【手続補正書】
【提出日】平成31年4月18日(2019.4.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板上の未硬化の樹脂と部材とを互いに接触させた状態で前記樹脂を硬化させる装置であって、
前記樹脂の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、
前記複数の吐出部から前記基板に前記液滴を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれから前記液滴が吐出された累積回数を含む吐出情報に基づいて、それぞれの前記吐出部から吐出される前記液滴の量が目標量となるように、前記複数の吐出部のそれぞれに設けられた前記液滴を吐出させる制御素子に印加する信号を制御する、ことを特徴とする装置。
【請求項２】
前記制御部は、所定の値の前記信号を前記制御素子に印加したときにおける前記吐出部から吐出される前記液滴の量と前記累積回数との関係に基づいて、前記吐出部から吐出される前記液滴の量が目標量となるように、前記制御素子に前記液滴を吐出させる信号を印加する、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記制御部は、前記累積回数に基づいて、前記複数の吐出部から前記基板上に前記液滴を吐出するために使用する吐出部を決定する、ことを特徴とする請求項１又は２に記載の装置。
【請求項４】
前記制御部は、前記累積回数を含む前記吐出情報に基づいて、前記複数の吐出部のうち前記累積回数の少ない吐出部が優先的に使用されるように、前記基板上に前記液滴を吐出するために使用する吐出部を決定する、ことを特徴とする請求項３に記載の装置。
【請求項５】
前記制御部は、前記基板上のショット領域に前記液滴を吐出するために使用する吐出部を、前記累積回数を含む前記吐出情報に基づいて、ショット領域ごとまたは基板ごとに決定する、ことを特徴とする請求項１乃至４のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記基板上に前記液滴を吐出するために使用する前記複数の吐出部のうち前記累積回数の少ない吐出部が優先的に使用されるように、前記基板上に供給すべき前記液滴の配置パターンを決定する、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記基板上に前記液滴を吐出するために使用する前記複数の吐出部のうち前記累積回数の少ない吐出部が優先的に使用されるように、複数種類の前記液滴の配置パターンの中から、前記基板上に供給すべき前記液滴の配置パターンを選択する、ことを特徴とする請求項１乃至５のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項８】
前記制御部は、前記累積回数を含む前記吐出情報に基づいて、前記複数の吐出部から、前記基板上に前記液滴を吐出するために使用する吐出部の領域を決定する、ことを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項９】
前記制御部は、前記累積回数と、所定の値の前記信号を前記制御素子に印加したときにおける前記液滴の吐出量との関係を用いて、前記制御素子に供給する前記信号の大きさを決定する、ことを特徴とする請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１０】
前記制御部は、前記複数の吐出部の各々についての前記累積回数をカウントする、ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１１】
前記制御部によってカウントされた前記累積回数を表示する表示部を更に含む、ことを特徴とする請求項１０に記載の装置。
【請求項１２】
基板上の未硬化の樹脂と部材とを互いに接触させた状態で前記樹脂を硬化させる装置であって、
前記樹脂の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、
前記複数の吐出部から前記基板上に前記液滴を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれに対して設けられた制御素子に印加された駆動電圧および当該駆動電圧が前記制御素子に印加された累積時間を示す情報に基づいて、前記液滴を前記基板上に供給するために使用する吐出部を決定する、ことを特徴とする装置。
【請求項１３】
前記制御部は、前記樹脂を前記基板上のショット領域に吐出するために使用する吐出部の前記吐出手段における位置に応じて、前記樹脂を前記ショット領域上に吐出している間における、複数の前記吐出部が配列された方向に沿った方向に関する前記吐出手段と前記ショット領域との相対的な位置関係を変更する、ことを特徴とする請求項１乃至１２のうちいずれか１項に記載の装置。
【請求項１４】
基板上の未硬化の樹脂と部材とを互いに接触させた状態で前記樹脂を硬化させる装置であって、
前記樹脂の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、
前記複数の吐出部から前記基板上に前記液滴を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれから前記液滴が吐出された累積回数を含む吐出情報に基づいて、前記基板上に供給すべき前記液滴の配置パターンを決める、ことを特徴とする装置。
【請求項１５】
