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【手続補正書】
【提出日】平成31年1月25日(2019.1.25)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光源からの光束の一部を前記光源からの光束と波長が異なる変換光に変換して射出するとともに、前記光源からの光束と波長が同じ非変換光を射出する波長変換素子と、
前記波長変換素子から射出される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度を取得する光強度取得手段と、
前記光強度取得手段で取得される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度とに基づいて、前記波長変換素子の温度を推定し、当該推定された温度に応じて前記波長変換素子の冷却を制御する制御手段と、を備える、
ことを特徴とする光源装置。
【請求項２】
前記制御手段は、推定される前記波長変換素子の温度が所定の範囲内に収まるように、前記波長変換素子の冷却を制御する、
ことを特徴とする請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記光源の光束の照射強度及び前記非変換光の強度と前記変換光の強度との比率である変換光比率と前記波長変換素子の温度との関係を示す第１の関係を記憶する記憶手段をさらに有し、
前記制御手段は、前記波長変換素子の温度を、前記光源の光束の照射強度と前記非変換光の強度及び前記変換光の変換比率と、前記記憶手段から取得される前記第１の関係とによって推定する
ことを特徴とする請求項１または２に記載の光源装置。
【請求項４】
前記光源の光束の照射強度を取得する第１の強度取得手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記第１の強度取得手段で取得された照射強度を用いて前記波長変換素子の温度を推定する
ことを特徴とする請求項３のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項５】
前記光源装置内の環境温度を取得する温度取得手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記推定された前記波長変換素子の温度と前記温度取得手段で取得された環境温度とに基づいて、前記波長変換素子の冷却を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項６】
前記波長変換素子は、基板と前記基板上に設けられた蛍光体とを備える蛍光体ユニットであり、
前記基板を回転させるモーターと、
前記光源装置内を冷却する冷却手段と、をさらに備え、
前記光源装置内の環境温度の変化量及び前記蛍光体の温度と前記モーターの回転速度との関係を第２の関係とし、前記光源装置内の環境温度の変化量及び前記蛍光体の温度と前記冷却手段の冷却能力との関係を第３の関係とするとき、
前記制御手段は、少なくとも前記第２の関係及び前記第３の関係のうち一方と、前記光源装置内の環境温度の変化量と、推定された前記蛍光体の温度とに基づいて、少なくとも前記モーターの回転速度及び前記冷却手段の冷却能力のうち一方を制御することで、前記蛍光体の冷却を制御する、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項７】
前記光源装置からの光束の強度を取得する第２の強度取得手段と、をさらに備え、
前記光源からの光束の照射強度と前記光源装置からの光束の強度との関係を第４の関係とするとき、
前記第１の強度取得手段は、前記第４の関係と、前記第２の強度取得手段による取得結果に基づいて前記光源からの光束の強度を取得する、
ことを特徴とする請求項４に記載の光源装置。
【請求項８】
請求項１乃至７のいずれか１項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光束を変調する光変調素子と、
前記光源装置からの光束を波長の異なる複数の光束に分割し、前記光変調素子に導き、前記光変調素子からの光束を合成する色分離合成系と、
前記光源装置からの光束を前記色分離合成系に導く照明光学系と、を備える、
ことを特徴とする投射型表示装置。
【請求項９】
前記光変調素子からの光束のうち、前記非変換光の強度と、前記変換光の強度と、を計測する第３の強度取得手段をさらに備え、
前記比率取得手段は、前記第３の強度取得手段に基づいて前記変換光比率を取得する、ことを特徴とする請求項８に記載の投射型表示装置。
【請求項１０】
光源からの光束の一部を前記光源からの光束と波長が異なる変換光に変換して射出するとともに、前記光源からの光束と波長が同じ非変換光を射出する波長変換素子を備える光源装置の制御方法であって、
前記波長変換素子から射出される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度を取得する光強度取得工程と、
前記光強度取得工程で取得される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度とに基づいて、前記波長変換素子の温度を推定し、当該推定された温度に応じて前記波長変換素子の冷却を制御する制御工程と、を備える、
ことを特徴とする制御方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光源装置およびこれを用いた投射型表示装置、及び、光源装置の制御方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、光源装置およびこれを用いた投射型表示装置、及び、光源装置の制御方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
