(57)【要約】プロセスに化合物を供給するためのシステムおよび方法。システムはハウジングを含み、該ハウジングは、第１コンパートメントに位置する機能構成要素、第２コンパートメントに位置する制御モジュール要素、および第３コンパートメントに位置する少なくとも１つの接続ラインを含む。少なくとも１つのコンパートメントは、ハウジング内の規定の位置に位置する。モジュールは、それぞれのコンパアートメントに取り外し可能に格納される。
2006514423.tif 000002
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスに化合物を供給するためのシステムであって、
第１コンパートメント、第２コンパートメント、および第３コンパートメントを含む第１ハウジング；
第１コンパートメントに位置する機能モジュール；
第２コンパートメントに位置する制御モジュール；
第３コンパートメントに位置する少なくとも１つの接続ライン；
を含み、ここで第１、第２、および第３コンパートメントのうち少なくとも１つは、ハウジングの規定の位置に位置する、
前記システム。
【請求項２】
第１コンパートメントが、維持モジュール；試料；引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュールのうちの任意のものを個別に格納するように構成され配置されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
ハウジングの第４コンパートメントに位置するインターフェイスモジュールをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
インターフェイスモジュールが、第４コンパートメントに取り外し可能であるように位置している、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
第４コンパートメントがラックを含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項６】
機能モジュールおよび制御モジュールの少なくとも１つが、取り外し可能な、１に記載のシステム。
【請求項７】
第１コンパートメントおよび第２コンパートメントの少なくとも１つが、ラックを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
少なくとも１つの接続ラインが、供給ラインである、請求項３に記載のシステム。
【請求項９】
ハウジングの第５コンパートメントに位置する少なくとも１つの排水ラインをさらに含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
ハウジングの第６コンパートメントに位置する少なくとも１つの水力補助ラインをさらに含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
ハウジングの第７コンパートメントに位置する少なくとも１つの電気的接続ラインをさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
ハウジングがさらに、給気チャネルおよび換気チャネルを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
第１ハウジングの傍に位置する第２ハウジングをさらに含み、第２ハウジングは、
第１ハウジングの第１コンパートメントに接続するように構成され配置された第１コンパートメント；
第１ハウジングの第２コンパートメントに接続するように構成され配置された第２コンパートメント；
第１ハウジングの第３コンパートメントに接続するように構成され配置された第３コンパートメント；
を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
第２ハウジングの第１コンパートメントに位置する機能モジュール；
第２ハウジングの第２コンパートメントに位置する制御モジュール；および
第２ハウジングの第３コンパートメントに位置する少なくとも１つの接続ライン；
をさらに含み、
ここで第１ハウジングの第１コンパートメントは、第２ハウジングの第１コンパートメントの規定位置に対応する規定の位置を第１ハウジング内に有する、
請求項１３に記載のシステム。
【請求項１５】
第１ハウジングの第２および第３コンパートメントがそれぞれ、第２ハウジングの第２および第３コンパートメントに対応する規定の位置を第１ハウジング内に有する、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
電気制御装置のためのハウジングをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
ハウジングが、
各々が互いに同一である２個または３個以上の第１コンパートメント；および
各々が互いに同一である２個または３個以上の第４コンパートメント；
を含む、請求項４に記載のシステム。
【請求項１８】
プロセスに化合物を供給するためのシステムであって、
第１コンパートメントを含むハウジング；
を含み、ここで第１コンパートメントは、
維持モジュール；試料；引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、
の任意のものを取り外し可能に格納するように構成され配置されている、前記システム。
【請求項１９】
ハウジングが、制御モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置された第２コンパートメントをさらに含む、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
ハウジングが、少なくとも１つの接続ラインを取り外し可能に格納するように構成され配置された第３コンパートメントをさらに含む、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
ハウジングが、
リンスインターフェイスモジュール；分析インターフェイスモジュール；制御インターフェイスモジュール；ＦＡＢ供給インターフェイスモジュール；加湿器インターフェイスモジュール；滴定器インターフェイスモジュール；ＤＩインターフェイスモジュール；試料引出しインターフェイスモジュール；二連ポンプインターフェイスモジュール；一連ポンプインターフェイスモジュール；フィルタインターフェイスモジュール；およびＦＡＢ返還インターフェイスモジュール、
の各々を個別に取り外し可能に格納するように構成され配置された第４コンパートメントをさらに含む、請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
互いに同一である２個または３個以上の第１ハウジング；および
