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　特願２０１７−５２５５６１「エアロゾル送達デバイス用ＭＥＭＳベースセンサ」拒絶査定不服審判事件〔平成２８年　５月１９日国際公開、ＷＯ２０１６／０７７４２８、平成２９年１１月３０日国内公表、特表２０１７−５３５２６５〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　本件審判の請求は、成り立たない。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は、２０１５年１１月１１日（優先権主張　２０１４年１１月１２日　外国庁受理、米国（ＵＳ））を国際出願日とする出願であって、その主な手続は以下のとおりである。
　　令和　１年１０月　４日付け：拒絶理由通知書
　　令和　２年　４月１４日　　：手続補正書、意見書の提出
　　令和　２年　６月１２日付け：拒絶査定（６月２３日送達）
　　令和　２年１０月２２日　　：審判請求書の提出
第２　本願発明について  
１　本願発明
　本願の請求項１〜１４に係る発明は、令和２年４月１４日に提出された手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜１４に記載された事項により特定されるものであるところ、その請求項１に係る発明（以下「本願発明」という。）は、次のとおりのものである。
「【請求項１】
　エアロゾル送達デバイスであって、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内にある微小電気機械システムベース（ＭＥＭＳベース）センサであって、前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記ＭＥＭＳベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された、ＭＥＭＳベースセンサと、
　前記ＭＥＭＳベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも１つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサと、を備え、
　前記ＭＥＭＳベースセンサが、可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むＭＥＭＳマイクロホン、または、微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された１つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むＭＥＭＳ圧力センサ、であり、
　入力電圧が、前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き及びそれによる前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量または前記抵抗の前記変化が前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、前記ＭＥＭＳベースセンサによって前記電気信号として出力される、エアロゾル送達デバイス。」
２　原査定の拒絶の理由
　原査定の拒絶の理由は、次のものを含む。
　この出願の請求項１に係る発明は、その出願（優先日）前に日本国内又は外国において、頒布された引用文献１ないし６に記載された発明に基いて、その出願（優先日）前にその発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができない。
　引用文献１.米国特許出願公開第２０１３／０２９８９０５号明細書
　引用文献２.特開２００５−２７４１７５号公報
　引用文献３.特開２０１２−２２５９２５号公報
　引用文献４.特表２００７−５２３７００号公報
　引用文献５.特開２０１３−１５４４６５号公報
　引用文献６.Stephen Beeby et al.，MEMS Mechanical Sensors，ARTECH HOUSE,INC，２００４年４月３０日，132ページ
３　引用文献
（１）引用文献１
　米国特許出願公開第２０１３／０２９８９０５号明細書（以下「引用文献１」という。）には、以下の事項が記載されている、または、記載されているといえる（「・・・」は記載の省略を意味して、下線は当審にて付した。以下同様である。）。
（１−ａ）
「[0033] In an example embodiment, 
the invention provides a portable electronic vaporizing device having an outer shell housing internal components that facilitate heating and vaporizing of the selected substance disposed within for inhalation by a user.
The device is further configured to provide improved functionality, increased capabilities, and an enhanced smoking (more accurately inhalation of vapor) experience when compared to conventional electronic smoking and vaporizing devices.
・・・
[0064] In the above equations, the power required to obtain heating of air to the target temperature of about 188 ℃. is about 27 Watts for air flow 0.125 L/s at 20 ℃. (room temperature) and 17.2 Watts for air flow of 0.125 L/s at 200 ℃.; thus, the power required upon initial inhalation is often higher than the power required once the heating unit has reached operating temperature. Therefore, many devices include a thermistor within the heating chamber or adjacent the heating unit so that the power supplied can be controlled and varied as needed to heat the air to the desired temperature. In certain embodiments, the device is configured to energize the heating unit with power of about 10 to 30 Watts, preferably about 15-25 Watts, even more preferably between 17 and 27 Watts. In some embodiments, 
the power supply is configured (such as with a microprocessor or microcontroller) so as to vary the power supply according to a characteristic of usage, such as temperature, air flow speed and/or elapsed time after inhalation is detected.
