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　特願２０１８−５１６１１５「電気セラミック構成素子、とりわけ多層圧電アクチュエータ」拒絶査定不服審判事件〔平成２９年　４月　６日国際公開、ＷＯ２０１７／０５４９５０、平成３０年１１月　１日国内公表、特表２０１８−５３２２６８、請求項の数（７）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，２０１６年（平成２８年）７月１４日（パリ条約による優先権主張外国庁受理２０１５年９月２９日，ドイツ）を国際出願日とする出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
　令和元年　　６月２４日付け　：拒絶理由通知書
　令和元年　　９月２７日　　　：意見書，手続補正書の提出
　令和元年　１２月２６日付け　：拒絶査定
　令和２年　　５月１４日　　　：審判請求書，手続補正書の提出
　令和２年　１２月２１日付け　：拒絶理由通知書（当審）
　令和３年　　３月１９日　　　：意見書，手続補正書の提出
第２　本願発明
　本願の請求項１〜７に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」〜「本願発明７」という。）は，令和３年３月１９日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜７に記載された事項により特定される発明であり，そのうちの本願発明１は以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　構成素子（１）であって，
　セラミックマトリックス（５）と，
　前記セラミックマトリックス（５）内に配置されており，第１の表面（７）において露出されている少なくとも１つの内部電極（２）と，
　前記内部電極（２）に電気的に接続されている少なくとも１つの導電性の集電コンタクト部（８）と，
　前記セラミックマトリックス（５）の表面上に設けられた絶縁層（１５）であって，前記セラミックマトリックス（５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されており，かつ前記内部電極（２）の少なくとも一部を露出させる少なくとも１つの開口部（１６）を有する，絶縁層（１５）と，
　前記内部電極（２）と前記集電コンタクト部（８）との間，および前記絶縁層（１５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されている導電性の別の層（１９）と
を有する，構成素子（１）において，
　前記別の層（１９）は，少なくとも２つの層（３０Ａ，３０Ｂ）を有するマルチレイヤ層（３０）として形成されており，
　前記マルチレイヤ層（３０）は，第１の層（３０Ａ）として，前記集電コンタクト部（８）に隣接する電流収集層を含み，第２の層（３０Ｂ）として，前記絶縁層（１５），前記セラミックマトリックス（５）および前記内部電極（２）に隣接する拡散遮断層を含み，
　前記集電コンタクト部（８）に隣接する前記電流収集層（３０Ａ）は，銀−パラジウム合金から形成され，前記集電コンタクト部（８）への接着を提供し，
　前記拡散遮断層（３０Ｂ）は，チタンを含む接着媒体層であり，かつ，前記セラミックマトリックス（５）への拡散遮断を提供する，
ことを特徴とする，構成素子（１）。」
　本願発明２〜７は，それぞれ本願発明１を減縮した発明である。
第３　引用例の記載と引用発明
１．引用例１について
（１）引用例１の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された，本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である引用例１（特表２０１１−５０７２２１号公報）には，図１，２，４とともに，次の記載がある。
「【０００１】
　
本発明は気相堆積層を有する外部電極を備えた圧電コンポーネントに関している
「【００１９】
　前記気相堆積層はそれぞれ１つの唯一の金属堆積層を有するものであってもよい。特に有利な構成によれば，