互いに同一である２個または３個以上の第４ハウジング；
をさらに含む、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
第１ハウジングの第１コンパートメントに接続するように構成され配置された第１コンパートメント；
第１ハウジングの第２コンパートメントに接続するように構成され配置された第２コンパートメント；
第１ハウジングの第３コンパートメントに接続するように構成され配置された第３コンパートメント；および
第１ハウジングの第４コンパートメントに接続するように構成され配置された第４コンパートメント；
を含む第２ハウジングをさらに含む、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
第１ハウジングが第２ハウジングと同一である、請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
プロセスに化合物を供給するための方法であって、
第１コンパートメントを含むハウジングを提供すること、ここで第１コンパートメントは、機能モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置されており；ならびに、
維持モジュール；試料；引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、
からなる群から選択される機能モジュールを提供すること；
を含む、前記方法。
【請求項２５】
ハウジングが、第２コンパートメント、第３コンパートメント、および第４コンパートメントをさらに含み、ここで第１、第２、第３、および第４コンパートメントの各々が、該ハウジングの規定の位置に位置する、請求項２４に記載の方法。
【請求項２６】
維持モジュール；試料；引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、
からなる群から選択される第２機能モジュールを提供すること；
第２機能モジュールを、ハウジングの他の第１コンパートメントに位置させること；
をさらに含む、請求項２４に記載の方法。
【請求項２７】
制御モジュールが動作的に機能モジュールに結合され、該機能モジュールの動作を制御する、請求項１に記載のシステム。
【発明の詳細な説明】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
本出願は、現在係属中の２００２年４月１２日に申請されたドイツの実用新案出願第20205819.0号の優先権を主張するものであり、該実用新案出願は参照として本明細書に組み込まれる。
【０００２】
発明分野
本発明は、高純度化合物（chemical）の供給の分野、特にハウジング設備を目的としている。
【０００３】
発明背景
化合物供給システム（chemical dispense system）（ＣＤＳ）、およびスラリー供給システム（slurry dispense system）（ＳＤＳ）は、例えば半導体産業などの種々の産業において高純度の化合物を送達するのに一般に用いられる。ＣＤＳおよびＳＤＳは、シリコンウェファーの製造および生産に特に有用である。
従来の設備およびシステムにおいては、全ての構成部品、接続ラインおよび制御要素は、ハウジングの壁上に搭載される。設備は、特定のユーザーの機能的および設計的要求事項を満たすよう、通常は個別に設計される。このユーザー固有設備の設計および組立ては、設計および組立てのための高いコストと長い時間の消費をもたらす。各設備は個別に設計されるため、既存設備の維持に関連するコストと時間もまた大きくなるだろう。
【０００４】
発明の概要
本発明の実施態様は、個々のユーザーの要求を制限することなく、システムの組立て、製造、設置、および／または維持に関連する時間およびコストを減少させる、供給システム（dispensing system）を目的としている。
１つの実施態様において、本発明は、３個のコンパートメントを含む、プロセスに化合物を供給するためのシステムを提供し、ここで少なくとも１個のコンパートメントはハウジングの規定の位置に位置している。機能モジュールが第１コンパートメントに位置し、制御モジュールが第２コンパートメントに位置し、そして少なくとも１個の接続ラインが、第３コンパートメントに位置する。
【０００５】
他の実施態様において、本発明は、プロセスに化合物を供給するためのシステムであって、維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプ；維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、の任意のものを取り外し可能に格納するように構成され配置された第１コンパートメントを有するハウジングを含む、前記システムを提供する。
【０００６】
さらに他の実施態様において、本発明は、プロセスに化合物を供給するための方法であって、機能モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置された第１コンパートメントを含むハウジングを提供すること；ならびに、維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、からなる群から選択される機能モジュールを提供すること、を含む、前記方法を提供する。
【０００７】
本発明の他の利点、新規な特徴、および目的は、図示を目的とした、実物大に描くことは意図しない添付の図と関連して考慮した場合に、本発明の非限定的実施態様についての以下の詳細な記述から明白となる。図においては、種々の図中で描かれている同一またはほぼ同一の構成要素の各々は、代表的に１つの番号で示される。明確にするため、全ての図での全構成要素への番号付けは行わず、当業者が本発明を理解するために図示が不要の場合には、本発明の各実施態様における全ての構成要素が示されているわけではない。本明細書および参照として組み込まれる書類が相容れない開示を含む場合、本明細書が統制するものとする。
【０００８】
発明の詳細な説明
本発明の実施態様は、特に半導体産業用の、高純度化合物を利用可能にする設備に関する。設備は、化合物を利用可能にし加工するための、１つまたは数種類の特定的に設計された機能を実行するようハウジングに配置され接続された、種々の構成要素を有することができる。ハウジングは、例えば機能モジュール、制御モジュール、および／またはインターフェイスモジュールなどの構成要素を支持するための複数のコンパートメントを含むことができる。ハウジングはまた、他の構成要素のための付加的なコンパートメント、構成要素間の接続ライン、および構成要素を制御するための制御要素を含むことができる。ハウジングは、特定の目的に好適な任意のサイズまたは形態をとることができ、個々のモジュールを支持する能力のある任意の材料から形成することができる。１つの実施態様において、ハウジングはキャビネットである。
