(57)【要約】  分注装置（１００）により液が分注される複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・の各開口に向かって所定の傾斜方向から音響発生部（１０）により音波を放射し、解析装置（５０）の掃引部（５１）により上記音波の周波数を掃引しながら、音響検出部（２０）の音響電気変換器（２１），（２１Ａ），（２１Ｂ）・・・により、上記複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・の各開口の近傍において上記音波を検出し、上記解析装置（５０）の解析部（５２）により上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエル（１３０Ａ），（１３０Ｂ）・・・に分注された液量を推定する。
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【特許請求の範囲】
【請求項１】
１．分注装置により液が分注される複数のウエルの各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射する音響発生部と、
上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記音響発生部に供給する掃引部と、
上記音響発生部から放射された音波を上記複数のウエルの各開口の近傍において検出する複数の音響電気変換器からなる音響検出部と、
上記音響検出部により検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された液量を推定する解析部とを備え、
上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引し、上記解析部により、上記音響検出部により検出される音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された各液量を推定することを特徴とする微少液量測定装置。
【請求項２】
２．環境温度を検出する温度センサを備え、
上記解析部は、上記温度センサによる検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第１項記載の微少液量測定装置。
【請求項３】
３．上記音響検出部の音響電気変換器は、上記ウエルの開口の近傍位置まで導出された音導管を備えることを特徴とする請求の範囲第１項記載の微少液量測定装置。
【請求項４】
４．上記解析部は、上記音導管の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記ウエルの共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第３項記載の微少液量測定装置。
【請求項５】
５．上記解析部は、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号を上記掃引部から供給される掃引信号で同期検波することにより、上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出することを特徴とする請求の範囲第１項記載の微少液量測定装置。
【請求項６】
６．分注装置により液が分注される複数のウエルの各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射し、
上記音波の周波数を掃引しながら、上記複数のウエルの各開口の近傍において上記音波を検出し、
上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、
検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された液量を推定することを特徴とする微少液量測定方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体の検査・分析用分注装置から吐出した微少量の液量を非接触で測定する微少液量測定装置及び微少液量測定方法に関する。
本出願は、日本国において２００６年２月２７日に出願された日本特許出願番号２００６−０５０３５９を基礎として優先権を主張するものであり、この出願を参照することにより、本出願に援用される。
【背景技術】
【０００２】
医療，生化学，バイオ，臨床検査，放射線等の分野で、各種試験液を数マイクロリットルから数ミリリットルの単位で定量的に小分けするために分注装置が用いられている。分注装置は、試験液を貯留した容器から試験液を吸引し、ウエルと呼ばれる小分け容器に試験液をそれぞれ注入するために、Ｘ−Ｙ方向に移動可能な分注ヘッドにより分注ノズルを上下動可能に保持している。また、試験液を同時に複数のウエルに分注する分注装置では、分注ヘッドに複数のノズルが取り付けられている。
ウエルに注入された試験液の液量の過不足は、検査結果や分析結果に影響を及ぼすので、分注装置では一定量の試験液をウエルに注入しなければならない。しかしながら、分注装置によりウエルに注入される試験液の液量は、分注ノズルの状態や試験液の吸引量のバラツキなどによって変化するので、ウエル毎に測定して確認する必要がある。
従来、分注装置によりウエルに注入された試験液の液量は、吐出時のシリンダ移動量などから推定したり、吐出されたものを精密はかりで測定するようにしていた。
