(57)【要約】  第２カメラ６ｂにより、被試験ＴＣＰのテストパッドＰを撮影して当該テストパッドＰの座標データを取得するとともに、プローブカード８のプローブ８１を撮影して当該プローブ８１の座標データを取得し、テストパッドＰの座標データおよびプローブ８１の座標データから、テストパッドＰとプローブ８１との位置ずれ量を求め、当該位置ずれ量に基づいてプローブカードステージ７によりプローブカード８を移動させ、被試験ＴＣＰのテストパッドＰに対するプローブ８１の位置合わせを自動的に行う。これにより、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを、正確にかつ容易に行うことができる。
2007074509.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
前記複数の接続端子を備えているコンタクト部を、その平面方向および垂直軸回りに移動させることのできる移動装置と、被試験ＴＣＰの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置とを備えており、
前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの外部端子を撮影して当該外部端子の座標データを取得するとともに、前記接続端子を撮影して当該接続端子の座標データを取得し、
前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データから、前記外部端子と前記接続端子との位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を移動させ、被試験ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行う
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２】
第１に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、
第２に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を平面方向に移動させる
ことを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３】
前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記接続端子の２箇所以上の座標データから得られる第２の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項４】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、表示装置をさらに備えており、
前記第１の直線および／または前記第２の直線を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項５】
前記第１の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項６】
前記第２の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項７】
前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項８】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項９】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することを特徴とする請求項４に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１０】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、
前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の２箇所以上および前記接続端子の２箇所以上を撮影する
ことを特徴とする請求項３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１１】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、
前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入する
ことを特徴とする請求項１に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１２】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、
被試験ＴＣＰの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置と、表示装置とを備えており、
前記複数の接続端子を備えているコンタクト部は、その平面方向および垂直軸回りに移動可能となっており、
前記撮像装置により被試験ＴＣＰの外部端子の２箇所以上を撮影して取得した前記外部端子の座標データから得られる第１の直線および／または前記撮像装置により前記接続端子の２箇所以上を撮影して取得した前記接続端子の座標データから得られる第２の直線を、前記表示装置に表示し得る
ことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１３】
前記第１の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１４】
前記第２の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１５】
前記第１の直線および／または前記第２の直線の、傾き角度および／または所定のポイントの座標数値をさらに前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１６】
前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１７】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１８】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項１９】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、
前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の２箇所以上および前記接続端子の２箇所以上を撮影する
ことを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２０】
前記ＴＣＰハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、
前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入する
ことを特徴とする請求項１２に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２１】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
第１に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、
第２に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を平面方向に移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２２】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量および平面方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りにおよび／または平面方向に移動させる
ことを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２３】
前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記接続端子の２箇所以上の座標データから得られる第２の直線の角度との差から求めることを特徴とする請求項２１または２２に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２４】
