【手続補正書】
【提出日】令和1年5月28日(2019.5.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１基板の第１面と第２基板の第２面とが接するように前記第１基板と前記第２基板とが重なった光電変換装置であって、
前記第１基板は、
光電変換素子と、
前記第１面を成す第１導電部と、
前記第１面に最も近い導電パタンに含まれ、前記第１導電部に電気的に接続された第２導電部と、
前記第１面に２番目に近い導電パタンに含まれ、前記光電変換素子で生じた信号が伝達される第３導電部と、を有し、
前記第２基板は、
前記第２面を成し、前記第１導電部に電気的に接続された第４導電部と、
前記第４導電部に電気的に接続され、前記光電変換素子で生じた信号を処理するための回路と、を有し、
前記第１基板の前記第１面に対する平面視において、前記第１導電部の面積は、前記第２導電部の面積よりも小さく、前記第３導電部のうち前記第２導電部に重なる部分の面積よりも大きいことを特徴とする光電変換装置。
【請求項２】
前記第１基板の前記第１面に対する平面視において、前記第１導電部の面積は、前記第３導電部の面積よりも大きいことを特徴とする請求項１に記載の光電変換装置。
【請求項３】
前記第１基板は、
フローティングディフュージョンと、
前記光電変換素子から前記フローティングディフュージョンへ信号を転送する転送トランジスタと、
前記フローティングディフュージョンに転送された信号を増幅する増幅トランジスタと、を更に有し、
前記第１導電部、前記第２導電部及び前記第３導電部は、前記増幅トランジスタの出力ノードと同一の電気ノードを構成することを特徴とする請求項１又は２に記載の光電変換装置。
【請求項４】
前記第１基板の前記第１面に対する平面視において、前記第１導電部、第２導電部及び第３導電部のそれぞれが前記フローティングディフュージョンに重なることを特徴とする請求項３に記載の光電変換装置。
【請求項５】
前記第１基板は、前記第２導電部と前記第３導電部とを互いに接続する複数のプラグを更に有することを特徴とする請求項３又は４に記載の光電変換装置。
【請求項６】
前記第１基板は、
フローティングディフュージョンと、
前記光電変換素子から前記フローティングディフュージョンへ信号を転送する転送トランジスタと、
前記第１面に最も近い導電パタンに含まれ、前記転送トランジスタのゲートに電気的に接続された第５導電部と、
前記第１面の一部を構成し、前記第５導電部に電気的に接続された第６導電部と、を更に有し、
前記第２基板は、
前記転送トランジスタを駆動する信号を生成する駆動回路と、
前記第２面の一部を構成し、前記第６導電部に電気的に接続された第７導電部と、
前記第２面に最も近い導電パタンに含まれ、前記第７導電部に電気的に接続され、前記駆動回路からの信号が伝達される第８導電部と、を更に有し、
互いに電気的に接続された前記第６導電部と前記第７導電部とによって接続部が構成され、
前記第５導電部と前記第８導電部とは、複数の前記接続部によって互いに電気的に接続されることを特徴とすることを特徴とする請求項１又は２に記載の光電変換装置。
【請求項７】
前記第１基板は、前記フローティングディフュージョンの電圧をリセットするリセットトランジスタを更に有する特徴とする請求項３乃至６の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項８】
前記第１基板は、前記光電変換素子と、前記第１導電部と、前記第２導電部と、前記第３導電部とを含む単位セルを複数、備え、
前記第２基板は、前記第２面に最も近い導電パタンに含まれ、複数の単位セルのそれぞれの前記第３導電部に電気的に接続された信号線を更に有することを特徴とする請求項１乃至７の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項９】
前記第２基板のうち前記第２面に最も近い導電パタンは、複数の接地線をさらに有し、
前記第２基板のうち前記第２面に２番目に近い導電パタンは、前記複数の接地線のそれぞれに電気的に接続された第８導電部を更に有することを特徴とする請求項１乃至８の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１０】
それぞれが光電変換素子を含む複数の画素が配された第１半導体領域と、
前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を処理する信号処理回路、および、前記複数の画素へ制御信号を供給する制御回路の少なくとも一方を含む回路が配された第２半導体領域と、
それぞれが、互いに接触した２つの導電部を含み、かつ、前記複数の画素の少なくとも１つと前記回路とを電気的に接続する、複数の接続部と、を備え、
前記第１半導体領域、前記複数の接続部の１つに含まれる前記２つの導電部、および、前記第２半導体領域が第１方向に沿ってこの順に並び、
複数の接続部に含まれる第１個数の第１の接続部が第１電気ノードを構成し、
複数の接続部に含まれる前記第１個数とは異なる第２個数の第２の接続部が、前記第１電気ノードとは電気的に分離された第２電気ノードを構成する、
ことを特徴とする光電変換装置。
【請求項１１】
前記回路は前記信号処理回路を含み、
前記複数の画素のそれぞれは、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第１電気ノードは、前記トランジスタと前記信号処理回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の光電変換装置。
