(57)【要約】  搬送効率や収納効率が高く、塵埃の影響を防止するとともに、保管中のウエハーから発生するガスによっても影響を受けることのないウエハー用保管庫及びその保管制御方法を提供すること。  ウエハー用保管庫は、内部にウエハーを収納する保管用カセット１１と、保管用カセット１１を複数個配置する収納棚１２Ａ、１２Ｂと、収納棚１２Ａ、１２Ｂに対向して配置されるウエハー搬送部２０とを保管庫本体１０内に備え、搬送用カセット１５、１６を保管庫本体１０に搬入搬出する入出庫１７を有し、保管庫本体１０内には不活性ガスが供給され、ウエハー搬送部２０では、保管庫本体１０内に搬入された搬送用カセット１５、１６から取り出したウエハーを保管用カセット１１に収納し、保管用カセット１１から取り出したウエハーを搬送用カセット１５、１６に収納するものであって、保管用カセット１１には密閉機能を確保できる扉を有し、ウエハーの保管用カセット１１内への搬入時及び保管用カセット１１外への搬出時以外には、扉を閉塞することを特徴とする。
2007114293.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
内部にウエハーを収納する保管用カセットと、前記保管用カセットを複数個配置する収納棚と、前記収納棚に対向して配置されるウエハー搬送部とを保管庫本体内に備え、搬送用カセットを前記保管庫本体に搬入搬出する入出庫を有し、前記保管庫本体内には不活性ガスが供給され、前記ウエハー搬送部では、前記保管庫本体内に搬入された前記搬送用カセットから取り出した前記ウエハーを前記保管用カセットに収納し、前記保管用カセットから取り出した前記ウエハーを前記搬送用カセットに収納するウエハー用保管庫であって、
前記保管用カセットには密閉機能を確保できる扉を有し、
前記ウエハーの前記保管用カセット内への搬入時及び前記保管用カセット外への搬出時以外には、前記扉を閉塞することを特徴とするウエハー用保管庫。
【請求項２】
前記入出庫に搬入される前記搬送用カセットに収納されているウエハー情報を入力する入力部と、前記入力部で入力された前記ウエハー情報を記憶するウエハー情報記憶部と、前記保管用カセットに関して少なくともアドレスと空き状況を記憶する保管用カセット情報記憶部と、前記搬送用カセット内の前記ウエハーを収納する前記保管用カセットを決定して前記ウエハー搬送部を制御する制御部と、前記制御部で決定した前記ウエハー搬送部での動作指示情報を記憶する制御情報記憶部と、前記制御情報記憶部から読み出された前記動作指示情報を前記ウエハー搬送部に出力する出力部とを備え、前記制御部では、前記入力部で入力された前記ウエハー情報と前記保管用カセット情報記憶部に記憶された情報とから、前記搬送用カセット内の前記ウエハーを収納する前記保管用カセットを決定することを特徴とする請求項１に記載のウエハー用保管庫。
【請求項３】
前記ウエハー搬送部には、前記保管用カセットの前記扉を開閉する扉オープナーと、前記ウエハーを移動するロボットハンドとを有することを特徴とする請求項１に記載のウエハー用保管庫。
【請求項４】
前記ロボットハンドの上面には複数の気体吹出口を有し、前記ウエハー搬送部に、前記気体吹出口に気体を供給する気体供給装置を設けたことを特徴とする請求項３に記載のウエハー用保管庫。
【請求項５】
前記気体供給装置として気体ボンベを用い、前記ウエハー搬送部には前記気体ボンベに気体を供給するエアーソケットを設け、前記ウエハー搬送部の停止時に前記エアーソケットから気体を供給することを特徴とする請求項４に記載のウエハー用保管庫。
【請求項６】
前記収納棚を複数列設け、前記エアーソケットと接続されるエアープラグを、それぞれの列の前記収納棚に対応させて複数個設けたことを特徴とする請求項５に記載のウエハー用保管庫。
【請求項７】
請求項２に記載のウエハー用保管庫の保管制御方法であって、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される前記搬送用カセットに収納された前記ウエハー情報から、保管する前記保管用カセットを前記制御部にて決定する工程と、前記搬送用カセットの扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記搬送用カセット内の前記ウエハーを取り出す工程と、前記搬送用カセットの前記扉を閉塞するとともに前記保管用カセットの前記扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記保管用カセット内に前記ウエハーを収納する工程と、前記保管用カセットの前記扉を閉塞する工程と、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内から搬出する工程とを有することを特徴とするウエハー用保管庫の保管制御方法。
【請求項８】