前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を表示装置に表示することを特徴とする請求項２３に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項２５】
前記第１の直線および前記第２の直線を表示装置に表示し、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することを特徴とする請求項２３に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２６】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することを特徴とする請求項２３に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２７】
前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することを特徴とする請求項２１または２２に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２８】
ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、
撮像装置により被試験ＴＣＰの外部端子の２箇所以上を撮影し、取得した前記外部端子の座標データから得られる第１の直線を表示装置に表示し、
撮像装置により前記接続端子の２箇所以上を撮影し、取得した前記接続端子の座標データから得られる第２の直線を前記第１の直線とともに表示装置に表示し、
もってオペレータは、前記表示装置に表示されている前記第１の直線および前記第２の直線を見ながら前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させることができることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法。
【請求項２９】
前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を表示装置に表示することを特徴とする請求項２８に記載のＴＣＰハンドリング装置。
【請求項３０】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更する
ことを特徴とする請求項２８に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項３１】
前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することを特徴とする請求項２８に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【請求項３２】
前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することを特徴とする請求項２８に記載の接続端子の位置合わせ方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣデバイスの１種であるＴＣＰ（Tape Carrier Package）やＣＯＦ（Chip On Film）（以下、ＴＣＰ、ＣＯＦ、その他ＴＡＢ（Tape Automated Bonding）実装技術によって製造されたデバイスを纏めて「ＴＣＰ」という。）を試験するのに用いられるＴＣＰハンドリング装置、およびＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
ＩＣデバイス等の電子部品の製造過程においては、最終的に製造されたＩＣデバイスやその中間段階にあるデバイス等の性能や機能を試験する電子部品試験装置が必要であり、ＴＣＰの場合には、ＴＣＰ用の試験装置が使用される。【０００３】
ＴＣＰ用の試験装置は、一般的にテスタ本体と、テストヘッドと、ＴＣＰハンドリング装置（以下「ＴＣＰハンドラ」という場合がある。）とから構成される。このＴＣＰハンドラは、テープ（フィルムの概念も含むものとする。以下同じ。）上にＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているプローブカードのプローブにキャリアテープを押圧し、ＴＣＰのテストパッドをプローブにコンタクトさせることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付す機能を備えている。【０００４】
ところで、ＴＣＰハンドラを使用して効率良く正確に試験を行うためには、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトさせることが必要である。【０００５】
このようなことから、ＴＣＰハンドラを使用する場合には、実稼動させて試験を行う前に、ＴＣＰのテストパッドとプローブカードの各プローブとを確実にコンタクトできるように、予めＴＣＰハンドラについて初期設定を行い、その設定を登録する作業を行っている。【０００６】
ＴＣＰハンドラの初期設定は、例えば、次のように行われる。まず、ＴＣＰを試験位置まで搬送し、搬送したＴＣＰをプッシャユニットで保持する。そして、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動し、ＴＣＰのテストパッドをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見て、ＴＣＰの回転角を目視で把握する。次に、プローブカードのプローブをカメラによって明瞭に認識するために、ＴＣＰがカメラによって明瞭に認識できない高さまでプッシャユニットを移動してから、プローブカードのプローブをカメラで撮影し、その画像をモニターに表示する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージを回転させて、ＴＣＰの回転角に対するプローブカードの回転角を調整する。そして、ＴＣＰがプローブとともにカメラによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニットを移動する。オペレータは、モニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージをＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動して、ＴＣＰの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できるか確認する。このようにして設定した位置を初期設定として登録する。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、上記の初期設定方法では、ＴＣＰの回転角の把握およびプローブカードの回転角の調整は、オペレータの感覚によるものであるため、オペレータによっては多大な作業時間を要することがある。また、プローブカードの回転角を調整するときにＴＣＰのテストパッドがモニターに表示されないため、ＴＣＰの回転角に対するプローブカードの回転角の調整は非常に難しいものとなっている。そして、ＴＣＰの全てのテストパッドがプローブカードのプローブと接触できない場合には、プッシャユニットの移動とプローブカードステージの回転を交互に繰り返し行う必要があり、その作業は非常に煩雑である。【０００８】
特に、近年のＴＣＰの多ピン化および小型化に伴い、ＴＣＰのテストパッドが小さくかつ狭ピッチになっているため、初期設定におけるパッドとプローブとの位置合わせ作業はより困難なものになっており、初期設定にかかる作業時間も長くなっている。また、ＴＣＰとプローブとの位置合わせを必ずしも正確に行うことができないことがあり、このようなことが原因で実稼動中にコンタクト不良、接触抵抗の不安定化、隣接ピン間のショートなどが発生することもある。【０００９】