・・・
[0066] In an example embodiment, such as in FIGS. 5A-5B and FIGS. 6A-6B, the device includes various electronics and sensors for use in activating and controlling operation of the device, such as described above in regard to the power source 30 in the preceding section. 
The device includes printed circuit board components 32 having a memory module with firmware recorded thereon, for use in activating and/or controlling the heating unit and distal light source described above in response to various inputs from a user or various sensors or components of the device.
a sensor 34 for detecting air flow and velocity from user inhalation. The inhalation sensor 34 may be an air pressure sensor, such as capacitive type pressure sensor or a piezo resistive element, for example a MEMS gauge pressure sensor having low power consumption.
[0067] In an example embodiment, 
the outputs of the pressure sensor 34 and/or thermistor are used to activate or control the heating unit and/or the distal light source
when a user inhales, air velocity increases and the pressure sensor 34 detects a sufficient pressure change sending an output signal to a PCB component, processor or microcontroller. In response to the signal, the heating unit is energized by the power source to provide sufficient heating;
（当審訳：[0033]一実施形態において、
本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。
装置は、従来の電子喫煙気化装置と比べたときに、さらに改善された機能は、増大した能力、および増強された“喫煙” (より正確には蒸気の吸入)の経験を提供するように構成されている。
・・・
[0064]上記の式において、約188℃の目標温度までの加熱を得るために必要とされるパワーは、20℃（室温）で0.125L/sのエアフローで約27ワット、200℃で0.125L/秒のエアフローで訳17.2ワットであるため、この加熱ユニットが動作温度に達してからの吸入に必要な電力が必要な電力よりも高いことが多い。したがって、多くの装置は、サーミスタを加熱室内や発熱部近傍に備え、電源は、空気を所望の温度まで加熱するために必要に応じて変化させて制御できるようになっている。特定の実施形態では、この装置は加熱ユニットを約10〜30ワットの電力で加熱、好ましくは15-25ワット程度、より好ましくは17ワットと27ワットとの間で加熱するよう構成されている。いくつかの実施形態では、
吸入が検出された後に、使用法の特性、温度、空気流の速度及び/又は経過時間などに応じて電力供給を変化させるように電源が構成される(マイクロプロセッサまたはマイクロコントローラを用いて)
・・・
[0066]一実施形態では、図5A〜5Bおよび図6A〜6Bのように、装置は、上で電源30に関して述べたように、装置の作動および制御に使用するための様々な電子コンポーネントおよびセンサーを含む。
装置は、ファームウエアが記録されたメモリモジュールを有するプリント回路基板部品32を有し、ユーザ又は装置の種々のセンサ又は構成要素からの様々な入力に応答して上記加熱部および遠位の光源を作動し及び/又は制御するのに使用する。
