(57)【要約】  複数のヒューズが配列されたトリミング回路（１１）の下流側において、トリミング回路からの出力信号に基づいて、トリミング値に対応する信号を生成するトリミング信号生成部（１２ａ）をそなえて構成され、トリミング回路（１１）において切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるように構成することにより、ヒューズ切断点を効果的に配置することにより、トリミング回路の占有面積を低減する。
2007116503.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヒューズが配列されてなり、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路と、
該トリミング回路の下流側において、該トリミング回路から出力される信号に基づいて該トリミング値に対応するトリミング信号を生成するトリミング信号生成部とをそなえて構成され、
該トリミング回路において、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されることを特徴とする、集積回路装置。
【請求項２】
該トリミング回路において、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズが該切断対象ヒューズとして設定されることを特徴とする、請求項１記載の集積回路装置。
【請求項３】
該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けを行ない、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンが選択されることにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズが設定されることを特徴とする、請求項２記載の集積回路装置。
【請求項４】
該トリミング信号生成部が、該トリミング回路からの出力信号を入力してデコード処理を行ない、前記デコード処理の結果として該使用トリミングパターンに対応する信号を生成するデコーダをそなえることを特徴とする、請求項２又は請求項３に記載の集積回路装置。
【請求項５】
該トリミング信号生成部が、該デコーダによって生成される前記使用トリミングパターンに対応する信号に対してエンコード処理を行ない、前記エンコード処理の結果として該トリミング信号を生成するエンコーダをそなえることを特徴とする、請求項４記載の集積回路装置。
【請求項６】
該トリミング信号生成部が、論理回路として構成されることを特徴とする、請求項１〜３のいずれか１項に記載の集積回路装置。
【請求項７】
該トリミング信号生成部が、
該トリミング回路から出力される信号の一部に基づいて該トリミング信号を生成する部分変換回路をそなえて構成され、
前記トリミング回路から出力される信号のうち繰り返しパターンを形成する下位ビットの信号を該部分変換回路を用いて変換することを特徴とする、請求項１〜６のいずれか１項に記載の集積回路装置。
【請求項８】
該トリミング回路において、
複数の切断対象ヒューズが、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断されることを特徴とする、請求項１〜請求項７のいずれか１項に記載の集積回路装置。
【請求項９】
該トリミング信号生成部の入力側もしくは出力側に仮想切断用信号端子をそなえることを特徴とする、請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の集積回路装置。
【請求項１０】
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造装置であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象ヒューズを決定する決定部と、
該決定部により決定された該切断対象ヒューズを切断する切断部とをそなえ、
該決定部が、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、製造装置。
【請求項１１】
該決定部が、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定することを特徴とする、請求項１０記載の製造装置。
【請求項１２】
該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対して、予めそれぞれ重み付けが行なわれ、
該決定部が、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、請求項１１記載の製造装置。
【請求項１３】
該切断部が、
複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断することを特徴とする、請求項１０〜請求項１２のいずれか１項に記載の製造装置。
【請求項１４】
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造方法であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象のヒューズを決定する決定ステップと、
該決定ステップにおいて決定された該切断対象ヒューズを切断する切断ステップとをそなえ、
該決定ステップにおいて、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズが決定されることを特徴とする、製造方法。
【請求項１５】
該決定ステップにおいて、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定することを特徴とする、請求項１４記載の製造方法。
【請求項１６】
前期特定のパターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けが行なわれ、
該決定ステップにおいて、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、請求項１５記載の製造方法。
【請求項１７】
該切断ステップにおいて、
複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断することを特徴とする、請求項１４〜請求項１６のいずれか１項に記載の製造方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、配列された複数のヒューズの中から、トリミング値に応じて任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路をそなえた集積回路装置、並びに、その集積回路装置を製造する装置および方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
近年、プロセスの微細化に伴いチップ面積の縮小化が求められているが、配列された複数のヒューズの中から任意のヒューズを切断するトリミング回路をそなえた集積回路装置においては、このトリミング回路の占有面積を低減することも要望されている。
しかしながら、このようなトリミング回路においては、切断したヒューズから破片が飛散する場合があり、このヒューズの切断破片の飛散距離よりも短い間隔でヒューズ切断点を配置すると、飛散した切断破片により切断済みのヒューズにおいて切断個所が再短絡するおそれがある。【０００３】
図５５は従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図であり、ヒューズの切断位置と、この切断によって生じる切断破片の飛散領域との関係を示している。この図５５に示す例においては、隣り合うヒューズの間隔が切断破片の飛来距離間隔よりも小さい状態を示している。なお、この図５５に示す例においては、８本のヒューズ（Ｆ１〜Ｆ８）を所定のピッチで互いに平行に配列し、ヒューズＦ１，Ｆ３〜Ｆ５，Ｆ７，Ｆ８を切断する場合を示している。【０００４】
図５５に示す例においては、隣り合うヒューズの間隔が切断破片の飛来距離間隔よりも小さいので、例えば、切断すると決定したヒューズをＦ１からＦ８へ順に切断する場合、ヒューズＦ４を切断する際、ヒューズＦ４の切断により生じる切断破片がヒューズＦ３，Ｆ５に到達し、これにより、切断済みのヒューズＦ３，Ｆ５において切断個所において再短絡が生じるおそれがある。同様に、ヒューズＦ５の切断により生じる切断破片がヒューズＦ４に飛来したり、ヒューズＦ８の切断により生じる切断破片がヒューズＦ７に飛来することにより、これらのヒューズＦ４，Ｆ７等において再短絡が生じるおそれがある。【０００５】
図５６は従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の他の配置例を示す図であって、ヒューズの切断位置と、この切断によって生じる切断破片の飛散領域との関係を示している。この図５６に示す例においては、隣り合うヒューズの切断点をヒューズの配列方向（Ｘ方向）に直交する方向（Y方向）にずらして形成した例を示している。なお、この図５６に示す例においても、８本のヒューズ（Ｆ１〜Ｆ８）を所定のピッチで互いに平行に配列し、ヒューズＦ１，Ｆ３〜Ｆ５，Ｆ７，Ｆ８を切断する場合を示している。【０００６】
さて、レーザを用いてヒューズを破断するレーザトリミングにおいては、従来、図５６に示すように、隣り合うヒューズの切断点をY方向にシフト（オフセット）することで、隣り合うヒューズの切断点間の距離を飛散距離より大きく広げ、Ｘ方向の距離を短縮することが行なわれている。
例えば、下記特許文献１には、ヒューズ間隔を縮小してヒューズの占有面積を低減するために、ヒューズの配列方向Ｘに直交する垂直方向Ｙに対して、予め設定された第１溶断位置と、この第１溶断位置より垂直方向Ｙに異なる位置の第２溶断位置とが隣接するヒューズで交互に位置するように設定する手法が開示されている。【０００７】
また、下記特許文献２には、Ｘ方向に各々連通してＹ方向に配列されている複数のヒューズ電極を所望によりＺ方向から照射されるレーザビームで切断するときに、Ｙ方向で隣接したヒューズ電極を切断するに際して、その切断の位置をＸ方向で相違させ、隣接したヒューズ電極を離反した位置で切断して短絡を防止し、隣接するヒューズ電極を切断しても飛散した成分による短絡が発生しないようにする手法が開示されている。【０００８】
さらに、下記特許文献３には、ヒューズのピッチを縮小してヒューズの占有面積を低減するために、ピッチａを有しながらほぼ平行に配置され且つ幅ｂを有する複数のヒューズを形成して、レーザビームを位置合わせの許容誤差ｈで所望のヒューズのそれぞれに対して照射し、直径ｄを持つ照射領域を所望のヒューズのそれぞれに対応して形成し、ピッチａ，幅ｂ，直径ｄおよび許容誤差ｈとの間に所定の関係が成立するようにピッチａを設定する手法が開示されている。【０００９】
また、ヒューズに電流を流して発熱させることによりヒューズを溶断する電気トリミングの場合には、ヒューズの配列方向（Ｘ方向）に直行する方向（Y方向）に対して切断（溶断）位置を制御することは難しいので、ヒューズの間隔が切断（溶断）破片の飛散距離より大きくなるように、Ｘ方向にヒューズ間隔を広くとって配置している。すなわち、以下の条件を満足するようにヒューズを設置している。【００１０】
切断破片の飛散距離≦Ｘ方向のヒューズ間隔
図５７は従来の集積装置のトリミング回路における仮想切断手法を説明するためのフローチャート（ステップＡ１０〜Ａ６０）である。
従来の仮想切断手法においては、トリミング回路における切断対象のヒューズに対して、これらのヒューズ数に対応するビット数のカウンタ値（２進数）の設定を行なった後に（ステップＡ１０）、この設定したカウンタ値で仮想切断を行ない（ステップＡ２０）、被制御部の測定を行なう（ステップＡ３０）。そして、カウンタ値の終了を判断し（ステップＡ４０）、カウンタ値が終了ではない場合には（ステップＡ４０のＮＯルート参照）、カウンタ値の更新を行なった後に（ステップＡ５０）、ステップＡ２０に戻る。なお、カウンタ値の更新には、例えば、はさみうち法や二分法が用いられる。【００１１】
また、カウンタ値が終了の場合には（ステップＡ４０のＹＥＳルート参照）、そのカウンタ値を用いて実際にヒューズの切断（実切断）を行なう（ステップＡ６０）。
【特許文献１】特開平６−１２０３４９号公報
【特許文献２】特開２００１−２７４２５１号公報
【特許文献３】特開２００１−５７３８８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【００１２】
しかしながら、上述の如き従来の集積回路装置のトリミング回路においては、プロセス技術の進歩に伴ないプロセス的な制約からヒューズ間隔を縮小することが可能であっても、互いに隣接するヒューズがそれぞれ切断対象ヒューズとなるおそれがあるので、このような隣接するヒューズの切断破片の飛散による再短絡を回避するために、隣り合うヒューズの切断点どうしの直線距離間隔をヒューズ切断破片の飛散距離よりも大きく設定する必要があり、これにより、ヒューズ間隔を十分に縮小することができず、トリミング回路の占有面積を低減することができないという課題がある。【００１３】
図５８は従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの配列例を示す図であり、ヒューズの切断位置と、この切断によって生じる切断破片の飛散領域との関係を示している。この図５８に示す例においては、隣り合うヒューズの間隔を切断破片の飛来距離間隔よりも大きくなるように形成した状態を示している。なお、この図５８に示す例においても、８本のヒューズ（Ｆ１〜Ｆ８）を所定のピッチで互いに平行に配列し、ヒューズＦ１，Ｆ３〜Ｆ５，Ｆ７，Ｆ８を切断する場合を示している。【００１４】
一般に、トリミング回路において、切断対象となるヒューズは、例えばチップの特性に合わせて決定されるので、任意のヒューズが切断対象となり得る。従って、従来の集積回路装置のトリミング回路においては、全てのヒューズについて、隣り合うヒューズの切断点どうしの直線距離間隔をヒューズ切断破片の飛散距離よりも大きく設定する必要があり、図５８に示すように、ヒューズの配列方向（Ｘ方向）にヒューズ切断点の間隔を広げたり、又、図５６に示すように、ヒューズの配列方向（Ｘ方向）およびその直交方向（Ｙ方向）にヒューズ切断点の間隔を広げる必要があり、ヒューズ回路の専有面積が大きくなってしまう。【００１５】
図５６に示すような、隣り合うヒューズの切断点をヒューズの配列方向（Ｘ方向）と直交する方向（Y方向）にずらして配置（オフセット）する手法においては、ヒューズ間隔をX方向において縮小可能であるが、ヒューズをY方向に伸ばす必要が有り、これにより、結果的にヒューズ回路の占有面積が増大する。特に、設置するビット数（設定ビット数）が多くなると、Y方向に伸びた分の占有面積が大きくなる。【００１６】
また、たとえY方向へのオフセットを加えても、切断点間の距離が飛散距離の制約を受けるので、ヒューズ間距離を飛散距離の約１／２未満に縮小することは出来ない。
また、前述した電気トリミングの場合には、ヒューズにおける溶断位置の調整が困難であり、Y方向へのオフセットが難しいので、Ｘ方向におけるヒューズ間隔を縮小しようとしても、ヒューズ間隔を切断破片の飛散距離より小さくすることが出来ない。【００１７】
