【事件の表示】
　特願２０１９−５０３５２６号「位置決めシステム、位置決めするための方法、リソグラフィ装置及びデバイス製造方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年２月８日国際公開、ＷＯ２０１８／０２４４１６号、令和元年９月５日国内公表、特表２０１９−５２５２３９号〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１７年（平成２９年）６月２９日（パリ条約による優先権主張　外国庁受理　２０１６年（平成２８年）８月４日　欧州特許庁）を国際出願日とする出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
　平成３１年　３月１８日　　：翻訳文、補正書、上申書提出
　令和元年１２月２７日付け：拒絶理由通知書
　令和２年　４月　８日　　：意見書、手続補正書の提出
　令和２年　５月１４日付け：拒絶査定（謄本送達　同年同月２６日）
　令和２年　９月２４日　　：審判請求書、手続補正書の提出
第２　令和２年９月２４日にされた手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　令和２年９月２４日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１　本件補正について（補正の内容）
（１）本件補正後の特許請求の範囲の記載
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された（下線部は、補正箇所である。）。
「【請求項１】
　第１のボディと、
　第２のボディと、
　前記第１のボディを前記第２のボディに対して位置決めするために前記第１のボディと前記第２のボディとの間に配置されたアクチュエータと、
　
前記アクチュエータを駆動するための制御システムと、
を備える位置決めシステムにおいて、
　前記アクチュエータは、直列に配置された第１のピエゾアクチュエータと第２のピエゾアクチュエータとを備え、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１のヒステリシスを有し、
　前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１のヒステリシスよりも小さい第２のヒステリシスを有し、
　前記第２のピエゾアクチュエータは少なくとも前記第１のヒステリシスに等しい位置決め範囲を有し、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１の圧電材料を備え、前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１の圧電材料とは異なる第２の圧電材料を備え、
　前記第２のピエゾアクチュエータの長さは前記第１のピエゾアクチュエータの長さよりも大き
く、
　
前記制御システムは、前記第１のボディを位置決めするべく前記第１のピエゾアクチュエータを駆動するように、及び前記第１のピエゾアクチュエータの前記第１のヒステリシスを補償するために前記第２のピエゾアクチュエータを駆動するように構成されている、
位置決めシステム。」
　
（２）本件補正前の特許請求の範囲
　本件補正前の、令和２年４月８日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。
「【請求項１】
　第１のボディと、
　第２のボディと、
　前記第１のボディを前記第２のボディに対して位置決めするために前記第１のボディと前記第２のボディとの間に配置されたアクチュエータと、を備える位置決めシステムにおいて、
　前記アクチュエータは、直列に配置された第１のピエゾアクチュエータと第２のピエゾアクチュエータとを備え、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１のヒステリシスを有し、
　前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１のヒステリシスよりも小さい第２のヒステリシスを有し、
　前記第２のピエゾアクチュエータは少なくとも前記第１のヒステリシスに等しい位置決め範囲を有し、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１の圧電材料を備え、前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１の圧電材料とは異なる第２の圧電材料を備え、
　前記第２のピエゾアクチュエータの長さは前記第１のピエゾアクチュエータの長さよりも大きい、
位置決めシステム。」
２　補正の適否
　本件補正は、本件補正前の請求項１に記載された発明である「位置決めシステム」を駆動するために必要な構成である「前記アクチュエータを駆動するための制御システム」を備えた上で、「前記制御システムは、前記第１のボディを位置決めするべく前記第１のピエゾアクチュエータを駆動するように、及び前記第１のピエゾアクチュエータの前記第１のヒステリシスを補償するために前記第２のピエゾアクチュエータを駆動するように構成されている」との限定を付加するものであって、補正前の請求項１に記載された発明と補正後の請求項１に記載される発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法１７条の２第５項２号の特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載される発明（以下「本件補正発明」という。）が同条第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか（特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか）について、以下、検討する。
（１）本件補正発明
　本件補正発明は、上記「１」「（１）」に記載したとおりのものである。
　
（２）引用文献の記載事項
　引用文献１
ア　原査定の拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特開平７−８６６５２号公報（平成７年３月３１日出願公開。以下「引用文献１」という。）には、次の記載がある（下線は当審が付した。以下同じ。）。
（ア）「【請求項１】　
表裏面に電極が形成されたジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材と、同じく表裏面に電極が形成されたマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材を一つの素子として合わせて積層した
積層型電気・歪変換素子。
