【事件の表示】
　特願２０１７−　９３９５１「離間装置および離間方法」拒絶査定不服審判事件〔平成３０年１１月２９日出願公開、特開２０１８−１９０８８８、請求項の数（４）〕について、次のとおり審決する。
【結　論】
　原査定を取り消す。
　本願の発明は、特許すべきものとする。
【理　由】
第１　手続の経緯
　本願は，平成２９年５月１０日の出願であって，その手続の経緯は以下のとおりである。
　令和２年１２月１５日付け　：拒絶理由通知書
　令和３年２月１９日　　　　：意見書及び手続補正書の提出
　令和３年４月７日付け　　　：拒絶査定
　令和３年６月１５日　　　　：審判請求書の提出
第２　原査定の概要
　原査定（令和３年４月７日付け拒絶査定）の概要は，本願の請求項１，３に係る発明は，本願出願前に日本国内又は外国において頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった以下の引用文献１に記載された発明及び引用文献３に記載された周知技術に基づいて，また，本願の請求項２，４に係る発明は，本願出願前に日本国内又は外国において頒布された又は電気通信回線を通じて公衆に利用可能となった以下の引用文献２に記載された発明及び引用文献３に記載された周知技術に基づいて，その発明の属する技術の分野における通常の知識を有する者（以下，「当業者」という。）が容易に発明をすることができたものであるから，特許法２９条２項の規定により特許を受けることができない，というものである。
引用文献一覧
１．特開２０１６−８１９７６号公報
２．特開２００６−３１０４３８号公報
３．特開２００１−３０８２３４号公報
第３　本願発明
　本願の請求項１〜４に係る発明（以下，それぞれ「本願発明１」〜「本願発明４」という。）は，令和３年２月１９日提出の手続補正書により補正された特許請求の範囲の請求項１〜４に記載された事項により特定される発明であり，そのうちの本願発明１及び２は，それぞれ以下のとおりの発明である。
「【請求項１】
　一方の面と他方の面との少なくとも一方に，複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する複数の保持手段と，
　前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と，
　相互間隔が広げられた前記被着体群全体を一塊として認識可能な検知手段とを備え，
　前記離間手段は，前記検知手段の検知結果を基にして，各被着体の全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように各保持手段を移動させ，当該各被着体の全体的な集合形状を所定の集合形状とし，
　前記検知手段は，前記所定の集合形状を一塊と認識し，
　前記検知手段の検知結果を基にして，前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする位置決め手段とを備えていることを特徴とする離間装置。」
「【請求項２】
　一方の面と他方の面との少なくとも一方に，複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する保持手段と，
　前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって，前記保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段と，
　前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および当接手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と，
　相互間隔が広げられた前記被着体群全体を一塊として認識可能な検知手段とを備え，
　前記離間手段は，前記検知手段の検知結果を基にして，各被着体の全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように各保持手段を移動させ，当該各被着体の全体的な集合形状を所定の集合形状とし，
　前記検知手段は，前記所定の集合形状を一塊と認識し，
　前記検知手段の検知結果を基にして，前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする位置決め手段とを備えていることを特徴とする離間装置。」
　本願発明３及び４は，本願発明１及び２の離間装置における各手段に対応する工程からなる離間方法の発明である。
第４　引用文献の記載と引用発明
１．引用文献１について
（１）引用文献１の記載
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献１（特開２０１６−８１９７６号公報）には，図面とともに次の記載がある。
「【００１２】
　図１，図２において，