請求項２に記載のウエハー用保管庫の保管制御方法であって、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される前記搬送用カセットに収納すべき前記ウエハー情報から、搬出する前記ウエハーを保管している前記保管用カセットを前記制御部にて決定する工程と、前記保管用カセットの前記扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記保管用カセット内の前記ウエハーを取り出す工程と、前記保管用カセットの前記扉を閉塞するとともに前記搬送用カセットの扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記搬送用カセット内に前記ウエハーを収納する工程と、前記搬送用カセットの前記扉を閉塞する工程と、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内から搬出する工程とを有することを特徴とするウエハー用保管庫の保管制御方法。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウエハー、液晶ガラス基板、磁気ディスクなどの精密基板を、特に製造段階で一時的に保管するためのウエハー用保管庫及びその保管制御方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
クリーンルーム内の保管設備において、搬入出装置の荷出入れ機構を昇降させる部分で発生する塵埃が収納棚に移行することを防止するために、収納棚の前面を開放し後面側にフィルターを配設して、このフィルターを通じて各区画収納空間内にクリーンエアーを供給することが提案されている（特許文献１）。
また、ウエハー用保管庫内に、ロボットハンドを有するウエハー搬送部を備え、ロボットハンドからの気体の吹き出しによってウエハーを非接触で保持するものがある。この種のウエハー搬送部を備えている場合には、吹き出す気体を供給するためエアチューブをウエハー用保管庫内に配設する必要がある（特許文献２）。
【特許文献１】特公平１−４１５６１号公報
【特許文献２】特許第２５８４１４４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００３】
しかし、特に半導体ウエハーなどでは、その製造工程の段階や種類によってウエハー自体から異なるガスが発生する。
このようなガスは、保管中の他のウエハーに影響を与えてしまうこともある。
一方、現在搬送用カセットをそのまま収納するタイプがある。この場合には、搬送用カセット自体に、ウエハーから発生するガスを除くために、パージ機能を持っている。
しかしこのタイプの収納では、搬送用カセットをそのまま収納するために、一つの搬送用カセットに１枚のウエハーしか収納していない場合もあるため、搬送効率及び収納効率が悪くなるという問題を有している。
また、エアチューブをウエハー用保管庫内に配設するものでは、エアチューブを固定できないために粉塵が発生し、発生した粉塵がウエハー搬送部の移動によって巻き上げられてウエハーを汚染してしまうという問題を有している。【０００４】
そこで本発明は、搬送効率や収納効率が高く、塵埃の影響を防止するとともに、保管中のウエハーから発生するガスによっても影響を受けることのないウエハー用保管庫及びその保管制御方法を提供することを目的とする。
また本発明は、ウエハー搬送部の移動に伴う粉塵の影響を受けることのないウエハー用保管庫及びその保管制御方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
請求項１記載の本発明のウエハー用保管庫は、内部にウエハーを収納する保管用カセットと、前記保管用カセットを複数個配置する収納棚と、前記収納棚に対向して配置されるウエハー搬送部とを保管庫本体内に備え、搬送用カセットを前記保管庫本体に搬入搬出する入出庫を有し、前記保管庫本体内には不活性ガスが供給され、前記ウエハー搬送部では、前記保管庫本体内に搬入された前記搬送用カセットから取り出した前記ウエハーを前記保管用カセットに収納し、前記保管用カセットから取り出した前記ウエハーを前記搬送用カセットに収納するウエハー用保管庫であって、前記保管用カセットには密閉機能を確保できる扉を有し、前記ウエハーの前記保管用カセット内への搬入時及び前記保管用カセット外への搬出時以外には、前記扉を閉塞することを特徴とする。
請求項２記載の本発明は、請求項１に記載のウエハー用保管庫において、前記入出庫に搬入される前記搬送用カセットに収納されているウエハー情報を入力する入力部と、前記入力部で入力された前記ウエハー情報を記憶するウエハー情報記憶部と、前記保管用カセットに関して少なくともアドレスと空き状況を記憶する保管用カセット情報記憶部と、前記搬送用カセット内の前記ウエハーを収納する前記保管用カセットを決定して前記ウエハー搬送部を制御する制御部と、前記制御部で決定した前記ウエハー搬送部での動作指示情報を記憶する制御情報記憶部と、前記制御情報記憶部から読み出された前記動作指示情報を前記ウエハー搬送部に出力する出力部とを備え、前記制御部では、前記入力部で入力された前記ウエハー情報と前記保管用カセット情報記憶部に記憶された情報とから、前記搬送用カセット内の前記ウエハーを収納する前記保管用カセットを決定することを特徴とする。