また、液量を非接触で測定する方法としては、容器の容量を既知とし液面の高さ位置の変化を例えば超音波センサや光センサを用いて測定したり、音響特性を用いて、容積や体積を測定する方法が知られている。
音響特性を用いて、容積や体積を測定する方法として、ヘルムホルツ共鳴を用いる方法や、体積比と音圧比の関係を用いるものなどが知られている。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
近年、ウエル数を増大して試験効率を向上させるとともに使用される試薬の消費量を削減するために内容積を小さくする目的で、ウエルのサイズが小型化する傾向にあり、ウエルに注入される試験液の液量はより微少量となっている。
ところで、従来のヘルムホルツ共鳴を用いる方法では、くびれた入り口を有した特別な容器形状を必要とし、くびれた入り口を有した特別な形状のウエルを用いたり、あるいは、くびれ部がついたフタをウエルにつけて、測定しなければならない。また、体積比と音圧比の関係を用いる方法では、容器を密閉する必要があり、ウエルに密着したもうひとつの容器を準備する必要がある。
上述の如き従来の方法では、液体の検査・分析用分注装置から吐出した微少量の液量を測定するには、測定誤差が大きかったり、その場で測定できない、あるいは、多数同時計測には不向きであるなどの問題があった。
そこで、本発明の目的は、液体の検査・分析用分注装置から複数のウエルに吐出した微少量の液量を非接触で迅速にかつ高精度に同時計測することのできる微少液量測定装置及び微少液量測定方法を提供することにある。
そこで、本発明では、上述した課題を解決するために、分注装置のウエルと呼ばれる容器をそのまま共鳴器として用いて、ウエルの音響共鳴周波数を測定することでウエル内の液量を推定する。
すなわち、本発明に係る微少液量測定装置は、分注装置により液が分注される複数のウエルの各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射する音響発生部と、上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記音響発生部に供給する掃引部と、上記音響発生部から放射された音波を上記複数のウエルの各開口の近傍において検出する複数の音響電気変換器からなる音響検出部と、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された液量を推定する解析部とを備え、上記音響発生部から放射する音波の周波数を掃引し、上記解析部により、上記音響検出部により検出される音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された各液量を推定することを特徴とする。
また、本発明に係る微少液量測定装置は、例えば、環境温度を検出する温度センサを備え、上記解析部は、上記温度センサによる検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出する。
また、本発明に係る微少液量測定装置における上記音響検出部の音響電気変換器は、例えば、上記ウエルの開口の近傍位置まで導出された音導管を備える。
また、本発明に係る微少液量測定装置における上記解析部は、例えば、上記音導管の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正した上記ウエルの共鳴周波数を検出する。
さらに、本発明に係る微少液量測定装置における上記解析部は、例えば、上記音響検出部により検出された音波の各検出信号を上記掃引部から供給される掃引信号で同期検波することにより、上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出する。
また、本発明に係る微少液量測定方法は、分注装置により液が分注される複数のウエルの各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射し、上記音波の周波数を掃引しながら、上記複数のウエルの各開口の近傍において上記音波を検出し、上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された液量を推定することを特徴とする。
【図面の簡単な説明】
【０００４】
【図１】図１は、本発明を適用した微少液量測定装置の構成を示すブロック構成図である。
【図２】図２Ａは、上記微少液量測定装置における音響検出部の音響電気変換器の具体例を示す図であり、図２Ｂは、上記微少液量測定装置における音響検出部の音響電気変換器の具体例を示す図である。
【図３】図３は、上記微少液量測定装置の使用例を示す模式図である。
【図４】図４は、ウエルの共鳴周波数の検出結果の一例を示すグラフである。
【図５】図５は、上記微少液量測定装置における液量測定の原理の説明に供する模式図である。
【図６】図６は、上記音響電気変換器により上記音波を検出して得られる検出信号の周波数特性を示す特性図である。
【図７】図７は、ウエルの液位と共鳴周波数の関係を示す特性図である。
【図８】図８は、上記微少液量測定装置の解析部において上記検出信号のディップ周波数すなわちウエルの共鳴周波数を検出するための構成例を示すブロック図である。
【図９】図９は、図６に示した構成例における同期検波出力を示す特性図である。
【図１０】図１０は、上記微少液量測定装置の解析部において上記検出信号のディップ周波数すなわちウエルの共鳴周波数を検出するための他の構成例を示すブロック図である。
【図１１】図１１Ａは、図６に示した構成例における各同期検波出力を示す特性図であり、図１１Ｂは、図６に示した構成例における各同期検波出力を示す特性図である。