離間装置１０は，接着シートＡＳ上の板状部材としての四角形のウエハＷＦに＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向の張力を付与して，ウエハＷＦから形成される複数の片状体としてのチップＣＰの相互間隔を広げる離間装置
接着シートＡＳの第１方向としての＋Ｘ軸方向側を第１支持手段２０で支持し，当該第１支持手段２０を＋Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｘ軸方向への張力を付与する第１張力付与手段３０と，接着シートＡＳの第２方向としての−Ｘ軸方向側を第２支持手段４０で支持し，当該第２支持手段４０を−Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに−Ｘ軸方向への張力を付与する第２張力付与手段５０と，接着シートＡＳの第３方向としての＋Ｙ軸方向側を第３支持手段６０で支持し，当該第３支持手段６０を＋Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｙ軸方向への張力を付与する第３張力付与手段７０と，接着シートＡＳの第４方向としての−Ｙ軸方向側を第４支持手段８０で支持し，当該第４支持手段８０を−Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに第４方向への張力を付与する第４張力付与手段９０
第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０によって相互間隔が広げられた複数のチップＣＰを，当該相互間隔を維持しながら所定の位置に配置可能な位置調整手段１２０とを備えている
ウエハＷＦは，切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されるか，レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ，接着シートＡＳが貼付されて一体物ＷＫとされている
「【００１９】
　次に，切断手段１１０が多関節ロボット１１１を駆動し，カッター刃１１２を接着シートＡＳに差し込んで移動させ，図２（Ａ）に示すように，
各頂部ＡＰからそれぞれ接着シートＡＳの外縁方向に延びる２つの辺ＣＳと，上把持部材２６，４６，６６，８６の内側縁に沿う補助辺ＣＳＳとからなる不干渉切込ＣＵを４つ形成する。これにより，包囲領域ＡＣと，不干渉切込ＣＵと，包囲領域ＡＣの各辺からそれぞれ＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向に延びる引張領域ＡＬとを備える離間用接着シートＡＵが形成される。
「【００２０】
　次に，
第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０がリニアモータ３１，５１，７１，９１を駆動し，図２（Ｂ）に示すように，各引張領域ＡＬを引っ張って包囲領域ＡＣに＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し，チップＣＰの相互間隔を広げる。そして，最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを光学センサや撮像手段等の図示しない検知手段が検知すると，第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０がリニアモータ３１，５１，７１，９１の駆動を停止する
図示しない検知手段の検知結果を基に，第１〜第４支持手段２０，４０，６０，８０が直動回動モータ２１，４１，６１，８１を駆動し，下把持部材２３，４３，６３，８３を所定平面内で回動させて首振り動作を行うことで，引張領域ＡＬの伸び方向を矯正することができ，各方向への伸びが不均一になることを防止することができる
「【００２２】
　次いで，
図示しない検知手段の検知結果を基に，位置調整手段１２０がリニアモータ１２２，１２４を駆動し，張力が付与された状態にある離間用接着シートＡＵ全体を支持プレート１２７を介して移動することで，全てのチップＣＰが位置すべき理論上の位置に当該チップＣＰを位置決めする
「
」
「
」
（２）引用発明１
ア　引用文献１の段落００１２における「ウエハＷＦは，切断刃や加圧水等のウエハ切断手段によりチップＣＰに個片化されるか，レーザ光や薬液等のウエハ脆弱化手段によりチップＣＰに個片化可能とされ，接着シートＡＳが貼付されて一体物ＷＫとされている。」との記載から，引用文献１の「接着シートＡＳ」には，個片化された複数のチップＣＰ又は複数のチップＣＰに個片化可能とされたウエハＷＦが貼付されていると理解できる。