ユーザの吸入による空気の流れおよび速度を検出するためのセンサ３４
吸入センサ３４は、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子、例えば、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサであってもよい。
[0067]
一実施形態では、圧力センサ３４および／またはサーミスタの出力は、上記のように、加熱ユニットおよび／または遠位光源を作動または制御するために使用される。
使用者が吸入すると、空気の速度が増大し、圧力センサ34は、プリント回路基板、プロセッサまたはマイクロコントローラへの出力信号を送信するのに十分な圧力変化を検出する。この信号に応答して、加熱ユニットは、十分な加熱を提供するように電源により通電され、加熱部への電力供給は、サーミスタからの出力に応答して、又は種々の他の変数に応答して制御される
（１−ｂ）
「
」
（１−ｃ）
　上記（１−ａ）に記載された「本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。」及び「装置は、従来の電子喫煙気化装置と比べたときに、さらに改善された機能は、増大した能力、および増強された“喫煙” (より正確には蒸気の吸入)の経験を提供するように構成されている。」という事項から、
「携帯型電子気化装置」は、喫煙体験を提供するものであることが明らかであり、電子喫煙気化装置である
（１−ｄ）
　上記（１−ａ）に記載された「本発明は、ユーザによる吸入のために内部に配置された選択された物質の加熱および気化を容易にする内部構成要素を収容する外側ハウジングを有する携帯型電子気化装置を提供する。」及び「吸入センサ３４は、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子、例えば、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサであってもよい。」という事項と（１−ｂ）に示された図面（特に、FIG.6A、FIG.6B）とから、
吸入センサ３４が外側ハウジング内にある
（１−ｅ）
　上記（１−ａ）の記載事項及び当該記載事項からいえる（１−ｂ）ないし（１−ｄ）の事項を総合すると、引用文献１には、次の発明が記載されていると認められる（以下「引用発明」という。）。
「電子喫煙気化装置であって、
　外側ハウジングと、
　前記外側ハウジング内にあり、使用者が吸入すると、圧力変化を検出して出力信号を送信する、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子のような吸入センサ３４であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサと、
　前記圧力センサ３４からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御するマイクロプロセッサと、を備える電子喫煙気化装置。」
（２）引用文献２
　特開２００５−２７４１７５号公報（以下「引用文献２」という。）には、以下の事項が記載されている。
（２−ａ）
「【0002】
　
静電容量型の圧力センサは、高精度の測定が可能でかつマイクロマシン（ＭＥＭＳ）技術を用いて大量生産が可能であることから真空装置等の圧力センサとして広く用いられている。このような静電容量型圧力センサの一例を図５及び図７に示す。
　
図５の圧力センサは、容量電極１１及び参照電極１２を備えた第１ガラス層１、ダイヤフラム２１を備えたシリコン層２、及び通気口３１を備えた第２ガラス層３の三層構造を有し、
【0003】
　図５に示した圧力センサは、例えば図６に示す製造方法により作製される。
　
通常、厚さ３５０μｍ程度のシリコン基板に酸化膜２２形成し、パターニングした後、シリコン層２を例えばＥＰＷ（エチレンジアミンピロカテコール水溶液）を用いて、例えば１０μｍ程度エッチングして圧力基準室用の溝２３を形成する（Ａ）。
【0004】
　その後、容量電極１１及び参照電極１２，さらにはこれら電極の端子用の溝１６を形成した、厚さ１ｍｍ程度のガラス基板１と上記シリコン層２を陽極接合法により接合する（Ｃ）。
酸化膜２２をパタニングした後、ＥＰＷを用いてシリコンのエッチングを行い、ダイヤフラム２１を形成する（Ｄ）。エッチングは高濃度ボロン拡散層２７で停止し、この高濃度ボロン拡散層２７がダイヤフラムの厚さとなる。
　最後に、電極端子用の溝１６の底部を除去して第１ガラス層１を貫通させるとともに、酸化膜２２を除去する。続いて、シリコン層２と通気口が形成されたガラス層基板３とを陽極接合し、さらに電極端子１３〜１５を形成してセンサを完成する。
