【手続補正書】
【提出日】平成31年4月23日(2019.4.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
a) 1対のアパーチャ板のそれぞれに固定された駆動ブロックと、
b) 2つの前記駆動ブロックの一つの軸方向の移動のみを許容し、それ以外の方向の移動を許容しない直動ガイドと、
c) 前記一つの軸方向と平行に延設され、互いに逆向きに進行する1対の螺旋状の溝が形成された1本の送りねじと、
d) 前記1対の螺旋状の溝のそれぞれに噛合するように設けられ、前記軸に沿って移動可能であるナット部材と、
e) 前記2つの駆動ブロックのそれぞれを前記一つの軸方向と平行な方向に付勢することにより、該駆動ブロックのそれぞれを前記1対のナット部材のそれぞれに押し付ける付勢部材と、
f) 前記2つの駆動ブロックの一方とそれに対応するナット部材との間に配置され、前記一つの軸方向と平行な方向における該駆動ブロックと該ナット部材の距離を調整する距離調整部材と
を有するアパーチャ板の開閉機構と、
g) 前記アパーチャ板の開閉機構を前記アパーチャ板に垂直な軸周りに回転させる回転機構と
を備えることを特徴とするアパーチャ板の駆動機構。
【請求項２】
前記開閉機構が非平行な2方向にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項１に記載のアパーチャ板の駆動機構。
【請求項３】
前記一つの軸方向に関し、前記駆動ブロックの、前記ナット部材又は前記距離調整部材との当接部が凸面であり、他方の当接部が平面又は該凸面よりも曲率が小さい凹面である
ことを特徴とする請求項１に記載のアパーチャ板の駆動機構。
【請求項４】
前記一つの軸方向に関し、前記ナット部材又は前記距離調整部材の、前記駆動ブロックとの当接部が凸面であり、該駆動ブロックの当接部が平面又は該凸面よりも曲率が小さい凹面である
ことを特徴とする請求項１に記載のアパーチャ板の駆動機構。
【請求項５】
請求項１から４のいずれかに記載のアパーチャ板の駆動機構を備えた赤外顕微鏡。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
上記課題を解決するために成された本発明に係るアパーチャ板の駆動機構は、
a) 1対のアパーチャ板のそれぞれに固定された駆動ブロックと、
b) 2つの前記駆動ブロックの一つの軸方向の移動のみを許容し、それ以外の方向の移動を許容しない直動ガイドと、
c) 前記一つの軸方向と平行に延設され、互いに逆向きに進行する1対の螺旋状の溝が形成された1本の送りねじと、
d) 前記1対の螺旋状の溝のそれぞれに噛合するように設けられ、前記軸に沿って移動可能であるナット部材と、
e) 前記2つの駆動ブロックのそれぞれを前記一つの軸方向と平行な方向に付勢することにより、該駆動ブロックのそれぞれを前記1対のナット部材のそれぞれに押し付ける付勢部材と、
f) 前記2つの駆動ブロックの一方とそれに対応するナット部材との間に配置され、前記一つの軸方向と平行な方向における該駆動ブロックと該ナット部材の距離を調整する距離調整部材と
を有するアパーチャ板の開閉機構と、
g) 前記アパーチャ板の開閉機構を前記アパーチャ板に垂直な軸周りに回転させる回転機構と
を備えることを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
【図１】赤外顕微鏡の概略構成を説明する図。
【図２】本発明の一実施例における試料の測定対象領域の決定について説明する図。
【図３】本実施例の赤外顕微鏡が有するアパーチャ板の駆動機構の外観図。
【図４】本実施例の赤外顕微鏡が有するアパーチャ板の開閉機構の概略構成を説明する断面図。
【図５】本実施例の赤外顕微鏡が有するアパーチャ板の開閉機構の縦方向の部分断面図。
【図６】本実施例の赤外顕微鏡が有するアパーチャ板の開閉機構の部分拡大図。
【図７】従来の赤外顕微鏡が有するアパーチャの駆動機構においてアパーチャの中心と回転中心が一致しない場合の問題を説明する図。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１５】
本発明に係るアパーチャ板の駆動機構を備えた顕微分析装置の一実施例である赤外顕微鏡について、以下、図面を参照して説明する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３０】
駆動ブロック３０８aの調整ホルダ３１０に当接する面、及び駆動ブロック３０８bのフロートナット３０５bに当接する面は、それぞれy方向において図６中に一点鎖線で示すような曲率を有する凸面（筒状面）になっている。また、調整ホルダ３１０とフロートナット３０５bの当接面は平坦面である。従って、駆動ブロック３０８aと調整ホルダ３１０、３０８bとフロートナット３０５bはそれぞれz方向に線接触する。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３１】
