【事件の表示】
　特願２０１５−２０４５７２号「溶媒含有コーティングでコーティングされたウエハのためのベーキングデバイス」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年６月３０日出願公開、特開２０１６−１１９４５２号、請求項の数（９）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　令和２年９月２８日になされた手続補正を却下する。　
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１５年（平成２７年）１０月１６日（パリ条約による優先権主張　２０１４年１１月２５日　ドイツ）の出願であって、その手続の経緯は以下のとおりである。
平成２８年　１月１５日　　：翻訳文提出
平成３０年　６月２５日　　：手続補正書の提出
　令和元年　５月１７日付け：拒絶理由通知書
　令和元年　８月２７日　　：意見書、手続補正書の提出
　令和元年１２月　５日付け：拒絶理由通知書
　令和２年　３月　３日　　：意見書、手続補正書の提出
　令和２年　５月１９日付け：拒絶査定
　令和２年　９月２８日　　：審判請求書、手続補正書の提出
　令和３年　３月　８日　　：上申書の提出
第２　令和２年９月２８日にされた手続補正についての補正の却下の決定
［補正の却下の決定の結論］
　令和２年９月２８日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
　
［理由］
１．補正の内容
　本件補正は、補正前（令和２年３月３日付け手続補正によるもの）の特許請求の範囲の請求項１につき、
「【請求項１】
　溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）のためのベーキングデバイス（１０）であって、
　ベーキングチャンバ（１６）、ウエハ（１４）のためのサポート（１２）、パージガスのための導入口（３０）、およびコーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）を有し、
　導入口は、ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、実質的にウエハ（１４）の表面全体の上にパージガスを均一に供給し、
　排気は、拡散要素（３０）を半径方向に囲み、ベーキングチャンバ（１６）の天井（２２）に配置された排気リング（４０）として形成され、
　環状の排気チャネル（４２）は、排気リング（４０）の背後に形成され、
　放出システムは、排気チャネルを排出システムに接続し、放出システムは、均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）を含み、
　排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され、天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成し、拡散要素を中央に含むベーキングデバイス。」
とあったものを、
「【請求項１】
　溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）のためのベーキングデバイス（１０）であって、
　ベーキングチャンバ（１６）、
　ウエハ（１４）のためのサポート（１２）、
　パージガスのための導入口（３０）
、
　コーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）
および、
　
排出システムと接続する放出システム、
　
サポートは、ベーキングチャンバの中に一体化され、サポート上にウエハの配置を形成し、
　導入口は、ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、実質的にウエハ（１４）の表面全体の上にパージガスを均一に供給し、
　排気は、拡散要素（３０）を半径方向に囲み、ベーキングチャンバ（１６）の天井（２２）に配置された排気リング（４０）として形成され、
　
排気リングは、天井でベーキングチャンバからの流路接続を形成し、
　放出システムは、
流路接続に接続する複数の放出チャネルを含み、複数の放出チャネルは、排気リングの背後に形成された
、排気チャネルと複数の放出チャネルは、
に補正するものである（下線は当審が付したもので、補正箇所を示すものである。）。
２．補正の目的
（１）令和２年９月２８日の拒絶査定不服審判請求における、本件請求人の補正の目的に係る主張の概略
　本件審判請求書の「【請求の理由】」「（３）本願発明が特許されるべき理由」「（ａ）補正の説明」には、
「５つの構成要件を列記して記載するとともに、段落［００３１］〜［００３３］、［００３４］、［００５３］の記載に基づいてサポートおよび排気リングの構成を限定的に減縮するものである。」と記載されている。
（２）目的外補正
ア　本件補正は、本件補正前の請求項１の「環状の排気チャネル（４２）」の「環状の」が削除されるとともに、本件補正前の請求項１の「均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）」との構成を削除するものである。
イ　そうすると、本件補正は、「環状」でない構成の「排気チャネル（４２）」を新たに含む補正であるとともに、「均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）」を含まない構成も新たに含む補正であって、発明特定事項を拡張する補正事項を含むと認められるから、特許法第１７条の２第５項第２号に規定する「特許請求の範囲の減縮」には、該当しない。
　なお、本件補正後の請求項１の「放出チャネル」が何を意味しているのか、必ずしも明確ではないが、仮に「放出チャネル」が「排出チャネル」を意味していると解したとしても、「均等に分布した位置（４８）で」排気チャネル（４２）に接続された態様以外の構成も含むことになるので、依然として、特許法第１７条の２第５項第２号に規定する「特許請求の範囲の減縮」には、該当しない。
　また、特許法第１７条の２第５項第１、３、４号にそれぞれ規定する、請求項の削除、誤記の訂正、さらには、明りようでない記載の釈明のいずれにも該当しない。
ウ　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第５項の各号に掲げるいずれの事項も目的としない補正を含むものである。
　
３．補正却下の決定についてのむすび
　以上２．での検討によれば、本件補正は、特許法第１７条の２第５項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