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、ヒューズ切断点を効果的に配置することにより、トリミング回路の占有面積を低減することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１８】
上記の目的を達成するために、本発明の集積回路装置は、複数のヒューズが配列されてなり、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路と、該トリミング回路の下流側において、該トリミング回路から出力される信号に基づいて該トリミング値に対応するトリミング信号を生成するトリミング信号生成部とをそなえて構成され、該トリミング回路において、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されることを特徴としている。【００１９】
なお、該トリミング回路において、前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズが該切断対象ヒューズとして設定されてもよい。【００２０】
また、該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けを行ない、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンが選択されることにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズが設定されてもよい。
さらに、該トリミング信号生成部が、該トリミング回路からの出力信号を入力してデコード処理を行ない、前記デコード処理の結果として該使用トリミングパターンに対応する信号を生成するデコーダをそなえてもよく、又、該デコーダによって生成される前記使用トリミングパターンに対応する信号に対してエンコード処理を行ない、前記エンコード処理の結果として該トリミング信号を生成するエンコーダをそなえてもよい。更に、該トリミング信号生成部が、論理回路として構成されてもよい。【００２１】
また、該トリミング信号生成部が、該トリミング回路から出力される信号の一部に基づいて該トリミング信号を生成する部分変換回路をそなえて構成され、前記トリミング回路から出力される信号のうち繰り返しパターンを形成する下位ビットの信号を該部分変換回路を用いて変換してもよい。
さらに、該トリミング回路において、複数の切断対象ヒューズが、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断されてもよく、又、該トリミング信号生成部の入力側もしくは出力側に仮想切断用信号端子をそなえてもよい。【００２２】
また、本発明の製造装置は、複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造装置であって、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象ヒューズを決定する決定部と、該決定部により決定された該切断対象ヒューズを切断する切断部とをそなえ、該決定部が、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズを決定してもよい。【００２３】
なお、該決定部が、前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定してもよい。【００２４】
また、該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対して、予めそれぞれ重み付けが行なわれ、該決定部が、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定してもよい。
さらに、該切断部が、複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断してもよい。【００２５】
また、本発明の製造方法は、複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造方法であって、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象のヒューズを決定する決定ステップと、該決定ステップにおいて決定された該切断対象ヒューズを切断する切断ステップとをそなえ、該決定ステップにおいて、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズが決定されることを特徴としている。【００２６】
なお、該決定ステップにおいて、前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定してもよい。【００２７】
また、該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けが行なわれ、該決定ステップにおいて、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定してもよい。
さらに、該切断ステップにおいて、複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断してもよい。
【発明の効果】
【００２８】
本発明によれば、以下の少なくともいずれか１つの効果ないし利点がある。
（１）ヒューズピッチを縮小してトリミング回路の占有面積を縮小することができる。
（２）ヒューズの切断に伴なう切断破片の飛散による影響を最小限におさえて、信頼性を向上させることができる。
（３）トリミング信号生成部を論理回路として構成することにより、トリミング信号生成部を構成する回路を小さくして、その占有面積を小さくすることができる。【００２９】
（４）複数種類の忌避パターンに対して重み付けを行ない、トリミングパターン中に含まれる忌避パターンの重みに基づいて非使用トリミングパターンを決定するので、適宜、重みを選択・変更することにより、集積回路装置の信頼性や歩留まりを任意に設定することができる。
（５）トリミングパターンとして不使用であって、その２進数中に忌避パターンをそなえないものを、予備ビットとして種々の用途に使用することができ利便性が高い。【００３０】
（６）仮想切断用信号端子をそなえることにより、ヒューズの切断状態を擬似的に実現することができる。
（７）トリミング回路から出力される信号のうち繰り返しパターンを形成する下位ビットの信号を部分変換回路を用いて変換することにより、トリミング信号生成部を構成する回路を小さくして、その占有面積を小さくすることができる。【００３１】
（８）複数の切断対象ヒューズについて、ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断することにより、ヒューズの配列方向におけるヒューズピッチをより小さくし、トリミング回路の占有面積を縮小することができる。
【図面の簡単な説明】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態としての集積回路装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の一実施形態としての製造装置の構成を模式的に示す図である。
【図３】トリミング値を１０進法および２進法で表した例を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態としての集積回路装置におけるオリジナルトリミング値と使用トリミング値との関係を示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部の構成例を示す図である。
【図７】本発明の第3実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部の構成例を示す図である。
【図８】図７に示すトリミング信号生成部におけるヒューズ出力をトリミング値（１０進数）に対応させて示す図である。
【図９】図７に示すトリミング信号生成部の出力信号をオリジナルトリミング値（１０進数）に対応させて示す図である。
【図１０】本発明の第３実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１１】本発明の第３実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１２】本発明の第１〜第３実施形態の第１変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１３】本発明の第１〜第3実施形態の第３変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１４】本発明の第１〜第3実施形態の第４変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図である。
【図１６】本発明の第３実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部に仮想切断用信号端子をそなえた例を示す図である。
【図１７】本発明の一実施形態としての製造装置における仮想切断手法を説明するためのフローチャートである。
【図１８】本発明の一実施形態としての製造装置におけるカウンタ値と使用トリミング値および使用トリミングパターンとの対応例を示す図である。
【図１９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置のトリミング回路における切断位置の他の例配置例を示す図である。
【図２０】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２１】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２２】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２３】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２４】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２６】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２７】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２８】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３０】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３１】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３２】本発明の各実施形態の集積回路における被制御回路の構成例を示す図である。
【図３３】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３４】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３６】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３７】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３８】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４０】本発明の各実施形態の集積回路における被制御回路の構成例を示す図である。
【図４１】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であ
【図４２】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であ
【図４３】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であ
【図４４】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４５】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４６】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４７】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４８】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４９】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５０】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５１】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５２】本発明の第１〜第3実施形態の第４変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５３】図４０に示す抵抗微調整回路における変換出力パターン（トリミング値）と抵抗Ｒ１〜Ｒ４および総合抵抗値の関係を示す図である。
【図５４】図４０に示す抵抗微調整回路におけるａ−ｂ間の抵抗値のバラツキの状態を示す図である。
【図５５】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図である。
【図５６】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の他の配置例を示す図である。
【図５７】従来の集積装置のトリミング回路における仮想切断手法を説明するためのフローチャートである。
【図５８】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの配列例を示す図である。
【符号の説明】
【００３３】
１０    集積回路装置
１１    トリミング回路
１２ａ，１２ｂ，１２ｃ    トリミング信号生成部
１３    被制御回路
１００    製造装置
１０１    位置決め装置
１０２    レーザ光線射出部（切断部）
１０３    制御部
１０４    決定部
１０５    測定部
１２１    デコーダ
１２２    エンコーダ
１２３，１２５    入力端子
１２４，１２６    出力端子
１３１    半加算器
１３２，１３３    全加算器
１３４    サブルーチン回路（部分変換回路）
１４０    仮想切断用信号端子
１４１    切断用スイッチ
Ｆ１〜Ｆ１２    ヒューズ
【発明を実施するための最良の形態】
【００３４】
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
（Ａ）第１実施形態の説明
図１は本発明の第１実施形態としての集積回路装置の構成を模式的に示す図、図２は本発明の一実施形態としての製造装置の構成を模式的に示す図である。
