【手続補正書】
【提出日】令和1年10月8日(2019.10.8)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基部と、
前記基部から延出し、前記基部の厚さ方向に貫通している貫通孔が設けられている振動腕と、
前記貫通孔の内壁面と前記基部とに跨って設けられている少なくとも１つの導体パターンと、を備え、
前記貫通孔は、前記基部の厚さ方向から見た平面視において、前記振動腕と前記基部との接続部よりも前記基部側に入り込んでいる基部側端部を有し、
前記平面視において、前記少なくとも１つの導体パターンが前記基部側端部に沿っている長さの合計が前記振動腕の延出方向に直交する方向での前記貫通孔の長さよりも大きいことを特徴とするセンサー素子。
【請求項２】
前記振動腕は、コリオリ力またはそれに伴う力により検出振動する検出振動腕である請求項１に記載のセンサー素子。
【請求項３】
前記貫通孔は、前記振動腕の延出方向に複数並んで設けられている請求項１または２に記載のセンサー素子。
【請求項４】
第１方向に延出している前記振動腕である第１振動腕と、
前記第１方向とは逆方向である第２方向に延出している第２振動腕と、を備える請求項１ないし３のいずれか１項に記載のセンサー素子。
【請求項５】
前記第１振動腕は、コリオリ力またはそれに伴う力により検出振動する検出振動腕であって、前記貫通孔である第１貫通孔が設けられ、前記第１方向に垂直な断面で見たとき、前記第１貫通孔により２分され、前記第１貫通孔の貫通方向での一方側から他方側に向けて厚さが減少している２つの壁部を有する請求項４に記載のセンサー素子。
【請求項６】
前記第２振動腕は、駆動振動する駆動振動腕であって、前記基部の厚さ方向に貫通している第２貫通孔が設けられ、前記第２方向に垂直な断面で見たとき、前記第２貫通孔により２分され、前記第２貫通孔の貫通方向での一方側から他方側に向けて厚さが減少している２つの壁部を有する請求項４または５に記載のセンサー素子。
【請求項７】
前記第２振動腕は、駆動振動する駆動振動腕であって、前記基部の厚さ方向に貫通している第２貫通孔が設けられ、前記第２方向に垂直な断面で見たとき、前記第２貫通孔により２分され、前記第２貫通孔の貫通方向での一方側から他方側に向けて厚さが、一定であるか、または、前記第１振動腕が有する前記壁部の厚さの減少率よりも小さい減少率で減少している２つの壁部を有する請求項５に記載のセンサー素子。
【請求項８】
前記第２振動腕は、第２貫通孔を複数備え、
前記平面視において、互いに隣り合う２つの前記第２貫通孔の間の位置における前記第２振動腕の前記第２方向に直交する方向に沿った幅は、前記第２貫通孔の位置における前記第２振動腕の前記第２方向に直交する方向に沿った幅よりも大きい請求項４ないし７のいずれか１項に記載のセンサー素子。
【請求項９】
前記振動腕は、前記貫通孔を複数備え、
前記平面視において、互いに隣り合う２つの前記貫通孔の間の位置における前記振動腕の延出方向に直交する方向に沿った幅は、前記貫通孔の位置における前記振動腕の延出方向に直交する方向に沿った幅よりも大きい請求項１ないし８のいずれか１項に記載のセンサー素子。
【請求項１０】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えることを特徴とする物理量センサー。
【請求項１１】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えることを特徴とする電子機器。
【請求項１２】
請求項１ないし９のいずれか１項に記載のセンサー素子を備えることを特徴とする移動体。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５７】
駆動振動腕４２１（第２振動腕）には、図４に示すように、基部４１の厚さ方向（ｚ軸方向）に貫通している少なくとも１つ（図示では６つ）の貫通孔４２１３（第２貫通孔）が設けられている。これにより、駆動振動腕４２１に貫通孔を設けなかったり有底の溝を設けたりする場合に比べて、駆動振動腕４２１の駆動振動における熱弾性損失を低減するとともに駆動振動腕４２１における励振（駆動振動）の電界効率を高めることができ、駆動振動腕４２１の駆動振動のＱ値を向上させることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８２】