第３　本願発明について
１．本願発明
　令和２年９月２８日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、令和２年３月３日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１ないし９に記載された事項により特定されるものである（以下それぞれを「本願発明１」等という。）ところ、その請求項１に係る発明は、その請求項１に記載された事項により特定される、前記「第２」［理由］「１．」に記載のとおりの次のものである（なお、ＡないしＨは分説のために当審が付した。）。
「【請求項１】
Ａ　溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）のためのベーキングデバイス（１０）であって、
Ｂ　ベーキングチャンバ（１６）、ウエハ（１４）のためのサポート（１２）、パージガスのための導入口（３０）、およびコーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）を有し、
Ｃ　導入口は、ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、実質的にウエハ（１４）の表面全体の上にパージガスを均一に供給し、
Ｄ　排気は、拡散要素（３０）を半径方向に囲み、ベーキングチャンバ（１６）の天井（２２）に配置された排気リング（４０）として形成され、
Ｅ　環状の排気チャネル（４２）は、排気リング（４０）の背後に形成され、
Ｆ　放出システムは、排気チャネルを排出システムに接続し、放出システムは、均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）を含み、
Ｇ　排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され、天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成し、拡散要素を中央に含む
Ｈ　ベーキングデバイス。」
２．原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１、２に係る発明は、本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであり、
　この出願の請求項３〜６に係る発明は、本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１及び２に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであり、
　この出願の請求項７〜９に係る発明は、本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった下記の引用文献１〜３に記載された発明に基づいて、その優先日前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
引用文献１：特開２００７−１９４２６９号公報
引用文献２：特開２００４−１６５６１４号公報
引用文献３：実願平４−８６３３７号（実開平６−４５３３５号）のＣＤ−ＲＯＭ
３．引用文献の記載事項及び引用発明
（１）引用文献１
ア　原査定の拒絶の理由で引用された本願の優先日前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である、特開２００７−１９４２６９号公報（平成１９年８月２日出願公開。以下「引用文献１」という。）には、図面とともに次の記載がある（下線は当審が付した。以下同じ。）。
（ア）「【請求項１】
　処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
　上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
　上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する複数の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する排気管を、蓋体に対して着脱可能に装着してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
　処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
　上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
　上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する複数の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する排気管を、蓋体に対して着脱可能に装着し、
　上記蓋体の周側部の内方側に、周側部と共働して排気通路を構成し、かつ、複数の通気孔を有する排気分散リングを、蓋体に対して着脱可能に配設してなる、
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項３】
　請求項１又は２記載の熱処理装置において、
　上記蓋体の上面部に、互いに等間隔の４個の排気口を設け、
上記排気管は、上記排気口の２箇所にそれぞれシール部材を介して連通する２個の排気管体と、両排気管体を連通する連結管体とを具備し、かつ、連結管体に排出口を設けた、
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項４】
　請求項３記載の熱処理装置において、
　上記排気管体に対して連結管体を着脱可能に形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項５】
　請求項１ないし４のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管の略中心部に、取付孔を有する取付部材を突設し、この取付部材の取付孔を貫挿する固定部材を、上記蓋体の上面部に設けられた取付受け部に着脱可能に固着してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項６】
　請求項２記載の熱処理装置において、
　上記排気分散リングは、上下に対峙する上部片と下部片を有する断面略コ字状に形成され、上部片及び下部片には、互いにずれた位置に複数の通気孔が形成されると共に、上部片の通気孔に対して下部片の通気孔の開口率を高くした、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項７】
