【手続補正書】
【提出日】平成31年2月18日(2019.2.18)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
吐出口と連通し、液体材料が供給される液室と、
ピストンが形成され、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、
プランジャーに付勢力を与える弾性部材と、
ピストンが配設され加圧気体が供給されるピストン室と、
ピストン室に弾性部材の付勢力を上回る加圧エアを供給し、またはピストン室内の加圧エアを排出する圧力供給装置と、を備え、
前記プランジャーを進出移動させて液体材料に慣性力を印可することにより前記吐出口から液体材料を吐出する液体材料吐出装置であって、
前記圧力供給装置とエア源とを連通する増圧回路を備え、
前記増圧回路が、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第一の増圧系統と、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第二の増圧系統と、第一の増圧系統および第二の増圧系統を合流させる合流部と、を備え、
さらに、前記合流部と前記圧力供給装置との間に圧力調整弁を備えることを特徴とする液体材料吐出装置。
【請求項２】
前記第一の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第一の逆止弁を有し、
前記第二の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第二の逆止弁を有することを特徴とする請求項１に記載の液体材料吐出装置。
【請求項３】
前記第一の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有し、
前記第二の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有することを特徴とする請求項２に記載の液体材料吐出装置。
【請求項４】
前記第一の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成され、
前記第二の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成されることを特徴とする請求項３に記載の液体材料吐出装置。
【請求項５】
前記増圧回路が、前記エア源から供給された加圧エアを第一の増圧系統および第二の増圧系統に分岐する分岐部を備えることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項６】
前記第一の増圧系統が、第一のエア源に接続され、
前記第二の増圧系統が、第二のエア源に接続されることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項７】
前記圧力調整弁が、前記エア源の供給圧力と比べ高圧の加圧エアを前記圧力供給装置に供給することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項８】
前記弾性部材が前記ピストンを上方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを下方に移動させる加圧エアを供給すること、または、
前記弾性部材が前記ピストンを下方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを上方に移動させる加圧エアを供給することを特徴とする請求項１ないし７のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項９】
前記圧力供給装置が、電磁弁により構成されることを特徴とする請求項１ないし８のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１０】
さらに、前記液室と連通される貯留容器と、
前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、
前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通または遮断する開閉弁と、を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１１】
さらに、前記液室と連通される貯留容器と、
前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、
前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通する第一の位置および前記貯留容器と外界とを連通する第二の位置を有する切換弁と、を備えることを特徴とする請求項１ないし９のいずれかに記載の液体材料吐出装置。
【請求項１２】
前記貯留容器用減圧弁と前記エア源とを連通する分岐部を備えることを特徴とする請求項１０または１１に記載の液体材料吐出装置。
【請求項１３】
前記貯留容器用減圧弁が、前記増圧回路とは異なるエア源に接続されることを特徴とする請求項１０または１１に記載の液体材料吐出装置。
【請求項１４】
請求項１ないし１３のいずれかに記載の液体材料吐出装置と、被塗布物を載置するワークテーブルと、液体材料吐出装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備える塗布装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
本発明の液体材料吐出装置は、吐出口と連通し、液体材料が供給される液室と、ピストンが形成され、先端部が液室内を進退動するプランジャーと、プランジャーに付勢力を与える弾性部材と、ピストンが配設され加圧気体が供給されるピストン室と、ピストン室に弾性部材の付勢力を上回る加圧エアを供給し、またはピストン室内の加圧エアを排出する圧力供給装置と、を備え、前記プランジャーを進出移動させて液体材料に慣性力を印可することにより前記吐出口から液体材料を吐出する液体材料吐出装置であって、前記圧力供給装置とエア源とを連通する増圧回路を備え、前記増圧回路が、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第一の増圧系統と、増圧弁および当該増圧弁の下流に位置する減圧弁を有する第二の増圧系統と、第一の増圧系統および第二の増圧系統を合流させる合流部と、を備え、さらに、前記合流部と前記圧力供給装置との間に圧力調整弁を備えることを特徴とする。
上記液体材料吐出装置において、前記第一の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第一の逆止弁を有し、前記第二の増圧系統が、前記合流部と接続される流路に第二の逆止弁を有することを特徴としてもよく、この場合、前記第一の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有し、前記第二の増圧系統が、前記増圧弁の下流に配置された貯留タンクを有することを特徴とすることが好ましく、前記第一の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成され、前記第二の増圧系統の貯留タンクが、上流側貯留タンクと下流側貯留タンクとから構成されることを特徴とすることがより好ましい。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
上記液体材料吐出装置において、前記増圧回路が、前記エア源から供給された加圧エアを第一の増圧系統および第二の増圧系統に分岐する分岐部を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記第一の増圧系統が、第一のエア源に接続され、
前記第二の増圧系統が、第二のエア源に接続されることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記圧力調整弁が、前記エア源の供給圧力と比べ高圧の加圧エアを前記圧力供給装置に供給することを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記弾性部材が前記ピストンを上方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを下方に移動させる加圧エアを供給すること、または、前記弾性部材が前記ピストンを下方に付勢し、前記圧力供給装置が前記ピストンを上方に移動させる加圧エアを供給することを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記圧力供給装置が、電磁弁により構成されることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、さらに、前記液室と連通される貯留容器と、前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通または遮断する開閉弁と、を備えることを特徴としてもよい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記液体材料吐出装置において、さらに、前記液室と連通される貯留容器と、前記貯留容器に所望の圧力の加圧エアを供給する貯留容器用減圧弁と、前記貯留容器と前記貯留容器用減圧弁とを連通する第一の位置および前記貯留容器と外界とを連通する第二の位置を有する切換弁と、を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、上記液体材料吐出装置において、前記貯留容器用減圧弁と前記エア源とを連通する分岐部を備えることを特徴としてもよい。
上記液体材料吐出装置において、前記貯留容器用減圧弁が、前記増圧回路とは異なるエア源に接続されることを特徴としてもよい。
本発明の塗布装置は、上記液体材料吐出装置と、被塗布物を載置するワークテーブルと、液体材料吐出装置と被塗布物とを相対移動させる相対移動装置と、を備えることを特徴とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図２】
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