上記目的を達成するために、本発明の光源装置は、光源からの光束の一部を前記光源からの光束と波長が異なる変換光に変換して射出するとともに、前記光源からの光束と波長が同じ非変換光を射出する波長変換素子と、前記波長変換素子から射出される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度を取得する光強度取得手段と、前記光強度取得手段で取得される前記非変換光の強度及び前記変換光の強度とに基づいて、前記波長変換素子の温度を推定し、当該推定された温度に応じて前記波長変換素子の冷却を制御する制御手段と、を備える、ことを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月5日(2018.12.5)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明のプロジェクタは、光学系部品および電子部品を収容する筺体と、前記筐体の外部と当該筐体の内部空間とを連通させる吸気口と、前記吸気口から取り込んだ空気の流路を形成するダクトと、を備え、前記ダクトの内部には、前記光学系部品および前記電子部品からの熱を冷却する複数のファンと、複数の前記ファンが固定される板状のベースと、を備え、前記ベースは、前記筺体の底部に沿って配置され、前記ダクトの内部空間は、前記ベースを挟んで前記複数のファンが固定される上面に面した上部空間と、前記上面とは反対側に位置する下面に面した下部空間とに分割され、前記ベースは、当該ベースにおける前記吸気口に近接した位置に、前記下部空間と前記上部空間とを連通させる開口部を備え、前記ベースは、前記筐体を構成する部材よりも密度が大きい材料を含んでなることを特徴とする。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学系部品および電子部品を収容する筺体と、
前記筐体の外部と当該筐体の内部空間とを連通させる吸気口と、
前記吸気口から取り込んだ空気の流路を形成するダクトと、を備え、
前記ダクトの内部には、
前記光学系部品および前記電子部品からの熱を冷却する複数のファンと、
複数の前記ファンが固定される板状のベースと、を備え、
前記ベースは、前記筺体の底部に沿って配置され、
前記ダクトの内部空間は、前記ベースを挟んで前記複数のファンが固定される上面に面した上部空間と、前記上面とは反対側に位置する下面に面した下部空間とに分割され、
前記ベースは、当該ベースにおける前記吸気口に近接した位置に、前記下部空間と前記上部空間とを連通させる開口部を備え、
前記ベースは、前記筐体を構成する部材よりも密度が大きい材料を含んでなる
ことを特徴とするプロジェクタ。
【請求項２】
前記下部空間の流体抵抗は、前記上部空間の流体抵抗よりも高い
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項３】
前記開口部は、前記ベースにおける前記ファンの上流位置に設けられる
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項４】
前記下部空間には、前記吸気口の対面側から取り込まれる前記筐体内の空気が、前記吸気口側に流れないようにするための風向制御構造を備え、
前記吸気口から取り込まれて前記下部空間内に流れた空気は、前記開口部を通過して前記上部空間に向けて略垂直に吹き上がる
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項５】
前記ベースは、前記ファンの通風路を形成する
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項６】
前記ベースは、前記ファンの通風路を形成する前記上面に対して凸部または凹部を有する
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項７】
前記ベースは、前記ダクトを支持する支持部を備える
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【請求項８】
前記ベースは、金属材料を含んでなる
ことを特徴とする請求項１に記載のプロジェクタ。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月15日(2019.1.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
画像に含まれる被写体の動きベクトルを算出する算出手段と、
焦点距離を取得する取得手段と、
前記被写体の動きベクトルと、検出手段により検出された振れ情報と、前記焦点距離とに基づいて露光時間を制御する制御手段と、を有することを特徴とする像ブレ補正装置。
【請求項２】
前記制御手段は、前記被写体の動きベクトルに応じた最大露光時間を超えないように前記露光時間を制御することを特徴とする請求項１に記載の像ブレ補正装置。
【請求項３】
前記算出手段は、前記被写体の動きベクトルとして、該被写体の複数の位置における動きベクトルの最大値および平均値を算出し、
前記制御手段は、前記動きベクトルの前記最大値と前記平均値との差に基づいて、前記最大露光時間を決定することを特徴とする請求項２に記載の像ブレ補正装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記動きベクトルの前記最大値と前記平均値との差と、前記被写体または撮影シーンに応じて決定される被写体流れ許容値とに基づいて、前記最大露光時間を決定することを特徴とする請求項３に記載の像ブレ補正装置。
【請求項５】
前記制御手段は、
前記振れ情報と、ユーザにより設定された背景流し量とに基づいて第１の露光時間を算出し、
前記第１の露光時間と前記最大露光時間とを比較し、
前記第１の露光時間が前記最大露光時間よりも短い場合、前記露光時間として前記第１の露光時間を設定し、
前記第１の露光時間が前記最大露光時間よりも長い場合、前記露光時間として前記最大露光時間を設定する、ことを特徴とする請求項２または３に記載の像ブレ補正装置。
【請求項６】
前記算出手段は、前記被写体の動きベクトルとして、該被写体の複数の位置における動きベクトルの最小値を算出し、
前記制御手段は、前記動きベクトルの前記最小値に基づいて前記露光時間を制御することを特徴とする請求項１に記載の像ブレ補正装置。
【請求項７】
前記算出手段は、前記画像に含まれる前記被写体の動きベクトルと背景の動きベクトルとを算出し、
前記制御手段は、前記被写体の動きベクトルと前記背景の動きベクトルとに基づいて前記露光時間を制御することを特徴とする請求項１に記載の像ブレ補正装置。
【請求項８】
前記振れ情報は、前記検出手段としての角速度検出手段により検出された角速度に関する情報であることを特徴する請求項１乃至７のいずれか１項に記載の像ブレ補正装置。
【請求項９】
前記制御手段は、流し撮りアシストモードに設定されている場合、前記露光時間を制御することを特徴とする請求項１乃至８のいずれか１項に記載の像ブレ補正装置。
【請求項１０】
撮像光学系を介して形成された光学像を光電変換して画像データを出力する撮像素子と、
前記画像データに対応する画像に含まれる被写体の動きベクトルを算出する算出手段と、
焦点距離を取得する取得手段と、
前記被写体の動きベクトルと、検出手段により検出された振れ情報と、前記焦点距離とに基づいて露光時間を制御する制御手段と、を有することを特徴とする撮像装置。
【請求項１１】
前記撮像光学系に含まれる像ブレ補正レンズを光軸と直交する方向に駆動することにより像ブレ補正を行う補正手段を更に有し、