また、図示では、各壁部４３１１ａ、４３１１ｂがｚ軸方向での一方側から他方側に向けて厚さＷ２が単調減少（連続的かつ一定の減少率で減少）しているが、その減少率がｚ軸方向での一方側から他方側に向けて変化していてもよいし、各壁部４３１１ａ、４３１１ｂがｚ軸方向での一方側から他方側に向けて厚さＷ２が段階的に変化していてもよい。また、図示では、壁部４３１１ａ、４３１１ｂのそれぞれの両側面がｚ軸方向に対して傾斜しているが、両側面のうちの一方の側面（すなわち貫通孔４３１３の壁面または腕部４３１１の側面）がｚ軸に対して平行であってもよい。また、ｚ軸方向に対する壁部４３１１ａ、４３１１ｂの側面の傾斜角度は、特に限定されないが、１０°以下であることが好ましい。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８３】
また、前述したように、検出振動腕４３１（振動腕）は、貫通孔４３１３を複数備えているが、図５に示すように、検出振動腕４３１の両側面のそれぞれには、隣り合う２つの貫通孔４３１３の間の部分に対応する位置に、壁部４３１１ａ、４３１１ｂがそれぞれ外方（−ｘ軸方向および＋ｘ軸方向）へ突出して形成された突出部４３１６が設けられている。そのため、平面視において、互いに隣り合う２つの貫通孔４３１３の間の位置における検出振動腕４３１の延出方向（ｙ軸方向）に直交する方向（ｘ軸方向）に沿った幅（幅の値の平均値）は、貫通孔４３１３の位置における検出振動腕４３１の延出方向（ｙ軸方向）に直交する方向（ｘ軸方向）に沿った幅（幅の値の平均値）よりも大きい。これにより、検出振動腕４３１における検出の電界効率を優れたものとしつつ、検出振動腕４３１の耐衝撃性を高めることができる。なお、検出振動腕４３１における突出部４３１６の構成は、前述した駆動振動腕４２１における突出部４２１６の構成と同様である。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１４】
本実施形態では、貫通孔２２１３のｘ軸方向での幅（ＨＷ）は、貫通孔２２１３のｙ軸方向での両端側に向かうにしたがって小さくなっている。図示では、各貫通孔２２１３は、平面視で１２角形をなしている。これにより、前述した第１実施形態の駆動振動腕４２１と同様、駆動振動腕２２１の駆動振動のＱ値をより向上させることができる。なお、貫通孔２２１３の平面視形状は、１２角形に限定されず、例えば、８角形以上の他の多角形、流線型、楕円形のうちのいずれかの形状であってもよく、この場合であっても、前述したのと同様の効果を得ることができる。また、貫通孔２２１３の平面視形状は、四角形または四角形の角部を丸めた形状等であってもよい。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１１８】
また、駆動振動腕２２１は、腕部２２１１の基端部に設けられていて先端側から基端側に向かって幅が拡がるテーパー部２２１４と、腕部２２１１の先端部に設けられていて基端側から先端側に向けて幅が拡がるテーパー部２２１５と、を有する。テーパー部２２１４、２２１５により、駆動振動腕２２１の耐衝撃性を高めることができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５５】
以上のような電子機器は、センサー素子１を備える。これにより、センサー素子１の優れた効果を享受して、電子機器の特性を向上させることができる。なお、センサー素子１に代えて、センサー素子１Ａを用いてもよい。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１５９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１５９】
以上のように移動体１５００は、センサー素子１を備える。これにより、センサー素子１の優れた効果を享受して、移動体１５００の特性を向上させることができる。なお、センサー素子１に代えて、センサー素子１Ａを用いてもよい。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１６５】
また、検出電極の数、位置、形状、大きさ等は、物理量が加えられることによる検出振動腕の振動を電気的に検出することができるものであれば、前述した実施形態に限定されるものではない。