【0005】
　
通気口３１を通して気体圧力がダイヤフラム２１に加わると、気体圧力と圧力基準室５の圧力差に応じてダイヤフラム２１は容量電極１１側に変位する。これにより容量電極端子１３とダイヤフラムの電極端子１５間の静電容量は増加し、その増加量を電圧に変換・増幅する回路（不図示）で信号処理することによって圧力が出力される。
（２−ｂ）
「【図３】
」
「【図５】
」
（２−ｃ）
　上記（２−ａ）及び（２−ｂ）の記載事項を総合すると、引用文献２には、次の技術が記載されていると認められる（以下「引用文献２技術」という。）。
「容量電極１１を備えた第１ガラス層１とＭＥＭＳ技術を用いて形成されたダイヤフラム２１を備えたシリコン層２とを有する第２ガラス層３を含む静電容量型気体圧力センサーであり、気体圧力が前記ダイヤフラム２１の動き及びそれによる静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量の前記変化が出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧が、信号として出力される、静電容量型気体圧力センサー。」
（３）引用文献３
　特開２０１２−２２５９２５号公報（以下「引用文献３」という。）には、以下の事項が記載されている。
（３−ａ）
「【0009】
　
図１が、センサ構造１０２と別の構造１０６との間に挿入されるセンサ構造１０２及び封止構造１０４を含む検出システム１００の例示的な実施形態を示す。
センサ構造１０２は、半導体基板１１０（又はダイ）のダイヤフラム領域１０８上に形成される圧力検出装置を含む微小電気機械素子（ＭＥＭＳ）圧力センサとして実現される。
【0010】
　代表的な実施形態において、
半導体基板１１０は、ダイヤフラム領域１０８を画成するための１つ又は複数の半導体製造工程ステップにさらされる、単結晶シリコン材料として実現される。
半導体基板１１０にキャビティ１１４（又は開口）を形成し、同時に、エッチングされない半導体基板１１０の周囲部分の間に内部ダイヤフラム領域１０８を残すために、半導体基板１１０の表面１１１は、従来の方法でエッチングされてもよい。
【0011】
　上述記載されるように、例示的な実施形態において、
圧力検出装置は、キャビティ１１４に対向するダイヤフラム領域１０８の上表面１１３上に形成される。
圧力検出装置は、ホイートストンブリッジに構成される４つのピエゾ抵抗素子として実現されてもよく、ここでは、ホイートストンブリッジの一対の出力ノード間の電圧における、対応する差を作り出すために、ダイヤフラム領域１０８の変位又は偏向は、ピエゾ抵抗素子の抵抗に影響を及ぼす。ピエゾ抵抗素子は、従来の方法で形成され得、例えば、ダイヤフラム領域１０８の偏向に関連して変化するドープされた領域の抵抗を形成するために、ダイヤフラム領域１０８の上側に所望の導電性タイプのイオンを注入することによって形成されてもよい。例示的な実施形態において、キャビティ１１４における周囲圧力によって、ダイヤフラム領域１０８に印加された圧力を示す出力電圧信号を与えるために、ホイートストンブリッジの出力ノードは、対応する出力端子に電気的に接続される。
（３−ｂ）
「【図１】
」
（３−ｃ）
　上記（３−ａ）及び（３−ｂ）の記載事項を総合すると、引用文献３には、次の技術が記載されていると認められる（以下「引用文献３技術」という。）。
「半導体製造工程ステップにより画成されたダイヤフラム領域１０８と前記ダイヤフラム領域の上表面１１３上に形成された４つのピエゾ抵抗素子とを有するダイを含むＭＥＭＳ圧力センサであり、前記ダイヤフラム領域１０８に印加された圧力が前記前記ダイヤフラム領域１０８の変位又は偏向及びそれにより前記４つのピエゾ抵抗素子の抵抗に影響（変化）を生じさせ、前記抵抗の前記影響（変化）が前記４つのピエゾ抵抗素子の対応する出力端子の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧が、出力電圧信号として出力される、ＭＥＭＳ圧力センサ。」
４　対比 
　本願発明と引用発明とを対比する。
（１）電子喫煙気化装置によって気化された喫煙成分の一部がエアロゾル化することは明らかであるから、引用発明の「電子喫煙気化装置」は、本願発明の「エアロゾル送達デバイス」に相当する。また、引用発明の「外側ハウジング」は、本願発明の「ハウジング」に相当する。
（２）引用発明の「吸入センサ３４」は、「ＭＥＭＳゲージ圧センサ」であるから、本願発明の「微小電気機械システムベース（ＭＥＭＳベース）センサ」に相当する。そして、引用発明の「吸入センサ３４」が「前記外側ハウジング内にあ」る点は、本願発明の「ＭＥＭＳベースセンサ」が「前記ハウジング内にある」点に相当する。さらに、引用発明の「吸入センサ３４」が「使用者が吸入すると圧力変化を検出して出力信号を送信する」点は、本願発明の「ＭＥＭＳベースセンサ」が「前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記ＭＥＭＳベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された」点に相当する。
