【手続補正書】
【提出日】令和1年11月15日(2019.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板を押圧するための複数の圧力室を形成する弾性膜と、
前記弾性膜が連結されるヘッド本体と、を備え、
前記弾性膜は、
前記基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、
前記当接部の周端部から上方に延びるエッジ周壁と、
前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から上方に延びる複数の内部周壁を備えており、
前記複数の内部周壁のうちの少なくとも２つの隣接する内部周壁は、径方向内側に傾斜した傾斜周壁であり、
前記傾斜周壁は、その下端から上端までの全体において径方向内側に傾斜しつつ、上方に延びていることを特徴とする基板保持装置。
【請求項２】
前記傾斜周壁は、互いに略平行に延びていることを特徴とする請求項１に記載の基板保持装置。
【請求項３】
前記傾斜周壁は、前記エッジ周壁に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の基板保持装置。
【請求項４】
前記ヘッド本体は、前記弾性膜が連結される少なくとも１つの連結リングを備え、
前記連結リングは、リング垂直部と、該リング垂直部から径方向外側に傾斜しつつ下方に延びるリング傾斜部とを有し、
前記リング傾斜部は、前記傾斜周壁の変形を制限する内周面および外周面を有することを特徴とする請求項１乃至３のいずれか一項に記載の基板保持装置。
【請求項５】
前記リング傾斜部の先端は、前記傾斜周壁の中間点よりも下方に位置していることを特徴とする請求項４に記載の基板保持装置。
【請求項６】
前記リング傾斜部の外周面には、該外周面の全周にわたって延びるシール溝が形成されており、
前記傾斜周壁の上端は、前記シール溝に嵌め込まれるシール突起から構成されており、
前記シール突起を前記シール溝に押し付けることによって、前記連結リングと前記傾斜周壁との間の隙間がシールされることを特徴とする請求項４または５に記載の基板保持装置。
【請求項７】
２つの前記傾斜周壁を３つの前記連結リングに同時に連結する固定具をさらに備え、
前記固定具は、固定具本体と該固定具本体の外側に突出する楕円形状のつばとを有し、
前記３つの連結リングは、内側連結リングと、外側連結リングと、前記内側連結リングと前記外側連結リングとに挟まれることで該内側連結リングと外側連結リングに保持される中間連結リングであり、
前記内側連結リングのリング垂直部と前記外側連結リングのリング垂直部には、前記つばが係合可能な内側係合溝と外側係合溝がそれぞれ形成されることを特徴とする請求項６に記載の基板保持装置。
【請求項８】
前記内側連結リング、前記外側連結リング、および前記中間連結リングの間の相対位置を固定するための位置決め機構をさらに備えることを特徴とする請求項７に記載の基板保持装置。
【請求項９】
前記位置決め機構は、
棒状部材と、
前記内側連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第１挿入孔と、
前記中間連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第２挿入孔と、
前記外側連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第３挿入孔とによって構成されることを特徴とする請求項８に記載の基板保持装置。
【請求項１０】
前記位置決め機構は、
前記中間連結リングのリング垂直部の内周面または前記内側連結リングのリング垂直部の外周面から突出する第１係合突起と、
前記第１係合突起と係合可能であり、前記内側連結リングのリング垂直部の外周面または前記中間連結リングのリング垂直部の内周面に形成される第１係合凹部と、
前記中間連結リングのリング垂直部の外周面または前記外側連結リングのリング垂直部の内周面から突出する第２係合突起と、
前記第２係合突起と係合可能であり、前記外側連結リングのリング垂直部の内周面または前記中間連結リングのリング垂直部の外周面に形成される第２係合凹部とによって構成されることを特徴とする請求項８に記載の基板保持装置。
【請求項１１】
前記第１係合突起および前記第２係合突起は、前記中間連結リングのリング垂直部の内周面および外周面にそれぞれ形成され、
前記第１係合凹部は、前記内側連結リングのリング垂直部の外周面に形成され、
前記第２係合凹部は、前記外側連結リングのリング垂直部の内周面に形成されていることを特徴とする請求項１０に記載の基板保持装置。
【請求項１２】
前記位置決め機構は、
前記ヘッド本体の下面に固定され、上端部に形成されたフランジ部と、下端部に形成された係合突起とを有する位置合わせ部材と、
前記内側連結リングのリング垂直部の外周面に形成され、前記フランジ部が係合する内側段差部と、
前記外側連結リングのリング垂直部の内周面に形成され、前記フランジ部が係合する外側段差部と、
前記中間連結リングのリング垂直部の上面に形成され、前記係合突起が係合する係合凹部と、によって構成されることを特徴とする請求項８に記載の基板保持装置。
【請求項１３】
基板保持装置に用いられる弾性膜であって、
基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、
前記当接部の周端部から上方に延びるエッジ周壁と、
前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から上方に延びる複数の内部周壁を備えており、
前記複数の内部周壁のうちの少なくとも２つの隣接する内部周壁は、径方向内側に傾斜した傾斜周壁であり、
前記傾斜周壁は、その下端から上端までの全体において径方向内側に傾斜しつつ、上方に延びていることを特徴とする弾性膜。
【請求項１４】
前記傾斜周壁は、互いに略平行に延びていることを特徴とする請求項１３に記載の弾性膜。
【請求項１５】
前記傾斜周壁は、前記エッジ周壁に隣接して配置されていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の弾性膜。
【請求項１６】
研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドに押し付けるための基板保持装置と、を備えた研磨装置であって、
前記基板保持装置は、基板を押圧するための複数の圧力室を形成する弾性膜と、前記弾性膜が連結されるヘッド本体と、を備え、
前記弾性膜は、
前記基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、
前記当接部の周端部から上方に延びるエッジ周壁と、