前記導電性の少なくとも１つの気相堆積層及び／又は少なくとも１つのさらなる気相堆積層が，複数の気相堆積層部分を備えた多層構造部を有している。例えば最下位に位置する気相堆積層部分は（これは表面区分に直接被着されている），チタン若しくはクロムからなる，又はクロム・チタン合金からなる良好な接着層からなっている
【００２０】
　さらに前述した金属は，圧電コンポーネントのさらに別の導電性の構成要素内に存在していてもよい。別の有利な構成によれば，
前記電極材料，前記さらなる電極材料，前記気相堆積層，前記さらなる気相堆積層，前記コンタクト形成材料及び／またはさらなるコンタクト形成材料は，クロム，金，銅，ニッケル，パラジウム，プラチナ，銀を含んだグループから選択された少なくとも１つの金属を有している
「【００２６】
　圧電コンポーネントの主要部は，積層形態の圧電素子１０である。この
圧電素子１０は，１つの電極層１２と，さらに別の電極層１３と，積層方向１１でみてこれら２つの電極層の間に配置された圧電層１４とを含んでいる。電極層の電気的な材料とさらなる電極層のさらなる電極材料はそれぞれ銀−パラジウム合金である
【００２７】
　本発明の実施例によれば，それぞれ１つの圧電コンポーネントがモノリシックな多層構造で形成されている。図２によれば，
複数の圧電素子が積層方向１０１でみて上下に重ねられて圧電積層部１００を形成している
【００２８】
　セラミックグリーンシートの印刷は次のように行われる。すなわち，圧電積層部の圧電素子において電極層及び／又はさらなる電極層がそれぞれ当接する圧電層を完全にフラットな状態で接するようにして行われる。
【００２９】
　
電極層は圧電素子の側方表面区分１５まで延在する。さらなる電極層は，圧電素子のさらなる側方表面区分１６まで延在している。前記側方表面区分１５には絶縁層１９が被着されており，さらに別の表面区分１６には別のさらなる絶縁層２０が被着されている
【００３０】
　
絶縁層は電極層の上の表面区分において開口部を有している。この開口部には電気的な貫通コンタクト１７が挿入される。この場合表面区分まで延在する電極層に直接，気相堆積層１７０が被着される。絶縁層と気相堆積層には外部電極２１が次のように被着される。すなわち，外部電極と電極層とが貫通コンタクトを介して相互に間接的に導電接続されるように被着される
【００３１】
　
さらなる電極層は圧電素子のさらなる側方表面区分１６まで案内される。電気的なコンタクト形成ないし絶縁のために，さらなる表面区分では，さらなる絶縁層２０，さらなる貫通コンタクト１８，さらなる気相体積層１８０とさらなる外部電極２２が設けられている
【００３２】
　第１実施例によれば，気相堆積層ないしはさらなる気相堆積層が単層である（図３参照）。気相堆積層はスパッタリングを用いて生成された１μｍの層厚さ１７１ないしさらなる層厚さ１８１のチタン層である。それに対しては代替的に前記層は同じ１μｍの層厚さのクローム・ニッケル合金で形成されてもよい。さらに代替的に前記気相堆積層は多層構造であってもよい（図４参照）。そこでは気相堆積層が複数の気相堆積層部分から形成される。
【００３３】
　圧電積層部１００では，複数の圧電素子が上下に次のように配置される。すなわちこれらの圧電素子の表面区分が共通のスタック表面区分１０２を形成するように配置される。圧電素子の絶縁層は共通のスタック絶縁層１０４となる。同様に圧電素子の外部電極も共通のスタック外部電極１０６に統合される。同じことはさらなる電極層に対しても当てはまる。すなわち圧電素子のさらなる表面区分は，共通のさらなるスタック表面区分１０３を形成し，圧電素子のさらなる絶縁層は共通のさらなるスタック絶縁層１０５を形成し，圧電素子のさらなる外部電極は共通のさらなるスタック外部電極１０７を形成する。前記共通のスタック外部電極の電圧供給に対しては電気的な接続端子１０８が設けられている。相応のさらなる電気的な接続端子１０９は共通のさらなるスタック外部電極に設けられている。これらの接続端子を介して電極層とさらなる電極層への電圧供給が行われている。これらの電極層とさらなる電極層の配置構成並びにそれらの電気的なコンタクト形成ないし絶縁に基づいて，前記電極層とさらなる電極層に異なる電位の電気的なエネルギーの印加が可能になる。」
　引用例１の図１として，以下の図面が示されている。
　引用例１の図２として，以下の図面が示されている。
　引用例１の図４として，以下の図面が示されている。
（２）摘記の整理
　以上の摘記及び図面によれば，引用例１には次の事項が記載されているものと理解できる。
