【手続補正書】
【提出日】平成31年3月12日(2019.3.12)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
クラスタツールであって、
第１のロボットを含む真空移送モジュールと、
前記真空移送モジュールに接続された複数のプロセスモジュールと、
第２のロボットを含む大気圧移送モジュールであって、ロードロックを介して前記真空移送モジュールに結合された大気圧移送モジュールと、
前記大気圧移送モジュールに結合された交換ステーションであって、１つ以上の前記複数のプロセスモジュールにおいて用いられる複数の消耗部品を保持するための複数の区画を含む部品バッファを含む交換ステーションと、
前記交換ステーションと前記大気圧移送モジュールとの間に結合された遮断弁であって、前記第２のロボットは、前記遮断弁を介して前記交換ステーションにアクセスして、１つ以上の前記複数のプロセスモジュール内での装着のために消耗部品を取り出し、１つ以上の前記複数のプロセスモジュールから取り出された消耗部品を保管するように構成された、遮断弁と、
を備え、
前記真空移送モジュールの前記第１のロボットは、装着のため、または、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールからの取り出しのために前記消耗部品を取り扱うように構成され、前記大気圧移送モジュールの前記第２のロボットは、前記交換ステーションから取り出された前記消耗部品、及び、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールから取り出されたときに保管された前記消耗部品を取り扱うように構成される、クラスタツール。
【請求項２】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記複数のプロセスモジュールの少なくとも１つは、前記消耗部品の１つを取り出して装着するためのリフトピンを含む、クラスタツール。
【請求項３】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記交換ステーションは、前記大気圧移送モジュールの側に結合される、クラスタツール。
【請求項４】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記ロードロックは、前記第１のロボットと前記第２のロボットとの間で取り扱われた前記消耗部品同士の交換場所を提供する、クラスタツール。
【請求項５】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記消耗部品は、前記複数のプロセスモジュールの少なくとも１つの交換部品であり、前記消耗部品の取り出しは、交換された前記消耗部品を含む前記プロセスモジュールを遮断することなく行われる、クラスタツール。
【請求項６】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記消耗部品は、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールで受け取られたウエハを取り巻くエッジリングである、クラスタツール。
【請求項７】
請求項１に記載のクラスタツールであって、更に、
前記大気圧移送モジュール、前記真空移送モジュール、及び前記交換ステーションに結合されたコントローラを備え、前記コントローラは、前記消耗部品の交換時に前記第１のロボット及び前記第２のロボットの動きを調整するように構成される、クラスタツール。
【請求項８】
請求項１に記載のクラスタツールであって、
前記交換ステーションは、装着可能なユニットである、クラスタツール。
【請求項９】
請求項１に記載のクラスタツールであって、更に、
前記大気圧移送モジュールの前側に配置されたロードポートと、前記ロードポートに結合されたウエハ交換モジュールとを備え、前記ウエハ交換モジュールは、複数のウエハを保管するための複数の区画を有する、クラスタツール。
【請求項１０】
請求項９に記載のクラスタツールであって、
前記第２のロボットは、前記遮断弁を介して前記ウエハ交換モジュールにアクセスして、前記複数のプロセスモジュールで処理するためにウエハを取り出し、前記処理の完了後に前記ウエハを保管するように構成され、
前記真空移送モジュールの前記第１のロボットは、前記複数のプロセスモジュールからの前記ウエハの供給または取り出しを取り扱うように構成される、クラスタツール。
【請求項１１】
クラスタツールであって、
第１のロボットを含む真空移送モジュールと、
前記真空移送モジュールに接続された複数のプロセスモジュールと、
前記真空移送モジュールに結合された交換ステーションであって、１つ以上の前記複数のプロセスモジュールで用いられる複数の消耗部品を保管するための複数の区画を含む部品バッファを含む交換ステーションと、
