【手続補正書】
【提出日】令和1年9月13日(2019.9.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセッサによってバッチステージパラメータの現在値に基づいて現在のバッチプロセスにおける現在のステージを判定することであって、前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記現在のバッチプロセスにおけるプロセスパラメータに関連付けられたプロセス制御データに基づいて判定され、前記現在のステージは、バッチレシピにおける手順、ユニット手順、操作、またはフェーズの開始または終了のうちの少なくとも１つによって画定されるバッチイベントから独立して判定される、判定することと、
前記プロセッサによって前記現在のバッチプロセスにモデルを適用することであって、前記モデルは、前記現在のステージに対応する、適用することと、を含む、方法。
【請求項２】
前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記バッチイベントを参照することなく、前記プロセスパラメータの条件に関連付けられたユーザー指定の定義に基づいて定義される、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記現在のステージは、前記バッチプロセスのランタイム中に前記バッチイベントのなかの連続するイベントの間に受信されたオペレーター入力によって画定され、前記オペレーター入力は、前記バッチステージパラメータの前記現在値を定義するためのユーザー指定の規則を満たす、請求項１又は請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記現在のステージは、前記プロセスパラメータの特定の相互作用に関連付けられた前記現在のバッチプロセスの一部分に対応する、請求項１〜請求項３の何れか１項に記載の方法。
【請求項５】
以前実行された複数のバッチプロセスの各々における対応するステージに基づいて、前記現在のバッチプロセスの前記現在のステージのための前記モデルを生成することをさらに含む、請求項１〜請求項４の何れか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記モデルは、
連続ヒストリアンデータベース内に記憶された前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを取り出すことと、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データが前記バッチステージパラメータの前記現在値を定義するユーザー指定の定義を初めて満たすときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの開始を検出することと、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データがもはや前記ユーザー指定の定義を満たさなくなるときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの終了を検出することと、
前記以前実行されたバッチプロセスの各々における前記対応するステージの前記開始と前記終了との間で、前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを分析することと、によって生成される、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記バッチステージパラメータが前記現在値に初めて対応するときに基づいて、前記現在のステージの開始を判定することと、
前記バッチステージパラメータが前記現在値にもはや対応しなくなるときに基づいて、前記現在のステージの終了を判定することと、
前記現在のステージの前記開始及び前記終了を、前記プロセス制御データと共に、連続ヒストリアンデータベース内に記憶することと、をさらに含む、請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の方法。
【請求項８】
前記現在のステージの前記開始と前記終了との間に前記連続ヒストリアンデータベース内に記憶された前記プロセス制御データに基づいて、後続のバッチプロセスのために前記
モデルを洗練させることをさらに含む、請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記バッチステージパラメータが前記現在値以外の異なる値に対応するとき、異なるモデルを適用して前記現在のバッチプロセスを分析することをさらに含み、前記モデルは、前記現在のステージ以外の前記バッチプロセスの異なるステージに対応し、前記現在のステージと前記異なるステージとの境界は、前記バッチイベントに対応しない、請求項１〜請求項８の何れか１項に記載の方法。
【請求項１０】
プロセッサを介して実装され、バッチステージパラメータの現在値に基づいて現在のバッチプロセスにおける現在のステージを判定するバッチステージ分析器であって、前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記現在のバッチプロセスにおけるプロセスパラメータに関連付けられたプロセス制御データに基づいて判定され、前記現在のステージは、バッチレシピにおける手順、ユニット手順、操作、またはフェーズの開始または終了のうちの少なくとも１つによって画定されるバッチイベントから独立して判定される、バッチステージ分析器と、
前記現在のバッチプロセスにモデルを適用するバッチモデル分析器であって、前記モデルは、前記現在のステージに対応する、バッチモデル分析器と、を備える、装置。