本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、コンタクト部の接触端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを正確にかつ容易に行うことができるＴＣＰハンドリング装置、およびＴＣＰハンドリング装置において位置合わせ処理を正確にかつ容易に行うことができる方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、第１に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、前記複数の接続端子を備えているコンタクト部を、その平面方向および垂直軸回りに移動させることのできる移動装置と、被試験ＴＣＰの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置とを備えており、前記撮像装置により、被試験ＴＣＰの外部端子を撮影して当該外部端子の座標データを取得するとともに、前記接続端子を撮影して当該接続端子の座標データを取得し、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データから、前記外部端子と前記接続端子との位置ずれ量を求め、前記位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を移動させ、被試験ＴＣＰの外部端子に対する前記接続端子の位置合わせを行うことを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１）。【００１１】
上記発明（発明１）によれば、位置合わせの対象であるＴＣＰの外部端子およびコンタクト部の接触端子の座標データからこれらの位置ずれ量を求め、その位置ずれ量に基づいてコンタクト部を自動的に移動させることができるため、ＴＣＰの外部端子とコンタクト部の接触端子との位置合わせを、正確にかつ容易に行うことができる。したがって、ＴＣＰハンドリング装置を使用する際、その初期設定を短時間で効率良く行うことができる。【００１２】
上記発明（発明１）においては、第１に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、第２に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記移動装置により前記コンタクト部を平面方向に移動させることが好ましい（発明２）。かかる発明（発明２）によれば、垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００１３】
上記発明（発明１）においては、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記接続端子の２箇所以上の座標データから得られる第２の直線の角度との差から求めることができる（発明３）。【００１４】
上記発明（発明３）においては、前記ＴＣＰハンドリング装置は、表示装置をさらに備えており、前記第１の直線および／または前記第２の直線を前記表示装置に表示し得ることが好ましい（発明４）。かかる発明（発明４）によれば、第１の直線および／または第２の直線を表示装置に表示することで、垂直軸回りの位置ずれを視覚的に確認することができる。【００１５】
上記発明（発明４）においては、前記第１の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましく（発明５）、また、上記発明（発明４）においては、前記第２の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましい（発明６）。【００１６】
上記発明（発明４）においては、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることが好ましい（発明７）。かかる発明（発明７）によれば、第１の直線の角度と第２の直線の角度との差の値を表示装置に表示することで、垂直軸回りの位置ずれの量を数値として視覚で確認することができる。【００１７】
上記発明（発明４）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することが好ましい（発明８）。かかる発明（発明８）によれば、垂直軸回りの位置ずれが補正されたことを表示装置により視覚的に確認することができる。【００１８】
上記発明（発明４）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することが好ましい（発明９）。かかる発明（発明９）によれば、オペレータが表示装置を見ていない場合であっても、垂直軸回りの位置合わせが完了したことを聴覚で確認することができる。【００１９】
上記発明（発明３）においては、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の２箇所以上および前記接続端子の２箇所以上を撮影することが好ましい（発明１０）。かかる発明（発明１０）によれば、撮像装置が外部端子の互いに遠い位置にある複数部位および接続端子の互いに遠い位置にある複数部位を撮影することができるため、ＴＣＰとコンタクト部との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができ、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００２０】
上記発明（発明１）においては、前記ＴＣＰハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入することが好ましい（発明１１）。かかる発明（発明１１）によれば、拡散反射板を背景にすることで高コントラストな接続端子の画像を得ることができるため、接続端子の座標データを良好な精度で取得することができ、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００２１】
第２に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置であって、被試験ＴＣＰの外部端子および前記接続端子を撮影することのできる撮像装置と、表示装置とを備えており、前記複数の接続端子を備えているコンタクト部は、その平面方向および垂直軸回りに移動可能となっており、前記撮像装置により被試験ＴＣＰの外部端子の２箇所以上を撮影して取得した前記外部端子の座標データから得られる第１の直線および／または前記撮像装置により前記接続端子の２箇所以上を撮影して取得した前記接続端子の座標データから得られる第２の直線を、前記表示装置に表示し得ることを特徴とするＴＣＰハンドリング装置を提供する（発明１２）。【００２２】
上記発明（発明１２）によれば、オペレータは、表示装置に表示された第１の直線および／または第２の直線を見ながらコンタクト部を垂直軸回りに移動することができるため、ＴＣＰとコンタクト部との垂直軸回りの位置合わせを正確かつ容易に行うことができる。【００２３】
上記発明（発明１２）においては、前記第１の直線を、前記撮像装置で撮影した前記外部端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましく（発明１３）、また、上記発明（発明１２）においては、前記第２の直線を、前記撮像装置で撮影した前記接続端子の画像に重ねて前記表示装置にオーバーレイ表示し得ることが好ましい（発明１４）。【００２４】
上記発明（発明１２）においては、前記第１の直線および／または前記第２の直線の、傾き角度および／または所定のポイントの座標数値をさらに前記表示装置に表示し得るようにしてもよい（発明１５）。かかる発明（発明１５）によれば、オペレータは、表示装置に表示された傾き角度および／または座標数値をも基準にして、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行うことができるため、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確にかつ容易に行うことができる。【００２５】
上記発明（発明１２）においては、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を前記表示装置に表示し得ることが好ましい（発明１６）。かかる発明（発明１６）によれば、両直線の角度の差の値を表示することで、オペレータは、その値を０（ｄｅｇ）に近づけるようにしてＴＣＰとコンタクト部との位置合わせを行うことができ、当該位置合わせをより正確にかつ容易に行うことができる。【００２６】
上記発明（発明１２）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することが好ましい（発明１７）。かかる発明（発明１７）によれば、第１の直線および／または第２の直線の色を変更することで、オペレータは垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを視認することができるため、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより容易に行うことができる。【００２７】