（イ）「【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、
印加電圧に応じて伸縮する積層型電気・歪変換素子に関するものであ
【０００２】
【従来の技術】近年、光または磁気ディスクヘッド、各種光学装置、精密工作機械等の
精密位置決め装置
圧電素子を多数積層して形成し、印加する電圧に応じて圧電素子を伸縮させることによりアクチュエータとして用いる
（ウ）「【０００４】物質が圧電性を有するか否かは物質のもつ結晶の対称性で決まり、点対称性をもたない結晶構造のものが圧電性をもち得る。圧電材料の最も代表的なものとしては、ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料、例えばＰｂ（Ｔｉ０．４８Ｚｒ０．５２３Ｚｒ０．５２）Ｏ３が知られている。このような圧電材料においては、印加した電界に比例して歪が発生し、２０％程度のヒステリシスが有るものの０．７〜１×１０−３の大きな歪が得られる。一方、対称中心をもつ結晶は電歪効果（印加した電界の２乗に比例して歪が発生する）はあるが、圧電性を示さない。このような電歪材料としては、マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料、例えばＰｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂ２／３）Ｏ３が知られており、組成を選べば、歪量は圧電材料に比べて減少するものの、ヒステリシスを１％程度に抑えることができる。積層型電気・歪変換素子の従来までの応用に関しては、圧電材料と電歪材料のうちどちらか一方の素材を選択して素子とすれば十分であった。なお、図２において７は絶縁体である。」
（エ）「【００１０】ここで、比較のため、圧電材料素子部１０Ａへの印加電圧を変化させ、この基準伸び量から１μｍ増加した３６μｍと基準伸び量３５μｍの間で繰り返し伸縮させたが、約２０％のヒステリシスが存在し、ある電圧を印加した時に得られる微細伸び量に再現性がなかった。そこで、本発明に示すように、圧電材料素子部１０Ａへの印加電圧を４５０Ｖで一定とし、電歪材料素子部１２Ａへ０〜１７０Ｖの範囲の電圧を印加して全体素子長で３５μｍから３６μｍの範囲で伸縮させた。この結果、
測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認され
【００１１】圧電素子材料としてジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材を用いた理由は、ヒステリシスが２２％であるものの、歪量が０．９×１０−３の大きな歪量が得られることによる。また、電歪素子材料としてマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料素材を用いた理由は、歪量が０．３×１０−３でヒステリシスを１％程度に抑えることができることによる。」
（オ）「【００１２】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る積層型電気・歪変換素子は、ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材とマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材とを一つの素子として合わせて積層したので、
数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることのできる
（カ）図１は次のとおりである。
【図１】
イ　上記記載から、引用文献１には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
（ア）「印加電圧に応じて伸縮する積層型電気・歪変換素子に関するものであ」って（【０００１】）、「圧電素子を多数積層して形成し、印加する電圧に応じて圧電素子を伸縮させることによりアクチュエータとして用いる」「精密位置決め装置」（【０００２】）に関するものであるから、当該「積層型電気・歪変換素子」を「精密位置決め」のための「アクチュエータ」として用いた「精密位置決め装置」であること。
　また、「精密位置決め」とは、２つの部材の一方を他方に対して精密に位置決めすることであるから、「精密位置決め」のための「アクチュエータ」である「積層型電気・歪変換素子」が「精密位置決め」される２つの部材の間に配置され、かつ、「積層型電気・歪変換素子」が「精密位置決め」する２つの部材の一方を他方に対して位置決めすること。
（イ）「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料」は「２０％程度のヒステリシスが有」り、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料」は「ヒステリシスを１％程度に抑えることができる」ものである（【０００４】）から、積層型電気・歪変換素子の「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材」の部分のヒステリシスは、積層型電気・歪変換素子の「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材」の部分のヒステリシスより小さいこと。
（ウ）「積層型電気・歪変換素子は、ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材とマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材とを一つの素子として合わせて積層したので、数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることのできる積層型セラミックアクチュエータ」（【０００４】）であるから、「積層型電気・歪変換素子」は、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材」の部分と、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材」の部分とが、上記（ア）における２つの部材の間に、前記２つの部材のいずれか一方の部材、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材」の部分、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材」の部分、そして、前記２つの部材の他方の部材、の順に直列に配置されていること。
ウ　上記ア、イから、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
