方向に位置決めする
スライダ部２１２は
浮揚させる
スライダ部２１２に取付台２０が固定されている
取付台２０上に位置決めしたデバイスに対してテストヘッドが検査を行う
デバイスがウエハである
【００２０】なお、ハンド１４は取付台２０にアクセス可能な移動範囲になっている。
取置台１５、カメラ１６、オプトブリッジ１７、ハンド１９、取置台２０及び位置決め装置２１は筐体２２に取り付けられている。ハンド１１，１４と取置台１３は筐体２３に取り付けられている
【００２１】電源２４は、位置決め装置２１にある２次元位置決め用モータに電力を供給する。ドライバ２５は、２次元位置決め用モータを駆動する。
リニアモータ用ドライバ２６は
オプトブリッジ１７を移動するリニアモータ（図示せず）を駆動する
【００２２】電力制御ユニット（ＰＣＵ）３０は、ハンドラ電源のオン／オフや、非常停止を行う。
モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にある２次元位置決め用モータ以外のモータを駆動する
【００２３】このようなハンドラの動作を説明する。ハンドラは次の手順でデバイスを搬送する。
1（審決注：原文では、丸数字１。以下同様。）取付台２０で検査を終了したデバイスは、ハンド１４、取置台１３の順に搬送される。
2ここで、ハンド１１は取置台１３にある検査後のデバイスをカセット１０へ格納し、新たに検査前のデバイスをカセット１０から取り出して取置台１３に載せる。
3取置台１３に載せられた検査前のデバイスは、ハンド１４で搬送されて取置台１５に載せられ、ハンド１９が受け取る。
4カメラ１６はハンド１９に載せたままデバイスの配置状態を画像計測する。画像計測の結果、位置の補正データが求められる。
5ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せる。位置決め装置２１は、取付台２０上のデバイスを補正データに基づいて位置決めする。ここで、テストヘッドが取付台２０上のデバイスを検査する。
【００２４】1〜3の工程をワーク入れ替え工程、4の工程をアライメント工程、5の工程を検査工程とする。ハンド１１，１４，１９と取置台１３，１５で構成される搬送系をローダ／アンローダとする。図３は従来のハンドラと本発明実施例のハンドラの処理を示したタイムチャートである。
・・・
【００２６】図４は図１及び図２に示したハンドラの構成斜視図である。図４で前出の図と同一のものは同一符号を付ける。図４では、搬送系の構成を見やすくするため、カセット１０とオプトブリッジ１７を省いた構成を示している。」
　図１、２、４は、以下のとおりのものである。
（２）ア　段落【００１６】、【００２０】、及び【００２３】の「4」の記載、並びに図１、２、４から、引用文献１には、「取置台１５、カメラ１６、オプトブリッジ１７、ハンド１９、取付台２０及び位置決め装置２１は筐体２２に取り付けられ、ハンド１１，１４と取置台１３は筐体２３に取り付けられている、ハンドラであって、ハンド１９は取置台１５に載せられたデバイスを搬送し、搬送の途中で画像計測が行われ、ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せ、カメラ１６はハンド１９に載せられたデバイスの配置状態を画像計測する、ハンドラ。」が記載されていると認められる。
イ　段落【００１７】、及び【００２３】の「4」の記載から、引用文献１には、「演算手段１８により、カメラ１６の計測結果からデバイスの位置ずれの補正データを生成し、該補正データは、デバイスに付けられている基準マークの正規の位置データとして予め用意した基準データと、計測した画像から算出された基準マークの位置データである、画像計測により得られたデータとを比較して求められること。」が記載されていると認められる。
ウ　段落【００１８】、【００１９】、及び【００２３】の「5」の記載から、「位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上のスライダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を発生するモータをフィードバック制御することにより２次元方向に位置決めし、浮揚させるものであり、スライダ部２１２に取付台２０が固定されており、取付台２０上のデバイスを演算手段１８で求めた補正データに基づいて位置決めし、この位置決め装置２１によって、デバイスのＸ軸方向の位置ずれ、Ｙ軸方向の位置ずれ及びＺ軸まわりの回転ずれが補正され、取付台２０上に位置決めしたデバイスに対してテストヘッドが検査を行うこと。」、「デバイスはウエハであること。」が記載されていると認められる。
　
エ　段落【００１７】、【００２１】、【００２２】の記載から、「オプトブリッジ１７は、Ｙ軸方向に移動してカメラ１６のＹ軸方向の位置決めをし、リニアモータ用ドライバ２６は、オプトブリッジ１７を移動するリニアモータを駆動し、モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にある、スライダ部２１２を浮揚させる前記モータ及び前記リニアモータを駆動すること。」が記載されていると認められる。
オ　したがって、上記引用文献１には次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「取置台１５、カメラ１６、オプトブリッジ１７、ハンド１９、取付台２０及び位置決め装置２１は筐体２２に取り付けられ、ハンド１１，１４と取置台１３は筐体２３に取り付けられている、ハンドラであって、
　ハンド１９は取置台１５に載せられたデバイスを搬送し、搬送の途中で画像計測が行われ、ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せ、カメラ１６はハンド１９に載せられたデバイスの配置状態を画像計測し、デバイスはウエハであり、