前記交換ステーションと前記真空移送モジュールとの間に結合された遮断弁であって、前記第１のロボットは、前記遮断弁を介して前記交換ステーションにアクセスして、１つ以上の前記複数のプロセスモジュール内での装着のために消耗部品を取り出し、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールから取り出された消耗部品を保管するように構成された、遮断弁と、
を備え、
前記真空移送モジュールの前記第１のロボットは、装着のために、又は、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールからの取り出しのために前記消耗部品を取り扱うように構成される、クラスタツール。
【請求項１２】
請求項１１に記載のクラスタツールであって、
前記複数のプロセスモジュールの少なくとも１つは、前記消耗部品の１つを取り出して装着するためのリフトピンを含む、クラスタツール。
【請求項１３】
請求項１１に記載のクラスタツールであって、
前記消耗部品は、前記複数のプロセスモジュールの少なくとも１つの交換部品であり、前記消耗部品の取り出しは、交換された前記消耗部品を含む前記プロセスモジュールを遮断することなく行われる、クラスタツール。
【請求項１４】
請求項１１に記載のクラスタツールであって、更に、
前記真空移送モジュール、前記交換ステーション、及び前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールに結合されたコントローラを備え、前記コントローラは、前記消耗部品の交換時に前記第１のロボットの動きを調整するように構成される、クラスタツール。
【請求項１５】
請求項１４に記載のクラスタツールであって、更に、
大気圧移送モジュールであって、
第２のロボットと、
ロードロックを介して前記真空移送モジュールに結合された前記大気圧移送モジュールの第１の側と、
ロードポートを介してウエハ交換モジュールに結合された前記大気圧移送モジュールの第２の側と、を含む、大気圧移送モジュールを備え、
前記大気圧移送モジュールの前記第２のロボットは、前記ウエハ交換モジュールにアクセスして、前記複数のプロセスモジュールにおける処理のためにウエハを取り出し、前記複数のプロセスモジュールによって処理された前記ウエハを保管するように構成されている、クラスタツール。
【請求項１６】
請求項１５に記載のクラスタツールであって、
前記ロードロックは、前記大気圧移送モジュールと前記真空移送モジュールとの間で取り扱われた前記ウエハの交換場所を提供する、クラスタツール。
【請求項１７】
請求項１５に記載のクラスタツールであって、
前記コントローラは、更に、前記大気圧移送モジュールに結合され、処理のためのウエハの移動時に前記第１のロボット及び前記第２のロボットの動きを調整するように構成される、クラスタツール。
【請求項１８】
請求項１１に記載のクラスタツールであって、
前記消耗部品は、前記１つ以上の前記複数のプロセスモジュールにおいてウエハを取り巻くエッジリングである、クラスタツール。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７０】
プロセスモジュール１１８は、消耗部品２０８が上昇位置に移動されることを可能にするためのリフト機構２２１を含む。リフト機構２２１は、図４を参照にして論じられたリフト機構と同様であり、消耗部品を上昇位置に持ち上げるための複数のリフトピン２０２及びアクチュエータ２０４と、アクチュエータ２０４を駆動するための電力を提供するためにアクチュエータ２０４に接続されたアクチュエータドライブ２０６とを含む。アクチュエータドライブ２０６は、消耗部品の交換時にリフト機構２２１の動作を制御するために、コントローラ２２０に結合されてよい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００９２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００９２】
以上の実施形態は、理解を明瞭にする目的で幾らか詳細に説明されてきたが、添付の特許請求の範囲内で、特定の変更及び修正が加えられてよいことが明らかである。したがって、これらの実施形態は、例示的であって限定的ではないと見なされ、本明細書で与えられる詳細に限定されず、添付の特許請求の範囲及びそれらの均等物の範囲内で変更されてよい。
本発明は、たとえば、以下のような態様で実現することもできる。
適用例１：
クラスタツールアセンブリであって、
真空移送モジュールと、
前記真空移送モジュールに第１の側が接続されたプロセスモジュールと、
前記プロセスモジュールの第２の側に第１の側が結合された遮断弁と、
