【手続補正書】
【提出日】令和1年5月15日(2019.5.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
液体材料を貯留する貯留容器と、
貯留容器を加圧する圧縮気体供給源と、
吐出流路を有するノズルと、
往復動作するバルブロッドと、
バルブロッドと接続されるスライド部材と、
スライド部材を往復動作するアクチュエータと、
吐出流路と連通する連通孔を有するバルブシートと、
アクチュエータを制御してバルブロッドの先端で連通孔を開閉する吐出制御装置と、
を備える液体材料吐出装置であって、
前記バルブロッドの先端が前記バルブシートに当接する当接位置にあることを検知する位置検知機構を備えることを特徴とする液体材料吐出装置。
【請求項２】
前記位置検知機構が、前記スライド部材が所定の位置にあることを検出するセンサ機構を備え、前記スライド部材の位置を検出することにより前記バルブロッドの先端が前記当接位置にあることを検知することを特徴とする請求項１に記載の液体材料吐出装置。
【請求項３】
前記アクチュエータが、前記吐出制御装置により前記バルブロッドの進出位置を制御可能なモータを駆動源として備え、前記バルブロッドの進退位置を利用して前記バルブロッドの先端が前記当接位置にあることを検知することを特徴とする請求項１に記載の液体材料吐出装置。
【請求項４】
前記アクチュエータを駆動して前記スライド部材を下降させると、前記バルブロッドの先端が前記当接位置に到達した後、前記スライド部材のみがさらに下降することを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項５】
前記吐出制御装置が、前記バルブロッドを前記当接位置から所定距離だけさらに下降させた安全閉鎖位置に位置させることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項６】
前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの上昇時の加速時間Ａｕを２〜３００［ｍｓ」の範囲で制御することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項７】
前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの上昇時の目標速度Ｖ１を０．２〜３０［ｍｍ／ｓ］の範囲で制御することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項８】
前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの下降時の加速時間Ａｄを２〜３００［ｍｓ」の範囲で制御することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項９】
前記吐出制御装置が、前記アクチュエータによるバルブロッドの上昇時の加速時間Ａｕおよび下降時の加速時間Ａｄを同一に設定することを特徴とする請求項８に記載の液体材料吐出装置。
【請求項１０】
前記アクチュエータが、ステッピングモータ、サーボモータおよびリニアモータから選択された一のモータを駆動源とすることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１１】
前記バルブロッドと接続され、スライド部材に離間可能に当接して配置されるロッド連動部材と、
ロッド連動部材とスライド部材とを離間可能に当接させる付勢力を与える弾性部材と、を備え、
前記バルブロッドが前記バルブシートに当接した後、前記アクチュエータにより前記バルブロッドをさらに進出させる力を作用させると前記スライド部材が前記ロッド連動部材と離間して下方に移動し、当該スライド部材の移動を前記センサ機構が検知することにより前記バルブロッドの先端が前記バルブシートに当接する当接位置にあることを検知することを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１２】
前記ロッド連動部材が、前記スライド部材に接続されており、
前記弾性部材が、前記ロッド連動部材と前記スライド部材とを連結する引っ張りコイルバネであることを特徴とする請求項１１の液体材料吐出装置。
【請求項１３】
前記弾性部材が、前記バルブロッドと前記バルブシートとが非当接時に、前記ロッド連動部材と前記スライド部材とを移動させることができる力と同等の初張力Ｐｉを有することを特徴とする請求項１２の液体材料吐出装置。
【請求項１４】
前記スライド部材が、前記バルブロッドが挿通される第１の貫通孔を有する天面と、前記バルブロッドが挿通される第２の貫通孔を有する底面とを備え、
前記ロッド連動部材および前記弾性部材が、前記スライド部材の天面および底面の間に配置されること、
前記弾性部材が、前記ロッド連動部材を前記スライド部材の天面または底面に離間可能に当接させることを特徴とする請求項１１の液体材料吐出装置。
【請求項１５】
さらに、前記バルブロッドが挿通され、前記ロッド連動部材を固定する固定部材を備え、
前記弾性部材が、前記バルブロッドが挿通される圧縮コイルバネであることを特徴とする請求項１４の液体材料吐出装置。
【請求項１６】
前記弾性部材が、前記バルブロッド、前記ロッド連動部材および前記固定部材を移動させるのに必要な力と同等の反発力Ｐｉｉを有することを特徴とする請求項１５の液体材料吐出装置。
【請求項１７】
前記バルブロッドが挿通され、前記バルブロッドの直進運動をガイドする第１のガイド部材と、
前記バルブロッドが挿通され、第１のガイド部材より下方で前記バルブロッドの直進運動をガイドする第２のガイド部材とを備えることを特徴とする請求項１ないし１５のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１８】
前記バルブロッドが挿通され、第２のガイド部材より下方で前記バルブロッドの直進運動をガイドする第３のガイド部材を備えることを特徴とする請求項１７の液体材料吐出装置。
【請求項１９】
請求項１ないし１８のいずれかに記載の液体材料吐出装置と、
ワークが設置されるワークテーブルと、
前記液体材料吐出装置と前記ワークテーブルとを相対的に移動する相対駆動装置と、
前記液体材料吐出装置、前記ワークテーブルと、前記相対駆動装置とが配置される負圧空間を構成するカバーと、
前記カバー内を負圧にする減圧装置と、
相対駆動装置を制御する駆動制御装置と、を備える塗布装置。
【請求項２０】
前記減圧装置が、真空ポンプであることを特徴とする請求項１９に記載の塗布装置。
【請求項２１】
請求項１９または２０に記載の塗布装置を用いた塗布方法であって、前記減圧装置により前記カバー内を負圧とした状態で前記ワークと前記液体材料吐出装置とを相対移動しながら、ワーク上に液体材料を塗布する塗布方法。
【請求項２２】
前記カバー内が実質的に真空であることを特徴とする請求項２１に記載の塗布方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４５】
延出部の先端部５８ａには、ノズル取付部材５が螺合されている。ノズル取付部材５の内部空間には、バルブシート６が配置されており、延出部の先端部５８ａとノズル取付部材５により挟着固定されている。
液室５９の大径空間の側面には、側方流路５９ａの一端が連通している。側方流路５９ａの他端は、延出部５８の側面に配置された延設部材６０の液体供給口６２と連通している。
延設部材６０は、一端が液体供給口６２を構成する液体供給流路６１を有したブロック状部材である。液体供給流路６１の他端には、液体供給ジョイント６３が配置されている。液体供給ジョイント６３は、貯留容器（シリンジ）２と流体的に接続されており、図示しない圧縮気体供給源により加圧された液体材料が供給される。シリンジ２は、液送チューブを介して液体供給ジョイント６３に接続してもよいし、液体供給ジョイント６３に直結してもよい。第二実施形態では、シリンジ２にバルブロッド２１が挿通されないため、シリンジ２の交換は容易である。