　演算手段１８により、カメラ１６の計測結果からデバイスの位置ずれの補正データを生成し、該補正データは、デバイスに付けられている基準マークの正規の位置データとして予め用意した基準データと、計測した画像から算出された基準マークの位置データである、画像計測により得られたデータとを比較して求められ、
　位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上のスライダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を発生するモータをフィードバック制御することにより２次元方向に位置決めし、浮揚させるものであり、スライダ部２１２に取付台２０が固定されており、取付台２０上のデバイスを演算手段１８で求めた補正データに基づいて位置決めし、この位置決め装置２１によって、デバイスのＸ軸方向の位置ずれ、Ｙ軸方向の位置ずれ及びＺ軸まわりの回転ずれが補正され、
　取付台２０上に位置決めしたデバイスに対してテストヘッドが検査を行い、
　オプトブリッジ１７は、Ｙ軸方向に移動してカメラ１６のＹ軸方向の位置決めをし、リニアモータ用ドライバ２６は、オプトブリッジ１７を移動するリニアモータを駆動し、
　モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にある、スライダ部２１２を浮揚させる前記モータ及び前記リニアモータを駆動する、ハンドラ。」
２　引用文献２について
　また、原査定の拒絶の理由で、周知技術を示す文献として提示された引用文献２（特開２００４−２５３８０８号公報）には、図面とともに次の事項が記載されている。
「【００１４】
　図１Ａは、本発明に従う
基板位置決め装置１０１
基板位置決め装置１０１は
プッシャ１０９
を含む
【００１５】
　基板位置決め装置１０１は、各プッシャ１０９がその後退位置１１３から基板１０５へ向けて伸長し、基板１０５の縁部１０７に接触し、そして基板１０５の縁部１０７へ押し力（不図示）をかけるように適合されている。より具体的には、基板１０５が支持ステージ１０３に支持された状態で、基板位置決め装置１０１が複数のプッシャ１０９を用い、支持ステージ１０３に対して基板１０５を（例えば、ステージ上で基板１０５をスライドさせて）移動させてもよい。例えば、少なくとも部分的にはプッシャ１０９が上記のように引起す基板１０５の移動により、基板位置決め装置１０１が支持ステージ１０３に対する基板１０５の位置および／または配向を調整してもよい。かかる調整により、支持ステージ１０３に対する基板１０５の位置および配向の較正も可能で、調整後は基板１０５の縁部１０７が、支持ステージ１０３に対する既知の位置および配向を持つ既定のｘ−ｙ座標系１１５（例えば、第１垂直配向基準面１１７（断面で示す）、および第１垂直配向基準面１１７と実質的に垂直な第２垂直配向基準面１１９（同じく断面で示す））に位置合せされることになる。
【００１６】
　図１Ａに示すように、基板位置決め装置１０１の各停止具１１１は、支持ステージ１０３に対する既定の位置および／または配向をそれぞれ占めることにより、支持ステージ１０３の既定のｘ−ｙ座標系１１５に位置合せされた基板縁部捕捉部１２１を集合的に画成する。基板縁部捕捉部１２１の形状は、支持ステージ１０３へ搭載される基板の縁部（例えば、基板１０５の縁部１０７）に対応するのが好ましい。」
「【００４２】
　ステップ４０６で、プロセス４００が終了する。以上では説明していないが、プロセス４００の終了時に、１つ以上のプッシャ１０９または全てのプッシャ１０９をそれぞれの後退位置１１３へ個々に後退し、後に基板１０５を支持ステージ１０３から除去する準備をしてもよい。あるいは、例えば、ｅ−ビーム探索、欠陥検出ルーチン等の後続処理ステップ中に支持ステージ１０３に対する基板１０５の適正な位置を確保するため、１つ以上のプッシャ１０９により生成される基板１０５の縁部１０７への押し力を継続させることも可能である。プロセス４００のステップ４０１〜４０６のうち１つ以上を、（例えば、各押付け装置１２３のベローズ１４３への／ベローズ１４３からのガス流量の制御により）各プッシャ１０９の位置決めを制御するよう動作可能なコントローラ（図示せず）により遂行してもよい。更に、ステップ４０１〜４０６のうち１つ以上を、好適なコンピュータ可読媒体（搬送波信号、ハードドライブ、ランダムアクセスメモリ等）に格納された１つ以上のコンピュータプログラム製品として実装してもよい。」
　図１Ａは、以下のとおりのものである。
　したがって、上記引用文献２には、次の技術的事項が記載されていると認められる。
「基板の位置決めにおいて、プッシャを用いること。」
第４　対比・判断
１　本願発明１について
（１）対比
　本願発明１と引用発明とを対比すると、次のことがいえる。
ア　引用発明における「プラテン２１１」、「『ウエハ』である『デバイス』」、「カメラ１６」、「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１」は、それぞれ、本願発明１における「プラテン」、「基板」、「カメラ」、「コントローラ」に相当ないし対応する。引用発明の「ハンドラ」は、本願発明１の「アクティブ基板位置合わせシステム」に対応し、両者は「基板位置合わせシステム」である点で共通する。
イ　引用発明において、「位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上のスライダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を発生するモータをフィードバック制御することにより２次元方向に位置決めし、浮揚させるものであり、スライダ部２１２に取付台２０が固定されており、取付台２０上のデバイスを演算手段１８で求めた補正データに基づいて位置決めし、この位置決め装置２１によって、デバイスのＸ軸方向の位置ずれ、Ｙ軸方向の位置ずれ及びＺ軸まわりの回転ずれが補正され」るものであるから、「位置決め装置２１」は、プラテン２１１の上に置かれたデバイスの移動を制限するためのレジストレーション装置であるといえる。