　請求項１又は２記載の熱処理装置において、
　上記蓋体における供給口部には、供給口を介して処理室内に供給される気体を放射方向に分流する放射流路を有する分散ノズルが更に具備されている、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項８】
　請求項１ないし５のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管の内側表面に、揮発成分の付着がしにくく、かつ、付着が剥離し易い合成樹脂製のコーティング皮膜を施してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項９】
　請求項１ないし５のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管内に、揮発成分の付着がしにくく、かつ、付着が剥離し易い合成樹脂製の内装管体を嵌挿してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項１０】
　請求項１ないし５のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管に不純物回収部を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項１１】
　請求項１，２，３，４，５，８，９又は１０のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管に、２個の排出口を設け、各排出口に接続する排出管路のいずれか一方に、排気流体の詰まりを検出する詰まり検出手段を設け、他方の排出管路には、上記詰まり検出手段からの信号に基づいて開閉する切換弁を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項１２】
　請求項１，２，３，４，５，８，９，１０又は１１のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管の排出口に接続する排出管路における排出口の近傍部位に排気装置を介設してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項１３】
　請求項１ないし１２のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記蓋体に設けられる排気口を、この排気口から排気管に流れる排気が平面視において螺旋状に流れるように形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項１４】
　請求項２又は６記載の熱処理装置において、
　上記排気分散リングにおける周側部と対向する面に、螺旋溝を形成し、この螺旋溝により排気口から排気管に流れる排気が平面視において螺旋状に流れるように形成してなる、ことを特徴とする熱処理装置。」
（イ）「【技術分野】
【０００１】
　この発明は、熱処理装置に関するもので、更に詳細には、例えば半導体ウエハやＬＣＤガラス基板等の基板を例えば加熱処理する
熱処理装置
（ウ）「【００１０】
　このように構成することにより、排気分散リングによって処理室内に供給される気体を均一に分散して、被処理基板の熱処理の温度を均一にすることができる。・・・
【００１６】
　このように構成することにより、供給口から供給される気体を分散ノズルによって放射方向に均一に分散させることができる。」
（エ）「【００６１】
　次に、上記ホットプレートユニット（ＨＰ）及びチリングホットプレートユニット（ＣＨＰ）を構成するこの発明に係る熱処理装置について、図４ないし図１７を参照して詳細に説明する。ここでは、この発明に係る
熱処理装置
レジスト塗布されたウエハＷをプリベーク処理する加熱装置に適用した
【００６２】
　◎第１実施形態
　図４は、この発明に係る熱処理装置の第１実施形態の使用状態を示す断面図、図５は、上記熱処理装置の要部を示す平面図、図６ないし図８は、それぞれ図５のＩ−Ｉ線に沿う拡大断面図，　ＩＩ−ＩＩ線に沿う拡大断面図及びＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う拡大断面図である。
【００６３】
　上記
熱処理装置５０は、
ケーシング５１内に、上下動自在な蓋体５２と、蓋体５２の下側に位置し、蓋体５２と共働して処理室５３を構成するサポートリング５４を備え
【００６４】
　
サポートリング５４は、
上下面が開口した略円筒状の形態を有し、その内側に熱処理板としての加熱プレート５５を収容し
その上面に被処理基板であるウエハＷを載置し加熱するものであ
【００６５】
　加熱プレート５５には、例えば３つの貫通孔５５ａが形成されており、各貫通孔５５ａには、ウエハＷの裏面を支持して昇降する支持ピン５７がそれぞれ挿入されている。支持ピン５７は、例えばシリンダ等を備えた昇降機構５８により上下動する。支持ピン５７は、加熱プレート５５の上方まで上昇して主ウエハ搬送機構２１との間でウエハＷを授受したり、受け取ったウエハＷを加熱プレート５５に載置したりできる。
【００６６】
　サポートリング５４の上面には、Ｏリング５９が設けられ、サポートリング５４の上面と蓋体５２の周側部５２ｂの下端部との隙間から処理室５３内の気体が流出しないようになっている。
【００６７】
　
蓋体５２は、上面部である天板５２ａと、この天板５２ａの周端部に垂設される周側部５２ｂとによって下面側が開口した略有底円筒状の形態を有し
天板５２ａは、加熱プレート５５上のウエハＷに対向し
天板５２ａ上の中央部には、
空気，窒素ガス又は不活性ガス
のガス供給源６０に連通したパージ用ガスのガス供給管６１が接続する供給口６２が設けられ
【００６８】
　また、
天板５２ａの側部には、処理室５３内のガスを排気する複数
の排気口６３が設けられ
各排気口６３には、排気管６４が連通されており、排気管６４における各排気口６３と略等距離の部位に設けられた排出口６５に
排出管路６６が接続され
【００６９】
　
上記排気管６４は、
排気口６３の２箇所にそれぞれシール部材である
Ｏリング６７ａ
を介して連通する２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとを具備する略Ｈ字状に形成されており、連結管体６４ｂの中間部に排出口６５が設けられ
【００７０】
　
また、排気管体６４ａの両端底部には連通孔６４ｄが穿設されており、この連通孔６４ｄ内にＯリング６７ａを介して天板５２ａの上面に突出した排気口６３が嵌挿された状態で、排気口６３と排気管体６４ａとが気密に連通され
【００７１】
　また、
