(57)【要約】  回動機構と昇降機構の異なる駆動機構を１つの駆動源の制御にて行うことで、コンパクトで駆動機構の信頼性が高いバルブ装置を提供する。  筐体４４の第１開口部４６を閉塞又は開放する弁体部５２と、弁体部５２を回動させて第１開口部４６に対向する位置に移動させるとともに弁体部５２を径方向に移動させて第１開口部４６に着座させる弁体駆動部１１と、弁体部５２に設けられた第１シール部材５８と、弁体部５２の回動を規制するストッパ部３９Ａ、３９Ｂ、３５と、を有し、弁体駆動部１１は弁体部５２を回動可能に支持する支持部１３と、弁体部５２に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部１７Ｂを有するシャフト部１７と、シャフト部１７を回動させる駆動源６６と、を備える構成とした。
2008018405.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
筐体に形成された開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回動させて前記開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させて前記開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記開口部を閉塞したときに前記開口部を気密にシールするシール部材と、前記弁体部の回動を規制するストッパ部と、を有するバルブ装置であって、
前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、
前記ストッパ部は、前記弁体部が前記開口部と対向する位置で、前記支持部の一方向側への回動を阻止することを特徴とするバルブ装置。
【請求項２】
一方の側壁部には第１開口部が形成され他方の側壁部には第２開口部が形成された筐体の前記第１開口部又は前記第２開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回動させて前記第１開口部又は前記第２開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させて前記第１開口部又は前記第２開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記第１開口部を閉塞したときに前記第１開口部を気密にシールする第１シール部材と、前記弁体部が前記第２開口部を閉塞したときに前記第２開口部を気密にシールする第２シール部材と、前記弁体部の回動を規制するストッパ部と、を有するバルブ装置であって、
前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、
前記ストッパ部は、前記弁体部が前記第１開口部と対向する位置で、前記支持部の一方向側への回動を阻止し、前記弁体部が前記第２開口部と対向する位置で、前記支持部の他方向側への回動を阻止することを特徴とするバルブ装置。
【請求項３】
前記支持部を一方向へ回動させる回動力を前記支持部に付与する回動力付与部を備え、
前記支持部の回動は、前記回動力付与部から前記支持部に付与される回動力と前記駆動源からの駆動力との力関係により制御されることを特徴とする請求項１又は２に記載のバルブ装置。
【請求項４】
前記回動力付与部は、ゼンマイばねであることを特徴とする請求項３に記載のバルブ装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエーハ等の被処理体に対して所定の処理を行う処理チャンバなどに用いられるバルブ装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体デバイスの製造工程にあっては、半導体ウエーハに各種の処理、例えば、ドライエッチング、スパッタリング、ＣＶＤ（Ｃｈｅｍｉｃａｌ  Ｖａｐｏｒ  Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）等の各種のプロセスが繰り返し行われる。上記した各種の処理の多くは真空雰囲気にて行われ、この種の処理を行う処理チャンバに対してウエーハの搬出入を行う搬入開口は、処理時にはゲートバルブ装置によって気密性が高い状態でシールされる。【０００３】
この種のゲートバルブ装置は、例えば真空引き可能になされた処理チャンバの側壁にウエーハが通過し得る程度の大きさの僅かな幅の搬入開口を形成し、この搬入開口に取り付けられる。そして、プロセス時にはこのゲートバルブ装置のＯリング等の付いた弁体で上記搬入開口を気密に閉じた状態でプロセス処理を行うことになる。【０００４】
ここで、図１１及び図１２に示すように、従来のゲートバルブ装置１００は、筐体１０２と、筐体１０２の内部に駆動可能に設けられた弁体１０４と、弁体１０４を回転駆動後、弁座に押圧する弁体駆動部１０６と、を有している。また、筐体１０２には、隣接する処理チャンバ（図示省略）と連通するための第１開口部１０８と、弁体１０４に設けられた後述の第１シール部材１１２のメンテナンスを行うための第２開口部１１０と、がそれぞれ形成されている。上記弁体１０４は、弁体駆動部１０６により回転駆動され、弁座に押圧されることにより、第１開口部１０８又は第２開口部１１０を閉塞することができるようになっている。なお、弁体１０４の表面には、第１開口部１０８を閉塞したときに第１開口部１０８を気密にシールするための第１シール部材１１２と、第２開口部１１０を閉塞したときに第２開口部１１０を気密にシールするための第２シール部材１１４と、がそれぞれ設けられている。【０００５】
上記構成のゲートバルブ装置１００では、弁体１０４により第１開口部１０８が閉塞されている状態では第１シール部材１１２が弾性変形しており、また、弁体１０４により第２開口部１１０が閉塞されている状態では第２シール部材１１４が弾性変形している。このように、各シール部材１１２、１１４が弾性変形されることにより、第１開口部１０８又は第２開口部１１０を気密にシールすることができる。
【特許文献１】特開２００６−１７０３７３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
