【手続補正書】
【提出日】令和1年9月10日(2019.9.10)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
観察対象物の画像の部分を計測する画像計測装置であって、
観察対象物の画像を示す画像データを生成する画像データ生成部と、
観察対象物の各部分の高さを示す高さデータを取得する高さデータ取得部と、
前記画像データ生成部により生成された画像データに基づいて観察対象物の画像を表示する第１の表示領域を含む表示部と、
画像上での位置の指定により観察対象物の高さ方向の断面の指定を受け付ける第１の受付部と、
前記第１の受付部により指定が受け付けられた断面に対して計測対象とする領域を計測範囲として設定する計測範囲設定部と、
前記高さデータ取得部により取得された高さデータに基づいて、前記計測範囲設定部により設定された計測範囲における観察対象物の高さの最大値を特定する最大値特定部と、
前記高さデータ取得部により取得された高さデータに基づいて、前記計測範囲設定部により設定された計測範囲における観察対象物の高さの最小値を特定する最小値特定部と、
前記最大値特定部により特定された最大値および前記最小値特定部により特定された最小値に基づいて物理量を算出する算出部と、
前記算出部により算出された物理量を計測範囲に対応付けて表示するように前記表示部を制御する表示制御部とを備える、画像計測装置。
【請求項２】
前記第１の表示領域に表示された画像における所望の位置の指定を受け付ける第２の受付部と、
前記第２の受付部により指定された位置を断面位置として設定する断面設定部と、
前記高さデータ取得部により取得された高さデータに基づいて、前記断面設定部により設定された断面位置に対応する観察対象物の部分の断面形状を示す断面データを生成する断面データ生成部とをさらに備え、
前記表示部は、前記断面データ生成部により生成された断面データに基づいて観察対象物の部分の断面形状を表示する第２の表示領域をさらに含み、
前記第１の受付部は、使用者の操作により前記第２の表示領域において計測範囲の指定を受け付け、
前記表示制御部は、前記算出部により算出された物理量を計測範囲に対応付けて前記第２の表示領域に表示するように前記表示部を制御する、請求項１記載の画像計測装置。
【請求項３】
前記表示制御部は、前記断面データ生成部により生成された断面データに基づいて観察対象物の部分の断面形状を観察対象物の画像に対応付けて前記第１の表示領域に表示するように前記表示部を制御する、請求項２記載の画像計測装置。
【請求項４】
前記表示制御部は、前記第２の表示領域において前記計測範囲設定部により設定された計測範囲を前記第１の表示領域に表示するように前記表示部を制御する、請求項２または３記載の画像計測装置。
【請求項５】
前記第２の受付部は、指定された断面位置を変更するための操作を受け付け可能に構成され、
前記断面設定部は、前記第２の受付部への操作に基づいて、設定された断面位置を更新し、
前記表示制御部は、前記断面設定部により更新される断面位置に追従して前記第２の表示領域に表示される観察対象物の部分の断面形状を変化させるように前記表示部を制御する、請求項２〜４のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項６】
前記表示制御部は、前記断面設定部により設定された断面位置に対応する観察対象物の部分の断面形状と、前記断面設定部により更新された断面位置に対応する観察対象物の部分の断面形状とを前記第２の表示領域に表示するように前記表示部を制御する、請求項５記載の画像計測装置。
【請求項７】
前記計測範囲設定部による計測範囲の設定を記憶する設定記憶部をさらに備え、
前記表示制御部は、前記断面設定部により更新される断面位置に追従して前記第２の表示領域に表示される観察対象物の部分の断面形状を変化させるように前記表示部を制御し、
前記算出部は、前記設定記憶部に記憶された計測範囲の設定に基づいて物理量を算出する、請求項２〜６のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項８】
前記画像データ生成部は、観察対象物の立体形状および平面画像の少なくとも一方を示す画像データを生成する、請求項１〜７のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項９】
前記画像データ生成部は、観察対象物の立体形状を示す立体形状データと、観察対象物の平面画像を示す平面画像データとを対応付けて生成し、
前記第１の表示領域は、前記画像データ生成部により生成された立体形状データに基づく立体形状を表示する立体形状表示領域と、前記画像データ生成部により生成された平面画像データに基づく平面画像を表示する平面画像表示領域とを含む、請求項８記載の画像計測装置。
【請求項１０】
前記表示制御部は、前記最大値特定部により特定された最大値に対応する部分および前記最小値特定部により特定された最小値に対応する部分を前記第１の表示領域に識別可能に表示するように前記表示部を制御する、請求項１〜９のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項１１】
前記表示部において物理量の算出から除外すべき範囲の指定を受け付ける第３の受付部と、
前記第３の受付部により指定された範囲を除外範囲として設定する除外範囲設定部をさらに備え、
前記計測範囲設定部は、前記除外範囲設定部により設定された除外範囲を計測範囲から除外する、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項１２】
前記算出部は、計測範囲における観察対象物の高さの最大値と最小値との差分、平均値、極大値、極小値もしくは変曲点、計測範囲において観察対象物の高さの最大値を有する部分と最小値を有する部分との間の前記高さ方向に直交する方向における距離、直線（最短）距離、計測範囲における観察対象物の断面積または体積を物理量として算出する、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項１３】
物理量に対する基準値および公差の設定を受け付ける公差設定部と、
前記算出部により算出された物理量と前記公差設定部により受け付けられた基準値および公差との比較結果に基づいて観察対象物の良否を判定する判定部とをさらに備え、
前記表示制御部は、前記判定部による判定結果を表示するように前記表示部を制御する、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項１４】
観察対象物が載置される載置面を有するステージと、
レンズ部と、
前記レンズ部を通して前記載置面上に載置された観察対象物を撮像する撮像部と、
前記ステージと前記レンズ部および前記撮像部の少なくとも一方との距離を相対的に変化させる駆動部とをさらに備え、
前記画像データ生成部は、前記撮像部による撮像結果に基づいて観察対象物の画像データを生成し、
前記高さデータ取得部は、前記ステージと前記レンズ部および前記撮像部の少なくとも一方との相対的な距離に基づいて観察対象物の各部分の高さを示す高さデータを取得する、請求項１〜１３のいずれか一項に記載の画像計測装置。
【請求項１５】
観察対象物の画像の部分を計測する画像計測装置の用いられる画像計測方法であって、
観察対象物の画像を示す画像データおよび観察対象物の各部分の高さを示す高さデータを含む観察対象物の測定データの入力を受け付けるステップと、
前記画像データに基づいて観察対象物の画像を表示部の第１の表示領域に表示するステップと、
画像上での位置の指定により観察対象物の高さ方向の断面の指定を受け付けるステップと、
指定が受け付けられた断面に対して計測対象とする領域を計測範囲として設定するステップと、
前記高さデータに基づいて、設定された計測範囲における観察対象物の高さの最大値を特定するステップと、
前記高さデータに基づいて、設定された計測範囲における観察対象物の高さの最小値を特定するステップと、
前記最大値および前記最小値に基づいて物理量を算出するステップと、
算出された前記物理量を計測範囲に対応付けて前記表示部に表示するステップとを含む、画像計測方法。