【０００９】
本発明の１つの態様により、ハウジングは規定のコンパートメントに分割され、その各々は、個別の用途のための特定のモジュールを格納することができる。コンパートメントは、特定モジュールを収納するために任意のサイズおよび形態をとることができ、例えば、正方形、長方形、円形などであり、好ましくは特定モジュールへの容易なアクセスを提供するように構成され配置される。コンパートメントはまた、モジュールが容易に取り外せるように構成し配置することができる。例えば、コンパートメントはラックを含んでよい。
１個または２個以上の機能モジュールを、利用可能な規定の機能モジュールから選択することができる。制御要素が設置された制御モジュールなど一定の構成要素を、機能モジュールに結合することができる。
【００１０】
１つの実施態様において、少なくとも第１コンパートメントは少なくとも１個の機能モジュールを含み、少なくとも第２コンパートメントは少なくとも１個の制御モジュールを含み、そして少なくとも第３コンパートメントは接続ラインを含む。他の実施態様においては、１つのハウジング内において、数個の機能モジュールが数個の第１コンパートメントに位置することができ、数個の制御モジュールが数個の第２コンパートメントに位置することができ、そして複数の接続ラインが数個の第３コンパートメントに位置することができる。好ましい実施態様において、数個の第１コンパートメントの各々は、多数の異なる機能モジュールの任意のものを収納するために類似のサイズであってよい。同様に、数個の第２コンパートメントの各々は、多数の異なる制御モジュールの任意のものを収納するために類似のサイズであってよく、数個の第３コンパートメントの各々は、多数の異なる接続ラインの任意のものを収納するために類似のサイズであってよい。
【００１１】
本発明の他の態様により、設置の前に一定の規定の機能モジュールを選択することができるため将来の現場での設置を可能とすることにより、ユーザーがその個別の要求に従ってモジュールを組み合わせ、現場でそれらを設置することを可能にしている。同様に、規定のコンパートメントを有するハウジングも現場で作成することができ、ここでユーザーは、所望の機能モジュール、制御モジュールおよび接続ラインを現場において設置する。
【００１２】
モジュールは選択して規定のコンパートメントに設置することができるため、ユーザーの個別の条件に従ってシステムを容易に作成することができる。また、ユーザーは、時間とコストを大幅に減少させてシステムを設置することができる。さらに、システムの設置におけるより大きな柔軟性が可能となり、ユーザーに対して、システムの要件を変更し１つのモジュールを他と取り替える柔軟性を許容する。これは、要件の変更があった場合や、元のモジュールが操作不能となった場合に、元の機能モジュールがもう使用されなくなったとすると、特に有用である。さらに、モジュール設置における柔軟性は、システムの維持に関連する時間およびコストを減少させることができる。
【００１３】
本発明の他の実施態様において、システムは、対応する機能モジュールに対して少なくとも１個のインターフェイスモジュールを含むことができる。インターフェイスモジュールは、ハウジングの第４コンパートメントに位置することができ、維持またはより簡単な取替えを容易にする。
１つの実施態様において、コンパートメントの少なくとも１つは、対応するコンパートメントに位置するモジュールが取り外せるように構成し配置される。好ましい実施態様においては、コンパートメントはラックとして設計される。
【００１４】
他の好ましい態様において、少なくとも１個のハウジングの、第１コンパートメントに位置する少なくとも１個の機能モジュール、および／または、第２コンパートメントに位置する少なくとも１個の制御モジュールは取り外すことができ、それによって、第１および／または第２コンパートメントは、ラックとして設計される。この方法により、機能モジュールおよび／または制御モジュールの維持および取替えが容易に実施できる。
【００１５】
接続水力ライン（connecting hydraulic line）を含む本発明の他の好ましい実施態様において、ハウジングは第５コンパートメントを含むことができ、それにより、水力供給ラインおよび水力排出ラインを互いに分離することができる。１つの実施態様において、水力供給ラインはハウジングの第３コンパートメントに位置することができ、水力排出ラインはハウジングの第５コンパートメントに位置することができる。その結果、供給ラインおよびコンパートメントは互いに独立して配置することができ、接続ラインの挿入がさらに簡易化される。
【００１６】
接続ラインが水力補助ラインを含む範囲において、少なくとも１つのハウジングに第６コンパートメントを含んで補助ラインを含むようにすることができる。これにより、補助ラインを主ラインから独立して配置することができる。これはまた電気的接続ラインにも適用でき、電気的接続ラインは第７コンパートメントに位置させることができる。
ハウジングはまた、さらに１個の第８コンパートメントに位置する給気チャネルおよび換気チャネルを含むことができる。好ましい実施態様において、給気および換気チャネルは他の構成要素から分離されている。
【００１７】
ハウジング内には第１〜第８コンパートメントの任意の組合せが存在してよいことが理解される。さらに、任意数の個々のコンパートメントがハウジング内に存在することができる。第１〜第８各コンパートメント数個ずつの存在が可能であり、従って、多数の同一種類のコンパートメントが予想される。
【００１８】
本発明の他の実施態様において、各コンパートメントは、少なくとも１個のハウジングの規定位置に位置することができる。少なくとも１個のハウジング内に特定コンパートメントの位置を規定することは、ハウジングの前製造および製造を簡単化する。さらに、現場での設置を簡単化するが、これは、個々のコンパートメントに割り当てられる構成要素を同じ位置に設置できるからである。電気的接続ライン、制御モジュール、および／または給気もしくは換気チャネルのためのコンパートメントは、ハウジングの上部に設置でき、他の構成要素からは明確に分離される。
【００１９】
他の実施態様において、数個のハウジングを互いに近くに、または隣り合って位置させることができ、および／または接続することができる。複数のハウジングは複雑な装置に有用であり、またはシステムが数個の装置から形成される場合に有用である。一般に、ハウジングはキャビネット要素として配置することができる。好ましくは、各ハウジングにおいて、同一タイプのコンパートメントは各ハウジング内の同じ規定位置に位置させて、設置を簡単化する。給気および換気チャネルのためのコンパートメントは、ハウジングが互いに接続された場合に、１つのハウジングの給気および換気チャネルが、隣のハウジングのチャネルに吸気口および排気口領域において接続できるように、構成し配置することができる。