本第１実施形態の集積回路装置１０は、図１に示すように、トリミング回路１１，トリミング信号生成部１２ａおよび被制御回路１３をそなえて構成され、トリミング回路１１において所定の間隔（ヒューズピッチ；ヒューズ間隔）で互いに平行に形成された複数のヒューズ（図１に示す例ではヒューズＦ１〜Ｆ６の６つ）のうち、少なくとも一部を切断することにより、被制御回路（被トリミング回路部）１３の機能の切り替えや装置特性の調整（例えば、プロセスばらつきの補正や初期設定）等を行なうものである。【００３５】
製造装置１００は、図１に示す集積回路装置１０を製造するものであって、図２に示すように、位置決め装置１０１，レーザビーム射出部（切断部）１０２，制御部１０３，測定部１０５および決定部１０４をそなえて構成されている。
測定部１０５は、被制御回路１３の値を測定するものであり、決定部１０４は、この測定部１０５による測定結果に基づいて切断ヒューズを決定するものである。【００３６】
決定部１０４は、トリミング値に応じて、トリミング回路１１における複数のヒューズＦ１〜Ｆ６の中から切断対象ヒューズを決定するものであり、切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるように切断対象ヒューズを決定するようになっている。
なお、トリミング値は、例えば、被制御回路１３のプロセスばらつき等によって生じる特性等に基づいて設定される値であり、既知の種々の手法を用いて決定することができる。以下、被制御回路１３に対して設定されるべきトリミング値をオリジナルトリミング値という場合がある。又、本実施形態においては、オリジナルトリミング値は整数（１０進数）として設定されるようになっている。又、以下、トリミング値を２進法で表したビット列（“０”，“１”の信号）をトリミングパターンという場合がある。【００３７】
また、図１に示す例においては、被制御回路１３には４本の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′を介して、“０（Ｌ）”もしくは“１（Ｈ）”からなる４ビットの信号がトリミングパターン（２進数）として入力されるようになっている。
図３はトリミング値を１０進法および２進法で表した例を示す図であり、トリミング値とトリミングパターンとを対応付けて示す図である。【００３８】
決定部１０４は、トリミング回路１１における複数のヒューズＦ１〜Ｆ６のそれぞれを、図３に示したようなトリミングパターン（６桁，６ビット）の各ビットに対応させ、トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを切断対象ヒューズとして設定するようになっている。なお、本第１実施形態においては、トリミングパターンおよび使用トリミングパターン（後述）を示す場合には、ヒューズＦ１〜Ｆ６の数に対応させて６ビットの値として示すものとし、又、６本のヒューズＦ１〜Ｆ６のうち、ヒューズＦ６側を最下位ビット（ＬＳＢ；Least Significant Bit）に対応させ、ヒューズＦ１側を最上位ビット（ＭＳＢ；Most Significant Bit）に対応させるものとする。【００３９】
また、決定部１０４は、トリミングパターン中において、“１”や “０”によって構成される特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとして不使用にするとともに、この非使用トリミングパターンとは異なるパターンであって、前記忌避パターンを含まない他のトリミングパターンを使用トリミングパターンとして選択するようになっている。【００４０】
そして、決定部１０４は、この使用トリミングパターンを構成する各ビットにそれぞれヒューズを対応させることにより切断対象ヒューズを決定するようになっており、これにより、切断対象ヒューズ同士を少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置するようになっている。
忌避パターンは任意に設定することができ、例えば、“１１”のように、２つ以上１が連続するものが用いられる。図３に示す例においては、忌避パターンが“１１”である場合において、この忌避パターンが含まれるトリミングパターンに忌避パターン「あり」との情報を示している。【００４１】
すなわち、図３に示す例においては、１０進数の３（００００１１；トリミングパターン）や６（０００１１０；トリミングパターン），７（０００１１１；トリミングパターン），１１（００１０１１；トリミングパターン），１２（００１１００；トリミングパターン），１３（００１１０１；トリミングパターン），１４（００１１１０；トリミングパターン），１５（００１１１１；トリミングパターン）等が、上述した忌避パターンをそなえるトリミングパターン（非使用トリミングパターン）に該当し、決定部１０４は、これらの非使用トリミングパターン以外のトリミングパターンを使用トリミングパターンとして使用するようになっている。【００４２】
なお、図3中においては、便宜上、オリジナルトリミング値が４３以上のトリミング値を省略して示している。
そして、決定部１０４は、複数のヒューズＦ１〜Ｆ６のそれぞれを、使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、この使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを切断対象ヒューズとして決定するようになっている。【００４３】
決定部１０４は、例えば、使用トリミングパターンの決定に際して、図３に示すようなトリミングパターンのリスト中から、その中に忌避パターンを含まない、すなわち、非使用トリミングパターン以外の使用可能な他のトリミングパターンを選択することができる。
また、決定部１０４は、使用トリミングパターンを選択する場合に、その中に忌避パターンを含まない、つまり、非使用トリミングパターン以外の使用可能な他のトリミングパターンの中から、その値が小さいものから大きいものへ、もしくは大きいものから小さいものへ順次選択して採用するようになっている。すなわち、決定部１０４は、忌避パターンを含むトリミングパターンを間引いて、次トリミングパターンにずらす（つめる）ことにより切断対象ヒューズを決定するようになっている。【００４４】
例えば、図３に示す例においては、トリミングパターン０００１１（３；トリミング値（１０進数））は、その値中に忌避パターンをそなえるので非使用トリミングパターンと認定されるのであるが、決定部１０４は、このトリミングパターン０００１１に代えて、使用可能な他のトリミングパターンであって、３の次に大きいものである４に対応するトリミングパターン０００１００を使用トリミングパターンとして採用するようになっている。【００４５】
そして、使用トリミングパターン０００１００（４；１０進数）は、上述の如くトリミング値３に対応して使用されるので、使用可能な他のトリミングパターンであって、０００１００（４；１０進数）の次に大きいものである０００１０１（５；１０進数）が、次に使用トリミングパターンとして採用されるようになっている。
なお、本実施形態においては、以下、決定部１０４が、使用可能なトリミングパターンの中から、その値が小さいものから順番に使用トリミングパターンを選択する場合について説明するが、これに限定されるものではなく、大きいトリミングパターンから小さい値のトリミングパターンへ順番に使用トリミングパターンを選択してもよい。【００４６】
決定部１０４は、忌避パターンをそなえた、すなわち、隣接するヒューズの切断を示すトリミングパターンは使用せずに、次トリミングパターンに値をずらすものであり、又、本集積回路装置１０においては、この際、ずらして採用することにより不足する分のトリミングパターンをヒューズのビット数（本数）を増加することによって対応するようになっている。【００４７】
図４は本発明の第１実施形態としての集積回路装置１０におけるオリジナルトリミング値と使用トリミングパターンとの関係を示す図であり、上述の如き手法により、各オリジナルトリミング値に対して適用される使用トリミングパターンをそれぞれ示している。
この図４に示すように、予め、非使用トリミングパターンを除いた、使用トリミングパターンとして使用可能なトリミングパターンを、希望するトリミング値に対応付けた変換テーブルを作成しておき、決定部１０４が、この変換テーブルを参照して、希望するトリミング値に対応する使用トリミングパターンを取得してもよく、又、希望するトリミング値から使用トリミングパターンとして使用可能なトリミングパターンを算出する変換式等を別途用意し、この変換式を用いることにより、希望するトリミング値に対応する使用トリミングパターンを取得してもよい。【００４８】
また、上述の如く、決定部１０４においては、切断対象ヒューズの決定に際して、その中に忌避パターンを含まないトリミングパターンのみを用いるようになっており、忌避パターンを含むトリミングパターンを間引いて、次トリミングパターンにずらすようになっているので、被制御回路１３に例えば４ビットのトリミング値を設定する場合には、トリミング回路１１においては４ビット以上のビット数（本第１実施形態に示す例においては６ビット）に対応する本数（本第１実施形態に示す例においては６本）のヒューズがそなえられる。【００４９】
位置決め装置１０１は、その上面部等に集積回路装置１０を載置・固定した状態で、この集積回路装置１０を水平方向において任意の位置に移動可能に構成され、制御部１０３によって集積回路装置１０の移動を制御されるようになっている。
レーザ光線射出部（切断部）１０２は、制御部１０３の制御に従ってレーザ光線を照射することにより、トリミング回路１１にそなえられた複数のヒューズＦ１〜Ｆ６のうち、決定部１０４により決定された切断対象ヒューズにレーザ光線を照射することにより、この切断対象ヒューズを切断するものであり、オン／オフ自在なレーザ光源（図示省略）や集光レンズ（図示省略）をそなえて構成されている。【００５０】
制御部１０３は、トリミング回路１１における複数のヒューズＦ１〜Ｆ６の中から、決定部１０４によって決定された切断対象ヒューズに、レーザ光線射出部１０２から射出するレーザ光線を照射させて切断するように制御を行なうものである。具体的には、制御部１０３は、レーザ光線射出部１０２によるレーザ光線の射出タイミングの制御を行なったり、レーザ光線射出部１０２から照射されるレーザ光線が切断対象ヒューズにおける切断位置（予め設定）に集光するように、位置決め装置１０１の位置制御を行なったりするようになっている。【００５１】
また、製造装置１００においては、上述の如き決定部１０４による切断対象ヒューズの決定や、レーザ光線射出部１０２や位置決め装置１０１による切断対象ヒューズの切断の他、集積回路装置１０に対して、後述するトリミング信号生成部１２ａとしての機能を実現する回路や被制御回路１３（ともに図１参照）の組み込みも行なうようになっている。
なお、これらの集積回路装置１０に対するトリミング信号生成部１２ａとしての機能を実現する回路や被制御回路１３の組み込みは、既知の種々半導体装置製造手法を用いて実現することができるので、その説明は省略する。【００５２】
そして、コンピュータのＣＰＵ（Central Processing Unit）が、切断対象ヒューズ決定プログラムや制御プログラムを実行することにより、上述した決定部１０４や制御部１０３として機能するようになっている。
なお、本実施形態において、コンピュータとは、ハードウェアとオペレーティングシステムとを含む概念であり、オペレーティングシステムの制御の下で動作するハードウェアを意味している。又、オペレーティングシステムが不要でアプリケーションプログラム単独でハードウェアを動作させるような場合には、そのハードウェア自体がコンピュータに相当する。ハードウェアは、少なくとも、ＣＰＵ等のマイクロプロセッサと、記録媒体に記録されたコンピュータプログラムを読み取るための手段とをそなえており、本実施形態においては、製造装置１００（半導体テスタを含む）がコンピュータとしての機能を有しているのである。【００５３】
なお、これらの決定部１０４や制御部１０３としての機能を実現するためのプログラムは、例えばフレキシブルディスク，ＣＤ（ＣＤ−ＲＯＭ，ＣＤ−Ｒ，ＣＤ−ＲＷ等），ＤＶＤ（ＤＶＤ−ＲＯＭ，ＤＶＤ−ＲＡＭ，ＤＶＤ−Ｒ，ＤＶＤ＋Ｒ，ＤＶＤ−ＲＷ，ＤＶＤ＋ＲＷ等），磁気ディスク，光ディスク，光磁気ディスク等の、コンピュータ読取可能な記録媒体に記録された形態で提供される。【００５４】
そして、コンピュータはその記録媒体からプログラムを読み取って内部記憶装置または外部記憶装置に転送し格納して用いる。又、そのプログラムを、例えば磁気ディスク，光ディスク，光磁気ディスク等の記憶装置（記録媒体）に記録しておき、その記憶装置から通信経路を介してコンピュータに提供するようにしてもよい。
決定部１０４や制御部１０３としての機能を実現する際には、内部記憶装置（本実施形態ではコンピュータのＲＡＭやＲＯＭ）に格納されたプログラムがコンピュータのマイクロプロセッサ（ＣＰＵ）によって実行される。このとき、記録媒体に記録されたプログラムをコンピュータが読み取って実行するようにしてもよい。【００５５】
さらに、本実施形態における記録媒体としては、上述したフレキシブルディスク，ＣＤ，ＤＶＤ，磁気ディスク，光ディスク，光磁気ディスクのほか、ＩＣカード，ＲＯＭカートリッジ，磁気テープ，パンチカード，コンピュータの内部記憶装置（ＲＡＭやＲＯＭなどのメモリ），外部記憶装置等や、バーコードなどの符号が印刷された印刷物等のコンピュータ読取可能な種々の媒体を利用することができる。【００５６】
本発明の第１実施形態としての集積回路装置１０においては、トリミング回路１１は、上述の如く、複数（図１に示す例では６つ；６ビット）のヒューズＦ１〜Ｆ６を所定のヒューズピッチで互いに平行にＸ方向に配列してそなえて構成され、切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるようになっている。
また、本第１実施形態の集積回路装置１０のトリミング回路１１においては、ヒューズピッチ（Ｐ）とヒューズの切断破片の飛散距離（Ｔ）との間には、
（２×Ｐ）<Ｔ
の関係が成り立つものとする（図１５参照）。【００５７】
また、トリミング回路１１においては、前述したように、複数のヒューズＦ１〜Ｆ６のそれぞれを、２進法で表したトリミング値（トリミングパターン）の各ビットに対応させ、トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを切断対象ヒューズとして設定され、トリミングパターン中において特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、このトリミングパターン（非使用トリミングパターン）とは異なるトリミングパターンであって、その中に忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、この使用トリミングパターンに対応させることにより切断対象ヒューズが設定されるようになっており、これにより、切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるようになっている。【００５８】
トリミング信号生成部１２ａは、切断対象ヒューズの切断が行なわれたトリミング回路１１について、トリミング回路１１の下流側において、トリミング回路１１から出力される信号に基づいて、トリミング値（オリジナルトリミング値）に対応するトリミング信号を生成するものであり、図１に示すように、デコーダ（図１に示す例においては６ビットデコーダ）１２１とエンコーダ（図１に示す例においては４ビットエンコーダ）１２２とをそなえて構成されている。【００５９】