上記発明（発明１２）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することが好ましい（発明１８）。かかる発明（発明１８）によれば、通知音を発することで、オペレータは垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを聴覚で確認することができるため、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより容易に行うことができる。【００２８】
上記発明（発明１２）においては、前記ＴＣＰハンドリング装置は、前記撮像装置を移動させることのできる撮像装置移動装置をさらに備えており、前記撮像装置は、前記撮像装置移動装置による移動により、前記外部端子の２箇所以上および前記接続端子の２箇所以上を撮影することが好ましい（発明１９）。かかる発明（発明１９）によれば、撮像装置が外部端子の互いに遠い位置にある複数部位および接続端子の互いに遠い位置にある複数部位を撮影することができるため、第１の直線および第２の直線の角度をより正確に求めることができ、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００２９】
上記発明（発明１２）においては、前記ＴＣＰハンドリング装置は、移動可能な拡散反射板をさらに備えており、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に前記拡散反射板を挿入することが好ましい（発明２０）。かかる発明（発明２０）によれば、拡散反射板を背景にすることで高コントラストな接続端子の画像を得ることができるため、第２の直線の角度をより正確に求めることができ、ＴＣＰとコンタクト部との位置合わせをより正確に行うことができる。【００３０】
第３に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、第１に、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量を求め、当該垂直軸回りの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させ、第２に、再度前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との平面方向の位置ずれ量を求め、当該平面方向の位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する（発明２１）。【００３１】
また、本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、前記外部端子の座標データおよび前記接続端子の座標データを取得して、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量および平面方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、前記コンタクト部を垂直軸回りにおよび／または平面方向に移動させることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する（発明２２）。【００３２】
上記発明（発明２１，２２）においては、前記外部端子と前記接続端子との垂直軸回りの位置ずれ量は、前記外部端子の２箇所以上の座標データから得られる第１の直線の角度と、前記接続端子の２箇所以上の座標データから得られる第２の直線の角度との差から求めることが好ましい（発明２３）。【００３３】
上記発明（発明２３）においては、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を表示装置に表示することが好ましい（発明２４）。【００３４】
上記発明（発明２３）においては、前記第１の直線および前記第２の直線を表示装置に表示し、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することが好ましい（発明２５）。【００３５】
上記発明（発明２３）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することが好ましい（発明２６）。【００３６】
上記発明（発明２１，２２）においては、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することが好ましい（発明２７）。【００３７】
第４に本発明は、ＴＣＰが複数形成されたキャリアテープを搬送して、テストヘッドに電気的に接続されているコンタクト部の複数の接続端子にキャリアテープを押圧し、ＴＣＰの外部端子を前記接続端子に接続させることにより、複数のＴＣＰを順次試験に付すことのできるＴＣＰハンドリング装置における接続端子の位置合わせ方法であって、撮像装置により被試験ＴＣＰの外部端子の２箇所以上を撮影し、取得した前記外部端子の座標データから得られる第１の直線を表示装置に表示し、撮像装置により前記接続端子の２箇所以上を撮影し、取得した前記接続端子の座標データから得られる第２の直線を前記第１の直線とともに表示装置に表示し、もってオペレータは、前記表示装置に表示されている前記第１の直線および前記第２の直線を見ながら前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させることができることを特徴とする接続端子の位置合わせ方法を提供する（発明２８）。【００３８】
上記発明（発明２８）においては、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差の値を表示装置に表示することが好ましい（発明２９）。【００３９】
上記発明（発明２８）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、前記表示装置に表示する前記第１の直線および／または前記第２の直線の色を変更することが好ましい（発明３０）。【００４０】
上記発明（発明２８）においては、前記コンタクト部を垂直軸回りに移動させて、前記第１の直線の角度と前記第２の直線の角度との差が所定値よりも小さくなったときに、通知音を発することが好ましい（発明３１）。【００４１】
上記発明（発明２８）においては、前記コンタクト部の接続端子を撮影するときに、前記接続端子と前記キャリアテープとの間に拡散反射板を挿入することが好ましい（発明３２）。
【発明の効果】
【００４２】
本発明のＴＣＰハンドリング装置または接続端子の位置合わせ方法によれば、コンタクト部の接触端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせを正確にかつ容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【００４３】
【図１】図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図である。
【図２】図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図である。
【図３】図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図である。
【図４】図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図である。
【図５】図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。
【図６Ａ】図６Ａは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その１）である。
【図６Ｂ】図６Ｂは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その２）である。
【図６Ｃ】図６Ｃは、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時の動作を示すフローチャート図（その３）である。
【図７】図７（ａ）〜（ｇ）は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定時におけるモニター表示画面の概略図である。
【符号の説明】
【００４４】
１    ＴＣＰ用の試験装置
２    ＴＣＰハンドラ
３    プッシャユニット
４    プッシャステージ
５    キャリアテープ
６ｂ  第２カメラ（撮像装置）
７    プローブカードステージ
８    プローブカード
８１    プローブ（接触端子）
９    表示装置
１０    テストヘッド
１１    拡散反射板
