(57)【要約】  直動の案内をする軸１０と、軸１０に微小な摺動隙間３０を残して嵌合させられて、軸１０に沿って直動するスライダー２０とを備え、摺動隙間３０に供給された高圧流体により、軸１０とスライダー２０とが非接触状態に保持されて、スライダー２０が軸１０に沿って直動するようにされて成る静圧形直動案内ユニット１において、軸１０の内部には、高圧流体供給路が形成され、高圧流体供給源から供給された高圧流体が、該高圧流体供給路を通って摺動隙間３０に導かれるようにされている。高圧流体供給路は、供給孔１１と、供給孔１１から分岐した複数の噴出孔１２とから画成されている。このように構成することにより、高圧エア等高圧流体供給用のホース等が固定側に設けられることになり、移動側のミクロな精度での位置決め等への影響の虞が払拭されて、構造が簡単で、安定性に優れ、製作コストの低減が可能な静圧形直動案内ユニットを提供することができる。
2008004306.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
直動の案内をする軸と、
前記軸に微小な摺動隙間を残して嵌合させられて、前記軸に沿って直動するスライダーと
を備え、
前記摺動隙間に供給された高圧流体により、前記軸と前記スライダーとが非接触状態に保持されて、前記スライダーが前記軸に沿って直動するようにされて成る
静圧形直動案内ユニットにおいて、
前記軸の内部には、高圧流体供給路が形成され、
高圧流体供給源から供給された前記高圧流体が、前記高圧流体供給路を通って前記摺動隙間に導かれるようにされている
ことを特徴とする静圧形直動案内ユニット。
【請求項２】
前記高圧流体供給路は、
前記軸の軸方向に沿って形成された供給孔と、
前記供給孔から分岐し、前記摺動隙間に開口するようにして形成された複数の噴出孔とから画成されている
ことを特徴とする請求項１に記載の静圧形直動案内ユニット。
【請求項３】
前記摺動隙間は、その断面形状が略多角形とされ、
前記摺動隙間には、その断面形状の略多角形の各頂点を通る稜線に沿って、複数の流体排出路が隣接して形成され、
複数の前記噴出孔からそれぞれ噴出した前記高圧流体が合流して、複数の前記流体排出路をそれぞれ通って外部に排出されるようにされている
ことを特徴とする請求項２に記載の静圧形直動案内ユニット。
【請求項４】
複数の前記噴出孔は、前記摺動隙間に直交して開口するようにしてそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項２又は３に記載の静圧形直動案内ユニット。
【請求項５】
複数の前記噴出孔は、それぞれの噴出孔から噴出した前記高圧流体が、前記摺動隙間の断面形状の略多角形の各面状流路を前記軸の軸方向と直交する方向に同じ長さだけ流れて前記流体排出路に合流するようにして、それぞれ形成されていることを特徴とする請求項３又は４に記載の静圧形直動案内ユニット。
【請求項６】
複数の前記噴出孔は、前記軸に沿って直動する前記スライダーが前記軸を常時覆う範囲にある前記軸の内部にそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の静圧形直動案内ユニット。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本願の発明は、静圧形直動案内ユニットに関し、特に軸に沿って直動（直進移動）するスライダーの位置決め等を数ミクロンあるいはナノ単位の非常にミクロな精度で行うに際して使用されて好適な静圧形直動案内ユニットに関する。
【背景技術】
【０００２】
数ミクロン単位あるいはナノという非常にミクロな精度で行われるスライダーの位置決めのために、軸とスライダーとの摺動部の精密直動案内（軸受）に従来からある直動案内機構を使用する場合、そこに組み込まれているボールベアリング中のボールの乗り上げ等が支障となって、ミクロな精度を出すのが容易ではない。そこで、ボールベアリングに代えて、高圧エアを軸とスライダーとの摺動部の隙間に供給して、軸とスライダーとを非接触状態に保持しつつ、軸に対してスライダーを直動させるようにすることによって、精度の向上を図ることが考えられる。このような直動案内機構は、静圧形直動案内ユニットと呼ばれることがある。【０００３】