前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から上方に延びる複数の内部周壁を備えており、
前記複数の内部周壁のうちの少なくとも２つの隣接する内部周壁は、径方向内側に傾斜した傾斜周壁であり、
前記傾斜周壁は、その下端から上端までの全体において径方向内側に傾斜しつつ、上方に延びていることを特徴とする研磨装置。
【請求項１７】
前記傾斜周壁は、互いに略平行に延びていることを特徴とする請求項１６に記載の研磨装置。
【請求項１８】
基板保持装置のヘッド本体に固定され、基板を押圧するための複数の圧力室を形成する弾性膜を交換する方法であって、
前記弾性膜は、
前記基板に当接して該基板を研磨パッドに押圧する当接部と、前記当接部の周端部から上方に延びるエッジ周壁と、前記エッジ周壁の径方向内側に配置され、前記当接部から上方に延びる複数の内部周壁を備えており、前記複数の内部周壁のうちの少なくとも２つの隣接する内部周壁は、径方向内側に傾斜した傾斜周壁であり、前記傾斜周壁は、その下端から上端までの全体において径方向内側に傾斜しつつ、上方に延びており、
前記ヘッド本体は、
前記弾性膜が連結される少なくとも３つの連結リングを備え、前記少なくとも２つの傾斜周壁は、固定具によって前記少なくとも３つの連結リングに連結されており、
前記固定具は、
固定具本体と、
前記固定具本体から突出し、前記少なくとも３つの連結リングのうちの内側連結リングと外側連結リングに係合可能なつばと、を有しており、
前記つばと前記内側連結リングと外側連結リングとの係合を解除し、
前記少なくとも３つの連結リングから弾性膜を取り外し、
新たな弾性膜を用意し、
前記新たな弾性膜の少なくとも２つの傾斜周壁を、前記少なくとも３つの連結リングに保持させ、
前記固定具のつばを、前記内側連結リングと外側連結リングに係合させて、前記新たな弾性膜を前記ヘッド本体に固定することを特徴とする方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
図２２は、従来の弾性膜の一例を示す断面図である。図２２に示されるように、従来の弾性膜１３０は、基板に接触する円形の当接部１１１と、当接部１１１に直接または間接に接続される複数の（図２２では、８つの）周壁１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃ，１３０ｄ，１３０ｅ，１３０ｆ，１３０ｇ，１３０ｈを有している。周壁１３０ａ〜１３０ｈの上端は、４つの保持リング１２５，１２６，１２７，１２８によってヘッド本体１０２の下面に取り付けられている。周壁１３０ａ〜１３０ｈによって、複数の圧力室（すなわち、中央に位置する円形状の中央圧力室１３６ａ、最外周に位置する環状のエッジ圧力室１３６ｇ，１３６ｈ、および中央圧力室１３６ａとエッジ圧力室１３６ｇ，１３６ｈとの間に位置する環状の中間圧力室１３６ｂ，１３６ｃ，１３６ｄ，１３６ｅ，１３６ｆ）が形成されている。周壁１３０ｈは、最も外側の周壁であり、エッジ周壁１３０ｈと称される。周壁１３０ａ〜１３０ｇは、エッジ周壁１３０ｈの径方向内側に配置されており、内部周壁１３０ａ〜１３０ｇと称される。各圧力室に供給される流体の圧力をそれぞれ調整することにより、基板に加えられる押圧力を基板の領域毎に調整できる。したがって、基板全面にわたって精密な研磨プロファイルを調整することができるので、基板全面を均一に研磨することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
しかしながら、従来の弾性膜の内部周壁は、径方向内側に傾斜する傾斜部と、傾斜部に接続される水平部とを有している。例えば、図２２に示される弾性膜１３０の内部周壁１３０ａ〜１３０ｆは、それぞれ、当接部１１１から径方向内側に傾斜する傾斜部１２０ａ〜１２０ｆと、該傾斜部１２０ａ〜１２０ｆから水平に伸びる水平部１２１ａ〜１２１ｆを有している。内部周壁１３０ｇは、エッジ周壁１３０ｈから水平に伸びる水平部１２１ｇと、水平部１２１ｇに接続される傾斜部１２０ｇとを有している。このような傾斜部と水平部とを有する内部周壁１３０ａ〜１３０ｇとエッジ周壁１３０ｈとによって複数の圧力室１３６ａ〜１３６ｈを形成する場合、隣接する圧力室にそれぞれ供給される流体の圧力差によって、内部周壁１３０ａ〜１３０ｇが変形する。例えば、圧力室１３６ｅに供給される流体の圧力が圧力室１３６ｄに供給される流体の圧力よりも大きい場合は、内部周壁１３０ｄは当接部１１１に向かって膨らむ。圧力室１３６ｅ内の流体の圧力と圧力室１３６ｄ内の流体の圧力との差がある程度大きくなると、内部周壁１３０ｄの水平部１２１ｄが当接部１１１に接触してしまう。この場合、内部周壁１３０ｄの水平部１２１ｄが当接部１１１を基板に押し付けるので、水平部１２１ｄと当接部１１１の接触部分の研磨レートが上昇してしまう。したがって、従来の基板保持装置では、隣接する圧力室にそれぞれ供給される流体の圧力差に許容値が設定されており、研磨プロファイルを精密に調整することに一定の限界があった。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
さらに、近年、基板の研磨プロファイル、特に、基板の周縁部の研磨プロファイルを精密に調整することが可能な研磨装置が求められている。そのため、図２２に示すように、弾性膜１３０の周縁部の内部周壁間の間隔を弾性膜１３０の中央部の周壁間の間隔よりも小さくして、基板の径方向外側に配置される圧力室の幅を小さくしている。例えば、内部周壁１３０ｆと内部周壁１３０ｇとの間の間隔は、内部周壁１３０ｃと内部周壁１３０ｄとの間の間隔よりも小さいので、径方向における圧力室１３６ｇの幅は圧力室１３６ｄの幅よりも小さい。傾斜部と水平部とを有する周壁によって形成される圧力室の幅をさらに小さくしようとすると、図２２の内部周壁１３０ｆおよび内部周壁１３０ｇに示されるように、周壁を鉛直方向に並べて配置する必要がある。この場合、圧力室１３６ｈ内の流体の圧力と圧力室１３６ｇ内の流体の圧力との間の差がある程度大きくなると、内部周壁１３０ｇが内部周壁１３０ｆに接触してしまうおそれがある。隣接する内部周壁同士が接触する可能性を考慮すると、従来の基板保持装置には、研磨プロファイル、特に基板の周縁部の研磨プロファイルを精密に調整することに一定の限界があった。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
さらに、従来の弾性膜１３０を用いて、圧力室の幅を小さくするには限界がある。より具体的には、内部周壁が水平部を有するので、隣接する内部周壁が接触しないように、ある程度の間隔を隣接する内部周壁間に形成する必要がある。その結果、基板の研磨プロファイルを精密に調整するために、径方向における圧力室の幅を小さくするのが困難である場合があった。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