２１    巻出リール
２２    巻取リール
Ｐ    ＴＣＰのテストパッド（外部端子）
【発明を実施するための最良の形態】
【００４５】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
図１は、本発明の一実施形態に係るＴＣＰハンドラを用いたＴＣＰ試験装置を示す正面図であり、図２は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャユニットの側面図であり、図３は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプッシャステージの平面図であり、図４は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの平面図であり、図５は、同実施形態に係るＴＣＰハンドラにおけるプローブカードステージの正面図である。【００４６】
まず、本発明の実施形態に係るＴＣＰハンドラを備えたＴＣＰ用の試験装置の全体構成について説明する。ＴＣＰ用の試験装置１は、図示しないテスタ本体と、テスタ本体に電気的に接続されたテストヘッド１０と、テストヘッド１０の上側に設けられたＴＣＰハンドラ２とから構成されている。【００４７】
ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５上に複数形成された各ＴＣＰを順次試験に付すものであり、本実施形態では、説明の簡略化のためにＴＣＰを１個ごと試験に付すものとする。ただし、本発明はこれに限定されるものではなく、キャリアテープ５上において直列方向および／または並列方向に並んだ複数のＴＣＰを同時に試験に付すようにしてもよい。【００４８】
ＴＣＰハンドラ２は、巻出リール２１と巻取リール２２とを備えており、巻出リール２１には試験前のキャリアテープ５が巻き取られている。キャリアテープ５は、巻出リール２１から巻き出され、試験に付された後に巻取リール２２に巻き取られる。【００４９】
巻出リール２１と巻取リール２２との間には、キャリアテープ５から剥離した保護テープ５１を巻出リール２１から巻取リール２２に架け渡す３個のスペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃが設けられている。各スペーサロール２３ａ，２３ｂ，２３ｃは、保護テープ５１の張力を調整することができるように、それぞれ上下可動となっている。【００５０】
巻出リール２１の下側には、テープガイド２４ａ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃが設けられており、巻出リール２１から巻き出されたキャリアテープ５は、テープガイド２４ａによってガイドされつつ、巻出リミットローラ２５ａ、イン側サブスプロケット２５ｂおよびイン側ガイドローラ２５ｃを経てプッシャユニット３に搬送される。【００５１】
巻取リール２２の下側には、テープガイド２４ｂ、巻取リミットローラ２５ｆ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよびアウト側ガイドローラ２５ｄが設けられており、試験に付された後のキャリアテープ５は、アウト側ガイドローラ２５ｄ、アウト側サブスプロケット２５ｅおよび巻取リミットローラ２５ｆを経て、テープガイド２４ｂによってガイドされつつ、巻取リール２２に巻き取られる。【００５２】
そして、イン側ガイドローラ２５ｃと、アウト側ガイドローラ２５ｄとの間には、プッシャユニット３が設けられている。【００５３】
図１および図２に示すように、プッシャユニット３のフレーム（プッシャフレーム）３６には、ボールねじ３２を回転させることのできるサーボモータ３１がブラケット３６１を介して取り付けられているとともに、ボールねじ３２が螺合しているプッシャ本体部３３が２本のＺ軸方向のリニアモーションガイド（以下「ＬＭガイド」という。）３７を介して取り付けられている。このプッシャ本体部３３は、サーボモータ３１を駆動させることにより、リニアモーションガイド３７にガイドされながら上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。【００５４】
このプッシャ本体部３３の下端部には、負圧源（図示省略）に接続されてキャリアテープ５を吸着保持することのできる吸着プレート３４が設けられている。
プッシャ本体部３３の前段側（図１中左側）には、テンションスプロケット３５ａが設けられており、プッシャ本体部３３の後段側（図１中右側）には、メインスプロケット３５ｂが設けられており、所望の張力でキャリアテープ５を保持するようになっている。【００５５】
図２および図３に示すように、プッシャフレーム３６におけるプッシャ本体部３３の背面側には、基台３８に載せられるようにしてプッシャステージ４が設置されており、プッシャステージ４の回転台であるトップテーブル４８はプッシャフレーム３６に固定されている。【００５６】
プッシャステージ４のベース４０上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ４２ａを回転させるサーボモータ４１ａと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｂを回転させるサーボモータ４１ｂと、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ４２ｃを回転させるサーボモータ４１ｃとが設けられており、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃは、それぞれベース４０上の両端部に位置している。【００５７】
ボールねじ４２ａには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４３ａ，４３ａにガイドされてＸ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ａが螺合している。摺動ブロック４４ａには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４５ａを介して摺動板４６ａがＹ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ａの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ａが固定されており、回転部材４７ａは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００５８】
ボールねじ４２ｂには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｂ，４３ｂにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｂが螺合している。摺動ブロック４４ｂには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｂを介して摺動板４６ｂがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｂの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｂが固定されており、回転部材４７ｂは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００５９】
ボールねじ４２ｃには、Ｙ軸方向のＬＭガイド４３ｃ，４３ｃにガイドされてＹ軸方向に摺動可能な摺動ブロック４４ｃが螺合している。摺動ブロック４４ｃには、Ｘ軸方向のＬＭガイド４５ｃを介して摺動板４６ｃがＸ軸方向に摺動可能に取り付けられている。摺動板４６ｃの上側には、内部にローラリングを有する回転部材４７ｃが固定されており、回転部材４７ｃは、トップテーブル４８に回転自在に取り付けられている。【００６０】
このような構成を有するプッシャステージ４においては、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａ、摺動板４６ｂおよび摺動板４６ｃをＸ軸方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＸ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂ、摺動ブロック４４ｃおよび摺動板４６ａをＹ軸同方向に摺動させることにより、トップテーブル４８をＹ軸方向に移動させることができる。さらには、サーボモータ４１ａを駆動して、摺動ブロック４４ａをＸ軸方向に摺動させるとともに、サーボモータ４１ｂおよびサーボモータ４１ｃを駆動して、摺動ブロック４４ｂおよび摺動ブロック４４ｃを互いにＹ軸反対方向に摺動させ、そして各回転部材４７ａ，４５ｂ，４５ｃを回転させることにより、トップテーブル４８をその垂直軸回りに回転させることができる。このようなプッシャステージ４によれば、プッシャユニット３をＸ軸−Ｙ軸方向に移動させること、および垂直軸回りに回転移動させることができる。【００６１】