請求項３記載の本発明は、請求項１に記載のウエハー用保管庫において、前記ウエハー搬送部には、前記保管用カセットの前記扉を開閉する扉オープナーと、前記ウエハーを移動するロボットハンドとを有することを特徴とする。
請求項４記載の本発明は、請求項３に記載のウエハー用保管庫において、前記ロボットハンドの上面には複数の気体吹出口を有し、前記ウエハー搬送部に、前記気体吹出口に気体を供給する気体供給装置を設けたことを特徴とする。
請求項５記載の本発明は、請求項４に記載のウエハー用保管庫において、前記気体供給装置として気体ボンベを用い、前記ウエハー搬送部には前記気体ボンベに気体を供給するエアーソケットを設け、前記ウエハー搬送部の停止時に前記エアーソケットから気体を供給することを特徴とする。
請求項６記載の本発明は、請求項５に記載のウエハー用保管庫において、前記収納棚を複数列設け、前記エアーソケットと接続されるエアープラグを、それぞれの列の前記収納棚に対応させて複数個設けたことを特徴とする。
請求項７記載の本発明のウエハー用保管庫の保管制御方法は、請求項２に記載のウエハー用保管庫の保管制御方法であって、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される前記搬送用カセットに収納された前記ウエハー情報から、保管する前記保管用カセットを前記制御部にて決定する工程と、前記搬送用カセットの扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記搬送用カセット内の前記ウエハーを取り出す工程と、前記搬送用カセットの前記扉を閉塞するとともに前記保管用カセットの前記扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記保管用カセット内に前記ウエハーを収納する工程と、前記保管用カセットの前記扉を閉塞する工程と、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内から搬出する工程とを有することを特徴とする。
請求項８記載の本発明のウエハー用保管庫の保管制御方法は、請求項２に記載のウエハー用保管庫の保管制御方法であって、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される前記搬送用カセットに収納すべき前記ウエハー情報から、搬出する前記ウエハーを保管している前記保管用カセットを前記制御部にて決定する工程と、前記保管用カセットの前記扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記保管用カセット内の前記ウエハーを取り出す工程と、前記保管用カセットの前記扉を閉塞するとともに前記搬送用カセットの扉を開放し、前記ウエハー搬送部にて前記搬送用カセット内に前記ウエハーを収納する工程と、前記搬送用カセットの前記扉を閉塞する工程と、前記搬送用カセットを前記保管庫本体内から搬出する工程とを有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００６】
本発明によれば、保管用カセット毎にウエハーを隔離することができ、ウエハーから発生するガスによって他のウエハーに影響を与えることを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
【図１】本発明の一実施例によるウエハー用保管庫の概念平面図
【図２】同ウエハー用保管庫の概念斜視図
【図３】本発明の一実施例によるウエハー搬送部のロボットハンドを示す一部破断平面図
【図４】同ウエハー搬送部のロボットハンドを示す側断面図
【図５】同ウエハー搬送部の扉オープナーを示す一部断面側面図
【図６】同ウエハー搬送部のレール側の構成を示す要部断面図
【図７】本実施例による保管用カセットの斜視図
【図８】同保管用カセットの扉を開いた状態を示す斜視図
【図９】他の実施例による保管用カセットの概念斜視図
【図１０】更に他の実施例による保管用カセットの概念斜視図
【符号の説明】
【０００８】
１０    保管庫本体
１１    保管用カセット
１２Ａ  収納棚
１２Ｂ  収納棚
１５    搬送用カセット
１６    搬送用カセット
２０    ウエハー搬送部
２１    ロボットハンド
２１Ａ  ハンド部
２１Ｈ  気体吹出口
２１Ｋ  気体供給装置（気体ボンベ）
２３    エアーソケット
３１    入力部
３２    ウエハー情報記憶部
３３    保管用カセット情報記憶部
３４    制御部
３５    制御情報記憶部
３６    出力部
【発明を実施するための最良の形態】
【０００９】
本発明の第１の実施の形態によるウエハー用保管庫は、保管用カセットには密閉機能を確保できる扉を有し、ウエハーの保管用カセット内への搬入時及び保管用カセット外への搬出時以外には、扉を閉塞するものである。本実施の形態によれば、不活性ガスが供給される保管庫本体内に、密閉機能を有する保管用カセットを配置することで、保管用カセット毎にウエハーを隔離することができ、ウエハーから発生するガスによって他のウエハーに影響を与えることを防止することができる。