連結管体６４ｂの両端部には、排気管体６４ａの一側部を掴持する断面略コ字状の連結部材６４ｅが溶接等の固定手段によって一体に形成されており、この連結部材６４ｅに設けられた連通孔６４ｆ内にシール部材例えば
Ｏリング６７ｂ
を介して排気管体６４ａの側部に突出した連通口６４ｇが嵌挿された状態で、連結部材６４ｅに設けられた取付孔
を貫通する固定ねじ６８を排気管体６４ａの側部にねじ結合することによって、排気管体６４ａと連結管体６４ｂとが着脱可能に形成され
【００７２】
　また、図５，図８及び図９に示すように、
排気管６４の略中心部に位置する連結管体６４ｂの中心部の一側上端部には、取付孔６９ａを有する取付部材６９が突設され
この取付部材６９の取付孔６９ａには、固定部材である固定ボルト７０が貫挿され、蓋体５２の天板５２ａの上面に設けられた取付受け部であるナット７１に着脱可能に螺合されて締結固着されるように構成され
【００７３】
　上記のように、
排気管６４の略中心部に位置する連結管体６４ｂの中心部の一側上端部に設けられた取付部材６９の取付孔６９ａを貫挿する固定ボルト７０を蓋体５２に設けられたナット７１に締結固着することによって、排気口６３と排気管６４に設けられた連通孔６４ｄとが気密に連通され
排気管６４は、２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとからなる略Ｈ字状に形成されているので、上記固定ボルト７０とナット７１とを締結固着した際に、多少撓んで排気口６３と排気管６４の連通孔６４ｄとが気密に連通され
【００７４】
　一方、
上記蓋体５２における供給口６２部には、供給口６２を介して処理室５３内に供給されるガスを放射方向に分流する分散ノズル７３が配設されており、この分散ノズル７３の下方と加熱プレート５５との間には、
多数の通気孔
を設けた円形状の２つの第１及び第２の整流板７４，７５が上下に並設され
蓋体５２の周側部５２ｂの内方側には、周側部５２ｂと共働して排気通路７６を構成する排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に配設され
【００７５】
　この場合、
分散ノズル７３は、
円盤状に形成されており、中心部に供給口６２に連通する円形凹所７３ａが設けられ、この円形凹所７３ａに連通する複数
の放射流路７３ｂが放射方向に設けられ
【００７６】
　また、
排気分散リング７７は、
上下に対峙する上部片７７ａと下部片７７ｂと、上部片７７ａと下部片７７ｂの処理室側端部を連結する鉛直片７７ｃとを有する断面略コ字状に形成され、上部片７７ａ及び下部片７７ｂには、互いにずれた位置に複数の通気孔７８ａ，７８ｂが形成され
【００７７】
　このように、排気分散リング７７の上部片７７ａの通気孔７８ａに対して下部片７７ｂの通気孔７８ｂの開口率を高くすることにより、排気の下流側の上部片７７ａにて分散させた排気流を、更に上流側の下部片７７ｂに設けられた通気孔７８ｂにより分散させることができ、処理室５３内の排気流れの均一性を高めることができる。
【００７８】
　なお、
排気分散リング７７の上部片７７ａの外周部には、適宜間隔を置いて複数例えば１２個の切欠き
が設けられており、天板５２ａと周側部５２ｂとの間に排気分散リング７７の上部片７７ａを挟持した状態で、天板５２ａの外周部に設けられた貫通孔５２ｃ
を貫通する取付ボルト
を上部片７７ａの切欠きを介して周側部５２ｂの上端部にねじ結合することで、天板５２ａと排気分散リング７７及び周側部５２ｂとが固定され
取付ボルトの締結を解除することによって、天板５２ａと排気分散リング７７及び周側部５２ｂとを分解することができ
（オ）「【００８４】
　また、上記のように構成されるこの発明に係る熱処理装置５０は、図１３に示すように、多段に配置されており、各熱処理装置５０の排気管６４に接続する
排出管路６６が、レジスト塗布・現像処理システムの背面部に鉛直状に設置される排気ダクト８４に接続され
排気ダクト８４の下部には、ダクト内圧調整弁８５を介設した専用ホース８６が接続されると共に、専用ホース８６には排気手段
が接続され
【００８６】
　そして、露光装置において露光処理が終了し、主ウエハ搬送機構２１に保持されたウエハＷは、搬入出口８３からケーシング５１内に搬送され、加熱プレート５５の上方で予め上昇して待機していた支持ピン５７に受け渡される。続いて蓋体５２が下降し、サポートリング５４と一体となって処理室５３が形成される。このとき、
供給口６２から処理室５３内に供給されたガスは、
分散ノズル７３によって放射方向に分流された後、第１の整流板７４，第２の整流板７５を通過して、気流の方向が蓋体５２の周側部５２ｂ側に向けられ
第２の整流板７５を通過したガスは、ウエハＷ表面に達することなく、周側部５２ｂと排気分散リング７７とで構成された排気通路７６を通って排気口６３から排気管６４内に流れ、排気管６４に設けられた排出口６５を介して排出管路６６から排気され
ガス中の昇華物等の不純物の一部は、排気通路７６を通過する際に排気分散リング７７に付着し、排気口６３から排気されたガスは、排気管６４を通過する際に、ガス中の昇華物等の不純物の一部が排気管６４の内側表面に付着されると共に、不純物回収部８２を通過して不純物が回収されてから、排出口６５に接続する排出管路６６を介して外部に排気され
【００９０】
　この第１実施形態によれば、蓋体５２の周側部５２ｂにおけるウエハＷよりも高い位置に排気口６３を設けたので、蓋体５２の天板５２ａから導入されたガスが蓋体５２の周側部５２ｂに向かって流れる。この結果、ガスがウエハＷ表面に直接吹き付けられることがなくなり、ウエハＷ表面のレジスト膜中の溶剤の揮発が気流の動向に左右されることがなくなる。
したがって、ウエハＷの外縁部が不安定な気流により悪影響を受けることがなくなり、ウエハＷ外縁部においても均一な膜厚のレジスト膜が形成される
【００９１】
　また、排気管６４及び排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に形成され、また、排気管６４の排気管体６４ａと連結管体６４ｂが分解可能に形成されているので、蓋体５２から排気管６４を取り外してクリーニングすることができる。また、装置本体から蓋体５２を取り外すと共に、排気管６４と排気分散リング７７取り外してクリーニングすることができる。したがって、メンテナンスをより簡単にすることができる。」
（カ）図４、５、９、１０及び１３は次のとおりである。
【図４】
【図５】
【図９】
【図１０】
【図１３】
　
イ　上記アによれば、引用文献１には、次の技術的事項が記載されているものと認められる。
・上記「ア」「（エ）」の記載を踏まえて上記「ア」「（カ）」の図４を見ると、排気通路７６は、第１及び第２の整流板７４，７５を円形に囲み、排気通路７６は処理室５３から見て排気分散リング７７の下部片７７ｂの背後に設けられていることが見てとれる。
