【事件の表示】
　特願２０１６−　２０６３３「真空ポンプ並びにこれに用いられるロータ及びステータ」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年　８月１０日出願公開、特開２０１７−１３７８４０〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　この出願（以下、「本願」という。）は、平成２８年２月５日を出願日とする出願であって、その手続の経緯は、以下のとおりである。
令和元年　９月２０日付け　拒絶理由通知書
令和２年　１月３０日　　　意見書、手続補正書
令和２年　４月１６日付け　拒絶査定
令和２年　７月２０日　　　審判請求書、手続補正書
第２　令和２年７月２０日にされた手続補正についての補正の却下の決定
[補正の却下の決定の結論]
　令和２年７月２０日にされた手続補正（以下「本件補正」という。）を却下する。
[理由]
１　本件補正について（補正の内容）
（１）本件補正後の特許請求の範囲の記載
　本件補正により、特許請求の範囲の請求項１の記載は、次のとおり補正された。（下線部は、補正箇所である。）
　「ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、
前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、
を備え、
　前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気するターボ分子ポンプ排気部が形成され、前記ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気
し、ネジ溝が形成されたネジステータを備えている
　前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触することを特徴とする真空ポンプ。」
（２）本件補正前の特許請求の範囲
　本件補正前の、令和２年１月３０日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲の請求項１の記載は次のとおりである。
　「ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、
前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、
を備え、
前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気するターボ分子ポンプ排気部が形成され、前記ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気する排気部が形成された真空ポンプであって、
　前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触することを特徴とする真空ポンプ。」
２　補正の適否
（１）本件補正の目的
　本件補正が、特許法第１７条の２第５項の各号に掲げる事項を目的とするものに該当するかについて検討する。
　令和２年１月３０日に提出された意見書において、請求人は本件補正前の特許請求の範囲について、
「真空ポンプが、ターボ分子ポンプ排気部（ターボ分子ポンプ機構ＰＡに相当）、粘性流領域のガスを排気する排気部（ネジ溝ポンプ機構ＰＢに相当）を備えていること、及び、粘性流領域のガスを排気する排気部が、ターボ分子ポンプ排気部に対して真空排気方向の下流側に設けられている、との構成で補正前の請求項１を限定するものであり」
と主張している。
　してみると、本件補正前の「粘性流領域のガスを排気する排気部」は、本願明細書におけるところの「ネジ溝ポンプ機構ＰＢ」であり、当該「粘性流領域のガスを排気する排気部」がターボ分子ポンプ排気部（本願明細書における「ターボ分子ポンプ機構ＰＡ」）の真空排気方向下流側に形成され、ターボ分子ポンプ排気部とともに真空ポンプを構成することが特定されていたものと認められる。
　そして、本件補正は、請求人が審判請求書において、「補正前の請求項１を限定するものであり、・・・（中略）・・・また、本補正は、いわゆる限定的減縮に該当します。」と主張するように、本件補正前の請求項１の発明特定事項である前記「粘性流領域のガスを排気する排気部」について、「ネジ溝が形成されたネジステータを備えている」という限定を付加するものであって、本件補正前の請求項１に記載された発明と、本件補正後の請求項１に記載された発明とは、発明の産業上の利用分野及び解決しようとする課題が同一であるから、特許法第１７条の２第５項第２号に規定する特許請求の範囲の減縮を目的とするものに該当する。
　そこで、本件補正後の請求項１に記載された発明が、特許出願の際独立して特許を受けることができるものであるか（特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に適合するか）について、以下に検討する。
（２）本件補正発明
