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【手続補正書】
【提出日】平成31年2月13日(2019.2.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
第１の被接合材と第２の被接合材と、前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との間にあって、両者を接合するハンダ接合層とを有し、前記ハンダ接合層は、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダを主成分とし、前記ハンダ接合層内に、体積分率で０．５％〜５．５％の柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物を含有するハンダ接合体のハンダ接合方法であって、
前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との間に、前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダとＣｕ供給源とを載置する工程と、
前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダの温度を、該Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダの融点よりも６０℃以上９０℃以下高い温度まで加熱し、その状態を１０分〜２０分間保持し、溶融した前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダに前記Ｃｕ供給源からＣｕを溶出させ、柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物を析出させたハンダ接合層を形成する工程と、
を有することを特徴とするハンダ接合方法。
【請求項２】
前記柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物の体積分率は０．８％〜４．５％であることを特徴とする請求項１に記載のハンダ接合方法。
【請求項３】
前記第１の被接合材および前記第２の被接合材は、金属または半導体で構成されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載のハンダ接合方法。
【請求項４】
前記柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物は、少なくとも前記ハンダ接合層の縁部または隅部に形成されていることを特徴とする請求項１から請求項３の何れか１項に記載のハンダ接合方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】ハンダ接合方法
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００１】
本発明は、ハンダ接合方法に関する。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１０】
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、クラックが発生した場合に、そのクラックの進展を抑止することのできるハンダ接合方法を提供することを目的とする。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１１】
上記目的を達成するため、本発明に係るハンダ接合方法は、第１の被接合材と第２の被接合材と、前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との間にあって、両者を接合するハンダ接合層とを有し、前記ハンダ接合層は、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダを主成分とし、前記ハンダ接合層内に、体積分率で０．５％〜５．５％の柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物を含有するハンダ接合体のハンダ接合方法であって、前記第１の被接合材と前記第２の被接合材との間に、前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダとＣｕ供給源とを載置する工程と、前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダの温度を、該Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダの融点よりも６０℃以上９０℃以下高い温度まで加熱し、その状態を１０分〜２０分間保持し、溶融した前記Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系ハンダに前記Ｃｕ供給源からＣｕを溶出させ、柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物を析出させたハンダ接合層を形成する工程と、を有することを要旨とする。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１２】
本発明に係るハンダ接合方法を適用したハンダ接合体によれば、ハンダ接合層内に、所定の体積分率で柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物を含有するので、ハンダ接合層内にクラックが発生した場合であっても、クラックがこの柱状のＳｎ−Ｃｕ金属間化合物に突き当たることにより、クラックのさらなる進展を抑止することができる。
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月17日(2019.10.17)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項５】
前記再構成手段は、前記選択手段により選択された複数の工程が、所定の空き時間を空けて連続するよう前記生産計画を再構成することを特徴とする請求項１または２に記載の生産計画作成システム。
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月15日(2019.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
コンピュータがヘッドマウントディスプレイ装置に仮想空間を提供するための方法であって、
仮想空間を定義するステップと、
前記ヘッドマウントディスプレイ装置を装着したユーザの第１の傾きを検出するために前記コンピュータに接続された第１センサからの出力に基づいて、前記第１の傾きを検出するステップと、