ところで、上記構成のゲートバルブ装置では、弁体駆動部が、回動機構と、弁体を昇降するための昇降機構を併せ持った複雑な構造であるため、信頼性の高い駆動部の実現が求められていた。特に、従来技術に開示されているように、圧縮空気による弁体の駆動は、弁体駆動部の推力により弁体を各開口部に押し付けているため、弁体が各開口部に押し付けられるときに弁体の移動速度が速くなり、弁体が各開口部に着座したときの衝撃力が大きくなってしまう。この結果、各シール部材が劣化、破損し易くなり、パーティクルが発生する問題がある。【０００７】
また、第１シール部材及び第２シール部材の潰し代の管理あるいは設定は弁体駆動部の推力のみで制御されている構造となっているため、第１シール部材及び第２シール部材の潰し代の管理あるいは設定を弁体駆動部の推力のみで制御しようとすると、細かい制御をすることが困難となり、第１シール部材及び第２シール部材が潰れ過ぎの状態となることがある。この結果、安定したシール性能が得られず、第１シール部材及び第２シール部材の製品寿命が低下するとともに、パーティクルが発生し易くなる問題がある。【０００８】
そこで、本発明は、上記事情を考慮し、回動機構と昇降機構の異なる駆動機構を１つの駆動源で駆動させることで、コンパクトで駆動機構の信頼性が高いバルブ装置を提供することを目的とする。【０００９】
また、本発明は、第１シール部材及び第２シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減し、かつ各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができ、長寿命で、かつ高いシール性能を有するバルブ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
請求項１に記載の発明は、筐体に形成された開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回動させて前記開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させて前記開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記開口部を閉塞したときに前記開口部を気密にシールするシール部材と、前記弁体部の回動を規制するストッパ部と、を有するバルブ装置であって、前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、前記ストッパ部は、前記弁体部が前記開口部と対向する位置で、前記支持部の一方向側への回動を阻止することを特徴とする。【００１１】
請求項２に記載の発明は、一方の側壁部には第１開口部が形成され他方の側壁部には第２開口部が形成された筐体の前記第１開口部又は前記第２開口部を閉塞又は開放する弁体部と、前記弁体部を軸回りに回動させて前記第１開口部又は前記第２開口部と対向する位置に移動可能にするとともに前記弁体部を径方向に移動させて前記第１開口部又は前記第２開口部の閉塞又は開放を可能にする弁体駆動部と、前記弁体部に設けられ前記弁体部が前記第１開口部を閉塞したときに前記第１開口部を気密にシールする第１シール部材と、前記弁体部が前記第２開口部を閉塞したときに前記第２開口部を気密にシールする第２シール部材と、前記弁体部の回動を規制するストッパ部と、を有するバルブ装置であって、前記弁体駆動部は、前記弁体部を回動可能に支持する支持部と、前記弁体部に接続されるとともに回動中心から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部を有し回動することにより前記弁体部を径方向に移動させる偏心シャフト部と、前記支持部又は前記偏心シャフト部を回動させる駆動源と、を有し、前記ストッパ部は、前記弁体部が前記第１開口部と対向する位置で、前記支持部の一方向側への回動を阻止し、前記弁体部が前記第２開口部と対向する位置で、前記支持部の他方向側への回動を阻止することを特徴とする。【００１２】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のバルブ装置において、前記支持部を一方向へ回動させる回動力を前記支持部に付与する回動力付与部を備え、前記支持部の回動は、前記回動力付与部から前記支持部に付与される回動力と前記駆動源からの駆動力との力関係により制御されることを特徴とする。【００１３】
請求項４に記載の発明は、請求項３に記載のバルブ装置において、前記回動力付与部は、ゼンマイばねであることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１４】
請求項１に記載の発明によれば、弁体部が開口部と対向する位置で、支持部の一方向側への回動がストッパ部により阻止される。そして、弁体部が開口部と対向する位置で、偏心シャフト部が一方向側へ回動することにより、弁体部が偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づく距離だけ径方向外側に移動して開口部に着座する。このとき、開口部は、シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方、弁体部が開口部と対向する位置で、偏心シャフト部が他方向側へ回動すると、弁体部は、径方向内側に移動する。これにより、開口部が開放される。【００１５】
以上のように、本発明によれば、弁体部の径方向外側への移動量は、偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体部の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、シール部材の開口部に対する押付量を一定にすることができ、さらに、シール部材の開口部に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、シール部材の製品寿命の低下を抑制することができ、また、シール部材が原因となるパーティクルの発生を防止することができる。さらに、弁体部が開口部と対向する位置で、支持部の回動がストッパ部により停止されるため、弁体部が開口部に対して位置ずれすることを防止できる。これにより、開口部を確実に閉塞することができ、気密にシールすることができる。【００１６】
