(57)【要約】  ロック部材（２８）の係止部（３１）が、容器本体（１３）に係止される際の回転板（３０）の係止回動位置及び容器本体（１３）へのロック部材（２８）の係止が解除される際の回転板（３０）の解除回動位置で、各回転板（３０）の蓋体（１４）の各カバー部材（２５）に形成された係止突起（４３，４３）に対向する位置に、該各係止突起が係止可能な係止凹部（４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂ）を形成するようにした薄板搬送容器の開閉構造。【選択図】  図１【特許請求の範囲】
【請求項１】
開口部を有する容器本体と、該容器本体の前記開口部を閉鎖するように前記容器本体に取り外し可能に装着される蓋体と、該蓋体に設けられ前記容器本体の前記開口部が閉鎖された状態で前記蓋体を前記容器本体に係止するためのロック機構とを備え、
前記ロック機構は、前記蓋体に回動可能に設けられる回転板と前記容器本体に解除可能に係止されるロック部材と該ロック部材に、リンクアーム部材を介して連結されて前記回転板の回転力を、前記ロック部材に前記容器本体への係止力及びその解除のための解除力として作用させるリンクアーム部材とを有するリンク機構と、該回転板の回転により前記ロック部材が前記容器本体に係止される係止回動位置と、前記容器本体への前記ロック部材の係止が解除される解除回動位置との双方において、前記回転板の回転を停止させて保持するための保持手段と、を含んでいる薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項２】
前記ロック部材が前記容器本体に係止される前記係止回動位置において、前記リンクアーム部材及び前記ロック部材が、該回転板の回動中心から直線上に縦列するように停止される請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項３】
前記保持手段は、略円形を有する回転板の周縁部に、少なくとも一対の間隔をあけて配置された係止凹部と、該係止凹部に係止可能となるように、対向する蓋体の一部から突設された係止突起とを有し、それぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材が、前記回転板の回動中心を挟んで、対称となるように設けられると共に、前記係止回動位置において、前記回転板の回転を保持している係止凹部の位置が、前記一対のロック部材を前記容器本体に係止する位置を結ぶ直線上に配置されている請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項４】
前記蓋体には、前記ロック部材を、前記回転板の回動中心から、直線上にスライド移動可能にガイドするガイド手段が設けられている請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項５】
前記ロック部材は、前記容器本体に係止される係止位置と該容器本体への係止が解除される解除位置との間で移動可能に設けられており、前記容器本体には、前記ロック部材が挿入されて係止される係止孔が形成され、前記蓋体及び前記ロック部材間には、前記ロック部材が前記係止孔に挿入された状態で前記ロック部材を前記係止孔の縁部に前記係止孔の内方から押し付けることにより前記ロック部材から前記蓋体に前記容器本体へ向けての押圧力を作用させるために、前記ロック部材が前記容器本体に向けて移動するに従って、前記ロック部材を前記蓋体の上方へ移動させるための移動手段が設けられている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項６】
前記移動手段は、前記各ロック部材の係止部及び接続部間に設けられて、各ロック部材から突出して形成された傾斜部と、前記蓋体の底面から突出して形成され該各ロック部材の各傾斜部に係合可能な傾斜部とによって構成されている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項７】
更にセンタリング機構を備え、該センタリング機構は、前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の先端面と、左右側面部との間の両角部に形成され且つ円弧状を有するガイド曲面と、該係止部の先端面と、上面部との間の上角部に形成されたテーパ面とによって構成されている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項８】
前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の上面部と、前記係止孔の内周面の上縁部との当接により、上下方向に押圧されて、弾性変形し、前記蓋体と容器本体の開口部との間をシールするための環状のガスケットを更に備えている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項９】
前記回転板には、該回転板の回転操作を行う者の指を挿入するための指挿入口が形成されている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【請求項１０】
前記蓋体は、前記ロック機構が収容される凹所が形成された蓋本体と、前記凹所内に収容された前記ロック機構を覆うカバー部材とを備え、該カバー部材には、前記凹所の周面に形成された係止穴に前記凹所の内方から係止される弾性変形可能な係止爪が形成され、前記蓋本体には、前記凹所の開口縁部に、前記解除用凹部の内方及び前記蓋本体の上方へ向けて開放し、前記係止穴への前記係止爪の係止を解除するための解除用凹部が形成されている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェハ、記憶ディスク及び液晶ガラス基板等の薄板の収納、保管、移送又は輸送等に使用され、特に、標準化された機械的インターフェイス（ＳＭＩＦ若しくはＦＩＭＳ）を有する加工装置に接続される大口径ウェハ（特に、３００ｍｍウェハ）を収容するための薄板搬送容器の開閉構造に関する。
【背景技術】
【０００２】
従来、半導体ウェハを収容して搬送する薄板搬送容器は、半導体ウェハへの塵埃の付着を防止するように、容器本体と、この容器本体に形成された開口部を閉鎖するための蓋体と、この蓋体を容器本体の開口部を閉鎖した状態で容器本体に係止するためのロック機構とを備えている（例えば、特開平１１−１５９２１８号公報参照）。【０００３】
ロック機構は、容器本体に解除可能に係止されるラッチプレートと、このラッチプレートにリンクアーム部材を介して連結された回動可能な回転板とを備えるラッチ機構によって構成されている。【０００４】
回転板は、その回転力をラッチプレートに容器本体への係止力及びその解除のための解除力として作用させる。従って、回転板を回転操作することにより、容器本体へのラッチプレートの係止及びその解除を行うことができ、これにより、容器本体の開口部を開閉することができる。【０００５】
なお、回転板と係止爪との間にカム機構を用いている構造も知られている（例えば、特開２００５−３０６４１１号公報参照）。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、従来の薄板搬送容器の開閉構造には、ラッチプレートの如きロック部材が、容器本体に係止された際の係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除された際の解除回動位置とのそれぞれの回動位置で、回転板を保持するための手段が設けられていない。【０００７】