一方、図１に示すように、プッシャユニット３の下側であって、テストヘッド１０の上部には、プローブカード８を搭載したプローブカードステージ７が設置されている。ここで、プローブカードステージ７は、モーター駆動機構で移動制御できるものと、手動調整機能のみを有するものとがあるが、本実施形態では、モーター駆動機構を有するものとする。【００６２】
図４および図５に示すように、プローブカードステージ７の基台７１上には、Ｘ軸方向に軸を有するボールねじ７１２を回転させるサーボモータ７１１と、４つのＸ軸方向のＬＭガイド７１３とが設けられている。それら４つのＬＭガイド７１３上には、各ＬＭガイド７１３によりＸ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＸベース７２が設けられている。このＸベース７２の一側部には、ボールねじ７１２が螺合している螺合部７２１が形成されている。【００６３】
Ｘベース７２上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７２３を回転させるサーボモータ７２２と、２本のＹ軸方向のＬＭガイド７２４とが設けられている。それら２本のＬＭガイド７２４上には、各ＬＭガイド７２４によりＹ軸方向に摺動可能にガイドされる矩形のＹベース７３が設けられている。このＹベース７３の一側部には、ボールねじ７２３が螺合している螺合部７３１が形成されている。【００６４】
Ｙベース７３上には、Ｙ軸方向に軸を有するボールねじ７３３を回転させるサーボモータ７３２と、カードリング７３５を回転自在に支持する接続リング７３４とが設けられている。カードリング７３５の一部には、ボールねじ７３３が螺合している螺合部７３６が形成されている。複数のプローブ８１を備えたプローブカード８は、４本のピン８２によってカードリング７３５に着脱自在に取り付けられている。【００６５】
図４および図５には示さないが、プローブカード８の各プローブ８１は、テストヘッド１０を介してテスタ本体に電気的に接続されている。【００６６】
このような構成を有するプローブカードステージ７においては、サーボモータ７１１を駆動することにより、Ｘベース７２、ひいてはプローブカード８をＸ軸方向に移動させることができ、サーボモータ７２２を駆動することにより、Ｙベース７３、ひいてはプローブカード８をＹ軸方向に移動させることができる。また、サーボモータ７３２を駆動してボールねじ７３３を回転させ、螺合部７３６を移動させることにより、カードリング７３５およびプローブカード８をその垂直軸回りに回転させることができる。なお、ＴＣＰハンドラ２は、サーボモータ７１１，７２２，７３２の駆動を自動で制御し得る制御装置を備えており、これによりプローブカード８をＸ軸方向、Ｙ軸方向、および垂直軸回りに自動で移動させることができる。【００６７】
図１に示されるように、プッシャユニット３の前段側（図１中左側）に第１カメラ６ａが、テストヘッド１０の下側に第２カメラ（撮像装置）６ｂが、プッシャユニット３の後段側（図１中右側）に第３カメラ６ｃが、それぞれ設けられている。なお、テストヘッド１０には、第２カメラ６ｂがプローブカード８を撮影することのできる間隙が形成されている。【００６８】
プッシャユニット３と第３カメラ６ｃとの間には、マークパンチ２６ａおよびリジェクトパンチ２６ｂが設けられている。マークパンチ２６ａは、試験の結果に基づいて、該当するＴＣＰにつき所定の位置に１個または複数個の孔を開けるものであり、リジェクトパンチ２６ｂは、試験の結果不良品であると判断されたＴＣＰを打ち抜くものである。【００６９】
各カメラ６ａ，６ｂ，６ｃは、これらカメラによって撮影した画像を、オペレータが視認可能なように表示装置９に表示させる。これらのカメラのうち、第１カメラ６ａおよび第３カメラ６ｃは、キャリアテープ５上におけるＴＣＰの有無やマークパンチ２６ａによる孔の位置や数を判断するためのものである。そして、第２カメラ６ｂは、ＴＣＰとプローブカード８との間の位置ずれ情報を取得するためのものであり、視野内の複数の対象について位置ずれ情報を取得できるようになっている。【００７０】
また、第２カメラ６ｂは、カメラステージ６１上に搭載されており、カメラステージ６１が有するアクチュエータによって平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）および上下方向（Ｚ軸方向）に移動可能となっている。第２カメラ６ｂが平面視縦横方向（Ｘ軸−Ｙ軸方向）に移動することで、第２カメラ６ｂがＴＣＰの互いに遠い位置にある複数のテストパッドＰおよびプローブカード８の互いに遠い位置にあるプローブ８１を撮影することができるため、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ量をより良好な精度で求めることができる。また、第２カメラ６ｂが上下方向（Ｚ軸方向）に移動することで、第２カメラ６ｂの焦点位置を変更して、撮像目標であるテストパッドＰまたはプローブ８１の所望部位に焦点を合わせることができる。これにより撮像目標部位の明瞭な輪郭画像を取得でき、テストパッドＰまたはプローブ８１の座標データを的確に求めることができる。なお、第２カメラ６ｂ自身が焦点調節機能を備えて、第２カメラ６ｂの焦点位置を外部制御し、撮像目標であるテストパッドＰまたはプローブ８１の所望部位に焦点を合わせることができるようにしてもよい。【００７１】
そして、表示装置９は、画像処理部と、第２カメラ６ｂが撮影した画像を表示するモニターとを有している。画像処理部は、第２カメラ６ｂにより撮影された画像と、所定の直線、文字等とをモニターにオーバーレイ表示する手段を有している。【００７２】
プッシャユニット３とプローブカード８との間には、拡散反射板１１が、吸着プレート３４に保持されたキャリアテープ５とプローブカード８との間に挿脱可能に設けられている。本実施形態では、拡散反射板１１はＸ軸方向に往復移動可能となっている。拡散反射板１１は、その表面に微細な凹凸が形成されており、照明光源（図示せず）からの光を拡散して反射することができる。したがって、拡散反射板１１がキャリアテープ５とプローブカード８との間に挿入されると、プローブ８１の背景を均一に明るい状態または暗い状態にすることができ、第２カメラ６ｂによってプローブ８１の高コントラストな画像を得ることができる。なお、拡散反射板１１を設けずに、照射光源の条件（照射光量、照射色、照射角度）を変更して、プローブ８１の背景（テストパッド）に対する識別がより明瞭になるようにしてもよい。【００７３】
次に、ＴＣＰハンドラ２の使用方法および動作について説明する。
ＴＣＰハンドラ２を使用する場合には、ＴＣＰハンドラ２を実稼動させる前に、予めプローブカード８の全てのプローブ８１が、対応するテストパッドＰの中央位置へ位置決めされるようにプローブカード８を移動させる初期設定を行う必要がある。すなわち、ＴＣＰの品種を変更した場合や、異なる生産ロットのＴＣＰを試験する場合、あるいはプローブカード８を変更した場合には、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１とがコンタクトするように、プローブカードステージ７のＸ軸位置／Ｙ軸位置／θ回転角の基準位置を決定し、登録する必要がある（この位置を「登録位置」という）。なお、プッシャステージ４は、ＴＣＰの試験実行時に使用するので、初期設定では非制御状態のままと仮定する。【００７４】
図６Ａ〜図６Ｃは、上記ＴＣＰハンドラ２の初期設定の動作を示すフローチャート図であり、図７（ａ）〜（ｇ）は、上記ＴＣＰハンドラ２の初期設定時のモニター表示画面の概略図である。【００７５】