請求項２に記載の発明によれば、弁体部が第２開口部と対向する位置にある状態を基準にすると、駆動源からの駆動力によって、支持部と偏心シャフト部とがともに所定の方向に回動する。これにより、弁体部が第１開口部と対向する位置に移動する。弁体部が第１開口部と対向する位置に移動すると、ストッパ部により支持部の一方向側への回動が阻止されて、弁体部が適切な位置に位置決めされる。さらに、偏心シャフト部が所定の方向に回動することにより、弁体部が偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づく距離だけ径方向外側に移動して第１開口部に着座する。このとき、第１開口部は、第１シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。【００１７】
一方、弁体部が第１開口部と対向する位置で、偏心シャフト部が逆方向に回動すると、弁体部は、径方向内側に移動して、第１開口部を開放する。さらに、偏心シャフト部が逆方向に回動すると、支持部が偏心シャフト部の駆動に追随して回動する。これにより、弁体部が第２開口部と対向する位置に移動して、最初の基準位置に戻る。弁体部が第２開口部と対向する位置に移動したときには、ストッパ部により支持部の他方向側への回動が阻止されて、弁体部が適切な位置に位置決めされる。【００１８】
そして、この基準状態において、支持部が回動しないように固定し、偏心シャフト部が回動することにより、弁体部が偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づく距離だけ径方向外側に移動して第２開口部に着座する。このとき、第２開口部は、第２シール部材により気密にシールされた状態で閉塞される。一方、偏心シャフト部が逆方向に回動することにより、弁体部は径方向内側に移動して、第２開口部が開放される。【００１９】
以上のように、本発明によれば、弁体部の径方向外側への移動量は、偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト部の偏心軸部の偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体部の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材の製品寿命の低下を抑制することができ、また、各シール部材が原因となるパーティクルの発生を防止することができる。さらに、弁体部が各開口部と対向する位置で、支持部の回動がストッパ部により停止されるため、弁体部が各開口部に対して位置ずれすることを防止できる。これにより、各開口部を確実に閉塞することができ、気密にシールすることができる。【００２０】
請求項３に記載の発明によれば、支持部の回動は、回動力付与部から支持部に付与される回動力と駆動源からの駆動力との力関係により制御される。具体的には、回動力付与部から支持部に付与される回動力と駆動源からの駆動力とが相互に対抗する場合（反対の向きに力が作用する場合）には、回動力と駆動力のうち力の大きい方が作用する方向に支持部及び弁体部が回動する。また、回動力付与部から支持部に付与される回動力と駆動源からの駆動力とが同じ方向に作用する場合には、回動力及び駆動力が作用する作用する方向に支持部及び弁体部が回動する。このため、回動力付与部からの回動力と駆動源からの駆動力の一方を調整することにより、支持部の回動を容易に制御することができる。【００２１】
請求項４に記載の発明によれば、回動力付与部としてゼンマイばねを用いることにより、ゼンマイばねから支持部に一方向への回動力を付与することができる。これにより、支持部と偏心シャフト部の回転駆動を連動させたり、支持部と独立して偏心シャフト部を駆動源により回動させたりすることができる。この結果、回動機構と昇降機構の異なる駆動機構を１つの駆動源にて駆動可能となる。さらに、ゼンマイばねを用いることにより、既存の部品を用いて容易に回動力付与部を構成することができる。これにより、バルブ装置の構成を簡易なものにすることができ、製造コストも低減することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２２】
【図１】本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の取り付け状態を示す拡大断面図である。
【図２】本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の要部を示す部分拡大図である。
【図３】（Ａ）はＯＰＥＮ状態における本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図４】（Ａ）はＯＰＥＮ状態から９０度回転状態における本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図５】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第１開口部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図６】（Ａ）は本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第２開口部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図７】（Ａ）はＯＰＥＮ状態における本発明の第２実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図８】（Ａ）はＯＰＥＮ状態から９０度回転状態における本発明の第２実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図９】（Ａ）は本発明の第２実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第１開口部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図１０】（Ａ）は本発明の第２実施形態に係るゲートバルブ装置の弁体部により第２開口部を閉塞した状態の弁体部の位置を示す断面図であり、（Ｂ）はその偏心シャフト部及び支持部の位置関係を示す図である。
【図１１】従来技術のゲートバルブ装置の部分的な断面図である。
【図１２】従来技術のゲートバルブ装置の弁体と弁駆動機構との取り付け状態を示す前方からの斜視図である。
【符号の説明】
【００２３】
１１        弁体駆動機構（弁体駆動部）