前記撮像素子は、前記露光時間において、前記補正手段により前記像ブレ補正レンズを駆動しながら、前記光学像を光電変換して前記画像データを出力することを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置。
【請求項１２】
前記撮像素子を光軸と直交する方向に駆動することにより像ブレ補正を行う補正手段を更に有し、
前記撮像素子は、前記露光時間において、前記補正手段により駆動されながら、前記光学像を光電変換して前記画像データを出力することを特徴とする請求項１０に記載の撮像装置。
【請求項１３】
撮像光学系と、
前記撮像光学系を介して取得された画像に含まれる被写体の動きベクトルを算出する算出手段と、
振れ情報を検出する検出手段と、
焦点距離を取得する取得手段と、
前記被写体の動きベクトルと、前記振れ情報と、前記焦点距離とに基づいて露光時間を制御する制御手段と、を有することを特徴とするレンズ装置。
【請求項１４】
画像に含まれる被写体の動きベクトルを算出するステップと、
振れ情報を検出するステップと、
焦点距離を取得するステップと、
前記被写体の動きベクトルと、前記振れ情報と、前記焦点距離とに基づいて露光時間を制御するステップと、を有することを特徴とする像ブレ補正装置の制御方法。
【請求項１５】
画像に含まれる被写体の動きベクトルを算出するステップと、
振れ情報を検出するステップと、
焦点距離を取得するステップと、
前記被写体の動きベクトルと、前記振れ情報と、前記焦点距離とに基づいて露光時間を制御するステップと、をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
【請求項１６】
請求項１５に記載のプログラムを記憶していることを特徴とするコンピュータが読み取り可能な記憶媒体。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月11日(2019.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
撮像光学系と撮像素子により取得される撮影画像における被写体を検出する検出手段と、
前記被写体の撮影距離情報を取得する取得手段と、
前記検出手段および前記取得手段の出力に基づいて、前記被写体を追尾する追尾手段を制御する制御手段と、
を有し、
前記制御手段は、複数の被写体に関する位置情報と、該複数の被写体のそれぞれの撮影距離情報と、に基づいて、該複数の被写体を追尾するように前記追尾手段を制御することを特徴とする撮像制御装置。
【請求項２】
前記検出手段が第１の被写体と第２の被写体を検出し、
前記取得手段が前記第１の被写体の撮影距離と前記第２の被写体の撮影距離とを取得し、
前記第１の被写体の撮影距離の方が前記第２の被写体の撮影距離よりも短い場合、
前記制御手段は、前記第１の被写体の位置である第１の位置と前記撮影画像の中心位置との距離の方が、前記第２の被写体の位置である第２の位置と前記撮影画像の中心位置との距離よりも短くなるように前記追尾手段を制御することを特徴とする請求項１に記載の撮像制御装置。
【請求項３】
前記制御手段は、
前記検出手段が第１の被写体と第２の被写体を検出した場合に、
前記第１の被写体の位置である第１の位置および前記第２の被写体の位置である第２の位置と、前記第１の被写体の撮影距離である第１の撮影距離および前記第２の被写体の撮影距離である第２の撮影距離と、に基づいて、前記撮影画像の中心位置に近づくように制御される撮影画像内の特定位置を算出することを特徴とする請求項１または２に記載の撮像制御装置。
【請求項４】
前記制御手段は、前記第１の位置と前記第２の位置とに基づいて第３の位置を算出し、前記第１の撮影距離と前記第２の撮影距離とに基づいて、前記第３の位置を補正することにより、前記特定位置を算出することを特徴とする請求項３に記載の撮像制御装置。
【請求項５】
前記制御手段は、前記第１の撮影距離が前記第２の撮影距離よりも短い場合に、前記第３の位置を前記第１の位置に近づけるように補正することを特徴とする請求項４に記載の撮像制御装置。
【請求項６】
前記制御手段は、前記検出手段により検出された複数の被写体のそれぞれの大きさに基づいて、前記追尾手段を制御することを特徴とする請求項１ないし５のいずれか１項に記載の撮像制御装置。
【請求項７】
前記制御手段は、前記第１の位置と前記第２の位置とに基づいて、前記第１の被写体および前記第２の被写体の第３の位置を算出し、前記第1の被写体の大きさである第1の大きさと前記第2の被写体の大きさである第２の大きさとに基づいて、前記第３の位置を補正することにより、前記特定位置を算出することを特徴とする請求項４または５に記載の撮像制御装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記第１の大きさが前記第２の大きさよりも大きい場合に、前記第３の位置を前記第１の位置に近づけるように補正することを特徴とする請求項７に記載の撮像制御装置。
【請求項９】
前記被写体が動体であるか否かを判断する判断手段を備え、
前記制御手段は、前記判断手段の結果に基づいて前記追尾手段を制御することを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１項に記載の撮像制御装置。
【請求項１０】
前記制御手段は、前記第１の位置と前記第２の位置とに基づいて、前記第１の被写体および前記第２の被写体の第３の位置を算出し、前記判断手段の結果に基づいて、前記第３の位置を補正することにより、前記特定位置を算出することを特徴とする請求項４、５、７または８に記載の撮像制御装置。
【請求項１１】
前記制御手段は、前記判断手段により前記第１の被写体が動体であると判断した場合に、前記第３の位置を前記第１の位置に近づけるように補正することを特徴とする請求項１０に記載の撮像制御装置。
【請求項１２】
前記追尾手段は、光学素子を第１の方向および前記第１の方向と直交する第２の方向に駆動することを特徴とする請求項１ないし１１のいずれか１項に記載の撮像制御装置。
【請求項１３】
前記光学素子は、前記撮像光学系を構成するレンズであることを特徴とする請求項１２項に記載の撮像制御装置。
【請求項１４】
前記光学素子は、前記撮像素子であることを特徴とする請求項１２または１３に記載の撮像制御装置。
【請求項１５】
前記追尾手段は、前記撮像素子が出力する画像信号から、前記撮影画像の生成に用いる領域の位置を変更することを特徴とする請求項1ないし１４のいずれか1項に記載の撮像制御装置。
【請求項１６】
撮像素子により取得される撮影画像における被写体を検出する検出ステップと、
前記被写体の撮影距離情報を取得する取得ステップと、
前記被写体を追尾する追尾手段を制御する制御ステップと、