（２）引用発明
　上記（１）によれば、引用文献１には、次の発明（以下「引用発明」という。）が記載されていると認められる（なお、ａないしｍは、当審が分説のために付し、構成ａなどという。）。
「ａ　レジスト塗布されたウエハＷをプリベーク処理する加熱装置に適用した熱処理装置５０であって（【００６１】）、
ｂ　前記熱処理装置５０は、ケーシング５１内に、上下動自在な蓋体５２と、蓋体５２の下側に位置し、蓋体５２と共働して処理室５３を構成するサポートリング５４を備え（【００６３】）、
ｃ　前記サポートリング５４は、上下面が開口した略円筒状の形態を有し、その内側に熱処理板としての加熱プレート５５を収容し、その上面に被処理基板であるウエハＷを載置し加熱するものであり（【００６４】）、
ｄ　前記蓋体５２は、上面部である天板５２ａと、この天板５２ａの周端部に垂設される周側部５２ｂとによって下面側が開口した略有底円筒状の形態を有し、天板５２ａは、加熱プレート５５上のウエハＷに対向し、天板５２ａ上の中央部には、空気，窒素ガス又は不活性ガスのガス供給源６０に連通したパージ用ガスのガス供給管６１が接続する供給口６２が設けられ（【００６７】）、
ｅ　前記天板５２ａの側部には、処理室５３内のガスを排気する複数の排気口６３が設けられ、各排気口６３には、排気管６４が連通されており、排気管６４における各排気口６３と略等距離の部位に設けられた排出口６５に排出管路６６が接続され（【００６８】）、
ｆ　前記排気管６４は、排気口６３の２箇所にそれぞれシール部材であるＯリング６７ａを介して連通する２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとを具備する略Ｈ字状に形成されており、連結管体６４ｂの中間部に排出口６５が設けられ（【００６９】）、
ｇ　前記排気管６４の略中心部に位置する連結管体６４ｂの中心部の一側上端部には、取付孔６９ａを有する取付部材６９が突設され、この取付部材６９の取付孔６９ａには、固定部材である固定ボルト７０が貫挿され、蓋体５２の天板５２ａの上面に設けられた取付受け部であるナット７１に着脱可能に螺合されて締結固着されるように構成され（【００７２】）、
ｈ　前記排気管６４の略中心部に位置する連結管体６４ｂの中心部の一側上端部に設けられた取付部材６９の取付孔６９ａを貫挿する固定ボルト７０を蓋体５２に設けられたナット７１に締結固着することによって、排気口６３と排気管６４に設けられた連通孔６４ｄとが気密に連通され、排気管６４は、２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとからなる略Ｈ字状に形成されているので、上記固定ボルト７０とナット７１とを締結固着した際に、多少撓んで排気口６３と排気管６４の連通孔６４ｄとが気密に連通され（【００７３】）、
ｉ　前記蓋体５２における供給口６２部には、供給口６２を介して処理室５３内に供給されるガスを放射方向に分流する分散ノズル７３が配設されており、この分散ノズル７３の下方と加熱プレート５５との間には、多数の通気孔を設けた円形状の２つの第１及び第２の整流板７４，７５が上下に並設され、蓋体５２の周側部５２ｂの内方側には、周側部５２ｂと共働して排気通路７６を構成する排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に配設され（【００７４】）、
ｊ　前記排気分散リング７７は、上下に対峙する上部片７７ａと下部片７７ｂと、上部片７７ａと下部片７７ｂの処理室側端部を連結する鉛直片７７ｃとを有する断面略コ字状に形成され、上部片７７ａ及び下部片７７ｂには、互いにずれた位置に複数の通気孔７８ａ，７８ｂが形成され（【００７６】）、
ｋ　前記供給口６２から処理室５３内に供給されたガスは、分散ノズル７３によって放射方向に分流された後、第１の整流板７４，第２の整流板７５を通過して、気流の方向が蓋体５２の周側部５２ｂ側に向けられ、第２の整流板７５を通過したガスは、ウエハＷ表面に達することなく、周側部５２ｂと排気分散リング７７とで構成された排気通路７６を通って排気口６３から排気管６４内に流れ、排気管６４に設けられた排出口６５を介して排出管路６６から排気され、ガス中の昇華物等の不純物の一部は、排気通路７６を通過する際に排気分散リング７７に付着し、排気口６３から排気されたガスは、排気管６４を通過する際に、ガス中の昇華物等の不純物の一部が排気管６４の内側表面に付着されると共に、不純物回収部８２を通過して不純物が回収されてから、排出口６５に接続する排出管路６６を介して外部に排気され（【００８６】）、
ｌ　前記排気通路７６は、第１及び第２の整流板７４，７５を円形に囲み、排気通路７６は処理室５３から見て排気分散リング７７の下部片７７ｂの背後に設けられている（上記「（１）」「イ」）、
ｍ　熱処理装置（【０００１】）。」
　
４．対比・判断
４−１．本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明とを対比する。
ア　引用発明の「ウエハＷ」及び「熱処理装置５０」は、本願発明１の「ウエハ（１４）」及び「ベーキングデバイス（１０）」（構成Ｈ）にそれぞれ相当する。
　また、「レジスト」が溶媒を含むことは本願優先日当時周知の事項であるから、引用発明の「レジスト塗布されたウエハＷ」は、本願発明１の「溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）」に相当する。
　したがって、引用発明の「レジスト塗布されたウエハＷをプリベーク処理する加熱装置に適用した熱処理装置５０」（構成ａ）は、本願発明１の「溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）のためのベーキングデバイス（１０）」（構成Ａ）に相当する。
イ（ア）引用発明の「熱処理装置５０」は、「ケーシング５１内に、上下動自在な蓋体５２と、蓋体５２の下側に位置し、蓋体５２と共働して処理室５３を構成するサポートリング５４を備え」（構成ｂ）るものであるから、当該「ケーシング５１」は、本願発明１の「ベーキングチャンバ（１６）」に相当する。
（イ）また、引用発明の「上下面が開口した略円筒状の形態を有し、その内側に熱処理板としての加熱プレート５５を収容し、その上面に被処理基板であるウエハＷを載置し加熱するものであ」る「サポートリング５４」（構成ｃ）は、本願発明１の「ウエハ（１４）のためのサポート（１２）」に相当する。