検出された前記第１の傾きに基づいて、前記仮想空間における前記ユーザの視界であって前記ヘッドマウントディスプレイ装置に表示させる前記視界を制御するステップと、
前記ユーザの動作に応じて変化する第２の傾きを検出するために前記コンピュータに接続された第２センサからの出力に基づいて、前記第２の傾きを検出するステップと、
検出された前記第２の傾きに基づいて、前記仮想空間における前記ユーザの移動を制御するステップとを含む、仮想空間を提供するための方法。
【請求項２】
前記第１センサは、前記ヘッドマウントディスプレイ装置に備えられており、
前記第１の傾きは、前記ユーザの頭部の傾きである、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記第２センサは、前記ユーザの身体の少なくとも一部を載せることが可能なボード部を有するセンサ装置に備えられており、
前記ボード部は、前記ボード部に作用する荷重に応じて傾くように構成されており、
前記第２の傾きは、前記ユーザが身体の少なくとも一部を前記ボード部に載せた状態における、前記ボード部の傾きである、請求項１または２に記載の方法。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月3日(2019.6.3)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
一又は複数の撮像手段によって撮像された撮像画像から、人物を検出する人物検出手段と、
前記撮像画像から車両を検出する車両検出手段と、
前記人物検出手段によって検出された人物が、前記車両検出手段によって検出された車両の持ち主と想定される所定の条件を満たす場合に、当該人物を前記車両に関連付ける関連付け手段と
を有することを特徴とする情報処理装置。
【請求項２】
車両から第１の範囲内に、前記人物検出手段によって検出された人物が位置する場合に、当該人物が、当該車両に関連付けられた人物であるか否かを判定する判定手段と、
前記判定手段による判定結果に応じた、通知情報を出力するよう制御する出力制御手段と
を有することを特徴とする請求項１に記載の情報処理装置。
【請求項３】
前記撮像手段によって撮像される撮像領域に存在する車両として予め登録された登録車両と、前記登録車両に関連付けられた関連人物と、を対応付けて記憶する記憶手段をさらに有し、
前記判定手段は、前記記憶手段に記憶されている前記登録車両と前記関連人物の対応関係に基づいて、前記人物が前記車両に関連付けられた人物であるか否かを判定することを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項４】
所定の条件に基づいて、前記人物検出手段により検出された人物の中から、前記車両検出手段により検出された車両に関連付ける人物を特定する特定手段と、
前記車両検出手段により検出された車両及び前記特定手段により特定された人物をそれぞれ前記登録車両、及び前記関連人物として対応付けて前記記憶手段に登録する登録手段と
をさらに有することを特徴とする請求項３に記載の情報処理装置。
【請求項５】
前記特定手段は、前記車両の形状の変化が検出された後に、前記車両が検出された領域に重なる領域において検出された人物を、前記検出された車両に関連付ける人物として特定することを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項６】
前記車両の形状の変化とは、前記車両のドアが開くことに伴う前記車両の形状の変化であることを特徴とする請求項５に記載の情報処理装置。
【請求項７】
前記特定手段は、前記車両検出手段により検出された前記車両が停止した後に、前記車両が検出された領域に重なる領域において検出された人物を、前記車両に関連付ける人物として特定することを特徴とする請求項５又は６に記載の情報処理装置。
【請求項８】
前記特定手段は、前記車両が検出された位置を基準とした第２の範囲において検出された人物を前記検出された車両に関連付ける人物として特定することを特徴とする請求項４に記載の情報処理装置。
【請求項９】
前記特定手段は、前記第２の範囲において検出された人物のうち、前記第２の範囲の外から移動してきた人物以外の人物を前記検出された車両に関連付ける人物として特定することを特徴とする請求項８に記載の情報処理装置。
【請求項１０】
前記登録手段は、一の車両に関連付ける人物として複数の人物が特定された場合に、複数の人物それぞれを前記関連人物として１つの前記登録車両に対応付けて登録することを特徴とする請求項４乃至９何れか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１１】
前記登録手段は、一の人物が複数の車両に対する関連人物として特定された場合に、前記一の人物を前記関連人物として複数の登録車両それぞれに対応付けて登録することを特徴とする請求項４乃至１０何れか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１２】
前記登録手段は、前記検出された車両のナンバープレートの情報を前記登録車両に対応付けて登録することを特徴とする請求項４乃至１１何れか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１３】
前記登録手段は、前記検出された車両が停止した場合に、前記検出された車両の位置を前記登録車両に対応付けて登録することを特徴とする請求項４乃至１２何れか１項に記載の情報処理装置。
【請求項１４】
前記第１の範囲は、前記車両の位置により定まる範囲であることを特徴とする請求項１３に記載の情報処理装置。
【請求項１５】
前記判定手段は、前記人物が前記第１の範囲内に所定の時間継続して存在する場合に、前記人物が前記車両に関連付けられた人物であるか否かを判定することを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項１６】
前記出力制御手段は、前記人物検出手段により検出された人物が前記車両に関連付けられた人物でないと判定された場合に、警告を通知する前記通知情報を出力するよう制御し、前記人物検出手段により検出された人物が前記車両に関連付けられた人物であると判定された場合には、前記通知情報の出力を行わないよう制御することを特徴とする請求項２に記載の情報処理装置。
【請求項１７】
情報処理装置が実行する情報処理方法であって、
一又は複数の撮像手段によって撮像された撮像画像から、人物を検出する人物検出ステップと、
前記撮像画像から車両を検出する車両検出ステップと、
前記人物検出ステップにおいて検出された人物が、前記車両検出ステップにおいて検出された車両の持ち主と想定される所定の条件を満たす場合に、当該人物を前記車両に関連付ける関連付けステップと
