【手続補正書】
【提出日】令和1年7月31日(2019.7.31)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料の状態を検出する状態センサーと、
前記試料の周囲環境を調整する複数の環境調整処理を所定の順序で一つずつ順次実行する実行部と、
一の前記環境調整処理を実行中に、前記状態センサーの検出値が当該一の環境調整処理の第一の移行条件を満たした場合、前記実行部に次の前記環境調整処理を実行させる順序制御部と、
を備える環境形成システム。
【請求項２】
前記第一の移行条件の設定画面を表示する表示部と、
前記第一の移行条件の設定画面をユーザに操作させるための操作部と、
を更に備える請求項１に記載の環境形成システム。
【請求項３】
前記試料の周囲環境を検出する環境センサーを更に備え、
前記順序制御部は、更に、前記一の環境調整処理を実行中に、前記環境センサーの検出値が当該一の環境調整処理の第二の移行条件を満たした場合に、前記実行部に次の前記環境調整処理を実行させる
請求項１又は２に記載の環境形成システム。
【請求項４】
前記順序制御部は、更に、前記一の環境調整処理を実行中に、当該一の環境調整処理の開始時点からの経過時間が当該一の環境調整処理の第三の移行条件を満たした場合に、前記実行部に次の前記環境調整処理を実行させる
請求項１又は２に記載の環境形成システム。
【請求項５】
第一の前記環境調整処理と、当該第一の環境調整処理の第一の移行条件と、当該第一の環境調整処理の次に実行され得る第二の環境調整処理と、を対応付けた第一の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、
前記順序制御部は、前記第一の環境調整処理の実行中に前記第一の移行条件を満たした場合、前記第二の環境調整処理を前記実行部に実行させる
請求項１から４の何れか一項に記載の環境形成システム。
【請求項６】
第三の前記環境調整処理と、当該第三の環境調整処理の第二及び第三の移行条件と、当該第三の環境調整処理の次に実行され得る第四の環境調整処理と、を対応付けた第二の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、
前記順序制御部は、前記第三の環境調整処理の実行中に前記第二及び第三の移行条件を共に満たした場合、前記第四の環境調整処理を前記実行部に実行させる
請求項１から５の何れか一項に記載の環境形成システム。
【請求項７】
第五の前記環境調整処理と、当該第五の環境調整処理の第四及び第五の移行条件と、を対応付け、更に、前記第四の移行条件と当該第五の環境調整処理の次に実行され得る第六の環境調整処理とを対応付け、更に、前記第五の移行条件と当該第五の環境調整処理の次に実行され得る第七の環境調整処理とを対応付けた第三の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、
前記順序制御部は、前記第五の環境調整処理の実行中において、
前記第四の移行条件を満たした場合、前記第六の環境調整処理を前記実行部に実行させ、
前記第五の移行条件を満たした場合、前記第七の環境調整処理を前記実行部に実行させる
請求項１から６の何れか一項に記載の環境形成システム。
【請求項８】
記憶部と、
一の前記環境調整処理と、当該一の環境調整処理の一以上の移行条件と、当該一の環境調整処理の次に実行され得る一以上の前記環境調整処理と、を対応付けた調整フローの編集画面を表示する表示部と、
前記調整フローの編集画面をユーザに操作させるための操作部と、
ユーザによる前記調整フローの編集画面の操作によって編集された前記調整フローを前記記憶部に記憶する編集部と、
を更に備える請求項１から７の何れか一項に記載の環境形成システム。
【請求項９】
前記調整フローを前記表示部に表示し、前記調整フローに含まれている実行中の前記環境調整処理を強調表示する表示制御部
を更に備える請求項８に記載の環境形成システム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、第一の前記環境調整処理と、当該第一の環境調整処理の第一の移行条件と、当該第一の環境調整処理の次に実行され得る第二の環境調整処理と、を対応付けた第一の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、前記順序制御部は、前記第一の環境調整処理の実行中に前記第一の移行条件を満たした場合、前記第二の環境調整処理を前記実行部に実行させてもよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
第一の環境調整処理の実行中に例えば状態センサーの検出値が第一の環境調整処理の第一の移行条件を満たした場合に第二の環境調整処理を実行することにより、試料の周囲環境を調整するものとする。本構成によれば、当該調整を行う度に、第一及び第二の環境調整処理の実行順や第一の環境調整処理の移行条件を定める手間をかけることなく、記憶部に記憶されている第一の調整フローを用いて迅速に当該調整を行うことができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２３】