【請求項１１】
前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記バッチイベントを参照することなく、前記プロセスパラメータの条件に関連付けられたユーザー指定の定義に基づいて定義される、請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記バッチプロセスを実行するコントローラによって判定され、前記コントローラは、前記ユーザー指定の定義を前記プロセスパラメータの現在値と比較する、請求項１１に記載の装置。
【請求項１３】
前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記バッチステージ分析器によって判定される、請求項１０〜請求項１２の何れか１項に記載の装置。
【請求項１４】
以前実行された複数のバッチプロセスの各々における対応するステージに基づいて、前記現在のバッチプロセスの前記現在のステージのための前記モデルを生成するモデル生成器をさらに含む、請求項１０〜請求項１３の何れか１項に記載の装置。
【請求項１５】
前記モデル生成器は、
連続ヒストリアンデータベース内に記憶された前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを取り出し、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データが前記バッチステージパラメータの前記現在値を定義するユーザー指定の定義を初めて満たすときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの開始を検出し、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データがもはや前記ユーザー指定の定義を満たさなくなるときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの終了を検出し、かつ
前記以前実行されたバッチプロセスの各々における前記対応するステージの前記開始と前記終了との間で、前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを分析する、請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
前記バッチステージ分析器は、
前記バッチステージパラメータが前記現在値に初めて対応するときに基づいて、前記現在のステージの開始を判定し、
前記バッチステージパラメータが前記現在値にもはや対応しなくなるときに基づいて、前記現在のステージの終了を判定し、かつ
前記現在のステージの前記開始及び前記終了を、前記プロセス制御データと共に、連続ヒストリアンデータベース内に記憶する、請求項１０〜請求項１５の何れか１項に記載の装置。
【請求項１７】
命令を備える製造物品であって、前記命令は、実行されるとき、機械をもって、少なくとも
バッチステージパラメータの現在値に基づいて現在のバッチプロセスにおける現在のステージを判定することであって、前記バッチステージパラメータの前記現在値は、前記現在のバッチプロセスにおけるプロセスパラメータに関連付けられたプロセス制御データに基づいて判定され、前記現在のステージは、バッチレシピにおける手順、ユニット手順、操作、またはフェーズの開始または終了のうちの少なくとも１つによって画定されるバッチイベントから独立して判定される、判定することと、
前記現在のバッチプロセスにモデルを適用することであって、前記モデルは、前記現在のステージに対応する、適用することと、を行わせる、製造物品。
【請求項１８】
前記命令は、前記機械をもって、以前実行された複数のバッチプロセスの各々における対応するステージに基づいて、前記現在のバッチプロセスの前記現在のステージのための前記モデルを生成することをさらに行わせる、請求項１７に記載の製造物品。
【請求項１９】
前記モデルは、
連続ヒストリアンデータベース内に記憶された前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを取り出すことと、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データが前記バッチステージパラメータの前記現在値を定義するユーザー指定の定義を初めて満たすときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの開始を検出することと、
以前実行された各バッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データがもはや前記ユーザー指定の定義を満たさなくなるときに基づいて、以前実行された各バッチプロセスにおける前記対応するステージの終了を検出することと、
前記以前実行されたバッチプロセスの各々における前記対応するステージの前記開始と前記終了との間で、前記以前実行されたバッチプロセスに関連付けられた前記プロセス制御データを分析することと、によって生成される、請求項１８に記載の製造物品。
【請求項２０】
前記命令は、前記機械をもって、
前記バッチステージパラメータが前記現在値に初めて対応するときに基づいて、前記現在のステージの開始を判定し、
前記バッチステージパラメータが前記現在値にもはや対応しなくなるときに基づいて、前記現在のステージの終了を判定し、かつ
前記現在のステージの前記開始と前記終了との間に連続ヒストリアンデータベース内に記憶された前記プロセス制御データに基づいて、後続のバッチプロセスのために前記モデルを洗練させることをさらに行わせる、請求項１７〜請求項１９の何れか１項に記載の製造物品。