　本件補正後の請求項１に記載された発明（以下、「本件補正発明」という。）は、上記１（１）に記載したとおりのものである。
（３）引用文献の記載事項
ア　引用文献１
（ア）原査定（令和２年４月１６日付けの拒絶査定）の拒絶の理由で引用された、本願の出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献である特開２０００−９０８８号公報（平成１２年（２０００年）１月１１日出願公開。以下、「引用文献１」という。）には、図面とともに、次の記載がある。（下線は注目箇所を示すために当審で付したものである。）
「【請求項４】 モータにより回転されるロータ本体と、
この
ロータ本体の回転軸方向に複数段配設され、前記ロータ本体の回転軸に対して所定角度で傾斜させて放射状に複数のロータブレードが設けられたロータ翼
この
複数段のロータ翼の間に配置され
複数のステータブレードからなる、複数段のステータ翼と、を備えたターボ分子ポンプであって
前記各段におけるロータ翼部の前記各ブレードは、当該段に対応して前記ロータに設けられたロータ円環部に設けられ、
前記ステータブレードは、その内径側端部が前記ロータ円環部の外周面よりも内側に配置されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。」
「【０００１】【発明の属する技術分野】
本発明は、ターボ分子ポンプに係り
「【０００２】【従来の技術】
半導体製造装置などの真空装置としてターボ分子ポンプが広く使用されている。このターボ分子ポンプは、ステータ部とロータ部にステータ翼とロータ翼を軸方向に多段配置し、モータによりロータ部を高速回転することで、真空（排気）処理を行うものである。
「【０００３】この図１１に示されるように、
ターボ分子ポンプは、高速回転するロータ軸に固定配置されたロータ６０とステータ７０とで構成されている。
「【０００６】
このように形成されたターボ分子ポンプにおいて、ロータ６０がモータにより数万ｒｐｍで回転駆動されると、図面上側から下側に向かって排気作用が行われるようになっている。
「【０００８】そこで、本発明はこのような従来の課題を解決するためになされたもので、強い振動等によっても比較的たわみにくい構造のステータ翼を有するターボ分子ポンプを提供することを第１の目的とする。また、
本発明はたわみによってロータ翼に接触したとしても破損しにくい構造のステータ翼を有するターボ分子ポンプを提供ずることを第２の目的とする。
「【００１０】
第２の目的を達成するために、請求項４記載の発明では、
「【００１２】
第４の実施形態では、
ステータ翼７２がたわんだ場合に中心側上端部７６がロータ翼６２の連続面であるロータ円環部６４と接触し、ロータブレード６３に接触しないようにする
「【００１３】（２）実施形態の詳細
以下、本発明に好適な実施の形態について、図１から図１０を参照して詳細に説明する。なお、
図１１で示した従来のターボ分子ポンプの構成と同一構成部分には同一の符号を付して適宜その説明を省略すると共に、従来の構成に相当する本実施形態の構成部分には同一の符号を付し相違する箇所について説明することとする。
「【００１４】図１は、ターボ分子ポンプの全体構成の断面を表わしたものである。このターボ分子ポンプ１は、例えば半導体製造装置内等に設置され、チャンバ等からプロセスガスの排出を行うものである。この例では、
円筒状に形成された外装体１０の上端部にフランジ１１が形成され、ボルト等によって半導体製造装置等に接続されるようになっている
「【００１５】図１に示すように、
ターボ分子ポンプ１は、略円筒形状の外装体１０の中心部に配置される略円柱形状のロータ軸１８を備えており、このロータ軸１８の外周には断面略逆Ｕ字状のロータ本体６１が配置されてロータ軸１８の上部にボルト１９で取り付けられている。このロータ本体６１の外周には、ロータ円環部６４が多段に配設され、各ロータ円環部６４にはロータ翼６２が配設されている。各段のロータ翼６２はその外側が開放された複数のロータブレード（羽根）６３を有している。
「【００１６】また、
ターボ分子ポンプ１は、ロータ６０とステータ７０を備えている。ステータ７０は、複数のステータ翼７２と、段部を有する円筒状のスペーサ７１とから構成されている。
各段のステータ翼７２は、それぞれスペーサ７１とスペーサ７１との段部により、外側円環部７３が周方向に挟持されることで、ロータ翼６２間に保持される。このステータ７０は、外装体１０の内周に固定配置されている。
「【００２４】モータ３０は、外装体１０の内側の半径方向センサ２２と半径方向センサ２６との間で、ロータ軸１８の軸方向ほぼ中心位置に配置されている。
このモータ３０に通電することによって、ロータ軸１８および、これに固定されたロータ６０、ロータ翼６２が回転するようになっている。
「【００２６】図２は、第１の実施形態におけるステータ翼７２の構成を表したものである。この図２に示されるように、
ステータ翼７２は、外周側の一部がスペーサ７１によって周方向に挟持される外側円環部７３と、内側円環部７４と、外側円環部７３と内側円環部７４とにより両端が放射状に所定角度で支持された複数のステータブレード７５とから構成されている