このため、半導体ウェハが収納された容器の搬送時、薄板搬送容器に例えば振動が与えられたときに回転板が回転してしまい、容器本体へのロック部材の係止が解除されてしまうという問題があった。【０００８】
また、容器本体へのロック部材の係止を解除すべく回転板を回転させた際、容器本体へのロック部材の係止が解除されたか否かが判断し難いため、容器本体へのロック部材の係止を完全に解除することができない。容器本体へのロック部材の係止が完全に解除されていない状態で容器本体から蓋体を取り外すと、ロック部材が容器本体に引っ掛かり、ロック部材、容器本体及び蓋体に破損が生じてしまうという問題があった。【０００９】
そこで、本発明の目的は、ロック部材が容器本体に係止された際の係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除された際の解除回動位置との双方において、回転板を保持することができ、開閉動作時の摩擦低減箇所の極小化による粉塵発生の減少化と、複雑で部品点数が多い開閉構造の簡略化と、手動開閉の簡素化と、蓋開閉構造部品の組立及び分解の容易化とを図ることができる薄板搬送容器の開閉構造を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するため、本発明の一実施例に係る薄板搬送容器の開閉構造は、開口部を有する容器本体と、この容器本体の前記開口部を閉鎖すべく容器本体に取り外し可能に装着される蓋体と、この蓋体に設けられ、容器本体の開口部が閉鎖された状態で蓋体を容器本体に係止するためのロック機構とを備え、このロック機構は、蓋体に回動可能に設けられる回転板と、容器本体に解除可能に係止されるロック部材と、このロック部材に、リンクアーム部材を介して連結されて、回転板の回転力を、ロック部材に容器本体への係止及びその解除のための係止力及び解除力として作用させるリンクアーム部材とを有するリンク機構と、回転板と蓋体との間に、回転板の回転により、ロック部材が容器本体に係止される際に、リンクアーム部材及びロック部材を、回転板の回動中心から、直線上に縦列するように停止させる係止回動位置と、容器本体へのロック部材の係止が解除される際の解除回動位置との双方において、回転板の回転を停止させて保持するための保持手段とを有する。
【発明の効果】
【００１１】
上記構成によれば、回転板と蓋体との間に設けられた保持手段により、ロック部材が容器本体に係止される際の係止回動位置及び容器本体へのロック部材の係止が解除される際の解除回動位置で回転板が確実に保持される。【００１２】
この際、係止回動位置では、ロック部材が容器本体に係止される際に、リンクアーム部材及びロック部材を、回転板の回動中心から、直線上に縦列するように停止させることができる。【００１３】
このため、ロック部材に外力が加わっても、リンクアーム部材を介して、回転板に直線的に、外力が伝達されて、回転板を回転させる力になりにくいことから、回転板が、係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止される。【００１４】
従って、ロック部材が容器本体に係止された状態及び容器本体へのロック部材の係止が解除された状態を安定して維持することができる。【００１５】
これにより、例えば、半導体ウェハが、収納された容器の搬送時、容器に振動や、落下による衝撃が、例え与えられたとしても、回転板が係止回動位置に確実に保持されていることから、この振動による回転板の解除回動位置へ向けての回動が防止される。【００１６】
従って、容器に振動が与えられることによる容器本体へのロック部材の係止の解除を防止することができる。【００１７】
また、回転板が、保持手段によって、係止回動位置及び解除回動位置に保持されることから、ロック部材を容器本体に係止するとき、及び容器本体へのロック部材の係止を解除する際に、回転板を回転させたとき、容器本体へのロック部材の係止及びその解除が完全に行われたか否かを、ロック部材のロックする音や操作時の抵抗力の変化により、容易に確認することができる。【００１８】
これにより、容器本体へのロック部材の係止を確実に確認出来ると共に、容器本体へのロック部材の係止が完全に解除されていない状態で、容器本体から蓋体を誤って取り外すことが防止される。【００１９】
このため、従来のように、蓋体が、容器本体から取り外される際にロック部材が、容器本体に引っ掛かることによるロック部材、容器本体及び蓋体の破損を防止することができる。【００２０】
更に、ロック部材が容器本体に完全に係止されていない状態で、容器を搬送することが防止されるので、搬送中に蓋体が容器本体から外れることが無く、蓋体が外れて、容器内への塵埃の侵入することによって、半導体ウェハが汚染されることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【００２１】
【図１】本発明に係る薄板搬送容器の開閉構造を概略的に示す斜視図。
【図２】本発明に係る開閉構造における蓋本体を概略的に示す斜視図。
【図３】本発明に係る開閉構造におけるカバー部材を概略的に示す斜視図。
【図４】本発明に係る開閉構造におけるロック部材を概略的に示す斜視図。
【図５】本発明に係る開閉構造におけるリンクアーム部材を概略的に示す斜視図。
【図６】本発明に係る開閉構造における回転板をその裏面から見た状態を概略的に示す斜視図。
【図７】本発明に係る開閉構造における回転板をその表面から見た状態を概略的に示す斜視図。
【図８Ａ】本発明に係る開閉構造におけるロック部材が初期位置にある状態を示す縦断面図である。
【図８Ｂ】本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動され中間の移動状態にあることを示す縦断面図である。
【図８Ｃ】本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に挿入される直前の状態にあることを示す縦断面図である。
【図８Ｄ】本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に挿入された状態を示す縦断面図である。
【図８Ｅ】本発明に係る開閉構造におけるロック部材が移動手段により移動されロック部材の先端が係止孔に完全に挿入されてロック部材が容器本体に係止された状態を示す縦断面図である。
【図９】本発明に係る開閉構造の実施例１におけるロック部材を用いた蓋体の構成であって、左側が、ロック部材が開放位置にある場合の回転板の解除回動位置を示し、右側が、ロック部材が容器本体に係止された位置にある場合の回転板の係止回動位置を示す平面図。
【図１０】本発明に係る開閉構造における蓋本体の構成を説明する分解側面図。
【図１１】本発明に係る開閉構造の実施例２におけるロック部材の構成を説明する斜視図。
【図１２】本発明に係る開閉構造の実施例２におけるロック部材を用いた構成で、ロック部材が、容器本体の係止孔に挿入、離脱される状態を説明する図１３中Ｇ部に相当する位置での拡大水平断面図。
【図１３】本発明に係る開閉構造の実施例２におけるロック部材を用いた構成で、ロック部材により、蓋本体が、容器本体に対して、センタリングされる状態を説明する平面図。
【符号の説明】
【００２２】
１１  容器の開閉構造
１２  開口部
１３  容器本体
１４  蓋体
１５  ロック機構
１８  係止孔
２０  蓋本体
２１  凹所
２１ｅ  開口縁部（凹所の開口縁部）
２２  係止穴
２５  カバー部材
２６  係止爪
２７  解除用凹部
２８，１２８  ロック部材
２９  リンクアーム部材
３０  回転板
３１，１３１  係止部
３２  接続部
３７  指挿入口
３９  移動手段
４０  ロック部材側傾斜部
４１  蓋体側傾斜部
４２  保持手段
４３  係止突起
４４ａ，４４ｂ  係止凹部
【発明を実施するための最良の形態】