（３）引用発明の「加熱ユニット」は、本願発明の「前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも１つの機能要素」に相当する。そうすると、引用発明の「前記圧力センサ３４からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御する」は、本願発明の「前記ＭＥＭＳベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも１つの機能要素の動作を制御する」に相当する。したがって、引用発明の「前記圧力センサ３４からの出力信号に応答して、加熱ユニットを制御するマイクロプロセッサ」は、本願発明の「前記ＭＥＭＳベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも１つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサ」に相当する。
（４）静電容量式圧力センサが、可変キャパシタを形成するもの有していることは明らかであるから、引用発明の「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」「であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサ」は、本願発明の「可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むＭＥＭＳマイクロホン」と、「可変キャパシタを形成する」もの「を有する」「ＭＥＭＳ」圧力センサである点に限り、一致する。
　さらに、静電容量式圧力センサは、入力電圧が、可変キャパシタに印加された場合、圧力が可変キャパシタの静電容量の変化の変化を生じさせ、静電容量の変化が可変キャパシタの両端の出力の変化を引き起こし、前記出力が、静電容量式圧力センサによって電気信号として出力されるものであるから、引用発明の「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」「であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサ」は、本願発明の「入力電圧が、前記可変キャパシタ」「に印加された場合、」「前記可変キャパシタ」「の」「静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量」「の前記変化が前記可変キャパシタ」「の両端の出力」「変化を引き起こし、前記出力」「またはそのデジタル表現が、前記ＭＥＭＳベースセンサによって前記電気信号として出力される」という点に限り、一致する。
（５）引用発明の「ピエゾ抵抗素子」は、本願発明の「ピエゾ抵抗器」に相当するから、引用発明の「ピエゾ抵抗素子のような吸入センサ３４であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサ」は、本願発明の「微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された１つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むＭＥＭＳ圧力センサ」と、「１つ以上のピエゾ抵抗器」「を有する」「ＭＥＭＳ圧力センサ」である点に限り、一致する。
　さらに、ピエゾ抵抗素子を用いる圧力センサは、入力電圧が、ピエゾ抵抗素子に印加された場合、圧力がピエゾ抵抗素子の抵抗の変化を生じさせ、抵抗の変化がピエゾ抵抗素子の両端の出力の変化を引き起こし、前記出力が圧力センサによって電気信号として出力するものであるから、引用発明の「ピエゾ抵抗素子のような吸入センサ３４であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサ」は、本願発明の「入力電圧が、」「前記１つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が」「前記１つ以上のピエゾ抵抗器の」「抵抗」「の変化を生じさせ、」「前記抵抗の前記変化が」「前記１つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力」「の変化を引き起こし、前記出力」「またはそのデジタル表現が、前記ＭＥＭＳベースセンサによって前記電気信号として出力される」という点に限り、一致する。