前記遮断弁の第２の側に結合された交換ステーションであって、交換ハンドラと、新しい消耗部品又は使用済みの消耗部品を保持するための複数の区画を含む部品バッファとを含む交換ステーションと、
を備え、
前記プロセスモジュールは、前記プロセスモジュール内に装着された消耗部品を上昇位置に位置付けることを可能にするためのリフト機構を含み、前記上昇位置は、前記交換ハンドラへのアクセスを提供して、前記消耗部品を前記プロセスモジュールから取り出すこと及び前記部品バッファの区画に保管することを可能にし、
前記交換ステーションの前記交換ハンドラは、前記消耗部品のための交換部品を前記部品バッファから前記プロセスモジュールに移動させて装着することを可能にされ、
前記リフト機構は、前記交換ハンドラによって交換用に提供された前記消耗部品を受け取って、装着位置に下降させるように構成され、
前記交換ハンドラ及び前記プロセスモジュールによる前記交換は、前記プロセスモジュール及び前記交換ステーションが真空状態に維持されている間に行われる、クラスタツールアセンブリ。
適用例２：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記遮断弁、前記交換ステーション、及び前記プロセスモジュールは、コントローラと連動しており、前記コントローラは、前記プロセスモジュールが真空状態にとどまっている間に前記交換ステーションと前記プロセスモジュールとの間のアクセスを統合調整するための移送ロジック及び真空状態制御部を含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例３：
適用例２のクラスタツールアセンブリであって、
前記コントローラは、前記プロセスモジュールが真空状態にとどまっている間に前記交換ステーションと前記プロセスモジュールとの間のアクセスを統合調整するための移送ロジック及び真空状態制御部を含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例４：
適用例２のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ステーションは、ポンプに結合された真空制御部を含み、前記真空制御部は、前記消耗部品の交換時に前記ポンプの活動を統合調整して前記交換ステーションを真空状態に維持するために、前記コントローラと連動している、クラスタツールアセンブリ。
適用例５：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記真空状態に維持されている前記プロセスモジュールは、前記消耗部品の交換に続いて前記プロセスモジュールがアクティブ動作に戻る前における前記プロセスモジュールの再調節が軽減されることを可能にする、クラスタツールアセンブリ。
適用例６：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記消耗部品は、前記プロセスモジュールの静電チャックの上に配置されたときの基板を取り巻くように構成されたエッジリングであり、
前記リフト機構は、前記プロセスモジュール内に装着された前記エッジリングを前記上昇位置に位置付けることを可能にする複数のリフトピン及びアクチュエータを含み、
アクチュエータドライブが、前記アクチュエータに接続され、
前記エッジリングの交換の統合調整を可能にするために、コントローラが、前記アクチュエータドライブ及び前記交換ステーションと連動している、クラスタツールアセンブリ。
適用例７：
適用例６のクラスタツールアセンブリであって、
前記アクチュエータは、電源に接続され、前記電源は、前記リフトピンを通じて前記消耗部品に電力を供給するために使用され、前記供給される電力は、前記消耗部品に熱を提供するために使用される、クラスタツールアセンブリ。
適用例８：
適用例７のクラスタツールアセンブリであって、
前記アクチュエータ及び前記リフトピンは、導電性材料で作成され、前記リフトピンは、前記リフトピンが前記消耗部品に異なる電力を供給することを可能にするために、スイッチに接続される、クラスタツールアセンブリ。
適用例９：
適用例６のクラスタツールアセンブリであって、
前記アクチュエータドライブは、前記アクチュエータが前記リフトピンを空気圧で動作させることを可能にするために、空気圧縮器に接続される、クラスタツールアセンブリ。
適用例１０：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ステーションは、前記消耗部品が交換されるときは前記遮断弁の前記第２の側に結合され、前記消耗部品の交換が完了したときは切り離される、可動ユニットである、クラスタツールアセンブリ。
適用例１１：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記遮断弁に結合された前記プロセスモジュールの前記第２の側に画定された開口、及び前記遮断弁に結合された前記交換ステーションの一方の側における開口は、前記プロセスモジュールに対して前記消耗部品が出し入れされることを可能にするようにサイズ決定される、クラスタツールアセンブリ。
