【手続補正書】
【提出日】平成31年4月2日(2019.4.2)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
空間を仕切る隔壁に設けられた開口を開閉するためのバルブであって、
a)前記開口に圧接されることにより該開口を封止するシール部材を備えた封止部と、
b)前記開口の中心を通り前記隔壁に垂直な軸である開口中心軸と直交する方向の駆動力を発生する駆動手段と、
c)第１アームと、該第１アーム上の一点である連結点で該第１アームに対して回動可能に軸着された第２アームとを有し、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで一方の側に前記封止部が連結されると共に、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで他方の側に位置する点である駆動点に前記駆動手段が連結され、前記第２アーム上の一点である固定点が、前記連結点における回動軸と平行な軸周りに回動可能に固定されているリンク機構と、
を有し、
前記駆動手段によって前記駆動点を往復動させることにより、前記シール部材が前記隔壁に接近及び離間するように移動することを特徴とするバルブ。
【請求項２】
前記リンク機構が、スコットラッセルリンク機構であることを特徴とする請求項１に記載のバルブ。
【請求項３】
前記封止部が、更に、前記シール部材が前記開口に当接した状態において該シール部材を前記開口に向けて付勢する付勢手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載のバルブ。
【請求項４】
前記リンク機構が、前記開口中心軸を挟んで対称に配設された２つのスコットラッセルリンク機構を有するものであって、
前記駆動手段が、前記２つのスコットラッセルリンク機構に対し、前記開口中心軸と直交し、且つ互いに逆方向の駆動力を同時に付与するものであって、
前記互いに逆方向の駆動力を前記２つのスコットラッセルリンク機構によって前記開口中心軸に対して平行且つ互いに同一方向の駆動力に変換することにより、前記封止部を該開口中心軸に沿って移動させることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のバルブ。
【請求項５】
空間を仕切る隔壁に設けられた開口を開閉するためのバルブであって、
a)前記開口に圧接されることにより該開口を封止するシール部材と、
b)前記開口の中心を通り前記隔壁に垂直な軸である開口中心軸と直交する方向の駆動力を発生する駆動手段と、
c)第１アームと、該第１アーム上の一点である連結点で該第１アームに対して回動可能に軸着された第２アームとを有し、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで一方の側に前記シール部材が連結されると共に、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで他方の側に位置する点である駆動点に前記駆動手段が連結され、前記第２アーム上の一点である固定点が、前記連結点における回動軸と平行な軸周りに回動可能に固定されているリンク機構と、
を有し、
前記駆動手段によって前記駆動点を往復動させることにより、前記シール部材が前記隔壁に接近及び離間するように移動し、該シール部材が前記開口の周縁部に当接した際に、前記第１アームが弾性変形して該シール部材を該開口に向けて付勢することを特徴とするバルブ。
【請求項６】
質量分析装置の試料チャンバと分析チャンバの間の隔壁に設けられた開口を開閉するためのバルブであって、
前記駆動手段として、前記試料チャンバに設けられ、試料を前記隔壁と平行な面内で移動させるためのＸＹステージを利用することを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のバルブ。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
上記課題を解決するために成された第１発明に係るバルブは、空間を仕切る隔壁に設けられた開口を開閉するためのバルブであって、
a)前記開口に圧接されることにより該開口を封止するシール部材を備えた封止部と、
b)前記開口の中心を通り前記隔壁に垂直な軸である開口中心軸と直交する方向の駆動力を発生する駆動手段と、
c)第１アームと、該第１アーム上の一点である連結点で該第１アームに対して回動可能に軸着された第２アームとを有し、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで一方の側に前記封止部が連結されると共に、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで他方の側に位置する点である駆動点に前記駆動手段が連結され、前記第２アーム上の一点である固定点が、前記連結点における回動軸と平行な軸周りに回動可能に固定されているリンク機構と、
を有し、
前記駆動手段によって前記駆動点を往復動させることにより、前記シール部材が前記隔壁に接近及び離間するように移動することを特徴としている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】
また、上記課題を解決するために成された第２発明に係るバルブは、空間を仕切る隔壁に設けられた開口を開閉するためのバルブであって、
a)前記開口に圧接されることにより該開口を封止するシール部材と、
b)前記開口の中心を通り前記隔壁に垂直な軸である開口中心軸と直交する方向の駆動力を発生する駆動手段と、
c)第１アームと、該第１アーム上の一点である連結点で該第１アームに対して回動可能に軸着された第２アームとを有し、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで一方の側に前記シール部材が連結されると共に、前記第１アーム上の前記連結点を挟んで他方の側に位置する点である駆動点に前記駆動手段が連結され、前記第２アーム上の一点である固定点が、前記連結点における回動軸と平行な軸周りに回動可能に固定されているリンク機構と、
を有し、
前記駆動手段によって前記駆動点を往復動させることにより、前記シール部材が前記隔壁に接近及び離間するように移動し、該シール部材が前記開口の周縁部に当接した際に、前記第１アームが弾性変形して該シール部材を該開口に向けて付勢することを特徴としている。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３２】
なお、サンプルプレート１２１上には、それぞれ異なる試料を含んだ前記混合物がスポット状に複数塗布されており、サンプルプレート１２１をＸＹステージ１２２によってＸＹ平面（すなわち水平面）内で移動させてレーザ光が照射されるスポットを順次変更することにより、異なる試料を次々にイオン化して質量分析できるようになっている。ここで、ＸＹステージ１２２は、Ｙ軸方向に延伸したレールと該レール上を摺動するスライダとを備えたＹ方向直動軸受１２２ａと、Ｘ軸方向に延伸したレールと該レール上を摺動するスライダとを備えたＸ方向直動軸受１２２ｂと、上面にサンプルプレート１２１が載置される移動ステージ１２２ｃとを備えている。移動ステージ１２２ｃは、Ｘ方向直動軸受１２２ｂのスライダに取り付けられ、Ｘ方向直動軸受１２２ｂは、Ｙ方向直動軸受１２２ａのスライダに取り付けられている。したがって、Ｘ方向直動軸受１２２ｂをＹ方向直動軸受１２２ａのレールに沿って移動させると共に、移動ステージ１２２ｃをＸ方向直動軸受１２２ｂのレールに沿って移動させることにより、移動ステージ１２２ｃ上のサンプルプレート１２１をＸＹ平面上で任意の位置に移動させることができる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】
駆動部１６０は、モータ１６１と、モータ１６１の回転に伴って回転するボールネジ１６２と、ボールネジ１６２に螺合し、ボールネジの回転に伴ってＹ軸方向に進退するボールナット１６３とを備えている。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５３】
次に、本発明の実施例３について図１６〜図１８を参照しつつ説明する。なお、同図において、既に説明した実施例１と同一又は対応する構成要素については下二桁が共通する符号を付し、適宜説明を省略する。本実施例に係るバルブ３３０は、実施例１における長アーム３５１として板バネを使用したものであり、長アーム３５１の先端には、Ｏリング３４１が取り付けられている。なお、Ｏリング３４１は長アーム３５１の先端部の上面に環状の溝を形成してそこに埋め込むようにしてもよく、接着剤などにより長アーム３５１の先端に取り付けるようにしてもよい。本実施例において、連結点Ｐｃから長アーム３５１におけるＯリング３４１の取り付け位置（作用点Ｐａに相当）までの長さは、連結点Ｐｃから他の二点（固定点Ｐｆ及び駆動点Ｐｄ）までの長さよりも長くなっている。そのため、本実施例に係るバルブ３３０における作用点Ｐａは、駆動点Ｐｄの移動方向と直角な方向に直線移動せず、斜め方向に移動することとなる。