　したがって、本願発明と引用発明とは、
「エアロゾル送達デバイスであって、
　ハウジングと、
　前記ハウジング内にある微小電気機械システムベース（ＭＥＭＳベース）センサであって、前記ハウジングの少なくとも一部を通る空気流によって引き起こされる前記ＭＥＭＳベースセンサ上の圧力を検出するように構成され、前記圧力を電気信号に変換し、前記電気信号を出力するように構成された、ＭＥＭＳベースセンサと、
　前記ＭＥＭＳベースセンサから前記電気信号を受信し、それに基づいて前記エアロゾル送達デバイスの少なくとも１つの機能要素の動作を制御するように構成されたマイクロプロセッサと、を備え、
　前記ＭＥＭＳベースセンサが、可変キャパシタを形成するものを有するＭＥＭＳ圧力センサ、または、１つ以上のピエゾ抵抗器を有するＭＥＭＳ圧力センサ、であり、
　入力電圧が、前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量または前記抵抗の前記変化が前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力の変化を引き起こし、前記出力またはそのデジタル表現が、前記ＭＥＭＳベースセンサによって前記電気信号として出力される、エアロゾル送達デバイス。」
である点で一致し、以下の点で相違する。
＜相違点＞
　ＭＥＭＳベースセンサ（ＭＥＭＳゲージ圧センサ）に関して、本願発明は「可変キャパシタを形成する背面板と微細加工された圧力感知ダイヤフラムとを有するダイを含むＭＥＭＳマイクロホン、または、微細加工された圧力感知ダイヤフラムとダイヤフラム上に配設された１つ以上のピエゾ抵抗器とを有するダイを含むＭＥＭＳ圧力センサ」であるのに対して、引用発明は「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサまたはピエゾ抵抗素子のような吸入センサ３４であって、消費電力が少ないＭＥＭＳゲージ圧センサ」であり、
　圧力が、可変キャパシタまたは１つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗または静電容量の変化を生じさせる機序に関して、本願発明は「圧力が」「生じさせ」る「前記ダイヤフラムの動き」「により」、抵抗または静電容量の変化を生じさせるのに対して、引用発明は「圧力」がどのように抵抗または静電容量の変化を生じさせるのかが不明であり、
　前記可変キャパシタまたは前記１つ以上のピエゾ抵抗器の両端の出力の変化に関して、本願発明は「電圧」の変化であるのに対して、引用発明は具体的に何の変化か不明である点。
５　判断
（１）相違点に係る本願発明の構成について
　本願発明の「マイクロホン」に関して、本願明細書【0062】には、次のとおり記載されている。
「【0062】
　理解されるように、ＭＥＭＳマイクロホンは、携帯電話及び補聴器の音響用途にしばしば使用され、その後の複製及びスピーカによる出力のために音声を取り込む。これらの用途には、通常、音響出力の高い忠実度を望まれ、その結果、ＭＥＭＳマイクロホンは、より正確な音響をキャプチャして複製するために、
より複雑なバイアス発生器回路と、様々な音響グレードのフィルタリング及び増幅ステージなどの追加の回路を含むことが多い。しかしながら、エアロゾル送達デバイスの文脈では、この追加の回路は有用ではないかもしれない。いくつかの例では、ＭＥＭＳマイクロホンは、これらの構成要素のうちの１つ以上の単純化されたバージョンを含むことができ、もしくはそれらを完全に含まなくてもよい。すなわち、ダイ２０２，２０６を含むＭＥＭＳベースセンサ２００は、より単純化されたバイアス発生器回路、より少ないフィルタリングお及び／またはより単純な非線形増幅を有する集積回路パッケージ２１０にパッケージングされてもよく、
　上記記載を踏まえると、より単純化されたバイアス発生器回路といえる、可変キャパシタを形成する背面板と圧力感知ダイヤフラムとを有する気体圧力センサーは、本願発明における「マイクロホン」（単純化されたバージョン）であるといえる。
　そして、静電容量式圧力センサなどの空気圧センサにおいて、「可変キャパシタを形成する背面板（容量電極１１を備えた第１ガラス層１）と微細加工された圧力感知ダイヤフラム（ＭＥＭＳ技術を用いて形成されたダイヤフラム２１を備えたシリコン層２）とを有するダイ（第２ガラス層３）を含むマイクロホン（気体圧力センサー）であり、入力電圧が、前記可変キャパシタに印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き及びそれによる前記可変キャパシタの静電容量の変化を生じさせ、前記静電容量の前記変化が前記可変キャパシタの両端の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、電気信号として出力される」ものは、引用文献２技術のように、本願の優先日より前の周知技術である（以下「周知技術１」という。）。