を含むことを特徴とする情報処理方法。
【請求項１８】
コンピュータを、
一又は複数の撮像手段によって撮像された撮像画像から、人物を検出する人物検出手段と、
前記撮像画像から車両を検出する車両検出手段と、
前記人物検出手段によって検出された人物が、前記車両検出手段によって検出された車両の持ち主と想定される所定の条件を満たす場合に、当該人物を前記車両に関連付ける関連付け手段と
して機能させるためのプログラム。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
そこで、本発明は、情報処理装置であって、一又は複数の撮像手段によって撮像された撮像画像から、人物を検出する人物検出手段と、前記撮像画像から車両を検出する車両検出手段と、前記人物検出手段によって検出された人物が、前記車両検出手段によって検出された車両の持ち主と想定される所定の条件を満たす場合に、当該人物を前記車両に関連付ける関連付け手段とを有することを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月29日(2018.11.29)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００５０】
次に、図３（ａ）に示す工程では、絶縁層１１の一方の面１１ａに、配線層１４を被覆するように絶縁層１５を形成する。絶縁層１５の材料としては、例えば、フェノール系樹脂やポリイミド系樹脂等を主成分とする絶縁性の感光性樹脂を用いることができる。絶縁層１５の厚さは、例えば５〜１０μｍ程度とすることができる。絶縁層１５は、シリカやアルミナ等のフィラーを含有しても構わない。絶縁層１５の材料として、液状又はペースト状の樹脂を用いた場合には、配線層１４を被覆するように絶縁層１１の一方の面１１ａに液状又はペースト状の樹脂をスピンコート法等により塗布する。絶縁層１５の材料として、フィルム状の樹脂を用いた場合には、配線層１４を被覆するように絶縁層１１の一方の面１１ａにフィルム状の樹脂をラミネートする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月19日(2019.4.19)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
発振素子と、
前記発振素子の温度を制御する発熱回路と、
温度検出回路と、
前記温度検出回路の出力信号に基づいて前記発熱回路を制御する温度制御回路と、
収容空間を有し、前記収容空間に前記発振素子、前記発熱回路、前記温度検出回路および前記温度制御回路を収容する容器と、
前記収容空間内に設けられ、前記温度検出回路にグランド電位を供給する第１のグランド内部端子と、
前記収容空間内に設けられ、前記温度制御回路にグランド電位を供給する第２のグランド内部端子と、
前記容器の外表面に配置され、前記第１のパッドおよび前記第２のパッドのそれぞれに電気的に接続されているグランド外部端子と、
前記収容空間内で、前記第１のパッドと前記第２のパッドとを電気的に接続している接続配線と、を有していることを特徴とする発振器。
【請求項２】
前記発熱回路および前記温度検出回路が同一の回路素子に含まれている請求項１に記載の発振器。
【請求項３】
前記接続配線は、ボンディングワイヤーである請求項１または２に記載の発振器。
【請求項４】
前記接続配線は、複数配置されている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の発振器。
【請求項５】
複数の前記接続配線を電気的に接続し、前記収容空間に臨むように前記容器に配置されている配線を有している請求項４に記載の発振器。
【請求項６】
前記容器は、絶縁性を有し、前記発振素子、前記発熱回路、前記温度検出回路および前記温度制御回路を支持するベースと、前記ベースとの間に前記収容空間を形成するように前記ベースに接合されている蓋体と、を有し、
前記グランド外部端子は、前記ベースに配置されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載の発振器。
【請求項７】
前記接続配線を介して前記温度検出回路のグランドと前記温度制御回路のグランドとを電気的に接続する電気経路は、前記容器の内部に埋設されている配線を通らない請求項１ないし６のいずれか１項に記載の発振器。
【請求項８】
前記発熱回路および前記温度検出回路は、第１集積回路素子に含まれており、
前記温度制御回路が第２集積回路素子に含まれており、
前記第１集積回路素子のグランド端子と電気的に接続されていると共に前記第１集積回路素子と平面視で重なっている第１グランドパターンと、
前記第２集積回路素子のグランド端子と電気的に接続されていると共に前記第２集積回路素子と平面視で重なっている第２のグランドパターンと、を備え、
前記第１グランドパターンと前記第２グランドパターンとが、前記接続配線によって電気的に接続されている請求項１に記載の発振器。
【請求項９】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の発振器を有していることを特徴とする電子機器。
【請求項１０】
請求項１ないし８のいずれか１項に記載の発振器を有していることを特徴とする移動体。
【手続補正書】
【提出日】平成31年4月15日(2019.4.15)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項９】
前記検知設定手段の設定および前記判定手段の判定結果に基づいて、
前記検知設定手段は、音量の検知によらずに前記第１の制御により画角を変更する場合に、前記音量検知を実行しない無効設定とし、
前記検知設定手段は、前記第１の制御による画角の変更が終了した場合に、前記音量検知を実行する有効設定とし、
前記検知設定手段による音量検知の設定が前記無効設定から前記有効設定になる場合に、前記状態保持手段は、前記音量検知の状態を保持することを特徴とする請求項８に記載の制御装置。
【手続補正書】
【提出日】平成30年12月26日(2018.12.26)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
測定対象を撮影する撮像部から前記測定対象を撮影したときの合焦距離を取得する合焦距離取得部と、
前記測定対象の３次元形状および前記合焦距離に基づいて、前記撮像部が前記測定対象を撮影した画像にあるピンボケの状態を示すピンボケ量を算出するボケ量計算部と、
前記ボケ量計算部で算出された前記ピンボケ量から前記ピンボケの補正量を算出し、算出した前記ピンボケの補正量を用いて前記画像の前記ピンボケを補正する補正画像出力部と、
を備えることを特徴とする画像補正装置。