適用例１２：
適用例１１のクラスタツールアセンブリであって、
前記消耗部品は、前記交換ステーション内の及び前記プロセスモジュール内の前記開口を通り抜けるようにサイズ決定された２つ以上の区分を有する区分化された消耗部品である、クラスタツールアセンブリ。
適用例１３：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ハンドラは、任意の面内で前記消耗部品を取り出す、拾い上げる、持ち上げる、支持する、保持する、移動させる、又は回転させるように設計されたエンドエフェクタを含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例１４：
適用例１のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ハンドラは、前記プロセスモジュールから様々な消耗部品を取り出すように設計され、前記交換ハンドラは、様々なタイプの消耗部品を取り出すための異なるエンドエフェクタを有する、クラスタツールアセンブリ。
適用例１５：
クラスタツールアセンブリであって、
第１の側と第２の側とを有する真空移送モジュールであって、ロボットを含む真空移送モジュールと、
第１の側と第２の側とを伴う第１の遮断弁であって、前記第１の遮断弁の前記第１の側は、前記真空移送モジュールの前記第１の側に結合される、第１の遮断弁と、
前記第１の遮断弁の前記第２の側に結合された交換ステーションであって、部品バッファを含み、前記部品バッファは、新しい消耗部品又は使用済みの消耗部品を保持するための複数の区画を含む、交換ステーションと、
第１の側と第２の側とを伴う第２の遮断弁であって、前記第２の遮断弁の前記第２の側は、前記真空移送モジュールの前記第２の側に結合される、第２の遮断弁と、
前記第２の遮断弁の前記第１の側に結合されたプロセスモジュールと、
を備え、
前記プロセスモジュールは、前記プロセスモジュール内に装着された消耗部品を上昇位置に移動させることを可能にするためのリフト機構を含み、前記上昇位置は、前記真空移送モジュールの前記ロボットへのアクセスを提供して、前記消耗部品を前記プロセスモジュールから取り出すこと及び前記交換ステーションの前記部品バッファに保管することを可能にし、
前記真空移送モジュールの前記ロボットは、前記消耗部品のための交換部品を前記部品バッファから前記プロセスモジュール内に移動させて装着することを可能にされ、
前記リフト機構は、前記ロボットによって交換用に提供された前記消耗部品を受け取って、装着位置に下降させるように構成され、
前記ロボット及び前記プロセスモジュールの前記リフト機構による前記交換は、前記交換ステーション、前記真空移送モジュール、及び前記プロセスモジュールが真空状態に維持されている間に行われる、クラスタツールアセンブリ。
適用例１６：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記第１の遮断弁、前記第２の遮断弁、前記真空移送モジュール、前記プロセスモジュール、及び前記交換ステーションは、コントローラと連動しており、前記コントローラは、前記プロセスモジュール、前記交換ステーション、及び前記真空移送モジュールが真空状態にとどまっている間に、前記交換ステーションと、前記真空移送モジュールと、前記プロセスモジュールとの間のアクセスを統合調整するための移送ロジック及び真空状態制御部を含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例１７：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記真空移送モジュール、前記プロセスモジュール、及び前記交換ステーションは、コントローラと連動しており、前記コントローラは、前記真空移送モジュール、前記交換ステーション、及び前記プロセスモジュールが真空状態にとどまっている間に、前記交換ステーションと前記真空移送モジュールとの間及び前記真空移送モジュールと前記プロセスモジュールとの間のアクセスを統合調整するための移送ロジック及び真空状態制御部を含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例１８：
適用例１６のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ステーションは、ポンプに結合された真空制御部を含み、前記真空制御部は、前記消耗部品の交換時に前記ポンプの活動を統合調整して前記交換ステーションを真空状態に維持するために、前記コントローラと連動している、クラスタツールアセンブリ。