　そうすると、引用発明における「ＭＥＭＳゲージ圧センサ」が「静電容量式圧力センサなどの空気圧センサ」である場合に、周知技術１を採用して、相違点に係る本願発明の構成とすることは、当業者にとって容易である。
　また、ピエゾ抵抗素子を用いる圧力センサにおいて、「微細加工された圧力感知ダイヤフラム（半導体製造工程ステップにより画成されたダイヤフラム領域１０８）とダイヤフラム上（前記ダイヤフラム領域の上表面１１３）に配設された１つ以上のピエゾ抵抗器（４つのピエゾ抵抗素子）とを有するダイ（ダイ）を含むＭＥＭＳ圧力センサ（ＭＥＭＳ圧力センサ）、であり、入力電圧が、前記１つ以上のピエゾ抵抗器に印加された場合、前記圧力が前記ダイヤフラムの動き（変位又は偏向）及びそれによる前記１つ以上のピエゾ抵抗器のそれぞれ抵抗の変化（影響）を生じさせ、前記抵抗の前記変化が前記１つ以上のピエゾ抵抗器の両端（対応する出力端子）の出力電圧の変化を引き起こし、前記出力電圧またはそのデジタル表現が、電気信号（出力電圧信号）として出力される」ものは、引用文献３技術のように、本願の優先日より前の周知技術である（以下「周知技術２」という。）。
　そうすると、引用発明における「ＭＥＭＳゲージ圧センサ」が「ピエゾ抵抗素子」を用いる圧力センサである場合に、周知技術２を採用して、相違点に係る本願発明の構成とすることは、当業者にとって容易である。
（２）本願発明の効果について
　本願発明が奏する効果は、引用発明及び周知技術１又は周知技術２から当業者が予測し得る程度のものであって、格別のものではない。
（３）請求人の主張について
　請求人は、令和２年１０月２２日に提出した審判請求書において、
「引用文献の何れかを始点としましても、当業者は、エアロゾル送達デバイス内の非常に特定のダイ配置を有する微細機械加工されたセンサを適用するためのヒントは得られないものと思料致します。また、最初の拒絶理由通知書への応答においても申しましたように、対応の欧州審査官も、『たとえそのようなセンサが標準的な電子部品として存在しても、様々な利用可能なセンサの中からそれを選択し、それをエアロゾル送達デバイスにおける特定の使用に適合させることは自明ではなく、これはさらなる要件（加熱およびエアロゾルに対する耐性など）を含むものである』と述べております（ＥＰ　１８　１８８　６６１．５に関する拡張欧州サーチレポートのシート３）。
　よって、引用された引用文献に従った概略的に示されたセンサを、請求項に記載されたセンサに変換するために必要となる多数の修正は、特に、請求項に記載された残りの機能的特徴を考慮する場合に、自明な設計選択肢（引用文献の単体はもちろん、それらの如何なる組み合わせを考慮しても）と見なすことはできないものと思料致します。」
として、本願発明は、引用文献によって、その進歩性を否定されるものではないとの旨を主張している。
　ここで、請求項１には、「エアロゾル送達デバイス」内における、「非常に特定のダイ配置」を特定する事項は記載されておらず、また、請求項１に記載された事項からは、「非常に特定のダイ配置」は読み取れず、請求人が審判請求書において主張する「非常に特定のダイ配置」が具体的に何を示すのかが明確ではない。また、仮に「非常に特定のダイ配置」が請求項１に記載された事項によって特定されているとしても、請求項１に記載された事項によって特定されるセンサの構造等は、引用発明に周知技術１又は周知技術２を適用することによって実現されるものにすぎない。
　さらに、「引用された引用文献に従った概略的に示されたセンサを、請求項に記載されたセンサに変換するために必要となる多数の修正」は、引用発明に周知技術１又は周知技術２を適用することによって実現されるものであり、例えば「加熱およびエアロゾルに対する耐性など」への対応が必要であるとしても、その対応は当業者が当然になし得る程度のことにすぎない。なお、請求項１には、「加熱およびエアロゾルに対する耐性など」に関して具体的な記載はなく、請求項１の記載に基づかない主張である。
　そうすると、請求人の上記主張は採用できない。
６　小括
　上記１ないし５の検討によれば、本願発明は、引用発明、周知技術１及び周知技術２に基いて当業者が容易に発明をすることができたものであるから、特許法第２９条第２項の規定により、特許を受けることができない。
第３　むすび
　以上のとおり、本願発明は、特許法第２９条第２項の規定により特許を受けることができないものであるから、他の請求項に係る発明について検討するまでもなく、本願は拒絶されるべきものである。
　よって、結論のとおり審決する。