【請求項２】
前記ボケ量計算部は、前記ピンボケの状態を示す前記ピンボケ量を表すピンボケ量計算式を算出し、
前記補正画像出力部は、前記ピンボケ量計算式から前記ピンボケの補正量を算出する、
ことを特徴とする請求項１に記載の画像補正装置。
【請求項３】
前記撮像部が前記測定対象を撮影中のときの前記撮像部の動作量および位置を求める動作量位置計算部と、
前記測定対象の３次元形状、並びに、前記撮像部の動作量および位置に基づいて、前記撮像部が前記測定対象を撮影した画像にあるモーションブラーの状態を示すモーションブラー量を算出するブレ量計算部と、
を備え、
前記補正画像出力部は、前記ブレ量計算部で算出された前記モーションブラー量から前記モーションブラーの補正量を算出し、算出した前記モーションブラーの補正量を用いて前記画像の前記モーションブラーを補正する、
ことを特徴とする請求項１または２に記載の画像補正装置。
【請求項４】
前記ブレ量計算部は、前記モーションブラーの状態を示す前記モーションブラー量を表すモーションブラー量計算式を算出し、
前記補正画像出力部は、前記モーションブラー量計算式から前記モーションブラーの補正量を算出する、
ことを特徴とする請求項３に記載の画像補正装置。
【請求項５】
前記ボケ量計算部は、前記測定対象の３次元形状を計測する３次元形状計測部によって計測された前記測定対象の３次元形状および前記合焦距離に基づいて、前記ピンボケ量を算出することを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の画像補正装置。
【請求項６】
前記撮像部が前記測定対象を撮影中のときの前記撮像部の動作量および位置を求める動作量位置計算部と、
前記撮像部の動作量および位置に基づいて、前記撮像部から前記測定対象までの距離を計測する平面内距離計測部によって計測された測定結果を積算して３次元化し、前記測定対象の３次元形状を求める３次元形状化処理部と、
を備えることを特徴とする請求項１または２に記載の画像補正装置。
【請求項７】
前記撮像部の動作量および位置に基づいて、前記撮像部から前記測定対象までの距離を計測する平面内距離計測部によって計測された測定結果を積算して３次元化し、前記測定対象の３次元形状を求める３次元形状化処理部と、
を備えることを特徴とする請求項３または４に記載の画像補正装置。
【請求項８】
前記画像補正装置を搭載した移動体の角加速度を計測する角加速度計測部と、
前記画像補正装置を搭載した移動体の加速度を計測する加速度計測部と、
を備え、
前記動作量位置計算部は、前記角加速度計測部で計測された角加速度、および前記加速度計測部で計測された加速度に基づいて、前記撮像部の動作量および位置を求める、
ことを特徴とする請求項３または４または６または７に記載の画像補正装置。
【請求項９】
前記画像補正装置を搭載した移動体の加速度を計測する加速度計測部、
を備え、
前記動作量位置計算部は、前記加速度計測部で計測された加速度に基づいて、前記撮像部の動作量および位置を求める、
ことを特徴とする請求項３または４または６または７に記載の画像補正装置。
【請求項１０】
画像補正装置による画像補正方法であって、
合焦距離取得部が、測定対象を撮影する撮像部から前記測定対象を撮影したときの合焦距離を取得する合焦距離取得ステップと、
ボケ量計算部が、前記測定対象の３次元形状および前記合焦距離に基づいて、前記撮像部が前記測定対象を撮影した画像にあるピンボケの状態を示すピンボケ量を表すピンボケ量計算式を算出するボケ量計算ステップと、
補正画像出力部が、前記ピンボケ量計算式から前記ピンボケの補正量を算出し、算出した前記ピンボケの補正量を用いて前記画像の前記ピンボケを補正する補正ステップと、
を含むことを特徴とする画像補正方法。
【請求項１１】
動作量位置計算部が、前記撮像部が前記測定対象を撮影中のときの前記撮像部の動作量および位置を求める動作量位置計算ステップと、
ブレ量計算部が、前記測定対象の３次元形状、並びに、前記撮像部の動作量および位置に基づいて、前記撮像部が前記測定対象を撮影した画像にあるモーションブラーの状態を示すモーションブラー量を表すモーションブラー量計算式を算出するブレ量計算ステップと、
を含み、
前記補正ステップでは、前記補正画像出力部が、前記モーションブラー量計算式から前記モーションブラーの補正量を算出し、算出した前記モーションブラーの補正量を用いて前記画像の前記モーションブラーを補正する、
ことを特徴とする請求項１０に記載の画像補正方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００６】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の画像補正装置は、測定対象を撮影する撮像部から測定対象を撮影したときの合焦距離を取得する合焦距離取得部を備える。また、画像補正装置は、測定対象の３次元形状および合焦距離に基づいて、撮像部が測定対象を撮影した画像にあるピンボケの状態を示すピンボケ量を算出するボケ量計算部を備える。また、画像補正装置は、ボケ量計算部で算出されたピンボケ量からピンボケの補正量を算出し、算出したピンボケの補正量を用いて画像のピンボケを補正する補正画像出力部を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】平成31年2月7日(2019.2.7)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
排気ガス（Ｂ）の入口（１２ａ）を構成する排気入口側のフランジ（１２）と前記排気ガス（Ｂ）の出口（１３ａ）を構成する排気出口側のフランジ（１３）との間に渦状の排気ガス流路（Ｋ）を構成するスクロール部（２０）を備え、前記スクロール部（２０）の排気出口側の箇所に排気管（３０）を接続し、前記排気管（３０）よりタービンホイール（１４）を経由した前記排気ガス（Ｂ）を排出するタービンハウジング（１０）において、
前記スクロール部（２０）の前記排気ガス（Ｂ）の排気出口側の領域に、板金製より耐熱性の高い材料からなるスクロール部材（２３）を配置すると共に、残りの領域に板金製のスクロール部材（２１，２２）を配置し、
前記板金製より耐熱性の高い材料からなるスクロール部材（２３）の排気出口側には、筒状部（２３ｄ）が形成されており、
前記筒状部（２３ｄ）の内壁に前記排気管（３０）の端部（３１）が嵌合した状態で、前記筒状部（２３ｄ）の端部と前記排気管（３０）の外周が溶接で固定されており、
前記筒状部は、
前記内壁から内側に向って立ち上がり、前記排気管（３０）の端面に対向する第１壁面と、
当該第１壁面に接続し、前記内壁よりも前記筒状部（２３ｄ）の内側で前記排気ガスの流れ方向に沿った第２壁面と、を有することを特徴とするタービンハウジング。