【００２３】
以下、本発明の最良の実施形態を、これを実施するための図示の実施例に基づいて詳細に説明する。
【実施例１】
【００２４】
図１は、薄板、例えば、半導体ウェハを収容して搬送するための薄板搬送容器１０に、本発明に係る開閉構造１１を適用した実施例を示す。勿論、この開閉構造は、他の容器に適用可能である。  【００２５】
本発明に係る薄板搬送容器１０は、図１に示すように、上部に設けられた開口部１２を有する容器本体１３と、この容器本体の開口部１２を密封的に閉鎖するための蓋体１４と、容器本体１３の開口部１２が密封的に閉鎖された状態で蓋体１４を容器本体１３に係止するための一対のロック機構１５とを備えている。【００２６】
容器本体１３及び蓋体１４は、それぞれポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエーテルエーテルケトンのような樹脂材料で成形されている。【００２７】
容器本体１３は、図１に示すように、平面が矩形状をなす底壁１６と、この底壁の縁部１６ａから立ち上がる４つの側壁１７（図１には４つの側壁１７のうち、隣接する２つの側壁が示されている）とを有する。【００２８】
４つの側壁１７のうち、互いに向かい合う一対の側壁１７には、それぞれ各ロック機構１５の各ロック部材２８（後述する）を係止する一対の係止孔１８が、形成されている。【００２９】
各係止孔１８は、図示の例では、各側壁１７の上部１９の両端部１９ａに、両側壁１７間でそれぞれが互いに対向するように形成されている。【００３０】
また、各係止孔１８は、図示の例では、各ロック部材２８が挿入可能な大きさを有すると共に、容器本体１３の開口部１２の周縁に設けられたフランジ部に連続して一体に成形されることによって、図８Ａに示すように、内周面の上縁部１８ａの面積を、他の側縁部及び下縁部の面積よりも広く設定されている。【００３１】
蓋体１４は、容器本体１３の開口部１２内に嵌合可能な板状の蓋本体２０を備える。【００３２】
蓋本体２０の上面２０ａには、各ロック機構１５を収容するための一対の凹所２１が形成されている。各凹所２１は、図１及び図２に示すように、平面で見て矩形状を有し、開口部１２への蓋本体２０の嵌合状態で、容器本体１３の一対の側壁１７のうち一方の側壁１７に対向する蓋本体２０の縁部２０ｂから他方の側壁１７に対向する蓋本体２０の縁部２０ｃへ向けて延び、且つ、その伸長方向が両側壁１７間で互いに対向する各係止孔１８を結ぶ線に沿うように、各々蓋本体２０に形成されている。【００３３】
各凹所２１の蓋本体２０の内方側に位置する周壁２１ａには、図２に示すように、それぞれ後述するカバー部材２５の各係止爪２６が係止される一対の係止穴２２がそれぞれ形成されている。【００３４】
また、各凹所２１の容器本体１３の各側壁１７に対向する周壁２１ｂのそれぞれには、容器本体１３の側壁１７に形成された各係止孔１８に対応する位置で、ロック機構１５の後述する各ロック部材２８を挿通するようにした挿通孔２３が形成されている。【００３５】
更に、各凹所２１の伸長方向の両端部２１ｃにおける底面２１ｄには、それぞれ後述する各ロック部材２８の直線的な移動を案内する一対のガイドレール２４が、各凹所２１の伸長方向に沿って延び且つその伸長方向に直角な方向へ互いに間隔をおいて形成されている。【００３６】
蓋本体２０の下面には、その周縁に沿って延びる溝２０ｄが形成されており、この溝２０ｄ内には、蓋本体２０と容器本体１３の開口部１２との間をシールするための環状のガスケット４６が設けられている（図８参照）。【００３７】
このガスケット４６は、溝２０ｄ内に、この溝２０ｄの底面すなわち上面に間隔をおいて嵌合されるガスケット本体４６ａと、このガスケット本体４６ａから溝２０ｄの上面及び容器本体１３の内方へ向けてそれぞれ延びる弾性変形可能な一対のシール部４６ｂ，４６ｂとを有する。【００３８】
蓋体１４は、その蓋本体２０が容器本体１３の開口部１２に、ガスケット４６を介して嵌合されると共に、ロック機構による係止で、上下方向に押圧され、シール部４６ｂ，４６ｂが弾性変形することにより、容器本体１３の開口部１２が密封的に閉鎖されるように構成されている。【００３９】
さらに、蓋体１４は、蓋本体２０に形成され各凹所２１を覆う一対のカバー部材２５を備える。各カバー部材２５は、図１に示すように、各凹所２１に沿って延びる板状部材からなり、各凹所の前記両端部２１ｃを開放するように各凹所２１を覆っている。【００４０】
各カバー部材２５には、図３に示すように、各凹所２１に形成された各係止穴２２に係止される一対の弾性変形可能な係止爪２６が形成されている。【００４１】
各カバー部材２５は、各係止爪２６が各係止穴２２に係止されることにより、蓋本体２０に固定される。【００４２】
蓋本体２０の各凹所２１の開口縁部２１ｅには、図１及び図２に示す実施例では、各係止穴２２への各係止爪２６の係止を解除するための複数の解除用凹部２７が形成されている。各解除用凹部２７は、それぞれ各凹所２１の開口縁部２１ｅに、各係止穴２２に対応する位置で、各凹所２１の内方及び蓋本体２０の上方へ向けて開放するように形成されている。【００４３】
また、各解除用凹部２７は、図示の実施例では、その内面が球面を有するように形成されており、その内径の大きさは、図示しない操作する者の指の挿入を許す大きさを有する。【００４４】
各ロック機構１５は、図１に示すように、それぞれ容器本体１３に係止される一対のロック部材２８，２８と、各ロック部材２８，２８に、一対のリンクアーム部材２９，２９を介して、それぞれ連結された回転板３０とを備えている。それぞれ一対のリンクアーム部材２９，２９及びロック部材２８，２８は、回転板の回動中心を挟んで、対称となるように、設けられている。【００４５】
各ロック部材２８は、図４に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その一端２８ａに、容器本体１３に形成された各係止孔１８に係止される係止部３１を有し、他端２８ｂに、リンクアーム部材２９に接続される円柱状の接続部３２を有する。【００４６】
各係止部３１は、蓋本体２０に形成された各挿通孔２３及び容器本体１３に形成された各係止孔１８を挿通し、係止孔１８に係止される。【００４７】
各ロック部材２８，２８は、その軸線が各凹所２１の伸長方向に沿うように、各凹所の各ガイドレール２４，２４間に各々スライド摺動可能に配置されている。これにより、各ロック部材２８，２８は、それぞれ各ガイドレール２４に沿ってすなわち各凹所２１の伸長方向に沿って移動可能である。【００４８】
各ロック部材２８，２８は、各ガイドレール２４に沿った直線状のスライド摺動により、その係止部３１，３１が、容器本体１３の係止孔１８，１８内に挿入及び離脱されることにより、容器本体１３に係止及び係止解除される。【００４９】
各リンクアーム部材２９は、図５に示すように、横断面が矩形状をなす棒状部材からなり、その両端２９ａ，２９ｂには、各ロック部材２８及び回転板３０が接続される接続孔３３，３４が形成されている。【００５０】
各ロック部材２８は、その接続部３２をリンクアーム部材２９の接続孔３３に挿入することにより、各リンクアーム部材２９に回動可能に接続される。【００５１】
また、前記各回転板３０，３０は、図１に示すように、それぞれほぼ円形を有する板部材からなり、各凹所２１の中心部に回動可能に、回動中心となる軸孔３０ａを、凹所２１から突設される回動軸部２１ｆに軸支させて、配置されている。【００５２】
この軸孔３０ａは、係止部３１，３１が、容器本体１３の係止孔１８，１８内に挿入されて、係止されている位置間を結ぶ直線上に位置するように、設けられている。【００５３】
各回転板３０の裏面３０ｅには、図６に示すように、各リンクアーム部材２９の接続孔３４に回動可能に挿入される円柱状の一対の接続部３５が形成されている。【００５４】