本発明の第２の実施の形態は、第１の実施の形態によるウエハー用保管庫において、入出庫に搬入される搬送用カセットに収納されているウエハー情報を入力する入力部と、入力部で入力されたウエハー情報を記憶するウエハー情報記憶部と、保管用カセットに関して少なくともアドレスと空き状況を記憶する保管用カセット情報記憶部と、搬送用カセット内のウエハーを収納する保管用カセットを決定してウエハー搬送部を制御する制御部と、制御部で決定したウエハー搬送部での動作指示情報を記憶する制御情報記憶部と、制御情報記憶部から読み出された動作指示情報をウエハー搬送部に出力する出力部とを備え、制御部では、入力部で入力されたウエハー情報と保管用カセット情報記憶部に記憶された情報とから、搬送用カセット内のウエハーを収納する保管用カセットを決定するものである。本実施の形態によれば、ウエハーの種類や製造工程の段階に応じて、収納する保管用カセットを選択することができる。
本発明の第３の実施の形態は、第１の実施の形態によるウエハー用保管庫において、ウエハー搬送部には、保管用カセットの扉を開閉する扉オープナーと、ウエハーを移動するロボットハンドとを有するものである。本実施の形態によれば、ロボットハンドとともに扉オープナーをウエハー搬送部に設けることで、保管用カセットの扉の開放時間を短くすることができる。
本発明の第４の実施の形態は、第３の実施の形態によるウエハー用保管庫において、ロボットハンドの上面には複数の気体吹出口を有し、ウエハー搬送部に、気体吹出口に気体を供給する気体供給装置を設けたものである。本実施の形態によれば、気体浮上によってウエハーをロボットハンドに接触させることなく搬送できるため、ウエハーの汚染を防止することができ、ウエハー搬送部に設けた気体供給装置から気体吹出口に気体を供給するために、気体を供給するエアホースを引き回すことなくウエハー搬送部に気体を供給できるため、ウエハー搬送部が移動する場合にエアホースによる発塵の巻き上げを防止でき、ウエハーが粉塵により汚染されることがない。
本発明の第５の実施の形態は、第４の実施の形態によるウエハー用保管庫において、前記気体供給装置として気体ボンベを用い、ウエハー搬送部には気体ボンベに気体を供給するエアーソケットを設け、前記ウエハー搬送部の停止時に前記エアーソケットから気体を供給するものである。本実施の形態によれば、気体ボンベの取り替え作業を行うことなく、気体ボンベに対して気体の供給を行うことができる。
本発明の第６の実施の形態は、第５の実施の形態によるウエハー用保管庫において、収納棚を複数列設け、エアーソケットと接続されるエアープラグを、それぞれの列の収納棚に対応させて複数個設けたものである。本実施の形態によれば、ウエハー搬送部の収納棚の列方向への動作停止時、すなわち、収納棚へのウエハーの保管時又は収納棚からのウエハーの取り出し時に、気体ボンベに気体の供給を行うことができるので、ウエハー搬送部の収納棚の列方向への移動時に必要な気体を気体ボンベに保有していればよいため、気体ボンベの容量を小さくすることができる。また、複数の位置にて気体を供給できるために、搬送中に気体供給が停止してしまうおそれもなく確実な動作を行うことができる。
本発明の第７の実施の形態は、第２の実施の形態によるウエハー用保管庫の保管制御方法であって、搬送用カセットを保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される搬送用カセットに収納されたウエハー情報から、保管する保管用カセットを制御部にて決定する工程と、搬送用カセットの扉を開放し、ウエハー搬送部にて搬送用カセット内のウエハーを取り出す工程と、搬送用カセットの扉を閉塞するとともに保管用カセットの扉を開放し、ウエハー搬送部にて保管用カセット内にウエハーを収納する工程と、保管用カセットの扉を閉塞する工程と、搬送用カセットを保管庫本体内から搬出する工程とを有するものである。本実施の形態によれば、保管用カセットに収納する段階での塵埃やウエハーからの発生ガスの影響を少なくすることができる。
本発明の第８の実施の形態は、第２の実施の形態によるウエハー用保管庫の保管制御方法であって、搬送用カセットを保管庫本体内に搬入する工程と、搬入される搬送用カセットに収納すべきウエハー情報から、搬出するウエハーを保管している保管用カセットを制御部にて決定する工程と、保管用カセットの扉を開放し、ウエハー搬送部にて保管用カセット内のウエハーを取り出す工程と、保管用カセットの扉を閉塞するとともに搬送用カセットの扉を開放し、ウエハー搬送部にて搬送用カセット内にウエハーを収納する工程と、搬送用カセットの扉を閉塞する工程と、搬送用カセットを保管庫本体内から搬出する工程とを有するものである。本実施の形態によれば、保管用カセットから搬出する段階での塵埃やウエハーからの発生ガスの影響を少なくすることができる。
【実施例１】
【００１０】
以下、本発明の実施例について、図面とともに詳細に説明する。
図１は本発明の一実施例によるウエハー用保管庫の概念平面図、図２は同ウエハー用保管庫の概念斜視図である。
