【手続補正書】
【提出日】平成31年4月16日(2019.4.16)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のノズルと、
複数の前記ノズルに接続された複数の第１配管であって、１つの前記ノズルに１つの前記第１配管が接続された複数の第１配管と、
各前記ノズルおよび各前記第１配管を所定の回転軸線回りに回転可能に支持する回転支持部と、
各前記第１配管と連動して前記回転軸線回りを回転可能に構成され且つ対応する前記第１配管に接続される一端部を含むともに、可撓性を有するように構成された複数の第２フレキシブル配管と、
各前記第２フレキシブル配管の他端部を支持し、各前記第１配管の回転に伴う各前記第２フレキシブル配管の変形動作に合わせて直線変位可能な可動ガイド部、を含むリニアガイドと、
前記ノズルから噴射される流体により熱処理される被処理物が設置される収容室と、を備え、
各前記第１配管の一部および各前記ノズルは、前記収容室内に配置され、
各前記第２フレキシブル配管および前記リニアガイドは前記収容室外に配置され、
各前記第１配管と対応する前記第２フレキシブル配管の前記一端部とは、前記収容室外で接続されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項２】
請求項１に記載の熱処理装置であって、
複数の前記ノズルとして、種類の異なる複数の前記被処理物に前記流体を供給するための複数のノズルが設けられ、
前記回転支持部は、当該回転支持部の回転に伴い、各前記ノズルおよび各前記第１配管を回転させることで、対応する前記ノズルを対応する種類の前記被処理物に向けて流体供給可能に位置決めし、
前記第２フレキシブル配管は、位置決めされた対応する前記第１配管および対応する前記ノズルに向けて前記流体を供給することを特徴とする、熱処理装置。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の熱処理装置であって、
各前記第１配管は、対応する前記ノズルに接続された剛体状の第１部分と、可撓性を有し前記第１部分に接続された第２部分と、この第２部分に接続されているとともに前記収容室の内部と外部とに亘って延びる剛体状の第３部分と、を有していることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項４】
請求項３に記載の熱処理装置であって、
前記収容室は、当該収容室の内側と外側とを隔てるように構成されているとともに貫通孔部が形成された側壁を含み、
前記貫通孔部を塞ぐようにして配置され前記第３部分と前記回転支持部とを一体回転可能に連結する側壁フランジ部をさらに備えていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項５】
請求項４に記載の熱処理装置であって、
前記側壁フランジ部を介して前記回転支持部を回転可能に支持する支持機構をさらに備え、
前記支持機構は、前記収容室外に配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項６】
請求項５に記載の熱処理装置であって、
前記収容室内に配置され前記回転支持部の一端部を支持する支柱と、
上記支柱とは別の支柱であって前記収容室外に配置され前記回転支持部の他端部を支持する支柱と、をさらに備え、
前記支持機構は、前記回転支持部の中間部を支持しており、
前記収容室外に配置された位置調整機構であって、前記回転支持部の位置を調整するために前記支持機構の位置を調整可能な位置調整機構をさらに備えていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項７】
請求項１〜請求項６の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
前記収容室は、前記収容室の内側と外側とを隔てる側壁を含み、
前記回転支持部は、前記側壁を貫通して前記収容室の内側と外側に亘って配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項８】
請求項１〜請求項７の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
前記収容室は、前記収容室の内側と外側とを隔てる側壁を含み、
前記熱処理装置は、前記収容室外に配置され前記回転支持部を回転可能に支持する支柱をさらに備え、
前記被処理物へ前記流体を供給する流体供給装置のうち前記収容室外に露出している部分は、前記側壁と前記支柱との間に配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項９】
請求項１〜請求項８の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