本発明の好ましい態様は、前記傾斜周壁は、互いに略平行に延びていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記傾斜周壁は、前記エッジ周壁に隣接して配置されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ヘッド本体は、前記弾性膜が連結される少なくとも１つの連結リングを備え、前記連結リングは、リング垂直部と、該リング垂直部から径方向外側に傾斜しつつ下方に延びるリング傾斜部とを有し、前記リング傾斜部は、前記傾斜周壁の変形を制限する内周面および外周面を有することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記リング傾斜部の先端は、前記傾斜周壁の中間点よりも下方に位置していることを特徴とする。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明の好ましい態様は、前記内側連結リング、前記外側連結リング、および前記中間連結リングの間の相対位置を固定するための位置決め機構をさらに備えることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記位置決め機構は、棒状部材と、前記内側連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第１挿入孔と、前記中間連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第２挿入孔と、前記外側連結リングのリング垂直部に形成され、前記棒状部材が挿入可能な第３挿入孔とによって構成されることを特徴とする。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
【図１】一実施形態に係る研磨装置を示す図である。
【図２】図１に示す研磨装置に備えられている基板保持装置を示す模式図である。
【図３】図２に示すリテーナリングおよび連結部材を示す平面図である。
【図４】図２に示す球面軸受および連結部材リングの一部の拡大断面図である。
【図５】一実施形態に係る弾性膜がヘッド本体のキャリアに連結されている状態を示す概略断面図である。
【図６】図５に示される弾性膜の一部を示す拡大断面図である。
【図７】図７（ａ）は、第３連結リングの断面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ線矢視図である。
【図８】連結リングのリング傾斜部の内周面に押圧突起が形成された一例を示す拡大断面図である。
【図９】エッジ周壁に隣接して配置されている２つの内部周壁が傾斜周壁として構成された弾性膜の一例を示す断面図である。
【図１０】図１０（ａ）は、固定具の上面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【図１１】図６に示される弾性膜をヘッド本体に連結するために、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示される固定具を用いて３つの連結リングをキャリアに同時に固定する各工程を示した模式図である。
【図１２】図６に示される弾性膜をヘッド本体に連結するために、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示される固定具を用いて３つの連結リングをキャリアに同時に固定する各工程を示した模式図である。
【図１３】図６に示される弾性膜をヘッド本体に連結するために、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示される固定具を用いて３つの連結リングをキャリアに同時に固定する各工程を示した模式図である。
【図１４】図６に示される弾性膜をヘッド本体に連結するために、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示される固定具を用いて３つの連結リングをキャリアに同時に固定する各工程を示した模式図である。
【図１５】固定具の配置の一例を示した模式図である。
【図１６】一実施形態に係る位置決め機構を示す断面図である。
【図１７】図１６に示される位置決め機構の変形例を示す断面図である。
【図１８】図１８（ａ）は、他の実施形態に係る位置決め機構を示す模式図であり、図１８（ｂ）は、図１８（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
【図１９】図１９（ａ）は、図１８（ａ）に示される位置決め機構の変形例を示す模式図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。
【図２０】図２０（ａ）は、さらに他の実施形態に係る位置決め機構を示す模式図であり、図２０（ｂ）は図２０（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。
【図２１】図２０（ａ）に示される位置決め機構の変形例を示す模式図である。
【図２２】従来の弾性膜の一例を示す断面図である。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２５】
研磨ヘッド１は、ウェハＷを研磨面１９ａに対して押圧するヘッド本体２と、ウェハＷを保持してウェハＷが研磨ヘッド１から飛び出さないようにするリテーナリング３とを備えている。研磨ヘッド１は、ヘッドシャフト２７に接続されており、このヘッドシャフト２７は、上下動機構８１によりヘッドアーム２４に対して上下動するようになっている。このヘッドシャフト２７の上下動により、ヘッドアーム２４に対して研磨ヘッド１の全体を昇降させ位置決めするようになっている。ヘッドシャフト２７の上端にはロータリージョイント８２が取り付けられている。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
ヘッドシャフト２７および研磨ヘッド１を上下動させる上下動機構８１は、軸受８３を介してヘッドシャフト２７を回転可能に支持するブリッジ８４と、ブリッジ８４に取り付けられたボールねじ８８と、支柱８６により支持された支持台８９と、支持台８９上に設けられたサーボモータ９０とを備えている。サーボモータ９０を支持する支持台８９は、支柱８６を介してヘッドアーム２４に固定されている。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