イ　引用文献１の段落００１９の記載から，引用文献１における「離間用接着シートＡＵ」は，「包囲領域ＡＣと，不干渉切込ＣＵと，包囲領域ＡＣの各辺からそれぞれ＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向に延びる引張領域ＡＬとを備える」接着シートであって，「接着シートＡＳ」に「不干渉切込ＣＵ」を４つ形成したものであると理解できる。そうすると，引用文献１の段落００２２において「離間用接着シートＡＵ全体を支持プレート１２７を介して移動する」ことは，実質的には，「接着シートＡＳ」全体を支持プレート１２７を介して移動することであるといえる。
ウ　以上によれば，引用文献１には次の発明（以下「引用発明１」という。）が記載されているものと認められる。
「個片化された複数のチップＣＰ又は複数のチップＣＰに個片化可能とされたウエハＷＦが貼付された接着シートＡＳと，
　接着シートＡＳの第１方向としての＋Ｘ軸方向側を第１支持手段２０で支持し，当該第１支持手段２０を＋Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｘ軸方向への張力を付与する第１張力付与手段３０と，
　接着シートＡＳの第２方向としての−Ｘ軸方向側を第２支持手段４０で支持し，当該第２支持手段４０を−Ｘ軸方向に移動させて接着シートＡＳに−Ｘ軸方向への張力を付与する第２張力付与手段５０と，
　接着シートＡＳの第３方向としての＋Ｙ軸方向側を第３支持手段６０で支持し，当該第３支持手段６０を＋Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに＋Ｙ軸方向への張力を付与する第３張力付与手段７０と，
　接着シートＡＳの第４方向としての−Ｙ軸方向側を第４支持手段８０で支持し，当該第４支持手段８０を−Ｙ軸方向に移動させて接着シートＡＳに第４方向への張力を付与する第４張力付与手段９０と，
検知手段と，を備え，
　第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０が＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し，チップＣＰの相互間隔を広げ，最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを検知手段が検知すると，第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０の駆動を停止し，検知結果を基に，第１〜第４支持手段２０，４０，６０，８０を駆動し，所定平面内で回動させて首振り動作を行うことで，引張領域ＡＬの伸び方向を矯正して各方向への伸びが不均一になることを防止し，
　検知手段の検知結果を基に，接着シートＡＳ全体を移動することで，全てのチップＣＰが位置すべき理論上の位置に当該チップＣＰを位置決めする位置調整手段１２０と，
　を備える離間装置。」
２．引用文献２について　
（１）引用文献２の記載事項
　原査定の拒絶の理由に引用された引用文献２（特開２００６−３１０４３８号公報）には，図面とともに次の記載がある。
　
「【００２０】
　図１と図２とに示されているように，
本実施例に係るエキスパンド装置は，平面視して四辺形状を有する固定板１と，固定板１に対向して設けられた昇降板２とを有する。昇降板２は，固定板１とほぼ同じ平面形状を有するとともに，昇降自在に設けられている
【００２１】
　
固定板１には，その穴９の中心の回りを回動自在になるようにして下側テーブル１１が取り付けられている
下側テーブル１１には，円筒状であって側面視した場合の凸部１５Ｌとその下に設けられた鍔部とを有する伸張用部材，すなわちエキスパンドリング１６Ｌが，平面視して固定板１に重なり，かつ，これに含まれるようにして取り付けられている
【００２２】
　
昇降板２には，円環状の上側テーブル１７Ｌが，ベアリング（図示なし）を介して接するようにして回動自在に取り付けられている
【００２３】
　
上側テーブル１７Ｌには，押え部材２０Ｌが取り付けられている
押え部材２０Ｌの水平部２１の下面と上側テーブル１７Ｌの上面との間には，一定量の隙間が設けられている。この隙間に，ウェーハシート２２が張設された状態でその外周部を保持したウェーハリング２３が挿入される
ウェーハシート２２の上面は粘着性を有し，その面には，ウェーハが切断されて形成された個片からなるチップ２４が格子状に貼り付いている
「【００２８】
　第２の動作は，カメラ２８から受け取った画像に基づいて回動用モータＭ２を所望の角度方向（図１のθＭ方向）に所望の角度だけ回転させる信号を生成し，その信号を回動用モータＭ２に供給するという動作である。ここで，チップ２４の角度に関する情報についての目標値が予め定められている。この目標値は，チップ２４が角度方向（図１のθＣ方向）に基準線からどれだけずれているかということについての目標値であり，言い換えればチップ２４における角度方向のずれの許容値である。作業者がこのずれの目標値をコントローラ２９に入力することによって，コントローラ２９はその目標値を記憶する。そして，コントローラ２９は，受け取った画像に基づいて，ウェーハシート２２におけるチップ２４の角度に関する情報を取得する。具体的には，