「【００２９】
この第１の実施形態におけるステータ翼７２では、軸方向のたわみ量を少なくするために
「【００４１】図７は、第４の実施形態におけるターボ分子ポンプのロータ翼とステータ翼を表した断面図である。
この第４の実施形態では、
ステータブレード７５とロータブレード６３とが接触しない構造とすることで、ステータ翼７２、ロータ翼６２の破損を防止するようにしたものである。
このようにステータブレード７５の中心側上端７６がロータ円環部６４、６４間に配置されることで、ステータ翼７２が大きくたわんだ場合に中心側上端部７６がロータ円環部６４に接触するが、このロータ円環部６４は回転方向に連続面を形成しているので、ステータブレード７５の破損が抑止される。
「【００５０】以上説明したように、
第１から第３の本実施形態によれば、
ステータ翼７２のたわみが抑制され
第４の実施形態によれば、ステータ翼７２とロータ翼６２同士が接触した場合にも、構造的に弱い部分同士（ステータブレード７５とロータブレード７３）が接触する前に、他の部分が接触することにより致命的な破壊に至ることを防ぐことができる。
「【００５１】【発明の効果】以上説明したように、
請求項１、請求項２、および、請求項３に記載した発明によれば、
比較的たわみにくい構造のステータ翼
請求項４から請求項６に記載した発明によれば、ステータ翼がたわんだ場合であっても、ステータブレードとロータブレードとの接触が避けられるため、破損しにくいステータ翼とすることができる。
（イ）図面からは以下の事項が看取される。
　ａ　図１から、ターボ分子ポンプ１は、ロータ軸１８とロータ６０とからなる回転体を備えていること、当該ロータ６０は、ロータ本体６１とロータ翼６２とからなることが看取でき、また、図７から、ロータ翼６２は、ロータブレード６３とロータ円環部６４とを備えていることが看取できることから、回転体はロータ軸１８とロータブレード６３とを備えていることが理解できる。
                                               
（ウ）
ａ　上記（ア）の段落【００１６】【００２６】から、ステータ７０はスペーサ７１とステータ翼７２とを備え、前記ステータ翼７２は外側円環部７３、内側円環部７４、ステータブレード７５を備えていることが理解できる。
ｂ　上記（ア）の【請求項４】及び段落【００１５】【００２６】【００２９】【００４１】【００５０】の記載から、ステータ翼７２はロータ本体６１の回転軸方向にたわんでステータ翼７２（が備えているステータブレード７５の中心側上端部７６）が回転体（の一部であるロータ円環部６４）に接触するといえる。
（エ）引用発明
　上記（ア）−（ウ）から、引用文献１には、次の発明（以下、「引用発明」という。）が記載されていると認められる。
　「ロータ軸１８と、前記ロータ軸１８に取り付けられているロータ本体６１の外周に配設されたロータ円環部６４に設けられるとともに、前記ロータ本体６１の回転軸方向に複数段配設されたロータブレード６３とを備えた回転体と、
　前記ロータブレード６３の間に配置されるステータブレード７５を有するステータ翼７２と、を備え、
　前記ステータブレード７５を外装体１０の内周に固定配置し、前記ロータブレード６３をモータ３０に通電して回転することで排気作用が行われるターボ分子ポンプ１であって、
　前記ステータ翼７２は、前記回転軸方向にたわんで前記回転体に接触する場合に、前記ロータ円環部６４に接触するターボ分子ポンプ１。」
（４）引用発明との対比
ア　本件補正発明と引用発明とを対比する。
（ア）引用発明の「ロータ軸１８」は本件補正発明の「ロータシャフト」に相当する。
（イ）引用発明の「前記ロータ軸１８に取り付けられているロータ本体６１の外周に配設されたロータ円環部６４に設けられる」「ロータブレード６３」は、少なくとも「ロータ円環部６４」を介して「ロータ軸１８」に「ロータブレード６３」がつながり続いているといえる。一方、本願発明の「連接」とは、一般に「つながり続くこと。また、つらね続けること。（デジタル大辞泉）」という意味であり、引用発明の「ロータ円環部６４」は本件補正発明の「円環部」に、引用発明の「ロータブレード６３」は本件補正発明の「ロータ翼」に、それぞれ相当するから、引用発明の「前記ロータ軸１８に取り付けられているロータ本体６１の外周に配設されたロータ円環部６４に設けられる」「ロータブレード６３」は、本件補正発明の「該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接される」「ロータ翼」に相当する。
（ウ）引用発明における「ロータ本体６１」は、「ロータ軸１８」に取り付けられており、一体となって回転するから、引用発明の「ロータ本体６１の回転軸方向」は本件補正発明の「ロータ軸方向」に相当する。また、引用発明の「配設」は、本件補正発明の「形成」に相当する。