特許文献１には、このような静圧形直動案内ユニットのいくつかの実施例が記載されている。しかしながら、これらの実施例は、いずれもスライダー側から高圧エアを供給するようにしているので、高圧エア供給用のホース等を動きのある側に設けなければならず、ミクロな精度での位置決めに影響する虞があるとともに、構造が複雑であり、コストアップの要因になることが避けられない。さらに、軸中心に対して対称性が維持されていないので、安定性に欠ける虞がある。【０００４】
また、特許文献２には、静圧形回転案内ユニットについて記載されている。このものにおいては、高圧エアは軸側から供給されているが、このものは、静圧形回転案内ユニットであり、静圧形直動案内ユニットではない。
【特許文献１】特開２００６−２９４１２号公報
【特許文献２】特開平１１−１９０３３６号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本願の発明は、従来の静圧形直動案内ユニットが有する前記のような問題点を解決して、高圧エア等高圧流体供給用のホース等を固定側に設けることにより、移動側のミクロな精度での位置決め等への影響の虞を払拭するとともに、構造が簡単で、安定性に優れ、製作コストの低減が可能な静圧形直動案内ユニットを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明によれば、このような課題は、次のような静圧形直動案内ユニットにより解決される。
すなわち、その静圧形直動案内ユニットは、直動の案内をする軸と、前記軸に微小な摺動隙間を残して嵌合させられて、前記軸に沿って直動するスライダーとを備え、前記摺動隙間に供給された高圧流体により、前記軸と前記スライダーとが非接触状態に保持されて、前記スライダーが前記軸に沿って直動するようにされて成る静圧形直動案内ユニットにおいて、前記軸の内部には、高圧流体供給路が形成され、高圧流体供給源から供給された前記高圧流体が、前記高圧流体供給路を通って前記摺動隙間に導かれるようにされていることを特徴とする静圧形直動案内ユニットである。【０００７】
この静圧形直動案内ユニットによれば、軸とスライダーとの間の摺動隙間に高圧流体を導いて、これらを非接触状態に保持するための高圧流体供給路が、固定側となる軸の内部に形成されているので、移動側となるスライダーの直動が障害なく行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等を高精度に行うことができる。また、構造が簡単になり、製作コストの低減を図ることができる。【０００８】
好ましい実施形態によれば、その高圧流体供給路が、軸の軸方向に沿って形成された供給孔と、該供給孔から分岐し、摺動隙間に開口するようにして形成された複数の噴出孔とから画成されている。この構成により、軸の内部を通して軸とスライダーとの間の摺動隙間に高圧流体を導く高圧流体供給路の構造を簡単にして、これを軸の内部に容易に形成することができる。【０００９】
別の好ましい実施形態によれば、その摺動隙間は、その断面形状が略多角形とされ、その摺動隙間には、その断面形状の略多角形の各頂点を通る稜線に沿って、複数の流体排出路が隣接して形成され、複数の噴出孔からそれぞれ噴出した高圧流体が合流して、複数の該流体排出路をそれぞれ通って外部に排出されるようにされている。この構成により、軸とスライダーとの軸心回りの相対的・巨視的な旋回自由度を規制することが可能になり、１軸方向にのみ自由度を持った、安定性に優れた静圧形直動案内ユニットを容易に製作することができる。
