(57)【要約】  用力伝送装置は、第１部材（１）に固定された磁性部材（１０）と、第１部材に設けられ、磁性部材に巻かれた第１コイル（１２）と、第２部材（２）に設けられ、第１部材に対して第２部材が相対移動できるように磁性部材に巻かれた第２コイル（１４）と、を備える。磁性部材は、エアギャップを有さない磁路を形成している。
2007049604.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１部材に固定された磁性部材と、
前記第１部材に設けられ、前記磁性部材に巻かれた第１コイルと、
第２部材に設けられ、前記第１部材に対して前記第２部材が相対移動できるように前記磁性部材に巻かれた第２コイルと、を備え、
前記磁性部材は、エアギャップを有さない磁路を形成している用力伝送装置。
【請求項２】
第１部材と、
前記第１部材と相対移動可能な第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材の一方に固定され、閉じた磁路を形成する磁性部材と、
前記第１部材に設けられ、前記磁性部材に巻かれた第１コイルと、
前記第２部材に設けられ、前記磁性部材に対して相対移動できるように前記磁性部材に巻かれた第２コイルと、を備える用力伝送装置。
【請求項３】
前記第２コイルと前記磁性部材との間に所定の間隔が形成される請求項１または請求項２に記載の用力伝送装置。
【請求項４】
前記磁性部材は、非分割状態で設けられている請求項２又は請求項３記載の用力伝送装置。
【請求項５】
前記磁性部材は、ケイ素鋼を含む請求項１から請求項４のいずれかに記載の用力伝送装置。
【請求項６】
前記磁性部材は、前記第１コイルが巻かれた部分と前記第２部分が巻かれた部分との間に、磁性流体が介在する間隙を有する請求項１から請求項３のいずれかに記載の用力伝送装置。
【請求項７】
前記第２コイルと前記磁性部材との間に所定の間隔が形成され、
前記磁性流体は、少なくとも前記所定の間隔と同じ距離を伸縮可能である請求項６に記載の用力伝送装置。
【請求項８】
前記磁性流体は、マグネタイト又はＭｎ−Ｚｎ系複合フェライトケイ素鋼ケロシンを水に分散させた液体を含む請求項６又は請求項７に記載の用力伝送装置。
【請求項９】
前記第１部材と前記第２部材とは、回転軸線周りに相対的に回転移動する請求項１から８のいずれか一項に記載の用力伝送装置。
【請求項１０】
前記第１部材と前記第２部材とは、ヒンジ部を介して折り畳み自在である請求項９に記載の用力伝送装置。
【請求項１１】
前記第２コイルは、前記磁性部材の前記磁路に沿って前記磁性部材に対して移動可能である請求項２記載の用力伝送装置。
【請求項１２】
前記第２コイルは、前記磁性部材の前記磁路と交差する方向に沿って前記磁性部材に対して移動可能である請求項２記載の用力伝送装置。
【請求項１３】
第１部材と、
前記第１部材と相対移動可能な第２部材と、
前記第１部材または前記第２部材の一方に固定された磁性部材と、
前記第１部材に設けられ、前記磁性部材に巻かれた第１コイルと、
前記第２部材に設けられ、前記第１部材に対して前記第２部材が相対移動できるように前記磁性部材に巻かれた第２コイルと、を備え、
前記第２コイルは、前記磁性部材の前記第２コイルが巻かれている部分に形成される磁路の方向と交差する方向に移動する用力伝送装置。
【請求項１４】
請求項１から請求項１３のいずれかに記載の用力伝送装置を有するステージ装置。
【請求項１５】
第１の移動部材と、該第１の移動部材との間で相対移動可能な第２の移動部材とを備え、前記用力伝送装置が前記第１の移動部材と前記第２の移動部材との間で用力を伝送する請求項１４に記載のステージ装置。
【請求項１６】
請求項１から請求項１３のいずれか一項に記載の用力伝送装置を有する露光装置。
【請求項１７】
請求項１４または請求項１５に記載のステージ装置を備える露光装置。
【請求項１８】
請求項１６または請求項１７に記載の露光装置を用いるデバイス製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、非接触で電力や電気信号等の電気性用力の伝送を行う用力伝送装置、ステージ装置、露光装置、及びこの露光装置を用いるデバイス製造方法に関するものである。
