【手続補正書】
【提出日】令和1年8月28日(2019.8.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータにより、第１乃至第Ｎ（Ｎは３以上の自然数）の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法であって、
前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第１乃至第ｎ（≦Ｎ）の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第Ｊ（Ｊは２以上かつＮ未満の自然数）の特徴点であるかを判定する工程と、
注目特徴点が第Ｊの特徴点であると判定された場合に、第１乃至第Ｊの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、
前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第（Ｊ＋１）の特徴点から第Ｎの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を含み、
第Ｊの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される、
ことを特徴とする位置検出方法。
【請求項２】
前記工程では、第１乃至第（Ｊ−１）の特徴点については前記中間的な指標を得ない、
ことを特徴とする請求項１に記載の位置検出方法。
【請求項３】
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第１乃至第Ｊの特徴点について前記相関性を示す指標値を得ることと、当該指標値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の位置検出方法。
【請求項４】
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第１乃至第Ｊの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値Ｔ（ｎ）を変数とする関数の値について積算を行うことと、
前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置検出方法。
【請求項５】
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第１乃至第Ｊの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値Ｔ（ｎ）と当該注目特徴点に対応する前記画像における画素の値とを変数とする関数の値について積算を行うことと、
前記積算によって得られた値を変数とする関数の値に基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置検出方法。
【請求項６】
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、
第１乃至第Ｊの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点における前記テンプレートの値Ｔ（ｎ）を変数とする第１関数の値について第１の積算を行うことと、
第１乃至第Ｊの特徴点を順に注目特徴点として、注目特徴点に対応する前記画像における画素の値を変数とする第２関数の値について第２の積算を行うことと、
前記第１の積算によって得られた値と前記第２の積算によって得られた値とに基づいて前記中間的な指標を得ることと、
を含むことを特徴とする請求項３に記載の位置検出方法。
【請求項７】
第Ｊの特徴点は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第１乃至第ｎ（≦Ｎ）の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第１乃至第ｎの特徴点それぞれについて得て、前記テスト画像に関して第１乃至第ｎの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の位置検出方法。
【請求項８】
前記打ち切り条件を決定する決定工程を更に含む、
ことを特徴とする請求項１乃至６のうちいずれか１項に記載の位置検出方法。
【請求項９】
前記決定工程は、テスト画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第１乃至第ｎの特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記テスト画像との相関性を示す指標を第１乃至第ｎの特徴点それぞれについて得て、前記テスト画像に関して第１乃至第ｎの特徴点それぞれについて得られた当該指標の遷移に基づいて前記打ち切り条件を決定する、
ことを特徴とする請求項８に記載の位置検出方法。
【請求項１０】
第１乃至第Ｎの特徴点を並べ替えることによって第１乃至第Ｎの特徴点を再定義する工程を更に有する、
ことを特徴とする請求項１乃至９のうちいずれか１項に記載の位置検出方法。
【請求項１１】
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程は、第１ないし第ＪＮ２（ＪＮ２はＪより大きい自然数）の特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が第２打ち切り条件を満たす場合に第（ＪＮ２＋１）の特徴点以降についての処理を打ち切る、
ことを特徴とする請求項１乃至９のいずれか１項に記載の位置検出方法。
【請求項１２】
コンピュータに請求項１乃至１１のうちいずれか１項に記載の位置検出方法を実行させるためのプログラム。
【請求項１３】
第１ないし第Ｎ（Ｎは３以上の自然数）の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出装置であって、プロセッサに、
前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第１ないし第ｎ（≦Ｎ）の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、
前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る工程において、注目特徴点が第Ｊ（Ｊは２以上かつＮ未満の自然数）の特徴点であるかを決定する工程と、
注目特徴点が第Ｊの特徴点であると判定された場合に、第１乃至第Ｊの特徴点の処理に基づいて得られる中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、
前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第（Ｊ＋１）の特徴点から第Ｎの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を実行させ、
第Ｊの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記プロセッサに開始させる前に決定される、
ことを特徴とする位置検出装置。
【請求項１４】
基板の上にパターンを形成するリソグラフィ装置であって、
前記基板のマークを撮像する撮像部と、
前記基板を位置決めする位置決め部と、
前記撮像部によって得られた画像に基づいて前記位置決め部を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記撮像部によって得られた画像の中のマークの位置を検出する請求項１３に記載の位置検出装置を含む、
ことを特徴とするリソグラフィ装置。
【請求項１５】
前記位置検出装置は、前記基板の属性に基づいて、第Ｊの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項１４に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１６】
前記位置検出装置は、特定の基板に関する画像に基づいて、第Ｊの特徴点および前記打ち切り条件のうち少なくとも一方を決定することを特徴とする請求項１４又は１５に記載のリソグラフィ装置。
【請求項１７】
請求項１４乃至１６のうちいずれか１項に記載のリソグラフィ装置を用いて基板の上にパターンを形成する工程と、
前記工程で前記パターンを形成された前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の１つの側面は、コンピュータにより、第１乃至第Ｎ（Ｎは３以上の自然数）の特徴点を有するテンプレートを用いたテンプレートマッチングによって、画像の中の対象物の位置を検出する位置検出方法に係り、前記位置検出方法は、前記画像に対する前記テンプレートの複数の相対位置それぞれについて、第１乃至第ｎ（≦Ｎ）の特徴点を順に注目特徴点として処理を繰り返すことによって前記テンプレートと前記画像との相関性を示す指標を得る工程と、前記複数の相対位置それぞれについて前記指標を得る前記工程において、注目特徴点が第Ｊ（Ｊは２以上かつＮ未満の自然数）の特徴点であるかを判定する工程と、注目特徴点が第Ｊの特徴点であると判定された場合に、第１乃至第Ｊの特徴点の処理に基づいて得られる前記相関性を示す中間的な指標が打ち切り条件を満たすかを判定する工程と、前記中間的な指標が前記打ち切り条件を満たす場合に、第（Ｊ＋１）の特徴点から第Ｎの特徴点までの処理を打ち切る工程と、を含み、第Ｊの特徴点は、前記画像の中の前記対象物の位置を検出する処理を前記コンピュータに開始させる前に決定される。