ＴＣＰハンドラ２は、初期設定の動作を開始すると、基準となるＴＣＰを試験位置まで搬送し（ステップＳ０１）、第２カメラ６ｂによって、ＴＣＰにおいて多数のテストパッドＰの中の一端部に位置する複数のテストパッドＰを撮影する（ステップＳ０２）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第１画像）に基づいて、当該第１画像に含まれる複数のテストパッドＰの中心部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）を取得するとともに、当該第１画像をモニターに表示する（ステップＳ０３，図７（ａ）参照）。なお、本動作で得られる各座標データは、カメラステージ６１の座標系にマッピングするものとする。【００７６】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、ＴＣＰにおいて多数のテストパッドＰの中の別の端部に位置する複数のテストパッドＰを撮影する（ステップＳ０４）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第２画像）に基づいて、当該第２画像に含まれる複数のテストパッドＰの中心部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）を取得するとともに、当該第２画像をモニターに表示する（ステップＳ０５）。【００７７】
ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、取得した座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）に基づいて、第１画像に含まれるテストパッドＰの中心部の位置座標および第２画像に含まれるテストパッドＰの中心部の位置座標を通る直線（テストパッドＰの配列）のＸ軸方向の直線（図７中水平線）との角度θｐｄを演算する（ステップＳ０６）。そして、当該角度θｐｄを有する第１の直線Ｌ１を生成し、モニターに上記第２画像（現在画像）に重ねて第１の直線Ｌ１をオーバーレイ表示する（ステップ０７，図７（ｂ）参照）。【００７８】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、キャリアテープ５とプローブカード８との間に拡散反射板１１を挿入する（ステップＳ０８）。そして、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第１画像に含まれる複数のテストパッドＰに対応する複数のプローブ８１を撮影する（ステップＳ０９）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第３画像）に基づいて、当該第３画像に含まれる複数のプローブ８１の先端部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）を取得するとともに、当該第３画像をモニターに表示する（ステップＳ１０，図７（ｃ）参照）。ここで、プローブ８１の背景は拡散反射板１１となっているため、高コントラストなプローブ８１の画像を得ることができる。したがって、プローブ８１の座標データを良好な精度で取得することができ、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせをより正確に行うことができる。【００７９】
ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第２画像に含まれる複数のテストパッドＰに対応する複数のプローブ８１を撮影する（ステップＳ１１）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第４画像）に基づいて、当該第４画像に含まれる複数のプローブ８１の先端部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）を取得するとともに、当該第４画像をモニターに表示する（ステップＳ１２）。【００８０】
ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、取得した座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）および（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）に基づいて、第３画像に含まれるプローブ８１の先端部の位置座標および第４画像に含まれるプローブ８１の先端部の位置座標を通る直線（プローブ８１の配列）のＸ軸方向の直線（図７中水平線）との角度θｐｂを演算する（ステップＳ１３）。そして、当該角度θｐｂを有する第２の直線Ｌ２を生成し、モニターに上記第４画像（現在画像）に重ねて第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２をオーバーレイ表示する（ステップＳ１４，図７（ｄ）参照）。このように、第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２をモニター上に表示することで、垂直軸回りの位置ずれ量を視覚的に確認することができる。【００８１】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、ステップＳ０６，Ｓ１３で得られた第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂの差分値Δθを演算する（ステップＳ１５）。そして、得られた差分値Δθの絶対値が所定値Ｄよりも大きい場合には（ステップＳ１６，Ｙｅｓ）、ＴＣＰハンドラ２は、差分値Δθに基づいてプローブカードステージ７を回転移動させ（ステップＳ１７）、差分値Δθの絶対値が所定値Ｄ以下になった場合に（ステップＳ１８，Ｙｅｓ）、プローブカードステージ７の回転移動を停止し（ステップＳ１９）、第２の直線Ｌ２の色を変更する（ステップＳ２０，図７（ｅ）参照）。一方、ステップＳ１６において、差分値Δθの絶対値が所定値Ｄ以下である場合には（ステップＳ１６，Ｎｏ）、プローブカードステージ７を回転移動させることなく、そのまま第２の直線Ｌ２の色を変更する（ステップＳ２０）。このように、第２の直線Ｌ２の色を変更することで、テストパッドＰとプローブ８１との垂直軸回りの位置ずれが補正されたことをモニター上で視覚的に確認することができる。【００８２】
次に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第１画像に含まれる複数のテストパッドＰに対応する複数のプローブ８１を再度撮影する（ステップＳ２１）。これにより、ステップＳ１７でプローブカード８が垂直軸回りに移動して、目的とするプローブ８１が第２カメラ６ｂの視野から外れた場合であっても、再度撮影することができる。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第５画像）に基づいて、当該第５画像に含まれる複数のプローブ８１の先端部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｂ３，Ｙｐｂ３）を取得するとともに、上記第１画像に重ねて当該第５画像をモニターにオーバーレイ表示する（ステップＳ２２，図７（ｆ）参照）。【００８３】
同様に、ＴＣＰハンドラ２は、カメラステージ６１によって第２カメラ６ｂを移動させて、第２カメラ６ｂによって、上記第２画像に含まれる複数のテストパッドＰに対応する複数のプローブ８１を再度撮影する（ステップＳ２３）。ＴＣＰハンドラ２の画像処理部は、撮影された画像（第６画像）に基づいて、当該第６画像に含まれる複数のプローブ８１の先端部のそれぞれの座標データ（Ｘｐｂ４，Ｙｐｂ４）を取得するとともに、上記第２画像に重ねて当該第６画像をモニターにオーバーレイ表示する（ステップＳ２４，図７（ｆ）参照）。【００８４】
続いて、ＴＣＰハンドラ２は、テストパッドＰの２箇所の座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）と、プローブ８１の２箇所の座標データ（Ｘｐｂ３，Ｙｐｂ３）および（Ｘｐｂ４，Ｙｐｂ４）とから、テストパッドＰとプローブ８１とのＸ成分およびＹ成分の差分値ΔＸ，ΔＹを演算する（ステップＳ２５）。そして、得られた差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐよりも大きい場合に（ステップＳ２６，Ｙｅｓ）、ＴＣＰハンドラ２は、差分値ΔＸ，ΔＹに基づいてプローブカードステージ７をＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動させ（ステップＳ２７）、差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐ以下になった場合に（ステップＳ２８，Ｙｅｓ）、プローブカードステージ７の移動を停止し（ステップＳ２９，図７（ｇ）参照）、プローブカードステージ７のその位置を登録する（ステップＳ３０）。一方、ステップＳ２６において、差分値ΔＸ，ΔＹの絶対値が所定値Ｐ以下である場合には（ステップＳ２６，Ｎｏ）、プローブカードステージ７を移動させることなく、その位置を登録する（ステップＳ３０）。【００８５】