本願は、２００５年１０月２４日に出願された特願２００５−３０８３２７号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
【背景技術】
【０００２】
電力で駆動するモータなどの駆動装置を有するステージには、通常、電力及び信号供給用の電源ケーブルが接続される。あるいは、バッテリーがステージに搭載される。こうした構造において、配線数の増大はケーブル信頼性上ネックとなる。これはロボットの関節アクチュエータの様な間接を有する構造においても同様である。【０００３】
分離独立した電動機を有する構造において、Ｅ型コアなどを使い電磁誘導で電力を供給するものが提案されている。特許文献１は、その一例を開示している。この例において、鉄などで構成されたＥ型コアにコイルを巻いたものを一対用意し、互いにエアギャップ（空隙）を設けて、分離独立した電動機に、非接触状態にもかかわらず電力を供給している。
【特許文献１】特開平０６−００６９９３号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、一対のＥ型コアの間にはエアギャップがあるので、磁束又は磁路が途切れ、エアギャップから磁束が漏れる。この磁束漏れは、電力供給の効率の低下を招く。【０００５】
本発明は、磁束漏れが少ない用力伝送装置を提供することを目的とする。この用力伝送装置は、例えば、ラップトップパソコン、携帯電話又はドアなどの折り曲げ機構を有する器具、微動に動かす部材を有する露光装置に適用可能である。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、実施の形態に示す各図に対応付けした以下の構成を採用している。但し、各要素に付した括弧付き符号はその要素の例示に過ぎず、各要素を限定するものではない。【０００７】
本発明の用力伝送装置は、第１部材（１）に固定された磁性部材（１０、２０）と、第１部材に設けられ、磁性部材に巻かれた第１コイル（１２）と、第２部材（２）に設けられ、第１部材に対して第２部材が相対移動できるように磁性部材に巻かれた第２コイル（１４）と、を備え、磁性部材は、エアギャップを有さない磁路を形成している。本発明の他の用力伝送装置は、第１部材と、第１部材と相対移動可能な第２部材と、第１部材と第２部材の一方に固定され、閉じた磁路を形成する磁性部材と、第１部材に設けられ、磁性部材に巻かれた第１コイルと、第２部材に設けられ、磁性部材に対して相対移動できるように磁性部材に巻かれた第２コイルと、を備える。
この構成により、所定距離移動する第２部材であっても、磁束漏れが少ない状態で、電力供受給等の電気性用力の伝送を行うことができる。このため、独立分離した第２部材に電力を供給する際にケーブルなどを使わなくてもよくなり、信頼性及び耐久性が向上する。【０００８】
また、本発明の露光装置は、先に記載の用力伝送装置を有することを特徴とするものである。
従って、本発明の露光装置では、例えば精密な移動を行う微動ステージでは、特に磁束漏れを少ない状態で用力伝送を行うことができ、効率的な露光処理を実現することが可能になる。【０００９】
また、本発明のデバイス製造方法は、先に記載の露光装置を用いることを特徴とするものである。
従って、本発明では、効率的にデバイスを製造することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
【図１】磁性体としてリングコアを用いた電力供受給装置を示す図である。
【図２】磁性体に矩形のラウンドネスコアを用いた電力供受給装置を示す図である。
【図３】磁性体に矩形のラウンドネスコアを用いた別の電力供受給装置を示す図である。
【図４】２次側コイルとコアとの間に、絶縁部材が配置されていることを示す図である。
【図５】磁性体に２つにカットされた矩形のラウンドネスカットコアを用いた電力供受給装置を示す図である。
【図６】一実施形態の具体的なブロック図である。
【図７】交流三相信号を重畳させて、２次側コイルに送る説明図である。
【図８】電力供受給装置を、ラップトップパソコンに適用した図である。
【図９】電力供受給装置を、露光装置に適用した図である。
【図１０】半導体デバイスの製造工程の一例を示すフローチャート図である。