「表裏面に電極が形成されたジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材と、同じく表裏面に電極が形成されたマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材を一つの素子として合わせて積層した積層型電気・歪変換素子（【請求項１】）をアクチュエータとして用いた精密位置決め装置であって（上記「イ」「（ア）」）、
　前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めされる２つの部材の間に配置され、前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めする２つの部材の一方を他方に対して位置決めし（上記「イ」「（ア）」）、
　前記積層型電気・歪変換素子のマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスは、積層型電気・歪変換素子のジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスより小さく（上記「イ」「（イ）」）、
　前記２つの部材の間に、前記２つの部材のいずれか一方の部材、前記ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分、前記マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分、そして、前記２つの部材の他方の部材、の順に直列に配置されている（上記「イ」「（ウ）」）、
　数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ（【００１２】）、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない（【００１０】）、
　精密位置決め装置（上記「イ」「（ア）」）。」
（３）引用発明との対比
ア　本件補正発明と引用発明とを対比する。
（ア）引用発明の「積層型電気・歪変換素子」は、「積層型電気・歪変換素子をアクチュエータとして用いた精密位置決め装置であって、前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めされる２つの部材の間に配置され、前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めする２つの部材の一方を他方に対して位置決め」するものであるから、２つの部材と、２つの部材の一方を他方に対して位置決めするために２つの部材の間に配置されたアクチュエータであるといえる。
　また、引用発明の「積層型電気・歪変換素子」は、「２つの部材の間に、前記２つの部材のいずれか一方の部材、前記ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分、前記マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分、そして、前記２つの部材の他方の部材、の順に直列に配置されている」から、「積層型電気・歪変換素子」は、直列に配置された「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」と「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」とを備えるといえる。
　したがって、引用発明の「積層型電気・歪変換素子をアクチュエータとして用いた精密位置決め装置であって、前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めされる２つの部材の間に配置され、前記積層型電気・歪変換素子が精密位置決めする２つの部材の一方を他方に対して位置決め」し、「前記２つの部材の間に、前記２つの部材のいずれか一方の部材、前記ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分、前記マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分、そして、前記２つの部材の他方の部材、の順に直列に配置されている」「積層型電気・歪変換素子」は、本件補正発明の「第１のボディと、第２のボディと、前記第１のボディを前記第２のボディに対して位置決めするために前記第１のボディと前記第２のボディとの間に配置されたアクチュエータ」であって、「前記アクチュエータは、直列に配置された第１のピエゾアクチュエータと第２のピエゾアクチュエータとを備え」ることに相当する。
（イ）引用発明の「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」及び「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」は、本件補正発明の「第１のピエゾアクチュエータ」及び「第２のピエゾアクチュエータ」にそれぞれ相当する。
　また、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料」と「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料」は異なる圧電材料である。
　さらに、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスは、積層型電気・歪変換素子のジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスより小さ」いから、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料」と「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料」は異なるヒステリシスを有するといえる。
　したがって、引用発明の「前記積層型電気・歪変換素子のマグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスは、積層型電気・歪変換素子のジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分のヒステリシスより小さく、ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分と、マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分とが、２つの部材の間で直列に配置されている」ことは、本件補正発明の「前記第１のピエゾアクチュエータは第１のヒステリシスを有し、前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１のヒステリシスよりも小さい第２のヒステリシスを有し」、「前記第１のピエゾアクチュエータは第１の圧電材料を備え、前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１の圧電材料とは異なる第２の圧電材料を備え」ることに相当する。