このトリミング信号生成部１２ａは、切断対象ヒューズの切断が行なわれたトリミング回路１１について、非使用トリミングパターンを間引くことによって使用トリミングパターンとしてトリミング回路１１に設定された値を、本来、被制御回路１３に設定されるべきトリミング値（オリジナルトリミング値）に対応するトリミング信号を変換する変換処理を行なうようになっている。【００６０】
なお、図１に示す例においては、トリミング信号生成部１２ａには６本の信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆを介して、“０（Ｌ）”もしくは“１（Ｈ）”からなる６ビットの信号が使用トリミングパターンとして入力されるようになっており、ヒューズＦ１が信号線Ｆを介して、ヒューズＦ２が信号線Ｅを介してトリミング信号生成部１２ａのデコーダ１２１に接続されるようになっており、同様に、ヒューズＦ３が信号線Ｄを介して、ヒューズＦ１が信号線Ｆを介して、ヒューズＦ４が信号線Ｃを介して、ヒューズＦ５が信号線Ｂを介して、ヒューズＦ６が信号線Ａを介して、それぞれトリミング信号生成部１２ａのデコーダ１２１に接続されるようになっている。【００６１】
また、図１に示す例においては、トリミング信号生成部１２ａは、４本の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′を介して、“０（Ｌ）”もしくは“１（Ｈ）”からなる４ビットの信号をトリミング信号（出力信号）として出力し、このトリミング信号が被制御回路１３に入力されるようになっている。又、図１に示す例においては、４本の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′のうち、信号線Ａ′側をＬＳＢに対応させ、信号線Ｄ′側をＭＳＢに対応させるものとする。【００６２】
デコーダ１２１は、トリミング回路１１からの出力信号を入力してデコード処理を行ない、このデコード処理の結果として使用トリミングパターンに対応する信号を出力するものであり、トリミング回路１１のヒューズＦ１〜Ｆ６からの出力信号をそれぞれ入力可能な複数の入力端子１２３と、これらの入力端子に入力された信号をデコードするデコード処理部（図示省略）と、このデコード結果に対応する信号が出力される複数の出力端子１２６とをそなえて構成されている。【００６３】
図１に示す例においては、デコーダ１２１は、トリミング回路１１のヒューズＦ１〜Ｆ６からの出力信号（６ビット）を入力可能な６ビットデコーダとして構成され、これらのヒューズＦ１〜Ｆ６から入力される６ビットの信号をデコードし、このデコード結果に対応する特定の出力端子１２６から“１（Ｈ）”を出力するようになっている。
なお、図１に示す例においては、デコーダ１２１における複数の出力端子１２４のうち１６個の出力端子１２４のそれぞれが、使用トリミングパターンに対応する値である０，１，２，４，５，８，９，１０，１６，１７，１８，２０，２１，３２，３３，３４（いずれも１０進数；以下、この使用トリミングパターンに対応する１０進数の値を使用トリミング値と言う場合もある）のいずれかに対応している。【００６４】
また、図１に示す例においては、デコーダ１２１における複数の出力端子１２４のうち、前記使用トリミングパターンに対応する０，１，２，４，５，８，９，１０，１６，１７，１８，２０，２１，３２，３３，３４（いずれも１０進数）に関する出力端子１２４以外のものは開放されている。
エンコーダ１２２は、デコーダ１２１から出力される信号を入力してエンコード処理を行ない、このエンコード処理の結果としてオリジナルトリミング値に対応する所定のビット数（本実施形態においては４ビット）の信号（トリミング信号）を出力するものであって、デコーダ１２１の各出力端子１２４からの出力信号をそれぞれ入力可能な複数の入力端子１２５と、これらの入力端子１２５に入力された信号に基づいてエンコード（２進数化）するエンコード処理部（図示省略）と、このエンコード結果に基づいて、それぞれ“０（Ｌ）”もしくは“１（Ｈ）”が出力される複数の出力端子１２６とをそなえて構成されている。なお、このエンコーダ１２２から出力される信号のビット数は、被制御回路１３に入力されるべきトリミング信号（２進数）のビット数に一致するものである。【００６５】
また、このエンコーダ１２２における複数の入力端子１２５は、被制御回路１３に設定されるべきトリミング値（オリジナルトリミング値）に対応してそれぞれそなえられており、図１に示す例においては、１６個の入力端子１２５のそれぞれが０〜１５のいずれかの整数（オリジナルトリミング値）に対応している。
そして、デコーダ１２１における０，１，２，４，５，８，９，１０，１６，１７，１８，２０，２１，３２，３３，３４にそれぞれ対応する非開放の出力端子１２４と、エンコーダ１２２における０〜１５に対応する入力端子１２５とは１対１に対応して接続されており、これらのデコーダ１２１の出力端子１２４に対応付けられた使用トリミング値（１０進数）と、エンコーダ１２２の入力端子１２５にそれぞれ対応付けられたオリジナルトリミング値（１０進数）とが、前述した決定部１０４において対応付けられたオリジナルトリミング値（１０進数）と使用トリミング値（１０進数）との関係（図４参照）に一致するようになっている。【００６６】
すなわち、図１に示す例においては、デコーダ１２１における出力信号“０”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“０”に対応する入力端子１２５に接続されており、以下同様に、デコーダ１２１における出力信号“１”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“１”に対応する入力端子１２５に、デコーダ１２１における出力信号“２”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“２”に対応する入力端子１２５に、デコーダ１２１における出力信号“４”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“３”に対応する入力端子１２５に、デコーダ１２１における出力信号“５”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“４”に対応する入力端子１２５に、・・中略・・・、デコーダ１２１における出力信号“３４”に対応する出力端子１２４が、エンコーダ１２２における入力信号“１５”に対応する入力端子１２５に、それぞれ接続されている。【００６７】
また、エンコーダ１２２においては、信号入力が行なわれた入力端子１２５に対応する値（オリジナルトリミング値）をエンコードして、出力端子１２６から、このエンコード結果に応じた４ビットの出力信号（オリジナルトリミング値に対応する信号；トリミング信号）を出力するようになっている。
上述の如く、決定部１０４が切断対象ヒューズを決定する際に、切断破片飛散距離の範囲内のヒューズを切断するおそれのあるトリミング値を次トリミング値にずらすことにより、トリミング回路１１からの出力値（トリミング出力値）が非リニアな２進数出力となるので、トリミング信号生成部１２ａは、リニア変換を行なうことによりリニアな２進数出力に戻すのである。【００６８】
図５は本発明の第１実施形態としての集積回路装置１０におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、トリミング信号生成部１２ａ（エンコーダ１２２）から出力されるトリミング信号（４ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値（６ビット２進数および１０進数）に対応させて示している。
なお、この図５中においては、便宜上、オリジナルトリミング値が４３以上のトリミング値を省略して示している。又、この図５に示す例においては、忌避パターン“１１”を含まないトリミングパターンを上（トリミング値の低い方）から順次採択している。【００６９】
そして、このエンコーダ１２２からの出力信号は、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′を介して被制御回路１３にトリミング信号として入力されるようになっている。
上述の如く構成された本発明の第１実施形態の集積回路装置１０において、トリミング回路１１にトリミング値（オリジナルトリミング値）“７（０１１１；２進数）”を設定する場合には、製造装置１００において、決定部１０４が、例えば、図４に示すような変換テーブルを参照して、忌避パターンを含まない使用トリミングパターン００１０１０（１０；１０進数）”を取得し、この使用トリミングパターンをトリミング回路１１にそなえられた複数のヒューズＦ１〜Ｆ６に対応させ、使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズＦ３，Ｆ５を切断対象ヒューズとして決定する。【００７０】
制御部１０３は、レーザ光線射出部１０２および位置決め装置１０１の制御を行ない、この決定部１０４に決定された切断対象ヒューズ（ヒューズＦ３，Ｆ５）を切断する。
これにより、トリミング回路１１において、切断対象ヒューズどうしが少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置され、ヒューズＦ３の切断により生じた切断破片がヒューズＦ５の切断位置に到達することがなく、同様に、ヒューズＦ５の切断により生じた切断破片がヒューズＦ３の切断位置に到達することがなく、これらのヒューズＦ３，Ｆ５において再短絡が生じることがない。【００７１】
切断対象ヒューズを切断された集積回路装置１０においては、信号線Ｆ，Ｅ，Ｄ，Ｃ，Ｂ，Ａを介して、デコーダ１２１における４ビット目と２ビット目の入力端子１２３に信号入力が行なわれ、デコード処理部において、これらの信号入力に基づくデコード処理が行なわれ、このデコード結果“１０”に対応する出力端子１２４から信号出力が行なわれる。【００７２】
この“１０”に対応する出力端子１２４からの出力信号はエンコーダ１２２における入力信号“７”に対応する入力端子１２５に入力され、エンコーダ１２２におけるエンコード処理部において、入力信号“７”に対応する２進数“０１１１”が求められる（エンコード）。
そして、エンコーダ１２２における出力端子１２６から、信号線Ｄ′，Ｃ′，Ｂ′，Ａ′を介して、“０”，“１”，“１”，“１”がそれぞれ出力され、被制御回路１３に“０”，“１”，“１”，“１”がトリミング信号として入力される。【００７３】
このように、本発明の第１実施形態としての集積回路装置１０によれば、トリミング回路１１において、切断対象ヒューズどうしが少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置され、隣接するヒューズが切断されることがないので、隣接するヒューズの切断破片の飛散による切断済みのヒューズの最短絡の発生を回避することができ、ヒューズピッチ（ヒューズ間隔）を縮小してトリミング回路１１の占有面積を縮小することができる。又、プロセスの微細化に応じてヒューズピッチを縮小することもできる。【００７４】
また、ヒューズＦ１〜Ｆ６の切断に伴なう切断破片の飛散による影響を最小限におさえて、信頼性を向上させることができる。
さらに、ヒューズＦ１〜Ｆ６の出力ビットの組み合わせにおいて、トリミングパターンとして不使用であって、その中に忌避パターンをそなえないトリミングパターン（例えば、図５中における１０進数の３６，３７，４０，４１，４２に対応）は、予備ビットとして種々の用途に使用することができ利便性が高い。【００７５】
（Ｂ）第２実施形態の説明
図６は本発明の第２実施形態としての集積回路装置１０のトリミング信号生成部１２ｂの構成例を示す図である。なお、この図６に示す例においては、トリミング信号生成部１２ｂが、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを介して入力される４ビットの入力信号を、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′の３ビットの信号に変換して出力する例を示している。【００７６】
また、この図６に示す例においては、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄのうち、信号線Ｄ側を最下位ビット（ＬＳＢ）に対応しており、信号線Ａ側を最上位ビット（ＭＳＢ）に対応している。又、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′のうち、信号線Ｃ′側を最下位ビット（ＬＳＢ）に対応しており、信号線Ａ′側を最上位ビット（ＭＳＢ）に対応している。
本発明の第２実施形態としての集積回路装置１０は、図１に示す集積回路１０のトリミング信号生成部１２ａに代えて、図６に示すようなトリミング信号生成部１２ｂをそなえるものであり、その他の部分は第１実施形態の集積回路装置１０と同様に構成されている。【００７７】
このトリミング信号生成部１２ｂは、図１に示すトリミング生成部１２ａを論理回路（直接変換方式ヒューズ出力変換回路）として構成したものである。
本発明の第２実施形態としての集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、トリミング生成部１２ｂを論理回路によって構成して、シリアルに変換せずに直接シリアルからシリアル変換することにより、トリミング信号生成部１２ａをシリアル−パラレル変換回路（シリパラ変換回路）を利用して構成する場合に比べて、回路を小さくして、その占有面積を小さくすることができる。【００７８】
例えば、この図６に示す例においては、インバータ換算で約２５セル分の変換回路占有面積で実現することができ、その占有面積を小さくすることができることがわかる。
（Ｃ）第３実施形態の説明
図７は本発明の第3実施形態としての集積回路装置１０のトリミング信号生成部１２ｃの構成例を示す図であり、図８は図７に示すトリミング信号生成部１２ｃにおけるヒューズ出力をトリミング値（１０進数）に対応させて示す図、図９は図７に示すトリミング信号生成部１２ｃの出力信号をオリジナルトリミング値（１０進数）に対応させて示す図である。【００７９】
本発明の第3実施形態としての集積回路装置１０は、図１に示す集積回路１０のトリミング信号生成部１２ａに代えて、トリミング信号生成部１２ｃをそなえるものであり、その他の部分は第１実施形態の集積回路装置１０と同様に構成されている。
なお、図７〜図９に示す例においては、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆを介して入力される６ビットの入力信号を、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′の4ビットの信号に変換して出力する例を示している。【００８０】
また、これらの図７〜図９に示す例においては、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆのうち、信号線Ａ側をＬＳＢに対応しており、信号線Ｆ側をＭＳＢに対応している。又、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′のうち、信号線Ａ′側をＬＳＢに対応しており、信号線Ｄ′側をＭＳＢに対応している。