【符号の説明】
【００１１】
１…第１部材、  ２…第２部材、  １０…リングコア、  １２…１次側コイル、  １４…２次側コイル、  ２０…ラウンドネスコア、  ２２…ラウンドネスカットコア、  ２４…磁性流体入り蛇腹パイプ、  ３０…絶縁部材、  ３２…制御回路、  ３４…駆動モータ、  ３６…ステージ、  ３８…移動対象物、  ４０…負荷抵抗、  ４５…ヒンジ部、  ４７…キーボード部、  ４８…液晶部、  ８０…露光装置、  ８３…照明光学系、  ８４…光学素子、  １００…固定側コントローラ、  １５０…演算部、  １５２…電源部、  ＦＴ…微動ステージ、  ＰＬ…投影ユニット、  Ｒ…レチクル、  ＲＳＴ…レチクルステージ、  ＲＴ…粗動ステージ、  ＷＳＴ…ウエハステージ
【発明を実施するための最良の形態】
【００１２】
図１は、本発明の第１実施形態を示した図であり、磁性体としてリングコアを用いた電力供受給装置を示している。図１のリングコア１０は、磁束漏れが少ない材料が使われる。例えば、鉄、コバルト、ニッケル、ケイ素鋼又はアモルファス合金が使用される。図１中において、固定側である第１部材１には、１次側コイル１２がリングコア１０にしっかり巻きつけられる。第１部材１とリングコア１０とが１次側コイル１２に固定されている。銅でできた１次側コイル１２には、交流又は高周波電流が所定電圧で印加される。【００１３】
移動側である第２部材２には、リングコア１０に巻かれた２次側コイル１４が固定されている。２次側コイル１４には、電灯、モータなど抵抗を有する負荷抵抗４０が接続されている。１次側コイル１２の巻き数、及び２次側コイルの巻き数はそれぞれ、負荷抵抗の要求電圧によって決められる。例えば１次側コイル１２の巻き数が２次側コイル１４の巻き数の２倍であり、１次側コイル１２に２００Ｖが印加されたならば、２次側コイル１４に１００Ｖが出力される。【００１４】
２次側コイル１４は、図１の矢印方向、つまり２次側コイル１４が巻回されているリングコア１０に形成される磁路（磁束）の方向と交差する方向に移動できるように、リングコア１０の外周部分と２次側コイル１４の内周部分との間に、少なくとも距離ｄの隙間が形成されている。負荷抵抗４０がリニアモータやボイスコイルモータ等のアクチュエータであって、さらにこのリニアモータが２次側コイル１４を１次側コイル１２（リングコア１０）に対して矢印方向に駆動できるように配置されている場合、１次側コイル１２に電圧を印加すると、２次側コイル１４を介して電力の供給を受けた前記リニアモータによって２次側コイル１４（第２部材２）は矢印方向に距離ｄの範囲内で移動することができる。２次側コイル１４が移動するので、リングコア１０と接触しても問題が生じないように、摩擦が少ない絶縁部材３０（図４参照）を設けるのが好ましい。絶縁部材として四弗化エチレン、ポリアミドなどのプラスチック材が挙げられる。【００１５】
図２は、本発明の第２実施形態を示した図であり、磁性体に矩形のラウンドネスコアを用いた電力供受給装置（用力伝送装置）を示している。図２のラウンドネスコア２０も、第１実施形態と同じように、鉄、コバルト、ニッケル、ケイ素鋼又はアモルファス合金が使用される。図２中の１次側コイル１２は、第１実施形態と同じであり、また、２次側コイル１４も同じ様に構成されている。そして固定側である第１部材１には、１次側コイル１２とラウンドネスコア２０とが固定され、移動側である第２部材２に２次側コイル１４が固定されている。ラウンドネスコア２０の外周部分と２次側コイル１４の内周部分との間には、少なくとも距離ｄの隙間が形成されている。そのため、図１の構成と同様に、２次側コイル１４（第２部材２）を矢印方向（ラウンドネスコア２０に形成される磁束と直交する方向）に距離ｄの範囲内で移動させることができる。【００１６】