（ウ）さらに、引用発明において、「前記蓋体５２における供給口６２部には、供給口６２を介して処理室５３内に供給されるガスを放射方向に分流する分散ノズル７３が配設されており、この分散ノズル７３の下方と加熱プレート５５との間には、多数の通気孔を設けた円形状の２つの第１及び第２の整流板７４，７５が上下に並設され」（構成ｉ）ているから、引用発明の「多数の通気孔」は、加熱プレート５５上のウエハＷの上の蓋体５２に並設された「第１及び第２の整流板７４，７５」に設けられているといえる。
　そうすると、引用発明の「パージ用ガス」及び「多数の通気孔」は、本願発明１の「パージガス」及び「導入口（３０）」にそれぞれ相当し、引用発明の「第１及び第２の整流板７４，７５」に設けた「多数の通気孔」は、本願発明１の「パージガスのための導入口（３０）」に相当する。
（エ）そして、引用発明の「ガス中の昇華物等の不純物」には、レジストから昇華した溶媒が含まれることは本願優先日当時周知の事項である。
　したがって、引用発明の当該ガスは、本願発明１の「コーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガス」に相当する。
　よって、引用発明の「周側部５２ｂと排気分散リング７７とで構成された排気通路７６」は、本願発明１の「コーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）」に相当する。
（オ）以上（ア）ないし（エ）によれば、引用発明の「熱処理装置５０」が、構成ｂ、ｃ及びｉの構成を有することは、本願発明１の「ベーキングデバイス（１０）」が、「ベーキングチャンバ（１６）、ウエハ（１４）のためのサポート（１２）、パージガスのための導入口（３０）、およびコーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）を有」（構成Ｂ）することに相当する。
ウ　引用発明の「前記蓋体５２における供給口６２部には、供給口６２を介して処理室５３内に供給されるガスを放射方向に分流する分散ノズル７３が配設されており、この分散ノズル７３の下方と加熱プレート５５との間には、多数の通気孔を設けた円形状の２つの第１及び第２の整流板７４，７５が上下に並設され」ている「第１及び第２の整流板７４，７５」（構成ｉ）は、ガスを放射方向に分流した後、整流するものであるから、ガスを拡散する機能を有する要素であると認められる。
　したがって、引用発明の「第１及び第２の整流板７４，７５」は、本願発明１の「拡散要素（３０）」に相当する。
　さらに、引用発明の「パージ用ガス」は、「分散ノズル７３によって放射方向に分流された後、第１の整流板７４，第２の整流板７５を通過して、気流の方向が蓋体５２の周側部５２ｂ側に向けられ、第２の整流板７５を通過したガスは、ウエハＷ表面に達することなく、周側部５２ｂと排気分散リング７７とで構成された排気通路７６を通って排気口６３から排気管６４内に流れ」（構成ｋ）るものであって、「ウエハＷ表面に達することなく」とされているものの、「パージ用ガス」の機能からいえば、ウエハＷ表面の上の領域まで供給されていることは明らかであるから、「パージ用ガス」はウエハＷ表面の上に供給しているといえる。
　以上によれば、引用発明の上記構成ｉ及びｋに係る「第１及び第２の整流板７４，７５」に設けた「多数の通気孔」は、本願発明１の「ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、実質的にウエハ（１４）の表面全体の上にパージガスを均一に供給し」ている「導入口」（構成Ｃ）と、「ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、ウエハ（１４）の表面の上にパージガスを供給し」ている「導入口」（以下「構成Ｃ´」という。）の点で一致する。
エ　引用発明の「蓋体５２」は、本願発明１の「天井（２２）」に相当するから、引用発明の「第１及び第２の整流板７４，７５を円形に囲み、排気通路７６は処理室５３から見て排気分散リング７７の下部片７７ｂの背後に設けられている」「排気通路７６」（構成ｌ）は、本願発明１の「拡散要素（３０）を半径方向に囲み、ベーキングチャンバ（１６）の天井（２２）に配置された排気リング（４０）として形成され」ている「排気」（構成Ｄ）に相当する。
オ　引用発明において、「蓋体５２の周側部５２ｂの内方側には、周側部５２ｂと共働して排気通路７６を構成する排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に配設され」（構成ｉ）、「前記排気分散リング７７は、上下に対峙する上部片７７ａと下部片７７ｂと、上部片７７ａと下部片７７ｂの処理室側端部を連結する鉛直片７７ｃとを有する断面略コ字状に形成され」（構成ｊ）ていることから、「排気通路７６」は、「排気分散リング７７」の「下部片７７ｂ」の背後に形成されており、円形状であるといえる。
　したがって、引用発明の上記構成ｉ及びｊの構成を備える「排気通路７６」は、本願発明１の「環状」であって「排気リング（４０）の背後に形成され」ている「排気チャネル（４２）」（構成Ｅ）に相当する。
カ（ア）引用発明において「排気管６４は、排気口６３の２箇所にそれぞれシール部材であるＯリング６７ａを介して連通する２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとを具備する略Ｈ字状に形成されており、連結管体６４ｂの中間部に排出口６５が設けられ」（構成ｆ）ているから、引用発明の「２個の排気管体６４ａ」は、本願発明１の「均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された」「複数の排出チャネル（４４）」と、「分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された」「複数の排出チャネル（４４）」の点で一致する。
（イ）引用発明の「第２の整流板７５を通過したガス」は、「排気通路７６を通って排気口６３から排気管６４内に流れ、排気管６４に設けられた排出口６５を介して排出管路６６から排気され」（構成ｋ）るから、引用発明の「排気通路７６」は、「排気口６３」を介して「排気管６４」に接続され、さらには、「排気管６４に設けられた排出口６５を介して排出管路６６」に接続されているといえる。
　したがって、引用発明の「排気口６３」、「排気管６４」、「排出口６５」、「排出管路６６」と接続されている構成は、本願発明１の「排出システム」に相当する。