【請求項１２】
前記回路は前記制御回路を含み、
前記第２電気ノードは、前記複数の画素の１つと前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の光電変換装置。
【請求項１３】
前記回路は前記信号処理回路および前記制御回路を含み、
前記複数の画素のそれぞれは、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第１電気ノードは、前記トランジスタと前記信号処理回路との間の信号経路に含まれ、
前記第２電気ノードは、前記複数の画素の１つと前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の光電変換装置。
【請求項１４】
前記複数の画素のそれぞれは、前記制御回路から供給される前記制御信号を受けるゲートを有するトランジスタを含み、
前記第１電気ノードは、前記トランジスタの前記と前記制御回路との間の信号経路に含まれる、
ことを特徴とする請求項１０に記載の光電変換装置。
【請求項１５】
前記第１個数が前記第２個数より少ない
ことを特徴とする請求項１１乃至１４の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１６】
前記第２個数が前記第１個数より少ない
ことを特徴とする請求項１１乃至１４の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１７】
前記複数の接続部は、前記第１方向に交差する第２方向に並んだ少なくとも２つの前記第１の接続部を含み、
前記少なくとも２つの前記第１の接続部の間に、絶縁部材が配されている、
ことを特徴とする請求項１０乃至１６の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１８】
前記複数の接続部は、前記第１方向に交差する第２方向に並んだ少なくとも２つの前記第２の接続部を含み、
前記少なくとも２つの前記第２の接続部の間に、絶縁部材が配されている、
ことを特徴とする請求項１０乃至１７の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項１９】
前記複数の接続部のそれぞれは、前記接続部と前記第１半導体領域との間に配され、前記２つの導電部の一方に接する第１プラグと、前記接続部と前記第２半導体領域との間に配され、前記２つの導電部の他方に接する第２プラグと、を含む、
ことを特徴とする請求項１０乃至１８の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項２０】
前記複数の接続部と前記第１半導体領域との間に配され、前記複数の接続部の少なくとも１つと前記複数の画素の少なくとも１つとを電気的に接続する第１導電パタンと、
前記複数の接続部と前記第２半導体領域との間に配され、前記複数の接続部の少なくとも１つと前記回路とを電気的に接続する第２導電パタンと、を含む、
ことを特徴とする請求項１０乃至１９の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項２１】
前記信号処理回路は、前記光電変換素子で生じた電荷に基づく信号をデジタル信号に変換するアナログデジタル変換回路を含む、
ことを特徴とする請求項１０乃至２０の何れか１項に記載の光電変換装置。
【請求項２２】
請求項１乃至２１の何れか１項に記載の光電変換装置と、
前記光電変換装置によって得られた信号を処理する信号処理部と、
を備えることを特徴とするカメラ。
【請求項２３】
積層用の基板であって、
光電変換素子で生じた電荷に基づく信号を処理するための信号処理回路、および、前記光電変換素子を含む画素へ制御信号を供給する制御回路の少なくとも一方を含む回路と、
それぞれが前記基板の表面を成す複数の導電部と、を備え、
複数の導電部に含まれる第１個数の第１の導電部が第１電気ノードを構成し、
複数の導電部に含まれる前記第１個数とは異なる第２個数の第２の導電部が、前記第１電気ノードとは電気的に分離された第２電気ノードを構成する、
ことを特徴とする積層用の基板。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】光電変換装置、カメラ及び積層用の基板
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、光電変換装置、カメラ及び積層用の基板に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００５】
上記課題に鑑みて、第１基板の第１面と第２基板の第２面とが接するように前記第１基板と前記第２基板とが重なった光電変換装置であって、前記第１基板は、光電変換素子と、前記第１面を成す第１導電部と、前記第１面に最も近い導電パタンに含まれ、前記第１導電部に電気的に接続された第２導電部と、前記第１面に２番目に近い導電パタンに含まれ、前記光電変換素子で生じた信号が伝達される第３導電部と、を有し、前記第２基板は、前記第２面を成し、前記第１導電部に電気的に接続された第４導電部と、前記第４導電部に電気的に接続され、前記光電変換素子で生じた信号を処理するための回路と、を有し、前記第１基板の前記第１面に対する平面視において、前記第１導電部の面積は、前記第２導電部の面積よりも小さく、前記第３導電部のうち前記第２導電部に重なる部分の面積よりも大きいことを特徴とする光電変換装置が提供される。