また、複数の流体排出路は、摺動隙間より比較的大きな空間であるため、それらの各々の内部の圧力が略均等な大気圧に維持され、複数の噴出孔からそれぞれ噴出する高圧流体が、これら複数の噴出孔から摺動隙間を経由して対応する流体排出路中に一様に噴出するようになり、流体排出路及び摺動隙間に存在する流体の各圧力を軸方向で略均一に保持することができる。これにより、スライダーの軸に対する非接触状態での保持が軸方向に偏らなくなり、スライダーの直動及び位置決めが円滑に行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等をさらに高精度に行うことができる。【００１０】
さらに別の好ましい実施形態によれば、その複数の噴出孔が、摺動隙間に直交して開口するようにしてそれぞれ形成されている。この構成により、複数の噴出孔から噴出する高圧流体の動圧が摺動隙間に臨むスライダーの内周面に斜め方向から作用して、スライダーに余計な回転力や推進力を発生させるといったことがなくなり、スライダーの直動及び位置決めがさらに円滑に、安定に行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等をさらに高精度に行うことができる。【００１１】
さらに別の好ましい実施形態によれば、その複数の噴出孔が、それぞれの噴出孔から噴出した高圧流体が摺動隙間の断面形状の略多角形の各面状流路を軸の軸方向と直交する方向に同じ長さだけ流れて流体排出路に合流するようにして、それぞれ形成されている。この構成により、複数の噴出孔からそれぞれ噴出した高圧流体は、摺動隙間の各面状流路内を隣り合う２つの流体排出路の方向に二手に分かれて同じ流路長を流れるので、噴出孔の中心を通る軸方向断面に対して対向する方向への圧力が等しくなり、スライダーの内周面の多角筒もしくは略多角筒の隣接する角部に余計な回転力が加わることがなくなり、この面からも、前記のような効果をさらに高めることができる。【００１２】
さらに別の好ましい実施形態によれば、その複数の噴出孔が、軸に沿って直動するスライダーが該軸を常時覆う範囲にある該軸の内部にそれぞれ形成されている。この構成により、狭い領域におけるミクロな精度でのスライダーの位置決め等に際して、スライダーが移動する間も、複数の噴出孔のいずれもが外部に現れない範囲内に収まることになり、複数の噴出孔を経由する高圧流体の漏れ、消費量を最小に抑えることができる。
【発明の効果】
【００１３】
前記のとおり、本願の発明の静圧形直動案内ユニットによれば、軸とスライダーとの間の摺動隙間に高圧流体を導いて、これらを非接触状態に保持するための高圧流体供給路が、固定側となる軸の内部に形成されているので、移動側となるスライダーの直動が障害なく行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等を高精度に行うことができる。また、構造が簡単になり、製作コストの低減を図ることができる。【００１４】
また、高圧流体供給路が、軸の軸方向に沿って形成された供給孔と、該供給孔から分岐し、摺動隙間に開口するようにして形成された複数の噴出孔とから画成されるので、軸の内部を通して軸とスライダーとの間の摺動隙間に高圧流体を導く高圧流体供給路の構造を簡単にして、これを軸の内部に容易に形成することができる。【００１５】
また、摺動隙間は、その断面形状が略多角形とされ、その摺動隙間には、その断面形状の略多角形の各頂点を通る稜線に沿って、複数の流体排出路が隣接して形成され、複数の噴出孔からそれぞれ噴出した高圧流体が合流して、複数の該流体排出路をそれぞれ通って外部に排出されるようにされているので、軸とスライダーとの軸心回りの相対的・巨視的な旋回自由度を規制することが可能になり、１軸方向にのみ自由度を持った、安定性に優れた静圧形直動案内ユニットを容易に製作することができる。【００１６】