本実施例によるウエハー用保管庫は、保管庫本体１０内に、内部にウエハーを収納する保管用カセット１１と、保管用カセット１１を複数個配置する収納棚１２Ａ、１２Ｂと、収納棚１２Ａ、１２Ｂに対向して配置される移動部材１４と、この移動部材１４に設けたウエハー搬送部２０とを備えている。それぞれ複数列設けられた収納棚１２Ａ、１２Ｂの間には、移動部材１４の移動を可能とするレール１３を配設している。また、ウエハー搬送部２０は、移動部材１４に設けた支柱に沿って摺動する。従って、ウエハー搬送部２０は、移動部材１４とともにレール１３に沿って移動を行えるとともに、移動部材１４の支柱に沿って摺動することで二次元上の移動を行うことができる。
保管庫本体１０内には不活性ガスが供給され、保管庫本体１０外とは遮断された密閉状態が確保されている。
また、保管庫本体１０は、搬送用カセット１５、１６を保管庫本体１０に搬入搬出する入出庫１７を有している。例えば搬送用カセット１５には、保管すべきウエハーが収納されており、入出庫１７内に搬入された後に、ウエハー搬送部２０によってウエハーが取り出され、このウエハーは保管用カセット１１に収納される。搬送用カセット１５は、保管用カセット１１に移動すべきウエハーを全て取り出した後に入出庫１７外へ搬出される。また、空の搬送用カセット１６は、入出庫１７内に搬入された後に、ウエハー搬送部２０によって保管用カセット１１から取り出されたウエハーを収納する。搬送用カセット１６は、保管用カセット１１からの移動すべきウエハーを全て収納した後に入出庫１７外へ搬出される。
図示はしないが、保管用カセット１１、搬送用カセット１５、１６には、密閉機能を確保できる扉を備えている。また、保管用カセット１１、搬送用カセット１５、１６は、枚葉で複数枚のウエハーを収納する構成となっている。【００１１】
一方、本実施例によるウエハー用保管庫は、入出庫１７に搬入される搬送用カセット１５に収納されているウエハー情報、又は搬送用カセット１６に収納するためのウエハー情報を入力する入力部３１と、この入力部３１で入力されたウエハー情報を記憶するウエハー情報記憶部３２と、保管用カセット１１に関して少なくともアドレスと空き状況を記憶する保管用カセット情報記憶部３３と、搬送用カセット１５内のウエハーを収納する保管用カセット１１を決定し、又は搬送用カセット１６内に収納するウエハーを保管している保管用カセット１１を決定してウエハー搬送部２０を制御する制御部３４と、制御部３４で決定したウエハー搬送部２０での動作指示情報を記憶する制御情報記憶部３５と、制御情報記憶部３５から読み出された動作指示情報をウエハー搬送部２０に出力する出力部３６とを備えている。そして、制御部３４では、入力部３１で入力されたウエハー情報と保管用カセット情報記憶部３３に記憶された情報とから、搬送用カセット１５内のウエハーを収納する保管用カセット１１を決定する。また、制御部３４では、入力部３１で入力されたウエハー情報と保管用カセット情報記憶部３３に記憶された情報とから、搬送用カセット１６内に収納するウエハーを有する保管用カセット１１を決定する。
なお、二本のレール１３の間には、複数のエアープラグ１９が設けられている。これらのエアープラグ１９は、移動部材１４の停止位置毎に設けている。すなわち、これらのエアープラグ１９は、それぞれの列の収納棚１２に対応させて複数個設けている。【００１２】
次に、本実施例に適したウエハー搬送部について説明する。
図３は本発明の一実施例によるウエハー搬送部のロボットハンドを示す一部破断平面図、図４は同ウエハー搬送部のロボットハンドを示す側断面図、図５は同ウエハー搬送部の扉オープナーを示す一部断面側面図、図６は同ウエハー搬送部のレール側の構成を示す要部断面図である。
図に示すように、本実施例によるウエハー搬送部２０は、ウエハーを移動するロボットハンド２１と、保管用カセット１１や搬送用カセット１５、１６の扉を開閉する扉オープナー２２とを備えている。
ロボットハンド２１は、ウエハーを載置するハンド部２１Ａと、３つのアーム２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄとを備えている。アーム２１Ｂは、一端側にハンド部２１Ａを保持するとともに、他端側ではアーム２１Ｃと回動軸２１Ｅで連結されている。アーム２１Ｃは一端側に回動軸２１Ｅを、他端側に回動軸２１Ｆを備えており、回動軸２１Ｆによってアーム２１Ｄと連結されている。またアーム２１Ｄは一端側に回動軸２１Ｆを、他端側に回動軸２１Ｇを備えており、回動軸２１Ｇによってウエハー搬送部２０の本体と連結されている。それぞれのアーム２１Ｂ、２１Ｃ、２１Ｄは、回動軸２１Ｅ、２１Ｆ、２１Ｇによって回動することで、ハンド部２１Ａの方向と、ウエハー搬送部２０の本体からの距離を自在に変更することができるように構成されている。図３に示すように、ハンド部２１Ａの上面（ウエハー載置面）には、複数の気体吹出口２１Ｈと、複数のローラー２１Ｌとを備えている。この気体吹出口２１Ｈから気体を吹き出すことで、ウエハーをハンド部２１Ａの上面に接触させることなく搬送することができる。なお、ウエハーは、ローラー２１Ｌによって位置決めされる。気体吹出口２１Ｈは、図４に示すチューブ２１Ｊに接続され、チューブ２１Ｊは、図６に示す気体供給装置（気体ボンベ）２１Ｋと接続されている。気体吹出口２１Ｈから噴出させる気体は、この気体ボンベ２１Ｋから供給される。このように、移動部材１４に設けた気体ボンベ２１Ｋから気体吹出口２１Ｈに気体を供給するために、ウエハー搬送部２０に気体供給用のエアホースを接続する必要が無く、特にウエハー搬送部２０が移動する場合にエアホースによる発塵を防止することができる。