　してみると、引用発明の「前記ロータ本体６１の回転軸方向に複数段配設されたロータブレード６３」は、本件補正発明の「ロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼」に相当する。
（エ）引用発明における「回転体」は、「ロータ軸１８」と「ロータブレード６３」とを備えるものであるから、本件補正発明の「ロータ」に相当する。
（オ）引用発明の「配置」は本件補正発明の「配設」に相当し、以下同様に、
「ステータブレード７５」は「ステータ翼」に、
「有する」は「形成された」に、
「ステータ翼７２」は「ステータ」に、それぞれ相当する。
　してみると、引用発明の「前記ロータブレード６３の間に配置されるステータブレード７５を有するステータ翼７２」は、本件補正発明の「前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータ」に相当する。
（カ）引用発明の「前記ステータブレード７５を外装体１０の内周に固定配置し 、前記ロータブレード６３をモータ３０に通電して回転することで排気作用が行われ」ることは、「ロータブレード６３」が、固定されている「ステータブレード７５」に対して相対的に回転し、排気作用が行われるように形成されていることと同意であるから、本件補正発明の「前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気するターボ分子ポンプ排気部が形成され」ることに相当する。
（キ）引用発明の「ターボ分子ポンプ１」は、本件補正発明の「真空ポンプ」に相当する。
（ク）引用発明における「ステータ翼７２」がたわむと、撓み変形が起こるのは当然のことであるから、引用発明の「前記ステータ翼７２は、前記回転軸方向にたわんで前記回転体に接触する場合に、前記ロータ円環部６４に接触する」ことは、本件補正発明の「前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する」ことに相当する。
イ　一致点及び相違点
　以上のことから、本件補正発明と引用発明との一致点及び相違点は、次のとおりである。
＜一致点＞
　「ロータシャフトと該ロータシャフトに少なくとも円環部を介して連接されると共にロータ軸方向に複数段に形成されたロータ翼とを備えたロータと、
前記ロータ翼の間に配設されるステータ翼が形成されたステータと、
を備え、
　前記ロータ翼を前記ステータ翼に対して相対的に回転させることにより気体を排気するターボ分子ポンプ排気部が形成された真空ポンプであって、
　前記ステータは、前記ロータ軸方向の撓み変形で前記ロータに接触する際に前記円環部に接触する真空ポンプ。」
＜相違点１＞
　本件補正発明では、「前記ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気し、ネジ溝が形成されたネジステータを備えている排気部が形成され」ているのに対し、引用発明では、当該排気部が形成されていない点。
（５）判断
　以下、相違点について検討する。
ア　相違点１について
　真空ポンプの分野において、幅広い真空領域（高真空領域から低真空領域）で排気性能を確保するために、ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気する排気部が形成されることは周知の技術的事項であり（例えば、特開２０１５−１３５０７４号公報（【００１３】−【００１４】、図１等参照。）、当該排気部はネジ溝が形成されたネジステータを備えていることも、特開２００３−１８４７８５号公報（【００２４】、図１等を参照。）、特開２００７−２２４９２４号公報（【００２１】−【００２６】、図１等参照。）、特開２０１５−１４３５１３号公報（【００１４】、図１等参照。）、特開２０１５−１３２３４０号公報（【００１８】、図１等参照。）等に開示されているとおり、本願の出願前から周知の技術的事項（以下、「周知技術」という。）である。
　幅広い真空領域（高真空領域から低真空領域）で排気性能を確保することは、真空ポンプの技術分野における一般的な課題であることが当業者にとって明らかであり、半導体製造装置などの真空装置に用いられる引用発明においても内在する課題であるといえるから、引用発明において周知技術を採用することは、当業者が容易に想到し得たことである。また、本件補正発明の奏する作用効果は、引用発明及び周知技術の奏する作用効果から予測される範囲内のものにすぎず、格別顕著なものということはできない。
　したがって、本件補正発明は、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであり、特許法第２９条第２項の規定により、特許出願の際独立して特許を受けることができないものである。
３　請求人の主張