また、複数の流体排出路が前記のようにして形成されており、これらの流体排出路は、摺動隙間より比較的大きな空間であるため、それらの各々の内部の圧力が略均等な大気圧に維持され、複数の噴出孔からそれぞれ噴出する高圧流体が、これら複数の噴出孔から摺動隙間を経由して対応する流体排出路中に一様に噴出するようになり、流体排出路及び摺動隙間に存在する流体の各圧力を軸方向で略均一に保持することができる。これにより、スライダーの軸に対する非接触状態での保持が軸方向に偏らなくなり、スライダーの直動及び位置決めが円滑に行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等をさらに高精度に行うことができる。【００１７】
さらに、複数の噴出孔が、摺動隙間に直交して開口するようにしてそれぞれ形成されるので、複数の噴出孔からそれぞれ噴出する高圧流体の動圧が摺動隙間に臨むスライダーの内周面に斜め方向から作用して、スライダーに余計な回転力や推進力を発生させるといったことがなくなる。加えて、複数の噴出孔が、それぞれの噴出孔から噴出した高圧流体が摺動隙間の断面形状の略多角形の各面状流路を軸の軸方向と直交する方向に同じ長さだけ流れて流体排出路に合流するようにして、それぞれ形成されるので、複数の噴出孔からそれぞれ噴出した高圧流体は、摺動隙間の各面状流路内を隣り合う２つの流体排出路の方向に二手に分かれて同じ流路長を流れることになり、噴出孔の中心を通る軸方向断面に対して対向する方向への圧力が等しくなり、スライダーの内周面の多角筒もしくは略多角筒の隣接する角部に余計な回転力が加わることがなくなる。これらにより、スライダーの直動及び位置決めがさらに円滑に、安定に行われて、ミクロな精度でのスライダーの位置決め等をさらに高精度に行うことができる。【００１８】
また、複数の噴出孔が、軸に沿って直動するスライダーが該軸を常時覆う範囲にある該軸の内部にそれぞれ形成されるので、狭い領域におけるミクロな精度でのスライダーの位置決め等に際して、スライダーが移動する間も、複数の噴出孔のいずれもが外部に現れない範囲内に収まることになり、複数の噴出孔を経由する高圧流体の漏れ、消費量を最小に抑えることができる。
【図面の簡単な説明】
【００１９】
【図１】本願の発明の一実施例（実施例１）の静圧形直動案内ユニットの概略斜視図である。
【図２】同側面図である。
【図３】実施例１の変形例の側面図である。
【図４】本願の発明の他の実施例（実施例２）の静圧形直動案内ユニットの側面図である。
【図５】実施例２の変形例の側面図である。
【図６】実施例２の他の変形例の側面図である。
【図７】実施例１の変形例（図３）を上下逆にして２つ組み合わせて構成した複合静圧形直動案内ユニットの側面図である。
【符号の説明】
【００２０】
１…静圧形直動案内ユニット、１０…軸、１１…供給孔、１２…噴出孔、２０…スライダー、３０…摺動隙間、３１…流体排出路、４０…複合静圧形直動案内ユニット。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
直動の案内をする軸と、該軸に微小な摺動隙間を残して嵌合させられて、該軸に沿って直動するスライダーとを備え、該摺動隙間に供給された高圧流体により、該軸と該スライダーとが非接触状態に保持されて、該スライダーが該軸に沿って直動するようにされて成る静圧形直動案内ユニットにおいて、該軸の内部に高圧流体供給路を形成し、高圧流体供給源から供給された高圧流体が、該高圧流体供給路を通って該摺動隙間に導かれるようにする。【００２２】
該高圧流体供給路は、軸の軸方向に沿って形成された供給孔と、該供給孔から分岐し、摺動隙間に開口するようにして形成された複数の噴出孔とから画成されるものとする。
摺動隙間は、その断面形状を略多角形とし、摺動隙間には、その断面形状の略多角形の各頂点を通る稜線に沿って、複数の流体排出路を形成し、複数の噴出孔からそれぞれ噴出した高圧流体が合流して、複数の該流体排出路をそれぞれ通って外部に排出されるようにする。【００２３】
高圧流体の複数の噴出孔は、摺動隙間に直交して開口するようにするとともに、軸に沿って直動するスライダーが該軸を常時覆う範囲にある該軸の内部に、それぞれ形成することとする。
