【手続補正書】
【提出日】令和1年10月4日(2019.10.4)
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２２
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００２２】
この場合、複数の検出器の設計位置と実際の位置とのずれに基づく基板の検出位置のずれを補正しつつ基板を所定の位置に載置することが可能となる。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００４３】
（ｘ１，ｙ１）＝（Ｘ１，Ｙ１＋Ｙｏｆｆ１）
（ｘ２，ｙ２）＝（Ｘ２，Ｙ２＋Ｙｏｆｆ２）
（ｘ３，ｙ３）＝（Ｘ３，Ｙ３＋Ｙｏｆｆ３）
（ｘ４，ｙ４）＝（Ｘ４，Ｙ４＋Ｙｏｆｆ４）
（ｘ５，ｙ５）＝（Ｘ５，Ｙ５＋Ｙｏｆｆ５）
（ｘ６，ｙ６）＝（Ｘ６，Ｙ６＋Ｙｏｆｆ６）
検出器Ｓ１〜Ｓ６の設計座標（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ６，Ｙ６）は既知である。本例では、基準基板ＷＲを保持するハンドＨ１を用いて検出器Ｓ１〜Ｓ６の実座標（ｘ１，ｙ１）〜（ｘ６，ｙ６）を算出するものとする。検出器Ｓ１〜Ｓ６の実座標（ｘ１，ｙ１）〜（ｘ６，ｙ６）は、例えば、基準基板ＷＲを保持するハンドＨ１が進退初期位置から前進したときの検出器Ｓ１〜Ｓ６の検出信号および後述する上ハンドエンコーダ５２６の出力信号に基づいて算出される。具体的には、ハンドＨ１が進退初期位置から前進するときに検出器Ｓ１，Ｓ２の検出信号が入光状態から遮光状態に切り替わるタイミングに基づいて実座標（ｘ１，ｙ１），（ｘ２，ｙ２）を算出することができ、検出器Ｓ３〜Ｓ６の検出信号が遮光状態から入光状態に切り替わるタイミングに基づいて実座標（ｘ３，ｙ３）〜（ｘ６，ｙ６）を算出することができる。次に、検出器Ｓ１〜Ｓ６の実座標（ｘ１，ｙ１）〜（ｘ６，ｙ６）および設計座標（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ６，Ｙ６）を用いて上式よりオフセットＹｏｆｆ１〜Ｙｏｆｆ６を算出することができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６３
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６３】
（６）第１の実施の形態の効果
本実施の形態に係る基板搬送装置５００においては、検出位置較正動作時に、基準基板ＷＲを保持するハンドＨ１（またはハンドＨ２）が回転部材５２０に対して前進または後退する。このとき、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の検出信号に基づいて複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の設計座標と複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の実座標とのずれ量がオフセットとして算出される。基板搬送動作時に、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の検出座標がオフセットに基づいて補正される。それにより、ハンドＨ１（またはハンドＨ２）上の基板Ｗの位置が正確に検出される。また、検出座標に基づいて座標情報の載置座標が補正され、ハンドＨ１（またはハンドＨ２）により保持された基板Ｗが補正後の載置座標に基づいて搬送される。したがって、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の設計位置と実位置との間にずれがある場合でも、基板Ｗを所定の位置に搬送することができる。その結果、基板Ｗの搬送精度の向上が可能となる。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６５
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６５】
図７は第２の実施の形態における複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６と基板との位置関係を示す図である。以下の説明では、基準基板ＷＲがハンドＨ１（図１（ａ）参照）により保持されるものとする。基準基板ＷＲがハンドＨ２（図１（ｂ）参照）により保持される場合も同様である。図７においては、ハンドＨ１の図示が省略される。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００６６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００６６】