また、第三の前記環境調整処理と、当該第三の環境調整処理の第二及び第三の移行条件と、当該第三の環境調整処理の次に実行され得る第四の環境調整処理と、を対応付けた第二の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、前記順序制御部は、前記第三の環境調整処理の実行中に前記第二及び第三の移行条件を共に満たした場合、前記第四の環境調整処理を前記実行部に実行させてもよい。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２４】
第三の環境調整処理の実行中に例えば状態センサーの検出値が第三の環境調整処理の第二及び第三の移行条件を共に満たした場合に、第四の環境調整処理を実行することにより、試料の周囲環境を調整するものとする。上記の従来技術では、環境調整処理の移行条件を一つしか設定できないため、当該調整のように、複数の移行条件を全て満たした場合に次の環境調整処理を実行させることができなかった。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２６】
また、第五の前記環境調整処理と、当該第五の環境調整処理の第四及び第五の移行条件と、を対応付け、更に、前記第四の移行条件と当該第五の環境調整処理の次に実行され得る第六の環境調整処理とを対応付け、更に、前記第五の移行条件と当該第五の環境調整処理の次に実行され得る第七の環境調整処理とを対応付けた第三の調整フローを記憶する記憶部を更に備え、前記順序制御部は、前記第五の環境調整処理の実行中において、前記第四の移行条件を満たした場合、前記第六の環境調整処理を前記実行部に実行させ、前記第五の移行条件を満たした場合、前記第七の環境調整処理を前記実行部に実行させてもよい。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２７】
第五の環境調整処理の実行中に、例えば状態センサーの検出値が第五の環境調整処理の第四の移行条件を満たした場合は、第六の環境調整処理を実行し、例えば状態センサーの検出値が第五の環境調整処理の第五の移行条件を満たした場合は、第七の環境調整処理を実行することで、試料の周囲環境を調整するものとする。上記の従来技術では、環境調整処理の移行条件を一つしか設定できないため、当該調整のように、複数の移行条件のうちの何れの移行条件を満たすかに応じて、次に実行させる環境調整処理を個別に設定することができなかった。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
図３に参照を戻す。試験フロー表示編集画面Ｗ２に配置された移行条件パーツＰ３（例：「移行条件１」、「移行条件３」）、ＡＮＤ分岐パーツＰ５が示す各移行条件（例：「移行条件２−１」、「移行条件２−２」）、及びＯＲ分岐パーツＰ６が示す各移行条件（例：「移行条件４」、「移行条件５」）がダブルタップ操作されると、編集部１１は、当該ダブルタップ操作された移行条件の設定画面Ｗ５（図５）を、当該移行条件付近に表示する。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７８】
領域Ｅ５２では、環境試験器コントローラー１に入力される信号が示す試料２の状態を移行条件として設定可能となっている。このため、ユーザは、移行条件の設定画面Ｗ５を操作して、試料２の状態に関する移行条件を意図した通りに設定することができる。尚、当該試験処理は、試験フロー表示編集画面Ｗ２において、設定画面Ｗ５に対応する移行条件を示すパーツＰ３、Ｐ５、Ｐ６の前に配置されているステップパーツＰ２が示す試験処理を示す。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８１】
図３に参照を戻す。試験フロー表示編集画面Ｗ２に配置された繰り返しパーツＰ７（例：「繰り返し  □□／△△回」）がダブルタップ操作されると、編集部１１は、当該繰り返しパーツＰ７の付近に、当該繰り返しパーツＰ７が示す繰り返し回数（例：「△△回」）の設定を行わせるためのソフトキー（例：「＋」キー、「−」キー等）を表示する。そして、編集部１１は、ユーザによる当該表示したソフトキーの操作に応じて繰り返し回数を設定し、当該設定した繰り返し回数（例：「△△回」）を当該繰り返しパーツＰ７の付近に表示する。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８４】
また、図３に示す試験フロー表示編集画面Ｗ２では、試験処理「ステップ２」を示すステップパーツＰ２の次に、移行条件「移行条件２−１」と移行条件「移行条件２−２」とを示すＡＮＤ分岐パーツＰ５が配置され、その次に、試験処理「ステップ３」を示すステップパーツＰ２が配置されている。
【手続補正１２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８８】
また、図３に示す試験フロー表示編集画面Ｗ２では、試験処理「ステップ４」を示すステップパーツＰ２の次に、移行条件「移行条件４」と移行条件「移行条件５」とを示すＯＲ分岐パーツＰ６が配置されている。移行条件「移行条件４」の次には、試験処理「ステップ５」を示すステップパーツＰ２が配置されている。移行条件「移行条件５」の次には、移行条件「移行条件５」を満たした場合の移行先を試験処理「ステップ２」にすることを示すジャンプパーツＰ４が配置されている。