扉オープナー２２は、扉に吸着又は扉を挟持する把握部２２Ａと、この把握部２２Ａのウエハー搬送部２０の本体からの距離を変更する可動部２２Ｂとを備えている。
また、扉オープナー２２は、ウエハー搬送部２０の本体の対向する両側面に設けてあり、一方の扉オープナー２２で、図１又は図２に示す収納棚１２Ａ側に配置された保管用カセット１１の扉の開閉を行い、他方の扉オープナー２２で、図１又は図２に示す収納棚１２Ｂ側に配置された保管用カセット１１の扉の開閉を行う。また、他方の扉オープナー２２で、搬送用カセット１５、１６の扉の開閉を行う。【００１３】
移動部材１４は、レール１３上を移動可能に設けている。図６に示すように、レール１３の下方には、気体供給管１８が配設され、この気体供給管１８には上方を開口とするエアープラグ１９が設けられている。一方、ウエハー搬送部２０には、気体ボンベ２１Ｋにチューブを介して連接されるエアーソケット２３が設けられている。このエアーソケット２３は、下方を開口とするとともに昇降機構２４によって上下動可能に設けられている。そして、移動部材１４が走行停止するタイミングで、昇降機構２４によってエアーソケット２３を降下させ、エアーソケット２３とエアープラグ１９とを接続して圧縮気体を供給する。本実施例のようにエアーソケット２３とエアープラグ１９との接続によって圧縮気体を供給することで、気体ボンベ２１Ｋの取り替え作業を行うことなく、気体ボンベ２１Ｋに対して気体の供給を行うことができる。
また、エアープラグ１９は、図１及び図２に示すように、レール１３に沿って複数設けられており、それぞれのエアープラグ１９は、移動部材１４の停止位置に対応させて設けているため、移動部材１４が停止し、ウエハー搬送部２０が動作中に気体ボンベ２１に圧縮気体を供給できる。
本実施例では、上記のようにエアホースを持たないために、移動部材１４の走行に伴うエアホースからの粉塵発生を大幅に抑えることができる。
また、移動部材１４が停止し、ウエハー搬送部２０が動作中に気体ボンベ２１に圧縮気体を供給するため、圧縮気体を供給するためだけに移動部材１４を停止させるような無駄な待ち時間の発生がない。
また、エアープラグ１９を、移動部材１４の停止位置すべての位置、又は必要な箇所に設けることで、ウエハー搬送部２０が動作中には、必ずエアーソケット２３とエアープラグ１９とを接続して圧縮気体を供給しているため、気体ボンベ２１Ｋの気体残量を気にすることなく、ウエハー搬送部２０の動作を行わせることができる。従って、このように移動部材１４の停止位置すべての位置にエアープラグ１９を設けることで、気体ボンベ２１Ｋを省略することもできる。この場合に、移動部材１４が移動中にウエハーをロボットハンド２１に非接触で保持しつづけるためには、気体ボンベ２１Ｋを備えていることが好ましい。なお、エアープラグ１９は、毎回または頻繁に停止する位置（例えば入出庫口）にのみプラグを設けておくことも有効である。【００１４】
次に本実施例によるウエハー用保管庫の保管制御方法について説明する。
ウエハー用保管庫へのウエハーの保管は、以下の工程によって行う。
まず、搬送用カセット１５を入出庫１７から保管庫本体１０内に搬入する。搬入される搬送用カセット１５には、収納されたウエハー情報が、ラベル又はバーコードに表示され又はＩＣや磁気部分に記憶されている。そして、搬送用カセット１５を保管庫本体１０内に搬入する前後において、搬送用カセット１５に表示又は記憶されたウエハー情報が入力部３１から入力される。なお、ウエハー情報は、必ずしも搬送用カセット１５に表示又は記憶されていなくてもよく、搬送用カセット１５を保管庫本体１０内に搬入する時間的関連性をとることで情報通信網から受信するものであってもよい。
そして、ウエハー情報と保管用カセット情報記憶部３３に記憶されている保管用カセット１１に関する情報から、保管する保管用カセット１１を制御部３４にて決定する。ここで、保管用カセット１１に関する情報としては、少なくとも保管用カセット１１の位置を区別するアドレスと空き状況又は収納状況に関するデータを有している。また、既に一部でもウエハーを収納している場合には、このウエハーに関する情報も有していることが好ましい。収納済みのウエハーに関する情報を把握することで、同種のウエハー、又は製造工程の段階が同じウエハーを同一の保管用カセット１１に収納することができる。また、他への影響が大きなガス発生を生じる段階のウエハーを、特定の位置に隣接する保管用カセット１１に収納することもできる。【００１５】
保管する保管用カセット１１が決定されると、出力部３６から動作指示情報がウエハー搬送部２０に出力され、ウエハー搬送部２０が移動を開始する。ウエハーの保管の場合には、必ずウエハーを搬送用カセット１５から取り出す動作となるために、保管する保管用カセット１１が決定される前に動作を開始することで、保管に要する時間を短縮することができる。