【図１２】図１２は、上記音響電気変換器に備えられた音導管の長さと共鳴の関係を示す特性図である。
【図１３】図１３は、上記音響電気変換器に備えられた音導管の共鳴特性を示す特性図である。
【図１４】図１４は、微少液量測定の実験に用いたウエルを模式的に示す斜視図である。
【図１５】図１５は、微少液量測定の実験系におけるウエルとスピーカ及び音響電気変換器の配置状態を模式的に示す図である。
【図１６】図１６は、上記実験系においてウエルの液量を変えた場合の各液量における周波数応答を示す特性図である。
【図１７】図１７は、上記実験系において各液量における共鳴周波数を１０回測定した結果を示す特性図である。
【図１８】図１８は、上記実験系において得られた１０個の測定データデータの平均値からの最大ずれを示す特性図である。
【発明を実施するための最良の形態】
【０００５】
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、本発明は以下の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、任意に変更可能であることは言うまでもない。
本発明は、例えば図１に示すように、試験液を同時に複数のウエルに分注する分注装置１００に適用される。
この分注装置１００は、分注ヘッド１１０に複数のノズル１２０Ａ，１２０Ｂ・・・が取り付けられており、各ノズル１２０Ａ，１２０Ｂ・・・から試験液を同時に複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に分注するようになっている。
そして、この分注装置１００により上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に分注される試験液の液量を測定するための微少液量測定装置９０が、上記分注装置１００により試験液が分注される複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各開口に向かって所定の傾斜方向から音波を放射するスピーカ１１からなる音響発生部１０、上記スピーカ１１から放射された音波を上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各開口の近傍において検出する複数の音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・・を備える音響検出部２０、上記音響発生部１０のスピーカ１１に接続されたＤ／Ａコンバータ３０、上記音響検出部２０の各音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・が接続された多チャンネルＡ／Ｄコンバータ４０、上記Ｄ／Ａコンバータ３０及び多チャンネルＡ／Ｄコンバータ４０が接続された解析装置５０により構成されている。
上記解析装置５０は、例えばパーソナルコンピュータからなり、上記音響発生部１０から放射する音波の周波数を掃引し、上記音響検出部２０により検出される音波の各検出信号から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエルに分注された各液量を推定する機能を有する。
すなわち、上記解析装置５０は、上記音響発生部１０のスピーカ１１から放射する音波の周波数を掃引する掃引信号を上記Ｄ／Ａコンバータ３０を介して上記スピーカ１１に供給する掃引部５１として機能するとともに、上記音響検出部２０の各音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・・による検出信号が上記多チャンネルＡ／Ｄコンバータ４０を介して供給され、上記各音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・・により検出された音波の各検出信号から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の共鳴周波数を検出し、検出した共鳴周波数から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に分注された液量を推定する解析部５２として機能するようになっている。
ここで、上記音響検出部２０の各音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・・には、小型のエレクトレットコンデンサマイクロフォンやさらに小型のＭＥＭＳマイクロフォンユニット（シリコンコンマイクロフォン）が用いられる。この微少液量測定装置９０では、例えば、図２Ａに示すように、ウエル１３０の開口の近傍位置まで導出された音導管２２を備えるマイクロフォンユニット２１、あるいは、図２Ｂに示すように、支持棒２３の先端に設けることにより、ウエル１３０の開口の近傍位置に位置させるようにしたマイクロフォンユニット２１からなる。
そして、この微少液量測定装置９０では、上記音響発生部１０のスピーカ１１から放射する音波の周波数を上記掃引部５１により掃引しながら、上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各開口の近傍において上記音響検出部２０の各音響電気変換器２１Ａ，２１Ｂ・・・により上記音波を検出し、上記解析部５２により、上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に分注された液量を推定する。