１２        処理チャンバ
１３        支持部
１７        偏心シャフト（偏心シャフト部）
１７Ｂ      偏心軸部
２０        ゲートバルブ装置（バルブ装置）
２７        爪部
２９Ａ      位置決めピン部
２９Ｂ      位置決めピン部
３５        回動規制ピン部（ストッパ部）
３７        ゼンマイばね（回動力付与部）
３８        搬出入開口（チャンバ開口部）
３９Ａ      ストッパ部材（ストッパ部）
３９Ｂ      ストッパ部材（ストッパ部）
４４        筐体
４６        第１開口部（開口部）
５１        円筒フランジ部（ストッパ部）
５２        弁体部
５６        第１シール面
５７        第２シール面
５８        弁体シール部（第１シール部材、シール部材）
６０        メンテナンスシール部（第２シール部材）
６２        メンテナンス用開口（第２開口部）
６６        駆動モータ（駆動源）
７５        回転ストッパ（ストッパ部）
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
次に、本発明の第１実施形態に係るゲートバルブ装置について、図面を参照して説明する。以下の実施形態では、バルブ装置の一例として、本発明をゲートバルブ装置に適用した形態に基づいて説明する。【００２５】
図１に示すように、処理チャンバ１２を区画する側壁３６には、半導体ウエーハを通過させて搬出入させる細長い搬出入開口３８が形成され、また、処理チャンバ１２と連通可能な搬送室１４を区画する側壁４０にも開口４２が形成されている。そして、ゲートバルブ装置２０は、例えばアルミニウムよりなる略直方体状の筐体４４を有している。この筐体４４の一側には、処理チャンバ１２内に連通する細長い第１開口４６が形成されている。筐体４４と上記処理チャンバ１２及び搬送室１４との接合面には、Ｏリング４８、５０がそれぞれ介在されて気密性を保持できるようになっている。【００２６】
また、筐体４４内には弁体部５２とこの弁体部５２を駆動する弁体駆動機構１１が設けられており、必要に応じて弁体部５２が上記第１開口部４６に着座してこれを気密にシールできるようになっている。なお、上記第１開口部４６と搬出入開口３８とは一体的に連通されているので、上記第１開口部４６を開閉することにより搬出入開口３８も開閉されることになる。【００２７】
具体的には、弁体部５２には、第１開口部４６を閉塞又は開放する平面状の第1シール面５６と、後述のメンテナンス用開口（第２開口部）６２を閉塞又は開放する平面状の第２シール面５７が形成されている。この第１シール面５６には、弁体部５２が第１開口部４６を閉塞したときに第１開口部４６を気密にシールする弁体シール部（第１シール部材）５８が設けられている。また、第２シール面５７には、弁体シール部５８の外側に位置し弁体部５２がメンテナンス用開口６２を閉塞したときにメンテナンス用開口６２を気密にシールするメンテナンスシール部（第２シール部材）６０が設けられている。なお、弁体シール部５８及びメンテナンスシール部６０は、Ｏリングで構成されていることが好ましい。【００２８】
そして、弁体部５２の第１シール面５６は第１開口部４６と略同じ形状に形成されている。そして、第1シール面５６の縁部には上述した弁体シール部５８が装着されている。また、弁体部５２の第２シール面５７はメンテナンス用開口６２と略同じ形状に形成されている。また、第２シール面５７の縁部には、メンテナンス用シール部６０が装着されている。【００２９】
また、弁体部５２の長手方向両端部近傍には、弁体部５２を筐体４４に対して回動させ又は径方向に移動させるための弁体駆動機構（弁体駆動部）１１が取り付けられている。【００３０】
ここで、弁体部５２を駆動させる弁体駆動機構１１の構成について詳細に説明する。【００３１】
図２に示すように、弁体部５２の長手方向両端部には、支持部１３が取り付けられている。この支持部１３は、中空状に形成されている。この支持部１３は、筐体４４の軸受部１５により回動可能となるように支持されている。また、支持部１３の内側には、軸受部（図示省略）を介して偏心シャフト（偏心シャフト部）１７が回動可能となるように配置されている。この偏心シャフト１７は、シャフト本体部１７Ａと、シャフト本体部１７Ａの中心（軸心）から所定の距離だけ離れた部位に中心が位置する偏心軸部１７Ｂと、で構成されている。この偏心軸部１７Ｂの外周には、すべり軸受け（図示省略）を介してローラ２２が配置されており、径方向に延在した支持片１９が取り付けられている。すなわち、この支持片１９には、ローラ２２が挿入される挿入部２１が形成されており、このローラ２２を介して偏心軸部１７Ｂが回動可能に接続された構成となっている。上記した支持片１９の径方向外側端部は、弁体部５２と接続されている。なお、支持片１９と弁体部５２とは、ビスやネジなどの固着具により接続されている。また、支持部１３には、弁体部５２が径方向外側に移動する際に伸び、弁体部５２が径方向内側に移動する際に縮むベローズ３３が取り付けられている。【００３２】
また、図２及至図４に示すように、シャフト本体部１７Ａの端部には、リング状部材２５が取り付けられている。このリング状部材２５には、爪部２７が形成されている。【００３３】
また、支持部１３の一方側端部の外周部には、拡径したフランジ部３１が取り付けられている。このフランジ部３１は、筐体４４に形成された収納空間部Ｍに配置されている。フランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａには、軸方向に突出した複数のピン部が取り付けられている。すなわち、本実施形態では、３つのピン部がフランジ部３１にそれぞれ取り付けられており、各ピン部は、１つの回動規制ピン部３５と、２つの位置決めピン部２９Ａ、２９Ｂと、で構成されている。このうち、２つの位置決めピン部２９Ａ、２９Ｂはフランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａの中心からの距離寸法が同じになる部位に取り付けられている。また、３つのピン部のうち１つの回動規制ピン部３５は、他の２つの位置決めピン部２９Ａ、２９Ｂと比較して、フランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａの中心からの距離寸法が大きくなる部位に取り付けられている。また、一方の位置決めピン部２９Ａは回動規制ピン部３５を中心として所定の角度だけ右側にずれた部位に取り付けられており、他方の位置決めピン部２９Ｂは回動規制ピン部３５を中心として所定の角度だけ左側にずれた部位に取り付けられている。なお、一方の位置決めピン部２９Ａと回動規制ピン部３５との開き角度と、他方の位置決めピン部２９Ｂと回動規制ピン部３５との開き角度と、は略同じになるように設定されている。【００３４】