また、図７に示す例においては、信号線Ｅのヒューズ出力は開放（オープン）になっており、ヒューズEのレイアウトは省略しても良い。又、信号線Ｆは信号線Ｄ′に接続されている。【００８１】
さらに、図８に示す例においては、信号線Ｅにかかるヒューズを使用する場合に、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ，Ｆからの入力信号によって生成される数値（１０進数）と、信号線Ｅにかかるヒューズを使用しない場合に、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｆからの入力信号によって生成される数値（１０進数）とを列記して示している。
さて、図８に示すように、例えば、トリミング信号生成部１２ｃに入力されるヒューズ出力信号を順次カウントアップして、それぞれ２進法で表した場合に、これらの２進数の下位４ビット（信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）においては、繰り返しパターンが見られる。【００８２】
例えば、信号線Ｅを使用しない場合において、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｆからの入力信号として、１０進数の０，１，２，４，５，８，９，１０に対応する信号をそれぞれ出力する場合と、１０進数の１６，１７，１８，２０，２１，２４，２５，２６に対応する信号をそれぞれ出力する場合とで、下位４ビット（信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）は同一のパターンを形成するようになっている。【００８３】
すなわち、例えば、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄにおいては、１０進数の０と１0進数の１６とでは同一の信号がトリミング信号生成部１２に入力され、１０進数の１と１０進数の１７とでは同一の信号（繰り返し信号）がトリミング信号生成部１２に入力されるのである。
同様に、図９に示すように、トリミング信号生成部１２ｃから出力される出力信号を順次カウントアップして、それぞれ２進法で表した場合に、これらの２進数の下位３ビット（信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′）においては、繰り返しパターンが見られる。【００８４】
例えば、トリミング信号生成部１２ｃからの出力信号において、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′から１０進数の０〜１０に対応する信号をそれぞれ出力する場合に、１０進数の０〜７に対応する信号をそれぞれ出力する場合と、１０進数の８〜１５に対応する信号をそれぞれ出力する場合とで、下位３ビット（信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′）は同一のパターンを形成するようになっている。【００８５】
例えば、信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′においては、１０進数の０と１０進数の７とでは同一の信号（繰り返し信号）が出力され、１０進数の１と１０進数の８とでは同一の信号が出力されるのである。
なお、図８に示す例においては、信号線Ｅの信号はトリミング信号生成部１２ｃ（変換回路）に必ずしも入力する必要はなく、又、信号線Ｄにかかるヒューズと信号線Ｆにかかるヒューズとのヒューズピッチが、ヒューズの切断破片の飛散距離よりも大きい場合には、この信号線Ｅにかかるヒューズは無くてもよい。【００８６】
本第３実施形態の集積回路装置１０のトリミング信号生成部１２ｃにおいては、このように、出力信号の一部において繰り返しパターンが形成される場合に、この繰り返しパターンを形成する下位ビットの信号を、図7に示すようなサブルーチン化した回路（部分変換回路）を介して変換するようになっている。
この図７に示す例においては、トリミング信号生成部１２ｃは、ＬＳＢ側の繰り返し部分（信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）を、半加算器１３１や全加算器１３２，１３３を組み合わせることにより構成されたサブルーチン回路１３４を介して変換するようになっており、信号線Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄからの信号がこのサブルーチン回路１３４に入力されるようになっている。【００８７】
また、このサブルーチン回路１３４からの出力が、トリミング信号として信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′を介して出力されるようになっている。
本第３実施形態の集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、トリミング信号生成部１２ｃを構成する回路を小さくして、その占有面積を小さくすることができる。【００８８】
図１０および図１１はそれぞれ本発明の第３実施形態としての集積回路装置１０におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、図１０は忌避パターン“１１”を含むトリミングパターンを除いて、ＬＳＢ側をサブルーチン化した例を示す図、図１１は、ヒューズＥを不使用とした場合における例を示す図である。
なお、図１１中においては、ヒューズＥに対応するビットを“ｘ”として示している。又、図１０中においては、便宜上、オリジナルトリミング値が４３以上の一部のトリミング値を省略している。【００８９】
これらの図１０および図１１に示す例においては、それぞれ６ビットの入力信号を、４ビットの信号に変換して出力する例を示しており、トリミング信号生成部１２ｃ（エンコーダ１２２）から出力される出力信号（４ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値に対応させて示している。
（Ｄ）第１変形例の説明
上述した各実施形態においては、トリミングパターン中において、２つの“１”が連続する“１１”を忌避パターンとして採用し、この忌避パターン“１１”を含むトリミングパターンを非使用トリミングパターンとしているが、本変形例においては、忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対して重み付けを行ない、製造装置１００において、決定部１０４が、この重みに基づいて使用トリミングパターンの選択を行なうようになっている。【００９０】
図１２は本発明の第１〜第３実施形態の第１変形例としての集積回路装置１０におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるトリミング信号（４ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値（６ビット２進数および１０進数）に対応させて示している。【００９１】
なお、この図１２中においては、便宜上、４３以上のオリジナルトリミング値を省略して示している。
この図１２に示す例においては、前述した忌避パターン“１１”に加えて、“１０１０１”および“１０１”を忌避パターンとして設定するとともに、これらの忌避パターンに、１〜３の３段階危険度（重み）をそれぞれ設定している。具体的には、忌避パターン“１１”には危険度「３」を、忌避パターン“１０１０１”には危険度「２」を、忌避パターン“１０１”には危険度「１」をそれぞれ設定している。【００９２】
なお、以下、“危険度「１」の忌避パターンを含むトリミングパターン”のことを“危険度「１」のトリミングパターン”といい、同様に、“危険度「２」の忌避パターンを含むトリミングパターン”のことを“危険度「２」のトリミングパターン”、“危険度「３」の忌避パターンを含むトリミングパターン”のことを“危険度「３」のトリミングパターン”という場合がある。又、忌避パターン“１１”，“１０１０１”，“１０１”のいずれも含まないトリミングパターンのことを、“危険度「０」のトリミングパターン”という場合がある。【００９３】
そして、例えば、設計者等が採用する危険度を予め決定し、決定部１０４は、この採用された危険度以上の忌避パターンのいずれかを含むトリミングパターンを非使用トリミングパターンとして設定し、危険度「２」未満のトリミングパターンを上（トリミング値の低い方）から順次採択している。
例えば、図１２に示す例においては、２進数中に危険度が「２」以上の忌避パターン、すなわち、忌避パターン“１１”もしくは忌避パターン“１０１０１”のいずれかを含むトリミングパターンを非使用トリミングパターンとしている。【００９４】
本発明の第１〜第３実施形態の第１変形例としての集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対して重み付けを行ない、製造装置１００において、決定部１０４が使用トリミングパターンの選択を行なう際に使用する危険度を、適宜、変更することにより、集積回路装置１０の信頼性や歩留まり等を任意に設定することができ利便性が高い。【００９５】
例えば、ヒューズピッチや集積回路装置１０の歩留まり等の種々の条件に合わせて、危険度を決定することができる。一般に、危険度が大きいほど歩留まりが低下しやすいのである。
なお、危険度の設定方法は上述した手法に限定されるものではなく、例えば、切断位置間の距離に比例させたり、又、２乗比例したりしてもよく、又、連続する“１”の数に関連付けて危険度を決定してもよく、種々変形して実施することができる。【００９６】
（Ｅ）第２変形例の説明
本第２変形例の集積回路装置１０においては、使用トリミングパターンとして、危険度の低いトリミングパターンから優先的に採用する。例えば、使用トリミングパターンとして、危険度「１」のトリミングパターンよりも危険度「０」のトリミングパターンを優先的に使用し、候補中から危険度「０」のトリミングパターンをすべて抽出・使用した後、次に、危険度「１」のトリミング値を使用する。【００９７】
前述した第１変形例においては、採用された危険度以下の全てのトリミングパターン中において、その値が小さい（もしくは大きい）ものから順次、設定・採用されるようになっているので、例えば、ヒューズのビット数（本数）が多い場合等において、大きい値（もしくは小さい値）で、且つ、危険度が小さいトリミング値のパターンが余っていても使用されない場合がある。【００９８】
本発明の第１〜第３実施形態の第２変形例としての集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、危険度の低いトリミングパターンから優先的に使用することにより、危険度の低いトリミングパターンを有効に使用することができ、ヒューズの切断破片の飛散による切断済みのヒューズの最短絡の発生を確実に回避することができる。【００９９】
（Ｆ）第３変形例の説明
図１３は本発明の第１〜第3実施形態の第３変形例としての集積回路装置１０におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるトリミング信号（５ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値（６ビット２進数および１０進数）に対応させて示している。【０１００】
なお、この図１３中においても、便宜上、４３以上のオリジナルトリミング値について、危険度３以上のものの表示を省略している。
また、本第3変形例の集積回路装置１０においては、図１に示した４ビット分の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′に加えて、更に１本の信号線Ｅ′（図示省略）を最上位ビット（ＭＳＢ）側にそなえて構成され、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、これらの信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′，Ｅ′を介して、被制御回路１３に５ビットの出力信号を供給するようになっている。【０１０１】
本発明の第１〜第３実施形態の第３変形例としての集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、図１３に示すように、５ビット以上の信号（多値）を出力することにより、被制御回路１３に対してより多くの情報を供給することができる。又、４ビットヒューズよりも５値も多く利用可能である。【０１０２】
（Ｇ）第４変形例の説明
図１４は本発明の第１〜第3実施形態の第４変形例としての集積回路装置１０におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、図１４は危険度０を上（トリミング値の低い方）から順次採択した例を示す図である。
この図１４中においては、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるトリミング信号（５ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値（６ビット２進数および１０進数）に対応させて示している。【０１０３】
なお、この図１４中においても、便宜上、４３以上のオリジナルトリミング値の表示を省略している。
また、本第４変形例の集積回路装置１０においては、上述した第３変形例と同様に、図１に示した４ビット分の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′に加えて、更に１本の信号線Ｅ′（図示省略）を最上位ビット（ＭＳＢ）側にそなえて構成され、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、これらの信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′，Ｅ′を介して、被制御回路１３に４ビットの出力信号を供給するようになっている。【０１０４】
本第４変形例の集積回路装置１０においては、ヒューズＦ１〜Ｆ６の切断に伴なう切断破片の飛散による影響を最小限におさえて、信頼性を向上させるために、危険度「１」以上の忌避パターンをそなえる全てのトリミングパターンを非使用トリミングパターンとしており、更に、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、図１４に示すように、５ビット以上の信号（多値）を出力するようになっている。【０１０５】
本発明の第１〜第３実施形態の第４変形例としての集積回路装置１０によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃにおいては、ヒューズＦ１〜Ｆ６の切断に伴なう切断破片の飛散による影響を最小限におさえて、信頼性を向上させることができるとともに、集積回路装置１０の歩留まりを向上させ、更に、被制御回路１３に対してより多くの情報を供給することができる。【０１０６】