　請求人は審判請求書において、「引用文献１〜３には、補正後の請求項１に係る発明に特有の発明特定事項である『排気部が、ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気し、ネジ溝が形成されたネジステータを備えている』構成が開示されていません。特に、引用文献３には、ネジステータ１１がベース５０上に取り付けられ、ロータ円筒部８とネジステータ１１とが協働して排気動作を行うことが単に記載されているに過ぎず、ネジステータ１１の具体的構成は開示されていません（段落［００１３］、［００１４］）。一方、本願の請求項１に係る発明は、「ガスが、ロータ円筒部２９とネジステータ５４との隙間に移送された後に、ネジ溝部５３内で圧縮されてガス排気口５１に移送される」ように構成されていることから（段落［００５１］）、大気開放時にガス排気口から大気が突入した場合であっても、排気動作時と同様に、大気はネジ溝内を通るため、ロータは風圧の影響を受けにくく、ロータの上下動が抑制されるとともにロータ翼とステータ翼との衝突が抑制されます。」と主張している。
　しかしながら、「ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気し、ネジ溝が形成されたネジステータを備えている排気部」は、上記[理由]２（５）アで検討したとおり、周知技術であるから、引用発明に周知技術を適用したものも、請求人が主張するような効果を当然に有するものと認められる。また、請求人が主張している、引用文献３（特開２０１５−１３５０７４号公報（上記［理由］２（５）アに記載された周知技術を示す文献の一つに相当））には「ネジステータ１１」の具体的構成が開示されていない点について、ネジステータ側にネジ溝を設けることは、極めて一般的な構成であることから引用文献３に開示されているということができ、仮にそうでないとしても、上記［理由］２（５）アに記載した周知技術の他の例に明記されている。そのため、「ネジ溝が形成されたネジステータ」を備えることは、当業者が容易に想到し得たことであると言わざるを得ない。
　したがって、請求人の主張を採用することはできない。
４　本件補正についてのむすび
　よって、本件補正は、特許法第１７条の２第６項において準用する同法第１２６条第７項の規定に違反するので、同法第１５９条第１項の規定において読み替えて準用する同法第５３条第１項の規定により却下すべきものである。
　よって、上記補正の却下の決定の結論のとおり決定する。
第３　本願発明について
１　本願発明
　令和２年７月２０日にされた手続補正は、上記のとおり却下されたので、本願の請求項に係る発明は、令和２年１月３０日にされた手続補正により補正された特許請求の範囲１ないし１１に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下、「本願発明」という。）は、その請求項１に記載された事項により特定される前記第２[理由]１（２）に記載のとおりのものである。
２　原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、この出願の請求項１に係る発明は、日本国内又は外国において、その出願前に頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった引用文献１に記載された発明及び周知技術（周知技術を示す文献として引用文献３（前記第２の［理由］２（５）アに記載された周知技術を示す文献の一つに相当））に基いて、その出願前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない、というものである。
引用文献１：特開２０００−９０８８号公報
引用文献３：特開２０１５−１３５０７４号公報
３　引用文献及び引用発明
　原査定の拒絶の理由で引用された引用文献１及びその記載事項は、前記第２の［理由］２(３）に記載したとおりである。
４　対比・判断
　本願発明は、前記第２の［理由］２で検討した本件補正発明から、「ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気する排気部」に係る限定事項である「ネジ溝が形成されたネジステータを備えている」という事項を削除したものである。
　そうすると、本願発明と引用発明との相違点は、「前記ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気する排気部が形成された」点のみとなり、当該事項は引用文献３（【００１３】−【００１４】、図１等参照。）等に開示されているとおり、周知技術である。
　本願発明の発明特定事項を全て含み、さらに他の事項を付加したものに相当する本件補正発明が、前記第２の［理由］２（４）（５）で検討したとおり、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものであるから、「ターボ分子ポンプ排気部の真空排気方向下流側に粘性流領域のガスを排気する排気部」に係る上記限定事項が削除された本願発明は、引用発明及び周知技術に基いて、当業者が容易に発明をすることができたものである。
第４　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条２項の規定により特許を受けることができないから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。