（ウ）引用発明の「精密位置決め装置」は、本件補正発明の「位置決めシステム」に相当する。
イ　以上のことから、本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。
【一致点】
「第１のボディと、
　第２のボディと、
　前記第１のボディを前記第２のボディに対して位置決めするために前記第１のボディと前記第２のボディとの間に配置されたアクチュエータと、
を備える位置決めシステムにおいて、
　前記アクチュエータは、直列に配置された第１のピエゾアクチュエータと第２のピエゾアクチュエータとを備え、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１のヒステリシスを有し、
　前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１のヒステリシスよりも小さい第２のヒステリシスを有し、
　前記第１のピエゾアクチュエータは第１の圧電材料を備え、前記第２のピエゾアクチュエータは前記第１の圧電材料とは異なる第２の圧電材料を備える、
位置決めシステム。」
【相違点】
（相違点１）
　本件補正発明は「アクチュエータを駆動するための制御システム」を備え、「前記制御システムは、前記第１のボディを位置決めするべく前記第１のピエゾアクチュエータを駆動するように、及び前記第１のピエゾアクチュエータの前記第１のヒステリシスを補償するために前記第２のピエゾアクチュエータを駆動するように構成されている」と特定されるのに対して、引用発明はアクチュエータを駆動するための制御システムが明らかではない点。
（相違点２）
　本件補正発明の「第２のピエゾアクチュエータ」は「少なくとも前記第１のヒステリシスに等しい位置決め範囲を有」するのに対して、引用発明の「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」は位置決め範囲が特定されない点。
（相違点３）
　本件補正発明の「第２のピエゾアクチュエータの長さ」は「第１のピエゾアクチュエータの長さよりも大き」いのに対して、引用発明の「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」の長さは特定されない点。
（４）判断
　以下、各相違点について検討する。
ア　相違点１について
　引用発明は、アクチュエータである積層型電気・歪変換素子を、「数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ」る「精密位置決め装置」であるから、アクチュエータである積層型電気・歪変換素子の駆動をコントロールする何らかの制御システムを備えることは明らかである。
　また、当該制御システムは、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」の駆動を制御して「数十μｍの基本伸び量」を得た後、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」の駆動を制御して「１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールする」ことで結果として、「測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ように制御するものであるから、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」を駆動することにより生じるヒステリシスを「ヒステリシスが確認されない」ように補償するために、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」を駆動するように構成されていると認められる。
　したがって、引用発明において、「数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ことは、アクチュエータである積層型電気・歪変換素子を駆動するための制御システムを備え、一方の部材を位置決めするべく「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」を駆動するとともに、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」のヒステリシスを補償するために「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」を駆動するように構成されている」ことであると認められるから、本件補正発明における「アクチュエータを駆動するための制御システム」を備え、「前記制御システムは、前記第１のボディを位置決めするべく前記第１のピエゾアクチュエータを駆動するように、及び前記第１のピエゾアクチュエータの前記第１のヒステリシスを補償するために前記第２のピエゾアクチュエータを駆動するように構成されている」ことに相当する。
　よって、引用発明は、上記相違点１に係る本件補正発明の構成を備えるから、上記相違点１は実質的な相違点ではなく、また、仮に実質的な相違点であったとしても、当業者であれば容易に想到し得たものである。
　
イ　相違点２について
　引用発明において、「数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ことは、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」により生じるヒステリシスを「ヒステリシスが確認されない」ように補償できるだけの「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」の十分な微細伸び量を有することを意味するものと解される。
　そして、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」が、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」により生じるヒステリシスを「ヒステリシスが確認されない」ように補償できるだけの十分な微細伸び量を有することは、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」が「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」により生じるヒステリシスに等しい位置決め範囲を有することであると認められる。