ウエハー搬送部２０は、扉オープナー２２によって搬送用カセット１５の扉を開放し、ロボットハンド２１にて搬送用カセット１５内のウエハーを取り出す。ロボットハンド２１にて搬送用カセット１５内のウエハーを取り出した後に、扉オープナー２２によって搬送用カセット１５の扉を閉塞する。その後、ウエハー搬送部２０は、決定された保管用カセット１１に向かって移動を行う。
決定された保管用カセット１１に対向する位置にウエハー搬送部２０が到達すると、扉オープナー２２によって保管用カセット１１の扉を開放し、ロボットハンド２１に保持しているウエハーを保管用カセット１１内に収納する。ロボットハンド２１にて保管用カセット１１内にウエハーを収納した後に、扉オープナー２２によって保管用カセット１１の扉を閉塞する。
一つの搬送用カセット１５内から複数枚のウエハーを保管する場合であって、本実施例のようにロボットハンド２１によって一枚ずつのウエハーを移動させる場合には、上記動作を必要回数だけ繰り返す。
一方、移動すべきウエハーを全て取り出して、扉を閉塞された搬送用カセット１５は、保管庫本体１０内から搬出される。【００１６】
ウエハー用保管庫からのウエハーの搬出は、以下の工程によって行う。
まず、搬送用カセット１６を入出庫１７から保管庫本体１０内に搬入する。搬入される搬送用カセット１６には、収納予定のウエハー情報が、ラベル又はバーコードに表示され又はＩＣや磁気部分に記憶されている。そして、搬送用カセット１６を保管庫本体１０内に搬入する前後において、搬送用カセット１６に表示又は記憶されたウエハー情報が入力部３１から入力される。なお、ウエハー情報は、必ずしも搬送用カセット１６に表示又は記憶されていなくてもよく、搬送用カセット１６を保管庫本体１０内に搬入する時間的関連性をとることで情報通信網から受信するものであってもよい。
そして、ウエハー情報と保管用カセット情報記憶部３３に記憶されている保管用カセット１１に関する情報から、搬出する保管用カセット１１を制御部３４にて決定する。【００１７】
搬出する保管用カセット１１が決定されると、出力部３６から動作指示情報がウエハー搬送部２０に出力され、ウエハー搬送部２０は、決定された保管用カセット１１に向かって移動を行う。決定された保管用カセット１１に対向する位置にウエハー搬送部２０が到達すると、扉オープナー２２によって保管用カセット１１の扉を開放し、ロボットハンド２１にて保管用カセット１１内のウエハーを取り出す。ロボットハンド２１にて保管用カセット１１内のウエハーを取り出した後に、扉オープナー２２によって保管用カセット１１の扉を閉塞する。これらの動作において、移動部材１４が移動中は、気体ボンベ２１Ｋへの圧縮気体の供給は行われず、気体ボンベ２１Ｋ内の気体によって気体吹出口２１Ｈから気体を吹き出す。移動部材１４が所定の位置に到達すると、ウエハー搬送部２０の動作中、エアーソケット２３とエアープラグ１９との接続が行われて圧縮気体の供給が行われる。ウエハー搬送部２０の動作が終了するタイミングで、エアーソケット２３とエアープラグ１９との接続が解除され、移動部材１４は、搬送用カセット１６に向かって移動を行う。なお、移動部材１４の移動時に、必要な場合にはウエハー搬送部２０も移動部材１４の支柱に沿って移動する。搬送用カセット１６に対向する位置にウエハー搬送部２０が到達すると、扉オープナー２２によって搬送用カセット１６の扉を開放し、ロボットハンド２１に保持しているウエハーを搬送用カセット１６内に収納する。ロボットハンド２１にて搬送用カセット１６内にウエハーを収納した後に、扉オープナー２２によって搬送用カセット１６の扉を閉塞する。この場合にも、移動部材１４が所定の位置に到達すると、ウエハー搬送部２０の動作中、エアーソケット２３とエアープラグ１９との接続が行われて圧縮気体の供給が行われる。
一つの搬送用カセット１６内に複数枚のウエハーを収納する場合であって、本実施例のようにロボットハンド２１によって一枚ずつのウエハーを移動させる場合には、上記動作を必要回数だけ繰り返す。
一方、移動すべきウエハーを全て収納して、扉を閉塞された搬送用カセット１６は、保管庫本体１０内から搬出される。
以上のように、本実施例によれば、保管用カセット１１に収納する段階においても、保管用カセット１１から搬出する段階においても、ウエハーの収納や取り出しの都度扉を開閉することで、塵埃やウエハーからの発生ガスの影響を少なくすることができる。【００１８】
次に、本発明のウエハー用保管庫に適した保管用カセットについて説明する。
本実施例による保管用カセット１１としては、搬送用カセット１５、１６と同一構造のものを使用することができる。
図７は本実施例による保管用カセットの斜視図、図８は同保管用カセットの扉を開いた状態を示す斜視図である。
本実施例による保管用カセット１１は、有底で外周を覆う側板１１Ａと、側板１１Ａの対向する面に所定間隔毎に設けられた突起部１１Ｂと、前面を覆う扉１１Ｃとから構成されている。突起部１１Ｂには、図示のようにウエハーＡが収納される。