を有し、
前記制御ステップは、複数の被写体に関する位置情報と、該複数の被写体のそれぞれの撮影距離情報と、に基づいて、該複数の被写体を追尾するように前記追尾手段を制御することを特徴とする撮像装置の制御方法。
【請求項１７】
請求項１６に記載の制御方法の各ステップが記述されたコンピュータで実行可能なプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】撮像制御装置および撮像装置の制御方法、プログラム
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
そこで、本発明の目的は、複数の被写体の自動追尾に有利な撮像制御装置および撮像装置の制御方法、プログラムを提供することにある。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
本発明の一側面としての撮像制御装置は、複数の被写体に関する位置情報と、該複数の被写体のそれぞれの撮影距離情報と、に基づいて、該複数の被写体を追尾するように追尾手段を制御することを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明によれば、複数の被写体の自動追尾に有利な撮像制御装置および撮像装置の制御方法、プログラムを提供することができる。
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月14日(2018.12.14)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の画素が配置された表示領域を有する一対の基板と、
前記一対の基板の間にある光学素子層と、
前記画素に配置された画素電極と、
デジタル信号が供給される複数の信号線と、
前記信号線に接続されるスイッチング素子と、
前記スイッチング素子を制御する走査信号が供給される複数の走査線と、
前記表示領域の周囲の周辺領域に配置され、前記複数の信号線の各々に前記デジタル信号を供給する第１ドライバユニットと、
前記周辺領域に配置され、前記複数の走査線の各々に前記走査信号を供給する第２ドライバユニットと、
を備え、
前記第１ドライバユニットは、複数の第１回路ユニットを備え、
前記複数の第１回路ユニットの各々には対応する前記信号線が接続されており、
前記第１回路ユニットは、第１回路と、第２回路と、前記第１回路及び前記第２回路を接続する第１接続線と、を含み、
前記走査線は、前記表示領域において第１方向に延び、
前記第１回路及び前記第２回路は、前記第１方向に交差する第２方向に並び、前記第１方向において互いにずれて配置されている、
表示装置。
【請求項２】
前記第１回路は、第１シフトレジスタを含み、
前記第２回路は、前記信号線に供給するデジタル信号を記憶する第１ラッチ回路を含む、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
平面視において、前記第１回路と前記第２回路の間に、前記第１接続線と交差して前記走査線が延在している、
請求項１又は２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記画素に配置され前記デジタル信号を記憶するメモリと、
前記複数の画素の前記メモリに記憶させる前記デジタル信号を示すデータが順次供給されるデータバスと、をさらに備え、
平面視において、前記第１回路と前記第２回路の間に、前記第１接続線と交差して前記データバスがさらに延在している、
請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１回路ユニットは、第３回路と、前記第１回路又は前記第２回路と前記第３回路とを接続する第２接続線と、をさらに含み、
前記第１回路、前記第２回路、及び前記第３回路は、前記第２方向に並び、前記第１方向において互いにずれて配置されている、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
前記第１回路は、第１シフトレジスタを含み、
前記第２回路は、前記信号線に供給するデジタル信号を記憶する第１ラッチ回路を含み、
前記第３回路は、前記第１ラッチ回路から出力される前記デジタル信号を記憶する第２ラッチ回路を含む、
請求項５に記載の表示装置。
【請求項７】
前記第３回路は、第１バッファ回路と、前記第２ラッチ回路と前記第１バッファ回路を接続する第３接続線と、をさらに備え、
前記第１バッファ回路は、前記第２ラッチ回路が記憶する前記デジタル信号を前記信号線に供給する、
請求項６に記載の表示装置。
【請求項８】
前記第２ドライバユニットは、複数の第２回路ユニットを備え、
前記複数の第２回路ユニットの各々には対応する前記走査線が接続されており、
前記第２回路ユニットは、第４回路と、第５回路と、前記第４回路及び前記第５回路を接続する第４接続線と、を含み、
前記信号線は、前記表示領域において前記第２方向に延び、
前記第４回路及び前記第５回路は、前記第２方向において互いにずれて配置されている、
請求項１乃至７のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項９】
前記信号線と前記第１回路ユニットとを接続する引き出し線をさらに備え、
前記信号線は、前記表示領域において前記第２方向に延び、
前記引き出し線は、前記周辺領域において前記第１方向及び前記第２方向の双方と交わる方向に延びている、
請求項１乃至８のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１０】
前記画素に配置され前記デジタル信号を記憶するメモリと、
画像の表示信号が供給される第１配線と、
画像の非表示信号が供給される第２配線と、
前記表示信号及び前記非表示信号のうち、前記メモリに記憶された前記デジタル信号に対応する一方を前記画素電極に供給する選択制御回路と、
をさらに備え、
前記第１配線及び前記第２配線の少なくとも一方は、前記表示領域と前記第１ドライバユニットの間に延在するとともに、平面視において前記引き出し線と交差している、
請求項９に記載の表示装置。
【請求項１１】
前記第２ドライバユニットは、複数の第２回路ユニットを備え、
前記周辺領域は、前記第１回路ユニットと前記第２回路ユニットが形成された第１領域と、前記第２回路ユニットが形成され前記第１回路ユニットが形成されていない第２領域と、を有し、
前記第１領域における、前記第２回路ユニットと前記表示領域の間の距離は、第１距離であり、
前記第２領域における、前記第２回路ユニットと前記表示領域との間の距離は、第２距離であり、
前記第２距離は、前記第１距離よりも小さい、