また、筐体４４の収納空間部Ｍの内部であってかつフランジ部３１の径方向外側には、ゼンマイばね（回動力付与部）３７が配置されている。このゼンマイばね３７は、フランジ部３１の外周面と接触しており、ゼンマイばね３７の弾性力がフランジ部３１の外周面に対してフランジ部３１を所定の方向（図３中矢印Ａ方向）に回動させるように付与されている。このように、フランジ部３１には、一方向（図３中矢印Ａ方向）に回動するように、ゼンマイばね３７からの回転力が常に付与されている。【００３５】
また、筐体４４には、フランジ部３１の回動規制ピン部３５と接触し位置決めピン部２９Ａ、２９Ｂとは接触しない２つのストッパ部材（ストッパ部）３９Ａ、３９Ｂが取り付けられている。各ストッパ部材３９Ａ、３９Ｂは、支持部１３が９０度だけ回動できる位置にそれぞれ配置されている。すなわち、一方のストッパ部材３９Ｂは弁体部５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態の支持部１３の回動規制ピン部３５と接触し、他方のストッパ部材３９Ａは弁体部５２が第１開口部４６と対向する位置にある状態の支持部１３の回動規制ピン部３５と接触し、支持部１３の回動を規制している。【００３６】
また、筐体４４には、ロック部材４１が取り付けられている。このロック部材４１は一方の端部を基準として回動可能に取り付けられており、ロック部材４１の他方の端部が径方向内側に移動したときに、フランジ部３１の回動規制ピン部３５を一方のストッパ部材３９Ｂとロック部材４１とで挟持させ、係止するように設定されている。なお、ロック部材４１の回動は、図示しない制御機構又は手動により制御されている。【００３７】
さらに、筐体４４には、駆動モータ（駆動源）６６が取り付けられている。この駆動モータ６６は、正方向及び逆方向に回転するモータ回転軸６６Ａを備えている。このモータ回転軸６６Ａは偏心シャフト１７のシャフト本体部１７Ａに接続されており、モータ回転軸６６Ａの回転により偏心シャフト１７を一方向（図３中矢印Ｘ方向）又は逆方向（図３中矢印Ｙ方向）に回動することができるようになっている。【００３８】
また、図１及び図２に示すように、筐体４４の天井部には、弁体シール部５８を取り替えるための細長いメンテナンス用開口６２が形成されている。具体的には、このメンテナンス用開口６２は、この周囲の着座面に弁体部５２を着座させたときに内側の弁体シール部５８だけが露出された状態で外側のメンテナンス用シール部６０が着座面に接触して気密にシールし得るような大きさに設定されている。換言すれば、上記メンテナンス用開口６２は、上記第１開口部４６の大きさより、僅かな幅だけ広くなるように形成されており、このメンテナンス用開口６２をメンテナンス用シール部６０で気密にシールする一方、内側の弁体シール部５８をメンテナンス用開口６２内に露出させるようになっている。【００３９】
また、図１に示すように、メンテナンス用開口６２の周辺部には、その外側からメンテナンス用開閉蓋６８がＯリング７０を介して気密に取り付けられている。この場合、メンテナンス用開閉蓋６８は、複数本のボルト７２により着脱可能に取り付けられている。また、例えば、このメンテナンス用開閉蓋６８として、アクリル樹脂板等よりなる透明板を用いれば、メンテナンス用開閉蓋６８を取り外すことなく、弁体シール部５８の劣化の程度を外側から視認することができる。この場合、メンテナンス用開閉蓋６８の一部に、内部を視認できる透明な窓部を設けるようにしてもよい。【００４０】
また、上記弁体部５２を上記メンテナンス用開口６２に着座させ閉塞したときに、上記メンテナンス用開閉蓋６８と着座した弁体部５２との間に形成される空隙７４内を大気圧復帰させるために空隙給気系７６が設けられている。具体的には、図２に示すように、空隙給気系７６は、上記メンテナンス用開口６２を区画する区画壁に、上記空隙７４と外部とを連通する流路７８を設け、この流路７８に開閉弁８０を介設して必要に応じてＮ２ガスや清浄空気等を供給できるようになっている。【００４１】
また、図２に示すように、上記空隙７４内を真空引きするための空隙真空排気系８２が設けられている。この空隙真空排気系８２は、上記メンテナンス用開口６２を区画する区画壁に、上記空隙７４と外部とを連通する流路８４を設け、この流路８４に開閉弁８６を介設して必要に応じて空隙７４内の雰囲気を真空排気できるようになっている。【００４２】
次に、第１実施形態のゲートバルブ装置２０の作用について説明する。本実施形態の作用では、弁体部５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）を基準に説明する。【００４３】
図２及び図３に示すように、弁体部５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）では、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、回動中心を基準としてメンテナンス用開口６２側と反対側（径方向内側）に位置している。また、ＯＰＥＮ状態では、フランジ部３１の一方の位置決めピン部２９Ａとリング状部材２５の爪部２７とが接触している。さらに、ＯＰＥＮ状態では、フランジ部３１の外周面にゼンマイばね３７から所定の弾性力が作用しており、支持部１３は所定の方向（図３中矢印Ｘ方向）側に回動しようとする。なお、駆動モータ６６の駆動を停止したり、あるいは、駆動モータ６６からの回転駆動力を偏心シャフト１７に対して図３中矢印Ａ方向とは反対方向に作用させることにより、支持部５２はゼンマイばね３７からの弾性力に対抗することができるため、弁体部５２を所定の位置で位置決めすることができる。【００４４】