本実施例による保管用カセット１１は、図７に示すように、扉１１Ｃで前面を閉塞した状態で密閉状態となる。
本実施例のように、保管用カセット１１として搬送用カセット（ＦＯＵＰ）を使用することで、保管用カセットを必要に応じて収納棚から取り外して洗浄することができる。
【実施例２】
【００１９】
図９は他の実施例による保管用カセットの概念斜視図である。
図９に示す実施例では、保管用カセット１１は、一対の側板１１Ａと、それらの側板１１Ａの対向する面に所定間隔毎に設けられた突起部１１Ｂと、前面を覆う扉１１Ｃとから構成されている。突起部１１Ｂには、図示のようにウエハーＡが収納される。
本実施例による扉１１Ｃは、側板１１Ａと平行に配置された時に前面を開放し、側板１１Ａと平行な状態から、前面側に引き出された後に９０度角度を変更することで前面を覆うように構成されている。また、天板１１Ｄと底板１１Ｅを有しており、扉１１Ｃで前面を覆った状態では、密閉状態となる。
【実施例３】
【００２０】
図１０は更に他の実施例による保管用カセットの概念斜視図である。
図１０に示す実施例では、保管用カセット１１は、一対の側板１１Ａと、それらの側板１１Ａの対向する面に所定間隔毎に設けられた突起部１１Ｂと、円筒体の一部を開口とした扉１１Ｃとから構成されている。突起部１１Ｂには、図示のようにウエハーＡが収納される。
本実施例による扉１１Ｃは、例えば２重に構成された円筒体の一方を回転させることで、前面を開閉するように構成されている。また、天板１１Ｄと底板１１Ｅを有しており、扉１１Ｃで前面を覆った状態では、密閉状態となる。
なお、図９及び図１０に示す扉１１Ｃの開閉は、上記実施例で説明したようにウエハー搬送部２０に設けた扉オープナー２２によって行うが、ウエハー搬送部２０に扉オープナー２２を設けることなく、それぞれの保管用カセット１１側で扉の開閉を行う構成であってもよい。【００２１】
本実施例では、上記のようにエアホースを持たないために、移動部材１４の走行に伴うエアホースからの粉塵発生を大幅に抑えることができる。
なお、本実施例では、ウエハー用保管庫内に、一つのレール１３を配置した場合を説明したが、複数のレール１３を併設して、それぞれのレール１３に対してウエハー搬送部２０を有する移動部材１４を設けてもよい。また、一つのレール１３に複数の移動部材１４を設けてもよい。また、それぞれの移動部材１４に対して一つのウエハー搬送部２０を設ける場合に限られず、それぞれの移動部材１４に対して複数のウエハー搬送部２０を設けてもよい。また、一つのウエハー搬送部２０に対して複数のロボットハンド２１を備えてもよい。
また本実施例では、気体供給管１８をレール１３の下方であって床面側に配置した場合で説明したが、ウエハー用保管庫の天井面側に配置してもよい。気体供給管１８をウエハー用保管庫の天井面側に配置する場合には、天井面から下方に向けてエアープラグ１９を設け、移動部材１４の上部にエアーソケット２３を設ける。また、気体供給管１８をウエハー用保管庫の収納棚１２Ａ、１２Ｂの設置面に設けてもよい。
また本実施例では、昇降機構２４によってエアーソケット２３を昇降させる場合で説明したが、この昇降機構２４をエアープラグ１９側に設けてもよく、またそれぞれに昇降機構２４を設けて、エアーソケット２３とエアープラグ１９とをともに動作させるものであってもよい。
また、本実施例では、気体供給装置２１Ｋとして気体ボンベを用いて説明したが、コンプレッサを用いた装置とすることもできる。コンプレッサを用いた装置とする場合には、ウエハー用保管庫内の気体を吸入し、吸入した気体をフィルター等で浄化した後に圧縮してロボットハンドに供給する。
また、気体供給装置２１Ｋに用いる気体としては、空気、窒素等の他、アルゴン等の不活性ガスを含む。
【産業上の利用可能性】
【００２２】
本発明は、ウエハー用保管庫及びその保管制御方法の他に、液晶ガラス基板や磁気ディスクなどの精密基板、その他クリーンルームにて保管が必要なその他の部品の保管庫及びその保管制御方法にも適している。
【図３】
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【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図９】
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【図１０】
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【図１】
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【図２】
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【図７】
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【図８】
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【国際調査報告】
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