画像処理を行ってチップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度，すなわちチップ２４の実際のずれの量を算出する。そして，コントローラ２９は，目標値と実際のずれの量とを比較し，必要に応じて回動用モータＭ２を回転させる方向と角度とを決定し，その回転に必要な信号を生成して回動用モータＭ２に供給する
「【００３６】
　本実施例に係るエキスパンド装置の動作を，図１−図２を参照して説明する。まず，図１において，チャック２７がウェーハリング２３を把持し，アーム２６が移動することによって上側テーブル１７Ｌと押え部材２０Ｌとの間の隙間にウェーハリング２３を搬入した後に，チャック２７が把持を解除する。この状態で，図２（１）に示されるように，チップ２４が貼り付けられたウェーハシート２２が張設され，そのウェーハシート２２の外周部を保持したウェーハリング２３が，上側テーブル１７Ｌの上に載置される。
【００３７】
　次に，
ウェーハシート２２を伸張させる工程を行う
昇降板２が平行を保ったまま必要な下降量だけ下降する
昇降板２とともに上側テーブル１７Ｌも下降するので，上側テーブル１７Ｌと押え部材２０Ｌとの間の隙間に挿入されたウェーハリング２３が，押え部材２０Ｌによって押さえられながら下降する
ウェーハシート２２のうち平面視してエキスパンドリング１６Ｌの凸部１５Ｌに重なる部分はその凸部１５Ｌに対して押し当てられ，凸部１５Ｌの外側の部分は斜め下向きに引っ張られる。したがって，ウェーハリング２３の内側の部分におけるウェーハシート２２が伸張するので，チップ２４同士の間隔ｄ１が，予め設定された最適かつ所望の間隔ｄ２に広がる
【００３８】
　また，この伸張させる工程では，初期値である間隔ｄ１と目標値である間隔ｄ２との組合せであって少なくとも一方の値が異なる複数の組合せをコントローラ２９に記憶させ，それらのうち１つの組合せを事前に指定することができる。これにより，それらの複数の組合せに対応することができる。また，固定板１と昇降板２との四隅に設けられたジャッキねじ４がそれぞれ均等に回転・下降し，昇降板２が平行を保ったまま所定の下降量だけ下降する。したがって，シリンダを使用する場合に比較して，下降量を高精度にすることができるので，広げられた間隔ｄ２の精度が高くなるとともにばらつきが小さくなる。また，エキスパンド前後にわたってウェーハリング２３に保持されたウェーハシート２２の平行度が良好に保たれる。
【００３９】
　次に，
１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向（図１のθＣ方向）のずれを一括して補正する工程を行う
カメラ２８が，間隔ｄ２を空けて格子状に並んでいるチップ２４の画像を撮影し，コントローラ２９に画像情報を供給する。コントローラ２９は，画像情報に基づいてチップ２４の実際のずれの量を算出し，目標値と実際のずれの量とを比較し，必要に応じて回動用モータＭ２を回転させる方向と角度とを決定し，その回転に必要な信号を生成して回動用モータＭ２に供給する。そして，回動用モータＭ２が回転することにより，下側テーブル１１と上側テーブル１７Ｌが一体的に回動する。これにより，１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向のずれが一括して解消されて所定の許容値の範囲内になる
「
」
「
」
（２）摘記の整理
　以上の摘記によれば，引用文献２には次の事項が記載されているものと理解できる。
ア　固定板１と，固定板１に対向して設けられ，昇降自在に設けられている昇降板２を備えたエキスパンド装置。（段落００２０）
イ　固定板１には，その穴９の中心の回りを回動自在になるようにして下側テーブル１１が取り付けられていること。（段落００２１）
ウ　下側テーブル１１には，円筒状であって側面視した場合の凸部１５Ｌとその下に設けられた鍔部とを有するエキスパンドリング１６Ｌが取り付けられていること。（段落００２１）
エ　昇降板２には，円環状の上側テーブル１７Ｌが取り付けられていること。（段落００２２）
オ　上側テーブル１７Ｌには押え部材２０Ｌが取り付けられ，押え部材２０Ｌの水平部２１の下面と上側テーブル１７Ｌの上面との間の隙間に，ウェーハシート２２が張設された状態でその外周部を保持したウェーハリング２３が挿入されること。（段落００２３）
カ　ウェーハシート２２の上面に，ウェーハが切断されて形成された個片からなるチップ２４が格子状に貼り付けられていること。（段落００２３）
キ　昇降板２が平行を保ったまま下降し，昇降板２とともに上側テーブル１７Ｌも下降し，上側テーブル１７Ｌと押え部材２０Ｌとの間の隙間に挿入されたウェーハリング２３が押え部材２０Ｌによって押さえられながら下降することにより，ウェーハシート２２のうち平面視してエキスパンドリング１６Ｌの凸部１５Ｌに重なる部分はその凸部１５Ｌに対して押し当てられ，凸部１５Ｌの外側の部分は斜め下向きに引っ張られてウェーハリング２３の内側の部分におけるウェーハシート２２が伸張し，チップ２４同士の間隔ｄ１が，予め設定された最適かつ所望の間隔ｄ２に広がること。（段落００３７）