次に、図４に示すように、駆動モータ６６が正方向（図４中矢印Ｘ方向）に向かって駆動すると、偏心シャフト１７が回動する。これにより、リング状部材２５及び爪部２７が回動する。このとき、フランジ部３１の外周面にはゼンマイばね３７から所定の弾性力が作用しているため、フランジ部３１の一方の位置決めピン部２９Ａが爪部２７に追従して回動し、支持部１３は所定の方向（図４中矢印Ｘ方向）に回動する。すなわち、支持部１３は、偏心シャフト１７と共に回動する。そして、支持部１３が偏心シャフト１７とともに９０度回動したところで、フランジ部３１の回動規制ピン部３５がストッパ部材３９Ａと接触するため、ゼンマイばね３７からの弾性力が作用しても支持部１３のそれ以上の回動は阻止される。このとき、図４に示すように、弁体部５２は、第１開口部４６に対向する位置に移動している。【００４５】
図５に示すように、図４に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向にさらに回転すると、偏心シャフト１７は駆動モータ６６の回転駆動力を受けることになるため、偏心シャフト１７のみが所定の方向（図５中矢印Ｘ方向）に回動する。なお、このとき、支持部１３は、ストッパ部材３９Ａにより停止させられているため、回動しない。偏心シャフト１７が図４に示す９０度の位置から１８０度だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側（径方向外側）に移動する。これにより、弁体部５２が第１開口部４６に着座し、第１開口部４６が閉塞される（ＣＬＯＳＥ時状態）。このとき、弁体部５２の押圧力により、弁体シール部５８は弾性変形している。【００４６】
一方、弁体部５２が第１開口部４６に着座して第１開口部４６が閉塞された状態から第１開口部４６を開放する場合には、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向（図５中矢印Ｙ方向）に回転させて偏心シャフト１７を逆方向（図５中矢印Ｙ方向）に回転させる。このとき、ゼンマイばね３７から支持部１３に対して一方向（図５中矢印Ｘ方向）に作用する弾性力が付与されているため、支持部１３が偏心シャフト１７に追従して回動することはない。このため、偏心シャフト１７のみが回動する。偏心シャフト１７を逆方向（図５中矢印Ｙ方向）に１８０度回転させると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側と反対側（径方向内側）に移動して、図４に示す９０度の位置に戻る。これにより、第１開口部４６は開放される。【００４７】
図４に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａをさらに逆方向（図５中矢印Ｙ方向）にさらに回転させると、偏心シャフト１７が回動することになるが、偏心シャフト１７に取り付けられているリング状部材２５の爪部２７とフランジ部３１の位置決めピン部２９Ａとが接触して回転するため、偏心シャフト１７は支持部１３とともに所定の方向（図４中矢印Ｙ方向）に回動する。このとき、支持部１３に取り付けられたフランジ部３１の外周面にはゼンマイばね３７から弾性力が作用しているが、駆動モータ６６の回転駆動力がゼンマイばね３７から弾性力よりも大きくなるため、支持部１３はゼンマイばね３７からの弾性力に対抗する形で回動する。そして、支持部１３は、偏心シャフト１７とともに９０度だけ回動して、図３に示す位置に戻る。これにより、弁体部５２は、メンテナンス用開口６２と対向する位置に移動する。【００４８】
ここで、弁体部５２でメンテナンス用開口６２を閉塞する場合には、図６に示すように、ロック部材４１を回動させて、フランジ部３１の回動規制ピン部３５を一方のストッパ部材３９Ｂとロック部材４１とで挟持させる。この状態で、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを正方向に回転させる。駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを正方向（図６中矢印Ｘ方向）に回転させると、支持部１３の回動はロック部材４１により阻止されているので、爪部２７が位置決めピン２９Ｂに接触するまで、偏心シャフト１７のみが正方向（図６中矢印Ｘ方向）に１８０度回動する。偏心シャフト１７のみが１８０度だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけメンテナンス用開口６２側（径方向外側）に向かって移動する。これにより、弁体部５２がメンテナンス用開口６２に着座し、メンテナンス用開口６２が閉塞される。このとき、弁体部５２がメンテナンス用開口６２に着座した状態では、弁体部５２の押圧力によりメンテナンスシール部６０が弾性変形しており、メンテナンス用開口６２が気密にシールされる（メンテナンス時状態）。なお、メンテナンス用開口６２を開放する場合には、上述した通り、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向（図５中矢印Ｙ方向）に回転させる。このとき、支持部１３はフランジ部３１の回動規制ピン部３５を一方のストッパ部材３９Ｂとロック部材４１とで挟持されているので、支持部１３の回動は停止した状態である。【００４９】
以上のように、本実施形態のゲートバルブ装置２０によれば、弁体部５２の径方向外側への移動量は、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂの偏心量に基づくことになる。このため、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂの偏心量を所定値となるように設定するだけで、弁体部５２の径方向外側への移動量が一定量となるように容易に制御することができる。これにより、簡易な構成で、各シール部材５８、６０の各開口部４６、６２に対する押付量を一定にすることができ、さらに、各シール部材５８、６０の各開口部４６、６２に対する衝撃力を低減させることができる。この結果、各シール部材５８、６０の製品寿命の低下を抑制することができ、また、各シール部材５８、６０が原因となるパーティクルの発生を防止することができる。【００５０】