図３は、本発明の第３実施形態を示した図であり、磁性体に矩形のラウンドネスコアを用いた電力供受給装置を示している。固定側である第１部材１には、１次側コイル１２とラウンドネスコア２０とが固定され、移動側である第２部材２に２次側コイル１６が固定されている。図３では、矩形のラウンドネスコア２０の一片に第１の２次側コイル１６が、他片に第２の２次側コイル１６が配置されている。図３のラウンドネスコア２０も、第１実施形態と同じように磁束漏れが少ない材料が使われる。図３中の１次側コイル１２は、第１実施形態と同様に構成される。また、各２次側コイル１６は、それぞれ図３の矢印の方向に移動できるように、ラウンドネスコア２０の外周部分と２次側コイル１６の内周部分との間には隙間が形成されている。図３に示す例では、２次側コイル１６は、ラウンドネスコア２０に形成される磁路（磁束）の方向に沿って移動するように構成され、前記磁路（磁束）と交差する方向には殆ど移動しないようになっている。そのため、ラウンドネスコア２０の外周部分と２次側コイル１６の内周部分との間の隙間は、これらコア２０とコイル１６とが接触せずに前記矢印の方向に移動できる程度に設定されていればよい。そして、負荷抵抗４０がリニアモータ等のアクチュエータであって、このリニアモータが２次側コイル１６を矢印方向（ラウンドネスコア２０に形成される磁路（磁束）に沿った方向）に駆動できるように配置されていれば、１次側コイル１２に電圧を印加すると、２次側コイル１６を介して電力の供給を受けた前記リニアモータにより、各２次側コイル１６（第２部材２）は距離ｅまたは距離ｆの範囲で矢印方向に移動する。
距離ｅ又は距離ｆは、ラウンドネスコア２０の形状によって自由に決めることができる。また、２次側コイル１６とラウンドネスコア２０との間には、低摩擦の絶縁部材が配置される。【００１７】
第１実施形態ないし第３実施形態において、リングコア１０及び矩形のラウンドネスコア２０を示したが、この形状に限られるものでなく、楕円形、三角形又は多角形の形状のコアであってもよい。但し、磁路又は磁束をエアギャップ（空隙）で中断させないようにするには、コアは閉路である必要がある。また、コアの形状だけではなく、コアに対する各コイルの配置等も任意に設定可能であり、例えば移動側（第２部材２）の移動範囲や形状等に応じて適宜設定すればよい。【００１８】
図４は、第１実施形態ないし第３実施形態において、２次側コイル１４（又は１６）のリングコア１０又はラウンドネスコア２０の断面を示したものである。２次側コイル１４（又は１６）とコアとの間には、摩擦が少ない絶縁部材３０が設けられている。絶縁部材として四弗化エチレン、ポリアミドなどのプラスチック材が挙げられる。図４では、絶縁部材３０にコイル１４（又は１６）が巻きつけられているが、コアに絶縁部材３０が一体成型されていてもよいし、絶縁部材３０がコア又はコイルに接していなくてもよい。
また、２次側コイル１４、１６の変形等を防ぐため、このコイル部分に所定の強度が求められるような場合には、コイル１４、１６を樹脂等で固めて一体化してしまってもよい。絶縁部材３０にコイル１４（又は１６）が巻き付けられる場合は、これらコイルと絶縁部材３０とを一体化することで強度を持たせるようにしてもよい。【００１９】
図５は、本発明の第４実施形態を示した図であり、磁性体に２つにカットされた矩形のラウンドネスカットコアを用いた電力供受給装置を示している。図５のラウンドネスカットコア２２は、第１実施形態と同じように磁束漏れが少ない材料が使われる。図５中の１次側コイル１２は、第１実施形態と同じである。また、２次側コイル１６は、第３実施形態と同じである。２つにカットされたラウンドネスカットコア２２は、カット部分において、伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４で接続されている。固定側である第１部材１には、１次側コイル１２と左側のラウンドネスカットコア２２とが固定され、移動側である第２部材２に２次側コイル１６と右側のラウンドネスカットコア２２とが固定されている。伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４は、伸縮可能な状態であれば、第１部材１又は第２部材２のいずれに設けられていてもよく、また、第三の部材に支えられていてもよい。【００２０】
伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４の中には、磁性流体が入っている。磁性流体は、水、炭化水素系オイル又はフッ素系オイルを媒体とする液体中に、高濃度のマグネタイト又はＭｎ−Ｚｎ系複合フェライト等の強磁性超微粒子が安定に分散し、さらに強磁性超微粒子の表面に強固に化学吸着した界面活性剤の３成分より構成される。分散している強磁性超微粒子があまりにも小さいため、一般的な液体とほとんど同じである。１次側コイル１２で発生する磁束は、ラウンドネスカットコア２２を通り、伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４の磁性流体を通り、２次側コイル１６が配置されるラウンドネスカットコア２２を通過する。エアギャップがなく、２つのラウンドネスカットコア２２を用いていても、コアは閉路である。
なお、磁性流体は、前記種類のものに限定されるものではない。また、エアギャップによる磁束漏れが低減できるものであるなら、磁性流体以外の物質を用いるようにしてもよい。【００２１】
負荷抵抗４０がリニアモータであり、このリニアモータが２次側コイル１６及び２次側コイル１６のラウンドネスカットコア２２を矢印方向に駆動できるように配置されていれば、１次側コイル１２の印加により、２次側コイル１６及び２次側コイル１６のラウンドネスカットコア２２を矢印方向に移動させることができる。移動させることができる距離ｇは、伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４の伸縮範囲によって自由に決めることができる。第４実施形態の場合、２次側コイル１６とラウンドネスカットコア２２との間には低摩擦の絶縁部材を配置する必要がない。【００２２】
なお、図３に示した第３実施形態のように、ラウンドネスカットコア２２に沿って２次側コイル１６を移動させることもできる。この場合には２次側コイル１６とラウンドネスカットコア２２との間には低摩擦の絶縁部材３０を設け、負荷抵抗４０がリニアモータであって、リニアモータがラウンドネスカットコア２２の磁束と直交する方向及び同一方向に２つ配置されている必要がある。さらに、伸縮パイプ又は蛇腹パイプの材質及び形状によっては、図５に示した矢印方向だけでなく、斜めに伸縮させたり、弧を描くように伸縮させたりすることも可能である。
また、ラウンドネスカットコア２２の間に伸縮パイプ又は蛇腹パイプ２４を設けることなく、磁性流体のみを介在させる構成としてもよい。この場合、磁性流体は、自身の磁力によりラウンドネスカットコア２２に磁着するため、ラウンドネスカットコア２２の間にエアギャップが設けられず、磁束漏れを抑制することが可能である。【００２３】
図６は、第３実施形態の具体的なブロック図である。
ベースに設けられた固定側コントローラ１００内には、後述するステージの信号処理など、信号を演算する演算部１５０と、交流電源２００Ｖ又は１００Ｖが入力される電源部１５２とが設けられている。電源部１５２に１次側コイル１２が接続され、演算部１５０には信号送受信部（不図示）が接続されている。１次側コイル１２はラウンドネスコア２０に巻き付けられている。一方、反対側には、２次側コイル１４がラウンドネスコア２０に巻き付けられている。【００２４】
２次側コイル１４は、ステージ３６に取り付けられており、ステージ３６には、移動対象物３８が載置されている。ステージ３６には、駆動モータ３４及び駆動モータを制御する制御回路３２が設けられている。駆動モータ３４は、ラウンドネスコア２０に沿った方向（矢印方向）に、ステージ３６を移動させる。例えば、６０Ｈｚの交流が２００Ｖが、巻き数Ｎ回の１次側コイル１２に印加されると、ラウンドネスコア２０に磁束が発生する。ラウンドネスコア２０にはエアギャップがないので磁束漏れが少ない。すると、電磁誘導作用により、巻き数Ｎ／２回の２次側コイル１４に６０Ｈｚの１００Ｖ交流起電が生じる。これに基づいて駆動モータ３４が移動し、２次側コイル１４及び移動対象物３８がステージ３６とともに移動する。【００２５】
図示していないが、ステージ３６がラウンドネスコア２０に沿った方向（矢印方向）に正確に移動できるように、ガイド部材を設けても良い。さらには、ステージ３６の移動距離を計測するセンサー及び信号送受信部をステージ３６に設け、所定の位置までステージ３６が移動したことを演算部１５０に伝達し、固定側コントローラ１００の電源部１５２の電力供給を停止してもよい。
これらのガイド部材やセンサー等は、図１〜図３及び図５に示す構成においても必要に応じて適宜使用することが可能である。【００２６】