　したがって、引用発明の「位置決め装置２１」は、本願発明１の「前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するためのレジストレーション装置」に相当する。
ウ　引用発明において、「ハンド１９は取置台１５に載せられたデバイスを搬送し、搬送の途中で画像計測が行われ、ハンド１９は、画像計測後のデバイスを取付台２０に載せ、カメラ１６はハンド１９に載せられたデバイスの配置状態を画像計測」するものであるから、引用発明の「カメラ１６」は、本願発明１の「前記基板が前記プラテンの上に置かれる前に画像をキャプチャするように構成されたカメラ」に相当する。
　また、引用発明の「ハンド１９に載せられたデバイスの配置状態」は、本願発明１の「前記基板の画像（ライブ画像）」に対応するといえるから、本願発明１と引用発明とは、「前記カメラは、前記基板が前記プラテンに置かれる前に前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするように構成される」ものである点で共通する。
エ　引用発明において、「オプトブリッジ１７は、Ｙ軸方向に移動してカメラ１６のＹ軸方向の位置決めをし、リニアモータ用ドライバ２６は、オプトブリッジ１７を移動するリニアモータを駆動し」、「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にある」、「前記リニアモータを駆動する」ものであるから、「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１」は、カメラ１６と通信するコントローラであるといえる。
　また、引用発明において、「位置決め装置２１は、平板状のプラテン２１１上のスライダ部２１２を浮揚させ、Ｘ軸方向とＹ軸方向に推力を発生するモータをフィードバック制御することにより２次元方向に位置決めし、浮揚させるものであり、スライダ部２１２に取付台２０が固定されており」、「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１は、位置決め装置２１にある、スライダ部２１２を浮揚させる前記モータ」を「駆動する」ものであるから、「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１」は、位置決め装置２１と通信するコントローラであるといえる。
　したがって、引用発明の「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１」と本願発明１の「コントローラ」とは、「前記カメラ及び前記レジストレーション装置と通信するコントローラ」である点で共通する。
オ　したがって、本願発明１と引用発明との間には、次の一致点、相違点があるといえる。
＜一致点＞
「プラテンと、
　前記プラテンの上に置かれた基板の移動を制限するためレジストレーション装置と、
　前記基板が前記プラテンの上に置かれる前に画像をキャプチャするように構成されたカメラと、
　前記カメラ及び前記レジストレーション装置と通信するコントローラとを備え、
　前記カメラは、前記基板が前記プラテンに置かれる前に前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするように構成される、基板位置合わせシステム。」
＜相違点＞
＜相違点１＞
　レジストレーション装置について、本願発明１は「前記プラテンに隣接して配置された基板係合表面を選択的に移動するように構成された」ものであるのに対し、引用発明の「位置決め装置２１」は、そのように構成されたものではない点。
＜相違点２＞
　カメラの構成について、本願発明１は、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラ」であり、「前記カメラ」は、「前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む前記基板の画像（ライブ画像）をキャプチャするように構成され」ているものであるのに対し、引用発明はテスト基板を用いるものではなく、「カメラ１６」の画像計測の対象は、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成された」ものではなく、また、画像計測する「デバイスの配置状態」（前記基板の画像（ライブ画像））は、本願発明１のような「前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む」ものではない点。
＜相違点３＞
　コントローラについて、本願発明１は、「前記コントローラは、前記基板の移動を予め決められた方法で制限するために、前記基板係合表面をライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されており」、「前記コントローラは、前記基板上の前記第１のドーパントパターンが、前記基板が前記プラテン上に置かれた後で、前記基板上に投射される第２のドーパントパターンと整列するために、前記基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させるように、前記レジストレーション装置に命令するように構成されている」ものであるのに対し、引用発明の「モーション制御ユニット（ＭＣＵ）３１」は、そのように構成されたものではない点。
＜相違点４＞
　本願発明１は、「イオン注入装置用のアクティブ基板位置合わせシステム」であるのに対し、引用発明では、ウエハである「デバイス」は、「アクティブ基板」ではなく、「ハンドラ」は、「イオン注入装置用」のものではない点。
（２）相違点についての判断
ア　相違点２について
　事案に鑑み、まず、上記相違点２について検討する。