また、支持部１３を９０度回動させる手段として、ゼンマイばね３７を用いることにより、ゼンマイばね３７から支持部１３に一方向に作用する弾性力を付与することができる。これにより、支持部１３と偏心シャフト１７の回転駆動を連動させ、また、支持部１３と独立して偏心シャフト１７を回動させることができる。この結果、回動機構と昇降機構の異なる駆動機構を１つの駆動源の制御により行うことができる。さらに、ゼンマイばね３７を用いることにより、既存の部品を用いて容易に回動力付与部を構成することができる。これにより、ゲートバルブ装置２０の構成を簡易なものにすることができ、コンパクトで、製造コストも低減することができる。さらに、弁体部５２が第１開口部４６及びメンテナンス用開口６２と対向する位置で、支持部１３の回動がストッパ部３９Ａ、３９Ｂ及び回動規制ピン部３５により停止されるため、弁体部５２が第１開口部４６及びメンテナンス用開口６２に対して位置ずれすることを防止できる。これにより、第１開口部４６及びメンテナンス用開口６２を確実に閉塞することができ、気密にシールすることができる。【００５１】
次に、本発明の第２実施形態に係るゲートバルブ装置について、図面を参照して説明する。なお、第１実施形態に係るゲートバルブ装置の構成と重複する構成については同符号を付し、その説明を適宜省略する。【００５２】
図７乃至図１０に示すように、第２実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａには、複数のピン部が取り付けられていない。具体的には、第１実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａには、１つの回動規制ピン部３５と、２つの位置決めピン部２９Ａ、２９Ｂと、が設けられている構成を説明したが、第２実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａには、これらのピン部は、一切設けられていない。【００５３】
ここで、第２実施形態のゲートバルブ装置のフランジ部３１の軸方向一方側平面３１Ａには、各ピン部に替えて、円筒フランジ部（ストッパ部）５１が取り付けられている。この円筒フランジ部５１は、半円状のフランジ本体５３と、フランジ本体５３に一体形成された２つの第１フック部６１及び第２フック部６３と、で構成されている。半円状のフランジ本体５３は、外側に大きく突出した湾曲状の外周部６５と、外周部６５の径よりも小さな径の溝状に形成された内周部６７と、を有している。この外周部６５には、後述のメンテナンス用ハンドル７７の軸部７９が進入して係合する溝部６９が形成されている。また、内周部６７の径方向内側には、リング状部材２５の一部が収容可能に構成されている。【００５４】
また、第１フック部６１及び第２フック部６３は、フランジ本体５３の外周部６５から延びるようにして一体形成されたものである。また、フランジ本体５３であって各フック部６１、６３の径方向内側の部位には、２つの第１位置決め部７１及び第２位置決め部７３がそれぞれ形成されている。各位置決め部７１、７３には、リング状部材２５の爪部２７と接触可能な接触面７１Ａ、７３Ａがそれぞれ形成されている。接触面７１Ａ、７３Ａに、リング状部材２５の爪部２７が接触することにより、リング状部材２５が停止されるとともに、弁体部５２が適切な位置に位置決めされる。このように、円筒フランジ部５１は、半円状のフランジ本体５３と、フランジ本体５３に一体形成された第１フック部６１及び第２フック部６３と、で構成されており、全体としてＵ字状に形成されている。【００５５】
また、第２実施形態のゲートバルブ装置の筐体４４には、第１実施形態のゲートバルブ装置の筐体４４に設けられていた２つのストッパ部材３９Ａ、３９Ｂに替えて、１つの回転ストッパ（ストッパ部）７５が取り付けられている。この回転ストッパ７５には、第１フック部６１が接触する第１ストッパ面７５Ａと、第２フック部６３が接触する第２ストッパ面７５Ｂと、が形成されている。これにより、第１フック部６１が第１ストッパ面７５Ａと接触し、あるいは第２フック部６３が第２ストッパ面７５Ｂと接触することにより、フランジ部３１及び円筒フランジ部５１の回転が停止されるとともに、弁体部５２が適切な位置に位置決めされる。また、筐体４４には、支持部１３の回動を阻止するメンテナンス用ハンドル７７が設けられている。【００５６】
また、第１実施形態と共通する点として、筐体４４の収納空間部Ｍの内部であってかつフランジ部３１の径方向外側には、ゼンマイばね３７が配置されている。【００５７】
次に、第２実施形態のゲートバルブ装置の作用について説明する。本実施形態の作用では、弁体部５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）を基準に説明する。なお、支持部１３が回動する場合には、メンテナンス用ハンドル７７の軸部７９が溝部６９に挿入されておらず、メンテナンス用ハンドル７７は、溝部６９から退避した位置に置かれている。【００５８】
図７に示すように、弁体部５２がメンテナンス用開口６２と対向する位置にある状態（ＯＰＥＮ状態）では、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、回動中心を基準としてメンテナンス用開口６２側と反対側（径方向内側）に位置している。また、ＯＰＥＮ状態では、フランジ部３１の一方の位置決めピン部２９Ａとリング状部材２５の爪部２７とが接触している。さらに、ＯＰＥＮ状態では、フランジ部３１の外周面にゼンマイばね３７から所定の弾性力が図７中矢印Ａ方向に向かって作用しており、支持部１３は所定の方向（図７中矢印Ｘ方向）側に回動しようとする。なお、駆動モータ６６の駆動を停止したり、あるいは、駆動モータ６６からの回転駆動力を偏心シャフト１７に対して図７中矢印Ｙ方向に作用させることにより、支持部５２はゼンマイばね３７からの弾性力に対抗することができるため、弁体部５２を所定の位置で位置決めすることができる。【００５９】
次に、図８に示すように、駆動モータ６６が正方向（図８中矢印Ｘ方向）に向かって駆動すると、偏心シャフト１７が正方向（図８中矢印Ｘ方向）に回動する。これにより、リング状部材２５及び爪部２７が回動する。このとき、フランジ部３１の外周面にはゼンマイばね３７から所定の弾性力が作用しているため、円筒フランジ部５１の第２位置決め部７３が爪部２７に追従して回動し、支持部１３は所定の方向（図８中矢印Ｘ方向）に回動する。すなわち、支持部１３は、偏心シャフト１７と共に回動する。そして、支持部１３が偏心シャフト１７とともに９０度回動したところで、円筒フランジ部５１の第２フック部６３が回転ストッパ７５の第２ストッパ面７５Ｂと接触するため、ゼンマイばね３７からの弾性力が作用しても支持部１３のそれ以上の回動は阻止される。このとき、図８に示すように、弁体部５２は、第１開口部４６に対向する位置に移動している。【００６０】