請求項１乃至１０のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【請求項１２】
画像を表示しないダミー画素をさらに備え、
１つの前記第１回路ユニットは、前記複数の信号線に接続され、各信号線に接続される前記ダミー画素の数は異なっている、
請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の表示装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
一実施形態に係る表示装置は、一対の基板と、光学素子層と、画素電極と、複数の信号線と、スイッチング素子と、複数の走査線と、第１ドライバユニットと、第２ドライバユニットと、を備える。上記一対の基板は、複数の画素が配置された表示領域を有する。上記光学素子層は、上記一対の基板の間に配置されている。上記画素電極は、上記画素に配置されている。上記信号線は、デジタル信号が供給される。上記スイッチング素子は、上記信号線に接続される。上記走査線は、上記スイッチング素子を制御する走査信号が供給される。上記第１ドライバユニットは、上記表示領域の周囲の周辺領域に配置され、上記複数の信号線の各々に上記デジタル信号を供給する。上記第２ドライバユニットは、上記周辺領域に配置され、上記複数の走査線の各々に上記走査信号を供給する。上記第１ドライバユニットは、複数の第１回路ユニットを備え、上記複数の第１回路ユニットの各々には対応する前記信号線が接続されている。さらに、上記第１回路ユニットは、第１回路と、第２回路と、上記第１回路及び上記第２回路を接続する第１接続線と、を含む。上記走査線は、前記表示領域において第１方向に延びている。そして、上記第１回路及び上記第２回路は、上記第１方向に交差する第２方向に並び、上記第１方向において互いにずれて配置されている。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月11日(2019.1.11)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の面を有するベース部と、前記第１の面の上に設けられ、前記ベース部とは反対側に第２の面を有する少なくとも一つのマウント部と、を含むベース基板と、
前記少なくとも一つのマウント部のうち一のマウント部の上に設けられ、前記マウント部とは反対側に第３の面を有するサブマウントと、
前記第３の面に設けられ、前記第３の面に対して略平行に光を射出する固体光源と、
前記光の光路上に設けられ、前記光が入射する光入射面と、前記光入射面に対して傾斜した光反射面とを有するプリズムと、を備え、
前記マウント部の熱伝導率は、前記サブマウントの熱伝導率よりも高く、
前記第１の面を含む平面を基準面としたとき、
前記光反射面は、前記光入射面を通過した前記光を前記基準面から遠ざける方向へ反射させるように設けられており、前記プリズムの前記基準面側の端部と前記基準面との距離は、前記第２の面と前記基準面との距離以下である、光源装置。
【請求項２】
前記サブマウントは、前記プリズムの前記光入射面に対向する端面を有し、
前記マウント部は、前記光入射面側に位置する第１の側面を有し、
前記端面と前記第１の側面とは互いに面一とされている、請求項１に記載の光源装置。
【請求項３】
前記少なくとも一つのマウント部は、互いに隣り合う第１のマウント部と第２のマウント部とを含み、
前記プリズムの前記端部は、前記第１のマウント部と前記第２のマウント部との間に配置されており、
前記第１のマウント部は、前記プリズムの前記光入射面側に位置する第１の側面を有し、
前記第２のマウント部は、前記プリズムの前記光反射面側に位置する第２の側面を有し、
前記第１のマウント部の前記第１の側面と、前記第２のマウント部の前記第２の側面との間の間隔は、前記プリズムの前記光入射面と前記光反射面との間の最大幅よりも小さい、請求項１に記載の光源装置。
【請求項４】
前記第２の側面は、前記光反射面と略平行である、請求項３に記載の光源装置。
【請求項５】
前記ベース基板の熱伝導率は、前記サブマウントの熱伝導率よりも高い、請求項１から４のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項６】
前記ベース部と前記マウント部とは、互いに別体で構成されている、請求項１から５のいずれか一項に記載の光源装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置から射出された光を変調する光変調装置と、
前記光変調装置によって変調された光を投写する投写光学系と、を備えたプロジェクター。
【請求項８】
前記光源装置は、前記固体光源から射出された光を蛍光光に変換する波長変換素子をさらに備える請求項７に記載のプロジェクター。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の一態様における光源装置は、第１の面を有するベース部と、前記第１の面の上に設けられ、前記ベース部とは反対側に第２の面を有する少なくとも一つのマウント部と、を含むベース基板と、前記少なくとも一つのマウント部のうち一のマウント部の上に設けられ、前記マウント部とは反対側に第３の面を有するサブマウントと、前記第３の面に設けられ、前記第３の面に対して略平行に光を射出する固体光源と、前記光の光路上に設けられ、前記光が入射する光入射面と、前記光入射面に対して傾斜した光反射面とを有するプリズムと、を備え、前記マウント部の熱伝導率は、前記サブマウントの熱伝導率よりも高く、前記第１の面を含む平面を基準面としたとき、前記光反射面は、前記光入射面を通過した前記光を前記基準面から遠ざける方向へ反射させるように設けられており、前記プリズムの前記基準面側の端部と前記基準面との距離は、前記第２の面と前記基準面との距離以下である。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１３】
また、本発明の一態様の光源装置において、前記少なくとも一つのマウント部は、互いに隣り合う第１のマウント部と第２のマウント部とを含み、前記プリズムの前記端部は、前記第１のマウント部と前記第２のマウント部との間に配置されており、前記第１のマウント部は、前記プリズムの前記光入射面側に位置する第１の側面を有し、前記第２のマウント部は、前記プリズムの前記光反射面側に位置する第２の側面を有し、前記第１のマウント部の前記第１の側面と、前記第２のマウント部の前記第２の側面との間の間隔は、前記プリズムの前記光入射面と前記光反射面との間の最大幅よりも小さい構成としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