最後に、ＴＣＰハンドラ２は、拡散反射板１１をキャリアテープ５とプローブカード８との間から退出させて（ステップＳ３１）、初期設定を終了する。【００８６】
以上のように、本実施形態に係るＴＣＰハンドラ２によれば、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせを自動的に行うことができ、したがって当該位置合わせを正確にかつ容易に行うことができる。特に本実施形態では、垂直軸回りの位置合わせとＸ軸方向・Ｙ軸方向の位置合わせとを、別々に順次行うことで、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせをより正確に行うことができる。【００８７】
次に、本発明の別の実施形態として、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせに関する初期設定をマニュアル操作で行うＴＣＰハンドラについて説明する。【００８８】
本実施形態に係るＴＣＰハンドラは、上記ＴＣＰハンドラ２と略同様の構成を有するが、プローブカードステージ７の駆動源であるサーボモータ７１１，７２２，７３２は、オペレータの操作により駆動するものであってもよく、あるいはサーボモータ７１１，７２２，７３２が省略されて、プローブカードステージ７が操作杆等を操作することにより動作するものであってもよい。【００８９】
本実施形態に係るＴＣＰハンドラの初期設定の動作では、上記と同様にしてステップＳ０１〜Ｓ１５を実行する。ＴＣＰハンドラが第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂの差分値Δθを演算している間（ステップＳ１５）、オペレータは、モニターに表示された第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２（図７（ｄ）参照）を見ながら、マニュアル操作でプローブカードステージ７を回転移動させる。【００９０】
そしてＴＣＰハンドラは、差分値Δθの絶対値が所定値Ｄ以下になった場合に（ステップＳ１０１，Ｙｅｓ）、第２の直線Ｌ２の色を変更する（ステップＳ１０２，図７（ｅ）参照）。オペレータは、それを確認してプローブカードステージ７の回転移動を停止する。ＴＣＰハンドラは、ステップＳ１０２の後、拡散反射板１１をキャリアテープ５とプローブカード８との間から退出させる（ステップＳ１０３）。【００９１】
上記のように、オペレータは、モニターに表示された第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２を見ながら、プローブカード８を所望の角度量で垂直軸回りに移動させることができるとともに、プローブカード８の垂直軸回りの位置ずれの補正が終了したことを第２の直線Ｌ２の色の変更により確認することができるため、ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との垂直軸回りの位置合わせを正確かつ容易に、さらには迅速に行うことができる。【００９２】
マニュアル操作によるＸ軸方向および／またはＹ軸方向の位置ずれの補正は、従来と同様の方法で行えばよい。具体的には、ＴＣＰがプローブ８１とともに第２カメラ６ｂによって明瞭に認識できる高さまでプッシャユニット３を移動する。オペレータは、テストパッドＰおよびプローブ８１が表示されたモニターを見ながら、マニュアル操作にてプローブカードステージ７をＸ軸方向および／またはＹ軸方向に移動して、ＴＣＰの全てのテストパッドＰがプローブカード８のプローブ８１と接触できるか確認する。このようにして設定したプローブカードステージ７の位置を登録し（ステップＳ１０４）、初期設定を終了する。【００９３】
以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。【００９４】
例えば、上記実施形態においては、ステップＳ１４〜Ｓ２０またはＳ１０２にて、第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２とともに、またはそれらの代わりに、第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂをモニターに数値表示したり、両直線間の相対的な角度（例えば、第１の直線Ｌ１を基準としたときの当該第１の直線Ｌ１に対する第２の直線Ｌ２の角度）を数値表示したりしてもよい（図７（ｄ），（ｅ）参照）。このようにすることで、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ量を、数値によって視覚的に確認することができる。【００９５】
ＴＣＰのテストパッドＰとプローブカード８のプローブ８１との位置合わせをマニュアル操作で行うには、第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂをモニターに数値表示する場合は、第２の直線Ｌ２の角度θｐｂの値を第１の直線Ｌ１の角度θｐｄの値に近づけるようにプローブカードステージ７を回転移動させればよく、両直線間の相対的な角度を数値表示する場合には、当該角度値を０（ｄｅｇ）に近づけるようにプローブカードステージ７を回転移動させればよい。【００９６】
さらには、ステップＳ１４〜Ｓ２０またはＳ１０２にて、第１の直線Ｌ１および第２の直線Ｌ２の中央部や両端部の座標値をモニターに数値表示してもよいし、両直線間の相対的な座標値（例えば、第１の直線Ｌ１を基準としたときの当該第１の直線Ｌ１の中央部や両端部に対する第２の直線Ｌ２の中央部や両端部の座標値）をモニターに数値表示してもよい。このようにすることで、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ量を、数値によって視覚的に確認することができる。【００９７】
また、ステップＳ１７またはマニュアル操作によるプローブカードステージ７の回転移動中にて、第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂの差分値Δθの大きさに応じて、所定のパルス間隔のパルス音、所定の周波数の音または所定の音色に順次変更した音を発生させたりして、オペレータが位置合わせ状態を聴覚で容易に認識できるようにしてもよい。【００９８】
また、ステップＳ２０またはＳ１０２にて、第１の直線Ｌ１の角度θｐｄおよび第２の直線Ｌ２の角度θｐｂの差分値Δθが所定値Ｄ以下になったときに、垂直軸回りの位置合わせの完了を通知するために、モニター上にメッセージを表示したり、外部点灯装置をＴＣＰハンドラ２に設けて当該外部点灯装置を点灯表示したりしてもよい。このようにアラートを発することで、オペレータは垂直軸回りの位置合わせが完了したことを確認することができる。【００９９】
さらに、上記実施形態では、ＴＣＰおよびプローブカード８の垂直軸回りの位置合わせと平面方向の位置合わせとを、別々に行うようにしたが、本発明はこれに限定されることなく、両者を同時に行ってもよい。具体的には、ステップＳ０３，Ｓ０５で取得したテストパッドＰの座標データ（Ｘｐｄ１，Ｙｐｄ１）および（Ｘｐｄ２，Ｙｐｄ２）と、ステップＳ０９，Ｓ１１で取得したプローブ８１の座標データ（Ｘｐｂ１，Ｙｐｂ１）および（Ｘｐｂ２，Ｙｐｂ２）とに基づいて、垂直軸回りの位置ずれ量ならびにＸ軸方向およびＹ軸方向の位置ずれ量を求め、それらの位置ずれ量に基づいて、プローブカードステージ７を垂直軸回り／Ｘ軸方向／Ｙ軸方向に移動させて、テストパッドＰとプローブ８１との位置合わせを行ってもよい。これにより、ＴＣＰとプローブカード８との位置ずれ補正の作業時間が、より短縮される。
【産業上の利用可能性】
【０１００】
本発明は、ＴＣＰハンドリング装置の初期設定時において、コンタクト部の接触端子とＴＣＰの外部端子との位置合わせ作業を正確にかつ容易に行うのに極めて有用である。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６Ａ】
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【図６Ｂ】
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【図６Ｃ】
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【図７】
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【国際調査報告】
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