また、図１４に示す例においては、０〜１２（１０進数）の１３種類のトリミング信号がトリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるようになっており、これより多くのトリミング信号が必要な場合には、トリミング回路１１において更にヒューズを追加することにより必要な数のトリミング信号を得ることができる。
（Ｈ）その他
図１５は本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置１０のトリミング回路１１におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図であり、ヒューズの切断位置と、この切断によって生じる切断破片の飛散領域との関係を示している。【０１０７】
この図１５に示すように、本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置１０においては、切断対象ヒューズどうしが少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置され、隣接するヒューズが切断されることがないので、ヒューズの切断破片の飛散距離の範囲内に、そのヒューズに隣り合うヒューズを配置することができ、トリミング回路１１の占有面積を縮小することができるのである。【０１０８】
なお、この図１５においては、トリミング回路１１において１２本のヒューズＦ１〜Ｆ１２がそなえられ、１０進数の１３００を設定した例を示す。
そして、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上述した各実施形態およびその変形例の集積回路装置１０のトリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃの入力側もしくは出力側に仮想切断用信号端子をそなえて構成してもよい。【０１０９】
図１６は本発明の第３実施形態としての集積回路装置１０のトリミング信号生成部１２ｃに仮想切断用信号端子をそなえた例を示す図である。
この図１６に示す例においては、便宜上、図７に示したトリミング信号生成部１２ｃの上流側において信号線Ｃに仮想切断用信号端子１４０がそなえられている。
この仮想切断用信号端子１４０は、ヒューズＦ２を切断した状態を擬似的に作成するものであって、図１６に示すように、ヒューズＦ２の上流側もしくは下流側において、切断用スイッチ１４１をヒューズＦ２に直列に接続して構成され、更に、この切断用スイッチ１４１に対して、開閉のコントロール信号を供給することにより、切断用スイッチ１４１を開閉してヒューズの切断状態を擬似的に実現することができるようになっている。【０１１０】
なお、この図１６に示す例においては、信号線Ｃに仮想切断用信号端子１４０がそなえられている状態を示しているが、これに限定されるものではなく、他のヒューズにも仮想切断用信号端子１４０をそなえてもよい。
本発明の一実施形態としての製造装置における仮想切断手法を、図１８を参照しながら図１７に示すフローチャート（ステップＳ１０〜Ｓ７０）に従って説明する。なお、図１８はカウンタ値（オリジナルトリミング値）と使用トリミング値（１０進数）および使用トリミングパターン（２進数）との対応例を示す図であり、この図１８に示す例においては、図１６に示す回路構成例のトリミング信号生成部１２ｃを用いた場合について示すものとする。【０１１１】
切断対象のヒューズに対応させてカウンタ値の設定を行なった後に（ステップＳ１０）、図１８に示すカウンタ値の変換テーブルを参照して、カウンタ値に対応する使用トリミングパターン（使用トリミング値）を取得し、トリミング回路１１（ヒューズ）に対して、この使用トリミングパターンを設定する（ステップＳ２０）。
そして、この設定した使用トリミングパターンで仮想切断を行ない（ステップＳ３０）、被制御部の測定を行なった後（ステップＳ４０）、カウンタ値の終了を判断する（ステップＳ５０）。【０１１２】
カウンタ値が終了ではない場合には（ステップＳ５０のＮＯルート参照）、カウンタ値の更新を行なった後に（ステップＳ６０）、ステップＳ２０に戻る。なお、カウンタ値の更新には、例えば、はさみうち法や二分法が用いられる。
また、カウンタ値が終了の場合には（ステップＳ５０のＹＥＳルート参照）、そのカウンタ値に対応する使用トリミングパターンを用いて実際にヒューズの切断（実切断）を行なう（ステップＳ７０）。【０１１３】
なお、トリミング値の変化が数式化可能である場合には（図１０等参照）、使用トリミング値をカウンタ値に設定し、図５７に示したフローチャートに示す手法を適用してもよい。
また、上述した各実施形態および各変形例においては、トリミング回路１１において、複数のヒューズＦ１〜Ｆ６のうち隣り合うヒューズＦ１〜Ｆ６について、ヒューズＦ１〜Ｆ６の配列方向（図１中における左右方向；Ｘ方向）に直行する方向（図１中における上下方向；Ｙ方向）において同一の位置で切断しているが、これに限定されるものではなく、Ｙ方向において異なる位置でヒューズの切断を行なってもよい。【０１１４】
図１９は本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置１０のトリミング回路１１における切断位置の他の例配置例を示す図であり、隣り合う切断位置をＹ方向において異なる位置に配置した場合における、ヒューズの切断位置と、この切断によって生じる切断破片の飛散領域との関係を示している。
なお、この図１９においても、トリミング回路１１において１２本のヒューズＦ１〜Ｆ１２がそなえられ、１０進数の１３００を設定した例を示す。【０１１５】
この図１９に示す例においては、ヒューズＦ２，Ｆ４，Ｆ８，Ｆ１０を切断する例であって、ヒューズＦ２とヒューズＦ８とをＹ方向における同一位置で切断し、これらのヒューズＦ２およびヒューズＦ８の切断位置とＹ方向において異なる位置で、ヒューズＦ４とヒューズＦ１０とを切断している。
このように、ヒューズの切断位置をＹ方向ずらすことにより、Ｘ方向におけるヒューズピッチをより小さくし、トリミング回路１１の占有面積を縮小することができる。【０１１６】
このように、ヒューズの切断位置をＹ方向ずらす制御は、例えば、上述した制御部１０３によって実現される。
なお、上述した各実施形態においては、決定部１０４が、トリミングパターン中において特定のパターン（忌避パターン）を含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、この非使用トリミングパターンとは異なるトリミングパターンであって、その中に忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、この使用トリミングパターンに対応させて、すなわちトリミングパターンの変更を行なって切断対象ヒューズを決定しているが、これに限定されるものではなく、決定部１０４は、集積回路装置１０のトリミング回路１１に形成されたヒューズＦ１〜Ｆ６のヒューズピッチと、これらのヒューズＦ１〜Ｆ６の切断によって生じる切断破片の飛散距離とを比較し、ヒューズピッチが切断破片飛散距離の範囲内であるか否かの判断を行ない、ヒューズピッチが切断破片の飛散距離よりも大きい場合、すなわち、ヒューズピッチが切断破片飛散距離の範囲外である場合には、上述の如きトリミングパターンの変更を行なうことなく、その中に前述した忌避パターンを含むトリミングパターンをそのまま用いて、切断対象ヒューズを決定してもよい。【０１１７】
なお、飛散距離の算出には既知の種々の手法を用いることができ、例えば、テクノロジ毎にTEG等であらかじめ実際に切断して飛散距離を割り出し、距離と切断破片が飛散してくる確立との関係で設定する。
また、切断破片の飛散距離よりもヒューズピッチが十分に小さい場合には、切断対象ヒューズ同士が少なくともｎ本（ただし、ｎは２以上の整数）以上の非切断ヒューズを介して配置されるようにするとともに、ヒューズピッチを縮小することが望ましい。【０１１８】
このように、切断対象ヒューズ同士が少なくともｎ本以上の非切断ヒューズを介して配置されるようにするためには、例えば、忌避パターンの設定や、危険度の設定等により実現することができる。
さらに、上述した第１実施形態においては、トリミング回路１１において６本（６ビット）のヒューズＦ１〜Ｆ６をそなえるとともに、トリミング信号生成部１２から被制御回路１３に対して４ビットの出力信号を出力しているが、これに限定されるものではなく、トリミング回路１１におけるヒューズの数や、トリミング信号生成部１２からの出力信号のビット数は種々変形して実施することができる。【０１１９】
図２０〜図３１は本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であり、図２０〜図２６はトリミング回路１１において１２本（１２ビット）のヒューズをそなえて構成するとともに、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから８ビットのトリミング信号を出力（１２ビットヒューズ入力，８ビット出力）する例を示す図、図２７〜図３０はトリミング回路１１において１１本（１１ビット）のヒューズをそなえて構成するとともに、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから８ビットのトリミング信号を出力（１１ビットヒューズ入力，８ビット出力）する例を示す図である。又、図３１はトリミング回路１１において７本（７ビット）のヒューズをそなえて構成するとともに、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから５ビットのトリミング信号を出力する例を示している。【０１２０】
なお、これらの図２０〜図３０中においては、上述した危険度が「２」以下のトリミング値のみを示している。又、図２０においては変換後のトリミング値０〜５２を、図２１においては変換後のトリミング値５３〜１１１を、図２２においては変換後のトリミング値１１２〜１７０を、図２３においては変換後のトリミング値１７１〜２２９を、図２４においては変換後のトリミング値２３０〜２８６を、図２５においては変換後のトリミング値２８７〜３４５を、図２６においては変換後のトリミング値３４６〜３７６を、それぞれ示している。【０１２１】
さらに、図２７においては変換後のトリミング値０〜５５を、図２８においては変換後のトリミング値５６〜１１４を、図２９においては変換後のトリミング値１１５〜１７３を、図３０においては変換後のトリミング値１７４〜２３２を、それぞれ示している。
また、図２０〜図２６に示す例においては、トリミング値２１１４〜２７３０までのトリミングパターンが予備ビットであり、図３１に示す例においては、トリミング値８４，８５のトリミングパターンが予備ビットであり、これらの予備ビットを種々の用途に使用することができる。【０１２２】
また、忌避パターンは、上記各実施形態および各変形例に限定されるものではなく、任意に設定することができ、又、同時に複数種類の忌避パターンを用いてトリミングパターンの選択を行なってもよい。
そして、上述した各実施形態および変形例においては、例えば忌避パターンの設定によりヒューズピッチを切断破片の飛散距離の１／２未満にすることもできる。【０１２３】
さらに、上述した各実施形態および変形例においては、決定部１０４により決定された切断対象ヒューズをレーザビーム射出部１０２がレーザを用いて切断（レーザトリミング）しているが、これに限定されるものではなく、例えば電気トリミング等、レーザ以外の手法を用いて切断対象ヒューズの切断（溶断）を行なってもよい。
また、上述した第１実施形態においては、被制御回路１３に４ビットのトリミング値を設定する場合に、トリミング回路１１において、４ビット分（４本）のヒューズに２ビット分（２本）の追加ヒューズを足した６ビット分（６本）のヒューズＦ１〜Ｆ６をそなえて構成しているが、これに限定されるものではなく、１本の追加ヒューズもしくは３本以上の追加ヒューズをそなえて構成してもよい。【０１２４】
なお、トリミング回路１１にそなえるヒューズの数は、例えば、忌避パターンを構成する“０”，“１”の組み合わせパターンやビット数、危険度の設定値等により決定することができ、又、より多くのトリミング信号が必要な場合には、トリミング回路１１において更にヒューズを追加することにより必要な数のトリミング信号を得ることができる。
また、上述した第１実施形態においては、トリミング信号生成部１２ａがエンコーダ１２２をそなえて構成され、このエンコーダ１２２によるエンコード結果（エンコード出力）をトリミング信号として被制御回路１３に入力しているが、これに限定されるものではなく、被制御回路１３がエンコード出力を必要としない場合は、デコーダ１２１から直接必要な値に相当する信号だけを選択的に被制御回路１３に供給しても良い。【０１２５】
図３２および図４０は本発明の各実施形態の集積回路における被制御回路の構成例を示す図である。
図３２は冗長回路として構成されたメモリ回路１３−１の例を示す図、図４０は抵抗微調整回路１３−２の例を示す図である。
メモリ回路１３−１は、図３２に示すように、セルアレイ領域１３１，行アドレスデコード回路１３２および選択制御回路１３３をそなえて構成されている。【０１２６】
セルアレイ領域１３１はデータを格納する領域であり、通常セルアレイ領域と冗長セルアレイ領域とをそなえて構成されている。冗長セルアレイ領域は、ＲＯＭの記憶容量が小さいため、救済したい不良セル数分だけの冗長列が冗長セルアレイ領域として必要とされるものである。
行アドレスデコード回路１３２は、外部から入力される行アドレス選択信号のデコードを行なうものである。【０１２７】
選択制御回路１３３は、外部から入力される列アドレス選択信号のデコードを行なうとともに冗長選択を行なうものであり、トリミング回路１１に記憶された不良セル情報に基づき通常領域の不良メモリセルを避けて、冗長領域の良品メモリセルを選択するように制御するものである。すなわち、トリミング信号生成部１２ａ（１２ｂ，１２ｃ）から出力されるトリミング信号（Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′）に基づいて、冗長領域の良品メモリセルを選択するように制御を行なうようになっている。【０１２８】
この図３２に示すような冗長回路等の、被制御回路１３への信号値が正規分布しない場合には、上述した第１実施形態の第２変形例に示すように、トリミングパターンを危険度の低いものから順に採択する手法（図３３〜図３９参照）が適している。
図３３〜図３９は本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図であって、危険度の低いものから順に採択した例を示す図であり、図３３〜図３９はトリミング回路１１において１２本（１２ビット）のヒューズをそなえて構成するとともに、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから８ビットのトリミング信号を出力（１２ビットヒューズ入力，８ビット出力）する例を示す図である。【０１２９】