また、本発明の一態様の光源装置において、前記第２の側面は、前記光反射面と略平行である構成としてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１７】
また、本発明の一態様の光源装置において、前記ベース基板の熱伝導率は、前記サブマウントの熱伝導率よりも高い構成としてもよい。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月28日(2019.1.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
トナーを受け入れるための受入口を有する受け入れ装置に着脱可能なトナーカートリッジであって、
トナーを収容するための収容部と、前記収容部から前記受け入れ装置の前記受入口に向けてトナーを排出するための排出口と、を有する容器と、
前記排出口を閉じるための開閉部材であって、前記容器の周囲を回転することによって、（ａ）前記排出口を開放するための開位置と、（ｂ）前記排出口を閉じるための閉位置と、の間を前記容器に対して回転し得る開閉部材と、
前記開閉部材の前記容器に対向する側に設けられた第一の開閉部材側シール部材であって、前記開閉部材の先端よりも前記開閉部材が前記開位置から前記閉位置に移動する閉鎖方向において下流側に配置された部分を有する第一の開閉部材側シール部材と、
前記開閉部材の先端に設けられ、前記第一の開閉部材側シール部材と接触するように配置された第二の開閉部材側シール部材と、
を有するトナーカートリッジ。
【請求項２】
前記容器に設けられて、前記排出口の近傍かつ、前記開閉部材が前記開位置から前記閉位置に移動する閉鎖方向において前記排出口よりも下流側に配置される第一および第二の容器側シール部材と、
を有し、
前記開閉部材の回転軸線方向において、前記第一の容器側シール部材と前記第二の容器側シール部材の間に、少なくとも前記排出口の一部が配置されることを特徴とする請求項１に記載のトナーカートリッジ。
【請求項３】
前記容器は段差部を有し、前記第一および第二の容器側シール部材は、前記段差部の下の段に配置されることを特徴とする請求項２に記載のトナーカートリッジ。
【請求項４】
前記第一の容器側シール部材および前記第二の容器側シール部材は、前記回転軸線方向において前記排出口を間に挟んで互いに反対側に配置され、
前記第一の容器側シール部材の少なくとも一部は、前記軸線方向において前記排出口の外側に配置され、
前記第二の容器側シール部材の少なくとも一部は、前記軸線方向において前記排出口の外側に配置されている請求項２又は３に記載のトナーカートリッジ。
【請求項５】
前記開閉部材の前記先端は、前記容器から遠ざかるように突出している請求項１乃至４のいずれか１に記載のトナーカートリッジ。
【請求項６】
前記開閉部材は、
前記排出口を閉じるための閉じ部と、
前記受け入れ装置に係合可能に構成されて前記閉じ部に対して移動可能な係合部と、
を有する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のトナーカートリッジ。
【請求項７】
トナーを受けるための受入口を有する受け入れ装置と、
請求項１乃至６のいずれか１項に記載のトナーカートリッジと、
を有するトナー供給機構。
【請求項８】
前記受け入れ装置は、
受入口を開閉するための受け入れ装置側開閉部材と、
前記受け例装置側開閉部材に設けられて、前記トナーカートリッジに接触可能な受け入れ装置側シール部材と、
を有する請求項７に記載のトナー供給機構。
【請求項９】
トナーを受けるための受入口を有する受け入れ装置と、
請求項２乃至４のいずれか１項に記載のトナーカートリッジと、
を有し、
前記受け入れ装置は、
受入口を開閉するための受け入れ装置側開閉部材と、
前記受け例装置側開閉部材に設けられた受け入れ装置側シール部材と、
を有し、
前記受け入れ装置側シール部材は、前記第一の容器側シール部材および前記第二の容器側シール部材と接触可能に構成されているトナー供給機構。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】トナーカートリッジおよびトナー供給機構
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本願に係る代表的な構成は、
トナーを受け入れるための受入口を有する受け入れ装置に着脱可能なトナーカートリッジであって、
トナーを収容するための収容部と、前記収容部から前記受け入れ装置の前記受入口に向けてトナーを排出するための排出口と、を有する容器と、
前記排出口を閉じるための開閉部材であって、前記容器の周囲を回転することによって、（ａ）前記排出口を開放するための開位置と、（ｂ）前記排出口を閉じるための閉位置と、の間を前記容器に対して回転し得る開閉部材と、
前記開閉部材の前記容器に対向する側に設けられた第一の開閉部材側シール部材であって、前記開閉部材の先端よりも前記開閉部材が前記開位置から前記閉位置に移動する閉鎖方向において下流側に配置された部分を有する第一の開閉部材側シール部材と、
前記開閉部材の先端に設けられ、前記第一の開閉部材側シール部材と接触するように配置された第二の開閉部材側シール部材と、
を有するトナーカートリッジである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０４２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０４２３】
第二封止シール２５４は第二シャッタ２５３の面２５３ｈと第三封止シール２８０の側面２８０ａに設けられる。さらに図６５に示すようにトナーカートリッジＥには第四封止シール（第一の容器側シール部材）２８１と第五封止シール（第二の容器側シール部材）２８２が設けられている。第四封止シール２８１と第五封止シール２８２は、第二トナー収容部２４７の曲面２４７ｈの面に設けられる。第四封止シール２８１と第五封止シール２８２は第二トナー収容部２４７の突き当て面２４７ｃの近傍に設けられる。図６７に示すように第一シャッタ（受け入れ装置側開閉部材）２３７の上部には第六封止シール（受け入れ装置側シール）２８３が設けられている。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０４２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０４２４】
第三封止シール２８０と第二封止シール２５４は第三開口部（排出口）２４９（トナーカートリッジＥ）からのトナーｔのもれを封止する。第四封止シール２８１と第五封止シール２８２、第六封止シール２８３は第二開口部（受入口）２３０（現像ユニットＤ）からのトナーｔのもれを封止する。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月21日(2019.1.21)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