図９に示すように、図８に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向にさらに回転すると、偏心シャフト１７は駆動モータ６６の回転駆動力を受けることになるため、偏心シャフト１７のみが所定の方向（図９中矢印Ｘ方向）に回動する。なお、このとき、支持部１３は、回転ストッパ７５により停止させられているため、回動しない。偏心シャフト１７が図８に示す９０度の位置から１８０度だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側（径方向外側）に移動する。これにより、弁体部５２が第１開口部４６に着座し、第１開口部４６が閉塞される（ＣＬＯＳＥ時状態）。このとき、弁体部５２の押圧力により、弁体シール部５８は弾性変形している。【００６１】
一方、弁体部５２が第１開口部４６に着座して第１開口部４６が閉塞された状態から第１開口部４６を開放する場合には、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向（図９中矢印Ｙ方向）に回転させて偏心シャフト１７を逆方向（図９中矢印Ｙ方向）に回転させる。このとき、ゼンマイばね３７から支持部１３に対して一方向（図９中矢印Ａ方向）に作用する弾性力が付与されているため、支持部１３が偏心シャフト１７に追従して回動することはない。このため、偏心シャフト１７のみが回動する。偏心シャフト１７を逆方向（図９中矢印Ｙ方向）に１８０度回転させると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側と反対側（径方向内側）に移動して、図８に示す９０度の位置に戻る。これにより、第１開口部４６は開放される。【００６２】
図８に示す９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａをさらに逆方向（図８中矢印Ｙ方向）にさらに回転させると、偏心シャフト１７が回動することになるが、偏心シャフト１７に取り付けられているリング状部材２５の爪部２７が円筒フランジ部５１の第２位置決め部７３の接触面７３Ａと接触して回転するため、偏心シャフト１７は支持部１３とともに所定の方向（図８中矢印Ｙ方向）に回動する。このとき、支持部１３に取り付けられたフランジ部３１の外周面にはゼンマイばね３７から弾性力が作用しているが、駆動モータ６６の回転駆動力がゼンマイばね３７から弾性力よりも大きくなるため、支持部１３はゼンマイばね３７からの弾性力に対抗する形で回動する。そして、支持部１３は、偏心シャフト１７とともに９０度だけ回動して、図７に示す位置に戻る。このとき、円筒フランジ部５１の第１フック部６１が回転ストッパ７５の第１ストッパ面７５Ａと接触し、支持部１３のそれ以上の回動が阻止される。これにより、弁体部５２は、メンテナンス用開口６２と対向する位置に移動する。【００６３】
ここで、弁体部５２でメンテナンス用開口６２を閉塞する場合には、図１０に示すメンテナンス用ハンドル７７の軸部７９が溝部６９に進入して係合され支持部１３が回動しないように固定した状態で、駆動モータ６６を正方向（図１０中矢印Ｘ方向）に回動させる。駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを正方向（図１０中矢印Ｘ方向）に回転させると、支持部１３の回動はメンテナンス用ハンドル７７により阻止されているので、爪部２７がフランジ本体５３の第１位置決め部７１の接触面７１Ａに接触するまで、偏心シャフト１７のみが正方向（図１０中矢印Ｘ方向）に１８０度回動する。偏心シャフト１７のみが１８０度だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけメンテナンス用開口６２側（径方向外側）に向かって移動する。これにより、弁体部５２がメンテナンス用開口６２に着座し、メンテナンス用開口６２が閉塞される。このとき、弁体部５２がメンテナンス用開口６２に着座した状態では、弁体部５２の押圧力によりメンテナンスシール部６０が弾性変形しており、メンテナンス用開口６２が気密にシールされる（メンテナンス時状態）。なお、メンテナンス用開口６２を開放する場合には、上述した通り、駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａを逆方向（図１０中矢印Ｙ方向）に回転させる。このとき、支持部１３はメンテナンス用ハンドル７７により固定されているので、支持部１３の回動は停止した状態である。【００６４】
以上のように、第２実施形態のゲートバルブ装置によれば、回転ストッパ７５を設けたことにより、支持部１３の回動停止位置を正確な位置に設定することができる。これにより、弁体部５２を第１開口部４６又はメンテナンス用開口６２と対向する位置に正確に位置決めすることができる。また、弁体部５２のシール面と筐体４４の側壁の着座面が平行の状態で、弁体部５２を径方向外側に向けて移動することになるため、弁体シール部５８及びメンテナンスシール部６０によるシール性能を向上させることができる。また、弁体部５２の各シール面５６、５７と筐体４４の側壁の着座面が平行の状態で弁体部５２を径方向外側に向けて移動し、筐体４４の着座面が弁体シール部５８及びメンテナンスシール部６０に接触するため、弁体シール部５８及びメンテナンスシール部６０が転動して各シール溝から脱落することを防止できる。この結果、高いシール性能を長期にわたり、維持することができる。【００６５】
また、単一の回転ストッパ７５を設けているため、筐体４４に設ける部品の部品点数を削減でき、製造コストを低減できる。また、筐体４４に設ける部品の部品点数を削減できるため、ゲートバルブ装置が大型化することを防止できる。【００６６】
さらに、円筒フランジ５１と回転ストッパ７５とは真空外部の環境で接触するため、両者の接触により発生するパーティクルが真空内部に浸入することを防止できる。この結果、パーティクルが真空内部の被処理物に付着することを防止できる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【国際調査報告】
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