なお、これらの図３３〜図３９中においては、上述した危険度が「２」以下のトリミング値のみを示している。又、図３３においては変換後のトリミング値０〜５１を、図３４においては変換後のトリミング値５２〜１１０を、図３５においては変換後のトリミング値１１１〜１６９を、図３６においては変換後のトリミング値１７０〜２２８を、図３７においては変換後のトリミング値２２９〜２８５を、図３８においては変換後のトリミング値２８６〜３４４を、図３９においては変換後のトリミング値３４５〜３７６を、それぞれ示している。又、変換後のトリミング値２５６〜３７６は予備ビットとして用いられる。【０１３０】
抵抗微調整回路１３−２は、図４０に示すように、抵抗Ｒ０，Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，Ｒ４を直列にそなえて構成されるとともに、アナログスイッチ（ＮＭＯＳ；N-channel Metal-Oxide Semiconductor）Ｍ１，Ｍ２，Ｍ３，Ｍ４をそなえて構成されており、抵抗Ｒ１にアナログスイッチＭ１が、抵抗Ｒ２にアナログスイッチＭ２が、抵抗Ｒ３にアナログスイッチＭ３が、抵抗Ｒ４にアナログスイッチＭ４が、それぞれ並列に接続されている。【０１３１】
この図４０に示す抵抗微調整回路１３−２のように、抵抗値の微調整等の被制御回路１３への信号値が正規分布する場合は、図４１〜図４７や図４８〜図５１に示すような、トリミングパターンを危険度の低いものを正規分布の中心となるように採択する手法が望ましい。
なお、図４１〜図４７，図４８〜図５１および図５２はそれぞれ危険度の低いトリミングパターンを正規分布の中心となるようにした場合のトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。図４１〜図４７はそれぞれ１２ビットヒューズ入力，８ビット出力において、調整範囲を優先する場合の例を示しており、図４８〜図５４はそれぞれ１１ビットヒューズ入力，８ビット出力において、面積を優先する場合の例を示している。又、
図５２は正規分布に合わせて出力の中心地をシフトした例を示す図である。【０１３２】
また、図４１〜図４７中においては、上述した危険度が「２」以下のトリミング値のみを示している。又、図４１においては変換後のトリミング値０〜５１を、図４２においては変換後のトリミング値５２〜１１０を、図４３においては変換後のトリミング値１１１〜１６９を、図４４においては変換後のトリミング値１７０〜２２８を、図４５においては変換後のトリミング値２２９〜２８５を、図４６においては変換後のトリミング値２８６〜３４４を、図３９においては変換後のトリミング値３４５〜３７６を、それぞれ示している。又、変換後のトリミング値２５６〜３７６は予備ビットとして用いられる。【０１３３】
さらに、図４８〜図５１中においては、上述した危険度が「２」以下のトリミング値のみを示している。又、図４１においては変換後のトリミング値１１〜６６を、図４９においては変換後のトリミング値６７〜１２５を、図５０においては変換後のトリミング値１２６〜１８４を、図５１においては変換後のトリミング値１８５〜２４３を、それぞれ示している。【０１３４】
なお、図５２中においては、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるトリミング信号（５ビット）を、１０進法で表した数値とともに各オリジナルトリミング値（６ビット２進数および１０進数）に対応させて示している。又、この図５２中においても、便宜上、４３以上のオリジナルトリミング値について、危険度３以上のものの表示を省略している。【０１３５】
また、図５２に示す例においては、０〜１２（１０進数）の１３種類のトリミング信号がトリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃから出力されるようになっており、これより多くのトリミング信号が必要な場合には、トリミング回路１１において更にヒューズを追加することにより必要な数のトリミング信号を得ることができる。
そして、危険度の低いものを正規分布の中心となるように採択することにより、トリミング回路の占有面積を低減することができる。【０１３６】
また、図５３は図４０に示す抵抗微調整回路１３−２における変換出力パターン（トリミング値）と抵抗Ｒ１〜Ｒ４および総合抵抗値の関係を示す図であり、総合抵抗値として、トリミングパターンを危険度の低いものから順に採択した場合と、正規分布に合わせて出力中心をシフトするようにした場合との例を示している。
なお、この図５３においては、図１０に示す変換出力例に基づいて、トリミングパターンを危険度の低いものから順に採択するとともに、図１３に示す変換出力レイに基づいて、正規分布に合わせて出力中心をシフトするようにしている。又、この図５３において、ＯＮでアナログスイッチＭ１〜Ｍ４（抵抗Ｒ１〜R4）が短絡状態となるものとする。【０１３７】
危険度の低い物から順に採択した例では、抵抗値の調整範囲はＲ０〜Ｒ０＋Ｒ１＋Ｒ２＋Ｒ３＋Ｒ４となる。又、正規分布に合わせて出力の中心値をシフトした例では、抵抗値の調整範囲はＲ０＋ｒ３〜Ｒ０＋Ｒ１＋Ｒ２＋Ｒ３となる。
図５４は図４０に示す抵抗微調整回路１３−２におけるａ−ｂ間の抵抗値のバラツキの状態を示す図であり、Ｒ０＝９３［ｋΩ］，Ｒ１＝８［ｋΩ］，Ｒ２＝４［ｋΩ］，Ｒ３＝２［ｋΩ］，Ｒ４＝１［ｋΩ］とした例における値を示す。【０１３８】
この図５４に示すように、危険度の低い物から順に採択した例では、ａ−ｂ間の抵抗値は９３〜１０８[kΩ]を１[kΩ]ステップで可変可能となり、この設定では抵抗値の製造バラツキが±７．５％有っても、０．５％以内の精度に収めることが可能となる。
また、正規分布に合わせて出力の中心値をシフトした例では、ａ−ｂ間の抵抗値は９５〜１０７［ｋΩ］を１［ｋΩ］ステップで可変可能となり、この設定では抵抗値の製造バラツキが±６％有っても、０．５％以内の精度に収めることが可能となる。【０１３９】
また、該当ヒューズを切断する手段は半導体テスタで従来の試験プログラムの一部修正してヒューズを切断する事が可能であり、新たな設備は必要とするものではない。
なお、半導体テスタとは、半導体完成品（ＩＣ・ＬＳＩ）の状態（良品／不良品）を高速に自動的に判別（テスト）する装置である。
このような半導体テスタにおいては、被制御回路１３の状態を測定し、切断するヒューズを決定するようになっており、デコーダ出力値が所要の値になるように切断するヒューズを決定するようになっている。【０１４０】
例えば、上述の如く、被制御回路１３への信号値の正規分布に合わせて出力の中心値をシフトした例の回路を用いる場合は、半導体テスタに図１３に示すような変換テーブルを記憶させ、測定した値を元に順次ヒューズの切断を行なう。
また、このような変換テーブルを用いる代わりに、プログラムに判定式（条件式）を直接書き込んでも良い。【０１４１】
さらに、半導体テスタに限定されるものではなく、ＰＣ（Personal Computer）やＷＳ（Work Station）等の汎用機器を使用して、半導体テスタのコントロラーと同等の事を行なっても良い。
また、顧客がヒューズの切断を行う際には、半導体メーカー等から提供されたテーブルを元に、レーザトリミングや電気トリミング等の手法により該当ヒューズの切断を行なうことができる。【０１４２】
なお、本発明の各実施形態が開示されていれば、本発明を当業者によって実施・製造することが可能である。
【産業上の利用可能性】
【０１４３】
複数のヒューズが配列されており、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路をそなえた種々の電子部品に適用できる。
【図１】
2007116503.tif 000003
【図２】
2007116503.tif 000004
【図３】
2007116503.tif 000005
【図４】
2007116503.tif 000006
【図５】
2007116503.tif 000007
【図６】
2007116503.tif 000008
【図７】
2007116503.tif 000009
【図８】
2007116503.tif 000010
【図９】
2007116503.tif 000011
【図１０】
2007116503.tif 000012
【図１１】
2007116503.tif 000013
【図１２】
2007116503.tif 000014
【図１３】
2007116503.tif 000015
【図１４】
2007116503.tif 000016
【図１５】
2007116503.tif 000017
【図１６】
2007116503.tif 000018
【図１７】
2007116503.tif 000019
【図１８】
2007116503.tif 000020
【図１９】
2007116503.tif 000021
【図２０】
2007116503.tif 000022
【図２１】
2007116503.tif 000023
【図２２】
2007116503.tif 000024
【図２３】
2007116503.tif 000025
【図２４】
2007116503.tif 000026
【図２５】
2007116503.tif 000027
【図２６】
2007116503.tif 000028
【図２７】
2007116503.tif 000029
【図２８】
2007116503.tif 000030
【図２９】
2007116503.tif 000031
【図３０】
2007116503.tif 000032
【図３１】
2007116503.tif 000033
【図３２】
2007116503.tif 000034
【図３３】
2007116503.tif 000035
【図３４】
2007116503.tif 000036
【図３５】
2007116503.tif 000037
【図３６】
2007116503.tif 000038
【図３７】
2007116503.tif 000039
【図３８】
2007116503.tif 000040
【図３９】
2007116503.tif 000041
【図４０】
2007116503.tif 000042
【図４１】
2007116503.tif 000043
【図４２】
2007116503.tif 000044
【図４３】
2007116503.tif 000045
【図４４】
2007116503.tif 000046
【図４５】
2007116503.tif 000047
【図４６】
2007116503.tif 000048
【図４７】
2007116503.tif 000049
【図４８】
2007116503.tif 000050
【図４９】
2007116503.tif 000051
【図５０】
2007116503.tif 000052
【図５１】
2007116503.tif 000053
【図５２】
2007116503.tif 000054
【図５３】
2007116503.tif 000055
【図５４】
2007116503.tif 000056
【図５５】
2007116503.tif 000057
【図５６】
2007116503.tif 000058
【図５７】
2007116503.tif 000059
【図５８】
2007116503.tif 000060
【手続補正書】
【提出日】平成21年1月6日(2009.1.6)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数のヒューズが配列されてなり、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路と、
該トリミング回路の下流側において、該トリミング回路から出力される信号に基づいて該トリミング値に対応するトリミング信号を生成するトリミング信号生成部とをそなえて構成され、
該トリミング回路において、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されることを特徴とする、集積回路装置。
【請求項２】
該トリミング回路において、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズが該切断対象ヒューズとして設定されることを特徴とする、請求項１記載の集積回路装置。
【請求項３】
該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けを行ない、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンが選択されることにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズが設定されることを特徴とする、請求項２記載の集積回路装置。
【請求項４】
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造装置であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象ヒューズを決定する決定部と、
該決定部により決定された該切断対象ヒューズを切断する切断部とをそなえ、
該決定部が、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、製造装置。
【請求項５】
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造方法であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象のヒューズを決定する決定ステップと、
該決定ステップにおいて決定された該切断対象ヒューズを切断する切断ステップとをそなえ、
該決定ステップにおいて、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズが決定されることを特徴とする、製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
一般に、トリミング回路において、切断対象となるヒューズは、例えばチップの特性に合わせて決定されるので、任意のヒューズが切断対象となり得る。従って、従来の集積回路装置のトリミング回路においては、全てのヒューズについて、隣り合うヒューズの切断点どうしの直線距離間隔をヒューズ切断破片の飛散距離よりも大きく設定する必要があり、図５８に示すように、ヒューズの配列方向（Ｘ方向）にヒューズ切断点の間隔を広げたり、又、図５６に示すように、ヒューズの配列方向（Ｘ方向）およびその直交方向（Ｙ方向）にヒューズ切断点の間隔を広げる必要があり、トリミング回路の専有面積が大きくなってしまう。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
【図１】本発明の第１実施形態としての集積回路装置の構成を模式的に示す図である。
【図２】本発明の一実施形態としての製造装置の構成を模式的に示す図である。
【図３】トリミング値を１０進法および２進法で表した例を示す図である。
【図４】本発明の第１実施形態としての集積回路装置におけるオリジナルトリミング値と使用トリミング値との関係を示す図である。
【図５】本発明の第１実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図６】本発明の第２実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部の構成例を示す図である。
【図７】本発明の第3実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部の構成例を示す図である。