また、図６では、２次側コイル１４がステージ３６に取り付けられる構成としたが、これ以外にも、図７に示すように、ウエハ等の基板を搬送する台車３６Ａに取り付けられる構成であってもよい。
この場合、台車３６Ａは、電源部１５２から非接触で伝送される電力により、ラウンドネスコア２０に沿う矢印方向に自走することが可能になる。【００２７】
図８は、電力供受給装置を、ラップトップパソコン４４に適用したものである。リングコア１０に交流電圧が印加される１次側コイル１２と交流起電が生じる２次側コイル１６とを巻き付けている。２次側コイル１６は回転軸４６を回転中心としてリングコア１０の周方向に沿って移動できる。ラップトップパソコン４４のキーボード部４７と液晶部４８とは、ヒンジ部４５で接続されており、キーボード部４７と液晶部４８とは図８に示される矢印方向に、互いに移動可能である。ヒンジ部４５にはリングコア１０が設けられており、巻き付けられた１次側コイル１２はキーボード部４７に、巻き付けられた２次側コイル１６は液晶部４８に設けられている。２次側コイル１６には、液晶パネル又はカメラなどの負荷抵抗４０が取り付けられている。交流電源が１次側コイル１２に印加されると、リングコア１０に磁束が発生し２次側コイル１６に交流起電が生じる。これにより液晶パネル又はカメラ等の負荷に電力が供給される。【００２８】
ヒンジ部４５にケーブルなどが設けられていると、キーボード部４７と液晶部４８とを互いに移動（開け閉め）していると、ケーブルなどが断線するおそれがある。本発明の電力供受給装置をヒンジ部４５に設けると、断線のおそれがなく長寿命及び安定性を確保できる。なお、本実施形態ではラップトップパソコンで説明したが、ヒンジ部を有し移動（開け閉め）する部材を有するものであれば、各種装置又は器具に適用できる。例えば、携帯電話、スイベル機構を有するデジタルカメラ、又は監視カメラ付きドアなどである。【００２９】
図９は、電力供受給装置を、半導体基板又は液晶基板などを製造する一括露光方式又はステップ・アンド・スキャン方式の露光装置８０に適用したものである。
図９に示す通り、本実施形態の露光装置８０は、照明光学系８３、マスクとしてのレチクルＲを保持するレチクルステージＲＳＴ、投影ユニットＰＬ、及び基板としてのウエハを保持するウエハステージＷＳＴが、防振台８２に載ったフレーム８１で支えられている。【００３０】
露光光として、例えば、水銀ランプから射出される輝線（ｇ線、ｈ線、ｉ線）及びＫｒＦエキシマレーザ光（波長２４８ｎｍ）等の遠紫外光（ＤＵＶ光）、ＡｒＦエキシマレーザ光（波長１９３ｎｍ）及びＦ２レーザ光（波長１５７ｎｍ）等の真空紫外光（ＶＵＶ光）などが用いられる。【００３１】
露光装置８０は、微細な加工をする装置なので、細かな位置調整などが必要である。そのため、ウエハステージＷＳＴは、大きな距離を移動する粗動ステージＲＴと微動ステージＦＴとから構成されている。また、パターンを重ね合わせるためレチクルステージＲＳＴを微動させる必要がある。さらに、投影ユニットＰＬは、鏡筒内に所定の位置関係で保持された複数の光学素子（反射鏡又は凸レンズ）８４を含んでいるが、例えば焦点位置の調整、空間像又は波面収差の調整のため、複数の光学素子を光軸方向等に微動させる必要がある。図９に示す矢印部分は、微動させる必要がある箇所である。特に、微動ステージＦＴは、磁力又はエアベアリングなどで完全に他の部材と非接触で駆動されている。従って、非接触で電力を供受給できる本発明の電力供受給装置に適用することは好ましい。【００３２】
これらステージ又は光学素子８４を微動に移動させる手段として、図６で示したステージ３６を応用することができる。また、図１、図２又は図５で示した第１実施形態、第２実施形態又は第４実施形態の電力供受給装置をステージ又は光学素子８４に適用してもよいことは言うまでもない。また、露光装置以外でも本発明を使用することができる。例えば、精度が要求される工作機械のステージなどにも本発明は有効である。