前記回転支持部を回転駆動させるための主回転機構をさらに備え、
前記主回転機構は、前記リニアガイドの下方に配置された電動モータを含んでいることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項１０】
請求項１〜請求項９の何れか１項に記載の熱処理装置であって、
前記収容室外に配置された複数の第３フレキシブル配管であって、複数の前記第２フレキシブル配管の対応する前記他端部に接続され当該他端部と一体的に直線変位可能な一端部を含む、可撓性を有する複数の第３フレキシブル配管と、
前記収容室外に配置され複数の前記第３フレキシブル配管の他端部を支持する支持部と、
をさらに備え、
前記支持部は、前記リニアガイドの下方に配置されていることを特徴とする、熱処理装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の熱処理装置であって、
各前記第２フレキシブル配管の前記他端部と対応する前記第３フレキシブル配管の前記一端部とを接続する複数の折り返し配管をさらに備え、
各前記折り返し配管は、前記回転支持部の軸方向の一方に延びた後、前記回転支持部から遠ざかるように延び、その後、前記軸方向の他方を向くように構成されているとともに前記可動ガイド部に支持されており、
各前記折り返し配管の一端部は、対応する前記第２フレキシブル配管の前記他端部に接続され、
各前記折り返し配管の他端部は、対応する前記第３フレキシブル配管の前記一端部に接続されていることを特徴とする、熱処理装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】熱処理装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、熱処理装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、上記事情に鑑みることにより、回転軸線回りにおける各ノズルの許容回転量をより多くしつつ、配管に作用する負荷をより小さくできる、熱処理装置を提供することを、目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わる熱処理装置は、複数のノズルと、複数の前記ノズルに接続された複数の第１配管であって、１つの前記ノズルに１つの前記第１配管が接続された複数の第１配管と、各前記ノズルおよび各前記第１配管を所定の回転軸線回りに回転可能に支持する回転支持部と、各前記第１配管と連動して前記回転軸線回りを回転可能に構成され且つ対応する前記第１配管に接続される一端部を含むともに、可撓性を有するように構成された複数の第２フレキシブル配管と、各前記第２フレキシブル配管の他端部を支持し、各前記第１配管の回転に伴う各前記第２フレキシブル配管の変形動作に合わせて直線変位可能な可動ガイド部、を含むリニアガイドと、前記ノズルから噴射される流体により熱処理される被処理物が設置される収容室と、を備え、各前記第１配管の一部および各前記ノズルは、前記収容室内に配置され、各前記第２フレキシブル配管および前記リニアガイドは前記収容室外に配置され、各前記第１配管と対応する前記第２フレキシブル配管の前記一端部とは、前記収容室外で接続されている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
この構成によると、回転軸線回りにおける各ノズルの回転運動に伴って、第２フレキシブル配管の一端部が回転軸線回りを回転する。このような運動により、第２フレキシブル配管の他端部は、当該第２フレキシブル配管の一端部側に引き寄せられる力または当該一端部から遠ざかる方向の力を受ける。その結果、第２フレキシブル配管は、回転軸線方向の長さが短く、または、長くなるように曲げ変形する。そして、第２フレキシブル配管のこのような変形に伴って、リニアガイドの可動ガイド部が直線運動する。このような構成であれば、各ノズルの回転運動に伴って回転軸線の回りを相対回転する第２フレキシブル配管の一端部と他端部との間に無理な負荷が作用することを抑制できる。また、複数個の第２フレキシブル配管が設けられているので、各第２フレキシブル配管をより細くできる。これにより、各第２フレキシブル配管の可撓性をより高くできる。その結果、各第２フレキシブル配管において、回転軸線回りにおける一端部と他端部の相対回転量の許容値をより高くできる。これにより、熱処理装置において、配管に作用する負荷をより小さくできるとともに、回転軸線回りにおける各ノズルの許容回転量をより多くできる。以上の次第で、回転軸線回りにおける各ノズルの許容回転量をより多くしつつ、配管に作用する負荷をより小さくできる、熱処理装置を実現できる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