ヘッドシャフト２７はキー（図示せず）を介して回転筒６６に連結されている。この回転筒６６はその外周部にタイミングプーリ６７を備えている。ヘッドアーム２４にはヘッドモータ６８が固定されており、上記タイミングプーリ６７は、タイミングベルト６９を介してヘッドモータ６８に設けられたタイミングプーリ２６に接続されている。したがって、ヘッドモータ６８を回転駆動することによってタイミングプーリ２６、タイミングベルト６９、およびタイミングプーリ６７を介して回転筒６６およびヘッドシャフト２７が一体に回転し、研磨ヘッド１が回転する。ヘッドアーム２４は、フレーム（図示せず）に回転可能に支持されたアームシャフト８によって支持されている。研磨装置は、ヘッドモータ６８、サーボモータ９０をはじめとする装置内の各機器を制御する制御装置４０を備えている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２９】
研磨ヘッド１は、その下面にウェハＷを保持できるように構成されている。ヘッドアーム２４はアームシャフト８を中心として旋回可能に構成されており、下面にウェハＷを保持した研磨ヘッド１は、ヘッドアーム２４の旋回によりウェハＷの受取位置から研磨テーブル１８の上方位置に移動される。
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３３】
ヘッド本体２の下面には、ウェハＷの裏面に当接する弾性膜１０が連結されている。弾性膜１０をヘッド本体２に連結する方法については後述する。弾性膜１０の下面が基板保持面１０ａを構成する。弾性膜１０は複数の（図２では、６つの）環状の周壁１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆを有しており、これら周壁１４ａ〜１４ｆは、同心状に配置されている。これらの周壁１４ａ〜１４ｆにより、弾性膜１０とヘッド本体２との間に６つの圧力室、すなわち、中央に位置する円形状の中央圧力室１６ａ、最外周に位置する環状のエッジ圧力室１６ｆ、および中央圧力室１６ａとエッジ圧力室１６ｆとの間に位置する中間圧力室１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅが形成されている。これらの圧力室１６ａ〜１６ｆはロータリージョイント８２を経由して圧力調整装置６５に接続されており、圧力調整装置６５から各圧力室１６ａ〜１６ｆにそれぞれ延びる流体ライン７３を通って流体（例えば、空気）が供給されるようになっている。圧力調整装置６５は、制御装置４０に接続されており、これら６つの圧力室１６ａ〜１６ｆ内の圧力を独立に調整できるようになっている。さらに、圧力調整装置６５は、圧力室１６ａ〜１６ｆ内に負圧を形成することも可能となっている。このように、研磨ヘッド１においては、ヘッド本体２と弾性膜１０との間に形成される各圧力室１６ａ〜１６ｆに供給する流体の圧力を調整することにより、ウェハＷに加えられる押圧力をウェハＷの領域毎に調整できる。
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
リテーナリング押圧機構６０は、ドライブリング３ｂの上部に固定された環状のピストン６１と、ピストン６１の上面に接続された環状のローリングダイヤフラム６２とを備えている。ローリングダイヤフラム６２の内部にはリテーナリング圧力室８７が形成されている。このリテーナリング圧力室８７はロータリージョイント８２を経由して圧力調整装置６５に接続されている。この圧力調整装置６５からリテーナリング圧力室８７に流体（例えば、空気）を供給すると、ローリングダイヤフラム６２がピストン６１を下方に押し下げ、さらに、ピストン６１はリテーナリング３の全体を下方に押し下げる。このようにして、リテーナリング押圧機構６０は、リテーナリング３の下面を研磨パッド１９の研磨面１９ａに対して押圧する。さらに、圧力調整装置６５によりリテーナリング圧力室８７内に負圧を形成することにより、リテーナリング３の全体を上昇させることができる。リテーナリング圧力室８７は大気開放機構（図示せず）にも接続されており、リテーナリング圧力室８７を大気開放することも可能である。
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
リテーナリング３は、リテーナリング押圧機構６０に着脱可能に連結されている。より具体的には、ピストン６１は金属などの磁性材から形成されており、ドライブリング３ｂの上部には複数の磁石５９が配置されている。これら磁石５９がピストン６１を引き付けることにより、リテーナリング３がピストン６１に磁力により固定される。ピストン６１の磁性材としては、例えば、耐蝕性の磁性ステンレスが使用される。なお、ドライブリング３ｂを磁性材で形成し、ピストン６１に磁石を配置してもよい。
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４１】
以下、球面軸受８５についてより詳細に説明する。図４は、球面軸受８５および連結部材７５の一部の拡大断面図である。図４に示すように、軸部７６は、複数のねじ７９によりハブ７７に固定されている。軸部７６には縦方向に延びる貫通穴９８が形成されている。この貫通穴９８は軸部７６が球面軸受８５に対して縦方向に移動する際の空気抜き穴として作用し、これによりリテーナリング３はヘッド本体２に対して縦方向にスムーズに移動可能となっている。
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４４】
外輪９２の内面９２ｂ、中間輪９１の外面９１ａおよび内面９１ｂ、および内輪９３の外面９３ａは、支点Ｏを中心とした略半球面から構成されている。中間輪９１の外面９１ａは、外輪９２の内面９２ｂに摺動自在に接触し、中間輪９１の内面９１ｂは、内輪９３の外面９３ａに摺動自在に接触している。外輪９２の内面９２ｂ（摺接面）、中間輪９１の外面９１ａおよび内面９１ｂ（摺接面）、および内輪９３の外面９３ａ（摺接面）は、球面の上半分よりも小さい部分球面形状を有している。このような構成により、中間輪９１は、外輪９２および内輪９３に対して全方向（３６０°）に傾動可能であり、かつ中間輪９１の傾動中心である支点Ｏは球面軸受８５よりも下方に位置する。
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
外輪９２、中間輪９１、および内輪９３には、軸部７６が挿入される貫通孔９２ｃ，９１ｃ，９３ｂがそれぞれ形成されている。外輪９２の貫通孔９２ｃと軸部７６との間には隙間が形成されており、同様に、内輪９３の貫通孔９３ｂと軸部７６との間には隙間が形成されている。中間輪９１の貫通孔９１ｃは、外輪９２および内輪９３の貫通孔９２ｃ，９３ｂよりも小さな直径を有しており、軸部７６は中間輪９１に対して縦方向にのみ移動可能となっている。したがって、軸部７６に連結されたリテーナリング３は、横方向に移動することは実質的に許容されず、リテーナリング３の横方向（水平方向）の位置は球面軸受８５によって固定される。