【実施例】
【００２４】
次に、本願の発明の一実施例（実施例１）について説明する。
図１は、本実施例１の静圧形直動案内ユニットの概略斜視図、図２は、同側面図である。本実施例１の静圧形直動案内ユニットは、軸に嵌合するスライダーを該軸に対して非接触状態で直動（直進移動）させるに際して、その摺動部の直動案内軸受として機能するものである。この場合、そのスライダーは、部品を載置して位置決めするステージもしくはその基台をなし、その位置決めは、狭いミクロな領域において、数ミクロンあるいはナノ単位の非常にミクロな精度で行われる。このような静圧形直動案内ユニットは、半導体製造装置などの精密機械器具製造装置において使用されて特に好適なものである。【００２５】
本実施例１の静圧形直動案内ユニット１は、図１及び図２に図示されるように、直動の案内をする軸１０と、該軸１０に微小な摺動隙間３０を残して嵌合させられて、該軸１０に沿って直動するスライダー２０とを備えている。摺動隙間３０には、図示されない高圧流体供給源から高圧エア等の高圧流体が供給され、この供給された高圧流体により、軸１０とスライダー２０とが非接触状態に保持されて、モータ等の駆動源の作動により、スライダー２０が軸１０に沿って、非常に低い摩擦で、直動するようになっている。【００２６】
軸１０の基本断面形状は、正三角形であり、これに呼応して、軸１０に微小な摺動隙間３０を残して嵌合させられたスライダー２０の内周面の基本断面形状も、正三角形である。したがって、軸１０の基本形状は、正三角柱であり、スライダー２０の内周面の基本形状は、正三角筒である。そして、これら正三角柱と正三角筒との対向面間に、基本断面形状が正三角形とされた摺動隙間３０が形成されているものである。この摺動隙間３０は、面方向の広がりの全ての部分において、一様な幅（厚さ）を有している。なお、スライダー２０の断面の外形輪郭形状は、その上に直接もしくはステージ装置を介して間接に載置される部品の大きさ、形状に応じて、正方形にされる場合もあるし、長方形にされる場合もある。【００２７】
ここで、軸１０の内部には、前記した高圧流体を摺動隙間３０に導くための高圧流体供給路が形成されている。この高圧流体供給路は、軸１０の軸方向に沿って形成された比較的大径の１つの供給孔１１と、該供給孔１１から分岐し、摺動隙間３０及び軸１０の正三角柱の各面にそれぞれ直交して開口するようにして形成された比較的小径の適数（複数）の噴出孔１２とにより画成されている。これらの噴出孔１２は、本実施例１においては、軸１０の正三角柱の各面を幅方向に二分する位置に軸方向に沿って複数形成されている。  供給孔１１は、軸１０の一方の端部において高圧流体供給源に管、ホース等を介して接続されている。なお、この供給孔１１は、軸１０の両方の端部において高圧流体供給源に接続されるように構成されても良い。【００２８】
また、軸１０の正三角柱の３つの稜線の各々は、１つの平面でそれぞれ切り落とされて、スライダー２０の内周面の正三角筒の３つの角部との間に、側面視略正三角形状の３つの流体排出路３１が軸方向に沿ってそれぞれ形成されている。このようにして、摺動隙間３０の基本断面形状の正三角形は略正三角形に変形させられ（摺動隙間３０の全体形状としては、略正三角筒に変形させられ）、その各頂点を通る稜線に沿って、３つの膨大化された流体排出路３１が摺動隙間３０に隣接してそれぞれ形成されることになる。これにより、軸１０の基本断面形状の正三角形は、図示のように（図１、図２参照）、略正三角形に変形される。但し、その変形量は、これらの図において、理解を容易にするために意図的に拡大されている。【００２９】