ク　カメラ２８が，間隔ｄ２を空けて格子状に並んでいるチップ２４の画像を撮影してコントローラ２９に画像情報を供給し，コントローラ２９は画像処理を行ってチップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度であるチップ２４の実際のずれの量を算出し，目標値と実際のずれの量とを比較して回動用モータＭ２を回転させる方向と角度とを決定し，回動用モータＭ２が回転して下側テーブル１１と上側テーブル１７Ｌが一体的に回動することにより，１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向のずれを一括して補正すること。（段落００２８，００３９）
（３）引用発明２
　上記ア〜クによれば，引用文献２には次の発明（以下「引用発明２」という。）が記載されているものと認められる。
「固定板１と，固定板１に対向して設けられ，昇降自在に設けられている昇降板２を備えたエキスパンド装置であって，
　固定板１には，その穴９の中心の回りを回動自在になるようにして下側テーブル１１が取り付けられ，
　下側テーブル１１には，円筒状であって側面視した場合の凸部１５Ｌとその下に設けられた鍔部とを有するエキスパンドリング１６Ｌが取り付けられ，
　昇降板２には，円環状の上側テーブル１７Ｌが取り付けられ，
　上側テーブル１７Ｌには押え部材２０Ｌが取り付けられ，押え部材２０Ｌの水平部２１の下面と上側テーブル１７Ｌの上面との間の隙間に，ウェーハシート２２が張設された状態でその外周部を保持したウェーハリング２３が挿入され，
　ウェーハシート２２の上面には，ウェーハが切断されて形成された個片からなるチップ２４が格子状に貼り付けられ，
　昇降板２が平行を保ったまま下降し，昇降板２とともに上側テーブル１７Ｌも下降し，上側テーブル１７Ｌと押え部材２０Ｌとの間の隙間に挿入されたウェーハリング２３が押え部材２０Ｌによって押さえられながら下降することにより，ウェーハシート２２のうち平面視してエキスパンドリング１６Ｌの凸部１５Ｌに重なる部分はその凸部１５Ｌに対して押し当てられ，凸部１５Ｌの外側の部分は斜め下向きに引っ張られてウェーハリング２３の内側の部分におけるウェーハシート２２が伸張し，チップ２４同士の間隔ｄ１が，予め設定された最適かつ所望の間隔ｄ２に広がり，
　カメラ２８が，間隔ｄ２を空けて格子状に並んでいるチップ２４の画像を撮影してコントローラ２９に画像情報を提供し，コントローラ２９は画像処理を行ってチップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度であるチップ２４の実際のずれの量を算出し，目標値と実際のずれの量とを比較して回動用モータＭ２を回転させる方向と角度とを決定し，回動用モータＭ２が回転して下側テーブル１１と上側テーブル１７Ｌが一体的に回動することにより，１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向のずれを一括して補正する，
　エキスパンド装置。」
３．引用文献３の記載
　原査定の拒絶の理由に周知技術を示す文献として引用された引用文献３（特開２００１−３０８２３４号公報）には，次の記載がある。
「【００１７】ステップ１０５では，分割された半導体チップ２が貼り付いたままのダイシングシート９を，エキスパンドアッパーリング１２とエキスパンドロワーリング１３で固定し，伸長する（図４の（ｃ））。なお，図３の（ｂ）および図４では，ウエハ８の半導体チップ２を形成しない端片は図示省略している。
ダイシングシート９を伸長することによって，ダイシングシート９に貼り付いた個片状態の半導体チップ２を同心円状に広げる。広げられた半導体チップ２は，伸長前の半導体チップ２の位置を相似的に保つ。
第５　対比・判断
１．本願発明１について
（１）本願発明１と引用発明１の対比
　本願発明１と引用発明１を対比する。
ア　引用発明１における「個片化された複数のチップＣＰ」「複数のチップＣＰに個片化可能とされたウエハＷＦ」及び「接着シートＡＳ」は，本願発明１における「複数の被着体」「分割されて複数になる被着体」及び「接着シート」に相当する。
イ　引用発明１における「接着シートＡＳの第１方向としての＋Ｘ軸方向側」「接着シートＡＳの第２方向としての−Ｘ軸方向側」「接着シートＡＳの第３方向としての＋Ｙ軸方向側」及び接着シートＡＳの第４方向としての−Ｙ軸方向側」は，本願発明１における「接着シートの端部」に相当し，引用発明１における「第１支持手段２０」「第２支持手段４０」「第３支持手段６０」及び「第４支持手段８０」は，本願発明１における「複数の保持手段」に相当する。