ア　圧電コンポーネントが複数の圧電素子１０が積層方向でみて上下に重ねられて圧電積層部１００を形成していること。（段落００２７，図１，２）
イ　圧電素子１０は，１つの電極層１２と，さらに別の電極層１３と，積層方向でみてこれらの２つの電極層の間に配置された圧電層１４とを含んでいること。（段落００２６，図１）
ウ　電極層１２，１３は圧電素子１０の側方表面区分１５，１６まで延在していること。（段落００２９，図１）
エ　圧電素子１０の側方表面区分１５，１６には絶縁層１９，２０が被着されていること。（段落００２９，図１）
オ　絶縁層１９，２０は電極層１２，１３の上の表面区分１５，１６において開口部を有していること。（段落００３０，図１）
カ　開口部において，気相堆積層１７０，１８０が表面区分まで延在する電極層１２，１３に直接被着されること。（段落００３０，図１）
キ　外部電極２１，２２が，気相堆積層１７０，１８０を介して電極層１２，１３と相互に間接的に導電接続されるように，被着されること。（段落００３０）
ク　外部電極２１，２２が，絶縁膜１９，２０上及び絶縁層１９，２０上に延在する気相堆積層１７０，１８０上に被着されること。（図１）
ケ　気相堆積層１７０，１８０が，複数の気相堆積層部分を備えた多層構造部を有し，表面区分に直接被着されている気相堆積層部分が，チタンからなる良好な接着層からなること。（段落００１９，図４）
コ　気相堆積層は，クロム，金，銅，ニッケル，パラジウム，プラチナ，銀を含んだグループから選択された少なくとも１つの金属を有していること。（段落００２０）
サ　電極層１２，１３の材料が銀−パラジウム合金であること。（段落００２６）
（３）引用発明１
　以上の事項によれば，引用例１には次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「圧電コンポーネントであって，
前記圧電コンポーネントが，複数の圧電素子１０が積層方向でみて上下に重ねられて圧電積層部１００を形成しており，
前記圧電素子１０は，１つの電極層１２と，さらに別の電極層１３と，積層方向でみてこれらの２つの電極層の間に配置された圧電層１４とを含んでおり，
前記電極層１２，１３は前記圧電素子１０の側方表面区分１５，１６まで延在しており，
前記側方表面区分１５，１６には，前記電極層１２，１３の上の表面区分１５，１６において開口部を有する絶縁層１９，２０が被着されており，
前記開口部において，気相堆積層１７０，１８０が，前記表面区分１５，１６まで延在する電極層１２，１３に直接被着されており，
外部電極２１，２２が，前記気相堆積層１７０，１８０を介して前記電極層１２，１３と相互に間接的に導電接続されるように，前記絶縁膜１９，２０上及び前記絶縁層１９，２０上に延在する前記気相堆積層１７０，１８０上に被着されており，
前記気相堆積層１７０，１８０は，複数の気相堆積層部分を備えた多層構造部を有し，表面区分に直接被着されている気相堆積層部分が，チタンからなる良好な接着層からなる，
圧電コンポーネント。」
２．引用例２の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された，本願の優先権主張日前に頒布された刊行物である引用例２（実願平０５−０５１２２７号（実開平０７−０２２５５７号）のＣＤ−ＲＯＭ）には，次の記載がある。
「【００２４】
　図２は実施例に係る積層型アクチュエータ１０を摸式的に示した斜視図であり，また図３は実施例に係る外部電極部分を拡大して示した模式的断面図である。図中１０は積層型圧電アクチュエータを，１１は積層型圧電体をそれぞれ示しており，積層型圧電体１１の両側面であって絶縁被膜１４上及び内部電極１３端面上には幅が約１ｍｍで厚さが約１０００ÅのＣｒ蒸着膜１６ａが形成され，Ｃｒ蒸着膜１６ａ上には厚さが約４０００ÅのＮｉ蒸着膜１６ｂが形成され，Ｎｉ蒸着膜１６ｂ上には厚さが約１０００ÅのＡｕ蒸着膜１６ｃが形成されており，これらＣｒ蒸着膜１６ａ，Ｎｉ蒸着膜１６ｂ及びＡｕ蒸着膜１６ｃにより下地層１６が構成されている。さらに，下地層１６上には外層として厚さが約５００μｍのＡｕを含む金属ペーストの塗布膜１７が形成され，これら下地層１６及び塗布膜１７により外部電極１５が構成されており，外部電極１５は一層おきに内部電極１３と接続されている。」
第４　対比・判断
１．本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明１の対比