【００２０】
さらに他の実施態様において、電子制御機器は、少なくとも主ハウジングから分離可能なハウジングに設置することができる。好ましい実施態様においては、任意の潜在的化学的な影響から制御機器を保護するため、電子制御機器は分離したハウジング内に位置させる。
【００２１】
機能モジュールは、所望の機能を実行する任意のモジュールであってよい。機能モジュールは、任意のサイズおよび形状で、規定のコンパートメントに設置できるものであってよい。好ましくは、利用可能な規定の機能モジュールの選択肢は、これに限定はしないが以下を含む：リンス切り替えを含むことのできる、維持および試料引出しモジュール(maintenance and sample pulling module)；例えば導電性、滴定および粒子を計測するための、分析モジュール；例えばプロセス窒素を飽和するための、加湿器モジュール；例えばデイタンクおよび／または供給タンクモジュールとして使用する、タンクモジュール；例えば放出化合物をリンスするための、ＤＩモジュール；バルブまたはバルブ群を含むことのできる、混合モジュール；好ましくは混合率を決定するためのセンサーを有する、混合タンクモジュール；例えばプロセス化合物の流量、ｐＨ値および／または密度を検知するための、センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；二重フィルタモジュール。
【００２２】
図１に、フルキャビネット要素１１を図式的に示す。キャビネット要素１１は、互いに隣り合い機能モジュールを格納する一般に正方形の２個のコンパートメント２１および制御モジュールを格納する一般に正方形の１個のコンパートメント４を含む、上部セクション；互いに隣り合いインターフェイスモジュールを格納する一般に正方形の２個のコンパートメント３と、互いに隣り合いコンパートメント３の下に位置して付加的な機能モジュールを格納する一般に長方形の２個のコンパートメント２２との配置を含む、中部セクション；および、中部セクションにおける配置と同様の、コンパートメント３および２２の配置を含む下部セクションを有する。
【００２３】
図２に、ハーフキャビネット要素１２を図式的に示す。上部セクションには、機能モジュールを格納する一般に正方形のコンパートメント２１および制御モジュールを格納する一般に正方形のコンパートメント４がある。中部セクションには、インターフェイスモジュールを格納する一般に正方形のコンパートメント３および、コンパートメント３の下に位置して、他の機能モジュールを格納する一般に長方形のコンパートメント２２がある。下部セクションは、中部セクションと類似の配置を有する。ハーフキャビネット要素１２は、図１１のフルキャビネット要素１１と同じ高さであるのが好ましく、しかし幅はそれより狭いのが好ましい。
【００２４】
図３に、１／２高さキャビネット要素１３を図式的に示す。上部セクションには、互いに隣り合い機能モジュールを格納する一般に正方形の２個のコンパートメント２１がある。これらの隣に、制御モジュールを格納する一般に正方形のコンパートメント４がある。下部セクションには、互いに隣り合いインターフェイスモジュールを格納する一般に正方形の２個のコンパートメント３および、その下の、付加的な機能モジュールを格納する一般に長方形の２個のコンパートメント２２の配置がある。１／２高さキャビネット要素１３は、図１のフルキャビネット要素１１と同じ幅であるのが好ましく、しかし高さはそれより低いのが好ましい。
【００２５】
図４に、他の実施態様である１／２高さハーフキャビネット要素１４を図式的に示す。上部セクションには、機能モジュール用の一般に正方形のコンパートメント２１および、これから少し距離をおいて、制御モジュール用の一般に正方形のコンパートメント４がある。下部セクションには、インターフェイスモジュールを格納する一般に正方形のコンパートメント３および、その下の、他の機能モジュールを格納する一般に長方形のコンパートメント２２からなる配置がある。本キャビネット要素１４は、図２のハーフキャビネット要素１２と同じ幅であるのが好ましく、図３の１／２高さキャビネット要素１３と同じ高さであるのが好ましい。
【００２６】
図１〜４に示したキャビネット要素１１〜１４は、コンパートメントが寝室の箪笥の引出しのように配置可能であることを示す。コンパートメントは、それらの機能に応じてハウジング内の規定の位置に割り当てることができる。好ましい態様においては、同一タイプのコンパートメントは、キャビネット要素などの個別のハウジングに同様に配置される。さらに、コンパートメントはラックとして設計することができ、ハウジングにスライドして出し入れでき（示されず）、モジュールを容易に変更することが可能である。かかるラックタイプの実装方法においては、種々のコンパートメント内の所定の位置に配置されたモジュールを取り外し可能にロックするために、例えばボルトまたはラッチなどの固定要素を用いることができる。
【００２７】
図５には、キャビネット要素１１が斜視図で示されている。キャビネット要素１１は、図５に示すように、両開きドア５０で閉めることができ、キャビネット要素内の構成要素を塵および湿気から保護する。図２および図４に示すより小さいキャビネット要素１２および１４の場合は、片開きドアが好ましい。
ハウジングまたはキャビネット要素はまた、水力ラインのためのチャネル（示されず）を異なる規定位置に有することができる。水力供給ラインが主および補助ラインならびに供給および排出ラインを含む場合は、個別のチャネルを用いることができる。このようなチャネルの場合は、図には示されないが、上でコンパートメントについて記載したように、チャネルはキャビネット内の規定の位置に割り当てられる。
【００２８】
給電ラインのためのケーブルチャネルもまた、ハウジングまたはキャビネット要素に含むことができる。ケーブルチャネルは、給電ラインを他の構成要素から分離するため、１個または２個以上の別のコンパートメントを含むことができる。ケーブルコンパートメントは、ケーブルを適切に位置させ得る任意のサイズおよび形状をとることができる。１つの実施態様において、ケーブルチャネルまたはコンパートメントは、キャビネット要素の上部セクションに位置し、好ましくは水力要素の上に位置して給電を他の構成要素から分離する。ケーブルチャネルは、部分的または完全に、キャビネット要素を横切って伸びることができる。１つの好ましい実施態様において、ケーブルチャネルはキャビネット要素を完全に横切って伸びている。図５の実施態様に示されるように、ケーブルチャネル５２は長方形の断面を有し、キャビネット要素１１の前部上側に配置され、キャビネット要素の幅全体にわたって伸びている。ケーブルチャネル５２はキャビネット要素の幅全体にわたって伸びており両端が開放されているため、ケーブルチャネルの接続が簡単であり、従って数個のキャビネット要素が組み合わされた場合に、連続したケーブルチャネルが形成される。