各接続部３５は、それぞれ回転板３０の中心からその径方向外方へ互いに等間隔をおいて形成されている。各回転板３０は、その回転力を容器本体１３に係止される係止方向へ向けての係止力又は容器本体１３への係止が解除される解除方向へ向けての解除力として各ロック部材２８に各リンクアーム部材２９を介して作用させるように操作される。【００５５】
これらの接続部３５，３５は、図９中右側に示すように、係止部３１，３１が、容器本体１３の係止孔１８，１８内に挿入されて、係止されている位置間を結ぶ直線上に存在するように、係止回動位置における位置が、設定されている。【００５６】
図９中左側に示すように、回転板３０の回転により、リンクアーム部材２９，２９に設けられた各接続孔３４，３４内で、これらの接続部３５，３５が回転しながら、ロック部材２８，２８を直線状に、スライド摺動させるように構成されている。【００５７】
すなわち、これらの各ロック部材２８，２８、各リンクアーム部材２９，２９及び回転板３０で、従来よく知られたリンク機構が構成されている。【００５８】
また、各回転板３０の裏面３０ｅには、図６に示すように、各回転板３０が回動した際、各ロック部材２８が容器本体１３に係止されたとき及び容器本体１３への各ロック部材２８の係止が解除されたときに、各リンクアーム部材２９が当接する当接部３６が形成されている。これにより、各ロック部材２８が容器本体１３に係止されたとき及び容器本体１３への各ロック部材２８の係止が解除されたときに回転板３０の回動が規制される。【００５９】
この結果、各ロック部材２８が容器本体１３に係止される際の回転板３０の回動位置である係止回動位置と、容器本体１３への各ロック部材２８の係止が解除される際の回転板３０の回動位置である解除回動位置とが規定される。【００６０】
すなわち、各回転板３０は、係止回動位置と解除回動位置との間に回動可能であり、図示の例では、両回動位置間の回動角度は、例えば、約９０度に設定されている。【００６１】
各回転板３０の表面３０ｂには、図７に示すように、回転板３０を回転操作するための図示しない把手部材のような工具が挿入されるキー溝３０ｄが形成されている。【００６２】
更に、本実施例では、各回転板３０の表面３０ｂに、各回転板３０の回動操作を手動で行う際に操作する者の指を挿入するための一対の指挿入口３７が形成されている。【００６３】
各凹所２１を覆うカバー部材２５には、図３に示すように、それぞれ回転板３０の回転時に各指挿入口３７が描く軌跡に沿って、円弧状の操作孔３８がそれぞれ形成されている。これにより、各凹所２１がカバー部材２５で覆われた状態で、各回転板３０の回転を操作する者の指で行うことができる。【００６４】
各回転板３０が一方向へ回転すると、各ロック部材２８は、各回転板３０から受ける係止力により係止方向へ押されることによって各ガイドレール２４に沿って移動され、各ロック部材２８の係止部３１が、容器本体１３の各係止孔１８に係止される。【００６５】
各係止部３１…が、各係止孔１８に係止されることにより、蓋本体２０が開口部１２に嵌合された状態で、容器本体１３に対して、脱落不能にロックされる。【００６６】
また、各係止部３１が各係止孔１８に係止された状態で、各回転板３０が他方向へ回転すると、各ロック部材２８は、各回転板３０から受ける解除力により解除方向へ引っ張られることによって各ガイドレール２４に沿って移動し、これにより、各係止孔１８への各係止部３１の係止が解除される。これにより、容器本体１３への蓋体１４の係止が解除されるので、容器本体１３から蓋体１４を取り外すことができ、容器本体１３の開口部１２を開放することができる。【００６７】
本発明に係る薄板搬送容器１０の開閉構造１１では、蓋本体２０及び各ロック部材２８間に、各ロック部材２８が係止方向へ向けて移動するに従って各ロック部材２８を、蓋体１４の上方へ移動させるための移動手段３９が、設けられている。【００６８】
移動手段３９は、図２及び図４に示す例では、各ロック部材２８の係止部３１及び接続部３２間に各ロック部材２８から突出して形成された一対のロック部材側傾斜部４０と、蓋本体２０の各ガイドレール２４間に各凹所２１の底面２１ｄから突出して形成され、各ロック部材２８の各ロック部材側傾斜部４０に係合可能な一対の蓋体側傾斜部４１とによって構成されている。【００６９】
各ロック部材２８に形成された各ロック部材側傾斜部４０は、図４に示すように、それぞれ係止部３１及び接続部３２の近傍に形成されており、各ロック部材２８の一端２８ａから他端２８ｂへ向けて仰角を有する傾斜面４０ａを有する。【００７０】
また、蓋本体２０に形成された各蓋体側傾斜部４１は、図２に示すように、それぞれ各ガイドレール２４に沿って各凹所２１の内方から外方へ向けて、各ロック部材２８に形成された各ロック部材側傾斜部４０の傾斜面４０ａと等しい仰角を有する傾斜面４１ａを有する。【００７１】
各ロック部材側傾斜部４０及び，蓋体側傾斜部４１の傾斜面４０ａ，４１ａの傾斜角度は、図８Ｅに示すように、それぞれ各ロック部材２８の各係止部３１が容器本体１３の各係止孔１８内に挿入されたときに各係止孔１８の上縁部１８ａに容器本体１３の上方へ向けて押し付けられる高さ位置に各ロック部材２８を移動させる大きさに設定されている。【００７２】
他方、容器本体１３の各側壁１７に形成された各係止孔１８の上下方向の大きさは、各ロック部材２８が移動手段３９により移動し、各係止部３１が各係止孔１８内に挿入したときに、各係止部３１が各係止孔１８の上縁部１８ａに当接するように設定されている。【００７３】
次に、上記実施例１の薄板搬送容器の開閉構造の作用について説明する。【００７４】
先ず、各ロック部材２８が係止方向へ移動すると、図８Ａ乃至図８Ｃに示すように、各ロック部材２８に形成された各ロック部材側傾斜部４０の傾斜面４０ａが、蓋本体２０に形成された各蓋体側傾斜部４１の傾斜面４１ａに当接し、さらに、図８Ｄ及び図８Ｅに示すように、該傾斜面に沿って摺動することにより、各ロック部材２８が斜め上方に移動される。【００７５】
このとき、各ロック部材側傾斜部４０及び蓋体側傾斜部４１の傾斜面４０ａ，４１ａの傾斜角度の大きさが、それぞれ前記したように設定されていることから、各ロック部材２８が斜め上方に移動することにより、容器本体１３の各係止孔１８内に挿入された各ロック部材２８の係止部３１は、図８Ｅに示すように、各係止孔１８の上縁部１８ａに上方へ向けて押し付けられる。【００７６】
これにより、蓋本体２０には、該蓋本体を容器本体１３に押し付ける押圧力が、各ロック部材２８から作用する。【００７７】
この際、各係止孔１８には、容器本体１３の開口部１２の周縁に設けられたフランジ部が、外側方に向けて突設されて、周縁と連続するように一体に成形されているので、図８Ａに示すように、内周面の上縁部１８ａの面積が、他の側縁部及び下縁部の面積よりも広く設定され、前記各ロック部材２８の係止部３１の上面側の押圧面積が、増大されている。【００７８】
このため、この押圧力が有効に伝達されて、蓋本体２０に設けられたガスケット４６の各シール部４６ｂ，４６ｂが、蓋本体２０に形成された溝２０ｄの上面及び容器本体１３の開口部１２にそれぞれ押し付けられ、溝２０ｄの上面及び容器本体１３の開口部１２の段部１２ａに、それぞれに、二点鎖線で示すように、弾性変形されながら弾性的に当接される。【００７９】
従って、蓋本体２０と容器本体１３の開口部１２との間が、確実にシールされる。【００８０】
この際、ロック部材２８，２８は、蓋体１４の凹所２１に形成された前記一対のガイドレール２４，２４によって、直線的なスライド移動となるように案内される。【００８１】
したがって、各ロック部材２８の係止部３１の容器本体１３の各係止孔１８内への挿入確実性を、更に、向上させることができる。【００８２】