前記制御部は、前記吐出情報に基づいて、複数種類の前記液滴の配置パターンから一つの配置パターンを選択することによって、前記基板上に供給すべき前記液滴の配置パターンを決める、ことを特徴とする請求項１４に記載の装置。
【請求項１６】
請求項１乃至１５のうちいずれか１項に記載の装置を用いて、基板上に硬化した樹脂のパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。
【請求項１７】
基板上の未硬化のインプリント材と型とを互いに接触させた状態で前記インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記インプリント材の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、
前記複数の吐出部から前記基板に前記液滴を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれから前記液滴が吐出された累積回数を含む吐出情報に基づいて、前記吐出部から吐出される前記液滴の量が目標量となるように、前記複数の吐出部のそれぞれに設けられた前記液滴を吐出させる制御素子に印加する信号を制御する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１８】
基板上の未硬化のインプリント材と型とを互いに接触させた状態で前記インプリント材を硬化させるインプリント装置であって、
前記インプリント材の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、
前記複数の吐出部から前記基板上にインプリント材を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれから前記液滴が吐出された累積回数を含む吐出情報に基づいて、前記基板上に供給すべき前記液滴の配置パターンを決める、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項１９】
モールドを用いて基板のショット領域上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を液滴としてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記複数の吐出口から前記ショット領域上に前記インプリント材を供給するために前記供給部を制御する制御部と、
を含み、
前記複数の吐出口の各々には、第１値を有する信号値に応じて目標量の前記インプリント材が吐出されるように、供給された信号値に応じて液滴として吐出される前記インプリント材の量を制御する制御素子が設けられ、
前記制御部は、
前記複数の吐出口の各々について前記インプリント材が液滴として吐出された累積回数を示す吐出履歴情報に基づいて、前記複数の吐出口のうち他の吐出口と比べて前記累積回数が少ない吐出口が優先的に使用されるように、前記ショット領域に前記インプリント材を供給するために使用する吐出口を前記複数の吐出口から選択し、
液滴として吐出される前記インプリント材の量を前記目標量で維持するように、前記吐出履歴情報の前記累積回数に応じて、前記選択された各吐出口の前記制御素子に供給すべき信号値を調整し、
前記調整した信号値は、前記第１値とは異なる信号値である、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２０】
モールドを用いて基板のショット領域上にインプリント材のパターンを形成するインプリント装置であって、
前記インプリント材を液滴としてそれぞれ吐出する複数の吐出口を有し、前記基板上に前記インプリント材を供給する供給部と、
前記複数の吐出口から前記ショット領域上に前記インプリント材を供給するために前記供給部を制御する制御部と、
を含み、
前記複数の吐出口の各々には、供給された信号値に応じて液滴として吐出される前記インプリント材の量を制御する制御素子が設けられ、
前記制御部は、
各吐出口に印加された駆動電圧および前記駆動電圧が印加された累積時間を示す情報に基づいて、前記複数の吐出口の各々における前記制御素子の特性劣化を推定し、
前記推定された特性劣化が他の吐出口に比べて小さい吐出口が優先的に使用されるように、前記ショット領域に前記インプリント材を供給するために使用する吐出口を前記複数の吐出口から選択する、ことを特徴とするインプリント装置。
【請求項２１】
請求項１７乃至２０のうちいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて、基板上に硬化したインプリント材のパターンを形成する工程と、
前記工程でパターンが形成された前記基板を加工する工程と、
を含む、ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の一側面としての装置は、基板上の未硬化の樹脂と部材とを互いに接触させた状態で前記樹脂を硬化させる装置であって、前記樹脂の液滴を吐出する吐出部を複数有する吐出手段と、前記複数の吐出部から前記基板に前記液滴を吐出するために前記吐出手段を制御する制御部と、を含み、前記制御部は、前記複数の吐出部のそれぞれから前記液滴が吐出された累積回数を含む吐出情報に基づいて、それぞれの前記吐出部から吐出される前記液滴の量が目標量となるように、前記複数の吐出部のそれぞれに設けられた前記液滴を吐出させる制御素子に印加する信号を制御する、ことを特徴とする。