【００２９】
給気および換気チャネルは、ハウジングの規定位置に位置することができる。給気および換気装置用の位置を規定することにより、ハウジングまたはキャビネット要素を標準化することができる。
図５に示すように、２つのチャネル５４、５６はキャビネット要素１１の相対する内部の壁面にそって位置する。１つのチャネルは給気チャネルとして、もう１つのチャネルは換気チャネルとして設計される。図５に示す実施態様によれば、チャネル５４は側壁１１ａの内部表面に位置し、他のチャネル５４は相対する側壁１１ｂの内部表面に位置する。両チャネル５４、５６は開口部６０を有し、図５にチャネル５４について示されているように、ハウジングの内部に向かって伸びている。さらに、給気および換気チャネル５４、５６はキャビネット要素の上端まで達している。チャネルがキャビネット要素の上端まで達しているため、２個または３個以上のキャビネット要素を互いに近くに配置する場合、１つのキャビネット要素のチャネルは、近くのキャビネット要素の隣接するチャネルに、短いコネクタ（示されず）を用いて簡単に接続可能である。
【００３０】
図６〜８に示すように、複雑な供給システムを構成するため、数個のキャビネット要素を互いに隣り合って位置させることができる。ここで、水力供給ラインおよび電気ライン用のチャネル、ならびにキャビネット要素、給気および換気チャネルは、規定の位置に位置してキャビネット要素の両側まで達しており、それぞれを隣接するキャビネット要素の対応するチャネルに簡単に適応させて接続することができる。
【００３１】
図６は、典型的機能を有する、完全設計された混合および供給システムの接続模式図を示す。この実施態様においては、図１および図５に示すタイプの４個のフルキャビネット要素１１が、互いに隣り合って配置されている。図６が示すように、コンパートメント２１および２２（図１参照）の多くが対応する機能モジュール２００で占められており、図６の左側の２個のキャビネットには、ただ１個のコンパートメント２１のみが上部セクションに空で残されているが、これは、さらなる機能モジュールが不要だからである。キャビネット要素１１の全てにおいて、コンパートメント３（図１１参照）は全て、対応して割り付けられた機能モジュール２００を接続するためのインターフェイスモジュール３００で占められている。さらに、コンパートメント４（図１参照）は、各キャビネット要素で制御モジュール４００を有している。
【００３２】
図６に示すように供給ライン４２および４４は異なる水平レベルを通っており、既に述べたように対応するチャネルを含むことができるが、図には示されていない。キャビネット要素１１の上部セクションの供給ラインは、供給および排出ラインを含む水力ライン４４である。補助ライン４２は、キャビネット要素１１の中部セクションにあり、下部セクションには排出ライン４３が含まれ、これはチャネルであってもよい。上部セクションのカバーの下には、ケーブルチャネルも電気ラインとして用いることができる。図６には示されていないが、かかるチャネル５２は図５に示されている。既に述べたように、供給ライン用のチャネル（示されず）は、キャビネット要素の側壁の対応する規定の位置において終わることができ、これにより、これらのチャネルを、隣接するキャビネット要素の対応するチャネルに接続することができる。
【００３３】
図７に、２個の輸送容器部分（transport vessel places）を有する、完全設計された供給システムの他の実施態様の接続図を示し、ここでは、図１および５に示されたタイプの３個のフルキャビネット要素１１が用いられている。この実施態様において、機能モジュール用のコンパートメント２１、２２およびインターフェイスモジュール用のコンパートメント３の全てが占められているわけではなく、これは、図６に示したものより少ない数の機能およびインターフェイスモジュール２００、３００のみが必要だからである。
【００３４】
図８は、図１および図５に示すタイプの２個のフルキャビネット要素からなり、２個の輸送容器部分を有する、空間を最適化し、さらに完全に形成されたシステムを示す。
図９は、図２に示すタイプのハーフキャビネット要素１２のみを必要とするリフィル要素の図を示す。この実施態様の上部コンパートメント２１は空いている。
【００３５】
図１０は、独立型にもなる、図３に示すタイプの１／２高さキャビネット要素１３を有する供給要素の図を示す。この実施態様において、全てのコンパートメント２１、２２、３および４は、対応する機能モジュール２００、インターフェイスモジュール３００および制御モジュール４００で占められている。
図１１は、独立型にもなる、図４に示されたタイプの１／２高さハーフキャビネット要素１４を有する、比較的簡単な供給要素の図を示す。この実施態様において、全てのコンパートメントは対応するモジュールで占められている。
【００３６】
図１２は、独立型にもなる、図４に示されたタイプの１／２高さハーフキャビネット要素１４を含む、試料引出し要素の図を示す。この実施態様において、上部コンパートメント２１は占められていない。
図７〜１２の実施態様と図６の実施態様の比較が示すように、供給要素４２〜４４には同一または類似の配置および手順を選択することができる。
【００３７】
電子制御装置が必要な場合は、制御装置が化合物による影響を受けることなく、産業の基準に合致する十分な保護を提供可能な、他のキャビネット要素から独立した付加的なキャビネット要素内に位置させることができる。図１３に、電気制御装置を含む付加的なキャビネット要素１６を示す。図１３に示すように、制御装置には小さなキャビネット要素１６のみが必要とされるであろう。この例の実施態様においては、図５に示されたキャビネット要素１１と同様に、上部の前部にケーブルチャネル５２を有する。ケーブルチャネル５２はまた、このキャビネット要素１６の幅全体にわたって伸びており、高さおよび配置に関しては、図５に示されたキャビネット要素１１のケーブルチャネル５２に対応している。図１３にさらに示されるように、制御パネル５８も前面に位置させることができる。制御パネル５８は、ラック（示されず）に位置させた制御モジュール（示されず）の一部である。
【００３８】