下記式（２）で表される化合物、下記式（３）で表される化合物および下記式（４）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１種類のケイ素化合物Ａと、
粒子状のトナー粒子前駆体と、
水系媒体と
を含む混合液を調製する工程（Ａ）；
前記工程（Ａ）を経た後、前記混合液中の前記ケイ素化合物Ａの少なくとも一部を縮合させる工程（Ｂ）；
前記工程（Ｂ）を経た後、前記混合液中に、下記式（１）で表されるケイ素化合物Ｂを存在させる工程（Ｃ）；および
前記工程（Ｃ）を経た後、前記混合液中の前記ケイ素化合物Ｂの少なくとも一部を縮合させる工程（Ｄ）；
を有するトナー粒子の製造方法であって、
前記工程（Ｃ）を経る前の前記混合液中における前記ケイ素化合物Ｂおよび前記ケイ素化合物Ｂの加水分解物の合計の含有量が、前記ケイ素化合物Ａおよび前記ケイ素化合物Ａの加水分解物の合計の含有量に対して１．０モル％以下である
ことを特徴とするトナー粒子の製造方法。
【化１】
2017134367.tif 000001
【化２】
2017134367.tif 000002
【化３】
2017134367.tif 000003
【化４】
2017134367.tif 000004
（式（１）〜（４）中、Ｒａ、Ｒｂ、Ｒｃ、Ｒｄ、ＲｅおよびＲｆは、それぞれ独立して、アルキル基、アルケニル基、アクリロキシアルキル基、メタクリロキシアルキル基またはアリール基であり、Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３、Ｒ４、Ｒ５、Ｒ６、Ｒ７、Ｒ８、Ｒ９およびＲ１０は、それぞれ独立して、ハロゲン原子、ヒドロキシ基またはアルコキシ基である。）
【請求項２】
前記工程（Ｂ）および前記工程（Ｄ）の少なくとも一方において、前記混合液のｐＨを４．０以上１０．０以下とする、請求項１に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項３】
前記ケイ素化合物Ａが、前記式（３）で表される化合物または前記式（４）で表される化合物である、請求項１または２に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項４】
前記ケイ素化合物Ａが、前記式（３）で表される化合物である、請求項３に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項５】
前記式（３）中のＲｆが、フェニル基または炭素数１以上６以下のアルキル基である、請求項４に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項６】
前記工程（Ｂ）および前記工程（Ｄ）の少なくとも一方において、前記混合液の温度を８０℃以上１０５℃以下とする、請求項１〜５のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【請求項７】
前記ケイ素化合物Ｂが、前記式（１）で表される化合物であり、Ｒａ、ＲｂおよびＲｃが、それぞれ独立して、炭素数３以上１０以下のアルキル基である、請求項１〜６のいずれか１項に記載のトナー粒子の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、下記式（２）で表される化合物、下記式（３）で表される化合物および下記式（４）で表される化合物からなる群より選択される少なくとも１種類のケイ素化合物Ａと、
粒子状のトナー粒子前駆体と、
水系媒体と
を含む混合液を調製する工程（Ａ）；
前記工程（Ａ）を経た後、前記混合液中の前記ケイ素化合物Ａの少なくとも一部を縮合させる工程（Ｂ）；
前記工程（Ｂ）を経た後、前記混合液中に、下記式（１）で表されるケイ素化合物Ｂを存在させる工程（Ｃ）；および
前記工程（Ｃ）を経た後、前記混合液中の前記ケイ素化合物Ｂの少なくとも一部を縮合させる工程（Ｄ）；
を有するトナー粒子の製造方法であって、
前記工程（Ｃ）を経る前の前記混合液中における前記ケイ素化合物Ｂおよび前記ケイ素化合物Ｂの加水分解物の合計の含有量が、前記ケイ素化合物Ａおよび前記ケイ素化合物Ａの加水分解物の合計の含有量に対して１．０モル％以下である
ことを特徴とするトナー粒子の製造方法。
【手続補正書】
【提出日】平成31年1月8日(2019.1.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７５】
＜比較例１＞
応力緩和層の厚みを８μｍとしたこと以外は実施例１と同様にして光学積層体を作製した。得られた光学積層体を実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
＜比較例２＞
応力緩和層の厚みを１０μｍとしたこと以外は実施例１と同様にして光学積層体を作製した。得られた光学積層体を実施例１と同様の評価に供した。結果を表１に示す。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月8日(2019.11.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
複数の天井板を有する処理室を備え、
前記複数の天井板は、瓦状に積み重ねられて傾斜し、傾斜方向に隣接する二つの天井板のうち、高い位置の天井板における低い側の端部が低い位置の天井板における高い側の端部を覆い、前記低い側の端部と前記高い側の端部との間に隙間を生じさせるように設けられていることを特徴とする基板処理装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月7日(2019.6.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】半導体装置
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
絶縁膜と、貫通電極と、端子と、回路と、基材と、を有し、
前記基材は、可撓性を備える領域、または湾曲した領域を有し、
前記回路は、前記絶縁膜と前記可撓性を備える領域の間、または前記絶縁膜と前記湾曲した領域の間に配置されており、
前記貫通電極は、前記絶縁膜の第１の面側から第２の面側へ貫通するように配置されており、
前記回路は、前記絶縁膜の第１の面側において、前記貫通電極と電気的に接続されており、
前記端子は、前記貫通電極と接するように、且つ、前記絶縁膜に一部が埋め込まれるように、前記絶縁膜の第２の面側に配置されており、