　本願発明１と引用発明１を比較する。
ア　引用発明１における「圧電積層部１００」が本願発明１における「セラミックマトリックス（５）」に相当し，以下同様に，「側方表面区分１５，１６」が「第１の表面（７）」に，「電極層１２，１３」が「内部電極（２）」に，「外部電極２１，２２」が「集電コンタクト部（８）」に，「圧電コンポーネント」が「構成素子（１）」に，それぞれ相当する。
イ　引用発明１における「前記電極層１２，１３は前記圧電素子１０の側方表面区分１５，１６まで延在して」いることは，本願発明１における「内部電極（２）」が「第１の表面（７）において露出されている」ことに相当する。
ウ　引用発明１における「絶縁層１９，２０」は，「前記側方表面区分１５，１６」に被着され，「外部電極２１，２２」が被着され，「前記電極層１２，１３の上の表面区分１５，１６において開口部を有する絶縁層１９，２０」であるから，本願発明１における「絶縁膜（１５）」に相当し，両者はともに，「前記セラミックマトリックス（５）の表面上に設けられた絶縁層（１５）であって，前記セラミックマトリックス（５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されており，前記内部電極（２）の少なくとも一部を露出させる少なくとも１つの開口部（１６）を有する」点で一致する。
エ　引用発明１では，「外部電極２１，２２が，前記気相堆積層１７０，１８０を介して前記電極層１２，１３と相互に間接的に導電接続されるように，前記絶縁膜１９，２０上及び前記絶縁層１９，２０上に延在する前記気相堆積層１７０，１８０上に被着されて」ているから，引用発明１における「気相堆積層１７０，１８０」は，「絶縁膜１９，２０」と「外部電極２１，２２」との間に配置されているといえる。そうすると，引用発明１における「気相堆積層１７０，１８０」は，本願発明１における「導電性の別の層（１９）」に相当し，両者はともに，「前記絶縁層（１５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されている」点で一致する。
オ　引用発明１における「気相堆積層１７０，１８０」は，「複数の気相堆積層部分を備えた多層構造部を有」するものであるから，本願発明１と引用発明１は，ともに「前記別の層（１９）は，少なくとも２つの層（３０Ａ，３０Ｂ）を有するマルチレイヤ層（３０）として形成されて」いる点で一致する。
カ　引用発明１の「表面区分に直接被着されている気相堆積層部分」は，「チタンからなる良好な接着層からなる」ものであり，本願発明１における「拡散遮断層」と引用発明１における当該「気相堆積部分」は，「前記セラミックスマトリックス（５）及び前記内部電極（２）に隣接」し「チタンを含む」点で一致する。そうすると，引用発明１における当該「気相堆積層部分」もまた，当然に「前記セラミックマトリックス（５）への拡散遮断を提供する」ものであると理解できる。よって，本願発明１と引用発明１は，ともに「第２の層（３０Ｂ）として，前記絶縁層（１５），前記セラミックマトリックス（５）および前記内部電極（２）に隣接する拡散遮断層を含み」「前記拡散遮断層（３０Ｂ）は，チタンを含む接着媒体層であり，かつ，前記セラミックマトリックス（５）への拡散遮断を提供する」点で一致する。
　上記ア〜カによれば，本願発明１と引用発明１の一致点及び相違点は，次のとおりである。
（一致点）
「構成素子（１）であって，
　セラミックマトリックス（５）と，
　前記セラミックマトリックス（５）内に配置されており，第１の表面（７）において露出されている少なくとも１つの内部電極（２）と，
　前記内部電極（２）に電気的に接続されている少なくとも１つの導電性の集電コンタクト部（８）と，
　前記セラミックマトリックス（５）の表面上に設けられた絶縁層（１５）であって，前記セラミックマトリックス（５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されており，かつ前記内部電極（２）の少なくとも一部を露出させる少なくとも１つの開口部（１６）を有する，絶縁層（１５）と，
　前記絶縁層（１５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されている導電性の別の層（１９）と
を有する，構成素子（１）において，