本実施例のアパーチャ板３０１a、３０１bの開閉機構ではフロートナット３０５a、３０５bにねじ孔を形成し、これを送りねじ３０２と噛合させ、送りねじ３０２の回転によってフロートナット３０５a、３０５bを移動させる。そして、バネ３０９で駆動ブロック３０８a、３０８bをフロートナット３０５a、３０５bに押し付けることにより駆動ブロック３０８a、３０８bをフロートナット３０５a、３０５bの移動に追従させる。また、調整ホルダ３１０及びフロートナット３０５bの平坦面に対する駆動ブロック３０８a、３０８bの当接面が曲面になっている。そのため、駆動ブロック３０８a、３０８bの移動方向を（ガイド部材３０７a、３０７bを介して）規制するガイドレール３０６の延設方向と送りねじ３０２の軸が完全に平行でない場合でも、それらのなす角度に応じた位置で駆動ブロック３０８a、３０８bと調整ホルダ３１０、フロートナット３０５bが当接し、そのずれを許容することができる。また、調整ホルダ３１０、フロートナット３０５bの平坦面上で駆動ブロック３０８a、３０８bがスライド可能であるため、ガイドレール３０６と送りねじ３０２の離間距離が設計距離からずれていても、そのずれに応じた位置で駆動ブロック３０８a、３０８bと調整ホルダ３１０、フロートナット３０５bが当接して、そのずれを許容することができる。そのため、フロートナット３０５a、３０５bのねじ孔内部で送りねじ３０２が片当たりすることがなく長期にわたって精度よく駆動ブロック及び該駆動ブロックに固定されたアパーチャ板３０１a、３０１bを移動させることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
一方、本実施例のアパーチャの開閉機構では、駆動ブロック３０８aとフロートナット３０５aの間に調整ホルダ３１０が配置されている。この調整ホルダ３１０は断面コの字状の部材であり、両端の二辺がフロートナット３０５aの側面に沿ってスライドするように取り付けられている。また、フロートナット３０５aに形成されたねじ孔には調整ホルダ３１０内部の前記コの字の中央の辺に相当する面に先端部が当接する調整ねじ３１１が取り付けられており、このねじを出し入れすることによって調整ホルダ３１０のコの字の中央の辺に相当する面とフロートナット３０５aの離間距離を調整できるようになっている。従って、調整ねじ３１１の位置を調整することにより、調整ホルダ３１０を介してフロートナット３０５aと駆動ブロック３０８aの間の距離を調整することができる。そして、調整後の距離を維持するように調整ホルダ３１０をフロートナット３０５aに固定する。本実施例では調整ホルダ３１０の側辺にねじ孔が形成されており、このねじ孔に固定ねじ３１２を挿入してその先端をフロートナット３０５aの側面に固定するようになっている。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】
本実施例のアパーチャの駆動機構も、従来同様に、それぞれ複数の部材を組み立てることにより構成され、さらに両機構を組み合わせることにより製造されるため、製造時点では、アパーチャ板３０１a、３０１bの開閉中心Ｌ１とアパーチャ板の回転中心Ｃ３が必ずしも一致していない。しかし、本実施例のアパーチャの開閉機構では、アパーチャ板３０１a、３０１bの開閉中心Ｌ１が回転中心Ｃ３からずれている場合に、上記のようにフロートナット３０５aと駆動ブロック３０８aの間の距離を適宜に調整することにより、調整ホルダ３１０の位置を調整し、アパーチャ板３０１a、３０１bの開閉中心の位置を回転中心Ｃ３に一致させる。この調整をx方向とy方向のアパーチャ板の開閉機構でそれぞれ行うことにより、アパーチャ８の中心を回転中心Ｃ３に一致させることができる。この工程は、アパーチャの駆動機構を製造した後、出荷される前に行っておくことが好ましい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４２】
１…試料
１a…測定対象領域
２…光源部
３、３a…第１ミラー
４…第２ミラー
５…第３ミラー
６、１６…カセグレン鏡
６a、１６a…凹面ミラー
６b、１６b…凸面ミラー
８…アパーチャ
９…赤外光検出器
１４…第４ミラー
１５…第５ミラー
２１…可視光ミラー
２２…カメラ
１００、２００、３００…モータ
１１０…x-yステージ
１２０…回転軸材
１３０…ベルト
１４０…中空シャフト
３０１a、３０１b…アパーチャ板
３０３a、３０３b…挿入ピン
３０５a、３０５b…フロートナット
３０６…ガイドレール
３０７a、３０７b…ガイド部材
３０８a、３０８b…駆動ブロック
３０９…バネ
３１０…調整ホルダ
３１１…調整ねじ
３１２…固定ねじ