ウ　引用発明１における「第１張力付与手段３０」「第２張力付与手段５０」「第３張力付与手段７０」及び「第４張力付与手段９０」は，第１〜第４支持手段２０，４０，６０，８０を，＋Ｘ軸，−Ｘ軸，＋Ｙ軸，−Ｙ軸方向へそれぞれ移動させて接着シートＡＳに当該各軸方向への張力を付与するものであり，当該張力の付与によってチップＣＰの相互間隔を広げるものであるから，本願発明１における「離間手段」に相当し，両者はともに「前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる」点で一致する。
エ　本願発明１の「離間装置」と引用発明１の「離間装置」は，ともに「検知手段」を備える点で一致し，引用発明１の「検知手段」は，「第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０が＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し，チップＣＰの相互間隔を広げ，最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを」を「検知する」ものであるから，両者の「検知手段」は「相互間隔が広げられた前記被着体を認識可能」である点で共通する。
オ　引用文献１の段落００２０及び図２（Ａ），（Ｂ）から，引用発明１において「第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０が＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し，チップＣＰの相互間隔を広げ，最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを検知手段が検知すると，第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０の駆動を停止し，検知結果を基に，第１〜第４支持手段２０，４０，６０，８０を駆動し，所定平面内で回動させて首振り動作を行うことで，引張領域ＡＬの伸び方向を矯正して各方向への伸びが不均一になることを防止」することにより，複数のチップＣＰは引用文献１の図２（Ａ）の形状から図２（Ｂ）の形状に離間されたと理解できる。ここで，引用文献１の図２（Ａ）と図２（Ｂ）から，複数のチップＣＰの全体的な集合形状が，基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように離間されていることが見て取れる。また，上記「４方向への張力を付与」とは，具体的には第１〜第４支持手段を第１〜第４張力付与手段により移動させることであり，当該移動が「検知手段」による検知結果に基づいて行われていると理解できる。
　そうすると，引用発明１における上記「第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０が＋Ｘ軸方向，−Ｘ軸方向，＋Ｙ軸方向，−Ｙ軸方向の４方向への張力を付与し，チップＣＰの相互間隔を広げ，最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを検知手段が検知すると，第１〜第４張力付与手段３０，５０，７０，９０の駆動を停止し，検知結果を基に，第１〜第４支持手段２０，４０，６０，８０を駆動し，所定平面内で回動させて首振り動作を行うことで，引張領域ＡＬの伸び方向を矯正して各方向への伸びが不均一になることを防止」することは，本願発明１における「前記離間手段は，前記検知手段の検知結果を基にして，各被着体の全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように各保持手段を移動させ，当該各被着体の全体的な集合形状を所定の集合形状と」することに相当する。
カ　引用発明１の「位置調整手段１２０」は，「検知手段の検知結果を基に，接着シートＡＳ全体を移動することで，全てのチップＣＰが位置すべき理論上の位置に当該チップＣＰを位置決めする」手段であるから，本願発明１の「位置決め手段」に対応し，両者は「前記検知手段の検知結果を基にして，被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」点で共通する。
　以上によれば，本願発明１と引用発明１の一致点及び相違点は次のとおりとなる。
＜一致点＞
　「一方の面と他方の面との少なくとも一方に，複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する複数の保持手段と，
　前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と，
　相互間隔が広げられた前記被着体を認識可能な検知手段とを備え，
　前記離間手段は，前記検知手段の検知結果を基にして，各被着体の全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように各保持手段を移動させ，当該各被着体の全体的な集合形状を所定の集合形状とし，