【請求項２】
請求項１に記載のタービンハウジング（１０）であって、
前記排気管（３０）の内周縁は、前記筒状部（２３ｄ）の中心軸に向う方向において、前記第２壁面を越えないことを特徴とするタービンハウジング。
【請求項３】
請求項１又は２に記載のタービンハウジング（１０）であって、
前記第１壁面と前記排気管（３０）の端面との間には、隙間が形成されていることを特徴とするタービンハウジング。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか１項に記載のタービンハウジング（１０）であって、
前記渦状の排気ガス流路（Ｋ）から、排気出口側で前記タービンホイールと対向する部分を経て、前記筒状部（２３ｄ）に至るまで、前記板金製より耐熱性の高い材料からなるスクロール部材（２３）が配置され、
前記渦状の排気ガス流路（Ｋ）の入口側に前記板金製のスクロール部材（２１，２２）が配置されることを特徴とするタービンハウジング。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか１項に記載のタービンハウジング（１０）であって、
前記板金製より耐熱性の高い材料は、鋳造より形成されていることを特徴とするタービンハウジング。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明は、排気ガスの入口を構成する排気入口側のフランジと前記排気ガスの出口を構成する排気出口側のフランジとの間に渦状の排気ガス流路を構成するスクロール部を備え、前記スクロール部の排気出口側の箇所に排気管を接続し、前記排気管よりタービンホイールを経由した前記排気ガスを排出するタービンハウジングにおいて、前記スクロール部の前記排気ガスの排気出口側の領域に、板金製より耐熱性の高い材料からなるスクロール部材を配置すると共に、残りの領域に板金製のスクロール部材を配置し、前記板金製より耐熱性の高い材料からなるスクロール部材の排気出口側には、筒状部が形成されており、前記筒状部の内壁に前記排気管の端部が嵌合した状態で、前記筒状部の端部と前記排気管の外周が溶接で固定されており、前記筒状部は、前記内壁から内側に向って立ち上がり、前記排気管の端面に対向する第１壁面と、
当該第１壁面に接続し、前記内壁よりも前記筒状部の内側で前記排気ガスの流れ方向に沿った第２壁面と、を有することを特徴とする。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１０
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１１
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１２
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１３
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１５
【補正方法】削除
【補正の内容】
【手続補正書】
【提出日】平成30年11月1日(2018.11.1)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】請求項６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【請求項６】
扉体に取着される扉側ヒンジと枠体に取着される枠側ヒンジとを、中間ヒンジを介してそれぞれ軸支することにより連結され、かつ、前記扉側ヒンジと中間ヒンジとが、互いに、扉側軸を支点として閉戸側に折曲回動可能とする弾機を介して弾装されると共に、当該折曲回動を規制して平行状態を保持する回動規制手段を備えることで、扉体を枠体側に圧接可能に構成される二軸ヒンジを用いて枠体に扉体を取り付けする方法であって、  前記二軸ヒンジは、扉体への扉側取付け座を有する扉側ヒンジと、該扉側ヒンジに扉側軸を介して分離不能に一体的に連結軸支せしめた中間ヒンジと、枠体への枠側取付け座と該枠側取付け座に立設する枠側軸を有する枠側ヒンジとを備え、  前記扉側ヒンジと中間ヒンジを、前記回動規制手段により平行が保持され、かつ、扉側軸を支点として非規制側に弾機の反発力に抗して自由端状に折曲回動が可能な状態で、中間ヒンジを前記枠側軸に対して抜き差し自在に軸支されるよう分離可能に構成せしめて、それぞれ単体部材として取り扱えるようにし、  先ず、前記枠側ヒンジのみを枠体に取り付けしておき、扉体の下端部に木材等を介在させて扉体を枠体内の上枠と戸当りに当接させた高さ位置にセットし、  次いで、前記中間ヒンジを、枠側軸に対して仮挿入させてから持ち上げ操作と押圧操作をすることにより、扉側ヒンジを、扉体の錠前側が枠体内から枠体外に任意角度に傾斜したセット状態の扉面に対して、反発力に抗して押付面当てし、  この面当て状態を維持することで、扉面に予め穿設された取付孔に位置合わせしてビス固定した後、前記木材等を取り外して扉体を自重下動させて、扉体を枠体に取り付けすることを特徴とする二軸ヒンジを用いた扉の取付方法。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１９】  また、扉体１２の錠前側の枠体１１（縦枠）には、ストライク１１４とストライクボックス１１６とが取り付けられており、ストライク１１４には、錠前のラッチボルト１２３とデッドボルト１２２がそれぞれ係脱する係合孔１１５が打ち抜き形成されている。係合孔１１５は、通常デッドボルト１２２の厚さ幅よりも前後に１．５ｍｍ程度の遊び幅をもって形成されており、通常納まりの場合は、デッドボルト１２２が係合孔１１５の中心に位置するようにストライク１１４が位置決めされている。本実施形態における二軸ヒンジ２を用いる場合には、閉戸状態の扉体１２が、室外側扉面に浸水等による外部からの重圧力を受けた際に、ねじりばね６１の反発力に抗して枠体１１側に押圧移動させることにより、当接片１２１をさらにエアタイトゴム１１３に圧入押圧させて、室内への止水がなされるように構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２０】  その際、図３（Ａ）に示すように、扉体１２が施錠時においても室内側に移動できるよう、その係合孔１１５の開戸側がデッドボルト１２２の側面に略当接する状態でデッドボルト１２２の係脱が可能な位置に位置ズレ調整してセットし、室内側におけるデッドボルト１２２と係合孔１１５との間に約３ｍｍの移動隙間Ｓを形成している。なお、この移動隙間Ｓは、一般の鋼製扉体１２と枠体１１の納まり関係において、閉戸状態での扉体１２の室内側面と戸当り１１１との間には、約７．５ｍｍ程度の隙間をもって建付けられているので、係合孔１１５の戸当り１１１側（室内側）をさらに約５ｍｍ程度の余剰幅をもって切欠き形成して移動幅を広げるようにしても良い。