　前記別の層（１９）は，少なくとも２つの層（３０Ａ，３０Ｂ）を有するマルチレイヤ層（３０）として形成されており，
　前記マルチレイヤ層（３０）は，第２の層（３０Ｂ）として，前記絶縁層（１５），前記セラミックマトリックス（５）および前記内部電極（２）に隣接する拡散遮断層を含み，
　前記拡散遮断層（３０Ｂ）は，チタンを含む接着媒体層であり，かつ，前記セラミックマトリックス（５）への拡散遮断を提供する
ことを特徴とする，構成素子（１）。」である点。
（相違点１）
　本願発明１は「導電性の別の層（１９）」が「前記内部電極（２）と前記集電コンタクト部（８）との間，および前記絶縁層（１５）と前記集電コンタクト部（８）との間に配置されている」のに対し，引用発明１では，「気相堆積層１７０，１８０」が「電極層１２，１３」と「外部電極２１，２２」「の間に配置されている」ことは特定されていない点。
（相違点２）
　本願発明１は，「前記マルチレイヤ層（３０）は，第１の層（３０Ａ）として，前記集電コンタクト部（８）に隣接する電流収集層を含み，」「前記集電コンタクト部（８）に隣接する前記電流収集層（３０Ａ）は，銀−パラジウム合金から形成され，前記集電コンタクト部（８）への接着を提供」するのに対し，引用発明１では，上記「第１の層（３０Ａ）」が特定されていない点。
（２）相違点についての判断
　事案に鑑み，はじめに相違点２について検討する。
　上記第３の１．（２）コ，サで指摘したとおり，引用例１には，「気相堆積層」が，クロム，金，銅，ニッケル，パラジウム，プラチナ，銀を含んだグループから選択された少なくとも１つの金属を有していること（段落００２０），及び，「電極層１２，１３」の材料が銀−パラジウム合金であること（段落００２６）が記載されている。
　しかしながら，引用例１には，「外部電極２１，２２」（本願発明１の「集電コンタクト部（８）」）に隣接する「気相堆積層部分」を，「銀−パラジウム合金から形成され，前記集電コンタクト部への接着を提供」する「電流収集層」とする構成は，記載も示唆もされていない。また，上記引用例２にも当該構成は記載されていない。
　そうすると，引用発明１において上記相違点２に係る構成とすることは，当業者が容易になし得たことであるとはいえない。したがって，他の相違点について検討するまでもなく，本願発明１は引用発明１及び引用例２に基づいて当業者が容易に発明をすることができたものであるとはいえない。
２．本願発明２〜７について
　本願発明２〜７は本願発明１と同じ技術的事項を備える発明であるから，本願発明１と同じ理由により，当業者であっても，引用発明１及び引用例２に基づいて容易に発明できたものであるとはいえない。
第５　原査定の概要及び原査定についての判断
　原査定は，請求項１〜１１について上記引用例１及び２に基づいて，当業者が容易に発明できたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができないというものである。しかしながら，令和３年３月１９日付け手続補正により補正された請求項１は，「前記マルチレイヤ層（３０）は，第１の層（３０Ａ）として，前記集電コンタクト部（８）に隣接する電流収集層を含み，」「前記集電コンタクト部（８）に隣接する前記電流収集層（３０Ａ）は，銀−パラジウム合金から形成され，前記集電コンタクト部（８）への接着を提供」するという事項を有するものとなっており，上記のとおり，本願発明１〜７は，上記引用例１に記載された発明及び上記引用例２に記載された技術的事項に基づいて，当業者が容易に発明できたものではない。したがって，原査定を維持することはできない。
第６　当審拒絶理由について
　当審では，特許法３６条６項２号について，（ｉ）請求項１の「前記電流収集層（３０Ａ）」がどの程度の接着力を提供するものが含まれるのかが不明確であり，（ｉｉ）「前記拡散遮断層（３０Ｂ）」がどの程度の接着力及び拡散遮断を提供するものが含まれるのかが不明確である，との拒絶の理由を通知しているが，令和３年３月１９日提出の手続補正書でした補正により，「前記電流収集層（３０Ａ）」は「銀−パラジウム合金から形成され」ることが特定され，「前記拡散遮断層（３０Ｂ）」は「チタンを含む」ことが特定された結果，この拒絶の理由は解消した。
第７　結言
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。