（ウ）したがって、引用発明における、「排気口６３」を介して「排気管６４」に接続し、さらには、「排出口６５を介して排出管路６６」に接続している構成、及び、「排気管６４は、排気口６３の２箇所にそれぞれシール部材であるＯリング６７ａを介して連通する２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとを具備する略Ｈ字状に形成されており、連結管体６４ｂの中間部に排出口６５が設けられ」ている「２個の排気管体６４ａ」を含む構成は、本願発明１の「放出システムは、排気チャネルを排出システムに接続し」、「均等に分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）を含」（構成Ｆ）むことと、「放出システムは、排気チャネルを排出システムに接続し」、「分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）を含」（構成Ｆ´）む点で一致する。
キ（ア）引用発明の「蓋体５２」は、「熱処理装置５０」の「ケーシング５１内に、上下動自在な蓋体５２と、蓋体５２の下側に位置し、蓋体５２と共働して処理室５３を構成するサポートリング５４を備え」（構成ｂ）るから「ケーシング５１」の天井を形成するといえる。
　したがって、引用発明の「蓋体５２」が構成ｂの構成を備えることは、本願発明１の「天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成」することに相当する。
（イ）引用発明の「蓋体５２」は、「蓋体５２における供給口６２部には、供給口６２を介して処理室５３内に供給されるガスを放射方向に分流する分散ノズル７３が配設されており、この分散ノズル７３の下方と加熱プレート５５との間には、多数の通気孔を設けた円形状の２つの第１及び第２の整流板７４，７５が上下に並設され、蓋体５２の周側部５２ｂの内方側には、周側部５２ｂと共働して排気通路７６を構成する排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に配設され」（構成ｉ）るから、本願発明１の「天井要素は、」「拡散要素を中央に含む」との構成を有する。
（ウ）以上（ア）及び（イ）によれば、引用発明の「蓋体５２」が上記構成ｂ、ｉの構成を備えることは、本願発明１の「排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され、天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成し、拡散要素を中央に含む」（構成Ｇ）ことと、「天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成し、拡散要素を中央に含む」（構成Ｇ´）ことの点で一致する。
ク　以上アないしキによれば、本願発明１と引用発明は、下記〈一致点〉で一致するとともに、下記〈相違点１〉〜〈相違点３〉で相違する。
〈一致点〉
「Ａ　溶媒を含むコーティング（１５）でコーティングされたウエハ（１４）のためのベーキングデバイス（１０）であって、
Ｂ　ベーキングチャンバ（１６）、ウエハ（１４）のためのサポート（１２）、パージガスのための導入口（３０）、およびコーティング（１５）から蒸発した溶媒が加えられたパージガスのための排気（４０）を有し、
Ｃ´　導入口は、ウエハ（１４）の上方に配置された拡散要素（３０）として形成されて、ウエハ（１４）の表面の上にパージガスを供給し、
Ｄ　排気は、拡散要素（３０）を半径方向に囲み、ベーキングチャンバ（１６）の天井（２２）に配置された排気リング（４０）として形成され、
Ｅ　環状の排気チャネル（４２）は、排気リング（４０）の背後に形成され、
Ｆ´　放出システムは、排気チャネルを排出システムに接続し、放出システムは、分布した位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続された複数の排出チャネル（４４）を含み、
Ｇ´　天井要素は、ベーキングチャンバの天井を形成し、拡散要素を中央に含む
Ｈ　ベーキングデバイス。」
〈相違点１〉
　パージガスの供給について、本願発明１は「実質的にウエハ（１４）の表面全体の上に」「均一に供給」するのに対して、引用発明は、「ガスは、ウエハＷ表面に達することなく、周側部５２ｂと排気分散リング７７とで構成された排気通路７６を通って排気口６３から排気管６４内に流れ」と特定されるにとどまる点。
〈相違点２〉
　放出システムが、本願発明１は、「均等に分布した」位置（４８）で排気チャネル（４２）に接続されるのに対して、引用発明はこのように特定されない点。
〈相違点３〉
　「排気チャネルと排出チャネル」について、本願発明１は、「天井要素と一体化され」ているのに対して、引用発明は、「排気通路７６」と「排気管体６４ａ」について、それぞれ「周側部５２ｂと共働して排気通路７６を構成する排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に配設され」るものであり、「排気管６４の略中心部に位置する連結管体６４ｂの中心部の一側上端部に設けられた取付部材６９の取付孔６９ａを貫挿する固定ボルト７０を蓋体５２に設けられたナット７１に締結固着することによって、排気口６３と排気管６４に設けられた連通孔６４ｄとが気密に連通され、排気管６４は、２個の排気管体６４ａと、両排気管体６４ａを連通する連結管体６４ｂとからなる略Ｈ字状に形成されている」ものである点。
（２）判断
　事案に鑑みて、相違点３から検討する。
ア　本願発明１は、「排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され」ることを発明特定事項とするところ、当該「天井要素と一体化され」との表現に関して、本願の発明の詳細な説明には、
「【００４５】
　更に、ベーキングチャンバ１６の天井２２を形成する天井要素５０の上面図を示す図４から分かるように、排気チャネル４２と排出チャネル４４は、拡散要素３０を中央に含む天井要素５０と一体化される。排出チャネル４４は、ベーキングチャンバ１６とは反対方向に面する側の上の拡散要素３０の「上方」に配置される。
【００４６】
　排出チャネル４４の特別な形状は、２つの目的を有する。１つは、放出ユニット４６の吸引効果が、一様な方法で排気チャネル４２中に配置されるように形成されることである。これは、排気チャネルが排気チャネル４２に接続された場所４８の間の排出チャネルの長さ、および放出ユニット４６に向かう接続の長さが均一であることを必要とする。他は、放出ユニット４６に向かう接続が、必要な場所に便利に配置されて、ベーキングデバイスの全体のレイアウトの大きな変更の必要無しに、天井要素５０に対して、従来技術の設計を有する天井要素で天井要素を置き換えられるようにすることである。」と記載されている。また、図２、４は下記のものである。
【図２】
【図４】
イ　図２、４から、天井要素５０の一部は板状の部材であり、当該板状の部材の上側には排出チャネル４４として溝状部が形成され、下側には排気チャネル４２として円形の溝状部が形成されていることが見てとれる。