この微少液量測定装置９０は、例えば、次のようにしてウエル１３０の共鳴周波数の検出を迅速に行うことができる。すなわち、この微小液量測定装置９０は、図３に示すように、１列に複数のノズル１２０が配列された分注ヘッド１１０により、二次元平面上に配列されたウエル１３０に試験液を分注する。続いて、この微少液量測定装置９０は、ノズル１３０の配列方向の直交する水平方向Ａに、試験液が分注されたウエル１３０を移動させて、試験液が分注された１列のウエル１３０に向けてスピーカ１１から音波を放射するとともに、１列に音響電気変換器２１が配列された音響検出部２０により、各ウエル１３０の共鳴周波数を１列毎に検出する。
このように、この微少液量測定装置９０は、１つのスピーカから放射された音波から、複数の音響電気変換器２１により、例えば１列に配列された複数のウエル１３０の共鳴周波数を同時に検出することができる。
すなわち、この微少液量測定装置９０は、例えば、図４に示すように、多数のウエル１３０の共鳴周波数を、迅速に検出することができる。図４において、ｘ−ｙ軸は各ウエル１３０の位置座標を示し、ｚ軸は各ウエル１３０の共鳴周波数［Ｈｚ］を示している。このグラフにおいては、ウエル２００の中には試験液の代わりに金属球を挿入しているので、その共鳴周波数が、試験液が注がれている他のウエル１３０の共鳴周波数に対して、突出して異なる。
この微小液量測定装置９０では、同時に複数のウエル１３０の共鳴周波数を検出するので、二次元平面上に配列されたウエル１３０の１つに金属球が挿入されたウエル２００が含まれていても、上述したように、図４に示すような検出結果を迅速に得ることができる。
次に、この微少液量測定装置９０における液量測定の原理について説明する。
図５に示すように、ウエル１３０の開口に向かってスピーカ１１から音波を放射し、上記放射する音波の周波数を掃引しながら、ウエル１３０の開口の近傍において音響電気変換器２１により上記音波を検出して得られる検出信号は、上記ウエル１３０の共鳴周波数近傍では上記音波が上記ウエル１３０で吸収されるので、信号レベルが低下し、図６に示すように、上記共鳴周波数近傍で周波数ディップを有するものとなる。すなわち、ウエル１３０は、液面を固定端とし、開口部を自由端（以下、開口端という。）として、共鳴する。ウエル１３０の開口部を理想的な開口端とすると、上記検出信号のディップ周波数ｆ０すなわち上記ウエル１３０の共鳴周波数は、液位に比例して変化する。したがって、上記ディップ周波数ｆ０を検出することにより、ウエル１３０の液量を推定することができる。
すなわち、ウエル１３０の液位をｈ、ウエル１３０の高さをＤ、共鳴周波数をｆ、音波の波長をλ、音速をｃとし、ウエル１３０の深さ方向に１／４波長共振するとした場合、ウエル１３０の共鳴波長Ｌはλ／４である。
共鳴波長Ｌは、Ｌ＝Ｄ−ｈである。したがって、図７に示すように、液位ｈは共鳴周波数ｆに対して単調に増加し、ｈ＝Ｄ−４ｃ／ｆにて示されるので、上記ディップ周波数ｆ０すなわち上記ウエル１３０の共鳴周波数ｆを検出することにより、ウエル１３０の液量を推定することができる。
なお、ウエル１３０は、その深さ方向に対して１／４波長で共振する以外にも、３／４波長及び５／４波長で共振する。このように、１／４波長以外の共鳴周波数を検出して、共鳴波長Ｌを検出して、この検出結果からウエル１３０の液量を推定することも可能である。しかしながら、微少液量のウエル１３０は深さと直径の大きさに大差ないものが多く、深さ方向に３／４波長で共鳴する周波数よりも低い周波数帯において、ウエル１３０の直径方向に共鳴する周波数帯が存在する場合がある。このため、最も低い周波数で共鳴が生じるウエル１３０の１／４波長の共鳴周波数を検出対象とすることにより、深さ方向以外の共鳴現象による測定誤りを防止できる。
また、音響電気変換器２１はウエル１３０の開口近傍に存在するが、この音響電気変換器２１がウエル１３０の開口部に与える影響を最小にすることで、理想的な開口端に近づき、精度良く液位ｈの検出することができる。
例えば、ウエル１３０の開口部は、上記音響電気変換器２１に備えられている音導管２２の形状をより細くすることにより、より理想的な開口端として共鳴する条件が与えられる。
また、実際には、ウエル１３０の開口端の外にも共鳴する音場があふれ出ることと、ウエル１３０の直径方向の音場分布による影響で、ｈ＝Ｄ−４ｃ／ｆの関係に誤差が生じる。そこで、微少液量測定装置９０では、予め図７の共鳴特性を測定したデータベースを作成して解析部５２に記憶させ、解析部５２がウエル１３０の共鳴周波数の検出結果に応じたウエル１３０の液量をデータベースから検索することで、より正確な液量を求めることができる。
上記検出信号のディップ周波数ｆ０すなわち上記ウエル１３０の共鳴周波数ｆは、例えば、図８に示すように、音響電気変換器２１により検出された音波の検出信号を、上記解析部５２においてロックインアンプ５２Ａで上記掃引部５１から供給される掃引信号（ｐｃｏｓ２πｆｔ）で同期検波することにより、図９に示すような同期検波出力を得ることにより、検出することができる。
さらに、例えば、図１０に示すように、発振器５１Ａにより与えられる周波数信号ｆＭでＦＭ変調かけた掃引信号（ｐｃｏｓ２πｆ（１＋Δｃｏｓ２πｆＭｔ）ｔ）を掃引部５１から音響電気変換器２１に供給するようにして、図１１Ａに示すように、ロックインアンプ５２Ａによる同期検波出力に含まれるＦＭ変調成分ｆＭｔ，２ｆＭをロックインアンプ５２Ｂで上記発振器５１Ａにより与えられる周波数信号ｆＭで同期検波することにより、図１１Ｂに示すような同期検波出力ｆＭｔ，２ｆＭを得て、上記検出信号のディップ周波数ｆ０すなわち上記ウエル１３０の共鳴周波数ｆを検出することもできる。