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４８】
周壁１４ｆは、最も外側の周壁であり、当接部１１の周端部から上方に延びる。以下の説明では、周壁１４ｆをエッジ周壁１４ｆと称する。周壁１４ｅはエッジ周壁１４ｆの径方向内側に配置され、周壁１４ｄは周壁１４ｅの径方向内側に配置され、周壁１４ｃは周壁１４ｄの径方向内側に配置され、周壁１４ｂは周壁１４ｃの径方向内側に配置され、周壁１４ａは周壁１４ｂの径方向内側に配置されている。以下の説明では、周壁１４ａを第１内部周壁１４ａと称し、周壁１４ｂを第２内部周壁１４ｂと称し、周壁１４ｃを第３内部周壁１４ｃと称し、周壁１４ｄを第４内部周壁１４ｄと称し、周壁１４ｅを第５内部周壁１４ｅと称する。内部周壁１４ａ〜１４ｅは当接部１１から上方に延びている。
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
図６に示されるように、傾斜周壁として構成された内部周壁１４ａ〜１４ｅは互いに同一の形状を有しているので、内部周壁１４ａ〜１４ｅは互いに平行に延びている。より具体的には、内部周壁１４ａ〜１４ｅの周壁本体５５は互いに平行である。図５に示すように、第１内部周壁１４ａと第２内部周壁１４ｂとの間に圧力室１６ｂが形成され、第２内部周壁１４ｂと第３内部周壁１４ｃとの間に圧力室１６ｃが形成され、第３内部周壁１４ｃと第４内部周壁１４ｄとの間に圧力室１６ｄが形成され、第４内部周壁１４ｄと第５内部周壁１４ｅとの間に圧力室１６ｅが形成され、第５内部周壁１４ｅとエッジ周壁１４ｆとの間に圧力室１６ｆが形成される。本実施形態では、傾斜周壁である内部周壁１４ａ〜１４ｅは、直線状に斜め上方に延びているが、内部周壁１４ａ〜１４ｅは、曲線状に斜め上方に延びてもよい。
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５８】
上述したように、各圧力室１６ａ〜１６ｆには、圧力調整装置６５からロータリージョイント８２を介して延びる流体ライン７３（図１および図２参照）を通って流体がそれぞれ供給される。図５には、圧力調整装置６５から圧力室１６ｄに流体を供給するための流体ライン７３の一部のみが示されている。
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６２】
図７（ａ）は、第３連結リング２３ｃの断面図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）のＡ線矢視図である。図７（ａ）では、上記シール部材７４が仮想線（点線）で描かれている。第３連結リング２３ｃは、ヘッド本体２のキャリア４３に対して垂直に延びるリング垂直部５０と、該リング垂直部５０から径方向外側に延びつつ下方に傾斜するリング傾斜部５１とを有する。弾性膜１０の当接部１１と平行である水平面Ｐに対するリング傾斜部５１の内周面５１ａの傾斜角度θ’は、傾斜周壁として構成された第３内部周壁１４ｃの傾斜角度θ（図６参照）よりも小さく、水平面Ｐに対するリング傾斜部５１の外周面５１ｂの傾斜角度θ’’は、傾斜周壁として構成された第４内部周壁１４ｄの傾斜角度θよりも大きい。リング傾斜部５１の外周面５１ｂは、リング傾斜部５１の内周面５１ａとリング傾斜部５１の先端５１ｃで接続される。したがって、リング傾斜部５１は、リング傾斜部５１の先端５１ｃに向かって徐々に細くなる断面形状を有している。内周面５１ａと外周面５１ｂとが接続されるリング傾斜部５１の先端５１ｃは、曲面からなる断面形状（例えば、半円状の断面形状）を有している。この曲面の半径は、好ましくは、径方向における内部周壁の厚さと等しい。さらに、第３連結リング２３ｃは、第３連結リング２３ｃのリング傾斜部５１の内周面５１ａから外周面５１ｂまで延びる貫通孔５１ｄを有している。さらに、リング傾斜部５１の外周面５１ｂには、該外周面５１ｂの全周にわたって延びる環状のシール溝５１ｅが形成されている。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６４】
図６に示される内部周壁１４のシール突起５４は、リング傾斜部５１の外周面５１ｂに形成されたシール溝５１ｅに嵌め込まれる。弾性膜１０をヘッド本体２に連結するときに、シール突起５４は、該シール突起５４の径方向外側に位置する連結リング２３のリング傾斜部５１の内周面５１ａによってシール溝５１ｅの底面に押圧される。例えば、第２内部周壁１４ｂの先端に形成されたシール突起５４は、第１連結リング２３ａのリング傾斜部５１の外周面５１ｂに形成されたシール溝５１ｅに嵌め込まれ、第２連結リング２３ｂのリング傾斜部５１の内周面５１ａによって、第１連結リング２３ａのシール溝５１ｅの底面に押圧される。これにより、第２内部周壁１４ｂと、第１連結リング２３ａのリング傾斜部５１の外周面５１ｂとの間の隙間、および第２内部周壁１４ｂと、第２連結リング２３ｂのリング傾斜部５１の内周面５１ａとの間の隙間がシールされる。このような構成で、各圧力室１６ａ〜１６ｅに供給された流体が各圧力室１６ａ〜１６ｅから漏洩することが防止される。
【手続補正２４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
図５に示されるように、リング傾斜部５１の先端５１ｃは、傾斜周壁として構成された内部周壁１４ａ〜１４ｅの中間点ＣＰよりも下方に位置しているのが好ましい。図６に示されるように、中間点ＣＰは、所定の傾斜角度θで斜め上方に延びる内部周壁１４ａ〜１４ｅの中央に位置している。すなわち、内部周壁１４ａ〜１４ｅの中間点ＣＰと当接部１１との間の距離Ｌ１は、中間点ＣＰと内部周壁１４ａ〜１４ｅの先端との間の距離Ｌ２と等しい。
【手続補正２５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
図９は、エッジ周壁１４ｆに隣接して配置されている２つの内部周壁１４ｄ，１４ｅが傾斜周壁として構成された弾性膜１０の一例を示す断面図である。図９に示した弾性膜１０において、内部周壁１４ａ，１４ｂ，１４ｃは、図２２を参照して説明された従来の弾性膜１３０の内部周壁１３０ａ，１３０ｂ，１３０ｃと同様に、当接部１１から径方向内側に傾斜する傾斜部５７と、該傾斜部５７から水平に伸びる水平部５８とをそれぞれ有している。内部周壁１４ｄ，１４ｅを傾斜周壁として構成すると、内部周壁１４ｄ，１４ｅによって区画される圧力室１６ｅの幅を小さくすることができる。したがって、図９に示される弾性膜１０を用いることにより、ウェハＷの周縁部の研磨プロファイルを精密に調整することできる。