なお、各実施形態では、主に電気性用力として電力を伝送する場合を例に説明したが、これに限定されるものではなく、電気信号の伝送に用いるようにしてもよい。電気信号としては、例えば、第２部材２側に配置された負荷に対する制御信号や、負荷の駆動状況等を示す信号、センサからの検出信号等が挙げられる。これらの電気信号の伝送は、１次側コイル１２から２次側コイル１４、１６への伝送に限られるものではなく、２次側コイル１４、１６から１次側コイル１２への伝送も含まれる。また、電力供給用のコイルと前述のような電気信号の送受信用のコイルとは、それぞれ分離して配置するように構成してもよいし、単独のコイルを共用するように構成してもよい。【００３３】
本発明の技術思想及び技術的範囲から逸脱することなく、本発明に対して様々な変更を加えることができることは、当業者には明らかであろう。例えば、移動する第２部材２に２次側コイルが配置される実施形態で説明したが、第２部材２に１次側コイル１２を配置し、固定側である第１部材１に２次側コイル１４又は１６を配置するようにしてもよい。【００３４】
なお、上記各実施形態の基板としては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラス基板や、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、あるいは露光装置で用いられるマスクまたはレチクルの原版（合成石英、シリコンウエハ）等が適用される。【００３５】
露光装置８０としては、レチクル（マスク）とウエハとを静止した状態でレチクルのパターンを一括露光し、ウエハを順次ステップ移動させるステップ・アンド・リピート方式の投影露光装置（ステッパ）の他に、レチクルとウエハとを同期移動してレチクルのパターンを走査露光するステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置（スキャニングステッパ）にも適用することができる。さらに、露光装置８０としては、ウエハ上で少なくとも２つのパターンを部分的に重ねて転写し、ウエハを順次移動させるステップ・アンド・スティッチ方式の露光装置にも適用できる。【００３６】
また、本発明は、ウエハステージが複数設けられるツインステージ型の露光装置にも適用できる。ツインステージ型の露光装置の構造及び露光動作は、例えば特開平１０−１６３０９９号公報及び特開平１０−２１４７８３号公報（対応米国特許６，３４１，００７号、６，４００，４４１号、６，５４９，２６９号及び６，５９０，６３４号）、特表２０００−５０５９５８号（対応米国特許５，９６９，４４１号）或いは米国特許６，２０８，４０７号に開示されている。更に、本発明を国際公開第２００５／１２２２４２号パンフレットに開示されたウエハステージに適用してもよい。【００３７】
更に、特開平１１−１３５４００号公報（対応国際公開１９９９／２３６９２）や特開２０００−１６４５０４号公報（対応米国特許第６，８９７，９６３号）に開示されているように、基板を保持する基板ステージと基準マークが形成された基準部材や各種の光電センサを搭載した計測ステージとを備えた露光装置にも本発明を適用することができる。【００３８】
レチクルステージ用の移動鏡は平面鏡のみでなくコーナーキューブ（レトロリフレクタ）を含むものとしてもよいし、移動鏡をレチクルステージに固設する代わりに、例えばレチクルステージの端面（側面）を鏡面加工して形成される反射面を用いてもよい。また、レチクルステージは、例えば特開平８−１３０１７９号公報（対応米国特許第６，７２１，０３４号）に開示される粗微動可能な構成としてもよい。【００３９】
ウエハステージ用のレーザ干渉計によってウエハステージのＺ軸方向の位置、及びθＸ、θＹ方向の回転情報を計測する構成の詳細は、例えば特表２００１−５１０５７７号公報（対応国際公開第１９９９／２８７９０号パンフレット）に開示されている。移動鏡をウエハステージに固設する代わりに、例えばウエハステージの一部（側面など）を鏡面加工して形成される反射面を用いてもよい。【００４０】
レーザ干渉計がウエハＷのＺ軸、θＸ及びθＹ方向の位置情報を計測可能であるときは、ウエハＷの露光動作中にそのＺ軸方向の位置情報が計測可能となるようにフォーカスセンサを設けなくてもよく、少なくとも露光動作中はレーザ干渉計の計測結果を用いてＺ軸、θＸ及びθＹ方向に関するウエハＷの位置制御を行うようにしてもよい。【００４１】
なお、投影光学系を用いない露光装置及び露光方法に本発明を適用することができる。投影光学系を用いない場合であっても、露光光はレチクル又はレンズなどの光学部材を介してウエハに照射される。【００４２】