図６〜１２に示すように、個々のキャビネット要素のコンパートメント２１、２２には、所望の用途に応じて異なる機能モジュール２００が存在する。機能モジュールは、規定の機能モジュールコンパートメントに格納可能な任意のサイズおよび形状を有することができる。機能モジュールは、規定の機能モジュールから選択することができる。コンパートメント２１、２２への導入に利用可能な異なる機能モジュールの例が、図１４に示されている。好ましくは、規定の機能モジュール２００は、以下を含んでよい：維持モジュール；リンス切り替えを含むことのできる、試料引出しモジュール；例えば導電性、滴定および粒子を計測するための、分析モジュール；例えばプロセス窒素を飽和するための、加湿器モジュール；デイタンクおよび／または供給タンクモジュールとして使用できる、タンクモジュール；例えば放出化合物をリンスするための、ＤＩモジュール；バルブまたはバルブ群を含むことのできる、混合モジュール；好ましくは混合率を決定するためのセンサーを有する、混合タンクモジュール；例えばプロセス化合物の流量、ｐＨ値および／または密度を決定するための、センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール。
【００３９】
図１５に、２つの異なる機能モジュールを示す。示された実施態様例においては、機能モジュールは、各々が水力要素を有するベースプレート２０２および側部プレート２０４を有する。ベースプレート２０２の水力要素は、接続ラインまたは管を介して側部プレート２０４の水力要素と接続することができる。図１５に示す機能モジュール用のベースプレート２０２は、側部の端がレールに適合するようにして、キャビネット要素のラック（示されず）に導入し維持することができるように設計される。側部プレート２０４は、キャビネット要素の側壁の一つに固定することができる。
【００４０】
同様に、インターフェイスモジュールは、特定の用途のために選択して規定のコンパートメントに格納することができる。インターフェイスモジュールは、規定のインターフェイスモジュールコンパートメントに格納可能な任意のサイズおよび形状を有することができる。図１６ａおよび１６ｂに、キャビネット要素のコンパートメント３に格納可能なインターフェイスモジュール３００の異なる実施態様を示す。好ましくは、利用可能な規定のインターフェイスモジュール３００は、リンスインターフェイスモジュール；分析インターフェイスモジュール；制御インターフェイスモジュール；ＦＡＢ供給インターフェイスモジュール；加湿器インターフェイスモジュール；点滴器インターフェイスモジュール；ＤＩインターフェイスモジュール；試料引出しインターフェイスモジュール；二連ポンプインターフェイスモジュール；一連ポンプインターフェイスモジュール；フィルタインターフェイスモジュール；およびＦＡＢ返還（FAB return）インターフェイスモジュールを含む。インターフェイスモジュールは一般に、関連する機能モジュールに操作可能に結合される。
【００４１】
図１７は、機能モジュール２００を設置した図５に示すキャビネット要素の正面図（ａ）および斜視図（ｂ）である。よく見えるように、ドアは開かれている。図１７のキャビネット要素１１は、二連ポンプモジュール２００１および二重フィルタモジュール２００２を含み、これは示された実施態様において、キャビネット要素１１の上部セクションに位置している。図１７はまた、タンクモジュール２００３を含み、これはキャビネット要素１１の下部セクションに位置している。
【００４２】
図１８は、互いに隣接する２個のキャビネット要素と、制御装置を有する付加的なキャビネット要素１６との配置を示す。図１８に示すように、個々のキャビネット要素１１、１６のケーブルチャネル５２は、互いに一列に並んでおり、従って連続したケーブルチャネルが形成される。さらに、図１８はまた、２個のキャビネット要素１１の隣接する給気および排気チャネル５４、５６は、基本的に直接隣合う位置に位置し、従ってコネクタ（示されず）を用いて容易に接続可能であることを示す。
【００４３】
最後に、完全性に関連する理由のため、図１〜４および６〜１２には、対応する要素のためのコンパートメントは、細部および配置に関して模式的にのみ表わされ、実際には、個々のコンパートメントはより広いスペースを取り、また比率も異なっていることを指摘する。
【００４４】
本明細書には本発明の数種類の実施態様について記載され図示されているが、本明細書に記載された機能を実行するための、および／または結果もしくは利点を得るための種々の他の方法および構造を、当業者は容易に予測することができ、かかる変形または修正の各々は本発明の範囲であるとみなされる。例えば、機能モジュール、インターフェイスモジュール、および接続ラインは、所望の用途の必要性に応じて、既知の方法により相互接続できることが理解されるべきである。
【００４５】
より一般的には、当業者は、本明細書に記載された全てのパラメータ、寸法、材料、および構成が例示を意味するものであり、実際のパラメータ、寸法、材料、および構成は、本発明の教示が用いられる特定の用途に依存することを容易に理解する。当業者は、ルーチンの実験以上のものを用いることなく、本明細書に記載された特定の実施態様の多くの同等物を認識するか、またはそれらを解明可能である。従って、前述の実施態様は、例としてのみ示されており、添付のクレームおよびその同等物の範囲において、本発明は特定的に記載された以外にも実施可能であることが理解されるべきである。本発明は、本明細書に記載された各個別の特徴、システム、材料および／または方法を目的としている。さらに、かかる特徴、システム、材料および／または方法の２つまたは３つ以上の任意の組合せも、かかる特徴、システム、材料および／または方法が相互に矛盾するものでなければ、本発明の範囲に含まれる。
【００４６】
クレーム（および上記の仕様）において、全ての他動詞句（transitional phrase）、例えば「含む（comprising）」、「含む（including）」「有する（carrying）」、「有する（having）」、「含む（containing）」、「関連する（involving）」およびその他は、拡張可能であること（open-ended）、すなわち、「含むが、それに限定することはない」ことを意味する。他動詞句のうち「からなる（consisting of）」、「から本質的になる（consisting essentially of）」のみが、特許審査手順の米国特許庁マニュアル第２１１１．０３条に記載のように、それぞれ限定的（closed）または半限定的（semi-closed）他動詞句とされるべきである。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
本発明の好ましい非限定的実施態様について、添付の図面を参照して例を用いて述べるが、ここで：
【図１】異なるモジュールおよび接続ラインを挿入するためのフルキャビネット要素の略図である；
【図２】ハーフキャビネット要素の略図である；
【図３】１／２高さキャビネット要素の略図である；
【図４】１／２高さハーフキャビネット要素の略図である；
【図５】図１のキャビネット要素の斜視図である；
【図６】４個のフルキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図６−１】図６の続きである；
【図６−２】図６−１の続きである；