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２１】  つまり、ラッチボルト１２３が係合した解錠状態では、図３（Ｃ）に示すように、扉体１２の錠前側が外部からの重圧力を受けて押圧されると、ラッチボルト１２３が係合孔１１５の室内側に摺接して没入するので、錠前側を含む扉体１２全体を、扉側軸４２を中心にねじりばね６１の反発力に抗して枠体１１側に移動して、戸当り１１１に圧接支持した状態でエアタイトゴム１１３をさらに押圧することが可能であるが、デッドボルト１２２が係合した施錠状態では扉体１２の錠前側が移動不能となる。このように移動隙間Ｓを形成することにより、デッドボルト１２２が係合した施錠状態であっても、図３（Ｂ）に示すように、外部からの重圧力を受けて押圧されると、移動隙間Ｓを介して扉体１２の錠前側が戸当り１１１側に押圧移動されて、エアタイトゴム１１３をさらに押圧することができる構成となっている。このとき、扉体１２は、錠前側がデッドボルト１２２が係合孔１１５の室内側小口に当接し、吊り元側が戸当り１１１に当接または接近した僅かに傾斜した状態となる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３７】  また、扉体１２は、錠前側縦枠体１１に取り付けられたストライク１１４を、その係合孔１１５の開戸側がデッドボルト１２２の側面に略当接する状態でデッドボルト１２２の係脱を可能に位置調整して設け、室内側におけるデッドボルト１２２側面と係合孔１１５との間に移動隙間Ｓを形成せしめて閉戸されると共に、当該閉戸状態の扉体１２を、デッドボルト１２２が係合した施錠状態で、扉体１２の錠前側を移動隙間Ｓを介して移動可能に構成してあるので、扉体１２が施錠状態であっても移動隙間Ｓ分だけ押圧移動されて、エアタイトゴム１１３をさらに押圧して室内への漏水を防ぐことができる。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００３８】１１    枠体１１１  戸当り１１２  保持溝１１３  エアタイトゴム１１４  ストライク１１５  係合孔１１６  ストライクボックス１２    扉体１２１  当接片１２２  デッドボルト１２３  ラッチボルト１２４  取付孔２      二軸ヒンジ３      枠側ヒンジ３１    枠側取付け座３１１  基部３１２  ビス孔３１３  軸止部３１４  挿通孔３１５  軸受リング３２    枠側軸３３    カバー材３３１  ビス４      扉側ヒンジ４１    扉側取付け座４１１  基部４１２  ビス孔４１３  軸止部４１４  挿通孔４１５  凹溝４２    扉側軸４２１  抜け止め溝４３    カバー材４３１  ビス４４    軸受リング５      中間ヒンジ５１    軸孔５１１  キャップ５２    軸受孔５２１  軸受ブッシュ５３    Ｕ字状溝部６      回動規制手段６１    ねじりばね６２    ストッパ片７      旗丁番７１    枠側丁番軸７２    丁番ライナー７２ａ  丁番ライナー７３    リベットＳ      移動隙間
【手続補正書】
【提出日】令和1年7月23日(2019.7.23)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
物体の物理的な変化を検知する検知システムにおいて、
前記物体の表面形状に応じた形状に成型され、前記物体の表面に接着される構造体と、
前記構造体の任意の位置に設置された端末と、を備え、
前記端末は、
前記構造体の内部に信号を送信し、前記構造体の内部を伝搬して帰還した信号を受信する信号送受信部と、
前記構造体に物理的な変化がない時に受信した信号のデータを格納しておく学習部と、
前記信号のデータと所定時に受信した信号のデータとの比較結果に基づき前記構造体に生じた物理的な変化の有無を判定する判定部と、
前記構造体に物理的な変化がある場合に異常情報を出力する通報部と、
を備えることを特徴とする検知システム。
【請求項２】
前記物理的な変化は、
前記物体の表面に生じた破壊である、又は、前記物体に対する別の物体の接触であることを特徴とする請求項１に記載の検知システム。
【請求項３】
前記信号は、
電磁波又は音波であり、かつ、複数の周波数成分を含むことを特徴とする請求項１又は２に記載の検知システム。
【請求項４】
前記信号の波長の四分の一波長の大きさは、
前記構造体の物理的な変化の大きさよりも小さいことを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の検知システム。
【請求項５】
前記構造体は、
誘電体シートである、又は、塗料で構成されていることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の検知システム。
【請求項６】
前記信号は、電磁波であり、
前記構造体は、
２つの導電体で誘電体を挟んだ多層構造を備え、前記誘電体で電磁波を平行平板モードで伝搬させることを特徴とする請求項１に記載の検知システム。
【請求項７】
前記端末は、複数であって、複数の端末は、前記構造体の任意の位置に互いに異なる位置に配置され、
前記通報部は、
前記構造体に送信されてから受信されるまでの信号の時間的な変化データを更に出力することを特徴とする請求項１乃至６のいずれかに記載の検知システム。
【請求項８】
物体の表面形状に応じた形状に成型され、前記物体の表面に接着される構造体と、前記構造体の任意の位置に設置された端末と、を備えた検知システムで行う、物体の物理的な変化を検知する検知方法において、
前記端末は、
前記構造体の内部に信号を送信し、前記構造体の内部を伝搬して帰還した信号を受信するステップと、
前記構造体に物理的な変化がない時に受信した信号のデータを格納しておくステップと、
前記信号のデータと所定時に受信した信号のデータとの比較結果に基づき前記構造体に生じた物理的な変化の有無を判定するステップと、
前記構造体に物理的な変化がある場合に異常情報を出力するステップと、
を行うことを特徴とする検知方法。
【請求項９】
物体の表面形状に応じた形状に成型され、前記物体の表面に接着され、
外部からの信号を内部に伝搬させ、前記物体の物理的な変化に応じて、伝搬して帰還する信号が変化することを特徴とする構造体。
【請求項１０】
前記信号は、電磁波であり、
前記構造体は、
２つの導電体で誘電体を挟んだ多層構造を備え、前記誘電体で電磁波を平行平板モードで伝搬させることを特徴とする請求項９に記載の構造体。
【請求項１１】
前記構造体は、
誘電体シートである、又は、塗料で構成されていることを特徴とする請求項９又は１０に記載の構造体。
【請求項１２】
構造体の任意の位置に設置され、