また、本発明は、投影光学系と基板との間に局所的に液体を満たし、該液体を介して基板を露光する、所謂液浸露光装置にも適用することができる。液浸露光装置については、国際公開第９９／４９５０４号パンフレットに開示されている。さらに、本発明は、特開平６−１２４８７３号公報、特開平１０−３０３１１４号公報、米国特許第５，８２５，０４３号などに開示されているような露光対象の基板の表面全体が液体中に浸かっている状態で露光を行う液浸露光装置にも適用可能である。【００４３】
露光装置８０の種類としては、基板に半導体素子パターンを露光する半導体素子製造用の露光装置に限られず、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置、薄膜磁気ヘッド、撮像素子（ＣＣＤ）、マイクロマシン、ＭＥＭＳ、ＤＮＡチップ、あるいはレチクル又はマスクなどを製造するための露光装置などにも広く適用できる。【００４４】
なお、上述の実施形態においては、光透過性の基板上に所定の遮光パターン（又は位相パターン・減光パターン）を形成した光透過型マスクを用いたが、このマスクに代えて、例えば米国特許第６，７７８，２５７号公報に開示されているように、露光すべきパターンの電子データに基づいて透過パターン又は反射パターン、あるいは発光パターンを形成する電子マスク（可変成形マスクとも呼ばれ、例えば非発光型画像表示素子（空間光変調器）の一種であるＤＭＤ（Digital Micro-mirror Device）などを含む）を用いてもよい。【００４５】
また、例えば国際公開第２００１／０３５１６８号パンフレットに開示されているように、干渉縞を基板上に形成することによって、基板上にライン・アンド・スペースパターンを露光する露光装置（リソグラフィシステム）にも本発明を適用することができる。【００４６】
さらに、例えば特表２００４−５１９８５０号公報（対応米国特許第６，６１１，３１６号）に開示されているように、２つのマスクのパターンを、投影光学系を介して基板上で合成し、１回のスキャン露光によって基板上の１つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置にも本発明を適用することができる。【００４７】
本実施形態の露光装置は、各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。【００４８】
半導体デバイス等のマイクロデバイスは、図１０に示すように、マイクロデバイスの機能・性能設計を行うステップ２０１、この設計ステップに基づいたマスク（レチクル）を製作するステップ２０２、デバイスの基材である基板を製造するステップ２０３、前述した実施形態の露光装置８０によりマスクのパターンを基板に露光する露光工程、露光した基板を現像する工程、現像した基板の加熱（キュア）及びエッチング工程などの基板処理プロセスを含むステップ２０４、デバイス組み立てステップ（ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程などの加工プロセスを含む）２０５、検査ステップ２０６等を経て製造される。【００４９】
本発明では、第１部材と第２部材とが相対移動が可能な状態で、非接触で磁束漏れが少なく且つ電力等の電気性用力が効率的に伝送可能となるという効果がある。
【図１】
2007049604.tif 000003
【図２】
2007049604.tif 000004
【図３】
2007049604.tif 000005
【図４】
2007049604.tif 000006
【図５】
2007049604.tif 000007
【図６】
2007049604.tif 000008
【図７】
2007049604.tif 000009
【図８】
2007049604.tif 000010
【図９】
2007049604.tif 000011
【図１０】
2007049604.tif 000012
【国際調査報告】
2007049604.tif 000013
2007049604.tif 000014
2007049604.tif 000015
2007049604.tif 000016