【手続補正２６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図１０（ａ）は、固定具７０の上面図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示されるように、固定具７０は、円柱状の固定具本体７１と、固定具本体７１の外周面から外側に突出し、楕円形状を有するつば７２とを備える。つば７２は、２つの傾斜面７２ａ，７２ｂを有しており、これら傾斜面７２ａ，７２ｂは、それぞれつば７２の外周面まで延びている。傾斜面７２ａ，７２ｂを除いたつば７２の鉛直方向の厚みは、連結リング２３のリング垂直部５０に形成された係合溝（後述する）の鉛直方向の幅と同一である。固定具本体７１の上面７１ａには、図示しない治具（例えば、マイナスドライバー）の先端が係合可能な溝７１ｂが形成されている。溝７１ｂに治具の先端を係合させ、さらに治具を回転させることにより、固定具７０を回転させることができる。
【手続補正２７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
次に、図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示される固定具７０を用いて、３つの連結リング２３を同時にヘッド本体２のキャリア４３に固定する方法について説明する。３つの連結リング２３をキャリア４３に固定すると、２つの隣接する内部周壁１４が同時にヘッド本体２に連結される。以下の説明では、３つの連結リング２３のうちの径方向内側に位置する連結リング２３を内側連結リング２３と称することがあり、３つの連結リング２３のうちの径方向外側に位置する連結リング２３を外側連結リング２３と称することがあり、内側連結リング２３と外側連結リング２３との間に位置する連結リング２３を中間連結リングと称することがある。また、傾斜周壁として構成された隣接する２つの内部周壁１４のうちの径方向内側に位置する内部周壁１４を内側傾斜周壁１４と称することがあり、傾斜周壁として構成された隣接する２つの内部周壁１４のうちの径方向外側に位置する内部周壁１４を外側傾斜周壁１４と称することがある。
【手続補正２８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
図６に示される弾性膜１０では、第２内部周壁１４ｂが内側傾斜周壁１４であり、第３内部周壁１４ｃが外側傾斜周壁１４である。第２内部周壁１４ｂと第３内部周壁１４ｃに対して、第１連結リング２３ａは内側連結リング２３であり、第２連結リング２３ｂは中間連結リング２３であり、第３連結リング２３ｃは外側連結リング２３である。固定具７０によって連結リング２３ａ〜２３ｃをキャリア４３に固定することにより、第２内部周壁１４ｂと第３内部周壁１４ｃとがヘッド本体２に連結される。同様に、第４内部周壁１４ｄは内側傾斜周壁１４であり、第５内部周壁１４ｅは外側傾斜周壁１４である。第４内部周壁１４ｄと第５内部周壁１４ｅに対して、第３連結リング２３ｃは内側連結リング２３であり、第４連結リング２３ｄは中間連結リング２３であり、第５連結リング２３ｅは外側連結リング２３である。固定具７０によって連結リング２３ｃ〜２３ｅをキャリア４３に固定することにより、第４内部周壁１４ｄと第５内部周壁１４ｅとがヘッド本体２に連結される。このように、第３連結リング２３ｃは、第２内部周壁１４ｂと第３内部周壁１４ｃに対しては外側連結リング２３であり、第４内部周壁１４ｄと第５内部周壁１４ｅに対しては内側連結リング２３である。
【手続補正２９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８５】
中間連結リング２３は、内側連結リング２３と外側連結リング２３に挟まれることで、該内側連結リング２３と外側連結リング２３に保持される。例えば、中間連結リング２３である第２連結リング２３ｂは、内側連結リング２３である第１連結リング２３ａと外側連結リング２３である第３連結リング２３ｃとに保持される。同様に、中間連結リング２３である第４連結リング２３ｄは、内側連結リング２３である第３連結リング２３ｃと外側連結リング２３である第５連結リング２３ｅとに保持される。
【手続補正３０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８９】
図１１に示されるように、弾性膜１０の第１内部周壁１４ａも傾斜周壁として構成されている。第１内部周壁１４ａは、追加連結リング２３ｆに接続され、該追加連結リング２３ｆをキャリア４３に固定することによりヘッド本体２に連結される。より具体的には、追加連結リング２３ｆは傾斜面５３を有しており、傾斜面５３には第１内部周壁１４ａの先端に形成されたシール突起５４が嵌め込まれるシール溝５３ａが形成されている。第１内部周壁１４ａは、該第１内部周壁１４ａのシール突起５４が追加連結リング２３ｆのシール溝５３ａに嵌め込まれた状態で、第１連結リング２３ａと追加連結リング２３ｆとに挟まれ、これにより、第１内部周壁１４ａが第１連結リング２３ａと追加連結リング２３ｆとに保持される。さらに、弾性膜１０のエッジ周壁１４ｆは傾斜部２８を有している。この傾斜部２８の先端には、シール突起５４が形成されており、第５連結リング２３ｅのリング傾斜部５１の外周面５１ｂには、このシール突起５４が嵌め込まれるシール溝５１ｅが形成されている。弾性膜１０をヘッド本体２のキャリア４３に連結する際は、弾性膜１０の内部周壁１４ｂ〜１４ｅおよびエッジ周壁１４ｆを連結リング２３ａ〜２３ｅに予め保持させ、かつ内部周壁１４ａを追加連結リング２３ｆに予め保持させる。
【手続補正３１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９０】
次いで、図１２に示されるように、弾性膜１０、連結リング２３ａ〜２３ｅ、および追加連結リング２３ｆをキャリア４３に向かって移動させ、各連結リング２３ａ〜２３ｅをキャリア４３の下面４３ｄに形成された凹部４６，４７，４８（図１１参照）に挿入する。図１１に示されるように、第３連結リング２３ｃが挿入される凹部は、第２内部周壁１４ｂおよび第３内部周壁１４ｃに対しては第４凹部４８である一方で、第４内部周壁１４ｄおよび第５内部周壁１４ｅに対しては第２凹部４６である。
【手続補正３２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９１】