　前記検知手段の検知結果を基にして，被着体群の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする位置決め手段とを備えていることを特徴とする離間装置。」
＜相違点１＞
　本願発明１は，「検知手段」は「前記被着体群全体を一塊として認識可能」であり，「前記検知手段」が「前記所定の集合形状を一塊と認識し」た検知結果を基に，「位置決め手段」が「前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」のに対し，引用発明１は，「検知手段」及び「位置調整手段１２０」を備えているものの，当該「検知手段」は「前記被着体群全体を一塊として認識可能」であること，及び，「前記検知手段」の「前記所定の集合形状を一塊と認識し」た検知結果を基に，「位置調整手段１２０」が「前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」ことは特定されていない点。
（２）相違点についての判断
　上記第４の１．（１）の摘記のとおり，引用文献１には「最外周に位置するチップＣＰが所定の位置に達したことを検知手段が検知する」（段落００２０）ことや，「全てのチップＣＰが位置すべき理論上の位置に当該チップＣＰを位置決めする」（段落００２２）ことは記載されているものの，本願発明１のように，「検知手段」が「被着体群全体を一塊として認識可能」であることや，「所定の集合形状を一塊として認識し」「前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」ことは記載も示唆もされていない。
　引用文献３には，ダイシングシート９を伸長することによってダイシングシート９に貼付された半導体チップ２を同心円状に広げる際に，広げられた半導体チップ２が伸長前の半導体チップ２の位置を相似的に保つことが記載されているものの，半導体チップ２の集合形状を一塊として認識し，位置決めすることについては記載も示唆もされていないし，また，このことが，本願出願時において周知技術であるともいえない。
　したがって，上記相違点１に係る本願発明１の構成は，引用発明１及び周知技術に基づいて当業者が容易になし得た発明とはいえない。
２．本願発明２について
（１）本願発明２と引用発明２の対比
　本願発明２と引用発明２を対比する。
ア　引用発明２における「エキスパンド装置」，「チップ２４」「ウェーハシート２２」は，本願発明２における「離間装置」，「被着体」及び「接着シート」にそれぞれ相当する。
イ　引用発明２において，「ウェーハシート２２」は「張設された状態でその外周部」が「ウェーハリング２３」に「保持」され，当該「ウェーハリング２３」は「押え部材２０Ｌの水平部２１の下面と上側テーブル１７Ｌの上面との間の隙間」に「挿入」されることから，引用発明２における「上側テーブル１７Ｌ」「押え部材２０Ｌ」及び「ウェーハリング２３」は，本願発明２における「接着シートの端部を保持する保持手段」に相当する。
ウ　引用発明２は，「昇降板２」とともに「上側テーブル１７Ｌ」「押え部材２０Ｌ」「ウェーハリング２３」が下降することにより，「ウェーハシート２２のうち平面視してエキスパンドリング１６Ｌの凸部１５Ｌに重なる部分はその凸部１５Ｌに対して押し当てられ，凸部１５Ｌの外側の部分は斜め下向きに引っ張られてウェーハリング２３の内側の部分におけるウェーハシート２２が伸張し，チップ２４同士の間隔ｄ１が，予め設定された最適かつ所望の間隔ｄ２に」広げられるものであるから，引用発明２における「エキスパンドリング１６Ｌ」が本願発明２の「当接手段」に相当し，引用発明２の「昇降板２」が本願発明２の「離間手段」に相当するといえる。そして，本願発明２と引用発明２は，ともに「前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および当接手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段」を備える点で一致する。
エ　引用文献２の図２から，引用発明２の「ウェーハシート２２のうち平面視してエキスパンドリング１６Ｌの凸部１５Ｌに重なる部分」は，「チップ２４」が「ウェーハシート２２」に接着された領域よりも外側であって，「上側テーブル１７Ｌ」「押え部材２０Ｌ」「ウェーハリング２３」よりも内側であることは明らかである。そうすると，本願発明２の「当接手段」と引用発明２の「エキスパンドリング１６Ｌ」は，ともに「前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって，前記保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する」点で一致する。