　したがって、引用発明が、「数十μｍの基本伸び量に加えて１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ことは、本件補正発明の「第２のピエゾアクチュエータ」は「少なくとも前記第１のヒステリシスに等しい位置決め範囲を有」することに相当する。
　よって、引用発明は、上記相違点２に係る本件補正発明の構成を備えるから、上記相違点１は実質的な相違点ではなく、また、仮に実質的な相違点であったとしても、当業者であれば容易に想到し得たものである。
（ウ）相違点３について
　引用発明における、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」の長さは「数十μｍの基本伸び量」を得るために必要な歪量が生じる長さ以上の範囲で適宜選択される設計的事項であるといえる。
　また、引用発明における「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」の長さは、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」の長さに基づいて、「１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ような効果を得るために必要な歪量が生じる長さ以上の範囲で適宜選択される設計的事項であるといえる。
　したがって、ここで、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材」は「ヒステリシスが２２％であ」って、「歪量が０．９×１０−３」（【００１１】）るのに対して、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料素材」は「歪量が０．３×１０−３」（【００１１】）であるとされる。
　そうすると、「歪量が０．９×１０−３」である「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材」において「数十μｍの基本伸び量」によって生じる「２２％」の「ヒステリシス」を、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材」の歪量の１／３である「歪量が０．３×１０−３」である「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料素材」で「ヒステリシスが確認されない」ように十分に補償するためには、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料素材」の長さは、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材」の長さとほぼ同じ以上であればよいことは当業者が容易に予測し得ることである。
　よって、引用発明において、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料からなるセラミック素材の部分」の長さは、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料からなるセラミック素材の部分」の長さに基づいて、「１／１００μｍ程度の再現性で微細伸び量をコントロールすることができ、測定可能な範囲（０．０１μｍ）ではヒステリシスが確認されない」ような効果を得るために必要な歪量が生じる長さとして、「マグネシウム酸ニオブ酸鉛系電歪材料素材」の長さを、「ジルコニウム酸チタン酸鉛系圧電材料素材」の長さより長いものとなして、上記相違点３に係る本件補正発明の構成となすことは当業者が容易になし得ることである。
ウ　そして、これらの相違点を総合的に勘案しても、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。
　
エ　したがって、本件補正発明は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法２９条２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
　
３　本件補正についてのむすび
　よって、本件補正は、特許法１７条の２第６項において準用する同法１２６条７項の規定に違反するので、同法１５９条１項の規定において読み替えて準用する同法５３条１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。
　
第３　本願発明について
１　本願発明
　令和２年９月２４日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、令和２年４月８日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし１５に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された事項により特定される、前記「第２」［理由］「１」「（２）」に記載のとおりのものである。
２　原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１〜２、４、７に係る発明は、本願の優先権主張の日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
引用文献１：特開平７−８６６５２号公報
３　引用文献
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１及びその記載事項は、前記「第２」の［理由］「２」「（２）」に記載したとおりである。
　
４　対比・判断
　本願発明は、前記「第２」の［理由］「２」で検討した本件補正発明から、「前記アクチュエータを駆動するための制御システム」、及び、「前記制御システムは、前記第１のボディを位置決めするべく前記第１のピエゾアクチュエータを駆動するように、及び前記第１のピエゾアクチュエータの前記第１のヒステリシスを補償するために前記第２のピエゾアクチュエータを駆動するように構成されている」ことに係る限定事項を省いたものである。
　そうすると、本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記「第２」の［理由］「２」「（３）」及び「（４）」に記載したとおり、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、本願発明も、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
　
第４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。