前記絶縁膜の第２の面側において、前記絶縁膜に覆われない領域で、前記端子はフレキシブルプリント基板と電気的に接続されている、半導体装置。
【請求項２】
絶縁膜と、貫通電極と、端子と、回路と、第１の基材と、第２の基材と、樹脂層と、を有し、
前記第１の基材は、可撓性を備える領域、または湾曲した領域を有し、
前記回路は、前記絶縁膜と前記可撓性を備える領域の間、または前記絶縁膜と前記湾曲した領域の間に配置されており、
前記貫通電極は、前記絶縁膜の第１の面側から第２の面側へ貫通するように配置されており、
前記回路は、前記絶縁膜の第１の面側において、前記貫通電極と電気的に接続されており、
前記端子は、前記貫通電極と接するように、且つ、前記絶縁膜に一部が埋め込まれるように、前記絶縁膜の第２の面側に配置されており、
前記絶縁膜の第２の面側において、前記絶縁膜に覆われない領域で、前記端子はフレキシブルプリント基板と電気的に接続され、
前記樹脂層は、前記端子と前記フレキシブルプリント基板との電気的接続部分を覆うように配置されており、
前記樹脂層は、前記絶縁膜と前記第２の基材とに挟まれる領域を有する、半導体装置。
【請求項３】
絶縁膜と、貫通電極と、端子と、回路と、第１の基材と、第２の基材と、樹脂層と、センサ電極と、を有し、
前記第１の基材は、可撓性を備える領域、または湾曲した領域を有し、
前記回路は、前記絶縁膜と前記可撓性を備える領域の間、または前記絶縁膜と前記湾曲した領域の間に配置されており、
前記貫通電極は、前記絶縁膜の第１の面側から第２の面側へ貫通するように配置されており、
前記回路は、前記絶縁膜の第１の面側において、前記貫通電極と電気的に接続されており、
前記端子は、前記絶縁膜の第２の面側に、前記貫通電極と接するように、且つ、前記絶縁膜に一部が埋め込まれるように配置されており、
前記センサ電極は、前記絶縁膜の第２の面側に、前記絶縁膜に一部が埋め込まれるように配置されており、
前記センサ電極は、近接するものがもたらす静電容量の変化を検知するセンサの少なくとも一部を構成し、
前記絶縁膜の第２の面側において、前記絶縁膜に覆われない領域で、前記端子はフレキシブルプリント基板と電気的に接続され、
前記樹脂層は、前記端子と前記フレキシブルプリント基板との電気的接続部分を覆うように配置されており、
前記樹脂層は、前記絶縁膜と前記第２の基材とに挟まれる領域を有する、半導体装置。
【手続補正書】
【提出日】令和1年11月15日(2019.11.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、
前記反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、前記磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含むアクチュエータと、
前記コイルを保持するベースプレートと、
一端が前記コイルに接続され、他端は自由端である伝熱部と、を備え、
前記伝熱部は、前記コイルで発生した熱を前記一端を介して前記他端に向かって伝達する、
ことを特徴とする光学装置。
【請求項２】
前記伝熱部からの熱を回収する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記伝熱部と前記冷却部とは、互いに離間して配置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記冷却部は、前記伝熱部から離間して配置されるプレートの内部に備えられる流路を含む、
ことを特徴とする請求項２または３に記載の光学装置。
【請求項５】
前記冷却部は、前記ベースプレートの内部に備えられる流路を含む、
ことを特徴とする請求項２または３に記載の光学装置。
【請求項６】
前記伝熱部と前記冷却部とを熱伝導する弾性体をさらに含む、
ことを特徴とする請求項２ないし５のいずれか１項に記載の光学装置。
【請求項７】
前記弾性体は、ヤング率が１０ＧＰａ以下である、
ことを特徴とする請求項６に記載の光学装置。
【請求項８】
前記弾性体は、樹脂である、
ことを特徴とする請求項６または７に記載の光学装置。
【請求項９】
前記弾性体は、ゴムである、
ことを特徴とする請求項６または７に記載の光学装置。
【請求項１０】
前記冷却部は、並列に配置された複数の流路を含む、
ことを特徴とする請求項４または５に記載の光学装置。
【請求項１１】
光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、
前記反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、前記磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含む複数のアクチュエータと、
前記コイルを保持するベースプレートと、
前記ベースプレートに配置され、前記ベースプレートと前記反射面の反対側の面との距離を計測する複数の計測器と、
を備え、
前記計測器の数は前記アクチュエータの数よりも少ないことを特徴とする光学装置。
【請求項１２】
前記コイルからの熱を回収する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項１１に記載の光学装置。
【請求項１３】
前記冷却部と前記コイルとの間に、前記コイルからの熱を前記冷却部に伝える伝熱部を備える、
ことを特徴とする請求項１２に記載の光学装置。
【請求項１４】
前記冷却部は、前記ベースプレートの内部であって前記コイルと近接した位置に配置される、
ことを特徴とする請求項１２または１３に記載の光学装置。
【請求項１５】
前記冷却部は、前記ベースプレートの内部に備えられる流路を含む、
ことを特徴とする請求項１４に記載の光学装置。
【請求項１６】
請求項１から１５のいずれか１項に記載の光学装置を含むことを特徴とする投影光学系。
【請求項１７】
マスクを照明する照明光学系と、
前記マスクのパターンを基板に投影する請求項１６に記載の投影光学系とを有する、
ことを特徴とする露光装置。
【請求項１８】
請求項１７に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記露光された前記基板を現像する工程と、を含む、
ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記課題を解決するために、本発明の一側面としての光学装置は、光学素子の反射面を変形させる光学装置であって、反射面の反対側の面に取り付けられた磁石と、磁石に対向する位置に配置されるコイルとを含むアクチュエータと、コイルを保持するベースプレートと、一端がコイルに接続され、他端は自由端である伝熱部と、を備え、伝熱部は、コイルで発生した熱を一端を介して他端に向かって伝達する。