この流体排出路３１の通路の大きさは、摺動隙間３０の通路としての大きさよりも大きく、後述するように複数の噴出孔１２から噴出する高圧流体を集めて、これをユニット外部に導くのに適している。そこで、軸１０の略正三角柱の各面に開口する複数の噴出孔１２の吹出し口からそれぞれ噴出した高圧流体は、摺動隙間３０内（正確には、摺動隙間３０の断面形状略正三角形の各面状流路内）を隣り合う２つの流体排出路３１の方向に二手に分かれて同じ流路長を流れ（図２中の矢印及び流路長ａ、ｂ参照。ここで、ａ＝ｂである。）、その先の流体排出路３１において合流し、この流体排出路３１を通って外部に排出される。その排出方向は、高圧流体の供給方向と反対方向とされても良いし（図１参照）、同じ方向とされても良いし、軸方向略中央部を境にして両方向とされても良い。このようにして、複数の噴出孔１２からそれぞれ噴出した高圧流体の流れは安定し、スライダー２０の軸１０に対する定常的な浮上を得ることが可能になる。【００３０】
流体排出路３１の形成の仕方は、図３に図示されるように変形されても良い。
この図３に図示される流体排出路３１は、軸１０の正三角柱の各稜線が凹状に陥没させられ、また、スライダー２０の内周面の正三角筒の各角部が凹状に陥没させられて、これら両凹状陥没部が合わされることにより、そこに、断面略円形の流体排出路３１として形成されたものである。これにより、スライダー２０の内周面の断面形状の正三角形は、図示のように変形される（図３参照）。【００３１】
本実施例１の静圧形直動案内ユニット１は、前記のとおり、そのスライダー２０の位置決めが、狭いミクロな領域において、数ミクロンあるいはナノ単位の非常にミクロな精度で行われる場合に使用されるものである。したがって、スライダー２０の直動量は、数１００ミクロンから数ミリ程度までの微小量であるから、複数の噴出孔１２は、軸１０に沿って直動するスライダー２０が該軸１０を常時覆う範囲にある該軸１０の内部にそれぞれ形成されることが可能である。複数の噴出孔１２をこのようにして形成することによって、複数の噴出孔１２を経由する高圧流体の漏れ及び消費量を最小限に抑えることができる。【００３２】
本実施例１の静圧形直動案内ユニット１は、前記のように構成されているので、次のような効果を奏することができる。
軸１０とスライダー２０との間の摺動隙間３０に高圧流体を導いて、これらを非接触状態に保持するための高圧流体供給路が、固定側となる軸１０の内部に形成されているので、移動側となるスライダー２０の直動が障害なく行われて、ミクロな精度でのスライダー２０の位置決め等（位置決め、正確な直動動作等）を高精度に行うことができる。また、構造が簡単になり、製作コストの低減を図ることができる。【００３３】
また、高圧流体供給路が、軸１０の軸方向に沿って形成された供給孔１１と、該供給孔１１から分岐し、摺動隙間３０に開口するようにして形成された複数の噴出孔１２とから画成されているので、軸１０の内部を通して軸１０とスライダー２０との間の摺動隙間３０に高圧流体を導く高圧流体供給路の構造を簡単にして、これを軸１０の内部に容易に形成することができる。【００３４】
また、摺動隙間３０は、その断面形状が略正三角形とされ、その摺動隙間３０には、その断面形状の略正三角形の各頂点を通る稜線に沿って、複数の流体排出路３１が隣接して形成され、複数の噴出孔１２からそれぞれ噴出した高圧流体が合流して、複数の流体排出路３１をそれぞれ通って外部に排出されるようにされているので、軸１０とスライダー２０との軸心回りの相対的・巨視的な旋回自由度を規制することが可能になり、１軸方向にのみ自由度を持った、安定性に優れた静圧形直動案内ユニット１を容易に製作することができる。【００３５】
さらに、複数の流体排出路３１が前記のようにして形成されており、これらの流体排出路３１は、摺動隙間３０より比較的大きな空間であるため、それらの各々の内部の圧力が略均等な大気圧に維持され、複数の噴出孔１１からそれぞれ噴出する高圧流体が、これら複数の噴出孔１１から摺動隙間３０を経由して対応する流体排出路３１中に一様に噴出するようになり、流体排出路３１及び摺動隙間３０に存在する流体の各圧力を軸方向で略均一に保持することができる。これにより、スライダー２０の軸１０に対する非接触状態での保持が軸方向で偏らなくなり、スライダー２０の直動及び位置決めが円滑に行われて、ミクロな精度でのスライダー２０の位置決め等をさらに高精度に行うことができる。【００３６】