オ　引用発明２における「カメラ２８」及び「コントローラ２９」は，「間隔ｄ２を空けて格子状に並んでいるチップ２４の画像を撮影し」「画像処理を行ってチップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度であるチップ２４の実際のずれの量を算出」するものであるから，本願発明２における「検知手段」に対応し，両者は「相互間隔が広げられた被着体を認識可能な検知手段」である点で共通する。
カ　引用発明２における「回転モータＭ２」及び「下側テーブル１１」は，「コントローラ２９」が「算出」した「チップ２４の実際のずれの量」を基にして「回動用モータＭ２が回転して下側テーブル１１と上側テーブル１７Ｌが一体的に回動することにより，１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向のずれを一括して補正する」ものであるから，本願発明２における「位置決め手段」に対応し，両者は「前記検知手段の検知結果を基にして，被着体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」点で共通する。
　上記ア〜カによれば，本願発明２と引用発明２の一致点及び相違点は次のとおりである。
＜一致点＞
「一方の面と他方の面との少なくとも一方に，複数の被着体または分割されて複数になる被着体が貼付された接着シートの端部を保持する保持手段と，
　前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって，前記保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段と，
　前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および当接手段を相対移動させ，前記接着シートに張力を付与して前記被着体の相互間隔を広げる離間手段と，
　相互間隔が広げられた前記被着体を認識可能な検知手段とを備え，
　前記検知手段の検知結果を基にして，前記被着体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする位置決め手段とを備えていることを特徴とする離間装置。」
＜相違点２−１＞
　本願発明２は，「検知手段」は「前記被着体群全体を一塊として認識可能」であり，「前記検知手段」が「前記所定の集合形状を一塊と認識し」た検知結果を基に，「位置決め手段」が「前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」のに対し，引用発明２は，「チップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度であるチップ２４の実際のずれの量を算出」して「１個のウェーハリング２３における全チップ２４の角度方向のずれを一括して補正する」ものであり，「カメラ２８」及び「コントローラ２９」が「前記被着体群全体を一塊として認識可能」であることや，「前記所定の集合形状を一塊と認識し」た検知結果を基に「角度方向のずれを一括して補正する」ことは特定されていない点。
＜相違点２−２＞
　本願発明２では，「前記離間手段は，前記検知手段の検知結果を基にして，各被着体の全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように各保持手段を移動させ，当該各被着体の全体的な集合形状を所定の集合形状とし」ているのに対し，引用発明２では，「昇降板２」の下降がそのように行われることは特定されていない点。
（２）相違点についての判断
　始めに相違点２−１について検討する。上記第４の２．（１）の摘記のとおり，引用文献２には，「チップ２４の稜線（エッジ）を検出し，その稜線と基準線とがなす角度，すなわちチップ２４の実際のずれの量を算出する」（段落００２８）ことは記載されているものの，「検知手段」が「被着体群全体を一塊として認識可能」であることや，「所定の集合形状を一塊として認識し」「前記一塊の被着体群全体の位置と方位との少なくとも一方の位置決めをする」ことは記載も示唆もされていない。また，引用文献３にも，上記第５の１．（２）で検討したとおり，半導体チップ２の集合形状を一塊として認識し，位置決めすることについては記載も示唆もされていないし，このことが本願出願時において周知技術であるともいえない。
　そうすると，他の相違点について検討するまでもなく，本願発明２は，引用発明２及び周知技術に基づいて当業者が容易に発明できたものとはいえない。
３．本願発明３及び４について
　本願発明３は本願発明１における各手段に対応する工程からなる発明であるから，本願発明１と同じ理由により，引用発明１及び周知技術に基づいて容易に発明できたものではない。また，本願発明４は本願発明２における各手段に対応する工程からなる発明であるから，本願発明２と同じ理由により，引用発明２及び周知技術に基づいて容易に発明できたものではない。
第６　結言
　以上のとおり，原査定の理由によっては，本願を拒絶することはできない。
　また，他に本願を拒絶すべき理由を発見しない。
　よって，結論のとおり審決する。