【手続補正書】
【提出日】平成31年2月14日(2019.2.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ロールフィルムから引き出されたフィルムを任意のサイズに切断し枚葉フィルムとするフィルム切出し部と、
所定形状の孔部を有する枠体状の搬送治具を前記枚葉フィルムに重ね合わせ、当該枚葉フィルム上に樹脂を搭載する樹脂搭載部と、
トラフを用い、前記孔部を介して前記枚葉フィルム上に顆粒樹脂を供給する第一樹脂供給部と、
シリンジ供給部のシリンジにより、前記孔部を介して前記枚葉フィルム上に液状樹脂を供給するディスペンサを備えた第二樹脂供給部と、
を備えて１つのユニットとして構成された樹脂供給装置。
【請求項２】
請求項１に記載の樹脂供給装置と、
前記樹脂及び前記枚葉フィルムとワークをクランプして樹脂モールドするプレス部が配置されたプレスユニットと、
前記樹脂が搭載された前記枚葉フィルムと前記搬送冶具を前記プレス部に搬送する搬送部と、を備える樹脂モールド装置。
【請求項３】
長尺状に巻き取られたロールフィルムを収容するロールフィルム収容部と、
前記ロールフィルム収容部からフィルム端を引き出された前記ロールフィルムを任意のサイズに切断するフィルム切出し部と、
液状樹脂が充填された複数のシリンジを保持したシリンジ供給部と、
前記フィルム切出し部で切断されて準備された枚葉フィルムに前記液状樹脂を搭載する樹脂搭載部と、を備え、
前記ロールフィルム収容部と前記シリンジ供給部とを装置前面において上下に重ねて配置すると共に、前記樹脂搭載部を前記シリンジ供給部に隣接して配置した樹脂供給装置。
【請求項４】
請求項３に記載の樹脂供給装置と、
前記液状樹脂及び前記枚葉フィルムとワークをクランプして樹脂モールドするプレス部が配置されたプレスユニットと、
前記液状樹脂が搭載された前記枚葉フィルムを前記プレス部に搬送する搬送部と、を備えている樹脂モールド装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】樹脂供給装置及び樹脂モールド装置
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、例えばフィルムに液状樹脂を搭載してプレス部に供給する樹脂供給装置、これを用いてワーク及び樹脂をクランプして樹脂モールドする複数のプレス部と搬送部を備えた樹脂モールド装置に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の目的は上記従来技術の課題を解決し、設置面積をコンパクトに抑え、作業領域を減らして操作性を向上させる樹脂供給装置及びこれを備えてワークや樹脂の搬送距離を均一にすることで成形品質の向上を実現し、コンパクトで多機能な拡張性の高い樹脂モールド装置を提供することにある。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明は上記目的を達成するため、次の構成を備える。
即ち、ロールフィルムから引き出されたフィルムを任意のサイズに切断し枚葉フィルムとするフィルム切出し部と、所定形状の孔部を有する枠体状の搬送治具を前記枚葉フィルムに重ね合わせ、当該枚葉フィルム上に樹脂を搭載する樹脂搭載部と、
トラフを用い、前記孔部を介して前記枚葉フィルム上に顆粒樹脂を供給する第一樹脂供給部と、シリンジ供給部のシリンジにより、前記孔部を介して前記枚葉フィルム上に液状樹脂を供給するディスペンサを備えた第二樹脂供給部と、を備えて１つのユニットとして構成されたことを特徴とする。
これにより、樹脂供給装置において第一樹脂供給部と第二樹脂供給部を１つのユニットとして配置構成することで、作業領域や設置面積を低減することができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
樹脂モールド装置においては、前記樹脂供給装置と、前記樹脂及び前記枚葉フィルムとワークをクランプして樹脂モールドするプレス部が配置されたプレスユニットと、前記樹脂が搭載された前記枚葉フィルムを前記プレス部に搬送する搬送部と、を備えていることが好ましい。
これにより、樹脂モールド装置の装置面積を低減することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
他の樹脂供給装置においては、長尺状に巻き取られたロールフィルムを収容するロールフィルム収容部と、前記ロールフィルム収容部からフィルム端を引き出された前記ロールフィルムを任意のサイズに切断するフィルム切出し部と、 液状樹脂が充填された複数のシリンジを保持したシリンジ供給部と、前記フィルム切出し部で切断されて準備された枚葉フィルムに前記液状樹脂を搭載する樹脂搭載部と、を備え、前記ロールフィルム収容部と前記シリンジ供給部とを装置前面において上下に重ねて配置すると共に、前記樹脂搭載部を前記シリンジ供給部に隣接して配置したことを特徴とする。
これにより、樹脂供給装置において、ロールフィルムとシリンジとを装置前面から各々交換可能に配置構成することで、作業領域や設置面積を低減することができる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
樹脂モールド装置においては、前記樹脂供給装置と、前記液状樹脂及び前記枚葉フィルムとワークをクランプして樹脂モールドするプレス部が配置されたプレスユニットと、前記液状樹脂が搭載された前記枚葉フィルムを前記プレス部に搬送する搬送部と、を備えていることを特徴とする。
これにより、樹脂モールド装置の装置面積を低減することができる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正１９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正２２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
上述した樹脂供給装置によれば、設置面積をコンパクトに抑え、作業領域を減らして操作性を向上させ、ワークや樹脂の搬送距離を均一にすることで成形品質を向上させることができる。また、上述した樹脂供給装置を備えることによりコンパクトで多機能を有する拡張性の高い樹脂モールド装置を提供することができる。
【手続補正２３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
以下、本発明に係る樹脂供給装置及びこれを備えた樹脂モールド装置の好適な実施の形態について添付図面と共に詳述する。以下では、ワークとして、８インチや１２インチといった大型の半導体ウエハや金属キャリヤといった丸形ワークや、例えば１辺が３００ｍｍを超えるような大型の矩形パネル、或いは樹脂基板等のワークを用いるものとし、フィルムとしてはそれ以上の大きさの枚葉フィルムを用いて圧縮成形する樹脂モールド装置を用いて説明する。