【図６−３】図６−２の続きである；
【００４８】
【図７】３個のフルキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図７−１】図７の続きである；
【図８】２個のフルキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図９】１個のハーフキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図１０】１個の１／２高さキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図１１】１個の１／２高さキャビネット要素を含む別の装置の略図である；
【図１２】１個の１／２高さハーフキャビネット要素を含む装置の略図である；
【図１３】電気装置を含む付加的キャビネット要素の実施態様である。
【図１４】機能モジュールの水力接続図を示したものである。
【００４９】
【図１５ａ】２個の異なる機能モジュールを斜視図で示したものである。
【図１５ｂ】２個の異なる機能モジュールを斜視図で示したものである。
【図１６ａ】インターフェイスモジュールの水力接続図である。
【図１６ｂ】インターフェイスモジュールの水力接続図である。
【図１７ａ】内臓された機能モジュールを有するキャビネット要素の正面図である。
【図１７ｂ】図１７ａのキャビネット要素の斜視図である。
【図１８】機能モジュールを含む２個のキャビネット要素および電気制御装置を含む付加的キャビネット要素の配置の斜視図である。
【図１】
2006514423.tif 000003
【図２】
2006514423.tif 000004
【図３】
2006514423.tif 000005
【図４】
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【図５】
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【図６】
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【図６−１】
2006514423.tif 000009
【図６−２】
2006514423.tif 000010
【図６−３】
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【図７】
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【図７−１】
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【図８】
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【図９】
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【図１０】
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【図１１】
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【図１２】
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【図１３】
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【図１４】
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【図１５ａ】
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【図１５ｂ】
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【図１６ａ】
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【図１６ｂ】
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【図１７ａ】
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【図１７ｂ】
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【図１８】
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【手続補正書】
【提出日】平成16年3月19日(2004.3.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
プロセスに化合物を供給するためのシステムであって、
第１コンパートメント、第２コンパートメント、および第３コンパートメントを含む第１ハウジング；
第１コンパートメント内に交換可能に格納できる大きさを有する複数の機能モジュールから選択される機能モジュール；
第２コンパートメントに格納される制御モジュール；
第３コンパートメントに位置する少なくとも１つの接続ライン；
を含み、
ここで第１、第２、および第３コンパートメントの各々は、前記ハウジングの規定の位置に位置し；
ここで第３コンパートメントは、少なくとも１つの接続ラインのみを格納し；ならびに
ここで第１および第２コンパートメントの各々の中におけるモジュールの位置により、該モジュールが機能モジュールであるか制御モジュールであるかが識別される；
前記システム。
【請求項２】
第１コンパートメントが、その各々が第１コンパートメントに適合する大きさである、維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュールのうちの任意のものを個別に格納するように構成され配置されている、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
ハウジングの第４コンパートメントに位置するインターフェイスモジュールをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項４】
インターフェイスモジュールが、第４コンパートメントに取り外し可能であるように位置している、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
第４コンパートメントがラックを含む、請求項５に記載のシステム。
【請求項６】
機能モジュールおよび制御モジュールの少なくとも１つが、取り外し可能な、請求項１に記載のシステム。
【請求項７】
第１コンパートメントおよび第２コンパートメントの少なくとも１つが、ラックを含む、請求項６に記載のシステム。
【請求項８】
少なくとも１つの接続ラインが、供給ラインである、請求項３に記載のシステム。