（２）好ましくは、複数の前記ノズルとして、種類の異なる複数の前記被処理物に前記流体を供給するための複数のノズルが設けられ、前記回転支持部は、当該回転支持部の回転に伴い、各前記ノズルおよび各前記第１配管を回転させることで、対応する前記ノズルを対応する種類の前記被処理物に向けて流体供給可能に位置決めし、前記第２フレキシブル配管は、位置決めされた対応する前記第１配管および対応する前記ノズルに向けて前記流体を供給する。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
（３）好ましくは、各前記第１配管は、対応する前記ノズルに接続された剛体状の第１部分と、可撓性を有し前記第１部分に接続された第２部分と、この第２部分に接続されているとともに前記収容室の内部と外部とに亘って延びる剛体状の第３部分と、を有している。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
（４）好ましくは、前記収容室は、当該収容室の内側と外側とを隔てるように構成されているとともに貫通孔部が形成された側壁を含み、前記貫通孔部を塞ぐようにして配置され前記第３部分と前記回転支持部とを一体回転可能に連結する側壁フランジ部をさらに備えている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
（５）好ましくは、前記熱処理装置は、前記側壁フランジ部を介して前記回転支持部を回転可能に支持する支持機構をさらに備え、前記支持機構は、前記収容室外に配置されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
（６）好ましくは、前記熱処理装置は、前記収容室内に配置され前記回転支持部の一端部を支持する支柱と、上記支柱とは別の支柱であって前記収容室外に配置され前記回転支持部の他端部を支持する支柱と、をさらに備え、前記支持機構は、前記回転支持部の中間部を支持しており、前記熱処理装置は、前記収容室外に配置された位置調整機構であって、前記回転支持部の位置を調整するために前記支持機構の位置を調整可能な位置調整機構をさらに備えている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
（７）好ましくは、前記収容室は、前記収容室の内側と外側とを隔てる側壁を含み、前記回転支持部は、前記側壁を貫通して前記収容室の内側と外側に亘って配置されている。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
（８）好ましくは、前記収容室は、前記収容室の内側と外側とを隔てる側壁を含み、前記熱処理装置は、前記収容室外に配置され前記回転支持部を回転可能に支持する支柱をさらに備え、前記被処理物へ前記流体を供給する流体供給装置のうち前記収容室外に露出している部分は、前記側壁と前記支柱との間に配置されている。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
（９）好ましくは、前記熱処理装置は、前記回転支持部を回転駆動させるための主回転機構をさらに備え、前記主回転機構は、前記リニアガイドの下方に配置された電動モータを含んでいる。
（１０）好ましくは、前記熱処理装置は、前記収容室外に配置された複数の第３フレキシブル配管であって、複数の前記第２フレキシブル配管の対応する前記他端部に接続され当該他端部と一体的に直線変位可能な一端部を含む、可撓性を有する複数の第３フレキシブル配管と、前記収容室外に配置され複数の前記第３フレキシブル配管の他端部を支持する支持部と、をさらに備え、前記支持部は、前記リニアガイドの下方に配置されている。
（１１）好ましくは、前記熱処理装置は、各前記第２フレキシブル配管の前記他端部と対応する前記第３フレキシブル配管の前記一端部とを接続する複数の折り返し配管をさらに備え、各前記折り返し配管は、前記回転支持部の軸方向の一方に延びた後、前記回転支持部から遠ざかるように延び、その後、前記軸方向の他方を向くように構成されているとともに前記可動ガイド部に支持されており、各前記折り返し配管の一端部は、対応する前記第２フレキシブル配管の前記他端部に接続され、各前記折り返し配管の他端部は、対応する前記第３フレキシブル配管の前記一端部に接続されている。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】
本発明によると、回転軸線回りにおける各ノズルの許容回転量をより多くしつつ、配管に作用する負荷をより小さくできる、熱処理装置を実現できる。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３４】
本発明は、熱処理装置として、広く適用することができる。