適用例１９：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記真空状態に維持されている前記交換ステーション、前記真空移送モジュール、及び前記プロセスモジュールは、前記消耗部品の交換に続いて前記プロセスモジュールがアクティブ動作に戻る前における前記プロセスモジュールの再調節が軽減されることを可能にする、クラスタツールアセンブリ。
適用例２０：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記リフト機構は、前記プロセスモジュール内に装着された前記消耗部品を前記上昇位置に位置付けることを可能にする複数のリフトピン及びアクチュエータを含み、
アクチュエータドライブが、前記アクチュエータに接続され、
前記消耗部品の交換の統合調整を可能にするために、コントローラが、前記アクチュエータドライブ、前記交換ステーション、及び前記真空移送モジュールと連動している、クラスタツールアセンブリ。
適用例２１：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記ロボットは、任意の面内で前記消耗部品を取り出す、拾い上げる、持ち上げる、支持する、保持する、移動させる、又は回転させるように設計されたエンドエフェクタを含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例２２：
適用例２１のクラスタツールアセンブリであって、
前記ロボットは、前記プロセスモジュールに対して半導体ウエハを出し入れするように設計された第２のエンドエフェクタを含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例２３：
適用例１５のクラスタツールアセンブリであって、
前記交換ステーションと前記プロセスモジュールとを結合し、前記クラスタツールアセンブリにおける均一性及び対称性を維持するために、前記真空移送モジュールの前記第１の側及び前記第２の側に開口が画定される、クラスタツールアセンブリ。
適用例２４：
クラスタツールアセンブリであって、
第１の側と第２の側とを有する大気圧移送モジュールであって、ロボットを有する大気圧移送モジュールと、
第１の側と第２の側とを有する真空移送モジュールであって、第２のロボットを有する真空移送モジュールと、
前記大気圧移送モジュールの前記第１の側に及び前記真空移送モジュールの前記第１の側に結合されたロードロックチャンバであって、前記大気圧移送モジュールと前記真空移送モジュールとの間のインターフェースを提供するロードロックチャンバと、
前記真空移送モジュールの前記第２の側に結合されたプロセスモジュールと、
前記大気圧移送モジュールの前記第２の側に結合された交換ステーションであって、部品バッファを有し、前記部品バッファは、新しい消耗部品又は使用済みの消耗部品を保持するための複数の区画を含む、交換ステーションと、
を備え、
前記プロセスモジュールは、前記プロセスモジュール内に装着された消耗部品を上昇位置に移動させることを可能にするためのリフト機構を含み、前記上昇位置は、前記真空移送モジュールの前記第２のロボットへのアクセスを提供して、前記消耗部品を前記プロセスモジュールから取り出すこと及び前記ロードロックチャンバに移送することを可能にし、前記大気圧移送モジュールの前記ロボットは、前記消耗部品を前記ロードロックチャンバから前記交換ステーションの前記部品バッファに移動させることを可能にされ、
前記大気圧移送モジュールの前記ロボット及び前記真空移送モジュールの前記第２のロボットは、前記消耗部品のための交換部品を前記部品バッファから前記プロセスモジュール内に移動させることを可能にされ、
前記リフト機構は、前記第２のロボットによって交換用に提供された前記消耗部品を受け取って、装着位置に下降させるように構成され、
前記第２のロボット、及び前記プロセスモジュールの前記リフト機構による前記交換は、前記真空移送モジュール及び前記プロセスモジュールが真空状態に維持されている間に行われる、クラスタツールアセンブリ。
適用例２５：
適用例２４のクラスタツールアセンブリであって、
前記大気圧移送モジュール、前記真空移送モジュール、前記プロセスモジュール、及び前記交換ステーションは、コントローラと連動しており、前記コントローラは、前記プロセスモジュール及び前記真空移送モジュールが真空状態にとどまっている間に、前記交換ステーションと、前記大気圧移送モジュールと、前記真空移送モジュールと、前記プロセスモジュールとの間のアクセスを統合調整するための移送ロジック及び真空状態制御部を含む、クラスタツールアセンブリ。
適用例２６：
適用例２４のクラスタツールアセンブリであって、
前記大気圧移送モジュール及び前記交換ステーションは、大気条件に維持される、クラスタツールアセンブリ。