【請求項９】
ハウジングの第５コンパートメントに位置する少なくとも１つの排水ラインをさらに含む、請求項８に記載のシステム。
【請求項１０】
ハウジングの第６コンパートメントに位置する少なくとも１つの水力補助ラインをさらに含む、請求項９に記載のシステム。
【請求項１１】
ハウジングの第７コンパートメントに位置する少なくとも１つの電気接続ラインをさらに含む、請求項１０に記載のシステム。
【請求項１２】
ハウジングがさらに、給気チャネルおよび換気チャネルを含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１３】
第１ハウジングの傍に位置する第２ハウジングをさらに含み、第２ハウジングが、
第１ハウジングの第１コンパートメントに接続するように構成され配置された第１コンパートメント；
第１ハウジングの第２コンパートメントに接続するように構成され配置された第２コンパートメント；および
第１ハウジングの第３コンパートメントに接続するように構成され配置された第３コンパートメント；
を含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１４】
システムであって、ここで第１ハウジングの第１コンパートメント内の機能モジュールが第１機能モジュールであり、第１ハウジングの第２コンパートメント内の制御モジュールが第１制御モジュールであり、
第２ハウジングの第１コンパートメントに位置する第２機能モジュール；
第２ハウジングの第２コンパートメントに位置する第２制御モジュール；および
第２ハウジングの第３コンパートメントに位置する少なくとも１つの接続ライン；
をさらに含み、
ここで第１ハウジングの第１コンパートメントは、第２ハウジングの第１コンパートメントの規定位置に対応する規定の位置を第１ハウジング内に有する、
請求項１３に記載の前記システム。
【請求項１５】
第１ハウジングの第２および第３コンパートメントがそれぞれ、第２ハウジングの第２および第３コンパートメントと同様に位置する規定の位置を第１ハウジング内に有する、請求項１４に記載のシステム。
【請求項１６】
電気制御装置のためのハウジングをさらに含む、請求項１に記載のシステム。
【請求項１７】
ハウジングが、
各々が互いに同一である２個または３個以上の第１コンパートメント；および
各々が互いに同一である２個または３個以上の第４コンパートメント；
を含む、請求項４に記載のシステム。
【請求項１８】
プロセスに化合物を供給するためのシステムであって、
第１コンパートメント；
第２コンパートメント；および
ハウジングの各側壁まで達している第３コンパートメント；
を含むハウジング；
を含み、ここで第１コンパートメントは、
維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール；ここで各機能モジュールは、互いに交換可能であるよう大きさである；
の群から選択される任意の１つの機能モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置されている、前記システム。
【請求項１９】
ハウジングが、制御モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置された第２コンパートメントをさらに含む、請求項１８に記載のシステム。
【請求項２０】
ハウジングが、少なくとも１つの接続ラインを取り外し可能に格納するように構成され配置された第３コンパートメントをさらに含む、請求項１９に記載のシステム。
【請求項２１】
ハウジングが、
リンスインターフェイスモジュール；分析インターフェイスモジュール；制御インターフェイスモジュール；ＦＡＢ供給インターフェイスモジュール；加湿器インターフェイスモジュール；滴定器インターフェイスモジュール；ＤＩインターフェイスモジュール；試料引出しインターフェイスモジュール；二連ポンプインターフェイスモジュール；一連ポンプインターフェイスモジュール；フィルタインターフェイスモジュール；およびＦＡＢ返還（FAB return）インターフェイスモジュール、
の各々を個別に取り外し可能に格納するように構成され配置された第４コンパートメントをさらに含む、請求項２０に記載のシステム。
【請求項２２】
互いに同一である２個または３個以上の第１コンパートメント；および
互いに同一である２個または３個以上の第４コンパートメント；
をさらに含む、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２３】
第１ハウジングの第１コンパートメントに接続するように構成され配置された第１コンパートメント；
第１ハウジングの第２コンパートメントに接続するように構成され配置された第２コンパートメント；
第１ハウジングの第３コンパートメントに接続するように構成され配置された第３コンパートメント；および
第１ハウジングの第４コンパートメントに接続するように構成され配置された第４コンパートメント；
を含む第２ハウジングをさらに含む、請求項２１に記載のシステム。
【請求項２４】
第１ハウジングが第２ハウジングと同一である、請求項２３に記載のシステム。
【請求項２５】
プロセスに化合物を供給するための方法であって、
第１コンパートメント、第２コンパートメント、および第３コンパートメントを含むハウジングを提供すること、ここで第１コンパートメントは、機能モジュールを取り外し可能に格納するように構成され配置されており、第３コンパートメントはハウジングの各側壁まで達しており；および
維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュールからなる、互いに交換可能な大きさの複数の機能モジュールから選択される機能モジュールを提供すること；
を含む、前記方法。
【請求項２６】
ハウジングが第４コンパートメントをさらに含み、ここで第１、第２、第３、および第４コンパートメントの各々が、該ハウジングの規定の位置に位置する、請求項２５に記載の方法。
【請求項２７】
維持モジュール；試料引出しモジュール；分析モジュール；加湿器モジュール；タンクモジュール；ＤＩモジュール；混合モジュール；混合タンクモジュール；センサーモジュール；一連ポンプモジュール；二連ポンプモジュール；単一フィルタモジュール；および二重フィルタモジュール、
からなる群から選択される第２機能モジュールを提供すること；
第２機能モジュールを、ハウジングの他の第１コンパートメントに位置させること；
をさらに含む、請求項２５に記載の方法。
【請求項２８】
制御モジュールが動作的に機能モジュールに結合され、該機能モジュールの動作を制御する、請求項１に記載のシステム。
【国際調査報告】
2006514423.tif 000028
2006514423.tif 000029
2006514423.tif 000030