本発明に係る薄板搬送容器１０の開閉構造１１では、図１に示すように、各回転板３０と蓋体１４との間に、各回転板３０の係止回動位置と解除回動位置とに各回転板３０を保持するための保持手段４２が、設けられている。【００８３】
このうち、係止回動位置では、図９中、右側に示すように、回転板３０の回転により、ロック部材２８，２８が、容器本体１３に係止される際に、リンクアーム部材２９及びロック部材２８が、この回転板の軸孔３０ａ中心から、直線上に縦列されて、停止するように構成されている。【００８４】
また、解除回動位置では、図９中、左側に示すように、回転板３０の回転により、ロック部材２８，２８の容器本体１３への係止が解除される際に、ロック部材２８，２８が、各ガイドレール２４，２４に沿って、直線状にスライド摺動されて、容器本体１３の係止孔１８から離脱された状態で、停止するように構成されている。【００８５】
この実施例１の保持手段４２は、図３及び図７に示すように、蓋体１４の各カバー部材２５の裏面２５ａに、この裏面から突出するように形成された一対の係止突起４３と、各回転板３０の周縁部３０ｃに、離間されて形成され、各係止突起４３，４３が、係止可能となるように、それぞれ設けられた二対の係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂとを有して、主に、構成されていて、係止回動位置及び、解除回動位置の双方で、この回転板３０の回転移動を停止させるように構成されている。【００８６】
各係止突起４３は、図３に示すように、各カバー部材２５の伸長方向に沿って互いに間隔をおき、且つ、各カバー部材２５が蓋本体２０に装着された状態で、各回転板３０をその側方から挟み込むように、各カバー部材２５に形成されている。【００８７】
各係止突起４３の各カバー部材２５に沿った横断面は、図示の例では、回転板３０から離れるに従って広がるＶ字状をなしている。【００８８】
各係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂは、図７に示すように、各回転板３０の係止回動位置及び解除回動位置で、各係止突起４３に対向する位置で各回転板３０の周縁部３０ｃに形成されている。【００８９】
各係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂは、図示の例では、各回転板３０の周縁部３０ｃから各回転板３０の径方向へ突出して形成された三角形状を有する４つの三角部４５の先端を、それぞれ切り欠くことによりに形成されている。【００９０】
各回転板３０が係止回動位置及び解除回動位置に回動したとき、各カバー部材２５に形成された各係止突起４３が、回転板３０に形成された各係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂに係止することにより、回転板３０が、それぞれ係止回動位置及び解除回動位置に停止されて保持される。【００９１】
このように、回転板３０と蓋体１４との間に設けられた保持手段４２により、ロック部材２８が容器本体１３に係止される際の係止回動位置及び容器本体１３へのロック部材２８の係止が解除される際の解除回動位置に回転板３０が保持されることから、回転板３０が係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止されるので、ロック部材２８が容器本体１３に係止された状態及び容器本体１３へのロック部材２８の係止が解除された状態を安定して維持することができる。【００９２】
従って、半導体ウェハが収納された薄板搬送容器１０の搬送時、薄板搬送容器１０に振動が、たとえ与えられたとしても、回転板３０の係止凹部４４ａ，４４ａに、係止突起４３，４３が、係止されて、回動不能として、係止回動位置に保持されていることから、この振動による回転板３０の回動が防止される。従って、薄板搬送容器１０に振動が与えられることによる容器本体１３へのロック部材２８の係止の解除を防止することができる。【００９３】
更に、この実施例１では、係止回動位置では、ロック部材２８，２８の係止部３１，３１が、容器本体１３の係止孔１８，１８の周縁部に係止される際に、リンクアーム部材２９，２９及びロック部材２８，２８を、この回転板３０の回動中心から、直線上に縦列するように停止させる。【００９４】
このため、ロック部材２８，２８に外力が加わっても、リンクアーム部材２９，２９を介して、回転板３０の接続部３５，３５に、相互に打ち消すように対向して直線的に外力が伝達され、回転板３０を回転させる力が生じないので、回転板３０が、係止回動位置及び解除回動位置から容易に回動することが防止される。【００９５】
従って、ロック部材２８，２８が、容器本体１３に係止された状態及び容器本体１３へのロック部材２８，２８の係止が解除された状態を、更に、安定して維持することができる。【００９６】
これにより、例えば、半導体ウェハが、収納された薄板搬送容器１０の搬送時、容器に振動や、落下による衝撃が、たとえ加えられたとしても、回転板３０が、係止回動位置に保持されていることから、この振動による回転板３０の前記解除回動位置へ向けての回動が、確実に防止される。【００９７】
従って、薄板搬送容器１０に振動が与えられることによる容器本体１３へのロック部材２８，２８の係止の解除が防止される。【００９８】
また、回転板３０がその係止回動位置及び解除回動位置に保持されることから、ロック部材２８を容器本体１３に係止するとき及び容器本体１３へのロック部材２８の係止を解除するときに、回転板３０を回転させた際、容器本体１３へのロック部材２８の係止及びその解除が完全に行われたか否かを、ロック部材のロック時の音や操作時の抵抗力の変化により発生するクリック感で、容易に確認することができる。【００９９】
これにより、容器本体１３へのロック部材２８の係止が完全に解除されていない状態で容器本体１３から蓋体１４を誤って取り外すことが防止されるので、蓋体１４を容器本体１３から取り外す際にロック部材２８が容器本体１３に引っ掛かることによる従来のようなロック部材２８、容器本体１３及び蓋体１４の破損を防止することができる。【０１００】
また、ロック部材２８が、容器本体１３に完全に係止されていない状態で、薄板搬送容器１０を搬送することが防止されるので、搬送中に蓋体１４が容器本体１３から外れて、この容器本体１３内へ、塵埃が侵入することで、半導体ウェハが汚染されることを防止することができる。【０１０１】
回転板３０の回動中心となる軸孔３０ａを挟んで、対称となるように設けられたそれぞれ一対のリンクアーム部材２９，２９及びロック部材２８，２８が、直線上に縦列されて、しかも、係止回動位置では、係止凹部４４ａ，４４ａが、係止突起４３，４３によって係止されている位置が、ロック部材２８，２８の係止部３１，３１が、容器本体１３の係止孔１８，１８に係止されている位置間を結ぶ直線上に、配列される。【０１０２】
しかも、この実施例１では、ロック部材２８，２８は、蓋体１４の凹所２１に形成された一対のガイドレール２４，２４によって、直線的なスライド移動となるように案内されているので、接続部３２，３２部分で屈曲することなく、ロック部材２８，２８の延長線上に、リンクアーム部材２９，２９を各々直線的に縦列させることができる。【０１０３】
このため、係止突起４３，４３と、係止凹部４４ａ，４４ａとの係止解除に必要とされる回転板３０を回転させる周方向の力と、略直交する方向である半径方向に、ロック部材２８，２８からリンクアーム部材２９，２９を介して伝達される力とが、加わる。【０１０４】
この際、ロック部材２８が、係止部３１から回転板３０の軸孔３０ａ方向に向けて、移動しようとしても、リンクアーム部材２９，２９が、突っ張って移動を阻止する。【０１０５】