ウ　上記アによれば「図４から分かるように」とされていることから、「排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され」ているとの発明特定事項は、一部が板状の部材である「天井要素５０」、「当該板状の天井要素５０の下側に円形の溝状部として形成されている排気チャネル４２」、及び「当該板状の天井要素５０の上側に溝状部として形成されている排出チャネル４４」の関係を特定しているといえ、当該「天井要素と一体化」とは、「天井要素に溝状部を形成する」ような一体化を意味していると解することができる。
　そして、「一体化」に関して「一体」が一般的に「［名］一つになって分けられない関係にあること「−化」」（広辞苑第五版）との意味で用いられていることを参酌しても、上記のような解釈をすることに格別の齟齬はなく整合している。
　したがって、「排気チャネルと排出チャネルは、天井要素と一体化され」ているとの発明特定事項は、引用発明における「排気チャネルと排出チャネルを天井要素に着脱可能に配設する」といった各部材を着脱可能とする態様を想定していないというべきである。
　
エ　次に、引用発明の「排気通路７６」と「排気管体６４ａ」を「蓋体５２」と一体化することが、引用発明及び周知技術から容易に想到し得たことであるか検討する。
　引用発明が、「排気通路７６を構成する排気分散リング７７」と「排気管体６４ａ」が「蓋体５２」に着脱可能に構成されるものであることは、引用文献１において、
「【請求項１】
　処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
　上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
　上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する複数の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する
排気管を、蓋体に対して着脱可能に装着してなる
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項２】
　処理室内で被処理基板を熱処理する熱処理装置であって、
　上記被処理基板を載置して熱処理する熱処理板と、この熱処理板を上方から覆い、上記処理室の一部を構成する蓋体と、を具備し、
　上記蓋体は、上面部と、この上面部の周端部に垂設される周側部とを具備し、上面部には、処理室内に気体を供給する供給口が設けられ、上面部の側部には、上記処理室内の気体を排気する複数の排気口が設けられ、かつ、上記各排気口に連通すると共に、各排気口と略等距離の部位に排出口を有する排気管を、蓋体に対して着脱可能に装着し、
　上記蓋体の周側部の内方側に、周側部と共働して排気通路を構成し、かつ、
複数の通気孔を有する排気分散リングを、蓋体に対して着脱可能に配設してなる
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項３】
　請求項１又は２記載の熱処理装置において、
　上記蓋体の上面部に、互いに等間隔の４個の排気口を設け、
上記排気管は、上記排気口の２箇所にそれぞれシール部材を介して連通する２個の排気管体と、両排気管体を連通する連結管体とを具備し、かつ、連結管体に排出口を設けた、
ことを特徴とする熱処理装置。
【請求項４】
　請求項３記載の熱処理装置において、
　
上記排気管体に対して連結管体を着脱可能に形成してなる
【請求項５】
　請求項１ないし４のいずれかに記載の熱処理装置において、
　上記排気管の略中心部に、取付孔を有する取付部材を突設し、この取付部材の取付孔を貫挿する固定部材を、上記蓋体の上面部に設けられた取付受け部に着脱可能に固着してなる、ことを特徴とする熱処理装置。」（上記「３．」「（１）」「ア」「（ア）」）と記載されており、また、「発明が解決しようとする課題」として「【０００５】しかしながら、特開２００３−３１８０９１号公報記載の技術においては、上記昇華物等の不純物の発生が多い場合には、短期間に排気管が目詰まりを生じてしまい、そのためにメンテナンスを頻繁に行わなければならないという問題があった。また、排気用整流板にも不純物が付着するが、排気用整流板は排気圧力を圧損させるために複数設けられるので、クリーニングやメンテナンス作業が面倒であるという問題もあった。【０００６】この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、熱処理により発生する昇華物等の不純物による目詰まりに対するメンテナンス作業を容易に行えるようにした熱処理装置を提供することを目的とする。」と記載されていることから、排気管６４及び排気分散リング７７を蓋体５２に対して着脱可能に形成することは、課題解決のために必要な構成であることは明らかである。
　そうすると、引用発明は「排気管６４及び排気分散リング７７が蓋体５２に対して着脱可能に形成され」ることで、「取り外してクリーニングすることができ」、「メンテナンスをより簡単にすることができる」ことが必須の要件であり、仮に、部材を一体化することが周知技術であったとしても、そのような周知技術を採用すると「取り外してクリーニングすることができ」なくなり、「メンテナンスをより簡単にすることができ」なくなることから、周知技術を適用することに阻害要因があるというべきであり、引用発明において、上記相違点３の構成となすことは容易に想到し得たことではない。
　また、引用文献２、３の記載を踏まえても、上記阻害要因を解消することとはならない。
エ　よって、相違点１及び２を検討するまでもなく、本願発明１は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものではない。
４−２　本願発明２〜９について
　本願発明２ないし９は本願発明１を減縮した発明であるから、本願発明１と同じ理由により、本願発明２ないし９は、引用発明に基づいて、当業者が容易に発明できたものではない。
第６　むすび
　以上のとおり、本願発明１及び２は、当業者が引用発明に基づいて容易に発明できたものではない。
　また、本願発明３ないし６は、当業者が引用発明及び引用文献２の記載に基づいて容易に発明できたものではない。
　さらに、本願発明７ないし９は、当業者が引用発明及び引用文献２、３の記載に基づいて容易に発明できたものではない。
　したがって、原査定の理由によっては、本願を拒絶することはできない。
　また、他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって、結論のとおり審決する。