　相違点２に係る本願発明１の「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラ」という構成は、基板の画像（ライブ画像）とは異なる「テスト基板の画像（テスト画像）」をキャプチャするように構成されたカメラと解されるものであり、上記引用文献２には記載も示唆もされておらず、当業者であっても、引用発明において、引用文献２に記載された技術的事項から、相違点２に係る本願発明１の上記構成を容易に想到することはできない。
　したがって、上記相違点１、３、４について判断するまでもなく、本願発明１は、当業者であっても引用発明、引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
２　本願発明２、８について
　本願発明２、８は、「テスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラ」という構成を備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
３　本願発明７について
　本願発明７は、本願発明１の「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）をキャプチャするように構成されたカメラ」という構成と同一の構成を備えるものであるから、本願発明１と同じ理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
４　本願発明９、１０について
　本願発明９、１０は、それぞれ、本願発明１、２に対応する方法の発明であり、それぞれ、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）」という構成、「テスト基板の画像（テスト画像）」という構成を備えるものであるから、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
５　本願発明３−６、１１−１４について、
　上記第２に記載のとおり、本願発明３−６は、本願発明１又は２を減縮した発明であり、本願発明１１−１４は、本願発明９又は１０を減縮した発明である。
　したがって、本願発明３−６、１１−１４は、本願発明１と同様の理由により、当業者であっても、引用発明、引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものとはいえない。
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は、請求項１−１５について上記引用文献１、２に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないというものである。
　しかしながら、令和３年３月１８日付け手続補正により補正された請求項１、７、９及び請求項２、８、１０は、それぞれ、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）」という構成、「テスト基板の画像（テスト画像）」という構成を有するものとなっており、請求項３−６、１１−１４も同じ構成を有するものとなっており、上記のとおり、本願発明１−１４は、上記引用文献１に記載された発明及び上記引用文献２に記載された技術的事項に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものとはいえない。
　したがって、原査定を維持することはできない。
第６　当審拒絶理由について
１　令和２年９月１７日付け拒絶理由について
（１）請求項１について
ア　請求項１に記載の「前記基板の画像をキャプチャする」は明確でないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１に記載の「前記基板の画像」は、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像）」と、請求項１に記載の「前記基板上の第１のドーパントパターンの像」は、「前記基板のエッジ及び前記基板上の第１のドーパントパターンを含む前記基板の前記画像（ライブ画像）」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
イ　請求項１に記載の「前記基板係合表面を前記画像に基づいて移動させる」における「前記画像」は明確でなく、また、発明の詳細な説明には、請求項１のように、基板係合表面を、「前記画像」、すなわち、「キャプチャされた基板の『画像』」に基づいて移動させることは記載されていないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１に記載の「制限するために、前記基板係合表面を前記画像に基づいて移動させる」は、「制限するために、前記基板係合表面をライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させる」と、請求項１に記載の「整列するために、前記基板係合表面を前記画像に基づいて移動させる」は、「整列するために、前記基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させる」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（２）請求項２について
　請求項２に係る発明は、請求項１に係る発明と同様な理由で、明確でなく、また、請求項２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項２に記載の「前記プラテンの上に置かれる前に前記基板の画像」は、「前記プラテンの上に置かれる前にテスト基板の画像（テスト画像）」と、請求項２に記載の「制限するために、前記基板係合表面を前記画像に基づいて移動させる」は、「制限するために、前記基板係合表面を前記基板のエッジを含む前記基板の画像（ライブ画像）と前記テスト画像との比較に基づいて移動させる」と、「位置するために、前記基板係合表面を前記画像に基づいて移動させる」は、「位置するために、前記基板係合表面を前記ライブ画像と前記テスト画像との比較に基づいて移動させる」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（３）請求項３−６について