従って、係止突起４３，４３と、係止凹部４４ａ，４４ａとの係止が、外力により、解除されるおそれが、更に、減少する。【０１０６】
しかも、例えば、落下により、対称となるように配置されたそれぞれ一対のリンクアーム部材２９，２９及びロック部材２８，２８から、回転板３０の軸孔３０ａを挟んで、対向する方向から同時に外力が加わっても、これらの外力が打ち消す方向に作用するので、更に、係止突起４３，４３と、係止凹部４４ａ，４４ａとの係止が、解除されるおそれが減少する。【０１０７】
従って、保持手段として、蓋体１４に形成された係止突起４３，４３と、回転板３０の係止回動位置及び解除回動位置のそれぞれの回動位置で、係止突起４３，４３に対向する位置となるように、回転板３０の周面に、離間させて、４つの三角部４５の先端を、各々切り欠いて凹状に形成するだけで、係止突起４３，４３が、係止可能な係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂを、容易に構成することが出来るので、複雑なロック機構を用いる必要が無く、動作の信頼性及び耐久性を向上させることができる。【０１０８】
更に、前記したように、保持手段４２の各係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂが、各回転板３０の周縁部３０ｃに、この周縁部３０ｃから、各回転板３０の径方向へ突出して形成された三角形状をなす４つの三角部４５の先端が、それぞれ切り欠かれて形成されていることから、各係止突起４３は、各係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂに係止される際のみ各回転板３０に干渉し、各回転板３０の係止回動位置と解除回動位置との間では、各回転板３０に干渉することはない。これにより、各回転板３０の回動中に各回転板の周縁部３０ｃに各係止突起４３が、干渉することにより、各係止突起４３及び各回転板３０間に生じる摩擦力による各回転板３０の回動効率の低下を、防止することができる。【０１０９】
また、上述したように、蓋体１４及びロック部材２８間に設けられた移動手段３９の移動作用により、ロック部材２８が容器本体１３に形成された係止孔１８に挿入された状態で係止孔１８の上縁部１８ａに係止孔１８の内方から押し付けられることによって、ロック部材２８から蓋体１４に容器本体１３へ向けての押圧力が作用する。【０１１０】
このため、この実施例１のロック機構１５は、蓋体１４の外れ止め機能と、容器本体１３の開口部１２を蓋体１４で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体１３に、より密着させる機能とを兼ね備えている。【０１１１】
従って、前記回転板３０を回転させるだけで、容器本体１３の開口部１２を蓋体１４により、確実に、密封閉鎖することができる。【０１１２】
更に、上述したように、蓋本体２０の溝２０ｄ内に、蓋本体２０と容器本体１３の開口部１２との間をシールするための環状のガスケット４６が設けられていることから、蓋本体２０と容器本体１３との間をより確実にシールすることができる。【０１１３】
すなわち、環状のガスケット４６が、係止孔１８に挿入されるロック部材２８の係止部３１の上面部と、係止孔１８の内周面の上縁部１８ａとが当接することにより発生する押圧力で、上下方向に押圧され、弾性変形しながら、蓋本体２０に形成された溝２０ｄの上面及び容器本体１３の開口部１２にそれぞれ押し付けられて、蓋体１４と容器本体１３の開口部１２との間がシールされる。【０１１４】
これにより、蓋体１４と容器本体１３との間から容器本体１３内に粉塵が侵入することをより確実に防止することができる。【０１１５】
また、前記したように、回転板３０の表面３０ｂに、回転板の回転操作を行う操作者の指を挿入するための一対の指挿入口３７が形成されている。【０１１６】
従来、回転板３０を回転操作するために、工具をキー溝３０ｄに挿入し、この工具を操作者により手動で又はロボットのような機械を用いて回転させることにより、回転板３０を回転させていたが、専用の工具及び機械が用意されていない場所では、回転板３０の回転操作を行うことが困難になり、不都合が生じるおそれがあった。【０１１７】
また、回転板３０を回転操作するための専用の把手部材を回転板３０とは別に形成する必要があるため、部品点数の増大を招く。【０１１８】
これに対し、本実施例によれば、前記したように、回転板３０の表面３０ｂに一対の指挿入口３７が形成されていることから、容器本体１３へのロック部材２８の係止及びその解除を行うべく回転板３０を回動させる際、回転板３０を回動させるための専用の工具及び機械等を用いることなく、又、回転板を手動で回転させるための専用の把手部材を別途設けることによる部品点数の増大を招くことなく、回転板３０を前記操作手の指で容易に回動させることができる。【０１１９】
更に、前記したように、蓋本体２０の各凹所２１の開口縁部２１ｅに、各係止穴２２への各係止爪２６の係止を解除するための複数の解除用凹部２７が形成されており、各解除用凹部２７の内径の大きさが、操作者の指の挿入を許す大きさを有している。【０１２０】
このため、各カバー部材２５を蓋本体２０から取り外す際、各解除用凹部２７内に例えば、指を挿入し、各係止爪２６を凹所２１の内方へ向けて押し込むことにより、各係止穴２２に係止された各係止爪２６を弾性変形させ、これにより、各係止穴２２への各係止爪２６の係止を容易に解除することができる。従って、蓋体１４を洗浄するとき、蓋体１４を分解することにより、蓋体１４の構成部品を個々に洗浄することができる。【０１２１】
しかも、この実施例１では、リンク機構が、回転板３０の接続部３５，３５及びロック部材２８，２８の接続部３２，３２に、それぞれ一対のリンクアーム部材２９，２９を、係合させて軸支させるだけで構成されているので、カバー部材２５を取り外すだけで、容易に分解及び組み立てを行うことができる。【０１２２】
しかも、これらの接続部３２，３２及び３５，３５において、周囲の摺接する部分を小さな面積に設定することができるので、開閉動作時の摩擦低減箇所の極小化による粉塵発生の減少化を図ることができる。【０１２３】
また、この実施例１では、係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂを交互に係止する係止突起４３，４３が、軸孔３０ａを挟んで反対側に一対設けられていて、２箇所で、係止することにより、回転板３０を回動不能に保持するように構成されている。【０１２４】
このため、更に、係止回動位置及び解除回動位置を保持しやすく、係止回動位置では、前記ロック部材２８，２８によるロックが外れにくいと共に、何れか一方の係止突起４３が、摩耗等によって、各係止凹部４４ａ，４４ｂに係止出来なくなっても、他方の係止突起４３が、係止されて、係止回動位置及び解除回動位置を保持することができる。【０１２５】
従って、この点においても、動作信頼性を向上させることができる。  
【実施例２】
【０１２６】
図１１乃至図１３は、この発明の最良の実施の形態を実施する実施例２の薄板搬送容器の開閉構造を示す。【０１２７】
なお、実施例１と同一乃至均等な部分については、同一符号を付して説明する。【０１２８】
この実施例２の薄板搬送容器の開閉構造に用いられるロック部材１２８には、容器本体１３の各係止孔１８に挿入される各係止部１３１に、センタリング機構が設けられている。【０１２９】
このセンタリング機構は、図１２に示すように、係止部１３１の先端面１３１ａと、左右側面部１３１ｂ，１３１ｂとの間の両角部に、円弧状を有して形成されるガイド曲面１３１ｃ，１３１ｃを備えている。【０１３０】