次いで、図１３に示されるように、キャリア４３の上面４３ｃに形成された第１凹部４５に固定具７０を挿入し、固定具７０を治具（図示せず）によって回転させる。固定具７０が回転すると、図１４に示されるように、固定具７０のつば７２が内側開口９６および外側開口９７（図１１参照）を通って内側連結リング２３のリング垂直部５０に形成された内側係合溝３６および外側連結リング２３のリング垂直部５０に形成された外側係合溝３７にそれぞれ係合する。
【手続補正３３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示されるように、固定具７０のつば７２には、２つの傾斜面７２ａ，７２ｂが形成されている。傾斜面７２ａ，７２ｂは、それぞれつば７２の外周面まで延びている。この傾斜面７２ａ，７２ｂによって、つば７２はスムーズに係合溝３６，３７に進入することができる。
【手続補正３４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９３】
傾斜面７２ａ，７２ｂを除いたつば７２の厚みは係合溝３６，３７の鉛直方向の幅と同一であるため、スムーズに係合溝３６，３７に進入したつば７２は、係合溝３６，３７と強固に係合する。その結果、内側連結リング（例えば、第１連結リング２３ａ）、外側連結リング（例えば、第３連結リング２３ｃ）がキャリア４３に強固に固定される。このとき、内側連結リング２３と外側連結リング２３とに保持される中間連結リング２３（例えば、第２連結リング２３ｂ）も内側連結リング２３と外側連結リング２３とに強固に連結される。同時に、内側傾斜周壁（例えば、第２内部周壁１４ｂ）のシール突起５４が内側連結リング２３のリング傾斜部５１の外周面５１ｂに形成されたシール溝５１ｅに、中間連結リング２３のリング傾斜部５１の内周面５１ａによって押し付けられ、外側傾斜周壁（例えば、第３内部周壁１４ｃ）のシール突起５４が中間連結リング２３のリング傾斜部５１の外周面５１ｂに形成されたシール溝５１ｅに、外側連結リング２３のリング傾斜部５１の内周面５１ａによって押し付けられる。これにより、内側傾斜周壁１４と内側連結リング２３との間の隙間、および内側傾斜周壁１４と中間連結リング２３との間の隙間がシールされ、外側傾斜周壁１４と中間連結リング２３との間の隙間、および外側傾斜周壁１４と外側連結リング２３との間の隙間がシールされる。図８を参照して説明されたように、連結リング２３のリング傾斜部５１の内周面５１ａに、シール突起５４をシール溝５１ｅに押圧する押圧突起５１ｆを形成してもよい。
【手続補正３５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９７】
図１５に示されるように、キャリア４３には、各圧力室１６ａ〜１６ｅに流体を供給する流体ライン７３のための複数の貫通孔７３ｂが形成されている。なお、貫通孔７３ｂには、スペーサ４２とキャリア４３との間の隙間から貫通孔７３ａ，７３ｂを流れる流体が漏洩することを防止するシール部材４４（図５参照）が配置される。さらに、図３を参照して説明されたように、キャリア４３には、スポーク７８が収容される複数の放射状の溝４３ａが形成されている。本実施形態のように、隣接する２つの内部周壁１４をヘッド本体２に連結するために、固定具７０によって３つの連結リング２３をヘッド本体２のキャリア４３に固定すると、貫通孔７３ｂおよび溝４３ａとは異なる位置に、固定具７０を容易に配置させることができる。さらに、固定具７０の数を減らすことができるので、弾性膜１０の着脱が容易になる。
【手続補正３６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９９】
メンテナンスされた弾性膜１０または新規な弾性膜１０をヘッド本体２のキャリア４３に取り付けるときは、中間連結リング２３を内側連結リング２３と外側連結リング２３に保持させ、さらに、弾性膜１０を複数の連結リング（すなわち、内側連結リング２３，中間連結リング２３、および外側連結リング２３）に予め保持させる（図１１参照）。次いで、弾性膜１０を保持する複数の連結リング２３をキャリア４３に向かって移動させ、各連結リング２３をキャリア４３の下面４３ｄに形成された各凹部（すなわち、第２凹部４６、第３凹部４７、および第４凹部４８）に挿入する（図１２参照）。次いで、キャリア４３の上面４３ｃに形成された第１凹部４５に固定具７０を挿入し（図１３参照）、固定具７０を治具（図示せず）によって回転させる。固定具７０が回転すると、固定具７０のつば７２が内側開口９６および外側開口９７を通って内側連結リング２３の内側係合溝３６および外側連結リング２３の外側係合溝３７にそれぞれ係合する。これにより、メンテナンスされた弾性膜１０または新規な弾性膜１０がヘッド本体２のキャリア４３に取り付けられる。
【手続補正３７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１００
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１００】
弾性膜１０を再度ヘッド本体２のキャリア４３に取り付けるためには、内側連結リング２３の内側係合溝３６が第１凹部４５の内側開口９６に対向し、外側連結リング２３の外側係合溝３７が第１凹部４５の外側開口９７に対向している必要がある。すなわち、内側連結リング２３および外側連結リング２３のそれぞれを、キャリア４３に形成された複数の第１凹部４５に対して（すなわち、ヘッド本体２に対して）正確に位置決めする必要がある。さらに、固定具７０を回転させたときに、内側連結リング２３および／または外側連結リング２３が中間連結リング２３に対して移動すると、これら連結リング２３が傷つくおそれがある。したがって、弾性膜１０をメンテナンスまたは交換する作業者の負担を軽減するために、および連結リング２３の破損を防止するために、研磨ヘッド（基板保持装置）１は、内側連結リング２３、中間連結リング２３、および外側連結リング２３の間の相対位置を固定する位置決め機構を有しているのが好ましい。以下では、図１６乃至図２１を参照して、位置決め機構の好ましい実施形態が説明される。
【手続補正３８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１２】
第１係合突起１０８を第１係合凹部１１０に係合させ、かつ第２係合突起１０９を第２係合凹部１１２に係合させると、内側連結リング２３（すなわち、第３連結リング２３ｃ）、中間連結リング２３（すなわち、第４連結リング２３ｄ）、および外側連結リング２３（すなわち、第５連結リング２３ｅ）の間の相対位置が固定される。
【手続補正３９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１７】