【図８】図７に示すトリミング信号生成部におけるヒューズ出力をトリミング値（１０進数）に対応させて示す図である。
【図９】図７に示すトリミング信号生成部の出力信号をオリジナルトリミング値（１０進数）に対応させて示す図である。
【図１０】本発明の第３実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１１】本発明の第３実施形態としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１２】本発明の第１〜第３実施形態の第１変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１３】本発明の第１〜第3実施形態の第３変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１４】本発明の第１〜第3実施形態の第４変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図１５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図である。
【図１６】本発明の第３実施形態としての集積回路装置のトリミング信号生成部に仮想切断用信号端子をそなえた例を示す図である。
【図１７】本発明の一実施形態としての製造装置における仮想切断手法を説明するためのフローチャートである。
【図１８】本発明の一実施形態としての製造装置におけるカウンタ値と使用トリミング値および使用トリミングパターンとの対応例を示す図である。
【図１９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置のトリミング回路における切断位置の他の例配置例を示す図である。
【図２０】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２１】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２２】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２３】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２４】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２６】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２７】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２８】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図２９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３０】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３１】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置における他のヒューズ数をそなえた構成におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３２】本発明の各実施形態の集積回路における被制御回路の構成例を示す図である。
【図３３】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３４】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３５】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３６】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３７】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３８】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図３９】本発明の各実施形態および各変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４０】本発明の各実施形態の集積回路における被制御回路の構成例を示す図である。
【図４１】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４２】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４３】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４４】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４５】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４６】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４７】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４８】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図４９】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５０】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５１】本発明の一実施形態の集積回路におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５２】本発明の第１〜第3実施形態の第４変形例としての集積回路装置におけるトリミング値とトリミング信号との関係を示す図である。
【図５３】図４０に示す抵抗微調整回路における変換出力パターン（トリミング値）と抵抗Ｒ１〜Ｒ４および総合抵抗値の関係を示す図である。
【図５４】図４０に示す抵抗微調整回路におけるａ−ｂ間の抵抗値のバラツキの状態を示す図である。
【図５５】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の配置例を示す図である。
【図５６】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの切断位置の他の配置例を示す図である。
【図５７】従来の集積装置のトリミング回路における仮想切断手法を説明するためのフローチャートである。
【図５８】従来の集積回路装置のトリミング回路におけるヒューズの配列例を示す図である。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９６】
（Ｅ）第２変形例の説明
本第２変形例の集積回路装置１０においては、使用トリミングパターンとして、危険度の低いトリミングパターンから優先的に採用する。例えば、使用トリミングパターンとして、危険度「１」のトリミングパターンよりも危険度「０」のトリミングパターンを優先的に使用し、候補中から危険度「０」のトリミングパターンをすべて抽出・使用した後、次に、危険度「１」のトリミングパターンを使用する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１０３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１０３】
なお、この図１４中においても、便宜上、４３以上のオリジナルトリミング値の表示を省略している。
また、本第４変形例の集積回路装置１０においては、上述した第３変形例と同様に、図１に示した４ビット分の信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′に加えて、更に１本の信号線Ｅ′（図示省略）を最上位ビット（ＭＳＢ）側にそなえて構成され、トリミング信号生成部１２ａ，１２ｂ，１２ｃが、これらの信号線Ａ′，Ｂ′，Ｃ′，Ｄ′，Ｅ′を介して、被制御回路１３に５ビットの出力信号を供給するようになっている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１４３】
複数のヒューズが配列されており、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路をそなえた種々の電子部品に適用できる。
（Ｉ）付記
（付記１）
複数のヒューズが配列されてなり、トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から任意の切断対象ヒューズが切断されるトリミング回路と、
該トリミング回路の下流側において、該トリミング回路から出力される信号に基づいて該トリミング値に対応するトリミング信号を生成するトリミング信号生成部とをそなえて構成され、
該トリミング回路において、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されることを特徴とする、集積回路装置。
（付記２）
該トリミング回路において、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズが該切断対象ヒューズとして設定されることを特徴とする、付記１記載の集積回路装置。
（付記３）
該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けを行ない、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンが選択されることにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズが設定されることを特徴とする、付記２記載の集積回路装置。
（付記４）
該トリミング信号生成部が、該トリミング回路からの出力信号を入力してデコード処理を行ない、前記デコード処理の結果として該使用トリミングパターンに対応する信号を生成するデコーダをそなえることを特徴とする、付記２又は付記３に記載の集積回路装置。
（付記５）
該トリミング信号生成部が、該デコーダによって生成される前記使用トリミングパターンに対応する信号に対してエンコード処理を行ない、前記エンコード処理の結果として該トリミング信号を生成するエンコーダをそなえることを特徴とする、付記４記載の集積回路装置。
（付記６）
該トリミング信号生成部が、論理回路として構成されることを特徴とする、付記１〜３のいずれか１項に記載の集積回路装置。
（付記７）
該トリミング信号生成部が、
該トリミング回路から出力される信号の一部に基づいて該トリミング信号を生成する部分変換回路をそなえて構成され、
前記トリミング回路から出力される信号のうち繰り返しパターンを形成する下位ビットの信号を該部分変換回路を用いて変換することを特徴とする、付記１〜６のいずれか１項に記載の集積回路装置。
（付記８）
該トリミング回路において、
複数の切断対象ヒューズが、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断されることを特徴とする、付記１〜付記７のいずれか１項に記載の集積回路装置。
（付記９）
該トリミング信号生成部の入力側もしくは出力側に仮想切断用信号端子をそなえることを特徴とする、付記１〜付記８のいずれか１項に記載の集積回路装置。
（付記１０）
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造装置であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象ヒューズを決定する決定部と、
該決定部により決定された該切断対象ヒューズを切断する切断部とをそなえ、
該決定部が、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、製造装置。
（付記１１）
該決定部が、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定することを特徴とする、付記１０記載の製造装置。
（付記１２）
該忌避パターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対して、予めそれぞれ重み付けが行なわれ、
該決定部が、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、付記１１記載の製造装置。
（付記１３）
該切断部が、
複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断することを特徴とする、付記１０〜付記１２のいずれか１項に記載の製造装置。
（付記１４）
複数のヒューズが配列されてなるトリミング回路をそなえた集積回路装置を製造する製造方法であって、
トリミング値に応じて、前記複数のヒューズの中から切断対象のヒューズを決定する決定ステップと、
該決定ステップにおいて決定された該切断対象ヒューズを切断する切断ステップとをそなえ、
該決定ステップにおいて、前記切断対象ヒューズ同士が少なくとも１以上の非切断ヒューズを介して配置されるよう、該切断対象ヒューズが決定されることを特徴とする、製造方法。
（付記１５）
該決定ステップにおいて、
前記トリミング値を２進法で表すことにより生成されるトリミングパターンにおいて、当該トリミングパターン中に特定の忌避パターンを含むものを非使用トリミングパターンとするとともに、当該非使用トリミングパターンとは異なるパターンであり、該忌避パターンを含まない使用トリミングパターンを選択し、前記複数のヒューズのそれぞれを、該使用トリミングパターンの各ビットに対応させた場合に、該使用トリミングパターン中の“１”に対応するヒューズを該切断対象ヒューズとして決定することを特徴とする、付記１４記載の製造方法。
（付記１６）
前記特定のパターンを複数種類そなえるとともに、これらの複数種類の忌避パターンに対してそれぞれ重み付けが行なわれ、
該決定ステップにおいて、該トリミングパターン中に含まれる該忌避パターンの該重みに基づいて該非使用トリミングパターンを選択することにより、該トリミング回路における該切断対象ヒューズを決定することを特徴とする、付記１５記載の製造方法。
（付記１７）
該切断ステップにおいて、
複数の切断対象ヒューズについて、該ヒューズの配列方向に直行する方向において異なる位置でそれぞれ切断することを特徴とする、付記１４〜付記１６のいずれか１項に記載の製造方法。
【手続補正７】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１５】
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【手続補正８】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１９】
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【国際調査報告】
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