また、係止部１３１の先端面１３１ａと、上面部１３１ｄとの間の上角部には、面取りにより構成されるテーパ面１３１ｅが形成されている。【０１３１】
このように構成された実施例２の薄板搬送容器の開閉構造では、図１２中に示すように、係止部１３１に、円弧状を有するガイド曲面１３１ｃ，１３１ｃ及びテーパ面１３１ｅが形成されているので、係止部１３１の先端面１３１ａが、容器本体１３の係止孔１８に挿入される際、これらのガイド曲面１３１ｃ，１３１ｃ及びテーパ面１３１ｅによって、係止部１３１の挿入がガイドされて、正しい係止位置に、円滑に挿入させることができる。【０１３２】
このため、係止部１３１の左右側面部１３１ｂ，１３１ｂ及び上面部１３１ｄの係止孔１８の内周縁に対する嵌め合い精度を向上させることができる。【０１３３】
したがって、図１３中矢印で示すように、これらのロック部材１２８，１２８の係止部１３１，１３１が、係止孔１８，１８へ挿入されることにより、蓋本体２０が、容器本体１３に対して、各矢印Ｆで示す方向にセンタリングされながら装着される。【０１３４】
よって、容器本体１３内部に保持される薄板としての半導体ウエハ等の保持位置を、更に、正確に設定することができる。【０１３５】
この実施例２におけるロック機構のロック部材１２８，１２８は、蓋体１４の外れ止め機能と、容器本体１３の開口部１２を、蓋体１４で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体１３に、より密着させる機能とに加えて、更に、位置決め機能を兼ね備えている。【０１３６】
他の構成及び作用効果については、前記実施例１と同一乃至均等であるので、説明を省略する。【０１３７】
以上、図面を参照して、本発明の実施の形態を詳述してきたが、具体的な構成は、この実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱しない程度の設計的変更は、本発明に含まれる。【０１３８】
即ち、上記実施例１では、各カバー部材２５に各係止突起４３が形成され、各回転板３０に各係止突起４３が係止される係止凹部４４ａ，４４ａ及び４４ｂ，４４ｂが形成された例を示したが、これに代えて、各回転板３０に各係止突起を形成し、各カバー部材２５に各係止突起が係止される係止凹部を形成することができる。【０１３９】
また、保持手段４２の各係止突起４３が、それぞれ各カバー部材２５に形成された例を示したが、これに代えて、例えば蓋本体２０の各凹所２１の周壁に形成することができる。【０１４０】
更に、カバー部材２５、各ロック部材２８、各リンクアーム部材２９及び回転板３０をそれぞれポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート及びポリエーテルエーテルケトンのような樹脂材料によって成形することができる。【０１４１】
また、各ロック部材２８、各リンクアーム部材２９及び回転板３０の摺動性を向上させるために、前記した各樹脂材料に、ポリアセタール、フッ素樹脂、シリコーン等を混ぜることができる。【０１４２】
更に、カバー部材２５、各ロック部材２８、各リンクアーム部材２９及び回転板３０の強度を高めるために、前記した各樹脂材料に、ガラス繊維や炭素繊維等を混ぜることができる。【０１４３】
上述された本発明の効果に加え、それぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材が、回転板の回動中心を挟んで、対称となるように、直線上に縦列され、しかも、係止回動位置では、保持手段の係止凹部が、係止突起によって係止されている位置を、ロック部材が、容器本体に係止されている位置間を結ぶ直線上に、配列させ、このため、係止突起と係止凹部との係止解除に必要とされる回転板を回転させる力と、略直交する方向に、ロック部材からリンクアーム部材を介して伝達される力が加わるので、更に、外力によって、係止突起と係止凹部との係止が解除されるおそれが減少する。【０１４４】
しかも、対称に設けられたそれぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材によって、回転板の回動中心を挟んで、対向する方向から外力が加えられても、これら外力は打ち消す方向に作用するので、更に、係止突起と係止凹部との係止が解除される虞が減少する。【０１４５】
従って、保持手段として、蓋体に形成された係止突起と、回転板の係止回動位置及び解除回動位置のそれぞれの回動位置で係止突起に対向する位置で回転板に形成され、係止突起が係止可能な係止凹部とで、容易に構成することが出来るので、複雑なロック機構を用いる必要が無く、動作信頼性を向上させることができる。【０１４６】
更に、上記構成によれば、蓋体に設けられたガイド手段によって、ロック部材が、回転板の回動中心から、直線上にスライド移動可能にガイドされる。【０１４７】
このため、容器本体に、ロック部材が係止される際に、直線的に、容器本体に係止されるため、この係止の確実性を向上させることができる。【０１４８】
また、上述の如く蓋体及びロック部材間に、回転板からロック部材に係止力が作用したときに、ロック部材が容器本体に向けて移動するに従ってロック部材を蓋体の上方へ移動させるための移動手段が設けられており、この移動手段の移動作用により、ロック部材が容器本体に形成された係止孔に挿入された状態で、係止孔の縁部に係止孔の内方から押し付けられる。【０１４９】
このため、ロック部材から蓋体に容器本体へ向けての押圧力が作用することから、容器本体の開口部を蓋体で閉鎖した状態で、蓋体を容器本体に、ガスケットを介してより密着させることができる。これにより、容器本体の開口部を、蓋体を用いて、より確実に密閉閉鎖することができる。【０１５０】
更に、上記構成によれば、各ロック部材の係止部及び接続部間に設けられた傾斜部が、蓋体の底面から突出して形成された傾斜部に対して、スライド係合されて、ロック部材が容器本体に形成された係止孔に挿入される力を用いて、係止孔の縁部に、該ロック部材の係止部を、係止孔の内方から押し付けるようにしている。【０１５１】
このため、別途、容器本体の開口部を蓋体で閉鎖するための圧着機構を必要とせずに、各ロック部材を、係止孔に挿入させるように、回転板を回転させるだけで、ロック部材から蓋体に対して、容器本体へ向けての押圧力を作用させることが出来、確実に密閉閉鎖させることができる。【０１５２】
また、係止部に、円弧状を呈するガイド曲面及びテーパ面が形成されているので、係止部の先端面が、容器本体の係止孔に挿入される際、これらのガイド曲面及びテーパ面によって、係止部の挿入がガイドされて、正しい係止位置に、円滑に挿入させることができる。【０１５３】
このため、係止部の左，右側面部及び上面部の係止孔の内周縁に対する嵌め合い精度を向上させることが出来る。【０１５４】
したがって、これらの各ロック部材の各係止部が、各係止孔へ挿入されることにより、蓋体が、容器本体に対して、センタリングされながら装着される。【０１５５】
よって、容器本体内部に保持される薄板としての半導体ウエハ等の保持位置を、更に、正確なものとすることが出来る。【０１５６】
また、環状のガスケットが、係止孔に挿入されるロック部材の係止部の上面部と、係止孔の内周面の上縁部とが当接することにより発生する押圧力で、上下方向に押圧されて、弾性変形しながら、各部材に弾接して、蓋体と容器本体の開口部との間がシールされる。【０１５７】
これにより、蓋体と容器本体との間から容器本体内に粉塵が侵入することをより確実に防止することができる。【０１５８】
更に、上記構成によれば、回転板に、この回転板の回転操作を行う操作者の指を挿入するための指挿入口が形成されていることから、容器本体へのロック部材の係止及びその解除を行うべく回転板を回動させる際、回転板を回動させるための専用の工具及び機械（ロボット）等を用いることなく、回転板を手動で容易に回動させることができる。【０１５９】