ア　請求項３−６に係る発明は、請求項１又は２を引用しているので、請求項１、２と同じ理由で、明確でなく、また、請求項３−６に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１、２が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
イ　請求項５には、「前記第１の側面」と記載されているが、請求項５が引用する「請求項１又は２」には、「第１の側面」の用語は記載されていないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、引用請求項は「請求項４」と補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（４）請求項７、８について
　請求項７に係る発明は、請求項１と同じ理由で、明確でなく、また、発明の詳細な説明に記載したものでなく、請求項８に係る発明は、請求項２と同じ理由で、明確でなく、また、発明の詳細な説明に記載したものでないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項７、８は、それぞれ、請求項１、２と同様に補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（５）請求項９について
　請求項９に記載の「前記基板のライブ画像に基づいて、基板係合表面を、移動させる」ことは、発明の詳細な説明に記載されていないとの拒絶理由、請求項９には、「前記基板をプラテンの上に置く」と記載されているが、発明の詳細な説明には、請求項９のように、「『既存のドーパントパターンを含まない基板を含む）前記基板』をプラテンの上に置く」ことは記載されていないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項９が補正された結果、この拒絶理由は解消した。
（６）請求項１０について
　請求項１０に係る発明は、請求項９に係る発明と同様な理由で、明確でなく、また、請求項１０に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１０が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（７）請求項１１−１４について
ア　請求項１１−１４に係る発明は、請求項９又は１０を引用しているので、請求項９、１０と同じ理由で、明確でなく、また、請求項１１−１４に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものでないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項９、１０が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
イ　請求項１１には、「前記第２のドーパントパターンのテスト画像」、「前記第２のドーパントパターンの前記テスト画像」と記載されているが、請求項１１に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものではないとの拒絶の理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１１が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
ウ　請求項１２には、「前記ドーパントパターンのテスト画像」と２箇所記載されているが、請求項１２に係る発明は、発明の詳細な説明に記載したものではないとの拒絶の理由、請求項１２には、「前記基板のライブ画像を前記ドーパントパターンのテスト画像と比較するステップ」と記載されているが、技術的意味を理解できないとの拒絶理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１２及び図５が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
２　令和３年１月１３日付け拒絶理由（最後の拒絶理由）について
（１）請求項２−６について
　請求項２には、「アクティブ基板位置合わせシステム。さらに」と記載されているが、誤記であり、よって、請求項２及び請求項２を引用する請求項３−６に係る発明は、明確でないとの拒絶理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項２が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
（２）請求項７について
　請求項７には、「テスト基板の画像（テスト画像）」と記載されているが、明確でなく、また、請求項７に係る発明は、発明の詳細な説明に記載されたものではないとの拒絶理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項７に記載の「テスト基板の画像（テスト画像）」が、「ドーパントパターンを含むテスト基板の画像（テスト画像））」と補正された結果、この拒絶理由は解消した。
（３）請求項１０、１２について
　請求項１０には、「基板前記を位置合わせする方法。」と記載されているが、「基板を位置合わせする方法。」の誤記であり、よって、請求項１０及び請求項１０を引用する請求項１２に係る発明は、明確でないとの拒絶理由を通知しているが、令和３年３月１８日付けの補正において、請求項１０が補正された結果、この拒絶の理由は解消した。
第７　むすび
　以上のとおり、本願発明１−１４は、当業者が引用発明及び引用文献２に記載された技術的事項に基づいて容易に発明をすることができたものではない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。