前記構造体の内部に信号を送信し、前記構造体の内部を伝搬して帰還した信号を受信する信号送受信部と、
前記構造体に物理的な変化がない時に受信した信号のデータを格納しておく学習部と、
前記信号のデータと所定時に受信した信号のデータとの比較結果に基づき前記構造体に生じた物理的な変化の有無を判定する判定部と、
前記構造体に物理的な変化がある場合に異常情報を出力する通報部と、
を備えることを特徴とする端末。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正の内容】
【発明の名称】検知システム、検知方法、構造体及び端末
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１４】
請求項６に係る検知システムは、請求項１に記載の検知システムにおいて、前記信号は、電磁波であり、前記構造体は、２つの導電体で誘電体を挟んだ多層構造を備え、前記誘電体で電磁波を平行平板モードで伝搬させることを特徴とする。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１６】
請求項８に係る検知方法は、物体の表面形状に応じた形状に成型され、前記物体の表面に接着される構造体と、前記構造体の任意の位置に設置された端末と、を備えた検知システムで行う、物体の物理的な変化を検知する検知方法において、前記端末は、前記構造体の内部に信号を送信し、前記構造体の内部を伝搬して帰還した信号を受信するステップと、前記構造体に物理的な変化がない時に受信した信号のデータを格納しておくステップと、前記信号のデータと所定時に受信した信号のデータとの比較結果に基づき前記構造体に生じた物理的な変化の有無を判定するステップと、前記構造体に物理的な変化がある場合に異常情報を出力するステップと、を行うことを特徴とする。
請求項９に係る構造体は、物体の表面形状に応じた形状に成型され、前記物体の表面に接着され、外部からの信号を内部に伝搬させ、前記物体の物理的な変化に応じて、伝搬して帰還する信号が変化することを特徴とする。
請求項１０に係る構造体は、請求項９に記載の構造体において、前記信号は、電磁波であり、前記構造体は、２つの導電体で誘電体を挟んだ多層構造を備え、前記誘電体で電磁波を平行平板モードで伝搬させることを特徴とする。
請求項１１に係る構造体は、請求項９又は１０に記載の構造体において、前記構造体は、誘電体シートである、又は、塗料で構成されていることを特徴とする。
請求項１２に係る端末は、構造体の任意の位置に設置され、前記構造体の内部に信号を送信し、前記構造体の内部を伝搬して帰還した信号を受信する信号送受信部と、前記構造体に物理的な変化がない時に受信した信号のデータを格納しておく学習部と、前記信号のデータと所定時に受信した信号のデータとの比較結果に基づき前記構造体に生じた物理的な変化の有無を判定する判定部と、前記構造体に物理的な変化がある場合に異常情報を出力する通報部と、を備えることを特徴とする。
【手続補正書】
【提出日】令和1年10月28日(2019.10.28)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００７
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００７】
上記目的を達成するため、本発明は、
可動表示部を有し、当該可動表示部が移動動作することで表示内容が変化する表示部と、
前記可動表示部の移動動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記可動表示部を早送り移動動作させて前記表示部による複数の表示内容を順番に表示させ、
前記早送り移動動作を行わせる場合に、表示される順番の隣り合った表示内容間での切り替えを行う際の前記可動表示部の移動量が所定の基準量より大きい場合には、前記可動表示部の早送り移動速度を前記複数の表示内容の表示を一巡させる間の前記可動表示部の平均移動速度よりも大きい高速移動速度に定める
ことを特徴とするアナログ表示装置である。
【手続補正２】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
可動表示部を有し、当該可動表示部が移動動作することで表示内容が変化する表示部と、
前記可動表示部の移動動作を制御する制御部と、
を備え、
前記制御部は、
前記可動表示部を早送り移動動作させて前記表示部による複数の表示内容を順番に表示させ、
前記早送り移動動作を行わせる場合に、表示される順番の隣り合った表示内容間での切り替えを行う際の前記可動表示部の移動量が所定の基準量より大きい場合には、前記可動表示部の早送り移動速度を前記複数の表示内容の表示を一巡させる間の前記可動表示部の平均移動速度よりも大きい高速移動速度に定める
ことを特徴とするアナログ表示装置。
【請求項２】
請求項１に記載のアナログ表示装置と、
現在の時刻を計数する計時部と、
を備え、
前記表示部は、前記制御部の制御により前記計時部が計数する現在の時刻に応じた時刻を表示することが可能である
ことを特徴とする電子時計。
【請求項３】
可動表示部を有し、当該可動表示部が移動動作することで表示内容が変化する表示部を備えるアナログ表示装置の表示動作制御方法であって、
前記可動表示部を早送り移動動作させて前記表示部による複数の表示内容を順番に表示させる早送り制御ステップを含み、
前記早送り制御ステップでは、
前記早送り移動動作を行わせる場合に、表示される順番の隣り合った表示内容間での切り替えを行う際の前記可動表示部の移動量が所定の基準量より大きい場合には、前記可動表示部の前記早送り移動速度を前記複数の表示内容の表示を一巡させる間の前記可動表示部の平均移動速度よりも大きい高速移動速度に定める
ことを特徴とする表示動作制御方法。
【請求項４】
可動表示部を有し、当該可動表示部が移動動作することで表示内容が変化する表示部を備えるアナログ表示装置のコンピュータを、前記可動表示部を早送り移動動作させて前記表示部による複数の表示内容を順番に表示させる早送り制御手段として機能させ
前記早送り制御手段は、
前記早送り移動動作を行わせる場合に、表示される順番の隣り合った表示内容間での切り替えを行う際の前記可動表示部の移動量が所定の基準量より大きい場合には、前記可動表示部の前記早送り移動速度を前記複数の表示内容の表示を一巡させる間の前記可動表示部の平均移動速度よりも大きい高速移動速度に定める
ことを特徴とするプログラム。
【手続補正書】
【提出日】令和1年6月13日(2019.6.13)
【手続補正１】
【補正対象書類名】特許請求の範囲
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正の内容】
【特許請求の範囲】
【請求項１】
移動体と、
前記移動体が固定される固定部材と、