第１の実施の形態と同様に、検出器Ｓ１〜Ｓ６の設計座標をそれぞれ（Ｘ１，Ｙ１）、（Ｘ２，Ｙ２）、（Ｘ３，Ｙ３）、（Ｘ４，Ｙ４）、（Ｘ５，Ｙ５）および（Ｘ６，Ｙ６）とする。第２の実施の形態では、ハンドＨ１に案内治具５４１，５４２の代わりに、異なる直径の案内治具５４ａ，５４ｂが取り付けられる。案内治具５４ａは、案内治具５４ｂよりも大きな直径を有する。図７（ａ）に示すように、ハンドＨ１の右部分に案内治具５４ａが取り付けられ、左部分に案内治具５４ｂが取り付けられた場合、案内治具５４ａ，５４ｂに当接する基準基板ＷＲはハンドＨ１上で左前方にシフトする。それにより、基準基板ＷＲの中心ＣはＸＹ座標系の原点Ｏよりも左上の第２象限に位置する。基準基板ＷＲの中心Ｃの座標を（Ｎｘ１，Ｎｙ１）とする。以下、図７（ａ）のように、ハンドＨ１の右部分に案内治具５４ａが取り付けられ、左部分に案内治具５４ｂが取り付けられた場合の基準基板ＷＲの位置を左位置と呼ぶ。
【手続補正６】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７４
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７４】
（ｘ１，ｙ１）＝（Ｘ１＋Ｘｏｆｆ１，Ｙ１＋Ｙｏｆｆ１）
（ｘ２，ｙ２）＝（Ｘ２＋Ｘｏｆｆ２，Ｙ２＋Ｙｏｆｆ２）
（ｘ３，ｙ３）＝（Ｘ３＋Ｘｏｆｆ３，Ｙ３＋Ｙｏｆｆ３）
（ｘ４，ｙ４）＝（Ｘ４＋Ｘｏｆｆ４，Ｙ４＋Ｙｏｆｆ４）
（ｘ５，ｙ５）＝（Ｘ５＋Ｘｏｆｆ５，Ｙ５＋Ｙｏｆｆ５）
（ｘ６，ｙ６）＝（Ｘ６＋Ｘｏｆｆ６，Ｙ６＋Ｙｏｆｆ６）
したがって、検出器Ｓ１〜Ｓ６の実座標（ｘ１，ｙ１）〜（ｘ６，ｙ６）と設計座標（Ｘ１，Ｙ１）〜（Ｘ６，Ｙ６）との差を算出することにより、Ｘ軸方向のオフセットＸｏｆｆ１〜Ｘｏｆｆ６およびＹ軸方向のオフセットＹｏｆｆ１〜Ｙｏｆｆ６を算出することができる。
【手続補正７】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７６】
（８）第２の実施の形態の効果
本実施の形態に係る基板搬送装置５００においては、複数の検出器Ｓ１〜Ｓ６の設計位置と実位置との間にＸ軸方向およびＹ軸方向のずれがある場合でも、Ｘ軸方向のオフセットＸｏｆｆ１〜Ｘｏｆｆ６およびＹ軸方向のオフセットＹｏｆｆ１〜Ｙｏｆｆ６に基づいてハンドＨ１，Ｈ２上の基板Ｗの位置を正確に検出することができる。それにより、基板Ｗを所定の位置に正確に搬送することができ、基板Ｗの搬送精度のさらなる向上が可能となる。
【手続補正８】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００７９
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００７９】
図６のステップＳ１０の各検出器Ｓ１〜Ｓ６の検出座標の補正の際に、検出座標補正部５５は、図９のオフセット変化テーブルからハンドＨ１，Ｈ２の移動速度に応じたオフセットを取得し、取得したオフセットを用いて検出座標を補正してもよい。これにより、ハンドＨ１，Ｈ２に保持された基板Ｗの位置をより正確に検出することが可能となる。
【手続補正９】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００８０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【００８０】
基板搬送装置５００は、基板Ｗを保持するハンドＨ１（またはハンドＨ２）を前進させた後に後退させるホーム動作、ハンドＨ１（またはハンドＨ２）により所定の位置から基板Ｗを受け取る受け取り動作、ハンドＨ１（またはハンドＨ２）により所定の位置に基板Ｗを載置する載置動作、およびハンドＨ１（またはハンドＨ２）により所定の位置から基板Ｗを受け取るとともにハンドＨ２（またはハンドＨ１）により当該所定の位置に基板Ｗを載置する交換動作を行う。
【手続補正１０】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】０１２０
【補正方法】変更
【補正の内容】
【０１２０】
上記の実施の形態では、回転部材５２０が可動部の例であり、上下方向駆動モータ５１１、水平方向駆動モータ５１３、回転方向駆動モータ５１５および移動部材５１０が第１の駆動部の例であり、ハンドＨ１，Ｈ２が保持部の例であり、上ハンド進退用駆動モータ５２５または下ハンド進退用駆動モータ５２７が第２の駆動部の例であり、検出器Ｓ１〜Ｓ６が複数の検出器の例である。検出座標算出部５１、オフセット算出部５２および移動制御部５６がずれ量算出部の例であり、検出座標算出部５１および検出座標補正部５５が位置検出部の例であり、移動制御部５６が移動制御部の例であり、座標情報記憶部５７が記憶部の例であり、座標情報補正部５８が制御情報補正部の例であり、座標情報が制御情報の例である。ハンドＨ１，Ｈ２の進退方向またはＹ軸方向が第１の方向の例であり、ハンドＨ１，Ｈ２の左右方向またはＸ軸方向が第２の方向の例であり、ハンドＨ１，Ｈ２の左位置または右位置が第１の位置の例であり、ハンドＨ１，Ｈ２の右位置または左位置が第２の位置の例であり、オフセットＹｏｆｆ１〜Ｙｏｆｆ６が第１のオフセットの例であり、オフセットＸｏｆｆ１〜Ｘｏｆｆ６が第２のオフセットの例であり、案内治具５４１，５４２が当接部材の例であり、案内治具５４ａ，５４ｂが第１および第２の当接部材の例である。
【手続補正１１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図６
【補正方法】変更
【補正の内容】
【図６】
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