ここで、音速ｃは、
ｃ＝３３１＋０．６Ｔ（ｍ／ｓ）
にて示され、温度Ｔに依存して０．２％／℃の割合で変化するので、上記ディップ周波数ｆ０を検出することにより、上記ウエル１３０の共鳴周波数ｆから液量を推定する際に、温度による音速変化の影響を補正した共鳴周波数ｆを検出することにより、液量の測定精度を向上させることができる。
例えば、環境温度を検出する温度センサ４５を備えることにより、上記解析部５２は、上記温度センサ４５による検出結果に基づいて、温度による音速変化の影響を補正したウエル１３０の共鳴周波数ｆを検出することができる。
また、上記音響電気変換器２１に備えられている音導管２２の共鳴周波数も温度変化により変化するので、上記解析部５２は、上記音導管２２の共鳴周波数を検出し、検出された上記音導管２２の共鳴周波数に基づいて温度の変化量を求め、温度による音速変化の影響を補正したウエル１３０の共鳴周波数を検出することができる。
このように、音導管２２の共鳴周波数を検出し、検出された音導管２２の共鳴周波数に基づいて、温度による音速変化の影響を補正することにより、ウエル１３０の開口部の近傍に別途温度センサを設けることがないのでウエル１３０の開口部をより理想的な開口端としてウエル１３０を共鳴させることができるので、精度良くウエル１３０の共鳴周波数を検出することができる。
例えば、図１２に示すように、音導管２２の長さをｌとした場合、図１３に示す音導管２２の共振周波数ｆ１，ｆ２の間隔は
ｆ２−ｆ１＝ｃ／２ｌ
で示されるので、上記共振周波数ｆ１，ｆ２の間隔から温度の変化量を求め、温度による音速変化の影響を補正したウエルの共鳴周波数を検出することができる。
ここで、図１４に示すウエル１３０（内径６．５ｍｍ，深さ１０ｍｍ容積３００μＬ）について、図１５に示すように、スピーカ１１をウエル開口から６５ｍｍ離れた斜め５０°上方に配置し、音響電気変換器２１はウエル開口近傍３ｍｍに角度２０°で設置して、スピーカ１１の音の周波数をスイープして、ウエル１３０の共鳴周波数で音響電気変換器２１の出力のディップ周波数を測定することでウエルの共鳴周波数を読み取る実験を行った。１０μＬ毎に水を注入し、０〜１１０μＬでウエル１３０の共鳴周波数を測定したところ、ウエル内の液量に対して周波数が単調に変化しており、０〜１００μＬの水に対して０．４〜３．０μＬの誤差で測定することができた。
スピーカ１１から放射する音波の周波数を６〜１１ｋＨｚを１０秒でスイープした場合に、音響電気変換器２１の出力は、０μＬ，５０μＬ及び１００μＬに対するディップ周波数が図１６に示すように変化しており、液量が増加すると共鳴周波数が高周波にシフトしている。
この音響電気変換器２１の出力のディップ部を２次曲線でフィッティングし、その頂点を共鳴周波数とした。各液量における共鳴周波数を１０回測定した結果を図１７に示す。液量に対して周波数が単調に変化しており、周波数から液量を推定できる。同図中の実線は１／４波長の気中共鳴を仮定した理論値（音速３４５ｍ／ｓ）であり、得られた共鳴周波数は、この気中共鳴と同じ傾向である。
図１７の結果をフィッティングすると、１μＬ当り２．６Ｈｚの周波数変化に相当するので、共鳴周波数から液量を算出した。各液量について１０個の測定値の中から２つ又は３つ選びそれらの平均をとることを１０回行い、１０個のデータの平均値からの最大ずれを図１８に示す。２．０〜７．９μＬのばらつきが、平均をとることで、０．９〜３．０μＬのばらつきに抑圧されている。
以上のように、分注装置１００により液が分注される複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各開口に向かって所定の傾斜方向から音響発生部１０により音波を放射し、解析装置５０の掃引部５１により上記音波の周波数を掃引しながら、音響検出部２０の音響電気変換器２１，２１Ａ，２１Ｂ・・・により、上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・の各開口の近傍において上記音波を検出し、上記解析装置５０の解析部５２により上記検出された音波の各検出信号から上記複数のウエルの各共鳴周波数を検出し、検出した各共鳴周波数から上記複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に分注された液量を推定することにより、複数のウエル１３０Ａ，１３０Ｂ・・・に吐出した微少量の液量を非接触で迅速かつ高精度に同時計測することができる。
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５】
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【図１６】
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【図１７】
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【図１８】
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【国際調査報告】
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2007097456.tif 000022
2007097456.tif 000023
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