前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を３次元に微動可能な３次元微動部と、
前記３次元微動部よりも大きい移動量で粗動可能な３次元粗動部であって、前記３次元微動部が固定され、該３次元微動部を３次元のうち一軸に粗動させる第１の３次元粗動部と、第１の３次元粗動部が粗動する軸と異なる二軸が粗動する第２の３次元粗動部とからなる３次元粗動部と、
前記第１及び第２の３次元粗動部が固定される基体部と、
前記第１の３次元粗動部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた３次元微動測定装置であって、
前記３次元微動部と前記第２の３次元粗動部とは前記基体部の別個の位置にそれぞれ対向するように固定され、
前記第２の３次元粗動部の前記移動体側には測定対象物を配置する試料ステージが設置されてなる３次元微動測定装置。
【請求項２】
移動体と、
前記移動体が固定される固定部材と、
前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を３次元に微動可能な３次元微動部と、
測定対象物を配置する試料ステージが設置され、前記３次元微動部よりも大きい移動量で粗動可能な３次元粗動部と、
前記３次元微動部及び前記３次元粗動部が互いに対向するように固定される基体部と、
前記基体部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた３次元微動測定装置であって、
前記３次元粗動部の前記移動体側には測定対象物を配置する試料ステージが設置され
てなる３次元微動測定装置。
【請求項３】
前記基体部は側面から見てコ字状である、請求項１又は２に記載の３次元微動測定装置。
【請求項４】
前記第１の３次元粗動部は、ｚ軸方向に粗動する請求項１に記載の３次元微動測定装置。
【請求項５】
前記３次元粗動部は、粗動制御回路によって独立にその位置を制御される、請求項１〜４のいずれか一項に記載の３次元微動測定装置。
【請求項６】
前記移動量検出手段は、前記固定部材の検出面を検出する請求項１〜５のいずれか一項に記載の３次元微動測定装置。
【請求項７】
前記検出面が３次元の各軸に配置され、前記移動量検出手段は前記各軸の検出面毎に設けられて対応する検出面を検出する請求項６に記載の３次元微動測定装置。
【請求項８】
前記移動量検出手段は、非接触型センサである請求項１〜７のいずれか一項に記載の３次元微動測定装置。
【請求項９】
前記非接触型センサは、静電容量、光干渉又は光回折を使用したセンサである請求項８に記載の３次元微動測定装置。
【請求項１０】
前記移動体の３次元の位置のうち少なくとも一軸の位置の制御を、前記移動量検出手段が検出した前記移動量に基づいたクローズドループ制御により行うための制御部を備えた請求項１〜９のいずれか一項に記載の３次元微動測定装置。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００８】
本発明の３次元微動測定装置は、移動体と、前記移動体が固定される固定部材と、
前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を３次元に微動可能な３次元微動部と、前記３次元微動部よりも大きい移動量で粗動可能な３次元粗動部であって、前記３次元微動部が固定され、該３次元微動部を３次元のうち一軸に粗動させる第１の３次元粗動部と、第１の３次元粗動部が粗動する軸と異なる二軸が粗動する第２の３次元粗動部とからなる３次元粗動部と、前記第１及び第２の３次元粗動部が固定される基体部と、
前記第１の３次元粗動部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた３次元微動測定装置であって、前記３次元微動部と前記第２の３次元粗動部とは前記基体部の別個の位置にそれぞれ対向するように固定され、前記第２の３次元粗動部の前記移動体側には測定対象物を配置する試料ステージが設置されてなる。
この３次元微動測定装置によれば、移動体が固定された固定部材の３次元の位置を、移動体の微動に比べて相対的に動かない３次元粗動部に固定された移動量検出手段で直接検出することで、固定部材、ひいては移動体の位置を簡易にかつ正確に測定できる。
又、移動体の反対側に配置される対象物を３次元粗動部を介して載置した場合、対象物が重いほど、対象物の自重により３次元の粗動位置が大きくドリフトする傾向にある。そこで、３次元粗動部の一軸を対象物と反対側の固定部材側に取り付けることで、上記ドリフトの影響を抑えて３次元粗動させることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０００９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０００９】
又、本発明の３次元微動測定装置は、移動体と、前記移動体が固定される固定部材と、前記固定部材が固定され、該固定部材を介して前記移動体を３次元に微動可能な３次元微動部と、測定対象物を配置する試料ステージが設置され、前記３次元微動部よりも大きい移動量で粗動可能な３次元粗動部と、前記３次元微動部及び前記３次元粗動部が互いに対向するように固定される基体部と、前記基体部に固定されて前記固定部材の移動量を検出する移動量検出手段と、を備えた３次元微動測定装置であって、前記３次元粗動部の前記移動体側には測定対象物を配置する試料ステージが設置されてなる。
本発明の３次元微動測定装置において、前記基体部は側面から見てコ字状であってもよい。
本発明の３次元微動測定装置において、前記第１の３次元粗動部は、ｚ軸方向に粗動してもよい。
本発明の３次元微動測定装置において、前記３次元粗動部は、粗動制御回路によって独立にその位置を制御されてもよい。
本発明の３次元微動測定装置において、前記移動量検出手段は、前記固定部材の検出面を検出してもよい。
この３次元微動測定装置によれば、例えば検出面として高精度な回折格子（体積型ホログラム格子）を用い、これを回折レーザ光を検出する移動量検出手段で検出することで、移動体の位置をより正確に測定できる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００１８】
【図１】本発明の第１の実施形態に係る３次元微動測定装置（走査型プローブ顕微鏡）のブロック図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
【図３】参考例に係る３次元微動測定装置のブロック図である。
【図４】本発明の別の実施形態に係る３次元微動測定装置の変形例を示すブロック図である。
【図５】別の参考例に係る３次元微動測定装置のブロック図である。
【図６】従来の圧電素子の変位を示す図である。