この点について、さらに敷衍すれば、流体排出路３１が摺動隙間３０より比較的小さな空間であると、流体排出路３１内の圧力が軸方向全長に渡って略均等な大気圧に維持されずに、軸方向内側で大気圧から乖離した高い圧力になり、軸方向外側で大気圧に近い低い圧力になり、軸方向において圧力差が生ずる。このようになると、軸方向に沿って形成された複数の噴出孔１１からそれぞれ噴出する高圧流体は、これら複数の噴出孔１１から摺動隙間３０を経由して対応する流体排出路３１中に一様に噴出することができなくなり、スライダー２０の軸１０に対する非接触状態での保持が軸方向で偏くことになり、スライダー２０のミクロな精度での位置決め等を高精度に行うことができなくなる。【００３７】
また、軸１０の略正三角柱の各面及びスライダー２０の内周面の正三角筒もしくは略正三角筒の各面に作用する高圧流体の圧力は、それぞれ軸１０の回りで互いに打ち消し合うので、スライダー２０を軸回りに相対的・微視的に回転させようとする力（回転力又はトルク）が発生しないことになり、また、スライダー２０の軸１０に対する非接触状態での保持が半径方向に偏らなくなり、これらにより、譬え、軸方向に高圧流体の供給方向から排出方向へ流体圧力の微妙な非対称性（上流側が高圧で、下流側が低圧）が発生したとしても、スライダー２０の傾きが発生することがなく、スライダー２０の直動及び位置決めに係る前記のような効果をさらに高めることができる。【００３８】
また、複数の噴出孔１２が、摺動隙間３０に直交して開口するようにしてそれぞれ形成されているので、複数の噴出孔１２からそれぞれ噴出する高圧流体の動圧が摺動隙間３０に臨むスライダー２０の内周面に斜め方向から作用して、スライダー２０に余計な回転力や推進力を発生させるといったことがない。加えて、複数の噴出孔１２からそれぞれ噴出した高圧流体は、摺動隙間３０の断面形状略正三角形の各面状流路内を隣り合う２つの流体排出路３１の方向に二手に分かれて同じ流路長を流れる（ａ＝ｂ）ので、噴出孔１２の中心を通るＸ−Ｘ断面（軸方向断面）に対して対向する方向への圧力が等しくなり、スライダー２０の内周面の正三角筒もしくは略正三角筒の隣接する角部に余計な回転力が加わることもなくなる。これらの面からも、スライダー２０の直動及び位置決めに係る前記のような効果をさらに高めることができる。【００３９】
さらに、複数の噴出孔１１が、軸１０に沿って直動するスライダー２０が該軸１０を常時覆う範囲にある該軸１０の内部にそれぞれ形成されているので、狭い領域におけるミクロな精度でのスライダー２０の位置決め等に際して、複数の噴出孔１１を経由する高圧流体の漏れ、消費量を最小限に抑えることができる。【００４０】
なお、本実施例１は、軸１０の基本断面形状の正三角形、スライダー２０の内周面の基本断面形状の正三角形、摺動隙間３０の基本断面構造の正三角形を、いずれも正五角形、正七角形等、奇数の正多角形に変形することにより、さらに変形実施することが可能である。これらの変形例も、本実施例１の静圧形直動案内ユニット１が奏する効果と同様の効果を奏することができる。【００４１】
次に、本願の発明の他の実施例（実施例２）について説明する。
図４は、本実施例２の静圧形直動案内ユニットの側面図である。本実施例２の静圧形直動案内ユニット１は、実施例１の静圧形直動案内ユニット１と比較すると、軸１０の基本断面形状が長方形（四角形）をなし、スライダー２０の内周面の基本断面形状が長方形をなし、摺動隙間３０の基本断面構造が長方形をなしている点で異なっている。この場合において、これらの長方形は、必ずしも正方形（正四角形）とされる必要はない。【００４２】
また、細部の点で、摺動隙間３０の断面構造の四隅の形状が、軸１０等の基本断面形状が長方形とされることに起因して、実施例１の静圧形直動案内ユニット１のそれとわずかに異なっている。すなわち、本実施例２の静圧形直動案内ユニット１においては、軸１０の四角柱の４つの稜線の各々が１つの平面で切り落とされて、スライダー２０の内周面の四角筒の４つの角部との間に、側面視略三角形状の４つの流体排出路３１が軸方向に沿ってそれぞれ形成されている。
