【手続補正書】
【提出日】平成31年4月26日(2019.4.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体に設けられたマークの位置を検出する位置検出装置であって、
光源からの光で前記物体を照明する照明部と、
前記物体を照明する前記光源からの光の光量を調整する調整部と、
前記照明部により照明された前記物体からの光を受光する受光素子を有し、前記受光素子が受光した光に対応する信号を出力する受光部と、
前記調整部による前記光量調整を制御し、前記受光部が出力する信号に基づいて前記マークの位置を検出する制御部を備え、
前記制御部は、前記受光部が出力する信号のうち第１の信号の後に出力される第２の信号が前記制御部に転送されるのと並行して、前記第１の信号に基づいて前記物体からの光の光量を求め、該求めた前記物体からの光の光量に基づいて、前記調整部による前記光量調整を行うかどうかを判定すること
を特徴とする位置検出装置。
【請求項２】
物体に設けられたマークの位置を検出する位置検出装置であって、
光源からの光で前記物体を照明する照明部と、
前記物体を照明する前記光源からの光の光量を調整する調整部と、
前記照明部により照明された前記物体からの光を受光する受光素子を有し、前記受光素子が受光した光に対応する信号を出力する受光部と、
前記調整部による前記光量調整を制御し、前記受光部が出力する信号に基づいて前記マークの位置を検出する制御部を備え、
前記制御部は、前記受光部が出力する信号のうち第１の信号の後に出力される第２の信号が前記制御部に転送されるのと並行して、前記第１の信号に基づいて前記物体からの光の光量を求め、該求めた前記物体からの光の光量に基づいて、前記第１の信号と前記第２の信号を用いて前記マークの位置を検出するかどうか判定することを特徴とする位置検出装置。
【請求項３】
前記制御部は、
前記物体からの光の光量が適切でない場合に、前記調整部による前記光量調整を行うと判定することを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出装置。
【請求項４】
前記受光素子は信号蓄積型センサであり、
前記制御部は、
前記物体からの光の光量が適切でない場合に、前記受光素子による信号の蓄積を停止することを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出装置。
【請求項５】
前記制御部は、
前記調整部によって前記光量が調整された後に前記受光素子が受光した光に対応する信号に基づいて、前記マークの位置を検出することを特徴とする請求項３に記載の位置検出装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記物体からの光の光量を算出する速度と、前記受光部が受光した光に対応する信号を前記制御部に転送する速度との関係に基づいて、前記物体からの光の光量の算出を開始することを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項に記載の位置検出装置。
【請求項７】
前記受光素子で前記物体からの光を複数回受光し、
前記制御部で前記受光素子が前記物体からの光を複数回受光した光に対応する信号に基づいて前記マークの位置を検出する際に、
前記制御部は、前記受光素子で前記物体からの光を受光する期間と前記受光部が出力した信号が前記制御部に転送されるのと並行して、すでに前記制御部に転送された前記受光素子が蓄積した信号に基づいて前記物体からの光の光量を求めることを特徴とする請求項１の位置検出装置。
【請求項８】
物体に設けられたマークの位置を検出する位置検出方法であって、
前記物体に光を照明し前記物体からの光を受光し、前記受光した光に対応する信号のうち第１の信号の後に出力される第２の信号を出力する工程と、
前記出力する工程によって出力された前記第２の信号が制御部に転送されるのと並行して、前記第１の信号に基づいて前記物体からの光の光量を求める工程と、
前記物体からの光の光量を求める工程によって求めた光の光量に基づいて、前記物体を照明する光の光量の調整を行うかどうかを判定する工程と、
を備えることを特徴とする位置検出方法。
【請求項９】
物体に設けられたマークの位置を検出する位置検出方法であって、
前記物体に光を照射し前記物体からの光を受光し、前記受光した光に対応する信号のうち第１の信号の後に出力される第２の信号を出力する工程と、
前記出力する工程によって出力された前記第２の信号が制御部に転送されるのと並行して、前記第１の信号に基づいて前記物体からの光の光量を求める工程と、
前記物体からの光の光量を求める工程によって求めた光の光量に基づいて、前記第１の信号と前記第２の信号を用いて前記マークの位置を検出するかどうかを判定する工程と、
を備えることを特徴とする位置検出方法。
【請求項１０】
原板のパターンを基板上に露光する露光装置であって、
請求項１乃至請求項７のいずれか１項に記載の位置検出装置を備え、
前記位置検出装置を使用して基板の位置を検出し、前記基板の位置合わせを行うことを特徴とする露光装置。
【請求項１１】
請求項１０に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を処理する工程と、を有する、
ことを特徴とする物品の製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
本発明の位置検出装置は、物体に設けられたマークの位置を検出する位置検出装置であって、光源からの光で前記物体を照明する照明部と、前記物体を照明する前記光源からの光の光量を調整する調整部と、前記照明部により照明された前記物体からの光を受光する受光素子を有し、前記受光素子が受光した光に対応する信号を出力する受光部と、前記調整部による前記光量調整を制御し、前記受光部が出力する信号に基づいて前記マークの位置を検出する制御部を備え、前記制御部は、前記受光部が出力する信号のうち第１の信号の後に出力される第２の信号が前記制御部に転送されるのと並行して、前記第１の信号に基づいて前記物体からの光量を求め、該求めた前記物体からの光の光量に基づいて、前記調整部による前記光量調整を行うかどうかを判定することを特徴とする位置検出装置。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２８】
図４に示した光量調整方法とマーク位置計測方法は、１回目の光量判定では光量調整が必要と判定され、２回目の光量判定では光量調整が不要と判定された場合について示している。光量の算出と光量の判定は、最適な光量値になるまで繰り返し光量調整を行う。ロット内の複数のウエハに対してマークの検出を行う場合、１枚目のウエハで最適な光量に調整できることが多い。そのため、２枚目以降のウエハに対して光量の調整を行わずに、第１実施形態に記載の方法でマークの検出を行うことができ、検出結果に基づいて原板と基板を位置合わせすることができる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４７】
Ｓ１０５で光量調整が必要と判定された場合（ＹＥＳの場合）は、Ｓ１０６で光量調整を行い、再度Ｓ１０３〜Ｓ１０５の処理を行う。Ｓ１０５で光量調整が不要と判定された場合（ＮＯの場合）は、Ｓ１０７でウエハ内の複数のマークの全てを位置計測したかどうかを判定する。Ｓ１０７で位置計測するマークが存在すると判定された場合（ＮＯの場合）は、Ｓ１０８で、ＸＹステージＳＴＧの移動とマークの位置計測を行う。Ｓ１０８は、Ｓ１０８ａで次のマークの位置へＸＹステージＳＴＧを移動するのと並行して、Ｓ１０８ｂでアライメント処理装置ＡＰがメモリＭＥＭのマーク像を用いてマーク位置を算出する。Ｓ１０７で全てのマークの位置計測が完了したと判定された場合（ＹＥＳの場合）は、Ｓ１０９で最後のマークの位置を算出して、位置計測を終了する。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図１】
2017044815.tif 000001
【手続補正６】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図３】
2017044815.tif 000002