これにより、回転板を手動で回転させるための例えば把手部材を別途設けることによる部品点数の増大を抑制することができる。【０１６０】
また、上記構成によれば、蓋本体の凹所内に収容されたロック機構を覆うカバー部材には、凹所の周面に形成された係止穴に凹所の内方から係止される弾性変形可能な係止爪が形成されており、蓋本体の凹所の開口縁部には、係止穴への係止爪の係止を解除するための解除用凹部が形成されていることから、解除用凹部内に例えば指を挿入し、係止爪を凹所の内方へ向けて押し込むことにより、係止穴に係止された係止爪を弾性変形させることによって係止穴への係止爪の係止を容易に解除することができる。【０１６１】
従って、蓋本体への開閉構造部材の組立及び分解を容易に行うことができるので、蓋体を洗浄するときに該蓋体を分解することにより、蓋体の構成部品を個々に洗浄することができる。
【産業上の利用可能性】
【０１６２】
上記実施例では、本発明に係る薄板搬送容器の開閉構造を半導体ウエハ等の薄板搬送容器に適用したが、この開閉構造を薄板搬送容器に限らず、物を収容する種々の容器に適用することができる。  
【図１】
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【図２】
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【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図７】
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【図８Ａ】
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【図８Ｂ】
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【図８Ｃ】
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【図８Ｄ】
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【図８Ｅ】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【手続補正書】
【提出日】平成18年10月20日(2006.10.20)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【書類名】特許請求の範囲【請求項１】  開口部を有する容器本体と、該容器本体の前記開口部を閉鎖するように前記容器本体に取り外し可能に装着される蓋体と、該蓋体に設けられ前記容器本体の前記開口部が閉鎖された状態で前記蓋体を前記容器本体に係止するためのロック機構とを備え、  前記ロック機構は、前記蓋体に回動可能に設けられた回転板と前記容器本体に解除可能に係止されるロック部材と前記回転板の回転力を前記容器本体への係止力及びその解除のための解除力として前記ロック部材に作用させるように前記回転板と前記ロック部材とを連結するリンクアーム部材とを有するリンク機構と、該回転板の回転により前記ロック部材が前記容器本体に係止される係止回動位置と、前記容器本体への前記ロック部材の係止が解除される解除回動位置との双方において、前記回転板の回転を停止させて保持するための保持手段と、を含んでいる薄板搬送容器の開閉構造。【請求項２】  前記ロック部材が前記容器本体に係止される前記係止回動位置において、前記リンクアーム部材及び前記ロック部材が、該回転板の回動中心から直線上に縦列するように停止される請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項３】  前記保持手段は、略円形を有する回転板の周縁部に、少なくとも一対の間隔をあけて配置された係止凹部と、該係止凹部に係止可能となるように、対向する蓋体の一部から突設された係止突起とを有し、それぞれ一対のリンクアーム部材及びロック部材が、前記回転板の回動中心を挟んで、対称となるように設けられると共に、前記係止回動位置において、前記回転板の回転を保持している係止凹部の位置が、前記一対のロック部材を前記容器本体に係止する位置を結ぶ直線上に配置されている請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項４】  前記蓋体には、前記ロック部材を、前記回転板の回動中心から、直線上にスライド移動可能にガイドするガイド手段が設けられている請求項１記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項５】  前記ロック部材は、前記容器本体に係止される係止位置と該容器本体への係止が解除される解除位置との間で移動可能に設けられており、前記容器本体には、前記ロック部材が挿入されて係止される係止孔が形成され、前記蓋体及び前記ロック部材間には、前記ロック部材が前記係止孔に挿入された状態で前記ロック部材を前記係止孔の縁部に前記係止孔の内方から押し付けることにより前記ロック部材から前記蓋体に前記容器本体へ向けての押圧力を作用させるために、前記ロック部材が前記容器本体に向けて移動するに従って、前記ロック部材を前記蓋体の上方へ移動させるための移動手段が設けられている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項６】  前記移動手段は、前記各ロック部材の係止部及び接続部間に設けられて、各ロック部材から突出して形成された傾斜部と、前記蓋体の底面から突出して形成され該各ロック部材の各傾斜部に係合可能な傾斜部とによって構成されている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項７】  更にセンタリング機構を備え、該センタリング機構は、前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の先端面と、左右側面部との間の両角部に形成され且つ円弧状を有するガイド曲面と、該��止部の先端面と、上面部との間の上角部に形成されたテーパ面とによって構成されている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項８】  前記係止孔に挿入される前記ロック部材の係止部の上面部と、前記係止孔の内周面の上縁部との当接により、上下方向に押圧されて、弾性変形し、前記蓋体と容器本体の開口部との間をシールするための環状のガスケットを更に備えている請求項５に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項９】  前記回転板には、該回転板の回転操作を行う者の指を挿入するための指挿入口が形成されている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【請求項１０】  前記蓋体は、前記ロック機構が収容される凹所が形成された蓋本体と、前記凹所内に収容された前記ロック機構を覆うカバー部材とを備え、該カバー部材には、前記凹所の周面に形成された係止穴に前記凹所の内方から係止される弾性変形可能な係止爪が形成され、前記蓋本体には、前記凹所の開口縁部に、前記解除用凹部の内方及び前記蓋本体の上方へ向けて開放し、前記係止穴への前記係止爪の係止を解除するための解除用凹部が形成されている請求項１に記載の薄板搬送容器の開閉構造。【国際調査報告】
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