本実施例２の静圧形直動案内ユニット１は、以上の点で実施例１の静圧形直動案内ユニット１と異なっているが、その他の点で特に異なるところはないので、詳細な説明を省略する。【００４３】
本実施例２の静圧形直動案内ユニット１は、前記のように構成されており、軸１０の四角柱の各面及びスライダー２０の内周面の四角筒の各面に作用する高圧流体の圧力が、それぞれ軸１０の回りで互いに打ち消し合うことになるので、軸１０の回りでスライダー２０を回転させようとする力（回転力又はトルク）が発生しないことになり、また、スライダー２０の軸１０に対する非接触状態での保持が半径方向に偏らなくなり、これらにより、譬え、軸方向に高圧流体の供給方向から排出方向へ流体圧力の微妙な非対称性（上流側が高圧で、下流側が低圧）が発生したとしても、スライダー２０の傾きが発生することがなく、スライダー２０の直動及び位置決めが円滑に行われて、ミクロな精度でのスライダー２０の位置決め等を高精度に行うことができる。
その他、実施例１の静圧形直動案内ユニット１が奏する効果と同様の効果を奏することができる。【００４４】
本実施例２の静圧形直動案内ユニット１は、図５及び図６に図示されるように変形されることができる。
図５に図示される本実施例２の変形例においては、スライダー２０の内周面の四角筒の４つの角部の各々が陥没させられて、軸１０の四角柱との間に側面視略円形状の４つの流体排出路３１が軸方向に沿ってそれぞれ形成されている。また、図６に図示される本実施例２のさらなる変形例においては、軸１０の四角柱の４つの角部の各々及びスライダー２０の内周面の四角筒の４つの角部の各々がそれぞれ陥没させられて、これら対向する両陥没部が合わさって、側面視略円形状の４つの流体排出路３１が軸方向に沿ってそれぞれ形成されている。これらの変形例も、本実施例２の静圧形直動案内ユニット１が奏する効果と同様の効果を奏することができる。【００４５】
本実施例２は、軸１０の基本断面形状の長方形、スライダー２０の内周面の基本断面形状の長方形、摺動隙間３０の基本断面構造の長方形を、いずれも六角形、八角形等偶数の多角形に変形することにより、さらに変形実施することが可能である。いずれの場合においても、それらの断面形状は、軸１０の中心を通る水平面に対して上下対称、軸１０の中心を通る垂直面に対して左右対称になるようにされる必要がある。このようにすることにより、これらの変形例も、本実施例２の静圧形直動案内ユニット１が奏する効果と同様の効果を奏するようにすることが可能である。【００４６】
なお、本願の発明は、以上の実施例及び変形例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、さらに種々の変形が可能である。
例えば、軸１０の断面形状の多角形、スライダー２０の内周面の断面形状の多角形、摺動隙間３０の断面構造の多角形は、いずれも楕円形に変形することが可能である。【００４７】
また、図７に図示されるように、実施例１の静圧形直動案内ユニット１の変形例（図３参照）を上下逆にして２つ組み合わせ、各静圧形直動案内ユニット１のスライダー２０を同一の材料から一体に作り出すようにして、両静圧形直動案内ユニット１を一体化することにより、複合静圧形直動案内ユニット４０を得るようにしても良い。
さらに、スライダー２０を固定側にし、軸１０を移動側にして用いることも可能である。但し、この場合には、軸１０の直動が障害なく行われることにはならず、ミクロな精度での軸１０の位置決め等を高精度に行うことがやや難しくなる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【国際調査報告】
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