図１９（ａ）は、図１８（ａ）に示される位置決め機構１００ａ，１００ｂの変形例を示す模式図であり、図１９（ｂ）は、図１９（ａ）のＤ−Ｄ線断面図である。図１９（ｂ）に示される弾性膜１０は、傾斜周壁として構成された４つの内部周壁１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄを有しており、これら４つの内部周壁１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄは、４つの連結リング２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄに連結される。説明の便宜上、位置決め機構１００ａにおいて、第１係合突起１０８を第１係合突起１０８ａと称し、第１係合凹部１１０を第１係合凹部１１０ａと称し、第２係合突起１０９を第２係合突起１０９ａと称し、第２係合凹部１１２を第２係合凹部１１２ａと称する。同様に、位置決め機構１００ｂにおいて、第１係合突起１０８を第１係合突起１０８ｂと称し、第１係合凹部１１０を第１係合凹部１１０ｂと称し、第２係合突起１０９を第２係合突起１０９ｂと称し、第２係合凹部１１２を第２係合凹部１１２ｂと称する。
【手続補正４０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２２】
図２０（ａ）は、さらに他の実施形態に係る位置決め機構を示す模式図であり、図５に示される弾性膜１０を保持する５つの連結リング２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅを上方から眺めた図に相当する。図２０（ａ）では、上記軸部７６が仮想線（点線）で描かれている。図２０（ｂ）は、図２０（ａ）のＥ−Ｅ線断面図である。図２０（ｂ）では、５つの連結リング２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅだけでなく、キャリア４３も図示している。図２０（ａ）および図２０（ｂ）に示される連結リング２３ａ〜２３ｅは、以下で説明される位置決め機構１００ｃ，１００ｄ以外は、図５に示される連結リング２３ａ〜２３ｅと同様の構成を有している。
【手続補正４１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２４】
図２０（ｂ）に示されるように、第４連結リング（中間連結リング）２３ｄの係合凹部１１８に位置合わせ部材１１５ａの下側係合突起１６１を係合させたときに、位置合わせ部材１１５ａのフランジ部１６０は、第３連結リング（内側連結リング）２３ｃの内側段差部１１６と第５連結リング（外側連結リング）２３ｅの外側段差部１１７に係合する。この構成により、第３連結リング２３ｃ、第４連結リング２３ｄ、および第５連結リング２３ｅの間の相対位置を固定することができる。
【手続補正４２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２５】
なお、図２０（ａ）には、位置合わせ部材１１５ａと同一の構成を有する位置合わせ部材１１５ｂによって、第１連結リング２３ａ、第２連結リング２３ｂ、および第３連結リング２３ｃの間の相対位置を固定する位置決め機構１００ｄも描かれている。この位置決め機構１００ｄは、図２０（ｂ）に示される位置決め機構１００ｃと同一の構成を有するので、その説明を省略する。
【手続補正４３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１３３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１３３】
１    基板保持装置（研磨ヘッド）
２    ヘッド本体
３    リテーナリング
１０    弾性膜（メンブレン）
１１    当接部
１４ａ，１４ｂ，１４ｃ，１４ｄ，１４ｅ，１４ｆ    周壁
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ，１６ｄ，１６ｅ，１６ｆ    圧力室
１７    通孔
１８    研磨テーブル
１９    研磨パッド
２３ａ，２３ｂ，２３ｃ，２３ｄ，２３ｅ，２３ｆ    連結リング
２５    研磨液供給ノズル
２７    ヘッドシャフト
３０，３３    突出部
３１，３４    段差部
３６，３７    係合溝
４０    制御装置
４５    第１凹部
４６    第２凹部
４７    第３凹部
４８    第４凹部
５０    リング垂直部
５１    リング傾斜部
５１ｅ  シール溝
５４    シール突起
６０    リテーナリング押圧機構
７０    固定具
７１    固定具本体
７２    つば
８１    上下動機構
８２    ロータリージョイント
８５    球面軸受
９４    ねじ
１００    位置決め機構
１０１    棒状部材
１０３，１９４，１０５    挿入孔
１０８，１０９    係合突起
１１０，１１２    係合凹部
１１５    位置合わせ部材
１１６，１１７    段差部
１１８    係合凹部
【手続補正４４】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2018078267.tif 000001
【手続補正４５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
2018078267.tif 000002
【手続補正４６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2018078267.tif 000003
【手続補正４７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図４】
2018078267.tif 000004
【手続補正４８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図５】
2018078267.tif 000005
【手続補正４９】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１１】
2018078267.tif 000006
【手続補正５０】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１４】
2018078267.tif 000007
【手続補正５１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
2018078267.tif 000008
【手続補正５２】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２２】
2018078267.tif 000009